WO2024063112A1

WO2024063112A1 - 樹脂組成物、仮固定材、及び、電子部品の製造方法

Info

Publication number: WO2024063112A1
Application number: PCT/JP2023/034182
Authority: WO
Inventors: 由季西海; 駿夫高橋; 徳重七里; 聡史林; 久敏岡山; 和泉大同; 千恵子森
Original assignee: 積水化学工業株式会社
Priority date: 2022-09-21
Filing date: 2023-09-21
Publication date: 2024-03-28

Abstract

本発明は、加熱処理中のボイド及び浮きの発生を抑制することができ、加熱処理後は容易に剥離することができる樹脂組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、該樹脂組成物を含む仮固定材、及び、該仮固定材を用いた電子部品の製造方法を提供することを目的とする。本発明は、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と、（メタ）アクリル共重合体とを含有する樹脂組成物である。

Description

樹脂組成物、仮固定材、及び、電子部品の製造方法

本発明は、樹脂組成物に関する。また、本発明は、該樹脂組成物を含む仮固定材、及び、該仮固定材を用いた電子部品の製造方法に関する。

半導体等の電子部品の加工時においては、電子部品の取扱いを容易にし、破損したりしないようにするために、樹脂組成物からなる仮固定材を介して電子部品を支持板に固定したり、樹脂組成物を含む接着剤層を有する仮固定材を用いてなる粘着テープを電子部品に貼付したりして保護することが行われている。例えば、高純度なシリコン単結晶等から切り出した厚膜ウエハを所定の厚さにまで研削して薄膜ウエハとする場合に、仮固定材を介して厚膜ウエハを支持板に接着することが行われる。

このように電子部品に用いる仮固定材には、加工工程中に電子部品を強固に固定できるだけの高い接着性とともに、工程終了後には電子部品を損傷することなく剥離できることが求められる（以下、「高接着易剥離」ともいう。）。
高接着易剥離の実現手段として、例えば、特許文献１には、ポリマーの側鎖又は主鎖に放射線重合性官能基を有する多官能性モノマー又はオリゴマーが結合された粘着剤を用いた粘着シートが開示されている。放射線重合性官能基を有することで紫外線照射によりポリマーが硬化することを利用して、剥離時に紫外線を照射することにより粘着力が低下して、糊残りなく剥離することができる。

特開平５－３２９４６号公報

近年の電子部品の高性能化に伴い、電子部品に種々の加工を施す工程が行われるようになってきた。例えば、電子部品の表面にスパッタリングにより金属薄膜を形成する工程では、高温で加熱しながら加工を行うことにより、より導電性に優れた金属薄膜を形成することができる。
しかしながら、従来の仮固定材を用いて保護した電子部品に、高温での加熱処理を行うと、加熱中に電子部品を固定している支持体との間にボイド又は浮きが発生することがあり、また、接着亢進を起こして、剥離時に充分に粘着力が低下しなかったり、糊残りが発生したりすることがある。
特に近年、高い耐熱性を有する材料としてポリイミドが多くの電子部品に使用されるようになっており、ポリイミドを表面に有する被着体を、ガラス等の無機材料からなる支持体に固定して種々の加工を施す工程が行われるようになってきた。被着体がポリイミドを表面に有する場合に高温での加熱処理を行うと、被着体の表面が無機材料である場合に比べて接着亢進が大きくなる傾向がある。このような場合に被着体の保護に用いられる仮固定材には、該被着体との接着亢進の抑制が求められる一方で、支持体との間におけるボイド及び浮きの発生の抑制も求められる。

本発明は、加熱処理中のボイド及び浮きの発生を抑制することができ、加熱処理後は容易に剥離することができる樹脂組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、該樹脂組成物を含む仮固定材、及び、該仮固定材を用いた電子部品の製造方法を提供することを目的とする。

本開示１は、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と、（メタ）アクリル共重合体とを含有する樹脂組成物である。
本開示２は、上記（メタ）アクリル共重合体は、分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位を有する本開示１の樹脂組成物である。
本開示３は、上記（メタ）アクリル共重合体は、上記（メタ）アクリル共重合体中における上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位の含有割合が２０モル％以上８０モル％以下である本開示２の樹脂組成物である。
本開示４は、上記（メタ）アクリル共重合体は、炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位と、炭素数８以上のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位とを有し、上記（メタ）アクリル共重合体中における上記炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位の含有割合が２０モル％以上８０モル％以下である本開示１、２又は３の樹脂組成物である。
本開示５は、上記（メタ）アクリル共重合体は、炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有さない本開示１、２、３又は４の樹脂組成物である。
本開示６は、上記（メタ）アクリル共重合体は、分子量が２０００以上２万以下である本開示１、２、３、４又は５の樹脂組成物である。
本開示７は、上記（メタ）アクリル共重合体は、ガラス転移温度が－７０℃以上－５℃以下である本開示１、２、３、４、５又は６の樹脂組成物である。
本開示８は、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含む本開示１、２、３、４、５、６又は７の樹脂組成物である。
本開示９は、上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、ダイマージアミンに由来する脂肪族基を有する本開示８の樹脂組成物である。
本開示１０は、熱硬化性又は光硬化性である本開示１、２、３、４、５、６、７、８又は９の樹脂組成物である。
本開示１１は、マレイミド基を有する化合物を含有する本開示１、２、３、４、５、６、７、８、９又は１０の樹脂組成物である。
本開示１２は、上記マレイミド基を有する化合物は、ビスマレイミド化合物、又は、マレイミド基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂である本開示１１の樹脂組成物である。
本開示１３は、上記マレイミド基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂として、下記式（１）で表される構成単位を有し、末端及び側鎖の少なくともいずれかにマレイミド基を有する官能基を有する樹脂を含有する本開示１２の樹脂組成物である。
本開示１４は、更に、分子内に炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を２以上有し、分子量が５０００以下である多官能モノマー又は多官能オリゴマーを含む、本開示１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２又は１３の樹脂組成物である。
本開示１５は、上記（メタ）アクリル共重合体の含有量が、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーとの合計１００質量部に対して、０．１質量部以上２０質量部以下である本開示１４の樹脂組成物である。
本開示１６は、非硬化性である本開示１、２、３、４、５、６、７、８又は９の樹脂組成物である。
本開示１７は、上記樹脂組成物の１０％重量減少温度が２００℃以上である本開示１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５又は１６の樹脂組成物である。
本開示１８は、本開示１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６又は１７の樹脂組成物を含む仮固定材である。
本開示１９は、本開示１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６又は１７の樹脂組成物を含む接着剤層を有する仮固定材である。
本開示２０は、テープ状である本開示１９の仮固定材である。
本開示２１は、上記仮固定材の２５℃におけるポリイミドに対する初期粘着力が０．１Ｎ／ｉｎｃｈ以上１．５Ｎ／ｉｎｃｈ以下である本開示１８、１９又は２０の仮固定材である。
本開示２２は、本開示１８、１９、２０又は２１の仮固定材に電子部品を仮固定する仮固定工程と、上記電子部品に熱処理を行う熱処理工程と、上記仮固定材から上記電子部品を剥離する剥離工程とを含む電子部品の製造方法である。
本開示２３は、上記仮固定工程と上記熱処理工程との間に、上記仮固定材を硬化する硬化工程を含む本開示２２の電子部品の製造方法である。

式（１）中、Ｐ^１は、芳香族基を表し、Ｑ^１は、置換又は非置換の直鎖状、分岐鎖状又は環状の脂肪族基を表す。
以下に本発明を詳述する。

本発明者らは、仮固定剤に用いる樹脂組成物として、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と、（メタ）アクリル共重合体とを含有する樹脂組成物を用いることを検討した。その結果、加熱処理中のボイド及び浮きの発生を抑制することができ、加熱処理後は容易に剥離することができる樹脂組成物を得ることができることを見出し、本発明を完成させるに至った。

本発明の樹脂組成物は、（メタ）アクリル共重合体を含有する。上記（メタ）アクリル共重合体は、表面改質剤としての役割を有する。上記（メタ）アクリル共重合体を後述するイミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と組み合わせて用いることにより、本発明の樹脂組成物は、加熱処理中のボイド及び浮きの発生を抑制することができ、加熱処理後は容易に剥離することができる樹脂組成物を得ることができるものとなる。
なお、本明細書において、上記「（メタ）アクリル」は、アクリル又はメタクリルを意味する。

上記（メタ）アクリル共重合体は、分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位を有することが好ましい。上記（メタ）アクリル共重合体が上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位を有することにより、樹脂組成物中における分散性が向上する。また、表面への偏在率が向上するため、得られる樹脂組成物を含む仮固定材の剥離性がより優れるものとなる。
なお、本明細書において、上記「（メタ）アクリレート」は、アクリレート又はメタクリレートを意味する。

上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートとしては、例えば、ｔ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、イソウンデシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

上記（メタ）アクリル共重合体中における上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位の含有割合の好ましい下限は２０モル％、好ましい上限は８０モル％である。上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位の含有割合が２０モル％以上８０モル％以下であることにより、樹脂組成物中における表面への偏在率をより高めることができる。この結果、得られる樹脂組成物を含む仮固定材の剥離性がより優れるものとなる。上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位の含有割合のより好ましい下限は３０モル％、より好ましい上限は７０モル％である。

上記（メタ）アクリル共重合体は、上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位と、直鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位とを有するものであってもよい。

上記直鎖状のアルキル（メタ）アクリレートとしては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、ｎ－ペンチル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘプチル（メタ）アクリレート、ｎ－オクチル（メタ）アクリレート、ｎ－ノニル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ｎ－デシル（メタ）アクリレート、ｎ－ウンデシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

上記（メタ）アクリル共重合体は、炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位と、炭素数８以上のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位とを有することが好ましい。上記（メタ）アクリル共重合体が、上記炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位と、上記炭素数８以上のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位とを有することにより、得られる樹脂組成物中における分散性と表面偏在性とにより優れるものとなる。

上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位は炭素数８以上であることが好ましい。上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位は炭素数８以上であることにより、樹脂組成物中における表面への偏在率をより高めることができる。この結果、得られる樹脂組成物を含む仮固定材の剥離性がより優れるものとなる。上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位は炭素数が２０以下であることが好ましく、１５以下であることが好ましく、１０以下であることが好ましく、８であることが特に好ましい。
上記直鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位は炭素数２以上７以下であることが好ましい。上記直鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位は炭素数２以上７以下であることにより、樹脂組成物中における表面への偏在率をより高めることができる。この結果、得られる樹脂組成物を含む仮固定材の剥離性がより優れるものとなる。上記直鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位は、炭素数が３以上６以下であることがより好ましく、４であることが特に好ましい。

