JP3062023B2 - Vacuum envelope and image display device - Google Patents

Vacuum envelope and image display device

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JP3062023B2
JP3062023B2 JP6314417A JP31441794A JP3062023B2 JP 3062023 B2 JP3062023 B2 JP 3062023B2 JP 6314417 A JP6314417 A JP 6314417A JP 31441794 A JP31441794 A JP 31441794A JP 3062023 B2 JP3062023 B2 JP 3062023B2
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image display
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substrate
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浩一 北上
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2209/00Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
    • H01J2209/38Control of maintenance of pressure in the vessel
    • H01J2209/385Gettering

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、テレビ、コンピュータ
用表示装置等の画像表示装置およびこれに具備される
空外囲器に関する。
True This invention relates, is provided a television, the image display device and to a display device such as a computer
For air envelopes .

【0002】[0002]

【従来の技術】自発光型平板状画像表示装置にはプラズ
マディスプレイ、EL表示装置、電子線を用いたものが
あり、いずれのものにおいても大画面化、高精細化の要
求が高まっている。これらの装置のうち、電子線を用い
るものとしては、例えば特開平2-299136号公報に開示さ
れている薄型の画像表示装置が知られている。この公報
に開示されている装置は、フェースプレート、基板及び
外枠からなる真空外囲器内に電子ビームを発生する電子
源として表面伝導型電子放出素子を配した構成となって
おり、該表面伝導型電子放出素子から放出される電子ビ
ームを加速してフェースプレート上に形成されている蛍
光体に照射し、発光させて画像表示するものである。以
下、この薄型の画像表示装置の構成について詳しく説明
する。
2. Description of the Related Art There are a self-luminous type flat panel image display device using a plasma display, an EL display device, and an electron beam, and there is an increasing demand for a large screen and high definition in any of them. Among these devices, as a device using an electron beam, for example, a thin image display device disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-299136 is known. The device disclosed in this publication has a configuration in which a surface conduction electron-emitting device is arranged as an electron source for generating an electron beam in a vacuum envelope composed of a face plate, a substrate, and an outer frame. The electron beam emitted from the conduction electron-emitting device is accelerated to irradiate a phosphor formed on the face plate to emit light, thereby displaying an image. Hereinafter, the configuration of the thin image display device will be described in detail.

【0003】図7は、上記公報に開示される表面伝導型
電子放出素子を用いた平板状画像表示装置の部分断面図
である。
FIG. 7 is a partial sectional view of a flat panel display using the surface conduction electron-emitting device disclosed in the above publication.

【0004】図7において、801はソーダガラス等の
絶縁材で構成された基板、802は表面伝導型電子放出
素子、803は感光ガラスでできた大気圧支持部材、8
04はアルミ薄膜のメタルバック806で覆われた蛍光
体805をパネル内側に有するソーダガラスからなるフ
ェースプレート、807はフリットガラス、808は外
枠である。
In FIG. 7, reference numeral 801 denotes a substrate made of an insulating material such as soda glass; 802, a surface conduction electron-emitting device; 803, an atmospheric pressure support member made of photosensitive glass;
Reference numeral 04 denotes a face plate made of soda glass having a phosphor 805 covered with a metal back 806 of an aluminum thin film inside the panel, reference numeral 807 denotes frit glass, and reference numeral 808 denotes an outer frame.

【0005】基板801とフェイスプレート804は大
気圧支持部材803によって所定の間隔に支持されてお
り、これらと外枠808とによって真空外囲器が形成さ
れている。この真空外囲器は、該真空外囲器の所定部に
取り付けられた排気管(不図示)を通して外部の真空ポ
ンプにより排気され、所定の真空圧のものとなってい
る。なお、基板801とフェイスプレート804は大気
圧支持部材803によって支持されており、これによ
り、大面積に渡って多数素子を配列形成された場合にお
ける大気圧によるフェイスプレート804等の歪みが緩
和される。
[0005] The substrate 801 and the face plate 804 are supported at predetermined intervals by an atmospheric pressure support member 803, and a vacuum envelope is formed by these and the outer frame 808. The vacuum envelope is evacuated by an external vacuum pump through an exhaust pipe attached to a predetermined portion of the vacuum envelope (not shown), it has become a predetermined one of the vacuum pressure. Note that the substrate 801 and the face plate 804 are supported by the atmospheric pressure support member 803, whereby the distortion of the face plate 804 and the like due to the atmospheric pressure is reduced when a large number of elements are arranged and formed over a large area. .

【0006】表面伝導型電子放出素子802は外部駆動
回路(不図示)に接続され、メタルバック806は高圧
ケーブルを介して高圧電源に接続されている。
The surface conduction electron-emitting device 802 is connected to an external drive circuit (not shown), and the metal back 806 is connected to a high-voltage power supply via a high-voltage cable.

【0007】図8は、図7に示した表面伝導型電子放出
素子802の概略構成を示す部分拡大図である。
FIG. 8 is a partially enlarged view showing a schematic configuration of the surface conduction electron-emitting device 802 shown in FIG.

【0008】図8において、902,903は一定間隔
(2ミクロン程度)を隔てて設置された素子電極、90
4は有機Pd(CCP4230奥野製薬株式会社製)を
塗布して形成した薄膜、905はフォーミングと呼ぶ通
電処理によって薄膜904上に形成された電子放出部で
ある。
In FIG. 8, reference numerals 902 and 903 denote device electrodes provided at regular intervals (about 2 microns).
Reference numeral 4 denotes a thin film formed by applying organic Pd (CCP4230 manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.), and reference numeral 905 denotes an electron-emitting portion formed on the thin film 904 by an energization process called forming.

【0009】ここで、フォーミングとは素子電極90
2,903間に電圧を印加して局所的に薄膜904を破
壊、変形もしくは変質せしめて、該薄膜904に電気的
に高抵抗状態となる部分を形成することをいい、この形
成された電気的に高抵抗状態となる部分が電子放出部9
05である。なお、電子放出部905としては、薄膜9
04の一部に発生した亀裂を用いることもある。この場
合、亀裂付近から電子放出が行なわれる。
Here, the term "forming" refers to the element electrode 90.
2, a voltage is applied between the thin films 904 to locally destroy, deform, or alter the thin film 904, thereby forming a portion of the thin film 904 that is in an electrically high-resistance state. The part which becomes a high resistance state is the electron emitting part 9
05. In addition, as the electron emitting portion 905, the thin film 9
In some cases, cracks generated in a part of 04 may be used. In this case, electrons are emitted from the vicinity of the crack.

