KR101992907B1 - Desorption apparatus having gap forming unit and method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device using thereof - Google Patents

Desorption apparatus having gap forming unit and method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device using thereof Download PDF

Info

Publication number
KR101992907B1
KR101992907B1 KR1020120153549A KR20120153549A KR101992907B1 KR 101992907 B1 KR101992907 B1 KR 101992907B1 KR 1020120153549 A KR1020120153549 A KR 1020120153549A KR 20120153549 A KR20120153549 A KR 20120153549A KR 101992907 B1 KR101992907 B1 KR 101992907B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
gap
auxiliary
liquid crystal
mother
Prior art date
Application number
KR1020120153549A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20140083606A (en
Inventor
이재원
이대훈
김진경
Original Assignee
엘지전자 주식회사
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사, 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1020120153549A priority Critical patent/KR101992907B1/en
Publication of KR20140083606A publication Critical patent/KR20140083606A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101992907B1 publication Critical patent/KR101992907B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133302Rigid substrates, e.g. inorganic substrates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)

Abstract

본 발명의 갭 형성 유닛을 구비한 탈착기 및 이를 이용한 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 박형 유리기판의 공정 진행을 위해 보조기판을 이용하는 경우에 있어, 갭 형성 유닛을 이용하여 박형 유리기판과 보조기판 사이에 초기 갭을 형성한 후에 보조기판의 탈착을 진행함으로써 기판들의 파손 없이 보조기판을 용이하게 분리하기 위해 것으로, 피처리물이 로딩되는 테이블; 상기 테이블 위에 설치되어 탈착을 수행하는 진공 패드; 및 상기 테이블의 일측에 구비되어 탈착을 위한 초기 갭을 형성하는 갭 형성 유닛을 포함한다.In the detachable device having a gap forming unit of the present invention and a method of manufacturing a light weight thin liquid crystal display device using the same, in the case of using an auxiliary substrate to process a thin glass substrate, a thin glass substrate and an auxiliary layer are formed using a gap forming unit. After the initial gap is formed between the substrate to proceed with the detachment of the auxiliary substrate to easily separate the auxiliary substrate without damage to the substrate, the table to be loaded; A vacuum pad installed on the table to perform desorption; And a gap forming unit provided at one side of the table to form an initial gap for detachment.

Description

갭 형성 유닛을 구비한 탈착기 및 이를 이용한 경량 박형의 액정표시장치 제조방법{DESORPTION APPARATUS HAVING GAP FORMING UNIT AND METHOD OF FABRICATING LIGHTWEIGHT AND THIN LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE USING THEREOF}DESORPTION APPARATUS HAVING GAP FORMING UNIT AND METHOD OF FABRICATING LIGHTWEIGHT AND THIN LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE USING THEREOF}

본 발명은 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 갭 형성 유닛을 구비한 탈착기 및 이를 이용한 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly, to a detacher having a gap forming unit and a method for manufacturing a light weight thin liquid crystal display device using the same.

근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 최근에는 특히 경량화, 박형화, 저소비전력화의 우수한 성능을 지닌 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT)을 대체하고 있다.In recent years, as the society enters a full-scale information age, the display field for processing and displaying a large amount of information has been rapidly developed, and recently, a thin film transistor (Thin) having excellent performance of light weight, thinness, and low power consumption has recently been developed. Film Transistor (TFT) Liquid Crystal Display (LCD) has been developed to replace the existing cathode ray tube (CRT).

상기 액정표시장치는 크게 컬러필터 기판과 어레이 기판 및 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판 사이에 형성된 액정층(liquid crystal layer)으로 구성된다.The liquid crystal display device is largely composed of a color filter substrate and an array substrate, and a liquid crystal layer formed between the color filter substrate and the array substrate.

상기 컬러필터 기판은 적(Red; R), 녹(Green; G), 청(Blue; B)색의 서브컬러필터로 구성되는 컬러필터와 상기 서브컬러필터 사이를 구분하고 상기 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix), 그리고 상기 액정층에 전압을 인가하는 투명한 공통전극으로 이루어져 있다.The color filter substrate distinguishes between a color filter composed of red (R), green (G), and blue (B) colors and the sub color filter and transmits the liquid crystal layer. It consists of a black matrix that blocks light and a transparent common electrode that applies a voltage to the liquid crystal layer.

상기 어레이 기판에는 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 게이트라인과 데이터라인이 형성되어 있다. 이때, 상기 게이트라인과 데이터라인의 교차영역에는 스위칭소자인 박막 트랜지스터가 형성되어 있으며, 상기 각 화소영역에는 화소전극이 형성되어 있다.The array substrate has gate lines and data lines arranged vertically and horizontally to define pixel regions. In this case, a thin film transistor as a switching element is formed in an intersection region of the gate line and the data line, and a pixel electrode is formed in each pixel region.

이와 같이 구성된 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판은 화상표시 영역의 외곽에 형성된 실런트(sealant)에 의해 대향하도록 합착되어 액정패널을 구성하며, 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판의 합착은 상기 컬러필터 기판 또는 어레이 기판에 형성된 합착키를 통해 이루어진다.The color filter substrate and the array substrate configured as described above are joined to face each other by sealants formed on the outer side of the image display area to form a liquid crystal panel. The combination of the color filter substrate and the array substrate is the color filter substrate or the array substrate. It is made through a bonding key formed on the substrate.

이러한 액정표시장치는 휴대용 전자기기에 특히 많이 사용되기 때문에, 그 크기와 무게를 감소시켜야만 전자기기의 휴대성을 향상시킬 수 있게 된다. 더욱이, 근래에는 대면적의 액정표시장치가 제작됨에 따라 이러한 경량 및 박형의 요구는 더욱 거세 지고 있다.Since the liquid crystal display is particularly used in portable electronic devices, it is possible to improve the portability of the electronic device only by reducing its size and weight. Moreover, in recent years, as the large-area liquid crystal display device is manufactured, the demand for such a light weight and a thin film becomes more intense.

액정표시장치의 두께나 무게를 감소시키는 방법은 여러 가지가 있을 수 있지만, 그 구조나 현재 기술상 액정표시장치의 필수 구성요소를 줄이는 것은 한계가 있다. 더욱이, 이러한 필수 구성요소는 중량이 작기 때문에 이들 필수 구성요소의 중량을 감소시켜 전체 액정표시장치의 두께나 무게를 줄이는 것은 대단히 어려운 실정이다.There may be various ways to reduce the thickness or weight of the liquid crystal display, but there are limitations in reducing the essential components of the liquid crystal display in terms of its structure and current technology. Moreover, since these essential components are small in weight, it is very difficult to reduce the weight or weight of the entire liquid crystal display by reducing the weight of these essential components.

이에 액정패널을 구성하는 컬러필터 기판과 어레이 기판의 두께를 줄여 액정표시장치의 두께와 무게를 감소시키는 방법이 활발히 연구되고 있으나, 박형의 기판을 이용하여야 하기 때문에 다수의 단위공정간 이동 시 또는 단위공정 진행 시 기판이 휘거나 깨지는 현상이 발생하고 있다.Therefore, the method of reducing the thickness and weight of the liquid crystal display device by reducing the thickness of the color filter substrate and the array substrate constituting the liquid crystal panel has been actively researched. The substrate is bent or broken during the process.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 박형의 유리기판에 보조기판을 부착하여 공정을 진행함으로써 박형의 유리기판의 파손을 방지한 경량 박형의 액정표시장치 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device which prevents breakage of a thin glass substrate by adhering an auxiliary substrate to the thin glass substrate.

본 발명의 다른 목적은 공정이 완료되어 합착된 셀(cell) 상태의 액정패널로부터 파손 없이 보조기판을 용이하게 분리하도록 한 갭 형성 유닛을 구비한 탈착기 및 이를 이용한 경량 박형의 액정표시장치 제조방법을 제공하는데 있다.It is another object of the present invention to provide a detacher having a gap forming unit for easily separating an auxiliary substrate without damage from a liquid crystal panel in a cell state where the process is completed, and a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device using the same. To provide.

본 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.Other objects and features of the present invention will be described in the configuration and claims of the invention described below.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 갭 형성 유닛을 구비한 탈착기는 피처리물로부터 보조기판을 분리하는 탈착기에 있어, 상기 피처리물이 로딩되는 테이블; 상기 테이블 위에 설치되어 탈착을 수행하는 진공 패드; 및 상기 테이블의 일측에 구비되어 탈착을 위한 초기 갭을 형성하는 갭 형성 유닛을 포함한다.In order to achieve the above object, the detacher having a gap forming unit of the present invention is a detacher for separating the auxiliary substrate from the workpiece, the table to which the workpiece is loaded; A vacuum pad installed on the table to perform desorption; And a gap forming unit provided at one side of the table to form an initial gap for detachment.

이때, 상기 피처리물은 공정이 완료된 셀 상태의 액정패널이며, 상기 액정패널의 양측에는 보조기판이 부착되어 있는 것을 특징으로 한다.In this case, the workpiece is a liquid crystal panel in a cell state in which a process is completed, and an auxiliary substrate is attached to both sides of the liquid crystal panel.

상기 갭 형성 유닛은 상기 초기 갭을 형성하기 위한 갭 나이프(gap knife)와 에어나 유체를 분사하기 위한 유체 노즐 및 상기 갭 나이프를 포함하는 것을 특징으로 한다.The gap forming unit is characterized in that it comprises a gap knife for forming the initial gap, a fluid nozzle for injecting air or fluid and the gap knife.

이때, 상기 갭 형성 유닛은 상기 갭 나이프와 유체 노즐을 구동시키기 위한 구동수단 및 상기 유체 노즐에 공급하기 위한 액체를 저장하는 탱크를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.At this time, the gap forming unit is characterized in that it further comprises a drive means for driving the gap knife and the fluid nozzle and a tank for storing the liquid for supply to the fluid nozzle.

이때, 상기 구동수단은 상기 갭 나이프를 수직방향으로 구동시키기 위한 실린더 및 상기 갭 나이프를 수평방향으로 이동시키기 위한 서보 모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.In this case, the driving means is characterized in that it comprises a cylinder for driving the gap knife in the vertical direction and a servo motor for moving the gap knife in the horizontal direction.

상기 유체 노즐은 상기 초기 갭 형성 시 에어나 연무(mist)화된 소량의 유체를 상기 갭 나이프의 후단에서 분사하여 윤활제 역할을 하는 것을 특징으로 한다.The fluid nozzle is characterized in that when the initial gap is formed by spraying a small amount of fluidized air or mist (mist) at the rear end of the gap knife serves as a lubricant.

상기 탈착기는 상기 테이블의 일측에 구비되어 상기 갭 나이프의 진입공간을 확보하는 푸시 핀을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.The detacher may further include a push pin provided at one side of the table to secure an entry space of the gap knife.

