WO2024056765A1 - Materiau comportant un empilement comprenant un module de six couches - Google Patents

Materiau comportant un empilement comprenant un module de six couches Download PDF

Info

Publication number
WO2024056765A1
WO2024056765A1 PCT/EP2023/075202 EP2023075202W WO2024056765A1 WO 2024056765 A1 WO2024056765 A1 WO 2024056765A1 EP 2023075202 W EP2023075202 W EP 2023075202W WO 2024056765 A1 WO2024056765 A1 WO 2024056765A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
layer
thickness
layers
zinc oxide
material according
Prior art date
Application number
PCT/EP2023/075202
Other languages
English (en)
Inventor
Paul JACQUET
Xavier CAILLET
Thomas BARRES
Original Assignee
Saint-Gobain Glass France
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Saint-Gobain Glass France filed Critical Saint-Gobain Glass France
Publication of WO2024056765A1 publication Critical patent/WO2024056765A1/fr

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3613—Coatings of type glass/inorganic compound/metal/inorganic compound/metal/other
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3636—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing silicon, hydrogenated silicon or a silicide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3639—Multilayers containing at least two functional metal layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
    • C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens

Definitions

  • the invention relates to a material comprising a transparent glass substrate coated with a functional stack capable of acting on solar radiation and/or infrared radiation.
  • the invention also relates to glazing comprising these materials as well as the use of such materials to manufacture thermal insulation and/or solar protection glazing.
  • functional qualifying “functional stack” or “functional layer” means “capable of acting on solar radiation and/or infrared radiation”.
  • glazings can be used both to equip buildings and vehicles, in particular with a view to: - reduce the air conditioning effort and/or prevent excessive overheating, so-called “solar control” glazing and/or - reduce the quantity of energy dissipated to the outside, so-called “low emissive” glazing.
  • the solar factor “FS or g” corresponds to the ratio in % between the total energy entering the room through the glazing and the incident solar energy. The solar factor therefore measures the contribution of glazing to the heating of the “room”. The smaller the solar factor, the lower the solar gains.
  • Known selective glazing comprises transparent substrates coated with a functional stack comprising several metallic functional layers, each placed between two dielectric coatings.
  • Such glazing makes it possible to improve solar protection while maintaining high light transmission.
  • These functional coatings are generally obtained by a succession of deposits carried out by cathodic sputtering possibly assisted by a magnetic field.
  • such materials must undergo heat treatments, intended to improve the properties of the substrate and/or the stack of thin layers.
  • heat treatments intended to improve the properties of the substrate and/or the stack of thin layers.
  • it may involve thermal tempering treatment intended to mechanically reinforce the substrate by creating strong compressive stresses on its surface.
  • Such treatments can modify certain properties of the stack, in particular thermal performance, optical and electrical properties.
  • the invention is particularly interested in materials coated with a functional stack comprising several functional layers based on silver which must undergo heat treatment at high temperature such as annealing, bending and/or quenching.
  • Stacks of the type described in this document are satisfactory in that they make it possible to achieve good selectivity, in particular after bending quenching heat treatment.
  • the invention is based on the discovery of a particular configuration of at least six layers in a stacking part located between two metallic functional layers.
  • This configuration makes it possible to resolve edge flatness problems after heat treatment, in particular for substrate thicknesses of 3 to 10 mm.
  • This configuration makes it possible to resolve the problems of resistance to successive washings of the material after heat treatment and before integration into a window or glazing.
  • An aim of the invention is thus to succeed in developing a new type of stack of layers with several functional layers, a stack which has, after heat treatment of the material, perfectly flat edges and/or high resistance to successive washings. .
  • This material comprises a substrate, glass, coated on one side with a stack of thin layers with reflective properties comprising n, integer >1, metallic functional layers, in particular based on silver or a metallic alloy containing silver and n+1 anti-reflective coatings, said anti-reflective coatings each comprising at least one dielectric layer, each functional layer being arranged between two anti-reflective coatings.
  • an intermediate anti-reflective coating located between two metallic functional layers comprises the following succession starting from the layer closest to said face, preferably with contact between each layer of the succession: - a first layer based on zinc oxide having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 20.0 nm, - a first layer based on silicon nitride, having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 30.0 nm, - a second layer based on zinc oxide having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 20.0 nm, - a second layer based on silicon nitride, having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 30.0 nm, - a layer based on zinc and tin oxide, having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 20.0 nm, - a third layer based on zinc oxide having
  • said first layer based on zinc oxide is the first layer of said intermediate anti-reflective coating and/or said third layer based on zinc oxide is the last layer of said intermediate anti-reflective coating.
  • Said first layer based on zinc oxide may have a thickness of between 6.0 and 20.0 nm, or between 8.0 and 20.0 nm, or even between 9.0 and 20.0 nm.
  • said second layer based on zinc oxide has a thickness of between 6.0 and 15.0 nm, or even between 7.0 and 11.0 nm.
  • Said third layer based on zinc oxide may have a thickness of between 6.0 and 20.0 nm, or between 8.0 and 20.0 nm, or even between 9.0 and 20.0 nm.
  • said first layer based on zinc oxide and/or said second layer based on zinc oxide and/or said third layer based on zinc oxide does not contain tin.
  • Said first layer based on silicon nitride may have a thickness of between 6.0 and 20.0 nm, or between 8.0 and 20.0 nm, or even between 9.0 and 20.0 nm.
  • Said second layer based on silicon nitride may have a thickness of between 6.0 and 20.0 nm, or between 8.0 and 20.0 nm, or even between 9.0 and 20.0 nm.
  • each metallic functional layer has a physical thickness which is between 7.2 and 22.0 nm, or even between 7.2 and 12.4 nm for a first metallic functional layer starting from the nearest metallic functional layer. of said face and between 14.6 and 21.4 nm for a last metallic functional layer.
  • an underlying anti-reflective coating located between said face and a first metallic functional layer, comprises a nitride dielectric layer, preferably a silicon-based nitride dielectric layer.
  • an overblocking layer is located directly above one of said functional metal layers and under said intermediate anti-reflective coating.
  • an underblocking layer is located directly below one of said functional metal layers and on said intermediate anti-reflective coating.
  • an underlying anti-reflective coating located between said face and a first metallic functional layer, comprises in this order: - a layer based on silicon oxynitride of 0 to 20 nm, - a layer based on silicon nitride of 0 to 20 nm, - a layer based on silicon nitride and zirconium, from 5 to 25 nm, - a layer based on zinc and tin oxide from 0 to 15 nm, - a layer based on zinc oxide of 2 to 12 nm.
  • an overlying anti-reflective coating comprises in this order: - a layer based on zinc oxide of 2 to 12 nm, - one or more layers based on silicon nitride, the thickness of this or all of these layers based on silicon nitride being 15 to 75 nm, or even 20 to 45 nm.
  • Said stack comprises several metallic functional layers and may comprise two metallic functional layers, or three metallic functional layers, or four metallic functional layers; the metallic functional layers in question here are, preferably, continuous layers.
  • a metallic functional layer preferably comprises, in the majority, at least 50% in atomic percentage, at least one of the metals chosen from the list: Ag, Au, Cu, Pt; one, several, or each metallic functional layer is preferably made of silver.
  • metal layer within the meaning of the present invention, it must be understood that the layer does not contain oxygen or nitrogen.
  • dielectric layer within the meaning of the present invention, it must be understood that from the point of view of its nature, the layer is “non-metallic”, that is to say that it contains oxygen. or nitrogen, or both. In the context of the invention, this term means that the material of this layer has an n/k ratio over the entire visible wavelength range (from 380 nm to 780 nm) equal to or greater than 5.
  • n designates the real refractive index of the material at a given wavelength and the coefficient k represents the imaginary part of the refractive index at a given wavelength, or absorption coefficient; the ratio n/k being calculated at a given wavelength which is identical for n and for k.
  • the reactive elements oxygen, or nitrogen, or both if they are both present, are not considered and the element non-reactive (e.g. silicon or zinc) which is indicated as constituting the base, is present at more than 85 atomic % of the total non-reactive elements in the layer.
  • This expression thus includes what is commonly referred to in the technique in question as “doping”, whereas the doping element, or each doping element, can be present in quantities of up to 10 atomic%, but without the total dopant does not exceed 15 atomic% of non-reactive elements.
  • terminals are included in the ranges indicated.
  • said anti-reflective coating located under said functional layer does not include any layer in the metallic state. Indeed, it is not desired that such a layer could react at this location, and in particular oxidize, during the heat treatment.
  • said anti-reflective coating located under said functional layer does not include any absorbent layer. Indeed, it is not desired that such a layer could react at this location, and in particular oxidize, during the heat treatment.
  • the present invention also relates to a laminated window comprising a material according to the invention, and at least one other glass substrate, the substrates being held together by at least one interlayer sheet of plastic material.
  • the present invention further relates to multiple glazing comprising a material according to the invention or a laminated pane according to the invention, and at least one other glass substrate, the substrates being held together by a frame structure, said glazing providing a separation between an exterior space and an interior space, in which at least one interposed gas blade is arranged between the two substrates.
  • each substrate can be clear or colored. At least one of the substrates in particular may be mass-colored glass. The choice of the type of coloring will depend on the level of light transmission and/or the colorimetric appearance desired for the glazing once its manufacture is completed.
  • a substrate of the glazing in particular the substrate carrying the stack, can be curved and/or tempered after deposition of the stack. It is preferable in a laminated window or multiple glazing configuration that the stack is arranged so as to face the side of the plastic interlayer sheet or the interlayer gas blade.