上記炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートのうち、上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートとしては、例えば、ｔ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
上記炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートのうち、上記直鎖状のアルキル（メタ）アクリレートとしては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、ｎ－ペンチル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ－ヘプチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。なかでも、本発明の樹脂組成物中において、表面に偏在させやすくし、剥離性を向上させる観点から、ｎ－ブチル（メタ）アクリレートであることが好ましい。

上記炭素数８以上のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートのうち、上記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートとしては、例えば、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート、イソウンデシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
上記炭素数８以上のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートのうち、上記直鎖状のアルキル（メタ）アクリレートとしては、例えば、ｎ－オクチル（メタ）アクリレート、ｎ－ノニル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ｎ－デシル（メタ）アクリレート、ｎ－ウンデシル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
なかでも、本発明の樹脂組成物中において、表面に偏在させやすくし、剥離性を向上させる観点から、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレートであることが好ましい。

上記（メタ）アクリル共重合体が、上記炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位と、上記炭素数８以上のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位とを有する場合、上記（メタ）アクリル共重合体中における上記炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位の含有割合の好ましい下限は２０モル％、好ましい上限は８０モル％である。上記炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位の含有割合が２０モル％以上であることにより、得られる樹脂組成物が分散性や表面偏在性により優れるものとなる。上記炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位の含有割合が８０モル％以下であることにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。上記炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位の含有割合のより好ましい下限は３０モル％、より好ましい上限は７０モル％である。

上記（メタ）アクリル共重合体は、更に、極性官能基含有モノマーに由来する構成単位を有することが好ましい。上記（メタ）アクリル共重合体が極性官能基含有モノマーに由来する構成単位を有することにより、得られる樹脂組成物は耐熱性に優れるものとなる。

上記極性官能基含有モノマーに由来する構成単位としては、例えば、水酸基含有モノマーに由来する構成単位、カルボキシ基含有モノマーに由来する構成単位、エポキシ基含有モノマーに由来する構成単位、イソシアネート基含有モノマーに由来する構成単位、アミノ基含有モノマーに由来する構成単位等が挙げられる。なかでも、より耐熱性を高める観点から、上記（メタ）アクリル共重合体は、水酸基含有モノマーに由来する構成単位、エポキシ基含有モノマーを有することが好ましい。

上記水酸基含有モノマーとしては、例えば、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
上記カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられる。
上記エポキシ基含有モノマーとしては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
上記イソシアネート基含有モノマーとしては、例えば、２－イソシアネートエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
上記アミノ基含有モノマーとしては、例えば、２－アミノエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
上記極性官能基含有モノマーは、単独で用いられてもよいし、２種以上が組み合わせて用いられてもよい。

上記（メタ）アクリル共重合体中における上記極性官能基含有モノマーに由来する構成単位の合計含有割合の好ましい下限は０．５モル％、好ましい上限は３０モル％である。上記極性官能基含有モノマーに由来する構成単位の合計含有割合が０．５モル％以上であることにより、得られる樹脂組成物は耐熱性に優れるものとなる。上記極性官能基含有モノマーに由来する構成単位の合計含有割合が３０モル％以下であることにより、加熱後の剥離性に優れるものとなる。上記極性官能基含有モノマーに由来する構成単位の合計含有割合のより好ましい下限は１モル％、より好ましい上限は２０モル％、更に好ましい下限は５モル％、更に好ましい上限は１５モル％である。

上記（メタ）アクリル共重合体は、樹脂組成物中において、表面に偏在させやすくし、得られる仮固定材の剥離性を向上させる観点から、炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有さないことが好ましい。

上記（メタ）アクリル共重合体は、分子量の好ましい下限は２０００、好ましい上限は５万である。上記（メタ）アクリル共重合体の分子量が２０００以上であることにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。上記（メタ）アクリル共重合体の分子量が５万以下であることにより、得られる樹脂組成物中における分散性や表面偏在性により優れるものとなる。この結果、得られる樹脂組成物を含む仮固定材の剥離性がより優れるものとなる。上記（メタ）アクリル共重合体の分子量のより好ましい下限は５０００、更に好ましい下限は６０００、より好ましい上限は２万、更に好ましい上限は１５０００、更により好ましい上限は１万である。
なお、本明細書において上記「分子量」は、分子構造が特定される化合物については、構造式から求められる分子量であるが、重合度の分布が広い化合物及び変性部位が不特定な化合物については、重量平均分子量を用いて表す。上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）法によりポリスチレン換算分子量として測定される。具体的には例えば、Ａｃｑｕｉｔｙ　ＡＰＣシステム（ウォーターズ社製）を用いて、移動相ＴＨＦ、流量１．０ｍＬ／ｍｉｎ、カラム温度４０℃、サンプル濃度０．２モル％、ＲＩ・ＰＤＡ検出器の条件で測定することができる。上記カラムとしては、ＨＲ－ＭＢ－Ｍ　６．０×１５０ｍｍ（ウォーターズ社製）等を用いることができる。

上記（メタ）アクリル共重合体のガラス転移温度の好ましい下限は－７０℃、好ましい上限が－５℃である。上記（メタ）アクリル共重合体のガラス転移温度がこの範囲であることにより、得られる樹脂組成物中における分散性や表面偏在性により優れるものとなる。この結果、得られる樹脂組成物を含む仮固定材の剥離性がより優れるものとなる。上記（メタ）アクリル共重合体のガラス転移温度のより好ましい下限は－６５℃、更に好ましい下限は－６０℃、より好ましい上限は－１０℃、更に好ましい上限は－２０℃、更により好ましい上限は－３０℃である。
なお、本明細書において上記「ガラス転移温度」は、動的粘弾性測定により得られる損失正接（ｔａｎδ）の極大のうち、ミクロブラウン運動に起因する極大が現れる温度を意味する。上記ガラス転移温度は、動的粘弾性測定装置等を用いた従来公知の方法により測定することができる。また、上記（メタ）アクリル共重合体のガラス転移温度（絶対温度）は、（メタ）アクリル共重合体を構成する各モノマー成分それぞれについて、含有割合をガラス転移温度で除した値（（モノマー成分の含有割合（モル％））／（モノマー成分のガラス転移温度（Ｋ）））を算出し、（メタ）アクリル共重合体を構成するすべてのモノマー成分の当該値を合計した値の逆数を算出することによっても得ることができる。

上記（メタ）アクリル共重合体の水酸基価の好ましい下限は１ｍｇＫＯＨ／ｇ、好ましい上限は１００ｍｇＫＯＨ／ｇである。上記（メタ）アクリル共重合体の水酸基価が１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることにより、得られる樹脂組成物は耐熱性に優れるものとなる。上記（メタ）アクリル共重合体の水酸基価が１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることにより、得られる樹脂組成物は加熱後の剥離性に優れるものとなる。上記（メタ）アクリル共重合体の水酸基価のより好ましい下限は５ｍｇＫＯＨ／ｇ、より好ましい上限は５０ｍｇＫＯＨ／ｇ、更に好ましい下限は１０ｍｇＫＯＨ／ｇ、更に好ましい上限は３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。
なお、上記（メタ）アクリル共重合体の水酸基価は、例えば、ＪＩＳ　Ｋ　００７０：１９９２に準拠した電位差滴定法等により測定することができる。

上記（メタ）アクリル共重合体の含有量は、後述するイミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂１００質量部（樹脂組成物が後述する多官能モノマー又は多官能オリゴマーを含有する場合は、該イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と、該多官能モノマー又は多官能オリゴマーとの合計１００質量部）に対して、好ましい下限が０．１質量部、好ましい上限が２０質量部である。上記（メタ）アクリル共重合体の含有量がこの範囲内であることにより、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材は、被着体の汚染を低減し、かつ、剥離性により優れるものとなる。上記（メタ）アクリル共重合体の含有量のより好ましい下限は０．２質量部、より好ましい上限は１５質量部である。

本発明の樹脂組成物は、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含む。
上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、イミド骨格を有することによって極めて耐熱性に優れ、高温で加熱処理を行う場合であっても主鎖の分解が起こり難い。このため、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含有することにより、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材は、高温での加熱処理中は支持体との間のボイド及び浮きの発生を抑えることができ、また、被着体に対して接着亢進を起こしたり、被着体との剥離時に糊残りが発生したりすることを防止することができる。

上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、上記式（１）で表される構成単位を有することが好ましい。

上記式（１）中、Ｐ^１は、炭素数５以上５０以下の芳香族基であることが好ましい。上記Ｐ^１が炭素数５以上５０以下の芳香族基であることにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。即ち、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が高温での加熱処理中は支持体との間のボイド及び浮きの発生をより抑えることができ、また、被着体に対して接着亢進を起こしたり、被着体との剥離時に糊残りが発生したりすることをより防止することができる。

上記式（１）中、Ｑ^１は、置換又は非置換の直鎖状、分岐鎖状又は環状の炭素数２以上１００以下の脂肪族基であることが好ましい。上記Ｑ^１が置換又は非置換の直鎖状、分岐鎖状又は環状の炭素数２以上１００以下の脂肪族基であることにより、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が光透過性により優れるものとなる。また、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が柔軟性により優れるものとなり、凹凸を有する被着体に対して高い追従性を発揮できるとともに、剥離時により容易に剥離することができるものとなる。
また、上記Ｑ^１は、ジアミン化合物に由来する脂肪族基であることが好ましい。なかでも、光透過性、柔軟性、及び、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の溶媒や他の成分との相溶性の観点から、上記Ｑ^１は、ダイマージアミンに由来する脂肪族基であることが好ましい。
上記ダイマージアミンとは、不飽和脂肪酸の２量体として得られる環式及び非環式ダイマー酸を、還元しアミノ化して得られるジアミン化合物であり、例えば、直鎖型、単環型、多環型等のダイマージアミンが挙げられる。上記ダイマージアミンは、炭素－炭素二重結合を含んでいてもよいし、水素が付加した水素添加物であってもよい。

上記ダイマージアミンに由来する脂肪族基としては、例えば、下記式（２－１）で表される基、下記式（２－２）で表される基、下記式（２－３）で表される基、及び、下記式（２－４）で表される基からなる群より選択される少なくとも１種の基が好ましい。なかでも、下記式（２－２）で表される基がより好ましい。

式（２－１）～（２－４）中、Ｒ^１～Ｒ^１６は、それぞれ独立して、直鎖状又は分岐鎖状の炭化水素基を表し、＊は結合手を表す。結合手＊は、上記式（１）中のＮと結合する。

