JP2010164574A - 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー - Google Patents
多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010164574A JP2010164574A JP2010038518A JP2010038518A JP2010164574A JP 2010164574 A JP2010164574 A JP 2010164574A JP 2010038518 A JP2010038518 A JP 2010038518A JP 2010038518 A JP2010038518 A JP 2010038518A JP 2010164574 A JP2010164574 A JP 2010164574A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- beam splitter
- optical path
- mirror
- reference light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02027—Two or more interferometric channels or interferometers
- G01B9/02028—Two or more reference or object arms in one interferometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/0201—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using temporal phase variation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02041—Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
- G01B9/02044—Imaging in the frequency domain, e.g. by using a spectrometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02075—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration of particular errors
- G01B9/02078—Caused by ambiguity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/0209—Low-coherence interferometers
- G01B9/02091—Tomographic interferometers, e.g. based on optical coherence
Abstract
【解決手段】この多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィーは、光源1からの光路2上に配置され、物体光4と参照光5を分離する第1のビームスプリッター3と、物体光4の光路上に配置され被計測物8に物体光を走査するガルバノミラー6と、参照光5の光路上に配置された第2のビームスプリッター10と、第2のビームスプリッター10で分離された第1の参照光11の光路上にある第1の参照鏡12と、第2のビームスプリッター10で分離された第2の参照光13の光路上にある第2の参照鏡15と、第1の参照光11と第2の参照光13を交互に通過させるチョッパ16とを備えている。
【選択図】図1
Description
図2(a)は、本発明の参考例1の全体構成を説明する図である。この参考例1では、実施例1と同様にガルバノミラー(横方向の走査装置の1例)による横方向の走査と、参照光路上を参照鏡が移動することにより、参照光の光路長の変更による位相シフトを同時に行う。
図4は、本発明の参考例2を説明する図である。この参考例2は、参考例1において、第1の参照アーム19による第1の参照光17を垂直偏光させて、第2の参照アームの第2の参照光22を水平偏光させて、2つの参照光が互いに干渉しないようにした構成のものである。
図5は、本発明の参考例3を説明する図である。この参考例3は、参考例1において、第1の参照アーム19による第1の参照光17を垂直偏光させて、第2の参照アームの第2の参照光22を水平偏光させて、2つの参照光が互いに干渉しないようにした構成のものである。
図6は、本発明の参考例4を説明する図である。図6(a)において、光源1からの光路2上にビームスプリッター3が配置されている。ビームスプリッター3は、光路の延長上に進む物体光4と光路から90°直交する方向に進む参照光5に分離する。ビームスプリッター3から物体光が進む光路上にガルバノミラー6が配置されている。
図7は、本発明の参考例5を説明する図である。この実施例は、図7(a)に示すように、参考例4における出光側に設ける第2の偏光選択器38をなくして、その代わりに、参考例2の図4で示したものと同様に、偏光ビームスプリッターを用いて異なる方向に偏光した参照光の参照アームを2つ設けて、2つの参照光による計測を同時に単一のスペクトロメータ(単一ディテクター)9で行う構成である。
2 光源からの光路
3 第1のビームスプリッター
4 物体光
5 参照光
6 ガルバノミラー
7、58、60 対物レンズ
8 被計測物
9 スペクトロメータ
10 第2のビームスプリッター
11、17 第1の参照光
12、18 第1の参照鏡
13、20 第2の参照光
14 反射鏡
15、21 第2の参照鏡
16 チョッパ
19 第1の参照アーム
22 第2の参照アーム
23、24、25 CCD画像
27 第1の偏光ビームスプリッター
27’ 偏光ビームスプリッター
28、29 1/4波長板
30 第2の偏光ビームスプリッター
31 第1のスペクトロメータ
32 第2のスペクトロメータ
32’ スペクトロメータ
33 1/4 波長板
34 反射鏡
35、61 参照鏡
36 参照アーム
37 第1の偏光選択器
38 第2の偏光選択器
39 ビームスプリッターから出光する光路
40 第1の偏光ビームスプリッター
41 第2の偏光ビームスプリッター
42 第1の反射鏡
43 第2の反射鏡
44 第1のチョッパ
45 第3の偏光ビームスプリッター
46 第4の偏光ビームスプリッター
47 第3の反射鏡
48 第4の反射鏡
49 第2のチョッパ
50 1/2波長板
51 偏光板
52 偏光選択器
53 1/4波長板
54 偏光ビームスプリッター
56 コリメートレンズ
57 ビームスプリッター
59 被計測試料
62 集光レンズ
63 光検出器
PZT1 ピエゾ素子
PZT2 ピエゾ素子
Claims (1)
- 光源からの光路上に配置され、物体光と参照光を分離する第1のビームスプリッターと、
前記物体光の光路上に配置され、被計測物に前記物体光を走査する走査装置と、
前記参照光の光路上に配置された第2のビームスプリッターと、
前記第2のビームスプリッターで分離された第1の参照光の光路上にある第1の参照鏡と、
前記第2のビームスプリッターで分離された第2の参照光の光路上にある第2の参照鏡と、
前記第1の参照光と第2の参照光を交互に通過させるチョッパとを備えていることを特徴とするスペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010038518A JP4852651B2 (ja) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010038518A JP4852651B2 (ja) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004232768A Division JP4505807B2 (ja) | 2004-08-09 | 2004-08-09 | 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010164574A true JP2010164574A (ja) | 2010-07-29 |
JP4852651B2 JP4852651B2 (ja) | 2012-01-11 |
Family
ID=42580829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010038518A Expired - Fee Related JP4852651B2 (ja) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4852651B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010117372A (ja) * | 2010-02-24 | 2010-05-27 | Univ Of Tsukuba | 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー |
WO2013015349A1 (ja) * | 2011-07-26 | 2013-01-31 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 光断層画像測定装置および光断層画像測定システム |
JP2014524021A (ja) * | 2011-06-28 | 2014-09-18 | メドルミクス,エセ.エレ. | 光コヒーレンス・トモグラフィーのための遅延線の統合 |
EP3299761A1 (en) | 2016-09-23 | 2018-03-28 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Imaging apparatus and imaging method |
WO2018123377A1 (ja) | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 株式会社Screenホールディングス | 撮像装置および撮像方法 |