  • the glazing can also be triple glazing made up of three sheets of glass separated two by two by a gas blade.
  • the substrate carrying the stack can be on face 2 and/or on face 5, when we consider that the incident direction of the solar light passes through the faces in increasing order of their number .
  • - illustrates a first structure of a functional bilayer stack ending in a terminal protection layer, each functional layer being deposited directly on a blocking sublayer and directly under a blocking overlayer; - illustrates a second structure of a functional tri-layer stack ending with a terminal protection layer, each functional layer being deposited directly on a blocking sub-layer and directly under a blocking over-layer; ; - illustrates a cross-sectional view of a laminated window comprising a stack of layers according to the invention; - And each illustrate double glazing incorporating a stack of layers according to the invention; - illustrates at the top the optical deformations of an edge of a reference example 1 and at the bottom the absence of optical deformation of an edge of an example 1 according to the invention; And - illustrates at the top the optical deformations of an edge of a reference example 2 and at the bottom the absence of optical deformation of an edge of an example 2 according to the invention.
  • the proportions between the thicknesses of the different layers or the different elements are not strictly respected in order to facilitate their reading; however, in the And , the proportions between the different elements are respected.
  • the functional layers 140, 180, 220 are in particular based on silver or a metal alloy containing silver, and are each arranged between two anti-reflective coatings: the underlying anti-reflective coating 120 located in below the first functional layer 140 towards the substrate 10 and the intermediate anti-reflection coating 160 disposed above the first functional layer 140 opposite the substrate 10; the underlying anti-reflection coating 120 located below the first functional layer 140 towards the substrate 10 and the intermediate anti-reflection coating 160 disposed above the first functional layer 140 opposite the substrate 10 and under the second functional layer 180.
  • an overlying anti-reflective coating 200' is arranged above the second functional layer 180 opposite the substrate 10 whereas in the functional three-layer structure of the an intermediate anti-reflection coating 200 is disposed above the second functional layer 180 opposite the substrate 10 and under the third functional layer 220 and an overlying anti-reflection coating 240 is disposed above the third functional layer 220 at opposite the substrate 10.
  • These anti-reflective coatings 120, 160, 200, 200', 240 each comprise at least one dielectric layer 121, 126, 127, 128, 129; 162, 163, 164, 165, 168, 169; 202, 203, 204, 205, 208, 209; 242, 244, 245.
  • a terminal protection layer 300 can terminate each of the stacks.
  • the intermediate antireflection coating 160 located between the first metallic functional layer 140 and the second metallic functional layer 180 comprises the following succession starting from the nearest layer of face 11, preferably with contact between each layer of the succession: - a first layer based on zinc oxide 162 having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 20.0 nm, - a first layer based on silicon nitride 163, having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 30.0 nm, - a second layer based on zinc oxide 164 having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 20.0 nm, - a second layer based on silicon nitride 165, having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 30.0 nm, - a layer based on zinc oxide and tin 168, having a thickness of between 3.
  • the intermediate antireflection coating 200 located between the second first metallic functional layer 180 and the third metallic functional layer 220 comprises the following succession starting from the layer closest to the face 11, preferably with a contact between each layer of the succession: - a first layer based on zinc oxide 202 having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 20.0 nm, - a first layer based on silicon nitride 203, having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 30.0 nm, - a second layer based on zinc oxide 204 having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 20.0 nm, - a second layer based on silicon nitride 205, having a thickness of between 3.0 and 30.0 nm, or even between 5.0 and 30.0 nm, - a layer based on zinc oxide and tin 208, having a thickness of between 3.0 and
  • the first functional layer 140 is located indirectly on the underlying anti-reflective coating 120 and indirectly under the intermediate anti-reflective coating 160: there is a under-blocking layer 130 located between the underlying anti-reflection coating 120 and the first functional layer 140 and an over-blocking layer 150 located between the first functional layer 140 and the intermediate anti-reflection coating 160.
  • the second functional layer 180 is located indirectly on the underlying intermediate anti-reflection coating 160 and indirectly under the anti-reflection coating 200, 200': it there is an under-blocking layer 170 located between the underlying anti-reflective coating 160 and the second functional layer 180 and an over-blocking layer 190 located between the second functional layer 180 and the anti-reflective coating 200, 200'.
  • the third functional layer 220 is located indirectly on the underlying intermediate anti-reflective coating 200 and indirectly below the anti-reflective coating 240: there is an under-blocking layer 210 located between the anti-reflective coating 200 underlying intermediate and the third functional layer 180 and an over-blocking layer 230 located between the third functional layer 180 and the anti-reflective coating 240.
  • the first dielectric coating 120 comprises in this order: - a dielectric layer 121 based on silicon oxynitride of 0 to 20 nm, - a dielectric layer 126 based on silicon nitride of 0 to 20 nm, - a dielectric layer 127 based on silicon nitride and zirconium, from 5 to 25 nm, - a dielectric layer 128 based on zinc and tin oxide of 0 to 15 nm, - a dielectric layer 129 based on zinc oxide of 2 to 12 nm.
  • the last overlying dielectric coating, respectively 200', 240 comprises in this order: - a dielectric layer 204, 244 based on zinc oxide of 2 to 12 nm, - one or more dielectric layer(s) based on silicon nitride, 204, 205, 244, 245, the thickness of this or all of these layers based on silicon nitride being 15 to 75 nm or from 20 to 45 nm.
  • Such a stack of thin layers 14 can be used in a laminated window 80 creating a separation between an exterior space ES and an interior space IS.
  • This laminated window consists of two glass substrates 10, 50, which are held together by an interlayer sheet of plastic material 40.
  • Such a stack of thin layers 14 can also be used in multiple glazing 100 creating a separation between an exterior space ES and an interior space IS; this glazing can have a double glazing structure, as illustrated in Or : this glazing is then made up of two glass substrates 10, 30, which are held together by a frame structure 90 and which are separated from each other by an interposed gas blade 15.
  • the incident direction of the solar light entering the building is illustrated by the double arrow, at the top or to the left.
  • the stack 14 of thin layers is positioned on face 2 (on the outermost sheet of the building considering the incident direction of the solar light entering the building and on its face facing the gas blade), that is to say on an interior face 11 of the substrate 10 in contact with the interposed gas blade 15, the other face 9 of the substrate 10 being in contact with the exterior space ES.
  • the substrate 30, not carrying a stack, has one face 29 in contact with the interposed gas blade 15, the other face 31 of the substrate 30 being in contact with the interior space IS.
  • the stack 14 of thin layers is positioned on face 3 (on the innermost sheet of the building considering the incident direction of the solar light entering the building and on its face facing the gas blade), that is to say on an interior face 11 of the substrate 10 in contact with the interposed gas blade 15, the other face 9 of the substrate 10 being in contact with the interior space IS.
  • the substrate 30, not carrying a stack has one face 29 in contact with the interposed gas blade 15, the other face 31 of the substrate 30 being in contact with the external space ES.
  • one of the substrates has a laminated structure as illustrated in .
  • the functional metal layers 140,180 are silver (Ag) layers.
  • the blocking layers 130, 150, 170, 190 are metal layers made of nickel and chromium alloy (NiCr).
  • the dielectric coatings 120, 160, 200' include barrier layers and stabilizing layers.
  • the barrier layers are based on silicon nitride, doped with aluminum (Si 3 N 4 : Al), based on silicon nitride and zirconium or based on mixed zinc and tin oxide (SnZnOx) .
  • the stabilizing layers are made of zinc oxide (ZnO).
  • the first column indicates the number of the layer or coating, with reference to the and the second column indicates the material for these layers.
  • Reference A corresponds to example 3a of international patent application No. WO/2007101963.
  • the sub-blocking layer layers 130, 170 are made of titanium, deposited from a titanium target while for the other examples in Table 3, the sub-blocking layer layers 130 , 170 are in NiCr, deposited from a Nickel-Chromium Alloy target of composition Ni 0.8 Cr 0.2 .
  • the materials undergo thermal quenching under the following conditions: heat treatment for 10 minutes at a temperature of 650°C then cooling in air (20°C).
  • the flatness of the edges is crucial for the integration of materials into glazing and particularly when the materials are intended to be integrated into an 80 laminated window, after heat treatment.
  • a laminated window whose substrate 10 coated with the stack has undergone heat treatment, if this substrate is not perfectly flat along all edges 81 or is not as flat as the other glass substrate along from all edges, then there is a risk that the distance between the two faces facing the two substrates is at one, or more, location(s) greater than the thickness of the plastic sheet interlayer 40, with the consequence that this interlayer sheet of plastic material cannot adhere to the faces of the two substrates, as for the rest of the laminated window.
  • the glazing is placed flat horizontally on black felt and a test chart presenting black and white zebras (alternation of white and black stripes, parallel to each other and all oriented with the same angle of 45° per relative to the vertical) is positioned vertically, along one edge of the glazing. It is the reflection of this pattern which is observed along the edges of the glazing. If an edge is not flat, an observer observing the reflection of the zebra on the surface of the glazing will notice with the naked eye that at least one white or black band is distorted and is no longer strictly parallel to the others; the lack of flatness of the edge causes optical deformation in reflection. As visible on the upper part of the And relating to reference examples 1 and 2, along the bottom edge the reflection of the zebra is no longer oriented at 45° but at 90° relative to the bottom edge.
  • black and white zebras alternate of white and black stripes, parallel to each other and all oriented with the same angle of 45° per relative to the vertical
  • each material was washed once with a commercially available glass washing machine, then observed, then washed two more times with the same machine, then observed, then washed twice more. more with the same machine, then observed, then washed two more times with the same machine, then observed. Each material was thus tested after one wash, after three washes, after five washes and after seven washes.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

