JP2015175846A - ラマン散乱計測装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 小型でかつメンテナンス性が良好なラマン散乱計測装置を提供する。
【解決手段】 本発明の一側面としてのラマン散乱計測装置は、互いに波長が異なる第1及び第2の連続光を発する光発生手段と、第1及び第2のタイミング信号を出力する信号発生手段と、第1及び第2のタイミング信号のうち一方のタイミング信号を逓倍化する逓倍化手段と、一方のタイミング信号が逓倍化された第1及び第2のタイミング信号に基づいて第1及び第2の連続光のそれぞれをパルス化することで第1及び第2のパルス光を生成するパルス化手段と、第1及び第2のパルス光が試料に照射されることで生じるラマン散乱光を検出する光検出手段と、を有することを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】 本発明の一側面としてのラマン散乱計測装置は、互いに波長が異なる第1及び第2の連続光を発する光発生手段と、第1及び第2のタイミング信号を出力する信号発生手段と、第1及び第2のタイミング信号のうち一方のタイミング信号を逓倍化する逓倍化手段と、一方のタイミング信号が逓倍化された第1及び第2のタイミング信号に基づいて第1及び第2の連続光のそれぞれをパルス化することで第1及び第2のパルス光を生成するパルス化手段と、第1及び第2のパルス光が試料に照射されることで生じるラマン散乱光を検出する光検出手段と、を有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、ラマン散乱を利用した顕微鏡等のラマン散乱計測装置に関する。
生体内分子の3次元分布や体内組成を観察可能な顕微鏡として、コヒーレントアンチストークスラマン散乱(Coherent Anti-Stokes Raman Scattering:CARS)や誘導ラマン散乱(Stimulated Raman Scattering:SRS)を利用したものが提案されている。これらの顕微鏡では、互いに波長が異なる2つの同期したパルス光(光パルス列)を試料に照射して、CARSやSRSを誘起する。この際、様々な分子や組織の観察を可能とするために、該分子や組織の振動準位に合わせて2つのパルス光のエネルギー差(波長差)を設定する必要がある。
特許文献1には、トリガーとなる信号の繰り返し周波数で連続光をパルス化することで、互いに波長が異なる2つの同期したパルス光を発生させる方法が開示されている。また、特許文献2には、連続光を外部の信号発生器からの信号によりパルス化することで同期した2つのパルス光を生成し、該外部信号の繰り返し周波数を制御することでパルス光の同期制御を行う方法が開示されている。
特許文献1にて開示された方法では、サイズが大きくてメンテナンス性が良好とは言えない固体レーザを用いる必要がある。
本発明は、小型でかつメンテナンス性が良好なラマン散乱計測装置を提供することを目的とする。
本発明の一側面としてのラマン散乱計測装置は、互いに波長が異なる第1及び第2の連続光を発する光発生手段と、第1及び第2のタイミング信号を出力する信号発生手段と、前記第1及び第2のタイミング信号のうち一方のタイミング信号を逓倍化する逓倍化手段と、前記一方のタイミング信号が逓倍化された前記第1及び第2のタイミング信号に基づいて前記第1及び第2の連続光のそれぞれをパルス化することで第1及び第2のパルス光を生成するパルス化手段と、前記第1及び第2のパルス光が試料に照射されることで生じるラマン散乱光を検出する光検出手段と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、小型でかつメンテナンス性が良好なラマン散乱計測装置を実現することができる。
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
図1には、本発明の実施例1である光源装置の構成を示す。図1において、101は外部信号発生器(SG)である。102は発振波長が第1の波長である第1の半導体レーザ(L1)であり、112は発振波長が第2の波長である第2の半導体レーザ(L2)である。第1および第2の半導体レーザ102,112により光発生手段が構成される。103,113はパルス化素子(IM:パルス化手段)であり、104,109,114は光増幅器(AMP)である。105,115はスペクトル拡張素子(SE:拡張手段)であり、106,116はパルス幅圧縮素子(PWC:圧縮手段)である。107は選択手段としての可変波長選択素子(Tunable Bandpass Filter:以下、TBPFという)であり、108はTBPF107を制御する制御部(BPC:制御手段)である。110は合波部(WC)であり、111は電気遅延線(DL)である。
