WO2024201688A1 - 基板取り出し方法、及び基板移送システム - Google Patents

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WO2024201688A1
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robot hand
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detection unit
detection
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竜治 長▲瀬▼
友貴 濱▲崎▼
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Hirata Corp
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Hirata Corp
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    • H10P72/3411—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers

Definitions

  • the present invention relates to a substrate removal method and a substrate transfer system.
  • a technique for using an industrial substrate transport robot installed in a substrate transport device to remove substrates (e.g., wafers, glass substrates, etc.) from a container that contains the substrates, transport them to various processing equipment, and process the transported substrates.
  • the substrate transport robot is equipped with a robot arm and a robot hand attached to the tip of the robot arm, and transports the substrate while holding it with the robot hand.
  • various techniques have been disclosed for transporting substrates using a substrate transport robot, in which a robot hand is inserted into a container that contains substrates, supports the substrate from below, and thereby lifts the substrate from the placement section inside the container, and removes the substrate from the container as the robot arm moves.
  • PLP panel level packaging
  • a FOUP Front Opening Unified Pod
  • substrate placement areas hereinafter referred to as slots
  • a substrate is placed on each slot.
  • the FOUP may not be configured and positioned so that there is horizontal space (front to back and left to right) when the substrate is placed.
  • the substrate in the FOUP may be placed at an angle in the horizontal plane relative to the FOUP (when the edges E1 and E2 of the substrate are not parallel to the inner wall surface of the storage container H. See Figure 7).
  • contactable areas there are areas on the underside of the substrate that the substrate support part of the robot hand may contact
  • non-contactable areas areas that must not be contacted
  • the substrate is stored in the storage container in an inclined state on the horizontal plane, the position of the contactable areas will also be different. Therefore, when the robot hand supports a substrate that is inclined in a fixed position (fixed support position), the substrate support part of the robot hand may come into contact with the non-contactable areas of the substrate, which may cause damage or particle adhesion to the non-contactable areas.
  • the present invention provides a substrate removal method that can improve the control stability when removing a substrate, and a substrate transfer system that applies the substrate removal method.
  • a substrate removal method for removing a substrate placed at a predetermined position in a storage container having an opening on one side in a first direction by a robot hand provided on a substrate transport robot, the robot hand comprising a hand base, an extension portion extending from the hand base to one side in a second direction, a substrate detection portion provided on the extension portion, and a substrate support portion provided on the extension portion, and is controlled by a control device, the substrate removal method comprising a first movement step of moving the robot hand to the other side in the first direction and inserting the extension portion into the storage container through the opening, and detecting at least one linear edge of the substrate due to a change in the detection status of the substrate by the substrate detection portion during the first movement step.
  • the method includes a first detection step of identifying the position of the extension part of the robot hand, a first stopping step of stopping the movement of the robot hand toward the other side of the first direction, a calculation step of calculating the inclination of the substrate with respect to the robot hand based on the position of the edge part of the substrate detected in the first detection step, a correction step of correcting the position and attitude of the robot hand based on the inclination of the substrate calculated in the calculation step, a substrate support step in which the substrate support part supports the substrate, and a removal step in which the robot hand supporting the substrate is moved to one side in the first direction and the substrate is removed from the storage container, and the correction step is performed while the extension part of the robot hand is positioned inside the storage container.
  • the present invention provides a substrate transfer system comprising a substrate transport robot including a robot hand for supporting a substrate and a moving mechanism for movably holding the robot hand, a substrate transport module having the substrate transport robot installed therein, and a control device for controlling the substrate transport robot, wherein the robot hand of the substrate transport robot includes a hand base, an extension extending from the hand base to one side in a second direction, a substrate detection unit provided on the extension unit, and a substrate support unit provided on the extension unit, and is controlled by the control device, and the control device controls the substrate transport robot by the substrate removal method to remove a substrate placed at a predetermined position in a storage container using the robot hand.
  • the substrate removal method and the substrate transfer system to which the substrate removal method is applied can correct the position and orientation of the robot hand based on the inclination in the horizontal plane of the substrate stored in the storage container, support the substrate, and then remove it.
  • FIG. 1 illustrates a perspective view of a substrate transfer system in accordance with one embodiment of the present invention
  • 2 is a perspective explanatory view of a substrate transport robot provided in the substrate transfer system shown in FIG. 1 .
  • 2 is an explanatory view of a container placed on a load port provided in the substrate transfer system shown in FIG. 1 .
  • 3 is a plan view illustrating a contactable area and a non-contactable area of the substrate shown in FIG. 2 .
  • FIG. 2 is a perspective explanatory view of a robot hand attached to the substrate transport robot shown in FIG. 1 .
  • 6 is a top view illustrating the robot hand shown in FIG. 5 when removing a substrate to be stored in a container.
  • FIG. 6 is a flowchart of a substrate removal method to which the robot hand shown in FIG. 5 is applied.
  • 8 is a flowchart of a correction process of the substrate removal method shown in FIG. 7 .
  • ⁇ 9A to 9C are top view explanatory diagrams of the relative positions of the container and the substrate of the robot hand corresponding to each step of the substrate removal method shown in FIGS. 7 and 8 in the first embodiment.
  • 13 is a top view illustrating the relative positions of the container and the substrate of the robot hand corresponding to a substrate supporting step of the substrate removal method in the modified example of the first embodiment.
  • ⁇ 9A to 9F are top view explanatory diagrams of the relative positions of the container and the substrate of the robot hand corresponding to each step of the substrate removal method in another modified example of the first embodiment shown in FIGS. 9A to 9F.
  • ⁇ 9A to 9C are top view explanatory diagrams of the relative positions of the container and the substrate of the robot hand corresponding to each step of the substrate removal method shown in FIGS. 7 and 8 in the second embodiment.
  • the positions and operations of the substrate transfer system 20, the substrate transport robot 30, and the storage container H for storing the substrate W will be described based on the left-right direction X, the front-back direction Y, and the up-down direction Z of the spatial coordinate system XYZ, and the position and operation of the robot hand 100 will be described based on the left-right direction X1, the front-back direction Y1, and the up-down direction Z1 of the spatial coordinate system XYZ.
  • the left-right direction X1, the front-back direction Y1, and the up-down direction Z1 of the robot hand 100 may coincide with the left-right direction X, the front-back direction Y, and the up-down direction Z depending on the posture of the robot hand 100, but may be inclined with respect to the left-right direction X, the front-back direction Y, and the up-down direction Z.
  • this is merely one example of the present invention and the present invention is not limited to this example.
  • the substrate transfer system 20 of this embodiment includes the substrate transfer robot 30 equipped with the robot hand 100, a substrate transfer module 22 having the substrate transfer robot 30 installed therein, at least one load port C1 arranged on one side (e.g., the front side) of the substrate transfer module 22, at least one processing device C2 arranged on the other side (e.g., the rear side) of the substrate transfer module 22, and a control unit 24 that controls the substrate transfer robot 30.
  • the substrate transport module 22 is, for example, an EFEM (Equipment Front End Module)
  • the load port C1 is a device for placing a storage container H (e.g., a FOUP) that contains a substrate W and opening and closing the door of the storage container H
  • the processing device C2 is a device for processing the substrate W.
  • the type of processing device C2 can be selected according to the content of the process for processing the substrate W (e.g., a process required for the semiconductor manufacturing process, such as ion implantation or etching).
  • a load lock chamber may be further installed between the substrate transport module 22 and the processing device C2.
  • the present invention is not limited to this.
  • the substrate transport module 22 includes a housing 22a, a substrate transport robot 30 provided inside the housing 22a, a moving body 22b that moves the substrate transport robot 30, and a guide structure 22c for guiding the movement of the substrate transport robot 30.
  • the housing 22a is installed between the load port C1 and the processing device C2 (or the load lock chamber) and connects the load port C1 and the processing device C2 (or the load lock chamber).
  • members such as the moving body 22b, the guide structure 22c, and the substrate transport robot 30 are installed inside the housing 22a.
  • the moving body 22b is attached to a guide structure 22c (e.g., a slide rail structure, a conveyor drive device, etc.) for guiding the movement in the left-right direction X, and is installed so as to be freely movable within the housing 22a by the guide structure 22c.
  • the substrate transport robot 30 is attached to the moving body 22b, and is movable (slidable) in the left-right direction X by the moving body 22b and the guide structure 22c. This allows the substrate transport robot 30 to freely access both the load port C1 and the processing device C2 (or the load lock chamber).
  • the substrate transport robot 30 also includes a robot hand 100 for supporting the substrate W, and a moving mechanism (including, for example, an arm unit 32, a main body unit 34, and an arm drive unit 36) that holds the robot hand 100 movably.
  • the main body unit 34 is attached to the aforementioned moving body 22b, and moves in the left-right direction X by the moving body 22b and the guide structure 22c.
  • the arm unit 32 is attached to the upper end of the main body unit 34 so as to be extendable and rotatable within a horizontal plane (a virtual horizontal plane formed by the left-right direction X and the front-back direction Y) relative to the main body unit 34, and also to be able to move up and down in the up-down direction Z.
  • the arm drive unit 36 is, for example, a motor or transmission mechanism built into the main body unit 34, and applies a driving force to the arm unit 32, but may be attached to the outside of the main body unit 34.
  • the robot hand 100 is attached to the tip of the arm unit 32. Therefore, the substrate transport robot 30 can not only move in the left-right direction X by the moving body 22b and the guide structure 22c via the main body 34, but also drive the arm 32 via the arm drive unit 36, allowing the robot hand 100 to move freely (up and down, rotate, back and forth).
  • the substrate W is, for example, a glass substrate used in PLP, and is stored in a storage container H for storing the substrate W.
  • the FOUP as the storage container H has, for example, multiple stages (for example, 12 stages) of slots S (shown in FIG. 3), and multiple substrates W can be stored by placing a substrate W in each of the multiple stages of slots S.
  • the slots S are plate members that protrude from the inner wall of the storage container H and support both ends of the substrate W in the left-right direction X. Note that the number of substrates W stored in the storage container H can be appropriately selected, and the present invention is not limited to this.
  • the FOUP as the storage container H is placed on the load port C1.
  • the substrate transport robot 30 moves the arm member 32 via the arm drive unit 36, and moves the robot hand 100 below the corresponding substrate W. Thereafter, the substrate W is supported by the substrate support portion 140 of the robot hand 100, and the robot hand 100 is moved to the outside of the storage container H to remove the substrate W from the storage container H and load it into the housing 22a. Therefore, the control device 24 of the substrate transfer module 20 can control the substrate transfer robot 30 to remove the substrate W placed at a predetermined position in the storage container H by the robot hand 100 using a substrate removal method described below.
  • the movable body 22b and guide structure 22c provided in the housing 22a of the substrate transfer module 22 may be omitted, and the substrate transfer robot 30 may be fixed to the housing 110 (for example, the main body 34 of the substrate transfer robot 30 may be fixed to the lower part of the housing 110).
  • the substrate transfer robot 30 itself is immovable relative to the substrate transfer module 22, but the substrate W can be transferred between the load port C1 and the processing device C2 by extending and lowering the arm 32 having multiple joints and rotating around the main body 34.
  • the specific structures and positional relationships of the substrate transfer module 22, the load port C1, and the processing device C2 of the substrate transfer system 20, or the specific structure of the substrate transfer robot 30, may be adjusted as necessary. The present invention is not limited to this.
  • FIG. 4 is a view of the substrate W viewed from below (for example, a view of the substrate W viewed from the side opposite to the side indicated by the arrow in the vertical direction Z), and the substrate W is a rectangular plate material having a thickness.
  • the bottom surface of the substrate W has a contactable region R1 with which the substrate support part 140 of the robot hand 100 in FIG. 2 or the slot S of the storage container H in FIG. 3 may come into contact, and a non-contactable region R2 with which contact is prohibited.
  • four non-contactable regions R2 are evenly provided on the bottom surface of the substrate W, and a contactable region R1 (shaded area in FIG.
  • each non-contactable region R2 is provided so as to cover the periphery of each non-contactable region R2.
  • the number, dimensions, relative positions, etc. of the contactable regions R1 and the non-contactable regions R2 may differ depending on the type and size of the substrate W. The present invention is not limited to this.
  • the robot hand 100 can be used to remove the substrate W placed at a predetermined position in a storage container H having an opening O on one side in a first direction (here, the side opposite to the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y).
  • the robot hand 100 of the substrate transport robot 30 includes a hand base 110, an extension part 120 extending from the hand base 110 to one side in a second direction (here, the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y1), a substrate detection part 130 provided on the extension part 120, and a substrate support part 140 provided on the extension part 120, and is controlled by a control device 24. That is, the substrate removal method described below involves controlling the robot hand 100 of the substrate transport robot 30 by the control device 24, and removing the substrate W stored in the storage container H from the opening O by the robot hand 100 provided on the substrate transport robot 30.
  • the robot hand 100 is attached to, for example, the arm portion 32 of the substrate transport robot 30, and transports the substrate W while holding it in accordance with the movement of the arm portion 32.
  • the hand base portion 110 is connected to the arm portion 32 (shown in FIG. 2), and the extension portion 120 extends from the hand base portion 110 to one side in the second direction (the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y1).
  • two extension portions 120 spaced apart in a third direction (here, the left-right direction X1) perpendicular to the second direction extend from the hand base portion 110, and the robot hand 100 is configured in an approximately Y-shape.
  • the substrate support portion 140 is installed on the extension portion 120 and can support the substrate W from the underside of the substrate W.
  • a plurality of substrate support portions 140 are installed on the extension portion 120.
  • the substrate support portion 140 includes a first substrate support portion 140A, a second substrate support portion 140B, and a third substrate support portion 140C.
  • the first substrate support portion 140A is installed at the tip side, which is one side of the extension portion 120 in the second direction (the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y1).
  • the second substrate support portion 140B is installed at the base end side, which is the other side of the extension portion 120 in the second direction (here, the side opposite to the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y1).
  • the third substrate support portion 140C is installed between the first substrate support portion 140A and the second substrate support portion 140B in the second direction (front-rear direction Y1), which is the extension direction of the extension portion 120.
  • the two extensions 120 are each provided with a first substrate support portion 140A, a second substrate support portion 140B, and a third substrate support portion 140C.
  • the lower surface of the substrate W has a contactable region R1 and a non-contactable region R2, as shown in FIG. 4.
  • the substrate support portions 140 are arranged so that when the robot hand 100 and the substrate W are in an appropriate positional relationship (for example, when the relative position and posture of the robot hand 100 with respect to the substrate W are in a predetermined position and posture), all the substrate support portions 140 come into contact only with the contactable region R1 of the substrate W in a substrate supporting process after a correction process described below.
  • the robot hand 100 can be provided with a regulating section 150 for regulating the position of the substrate W supported by the extension section 120 as necessary.
  • a first regulating section 150A is provided at the tip side of the extension section 120, which is one side in the second direction (the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y1)
  • a second regulating section 150B is provided at the base side of the extension section 120, which is the other side in the second direction (the side opposite to the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y1).
  • first regulating section 150A to abut against the end face of the substrate W on the other side in the first direction (the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y), and the second regulating section 150B to abut against the end face of the substrate W on one side in the first direction (here, the side opposite to the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y).
  • These substrate support parts 140 and regulating parts 150 may be installed on the upper surface 122 of the extension part 120 so as to be retractable or deployable (as shown in FIG. 5), and may be driven by a driving part 160 provided on the hand base part 110 or the extension part 120.
  • the driving source of the driving part 160 is provided on the hand base part 110 by a mounting plate 124.
  • the number and installation positions of the substrate support parts 140, the necessity of installing the regulating parts 150 and the driving part 160, or the type and installation position of the driving part 160 may be adjusted as necessary. The present invention is not limited to this.
  • the substrate detection unit 130 is provided in the extension portion 120 and detects the presence or absence of a substrate above the substrate detection unit 130.
  • the substrate detection unit 130 can identify the position of the edge E of the substrate W by changing the detection state when the substrate detection unit 130 passes under the edge of the substrate W.
  • a rectangular substrate is given as an example of the substrate W (e.g., approximately rectangular), but a substrate having a polygonal shape (e.g., hexagonal) or other shape may be used.
  • the substrate W only needs to have at least one straight edge E. As shown in FIG.
  • the substrate W when placed on the storage container H, has an edge E1 that corresponds to one side of the first direction of the storage container H (the side opposite to the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y) and is close to the opening O, and an edge E2 that corresponds to the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y) and is away from the opening O.
  • the substrate transport robot 30 moves the robot hand 100 to the other side of the first direction of the storage container H (the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y) and inserts the extension part 120 into the storage container H from the opening O, thereby identifying the position of either the edge part E1 or the edge part E2 by the substrate detection part 130 passing under the substrate W. Based on the identified position of either the edge part E1 or the edge part E2 of the substrate W, the tilt of the substrate W relative to the robot hand 100 is calculated, and the position and attitude of the robot hand 100 are corrected based on the calculated tilt of the substrate W.
  • the substrate W is then supported by the substrate support part 140, and the robot hand 100 supporting the substrate W is moved to one side of the first direction (the side opposite to the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y) to remove the substrate W from the storage container H.
  • the position of the substrate detection part 130 provided on the extension part 120 will be described with the following example.
  • the board detection unit 130 includes a first board detection unit 130a and a second board detection unit 130b.
  • the first board detection unit 130a and the second board detection unit 130b are provided on the tip side (the side of the extension unit 120 away from the hand base 110) which is one side of the two extension units 120 in the second direction (the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y1).