L'invention concerne un matériau comprenant un substrat (10), verrier, revêtu sur une face (11) d'un empilement de couches minces (14) un revêtement antireflet (160) intermédiaire situé entre deux couches fonctionnelles métalliques (140, 180) comportant : - une première couche à base d'oxyde de zinc (162) ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, - une première couche à base de nitrure de silicium (163), ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm - une deuxième couche à base d'oxyde de zinc (164) ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm - une deuxième couche à base de nitrure de silicium (165), ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm - une couche à base d'oxyde de zinc et d'étain (168), ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm - une troisième couche à base d'oxyde de zinc (169) ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm.

Description

MATERIAU COMPORTANT UN EMPILEMENT COMPRENANT UN MODULE DE SIX COUCHES
L’invention concerne un matériau comprenant un substrat verrier transparent revêtu d’un empilement fonctionnel pouvant agir sur le rayonnement solaire et/ou le rayonnement infrarouge. L'invention concerne également les vitrages comprenant ces matériaux ainsi que l'utilisation de tels matériaux pour fabriquer des vitrages d'isolation thermique et/ou de protection solaire. Dans la suite de la description, le terme « fonctionnel » qualifiant « empilement fonctionnel » ou « couche fonctionnelle » signifie « pouvant agir sur le rayonnement solaire et/ou le rayonnement infrarouge ».
Ces vitrages peuvent être destinés aussi bien à équiper les bâtiments que les véhicules, en vue notamment de :
- diminuer l’effort de climatisation et/ou d’empêcher une surchauffe excessive, vitrages dits « de contrôle solaire » et/ou
- diminuer la quantité d’énergie dissipée vers l’extérieur, vitrages dits « bas émissifs ».
La sélectivité « S » permet d’évaluer la performance de ces vitrages. Elle correspond au rapport de la transmission lumineuse TLvis dans le visible du vitrage sur le facteur solaire FS du vitrage (S = TLvis / FS). Le facteur solaire « FS ou g » correspond au rapport en % entre l'énergie totale entrant dans le local à travers le vitrage et l'énergie solaire incidente. Le facteur solaire mesure donc la contribution d'un vitrage à l'échauffement de la « pièce ». Plus le facteur solaire est petit, plus les apports solaires sont faibles.
Des vitrages sélectifs connus comprennent des substrats transparents revêtus d'un empilement fonctionnel comprenant plusieurs couches fonctionnelles métalliques, chacune disposée entre deux revêtements diélectriques. De tels vitrages permettent d’améliorer la protection solaire tout en conservant une transmission lumineuse élevée. Ces revêtements fonctionnels sont généralement obtenus par une succession de dépôts effectués par pulvérisation cathodique éventuellement assistée par champ magnétique.
Fréquemment, de tels matériaux doivent subir des traitements thermiques, destinés à améliorer les propriétés du substrat et/ou de l’empilement de couches minces. Il peut par exemple s’agir, dans le cas de substrats en verre, de traitement de trempe thermique destinés à renforcer mécaniquement le substrat en créant de fortes contraintes de compression à sa surface. De tels traitements peuvent modifier certaines propriétés de l’empilement, notamment les performances thermiques, les propriétés optiques et électriques.
L’invention s’intéresse tout particulièrement à des matériaux revêtus d’un empilement fonctionnel comprenant plusieurs couches fonctionnelles à base d’argent devant subir un traitement thermique à température élevée tel qu’un recuit, un bombage et/ou une trempe.
Il est connu par exemple de la demande internationale de brevet N° WO 2007/101963 de prévoir le dépôt d’un empilement sur un substrat d’environ 2 mm d’épaisseur d’un empilement de couche minces avec un module diélectrique intermédiaire, située entre deux couches fonctionnelles métalliques, constitué des quatre couches, suivantes, en partant de la couche la plus proche du substrat :
- une première couche à base d’oxyde de zinc,
- une première couche à base de nitrure de silicium,
- une couche à base d’oxyde de zinc et d’étain,
- une dernière couche à base d’oxyde de zinc.
Les empilements du type de ceux décrits dans ce document sont satisfaisant en ce qu’ils permettent d’atteindre une bonne sélectivité, en particulier après traitement thermique de bombage trempe.
Il est apparu toutefois, en particulier pour des épaisseurs de substrat supérieures à celle indiquées dans ce document que des défauts de planéité sur les bords du matériau pouvaient apparaître.
Il est apparu par ailleurs que des problèmes de résistance aux lavages successifs pouvaient apparaître. En effet, en pratique il arrive qu’un matériau soit lavé plusieurs fois entre le traitement thermique et l’intégration du matériau dans une vitre ou dans un vitrage.
L’invention repose sur la découverte d’une configuration particulière d’au moins six couches dans une partie d’empilement située entre deux couches fonctionnelles métalliques.
Cette configuration permet de résoudre les problèmes de planéité des bords après traitement thermique, en particulier pour des épaisseurs de substrat de 3 à 10 mm.
Cette configuration permet de résoudre les problèmes de résistance aux lavages successifs du matériau après traitement thermique et avant intégration dans une vitre ou un vitrage.
Un but de l’invention est ainsi de parvenir à mettre au point un nouveau type d’empilement de couches à plusieurs couches fonctionnelles, empilement qui présente, après traitement thermique du matériau, des bords parfaitement plats et/ou une résistance aux lavages successifs élevée.
L’invention a ainsi pour objet, dans son acception la plus large, un matériau selon la revendication 1.
Ce matériau comprend un substrat, verrier, revêtu sur une face d’un empilement de couches minces à propriétés de réflexion comportant n, nombre entier >1, couches fonctionnelles métalliques, en particulier à base d’argent ou d’alliage métallique contenant de l'argent et n+1 revêtements antireflet, lesdits revêtements antireflet comportant chacun au moins une couche diélectrique, chaque couche fonctionnelle étant disposée entre deux revêtements antireflet. Il est remarquable en ce qu ‘ un revêtement antireflet intermédiaire situé entre deux couches fonctionnelles métalliques comporte la succession suivante en partant de la couche la plus proche de ladite face, de préférence avec un contact entre chaque couche de la succession :
- une première couche à base d’oxyde de zinc  ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
- une première couche à base de nitrure de silicium, ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 30,0 nm,
- une deuxième couche à base d’oxyde de zinc ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
- une deuxième couche à base de nitrure de silicium, ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 30,0 nm,
- une couche à base d’oxyde de zinc et d’étain, ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
- une troisième couche à base d’oxyde de zinc ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm.
De préférence, ladite première couche à base d’oxyde de zinc est la première couche dudit revêtement antireflet intermédiaire et/ou ladite troisième couche à base d’oxyde de zinc est la dernière couche dudit revêtement antireflet intermédiaire.
Ladite première couche à base d’oxyde de zinc peut présenter une épaisseur comprise entre 6,0 et 20,0 nm, ou entre 8,0 et 20,0 nm, voire entre 9,0 et 20,0 nm.
De préférence, ladite deuxième couche à base d’oxyde de zinc présente une épaisseur comprise entre 6,0 et 15,0 nm, voire entre 7,0 et 11,0 nm.
Ladite troisième couche à base d’oxyde de zinc peut présenter une épaisseur comprise entre 6,0 et 20,0 nm, ou entre 8,0 et 20,0 nm, voire entre 9,0 et 20,0 nm.
De préférence, ladite première couche à base d’oxyde de zinc et/ou ladite deuxième couche à base d’oxyde de zinc et/ou ladite troisième couche à base d’oxyde de zinc ne comporte pas d’étain.
Ladite première couche à base de nitrure de silicium peut présenter une épaisseur comprise entre 6,0 et 20,0 nm, ou entre 8,0 et 20,0 nm, voire entre 9,0 et 20,0 nm.