이때, 상기 푸시 핀은 푸시 헤드(push head), 상기 푸시 헤드에 연결되는 바 형태의 핀 바(pin bar), 상기 핀 바에 연결되어 상기 푸시 핀의 상승 시 보조기판의 초기 파손을 방지하기 위한 로드 셀(load cell) 및 상기 푸시 핀의 구동을 위한 서보 모터로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In this case, the push pin is a push head, a pin bar having a bar shape connected to the push head, and a rod connected to the pin bar to prevent initial damage of the auxiliary substrate when the push pin is raised. It is characterized in that the cell (load cell) and the servo motor for driving the push pin.

이때, 상기 로드 셀은 설정한 힘 이상의 압력이 상기 푸시 핀에 걸릴 경우 보조기판의 파손을 방지하기 위해 상기 서보 모터가 하부로 내려갈 수 있도록 감지하는 것을 특징으로 한다.At this time, the load cell is characterized in that the servo motor to be lowered to the lower to prevent damage to the auxiliary substrate when the pressure greater than the set force is applied to the push pin.

상기 탈착기는 상기 피처리물과 보조기판 사이로 에어를 분사하는 에어 나이프를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.The detacher may further include an air knife for injecting air between the workpiece and the auxiliary substrate.

본 발명의 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 제 1, 제 2 보조기판 및 박형의 제 1, 제 2 모기판을 제공하는 단계; 상기 박형의 제 1, 제 2 모기판 각각에 상기 제 1, 제 2 보조기판을 부착하는 단계; 상기 제 1 보조기판이 부착된 제 1 모기판에 어레이공정을 진행하는 단계; 상기 제 2 보조기판이 부착된 제 2 모기판에 컬러필터공정을 진행하는 단계; 상기 어레이공정이 진행된 제 1 모기판과 상기 컬러필터공정이 진행된 제 2 모기판을 합착하는 단계; 탈착을 수행하는 진공 패드와 상기 탈착을 위한 초기 갭을 형성하는 갭 형성 유닛을 포함하는 탈착기를 제공하는 단계; 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판을 상기 탈착기의 테이블 상에 로딩하는 단계; 상기 진공 패드를 이용하여 상기 제 2 모기판으로부터 상기 제 2 보조기판을 분리하는 단계; 제 2 보조기판이 분리된 상기 제 1, 제 2 모기판을 상하 반전하여 다시 상기 테이블 상에 로딩하는 단계; 및 상기 진공 패드를 이용하여 상기 제 1 모기판으로부터 상기 제 1 보조기판을 분리하는 단계를 포함한다.According to an exemplary embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a light weight thin liquid crystal display device, comprising: providing a first and a second auxiliary substrate and a thin first and second mother substrate; Attaching the first and second auxiliary substrates to the thin first and second mother substrates, respectively; Performing an array process on the first mother substrate to which the first auxiliary substrate is attached; Performing a color filter process on a second mother substrate to which the second auxiliary substrate is attached; Bonding the first mother substrate subjected to the array process and the second mother substrate subjected to the color filter process; Providing a desorber comprising a vacuum pad performing desorption and a gap forming unit forming an initial gap for desorption; Loading the bonded first and second mother substrates onto a table of the detacher; Separating the second auxiliary substrate from the second mother substrate using the vacuum pad; Inverting the first and second mother substrates from which the second auxiliary substrate is separated up and down and loading them on the table again; And separating the first auxiliary substrate from the first mother substrate using the vacuum pad.

이때, 상기 제 1 보조기판을 분리하기 전에 상기 탈착기에 구비된 푸시 핀을 이용하여 상기 제 1 보조기판 양측 모서리의 노출된 푸시 핀 영역을 일정압력으로 위로 눌러주어 상기 제 1 보조기판과 상기 제 1 모기판 사이에 갭 나이프 진입공간을 형성하는 것을 특징으로 한다.At this time, using the push pins provided in the detacher before pressing the first auxiliary substrate, the first push substrate and the first auxiliary substrate are pressed by pressing the exposed push pin regions of both edges of the first auxiliary substrate at a predetermined pressure. A gap knife entry space is formed between the mother substrates.

이때, 상기 갭 나이프 진입공간에 상기 갭 형성 유닛에 구비된 갭 나이프를 진입시키고, 상기 갭 나이프를 테이블의 일 방향에서 다른 일 방향으로 이동시켜 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착 하여 초기 갭을 형성하는 것을 특징으로 한다.In this case, a gap knife provided in the gap forming unit is introduced into the gap knife entry space, and the gap knife is moved from one direction of the table to the other to move the edge portion between the first auxiliary substrate and the first mother substrate. Desorption is characterized in that to form an initial gap.

이때, 상기 초기 갭 형성 시 상기 탈착기에 구비된 유체 노즐을 이용하여 에어나 연무(mist)화된 소량의 유체를 상기 갭 나이프의 후단에서 분사하는 것을 특징으로 한다.In this case, when the initial gap is formed, a small amount of fluidized air or mist (mist) is injected from the rear end of the gap knife by using a fluid nozzle provided in the detacher.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 박형의 유리기판을 이용한 경량 박형의 액정표시장치를 구현할 수 있게 되어 텔레비전이나 모니터 모델 및 휴대용 전자기기의 두께나 무게를 감소시킬 수 있는 효과를 제공한다.As described above, the light weight thin liquid crystal display device manufacturing method according to the present invention can implement a light weight thin liquid crystal display device using a thin glass substrate to reduce the thickness or weight of a television or monitor model and a portable electronic device. It can be effective.

또한, 본 발명에 따른 갭 형성 유닛을 구비한 탈착기 및 이를 이용한 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 갭 형성 유닛을 이용하여 박형 유리기판과 보조기판 사이에 초기 갭을 형성한 후에 보조기판의 탈착을 진행함으로써 기판들의 파손 없이 보조기판을 용이하게 분리할 수 있게 된다. 그 결과 택 타임(tact time)이 최소화되는 동시에 공정의 안정화를 가져와 제품의 가격 경쟁력을 향상시키는 효과를 제공한다.In addition, a detacher having a gap forming unit according to the present invention and a method for manufacturing a light weight thin liquid crystal display device using the same, after the initial gap is formed between the thin glass substrate and the auxiliary substrate by using the gap forming unit, the auxiliary substrate is detached. By proceeding, it is possible to easily separate the auxiliary substrate without damaging the substrates. As a result, the tact time is minimized and the process is stabilized, thereby improving the price competitiveness of the product.

도 1은 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치의 제조방법을 개략적으로 나타내는 흐름도.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법의 공정 일부를 개략적으로 나타내는 예시도.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따라 모서리 컷(corner cut)이 형성된 제 1, 제 2 보조기판 및 제 1, 제 2 모기판을 개략적으로 나타내는 평면도.
도 4는 본 발명에 따라 모서리 컷이 형성된 제 1, 제 2 보조기판이 부착되어 푸시 핀(push pin) 영역이 형성된 상태의 제 1, 제 2 모기판을 개략적으로 나타내는 평면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 갭 형성 유닛을 구비한 탈착기의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도.
도 6은 상기 도 5에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 탈착기에 있어, 갭 형성 유닛의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도.
도 7은 상기 도 5에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 탈착기에 있어, 푸시 핀의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 보조기판의 분리 공정을 개략적으로 나타내는 흐름도.
1 is a flow chart schematically showing a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention.
2A to 2D are exemplary views schematically showing a part of a process of manufacturing a light weight thin liquid crystal display device according to the present invention.
3A and 3B are plan views schematically showing first and second auxiliary substrates and first and second mother substrates having corner cuts according to the present invention;
FIG. 4 is a plan view schematically illustrating first and second mother substrates in which a push pin region is formed by attaching first and second auxiliary substrates having edge cuts according to the present invention; FIG.
5 is a perspective view schematically showing the configuration of a detacher having a gap forming unit according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view schematically illustrating a configuration of a gap forming unit in the detacher according to the embodiment of the present invention illustrated in FIG. 5.
7 is a perspective view schematically showing the configuration of a push pin in the detacher according to the embodiment of the present invention shown in FIG.
8 is a flowchart schematically illustrating a separation process of an auxiliary substrate in a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

최근 액정표시장치의 용도가 다양해짐에 따라 경량 박형의 액정표시장치에 대한 관심도 많아지고 있으며, 액정패널의 두께에서 가장 큰 부분을 차지하는 기판의 박형화에도 관심이 많아지고 있다. 또한, 3D나 터치(touch) 패널에서는 액정패널에 리타더(retarder)나 터치 기능의 보호 기판을 추가하므로 더욱 박형화에 대한 요구가 증가된다. 하지만 박형 기판의 경우 휨, 강성 등 물리적 특성의 약화로 공정 진행에 한계가 있다.Recently, as the use of liquid crystal display devices is diversified, interest in lightweight thin liquid crystal display devices is increasing, and interest in thinning substrates, which occupies the largest portion of the thickness of the liquid crystal panel, is also increasing. In addition, in a 3D or touch panel, a retarder or a touch function protective substrate is added to the liquid crystal panel, thereby increasing the demand for thinning. However, in the case of thin substrates, there is a limitation in the process progress due to weakening of physical properties such as bending and rigidity.

이를 해결하기 위해 박형 유리기판에 보조기판을 부착하여 공정을 진행 후 공정이 완료된 후에 박형 유리기판으로부터 보조기판을 분리하는 방법이 시도되고 있으며, 특히 본 발명에서는 정전기력, 진공력 또는 표면장력 등을 이용하여 박형 유리기판에 보조기판을 부착하여 공정을 진행하는 한편, 갭 형성 유닛을 이용하여 박형 유리기판과 보조기판 사이에 초기 갭을 형성한 후에 보조기판의 탈착을 진행함으로써 기판들의 파손 없이 보조기판을 용이하게 분리하는 것을 특징으로 한다.In order to solve this problem, a method of separating the auxiliary substrate from the thin glass substrate after the process is completed after attaching the auxiliary substrate to the thin glass substrate is completed, and in particular, in the present invention, electrostatic force, vacuum force or surface tension is used. Process by attaching the auxiliary substrate to the thin glass substrate, and forming an initial gap between the thin glass substrate and the auxiliary substrate using the gap forming unit, and then detaching the auxiliary substrate. It is characterized by easy separation.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 갭 형성 유닛을 구비한 탈착기 및 이를 이용한 경량 박형의 액정표시장치 제조방법의 바람직한 실시예를 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment of a detacher having a gap forming unit according to the present invention and a method for manufacturing a light weight thin liquid crystal display device using the same is easily available to those skilled in the art. It will be described in detail so that it can be carried out.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, only the present embodiments to make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

도 1은 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치의 제조방법을 개략적으로 나타내는 흐름도이다.1 is a flowchart schematically illustrating a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention.

이때, 상기 도 1은 액정적하방식으로 액정층을 형성하는 경우의 액정표시장치의 제조방법을 예를 들어 나타내고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 액정주입방식으로 액정층을 형성하는 경우의 액정표시장치의 제조방법에도 적용 가능하다.1 illustrates an example of a method of manufacturing a liquid crystal display device in the case of forming a liquid crystal layer by a liquid crystal dropping method, but the present invention is not limited thereto, and the present invention forms a liquid crystal layer by a liquid crystal injection method. It is also applicable to the manufacturing method of a liquid crystal display device in this case.

액정표시장치의 제조공정은 크게 하부 어레이 기판에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이공정과 상부 컬러필터 기판에 컬러필터를 형성하는 컬러필터공정 및 셀 공정으로 구분될 수 있다.The manufacturing process of the liquid crystal display device may be classified into a driving element array process of forming a driving element on a lower array substrate, a color filter process of forming a color filter on an upper color filter substrate, and a cell process.

전술한 바와 같이 액정표시장치의 두께나 무게를 좌우하는 요소에는 여러 가지가 있지만, 그 중에서도 유리로 이루어진 상기 컬러필터 기판이나 어레이 기판이 액정표시장치의 다른 구성요소 중에서 가장 무거운 구성요소이다. 따라서, 액정표시장치의 두께나 무게를 감소시키기 위해서는 이 유리기판의 두께나 무게를 감소시키는 것이 가장 효율적이다.As described above, there are various factors that determine the thickness and weight of the liquid crystal display device. Among them, the color filter substrate or the array substrate made of glass is the heaviest component among other components of the liquid crystal display device. Therefore, in order to reduce the thickness or weight of the liquid crystal display device, it is most efficient to reduce the thickness or weight of the glass substrate.

이러한 유리기판의 두께나 무게를 감소시키는 방법으로 유리기판을 식각하여 그 두께를 감소시키거나 박형의 유리기판을 이용하는 방법이 있다. 이중 첫 번째 방법은 셀 완성 후에 글라스 식각 공정을 추가로 진행하여 그 두께를 감소시키는 것인데, 식각 진행 시 발생하는 불량과 비용 증가의 단점이 있다.As a method of reducing the thickness or weight of the glass substrate, there is a method of etching the glass substrate to reduce its thickness or using a thin glass substrate. The first method is to reduce the thickness by further glass etching process after the completion of the cell, there are disadvantages of the defects and cost increase during the etching process.

이에 본 발명에서는 0.1t ~ 0.4t 정도의 두께를 갖는 박형의 유리기판을 이용하여 어레이공정과 컬러필터공정 및 셀 공정을 진행하는데, 이때 박형의 유리기판을 보조기판에 부착하여 공정을 진행함으로써 박형의 유리기판의 휨의 영향을 최소화하고 이동 중 박형의 유리기판의 파손이 없도록 하는 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 t는 mm를 의미하는 것으로 0.1t는 0.1mm의 두께를 의미하고 0.4t는 0.4mm의 두께를 의미한다. 이후 설명에서 설명의 편의를 위해 mm를 t로 표시한다.In the present invention, a thin glass substrate having a thickness of about 0.1t to 0.4t is used to perform an array process, a color filter process, and a cell process. In this case, the thin glass substrate is attached to an auxiliary substrate to perform a thin process. Minimize the influence of the bending of the glass substrate and characterized in that the thin glass substrate is not damaged during the movement. In this case, t means mm, and 0.1t means a thickness of 0.1mm and 0.4t means a thickness of 0.4mm. In the following description, mm is expressed as t for convenience of explanation.

즉, 0.1t ~ 0.4t 정도의 두께를 갖는 박형의 유리기판은 일반적인 액정표시장치제조라인에 투입될 때 휨 발생이 크게되어 기판의 처짐이 심하게 발생하기 때문에, 카세트 등의 이동수단을 이용하여 이동하는데 문제가 있으며, 단위 공정장비에 로딩 및 언로딩시 작은 충격에 의해서도 휨 발생이 급격히 발생하게 되어 위치오차가 빈번하게 발생하며, 그 결과 부딪침 등에 의해 파손불량이 증가하여 공정 진행이 실질적으로 불가능하였다.That is, a thin glass substrate having a thickness of about 0.1t to 0.4t causes a large warpage when the glass substrate is put into a general liquid crystal display manufacturing line, which causes severe deflection of the substrate. When loading and unloading the unit process equipment, there is a problem that warpage occurs suddenly even by a small impact, so that the positional error occurs frequently. .

이에 본 발명에서는 0.1t ~ 0.4t의 박형의 유리기판을 제조라인에 투입하기 전에 보조기판을 부착함으로써, 일반적인 액정표시장치에 이용되는 0.7t 정도의 두께를 갖는 유리기판과 동일하거나 더 향상된 휨 발생특성을 갖도록 하여 이동 또는 단위공정 진행 중 기판 처짐 등의 문제가 발생되는 것을 방지할 수 있는 것을 특징으로 한다.Accordingly, in the present invention, the auxiliary substrate is attached before the thin glass substrate of 0.1t to 0.4t is introduced into the manufacturing line, thereby generating the same or improved warpage as the glass substrate having a thickness of about 0.7t used for a general liquid crystal display device. It is characterized in that it is possible to prevent the occurrence of problems, such as the substrate sag during the movement or unit process by having a characteristic.

우선, 0.1t ~ 0.4t의 박형의 유리기판을 어레이공정 및 컬러필터공정의 제조라인에 투입하기 전에 상기 0.1t ~ 0.4t의 박형의 유리기판에 0.3t ~ 0.7t 정도의 보조기판을 부착한다(S101). 다만, 본 발명이 상기 박형의 유리기판 및 보조기판의 두께에 한정되는 것은 아니다.First, the auxiliary substrate of about 0.3t to 0.7t is attached to the thin glass substrate of 0.1t to 0.4t before inserting the thin glass substrate of 0.1t to 0.4t into the manufacturing line of the array process and the color filter process. (S101). However, the present invention is not limited to the thickness of the thin glass substrate and the auxiliary substrate.

상기 박형의 유리기판과 보조기판의 합착은 두 기판을 진공 상태에서 접촉시킴으로써 가능한데, 이때 두 기판간 합착력은 진공력, 반데르발스의 힘, 정전기력, 또는 분자결합 등으로 추정할 수 있다.The thin glass substrate and the auxiliary substrate may be bonded to each other by contacting the two substrates in a vacuum state, and the bonding force between the two substrates may be estimated by a vacuum force, a van der Waals force, an electrostatic force, or a molecular bond.

이때, 본 발명은 보조기판에 불소(fluorine) 등을 이용한 플라즈마 처리나 계면 활성제 처리, 또는 요철(凹凸) 패턴을 형성하여 합착력을 완화시킴으로써 박형 유리기판과의 탈착을 용이하게 할 수도 있는데, 이를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 아무런 처리 없이 박형의 유리기판과 보조기판을 합착할 수 있다.In this case, the present invention may facilitate the desorption with the thin glass substrate by reducing the bonding force by forming a plasma treatment using a fluorine (fluorine), a surfactant treatment, or an uneven pattern on the auxiliary substrate. It will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited thereto, and the thin glass substrate and the auxiliary substrate may be bonded without any treatment.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법의 공정 일부를 개략적으로 나타내는 예시도로써, 박형의 유리기판과 플라즈마나 계면 활성제 처리된 보조기판의 합착 및 탈착공정을 예를 들어 나타내고 있다.2a to 2d are schematic views showing a part of the process of manufacturing a light weight thin liquid crystal display device according to the present invention, an example of the bonding and desorption process of the thin glass substrate and the auxiliary substrate treated with plasma or surfactant. It is shown.

이때, 상기 도 2a 내지 도 2d는 보조기판 전면에 플라즈마나 계면 활성제를 처리하여 보조기판과 박형의 유리기판간 합착력을 완화시켜 보조기판과 박형의 유리기판간 탈착이 용이하도록 하는 것을 특징으로 한다. 다만, 전술한 바와 같이 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.2A to 2D are characterized in that the adhesion between the auxiliary substrate and the thin glass substrate is eased by treating plasma or a surfactant on the entire surface of the auxiliary substrate to facilitate the detachment between the auxiliary substrate and the thin glass substrate. . However, as described above, the present invention is not limited thereto.

도 2a에 도시된 바와 같이, 예를 들어 0.1t ~ 0.4t 정도의 박형의 유리기판(100)과 0.3t ~ 0.7t 정도의 보조기판(110)을 준비한다.As shown in FIG. 2A, for example, a thin glass substrate 100 having a thickness of about 0.1t to 0.4t and an auxiliary substrate 110 having a thickness of about 0.3t to 0.7t are prepared.

이때, 상기 박형의 유리기판(100)은 컬러필터공정을 위한 다수의 컬러필터 기판이 배치된 대면적의 모기판이거나 어레이공정을 위한 다수의 어레이 기판이 배치된 대면적의 모기판일 수 있다.In this case, the thin glass substrate 100 may be a large area mother substrate on which a plurality of color filter substrates are arranged for a color filter process or a large area mother substrate on which a plurality of array substrates are arranged for an array process.

다음으로, 도 2b에 도시된 바와 같이, 보조기판(110)의 탈착이 용이하도록 상기 보조기판(110)의 전체 표면(111)에 불소 등을 이용한 플라즈마나 계면 활성제를 처리한다.Next, as illustrated in FIG. 2B, a plasma or a surfactant using fluorine or the like is treated on the entire surface 111 of the auxiliary substrate 110 to facilitate the detachment of the auxiliary substrate 110.

이와 같이 보조기판(110)에 불소를 처리할 경우, 불소가 보조기판(110)의 표면(111)을 식각하여 표면 거칠기(roughness)를 증가시키거나 표면의 화학적 특성을 변화시켜 박형의 유리기판(100)과의 접촉에 의한 합착력을 약화시킬 수 있다.When the fluorine is treated on the auxiliary substrate 110 as described above, the fluorine etches the surface 111 of the auxiliary substrate 110 to increase the surface roughness or to change the chemical properties of the surface. The adhesion by contact with 100) can be weakened.

또는, 보조기판(110)의 세정 시 상기 보조기판(110)에 계면 활성제 처리를 하는 경우, 상기 보조기판(110)과 박형의 유리기판(100)간 -OH기를 감소시킴으로써 합착력을 완화시킬 수도 있다.Alternatively, when the auxiliary substrate 110 is treated with a surfactant when the auxiliary substrate 110 is cleaned, the bonding force may be alleviated by reducing the -OH group between the auxiliary substrate 110 and the thin glass substrate 100. have.

다음으로, 도 2c에 도시된 바와 같이, 상기 박형의 유리기판(100)에 상기 플라즈마나 계면 활성제가 처리된 보조기판(110)을 부착한다. 이때, 상기 박형의 유리기판(100)과 보조기판(110)의 합착은 상기 보조기판(110)으로 유리기판을 사용할 경우 두 기판(100, 110)을 진공 상태에서 접촉시킴으로써 가능한데, 이때 두 기판(100, 110)간 합착력은 진공력, 반데르발스의 힘, 정전기력, 또는 분자결합 등으로 추정할 수 있다.Next, as shown in FIG. 2C, the auxiliary substrate 110 treated with the plasma or the surfactant is attached to the thin glass substrate 100. In this case, the thin glass substrate 100 and the auxiliary substrate 110 may be bonded together when the glass substrate is used as the auxiliary substrate 110 by contacting the two substrates 100 and 110 in a vacuum state. The bonding force between 100 and 110) may be estimated by vacuum force, van der Waals force, electrostatic force, or molecular bond.

