WO2025220193A1 - 容器開閉装置、及び搬送装置 - Google Patents

容器開閉装置、及び搬送装置

Info

Publication number
WO2025220193A1
WO2025220193A1 PCT/JP2024/015462 JP2024015462W WO2025220193A1 WO 2025220193 A1 WO2025220193 A1 WO 2025220193A1 JP 2024015462 W JP2024015462 W JP 2024015462W WO 2025220193 A1 WO2025220193 A1 WO 2025220193A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
positional deviation
unit
deviation amount
support
container
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
PCT/JP2024/015462
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
拓海 平野
大司 鬼海
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hirata Corp
Original Assignee
Hirata Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hirata Corp filed Critical Hirata Corp
Priority to CN202480004057.0A priority Critical patent/CN121488623A/zh
Priority to KR1020257008825A priority patent/KR102919324B1/ko
Priority to PCT/JP2024/015462 priority patent/WO2025220193A1/ja
Priority to KR1020267002408A priority patent/KR20260016021A/ko
Priority to JP2025515583A priority patent/JPWO2025220193A5/ja
Priority to TW114105834A priority patent/TW202541967A/zh
Publication of WO2025220193A1 publication Critical patent/WO2025220193A1/ja
Pending legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H10P72/3406—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door or cover
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
    • H10P72/0606—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
    • H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
    • H10P72/1908—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers specially adapted for containing substrates other than wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
    • H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
    • H10P72/1921—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by substrate supports
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • the present invention relates to a container opening/closing device for opening and closing a container capable of holding an object to be transported, and a transport device for transporting the object to a container provided in the container opening/closing device.
  • a transport technology that uses an industrial transport robot installed in a transport device to transport objects between a container opening/closing device (load port) on which a container containing the object, such as a substrate (e.g., wafer, glass substrate, etc.), is placed and a processing device or load lock chamber that processes the object.
  • a transport robot which serves as a transport mechanism installed in a transport device, can remove the object from the container in which it is stored and transport it to the processing device where it is processed, while also removing the object from the processing device that processes it and placing it in a container that can accommodate it.
  • PLP panel-level packaging
  • PLP is a method for manufacturing multiple semiconductor packages at once by arranging a large number of chips on a rectangular panel, and various industrial robots are used in semiconductor package production lines using PLP.
  • PLP includes a process for coating (sealing) the top surface of the panel on which a large number of chips are mounted with resin, and panels handled on semiconductor package production lines using PLP are prone to significant warping in the vertical direction (upward and downward warping, which includes bending and distortion).
  • a FOUP Front Opening Unified Pod
  • substrates which is a container for transported objects (hereinafter referred to as substrates)
  • the vertical spacing between each pair of support parts is becoming increasingly narrower to improve substrate storage efficiency.
  • the vertical spacing between the support parts is narrow, if the container (FOUP) that can hold substrates is itself in an abnormal state (for example, if the height position of either the first or second support part of a specific pair is deviated from the reference height position), there is a risk that the substrate held by the robot hand will collide with the support part of the FOUP when the robot hand is inserted, or that the robot hand will collide with the substrate supported by the support part of the FOUP.
  • a container opening/closing device for opening and closing a container having a plurality of pairs of first and second support parts spaced apart in the horizontal direction and spaced apart in the vertical direction perpendicular to the horizontal direction, the device comprising: a holding part for holding a lid of the container; a drive part for moving the holding part at least in the vertical direction; a detection part provided in the holding part for detecting the height positions of the first support part and the second support part in the vertical direction by the movement of the holding part; and a calculation part for calculating a first positional deviation amount of the first support part and a second positional deviation amount of the second support part, the first positional deviation amount being determined by the first support part.
  • the container opening/closing device is characterized in that the first positional deviation is the amount of positional deviation between the detected detection height position of the holding part and the predetermined standard height position of the first support part, and the second positional deviation is the amount of positional deviation between the detected detection height position of the second support part and the predetermined standard height position of the second support part, the first support part and the second support part each have a main body part that supports the transported object and a measured part provided at the tip of the main body part, and the detection part detects the lower end positions of the measured parts of the first support part and the second support part in the up-down direction as the detection height positions of the first support part and the second support part, respectively.
  • the present invention provides a conveying device that conveys an object to a container provided in the above-mentioned container opening/closing device, characterized in that the conveying device includes a determination unit that determines whether the height positions of the first support unit and the second support unit in the vertical direction are abnormal based on the detection results of the detection unit or the calculation results of the calculation unit.
  • a transport device that transports an object to a container provided in the above-mentioned container opening/closing device, comprising: a transport mechanism having a hand capable of holding the object; a selection unit that selects one of the first positional deviation amount and the second positional deviation amount calculated by the calculation unit of the container opening/closing device as an insertion height correction amount; a derivation unit that derives the insertion height at which the hand is inserted into the container based on the selected insertion height correction amount; a lifting operation implementation unit that lifts and lowers the hand to the insertion height calculated by the derivation unit; and an insertion operation implementation unit that inserts the hand into the container at the derived insertion height, wherein the selection unit selects the insertion height correction amount depending on the operation type of the transport mechanism.
  • a transport system comprising at least a container opening/closing device for opening and closing a container in which a pair of first and second support parts are spaced apart in the horizontal direction and spaced apart in the vertical direction perpendicular to the horizontal direction; a transport device equipped with a transport mechanism having a hand capable of holding the transported object and transporting the transported object to a container provided on the container opening/closing device; and a control unit for controlling the operation of the container opening/closing device and the transport device, wherein the container opening/closing device comprises a holding part for holding the lid of the container, a drive part for moving the holding part at least in the vertical direction, and a detection part provided on the holding part for detecting the height positions of the first support part and the second support part in the vertical direction by movement of the holding part, and the control unit detects the height of the first support part at a predetermined specified height, a calculation unit that calculates a first positional
  • the present invention provides a container opening/closing device, conveying device, and conveying system that can accurately detect the height position of a support part provided on a container using a container opening/closing device for opening and closing a container.
  • FIG. 1 is a perspective view illustrating an entire conveyance system to which a container opening/closing device and a conveyance device according to an embodiment of the present invention are applied.
  • FIG. 2 is a block diagram of the electrical configuration of the transport system shown in FIG. 1 .
  • FIG. 2 is a perspective view illustrating the configuration of a container opening/closing device used in the conveyance system shown in FIG. 1 .
  • 4 is a front view illustrating the inside of a container placed on the container opening/closing device shown in FIG. 3.
  • FIG. 5 is a schematic diagram illustrating an abnormal state of a pair of first and second support portions provided in the container shown in FIG. 4.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of a reference position information table used in the container opening/closing device shown in FIG. 3.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of a detection position information table used in the container opening/closing device shown in FIG. 3.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of a reference insertion height information table used in the transport device shown in FIG. 3.
  • FIG. 10 is a flowchart of a process for transporting an object to a container installed in the container opening/closing device by the transport device shown in FIG. 1 .
  • 10 is a schematic diagram illustrating a correction process of the hand when the operation type shown in FIG. 9 is a carry-in operation.
  • FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a correction process for the hand when the operation type shown in FIG. 9 is a carry-out operation.
  • FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a correction process of the hand when the operation type shown in FIG. 9 is a carry-out operation.
  • the conveying system 20 includes the conveying device 100 that conveys the transported object W, the container opening/closing device 50 arranged on one side (e.g., the front side) of the conveying device 100, a processing device 60 arranged on the other side (e.g., the rear side) of the conveying device 100, and a control unit (see explanation below) that controls the operation of the container opening/closing device 50 and the conveying device 100.
  • the conveying device 100 is, for example, an EFEM (Equipment Front End Module).
  • the container opening/closing device 50 is a load port device on which a container H (e.g., a FOUP) capable of accommodating the transported object W is placed and which opens and closes the lid (not shown) of the container H.
  • the processing device 60 is a device for processing the transported object W.
  • the conveying device 100 includes a housing 110, a conveying mechanism 120 provided inside the housing 110 and configured to convey a conveyed object W, a drive unit 130 for driving the movement of the conveying mechanism 120, and a control unit 140 for controlling the conveying operation of the conveying mechanism 120.
  • the housing 110 houses the conveying mechanism 120, the drive unit 130, and the control unit 140, and is connected to the container opening/closing device 50 and the processing device 60.
  • the conveying mechanism 120 is configured to be movable inside the housing 110.
  • the conveying mechanism 120 e.g., a conveying robot
  • the conveying mechanism 120 has a hand 122 capable of holding the conveyed object W, and removes the conveyed object W from a container H and transports it to the processing device 60 through the inside of the housing 110 (shown in FIG. 1).
  • the processing device 60 processes the conveyed object W transported by the conveying mechanism 120.
  • the conveying mechanism 120 transports the conveyed object W removed from the processing device 60 to the container H through the inside of the housing 110.
  • the drive unit 130 drives the movement (including lifting and lowering) of the transport mechanism 120.
  • the control unit 140 controls the transport operation of the transport mechanism 120.
  • the control unit 140 also performs the functions of a selection unit 142, a derivation unit 144, a storage unit 146, a determination unit 147, a lifting operation execution unit 148, and an insertion operation execution unit 149, which will be described below.
  • the transported object W is, for example, a glass substrate used in PLP, and is housed in a container H.
  • the container H has multiple pairs of first support members S1 and second support members S2 spaced apart in the horizontal direction (e.g., the left-right direction X), with multiple pairs spaced apart in the up-down direction Z, which is perpendicular to the horizontal direction.
  • the pairs of first support members S1 and second support members S2 protrude horizontally (e.g., the left-right direction X) from the inner surfaces of opposing sides of the container H, and can support the transported object W on opposing sides of the container H.
  • one side of the container H has multiple first support members S1 arranged along the up-down direction Z, and a gap G is left between two adjacent first support members S1 to form a space capable of housing the transported object W.
  • the other side of the container H has multiple second support members S2 arranged along the vertical direction Z, and a space capable of accommodating the transported object W is formed with a gap G between two adjacent second support members S2.
  • the container H to accommodate multiple transported objects W inside (at each gap G) by supporting the transported objects W with multiple pairs of first support members S1 and second support members S2 arranged at a predetermined gap G in the vertical direction Z. That is, the transported object W is supported by each pair of first support member S1 and second support member S2 (e.g., the second first support member S1 and second support member S2 from the top) and is accommodated in the gap G above the first support member S1 and second support member S2 (e.g., the space between the first and second first support member S1 and second support member S2 from the top).
  • first support member S1 and second support member S2 e.g., the second first support member S1 and second support member S2 from the top
  • the container opening/closing device 50 includes a holding unit 51 that holds the lid (not shown) of the container H, a drive unit 52 that moves the holding unit 51 at least in the vertical direction Z, a detection unit 53 provided on the holding unit 51 that detects the height positions of the first support unit S1 and the second support unit S2 in the vertical direction Z by moving the holding unit 51, a control unit 54 for controlling the operation of the container opening/closing device 50 (e.g., movement of the holding unit 51 by driving the drive unit 52), a mounting table 55 on which the container H is placed, and a support body 56 that supports the mounting table 55.
  • the holding unit 51 is a port door that engages with the lid of the container H.
  • the drive unit 52 is a unit consisting of, for example, a motor and a ball screw, and the general structure is housed inside the support body 56, with a portion of the structure protruding into the interior of the housing 110 of the conveying device 100 to connect with the holding unit 51.
  • the control unit 54 controls the driving of the drive unit 52 to move the holding unit 51 in the vertical direction Z. This allows the container opening/closing device 50 to open the lid of the container H.
  • the transport mechanism 120 can transport the transported object W from the container H to the interior of the casing 110.
  • the transport mechanism 120 can transport the transported object W from the interior of the casing 110 to the container H.
  • the holding unit 51 moves downward while engaged with the lid of the container H, moving the lid of the container H downward and exposing multiple pairs of first support members S1 and second support members S2 provided inside the container H so that they directly face the interior of the casing 110, in order from top to bottom.
  • control portion 54 that controls the operation of the container opening/closing device 50 and the control portion 140 that controls the operation of the above-mentioned transport device 100 are realized by separate control units, but they may also be realized by a single control unit.
  • control portion 140 which is a control unit provided in the transport device 100 of the transport system 20
  • a control signal must be transmitted from the control portion 140 of the transport device 100 to the container opening/closing device 50 (the reverse transmission is also possible).
  • the detection unit 53 is, for example, a combination of a reflective sensor 53a and a camera 53b, and is provided on the upper edge of the holding unit 51 and faces the container H toward the rear of the container opening/closing device 50.
  • the detection unit 53 (reflective sensor 53a) detects the height position of each first support unit S1 and second support unit S2.
  • the detection unit 53 can move in the vertical direction Z together with the holding unit 51. Therefore, in this embodiment, the container opening/closing device 50 uses two sets of detection units 53 to detect the height positions of the multiple first support units S1 and multiple second support units S2, respectively, based on the height position of the mounting table 55.
  • the lid of the container H is moved downward, exposing the multiple pairs of first support members S1 and second support members S2 from top to bottom so that they directly face the interior of the housing 110.
  • the detection unit 53 moves from top to bottom in the vertical direction Z to detect the height positions of each of the multiple pairs of first support members S1 and second support members S2 of the container H from top to bottom. That is, as the holding unit 51 moves, the detection unit 53 moves from top to bottom in the vertical direction Z to detect the height positions of the upper pair of first support members S1 and second support members S2, and then detects the height positions of the other lower pair of first support members S1 and second support members S2.
  • This detection process is preferably performed before the conveying device 100 conveys the conveyed object W.
  • the control unit 54 also performs the functions of a calculation unit 54a and a memory unit 54c, which will be described later.
  • the height positions of the multiple pairs of first support portions S1 and second support portions S2 detected here are transmitted to the control unit 140 of the conveying device 100, as described below, and can be used as a condition for determining whether the multiple pairs of first support portions S1 and second support portions S2 of the container H are in an abnormal state.
  • the results of calculation of the positional deviation amounts of the multiple pairs of first support portions S1 and second support portions S2 of the container H by the container opening/closing device 50 are transmitted to the control unit 140 of the conveying device 100, and can be used as a control condition for the conveying means of the conveying device 100, as described below.
  • the 1 and 2 includes at least one mounting table and is capable of supporting at least one object W during the processing of the object W.
  • the type of processing device 60 can be selected depending on the process for processing the object W (for example, processes required for semiconductor manufacturing, such as ion implantation and etching). Furthermore, by opening the door of the processing device 60, the object W inside the processing device 60 faces the inside of the housing 110, and the transport mechanism 120 can transport the object W from inside the processing device 60 to inside the housing 110. Similarly, the transport mechanism 120 can also transport the object W from inside the housing 110 to inside the processing device 60.
  • a load lock chamber may be further installed between the transport device 100 and the processing device 60.
  • the housing 110 of the conveying device 100 includes, as an example, a frame 112, a wall 114 for covering the frame 112, a moving body 116 for moving the conveying mechanism 120, and a guide structure 118 for guiding the movement of the moving body 116.
  • the frame 112 is installed as a frame for the housing 110.
  • the wall 114 is provided on the frame 112 and forms the internal space of the housing 110.
  • the guide structure 118 is, for example, a slide rail structure, a conveyor drive device, etc., and is provided in the internal space of the housing 110.
  • the moving body 116 is provided on the guide structure 118 in the internal space of the housing 110, and is installed so as to be freely movable within the housing 110 by the guide structure 118.
  • the moving body 116 is attached to the guide structure 118 for guiding movement in the left-right direction X, and is enabled to move in the left-right direction X within the housing 110 by the guide structure 118.
  • the wall 114 also has an opening OP (shown in FIG. 1 ) for communication with the container opening/closing device 50 and an opening for communication with the processing device 60.
  • the opening OP can communicate with the interior of a container H placed on the mounting table 55.
  • the holder 51 holds the lid of the container H through the opening OP and retracts the lid into the housing 110, thereby communicating the interior of the container H with the internal space of the housing 110.
  • the transport mechanism 120 provided inside the housing 110 can transport the transported object W from the container opening/closing device 50 to the processing device 60 or from the processing device 60 to the container opening/closing device 50 through these openings. That is, the transport mechanism 120 moves by the moving body 116 to the door position of the container opening/closing device 50 (e.g., the position of the holder 51), allowing the transported object W to be transferred between the container H and the interior of the housing 110. Similarly, the transport mechanism 120 moves to the door position of the processing device 60 by the moving body 116, enabling the transfer of the transported object W between the processing device 60 and the interior of the housing 110. As a result, the transport device 100 can transport the transported object W between the container H placed on the container opening/closing device 50 and the processing device 60 inside the housing 110 by the transport mechanism 120.
  • the transport mechanism 120 is, for example, a transport robot, and includes a base 124, an arm 126 attached to the upper end of the base 124, a hand 122 attached to the tip of the arm 126 and capable of holding the transported object W, and a transport drive unit 128 that drives the arm 126 to move the hand 122 in the horizontal direction (left-right direction X and front-back direction Y) and up-down direction Z.
  • the base 124 is attached to a movable body 116 provided inside the housing 110, and is installed so as to be movable by the movable body 116.
  • the base 124 is movable (slidable) in the left-right direction X by the movable body 116.
  • the arm 126 is attached to the upper end of the base 124 so as to be rotatable within a horizontal plane (an imaginary horizontal plane formed by the left-right direction X and the front-back direction Y) relative to the base 124, and so as to be able to move up and down in the up-down direction Z.
  • the hand 122 is a robot hand attached to the tip of the arm 126, and can move as the arm 126 rotates within a horizontal plane and moves up and down in the vertical direction Z.
  • the transfer drive unit 128 is, for example, a motor or transmission mechanism built into the base 124, and applies a driving force to the arm 126 to move the hand 122.
  • the transfer robot serving as the transfer mechanism 120 moves between the container opening/closing device 50 and the processing device 60, on which the container H is placed, using the moving body 116, while holding the object W to be transferred using the hand 122.
  • the transfer drive unit 128 drives the arm 126, thereby freely moving the hand 122 (up and down, rotating, back and forth), and transferring the object W using the hand 122.
  • the hand 122 robot hand holding the transported object W enters, while holding the transported object W, into a gap G defined above a specific pair of first support portions S1 and second support portions S2 among the multiple pairs of first support portions S1 and second support portions S2 of the container H, and then moves downward to support the transported object W on the first support portion S1 and second support portion S2, and then moves away from the container H.
  • the hand 122 (robot hand) enters the gap G defined below a specific pair of first support portions S1 and second support portions S2 among the multiple pairs of first support portions S1 and second support portions S2 of the container H, then moves upward to lift the transported object W supported by the first support portion S1 and second support portion S2, and then moves away from the container H while holding the transported object W.
  • the spacing (pitch) in the vertical direction Z between the multiple pairs of first support members S1 and second support members S2 of the container H is narrow, if the container H itself, which can accommodate the transported object W, is in an abnormal state (for example, if the height position of one of the first support members S1 and second support members S2 of a specific pair is deviated from a reference height position), when the hand 122 of the transport device 120 is inserted, the transported object W held by the hand 122 may collide with the first support members S1 and second support members S2 provided on the container H, or the hand 122 may collide with the transported object W supported by the first support members S1 and second support members S2 provided on the container H.
  • the container opening/closing device 50 detects the respective height positions of the first support members S1 and second support members S2 provided on the container H.
  • the transport device 100 that transports the transported object W is required to reflect the height positions of the first support part S1 and the second support part S2 detected by the container opening/closing device 50, and the results of abnormality determination using the height positions of the first support part S1 and the second support part S2 detected by the container opening/closing device 50, in controlling the transport operation (for example, by stopping the operation of the transport device 100, or correcting the insertion height of the hand 122 of the transport mechanism 120 of the transport device 100 into the container H).
  • this embodiment will be described using as an example a pair of left and right support members S1 and S2 provided on a container H, as shown in FIG. 5.
  • the first support member S1 has a specified height position PL
  • the second support member S2 has a specified height position PR (the positions indicated by the dashed lines in FIG. 5).
  • the specified height position PL of the first support member S1 and the specified height position PR of the second support member S2 may be located at the same horizontal height in the vertical direction Z, or at different horizontal heights. Even if the specified height positions PL and PR of the pair of left and right support members S1 and S2 are located at different horizontal heights, they still correspond to each other on the left and right to form the same storage space (gap G).
  • the first support member S1 is located above the specified height position PL in the vertical direction Z
  • the second support member S2 is located below the specified height position PR in the vertical direction Z. Therefore, when the conveying mechanism 120 transports the transported object W into the same storage space (gap G) formed by a pair of first support members S1 and second support members S2 on the left and right sides of the container H, if the hand 122 of the conveying mechanism 120 shown in Figure 1 is inserted into the container H at an insertion height of the hand 122 (for example, a position a predetermined distance above the specified height positions PL, PR) determined by reference to the specified height position PL of the paired first support member S1 and the specified height position PR of the paired second support member S2, there is a risk that the transported object (not shown) held by the hand 122 will collide with the first support member S1, which is located above the specified height position PL.
  • an insertion height of the hand 122 for example, a position a predetermined distance above the specified height positions PL,
  • the transport mechanism 120 transports the transported object W from the same storage space (gap G) formed by a pair of first support members S1 and second support members S2 on the left and right sides of the container H
  • the hand 122 of the transport mechanism 120 shown in Figure 1 is inserted into the container H at an insertion height of the hand 122 (for example, a position a predetermined distance below the specified height positions PL, PR) determined by reference to the specified height position PL of the paired first support member S1 and the specified height position PR of the paired second support member S2
  • an insertion height of the hand 122 for example, a position a predetermined distance below the specified height positions PL, PR
  • the container opening/closing device 50 detects the respective height positions of the first support member S1 and the second support member S2 provided on the container H, and calculates the amount of positional deviation between the detected height positions of the first support member S1 and the second support member S2 and the specified height positions PL and PR as a first positional deviation amount D1 of the first support member S1 and a second positional deviation amount D2 of the second support member S2.
  • the transport device 100 transporting the transported object W is required to reflect the respective positional deviation amounts of the first support member S1 and the second support member S2 calculated by the container opening/closing device 50 and the result of an abnormality determination using the respective positional deviation amounts of the first support member S1 and the second support member S2 calculated by the container opening/closing device 50 in controlling the transport operation (for example, by stopping the operation of the transport device 100 or correcting the insertion height of the hand 122 of the transport mechanism 120 of the transport device 100 into the container H).
  • the detection unit 53 of the container opening/closing device 50 moves downward in the vertical direction Z along with the movement of the holding unit 51, and can detect the respective height positions of the pair of first support members S1 and second support members S2 exposed from the container H.
  • the first support member S1 is located higher in the vertical direction Z than the second support member S2, so the detection unit 53 first detects the detection height position P1 of the first support member S1, and then detects the detection height position P2 of the second support member S2.
  • the first support member S1 and the second support member S2 each have a main body member 210 that supports the transported object W (shown in FIG.
  • the measured portion 212 is a member that limits the movement of the transported object W in the forward/backward direction Y, installed on the main body member 210.
  • the measurement target portion 212 further includes a measurement target surface 2121 whose lower portion in the up-down direction Z is horizontally chamfered.
  • the detection target portion 212 has a generally D-shaped configuration when viewed from the front-rear direction Y.
  • the detection unit 53 detects the lower end positions in the up-down direction Z of the measurement target portion 212 of each of the first support portion S1 and the second support portion S2 as the respective detection height positions of the first support portion S1 and the second support portion S2.
  • the lower end positions can be treated as the detection height positions P1 and P2 of the first support portion S1 and the second support portion S2, respectively.
  • the detection unit 53 detects the measurement target surface 2121 of each of the measurement target portion 212 of each of the first support portion S1 and the second support portion S2 as the lower end positions.
  • the positions of the measurement target surface 2121 can be treated as the detection height positions P1 and P2 of the first support portion S1 and the second support portion S2, respectively.
  • a portion of the transported object W may protrude from the upper end of the measurement portion 212 of at least one of the first support portion S1 and the second support portion S2.
  • the protruding portion of the transported object W may be mistakenly detected as the measurement portion 212 of the first support portion S1 and/or the second support portion S2, which may prevent accurate detection height positions P1 and P2 of the first support portion S1 and the second support portion S2 from being obtained.
  • the control unit 54 also performs the function of a calculation unit 54a.
  • the calculation unit 54a calculates a first positional deviation amount D1 of the first support member S1 and a second positional deviation amount D2 (shown in FIG. 5) of the second support member S2.
  • the first positional deviation amount D1 is the positional deviation amount between the detected detection height position P1 of the first support member S1 and the predetermined specified height position PL of the first support member S1
  • the second positional deviation amount D2 is the positional deviation amount between the detected detection height position P2 of the second support member S2 and the predetermined specified height position PR of the second support member S2.
  • the conveying device 100 also includes a determination unit 147 that determines whether the height positions of the first support member S1 and the second support member S2 in the vertical direction Z are abnormal based on the detection result of the detection unit 53 or the calculation result of the calculation unit 54a.
  • the determination unit 147 determines the height position of the first support part S1 in the vertical direction Z and the height position of the second support part S2 in the vertical direction Z as the state of the first support part S1 and the second support part S2 (as described below), but the present invention is not limited to this.
  • the control unit 54 also functions as a memory unit 54c.
  • the memory unit 54c stores, in a reference position information table 54c1, the predetermined specified height positions PL, PR of multiple pairs of first support members S1 and second support members S2 of a container H placed on the container opening/closing device 50.
  • the memory unit 54c stores, in the reference position information table 54c1, the specified height positions PL1, PL2, ... of each of the multiple pairs of first support members S1 provided on the container H and the specified height positions PR1, PR2, ... of each of the multiple pairs of second support members S2 associated with the numbers of the first support members S1 and second support members S2 from top to bottom.
  • the predetermined specified height positions of the multiple pairs of first support members S1 and second support members S2 stored in the reference position information table 54c1 may be obtained by the detection unit 53 or may be obtained from the provider of the container H.
  • the specified height positions of the pair of left and right first support portions S1 and second support portions S2 are the same height position. That is, the specified height position PL1 of the first support portion S1 and the specified height position PR1 of the second support portion S2, which are positioned from top to bottom, are the same height position, and the specified height position PL2 of the second support portion S1 and the specified height position PR2 of the second support portion S2 are the same height position.
  • the memory unit 54c also stores in the detection position information table 54c2 the detected detection height positions P1, P2 of the multiple pairs of first support portions S1 and second support portions S2 of the container H placed on the container opening/closing device 50.
  • the container opening/closing device 50 opens the lid of the container H using the holding portion 51, and simultaneously detects the respective height positions of the multiple pairs of first support portions S1 and second support portions S2 exposed from the container H using the detection unit 53. Therefore, the memory unit 54c stores in the detection position information table 54c2 the respective detection height positions P11, P12, ... of the multiple pairs of first support portions S1 provided on the container H and the respective detection height positions P21, P22, ...
  • the storage unit 54c can also store the first positional deviation amounts D11, D12, ... of the first support member S1 and the second positional deviation amounts D21, D22, ... of the second support member S2 calculated by the calculation unit 54a in the detected position information table 54c2 in association with the numbers of the first support member S1 and the second support member S2 from top to bottom.
  • the determination unit 147 determines whether the height positions of the first support member S1 and the second support member S2 are abnormal (e.g., whether the height positions of the first support member S1 and the second support member S2 are misaligned). If the control unit 140, which realizes the function of the determination unit 147, is provided in the transport device 100, the determination result can also be stored in the storage unit 146 of the transport device 100 in association with the numbers of the first support member S1 and the second support member S2 from top to bottom. However, in other embodiments not shown, the function of the determination unit 147 described above can also be realized by the control unit 54 of the container opening/closing device 50. In this case, the results of the presence or absence of an abnormality can be first stored together in the detection position information table 54c2 of the memory unit 54c of the container opening/closing device 50.
  • the calculation unit 54a calculates the distance between the detection height position P1 of the first support member S1 or the detection height position P2 of the second support member S2 and the specified height positions PL, PR in the vertical direction Z as the first positional deviation amount D1 or the second positional deviation amount D2.
  • the calculation unit 54a calculates the first positional deviation amount D1 or the second positional deviation amount D2 as a positive value when the detection height position P1 of the first support member S1 or the detection height position P2 of the second support member S2 is higher than the specified height positions PL, PR in the vertical direction Z, and calculates the first positional deviation amount D1 or the second positional deviation amount D2 as a negative value when the detection height position P1 of the first support member S1 or the detection height position P2 of the second support member S2 is lower than the specified height positions PL, PR in the vertical direction Z.
  • the determination unit 147 determines that the height position of the first support member S1 or the height position of the second support member S2 is abnormal when the absolute value of the first positional deviation amount D1 or the absolute value of the second positional deviation amount D2 is greater than a first threshold value (e.g., 1.5 mm).
  • a first threshold value e.g. 1.5 mm
  • the determination unit 147 may determine that the height position of the first support portion S1 or the height position of the second support portion S2 is abnormal if the first positional deviation amount D1 or the second positional deviation amount D2 is greater than a first threshold value (e.g., +1.5 mm) or less than the first threshold value (e.g., ⁇ 1.5 mm).
  • the calculation unit 54a calculates the difference between the detection height position P1 of the first support portion S1 or the detection height position P2 of the second support portion S2, and the determination unit 147 determines that the height position of the first support portion S1 or the height position of the second support portion S2 is abnormal if the absolute value of the difference between the detection height position P1 of the first support portion S1 and the detection height position P2 of the second support portion S2 is greater than a second threshold value (e.g., 3 mm).
  • the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 may be stored in the detected position information table 54c2 (shown in FIG.
  • the determination results are stored in the memory unit 146 in association with numbers from top to bottom.
  • the determination unit 147 determines that the height position of the first support portion S1 in the state of the first support portion S1, or the height position of the second support portion S2 in the state of the second support portion S2, is abnormal if the distance G between the first support portion S1 (e.g., the first first support portion S1 from top to bottom) and another first support portion S1 (e.g., the second first support portion S1 from top to bottom) arranged next to it in the vertical direction Z exceeds a first set value (a preset pitch), or if the distance G between the second support portion S2 (e.g., the first second support portion S2 from top to bottom) and another second support portion S2 (e.g., the second second support portion S2 from top to bottom) arranged next to it in the vertical direction Z exceeds the first set value (a preset pitch).
  • a preset pitch a first set value
  • the determination results are stored in the memory unit 146 in association with numbers from top to bottom.
  • the container opening/closing device 50 for opening and closing the container H moves the holding unit 51 that holds the lid of the container H.
  • the detection unit 53 provided on the holding unit 51 detects the height positions in the vertical direction Z of the first support unit S1 and the second support unit S2 (the lower end positions in the vertical direction of the measured portion of each support unit), and the calculation unit 54a calculates the positional deviation amounts (first positional deviation amount D1, second positional deviation amount D2) between the detected height positions P1, P2 of those support units (first support unit S1 and second support unit S2) and the predetermined specified height positions PL, PR.
  • This allows the container opening/closing device 50 for opening and closing the container H to accurately detect the height positions of the support units provided on the container H.