Ladite deuxième couche à base de nitrure de silicium peut présenter une épaisseur comprise entre 6,0 et 20,0 nm, ou entre 8,0 et 20,0 nm, voire entre 9,0 et 20,0 nm.
De préférence, chaque couche fonctionnelle métallique présente une épaisseur physique qui est comprise entre 7,2 et 22,0 nm, voire entre 7,2 et 12,4 nm pour une première couche fonctionnelle métallique en partant de la couche fonctionnelle métallique la plus proche de ladite face et entre 14,6 et 21,4 nm pour une dernière couche fonctionnelle métallique.
De préférence, un revêtement antireflet sous-jacent, situé entre ladite face et une première couche fonctionnelle métallique, comporte une couche diélectrique de nitrure, de préférence une couche diélectrique de nitrure à base de silicium.
De préférence, une couche de surblocage est située directement au-dessus d’une desdites couches métalliques fonctionnelles et sous ledit revêtement antireflet intermédiaire.
De préférence, une couche de sousblocage est située directement en dessous d’une desdites couches métalliques fonctionnelles et sur ledit revêtement antireflet intermédiaire.
Dans une variante, un revêtement antireflet sous-jacent, situé entre ladite face et une première couche fonctionnelle métallique, comprend dans cet ordre :
- une couche à base d’oxynitrure de silicium de 0 à 20 nm,
- une couche à base de nitrure de silicium de 0 à 20 nm,
- une couche à base de nitrure de silicium et de zirconium, de 5 à 25 nm,
- une couche à base d’oxyde de zinc et d’étain de 0 à 15 nm,
- une couche à base d’oxyde de zinc de 2 à 12 nm.
Dans une variante particulière, un revêtement antireflet sus-jacent, dernier revêtement antireflet en partant du substrat, comprend dans cet ordre :
- une couche à base d’oxyde de zinc de 2 à 12 nm,
- une ou plusieurs couches à base de nitrure de silicium, l’épaisseur de cette ou de toutes ces couches à base de nitrure de silicium étant de 15 à 75 nm, voire de 20 à 45 nm.
Ledit empilement comporte plusieurs couches fonctionnelles métalliques et peut comporter deux couches fonctionnelles métalliques, ou trois couches fonctionnelles métalliques, ou quatre couches fonctionnelles métalliques ; les couches fonctionnelles métalliques dont il s’agit ici sont, de préférence, des couches continues.
Une couche fonctionnelle métallique comporte, de préférence, majoritairement, à au moins 50 % en pourcentage atomique, au moins un des métaux choisi dans la liste : Ag, Au, Cu, Pt ; une, plusieurs, ou chaque, couche fonctionnelle métallique est de préférence en argent.
Par « couche métallique » au sens de la présente invention, il faut comprendre que la couche ne comporte pas d’oxygène, ni d’azote.
Comme habituellement, par « couche diélectrique » au sens de la présente invention, il faut comprendre que du point de vue de sa nature, la couche est « non métallique », c’est-à-dire qu’elle comporte de l’oxygène ou de l’azote, voire les deux. Dans le contexte de l’invention, ce terme signifie que le matériau de cette couche présente un rapport n/k sur toute la plage de longueur d’onde du visible (de 380 nm à 780 nm) égal ou supérieur à 5.
Il est rappelé que n désigne l’indice de réfraction réel du matériau à une longueur d’onde donnée et le coefficient k représente la partie imaginaire de l’indice de réfraction à une longueur d’onde donnée, ou coefficient d’absorption ; le rapport n/k étant calculé à une longueur d’onde donnée identique pour n et pour k.
Par « au contact » on entend au sens de l’invention qu’aucune couche n’est interposée entre les deux couches considérées.
Par « à base de » on entend au sens de l’invention que pour la composition de cette couche, les éléments réactifs oxygène, ou azote, ou les deux s’ils sont présents tous les deux, ne sont pas considérés et l’élément non réactif (par exemple le silicium ou le zinc) qui est indiqué comme constituant la base, est présent à plus de 85 % atomique du total des éléments non réactifs dans la couche. Cette expression inclut ainsi ce qu’il est courant de nommer dans la technique considérée du « dopage », alors que l’élément dopant, ou chaque élément dopant, peut être présent en quantité allant jusqu’à 10 % atomique, mais sans que le total de dopant ne dépasse 15 % atomique des éléments non-réactifs.
Dans le présent document, les bornes sont inclues dans les plages indiquées.
Dans une variante particulière, ledit revêtement antireflet situé sous ladite couche fonctionnelle ne comporte aucune couche à l’état métallique. En effet, il n’est pas souhaité qu’une telle couche puisse réagir à cet endroit, et en particulier s’oxyder, lors du traitement thermique.
Dans une variante particulière, ledit revêtement antireflet situé sous ladite couche fonctionnelle ne comporte aucune couche absorbante. En effet, il n’est pas souhaité qu’une telle couche puisse réagir à cet endroit, et en particulier s’oxyder, lors du traitement thermique.
La présente invention se rapporte par ailleurs à une vitre feuilletée comportant un matériau selon l’invention, et au moins un autre substrat verrier, les substrats étant maintenus ensemble par au moins une feuille intercalaire de matière plastique.
La présente invention se rapporte par ailleurs à un vitrage multiple comportant un matériau selon l’invention ou une vitre feuilletée selon l’invention, et au moins un autre substrat verrier, les substrats étant maintenus ensemble par une structure de châssis, ledit vitrage réalisant une séparation entre un espace extérieur et un espace intérieur, dans lequel au moins une lame de gaz intercalaire est disposée entre les deux substrats.
Dans cette vitre feuilletée ou ce vitrage multiple, chaque substrat peut être clair ou coloré. Un des substrats au moins notamment peut être en verre coloré dans la masse. Le choix du type de coloration va dépendre du niveau de transmission lumineuse et/ou de l’aspect colorimétrique recherchés pour le vitrage une fois sa fabrication achevée.
Un substrat du vitrage, notamment le substrat porteur de l’empilement peut être bombé et/ou trempé après le dépôt de l’empilement. Il est préférable dans une configuration de vitre feuilletée ou de vitrage multiple que l’empilement soit disposé de manière à être tourné du côté de la feuille intercalaire de matière plastique ou de la lame de gaz intercalaire.
Le vitrage peut aussi être un triple vitrage constitué de trois feuilles de verre séparées deux par deux par une lame de gaz. Dans une structure en triple vitrage, le substrat porteur de l’empilement peut être en face 2 et/ou en face 5, lorsque l’on considère que le sens incident de la lumière solaire traverse les faces dans l’ordre croissant de leur numéro.
Les détails et caractéristiques avantageuses de l’invention ressortent des exemples non limitatifs suivants, illustrés à l’aide des figures ci-jointes :
- illustre une première structure d’un empilement bicouche fonctionnelle se terminant par une de protection terminale, chaque couche fonctionnelle étant déposée directement sur une sous-couche de blocage et directement sous une surcouche de blocage ;
- illustre une deuxième structure d’un empilement tri-couche fonctionnelle se terminant par une couche de protection terminale, chaque couche fonctionnelle étant déposée directement sur une sous-couche de blocage et directement sous une surcouche de blocage ; ;
- illustre une vue en coupe transversale d’une vitre feuilletée comportant un empilement de couches selon l’invention ;
- et illustrent chacune un double vitrage incorporant un empilement de couches selon l’invention ;
- illustre en haut les déformations optiques d’un bord d’un exemple de référence 1 et en bas l’absence de déformation optique d’un bord d’un exemple 1 selon l’invention ; et
- illustre en haut les déformations optiques d’un bord d’un exemple de référence 2 et en bas l’absence de déformation optique d’un bord d’un exemple 2 selon l’invention.
Dans les à , les proportions entre les épaisseurs des différentes couches ou des différents éléments ne sont pas rigoureusement respectées afin de faciliter leur lecture ; cependant, dans les et , les proportions entre les différents éléments sont respectées.