  • the first board detection unit 130a is provided on the extension unit 120 on the other side of the third direction (the side opposite to the side indicated by the arrow in the left-right direction X1)
  • the second board detection unit 130b is provided on the extension unit 120 on one side of the third direction (here, the side indicated by the arrow in the left-right direction X1).
  • the first board detection unit 130a and the second board detection unit 130b which are provided at the tip side of each of the two extension parts 120, are installed in parallel in the third direction (left-right direction X1) (installed without offset).
  • FIG. 1 shows a modified example described later (shown in FIG.
  • the second board detection unit 130b may be installed further away from the first board detection unit 130a on one side in the second direction (the side indicated by the arrow in the front-back direction Y1) (i.e., installed offset).
  • the second board detection unit 130 may be provided on the tip side, which is one side in the second direction of the extension part 120 (the side indicated by the arrow in the front-back direction Y1).
  • the board detection unit 130 includes a first board detection unit 130a and a second board detection unit 130b.
  • the first board detection unit 130a and the second board detection unit 130b are provided on the base end side (the side closer to the hand base 110 of the extension unit 120) which is the other side of the second direction of the two extension units 120 (the side opposite to the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y1).
  • first board detection unit 130a and the second board detection unit 130b provided on the base end side of the two extension units 120 may be installed in parallel (installed without offset) in the third direction (left-right direction X1), or may be installed offset in the second direction in an embodiment not shown, or only one board detection unit 130 may be provided on the base end side.
  • the present invention is not limited to this.
  • the first direction (front-to-back direction Y) is used as a reference to define the orientation of the opening O of the storage container H, the relative position of edge E1 and edge E2 of the substrate W to be placed in the storage container H, and the movement direction when the robot hand 100 is inserted into the storage container H
  • the second direction (front-to-back direction Y1) is used as a reference to define the extension direction of the extension portion 120 of the robot hand 100 and the position of the substrate detection portion 130 provided on the extension portion 120.
  • the first direction (front-to-back direction Y) and the second direction (front-to-back direction Y1) are parallel.
  • the robot hand 100 inserts the extension portion 120 extending to one side in the second direction (the side indicated by the arrow in the front-to-rear direction Y1) into the storage container H from the opening O toward the other side in the first direction (the side indicated by the arrow in the front-to-rear direction Y), and identifies the position of either the edge portion E1 corresponding to one side in the first direction (the side indicated by the arrow in the front-to-rear direction Y1) of the substrate W or the edge portion E2 corresponding to the other side in the first direction (the side indicated by the arrow in the front-to-rear direction Y1) by the substrate detection unit 130 provided at the tip side, which is the one side in the second direction (the side indicated by the arrow in the front-to-rear direction Y1) of the extension portion 120, or the base side, which is the other side in the second direction (the
  • the second direction (front-rear direction Y1) that serves as the reference for the robot hand 100 is not limited to being parallel to the first direction (front-rear direction Y) that serves as the reference for the storage container H. It is preferable that the second direction (front-rear direction Y1) of the robot hand 100 after correction be parallel to the center line L of the substrate W in the placed state (as described below).
  • the center line L is a line that is perpendicular to the edges E1 and E2 and connects the edges E1 and E2.
  • the board detection unit 130 includes a first board detection unit 130a and a second board detection unit 130b that are provided at the tip side, which is one side of the second direction of the extension portion 120 (the side indicated by the arrow in the front-to-rear direction Y1), and are spaced apart in a third direction (left-to-right direction X1) perpendicular to the second direction (front-to-rear direction Y1).
  • the substrate detection unit 130 includes a first substrate detection unit 130a and a second substrate detection unit 130b that are provided on the base end side, which is the other side of the second direction (the side opposite to the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y1) of the extension unit 120, and are provided spaced apart in a third direction (left-right direction X1) perpendicular to the second direction (front-rear direction Y1).
  • the substrate W has an edge E1 that corresponds to one side of the first direction of the storage container H (the side opposite to the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y) and is located near the opening O, and an edge E2 that corresponds to the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y) and is located away from the opening O. Therefore, the operations of each step of the substrate removal method differ depending on the position of the substrate detection unit 130 and the position of the edge E to be detected, so the substrate removal method of the present invention will be described through the following several examples.
  • the substrate removal method is a method for removing a substrate W placed at a predetermined position in a storage container H having an opening O on one side in a first direction (the side opposite to the side indicated by the arrow in the forward and backward direction Y) by a robot hand 100 provided on a substrate transport robot 30, and includes the following steps.
  • First movement step S01 The robot hand 100 is moved to the other side in the first direction (the side indicated by the arrow in the forward and backward direction Y), and the extension part 120 is inserted from the opening O below the substrate W in the storage container H.
  • First detection step S02 In the first movement step S01, the position of at least one linear edge part E (either edge part E1 or E2) of the substrate W is identified based on a change in the detection state of the substrate W by the substrate detection part 130.
  • First stopping step S03 The movement of the robot hand 100 toward the other side in the first direction (the side indicated by the arrow in the forward and backward direction Y) is stopped.
  • Calculation step S04 Calculate the inclination of the substrate W with respect to the robot hand 100 based on the position of the edge E (either edge E1 or E2) of the substrate W detected in the first detection step S02.
  • Correction step S05 Correct the position and attitude of the robot hand 100 based on the position of the edge E identified in the first detection step S02 and the inclination of the substrate W calculated in the calculation step S04.
  • Substrate support step S06 The substrate support part 140 abuts the bottom of the substrate W, and the robot hand 100 supports the substrate W.
  • Removal step S07 The robot hand 100 supporting the substrate W is moved to one side in the first direction (the side opposite to the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y), and the substrate W is removed from the storage container H.
  • the correction process S05 also includes an inclination correction process S051 for correcting the attitude of the robot hand 100, a second movement process S052 for moving the robot hand 100 so that the substrate detection unit 130 provided on the tip side faces the edge E2 of the substrate W, and a second stop process S053 for stopping the movement of the robot hand 100 in the second movement process S052 after the inclination correction process S051 is completed, at a position where the substrate support unit 130 is located below the substrate W and where the substrate detection unit 130 detects the substrate W.
  • FIGS. 9A to 9F a substrate removal method (shown in FIGS. 9A to 9F) will be described using the robot hand 100 of the first embodiment (shown in FIGS. 5 to 6) in which the substrate detection unit 130 provided at the tip side of the extension unit 120 detects the edge E2 located at a position away from the opening O of the substrate W, corrects the inclination, and removes the substrate.
  • the substrate detection unit 130 members such as the substrate support unit 140 are omitted from the robot hand 100 shown in FIGS. 9A to 9D, but this is not limited to this.
  • the robot hand 100 is moved to the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y) and the extension unit 120 is inserted from the opening O below the substrate W in the storage container H.
  • the robot hand 100 when inserting the robot hand 100 into the storage container H, it is preferable to control the robot hand 100 so that the first direction (forward/backward direction Y) of the storage container H and the second direction (forward/backward direction Y1) of the robot hand 100 are parallel.
  • the first detection step S02 identifies the position of the edge E2 of the substrate W based on a change in the detection state of the substrate W by the substrate detection unit 130 in the first movement step S01.
  • the first detection step S02 is executed when the substrate detection unit 130 provided on the extension unit 120 passes under the edge E2 of the substrate W as the robot hand 100 moves in the first movement step S01. Also, as shown in FIG. 9B, the first stopping step S03 stops the movement of the robot hand 100 toward the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y). That is, when the first stopping step S03 is executed, the first movement step S01 ends.
  • the first movement step S01 moves the robot hand 100 toward the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y) to insert the extension portion 120 beneath the substrate W, and causes the substrate detection portion 130 provided at the tip of the extension portion 120 to protrude from beneath the substrate W, thereby causing the substrate detection portion 130 to pass beneath the edge E2 of the substrate W. That is, the extension portion 120 is moved until the substrate detection portion 130 provided at the tip of the extension portion 120 protrudes from the edge E2 of the substrate W.
  • the first detection step S02 determines that the detection situation of the substrate detection portion 130 with respect to the substrate W has changed due to a change in the detection signal before and after the substrate detection portion 130 passes beneath the edge E2 of the substrate W, and identifies the position of the edge E2. For example, the first detection step S02 identifies the position of the edge E2 on the other side of the first direction of the substrate W on the movement path of the substrate detection unit 130 by switching the detection signal from on to off before and after the substrate detection unit 130 passes under the edge E2 on the other side of the first direction of the substrate W (switching from a state in which the substrate detection unit 130 determines that the substrate W is present to a state in which the substrate detection unit 130 determines that the substrate W is not present).
  • the first stop step S03 stops the movement of the robot hand 100 at a position where the substrate detection unit 130 protrudes from under the substrate W to the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the forward and backward directions Y).
  • the operations from the first movement step S01 to the first stop step S03 change as shown in FIG. 9A to FIG. 9B, and the first detection step S02 is performed between the first movement step S01 and the first stop step S03.
  • the time point at which the first stopping step S03 is performed is immediately after the position of the edge E2 is identified by the first detection step S02, but it may also be the time point at which the movement of the robot hand 100 has elapsed a scheduled time after the position of the edge E2 is identified by the first detection step S02, or the time point at which the robot hand 100 has moved a scheduled distance after the position of the edge E2 is identified by the first detection step S02.
  • the present invention is not limited thereto.
  • the calculation step S04 and the correction step S05 are performed while the extension part 120 of the robot hand 100 is positioned inside the storage container H and below the substrate W.
  • the calculation step S04 calculates the inclination of the substrate W with respect to the robot hand 100 based on the position of the edge part E2 of the substrate W detected in the first detection step S02.
  • the calculation step S04 calculates the direction and amount of inclination of the substrate W in the horizontal plane.
  • the correction step S05 corrects the position and posture of the robot hand 100 based on the inclination of the substrate W calculated in the calculation step S04.
  • the correction step S05 performs the correction while the extension part 120 of the robot hand 100 is positioned inside the storage container H. That is, the position and posture of the robot hand 100 inserted into the storage container H is corrected while the robot hand 100 is positioned inside the storage container H.
  • the first substrate detection unit 130a and the second substrate detection unit 130b are installed in parallel as the substrate detection unit 130 at the tip of the extension unit 120 of the robot hand 100. Therefore, as shown in FIG. 9B, when the substrate W placed on the storage container H is inclined with respect to the robot hand 100, the time or position at which the first substrate detection unit 130a and the second substrate detection unit 130b pass under the edge E2 of the substrate W is different. As a result, the first detection step S02 includes, as shown in FIG.
  • the third detection process S021 detects the position of the edge E2 on the other side of the substrate W in the first direction by switching the detection signal from on to off (switching from substrate W present to substrate W not present) before and after the first substrate detection unit 130a passes underneath the edge E2 on the other side of the substrate W in the first direction
  • the fourth detection process S022 detects the position of the edge E2 on the other side of the substrate W in the first direction by switching the detection signal from on to off (switching from substrate W present to substrate W not present) before and after the second substrate detection unit 130b passes underneath the edge E2 on the other side of the substrate W in the first direction.
  • the movement of the robot hand 100 in the first movement step S02 to the other side in the first direction is stopped at a position where both the first substrate detection unit 130a and the second substrate detection unit 130b protrude from below the substrate W.
  • the calculation process S04 calculates the direction and amount of inclination of the board W with respect to the third direction of the robot hand 100 (for example, the inclination angle ⁇ shown in FIG.
  • the tilt correction step S01 is executed (shown in FIG. 9C), and the robot hand 100 is rotated clockwise or counterclockwise on the horizontal plane based on the tilt direction and tilt amount calculated in the calculation step S04, and the posture is corrected so that the third direction of the robot hand 100 and the edge E2 of the substrate W are parallel, as shown in FIG. 9C.
  • the second direction (front-back direction Y1) of the robot hand 100 and the center line L of the substrate W are parallel.
  • the center line L is a line that is perpendicular to the edge E1 and the edge E2 and connects the edge E1 and the edge E2.
  • FIG. 9D shows the operation of the robot hand 100 in the second movement step S052.
  • the robot hand 100 is moved toward the opening O of the storage container H, and the substrate detection unit 130 protruding from the edge E2 of the substrate W is moved below the substrate W.
  • the robot hand 100 is moved in a direction parallel to the second direction (the front-rear direction Y1 as the extension direction of the extension part 120 of the robot hand 100), but it may be moved to one side of the first direction (the side opposite to the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y), and it is also possible to include cases other than linear movement.
  • the tilt correction step S051 and the second movement step S052 are performed simultaneously, or are performed in the order of first performing the tilt correction step S051 (FIG. 9C) and then performing the second movement step S052 (FIG. 9D).
  • the rotation of the robot hand 100 in the tilt correction step S051 and the movement in the second movement step S052 are performed simultaneously (combining the operations of FIG. 9C and FIG. 9D).
  • the second stopping step S053 stops the movement of the robot hand 100 toward the opening O of the storage container H with the substrate detection unit 130 positioned below the substrate W. That is, the second movement step S052 ends when the second stopping step S053 is performed.
  • the second moving step S052 further includes a second detection step S0521, which detects a change in the detection status of the substrate W by the substrate detection unit 130. That is, the second detection step S0521 locates the position of the edge E2 on the other side of the first direction of the substrate W by the substrate detection unit 130 passing under the edge E2 on the other side of the first direction of the substrate W (the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y) and the detection signal switches from off to on (switching from a state in which the substrate detection unit 130 has determined that the substrate W is not present to a state in which it has determined that the substrate W is present).
  • the second stopping step S053 after the substrate detection unit 130 passes under the edge E2 on the other side of the substrate W in the first direction in the second detection step S0521 and the detection signal switches from OFF to ON (switching from no substrate W to substrate W present), the movement of the robot hand 100 in the second movement step S052 is stopped.
  • the second detection step S0521 further includes a fifth detection step S0522 for identifying the position of the edge E2 of the substrate W located on the movement path of the first substrate detection unit 130a based on a change in the detection status of the substrate W by the first substrate detection unit 130a, and a sixth detection step S0523 for identifying the position of the edge E2 of the substrate W located on the movement path of the second substrate detection unit 130b based on a change in the detection status of the substrate W by the second substrate detection unit 130b.
  • the fifth detection step S0522 detects the position of the edge E2 on the other side of the substrate W in the first direction based on a change from off to on of the detection signal (a change from no substrate W to the presence of substrate W) before and after the first substrate detection unit 130a passes under the edge E2 on the other side of the substrate W in the first direction, and detects whether the first substrate detection unit 130a has passed the edge E2 of the substrate W and returned to the bottom of the substrate W.
  • the sixth detection process S0523 detects the position of the edge E2 on the other side of the first direction of the substrate W by switching the detection signal from off to on (switching from no substrate W to present substrate W) before and after the second substrate detection unit 130b passes under the edge E2 on the other side of the substrate W in the first direction, and detects whether the second substrate detection unit 130b has passed the edge E2 of the substrate W and returned to under the substrate W. Furthermore, the position of the edge E2 identified in the fifth detection process S0522 is set as the third edge position P3, and the position of the edge E2 identified in the sixth detection process S0523 is set as the fourth edge position P4 (shown in FIG.
  • the correction process S05 may further include a tilt correction completion confirmation process S0524 for determining that the correction of the tilt of the substrate W by the robot hand 100 has been completed based on the difference between the third edge position P3 and the fourth edge position P4 in the movement direction of the second movement process S052.
  • the calculation step S04 further calculates a first stop position based on the position of the edge E2 of the substrate W detected in the first detection step S02, and the second stop step S053 stops the movement in the second movement step S052 when the robot hand 100 reaches the first stop position.
  • the above-mentioned second detection step S0521 may be omitted. Therefore, the execution time of the second stop step S053 (i.e., the position of the robot hand 100 when the second movement step S052 is completed) may be determined by the second detection step S0521 using the substrate detection unit 130, or may be determined by the calculation step S04. The present invention is not limited to this.
  • the robot hand 100 is rotated so that the edge E2 on the other side of the first direction of the substrate W is parallel to the third direction of the robot hand 100 (the left-right direction X1 as the width direction of the extension portion 120). Therefore, after the tilt correction process S051 has been performed, the robot hand 100 has an equal distance from the first substrate detection unit 130a to the edge E2 of the substrate W and an equal distance from the second substrate detection unit 130b to the edge E2 of the substrate W.
  • the tilt correction completion confirmation step S0524 it is preferable to determine that tilt correction is complete by checking that the position in the second direction (front-to-back direction Y1) of the third edge position P3, which is the position of the edge E2 of the substrate W identified by the first substrate detection unit 130a, matches the position in the movement direction of the second movement step S052 of the fourth edge position P4, which is the position of the edge E2 of the substrate W identified by the second substrate detection unit 130b.
  • the tilt correction completion confirmation step S0524 it is determined whether the correction of the tilt of the substrate W by the robot hand 100 has been completed based on whether the third edge position P3 determined by the first substrate detection unit 130a and the fourth edge position P4 determined by the second substrate detection unit 130b match in the movement direction of the second movement step S052 (i.e., whether the difference between the third edge position P3 and the fourth edge position P4 is 0). Therefore, it is preferable that the tilt correction completion confirmation step S0524 is executed during the second movement step S052.
  • the tilt correction step S051 and the second movement step S052 are performed in the order of first performing the tilt correction step S051 and then performing the second movement step S052, and the second detection step S0521 (divided into a fifth detection step S0522 and a sixth detection step S0523 when there are two board detection units 130) and the tilt correction completion confirmation step S0524 are performed during the second movement step S052. After that, the movement of the robot hand 100 in the second movement step S052 is stopped in the second stop step S053.
  • FIG. 10 is a diagram showing the state in the second stop step S053 of the modified example of the first embodiment, and corresponds to FIG. 9D showing the state in the second stop step S053 of the first embodiment.
  • the robot hand 100 is rotated so that the edge E2 on the other side of the first direction of the substrate W and the third direction of the robot hand 100 (the left-right direction X1 as the width direction of the extension unit 120) are parallel to each other.
  • the second moving step S052 in the process of the robot hand 100 moving toward the opening O of the storage container H, one of the first substrate detection unit 130a and the second substrate detection unit 130b, which are installed offset from each other, passes below the edge E2 of the substrate W first.
  • the second stopping step S053 it is preferable to stop the movement of the robot hand 100 in the second moving step S052 at a position where one of the first substrate detection unit 130a and the second substrate detection unit 130b detects the substrate W and the other does not detect the substrate W. That is, it is possible to determine that the substrate support unit 140 has returned to below the substrate W by one of the first substrate detection unit 130a and the second substrate detection unit 130b detecting the substrate W, and then to execute the second stopping step S053 and stop the movement of the robot hand 100. This makes it possible to detect deviations of the substrate W relative to the robot hand 100 to one side in the second direction or to the other side in the second direction when supporting and transporting the substrate W described below.
  • the second stopping step S053 may be executed after both the first substrate detection unit 130a and the second substrate detection unit 130b pass under the substrate W and detect the substrate W.
  • the present invention is not limited to this.
  • the bottom surface of the substrate W has a contactable area R1 and a non-contactable area R2.
  • the substrate support parts 140 correct the position and posture of the robot hand 100 by the above-mentioned correction step S05 to have an appropriate positional relationship, so that all the substrate support parts 140 come into contact only with the contactable area R1 of the substrate W in the substrate support step S06.
  • the substrate W can then be supported by the substrate support parts 140 and removed from the storage container H. Specifically, as shown in FIG. 9E, in the substrate support step S06, the substrate W is supported by the substrate support parts 140.
  • the substrate support part 140 installed in the extension part 120 and movable (installed so as to be stored or deployable on the upper surface 122 of the extension part 120) is deployed until it contacts the bottom surface of the substrate W, or the robot hand 100 is moved along the vertical direction Z until the substrate support part 140 installed in the extension part 120 and immovable contacts the bottom surface of the substrate W, and the substrate W is supported by the substrate support part 140.
  • the substrate support 140 supports the substrate W by contacting only the contactable region R1 of the substrate W (as shown in FIG. 9E).
  • the substrate support 140 or the robot hand 100 is further moved along the vertical direction Z to lift the substrate W from the slot S of the storage container H, and release the contact between the substrate W and the storage container H.
  • the substrate W is placed in a placement position on the slot S, which is a placement member of the storage container H, in the storage container H, and the substrate supporting step S06 involves lifting the substrate W upward from the slot S, which is a placement member, while maintaining the placement position, and operating the robot hand 100 so as not to disrupt the relative position between the substrate W and the corrected robot hand 100.
  • the robot hand 100 supporting the substrate W is moved to one side in the first direction (the side opposite to the side indicated by the arrow in the forward and backward direction Y) and the substrate W is removed from the storage container H.
  • the robot hand 100 is moved to one side in the first direction (the side opposite to the side indicated by the arrow in the forward and backward direction Y) while maintaining the substrate W lifted by the substrate support part 140 in the placement position, and the substrate W is removed from the storage container H through the opening O facing one side in the first direction. Therefore, the substrate removal method shown in FIGS.
  • the substrate transfer system 20 applying the substrate removal method, correct the position and posture of the robot hand 100 based on the inclination of the substrate W, and then the substrate support part 140 of the robot hand 100 contacts and supports the contactable area of the substrate W, and can remove the substrate W from the storage container H while supporting it, thereby avoiding damage to the substrate W due to its inclination.
  • the position and orientation of the robot hand 100 is corrected based on the inclination of the substrate W while the extension portion 120 of the robot hand 100 is positioned inside the storage container H, eliminating the need to move the robot hand 100 significantly before removing the substrate W, improving the control stability when removing the substrate W and shortening the time required to remove the substrate W.
  • the above-mentioned first embodiment has been described as an example of a method for removing a substrate when the substrate detection unit 130 provided at the tip of the extension 120 detects the edge E2 located at a position away from the opening O of the substrate W.
  • a method for removing a substrate when the substrate detection unit 130 provided at the tip of the extension 120 detects the edge E1 located at a position close to the opening O of the substrate W is also possible.
  • the robot hand 100 shown in Figs. 11A to 11D omits members such as the substrate support unit 140, but this is not limited thereto.
  • Fig. 11A to 11D omits members such as the substrate support unit 140, but this is not limited thereto.
  • the first moving step S01 moves the robot hand 100 to the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the forward and backward directions Y) and inserts the extension 120 into the storage container H through the opening O.
  • the first moving step S01 of this embodiment may be the same operation as the first moving step S01 in the first embodiment shown in Fig. 9A.
  • the first detection step S02 locates the position of the edge E1 of the substrate W based on a change in the detection state of the substrate W by the substrate detection unit 130 in the first movement step S01. Then, as shown in FIG. 11B, the first stopping step S03 stops the movement of the robot hand 100 toward the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y) after the first detection step S02.
  • the first movement step S01 inserts the extension portion 120 beneath the substrate W toward the other side in the first direction (the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y), thereby causing the substrate detection portion 130 provided at the tip of the extension portion 120 to pass beneath the edge E1 of the substrate W.
  • the first detection step S02 determines that the detection situation of the substrate detection portion 130 with respect to the substrate W has changed due to a change in the detection signal before and after the substrate detection portion 130 passes beneath the edge E1 of the substrate W, and identifies the position of the edge E1.
  • the first detection step S02 identifies the position of the edge E1 on one side in the first direction of the substrate W on the movement path of the substrate 130 by switching the detection signal from off to on (switching from a state in which the substrate detection unit 130 determines that the substrate W is absent to a state in which the substrate detection unit 130 determines that the substrate W is present) before and after the substrate detection unit 130 passes under the edge E1 on one side in the first direction of the substrate W.
  • the first detection step S02 corresponding to the edge E1 of the substrate W may employ the same detection method as the first detection step S02 corresponding to the edge E2 of the substrate W described above (for example, including a third detection step S021 by the first substrate detection unit 130a and a fourth detection step S022 by the second substrate detection unit 130b).
  • the first stop step S03 stops the movement of the robot hand 100 at a location where the substrate detection unit 130 is located below the substrate W (a state in which the substrate detection unit 130 does not protrude from below the substrate W and determines that the substrate W is present).
  • the operations from the first movement step S01 to the first stop step S03 change as shown in FIG. 11A to FIG.
  • the first stop step S03 may be executed, for example, when the movement of the robot hand 100 has elapsed a scheduled time after the position of the edge E1 is specified by the first detection step S02, or when the robot hand 100 has moved a scheduled distance after the position of the edge E1 is specified by the first detection step S02.
  • the first stopping step S03 can also move the robot hand 100 to a position where the substrate detection unit 130 protrudes from below the substrate W, as shown in FIG. 9B.
  • the present invention is not limited to this.
  • the calculation step S04 calculates the inclination of the substrate W relative to the robot hand 100 based on the position of the edge E1 of the substrate W detected in the first detection step S02.
  • the correction step S05 includes a tilt correction step S051 for correcting the position and posture of the robot hand 100 based on the inclination of the substrate W calculated in the calculation step S04, and for correcting the posture of the robot hand 100, a second movement step S052 for moving the robot hand 100 so that the substrate detection unit 130 provided on the tip side faces the edge E2 of the substrate W, and a second stop step S053 for stopping the movement of the robot hand 100 in the second movement step S052 after the tilt correction step S051 is completed at a position where the substrate support unit 130 is located below the substrate W and where the substrate detection unit 130 detects the substrate W.
  • the tilt correction step S051 corrects the posture of the robot hand 100 in the horizontal plane based on the tilt direction and tilt amount calculated in the calculation step S04. For example, the posture of the robot hand 100 is corrected so that the edge E1 on one side of the first direction of the substrate W and the third direction of the robot hand 100 are parallel (for example, the robot hand 100 is rotated in a plane formed by the left-right direction X and the front-back direction Y).
  • the tilt correction step S051 corresponding to the edge E1 of the substrate W here may adopt the same method as the tilt correction step S051 corresponding to the edge E2 of the substrate W described above (for example, the tilt correction completion confirmation step S0524 is performed in the second movement step S052). Also, as shown in FIG.
  • the second movement step S052 moves the robot hand 100 so that the substrate detection unit 130 located below the substrate W faces the edge E2 of the substrate W.
  • the robot hand 100 is moved in a direction parallel to the second direction (the front-rear direction Y1 as the extension direction of the extension portion 120 of the robot hand 100), but it may be moved to one side of the first direction (the side opposite to the side indicated by the arrow in the front-rear direction Y).
  • the second stopping step S053 stops the movement of the robot hand 100 in the second moving step S052.
  • the time point at which the second stopping step S053 is performed may be, for example, the time point at which the robot hand 100 reaches the first stopping position calculated in the calculating step S04 based on the position of the edge E1 of the substrate W.
  • the present invention is not limited thereto.
  • the position and orientation of the robot hand 100 with respect to the inclination of the substrate W can then be corrected, and the substrate supporting step S06 shown in FIG. 9E and the removal step S07 shown in FIG. 9F can then be performed to remove the substrate W from the storage container H while supporting it. That is, even if the edge detected by the substrate detection unit 130 provided at the tip side of the extension portion 120 differs in the steps from FIG. 11A to 11D, the substrate W can be removed from the storage container H while being supported by employing the same means as the substrate supporting step S06 shown in FIG. 9E and the removal step S07 shown in FIG. 9F.
  • the edge E1 or the edge E2 of the substrate W may be detected in the first detection step S02.
  • the stop position of the first stopping step S03 is a position where the substrate detection unit 130 protrudes from the substrate W
  • the movement direction of the second moving step S052 is a direction in which the extension unit 120 moves toward the opening O of the storage container H (e.g., toward one side of the first direction) and the substrate detection unit 130 protruding from the substrate W returns to below the substrate W.
  • the stop position of the first stopping step S03 may be a position where the substrate detection unit 130 is located below the substrate W (not protruding), or may be a position where the substrate detection unit 130 protrudes from the substrate W.
  • the movement direction of the second movement step S052 may be a direction in which the substrate detection unit 130 located below the substrate W moves toward the other side of the first direction, or a direction in which the substrate detection unit 130 protruding from the substrate W returns to a position below the substrate W. The present invention is not limited to this.
  • the substrate detection unit 130 provided on the base end side of the extension unit 120 since it is difficult for the substrate detection unit 130 provided on the base end side of the extension unit 120 to pass through the edge E2 leaving the opening O of the substrate W, it is not preferable to detect the edge E2 leaving the opening O of the substrate W by the substrate detection unit 130 provided on the base end side of the extension unit 120, but this is not excluded.
  • the substrate detection unit 130 provided on the base end side of the extension part 120 passes under the edge E1 close to the opening O, and thereby the substrate detection unit 130 provided on the base end side of the extension part 120 identifies the position of the edge E1 close to the opening O of the substrate W.
  • the robot hand 100 is moved to the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the forward and backward direction Y) and the extension part 120 is inserted into the storage container H from the opening O.
  • the first moving step S01 of this embodiment may be the same operation as the first moving step S01 shown in Fig. 9A.
  • the first detection step S02 identifies the position of the edge E1 of the substrate W based on a change in the detection state of the substrate W by the substrate detection unit 130 in the first movement step S01. Then, as shown in FIG. 12B, the first stopping step S03 stops the movement of the robot hand 100 toward the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y).
  • the first movement step S01 moves the robot hand 100 toward the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y) to insert the extension portion 120 beneath the substrate W, thereby causing the substrate detection portion 130 provided on the base end side of the extension portion 120 to pass beneath the edge portion E1 of the substrate W.
  • the first detection step S02 determines that the detection situation of the substrate detection portion 130 with respect to the substrate W has changed due to a change in the detection signal before and after the substrate detection portion 130 passes beneath the edge portion E1 of the substrate W, and identifies the position of the edge portion E1.
  • the first detection step S02 identifies the position of the edge E1 on one side of the substrate W in the first direction on the movement path of the substrate detection unit 130 by switching the detection signal from off to on before and after the substrate detection unit 130 passes under the edge E1 on one side of the substrate W in the first direction (switching from a state in which the substrate detection unit 130 determines that the substrate W is not present to a state in which the substrate detection unit 130 determines that the substrate W is present).
  • the first detection step S02 corresponding to the edge E1 of the substrate W here may further include a third detection step S021 by the first substrate detection unit 130a and a fourth detection step S022 by the second substrate detection unit 130b. Also, as shown in FIG.
  • the first stop step S03 stops the movement of the robot hand 100 at a position where the substrate detection unit 130 is located under the substrate W.
  • the operations from the first moving step S01 to the first stopping step S03 change as shown in FIG. 12A to FIG. 12B, and the first detection step S02 is executed between the first moving step S01 and the first stopping step S03.
  • the first stopping step S03 is executed immediately after the position of the edge E1 is identified by the first detection step S02, as an example, but it may be executed when the movement of the robot hand 100 has elapsed a scheduled time after the position of the edge E1 is identified by the first detection step S02, or when the robot hand 100 has moved a scheduled distance after the position of the edge E1 is identified by the first detection step S02.
  • the present invention is not limited thereto.
  • the calculation step S04 and the correction step S05 are executed while the extension portion 120 of the robot hand 100 remains positioned within the storage container H and below the substrate W.
  • the calculation step S04 calculates the inclination of the substrate W relative to the robot hand 100 based on the position of the edge E1 of the substrate W detected in the first detection step S02.
  • the calculation step S04 calculates the direction and amount of inclination of the substrate W in the horizontal plane.
  • the correction step S05 includes a tilt correction step S051 for correcting the position and posture of the robot hand 100 based on the tilt of the substrate W calculated in the calculation step S04, and for correcting the posture of the robot hand 100; a second movement step S052 for moving the robot hand 100 so that the substrate detection unit 130 provided on the base end side faces the edge E1 of the substrate W; and a second stop step S053 for stopping the movement of the robot hand 100 in the second movement step S052 at a position where the substrate support unit 130 is located below the substrate W and where the substrate detection unit 130 detects the substrate W after the tilt correction step S051 is completed.
  • the correction step S05 is performed in a state where the extension unit 120 of the robot hand 100 is located in the storage container H. That is, the position and posture of the robot hand 100 inserted in the storage container H is corrected in a state where the robot hand 100 is located in the storage container H.
  • the tilt correction step S051 corrects the posture of the robot hand 100 in the horizontal plane based on the tilt direction and tilt amount calculated in the calculation step S04. For example, the posture of the robot hand 100 is corrected so that the edge E1 on one side of the first direction of the substrate W and the third direction (left-right direction X1) of the robot hand 100 are parallel (for example, the robot hand 100 is rotated in a plane formed by the left-right direction X and the front-back direction Y).
  • the edge E1 on one side of the first direction of the substrate W and the third direction (left-right direction X1) of the robot hand 100 are parallel (for example, the robot hand 100 is rotated in a plane formed by the left-right direction X and the front-back direction Y).
  • the second movement step S052 moves the robot hand 100 toward the opening O of the storage container H, and the second stopping step S053 stops the movement of the robot hand 100 toward the opening O in the second movement step S052 at a position where the substrate detection unit 130 is located near the edge E1 of the substrate W and determines that the substrate W is present.
  • the robot hand 100 is moved along a linear path in one side of the first direction (for example, the side opposite to the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y), but it is also possible to include the first direction (forward/backward direction Y, parallel to the slot S in the storage container H on which the substrate W is placed), the second direction (forward/backward direction Y1, parallel to the extension direction of the extension part 120 of the robot hand 100), and cases other than linear motion.
  • the inclination correction step S051 and the second movement step S052 are performed simultaneously, or are performed in the order of first performing the inclination correction step S051 (FIG. 12C) and then performing the second movement step S052 (FIG. 12D). Then, as shown in FIG. 12D, the second stop step S053 stops the movement of the robot hand 100 toward the opening O of the storage container H. That is, at the time when the second stop step S053 is performed, the second movement step S052 is terminated.
  • the robot hand 100 is moved toward the opening O.
  • the substrate detection unit 130 passes under the edge E1 of the substrate W, and the position of the edge E1 of the substrate W is detected by switching the detection signal from on to off (switching from substrate W present to substrate W absent), and then the movement of the robot hand 100 toward the opening O is stopped.
  • the robot hand 100 starts moving again toward the other side of the first direction (the side indicated by the arrow in the forward/backward direction Y), and the substrate detection unit 130 passes under the edge E1 of the substrate W, and the position of the edge E1 of the substrate W is detected by switching the detection signal from off to on (switching from substrate W absent to substrate W present), and then the movement of the robot hand 100 toward the other side of the first direction is stopped.
  • the robot hand 100 in the second movement step S052 after the tilt correction step S051, the robot hand 100 moves back (towards the opening O) or forward (towards the other side of the first direction) so that the substrate detection unit shown in FIG. 12D is located near the edge E1 and can be stopped at a position where it detects the substrate W.
  • the first stop position may be calculated based on the position of the edge E1 detected in the first movement step S01, and the second movement step S052 may stop the movement when the robot hand 100 reaches the first stop position.
  • the calculation step S04 further calculates a first stop position where the substrate detection unit 130 is located near the edge E1 of the substrate W and determines that the substrate W is present based on the position of the edge E1 of the substrate W detected in the first movement step S01, and the second stop step S053 stops the movement in the second movement step S052 when the robot hand 100 reaches the first stop position.
  • the second detection step S0521 (including the fifth detection step S0522 by the first substrate detection unit 130a and the sixth detection step S0523 by the second substrate detection unit 130b) may be omitted. Therefore, the time point at which the second stopping step S053 is performed (i.e., the position of the robot hand 100 when the second moving step S052 is completed) may be determined by the second detection step S0521 (using the substrate detection unit 130) or by the calculation step S04. The present invention is not limited to this.
  • the correction step S05 corresponding to the edge E1 of the substrate W here may employ a means including the tilt correction completion confirmation step S0524 described above.
  • the position and posture of the robot hand 100 with respect to the inclination of the substrate W can be corrected, and then the substrate supporting step S06 shown in FIG. 12E and the removal step S07 shown in FIG. 12F can be performed to support and remove the substrate W from the storage container H.
  • the substrate supporting step S06 shown in FIG. 12E and the removal step S07 shown in FIG. 12F may employ the same means as the substrate supporting step S06 shown in FIG. 9E and the removal step S07 shown in FIG. 9F (the position of the substrate detection unit 130 is different). That is, the edge E (either edge E1 or E2) may be detected as the basis for correction by the substrate detection unit 130 provided on the tip side of the extension portion 120 in the steps from FIG.
  • the edge E (preferably edge E1) may be detected as the basis for correction by the substrate detection unit 130 provided on the base end side of the extension portion 120 in the steps from FIG. 12A to 12F.
  • the substrate detection unit 130 may be provided at the tip of the extension 120 of the robot hand 100 (first embodiment), or the substrate detection unit 130 may be provided at the base end of the extension 120 of the robot hand 100 (second embodiment).
  • the substrate detection unit 130 may be provided in a plurality of positions at the tip and base ends of the extension 120 of the robot hand 100, or may be provided between the tip and base ends.
  • the substrate detection unit 130 passes the position of at least one linear edge E (either edge E1 or E2) of the substrate W, identifies the position of the edge E (either edge E1 or E2), corrects the position and attitude of the robot hand 100 based on the inclination of the substrate W, and then the substrate support unit 140 of the robot hand 100 can contact the contactable area of the substrate W and remove the substrate W from the storage container H while supporting it.
  • the present invention is not limited thereto.
  • the substrate removal method of the present invention and the substrate transfer system to which the substrate removal method is applied can improve the control stability when removing a substrate and shorten the time required to remove a substrate W.

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Abstract

本発明は、薄型に構成されてピッチが狭い格納容器に収容された基板への対応に適用され、且つ基板を取り出す際の制御安定性を向上させることができる基板取り出し方法、及び基板移送システムを提供する。基板取り出し方法は、ロボットハンドを移動させ、格納容器の開口部からロボットハンドの延設部を格納容器内に挿入する第１の移動工程と、ロボットハンドの基板検出部によって基板の縁部の位置を特定する第１の検出工程と、ロボットハンドの移動を停止させる第１の停止工程と、検出した基板の縁部の位置に基づき、基板のロボットハンドに対する傾きを算出する算出工程と、算出した基板の傾きに基づき、延設部が格納容器内に位置する状態で、ロボットハンドの位置と姿勢を補正する補正工程と、ロボットハンドの基板支持部が基板を支持する基板支持工程と、基板を支持しているロボットハンドを移動させ、基板を格納容器から取り出す取り出し工程と、を含む。

Description

基板取り出し方法、及び基板移送システム
　本発明は、基板取り出し方法、及び基板移送システムに関する。
　従来から、半導体等の製造分野において、基板搬送装置に設けられる産業用の基板搬送ロボットを使用して基板（例えば、ウエハ、ガラス基板等）を、基板を収容する容器から取り出し、種々の処理装置に搬送し、搬送された基板に対して処理を行う技術が存在している。基板搬送ロボットは、ロボットアームと、ロボットアームの先端に取り付けられたロボットハンドが備えられ、ロボットハンドによって基板を保持しながら搬送している。例えば、基板搬送ロボットによる基板の搬送方法としては、基板を収容した容器にロボットハンドを挿入し、基板の下方から基板を支持し、それによって基板を容器内の載置部から持ち上げ、ロボットアームの移動に伴って容器から基板を取り出す基板取り出し方法に関して、種々の技術が開示されている。
特開２００１－１３５７０６号公報
　近年、半導体デバイスの分野では、デバイスの集積度が増加される一方で、デバイスの小型化も進んできている。それに伴い、高集積度を有するデバイスのパッケージング技術として、パネルレベルパッケージング（以下、ＰＬＰ）と呼ばれる工法が普及してきている。ＰＬＰは、矩形状のパネルの上に多数のチップを並べて複数の半導体パッケージを一括で製造する工法であり、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインでは、種々の産業用ロボットが使用されている。
　基板の格納容器であるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）内には、基板の載置部（以下、スロットと呼ぶ）が等間隔で形成され、各スロット上に基板が載置される。しかしながら、基板の大きさ（例えば、水平方向の寸法）にはばらつきがあり、基板の大きさのばらつきや構造、コストなどの理由に基づき、ＦＯＵＰ内は、基板を載置した時に水平方向に（前後左右に）余裕がある様に構成され、位置決めされない場合がある。そのため、格納容器であるＦＯＵＰ内に基板を載置する際の姿勢や搬送時の振動等により、ＦＯＵＰ内の基板は、ＦＯＵＰに対して水平面において傾いて載置されている場合がある（格納容器Ｈの内壁面に対して基板の縁部Ｅ１、Ｅ２が平行になっていない場合。図７参照。）。ここで、基板の下面にはロボットハンドの基板支持部が接触してもよい箇所（以下、接触可能領域）と、接触してはいけない箇所（以下、接触不可領域）があるが、水平面において傾いた状態で基板が格納容器に格納されている場合、接触可能領域の位置も異なってくる。従って、ロボットハンドが定位置（固定の支持位置）にて傾いている状態の基板を支持する場合、ロボットハンドの基板支持部が基板の接触不可領域に接触し、接触不可領域に損傷やパーティクルの付着が発生する虞がある。
　以上により、格納容器に収容された基板を取り出す際に、基板の水平面における傾きによる損傷を避けることができる基板取り出し方法及び基板取り出し方法を応用する基板移送システムが求められる。
　そこで本発明は、基板を取り出す際の制御安定性を向上させることができる基板取り出し方法、及び基板取り出し方法を応用する基板移送システムを提供する。
　上記目的を達成するために、本発明によれば、第１の方向の一方側に開口部を有する格納容器内の所定の位置に載置された基板を基板搬送ロボットに設けられたロボットハンドによって取り出す基板取り出し方法であって、前記ロボットハンドは、ハンド基部と、前記ハンド基部から第２の方向の一方側に延びる延設部と、前記延設部に設けられる基板検出部と、前記延設部に設けられる基板支持部と、を備え、制御装置によって制御され、前記基板取り出し方法は、前記ロボットハンドを前記第１の方向の他方側に移動させ、前記開口部から前記延設部を前記格納容器内に挿入する第１の移動工程と、前記第１の移動工程において、前記基板検出部による前記基板の検出状況の変化によって前記基板の少なくとも一つの直線状の縁部の位置を特定する第１の検出工程と、前記ロボットハンドが前記第１の方向の他方側に向かう移動を停止させる第１の停止工程と、前記第１の検出工程で検出した前記基板の前記縁部の位置に基づき、前記基板の前記ロボットハンドに対する傾きを算出する算出工程と、前記算出工程で算出した前記基板の傾きに基づき、前記ロボットハンドの位置と姿勢を補正する補正工程と、前記基板支持部が前記基板を支持する基板支持工程と、前記基板を支持している前記ロボットハンドを前記第１の方向の一方側に移動させ、前記基板を前記格納容器から取り出す取り出し工程と、を含み、前記補正工程は、前記ロボットハンドの前記延設部が前記格納容器内に位置する状態で補正を行うことを特徴とする基板取り出し方法が提供される。
　上記目的を達成するために、本発明によれば、基板を支持するためのロボットハンドと、前記ロボットハンドを移動自在に保持する移動機構と、を備える基板搬送ロボットと、前記基板搬送ロボットを内部に設ける基板搬送モジュールと、前記基板搬送ロボットを制御する制御装置と、を備える基板移送システムであって、前記基板搬送ロボットの前記ロボットハンドは、ハンド基部と、前記ハンド基部から第２の方向の一方側に延びる延設部と、前記延設部に設けられる基板検出部と、前記延設部に設けられる基板支持部と、を備え、かつ前記制御装置によって制御され、前記制御装置は、前記基板取り出し方法によって、前記基板搬送ロボットを制御して格納容器内の所定の位置に載置された基板を前記ロボットハンドによって取り出すことを特徴とする基板移送システムが提供される。
　本発明によれば、基板取り出し方法、及び基板取り出し方法を応用する基板移送システムは、格納容器に収納される基板の水平面における傾きに基づいてロボットハンドの位置と姿勢を補正し、基板を支持した後、取り出すことができる。
本発明の一実施形態に従った基板移送システムを示す斜視図である。 図１に示す基板移送システムに備えた基板搬送ロボットの斜視説明図である。 図１に示す基板移送システムに備えたロードポートに載置される容器の説明図である。 図２に示す基板の接触可能領域及び接触不可領域の平面説明図である。 図１に示す基板搬送ロボットに取り付けられたロボットハンドの斜視説明図である。 図５に示すロボットハンドを容器に収納させる基板を取り出す際の上面説明図である。 図５に示すロボットハンドが適用される基板取り出し方法のフローチャートである。 図７に示す基板取り出し方法の補正工程のフローチャートである。 ～ 第１の実施形態における図７と図８に示す基板取り出し方法の各工程に対応するロボットハンドの容器と基板の相対位置の上面説明図である。 第１の実施形態の変形例における基板取り出し方法の基板支持工程に対応するロボットハンドの容器と基板の相対位置の上面説明図である。 ～ 図９Ａ～図９Ｆに示す第１の実施形態の他の変形例における基板取り出し方法の各工程に対応するロボットハンドの容器と基板の相対位置の上面説明図である。 ～ 第２の実施形態における図７と図８に示す基板取り出し方法の各工程に対応するロボットハンドの容器と基板の相対位置の上面説明図である。
　ここで、本発明の例示的な実施形態を詳細に参照し、例示的実施形態の実例を添付の図面に示す。以下では、図１～図１２Ｆを組み合わせて本実施形態のロボットハンド１００、ロボットハンド１００が取り付けられる基板搬送ロボット３０、基板搬送ロボット３０を応用する基板移送システム２０、及びロボットハンド１００を使用して基板Ｗを取り出す基板取り出し方法のフローを説明する。そのうち、空間座標系ＸＹＺの左右方向Ｘ、前後方向Ｙ、及び上下方向Ｚを基準として基板移送システム２０、基板搬送ロボット３０、及び基板Ｗを収納するための格納容器Ｈなどの位置や操作を説明し、空間座標系ＸＹＺの左右方向Ｘ１、前後方向Ｙ１、及び上下方向Ｚ１を基準としてロボットハンド１００の位置や操作を説明する。ロボットハンド１００の左右方向Ｘ１、前後方向Ｙ１、及び上下方向Ｚ１は、ロボットハンド１００の姿勢によっては左右方向Ｘ、前後方向Ｙ、及び上下方向Ｚと一致する場合もあるが、左右方向Ｘ、前後方向Ｙ、及び上下方向Ｚに対して傾いている場合もある。但し、これは本発明の一例に過ぎず、本発明はこれに限定するものではない。
　まず、図１から図３を参照し、本実施形態の基板移送システム２０と、基板移送システム２０に応用される基板搬送ロボット３０と、基板搬送ロボット３０に取り付けられるロボットハンド１００と、基板Ｗを収納するための格納容器Ｈと、を説明する。本実施形態では、基板移送システム２０は、ロボットハンド１００を備えた基板搬送ロボット３０と、基板搬送ロボット３０を内部に設ける基板搬送モジュール２２と、基板搬送モジュール２２の一方側（例えば、前方側）に配置される少なくとも１つのロードポートＣ1と、基板搬送モジュール２２の他方側（例えば、後方側）に配置される少なくとも１つの処理装置Ｃ２と、基板搬送ロボット３０を制御する制御部２４と、を備える。ここで、基板搬送モジュール２２は、例えばＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）であり、ロードポートＣ1は、基板Ｗを収容する格納容器Ｈ（例えば、ＦＯＵＰ）を載置し、格納容器Ｈのドアを開閉するための装置であり、且つ処理装置Ｃ２は、基板Ｗを処理するための装置である。処理装置Ｃ２の種類は、基板Ｗを処理する工程の内容に応じて選択することができる（例えば、イオン注入やエッチング等の半導体製造工程に必要な処理）。他の図示していない実施形態では、基板搬送モジュール２２と処理装置Ｃ２との間に更にロードロックチャンバを設置してもよい。但し、本発明は、これに限定するものではない。
　具体的には、基板搬送モジュール２２は、筐体２２ａと、筐体２２ａの内部に設けられた基板搬送ロボット３０と、基板搬送ロボット３０を移動させる移動体２２ｂと、基板搬送ロボット３０の移動を案内するための案内構造２２ｃを含む。筐体２２ａは、ロードポートＣ1と処理装置Ｃ２（またはロードロックチャンバ）との間に設置し、ロードポートＣ1と処理装置Ｃ２（またはロードロックチャンバ）を接続する。筐体２２ａの内部には、移動体２２ｂ、案内構造２２ｃ、及び基板搬送ロボット３０等の部材が設置される。移動体２２ｂは、左右方向Ｘの移動を案内するための案内構造２２ｃ（例えば、スライドレール構造、コンベア駆動装置等）に取り付けられ、案内構造２２ｃにより筐体２２ａ内に走行自在に設置されている。基板搬送ロボット３０は、移動体２２ｂに取り付けられ、移動体２２ｂと案内構造２２ｃによって左右方向Ｘへ移動可能（スライド可能）とする。これにより、基板搬送ロボット３０は、ロードポートＣ1及び処理装置Ｃ２（またはロードロックチャンバ）のいずれにもアクセス自在となる。
　また、基板搬送ロボット３０は、基板Ｗを支持するためのロボットハンド１００と、ロボットハンド１００を移動自在に保持する移動機構（例えば、アーム部３２と、本体部３４と、アーム駆動部３６と、を含む）と、を備える。本体部３４は、前述の移動体２２ｂに取り付けられ、移動体２２ｂと案内構造２２ｃによって左右方向Ｘへ移動する。アーム部３２は、本体部３４に対して水平面（左右方向Ｘと前後方向Ｙが構成する仮想な水平面）内で伸縮及び旋回可能でかつ上下方向Ｚにも昇降可能に本体部３４の上端に取り付けられる。アーム駆動部３６は、例えば、本体部３４に内蔵されるモータや伝達機構であり、アーム部３２に駆動力を付与するが、本体部３４の外側に取り付けられてもよい。ロボットハンド１００は、アーム部３２の先端に取り付けられる。従って、基板搬送ロボット３０は、本体部３４を介して移動体２２ｂと案内構造２２ｃによって左右方向Ｘへ移動するだけではなく、アーム駆動部３６を介してアーム部３２を駆動することで、ロボットハンド１００を自在に移動（昇降、旋回、前後）させることができる。
　一例として、基板Ｗは、例えば、ＰＬＰに用いられるガラス基板であり、基板Ｗを収容するための格納容器Ｈに収容される。格納容器ＨとしてのＦＯＵＰは、例えば、複数段（例えば、１２段）のスロットＳ（図３に示す）を有し、複数段のスロットＳのそれぞれに基板Ｗを載置することで、複数の基板Ｗを収容することができる。スロットＳは、格納容器Ｈの内壁から突出し、基板Ｗの左右方向Ｘの両端部を支持する板部材である。なお、格納容器Ｈに格納する基板Ｗの枚数は適宜選択可能であり、本発明は、これに限定するものではない。また、格納容器ＨとしてのＦＯＵＰは、ロードポートＣ1に載置される。ロードポートＣ１によって格納容器Ｈのドアを開放することにより、格納容器Ｈに格納された基板Ｗが基板搬送モジュール２２の筐体２２ａの内部に面するようになる。格納容器Ｈのドアを開放させたのち、基板搬送ロボット３０はアーム駆動部３６を介してアーム部材３２を移動させ、ロボットハンド１００を対応する基板Ｗの下方に移動させる。そののち、ロボットハンド１００の基板支持部１４０によって基板Ｗを支持し、ロボットハンド１００を格納容器Ｈの外部に移動させることによって格納容器Ｈから基板Ｗを取り出し、筐体２２ａの内部へ搬入する。従って、基板搬送モジュール２０の制御装置２４は、後述の基板取り出し方法によって、基板搬送ロボット３０を制御して格納容器Ｈ内の所定の位置に載置された基板Ｗをロボットハンド１００によって取り出すことができる。
　他の図示していない実施形態において、基板搬送モジュール２２の筐体２２ａに設けられる移動体２２ｂと、案内構造２２ｃなどの構造を省略し、基板搬送ロボット３０を筐体１１０に固定して（例えば、基板搬送ロボット３０の本体部３４を筐体１１０の下部に固定する）もよい。この場合、基板搬送ロボット３０自体は、基板搬送モジュール２２に対して移動不能になるが、複数の関節を持つアーム部３２の伸縮、昇降及び本体部３４を中心とした旋回をもって、ロードポートＣ1と処理装置Ｃ２との間で基板Ｗを搬送することができる。基板移送システム２０の基板搬送モジュール２２、ロードポートＣ1、処理装置Ｃ２の具体的な構造と配置関係、または基板搬送ロボット３０の具体的な構造は、必要に応じて調整できる。本発明は、これに限定するものではない。
　次に、図４を参照し、基板Ｗの形状について説明する。図４は、基板Ｗを下方から見た図（例えば、上下方向Ｚの矢印が指す側の反対側から矢印が指す側を見たときの図）であり、基板Ｗは厚みを持った矩形状の板材である。ここで、基板Ｗの底面は、図２のロボットハンド１００の基板支持部１４０や図３の格納容器ＨのスロットＳなどが接触してもよい接触可能領域Ｒ1と、接触してはならない接触不可領域Ｒ２とがある。本実施形態では、基板Ｗの底面に４つの接触不可領域Ｒ２が均等に設けられており、それぞれの接触不可領域Ｒ２の周囲を覆う様に接触可能領域Ｒ１（図４の斜線部分）が設けられる。但し、他の図示していない実施形態において、接触可能領域Ｒ１と接触不可領域Ｒ２の数、寸法、相対位置などは、基板Ｗの種類や大きさに応じて異なってもよい。本発明は、これに限定するものではない。
　次に、図５から図６を参照し、本実施形態のロボットハンド１００の具体的な構造と基板Ｗを取り出す際の操作を説明する。本実施形態では、ロボットハンド１００は、第１の方向の一方側（ここでは、前後方向Ｙの矢印が指す側と反対する側）に開口部Ｏを有する格納容器Ｈ内の所定の位置に載置された基板Ｗを取り出すことに応用することができる。そのうち、基板搬送ロボット３０のロボットハンド１００は、ハンド基部１１０と、ハンド基部１１０から第２の方向の一方側（ここでは、前後方向Ｙ１の矢印が指す側）に延びる延設部１２０と、延設部１２０に設けられる基板検出部１３０と、延設部１２０に設けられる基板支持部１４０と、を備え、かつ制御装置２４によって制御される。即ち、後述の基板取り出し方法は、制御装置２４によって基板搬送ロボット３０のロボットハンド１００を制御し、格納容器Ｈ内に収納された基板Ｗを開口部Ｏから基板搬送ロボット３０に設けられたロボットハンド１００によって取り出す方法である。
　具体的には、ロボットハンド１００は、例えば、基板搬送ロボット３０のアーム部３２に取り付けられ、アーム部３２の移動に従って基板Ｗを保持しながら搬送する。そのうち、ハンド基部１１０は、アーム部３２と接続し（図２に示す）、延設部１２０は、ハンド基部１１０から第２の方向の一方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側）に延びる。本実施形態においては、第２の方向と直交する第３の方向（ここでは、左右方向Ｘ１）に離間した２つの延設部１２０がハンド基部１１０から延びており、ロボットハンド１００は、略Ｙ字状に構成される。基板支持部１４０は、延設部１２０に設置され、基板Ｗの下面から基板Ｗを支持することができる。一例として、基板支持部１４０は、延設部１２０に複数設置される。例えば、基板支持部１４０は、第１の基板支持部１４０Ａ、第２の基板支持部１４０Ｂ、及び第３の基板支持部１４０Ｃを含む。そのうち、第１の基板支持部１４０Ａは、延設部１２０の第２の方向の一方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側）である先端側に設置される。第２の基板支持部１４０Ｂは、延設部１２０の第２の方向の他方側（ここでは、前後方向Ｙ１の矢印が指す側と反対する側）である基端側に設置される。第３の基板支持部１４０Ｃは、延設部１２０の延伸方向である第２の方向（前後方向Ｙ１）において、第１の基板支持部１４０Ａと第２の基板支持部１４０Ｂとの間に設置される。本実施形態においては、２つの延設部１２０のそれぞれに第１の基板支持部１４０Ａ、第２の基板支持部１４０Ｂ及び第３の基板支持部１４０Ｃが設けられている。また、本実施形態においては、基板Ｗの下面には図４に示すように、接触可能領域Ｒ1と接触不可領域Ｒ２とがある。ここで、基板支持部１４０は、ロボットハンド１００と基板Ｗが適切な位置関係にある時（例えば、基板Ｗに対するロボットハンド１００の相対的な位置、姿勢が所定の位置、姿勢である時）に、全ての基板支持部１４０は、後述の補正工程後の基板支持工程において、基板Ｗの接触可能領域Ｒ１にのみ接触するように設けられている。
　更に、ロボットハンド１００は、必要に応じて延設部１２０に支持された基板Ｗの位置を規制するための規制部１５０を設けることも可能である。例えば、延設部１２０の第２の方向の一方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側）である先端側に第１の規制部１５０Ａを設置し、延設部１２０の第２の方向の他方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側と反対する側）である基端側に第２の規制部１５０Ｂを設置する。これにより、基板支持部１４０が基板Ｗを支持する際に、第１の規制部１５０Ａが基板Ｗの第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）の端面と当接し、第２の規制部１５０Ｂが基板Ｗの第１の方向の一方側（ここでは、前後方向Ｙの矢印が指す側と反対する側）の端面と当接することができる。これらの基板支持部１４０と規制部１５０は、延設部１２０の上面１２２に収納又は展開可能に設置される（図５に示す）、ハンド基部１１０又は延設部１２０に設けられる駆動部１６０によって駆動されるようにしてもよい。一例として、駆動部１６０の駆動源は、取付プレート１２４によってハンド基部１１０に設けられる。但し、基板支持部１４０の数と設置位置、規制部１５０と駆動部１６０の設置の要否、又は駆動部１６０の種類と取り付け位置などは、必要に応じて調整してもよい。本発明は、これに限定するものではない。
　また、基板検出部１３０は、延設部１２０に設けられ、基板検出部１３０の上部における基板の有無を検出する。基板検出部１３０は、基板検出部１３０が基板Ｗの縁部の下方を通過する時の検出状況の切り替わりによって、基板Ｗの縁部Ｅの位置を特定することができる。ここで、基板Ｗは、矩形状の基板を例として挙げている（例えば、略長方形）が、多角形状（例えば、六角形）などの形状の基板を採用してもよい。基板Ｗは、少なくとも一つの直線状の縁部Ｅを有しさえすればよい。図６に示すように、格納容器Ｈに載置される状態において、基板Ｗは、格納容器Ｈの第１の方向の一方側（前後方向Ｙの矢印が指す側と反対する側）に対応し、開口部Ｏに近い縁部Ｅ１と、第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に対応し、開口部Ｏから離れる縁部Ｅ２を有する。これに対して、基板搬送ロボット３０は、ロボットハンド１００を格納容器Ｈの第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に移動させ、開口部Ｏから延設部１２０を格納容器Ｈ内に挿入することによって、基板Ｗの下方を通過させる基板検出部１３０によって縁部Ｅ１と縁部Ｅ２のいずれかの位置を特定する。特定した基板Ｗの縁部Ｅ１と縁部Ｅ２のいずれかの位置に基づいてロボットハンド１００に対する基板Ｗの傾きを算出し、算出した基板Ｗの傾きに基づいてロボットハンド１００の位置と姿勢を補正する。これから基板支持部１４０によって基板Ｗを支持し、基板Ｗを支持したロボットハンド１００を第１の方向の一方側（前後方向Ｙの矢印が指す側と反対側）に移動させて基板Ｗを格納容器Ｈから取り出す。基板検出部１３０の延設部１２０に設けられる位置について、以下の例を挙げて説明する。
　第１の実施形態としての本実施形態では、基板検出部１３０は、第１の基板検出部１３０ａと、第２の基板検出部１３０ｂと、を含む。そのうち、第１の基板検出部１３０ａと、第２の基板検出部１３０ｂは、２つの延設部１２０の第２の方向の一方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側）である先端側（延設部１２０のハンド基部１１０から離れる側）にそれぞれ設けられる。即ち、２つの延設部１２０のうち、第３の方向の他方側（左右方向Ｘ１の矢印が指す側と反対側）の延設部１２０に第１の基板検出部１３０ａが設けられ、且つ第３の方向の一方側（ここでは、左右方向Ｘ１の矢印が指す側）の延設部１２０に第２の基板検出部１３０ｂが設けられる。また、２つの延設部１２０の先端側にそれぞれ設けられる第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂは、第３の方向（左右方向Ｘ１）において並列して設置される（オフセットせずに設置される）。但し、後述の変形例（図１０に示す）の様に、第２の基板検出部１３０ｂは、更に第１の基板検出部１３０ａから第２の方向の一方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側）に離間して設けられ（即ち、オフセットして設置され）てもよい。或いは、延設部１２０の第２の方向の一方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側）である先端側に、１つの基板検出部１３０だけを設けてもよい。
　第２の実施形態（図１２Ａから図１２Ｆに示す例、後述の説明を参照）では、基板検出部１３０は、第１の基板検出部１３０ａと、第２の基板検出部１３０ｂと、を含む。そのうち、第１の基板検出部１３０ａと、第２の基板検出部１３０ｂは、２つの延設部１２０の第２の方向の他方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側と反対する側）である基端側（延設部１２０のハンド基部１１０に近い側）にそれぞれ設けられる。同様に、２つの延設部１２０の基端側にそれぞれ設けられる第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂは、第３の方向（左右方向Ｘ１）において並列して設置され（オフセットせずに設置され）てもよく、図示していない実施形態において第２の方向にオフセットして設置されてもよく、或いは基端側に１つの基板検出部１３０だけを設けてもよい。本発明は、これに限定するものではない。
　ここで、第１の方向（前後方向Ｙ）を基準として格納容器Ｈの開口部Ｏの向きと、格納容器Ｈに載置させる基板Ｗの縁部Ｅ１と縁部Ｅ２の相対位置と、ロボットハンド１００を格納容器Ｈに挿入する際の移動方向を定義し、第２の方向（前後方向Ｙ１）を基準としてロボットハンド１００の延設部１２０の延伸方向と、延設部１２０に設けられる基板検出部１３０の位置を定義する。少なくともロボットハンド１００を格納容器Ｈに挿入する際には、第１の方向（前後方向Ｙ）と第２の方向（前後方向Ｙ１）とが平行になることが好ましい。即ち、図６に示すように、前後方向Ｙと前後方向Ｙ１とが一致する。このように、ロボットハンド１００は、第２の方向の一方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側）に延びる延設部１２０を第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に向かって開口部Ｏから格納容器Ｈ内に挿入し、延設部１２０の第２の方向の一方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側）である先端側又は第２の方向の他方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側と反対する側）である基端側に設けられる基板検出部１３０によって基板Ｗの第１の方向の一方側（前後方向Ｙの矢印が指す側と反対する側）に対応する縁部Ｅ１と第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に対応する縁部Ｅ２のいずれかの位置を特定し、特定した基板Ｗの縁部Ｅ１と縁部Ｅ２のいずれかの位置に基づいて基板Ｗのロボットハンド１００に対する傾きを算出する。算出した基板Ｗの傾きに基づいてロボットハンド１００の位置と姿勢を補正した後、ロボットハンド１００の基準とする第２の方向（前後方向Ｙ１）は、格納容器Ｈの基準とする第１の方向（前後方向Ｙ）と平行であることに限定するものではない。補正後のロボットハンド１００の第２の方向（前後方向Ｙ１）は、載置状態の基板Ｗの中心線Ｌと平行になること（後述の説明の通り）が好ましい。ここで、中心線Ｌは、縁部Ｅ１及び縁部Ｅ２と直交し、縁部Ｅ１と縁部Ｅ２を結ぶ線である。
　基板検出部１３０の延設部１２０に設けられる位置について、第１の実施形態（図５～図６に示す）では、基板検出部１３０は、延設部１２０の第２の方向の一方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側）である先端側に設けられ、且つ第２の方向（前後方向Ｙ１）と直交する第３の方向（左右方向Ｘ１）に離間して設けられる第１の基板検出部１３０ａと、第２の基板検出部１３０ｂと、を含む。これに対して、第２の実施形態（図１２Ａから図１２Ｆに示す例、後述の説明を参照）では、基板検出部１３０は、延設部１２０の第２の方向の他方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側と反対する側）である基端側に設けられ、且つ第２の方向（前後方向Ｙ１）と直交する第３の方向（左右方向Ｘ１）に離間して設けられる第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂと、を含む。また、基板Ｗは、格納容器Ｈの第１の方向の一方側（前後方向Ｙの矢印が指す側と反対する側）に対応し、開口部Ｏに近い位置にある縁部Ｅ１と、第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に対応し、開口部Ｏから離れた位置にある縁部Ｅ２を有する。従って、基板検出部１３０の位置と検出する予定の縁部Ｅの位置に対して、基板取り出し方法の各工程の操作は異なる部分があるため、以下の幾つかの例を通して本発明の基板取り出し方法を説明する。