이렇게 0.1t ~ 0.4t의 두께를 갖는 박형의 유리기판(100)과 0.3t ~ 0.7t의 두께를 갖는 보조기판(110)이 합착된 상태의 공정용 패널은 이를 구성하는 박형의 유리기판(100)과 보조기판(110)이 서로 동일한 유리재질로 이루어짐으로써 온도 변화에 따른 팽창률이 동일하므로 단위공정 진행 시 팽창률 차이에 의해 휨이 발생하는 등의 문제는 전혀 없는 것이 특징이다.The process panel in which the thin glass substrate 100 having a thickness of 0.1t to 0.4t and the auxiliary substrate 110 having a thickness of 0.3t to 0.7t are bonded to the thin glass substrate 100 constituting the same ) And the auxiliary substrate 110 are made of the same glass material, so that the expansion rate is the same according to the temperature change, there is no problem that warpage occurs due to the expansion rate difference during the unit process.

또한, 박형의 유리기판(100)은 그 자체로 0.1t ~ 0.4t의 두께를 갖지만 상기 보조기판(110)과 합착되어 공정용 패널을 구성함에 따라 그 휨 발생이 현저히 줄게 되며 일반적인 0.7t의 두께를 갖는 유리기판 정도의 휨 수준 또는 그 이하의 휨 수준이 됨으로써 액정표시장치용 단위공정을 진행하는 데에는 전혀 문제되지 않는다.In addition, the thin glass substrate 100 itself has a thickness of 0.1t ~ 0.4t, but as the secondary substrate 110 is bonded to form a process panel, the occurrence of warpage is significantly reduced and the thickness of the general 0.7t The level of warpage of the glass substrate having a level of less than or equal to that of the glass substrate having a lower level does not cause any problem in proceeding the unit process for the liquid crystal display.

이후, 보조기판(110)이 부착된 상기 박형의 유리기판(100)에 후술할 컬러필터공정 또는 어레이공정을 진행하여 패널영역 각각에 구동소자인 박막 트랜지스터 또는 컬러필터층을 형성하게 된다.Thereafter, the thin glass substrate 100 to which the auxiliary substrate 110 is attached is subjected to a color filter process or an array process to be described later to form a thin film transistor or a color filter layer as a driving element in each panel region.

그리고, 소정 공정이 완료된 후에는 도 2d에 도시된 바와 같이, 박형의 유리기판(100)으로부터 보조기판(110)을 분리해내야 하는데, 이때 상기 보조기판(110)의 전체 표면(111)에 플라즈마나 계면 활성제 처리가 되어있어 보조기판(110)의 탈착이 용이하게 이루어질 수 있다.After the completion of the predetermined process, as shown in FIG. 2D, the auxiliary substrate 110 should be separated from the thin glass substrate 100, wherein the plasma is formed on the entire surface 111 of the auxiliary substrate 110. B has been treated with a surfactant can be easily detached of the auxiliary substrate (110).

즉, 박형의 유리기판(100)과 보조기판(110) 사이에 합착력이 강한 경우에는 물리적으로 분리하기가 어려워 분리 시 박형의 유리기판(100)에 휨 현상이 발생할 수 있으나, 보조기판(110)의 전체 표면(111)에 플라즈마 처리가 되어있는 경우 박형의 유리기판(100)과 보조기판(110) 사이에 합착력이 저하되어 보조기판(110)의 탈착이 용이하게 이루어질 수 있다. 또는, 상기 보조기판(110)에 계면 활성제가 처리된 경우 상기 보조기판(110)과 박형의 유리기판(100)간 -OH기가 감소됨으로써 합착력이 완화될 수도 있다.That is, when the bonding force between the thin glass substrate 100 and the auxiliary substrate 110 is strong, it is difficult to physically separate, so the bending phenomenon may occur in the thin glass substrate 100 when separating, but the auxiliary substrate 110 When the plasma treatment is performed on the entire surface 111, the bonding force is reduced between the thin glass substrate 100 and the auxiliary substrate 110, so that the auxiliary substrate 110 can be easily detached. Alternatively, when the surfactant is treated on the auxiliary substrate 110, the bonding force may be alleviated by reducing the -OH group between the auxiliary substrate 110 and the thin glass substrate 100.

그리고, 이렇게 박형의 유리기판(100)으로부터 탈착된 상기 보조기판(110)은 새로운 유리기판에 부착되어 새로운 공정 진행을 위해 재활용(recycle)될 수 있다.In addition, the auxiliary substrate 110 detached from the thin glass substrate 100 may be attached to a new glass substrate and recycled for a new process.

한편, 보조기판에 플라즈마를 처리하는 방식은 전술한 전면처리 이외에 부분처리 방식이 있을 수 있으며, 예를 들어 보조기판의 탈착이 용이하도록 상기 보조기판 중앙의 일부 표면에 불소 등을 이용한 플라즈마 처리를 진행할 수 있다. 이 경우에는 보조기판의 일부 표면에만 불소를 처리함에 따라 기판간 접촉이 가능한 영역에서 합착이 이루어지게 되고, 탈착할 때는 불소 처리된 영역, 즉 일부 표면으로 인해 탈착이 용이해지는 이점이 있다.On the other hand, the method of processing the plasma on the auxiliary substrate may be a partial treatment method in addition to the above-described front surface treatment, for example, to perform a plasma treatment using fluorine or the like on a part surface of the center of the auxiliary substrate to facilitate the detachment of the auxiliary substrate. Can be. In this case, as the fluorine is treated only on a part of the surface of the auxiliary substrate, bonding is performed in a region where contact between the substrates is possible.

또한, 상기의 경우들은 보조기판에 플라즈마나 계면 활성제 처리를 진행하여 박형의 유리기판과의 합착력을 완화시킴으로써 탈착을 용이하게 하는 경우를 예를 들어 설명하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 보조기판에 요철 패턴을 형성하여 박형의 유리기판과의 합착력을 완화시킬 수도 있다. 이러한 요철 패턴을 형성하는 방법으로 무기절연막 패터닝, 유기절연막 패터닝, 저온 SiO2 식각, 레이저 패터닝 방법 등이 있다. 이와 같이 보조기판에 요철 패턴을 형성할 경우 표면 거칠기가 증가함에 따라 박형의 유리기판과의 접촉에 의한 합착력을 약화시킬 수 있다.In addition, the above cases are described by taking plasma or surfactant treatment on the auxiliary substrate to ease the desorption by adhering to the thin glass substrate, for example, but the present invention is not limited thereto. In addition, the present invention may form a concave-convex pattern on the auxiliary substrate to alleviate the bonding force with the thin glass substrate. As the method of forming the uneven pattern, an inorganic insulating layer patterning, an organic insulating layer patterning, a low temperature SiO 2 etching, a laser patterning method and the like. As such, when the uneven pattern is formed on the auxiliary substrate, as the surface roughness increases, the bonding force due to contact with the thin glass substrate may be weakened.

다만, 본 발명이 전술한 보조기판의 부착방법에 한정되는 것은 아니며, 전술한 바와 같이 본 발명은 상기 박형의 유리기판에 상기 보조기판을 부착하기 위해 접착제나 표면처리 없이 진공상태에서 이루어질 수 있으며, 이때 상기 두 기판은 진공 중에서 정전기력, 진공력, 반데르발스 힘 또는 표면장력 등에 의해 합착 될 수 있다.However, the present invention is not limited to the above-described method of attaching the auxiliary substrate, and as described above, the present invention can be made in a vacuum state without adhesive or surface treatment to attach the auxiliary substrate to the thin glass substrate. At this time, the two substrates may be bonded by electrostatic force, vacuum force, van der Waals force or surface tension in a vacuum.

한편, 상기에 적용될 수 있는 탈착 방법으로 보조기판이나 박형의 유리기판 상부를 진공 패드(vacuum pad)로 잡아 보조기판이나 박형의 유리기판을 들어올리는 방식이 있으며, 이때 보조기판 표면의 플라즈마나 계면 활성제 처리, 또는 요철 패턴의 형성으로 인해 두 기판간 합착력이 크지 않아 탈착이 용이하게 이루어질 수 있다. 다만, 이러한 수직 탈착으로 인한 장력 발생으로 탈착이 시작되는 지점 또는 끝나는 지점에서 보조기판의 파손이 발생하기도 한다. 또한, 두 기판간 합착력이 낮을 경우에는 분리 시 기판들의 파손이 발생하기도 하며, 합착력이 높을 경우에는 분리되지 않거나 중앙부가 뜯기는 불량이 발생하기도 하는데, 따라서 이에 대해 개선이 필요하다.On the other hand, as a desorption method that can be applied to the upper substrate or a thin glass substrate by holding a vacuum pad (vacuum pad) there is a way to lift the auxiliary substrate or thin glass substrate, wherein the surface of the auxiliary substrate plasma or surfactant Due to the treatment or the formation of the uneven pattern, the adhesion between the two substrates is not large, so that the detachment can be easily performed. However, the breakage of the auxiliary substrate may occur at the start or end point of the detachment due to the tension generated by the vertical detachment. In addition, when the bonding force between the two substrates is low, the breakage of the substrates may occur during separation, and when the bonding force is high, defects may occur that are not separated or the central part is torn off, and thus, improvement is required.

이에 본 발명은 보조기판의 파손 없이 탈착을 용이하게 하기 위해 갭 형성 유닛을 이용하여 박형 유리기판과 보조기판 사이에 초기 갭을 형성한 후에 보조기판의 탈착을 진행하게 되며, 이는 후술하도록 한다.Accordingly, the present invention proceeds with the detachment of the auxiliary substrate after forming an initial gap between the thin glass substrate and the auxiliary substrate using a gap forming unit to facilitate the detachment without damaging the auxiliary substrate, which will be described later.

이와 같이 박형의 유리기판에 보조기판이 부착된 후, 전술한 보조기판이 부착된 어레이 기판용 박형의 유리기판(이하, 설명의 편의를 위해 어레이 기판이라 함)은 어레이공정에 의해 어레이 기판에 배열되어 화소영역을 정의하는 다수의 게이트라인과 데이터라인을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막 트랜지스터를 형성한다(S102). 또한, 상기 어레이공정을 통해 상기 박막 트랜지스터에 접속되어 박막 트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.After the auxiliary substrate is attached to the thin glass substrate as described above, the thin glass substrate for an array substrate (hereinafter referred to as an array substrate for convenience of description) to which the auxiliary substrate is attached is arranged on the array substrate by an array process. As a result, a plurality of gate lines and data lines defining pixel regions are formed, and thin film transistors, which are driving elements connected to the gate lines and data lines, are formed in each of the pixel regions (S102). In addition, the pixel electrode is connected to the thin film transistor through the array process to drive the liquid crystal layer as a signal is applied through the thin film transistor.

