WO2025154698A1 - 光検出装置、光検出方法、光検出プログラム - Google Patents

Abstract

光検出装置の制御ユニットは、揺動ミラーの揺動周期のうち、照射ビームの走査を実行する往路周期の始点タイミング及び終点タイミングに関して、前回の往路周期における揺動ミラーの実角度をそれぞれ取得することを実行するように構成される。制御ユニットは、今回の往路周期における始点指令角度及び終点指令角度を、前回の始点タイミング及び終点タイミングでの制御指令角度と実角度との角度偏差に応じてそれぞれ補正することを実行するように構成される。制御ユニットは、制御タイミング毎に、始点指令角度及び終点指令角度の間での制御指令角度が可変設定されることにより、揺動の角速度を制御することを実行するように構成される。制御ユニットは、光源の発光タイミングを、今回の往路周期における実角度の設定変化量毎に設定することを実行するように構成される。

Description

光検出装置、光検出方法、光検出プログラム 関連出願の相互参照

　この出願は、２０２４年１月１７日に日本に出願された特許出願第２０２４－５５１４号を基礎としており、基礎の出願の内容を、全体的に、参照により援用している。

　本開示は、照射ビームに対して反射される反射ビームを検出する光検出技術に、関する。

　特許文献１には、光ビームを偏向する揺動体装置が開示されている。揺動体装置は、目標揺動振幅と検出した揺動振幅の差に基づき振幅制御値を制御する制御ループを実行する。揺動体装置は、揺動体の揺動振幅が目標揺動振幅となる状態における振幅制御値に基づき、制御ループの利得を設定する。

特開２０１０－４８９２８号公報

　特許文献１の技術では、最大振幅値と最小振幅値のうち、一方の振幅値が目標揺動振幅を満たしており、他方が満たしていない場合、他方側の振幅値のみを目標揺動振幅に補正することが困難となり得る。すなわち、特許文献１の揺動体装置は、制御ループの利得の変更により振動振幅を設定するため、他方側の振幅値を目標揺動振幅に補正するために利得を変更すると、一方側の振幅値も変更され、目標揺動振幅から外れる虞がある。この場合、走査方位のずれが大きくなることで走査精度が低下し得る。

　本開示の課題は、走査精度を向上可能な光検出装置を、提供することにある。本開示の別の課題は、走査精度を向上可能な光検出方法を、提供することにある。本開示の又別の課題は、走査精度を向上可能な光検出プログラムを、提供することにある。

　以下、課題を解決するための本開示の技術的手段について、説明する。尚、請求の範囲に記載された括弧内の符号は、後に詳述する実施形態に記載された具体的手段との対応関係を示すものであり、本開示の技術的範囲を限定するものではない。

　本開示の第一態様は、照射ビームに対して反射される反射ビームを検出する光検出装置であって、
　照射ビームを光源の発光にて生成し、照射する照射ユニットと、
　照射ビームを走査するために往復揺動する揺動ミラーを含む走査ユニットと、
　反射ビームを受光する受光ユニットと、
　照射ユニットにおける光源の発光タイミング及び走査ユニットにおける揺動ミラーの角度についての制御指令を出力する制御ユニットと、
　を備え、
　制御ユニットは、
　揺動ミラーの揺動周期のうち、照射ビームの走査を実行する往路周期の始点タイミング及び終点タイミングに関して、前回の往路周期における揺動ミラーの実角度をそれぞれ取得することと、
　今回の往路周期における始点タイミング及び終点タイミングでの揺動ミラーの各制御指令角度である始点指令角度及び終点指令角度を、前回の往路周期における始点タイミング及び終点タイミングでの制御指令角度と実角度との角度偏差に応じてそれぞれ補正することと、
　今回の往路周期において始点タイミング及び終点タイミング間を分割した制御タイミング毎に、始点指令角度及び終点指令角度の間での制御指令角度が可変設定されることにより、揺動の角速度を制御することと、
　光源の発光タイミングを、今回の往路周期における実角度の設定変化量毎に設定することと、
　を実行するように構成される。

　本開示の第二態様は、揺動ミラーにより走査される照射ビームに対して反射される反射ビームを検出する光検出装置を制御するために、プロセッサにより実行される光検出方法であって、
　揺動ミラーの揺動周期のうち、照射ビームの走査を実行する往路周期の始点タイミング及び終点タイミングに関して、前回の往路周期における揺動ミラーの実角度をそれぞれ取得することと、
　今回の往路周期における始点タイミング及び終点タイミングでの揺動ミラーの各制御指令角度である始点指令角度及び終点指令角度を、前回の往路周期における始点タイミング及び終点タイミングでの制御指令角度と実角度との角度偏差に応じてそれぞれ補正することと、
　今回の往路周期において始点タイミング及び終点タイミング間を分割した制御タイミング毎に、始点指令角度及び終点指令角度の間での制御指令角度が可変設定されることにより、揺動の角速度を制御することと、
　照射ビームを生成する光源の発光タイミングを、今回の往路周期における実角度の設定変化量毎に設定することと、
　を含む。

　本開示の第三態様は、揺動ミラーにより走査される照射ビームに対して反射される反射ビームを検出する光検出装置を制御するために記憶媒体に記憶され、プロセッサに実行させる命令を含む光検出プログラムであって、
　命令は、
　揺動ミラーの揺動周期のうち、照射ビームの走査を実行する往路周期の始点タイミング及び終点タイミングに関して、前回の往路周期における揺動ミラーの実角度をそれぞれ取得させることと、
　今回の往路周期における始点タイミング及び終点タイミングでの揺動ミラーの各制御指令角度である始点指令角度及び終点指令角度を、前回の往路周期における始点タイミング及び終点タイミングでの制御指令角度と実角度との角度偏差に応じてそれぞれ補正させることと、
　今回の往路周期において始点タイミング及び終点タイミング間を分割した制御タイミング毎に、始点指令角度及び終点指令角度の間での制御指令角度が可変設定されることにより、揺動の角速度を制御させることと、
　照射ビームを生成する光源の発光タイミングを、今回の往路周期における実角度の設定変化量毎に設定させることと、
　を含む。

　これら第一～第三態様によると、角度偏差に応じて始点指令角度及び終点指令角度がそれぞれ個別に補正され、補正済みの始点指令角度及び終点指令角度の間で角速度が制御される。したがって、角度振幅に応じて一律に制御ゲインを設定する場合よりも、始点タイミング及び終点タイミングでの各実角度のずれが抑制される。そして、この補正済みの始点指令角度及び終点指令角度の間で角速度を制御された実角度の設定変化量毎に、発光タイミングが設定されるので、走査方位のずれに起因する走査精度の低下が、抑制され得る。