　図７と図８を参照し、本実施形態における、基板取り出し方法を説明する。基板取り出し方法は、第１の方向の一方側（前後方向Ｙの矢印が指す側と反対する側）に開口部Ｏを有する格納容器Ｈ内の所定の位置に載置された基板Ｗを基板搬送ロボット３０に設けられたロボットハンド１００によって取り出す基板取り出し方法であって、以下の工程を含む。第１の移動工程Ｓ０１：ロボットハンド１００を第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に移動させ、開口部Ｏから延設部１２０を格納容器Ｈ内の基板Ｗの下方に挿入する。第１の検出工程Ｓ０２：第１の移動工程Ｓ０１において、基板検出部１３０による基板Ｗの検出状況の変化によって基板Ｗの少なくとも一つの直線状の縁部Ｅ（縁部Ｅ１とＥ２のいずれか）の位置を特定する。第１の停止工程Ｓ０３：ロボットハンド１００の第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に向かう移動を停止させる。算出工程Ｓ０４：第１の検出工程Ｓ０２で検出した基板Ｗの縁部Ｅ（縁部Ｅ１とＥ２のいずれか）の位置に基づき、基板Ｗのロボットハンド１００に対する傾きを算出する。補正工程Ｓ０５：第１の検出工程Ｓ０２で特定した縁部Ｅの位置と、算出工程Ｓ０４で算出した基板Ｗの傾きに基づき、ロボットハンド１００の位置と姿勢を補正する。基板支持工程Ｓ０６：基板支持部１４０が基板Ｗの下方に当接し、ロボットハンド１００が基板Ｗを支持する。取り出し工程Ｓ０７：基板Ｗを支持しているロボットハンド１００を第１の方向の一方側（前後方向Ｙの矢印が指す側と反対する側）に移動させ、基板Ｗを格納容器Ｈから取り出す。また、補正工程Ｓ０５は、ロボットハンド１００の姿勢を補正する傾き補正工程Ｓ０５１と、先端側に設けられる基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ２に向かうよう、ロボットハンド１００を移動させる第２の移動工程Ｓ０５２と、傾き補正工程Ｓ０５１が完了後、基板支持部１３０が基板Ｗの下方に位置し、且つ、基板検出部１３０が基板Ｗを検出する位置にて、ロボットハンド１００の第２の移動工程Ｓ０５２における移動を停止させる第２の停止工程Ｓ０５３と、を含む。
　ここで、第１の実施形態のロボットハンド１００（図５～図６に示す）を通して、延設部１２０の先端側に設けられる基板検出部１３０が基板Ｗの開口部Ｏから離れた位置に位置する縁部Ｅ２を検出して傾きを補正し、基板を取り出す基板取り出し方法（図９Ａから図９Ｆに示す）を説明する。ここで、基板検出部１３０の検出を説明するため、図９Ａから図９Ｄに示すロボットハンド１００から基板支持部１４０などの部材を省略するが、それに限定するものではない。先ず、図９Ａに示すように、第１の移動工程Ｓ０１は、ロボットハンド１００を第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に移動させ、開口部Ｏから延設部１２０を格納容器Ｈ内の基板Ｗの下方に挿入する。ここで、ロボットハンド１００を格納容器Ｈに挿入する際に、格納容器Ｈの第１の方向（前後方向Ｙ）とロボットハンド１００の第２の方向（前後方向Ｙ１）が平行になるようにロボットハンド１００を制御することが好ましい。また、第１の検出工程Ｓ０２は、第１の移動工程Ｓ０１において、基板検出部１３０による基板Ｗの検出状況の変化によって基板Ｗの縁部Ｅ２の位置を特定する。即ち、第１の検出工程Ｓ０２は、第１の移動工程Ｓ０１においてロボットハンド１００が移動する際に、延設部１２０に設けられる基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ２の下方を通過する際に実行される。また、図９Ｂに示すように、第１の停止工程Ｓ０３は、ロボットハンド１００が第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に向かう移動を停止させる。即ち、第１の停止工程Ｓ０３が実行された際に、第１の移動工程Ｓ０１は終了する。
　具体的には、第１の移動工程Ｓ０１は、第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に向かってロボットハンド１００を移動させて延設部１２０を基板Ｗの下方に挿入し、延設部１２０の先端側に設けられる基板検出部１３０を基板Ｗの下方から突出させることによって、基板検出部１３０を基板Ｗの縁部Ｅ２の下方を通過させる。即ち、延設部１２０の先端側に設けられる基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ２から突出するまで延設部１２０を移動させる。この場合には、第１の検出工程Ｓ０２は、基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ２の下方を通過する前後の検出信号の切り替わりによって、基板検出部１３０の基板Ｗに対する検出状況が変化したと判定し、縁部Ｅ２の位置を特定する。例えば、第１の検出工程Ｓ０２は、基板検出部１３０が基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の下方を通過する前後の検出信号のオンからオフへの切り替わり（基板検出部１３０が、基板Ｗ有りと判定している状態から基板Ｗ無しと判定している状態への切り替わり）によって、基板検出部１３０の移動経路上にある基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の位置を特定する。また、第１の停止工程Ｓ０３は、基板検出部１３０が基板Ｗの下方から第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に突出した位置にてロボットハンド１００の移動を停止させる。第１の移動工程Ｓ０１から第１の停止工程Ｓ０３までの操作は、図９Ａから図９Ｂに示すように変化し、且つ第１の検出工程Ｓ０２は、第１の移動工程Ｓ０１から第１の停止工程Ｓ０３との間に実行される。第１の停止工程Ｓ０３の実行時点は、一例として、第１の検出工程Ｓ０２によって縁部Ｅ２の位置を特定した直後であるが、第１の検出工程Ｓ０２によって縁部Ｅ２の位置を特定した後にロボットハンド１００の移動が予定時間を経過した時点、或いは、第１の検出工程Ｓ０２によって縁部Ｅ２の位置を特定した後にロボットハンド１００が予定距離まで移動した際の時点にしてもよい。本発明は、それに限定するものではない。
　第１の停止工程Ｓ０３の後、ロボットハンド１００の延設部１２０が格納容器Ｈ内に位置し、且つ基板Ｗの下方に位置する状態のままで、算出工程Ｓ０４と補正工程Ｓ０５を実行する。具体的に、算出工程Ｓ０４は、第１の検出工程Ｓ０２で検出した基板Ｗの縁部Ｅ２の位置に基づき、基板Ｗのロボットハンド１００に対する傾きを算出する。一例として、算出工程Ｓ０４は、基板Ｗの水平面における傾きの方向と傾き量を算出する。また、補正工程Ｓ０５は、算出工程Ｓ０４で算出した基板Ｗの傾きに基づき、ロボットハンド１００の位置と姿勢を補正する。補正工程Ｓ０５は、ロボットハンド１００の延設部１２０が格納容器Ｈ内に位置する状態で補正を行う。即ち、格納容器Ｈに挿入したロボットハンド１００を格納容器Ｈ内に位置する状態でロボットハンド１００の位置と姿勢を補正する。
　一例として、本実施形態では、ロボットハンド１００の延設部1２０の先端部に基板検出部１３０としての第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂが並列して設置される。そのため、図９Ｂに示すように、格納容器Ｈに載置される基板Ｗがロボットハンド１００に対して傾きが有る場合には、第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂが基板Ｗの縁部Ｅ２の下方を通過する時点、又は位置が異なる。これにより、第１の検出工程Ｓ０２は、図７に示すように、第１の基板検出部１３０ａによる基板Ｗの検出状況の変化によって第１の基板検出部１３０ａの移動経路上に位置する基板Ｗの縁部Ｅ２の位置を特定する第３の検出工程Ｓ０２１と、第２の基板検出部１３０ｂによる基板Ｗの検出状況の変化によって第２の基板検出部１３０ｂの移動経路上に位置する基板Ｗの縁部Ｅ２の位置を特定する第４の検出工程Ｓ０２２と、を含む。例えば、第３の検出工程Ｓ０２１は、第１の基板検出部１３０ａが基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の下方を通過する前後の検出信号のオンからオフへの切り替わり（基板Ｗ有りから基板Ｗ無しへの切り替わり）によって基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の位置を検出し、第４の検出工程Ｓ０２２は、第２の基板検出部１３０ｂが基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の下方を通過する前後の検出信号のオンからオフへの切り替わり（基板Ｗ有りから基板Ｗ無しへの切り替わり）によって基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の位置を検出する。そして、第１の停止工程Ｓ０３は、第３の検出工程と第４の検出工程が完了後、第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂの双方が基板Ｗの下方から突出した位置にて、第１の移動工程Ｓ０２におけるロボットハンド１００の第１の方向の他方側への移動を停止させる。
　そのため、図９Ｂに示すように、第３の検出工程Ｓ０２１にて特定した第１の基板検出部１３０ａの移動経路上に位置する縁部Ｅ２の位置を第１の縁部位置Ｐ１、第４の検出工程Ｓ０２２にて特定した第２の基板検出部１３０ｂの移動経路上に位置する縁部Ｅ２の位置を第２の縁部位置Ｐ２とした時、算出工程Ｓ０４は、第１の縁部位置Ｐ１と第２の縁部位置Ｐ２の第２の方向（前後方向Ｙ１）における差分Ｄ１に応じた第１距離情報と、第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂの第３の方向（左右方向Ｘ１）における離間した距離Ｄ２に応じた第２距離情報とに基づき、ロボットハンド１００の前記第３の方向に対する基板Ｗの傾きの方向と傾きの量（例えば、図９Ｂに示す傾斜角θ）を算出する。その後、補正工程Ｓ０５において、傾き補正工程Ｓ０１を実行し（図９Ｃに示す）、算出工程Ｓ０４で算出した傾きの方向と傾きの量に基づき、ロボットハンド１００を水平面において時計回り、又は反時計回りに回転させ、図９Ｃに示すように、ロボットハンド１００の第３の方向と基板Ｗの縁部Ｅ２とが平行になる様に姿勢を補正する。またその際、矩形状の基板Ｗを採用する場合は、ロボットハンド１００の第２の方向（前後方向Ｙ１）と基板Ｗの中心線Ｌが平行になる。ここで、中心線Ｌは、縁部Ｅ１及び縁部Ｅ２と直交し、縁部Ｅ１と縁部Ｅ２を結ぶ線である。
　第２の移動工程Ｓ０５２におけるロボットハンド１００の動作を、図９Ｄに示す。第２の移動工程Ｓ０５２は、ロボットハンド１００を格納容器Ｈの開口部Ｏに向かうように移動させ、基板Ｗの縁部Ｅ２から突出した状態の基板検出部１３０を基板Ｗの下方に移動させる。例えば、図９Ｄでは、ロボットハンド１００を第２の方向（ロボットハンド１００の延設部１２０の延伸方向としての前後方向Ｙ１）と平行な方向に移動させているが、第１の方向の一方側（前後方向Ｙの矢印が指す側と反対側）に移動させてもよく、また直線の動作以外の場合を含むことも可能である。また、傾き補正工程Ｓ０５１と第２の移動工程Ｓ０５２は、同時に実行されるか、または始めに傾き補正工程Ｓ０５１を行い（図９Ｃ）、次に第２の移動工程Ｓ０５２を行う（図９Ｄ）順で実行される。傾き補正工程Ｓ０５１と第２の移動工程Ｓ０５２が同時に実行される場合には、ロボットハンド１００の傾き補正工程Ｓ０５１での回転と第２の移動工程Ｓ０５２での移動は、同時に実行される（図９Ｃと図９Ｄの動作を組合せる）。そして、図９Ｄに示すように、第２の停止工程Ｓ０５３は、基板検出部１３０が基板Ｗの下方に位置した状態で、ロボットハンド１００が格納容器Ｈの開口部Ｏに向かう移動を停止させる。即ち、第２の停止工程Ｓ０５３が実行される時点で、第２の移動工程Ｓ０５２を終了する。
　第２の停止工程Ｓ０５３の実行手段について、一例として、第２の移動工程Ｓ０５２は、更に第２の検出工程Ｓ０５２１を含み、第２の検出工程Ｓ０５２１は、基板検出部１３０による基板Ｗの検出状況の変化を検出する。即ち、第２の検出工程Ｓ０５２１は、基板検出部１３０が基板Ｗの第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）にある縁部Ｅ２の下方を通過して検出信号のオフからオンへの切り替わり（基板検出部１３０が、基板Ｗ無しと判定している状態から基板Ｗ有りと判定している状態への切り替わり）によって基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の位置を特定する。そして、第２の停止工程Ｓ０５３は、第２の検出工程Ｓ０５２１において基板検出部１３０が基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の下方を通過して検出信号がオフからオンへと切り替わった（基板Ｗ無しから基板Ｗ有りへ切り替わった）後に、ロボットハンド１００の第２の移動工程Ｓ０５２における移動を停止させる。
　また、第２の検出工程Ｓ０５２１は、更に、第１の基板検出部１３０ａによる基板Ｗの検出状況の変化によって第１の基板検出部１３０ａの移動経路上に位置する基板Ｗの縁部Ｅ２の位置を特定する第５の検出工程Ｓ０５２２と、第２の基板検出部１３０ｂによる基板Ｗの検出状況の変化によって第２の基板検出部１３０ｂの移動経路上に位置する基板Ｗの縁部Ｅ２の位置を特定する第６の検出工程Ｓ０５２３と、を含む。例えば、第５の検出工程Ｓ０５２２は、第１の基板検出部１３０ａが基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の下方を通過する前後の検出信号のオフからオンへの切り替わり（基板Ｗ無しから基板Ｗ有りへの切り替わり）によって基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の位置を検出し、第１の基板検出部１３０ａが基板Ｗの縁部Ｅ２を通過して基板Ｗの下方に戻されたかどうかを検知する。第６の検出工程Ｓ０５２３は、第２の基板検出部１３０ｂが基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の下方を通過する前後の検出信号のオフからオンへの切り替わり（基板Ｗ無しから基板Ｗ有りへの切り替わり）によって基板Ｗの第１の方向の他方側にある縁部Ｅ２の位置を検出し、第２の基板検出部１３０ｂが基板Ｗの縁部Ｅ２を通過して基板Ｗの下方に戻されたかどうかを検知する。また、第５の検出工程Ｓ０５２２にて特定した縁部Ｅ２の位置を第３の縁部位置Ｐ３、第６の検出工程Ｓ０５２３にて特定した縁部Ｅ２の位置を第４の縁部位置Ｐ４とし（図９Ｄに示す）、補正工程Ｓ０５は、第３の縁部位置Ｐ３と第４の縁部位置Ｐ４の第２の移動工程Ｓ０５２の移動方向における差分に基づき、基板Ｗの傾きに対するロボットハンド１００の補正が完了したことを判定する傾き補正完了確認工程Ｓ０５２４、をさらに含んでいてもよい。
　もう１つの例として、算出工程Ｓ０４は、更に、第１の検出工程Ｓ０２において検出した基板Ｗの縁部Ｅ２の位置に基づいて、第１の停止位置を算出し、第２の停止工程Ｓ０５３は、ロボットハンド１００が第１の停止位置に到達した時に、第２の移動工程Ｓ０５２における移動を停止させる。この場合は、前述の第２の検出工程Ｓ０５２１を省略してもよい。従って、第２の停止工程Ｓ０５３の実行時点（即ち、第２の移動工程Ｓ０５２を終了する際のロボットハンド１００の位置）は、基板検出部１３０を使用して第２の検出工程Ｓ０５２１によって決定してもよく、算出工程Ｓ０４によって決定してもよい。本発明は、これに限定するものではない。
　詳細に述べると、ロボットハンド１００の基板Ｗの傾きを補正するための傾き補正工程Ｓ０５１では、基板Ｗの第１の方向の他方側の縁部Ｅ２と、ロボットハンド１００の第３の方向（延設部１２０の幅方向としての左右方向Ｘ１）とが平行になるように、ロボットハンド１００を回転させる。そのため、傾き補正工程Ｓ０５１が行われた後のロボットハンド１００は、第１の基板検出部１３０ａから基板Ｗの縁部Ｅ２までの距離と、第２の基板検出部１３０ｂから基板Ｗの縁部Ｅ２迄の距離とが等しくなる。特に、第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂは第３の方向に離間した位置に並列して設置されるため、傾き補正完了確認工程Ｓ０５２４では、第１の基板検出部１３０ａによって特定された基板Ｗの縁部Ｅ２の位置である第３の縁部位置Ｐ３の第２の方向（前後方向Ｙ１）の位置と、第２の基板検出部１３０ｂによって特定された基板Ｗの縁部Ｅ２の位置である第４の縁部位置Ｐ４の第２の移動工程Ｓ０５２の移動方向における位置が一致することにより、傾き補正が完了したと判定することが好ましい。
　そのため、傾き補正完了確認工程Ｓ０５２４では、第１の基板検出部１３０ａによる第３の縁部位置Ｐ３と、第２の基板検出部１３０ｂによる第４の縁部位置Ｐ４の第２の移動工程Ｓ０５２の移動方向における位置が一致するかどうか（即ち、第３の縁部位置Ｐ３と第４の縁部位置Ｐ４の差分は０になるか）によって、基板Ｗの傾きに対するロボットハンド１００の補正が完了したかどうかを判定する。従って、傾き補正完了確認工程Ｓ０５２４は、第２の移動工程Ｓ０５２の間に実行されることが好ましい。即ち、傾き補正工程Ｓ０５１と第２の移動工程Ｓ０５２は、始めに傾き補正工程Ｓ０５１を行い、次に第２の移動工程Ｓ０５２を行う順で実行され、第２の検出工程Ｓ０５２１（２つの基板検出部１３０を有する場合は第５の検出工程Ｓ０５２２と第６の検出工程Ｓ０５２３に分かれる）と傾き補正完了確認工程Ｓ０５２４は、第２の移動工程Ｓ０５２が行われる過程で実行される。その後、第２の停止工程Ｓ０５３でロボットハンド１００の第２の移動工程Ｓ０５２における移動を停止させる。