第1の半導体レーザ102は第1の波長の連続光である第1の光としての第1のレーザ光を発し、第2の半導体レーザ112は第2の波長の連続光である第2の光としての第2のレーザ光を発する。第1のレーザ光および第2のレーザ光はそれぞれ、パルス化素子103,113に導かれる。パルス化素子103,113はそれぞれ、外部信号発生器101から出力されるタイミング信号に応じたタイミングで第1のレーザ光および第2のレーザ光をパルス化し、第1のパルス光および第2のパルス光を生成する。第1および第2のパルス光はそれぞれ、光増幅器104,114にて増幅され、スペクトル拡張素子105,115に入射する。
スペクトル拡張素子105,115はそれぞれ、第1および第2のパルス光のスペクトル幅を所定の広帯域に拡張する。スペクトル幅が拡張された第1および第2のパルス光は、パルス幅圧縮素子106,116に入射する。パルス幅圧縮素子106,116は、スペクトル幅が拡張された後の第1および第2のパルス光のパルス幅を圧縮する。そして、スペクトル幅が拡張され、パルス幅が圧縮された後の第1のパルス光は、TBPF107に入射する。TBPF107は、入射した第1のパルス光のうち選択された抽出波長帯である特定波長帯のパルス光成分を抽出して射出する。特定波長帯は、制御部108を通じて選択可能(変更可能)である。特定波長帯のパルス光成分は、光増幅器109に導かれる。光増幅器109は、TBPF107での波長抽出(波長選択)によって減衰した光強度を増幅する。
パルス幅圧縮素子106、TBPF107および光増幅器109を経た特定波長帯のパルス光成分(以下、これも第1のパルス光という)と、パルス幅圧縮素子116を経た第2のパルス光は、合波部110において同軸に合成(合波)されて、光源装置から射出される。
第1および第2の半導体レーザ102,112から合波部110までの光路は全て光ファイバにより形成されており、これら光ファイバの全ては、光源装置としての安定性を確保するために、偏波保持型ファイバであることが好ましい。ただし、偏波保持型ではない光ファイバを用いてもよいし、偏波コントローラと併用してもよい。
第1および第2の半導体レーザ102,112はそれぞれ、第1および第2の波長に対応する単色の連続光を発する。例えば、本実施例の光源装置をCARS顕微鏡やSRS顕微鏡に用いる場合は、第1および第2の波長を、それらの差が観察対象である分子の振動準位とおおよそ一致するように選択するとよい。第1および第2の半導体レーザ102,112としては、一般的なレーザーダイオードや、量子ドットレーザ、量子カスケードレーザ等を用いることができる。
パルス化素子103,113は、強度変調器により構成されており、それぞれ第1の波長と第2の波長に合わせて選定される。パルス化素子103,113として一般的な強度変調器を用いることで、連続光を数十ps(ピコ秒)までのパルス幅を有する光パルスへのパルス化が可能である。パルス化素子103,113が連続光をパルス化する繰り返し周波数を制御するためのタイミング信号は、外部信号発生器101から与えられる。外部信号発生器101においてタイミング信号の繰り返し周波数が変更されることで、パルス化素子103,113から射出される第1および第2のパルス光の繰り返し周波数が制御される。パルス化素子103,113としては、LN(Lithium Niobate)変調器や電界吸収型光変調器等を用いることができる。
光増幅器104,114は、パルス化素子(強度変調器)103,113での挿入損失を補償し、次のスペクトル拡張素子105,115で必要な強度までパルス光の強度を増幅する。光増幅器104,114としては、イッテルビウムYbやエルビウムEr等の希土類を添加した光ファイバを利得媒質とした光ファイバ増幅器を用いることができる。光源装置としての安定性を確保するために、偏波保持型光ファイバで構成された光増幅器とすることが好ましい。また、必要に応じて、多段構成の増幅器としてもよい。
光増幅器104で増幅された第1のパルス光が入射するスペクトル拡張素子105は、高非線形ファイバ(High Nonlinearity Fiber:以下、HNLFという)であり、非線形光学効果によってパルス光のスペクトル幅を広帯域に拡張する。スペクトル拡張の上限は、使用いる光増幅器104の利得帯域程度である。このように広帯域にスペクトルを拡張するスペクトル拡張素子105としては、長距離のシングルモードファイバ(Single Mode Fiber:以下、SMFという)、フォトニック結晶ファイバまたは液体コアファイバ等であってもよい。非線形性の高いファイバである方が、ファイバ長を短くできるため、よりコンパクトで安定した系を構成することができる。
