WO2025115642A1

WO2025115642A1 - 離型フィルム及びその応用

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Publication number: WO2025115642A1
Application number: PCT/JP2024/040584
Authority: WO
Inventors: 雄太服部; 愛璃彩早川; 祐輝今井; 洋平仲川; 理奈伊藤
Original assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Current assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Priority date: 2023-11-29
Filing date: 2024-11-15
Publication date: 2025-06-05
Anticipated expiration: 2026-05-29
Also published as: KR20260116215A; TW202530012A; CN122295202A

Abstract

薄膜のセラミックグリーンシートが積層された状態で巻き取られた場合であっても、裏面（反離型面）にセラミックグリーンシートが貼りつかず、巻き取り性や巻き出し性に優れる離型フィルムを提供することにある。ポリエステルフィルムの片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備え、樹脂層Ａが非シリコーン系離型剤を含有し、樹脂層Ｂとセラミックグリーンシートとをプレス処理し、樹脂層Ｂのセラミックグリーンシートに対する、所定の測定条件における剥離時の帯電量が１０ｋＶ以下である、離型フィルム。

Description

離型フィルム及びその応用

　本発明は、離型フィルム、セラミックグリーンシート付き離型フィルム、セラミックグリーンシートの支持体としての使用、セラミックグリーンシートの製造方法に関する。

　ポリエチレンテレフタレートフィルムやポリエチレンナフタレートフィルムに代表されるポリエステルフィルムは、機械的特性、寸法安定性、平坦性、耐熱性、耐薬品性、光学特性等に優れた特性を有し、コストパフォーマンスに優れるため、各種用途に使用されている。

　また、ポリエステルフィルムは、フィルム表面の平滑性を利用して、積層セラミックコンデンサーのグリーンシートを成形するための離型フィルムや、層間絶縁樹脂離型用基材、ドライフィルムレジスト用基材など、各種用途に好適に用いられている。

　従来、グリーンシート成形用途にはポリエステルフィルムの一方の面上にシリコーン系離型剤を含む離型層を備えた、離型フィルムが汎用的に使用されている（特許文献１）。また、半導体分野など、珪素（Ｓｉ）元素の混入を嫌う用途に対応するために、非シリコーン系離型剤を用いた離型層を備えた離型フィルムの提案がなされている（特許文献２及び３）。これらの文献では、いずれも常温あるいは加熱処理後におけるセラミックグリーンシートからの離型層の剥離性を良好とすることを課題としている。

　近年、積層セラミックコンデンサーの更なる高容量化に伴い、セラミックグリーンシートの厚みも益々、薄膜化する傾向にある。特に、厚み（乾燥後）が２μｍ以下のセラミックグリーンシートを成形する場合、単純にシート厚みを薄膜化するだけでは、セラミックグリーンシート自体が脆く、割れやすいため、ハンドリング性を確保するために、セラミックスラリーの組成を調整することで、セラミックグリーンシート自体に、適度に柔軟性を付与する対策が講じられている。

特開２０１４－２１３５９０号公報特開２００３－３００２８３号公報国際公開第２０２２／１１８７５５号

　しかしながら、従来の離型フィルムを用いて、柔軟性を有する薄膜のセラミックグリーンシートを成形した場合、薄膜のセラミックグリーンシートが積層された状態で、離型フィルムをロール状に巻き取り、再度、離型フィルムを巻き出す際に、セラミックグリーンシートが反離型面側のフィルム表面に貼り付いたりする現象が発生することを本発明者らは知見した。

　そこで、本発明は、上記実情に鑑みなされたものであって、その解決課題は、薄膜のセラミックグリーンシートが積層された状態で巻き取られた場合であっても、裏面（反離型面）にセラミックグリーンシートが貼りつかず、巻き取り性や巻き出し性に優れる離型フィルムを提供することにある。

　本発明の具体的な態様の例を以下に示す。

［１］　ポリエステルフィルムの片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備え、
　樹脂層Ａが離型剤を含有し、
　樹脂層Ｂが（Ａ）非シリコーン系離型剤および（Ｃ）帯電防止剤を含み、
　樹脂層Ｂのセラミックグリーンシートに対する、以下の測定条件における剥離時の帯電量が１０ｋＶ以下である、離型フィルム；
（測定条件）
　樹脂層Ａ上に、トルエン３９．８４質量部、エタノール３９．８４質量部、チタン酸バリウム１７．６５質量部、ポリビニルブチラール１．７７質量部及びフタル酸ジオクチル０．９０質量部を含む組成物から形成され、かつ厚みが１．０μｍのセラミックグリーンシートを形成し、該セラミックグリーンシートと樹脂層Ｂとをプレス圧（８．２ＭＰa）で５時間処理した後、樹脂層Ｂからセラミックグリーンシートを剥離させる際の静電気量を測定する；セラミックグリーンシートを剥離させる際の剥離角度は９０度、剥離速度は４ｃｍ／秒とする。
［２］　ポリエステルフィルムの片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備え、
　ポリエステルフィルムが再生ポリエステル樹脂を含み、
　樹脂層Ａが離型剤を含有し、
　樹脂層Ｂのセラミックグリーンシートに対する、以下の測定条件における剥離時の帯電量が１６ｋＶ以下である、離型フィルム；
（測定条件）
　樹脂層Ａ上に、トルエン３９．８４質量部、エタノール３９．８４質量部、チタン酸バリウム１７．６５質量部、ポリビニルブチラール１．７７質量部及びフタル酸ジオクチル０．９０質量部を含む組成物から形成され、かつ厚みが１．０μｍのセラミックグリーンシートを形成し、該セラミックグリーンシートと樹脂層Ｂとをプレス圧（８．２ＭＰa）で５時間処理した後、樹脂層Ｂからセラミックグリーンシートを剥離させる際の静電気量を測定する；セラミックグリーンシートを剥離させる際の剥離角度は９０度、剥離速度は４ｃｍ／秒とする。
［３］　樹脂層Ａに含まれる離型剤が（Ａ）非シリコーン系離型剤である、［１］又は［２］に記載の離型フィルム。
［４］　（Ａ）非シリコーン系離型剤が、ワックス及び長鎖アルキル基含有化合物から選択される少なくとも１種である、［３］に記載の離型フィルム。
［５］　樹脂層Ｂが（Ｃ）帯電防止剤を含む、［２］又は［３］に記載の離型フィルム。
［６］　（Ｃ）帯電防止剤がイオン導電性高分子化合物である、［１］～［５］のいずれかに記載の離型フィルム。
［７］　（Ｃ）帯電防止剤がアンモニウム基含有化合物である、［１］～［６］のいずれかに記載の離型フィルム。
［８］　（Ｃ）帯電防止剤が、（ａ１）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が他の陰イオン化合物によりドーピングされた重合体、及び（ａ２）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が陰イオン基を持ち自己ドープされた重合体から選択される少なくとも１種である、［１］～［７］のいずれかに記載の離型フィルム。
［９］　（Ｃ）帯電防止剤の含有量が、樹脂層Ｂの全質量に対して５質量％以上である、［１］～［８］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１０］　樹脂層Ｂが（Ａ）非シリコーン系離型剤を含む、［１］～［９］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１１］　（Ａ）非シリコーン系離型剤が、ワックス及び長鎖アルキル基含有化合物から選択される少なくとも１種である、［１０］に記載の離型フィルム。
［１２］
　（Ａ）非シリコーン系離型剤の含有量が、樹脂層Ｂの全質量に対して５質量％以上である、［１０］又は［１１］に記載の離型フィルム。
［１３］　樹脂層Ｂが（Ｂ）バインダー樹脂を含む、［１］～［１２］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１４］　（Ｂ）バインダー樹脂が、（メタ）アクリル樹脂及びポリビニルアルコールから選択される少なくとも１種である、［１３］に記載の離型フィルム。
［１５］　樹脂層Ｂが（Ｄ）架橋剤を含む、［１］～［１４］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１６］　（Ｄ）架橋剤が、メラミン化合物及びオキサゾリン化合物から選択される少なくとも１種である、［１５］に記載の離型フィルム。
［１７］　ポリエステルフィルム中の樹脂成分の全質量に対する再生ポリエステル樹脂の含有割合が９０質量％以上である、［２］～［１６］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１８］　ポリエステルフィルムが表面層、中間層及び裏面層を有する３層構成である、［１］～［１７］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１９］　表面層がケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含む、［１８］に記載の離型フィルム。
［２０］　裏面層がケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含む、［１８］又は［１９］に記載の離型フィルム。
［２１］　中間層がマテリアルリサイクルされたポリエステル樹脂を含む、［１８］～［２０］のいずれかに記載の離型フィルム。
［２２］　ポリエステルフィルムに含まれるポリエステル樹脂を構成する全ジカルボン酸単位１００モル％に対する、イソフタル酸単位の含有量が０．０１～５モル％である、［２］～［２１］のいずれかに記載の離型フィルム。
［２３］　融解ピーク温度（Ｔｍ）が２５４℃以下である、［２］～［２２］のいずれかに記載の離型フィルム。
［２４］　融解ピーク熱量（ΔＨｍ）が４０Ｊ／ｇ以下である、［２］～［２３］のいずれかに記載の離型フィルム。
［２５］　ガス密度が１．４０５０ｇ／ｃｍ^３以下である、［２］～［２４］のいずれかに記載の離型フィルム。
［２６］　再生ポリエステル樹脂がＰＥＴボトルをリサイクルしたものである、［２］～［２５］のいずれかに記載の離型フィルム。
［２７］　空気漏れ指数が８５００秒以下である、［２］～［２６］のいずれかに記載の離型フィルム。
［２８］　下記式で算出される空気漏れ指数低減率が５％以上である、［２］～［２７］のいずれかに記載の離型フィルム。
　空気漏れ指数低減率（％）＝１００－対象離型フィルムの空気漏れ指数／バージン離型フィルムの空気漏れ指数×１００
［２９］　樹脂層Ａ面の最大山高さ（Ｓｐ）が６０ｎｍ以下である、［２］～［２８］のいずれかに記載の離型フィルム。
［３０］　樹脂層Ａ面の算術平均高さ（Ｓａ）が５ｎｍ以下である、［１］～［２９］のいずれかに記載の離型フィルム。
［３１］　離型フィルムの厚みが９～５０μｍである、［１］～［３０］のいずれかに記載の離型フィルム。
［３２］　離型フィルムにおける樹脂層Ｂ面と樹脂層Ａ面との動摩擦係数が０．２以下である、［１］～［３１］のいずれかに記載の離型フィルム。
［３３］　積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられる、［１］～［３２］のいずれかに記載の離型フィルム。
［３４］　［１］～［３３］のいずれかに記載の離型フィルムの樹脂層Ａ上にセラミックグリーンシートを積層した、セラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［３５］　セラミックグリーンシートの厚み（乾燥後）が２μｍ以下である、［３４］に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［３６］　積層セラミックコンデンサーの製造工程において用いられる、［３４］に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
［３７］　［１］～［３３］のいずれかに記載の離型フィルムの、積層セラミックコンデンサーの製造工程におけるセラミックグリーンシートの支持体としての使用。
［３８］　［１］～［３３］のいずれかに記載の離型フィルムの少なくとも一方の面側に、セラミック成分を含むセラミックスラリーを塗工する工程を有する、セラミックグリーンシートの製造方法。

［１０１］　ポリエステルフィルムの片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備え、
　ポリエステルフィルムが再生ポリエステル樹脂を含み、
　樹脂層Ａが離型剤を含み、
　樹脂層Ｂが（Ｃ）帯電防止剤を含む、離型フィルム。
［１０２］　（Ｃ）帯電防止剤がイオン導電性高分子化合物である、［１０１］に記載の離型フィルム。
［１０３］　（Ｃ）帯電防止剤が、（ａ１）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が他の陰イオン化合物によりドーピングされた重合体、及び（ａ２）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が陰イオン基を持ち自己ドープされた重合体から選択される少なくとも１種である、［１０１］又は［１０２］に記載の離型フィルム。
［１０４］　（Ｃ）帯電防止剤の含有量が、樹脂層Ｂの全質量に対して５質量％以上である、［１０１］～［１０３］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１０５］　樹脂層Ａが（Ａ）非シリコーン系離型剤を含む、［１０１］～［１０４］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１０６］　（Ａ）非シリコーン系離型剤が、ワックス及び長鎖アルキル基含有化合物から選択される少なくとも１種である、［１０５］に記載の離型フィルム。
［１０７］　樹脂層Ｂが（Ａ）非シリコーン系離型剤を含む、［１０１］～［１０６］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１０８］　（Ａ）非シリコーン系離型剤が、ワックス及び長鎖アルキル基含有化合物から選択される少なくとも１種である、［１０７］に記載の離型フィルム。
［１０９］　（Ａ）非シリコーン系離型剤の含有量が、樹脂層Ｂの全質量に対して５質量％以上である、［１０７］又は［１０８］に記載の離型フィルム。
［１１０］　樹脂層Ｂが（Ｂ）バインダー樹脂を含む、［１０１］～［１０９］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１１１］　（Ｂ）バインダー樹脂が、（メタ）アクリル樹脂及びポリビニルアルコールから選択される少なくとも１種である、［１１０］に記載の離型フィルム。
［１１２］　樹脂層Ｂが（Ｄ）架橋剤を含む、［１０１］～［１１１］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１１３］　（Ｄ）架橋剤が、メラミン化合物及びオキサゾリン化合物から選択される少なくとも１種である、［１１２］に記載の離型フィルム。
［１１４］　ポリエステルフィルム中の樹脂成分の全質量に対する再生ポリエステル樹脂の含有割合が９０質量％以上である、［１０１］～［１１３］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１１５］　ポリエステルフィルムが表面層、中間層及び裏面層を有する３層構成である、［１０１］～［１１４］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１１６］　表面層がケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含む、［１１５］に記載の離型フィルム。
［１１７］　裏面層がケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含む、［１１５］又は［１１６］に記載の離型フィルム。
［１１８］　中間層がマテリアルリサイクルされたポリエステル樹脂を含む、［１１５］～［１１７］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１１９］　樹脂層Ａ面の最大山高さ（Ｓｐ）が６０ｎｍ以下である、［１０１］～［１１８］のいずれかに記載の離型フィルム。
［１２０］　樹脂層Ａ面の算術平均高さ（Ｓａ）が５ｎｍ以下である、［１０１］～［１１９］のいずれかに記載の離型フィルム。

　本発明によれば、薄膜のセラミックグリーンシートが積層された状態で巻き取られた場合であっても、裏面（反離型面）にセラミックグリーンシートが貼りつかず、巻き取り性や巻き出し性に優れる離型フィルムを提供できる。

図１は、本実施形態の離型フィルムの構成を説明する断面図である。

　次に、本発明の実施形態の一例について説明する。ただし、本発明は次に説明する実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、任意に変形して実施することができる。なお、本明細書において「Ｘ～Ｙ」（Ｘ，Ｙは任意の数字）と表現する場合、特にことわらない限り「Ｘ以上Ｙ以下」の意と共に、「好ましくはＸより大きい」或いは「好ましくはＹより小さい」の意も包含する。また、「Ｘ以上」（Ｘは任意の数字）或いは「Ｙ以下」（Ｙは任意の数字）と表現した場合、「Ｘより大きいことが好ましい」或いは「Ｙ未満であることが好ましい」旨の意図も包含する。なお、以下の説明において使用される「フィルム」と「シート」は明確に区別されるものではなく、「フィルム」と称する場合でも「シート」を含むものとし、「シート」と称する場合でも「フィルム」を含むものとする。

＜離型フィルム＞
　本発明の第１の実施形態は、ポリエステルフィルム（以下、「本ポリエステルフィルム」とも称する）の片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備え（以下、樹脂層Ａ及び／又は樹脂層Ｂを「本樹脂層」とも称する）、樹脂層Ａが離型剤を含有し、樹脂層Ｂが（Ａ）非シリコーン系離型剤および（Ｃ）帯電防止剤を含み、樹脂層Ｂのセラミックグリーンシートに対する、以下の測定条件における剥離時の帯電量が１０ｋＶ以下である、離型フィルム（以下、「本離型フィルム」とも称する）に関する。帯電量の測定の際には、以下の条件で、離型フィルムの樹脂層Ａ上にセラミックグリーンシートを形成し、形成したセラミックグリーンシート上に、離型フィルムの樹脂層Ｂが接するように重ねた状態でプレス処理を行った上で、帯電量を測定する。
（測定条件）
　樹脂層Ａ上に、トルエン３９．８４質量部、エタノール３９．８４質量部、チタン酸バリウム１７．６５質量部、ポリビニルブチラール１．７７質量部及びフタル酸ジオクチル０．９０質量部を含む組成物から形成され、かつ厚みが１．０μｍのセラミックグリーンシートを形成し、該セラミックグリーンシートと樹脂層Ｂとをプレス圧（８．２ＭＰa）で５時間処理した後、樹脂層Ｂからセラミックグリーンシートを剥離させる際の静電気量を測定する；セラミックグリーンシートを剥離させる際の剥離角度は９０度、剥離速度は４ｃｍ／秒とする。

　上記測定条件で測定された帯電量は、１０ｋＶ以下であればよく、８ｋＶ以下であることが好ましく、６ｋＶ以下であることがより好ましく、５ｋＶ以下であることがさらに好ましく、４ｋＶ以下であることが一層好ましく、３ｋＶ以下であることがより一層好ましく、２ｋｖ以下であることが特に好ましい。帯電量の下限値は特に限定されるものではなく、０ｋＶであってもよく、０．１Ｖであってもよい。

　本発明の第２の実施形態は、ポリエステルフィルム（以下、「本ポリエステルフィルム」とも称する）の片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備え（以下、樹脂層Ａ及び／又は樹脂層Ｂを「本樹脂層」とも称する）、ポリエステルフィルムが再生ポリエステル樹脂を含み、樹脂層Ａが離型剤を含有し、樹脂層Ｂのセラミックグリーンシートに対する、以下の測定条件における剥離時の帯電量が１６ｋＶ以下である、離型フィルム（以下、「本離型フィルム」とも称する）に関する。
（測定条件）
　樹脂層Ａ上に、トルエン３９．８４質量部、エタノール３９．８４質量部、チタン酸バリウム１７．６５質量部、ポリビニルブチラール１．７７質量部及びフタル酸ジオクチル０．９０質量部を含む組成物から形成され、かつ厚みが１．０μｍのセラミックグリーンシートを形成し、該セラミックグリーンシートと樹脂層Ｂとをプレス圧（８．２ＭＰa）で５時間処理した後、樹脂層Ｂからセラミックグリーンシートを剥離させる際の静電気量を測定する；セラミックグリーンシートを剥離させる際の剥離角度は９０度、剥離速度は４ｃｍ／秒とする。

　上記測定条件で測定された帯電量は、１６ｋＶ以下であればよく、１４ｋＶ以下であることが好ましく、１２ｋＶ以下であることがより好ましく、１０ｋＶ以下であることがさらに好ましく、８ｋＶ以下であることがよりさらに好ましく、６ｋＶ以下であることが一層好ましく、４ｋＶ以下であることがより一層好ましく、３ｋＶ以下であることがさらに一層好ましく、２ｋＶ以下であることが特に好ましく、１．５ｋＶ以下であることが最も好ましい。帯電量の下限値は特に限定されるものではなく、０ｋＶであってもよく、０．１Ｖであってもよい。

　本発明の第３の実施形態は、ポリエステルフィルム（以下、「本ポリエステルフィルム」とも称する）の片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備え（以下、樹脂層Ａ及び／又は樹脂層Ｂを「本樹脂層」とも称する）、ポリエステルフィルムが再生ポリエステル樹脂を含み、樹脂層Ａが離型剤を含み、樹脂層Ｂが（Ｃ）帯電防止剤を含む、離型フィルム（以下、「本離型フィルム」とも称する）に関する。

　図１に示されるように、本実施形態の離型フィルム１００は、ポリエステルフィルム１０の両面に、樹脂組成物を用いて形成された樹脂層（以下、「本樹脂層」とも称する）を備える。具体的には、本離型フィルムの構成は、ポリエステルフィルム１０の片面に樹脂層Ａ２０、反対面に樹脂層Ｂ３０を備えた構成である。本実施形態では、ポリエステルフィルム１０とそれぞれの樹脂層（２０、３０）は直接接するように積層されていてもよく、また、ポリエステルフィルム１０と樹脂層（２０、３０）との間に他の層が設けられていてもよい。

　本離型フィルムは、上記構成を有するため、薄膜のセラミックグリーンシートが積層された状態で巻き取られた場合であっても、裏面（反離型面）にセラミックグリーンシートが貼りつかず、巻き取り性や巻き出し性に優れている。すなわち、本離型フィルムはセラミックグリーンシートに対する貼り付き防止性に優れている。このように、本離型フィルムは、積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体としての用途に適している。

＜＜ポリエステルフィルム＞＞
　本ポリエステルフィルムは、本離型フィルムの基材としての役割を果たすものである。本ポリエステルフィルムは、単層構造であっても多層構造であってもよい。本ポリエステルフィルムが多層構造の場合、本ポリエステルフィルムは２層構造、３層構造などでもよいし、本発明の要旨を逸脱しない限り、４層又はそれ以上の多層であってもよく、層数は特に限定されない。なお、本ポリエステルフィルムが２層以上の多層構造である場合、２種３層、３種３層の構成であることが特に好ましい。特に、本ポリエステルフィルムは３層構成であることが好ましく、この場合、本ポリエステルフィルムは、表面層、中間層及び裏面層を有する３層構成であることが好ましい。

　また、本ポリエステルフィルムは、無延伸フィルム（シート）であっても延伸フィルムであってもよい。中でも、本ポリエステルフィルムは、一軸方向又は二軸方向に延伸された延伸フィルムであることが好ましい。その中でも、力学特性のバランスや平面性に優れる点で、二軸延伸フィルムであることがより好ましい。

　本ポリエステルフィルムの全体の厚みは、フィルムとして製膜可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、機械的強度、ハンドリング性及び生産性などの観点から、９μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましく、１２μｍ以上であることがさらに好ましい。また、本ポリエステルフィルムの全体の厚みは、好ましくは５０μｍ以下であることが好ましく、４５μｍ以下であることがより好ましく、４２μｍ以下であることがさらに好ましい。

　第２の実施形態では、本ポリエステルフィルムは再生ポリエステル樹脂を含む。この場合、本離型フィルムは、ポリエステルフィルムが再生ポリエステル樹脂を含むことになるため、離型フィルムの空気漏れ指数を小さくすることができる。その結果、本離型フィルムは適度な滑り性を発揮することができ、ハンドリング性が向上する。例えば、空気漏れ指数が低減された離型フィルムは、ロール状に巻き取ることが容易となる。

　本ポリエステルフィルム中の樹脂成分の全質量に対する再生ポリエステル樹脂の含有割合は、５０質量％以上であることが好ましく、６０質量％以上であることがより好ましく、７０質量％以上であることがさらに好ましく、８０質量％以上であることがよりさらに好ましく、９０質量％以上であることが一層好ましく、９５質量％以上であることが特に好ましい。なお、本ポリエステルフィルムにおける再生ポリエステル樹脂の含有割合の上限は制限されるものではなく、１００質量％であってもよい。このように、本ポリエステルフィルムは、再生ポリエステル樹脂を非常に高い割合で含有することができるため、再生ポリエステルフィルムと呼ぶこともできる。このようなポリエステルフィルムを用いることで、例えばＣＯ_２排出量を削減することができ、環境への負荷低減に寄与することができる。また、再生ポリエステル樹脂の含有割合を上記範囲内とすることで、ポリエステルフィルムの平滑性を高めつつも、ポリエステルフィルム表面に必要な粗面を付与することができ、これにより、ポリエステルフィルムの加工性やハンドリング性をより効果的に高めることができる。

　第２の実施形態では、本ポリエステルフィルムは再生ポリエステル樹脂以外のポリエステル樹脂（バージンポリエステル樹脂）を含んでいてもよい。再生ポリエステル樹脂以外のポリエステル樹脂の含有割合は、ポリエステルフィルム中の樹脂成分の全質量に対して５０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以上であることがより好ましく、３０質量％以上であることがさらに好ましく、２０質量％以上であることがよりさらに好ましく、１０質量％以上であることが一層好ましく、５質量％以上であることが特に好ましい。なお、再生ポリエステル樹脂以外のポリエステル樹脂の含有割合は、０質量％であってもよい。

　第２の実施形態では、本ポリエステルフィルムの少なくとも一方の表面の最大山高さ（Ｓｐ）は、１０００ｎｍ以下であることが好ましく、８００ｎｍ以下であることがより好ましく、５００ｎｍ以下であることがさらに好ましく、３００ｎｍ以下であることが一層好ましく、２００ｎｍ以下であることがより一層好ましく、１５０ｎｍ以下であることがさらに一層好ましく、１００ｎｍ以下であることがよりさらに一層好ましく、６０ｎｍ以下であることが特に好ましい。また、少なくとも一方の表面の最大山高さ（Ｓｐ）は、５ｎｍ以上であることが好ましく、１０ｎｍ以上であることがより好ましい。少なくとも一方の表面の最大山高さ（Ｓｐ）を上記範囲内とすることにより、ポリエステルフィルムの表面に意図しない大きさの突起が発生することを効果的に抑制しつつ、表面平滑性に優れたポリエステルフィルムを得ることができる。本実施形態では、樹脂層Ａが積層される側の面（セラミックグリーンシートが積層される側の面）の最大山高さ（Ｓｐ）が上記範囲内であることが特に好ましい。

　第１の実施形態及び第２の実施形態では、本ポリエステルフィルムの少なくとも一方の表面の算術平均高さ（Ｓａ）は、１５ｎｍ以下であることが好ましく、１０ｎｍ以下であることがより好ましく、８ｎｍ以下であることがさらに好ましく、５ｎｍ以下であることがよりさらに好ましく、３ｎｍ以下であることが一層好ましい。また、少なくとも一方の表面の算術平均高さ（Ｓａ）は、０．３ｎｍ以上であることが好ましく、０．４ｎｍ以上であることがより好ましく、０．５ｎｍ以上であることがさらに好ましく、０．６ｎｍ以上であることが特に好ましい。少なくとも一方の表面の算術平均高さ（Ｓａ）を上記上限値以下とすることにより、表面平滑性に優れたポリエステルフィルムを得ることができる。一方、少なくとも一方の表面の算術平均高さ（Ｓａ）は上記下限値以上であることが好ましく、ポリエステルフィルムの表面には所定量以上の粗さが付与されていることが好ましい。これにより、ポリエステルフィルムの取り扱い性を向上させるために必要な粗面が具備され、本離型フィルムの空気漏れ指数を低減することができる。その結果、本離型フィルムは適度な滑り性を発揮することができ、ハンドリング性が向上する。例えば、適度な粗面性を有する離型フィルムは、ロール状に巻き取ることが容易となる。本実施形態では、樹脂層Ａが積層される側の面（セラミックグリーンシートが積層される側の面）の算術平均高さ（Ｓａ）が上記範囲内であることが特に好ましい。