  • the determination unit 147 of the conveying device 100 determines whether the height positions in the vertical direction Z of the first support unit S1 and the second support unit S2 are abnormal based on the detection results of the detection unit 53 or the calculation results of the calculation unit 54a. This reflects the results in the control of the transport operation of the transport device 100, which transports the transported object W to the container H placed on the container opening/closing device 50 (for example, by stopping the operation of the transport device 100 or correcting the insertion height of the hand 122 of the transport mechanism 120 of the transport device 100 into the container H), preventing the transported object W held by the hand 122 of the transport mechanism 120 of the transport device 100 from colliding with the first support portion S1 and second support portion S2 provided on the container H, or preventing the hand 122 from colliding with the transported object W supported by the first support portion S1 and second support portion S2 provided on the container H.
  • the transport device 100 stops the transport operation of the transported object W by the transport device 100, and if the determination unit 147 determines that there is no abnormality, corrects the insertion height of the hand 122 into the container H.
  • the hand 122 when the transported object W is transported out of the container H by the hand 122 of the transport mechanism 120, the hand 122 is inserted into the container H below the first support member S1 and second support member S2 of the specific pair.
  • the first support member S1 or the second support member S2 of the specific pair of the hand 122 is positioned below the specified height positions PL and PR, there is a risk that the hand 122 will collide with the transported object W supported by the first support member S1 and the second support member S2, so it is necessary to correct the insertion height at which the hand 122 is inserted into the container H.
  • the insertion height at which the hand 122 is inserted into the container H varies (above or below the first support member S1 and the second support member S2) depending on the operation type of the transport mechanism 120 (a loading operation for loading the transported object W into the container H, or a loading operation for unloading the transported object W from the container H). Therefore, when correcting the insertion height at which the hand 122 is inserted into the container H, it is necessary to select the insertion height correction amount depending on the operation type of the transport mechanism 120.
  • the transport device 100 which transports a transported object W to a container H placed on the container opening/closing device 50, includes a selection unit 142 that selects one of the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 calculated by the calculation unit 54a of the container opening/closing device 50 as an insertion height correction amount, a derivation unit 144 that derives the insertion height at which the hand 122 is inserted into the container H based on the insertion height correction amount selected by the selection unit 142, a lifting operation execution unit 148 that raises and lowers the hand 122 to the insertion height calculated by the derivation unit 144, and an insertion operation execution unit 149 that inserts the hand 122 into the container H at the insertion height calculated by the derivation unit 144.
  • the insertion operation execution unit 149 may be configured to be able to perform an operation to remove the hand 122 from the container H.
  • the selection unit 142 selects the insertion height correction amount depending on the operation type of the transport mechanism 120.
  • the storage unit 146 of the transport device 100 may store in advance in a reference insertion height information table 146a the insertion height of the hand 122 that serves as a reference for multiple pairs of first support members S1 and second support members S2 of the container H. For example, for each pair of first support members S1 and second support members S2 from top to bottom, the reference insertion height when the hand 122 carries the transported object W into the container H is the insertion height IN1, IN2, ...
  • the transport device 100 determines whether or not the insertion height needs to be corrected based on the state (whether there is an abnormality) of the first support member S1 and second support member S2 of the specific pair of containers H determined by the aforementioned determination unit 147.
  • the correction of the transport operation of the transported object W by the transport device 100 includes the following steps. First, in the transport operation type determination step ST0, the operation type of the transport mechanism 120 is determined. The determination of the operation type of the transport mechanism 120 may be performed by the control unit 140 of the transport device 100. Next, if the transport operation type determination step ST0 determines that the operation is a carry-in operation, in the correction value selection step ST11, one of the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 calculated by the calculation unit 54a is selected as the insertion height correction amount. The selection of the insertion height correction amount may be performed by the selection unit 142.
  • the insertion height of the hand 122 into the container H is derived based on the selected insertion height correction amount, and the hand 122 is raised or lowered to the derived insertion height.
  • the derivation of the insertion height may be performed by the derivation unit 144.
  • the raising and lowering of the hand 122 may be performed by the raising and lowering operation execution unit 148.
  • the transfer start process ST13 the hand 122, which is positioned at the calculated insertion height, is inserted into the container H (for example, by moving the arm 126 in the forward/backward direction Y).
  • the insertion of the hand 122 into the container H may be performed by the insertion operation execution unit 148.
  • the hand 122 inserted into the container H is lowered below the specific pair of first support member S1 and second support member S2, and the transported object W held by the hand 122 is supported by the specific pair of first support member S1 and second support member S2.
  • the lowering of the hand 122 may be performed by the lifting operation execution unit 148.
  • the hand 122 is removed from the container H, completing the transport of the transported object W to the specific pair of first support member S1 and second support member S2 of the container H.
  • the removal of the hand 122 from the container H may be performed by the insertion operation execution unit 148.
  • the determination unit 147 determines whether there is an abnormality in the container H. If the determination unit 147 determines that there is no abnormality in the container H, the conveying operation type determination process ST0 is performed.
  • the memory unit 146 stores the first positional deviation amount D1 of each first support portion S1 and the second positional deviation amount D2 of each second support portion S2, and the control unit 140 obtains information necessary for correcting the conveying operation from the memory unit 146 when the conveying device 100 performs conveying.
  • the calculator 54a calculates the first positional deviation amount D1 or the second positional deviation amount D2 as a positive value when the detection height position P1 of the first support member S1 or the detection height position P2 of the second support member S2 is higher than the specified height positions PL, PR in the vertical direction Z, and calculates the first positional deviation amount D1 or the second positional deviation amount D2 as a negative value when the detection height position P1 of the first support member S1 or the detection height position P2 of the second support member S2 is lower than the specified height positions PL, PR in the vertical direction Z. That is, when the calculator 54a calculates the first positional deviation amounts D11, D12, ...
  • each of the first positional deviation amounts D11, D12, ... and the second positional deviation amounts D21, D22, ... may be assigned a positive or negative value and stored in the detection position information table 54c2 (shown in FIG. 7 ).
  • the selection unit 142 selects the insertion height correction amount based on the positive or negative value of the first positional deviation amounts D11, D12, ... and the second positional deviation amounts D21, D22, ... depending on the operation type of the transport mechanism 120.
  • the transport device 100 inserts the hand 122 above the specific pair of first support member S1 and second support member S2.
  • the selection unit 142 selects as the insertion height correction amount. Specifically, when the transport mechanism 120 transports the transported object W into the container H, if either the first positional deviation amount D1 or the second positional deviation amount D2 is a positive value, the selection unit 142 preferably selects the larger of the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 as the insertion height correction amount. In FIG.
  • the first positional deviation amount D1 is a positive value and the second positional deviation amount D2 is a negative value, so the selection unit 142 selects the first positional deviation amount D1 as the insertion height correction amount.
  • the lead-out unit 144 derives the insertion height at which the hand 122 is inserted into the container H based on the selected insertion height correction amount (first positional deviation amount D1).
  • the insertion height derived by the lead-out unit 144 is the sum of a reference insertion height (e.g., the insertion height IN1 of the hand 122 corresponding to the first first support member S1 and second support member S2 shown in FIG.
  • the insertion height correction amount (e.g., the first positional deviation amount D11 of the first first support member S1 shown in FIG. 7).
  • the selection unit 142 selects the larger of the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 (the positional deviation amount of the support part located higher) as the insertion height correction amount. Also, if the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 are both negative values, the selection unit 142 may select the larger of the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 (the positional deviation amount of the support part located higher) as the insertion height correction amount, but may not correct the insertion height of the hand 122 into the container H.
  • the first support portion S1 and the second support portion S2 are both positioned below the specified height positions PL and PR. Therefore, even if the hand 122 is inserted above the first support portion S1 and the second support portion S2 at the reference insertion height (for example, insertion height IN1) shown in FIG. 8, there is no risk of the transported object W held by the hand 122 colliding with the first support portion S1 and the second support portion S2.
  • the reference insertion height for example, insertion height IN1
  • the lifting operation execution unit 148 lowers the hand 122 below the first support member S1 and second support member S2 of the specific pair, as shown by the arrow in Figure 10 (b), and the transported object W held by the hand 122 is supported by the first support member S1 and second support member S2 of the specific pair.
  • the hand 122 must be lowered below the lower of the first support member S1 and second support member S2 (in this case, the second support member S2) because the transported object W held by the hand 122 moves out of the container H only after it is supported by the first support member S1 and second support member S2.
  • the amount of descent H1 of the hand 122 after transport is the sum of the absolute value of the first displacement amount D1 of the first support portion S1 and the absolute value of the second displacement amount D2 of the second support portion S2.
  • the selector 142 selects the larger of the first positional displacement amount D1 and the second positional displacement amount D2 (the displacement amount of the support portion located higher) as the insertion height correction amount.
  • the amount of descent H1 of the hand 122 after transport may be such that the hand 122 descends to a position lower than the lowermost of the first support portion S1 and the second support portion S2.
  • the transport operation type determination process ST0 determines that the operation is a carry-out operation
  • the correction value selection process ST21 one of the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 calculated by the calculation unit 54a is selected as the insertion height correction amount.
  • the selection of the insertion height correction amount may be performed by the selection unit 142.
  • the hand insertion position correction process ST22 the insertion height of the hand 122 into the container H is derived based on the selected insertion height correction amount, and the hand 122 is raised or lowered to the derived insertion height.
  • the derivation of the insertion height may be performed by the derivation unit 144.
  • the raising and lowering of the hand 122 may be performed by the raising and lowering operation execution unit 148.
  • the hand 122 positioned at the derived insertion height is inserted into the container H (for example, by moving the arm unit 126 in the forward/backward direction Y).
  • the insertion of the hand 122 into the container H may be performed by the insertion operation execution unit 148.
  • the transfer start step ST13 the hand 122 inserted into the container H is raised above the first support member S1 and second support member S2 of the specific pair, and the transferred object W supported by the first support member S1 and second support member S2 of the specific pair is held by the hand 122.
  • the raising of the hand 122 may be performed by the lifting operation execution unit 148.
  • the hand 122 is removed from the container H, and the transfer of the transferred object W to the specific pair of first support member S1 and second support member S2 of the container H is completed.
  • the removal of the hand 122 from the container H may be performed by the insertion operation execution unit 148.
  • the transport device 100 inserts the hand 122 below the specific pair of first support member S1 and second support member S2.
  • the selection unit 142 selects as the insertion height correction amount. Specifically, when the transport mechanism 120 is transporting the transported object W from the container H, if either the first positional deviation amount D1 or the second positional deviation amount D2 is a negative value, the selection unit 142 preferably selects the smaller of the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 as the insertion height correction amount. In FIG.
  • the first positional deviation amount D1 is a positive value and the second positional deviation amount D2 is a negative value, so the selection unit 142 selects the second positional deviation amount D2 as the insertion height correction amount.
  • the lead-out unit 144 derives the insertion height at which the hand 122 is inserted into the container H based on the selected insertion height correction amount (second positional deviation amount D2).
  • the insertion height derived by the lead-out unit 144 is the sum of a reference insertion height (e.g., the insertion height OUT1 of the hand 122 corresponding to the first first support member S1 and second support member S2 shown in FIG.
  • the insertion height correction amount (e.g., the second positional deviation amount D21 of the first second support member S2 shown in FIG. 7).
  • the selection unit 142 selects the smaller of the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 (the positional deviation amount of the support part located lower) as the insertion height correction amount. Also, if both the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 are positive values, the selection unit 142 may select the smaller of the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 (the positional deviation amount of the support part located lower) as the insertion height correction amount, but may not correct the insertion height of the hand 122 into the container H.
  • both the first positional deviation amount D1 and the second positional deviation amount D2 are positive values, both the first support part S1 and the second support part S2 are located above the specified height positions PL and PR. In this case, even if the hand 122 is inserted below the first support portion S1 and the second support portion S2 at the reference insertion height (for example, insertion height OUT1) shown in FIG. 8, there is no risk of the hand 122 colliding with the transported object W supported by the first support portion S1 and the second support portion S2.
  • the lifting operation execution unit 148 raises the hand 122 above the first support member S1 and second support member S2 of the specific pair, as shown by the arrow in Figure 11 (b), and the transferred object W supported by the first support member S1 and second support member S2 of the specific pair is held by the hand 122.
  • the hand 122 moves out of the container H after the transferred object W supported by the first support member S1 and second support member S2 is held by the hand 122, so it must rise above the upper of the first support member S1 and second support member S2 (in this case, the first support member S1).
  • the amount of lift H2 of the hand 122 after transport is the sum of the absolute value of the first displacement D1 of the first support member S1 and the absolute value of the second displacement D2 of the second support member S2.
  • the selector 142 selects the smaller of the first positional displacement D1 and the second positional displacement D2 (the displacement of the lower support member) as the insertion height correction amount. In this case, the amount of lift H2 of the hand 122 after transport simply needs to be higher than the higher of the first support member S1 and the second support member S2.
  • the conveying device 100 can reflect the result of the abnormality determination made by the determination unit 147 in controlling the conveying operation of the conveyed object W (for example, by stopping the operation of the conveying device 100 or correcting the insertion height of the hand 122 of the conveying mechanism 120 of the conveying device 100 into the container H).
  • the conveying device 100 can select one of the positional deviation amounts (first positional deviation amount D1 and second positional deviation amount D2) calculated by the calculation unit 54a as the insertion height correction amount (for example, by selecting based on the carry-in or carry-out operation of the hand 122), and correct the insertion height at which the hand 122 is inserted into the container H based on the selected insertion height correction amount, thereby preventing the conveyed object W held by the hand 122 from colliding with the first support portion S1 and second support portion S2 provided on the container H, or preventing the hand 122 from colliding with the conveyed object W supported by the first support portion S1 and second support portion S2 provided on the container H.
  • the container opening and closing device for opening and closing containers of the present invention has a detecting unit provided on the holding unit that detects the vertical height positions of the first support unit and the second support unit (the vertical lower end positions of the measured parts of each support unit) as the holding unit that holds the container lid moves, and a calculating unit calculates the amount of positional deviation between the detected height positions of those support units and a predetermined specified height position. This allows the container opening and closing device for opening and closing containers to accurately detect the height positions of the support units provided on the container. Furthermore, the determining unit of the conveying device determines whether the vertical height positions of the first support unit and the second support unit are abnormal based on the detection results of the detecting unit or the calculation results of the calculating unit.
  • the conveying device selects one of the positional deviation amounts calculated by the calculation unit of the container opening/closing device as the insertion height correction amount (for example, selected based on the hand's carry-in or carry-out operation), and corrects the insertion height at which the hand is inserted into the container based on the selected insertion height correction amount, preventing the transported object held by the hand of the transport mechanism of the conveying device from colliding with the first and second support portions provided on the container, or the hand from colliding with the transported object supported by the first and second support portions provided on the container.
  • the insertion height correction amount for example, selected based on the hand's carry-in or carry-out operation
  • the present invention provides a container opening/closing device and conveying device that uses a container opening/closing device to detect the state of a support part attached to the container and determine whether there is an abnormality, thereby preventing a transported object held by a hand from colliding with the support part attached to the container, or preventing the hand from colliding with a transported object supported by the support part attached to the container.

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Supplying Of Containers To The Packaging Station (AREA)
  • Making Paper Articles (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)

Abstract

本発明は、容器開閉装置によって容器に設けられる支持部の高さ位置を精度よく検出し、その検出結果を搬送装置の搬送動作の制御に反映し、ハンドに保持される被搬送物が支持部に衝突し、或いはハンドが支持部に支持される被搬送物に衝突することを防止する容器開閉装置、搬送装置及び搬送システムを提供する。容器開閉装置は、第１支持部と第２支持部の上下方向における高さ位置をそれぞれ検出し、第１支持部の第１位置ずれ量及び第２支持部の第２位置ずれ量を算出する。搬送装置は、検出部の検出結果又は算出部の算出結果に基づいて、第１支持部と第２支持部の高さ位置が異常であるかを判定する。また、搬送装置と搬送システムは、第１位置ずれ量と第２位置ずれ量のうち一つを挿入高さ補正量として選択し、選択された挿入高さ補正量に基づき、ハンドの挿入高さを導出し、ハンドを導出した挿入高さまで昇降させ、補正した挿入高さでハンドを容器へ挿入させる。

Description

容器開閉装置、及び搬送装置
　本発明は、被搬送物を収容可能な容器を開閉するための容器開閉装置、及び前記容器開閉装置に設けられる容器に対して被搬送物を搬送する搬送装置に関する。
　従来から、半導体等の製造分野において、搬送装置に設けられる産業用の搬送ロボットを使用して基板（例えば、ウエハ、ガラス基板等）としての被搬送物を収容する容器が載置される容器開閉装置（ロードポート）と被搬送物を処理する処理装置またはロードロックチャンバとの間で被搬送物を搬送する搬送技術が存在している。詳細に述べると、搬送装置に設けられる搬送機構としての搬送ロボットは、被搬送物が収容された容器から被搬送物を搬出し、処理装置に搬送して被搬送物に対して処理を行う一方、被搬送物に対して処理を行う処理装置から被搬送物を搬出し、被搬送物を収容可能な容器に被搬送物を収容することができる。
　近年、半導体デバイスの分野では、デバイスの集積度が増加される一方で、デバイスの小型化も進んできている。それに伴い、高集積度を有するデバイスのパッケージング技術として、パネルレベルパッケージング（以下、ＰＬＰ）と呼ばれる工法が普及してきている。ＰＬＰは、矩形状のパネルの上に多数のチップを並べて複数の半導体パッケージを一括で製造する工法であり、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインでは、種々の産業用ロボットが使用されている。ＰＬＰの中には、多数のチップが載置されたパネルの上面を樹脂でコーティング（封止）する工程等が含まれており、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われるパネルには、上下方向への大きな反り（撓みと歪みを含む上反り、下反りなど）が生じやすい。
特開昭６１―２６７６２３号公報 国際出願ＷＯ２０１０／１１９８４６号公報
　被搬送物（以下、基板と呼ぶ）の収容容器であるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）内には、水平方向に間隔を空けて設けられる一対の第１支持部と第２支持部を、上下方向に間隔を空けて複数対設け、各対の第１支持部と第２支持部の上に一つの基板を支持するように、複数の基板を収容することができる。各対の支持部の上下方向における間隔は、基板の収容効率を向上させるため狭ピッチ化が進んできている。搬送ロボットを用いて基板をＦＯＵＰへ搬送する際、基板を保持するための保持部として搬送ロボットに設けられるロボットハンドは、基板を保持した状態で、ＦＯＵＰ内に向けて特定対の支持部の上方に進入し、その後下方へ移動して基板を特定対の支持部に支持させてからＦＯＵＰから離れる。しかしながら、支持部の上下方向における間隔が狭いため、基板を収容可能な容器（ＦＯＵＰ）自体が異常状態（例えば、特定対の第１支持部と第２支持部のいずれかの高さ位置が基準となる高さ位置からずれている状態）であれば、ロボットハンドの挿入時に、ロボットハンドに保持される基板がＦＯＵＰの支持部に衝突し、或いはロボットハンドがＦＯＵＰの支持部に支持される基板に衝突する恐れがある。
　以上より、被搬送物を搬送する搬送装置の搬送動作の制御に反映させるために、容器に設けられる支持部の高さ位置を精度よく検出することが求められる。
　上記目的を達成するために、本発明によれば、水平方向に間隔を空けて設けられる一対の第１支持部と第２支持部が水平方向と直交する上下方向に間隔を空けて複数対設けられた容器を開閉するための容器開閉装置であって、前記容器の蓋を保持する保持部と、前記保持部を少なくとも前記上下方向へ移動させる駆動部と、前記保持部に設けられ、前記保持部の移動によって前記第１支持部と前記第２支持部の前記上下方向における高さ位置をそれぞれ検出する検出部と、前記第１支持部の第１位置ずれ量及び前記第２支持部の第２位置ずれ量を算出する算出部と、を備え、前記第１位置ずれ量は、前記第１支持部の検出された検出高さ位置と予め設定された前記第１支持部の規定高さ位置との位置ずれ量であり、前記第２位置ずれ量は、前記第２支持部の検出された検出高さ位置と予め設定された前記第２支持部の規定高さ位置との位置ずれ量であり、前記第１支持部と前記第２支持部は、それぞれ被搬送物を支持する本体部と、前記本体部の先端に設けられる被測定部を有し、前記検出部は、前記第１支持部と前記第２支持部のそれぞれの前記被測定部の前記上下方向における下端位置を、前記第１支持部と前記第２支持部のそれぞれの前記検出高さ位置として検出することを特徴とする容器開閉装置が提供される。
　上記目的を達成するために、本発明によれば、上述の容器開閉装置に設けられる容器に対して被搬送物を搬送する搬送装置であって、前記搬送装置は、前記検出部の検出結果又は前記算出部の算出結果に基づいて、前記第１支持部と前記第２支持部の前記上下方向における高さ位置が異常であるかを判定する判定部を備えることを特徴とする搬送装置が提供される。
　上記目的を達成するために、本発明によれば、上述の容器開閉装置に設けられる容器に対して被搬送物を搬送する搬送装置であって、被搬送物を保持可能なハンドを有する搬送機構と、前記容器開閉装置の前記算出部が算出された前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のうち一つを挿入高さ補正量として選択する選択部と、選択された前記挿入高さ補正量に基づき、前記ハンドの前記容器へ挿入する挿入高さを導出する導出部と、前記ハンドを前記導出部で導出した前記挿入高さまで昇降させる昇降動作実施部と、導出した前記挿入高さで前記ハンドを前記容器へ挿入させる挿入動作実施部と、を備え、前記選択部は、前記搬送機構の動作種別に応じて前記挿入高さ補正量を選択することを特徴とする搬送装置が提供される。
　上記目的を達成するために、本発明によれば、水平方向に間隔を空けて設けられる一対の第１支持部と第２支持部が水平方向と直交する上下方向に間隔を空けて複数対設けられた容器を開閉するための容器開閉装置と、被搬送物を保持可能なハンドを有する搬送機構を備えて前記容器開閉装置に設けられる容器に対して被搬送物を搬送する搬送装置と、前記容器開閉装置と前記搬送装置との動作を制御する制御部とを少なくとも備えた搬送システムであって、前記容器開閉装置は、前記容器の蓋を保持する保持部と、前記保持部を少なくとも前記上下方向へ移動させる駆動部と、前記保持部に設けられ、前記保持部の移動によって前記第１支持部と前記第２支持部の前記上下方向における高さ位置をそれぞれ検出する検出部と、を備え、前記制御部は、予め設定された前記第１支持部の規定高さ位置に対する前記第１支持部の第１位置ずれ量及び予め設定された前記第２支持部の規定高さ位置に対する前記第２支持部の第２位置ずれ量を算出する算出部と、前記算出部が算出する前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のうち一つを挿入高さ補正量として選択する選択部と、選択された前記挿入高さ補正量に基づき、前記ハンドの前記容器へ挿入する挿入高さを導出する導出部と、前記ハンドを前記導出部で導出した前記挿入高さまで昇降させる昇降動作実施部と、導出した前記挿入高さで前記ハンドを前記容器へ挿入させる挿入動作実施部と、を備え、前記検出部は、前記第１支持部と前記第２支持部のそれぞれの前記上下方向における下端部の位置を、前記第１支持部と前記第２支持部のそれぞれの前記検出高さ位置として検出することを特徴とする搬送システムが提供される。
　本発明によれば、容器を開閉するための容器開閉装置によって容器に設けられる支持部の高さ位置を精度よく検出することができる容器開閉装置、搬送装置及び搬送システムを提供することができる。
本発明の一実施形態に従った容器開閉装置及び搬送装置が応用される搬送システムの全体を説明する斜視図である。 図１に示す搬送システムの電気的構成のブロック図である。 図１に示す搬送システムに使用されたる容器開閉装置の構成を説明する斜視図である。 図３に示す容器開閉装置に載置される容器の内部を説明する正面図である。 図４に示す容器に設けられる一対の第１支持部と第２支持部の異常状態を説明する概略図である。 図３に示す容器開閉装置に使用される基準位置情報テーブルの一例を示す説明図である。 図３に示す容器開閉装置に使用される検出位置情報テーブルの一例を示す説明図である。 図３に示す搬送装置に使用される基準挿入高さ情報テーブルの一例を示す説明図である。 図１に示す搬送装置によって容器開閉装置に設置される容器へ被搬送物を搬送する処理のフローチャートである。 図９に示す動作種別が搬入動作である状態のハンドの補正処理を説明する概略図である。 図９に示す動作種別が搬出動作である状態のハンドの補正処理を説明する概略図である。
　ここで、本発明の例示的な実施形態を詳細に参照し、例示的実施形態の実例を添付の図面に示す。以下では、図１～図１１を組み合わせて本実施形態の容器開閉装置５０、搬送装置１００、及び容器開閉装置５０と搬送装置１００が応用される搬送システム２０の具体的な構造と搬送手段を説明し、空間座標系ＸＹＺを左右方向Ｘ、前後方向Ｙ、及び上下方向Ｚとして説明を行うが、これは本発明の一例に過ぎず、本発明はこれに限定するものではない。
　まず、図１から図３を参照し、本実施形態の容器開閉装置５０、搬送装置１００、容器開閉装置５０と搬送装置１００が応用される搬送システム２０を説明する。搬送システム２０は、被搬送物Ｗを搬送する搬送装置１００と、搬送装置１００の一方側（例えば、前方側）に配置される容器開閉装置５０と、搬送装置１００の他方側（例えば、後方側）に配置される処理装置６０と、容器開閉装置５０と搬送装置１００との動作を制御する制御部（後述の説明を参照）を有する。搬送装置１００は、例えばＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）である。容器開閉装置５０は、被搬送物Ｗを収容可能な容器Ｈ（例えば、ＦＯＵＰ）を載置し、容器Ｈの蓋（不図示）を開閉するためのロードポート装置である。処理装置６０は、被搬送物Ｗを処理するための装置である。搬送装置１００は、筐体１１０と、筐体１１０の内部に設けられ、被搬送物Ｗを搬送する搬送機構１２０と、搬送機構１２０の移動を駆動する駆動部１３０と、搬送機構１２０の搬送動作を制御する制御部１４０を備える。筐体１１０は、搬送機構１２０、駆動部１３０、制御部１４０を収納し、且つ容器開閉装置５０と処理装置６０とをそれぞれ連通する。搬送機構１２０は、筐体１１０の内部を移動可能に構成される。搬送装置１００に設けられる搬送機構１２０（例えば、搬送ロボット）は、被搬送物Ｗを保持可能なハンド１２２を有し、被搬送物Ｗを容器Ｈから取り出して筐体１１０の内部を介して処理装置６０へ搬送する（図１に示す）。処理装置６０は、搬送機構１２０により搬送された被搬送物Ｗに対して処理を行う。又は、搬送機構１２０は、処理装置６０から取り出した被搬送物Ｗを筐体１１０の内部を介して容器Ｈへ搬送する。駆動部１３０は、搬送機構１２０の移動（昇降も含む）を駆動する。また、制御部１４０は、搬送機構１２０の搬送動作を制御する。制御部１４０は、更に後述の選択部１４２と、導出部１４４と、記憶部１４６と、判定部１４７と、昇降動作実施部１４８と、挿入動作実施部１４９との機能を発揮する。
　本実施形態の被搬送物Ｗは、例えば、ＰＬＰに用いられるガラス基板であり、容器Ｈに収容される。図３と図４に示すように、ＰＬＰに用いられるガラス基板などの被搬送物Ｗを収容可能な容器Ｈは、容器開閉装置５０に載置される。容器Ｈは、水平方向(例えば、左右方向Ｘ)に間隔を空けて設けられる一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２が水平方向と直交する上下方向Ｚに間隔を空けて複数対設けられる。一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２は、例えば、図４に示すように、容器Ｈの相対する両側部の内側面から水平方向（例えば、左右方向Ｘ）に突出して設けられ、被搬送物Ｗの相対する両側で被搬送物Ｗを支持することができる。また、容器Ｈの側部の一方は、上下方向Ｚに沿って複数の第１支持部Ｓ１が設けられ、且つ隣接する２つの第１支持部Ｓ１の間には間隔Ｇを空けて被搬送物Ｗを収容可能な空間を形成する。同様に、容器Ｈの側部の他方は、上下方向Ｚに沿って複数の第２支持部Ｓ２が設けられ、且つ隣接する２つの第２支持部Ｓ２の間には間隔Ｇを空けて被搬送物Ｗを収容可能な空間を形成する。これにより、容器Ｈは、上下方向Ｚに所定の間隔Ｇを空けて並ぶ複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２によって被搬送物Ｗを支持することで、複数の被搬送物Ｗを内部に（間隔Ｇのそれぞれに）収容することができる。即ち、被搬送物Ｗは、各対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２（例えば、上から２番目の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２）によって支持され、当該第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上方の間隔Ｇ（例えば、上から１番目と２番目の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の間の空間）に収容される。
　図２と図３に示すように、容器開閉装置５０は、容器Ｈの蓋（不図示）を保持する保持部５１と、保持部５１を少なくとも上下方向Ｚへ移動させる駆動部５２と、保持部５１に設けられ、保持部５１の移動によって第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上下方向Ｚにおける高さ位置をそれぞれ検出する検出部５３と、容器開閉装置５０の動作（例えば、駆動部５２の駆動により保持部５１の移動）を制御するための制御部５４と、容器Ｈが載置される載置台５５と、載置台５５を支持する支持体５６を備える。保持部５１は、容器Ｈの蓋と係合するポートドアである。駆動部５２は、例えば、モータとボールねじから成るユニットであり、概ねの構造は、支持体５６の内部に収容され、一部の構造は、保持部５１と連結するように搬送装置１００の筐体１１０の内部側へ突出する。搬送装置１００の搬送機構１２０を用いて被搬送物Ｗを容器Ｈへ搬送する、或いは搬送装置１００の搬送機構１２０を用いて被搬送物Ｗを容器Ｈから搬送する際、制御部５４は、駆動部５２の駆動を制御し、保持部５１を上下方向Ｚに移動させる。これにより、容器開閉装置５０は容器Ｈの蓋を開放することができる。容器Ｈの蓋が開放されることで、容器Ｈに収容された被搬送物Ｗが筐体１１０の内部に面するようになり、搬送機構１２０によって容器Ｈから筐体１１０の内部へ被搬送物Ｗを搬送することができる。同様に、搬送機構１２０によって筐体１１０の内部から容器Ｈへ被搬送物Ｗを搬送することも可能になる。図３と図４を参照し、保持部５１は、容器Ｈの蓋と係合した状態で下方へ移動し、容器Ｈの蓋を下方へ移動させて容器Ｈの内部に設けられる複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２を上から下へ順に筐体１１０の内部に直接面するように露出させる。即ち、保持部５１の移動により、容器Ｈに設けられる複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のうち、上側にある一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２は、下側にあるもう一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２によりも先に筐体１１０の内部に直接面するように露出する。ここで、容器開閉装置５０の動作を制御する制御部５４と、上述の搬送装置１００の動作を制御する制御部１４０は、別々の制御ユニットによって実現するが、１つの制御ユニットによって実現してもよい。また、搬送システム２０の搬送装置１００に設けられる制御ユニットである制御部１４０によって容器開閉装置５０の動作を制御する場合、搬送装置１００の制御部１４０から容器開閉装置５０への制御信号の発信が必要である（逆の発信にしてもよい）。