【0010】上述の薄膜の他、表面伝導型電子放出素子
を形成することができる薄膜としては、SnO2薄膜、
Au薄膜によるもの(G.Ditter: "Thin Solid Films",
9, 317(1972))、In23/SnO2薄膜によるもの
(M.Hartwell and C.G.Fonstad:"IEEE Trans. ED Con
f.", 519(1975))、カーボン薄膜によるもの(荒木久
他:真空、第26巻、第1号、22(1983))等が報告され
ている。
In addition to the above-mentioned thin films, SnO 2 thin films, thin film on which surface conduction electron-emitting devices can be formed,
Au film (G. Ditter: "Thin Solid Films",
9, 317 (1972)), based on an In 2 O 3 / SnO 2 thin film (M. Hartwell and CGFonstad: "IEEE Trans. ED Con
f. ", 519 (1975)), using a carbon thin film (Hisashi Araki)
Others: Vacuum, Vol. 26, No. 1, 22 (1983)) and the like have been reported.

【0011】上述のように構成される画像表示装置で
は、真空外囲器形成後(封着後)に 空外囲器内に残留
ガスが発生するため、以下のようなゲッタの処理が施さ
れる。
[0011] In the image display apparatus constructed as described above, since the residual gas is generated in the vacuum outside the enclosure after the vacuum envelope is formed (after sealing), getter the following processing facilities Is done.

【0012】図9は、図7示した従来の画像表示装置に
おけるゲッタによる高真空維持を説明するための図で、
基板801上に設けられたゲッタ剤コンテナ固定治具1
02が遮蔽板となるように、ゲッタ剤コンテナ103が
ゲッタ剤コンテナ固定治具102の側面に取り付けられ
たものが示されている。
FIG. 9 is a diagram for explaining the maintenance of a high vacuum by a getter in the conventional image display device shown in FIG.
Getter agent container fixing jig 1 provided on substrate 801
The getter agent container 103 is shown attached to the side surface of the getter agent container fixing jig 102 so that 02 serves as a shielding plate.

【0013】図9に示す画像表示装置では、フラッシュ
によりゲッタを飛散させ、該飛散ゲッタを真空外囲器
の外枠壁面、ゲッタ剤コンテナ固定治具102等に被着
させて、その被着したゲッタにより真空外囲器内に発生
する残留ガスが捕獲される。この被着ゲッタによる残留
ガスの捕獲により真空外囲器形成後(封着後)に真空外
囲器内に発生する残留ガスの除去が行なわれて、残留ガ
スによる真空外囲器内の真空度低下を防いでいる。この
ようなゲッタの排気効果により、真空外囲器内がおよそ
1×10-6torr程度の真空度に維持される。
In the image display apparatus shown in FIG. 9, a getter is scattered by a flash, and the scattered getter is attached to an outer frame wall surface in a vacuum envelope , a getter agent container fixing jig 102, and the like. The residual gas generated in the vacuum envelope is captured by the obtained getter. After the residual gas is captured by the adhered getter, after the vacuum envelope is formed (after sealing), the vacuum is released.
The residual gas generated in the envelope is removed to prevent the degree of vacuum in the vacuum envelope from being reduced by the residual gas. Due to the exhaust effect of the getter, the inside of the vacuum envelope is maintained at a degree of vacuum of about 1 × 10 −6 torr.

【0014】上述のようにして真空外囲器内がおよそ1
×10-6torr程度の真空度に維持された画像表示装置で
は、画像表示が以下のようにして行なわれる。
As described above, the inside of the vacuum envelope is approximately 1
In an image display device maintained at a degree of vacuum of about × 10 −6 torr, image display is performed as follows.

【0015】真空外囲器内が所定の真空度に保たれた状
態で、外部駆動回路(不図示)によって表面伝導型電子
放出素子802の素子電極902,903に駆動パルス
を印加すると、電子放出部905から電子がビーム状に
放出される。このとき、蛍光体805およびメタルバッ
ク806には高電圧(1kV〜10kV)が印加されて
おり、これによって電子放出部905から放出された電
子が加速されて、蛍光体805に衝突する。この衝突に
より、蛍光体805が発光し、画像が表示される。
When a drive pulse is applied to the device electrodes 902 and 903 of the surface conduction electron-emitting device 802 by an external drive circuit (not shown) while the inside of the vacuum envelope is maintained at a predetermined degree of vacuum, electron emission is performed. Electrons are emitted in a beam form from the portion 905. At this time, a high voltage (1 kV to 10 kV) is applied to the phosphor 805 and the metal back 806, so that the electrons emitted from the electron emission unit 905 are accelerated and collide with the phosphor 805. Due to this collision, the phosphor 805 emits light, and an image is displayed.

【0016】なお、上述の画像表示装置に用いられる電
子源としては、表面伝導型電子放出素子の他、熱カソー
ドを用いた熱電子源、電界放出型電子放出素子(W.P.Dy
ke &W.W.Dolan,"Field emission",Advance in Electron
Physics,8,89(1956)、またはC.A.Spindt,"Physical pr
operties of thin-film field emission cathodeswith
molybdenum cones",J.Appl.Phys.,47,5248(1976)等)、
金属/絶縁層/金属型電子放出素子(C.A.Mead,"The tu
nnel-emission amplifier,J.Appl.Phys.,32,646(1961)
等)が知られている。
The electron source used in the above-mentioned image display apparatus includes a surface conduction electron-emitting device, a thermionic electron source using a hot cathode, and a field emission electron-emitting device (WPDy).
ke & W.W.Dolan, "Field emission", Advance in Electron
Physics, 8, 89 (1956), or CASpindt, "Physical pr
operties of thin-film field emission cathodeswith
molybdenum cones ", J. Appl. Phys., 47, 5248 (1976), etc.)
Metal / insulating layer / metal-type electron-emitting device (CAMead, "The tu
nnel-emission amplifier, J. Appl. Phys., 32, 646 (1961)
Etc.) are known.

【0017】[0017]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように真空外囲器内の圧力をゲッタによって高真空状態
に維持する画像表示装置には、以下のような問題点があ
る。
However, as described above, the image display apparatus in which the pressure in the vacuum envelope is maintained in a high vacuum state by the getter has the following problems.