光増幅器114で増幅された第2のパルス光が入射するスペクトル拡張素子115は、SMFであり、スペクトル拡張素子105と同様に非線形光学効果によって光パルスのスペクトル幅を拡張する。ただし、SMFによるスペクトル拡張は、広帯域化のためではなく、パルス幅圧縮のためである。例えば、本実施例の光源装置をCARS顕微鏡やSRS顕微鏡に用いる場合、波数分解能向上のためにパルス幅は数〜10ps程度が好ましいため、強度変調器でのパルス化されたときのパルス幅からさらに圧縮する必要がある。不確定性原理から、パルス幅圧縮のためには、スペクトルを拡張する必要がある。スペクトル拡張幅は0.1〜1nm程度であるため、非線形性の高いファイバでなくともよい。
パルス幅圧縮素子106,116は、サーキュレータとチャープトファイバブラッググレーティング(Chirped Fiber Bragg Grating:以下、CFBGという)とを組み合わせて構成されている。CFBGは、入射するパルス光の波長によって反射する位置が異なるファイバ型の回折格子であり、入射するパルス光のチャープとは逆のチャープを与えることでパルス幅を圧縮することができる。
図2には、各パルス幅圧縮素子の構成例を示す。201はサーキュレータであり、202はCFBGである。サーキュレータ201に入射したパルス光は、CFBG202に導かれ、CFBG202でそのパルス幅が圧縮される。パルス幅が圧縮されたパルス光は、サーキュレータ201に戻り、パルス幅圧縮素子から射出する。
パルス幅圧縮素子106は、波長選択時における波長ごとのタイミングのずれを低減するため、第1のパルス光のパルス幅を、数百fs(フェムト秒)〜数ps以下まで圧縮する。また、パルス幅圧縮素子116は、第2のパルス光のパルス幅を、数〜10ps程度まで圧縮する。本実施例では、パルス幅圧縮素子としてCFBGを用いているが、分散補償光ファイバ、プリズム対または回折格子対等を用いてもよい。
TBPF107は、スペクトルが広帯域に拡張された(本実施例ではパルス幅も圧縮された)第1のパルス光から選択された特定波長帯のパルス光成分のみを透過させて抽出する。TBPF107としては、回折格子とスリット、音響光学可変波長フィルタ、導波路型回折格子、FBG等、一般的に用いられているものを用いることができる。例えば、本実施例の光源装置をCARS顕微鏡やSRS顕微鏡に用いる場合には、波数分解能を向上させるためにパルス幅は数〜10psが好ましいため、選択する特定波長帯の波長幅としては0.5〜1nm程度が好ましい。パルス幅圧縮素子106およびTBPF107は線形に機能するため、これらの前後配置を入れ替えることも可能である。つまり、パルス幅圧縮素子106によるパルス幅が圧縮される前の第1のパルス光から、TBPF107によって特定波長帯のパルス光成分を抽出するようにしてもよい。この場合、パルス幅圧縮素子106は、波長ごとの相対時間の遅延を補償する遅延補償素子として機能する。
制御部108は、コンピュータにより構成され、TBPF107で抽出される特定波長帯を制御する。例えば、TBPF107として回折格子とスリットを用いる場合には、制御部108は、スリットを保持する可動ステージを駆動して、回折格子に対するスリットの位置や掃引速度を制御する。特定波長帯を連続的に変化させることで、TBPF107にて抽出される第1のパルス光の波長掃引を行うことが可能である。
光増幅器109は、前述したようにTBPF107での波長抽出によって減衰した光強度を所定の光強度まで増幅する。光増幅器109を、必要に応じて多段構成としてもよい。
電気遅延線111は、外部信号発生器101から出力されてパルス化素子113に入力されるタイミング信号に対して時間遅延量を与えることで、第1のパルス光と第2のパルス光とのタイミング(以下、パルスタイミングという)のずれを電気的に調節する。パルスタイミングのずれが大きい場合はさらに時間遅延量が固定の遅延線を追加してもよい。パルスタイミングのずれは、本実施例の光源装置の出力をオシロスコープや高速ストリークカメラ等の検出器で直接検出してもよい。また、相互相関法(例えば、2波長のパルス光を二光子吸収が検出可能な半導体センサに集光することで、該2波長パルス光のパルスタイミングのずれ状態を検出する)等の方法により間接的に検出してもよい。検出したパルスタイミングのずれに応じて、電気遅延線111の遅延量を調節することで、第1および第2のパルス光を互いに同期させることができる。