上記一般式（２－１）～（２－４）中、Ｒ^１～Ｒ^１６で表される炭化水素基は、飽和炭化水素基であってもよいし、不飽和炭化水素基であってもよい。なかでも、Ｒ^１とＲ^２、Ｒ^３とＲ^４、Ｒ^５とＲ^６、Ｒ^７とＲ^８、Ｒ^９とＲ^１０、Ｒ^１１とＲ^１２、Ｒ^１３とＲ^１４、及び、Ｒ^１５とＲ^１６の炭素数の合計が７以上５０以下であることが好ましい。上記炭素数の合計が上記範囲内であることにより、得られる樹脂組成物が、光透過性及び柔軟性により優れるものとなり、かつ、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の溶媒や他の成分との相溶性にもより優れるものとなる。上記炭素数の合計は、より好ましくは９以上、更に好ましくは１２以上、更により好ましくは１４以上である。上記炭素数の合計は、より好ましくは３５以下、更に好ましくは２５以下、更により好ましくは１８以下である。

上記式（２－１）で表される基、上記式（２－２）で表される基、上記式（２－３）で表される基、及び、上記式（２－４）で表される基において光学異性は特に限定されず、いずれの光学異性も含む。

上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含むことが好ましく、炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含むことがより好ましい。

上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、重量平均分子量が１万以上２００万以下であることが好ましい。上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の重量平均分子量が１万以上であることにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。即ち、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が高温での加熱処理中は支持体との間のボイド及び浮きの発生をより抑えることができ、また、被着体に対して接着亢進を起こしたり、被着体との剥離時に糊残りが発生したりすることをより防止することができる。上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の重量平均分子量が２００万以下であることにより、上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂が溶媒や他の成分との相溶性により優れるものとなる。上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の重量平均分子量のより好ましい下限は３万、より好ましい上限は１００万、更に好ましい下限は４万、更に好ましい上限は３０万、更により好ましい下限は５万である。

上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂としては、具体的には例えば、上記式（１）で表される構成単位を有し、両末端にマレイミド基を有さない官能基を有する樹脂等が挙げられる。

上記式（１）で表される構成単位を有し、両末端にマレイミド基を有さない官能基を有する樹脂は、下記式（３）で表される構成単位を有していてもよい。

式（３）中、Ｐ^２は、芳香族基を表し、Ｑ^２は、置換又は非置換の芳香族構造を有する基を表す。

上記式（３）中、Ｐ^２は、炭素数５以上５０以下の芳香族基であることが好ましい。上記Ｐ^２が炭素数５以上５０以下の芳香族基であることにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。即ち、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が高温での加熱処理中は支持体との間のボイド及び浮きの発生をより抑えることができ、また、被着体に対して接着亢進を起こしたり、被着体との剥離時に糊残りが発生したりすることをより防止することができる。

上記式（３）中、Ｑ^２は、置換又は非置換の炭素数５以上５０以下の芳香族構造を有する基であることが好ましい。上記Ｑ^２が置換又は非置換の炭素数５以上５０以下の芳香族構造を有する基であることにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。即ち、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が高温での加熱処理中は支持体との間のボイド及び浮きの発生をより抑えることができ、また、被着体に対して接着亢進を起こしたり、被着体との剥離時に糊残りが発生したりすることをより防止することができる。

上記マレイミド基を有さない官能基としては、例えば、脂肪族基、脂環式基、芳香族基、酸無水物基、アミノ基等が挙げられる。具体的には、上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の原料となる酸無水物やジアミン化合物の未反応の片末端構成基等が挙げられる。
上記式（１）で表される構成単位を有し、両末端にマレイミド基を有さない官能基を有する樹脂が、両末端に有するマレイミド基を有さない官能基は、同一であってもよいし、異なっていてもよい。

上記式（１）で表される構成単位を有し、両末端にマレイミド基を有さない官能基を有する樹脂における上記式（１）で表される構成単位の含有割合は、好ましくは３０モル％以上、より好ましくは５０モル％以上であり、好ましくは９０モル％以下、より好ましくは８０モル％以下である。
上記式（１）で表される構成単位を有し、両末端に炭素－炭素二重結合を有さない官能基を有する樹脂が上記式（３）で表される構成単位を有する場合、上記式（３）で表される構成単位の含有割合は、好ましくは５モル％以上、より好ましくは１０モル％以上、更に好ましくは２０モル％以上であり、好ましくは５０モル％以下、より好ましくは３０モル％以下である。
上記式（１）で表される構成単位及び上記式（３）で表される構成単位において、それぞれの構成単位の含有割合が上記範囲内であることにより、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が、高温での加熱処理中は支持体との間のボイド及び浮きの発生をより抑えることができ、また、被着体との剥離時により容易に剥離することができるものとなる。
なお、上記式（１）で表される構成単位及び上記式（３）で表される構成単位は、それぞれの構成単位が連続して配列したブロック成分からなるブロック構造を有していてもよいし、それぞれの構成単位がランダムに配列したランダム構造を有していてもよい。

上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を製造する方法としては、例えば、ジアミン化合物と芳香族酸無水物とを反応させる方法等が挙げられる。

上記ジアミン化合物としては、脂肪族ジアミン化合物又は芳香族ジアミン化合物のいずれも用いることができる。
上記ジアミン化合物として脂肪族ジアミン化合物を用いることにより、得られる樹脂組成物が光透過性により優れるものとなる。また、得られる樹脂組成物が柔軟性により優れるものとなり、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が凹凸を有する被着体に対して高い追従性を発揮できるとともに、剥離時により容易に剥離することができるものとなる。
また、上記ジアミン化合物として芳香族ジアミン化合物を用いることにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。
上記ジアミン化合物は、単独で用いられてもよいし、２種以上が組み合わせて用いられてもよい。

上記脂肪族ジアミン化合物としては、例えば、１，１０－ジアミノデカン、１，１２－ジアミノドデカン、ダイマージアミン、１，２－ジアミノ－２－メチルプロパン、１，２－ジアミノシクロヘキサン、１，２－ジアミノプロパン、１，３－ジアミノプロパン、１，４－ジアミノブタン、１，５－ジアミノペンタン、１，７－ジアミノヘプタン、１，８－ジアミノメンタン、１，８－ジアミノオクタン、１，９－ジアミノノナン、３，３’－ジアミノ－Ｎ－メチルジプロピルアミン、ジアミノマレオニトリル、１，３－ジアミノペンタン、ビス（４－アミノ－３－メチルシクロヘキシル）メタン、１，２－ビス（２－アミノエトキシ）エタン、３（４），８（９）－ビス（アミノメチル）トリシクロ（５．２．１．０２，６）デカン等が挙げられる。

上記脂肪族ジアミン化合物のなかでも、光透過性、柔軟性、及び、上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の溶媒や他の成分との相溶性の観点から、ダイマージアミンが好ましい。即ち、上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、ダイマージアミンに由来する脂肪族基を有することが好ましい。
上記ダイマージアミンとしては、具体的には例えば、上述した式（２－１）で表される基、式（２－２）で表される基、式（２－３）で表される基、及び、式（２－４）で表される基からなる群より選択される少なくとも１種の基を構成することのできるダイマージアミン等が挙げられる。

上記芳香族ジアミン化合物としては、例えば、９，１０－ジアミノフェナントレン、４，４’－ジアミノオクタフルオロビフェニル、３，７－ジアミノ－２－メトキシフルオレン、４，４’－ジアミノベンゾフェノン、３，４－ジアミノベンゾフェノン、３，４－ジアミノトルエン、２，６－ジアミノアントラキノン、２，６－ジアミノトルエン、２，３－ジアミノトルエン、１，８－ジアミノナフタレン、２，４－ジアミノトルエン、２，５－ジアミノトルエン、１，４－ジアミノアントラキノン、１，５－ジアミノアントラキノン、１，５－ジアミノナフタレン、１，２－ジアミノアントラキノン、２，４－クメンジアミン、１，３－ビスアミノメチルベンゼン、１，３－ビスアミノメチルシクロヘキサン、２－クロロ－１，４－ジアミノベンゼン、１，４－ジアミノ－２，５－ジクロロベンゼン、１，４－ジアミノ－２，５－ジメチルベンゼン、４，４’－ジアミノ－２，２’－ビストリフルオロメチルビフェニル、ビス（アミノ－３－クロロフェニ）エタン、ビス（４－アミノ－３，５－ジメチルフェニル）メタン、ビス（４－アミノ－３，５－ジエチルフェニル）メタン、ビス（４－アミノ－３－エチルジアミノフルオレン、２，３－ジアミノナフタレン、２，３－ジアミノフェノール、－５－メチルフェニル）メタン、ビス（４－アミノ－３－メチルフェニル）メタン、ビス（４－アミノ－３－エチルフェニル）メタン、４，４’－ジアミノフェニルスルホン、３，３’－ジアミノフェニルスルホン、２，２－ビス（４，（４アミノフェノキシ）フェニル）スルホン、２，２－ビス（４－（３－アミノフェノキシ）フェニル）スルホン、４，４’－オキシジアニリン、４，４’－ジアミノジフェニルスルフィド、３，４’－オキシジアニリン、２，２－ビス（４－（４－アミノフェノキシ）フェニル）プロパン、１，３－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、４，４’－ビス（４－アミノフェノキシ）ビフェニル、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジヒドロキシビフェニル、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジメチルビフェニル、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジメトキシビフェニル、Ｂｉｓａｎｉｌｉｎｅ　Ｍ、Ｂｉｓａｎｉｌｉｎｅ　Ｐ、９，９－ビス（４－アミノフェニル）フルオレン、ｏ‐トリジンスルホン、メチレンビス（アントラニル酸）、１，３－ビス（４－アミノフェノキシ）－２，２－ジメチルプロパン、１，３－ビス（４－アミノフェノキシ）プロパン、１，４－ビス（４－アミノフェノキシ）ブタン、１，５－ビス（４－アミノフェノキシ）ブタン、２，３，５，６－テトラメチル－１，４－フェニレンジアミン、３，３’，５，５’－テトラメチルベンジジン、４，４’－ジアミノベンザニリド、２，２－ビス（４－アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ポリオキシアルキレンジアミン類（例えば、Ｈｕｎｔｓｍａｎ社製のＪｅｆｆａｍｉｎｅ　Ｄ－２３０、Ｄ－４００、Ｄ－２０００、及び、Ｄ－４０００）、１，３－シクロヘキサンビス（メチルアミン）、ｍ－キシリレンジアミン、ｐ－キシリレンジアミン等が挙げられる。