【0018】図9に示した画像表示装置では、ゲッタ剤
コンテナ固定治具102は遮蔽板となるように基板80
1上に設けられており、該ゲッタ剤コンテナ固定治具1
02にゲッタが格納されたゲッタ剤コンテナ103が取
り付けられている。このように、飛散ゲッタが電子放出
素子等に被着されることのないようにゲッタ剤コンテナ
103が遮蔽板として用いられる従来の画像表示装置に
は、ゲッタによる排気効果を得る際においてもゲッタ剤
コンテナ固定治具102が遮蔽板として作用するため、
真空外囲器内の圧力が不均一なものとなっていまい、表
示画像に輝度ムラが生じるという問題点がある。さらに
は、ゲッタ剤コンテナ固定治具102およびゲッタ剤コ
ンテナ103が設けられているため、真空外囲器の製造
に手間がかかるという問題点がある。なお、ゲッタ剤コ
ンテナ固定治具102を遮蔽板として用いない場合に
は、飛散ゲッタの電子放出素子等への被着の問題が生じ
る。本発明は、上記各問題に鑑みてなされたものであっ
て、ゲッタ剤コンテナ固定治具およびゲッタ剤コンテナ
を必要としない、製造が簡単で、真空外囲器内の圧力均
一性に優れた真空外囲器およびこれを具備した画像表示
装置を提供することを目的とする。
In the image display device shown in FIG. 9, the getter agent container fixing jig 102 is provided on the substrate 80 so as to be a shielding plate.
1, the getter agent container fixing jig 1
A getter agent container 103 in which a getter is stored at 02 is attached. As described above, in a conventional image display device in which the getter agent container 103 is used as a shielding plate so that the scattering getter is not attached to the electron-emitting device or the like, the getter agent is used even when the getter exhaust effect is obtained. Since the container fixing jig 102 acts as a shielding plate,
There is a problem in that the pressure in the vacuum envelope may not be uniform, resulting in uneven brightness in a displayed image. Further, since the getter agent container fixing jig 102 and the getter agent container 103 are provided, there is a problem in that the production of the vacuum envelope takes time. If the getter agent container fixing jig 102 is not used as a shielding plate, there is a problem that the scattering getter adheres to the electron-emitting device or the like. The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and does not require a getter agent container fixing jig and a getter agent container, is simple to manufacture, and has excellent vacuum uniformity in a vacuum envelope . An object of the present invention is to provide an envelope and an image display device including the envelope .

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の真空外囲器は、対向して設けられる基板お
よびフェースプレートと該基板およびフェースプレート
の間に設けられる外枠とにより構成され、内部に発生す
るガスを排気するゲッタを有する真空外囲器にお いて、
前記基板もしくは前記フェースプレートに、前記ゲッタ
が固定されるゲッタ溝部が形成され、 前記基板とフェー
スプレートとの間に平板状の複数の耐大気圧支持部材が
配されており、 複数の平板状の耐大気圧支持部材の長手
方向が略平行であり、前記ゲッタ溝部は、前記基板の前
記複数の大気圧支持部材が設けられた領域の周辺部に、
該周辺部に沿って形成され、前記ゲッタ溝部の長手方向
と前記複数の大気圧支持部材の長手方向とのなす角度が
略直角となっていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a vacuum envelope of the present invention comprises a substrate and a substrate provided opposite to each other.
And face plate and its substrate and face plate
With the outer frame provided between the
And have you in the vacuum envelope with a getter for exhausting that gas,
The getter is provided on the substrate or the face plate.
A getter groove for fixing the substrate is formed.
A plurality of plate-like atmospheric pressure supporting members
The plurality of flat plate-like anti-atmospheric pressure support members
The directions are substantially parallel, and the getter groove is provided in front of the substrate.
Around the area where the plurality of atmospheric pressure support members are provided,
Along the peripheral portion, the longitudinal direction of the getter groove portion
And the angle between the longitudinal direction of the plurality of atmospheric pressure support members and
It is characterized by being substantially perpendicular.

【0020】この場合、前記ゲッタ溝部が複数形成され
ていることとしてもよい。
In this case, a plurality of the getter grooves are formed.
It may be that.

【0021】また、前記ゲッタ溝部は、前記複数の大気
圧支持部材が設けられた領域の周辺部、に対向して配設
された第1および第2の溝からなることとしてもよい。
Further , the getter groove is provided with the plurality of atmospheres.
Disposed facing the periphery of the area where the pressure support member is provided
The first and second grooves may be formed.

【0022】本発明の画像表示装置は、上記のように構
成された真空外囲器を具備した画像表示装置であって、
請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の真空外囲
器を具備した画像表示装置であって、前記真空外囲器内
には、蛍光体と該蛍光体を励起して発光させるための
子源が設けられていることを特徴とする画像表示装置。
The image display device of the present invention is an image display device having the vacuum envelope configured as described above,
4. An image display device comprising the vacuum envelope according to claim 1, wherein a phosphor is excited in the vacuum envelope to emit light. 5. Electricity for
An image display device comprising a child source .

【0023】この場合、電子源が熱カソード、電界放出
型電子放出素子、表面伝導型電子放出素子のいずれかで
あってもよい。
In this case, the electron source may be any one of a thermal cathode, a field emission type electron-emitting device, and a surface conduction type electron-emitting device.

【0024】また、テレビ、コンピュータ用表示装置で
あるとしてもよい。
The present invention may be a display device for a television or a computer.

【0025】[0025]

【作用】本発明の真空外囲器では、基板にゲッタ溝部が
形成され、該ゲッタ溝部内にゲッタが固定されているの
で、フラッシュにより飛散したゲッタは被着範囲がその
ゲッタ溝部の淵によって制限され、所定の領域に被着さ
れる。このゲッタ被着領域は、ゲッタ溝部の形成位置お
よび大きさによって決定される。このように、基板に形
成されたゲッタ溝部にゲッタが固定される本発明では、
従来のように真空外囲器内にゲッタ剤コンテナやゲッタ
剤コンテナ固定治具が設けられることはないので、ゲッ
タによる排気が行なわれる際の真空外囲器内の圧力を均
一なものとすることができる。また、本発明では、ゲッ
タ剤コンテナやゲッタ剤コンテナ固定治具を設ける必要
がないことに加えて、ゲッタが固定されるゲッタ溝部は
基板に一体的に形成されているので、真空外囲器の製造
が簡単になる。
In the vacuum envelope of the present invention, the getter groove is formed in the substrate, and the getter is fixed in the getter groove, so that the getter scattered by the flash is limited in its coverage area by the edge of the getter groove. And is attached to a predetermined area. The getter attachment area is determined by the position and size of the getter groove. As described above, in the present invention in which the getter is fixed to the getter groove formed in the substrate,
Since the getter agent container and the getter agent container fixing jig are not provided in the vacuum envelope unlike the conventional case, the pressure in the vacuum envelope when the getter is evacuated should be uniform. Can be. Further, in the present invention, in addition to the need to provide a getter agent container and a getter agent container fixing jig, the getter groove for fixing the getter is formed integrally with the substrate, so that the vacuum envelope Manufacturing is simplified.