合波部110は、波長多重カプラにより構成され、第1および第2のパルス光を同軸に合波する。第1および第2のパルス光を空間出力する場合は、合波部110はファイバカプラである必要はない。すなわち、これらパルス光の出射ファイバ端にファイバコリメータを装着して第1および第2のパルス光を空間出力した後に、ダイクロイックミラー等を介してこれらを同軸に合波してもよい。また、同軸に合波する必要がない場合は、同軸化する手段はなくてもよい。
以下、本実施例における具体的な数値例を示す。以下の数値例では、パルス化後のパルス幅とスペクトルを仮定し、光増幅器で光強度を増幅した後の光パルスが広帯域化およびパルス幅圧縮され、ある特定波長帯が選択されるまでの工程について計算を行った。ファイバ伝播は、式(1)の非線形シュレイディンガー方程式に従うとし、スプリットステップフーリエ法を用いて計算を行った。また、素子間に設けられた光ファイバでの伝搬の効果は無視した。
ただし、Aは光パルスの包絡線関数、zは光軸方向座標、αは伝播損失、β2は群速度分散、β3は3次の分散、Tは時間、γは非線形係数、ω0は周波数、TRは遅延ラマン応答を示す。
まず、第1の半導体レーザ102からTBPF107までのラインについての計算結果を示す。第1の半導体レーザ102の波長を1560nmとし、出力平均パワーを20mWとする。可視光域から近赤外領域までの出力が数〜数百mW程度の半導体レーザは、入手が容易である。パルス化素子103におけるパルス化は、繰り返し周波数40MHzで行うとする。以下の文献Aを参考にすると、強度変調器を用いてFWHM(Full Width of Half Maximum)でパルス幅55psのパルス化が可能であることから、パルス化後のパルス幅を55psとする。また、光増幅器104によりパルス化後のパルス光をピークパワー460Wまで増幅するとする。この増幅は、光増幅器104を2段構成とし、それぞれを20dB程度増幅するものとすることで実現可能である。増幅後のパルス光のパルス波形とスペクトルを図3(A)に示す。パルス波形およびスペクトルはSech型とし、増幅化後の時点でのチャープは無視した。
(文献A)“Fiber delivered two-color picosecond source through nonlinear spectral transformation for coherent Raman scattering imaging”, Appl. Phys. Lett. 100, 071106 (2012)。
(文献A)“Fiber delivered two-color picosecond source through nonlinear spectral transformation for coherent Raman scattering imaging”, Appl. Phys. Lett. 100, 071106 (2012)。
スペクトル拡張素子105としては、以下の仕様のHNLFを用いた。増幅後のパルス光を透過させた場合のパルス波形とスペクトルの計算結果を図3(B)に示す。スペクトル拡張素子105を透過することにより、スペクトル幅は約50nm(約207cm−1)まで拡張される。
ファイバ長L=125m
伝播損失α=0.63dB/km
分散パラメータD=0.04ps/km/nm
分散スロープSl=0.03ps/km/nm2
有効コア断面積Aeff=10μm2
遅延ラマン係数TR=0.005ps。
ファイバ長L=125m
伝播損失α=0.63dB/km
分散パラメータD=0.04ps/km/nm
分散スロープSl=0.03ps/km/nm2
有効コア断面積Aeff=10μm2
遅延ラマン係数TR=0.005ps。
図3(C)には、パルス幅圧縮素子106におけるCFBG202での分散パラメータを0.39ps/nmとした場合のパルス幅圧縮後のパルス波形を示す。パルス幅圧縮素子106でのパルス幅圧縮により、パルス幅はFWHMで約2.7psとなった。このとき、サーキュレータ201およびCFBG202における非線形効果は無視した。
図3(D)には、TBPF107での特定波長帯を約1559.5〜1560.5nmとした場合のパルス波形とスペクトルを示す。このとき、パルス幅はスペクトルのフーリエ変換により計算した。図3(D)ではダブルパルスとなっているが、本実施例の光源装置をCARS顕微鏡やSRS顕微鏡に用いる場合は、同期した2波長のパルス光のみが散乱に寄与するため、数十ps離れた前側のパルスは問題とならない。図3(D)に示した特定波長帯は例にすぎず、他の特定波長帯が選択された場合でも同様のパルス波形とスペクトルが得られる。また、特定波長帯を連続的に変化させることで、TBPF107に入射するパルス光の波長域全体にわたる波長掃引を行うことが可能である。