第一実施形態の全体構成を示す模式図である。 第一実施形態による照射ユニットの機械的構成を示す模式図である。 第一実施形態による受光ユニットの機械的構成を示す模式図である。 第一実施形態による制御ユニットの構成を示すブロック図である。 振幅制御ブロックの制御内容を等価的に示すブロック図である。 制御波形の一例を示すグラフである。 揺動周期と制御周期との関係を示すグラフである。 光検出フローの一部を示すフローチャートである。 光検出フローの一部を示すフローチャートである。 光検出フローの一部を示すフローチャートである。 第二実施形態の光検出フローの一部を示すフローチャートである。 第二実施形態の制御波形の一例を示すグラフである。 第三実施形態の光検出フローの一部を示すフローチャートである。 第三実施形態の制御波形の一例を示すグラフである。 第四実施形態の光検出フローの一部を示すフローチャートである。 第四実施形態の光検出フローの一部を示すフローチャートである。 第四実施形態の制御波形の一例を示すグラフである。

　以下、本開示の実施形態を図面に基づき複数説明する。尚、各実施形態において対応する構成要素には同一の符号を付すことで、重複する説明を省略する場合がある。又、各実施形態において構成の一部分のみを説明している場合、当該構成の他の部分については、先行して説明した他の実施形態の構成を適用することができる。さらに、各実施形態の説明において明示している構成の組み合わせばかりではなく、特に組み合わせに支障が生じなければ、明示していなくても複数の実施形態の構成同士を部分的に組み合わせることができる。

　（第一実施形態）
　図１に示す第一実施形態の光検出装置１は、照射ビームに対して反射される反射ビームを検出する。光検出装置１は、反射ビームの検出により照射ビームを反射したターゲットまでの距離を検出可能な、所謂ＬｉＤＡＲ（Light Detection and Ranging / Laser Imaging Detection and Ranging）である。

　光検出装置１は、車両５に搭載される。車両５は、乗員の搭乗状態において走行路を走行可能な、例えば自動車等の移動体である。車両５は、自動運転制御モードにおいて定常的、又は一時的に自動走行可能となっている。ここで自動運転制御モードは、条件付運転自動化、高度運転自動化、又は完全運転自動化といった、作動時のシステムが全ての運転タスクを実行する自律運転制御により、実現されてもよい。自動運転制御モードは、運転支援、又は部分運転自動化といった、乗員が一部又は全ての運転タスクを実行する高度運転支援制御において、実現されてもよい。自動運転制御モードは、それら自律運転制御と高度運転支援制御とのいずれか一方、組み合わせ、又は切り替えにより実現されてもよい。こうした車両５は、自律走行車（autonomous vehicle）又は自律装置（autonomous robot）とも称される。

　尚、以下の説明では断り書きがない限り、前、後、上、下、左、及び右の各方向は、水平面上の車両５を基準として定義される。又、水平方向とは、車両５の方向基準となる水平面に対して、平行方向を示す。さらに鉛直方向とは、車両５の方向基準となる水平面に対して、上下方向でもある垂直方向を示す。

　光検出装置１は、自動制御運転モードを含む車両５の運転制御に活用可能な画像データを取得する。光検出装置１は、例えば前方部、左右の側方部、後方部、及び上方のルーフ等のうち、車両５における少なくとも一箇所に配置される。

　光検出装置１においては、互いに直交する三軸としてのＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸により、三次元直交座標系が定義されている。特に本実施形態では、Ｘ軸及びＺ軸がそれぞれ車両５の相異なる水平方向に沿って設定され、又、Ｙ軸が車両５の鉛直方向に沿って設定される。尚、図１においてＹ軸に沿う一点鎖線よりも左側部分（後述の透光パネル１２側）は実際には、三次元直交座標系の与えられる当該一点鎖線よりも右側部分（後述のモジュール２１，４１側）に対して、垂直な断面を図示している。

　光検出装置１は、車両５の外界空間のうち配置箇所及び視野角に応じたセンシングエリアＡｓへ向けて、光を照射する。光検出装置１は、照射した光がセンシングエリアＡｓから反射されることで入射してくる反射光を、受光する。こうした照射ビームに対しての反射光の受光に応じて光検出装置１は、センシングエリアＡｓ内において光を反射した物標を、センシングする。ここでセンシングとは、光検出装置１から物標までの反射点距離、及び物標からの反射強度のうち、少なくとも前者を測定することを意味する。

　車両５に適用される光検出装置１において代表的なセンシング対象物標は、例えば歩行者、サイクリスト、人間以外の動物、及び他車両等の移動物体のうち、少なくとも一種類であってもよい。車両５に適用される光検出装置１において代表的なセンシング対象物標は、例えばガードレール、道路標識、道路脇の構造物、及び道路上の落下物等の静止物体のうち、少なくとも一種類であってもよい。

　光検出装置１は、ケーシングモジュール１０、投光モジュール２１、走査ユニット３１、受光モジュール４１、及び制御ユニット１００を含んで構成されている。ケーシングモジュール１０は、筐体１１と透光パネル１２とを備えている。筐体１１は、例えば金属又は合成樹脂等の遮光性部材を主体として、中空箱状に形成されている。筐体１１は、投光モジュール２１、走査ユニット３１、及び受光モジュール４１を内部に収容している。筐体１１には、例えばガラス又は合成樹脂等の透光性部材から板状に形成された、透光パネル１２が保持されている。

　投光モジュール２１は、照射ユニット２２と投光レンズ系２６とを備えている。図２に示すように照射ユニット２２は、光源としての複数の発光ダイオード２４が基板２３上においてアレイ状に実装されることで、構築されている。各発光ダイオード２４は、制御ユニット１００からの制御に従って、センシングエリアＡｓへの照射ビームとなる赤外域のレーザ光を、それぞれパルス状に生成する。こうした各発光ダイオード２４としては、例えばエッジエミッタレーザ、又は垂直共振器面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting Laser）等の、レーザダイオードが設けられる。

　図１に示すように投光レンズ系２６は、照射ユニット２２での発光による照射ビームを、走査ユニット３１の揺動ミラー３２へ向かって投光する。投光レンズ系２６は、例えば集光、コリメート、及び整形等のうち、少なくとも一種類の光学作用を発揮する。投光レンズ系２６は、Ｚ軸に沿って投光光軸を形成する。投光レンズ系２６は、発揮する光学作用に応じたレンズ形状の投光レンズを、投光光軸上に少なくとも一つ有している。投光レンズ系２６の投光光軸上には、照射ユニット２２が位置決めされている。照射ユニット２２において各発光ダイオード２４の発光による照射ビームは、投光レンズ系２６の投光光軸に沿って導光される。