Les et illustrent une structure d’un empilement 14 à plusieurs couches fonctionnelles selon l’invention déposé sur une face 11 d’un substrat 10 verrier, transparent.
Dans ces structures, les couches fonctionnelles 140, 180, 220, sont en particulier à base d’argent ou d’alliage métallique contenant de l'argent, et sont chacune disposée entre deux revêtements antireflet : le revêtement antireflet 120 sous-jacent situé en dessous de la première couche fonctionnelle 140 en direction du substrat 10 et le revêtement antireflet 160 intermédiaire disposé au-dessus de la première couche fonctionnelle 140 à l’opposé du substrat 10 ; le revêtement antireflet 120 sous-jacent situé en dessous de la première couche fonctionnelle 140 en direction du substrat 10 et le revêtement antireflet 160 intermédiaire disposé au-dessus de la première couche fonctionnelle 140 à l’opposé du substrat 10 et sous la seconde couche fonctionnelle 180.
Dans la structure bicouche fonctionnelle de la un revêtement antireflet 200’ sus-jacent est disposé au-dessus de la deuxième couche fonctionnelle 180 à l’opposé du substrat 10 alors que dans la structure tri-couche fonctionnelle de la un revêtement antireflet 200 intermédiaire est disposé au-dessus de la deuxième couche fonctionnelle 180 à l’opposé du substrat 10 et sous la troisième couche fonctionnelle 220 et un revêtement antireflet 240 sus-jacent est disposé au-dessus de la troisième couche fonctionnelle 220 à l’opposé du substrat 10.
Ces revêtements antireflet 120, 160, 200, 200’, 240 comportent chacun au moins une couche diélectrique 121, 126, 127, 128, 129 ; 162, 163, 164, 165, 168, 169 ; 202, 203, 204, 205, 208, 209 ; 242, 244, 245.
Une couche de protection terminale 300 peut terminer chacun des empilements.
Pour l’empilement à deux couches fonctionnelles et pour l’empilement à trois couches fonctionnelles, le revêtement antireflet 160 intermédiaire situé entre la première couche fonctionnelle métallique 140 et la deuxième couche fonctionnelle métallique 180 comporte la succession suivante en partant de la couche la plus proche de la face 11, de préférence avec un contact entre chaque couche de la succession :
- une première couche à base d’oxyde de zinc 162 ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
- une première couche à base de nitrure de silicium 163, ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 30,0 nm,
- une deuxième couche à base d’oxyde de zinc 164 ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
- une deuxième couche à base de nitrure de silicium 165, ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 30,0 nm,
- une couche à base d’oxyde de zinc et d’étain 168, ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
- une troisième couche à base d’oxyde de zinc 169 ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm.
Pour l’empilement à trois couches fonctionnelles, le revêtement antireflet 200 intermédiaire situé entre la deuxième première couche fonctionnelle métallique 180 et la troisième couche fonctionnelle métallique 220 comporte la succession suivante en partant de la couche la plus proche de la face 11, de préférence avec un contact entre chaque couche de la succession :
- une première couche à base d’oxyde de zinc 202 ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
- une première couche à base de nitrure de silicium 203, ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 30,0 nm,
- une deuxième couche à base d’oxyde de zinc 204 ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
- une deuxième couche à base de nitrure de silicium 205, ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 30,0 nm,
- une couche à base d’oxyde de zinc et d’étain 208, ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
- une troisième couche à base d’oxyde de zinc 209 ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm.
Pour l’empilement à deux couches fonctionnelles et pour l’empilement à trois couches fonctionnelles qui sont illustrés, la couche première fonctionnelle 140 est située indirectement sur le revêtement antireflet 120 sous-jacent et indirectement sous le revêtement antireflet 160 intermédiaire : il y a une couche de sous-blocage 130 située entre le revêtement antireflet 120 sous-jacent et la première couche fonctionnelle 140 et une couche de sur-blocage 150 située entre la première couche fonctionnelle 140 et le revêtement antireflet 160 intermédiaire.
Pour l’empilement à deux couches fonctionnelles et pour l’empilement à trois couches fonctionnelles qui sont illustrés, la deuxième couche fonctionnelle 180 est située indirectement sur le revêtement antireflet 160 intermédiaire sous-jacent et indirectement sous le revêtement antireflet 200, 200’ : il y a une couche de sous-blocage 170 située entre le revêtement antireflet 160 sous-jacent et la deuxième couche fonctionnelle 180 et une couche de sur-blocage 190 située entre la deuxième couche fonctionnelle 180 et le revêtement antireflet 200, 200’.
Pour l’empilement à trois couches fonctionnelles illustré, la troisième couche fonctionnelle 220 est située indirectement sur le revêtement antireflet 200 intermédiaire sous-jacent et indirectement sous le revêtement antireflet 240 : il y a une couche de sous-blocage 210 située entre le revêtement antireflet 200 intermédiaire sous-jacent et la troisième couche fonctionnelle 180 et une couche de sur-blocage 230 située entre la troisième couche fonctionnelle 180 et le revêtement antireflet 240.
Pour l’empilement à deux couches fonctionnelles et pour l’empilement à trois couches fonctionnelles illustrés, le premier revêtement diélectrique 120 comprend dans cet ordre :
- une couche diélectrique 121 à base d’oxynitrure de silicium de 0 à 20 nm,
- une couche diélectrique 126 à base de nitrure de silicium de 0 à 20 nm,
- une couche diélectrique 127 à base de nitrure de silicium et de zirconium, de 5 à 25 nm,
- une couche diélectrique 128 à base d’oxyde de zinc et d’étain de 0 à 15 nm,
- une couche diélectrique 129 à base d’oxyde de zinc de 2 à 12 nm.
Pour l’empilement à deux couches fonctionnelles et pour l’empilement à trois couches fonctionnelles illustrés, le dernier revêtement diélectrique sus-jacent, respectivement 200’, 240 comprend dans cet ordre :
- une couche diélectrique 204, 244 à base d’oxyde de zinc de 2 à 12 nm,
- une ou plusieurs couche(s) diélectrique(s) à base de nitrure de silicium, 204, 205, 244, 245, l’épaisseur de cette ou de toutes ces couches à base de nitrure de silicium étant de 15 à 75 nm ou de 20 à 45 nm.
Un tel empilement de couches minces 14 peut être utilisé dans une vitre feuilletée 80 réalisant une séparation entre un espace extérieur ES et un espace intérieur IS. Cette vitre feuilletée est constituée de deux substrats 10, 50, verriers, qui sont maintenus ensemble par une feuille intercalaire de matière plastique 40.
Un tel empilement de couches minces 14 peut aussi être utilisé dans un vitrage multiple 100 réalisant une séparation entre un espace extérieur ES et un espace intérieur IS ; ce vitrage peut présenter une structure de double vitrage, comme illustré en ou  : ce vitrage est alors constitué de deux substrats 10, 30, verriers, qui sont maintenus ensemble par une structure de châssis 90 et qui sont séparés l’un de l’autre par une lame de gaz intercalaire 15.
En , et , le sens incident de la lumière solaire entrant dans le bâtiment est illustré par la double flèche, en haut ou à gauche.
En , l’empilement 14 de couches minces est positionné en face 2 (sur la feuille la plus à l’extérieur du bâtiment en considérant le sens incident de la lumière solaire entrant dans le bâtiment et sur sa face tournée vers la lame de gaz), c’est-à-dire sur une face intérieure 11 du substrat 10 en contact avec la lame de gaz intercalaire 15, l’autre face 9 du substrat 10 étant en contact avec l’espace extérieur ES. Le substrat 30, non porteur d’un empilement, présente une face 29 en contact avec la lame de gaz intercalaire 15, l’autre face 31 du substrat 30 étant en contact avec l’espace intérieur IS.
En , l’empilement 14 de couches minces est positionné en face 3 (sur la feuille la plus à l’intérieur du bâtiment en considérant le sens incident de la lumière solaire entrant dans le bâtiment et sur sa face tournée vers la lame de gaz), c’est-à-dire sur une face intérieure 11 du substrat 10 en contact avec la lame de gaz intercalaire 15, l’autre face 9 du substrat 10 étant en contact avec l’espace intérieur IS. Le substrat 30, non porteur d’un empilement, présente une face 29 en contact avec la lame de gaz intercalaire 15, l’autre face 31 du substrat 30 étant en contact avec l’espace extérieur ES.
Toutefois, il peut aussi être envisagé que dans cette structure de double vitrage, l’un des substrats présente une structure feuilletée comme illustré en .
Dans les exemples suivants, les couches métalliques fonctionnelles 140,180 sont des couches d’argent (Ag). Les couches de blocage 130, 150, 170, 190 sont des couches métalliques en alliage de nickel et de chrome (NiCr). Les revêtements diélectriques 120, 160, 200’ comprennent des couches barrières et des couches stabilisantes. Les couches barrières sont à base de nitrure de silicium, dopé à l’aluminium (Si3N4:Al), à base de nitrure de silicium et de zirconium ou à base d’oxyde mixte de zinc et d’étain (SnZnOx). Les couches stabilisantes sont en oxyde de zinc (ZnO).
Appellation Contenu Stœchiométrie Indice
(à 550 nm)
SiON Oxynitrure de silicium - 1,60
Si3N4 Nitrure de silicium dopé à l’aluminium Si3N4:Al 2,07
SiZrN17 Nitrure de silicium-zirconium Six’Zry’Nz’ avec
y / (y + x) = 0,17		 2,20 - 2,26
ZnO Oxyde de zinc ZnO 2,00
SnZnO Oxyde de zinc-étain SneZnfO 2,00
TiZrO Oxyde de titane-zirconium TicZrdO 2,20
NiCr Alliage de Nickel-Chrome Ni0,8Cr0,2 -
Ag Ag -
Les conditions de dépôt des couches, qui ont été déposées par pulvérisation (pulvérisation dite « cathodique magnétron »), sont résumées dans le tableau 2.
Couche Cible employée Pression de dépôt Gaz
SiON Si:Al à 92:8 % en poids 4.10-3 mbar Ar 53%/O2 20%/N2 27%
Si3N4 Si:Al à 92:8 % en poids 3,2-6.10-3 mbar Ar /(Ar + N2) à 55 %
SiZrN17 Si:Zr:Al à 78:17:5 % at. 2.10-3 mbar Ar/(Ar + N2) à 45 %
ZnO Zn:Al à 98:2 % en poids 1,8.10-3 mbar Ar /(Ar + O2) à 63 %
SnZnO Zn:Sn à 64:36 % at. 2.10-3 mbar Ar/(Ar + O2) à 50 %
TiZrO TiZrO4 2.10-3 mbar Ar/(Ar + O2) à 95 %
NiCr Ni:Cr à 80:20 % at. 2-3.10-3 mbar Ar à 100 %
Ag Ag 8.10-3 mbar Ar à 100 %
at. = atomique
Une série d’exemples a été réalisée sur la base de la structure d’empilement à deux couches fonctionnelles illustrée en avec, en partant de la surface 11 du substrat 10, d’une épaisseur de 6 mm, uniquement les couches suivantes, dans cet ordre (les matériaux et les épaisseurs physiques sont en nanomètres et le substrat porteur de l’empilement, en verre clair, est en dernière ligne, en bas du tableau) :
Tableau 3 Ref.A Ref.1 Ex.1 Ref.2 Ex.2
300 TiZrO -
200 :
205 Si3N4 27 15 15 21 21
204 SiZrN17 9,5 7 7 2 2
202 ZnO 8 7 7 7 7
190 NiCr - 1,0 1,0 2,5 2,5
180 Ag 10 15 15 20 20
170 2 0,5 0,5 2,0 2,0
160 :
169 ZnO 10 7 7 7 7
168 SnZnO 6 7 7 8 8
165 Si3N4 - - 27 - 24
164 ZnO - - 9 - 9
163 Si3N4 59 60 21 57 23
162 ZnO 8 8 8 9 9
150 NiCr - 1,0 1,0 2,0 2,0
140 Ag 10 11 11 8 8
130 2 0,5 0,5 1,5 1,5
120 :
129 ZnO 7 7 7 8 8
128 SnZnO 2 7 7 8 8
127 SiZrN17 - 10 10 12 12
126 Si3N4 21 4 4 5 5
121 SiON - 16 16 15 15
Substrat
Ref = référence
Dans ce tableau 3, la première colonne indique le numéro de la couche ou du revêtement, en référence à la et la seconde colonne indique le matériau pour ces couches. La référence A correspond à l’exemple 3a de la demande internationale de brevet N° WO/2007101963. Pour cet exemple de référence A, les couches de couche de sous-blocage 130, 170 sont en titane, déposées à partir d’une cible en titane alors que pour les autres exemples du tableau 3, les couches de couche de sous-blocage 130, 170 sont en NiCr, déposées à partir d’une cible en Alliage de Nickel-Chrome de composition Ni0,8Cr0,2.
Après le dépôt des empilements, les matériaux subissent une trempe thermique dans les conditions suivantes : traitement thermique pendant 10 minutes à une température de 650°C puis refroidissement à l’air (20°C).
Après le traitement thermique, deux caractéristiques ont été testées sur chacun des cinq exemples :
- la planéité des matériaux sur leurs bords, et
- la résistance mécanique après plusieurs lavages.
La planéité des bords est cruciale pour l’intégration des matériaux dans les vitrages et tout particulièrement lorsque les matériaux sont destinés à être intégré dans une vitre feuilletée 80, après traitement thermique. Dans une vitre feuilletée dont le substrat 10 revêtu de l’empilement a subi un traitement thermique, si ce substrat n’est pas parfaitement plat le long de tous les bords 81 ou n’est pas aussi plat que l’autre substrat verrier le long de tous les bords, alors il y a un risque que la distance entre les deux faces en vis-à-vis des deux substrats soit à un, ou plusieurs, endroit(s) plus élevée que l’épaisseur de la feuille de matière plastique intercalaire 40, avec pour conséquence que cette feuille de matière plastique intercalaire ne peut pas adhérer aux faces des deux substrats, comme pour le reste de la vitre feuilletée. Dans cet endroit (non illustré), ou ces endroits, il y a ainsi un phénomène de « délamination localisé », qui engendre alors un gros défaut, nécessairement visible à l’œil nu, et rend la vitre feuilletée inacceptable pour un client. Les spécialistes parlent parfois à ce sujet de « bullage ».
Pour évaluer la planéité des bords, le vitrage est posé à plat horizontalement sur une feutrine noire et une mire présentant des zébras noirs et blancs (alternance de bandes blanches et noires, parallèles elle-elles et toutes orientées avec un même angle de 45° par rapport à la verticale) est positionnée verticalement, le long d’un bord du vitrage. C’est le reflet de cette mire qui est observée le long des bords du vitrage. Si un bord n’est pas plat, un observateur observant le reflet du zébra à la surface du vitrage va constater à l’œil nu qu’au moins une bande blanche ou noire est déformée et n’est plus strictement parallèle aux autres ; le défaut de planéité du bord engendre une déformation optique en réflexion. Comme visible sur la partie haute des et relatives aux exemples de référence 1 et 2, le long du bord bas la réflexion du zébra n’est plus orientée à 45° mais à 90 ° par rapport au bord bas.
Tous les exemples de références ont montré des déformations optiques, et donc des défauts de planéité des bords alors que les exemples 1 et 2 n’ont pas montré de déformation optique ; les exemples 1 et 2 n’ont donc aucun défaut de planéité des bords. Comme visible sur la partie basse des et , le long du bord bas le zébra reste orienté à 45° par rapport au bord bas.
Pour évaluer la résistance mécanique après plusieurs lavages, chaque matériau a été lavé une fois avec une machine à laver le verre disponible dans le commerce, puis observé, puis lavé deux fois de plus avec la même machine, puis observé, puis lavé deux fois de plus avec la même machine, puis observé, puis lavé deux fois de plus avec la même machine, puis observé. Chaque matériau a ainsi été testé après un lavage, après trois lavages, après cinq lavages et après sept lavages.
Tous les exemples étaient satisfaisants après un lavage, sans aucun défaut ni marque d’enlèvement des couches de l’empilement. Après trois lavages, cinq et sept lavages, seuls les exemples 1 et 2 étaient corrects ; les exemples de références présentaient de 1 à 4 défauts / m² après trois lavages et plus encore après plus de lavages ; à partir de cinq lavages, les exemples de référence ont en outre commencé à présenter des marques de séparation des couches de l’empilement.
En outre, pour les exemples 1 et 2, l’introduction de la première couche à base de nitrure de silicium 163, et de la deuxième couche à base d’oxyde de zinc 164 n’a engendré aucune dégradation de la qualité optique et en particulier n’a pas engendré la formation de flou (« haze » en anglais) avant traitement thermique. Selon des observations menées en parallèle, la deuxième couche à base d’oxyde de zinc 164 semble même améliorer légèrement le fou après traitement thermique (obtention d’une valeur de flou extrêmement faible après traitement thermique).
La présente invention est décrite dans ce qui précède à titre d’exemple. Il est entendu que l’homme du métier est à même de réaliser différentes variantes de l’invention sans pour autant sortir du cadre du brevet tel que défini par les revendications.

Claims (11)

  1. Matériau comprenant un substrat (10), verrier, revêtu sur une face (11) d’un empilement de couches minces (14) à propriétés de réflexion comportant n, nombre entier >1, couches fonctionnelles métalliques (140, 180), en particulier à base d’argent ou d’alliage métallique contenant de l'argent et n+1 revêtements antireflet (120, 160, 200’), lesdits revêtements antireflet comportant chacun au moins une couche diélectrique (128, 168), chaque couche fonctionnelle (140, 180) étant disposée entre deux revêtements antireflet (120, 160, 200’), caractérisé en ce que un revêtement antireflet (160) intermédiaire situé entre deux couches fonctionnelles métalliques (140, 180) comporte la succession suivante en partant de la couche la plus proche de ladite face (11), de préférence avec un contact entre chaque couche de la succession :
    - une première couche à base d’oxyde de zinc (162) ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
    - une première couche à base de nitrure de silicium (163), ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 30,0 nm,
    - une deuxième couche à base d’oxyde de zinc (164) ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
    - une deuxième couche à base de nitrure de silicium (165), ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 30,0 nm,
    - une couche à base d’oxyde de zinc et d’étain (168), ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm,
    - une troisième couche à base d’oxyde de zinc (169) ayant une épaisseur comprise entre 3,0 et 30,0 nm, voire entre 5,0 et 20,0 nm.
  2. Matériau selon la revendication 1, dans lequel dans lequel ladite première couche à base d’oxyde de zinc (162) est la première couche dudit revêtement antireflet (160) intermédiaire et/ou ladite troisième couche à base d’oxyde de zinc (169) est la dernière couche dudit revêtement antireflet (160) intermédiaire.
  3. Matériau selon la revendication 1 ou 2, dans lequel ladite deuxième couche à base d’oxyde de zinc (164) présente une épaisseur comprise entre 6,0 et 15,0 nm, voire entre 7,0 et 11,0 nm.
  4. Matériau selon une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel chaque couche fonctionnelle métallique (140, 180) présente une épaisseur physique qui est comprise entre 7,2 et 22,0 nm, voire entre 7,2 et 12,4 nm pour une première couche fonctionnelle métallique en partant de la couche fonctionnelle métallique la plus proche de ladite face (11) et entre 14,6 et 21,4 nm pour une dernière couche fonctionnelle métallique.
  5. Matériau selon une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel un revêtement antireflet (120) sous-jacent, situé entre ladite face (11) et une première couche fonctionnelle métallique (140), comporte une couche diélectrique de nitrure (126), de préférence une couche diélectrique de nitrure à base de silicium.
  6. Matériau selon une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel une couche de surblocage (150) est située directement au-dessus d’une desdites couches métalliques fonctionnelles et sous ledit revêtement antireflet (160) intermédiaire.
  7. Matériau selon une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel une couche de sousblocage (170) est située directement en dessous d’une desdites couches métalliques fonctionnelles et sur ledit revêtement antireflet (160) intermédiaire.
  8. Matériau selon une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel un revêtement antireflet sous-jacent (120), situé entre ladite face et une première couche fonctionnelle métallique, comprend dans cet ordre :
    - une couche à base d’oxynitrure de silicium de 0 à 20 nm,
    - une couche à base de nitrure de silicium de 0 à 20 nm,
    - une couche à base de nitrure de silicium et de zirconium, de 5 à 25 nm,
    - une couche à base d’oxyde de zinc et d’étain de 0 à 15 nm,
    - une couche à base d’oxyde de zinc de 2 à 12 nm.
  9. Matériau selon une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel un revêtement antireflet sus-jacent (200’, 240), dernier revêtement antireflet en partant du substrat, comprend dans cet ordre :
    - une couche à base d’oxyde de zinc de 2 à 12 nm,
    - une ou plusieurs couches à base de nitrure de silicium, l’épaisseur de cette ou de toutes ces couches à base de nitrure de silicium étant de 15 à 75 nm, voire de 20 à 45 nm.
  10. Vitre feuilletée comportant un matériau selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, et au moins un autre substrat (50) verrier, les substrats (10, 50) étant maintenus ensemble par au moins une feuille intercalaire de matière plastique (40).
  11. Vitrage multiple (100) comportant un matériau selon l’une quelconque des revendications 1 à 9 ou une vitre feuilletée selon la revendication 10, et au moins un autre substrat (30) verrier, les substrats (10, 30) étant maintenus ensemble par une structure de châssis (90), ledit vitrage réalisant une séparation entre un espace extérieur (ES) et un espace intérieur (IS), dans lequel au moins une lame de gaz intercalaire (15) est disposée entre les deux substrats.
PCT/EP2023/075202 2022-09-14 2023-09-13 Materiau comportant un empilement comprenant un module de six couches WO2024056765A1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FRFR2209227 2022-09-14
FR2209227A FR3139566A1 (fr) 2022-09-14 2022-09-14 Materiau comportant un empilement comprenant un module de six couches