　更に、図２と図３に示すように、検出部５３は、例えば、反射型センサ５３ａとカメラ５３ｂとの組み合わせであり、保持部５１の上端の縁部に設けられ、且つ容器開閉装置５０の後方に向かって容器Ｈに面する。検出部５３（反射型センサ５３ａ）は、各第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の高さ位置を検出する。検出部５３は、保持部５１とともに上下方向Ｚに移動することができる。従って、本実施例において、容器開閉装置５０は、２組の検出部５３を使用して載置台５５の高さ位置を基準として複数の第１支持部Ｓ１と複数の第２支持部Ｓ２の高さ位置をそれぞれ検出する。保持部５１の下方への移動により、容器Ｈの蓋を下方へ移動させて複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２を上から下へ順に筐体１１０の内部に直接面するように露出させると同時に、検出部５３は、上下方向Ｚにおいて上から下へ移動して容器Ｈの複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの高さ位置を上から下へ順番に検出することができる。即ち、保持部５１の移動により、検出部５３は、上下方向Ｚにおいて上から下へ移動し、上側の一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の高さ位置をそれぞれ検出し、その後に下側のもう一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の高さ位置をそれぞれ検出することができる。この検出処理は、搬送装置１００が被搬送物Ｗを搬送する前に行うことが好ましい。また、制御部５４は、更に後述の算出部５４ａと、記憶部５４ｃの機能を発揮する。ここで検出する複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の高さ位置は、後述のように、搬送装置１００の制御部１４０へ発信し、容器Ｈの複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の異常状態の判定条件とすることができる。また、容器開閉装置５０の容器Ｈの複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の位置ずれ量の算出結果は、搬送装置１００の制御部１４０へ発信し、後述のように、搬送装置１００の搬送手段の制御条件とすることができる。
　図１と図２に示す処理装置６０は、少なくとも１つの載置台を備え、被搬送物Ｗの処理工程の間に少なくとも１つの被搬送物Ｗを支持することができる。処理装置６０の種類は、被搬送物Ｗを処理する工程の内容に応じて選択することができる（例えば、イオン注入やエッチング等の半導体製造工程に必要な処理）。また、処理装置６０のドアを開放することにより、処理装置６０の内部にある被搬送物Ｗが筐体１１０の内部に面するようになり、搬送機構１２０によって処理装置６０の内部から筐体１１０の内部へ被搬送物Ｗを搬送することができる。同様に、搬送機構１２０によって筐体１１０の内部から処理装置６０の内部へ被搬送物Ｗを搬送することも可能になる。他の図示していない実施形態では、搬送装置１００と処理装置６０との間に更にロードロックチャンバを設置してもよい。
　図１に示すように、搬送装置１００の筐体１１０は、一例として、枠部１１２と、枠部１１２を覆うための壁部１１４と、搬送機構１２０を移動させるための移動体１１６と、移動体１１６の移動を案内するための案内構造１１８を含む。枠部１１２は、筐体１１０のフレームとして設置される。壁部１１４は、枠部１１２に設けられ、筐体１１０の内部空間を形成する。案内構造１１８は、例えば、スライドレール構造、コンベア駆動装置等であり、筐体１１０の内部空間に設けられる。移動体１１６は、筐体１１０の内部空間において案内構造１１８に設けられ、案内構造１１８により筐体１１０内において走行自在に設置されている。例えば、移動体１１６は、左右方向Ｘの移動を案内するための案内構造１１８に取り付けられ、案内構造１１８によって筐体１１０内において左右方向Ｘに移動可能になる。また、壁部１１４は、容器開閉装置５０と連通するための開口ＯＰ（図１に示す）と、処理装置６０と連通するための開口と、を有する。開口ＯＰは、載置台５５に載置された容器Ｈの内部に連通可能である。保持部５１は、開口ＯＰを介して容器Ｈの蓋を保持し、当該蓋を筐体１１０の内部に引き込むことで、容器Ｈの内部と筐体１１０の内部空間を連通する。筐体１１０の内部に設けられる搬送機構１２０は、これらの開口を介して、容器開閉装置５０から処理装置６０へ、或いは処理装置６０から容器開閉装置５０へ被搬送物Ｗを搬送することができる。即ち、搬送機構１２０は、移動体１１６によって、容器開閉装置５０のドア位置（例えば、保持部５１の位置）まで移動し、容器Ｈと筐体１１０の内部との間で被搬送物Ｗの受け渡しが可能になる。同様に、搬送機構１２０は、移動体１１６によって、処理装置６０のドア位置まで移動し、処理装置６０と筐体１１０の内部との間で被搬送物Ｗの受け渡しが可能になる。これにより、搬送装置１００は、筐体１１０の内部において、搬送機構１２０によって、容器開閉装置５０に載置される容器Ｈと処理装置６０との間で被搬送物Ｗを搬送することができる。
　更に、図１に示すように、搬送機構１２０は、例えば、搬送ロボットであり、台座部１２４と、台座部１２４の上端に取り付けられるアーム部１２６と、アーム部１２６の先端に取り付けられて被搬送物Ｗを保持可能なハンド１２２と、アーム部１２６を駆動して水平方向（左右方向Ｘと前後方向Ｙ）及び上下方向Ｚにハンド１２２を移動させる搬送駆動部１２８を有する。台座部１２４は、筐体１１０の内部に設けられる移動体１１６に取り付けられ、移動体１１６によって移動可能に設置される。例えば、台座部１２４は、移動体１１６によって左右方向Ｘへ移動可能（スライド可能）である。アーム部１２６は、台座部１２４に対して水平面（左右方向Ｘと前後方向Ｙが構成する仮想な水平面）内で旋回可能で、且つ上下方向Ｚにも昇降可能に台座部１２４の上端に取り付けられる。ハンド１２２は、アーム部１２６の先端に取り付けられるロボットハンドであり、アーム部１２６の水平面内での旋回と、上下方向Ｚへの昇降とともに移動することができる。また、搬送駆動部１２８は、例えば、台座部１２４に内蔵されるモータや伝達機構であり、アーム部１２６に駆動力を付与してハンド１２２を移動させる。従って、搬送機構１２０としての搬送ロボットは、ハンド１２２によって被搬送物Ｗを保持した状態で、移動体１１６によって容器Ｈが載置される容器開閉装置５０と処理装置６０との間に移動し、且つ搬送駆動部１２８によってアーム部１２６を駆動することで、ハンド１２２を自在に移動（昇降、旋回、前後）させ、ハンド１２２によって被搬送物Ｗを搬送する。
　図１から図３を参照し、本実施形態では、搬送機構１２０によって被搬送物Ｗを容器Ｈへ搬入する際、被搬送物Ｗを保持するハンド１２２（ロボットハンド）は、被搬送物Ｗを保持した状態で、容器Ｈの複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のうち、特定の一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上方に区画される間隔Ｇに進入し、その後下方へ移動して当該第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に被搬送物Ｗを支持させて容器Ｈから離れる。また、搬送機構１２０によって被搬送物Ｗを容器Ｈから搬出する際に、ハンド１２２（ロボットハンド）は、容器Ｈの複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のうち、特定の一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の下方に区画される間隔Ｇに進入し、その後上方へ移動して当該第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持された被搬送物Ｗを持ち上げ、被搬送物Ｗを保持した状態で容器Ｈから離れる。この際、前述のように、容器Ｈの複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上下方向Ｚにおける間隔（ピッチ）が狭いため、被搬送物Ｗを収容可能な容器Ｈ自体が異常状態（例えば、特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のいずれかの高さ位置が基準となる高さ位置からずれている状態）であれば、搬送装置１２０のハンド１２２の挿入時に、ハンド１２２に保持される被搬送物Ｗが容器Ｈに設けられる第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に衝突し、或いはハンド１２２が容器Ｈに設けられる第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持される被搬送物Ｗに衝突する恐れがある。このため、容器開閉装置５０は、容器Ｈに設けられる第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの高さ位置を検出する。被搬送物Ｗを搬送する搬送装置１００は、容器開閉装置５０が検出した第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の高さ位置や、容器開閉装置５０が検出した第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の高さ位置を用いた異常判定の結果を、搬送動作の制御に反映する（例えば、搬送装置１００の動作を停止させ、或いは搬送装置１００の搬送機構１２０のハンド１２２の容器Ｈへの挿入高さを補正する）ことが求められる。
　詳細には、本実施形態では、図５に示すように、容器Ｈに設けられる左右一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２を例として説明する。基準となる容器Ｈにおいて、第１支持部Ｓ１は規定高さ位置ＰＬを有し、第２支持部Ｓ２は規定高さ位置ＰＲを有する（図５の破線に示す位置）。第１支持部Ｓ１の規定高さ位置ＰＬと第２支持部Ｓ２の規定高さ位置ＰＲは、上下方向Ｚにおいて同じ水平高さに位置してもよく、異なる水平高さに位置してもよい。また、たとえ左右一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの規定高さ位置ＰＬ、ＰＲが異なる水平高さに位置しても、互いに左右対応して同一収容空間（間隔Ｇ）を形成することにする。しかしながら、図５に示す例において、第１支持部Ｓ１は、上下方向Ｚにおいて規定高さ位置ＰＬよりも上方に位置すると共に、第２支持部Ｓ２は、上下方向Ｚにおいて規定高さ位置ＰＲよりも下方に位置する。このため、搬送機構１２０によって被搬送物Ｗを容器Ｈの左右一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２が形成する同一収容空間（間隔Ｇ）へ搬入する際に、一対の関係にある第１支持部Ｓ１の規定高さ位置ＰＬと第２支持部Ｓ２の規定高さ位置ＰＲを参照して決められたハンド１２２の挿入高さ(例えば、規定高さ位置ＰＬ、ＰＲから上方へ所定距離を離れる位置)で図１に示す搬送機構１２０のハンド１２２を容器Ｈへ挿入すると、ハンド１２２に保持される被搬送物（不図示）が規定高さ位置ＰＬよりも上方に位置する第１支持部Ｓ１に衝突する恐れがある。同様に、搬送機構１２０によって被搬送物Ｗを容器Ｈの左右一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２が形成する同一収容空間（間隔Ｇ）から搬出する際に、一対の関係にある第１支持部Ｓ１の規定高さ位置ＰＬと第２支持部Ｓ２の規定高さ位置ＰＲを参照して決められたハンド１２２の挿入高さ(例えば、規定高さ位置ＰＬ、ＰＲから下方へ所定距離を離れる位置)で図１に示す搬送機構１２０のハンド１２２を容器Ｈへ挿入すると、ハンド１２２が規定高さ位置ＰＲよりも下方に位置する第２支持部Ｓ２に支持される被搬送物（不図示）に衝突する恐れがある。このため、容器開閉装置５０は、容器Ｈに設けられる第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの高さ位置を検出し、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の検出したそれぞれの高さ位置と規定高さ位置ＰＬ、ＰＲとの位置ずれ量を第１支持部Ｓ１の第１位置ずれ量Ｄ１及び第２支持部Ｓ２の第２位置ずれ量Ｄ２として算出する。被搬送物Ｗを搬送する搬送装置１００は、容器開閉装置５０が算出した第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの位置ずれ量や、容器開閉装置５０が算出した第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの位置ずれ量を用いた異常判定の結果を搬送動作の制御に反映する（例えば、搬送装置１００の動作を停止させ、或いは搬送装置１００の搬送機構１２０のハンド１２２の容器Ｈへの挿入高さを補正する）ことが求められる。
　より具体的に、図２と図３に示す容器開閉装置５０の保持部５１によって容器Ｈの蓋を開けると同時に、容器開閉装置５０の検出部５３は、保持部５１の移動と共に上下方向Ｚに沿って下方へ移動し、容器Ｈから露出する一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの高さ位置を検出することができる。図５に示す例において、第１支持部Ｓ１は、上下方向Ｚにおいて第２支持部Ｓ２よりも高い位置に位置するため、検出部５３は、先に第１支持部Ｓ１の検出高さ位置Ｐ１を検出し、その後第２支持部Ｓ２の検出高さ位置Ｐ２を検出する。一例として、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２は、それぞれ被搬送物Ｗ（図４に示す）を支持する本体部２１０と、本体部２１０の先端に設けられて本体部２１０よりも大径とする被測定部２１２を有する。被測定部２１２は、本体部２１０に設置される被搬送物Ｗの前後方向Ｙの移動を制限するための部材である。被測定部２１２は、上下方向Ｚにおける下方が水平方向に面取りされた被測定面２１２１を更に備える。被検出部２１２は、前後方向Ｙから視て略Ｄ字状の形状を有する。具体的に、検出部５３は、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの被測定部２１２の上下方向Ｚにおける下端位置を、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの検出高さ位置として検出する。下端位置は、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの検出高さ位置Ｐ１、Ｐ２と取り扱うことができる。更に好ましい形態として、検出部５３は、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの被測定部２１２の被測定面２１２１を下端位置として検出する。被測定面２１２１の位置は、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの検出高さ位置Ｐ１、Ｐ２と取り扱うことができる。被搬送物Ｗは、処理の過程で生じた上下方向への反りにより、被搬送物Ｗの一部が第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の少なくともいずれか一方の被測定部２１２の上端から飛び出る場合がある。第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の被測定部２１２の上端を検出する場合、飛び出した被搬送物Ｗの一部を第１支持部Ｓ１及び／又は第２支持部Ｓ２の被測定部２１２と誤検出し、正確な第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の検出高さ位置Ｐ１、Ｐ２を取得できない恐れがある。対して、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの被測定部２１２の下端位置を検出する場合、被搬送物Ｗに生じた上下方向への反りの影響を受けないため、正確な第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の検出高さ位置Ｐ１、Ｐ２を取得することができる。
　また、図２に示すように、制御部５４は、更に算出部５４ａの機能を発揮する。算出部５４ａは、第１支持部Ｓ１の第１位置ずれ量Ｄ１及び第２支持部Ｓ２の第２位置ずれ量Ｄ２（図５に示す）を算出する。ここで、第１位置ずれ量Ｄ１は、第１支持部Ｓ１の検出された検出高さ位置Ｐ１と予め設定された第１支持部Ｓ１の規定高さ位置ＰＬとの位置ずれ量であり、第２位置ずれ量Ｄ２は、第２支持部Ｓ２の検出された検出高さ位置Ｐ２と予め設定された第２支持部Ｓ２の規定高さ位置ＰＲとの位置ずれ量である。また、搬送装置１００は、検出部５３の検出結果又は算出部５４ａの算出結果に基づいて、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上下方向Ｚにおける高さ位置が異常であるかを判定する判定部１４７を備える。ここで、判定部１４７は、第１支持部Ｓ１の上下方向Ｚにおける高さ位置、及び第２支持部Ｓ２の上下方向Ｚにおける高さ位置を、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の状態として判定する（後述の説明の通り）が、本発明はこれに限定するものではない。
　更に述べると、本実施形態では、図２と図６に示すように、制御部５４は、更に記憶部５４ｃの機能を発揮する。記憶部５４ｃは、容器開閉装置５０に載置される容器Ｈの複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の予め設定された規定高さ位置ＰＬ、ＰＲを基準位置情報テーブル５４ｃ１に記憶する。詳細には、記憶部５４ｃは、容器Ｈに設けられる複数対の第１支持部Ｓ１のそれぞれの規定高さ位置ＰＬ１、ＰＬ２、...、と、第２支持部Ｓ２のそれぞれの規定高さ位置ＰＲ１、ＰＲ２、...を、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上から下への番号と関連付けて基準位置情報テーブル５４ｃ１に記憶する。基準位置情報テーブル５４ｃ１に記憶する複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の予め設定された規定高さ位置は、検出部５３によって取得してもよく、容器Ｈの提供者から取得してもよい。理想的には、左右一対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の規定高さ位置は、同じ高さ位置となる。即ち、上から下へ１番目の第１支持部Ｓ１の規定高さ位置ＰＬ１と第２支持部Ｓ２の規定高さ位置ＰＲ１は、同じ高さ位置であり、２番目の第１支持部Ｓ１の規定高さ位置ＰＬ２と第２支持部Ｓ２の規定高さ位置ＰＲ２は、同じ高さ位置である。