　また、第１の実施形態の変形例を図１０に示す。第１の実施形態の変形例では、第２の基板検出部１３０ｂは、更に第１の基板検出部１３０ａから第２の方向の一方側（ハンド基部１１０から延設部１２０が延びる側、且つ前後方向Ｙ１の矢印が指す側）に離間して設けられる（即ち、オフセットして設置される）。図１０は、第１の実施形態の変形例の第２の停止工程Ｓ０５３における状態を示す図であり、第１の実施形態の第２の停止工程Ｓ０５３における状態を示す図９Ｄに対応する。この場合には、ロボットハンド１００の基板Ｗの傾きを補正するための傾き補正工程Ｓ０５１が行われる時に、基板Ｗの第１の方向の他方側の縁部Ｅ２と、ロボットハンド１００の第３の方向（延設部１２０の幅方向としての左右方向Ｘ１）とが平行になるように、ロボットハンド１００を回転させる。このため、第２の移動工程Ｓ０５２が行われる時に、ロボットハンド１００が格納容器Ｈの開口部Ｏに向かう移動の過程において、オフセットして設置される第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂのいずれか一方が先に基板Ｗの縁部Ｅ２の下方を通過する。従って、第２の停止工程Ｓ０５３は、第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂのいずれか一方が基板Ｗを検出し、且つ、他方が基板Ｗを検出しない位置にて、ロボットハンド１００の第２の移動工程Ｓ０５２における移動を停止させることが好ましい。即ち、第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂの一方が基板Ｗを検出することによって基板支持部１４０が基板Ｗの下方に戻ったことを確定し、第２の停止工程Ｓ０５３を実行し、ロボットハンド１００の移動を停止させてもよい。これにより、後述の基板Ｗを支持して搬送する際に、ロボットハンド１００に対する基板Ｗの第２の方向の一方側、第２の方向の他方側へのずれを検知することが可能となる。但し、第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂがオフセットして設置される場合に、第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂのいずれも基板Ｗの下方を通過して基板Ｗを検出してから第２の停止工程Ｓ０５３を実行してもよい。本発明は、それに限定するものではない。
　前述の様に、基板Ｗの下面には図４に示すように、接触可能領域Ｒ1と接触不可領域Ｒ２とがある。ここで、基板支持部１４０は、前述の補正工程Ｓ０５によってロボットハンド１００の位置と姿勢を補正して適切な位置関係となることで、全ての基板支持部１４０が、基板支持工程Ｓ０６において、基板Ｗの接触可能領域Ｒ１にのみ接触するようになる。これから基板支持部１４０によって基板Ｗを支持し、基板Ｗを格納容器Ｈから取り出すことができる。具体的には、図９Ｅに示すように、基板支持工程Ｓ０６では、基板支持部１４０によって基板Ｗを支持する。例えば、延設部１２０に設置されて移動可能な（延設部１２０の上面１２２に収納又は展開可能に設置される）基板支持部１４０を基板Ｗの下面に接触するまで展開させ、或いは、延設部１２０に設置されて移動不能な基板支持部１４０が基板Ｗの下面に接触するまでロボットハンド１００を上下方向Ｚに沿って移動させ、基板支持部１４０によって基板Ｗを支持する。このとき、基板支持部１４０は、基板Ｗの接触可能領域Ｒ1にのみ接触して基板Ｗを支持している（図９Ｅに示す）。その後更に、基板支持部１４０又はロボットハンド１００を上下方向Ｚに沿って移動させ、基板Ｗを格納容器ＨのスロットＳから持ち上げ、基板Ｗと格納容器Ｈとの接触を解除する。ここで、基板Ｗは、格納容器Ｈ内において、格納容器Ｈの載置部材であるスロットＳ上に載置姿勢で載置されており、基板支持工程Ｓ０６は、基板Ｗを載置姿勢に維持した状態で載置部材であるスロットＳから上方に持ち上げ、基板Ｗと補正後のロボットハンド１００の相対位置を崩さないようにロボットハンド１００を動作させる。
　そして、図９Ｆに示すように、取り出し工程Ｓ０７は、基板Ｗを支持しているロボットハンド１００を第１の方向の一方側（前後方向Ｙの矢印が指す側と反対する側）に移動させ、基板Ｗを格納容器Ｈから取り出す。ここで、取り出し工程Ｓ０７において、基板支持部１４０によって持ち上げられた基板Ｗは、載置姿勢を維持した状態で、ロボットハンド１００を第１の方向の一方側（前後方向Ｙの矢印が指す側と反対する側）に移動させ、第１の方向の一方側に向かう開口部Ｏを介して基板Ｗを格納容器Ｈから取り出す。従って、図７、図８、図９Ａから図９Ｆ、図１０に示す基板取り出し方法、及び基板取り出し方法を応用する基板移送システム２０は、基板Ｗの傾きに基づいてロボットハンド１００の位置と姿勢を補正してから、ロボットハンド１００の基板支持部１４０が基板Ｗの接触可能な領域と接触して支持し、基板Ｗを支持しながら格納容器Ｈから取り出すことができるため、基板Ｗの傾きによる損傷を避けることができる。また、基板Ｗの傾きに基づいたロボットハンド１００の位置と姿勢の補正は、ロボットハンド１００の延設部１２０が格納容器Ｈ内に位置する状態で補正を行うため、基板Ｗを取り出す前のロボットハンド１００の大幅な移動が不要になり、基板Ｗを取り出す際の制御安定性を向上させ、基板Ｗを取り出す際の時間を短縮させることができる。
　また、上述の第１の実施形態は、延設部１２０の先端側に設けられる基板検出部１３０が基板Ｗの開口部Ｏから離れた位置に位置する縁部Ｅ２を検出する場合の基板取り出し方法の一例として説明したが、図１１Ａから図１１Ｄに示すように、延設部１２０の先端側に設けられる基板検出部１３０が基板Ｗの開口部Ｏに近い位置に位置する縁部Ｅ１を検出する場合の基板取り出し方法も可能である。ここで、基板検出部１３０の検出時の動作を説明するため、図１１Ａから図１１Ｄに示すロボットハンド１００は基板支持部１４０などの部材を省略するが、それに限定するものではない。図１１Ａに示すように、第１の移動工程Ｓ０１は、ロボットハンド１００を第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に移動させ、開口部Ｏから延設部１２０を格納容器Ｈ内に挿入する。ここで、本実施形態の第１の移動工程Ｓ０１は、図９Ａに示す第１の実施形態における第１の移動工程Ｓ０１と同じ操作を行ってもよい。また、第１の検出工程Ｓ０２は、第１の移動工程Ｓ０１において、基板検出部１３０による基板Ｗの検出状況の変化によって基板Ｗの縁部Ｅ１の位置を特定する。そして、図１１Ｂに示すように、第１の停止工程Ｓ０３は、第１の検出工程Ｓ０２後に、ロボットハンド１００の第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に向かう移動を停止させる。
　具体的には、図１１Ａに示すように、第１の移動工程Ｓ０１は、第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に向かって延設部１２０を基板Ｗの下方に挿入させることによって、延設部１２０の先端側に設けられる基板検出部１３０を基板Ｗの縁部Ｅ１の下方を通過させる。この場合には、第１の検出工程Ｓ０２は、基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ１の下方を通過する前後の検出信号の切り替わりによって、基板検出部１３０の基板Ｗに対する検出状況が変化したと判定し、縁部Ｅ１の位置を特定する。例えば、第１の検出工程Ｓ０２は、基板検出部１３０が基板Ｗの第１の方向の一方側にある縁部Ｅ１の下方を通過する前後の検出信号のオフからオンへの切り替わり（基板検出部１３０が基板Ｗ無しと判定している状態から基板Ｗ有りと判定している状態への切り替わり）によって、基板１３０の移動経路上にある基板Ｗの第１の方向の一方側にある縁部Ｅ１の位置を特定する。ここでの基板Ｗの縁部Ｅ１に対応する第１の検出工程Ｓ０２は、前述の基板Ｗの縁部Ｅ２に対応する第１の検出工程Ｓ０２との検出方法と同じ手法（例えば、第１の基板検出部１３０ａによる第３の検出工程Ｓ０２１と第２の基板検出部１３０ｂによる第４の検出工程Ｓ０２２を含む）を採用してもよい。また、図１１Ｂに示すように、第１の停止工程Ｓ０３は、基板検出部１３０が基板Ｗの下方に位置する場所にて（基板検出部１３０が基板Ｗの下方から突出せず、基板Ｗ有りと判定している状態）ロボットハンド１００の移動を停止させる。第１の移動工程Ｓ０１から第１の停止工程Ｓ０３までの操作は、図１１Ａから図１１Ｂに示すように変化し、且つ第１の検出工程Ｓ０２は、第１の移動工程Ｓ０１から第１の停止工程Ｓ０３との間に実行される。第１の停止工程Ｓ０３の実行時点は、一例として、第１の検出工程Ｓ０２によって縁部Ｅ１の位置を特定した後にロボットハンド１００の移動が予定時間を経過した時点、或いは、第１の検出工程Ｓ０２によって縁部Ｅ１の位置を特定した後にロボットハンド１００が予定距離まで移動した際の時点に実行してもよい。また、他の図示していない実施形態では、第１の停止工程Ｓ０３は、図９Ｂに示すように基板検出部１３０が基板Ｗの下方から突出した位置までロボットハンド１００を移動させることも可能である。本発明は、それに限定するものではない。
　また、算出工程Ｓ０４は、第１の検出工程Ｓ０２で検出した基板Ｗの縁部Ｅ１の位置に基づき、基板Ｗのロボットハンド１００に対する傾きを算出する。補正工程Ｓ０５は、算出工程Ｓ０４で算出した基板Ｗの傾きに基づき、ロボットハンド１００の位置と姿勢を補正し、且つロボットハンド１００の姿勢を補正する傾き補正工程Ｓ０５１と、先端側に設けられる基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ２に向かうようにロボットハンド１００を移動させる第２の移動工程Ｓ０５２と、傾き補正工程Ｓ０５１が完了後、基板支持部１３０が基板Ｗの下方に位置し、且つ、基板検出部１３０が基板Ｗを検出する位置にて、ロボットハンド１００の第２の移動工程Ｓ０５２における移動を停止させる第２の停止工程Ｓ０５３と、を含む。
　一例として、図１１Ｃに示すように、傾き補正工程Ｓ０５１は、算出工程Ｓ０４で算出した傾きの方向と傾きの量に基づき、ロボットハンド１００の水平面における姿勢を補正する。例えば、基板Ｗの第１の方向の一方側の縁部Ｅ１と、ロボットハンド１００の第３の方向とが平行になるように、ロボットハンド１００の姿勢を補正する（例えば、ロボットハンド１００を左右方向Ｘと前後方向Ｙで構成される平面において回転させる）。ここでの基板Ｗの縁部Ｅ１に対応する傾き補正工程Ｓ０５１は、前述の基板Ｗの縁部Ｅ２に対応する傾き補正工程Ｓ０５１と同じ手法（例えば、第２の移動工程Ｓ０５２に傾き補正完了確認工程Ｓ０５２４を行う）を採用してもよい。また、図１１Ｄに示すように、第２の移動工程Ｓ０５２は、基板Ｗの下方に位置する基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ２に向かう様ロボットハンド１００を移動させる。例えば、図１１Ｄでは、ロボットハンド１００を第２の方向（ロボットハンド１００の延設部１２０の延伸方向としての前後方向Ｙ１）と平行な方向に移動させているが、第１の方向の一方側（前後方向Ｙの矢印が指す側と反対側）に移動させてもよい。図１１Ｄに示すように、第２の停止工程Ｓ０５３は、第２の移動工程Ｓ０５２におけるロボットハンド１００の移動を停止させる。ここで第２の停止工程Ｓ０５３の実行時点は、一例として、ロボットハンド１００が、算出工程Ｓ０４が基板Ｗの縁部Ｅ１の位置に基づいて算出した第１の停止位置に到達した際の時点にしてもよい。本発明は、それに限定するものではない。
　これにより、図１１Ａから図１１Ｄまでの工程によって基板Ｗの傾きに対するロボットハンド１００の位置と姿勢を補正してから、前述の図９Ｅに示す基板支持工程Ｓ０６と図９Ｆに示す取り出し工程Ｓ０７を実行して基板Ｗを支持しながら格納容器Ｈから取り出すことができる。即ち、図１１Ａから図１１Ｄまでの工程によって延設部１２０の先端側に設けられる基板検出部１３０が検出した縁部が異なるとしても、前述の図９Ｅに示す基板支持工程Ｓ０６と図９Ｆに示す取り出し工程Ｓ０７と同様な手段を採用して基板Ｗを支持しながら格納容器Ｈから取り出すことができる。
　ここから分かるように、基板検出部１３０がロボットハンド１００の延設部１２０の先端部に設けられる第１の実施形態では、第１の検出工程Ｓ０２において、基板Ｗの縁部Ｅ１と縁部Ｅ２のいずれかを検出してもよい。また、縁部Ｅ２を検出した場合は、第１の停止工程Ｓ０３の停止位置は、基板検出部１３０が基板Ｗから突出する位置であり、かつ第２の移動工程Ｓ０５２の移動方向は、延設部１２０が格納容器Ｈの開口部Ｏに向かい（例えば、第１の方向の一方側に向かい）、基板Ｗから突出した基板検出部１３０が基板Ｗの下方に戻る方向である。これに対して、縁部Ｅ１を検出した場合は、第１の停止工程Ｓ０３の停止位置は、基板検出部１３０が基板Ｗの下方に位置する位置（突出しない）であってもよく、基板検出部１３０が基板Ｗから突出する位置であってもよい。また、第２の移動工程Ｓ０５２の移動方向は、基板Ｗの下方に位置する基板検出部１３０が第１の方向の他方側に向かう方向であってもよく、基板Ｗから突出した基板検出部１３０が基板Ｗの下方に戻る方向であってもよい。本発明は、これに限定するものではない。
　次に、図１２Ａから図１２Ｆによって、基板検出部１３０が延設部１２０の第２の方向の他方側（前後方向Ｙ１の矢印が指す側と反対する側）である基端側（延設部１２０のハンド基部１１０に近い側）に設けられ、且つ第２の方向（前後方向Ｙ１）と直交する第３の方向（左右方向Ｘ１）に離間して設けられる第１の基板検出部１３０ａと第２の基板検出部１３０ｂと、を含む第２の実施形態に関する基板取り出し方法を説明する。この場合には、延設部１２０の基端側に設けられる基板検出部１３０が基板Ｗの開口部Ｏから離れる縁部Ｅ２を通過することが困難であるため、延設部１２０の基端側に設けられる基板検出部１３０によって基板Ｗの開口部Ｏから離れる縁部Ｅ２を検出することは好ましくないが、これを除外するものではない。好ましくは、延設部１２０の基端側に設けられた基板検出部１３０を開口部Ｏに近い縁部Ｅ１の下方を通過させ、これにより、延設部１２０の基端側に設けられる基板検出部１３０によって基板Ｗの開口部Ｏに近い縁部Ｅ１の位置を特定する。ここで、基板検出部１３０の検出を説明するため、図１２Ａから図１２Ｄに示すロボットハンド１００から基板支持部１４０などの部材を省略するが、それに限定するものではない。先ず、図１２Ａに示すように、第１の移動工程Ｓ０１は、ロボットハンド１００を第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に移動させ、開口部Ｏから延設部１２０を格納容器Ｈ内に挿入する。ここで、本実施形態の第１の移動工程Ｓ０１は、図９Ａに示す第１の移動工程Ｓ０１と同じ操作を行ってもよい。また、第１の検出工程Ｓ０２は、第１の移動工程Ｓ０１において、基板検出部１３０による基板Ｗの検出状況の変化によって基板Ｗの縁部Ｅ１の位置を特定する。そして、図１２Ｂに示すように、第１の停止工程Ｓ０３は、ロボットハンド１００が第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に向かう移動を停止させる。
　具体的に、図１２Ａに示すように、第１の移動工程Ｓ０１は、第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に向かってロボットハンド１００を移動させて延設部１２０を基板Ｗの下方に挿入することによって、延設部１２０の基端側に設けられる基板検出部１３０を基板Ｗの縁部Ｅ１の下方を通過させる。この場合には、第１の検出工程Ｓ０２は、基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ１の下方を通過する前後の検出信号の切り替わりによって、基板検出部１３０の基板Ｗに対する検出状況が変化したと判定し、縁部Ｅ１の位置を特定する。例えば、第１の検出工程Ｓ０２は、基板検出部１３０が基板Ｗの第１の方向の一方側にある縁部Ｅ１の下方を通過する前後の検出信号のオフからオンへの切り替わり（基板検出部１３０が、基板Ｗ無しと判定している状態から基板Ｗ有りと判定している状態への切り替わり）によって、基板検出部１３０の移動経路上にある基板Ｗの第１の方向の一方側にある縁部Ｅ１の位置を特定する。ここでの基板Ｗの縁部Ｅ１に対応する第１の検出工程Ｓ０２は更に、前述の第１の基板検出部１３０ａによる第３の検出工程Ｓ０２１と、第２の基板検出部１３０ｂによる第４の検出工程Ｓ０２２と、を含んでもよい。また、図１２Ｂに示すように、第１の停止工程Ｓ０３は、基板検出部１３０が基板Ｗの下方に位置する場所にてロボットハンド１００の移動を停止させる。第１の移動工程Ｓ０１から第１の停止工程Ｓ０３までの操作は、図１２Ａから図１２Ｂに示すように変化し、且つ第１の検出工程Ｓ０２は、第１の移動工程Ｓ０１から第１の停止工程Ｓ０３との間に実行される。ここでの第１の停止工程Ｓ０３の実行時点は、一例として、第１の検出工程Ｓ０２によって縁部Ｅ１の位置を特定した直後であるが、第１の検出工程Ｓ０２によって縁部Ｅ１の位置を特定した後にロボットハンド１００の移動が予定時間を経過した時点、或いは、第１の検出工程Ｓ０２によって縁部Ｅ１の位置を特定した後にロボットハンド１００が予定距離まで移動した際の時点にしてもよい。本発明は、それに限定するものではない。
　第１の停止工程Ｓ０３の後、ロボットハンド１００の延設部１２０が格納容器Ｈ内に位置し、且つ基板Ｗの下方に位置する状態のままで、算出工程Ｓ０４と補正工程Ｓ０５を実行する。具体的に、算出工程Ｓ０４は、第１の検出工程Ｓ０２で検出した基板Ｗの縁部Ｅ１の位置に基づき、基板Ｗのロボットハンド１００に対する傾きを算出する。一例として、算出工程Ｓ０４は、基板Ｗの水平面における傾きの方向と傾き量を算出する。また、補正工程Ｓ０５は、算出工程Ｓ０４で算出した基板Ｗの傾きに基づき、ロボットハンド１００の位置と姿勢を補正し、且つロボットハンド１００の姿勢を補正する傾き補正工程Ｓ０５１と、基端側に設けられる基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ１に向かうようにロボットハンド１００を移動させる第２の移動工程Ｓ０５２と、傾き補正工程Ｓ０５１が完了後、基板支持部１３０が基板Ｗの下方に位置し、且つ、基板検出部１３０が基板Ｗを検出する位置にて、ロボットハンド１００の第２の移動工程Ｓ０５２における移動を停止させる第２の停止工程Ｓ０５３と、を含む。補正工程Ｓ０５は、ロボットハンド１００の延設部１２０が格納容器Ｈ内に位置する状態で補正を行う。即ち、格納容器Ｈに挿入したロボットハンド１００を格納容器Ｈ内に位置する状態でロボットハンド１００の位置と姿勢を補正する。