　なお、本ポリエステルフィルムの少なくとも一方の表面の最大山高さ（Ｓｐ）及び算術平均高さ（Ｓａ）の測定方法は、後述するように表面層の最大山高さ（Ｓｐ）及び算術平均高さ（Ｓａ）の測定方法と同様である。

　本ポリエステルフィルムが表面層、中間層及び裏面層を有する積層ポリエステルフィルムである場合、表面層、中間層及び裏面層の全ての層が再生ポリエステル樹脂を含んでもよい。本実施形態では、表面層、中間層及び裏面層の全ての層がケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含んでもよく、表面層、中間層及び裏面層の全ての層がマテリアルリサイクルされたポリエステル樹脂を含んでもよい。また、本実施形態では、表面層と裏面層がケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含み、中間層のみがマテリアルリサイクルされたポリエステル樹脂を含むことも好ましい。例えば、中間層にマテリアルリサイクルされたポリエステル樹脂を含有させることで、中間層に微細な凹凸を形成することが容易となり、この凹凸が表面層に伝搬することにより、表面層の平滑性を維持しつつ、表面層に所定条件を満たす凹凸を形成することが容易となる。その結果、本離型フィルムの空気漏れ指数を小さくすることができ、離型フィルムのハンドリング性をより効果的に高めることができる。なお、中間層にマテリアルリサイクルされたポリエステル樹脂を含有させる場合には、例えば、表面層の厚みを適宜調整することで、中間層が有する凹凸の伝搬の程度をコントロールしてもよい。

（ポリエステル）
　本ポリエステルフィルムの原料であるポリエステルは、ホモポリエステルであっても共重合ポリエステルであってもよい。
　本ポリエステルフィルムがホモポリエステルからなる場合、ホモポリエステルは、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール及び１，４－シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表的なホモポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン－２，６－ナフタレンジカルボキシレート（ＰＥＮ）等を例示することができ、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。

　一方、共重合ポリエステルは、例えばジカルボン酸成分とグリコール成分の重縮合ポリマーであることが好ましい。ジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸及びオキシカルボン酸（例えば、ｐ－オキシ安息香酸等）等の１種又は２種以上が挙げられる。また、グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、１，４－シクロヘキサンジメタノール及びネオペンチルグリコール等の１種又は２種以上が挙げられる。共重合ポリエステルは、ジカルボン酸成分としてテレフタル酸を含み、グリコール成分としてエチレングリコールを含むことが好ましく、さらに少なくとも１種のジカルボン酸成分及び／又はグリコール成分の共重合成分を含むことが好ましい。共重合成分の含有量は、ポリエステルを構成する全構成単位の総モルに対して、好ましくは２０モル％以下、より好ましくは１０モル％以下である。

　共重合ポリエステルは、上述したジカルボン酸成分及びグリコール成分以外の二官能性化合物由来の構成単位を含んでもよい。上述したジカルボン酸成分及びグリコール成分以外の二官能性化合物由来の構成単位は、ポリエステルを構成する全構成単位の総モルに対して、好ましくは２０モル％以下、より好ましくは１０モル％以下である。二官能性化合物としては、各種のヒドロキシカルボン酸、芳香族ジオール等が挙げられる。

　本ポリエステルフィルムを構成するポリエステルにおける全ジカルボン酸成分中のテレフタル酸の含有量は、５０モル％以上が好ましく、より好ましくは７０モル％以上、さらに好ましくは９０モル％以上である。
　また、本ポリエステルフィルムを構成するポリエステルにおける全グリコール成分中のエチレングリコールの含有量は、５０モル％以上が好ましく、より好ましくは７０モル％以上、さらに好ましくは９０モル％以上である。
　なお、テレフタル酸及びエチレングリコールの含有量の上限値は、１００モル％である。

（重合触媒）
　ポリエステルの重合触媒としては、特に制限はなく、従来公知の化合物を使用することができ、例えばチタン化合物、ゲルマニウム化合物、アンチモン化合物、マンガン化合物、アルミニウム化合物、マグネシウム化合物及びカルシウム化合物等が挙げられる。これらの中では、チタン化合物及びアンチモン化合物の少なくともいずれかが好ましく、とりわけ、チタン化合物を使用することが好ましい。したがって、本ポリエステルフィルムは、チタン化合物及びアンチモン化合物の少なくともいずれかを含むことが好ましく、チタン化合物を含むことがより好ましい。

　チタン化合物を使用することで、結果的にアンチモン化合物の使用量を低減することができるため、アンチモン化合物がフィルム表面に析出することによる新たな突起形成リスクが小さくなり、高度な表面平滑性が維持できる。したがって、特に好ましい形態としては、本ポリエステルフィルムが多層構造の場合に、少なくとも一方の表面層を構成するポリエステルがチタン化合物を使用する形態が挙げられる。

　表面層中のチタン化合物に由来するチタン元素含有量は、３ｐｐｍ以上４０ｐｐｍ以下であることが好ましく、より好ましく４ｐｐｍ以上３５ｐｐｍ以下である。また、表面層がアンチモン化合物及びチタン化合物の少なくともいずれかを含む場合、表面層におけるアンチモン元素含有量は０ｐｐｍ以上１００ｐｐｍ以下であることが好ましい。かかる範囲内であれば、製造効率を低下させることなく、触媒起因の異物を低減化することができる。
　なお、生産性及びコストの観点から、表面層以外の層を構成するポリエステルは、チタン化合物を使用しないことが好ましい。一方で、表面層がチタン化合物を含むことにより、優れた平滑性を有するポリエステルフィルムとすることができる。このようなポリエステルフィルム上に本樹脂層を積層して離型フィルムとすることにより、本離型フィルムをセラミックグリーンシート成形用等として好適に用いることができる。

（固有粘度）
　本ポリエステルフィルムを構成するポリエステルの固有粘度（ＩＶ）は、０．５０ｄＬ／ｇ以上であることが好ましく、より好ましくは０．５５ｄＬ／ｇ以上、さらに好ましくは０．６０ｄＬ／ｇ以上である。かかる範囲であれば、混錬中のせん断応力が増大することによって粒子が高分散する等の利点がある。なお、「本ポリエステルフィルムを構成するポリエステルの固有粘度（ＩＶ）」とは、固有粘度（ＩＶ）が異なる２種以上のポリエステルを使用する場合には、これら混合ポリエステルの固有粘度（ＩＶ）を意味するものとする。

　本ポリエステルフィルムが多層構造の場合には、表面層を構成するポリエステルの固有粘度（ＩＶ）が上記範囲であることが好ましい。

（粒子）
　本ポリエステルフィルム中には、易滑性の付与及び各工程での傷発生防止を主たる目的として、粒子を配合することも可能である。
　配合する粒子の種類は、易滑性を付与可能な粒子であれば特に限定されるものではなく、具体例としては、例えばシリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム、酸化チタン等の無機粒子の他、架橋シリコーン樹脂粒子、架橋アクリル樹脂粒子、架橋スチレン－アクリル樹脂粒子、架橋ポリエステル粒子等の架橋高分子、シュウ酸カルシウム及びイオン交換樹脂等の有機粒子を挙げることができる。これらの中では、有機粒子、シリカ、酸化アルミニウムなどを用いることが好ましい。さらに、ポリエステル製造工程中、触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる。

　使用する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は、必要に応じて２種類以上を併用してもよい。

　また、用いる粒子の平均粒径は、５μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０．０１～３μｍの範囲である。５μｍ以下であると、フィルムの表面粗度が粗くなりすぎず、後工程において各種の表面機能層を形成させる場合等に不具合が生じず好ましい。また、平均粒径がかかる範囲であれば、ヘーズが低く抑えられ、本離型フィルム全体として透明性を確保しやすい。
　なお、粒子の平均粒径は、粒子が粉体の場合には、遠心沈降式粒度分布測定装置（例えば株式会社島津製作所製、「ＳＡ－ＣＰ３型」）を用いて粉体を測定した等価球形分布における積算体積分率５０％の粒径（ｄ５０）を平均粒径とすることができる。フィルム、層又は樹脂中の粒子の平均粒径については、１０個以上の粒子を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察して粒子の直径を測定し、その平均値として求めることができる。その際、非球状粒子の場合は、最長径と最短径の平均値を各粒子の直径として測定することができる。

　本ポリエステルフィルムに粒子を含有させる場合、例えば、表面層と中間層を設けて、表面層に粒子を含有させることが好ましい。
　粒子の含有量は、平均粒径にも依存するが、粒子を含有する層において、５０００ｐｐｍ以下程度であることが好ましい。粒子の含有量を上記範囲とすることにより、滑り性を付与することができる。なお、本ポリエステルフィルムが粒子を含有しない場合には、後述する本樹脂層を積層させることにより、滑り性を向上させたり、フィルムをロール状に巻き取る際のハンドリング性を向上させることができる。また、粒子の含有量が５０００ｐｐｍ以下であれば、ポリエステルフィルムの透明性も良好である。

　例えば、本ポリエステルフィルムの少なくとも一方の表面に優れた平滑性を付与する場合には、平滑面側の表面層には、粒子を含有してもよいが、粒子を実質的に含有しなくてもよい。極めて高平滑なフィルムとする場合には、実質的に粒子を含有しないことが好ましい。なお、「実質的に含有しない」とは、意図して含有しないという意味であり、具体的には、粒子の含有量（粒子濃度）が好ましくは５０ｐｐｍ以下、より好ましくは４０ｐｐｍ以下、さらに好ましくは３０ｐｐｍ以下のことを指す。

　本ポリエステルフィルム中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、多層のポリエステルフィルムであれば、各層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、エステル化又はエステル交換反応終了後、添加するのが好ましい。

（その他）
　オリゴマー成分の析出量を抑えるために、オリゴマー成分の含有量が少ないポリエステルを原料としてポリエステルフィルムを製造してもよい。オリゴマー成分の含有量が少ないポリエステルの製造方法としては、種々公知の方法を用いることができ、例えばポリエステル製造後に固相重合する方法等が挙げられる。
　また、本ポリエステルフィルムを３層以上の構成とし、本ポリエステルフィルムの表面層を、オリゴマー成分の含有量が少ないポリエステル原料を用いた層とすることで、オリゴマー成分の析出量を抑えてもよい。
　また、ポリエステルは、エステル化又はエステル交換反応をした後に、さらに反応温度を高くして減圧下で溶融重縮合して得てもよい。

　なお、本ポリエステルフィルム中には、上述の粒子以外に必要に応じて従来公知の紫外線吸収剤、酸化防止剤、帯電防止剤、熱安定剤、潤滑剤、染料、顔料等を添加することができる。

（再生ポリエステル樹脂）
　再生ポリエステル樹脂を構成するジカルボン酸成分としては、例えばテレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４－ナフタレンジカルボン酸、１，５－ナフタレンジカルボン酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、４，４’－ジフェニルジカルボン酸、４，４’－ジフェニルエーテルジカルボン酸及び４，４’－ジフェニルスルホンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸や、例えばアジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ダイマー酸、ドデカンジオン酸、シクロヘキサンジカルボン酸及びこれらのエステル誘導体等の脂肪族ジカルボン酸を挙げることができる。

　再生ポリエステル樹脂を構成するジオール成分としては、例えばエチレングリコール、１，２－プロパンジオール、１，３－プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、１，３－ブタンジオール、１，４－ブタンジオール、１，５－ペンタンジオール、１，６－ヘキサンジオール、１，２－シクロヘキサンジメタノール、１，３－シクロヘキサンジメタノール、１，４－ヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリアルキレングリコール、２，２－ビス（４－ヒドロキシエトキシフェニル）プロパン、イソソルベート及びスピログリコール等を挙げることができる。

　再生ポリエステル樹脂がホモポリエステルからなる場合、再生ポリエステル樹脂は、芳香族ジカルボン酸成分に由来する構造単位と脂肪族グリコールに由来する構造単位を含むことが好ましい。この場合、芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸等を挙げることができ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール及び１，４－シクロヘキサンジメタノール等を挙げることができる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン－２，６－ナフタレンジカルボキシレート（ＰＥＮ）等を例示することができ、ポリエステルはＰＥＴであることが好ましい。また、再生ポリエステル樹脂としては、８０モル％以上、好ましくは９０モル％以上が、エチレンテレフタレート単位であるポリエチレンテレフタレートや、エチレン－２，６－ナフタレート単位であるポリエチレン－２，６－ナフタレート等を用いることもできる。

　一方、再生ポリエステル樹脂が共重合ポリエステルの場合は、３０モル％以下の第三成分を含有した共重合体であることが好ましい。第三成分とは、ポリエステルを構成するジカルボン酸成分の主成分となる化合物と、ジオール成分の主成分となる化合物以外の成分であり、例えば、ポリエチレンテレフタレートではテレフタル酸及びエチレングリコール以外の成分である。共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、例えばイソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸及びオキシカルボン酸よりなる群から選択される１種又は２種以上を挙げることができる。共重合ポリエステルのグリコール成分としては、例えばエチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、１，４－シクロヘキサンジメタノール及びネオペンチルグリコールよりなる群から選択される１種又は２種以上を挙げることができる。

　なお、通常、エチレングリコールを原料の１つとしてポリエステルを製造（重縮合）する場合、エチレングリコールからジエチレングリコールが副生する。本明細書においては、このジエチレングリコールを副生ジエチレングリコールと称する。エチレングリコールからのジエチレングリコールの副生量は、リサイクル原料の種類や重縮合の様式等によっても異なる。本明細書においては、５モル％以下のジエチレングリコールを副生ジエチレングリコールとした上で、副生ジエチレングリコールもエチレングリコールに包含されるものとし、共重合成分とは区別する。一方、ジエチレングリコールの含有量によっては、より具体的にはジエチレングリコールが５モル％を超えて含有されている場合には、ジエチレングリコールは副生ジエチレングリコールとしてではなく、共重合成分として扱う。

　本ポリエステルフィルムに含まれるポリエステル樹脂を構成する全ジカルボン酸単位１００モル％に対するイソフタル酸単位の含有量は、０．０１～５モル％であることが好ましく、０．１～４モル％であることがより好ましく、０．５～３モル％であることがさらに好ましく、１～２．５モル％であることがよりさらに好ましい。例えば、市場や社会からリサイクルされたＰＥＴボトル等のポリエステルには、結晶性の制御等を目的としてイソフタル酸成分が多く含まれる。このようなリサイクル原料を用いた場合、再生ポリエステル樹脂には、上記範囲内のイソフタル酸単位が含まれることとなる。本ポリエステルフィルムにおけるイソフタル酸単位の含有量が上記下限値以上であれば、再生ポリエステル樹脂から形成されるポリエステルフィルムの柔軟性を高めることができ、これにより優れた表面平滑性を有するポリエステルフィルムが得られやすくなる。一方で、イソフタル酸単位の含有量が上記上限値以下であれば、ポリエステルフィルムのガス密度を高めることができ、その結果、離型フィルム上に薄膜セラミックグリーンシートを積層した状態で巻き取った場合であっても、裏面（反離型面）にセラミックグリーンシートが貼りつくことを抑制でき、巻き取り性や巻き出し性を効果的に高めることができる。また、本ポリエステルフィルムを積層セラミックコンデンサーの製造工程におけるセラミックグリーンシートの支持体（基材）として用いる場合には、支持体上に積層したセラミックグリーンシートを剥離するために裁断刃を用いて裁断する際、本ポリエステルフィルムの結晶性が抑えられていると、バリや切粉が発生しにくいという利点もある。

　再生ポリエステル樹脂は、リサイクル原料であるポリエステルをリサイクル（再生）してなるものである。リサイクル原料は、例えば、ポリエステル容器（例えば、ＰＥＴボトル等）由来のポリエステルであってもよく、ポリエステルフィルム（例えば、工程フィルム等）由来のポリエステルであってもよい。リサイクル原料としては、ポリエステルフィルムやＰＥＴボトルを製造する工程で製品とならずに回収されたポリエステルを用いることもできる。中でも、本実施形態で用いる再生ポリエステル樹脂はＰＥＴボトルをリサイクルしたものであることが好ましい。

　なお、本明細書では、このようにポリエステルフィルムやＰＥＴボトルを製造する工程で回収されたポリエステル（リサイクル原料）を自己回収型ポリエステルや系内再生ポリエステルと呼ぶ。例えば、積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体（基材）として用いられるポリエステルフィルムを製造する工程で回収されたポリエステルフィルムをリサイクル原料として用いることができる。

　自己回収型ポリエステルや系内再生ポリエステルは、粒子を含有していてもよい。粒子を含有する場合は、粒子の含有量としては、質量割合で、１０ｐｐｍ以上が好ましく、より好ましくは２０ｐｐｍ以上、さらに好ましくは３０ｐｐｍ以上、よりさらに好ましくは４０ｐｐｍ以上、特に好ましくは５０ｐｐｍ以上である。他方、粒子の含有量は、５００ｐｐｍ以下が好ましく、より好ましくは４００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは３５０ｐｐｍ以下、よりさらに好ましくは３００ｐｐｍ以下、一層好ましくは２５０ｐｐｍ以下、特に好ましくは２００ｐｐｍ以下である。

　自己回収型ポリエステルや系内再生ポリエステルは、自己の工場等で発生したフィルム端材やフィルムくず等を使用するため、ポリエステル原料の特性、例えば、ゲル等の粒状物の状態や粒子の含有量、固有粘度、原料触媒種等を正確に把握でき、得られるフィルムの品質をより安定したものとすることが容易となる。このような観点から、自己回収型ポリエステルや系内再生ポリエステルの使用も好ましい。

　本実施形態では、再生ポリエステル樹脂のリサイクル原料であるポリエステルには、バイオマス由来原料が用いられていてもよい。この場合、ポリエステルのジオール成分がバイオマス由来原料であることが好ましい。バイオマス由来のエチレングリコールは、バイオマスを原料として製造されたエタノール（バイオマスエタノール）を原料としたものである。例えば、バイオマスエタノールを、従来公知の方法により、エチレンオキサイドを経由してエチレングリコールを生成する方法等により、バイオマス由来のエチレングリコールを得ることができる。また、市販のバイオマスエチレングリコールを使用してもよく、例えば、インディアグライコール社から市販されているバイオマスエチレングリコールを好適に使用することができる。

　再生ポリエステル樹脂は、リサイクル原料であるポリエステルをマテリアルリサイクルしたものであってもよく、リサイクル原料であるポリエステルをケミカルリサイクルしたものであってもよい。本実施形態では、表面層、中間層及び裏面層の全ての層がケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含んでもよく、表面層、中間層及び裏面層の全ての層がマテリアルリサイクルされたポリエステル樹脂を含んでもよい。中でも、本実施形態では、表面層と裏面層がケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含むことが好ましい。表面層と裏面層にケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含有させることで、離型フィルム上に薄膜セラミックグリーンシートを積層した状態で巻き取った場合であっても、裏面（反離型面）にセラミックグリーンシートが貼りつくことを抑制でき、巻き取り性や巻き出し性を効果的に高めることができる。

＜＜ケミカルリサイクルポリエステル＞＞
　再生ポリエステル樹脂としては、ケミカルリサイクルポリエステルを用いることができる。ケミカルリサイクルポリエステル樹脂の製造方法としては、例えば、回収されたＰＥＴボトルやポリエステルフィルムを選別、粉砕、洗浄して異物を取り除いた後に、解重合を行うことでポリエステル樹脂の原料または中間原料まで分解、精製し、これらの原料を再度重合する方法が挙げられる。ケミカルリサイクルポリエステル樹脂の特徴は解重合／再重合の間に異物、異種材質が取り除かれ、品質の高いポリエステル樹脂に再生できる。

　解重合にはグリコール（例えば、エチレングリコール（ＥＧ））を加えて触媒の存在下で、樹脂製造時の中間原料であるビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）にまで戻し、これを精製した後、ＰＥＴに再重合する方法や、ポリエチレンテレフタレートを酸化した鉄を必須成分とする触媒の存在下に非水系有機溶媒中で加熱処理してテレフタル酸とエチレングリコールを生成した後、再度重合する方法が挙げられる。中でも、本実施形態では、ビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）にまで解重合した後にＰＥＴに再重合する方法を採用することが好ましい。また、本実施形態では、解重合で得られたビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）とメタノールを用いてエステル交換反応を行うことでテレフタル酸ジメチル（ＤＭＴ）を得て、ＤＭＴとジオール成分を重縮合することで、再重合ポリエステルを得ることも好ましい。

　なお、本明細書におけるケミカルリサイクルしたポリエステル樹脂（ケミカルリサイクルポリエステル）とは、解重合により得られたモノマーに由来する構造単位を含むものである。ケミカルリサイクルポリエステル中に含まれる、解重合により得られたモノマーに由来する構造単位の含有量は、３０モル％以上であることが好ましく、４０モル％以上であることがより好ましく、５０モル％以上であることがさらに好ましく、６０モル％以上であることがよりさらに好ましく、７０％モル以上であることが一層好ましく、８０モル％以上であることがより一層好ましく、９０モル％以上であることが特に好ましい。なお、ケミカルリサイクルポリエステルを構成するモノマーが全て解重合により得られたモノマーであってもよく、ケミカルリサイクルポリエステル中に含まれる、解重合により得られたモノマーに由来する構造単位の含有量は１００モル％であってもよい。

　リサイクル原料であるポリエステルをビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）にまで解重合した後にＰＥＴに再重合する場合、ケミカルリサイクルしたポリエステル樹脂を得る工程は、例えば、以下の工程を含む。
（１）回収したポリエステルを粉砕する工程
（２）ポリエステルと異なるポリマー成分や異物を除去する工程
（３）粉砕ポリエステルを解重合触媒を含むグリコール中に投入して解重合を行うことでビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）を得る工程
（４）ビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）の固液分離工程、濃縮工程及び／又は精製工程
（５）重縮合触媒存在下でビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）を重縮合させる工程

　ポリエステルをビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）にまで解重合した後にテレフタル酸ジメチル（ＤＭＴ）を得て、ＤＭＴとジオール成分を重縮合する場合、ケミカルリサイクルしたポリエステル樹脂を得る工程は、例えば、以下の工程を含む。
（１’）回収したポリエステルを粉砕する工程
（２’）ポリエステルと異なるポリマー成分や異物を除去する工程
（３’）粉砕ポリエステルを解重合触媒を含むグリコール中に投入して解重合を行うことでビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）を得る工程
（４’）ビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）の固液分離工程、濃縮工程及び／又は精製工程
（５’）ビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）とメタノールを混合し、エステル交換反応を行う工程
（６’）テレフタル酸ジメチル（ＤＭＴ）の固液分離工程、濃縮工程及び／又は精製工程
（７’）重縮合触媒存在下でテレフタル酸ジメチル（ＤＭＴ）とジオール成分を重縮合させる工程

　上記（１）もしくは（１’）工程では、回収されたポリエステルは、必要に応じて洗浄された後に、粉砕されフレークとなる。粉砕は水中粉砕であってもよく、洗浄工程と粉砕工程が同時に行われてもよい。洗浄工程では、アルカリ洗浄や中性洗浄を行ってもよい。

　上記（２）もしくは（２’）工程では、粉砕物中に含まれる、ポリエステルとは異なるポリマー成分（例えば、ナイロン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等）を除去する。これらのポリマーを除去する際には、例えば、風力選別、浮選分離、遠心分離等の方法を採用することができる。また、これらの工程の前後には、物理的・化学的な分離方法による異物除去工程が設けられてもよい。さらに、これらの工程の前後には、脱色工程が設けられてもよい。

　上記（３）もしくは（３’）工程では、粉砕ポリエステルを解重合触媒を含むグリコール中に投入して解重合を行うことでビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）を得る。過剰のグリコールによって解重合し粗製ＢＨＥＴと粗製エチレングリコールの二種混合溶液が得られる。グリコールとしては、エチレングリコール（ＥＧ）、１，３－プロパンジオール、または１，４－ブタンジオール（ＢＧ）を用いることが好ましく、中でも、エチレングリコール（ＥＧ）を用いることが特に好ましい。上記（３）もしくは（３’）工程では、粉砕ポリエステルを溶融すると同時に加水分解させて重合度の低いポリエチレンテレフタレート溶融物を得た後に解重合を行ってもよい。

　上記（３）もしくは（３’）工程では、粉砕ポリエステルの全質量に対して、０．１～５０質量部のエチレングリコール（ＥＧ）を添加することが好ましい。反応は、例えば、１５０～２６０℃、０．１～０．５ＭＰａの圧力下で行うことが好ましい。

　解重合触媒としては、例えば、炭酸ナトリウム、カルボン酸ナトリウム塩、酢酸マンガン、酢酸亜鉛等を挙げることができる。解重合に用いられる触媒の添加量は、特に限定されるものではないが、例えば、リサイクル原料の全質量に対して、０．０１～１０質量％であることが好ましい。

　解重合は、アルカリ化合物の存在下で行われてもよい。アルカリ化合物としては、例えば、水酸化テトラエチルアンモニウム（ＥＡＨ）、水酸化カリウム（ＫＯＨ）、水酸化カルシウム、および水酸化ナトリウムが挙げられる。なかでも、水酸化テトラエチルアンモニウムを用いることが好ましい。解重合工程において、グリコールと共にアルカリ化合物を添加することによって、解重合反応で副生するジエチレングリコール（ＤＥＧ）などの生成を抑制することができる。これにより、解重合による低重合体を用いて重合したポリマー中のＤＥＧ含有量を減少させることができポリマー品質を向上できる。

　上記（４）もしくは（４’）工程では、ビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）の固液分離工程、濃縮工程及び／又は精製工程を行う。固液分離工程、濃縮工程及び／又は精製工程では粗ＢＨＥＴからエチレングリコール成分等を除去して、濃縮されたＢＨＥＴを得る。解重合反応終了後の粗製ＢＨＥＴと粗製エチレングリコールの二種混合溶液を降温し、濾過を行うことで固形異物を除去することができる。さらに吸着・イオン交換処理を施すことで、着色物と溶存イオンを除去してもよい。固液分離工程の後には、粗製ＢＨＥＴと粗製エチレングリコールの二種混合溶液に蒸留・蒸発操作を施してエチレングリコールを分離・留出させて濃縮ＢＨＥＴを得ることが好ましい。もしくは二種混合溶液を１０℃以下まで冷却してＢＨＥＴを晶析させた後、エチレングリコールとＢＨＥＴを固液分離することにより濃縮ＢＨＥＴを得てもよい。この濃縮ＢＨＥＴを所定条件で真空蒸発させることで精製ビス－β－ヒドロキシエチルテレフタレートが得られる。上記のようにして高純度の精製ＢＨＥＴが得られる。なお、精製ＢＨＥＴ中には、ＢＨＥＴに加えてオリゴマーが含まれていてもよい。

　上記（５）工程では、精製ＢＨＥＴを溶融重縮合反応器に仕込むことで、再度重合されたポリエステルを得ることができる。ＢＨＥＴの重合反応は、例えば、２００～３００℃、０．０１～０．５ＭＰａの圧力下で行うことが好ましい。重合工程の後には必要に応じて重合度を調節する固相重合工程が設けられていてもよい。

　上記（５）工程で用いられる重縮合触媒としては、アンチモン化合物、ゲルマニウム化合物、アルミニウム化合物、チタン化合物、リン化合物、マグネシウム化合物等が挙げられる。これらの中では、アンチモン化合物、チタン化合物、マグネシウム化合物及びリン化合物から選択される少なくとも１種を用いることが好ましく、アンチモン化合物又はチタン化合物を用いることがより好ましく、チタン化合物を用いることがさらに好ましい。重縮合触媒として上記のような化合物、特にチタン化合物を用いることで、重縮合触媒の添加量の低減が可能となるため、重縮合触媒由来の異物や突起が生じることを抑制しやすくなる。

　上記（５’）工程では、ビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）とメタノールを混合し、エステル交換反応を行い、テレフタル酸ジメチル（ＤＭＴ）を得る。エステル交換反応は１００～２５０℃、０．０１～０．５ＭＰａの圧力下で行うことが好ましい。エステル交換反応触媒としては、例えば、炭酸ナトリウム、酢酸マグネシウム、酢酸マンガン、酢酸亜鉛等を挙げることができる。エステル交換に用いられる触媒の添加量は、特に限定されるものではないが、例えば、ビスヒドロキシエチルテレフタレート（ＢＨＥＴ）の全質量に対して、０．０１～１０質量％であることが好ましい。

　上記（６’）工程では、エステル交換反応で得られたテレフタル酸ジメチル（ＤＭＴ）の固液分離工程、濃縮工程及び／又は精製工程を行う。これにより、粗ＤＭＴから精製ＤＭＴを得ることが好ましい。固液分離工程、濃縮工程及び／又は精製工程としては、上記（４）もしくは（４’）工程と同様の操作を適宜選択することができる。

　上記（７’）では重縮合触媒存在下でテレフタル酸ジメチル（ＤＭＴ）とジオール成分を重縮合させる精製ＤＭＴとジオール成分を溶融重縮合反応器に仕込むことで、再度重合されたポリエステルを得ることができる。ジオール成分としては、エチレングリコール（ＥＧ）、１，３－プロパンジオール、または１，４－ブタンジオール（ＢＧ）を用いることが好ましく、中でも、エチレングリコール（ＥＧ）を用いることが特に好ましい。

　上記（７’）工程で用いられる重縮合触媒としては、アンチモン化合物、ゲルマニウム化合物、アルミニウム化合物、チタン化合物、リン化合物、マグネシウム化合物等が挙げられる。これらの中では、アンチモン化合物、チタン化合物、マグネシウム化合物及びリン化合物から選択される少なくとも１種を用いることが好ましく、アンチモン化合物又はチタン化合物を用いることがより好ましく、チタン化合物を用いることがさらに好ましい。重縮合触媒として上記のような化合物、特にチタン化合物を用いることで、重縮合触媒の添加量の低減が可能となるため、重縮合触媒由来の異物や突起が生じることを抑制しやすくなる。

　テレフタル酸ジメチル（ＤＭＴ）とジオール成分の重合反応は、例えば、２００～３００℃、０．０１～０．５ＭＰａの圧力下で行うことが好ましい。重合工程の後には必要に応じて重合度を調節する固相重合工程が設けられていてもよい。

　なお、解重合工程で用いられる、グリコールは、再利用可能であり、プロセス内や再重合工程で循環させてもよい。

＜＜マテリアルリサイクルポリエステル＞＞
　再生ポリエステル樹脂としては、マテリアルリサイクルポリエステルを用いることができる。マテリアルリサイクルでは、まず、回収された使用済のＰＥＴボトルやポリエステルフィルムが粉砕されフレークとなる。これらのフレークには、異物が付着、混入している場合が多くあるため、洗浄を行うことが好ましく、アルカリ洗浄を行うことがより好ましい。

　フレークをペレット化する工程では、押出機を用いて溶融、押出、冷却、造粒する。押出機における溶融工程では通常２６０～３００℃で溶融混練することが好ましい。フレークは予め十分に乾燥しておくことが好ましい。また、押出機は、脱気手段として、樹脂の溶融帯域に少なくとも１箇所の真空ベントを有していることが好ましい。

　また、押出機の下流は、濾過手段が設けられていることが好ましい。濾過手段は、として溶融樹脂に含まれる固形異物を濾過して除去できるフィルターを有していることが好ましい。

　フィルターを通過した溶融樹脂はダイスを経由し、水中で冷却された後、所望の形状のペレットに切断され造粒される。このようにしてマテリアルリサイクルされた再生ポリエステル樹脂が得られる。

　なお、回収されたＰＥＴボトルやポリエステルフィルムを洗浄する工程や、これらの原料を溶融する工程では、洗浄成分や熱によりポリエステルの一部が加水分解される場合があり、これにより再生されるポリエステル樹脂の重合度が低下する。使用する用途によっては重合度が低下した場合、成形性や強度、透明性や耐熱性などが劣る場合があるため、低下した重合度を回復させるため、固相重合工程を設けてもよい。固相重合工程では、フレークを溶融押出してペレット化したものを１８０～２４５℃の窒素ガス、希ガスなどの不活性気体中で連続固相重合してもよい。

（その他）
　本実施形態では、オリゴマー成分の析出量を抑えるために、オリゴマー成分の含有量が少ない再生ポリエステル樹脂を用いてもよい。オリゴマー成分の含有量が少ない再生ポリエステル樹脂の製造方法としては、種々公知の方法を用いることができ、例えばポリエステル製造後に固相重合する方法等が挙げられる。また、ポリエステルは、エステル化又はエステル交換反応をした後に、さらに反応温度を高くして減圧下で溶融重縮合して得てもよい。

　再生ポリエステル樹脂中には、上述の成分以外に必要に応じて従来公知の紫外線吸収剤、酸化防止剤、帯電防止剤、熱安定剤、潤滑剤、染料、顔料等を添加することができる。

　なお、再生ポリエステル樹脂は、金属成分をさらに含むものであってもよい。金属成分は、再生ポリエステル樹脂のリサイクル原料であるポリエステルを製造する際の重縮合触媒として用いられるものであってもよい。すなわち、本ポリエステルフィルムには、リサイクル（再生）されるポリエステルを製造する際に用いられる重縮合触媒が含まれていてもよい。金属成分としては、例えば、アンチモン、リン、マンガン、カルシウム、マグネシウム、コバルト、スズ、ゲルマニウム、亜鉛、アルミニウム、チタン等が例示される。中でも、金属成分は、アンチモン、ゲルマニウム、アルミニウム及びチタンよりなる群から選択される少なくとも１種であることが好ましい。

　例えば、用いるリサイクル原料の種類によって本ポリエステルフィルムに含まれる化合物が異なっていてもよい。例えば、ＰＥＴボトル等のポリエステル容器は食品に直接接するものであるため、製造工程において用いられる重縮合触媒が限定されており、金属成分として有害元素とされているカドミウム、パラジウム、セレン等が検出されないことが一般的である。このため、カドミウム、パラジウム、セレン等が検出された場合には、リサイクル原料として、食品用のポリエステル容器がリサイクル原料として用いられていないことを推定することができる。

（再生ポリエステル樹脂の固有粘度）
　再生ポリエステル樹脂の固有粘度は０．４５ｄＬ／ｇ以上であることが好ましく、０．５ｄＬ／ｇ以上であることがより好ましく、０．５５ｄＬ／ｇ以上であることがさらに好ましく、０．６ｄＬ／ｇ以上であることがよりさらに好ましい。また、再生ポリエステル樹脂の粘度は１．２ｄＬ／ｇ以下であることが好ましく、１ｄＬ／ｇ以下であることがより好ましく、０．９ｄＬ／ｇ以下であることがさらに好ましく、０．８ｄL／ｇ以下であることがよりさらに好ましく、０．７５ｄＬ／ｇ以下であることが特に好ましい。再生ポリエステル樹脂の固有粘度を上記下限値以上とすることにより、製膜時の安定性を高めることができる。一方、固有粘度を上記上限値以下とすることにより、製膜押出機内での過剰昇圧を抑えやすかったり、フィルムの熱収縮率を抑えやすかったりといった利点があり好ましい。なお、再生ポリエステル樹脂の固有粘度は、ポリエステル樹脂１ｇを精秤し、フェノール／テトラクロロエタン＝５０／５０（質量比）の混合溶媒１００ｍＬを加えて溶解させ、粘度（ＩＶ）測定装置を用いて、３０℃で測定した値である。また、ポリエステルフィルムの固有粘度も上記範囲内であってもよい。

　再生ポリエステル樹脂がＰＥＴボトル由来のポリエステル樹脂である場合、再生ポリエステル樹脂の固有粘度（ＩＶ）は、０．６４ｄＬ／ｇ以上であることが好ましく、０．６６ｄＬ／ｇ以上であることがより好ましく、０．６７ｄＬ／ｇ以上であることがさらに好ましく、０．７ｄＬ／ｇ以上であることがよりさらに好ましく、０．７２ｄＬ／ｇ以上であることが特に好ましい。また、再生ポリエステル樹脂の固有粘度（ＩＶ）は、１．２ｄＬ／ｇ以下であることが好ましく、１ｄＬ／ｇ以下であることがより好ましく、０．９ｄＬ／ｇ以下であることがさらに好ましく、０．８５ｄＬ／ｇ以下であることがよりさらに好ましく、０．８２ｄＬ／ｇ以下であることが特に好ましい。

　再生ポリエステル樹脂がポリエステルフィルム由来のポリエステル樹脂である場合、再生ポリエステル樹脂の固有粘度（ＩＶ）は、０．４５ｄＬ／ｇ以上であることが好ましく、０．５ｄＬ／ｇ以上であることがより好ましく、０．５２ｄＬ／ｇ以上であることがさらに好ましく、０．５４ｄＬ／ｇ以上であることが特に好ましい。また、再生ポリエステル樹脂の固有粘度（ＩＶ）は、０．８ｄＬ／ｇ以下であることが好ましく、０．７ｄＬ／ｇ以下であることがより好ましく、０．６７ｄＬ／ｇ以下であることがさらに好ましく、０．６４ｄＬ／ｇ以下であることが特に好ましい。

＜表面層＞
　本ポリエステルフィルムは表面層、中間層及び裏面層を有する積層ポリエステルフィルムであることが好ましい。本ポリエステルフィルムが積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体（基材）として用いられる場合、表面層は、セラミックグリーンシートが積層される側に配される層である。積層セラミックコンデンサーの製造工程では、表面層上に樹脂層Ａ（離型層）が形成された後に、セラミックグリーンシートが積層される。

　表面層の最大山高さ（Ｓｐ）は、１０００ｎｍ以下であることが好ましく、８００ｎｍ以下であることがより好ましく、５００ｎｍ以下であることがさらに好ましく、３００ｎｍ以下であることが一層好ましく、２００ｎｍ以下であることがより一層好ましく、１５０ｎｍ以下であることがさらに一層好ましく、１００ｎｍ以下であることがよりさらに一層好ましく、６０ｎｍ以下であることが特に好ましい。表面層の最大山高さ（Ｓｐ）の下限値は特に限定されるものではないが、表面層の最大山高さ（Ｓｐ）は、例えば、５ｎｍ以上であることが好ましく、１０ｎｍ以上であることがより好ましい。表面層の最大山高さ（Ｓｐ）を上記範囲内とすることにより、ポリエステルフィルムの表面に意図しない大きさの突起が発生することを効果的に抑制することができ、表面平滑性に優れたポリエステルフィルムを得ることができる。

　表面層の算術平均高さ（Ｓａ）は、１５ｎｍ以下であることが好ましく、１０ｎｍ以下であることがより好ましく、８ｎｍ以下であることがさらに好ましく、５ｎｍ以下であることがよりさらに好ましく、３ｎｍ以下であることが一層好ましい。また、表面層の算術平均高さ（Ｓａ）は、０．３ｎｍ以上であることが好ましく、０．４ｎｍ以上であることがより好ましく、０．５ｎｍ以上であることがさらに好ましく、０．６ｎｍ以上であることが特に好ましい。表面層の算術平均高さ（Ｓａ）を上記上限値以下とすることにより、表面平滑性に優れたポリエステルフィルムを得ることができる。一方、表面層の算術平均高さ（Ｓａ）は上記下限値以上であることが好ましく、所定量以上の粗さが付与されていることが好ましい。これにより、ポリエステルフィルムの取り扱い性を向上させるために必要な粗面が具備され、本離型フィルムの空気漏れ指数を低減することができる。その結果、本離型フィルムは適度な滑り性を発揮することができ、ハンドリング性が向上する。例えば、適度な粗面性を有する離型フィルムは、ロール状に巻き取ることが容易となる。

　算術平均高さ（Ｓａ）とは、面粗さパラメーター（ＩＳＯ　２５１７８）の一つであり、二次元のＲａ（線の算術平均粗さ）を三次元に拡張したもので、表面形状曲面と平均面で囲まれた部分の体積を測定面積で割ったものであり、以下の式（１）から求められる。表面をＸＹ面、高さ方向をＺ軸とした時、Ａ：定義された領域（画像全体とする）、Ｚ（ｘ，ｙ）：画像点（ｘ，ｙ）の高さ０の面からの高さとすると、以下の式（１）のように表される。

　最大山高さ（Ｓｐ）とは、面粗さパラメーター（ＩＳＯ　２５１７８）の一つであり、表面の平均面からの高さの最大値を表し、以下の式（２）のように表される。

　算術平均高さ（Ｓａ）、最大山高さ（Ｓｐ）は、例えば、表面層及び／又は中間層が有する再生ポリエステル樹脂の種類、例えば、組成、粘度、分子量、熱特性、共重合成分の有無等や再生ポリエステル樹脂の含有量等で調整することが容易であり、表面特性の調整に有用である。また、表面層及び／又は中間層に粒状物や添加剤を適宜配合することでコントロールすることも可能である。例えば、粒子を適宜含有させることによっても調整することができる。使用する粒子の種類、組成、平均粒径、粒度分布、硬度、含有させるポリエステルとの親和性等を鑑み含有量を調節すること等によって調整することができる。また、含有させるポリエステルの種類、例えば、組成、粘度、分子量、熱特性、共重合成分の有無等を鑑み、粒子の種類や含有量を調節することも、表面特性の調整に有用である。粒子を２種類以上併用する場合は、使用する粒子やポリエステルの種類を鑑み、含有割合を調整することが好ましい。
　また、算術平均高さ（Ｓａ）、最大山高さ（Ｓｐ）を調整する際には、ポリエステルフィルム製造時において、例えば、延伸倍率（二軸延伸の場合は縦横の延伸倍率）、延伸温度、熱処理温度と処理時間（二軸延伸の場合は特に横延伸後の熱処理温度と処理時間）等の制御も効果的である。

　表面層の厚みは１μｍ超であることが好ましく、１．２μｍ以上であることがより好ましく、１．５μｍ以上であることがさらに好ましく、２μｍ以上であることがよりさらに好ましく、２．５μｍ以上であることが一層好ましく、３μｍ以上であることが特に好ましい。また、表面層の厚みは１５μｍ以下であることが好ましく、１２μｍ以下であることがより好ましく、１０μｍ以下であることがさらに好ましく、９μｍ以下であることがよりさらに好ましく、８μｍ以下であることが一層好ましく、７μｍ以下であることがより一層好ましく、６μｍ以下であることが特に好ましい。表面層の厚みを上記下限値超もしくは上記下限値以上とすることにより、本ポリエステルフィルムの最大山高さ（Ｓｐ）を所望の範囲にコントロールすることが容易となり、表面平滑性を高めることができる。例えば、中間層にマテリアルリサイクルされたポリエステル樹脂を含有させる場合には、表面層の厚みを適宜調整することで、中間層が有する凹凸の伝搬の程度をコントロールすることができる。

　表面層の最大山高さ（Ｓｐ）を所望の範囲にコントロールし、表面平滑性をより効果的に高めるためにも、表面層の厚みは、ポリエステルフィルムの全体厚みに対して、６～４０％が好ましく、より好ましくは７～３２％、さらに好ましくは８～２８％、よりさらに好ましくは９～２４％である。

　表面層は、粒子を含有しなくてもよく、含有していてもよい。表面層が粒子を含む場合、粒子としては特に制限されないが、例えば、アルミナ、シリカ、炭酸カルシウム、酸化チタン、セリア、酸化ジルコニウム、酸化バリウム、酸化クロム、酸化鉄、酸化タングステン等の金属酸化物、シリカ－酸化ジルコニウム、シリカ－酸化チタン、シリカ－酸化チタン－酸化バリウム、シリカ－酸化チタン－酸化ジルコニウム、ホウ珪酸ガラス、アルミノシリケートガラス、フルオロアルミノシリケートガラス等の複合酸化物等の無機粒子、カルボキシ基、スルホン酸基を有する有機粒子等が挙げられる。中でも、アルミナ、シリカ、炭酸カルシウム、有機粒子が好ましい。

　表面層が有する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は、必要に応じて２種類以上を併用してもよい。

　表面層に粒子を含有させる場合、含有させる粒子の平均粒径は、例えば、０．０１μｍ以上が好ましく、より好ましくは０．０３μｍ以上、さらに好ましくは０．０４μｍ以上である。他方、含有させる粒子の平均粒径は、１μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは０．８μｍ以下、さらに好ましくは０．６μｍ以下であり、よりさらに好ましくは０．４μｍ以下であり、特に好ましくは０．２μｍ以下である。

　なお、粒子の平均粒径は、粒子が粉体の場合には、遠心沈降式粒度分布測定装置（例えば株式会社島津製作所製、「ＳＡ－ＣＰ３型」）を用いて粉体を測定した等価球形分布における積算体積分率５０％の粒径（ｄ５０）を平均粒径とすることができる。フィルム、層又は樹脂中の粒子の平均粒径については、１０個以上の粒子を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察して粒子の直径を測定し、その平均値として求めることができる。その際、非球状粒子の場合は、最長径と最短径の平均値を各粒子の直径として測定することができる。

　表面層に粒子を含有させる場合、粒子の含有量としては、質量割合で、２００ｐｐｍ超が好ましく、より好ましくは３００ｐｐｍ以上、さらに好ましくは４００ｐｐｍ以上、よりさらに好ましくは５００ｐｐｍ以上、特に好ましくは６００ｐｐｍ以上である。他方、粒子の含有量は、２０００ｐｐｍ以下が好ましく、より好ましくは１８００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは１６００ｐｐｍ以下、よりさらに好ましくは１４００ｐｐｍ以下、一層好ましくは１２００ｐｐｍ以下、特に好ましくは１０００ｐｐｍ以下である。

　なお、本実施形態では、表面層に実質的に粒子を含有させない態様も好ましい。表面層が、実質的に粒子を含有しないことで、粒子の凝集による粗大突起の発生や粒子の脱落による異物化・工程汚染のおそれがなくなる。なお、「実質的に粒子を含有しない」とは、意図して含有しないという意味であり、具体的には、表面層に対して、粒子の含有量（粒子濃度）が、質量割合で、２００ｐｐｍ以下、より好ましくは１５０ｐｐｍ以下、さらに好ましくは１００ｐｐｍ以下、特に好ましくは５０ｐｐｍ以下のことを指す。本ポリエステルフィルムは、再生ポリエステル樹脂を含有するため、表面層に粒子を添加しなくても、ポリエステルフィルムの表面に適切な凹凸を付与することができる。

　表面層における再生ポリエステル樹脂の含有割合は、表面層に含まれる樹脂成分の全質量に対して、５０質量％以上であることが好ましく、６０質量％以上であることがより好ましく、７０質量％以上であることがさらに好ましく、８０質量％以上であることがよりさらに好ましく、９０質量％以上であることが一層好ましく、９５質量％以上であることが特に好ましい。なお、表面層における再生ポリエステル樹脂の含有割合は１００質量％であることが最も好ましい。

　表面層は再生ポリエステル樹脂を含有し、再生ポリエステル樹脂は、リサイクル原料であるポリエステルをマテリアルリサイクルしたものであってもよく、リサイクル原料であるポリエステルをケミカルリサイクルしたものであってもよい。中でも、表面層に含むことのできる再生ポリエステル樹脂は、リサイクル原料であるポリエステルをケミカルリサイクルしたものであることが好ましい。リサイクル（再生）されるポリエステルは、例えば、ポリエステル容器（例えば、ＰＥＴボトル等）由来のポリエステルであってもよく、ポリエステルフィルム（例えば、工程フィルム等）由来のポリエステルであってもよい。表面層にケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含有させることで、離型フィルム上に薄膜セラミックグリーンシートを積層した状態で巻き取った場合であっても、裏面（反離型面）にセラミックグリーンシートが貼りつくことを抑制でき、巻き取り性や巻き出し性を効果的に高めることができる。また、表面層にケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含有させることで、ポリエステルフィルムの表面平滑性をより効果的に高めることができ、セラミックグリーンシートの薄膜化が容易となる。

＜中間層＞
　本ポリエステルフィルムは表面層、中間層及び裏面層を有する積層ポリエステルフィルムであることが好ましく、この場合、中間層は、本ポリエステルフィルムにおいて、最も厚みの厚い主層として機能することが好ましい。表面層と同様、中間層も再生ポリエステル樹脂を含む層であることが好ましい。

　中間層の厚みは、８μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましく、１２μｍ以上であることがさらに好ましく、１４μｍ以上であることがよりさらに好ましく、１６μｍ以上であることが一層好ましく、１８μｍ以上であることが特に好ましい。また、中間層の厚みは、４０μｍ以下であってもよく、３４μｍ以下であることが好ましく、３２μｍ以下であることがより好ましく、３０μｍ以下であることがさらに好ましく、２９μｍ以下であることがよりさらに好ましく、２８μｍ以下であることが特に好ましい。

　中間層の厚みは、ポリエステルフィルムの全体厚みに対して、５０～９３％が好ましく、より好ましくは６０～９１％、さらに好ましくは６５～９０％、よりさらに好ましくは７０～８８％、特に好ましくは７５～８６％である。

　中間層は、粒子を含有しなくてもよく、含有していてもよい。中間層が粒子を含む場合、粒子としては特に制限されないが、例えば、アルミナ、シリカ、炭酸カルシウム、酸化チタン、セリア、酸化ジルコニウム、酸化バリウム、酸化クロム、酸化鉄、酸化タングステン等の金属酸化物、シリカ－酸化ジルコニウム、シリカ－酸化チタン、シリカ－酸化チタン－酸化バリウム、シリカ－酸化チタン－酸化ジルコニウム、ホウ珪酸ガラス、アルミノシリケートガラス、フルオロアルミノシリケートガラス等の複合酸化物等の無機粒子、カルボキシ基、スルホン酸基を有する有機粒子等が挙げられる。

　中間層に粒子を含有させる場合、粒子の含有量としては、質量割合で、１０ｐｐｍ以上が好ましく、より好ましくは２０ｐｐｍ以上、さらに好ましくは３０ｐｐｍ以上、よりさらに好ましくは４０ｐｐｍ以上、特に好ましくは５０ｐｐｍ以上である。他方、粒子の含有量は、５００ｐｐｍ以下が好ましく、より好ましくは４００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは３５０ｐｐｍ以下、よりさらに好ましくは３００ｐｐｍ以下、一層好ましくは２５０ｐｐｍ以下、特に好ましくは２００ｐｐｍ以下である。

　中間層における再生ポリエステル樹脂の含有割合は、５０質量％以上であることが好ましく、６０質量％以上であることがより好ましく、７０質量％以上であることがさらに好ましく、８０質量％以上であることがよりさらに好ましく、９０質量％以上であることが一層好ましく、９５質量％以上であることが特に好ましい。なお、中間層における再生ポリエステル樹脂の含有割合は１００質量％であることが最も好ましい。

　中間層は再生ポリエステル樹脂を含有し、再生ポリエステル樹脂は、リサイクル原料であるポリエステルをマテリアルリサイクルしたものであってもよく、リサイクル原料であるポリエステルをケミカルリサイクルしたものであってもよい。中でも、中間層に含むことのできる再生ポリエステル樹脂は、リサイクル原料であるポリエステルをマテリアルリサイクルしたものであることが好ましい。リサイクル（再生）されるポリエステルは、例えば、ポリエステル容器（例えば、ＰＥＴボトル等）由来のポリエステルであってもよく、ポリエステルフィルム（例えば、工程フィルム等）由来のポリエステルであってもよい。中間層にマテリアルリサイクルされたポリエステル樹脂を含有させることで、中間層に微細な凹凸を形成することが容易となり、この凹凸が表面層に伝搬することにより、表面層の平滑性を維持しつつ、表面層に所定条件を満たす凹凸を形成することが容易となる。その結果、本離型フィルムの空気漏れ指数を小さくすることができ、離型フィルムのハンドリング性をより効果的に高めることができる。

＜裏面層＞
　本ポリエステルフィルムは表面層、中間層及び裏面層を有する積層ポリエステルフィルムであることが好ましく、この場合、裏面層は、セラミックグリーンシートが積層される側とは反対側に配される層である。表面層や中間層と同様、裏面層も再生ポリエステル樹脂を含む層であることが好ましい。

　本実施形態では、裏面層の最大山高さ（Ｓｐ）は、２５００ｎｍ以下であることが好ましく、２０００ｎｍ以下であることがより好ましく、１８００ｎｍ以下であることがさらに好ましく、１６００ｎｍ以下であることがよりさらに好ましく、１４００ｎｍ以下であることが一層好ましく、１２００ｎｍ以下であることが特に好ましい。また、裏面層の最大山高さ（Ｓｐ）は、１０ｎｍ以上であることが好ましく、２０ｎｍ以上であることがより好ましく、３０ｎｍ以上であることがさらに好ましく、４０ｎｍ以上であることがよりさらに好ましく、５０ｎｍ以上であることが一層好ましく、６０ｎｍ以上であることが特に好ましい。裏面層の最大山高さ（Ｓｐ）を上記上限値以下とすることにより、ポリエステルフィルムを積層したり、ロール状に巻き取ったりした際に、裏面層の微小な突起に起因する凹凸形状が表面層に転写されることを抑制することができる。一方、裏面層の最大山高さ（Ｓｐ）を上記下限値以上とすることにより、ポリエステルフィルムの裏面に必要な粗面が具備され、ポリエステルフィルムのハンドリング性を向上させることができる。

　裏面層の算術平均高さ（Ｓａ）は、１００ｎｍ以下であることが好ましく、８０ｎｍ以下であることがより好ましく、６０ｎｍ以下であることがさらに好ましく、４０ｎｍ以下であることがよりさらに好ましく、３０ｎｍ以下であることが一層好ましく、２５ｎｍ以下であることが特に好ましい。また、裏面層の算術平均高さ（Ｓａ）は、１ｎｍ以上であることが好ましく、３ｎｍ以上であることがより好ましく、５ｎｍ以上であることがさらに好ましい。裏面層の算術平均高さ（Ｓａ）を上記上限値以下とすることにより、裏面層の凹凸形状が表面層に転写されることを抑制することができる。一方、裏面層の算術平均高さ（Ｓａ）を上記下限値以上とすることにより、ポリエステルフィルムの取り扱い性を向上させるために必要な粗面が具備され、ポリエステルフィルムのハンドリング性を向上させることができる。例えば、ポリエステルフィルムをロール状に巻き取る際には、ポリエステルフィルムは適度な滑り性を発揮することができるため、ロール状に巻き取ることが容易となる。

　裏面層は粒子を含有しなくてもよいが、粒子を含有してもよい。裏面層が粒子を有することで、易滑性の付与及び各工程での傷発生防止を図ることができる。また、裏面層が粒子を有することで、算術平均高さ（Ｓａ）、最大山高さ（Ｓｐ）を所望の範囲内にコントロールすることが容易となる。また、裏面層に表面処理やコーティングを施すことで裏面層の算術平均高さ（Ｓａ）、最大山高さ（Ｓｐ）を所望の範囲内にコントロールしてもよい。

　裏面層が有する粒子の種類は、易滑性を付与可能な粒子であれば特に限定されるものではなく、具体例としては、例えばシリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム、酸化チタン、硫酸バリウム等の無機粒子の他、アクリル酸エステルモノマー、スチレンモノマー、シリコーンモノマー等を重合して得られる有機粒子、またはそれらのモノマーを共重合して得られる有機粒子、アクリル系樹脂粒子、メラミン樹脂粒子、シリコーン樹脂粒子、架橋ポリスチレン粒子等の有機粒子を挙げることができる。これらの中では、有機粒子、炭酸カルシウム、シリカ、酸化アルミニウムなどを用いることが好ましい。さらに、ポリエステル製造工程中において触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる。

　本実施形態では、裏面層は、有機粒子と無機粒子を併用することも好ましい態様である。裏面層に有機粒子と無機粒子を組み合わせて用いることで、裏面層の算術平均高さ（Ｓａ）、最大山高さ（Ｓｐ）を所望の範囲内にコントロールすることが容易となる。

　裏面層が有する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は、必要に応じて２種類以上を併用してもよい。

　また、裏面層が有する粒子の平均粒径は、５μｍ以下であることが好ましく、４μｍ以下であることがより好ましく、３μｍ以下であることがさらに好ましい。また、粒子の平均粒径は、０．０１μｍ以上であることが好ましく、０．０５μｍ以上であることがより好ましく、０．１μｍ以上であることがさらに好ましい。粒子の平均粒径を上記範囲内とすることにより、裏面層の表面粗度が粗くなりすぎず、算術平均高さ（Ｓａ）、最大山高さ（Ｓｐ）を所望の範囲内にコントロールすることが容易となる。また、粒子の平均粒径を上記範囲内とすることにより、ヘーズが低く抑えられ、本ポリエステルフィルム全体として透明性を確保しやすい。

　裏面層に含まれる粒子の含有量は、裏面層の全質量に対して、２００ｐｐｍ以上であることが好ましく、１０００ｐｐｍ以上であることがより好ましく、１５００ｐｐｍ以上であることがさらに好ましい。また、粒子の含有量は、裏面層の全質量に対して、２００００ｐｐｍ以下であることが好ましく、１５０００ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１００００ｐｐｍ以下であることがさらに好ましく、８０００ｐｐｍ以下であることがよりさらに好ましい。なお、裏面層に２種以上の粒子が配合されている場合には、粒子の合計含有量が上記範囲内であることが好ましい。

　本ポリエステルフィルム中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、裏面層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、エステル化又はエステル交換反応終了後に添加することが好ましい。

　裏面層の厚みは０．５μｍ以上であることが好ましく、０．８μｍ以上であることがより好ましく、１μｍ以上であることがさらに好ましく、１．２μｍ以上であることが特に好ましい。また、裏面層の厚みは、１０μｍ以下であることが好ましく、８μｍ以下であることがより好ましく、６μｍ以下であることがさらに好ましく、４μｍ以下であることが特に好ましい。

　裏面層の厚みは、ポリエステルフィルムの全体厚みに対して、１～２０％が好ましく、より好ましくは２～１７％、さらに好ましくは２．５～１５％、よりさらに好ましくは３～１３％、特に好ましくは３～１０％である。

　裏面層における再生ポリエステル樹脂の含有割合は、裏面層に含まれる樹脂成分の全質量に対して、５０質量％以上であることが好ましく、６０質量％以上であることがより好ましく、７０質量％以上であることがさらに好ましく、８０質量％以上であることがよりさらに好ましく、９０質量％以上であることが一層好ましく、９５質量％以上であることが特に好ましい。なお、裏面層における再生ポリエステル樹脂の含有割合は１００質量％であることが最も好ましい。

　裏面層は再生ポリエステル樹脂を含有し、再生ポリエステル樹脂は、リサイクル原料であるポリエステルをマテリアルリサイクルしたものであってもよく、リサイクル原料であるポリエステルをケミカルリサイクルしたものであってもよい。中でも、裏面層に含むことのできる再生ポリエステル樹脂は、リサイクル原料であるポリエステルをケミカルリサイクルしたものであることが好ましい。リサイクル（再生）されるポリエステルは、例えば、ポリエステル容器（例えば、ＰＥＴボトル等）由来のポリエステルであってもよく、ポリエステルフィルム（例えば、工程フィルム等）由来のポリエステルであってもよい。裏面層にケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含有させることで、離型フィルム上に薄膜セラミックグリーンシートを積層した状態で巻き取った場合であっても、裏面（反離型面）にセラミックグリーンシートが貼りつくことを抑制でき、巻き取り性や巻き出し性を効果的に高めることができる。また、裏面層にケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含有させることで、ポリエステルフィルムの表面平滑性をより効果的に高めることができる。離型フィルムにリサイクル原料を用いた場合、フィルムの柔軟性が増し、通常の離型フィルムよりもさらに薄膜のグリーンシートが貼り付きやすくなる傾向が発揮されることが懸念される。しかし、本実施形態では、特定の層構成を採用した上で、各層に所定の再生ポリエステル樹脂を用いることで、ポリエステルフィルムの取り扱い性を向上させるために必要な粗面を付与することに成功している。これにより、薄膜のセラミックグリーンシートが積層された状態で巻き取られた場合であっても、裏面（反離型面）にセラミックグリーンシートが貼りつかず、巻き取り性や巻き出し性に優れる離型フィルムを提供することができる。

＜ポリエステルフィルムの製造方法＞
　次に、本ポリエステルフィルムの製造例について具体的に説明するが、以下の製造例に何ら限定されるものではない。例えば二軸延伸フィルムを製造する場合、先に述べたポリエステル原料の乾燥したペレットを、押出機を用いてダイから溶融シートとして押し出し、冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高めることが好ましく、静電印加密着法及び／又は液体塗布密着法が好ましく採用される。

　第２の実施形態では、ポリエステルフィルムの製造方法は、再生ポリエステル樹脂を含むポリエステル樹脂を押出機に供給し、溶融した後に押出しする工程を含む。本実施形態のポリエステルフィルムが、表面層、中間層及び裏面層を有する積層ポリエステルフィルムである場合、積層ポリエステルフィルムの製造方法は、表面層を構成するポリエステル層Ａと、中間層を構成するポリエステル層Ｂと、裏面層を構成するポリエステル層Ｃとを積層する工程を含む。この場合、ポリエステル層Ａ、ポリエステル層Ｂ及びポリエステル層Ｃのうち少なくとも１層が再生ポリエステル樹脂を含む。もしくは、本実施形態の積層ポリエステルフィルムの製造方法は、表面層を構成するポリエステル樹脂Ａと、中間層を構成するポリエステル樹脂Ｂと、裏面層を構成するポリエステル樹脂Ｃをそれぞれの押出機に供給し、溶融した後に共押出しする工程を含む。この場合、ポリエステル樹脂Ａ、ポリエステル樹脂Ｂ及びポリエステル樹脂Ｃのうち少なくとも１つが再生ポリエステル樹脂を含む。それぞれの押出機では、それぞれのポリマーが融点以上に加熱され、溶融ポリマーが形成される。そして、溶融ポリマーをダイから押し出し、回転冷却ドラム上でポリマーのガラス転移点以下の温度となるように冷却固化することで、未延伸のポリエステルフィルムが得られる。

　本実施形態では、未延伸のポリエステルフィルムを延伸する工程が設けられてもよい。延伸工程では、未延伸のポリエステルフィルムを、まずは一方向にロール又はテンター方式の延伸機により延伸する。この際、延伸温度は、通常２５～１２０℃、好ましくは３５～１００℃であり、延伸倍率は通常２．５～７倍、好ましくは２．８～６倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸することが好ましい。この際、延伸温度は通常５０～１４０℃であり、延伸倍率は通常３．０～７倍、好ましくは４．０倍以上であり、より好ましくは４．５～５．０倍である。なお、延伸工程においては、一方向の延伸を２段階以上で行う方法を採用することもできる。

　そして、引き続き１８０～２２０℃の温度で緊張下又は３０％以内の弛緩下で熱固定処理を行うことが好ましい。このようにして、二軸延伸ポリエステルフィルムが得られる。熱固定処理は、温度の異なる２段以上の工程で行ってもよい。また、熱固定処理の後に冷却ゾーンにて冷却を行ってもよい。冷却温度は、ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）より高い温度であることが好ましく、より具体的には、１００～１６０℃の範囲であることが好ましい。この冷却は、温度の異なる２段以上の工程で行ってもよい。

＜＜樹脂層＞＞
　本離型フィルムは、ポリエステルフィルムの両面に、樹脂組成物から形成されてなる樹脂層を備えるものである。本樹脂層は、上述のとおり、樹脂組成物（以下、「本組成物」とも称する）から形成される。

　ここで、樹脂組成物における「樹脂」とは、被膜形成に関与する主たる成分をさす。より具体的には、「樹脂」には、後述の（Ａ）離型剤、（Ｂ）バインダー樹脂及び（Ｃ）帯電防止剤なども含まれる。

　本離型フィルムは、ポリエステルフィルムの片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備えた構成である。樹脂層Ａは、樹脂組成物Ａから構成され、樹脂層Ｂは、樹脂組成物Ｂから構成される。

　樹脂層Ａの厚みは、１ｎｍ以上であることが好ましく、３ｎｍ以上であることがより好ましく、６ｎｍ以上であることがさらに好ましく、１０ｎｍ以上であることが特に好ましい。また、樹脂層Ａの厚みは、１００ｎｍ以下であることが好ましく、８０ｎｍ以下であることがより好ましく、６０ｎｍ以下であることがさらに好ましく、４０ｎｍ以下であることが特に好ましい。

　樹脂層Ｂの厚みは、１ｎｍ以上であることが好ましく、３ｎｍ以上であることがより好ましく、６ｎｍ以上であることがさらに好ましく、１０ｎｍ以上であることが特に好ましい。また、樹脂層Ｂの厚みは、１００ｎｍ以下であることが好ましく、８０ｎｍ以下であることがより好ましく、６０ｎｍ以下であることがさらに好ましく、４０ｎｍ以下であることが特に好ましい。

＜＜樹脂層Ｂ／樹脂組成物Ｂ＞＞
　樹脂層Ｂは（Ｃ）帯電防止剤を含むことが好ましい。また、樹脂層Ｂは（Ａ）離型剤をさらに含むことが好ましい。

　樹脂層Ｂに含まれ得る（Ａ）離型剤及び（Ｃ）帯電防止剤の合計含有量は、樹脂層Ｂの全質量に対して２０質量％以上であることが好ましく、より好ましくは３０質量％以上、さらに好ましくは４０質量％以上である。樹脂層Ｂに含まれ得る（Ａ）離型剤及び（Ｃ）帯電防止剤の合計含有量は、９０質量％以下であることが好ましく、８０質量％以下であることがより好ましく、７０質量％以下であってもよく、６０質量％以下であってもよい。当該合計含有量がかかる範囲であれば、樹脂層Ｂとセラミックグリーンシートの剥離時の帯電量を所定値以下にコントロールすることが容易となり、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性が十分に発揮されやすくなる。

（（Ａ）離型剤）
　樹脂層Ｂは、（Ａ）離型剤を含有することが好ましく、第１の実施形態では、樹脂層Ｂは（Ａ）非シリコーン系離型剤を含有することが好ましい。（Ａ）離型剤としては、特に制限はなく、例えばシリコーン系離型剤又は非シリコーン系離型剤を用いることができる。中でも、樹脂層Ｂは、非シリコーン系離型剤を含むことが好ましい。非シリコーン系離型剤を用いることで、半導体分野など、珪素（Ｓｉ）元素の混入を嫌う用途にも好ましく用いられる。

　シリコーン系離型剤としては、例えば、硬化型シリコーン樹脂を主成分とする離型剤や、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂等の有機樹脂とのグラフト重合等による変性シリコーン離型剤、或いはフルオロシリコーン離型剤を挙げることができる。中でも、シリコーン系離型剤は、硬化型シリコーン樹脂を含有することがより好ましい。

　硬化型シリコーン樹脂としては、付加型、縮合型等の熱硬化型や紫外線硬化型等の電子線硬化型等、既存のいずれの硬化反応タイプでも用いることができ、また複数種類の硬化型シリコーン樹脂を併用して使用してもよい。

　非シリコーン系離型剤としては、例えばワックス、長鎖アルキル基含有化合物、フッ素化合物等を挙げることができる。中でも、（Ａ）非シリコーン系離型剤は、ワックス及び長鎖アルキル基含有化合物から選択される少なくとも１種であることが好ましく、セラミックグリーンシートの貼り付き防止性の観点から、長鎖アルキル基含有化合物であることがより好ましい。

（ワックス）
　ワックスとしては、天然ワックス、合成ワックス及び変性ワックスなどが挙げられる。
　天然ワックスとしては、植物系ワックス、動物系ワックス、鉱物系ワックス及び石油ワックスが挙げられる。
　植物系ワックスとしては、キャンデリラワックス、カルナウバワックス、ライスワックス、木ロウ及びホホバ油等が挙げられる。
　動物系ワックスとしては、みつろう、ラノリン及び鯨ロウ等が挙げられる。
　鉱物系ワックスとしては、モンタンワックス、オゾケライト及びセレシン等が挙げられる。
　石油ワックスとしては、パラフィンワックス、マイクロクリスタリンワックス及びペトロラタム等が挙げられる。
　合成ワックスとしては、合成炭化水素、変性ワックス、水素化ワックス、脂肪酸、酸アミド、アミン類、イミド類、エステルワックス及びケトン類が挙げられる。

　合成ワックスとしては、例えばフィッシャー・トロプシュワックス（別名サゾールワックス）、ポリエチレンワックスなどを挙げることができる。このほかに低分子量の高分子（具体的には数平均分子量５００～２００００の高分子）である以下のポリマー、すなわち、ポリプロピレン、エチレン・アクリル酸共重合体、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール及びポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールのブロック又はグラフト結合体等を挙げることができる。

　変性ワックスとしては、例えばモンタンワックス誘導体、パラフィンワックス誘導体及びマイクロクリスタリンワックス誘導体等を挙げることができる。ここでの誘導体とは、精製、酸化、エステル化、ケン化のいずれかの処理、又はそれらの組み合わせによって得られる化合物である。水素化ワックスとしては、硬化ひまし油及び硬化ひまし油誘導体を挙げることができる。

　中でも、離型性能が優れるという観点において、合成ワックスが好ましく、その中でもポリエチレンワックスがより好ましく、酸化ポリエチレンワックスがさらに好ましい。

　合成ワックスの数平均分子量は、相分離による凹凸形成性能や取扱い性の観点から、５００～３００００であることが好ましく、より好ましくは１０００～１５０００、さらに好ましくは２０００～８０００の範囲である。

　また、樹脂層Ｂを形成する際、架橋などのために加熱することを考慮すると、上記ワックスの融点又は軟化点は８０℃以上が好ましく、より好ましくは１１０℃以上である。一方、熱処理を行った後に相分離性能をコントロールする観点で、上記ワックスの融点又は軟化点は２００℃以下が好ましく、より好ましくは１７０℃以下、さらに好ましくは１５０℃以下である。

（長鎖アルキル基含有化合物）
　長鎖アルキル基含有化合物とは、炭素数が６以上、好ましくは８以上、さらに好ましくは１２以上の直鎖又は分岐のアルキル基を有する化合物である。アルキル基としては、例えばヘキシル基、オクチル基、デシル基、ラウリル基、オクタデシル基、ベヘニル基等が挙げられる。アルキル基を有する化合物としては、例えば、各種の長鎖アルキル基含有高分子化合物、長鎖アルキル基含有アミン化合物、長鎖アルキル基含有エーテル化合物、長鎖アルキル基含有四級アンモニウム塩等が挙げられる。耐熱性を考慮すると高分子化合物であることが好ましく、少ない含有量で効果的に適度な相分離による凹凸形成性能を得ることができるという観点から、長鎖アルキル基を側鎖に持つ高分子化合物であることがより好ましい。

　長鎖アルキル基を側鎖に持つ高分子化合物は、反応性基を有する高分子と、当該反応性基と反応可能なアルキル基を有する化合物とを反応させて得ることができる。上記反応性基としては、例えば水酸基、アミノ基、カルボキシ基、酸無水物等が挙げられる。これらの反応性基を有する化合物としては、例えばポリビニルアルコール、ポリエチレンイミン、ポリエチレンアミン、反応性基含有ポリエステル樹脂、反応性基含有ポリ（メタ）アクリル樹脂等が挙げられる。これらの中でも取り扱いやすさを考慮するとポリビニルアルコールであることが好ましい。

　上記の反応性基と反応可能なアルキル基を有する化合物としては、例えばヘキシルイソシアネート、オクチルイソシアネート、デシルイソシアネート、ラウリルイソシアネート、オクタデシルイソシアネート、ベヘニルイソシアネート等の長鎖アルキル基含有イソシアネート、ヘキサノイルクロライド、オクタノイルクロライド、デカノイルクロライド、ラウロイルクロライド、オクタデカノイルクロライド、ベヘノイルクロライド等の長鎖アルキル基含有酸クロライド、長鎖アルキル基含有アミン、長鎖アルキル基含有アルコール等が挙げられる。これらの中でも取り扱い易さを考慮すると長鎖アルキル基含有イソシアネートが好ましく、オクタデシルイソシアネートが特に好ましい。

　また、長鎖アルキル基を側鎖に持つ高分子化合物は、長鎖アルキル（メタ）アクリレートの重合物や長鎖アルキル（メタ）アクリレートと他のビニル基含有モノマーとの共重合によって得ることもできる。長鎖アルキル（メタ）アクリレートとは、例えばヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、オクタデシル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

（フッ素化合物）
　フッ素化合物とは、化合物中にフッ素原子を含有している化合物である。フッ素化合物としては、インラインコーティングによる塗布外観の点で有機系フッ素化合物が好適に用いられ、例えばパーフルオロアルキル基含有化合物、フッ素原子を含有するオレフィン化合物の重合体、フルオロベンゼン等の芳香族フッ素化合物等が挙げられる。少ない含有量で効果的に適度な相分離による凹凸形成性能を得ることができるという観点から、パーフルオロアルキル基を有する化合物であることが好ましい。さらに、フッ素化合物としては、上述するような長鎖アルキル化合物を含有している化合物も使用することができる。

　パーフルオロアルキル基を有する化合物としては、例えばパーフルオロアルキル（メタ）アクリレート、パーフルオロアルキルメチル（メタ）アクリレート、２－パーフルオロアルキルエチル（メタ）アクリレート、３－パーフルオロアルキルプロピル（メタ）アクリレート、３－パーフルオロアルキル－１－メチルプロピル（メタ）アクリレート、３－パーフルオロアルキル－２－プロペニル（メタ）アクリレート等のパーフルオロアルキル基含有（メタ）アクリレートやその重合物、パーフルオロアルキルメチルビニルエーテル、２－パーフルオロアルキルエチルビニルエーテル、３－パーフルオロプロピルビニルエーテル、３－パーフルオロアルキル－１－メチルプロピルビニルエーテル、３－パーフルオロアルキル－２－プロペニルビニルエーテル等のパーフルオロアルキル基含有ビニルエーテルやその重合物等が挙げられる。耐熱性を考慮すると重合物であることが好ましい。重合物は単一化合物の重合物でもよく、複数化合物の重合物でもよい。また、少ない含有量で効果的に適度な相分離による凹凸形成性能を得ることができるという観点から、パーフルオロアルキル基は炭素数が３～１１であることが好ましい。さらに、上述するような長鎖アルキル化合物を含有している化合物との重合物であってもよく、基材であるポリエステルフィルムとの密着性の観点から、塩化ビニルとの重合物も好ましく用いられる。

　樹脂層Ｂが（Ａ）離型剤を含有することにより、離型剤の有する撥水及び／又は撥油効果によってセラミックグリーンシートの貼り付き防止性を高めることができる。さらに、本実施形態では、（Ｃ）帯電防止剤を併用することで、セラミックグリーンシート剥離時の剥離帯電に起因すると考えられる、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付きをより効果的に防止することができる。

　樹脂層Ｂ中の（Ａ）離型剤の含有量は、樹脂層Ｂの全質量に対して５質量％以上であることが好ましく、より好ましくは１０質量％以上、さらに好ましくは１５質量％以上である。また、樹脂層Ｂに含まれる（Ａ）離型剤の含有量は、９０質量％以下であることが好ましく、より好ましくは７０質量％以下、さらに好ましくは５０質量％以下である。（Ａ）離型剤の含有量を上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。

（（Ｂ）バインダー樹脂）
　樹脂層Ｂは、（Ｂ）バインダー樹脂をさらに含有することが好ましい。（Ｂ）バインダー樹脂は、樹脂組成物Ｂを塗布液とした際の塗布性を向上させることができる。

　（Ｂ）バインダー樹脂として選択されるバインダー樹脂は、「高分子化合物安全性評価フロースキーム」（昭和６０年１１月、化学物質審議会主催）に準じて、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）測定による数平均分子量（Ｍｎ）が１０００以上の高分子化合物で、かつ、造膜性を有するものであることが好ましい。そのようなバインダー樹脂としては、特に制限はなく、従来公知のバインダー樹脂を使用することができる。例えば（メタ）アクリル樹脂、ポリビニルアルコール、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等を挙げることができる。中でも、親水性が高く、被膜形成の観点から、（Ｂ）バインダー樹脂は、（メタ）アクリル樹脂及びポリビニルアルコールから選択される少なくとも１種であることが好ましく、（メタ）アクリル樹脂であることがより好ましい。なお、（Ｂ）バインダー樹脂としては、１種のみを単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

（（メタ）アクリル樹脂）
　（メタ）アクリル樹脂とは、アクリル系、メタクリル系のモノマーを含む重合性モノマーからなる重合体である。これらは、単独重合体あるいは共重合体、さらにはアクリル系、メタクリル系のモノマー以外の重合性モノマーとの共重合体のいずれでもよい。

　本明細書において、「（メタ）アクリル」という表現を用いる場合、「（メタ）アクリル」は「アクリル」及び「メタクリル」の一方又は両方を意味するものとする。また、同様に「（メタ）アクリル酸」は「アクリル酸」及び「メタクリル酸」の一方又は両方、「（メタ）アクリレート」は「アクリレート」及び「メタクリレート」の一方又は両方、「（メタ）アクリロイル」は「アクリロイル」及び「メタクリロイル」の一方又は両方を意味するものとする。その他についても、上記同様である。

　（メタ）アクリル樹脂は、（メタ）アクリル酸又は（メタ）アクリル酸アルキルエステルを構成単位とする重合体であり、スチレン又はスチレン誘導体と（メタ）アクリル酸又は（メタ）アクリル酸アルキルエステルとの共重合体であってもよい。
　また、（メタ）アクリル樹脂は、それら重合体と他のポリマー（例えばポリエステル、ポリウレタン等）との共重合体であってもよい。例えば（メタ）アクリル樹脂は、ブロック共重合体、グラフト共重合体であってもよい。すなわち、（メタ）アクリル樹脂は、（メタ）アクリル変性ポリエステル樹脂や、（メタ）アクリル変性ポリウレタン樹脂であってもよい。

　また、（メタ）アクリル樹脂には、ポリエステル溶液又はポリエステル分散液中で、アクリル系、メタクリル系のモノマーを含む重合性モノマーを重合して得られたポリマー（場合によってはポリマーの混合物）も含まれる。同様にポリウレタン溶液、ポリウレタン分散液中で上記重合性モノマーを重合して得られたポリマー（場合によってはポリマーの混合物）も含まれる。同様にして他のポリマー溶液、又は分散液中で上記重合性モノマーを重合して得られたポリマー（場合によってはポリマー混合物）も含まれ、これらも本明細書では、（メタ）アクリル変性ポリエステル樹脂や、（メタ）アクリル変性ポリウレタン樹脂とする。なお、（メタ）アクリル樹脂において使用される上記したポリエステル、ポリウレタンは、後述するバインダー樹脂に使用されるポリエステル、ポリウレタンとして例示されたものから適宜選択して使用できる。
　また、（メタ）アクリル樹脂は、ポリエステルフィルムとの密着性をより向上させるために、ヒドロキシ基、アミノ基を含有することも可能である。

　上記重合性モノマーとしては、特に限定はしないが、特に代表的な化合物としては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、フマル酸、マレイン酸、シトラコン酸等の各種カルボキシ基含有モノマー類、及びそれらの塩；２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、モノブチルヒドロキシフマレート、モノブチルヒドロキシイタコネート等の各種の水酸基含有モノマー類；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレートのような各種のアルキル（メタ）アクリル酸エステル類；（メタ）アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、又は（メタ）アクリロニトリル等の種々の窒素含有化合物；Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミドなどの水酸基含有の窒素含有化合物；スチレン、α－メチルスチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン等の各種スチレン誘導体；プロピオン酸ビニルのような各種のビニルエステル類；γ－メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン等の種々の珪素含有重合性モノマー類；燐含有ビニル系モノマー類；塩化ビニル、塩化ビニリデン等の各種のハロゲン化ビニル類；ブタジエン等の各種共役ジエン類が挙げられる。

　上記の（メタ）アクリル樹脂の中では、アクリル系、メタクリル系のモノマーを含む重合性モノマーを重合してなる重合体が好ましく、重合性モノマーがアルキル（メタ）アクリル酸エステル類を含むことがより好ましい。なお、樹脂組成物Ｂは、後述するように溶媒で希釈して塗布液とすることが好ましく、この場合、溶媒が水を主溶媒（５０質量％以上）とすることが好ましい。すなわち、塗布液を水系とした場合に溶解又は分散しやすくする観点から、重合性モノマーは水酸基やカルボキシ基などの親水性基を有することが好ましい。したがって、（メタ）アクリル樹脂は、アルキル（メタ）アクリル酸エステル類と、水酸基含有モノマー、カルボキシ基含有モノマーなどの親水性基含有モノマーを含む重合性モノマーを重合してなる重合体であることも好ましい。また、（メタ）アクリル樹脂は、例えば界面活性剤の存在下に重合性モノマーを重合した乳化重合体でもよい。

（ポリビニルアルコール）
　ポリビニルアルコールとは、ポリビニルアルコール部位を有する化合物であり、例えば、ポリビニルアルコールに対し、部分的にアセタール化やブチラール化等された変性化合物も含め、従来公知のポリビニルアルコールを使用することができる。ポリビニルアルコールの重合度は特に限定されるものではないが、１００以上であることが好ましく、より好ましくは３００～４００００の範囲である。重合度が１００以上であれば、樹脂層の耐水性が得られるため好ましい。また、ポリビニルアルコールのケン化度は特に限定されるものではないが、７０モル％以上であることが好ましく、より好ましくは７０～９９．９モル％の範囲、さらに好ましくは８０～９７モル％、一層好ましくは８６～９５モル％であるポリ酢酸ビニルケン化物が実用上用いられる。

（ポリエステル樹脂）
　ポリエステル樹脂としては、主な構成成分として例えば、下記のような多価カルボン酸及び多価ヒドロキシ化合物からなるものが挙げられる。
　多価カルボン酸としては、テレフタル酸、イソフタル酸、オルトフタル酸、フタル酸、４，４’－ジフェニルジカルボン酸、２，５－ナフタレンジカルボン酸、１，５－ナフタレンジカルボン酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、２，７－ナフタレンジカルボン酸、１，４－シクロヘキサンジカルボン酸、２－カリウムスルホテレフタル酸、５－ソジウムスルホイソフタル酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ドデカンジカルボン酸、グルタル酸、コハク酸、トリメリット酸、トリメシン酸、ピロメリット酸、無水トリメリット酸、無水フタル酸、ｐ－ヒドロキシ安息香酸、トリメリット酸モノカリウム塩及びそれらのエステル形成性誘導体などを用いることができる。多価ヒドロキシ化合物としては、エチレングリコール、１，２－プロパンジオール、１，３－プロパンジオール、１，４－ブタンジオール、１，６－ヘキサンジオール、２－メチル－１，５－ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、１，４－シクロヘキサンジメタノール、ｐ－キシリレングリコール、ビスフェノールＡ－エチレングリコール付加物、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリテトラメチレンオキサイドグリコール、ジメチロールプロピオン酸、グリセリン、トリメチロールプロパン、ジメチロールエチルスルホン酸ナトリウム、ジメチロールプロピオン酸カリウムなどを用いることができる。これらの化合物の中から、それぞれ適宜１つ以上を選択し、常法の重縮合反応によりポリエステル樹脂を合成すればよい。

　また、上記多価カルボン酸の一部としてスルホイソフタル酸を共重合して、ポリエステル骨格にスルホン酸基を導入し、中和して親水化したポリエステル樹脂を用いることもできる。この場合、共重合する量は、多価カルボン酸全体に対し１～１３モル％であることが好ましく、より好ましくは３～１０モル％、さらに好ましくは５～９モル％である。スルホン酸基を適量導入することで、樹脂層の親水性を高め、凹凸構造を形成しやすくすることができる。さらに水分散安定性を向上させることができる。

（ポリウレタン樹脂）
　ポリウレタン樹脂とは、ウレタン結合を分子内に有する高分子化合物で、水分散性又は水溶性のものが好ましい。

　水分散性又は水溶性を付与させるために、水酸基、カルボキシ基、スルホン酸基、スルホニル基、リン酸基、エーテル基等の親水性基をウレタン樹脂に導入することが好ましい。上記親水性基の中でも、樹脂層Ｂとポリエステルフィルムの密着性の点から、カルボキシ基又はスルホン酸基を導入することが特に好ましい。

　ウレタン樹脂を作製する方法の一つに、水酸基含有化合物とイソシアネートとの反応によるものがある。原料として用いられる水酸基含有化合物としては、ポリオールが好適に用いられ、例えば、ポリエーテルポリオール類、ポリエステルポリオール類、ポリカーボネート系ポリオール類、ポリオレフィンポリオール類、アクリルポリオール類が挙げられる。これらの化合物は単独で用いても、複数種用いてもよい。

　ポリエーテルポリオール類としては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレンプロピレングリコール、ポリテトラメチレンエーテルグリコール、ポリヘキサメチレンエーテルグリコール等が挙げられる。

　ポリエステルポリオール類としては、多価カルボン酸（マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、セバシン酸、フマル酸、マレイン酸、テレフタル酸、イソフタル酸等）又はそれらの酸無水物と多価アルコール（エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、ブタンジオール、１，３－ブタンジオール、１，４－ブタンジオール、２，３－ブタンジオール、２－メチル－１，３－プロパンジオール、１，５－ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、１，６－ヘキサンジオール、３－メチル－１，５－ペンタンジオール、２－メチル－２，４－ペンタンジオール、２－メチル－２－プロピル－１，３－プロパンジオール、１，８－オクタンジオール、２，２，４－トリメチル－１，３－ペンタンジオール、２－エチル－１，３－ヘキサンジオール、２，５－ジメチル－２，５－ヘキサンジオール、１，９－ノナンジオール、２－メチル－１，８－オクタンジオール、２－ブチル－２－エチル－１，３－プロパンジオール、２－ブチル－２－ヘキシル－１，３－プロパンジオール、シクロヘキサンジオール、ビスヒドロキシメチルシクロヘキサン、ジメタノールベンゼン、ビスヒドロキシエトキシベンゼン、アルキルジアルカノールアミン、ラクトンジオール等）の反応から得られるものが挙げられる。

　ポリカーボネート系ポリオール類としては、多価アルコール類とジメチルカーボネート、ジエチルカーボネート、ジフェニルカーボネート、エチレンカーボネート等とから、脱アルコール反応によって得られるポリカーボネートジオール、例えばポリ（１，６－ヘキシレン）カーボネート、ポリ（３－メチル－１，５－ペンチレン）カーボネート等が挙げられる。

　これらの中でもポリエステルポリオールが好ましい。

　ウレタン樹脂を得るために使用されるポリイソシアネート化合物としては、トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、メチレンジフェニルジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、トリジンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート；α，α，α’，α’－テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の芳香環を有する脂肪族ジイソシアネート；メチレンジイソシアネート、プロピレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート；シクロヘキサンジイソシアネート、メチルシクロヘキサンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、イソプロピリデンジシクロヘキシルジイソシアネート等の脂環式ジイソシアネート等が例示される。これらは単独で用いても、複数種併用してもよい。

　ウレタン樹脂を合成する際には鎖延長剤を使用してもよい。鎖延長剤としては、イソシアネート基と反応する活性基を２個以上有するものであれば特に制限はなく、一般的には、水酸基又はアミノ基を２個有する鎖延長剤を主に用いることができる。

　水酸基を２個有する鎖延長剤としては、例えばエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール等の脂肪族グリコール；キシリレングリコール、ビスヒドロキシエトキシベンゼン等の芳香族グリコール；ネオペンチルグリコールヒドロキシピバレート等のエステルグリコールといったグリコール類を挙げることができる。

　アミノ基を２個有する鎖延長剤としては、例えばトリレンジアミン、キシリレンジアミン、ジフェニルメタンジアミン等の芳香族ジアミン；エチレンジアミン、プロパンジアミン、ヘキサンジアミン、２，２－ジメチル－１，３－プロパンジアミン、２－メチル－１，５－ペンタンジアミン、トリメチルヘキサンジアミン、２－ブチル－２－エチル－１，５－ペンタンジアミン、１，８－オクタンジアミン、１，９－ノナンジアミン、１，１０－デカンジアミン等の脂肪族ジアミン；１－アミノ－３－アミノメチル－３，５，５－トリメチルシクロヘキサン、ジシクロヘキシルメタンジアミン、１，４－ジアミノシクロヘキサン、１，３－ビスアミノメチルシクロヘキサン等の脂環式ジアミン等が挙げられる。

（（Ｃ）帯電防止剤）
　樹脂層Ｂは（Ｃ）帯電防止剤を含むことが好ましい。帯電防止剤の一例としては、イオン導電性高分子化合物が挙げられる。樹脂層Ｂが所定の帯電防止剤を含有することにより、樹脂層Ｂとセラミックグリーンシートの剥離時の帯電量を所定値以下にコントロールすることが容易となり、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性が十分に発揮されやすくなる。

　樹脂層Ｂに含まれる（Ｃ）帯電防止剤の含有量は、樹脂層Ｂの全質量に対して５質量％以上であることが好ましく、より好ましくは１０質量％以上、さらに好ましくは１５質量％以上である。また、樹脂層Ｂに含まれる（Ｃ）帯電防止剤の含有量は、６０質量％以下であることが好ましく、５５質量％以下であることがより好ましく、５０質量％以下であることがさらに好ましく、４５質量％以下であることがよりさらに好ましい。（Ｃ）帯電防止剤の含有量を上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂとセラミックグリーンシートの剥離時の帯電量を所定値以下にコントロールすることが容易となり、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性が十分に発揮されやすくなる。

　イオン導電性高分子化合物とは、イオン導電性の官能基を含む高分子化合物であり、例えば、アンモニウム基含有化合物、ポリエーテル化合物、スルホン酸化合物、ベタイン化合物等の高分子化合物が挙げられる。これらの中でも極性が高く、剥離帯電防止の観点から、アンモニウム基含有化合物が好ましく、四級アンモニウム塩基含有化合物が特に好ましい。

　アンモニウム基含有化合物とは、分子内にアンモニウム基を有する化合物を指し、アンモニウム基を有する高分子化合物であることが好ましい。例えば、アンモニウム基と不飽和性二重結合を有する単量体を成分として含む重合体を用いることができる。

　かかる重合体の具体的な例としては、例えば下記式（１）で示される繰返し単位を有する重合体を挙げることができる。アンモニウム基含有高分子化合物は、これらの単独重合体や共重合体、さらに、その他の複数の成分を共重合していても構わない。

　上記式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２はそれぞれ独立して水素原子、アルキル基、フェニル基等であり、これらのアルキル基、フェニル基が以下に示す基で置換されていてもよい。置換可能な基は、例えば、ヒドロキシ基、アミド基、エステル基、アルコキシ基、フェノキシ基、ナフトキシ基、チオアルコキシ基、チオフェノキシ基、シクロアルキル基、トリアルキルアンモニウムアルキル基、シアノ基、ハロゲン等である。また、Ｒ^１及びＲ^２は化学的に結合していてもよく、連結したＲ^１及びＲ^２は、例えば、－（ＣＨ_２）_ｍ－（ｍ＝２～５の整数）、－ＣＨ（ＣＨ_３）ＣＨ（ＣＨ_３）－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＨ＝ＣＨ－、－ＣＨ＝ＣＨ－ＣＨ＝Ｎ－、－ＣＨ＝ＣＨ－Ｎ＝Ｃ－、－ＣＨ_２ＯＣＨ_２－、－（ＣＨ_２）_２Ｏ（ＣＨ_２）_２－などであってもよい。

　上記式（１）中のＸ^－は、本発明の要旨を損なわない範囲で適宜選択することができる。例えば、Ｘ^－としては、ハロゲンイオン、スルホナート、ホスファート、ニトラート、アルキルスルホナート、カルボキシラート等を挙げることができる。

　アンモニウム基と不飽和性二重結合を有する単量体を成分として含む重合体の中でも、造膜性を高め、安定した被膜が得られるという観点から、重合体は、他のモノマーを共重合成分として有していてもよい。他のモノマーとしては、例えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル等のアクリル酸アルキル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル等のメタクリル酸アルキル、ｎ－メチロールアクリルアミド等のアクリルアミドを挙げることができる。

　但し、上記重合体は、より極性を高め、剥離帯電防止の観点からは、上記式（１）で示される繰り返し単位とした単独重合体であることが好ましい。

　また、アンモニウム基含有高分子化合物の数平均分子量は、１０００～５０００００であるのが好ましく、より好ましくは２０００～３５００００、さらに好ましくは５０００～２０００００以下である。アンモニウム基含有高分子化合物の数平均分子量を１０００以上とすることにより、塗膜の強度を高めることができ、耐熱安定性を高めることができる。また、アンモニウム基含有高分子化合物の数平均分子量を５０００００以下とすることにより、塗布液の粘度を適切な範囲にコントロールすることができ、取扱い性や塗布性を高めることができる。

　また、（Ｃ）帯電防止剤は、（ａ１）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が他の陰イオン化合物によりドーピングされた重合体、及び（ａ２）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が陰イオン基を持ち自己ドープされた重合体から選択される少なくとも１種であることが好ましい。このような帯電防止剤としては、例えば、下記式（２）もしくは下記式（３）で表される化合物をポリ陰イオンの存在下で重合して得られるものが例示される。

　上記式（２）中、Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ独立して、水素原子、または炭素数が１～２０の脂肪族炭化水素基、脂環族炭化水素基、芳香族炭化水素基などを表す。

　上記式（３）中、ｎは１～４の整数を表す。

　上記重合体の具体的な例としては、例えば、式（４）で示される繰返し単位を有する重合体が挙げられる。上記重合体は、これらの単独重合体や共重合体、さらに、その他の複数の成分を共重合していても構わない。但し、帯電防止性を向上させる観点から、上記重合体は、単独重合体であることが好ましい。

　上記式（４）中で置換基Ｒ^１は水素原子または炭素数が１～３のアルキル基であることが好ましく、Ｒ^２は－Ｏ－または－ＮＨ－であることが好ましく、Ｒ^３は炭素数が１～６のアルキレン基または式（４）の構造を成立しうるその他の連結基であることが好ましく、Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６のうち少なくとも１つが水素原子であり、他の置換基は炭素数１～３のアルキル基、またはアルキル基の炭素数が２～３のヒドロキシアルキル基であることが好ましく、Ｘ^－は炭素数１～４のアルキル基を有するアルキルスルホン酸イオンであることが好ましい。

　重合時に使用するポリ陰イオンとしては、例えばポリ（メタ）アクリル酸、ポリマレイン酸、ポリスチレンスルホン酸、ポリビニルスルホン酸などが例示される。かかる重合体の製造方法としては、例えば特開平７－９００６０号公報に示されるような方法が採用できる。

　本実施形態においては、上記式（３）で表される化合物においてｎが２であり、ポリ陰イオンとしてポリスチレンスルホン酸を用いたものが好適に用いられる。

　またこれらのポリ陰イオンが酸性である場合、一部または全てが中和されていてもよい。中和に用いる塩基としてはアンモニア、有機アミン類、アルカリ金属水酸化物が好ましい。

（（Ｄ）架橋剤）
　樹脂組成物Ｂは、（Ｄ）架橋剤をさらに含有することが好ましく、樹脂層Ｂも、（Ｄ）架橋剤をさらに含有することが好ましい。架橋剤としては、特に制限はなく、従来公知の架橋剤を使用することができる。例えばメラミン化合物、オキサゾリン化合物、エポキシ化合物、カルボジイミド化合物、イソシアネート化合物、シランカップリング化合物等を挙げることができる。中でも、樹脂層Ｂへの耐久性付与の観点から、メラミン化合物及びオキサゾリン化合物から選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。

　樹脂組成物Ｂ中の（Ｄ）架橋剤の含有量は、樹脂組成物Ｂの不揮発成分の全質量に対して５質量％以上であることが好ましく、１０質量％以上であることがより好ましく、さらに好ましくは１５質量％以上、よりさらに好ましくは２０質量％以上である。また、樹脂組成物Ｂ中の（Ｄ）架橋剤の含有量は、５０質量％以下であることが好ましく、より好ましくは４０質量％以下、さらに好ましくは３５質量％以下であり、よりさらに好ましくは３０質量％以下である。（Ｄ）架橋剤の含有量を上記範囲内とすることにより、樹脂組成物Ｂを塗布液とした際の塗布性を向上できる。また、（Ｄ）架橋剤の含有量を上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂの耐久性をより効果的に高めることができる。

（メラミン化合物）
　メラミン化合物とは、化合物中にメラミン骨格を有する化合物のことであり、例えばアルキロール化メラミン誘導体、アルキロール化メラミン誘導体にアルコールを反応させて部分的あるいは完全にエーテル化した化合物、及びこれらの混合物を用いることができる。
　アルキロール化としては、メチロール化、エチロール化、イソプロピロール化、ｎ－ブチロール化、イソブチロール化等が挙げられる。これらの中でも、反応性の観点から、メチロール化が好ましい。
　エーテル化に用いるアルコールとしては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ－ブタノール及びイソブタノール等が好適に用いられ、これらの中では、メタノールがより好ましい。
　また、メラミン化合物は、単量体、あるいは２量体以上の多量体のいずれであってもよく、あるいはこれらの混合物を用いてもよい。さらに、メラミンの一部に尿素等を共縮合したものも用いてもよく、メラミン化合物の反応性を上げるために、樹脂組成物にはさらに触媒を使用することも可能である。

（オキサゾリン化合物）
　オキサゾリン化合物とは、分子内にオキサゾリン基を有する化合物であり、特にオキサゾリン基を含有する重合体が好ましい。オキサゾリン基を含有する重合体は、付加重合性オキサゾリン基含有モノマー単独もしくは他のモノマーとの重合によって作製できる。付加重合性オキサゾリン基含有モノマーとしては、２－ビニル－２－オキサゾリン、２－ビニル－４－メチル－２－オキサゾリン、２－ビニル－５－メチル－２－オキサゾリン、２－イソプロペニル－２－オキサゾリン、２－イソプロペニル－４－メチル－２－オキサゾリン及び２－イソプロペニル－５－エチル－２－オキサゾリン等を挙げることができ、これらの１種又は２種以上の混合物を使用することができる。これらの中でも２－イソプロペニル－２－オキサゾリンが工業的にも入手しやすく好適である。他のモノマーは、付加重合性オキサゾリン基含有モノマーと共重合可能なモノマーであれば制限はなく、例えばアルキル（メタ）アクリレート（アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｔ－ブチル基、２－エチルヘキシル基及びシクロヘキシル基）等の（メタ）アクリル酸エステル類；アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、スチレンスルホン酸及びその塩（ナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩、第三級アミン塩等）等の不飽和カルボン酸類；アクリロニトリル、メタクリロニトリル等の不飽和ニトリル類；（メタ）アクリルアミド、Ｎ－アルキル（メタ）アクリルアミド及びＮ，Ｎ－ジアルキル（メタ）アクリルアミド（アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｔ－ブチル基、２－エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等）等の不飽和アミド類；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル等のビニルエステル類；メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル等のビニルエーテル類；エチレン、プロピレン等のα－オレフィン類；塩化ビニル、塩化ビニリデン等の含ハロゲンα，β－不飽和モノマー類；スチレン、α－メチルスチレン等のα，β－不飽和芳香族モノマー等を挙げることができ、これらの１種又は２種以上のモノマーを使用することができる。
　また、オキサゾリン化合物は、ポリエチレンオキサイド鎖などのポリアルキレンオキサイド鎖を有してもよく、例えばポリアルキレンオキサイド鎖を有する（メタ）アクリレートなどを他のモノマーとして使用してもよい。
　樹脂層Ｂのポリエステルフィルムに対する密着性向上の観点から、オキサゾリン化合物のオキサゾリン基量は、好ましくは０．５～１０ｍｍｏｌ／ｇ、より好ましくは１～９ｍｍｏｌ／ｇ、さらに好ましくは３～８ｍｍｏｌ／ｇの範囲である。

（エポキシ化合物）
　エポキシ化合物とは、分子内にエポキシ基を有する化合物であり、例えばエピクロロヒドリン、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、グリセリン、ポリグリセリン及びビスフェノールＡ等の水酸基やアミノ基との縮合物や、ポリエポキシ化合物、ジエポキシ化合物、モノエポキシ化合物並びにグリシジルアミン化合物等が挙げられる。
　ポリエポキシ化合物としては、例えばソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、トリグリシジルトリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアネート、グリセロールポリグリシジルエーテル及びトリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル等が挙げられる。
　ジエポキシ化合物としては、例えばネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、１，６－ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル及びポリテトラメチレングリコールジグリシジルエーテル等が挙げられる。
　モノエポキシ化合物としては、例えばアリルグリシジルエーテル、２－エチルヘキシルグリシジルエーテル及びフェニルグリシジルエーテル、グリシジルアミン化合物としてはＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラグリシジル－ｍ－キシリレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノ）シクロヘキサン等が挙げられる。樹脂層Ｂのポリエステルフィルムに対する密着性向上の観点から、ポリエーテル系のエポキシ化合物が好ましい。
　また、エポキシ基の量としては、２官能より、３官能以上の多官能であるポリエポキシ化合物が好ましい。

（カルボジイミド化合物）
　カルボジイミド化合物とは、カルボジイミド構造を有する化合物のことであり、分子内にカルボジイミド構造を１つ以上有する化合物である。樹脂層Ｂとポリエステルフィルムのより良好な密着性等のために、分子内に２つ以上のカルボジイミド構造を有するポリカルボジイミド化合物がより好ましい。

　カルボジイミド化合物は、従来公知の技術で合成することができ、一般的にはジイソシアネート化合物の縮合反応が用いられる。ジイソシアネート化合物としては、特に限定されるものではなく、芳香族系、脂肪族系のいずれも使用することができる。具体的には、トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、シクロヘキサンジイソシアネート、メチルシクロヘキサンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルジイソシアネート及びジシクロヘキシルメタン４，４’－ジイソシアネートなどが挙げられる。

　カルボジイミド化合物に含有されるカルボジイミド基の含有量は、カルボジイミド当量（カルボジイミド基１ｍｏｌを与えるためのカルボジイミド化合物の重さ［ｇ］）で、１００～１０００であることが好ましく、より好ましくは２５０～８００、さらに好ましくは３００～７００の範囲である。上記範囲で使用することで、樹脂層Ｂの耐久性が向上する。

　さらに、本発明の主旨を損なわない範囲において、ポリカルボジイミド化合物の水溶性や水分散性を向上するために、界面活性剤を添加してもよく、ポリアルキレンオキシド、ジアルキルアミノアルコールの四級アンモニウム塩及びヒドロキシアルキルスルホン酸塩などの親水性モノマーを添加して用いてもよい。

（イソシアネート化合物）
　イソシアネート化合物とは、イソシアネート、あるいはブロックイソシアネートに代表されるイソシアネート誘導体構造を有する化合物のことである。イソシアネート化合物としては、例えばトリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、メチレンジフェニルジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート及びナフタレンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート；α，α，α’，α’－テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の芳香環を有する脂肪族イソシアネート；メチレンジイソシアネート、プロピレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート及びヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族イソシアネート；シクロヘキサンジイソシアネート、メチルシクロヘキサンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、メチレンビス（４－シクロヘキシルイソシアネート）及びイソプロピリデンジシクロヘキシルジイソシアネート等の脂環式イソシアネート等が例示される。
　また、これらイソシアネートのビュレット化物、イソシアヌレート化物、ウレトジオン化物及びカルボジイミド変性体等の重合体や誘導体も挙げられる。これらは単独で用いても、複数種併用してもよい。上記イソシアネート化合物の中でも、紫外線による黄変を避けるために、芳香族イソシアネートよりも脂肪族イソシアネート又は脂環式イソシアネートがより好ましい。

　ブロックイソシアネートの状態で使用する場合、そのブロック剤としては、例えば重亜硫酸塩類；フェノール、クレゾール及びエチルフェノールなどのフェノール系化合物；プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール、ベンジルアルコール、メタノール及びエタノールなどのアルコール系化合物；イソブタノイル酢酸メチル、マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル及びアセチルアセトンなどの活性メチレン系化合物；ブチルメルカプタン、ドデシルメルカプタンなどのメルカプタン系化合物；ε‐カプロラクタム、δ‐バレロラクタムなどのラクタム系化合物；ジフェニルアニリン、アニリン及びエチレンイミンなどのアミン系化合物；アセトアニリド、酢酸アミドの酸アミド化合物；ホルムアルデヒドオキシム、アセトアルドオキシム、アセトンオキシム、メチルエチルケトンオキシム及びシクロヘキサノンオキシムなどのオキシム系化合物が挙げられ、これらは単独でも２種以上の併用であってもよい。

　また、イソシアネート化合物は単体で用いてもよいし、各種ポリマーとの混合物や結合物として用いてもよい。イソシアネート化合物の分散性や架橋性を向上させるという意味において、ポリエステル樹脂やウレタン樹脂との混合物や結合物を使用することが好ましい。

（シランカップリング化合物）
　シランカップリング化合物は、１つの分子中に有機官能基とアルコキシ基などの加水分解基を有する有機ケイ素化合物である。例えば３－グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシランなどのエポキシ基含有化合物；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシランなどのビニル基含有化合物；ｐ－スチリルトリメトキシシラン、ｐ－スチリルトリエトキシシランなどのスチリル基含有化合物；３－（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３－（メタ）アクリロキシプロピルメチルジエトキシシランなどの（メタ）アクリル基含有化合物；３－アミノプロピルトリメトキシシラン、３－アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルメチルジエトキシシラン、３－トリエトキシシリル－Ｎ－（１，３－ジメチルブチリデン）プロピルアミン、Ｎ－フェニル－３－アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ－フェニル－３－アミノプロピルトリエトキシシランなどのアミノ基含有化合物；トリス（トリメトキシシリルプロピル）イソシアヌレート、トリス（トリエトキシシリルプロピル）イソシアヌレートなどのイソシアヌレート基含有化合物；３－メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３－メルカプトプロピルトリエトキシシラン、３－メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、３－メルカプトプロピルメチルジエトキシシランなどのメルカプト基含有化合物などが挙げられる。

（架橋触媒）
　樹脂層Ｂが（Ｄ）架橋剤を含む場合には、樹脂組成物Ｂは、さらに架橋触媒を含んでいてもよい。架橋触媒は、架橋剤の反応性を高めるために使用するものであって、種々公知の触媒を使用することができる。例えばアミン化合物、アミン化合物の塩類、ｐ－トルエンスルホン酸などの芳香族スルホン酸化合物やリン酸化合物などの有機酸類及びそれらの塩、イミン化合物、アミジン化合物、グアニジン化合物、有機金属化合物、ステアリン酸亜鉛やミリスチン酸亜鉛やステアリン酸アルミニウムやステアリン酸カルシウムなどの金属塩類等が挙げられる。これらの中でもアミン化合物、アミン化合物の塩類やｐ－トルエンスルホン酸が好ましく、アミン化合物やアミン化合物の塩類がより好ましい。

　樹脂組成物Ｂが架橋触媒を含む場合、架橋触媒の含有量は、樹脂組成物Ｂ中の不揮発成分の全質量に対して好ましくは０．０１～５質量％、より好ましくは０．１～４質量％、さらに好ましくは１～３質量％の範囲である。架橋触媒の含有量をかかる範囲とすることで、ポットライフの低下を抑制することができる。

（微粒子）
　樹脂組成物Ｂは、微粒子をさらに含んでいてもよい。微粒子を併用することによって、樹脂層Ｂ表面に微細な凹凸構造を形成することにより、離型フィルムをロール状にした際にも、樹脂層表面の凸部が変形しにくくなり、良好なロール外観を得ることができる。

　微粒子としては、例えばシリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム及び酸化チタン等の無機粒子の他、架橋シリコーン樹脂粒子、架橋アクリル樹脂粒子、架橋スチレン－アクリル樹脂粒子、架橋ポリエステル粒子等の架橋高分子、シュウ酸カルシウム及びイオン交換樹脂等の有機粒子を挙げることができる。これらの中では、シリカ、酸化アルミニウムが好ましい。

　微粒子の平均粒径（平均一次粒径）は、１～１００ｎｍであることが好ましく、より好ましくは２～６０ｎｍ、さらに好ましくは３～３０ｎｍである。当該平均粒径がかかる範囲であれば、粒子の凝集による粗大突起の発生や、粒子の脱落による工程の汚染を抑制することができ、所望する微細な凹凸構造を得やすくなる。

　樹脂組成物Ｂが微粒子を含む場合、微粒子の含有量は、樹脂組成物Ｂ中の不揮発成分の全質量に対して好ましくは１～５０質量％、より好ましくは５～４５質量％、さらに好ましくは１０～４０質量％の範囲である。微粒子の含有量を上記範囲内とすることにより、所望する微細な凹凸構造を得ることができる。

（（特に好ましい形態））
　樹脂組成物Ｂに含まれる化合物の組み合わせとしては、（Ｂ）バインダー樹脂及び（Ｃ）帯電防止剤の組み合わせが好ましく、さらに好ましくは、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）帯電防止剤及び（Ｄ）架橋剤の組み合わせである。最も好ましくは（Ｂ）バインダー樹脂及び（Ｃ）イオン導電性高分子化合物の組み合わせ、もしくは、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）（ａ１）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が他の陰イオン化合物によりドーピングされた重合体、及び（ａ２）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が陰イオン基を持ち自己ドープされた重合体から選択される少なくとも１種、及び（Ｄ）架橋剤の組み合わせがよい。その中でも特に、（Ａ）離型剤、（Ｂ）バインダー樹脂及び（Ｃ）イオン導電性高分子化合物の組み合わせ、もしくは、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）（ａ１）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が他の陰イオン化合物によりドーピングされた重合体、及び（ａ２）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が陰イオン基を持ち自己ドープされた重合体から選択される少なくとも１種、及び（Ｄ）架橋剤の組み合わせがよい。

＜＜樹脂層Ａ／樹脂組成物Ａ＞＞
　樹脂層Ａは、（Ａ）離型剤を含有する。樹脂層Ａが（Ａ）離型剤を含むことにより、セラミックスラリーの塗布性を高めることができ、さらに、樹脂層Ａからのセラミックグリーンシートの剥離性を高めることができる。

　（Ａ）離型剤としては、特に制限はなく、例えばシリコーン系離型剤又は非シリコーン系離型剤を用いることができる。でも、樹脂層Ａは、非シリコーン系離型剤を含むことが好ましい。非シリコーン系離型剤を用いることで、半導体分野など、珪素（Ｓｉ）元素の混入を嫌う用途にも好ましく用いられる。非シリコーン系離型剤は、ワックス及び長鎖アルキル基含有化合物から選択される少なくとも１種であることが好ましく、さらに好ましくは長鎖アルキル基含有化合物である。非シリコーン系離型剤としては、上述した樹脂層Ｂが含み得る（Ａ）剥離剤を同様に例示することができる。

　樹脂層Ａは、その他にも、必要に応じて、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｄ）架橋剤、微粒子などを含んでもよい。（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｄ）架橋剤、微粒子としては、上述した樹脂層Ｂが含み得る（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｄ）架橋剤、微粒子をそれぞれ同様に例示することができる。

　樹脂層Ａに含まれる（Ａ）離型剤の含有量は、樹脂層Ａの全質量に対して５質量％以上であることが好ましく、より好ましくは１０質量％以上、さらに好ましくは１５質量％以上である。また、樹脂層Ａに含まれる（Ａ）離型剤の含有量は、９０質量％以下であることが好ましく、８０質量％以下であることがより好ましく、７５質量％以下であることがさらに好ましい。（Ａ）離型剤の含有量が上記範囲内であれば、セラミックスラリーを塗布、乾燥した後、得られるセラミックグリーンシートに対する離型性が良好となる。

（（特に好ましい形態））
　樹脂組成物Ａに含まれる化合物の組み合わせとしては、長鎖アルキル基含有化合物とメラミン及びバインダー樹脂の組み合わせが好ましい。さらに好ましくは、長鎖アルキル基含有化合物とメラミン及びポリエステル樹脂の組み合わせである。

（その他成分）
　樹脂層Ａ及び樹脂層Ｂには、本発明の主旨を損なわない範囲において、上記成分以外にも、消泡剤、塗布性改良剤、界面活性剤、増粘剤、有機系潤滑剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、発泡剤、染料、顔料等の添加剤をさらに適宜配合してもよい。

（溶媒）
　樹脂組成物Ａ及び樹脂組成物Ｂはそれぞれ、溶媒で希釈して塗布液としてもよい。すなわち、液状の塗布液として、本ポリエステルフィルムに塗布し、必要に応じて乾燥、かつ、硬化させて樹脂層Ａ及び樹脂層Ｂをそれぞれ形成してもよい。
　なお、樹脂組成物Ａ及び樹脂組成物Ｂを構成する各成分（例えば、（Ａ）離型剤、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）帯電防止剤、（Ｄ）架橋剤及び、任意に添加される架橋触媒及び微粒子、その他成分等）は、溶媒に溶解させてもよいし、溶媒中に分散させてもよい。

　樹脂組成物を塗布液とした場合、塗布液中における樹脂組成物の全不揮発成分の濃度は、０．１～５０質量％であることが好ましい。全不揮発成分の濃度が０．１質量％以上であれば、効率的に所望の厚みの樹脂層を形成することができる。一方、全不揮発成分の濃度が５０質量％以下であれば、塗工時の粘度を抑えることで樹脂層の外観を向上させることができ、また、塗布液中の安定性を高めることができる。

　希釈に用いる溶媒としては、特に制限はなく、水及び有機溶剤のいずれも使用することができる。環境保護の観点から、水を主溶媒（５０質量％以上）とすることが好ましい。水の含有量は、好ましくは６０質量％以上、より好ましくは７０質量％以上である。水性塗布液には、少量の有機溶剤が含まれていてもよい。有機溶剤の具体的な量は、質量基準で水より少なくするとよいが、例えば、溶媒中の５０質量％未満であることが好ましく、より好ましくは３０質量％未満、さらに好ましくは２０質量％未満とするのがよい。
　水と併用する有機溶剤としては、エタノール、イソプロパノール、エチレングリコール、グリセリン等のアルコール類；エチルセロソルブ、ｔ－ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル、テトラヒドロフラン等のエーテル類；アセトン、メチルエチルケトン等のケトン類；酢酸エチル等のエステル類；ジメチルエタノールアミン等のアミン類等を例示することができる。これらは単独、もしくは複数を組み合わせて用いることができる。水性塗布液に、必要に応じてこれらの有機溶剤を適宜選択し、含有させることで、塗布液の安定性、塗工性を良好にできる場合がある。

　また、上記溶媒として有機溶剤のみを使用する場合、かかる有機溶剤としては、トルエン等の芳香族炭化水素類；ヘキサン、ヘプタン、イソオクタン等の脂肪族炭化水素類；酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類；エチルメチルケトン、イソブチルメチルケトン等のケトン類；エタノール、２－プロパノール等のアルコール類；ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル等のエーテル類などを挙げることができる。これらは、溶解性、塗工性や沸点等を考慮して単独で使用してもよいし、複数種を混合して使用してもよい。

　なお、樹脂層中の各成分（例えば、（Ａ）離型剤、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）帯電防止剤、（Ｄ）架橋剤、任意に添加される架橋触媒及び微粒子、その他成分等の未反応物、反応後の化合物、あるいはそれらの混合物）の分析は、例えば、ＴＯＦ－ＳＩＭＳ、ＥＳＣＡ、蛍光Ｘ線等によって行うことができる。

＜樹脂層Ａ及びＢの形成方法＞
　樹脂層Ａ及びＢ（以下、単に「樹脂層」とも称する）の形成方法は、特に限定されず、例えばリバースグラビアコート、ダイレクトグラビアコート、ロールコート、ダイコート、バーコート、カーテンコート等、従来公知の塗工方式を用いることができる。また、樹脂層の形成方法としては、インラインコーティング及びオフラインコーティングがある。乾燥及び硬化条件に関しては、特に限定されるわけではなく、例えばオフラインコーティングにより樹脂層を設ける場合、好ましくは８０～２００℃で３～４０秒間、より好ましくは１００～１８０℃で３～４０秒間を目安として熱処理を行うのが良い。一方、インラインコーティングにより樹脂層を設ける場合、好ましくは７０～２８０℃で３～２００秒間を目安として熱処理を行うのがよい。

　中でも、樹脂層は、ポリエステルフィルムの製膜工程中にフィルム表面を処理する、インラインコーティングにより形成されるのが好ましい。インラインコーティングは、ポリエステルフィルム製造の工程内でコーティングを行う方法であり、具体的には、ポリエステルを溶融押し出ししてから延伸後、熱固定して巻き上げるまでの任意の段階でコーティングを行う方法である。通常は、溶融、急冷して得られる未延伸シート、延伸された一軸延伸フィルム、熱固定前の二軸延伸フィルム、熱固定後で巻き上げ前のフィルムのいずれかにコーティングする。樹脂層をインラインコーティングにより形成することにより、離型フィルムの生産効率を高めることができる。

　例えば、樹脂層をインラインコーティングにより形成する場合、逐次二軸延伸においては、特に長手方向（縦方向）に延伸された一軸延伸フィルムにコーティングした後に横方向に延伸する方法が優れている。かかる方法によれば、製膜と樹脂層形成を同時に行うことができるため、製造コスト上のメリットがあり、また、コーティング後に延伸を行うために、樹脂層の厚みを延伸倍率により変化させることもでき、オフラインコーティングフィルムに比べ、薄膜コーティングをより容易に行うことができる。

　また、延伸前にフィルム上に樹脂層を設けることにより、樹脂層をポリエステルフィルムと共に延伸することができ、それにより樹脂層をポリエステルフィルムに強固に密着させることができる。

　さらに、二軸延伸ポリエステルフィルムの製造において、クリップ等によりフィルム端部を把持しつつ延伸することで、フィルムを縦及び横方向に拘束することができ、熱固定工程において、しわ等が入らず平面性を維持したまま高温をかけることができる。このため、塗布後に施される熱処理が他の方法では達成されない高温とすることができ、樹脂層の造膜性が向上し、樹脂層とポリエステルフィルムをより強固に密着させることができる。さらには、強固な樹脂層とすることができ、樹脂層上に形成され得る各種の機能層への耐移行性や耐湿熱性等の性能を向上させることができる。

　また、オフラインコーティングあるいはインラインコーティングにかかわらず、必要に応じて熱処理と紫外線照射等の活性エネルギー線照射とを併用してもよい。本離型フィルムを構成するポリエステルフィルムにはあらかじめ、コロナ処理、プラズマ処理等の表面処理を施してもよい。

　樹脂層の不揮発成分の塗布量（乾燥延伸後）は、好ましくは０．００５～１．０ｇ／ｍ^２、より好ましくは０．０１～０．５ｇ／ｍ^２、さらに好ましくは０．０３～０．２ｇ／ｍ^２である。当該塗布量がかかる範囲であれば、所望する性能（離型性あるいはセラミックグリーンシート貼り付き防止性）を発現することができる。なお、当該塗布量は、塗布液不揮発成分濃度、塗布液消費量から導かれる乾燥前塗布量、横延伸倍率等から計算で求めることができる。

＜＜＜離型フィルムの物性＞＞＞
〔算術平均高さ（Ｓａ）〕
　第１の実施形態では、本離型フィルムの樹脂層Ａ面の平均表面粗さ（Ｓａ）は、傷つき防止性の向上並びに離型フィルムロールの長尺化及びセラミックグリーンシートの薄膜化の対応の観点から、５ｎｍ以下が好ましく、さらに好ましくは３ｎｍ以下である。一方、下限値に関しては、フィルム取り扱い性の観点から、１ｎｍ以上が好ましい。本離型フィルムの樹脂層Ａ面の平均表面粗さ（Ｓａ）を上記範囲内とすることにより、離型フィルム表面の微細な凹凸によるピンホール等の欠陥を防ぎ易くでき、傷つき防止性の低下を抑制しやすくでき、また、離型フィルムの長尺化及びセラミックグリーンシートの薄膜化に対応し易くできる。一方で、平均表面粗さ（Ｓａ）が１ｎｍ以上であると、フィルム表面が極端に平坦化することを防ぎ、フィルムの滑り性の低下を抑制して傷つき防止性が低下することを抑制し易くでき、また、離型フィルムの長尺化に対応し易くできる。

　第１の実施形態では、本離型フィルムの樹脂層Ｂ面の平均表面粗さ（Ｓａ）は、フィルム巻き取り性向上の観点から、１５ｎｍ以上が好ましく、さらに好ましくは２０ｎｍ以上、さらに好ましくは２５ｎｍ以上である。一方、上限値に関しては、離型面への粗度転写低減の観点から、４０ｎｍ以下であることが好ましく、好ましくは３５ｎｍ以下である。樹脂層Ｂ面の平均表面粗さ（Ｓａ）を上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。

　第２の実施形態では、本離型フィルムの樹脂層Ａ面の算術平均高さ（Ｓａ）は、１５ｎｍ以下であることが好ましく、１０ｎｍ以下であることがより好ましく、８ｎｍ以下であることがさらに好ましく、５ｎｍ以下であることがよりさらに好ましく、３ｎｍ以下であることが一層好ましい。また、本離型フィルムの樹脂層Ａ面の算術平均高さ（Ｓａ）は、０．３ｎｍ以上であることが好ましく、０．４ｎｍ以上であることがより好ましく、０．５ｎｍ以上であることがさらに好ましく、０．６ｎｍ以上であることが特に好ましい。樹脂層Ａ面の算術平均高さ（Ｓａ）を上記上限値以下とすることにより、表面平滑性に優れたポリエステルフィルムを得ることができる。その結果、セラミックグリーンシートの薄膜化が容易となる。一方、樹脂層Ａ面の算術平均高さ（Ｓａ）は上記下限値以上であることが好ましく、離型フィルムの表面には所定量以上の粗さが付与されていることが好ましい。これにより、離型フィルムの取り扱い性を向上させるために必要な粗面が具備され、本離型フィルムの空気漏れ指数を低減することができる。その結果、本離型フィルムは適度な滑り性を発揮することができ、ハンドリング性が向上する。

　第２の実施形態では、本離型フィルムの樹脂層Ｂ面の算術平均高さ（Ｓａ）は、１００ｎｍ以下であることが好ましく、８０ｎｍ以下であることがより好ましく、６０ｎｍ以下であることがさらに好ましく、４０ｎｍ以下であることがよりさらに好ましく、３０ｎｍ以下であることが一層好ましく、２５ｎｍ以下であることが特に好ましい。また、本離型フィルムの樹脂層Ｂ面の算術平均高さ（Ｓａ）は、１ｎｍ以上であることが好ましく、３ｎｍ以上であることがより好ましく、５ｎｍ以上であることがさらに好ましい。樹脂層Ｂ面の算術平均高さ（Ｓａ）を上記範囲内とすることにより、表面平滑性を高めつつも、セラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。また、樹脂層Ｂ面の算術平均高さ（Ｓａ）は上記下限値以上であることが好ましく、離型フィルムの表面には所定量以上の粗さが付与されていることが好ましい。これにより、離型フィルムの取り扱い性を向上させるために必要な粗面が具備され、本離型フィルムの空気漏れ指数を低減することができる。その結果、本離型フィルムは適度な滑り性を発揮することができ、ハンドリング性が向上する。

〔最大山高さ（Ｓｐ）〕
　第１の実施形態では、本離型フィルムの樹脂層Ａ面の最大山高さ（Ｓｐ）は、７０ｎｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは６５ｎｍ以下である。本離型フィルムの樹脂層Ａ面の最大山高さ（Ｓｐ）を上記範囲内とすることにより、離型フィルム表面の凹凸によるピンホール等の欠陥発生防止、あるいは、傷つき防止性の確保が可能となり、また、離型フィルムの長尺化及びセラミックグリーンシートの薄膜化に対応可能となる。また、最大山高さ（Ｓｐ）の下限については特に制限はされないが、離型フィルムの巻取り性を向上させる観点から、５ｎｍ以上が好ましく、１０ｎｍ以上がより好ましく、１５ｎｍ以上がさらに好ましい。

　第１の実施形態では、本離型フィルムの樹脂層Ｂ面の最大山高さ（Ｓｐ）は、１３００ｎｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１２５０ｎｍ以下、さらに好ましくは１２００ｎｍ以下である。また、離型フィルムの樹脂層Ｂ面の最大山高さ（Ｓｐ）の下限値は、好ましくは１００ｎｍ以上、より好ましくは２００ｎｍ以上、さらに好ましくは４００ｎｍ以上である。離型フィルムの樹脂層Ｂ面の最大山高さ（Ｓｐ）を上記範囲内とすることにより、フィルム巻き取り性を良好とすることができる。また、樹脂層Ｂ面の最大山高さ（Ｓｐ）を上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。

　第２の実施形態では、本離型フィルムの樹脂層Ａ面の最大山高さ（Ｓｐ）は、１０００ｎｍ以下であることが好ましく、８００ｎｍ以下であることがより好ましく、５００ｎｍ以下であることがさらに好ましく、３００ｎｍ以下であることが一層好ましく、２００ｎｍ以下であることがより一層好ましく、１５０ｎｍ以下であることがさらに一層好ましく、１００ｎｍ以下であることがよりさらに一層好ましく、６０ｎｍ以下であることが特に好ましい。また、本離型フィルムの樹脂層Ａ面の最大山高さ（Ｓｐ）は、例えば５ｎｍ以上であることが好ましく、１０ｎｍ以上であることがより好ましい。本離型フィルムの樹脂層Ａ面の最大山高さ（Ｓｐ）を上記範囲内とすることにより、離型フィルムの表面に意図しない大きさの突起が発生することを効果的に抑制しつつ、表面平滑性に優れた離型フィルムを得ることができる。その結果、セラミックグリーンシートの薄膜化が容易となる。

　第２の実施形態では、本離型フィルムの樹脂層Ｂ面の最大山高さ（Ｓｐ）は、２５００ｎｍ以下であることが好ましく、２０００ｎｍ以下であることがより好ましく、１８００ｎｍ以下であることがさらに好ましく、１６００ｎｍ以下であることがよりさらに好ましく、１４００ｎｍ以下であることが一層好ましく、１２００ｎｍ以下であることが特に好ましい。また、本離型フィルムの樹脂層Ｂ面の最大山高さ（Ｓｐ）は、１０ｎｍ以上であることが好ましく、２０ｎｍ以上であることがより好ましく、３０ｎｍ以上であることがさらに好ましく、４０ｎｍ以上であることが一層好ましく、５０ｎｍ以上であることが一層好ましく、６０ｎｍ以上であることが特に好ましい。本離型フィルムの樹脂層Ｂ面の最大山高さ（Ｓｐ）を上記範囲内とすることにより、離型フィルムの取り扱い性を向上させるために必要な粗面が具備され、本離型フィルムの空気漏れ指数を低減することができる。その結果、本離型フィルムは適度な滑り性を発揮することができ、ハンドリング性が向上する。例えば、適度な粗面性を有する離型フィルムは、ロール状に巻き取ることが容易となる。また、樹脂層Ｂ面の最大山高さ（Ｓｐ）を上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。

　また、離型フィルムの樹脂層Ａ面の平均表面粗さ（Ｓａ）に対する最大山高さ（Ｓｐ）の比Ｓｐ／Ｓａは５以上であることが好ましく、１０以上であることがより好ましく、２０以上がさらに好ましく、２５以上がよりさらに好ましい。また、Ｓｐ／Ｓａは４００以下が好ましく、２００以下がより好ましく、１００以下がさらに好ましく、７０以下がよりさらに好ましく、５０以下が一層好ましく、３０以下が特に好ましい。樹脂層Ａ面のＳｐ／Ｓａを上記範囲内とすることにより、薄膜のセラミックグリーンシートが成形し易くなる。

　離型フィルムの樹脂層Ｂ面の算術平均高さ（Ｓａ）に対する最大山高さ（Ｓｐ）の比Ｓｐ／Ｓａは１０以上であることが好ましく、２０以上がより好ましく、３０以上がさらに好ましい。また、Ｓｐ／Ｓａは１５０以下が好ましく、１１０以下がより好ましく、９０以下がさらに好ましく、７０以下がよりさらに好ましい。樹脂層Ｂ面のＳｐ／Ｓａを上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。

〔水滴接触角〕
　樹脂層Ｂ表面の水滴接触角は１０５°以下が好ましく、さらに好ましくは１０３°以下、その中でも特に１００°以下がよい。樹脂層Ｂ表面の水滴接触角を上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。樹脂層Ｂ表面の水滴接触角の下限は特に限定されるものではないが、２０°であることが好ましく、３０°であることが好ましく、４０°であってもよい。樹脂層Ｂ表面の水滴接触角を測定する際には、離型フィルムを２３℃、相対湿度５０％の環境下で２４時間以上調湿した後、自動接触角計（協和界面科学株式会社製、型式ＤＭｏ－５０１）を用いて、６０秒経過後の離型フィルムの樹脂層Ｂ表面（Ｂ面）の水滴接触角を測定する。

〔テープ剥離力〕
　樹脂層Ｂ表面のアクリル粘着テープに対する剥離力は、２０００ｍＮ／ｃｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１５００ｍＮ／ｃｍ以下、さらに好ましくは１３００ｍＮ／ｃｍ以下、一層好ましくは１１００ｍＮ／ｃｍ以下、特に好ましくは１０００ｍＮ／ｃｍ以下である。剥離力を上記範囲内とすることにより、物理的な要因の側面から、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。樹脂層Ｂ表面のアクリル粘着テープに対する剥離力を測定する際には、離型フィルムの樹脂層Ｂの表面（Ｂ面）に粘着テープ（日東電工株式会社製「Ｎｏ．３１Ｂ」、厚み５０μｍ）を２ｋｇゴムローラーにて１往復圧着し、室温にて１時間放置後、株式会社島津製作所製「ＡＧＸ－ｐｌｕｓ」を使用し、引張速度３００ｍｍ／分の条件下、１８０°剥離を行うことで剥離力を測定する。

〔表面固有抵抗〕
　樹脂層Ｂ表面の表面固有抵抗（２３℃±２℃、相対湿度５０±１０％）は、１．０×１０^１２Ω以下であることが好ましく、より好ましくは１．０×１０^１１Ω以下、さらに好ましくは、１．５×１０^１０Ω以下である。樹脂層Ｂ表面の表面固有抵抗を上記範囲内とすることにより、帯電に起因するセラミックグリーンシートの樹脂層Ｂへの貼り付きをより効果的に防止することができる。樹脂層Ｂ表面の表面固有抵抗を測定する際には、離型フィルムを２３℃、相対湿度５０％の環境下で３０分間調湿した後、日東精工アナリテック（株）製高抵抗抵抗率計：ハイレスタＵＸ　ＭＣＰ－ＨＴ８００及び測定電極：ＵＲ－１００を使用し、離型フィルムの樹脂層Ｂの表面（Ｂ面）に印加電圧５００Ｖを加えて測定を行い、１分後の値を表面抵抗率とする。

〔静摩擦係数〕
　樹脂層Ａ表面と樹脂層Ｂ表面との静摩擦係数は、０．５以下であることが好ましく、より好ましくは０．２５以下、さらに好ましくは０．２３以下、よりさらに好ましくは０．２以下、一層好ましくは０．１８以下である。また、樹脂層Ａ表面と樹脂層Ｂ表面との静摩擦係数は０．０５以上であることが好ましい。静摩擦係数を上記範囲内とすることにより、離型フィルムの取り扱い性（ハンドリング性）を高めることができる。

　樹脂層Ａ表面と樹脂層Ｂ表面との動摩擦係数は、０．４以下であることが好ましく、より好ましくは０．２５以下、さらに好ましくは０．２２以下、よりさらに好ましくは０．１９以下、一層好ましくは０．１７以下である。また、樹脂層Ａ表面と樹脂層Ｂ表面との動摩擦係数は０．０５以上であることが好ましい。動摩擦係数を上記範囲内とすることにより、離型フィルムの取り扱い性（ハンドリング性）を高めることができる。樹脂層Ａ表面と樹脂層Ｂ表面との静摩擦係数及び動摩擦係数を測定する際には、幅１０ｍｍ、長さ１００ｍｍの平滑なガラス板上に離型フィルムを貼り付け、その上を幅１８ｍｍ、長さ１２０ｍｍに切り出したもう１枚の離型フィルムを滑らせることで樹脂層Ａ表面（Ａ面）と樹脂層Ｂ表面（Ｂ面）との摩擦力を測定する。具体的には、直径８ｍｍの金属ピンにもう１枚の離型フィルムを押し当て、金属ピンをガラス板の長手方向に、加重３０ｇ、４０ｍｍ／分で滑らせて摩擦力を測定し、滑り出し直後の最大値を静摩擦係数として、４ｍｍから６ｍｍ滑らせた間での摩擦係数の平均値を動摩擦係数として評価する。

〔厚み〕
　本離型フィルムの全体の厚みは、９μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上であり、さらに好ましくは１２μｍ以上である。また、離型フィルムの全体の厚みは、５０μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは４５μｍ以下であり、さらに好ましくは４２μｍ以下である。離型フィルムの厚みを上記範囲内とすることにより、離型フィルムの取り扱い性（ハンドリング性）を高めることができる。また、離型フィルムの厚みを上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。

〔空気漏れ指数〕
　本離型フィルムの空気漏れ指数は８５００秒以下であることが好ましく、８０００秒以下であることがより好ましく、７５００秒以下であることがさらに好ましく、７０００秒以下であることが特に好ましい。空気漏れ指数の下限値は特に限定されるものではないが、例えば１００秒であることが好ましく、３００秒であってもよく、５００秒であってもよく、７００秒であってもよい。本離型フィルムの空気漏れ指数はデジベック平滑度試験機（東洋精機株式会社製、「ＤＢ－２」）を使用し、ＪＩＳ　Ｐ８１１９に準拠して、温度２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下で測定される。加圧装置の圧力は１００ｋＰａ、真空容器は容積３８ｍｌの容器を使用し、１ｍＬの空気が流れる時間、すなわち容器内の圧力が５０．７ｋＰａから４８．０ｋＰａに変化するまでの時間（秒）を計測し、得られた秒数の１０倍を空気漏れ指数とする。本離型フィルムのサンプルサイズは７０ｍｍ四方として、フィルムの表裏が重なるように２０枚を積層し、試験用積層フィルムとし、この試験用積層フィルムの中央に直径５ｍｍの穴を開けて、空気漏れ指数を測定する。本明細書では空気漏れ指数の値が大きいほど、フィルム同士の隙間から空気が漏れるのに時間を要すること示し、フィルム同士がより密に接していることを意味している。このため、空気漏れ指数が上記上限値以下であることは、フィルム間に適度な隙間があることを意味しており、本離型フィルムをロール状に巻き取る際の滑り性を高め、かつロール状フィルムにした時にシワ発生のリスクを低減することができる。

〔空気漏れ指数低減率〕
　本離型フィルムの下記式で算出される空気漏れ指数低減率は５％以上であることが好ましく、１０％以上であることがより好ましく、１３％以上であることがさらに好ましく、１５％以上であることがよりさらに好ましく、２０％以上であることが一層好ましい。空気漏れ指数低減率の上限値は特に限定されるものではないが、例えば９０％であってもよく、８０％であってもよく、７０％であってもよい。
　空気漏れ指数低減率（％）＝１００－対象離型フィルムの空気漏れ指数／バージンポリエステルフィルムの空気漏れ指数×１００
　上記式中のバージンポリエステルフィルムとは、ポリエステルフィルムに含まれる再生ポリエステル樹脂を全てバージンポリエステル樹脂（リサイクルされていないポリエステル樹脂）に置き換えて構成されたフィルムである。空気漏れ指数低減率が上記下限値以上であることは、フィルム間に適度な隙間があることを意味しており、本離型フィルムをロール状に巻き取る際の滑り性を高め、かつロール状フィルムにした時にシワ発生のリスクを低減することができる。

〔融解ピーク温度（Ｔｍ）〕
　本離型フィルムの融解ピーク温度（Ｔｍ）は２３０℃以上であることが好ましく、２３５℃以上であることがより好ましく、２４０℃以上であることがさらに好ましく、２４５℃以上であることがよりさらに好ましい。また、本離型フィルムの融解ピーク温度（Ｔｍ）は２７０℃以下であることが好ましく、２６０℃以下であることがより好ましく、２５６℃以下であることがさらに好ましく、２５４℃以下であることが特に好ましい。本離型フィルムの融解ピーク温度（Ｔｍ）を上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。

〔融解ピーク熱量（ΔＨｍ）〕
　本離型フィルムの融解ピーク熱量（ΔＨｍ）は、１８Ｊ／ｇ以上であることが好ましく、２２Ｊ／ｇ以上であることがより好ましく、２５Ｊ／ｇ以上であることがさらに好ましく、２７Ｊ／ｇ以上であることがよりさらに好ましい。また、本離型フィルムの融解ピーク熱量（ΔＨｍ）は、５０Ｊ／ｇ以下であることが好ましく、４５Ｊ／ｇ以下であることがより好ましく、４０Ｊ／ｇ以下であることがさらに好ましく、３８Ｊ／ｇ以下であることが一層好ましく、３６Ｊ／ｇ以下であることが特に好ましい。本離型フィルムの融解ピーク熱量（ΔＨｍ）を上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。

　本離型フィルムの融解ピーク温度（Ｔｍ）及び融解ピーク熱量（ΔＨｍ）は、例えば、株式会社島津製作所製の示差走査熱量計（ＤＳＣ６０）を用いて測定することができる。測定条件は以下のとおりとし、（１）における融解ピーク温度（Ｔｍ：結晶融解の吸熱曲線のピークトップ温度）、融解ピーク熱量（ΔＨｍ：結晶融解の吸熱曲線のピーク熱量）を求める。
（１）２０℃から３００℃に１０℃／ｍｉｎで昇温
（２）３００℃で５分間保持
（３）２０℃に６００℃／ｍｉｎで降温
（４）２０℃で５分間保持
（５）２０℃から３００℃に１０℃／ｍｉｎで昇温
（６）３００℃で５分間保持
（７）２０℃に６００℃／ｍｉｎで降温

〔ガス密度〕
　本離型フィルムのガス密度は、１．４０００ｇ／ｃｍ^３以上であることが好ましく、１．４０１５ｇ／ｃｍ^３以上であることがより好ましく、１．４０２０ｇ／ｃｍ^３以上であることがさらに好ましい。また、本離型フィルムの密度は、１．４１００ｇ／ｃｍ^３以下であることが好ましく、１．４０７５ｇ／ｃｍ^３以下であることがより好ましく、１．４０６０以下であることがさらに好ましく、１．４０５０ｇ／ｃｍ^３以下であることがよりさらに好ましい。本離型フィルムの密度を上記範囲内とすることにより、ポリエステルフィルムの耐熱性や耐溶剤性、柔軟性を両立でき、加工性や表面性状に優れたポリエステルフィルムが得られやすくなる。その結果、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。
　また、リサイクル原料を用いると本離型フィルムのガス密度が低くなる傾向があるが、ガス密度を低くなりすぎないように制御することで、セラミックグリーンシートの貼り付き防止性の低下を抑制しやすくなる。具体的には、原料としてケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含む原料を用いることで、本離型フィルムのガス密度の低下を抑制することが容易となり好ましい。

〔熱収縮率〕
　積層セラミックコンデンサーの製造工程には、ポリエステルフィルムに塗工した樹脂組成物等を乾燥させる処理や、離型フィルムに塗工したセラミックスラリーを乾燥させる処理など、熱処理を施す工程が含まれるため、ポリエステルフィルムの耐熱変形性の低下は塗工斑や皺等を誘発する要因ともなり得る。すなわち、離型フィルムの耐熱変形性は積層セラミックコンデンサーの製造工程における中間仕掛品から最終製品の品質信頼性、例えばセラミックグリーンシートの積層特性などを担保する上で重要な特性の一つである。本離型フィルムは、かかる塗工斑や皺を抑制する観点から、１５０℃、５分間熱処理したときの縦方向(ＭＤ方向)の熱収縮率が、好ましくは５％以下であり、より好ましくは４％以下、さらに好ましくは３％以下、よりさらに好ましくは２．５％以下、特に好ましくは２％以下である。当該縦方向（ＭＤ方向）方向の熱収縮率（１５０℃、５分間）の下限値は、同様の観点から、好ましくは－０．５％以上、より好ましくは－０．３％以上である。

　また、本離型フィルムの１５０℃、５分間熱処理したときの横方向(ＴＤ)の熱収縮率は、塗工斑や皺を抑制する観点から、好ましくは３％以下であり、より好ましくは２．５％以下、さらにより好ましくは２％以下、よりさらに好ましくは１．５％以下、特に好ましくは１％以下である。当該横方向（ＴＤ）方向の熱収縮率の下限値は、同様の観点から、好ましくは－０．５％以上、より好ましくは－０．３％以上である。

　なお、本離型フィルムの熱収縮率（１５０℃、５分間熱）を両立させるためには、例えば、製膜条件（特には縦延伸温度、横延伸倍率、熱固定温度、ロールの周速度、弛緩率等）、製膜原料等を適宜設定することなどが挙げられる。なお、本離型フィルムの熱収縮率（１５０℃、５分間熱）は、以下の式で算出される。
　熱収縮率（％）＝｛（熱処理前の評価用フィルムの長さ）－（熱処理後の評価用フィルムの長さ）｝／（熱処理前の評価用フィルムの長さ）×１００

　本離型フィルムの１５０℃で５分加熱した際のＭＤ方向の熱収縮率を、ポリエステルフィルムの固有粘度で除した値（％／（ｄＬ／ｇ））は１％／（ｄＬ／ｇ）以上であることが好ましく、２％／（ｄＬ／ｇ）以上であることがより好ましく、２．８％／（ｄＬ／ｇ）以上であることがさらに好ましい。また、ＭＤ方向の熱収縮率を、ポリエステルフィルムの固有粘度で除した値（％／（ｄＬ／ｇ））は８％／（ｄＬ／ｇ）以下であることが好ましく、６％／（ｄＬ／ｇ）以下であることがより好ましく、４％／（ｄＬ／ｇ）以下であることがさらに好ましく、３．５％／（ｄＬ／ｇ）以下であることがよりさらに好ましい。

　本離型フィルムの１５０℃で５分加熱した際のＴＤ方向の熱収縮率を、ポリエステルフィルムの固有粘度で除した値（％／（ｄＬ／ｇ））は０．５％／（ｄＬ／ｇ）以上であることが好ましく、１％／（ｄＬ／ｇ）以上であることがより好ましく、１．７％／（ｄＬ／ｇ）以上であることがさらに好ましい。また、ＴＤ方向の熱収縮率を、ポリエステルフィルムの固有粘度で除した値（％／（ｄＬ／ｇ））は６％／（ｄＬ／ｇ）以下であることが好ましく、４％／（ｄＬ／ｇ）以下であることがより好ましく、３％／（ｄＬ／ｇ）以下であることがさらに好ましく、２．５％／（ｄＬ／ｇ）以下であることがよりさらに好ましい。
　１５０℃で５分加熱した際の各方向の熱収縮率を、固有粘度で除した値を上記範囲内とすることにより、ポリエステルフィルムの耐熱変形性をより効果的に高めることができその結果、寸法安定性を高め、塗工斑や皺の発生等を抑制することができる。また、１５０℃で５分加熱した際の各方向の熱収縮率を、固有粘度で除した値を上記範囲内とすることにより、樹脂層Ｂに対するセラミックグリーンシートの貼り付き防止性をより効果的に高めることができる。

＜＜＜用途＞＞＞
　本実施形態の離型フィルムは、セラミックグリーンシート成形用として好適である。本実施形態の離型フィルムは、積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として好ましく用いられる。中でも、本実施形態の離型フィルムは、自動車用セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられることが好ましい。本実施形態の離型フィルムは、特に、薄膜セラミックグリーンシート成形用として好適であり、薄膜セラミックグリーンシートの厚み（乾燥後）は２μｍ以下であってもよく、１μｍ以下であってもよく、０．５μｍ以下であってもよい。

　とりわけ、本実施形態の離型フィルムは厚み（乾燥後）が２μｍ以下の薄膜セラミックグリーンシートが積層された状態で巻き取られた場合であっても、裏面（反離型面）にセラミックグリーンシートが貼りつかず、巻き取り性や巻き出し性に優れる離型フィルムである。本実施形態では離型フィルムの樹脂層Ａ上に薄膜セラミックグリーンシートが積層される。この状態でロール状に巻き取られた場合、薄膜セラミックグリーンシートと樹脂層Ｂが積層されることになるが、本実施形態では、樹脂層Ｂへセラミックグリーンシートが貼り付くことが抑制されている。このため、巻き取り性や巻き出し性に優れ、取り扱い性に優れた離型フィルムを提供することができる。

　また、第２の実施形態では、離型フィルムの空気漏れ指数が小さく抑えられているため、例えばセラミックグリーンシート成形用として用いれば、ロール状に巻き取る際の巻き取り性を良好にすることができる。また、離型フィルムの空気漏れ指数を小さくすることで、離型フィルムをロール状に巻き取る際にも、良好な巻取り性を発揮し、シワが発生しにくくなるという利点がある。

　さらに、本実施形態の離型フィルムは、その厚みが適度に薄膜であることから、離型フィルムの長尺化にも対応可能であり、加工時における離型フィルムロールの切替頻度低減による生産性向上にも寄与できる。

　本実施形態は、上述した離型フィルムの樹脂層Ａ上にセラミックグリーンシートを積層した、セラミックグリーンシート付き離型フィルムに関するものであってもよく、自動車用セラミックコンデンサーの製造工程において用いられるセラミックグリーンシート付き離型フィルムに関するものであってもよい。セラミックグリーンシート付き離型フィルムは、積層セラミックコンデンサーの製造工程において用いられる。また、セラミックグリーンシートの厚み（乾燥後）は２μｍ以下であってもよく、１μｍ以下であってもよく、０．５μｍ以下であってもよい。

　本実施形態は、上述したポリエステルフィルムの、積層セラミックコンデンサーの製造工程におけるセラミックグリーンシートの支持体としての使用に関するものであってもよい。また、本実施形態は、上述したポリエステルフィルムの表面層側に、セラミック成分を含むセラミックスラリーを塗工する工程を有する、セラミックグリーンシートの製造方法に関するものであってもよい。

　以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明する。
　ただし、本発明は、その要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。

＜評価方法＞
　（１）ポリエステルフィルムの固有粘度（ＩＶ）
　ポリエステルに非相溶な成分を除去したポリエステルフィルム１ｇを精秤し、フェノール／テトラクロロエタン＝５０／５０（質量比）の混合溶媒１００ｍＬを加えて溶解させ、粘度測定装置「ＶＭＳ－０２２ＵＰＣ・Ｆ１０」（株式会社離合社製）を用いて、固有粘度（ＩＶ）を３０℃で測定した。

　（２）粒子の平均粒径（平均一次粒径）
　粒子の平均粒径は、１０個以上の粒子の直径を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察して測定し、その平均値として求めた。その際、非球状粒子の場合は、最長径と最短径の平均値を各粒子の直径として測定した。

　（３）樹脂層の膜厚測定方法
　樹脂層表面をＲｕＯ_４で染色し、エポキシ樹脂中に包埋した。その後、超薄切片法により作製した切片をＲｕＯ_４で染色し、樹脂層断面の厚みをＴＥＭ（株式会社日立ハイテクノロジーズ製　Ｈ－７６５０、加速電圧１００Ｖ）を用いて測定した。

　（４）水滴接触角
　離型フィルムを２３℃、相対湿度５０％の環境下で２４時間以上調湿した。その後、自動接触角計（協和界面科学株式会社製、型式ＤＭｏ－５０１）を用いて、６０秒経過後の離型フィルムの樹脂層Ｂ表面（Ｂ面）の水滴接触角を測定した。

　（５）テープ剥離力
　離型フィルムの樹脂層Ｂの表面（Ｂ面）に粘着テープ（日東電工株式会社製「Ｎｏ．３１Ｂ」、厚み５０μｍ）を２ｋｇゴムローラーにて１往復圧着し、室温にて１時間放置後の剥離力を測定した。剥離力の測定の際には、株式会社島津製作所製「ＡＧＸ－ｐｌｕｓ」を使用し、引張速度３００ｍｍ／分の条件下、１８０°剥離を行った。

　（６）表面固有抵抗
　離型フィルムを２３℃、相対湿度５０％の環境下で３０分間調湿した。その後、日東精工アナリテック（株）株式会社製高抵抗抵抗率計：ハイレスタＵＸ　ＭＣＰ－ＨＴ８００及び測定電極：ＵＲ－１００を使用し、離型フィルムの樹脂層Ｂの表面（Ｂ面）に印加電圧５００Ｖを加えて測定を行い、１分後の値を表面固有抵抗値とした。抵抗値が測定可能な範囲の上限を超えていた場合は測定不可とした。

　（７）算術平均高さ（Ｓａ）、最大山高さ（Ｓｐ）
　測定面（樹脂層Ａ表面及び樹脂層Ｂ表面）の算術平均高さ（Ｓａ）及び最大山高さ（Ｓｐ）を以下のようにして測定した。株式会社菱化システム製、非接触表面・層断面形状計測システムＶｅｒｔＳｃａｎ（登録商標）Ｒ５５０ＧＭＬを使用して、ＣＣＤカメラ：ＳＯＮＹＨＲ－５０１／３’、対物レンズ：２０倍、鏡筒：１ＸＢｏｄｙ、ズームレンズ：ＮｏＲｅｌａｙ、波長フィルター：５３０ｗｈｉｔｅ、測定モード：Ｗａｖｅにて、６４０μｍ ×４８０μｍの測定面の領域を測定した。４次の多項式補正による出力を用い、各面の算術平均高さ（Ｓａ）及び最大山高さ（Ｓｐ）について１０点平均値を求めた。

　（８）静摩擦係数／動摩擦係数
　離型フィルムの樹脂層Ａ表面（Ａ面）と樹脂層Ｂ表面（Ｂ面）との静摩擦係数を以下の方法で求めた。幅１０ｍｍ、長さ１００ｍｍの平滑なガラス板上に離型フィルムを貼り付け、その上を幅１８ｍｍ、長さ１２０ｍｍに切り出したもう１枚の離型フィルムを滑らせることで樹脂層Ａ表面（Ａ面）と樹脂層Ｂ表面（Ｂ面）との摩擦力を測定した。具体的には、直径８ｍｍの金属ピンにもう１枚の離型フィルムを押し当て、金属ピンをガラス板の長手方向に、加重３０ｇ、４０ｍｍ／分で滑らせて摩擦力を測定し、滑り出し直後の最大値を静摩擦係数として、４ｍｍから６ｍｍ滑らせた間での摩擦係数の平均値を動摩擦係数として評価した。なお、測定は、室温２３±１℃、相対湿度５０±０．５％の雰囲気下で行った。また、測定回数（Ｎ）は１０回とし、その平均値を採用した。
　静摩擦係数（μｓ）＝Ｆｓ／おもり荷重
（上記式中、ＦｓとＦｄの単位はｇ重、おもり荷重の単位はｇ重である）
　なお、樹脂層Ｂを設けていない比較例は、Ｂ面の代わりに、ポリエステルフィルムの露出面を用いて評価した。

　（９）セラミックスラリー塗布性
　下記、材料からなる組成物を攪拌混合し、直径０．５ｍｍのジルコニアビーズを分散質とするペイントシェーカーを用いて６０分間分散し、セラミックスラリーを得た。
トルエン３９．８４質量部
エタノール３９．８４質量部
チタン酸バリウム（富士チタン社株式会社製ＨＰＢＴ―１）１７．６５質量部
ポリビニルブチラール（積水化学工業株式会社製エスレックＢＭ－Ｓ）１．７７質量部
ＤＯＰ（フタル酸ジオクチル）０．９０質量部
　次いで得られたセラミックスラリーを、離型フィルムの樹脂層Ａ面（離型面）にアプリケーターを用いて乾燥後の厚みが１．０μｍの厚みになるように塗布し、９０℃で２分乾燥し、セラミックグリーンシートを樹脂層Ａ面上に成形した。
　セラミックスラリーの塗布性を下記判定基準により、判定を行った。
（判定基準）
Ａ：塗布性良好
Ｂ：幅縮みがあるが塗布可能
Ｃ：塗布性不良（はじき発生）

　（１０）セラミックグリーンシート剥離性
　（９）項で得られた樹脂層Ｂ／ポリエステルフィルム／樹脂層Ａ／セラミックグリーンシートの構成からなる試料サンプルにおいて、セラミックグリーンシートを樹脂層Ａ面から剥離させた。
　その時の剥離状況を下記判定基準により、判定を行った。
（判定基準）
Ａ：剥離性良好
Ｂ：剥離性不良（セラミックグリーンシートが一部、残留する）

　（１１）セラミックグリーンシート貼り付き防止性
　（９）項で得られたセラミックスラリーを、離型フィルムの樹脂層Ａ面（離型面）にアプリケーターを用いて乾燥後の厚みが１．０μｍの厚みになるように塗布し、９０℃で２分乾燥し、セラミックグリーンシートを樹脂層Ａ面上に成形した。このようにして得られた樹脂層Ｂ／ポリエステルフィルム／樹脂層Ａ／セラミックグリーンシートの構成からなる試料サンプルを同方向に２枚重ね、上下からプレス圧（８．２ＭＰa）を５時間加えた。その後、２枚を剥離した際、セラミックグリーンシートと樹脂層Ｂとの間の剥離程度（貼り付き防止性）を下記判定基準により、官能評価した。なお、樹脂層Ａを設けていない比較例は、Ａ面の代わりに、ポリエステルフィルムの露出面上にセラミックスラリーを塗布した。
（判定基準）
Ａ：セラミックグリーンシートが樹脂層Ｂから容易に剥離可能
Ｂ：セラミックグリーンシートが樹脂層Ｂから剥離可能であるがまれに剥がせない場合がある
Ｃ：セラミックグリーンシートが樹脂層Ｂから剥離困難（貼り付きが確認できる）

　（１２）セラミックグリーンシート剥離時の帯電量
　（１１）項で作製した２枚重ねのサンプルを用いて、樹脂層Ｂからセラミックグリーンシートを剥離させる際の静電気量を春日電機株式会社製ＫＳＤ―１０００の装置を用いて測定し、剥離させる際の静電気量の最大値をセラミックグリーンシート剥離時の帯電量とした。セラミックグリーンシートを剥離させる際の剥離角度は９０度、剥離速度は４ｃｍ／秒とした。また、帯電量の測定は、２０℃、相対湿度５０％の環境下で行った。
　セラミックグリーンシート剥離時の帯電量の測定は１０回行い、その平均値を算出した。

　（１３）空気漏れ指数
　デジベック平滑度試験機（東洋精機株式会社製、「ＤＢ－２」）を使用し、ＪＩＳ　Ｐ８１１９に準拠して、温度２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下で離型フィルムの空気漏れ指数を測定した。加圧装置の圧力は１００ｋＰａ、真空容器は容積３８ｍｌの容器を使用し、１ｍＬの空気が流れる時間、すなわち容器内の圧力が５０．７ｋＰａから４８．０ｋＰａに変化するまでの時間（秒）を計測し、得られた秒数の１０倍を空気漏れ指数とした。離型フィルムのサンプルサイズは７０ｍｍ四方として、離型フィルムの表裏が重なるように２０枚を積層し、試験用積層フィルムとした。そして、この試験用積層フィルムの中央に直径５ｍｍの穴を開けて、前述の通り、空気漏れ指数を測定した。この空気漏れ指数の値が大きいほど、フィルム同士の隙間から空気が漏れるのに時間を要するので、フィルム同士がより密に接していることを示しており、ロール状フィルムにした時にシワが発生しやすくなること示す。
　また、以下の式を用いて空気漏れ指数低減率を算出した。
　空気漏れ指数低減率（％）＝１００－対象離型フィルムの空気漏れ指数／バージン離型フィルムの空気漏れ指数×１００
　上記式におけるバージン離型フィルムの空気漏れ指数は比較例１０５で得られたポリエステルフィルムの空気漏れ指数である。

　（１４）Ｔｍ（融解ピーク温度）、ΔＨｍ（融解ピーク熱量）
　離型フィルムから切り取った試料８ｍｇについて、株式会社島津製作所製の示差走査熱量計（ＤＳＣ８５００）を用いて測定を行った。
試料温度は、
（１）２０℃から３００℃に１０℃／ｍｉｎで昇温
（２）３００℃で５分間保持
（３）２０℃に６００℃／ｍｉｎで降温
（４）２０℃で５分間保持
（５）２０℃から３００℃に１０℃／ｍｉｎで昇温
（６）３００℃で５分間保持
（７）２０℃に６００℃／ｍｉｎで降温
の順で走査し、（１）における融解ピーク温度（Ｔｍ：結晶融解の吸熱曲線のピークトップ温度）、融解ピーク熱量（ΔＨｍ：結晶融解の吸熱曲線のピーク熱量）を求めた。

（１５）ガス密度
　株式会社島津製作所製Ａｃｃｕｐｙｃ１３３０（乾式自動密度計）を用いて離型フィルムのガス密度を測定した。以下の測定条件とし、測定サンプルの各離型フィルムは３０分以上真空乾燥させたのち測定した。
・測定温度：２３℃
・測定時使用セル：１０ｃｍ^３
・使用ガス：ヘリウムガス（純度＞９９．９９９９５体積％）

（１６）熱収縮率
　離型フィルム（幅１．５ｃｍ×長さ１５ｃｍ）を評価用フィルムとして、無張力状態で所定の温度（１５０℃）に保った熱風式オーブン中、５分間熱処理を施し、その前後の評価用フィルムの長さ方向の長さを測定して下記式にて熱収縮率を算出した。なお、離型フィルムの縦方向（ＭＤ）と横方向（ＴＤ）のそれぞれについて熱収縮率を測定した。ＭＤの熱収縮率は長さ方向がＭＤとなるように、ＴＤの熱収縮率は長さ方向がＴＤとなるようにして測定した。
　熱収縮率（％）＝｛（熱処理前の評価用フィルムの長さ）－（熱処理後の評価用フィルムの長さ）｝／（熱処理前の評価用フィルムの長さ）×１００

（１７）ポリエステルフィルム中に含まれるテレフタル酸及びイソフタル酸成分の含有率
　クロロホルムＤ（Ｅｕｒｉｓｏｔｏｐ社製）とトリフルオロ酢酸Ｄ１（ユーリソップ社製）を１０：１（体積比）で混合した溶媒に原料ポリエステルを溶解させて、試料溶液を調製し、ＮＭＲ（「ＧＥＭＩＮＩ－２００」；Ｖａｒｉａｎ社製）を用いて、温度２３℃、積算回数６４回の測定条件で試料溶液のプロトンのＮＭＲを測定した。ＮＭＲ測定では、所定のプロトンのピーク強度を算出して、酸成分１００モル％中のテレフタル酸成分およびイソフタル酸成分の含有率（モル％）を算出した。

＜使用した材料（第１の実施形態）＞
　実施例１～３及び比較例１～４において使用したポリエステルは、以下のとおりである。

（１）ポリエステルＡの製造
　ジメチルテレフタレート１００質量部及びエチレングリコール６５質量部を、攪拌装置、昇温装置及び留出液分離塔を備えたエステル交換反応槽に仕込み、１５０℃に加熱してジメチルテレフタレートを溶融させた。

　次いで、得られるポリエステルに対して酢酸マグネシウムの添加量が０．０９質量％となるように、酢酸マグネシウム四水塩のエチレングリコール溶液を添加した。
　その後、常圧下で３時間かけて２２５℃まで昇温させ、更に２２５℃で１時間１５分間攪拌保持すると共にメタノールを留去しながらエステル交換反応を行ない、実質的にエステル交換反応を終了してポリエステル低重合体（オリゴマー）を得た。