以上の構成により、FWHMでスペクトル選択(掃引)幅が約50nmで、パルス幅が約7psの第1のパルス光が得られる。
次に、第2の半導体レーザ112からパルス幅圧縮素子116までのラインについての計算結果を示す。第2の半導体レーザ112の波長を1064nmとし、出力平均パワーを30mWとする。また、パルス化素子113におけるパルス化は繰り返し周波数40MHzで行い、パルス化後のパルス幅を55psとする。また、光増幅器114によりパルス化後の光パルスをピークパワー460Wまで増幅するものとする。増幅後の光パルスのパルス波形とスペクトルを、図4(A)に示す。
スペクトル拡張素子115として、以下の仕様のSMFを用いた。増幅後の光パルスを透過させた場合のパルス波形とスペクトルの計算結果を図4(B)に示す。スペクトル拡張素子115を透過することにより、スペクトル幅は約0.5nmまで拡張される。
ファイバ長L=16m
伝播損失α=0.55dB/km
分散パラメータD=27.14ps/km/nm
分散スロープSl=0.173ps/km/nm2
有効コア断面積Aeff=80μm2
遅延ラマン係数TR=0.005ps。
ファイバ長L=16m
伝播損失α=0.55dB/km
分散パラメータD=27.14ps/km/nm
分散スロープSl=0.173ps/km/nm2
有効コア断面積Aeff=80μm2
遅延ラマン係数TR=0.005ps。
図4(C)には、パルス幅圧縮素子116におけるCFBG202での分散パラメータを70ps/nmとした場合のパルス幅圧縮後のパルス波形を示す。
以上の構成により、FWHMでパルス幅が約4.6psの第2のパルス光が得られる。
本実施例の光源装置をCARS顕微鏡やSRS顕微鏡に用いる場合には、以上説明した2つラインでのパルス化によって、波数の分解能8cm−1および掃引幅約207cm−1が可能である。2ラインとも広帯域化する又は別波長帯のラインを増やすことで、より広帯域の波数選択と掃引が可能となる。
ここでは1つの数値例を示したが、他の半導体レーザの波長、出力、ファイバパラーメータ、CFBGでの分散、光増幅器のゲイン等の数値や構成を適宜設定することで、所望の出力パルス幅、スペクトルおよび波長可変幅を有する光源装置を構成することができる。
なお、本実施例では、パルス化素子として強度変調器を用い、外部からの変調によってパルス化を行う場合について説明したが、半導体レーザをゲインスイッチング等により直接変調することによってパルス化するパルス化手段を用いてもよい。また、第1および第2のパルス光の波長差が、光増幅器の利得帯域幅の半分以下程度(〜30nm程度)に小さくてもよい場合は、半導体レーザを1つとし、これらを2つのラインに分岐して用いてもよい。この場合、半導体レーザと2つの分岐ラインとにより光発生手段が構成され、2つの分岐ラインのうち一方から射出される連続光が第1のレーザ光となり、他方から射出される連続光が第2のレーザ光となる。
本実施例によれば、波長掃引が可能な2波長のパルス光を安定的に生成する小型の光源装置を実現することができる。そして、この光源装置をCARSおよびSRS顕微鏡(計測装置)に用いることで、広帯域での分子振動スペクトル(ラマンスペクトル)を良好に検出することができる。
次に、本発明の実施例2である光源装置について説明する。本実施例では、第1および第2のパルス光のうち一方のパルス光の繰り返し周波数を、他方のパルス光の繰り返し周波数に対して逓倍化する。光源装置としての構成は、図5に示すように、実施例1(図1)の光源装置の構成に逓倍化部(逓倍手段)1011が追加されたものとなる。本実施例において、実施例1と共通する構成要素には、実施例1と同符号を付して説明に代える。
逓倍化部1011は、周波数ダブラ、周波数トリプラまたは周波数マルチプライヤ等の周波数逓倍器により構成される。逓倍化部1011は、パルス化素子113に入力されるタイミング信号の繰り返し周波数を逓倍化する。これにより、上記一方のパルス光である第2のパルス光の繰り返し周波数が、他方のパルス光である第1のパルス光の繰り返し周波数に対して逓倍化される。
例えば、以下の文献Bを参考にすると、一方のパルス光の繰り返し周波数を2倍化することでSRS顕微鏡のSNR(Signal to Ratio)を向上させることができる。これは、SRS顕微鏡において、試料からのSRS信号をロックイン検出する際に、ロックイン検出周波数を最大化できるためである。