　また、図２と図７に示すように、記憶部５４ｃは、容器開閉装置５０に載置される容器Ｈの複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の検出される検出高さ位置Ｐ１、Ｐ２を検出位置情報テーブル５４ｃ２に記憶する。詳細には、容器開閉装置５０は、前述の通り、保持部５１によって容器Ｈの蓋を開けると同時に、検出部５３によって容器Ｈから露出する複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のそれぞれの高さ位置を検出する。したがって、記憶部５４ｃは、容器Ｈに設けられる複数対の第１支持部Ｓ１のそれぞれの検出高さ位置Ｐ１１、Ｐ１２、...、と、第２支持部Ｓ２のそれぞれの検出高さ位置Ｐ２１、Ｐ２２、...を、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上から下への番号と関連付けて検出位置情報テーブル５４ｃ２に記憶する。また、記憶部５４ｃは、算出部５４ａにより算出された第１支持部Ｓ１の第１位置ずれ量Ｄ１１、Ｄ１２、...、及び第２支持部Ｓ２の第２位置ずれ量Ｄ２１、Ｄ２２、...、を、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上から下への番号と関連付けて検出位置情報テーブル５４ｃ２に記憶することも可能である。その後、算出部５４ａの算出結果に基づいて、判定部１４７は、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の高さ位置が異常であるか（例えば、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の高さ位置のずれている状態）を判定する。ここで、判定部１４７の機能を実現する制御部１４０が搬送装置１００に設けられる場合において、その判定結果を第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上から下への番号と関連付けて搬送装置１００の記憶部１４６に記憶することも可能である。ただし、他の図示していない実施形態では、上述の判定部１４７の機能を容器開閉装置５０の制御部５４によって実現することも可能である。この場合、先に異常有無の結果を容器開閉装置５０の記憶部５４ｃの検出位置情報テーブル５４ｃ２にまとめで記憶してもよい。
　ここで、図２と図５を参照し、判定部１４７による容器Ｈの複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上下方向における高さ位置の異常判定を説明する。異常判定の第１例において、算出部５４ａは、第１支持部Ｓ１の検出高さ位置Ｐ１又は第２支持部Ｓ２の検出高さ位置Ｐ２と、上下方向Ｚにおける規定高さ位置ＰＬ、ＰＲとの間の距離を、第１位置ずれ量Ｄ１又は第２位置ずれ量Ｄ２として算出する。特に、算出部５４ａは、第１支持部Ｓ１の検出高さ位置Ｐ１又は第２支持部Ｓ２の検出高さ位置Ｐ２が上下方向Ｚにおいて規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも上方にある場合に、第１位置ずれ量Ｄ１又は第２位置ずれ量Ｄ２を正の値として算出し、第１支持部Ｓ１の検出高さ位置Ｐ１又は第２支持部Ｓ２の検出高さ位置Ｐ２が上下方向Ｚにおいて規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも下方にある場合に、第１位置ずれ量Ｄ１又は第２位置ずれ量Ｄ２を負の値として算出する。また、判定部１４７は、第１位置ずれ量Ｄ１の絶対値又は第２位置ずれ量Ｄ２の絶対値が第１閾値（例えば、１.５ｍｍ）より大きい場合に、第１支持部Ｓ１の高さ位置、又は第２支持部Ｓ２の高さ位置が異常であると判定する。なお、第１例の変形例として、判定部１４７は、第１位置ずれ量Ｄ１又は第２位置ずれ量Ｄ２が第１閾値（例えば、＋１.５ｍｍ）より大きい場合、又は第１閾値（例えば、‐１.５ｍｍ）より小さい場合、第１支持部Ｓ１の高さ位置、又は第２支持部Ｓ２の高さ位置が異常であると判定してもよい。また、異常判定の第２例において、算出部５４ａは、第１支持部Ｓ１の検出高さ位置Ｐ１又は第２支持部Ｓ２の検出高さ位置Ｐ２との差分を算出し、判定部１４７は、第１支持部Ｓ１の検出高さ位置Ｐ１と第２支持部Ｓ２の検出高さ位置Ｐ２との差分の絶対値が第２閾値（例えば、３ｍｍ）より大きい場合に、第１支持部Ｓ１の高さ位置、又は第２支持部Ｓ２の高さ位置が異常であると判定する。第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２は、規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも上方の場合に正の値とし、規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも下方の場合に負の値として検出位置情報テーブル５４ｃ２（図７に示す）に記憶されてもよいが、その数値（規定高さ位置ＰＬ、ＰＲからずれた距離）を検出位置情報テーブル５４ｃ２に記憶してもよい。その判定結果（異常ありまたは異常なし）は、上から下への番号と関連付けて記憶部１４６に記憶する。
　また、図２、図４を参照して異常判定の第３例を説明する。異常判定の第３例において、判定部１４７は、第１支持部Ｓ１（例えば、上から下へ１番目の第１支持部Ｓ１）と上下方向Ｚに並んで配置された他の第１支持部Ｓ１（例えば、上から下へ２番目の第１支持部Ｓ１）との間隔Ｇが第１設定値（予め設定されるピッチ）を超えた場合、又は第２支持部Ｓ２（例えば、上から下へ１番目の第２支持部Ｓ２）と上下方向Ｚに並んで配置された他の第２支持部Ｓ２（例えば、上から下へ２番目の第２支持部Ｓ２）との間隔Ｇが第１設定値（予め設定されるピッチ）を超えた場合に、第１支持部Ｓ１の状態としての第１支持部Ｓ１の高さ位置、又は第２支持部Ｓ２の状態としての第２支持部Ｓ２の高さ位置が異常であると判定する。即ち、上下方向Ｚに隣接する２つの第１支持部Ｓ１との間隔Ｇに基づいて第１支持部Ｓ１の高さ位置の異常状態を判定し、上下方向Ｚに隣接する２つの第２支持部Ｓ２との間隔Ｇに基づいて第２支持部Ｓ２の高さ位置の異常状態を判定することも可能である。その判定結果（異常ありまたは異常なし）は、上から下への番号と関連付けて記憶部１４６に記憶する。
　ここから分かるように、本実施形態では、容器Ｈを開閉するための容器開閉装置５０は、容器Ｈの蓋を保持する保持部５１の移動によって、保持部５１に設けられる検出部５３が第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上下方向Ｚにおける高さ位置（各支持部の被測定部の上下方向における下端位置）をそれぞれ検出し、算出部５４ａがそれらの支持部（第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２）の検出高さ位置Ｐ１、Ｐ２と予め設定された規定高さ位置ＰＬ、ＰＲとの位置ずれ量（第１位置ずれ量Ｄ１、第２位置ずれ量Ｄ２）をそれぞれ算出する。これにより、容器Ｈを開閉するための容器開閉装置５０によって容器Ｈに設けられる支持部の高さ位置を精度よく検出することができる。また、搬送装置１００の判定部１４７は、検出部５３の検出結果又は算出部５４ａの算出結果に基づいて、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上下方向Ｚにおける高さ位置が異常であるかを判定する。これにより、容器開閉装置５０に載置される容器Ｈに対して被搬送物Ｗを搬送する搬送装置１００の搬送動作の制御に反映し（例えば、搬送装置１００の動作を停止させ、或いは搬送装置１００の搬送機構１２０のハンド１２２の容器Ｈへの挿入高さを補正し）、搬送装置１００の搬送機構１２０のハンド１２２に保持される被搬送物Ｗが容器Ｈに設けられる第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に衝突し、或いはハンド１２２が容器Ｈに設けられる第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持される被搬送物Ｗに衝突することを防止することができる。具体的に、搬送装置１００は、判定部１４７が異常ありと判定した場合、搬送装置１００による被搬送物Ｗの搬送動作を停止し、判定部１４７が異常なしと判定した場合、容器Ｈへのハンド１２２の挿入高さを補正する。
　続いて、図１から図５を参照し、搬送装置１００による被搬送物Ｗの搬送動作の補正を説明する。搬送機構１２０のハンド１２２によって被搬送物Ｗを容器Ｈへ搬入する場合において、ハンド１２２は、特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上方で容器Ｈへ挿入される。この際、ハンド１２２が特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のいずれかが規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも上方に位置すれば、ハンド１２２に保持される被搬送物Ｗが第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に衝突する恐れがあるため、ハンド１２２の容器Ｈへ挿入する挿入高さを補正する必要がある。これに対して、搬送機構１２０のハンド１２２によって被搬送物Ｗを容器Ｈから搬出する場合において、ハンド１２２は、特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の下方で容器Ｈへ挿入される。この際、ハンド１２２が特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のいずれかが規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも下方に位置すれば、ハンド１２２が第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持される被搬送物Ｗに衝突する恐れがあるため、ハンド１２２の容器Ｈへ挿入する挿入高さを補正する必要がある。また、前述のように、搬送機構１２０の動作種別（被搬送物Ｗを容器Ｈへ搬入する搬入動作、被搬送物Ｗを容器Ｈから搬出する搬出動作）に応じて、ハンド１２２の容器Ｈへ挿入する挿入高さが異なる（第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上方或いは下方）ため、ハンド１２２の容器Ｈへ挿入する挿入高さを補正する際に、搬送機構１２０の動作種別に応じて挿入高さ補正量を選択する必要がある。
　図２に示すように、容器開閉装置５０に載置される容器Ｈに対して被搬送物Ｗを搬送する搬送装置１００は、容器開閉装置５０の算出部５４ａにより算出された第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２のうち一つを挿入高さ補正量として選択する選択部１４２と、選択部１４２により選択された挿入高さ補正量に基づき、ハンド１２２の容器Ｈへ挿入する挿入高さを導出する導出部１４４と、ハンド１２２を導出部１４４で導出した挿入高さまで昇降させる昇降動作実施部１４８と、導出部１４４が導出した挿入高さでハンド１２２を容器Ｈへ挿入させる挿入動作実施部１４９とを備える。挿入動作実施部１４９は、容器Ｈからハンド１２２を抜き出す動作を実施可能に構成されてもよい。また、選択部１４２は、搬送機構１２０の動作種別に応じて挿入高さ補正量を選択する。ここで、搬送装置１００の記憶部１４６は、図８に示すように、容器Ｈの複数対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の基準となるハンド１２２の挿入高さを基準挿入高さ情報テーブル１４６ａに予めに記憶してもよい。例えば、上から下への各対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に対して、ハンド１２２が被搬送物Ｗを容器Ｈに搬入する際の基準挿入高さは、各対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上方にある挿入高さＩＮ１、ＩＮ２、…であり、ハンド１２２が被搬送物Ｗを容器Ｈから搬出する際の基準挿入高さは、各対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の下方にある挿入高さＯＵＴ１、ＯＵＴ２、…である。その予め取得する基準挿入高さは、上から下への番号と関連付けて基準挿入高さ情報テーブル１４６ａに記憶される。また、搬送装置１００は、容器Ｈの特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に対して被搬送物Ｗを搬送する際に、前述の判定部１４７によって判定した容器Ｈの特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２との状態（異常であるか）について挿入高さの補正の要否を決定する。
　本実施形態では、図９に示すように、搬送装置１００による被搬送物Ｗの搬送動作の補正は、以下の工程を含む。先ず、搬送動作種別判定工程ＳＴ０において、搬送機構１２０の動作種別を判定する。搬送機構１２０の動作種別の判定は、搬送装置１００の制御部１４０によって実行してもよい。続いて、搬送動作種別判定工程ＳＴ０において搬入動作と判定した場合は、補正値選択工程ＳＴ１１において、算出部５４ａにより算出された第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２のうち一つを挿入高さ補正量として選択する。挿入高さ補正量の選択は、選択部１４２によって実行してもよい。続いて、ハンド挿入位置補正工程ＳＴ１２において、選択された挿入高さ補正量に基づいて容器Ｈへのハンド１２２の挿入高さを導出し、導出した挿入高さまでハンド１２２を昇降させる。挿入高さの導出は、導出部１４４によって実行してもよい。ハンド１２２の昇降は、昇降動作実施部１４８によって実行してもよい。続いて、搬送開始工程ＳＴ１３において、導出した挿入高さに位置するハンド１２２を容器Ｈへ挿入させる（例えば、アーム部１２６の前後方向Ｙの移動）。容器Ｈへのハンド１２２の挿入は、挿入動作実施部１４８によって実行してもよい。更に、搬送開始工程ＳＴ１３において、容器Ｈに挿入されたハンド１２２を特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の下方へ下降させ、ハンド１２２に保持された被搬送部Ｗを特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持させる。ハンド１２２の下降は、昇降動作実施部１４８によって実行してもよい。その後、搬送終了工程ＳＴ１４において、ハンド１２２を容器Ｈから抜き出し、容器Ｈの特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２への被搬送物Ｗの搬送を終了する。容器Ｈからのハンド１２２の抜き出しは、挿入動作実施部１４８によって実行してもよい。
　詳細に述べると、図９を参照し、搬送装置１００は、搬送動作種別判定工程ＳＴ０を実施する前に、判定部１４７によって容器Ｈの異常判定が実施される。判定部１４７が容器Ｈに異常がないと判定した場合、搬送動作種別判定工程ＳＴ０が実施される。また、記憶部１４６には、各第１支持部Ｓ１の第１位置ずれ量Ｄ１と、各第２支持部Ｓ２の第２位置ずれ量Ｄ２が記憶されており、制御部１４０は、搬送装置１００が搬送を行う際に搬送動作の補正に必要な情報を記憶部１４６から取得する。一例として、算出部５４ａは、第１支持部Ｓ１の検出高さ位置Ｐ１又は第２支持部Ｓ２の検出高さ位置Ｐ２が上下方向Ｚにおいて規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも上方にある場合に、第１位置ずれ量Ｄ１又は第２位置ずれ量Ｄ２を正の値として算出し、第１支持部Ｓ１の検出高さ位置Ｐ１又は第２支持部Ｓ２の検出高さ位置Ｐ２が上下方向Ｚにおいて規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも下方にある場合に、第１位置ずれ量Ｄ１又は第２位置ずれ量Ｄ２を負の値として算出する。即ち、算出部５４ａによって複数対の第１支持部Ｓ１の第１位置ずれ量Ｄ１１、Ｄ１２、...、及び第２支持部Ｓ２の第２位置ずれ量Ｄ２１、Ｄ２２、...、を算出する際に、第１位置ずれ量Ｄ１１、Ｄ１２、...、及び第２位置ずれ量Ｄ２１、Ｄ２２、...のそれぞれに正負を付けて検出位置情報テーブル５４ｃ２（図７に示す）に記憶してもよい。これにより、選択部１４２は、搬送機構１２０の動作種別に応じて、第１位置ずれ量Ｄ１１、Ｄ１２、...と第２位置ずれ量Ｄ２１、Ｄ２２、...の値の正負に基づいて挿入高さ補正量を選択する。