CN110266379A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-09-20 | 广东瑞谷光网通信股份有限公司 | 一种背光监控光组件 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1998053733A1 (fr) * | 1997-05-26 | 1998-12-03 | Hitachi, Ltd. | Appareil d'inspection dans lequel un interferometre optique est utilise |
JPH10325795A (ja) * | 1996-08-04 | 1998-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 媒質の測定方法および測定装置 |
JP2000002506A (ja) * | 1998-03-30 | 2000-01-07 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 可干渉性動的焦点による光学コヒ―レンストモグラフィ―法及びその装置 |
JP2002082045A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-03-22 | Japan Science & Technology Corp | 光計測システム |
JP2005083929A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Japan Science & Technology Agency | 食肉の品質計測方法及び装置 |
-
2010
- 2010-02-24 JP JP2010038518A patent/JP4852651B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10325795A (ja) * | 1996-08-04 | 1998-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 媒質の測定方法および測定装置 |
WO1998053733A1 (fr) * | 1997-05-26 | 1998-12-03 | Hitachi, Ltd. | Appareil d'inspection dans lequel un interferometre optique est utilise |
JP2000002506A (ja) * | 1998-03-30 | 2000-01-07 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 可干渉性動的焦点による光学コヒ―レンストモグラフィ―法及びその装置 |
JP2002082045A (ja) * | 2000-09-08 | 2002-03-22 | Japan Science & Technology Corp | 光計測システム |
JP2005083929A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Japan Science & Technology Agency | 食肉の品質計測方法及び装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010117372A (ja) * | 2010-02-24 | 2010-05-27 | Univ Of Tsukuba | 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー |
JP2014524021A (ja) * | 2011-06-28 | 2014-09-18 | メドルミクス,エセ.エレ. | 光コヒーレンス・トモグラフィーのための遅延線の統合 |
WO2013015349A1 (ja) * | 2011-07-26 | 2013-01-31 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 光断層画像測定装置および光断層画像測定システム |
JP2013029317A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 光断層画像測定装置および光断層画像測定システム |
EP3299761A1 (en) | 2016-09-23 | 2018-03-28 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Imaging apparatus and imaging method |
US10317188B2 (en) | 2016-09-23 | 2019-06-11 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Imaging apparatus and imaging method |
WO2018123377A1 (ja) | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 株式会社Screenホールディングス | 撮像装置および撮像方法 |
CN110114656A (zh) * | 2016-12-26 | 2019-08-09 | 株式会社斯库林集团 | 摄像装置以及摄像方法 |
US10801830B2 (en) | 2016-12-26 | 2020-10-13 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Imaging apparatus and imaging method |
CN110114656B (zh) * | 2016-12-26 | 2022-02-15 | 株式会社斯库林集团 | 摄像装置以及摄像方法 |
CN110266379A (zh) * | 2019-07-04 | 2019-09-20 | 广东瑞谷光网通信股份有限公司 | 一种背光监控光组件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4852651B2 (ja) | 2012-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4505807B2 (ja) | 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー | |
US11872015B2 (en) | Apparatus and method for confocal microscopy using dispersed structured illumination | |
US10612913B2 (en) | Apparatus and methods for performing tomography and/or topography measurements on an object | |
JP4344829B2 (ja) | 偏光感受光画像計測装置 | |
US20190226829A1 (en) | System for Performing Dual Path, Two- Dimensional Optical Coherence Tomography(OCT) | |
JP4461258B2 (ja) | 光断層画像化法における補正方法 | |
JP2008298767A (ja) | 光干渉断層計を用いた画像形成方法、及び光干渉断層装置 | |
JP4852651B2 (ja) | 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー | |
JP4602372B2 (ja) | 光画像計測装置及び光画像計測方法 | |
EP1870030A1 (en) | Apparatus and method for frequency domain optical coherence tomography | |
JP7175982B2 (ja) | 光計測装置および試料観察方法 | |
WO2013118541A1 (ja) | 光断層画像測定装置 | |
US20110235048A1 (en) | Apparatus for low coherence optical imaging | |
JP3619113B2 (ja) | 角分散光空間干渉断層画像化装置 | |
US8269980B1 (en) | White light scanning interferometer with simultaneous phase-shifting module | |
JP2013007601A (ja) | 光コヒーレンストモグラフィ装置 | |
US10415954B2 (en) | Method for analyzing an object | |
JP5149923B2 (ja) | 多重化スペクトル干渉光コヒーレンストモグラフィー | |
JP5412959B2 (ja) | 光応用計測装置 | |
KR20080076303A (ko) | 공간 영역 광결맞음 단층 촬영장치 | |
JP2007311703A (ja) | 波長掃引光源および光断層画像化装置 | |
JP5905711B2 (ja) | 光画像計測装置 | |
WO2012029809A2 (ja) | 形状測定装置および形状測定方法 | |
JP2005214927A (ja) | 並列光ヘテロダイン検出法を用いた光干渉計測方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111011 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4852651 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141028 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |