WO2024124766A1 - 一种压力传感器信号处理组件及压力传感器 - Google Patents

一种压力传感器信号处理组件及压力传感器 Download PDF

Info

Publication number
WO2024124766A1
WO2024124766A1 PCT/CN2023/089935 CN2023089935W WO2024124766A1 WO 2024124766 A1 WO2024124766 A1 WO 2024124766A1 CN 2023089935 W CN2023089935 W CN 2023089935W WO 2024124766 A1 WO2024124766 A1 WO 2024124766A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
plate
pressure
pressure sensor
proximal end
conductive connection
Prior art date
Application number
PCT/CN2023/089935
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
吴登峰
王小平
李凡亮
曹万
李兵
施涛
Original Assignee
武汉飞恩微电子有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 武汉飞恩微电子有限公司 filed Critical 武汉飞恩微电子有限公司
Publication of WO2024124766A1 publication Critical patent/WO2024124766A1/zh

Links

Definitions

  • the present application relates to the field of sensor technology, and in particular to a pressure sensor signal processing component and a pressure sensor.
  • a pressure sensor using a pressure sensitive head measures pressure by introducing pressure fluid on one side of a metal diaphragm and setting a Wheatstone bridge composed of a strain gauge or a thick film piezoresistor on the other surface, as shown in publication numbers CN112857635A and CN115406565A.
  • one idea of the inventor is to set the circuit boards of these pressure sensors vertically.
  • the elastic diaphragm needs to be perpendicular to the pressure joint, when a bonding process is used to connect the measurement circuit and the circuit board, it is difficult to complete the bonding efficiently and accurately even with specially customized equipment.
  • a pressure sensor signal processing component comprising a transverse plate, a first flexible plate, a longitudinal plate, a second flexible plate and a first conductive connection part connected in sequence, the transverse plate, the longitudinal plate and the first conductive connection part being arranged in sequence from near to far; the first conductive connection part and a pressure measurement circuit, the pressure measurement circuit being arranged on a transverse plane located on the distal side of the first conductive connection part.
  • the sensor pressure signal processing assembly is installed on a mounting base, which extends longitudinally and has its sides recessed inward to form a receiving groove for accommodating the longitudinal plate, and its proximal and distal ends relatively form a top plate and a semicircular bottom plate; the transverse plate support is fixed to the proximal surface of the top plate; and the bottom plate is partially blocked at the proximal end of a pressure cylinder.
  • At least one first buckle that is clamped on the longitudinal plate is disposed on each of the two lateral sides of the receiving groove.
  • a first flexible plate arrangement groove is provided on an edge of the top plate, extending longitudinally and connected to the accommodating groove toward the distal end, and the first flexible plate arrangement groove and the yield opening are located at the same position in the circumferential direction of the mounting seat; at least two rivet columns are provided at the proximal end of the top plate, and the rivet columns are riveted to corresponding rivet holes opened on the cross plate toward the proximal end.
  • the present application also provides a pressure sensor, comprising:
  • the pressure measuring assembly comprises a pressure joint and a pressure sensitive head, wherein a longitudinally extending pressure channel is arranged in the pressure joint, a longitudinal distal end of the pressure sensitive head is indented inwardly to form a connecting tube having a distal sensing cavity, a longitudinal proximal end of the pressure sensitive head is correspondingly formed with an elastic diaphragm, a longitudinal proximal end of the elastic diaphragm is provided with a pressure measuring circuit on its surface, and a proximal end of the connecting tube is sealedly connected to the pressure joint so that the proximal end of the pressure channel is connected to the sensing cavity;
  • the mounting seat is arranged in the mounting cavity
  • the pressure sensor signal processing component is arranged in the installation cavity and installed on a mounting seat.
  • the pressure sensor signal processing component includes a horizontal plate, a first flexible plate, a vertical plate, a second flexible plate and a first conductive connection part which are connected in sequence.
  • the horizontal plate, the vertical plate and the first conductive connection part are arranged in sequence from near to far; the first conductive connection part is electrically connected to the pressure measurement circuit, and the pressure measurement circuit is arranged on a horizontal plane located on the distal side of the first conductive connection part.
  • the mounting seat extends longitudinally and its sides are recessed inward to form a receiving groove for accommodating the longitudinal plate, and its proximal and distal ends relatively form a top plate and a semicircular bottom plate; the transverse plate support is fixed to the proximal surface of the top plate; the mounting seat includes a pressing cylinder, and the bottom plate is partially blocked at the proximal end of a pressing cylinder.
  • the distal end of the pressure cylinder is pressed against a support step formed on the pressure connector.
  • the longitudinal proximal end and the proximal end of the pressure connector respectively extend outward laterally to form a flange and a supporting connecting ring; the connecting tube is fitted on the flange and supported and welded to the supporting connecting ring; the flange, the supporting connecting ring and the connecting tube form an annular cavity.
  • At least one first buckle that is clamped on the longitudinal plate is disposed on each of the two lateral sides of the receiving groove.
  • a disassembly hole extending in a direction parallel to the second flexible plate arrangement groove may be provided on the side wall of the pressing cylinder, and the disassembly hole extends to the bottom of the accommodating groove.
  • a first flexible plate arrangement groove is provided on an edge of the top plate, extending longitudinally and connected to the accommodating groove toward the distal end, and the first flexible plate arrangement groove and the yield opening are located at the same position in the circumferential direction of the mounting seat; at least two rivet columns are provided at the proximal end of the top plate, and the rivet columns are riveted to corresponding rivet holes opened on the cross plate toward the proximal end.
  • the mounting base is provided with a second buckle for clamping a metal base.
  • a second conductive connection portion is provided on the side of the second flexible board, and the second conductive connection portion is electrically connected to a metal shell or a pressure joint through a grounding path embedded in the mounting seat and then grounded; a third conductive connection portion is provided on the side of the horizontal plate, and the third conductive connection portion is grounded via the metal shell.
  • a plurality of fourth conductive connection portions are disposed on the proximal surface of the transverse plate.
  • the inner diameter of the proximal end of the pressure channel gradually expands to form a bell mouth.
  • the pressure sensor signal processing component of the present application can well connect the integrated signal processing circuit with the pressure measurement circuit.
  • FIG1 is a front view of a pressure sensor according to a preferred embodiment of the present application.
  • FIG2 is a cross-sectional view of a pressure sensor according to a preferred embodiment of the present application along the line A-A in FIG1 ;
  • FIG3 is a three-dimensional diagram of a pressure sensor according to a preferred embodiment of the present application (with the housing hidden);
  • pressure joint 100. pressure channel; 101. connecting pipe; 102. small diameter section; 103. large diameter section; 104. bell mouth; 105. supporting connecting ring; 106. flange; 107. ring cavity; 108. circumferential positioning part; 109. stress isolation groove; 110. supporting step; 2. pressure sensitive head; 201. metal base; 202. connecting cylinder; 203. sensing cavity; 204. elastic diaphragm; 3. end button; 300. neck; 301. pressing flange; 302. first material reduction blind hole; 303. guide column; 304. pressing part; 305. holding cavity; 4. mounting seat; 400. mounting cavity; 401. pressing cylinder; 402. receiving groove; 403. first buckle; 404.
  • the terms “installed”, “connected” and “connected” should be understood in a broad sense, for example, it can be a fixed connection, a detachable connection, or an integral connection; it can be a mechanical connection or an electrical connection; it can be a direct connection or an indirect connection through an intermediate medium, or it can be the internal communication of two components.
  • installed should be understood in a broad sense, for example, it can be a fixed connection, a detachable connection, or an integral connection; it can be a mechanical connection or an electrical connection; it can be a direct connection or an indirect connection through an intermediate medium, or it can be the internal communication of two components.
  • the proximal end of the connecting tube 202 is welded (for example, by laser welding) to the pressure connector 1.
  • the pressure measuring assembly of this embodiment is configured to have a split structure for the pressure connector 1 and the pressure sensitive head 2, and to connect them together by welding, thereby partially isolating the assembly stress of the pressure connector during installation.
  • the collapsed welding slag can be centrally contained in the annular cavity during welding, thereby preventing the welding slag from blocking the pressure channel.
  • the pressure channel 100 may be formed by connecting a small-diameter section 102 at the proximal end and a large-diameter section 103 at the distal end, so that the pressure fluid can enter the sensing cavity 203 easily.
  • the pressure sensor includes, in addition to the above-mentioned pressure measurement assembly, a housing 7, a terminal 3, a mounting seat 4 and a signal processing assembly 5.
  • the housing 7 includes a cylindrical shell extending longitudinally and hermetically connected to the pressure connector 1 at the distal end, and an end plate 701 that blocks the longitudinal proximal end of the cylindrical shell.
  • the terminal 3 is fixedly connected to the end plate 701, for example, the longitudinal middle part of the terminal 3 can form a neck 300, and the neck 300 can pass through the through hole opened on the end plate 701, and the two can be firmly fixed when the terminal 3 is injection molded.
  • the terminal 3, the housing 7 and the pressure connector 1 are surrounded to form a mounting cavity 400.
  • the mounting seat 4 and the signal processing assembly 5 are both arranged in the mounting cavity 400.
  • the signal processing assembly 5 is arranged on the mounting seat 4 and is electrically connected to the pressure measurement circuit.
  • the signal after the signal processing assembly 5 is output outward through a plurality of electrical connectors 6, and one end of the electrical connector 6 is electrically connected to the signal processing assembly 5 after passing through the terminal 3 and the end plate 701 inward.
  • the proximal end of the end button 3 may be provided with a plurality of longitudinally extending first material reduction blind holes 302 .
  • the signal processing component 5 may include a transverse plate 502, a first flexible plate 503, a longitudinal plate 501, a second flexible plate 504 and a first conductive connection part 506 connected in sequence, wherein the transverse plate 502, the longitudinal plate 501 and the first conductive connection part 506 are arranged in sequence from near to far.
  • the first conductive connection part 506 and the pressure measurement circuit can be electrically connected by soldering (as shown in the solder joint 515 in FIG. 2 ).
  • An electronic component 511 (such as a conditioning chip, etc.) may be arranged on the longitudinal plate 501.
  • This arrangement can, on the one hand, control the lateral size of the pressure sensor to be very small, so that it can be easily applied to some relatively small spaces (such as some sensor centralized installation modules on cars); at the same time, it can enable the measurement circuit that must be arranged horizontally to be well and conveniently connected to the longitudinal plate 501, thereby avoiding the difficulties in the existing bonding connection process.
  • These difficulties are manifested in that the two ends of the aluminum wire or gold wire in the bonding process should be parallel and the drop should be controlled within 1mm, otherwise bonding can only be performed using specially customized equipment. Especially when the surfaces of the two connection points are vertical or even non-parallel, it is difficult to complete the bonding efficiently and accurately even using specially customized equipment.
  • the mounting seat 4 extends longitudinally and its side is recessed inward to form a receiving groove 402 for accommodating the longitudinal plate 501, and its proximal end and distal end are relatively formed to form a top plate 418 and a semicircular bottom plate 417.
  • the horizontal plate 502 is supported and fixed on the proximal surface of the top plate 418.
  • the bottom plate 417 is partially blocked at the proximal end of a pressure cylinder 401.
  • the distal end of the pressure cylinder 401 is pressed against a support step 110 formed on the pressure connector 1.
  • a stress isolation groove 109 is formed between the support step 110 and the support connecting ring 105 to further isolate the installation stress of the pressure connector 1.
  • At least one first buckle 403 that is clamped on the longitudinal plate 501 is provided on each of the lateral sides of the receiving groove 402, thereby avoiding the use of the glue bonding process widely used in the prior art and improving production efficiency.
  • a disassembly hole 404 extending in a parallel direction to the second flexible plate arrangement groove 407 may be provided on the side wall of the pressing cylinder 401, and the disassembly hole 404 extends to the bottom of the receiving groove 402, so as to facilitate the disassembly of the longitudinal plate 501 in the receiving groove 402.
  • a clearance opening 405 extending to the bottom plate 417 for the second flexible plate 504 to pass through is provided on the side of the bottom plate 417.
  • a second flexible plate arrangement groove 407 horizontally connected to the clearance opening 405 is provided on the proximal side of the bottom plate 417.
  • a plurality of second material reduction blind holes 416 may be provided on the side of the mounting seat 4 facing away from the receiving groove 402.
  • the edge of the top plate 418 is provided with a first flexible plate arrangement groove 411 extending longitudinally and connected to the accommodating groove 402 toward the distal end.
  • the first flexible plate arrangement groove 411 and the clearance opening 405 are located at the same position in the circumferential direction of the mounting seat 4.
  • At least two rivet columns 409 are provided at the proximal end of the top plate 418.
  • the rivet columns 409 are riveted to the corresponding rivet holes 509 opened on the cross plate 502 toward the proximal end.
  • the cross plate 502 can also be fixed to the mounting seat 4 by other means, for example, a circle of clamping flanges 301 formed by the distal longitudinal protrusion of the end button 3 is clamped on the mounting seat 4 toward the distal end.
  • the electrical connection member 6 is an elastic member, such as a conductive spring, and its distal end can be electrically contacted with the fourth conductive connection part 507 after passing through the terminal button 3 and the end plate 701.
  • the electrical connection member 6 is a conductive spring having two sections with different outer diameters of winding, and a conical transition section 601 is formed between the two sections.
  • a holding cavity 305 for accommodating the conductive spring 6 is correspondingly formed on the terminal button 3, and the holding cavity 305 has a pressing portion 304, and the pressing portion 304 presses the transition section 601 toward the distal side against the fourth conductive connection part 507.
  • the end button 3 protrudes toward the distal end to form a guide column 303.
  • the guide column 303 is cooperatively inserted into a guide groove 408 provided on the mounting seat 4.
  • An operating port 414 is provided on the side wall of the mounting seat 4 relative to the clearance port 405 to make room for soldering.
  • the distal edge of the operating port 414 may be recessed toward the distal end to form a notch 415.
  • the inner side wall of the notch 415 protrudes to form a second buckle 412 for clamping the metal base 201. In this way, the mounting seat 4 and the pressure sensitive head 2 can be conveniently fixed.
  • the pressure cylinder 401 may protrude inward or be depressed to form a circumferential positioning guide portion 413, and correspondingly, a guide groove cooperating with the circumferential positioning guide portion 413 may be formed on the metal base 201.
  • a third conductive connection portion 510 is disposed on the side of the horizontal plate 502.
  • a second conductive connection portion 505 is disposed on the side of the second flexible plate 504.
  • the second conductive connection portion 505 is electrically connected to the metal housing 7 or the pressure connector 1 through a grounding path embedded in the mounting seat 4 and then grounded.
  • the third conductive connection portion 510 is grounded via the housing 7.

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

一种压力传感器信号处理组件（5），包括依次连接的横板（502）、第一柔性板（503）、纵板（501）、第二柔性板（504）及第一导电连接部（506），横板（502）、纵板（501）及第一导电连接部（506）自近及远依次设置；第一导电连接部（506）与压力测量电路电连接，压力测量电路设置于位于第一导电连接部（506）的远端一侧的一横向平面上，从而将信号处理电路与压力测量电路进行良好连接。还提供一种包括压力传感器信号处理组件（5）的压力传感器。

Description

一种压力传感器信号处理组件及压力传感器 技术领域
本申请涉及传感器技术领域，具体涉及一种压力传感器信号处理组件及压力传感器。
 背景技术
使用压力敏感头的压力传感器，其通过在金属膜片的一侧引入压力流体，在另一侧表面设置测量由应变片或厚膜压敏电阻组成的惠斯通电桥进行压力测量，如公开号为CN112857635A 、CN115406565A所示。
 发明概述
为了减小横向尺寸，发明人的一种构思是将这些压力传感器的电路板竖向设置，但由于弹性膜片需要垂直于压力接头，因此，当采用键合工艺来连接测量电路与电路板时，即使特殊订制的设备进行键合也很难高效、准确地完成键合。
本部分中的陈述仅提供与本申请相关的背景信息并且可以不构成现有技术。
本申请提供了一种压力传感器信号处理组件及压力传感器，将集成有信号处理电路与压力测量电路进行良好连接。
为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种压力传感器信号处理组件，其包括依次连接的横板、第一柔性板、纵板、第二柔性板及第一导电连接部，横板、纵板及第一导电连接部自近及远依次设置；第一导电连接部与压力测量电路，所述压力测量电路设置于位于第一导电连接部的远端一侧的一横向平面上。
在一些实施中，传感器压力信号处理组件安装于一安装座上，所述安装座纵向延伸且其侧部朝内凹陷形成用于容纳纵板的容纳槽，其近端及远端相对形成顶板和半圆状的底板；横板支撑固定于顶板的近端表面；底板部分地封堵于一压筒近端。
在一些实施中，容纳槽的横向两侧各设置有至少一个卡接于纵板上的第一卡扣。
在一些实施中，底板的侧部开设有延伸至底板以供第一柔性板穿过的让位口；底板的近端一侧设置有横向连通至让位口的第二柔性板布置槽。
在一些实施中，顶板的边部开设有纵向延伸且朝远端一侧连通至容纳槽的第一柔性板布置槽，第一柔性板布置槽与让位口在安装座的周向上位于相同位置；顶板的近端设置有至少两个压铆柱，压铆柱朝近端一侧铆接于横板上对应开设的铆孔上。
在一些实施中，所述横板的近端表面设置有多个第四导电连接部。
在一些实施中，安装座上设置有用于卡接一金属基座的第二卡扣。
本申请还提供一种压力传感器，包括：
压力测量组件，包括压力接头和压力敏感头，压力接头内设有纵向延伸的压力通道，压力敏感头的纵向远端一侧朝内凹陷形成具有一朝远端感测腔的连接筒，压力敏感头的纵向近端一侧相应形成弹性膜片，弹性膜片的纵向近端一侧表面设置有压力测量电路，连接筒的近端与压力接头密封连接以使压力通道的近端连通至感测腔；
壳体，包括纵向延伸且远端密封连接于压力接头上的筒壳以及筒壳的纵向近端封堵的一端板；
端钮，固定连接于端板上，端钮、壳体及压力接头合围形成安装腔；
安装座设置于安装腔内；
压力传感器信号处理组件，设置于安装腔内并安装于一安装座上，压力传感器信号处理组件包括依次连接的横板、第一柔性板、纵板、第二柔性板及第一导电连接部，横板、纵板及第一导电连接部自近及远依次设置；第一导电连接部与压力测量电路电连接，所述压力测量电路设置于位于第一导电连接部的远端一侧的一横向平面上。
在一些实施中，所述安装座纵向延伸且其侧部朝内凹陷形成用于容纳纵板的容纳槽，其近端及远端相对形成顶板和半圆状的底板；横板支撑固定于顶板的近端表面；安装座包括压筒，底板部分地封堵于一压筒近端。
在一些实施中，压筒的远端抵压于压力接头上形成的一支撑台阶上。
在一些实施中，压力接头的纵向近端及其近端部分别朝外横向凸伸形成凸缘及支撑连接环；连接筒配合套设于凸缘上，且支撑并焊接于支撑连接环上；凸缘、支撑连接环及连接筒围成环腔。
在一些实施中，支撑台阶与支撑连接环之间形成应力隔离槽。
在一些实施中，容纳槽的横向两侧各设置有至少一个卡接于纵板上的第一卡扣。
在一些实施中，底板的侧部开设有延伸至底板以供第二柔性板穿过的让位口；底板的近端一侧设置有横向连通至让位口的第二柔性板布置槽。
在一些实施中，在压筒的侧壁上可设置有一沿第二柔性板布置槽的平行方向延伸的拆卸孔，并使拆卸孔延伸至容纳槽底部。
在一些实施中，顶板的边部开设有纵向延伸且朝远端一侧连通至容纳槽的第一柔性板布置槽，第一柔性板布置槽与让位口在安装座的周向上位于相同位置；顶板的近端设置有至少两个压铆柱，压铆柱朝近端一侧铆接于横板上对应开设的铆孔上。
在一些实施中，安装座上设置有用于卡接一金属基座的第二卡扣。
在一些实施中，第二柔性板的侧部设置有第二导电连接部，第二导电连接部经安装座内嵌入的接地通路电连接至金属制的壳体或压力接头后接地；横板的侧部设置有第三导电连接部，第三导电连接部经由金属制的壳体接地。
在一些实施中，所述横板的近端表面设置有多个第四导电连接部。
在一些实施中，压力通道近端的内径逐渐扩大形成喇叭口。
有益效果
本申请的压力传感器信号处理组件能够将集成有信号处理电路与压力测量电路进行良好连接。
 附图说明
图1为本申请一优选实施例的压力传感器的主视图；
图2为本申请一优选实施例的压力传感器沿图1中的所示A-A的剖视图；
图3为本申请一优选实施例的压力传感器的立体图（隐去了外壳）；
图4为本申请一优选实施例的信号处理组件的立体图；
图5为本申请一优选实施例的安装座的立体图；
图6为本申请一优选实施例的安装座另一视角的立体图；
图中：1、压力接头；100、压力通道；101、连接管；102、小径段；103、大径段；104、喇叭口；105、支撑连接环；106、凸缘；107、环腔；108、周向定位部；109、应力隔离槽；110、支撑台阶；2、压力敏感头；201、金属基座；202、连接筒；203、感测腔；204、弹性膜片；3、端钮；300、颈部；301、压紧凸缘；302、第一减料盲孔；303、导柱；304、压紧部；305、保持腔；4、安装座；400、安装腔；401、压筒；402、容纳槽；403、第一卡扣；404、拆卸孔；405、让位口；407、第二柔性板布置槽；408、导槽；409、压铆柱；411、第一柔性板布置槽；412、第二卡扣；413、周向定位导向部；414、操作口；415、缺口；416、第二减料盲孔；417、底板；418、顶板；5、信号处理组件；501、纵板；502、横板；503、第一柔性板；504、第二柔性板；505、第二导电连接部；506、第一导电连接部；507、第四导电连接部；508、导向孔；509、铆孔；510、第三导电连接部；511、电子元件；6、电连接件；601、过渡段；7、壳体；701、端板。
 本发明的实施方式
下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述。下列的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。在以下描述中，相同的标记用于表示相同或等效的元件，并且省略重复的描述。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
另外，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以视具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
还应当进一步理解，在本申请说明书和对应的权利要求书中使用的术语“和/ 或”是指所列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合。
如图1至图3所示。本实施例的压力传感器，其使用这样一种压力测量组件，压力测量组件包括压力接头1和压力敏感头2。其中，压力接头1内设有纵向（即附图中的上下方向）延伸的压力通道100。压力敏感头2的纵向远端（即附图中的下方）一侧朝内凹陷形成具有一朝远端感测腔203的连接筒202，压力敏感头2的纵向近端一侧相应形成弹性膜片204。弹性膜片204的纵向近端一侧表面设置有压力测量电路。连接筒202的近端与压力接头1密封连接以使压力通道100的近端连通至感测腔203。压力接头1的远端设有与待测容器或管道等连接的连接管101。压力接头1的侧部可设置有凹形或平直形的周向定位部108。较佳地，上述压力测量电路由厚膜压敏电阻组成。
其中，连接筒202的近端与压力接头1相焊接（例如激光焊接）。本实施例的压力测量组件，其通过将压力接头1和压力敏感头2设置为分体式结构，并通过焊接连成一体，从而实现压力接头在安装时的装配应力的部分隔离。
在其他的一些实施例中，压力接头1的纵向近端及其近端部分别朝外横向凸伸形成凸缘106及支撑连接环105。连接筒202配合套设于凸缘106上。且支撑并焊接于支撑连接环105上。凸缘106、支撑连接环105及连接筒202围成环腔107。
这样，在焊接时可以通过环腔集中容纳崩落的焊渣，从而避免焊渣堵压力通道。
其中，为便于在测量液体的压力时，使液体便于从感测腔内流出，压力通道100近端的内径可逐渐扩大形成喇叭口104。
上述的各实施例中，压力通道100可以由近端一侧的小径段102与远端一则的大径段103连接而成，这样可以便于压力流体进入感测腔203中。
在本申请的一优选实施例中的压力传感器，除包括上述压力测量组件外，还包括壳体7、端钮3、安装座4及信号处理组件5。其中，壳体7包括纵向延伸且远端密封连接于压力接头1上的筒壳以及筒壳的纵向近端封堵的一端板701。端钮3固定连接于端板701上，例如可使端钮3的纵向中部形成颈部300，并使颈部300穿过端板701上开设的过孔，在注塑成型端钮3时将两者牢牢固定。端钮3、壳体7及压力接头1合围形成安装腔400。安装座4及信号处理组件5均设置于安装腔400内。信号处理组件5设置于安装座4上并电连接至压力测量电路。由信号处理组件5处于后的信号经多个电连接件6向外输出，电连接件6的一端朝内穿设端钮3和端板701后电连接至信号处理组件5。端钮3的近端可设置有多个纵向延伸第一减料盲孔302。
其中，信号处理组件5可包括依次连接的横板502、第一柔性板503、纵板501、第二柔性板504及第一导电连接部506，其中横板502、纵板501及第一导电连接部506自近及远依次设置。第一导电连接部506与压力测量电路可通过锡焊（如图2中的焊点515所示）实现电连接。其中，纵板501上可设置电子元件511（例如调理芯片等）。这种设置，一方便能够将压力传感器的横向尺寸控制得很小，从而可以很方便地应用于一些比较狭小的空间（例如汽车上的一些传感器集中安装模块）；同时能够使必须横向布置的测量电路与纵板501能够良好、方便地连接，从而避开现有的键合连接工艺上的困难。这些困难表现为,键合工艺的铝丝或金丝两端应当平行且落差应控制在1mm以内，否则只能使用特殊订制的设备进行键合，尤其是当两个连接点的表面垂直乃至不平行时，即使在使用特殊订制的设备也很难高效、准确地完成键合。
请结合参阅图4至图6。为了使上述的信号处理组件5进行可靠地安装，安装座4纵向延伸且其侧部朝内凹陷形成用于容纳纵板501的容纳槽402，其近端及远端相对形成顶板418和半圆状的底板417。横板502支撑固定于顶板418的近端表面。底板417部分地封堵于一压筒401近端。压筒401的远端抵压于压力接头1上形成的一支撑台阶110上。支撑台阶110与支撑连接环105之间形成应力隔离槽109，以进一步隔绝压力接头1的安装应力。容纳槽402的横向两侧各设置有至少一个卡接于纵板501上的第一卡扣403，从而避免使用现有技术中广泛使用的胶水粘接工艺，提升生产效率。其中，在压筒401的侧壁上可设置一沿第二柔性板布置槽407的平行方向延伸的拆卸孔404，并使拆卸孔404延伸容纳槽402底部，以方便将容纳槽402内的纵板501进行拆卸。底板417的侧部开设有延伸至底板417以供第二柔性板504穿过的让位口405。底板417的近端一侧设置有横向连通至让位口405的第二柔性板布置槽407。安装座4的背向容纳槽402的一侧可设置有多个第二减料盲孔416。
顶板418的边部开设有纵向延伸且朝远端一侧连通至容纳槽402的第一柔性板布置槽411。第一柔性板布置槽411与让位口405在安装座4的周向上位于相同位置。顶板418的近端设置有至少两个压铆柱409。压铆柱409朝近端一侧铆接于横板502上对应开设的铆孔509上。在其他的一些实施例中，横板502还可以通过其他方式固定于安装座4上，例如端钮3的远端纵向凸伸形成的一圈压紧凸缘301朝远端压紧于安装座4上。
横板502的近端表面设置有多个第四导电连接部507。电连接件6为弹性件，例如导电弹簧，其远端可穿设端钮3及端板701后电接触于第四导电连接部507上。较佳地，电连接件6为具有两段不同盘绕外径的导电弹簧，该两段部分之间形成锥形的过渡段601，端钮3上对应形成用于容纳导电弹簧6的保持腔305，保持腔305具有一压紧部304，压紧部304将过渡段601朝远端一侧压抵发于第四导电连接部507上。
在其他的一些实施例中，端钮3朝远端一侧凸伸形成导柱303。导柱303配合地插入安装座4上开设一导槽408中。安装座4的相对于让位口405的一侧侧壁上开设有给锡焊让出操作空间的操作口414。操作口414的远端边缘朝远端一侧可凹陷形成缺口415。缺口415的内侧壁凸伸形成用于卡接金属基座201的第二卡扣412。这样能够方便地将安装座4和压力敏感头2进行固定。其中，压筒401上可朝内凸伸或压凹形成周向定位导向部413，对应地金属基座201上可对应形成与周向定位导向部413配合的导向槽。
在其他的一些实施例中，横板502的侧部设置有第三导电连接部510。第二柔性板504的侧部设置有第二导电连接部505。第二导电连接部505经安装座4内嵌入的接地通路电连接至金属制的壳体7或压力接头1后接地。第三导电连接部510经由壳体7接地。
本公开内容的范围不是由详细描述限定，而是由权利要求及其等同方案限定，并且在权利要求及其等同方案范围内的所有变型都解释为包含在本公开内容中。

Claims (20)

  1. 一种压力传感器信号处理组件，其中，包括依次连接的横板(502)、第一柔性板(503)、纵板(501)、第二柔性板(504)及第一导电连接部(506)，横板(502)、纵板(501)及第一导电连接部(506)自近及远依次设置；第一导电连接部(506)与压力测量电路电连接，所述压力测量电路设置于位于第一导电连接部(506)的远端一侧的一横向平面上。
  2. 根据权利要求1所述的压力传感器信号处理组件，其中，传感器压力信号处理组件安装于一安装座(4)上，所述安装座(4)纵向延伸且其侧部朝内凹陷形成用于容纳纵板(501)的容纳槽(402)，其近端及远端相对形成顶板(418)和半圆状的底板(417)；横板(502)支撑固定于顶板(418)的近端表面；底板(417)部分地封堵于一压筒(401)近端。
  3. 根据权利要求2所述的压力传感器信号处理组件，其中，容纳槽(402)的横向两侧各设置有至少一个卡接于纵板(501)上的第一卡扣(403)。
  4. 根据权利要求2所述的压力传感器信号处理组件，其中，底板(417)的侧部开设有延伸至底板(417)以供第二柔性板(504)穿过的让位口(405)；底板(417)的近端一侧设置有横向连通至让位口(405)的第二柔性板布置槽(407)。
  5. 根据权利要求2所述的压力传感器信号处理组件，其中，顶板(418)的边部开设有纵向延伸且朝远端一侧连通至容纳槽(402)的第一柔性板布置槽(411)，第一柔性板布置槽(411)与让位口(405)在安装座(4)的周向上位于相同位置；顶板(418)的近端设置有至少两个压铆柱(409)，压铆柱(409)朝近端一侧铆接于横板(502)上对应开设的铆孔(509)上。
  6. 根据权利要求1所述的压力传感器信号处理组件，其中，所述横板(502)的近端表面设置有多个第四导电连接部(507)。
  7. 根据权利要求2所述的压力传感器信号处理组件，其中，安装座(4)上设置有用于卡接一金属基座(201)的第二卡扣(412)。
  8. 一种压力传感器，其中，包括：
    压力测量组件，包括压力接头（1）和压力敏感头（2），压力接头（1）内设有纵向延伸的压力通道（100），压力敏感头（2）的纵向远端一侧朝内凹陷形成具有一朝远端感测腔（203）的连接筒（202），压力敏感头（2）的纵向近端一侧相应形成弹性膜片（204），弹性膜片（204）的纵向近端一侧表面设置有压力测量电路，连接筒（202）的近端与压力接头（1）密封连接以使压力通道（100）的近端连通至感测腔（203）；
    壳体（7），包括纵向延伸且远端密封连接于压力接头（1）上的筒壳以及筒壳的纵向近端封堵的一端板（701）；
    端钮（3），固定连接于端板（701）上，端钮（3）、壳体（7）及压力接头（1）合围形成安装腔（400）；
    安装座（4）设置于安装腔（400）内；
    压力传感器信号处理组件，设置于安装腔（400）内并安装于一安装座（4）上，压力传感器信号处理组件包括依次连接的横板（502）、第一柔性板（503）、纵板（501）、第二柔性板（504）及第一导电连接部（506），横板（502）、纵板（501）及第一导电连接部（506）自近及远依次设置；第一导电连接部（506）与压力测量电路电连接，所述压力测量电路设置于位于第一导电连接部（506）的远端一侧的一横向平面上。
  9. 根据权利要求8所述的压力传感器，其中，所述安装座（4）纵向延伸且其侧部朝内凹陷形成用于容纳纵板（501）的容纳槽（402），其近端及远端相对形成顶板（418）和半圆状的底板（417）；横板（502）支撑固定于顶板（418）的近端表面；安装座（4）包括压筒（401），底板（417）部分地封堵于一压筒（401）近端。
  10. 根据权利要求9所述的压力传感器，其中，压筒（401）的远端抵压于压力接头（1）上形成的一支撑台阶（110）上。
  11. 根据权利要求10所述的压力传感器，其中，压力接头（1）的纵向近端及其近端部分别朝外横向凸伸形成凸缘（106）及支撑连接环（105）；连接筒（202）配合套设于凸缘（106）上，且支撑并焊接于支撑连接环（105）上；凸缘（106）、支撑连接环（105）及连接筒（202）围成环腔（107）。
  12. 根据权利要求11所述的压力传感器，其中，支撑台阶（110）与支撑连接环（105）之间形成应力隔离槽（109）。
  13. 根据权利要求9所述的压力传感器，其中，容纳槽（402）的横向两侧各设置有至少一个卡接于纵板（501）上的第一卡扣（403）。
  14. 根据权利要求9所述的压力传感器，其中，底板（417）的侧部开设有延伸至底板（417）以供第二柔性板（504）穿过的让位口（405）；底板（417）的近端一侧设置有横向连通至让位口（405）的第二柔性板布置槽（407）。
  15. 根据权利要求14所述的压力传感器，其中，在压筒（401）的侧壁上可设置有一沿第二柔性板布置槽（407）的平行方向延伸的拆卸孔（404），并使拆卸孔（404）延伸至容纳槽（402）底部。
  16. 根据权利要求9所述的压力传感器，其中，顶板（418）的边部开设有纵向延伸且朝远端一侧连通至容纳槽（402）的第一柔性板布置槽（411），第一柔性板布置槽（411）与让位口（405）在安装座（4）的周向上位于相同位置；顶板（418）的近端设置有至少两个压铆柱（409），压铆柱（409）朝近端一侧铆接于横板（502）上对应开设的铆孔（509）上。
  17. 根据权利要求9所述的压力传感器，其中，安装座（4）上设置有用于卡接一金属基座（201）的第二卡扣（412）。
  18. 根据权利要求9所述的压力传感器，其中，第二柔性板（504）的侧部设置有第二导电连接部（505），第二导电连接部（505）经安装座（4）内嵌入的接地通路电连接至金属制的壳体（7）或压力接头（1）后接地；横板（502）的侧部设置有第三导电连接部（510），第三导电连接部（510）经由金属制的壳体（7）接地。
  19. 根据权利要求8所述的压力传感器，其中，所述横板（502）的近端表面设置有多个第四导电连接部（507）。
  20. 根据权利要求8所述的压力传感器，其中，压力通道（100）近端的内径逐渐扩大形成喇叭口（104）。
PCT/CN2023/089935 2022-12-13 2023-04-21 一种压力传感器信号处理组件及压力传感器 WO2024124766A1 (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202211592977.8A CN115790918A (zh) 2022-12-13 2022-12-13 一种压力传感器信号处理组件
CN202211592977.8 2022-12-13

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2024124766A1 true WO2024124766A1 (zh) 2024-06-20

Family

ID=85419519

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/CN2023/089935 WO2024124766A1 (zh) 2022-12-13 2023-04-21 一种压力传感器信号处理组件及压力传感器

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN115790918A (zh)
WO (1) WO2024124766A1 (zh)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022142994A1 (zh) * 2020-12-31 2022-07-07 杭州三花研究院有限公司 传感器装置以及阀组件
CN115406565A (zh) * 2022-08-30 2022-11-29 武汉飞恩微电子有限公司 一种厚膜压力敏感头及压力传感器
CN115752873A (zh) * 2022-12-13 2023-03-07 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力传感器
CN115752868A (zh) * 2022-12-13 2023-03-07 武汉飞恩微电子有限公司 压力传感器
CN115808264A (zh) * 2022-12-13 2023-03-17 武汉飞恩微电子有限公司 压力传感器
CN115839787A (zh) * 2022-12-13 2023-03-24 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力测量组件及压力传感器
CN219104229U (zh) * 2022-12-13 2023-05-30 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力测量组件及压力传感器
CN219265569U (zh) * 2022-12-13 2023-06-27 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力传感器
CN219416503U (zh) * 2022-12-13 2023-07-25 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力传感器信号处理组件

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022142994A1 (zh) * 2020-12-31 2022-07-07 杭州三花研究院有限公司 传感器装置以及阀组件
CN115406565A (zh) * 2022-08-30 2022-11-29 武汉飞恩微电子有限公司 一种厚膜压力敏感头及压力传感器
CN115752873A (zh) * 2022-12-13 2023-03-07 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力传感器
CN115752868A (zh) * 2022-12-13 2023-03-07 武汉飞恩微电子有限公司 压力传感器
CN115808264A (zh) * 2022-12-13 2023-03-17 武汉飞恩微电子有限公司 压力传感器
CN115839787A (zh) * 2022-12-13 2023-03-24 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力测量组件及压力传感器
CN219104229U (zh) * 2022-12-13 2023-05-30 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力测量组件及压力传感器
CN219265569U (zh) * 2022-12-13 2023-06-27 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力传感器
CN219416503U (zh) * 2022-12-13 2023-07-25 武汉飞恩微电子有限公司 一种压力传感器信号处理组件

Also Published As

Publication number Publication date
CN115790918A (zh) 2023-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2024124768A1 (zh) 一种压力测量组件及压力传感器
WO2024124765A1 (zh) 一种压力传感器
JP3444987B2 (ja) 圧力センサ
US5587535A (en) Pressure sensor including a pair of slidable contacts between a strain gage and a print circuit board
EP1970686B1 (en) Pressure sensor and manufacturing method of said sensor
US9593995B2 (en) Package for a differential pressure sensing die
WO2024124767A1 (zh) 压力传感器
CN219416503U (zh) 一种压力传感器信号处理组件
JP2001242031A (ja) 気密式の圧力変換器
EP3111184B1 (en) Differential pressure sensing die
CN219104229U (zh) 一种压力测量组件及压力传感器
JP4027655B2 (ja) 圧力センサ装置
JP2000337987A (ja) 圧力センサ装置
CN219265569U (zh) 一种压力传感器
CN115752868A (zh) 压力传感器
WO2024124766A1 (zh) 一种压力传感器信号处理组件及压力传感器
JP4863571B2 (ja) 圧力センサ
US6651509B2 (en) Mechanism for differential pressure measurement with removable differential pressure sensor
KR20150139173A (ko) 스트레인 게이지 압력 센서
JP6170879B2 (ja) 歪みゲージ圧力センサ
JPH09178596A (ja) 圧力センサ
JP2005527374A (ja) 超音波プローブを備える溶接電極
KR20180088938A (ko) 압력 센서 및 그 제조 방법
CN113108831A (zh) 传感器
JP4223273B2 (ja) 圧力センサ