　詳細に述べると、搬送動作種別判定工程ＳＴ０において搬送機構１２０の動作種別が搬入動作と判定する場合、搬送装置１００は、特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上方にハンド１２２を挿入させる。補正値選択工程ＳＴ１１において、選択部１４２は、挿入高さ補正量として選択する。具体的に、搬送機構１２０が容器Ｈへ被搬送物Ｗを搬入する過程において、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２のいずれかが正の値である場合に、選択部１４２は、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２の大きい方を挿入高さ補正量として選択することが好ましい。図１０（ａ）において、第１位置ずれ量Ｄ１は正の値であり、第２位置ずれ量Ｄ２は負の値であるため、選択部１４２は、第１位置ずれ量Ｄ１を挿入高さ補正量として選択する。その後、ハンド挿入位置補正工程ＳＴ１２において、導出部１４４は、選択された挿入高さ補正量（第１位置ずれ量Ｄ１）に基づいてハンド１２２の容器Ｈへ挿入する挿入高さを導出する。具体的に、導出部１４４により導出される挿入高さは、基準となる挿入高さ（例えば、図８に示す１番目の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に対応するハンド１２２の挿入高さＩＮ１）と挿入高さ補正量（例えば、図７に示す１番目の第１支持部Ｓ１の第１位置ずれ量Ｄ１１）の和として挿入高さを導出する。このように、特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のいずれかが規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも上方に位置しても（この場合は第１支持部Ｓ１）、容器Ｈへ挿入するハンド１２２に保持される被搬送物Ｗが特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に衝突する恐れがない。
　他の図示していない例では、搬送機構１２０が容器Ｈへ被搬送物Ｗを搬入する過程において、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２とがいずれも正の値である場合、選択部１４２は、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２の大きい方（より上方に位置する支持部の位置ずれ量）を挿入高さ補正量として選択する。また、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２とがいずれも負の値である場合、選択部１４２は、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２の大きい方（より上方に位置する支持部の位置ずれ量）を挿入高さ補正量として選択してもよいが、ハンド１２２の容器Ｈへの挿入高さを補正しなくてもよい。第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２とがいずれも負の値である場合とは、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２とがいずれも規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも下方に位置する状態であるため、たとえハンド１２２が図８に示す基準となる挿入高さ（例えば、挿入高さＩＮ１）で第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上方に挿入されても、ハンド１２２に保持される被搬送物Ｗが第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に衝突する恐れがない。
　また、搬送開始工程ＳＴ１３において、特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上方で容器Ｈへハンド１２２を挿入した後、図１０（ｂ）の矢印の通り、昇降動作実施部１４８によってハンド１２２を特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の下方へ下降させ、ハンド１２２に保持された被搬送部Ｗを特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持させる。この際に、ハンド１２２は、ハンド１２２に保持する被搬送物Ｗが第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持された状態となってから容器Ｈの外へ移動するため、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のうち下方に位置する方（この場合は第２支持部Ｓ２）よりも下方に下降しなければならない。したがって、ハンド１２２の搬送後の下降量Ｈ１は、第１支持部Ｓ１の第１ずれ量Ｄ１の絶対値と第２支持部Ｓ２の第２ずれ量Ｄ２の絶対値の和である。また、他の図示していない例では、搬送機構１２０が容器Ｈへ被搬送物Ｗを搬入する過程において、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２のいずれも正の値、又はいずれも負の値である場合に、選択部１４２は、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２の大きい方（より上方に位置する支持部の位置ずれ量）を挿入高さ補正量として選択する。この場合は、ハンド１２２の搬送後の下降量Ｈ１は、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のうちより下方に位置する支持部よりも下方まで下降すればよい。
　これに対して、搬送動作種別判定工程ＳＴ０において搬出動作と判定した場合は、補正値選択工程ＳＴ２１において、算出部５４ａにより算出された第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２のうち一つを挿入高さ補正量として選択する。挿入高さ補正量の選択は、選択部１４２によって実行してもよい。続いて、ハンド挿入位置補正工程ＳＴ２２において、選択された挿入高さ補正量に基づいて容器Ｈへのハンド１２２の挿入高さを導出し、導出した挿入高さまで昇降させる。挿入高さの導出は、導出部１４４によって実行してもよい。ハンド１２２の昇降は、昇降動作実施部１４８によって実行してもよい。続いて、搬送開始工程ＳＴ２３において、導出した挿入高さに位置するハンド１２２を容器Ｈへ挿入させる（例えば、アーム部１２６の前後方向Ｙの移動）。容器Ｈへのハンド１２２の挿入は、挿入動作実施部１４８によって実行してもよい。更に、搬送開始工程ＳＴ１３において、容器Ｈに挿入されたハンド１２２を特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上方へ上昇させ、特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持された被搬送部Ｗをハンド１２２に保持させる。ハンド１２２の上昇は、昇降動作実施部１４８によって実行してもよい。その後、搬送終了工程ＳＴ２４において、ハンド１２２を容器Ｈから抜き出し、容器Ｈの特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２への被搬送物Ｗの搬送を終了する。容器Ｈからのハンド１２２の抜き出しは、挿入動作実施部１４８によって実行してもよい。
　詳細に述べると、図９を参照し、搬送動作種別判定工程ＳＴ０において搬送機構１２０の動作種別が搬出動作と判定する場合、搬送装置１００は、特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の下方にハンド１２２を挿入させる。補正値選択工程ＳＴ２１において、選択部１４２は、挿入高さ補正量として選択する。具体的に、搬送機構１２０が容器Ｈから被搬送物Ｗを搬出する過程において、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２のいずれかが負の値である場合に、選択部１４２は、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２の小さい方を挿入高さ補正量として選択することが好ましい。図１１（ａ）において、第１位置ずれ量Ｄ１は正の値であり、第２位置ずれ量Ｄ２は負の値であるため、選択部１４２は、第２位置ずれ量Ｄ２を挿入高さ補正量として選択する。その後、ハンド挿入位置補正工程ＳＴ２２において、導出部１４４は、選択された挿入高さ補正量（第２位置ずれ量Ｄ２）に基づいてハンド１２２の容器Ｈへ挿入する挿入高さを導出する。具体的に、導出部１４４により導出される挿入高さは、基準となる挿入高さ（例えば、図８に示す１番目の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に対応するハンド１２２の挿入高さＯＵＴ１）と挿入高さ補正量（例えば、図７に示す１番目の第２支持部Ｓ２の第２位置ずれ量Ｄ２１）の和として挿入高さを導出する。このように、特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のいずれかが規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも下方に位置しても（この場合は第２支持部Ｓ２）、容器Ｈへ挿入するハンド１２２が特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持される被搬送物Ｗに衝突する恐れがない。
　他の図示していない例では、搬送機構１２０が容器Ｈから被搬送物Ｗを搬出する過程において、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２のいずれも負の値である場合に、選択部１４２は、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２の小さい方（より下方に位置する支持部の位置ずれ量）を挿入高さ補正量として選択する。また、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２のいずれも正の値である場合に、選択部１４２は、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２の小さい方（より下方に位置する支持部の位置ずれ量）を挿入高さ補正量として選択してもよいが、ハンド１２２の容器Ｈへの挿入高さを補正しなくてもよい。第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２のいずれも正の値である場合に、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のいずれも規定高さ位置ＰＬ、ＰＲよりも上方に位置する。この際、たとえハンド１２２が図８に示す基準となる挿入高さ（例えば、挿入高さＯＵＴ１）で第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の下方に挿入されても、ハンド１２２が第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持される被搬送物Ｗに衝突する恐れがない。
　また、搬送開始工程ＳＴ２３において、特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の下方で容器Ｈへハンド１２２を挿入した後、図１１（ｂ）の矢印の通り、昇降動作実施部１４８によってハンド１２２を特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２の上方へ上昇させ、特定対の第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持された被搬送部Ｗをハンド１２２に保持させる。この際に、ハンド１２２は、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持する被搬送物Ｗをハンド１２２に保持された状態となってから容器Ｈから外へ移動するため、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のうち上方に位置する方（この場合は第１支持部Ｓ１）よりも上方に上昇しなければならない。したがって、ハンド１２２の搬送後の上昇量Ｈ２は、第１支持部Ｓ１の第１ずれ量Ｄ１の絶対値と第２支持部Ｓ２の第２ずれ量Ｄ２の絶対値の和である。また、他の図示していない例では、搬送機構１２０が容器Ｈから被搬送物Ｗを搬出する過程において、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２のいずれも正の値、又はいずれも負の値である場合に、選択部１４２は、第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２の小さい方（より下方に位置する支持部の位置ずれ量）を挿入高さ補正量として選択する。この場合は、ハンド１２２の搬送後の上昇量Ｈ２は、第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２のうちより上方に位置する支持部よりも上方まで上昇すればよい。
　ここから分かるように、本実施形態では、搬送装置１００は、判定部１４７が行った異常判定の判定結果を被搬送物Ｗの搬送動作の制御に反映する（例えば、搬送装置１００の動作を停止させ、或いは搬送装置１００の搬送機構１２０のハンド１２２の容器Ｈへの挿入高さを補正する）ことができる。また、搬送装置１００は、算出部５４ａが算出する位置ずれ量（第１位置ずれ量Ｄ１と第２位置ずれ量Ｄ２）のうち一つを挿入高さ補正量として選択し（例えば、ハンド１２２の搬入動作又は搬出動作によって選択し）、選択された挿入高さ補正量からハンド１２２の容器Ｈへ挿入する挿入高さを補正し、ハンド１２２に保持される被搬送物Ｗが容器Ｈに設けられる第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に衝突し、或いはハンド１２２が容器Ｈに設けられる第１支持部Ｓ１と第２支持部Ｓ２に支持される被搬送物Ｗに衝突することを防止することができる。
　要約すると、本発明の容器を開閉するための容器開閉装置は、容器の蓋を保持する保持部の移動によって、保持部に設けられる検出部が第１支持部と第２支持部の上下方向における高さ位置（各支持部の被測定部の上下方向における下端位置）をそれぞれ検出し、算出部がそれらの支持部の検出高さ位置と予め設定された規定高さ位置との位置ずれ量をそれぞれ算出する。これにより、容器を開閉するための容器開閉装置によって容器に設けられる支持部の高さ位置を精度よく検出することができる。また、搬送装置の判定部は、検出部の検出結果又は算出部の算出結果に基づいて、第１支持部と第２支持部の上下方向における高さ位置が異常であるかを判定する。これにより、上述の容器開閉装置に設けられる容器に対して被搬送物を搬送する搬送装置の搬送動作の制御に反映し（例えば、搬送装置の動作を停止させ、或いは搬送装置の搬送機構のハンドの容器への挿入高さを補正し）、搬送装置の搬送機構のハンドに保持される被搬送物が容器に設けられる第１支持部と第２支持部に衝突し、或いはハンドが容器に設けられる第１支持部と第２支持部に支持される被搬送物に衝突することを防止することができる。また、本発明の容器開閉装置に設けられる容器に対して被搬送物を搬送する搬送装置は、判定部が行った異常判定の判定結果に応じて被搬送物の搬送動作を補正することができる。搬送装置は、容器開閉装置の算出部が算出された位置ずれ量のうち一つを挿入高さ補正量として選択し（例えば、ハンドの搬入動作又は搬出動作によって選択し）、選択された挿入高さ補正量からハンドの容器へ挿入する挿入高さを補正し、搬送装置の搬送機構のハンドに保持される被搬送物が容器に設けられる第１支持部と第２支持部に衝突し、或いはハンドが容器に設けられる第１支持部と第２支持部に支持される被搬送物に衝突することを防止することができる。
　最後に説明すべきこととして、以上の実施形態は、本発明の技術案の説明に用いるのみであって、それについて限定するものではない。前記実施形態を参照して本発明に対して詳細な説明を行っているが、当業者であれば、当然理解できるように、前記実施形態に記載の技術案については依然として修正、或いは一部又は全部の技術特徴に対する均等の置き換えを行うことができるものであり、但し、これら修正又は置き換えは、対応する技術案の本質を本発明の実施例の技術案の範囲から逸脱させるものではない。
　本発明は、容器を開閉するための容器開閉装置によって容器に設けられる支持部の状態を検出して異常判定を行うことで、ハンドに保持される被搬送物が容器に設けられる支持部に衝突し、或いはハンドが容器に設けられる支持部に支持される被搬送物に衝突することを防止する容器開閉装置及び搬送装置を提供する。
　２０　搬送システム、５０　容器開閉装置、５１　保持部、５２　駆動部、５３　検出部、５３ａ　反射型センサ、５３ｂ　カメラ、５４　制御部、５４ａ　算出部、５４ｃ　記憶部、５４ｃ１　基準位置情報テーブル、５４ｃ２　検出位置情報テーブル、５５　載置台、５６　支持体、６０　処理装置、１００　搬送装置、１１０　筐体、１１２　枠部、１１４　壁部、１１６　移動体、１１８　案内構造、１２０　搬送機構、１２２　ハンド、１２４　台座部、１２６　アーム部、１２８　搬送駆動部、１３０　駆動部、１４０　制御部、１４２　選択部、１４４　導出部、１４６　記憶部、１４６ａ　基準挿入高さ情報テーブル、１４７　判定部、１４８　昇降動作実施部、１４９　挿入動作実施部、２１０　本体部、２１２　被測定部、２１２１　被測定面、Ｄ１；Ｄ１１；Ｄ１２　第１位置ずれ量、Ｄ２；Ｄ２１；Ｄ２２　第２位置ずれ量、Ｇ　間隔、Ｈ　容器、Ｈ１　下降量、Ｈ２　上昇量、ＩＮ１；ＩＮ２；ＯＵＴ１；ＯＵＴ２　挿入高さ、ＰＬ；ＰＬ１；ＰＬ２；ＰＲ；ＰＲ１；ＰＲ２　規定高さ位置、Ｐ１；Ｐ１１；Ｐ１２；Ｐ２；Ｐ２１；Ｐ２２　検出高さ位置、ＯＰ　開口、Ｓ１　第１支持部、Ｓ２　第２支持部、ＳＴ０　搬送動作種別判定工程、ＳＴ１１；ＳＴ２１　補正値選択工程、ＳＴ１２；ＳＴ２２　ハンド挿入位置補正工程、ＳＴ１３；ＳＴ２３　搬送開始工程、ＳＴ１４；ＳＴ２４　搬送終了工程、Ｗ　被搬送物、Ｘ　左右方向、Ｙ　前後方向、Ｚ　上下方向