　一例として、図１２Ｃに示すように、傾き補正工程Ｓ０５１は、算出工程Ｓ０４で算出した傾きの方向と傾きの量に基づき、ロボットハンド１００の水平面における姿勢を補正する。例えば、基板Ｗの第１の方向の一方側の縁部Ｅ１と、ロボットハンド１００の第３の方向（左右方向Ｘ１）とが平行になるように、ロボットハンド１００の姿勢を補正する（例えば、ロボットハンド１００を左右方向Ｘと前後方向Ｙで構成される平面において回転させる）。次に、図１２Ｄに示すように、第２の移動工程Ｓ０５２は、ロボットハンド１００を格納容器Ｈの開口部Ｏに向かうように移動させ、第２の停止工程Ｓ０５３は、基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ１の近傍に位置し、基板Ｗ有りと判定している位置にて、第２の移動工程Ｓ０５２におけるロボットハンド１００の開口部Ｏに向かう移動を停止させる。例えば、ロボットハンド１００を第１の方向の一方側（例えば、前後方向Ｙの矢印が指す側と反対する側）に直線状の路線に沿って移動させるが、第１の方向（前後方向Ｙであり、格納容器Ｈの基板Ｗを載置するスロットＳと平行）、第２の方向（前後方向Ｙ１であり、ロボットハンド１００の延設部１２０の延伸方向と平行）、また直線の動作以外の場合を含むことも可能である。また、傾き補正工程Ｓ０５１と第２の移動工程Ｓ０５２は、同時に実行されるか、または始めに傾き補正工程Ｓ０５１を行い（図１２Ｃ）、次に第２の移動工程Ｓ０５２を行う（図１２Ｄ）順で実行される。そして、図１２Ｄに示すように、第２の停止工程Ｓ０５３は、ロボットハンド１００が格納容器Ｈの開口部Ｏに向かう移動を停止させる。即ち、第２の停止工程Ｓ０５３が実行される時点には、第２の移動工程Ｓ０５２を終了する。
　また、第２の実施形態の第２の移動工程Ｓ０５２において、図１２Ｃに示す傾き補正工程Ｓ０５１が完了後、ロボットハンド１００を開口部Ｏに向かうよう移動させる。この過程において、基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ１の下方を通過し、検出信号のオンからオフへ切り替わり（基板Ｗ有りから基板Ｗ無しへの切り替わり）によって基板Ｗの縁部Ｅ１の位置を検出してから、ロボットハンド１００の開口部Ｏに向かう移動を停止させる。その後、ロボットハンド１００を再度、第１の方向の他方側（前後方向Ｙの矢印が指す側）に向かって移動を開始させ、基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ１の下方を通過し、検出信号がオフからオンへ切り替わり（基板Ｗ無しから基板Ｗ有りへの切り替わり）によって基板Ｗの縁部Ｅ１の位置を検出してから、ロボットハンド１００の第１の方向の他方側へ向かう移動を停止させる。このように、第２の実施形態の場合、傾き補正工程Ｓ０５１後の第２の移動工程Ｓ０５２において、ロボットハンド１００が戻ったり（開口部Ｏに向かって移動）進んだり（第１の方向の他方側に向かって移動）して、図１２Ｄに示す基板検出部が縁部Ｅ１の近傍に位置し、かつ基板Ｗを検出する位置にて停止させることができる。
　また、もう１つの実施形態として、第１の移動工程Ｓ０１で検出した縁部Ｅ１の位置に基づき、第１の停止位置を算出し、第２の移動工程Ｓ０５２は、ロボットハンド１００が第１の停止位置に到達した時に移動を停止する場合がある。詳細に言うと、算出工程Ｓ０４は、更に、第１の移動工程Ｓ０１で検出した基板Ｗの縁部Ｅ１の位置に基づいて、基板検出部１３０が基板Ｗの縁部Ｅ１の近傍に位置し、かつ基板Ｗ有りと判定している状態にある第１の停止位置を算出し、第２の停止工程Ｓ０５３は、ロボットハンド１００が第１の停止位置に到達した時に、第２の移動工程Ｓ０５２における移動を停止させる。この場合は、前述の第２の検出工程Ｓ０５２１（第１の基板検出部１３０ａによる第５の検出工程Ｓ０５２２と、第２の基板検出部１３０ｂによる第６の検出工程Ｓ０５２３と、を含む）を省略してもよい。従って、第２の停止工程Ｓ０５３の実行時点（即ち、第２の移動工程Ｓ０５２を終了する際のロボットハンド１００の位置）は、第２の検出工程Ｓ０５２１によって（基板検出部１３０を使用して）決定してもよく、算出工程Ｓ０４によって決定してもよい。本発明は、それに限定するものではない。また、ここでの基板Ｗの縁部Ｅ１に対応する補正工程Ｓ０５は、前述の傾き補正完了確認工程Ｓ０５２４を含む手段を採用してもよい。
　これにより、図１２Ａから図１２Ｄまでの工程によって基板Ｗの傾きに対するロボットハンド１００の位置と姿勢を補正してから、図１２Ｅに示す基板支持工程Ｓ０６と図１２Ｆに示す取り出し工程Ｓ０７を実行して基板Ｗを支持しながら格納容器Ｈから取り出すことができる。図１２Ｅに示す基板支持工程Ｓ０６と図１２Ｆに示す取り出し工程Ｓ０７は、図９Ｅに示す基板支持工程Ｓ０６と図９Ｆに示す取り出し工程Ｓ０７と同様な手段を採用してもよい（基板検出部１３０の位置が異なる）。即ち、図９Ａから図１１Ｄまでの工程によって延設部１２０の先端側に設けられる基板検出部１３０によって縁部Ｅ（縁部Ｅ１とＥ２のいずれか）を補正の根拠として検出してよく、図１２Ａから図１２Ｆまでの工程によって延設部１２０の基端側に設けられる基板検出部１３０によって縁部Ｅ（縁部Ｅ１が好ましい）を補正の根拠として検出してもよい。ここから分かるように、基板検出部１３０がロボットハンド１００の延設部１２０の先端部に設けられて（第１の実施形態）もよく、基板検出部１３０がロボットハンド１００の延設部１２０の基端部に設けられて（第２の実施形態）もよい。また、他の図示していない実施形態では、基板検出部１３０がロボットハンド１００の延設部１２０の先端部と基端部に複数設けられてもよく、先端部と基端部との間に設けられてもよい。基板検出部１３０が基板Ｗの少なくとも一つの直線状の縁部Ｅ（縁部Ｅ１とＥ２のいずれか）の位置を通過させ、その縁部Ｅ（縁部Ｅ１とＥ２のいずれか）の位置を特定し、基板Ｗの傾きに基づいてロボットハンド１００の位置と姿勢を補正してから、ロボットハンド１００の基板支持部１４０が基板Ｗの接触可能な領域と接触し、基板Ｗを支持しながら格納容器Ｈから取り出すことができればよい。本発明は、それに限定するものではない。
　最後に説明すべきこととして、以上の実施形態は、本発明の技術案の説明に用いるのみであって、それについて限定するものではない。前記実施形態を参照して本発明に対して詳細な説明を行っているが、当業者であれば、当然理解できるように、前記実施形態に記載の技術案については依然として修正、或いは一部又は全部の技術特徴に対する均等の置き換えを行うことができるものであり、但し、これら修正又は置き換えは、対応する技術案の本質を本発明の実施例の技術案の範囲から逸脱させるものではない。
　本発明の基板取り出し方法、及び基板取り出し方法を応用する基板移送システムは、基板を取り出す際の制御安定性を向上させ、基板Ｗを取り出す際の時間を短縮させることができる。
　２０　基板移送システム、２２　基板搬送モジュール、２２ａ　筐体、２２ｂ　移動体、２２ｃ　案内構造、２４　制御部、３０　基板搬送ロボット、３２　アーム部、３４　本体部、３６　アーム駆動部、１００　ロボットハンド、１１０　ハンド基部、１２０　延設部、１２２　上面、１２４　取付プレート、１３０　基板検出部、１３０ａ　第１の基板検出部、１３０ｂ　第２の基板検出部、１４０　基板支持部、１４０Ａ　第１の基板支持部、１４０Ｂ　第２の基板支持部、１４０Ｃ　第３の基板支持部、１５０　規制部、１５０Ａ　第１の規制部、１５０Ｂ　第２の規制部、１６０　駆動部、Ｃ1　ロードポート、Ｃ２　処理装置、Ｄ１　差分、Ｄ２　距離、Ｅ　縁部、Ｅ１　縁部、Ｅ２　縁部、Ｈ　格納容器、Ｌ　中心線、Ｏ　開口部、Ｐ１　第１の縁部位置、Ｐ２　第２の縁部位置、Ｐ３　第３の縁部位置、Ｐ４　第４の縁部位置、Ｓ　スロット、Ｓ０１　第１の移動工程、Ｓ０２　第１の検出工程、Ｓ０２１　第３の検出工程、Ｓ０２２　第４の検出工程、Ｓ０３　第１の停止工程、Ｓ０４　算出工程、Ｓ０５　補正工程、Ｓ０５１　傾き補正工程、Ｓ０５２　第２の移動工程、Ｓ０５２１　第２の検出工程、Ｓ０５２２　第５の検出工程、Ｓ０５２３　第６の検出工程、Ｓ０５２４　傾き補正完了確認工程、Ｓ０６　基板支持工程、Ｓ０７　取り出し工程、Ｗ　基板、Ｘ　左右方向、Ｘ１　左右方向、Ｙ　前後方向、Ｙ１　前後方向、Ｚ　上下方向、Ｚ１　上下方向、θ　傾斜角。

Claims (15)

  1. 　第１の方向の一方側に開口部を有する格納容器内の所定の位置に載置された基板を基板搬送ロボットに設けられたロボットハンドによって取り出す基板取り出し方法であって、
    　前記ロボットハンドは、ハンド基部と、前記ハンド基部から第２の方向の一方側に延びる延設部と、前記延設部に設けられる基板検出部と、前記延設部に設けられる基板支持部と、を備え、制御装置によって制御され、
    　前記基板取り出し方法は、
    　前記ロボットハンドを前記第１の方向の他方側に移動させ、前記開口部から前記延設部を前記格納容器内に挿入する第１の移動工程と、
    　前記第１の移動工程において、前記基板検出部による前記基板の検出状況の変化によって前記基板の少なくとも一つの直線状の縁部の位置を特定する第１の検出工程と、
    　前記ロボットハンドが前記第１の方向の他方側に向かう移動を停止させる第１の停止工程と、
    　前記第１の検出工程で検出した前記基板の前記縁部の位置に基づき、前記基板の前記ロボットハンドに対する傾きを算出する算出工程と、
    　前記算出工程で算出した前記基板の傾きに基づき、前記ロボットハンドの位置と姿勢を補正する補正工程と、
    　前記基板支持部が前記基板を支持する基板支持工程と、
    　前記基板を支持している前記ロボットハンドを前記第１の方向の一方側に移動させ、前記基板を前記格納容器から取り出す取り出し工程と、
    　を含み、
    　前記補正工程は、
    　前記ロボットハンドの前記延設部が前記格納容器内に位置する状態で補正を行う
    　ことを特徴とする基板取り出し方法。
  2. 　前記補正工程は、
    　前記ロボットハンドの姿勢を補正する傾き補正工程と、
    　前記基板検出部が、前記基板の第１の方向の縁部に向かうよう、前記ロボットハンドを移動させる第２の移動工程と、
    　前記傾き補正工程が完了後、前記基板支持部が前記基板の下方に位置し、且つ、前記基板検出部が前記基板を検出する位置にて、前記ロボットハンドの前記第２の移動工程における移動を停止させる第２の停止工程と、
    　を含む
    　ことを特徴とする請求項１に記載の基板取り出し方法。
  3. 　前記第１の移動工程は、前記第１の方向の他方側に向かって前記延設部を前記基板の下方を移動させることによって、前記基板検出部を前記基板の前記縁部の下方を通過させ、
    　前記第１の検出工程は、前記基板検出部が前記基板の前記縁部の下方を通過する前後の検出信号の切り替わりによって、前記基板検出部の前記基板に対する検出状況が変化したと判定し、前記縁部の位置を特定する
    　ことを特徴とする請求項２に記載の基板取り出し方法。
  4. 　前記第１の停止工程は、前記基板検出部が前記基板の下方から前記第１の方向の他方側に突出した位置にて前記ロボットハンドの移動を停止させ、
    　前記第２の移動工程は、前記ロボットハンドを前記格納容器の前記開口部に向かうように移動させ、
    　前記第２の停止工程は、前記基板検出部が前記基板の前記第１の方向の他方側にある前記縁部の下方を通過して前記検出信号がオフからオンへと切り替わった後、前記ロボットハンドの前記第２の移動工程における移動を停止させる
    　ことを特徴とする請求項３に記載の基板取り出し方法。
  5. 　前記第１の検出工程は、前記基板検出部が前記基板の前記第１の方向の他方側にある前記縁部の下方を通過する前後の前記検出信号のオンからオフへの切り替わりによって前記基板の前記第１の方向の他方側の前記縁部の位置を検出する
    　ことを特徴とする請求項４に記載の基板取り出し方法。
  6. 　前記算出工程は、前記基板の水平面における傾きの方向と傾き量を算出し、
    　前記傾き補正工程は、算出した前記傾きの方向と傾きの量に基づき、前記ロボットハンドの水平面における姿勢を補正する
    　ことを特徴とする請求項２に記載の基板取り出し方法。
  7. 　前記第２の移動工程は、更に第２の検出工程を含み、
    　前記第２の検出工程は、前記基板検出部による前記基板の検出状況の変化を検出し、
    　前記第２の停止工程は、前記第２の検出工程後に、前記ロボットハンドの前記第２の移動工程における移動を停止させる
    　ことを特徴とする請求項２に記載の基板取り出し方法。
  8. 　前記算出工程は、更に、前記基板の縁部の位置に基づいて、第１の停止位置を算出し、
    　前記第２の停止工程は、前記ロボットハンドが前記第１の停止位置に到達した時に、前記第２の移動工程における移動を停止させる
    　ことを特徴とする請求項２に記載の基板取り出し方法。
  9. 　前記傾き補正工程と前記第２の移動工程は、同時に実行されるか、または始めに前記傾き補正工程を行い、次に前記第２の移動工程を行う順で実行される
    　ことを特徴とする請求項２に記載の基板取り出し方法。
  10. 　前記傾き補正工程は、前記基板の前記第１の方向の一方側又は他方側の縁部と、前記ロボットハンドの前記第２の方向と直交する第３の方向とが平行になるように、前記ロボットハンドの姿勢を補正する
    　ことを特徴とする請求項２に記載の基板取り出し方法。
  11. 　前記基板は、前記格納容器内において、前記格納容器の載置部材上に載置姿勢で載置されており、
    　前記基板支持工程は、前記基板を載置姿勢に維持した状態で前記載置部材から上方に持ち上げ、
    　前記取り出し工程は、前記基板支持部によって持ち上げられた前記基板を載置姿勢を維持した状態で、前記ロボットハンドを前記第１の方向の一方側に移動させ、前記基板を前記格納容器から取り出す
    　ことを特徴とする請求項１に記載の基板取り出し方法。
  12. 　前記基板検出部は、第１の基板検出部と、前記第１の基板検出部から前記第２の方向と直交する第３の方向に離間して設けられる第２の基板検出部と、を含み、
    　前記第１の検出工程は、
    　前記第１の基板検出部による前記基板の検出状況の変化によって前記基板の縁部の位置を特定する第３の検出工程と、
    　前記第２の基板検出部による前記基板の検出状況の変化によって前記基板の縁部の位置を特定する第４の検出工程と、
    　を含み、
    　前記第３の検出工程にて特定した前記縁部の位置を第１の縁部位置とし、
    　前記第４の検出工程にて特定した前記縁部の位置を第２の縁部位置とし、
    　前記算出工程は、
    　前記第１の縁部位置と前記第２の縁部位置との前記第２の方向における差分に応じた第１距離情報と、
    　前記第１の基板検出部と前記第２の基板検出部の前記第３の方向における離間した距離に応じた第２距離情報と
    　に基づき、
    　前記ロボットハンドの前記第３の方向に対する前記基板の傾きの方向と傾きの量を算出する
    　ことを特徴とする請求項２に記載の基板取り出し方法。
  13. 　前記第１の停止工程は、
    　前記第１の基板検出部と前記第２の基板検出部の双方が前記基板の下方から突出した位置にて、前記第１の移動工程における前記ロボットハンドの前記第１の方向の他方側への移動を停止させ、
    　前記傾き補正工程と前記第２の移動工程は、
    　始めに前記傾き補正工程を行い、次に前記第２の移動工程を行う順で実行され、
    　前記第２の移動工程は、
    　更に、
    　前記第１の基板検出部による前記基板の検出状況の変化によって前記基板の縁部の位置を特定する第５の検出工程と、
    　前記第２の基板検出部による前記基板の検出状況の変化によって前記基板の縁部の位置を特定する第６の検出工程と
    　を含み、
    　前記第５の検出工程にて特定した前記縁部の位置を第３の縁部位置とし、
    　前記第６の検出工程にて特定した前記縁部の位置を第４の縁部位置とし、
    　前記補正工程は、前記第３の縁部位置と前記第４の縁部位置の差分に基づき、前記基板の傾きに対する前記ロボットハンドの補正が完了したことを判定する傾き補正完了確認工程、をさらに含む
    　ことを特徴とする請求項１２に記載の基板取り出し方法。
  14. 　前記第２の基板検出部は、更に、前記第１の基板検出部から前記第２の方向の一方側に離間して設けられ、
    　前記第２の停止工程は、
    　前記第１の基板検出部と前記第２の基板検出部の一方が前記基板を検出し、
    　且つ、他方が前記基板を検出しない位置にて、
    　前記ロボットハンドの前記第２の移動工程における移動を停止させる
    　ことを特徴とする請求項１２に記載の基板取り出し方法。
  15. 　基板を支持するためのロボットハンドと、前記ロボットハンドを移動自在に保持する移動機構と、を備える基板搬送ロボットと、
    　前記基板搬送ロボットを内部に設ける基板搬送モジュールと、
    　前記基板搬送ロボットを制御する制御装置と、
    　を備える基板移送システムであって、
    　前記基板搬送ロボットの前記ロボットハンドは、ハンド基部と、前記ハンド基部から第２の方向の一方側に延びる延設部と、前記延設部に設けられる基板検出部と、前記延設部に設けられる基板支持部と、を備え、かつ前記制御装置によって制御され、
    　前記制御装置は、請求項１から１４のいずれかに記載の基板取り出し方法によって、前記基板搬送ロボットを制御して格納容器内の所定の位置に載置された基板を前記ロボットハンドによって取り出す
    　ことを特徴とする基板移送システム。
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