JP4271252B2 - 超音波振動子セル、超音波振動子エレメント、超音波振動子アレイ及び超音波診断装置 - Google Patents
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Description
図5は、超音波振動子セル100の上面図である。図6は、図5のVI-VI断面図である。図7は、超音波振動子セル100の等価回路図である。
以下、本発明の第2の実施形態について、図9を参照して説明する。図9は、第2の実施形態に係る超音波振動子セルの部分断面図である。第2の実施形態では、第1の実施形態の構成に対し、電荷保持部の構成のみが異なる。よって、以下ではこの相違点のみを説明するものとし、また、第1の実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し、その説明を適宜に省略するものとする。
以下、本発明の第3の実施形態について、図10を参照して説明する。図10は、第3の実施形態に係る超音波振動子セルの部分断面図である。第3の実施形態では、第1の実施形態の構成に対し、エレクトレット膜の構成のみが異なる。よって、以下ではこの相違点のみを説明するものとし、また、第1の実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し、その説明を適宜に省略するものとする。
以下、本発明の第4の実施形態について、図11及び図12を参照して説明する。図11は、第4の実施形態に係る超音波振動子セルの部分断面図である。図12は第4の実施形態に係る超音波振動子セルの等価回路図である。第4の実施形態では、第1の実施形態の構成に対し、超音波振動子セルの積層構造のみが異なる。よって、以下ではこの相違点のみを説明するものとし、また、第1の実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し、その説明を適宜に省略するものとする。
以下、本発明の第5の実施形態について、図13及び図14を参照して説明する。図13は、第5の実施形態に係る超音波振動子セルの部分断面図である。図14は第5の実施形態に係る超音波振動子セルの等価回路図である。第5の実施形態では、第4の実施形態の構成に対し、エレクトレット膜の配置と数のみが異なる。よって、以下ではこの相違点のみを説明するものとし、また、第1の実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し、その説明を適宜に省略するものとする。
以下、本発明の第6の実施形態について、図15及び図16を参照して説明する。図15は、第6の実施形態に係る超音波振動子セルの部分断面図である。図16は第5の実施形態に係る超音波振動子セルの等価回路図である。第6の実施形態では、第1の実施形態の構成に対し、超音波振動子セルが形成される基板の材料が異なる。よって、以下ではこの相違点のみを説明するものとし、また、第1の実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し、その説明を適宜に省略するものとする。
Claims (11)
- 導電性を有し、接地電位とされる基板と、
前記基板上に配設された電荷保持部と、
前記電荷保持部上に配設され、前記電荷保持部に電気的に接続された、信号の入出力に使われる下部電極と、
前記下部電極上に空隙部を隔てて配設され、絶縁膜および前記絶縁膜上に配置され前記基板に電気的に接続された上部電極を少なくとも含む振動膜と、
を具備することを特徴とする超音波振動子セル。 - 前記基板は、シリコン半導体からなることを特徴とする請求項1に記載の超音波振動子セル。
- 基板と、
前記基板上に配設され、接地電位とされる接地導電膜と、
前記接地導電膜上に配設された電荷保持部と、
前記電荷保持部上に配設され、前記電荷保持部に電気的に接続された、信号の入出力に使われる下部電極と、
前記下部電極上に空隙部を隔てて配設され、絶縁膜および前記絶縁膜上に配置され前記接地導電膜に電気的に接続された上部電極を少なくとも含む振動膜と、
を具備することを特徴とする超音波振動子セル。 - 前記電荷保持部は、エレクトレット膜であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の超音波振動子セル。
- 前記エレクトレット膜は、単層の膜または複層の膜であり、シリコン化合物からなることを特徴とする請求項4に記載の超音波振動子セル。
- 前記エレクトレット膜は、単層の膜または複層の膜であり、ハフニウム酸化物からなることを特徴とする請求項4に記載の超音波振動子セル。
- 前記エレクトレット膜は、シリコン化合物からなる膜及びハフニウム酸化物からなる膜を積層してなることを特徴とする請求項4に記載の超音波振動子セル。
- 前記下部電極は、前記基板下に配設された信号電極パッドに、前記基板を貫通する貫通電極を介して電気的に接続されることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の超音波振動子セル。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載の超音波振動子セルを複数含む超音波振動子エレメントであって、前記複数の超音波振動子セルは前記基板を介して一体に構成されていることを特徴とする超音波振動子エレメント。
- 請求項9に記載の超音波振動子エレメントを複数含む超音波振動子アレイであって、前記複数の超音波振動子エレメントの一部又は全部は、前記基板を介して一体に構成されていることを特徴とする超音波振動子アレイ。
- 請求項10に記載の超音波振動子アレイを具備することを特徴とする超音波診断装置。
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