　走査ユニット３１は、揺動ミラー３２、付勢部材３４及び走査モータ３５を備えている。揺動ミラー３２は、基材の片面である反射面３３に反射膜が蒸着されることで、板状に形成されている。揺動ミラー３２は、Ｙ軸に沿う回転中心線まわりに回転可能に、筐体１１によって支持されている。揺動ミラー３２は、機械的又は電気的なストッパの機能によって有限となる、駆動区間内で往復に揺動運動する。

　揺動ミラー３２は、投光モジュール２１と受光モジュール４１とに共通に設けられている。揺動ミラー３２は、投光モジュール２１の投光レンズ系２６から入射する照射ビームを、回転角度に応じた向きとなる反射面３３での反射によって透光パネル１２を通してセンシングエリアＡｓへ照射することで、当該エリアＡｓを時間的且つ空間的に走査する。特に光検出装置１では、照射ビームによるセンシングエリアＡｓの機械的な走査が、水平方向での走査に実質制限されている。

　このような走査と同時的に揺動ミラー３２は、センシングエリアＡｓから透光パネル１２を通して入射してくる反射光を、回転角度に応じた向きの反射面３３によって受光モジュール４１側へとさらに反射する。ここで揺動ミラー３２の回転運動速度に対しては、照射ビーム及び反射光の速度が十分に大きい。これにより照射ビームに対する反射光は、照射ビームと略同一回転角度の揺動ミラー３２により照射ビームと逆行するように、受光モジュール４１側へ導光される。

　付勢部材３４は、ばね等の弾性体により構成されている。付勢部材３４は、一端を揺動ミラー３２、他端を筐体１１に直接又は間接的に固定されている。付勢部材３４は、揺動ミラー３２を特定の回転方向に対して付勢するように設けられている。例えば、揺動ミラー３２は、照射ビームが照射される回転方向を往路方向、当該往路方向の逆方向を復路方向とすると、復路方向に対して付勢されている。

　走査モータ３５は、例えばボイスコイルモータ、ブラシ付き直流モータ、又はステッピングモータ等である。走査モータ３５は、制御ユニット１００からの制御に従って揺動ミラー３２を、上述した有限の駆動区間内で回転駆動（即ち、揺動駆動）する。走査モータ３５は、往路方向において付勢部材３４による付勢力に抗して揺動ミラー３２を回転駆動させる。このとき揺動ミラー３２の回転角度は、投光モジュール２１の照射ユニット２２による発光周期と同期させて、順次変化させられる。一方、復路方向において、走査モータ３５は、付勢部材３４による付勢力に追従して揺動ミラー３２を回転駆動させる。以上により走査モータ３５は、揺動ミラー３２を往復揺動させる。

　受光モジュール４１は、投光モジュール２１に対してＹ軸方向にずれて配置されている。受光モジュール４１は、受光レンズ系４２と受光ユニット４５とを備えている。受光レンズ系４２は、センシングエリアＡｓからの反射光を受光ユニット４５に対して結像させるように、光学作用を発揮する。受光レンズ系４２は、Ｚ軸に沿って受光光軸を形成する。受光レンズ系４２は、発揮する光学作用に応じたレンズ形状の受光レンズを、受光光軸上に少なくとも一つ有している。揺動ミラー３２において反射面３３から入射した反射光は、揺動ミラー３２の駆動区間内での回転角度に拘わらず、受光レンズ系４２の受光光軸に沿って導光される。

　受光ユニット４５は、受光レンズ系４２の受光光軸上に位置決めされている。図３に示すように受光ユニット４５は、複数の受光画素４６が基板上においてアレイ状に配列されることで、構築されている。各受光画素４６はさらに、それぞれ複数ずつの受光素子４６０から構築されている。各受光画素４６の受光素子４６０は、例えばシングルフォトンアバランシェダイオード（SPAD：Single Photon Avalanche Diode）等のフォトダイオードを主体に構成されている。こうした構成により各受光画素４６は、受光レンズ系４２から入射した反射光を、各受光素子４６０にて受光する。

　図１に示すように受光ユニット４５は、出力回路４８を一体に有している。出力回路４８は、発光周期に応じた揺動ミラー３２の回転角度と対応付けられる走査ライン別に、制御ユニット１００からの制御に従ってサンプリング処理を実行する。そこで、サンプリング処理により出力回路４８は、受光ユニット４５の各受光画素４６からの出力信号に基づき、走査ライン別の受光データを生成する。こうして生成された受光データは、出力回路４８から制御ユニット１００へ出力される。

　制御ユニット１００は、例えばＬＡＮ（Local Area Network）回線、ワイヤハーネス、及び内部バス等のうち、少なくとも一種類を介して発光ダイオード２４、走査モータ３５、及び受光ユニット４５に接続されている。例えば、制御ユニット１００は、図１に示すように、筐体１１の内部に収納されて設けられている。制御ユニット１００は、少なくとも一つの専用コンピュータを含んで構成されている。

　制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、光検出装置１の制御に特化した、光検出制御ＥＣＵ（Electronic Control Unit）であってもよい。制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、光検出装置１を含む複数種類の車載センサを統合的に制御するセンサＥＣＵであってもよい。

　制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、メモリ１０１とプロセッサ１０２とを、少なくとも一つずつ有している。メモリ１０１は、コンピュータにより読み取り可能なプログラム及びデータ等を非一時的に記憶する、例えば半導体メモリ、磁気媒体、及び光学媒体等のうち、少なくとも一種類の非遷移的実体的記憶媒体（non-transitory tangible storage medium）である。ここで記憶とは、車両５の起動オフによってもデータが保持される蓄積であってもよいし、車両５の起動オフによりデータが消去される一時的な格納であってもよい。プロセッサ１０２は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）、ＲＩＳＣ（Reduced Instruction Set Computer）－ＣＰＵ、ＣＩＳＣ（Complex Instruction Set Computer）－ＣＰＵ、ＤＦＰ（Data Flow Processor）、及びＧＳＰ（Graph Streaming Processor）等のうち、少なくとも一種類をコアとして含んでいる。

　制御ユニット１００においてプロセッサ１０２は、照射ユニット及び走査ユニットを制御するために、記憶媒体としてのメモリ１０１に記憶された、光検出プログラムに含まれる複数の命令を実行する。これにより制御ユニット１００は、照射ユニット及び走査ユニットを制御するための機能ブロックを、複数構築する。制御ユニット１００において構築される複数の機能ブロックには、図４に示すように角度指令ブロック１１０、駆動制御ブロック１７０、発光制御ブロック１８０、及び測距ブロック１９０が含まれている。