上記芳香族酸無水物としては、例えば、ピロメリット酸、１，２，５，６－ナフタレンテトラカルボン酸、２，３，６，７－ナフタレンテトラカルボン酸、１，２，４，５－ナフタレンテトラカルボン酸、１，４，５，８－ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’－ビフェニルエーテルテトラカルボン酸、３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸、２，３，５，６－ピリジンテトラカルボン酸、３，４，９，１０－ペリレンテトラカルボン酸、４，４’－スルホニルジフタル酸、１－トリフルオロメチル－２，３，５，６－ベンゼンテトラカルボン酸、２，２’，３，３’－ビフェニルテトラカルボン酸、２，２－ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）プロパン、２，２－ビス（２，３－ジカルボキシフェニル）プロパン、１，１－ビス（２，３－ジカルボキシフェニル）エタン、１，１－ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）エタン、ビス（２，３－ジカルボキシフェニル）メタン、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）メタン、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）スルホン、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）エーテル、ベンゼン－１，２，３，４－テトラカルボン酸、２，３，２’，３’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸、２，３，３’，４’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸、フェナンスレン－１，８，９，１０－テトラカルボン酸、ピラジン－２，３，５，６－テトラカルボン酸、チオフエン－２，３，４，５－テトラカルボン酸、２，３，３’，４’－ビフェニルテトラカルボン酸、３，４，３’，４’－ビフェニルテトラカルボン酸、２，３，２’，３’－ビフェニルテトラカルボン酸、４，４’－ビス（３，４－ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルスルフィド、４，４’－（４，４’－イソプロピリデンジフェノキシ）－ビス（フタル酸）等のカルボン酸の無水物が挙げられる。

上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂１００質量部中における上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の含有量の好ましい下限は１０質量部、好ましい上限は９０質量部である。上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の含有量がこの範囲内であることにより、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が、被着体からの剥離時により容易に剥離することができるものとなる。剥離性を更に高める観点から、上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の含有量のより好ましい下限は２０質量部、より好ましい上限は８０質量部である。

本発明の樹脂組成物は、熱硬化性又は光硬化性であってもよいし、非硬化性であってもよい。

本発明の樹脂組成物が熱硬化性又は光硬化性である場合、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含むことが好ましい。上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含むことにより、得られる樹脂組成物が、加熱又は光の照射によりその全体が均一にかつ速やかに重合架橋し、弾性率が上昇することにより粘着力が大きく低下するものとなる。このため、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が、接着亢進を起こしたり、剥離時に糊残りが発生したりすることを防止することができる。
上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂が上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含む場合は、上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂に加えて、更に、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含んでいてもよい。

上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基としては、例えば、置換されていてもよいマレイミド基、シトラコンイミド基、ビニルエーテル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。なかでも、より高い耐熱性が得られることから、置換されていてもよいマレイミド基が好ましい。
なお、本明細書において、上記（メタ）アクリロイルは、アクリロイル又はメタクリロイルを意味する。

上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基の官能基当量（重量平均分子量／炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基の数）が４０００以下であることが好ましい。上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基の官能基当量が４０００以下であることにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。これは、樹脂の分子中に一定以上の密度で炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有することにより、架橋間距離が短くなることによって、接着亢進がより抑えられるためと考えられる。上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基の官能基当量は、３０００以下であることがより好ましく、２０００以下であることが更に好ましい。
また、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基の官能基当量の好ましい下限は特にないが、実質的な下限は６００程度である。

上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、重量平均分子量が１０００以上１０万以下であることが好ましい。上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の重量平均分子量が１０００以上であることにより、得られる樹脂組成物の成膜が容易となるとともに、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材がある程度の柔軟性を発揮することから、凹凸を有する被着体に対して高い追従性を発揮できるとともに、剥離時により容易に剥離することができる。上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の重量平均分子量が１０万以下であることにより、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の溶媒への溶解度が低くなりすぎることを防ぐことができる。上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の重量平均分子量は１５００以上５万以下であることがより好ましく、２０００以上２万未満であることが更に好ましい。

上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂において、炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基は、側鎖又は末端のいずれにあってもよいが、両末端に存在することが好ましく、両末端に加えて更に側鎖にも存在することがより好ましい。
上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の両末端における炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基は、反応性が高く、光の照射等により樹脂組成物をより充分に硬化させることができる。この結果、接着亢進を起こしたり、剥離時に糊残りが発生したりするのをより防止することができる。
更に、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の側鎖に炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基が存在することにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。これは、架橋間距離が短くなることによって、接着亢進がより抑えられるためと考えられる。また、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の側鎖に炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基が存在することにより、上記重量平均分子量を１０００以上としながら、上記官能基当量を４０００以下に調整することが容易となる。これにより、得られる樹脂組成物が充分な初期粘着力を有すると同時に、接着亢進を起こしたり、剥離時に糊残りが発生したりするのをより防止することができる。

上述したように、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂において、炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基は側鎖又は末端のいずれにあってもよい。側鎖又は末端のいずれかが炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基以外の官能基（炭素－炭素二重結合を有さない官能基）である場合、該炭素－炭素二重結合を有さない官能基としては、例えば、脂肪族基、脂環式基、芳香族基、酸無水物基、アミノ基等が挙げられる。具体的には、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の原料となる酸無水物、ジアミン化合物の未反応の片末端構成基等が挙げられる。上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂が、側鎖又は末端に上記炭素－炭素二重結合を有さない官能基を２以上有する場合、それぞれの炭素－炭素二重結合を有さない官能基は、同一であってもよいし、異なっていてもよい。

上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂としては、具体的には例えば、上記式（１）で表される構成単位を有し、末端及び側鎖の少なくともいずれかに炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有する樹脂等が挙げられる。

上記式（１）で表される構成単位を有し、末端及び側鎖の少なくともいずれかに炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有する樹脂は、下記式（４－１）で表される構成単位及び下記式（４－２）で表される構成単位からなる群より選択される少なくとも１種の構成単位を有していてもよい。

式（４－１）中、Ｐ^３は、芳香族基を表し、Ｑ^３は、置換又は非置換の芳香族構造を有する基を表し、式（４－２）中、Ｐ^４は、芳香族基を表し、Ｒは、置換又は非置換の分岐鎖状の脂肪族基又は芳香族基を表し、Ｘは、炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を表す。

上記式（４－１）中のＰ^３及び上記式（４－２）中のＰ^４は、炭素数５～５０の芳香族基であることが好ましい。上記Ｐ^３及びＰ^４が炭素数５～５０の芳香族基であることにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。即ち、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が高温での加熱処理中は支持体との間のボイド及び浮きの発生をより抑えることができ、また、被着体に対して接着亢進を起こしたり、被着体との剥離時に糊残りが発生したりすることをより防止することができる。

上記式（４－１）中、Ｑ^３は、置換又は非置換の炭素数５～５０の芳香族構造を有する基であることが好ましい。上記Ｑ^３が置換又は非置換の炭素数５～５０の芳香族構造を有する基であることにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。即ち、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が高温での加熱処理中は支持体との間のボイド及び浮きの発生をより抑えることができ、また、被着体に対して接着亢進を起こしたり、被着体との剥離時に糊残りが発生したりすることをより防止することができる。

上記式（４－２）中、Ｒは、置換又は非置換の分岐鎖状の炭素数２～１００の脂肪族基又は芳香族基であることが好ましい。上記Ｒが置換又は非置換の分岐鎖状の炭素数２～１００の脂肪族基又は芳香族基であることにより、得られる樹脂組成物が柔軟性により優れるものとなり、該樹脂組成物を用いた仮固定材が凹凸を有する被着体に対して高い追従性を発揮できるとともに、剥離時により容易に剥離することができる。

上記式（４－２）中、Ｒは、芳香族エステル基又は芳香族エーテル基を有する芳香族基であって、該Ｒにおける該芳香族エステル基又は該芳香族エーテル基は、Ｘと結合していることが好ましい。
ここで、「芳香族エステル基」とは、芳香族環にエステル基が直接結合した基を意味し、「芳香族エーテル基」とは、芳香族環にエーテル基が直接結合した基を意味する。このようにエステル基やエーテル基に結合する部分を芳香族基にすることにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。即ち、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が高温での加熱処理中はボイド及び浮きの発生をより抑えることができ、また、被着体に対して接着亢進を起こしたり、被着体との剥離時に糊残りが発生したりすることをより防止することができる。一方、Ｘが芳香族エステル基又は芳香族エーテル基を介してＲに結合することにより、Ｘ中の炭素－炭素二重結合がＲと共役することがないことから、加熱又は光を照射したときの重合架橋を妨げることがない。

上記式（１）で表される構成単位を有し、末端及び側鎖の少なくともいずれかに炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有する樹脂における上記式（１）で表される構成単位の含有割合は、好ましくは３０モル％以上、より好ましくは５０モル％以上であり、好ましくは９０モル％以下、より好ましくは８０モル％以下である。
上記式（１）で表される構成単位を有し、末端及び側鎖の少なくともいずれかに炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有する樹脂が上記式（４－１）で表される構成単位を有する場合、上記式（４－１）で表される構成単位の含有割合は、好ましくは５モル％以上、より好ましくは１０モル％以上、更に好ましくは２０モル％以上であり、好ましくは５０モル％以下、より好ましくは３０モル％以下である。
上記式（１）で表される構成単位を有し、末端及び側鎖の少なくともいずれかに炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有する樹脂が上記式（４－２）で表される構成単位を有する場合、上記式（４－２）で表される構成単位の含有割合は、好ましくは１０モル％以上、より好ましくは２０モル％以上であり、好ましくは５０モル％以下、より好ましくは３０モル％以下である。
上記式（１）で表される構成単位、上記式（４－１）で表される構成単位、及び、上記式（４－２）で表される構成単位において、それぞれの構成単位の含有量が上記範囲内であることにより、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が、高温での加熱処理中は支持体との間のボイド及び浮きの発生をより抑えることができ、また、被着体との剥離時により容易に剥離することができるものとなる。
なお、上記式（１）で表される構成単位、上記式（４－１）で表される構成単位、及び、上記式（４－２）で表される構成単位は、それぞれの構成単位が連続して配列したブロック成分からなるブロック構造を有していてもよいし、それぞれの構成単位がランダムに配列したランダム構造を有していてもよい。

上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を製造する方法としては、例えば、以下の方法等が挙げられる。
即ち、まず、ジアミン化合物と芳香族酸無水物とを反応させてイミド化合物を調製する。次いで、該イミド化合物の官能基に、該官能基と反応する官能基と炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基とを有する化合物（以下、「官能基含有不飽和化合物」ともいう）を反応させることにより、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を得ることができる。
また、ジアミン化合物と芳香族酸無水物とを反応させてイミド化合物を調製し、更に、該イミド化合物の末端に、例えば、無水マレイン酸等を反応させることによっても、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を得ることができる。

上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を製造する方法に用いられるジアミン化合物及び芳香族酸無水物としては、上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を製造する方法に用いられるものと同様のものを用いることができる。

上記官能基含有不飽和化合物としては、上記イミド化合物の末端又は側鎖の官能基に応じて選択して用いる。
例えば、上記イミド化合物の末端又は側鎖の官能基が水酸基である場合には、上記官能基含有不飽和化合物としては、カルボキシ基を有するマレイミド化合物、エーテル基を有するビニル化合物、グリシジル基を有するアリル化合物、グリシジル基を有するアリルエーテル化合物、グリシジル基を有するビニルエーテル化合物、イソシアネート基を有するアリル化合物、イソシアネート基を有する（メタ）アクリロイル化合物等が挙げられる。
また、例えば、上記イミド化合物の末端又は側鎖の官能基がカルボキシ基の場合には、上記官能基含有不飽和化合物としては、水酸基を有するアリル化合物、グリシジル基を有するアリル化合物、グリシジル基を有するアリルエーテル化合物、グリシジル基を有するビニルエーテル化合物等が挙げられる。
上記カルボキシ基を有するマレイミド化合物としては、例えば、酢酸マレイミド、マレイミドプロピオン酸、マレイミド酪酸、マレイミドヘキサン酸、ｔｒａｎｓ－４－（Ｎ－マレイミドメチル）シクロヘキサン－１－カルボン酸、１９－マレイミド－１７－オキソ－４，７，１０，１３－テトラオキサ－１６－アザノナデカン酸等が挙げられる。
上記エーテル基を有するビニル化合物としては、例えば、ブチルビニルエーテル等が挙げられる。
上記グリシジル基を有するアリル化合物としては、例えば、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレート等が挙げられる。
上記グリシジル基を有するアリルエーテル化合物としては、例えば、アリルグリシジルエーテル、グリセリンジアリルモノグリシジルエーテル等が挙げられる。
上記グリシジル基を有するビニルエーテル化合物としては、例えば、グリシジルオキシエチルビニルエーテル、グリシジルオキシブチルビニルエーテル、グリシジルオキシヘキシルビニルエーテル、グリシジルジエチレングリコールビニルエーテル、グリシジルシクロヘキサンジメタノールモノビニルエーテル等が挙げられる。
上記イソシアネート基を有するアリル化合物としては、例えば、アリルイソシアネート等が挙げられる。
上記イソシアネート基を有する（メタ）アクリロイル化合物としては、例えば、２－（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート等が挙げられる。
上記水酸基を有するアリル化合物としては、例えば、トリメチロールプロパンジアリルエーテル、ペンタエリスリトールトリアリルエーテル等が挙げられる。

上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂１００質量部中における上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の含有量の好ましい下限は１０質量部、好ましい上限は１００質量部である。上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の含有量がこの範囲内であることにより、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が剥離時により容易に剥離することができるものとなる。剥離性を更に高める観点から、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の含有量のより好ましい下限は２０質量部、更に好ましい下限は３０質量部であり、より好ましい上限は９０質量部、更に好ましい上限は８０質量部、更により好ましい上限は７０質量部である。

上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂が上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含む場合、本発明の樹脂組成物は、更に、分子内に炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を２以上有し、分子量が５０００以下である多官能モノマー又は多官能オリゴマー（以下、単に「多官能モノマー又は多官能オリゴマー」ともいう）を含むことが好ましい。
また、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂が上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含む場合も、本発明の樹脂組成物は、更に、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーを含んでいてもよい。
上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーを含むことにより、得られる樹脂組成物が、光の照射等による三次元網状化がより効率よくなされるようになり、接着亢進を起こしたり、剥離時に糊残りが発生したりするのをより防止することができる。
上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーの分子量は５０００未満であることがより好ましい。

なお、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂自体に反応性がない場合、本発明の樹脂組成物は、反応性官能基を有する他の成分を更に含有することにより、上記樹脂組成物全体として反応性を有するものとすることができる。このような反応性官能基を有する他の成分として、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーを用いることが好ましい。上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂自体に反応性がない場合としては、例えば、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂が、上記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂のみを含む場合等が挙げられる。

上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーにおける炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基としては、例えば、置換されていてもよいマレイミド基、シトラコンイミド基、ビニルエーテル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。なかでも、より高い耐熱性が得られることから、置換されていてもよいマレイミド基が好適である。特に、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーは、ビスマレイミド化合物であることが好ましい。

上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーは、ジアミン化合物に由来する基を有することが好ましい。上記ジアミン化合物としては、脂肪族ジアミン化合物又は芳香族ジアミン化合物のいずれも用いることができるが、脂肪族ジアミン化合物が好ましい。即ち、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーは、ジアミン化合物に由来する脂肪族基を有することがより好ましい。上記ジアミン化合物として脂肪族ジアミン化合物を用いることにより、得られる樹脂組成物が光透過性により優れるものとなる。また、得られる樹脂組成物が柔軟性により優れるものとなり、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が凹凸を有する被着体に対して高い追従性を発揮できるとともに、剥離時により容易に剥離することができるものとなる。

上記脂肪族ジアミン化合物のなかでも、光透過性、柔軟性、及び、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーの溶媒や他の成分との相溶性の観点から、上述したようなダイマージアミンが好ましい。

上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーとの合計１００質量部中における上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーの含有量の好ましい下限は５質量部、好ましい上限は９０質量部である。上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーの含有量がこの範囲内であることにより、得られる樹脂組成物が、剥離時により容易に剥離することができるものとなる。剥離性を更に高める観点から、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーの含有量のより好ましい下限は１０質量部、より好ましい上限は５０質量部である。

上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂として、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂とを含有し、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーとを含む場合、これらの合計１００質量部中における上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーとの合計の含有量の好ましい下限は２０質量部、好ましい上限は８０質量部である。上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーとの合計の含有量がこの範囲内であることにより、得られる樹脂組成物が、剥離時により容易に剥離することができるものとなる。剥離性を更に高める観点から、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーとの合計の含有量のより好ましい下限は３０質量部、更に好ましい下限４０質量部、更により好ましい下限は５０質量部であり、より好ましい上限は７０質量部である。

本発明の樹脂組成物は、マレイミド基を有する化合物を含有することが好ましい。上記マレイミド基を有する化合物を含有することにより、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。
上記マレイミド基を有する化合物は、マレイミド基を有する上記多官能モノマー又は多官能オリゴマー、又は、マレイミド基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂であることが好ましい。即ち、本発明の樹脂組成物は、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーとしてマレイミド基を有する化合物を含むか、又は、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂の上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基としてマレイミド基を有する樹脂を含むことが好ましい。
なかでも、本発明の樹脂組成物は、上記マレイミド基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂として、上記式（１）で表される構成単位を有し、末端及び側鎖の少なくともいずれかにマレイミド基を有する官能基を有する樹脂を含有することが好ましい。また、マレイミド基を有する上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーは、ビスマレイミド化合物であることが好ましい。

本発明の樹脂組成物は、更に、重合開始剤を含むことが好ましい。上記重合開始剤は、熱重合開始剤であってもよいし、光重合開始剤であってもよいが、光重合開始剤が好ましい。

上記光重合開始剤としては、例えば、２５０～８００ｎｍの波長の光を照射することにより活性化されるものが挙げられる。なかでも、上記炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂や、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーの吸収波長と重なりにくく、樹脂組成物に光照射した際に充分に活性化されることから、上記光重合開始剤は、３６５ｎｍにおけるモル吸光係数が１以上である化合物を含むことが好ましい。上記光重合開始剤は、３６５ｎｍにおけるモル吸光係数が２００以上である化合物を含むことがより好ましく、３６５ｎｍにおけるモル吸光係数が３５０以上である化合物を含むことが更に好ましい。上記３６５ｎｍにおけるモル吸光係数が１以上である化合物の３６５ｎｍにおけるモル吸光係数の好ましい上限は特にないが、実質的な上限は２０００である。

上記光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン誘導体、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体、ホスフィンオキサイド誘導体等が挙げられる。
上記アセトフェノン誘導体としては、例えば、メトキシアセトフェノン等が挙げられる。
上記ベンゾインエーテル系化合物としては、例えば、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等が挙げられる。
上記ケタール誘導体としては、例えば、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等が挙げられる。
上記ホスフィンオキサイド誘導体としては、例えば、ジフェニル（２，４，６－トリメチルベンゾイル）ホスフィンオキサイド等が挙げられる。
また、上記光重合開始剤としては、例えば、ビス（η５－シクロペンタジエニル）チタノセン誘導体化合物、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、α－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－ヒドロキシメチルフェニルプロパン等も挙げられる。
これらの光重合開始剤は、単独で用いられてもよいし、２種以上が組み合わせて用いられてもよい。

上記重合開始剤の含有量は、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーとの合計１００質量部に対して、好ましい下限が０．１質量部、好ましい上限が１０質量部である。上記重合開始剤の含有量がこの範囲内であることにより、光の照射等により上記樹脂組成物の全体が均一にかつ速やかに重合架橋し、弾性率が上昇することにより粘着力が大きく低下して、接着亢進を起こしたり、剥離時に糊残りが発生したりするのを防止することができる。上記重合開始剤の含有量のより好ましい下限は０．３質量部、より好ましい上限は３質量部である。

本発明の樹脂組成物は、更に、気体発生剤を含んでもよい。上記気体発生剤を含有することにより、３００℃以上の高温での加熱処理を経た後であっても、光を照射することにより発生した気体が被着体との界面に放出されることから、より容易に、かつ、糊残りすることなく被着体を剥離することができる。また、３００℃以上の高温での加熱処理を行った後、薄い被着体を剥離する場合であっても、被着体の破損を防止することができる。

上記気体発生剤は、ＴＧ－ＤＴＡ（熱重量－示差熱分析）測定にて窒素雰囲気下で３０℃から３００℃まで１０℃／ｍｉｎの昇温速度で加熱したときの３００℃における重量減少率が５％以下であることが好ましい。上記重量減少率が５％以下であれば、３００℃以上の高温での加熱処理を行う場合であっても上記気体発生剤の分解が起こりにくく、得られる樹脂組成物が耐熱性により優れるものとなる。即ち、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が高温での加熱処理中は剥がれをより抑えることができ、また、接着亢進を起こしたり、剥離時に糊残りが発生したりすることをより防止することができる。
なお、上記ＴＧ－ＤＴＡ（熱重量－示差熱分析）測定は、例えば、ＴＧ－ＤＴＡ装置（日立ハイテクサイエンス社製、「ＳＴＡ７２００ＲＶ」）等を用いて行うことができる。

上記気体発生剤としては、例えば、加熱することにより気体を発生する気体発生剤、光を照射することにより気体を発生する気体発生剤等が挙げられる。なかでも、光を照射することにより気体を発生する気体発生剤が好ましく、紫外線を照射することにより気体を発生する気体発生剤がより好ましい。
上記気体発生剤としては、例えば、テトラゾール化合物又はその塩、トリアゾール化合物又はその塩、アゾ化合物、アジド化合物、キサントン酢酸、炭酸塩等が挙げられる。これらの気体発生剤は、単独で用いられてもよいし、２種以上が組み合わせて用いられてもよい。なかでも、特に耐熱性に優れることから、テトラゾール化合物又はその塩が好ましい。

上記気体発生剤の含有量は、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーとの合計１００質量部に対して、好ましい下限が５質量部、好ましい上限が５０質量部である。上記気体発生剤の含有量がこの範囲内であることにより、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が剥離性に特に優れるものとなる。上記気体発生剤の含有量のより好ましい下限は８質量部、より好ましい上限は３０質量部である。

本発明の樹脂組成物は、更に、無機充填剤を含有してもよい。
上記無機充填剤を含有することにより、得られる樹脂組成物が高温における弾性率の低下を抑えることができ、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が高温での加熱処理を行う場合であっても高温での加熱処理中の剥がれをより抑えることができるものとなる。

上記無機充填剤としては、例えば、ケイ素、チタン、アルミニウム、カルシウム、ホウ素、マグネシウム及びジルコニアの酸化物、並びに、これらの複合物からなる群より選択される少なくとも１種からなる無機充填剤が挙げられる。なかでも、市販品で安価かつ入手が容易なことから、シリカやタルクが好ましい。

上記無機充填剤は、表面修飾されていてもよい。上記無機充填剤を表面修飾する修飾官能基としては、例えば、アルキルシラン基、メタクリロイル基及びジメチルシロキサン基等が挙げられる。なかでも、適度な疎水性を有することから、ジメチルシロキサン基が好ましい。

上記無機充填剤の平均粒子径の好ましい下限は５ｎｍ、好ましい上限は３０μｍである。上記無機充填剤の平均粒子径がこの範囲内であることにより、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が高温での加熱処理中は剥がれをより抑えることができ、また、剥離時にピール処理により剥離することができるものとなる。上記無機充填剤の平均粒子径のより好ましい下限は１０ｎｍ、より好ましい上限は２０μｍであり、更に好ましい下限は１５ｎｍ、更に好ましい上限は１５μｍである。
なお、上記平均粒子径は、数平均粒子径であることが好ましい。上記平均粒子径は、例えば、任意の無機充填剤５０個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、各無機充填剤の粒子径の平均値を算出することや、レーザー回折式粒度分布測定を行うことにより求められる。

上記無機充填剤の含有量は、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と、上記多官能モノマー又は多官能オリゴマーとの合計１００質量部に対して、好ましい下限が１質量部、好ましい上限が２０質量部である。上記無機充填剤の含有量がこの範囲内であることにより、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が高温での加熱処理中は剥がれをより抑えることができ、また、剥離時にピール処理により剥離することができるものとなる。上記無機充填剤の含有量のより好ましい下限は３質量部、より好ましい上限は１５質量部であり、更に好ましい下限は５質量部、更に好ましい上限は１０質量部である。

本発明の樹脂組成物は、例えば、光増感剤、熱安定剤、酸化防止剤、帯電防止剤、可塑剤、樹脂、界面活性剤、ワックス等の公知の添加剤を含有してもよい。

本発明の樹脂組成物を製造する方法としては、例えば、上記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂、上記（メタ）アクリル共重合体、及び、必要に応じて配合する添加剤を、ビーズミル、超音波分散、ホモジナイザー、高出力ディスパー、ロールミル等を用いて混合する方法等が挙げられる。

本発明の樹脂組成物の１０％重量減少温度の好ましい下限は２００℃である。上記１０％重量減少温度が２００℃以上であることにより、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が耐熱性により優れるものとなる。上記１０％重量減少温度のより好ましい下限は２２０℃、更に好ましい下限は２５０℃である。
また、上記１０％重量減少温度の好ましい上限は特にないが、実質的な上限は６００℃である。なお上記仮固定材が後述するような硬化性を有する場合、上記仮固定材の硬化物の５％重量減少温度が上記範囲であることが好ましい。
なお、上記１０％重量減少温度は、示差熱熱重量同時測定装置により測定することができる。具体的には、以下の方法により測定することができる。
即ち、まず、樹脂組成物をアルミパンに秤取する。樹脂組成物が熱硬化性又は光硬化性である場合は、オーブン中にて１５０℃で１０分間加熱するか、又は、波長３６５ｎｍ、照射強度７０ｍＷ／ｃｍ^２の紫外線を３００秒間照射することにより樹脂組成物を硬化させ、得られた硬化物をアルミパンに秤取する。次いで、該アルミパンを示差熱熱重量同時測定装置にセットし、窒素雰囲気下で３０℃から５００℃まで１０℃／分の昇温速度で昇温した際に、昇温前と比較して硬化物の重量が１０％減少した時点の温度を１０％重量減少温度として得ることができる。上記示差熱熱重量同時測定装置としては、ＳＴＡ７２００ＲＶ（日立ハイテクサイエンス社製）を用いることができる。

本発明の樹脂組成物が熱硬化性又は光硬化性である場合、本発明の樹脂組成物は、硬化後のゲル分率の好ましい下限が７０質量％、好ましい上限が９５質量％である。上記硬化後のゲル分率が上記範囲内であることで、得られる樹脂組成物を用いた仮固定材が、被着体との剥離時により容易に剥離することができるものとなる。上記硬化後のゲル分率のより好ましい下限は７５質量％、より好ましい上限は９０質量％である。
なお、上記硬化後のゲル分率は、樹脂組成物が光硬化性である場合は、該樹脂組成物に波長３６５ｎｍ、照射強度７０ｍＷ／ｃｍ^２の紫外線を３００秒間照射することにより硬化させた後、また、樹脂組成物が熱硬化性である場合は、１５０℃で１０分間加熱することにより硬化させた後、以下の方法により測定される。
即ち、まず、硬化後の樹脂組成物を５０ｍｍ×１００ｍｍの平面長方形状に裁断して試験片を作製する。得られた試験片をトルエン中にて２３℃で２４時間浸漬した後、トルエンから取り出して、１１０℃の条件下で１時間乾燥させる。乾燥後の試験片の質量を測定し、下記式を用いてゲル分率を算出する。なお、試験片には、仮固定材を保護するためのセパレータ等は積層されていないものとする。また、仮固定材が基材を有さない場合は、Ｗ_０＝０とする。
　ゲル分率（質量％）＝１００×（Ｗ_２－Ｗ_０）／（Ｗ_１－Ｗ_０）
（Ｗ_０：基材の質量、Ｗ_１：浸漬前の試験片の質量、Ｗ_２：浸漬、乾燥後の試験片の質量）

本発明の樹脂組成物は、電子部品の仮固定に好適に用いられる。本発明の樹脂組成物を含む仮固定材もまた、本発明の１つである。

本発明の仮固定材の形態は特に限定されず、液状、ペースト状等の形態であってもよいし、本発明の樹脂組成物を含む接着層を有する形態であってもよく、なかでも、本発明の樹脂組成物を含む接着層を有する仮固定材であることが好ましい。また、上記接着層を有する仮固定材の場合は、テープ状であることが好ましい。
上記接着層を有する仮固定材の場合は、基材の一方又は両方の面に上記接着層を有していてもよく、基材を有していなくてもよい。上記基材を有さない場合、光透過性と耐熱性とをともに有する基材を選定する必要がなく、上記仮固定材は、より安価かつ簡易な構成とすることができる。上記基材を有する場合、本発明の仮固定材の取り扱い性がより向上する。
上記基材を有する場合、該基材としては、例えば、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ＡＢＳ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ナイロン、ウレタン、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアミド（ＰＡ）等の樹脂シートが挙げられ、光透過性の高い樹脂シートを好適に用いることができる。また、網目状の構造を有するシート、孔が開けられたシート、ガラス等も用いることができる。
光透過性を高める観点、及び、柔軟性を高める観点から、上記基材の厚みの好ましい下限は５μｍ、より好ましい下限は１０μｍであり、好ましい上限は１５０μｍ、より好ましい上限は１００μｍである。

本発明の仮固定材を製造する方法は特に限定されず、例えば、上述した方法により得られた樹脂組成物を片面離型処理の施されたＰＥＴフィルムの離型処理面上にアプリケーター等で塗工して乾燥し樹脂組成物を含有する接着層を形成した後、片面離型処理の施された別のＰＥＴフィルムを離型処理面が接着層と対向するように重ねること等により、接着層を有する形態の仮固定材として、基材を有さない離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材を得ることができる。
また、上述した方法により接着層を形成した後、基材と接着層とを対向するように重ねること等により、基材を有する離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材を得ることができる。

本発明の仮固定材が上記接着層を有する仮固定材の場合、本発明の仮固定材全体の厚みの好ましい下限は５μｍ、好ましい上限は５５０μｍである。上記仮固定材の厚みが５μｍ以上であることにより、上記仮固定材全体が初期に充分な感圧又は感熱粘着力を有することができる。上記仮固定材全体の厚みが５５０μｍ以下であることにより、上記仮固定材全体は、高い柔軟性を発揮することができ、凹凸を有する被着体に対して高い追従性を発揮できるとともに、剥離時により容易に剥離することができるものとなる。上記仮固定材全体の厚みのより好ましい下限は１０μｍ、更に好ましい下限は２０μｍ、更により好ましい下限は３０μｍである。上記仮固定材全体の厚みのより好ましい上限は４００μｍ、更に好ましい上限は３００μｍ、更により好ましい上限は２００μｍ、特に好ましい上限は１５０μｍである。

本発明の仮固定材の２５℃におけるポリイミドに対する初期粘着力の好ましい下限は０．１Ｎ／ｉｎｃｈ、好ましい上限は１．５Ｎ／ｉｎｃｈである。上記２５℃におけるポリイミドに対する初期粘着力がこの範囲であることにより、本発明の仮固定材は、高温での加熱処理後にポリイミドを表面に有する被着体に対して接着亢進を起こしたり、剥離時に糊残りが発生したりすることをより防止することができ、ポリイミドを表面に有する被着体との剥離時により容易に剥離することができるものとなる。上記２５℃におけるポリイミドに対する初期粘着力のより好ましい下限は０．２Ｎ／ｉｎｃｈ、より好ましい上限は１．２Ｎ／ｉｎｃｈである。
また、本発明の仮固定材の２５０℃で２時間加熱した後の２５℃におけるポリイミドに対する粘着力の好ましい下限は０．０１Ｎ／ｉｎｃｈ、好ましい上限は１．５Ｎ／ｉｎｃｈである。上記２５０℃で２時間加熱した後の２５℃におけるポリイミドに対する粘着力がこの範囲であることにより、本発明の仮固定材は、高温での加熱処理後にポリイミドを表面に有する被着体に対して接着亢進を起こしたり、剥離時に糊残りが発生したりすることをより防止することができ、ポリイミドを表面に有する被着体との剥離時により容易に剥離することができるものとなる。上記２５０℃で２時間加熱した後の２５℃におけるポリイミドに対する粘着力のより好ましい下限は０．１Ｎ／ｉｎｃｈ、より好ましい上限は１Ｎ／ｉｎｃｈである。
上記ポリイミドに対する粘着力は、以下の方法により測定される。
即ち、まず、ラミネーターにて、上記仮固定材をポリイミドにラミネートし、積層体を得る。上記ポリイミドとしては、例えば、ユーピレックス（ＵＢＥ社製）、カプトン（東レ・デュポン社製）等を用いることができ、上記ラミネーターとしては、Ｌｅｏｎ１３ＤＸ（ラミーコーポレーション社製、速度メモリ５）を用いることができる。上記仮固定材が熱硬化性又は光硬化性の樹脂組成物を用いたものである場合は、ラミネート後、オーブン中にて１５０℃で１０分間加熱するか、又は、波長３６５ｎｍ、照射強度７０ｍＷ／ｃｍ^２の紫外線を３００秒間照射することにより仮固定材を硬化させ、積層体を得る。得られた積層体に対して、引張試験機を用いて、２５℃、引張角度３０°、引張速度３００ｍｍ／分の条件にてピール試験を行うことにより、２５℃におけるポリイミドに対する初期粘着力を測定することができる。上記引張試験機としては、角度自在タイプ粘着・皮膜剥離解析装置ＶＰＡ－２Ｓ（協和界面科学社製）を用いることができる。上記２５０℃で２時間加熱した後の２５℃におけるポリイミドに対する粘着力については、得られた積層体を２５０℃で２時間加熱した後に同様にして仮固定材のポリイミドに対する粘着力を測定する。

本発明の仮固定材は、高温での加熱処理後に被着体に対して接着亢進を起こしたり、剥離時に糊残りが発生したりすることを防止することができ、被着体との剥離時に容易に剥離することができる。このため、本発明の仮固定材は、高温での加熱処理を行う被着体、特に、ポリイミドを表面に有する被着体の保護及び仮固定に好適に用いることができる。とりわけ、半導体等の電子部品の加工時において、電子部品の取扱いを容易にし、破損したりしないようにするために、上記仮固定材を介して電子部品を支持板に固定したり、上記仮固定材を電子部品に貼付したりして保護するのに好適に用いることができる。

本発明の仮固定材に電子部品を仮固定する仮固定工程と、上記電子部品に熱処理を行う熱処理工程と、本発明の仮固定材から上記電子部品を剥離する剥離工程とを含む電子部品の製造方法もまた、本発明の１つである。本発明の仮固定材が熱硬化性又は光硬化性の樹脂組成物を用いたものである場合は、上記仮固定工程と前記熱処理工程との間に、上記仮固定材を硬化する硬化工程を含むことが好ましい。上記仮固定工程と前記熱処理工程との間に上記硬化工程を行うことにより、仮固定材がより優れた耐熱性を発揮することができる。

本発明によれば、加熱処理中のボイド及び浮きの発生を抑制することができ、加熱処理後は容易に剥離することができる樹脂組成物を提供することができる。また、本発明によれば、該樹脂組成物を含む仮固定材、及び、該仮固定材を用いた電子部品の製造方法を提供することができる。

以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。

（合成例１）
テフロン（登録商標）スターラーを入れた５００ｍＬ容の丸底フラスコに２５０ｍＬのトルエンを投入した。ダイマージアミン（クローダ社製、「プリアミン１０７５」）３１．９ｇ（０．０６モル）、２，２－ビス（３－アミノ－４－ヒドロキシフェニル）－ヘキサフルオロプロパン５．５ｇ（０．０１５モル）、及び、４，４’－（４，４’－イソプロピリデンジフェノキシ）ジフタル酸無水物３９ｇ（０．０７６５モル）をこの順に加えた。ディーンスターク管とコンデンサーをフラスコに取り付け、得られた混合物を６時間還流し、室温に冷却した。褐色の、下記式（５－１）で表される構成単位及び下記式（５－２）で表される構成単位を有する、マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂（マレイミド基非含有ＰＩ（Ａ））を得た。
得られたマレイミド基非含有ＰＩ（Ａ）について、溶出液としてＴＨＦ、カラムとしてＨＲ－ＭＢ－Ｍ　６．０×１５０ｍｍ（ウォーターズ社製）を用いたゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ、装置名：Ａｃｑｕｉｔｙ　ＡＰＣシステム（ウォーターズ社製））法により測定したところ、重量平均分子量は７８０００であった。

（合成例２）
テフロン（登録商標）スターラーを入れた５００ｍＬ容の丸底フラスコに２５０ｍＬのトルエンを投入した。次いで、トリエチルアミン３５ｇ（０．３５モル）と無水メタンスルホン酸３５ｇ（０．３６モル）を加えて撹拌し、塩を形成した。１０分間撹拌後、ダイマージアミン（クローダ社製、プリアミン１０７５）５６ｇ（０．１モル）と、無水ピロメリット酸１９．１ｇ（０．０９モル）をこの順に加えた。ディーンスタークトラップとコンデンサーをフラスコに取り付け、混合物を２時間還流し、アミン末端のジイミドを形成した。反応物を室温以下に冷却後、無水マレイン酸１２．８ｇ（０．１３モル）を加え、次いで、無水メタンスルホン酸５ｇ（０．０５モル）を加えた。得られた混合物を、更に１２時間還流した後、室温に冷却し、トルエン３００ｍＬをフラスコに加え、静置により層分離させ、不純物である下層を除去した。得られた溶液を、シリカゲルを充填したガラスフリット漏斗を通してろ過した後、溶剤を真空除去し、琥珀色ワックス状の、下記式（６）で表される両末端にマレイミド基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂（マレイミド基含有ＰＩ）を得た。
得られたマレイミド基含有ＰＩについて、溶出液としてＴＨＦ、カラムとしてＨＲ－ＭＢ－Ｍ　６．０×１５０ｍｍ（ウォーターズ社製）を用いたゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ、装置名：Ａｃｑｕｉｔｙ　ＡＰＣシステム（ウォーターズ社製））法により測定したところ、重量平均分子量は５０００であった。

式（６）中、ｎは、繰り返し数である。

（合成例３）
テフロン（登録商標）スターラーを入れた５００ｍＬの丸底フラスコに２５０ｍＬのトルエンを投入した。ダイマージアミン（クローダ社製、プリアミン１０７５）５６ｇ（０．１モル）と、無水マレイン酸１９．６ｇ（０．２モル）を加え、次いで、無水メタンスルホン酸５ｇを加えた。得られた溶液を１２時間還流した後、室温に冷却し、トルエン３００ｍＬをフラスコに加え、静置により層分離させ、不純物である下層を除去した。得られた溶液を、シリカゲルを充填したガラスフリット漏斗を通してろ過した後、溶剤を真空除去し、茶色液状の、下記式（７）で表されるビスマレイミドモノマー（多官能モノマー）を得た。

（合成例４）
反応容器内に、重合溶媒として酢酸エチルを加え、窒素でバブリングした後、窒素を流入しながら反応容器を加熱して還流を開始した。続いて、重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル０．１質量部を酢酸エチルで１０倍希釈した重合開始剤溶液を反応容器内に投入し、表１に記載のモノマー成分の合計１００質量部を２時間かけて滴下添加した。滴下終了後、重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル０．１質量部を酢酸エチルで１０倍希釈した重合開始剤溶液を反応容器内に再度投入し、表１に示した時間重合反応を行い、２，２－ジフェニル－１－（２，４，６－トリニトロフェニル）イミノアザニウム（ＤＰＰＨ）を加え、（メタ）アクリル共重合体Ａ～Ｋを含有する溶液を得た。得られた溶液の溶媒を除去し、固形分５０％から９８％の（メタ）アクリル共重合体Ａ～Ｋを含有する粘性液体を得た。
なお、（メタ）アクリル共重合体Ａ～Ｋの重量平均分子量については、合成例１、２と同様の方法により、測定した。結果を表１に示した。
また、（メタ）アクリル共重合体Ａ～Ｋのガラス転移温度については、各（メタ）アクリル共重合体を構成する各モノマー成分についてそれぞれ、含有割合をガラス転移温度で除した値（（モノマー成分の含有割合（モル％））／（モノマー成分のガラス転移温度（Ｋ）））を算出し、（メタ）アクリル共重合体を構成するすべてのモノマー成分の当該値を合計した値の逆数を算出することによって得た。結果を表１に示した。

（実施例１～１６、比較例１～３）
トルエン１５０ｍＬに、表２に記載した各材料を加えて混合し、樹脂組成物のトルエン溶液を調製した。
得られた樹脂組成物のトルエン溶液を、片面離型処理の施された厚さ５０μｍのＰＥＴフィルム（離型ＰＥＴフィルム）の離型処理面上に乾燥皮膜の厚みが５０μｍとなるようにドクターナイフで塗工し、１１０℃で１０分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。次いで、別の離型ＰＥＴフィルムの離型処理面を樹脂組成物の面に貼り合わせた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、両面離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材を得た。

（１０％重量減少温度）
得られた両面離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材から両面の離型ＰＥＴフィルムを剥離し、１０ｍｇをアルミパンに秤取した。なお、実施例１２、１３、１５で得られた両面離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材については、両面の離型ＰＥＴフィルムを剥離した後、波長３６５ｎｍ、照射強度７０ｍＷ／ｃｍ^２の紫外線を３００秒間照射することにより硬化させ、硬化物１０ｍｇをアルミパンに秤取した。該アルミパンを示差熱熱重量同時測定装置（日立ハイテクサイエンス社製、「ＳＴＡ７２００」）にセットした後、窒素雰囲気下で、昇温速度１０℃／分で２５℃から５００℃まで加熱し、仮固定材又は仮固定材の硬化物の重量が１０％減少した時点の温度を測定した。結果を表２に示した。