(文献B)“Stimulated Raman scattering microscope with shot noise limited sensitivity using subharmonically synchronized laser pulses”、Optics Express、Vol.18、Issue 13、pp.13708-13719(2010)。
(文献B)“Stimulated Raman scattering microscope with shot noise limited sensitivity using subharmonically synchronized laser pulses”、Optics Express、Vol.18、Issue 13、pp.13708-13719(2010)。
本実施例では、周波数ダブラ等の電気的に繰り返し周波数を逓倍化する場合について説明したが、図6に示すように、光ファイバとカップラを用いる光学的遅延線を逓倍化部1011′としてパルス化素子113と光増幅器114との間に挿入してもよい。
本実施例によれば、生物顕微鏡等の計測装置において、簡易な構成で、ロックイン検出に有利な繰り返し周波数比を有し、かつ波長掃引可能な2波長のパルス光を射出できる小型の光源装置を実現することができる。
次に、本発明の実施例3である光源装置について説明する。本実施例では、第1および第2のパルス光のパルスタイミングのずれ(相対時間差)を検出して、第1および第2のパルス光の時間遅延量を調節することで第1および第2のパルス光(以下、まとめて2波長パルス光という)を互いに同期させる制御を行う。図7には、本実施例の光源装置の構成を示す。本実施例では、図5に示した実施例2の構成に対して、パルスタイミング検出部(PTD:時間差検出手段)1203と同期制御部(SC:同期制御手段)1204とが追加されている。本実施例において、実施例1,2と共通する構成要素には、実施例2と同符号を付して説明に代える。
1201はファイバコリメータであり、光ファイバの出力を平行光として空間に出力する。1202は対物レンズであり、2波長パルス光のパルスタイミングずれを検出するパルスタイミング検出部1203上に該2波長パルス光を集光させる。パルスタイミングずれを検出するには、2波長パルス光における二光子吸収等の相互相関を示す波形を用いればよい。相互相関波形は、2波長パルスの波長が重なるほど強いピークを生じるため、2波長パルス光のパルスタイミングずれを評価する指標として用いることができる。
パルスタイミング検出部1203としては、例えばSiやInGaAs等の半導体からなるフォトダイオードのうちそれぞれのパルス光のみで生じる二光子吸収波長帯に感度が低く、2波長パルス光間の二光子吸収波長で感度の高いものを選択して用いればよい。
同期制御部1204は、パルスタイミング検出部1203から出力される電気信号の値が一定となるように、すなわちパルスタイミングずれが低減されるように、電気遅延線111の遅延量を制御する。このような構成により、2波長パルス光のパルスタイミングずれを低減することができる。
図8には、本実施例の変形例の構成を示す。この変形例では、電気的な遅延の調整によって2波長パルス光の同期制御を行うのではなく、光遅延線(OD)1301により光学的な遅延を調整することによって同期制御を行っている。
光遅延線1301は、エアギャップ式の可変ディレイラインにピエゾステージ等を設け、第2のパルス光に与える時間遅延量を広いレンジで低速にて粗調する。また、位相変調器(PM)1302は、第2のパルス光に位相変調を加えることで、該第2のパルス光に与える時間遅延量を高速に微調する。光遅延線1301と位相変調器1302は、同期回路1204からのフィードバック信号に応じて相補的に同期制御を行う。なお、光遅延線1301のみとしてもよいし、電気遅延線111も含めて同期制御を行うように変更してもよい。
本実施例によれば、互いに波長が異なるパルス光を安定的に射出することができる小型の波長掃引可能な光源装置を実現することができる。
上記各実施例では、第1および第2のパルス光のそれぞれに対してスペクトル拡張素子105,115およびパルス幅圧縮素子106,116を設けた場合について説明した。しかし、第1および第2のパルス光のうち少なくとも一方のパルス光(TBPF107により波長選択がなされるパルス光)に対してのみスペクトル拡張素子およびパルス幅圧縮素子を設けてもよい。また、上記各実施例では、第1のパルス光に対してのみTBPF107を設けた場合について説明したが、第1および第2のパルス光のそれぞれに対してTBPFを設けてもよい。