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2024056765A1 true WO2024056765A1 (fr) 2024-03-21

Family

ID=84488744

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2023/075202 WO2024056765A1 (fr) 2022-09-14 2023-09-13 Materiau comportant un empilement comprenant un module de six couches

Country Status (2)

Country Link
FR (1) FR3139566A1 (fr)
WO (1) WO2024056765A1 (fr)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030186064A1 (en) * 2000-09-29 2003-10-02 Kenji Murata Transparent laminate having low emissivity
WO2007101963A2 (fr) 2006-03-06 2007-09-13 Saint-Gobain Glass France Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques
FR3005048A1 (fr) * 2013-04-30 2014-10-31 Saint Gobain Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques
WO2019238537A1 (fr) * 2018-06-12 2019-12-19 Saint-Gobain Glass France Matériau comprenant un empilement à propriétés thermiques et esthétiques

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030186064A1 (en) * 2000-09-29 2003-10-02 Kenji Murata Transparent laminate having low emissivity
WO2007101963A2 (fr) 2006-03-06 2007-09-13 Saint-Gobain Glass France Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques
FR3005048A1 (fr) * 2013-04-30 2014-10-31 Saint Gobain Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques
WO2019238537A1 (fr) * 2018-06-12 2019-12-19 Saint-Gobain Glass France Matériau comprenant un empilement à propriétés thermiques et esthétiques

Also Published As

Publication number Publication date
FR3139566A1 (fr) 2024-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2379463B1 (fr) Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques et a couche absorbante.
EP2922799B1 (fr) Substrat muni d'un empilement a couche metallique partielle, vitrage et procede
EP1663895B1 (fr) Substrat transparent revetu d un empilement de couches mince s a proprietes de reflexion dans l infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire
EP2406197B1 (fr) Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques comportant des couches a haut indice de refraction et son utilisation
EP2897918B1 (fr) Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques et a couche absorbante
WO2010072974A1 (fr) Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques et a couches absorbantes
EP3494420B1 (fr) Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques comportant au moins une couche comprenant du nitrure de silicium-zirconium enrichi en zirconium, son utilisation et sa fabrication
CA2949809A1 (fr) Substrat muni d'un empilement a couches metalliques partielles, vitrage, utilisation et procede
EP4065531A1 (fr) Materiau comportant un empilement a sous-couche dielectrique fine d'oxide a base de zinc et procede de depot de ce materiau
CA3006338A1 (fr) Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques comportant au moins une couche en oxyde de nickel
WO2024056765A1 (fr) Materiau comportant un empilement comprenant un module de six couches
CA3006870A1 (fr) Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques comportant au moins une couche en oxyde de nickel
EP4143143A1 (fr) Matériau comportant un empilement a sous-couche dielectrique fine d'oxide a base de zinc et procédé de depôt de ce materiau
WO2023126213A1 (fr) Materiau comportant un empilement mono-couche fonctionnelle a couche dielectrique de nitrure a base d'aluminium et de silicium et vitrage comportant ce materiau
EP4263455A1 (fr) Matériau comportant un empilement à sous-couche diéléctrique fine d'oxide à base de zinc et procédé de dépot de ce matériau
CA3006339A1 (fr) Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques comportant au moins une couche en oxyde de nickel
WO2021260295A1 (fr) Materiau comportant un empilement a sous-couche dielectrique fine d'oxide a base de zinc et procede de depot de ce materiau
WO2022129798A1 (fr) Materiau comportant un empilement a sous-couche dielectrique fine d'oxide a base de zinc et procede de depot de ce materiau
EP4172123A1 (fr) Materiau comportant un empilement a sous-couche dielectrique fine d'oxide a base de zinc et procede de depot de ce materiau
FR3111891A1 (fr) Materiau comportant un empilement a sous-couche dielectrique fine d’oxide a base de zinc et procede de depot de ce materiau
EP4065530A1 (fr) Materiau comportant un empilement a sous-couche dielectrique fine d'oxide a base de zinc et procede de depot de ce materiau
CA3241575A1 (fr) Materiau comportant un empilement pluri-couches fonctionnelles a couche dielectrique de nitrure a base d'aluminium et de silicium et vitrage comportant ce materiau

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 23769240

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1