　次いで、上記オリゴマーを留出管を備えた攪拌機付き重縮合反応槽へ移送した。得られるポリエステル樹脂分に対して酢酸マグネシウムの添加量が０．０９質量％となるように、酢酸マグネシウム四水塩のエチレングリコール溶液を、移送後のオリゴマーに添加した。その後、得られるポリエステルに対してリン酸の添加量が０．０１７質量％となるように、熱安定剤としてリン酸のエチレングリコール溶液を添加した。

　次いで、得られるポリエステルに対してチタン原子が４．５質量ｐｐｍとなるように、重縮合触媒としてテトラブチルチタネートのエチレングリコール溶液を、オリゴマーに添加した。その後、１０１．３ｋＰａから０．４ｋＰａまで８５分間で減圧し０．４ｋＰａに保持するとともに、２２５℃から２８０℃まで２時間かけて昇温させ２８０℃で１．５時間保持して溶融重縮合反応を行い、固有粘度（ＩＶ）が０．６３ｄｌ／ｇのポリエステルＡを得た。

（２）ポリエステルＢの製造
　後述する実質的に粒子を含有しないポリエステルＤ中に、平均一次粒径０．７μｍの炭酸カルシウム粒子を２．０質量％し、ベント式二軸混練機を用いて練り込みポリエステルＢを得た。

（３）ポリエステルＣの製造
　上記ポリエステルＡの製造において、得られるポリエステルに対してチタン原子が２１０質量ｐｐｍとなるようにテトラブチルチタネートを添加し、固相重合させた以外はポリエステルＡの製造方法と同様にして、固有粘度（ＩＶ）が０．７０ｄｌ／ｇのポリエステルＣを得た。

（４）ポリエステルＤの製造
　上記ポリエステルＡの製造において、得られるポリエステルに対してチタン原子が２１０質量ｐｐｍとなるようにテトラブチルチタネートを添加し、固相重合させた以外はポリエステルＡと同様にして、固有粘度（ＩＶ）が０．６３ｄｌ／ｇのポリエステルＤを得た。

（５）ポリエステルＥの製造
　上記の実質的に粒子を含有しないポリエステルＤ中に、平均一次粒径０．３μｍの有機粒子（（Ｄ９０－Ｄ１０）／Ｄ５０＝０．４６：ジビニルベンゼン・エチルスチレン・メタクリル酸・スチレン共重合物）を１．０質量％添加し、ベント式二軸混練機を用いて練り込みポリエステルＥを得た。

（６）ポリエステルＦの製造
　上記の実質的に粒子を含有しないポリエステルＤ中に、平均一次粒径０．０６μｍのアルミナ粒子を０．７５質量％添加し、ベント式二軸混練機を用いて練り込みポリエステルＦを得た。

（７）ポリエステルＧの製造
　上記の実質的に粒子を含有しないポリエステルＣ中に、平均一次粒径０．１μｍのシリカ粒子を１．０質量％添加し、ベント式二軸混練機を用いて練り込みポリエステルＧを得た。

　下記表１に示す組成にて撹拌混合して得られる樹脂組成物を水で希釈して、塗布液１～９を調製した。使用した化合物は以下のとおりである。

　（Ａ１）：長鎖アルキル基含有化合物
　平均重合度５００、ケン化度８８モル％のポリビニルアルコールにオクタデシルイソシアネートを付加させた長鎖アルキル基含有化合物。

　（Ａ２）：ワックス
　下記方法で得たワックスエマルション。
　攪拌機、温度計、温度コントローラーを備えた内容量１．５Ｌの乳化設備に融点１０５℃、酸価１６ｍｇＫＯＨ／ｇ、密度０．９３ｇ／ｍＬ、平均分子量５０００の酸化ポリエチレンワックス３００ｇ、イオン交換水６５０ｇ、デカグリセリンモノオレエート界面活性剤５０ｇ及び４８％水酸化カリウム水溶液１０ｇを加え窒素で置換後、密封し１５０℃で１時間高速攪拌した後、１３０℃に冷却し、４００気圧下の高圧ホモジナイザーに通過させ、４０℃に冷却することでワックスエマルションを得た。

　（Ａ３）：フッ素化合物
　下記組成で重合したフッ素化合物の水分散体。
　オクタデシルアクリレート／パーフルオロヘキシルエチルメタクリレート／塩化ビニル＝６６／１７／１７（質量％）

　（Ｂ１）：バインダー樹脂（アクリル樹脂）
　下記組成で重合したアクリル樹脂の水分散体。
　エチルアクリレート／ｎ－ブチルアクリレート／メチルメタクリレート／Ｎ－メチロールアクリルアミド／アクリル酸＝６５／２１／１０／２／２（質量％）の乳化重合体（乳化剤：アニオン系界面活性剤）

　（Ｂ２）：バインダー樹脂（アクリル樹脂）
　下記組成で重合したアクリル樹脂とオキサゾリン化合物の混合物の水分散体。
　メチルメタクリレート／エチルアクリレート＝６４／３６（質量％）から形成されるアクリル樹脂が９０質量部、オキサゾリン化合物が１０質量部の割合で混合された混合物。

　（Ｂ３）：バインダー樹脂（ポリエステル樹脂）
　下記組成で共重合したポリエステル樹脂の水分散体。
　　モノマー組成：（酸成分）テレフタル酸／イソフタル酸／５－ソジウムスルホイソフタル酸／／（ジオール成分）エチレングリコール／１，４－ブタンジオール／ジエチレングリコール＝５６／４０／４／／７０／２０／１０（ｍｏｌ％）

　（Ｂ４）：バインダー樹脂（ウレタン樹脂）
　テレフタル酸２８２質量部、イソフタル酸２８２質量部、エチレングリコール６２質量部、及びネオペンチルグリコール２５０質量部を成分とするポリエステルポリオールを（Ｃ１ａ）としたとき、（Ｃ１ａ）８７６質量部、トリレンジイソシアネート２４４質量部、エチレングリコール８１質量部、及びジメチロールプロピオン酸６７質量部を構成成分としたポリエステルポリウレタンをアンモニアで中和して水分散させたもの（濃度２０質量％、２５℃での粘度５０ｍＰａ・ｓ）

　（Ｂ５）：バインダー樹脂（ＰＥＯ樹脂）
　下記式でｎ＝２であるポリグリセリン骨格へ、ポリエチレンオキサイドが平均４０分子付加した化合物

（Ｂ６）：バインダー樹脂（ポリエステル樹脂）
　下記組成で共重合したポリエステル樹脂の水分散体。
　　モノマー組成：（酸成分）テレフタル酸／イソフタル酸／スルホイソフタル酸／／（ジオール成分）エチレングリコール／ネオペンチルグリコール＝４９／４８／３／／５０／５０（ｍｏｌ％）

（Ｂ７）：バインダー樹脂（ポリエステル樹脂）
　下記組成で共重合したポリエステル樹脂の水分散体。
　　モノマー組成：（酸成分）２，６－ナフタレンジカルボン酸／５－ソジウムスルホイソフタル酸／／（ジオール成分）エチレングリコール／ジエチレングリコール＝９２／８／／８０／２０（ｍｏｌ％）

　（Ｃ１）：帯電防止剤
　主鎖にピロリジニウム環を有する下記組成で重合したポリマー。
　ジアリルジメチルアンモニウムクロライド／ジメチルアクリルアミド／Ｎ－メチロールアクリルアミド＝９０／５／５（ｍｏｌ％）。数平均分子量約３００００。

　（Ｃ２）：帯電防止剤　ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ
　ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルホン酸からなる導電剤（アグファゲバルト社製　Ｏｒｇａｃｏｎ　ＩＣＰ１０１０）を濃アンモニア水で中和してｐＨ＝９とした導電剤（不揮発成分；１．２質量％、溶媒；水）。

　（Ｄ１）：架橋剤
　メラミン化合物：ヘキサメトキシメチロールメラミン

　（Ｄ２）：架橋剤
　エポキシ化合物：ポリグリセロールポリグリシジルエーテル

　（Ｅ１）：界面活性剤
　下記式に示す、側鎖にポリエチレンオキサイドを有する構造のノニオン性界面活性剤

　（Ｅ２）：界面活性剤
　疎水性基に分岐パーフルオロアルケニル基、親水性基にポリエチレンオキサイド鎖（平均鎖長８単位）を有する構造のフッ素系ノニオン性界面活性剤

　（Ｆ）：粒子
　平均粒径（一次平均粒子径）０．０７μｍのシリカ粒子

（実施例１）
　ポリエステルＣを８８％、ポリエステルＧを８％、ポリエステルＦを４％の質量割合でブレンドした原料を表面層Ａの原料とし、ポリエステルＤが１００％の原料を中間層Ｂの原料とし、ポリエステルＤを２８％、ポリエステルＢを２２％、ポリエステルＥを５０％の質量割合でブレンドした原料を表面層Ｃの原料として、ベント付き押出機にそれぞれ供給し、２９０℃で溶融した。その後、表面層Ａ、Ｃの原料を最外層（表面層）、中間層Ｂの原料を中間層とする３種三層（Ａ／Ｂ／Ｃ）の層構成で、厚み構成比がＡ／Ｂ／Ｃ＝４／２５．５／１．５となるよう共押出した。静電印加密着法を用いて表面温度を４０℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得た。この際、表面層Ｃが冷却ロールと接する側とした。

　次いで、ロール周速差を利用してフィルム温度８６℃で縦方向に、すなわちＭＤ方向に３．５倍延伸した後、表１に記載の塗布液１及び塗布液２を各々、フィルム両面に塗布した。その後、テンターに導き、横方向、すなわちＴＤ方向に１０５℃で４．２倍延伸し、２３０℃で熱処理を行った後、フィルムを芯にロール状に巻き上げ、厚さ約３１μｍの離型フィルムを得た。

（実施例２～実施例５）及び（比較例１～比較例３）
　表２に記載の塗布液に変更し、表面層Ｃの厚みを表２に記載のとおりとした以外は、実施例１と同様に製造し、厚さ約３１μｍの離型フィルムを得た。

（比較例４）
　実施例１において、表面層Ｃ（樹脂層Ｂ）を設けない以外は、実施例１と同様に製造し、厚さ約３１μｍの離型フィルムを得た。

　表２に示される結果より、実施例では、薄膜のセラミックグリーンシートの裏面（反離型面）への貼り付き防止効果が良好であることがわかった。このため、本実施形態の離型フィルムをロール状に巻き取った場合であっても、セラミックグリーンシートが離型フィルムの裏面（反離型面）へ貼り付くことなく、巻き出し性が良好となる。
　離型フィルムの裏面（反離型面）に、セラミックグリーンシートが貼りつく現象の要因を考察すると、１）物理的な要因の観点からは、フィルム裏面（反離型面）とセラミックグリーンシートの接着力と、２）静電気的な要因の観点からは、剥離帯電に起因するものとが考えられる。１）物理的な要因に対する対策としては、接着性の低減、より具体的には離型性付与が考えられる。また、２）静電気的な要因に対する対策としては、適度な帯電防止性付与が考えられる。セラミックグリーンシートの裏面（反離型面）への貼り付き防止としては、まず、帯電防止性付与が必要であり、より好ましくは、適度な離型性と帯電防止性との両立が必要であることがわかった。
　一方、比較例１～３はいずれも帯電防止剤を使用しない樹脂層を反離型面に備えた離型フィルムの構成例であり、離型剤のみによる、単なる剥離性付与だけでは、粘着テープに対する剥離力評価結果からも読み取れるように、剥離力の大小に関わらず、裏面（反離型面）へのセラミックグリーンシートの貼り付きを防止するのが困難であった。

＜使用した材料（第２の実施形態）＞
　実施例１０１～１０８及び比較例１０１～１０６において使用したポリエステルは、以下のとおりである。

（１）ポリエステルＡ：ＰＥＴボトル由来のケミカルリサイクルポリエチレンテレフタレート（固有粘度０．６２ｄＬ／ｇ、全ジカルボン酸単位１００モル％に対するイソフタル酸単位含有率１．８モル％、全ジオール単位１００モル％に対するジエチレングリコール単位含有率１．３モル％）
（２）ポリエステルＢ：ＰＥＴボトル由来のマテリアルリサイクルポリエチレンテレフタレート、ウツミリサイクルシステムズ社製「ＵＫ－３１」（固有粘度０．７１１ｄｌ／ｇ、全ジカルボン酸単位１００モル％に対するイソフタル酸単位含有率１．４モル％、全グリコール単位１００モル％に対するジエチレングリコール単位含有率２．２９モル％）
（３）ポリエステルＣ：ホモポリエチレンテレフタレート（アンチモン系触媒）に０．７μｍ炭酸カルシウム粒子を２．０質量％配合したマスターバッチ（固有粘度０．６１ｄＬ／ｇ）
（４）ポリエステルＤ：ホモポリエチレンテレフタレート（チタン系触媒、固有粘度０．６３ｄＬ／ｇ）

　次に、下記表１に示す組成にて撹拌混合して得られる樹脂組成物を水で希釈して、塗布液１～６を調製した。

　（Ａ２）：ワックス
　下記方法で得たワックスエマルション。
　撹拌機、温度計、温度コントローラーを備えた内容量１．５Ｌの乳化設備に融点１０５℃、酸価１６ｍｇＫＯＨ／ｇ、密度０．９３ｇ／ｍＬ、平均分子量５０００の酸化ポリエチレンワックス３００ｇ、イオン交換水６５０ｇ、デカグリセリンモノオレエート界面活性剤５０ｇ及び４８％水酸化カリウム水溶液１０ｇを加え窒素で置換後、密封し１５０℃で１時間高速撹拌した後、１３０℃に冷却し、４００気圧下の高圧ホモジナイザーに通過させ、４０℃に冷却することでワックスエマルションを得た。

　（Ｂ８）：バインダー樹脂（ＰＥＯ樹脂）
　下記式でｎ＝４であるポリグリセリン。

（実施例１０１：ポリエステルフィルムＮо.１）
　ポリエステルＡが１００％の原料を表面層の原料とし、ポリエステルＢが１００％の原料を中間層の原料とし、ポリエステルＡを８０％とポリエステルＣを２０％の質量割合でブレンドした原料を裏面層の原料として、ベント付き押出機にそれぞれ供給し、２８０℃で溶融した。その後、表面層、中間層、裏面層の三種三層（Ａ／Ｂ／Ｃ）の層構成で、厚み構成比がＡ／Ｂ／Ｃ＝３．２／２６．２／１．６となるよう共押出した。静電印加密着法を用いて表面温度を２５℃に設定した冷却ロール上で冷却固化して無定形フィルムを得た。この際、裏面層が冷却ロールと接する側とした。

　次いで、ロール周速差を利用してフィルム温度８６℃で縦方向に、すなわちＭＤ方向に３．５倍延伸し、表１に記載の塗布液１及び塗布液２を各々、フィルム両面に塗布した。その後、縦延伸フィルムをテンターに導き、テンター内にて９０℃で予熱した後、横方向、すなわちＴＤ方向に１０５℃で４．２倍延伸し、テンター内の熱処理（固定）ゾーンにおいて、それぞれ２３０℃で熱処理を行い、弛緩率２％で１４０℃の冷却処理を行い、全体の厚みが約３１μｍの離型フィルムを得た。

（比較例１０１：ポリエステルフィルムＮо.１）
　実施例１０１において、塗布液１及び塗布液２を塗布せず、樹脂層Ａ及び樹脂層Ｂを設けなかった以外は、実施例１０１と同様に製造し、厚さ３１μｍの離型フィルム（ポリエステルフィルム）を得た。

（実施例１０２～１０４及び比較例１０２：ポリエステルフィルムＮо.１）
　実施例１０１で用いた塗布液２を、表２に記載の塗布液に変更した以外は、実施例１０１と同様に製造し、厚さ約３１μｍの離型フィルムを得た。

（実施例１０５：ポリエステルフィルムＮо.２）
　ポリエステルＢが１００％の原料を表面層の原料とし、ポリエステルＢが１００％の原料を中間層の原料とし、ポリエステルＢを８０％とポリエステルＣを２０％の質量割合でブレンドした原料を裏面層の原料として用いた以外は、実施例１０１と同様にして全体の厚みが約３１μｍの離型フィルムを得た。

（比較例１０３：ポリエステルフィルムＮо.２）
　実施例１０５において、塗布液１及び塗布液２を塗布せず、樹脂層Ａ及び樹脂層Ｂを設けなかった以外は、実施例１０５と同様に製造し、厚さ３１μｍの離型フィルム（ポリエステルフィルム）を得た。

（実施例１０６～１０８及び比較例１０４：ポリエステルフィルムＮо.２）
　実施例１０５で用いた塗布液２を、表３に記載の塗布液に変更した以外は、実施例１０５と同様に製造し、厚さ約３１μｍの離型フィルムを得た。

（比較例１０５：ポリエステルフィルムＮо.３）
　ポリエステルＤが１００％の原料を表面層の原料とし、ポリエステルＤが１００％の原料を中間層の原料とし、ポリエステルＤを８０％とポリエステルＣを２０％の質量割合でブレンドした原料を裏面層の原料として用いた以外は、比較例１０１と同様にして全体の厚みが３１μｍの離型フィルムを得た。

（比較例１０６：ポリエステルフィルムＮо.３）
　ポリエステルＤが１００％の原料を表面層の原料とし、ポリエステルＤが１００％の原料を中間層の原料とし、ポリエステルＤを８０％とポリエステルＣを２０％の質量割合でブレンドした原料を裏面層の原料として用いた以外は、比較例１０２と同様にして全体の厚みが３１μｍの離型フィルムを得た。

　表４～６に示される結果より、実施例では、薄膜のセラミックグリーンシートの裏面（反離型面）への貼り付き防止効果が良好であることがわかった。このため、本実施形態の離型フィルムをロール状に巻き取った場合であっても、セラミックグリーンシートが離型フィルムの裏面（反離型面）へ貼り付くことなく、巻き出し性が良好となる。
　一方、比較例はいずれも、裏面（反離型面）へのセラミックグリーンシートの貼り付きを防止するのが困難であった。また、比較例１０１、１０３及び１０５ではセラミックグリーンシートの剥離性も劣っていた。

　本発明は、従来は問題視されていなかった、特に厚み（乾燥後）が例えば２μｍ以下の薄膜のセラミックグリーンシートが有する、特有の柔軟性に起因する「離型フィルムの反離型面（裏面）への薄膜のセラミックグリーンシートの貼り付き」という、新たな課題を見出したものであり、本実施形態の離型フィルムの構成とすることで上記課題を解決し、本発明を完成させるに至ったものである。

　また、本発明では、ポリエステルフィルムが再生ポリエステル樹脂を含むため、離型フィルムの空気漏れ指数が小さくなっており、離型フィルムのハンドリング性が良好であることが示されている。

　本発明は、従来は問題視されていなかった、特に厚み（乾燥後）が２μｍ以下の薄膜のセラミックグリーンシートが有する、特有の柔軟性に起因する「離型フィルムの反離型面（裏面）への薄膜のセラミックグリーンシートの貼り付き」という、新たな課題を見出したものであり、本実施形態の離型フィルムの構成とすることで上記課題を解決し、本発明を完成させるに至ったものである。

　本実施形態の離型フィルムは、薄膜のセラミックグリーンシート成形用として有用である。本実施形態では、セラミックグリーンシートを積層した状態で、ロール状にフィルムを巻き取ることができ、その際に、特に厚み（乾燥後）が２μｍ以下の薄膜のセラミックグリーンシートを用いた場合であっても、セラミックグリーンシートが裏面（反離型面）に貼りつかず、取り扱い性に優れる離型フィルムを提供する。

１０   ポリエステルフィルム
２０   樹脂層Ａ
３０   樹脂層Ｂ
１００離型フィルム

Claims

　ポリエステルフィルムの片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備え、
　前記樹脂層Ａが離型剤を含有し、
　前記樹脂層Ｂが（Ａ）非シリコーン系離型剤および（Ｃ）帯電防止剤を含み、
　前記樹脂層Ｂのセラミックグリーンシートに対する、以下の測定条件における剥離時の帯電量が１０ｋＶ以下である、離型フィルム；
（測定条件）
　樹脂層Ａ上に、トルエン３９．８４質量部、エタノール３９．８４質量部、チタン酸バリウム１７．６５質量部、ポリビニルブチラール１．７７質量部及びフタル酸ジオクチル０．９０質量部を含む組成物から形成され、かつ厚みが１．０μｍのセラミックグリーンシートを形成し、該セラミックグリーンシートと樹脂層Ｂとをプレス圧（８．２ＭＰa）で５時間処理した後、樹脂層Ｂからセラミックグリーンシートを剥離させる際の静電気量を測定する；セラミックグリーンシートを剥離させる際の剥離角度は９０度、剥離速度は４ｃｍ／秒とする。
　ポリエステルフィルムの片面に樹脂層Ａ、反対面に樹脂層Ｂを備え、
　前記ポリエステルフィルムが再生ポリエステル樹脂を含み、
　前記樹脂層Ａが離型剤を含有し、
　前記樹脂層Ｂのセラミックグリーンシートに対する、以下の測定条件における剥離時の帯電量が１６ｋＶ以下である、離型フィルム；
（測定条件）
　樹脂層Ａ上に、トルエン３９．８４質量部、エタノール３９．８４質量部、チタン酸バリウム１７．６５質量部、ポリビニルブチラール１．７７質量部及びフタル酸ジオクチル０．９０質量部を含む組成物から形成され、かつ厚みが１．０μｍのセラミックグリーンシートを形成し、該セラミックグリーンシートと樹脂層Ｂとをプレス圧（８．２ＭＰa）で５時間処理した後、樹脂層Ｂからセラミックグリーンシートを剥離させる際の静電気量を測定する；セラミックグリーンシートを剥離させる際の剥離角度は９０度、剥離速度は４ｃｍ／秒とする。
　前記樹脂層Ａに含まれる前記離型剤が（Ａ）非シリコーン系離型剤である、請求項１又は２に記載の離型フィルム。
　前記（Ａ）非シリコーン系離型剤が、ワックス及び長鎖アルキル基含有化合物から選択される少なくとも１種である、請求項３に記載の離型フィルム。
　前記樹脂層Ｂが（Ｃ）帯電防止剤を含む、請求項２に記載の離型フィルム。
　前記（Ｃ）帯電防止剤がイオン導電性高分子化合物である、請求項１又は５に記載の離型フィルム。
　前記（Ｃ）帯電防止剤がアンモニウム基含有化合物である、請求項１又は５に記載の離型フィルム。
　前記（Ｃ）帯電防止剤が、（ａ１）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が他の陰イオン化合物によりドーピングされた重合体、及び（ａ２）チオフェンまたはチオフェン誘導体からなる化合物が陰イオン基を持ち自己ドープされた重合体から選択される少なくとも１種である、請求項１又は５に記載の離型フィルム。
　前記（Ｃ）帯電防止剤の含有量が、樹脂層Ｂの全質量に対して５質量％以上である、請求項１又は５に記載の離型フィルム。
　前記樹脂層Ｂが（Ａ）非シリコーン系離型剤を含む、請求項１又は２に記載の離型フィルム。
　前記（Ａ）非シリコーン系離型剤が、ワックス及び長鎖アルキル基含有化合物から選択される少なくとも１種である、請求項１０に記載の離型フィルム。
　前記（Ａ）非シリコーン系離型剤の含有量が、樹脂層Ｂの全質量に対して５質量％以上である、請求項１０に記載の離型フィルム。
　前記樹脂層Ｂが（Ｂ）バインダー樹脂を含む、請求項１又は２に記載の離型フィルム。
　前記（Ｂ）バインダー樹脂が、（メタ）アクリル樹脂及びポリビニルアルコールから選択される少なくとも１種である、請求項１３に記載の離型フィルム。
　前記樹脂層Ｂが（Ｄ）架橋剤を含む、請求項１に記載の離型フィルム。
　前記（Ｄ）架橋剤が、メラミン化合物及びオキサゾリン化合物から選択される少なくとも１種である、請求項１５に記載の離型フィルム。
　前記ポリエステルフィルム中の樹脂成分の全質量に対する前記再生ポリエステル樹脂の含有割合が９０質量％以上である、請求項２に記載の離型フィルム。
　前記ポリエステルフィルムが表面層、中間層及び裏面層を有する３層構成である、請求項１又は２に記載の離型フィルム。
　前記表面層がケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含む、請求項１８に記載の離型フィルム。
　前記裏面層がケミカルリサイクルされたポリエステル樹脂を含む、請求項１８に記載の離型フィルム。
　前記中間層がマテリアルリサイクルされたポリエステル樹脂を含む、請求項１８に記載の離型フィルム。
　前記ポリエステルフィルムに含まれるポリエステル樹脂を構成する全ジカルボン酸単位１００モル％に対する、イソフタル酸単位の含有量が０．０１～５モル％である、請求項２に記載の離型フィルム。
　融解ピーク温度（Ｔｍ）が２５４℃以下である、請求項２に記載の離型フィルム。
　融解ピーク熱量（ΔＨｍ）が４０Ｊ／ｇ以下である、請求項２に記載の離型フィルム。
　ガス密度が１．４０５０ｇ／ｃｍ^３以下である、請求項２に記載の離型フィルム。
　前記再生ポリエステル樹脂がＰＥＴボトルをリサイクルしたものである、請求項２に記載の離型フィルム。
　空気漏れ指数が８５００秒以下である、請求項２に記載の離型フィルム。
　下記式で算出される空気漏れ指数低減率が５％以上である、請求項２に記載の離型フィルム。
　空気漏れ指数低減率（％）＝１００－対象離型フィルムの空気漏れ指数／バージン離型フィルムの空気漏れ指数×１００
　前記樹脂層Ａ面の最大山高さ（Ｓｐ）が６０ｎｍ以下である、請求項２に記載の離型フィルム。
　前記樹脂層Ａ面の算術平均高さ（Ｓａ）が５ｎｍ以下である、請求項１又は２に記載の離型フィルム。
　前記離型フィルムの厚みが９～５０μｍである、請求項１又は２に記載の離型フィルム。
　前記離型フィルムにおける前記樹脂層Ｂ面と前記樹脂層Ａ面との動摩擦係数が０．２以下である、請求項１又は２に記載の離型フィルム。
　積層セラミックコンデンサーの製造工程においてセラミックグリーンシートの支持体として用いられる、請求項１又は２に記載の離型フィルム。
　請求項１又は２に記載の離型フィルムの前記樹脂層Ａ上にセラミックグリーンシートを積層した、セラミックグリーンシート付き離型フィルム。
　セラミックグリーンシートの厚み（乾燥後）が２μｍ以下である、請求項３４に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
　積層セラミックコンデンサーの製造工程において用いられる、請求項３４に記載のセラミックグリーンシート付き離型フィルム。
　請求項１又は２に記載の離型フィルムの、積層セラミックコンデンサーの製造工程におけるセラミックグリーンシートの支持体としての使用。
　請求項１又は２に記載の離型フィルムの少なくとも一方の面側に、セラミック成分を含むセラミックスラリーを塗工する工程を有する、セラミックグリーンシートの製造方法。