또한, 전술한 보조기판이 부착된 컬러필터 기판용 박형의 유리기판(이하, 설명의 편의를 위해 컬러필터 기판이라 함)에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 적, 녹 및 청색의 서브컬러필터로 구성되는 컬러필터층과 공통전극을 형성한다(S103). 이때, 횡전계(In Plane Switching; IPS)방식의 액정표시장치를 제작하는 경우에는 상기 어레이공정을 통해 상기 화소전극이 형성된 어레이 기판에 상기 공통전극을 형성하게 된다.In addition, a thin glass substrate for a color filter substrate (hereinafter, referred to as a color filter substrate for convenience of description) to which the auxiliary substrate is attached has a red, green, and blue sub-color filter for implementing color by a color filter process. A color filter layer and a common electrode are formed (S103). In this case, when a liquid crystal display device having an in-plane switching (IPS) method is manufactured, the common electrode is formed on an array substrate on which the pixel electrode is formed through the array process.

이어서, 상기 컬러필터 기판 및 어레이 기판에 각각 배향막을 인쇄한 후, 컬러필터 기판 및 어레이 기판 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트 각(pretilt angle)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙 처리한다(S104, S105).Subsequently, after the alignment film is printed on the color filter substrate and the array substrate, the alignment control force or the surface fixing force (that is, the pretilt angle and orientation) is applied to the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer formed between the color filter substrate and the array substrate. Direction) to rub the alignment film (S104, S105).

이와 같이 러빙 처리된 상기 컬러필터 기판에는 실링재를 도포하여 소정의 실패턴을 형성하는 동시에 상기 어레이 기판에는 액정을 적하하여 액정층을 형성하게 된다(S106, S107).A sealing material is applied to the rubbed color filter substrate as described above to form a predetermined failure turn, and a liquid crystal is dropped on the array substrate to form a liquid crystal layer (S106 and S107).

한편, 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판은 각각 대면적의 모기판에 형성되어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 모기판 각각에 다수의 패널영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 박막 트랜지스터 또는 컬러필터층이 형성되게 된다.On the other hand, the color filter substrate and the array substrate are each formed on a large area mother substrate. In other words, a plurality of panel regions are formed in each of the large area mother substrates, and a thin film transistor or a color filter layer serving as a driving element is formed in each of the panel regions.

이때, 상기 적하방식은 디스펜서를 이용하여 다수의 어레이 기판이 배치된 대면적의 제 1 모기판이나 다수의 컬러필터 기판이 배치된 제 2 모기판의 화상표시 영역에 액정을 적하 및 분배(dispensing)하고, 상기 제 1, 제 2 모기판을 합착하는 압력에 의해 액정을 화상표시 영역 전체에 균일하게 분포되도록 함으로써, 액정층을 형성하는 방식이다.In this case, the dropping method uses a dispenser to drop and dispense liquid crystals into an image display area of a first mother substrate having a large area on which a plurality of array substrates are arranged or a second mother substrate on which a plurality of color filter substrates are disposed. The liquid crystal layer is formed by uniformly distributing the liquid crystals to the entire image display region by the pressure for bonding the first and second mother substrates together.

따라서, 상기 액정패널에 적하방식을 통해 액정층을 형성하는 경우에는 액정이 화상표시 영역 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있도록 실패턴이 화소부 영역 외곽을 감싸는 폐쇄된 패턴으로 형성되어야 한다.Therefore, when the liquid crystal layer is formed on the liquid crystal panel by a dropping method, a failure turn should be formed in a closed pattern surrounding the outer portion of the pixel region so as to prevent the liquid crystal from leaking out of the image display region.

상기 적하방식은 진공주입 방식에 비해 짧은 시간에 액정을 적하할 수 있으며, 액정패널이 대형화될 경우에도 액정층을 매우 신속하게 형성할 수 있다. 또한, 기판 위에 액정을 필요한 양만 적하하기 때문에 진공주입 방식과 같이 고가의 액정을 폐기함에 따른 액정패널의 단가 상승을 방지하여 제품의 가격경쟁력을 강화시키게 된다.The dropping method can drop the liquid crystal in a short time compared to the vacuum injection method, and can form the liquid crystal layer very quickly even when the liquid crystal panel is enlarged. In addition, since only the required amount of liquid crystal is dropped on the substrate, the price competitiveness of the liquid crystal panel due to the disposal of the expensive liquid crystal is prevented, such as vacuum injection, thereby strengthening the product's price competitiveness.

이후, 상기와 같이 액정이 적하되고 실링재가 도포된 상기 제 1 모기판과 제 2 모기판을 정렬한 상태에서 압력을 가하여 상기 실링재에 의해 상기 제 1 모기판과 제 2 모기판을 합착 함과 동시에 압력의 인가에 의해 적하된 액정을 액정패널 전체에 걸쳐 균일하게 퍼지게 한다(S108). 이와 같은 공정에 의해 대면적의 제 1, 제 2 모기판에는 액정층이 형성된 다수의 액정패널이 형성되며, 이러한 다수의 액정패널이 형성된 대면적의 제 1, 제 2 모기판으로부터 제 1, 제 2 보조기판을 분리한 후, 가공하여 다수의 액정패널로 절단하고 각각의 액정패널을 검사함으로써 액정표시장치를 제작하게 된다(S109, S110).Thereafter, the first mother substrate and the second mother substrate are bonded together by the sealing material by applying pressure while the liquid crystal is dropped and the first mother substrate and the second mother substrate coated with the sealing material are aligned as described above. The liquid crystal dropped by the application of pressure is spread evenly over the entire liquid crystal panel (S108). By such a process, a plurality of liquid crystal panels in which a liquid crystal layer is formed are formed on the first and second mother substrates having a large area, and the first and second mother substrates are formed from the first and second mother substrates in which the large liquid crystal panels are formed. 2 After separating the auxiliary substrate, the substrate is processed, cut into a plurality of liquid crystal panels, and each liquid crystal panel is inspected to produce a liquid crystal display device (S109 and S110).

이때, 전술한 바와 같이 본 발명은 갭 형성 유닛을 이용하여 박형 유리기판과 보조기판 사이에 초기 갭을 형성한 후에 보조기판의 탈착을 진행하는 것을 특징으로 하며, 이때 기판의 모서리 컷을 이용하여 푸시 핀(push pin) 영역을 형성하게 되면 상기 초기 갭의 형성이 용이하게 되는데, 이를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.In this case, as described above, the present invention is characterized in that after the initial gap is formed between the thin glass substrate and the auxiliary substrate by using the gap forming unit, the auxiliary substrate is detached and pushed using the edge cut of the substrate. The formation of the push pin region facilitates the formation of the initial gap, which will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따라 모서리 컷(corner cut)이 형성된 제 1, 제 2 보조기판 및 제 1, 제 2 모기판을 개략적으로 나타내는 평면도이다.3A and 3B are plan views schematically illustrating first and second auxiliary substrates and first and second mother substrates having corner cuts according to the present invention.

또한, 도 4는 본 발명에 따라 모서리 컷이 형성된 제 1, 제 2 보조기판이 부착되어 푸시 핀 영역이 형성된 상태의 제 1, 제 2 모기판을 개략적으로 나타내는 평면도이다.4 is a plan view schematically illustrating the first and second mother substrates having the first and second auxiliary substrates having the corner cuts formed therein and having the push pin regions formed therein according to the present invention.

상기 도면들을 참조하면, 전술한 바와 같이 본 발명에서는 0.1t ~ 0.4t의 박형의 유리기판, 즉 제 1, 제 2 모기판(101, 102)을 제조라인에 투입하기 전에 0.3t ~ 0.7t의 두께를 갖는 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)을 부착함으로써, 일반적인 액정표시장치에 이용되는 0.7t 정도의 두께를 갖는 유리기판과 동일하거나 더 향상된 휨 발생특성을 갖도록 하여 이동 또는 단위공정 진행 중 기판 처짐 등의 문제가 발생되는 것을 방지할 수 있는 것을 특징으로 한다.Referring to the drawings, as described above, in the present invention, a thin glass substrate of 0.1t to 0.4t, that is, 0.3t to 0.7t before the first and second mother substrates 101 and 102 are introduced into the manufacturing line. By attaching the first and second auxiliary substrates 110a and 110b having a thickness, the movement or unit process is performed to have the same or improved warpage generation characteristics as the glass substrate having a thickness of about 0.7t used in a general liquid crystal display device. It is characterized by being able to prevent the occurrence of problems such as substrate sag during the process.

이때, 다수의 액정패널(103)이 할당되어 있는 합착된 상태의 제 1, 제 2 모기판(101, 102)과 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 모서리는 소정의 기울어진 각도로 커팅(cutting)이 되어 있으며, 이를 모서리 컷이라 한다.In this case, the corners of the first and second mother substrates 101 and 102 and the first and second auxiliary substrates 110a and 110b in the bonded state, to which the plurality of liquid crystal panels 103 are allocated, have predetermined inclination angles. This is called cutting, which is called edge cutting.

특히, 상기 박형의 제 1, 제 2 모기판(101, 102)의 적어도 2개의 모서리는 방향 구별과 후공정을 위해 상기 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)에 비해 더 안쪽 방향으로 커팅이 이루어짐에 따라 상기 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 모서리 부분이 노출되게 되는데, 이 영역은 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 분리 공정을 시작하기 위해 푸시 핀이 적용되는 푸시 핀 영역(A, B)으로 사용될 수 있다.In particular, at least two edges of the thin first and second mother substrates 101 and 102 are cut inwardly in comparison with the first and second auxiliary substrates 110a and 110b for direction discrimination and post-processing. As a result of this, the edges of the first and second auxiliary substrates 110a and 110b are exposed, and this region is provided with a push pin to start the separation process of the first and second auxiliary substrates 110a and 110b. It can be used as the push pin area (A, B) applied.

이하, 공정이 완료되어 합착된 셀 상태의 액정패널로부터 보조기판을 분리하는 방법을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of separating the auxiliary substrate from the liquid crystal panel in a cell state in which the process is completed will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 갭 형성 유닛을 구비한 탈착기의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.5 is a perspective view schematically showing the configuration of a detacher having a gap forming unit according to an embodiment of the present invention.

그리고, 도 6은 상기 도 5에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 탈착기에 있어, 갭 형성 유닛의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.6 is a perspective view schematically illustrating a configuration of a gap forming unit in the detacher according to the embodiment of the present invention illustrated in FIG. 5.

도 7은 상기 도 5에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 탈착기에 있어, 푸시 핀의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.FIG. 7 is a perspective view schematically illustrating a configuration of a push pin in the detacher according to the embodiment of the present invention illustrated in FIG. 5.

상기 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 탈착기(170)는 크게 프레임(171) 내에 구비되어 피처리물(100)이 로딩되는 테이블(175)과 상기 테이블(175) 위에 설치되어 탈착을 수행하는 진공 패드(미도시) 및 상기 테이블(175)의 일측에 구비되어 탈착을 위한 초기 갭(gap)을 형성하는 갭 형성 유닛(180)과 푸시 핀(160)으로 이루어진다.Referring to FIG. 5, the detacher 170 according to the embodiment of the present invention is largely provided in the frame 171 and installed on the table 175 and the table 175 on which the object 100 is loaded. A vacuum pad (not shown) that performs desorption and a gap forming unit 180 and a push pin 160 provided on one side of the table 175 to form an initial gap for desorption are formed.

