WO2025239185A1 - 蓄電モジュール製造方法 - Google Patents

Abstract

電解液の注入前の蓄電モジュールである被検査モジュールをチャンバ内に配置する配置工程と、前記配置工程の後に、前記チャンバ内において前記被検査モジュールの検査を行う第１検査工程と、を備え、前記第１検査工程は、前記チャンバ内に検査用ガスを導入するガス導入工程と、前記複数の被検査セルのそれぞれについて、前記検査用ガスのリーク量を前記ディテクタによって検出するリーク量検出工程と、前記ディテクタによって検出された一の前記被検査セルの前記検査用ガスのリーク量が、前記ディテクタによって検出された前記複数の被検査セルの前記検査用ガスのリーク量の平均値と比較して突出した値か否かを判定する判定工程と、を含む、蓄電モジュール製造方法。

Description

蓄電モジュール製造方法

　本開示は、蓄電モジュール製造方法に関する。

　特許文献１には、ヘリウムを含有した密閉型電池の漏洩検査方法が記載されている。この方法では、電池缶の蓋体に設けた電解液注液口を封口することによって密閉型電池を作製し、初期充電を行った後に、密閉型電池を漏洩検出チャンバ内に設置し、ヘリウム漏洩検出器によって、漏洩検出チャンバ内の気体を吸引してヘリウム濃度を測定することによって、電池の漏洩の有無を検出している。

特開２００２－１１７９０１号公報

　上記特許文献１に記載の漏洩検査方法では、１つの密閉型電池をチャンバ内に設置しつつ、チャンバ内のヘリウム濃度を測定することで、当該密閉型電池の漏洩の有無を検出している。電池からチャンバへのヘリウム等の検査用ガスのリーク量は、電池に生じたピンホールからのリーク量と、電池の封止体を構成する金属の格子距離や樹脂の分子間距離等に応じた封止体の隙間を検査用気体が透過することによるリーク量とが含まれる。

　一方で、上記技術分野にあっては、複数の蓄電セルを積層して構成される積層体を封止体により封止して構成される蓄電モジュールにおいて、気密性を確保すべく、当該蓄電モジュールにピンホールが生じているか否かを高精度で検出する要求がある。しかし、このような蓄電モジュールでは、蓄電セルの積層数の増大に応じて封止体の体積が大きくなる結果、検査用ガスのリーク量の全体おいて、封止体の透過によるリーク量が、ピンホールからのリーク量に比べて圧倒的に大きくなる。このため、このような蓄電モジュールに対して特許文献１に記載された方法を適用した場合には、検査用ガスのリーク量の全体において、封止体の透過によるリーク量が支配的となり、ピンホールからの検査用ガスのリーク量を高精度に測定することが困難である。よって、ピンホールを高精度の検出することによる気密性の確保が困難となる。

　そこで、本開示は、気密性を確保可能な蓄電モジュール製造方法を提供することを目的とする。

　本開示に係る蓄電モジュール製造方法は、第１方向に沿って積層された複数の電極を含む電極積層体と、電極積層体を取り囲むように電極積層体に設けられ、第１方向に隣り合う電極の間に形成された複数の内部空間を封止するための封止体と、を備える蓄電モジュールを製造するための蓄電モジュール製造方法であって、電解液の注入前の蓄電モジュールである被検査モジュールをチャンバ内に配置する配置工程と、配置工程の後に、チャンバ内において被検査モジュールの検査を行う第１検査工程と、を備え、被検査モジュールは、第１方向に隣り合う一対の電極と当該一対の電極間に形成される内部空間を封止するための封止体とで構成される被検査セルを複数有し、封止体は、複数の内部空間のそれぞれと封止体の外部とを連通するように、複数の内部空間のそれぞれに対応して設けられた複数の連通孔を有し、配置工程は、連通孔を介して、複数の前検査セルのそれぞれに、ガスのリーク量を検出するディテクタを接続する接続工程を含み、第１検査工程は、チャンバ内に検査用ガスを導入するガス導入工程と、複数の被検査セルのそれぞれについて、検査用ガスのリーク量をディテクタによって検出するリーク量検出工程と、ディテクタによって検出された一の被検査セルの検査用ガスのリーク量が、ディテクタによって検出された複数の被検査セルの検査用ガスのリーク量の平均値と比較して突出した値か否かを判定する判定工程と、を含む。

　この蓄電モジュール製造方法では、第１検査工程において、複数の被検査セルのそれぞれに対して、ガスのリーク量を検出するためのディテクタを接続し、その後に、チャンバ内に検査用ガスを導入する。そして、複数の被検査セルのそれぞれから導出される検査用ガスのリーク量を、ディテクタによって検出する。このような第１検査工程によれば、被検査セルのそれぞれに対して、各ディテクタにより検査用ガスのリーク量が検出される。ディテクタにより検出される検査用ガスのリーク量は、被検査モジュールの外部から封止体を透過した検査用ガスの透過量を含むが、当該透過量は、被検査モジュールの全体ではなく、１つの被検査セルに対応する量である。よって、ディテクタにより検出される検査用ガスのリーク量全体において、封止体の透過量の影響が小さいため、ピンホールの有無を高精度に検出することが可能となる。この結果、ピンホールが有ることにより要求を満たさない被検査セルを判定可能となるため、蓄電モジュールの気密性が確保される。

　特に、第１検査工程では、複数の被検査セルのそれぞれから導出される検査用ガスのリーク量をディテクタによって検出した後に、ディテクタによって検出された一の被検査セルの検査用ガスのリーク量が、ディテクタによって検出された複数の被検査セルの検査用ガスのリーク量の平均値と比較して突出した値か否かを判定する。このように、ディテクタによって検出されるある被検査セルにおける検査用ガスのリーク量と、当該リーク量の平均値との比較に基づいて、当該被検査セルにおけるピンホールの影響の有無を正確に検出することが可能となる。よって、気密性が確実に確保される。

　本開示に係る蓄電モジュール製造方法では、平均値は、複数の被検査セルのうちの第１方向の電極積層体の両端に位置する内部空間のそれぞれを含む最外セルを除いた複数の中間セルの検査用ガスのリーク量の平均の値であり、判定工程では、一の被検査セルの検査用ガスのリーク量が当該平均値から所定範囲であるか否かを判定してもよい。

　本開示に係る蓄電モジュール製造方法では、平均値は、複数の中間セルのうちの検査用ガスのリーク量が相対的に大きい一部の中間セルを除いた当該中間セルの検査用ガスのリーク量の平均の値であってもよい。

　本開示に係る蓄電モジュール製造方法では、判定工程では、複数の被検査セルの検査用ガスのリーク量の標準偏差をσとしたとき、平均値±３σの範囲として所定範囲を設定してもよい。

　本開示に係る蓄電モジュール製造方法は、配置工程の後であって第１検査工程の前に、チャンバ内を真空引きしつつ複数の被検査セルのそれぞれの圧力変化の有無を計測する第２検査工程を備えてもよい。

　本開示に係る蓄電モジュール製造方法は、第２検査工程の後に、被検査セルの圧力変化の有無を計測する第３検査工程を備え、封止体は、内部空間と反対側に臨み、複数の連通孔の開口を有する外側面と、外側面に一体的に設けられ、外側面に交差する第２方向からみて複数の開口のそれぞれを囲う複数の枠を有する枠部と、を有し、被検査セルは、１つの内部空間と、当該内部空間に連通する１つの連通孔と、当該連通孔の開口を囲む１つの枠を含み、第３検査工程では、複数の被検査セルのうちの一部の指定セルの真空引きを行いつつ、指定セルの内部空間に第１方向に隣接する内部空間を含む被検査セルである第１隣接セル、及び、指定セルの枠と隔壁を共有して隣接する枠を含む第２隣接セルの少なくとも一方の圧力変化の有無を計測してもよい。

　本開示に係る蓄電モジュール製造方法では、複数の被検査セルを、指定セルと第１隣接セル及び／又は第２隣接セルとを含む複数のグループに分け、当該グループごとに第３検査工程を実施してもよい。

　本開示に係る蓄電モジュール製造方法は、第２検査工程の後に、複数の被検査セルのうちの一部の指定セルにディテクタを接続した後に、指定セルの内部空間に第１方向に隣接する内部空間を含む第１隣接セル、及び、指定セルの枠と隔壁を共有して隣接する枠を含む第２隣接セルの少なくとも一方に検査用ガスを印加することで、指定セルへの検査用ガスのリークの有無を計測する第４検査工程を備えてもよい。

　本開示に係る蓄電モジュール製造方法では、複数の被検査セルを、指定セルと第１隣接セル及び／又は第２隣接セルとを含む複数のグループに分け、当該グループごとに第４検査工程を実施してもよい。

　本開示によれば、気密性を確保可能な蓄電モジュール製造方法を提供できる。

図１は、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法により製造され得る蓄電モジュールの一例を示す模式的な断面図である。 図２は、図１のＩＩ－ＩＩ線に沿っての模式的な断面図である。 図３は、封止体における連通孔の周辺の構成を示す模式的な断面図である。 図４は、封止体における枠部の設けられた外側面側からの側面図である。 図５の（ａ）は、内部空間と連通孔との位置関係を示す模式的な側面図であり、図５の（ｂ）は、枠部と連通孔との位置関係を示す模式的な側面図である。 図６は、一実施形態に係る蓄電モジュール製造装置を示す模式的な一部断面図である。 図７は、注入工程における連通孔の周辺の状態を示す模式的な断面図である。 図８は、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法の一工程を示すフローチャートである。 図９は、図８に示された工程Ｓ１０６に含まれる各工程を示すフローチャートである。 図９に示された工程Ｓ６０２を示す模式的な側面図である。 図９に示された工程Ｓ６０５を示す模式的な断面図である。 図１２は、被検査セルからのガスのリーク量の平均値及び所定範囲を示すグラフである。

　以下、一実施形態に係る蓄電モジュール製造方法について、図面を参照して説明する。各図の説明において、同一又は相当する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する場合がある。また、各図には、第１方向Ｄ１を示す座標軸、第１方向Ｄ１に交差する第２方向Ｄ２を示す座標軸、並びに、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２に交差する第３方向Ｄ３を示す座標系によって規定される直交座標系を示す場合がある。一例として、第１方向Ｄ１は鉛直方向を示し、第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３は、互いに交差する２つの水平方向である。

　図１は、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法により製造され得る蓄電モジュールの一例を示す模式的な平面図である。図２は、図１のＩＩ－ＩＩ線に沿っての模式的な断面図である。図１，２に示される蓄電モジュール１は、例えば、フォークリフト、ハイブリッド自動車、電気自動車等の各種車両のバッテリに用いられるモジュールである。蓄電モジュール１は、例えばニッケル水素二次電池、リチウムイオン二次電池などの二次電池である。蓄電モジュール１は、電気二重層キャパシタであってもよく、全固体電池であってもよい。ここでは、蓄電モジュール１がリチウムイオン二次電池である場合を例示する。

　蓄電モジュール１は、電極積層体２と、封止体３とを備えている。電極積層体２は、第１方向Ｄ１に沿って積層された複数の電極を含む。第１方向Ｄ１は、電極積層体２における電極の積層方向であり、蓄電モジュール１の厚さ方向に相当する。第２方向Ｄ２及び第３方向Ｄ３は、後述する集電体１５の面内方向である。第２方向Ｄ２は、蓄電モジュール１の奥行方向に相当し、第３方向Ｄ３は、蓄電モジュール１の幅方向に相当する。

　複数の電極は、複数のバイポーラ電極１１と、正極終端電極１２と、負極終端電極１３とを含んで構成されている。積層方向に隣り合う電極の間には、セパレータ１４が配置されている。バイポーラ電極１１は、集電体１５と、正極活物質層１６と、負極活物質層１７とを有している。集電体１５は、例えば矩形のシート状をなしている。正極活物質層１６は、集電体１５の第１面１５ａに設けられている。負極活物質層１７は、集電体１５の第２面１５ｂに設けられている。集電体１５の第１面１５ａは、第１方向Ｄ１の一方を向く面であり、集電体１５の第２面１５ｂは、第１方向Ｄ１の他方を向く面である。

　電極積層体２において、複数のバイポーラ電極１１は、一のバイポーラ電極１１の正極活物質層１６と、一のバイポーラ電極１１に隣り合う他のバイポーラ電極１１の負極活物質層１７とが対向するように積層されている。正極活物質層１６及び負極活物質層１７は、第１方向Ｄ１からみて矩形状をなしている。本実施形態では、負極活物質層１７は、第１方向Ｄ１から見て正極活物質層１６よりも一回り大きくなっている。すなわち、第１方向Ｄ１から見た平面視において、正極活物質層１６の形成領域の全体が負極活物質層１７の形成領域内に位置している。

　正極終端電極１２は、集電体１５と、集電体１５の第１面１５ａに設けられた正極活物質層１６とを有している。正極終端電極１２における集電体１５の第２面１５ｂには、活物質層が設けられていない。正極終端電極１２は、電極積層体２における第１方向Ｄ１の一端部においてバイポーラ電極１１に積層されている。正極終端電極１２の正極活物質層１６と、正極終端電極１２に隣り合うバイポーラ電極１１の負極活物質層１７とは、互いに対向した状態となっている。正極終端電極１２における集電体１５の第２面１５ｂは、電極積層体２の一方の積層端として封止体３から露出している。

　負極終端電極１３は、集電体１５と、集電体１５の第２面１５ｂに設けられた負極活物質層１７とを有している。負極終端電極１３における集電体１５の第１面１５ａには、活物質層が設けられていない。負極終端電極１３は、電極積層体２における第１方向Ｄ１の他端部においてバイポーラ電極１１に積層されている。負極終端電極１３の負極活物質層１７と、負極終端電極１３に隣り合うバイポーラ電極１１の正極活物質層１６とは、互いに対向した状態となっている。負極終端電極１３における集電体１５の第１面１５ａは、電極積層体２の他方の積層端として封止体３から露出している。

　正極終端電極１２における集電体１５の第１面１５ａのうち封止体３から露出した露出部分Ｒ１、及び負極終端電極１３における集電体１５の第２面１５ｂのうち封止体３から露出した露出部分Ｒ２には、導電部材１８がそれぞれ配置されている。導電部材１８は、電極積層体２に電気的に接続され、蓄電モジュール１から電流を取り出すための端子として機能する。導電部材１８は、電極積層体２に対して所定の拘束荷重を付加する拘束部材としても機能する。導電部材１８には、冷却流路が形成されていてもよい。冷却流路に冷却媒体を流通させることによって、電極積層体２を効率的に冷却できる。

　セパレータ１４は、隣り合うバイポーラ電極１１の間、正極終端電極１２とバイポーラ電極１１の間、及び負極終端電極１３とバイポーラ電極１１との間にそれぞれ配置されている。セパレータ１４は、各電極間において、正極活物質層１６と負極活物質層１７との間に配置されている。セパレータ１４は、正極活物質層１６と負極活物質層１７とを隔離することで、隣り合う電極の接触による短絡を防止しつつ、リチウムイオン等の電荷担体を通過させる役割を有している。

　セパレータ１４には、電解質が含浸されていてもよい。セパレータ１４に含浸される電解質としては、例えば非水溶媒と非水溶媒に溶解された電解質塩とを含む液体電解質（電解液）が挙げられる。電解液に含まれる電解質塩としては、例えばＬｉＣｌＯ_４、ＬｉＡｓＦ_６、ＬｉＰＦ_６、ＬｉＢＦ_４、ＬｉＣＦ_３ＳＯ_３、ＬｉＮ（ＦＳＯ_２）_２、ＬｉＮ（ＣＦ_３ＳＯ_２）_２などのリチウム塩が挙げられる。非水溶媒としては、例えば環状カーボネート類、環状エステル類、鎖状カーボネート類、鎖状エステル類、エーテル類などの溶媒が用いられる。これらの溶媒の二種以上を組み合せて用いてもよい。

　集電体１５は、リチウムイオン二次電池の放電又は充電の間、正極活物質層１６及び負極活物質層１７に継続して電流を供給するための化学的に不活性な電気伝導体である。集電体１５の材料としては、例えば金属材料、導電性樹脂材料、導電性無機材料などが挙げられる。導電性樹脂材料としては、例えば導電性高分子材料、非導電性高分子材料に必要に応じて導電性フィラーが添加された樹脂などが挙げられる。集電体１５は、複数の層を備えていてもよい。この場合、集電体１５の各層には、上記の金属材料、導電性樹脂材料などが含まれていてもよい。

　集電体１５の表面には、被覆層が形成されていてもよい。当該被覆層は、例えばメッキ処理、スプレーコートなどの方法によって形成される。集電体１５は、例えば板状、箔状（例えば金属箔）、フィルム状、メッシュ状などの種々の形状をなしている。金属箔としては、例えばアルミニウム箔、銅箔、ニッケル箔、チタン箔、ステンレス鋼箔などが挙げられる。集電体１５は、上記の金属の合金箔、或いは複数の金属箔を一体化させた箔であってもよい。集電体１５が箔状をなす場合、集電体１５の厚さは、例えば１μｍ～１００μｍ程度であってもよい。

　正極活物質層１６は、リチウムイオンなどの電荷担体を吸蔵及び放出し得る正極活物質を含む層である。正極活物質としては、例えば層状岩塩構造を有するリチウム複合金属酸化物、スピネル構造を有する金属酸化物、ポリアニオン系化合物などが挙げられる。正極活物質層１６は、複数の正極活物質を含んでいてもよい。本実施形態では、正極活物質層１６は、複合酸化物であるオリビン型リン酸鉄リチウム（ＬｉＦｅＰＯ_４）を含んでいる。

　負極活物質層１７は、リチウムイオンなどの電荷担体を吸蔵及び放出し得る負極活物質を含む層である。負極活物質は、単体、合金、化合物のいずれであってもよい。負極活物質としては、例えばＬｉ、炭素、金属化合物などが挙げられる。負極活物質は、リチウムと合金化可能な元素、或いはその化合物などであってもよい。炭素としては、例えば天然黒鉛、人造黒鉛、ハードカーボン（難黒鉛化性炭素）、ソフトカーボン（易黒鉛化性炭素）などが挙げられる。人造黒鉛としては、例えば高配向性グラファイト、メソカーボンマイクロビーズなどが挙げられる。リチウムと合金化可能な元素としては、シリコン（ケイ素）、スズなどが挙げられる。本実施形態では、負極活物質層１７は、炭素系材料である黒鉛を含んでいる。

　正極活物質層１６及び負極活物質層１７のそれぞれには、必要に応じて、電気伝導性を高めるための導電助剤、結着剤、電解質（ポリマーマトリクス、イオン伝導性ポリマー、電解液など）、イオン伝導性を高めるための電解質支持塩（リチウム塩）などが更に含まれ得る。導電助剤は、各電極（バイポーラ電極１１、正極終端電極１２、負極終端電極１３）の導電性を高めるために添加される。導電助剤としては、例えばアセチレンブラック、カーボンブラック、グラファイトなどが用いられる。

　結着剤としては、例えばポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、フッ素ゴム等の含フッ素樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレン等の熱可塑性樹脂、ポリイミド、ポリアミドイミド等のイミド系樹脂、アルコキシシリル基含有樹脂、アクリル酸又はメタクリル酸等のアクリル系樹脂、スチレン－ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、カルボキシメチルセルロース、アルギン酸ナトリウム、アルギン酸アンモニウム等のアルギン酸塩、水溶性セルロースエステル架橋体、デンプン－アクリル酸グラフト重合体などが挙げられる。これらの結着剤は、単独で又は複数で用いられ得る。溶媒には、例えば水、Ｎ－メチル－２－ピロリドン（ＮＭＰ）などが用いられる。

　封止体３は、電極積層体２を取り囲むように、電極積層体２の周縁部に枠状に形成されている。封止体３は、集電体１５のそれぞれの周縁部１５ｃにおいて、集電体１５の第１面１５ａ及び第２面１５ｂのそれぞれに接合されている。封止体３は、第１方向Ｄ１に隣り合う集電体１５の間（電極の間）に内部空間Ｓをそれぞれ形成すると共に、これらの内部空間Ｓのそれぞれを封止する。内部空間Ｓのそれぞれには、上述した電界質（電解液）が収容されている。封止体３は、第１方向Ｄ１に隣り合う集電体１５と共に電解液を収容する内部空間Ｓを画成し、当該内部空間Ｓからの電解液の外部への漏洩を防止する。

　封止体３は、電極積層体２の外部から内部空間Ｓへの水分などの浸入を抑制する。本実施形態では、セパレータ１４の周縁部は、封止体３に埋没した状態で封止体３に接合されている。封止体３は、例えば絶縁性を有する樹脂材料によって形成されている。樹脂材料としては、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、酸変性ポリプロピレン、酸変性ポリエチレン、アクリロニトリルスチレン樹脂などが挙げられる。

　封止体３の本体部２０は、複数のシール材２１と、複数のスペーサ２２と、溶着端部２３とを含んで構成されている。シール材２１は、集電体１５のそれぞれに対して設けられている。シール材２１は、矩形枠状をなし、集電体１５の周縁部１５ｃに設けられている。シール材２１は、集電体１５の周縁部１５ｃにおいて、第１面１５ａ、第２面１５ｂ、及び端面を被覆している。シール材２１は集電体１５の第１面１５ａ及び第２面１５ｂの少なくとも一方に溶着されている。

　スペーサ２２は、第１方向Ｄ１に隣り合うシール材２１の間に配置されている。スペーサ２２は、隣り合うシール材２１の間のスペース、すなわち、隣り合う集電体１５の間のスペースを保持している。スペーサ２２は、矩形枠状をなし、集電体１５の周縁部１５ｃ上に配置されている。セパレータ１４の周縁部は、シール材２１とスペーサ２２との間に挟まれている。セパレータ１４の周縁部は、シール材２１及びスペーサ２２の少なくとも一方に溶着されている。

　本実施形態では、各スペーサ２２における内部空間Ｓ側の縁（すなわち内縁２２ａ）は、各シール材２１における内部空間Ｓ側の縁（すなわち内縁２１ａ）よりも外側（内部空間Ｓと反対側）に位置している。第１方向Ｄ１から見た場合、内縁２１ａと内縁２２ａとの間の領域では、隣り合うシール材２１の間で間隔が空いている。一方、内縁２２ａよりも外側の領域では、隣り合うシール材２１の間にスペーサ２２が介在することで、シール材２１及びスペーサ２２が互いに重なり合っている。

　なお、スペーサ２２の内縁２２ａは、シール材２１の内縁２１ａよりも内部空間Ｓ側（すなわち内側）に位置していてもよい。この場合、スペーサ２２の内縁２２ａは、負極活物質層１７の外縁よりも内側に位置していてもよい。すなわち、スペーサ２２は、第１方向Ｄ１からみて負極活物質層１７に重複する重複部を含んでいてもよい。このとき、スペーサ２２は、当該重複部において、集電体１５（より具体的には、集電体１５における正極活物質層１６が設けられた第１面１５ａ）に接触していなくてもよい。

　溶着端部２３は、第１方向Ｄ１から見て、電極積層体２を取り囲むように矩形枠状をなしている。溶着端部２３は、各シール材２１における内部空間Ｓと反対側の縁部と、各スペーサ２２における内部空間Ｓと反対側の縁部とが溶着によって一体化されることによって形成されている。本実施形態では、溶着端部２３は、各シール材２１において集電体１５の外周縁よりも外側に位置する部分と、各スペーサ２２において集電体１５の外周縁よりも外側に位置する部分とが互いに溶着されることによって形成されている。封止体３における後述する連通孔３１が設けられない領域において、溶着端部２３の内部空間Ｓと反対側に位置する外側面２３ｓは、第１方向Ｄ１に沿って延び、本体部２０の側面、すなわち、封止体３の側面を構成している。

　封止体３は、後述する連通孔３１が設けられた領域において、第１樹脂部２４と一対の第２樹脂部２５と枠部２６とを有している。第１樹脂部２４は、溶着端部２３の外側面２３ｓに沿って延在しており、外側面２３ｓに溶着されている。第１樹脂部２４の外側面２４ｓ（外側面２３ｓと反対側に臨む面）は、後述する連通孔が設けられた領域において、封止体３の外側面を構成している。一対の第２樹脂部２５は、第１樹脂部２４の第１方向Ｄ１の両端のそれぞれから内側（第１方向Ｄ１からみて内部空間Ｓ側）に向かって、溶着端部２３からシール材２１にわたって延在している。一対の第２樹脂部２５のそれぞれは、正極終端電極１２及び負極終端電極１３の集電体１５に設けられたシール材２１及び溶着端部２３における第１方向Ｄ１の外表面に溶着されている。

　枠部２６は、第１樹脂部２４の外側面２４ｓに設けられている。枠部２６は、正極終端電極１２側の第２樹脂部２５から負極終端電極１３側の第２樹脂部２５にわたって延在している。ここでは、第１方向Ｄ１における枠部２６の外縁は、第１方向Ｄ１における第２樹脂部２５の両端と一致している。枠部２６は、第１樹脂部２４と別体に構成されて第１樹脂部２４に接合されていてもよく、第１樹脂部２４と一体に形成されていてもよい。本実施形態では、一例として、第１樹脂部２４、第２樹脂部２５、及び枠部２６は、本体部２０に対する射出成型により一体的に形成されている。枠部２６は、封止フィルム３０によって塞がれた状態となっている。封止フィルム３０は、例えばラミネートフィルムである。

　以下、封止体３の構成について更に詳細に説明する。

　図３は、封止体における連通孔の周辺の構成を示す模式的な断面図である。図４は、封止体における枠部の設けられた外側面（外側面２４ｓ）側からの側面図である。図５の（ａ）は、内部空間と連通孔との位置関係を示す模式的な側面図であり、図５の（ｂ）は、枠部と連通孔との位置関係を示す模式的な側面図である。図５の（ｂ）は、図４の一部を拡大して示す拡大図に相当する。説明の便宜上、図５の（ａ）では、枠部２６及び封止フィルム３０の図示を省略しており、図４及び図５の（ｂ）では、封止フィルム３０の図示を省略している。

　図３～図５に示されるように、封止体３の本体部２０及び第１樹脂部２４には、複数の内部空間Ｓのそれぞれに連通する複数の連通孔３１が形成されている。ここでは、複数の連通孔３１は、枠状の封止体３のうち、第２方向Ｄ２の一方側に位置する壁部３Ａ（図１参照）に設けられている。換言すれば、上述した封止体３における連通孔３１が設けられた領域は、壁部３Ａに含まれる。連通孔３１は、例えばスペーサ２２の一部を切り欠くと共に、スペーサ２２の切欠きに対応する位置において第１樹脂部２４の一部を欠落させることで、スペーサ２２（及び溶着端部２３）と第１樹脂部２４とを貫通して形成されている。連通孔３１の一方の開口３１Ａは、第１樹脂部２４の外側面２４ｓに設けられ、他方の開口３１Ｂは、本体部２０の内部空間Ｓに臨む面に設けられている。

　蓄電モジュール１では、上述したように、隣り合う一対の集電体１５（電極）によって、１つの内部空間Ｓが形成されている。したがって、複数の内部空間Ｓは、第１方向Ｄ１に沿って配列されている。換言すれば、第１方向Ｄ１に沿って隣り合う内部空間Ｓは、集電体１５を隔壁として共有している。ここでは、１つの内部空間Ｓに対して当該内部空間Ｓに連通するように１つの連通孔３１が設けられている。また、複数の枠部２６のそれぞれは、第２方向Ｄ２からみて、複数の連通孔３１のそれぞれの開口３１Ａを囲むように第１樹脂部２４の外側面２４ｓに突設されている。

　複数の枠部２６のそれぞれは、第２方向Ｄ２からみて、複数の開口３１Ａのうちの第１方向Ｄ１からみて重複する所定数（ここでは３つ）の開口３１Ａのそれぞれを囲む所定数（ここでは３つ）の枠２６ｆが、隔壁２６ｗを共有しつつ一体化されて構成されている。そして、複数の内部空間Ｓのそれぞれに対して、１つの内部空間Ｓと、当該内部空間Ｓに連通する１つの連通孔３１と、当該連通孔３１の開口３１Ａを囲む１つの枠２６ｆとによって、電解液やガス等の流体Ｆが流通する（すなわち、気密性の検査対象となる）被検査セルＣが形成されている。一例として、図示の例では、蓄電モジュール１において３０個の被検査セルＣが構成されている。

　一例として、図５に示されるように、複数の枠部２６は、第１方向Ｄ１の長さが互いに異なる少なくとも２つの囲み領域３３を形成するように構成され、第１方向Ｄ１について非対称となっていてもよい。囲み領域３３は、それぞれ、１つの枠２６ｆによって囲まれる領域である。この例では、枠部２６のそれぞれが３つの囲み領域３３（すなわち枠２６ｆ）を形成している。３つの囲み領域３３のうちの１つ（囲み領域３３Ａ）では、第１方向Ｄ１の長さが他の２つの第１方向Ｄ１の長さよりも大きくなっている。なお、図２では、枠部２６の第１方向Ｄ１についての大きさ（枠２６ｆの大きさ）と内部空間Ｓの大きさとの関係についても、実際とは異なり、模式的に示されている。例えば、図２の記載とは異なり、第１方向Ｄ１についての１つの枠２６ｆの大きさは、複数の内部空間Ｓを含む大きさとなり得る。

　続いて、上述した蓄電モジュール１の製造に用いられる蓄電モジュール製造方法の概略について説明する。

　この製造方法では、連通孔３１の開口３１Ａの周囲にノズル４３（図６及び図７参照）を押し当てて、当該ノズル４３を用いて連通孔３１を介して複数の内部空間Ｓのそれぞれに流体Ｆを注入したり、内部空間Ｓからの流体Ｆの導入を受けたりする。ノズル４３を介して内部空間Ｓに流体Ｆを注入したり、内部空間Ｓから流体Ｆを導出したりする場合の一例としては、気密検査を目的として、内部空間Ｓにヘリウム等の検査用ガスを導入する場合や内部空間Ｓから検査用ガスを導出する場合等が挙げられる。検査用ガスとしては、ヘリウムに加えて、例えばアルゴン等の希ガスや、窒素等の不活性ガス、或いは、水素やアンモニアやハロゲンガスを用いてもよい。

　図６は、一実施形態に係る蓄電モジュール製造装置を示す模式的な一部断面図である。図６に示されるように、ここでは、蓄電モジュール製造装置４１を用いる。蓄電モジュール製造装置４１は、減圧チャンバ４２と、ノズル４３と、第１拘束部材４４と、第２拘束部材４５とを備えている。各工程でのワークである蓄電モジュール１では、図２に示した構成要素のうち、導電部材１８と封止フィルム３０とが設けられておらず、内部空間Ｓに電解液が収容されていない状態となっている（以下、この状態の蓄電モジュール１を、蓄電モジュール１の元となる、すなわち、電解液の注入前の蓄電モジュール１である「被検査モジュール１Ａ」と称する場合がある）。導電部材１８と封止フィルム３０は、電解液の注入の後にワークに取り付けられ、図１及び図２に示した蓄電モジュール１が得られる。

　減圧チャンバ４２は、ステージ４６と、チャンバ室４７とを有している。ステージ４６は、蓄電モジュール１が載置される載置面４６ａを有している。載置面４６ａには、例えば平板状のパレット４８が載置され、当該パレット４８上に蓄電モジュール１が載置される（すなわち、パレット４８を介して蓄電モジュール１が載置される）。チャンバ室４７は、ステージ４６上に立設された４つの側壁部４９と、ステージ４６及び側壁部４９によって構成される空間を塞ぐ屋根部５０とによって箱状に形成されている。

　チャンバ室４７において、４つの側壁部４９のうちの１つが開閉自在に構成されている。この側壁部４９を開放することで、パレット４８に載置された蓄電モジュール１をチャンバ室４７に対して出し入れできる。４つの側壁部４９のうち、ノズル４３が設けられた側壁部４９と交差する一対の側壁部４９，４９が開閉自在に構成されていてもよい。この場合、パレット４８に載置された蓄電モジュール１を一対の側壁部４９，４９の一方側からチャンバ室４７内に導入し、各工程実施後に一対の側壁部４９，４９の他方側から取り出すことができる。したがって、複数の蓄電モジュール１を一方向に搬送しながら各工程を実施することが可能となり、効率化が図られる。

　ノズル４３は、チャンバ室４７における一の側壁部４９において、載置面４６ａに対して進退自在に設けられている。ノズル４３は、図７に示されるように、流体Ｆを導出する、或いは流体Ｆの導入を受けるノズルヘッド（アタッチメント）５１を有している。ノズルヘッド５１は、ヘッド本体５２を有している。ヘッド本体５２には、パッキン５３が設けられている。ヘッド本体５２及びパッキン５３は、チャンバ室４７内に配置されている。ヘッド本体５２には、流体Ｆを流通させて導出する、或いは、流体Ｆの導入を受ける出入部５４が設けられている。パッキン５３は、ヘッド本体５２の先端面である第１側面５２ａに設けられている。パッキン５３には、出入部５４と連通する流路５５が設けられている。

　ノズル４３から内部空間Ｓに流体Ｆを注入する際、或いは、内部空間Ｓからの流体Ｆの導入をノズル４３が受ける場合、ノズル４３が載置面４６ａ側に進出し、ノズルヘッド５１のパッキン５３が枠部２６に押し当てられることで、枠部２６の囲み領域３３が外部に対して封止される。この状態でノズルヘッド５１の出入部５４から流体Ｆが放出されることで連通孔３１を介して蓄電モジュール１における各内部空間Ｓに流体Ｆが注入される。或いは、この状態において、内部空間Ｓから導出された流体Ｆがノズルヘッド５１の出入部５４に導入される。

　流体Ｆの注入にあたっては、枠部２６にノズルヘッド５１を押し当てた後に、蓄電モジュール１が載置された状態でチャンバ室４７内の真空引きが行われ、蓄電モジュール１における各内部空間Ｓが減圧される。流体Ｆの注入を行う場合、減圧チャンバ４２を用いて蓄電モジュール１の内部空間Ｓを減圧することで、連通孔３１を介した電解液の注入を効率良く実施できる。

　大気圧下で内部空間Ｓを減圧すると、内部空間Ｓが大気圧で圧縮され、内部空間Ｓを構成する集電体１５によって内部空間Ｓの入口（連通孔３１と繋がる部分）が塞がれることで、流体Ｆの注入効率が向上しないことが考えられる。したがって、蓄電モジュール１を減圧チャンバ４２内に載置し、蓄電モジュール１の外部を減圧することで、内部空間Ｓの内外の気圧差が解消され、流体Ｆの注入効率を十分に向上できる。

　検査用ガスを注入する場合も同様であり、減圧チャンバ４２を用いて蓄電モジュール１の内部空間Ｓを減圧することで、連通孔３１を介した検査用ガスの注入を効率良く実施できる。また、蓄電モジュール１を減圧チャンバ４２内に載置することで、大気中に含まれる検査用ガスの影響が抑制され、気密検査の精度を向上できる。

　第１拘束部材４４及び第２拘束部材４５は、流体Ｆを注入する際の負荷からの電極積層体２及び封止体３の保護を目的として、蓄電モジュール１を定圧又は定寸で拘束する部材である。流体Ｆを注入する際の負荷としては、例えばノズル４３を連通孔３１の開口３１Ａの周囲に押し当てる際に封止体３の本体部２０にかかる押圧力、流体Ｆの注入による内部空間Ｓの膨張力、減圧チャンバ４２内に載置した際の内部空間Ｓの内外の気圧差による内部空間Ｓの膨張力などが挙げられる。

　封止体３においてノズル４３が押し当てられる部分、及び内部空間Ｓが位置する電極積層体２のそれぞれには、いずれも適切な拘束圧を付与することが望ましい。しかしながら、蓄電モジュール１では、複数の電極が積層された電極積層体２と、電極積層体２の電極間に形成された内部空間Ｓを封止する封止体３との間で厚さ方向（第１方向Ｄ１／電極の積層方向）の寸法公差が異なる場合がある。電極積層体２と封止体３とで製造時の積層方向の寸法公差が異なることにより、蓄電モジュール１（ワーク）ごとに電極積層体２と封止体３とで積層方向の寸法が異なる場合がある。

　例えば複数の電極が積層された電極積層体２の積層方向の寸法公差は、封止体３の積層方向の寸法公差よりも大きくなることが考えられる。あるワークでは、電極積層体２の積層方向の寸法が封止体３の積層方向の寸法より小さくなる場合がある。この場合、電極積層体２における積層方向の端面（ここでは、正極終端電極１２における正極活物質層１６が設けられていない面、すなわち集電体１５の第１面１５ａ、及び、負極終端電極１３における負極活物質層１７が設けられていない面、すなわち集電体１５の第２面１５ｂ）が、封止体３における積層方向の端面（ここでは、正極終端電極１２及び負極終端電極１３の集電体１５に設けられたシール材２１における第１方向Ｄ１の外表面）に対して窪むこととなる。

　また、別のワークでは、電極積層体２の積層方向の寸法が封止体３の積層方向の寸法より大きくなる場合がある。この場合では、電極積層体２における積層方向の端面（ここでは、正極終端電極１２における正極活物質層１６が設けられていない面、すなわち集電体１５の第１面１５ａ、及び、負極終端電極１３における負極活物質層１７が設けられていない面、すなわち集電体１５の第２面１５ｂ）が、封止体３における積層方向の端面（ここでは、正極終端電極１２及び負極終端電極１３の集電体１５に設けられたシール材２１における第１方向Ｄ１の外表面）に対して盛り上がることとなる。

　これらのようなワークの電極積層体２及び封止体３を単体の拘束部材で一様な拘束力で拘束する場合、封止体３においてノズル４３が押し当てられる部分、及び内部空間Ｓが位置する電極積層体２のいずれかに対する拘束圧が不足してしまうことが考えられる。これに対し、蓄電モジュール製造装置４１では、互いに独立して設けられた第１拘束部材４４及び第２拘束部材４５を有することで、電極積層体２の積層方向の寸法及び封止体３の積層方向の寸法が蓄電モジュール１毎にばらつく場合であっても、封止体３においてノズル４３が押し当てられる部分、及び内部空間Ｓが位置する電極積層体２の双方に適切な拘束圧を付加することを可能としている。

　なお、第１拘束部材４４と第２拘束部材４５とを分割することで、上述した流体Ｆを注入する際の負荷を蓄電モジュール１にかけないように拘束できるが、当該負荷が蓄電モジュール１にかからないようにできるのであれば、第１拘束部材４４と第２拘束部材４５とが一体化されていてもよい。また、第１拘束部材４４及び第２拘束部材４５は、それぞれ、さらに分割されていてもよい。

　第１拘束部材４４は、図６に示されるように、第１方向Ｄ１に伸縮自在なシリンダ６１Ａ，６１Ｂと、シリンダ６１Ａ，６１Ｂの先端に取り付けられた拘束板６２Ａ，６２Ｂと、を有している。本実施形態では、第１拘束部材４４として、一対の第１拘束部材４４Ａ，４４Ｂが採用されている。第１拘束部材４４Ａは、シリンダ６１Ａと拘束板６２Ａとを含み、第１拘束部材４４Ｂは、シリンダ６１Ｂと拘束板６２Ｂとを含む。第１拘束部材４４Ａは、減圧チャンバ４２のステージ４６において、第１方向Ｄ１に進退自在に設けられている。第１拘束部材４４Ｂは、チャンバ室４７の屋根部５０において、第１拘束部材４４Ａと対向するように、第１方向Ｄ１に進退自在に設けられている。

　拘束板６２Ａと拘束板６２Ｂとは、いずれもチャンバ室４７内に配置されている。拘束板６２Ａと拘束板６２Ｂとは、例えば互いに同じ平面形状を有している。第１拘束部材４４Ａのシリンダ６１Ａ及び第１拘束部材４４Ｂのシリンダ６１Ｂの協働により、拘束板６２Ａと拘束板６２Ｂとによってワークである蓄電モジュール１が挟み込まれることで、蓄電モジュール１の所定の領域に拘束圧が付加される。

　第１拘束部材４４は、封止体３のうち複数の連通孔３１が設けられた第１領域を第１拘束圧Ｐ１で拘束する。本実施形態では、第１拘束部材４４による第１拘束圧Ｐ１は、第１領域に対して積層方向（第１方向Ｄ１）に付加される。第１領域は、シール材２１及びスペーサ２２が積層方向に重なる領域である。本実施形態では、蓄電モジュール１を積層方向から見た場合に、第１領域Ｆ１は、封止体３のうち複数の連通孔３１が設けられた壁部３Ａに対応する矩形（ここでは長方形）の領域となっている。

　第２拘束部材４５は、第１方向Ｄ１に伸縮自在な複数のシリンダ６３と、複数のシリンダ６３の先端に取り付けられた拘束板６４とを有している。第２拘束部材４５は、チャンバ室４７の屋根部５０において、ステージ４６の載置面４６ａと対向するように、第１方向Ｄ１に進退自在に設けられている。図示の例のように、拘束板６４と蓄電モジュール１との間に、別の拘束板６５をさらに設けてもよい。拘束板６５は、例えば取り替え可能な消耗品として、ＳＵＳ板により構成され得る。拘束板６４は、水平方向に拘束板６２Ｂと並んでチャンバ室４７内に配置されている。シリンダ６３の駆動により、拘束板６４，６５とステージ４６及びパレット４８とによってワークである蓄電モジュール１が挟み込まれることで、蓄電モジュール１の所定の領域に拘束圧が付加される。

　引き続いて、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法について詳細に説明する。

　図８は、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法の一工程を示すフローチャートである。この製造方法では、まず、図６に示されるように、被検査モジュール１Ａを移動させて減圧チャンバ４２（チャンバ）内に配置する工程（工程Ｓ１０１、配置工程）と、被検査モジュール１Ａに対してノズル４３を取り付ける工程（工程Ｓ１０２）と、をこの順で実施する。

　続いて、セル－外部間真空検査（セル外真空検査）を実施する（工程Ｓ１０３、第２検査工程）。工程Ｓ１０３では、減圧チャンバ４２（チャンバ室４７）内の真空引きを開始することで、減圧チャンバ４２内が減圧される。一方で、工程Ｓ１０３では、被検査セルＣのそれぞれに設置されたノズル４３の圧力計を用いて、被検査セルＣのそれぞれが封止された状態において被検査セルＣのそれぞれの圧力変化を計測する。

　工程Ｓ１０３の検査の結果、減圧チャンバ４２内の気圧が所定値（セル外検査真空閾値）以下であって、被検査セルＣのそれぞれの圧力変化が別の所定値以下である場合、セル外真空検査のＯＫ判定とされる。一例として、工程Ｓ１０３では、減圧チャンバ４２内の気圧が５００Ｐａ以下である状態において、被検査セルＣのそれぞれの圧力変化が１０ｋＰａ以上である場合、ＯＫ判定とされる。

　続いて、工程Ｓ１０３の計測の結果、セル外真空検査がＯＫ判定であった場合、個別の被検査セルＣの真空検査（セル内真空検査）を行う（工程Ｓ１０４、第３検査工程）。工程Ｓ１０４について、より具体的に説明する。

　まず、上述したように、複数の内部空間Ｓは、第１方向Ｄ１に沿って配列されている。これにより、複数の被検査セルＣの間では、少なくとも２つの隣接の態様が生じる。すなわち、第１の態様は、２つの被検査セルＣの間で、互いの内部空間Ｓが、集電体１５を隔壁として共有しつつ第１方向Ｄ１に隣り合う態様である。すなわち、一の被検査セルＣを指定セルとしたとき、当該指定セルに含まれる内部空間Ｓに集電体１５を介して第１方向Ｄ１に隣り合う内部空間Ｓを含む被検査セルＣである第１隣接セルが生じる。

　一方、第２の態様は、２つの被検査セルＣの間で、互いの連通孔３１の開口３１Ａを囲う枠２６ｆが、隔壁２６ｗを共有しつつ第１方向Ｄ１に隣り合う態様である。すなわち、一の被検査セルＣを指定セルとしたとき、当該指定セルに含まれる枠２６ｆと隔壁２６ｗを共有して第１方向Ｄ１に隣り合う枠２６ｆを含む被検査セルＣである第２隣接セルが生じる。

　指定セルと第１隣接セルとの間（すなわち第１の態様）では、集電体１５を介して内部空間Ｓが隣接していることから、当該内部空間Ｓを隔てる集電体１５等（例えば、集電体１５自体やシール材２１と集電体１５との溶着領域、或いは、シール材２１と一体化した溶着端部２３）における欠陥の有無に応じた気密性の検査を行うことが望ましい。

　一方、指定セルと第２隣接セルとの間（すなわち第２の態様）では、隔壁２６ｗを介して枠２６ｆが隣接していることから、当該隔壁２６ｗ等（例えば、隔壁２６ｗ自体や、隔壁２６ｗと一体化されている第１樹脂部２４、第１樹脂部２４が一体化されている第２樹脂部２５、さらには、第１樹脂部２４と溶着端部２３との間）における欠陥の有無に応じた気密性の検査を行うことが望ましい。そこで、工程Ｓ１０４では、指定セルと第１隣接セルとの間の気密性、及び、指定セルと第２隣接セルとの間の気密性との両方を同時に検査する。

　そのために、工程Ｓ１０４では、複数の被検査セルＣのうちの指定セルを真空引きすると共に、指定セルの内部空間Ｓに集電体１５を共有しつつ第１方向Ｄ１に隣接する内部空間Ｓを含む第１隣接セルと、複数の被検査セルＣのうちの指定セルの枠２６ｆに隔壁２６ｗを共有しつつ第１方向Ｄ１に隣接する枠２６ｆを含む第２隣接セルと、のそれぞれの圧力変化の有無を計測する。これにより、集電体１５を介して互いに内部空間Ｓが隣接する指定セルと第１隣接セルとの間の気密性の検査（セル間検査）が可能であり、且つ、隔壁２６ｗを介して互いに枠２６ｆが隣接する指定セルと第２隣接セルとの間の気密性の検査（枠間検査）が同時に可能である。このように、工程Ｓ１０４では、指定セルと第１隣接セルとの間の気密検査である第１気密検査と、指定セルと第２隣接セルとの間の気密検査である第２気密検査と、を同時に行う。

　なお、以上の工程Ｓ１０４は、全ての被検査セルＣに対して一括して行われてもよいし、全ての被検査セルＣを、指定セル、第１隣接セル、及び第２隣接セルを含む複数のグループに分け、当該グループごとに実施されてもよい。また、工程Ｓ１０４では、第１隣接セル及び第２隣接セルの少なくとも一方の圧力変化の有無を計測してもよい。以上の工程Ｓ１０４の検査の結果、真空引きしていない被検査セルＣの圧力変化が所定値（例えば１０ｋＰａ）以下である場合、ＯＫ判定とされる。

　続いて、減圧チャンバ４２内の真空引きが継続され、気圧が一定程度まで減圧された状態で、個別の被検査セルＣのガス検査（セル内ガス検査）を行う（工程Ｓ１０５、第４検査工程）。工程Ｓ１０５について、より具体的に説明する。工程Ｓ１０５のセル内ガス検査は、工程Ｓ１０４でＯＫ判定とされた（ＮＧ判定がされた被検査セルを含まない）被検査モジュール１Ａに対して行われる。工程Ｓ１０５では、検査用ガスを用いる。このため、工程Ｓ１０５では、工程Ｓ１０４よりも微小な欠陥を検出することが可能となる。工程Ｓ１０５では、工程Ｓ１０４と同様に、指定セルと第１隣接セルとの間の気密検査である第１気密検査と、指定セルと第２隣接セルとの間の気密検査である第２気密検査と、を同時に行う。

　そのために、工程Ｓ１０５では、複数の被検査セルＣのうちの指定セルにガスの流量を検出するためのディテクタを接続する共に、第１隣接セルと第２隣接セルとに検査用ガス（例えばヘリウム）を印加する。これにより、指定セルへの検査用ガスのリークの有無を計測する。なお、工程Ｓ１０５では、第１隣接セル及び第２隣接セルに検査用ガスを印加する前に、第１隣接セル及び第２隣接セルの減圧を行うことができる。本実施形態では、ディテクタとして、ヘリウムリークディテクタを使用し、ヘリウムガスの漏れ量、すなわちリーク量（Ｐａ・ｍ^３／ｓ）を計測する（リークするガスの有無を計測する）。ただし、ディテクタとしては、リークディテクタに代えて流量計を用いてもよい。この場合、流量計によって指定セルへリークしたガスの流量（ｍ^３／ｓ）を計測することができる。これらのディテクタは、ノズル４３に設けられ得る。

　以上により、工程Ｓ１０５では、工程Ｓ１０４と同様に、集電体１５を介して互いに内部空間Ｓが隣接する指定セルと第１隣接セルとの間の気密性の検査（セル間検査）が可能であり、且つ、隔壁２６ｗを介して互いに枠２６ｆが隣接する指定セルと第２隣接セルとの間の気密性の検査（枠間検査）が同時に可能である。また、工程Ｓ１０５でも、工程Ｓ１０４と同様に、セル間検査及び枠間検査において同様の欠陥の有無を検査することが可能である。ただし、セル間検査と枠間検査とを別途に実施してもよい。すなわち、工程Ｓ１０５では、第１隣接セル及び第２隣接セルの少なくとも一方に検査用ガスを印加し、指定セルへのガスのリーク量（リークするガスの有無）を計測するようにしてもよい。

　なお、以上の工程Ｓ１０５は、全ての被検査セルＣに対して一括して行われてもよいし、全ての被検査セルＣを、指定セル、第１隣接セル、及び第２隣接セルを含む複数のグループに分け、当該グループごとに実施されてもよい。

　以上の工程Ｓ１０５の検査の結果、第１隣接セル及び第２隣接セルのガスの印加圧が所定値（例えばゲージ圧で９．５ｋＰａ）以上であり、且つ、指定セルのガスのリーク量（ヘリウムのリークレート）が所定値（例えば規格値Ｐａ・ｍ^３／ｓ）以下である場合、ＯＫ判定とされる。なお、工程Ｓ１０５では、ガスのリークレートロギングを開始し、第１隣接セル及び第２隣接セルのガスの印加圧が一定の下限値（例えばゲージ圧で１０００Ｐａ）を下回った場合、及び、指定セルへのガスのリーク量が一定の上限値（例えば１．０×１０^－３Ｐａ・ｍ^３／ｓ）を超過した場合には、検査を中止することができる。

　続く工程では、セル－外部間ガス検査（セル外ガス検査）を実施する（工程Ｓ１０６、第１検査工程）。工程Ｓ１０６のセル外ガス検査は、工程Ｓ１０５でＯＫ判定とされた（ＮＧ判定がされた被検査セルＣを含まない）被検査モジュール１Ａに対して行われる。

　図９は、図８に示された工程Ｓ１０６に含まれる各工程を示すフローチャートである。図９に示されるように、工程Ｓ１０６では、まず、被検査モジュール１Ａを減圧チャンバ４２内に配置する（工程Ｓ６０１：配置工程）。なお、工程Ｓ１０５の後に、被検査モジュール１Ａが減圧チャンバ４２内に配置された状態が維持されている場合には、工程Ｓ６０１は省略され得る。

　続いて、被検査モジュール１Ａに対して、ガスのリーク量を検出するためのディテクタ（例えばリークディテクタ）を接続する（工程Ｓ６０２：接続工程）。ここでは、図１０に示されるように、複数の（全ての）被検査セルＣのそれぞれに対してディテクタＤを接続する。すなわち、ここでは、１つの被検査セルＣに対して１つのディテクタＤを接続する。本実施形態では、ディテクタＤは、ノズル４３に含まれている。よって、ここでは、全ての被検査セルＣに対してノズル４３を接続することとなる。なお、工程Ｓ１０５の後において、全ての被検査セルＣに対してノズル４３が接続されている場合には、工程Ｓ６０２は省略され得る。

　続いて、減圧チャンバ４２及び被検査セルＣの真空引きを行う（工程Ｓ６０３）。工程Ｓ６０３では、ノズル４３を介して全ての被検査セルＣの真空引きを行う。このとき、減圧チャンバ４２内の圧力が被検査セルＣ（内部空間Ｓ）内の圧力よりも高い状態を維持しながら、それぞれの真空引きを進行させる。

　続いて、減圧チャンバ４２及び被検査セルＣのそれぞれの圧力が所定値まで減圧された後に、減圧チャンバ４２内（被検査セルＣ外）に検査用ガスを導入する（工程Ｓ６０４：ガス導入工程）。すなわち、工程Ｓ６０４では、減圧チャンバ４２内を検査用ガスにより加圧する。一例として、工程Ｓ６０４では、減圧チャンバ４２と被検査セルＣとの差圧が１１０ｋＰａ程度となるように、減圧チャンバ４２を加圧することができる。

　工程Ｓ６０４において減圧チャンバ４２内を検査用ガスにより加圧すると、封止体３を構成する材料の隙間（金属の格子距離や樹脂の分子間距離等に応じた封止体の隙間であり、ここでは樹脂の分子鎖による隙間）より検査用ガスの分子径が小さいため、被検査セルＣの外部から被検査セルＣの内部に封止体３を介して検査用ガスが透過し、被検査セルＣの内部に検査用ガスが流入する。本実施形態では、封止体３が樹脂製であるため、封止体３は、検査用ガスの分子径より大きな分子鎖の隙間を有している。ただし、封止体３の材料に関わらず、検査用ガスの分子径が小さいため、工程Ｓ６０４において減圧チャンバ４２内を検査用ガスにより加圧すると、被検査セルＣの外部から被検査セルＣの内部に（封止体３を介して）検査用ガスが透過することで、被検査セルＣ内に検査用ガスが流入する。この経路を通じて被検査セルＣの内部に流入した検査用ガスの量を透過量と称する。また、被検査セルＣにピンホールが生じている場合には、当該ピンホールを介して被検査セルＣ内に検査用ガスが流入する。これに対して、続く工程では、図１１に示されるように、被検査セルＣの外部から被検査セルＣ内に流入し、被検査セルＣのそれぞれから導出される検査用ガスのリーク量をディテクタＤによって検出する（工程Ｓ６０５：リーク量検出工程）。

　続いて、ディテクタＤの検出結果に基づいて、被検査セルＣのそれぞれに対してピンホールの有無を判定する（工程Ｓ６０６：判定工程）。ここで、ディテクタＤが検出する被検査セルＣから導出される検査用ガスＧのリーク量には、封止体３からの透過量と、ピンホールからのリーク量（漏出量）と、が含まれる。被検査モジュール１Ａでは、被検査セルＣが多数積層されて封止体３の体積が大きくなる結果、被検査モジュール１Ａの内部に検査用ガスを印加して被検査モジュール１Ａの外部であって減圧チャンバ４２内にディテクタＤを設けた場合には、当該ディテクタＤで検出される値において、封止体３の透過量が支配的となり、ピンホールからの検査用ガスのリーク量の検出が困難である。これに対して、減圧チャンバ４２内であって被検査モジュール１Ａの外部に検査用ガスを印加し、被検査セルＣのそれぞれからのリーク量をディテクタＤによって測定することで、ディテクタＤで検出される値において封止体３の透過量の影響が小さくなり、ピンホールからの検査用ガスのリーク量を検出することが可能となる。したがって、工程Ｓ６０６では、ディテクタＤの検出結果であるリーク量を、所定の基準値と比較することで、当該ディテクタＤが接続された被検査セルＣにピンホールの有無を判定することができる（すなわち、被検査モジュール１Ａの良否判定を行うことができる）。

　これに対して、工程Ｓ６０６では、図１２に示されるように、まず、ディテクタＤによって検出された複数の被検査セルＣの検査用ガスＧのリーク量Ｖの平均値ＡＡに関連した所定範囲ＰＡを取得する。

　ここで、複数の被検査セルＣのうち、積層方向（第１方向Ｄ１）の最外部に位置する被検査セルＣ（以下、「最外セル」という場合がある）と、それ以外の中間部に位置する被検査セルＣ（以下、「中間セル」という場合がある）とでは、各被検査セルＣに含まれる封止体３の外部への露出量（すなわち、検査用ガスに晒される部分の大小）が異なることから、１つの被検査セルＣにおける検査用ガスの透過量が異なる。すなわち、最外セルでは、封止体３における第１方向Ｄ１に交差する外表面が検査用ガスに晒されることから、外部からの当該被検査セルＣへの検査用ガスＧの透過量が、中間セルと比較して大きくなる。

　しがって、工程Ｓ６０６では、最外セルにおけるピンホールの有無の判定と、中間セルにおけるピンホールの有無の判定と、を別途に行う。最外セルについては、ディテクタＤによって、封止体３の透過量の最大値を超過する流量が検出された場合に、当該ディテクタＤが接続された被検査セルＣにピンホールがあると判定することができる。

　一方、中間セルについては、まず、全ての被検査セルＣのうち、一対の最外セルを除いた中間セルを平均値ＡＡの算出の対象とする。さらに、中間セルのうち、相対的に大きなリーク量Ｖを示す一部の中間セルを除外する。一例として、３０個の被検査セルＣがあった場合、一対の最外セルと、中間セルのうちのリーク量Ｖが上位３つの中間セルと、を除外することで、合計２５個の中間セルのリーク量Ｖの平均値ＡＡを算出する。

　続いて、平均値ＡＡの算出に供された中間セルのリーク量Ｖが、公差に基づいてガウス分布で分布しているとみなして、平均値ＡＡにリーク量Ｖの３σ（σ＝標準偏差）の範囲を所定範囲ＰＡとして設定する。すなわち、所定範囲ＰＡは、平均値ＡＡ－３σの下限値ＢＬと、平均値ＡＡ＋３σの上限値ＢＵとの間の範囲とされる。

　そして、ピンホールの有無を判定する一の中間セルのリーク量Ｖａから、下限値ＢＬ（ここでは平均値ＡＡ－３σ）を減算した値ＬＡが、所定範囲ＰＡ内であるか否かを判定する。ここでは、実質的には、当該値ＬＡが所定範囲ＰＡの上限値ＢＵを超過するか否かを判定することとなる。この結果、値ＬＡが所定範囲ＰＡ内でない場合（すなわち、上限値ＢＵを超過している場合）、当該一の中間セルにピンホールがあると判定することができる。

　以上のように、工程Ｓ６０６では、少なくとも中間セルに対して、ディテクタＤによって検出された一の被検査セルＣの検査用ガスＧの流量（リーク量Ｖａ）が、ディテクタＤによって検出された複数の被検査セルＣの検査用ガスＧの流量（リーク量Ｖ）の平均値ＡＡに関連した所定範囲ＰＡであるか否かを判定する。すなわち、工程Ｓ６０６では、ディテクタＤによって検出された一の被検査セルＣの検査用ガスのリーク量Ｖが、ディテクタＤによって検出された複数の被検査セルＣの検査用ガスのリーク量の平均値ＡＡと比較して突出した値か否かを判定する。

　その後、図８に示されるように、検査用ガスＧを回収しつつ減圧チャンバ４２内を大気開放し（Ｓ１０７）、一連の検査が終了する。この後、ピンホールがあると判定された被検査セルＣを含まない被検査モジュール１Ａの内部空間Ｓのそれぞれに対して、ノズル４３を介して電解液を注入すると共に、封止フィルム３０によって枠部２６を封止し、蓄電モジュール１が得られる。

　以上説明したように、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法では、蓄電モジュール１の元となる被検査モジュール１Ａを、減圧チャンバ４２内に配置した後に、第１検査工程（工程Ｓ１０６）を実施する。被検査モジュール１Ａ（蓄電モジュール１）は、第１方向Ｄ１に沿って積層された複数の電極を含む電極積層体２と、電極積層体２を取り囲むように電極積層体２に設けられ、第１方向Ｄ１に隣り合う電極の間に形成された複数の内部空間Ｓを封止するための封止体３と、を有している。封止体３には、内部空間Ｓのそれぞれに連通する複数の連通孔３１が形成されており、連通孔３１が開口する封止体３の外側面２４ｓには、枠部２６が一体的に設けられている。枠部２６は、それぞれ、封止体３の外側面２４ｓにおける連通孔３１の開口３１Ａのそれぞれを囲う複数の枠２６ｆを有している。そして、複数の内部空間Ｓのそれぞれに対して、１つの内部空間Ｓ、当該内部空間Ｓに連通する１つの連通孔３１、及び、当該連通孔３１の開口３１Ａを囲む１つの枠２６ｆは、１つの被検査セルＣを構成している。

　そして、工程Ｓ１０６では、複数の被検査セルＣのそれぞれに対して、ガスのリーク量を検出するためのディテクタＤを接続し（工程Ｓ６０２）、その後に、減圧チャンバ４２内に検査用ガスＧを導入する（工程Ｓ６０４）。そして、複数の被検査セルＣのそれぞれから導出される検査用ガスＧのリーク量を、ディテクタＤによって検出する。このような工程Ｓ１０６によれば、被検査セルＣのそれぞれに対して、各ディテクタＤにより検査用ガスＧのリーク量が検出される。ディテクタＤにより検出される検査用ガスのリーク量は、被検査セルＣの外部から封止体３を透過した検査用ガスＧの透過量を含むが、当該透過量は、被検査モジュール１Ａの全体ではなく、１つの被検査セルＣに対応する量である。よって、ディテクタＤにより検出される検査用ガスのリーク量全体において、封止体３の透過量の影響が小さいため、ピンホールの有無を高精度に検出することが可能となる。この結果、ピンホールが有ることにより要求を満たさない被検査セルＣを判定可能となるため、蓄電モジュール１の気密性が確保される。

　特に、第１検査工程では、複数の被検査セルＣのそれぞれから導出される検査用ガスＧのリーク量をディテクタＤによって検出した（工程Ｓ６０５）後に、ディテクタＤによって検出された一の被検査セルＣの検査用ガスＧのリーク量Ｖが、ディテクタＤによって検出された複数の被検査セルＣの検査用ガスＧのリーク量Ｖの平均値ＡＡと比較して突出した値であるか否かを判定する。このように、ディテクタＤによって検出されるある被検査セルＣにおける検査用ガスＧのリーク量と、当該リーク量の平均値ＡＡとの比較に基づいて、当該被検査セルＣにおけるピンホールの影響の有無を正確に検出することが可能となる。よって、気密性が確実に確保される。

　また、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法では、平均値ＡＡは、複数の被検査セルＣのうちの第１方向Ｄ１の電極積層体２の両端に位置する内部空間Ｓのそれぞれを含む最外セルを除いた複数の中間セルの検査用ガスＧのリーク量Ｖの平均の値であり、判定工程（Ｓ６０６）では、一の被検査セルＣの検査用ガスのリーク量Ｖが当該平均値ＡＡから所定範囲ＰＡであるか否かを判定する。この場合、ピンホールの有無の基準となる所定範囲ＰＡの設定に際して、外部からの検査用ガスの透過量が比較的に多い最外セルを除外することで、より小さなピンホールを検出することが可能となる。よって、気密性がより確実に確保される。

　また、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法では、平均値ＡＡは、複数の中間セルのうちの検査用ガスＧのリーク量Ｖが相対的に大きい一部の中間セルを除いた当該中間セルの検査用ガスＧのリーク量Ｖの平均の値である。これにより、平均値ＡＡを構成する個々の中間セルでの検査用ガスＧのリーク量Ｖのばらつきが小さくなり、ピンホールの有無の基準となる所定範囲ＰＡを狭く設定することが可能となる。よって、より小さなピンホールを検出することが可能となる。この結果、気密性がより確実に確保される。

　また、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法では、判定工程（工程Ｓ６０６）では、複数の被検査セルＣの検査用ガスＧのリーク量Ｖの標準偏差をσとしたとき、平均値ＡＡ±３σの範囲として所定範囲ＰＡを設定する。これにより所定範囲ＰＡを適切に設定可能である。

　また、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法は、配置工程（工程Ｓ１０１）の後であって第１検査工程（工程Ｓ１０６）の前に、減圧チャンバ４２内を真空引きしつつ複数の被検査セルＣのそれぞれの圧力変化の有無を計測する第２検査工程（工程Ｓ１０３）を備えている。このため、被検査モジュール１Ａに大きな欠陥があった場合、このように、個別の被検査セルＣの気密検査に先立って、全体の気密検査を行うことで、ＮＧ判定の被検査モジュール１Ａを早期に発見することが可能となり、生産性の向上が図られる。

　また、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法は、第２検査工程（工程Ｓ１０３）の後であって第１検査工程（工程Ｓ１０６）の前に、複数の被検査セルＣのうちの一部の指定セルの真空引きを行いつつ、指定セルの内部空間Ｓに第１方向Ｄ１に隣接する内部空間Ｓを含む被検査セルである第１隣接セル、及び、指定セルの枠２６ｆと隔壁２６ｗを共有して隣接する枠２６ｆを含む第２隣接セルの少なくとも一方の圧力変化の有無を計測する第３検査工程（工程Ｓ１０４）を備えている。

　このように、指定セルを真空引きする気密検査をさらに行うことにより、指定セルと第１隣接セル及び／又は第２隣接セルとの間の気密性をより確実に検査することが可能となる。特に、この場合には、工程Ｓ１０４での真空検査において一定の気密性が確保されている被検査セルＣに対して、工程Ｓ１０６においてガス検査を実施することが可能となる。したがって、被検査セルＣからの大量のガスの漏出を避けつつ、さらなる気密性の検査を行うことが可能となる。

　また、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法では、複数の被検査セルＣを、指定セルと第１隣接セル及び／又は第２隣接セルとを含む複数のグループに分け、当該グループごとに第３検査工程（工程Ｓ１０４）を実施してもよい。この場合、圧力計の個数を削減することが可能である。また、複数の被検査セルＣの検査が同時に実施され、効率的である。よって、この場合、生産性の向上が図られる。

　また、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法では、第３検査工程（工程Ｓ１０４）の後であって第１検査工程（工程Ｓ１０６）の前に、複数の被検査セルＣのうちの一部の指定セルにディテクタＤを接続した後に、指定セルの内部空間Ｓに第１方向Ｄ１に隣接する内部空間Ｓを含む第１隣接セル、及び、指定セルの枠２６ｆと隔壁２６ｗを共有して隣接する枠２６ｆを含む第２隣接セルの少なくとも一方に検査用ガスＧを印加することで、指定セルへの検査用ガスＧのリークの有無を計測する第４検査工程（工程Ｓ１０５）を備えている。このように、第１隣接セル及び／又は第２隣接セルに検査用ガスＧを印加する気密検査を行うことにより、指定セルと第１隣接セル及び第２隣接セルとの間の気密性を確実に検査することが可能となる。

　さらに、本実施形態に係る蓄電モジュール製造方法では、複数の被検査セルＣを、指定セルと第１隣接セル及び／又は第２隣接セルとを含む複数のグループに分け、当該グループごとに第４検査工程（工程Ｓ１０５）を実施してもよい。この場合、ディテクタＤの個数を削減することが可能である。また、また、複数の被検査セルＣの検査が同時に実施され、効率的である。よって、この場合、生産性の向上が図られる。なお、工程Ｓ１０６（セル外ガス検査）の工程Ｓ６０２（接続工程）では、複数（例えば全て）の被検査セルＣに対して１つのディテクタＤを接続してもよい。

　以上の実施形態は、本開示に係る蓄電モジュール製造方法の一側面について説明したものである。したがって、本開示に係る蓄電モジュール製造方法は、上述したものに限定されず、任意に変形され得る。

　例えば、上記実施形態では、被検査モジュール１Ａに対して、第１検査工程（工程Ｓ１０６）に先立って、第２検査工程（工程Ｓ１０３）、第３検査工程（工程Ｓ１０４）、及び、第４検査工程（工程Ｓ１０５）を順次に実施する場合について例示した。しかし、第２検査工程、第３検査工程、及び、第４検査工程の少なくとも１つが省略されてもよい。或いは、少なくとも第３検査工程と第４検査工程との順番を入れ替えて実施してもよい。

　さらには、第２検査工程（工程Ｓ１０３）、第１検査工程（工程Ｓ１０６）、第３検査工程（工程Ｓ１０４）の順番で実施されてもよく、第２検査工程（工程Ｓ１０３）、第１検査工程（工程Ｓ１０６）、第４検査工程（工程Ｓ１０５）の順番で実施されてもよい。また、第２検査工程（工程Ｓ１０３）、第３検査工程（工程Ｓ１０４）、第１検査工程（工程Ｓ１０６）、第４検査工程（工程Ｓ１０５）の順番で実施されてもよい。このように、検査用ガスを被検査セルＣ（第１隣接セル及び第２隣接セル）に印加する第４検査工程（工程Ｓ１０５）に先立って第１検査工程（工程Ｓ１０６）を実施することで、被検査セルＣ内に検査用ガスが存在しない状態において第１検査工程（工程Ｓ１０６）を実施することができ、検査精度が向上される。一方で、第４検査工程（工程Ｓ１０５）と第１検査工程（Ｓ１０６）との間において、第１隣接セル及び第２隣接セルに導入された検査用ガスを掃気するクリーニング工程を行ってもよい。

　また、上記実施形態では、ディテクタＤによって検出された複数の被検査セルＣの検査用ガスＧの流量（リーク量Ｖ）の平均値ＡＡに関連した所定範囲ＰＡとして、平均値ＡＡ±３σの範囲を設定した。しかし、所定範囲ＰＡの設定の態様はこれに限定されず、例えば平均値ＡＡ±１σや平均値ＡＡ±２σであってもよいし、標準偏差を利用せずに設定されてもよい。さらに、平均値ＡＡ及び所定範囲ＰＡの設定に際して、最外セルを除外しなくてもよいし、中間セルの一部を除外しなくてもよい。

　以上の実施形態について、以下に付記する。

　付記に係る蓄電モジュール製造方法は、［１］「第１方向に沿って積層された複数の電極を含む電極積層体と、前記電極積層体を取り囲むように前記電極積層体に設けられ、前記第１方向に隣り合う前記電極の間に形成された複数の内部空間を封止するための封止体と、を備える蓄電モジュールを製造するための蓄電モジュール製造方法であって、電解液の注入前の前記蓄電モジュールである被検査モジュールをチャンバ内に配置する配置工程と、前記配置工程の後に、前記チャンバ内において前記被検査モジュールの検査を行う第１検査工程と、を備え、前記被検査モジュールは、前記第１方向に隣り合う一対の前記電極と当該一対の電極間に形成される前記内部空間を封止するための前記封止体とで構成される被検査セルを複数有し、前記封止体は、前記複数の内部空間のそれぞれと前記封止体の外部とを連通するように、前記複数の内部空間のそれぞれに対応して設けられた複数の連通孔を有し、前記配置工程は、前記連通孔を介して、複数の前記被検査セルのそれぞれに、ガスのリーク量を検出するディテクタを接続する接続工程を含み、前記第１検査工程は、前記チャンバ内に検査用ガスを導入するガス導入工程と、前記複数の被検査セルのそれぞれについて、前記検査用ガスのリーク量を前記ディテクタによって検出するリーク量検出工程と、前記ディテクタによって検出された一の前記被検査セルの前記検査用ガスのリーク量が、前記ディテクタによって検出された前記複数の被検査セルの前記検査用ガスのリーク量の平均値と比較して突出した値か否かを判定する判定工程と、を含む、蓄電モジュール製造方法」であってもよい。

　付記に係る蓄電モジュール製造方法は、［２］「前記平均値は、前記複数の被検査セルのうちの前記第１方向の前記電極積層体の両端に位置する前記内部空間のそれぞれを含む最外セルを除いた複数の中間セルの前記検査用ガスのリーク量の平均の値であり、前記判定工程では、一の前記被検査セルの前記検査用ガスのリーク量が当該平均値から所定範囲であるか否かを判定する、上記［１］に記載の蓄電モジュール製造方法」であってもよい。

　付記に係る蓄電モジュール製造方法は、［３］「前記平均値は、前記複数の中間セルのうちの前記検査用ガスのリーク量が相対的に大きい一部の前記中間セルを除いた当該中間セルの前記検査用ガスのリーク量の平均の値である、上記［２］に記載の蓄電モジュール製造方法」であってもよい。

　付記に係る蓄電モジュール製造方法は、［４］「前記判定工程では、前記複数の被検査セルの前記検査用ガスのリーク量の標準偏差をσとしたとき、前記平均値±３σの範囲として前記所定範囲を設定する、上記［２］又は［３］に記載の製造方法」であってもよい。

　付記に係る蓄電モジュール製造方法は、［５］「前記配置工程の後であって前記第１検査工程の前に、前記チャンバ内を真空引きしつつ複数の前記被検査セルのそれぞれの圧力変化の有無を計測する第２検査工程を備える、上記［１］～［４］のいずれかに記載の蓄電モジュール製造方法」であってもよい。

　付記に係る蓄電モジュール製造方法は、［６］「前記第２検査工程の後に、前記被検査セルの圧力変化の有無を計測する第３検査工程を備え、前記封止体は、前記内部空間と反対側に臨み、前記複数の連通孔の開口を有する外側面と、前記外側面に一体的に設けられ、前記外側面に交差する第２方向からみて複数の前記開口のそれぞれを囲う複数の枠を有する枠部と、を有し、前記被検査セルは、１つの前記内部空間と、当該内部空間に連通する１つの前記連通孔と、当該連通孔の前記開口を囲む１つの前記枠を含み、前記第３検査工程では、前記複数の被検査セルのうちの一部の指定セルの真空引きを行いつつ、前記指定セルの前記内部空間に前記第１方向に隣接する前記内部空間を含む前記被検査セルである第１隣接セル、及び、前記指定セルの前記枠と隔壁を共有して隣接する前記枠を含む第２隣接セルの少なくとも一方の圧力変化の有無を計測する、上記［５］に記載の蓄電モジュール製造方法」であってもよい。

　付記に係る蓄電モジュール製造方法は、［７］「前記複数の被検査セルを、前記指定セルと前記第１隣接セル及び／又は前記第２隣接セルとを含む複数のグループに分け、当該グループごとに前記第３検査工程を実施する、上記［６］に記載の蓄電モジュール製造方法」であってもよい。

　付記に係る蓄電モジュール製造方法は、［８］「前記第２検査工程の後に、前記複数の被検査セルのうちの一部の指定セルに前記ディテクタを接続した後に、前記指定セルの前記内部空間に前記第１方向に隣接する前記内部空間を含む第１隣接セル、及び、前記指定セルの前記枠と隔壁を共有して隣接する前記枠を含む第２隣接セルの少なくとも一方に前記検査用ガスを印加することで、前記指定セルへの前記検査用ガスのリークの有無を計測する第４検査工程を備える、上記［６］又は［７］に記載の蓄電モジュール製造方法」であってもよい。

　付記に係る蓄電モジュール製造方法は、［９］「前記複数の被検査セルを、前記指定セルと前記第１隣接セル及び／又は前記第２隣接セルとを含む複数のグループに分け、当該グループごとに前記第４検査工程を実施する、上記［８］に記載の蓄電モジュール製造方法」であってもよい。

　１…蓄電モジュール、１Ａ…被検査モジュール、２…電極積層体、３…封止体、２４ｓ…外側面、２６…枠部、２６ｆ…枠、２６ｗ…隔壁、３１…連通孔、３１Ａ…開口、４２…減圧チャンバ（チャンバ）、Ｃ…被検査セル、Ｄ…ディテクタ、Ｓ…内部空間。

Claims (9)

1. 　第１方向に沿って積層された複数の電極を含む電極積層体と、
   　前記電極積層体を取り囲むように前記電極積層体に設けられ、前記第１方向に隣り合う前記電極の間に形成された複数の内部空間を封止するための封止体と、
   　を備える蓄電モジュールを製造するための蓄電モジュール製造方法であって、
   　電解液の注入前の前記蓄電モジュールである被検査モジュールをチャンバ内に配置する配置工程と、
   　前記配置工程の後に、前記チャンバ内において前記被検査モジュールの検査を行う第１検査工程と、
   　を備え、
   　前記被検査モジュールは、前記第１方向に隣り合う一対の前記電極と当該一対の電極間に形成される前記内部空間を封止するための前記封止体とで構成される被検査セルを複数有し、
   　前記封止体は、
   　前記複数の内部空間のそれぞれと前記封止体の外部とを連通するように、前記複数の内部空間のそれぞれに対応して設けられた複数の連通孔を有し、
   　前記配置工程は、前記連通孔を介して、複数の前記被検査セルのそれぞれに、ガスのリーク量を検出するディテクタを接続する接続工程を含み、
   　前記第１検査工程は、
   　前記チャンバ内に検査用ガスを導入するガス導入工程と、
   　前記複数の被検査セルのそれぞれについて、前記検査用ガスのリーク量を前記ディテクタによって検出するリーク量検出工程と、
   　前記ディテクタによって検出された一の前記被検査セルの前記検査用ガスのリーク量が、前記ディテクタによって検出された前記複数の被検査セルの前記検査用ガスのリーク量の平均値と比較して突出した値か否かを判定する判定工程と、
   　を含む、
   　蓄電モジュール製造方法。
2. 　前記平均値は、前記複数の被検査セルのうちの前記第１方向の前記電極積層体の両端に位置する前記内部空間のそれぞれを含む最外セルを除いた複数の中間セルの前記検査用ガスのリーク量の平均の値であり、
   　前記判定工程では、一の前記被検査セルの前記検査用ガスのリーク量が当該平均値から所定範囲であるか否かを判定する、
   　請求項１に記載の蓄電モジュール製造方法。
3. 　前記平均値は、前記複数の中間セルのうちの前記検査用ガスのリーク量が相対的に大きい一部の前記中間セルを除いた当該中間セルの前記検査用ガスのリーク量の平均の値である、
   　請求項２に記載の蓄電モジュール製造方法。
4. 　前記判定工程では、前記複数の被検査セルの前記検査用ガスのリーク量の標準偏差をσとしたとき、前記平均値±３σの範囲として前記所定範囲を設定する、
   　請求項２又は３に記載の製造方法。
5. 　前記配置工程の後であって前記第１検査工程の前に、前記チャンバ内を真空引きしつつ複数の前記被検査セルのそれぞれの圧力変化の有無を計測する第２検査工程を備える、
   　請求項１～４のいずれか一項に記載の蓄電モジュール製造方法。
6. 　前記第２検査工程の後に、前記被検査セルの圧力変化の有無を計測する第３検査工程を備え、
   　前記封止体は、
   　前記内部空間と反対側に臨み、前記複数の連通孔の開口を有する外側面と、
   　前記外側面に一体的に設けられ、前記外側面に交差する第２方向からみて複数の前記開口のそれぞれを囲う複数の枠を有する枠部と、
   　を有し、
   　前記被検査セルは、１つの前記内部空間と、当該内部空間に連通する１つの前記連通孔と、当該連通孔の前記開口を囲む１つの前記枠を含み、
   　前記第３検査工程では、前記複数の被検査セルのうちの一部の指定セルの真空引きを行いつつ、前記指定セルの前記内部空間に前記第１方向に隣接する前記内部空間を含む前記被検査セルである第１隣接セル、及び、前記指定セルの前記枠と隔壁を共有して隣接する前記枠を含む第２隣接セルの少なくとも一方の圧力変化の有無を計測する、
   　請求項５に記載の蓄電モジュール製造方法。
7. 　前記複数の被検査セルを、前記指定セルと前記第１隣接セル及び／又は前記第２隣接セルとを含む複数のグループに分け、当該グループごとに前記第３検査工程を実施する、
   　請求項６に記載の蓄電モジュール製造方法。
8. 　前記第２検査工程の後に、前記複数の被検査セルのうちの一部の指定セルに前記ディテクタを接続した後に、前記指定セルの前記内部空間に前記第１方向に隣接する前記内部空間を含む第１隣接セル、及び、前記指定セルの前記枠と隔壁を共有して隣接する前記枠を含む第２隣接セルの少なくとも一方に前記検査用ガスを印加することで、前記指定セルへの前記検査用ガスのリークの有無を計測する第４検査工程を備える、
   　請求項６又は７に記載の蓄電モジュール製造方法。
9. 　前記複数の被検査セルを、前記指定セルと前記第１隣接セル及び／又は前記第２隣接セルとを含む複数のグループに分け、当該グループごとに前記第４検査工程を実施する、
   　請求項８に記載の蓄電モジュール製造方法。