本実施例では、実施例1〜3のいずれかで説明した光源装置を光源部として用いた計測装置としてのSRS顕微鏡について説明する。試料に含まれる観察対象である分子の振動と共鳴する周波数差(波長差)を有する2波長パルス光を試料に照射して、該分子を強制振動させると、2波長パルス光のうち短波長側のパルス光のエネルギーが減少し、長波長側のパルス光のエネルギーが増加する現象が生じる。これが、SRSである。SRS顕微鏡はこれらパルス光のエネルギーの増加または低下をロックイン検出することによって、高コントラストかつ高感度な分子振動イメージングを行う。また、2波長パルスの波長差を掃引することによってラマンスペクトルの取得が可能であり、試料の組織構造や組成の特定も可能である。図9には、SRS顕微鏡の構成を示す。このSRS顕微鏡は、短波長側のパルス光のエネルギーの低下を検出する。
図9において、1401は実施例1〜3のいずれかで説明した光源装置である。1402はファイバコリメータであり、1403は2波長パルス光で試料を2次元走査する走査装置(走査手段)である。1404は対物レンズ(対物光学系)であり、1405は試料が設置され、その位置を調整する試料ステージである。1406は集光レンズであり、1407はミラーであり、1408は波長フィルタである。1409はセンサであり、1410はセンサ1409の出力信号をロックイン検出するロックイン検出装置である。センサ1409とロックイン検出装置1410とにより光検出手段が構成される。1411はロックイン検出装置1410の出力信号を処理(解析および画像化)し、生成した画像を表示する画像処理装置(処理手段)である。
光源装置1401は、繰り返し周波数が1:2の比率である2波長パルス光(第1および第2のパルス光)を射出する。2波長パルス光のエネルギー(波長)差は、試料における観察対象の分子の振動準位にほぼ一致するように設定される。また、2波長パルス光を合波した光ファイバの先端にはファイバコリメータ1402が取り付けられ、ファイバコリメータ1402から空間に出力された2波長パルス光は、走査装置1403に導かれる。
走査装置1403は、2軸のガルバノミラーにより構成され、2波長パルス光の集光点で試料を2次元走査する。ガルバノミラーに代えて、レゾナントミラーを用いてもよい。
対物レンズ1404は2波長パルス光を試料に向けて集光し、集光レンズ1406は試料を透過した光を集光する。
表示される画像の周辺部が暗くなることを防ぐために、走査時の試料上での光量分布を均一にするよう、走査装置1403のミラー面と対物レンズ1404の射出瞳面とを共役関係とするリレーレンズ対(走査光学系)を設けてもよい。また、アーティファクトを低減するために、集光レンズ1406の開口数NA(Numerical Aperture)を対物レンズ1404のNAよりも大きくしておくことが好ましい。
試料ステージ1405は、水平2軸方向と垂直方向とに粗動および微動が可能である。試料ステージ1405上にスライドガラスとカバーガラスで挟んだ試料が設置された後、試料ステージ1405が駆動されて走査装置1403による2次元走査領域に試料が移動される。
ミラー1407は、集光レンズ1406からの光を反射してセンサ1409に導く。波長フィルタ1408は、2波長パルス光のうち、繰り返し周波数が高い方のパルス光の波長帯のみを透過させる。センサ1409は、フォトディテクタにより構成され、受光したパルス光を電気信号に変換する。センサ1409の受光部に対して効率良く集光するために、センサ1409の前段に集光レンズを配置してもよい。
ロックイン検出装置1410は、いわゆるロックインアンプにより構成され、センサ1409からの出力信号を、波長フィルタ1408を透過したパルス光の繰り返し周波数の1/2の周波数でロックイン検出する。ノイズを低減するために、ロックイン検出装置1410の前段に、検出する繰り返し周波数帯以外の周波数成分を除去するバンドパスフィルタを配置してもよい。
画像処理装置1411は、パーソナルコンピュータにより構成され、ロックイン検出された信号を解析して2次元画像化した後に、その画像をディスプレイ上に表示する。
図9に示すように、画像処理装置1411を走査装置1403および試料ステージ1405の制御装置として用いてもよい。
このように、実施例1から3のいずれかの光源装置を用いることで、顕微鏡の全体を小型化し、かつ安定的に分子振動イメージングを行えるSRS顕微鏡を実現することができる。また、光源装置において2波長パルス光の波長を掃引することで、より広い波長帯で試料の分光情報を得ることができる。