이때, 일 예로 상기 피처리물(100)은 다수의 액정패널(103)이 할당되어 있는 합착된 상태의 제 1, 제 2 모기판일 수 있으며, 이 경우 상기 제 1, 제 2 모기판의 양측에는 박형의 유리기판의 공정진행을 위해 보조기판이 부착되어 있다.In this case, as an example, the object 100 may be a first or second mother substrate in a bonded state in which a plurality of liquid crystal panels 103 are allocated, and in this case, both sides of the first and second mother substrates may be An auxiliary substrate is attached to process thin glass substrates.

이 경우 상기 갭 형성 유닛(180)은 공정이 완료된 상기 피처리물(100)로부터 보조기판을 분리하기 위해 초기 갭을 형성하기 위한 갭 나이프(gap knife)(180a)와 유체 노즐(180b)을 포함할 수 있다.In this case, the gap forming unit 180 includes a gap knife 180a and a fluid nozzle 180b for forming an initial gap to separate the auxiliary substrate from the processed object 100 after the process is completed. can do.

그리고, 도시하지 않았지만, 상기 본 발명의 실시예에 따른 탈착기(170)는 보조기판이 잘 분리되도록 탈착과정에서 상기 피처리물(100)과 보조기판 사이로 에어를 분사하는 에어 나이프를 추가로 포함할 수 있다.And, although not shown, the desorption unit 170 according to an embodiment of the present invention further includes an air knife for injecting air between the object 100 and the auxiliary substrate in the desorption process so that the auxiliary substrate is separated well. can do.

이때, 상기 본 발명의 실시예에 따른 테이블(175)은 100 ~ 150℃ 정도의 가온이 가능하며, 일 예로 글라스와 글라스를 분리할 때 상기 테이블(175)의 온도를 100℃정도 유지할 경우 합착력은 1/2정도 감소하게 된다. 이와 같이 합착력이 감소될 경우 피처리물(100)로부터 보조기판을 탈착할 때 보조기판에 스트레스를 적게 주어 갭 들뜸, 글라스 파손, 셀 강성 저하 현상을 막을 수 있다.At this time, the table 175 according to the embodiment of the present invention can be heated to about 100 ~ 150 ℃, for example, when maintaining the temperature of the table 175 about 100 ℃ when separating the glass and glass bonding force Is reduced by 1/2. When the adhesion is reduced in this manner, when the auxiliary substrate is detached from the workpiece 100, the stress on the auxiliary substrate may be reduced to prevent gap lifting, glass breakage, and cell stiffness degradation.

상기 테이블(175)의 온도에 따른 탈착력 변화를 확인한 결과 상온에서 탈착한 경우(약 1.16kgf)보다 110℃의 가온에서 탈착한 경우 약 0.52kgf로 탈착력이 감소한 것을 알 수 있었다.As a result of confirming the change in the desorption force according to the temperature of the table 175, it was found that the desorption force was reduced to about 0.52 kgf when desorbed at 110 ° C. than when desorbed at room temperature (about 1.16 kgf).

전술한 갭 형성 유닛(180)을 상기 도 6을 참조하여 구체적으로 설명하면, 상기 본 발명의 실시예에 따른 갭 형성 유닛(180)은 초기 갭을 형성하기 위한 갭 나이프(180a)와 에어나 유체를 분사하기 위한 유체 노즐(180b) 및 상기 갭 나이프(180a)와 유체 노즐(180b)이 설치되는 플레이트(183)와 지지대(184)를 포함할 수 있다.The gap forming unit 180 described above will be described in detail with reference to FIG. 6. The gap forming unit 180 according to the embodiment of the present invention has a gap knife 180a and an air or fluid for forming an initial gap. It may include a fluid nozzle 180b for spraying the plate 183 and the support 184 on which the gap knife 180a and the fluid nozzle 180b are installed.

또한, 상기 본 발명의 실시예에 따른 갭 형성 유닛(180)은 상기 갭 나이프(180a)와 유체 노즐(180b)을 구동시키기 위한 구동수단 및 상기 유체 노즐(180b)에 공급하기 위한 액체를 저장하는 탱크(186)를 추가로 포함할 수 있다.In addition, the gap forming unit 180 according to an exemplary embodiment of the present invention stores driving means for driving the gap knife 180a and the fluid nozzle 180b and a liquid for supplying the fluid nozzle 180b. Tank 186 may be further included.

이때, 상기 탱크(186)에는 액체를 공급받거나 공급받은 액체를 상기 유체 노즐(180b)에 공급하기 위한 다수의 배관(187)이 형성되어 있으며, 상기 유체 노즐(180b)에는 상기 배관(187)으로부터 공급받은 액체나 에어를 상기 유체 노즐(180b)의 노즐(181)에 공급하기 위한 다수의 공급관(182)이 형성되어 있다.In this case, the tank 186 is provided with a plurality of pipes 187 for supplying or supplying the liquid to the fluid nozzle 180b, and the fluid nozzle 180b is formed from the pipe 187. A plurality of supply pipes 182 for supplying the supplied liquid or air to the nozzle 181 of the fluid nozzle 180b are formed.

상기 구동수단은 상기 갭 나이프(180a)를 수직방향으로 구동시키기 위한 실린더(185) 및 상기 갭 나이프(180a)를 수평방향으로 이동시키기 위한 서보 모터(미도시)를 포함할 수 있다.The driving means may include a cylinder 185 for driving the gap knife 180a in the vertical direction and a servo motor (not shown) for moving the gap knife 180a in the horizontal direction.

이때, 상기 실린더(185)는 모터로 대용이 가능하며, 상기 갭 나이프(180a)의 위치를 조정하는 역할을 한다.In this case, the cylinder 185 may be substituted by a motor, and serves to adjust the position of the gap knife 180a.

상기 서보 모터는 피처리물(100)과 보조기판 사이에 삽입된 상기 갭 나이프(180a)가 상기 피처리물(100)과 보조기판 사이를 분리할 수 있도록 상기 갭 나이프(180a)를 전, 후진시키는 역할을 한다.The servo motor moves the gap knife 180a forward and backward so that the gap knife 180a inserted between the workpiece 100 and the auxiliary substrate can be separated between the workpiece 100 and the auxiliary substrate. It plays a role.

상기 갭 나이프(180a)는 상기 피처리물(100)과 보조기판 사이를 지나갈 때 휘어지지 않을 수 있는 강철, 세라믹, 티타늄 합금 등의 재질로 제작할 수 있으며, 갭을 형성하는 과정에서 마찰에 의해 기판들이 파손될 수 있으므로 상부에 소정의 코팅을 할 수 있다.The gap knife 180a may be made of a material such as steel, ceramic, or titanium alloy, which may not be bent when passing between the workpiece 100 and the auxiliary substrate, and may be formed by friction in the process of forming a gap. These can be broken so that a predetermined coating can be applied on top.

이러한 코팅은 마찰을 최소화하기 위해 테프론이나 탄소 나노튜브(Carbon Nano Tube; CNT) 코팅을 이용할 수 있으며, 강도와 마찰을 줄여 갭이 잘 형성될 수 있도록 한다.These coatings can use Teflon or Carbon Nano Tube (CNT) coatings to minimize friction and reduce the strength and friction to ensure that gaps are formed.

상기 갭 나이프(180a)는 갭 형성 시 구부러짐에 견디는 한편, 분리 시 기판들의 파손이 발행하지 않는 두께로 제작하게 되며, 재료에 따라 다르지만 0.05mm ~ 0.2mm 범위의 두께로 제작할 수 있다.The gap knife 180a withstands bending when forming a gap, and is manufactured to have a thickness that does not cause breakage of the substrates upon separation. The gap knife 180a may be manufactured to have a thickness ranging from 0.05 mm to 0.2 mm depending on the material.

전술한 바와 같이 상기 갭 나이프(180a)가 피처리물(100)과 보조기판 사이를 지나갈 때 마찰이 발생하여 상기 갭 나이프(180a)나 기판들에 스크래치 등의 손상이 발생할 수 있다. 이를 최소화하기 위해 상기 유체 노즐(180b)은 갭 형성 시 에어나 연무(mist)화된 소량의 유체를 상기 갭 나이프(180a)의 후단에서 분사하여 윤활제 역할을 하게 된다.As described above, friction may occur when the gap knife 180a passes between the workpiece 100 and the auxiliary substrate, and scratches may occur on the gap knife 180a or the substrates. To minimize this, the fluid nozzle 180b serves as a lubricant by spraying a small amount of fluidized air or mist at the rear end of the gap knife 180a when the gap is formed.

이때, 상기 유체는 증류수나 알코올 류 등의 액체를 이용할 수 있으며, 기판들이나 장비에 영향을 주지 않는 재질을 사용한다.In this case, the fluid may be a liquid, such as distilled water or alcohol, using a material that does not affect the substrate or equipment.

그리고, 상기 도 7을 참조하면, 상기 본 발명의 실시예에 따른 푸시 핀(160)은 크게 푸시 헤드(push head)(161), 상기 푸시 헤드(161)에 연결되는 바 형태의 핀 바(pin bar)(162), 상기 핀 바(162)에 연결되어 상기 푸시 핀(160)의 상승 시 보조기판의 초기 파손을 방지하기 위한 로드 셀(load cell)(163) 및 상기 푸시 핀(160)의 구동을 위한 서보 모터(164)로 이루어질 수 있다.In addition, referring to FIG. 7, the push pin 160 according to the exemplary embodiment of the present invention has a push head 161 and a bar pin pin connected to the push head 161. bar 162 and a load cell 163 and the push pin 160 to be connected to the pin bar 162 to prevent initial damage of the auxiliary substrate when the push pin 160 is raised. It may be made of a servo motor 164 for driving.

상기 푸시 헤드(161)는 폴리에텔에텔케톤(polyether ether ketone; PEEK)과 같이 200℃ 이상의 온도에서도 변형이 발생하지 않는 재질을 사용할 수 있으며, 그 단면은 원형, 사각형, 삼각형 등 다양한 모양이 가능하다.The push head 161 may be made of a material that does not occur deformation, such as polyether ether ketone (PEEK) at a temperature of 200 ℃ or more, the cross section may be a variety of shapes, such as circular, square, triangle. .

상기 핀 바(162)는 상기 푸시 헤드(161)를 지지해주는 금속 재질의 바를 의미하며, 상기 서보 모터(164)는 상기 푸시 핀(160)을 상하 구동시키는 역할을 한다.The pin bar 162 refers to a metal bar supporting the push head 161, and the servo motor 164 drives the push pin 160 up and down.