　角度指令ブロック１１０は、揺動ミラー３２の揺動角度を制御するための角度指令値として制御指令角度を、生成する。角度指令ブロック１１０は、サブ機能ブロックとして、カウンタブロック１２０、角度取得ブロック１３０、振幅制御ブロック１４０、及び角度設定ブロック１５０を含んでいる。

　カウンタブロック１２０は、揺動波形の周期（揺動周期）にてカウントを実行するカウンタとして機能する、カウンタブロック１２０は、揺動周期毎にリセットされる。カウンタブロック１２０は、揺動周期毎にカウント値及びリセットタイミングを出力する。

　角度取得ブロック１３０は、揺動ミラー３２の角度を検出する角度センサ５０から出力された揺動ミラー３２の角度検出値を、当該揺動ミラー３２の実角度として逐次取得する。特に、角度取得ブロック１３０は、揺動ミラー３２の揺動周期のうち、照射ビームの走査を実行する往路周期の始点タイミングｔ０及び終点タイミングｔ１における実角度を取得する。例えば、角度取得ブロック１３０は、逐次角度センサ５０から出力される角度検出値のうち、最小角度値を始点タイミングｔ０の実角度、最大角度値を終点タイミングｔ１の実角度として、保持する。角度取得ブロック１３０は、カウンタブロック１２０からリセットタイミングを取得すると、保持していた最大角度値及び最小角度値を初期化する。尚、以下において、始点タイミングｔ０での揺動ミラー３２の実角度を、始点実角度、終点タイミングｔ１での揺動ミラー３２の実角度を、終点実角度と表記する場合がある。

　振幅制御ブロック１４０は、始点実角度及び終点実角度が取得された往路周期の次の往路周期における始点指令角度及び終点指令角度の値を、制御する。ここで、「次の往路周期」を中心とする視点において、「次の往路周期」は「今回の往路周期」と表記することもできる。又、この場合、始点実角度及び終点実角度が取得された往路周期は、「前回の往路周期」と表記することもできる。振幅制御ブロック１４０は、前回の往路周期における始点指令角度を、前回の往路周期における始点実角度との角度偏差に応じて補正することで、今回の往路周期における始点指令角度を、取得する。同様に振幅制御ブロック１４０は、前回の往路周期における終点指令角度を、前回の往路周期における終点実角度との角度偏差に応じて補正することで、今回の往路周期における終点指令角度を、取得する。尚、以下において、「前回の往路周期」を単に「前回」、「今回の往路周期」を単に「今回」と表記する場合がある。

　例えば、振幅制御ブロック１４０は、図５に示すように、前回の角度偏差のフィードバックに応じた今回の制御指令角度を出力する、フィードバック制御を提供する。図５に示すように、振幅制御ブロック１４０の実行する制御は、減算器１４１、乗算器１４２，１４４、積分器１４３及び加算器１４５，１４６によるＰＩ制御と等価である。

　始点指令角度を取得する場合、減算器１４１は、前回の始点指令角度ａ０＋ＡＬ＿１と、前回の最小角度値との差分の演算により、当該差分を角度偏差（始点角度偏差）として取得する。乗算器１４２は、角度偏差にＰ制御ゲインを乗算することで、ＰＩ制御のための比例項を、取得する。積分器１４３は、角度偏差を積分して乗算器１４４に出力する。そして、乗算器１４４は、積分された角度偏差に対してＩ制御ゲインを乗算することで、ＰＩ制御のための積分項を、取得する。尚、積分器１４３は、工場出荷時にメモリ１０１等に予め記憶された値を、Ｉ制御ゲインの初期値として使用する。加算器１４５は、比例項と積分項とを加算することで、角度偏差に応じた補正量を取得する。加算器１４６は、始点タイミングｔ０の実角度が収束する目標角度として予め設定された始点目標角度ａ０に補正量ＡＬ＿２を加算することで、補正された今回の始点指令角度ａ０＋ＡＬ＿２を、取得する。

　以上の振幅制御ブロック１４０は、終点指令角度を取得する場合にも、同様に機能する。終点指令角度を取得する場合、振幅制御ブロック１４０は、上述の説明において「始点」を「終点」に入れ替えたものとして機能する。すなわち、振幅制御ブロック１４０は、前回の終点指令角度ａ１＋ＡＨ＿１と、前回の最大角度値との終点角度偏差に応じた補正量ＡＨ＿２を取得し、終点目標角度ａ１に補正量ＡＨ＿２を加算することで、今回の終点指令角度ａ１＋ＡＨ＿２を取得する。振幅制御ブロック１４０は、以上の始点指令角度及び終点指令角度を、揺動周期ごとに取得する。例えば、振幅制御ブロック１４０は、図６に示すように、復路周期中に設定される振幅更新タイミングｔｕにて、直後の往路周期における始点指令角度及び終点指令角度を、取得する。尚、図６等のグラフにおいて、実線が制御指令角度を示し、破線が角度検出値を示している。

　角度設定ブロック１５０は、往路周期において始点タイミングｔ０及び終点タイミングｔ１間を分割した制御タイミング毎に、制御指令角度を可変設定する。制御タイミングは、カウンタ値に応じた、揺動周期よりも短い制御周期によって、規定される（図７参照）。角度設定ブロック１５０は、角度指令テーブル１６０、カウンタ値、始点指令角度及び終点指令角度に応じて、制御タイミング毎の制御指令角度を、設定する。ここで、角度指令テーブル１６０は、始点タイミングｔ０から終点タイミングｔ１までの、制御タイミング毎の各制御指令角度の初期値を示すデータである。例えば、制御指令角度の初期値は、始点目標角度から終点目標角度まで線形に増加する値として、設定されている。

　角度設定ブロック１５０は、制御タイミング毎に、カウンタ値に対応する角度指令テーブル１６０における制御指令角度の初期値を補正した実際の制御指令角度を設定する。具体的には、角度設定ブロック１５０は、今回の始点指令角度及び終点指令角度の間の線形補間により、各制御タイミングでの実際の制御指令角度を、設定する。この制御タイミング毎の制御指令角度の可変設定により、揺動ミラー３２の揺動の角速度が逐次制御されることになる。

　駆動制御ブロック１７０は、揺動ミラー３２を駆動する電圧指令値を出力する。例えば駆動制御ブロック１７０は、制御指令角度と角度検出値を比較し、差分にゲインをかけるフィードバック制御に応じた電圧指令値を出力する。フィードバック制御の場合、駆動制御ブロック１７０は、角度制御の内側にインナーループとして、異なる周期で角速度の制御や電流制御を行ってもよい。尚、駆動制御ブロック１７０は、角度検出値を利用せずに制御指令角度を利用したオープンループ制御に応じた電圧指令値を、出力してもよい。

　駆動制御ブロック１７０は、電圧指令値に応じた電圧信号を、走査モータ３５を駆動するための駆動信号として生成する。駆動制御ブロック１７０は、生成した駆動信号を制御指令として走査モータ３５へと出力することで、走査モータ３５を回転駆動する。

　発光制御ブロック１８０は、照射ユニット２２の発光タイミングを、制御する。発光制御ブロック１８０は、角度検出値を取得し、往路周期における角度検出値の設定変化量毎に、照射ユニット２２に対して駆動信号を出力する。設定変化量は、例えば角速度に応じた１画素あたりの発光上限回数等に基づく角度変化量として、予め設定されている。

　測距ブロック１９０は、受光ユニット４５の出力回路４８から出力された走査ライン別の受光データを、取得する。測距ブロック１９０は、少なくとも光検出装置１からターゲットまでの反射点距離をセンシングすることで、当該受光データに基づく測距情報を、生成する。測距ブロック１９０は、生成した測距情報を光検出装置１の外部に出力する。測距情報は、例えば車両５の運転制御を統合する統合ＥＣＵに出力されてもよい。測距情報は、車両５の運転制御において外界を認識する認識ＥＣＵに出力されてもよい。測距情報は、光検出装置１を含めた車載センサのセンシング情報を処理する、センシングＥＣＵに出力されてもよい。

　ここまで説明したブロック１１０，１７０，１８０，１９０の共同により、制御ユニット１００が走査ユニット及び照射ユニット２２を制御する光検出方法は、図８～１０に示す光検出フローに従って実行される。光検出フローは、揺動周期毎に実行される図８の振幅補正フロー、制御周期毎に実行される図９の角速度制御フロー、及び測距周期毎に実行される図１０の測距フローを含む。本光検出フローは、光検出装置１の起動中に繰り返し実行される。尚、本光検出フローにおける各「Ｓ」は、光検出プログラムに含まれた複数命令によって実行される複数ステップを、それぞれ意味している。

　図８に示す振幅補正フローにおいて、まずＳ１０では、カウンタブロック１２０が、直前の揺動周期までのカウンタ値をリセットする。次に、Ｓ２０では、角度取得ブロック１３０が、往路周期における角度最大値及び角度最小値を、始点タイミングｔ０及び終点タイミングｔ１における揺動ミラー３２の実角度として取得する。そして、Ｓ３０では、振幅制御ブロック１４０が、次の往路周期における始点指令角度を前回の始点角度偏差に応じて補正し、終点指令角度を前回の終点角度偏差に応じて補正する。

　次に、制御周期毎において、図９の角速度制御フローに示すように、まずＳ１００では、カウンタブロック１２０が、カウンタ値をインクリメントする。次に、Ｓ１１０では、角度設定ブロック１５０が、前回の揺動周期にて補正された始点指令角度及び終点指令角度の線形補間に応じた制御指令角度を取得する。そして、Ｓ１２０では、駆動制御ブロック１７０が、角度センサ５０から現在の角度検出値を取得する。次に、Ｓ１３０では、駆動制御ブロック１７０が、取得した角度検出値に応じた電圧指令値を取得する。そして、Ｓ１４０では、駆動制御ブロック１７０が、電圧指令値に応じた駆動電圧を、走査モータ３５に対して出力する。

　次に、測距周期毎において実行される測距フローを、図１０に従って以下説明する。まず、Ｓ２００では、発光制御ブロック１８０が、角度検出値を取得する。次に、Ｓ２１０では、発光制御ブロック１８０が、角度検出値に基づき揺動ミラー３２が設定変化量分回転駆動したか否かを判定する。

　設定変化量分回転駆動していないと判定されると、本フローはＳ２００へと戻る。一方で、設定変化量分回転駆動したと判定されると、本フローはＳ２２０へと移行する。Ｓ２２０では、発光制御ブロック１８０が、照射ユニット２２に対して駆動信号を出力することで、照射ユニット２２を発光させる。Ｓ２００，Ｓ２１０，Ｓ２２０の処理により、揺動ミラー３２の角度変化に応じた発光タイミングの制御が、実行される。

　Ｓ２２０に続くＳ２３０では、測距ブロック１９０が、受光ユニット４５の出力回路４８から、受光データを取得する。そして、Ｓ２４０では、測距ブロック１９０が、受光データに基づく測距情報を、出力する。

　以上の第一実施形態によれば、前回の往路周期における角度偏差に応じて今回の往路周期における始点指令角度及び終点指令角度が補正される。そして、制御タイミング毎に、始点指令角度及び終点指令角度の間での制御指令角度が可変設定されることにより、揺動の角速度が制御される。さらに、発光ダイオード２４の発光タイミングが、実角度の設定変化量毎に設定される。故に、角度偏差に応じて始点指令角度及び終点指令角度がそれぞれ個別に補正され、補正済みの始点指令角度及び終点指令角度の間で角速度が制御される。したがって、角度振幅に応じて一律に制御ゲインを設定する場合よりも、始点タイミングｔ０及び終点タイミングｔ１での各実角度のずれが抑制される。そして、この補正済みの始点指令角度及び終点指令角度の間で角速度を制御された実角度の設定変化量毎に、発光タイミングが設定されるので、走査方位のずれに起因する走査精度の低下が、抑制され得る。

　又、第一実施形態によれば、角速度は、線形制御される。故に、線形制御における角速度のむらが、抑制され得る。

　さらに、第一実施形態によれば、揺動ミラー３２は、復路側に向かって付勢されて設けられている。故に、往路周期にて発光する際に逆方向側に付勢されている揺動ミラー３２の組付け誤差等により、往路方向への走査における角度制御のブレが大きくなり易い光検出装置１において、走査精度の抑制が可能となり得る。

　（第二実施形態）
　図１１，１２に示すように第二実施形態は、第一実施形態の変形例である。

　第二実施形態において、振幅補正フローは、図１１に示すようにＳ３０の後Ｓ４０へと移行する。Ｓ４０では、振幅制御ブロック１４０が、終点タイミングｔ１を補正する角速度条件が成立したか否かを、判定する。角速度条件は、前回の往路周期における角速度の調整が必要な場合に成立する条件である。例えば、角速度条件は、角速度が許容角速度範囲外となる場合に、成立する。ここで、許容角速度範囲は、角速度が上限閾値未満又は以下且つ下限閾値以上又は超過となる範囲である。角速度条件は、角度検出値の時間変化等から推定される角速度が許容速度範囲となるか否かに応じて、判定されてもよい。角速度条件は、復路周期にて走査モータ３５に流れる瞬時電流値が、許容電流値範囲外まで上昇しているか否かに応じて、判定されてもよい。復路周期における瞬時電流値の許容電流値範囲外までの上昇は、復路周期の角速度の過大、すなわち往路周期の角速度の許容角速度範囲外までの低下に対応する。

　角速度が許容角速度範囲内であると判定されると、本振幅補正フローはＳ５０をスキップする。一方で、角速度が許容角速度範囲外であると判定されると、本振幅補正フローはＳ５０へと移行する。Ｓ５０では、振幅制御ブロック１４０が、角速度を許容角速度範囲に収める終点タイミングｔ１の補正値を、設定する。

　例えば、振幅制御ブロック１４０は、角速度が許容角速度範囲外に上昇していた場合、すなわち上限閾値以上又は超過していた場合、終点タイミングｔ１を遅らせる補正値を、設定する。一方で、振幅制御ブロック１４０は、角速度が許容角速度範囲外まで低下していた場合、すなわち下限閾値以下又は未満となった場合、終点タイミングｔ１を早める補正値を、設定する。

　以上に説明した振幅補正フローに応じて、角速度制御フローのＳ１１０では、制御指令角度が設定されることになる。すなわち、終点タイミングｔ１に対する補正値が設定された場合、Ｓ１１０において、角度設定ブロック１５０は、図１２に示すように、始点タイミングｔ０と、補正された終点タイミングｔ１との間で分割した制御周期毎に、線形補間による制御指令角度を設定する。

　又、以上の振幅補正フローに応じて、測距フローのＳ２１０では、角速度に応じた１画素あたりの発光上限回数等に相関する設定変化量にて、判定処理が実施される。すなわち、終点タイミングｔ１に対する補正値が設定された場合、Ｓ２１０において、発光制御ブロック１８０は、当該補正値に応じた設定変化量分、揺動ミラー３２が回転駆動したか否かを、判定する。例えば、発光制御ブロック１８０は、終点タイミングｔ１を遅らせる補正値が設定されていた場合、往路の角速度が遅くなることで１画素あたりの発光上限回数が大きくなるため、より小さな設定変化量にて判定処理を実行する。又、発光制御ブロック１８０は、終点タイミングｔ１を早める補正値が設定されていた場合、往路の角速度が速くなることで１画素あたりの発光上限回数が小さくなるため、より大きな設定変化量にて判定処理を実行する。

　以上の第二実施形態によれば、角速度が許容角速度範囲外となった場合、角速度を許容角速度範囲内に収める制御が実行される。故に、角速度の過大により、１画素に対して発光できる回数が少なくなり、ＳＮ比が低下してしまうことを回避可能となり得る。

　（第三実施形態）
　図１３，図１４に示すように第三実施形態は、第一実施形態の変形例である。

　第三実施形態において、振幅制御ブロック１４０は、始点指令角度及び終点指令角度に加えて、中間指令角度を制御する。中間指令角度は、往路周期における始点タイミングｔ０及び終点タイミングｔ１の間の中間タイミングにおける制御指令角度である。始点指令角度及び終点指令角度と同様に、中間指令角度に対しては、目標とされる中間目標角度が、設定されている。

　中間目標角度は、中間タイミングの前後において、角速度に異なる線形性を付与するように、設定されている。図１４に示す例では、中間目標角度は、始点タイミングｔ０から中間タイミングまでの区間よりも、中間タイミングから終点タイミングｔ１までの区間の方が、角速度が大きくなるように設定されている。

　第三実施形態において、振幅補正フローは、図１３に示すようにＳ１０の後Ｓ２１へと移行する。Ｓ２１では、振幅制御ブロック１４０が、中間タイミングにおける角度検出値を、中間タイミングでの実角度である角度中間値として取得する。次に、Ｓ３１では、振幅制御ブロック１４０が、始点指令角度及び終点指令角度に加えて、中間指令角度を補正して設定する。例えば、振幅制御ブロック１４０は、始点指令角度及び終点指令角度と同様に、ＰＩ制御等のフィードバック制御により、中間指令角度を補正すればよい。

　以上に説明した振幅補正フローに応じて、角速度制御フローのＳ１１０では、中間タイミングの前後において、異なる線形性にて制御指令角度が設定されることになる。すなわち、Ｓ１１０の角度設定ブロック１５０は、始点タイミングｔ０と中間タイミングとの間で分割された制御タイミング毎と、中間タイミングと終点タイミングｔ１との間で分割された制御タイミング毎とで、異なる線形補間による制御指令角度を設定する。

　又、以上の振幅補正フローに応じて、測距フローのＳ２１０では、中間タイミングの前後それぞれの角速度に応じた１画素あたりの発光上限回数等に相関する設定変化量にて、判定処理が実施される。すなわち、Ｓ２１０において、発光制御ブロック１８０は、中間タイミングの前後で、異なる設定変化量にて、揺動ミラー３２の回転駆動角を判定する。図１４に示す例では、発光制御ブロック１８０は、中間タイミングの前区間において、後区間より小さな設定変化量にて判定処理を実行する。

　以上の第三実施形態によれば、始点タイミングｔ０及び終点タイミングｔ１の間の中間タイミングに関して、前回の角度偏差が取得され、今回の中間タイミングでの中間指令角度が、前回の角度偏差に応じて補正される。故に、始点タイミングｔ０及び終点タイミングｔ１の間において、別の制御指令角度を予め設定可能となる。したがって、揺動周期における制御角度波形の設定の自由度が向上され得る。

　又、第三実施形態によれば、今回の往路周期における制御タイミング毎の制御指令角度が可変設定されることによる角速度に、中間タイミングの前後において異なる線形性が付与される。故に、１つの往路周期内において、中間タイミングの前後に角速度の異なる区間を設定可能となり得る。したがって、走査領域の一部に対してより精度の高い測距が可能となり得る。

　（第四実施形態）
　図１５～１７に示すように第四実施形態は、第一実施形態の変形例である。

　第四実施形態において、振幅補正フローは、図１５に示すように、Ｓ３０の後にＳ６０へと移行する。Ｓ６０では、角度取得ブロック１３０が、角度最大値及び角度最小値が、それぞれの目標範囲に収束したか否かを、判定する。例えば、角度取得ブロック１３０は、最小角度値が目標始点角度範囲内に収まり、且つ最大角度値が目標終点角度範囲内に収まった揺動周期数が、規定回数連続したことを以って、角度偏差が収束したと判定する。ここで、目標始点角度範囲は、始点目標角度を含む角度範囲であり、目標終点角度範囲は、終点目標角度を含む角度範囲である。

　目標範囲に収束していないと判定されると、本フローはＳ７０へと移行する。Ｓ７０では、角度取得ブロック１３０が、照射ユニット２２の発光を禁止する。例えば、角度取得ブロック１３０は、発光禁止フラグをメモリ１０１等にセットする。一方で、角度最大値及び角度最小値がそれぞれの目標範囲に収束したと判定されると、本フローはＳ８０へと移行する。Ｓ８０では、角度取得ブロック１３０が、照射ユニット２２の発光禁止を解除する。例えば、角度取得ブロック１３０は、メモリ１０１等にセットされた発光禁止フラグを消去する。

　以上の振幅補正フローに応じて、図１６に示す測距フローでは、発光処理よりも前に、発光が禁止されているか否かの判定処理が実施される。すなわち、第四実施形態の測距フローでは、まずＳ２００ａにおいて、発光制御ブロック１８０が、発光が禁止されているか否かを判定する。例えば、発光制御ブロック１８０は、メモリ１０１等へのアクセスにより発光禁止フラグがオン設定となっている場合に、発光が禁止されていると判定する。発光の禁止が解除されるまでＳ２００ａの処理は繰り返され、発光が禁止されていないと判定されると、本フローはＳ２００ｂへと移行する。Ｓ２００ｂの処理は、Ｓ２００の処理と同様である。Ｓ６０，Ｓ７０，Ｓ８０，Ｓ２００ａの処理により、図１７に示すように、最大角度値及び最小角度値がそれぞれ目標範囲内となってから発光及び測距情報の出力が実行されることになる。

　以上の第四実施形態によれば、始動後に角度偏差が許容範囲内に収束した場合に、測距開始される。故に、始点タイミングｔ０及び終点タイミングｔ１の実角度が安定した以降の測距結果を、出力可能となる。

　（他の実施形態）
　以上、複数の実施形態について説明したが、本開示は、それらの実施形態に限定して解釈されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。

　変形例において、制御ユニット１００は、筐体１１の外部において設けられていてもよい。

　変形例において、制御ユニット１００は、角速度を非線形制御してもよい。

　変形例において、制御ユニット１００は、制御指令角度の補正において、微分制御をさらに加えて、所謂ＰＩＤ制御を実行してもよい。

　変形例において、制御ユニット１００は、角速度が許容角速度範囲に収束するまで、発光を禁止してもよい。

　変形例において、制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、車両５の運転制御を統合する、統合ＥＣＵであってもよい。制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、車両５の運転制御における運転タスクを判断する、判断ＥＣＵであってもよい。制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、車両５の運転制御を監視する、監視ＥＣＵであってもよい。制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、車両５の運転制御を評価する、評価ＥＣＵであってもよい。

　制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、車両５の走行経路をナビゲートする、ナビゲーションＥＣＵであってもよい。制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、車両５の自己状態量を推定する、ロケータＥＣＵであってもよい。制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、車両５の走行アクチュエータを制御する、アクチュエータＥＣＵであってもよい。制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、車両５において情報提示を制御する、ＨＣＵ（HMI(Human Machine Interface) Control Unit）であってもよい。

　変形例において制御ユニット１００を構成する専用コンピュータは、デジタル回路及びアナログ回路のうち、少なくとも一方をプロセッサとして有していてもよい。ここでデジタル回路とは、例えばＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）、ＳＯＣ（System on a Chip）、ＰＧＡ（Programmable Gate Array）、及びＣＰＬＤ（Complex Programmable Logic Device）等のうち、少なくとも一種類である。又こうしたデジタル回路は、プログラムを記憶したメモリを、有していてもよい。

　変形例において制御ユニット１００の適用される移動体は、例えば自律走行又はリモート走行により荷物搬送若しくは情報収集等の可能な自律走行ロボットであってもよい。ここまでの説明形態の他に上述の実施形態及び変形例は、移動体に搭載可能に構成されてプロセッサ１０２及びメモリ１０１を少なくとも一つずつ有する制御装置として実施されてもよい。具体的には、上述の実施形態及び変形例は、処理回路（例えば処理ＥＣＵ等）又は半導体装置（例えば半導体チップ等）の形態で実施されてもよい。

　（技術的思想の開示）
　この明細書は、以下に列挙する複数の項に記載された複数の技術的思想を開示している。いくつかの項は、後続の項において先行する項を択一的に引用する多項従属形式（a multiple dependent form）により記載されている場合がある。さらに、いくつかの項は、他の多項従属形式の項を引用する多項従属形式（a multiple dependent form referring to another multiple dependent form）により記載されている場合がある。これらの多項従属形式で記載された項は、複数の技術的思想を定義している。

　（技術的思想１）
　照射ビームに対して反射される反射ビームを検出する光検出装置であって、
　前記照射ビームを光源（２４）の発光にて生成し、照射する照射ユニット（２２）と、
　前記照射ビームを走査するために往復揺動する揺動ミラー（３２）を含む走査ユニット（３１）と、
　前記反射ビームを受光する受光ユニット（４５）と、
　前記照射ユニットにおける前記光源の発光タイミング及び前記走査ユニットにおける前記揺動ミラーの角度についての制御指令を出力する制御ユニット（１００）と、
　を備え、
　前記制御ユニットは、
　前記揺動ミラーの揺動周期のうち、前記照射ビームの走査を実行する往路周期の始点タイミング（ｔ０）及び終点タイミング（ｔ１）に関して、前回の前記往路周期における前記揺動ミラーの実角度をそれぞれ取得することと、
　今回の前記往路周期における前記始点タイミング及び前記終点タイミングでの前記揺動ミラーの各制御指令角度である始点指令角度及び終点指令角度を、前回の前記往路周期における前記始点タイミング及び前記終点タイミングでの前記制御指令角度と前記実角度との角度偏差に応じてそれぞれ補正することと、
　今回の前記往路周期において前記始点タイミング及び前記終点タイミング間を分割した制御タイミング毎に、前記始点指令角度及び前記終点指令角度の間での前記制御指令角度が可変設定されることにより、揺動の角速度を制御することと、
　前記光源の発光タイミングを、今回の前記往路周期における前記実角度の設定変化量毎に設定することと、
　を実行するように構成される光検出装置。

　（技術的思想２）
　前記角速度を制御することは、
　前記角速度を線形制御することを含む技術的思想１に記載の光検出装置。

　（技術的思想３）
　前記揺動ミラーは、復路側に向かって付勢されて設けられている技術的思想１又は技術的思想２に記載の光検出装置。

　（技術的思想４）
　前記制御ユニットは、
　測距を実行するように構成され、
　測距を実行することは、始動後に前記始点タイミング及び前記終点タイミングでの前記実角度が許容範囲内に収束した場合に、測距開始することを含む技術的思想１から技術的思想３のいずれか１項に記載の光検出装置。