（２５℃におけるポリイミドに対する初期粘着力、２５０℃で２時間加熱した後の２５℃におけるポリイミドに対する粘着力）
得られた両面離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材を幅１ｉｎｃｈに切り出した。次いで、両面離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材から一方の離型ＰＥＴフィルムを剥離し、ラミネーターにてポリイミドフィルムにラミネートし、積層体を得た。実施例１２、１３で得られた両面離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材については、ポリイミドフィルム被着体にラミネートした後、仮固定材側から、超高圧水銀灯を用いて、波長３６５ｎｍ、照射強度７０ｍＷ／ｃｍ^２の紫外線を３００秒間照射することにより仮固定材を硬化させ、積層体を得た。上記ポリイミドフィルム被着体としては、厚みが１２５μｍのユーピレックス（ＵＢＥ社製）を厚みが１．５ｍｍのＳＵＳ板に全面を両面テープで貼り合せたものを用い、上記ラミネーターとしては、Ｌｅｏｎ１３ＤＸ（ラミーコーポレーション社製、速度メモリ５）を用いた。得られた積層体に対して、引張試験機を用いて、１００℃、引張角度９０°、引張速度３００ｍｍ／分の条件にてピール試験を行い、仮固定材のポリイミドに対する初期粘着力（Ｎ／ｉｎｃｈ）を測定した。上記引張試験機としては、角度自在タイプ粘着・皮膜剥離解析装置ＶＰＡ－２Ｓ（協和界面科学社製）を用いた。また、同様にして得られた仮固定材の硬化物を２５０℃のホットプレート（ＡＳＯＮＥ社製、「ＮＤ－３ＨＡ」）を用いて２時間加熱した後、同様にして仮固定材の２５℃におけるポリイミドに対する粘着力を測定した。結果を表２に示した。

（硬化後のゲル分率）
実施例１２、１３、１５で得られた両面離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材については、離型ＰＥＴフィルムを剥離した後、波長３６５ｎｍ、照射強度７０ｍＷ／ｃｍ^２の紫外線を３００秒間照射することにより樹脂組成物を硬化させ、硬化後の仮固定材を５０ｍｍ×１００ｍｍの平面長方形状に裁断して試験片を作製した。得られた試験片をトルエン中にて２３℃で２４時間浸漬した後、トルエンから取り出して、１１０℃の条件下で１時間乾燥させた。乾燥後の試験片の質量を測定し、下記式を用いてゲル分率を算出し、結果を表２に示した。
　ゲル分率（質量％）＝１００×（Ｗ_２－Ｗ_０）／（Ｗ_１－Ｗ_０）
（Ｗ_０：基材の質量、Ｗ_１：浸漬前の試験片の質量、Ｗ_２：浸漬、乾燥後の試験片の質量）

＜評価＞
実施例及び比較例で得られた離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材について、以下の方法により評価を行った。結果を表２に示した。

（耐熱性）
得られた両面離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材を直径２００ｍｍの円形に切り出した。次いで、切り出した両面離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材から一方の離型ＰＥＴフィルムを剥離し、表面にポリイミド膜を有する直径２００ｍｍ、厚み７００μｍのシリコンウエハの該ポリイミド膜に対して真空ラミネーターで貼り付けた。上記真空ラミネーターとしては、ＡＴＭ－８１２Ｍ（タカトリ社製）を用いた。次いで、もう一方の離型ＰＥＴフィルムを剥離し、ポリイミド膜に貼り付けた面と反対の面に直径２００ｍｍ、厚み６００μｍのガラス（ｓｃｈｏｔｔ社製、「Ｔｅｍｐａｘ」）を真空ラミネーターで貼り付けて積層体を得た。実施例１２、１３で得られた両面離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材については、ガラスを貼り付けた後、該ガラス側から、超高圧水銀灯を用いて、波長３６５ｎｍ、照射強度７０ｍＷ／ｃｍ^２の紫外線を３００秒間照射することにより仮固定材を硬化させ、積層体を得た。得られた積層体を２５０℃のホットプレート（ＡＳＯＮＥ社製、「ＮＤ－３ＨＡ」）を用いて１時間加熱した。
剥がれが全くなかった場合を「◎」、剥がれの発生した面積が貼り付けた面積に対して５％未満であった場合を「○」、剥がれの発生した面積が貼り付けた面積に対して５％以上であった場合を「×」として耐熱性を評価した。

（糊残り）
（バンプなしウエハ）
上記「（耐熱性）」と同様にして積層体を得た。得られた積層体を２５０℃のホットプレート（ＡＳＯＮＥ社製、「ＮＤ－３ＨＡ」）を用いて１時間加熱した。自然空冷した後の積層体について、ガラス側から、波長３５５ｎｍ、照射エネルギー密度７００ｍＪ／ｃｍ^２、周波数６０ｋＨｚのパルスレーザーを、ガラス表面全体に照射し、ガラスを仮固定材から剥離した後に引張試験機（島津製作所社製、「ＡＧ－ＩＳ」）を用いて、２５℃、引張速度３００ｍｍ／分の条件で１８０°ピール試験を行った。
シリコンウエハの該ポリイミド膜表面に糊残りが全くなかった場合を「◎」、貼り合せた面積に対して糊残りした面積が５％未満であった場合を「○」、貼り合せた面積に対して糊残りした面積が５％以上であった場合を「×」として糊残りを評価した。

（バンプありウエハ）
表面にポリイミド膜を有する直径２００ｍｍ、厚み７００μｍのシリコンウエハを用いる代わりに、ＰＢＯ膜を表面に有するテストパターン付きウエハ（ウォルツ社製、「ＷＡＬＴＳ－ＴＥＧ　ＦＢＷ１００Ａ－０００１ＪＹ」、Ｃｕピラーの高さ：３５μｍ、Ｃｕピラー上のＳｎＡｇの高さ：１５μｍ））を用い、ウエハのＣｕピラーを備える面に両面離型ＰＥＴフィルム付き仮固定材を貼り付けたこと以外は、上記「（耐熱性）」と同様にして積層体を得た。得られた積層体を２５０℃のホットプレート（ＡＳＯＮＥ社製、「ＮＤ－３ＨＡ」）を用いて１時間加熱した。自然空冷した後の積層体について、ガラス側から、波長３５５ｎｍ、照射エネルギー密度７００ｍＪ／ｃｍ^２、周波数６０ｋＨｚのパルスレーザーを、ガラス表面全体に照射し、ガラスを仮固定材から剥離した後に引張試験機（島津製作所社製、「ＡＧ－ＩＳ」）を用いて、仮固定材を２５℃、引張速度３００ｍｍ／分の条件でテストパターン付きウエハから剥離した。仮固定材を剥離したテストパターン付きウエハの表面に、糊残りが全くなかった場合を「◎」、貼り合せた面積に対して糊残りした面積が５％未満であった場合を「○」、貼り合せた面積に対して糊残りした面積が５％以上であった場合を「×」として糊残りを評価した。

（バンプ変形・クラック）
上記「（糊残り）（バンプありウエハ）」の評価において、仮固定材を剥離したテストパターン付きウエハの表面について、バンプ変形・クラックの発生率が１％未満であった場合を「◎」、バンプ変形・クラックの発生率が１％以上１０％未満であった場合を「○」、バンプ変形・クラックの発生率が１０％以上であった場合を「×」としてバンプ変形・クラックを評価した。

Claims

イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と、（メタ）アクリル共重合体とを含有することを特徴とする樹脂組成物。
前記（メタ）アクリル共重合体は、分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位を有する請求項１記載の樹脂組成物。
前記（メタ）アクリル共重合体は、前記（メタ）アクリル共重合体中における前記分岐鎖状のアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位の含有割合が２０モル％以上８０モル％以下である請求項２記載の樹脂組成物。
前記（メタ）アクリル共重合体は、炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位と、炭素数８以上のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位とを有し、前記（メタ）アクリル共重合体中における前記炭素数２以上７以下のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートに由来する構成単位の含有割合が２０モル％以上８０モル％以下である請求項１、２又は３記載の樹脂組成物。
前記（メタ）アクリル共重合体は、炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を有さない請求項１、２、３又は４記載の樹脂組成物。
前記（メタ）アクリル共重合体は、分子量が２０００以上２万以下である請求項１、２、３、４又は５記載の樹脂組成物。
前記（メタ）アクリル共重合体は、ガラス転移温度が－７０℃以上－５℃以下である請求項１、２、３、４、５又は６記載の樹脂組成物。
前記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂を含む請求項１、２、３、４、５、６又は７記載の樹脂組成物。
前記マレイミド基を有さず、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂は、ダイマージアミンに由来する脂肪族基を有する請求項８記載の樹脂組成物。
熱硬化性又は光硬化性である請求項１、２、３、４、５、６、７、８又は９記載の樹脂組成物。
マレイミド基を有する化合物を含有する請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９又は１０記載の樹脂組成物。
前記マレイミド基を有する化合物は、ビスマレイミド化合物、又は、マレイミド基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂である請求項１１記載の樹脂組成物。
前記マレイミド基を有し、かつ、イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂として、下記式（１）で表される構成単位を有し、末端及び側鎖の少なくともいずれかにマレイミド基を有する官能基を有する樹脂を含有する請求項１２記載の樹脂組成物。

式（１）中、Ｐ^１は、芳香族基を表し、Ｑ^１は、置換又は非置換の直鎖状、分岐鎖状又は環状の脂肪族基を表す。
更に、分子内に炭素－炭素二重結合を有する反応性官能基を２以上有し、分子量が５０００以下である多官能モノマー又は多官能オリゴマーを含む、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２又は１３記載の樹脂組成物。
前記（メタ）アクリル共重合体の含有量が、前記イミド骨格を主鎖の繰り返し単位に有する樹脂と、前記多官能モノマー又は多官能オリゴマーとの合計１００質量部に対して、０．１質量部以上２０質量部以下である請求項１４記載の樹脂組成物。
非硬化性である請求項１、２、３、４、５、６、７、８又は９記載の樹脂組成物。
前記樹脂組成物の１０％重量減少温度が２００℃以上である請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５又は１６記載の樹脂組成物。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６又は１７記載の樹脂組成物を含む仮固定材。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６又は１７記載の樹脂組成物を含む接着剤層を有する仮固定材。
テープ状である請求項１９記載の仮固定材。
前記仮固定材の２５℃におけるポリイミドに対する初期粘着力が０．１Ｎ／ｉｎｃｈ以上１．５Ｎ／ｉｎｃｈ以下である請求項１８、１９又は２０記載の仮固定材。
請求項１８、１９、２０又は２１記載の仮固定材に電子部品を仮固定する仮固定工程と、前記電子部品に熱処理を行う熱処理工程と、前記仮固定材から前記電子部品を剥離する剥離工程とを含む電子部品の製造方法。
前記仮固定工程と前記熱処理工程との間に、前記仮固定材を硬化する硬化工程を含む請求項２２記載の電子部品の製造方法。