【0026】本発明のうち真空外囲器内に大気圧支持部
材が設けられたものにおいては、ゲッタ溝部は、基板の
各大気圧支持部材が設けられた領域の周辺部に、該周辺
部に沿って形成され、溝の長さ方向と大気圧支持部材の
長手方向とのなす角度は直角となっている。そのため、
残留ガス(気体分子)は大気圧支持部材に沿って浮遊し
て、ゲッタ溝部から飛散したゲッタが被着した領域に到
達することになる。したがって、本発明では、大気圧支
持部材が遮蔽板として作用することはないので、ゲッタ
による排気効果を得る際の排気コンダクタンスを大きく
することができ、到達真空度の高い真空外囲器の作製が
可能となる。
In the present invention in which the atmospheric pressure supporting member is provided in the vacuum envelope , the getter groove is formed in the peripheral portion of the region of the substrate where the atmospheric pressure supporting member is provided, and in the peripheral portion. The angle between the longitudinal direction of the groove and the longitudinal direction of the atmospheric pressure support member is a right angle. for that reason,
The residual gas (gas molecules) floats along the atmospheric pressure support member and reaches the area where the getter scattered from the getter groove is attached. Therefore, in the present invention, since the atmospheric pressure support member does not act as a shielding plate, it is possible to increase the exhaust conductance when obtaining the exhaust effect by the getter, and to manufacture a vacuum envelope having a high ultimate vacuum. It becomes possible.

【0027】上記各作用を奏する真空外囲器が用いられ
た本発明の画像表示装置においては、ゲッタ溝部は、基
板上の大気圧支持部材および画像表示部材が設けられた
領域の周辺部に設けられいるので、上記のフラッシュに
よる飛散ゲッタの被着範囲の制限により、飛散ゲッタが
画像表示部に被着することはない。さらに、ゲッタ溝部
が、基板の大気圧支持部材および画像表示部材が設けら
れた領域の周辺部に、該周辺部に沿って形成され、溝の
長さ方向と大気圧支持部材の長手方向とのなす角度は直
角となっているので、真空外囲器内に大気圧支持部材が
設けられていても、ゲッタによる排気効果を得る際の排
気コンダクタンスを大きくすることができ、到達真空度
の高い真空外囲器の作製が可能となる。
[0027] In the image display apparatus of the present invention using the vacuum envelope having the above-described functions, the getter groove is provided on the substrate at the periphery of the area where the atmospheric pressure support member and the image display member are provided. Therefore, the scattering getter does not adhere to the image display unit due to the limitation of the range in which the scattering getter is attached by the flash. Further, the getter groove is formed along the peripheral portion of the substrate at the peripheral portion of the region where the atmospheric pressure supporting member and the image display member are provided, and the length direction of the groove and the longitudinal direction of the atmospheric pressure supporting member are different from each other. because the angle has a right angle, even if the atmospheric pressure supporting member provided in the vacuum outside the envelope, it is possible to increase the exhaust conductance in obtaining an exhaust effect of the getter, high ultimate vacuum vacuum An envelope can be manufactured.

【0028】[0028]

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0029】図1は、本発明の一実施例の画像表示装置
の概略構成を示す平面図、図2は図1に示す画像表示装
置のA−A断面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a schematic structure of an image display device according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of the image display device shown in FIG.

【0030】図1および図2において、1は基板、2は
フェースプレート、3は外枠、4は基板1上に配置され
た電子放出素子、5は基板1とフェースプレート2とを
所定の間隔に支持する大気圧支持部材、6はゲッタ7を
格納するためのゲッタ溝部である。
1 and 2, 1 is a substrate, 2 is a face plate, 3 is an outer frame, 4 is an electron-emitting device disposed on the substrate 1, and 5 is a predetermined distance between the substrate 1 and the face plate 2. Is a getter groove for accommodating the getter 7.

【0031】本実施例の画像表示装置では、基板1とフ
ェースプレート2と外枠3とによって真空外囲器が形成
されている。この真空外囲器には、基板1とフェースプ
レート2との間に大気圧支持部材5が設けられており、
これにより、大面積に渡って多数素子を配列形成された
場合における大気圧によるフェイスプレート2等の歪み
が防止される。
In the image display device of this embodiment, a vacuum envelope is formed by the substrate 1, the face plate 2, and the outer frame 3. In this vacuum envelope , an atmospheric pressure support member 5 is provided between the substrate 1 and the face plate 2,
This prevents distortion of the face plate 2 and the like due to atmospheric pressure when a large number of elements are arranged and formed over a large area.

【0032】上記大気圧支持部材5は細長い平板状のも
のであり、長手方向が同一方向となるように所定の間隔
で複数配置されている。ゲッタ溝部6は、大気圧支持部
材5が設けられた領域の周辺に基板1の辺に沿って基板
1上に形成された溝であり、ここでは、ゲッタ溝部6
は、その長手方向が大気圧支持部材5の長手方向と直角
となる、排気抵抗(大気圧支持部材5の向きによって決
る排気抵抗)が最も小さな位置(基板1の両端部)にそ
れぞれ形成されている。本実施例では、フラッシュ時の
ゲッタの被着範囲がこのゲッタ溝部6の淵によって制限
される。なお、大気圧支持部材5は、図3に示すような
ゲッタ溝部間を一方向に分割した大気圧支持部材5’の
ような構成のものであってもよい。
The atmospheric pressure supporting members 5 are elongated flat plates, and a plurality of the atmospheric pressure supporting members 5 are arranged at predetermined intervals so that their longitudinal directions are the same. The getter groove 6 is a groove formed on the substrate 1 along the side of the substrate 1 around the region where the atmospheric pressure support member 5 is provided.
Are formed at positions (both ends of the substrate 1) where the longitudinal direction is perpendicular to the longitudinal direction of the atmospheric pressure support member 5 and the exhaust resistance (exhaust resistance determined by the direction of the atmospheric pressure support member 5) is the smallest. I have. In the present embodiment, the coverage of the getter during flashing is limited by the edge of the getter groove 6. Note that the atmospheric pressure support member 5 may have a configuration such as an atmospheric pressure support member 5 'in which the space between the getter grooves is divided in one direction as shown in FIG.

【0033】上記真空外囲器内に設けられる表面伝導型
電子放出素子は、以下のような構成のものとなってい
る。
The surface conduction electron-emitting device provided in the vacuum envelope has the following configuration.

【0034】図4(a)は本実施例の画像表示装置に用
いられた表面伝導型電子放出素子の概略構造を示す平面
図、図4(b)は図4(a)に示す表面伝導型電子放出
素子のB−B断面図である。
FIG. 4A is a plan view showing a schematic structure of a surface conduction electron-emitting device used in the image display device of this embodiment, and FIG. 4B is a surface conduction electron-emitting device shown in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the electron-emitting device taken along line BB.

【0035】図4において、11は基板、12,13は
一定の間隔で基板11上に配置された素子電極、14は
薄膜、15は薄膜14にフォーミングによって形成され
た電子放出部、16は素子配線である。
In FIG. 4, 11 is a substrate, 12 and 13 are device electrodes arranged on the substrate 11 at regular intervals, 14 is a thin film, 15 is an electron emitting portion formed on the thin film 14 by forming, and 16 is a device. Wiring.

【0036】素子電極12,13は膜厚1000ÅのA
uで形成されており、素子電極間隔Lを2ミクロン、素
子電極長さWを500ミクロンとするものとなってい
る。薄膜14は、有機金属溶液である有機パラジウム
(CCP4230、奥野製薬株式会社製)含有溶液を塗
布した後、300℃で10分間の加熱処理をして形成さ
れたパラジウムを主成分とする微粒子(平均微粒径70
Å)からなる膜で形成されている。電子放出部15は、
粒径が数十Åの導電性微粒子からなる膜で形成されてい
る。
The device electrodes 12 and 13 are made of A having a thickness of 1000 Å.
u, the element electrode interval L is 2 microns, and the element electrode length W is 500 microns. The thin film 14 is formed by applying a solution containing organic palladium (CCP4230, manufactured by Okuno Pharmaceutical Co., Ltd.), which is an organic metal solution, and then performing a heat treatment at 300 ° C. for 10 minutes. Fine particle size 70
Å) is formed of a film. The electron emission section 15
It is formed of a film made of conductive fine particles having a particle size of several tens of millimeters.

【0037】なお、本実施例の画像表示装置に用いられ
る電子源には、上記表面伝導型電子放出素子の代わり
に、熱カソードを用いた熱電子源や電界放出型電子放出
素子等が用いられてもよい。
As the electron source used in the image display device of the present embodiment, a thermionic source using a hot cathode, a field emission type electron emission element, or the like is used instead of the surface conduction type electron emission element. You may.

【0038】次に、上述の本実施例の画像表示装置の具
体的な構成、およびその構成をとることによる具体的な
作用について説明する。
Next, a specific configuration of the above-described image display device of the present embodiment and a specific operation of the configuration will be described.

【0039】基板1、フェースプレート2および大気圧
支持部材5は、それぞれ材質がソーダガラスからなって
いる。基板1の大きさは300mm×350mmとなっ
ており、フェースプレート2の大きさは260mm×2
86mmとなっている。大気圧支持部材5は、厚さが2
00μm、大きさが40mm×3.8mmとなってい
る。なお、フェースプレート2上には蛍光体(不図示)
が塗布され、さらにメタルバック(不図示)形成されて
いる。
The substrate 1, the face plate 2, and the atmospheric pressure supporting member 5 are each made of soda glass. The size of the substrate 1 is 300 mm × 350 mm, and the size of the face plate 2 is 260 mm × 2
It is 86 mm. The atmospheric pressure support member 5 has a thickness of 2
It is 00 μm and the size is 40 mm × 3.8 mm. Note that a phosphor (not shown) is provided on the face plate 2.
Is applied, and a metal back (not shown) is formed.

【0040】ゲッタ溝部6は、基板1上に削り出し加工
により形成され、あるいは基板ガラス形成時に溝付きの
プレートとして一体形成されたものである。なお、ゲッ
タ溝部6は、図5に示すように、基板として金属基板2
1を用いて、溝部を凹凸形状とすることにより作成した
ものであってもよい。このゲッタ溝部6には、BaAl
を主成分とするゲッタ7が不図示の固定治具によって設
置されている。
The getter groove 6 is formed by shaving on the substrate 1 or integrally formed as a grooved plate when forming the substrate glass. As shown in FIG. 5, the getter groove 6 is a metal substrate 2 as a substrate.
It may be formed by forming the groove portion into a concave-convex shape using No. 1. In this getter groove 6, BaAl
Is provided by a fixing jig (not shown).

【0041】上述のように構成される画像表示装置は、
以下のようにして作製されている。
The image display device configured as described above is
It is manufactured as follows.

【0042】まず、ゲッタ溝部6および電子放出素子4
が形成された基板1と、蛍光体およびメタルバックが設
けられたフェースプレート2と、外枠3とにより真空外
囲器を形成し、該真空外囲器内に耐大気圧補強部材とし
て大気圧支持部材5を一定方向に所定間隔で配置する。
そして、基板1、フェースプレート2、外枠3、および
大気圧支持部材5のそれぞれが接する部分にフリットガ
ラスLS−0206(日本電気硝子(株)製)を塗布
し、450℃で10分間加熱した後、封着して真空外囲
を形成する。
First, getter groove 6 and electron-emitting device 4
Is formed, a face plate 2 provided with a phosphor and a metal back, and an outer frame 3 form a vacuum envelope, and an atmospheric pressure-resistant reinforcing member is provided in the vacuum envelope as an atmospheric pressure resistant reinforcing member. The support members 5 are arranged at predetermined intervals in a certain direction.
Then, frit glass LS-0206 (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) was applied to a portion where the substrate 1, the face plate 2, the outer frame 3, and the atmospheric pressure support member 5 were in contact with each other, and heated at 450 ° C. for 10 minutes. Later, seal and surround the vacuum
Form a bowl .

【0043】続いて、排気管(不図示)を通して外部の
真空ポンプにより上記真空外囲器内を1×10-5torr程
度まで真空排気する。真空外囲器内が1×10-5torr程
度まで排気されると、電子放出素子4を構成する薄膜に
三角波形(底辺1msec、周期10msec、波高値5V)の
電圧パルスを60秒間印加してフォーミングを行ない、
電子放出部を形成する。
Subsequently, the inside of the vacuum envelope is evacuated to about 1 × 10 -5 torr by an external vacuum pump through an exhaust pipe (not shown). When the inside of the vacuum envelope is evacuated to about 1 × 10 −5 torr, a voltage pulse having a triangular waveform (1 msec at the bottom, a period of 10 msec, and a peak value of 5 V) is applied to the thin film constituting the electron-emitting device 4 for 60 seconds. Forming,
An electron emission portion is formed.

【0044】上記のようにして電子放出部を形成した
後、真空外囲器全体を130℃で24時間加熱処理し
て、脱ガスを行なう。そして、ゲッタ溝部6に設けられ
ているゲッタ7を350kHzの高周波でフラッシュし
た後、上記排気管を封止切る。これにより、高真空に維
持された画像表示装置が形成される。
After forming the electron-emitting portion as described above, the entire vacuum envelope is heated at 130 ° C. for 24 hours to perform degassing. Then, after the getter 7 provided in the getter groove 6 is flushed at a high frequency of 350 kHz, the exhaust pipe is sealed off. As a result, an image display device maintained at a high vacuum is formed.

【0045】以下、本発明の特徴である、上記フラッシ
ュにおけるゲッタの被着およびその作用について説明す
る。
Hereinafter, the attachment of the getter to the flash and the operation thereof, which are features of the present invention, will be described.

【0046】上述の画像表示装置では、ゲッタ7はゲッ
タ溝部6内に固定されているので、上述のフラッシュに
よって飛散したゲッタは、ゲッタ溝部6の淵によってそ
の飛散が制限され、被着領域が限定される。よって、こ
こでは、飛散ゲッタは、ゲッタ溝部6の内壁・底部、お
よびフェースプレート2および外枠3の一部(ゲッタ溝
部6の形状とゲッタの飛散量等の関係から想定されるフ
ェースプレート2内面および外枠3壁面へのゲッタ被着
部分)にのみ被着され、ゲッタ被着領域がゲッタ溝部6
に沿って形成される。このようなゲッタ溝部6からの飛
散ゲッタの被着を用いることにより、広範囲に渡るゲッ
タ被着領域を形成することができる。
In the above-described image display apparatus, since the getter 7 is fixed in the getter groove 6, the getter scattered by the flash is restricted by the edge of the getter groove 6, and the scattered area is limited. Is done. Therefore, here, the scattering getter is formed on the inner wall / bottom of the getter groove 6 and a part of the face plate 2 and the outer frame 3 (the inner surface of the face plate 2 which is assumed from the relationship between the shape of the getter groove 6 and the amount of scattering of the getter). And the getter-attached region only on the getter-attached portion on the wall of the outer frame 3).
Is formed along. The use of the scattering getter from the getter groove 6 allows the formation of a getter-covered region over a wide range.

【0047】上記のようにして形成されたゲッタ被着領
域では、上述の排気管を封止切った後に真空外囲器内に
発生する残留ガス(気体分子)の捕獲が行なわれる。本
実施例の画像表示装置では、各大気圧支持部材5はその
長手方向が上記ゲッタ被着領域へ向かって一定に設けら
れているので、残留ガス(気体分子)は大気圧支持部材
5に沿って浮遊してゲッタ被着領域に到達し、ゲッタに
よって捕獲される。このゲッタの残留ガス(気体分子)
の捕獲により排気効果が生じ、真空外囲器内は均一な高
真空状態に維持される。
In the getter-attached area formed as described above, the residual gas (gas molecules) generated in the vacuum envelope after the above-mentioned exhaust pipe is sealed off is captured. In the image display device of the present embodiment, since the longitudinal direction of each of the atmospheric pressure supporting members 5 is provided to be constant toward the getter-attached region, the residual gas (gas molecules) flows along the atmospheric pressure supporting member 5. And floats to reach the getter deposition area and is captured by the getter. Residual gas (gas molecules) of this getter
As a result, an exhaust effect is generated, and the inside of the vacuum envelope is maintained in a uniform high vacuum state.

【0048】以上説明した本実施例の画像表示装置で
は、ゲッタ溝部6と大気圧支持部材5の配置関係が、ゲ
ッタ被着領域における残留ガス(気体分子)捕獲効率
(または、排気効果)および真空外囲器内の圧力の均一
性に大きく影響する。以下に、上述の画像表示装置とは
ゲッタ溝部と大気圧支持部材の配置が異なる画像表示装
置の例(比較例)を挙げ、表示される画像について比較
する。
In the image display apparatus of the present embodiment described above, the positional relationship between the getter groove 6 and the atmospheric pressure support member 5 depends on the efficiency of capturing the residual gas (gas molecules) in the getter attachment region (or the exhaust effect) and the vacuum. This greatly affects the uniformity of the pressure inside the envelope . Hereinafter, an example (comparative example) of an image display device in which the arrangement of the getter groove and the atmospheric pressure support member is different from that of the above-described image display device will be described, and the displayed images will be compared.

【0049】<比較例> 図6は、ゲッタ溝部6’が大気圧支持部材とその長手方
向が平行となるように基板の辺に沿って配置された以外
は、図1に示した画像表示装置と同様の構成のものであ
る。なお、図1に示した画像表示装置と同様の構成部に
ついては、同じ符号を付してある。
Comparative Example FIG. 6 shows the image display apparatus shown in FIG. 1 except that the getter groove 6 ′ is arranged along the side of the substrate so that the longitudinal direction thereof is parallel to the atmospheric pressure support member. It has the same configuration as. The same components as those in the image display device shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.

【0050】図6に示す画像表示装置では、ゲッタ溝部
6’は、基板1の辺に沿ってその長手方向が大気圧支持
部材5の長手方向と平行となるように配置されている。
このような配置とすると、排気抵抗(被着ゲッタによる
排気における、大気圧支持部材5の向きによって決る排
気抵抗)が最も大きくなる。以下、その理由について説
明する。
In the image display device shown in FIG. 6, the getter groove 6 ′ is arranged along the side of the substrate 1 so that its longitudinal direction is parallel to the longitudinal direction of the atmospheric pressure supporting member 5.
With such an arrangement, the exhaust resistance (exhaust resistance determined by the direction of the atmospheric pressure support member 5 in the exhaust by the adhered getter) is maximized. Hereinafter, the reason will be described.

【0051】ゲッタがフラッシュにより飛散されると、
図1に示した画像表示装置の場合と同様にしてゲッタ被
着領域が形成され、該ゲッタ被着領域により残留ガス
(気体分子)の捕獲が行なわれる。しかし、図6に示す
画像表示装置では、各大気圧支持部材5はその長手方向
が上記ゲッタ被着領域と平行となるように設けられてい
るため、この大気圧支持部材5によって残留ガス(気体
分子)のゲッタ被着領域への到達が妨げられる(大気圧
支持部材5の遮蔽作用)。そのため、この画像表示装置
では、残留ガス(気体分子)の捕獲効率が低下し、ゲッ
タによる排気効果が低下する。さらには、大気圧支持部
材5の遮蔽作用によって、ゲッタの排気作用による真空
外囲器内の排気が不均一なものとなる。
When the getter is scattered by the flash,
A getter-attached region is formed in the same manner as in the case of the image display device shown in FIG. 1, and the residual gas (gas molecules) is captured by the getter-attached region. However, in the image display device shown in FIG. 6, each atmospheric pressure supporting member 5 is provided so that its longitudinal direction is parallel to the above-mentioned getter attachment region. Molecules are prevented from reaching the getter-attached region (shielding action of the atmospheric pressure support member 5). Therefore, in this image display device, the capture efficiency of the residual gas (gas molecules) decreases, and the exhaust effect by the getter decreases. Further, the shielding effect of the atmospheric pressure supporting member 5 causes the vacuum generated by the exhaust operation of the getter.
The exhaust inside the envelope becomes uneven.

【0052】以上説明した図1および図6に示した各画
像表示装置を、前述した画像表示装置の具体的な作製手
順に従って同様に作製して一定時間駆動させた。その結
果、図1に示した画像表示装置においては、輝度ムラは
発生せず、良好な画像が表示され、図6に示した画像表
示装置においては、画像表示面内に輝度ムラが発生し
た。
Each of the above-described image display devices shown in FIGS. 1 and 6 was similarly manufactured in accordance with the above-described specific image display device manufacturing procedure, and was driven for a predetermined time. As a result, in the image display device shown in FIG. 1, no luminance unevenness occurred, and a good image was displayed. In the image display device shown in FIG. 6, luminance unevenness occurred in the image display surface.

【0053】上記の結果から、ゲッタ溝部と大気圧支持
部材との配置の関係を図1に示した画像表示装置のもの
のようにすれば、ゲッタによる排気の際の真空外囲器
の排気抵抗を最も小さな状態とすることができ、これに
より、画像表示装置内部(真空外囲器内部)の真空度を
均一な状態に維持でき、輝度ムラのない良好な表示画像
を提供することができることになる。
From the above results, if the relationship between the arrangement of the getter groove and the atmospheric pressure support member is the same as that of the image display device shown in FIG. 1, the exhaust resistance in the vacuum envelope at the time of the exhaust by the getter is obtained. Can be set to the smallest state, whereby the degree of vacuum inside the image display device (inside the vacuum envelope ) can be maintained in a uniform state, and a good display image without luminance unevenness can be provided. Become.

【0054】なお、以上説明した本実施例の画像表示装
置におけるゲッタ溝部は断面形状が凹状で帯状に長い溝
としたが、十分なゲッタ面積が確保できるくぼみであれ
ばよく、例えば丸穴を点在させてもよい。
Although the getter groove in the image display apparatus of the present embodiment described above is a long groove in a band shape having a concave cross-sectional shape, it is sufficient that the getter groove has a recess capable of securing a sufficient getter area. May be present.

【0055】さらに、本実施例では、ゲッタ溝部は、基
板の辺に沿って設けられた1対の溝からなっているが、
これに限定されるものではなく、真空外囲器の構造によ
っては複数の溝を設けてもよい。
Further, in this embodiment, the getter groove portion is composed of a pair of grooves provided along the side of the substrate.
The present invention is not limited to this, and a plurality of grooves may be provided depending on the structure of the vacuum envelope .

【0056】[0056]

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【0057】請求項1から請求項3に記載の真空外囲器
においては、従来のようにゲッタ剤コンテナやゲッタ剤
コンテナ固定治具が設けられることはないので、ゲッタ
による排気が行なわれる際の真空外囲器内の圧力を均一
なものにすることができるという効果がある。このよう
にゲッタ剤コンテナやゲッタ剤コンテナ固定治具が設け
られることのないものにおいては、上記効果に加えて、
真空外囲器の製造が簡単になるという効果がある。
In the vacuum envelope according to any one of the first to third aspects, since the getter agent container and the getter agent container fixing jig are not provided unlike the related art, the exhaust by the getter is not performed. There is an effect that the pressure in the vacuum envelope at the time of the operation can be made uniform. In the case where the getter agent container and the getter agent container fixing jig are not provided as described above, in addition to the above effects,
This has the effect of simplifying the manufacture of the vacuum envelope .

【0058】さらに、上記各効果に加えて、大気圧支持
部材が遮蔽板として作用することはないので、ゲッタに
よる排気効果を得る際の排気コンダクタンスを大きくす
ることができ、到達真空度の高い真空外囲器を提供する
ことができるという効果がある。これらのうち、請求項
に記載のものにおいては、ゲッタ溝が複数設けられる
ことによりゲッタ被着量およびその被着領域が拡大され
るので、ゲッタによる排気効果が向上し、上記のものよ
りさらに到達真空度の高い真空外囲器を提供することが
できるという効果がある。
[0058] Further, in addition to the above effects, since there is no possibility that the atmospheric pressure supporting member acts as a shield plate, it is possible to increase the exhaust conductance in obtaining an exhaust effect of the getter, high ultimate vacuum vacuum There is an effect that an envelope can be provided. Of these, claims
In those described in 2, since the getter deposit amount and the deposition area by the getter grooves are plurality is enlarged to improve the exhaust effects of the getter, high further ultimate vacuum than the vacuum There is an effect that an envelope can be provided.

【0059】請求項3に記載のものにおいては、上記と
同様、ゲッタ剤コンテナやゲッタ剤コンテナ固定治具が
設けられることはないので、ゲッタによる排気が行なわ
れる際の真空外囲器内の圧力を均一なものにすることが
できる効果、および真空外囲器の製造が簡単になるとい
う効果がある。
In the third aspect , similarly to the above, since no getter agent container or getter agent container fixing jig is provided, the pressure in the vacuum envelope when the getter is evacuated is obtained. Has the effect of making the uniformity and the effect of simplifying the production of the vacuum envelope .

【0060】さらに、ゲッタ溝部は、基板上の大気圧支
持部材および画像表示部材が設けられた領域の周辺部に
設けられ、フラッシュによる飛散ゲッタの被着範囲が該
ゲッタ溝部によって制限されるので、飛散ゲッタの画像
表示部への被着を防止することができ、良好な表示画像
を提供することができるという効果がある。
Further, the getter groove is provided on the periphery of the area where the atmospheric pressure support member and the image display member are provided on the substrate, and the coverage of the scattered getter by the flash is limited by the getter groove. It is possible to prevent the scattering getter from being attached to the image display unit, and it is possible to provide a good display image.