 

Claims (15)

  1. 　水平方向に間隔を空けて設けられる一対の第１支持部と第２支持部が水平方向と直交する上下方向に間隔を空けて複数対設けられた容器を開閉するための容器開閉装置であって、
    　前記容器の蓋を保持する保持部と、
    　前記保持部を少なくとも前記上下方向へ移動させる駆動部と、
    　前記保持部に設けられ、前記保持部の移動によって前記第１支持部と前記第２支持部の前記上下方向における高さ位置をそれぞれ検出する検出部と、
    　前記第１支持部の第１位置ずれ量及び前記第２支持部の第２位置ずれ量を算出する算出部と、
    　を備え、
    　前記第１位置ずれ量は、前記第１支持部の検出された検出高さ位置と予め設定された前記第１支持部の規定高さ位置との位置ずれ量であり、
    　前記第２位置ずれ量は、前記第２支持部の検出された検出高さ位置と予め設定された前記第２支持部の規定高さ位置との位置ずれ量であり、
    　前記第１支持部と前記第２支持部は、それぞれ被搬送物を支持する本体部と、前記本体部の先端に設けられる被測定部を有し、
    　前記検出部は、前記第１支持部と前記第２支持部のそれぞれの前記被測定部の前記上下方向における下端位置を、前記第１支持部と前記第２支持部のそれぞれの前記検出高さ位置として検出する
    　ことを特徴とする容器開閉装置。
  2. 　請求項１に記載の容器開閉装置に設けられる容器に対して被搬送物を搬送する搬送装置であって、
    　前記搬送装置は、前記検出部の検出結果又は前記算出部の算出結果に基づいて、前記第１支持部と前記第２支持部の前記上下方向における高さ位置が異常であるかを判定する判定部を備える
    　ことを特徴とする搬送装置。
  3. 　前記算出部は、前記第１支持部の前記検出高さ位置又は前記第２支持部の前記検出高さ位置が前記上下方向において前記規定高さ位置よりも上方にある場合に、前記第１位置ずれ量又は前記第２位置ずれ量を正の値として算出し、前記第１支持部の前記検出高さ位置又は前記第２支持部の前記検出高さ位置が前記上下方向において前記規定高さ位置よりも下方にある場合に、前記第１位置ずれ量又は前記第２位置ずれ量を負の値として算出し、
    　前記判定部は、前記第１位置ずれ量の絶対値又は前記第２位置ずれ量の絶対値が第１閾値より大きい場合に、前記第１支持部の前記高さ位置、又は前記第２支持部の前記高さ位置が異常であると判定する
    　ことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
  4. 　前記算出部は、前記第１支持部の前記検出高さ位置又は前記第２支持部の前記検出高さ位置との差分を算出し、
    　前記判定部は、前記第１支持部の前記検出高さ位置と前記第２支持部の前記検出高さ位置との差分の絶対値が第２閾値より大きい場合に、前記第１支持部の前記高さ位置、又は前記第２支持部の前記高さ位置が異常であると判定する
    　ことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
  5. 　請求項１に記載の容器開閉装置に設けられる容器に対して被搬送物を搬送する搬送装置であって、
    　被搬送物を保持可能なハンドを有する搬送機構と、
    　前記容器開閉装置の前記算出部が算出する前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のうち一つを挿入高さ補正量として選択する選択部と、
    　選択された前記挿入高さ補正量に基づき、前記ハンドの前記容器へ挿入する挿入高さを導出する導出部と、
    　前記ハンドを前記導出部で導出した前記挿入高さまで昇降させる昇降動作実施部と、
    　導出した前記挿入高さで前記ハンドを前記容器へ挿入させる挿入動作実施部と、
    　を備え、
    　前記選択部は、前記搬送機構の動作種別に応じて前記挿入高さ補正量を選択する
    　ことを特徴とする搬送装置。
  6. 　前記算出部は、前記第１支持部の前記検出高さ位置又は前記第２支持部の前記検出高さ位置が前記上下方向において前記規定高さ位置よりも上方にある場合に、前記第１位置ずれ量又は前記第２位置ずれ量を正の値として算出し、前記第１支持部の前記検出高さ位置又は前記第２支持部の前記検出高さ位置が前記上下方向において前記規定高さ位置よりも下方にある場合に、前記第１位置ずれ量又は前記第２位置ずれ量を負の値として算出し、
    　前記選択部は、前記搬送機構の動作種別に応じて、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量の値の正負に基づいて前記挿入高さ補正量を選択する
    　ことを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
  7. 　前記搬送機構が前記容器へ前記被搬送物を搬入する過程において、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のいずれかが正の値である場合に、前記選択部は、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量の大きい方を前記挿入高さ補正量として選択し、
    　前記搬送機構が前記容器から前記被搬送物を搬出する過程において、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のいずれかが負の値である場合に、前記選択部は、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量の小さい方を前記挿入高さ補正量として選択する
    　ことを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。
  8. 　前記搬送機構が前記容器へ前記被搬送物を搬入する過程において、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のいずれも正の値、又はいずれも負の値である場合に、前記選択部は、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量の大きい方を前記挿入高さ補正量として選択し、
    　前記搬送機構が前記容器から前記被搬送物を搬出する過程において、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のいずれも正の値、又はいずれも負の値である場合に、前記選択部は、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量の小さい方を前記挿入高さ補正量として選択する
    　ことを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。
  9. 　水平方向に間隔を空けて設けられる一対の第１支持部と第２支持部が水平方向と直交する上下方向に間隔を空けて複数対設けられた容器を開閉するための容器開閉装置と、被搬送物を保持可能なハンドを有する搬送機構を備えて前記容器開閉装置に設けられる容器に対して被搬送物を搬送する搬送装置と、前記容器開閉装置と前記搬送装置との動作を制御する制御部とを少なくとも備えた搬送システムであって、
    　前記容器開閉装置は、
    　前記容器の蓋を保持する保持部と、
    　前記保持部を少なくとも前記上下方向へ移動させる駆動部と、
    　前記保持部に設けられ、前記保持部の移動によって前記第１支持部と前記第２支持部の前記上下方向における高さ位置をそれぞれ検出する検出部と、を備え、
    　前記制御部は、
    　予め設定された前記第１支持部の規定高さ位置に対する前記第１支持部の第１位置ずれ量及び予め設定された前記第２支持部の規定高さ位置に対する前記第２支持部の第２位置ずれ量を算出する算出部と、
    　前記算出部が算出する前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のうち一つを挿入高さ補正量として選択する選択部と、
    　選択された前記挿入高さ補正量に基づき、前記ハンドの前記容器へ挿入する挿入高さを導出する導出部と、
    　前記ハンドを前記導出部で導出した前記挿入高さまで昇降させる昇降動作実施部と、
    　導出した前記挿入高さで前記ハンドを前記容器へ挿入させる挿入動作実施部と、を備え、
    　前記検出部は、前記第１支持部と前記第２支持部のそれぞれの前記上下方向における下端部の位置を、前記第１支持部と前記第２支持部のそれぞれの前記検出高さ位置として検出する
    　ことを特徴とする搬送システム。
  10. 　前記制御部は、前記検出部の検出結果又は前記算出部の算出結果に基づいて、前記第１支持部と前記第２支持部の前記上下方向における高さ位置が異常であるかを判定する判定部を更に備える
    　ことを特徴とする請求項９に記載の搬送システム。
  11. 　前記算出部は、前記第１支持部の前記検出高さ位置又は前記第２支持部の前記検出高さ位置が前記上下方向において前記規定高さ位置よりも上方にある場合に、前記第１位置ずれ量又は前記第２位置ずれ量を正の値として算出し、前記第１支持部の前記検出高さ位置又は前記第２支持部の前記検出高さ位置が前記上下方向において前記規定高さ位置よりも下方にある場合に、前記第１位置ずれ量又は前記第２位置ずれ量を負の値として算出し、
    　前記判定部は、前記第１位置ずれ量の絶対値又は前記第２位置ずれ量の絶対値が第１閾値より大きい場合に、前記第１支持部の前記高さ位置、又は前記第２支持部の前記高さ位置が異常であると判定する
    　ことを特徴とする請求項１０に記載の搬送システム。
  12. 　前記算出部は、前記第１支持部の前記検出高さ位置又は前記第２支持部の前記検出高さ位置との差分を算出し、
    　前記判定部は、前記第１支持部の前記検出高さ位置と前記第２支持部の前記検出高さ位置との差分の絶対値が第２閾値より大きい場合に、前記第１支持部の前記高さ位置、又は前記第２支持部の前記高さ位置が異常であると判定する
    　ことを特徴とする請求項１０に記載の搬送システム。
  13. 　前記算出部は、前記第１支持部の前記検出高さ位置又は前記第２支持部の前記検出高さ位置が前記上下方向において前記規定高さ位置よりも上方にある場合に、前記第１位置ずれ量又は前記第２位置ずれ量を正の値として算出し、前記第１支持部の前記検出高さ位置又は前記第２支持部の前記検出高さ位置が前記上下方向において前記規定高さ位置よりも下方にある場合に、前記第１位置ずれ量又は前記第２位置ずれ量を負の値として算出し、
    　前記選択部は、前記搬送機構の動作種別に応じて、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量の値の正負に基づいて前記挿入高さ補正量を選択する
    　ことを特徴とする請求項９に記載の搬送システム。
  14. 　前記搬送機構が前記容器へ前記被搬送物を搬入する過程において、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のいずれかが正の値である場合に、前記選択部は、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量の大きい方を前記挿入高さ補正量として選択し、
    　前記搬送機構が前記容器から前記被搬送物を搬出する過程において、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のいずれかが負の値である場合に、前記選択部は、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量の小さい方を前記挿入高さ補正量として選択する
    　ことを特徴とする請求項１３に記載の搬送システム。
  15. 　前記搬送機構が前記容器へ前記被搬送物を搬入する過程において、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のいずれも正の値、又はいずれも負の値である場合に、前記選択部は、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量の大きい方を前記挿入高さ補正量として選択し、
    　前記搬送機構が前記容器から前記被搬送物を搬出する過程において、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量のいずれも正の値、又はいずれも負の値である場合に、前記選択部は、前記第１位置ずれ量と前記第２位置ずれ量の小さい方を前記挿入高さ補正量として選択する
    　ことを特徴とする請求項１３に記載の搬送システム。
PCT/JP2024/015462 2024-04-18 2024-04-18 容器開閉装置、及び搬送装置 Pending WO2025220193A1 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202480004057.0A CN121488623A (zh) 2024-04-18 2024-04-18 容器开闭装置、及搬送装置
KR1020257008825A KR102919324B1 (ko) 2024-04-18 2024-04-18 용기 개폐 장치, 반송 장치, 및 반송 시스템
PCT/JP2024/015462 WO2025220193A1 (ja) 2024-04-18 2024-04-18 容器開閉装置、及び搬送装置
KR1020267002408A KR20260016021A (ko) 2024-04-18 2024-04-18 용기 개폐 장치
JP2025515583A JPWO2025220193A5 (ja) 2024-04-18 容器開閉装置、搬送装置、及び搬送システム
TW114105834A TW202541967A (zh) 2024-04-18 2025-02-18 容器開閉裝置、搬送裝置、及搬送系統

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2024/015462 WO2025220193A1 (ja) 2024-04-18 2024-04-18 容器開閉装置、及び搬送装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2025220193A1 true WO2025220193A1 (ja) 2025-10-23

Family

ID=97403156

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2024/015462 Pending WO2025220193A1 (ja) 2024-04-18 2024-04-18 容器開閉装置、及び搬送装置

Country Status (4)

Country Link
KR (2) KR102919324B1 (ja)
CN (1) CN121488623A (ja)
TW (1) TW202541967A (ja)
WO (1) WO2025220193A1 (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002164411A (ja) * 2000-09-14 2002-06-07 Hirata Corp Ｆｏｕｐオープナ
JP2014127635A (ja) * 2012-12-27 2014-07-07 Tokyo Electron Ltd 基板搬送方法、基板搬送装置及び記憶媒体
JP2019087598A (ja) * 2017-11-06 2019-06-06 シンフォニアテクノロジー株式会社 ロードポート、及びロードポートにおけるマッピング処理方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61267623A (ja) 1985-05-20 1986-11-27 Canon Inc ウエハ搬送装置
JP3845585B2 (ja) * 2002-01-25 2006-11-15 東京エレクトロン株式会社 処理装置
KR101445911B1 (ko) 2009-04-13 2014-09-29 히라따기꼬오 가부시키가이샤 기판캐리어 측정 지그, 충돌방지 지그 및 그것을 이용한 충돌방지 방법
JP6040883B2 (ja) * 2012-12-25 2016-12-07 東京エレクトロン株式会社 基板搬送装置、基板搬送方法及び記憶媒体
JP7849187B2 (ja) * 2022-02-24 2026-04-21 株式会社ディスコ 搬送装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002164411A (ja) * 2000-09-14 2002-06-07 Hirata Corp Ｆｏｕｐオープナ
JP2014127635A (ja) * 2012-12-27 2014-07-07 Tokyo Electron Ltd 基板搬送方法、基板搬送装置及び記憶媒体
JP2019087598A (ja) * 2017-11-06 2019-06-06 シンフォニアテクノロジー株式会社 ロードポート、及びロードポートにおけるマッピング処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20260016021A (ko) 2026-02-03
JPWO2025220193A1 (ja) 2025-10-23
CN121488623A (zh) 2026-02-06
KR20250167559A (ko) 2025-12-01
TW202541967A (zh) 2025-11-01
KR102919324B1 (ko) 2026-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101877425B1 (ko) 기판 반송 장치, 기판 반송 방법 및 기억 매체
KR102307930B1 (ko) 기판 반송 방법 및 기판 반송 모듈
JP2010045386A (ja) 移動中のコンベヤから直接的に基板キャリアをアンロードする基板キャリアハンドラー
WO2014088078A1 (ja) 基板処理装置、基板装置の運用方法及び記憶媒体
KR19980081732A (ko) 아암 액세스 위치 검출 방법
JP7568366B2 (ja) 基板搬送方法
KR101690229B1 (ko) 기판 반송 방법, 기판 반송 장치 및 기억 매체
TWI894624B (zh) 機械手、基板搬送裝置、及保持單元
JP2003218018A (ja) 処理装置
KR20220154019A (ko) 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법
WO2025220193A1 (ja) 容器開閉装置、及び搬送装置
JP2012015530A (ja) 基板処理装置および基板検出方法
US20240312821A1 (en) Automatic teaching apparatus for semiconductor manufacturing equipment
JP7851486B2 (ja) 搬送装置
JP2013165177A (ja) ストッカー装置
TWI922120B (zh) 搬送裝置
TWI881542B (zh) 基板搬送裝置及基板搬送方法
JP4847032B2 (ja) 基板処理装置および基板検出方法
TW202503954A (zh) 基板取出方法及基板移送系統
TW202522667A (zh) 基板處理裝置及基板搬送方法
JP2024162091A (ja) マッピング装置およびマッピング方法

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2025515583

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2025515583

Country of ref document: JP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1020257008825

Country of ref document: KR

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 24935920

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWD Wipo information: divisional of initial pct application

Ref document number: 1020267002408

Country of ref document: KR

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1020267002408

Country of ref document: KR