WO2026009786A1 - 測定装置、測定方法及び測定制御プログラム - Google Patents

測定装置、測定方法及び測定制御プログラム

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WO2026009786A1
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temperature
input mode
measurement
measured
control unit
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慎平 本間
邦博 前田
秀樹 森井
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Tokyo Seimitsu Co Ltd
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Tokyo Seimitsu Co Ltd
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    • G01B21/20—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring contours or curvatures, e.g. determining profile
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
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    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces

Definitions

  • the present invention relates to a measuring device, a measuring method, and a measurement control program, and in particular to a measuring device, a measuring method, and a measurement control program for measuring the shape, roughness, or contour of the surface of an object to be measured.
  • Measuring devices are known for measuring the shape, roughness, or contour of the surface of a workpiece. Such measuring devices are equipped with a mechanism whose parameters change with temperature (for example, thermal expansion). Parameters of the object may also change with temperature. If the parameters of the measuring device or the object change due to changes in temperature, the measurement results of the object will fluctuate.
  • temperature for example, thermal expansion
  • Parameters of the object may also change with temperature. If the parameters of the measuring device or the object change due to changes in temperature, the measurement results of the object will fluctuate.
  • Patent Document 1 discloses that temperature sensor detection units are attached to each component of a coordinate measuring machine and to the object being measured, and that temperature data acquired by the temperature sensors is used to apply temperature correction processing to the actual dimensions of the object being measured or to the measurement operation of the coordinate measuring machine (changing the stop position of each drive unit during the measurement operation).
  • Patent Document 1 discloses that the above-mentioned temperature correction processing makes it possible to obtain the dimensions of the object being measured at standard temperature (20°C).
  • the actual dimensions of the object at standard temperature are determined by performing a numerical calculation using, for example, the temperature measurement results from a temperature sensor and the measurement results of the object's actual dimensions.
  • performing temperature correction it is assumed that the temperature at the time of measurement can be detected in a timely manner; if there is a problem obtaining the temperature detected by the temperature sensor, it will be impossible to perform temperature correction or measure the object.
  • the present invention was made in consideration of these circumstances, and aims to provide a measurement device, measurement method, and measurement control program that can stably perform temperature correction and measurement of the object being measured.
  • a measuring device comprises a detector for measuring an object to be measured, a temperature sensor for measuring the temperature of the object to be measured when it is being measured, and a control unit that can switch the temperature input mode between an automatic input mode that automatically acquires the temperature detected by the temperature sensor and a manual input mode that accepts manual input of the temperature of the object to be measured when it is being measured, and that performs temperature correction for the measurement of the object to be measured based on the temperature acquired in the automatic input mode or the manual input mode.
  • the control unit switches the temperature input mode to manual input mode and performs temperature correction based on the manually input temperature.
  • the control unit switches the temperature input mode to manual input mode if the temperature cannot be obtained from the temperature sensor for a predetermined period of time or longer.
  • control unit performs temperature correction based on the most recent temperature obtained from the temperature sensor when the temperature input mode is switched to the manual input mode and there is no manual input.
  • the control unit outputs a notification prompting manual input when a first predetermined time has elapsed since the most recent temperature was obtained from the temperature sensor if there has been no manual input.
  • control unit in any one of the first to fifth aspects of the measuring device, the control unit outputs a notification to prompt manual input when a second predetermined time has elapsed since manual temperature input was accepted.
  • the control unit switches the temperature input mode to automatic input mode when it detects that a temperature sensor has been connected.
  • the measurement device is any of the first to seventh aspects, wherein the control unit has a programmable command group for executing operations related to measuring the object to be measured, the programmable command group including a temperature setting command related to temperature acquisition, and when the temperature setting command is executed, performs temperature correction for the measurement of the object to be measured based on the temperature acquired in automatic input mode or manual input mode.
  • the control unit has a programmable command group for executing operations related to measuring the object to be measured, the programmable command group including a temperature setting command related to temperature acquisition, and when the temperature setting command is executed, performs temperature correction for the measurement of the object to be measured based on the temperature acquired in automatic input mode or manual input mode.
  • a ninth aspect of the present invention relates to a measurement device according to the eighth aspect, wherein the control unit switches the temperature input mode when a temperature input mode switching command in the temperature setting command is executed.
  • a measurement method includes the steps of switching the temperature input mode between an automatic input mode, which automatically acquires the temperature of the object being measured detected by a temperature sensor, and a manual input mode, which accepts manual input of the temperature of the object being measured, and performing temperature correction for the measurement of the object being measured based on the temperature acquired in the automatic input mode or the manual input mode.
  • the measurement control program causes a computer to implement the following functions: a function to switch the temperature input mode between an automatic input mode, which automatically acquires the temperature of the object being measured detected by a temperature sensor, and a manual input mode, which accepts manual input of the temperature of the object being measured; and a function to perform temperature correction for the measurement of the object being measured based on the temperature acquired in the automatic input mode or the manual input mode.
  • the temperature input mode can be switched between automatic input mode and manual input mode, allowing for stable measurement of the object to be measured.
  • FIG. 1 is a diagram showing a measurement device according to an embodiment of the present invention
  • 2 is a block diagram showing a control device of the measurement device according to the embodiment of the present invention
  • FIG. 1 is a flowchart illustrating a measurement method (temperature correction method) according to an embodiment of the present invention.
  • 10A and 10B are diagrams illustrating examples of interfaces for setting temperatures for each temperature input mode.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a setting screen of CNC software.
  • Measurement device 1 is a diagram showing a measurement apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • a three-dimensional Cartesian coordinate system is used in which the XY plane is the horizontal plane and the Z direction is the vertical direction (perpendicular direction).
  • the measuring device 1 is a device for measuring the shape, roughness, contour, etc. of the surface of a measuring object W placed on a measuring object placement section (hereinafter referred to as the stage) 50.
  • the stage 50 is placed on a base plate 52, and the surface of the stage 50 (the surface on which the measurement object W is placed) is parallel to the XY plane.
  • a column (Z axis) 54 extending approximately perpendicular to the surface of the stage 50 is placed on the base plate 52.
  • a carriage (X axis) 56 is attached to the column 54, and the carriage 56 can be moved in the Z direction along the column 54 by an actuator (not shown).
  • the detector 10 is attached to the carriage 56, and the detector 10 is movable in the X direction relative to the carriage 56 by an actuator (not shown).
  • a scale 58 is attached to the carriage 56 to detect the X-direction position of the detector 10.
  • the scale 58 is, for example, a linear scale (linear position scale) with scale graduations formed along its length.
  • the detector 10 is movable relative to the column 54, but the present invention is not limited to this.
  • the column 54 may be movable along the X direction relative to the stage 50, or the stage 50 may be movable along the X or Z direction relative to the column 54.
  • the measurement object W placed on the stage 50 and the detector 10 are configured to be relatively movable in the X and Z directions.
  • the detector 10 may be movable not only in the X direction but also in the Y direction relative to the measurement object W placed on the stage 50.
  • the detector 10 includes a stylus portion 14, an arm portion 16, a swing shaft 20, a scale 22, and a scale head 24.
  • the stylus unit 14 is fixed to the arm unit 16 so that it extends in the X direction.
  • the stylus unit 14 attached to the arm unit 16 will be referred to as the swing unit 18.
  • the swing unit 18 is attached to the detector housing 26 so that it can swing integrally around the swing axis 20.
  • the mounting angle of the swing axis 20 relative to the carriage 56 of the detector 10 is adjusted so that it is approximately parallel to the XY plane.
  • the configuration of the oscillating portion 18 is not limited to the example shown in Figure 1.
  • the probe portion 14 or the arm portion 16 may have an L-shaped bent portion, and the probe portion 14 and the arm portion 16 may be attached so that they are approximately parallel.
  • a stylus 12 is provided at the tip of the stylus unit 14.
  • the stylus 12 extends downward (in the -Z direction) in the figure.
  • the oscillating unit 18 oscillates around the oscillating axis 20 in accordance with the height and unevenness of the surface of the measurement object W at the contact position.
  • the configuration of the stylus unit 14 is not limited to the example shown in Figure 1.
  • the stylus unit 14 may be a T-shaped stylus with styluses provided in the vertical direction in the figure, or an L-shaped stylus with a stylus that protrudes downward in the figure longer than the example shown in Figure 1.
  • the scale 22 is fixed to the detector housing 26 so as to face the base end of the arm portion 16.
  • the detector housing 26 is a member that connects the oscillation center 20C of the oscillation shaft 20 and the scale 22 (defines the distance between the oscillation center 20C of the oscillation shaft 20 and the scale 22).
  • the scale 22 is, for example, a linear scale (linear position scale), with scale graduations formed along the length of the scale 22.
  • the scale 22 is attached so that its length (displacement detection direction) is approximately perpendicular to the length of the oscillating portion 18.
  • the scale head 24 is fixed to the base end of the arm portion 16 and is capable of swinging integrally with the swinging portion 18.
  • the scale head 24 is a device that reads the scale at the opposite position on the scale 22 fixed to the detector housing 26.
  • the scale head 24 can be, for example, a photoelectric sensor for reading the scale on the scale 22, or a non-contact sensor equipped with an imaging element and an illumination light source (for example, an LED (Light-Emitting Diode)).
  • the reading of the scale 22 read by the scale head 24 is output to the control unit 102 (see Figure 2) of the control device 100 provided in the measuring device 1.
  • the control unit 102 controls the actuators provided on the column 54 and carriage 56 to move the measurement object W and the stylus 12 of the detector 10 relative to each other, while obtaining readings of the scale 22 at each position on the surface of the measurement object W. This makes it possible to measure the shape, roughness, contour, etc. of the surface of the measurement object W.
  • the scale 22 is fixed to the detector housing 26, and the scale head 24 is fixed to the base end of the arm portion 16, but the present invention is not limited to this.
  • the scale head 24 may be fixed to the detector housing 26, and the scale 22 may be fixed to the base end of the arm portion 16.
  • the scale 22 is not limited to a linear scale, and may be, for example, an arc scale (angle scale) formed in an arc shape along the swing direction of the arm portion 16.
  • the temperature sensor 80 is a temperature sensor capable of measuring the temperature of a predetermined location in the measurement device 1.
  • one temperature sensor 80 is placed near the stage 50 on which the measurement object W is placed, but the number and installation locations of the temperature sensors 80 are not particularly limited.
  • a temperature sensor may also be placed near the scale 22 inside the detector housing 26, near the scale 58 on the carriage 56, etc.
  • the temperature sensor 80 may be, for example, a radiation temperature sensor or a color temperature sensor.
  • the control unit 102 of the control device 100 controls each unit of the measurement device 1 to measure the measurement object W.
  • the control unit 102 acquires temperature data D80 detected by the temperature sensor 80 and performs correction of the measurement results (temperature correction) based on the temperature data D80 .
  • the temperature correction is not limited to correction of the measurement results.
  • drive control and position control of the detector 10 and the like may be performed based on the temperatures of the measurement object W, the scale 22, and the scale 58.
  • FIG. 2 is a block diagram showing the control device 100 of the measuring device 1. As shown in FIG. 2, the control device 100 includes a control unit 102, an input unit 104, a display unit 106, and storage 108.
  • the control unit 102 includes a processor (e.g., a CPU (Central Processing Unit) or MPU (Micro-Processing Unit)) for controlling each part of the measuring device 1, and memory (e.g., a ROM (Read Only Memory), RAM (Random Access Memory)).
  • a processor e.g., a CPU (Central Processing Unit) or MPU (Micro-Processing Unit)
  • memory e.g., a ROM (Read Only Memory), RAM (Random Access Memory)
  • the control unit 102 outputs control signals for controlling the control device 100 and the measuring device 1, and control signals for controlling actuators for moving the detector 10, etc.
  • the control unit 102 also has measurement control functions and temperature correction functions.
  • the control unit 102 has a temperature correction function that performs temperature correction for the measurement of the measurement object W (correction of the measurement results of the measurement object W, or measurement operation of the measurement device 1 (e.g., drive target positions and drive stop positions by the detector drive mechanisms 60X and 60Z)) based on, for example, the temperature of the measurement object W at the time of measurement.
  • the control unit 102 is an example of a computer.
  • the input unit 104 is a device for accepting operational input from the operator, and includes, for example, a keyboard, mouse, touch panel, etc.
  • the display unit 106 is a device for displaying images and includes, for example, an LCD (Liquid Crystal Display).
  • the display unit 106 displays, for example, a GUI (Graphical User Interface) for operating the control device 100, the measuring device 1, the actuator, etc., as well as measurement results such as the shape, roughness, or contour of the surface of the measurement object W.
  • GUI Graphic User Interface
  • the storage 108 is a device that stores programs for controlling the measurement device 1 and measurement result data, and includes, for example, a hard disk drive (HDD) or a solid state drive (SSD). Temperature data D80 detected by the temperature sensor 80 may be stored in the storage 108.
  • the storage 108 stores a measurement control program that causes the control unit 102 to implement a measurement control function and a temperature correction function.
  • the detector drive mechanism 60X includes an X-axis drive unit (e.g., an actuator, not shown in Figure 1) for moving the detector 10 in the X direction relative to the carriage 56.
  • an X-axis drive unit e.g., an actuator, not shown in Figure 1
  • the detector drive mechanism 60Z includes a Z-axis drive unit (e.g., an actuator, not shown in Figure 1) for moving the detector 10 in the Z direction by moving the carriage 56 in the Z direction relative to the column 54.
  • a Z-axis drive unit e.g., an actuator, not shown in Figure 1
  • the temperature sensor 80 is a temperature sensor capable of measuring the environmental temperature near the stage 50.
  • the temperature sensor 80 is placed near the stage 50, but the installation location of the temperature sensor 80 is not particularly limited.
  • the temperature sensor 80 may be, for example, a radiation temperature sensor or color temperature sensor for measuring the temperature of the measurement object W or the detector 10.
  • the control unit 102 receives an input of a read value (scale head detection value) of the scale 22 read by the scale head 24.
  • the control unit 102 also receives an input of a read value (scale detection value) of the scale 58 indicating the amount of movement of the detector 10 in the X direction.
  • the control unit 102 uses the scale head detection value and the scale detection value to calculate the shape, roughness, contour, etc. of the surface of the object W.
  • the control unit 102 also acquires temperature data D80 detected by the temperature sensor 80 and performs temperature correction.
  • control unit 102 of the control device 100 which has a measurement control function, also has a temperature correction function, but the present invention is not limited to this.
  • the temperature correction function may also be provided in a device separate from the control device 100.
  • [Temperature correction processing] 3 is a flowchart showing a measurement method (temperature correction method) according to one embodiment of the present invention. In this embodiment, if a problem occurs in acquiring the temperature from the temperature sensor 80, the temperature input mode is changed, thereby enabling stable measurement of the measurement target W.
  • the temperature sensor 80 can normally detect the temperature, and the control unit 102 can normally acquire the temperature data D80 output from the temperature sensor 80. Therefore, the temperature input mode is set to the automatic input mode (step S10). In the automatic input mode, the control unit 102 acquires the temperature data D80 from the temperature sensor 80 at predetermined time intervals.
  • step S12 the control unit 102 determines that there is an abnormality in the temperature sensor 80 if it has not been able to obtain temperature data D80 from the temperature sensor 80 for a predetermined time or more or a predetermined number of times due to factors such as a malfunction of the temperature sensor 80 itself or a poor connection between the control unit 102 and the temperature sensor 80.
  • the control unit 102 displays an interface (GUI: Graphical User Interface) for accepting temperature input on the display unit 106.
  • GUI Graphical User Interface
  • step S18 the control unit 102 uses the manually input temperature to perform temperature correction of the measurement results, etc.
  • the user can continue the measurement by manually checking and manually inputting the temperature measurement results, for example, from a temperature sensor not connected to the control unit 102 or a temperature sensor installed in the location where the measurement device 1 is installed.
  • the control unit 102 If, during measurement of the measurement object W, a predetermined time (second predetermined time) has passed since the last temperature input (Yes in step S20), the control unit 102 outputs a notification to prompt the user to manually input the temperature (step S22).
  • This notification may include, for example, a notification that a predetermined time has passed since the last temperature input, or a notification indicating the elapsed time since the last temperature input.
  • This notification may be displayed on the display unit 106, or may be output as audio from a speaker or other device.
  • control unit 102 performs temperature correction of the measurement results, etc., using the most recent (last) temperature acquired immediately before the abnormality occurred (step S24).
  • the control unit 102 outputs a notification to prompt the user to perform manual input (step S28).
  • This notification may include, for example, a notification that a predetermined time has elapsed since the last temperature acquisition, or a notification indicating the elapsed time since the last temperature acquisition. Note that this notification may be displayed on the display unit 106 or may be output as audio from a speaker or other device.
  • step S24 or S28 the control unit 102 uses the manually input temperature to perform temperature correction on the measurement results, etc. Then, steps S16 to S22 may be repeated. On the other hand, if a temperature is not manually input after the notification in step S24 or S28, the control unit 102 may perform temperature correction on the measurement results, etc. using the last manually input temperature or the most recent (last) temperature obtained immediately before the abnormality occurred, or the user may be able to select whether or not to interrupt the measurement of the object W to be measured.
  • the temperature input mode automatically switches to the manual input mode. This allows measurement of the object W to be carried out stably without interruption. Furthermore, after a problem occurs in obtaining the temperature from the temperature sensor 80, a notification is sent at predetermined intervals to prompt the user to manually input the latest temperature, thereby preventing a decrease in the accuracy of temperature correction.
  • the predetermined times in steps S20 and S26 may be set arbitrarily by the user, and may be the same or different values. Furthermore, the predetermined times in steps S20 and S26 may be set automatically in accordance with the properties of the object whose temperature is being measured (e.g., the material or thermal expansion coefficient of the measurement object W, oscillating unit 18, scale 22 or 58, etc.). For example, the lower the thermal expansion coefficient of the measurement object W, the longer the predetermined time may be.
  • measurement can be continued using a temperature sensor provided by the user (for example, a temperature sensor that cannot be connected to the control unit 102 or a temperature sensor that is not compatible with the measurement control program of the control unit 102), or a temperature sensor installed at the location where the measurement device 1 is installed.
  • a temperature sensor provided by the user (for example, a temperature sensor that cannot be connected to the control unit 102 or a temperature sensor that is not compatible with the measurement control program of the control unit 102), or a temperature sensor installed at the location where the measurement device 1 is installed.
  • measurement can be continued without purchasing a temperature sensor that is compatible with the measurement control program of the control unit 102.
  • Figure 4 shows an example of an interface for setting the temperature for each temperature input mode.
  • the following interfaces U1 to U3 are output to the display unit 106, and the user can input operations via the input unit 104.
  • symbol U1 indicates the interface in automatic input mode.
  • Interface U1 includes a display indicating that the temperature sensor 80 is connected normally, and a display of the most recent temperature of the object to be measured W (work temperature).
  • Interface U1 also includes a set button for setting the temperature, and a close button for hiding the interface U1 window. Of these, the set button is displayed as not being clickable (for example, its color or outline is changed or it is grayed out).
  • interface U1 changes as shown in U2 in Figure 4.
  • the display has changed to indicate that the set button is clickable.
  • Interface U2 also includes a display of the temperature of the object W to be measured (work temperature) last obtained from the temperature sensor 80 and the date and time of acquisition. Log information on the work temperature and the date and time of acquisition is stored in storage 108.
  • interface U3 for manual temperature input is displayed on the display unit 106.
  • Interface U3 includes a spin box with an input field for the temperature value and spin buttons for increasing or decreasing the value in the input field, and accepts manual temperature input (step S16).
  • the control unit 102 uses the manually input temperature to perform temperature correction on the measurement results, etc. (step S18).
  • thermo input mode interface and its operation method are not limited to the example shown in Figure 4.
  • the measuring device 1 may also be provided with a function for registering measurement-related operations and executing them as a series of steps.
  • the measuring device 1 or the measurement control program may be provided with a set of programmable commands for automatically executing measurement-related operations, such as measurement, movement of the measurement unit (such as relative movement between the detector 10 and the object to be measured W), and analysis (of measurement results, etc.). These operations can then be registered as a set of measurement programs. By executing the set of registered measurement programs, the user can achieve stable measurements and execute complex operations in a short amount of time.
  • temperature setting commands related to temperature acquisition including, for example, a temperature input mode switching command for switching the temperature input mode, or a temperature input command for manually entering a temperature
  • CNC computerized numerical control
  • a temperature input mode switching command or a temperature input command may be incorporated into the set of measurement programs described above, and these commands may be automatically executed when certain conditions are met (for example, the preparation, start, or end stage of a specified operation, or the loss of input from the temperature sensor 80, etc.).
  • the temperature and date/time entered during measurement may be stored in storage 108. This allows this information to be output and confirmed on the analysis screen after measurement.
  • control unit 102 may automatically switch the temperature input mode to automatic input mode.
  • the appropriate frequency of temperature input varies depending on the purpose and environment of the measurement. For example, it depends on conditions such as the temperature gradient of the measurement environment, the execution time of the measurement program, the measurement accuracy required for each measurement, and the measurement stroke.
  • the temperature can be set at any timing in accordance with the above conditions, thereby achieving both high accuracy and efficiency in measurements.
  • the temperature input mode is switched to manual input mode if there is a problem obtaining the temperature from temperature sensor 80, but the present invention is not limited to this. It may also be possible to arbitrarily switch between automatic input mode and manual input mode. By setting the temperature input mode to manual input mode, it may be possible, for example, to simulate measurement results when the temperature and thermal expansion coefficient of the measurement object W are virtually changed. Furthermore, by setting the temperature input mode to manual input mode, it is possible, for example, to perform temperature correction using a temperature detected by any temperature sensor other than temperature sensor 80. In this way, the temperature input mode can be arbitrarily switched to perform simulations or temperature correction using a different temperature sensor (for example, a temperature sensor that is not compatible with the above software), thereby stabilizing measurement accuracy.
  • a different temperature sensor for example, a temperature sensor that is not compatible with the above software

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

測定装置（１）は、測定対象物の測定を行うための検出器（１０）と、測定対象物の測定時の温度を測定するための温度センサ（８０）と、温度センサにより検出した温度を自動的に取得する自動入力モードと、測定対象物の測定時の温度の手動入力を受け付ける手動入力モードとの間で温度入力モードが切り替え可能であり、自動入力モード又は前記手動入力モードにより取得した温度に基づいて、測定対象物の測定の温度補正を行う制御部（１０２）とを備える。

Description

測定装置、測定方法及び測定制御プログラム
　本発明は測定装置、測定方法及び測定制御プログラムに係り、特に測定対象物の表面の形状、粗さ又は輪郭等を測定するための測定装置、測定方法及び測定制御プログラムに関する。
　測定対象物（ワーク）の表面の形状、粗さ又は輪郭等を測定するための測定装置が知られている。このような測定装置は、温度によりパラメータが変化する（例えば、熱膨張する）機構を備えている。また、測定対象物についても、温度によりパラメータが変化する場合がある。温度の変化により測定装置又は測定対象物のパラメータが変化すると、測定対象物の測定結果が変動する。
　測定対象物の測定時の温度を温度センサにより検出して、測定装置の駆動プログラム又は測定結果の補正を行う形状測定装置が提案されている。例えば、特許文献１には、三次元測定機の各部品と測定対象物に温度センサの検出部をそれぞれ取り付け、温度センサにより取得した温度データを用いて、測定対象物の実寸寸法又は三次元測定機の測定動作（測定動作における各駆動部の停止位置の変更）に温度補正処理を加えることが開示されている。特許文献１では、上記のような温度補正処理により、標準温度（２０℃）における測定対象物の寸法を取得可能となっている。
特開２０１６－０９０４２７号公報
　ところで、測定対象物の実寸寸法等の測定結果に対して温度補正を行う際には、例えば、温度センサによる温度の測定結果と測定対象物の実寸寸法等の測定結果を用いて数値計算を行うことにより、標準温度における測定対象物の実寸寸法等を求める。温度補正を行う際には、測定時の温度を適時に検出可能であることが前提であり、温度センサにより検出した温度の取得に支障が生じると、温度補正及び測定対象物の測定の実行が不可能になる。
　本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、温度補正及び測定対象物の測定を安定的に実行可能な測定装置、測定方法及び測定制御プログラムを提供することを目的とする。
　本発明の第１の態様に係る測定装置は、測定対象物の測定を行うための検出器と、測定対象物の測定時の温度を測定するための温度センサと、温度センサにより検出した温度を自動的に取得する自動入力モードと、測定対象物の測定時の温度の手動入力を受け付ける手動入力モードとの間で温度入力モードが切り替え可能であり、自動入力モード又は前記手動入力モードにより取得した温度に基づいて、測定対象物の測定の温度補正を行う制御部とを備える。
　本発明の第２の態様に係る測定装置は、第１の態様において、制御部は、温度センサからの温度の取得に支障が生じた場合に、温度入力モードを手動入力モードに切り替え、手動入力された温度に基づいて温度補正を行う。
　本発明の第３の態様に係る測定装置は、第２の態様において、制御部は、温度センサからの温度を所定時間以上取得できなかった場合に、温度入力モードを手動入力モードに切り替える。
　本発明の第４の態様に係る測定装置は、第１から第３の態様のいずれかにおいて、制御部は、温度入力モードを手動入力モードに切り替えたときに、手動入力がなかった場合に、温度センサから取得した直近の温度に基づいて温度補正を行う。
　本発明の第５の態様に係る測定装置は、第４の態様において、制御部は、手動入力がなかった場合に、温度センサから直近の温度を取得してから第１の所定時間が経過した場合に、手動入力を促すための通知を出力する。
　本発明の第６の態様に係る測定装置は、第１から第５の態様のいずれかにおいて、制御部は、温度の手動入力を受け付けてから第２の所定時間が経過した場合に、手動入力を促すための通知を出力する。
　本発明の第７の態様に係る測定装置は、第１から第６の態様のいずれかにおいて、制御部は、温度センサが接続されたことを検出した場合に、温度入力モードを自動入力モードに切り替える。
　本発明の第８の態様に係る測定装置は、第１から第７の態様のいずれかにおいて、制御部は、測定対象物の測定に関わる動作を実行するためのプログラム可能なコマンド群であって、温度の取得に関する温度設定コマンドを有し、温度設定コマンドが実行された場合に、自動入力モード又は手動入力モードにより取得した温度に基づいて、測定対象物の測定の温度補正を行う。
　本発明の第９の態様に係る測定装置は、第８の態様において、制御部は、温度設定コマンドの温度入力モード切り替えコマンドが実行された場合に、温度入力モードを切り替える。
　本発明の第１０の態様に係る測定方法は、温度センサにより検出した測定対象物の測定時の温度を自動的に取得する自動入力モードと、測定対象物の測定時の温度の手動入力を受け付ける手動入力モードとの間で温度入力モードを切り替えるステップと、自動入力モード又は前記手動入力モードにより取得した温度に基づいて、測定対象物の測定の温度補正を行うステップとを備える。
　本発明の第１１の態様に係る測定制御プログラムは、温度センサにより検出した測定対象物の測定時の温度を自動的に取得する自動入力モードと、測定対象物の測定時の温度の手動入力を受け付ける手動入力モードとの間で温度入力モードを切り替える機能と、自動入力モード又は前記手動入力モードにより取得した温度に基づいて、測定対象物の測定の温度補正を行う機能とをコンピュータに実現させる。
　本発明によれば、自動入力モードと手動入力モードとの間で温度入力モードを切り替え可能であるので、測定対象物の測定を安定的に実行することができる。
本発明の一実施形態に係る測定装置を示す図である。 本発明の一実施形態に係る測定装置の制御装置を示すブロック図である。 本発明の一実施形態に係る測定方法（温度補正方法）を示すフローチャートである。 温度入力モードごとの温度設定のためのインターフェイスの例を示す図である。 ＣＮＣソフトウェアの設定画面の例を示す図である。
　以下、添付図面に従って本発明に係る実施形態について説明する。
　［測定装置］
　図１は、本発明の一実施形態に係る測定装置を示す図である。以下の説明では、ＸＹ平面を水平面とし、Ｚ方向を垂直方向（鉛直方向）とする３次元直交座標系を用いる。
　測定装置１は、測定対象物設置部（以下、ステージという。）５０に設置された測定対象物Ｗの表面の形状、粗さ又は輪郭等を測定するための装置である。
　図１に示すように、ステージ５０は、定盤５２上に設置されており、ステージ５０の表面（測定対象物Ｗの設置面）は、ＸＹ平面に対して平行となっている。定盤５２上には、ステージ５０の表面に対して略垂直に伸びるコラム（Ｚ軸）５４が設置されている。コラム５４には、キャリッジ（Ｘ軸）５６が取り付けられており、キャリッジ５６は、アクチュエータ（不図示）によりコラム５４に沿ってＺ方向に移動可能となっている。
　キャリッジ５６には、検出器１０が取り付けられており、検出器１０は、アクチュエータ（不図示）によりキャリッジ５６に対してＸ方向に移動可能となっている。キャリッジ５６には、検出器１０のＸ方向位置を検出するためのスケール５８が取り付けられている。スケール５８は、例えば、その長さ方向に沿ってスケール目盛りが形成された直線状のリニアスケール（線形位置スケール）である。
　なお、本実施形態では、コラム５４を基準として検出器１０を移動可能としたが、本発明はこれに限定されない。例えば、コラム５４をステージ５０に対してＸ方向に沿って移動可能としてもよいし、ステージ５０をコラム５４に対してＸ方向又はＺ方向に沿って移動可能としてもよい。すなわち、ステージ５０に設置された測定対象物Ｗと検出器１０とがＸ方向及びＺ方向に相対移動可能な構成であればよい。また、検出器１０は、ステージ５０に設置された測定対象物Ｗに対してＸ方向だけでなくＹ方向にも相対移動可能としてもよい。
　図１に示すように、検出器１０は、触針部１４、アーム部１６、揺動軸２０、スケール２２及びスケールヘッド２４を備える。
　触針部１４は、アーム部１６に対してＸ方向に伸びるように固定されている。以下、触針部１４をアーム部１６に取り付けたものを揺動部１８という。揺動部１８は、揺動軸２０の周りに一体的に揺動可能に検出器筐体２６に取り付けられている。揺動軸２０はＸＹ平面に対して略平行となるように、検出器１０のキャリッジ５６に対する取付角度が調整されている。
　なお、揺動部１８の構成は図１に示した例に限定されるものではない。例えば、触針部１４又はアーム部１６がＬ字状の折れ曲がり部を有し、触針部１４とアーム部１６が略平行になるように取り付けられていてもよい。
　触針部１４の先端には、触針１２が設けられている。触針１２は、図中下方（－Ｚ方向）に伸びている。ステージ５０に載置された測定対象物Ｗの表面に触針１２を所定の圧力で接触させると、接触位置における測定対象物Ｗの表面の高さ及び凹凸に応じて揺動部１８が揺動軸２０を中心として揺動する。
　なお、触針部１４の構成は図１に示した例に限定されるものではない。例えば、触針部１４の図中上下方向に触針が設けられたＴ字スタイラス、又は図中下方への触針の突き出し量が図１に示した例よりも長いＬ字スタイラスであってもよい。
　検出器筐体２６には、アーム部１６の基端部に対向するようにスケール２２が固定されている。検出器筐体２６は、揺動軸２０の揺動中心２０Ｃとスケール２２とをつなぐ（揺動軸２０の揺動中心２０Ｃとスケール２２との間の距離を規定する）部材である。
　スケール２２は、例えば、直線状のリニアスケール（線形位置スケール）であり、スケール２２の長さ方向に沿ってスケール目盛りが形成されている。スケール２２は、その長さ方向（変位検出方向）が揺動部１８の長さ方向に対して略垂直になるように取り付けられている。
　スケールヘッド２４は、アーム部１６の基端部に固定されて揺動部１８と一体的に揺動可能となっている。スケールヘッド２４は、検出器筐体２６に固定されたスケール２２の対向位置の目盛りを読み取る装置である。スケールヘッド２４としては、例えば、スケール２２の目盛りを読み取るための光電センサ又は撮像素子と照明光源（例えば、ＬＥＤ（Light-Emitting Diode））とを備える非接触式のセンサを用いることができる。
　スケールヘッド２４によって読み取られたスケール２２の目盛りの読み取り値は、測定装置１に設けられた制御装置１００の制御部１０２（図２参照）に出力される。
　制御部１０２は、コラム５４及びキャリッジ５６に設けられたアクチュエータを制御して、測定対象物Ｗと検出器１０の触針１２とを相対移動させながら、測定対象物Ｗの表面の位置ごとに、スケール２２の目盛りの読み取り値を取得する。これにより、測定対象物Ｗの表面の形状、粗さ又は輪郭等を測定することができる。
　なお、本実施形態では、スケール２２を検出器筐体２６に固定し、スケールヘッド２４をアーム部１６の基端部に固定したが、本発明はこれに限定されない。例えば、スケールヘッド２４を検出器筐体２６に固定し、スケール２２をアーム部１６の基端部に固定してもよい。また、スケール２２は、リニアスケールに限定されず、例えば、アーム部１６の揺動方向に沿って円弧状に形成された円弧スケール（角度スケール）であってもよい。
　温度センサ８０は、測定装置１の所定の箇所の温度を測定可能な温度センサである。図１に示す例では、温度センサ８０は、測定対象物Ｗが載置されるステージ５０の近傍に１つ配置されているが、温度センサ８０の個数及び設置場所は特に限定されない。例えば、検出器筐体２６内のスケール２２の近傍、キャリッジ５６のスケール５８の近傍等にも温度センサを配置してもよい。なお、温度センサ８０としては、例えば、放射温度センサ又は色温度センサを用いてもよい。
　制御装置１００の制御部１０２は、測定装置１の各部を制御して、測定対象物Ｗの測定を行う。制御部１０２は、測定対象物Ｗの測定時には、温度センサ８０により検出された温度データＤ８０を取得し、温度データＤ８０に基づいて測定結果の補正（温度補正）を行う。なお、温度補正は、測定結果の補正に限定されない。例えば、測定対象物Ｗ、スケール２２及びスケール５８の温度に基づいて、検出器１０等の駆動制御及び位置制御を行ってもよい。
　図２は、測定装置１の制御装置１００を示すブロック図である。図２に示すように、制御装置１００は、制御部１０２、入力部１０４、表示部１０６及びストレージ１０８を備える。
　制御部１０２は、測定装置１の各部を制御するためのプロセッサ（例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）又はＭＰＵ（Micro-Processing Unit）等）と、メモリ（例えば、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等）とを備える。制御部１０２は、入力部１０４からの操作入力に応じて、制御装置１００及び測定装置１を制御するための制御信号及び検出器１０を移動させるためのアクチュエータ等を制御するための制御信号等を出力する。また、制御部１０２は、測定制御機能及び温度補正機能を有する。
　制御部１０２は、例えば、測定対象物Ｗの測定時の温度に基づいて、測定対象物Ｗの測定（測定対象物Ｗの測定結果の補正、又は測定装置１の測定動作（例えば、検出器駆動機構６０Ｘ及び６０Ｚによる駆動目標位置及び駆動停止位置等））の温度補正を行う温度補正機能を有する。制御部１０２は、コンピュータの一例である。
　入力部１０４は、操作者からの操作入力を受け付けるための装置であり、例えば、キーボード、マウス、タッチパネル等を備える。
　表示部１０６は、画像を表示するための装置であり、例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）を含んでいる。表示部１０６には、例えば、制御装置１００、測定装置１及びアクチュエータ等の操作のためのＧＵＩ（Graphical User Interface）及び測定対象物Ｗの表面の形状、粗さ又は輪郭等の測定結果等が表示される。
　ストレージ１０８は、測定装置１の制御のためのプログラム及び測定結果のデータ等を格納する装置であり、例えば、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）又はＳＳＤ（Solid State Drive）等を含んでいる。温度センサ８０により検出された温度データＤ８０は、ストレージ１０８に格納されるようにしてもよい。ストレージ１０８には、測定制御機能及び温度補正機能を制御部１０２に実現させるための測定制御プログラムが格納される。
　検出器駆動機構６０Ｘは、キャリッジ５６に対して検出器１０をＸ方向に移動させるためのＸ軸駆動部（例えば、アクチュエータ。図１では図示を省略）を含んでいる。
　検出器駆動機構６０Ｚは、コラム５４に対してキャリッジ５６をＺ方向に移動させることにより、検出器１０をＺ方向に移動させるためのＺ軸駆動部（例えば、アクチュエータ。図１では図示を省略）を含んでいる。
　温度センサ８０は、ステージ５０の近傍の環境温度を測定可能な温度センサである。図１に示す例では、温度センサ８０がステージ５０の近傍に配置されているが、温度センサ８０の設置場所は特に限定されない。例えば、温度センサ８０により測定した環境温度に代えて、検出器駆動機構６０Ｘ又は６０Ｚ等の駆動部の温度を使用することも可能である。なお、温度センサ８０としては、例えば、測定対象物Ｗ又は検出器１０の温度を測定するための放射温度センサ又は色温度センサを用いてもよい。
　測定対象物Ｗの測定時に、測定対象物Ｗの表面に触針１２が接触すると、揺動部１８（アーム部１６）がＺ方向に変位する。制御部１０２は、スケールヘッド２４によるスケール２２の目盛りの読み取り値（スケールヘッド検出値）の入力を受け付ける。また、制御部１０２は、検出器１０のＸ方向移動量を示すスケール５８の読み取り値（スケール検出値）の入力を受け付ける。そして、制御部１０２は、スケールヘッド検出値とスケール検出値を用いて測定対象物Ｗの表面の形状、粗さ又は輪郭等の演算を行う。また、制御部１０２は、温度センサ８０により検出された温度データＤ８０を取得し、温度補正を行う。
　なお、図２に示す例では、測定制御機能を有する制御装置１００の制御部１０２が温度補正機能を兼ね備えているが、本発明はこれに限定されない。温度補正機能は、制御装置１００から分離した装置に設けられていてもよい。
　［温度補正処理］
　図３は、本発明の一実施形態に係る測定方法（温度補正方法）を示すフローチャートである。本実施形態では、温度センサ８０からの温度の取得に支障が生じた場合に温度入力モードを変更することにより、測定対象物Ｗの測定を安定的に実行可能とする。
　測定対象物Ｗの測定開始の時点では、温度センサ８０は、温度を正常に検出可能であり、かつ、制御部１０２は、温度センサ８０から出力された温度データＤ８０を正常に取得可能となっている。したがって、温度入力モードは、自動入力モードに設定される（ステップＳ１０）。自動入力モードでは、制御部１０２は、所定の時間間隔で、温度センサ８０から温度データＤ８０を取得する。
　制御部１０２は、測定対象物Ｗの測定の実行中に温度センサ８０の異常を検出すると（ステップＳ１２のＹｅｓ）、温度入力モードを手動入力モードに切り替える（ステップＳ１４）。ステップＳ１２では、制御部１０２は、例えば、温度センサ８０自体の故障、制御部１０２と温度センサ８０との間の接続不良等の要因により、温度センサ８０からの温度データＤ８０を所定時間以上又は所定回数以上取得できなかった場合に、温度センサ８０に異常ありと判断する。温度入力モードが手動入力モードに切り替わると、制御部１０２は、温度の入力を受け付けるためのインターフェイス（ＧＵＩ：Graphical User Interface）を表示部１０６に表示させる。
　手動入力モードにおいて、入力部１０４を介して温度の手動入力を受け付けた場合（ステップＳ１６のＹｅｓ）、制御部１０２は、手動入力された温度を使用して測定結果等の温度補正を行う（ステップＳ１８）。ステップＳ１８では、例えば、制御部１０２に接続されていない温度センサ又は測定装置１が設置されている場所に備え付けの温度センサ等による温度の測定結果をユーザが確認して手動入力することで、測定を続行することができる。
　測定対象物Ｗの測定の実行中において、最後に温度が入力されてから所定時間（第２の所定時間）経過した場合（ステップＳ２０のＹｅｓ）、制御部１０２は、ユーザに手動入力を促すための通知を出力する（ステップＳ２２）。この通知は、例えば、最後に温度が入力されてから所定時間が経過した旨の通知、又は最後に温度が入力されてからの経過時間を示す通知を含んでいてもよい。なお、この通知は、表示部１０６に表示されてもよいし、その他のスピーカ等により音声出力してもよい。
　一方、手動入力モードにおいて、温度の手動入力がなかった場合には、制御部１０２は、異常発生直前に取得した直近（最後）の温度を使用して測定結果等の温度補正を行う（ステップＳ２４）。
　測定対象物Ｗの測定の実行中において、温度センサ８０から最後に温度データＤ８０を取得してから所定時間（第１の所定時間）経過した場合（ステップＳ２６のＹｅｓ）、制御部１０２は、ユーザに手動入力を促すための通知を出力する（ステップＳ２８）。この通知は、例えば、最後に温度を取得してから所定時間が経過した旨の通知、又は最後に温度を取得してからの経過時間を示す通知を含んでいてよい。なお、この通知は、表示部１０６に表示されてもよいし、その他のスピーカ等により音声出力してもよい。
　ステップＳ２４又はＳ２８の通知の後、温度の手動入力があった場合には、制御部１０２は、手動入力された温度を使用して測定結果等の温度補正を行う。そして、ステップＳ１６～Ｓ２２を繰り返すようにしてもよい。一方、ステップＳ２４又はＳ２８の通知の後、温度の手動入力がなかった場合には、制御部１０２は、最後に手動入力された温度又は異常発生直前に取得した直近（最後）の温度を使用して測定結果等の温度補正を行ってもよいし、測定対象物Ｗの測定を中断するか否かを選択可能としてもよい。
　本実施形態によれば、温度センサ８０からの温度の取得に支障が生じた場合に、温度入力モードが手動入力モードに自動的に切り替わる。これにより、測定対象物Ｗの測定を中断することなく、安定的に実行することができる。さらに、温度センサ８０からの温度の取得に支障が生じた後、所定時間ごとに通知を行って最新の温度の手動入力をユーザに促すことにより、温度補正の精度の低下を抑制することができる。
　なお、ステップＳ２０及びＳ２６における所定時間は、ユーザが任意に設定可能であってもよく、互いに同じ値であってもよいし、異なる値であってもよい。また、ステップＳ２０及びＳ２６における所定時間は、温度を測定する対象の性質（例えば、測定対象物Ｗ、揺動部１８、スケール２２又は５８等の材質又は熱膨張係数等）の指定に応じて自動的に設定されるようにしてもよい。例えば、測定対象物Ｗの熱膨張係数が低いほど、所定時間を長時間にしてもよい。
　また、本実施形態によれば、温度センサ８０に異常が生じた場合に、ユーザが用意した温度センサ（例えば、制御部１０２に接続不可能な温度センサ、又は制御部１０２の測定制御プログラムに対応していない温度センサ）、又は測定装置１が設置されている場所に備え付けの温度センサ等を用いて測定を続行することができる。すなわち、制御部１０２の測定制御プログラムに対応した温度センサを購入しなくても測定を続行することができる。
　図４は、温度入力モードごとの温度設定のためのインターフェイスの例を示す図である。以下の各インターフェイスＵ１～Ｕ３は表示部１０６に出力され、ユーザは入力部１０４を介して操作入力が可能となっている。
　図４の符号Ｕ１は、自動入力モードのインターフェイスを示している。インターフェイスＵ１には、温度センサ８０が正常に接続されている旨の表示と、最新の測定対象物Ｗの温度（ワーク温度）の表示とを含んでいる。また、インターフェイスＵ１には、温度設定のためのセットボタンと、インターフェイスＵ１のウインドウを非表示にするための閉じるボタンを含んでいる。このうち、セットボタンは、クリック不能であることを示す表示（例えば、色又は輪郭等が変更又はグレーアウト状態）になっている。
　温度入力モードが手動入力モードに切り替わると（ステップＳ１４）、インターフェイスＵ１は、図４のＵ２に示すように変化する。インターフェイスＵ２では、セットボタンがクリック可能であることを示す表示に変更されている。また、インターフェイスＵ２は、温度センサ８０から最後に取得した測定対象物Ｗの温度（ワーク温度）とその取得日時の表示を含んでいる。ワーク温度と取得日時のログ情報は、ストレージ１０８に格納される。
　インターフェイスＵ２においてセットボタンがクリックされると、温度の手動入力のためのインターフェイスＵ３が表示部１０６に表示される。インターフェイスＵ３は、温度の数値の入力欄と、入力欄の数値を増減させるためのスピンボタンとを含むスピンボックスを含んでおり、温度の手動入力を受け付ける（ステップＳ１６）。インターフェイスＵ３において温度が手動入力され、ＯＫボタンがクリックされて温度の手動入力が確定すると、制御部１０２は、手動入力された温度を使用して測定結果等の温度補正を行う（ステップＳ１８）。
　一方、手動入力が行われなかった場合（インターフェイスＵ２においてセットボタンがクリックされなかった場合、又はインターフェイスＵ３のキャンセルボタンがクリックされた場合）には、制御部１０２は、異常発生直前に取得した直近（最後）の温度を使用して測定結果等の温度補正を行う（ステップＳ２４）。
　なお、温度入力モードのインターフェイス及びその操作方法は、図４に示す例に限定されない。
　また、測定装置１は、測定に関わる動作を登録しておき、一連の流れとして実行する機能を設けてもよい。測定装置１又は測定制御プログラムにおいて、例えば、測定、測定部の移動（検出器１０と測定対象物Ｗとの相対移動等）、（測定結果等の）解析といった測定に係る動作を自動的に実行するためのプログラム可能なコマンド群を設ける。そして、上記の動作を測定プログラムの集合として登録可能にする。登録した測定プログラムの集合を実行することにより、ユーザが安定的な測定を実現することができ、かつ短い操作時間で複雑な動作を実行可能になる。
　例えば、測定装置１の動作をソフトウェア（例えば、コンピュータ数値制御（ＣＮＣ：Computerized Numerical Control）ソフトウェア）により自動化している場合には、図５に示すように、ソフトウェアの中に（そのコマンド群の要素として）、温度の取得に関する温度設定コマンド（例えば、温度入力モードの切替のための温度入力モード切り替えコマンド、又は温度の手動入力のための温度入力コマンド等を含む）を組み込んでもよい。温度入力モード切り替えコマンドを実行することにより、温度入力モードを自動入力モードと手動入力モードとの間で切り替えることが可能になる。温度入力コマンドを実行して温度設定入力画面を呼び出し可能とすることで、温度入力の機会を任意に設定可能になる。
　例えば、上記の測定プログラムの集合の中に、温度入力モード切り替えコマンド又は温度入力コマンドを組み込んでおき、一定の条件（例えば、所定の動作の準備、開始又は終了の段階、若しくは温度センサ８０からの入力の途絶等）を充足した場合に、これらのコマンドが自動実行されるようにしてもよい。
　また、測定時に入力した温度及び日時、温度の入力が自動と手動のいずれであったかを示す情報をストレージ１０８に格納しておいてもよい。これにより、測定後の解析画面上にこれらの情報を出力させて確認することができる。
　また、手動入力モード時に温度センサが接続されたことを検出した場合、制御部１０２は、温度入力モードを自動的に自動入力モードに切り替えるようにしてもよい。
　なお、適切な温度入力の頻度は測定の目的や環境に依存して異なる。例えば測定環境の温度勾配や、測定プログラムの実行時間、各測定に要求される測定精度、測定のストローク等の条件に依存している。温度設定コマンドをプログラム可能な要素として備えることで、上記条件に従って任意のタイミングで温度設定を実施することができるため、測定の高精度化と効率化を両立することができる。
　なお、本実施形態では、温度センサ８０からの温度の取得に支障が生じた場合に温度入力モードを手動入力モードに切り替えるようにしたが、本発明はこれに限定されない。自動入力モードと手動入力モードとを任意に切り替え可能としてもよい。温度入力モードを手動入力モードに設定することにより、例えば、測定対象物Ｗの温度及び熱膨張係数を仮想的に変化させたときの測定結果をシミュレート可能としてもよい。また、温度入力モードを手動入力モードに設定することにより、例えば、温度センサ８０以外の任意の温度センサにより検出した温度を用いて温度補正を行うことができる。このように、温度入力モードを任意に切り替えて、シミュレーションを行ったり、異なる温度センサ（例えば、上記ソフトウェアに対応していない温度センサ）を用いた温度補正を行うことができるので、測定精度の安定化を図ることができる。
　１…測定装置、１０…検出器、１２…触針、１４…触針部、１６…アーム部、１８…揺動部、２０…揺動軸、２２…スケール、２４…スケールヘッド、２６…検出器筐体、５０…測定対象物設置部、５２…定盤、５４…コラム、５６…キャリッジ、５８…スケール、６０Ｘ、６０Ｚ…検出器駆動機構、８０…温度センサ、１００…制御装置、１０２…制御部、１０４…入力部、１０６…表示部、１０８…ストレージ

Claims (12)

  1. 　測定対象物の測定を行うための検出器と、
    　前記測定対象物の測定時の温度を測定するための温度センサと、
    　前記温度センサにより検出した温度を自動的に取得する自動入力モードと、前記測定対象物の測定時の温度の手動入力を受け付ける手動入力モードとの間で温度入力モードが切り替え可能であり、前記自動入力モード又は前記手動入力モードにより取得した温度に基づいて、前記測定対象物の測定の温度補正を行う制御部と、
    　を備える測定装置。
  2. 　前記制御部は、前記温度センサからの温度の取得に支障が生じた場合に、前記温度入力モードを前記手動入力モードに切り替え、前記手動入力された温度に基づいて前記温度補正を行う、請求項１に記載の測定装置。
  3. 　前記制御部は、前記温度センサからの温度を所定時間以上取得できなかった場合に、前記温度入力モードを前記手動入力モードに切り替える、請求項２に記載の測定装置。
  4. 　前記制御部は、前記温度入力モードを前記手動入力モードに切り替えたときに、前記手動入力がなかった場合に、前記温度センサから取得した直近の温度に基づいて前記温度補正を行う、請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
  5. 　前記制御部は、前記手動入力がなかった場合に、前記温度センサから前記直近の温度を取得してから第１の所定時間が経過した場合に、前記手動入力を促すための通知を出力する、請求項４に記載の測定装置。
  6. 　前記制御部は、前記温度の手動入力を受け付けてから第２の所定時間が経過した場合に、前記手動入力を促すための通知を出力する、請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
  7. 　前記制御部は、前記温度センサが接続されたことを検出した場合に、前記温度入力モードを前記自動入力モードに切り替える、請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
  8. 　前記制御部は、前記測定対象物の測定に関わる動作を実行するためのプログラム可能なコマンド群であって、前記温度の取得に関する温度設定コマンドを有し、前記温度設定コマンドが実行された場合に、前記自動入力モード又は前記手動入力モードにより取得した温度に基づいて、前記測定対象物の測定の温度補正を行う、請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
  9. 　前記制御部は、前記温度設定コマンドの温度入力モード切り替えコマンドが実行された場合に、前記温度入力モードを切り替える、請求項８に記載の測定装置。
  10. 　温度センサにより検出した測定対象物の測定時の温度を自動的に取得する自動入力モードと、前記測定対象物の測定時の温度の手動入力を受け付ける手動入力モードとの間で温度入力モードを切り替えるステップと、
    　前記自動入力モード又は前記手動入力モードにより取得した温度に基づいて、前記測定対象物の測定の温度補正を行うステップと、
    　を備える測定方法。
  11. 　温度センサにより検出した測定対象物の測定時の温度を自動的に取得する自動入力モードと、前記測定対象物の測定時の温度の手動入力を受け付ける手動入力モードとの間で温度入力モードを切り替える機能と、
    　前記自動入力モード又は前記手動入力モードにより取得した温度に基づいて、前記測定対象物の測定の温度補正を行う機能と、
    　をコンピュータに実現させる測定制御プログラム。
  12. 　非一時的かつコンピュータ読取可能な記録媒体であって、請求項１１に記載のプログラムが記録された記録媒体。
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JP2016090427A (ja) * 2014-11-06 2016-05-23 株式会社ミツトヨ 温度計システムおよび形状測定装置
JP2017166960A (ja) * 2016-03-16 2017-09-21 中国電力株式会社 計測診断装置、及び計測診断方法

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