【0061】さらに、真空外囲器内に大気圧支持部材が
設けられていても、ゲッタによる排気効果を得る際の排
気コンダクタンスを大きなものとすることができるの
で、画像表示装置内部の到達真空度の高いものとするこ
とができ、良好な画像が提供できるという効果がある。
Further, even if the atmospheric pressure support member is provided in the vacuum envelope , the exhaust conductance for obtaining the exhaust effect by the getter can be increased, so that the ultimate vacuum degree inside the image display device can be increased. And a good image can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の画像表示装置の概略構成を
示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view illustrating a schematic configuration of an image display device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す画像表示装置のA−A断面図であ
る。
FIG. 2 is a sectional view of the image display device shown in FIG.

【図3】大気圧支持部材の構成の一例を示した図であ
る。
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a configuration of an atmospheric pressure support member.

【図4】(a)は本実施例の画像表示装置に用いられた
表面伝導型電子放出素子の概略構造を示す平面図、
(b)は(a)に示す表面伝導型電子放出素子のB−B
断面図である。
FIG. 4A is a plan view showing a schematic structure of a surface conduction electron-emitting device used in the image display device of the present embodiment,
(B) is the BB of the surface conduction electron-emitting device shown in (a).
It is sectional drawing.

【図5】真空外囲器の構成の一例として、基板に金属基
板を用いた例を示した図である。
FIG. 5 is a diagram showing an example in which a metal substrate is used as a substrate as an example of the configuration of the vacuum envelope .

【図6】ゲッタ溝部が大気圧支持部材とその長手方向が
平行となるように基板の辺に沿って配置された真空外囲
の一例を示した構成図である。
FIG. 6 is a vacuum envelope arranged along the side of the substrate such that the getter groove is parallel to the atmospheric pressure support member and its longitudinal direction.
FIG. 3 is a configuration diagram showing an example of a container .

【図7】表面伝導型電子放出素子を用いた平板状画像表
示装置の部分断面図である。
FIG. 7 is a partial cross-sectional view of a flat panel display using a surface conduction electron-emitting device.

【図8】図7に示した表面伝導型電子放出素子802の
概略構成を示す部分拡大図である。
8 is a partially enlarged view showing a schematic configuration of the surface conduction electron-emitting device 802 shown in FIG.

【図9】図7に示した従来の画像表示装置におけるゲッ
タによる高真空維持を説明するための図である。
9 is a diagram for explaining high vacuum maintenance by a getter in the conventional image display device shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,11,801 基板 2,22,804 フェースプレート 3,23,808 外枠 4,802 電子放出素子 5,5’ 大気圧支持部材 6,6’ ゲッタ溝部 12,13,902,903 素子電極 14,904 薄膜 15,905 電子放出部 16 素子配線 21 金属基板 7,24 ゲッタ 25 ゲッタ凹凸部 1, 11, 801 Substrate 2, 22, 804 Face plate 3, 23, 808 Outer frame 4, 802 Electron-emitting device 5, 5 'Atmospheric pressure support member 6, 6' Getter groove 12, 13, 902, 903 Device electrode 14 , 904 thin film 15, 905 electron emission part 16 element wiring 21 metal substrate 7, 24 getter 25 getter uneven part

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 対向して設けられる基板およびフェース
プレートと該基板およびフェースプレートの間に設けら
れる外枠とにより構成され、内部に発生するガスを排気
するゲッタを有する真空外囲器において、 前記基板もしくは前記フェースプレートに、前記ゲッタ
が固定されるゲッタ溝部が形成され、 前記基板とフェースプレートとの間に平板状の複数の耐
大気圧支持部材が配されており、 複数の平板状の耐大気圧支持部材の長手方向が略平行で
あり、前記ゲッタ溝部は、前記基板の前記複数の大気圧
支持部材が設けられた領域の周辺部に、該周辺部に沿っ
て形成され、前記ゲッタ溝部の長手方向と前記複数の大
気圧支持部材の長手方向とのなす角度が略直角となって
いることを特徴とする真空外囲器。
A substrate and a face provided to face each other
Provided between the plate and the substrate and the face plate
Exhaust gas generated inside
In a vacuum envelope having a getter, the getter is provided on the substrate or the face plate.
Is formed, and a plurality of flat resistive plates are formed between the substrate and the face plate.
An atmospheric pressure support member is provided, and a plurality of flat anti-atmospheric pressure support members are substantially parallel in a longitudinal direction.
And wherein the getter groove is provided with the plurality of atmospheric pressures of the substrate.
Along the periphery of the area where the support member is provided, along the periphery
A longitudinal direction of the getter groove and the plurality of large
The angle made with the longitudinal direction of the barometric pressure support member is approximately
A vacuum envelope.
【請求項2】 請求項1に記載の真空外囲器において、 前記ゲッタ溝部が複数形成されていることを特徴とする
真空外囲器。
2. The vacuum envelope according to claim 1, wherein a plurality of said getter grooves are formed.
【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の真空外
囲器において、 前記ゲッタ溝部は、前記複数の大気圧支持部材が設けら
れた領域の周辺部、に対向して配設された第1および第
2の溝からなることを特徴とする真空外囲器。
3. The vacuum envelope according to claim 1, wherein the getter groove is disposed so as to face a periphery of a region where the plurality of atmospheric pressure support members are provided. A vacuum envelope comprising a first and a second groove.
【請求項4】 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に
記載の真空外囲器を具備した画像表示装置であって、 前記真空外囲器内には、蛍光体と該蛍光体を励起して発
光させるための電子源が設けられていることを特徴とす
る画像表示装置。
4. An image display device comprising the vacuum envelope according to claim 1, wherein a phosphor and a phosphor are provided in the vacuum envelope. An image display device comprising an electron source for exciting and emitting light.
【請求項5】 請求項4に記載の画像表示装置におい
て、 前記電子源が熱カソード、電界放出型電子放出素子、表
面伝導型電子放出素子のいずれかであることを特徴とす
る画像表示装置。
5. The image display device according to claim 4, wherein the electron source is any one of a hot cathode, a field emission type electron emission element, and a surface conduction type electron emission element.
【請求項6】 請求項4または請求項5に記載の画像表
示装置において、 テレビ、コンピュータ用表示装置であることを特徴とす
る画像表示装置。
6. The image display device according to claim 4, wherein the image display device is a display device for a television or a computer.
JP6314417A 1994-12-19 1994-12-19 Vacuum envelope and image display device Expired - Fee Related JP3062023B2 (en)

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