상기 로드 셀(163)은 설정한 힘 이상의 압력이 상기 푸시 핀(160)에 걸릴 경우 보조기판의 파손을 방지하기 위해 상기 서보 모터(164)가 하부로 내려갈 수 있도록 감지하는 힘 감지 센서를 의미한다.The load cell 163 refers to a force sensing sensor that detects the servo motor 164 to be lowered in order to prevent damage to the auxiliary substrate when a pressure greater than a set force is applied to the push pin 160. .

이하, 일 예로 공정이 완료되어 합착된 셀 상태의 액정패널로부터 보조기판을 분리하는 방법을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, as an example, a method of separating the auxiliary substrate from the liquid crystal panel in a cell state in which the process is completed will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 보조기판의 분리 공정을 개략적으로 나타내는 흐름도이다.8 is a flowchart schematically illustrating a separation process of an auxiliary substrate in a method of manufacturing a light weight thin liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

다만, 본 발명이 상기 도 8에 도시된 보조기판의 분리 공정의 순서에 한정되는 것은 아니다.However, the present invention is not limited to the order of the separation process of the auxiliary substrate shown in FIG.

공정이 완료되어 합착된 제 1, 제 2 모기판은 공정 진행을 위해 부착한 제 1, 제 2 보조기판을 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 각각 분리하여야 하는데, 이를 위해 먼저 전술한 본 발명의 실시예에 따른 탈착기의 테이블 상에 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판을 로딩한다(S201).The first and second mother substrates bonded to each other after completion of the process should separate the first and second auxiliary substrates attached to each other to proceed with the process. The bonded first and second mother substrates are loaded onto the table of the detacher according to the embodiment of the present invention (S201).

이때, 전술한 바와 같이 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 상기 제 1 모기판 및 컬러필터 기판들이 형성된 상기 제 2 모기판은 0.1t ~ 0.4t 정도의 박형의 유리기판으로 이루어질 수 있으며, 이 경우 공정진행을 위해 상기 제 1, 제 2 모기판 각각에 소정의 플라즈마나 계면 활성제 처리, 또는 요철 형태의 패턴이 형성된 0.3t ~ 0.7t 정도의 제 1, 제 2 보조기판이 부착될 수 있다. 다만, 본 발명이 상기 박형의 제 1, 제 2 모기판 및 제 1, 제 2 보조기판의 두께에 한정되는 것은 아니다.In this case, as described above, the first mother substrate on which the thin film transistor array substrates are formed and the second mother substrate on which the color filter substrates are formed may be formed of a thin glass substrate having a thickness of about 0.1t to 0.4t. To this end, each of the first and second mother substrates may be attached with a first and second auxiliary substrates of about 0.3t to about 0.7t each having a predetermined plasma, a surfactant treatment, or an uneven pattern. However, the present invention is not limited to the thicknesses of the thin first and second mother substrates and the first and second auxiliary substrates.

상기 박형의 제 1, 제 2 모기판과 제 1, 제 2 보조기판의 합착은 각각 두 기판을 진공 상태에서 접촉시킴으로써 가능한데, 이때 두 기판간 합착력은 진공력, 반데르발스의 힘, 정전기력, 또는 분자결합 등으로 추정할 수 있다.The thin first and second mother substrates and the first and second auxiliary substrates may be bonded to each other by contacting the two substrates in a vacuum state, wherein the bonding force between the two substrates may be a vacuum force, a van der Waals force, an electrostatic force, Or molecular bonds.

이때, 예를 들어 분리되어야 할 제 2 보조기판이 위로 향하도록 상기 제 1, 제 2 모기판을 테이블 상에 로딩하게 되며, 상기 로딩된 제 1, 제 2 모기판 상부에는 진공 패드가 설치되어 있을 수 있다.In this case, for example, the first and second mother substrates are loaded on the table so that the second auxiliary substrate to be separated is facing upward, and a vacuum pad is installed on the loaded first and second mother substrates. Can be.

이와 같이 테이블 상에 로딩된 제 1, 제 2 모기판은 소정의 얼라인 유닛을 통해 그 상부의 진공 패드와 얼라인을 맞추게 된다(S202).In this way, the first and second mother substrates loaded on the table are aligned with the upper vacuum pads through the predetermined alignment unit (S202).

다음으로, 본 발명의 실시예에 따른 바 형태의 푸시 핀을 이용하여 상기 제 2 보조기판 양측 모서리의 노출된 푸시 핀 영역을 일정압력으로 위로 눌러주어 상기 제 2 보조기판과 박형의 유리기판, 즉 제 2 모기판 사이에 갭 나이프 진입공간을 형성해준다(S203-1).Next, using the bar-shaped push pin according to an embodiment of the present invention by pressing the exposed push pin area of the opposite side of the second auxiliary substrate at a constant pressure up, the second auxiliary substrate and the thin glass substrate, that is, A gap knife entry space is formed between the second mother substrates (S203-1).

그리고, 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 모서리 공간, 즉 갭 나이프 진입공간에 소정의 갭 나이프를 진입시키고, 일 예로 상기 갭 나이프를 테이블의 일 방향에서 다른 일 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 에지부를 탈착 하여 초기 갭을 형성한다(S203-2).In addition, a predetermined gap knife is introduced into a corner space between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, that is, a gap knife entry space. For example, the gap knife is moved from one direction of the table to the other to move the first gap knife. 2, the initial gap is formed by removing the edge portion between the auxiliary substrate and the second mother substrate (S203-2).

전술한 바와 같이 상기 초기 갭은 보조기판의 파손 없이 탈착을 용이하게 하기 위해 형성하는 것이며, 이때 상기 초기 갭 형성 시 전술한 본 발명의 실시예의 유체 노즐을 이용하여 에어나 연무(mist)화된 소량의 유체를 상기 갭 나이프의 후단에서 분사함으로써 상기 갭 나이프가 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이를 지나갈 때 윤활제 역할을 하게 되어 상기 갭 나이프나 기판들에 스크래치 등의 손상 발생을 방지할 수 있게 된다.As described above, the initial gap is formed in order to facilitate detachment without damaging the auxiliary substrate. In this case, when the initial gap is formed, a small amount of air or mist is formed by using the fluid nozzle of the above-described embodiment of the present invention. By spraying fluid at the rear end of the gap knife, the gap knife acts as a lubricant when passing between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, thereby preventing damage to the gap knife or substrates such as scratches. do.

그리고, 상기 진공 패드를 이용하여 상기 제 2 보조기판의 탈착을 완료한다(S203-3, S203).The desorption of the second auxiliary substrate is completed using the vacuum pads (S203-3 and S203).

이후, 상기 제 2 보조기판이 분리된 상기 제 1, 제 2 모기판을 상하 반전한 후, 다시 상기 탈착기의 테이블 상에 로딩하게 된다(S204).Thereafter, the first and second mother substrates separated from the second auxiliary substrate are vertically inverted and then loaded again on the table of the detacher (S204).

즉, 상기 테이블 상에는 분리되어야 할 제 1 보조기판이 위로 향하도록 상기 제 1, 제 2 모기판이 로딩되게 되며, 상기 로딩된 제 1, 제 2 모기판 상부에는 전술한 진공 패드가 설치되어 있다.That is, the first and second mother substrates are loaded on the table so that the first auxiliary substrate to be separated faces upward, and the above-described vacuum pads are installed on the loaded first and second mother substrates.

그리고, 이렇게 상기 탈착기의 테이블 상에 로딩된 제 1, 제 2 모기판은 전술한 얼라인 유닛을 통해 그 상부의 진공 패드와 얼라인을 맞추게 된다(S205).In addition, the first and second mother substrates loaded on the table of the detacher are aligned with the upper vacuum pad through the above-described alignment unit (S205).

이후, 전술한 바 형태의 푸시 핀을 이용하여 상기 제 1 보조기판 양측 모서리의 노출된 푸시 핀 영역을 일정압력으로 위로 눌러주어 상기 제 1 보조기판과 박형의 유리기판, 즉 제 1 모기판 사이에 갭 나이프 진입공간을 형성해준다(S206-1).Subsequently, by pressing the exposed push pin regions of both edges of the first sub-substrate with a predetermined pressure upward by using the push pins as described above, the first sub-substrate and the thin glass substrate, that is, between the first mother substrate. Form a gap knife entry space (S206-1).

그리고, 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 모서리 공간, 즉 갭 나이프 진입공간에 전술한 갭 나이프를 진입시키고, 일 예로 상기 갭 나이프를 테이블의 일 방향에서 다른 일 방향으로 이동시켜 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착 하여 초기 갭을 형성한다(S206-2).In addition, the aforementioned gap knife is introduced into the corner space between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, that is, the gap knife entry space. For example, the gap knife is moved from one direction of the table to another direction. 1 The edge portion between the auxiliary substrate and the first mother substrate is removed to form an initial gap (S206-2).

이때, 전술한 바와 같이 상기 초기 갭 형성 시 전술한 유체 노즐을 이용하여 에어나 연무(mist)화된 소량의 유체를 상기 갭 나이프의 후단에서 분사하게 된다.In this case, as described above, when the initial gap is formed, a small amount of fluidized air or mist is injected from the rear end of the gap knife by using the aforementioned fluid nozzle.

그리고, 상기 진공 패드를 이용하여 상기 제 2 보조기판의 탈착을 완료한다(S206-3, S206).In addition, the detachment of the second auxiliary substrate is completed using the vacuum pad (S206-3, S206).

이와 같이 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 갭 형성 유닛을 이용하여 박형 유리기판과 보조기판 사이에 초기 갭을 형성한 후에 보조기판의 탈착을 진행함으로써 기판들의 파손 없이 보조기판을 용이하게 분리할 수 있게 된다. 그 결과 택 타임(tact time)이 최소화되는 동시에 공정의 안정화를 가져와 제품의 가격 경쟁력을 향상시키게 된다.As described above, the method for manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention facilitates an auxiliary substrate without damaging the substrates by forming and / or detaching the auxiliary substrate after forming an initial gap between the thin glass substrate and the auxiliary substrate using a gap forming unit. Can be separated. As a result, the tact time is minimized and the process is stabilized to improve the price competitiveness of the product.

상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.Many details are set forth in the foregoing description but should be construed as illustrative of preferred embodiments rather than to limit the scope of the invention. Therefore, the invention should not be defined by the described embodiments, but should be defined by the claims and their equivalents.