　（技術的思想５）
　前記角速度を制御することは、
　前記角速度が許容角速度範囲外となった場合、前記角速度を許容角速度範囲内に収める制御を、実行することを含む技術的思想１から技術的思想４のいずれか１項に記載の光検出装置。

　（技術的思想６）
　前記角度偏差を取得することは、
　前記始点タイミング及び前記終点タイミングの間の中間タイミングに関して、前回の前記往路周期における前記角度偏差を取得することを含み、
　前記始点指令角度及び前記終点指令角度を補正することは、
　今回の前記往路周期における前記中間タイミングでの前記制御指令角度である中間指令角度を、前回の前記往路周期における前記角度偏差に応じて補正することを含む技術的思想１から技術的思想５のいずれか１項に記載の光検出装置。

　（技術的思想７）
　前記角速度を制御することは、
　前記角速度を線形制御することと、今回の前記往路周期における前記制御タイミング毎の前記制御指令角度が可変設定されることによる前記角速度に、前記中間タイミングの前後において異なる線形性を付与することと、を含む技術的思想６に記載の光検出装置。

　尚、以上の技術的思想１～７は、光検出方法及び光検出プログラムの形態で、実施されてもよい。

Claims (9)

1. 　照射ビームに対して反射される反射ビームを検出する光検出装置であって、
   　前記照射ビームを光源（２４）の発光にて生成し、照射する照射ユニット（２２）と、
   　前記照射ビームを走査するために往復揺動する揺動ミラー（３２）を含む走査ユニット（３１）と、
   　前記反射ビームを受光する受光ユニット（４５）と、
   　前記照射ユニットにおける前記光源の発光タイミング及び前記走査ユニットにおける前記揺動ミラーの角度についての制御指令を出力する制御ユニット（１００）と、
   　を備え、
   　前記制御ユニットは、
   　前記揺動ミラーの揺動周期のうち、前記照射ビームの走査を実行する往路周期の始点タイミング（ｔ０）及び終点タイミング（ｔ１）に関して、前回の前記往路周期における前記揺動ミラーの実角度をそれぞれ取得することと、
   　今回の前記往路周期における前記始点タイミング及び前記終点タイミングでの前記揺動ミラーの各制御指令角度である始点指令角度及び終点指令角度を、前回の前記往路周期における前記始点タイミング及び前記終点タイミングでの前記制御指令角度と前記実角度との角度偏差に応じてそれぞれ補正することと、
   　今回の前記往路周期において前記始点タイミング及び前記終点タイミング間を分割した制御タイミング毎に、前記始点指令角度及び前記終点指令角度の間での前記制御指令角度が可変設定されることにより、揺動の角速度を制御することと、
   　前記光源の発光タイミングを、今回の前記往路周期における前記実角度の設定変化量毎に設定することと、
   　を実行するように構成される光検出装置。
2. 　前記角速度を制御することは、
   　前記角速度を線形制御することを含む請求項１に記載の光検出装置。
3. 　前記揺動ミラーは、復路側に向かって付勢されて設けられている請求項１に記載の光検出装置。
4. 　前記制御ユニットは、
   　測距を実行するように構成され、
   　測距を実行することは、始動後に前記始点タイミング及び前記終点タイミングでの前記実角度が許容範囲内に収束した場合に、測距開始することを含む請求項１に記載の光検出装置。
5. 　前記角速度を制御することは、
   　前記角速度が許容角速度範囲外となった場合、前記角速度を許容角速度範囲内に収める制御を、実行することを含む請求項１に記載の光検出装置。
6. 　前記角度偏差を取得することは、
   　前記始点タイミング及び前記終点タイミングの間の中間タイミングに関して、前回の前記往路周期における前記角度偏差を取得することを含み、
   　前記始点指令角度及び前記終点指令角度を補正することは、
   　今回の前記往路周期における前記中間タイミングでの前記制御指令角度である中間指令角度を、前回の前記往路周期における前記角度偏差に応じて補正することを含む請求項１に記載の光検出装置。
7. 　前記角速度を制御することは、
   　前記角速度を線形制御することと、今回の前記往路周期における前記制御タイミング毎の前記制御指令角度が可変設定されることによる前記角速度に、前記中間タイミングの前後において異なる線形性を付与することと、を含む請求項６に記載の光検出装置。
8. 　揺動ミラー（３２）により走査される照射ビームに対して反射される反射ビームを検出する光検出装置（１）を制御するために、プロセッサ（１０２）により実行される光検出方法であって、
   　前記揺動ミラーの揺動周期のうち、前記照射ビームの走査を実行する往路周期の始点タイミング（ｔ０）及び終点タイミング（ｔ１）に関して、前回の前記往路周期における前記揺動ミラーの実角度をそれぞれ取得することと、
   　今回の前記往路周期における前記始点タイミング及び前記終点タイミングでの前記揺動ミラーの各制御指令角度である始点指令角度及び終点指令角度を、前回の前記往路周期における前記始点タイミング及び前記終点タイミングでの前記制御指令角度と前記実角度との角度偏差に応じてそれぞれ補正することと、
   　今回の前記往路周期において前記始点タイミング及び前記終点タイミング間を分割した制御タイミング毎に、前記始点指令角度及び前記終点指令角度の間での前記制御指令角度が可変設定されることにより、揺動の角速度を制御することと、
   　前記照射ビームを生成する光源（２４）の発光タイミングを、今回の前記往路周期における前記実角度の設定変化量毎に設定することと、
   　を含む光検出方法。
9. 　揺動ミラー（３２）により走査される照射ビームに対して反射される反射ビームを検出する光検出装置（１）を制御するために記憶媒体（１０１）に記憶され、プロセッサ（１０２）に実行させる命令を含む光検出プログラムであって、
   　前記命令は、
   　前記揺動ミラーの揺動周期のうち、前記照射ビームの走査を実行する往路周期の始点タイミング（ｔ０）及び終点タイミング（ｔ１）に関して、前回の前記往路周期における前記揺動ミラーの実角度をそれぞれ取得させることと、
   　今回の前記往路周期における前記始点タイミング及び前記終点タイミングでの前記揺動ミラーの各制御指令角度である始点指令角度及び終点指令角度を、前回の前記往路周期における前記始点タイミング及び前記終点タイミングでの前記制御指令角度と前記実角度との角度偏差に応じてそれぞれ補正させることと、
   　今回の前記往路周期において前記始点タイミング及び前記終点タイミング間を分割した制御タイミング毎に、前記始点指令角度及び前記終点指令角度の間での前記制御指令角度が可変設定されることにより、揺動の角速度を制御させることと、
   　前記照射ビームを生成する光源（２４）の発光タイミングを、今回の前記往路周期における前記実角度の設定変化量毎に設定させることと、
   　を含む光検出プログラム。