本実施例では、SRS顕微鏡に実施例1から3のいずれかで説明した光源装置を用いる場合について説明したが、この光源装置をCARS顕微鏡や内視鏡等、2波長パルス光を使用する他の計測装置に用いることもできる。
以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。
102,112 半導体レーザ
103,113 パルス化素子
105,115 スペクトル拡張素子
106,116 パルス幅圧縮素子
107 可変波長選択素子
103,113 パルス化素子
105,115 スペクトル拡張素子
106,116 パルス幅圧縮素子
107 可変波長選択素子
Claims (14)
- 互いに波長が異なる第1及び第2の連続光を発する光発生手段と、
第1及び第2のタイミング信号を出力する信号発生手段と、
前記第1及び第2のタイミング信号のうち一方のタイミング信号を逓倍化する逓倍化手段と、
前記一方のタイミング信号が逓倍化された前記第1及び第2のタイミング信号に基づいて前記第1及び第2の連続光のそれぞれをパルス化することで第1及び第2のパルス光を生成するパルス化手段と、
前記第1及び第2のパルス光が試料に照射されることで生じるラマン散乱光を検出する光検出手段と、
を有することを特徴とするラマン散乱計測装置。 - 前記光発生手段は、第1及び第2の連続光をそれぞれ発する第1及び第2の半導体レーザを含むことを特徴とする請求項1に記載のラマン散乱計測装置。
- 前記第1又は第2のタイミング信号に時間遅延量を与える電気遅延線を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のラマン散乱計測装置。
- 前記時間遅延量を制御することにより前記第1及び第2のパルス光のタイミングずれを低減する同期制御手段を有することを特徴とする請求項3に記載のラマン散乱計測装置。
- 前記第1及び第2のパルス光の相対時間差に基づいて前記第1及び第2のパルス光を互いに同期させる同期制御手段を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のラマン散乱計測装置。
- 前記相対時間差を検出する時間差検出手段を有することを特徴とする請求項5に記載のラマン散乱計測装置。
- 前記第1及び第2のパルス光のうち少なくとも一方のパルス光のスペクトル幅を拡張する拡張手段を更に有し、
前記拡張手段は、シングルモードファイバ、高非線形ファイバ、フォトニック結晶ファイバ又は液体コアファイバにより構成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のラマン散乱計測装置。 - 前記第1及び第2のパルス光のうち少なくとも一方のパルス光のスペクトル幅を拡張する拡張手段と、
前記スペクトル幅が拡張されたパルス光の強度を増幅する光増幅器と、を有することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のラマン散乱計測装置。 - 前記光増幅器は、偏波保持型光ファイバにより構成されていることを特徴とする請求項8に記載のラマン散乱計測装置。
- 前記第1及び第2のパルス光のうち少なくとも一方のパルス光のスペクトル幅を拡張する拡張手段と、
前記スペクトル幅が拡張されたパルス光から特定波長帯のパルス光成分を抽出する選択手段と、
前記第2のパルス光と前記パルス光成分とを合成する合波手段と、を有することを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のラマン散乱計測装置。 - 前記光検出手段は、前記試料からの光を受光するセンサと、該センサの出力信号をロックイン検出するロックインアンプと、を有することを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載のラマン散乱計測装置。
- 前記第1及び第2のパルス光で前記試料を走査する走査手段を備えることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載のラマン散乱計測装置。
- 前記光検出手段の出力信号を処理する処理手段を備えることを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載のラマン散乱計測装置。
- 前記処理手段は、前記光検出手段からの出力信号に基づいて生成した画像を表示することを特徴とする請求項13に記載のラマン散乱計測装置。
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