100 : 박형의 유리기판 101 : 제 1 모기판
102 : 제 2 모기판 110,110a,110b : 보조기판
160 : 푸시 핀 161 : 푸시 헤드
162 : 핀 바 163 : 로드 셀
164 : 서보 모터 170 : 탈착기
171 : 프레임 175 : 테이블
180 : 갭 형성 유닛 180a : 갭 나이프
180b : 유체 노즐 181 : 노즐
182 : 공급관 185 : 실린더
186 : 탱크 187 : 배관
100: thin glass substrate 101: first mother substrate
102: second mother substrate 110, 110a, 110b: auxiliary substrate
160: push pin 161: push head
162: pin bar 163: load cell
164: servo motor 170: detacher
171: Frame 175: Table
180: gap forming unit 180a: gap knife
180b: fluid nozzle 181: nozzle
182: supply pipe 185: cylinder
186 tank 187 piping

Claims (14)

모기판으로부터 보조기판을 분리하는 탈착기에 있어,
상기 모기판이 로딩되고 100~150℃ 정도의 가온된 테이블;
상기 테이블 위에 설치되어 탈착을 수행하는 진공 패드; 및
상기 테이블의 일측에 구비되어 탈착을 위한 초기 갭(gap)을 형성하는 갭 형성 유닛을 포함하고,
상기 갭 형성 유닛은 상기 초기 갭을 형성하기 위한 갭 나이프(gap knife)와 에어나 유체를 분사하기 위한 유체 노즐을 포함하며,
상기 테이블의 일측에 구비되어 상기 갭 나이프의 진입공간을 확보하는 푸시 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈착기.
In the detacher which separates the auxiliary board from the mother board,
The mother substrate is loaded and the heated table of about 100 ~ 150 ℃;
A vacuum pad installed on the table to perform desorption; And
A gap forming unit provided at one side of the table to form an initial gap for detachment;
The gap forming unit includes a gap knife for forming the initial gap and a fluid nozzle for injecting air or fluid,
And a push pin provided at one side of the table to secure an entry space of the gap knife.
제 1 항에 있어서, 상기 모기판은 공정이 완료된 셀 상태의 액정패널이며, 상기 액정패널의 양측에는 상기 보조기판이 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 탈착기.The detacher according to claim 1, wherein the mother substrate is a liquid crystal panel in a cell state in which a process is completed, and the auxiliary substrate is attached to both sides of the liquid crystal panel. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 갭 형성 유닛은 상기 갭 나이프와 상기 유체 노즐을 구동시키기 위한 구동수단 및 상기 유체 노즐에 공급하기 위한 액체를 저장하는 탱크를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 탈착기.2. The detacher of claim 1, wherein said gap forming unit further comprises a tank for storing said gap knife and drive means for driving said fluid nozzle and a liquid for supplying said fluid nozzle. 제 4 항에 있어서, 상기 구동수단은 상기 갭 나이프를 수직방향으로 구동시키기 위한 실린더 및 상기 갭 나이프를 수평방향으로 이동시키기 위한 서보 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 탈착기.5. The detacher according to claim 4, wherein the driving means includes a cylinder for driving the gap knife in the vertical direction and a servo motor for moving the gap knife in the horizontal direction. 제 1 항에 있어서, 상기 유체 노즐은 상기 초기 갭 형성 시 에어나 연무(mist)화된 소량의 유체를 상기 갭 나이프의 후단에서 분사하여 윤활제 역할을 하는 것을 특징으로 하는 탈착기.2. The detacher of claim 1, wherein the fluid nozzle serves as a lubricant by spraying a small amount of fluidized air or mist at the rear end of the gap knife when the initial gap is formed. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 푸시 핀은 푸시 헤드(push head), 상기 푸시 헤드에 연결되는 바 형태의 핀 바(pin bar), 상기 핀 바에 연결되어 상기 푸시 핀의 상승 시 보조기판의 초기 파손을 방지하기 위한 로드 셀(load cell) 및 상기 푸시 핀의 구동을 위한 서보 모터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 탈착기.The push pin of claim 1, wherein the push pin includes a push head, a pin bar having a bar shape connected to the push head, and a pin bar connected to the pin bar to prevent initial damage of the auxiliary substrate when the push pin is raised. And a load cell for preventing and a servo motor for driving the push pin. 제 8 항에 있어서, 상기 로드 셀은 설정한 힘 이상의 압력이 상기 푸시 핀에 걸릴 경우 보조기판의 파손을 방지하기 위해 상기 서보 모터가 하부로 내려갈 수 있도록 감지하는 것을 특징으로 하는 탈착기.9. The detacher according to claim 8, wherein the load cell senses that the servo motor can be lowered to prevent damage to an auxiliary substrate when a pressure greater than a set force is applied to the push pin. 제 1 항에 있어서, 상기 탈착기는 상기 모기판과 상기 보조기판 사이로 에어를 분사하는 에어 나이프를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 탈착기.The detacher according to claim 1, wherein the detacher further comprises an air knife for injecting air between the mother substrate and the auxiliary substrate. 모서리 컷이 형성된 제 1, 제 2 보조기판 및 푸시 핀 영역이 형성된 박형의 제 1, 제 2 모기판을 제공하는 단계;
상기 제 1, 제 2 보조기판에 플라즈마나 계면 활성제 처리를 실시하는 단계;
상기 박형의 제 1, 제 2 모기판 각각에 상기 제 1, 제 2 보조기판을 부착하는 단계;
상기 제 1 보조기판이 부착된 제 1 모기판에 어레이공정을 진행하는 단계;
상기 제 2 보조기판이 부착된 제 2 모기판에 컬러필터공정을 진행하는 단계;
상기 어레이공정이 진행된 제 1 모기판과 상기 컬러필터공정이 진행된 제 2 모기판을 합착하는 단계;
탈착을 수행하는 진공 패드와 상기 탈착을 위한 초기 갭을 형성하는 갭 형성 유닛을 포함하는 탈착기를 제공하는 단계;
상기 합착된 제 1, 제 2 모기판을 상기 탈착기의 테이블 상에 로딩하는 단계;
상기 진공 패드를 이용하여 상기 제 2 모기판으로부터 상기 제 2 보조기판을 분리하는 단계;
제 2 보조기판이 분리된 상기 제 1, 제 2 모기판을 상하 반전하여 다시 상기 테이블 상에 로딩하는 단계; 및
상기 진공 패드를 이용하여 상기 제 1 모기판으로부터 상기 제 1 보조기판을 분리하는 단계를 포함하고,
상기 합착된 제 1, 제 2 모기판이 로딩되는 테이블은 100 ~ 150℃ 정도의 온도로 가온하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.
Providing a thin first and second mother substrate having an edge cut formed with first and second auxiliary substrates and push pin regions;
Subjecting the first and second auxiliary substrates to plasma or surfactant treatment;
Attaching the first and second auxiliary substrates to the thin first and second mother substrates, respectively;
Performing an array process on the first mother substrate to which the first auxiliary substrate is attached;
Performing a color filter process on a second mother substrate to which the second auxiliary substrate is attached;
Bonding the first mother substrate subjected to the array process and the second mother substrate subjected to the color filter process;
Providing a desorber comprising a vacuum pad performing desorption and a gap forming unit forming an initial gap for desorption;
Loading the bonded first and second mother substrates onto a table of the detacher;
Separating the second auxiliary substrate from the second mother substrate using the vacuum pad;
Inverting the first and second mother substrates from which the second auxiliary substrate is separated up and down and loading them on the table; And
Separating the first auxiliary substrate from the first mother substrate using the vacuum pad;
A method of manufacturing a light weight thin liquid crystal display device, wherein the table on which the first and second mother substrates are loaded is heated at a temperature of about 100 to 150 ° C.
제 11 항에 있어서, 상기 제 1 보조기판을 분리하기 전에 상기 탈착기에 구비된 푸시 핀을 이용하여 상기 제 1 보조기판 양측 모서리의 노출된 푸시 핀 영역을 일정압력으로 위로 눌러주어 상기 제 1 보조기판과 상기 제 1 모기판 사이에 갭 나이프 진입공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.12. The method of claim 11, wherein the first auxiliary substrate by pressing the exposed push pin region of the opposite side edges of the first auxiliary substrate with a predetermined pressure by using a push pin provided in the detacher before removing the first auxiliary substrate. And a gap knife entry space between the first mother substrate and the first mother substrate. 제 12 항에 있어서, 상기 갭 나이프 진입공간에 상기 갭 형성 유닛에 구비된 갭 나이프를 진입시키고, 상기 갭 나이프를 테이블의 일 방향에서 다른 일 방향으로 이동시켜 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착 하여 초기 갭을 형성하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The first auxiliary substrate and the first mother substrate of claim 12, wherein a gap knife provided in the gap forming unit is introduced into the gap knife entry space, and the gap knife is moved from one direction of the table to the other. A method for manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device, wherein an initial gap is formed by detaching an edge portion therebetween. 제 13 항에 있어서, 상기 초기 갭 형성 시 상기 탈착기에 구비된 유체 노즐을 이용하여 에어나 연무화된 소량의 유체를 상기 갭 나이프의 후단에서 분사하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method of claim 13, wherein, when the initial gap is formed, a small amount of fluidized by air or mist is injected from the rear end of the gap knife by using a fluid nozzle provided in the detacher. .
KR1020120153549A 2012-12-26 2012-12-26 Desorption apparatus having gap forming unit and method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device using thereof KR101992907B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120153549A KR101992907B1 (en) 2012-12-26 2012-12-26 Desorption apparatus having gap forming unit and method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device using thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120153549A KR101992907B1 (en) 2012-12-26 2012-12-26 Desorption apparatus having gap forming unit and method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device using thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140083606A KR20140083606A (en) 2014-07-04
KR101992907B1 true KR101992907B1 (en) 2019-09-30

Family

ID=51734011

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120153549A KR101992907B1 (en) 2012-12-26 2012-12-26 Desorption apparatus having gap forming unit and method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device using thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101992907B1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010090147A1 (en) * 2009-02-06 2010-08-12 旭硝子株式会社 Method for manufacturing electronic device and separation apparatus used therefor

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3199964B2 (en) * 1994-10-07 2001-08-20 シャープ株式会社 Substrate peeling device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010090147A1 (en) * 2009-02-06 2010-08-12 旭硝子株式会社 Method for manufacturing electronic device and separation apparatus used therefor

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140083606A (en) 2014-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101980764B1 (en) Desorption apparatus having drum pad of arch form and method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device using thereof
JP5683684B2 (en) Manufacturing method of lightweight and thin liquid crystal display device
TWI510442B (en) Laminated glass substrate manufacturing method
US9315412B2 (en) Surface flaw modification for strengthening of glass articles
KR101935780B1 (en) Processing line for fabricating liquid crystal display device
US20040074366A1 (en) Apparatus for cutting liquid crystal display panel
KR101880710B1 (en) Method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device
KR20130044774A (en) Method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device
JP6038077B2 (en) Substrate desorbing apparatus and flat panel display manufacturing method using the same
KR101620367B1 (en) Manufacturing Method of Flexible Ultra-Thin Type Glass Plate Minimized Thickness Variation
WO2012090787A1 (en) Process for production of laminate
KR101992907B1 (en) Desorption apparatus having gap forming unit and method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device using thereof
KR101941448B1 (en) Method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device
JP2007322693A (en) Method of manufacturing display device
KR101970553B1 (en) Method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device
KR102044418B1 (en) Method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device
WO2013118290A1 (en) Film peeling device and film peeling method
KR101936583B1 (en) Method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device
KR20130057227A (en) Method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device
JP2002099222A (en) Method for manufacturing semiconductor device
KR101837202B1 (en) Method of forming process substrate using thin glass substrate and method of fabricating flat display device using thereof
US20050275788A1 (en) Method for fabricating an LC panel

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant