WO2024024494A1

WO2024024494A1 - 感光性組成物、硬化膜、遮光膜、カラーフィルタ、光学素子、固体撮像素子、ヘッドライトユニット

Info

Publication number: WO2024024494A1
Application number: PCT/JP2023/025569
Authority: WO
Inventors: 宏明出井; 未紗保安達; 憲文横山; 憲晃佐藤
Original assignee: 富士フイルム株式会社
Priority date: 2022-07-29
Filing date: 2023-07-11
Publication date: 2024-02-01

Abstract

本発明は、基板との密着性に優れる硬化膜を形成でき、現像残渣の発生が抑制される、感光性組成物を提供する。本発明の感光性組成物は、樹脂と、色材と、光重合開始剤と、重合性化合物と、を含む、感光性組成物であって、樹脂が、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位を含み、フッ素原子を実質的に含まない第１樹脂と、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位を含まない第２樹脂と、を含み、第１樹脂の含有量が、樹脂の全質量に対して、１～５０質量％である。　－（Ｒ１－Ｏ）ｎ－　・・・式（１）

Description

感光性組成物、硬化膜、遮光膜、カラーフィルタ、光学素子、固体撮像素子、ヘッドライトユニット

　本発明は、感光性組成物、硬化膜、遮光膜、カラーフィルタ、光学素子、固体撮像素子およびヘッドライトユニットに関する。

　液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、感光性着色組成物を用いて硬化膜を形成した後、現像処理を行うことでパターニングするフォトリソグラフィー法によって形成された、着色層または／および遮光層等の着色塗膜が備えられている。
　また、現在、携帯電話およびＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ　Ｄｉｇｉｔａｌ　Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）等の電子機器の携帯端末には、小型で薄型な撮像ユニットが搭載されている。ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサおよびＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ　Ｍｅｔａｌ－Ｏｘｉｄｅ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサ等の固体撮像素子には、ノイズ発生防止、および、画質の向上等を目的として遮光膜が設けられている。

　例えば、特許文献１には、カラーフィルタの製造に用いられる感光性着色組成物として、樹脂と、色素と、光重合開始剤と、重合性モノマーと、および溶剤と、を含有し、上記樹脂が、特定の構成単位（ａ）、カルボキシ基を有する構成単位（ｂ）、および他のヒドロキシ基を有さない構成単位（ｃ）で構成されるビニル系重合体である、感光性着色組成物が記載されている。

特開２００９－２８２１１５号公報

　本発明者らが、特許文献１に記載の感光性着色組成物の特性について検討したところ、上記感光性着色組成物を用いて塗膜を形成し、塗膜に対して露光処理および現像処理を行い、基板上に硬化膜を形成した際に、上記硬化膜と基板との密着性、および、現像残渣の発生抑制の両立が十分でなく、更なる改良の余地があることを知見した。
　ここで、現像残渣とは、感光性組成物を用いて得られる塗膜に対して露光処理および現像処理を施した際において、現像処理により除去された非パターン部において残存する残渣のことである。

　そこで、本発明においては、基板との密着性に優れる硬化膜を形成でき、現像残渣の発生が抑制される、感光性組成物の提供を課題とする。
　また、本発明は、感光性組成物、硬化膜、遮光膜、カラーフィルタ、光学素子、固体撮像素子およびヘッドライトユニットの提供も課題とする。

　本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、本発明を完成させるに至った。すなわち、以下の構成により上記課題が解決されることを見出した。

　〔１〕　樹脂と、
　色材と、
　光重合開始剤と、
　重合性化合物と、を含む、感光性組成物であって、
　上記樹脂が、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位を含み、フッ素原子を実質的に含まない第１樹脂と、
　上記式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位を含まない第２樹脂と、を含み、
　上記第１樹脂の含有量が、上記樹脂の全質量に対して、１～５０質量％である、感光性組成物。
　－（Ｒ^１－Ｏ）_ｎ－　　　・・・式（１）
　上記式（１）中、Ｒ^１はそれぞれ独立に炭素数２または３のアルキレン基を表し、ｎは３～２００を表す。
　〔２〕　上記式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位が、後述する式（１ａ）で表される繰り返し単位である、〔１〕に記載の感光性組成物。
　〔３〕　Ｒ^２ａが芳香環を含まない１価の有機基または水素原子を表す、〔２〕に記載の感光性組成物。
　〔４〕　Ｒ^２ａが水素原子または炭素数１～４のアルキル基を表す、〔２〕または〔３〕に記載の感光性組成物。
　〔５〕　上記第１樹脂が、重合性基を有する繰り返し単位を含む、〔１〕～〔４〕のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　〔６〕　上記第１樹脂のエチレン性不飽和結合当量が、０．５ｍｍｏｌ／ｇ以上である、〔５〕に記載の感光性組成物。
　〔７〕　上記第１樹脂の酸価が、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である、〔１〕～〔６〕のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　〔８〕　上記第２樹脂が、グラフト鎖を有する樹脂、または、ブロック構造を有する樹脂である、〔１〕～〔７〕のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　〔９〕　上記第２樹脂が、ポリエステル構造を有する、〔１〕～〔８〕のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　〔１０〕　上記第１樹脂の含有量が、上記感光性組成物の全固形分に対して、５質量％以下である、〔１〕～〔９〕のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　〔１１〕　上記色材が顔料を含む、〔１〕～〔１０〕のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　〔１２〕　上記顔料が無機顔料である、〔１１〕に記載の感光性組成物。
　〔１３〕　さらにシリコーン系界面活性剤を含む、〔１〕～〔１２〕のいずれか１つに記載の感光性組成物。
　〔１４〕　〔１〕～〔１３〕のいずれか１つに記載の感光性組成物を用いて形成された硬化膜。
　〔１５〕　〔１〕～〔１３〕のいずれか１つに記載の感光性組成物を用いて形成された遮光膜。
　〔１６〕　〔１４〕に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
　〔１７〕　〔１４〕に記載の硬化膜を有する光学素子。
　〔１８〕　〔１４〕に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
　〔１９〕　車載用灯具のヘッドライトユニットであって、
　光源と、
　上記光源から出射された光の少なくとも一部を遮光する遮光部とを有し、
　上記遮光部が、〔１４〕に記載の硬化膜を含む、ヘッドライトユニット。

　本発明によれば、基板との密着性に優れる硬化膜を形成でき、現像残渣の発生が抑制される感光性組成物を提供できる。
　また、本発明によれば、上記感光性組成物を用いて形成された硬化膜および遮光膜、ならびに、上記硬化膜を有するカラーフィルタ、光学素子、固体撮像素子およびヘッドライトユニットを提供できる。

　以下、本発明について詳細に説明する。
　以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされる場合があるが、本発明はそのような実施態様に制限されない。
　なお、本明細書において、「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。

　本明細書における組成物の「固形分」とは、硬化膜を形成する成分を意味し、組成物が溶剤（有機溶剤、水等）を含む場合、溶剤を除いた全ての成分を意味する。また、硬化膜を形成する成分であれば、液体状の成分も固形分とみなす。

　また、本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を含まない基と共に置換基を含む基をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を含まないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を含むアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
　また、本明細書において有機基とは、少なくとも１つの炭素原子を含む基である。

　また、本明細書中における「活性光線」または「放射線」とは、例えば、遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ：Ｅｘｔｒｅｍｅ　ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ　ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）、Ｘ線および電子線等を意味する。また、本明細書中における「光」とは、活性光線および放射線を意味する。本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、遠紫外線、Ｘ線およびＥＵＶ光等による露光のみならず、電子線およびイオンビーム等の粒子線による描画も包含する。

　また、本明細書における「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタアクリレートを意味する。本明細書における「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタアクリルを意味する。本明細書における「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルを意味する。本明細書中における「単量体」と「モノマー」とは、同義である。

　本明細書における「ｐｐｍ」は、「ｐａｒｔｓ－ｐｅｒ－ｍｉｌｌｉｏｎ（１０^－６）」を意味し、「ｐｐｂ」は「ｐａｒｔｓ－ｐｅｒ－ｂｉｌｌｉｏｎ（１０^－９）」を意味し、「ｐｐｔ」は「ｐａｒｔｓ－ｐｅｒ－ｔｒｉｌｌｉｏｎ（１０^－１２）」を意味する。

　また、本明細書における「重量平均分子量（Ｍｗ）」は、ＧＰＣ（Ｇｅｌ　Ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ　Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ：ゲル浸透クロマトグラフィー）法によるポリスチレン換算値である。
　本明細書における「ＧＰＣ法」は、測定機器としてＨＬＣ－８０２０ＧＰＣ（東ソー製）を、カラムとしてＴＳＫｇｅｌ　ＳｕｐｅｒＨＺＭ－Ｈ、ＴＳＫｇｅｌ　ＳｕｐｅｒＨＺ４０００、ＴＳＫｇｅｌ　ＳｕｐｅｒＨＺ２０００（東ソー製、４．６ｍｍＩＤ×１５ｃｍ）を、溶離液としてＴＨＦ（テトラヒドロフラン）を用いる方法を意味する。

　本明細書における表記される２価の基（例えば、－ＣＯＯ－）の結合方向は、特に断らない限り、制限されない。例えば、「Ｘ－Ｙ－Ｚ」なる式で表される化合物中の、Ｙが－ＣＯＯ－である場合、上記化合物は「Ｘ－Ｏ－ＣＯ－Ｚ」であってもよく、「Ｘ－ＣＯ－Ｏ－Ｚ」であってもよい。

　化学式中に明示される「＊」の記号は、特に断らない限り、結合位置を表す。

　本明細書において、ハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子およびヨウ素原子が挙げられる。

　本発明の感光性組成物（以下、単に「本組成物」ともいう。）は、樹脂と、色材と、光重合開始剤と、重合性化合物と、を含む感光性化合物であって、上記樹脂が後述する式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位を含み、フッ素原子を実質的に含まない第１樹脂と、上記式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位を含まない第２樹脂と、を含み、上記第１樹脂の含有量が、上記樹脂の全質量に対して、１～５０質量％である。
　本組成物が上記構成を取ることで、本発明の課題を解決できる機序は必ずしも明らかではないが、本発明者らは以下の通り推察している。
　上記特許文献１に記載の感光性着色組成物は、ポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位を持つ樹脂（以下、「第１樹脂」ともいう。）を含む組成物である。第１樹脂はポリオキシアルキレン鎖を有することで、現像残渣の抑制に寄与している。
　一方、特許文献１における樹脂の全質量に対する第１樹脂の含有量は、本組成物における樹脂の全質量に対する第１樹脂の含有量と比較すると、樹脂の全質量に対する第１樹脂の含有量が過剰なものとなっている。
　ここで、第１樹脂はポリオキシアルキレン鎖を有することから、シリコンウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう。）上の極性官能基（シラノール基等）との親和性が高く、ウエハ界面に偏在しているが、上記のように第１樹脂の含有量が過剰であると、ウエハ界面において、第１樹脂以外の構成成分が極端に少なくなり、密着性が不十分であったものと推察される。
　一方、本組成物においては、樹脂中における第１樹脂の含有量を適正化し、かつ、第２樹脂を含むことで、硬化膜と基板との密着性を低下させることなく、現像残渣を抑制できたものと本発明者らは考えている。
　また、上記第２樹脂がポリエステル構造を有する場合、第１樹脂がウエハ界面に偏在しやすく、上記の通り少ない含有量であっても、より効果的に現像残渣の抑制に寄与できるため、本発明の効果がより優れるものとなる。
　以下、硬化膜と基板との密着性がより優れること、および、現像残渣がより少ないこと、の少なくとも１つ以上の効果が得られることを、本発明の効果がより優れるともいう。
　以下、本組成物に含まれる各成分について詳述する。

［感光性組成物］
　本組成物は、樹脂を含み、上記樹脂は、第１樹脂と第２樹脂とを含む。

〔第１樹脂〕
　上記第１樹脂は、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位（以下、「繰り返し単位Ｘ」ともいう。）を含み、フッ素原子を実質的に含まない樹脂である。

＜繰り返し単位Ｘ＞
　繰り返し単位Ｘは、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する。
　－（Ｒ^１－Ｏ）_ｎ－　　　・・・式（１）

　上記式（１）中、Ｒ^１は、炭素数２または３のアルキレン基を表す。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点で、Ｒ^１としては、エチレン基または分岐鎖状のプロピレン基が好ましく、エチレン基がより好ましい。
　３つ以上のＲ^１は、それぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。例えば、全てのＲ^１がエチレン基であってもよいし、Ｒ^１がエチレン基およびプロピレン基からなる群から選択されてもよい。つまり、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖は、オキシエチレン基のみが構成されていてもよいし、オキシエチレン基とオキシプロピレン基とを含む構成であってもよい。式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖がオキシエチレン基とオキシプロピレン基とを含む場合、両者はブロック状に配置されていてもよいし、ランダム状に配置されていてもよい。

　上記式（１）中、ｎは、３～２００を表す。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点で、ｎは、４～９０が好ましく、４～５０がより好ましく、６～２５がさらに好ましい。

　上記繰り返し単位Ｘは、本発明の効果がより優れる点で、下記式（１ａ）で表される繰り返し単位であることが好ましい。

　Ｒ^１ａは、それぞれ独立に、炭素数２または３のアルキレン基を表す。
　Ｒ^１ａの好適態様としては、上記式（１）におけるＲ^１の好適態様と同様である。
　３つ以上のＲ^１ａは、それぞれ同一であってもよく、異なっていてもよい。例えば、全てのＲ^１ａが、エチレン基であってもよいし、Ｒ^１ａが、エチレン基およびプロピレン基からなる群から選択されてもよい。つまり、式（１ａ）中のポリオキシアルキレン鎖は、オキシエチレン基のみが構成されていてもよいし、オキシエチレン基とオキシプロピレン基とを含む構成であってもよい。式（１ａ）中のポリオキシアルキレン鎖がオキシエチレン基とオキシプロピレン基とを含む場合、両者はブロック状に配置されていてもよいし、ランダム状に配置されていてもよい。

　Ｒ^２ａは、水素原子または１価の有機基を表す。
　１価の有機基は特に制限されず、例えば、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、および、ヘテロアリール基が挙げられる。上記各基は、置換基をさらに有していてもよい。
　置換基は特に制限されず、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルスルファニル基、アリールスルファニル基、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、水酸基、カルボキシ基、ホルミル基、スルホ基、シアノ基、アルキルアミノカルボニル基、アリールアミノカルボニル基、スルホンアミド基、シリル基、アミノ基、モノアルキルアミノ基、ジアルキルアミノ基、アリールアミノ基、重合性基、および、これらの組み合わせが挙げられる。
　また、上記１価の有機基は、酸素原子、窒素原子、または、硫黄原子を有していてもよい。

　重合性基としては、例えば、ラジカル重合性基およびカチオン重合性基が挙げられ、エチレン性不飽和結合を有する重合性基が好ましい。
　重合性基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、エポキシ基、および、オキセタニル基が挙げられる。

　なかでも、本発明の効果がより優れる点で、Ｒ^２ａとしては、芳香環を含まない１価の有機基または水素原子が好ましく、水素原子または炭素数１～４のアルキル基がより好ましい。
　上記芳香環を含まない１価の有機基としては、例えば、置換基を有していてもよい１価の脂肪族炭化水素基が挙げられ、置換基を有していてもよいアルキル基が好ましい。
　上記アルキル基の炭素数は特に制限されず、１～２０が好ましく、１～１２がより好ましく、１～４がさらに好ましい。
　上記１価の脂肪族炭化水素基およびアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、および、環状のいずれであってもよい。

　Ｒ^３ａは、水素原子またはメチル基を表す。

　ｎは、３～２００を表す。
　ｎの好適態様としては、上記式（１）におけるｎの好適態様と同様である。

　繰り返し単位Ｘの含有量は、第１樹脂中の全繰り返し単位に対し、３０～１００質量％が好ましく、５５～９０質量％がより好ましく、５５～８０質量％がさらに好ましい。
　第１樹脂は、繰り返し単位Ｘを１種のみ含んでもよく、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

　第１樹脂は、上述した繰り返し単位Ｘ以外の他の繰り返し単位を含んでいてもよい。

＜繰り返し単位Ｙ＞
　第１樹脂は、重合性基を有する繰り返し単位（以下、単に「繰り返し単位Ｙ」ともいう。）を含んでいてもよい。繰り返し単位Ｙは、繰り返し単位Ｘとは異なる繰り返し単位である。なお、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖と重合性基との両方を有する繰り返し単位は、繰り返し単位Ｘとして解釈する。
　重合性基の種類は特に制限されず、重合性基としては、例えば、ラジカル重合性基およびカチオン重合性基が挙げられ、エチレン性不飽和結合を有する重合性基が好ましい。
　重合性基としては、より具体的には、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、スチレン基、エポキシ基、および、オキセタニル基が挙げられる。
　なお、上記スチレン基としては、例えば、下記式（Ｓ－１）で表される基が挙げられる。式（Ｓ－１）中、＊は結合位置を表す。

　上記繰り返し単位Ｙは、本発明の効果がより優れる点で、下記式（１ｂ）で表される繰り返し単位であることが好ましい。

　Ｒ^１ｂは、水素原子またはメチル基を表す。
　Ｌ^１ｂは、単結合または２価の連結基を表す。
　２価の連結基としては、アルキレン基（好ましくは炭素数１～２０のアルキレン基）、アリーレン基（好ましくは炭素数６～２０のアリーレン基）、－ＮＨ－、－ＳＯ－、－ＳＯ_２－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－、および、これらの基の２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。
　上記アルキレン基は、直鎖状または分岐鎖状のアルキレン基であることが好ましい。
　上記アルキレン基およびアリーレン基は、置換基を有していてもよく、上記置換基としては、例えば、ヒドロキシ基およびアルコキシ基が挙げられる。

　Ｌ^１ｂとしては、－ＣＯ－Ｌ^２ｂ－Ｌ^３ｂ－で表される基が好ましい。
　Ｌ^２ｂは、－Ｏ－または－ＮＨ－を表す。Ｌ^２ｂは、－Ｏ－が好ましい。
　Ｌ^３ｂは、置換基を有していてもよく、－Ｏ－、－ＯＣＯＮＨ－、－ＣＯ－、または、フェニレン基を含んでいてもよいアルキレン基を表す。置換基としては、ヒドロキシ基およびアルコキシ基が挙げられる。
　上記アルキレン基の炭素数は特に制限されないが、１～２０が好ましく、１～１０がより好ましく、１～５がさらに好ましい。
　アルキレン基は、直鎖状であってもよいし、環状構造を有していてもよい。
　Ｌ^３ｂとしては、－置換基を有していてもよいアルキレン基－Ｏ－、－置換基を有していてもよいアルキレン基－Ｌ^４ｂ－置換基を有していてもよいアルキレン基－Ｏ－、または、－（置換基を有していてもよいアルキレン基－Ｌ^５ｂ）_ｒ１－（置換基を有していてもよいアルキレン基－Ｏ）_ｒ２－が好ましい。
　Ｌ^４ｂは、－Ｏ－、または、－Ｏ－フェニレン基－ＣＯ－Ｏ－を表す。
　Ｌ^５ｂは、－ＣＯ－Ｏ－を表す。
　ｒ１およびｒ２は、それぞれ独立に、１または２を表す。
　－ＣＯ－Ｌ^２ｂ－Ｌ^３ｂ－で表される基としては、例えば、－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ_２－ＣＨ（ＯＨ）－ＣＨ_２－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ_２ＣＨ_２－ＯＣＯＮＨ－ＣＨ_２ＣＨ_２－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ_２－ＣＨ（ＯＨ）－ＣＨ_２－Ｏ－（ＣＨ_２）_４－Ｏ－が挙げられる。

　式（１ｂ）中、Ｌ^１ｂで表される２価の連結基は、オニウム塩構造を有してもよい。Ｌ^１ｂで表される２価の連結基がオニウム塩構造を有する場合、密着性は悪化しない一方で現像残渣の発生を抑制できるため好ましい。オニウム塩構造としては、第４級アンモニウム塩構造が好ましい。
　オニウム塩構造を有する、Ｌ^１ｂで表される２価の連結基としては、式（Ｏ）で表される基が好ましい。式（Ｏ）中、紙面左側の＊は、Ｒ^１ｂが結合している炭素原子との結合位置を表し、紙面右側の＊は、Ｒ^２ｂとの結合位置を表す。

　式（Ｏ）中、Ｌ^６ｂおよびＬ^７ｂは、それぞれ独立に、単結合、または置換基を有していてもよく、－Ｏ－、－ＣＯ－、もしくはフェニレン基を含んでいてもよいアルキレン基を表す。置換基としては、ヒドロキシ基およびアルコキシ基が挙げられる。
　上記アルキレン基の炭素数は特に制限されないが、１～２０が好ましく、１～１０がより好ましく、１～５がさらに好ましい。
　Ｌ^６ｂとしては、－置換基を有していてもよいアルキレン基－Ｏ－ＣＯ－アルキレン基－ＣＯ－、および、－置換基を有していてもよいアルキレン基－Ｏ－フェニレン基－ＣＯ－が挙げられる。
　Ｌ^７ｂとしては、－置換基を有していてもよいアルキレン基－Ｏ－置換基を有していてもよいアルキレン基－Ｏ－が挙げられる。
　Ｒ^３ｂは、それぞれ独立に、炭素数１～２０のアルキル基、または、＊－Ｌ^８ｂ－Ｒ^４ｂで表される基を表す。Ｌ^８ｂは、置換基を有していてもよく、－Ｏ－、－ＣＯ－または－フェニレン基－を含んでいてもよいアルキレン基を表す。置換基としては、ヒドロキシ基およびアルコキシ基が挙げられる。Ｒ^４ｂは、重合性基を表す。
　重合性基としては、上記で例示した基が挙げられる。

　Ｒ^２ｂは、重合性基を表す。
　重合性基としては、上記で例示した基が挙げられる。

　繰り返し単位Ｙの含有量は、第１樹脂中の全繰り返し単位に対し、５～７０質量％が好ましく、１０～４５質量％がより好ましく、１０～４０質量％がさらに好ましい。
　第１樹脂は、繰り返し単位Ｙを１種のみ含んでもよく、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜繰り返し単位Ｚ＞
　第１樹脂は、酸基を有する繰り返し単位（以下、単に「繰り返し単位Ｚ」ともいう。）を含んでいてもよい。繰り返し単位Ｚは、繰り返し単位ＸおよびＹとは異なる繰り返し単位である。
　酸基としては、カルボキシ基、リン酸基、スルホ基、および、フェノール性ヒドロキシ基が挙げられる。

　上記繰り返し単位Ｚは、本発明の効果がより優れる点で、下記式（１ｃ）で表される繰り返し単位であることが好ましい。

　Ｒ^１ｃは、水素原子またはメチル基を表す。
　Ｌ^ｃは、単結合または２価の連結基を表す。
　２価の連結基としては、アルキレン基（好ましくは炭素数１～１２のアルキレン基）、アリーレン基（好ましくは炭素数６～２０のアリーレン基）、－ＮＨ－、－ＳＯ－、－ＳＯ_２－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－Ｓ－、および、これらの基の２以上を組み合わせてなる基が挙げられる。
　上記アルキレン基は、直鎖状または分岐鎖状のアルキレン基であることが好ましい。
　上記アルキレン基およびアリーレン基は、置換基を有していてもよく、上記置換基としては、例えば、ヒドロキシ基およびアルコキシ基が挙げられる。

　Ｒ^２ｃは、酸基を表す。
　酸基としては、上記で例示した基が挙げられる。

　繰り返し単位Ｚの含有量は、第１樹脂中の全繰り返し単位に対し、１～１５質量％が好ましく、１～５質量％がより好ましく、０．１～２質量％がさらに好ましい。
　第１樹脂は、繰り返し単位Ｚを１種のみ含んでもよく、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

　第１樹脂は、繰り返し単位Ｘ、繰り返し単位Ｙ、および、繰り返し単位Ｚのいずれとも異なる繰り返し単位（その他の繰り返し単位）を有していてもよい。
　その他の繰り返し単位としては、例えば、下記構造式で表される繰り返し単位、および公知の（メタ）アクリレートモノマーに由来する繰り返し単位が挙げられ、公知の（メタ）アクリレートモノマーとしては、例えば、ブチルメタクリレート、および、２－ヒドロキシエチルメタクリレートが挙げられる。

　第１樹脂は、フッ素原子を実質的に含まない。
　上記「第１樹脂がフッ素原子を実質的に含まない」とは、第１樹脂全質量中のフッ素原子の含有量が２．０質量％以下であることをいう。
　第１樹脂がフッ素原子を含むと、硬化膜を形成する際に基材と第１樹脂との親和性が低下するため、基材界面に偏在する第１樹脂量が少なくなり現像残渣の増加の一因となる。
　第１樹脂中のフッ素原子の含有量は、公知の手法により測定することが可能であるが、例えば、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置（ＥＤＸ）によって測定することができる。
　具体的には、樹脂が固体である場合、下記手順にて樹脂中のフッ素原子の含有量を算出することができる。
　セルロース粉末にフッ化リチウム（ＬｉＦ）粉末を添加し十分に混合した後、加圧成型にてブリケットを作製することで標準試料を準備し、上記標準試料をＥＤＸ測定することで樹脂中のフッ素原子の含有量を算出するための検量線を作成する。
　続いて、上記同様に樹脂粉末のブリケットを作製した後、ＥＤＸ測定することで、樹脂中のフッ素原子の含有量を求めることができる。

　第１樹脂の重合性基価は、０．２ｍｍｏｌ／ｇ以上が好ましく、０．４ｍｍｏｌ／ｇ以上がより好ましく、０．５ｍｍｏｌ／ｇ以上がさらに好ましく、０．６ｍｍｏｌ／ｇ以上が特に好ましい。
　上限は、５．０ｍｍｏｌ／ｇ以下が好ましく、３．０ｍｍｏｌ／ｇ以下がより好ましく、２．０ｍｍｏｌ／ｇ以下がさらに好ましい。
　重合性基がエチレン性不飽和結合を有する重合性基である場合、上記重合性基価はエチレン性不飽和結合当量を意味する。
　特に、第１樹脂がエチレン性不飽和結合を含む重合性基を有する場合、第１樹脂のエチレン性不飽和結合当量は、本発明の効果がより優れる点で、０．５ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましい。

　第１樹脂の重合性基価とは、第１樹脂の固形分１ｇあたりの重合性基のモル量を表した数値である。第１樹脂の重合性基価は、アルカリ処理によって第１樹脂から重合性基部位の低分子成分（ａ）を取り出し、その含有量を高速液体クロマトグラフィー（ＨＰＬＣ）により測定し、下記式（Ｘ）から算出することができる。
　また、第１樹脂から重合性基部位をアルカリ処理で抽出することができない場合においては、ＮＭＲ（核磁気共鳴）法にて測定した値を用いる。
　式（Ｘ）：第１樹脂の重合性基価［ｍｍｏｌ／ｇ］＝（低分子成分（ａ）の含有量［ｐｐｍ］／低分子成分（ａ）の分子量［ｇ／ｍｏｌ］）／（第１樹脂の秤量値［ｇ］×（試料中の第１樹脂の濃度［質量％］／１００）×１０）

　第１樹脂の酸価は、本発明の効果がより優れる点で、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がさらに好ましく、０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。

　第１樹脂の重量平均分子量は、特に制限されないが、３０００～１０００００が好ましく、５０００～５００００がより好ましく、１００００～４００００がさらに好ましい。

　第１樹脂の含有量は、本組成物中の樹脂の全質量に対して、１～５０質量％である。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点で、２～３０質量％が好ましく、３～２０質量％がより好ましく、３～１５質量％がさらに好ましい。
　また、本発明の効果がより優れる点で、第１樹脂の含有量は、本組成物の全固形分に対して、５．０質量％以下が好ましく、３．０質量％以下がより好ましく、２．０質量％以下がさらに好ましい。下限としては、０．２質量％以上が好ましく、０．３質量％以上がより好ましく、１．０質量％以上がさらに好ましい。

〔第２樹脂〕
　本組成物は、樹脂を含み、上記樹脂は第２樹脂を含む。第２樹脂は、上記式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位を含まない樹脂である。
　上記第２樹脂は、後述する色材の分散剤、および、硬化膜中のバインダーとして機能しうることが好ましい。したがって、第２樹脂は、グラフト鎖を有する樹脂、または、ブロック構造を有する樹脂が好ましい。
　また、第２樹脂は、ポリエステル構造を有することも好ましい。
　第２樹脂がポリエステル構造を有する場合、第１樹脂との相溶性が低下するため、第１樹脂がより効果的に基板の界面に偏在でき、基板に対する硬化膜の密着性を低下させることなく、現像残渣の発生を抑制することができる。
　後述するように、第２樹脂は、グラフト鎖、第２樹脂中の主鎖、および、ブロック構造のいずれにポリエステル構造を含んでいてもよい。

＜グラフト鎖を有する樹脂＞
　上記グラフト鎖を有する樹脂において、グラフト鎖とは、主鎖から枝分かれして伸びるポリマー鎖であり、上記ポリマー鎖は、複数の繰り返し単位を有する。
　グラフト鎖の長さについては特に制限されないが、グラフト鎖が長くなると立体反発効果が高くなり、色材の分散性を高めることができる点で、水素原子を除いた原子数が４０～１００００であることが好ましく、水素原子を除いた原子数が５０～２０００であることがより好ましく、水素原子を除いた原子数が６０～５００であることがさらに好ましい。

　グラフト鎖は、ポリエステル構造、ポリエーテル構造、ポリ（メタ）アクリル構造、ポリスチレン構造、ポリウレタン構造、ポリウレア構造、および、ポリアミド構造からなる群から選ばれる少なくとも１種の構造を含むポリマー鎖であることが好ましく、ポリエステル構造、ポリエーテル構造、および、ポリ（メタ）アクリル構造からなる群から選ばれる少なくとも１種の構造を含むポリマー鎖であることがより好ましい。
　ポリエステル構造としては、ポリカプロラクトン構造、および、ポリバレロラクトン構造が挙げられる。
　なお、ポリカプロラクトン構造とは、ε－カプロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含む構造をいい、ポリバレロラクトン構造とは、δ－バレロラクトンを開環した構造を繰り返し単位として含む構造をいう。

　グラフト鎖を有する樹脂は、樹脂Ｐ、および、樹脂Ｑの少なくとも一方を含むことが好ましい。

・樹脂Ｐ
　樹脂Ｐは、ポリエステル構造を含むポリマー鎖であるグラフト鎖を有する繰り返し単位を含む樹脂である。
　上記グラフト鎖を有する繰り返し単位としては、例えば、式（１－１）または式（１－２）で表される繰り返し単位が挙げられる。

　式（１－１）または式（１－２）において、Ｑ^１は、式（ＱＸ１）、式（ＱＮＡ）、および、式（ＱＮＢ）のいずれかで表される基であり、Ｑ^２は、式（ＱＸ２）、式（ＱＮＡ）、および、式（ＱＮＢ）のいずれかで表される基である。
　式（ＱＸ１）、式（ＱＸ２）、式（ＱＮＡ）、および、式（ＱＮＢ）において、＊ａは主鎖側における結合位置を表し、＊ｂは側鎖側の結合位置を表す。
　式（１－１）および式（１－２）において、Ｗ^１およびＷ^２は、それぞれ独立に、単結合、酸素原子、または、ＮＨを表す。
　式（ＱＸ１）および式（ＱＸ２）において、Ｘ^１およびＸ^２は、それぞれ独立に、水素原子または１価の有機基を表し、Ｘ^１およびＸ^２は、水素原子または炭素数が１～１２のアルキル基が好ましく、水素原子またはメチル基がより好ましい。

　式（１－１）または式（１－２）において、Ｙ^１およびＹ^２は、それぞれ独立に、単結合または２価の連結基を表し、２価の連結基としては、例えば式（Ｙ－１）～式（Ｙ－２３）で表される連結基が挙げられる。

　式（Ｙ－１）～式（Ｙ－２３）において、Ａは、式（１－１）または式（１－２）におけるＷ^１またはＷ^２との結合位置を表す。Ｂは、Ａが結合するＷ^１またはＷ^２とは反対側の基との結合位置を表す。

　式（１－１）および式（１－２）において、Ｚ^１およびＺ^２は、それぞれ独立に、水素原子または１価の有機基を表す。
　上記１価の有機基の構造は、特に限定されないが、具体的には、ヒドロキシ基、アシルオキシ基（－Ｏ（Ｃ＝Ｏ）Ｒ）、アルキル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、および、アミノ基が挙げられる。
　上記アシルオキシ基、アルキル基およびアルコキシ基は、直鎖状、分岐鎖状、および環状のいずれであってもよく、置換基をさらに有していてもよい。上記置換基としては、例えば、ヒドロキシ基が挙げられる。
　上記１価の有機基の炭素数は５～２４が好ましく、６～２０がより好ましく、６～１０がさらに好ましい。
　なかでも、Ｚ^１およびＺ^２で表される１価の有機基としては、アクリロイル基、ヒドロキシ基、アシルオキシ基、または、アルコキシ基が好ましい。

　また、上記１価の有機基は重合性基を含むことも好ましい。重合性基を含む１価の有機基としては、重合性基を末端に有するアシルオキシ基、または、重合性基を末端に有するアルコキシ基が好ましい。
　上記重合性基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、エポキシ基、および、オキセタニル基が挙げられる。
　また、重合性基を有する１価の有機基としては、式（Ｗ１）で表される基、または、式（Ｗ２）で表される基も好ましい。

　式（Ｗ１）および式（Ｗ２）中、＊は結合位置を表す。
　式（Ｗ１）中のＬ^Ｗ１および式（Ｗ２）中のＬ^Ｗ２は、それぞれ独立に、単結合または２価の連結基を表す。
　２価の連結基としては、エーテル基（－Ｏ－）、カルボニル基（－ＣＯ－）、エステル基（－ＣＯＯ－）、チオエーテル基（－Ｓ－）、－ＳＯ_２－、－ＮＲ^Ｎ－（Ｒ^Ｎは、水素原子、または、アルキル基を表す。）、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基（アルキレン基、アルケニレン基（例：－ＣＨ＝ＣＨ－）、または、アルキニレン基（例：－Ｃ≡Ｃ－等）、およびアリーレン基）、－ＳｉＲ^ＳＸ _２－（Ｒ^ＳＸは、水素原子、または、置換基を表す。）、ならびに、これらを組み合わせた基が挙げられる。
　上記２価の炭化水素基の炭素数は特に制限されず、１～１０が好ましく、１～５がより好ましい。
　上記２価の炭化水素基が有していてもよい置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロアリールチオ基、および、アミノ基等が挙げられる。
　上記の２価の炭化水素基を組み合わせた基としては、例えば、－（Ｏ）_ｍ１－置換基を有していてもよい２価の炭化水素基－（Ｏ－置換基を有していてもよい２価の炭化水素基）_ｎ１－Ｏ－が挙げられる。ｍ１は、０または１を表す。ｎ１は、０～５の整数を表し、１または２が好ましい。

　式（Ｗ２）は、オニウム塩構造を有する基であり、Ｏ^－（酸素アニオン）と、Ｎ^＋（４級化された窒素カチオン）との間でイオン結合が形成される。
　式（Ｗ２）中、Ｒ^Ｗは、それぞれ独立に、アルキル基を表す。
　アルキル基の炭素数は特に制限されず、１～２０が好ましく、１～１５がより好ましい。
　なお、３つのＲ^Ｗのうち、１つのＲ^Ｗで表されるアルキル基の炭素数は１～１５が好ましく、１０～１５がより好ましく、残りの２つのＲ^Ｗで表されるアルキル基の炭素数は１～５が好ましく、１～３がより好ましい。

　式（Ｗ１）および式（Ｗ２）中、Ｚ^５は、（メタ）アクリロイル基、ビニル基、または、スチレン基を表す。

　式（１－１）および式（１－２）において、ｎおよびｍは、それぞれ独立に、２～５００の整数である。なかでも、６～２００の整数がより好ましい。
　また、式（１－１）および式（１－２）において、ｊおよびｋは、それぞれ独立に、２～８の整数を表し、本発明の効果がより優れる点で、４～６の整数が好ましく、５がより好ましい。

　グラフト鎖を有する樹脂は、互いに構造の異なる式（１－１）または式（１－２）で示される繰り返し単位を含んでいてもよく、また、側鎖中にｊおよびｋが互いに異なる構造を含んでいてもよい。

・樹脂Ｑ
　樹脂Ｑは、式（ｂ－１０）で表される繰り返し単位を含む樹脂である。

　式（ｂ－１０）中、Ａｒ^１０は芳香族カルボキシ基を含む基を表し、Ｌ^１１は、カルボニル基を表し、Ｌ^１２は３価の連結基を表し、Ｐ^１０はポリマー鎖を表す。
　なお、本明細書において、芳香族カルボキシ基とは、芳香環にカルボキシ基が１個以上結合した構造の基のことである。芳香族カルボキシ基において、芳香環に結合したカルボキシ基の数は、１～４個であることが好ましく、１～２個であることがより好ましい。

　Ａｒ^１０で表される、芳香族カルボキシ基を含む基の具体例としては、式（Ａｒ－１）で表される基、式（Ａｒ－２）で表される基、および、式（Ａｒ－３）で表される基等が挙げられる。

　式（Ａｒ－１）中、ｎ１は１～４の整数を表し、１～２の整数が好ましく、２がより好ましい。
　式（Ａｒ－２）中、ｎ２は１～８の整数を表し、１～４の整数が好ましく、１～２がより好ましく、２がさらに好ましい。
　式（Ａｒ－３）中、ｎ３およびｎ４はそれぞれ独立して０～４の整数を表し、０～２の整数が好ましく、１～２がより好ましく、１がさらに好ましい。ただし、ｎ３およびｎ４の少なくとも一方は１以上の整数である。
　式（Ａｒ－３）中、Ｑ^１は、単結合、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯＣＨ_２ＣＨ_２ＯＣＯ－、－ＳＯ_２－、－Ｃ（ＣＦ_３）_２－、下記式（Ｑ－１）で表される基、または、下記式（Ｑ－２）で表される基を表す。

　式（ｂ－１０）中、Ｌ^１２が表す３価の連結基としては、炭化水素基、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨ－、－Ｓ－およびこれらの２種以上を組み合わせた基が挙げられる。炭化水素基は、脂肪族炭化水素基、および、芳香族炭化水素基が挙げられる。また、炭化水素基は置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシ基等が挙げられる。
　上記脂肪族炭化水素基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～２０がより好ましく、１～１５がさらに好ましい。脂肪族炭化水素基は、直鎖状、分岐鎖状、および、環状のいずれでもよい。
　上記芳香族炭化水素基の炭素数は、６～３０が好ましく、６～２０がより好ましく、６～１０がさらに好ましい。

　Ｌ^１２が表す３価の連結基としては、なかでも、下記式（Ｌ１２－１）で表される基が好ましく、式（Ｌ１２－２）で表される基がより好ましい。

　Ｌ^１２ａおよびＬ^１２ｂはそれぞれ３価の連結基を表し、Ｘ^１はＳ（硫黄原子）を表し、＊は式（ｂ－１０）のＬ^１１との結合位置を表し、＊＊は式（ｂ－１０）のＰ^１０との結合位置を表す。
　Ｌ^１２ａおよびＬ^１２ｂが表す３価の連結基としては、３価の炭化水素基、ならびに、炭化水素基と、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨ－および－Ｓ－から選ばれる少なくとも１種とを組み合わせた基等が挙げられる。
　なかでも、上記３価の炭化水素基としては、３価の脂肪族炭化水素基が好ましい。また、上記３価の炭化水素基の炭素数は１～１０が好ましく、１～６がより好ましく、１～３がさらに好ましい。

　式（ｂ－１０）においてＰ^１０はポリマー鎖を表す。ポリマー鎖は、ポリエステル構造、ポリエーテル構造、ポリ（メタ）アクリル構造、ポリスチレン構造、ポリウレタン構造、ポリウレア構造、および、ポリアミド構造から選ばれる少なくとも１種の構造を有することが好ましい。
　ポリマー鎖の重量平均分子量は、５００～２００００が好ましい。下限は５００以上が好ましく、１０００以上がより好ましい。上限は１００００以下が好ましく、５０００以下がより好ましく、３０００以下がさらに好ましい。

　上述した式（ｂ－１０）で表される繰り返し単位を含む樹脂は、国際公開第２０２０／０４４７２０号の段落［００５９］～［００６１］に記載の合成方法にて合成できる。

　樹脂Ｑの重量平均分子量は、２０００～３５０００が好ましい。上限は２５０００以下が好ましく、２００００以下がより好ましく、１５０００以下がさらに好ましい。下限は、４０００以上が好ましく、６０００以上がより好ましく、７０００以上がさらに好ましい。

　樹脂Ｑの酸価は、５～２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。上限は１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がさらに好ましい。下限は１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、１５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がさらに好ましい。

＜ブロック構造を有する樹脂＞
　上記ブロック構造を有する樹脂とは、単一の繰り返し単位が連なって形成されるブロック構造を有する樹脂である。
　ブロック構造を有する樹脂は、２種のブロック構造を含んでいてもよいし、３種以上のブロック構造を含んでいてもよい。

　ブロック構造を有する樹脂としては、塩基性基を有する繰り返し単位Ａからなるブロック構造Ｒ１と、塩基性基を含まず、アルキル基を含む繰り返し単位Ｂからなるブロック構造Ｒ２とを含む樹脂が好ましい。
　塩基性基は、上述した色材と相互作用し得る基である。
　上記塩基性基としては、例えば、第１級アミノ基、第２級アミノ基、第３級アミノ基および第４級アンモニウム塩基が挙げられる。
　上記繰り返し単位Ａとしては、例えば、式（２－１）で表される繰り返し単位が挙げられ、上記繰り返し単位Ｂとしては、例えば、式（２－２）で表される繰り返し単位が挙げられる。

　上記式（２－１）および式（２－２）中、
　Ｒ^ｂ－１およびＲ^ｂ－２は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数１～４のアルキル基を表す。
　Ｌ^ｂ－１およびＬ^ｂ－２は、それぞれ独立に、単結合または２価の連結基を表す。
　上記式（２－１）中、Ｂは、塩基性基を表す。
　上記式（２－２）中、Ａは、アルキル基を表す。

　Ｒ^ｂ－１またはＲ^ｂ－２で表される炭素数１～４のアルキル基としては、直鎖状の炭素数１～４のアルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。

　Ｌ^ｂ－１またはＬ^ｂ－２で表される２価の連結基としては、エーテル基（－Ｏ－）、カルボニル基（－ＣＯ－）、エステル基（－ＣＯＯ－）、チオエーテル基（－Ｓ－）、－ＳＯ_２－、－ＮＲ^Ｎ－（Ｒ^Ｎは、水素原子、または、アルキル基を表す。）、置換基を有していてもよい２価の炭化水素基（例えば、アルキレン基、アルケニレン基（例：－ＣＨ＝ＣＨ－等）、アルキニレン基（例：－Ｃ≡Ｃ－等）、および、アリーレン基が挙げられる。）、ならびに、これらを組み合わせた基が挙げられる。
　上記２価の炭化水素基の炭素数は特に制限されず、１～１０が好ましく、１～５がより好ましい。

　式（２－１）中、Ｂで表される塩基性基は上述した通りであり、第３級アミノ基が好ましい。上記第３級アミノ基としては、例えば、ジメチルアミノ基が挙げられる。
　式（２－２）中、Ａで表されるアルキル基は、直鎖状、分岐鎖状、および、環状のいずれであってもよい。なかでも、直鎖状のアルキル基が好ましく、炭素数１～１０の直鎖状のアルキル基が好ましく、炭素数１～６の直鎖状のアルキル基がより好ましい。

　上記樹脂としては特開２０１４－２１９６６５号公報の段落［００６３］～［０１１２］に記載されたブロック共重合体（Ｂ）、特開２０１８－１５６０２１号公報の段落［００４６］～［００７６］に記載されたブロック共重合体Ａ１を用いることもでき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　第２樹脂としては、上記グラフト鎖を有する樹脂およびブロック構造を有する樹脂のほか、ポリイミド樹脂も好ましい。
　ポリイミド樹脂は、アルカリ可溶性の樹脂であり、第２樹脂としてポリイミド樹脂を含むことで、現像残渣の発生がより抑制される感光性組成物を得られるため好ましい。
　ポリイミド樹脂としては、例えば、国際公開第２００８／１２３０９７号に記載のポリイミド樹脂、および、国際公開第２０２０／２０３０８０号の段落［０１８６］～［０１９３］に記載のポリイミド前駆体を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　第２樹脂の酸価は、本発明の効果がより優れる点で、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がさらに好ましい。下限は特に制限されないが、０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましい。

　第２樹脂の含有量は、本組成物中の樹脂の全質量に対して、５０～９８質量％が好ましく、７０～９８質量％がより好ましく、８０～９７質量％がさらに好ましく、８５～９７質量％が特に好ましい。
　また、第２樹脂の含有量は、本組成物の全固形分に対して、１５．０～３０．０質量％が好ましく、１７．０～２５．０質量％がより好ましい。

〔第３樹脂〕
　本組成物は、樹脂を含み、上記樹脂は第３樹脂を含んでいてもよい。第３樹脂は、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位を含み、フッ素原子を含む樹脂である。
　第３樹脂の含有量は、本発明の効果がより優れる点で、本組成物中の樹脂の全質量に対して、０～５質量％が好ましく、０～２質量％がより好ましく、０～０．５質量％がさらに好ましい。

　本組成物中における樹脂の含有量は、組成物の全固形分に対して、５～３０質量％が好ましく、１０～２５質量％が好ましく、１０～２０質量％がより好ましい。
　組成物は樹脂を１種のみ含んでもよく、２種以上含んでもよい。２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

〔色材〕
　本組成物は、色材を含む。
　色材としては、例えば、有彩色着色剤、無彩色着色剤および赤外線吸収剤が挙げられる。本発明において、有彩色着色剤とは、白色着色剤および黒色着色剤以外の着色剤を意味する。有彩色着色剤は、波長４００ｎｍ以上６５０ｎｍ未満の範囲に吸収を有する着色剤が好ましい。
　色材は、顔料を含むことが好ましく、無機顔料を含むことがより好ましい。
　なかでも、色材としては、有彩色着色剤および無彩色着色剤からなる群から選択される少なくとも１種が好ましく、有彩色着色剤および黒色着色剤からなる群から選択される少なくとも１種がより好ましく、有機顔料の有彩色着色剤および無機顔料の黒色着色剤からなる群から選択される少なくとも１種がさらに好ましく、カーボンブラック以外の無機顔料の黒色着色剤が特に好ましい。

＜有彩色着色剤＞
　有彩色着色剤としては、赤色着色剤、緑色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤およびオレンジ色着色剤が挙げられる。有彩色着色剤は、例えば、顔料および染料が挙げられ、なかでも、顔料が好ましく、有機顔料がより好ましい。
　有彩色着色剤中における顔料の含有量は、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましく、８０質量％以上がさらに好ましく、９０質量％以上が特に好ましい。上限は、１００質量％以下が好ましい。
　上記顔料としては、無機顔料または有機－無機顔料の一部を有機発色団で置換した材料を用いることもできる。無機顔料または有機－無機顔料を有機発色団で置換することで、色相設計をしやすくできる。

　上記顔料の平均一次粒子径は、１～２００ｎｍが好ましい。下限は５ｎｍ以上がより好ましく、１０ｎｍ以上がさらに好ましい。上限は、１８０ｎｍ以下がより好ましく、１５０ｎｍ以下がさらに好ましく、１００ｎｍ以下が特に好ましい。
　顔料の平均一次粒子径が上記範囲であれば、組成物中における顔料の分散安定性が良好である。上記顔料の平均一次粒子径の測定方法は、特開２０２１－００７０３７号公報の段落［０１３３］を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　有彩色着色剤として用いられる顔料としては、以下が挙げられる。
　カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ（ピグメント）　Ｙｅｌｌｏｗ　１，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４，２１５，２２８，２３１，２３２（メチン系），２３３（キノリン系），２３４（アミノケトン系），２３５（アミノケトン系），２３６（アミノケトン系）等（以上、黄色顔料）；
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｏｒａｎｇｅ　２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）；
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｒｅｄ　１，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２６９，２７０，２７２，２７９，２９４（キサンテン系、Ｏｒｇａｎｏ　Ｕｌｔｒａｍａｒｉｎｅ、Ｂｌｕｉｓｈ　Ｒｅｄ），２９５（アゾ系），２９６（アゾ系），２９７（アミノケトン系）等（以上、赤色顔料）；
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ　７，１０，３６，３７，５８，５９，６２，６３，６４（フタロシアニン系），６５（フタロシアニン系），６６（フタロシアニン系）等（以上、緑色顔料）；
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｖｉｏｌｅｔ　１，１９，２３，２７，３２，３７，４２，６０（トリアリールメタン系），６１（キサンテン系）等（以上、紫色顔料）；
　Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌｕｅ　１，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，２９，６０，６４，６６，７９，８０，８７（モノアゾ系），８８（メチン系）等（以上、青色顔料）。
　上記のほか好ましい顔料としては、特開２０２１－００７０３７号公報の段落［０１３６］～［０１４１］を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　有彩色着色剤として、染料を用いることもできる。染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。例えば、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、および、ピロメテン系等の染料が挙げられる。
　上記のほか好ましい染料としては、特開２０２１－００７０３７号公報の段落［０１４２］を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

＜無彩色着色剤＞
　無彩色着色剤としては、例えば、黒色着色剤および白色着色剤が挙げられ、黒色着色剤が好ましい。

（黒色着色剤）
　黒色着色剤としては、黒色顔料および黒色染料からなる群から選択される１種以上が挙げられる。
　また、単独では黒色着色剤として使用できない着色剤を複数組み合わせ、全体として黒色になるように調整して黒色着色剤としてもよい。
　例えば、単独では黒色以外の色を有する顔料を複数組み合わせて黒色顔料として使用してもよい。同様に、単独では黒色以外の色を有する染料を複数組み合わせて黒色染料として使用してもよく、単独では黒色以外の色を有する顔料と単独では黒色以外の色を有する染料とを組み合わせて黒色染料として使用してもよい。

　本明細書において、黒色着色剤とは、波長４００～７００ｎｍの全ての範囲にわたって吸収がある色材を意味する。
　より具体的には、例えば、以下に説明する評価基準Ｚに適合する黒色着色剤が好ましい。
　まず、色材と、透明な樹脂マトリックス（アクリル樹脂等）と、溶剤とを含み、全固形分に対する色材の含有量が６０質量％である組成物を調製する。得られた組成物を、ガラス基板上に、乾燥後の硬化膜の膜厚が１μｍになるように塗布し、硬化膜を形成する。乾燥後の硬化膜の遮光性を、分光光度計（日立株式会社製ＵＶ－３６００等）を用いて評価する。乾燥後の硬化膜の波長４００～７００ｎｍにおける透過率の最大値が１０％未満であれば、上記色材は評価基準Ｚに適合する黒色着色剤であると判断できる。黒色着色剤は、評価基準Ｚにおいて、乾燥後の硬化膜の波長４００～７００ｎｍにおける透過率の最大値が８％未満であることがより好ましく、５％未満であることがさらに好ましい。

・黒色顔料
　黒色顔料としては、各種公知の黒色顔料を使用できる。黒色顔料は、無機顔料であっても有機顔料であってもよい。
　黒色着色剤は、遮光膜の耐光性がより優れる点から、黒色顔料が好ましく、無機顔料がより好ましい。

　黒色顔料としては、単独で黒色を発現する顔料が好ましく、単独で黒色を発現し、かつ、赤外線を吸収する顔料がより好ましい。
　ここで、赤外線を吸収する黒色顔料は、例えば、赤外領域（好ましくは、波長６５０～１３００ｎｍ）の波長領域に吸収を有する。波長６７５～９００ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有する黒色顔料も好ましい。

　黒色顔料の粒子径は、特に制限されないが、ハンドリング性と組成物の経時安定性（黒色顔料が沈降しない）とのバランスがより優れる点から、５～１００ｎｍが好ましく、５～５０ｎｍがより好ましく、５～３０ｎｍがさらに好ましい。
　なお、本明細書において黒色顔料の粒子径は、特開２０２１－００７０３７号公報の段落［０１４９］に記載の方法により測定した粒子の平均一次粒子径を意味する。

・黒色着色剤として使用される無機顔料
　黒色着色剤として使用される無機顔料としては、遮光性を有し、無機化合物を含む粒子であれば、特に制限されないが、公知の無機顔料が使用できる。
　遮光膜の低反射性および遮光性がより優れる点から、黒色着色剤としては、無機顔料が好ましい。

　無機顔料としては、チタン（Ｔｉ）およびジルコニウム（Ｚｒ）等の第４族の金属元素、バナジウム（Ｖ）およびニオブ（Ｎｂ）等の第５族の金属元素、イットリウム（Ｙ）、アルミニウム（Ａｌ）、コバルト（Ｃｏ）、クロム（Ｃｒ）、銅（Ｃｕ）、マンガン（Ｍｎ）、ルテニウム（Ｒｕ）、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、錫（Ｓｎ）、ならびに、銀（Ａｇ）からなる群から選択される１種または２種以上の金属元素を含む、金属酸化物、金属窒化物および金属酸窒化物が挙げられる。
　なかでも、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、バナジウム（Ｖ）、イットリウム（Ｙ）、アルミニウム（Ａｌ）および鉄（Ｆｅ））からなる群から選択される１種または２種以上の金属元素を含む、金属酸化物、金属窒化物および金属酸窒化物が好ましい。つまり、無機顔料は、２種以上の金属原子を含んでいてもよい。
　上記金属酸化物、金属窒化物および金属酸窒化物としては、さらに他の金属原子が混在した粒子を使用してもよい。上記としては、例えば、さらに周期表１３～１７族元素から選択される原子（好ましくは酸素原子、および／または、硫黄原子）を含む金属窒化物含有粒子が使用できる。
　また、上記金属酸化物、金属窒化物および金属酸窒化物は、無機物および／または有機物で被覆していてもよい。
　上記無機物としては、上記無機顔料に含まれる金属原子が挙げられる。
　上記有機物としては、上記疎水性基を有する有機物が挙げられ、シラン化合物が好ましい。

　上記の金属窒化物、金属酸化物または金属酸窒化物の製造方法としては、所望とする物性を有する黒色顔料が得られるものであれば、特に制限されないが、気相反応法等の公知の製造方法を使用できる。気相反応法としては、電気炉法、および、熱プラズマ法等が挙げられるが、不純物の混入が少なく、粒子径が揃いやすく、また、生産性が高い点から、熱プラズマ法が好ましい。
　上記の金属窒化物、金属酸化物または金属酸窒化物には、表面修飾処理が施されていてもよい。例えば、シリコーン基とアルキル基とを併せ持つ表面処理剤で表面修飾処理が施されていてもよい。そのような無機粒子としては、「ＫＴＰ－０９」シリーズ（信越化学工業社製）が挙げられる。

　なかでも、硬化膜を形成する際のアンダーカットの発生を抑制できる点から、チタン、バナジウム、ジルコニウム、ニオブおよび鉄からなる群から選択される１種以上の金属の窒化物または酸窒化物がより好ましい。
　また、硬化膜の耐湿性がより優れる点から、チタン、バナジウム、ジルコニウムおよび鉄からなる群から選択される１種以上の金属の酸窒化物がさらに好ましく、酸窒化ジルコニウムまたは酸窒化チタン（チタンブラック）が特に好ましい。

　チタンブラックは、酸窒化チタンを含む黒色粒子である。
　チタンブラックは、分散性向上、凝集性抑制等の目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能である。チタンブラックは、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、または、酸化ジルコニウムで被覆することが可能であり、また、特開２００７－３０２８３６号公報に表されるような撥水性物質での処理も可能である。

　チタンブラックの粒子径は、特に制限されないが、１０～４５ｎｍが好ましく、１２～２０ｎｍがより好ましい。チタンブラックの比表面積は、特に制限されないが、撥水化剤で表面処理した後の撥水性が所定の性能となるために、ＢＥＴ（Ｂｒｕｎａｕｅｒ，Ｅｍｍｅｔｔ，Ｔｅｌｌｅｒ）法にて測定した値が５～１５０ｍ^２／ｇが好ましく、２０～１００ｍ^２／ｇがより好ましい。

　チタンブラックとしては、例えば、チタンブラック１０Ｓ、１２Ｓ、１３Ｒ、１３Ｍ、１３Ｍ－Ｃ、１３Ｒ、１３Ｒ－Ｎ、１３Ｍ－Ｔ（商品名、三菱マテリアル株式会社製）、ティラック（Ｔｉｌａｃｋ）Ｄ（商品名、赤穂化成株式会社製）、および、ＭＴ－１５０Ａ（商品名、テイカ株式会社製）が挙げられる。

　組成物は、チタンブラックを、チタンブラックおよびＳｉ原子を含む被分散体として含むことも好ましい。この形態において、チタンブラックは、組成物中において被分散体として含まれる。被分散体中のＳｉ原子とＴｉ原子との含有比（Ｓｉ／Ｔｉ）が質量換算で０．０５～０．５であることが好ましく、０．０７～０．４であることがより好ましい。ここで、上記被分散体は、チタンブラックが一次粒子の状態であるもの、凝集体（二次粒子）の状態であるものの双方を包含する。
　また、被分散体のＳｉ／Ｔｉが所定値以上であれば、被分散体を使用した組成物層を光リソグラフィー等によりパターニングした際に、除去部に残渣が残りにくくなり、被分散体のＳｉ／Ｔｉは所定値以下であれば遮光機能が良好になりやすい。
　上記Ｓｉ／Ｔｉを変更する（例えば０．０５以上とする）方法としては、特開２０２１－００７０３７号公報の段落［０１６６］を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　チタンブラックおよびＳｉ原子を含む被分散体において、チタンブラックは、上記したものを使用できる。また、この被分散体においては、チタンブラックと共に、分散性、着色性等を調整する目的で、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｎ、ＶおよびＮｉ等から選択される複数の金属の複合酸化物、酸化コバルト、酸化鉄、カーボンブラック、ならびに、アニリンブラック等からなる黒色顔料を、１種または２種以上を組み合わせて、被分散体として併用してもよい。この場合、全被分散体中の５０質量％以上をチタンブラックからなる被分散体が占めることが好ましい。

　無機顔料としては、例えば、アルミニウムを含む窒化ジルコニウムも挙げられる。
　アルミニウムを含むジルコニウムとしては、アルミナで被覆された窒化ジルコニウムが好ましい。窒化ジルコニウムがアルミナで被覆されることで、耐湿性が向上する。

　無機顔料としては、例えば、イットリウムを含む窒化ジルコニウムも挙げられる。
　組成物がイットリウムを含む窒化ジルコニウムを含む場合、ｉ線透過率を保ちつつ、可視遮光性を向上できる。
　上記のほか、無機顔料としては、例えば、特開２０１７－２２２５５９号公報、国際公開第２０１９／１３０７７２号、国際公開第２０１９／０５９３５９号および特開２００９－０９１２０５号公報のジルコニウムが挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　無機顔料としては、カーボンブラックも挙げられる。
　カーボンブラックとしては、例えば、ファーネスブラック、チャンネルブラック、サーマルブラック、アセチレンブラックおよびランプブラックが挙げられる。
　カーボンブラックとしては、オイルファーネス法等の公知の方法で製造されたカーボンブラックを使用してもよく、市販品を使用してもよい。
　カーボンブラックの市販品の具体例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１等の有機顔料、および、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７等の無機顔料が挙げられる。

　カーボンブラックとしては、表面処理がされたカーボンブラックが好ましい。表面処理により、カーボンブラックの粒子表面状態を改質でき、組成物中での分散安定性を向上させることができる。
　表面処理としては、樹脂による被覆処理、酸性基を導入する表面処理、および、シランカップリング剤による表面処理が挙げられ、なかでも、樹脂による被覆処理が好ましい。樹脂による被覆処理がされたカーボンブラックは、特開２０２１－００７０３７号公報の段落［０１７０］を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

・黒色着色剤として使用される有機顔料
　黒色着色剤として使用される有機顔料としては、遮光性を有し、有機化合物を含む粒子であれば、特に制限されないが、公知の有機顔料が使用できる。
　本発明において、有機顔料としては、例えば、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物、および、アゾ系化合物が挙げられ、ビスベンゾフラノン化合物またはペリレン化合物が好ましい。

　ビスベンゾフラノン化合物としては、特表２０１０－５３４７２６号公報、特表２０１２－５１５２３３号公報、および、特表２０１２－５１５２３４号公報に記載された化合物が挙げられる。ビスベンゾフラノン化合物は、ＢＡＳＦ社製の「Ｉｒｇａｐｈｏｒ　Ｂｌａｃｋ」（商品名）として入手可能である。
　ペリレン化合物としては、特開昭６２－００１７５３号公報、および、特公昭６３－０２６７８４号公報に記載された化合物が挙げられる。ペリレン化合物は、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌａｃｋ　２１、３０、３１、３２、３３、および３４として入手可能である。

・黒色染料
　黒色染料としては、単独で黒色を発現する染料が使用でき、例えば、ピラゾールアゾ化合物、ピロメテン化合物、アニリノアゾ化合物、トリフェニルメタン化合物、アントラキノン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、および、ピロロピラゾールアゾメチン化合物を使用できる。
　また、黒色染料としては、特開２０２１－００７０３７号公報の段落［０１７７］に記載の化合物を参照でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　これらの黒色染料の具体例としては、ソルベントブラック２７～４７のカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）で規定される染料が挙げられ、ソルベントブラック２７、２９または３４のＣ．Ｉ．で規定される染料が好ましい。
　また、これらの黒色染料の市販品としては、スピロン　Ｂｌａｃｋ　ＭＨ、Ｂｌａｃｋ　ＢＨ（以上、保土谷化学工業株式会社製）、ＶＡＬＩＦＡＳＴ　Ｂｌａｃｋ　３８０４、３８１０、３８２０、３８３０（以上、オリエント化学工業株式会社製）、Ｓａｖｉｎｙｌ　Ｂｌａｃｋ　ＲＬＳＮ（以上、クラリアント社製）、ＫＡＹＡＳＥＴ　Ｂｌａｃｋ　Ｋ－Ｒ、Ｋ－ＢＬ（以上、日本化薬株式会社製）等の染料が挙げられる。

　また、黒色染料としては色素多量体を用いてもよい。色素多量体としては、特開２０１１－２１３９２５号公報、および、特開２０１３－０４１０９７号公報に記載されている化合物が挙げられる。また、分子内に重合性を有する重合性染料を用いてもよく、市販品としては、例えば、和光純薬工業社製ＲＤＷシリーズが挙げられる。
　さらに、上述の通り、単独では黒色以外の色を有する染料を複数組み合わせて黒色染料として使用してもよい。このような着色染料としては、例えば、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、および、Ｂ（ブルー）等の有彩色系の染料（有彩色染料）の他、特開２０１４－０４２３７５の段落［００２７］～［０２００］に記載の染料も使用できる。

（白色着色剤）
　白色着色剤としては、白色顔料および白色染料からなる群から選択される１種以上が挙げられ、耐候性等の観点から、白色顔料であるのが好ましい。
　白色顔料としては、例えば、酸化チタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、シリカ、タルク、マイカ、水酸化アルミニウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸アルミニウム、中空樹脂粒子、および、硫化亜鉛が挙げられる。白色顔料は、チタン原子を有する粒子が好ましく、酸化チタンがより好ましい。
　酸化チタンとしては「酸化チタン　物性と応用技術　清野学著　１９９１年６月２５日発行　技報堂出版発行」に記載の酸化チタンも好適に使用できる。
　また、白色顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｗｈｉｔｅ　１，３，６，１６，１８，２１を用いることができる。

＜赤外線吸収剤＞
　赤外線吸収剤は、赤外領域（好ましくは、波長６５０～１３００ｎｍ）の波長領域に吸収を有する化合物を意味する。赤外線吸収剤としては、波長６７５～９００ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有する化合物が好ましい。
　このような分光特性を有する着色剤としては、例えば、ピロロピロール化合物、銅化合物、シアニン化合物、フタロシアニン化合物、イミニウム化合物、チオール錯体系化合物、遷移金属酸化物系化合物、スクアリリウム化合物、ナフタロシアニン化合物、クオタリレン化合物、ジチオール金属錯体系化合物、および、クロコニウム化合物が挙げられる。
　フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、イミニウム化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、および、クロコニウム化合物は、特開２０１０－１１１７５０号公報の段落［００１０］～［００８１］に開示の化合物を使用してもよく、この内容は本明細書に組み込まれる。
　シアニン化合物は、例えば、「機能性色素、大河原信／松岡賢／北尾悌次郎／平嶋恒亮・著、講談社サイエンティフィック」を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　上記分光特性を有する着色剤として、特開平０７－１６４７２９号公報の段落［０００４］～［００１６］に開示の化合物および／または特開２００２－１４６２５４号公報の段落［００２７］～［００６２］に開示の化合物、特開２０１１－１６４５８３号公報の段落［００３４］～［００６７］に開示のＣｕおよび／またはＰを含む酸化物の結晶子からなり数平均凝集粒子径が５～２００ｎｍである近赤外線吸収粒子を使用することもできる。

　波長６７５～９００ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有する化合物としては、シアニン化合物、ピロロピロール化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、および、ナフタロシアニン化合物からなる群から選択される少なくとも１種が好ましい。
　また、赤外線吸収剤は、２５℃の水に１質量％以上溶解する化合物が好ましく、２５℃の水に１０質量％以上溶解する化合物がより好ましい。このような化合物を用いることで、耐溶剤性が良化する。
　シアニン化合物、ピロロピロール化合物、および、スクアリリウム化合物は特開２０２１－００７０３７号公報の段落［０１８３］を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　色材は、１種単独で使用してもよく、２種以上を使用してもよい。
　色材の含有量は、組成物の全固形分に対して、３０～８０質量％が好ましい。下限値としては、４０質量％以上がより好ましく、４４質量％以上がさらに好ましく、４８質量％以上が特に好ましい。上限値としては、パターン形状の精度がより向上する点から、７０質量％以下がより好ましく、６５質量％以下がさらに好ましい。色材を２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

〔光重合開始剤〕
　本組成物は、光重合開始剤を含む。
　光重合開始剤としては、例えば、公知の光重合開始剤を使用できる。光重合開始剤としては、光ラジカル重合開始剤が好ましい。

　光重合開始剤としては、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物等）、アシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、α－ヒドロキシケトン化合物、および、α－アミノケトン化合物が挙げられる。
　光重合開始剤としては、露光感度の点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン－ベンゼン－鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物または３－アリール置換クマリン化合物が好ましく、オキシム化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物およびアシルホスフィン化合物から選ばれる化合物がより好ましく、オキシム化合物がさらに好ましい。
　光重合開始剤としては、特開２０１４－１３０１７３号公報の段落［００６５］～［０１１１］、特許第６３０１４８９号公報に記載された化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

　α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物の市販品としては、特開２０２１－００７０３７号公報の段落［０２２０］を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　オキシム化合物としては、特開２００１－２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００－０８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ　ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１６５３－１６６０）に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ　ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１５６－１６２）に記載の化合物、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２－２３２）に記載の化合物、特開２０００－０６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００－０８００６８号公報に記載の化合物、特表２００４－５３４７９７号公報に記載の化合物、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物、特開２０１７－０１９７６６号公報に記載の化合物、特許第６０６５５９６号公報に記載の化合物、国際公開第２０１５／１５２１５３号に記載の化合物、国際公開第２０１７／０５１６８０号に記載の化合物、特開２０１７－１９８８６５号公報に記載の化合物、国際公開第２０１７／１６４１２７号の段落［００２５］～［００３８］に記載の化合物、国際公開第２０１３／１６７５１５号に記載の化合物、国際公開第２０１９／０８８０５５号に記載の化合物が挙げられる。
　オキシム化合物としては、例えば、３－ベンゾイルオキシイミノブタン－２－オン、３－アセトキシイミノブタン－２－オン、３－プロピオニルオキシイミノブタン－２－オン、２－アセトキシイミノペンタン－３－オン、２－アセトキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、２－ベンゾイルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、３－（４－トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン－２－オンおよび２－エトキシカルボニルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オンが挙げられる。
　市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）、ＴＲ－ＰＢＧ－３０４（常州強力電子新材料有限公司製）、アデカオプトマーＮ－１９１９（（株）ＡＤＥＫＡ製、特開２０１２－０１４０５２号公報に記載の光重合開始剤２）が挙げられる。
　また、オキシム化合物としては、着色性が無い化合物および透明性が高く変色し難い化合物を用いることも好ましい。市販品としては、アデカアークルズＮＣＩ－７３０、ＮＣＩ－８３１、ＮＣＩ－９３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）が挙げられる。

　本発明において、光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物としては、例えば、特開２０１４－１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。

　また、光重合開始剤として、カルバゾール環の少なくとも１つのベンゼン環がナフタレン環となった骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。そのようなオキシム化合物としては、例えば、国際公開第２０１３／０８３５０５号に記載の化合物が挙げられる。

　本発明において、光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物としては、例えば、特開２０１０－２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４－５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６～４０、特開２０１３－１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ－３）が挙げられる。

　本発明において、光重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３－１１４２４９号公報の段落［００３１］～［００４７］、特開２０１４－１３７４６６号公報の段落［０００８］～［００１２］、［００７０］～［００７９］に記載されている化合物、特許４２２３０７１号公報の段落［０００７］～［００２５］に記載されている化合物およびアデカアークルズＮＣＩ－８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）が挙げられる。

　本発明における光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開第２０１５／０３６９１０号に記載されるＯＥ－０１～ＯＥ－７５が挙げられる。

　本発明において好ましく使用されるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。

　オキシム化合物は、波長３５０～５００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、波長３６０～４８０ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物がより好ましい。また、オキシム化合物の波長３６５ｎｍまたは波長４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の点から、高いことが好ましく、１０００～３０００００が好ましく、２０００～３０００００がより好ましく、５０００～２０００００がさらに好ましい。
　化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定できる。例えば、分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｙ－５　ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチル溶媒を用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。

　光重合開始剤としては、２官能または３官能以上の光ラジカル重合開始剤を用いてもよい。そのような光ラジカル重合開始剤を用いることにより、光ラジカル重合開始剤の１分子から２つ以上のラジカルが発生するため、良好な感度が得られる。また、非対称構造の化合物を用いた場合においては、結晶性が低下して溶剤等への溶解性が向上して、経時で析出しにくくなり、組成物の経時安定性を向上させることができる。
　２官能または３官能以上の光ラジカル重合開始剤としては、例えば、特表２０１０－５２７３３９号公報、特表２０１１－５２４４３６号公報、国際公開第２０１５／００４５６５号、特表２０１６－５３２６７５号公報の段落［０４０７］～［０４１２］、国際公開第２０１７／０３３６８０号の段落［００３９］～［００５５］に記載されているオキシム化合物の２量体、特表２０１３－５２２４４５号公報に記載されている化合物（Ｅ）および化合物（Ｇ）、国際公開第２０１６／０３４９６３号に記載されているＣｍｐｄ１～７、特表２０１７－５２３４６５号公報の段落［０００７］に記載されているオキシムエステル類光重合開始剤、特開２０１７－１６７３９９号公報の段落［００２０］～［００３３］に記載されている光重合開始剤、特開２０１７－１５１３４２号公報の段落［００１７］～［００２６］に記載されている光重合開始剤（Ａ）が挙げられる。

　光重合開始剤は、オキシム化合物とα－アミノケトン化合物とを含むことも好ましい。両者を併用することで、現像性が向上し、矩形性に優れたパターンを形成しやすい。オキシム化合物とα－アミノケトン化合物とを併用する場合、オキシム化合物１００質量部に対して、α－アミノケトン化合物が５０～６００質量部が好ましく、１５０～４００質量部がより好ましい。

　重合開始剤の含有量は、組成物の全固形分に対して、０．５～２０質量％が好ましく、１．０～１０質量％がより好ましく、１．５～８質量％がさらに好ましい。
　組成物は重合開始剤を１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

〔重合性化合物〕
　本組成物は、重合性化合物を含む。
　本明細書において、「重合性化合物」とは、上述した光重合開始剤等の作用を受けて重合可能な有機化合物（例えば、エチレン性不飽和基を含む有機化合物）を意味し、上述の樹脂とは異なる化合物である。
　本発明の組成物が溶媒を含む場合、重合性化合物は溶媒に溶解して存在するのが好ましい。

　重合性化合物の分子量（分子量分布を有する場合は重量平均分子量）は、特に制限されないが、２５００以下が好ましい。下限は、１００以上が好ましい。

　重合性化合物は、エチレン性不飽和基（エチレン性不飽和結合を含む基）を含む化合物が好ましい。
　つまり、本発明の組成物は、エチレン性不飽和基を含む低分子化合物を、重合性化合物として含むことが好ましい。
　重合性化合物が含むエチレン性不飽和結合基の数は、１個以上が好ましく、２個以上がより好ましく、３個以上がさらに好ましく、４個以上が特に好ましい。重合性化合物が有するエチレン性不飽和結合基の上限は、例えば、１５個以下である。エチレン性不飽和基としては、例えば、ビニル基、（メタ）アリル基および（メタ）アクリロイル基が挙げられる。
　重合性化合物としては、例えば、特開２００８－２６０９２７号公報の段落［００５０］および特開２０１５－０６８８９３号公報の段落［００４０］に記載されている化合物を援用でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　重合性化合物は、例えば、モノマー、プレポリマー、オリゴマーおよびこれらの混合物、ならびに、これらの多量体等の化学的形態のいずれであってもよい。
　重合性化合物は、３～１５官能の（メタ）アクリレート化合物が好ましく、３～６官能の（メタ）アクリレート化合物がより好ましい。

　重合性化合物は、エチレン性不飽和基を１個以上含む、常圧下で１００℃以上の沸点を持つ化合物も好ましい。例えば、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落［０２２７］および特開２００８－２９２９７０号公報の段落［０２５４］～［０２５７］に記載の化合物を援用でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

　重合性化合物は、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としては、例えば、ＫＡＹＡＲＡＤ　Ｄ－３３０；日本化薬株式会社製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としては、例えば、ＫＡＹＡＲＡＤ　Ｄ－３２０；日本化薬株式会社製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としては、例えば、ＫＡＹＡＲＡＤ　Ｄ－３１０；日本化薬株式会社製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としては、例えば、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＨＡ；日本化薬株式会社製、Ａ－ＤＰＨ－１２Ｅ；新中村化学株式会社製）およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコール残基またはプロピレングリコール残基を介している構造（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用できる。また、ＮＫエステルＡ－ＴＭＭＴ（ペンタエリスリトールテトラアクリレート、新中村化学株式会社製）、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＲＰ－１０４０、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＥＡ－１２ＬＴ、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＨＡ　ＬＴ、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＲＰ－３０６０およびＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＥＡ－１２（いずれも商品名、日本化薬株式会社製）を使用してもよい。また、重合性化合物は、化合物中に（メタ）アクリロイル基とウレタン結合との両方を有する、ウレタン（メタ）アクリレート化合物を使用してもよく、例えば、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＨＡ－４０Ｈ（商品名、日本化薬株式会社製）を使用してもよい。
　以下に好ましい重合性化合物の態様を示す。

　重合性化合物は、カルボキシ基、スルホン酸基およびリン酸基等の酸基を有していてもよい。酸基を含む重合性化合物は、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルが好ましく、脂肪族ポリヒドロキシ化合物の未反応のヒドロキシ基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を持たせた重合性化合物がより好ましく、このエステルにおいて、脂肪族ポリヒドロキシ化合物がペンタエリスリトールおよび／またはジペンタエリスリトールである化合物がさらに好ましい。市販品としては、例えば、東亞合成社製の、アロニックスＴＯ－２３４９、Ｍ－３０５、Ｍ－５１０およびＭ－５２０が挙げられる。

　重合性化合物の酸価は、０～４０ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、０～３０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、０～５ｍｇＫＯＨがさらに好ましい。重合性化合物の酸価が０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像溶解特性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造および／または取扱い上、有利である。さらには、光重合性能が良好で、硬化性に優れる。

　重合性化合物は、カプロラクトン構造を含む化合物も好ましい態様である。
　カプロラクトン構造を含む化合物としては、例えば、分子内にカプロラクトン構造を含む限り特に制限されないが、例えば、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロールおよびトリメチロールメラミン等の多価アルコールと、（メタ）アクリル酸およびε－カプロラクトンとをエステル化して得られる、ε－カプロラクトン変性多官能（メタ）アクリレートが挙げられる。なかでも、下記式（Ｚ－１）で表されるカプロラクトン構造を含む化合物が好ましい。

　式（Ｚ－１）中、６個のＲは全てが下記式（Ｚ－２）で表される基であるかまたは６個のＲのうち１～５個が下記式（Ｚ－２）で表される基であり、残余が下記式（Ｚ－３）で表される基である。

　式（Ｚ－２）中、Ｒ^１は水素原子またはメチル基を表し、ｍは１または２を表し、＊は結合位置を表す。

　式（Ｚ－３）中、Ｒ^１は水素原子またはメチル基を表し、「＊」は結合位置を表す。

　カプロラクトン構造を含む重合性化合物は、例えば、日本化薬からＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ－２０（上記式（Ｚ－１）～式（Ｚ－３）においてｍ＝１、式（Ｚ－２）で表される基の数＝２、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）、ＤＰＣＡ－３０（同式、ｍ＝１、式（Ｚ－２）で表される基の数＝３、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）、ＤＰＣＡ－６０（同式、ｍ＝１、式（Ｚ－２）で表される基の数＝６、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）およびＤＰＣＡ－１２０（同式においてｍ＝２、式（Ｚ－２）で表される基の数＝６、Ｒ^１が全て水素原子である化合物）が挙げられる。また、カプロラクトン構造を含む重合性化合物の市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製Ｍ－３５０（商品名）（トリメチロールプロパントリアクリレート）も挙げられる。

　重合性化合物は、下記式（Ｚ－４）または式（Ｚ－５）で表される化合物も使用できる。

　式（Ｚ－４）および式（Ｚ－５）中、Ｅは、－（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ_２Ｏ）－または－（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ（ＣＨ_３）Ｏ）－を表し、ｙは、０～１０の整数を表し、Ｘは、（メタ）アクリロイル基、水素原子またはカルボキシ基を表す。
　式（Ｚ－４）中、（メタ）アクリロイル基の合計は３個または４個であり、ｍは０～１０の整数を表し、各ｍの合計は０～４０の整数である。
　式（Ｚ－５）中、（メタ）アクリロイル基の合計は５個または６個であり、ｎは０～１０の整数を表し、各ｎの合計は０～６０の整数である。

　式（Ｚ－４）中、ｍは、０～６の整数が好ましく、０～４の整数がより好ましい。
　また、各ｍの合計は、２～４０の整数が好ましく、２～１６の整数がより好ましく、４～８の整数がさらに好ましい。
　式（Ｚ－５）中、ｎは、０～６の整数が好ましく、０～４の整数がより好ましい。
　また、各ｎの合計は、３～６０の整数が好ましく、３～２４の整数がより好ましく、６～１２の整数がさらに好ましい。
　また、式（Ｚ－４）または式（Ｚ－５）中の－（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ_２Ｏ）－または－（（ＣＨ_２）_ｙＣＨ（ＣＨ_３）Ｏ）－は、酸素原子側の末端がＸに結合する形態が好ましい。

　式（Ｚ－４）または式（Ｚ－５）で表される化合物は１種単独で用いてもよいし、２種以上併用してもよい。特に、式（Ｚ－５）において、６個のＸ全てがアクリロイル基である形態、式（Ｚ－５）において、６個のＸ全てがアクリロイル基である化合物と、６個のＸのうち、少なくとも１個が水素原子ある化合物との混合物である態様が好ましい。このような構成として、現像性をより向上できる。

　また、式（Ｚ－４）または式（Ｚ－５）で表される化合物の重合性化合物中における全含有量は、２０質量％以上が好ましく、５０質量％以上がより好ましい。
　式（Ｚ－４）または式（Ｚ－５）で表される化合物のなかでも、ペンタエリスリトール誘導体および／またはジペンタエリスリトール誘導体がより好ましい。

　また、重合性化合物は、カルド骨格を含んでいてもよい。
　カルド骨格を含む重合性化合物は、９，９－ビスアリールフルオレン骨格を含む重合性化合物が好ましい。
　カルド骨格を含む重合性化合物としては、例えば、オンコートＥＸシリーズ（長瀬産業社製）およびオグソール（大阪ガスケミカル社製）が挙げられる。
　重合性化合物は、イソシアヌル酸骨格を中心核として含む化合物も好ましい。このような重合性化合物としては、例えば、ＮＫエステルＡ－９３００（新中村化学株式会社製）が挙げられる。
　重合性化合物のエチレン性不飽和基の含有量（重合性化合物中のエチレン性不飽和基の数を、重合性化合物の分子量（ｇ／ｍｏｌ）で除した値を意味する）は５．０ｍｍｏｌ／ｇ以上が好ましい。上限は、２０．０ｍｍｏｌ／ｇ以下が好ましい。

　組成物中における重合性化合物の含有量は、組成物の全固形分に対して、５～６０質量％が好ましく、７～３０質量％が好ましく、１０～２０質量％がより好ましい。
　組成物は重合性化合物を１種のみ含んでもよく、２種以上含んでもよい。２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

　本組成物は、上述した樹脂、色材、光重合開始剤、および、重合性化合物以外の他の成分を含んでいてもよい。

〔界面活性剤〕
　本組成物は、界面活性剤を含んでもいてもよい。
　界面活性剤としては、例えば、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤およびシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。
　なかでも、本組成物は、シリコーン系界面活性剤を含むことが好ましい。

　本組成物が界面活性剤を含む場合、界面活性剤の含有量は、組成物の全固形分に対して、０．００１～２．０質量％が好ましく、０．００３～０．５質量％がより好ましく、０．００５～０．１質量％がさらに好ましい。
　組成物は界面活性剤を１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

〔重合禁止剤〕
　本組成物は、重合禁止剤を含んでもいてもよい。
　重合禁止剤としては、例えば、公知の重合禁止剤を使用できる。重合禁止剤としては、例えば、フェノール系重合禁止剤（例えば、ｐ－メトキシフェノール、２，５－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－４－メチルフェノール、２，６－ジｔｅｒｔ－ブチル－４－メチルフェノール、４，４’－チオビス（３－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、２，２’－メチレンビス（４－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、４－メトキシナフトール等）；ハイドロキノン系重合禁止剤（例えば、ハイドロキノン、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチルハイロドロキノン等）；キノン系重合禁止剤（例えば、ベンゾキノン等）；フリーラジカル系重合禁止剤（例えば、２，２，６，６－テトラメチルピペリジン１－オキシルフリーラジカル、４－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン１－オキシルフリーラジカル等）；ニトロベンゼン系重合禁止剤（例えば、ニトロベンゼン、４－ニトロトルエン等）；およびフェノチアジン系重合禁止剤（例えば、フェノチアジン、２－メトキシフェノチアジン等）；が挙げられる。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点から、フェノール系重合禁止剤またはフリーラジカル系重合禁止剤が好ましい。

　重合禁止剤の含有量は、組成物の全固形分に対して、０．０００１～０．５質量％が好ましく、０．００１～０．２質量％がより好ましく、０．００２～０．０５質量％がさらに好ましい。
　組成物は重合禁止剤を１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

〔無機粒子、修飾無機粒子〕
　本発明の組成物は、無機粒子、または、修飾無機粒子を含んでいてもよい。
　無機粒子とは、上述した顔料とは異なる粒子である。
　修飾無機粒子は、その表面に少なくとも一部を被覆する被覆層を有する無機粒子である。

　無機粒子の粒子径は、硬化膜の各性能およびハンドリング性のバランスが優れる点から、２００ｎｍ以下が好ましく、１００ｎｍ未満がより好ましく、１０～９０ｎｍがさらに好ましく、２０～８０ｎｍが特に好ましく、３０～７０ｎｍが最も好ましい。
　なお、「粒子径」は、以下の方法により測定した粒子の平均一次粒子径を意味する。
　平均一次粒子径の測定方法は、特開２０２１－００７０３７号公報の段落［０１３３］を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　無機粒子の形状として、例えば、繊維状、針状、板状、球状、テトラポット状、および、バルーン状が挙げられ、球状が好ましい。
　無機粒子の形態は、単分散粒子であってもよく、凝集粒子であってもよい。

　無機粒子は、中空粒子であってもよく、中実粒子であってもよい。
　中空粒子は、粒子の内部に空洞が存在する粒子をいう。中空粒子は、粒子が、内部の空洞と、空洞を包囲する外殻とからなる構造であってもよい。また、中空粒子は、粒子の内部に空洞が複数存在する構造であってもよい。
　中空粒子の空隙率は、３％以上が好ましい。上限は特に制限されないが、１００％未満が好ましく、９０％以下がより好ましい。
　中空粒子としては、例えば、特開２００１－２３３６１１号公報、および、特許第３２７２１１１号公報に記載されている中空シリカ粒子、ならびに、スルーリア４１１０（商品名、日揮触媒化成社製）が挙げられる。

　中実粒子は、粒子の内部に空洞が実質的に存在しない粒子をいう。
　具体的には、中実粒子の空隙率は、３％未満が好ましい。
　中実粒子としては、例えば、ＩＰＡ－ＳＴ－Ｌ（商品名、日産化学社製）が挙げられる。

　無機粒子の形態としては、複数の無機粒子が鎖状に連なった粒子凝集体（以下、数珠状無機粒子ともいう。）であってもよい。数珠状無機粒子としては、粒子径が５～５０ｎｍの複数の球状コロイダル無機粒子が、金属酸化物含有無機粒子によって接合されたものが好ましい。
　数珠状無機粒子としては、例えば、特許第４３２８９３５号公報、および、特開２０１３－２５３１４５号公報に記載されているシリカゾルが挙げられ、数珠状コロイダル無機粒子が好ましい。

　無機粒子を構成する材料としては、例えば、無機酸化物、無機窒化物、無機炭化物、炭酸塩、硫酸塩、ケイ酸塩、リン酸塩、および、これらのうち２種以上の複合化物が挙げられ、無機酸化物、無機窒化物、または、炭酸塩が好ましく、無機酸化物がより好ましい。なお、無機粒子は、少なくともケイ素を含むことが好ましい。

　無機粒子を構成する材料としては、例えば、シリカ（二酸化ケイ素）、チタニア（二酸化チタン）、アルミナ（酸化アルミニウム）、雲母化合物、酸化亜鉛、酸化ジルコン、酸化錫、チタン酸カリウム、チタン酸ストロンチウム、硼酸アルミニウム、酸化マグネシウム、硼酸マグネシウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウム、水酸化チタン、塩基性硫酸マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、リン酸カルシウム、窒化珪素、窒化チタン、窒化アルミ、炭化珪素、炭化チタン、および、硫化亜鉛が挙げられる。

　無機粒子は、１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
　無機粒子がシリカ（二酸化ケイ素）を含む場合、シリカ（二酸化ケイ素）の含有量は、無機粒子の全質量に対して、７５～１００質量％が好ましく、９０～１００質量％がより好ましく、９９～１００質量％がさらに好ましい。

　修飾無機粒子は、無機粒子の少なくとも一部を被覆する被覆層を有する。
　言い換えれば、被覆層は、無機粒子の一部または全部を被覆する層である。つまり、被覆層による無機粒子の被覆は、無機粒子の全面を被覆してもよく、無機粒子の一部のみを被覆してもよい。上記被覆層による無機粒子の被覆率は、無機粒子の全表面積に対して、１０％以上が好ましく、３０％以上がより好ましく、５０％以上がさらに好ましい。上限は、無機粒子の全表面積に対して、１００％以下が好ましく、８０％以下がより好ましい。
　被覆層は無機粒子の表面に直接配置されていてもよく、無機粒子との間に他の層を介して配置されていてもよい。

　被覆層は置換基を有していてもよく、置換基としては、疎水性基および疎水性基以外の置換基が挙げられる。

　修飾無機粒子において、被覆層の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、修飾無機粒子の全質量に対して、１質量％以上が好ましく、３質量％以上がより好ましく、５質量％以上がさらに好ましい。上限は、修飾無機粒子の全質量に対して、３０質量％以下が好ましく、２０質量％以下がより好ましく、１５質量％以下がさらに好ましい。
　修飾無機粒子は、１種を単独で用いても、２種以上を使用してもよい。
　２種以上の修飾無機粒子を使用する場合には、合計含有量が下記範囲であることが好ましい。
　無機粒子および修飾無機粒子の合計含有量は、組成物の全固形分に対して、０．１～３０．０質量％が好ましく、０．５～２０．０質量％がより好ましい。

〔溶剤〕
　本組成物は、溶剤を含んでいてもよい。
　溶剤としては、有機溶剤が好ましい。有機溶剤としては、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、および、炭化水素系溶剤が挙げられる。これらの詳細については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落［０２２３］を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤も好ましく用いることもできる。
　有機溶剤の具体例としては、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジクロロメタン、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３－メトキシブチルアセテート、３－メトキシプロピオン酸メチル、２－ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが挙げられる。
　なお、有機溶剤は、異性体（原子数が同じであるが構造が異なる化合物）が含まれていてもよい。また、異性体は、１種のみが含まれていてもよいし、複数種含まれていてもよい。
　ただし、有機溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレンおよびエチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ　ｐｅｒ　ｍｉｌｌｉｏｎ）以下とすることもでき、１０質量ｐｐｍ以下とすることもでき、１質量ｐｐｍ以下とすることもできる）。また、有機溶剤中の過酸化物の含有率は、０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。

　本発明においては、金属含有量の少ない有機溶剤を用いることが好ましく、有機溶剤の金属含有量は、例えば１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ　ｐｅｒ　ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ　ｐｅｒ　ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルの有機溶剤を用いてもよく、そのような有機溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。
　有機溶剤から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、特開２０２１－００７０３７号公報の段落［０２３８］を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

　溶剤の含有量は、組成物の全量に対して、１０～９７質量％が好ましい。下限は、３０質量％以上がより好ましく、４０質量％以上がさらに好ましく、５０質量％以上が特に好ましく、６０質量％以上がより一層好ましく、６５質量％以上が最も好ましい。上限は、９５質量％以下がより好ましく、８０質量％以下がさらに好ましい。
　組成物は溶媒を１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

〔分散助剤〕
　組成物は、分散助剤を含んでいてもよい。
　分散助剤は、上述した樹脂以外の成分であって、色材のように組成物中に固体状態で存在する成分の凝集および／または沈降を抑制し得る成分である。
　分散助剤としては、例えば、顔料誘導体が挙げられる。
　分散助剤の含有量は、組成物の全固形分に対して、０．０１～１０質量％が好ましく、０．１～８質量％がより好ましく、０．３～４質量％がさらに好ましい。

〔その他の任意成分〕
　組成物は、上述した成分以外のその他の任意成分をさらに含んでいてもよい。
　例えば、酸無水物（例えば、コハク酸無水物）、紫外線吸収剤、密着剤（シランカップリング剤等）、増感剤、共増感剤、架橋剤、硬化促進剤、熱硬化促進剤、可塑剤、希釈剤および感脂化剤等が挙げられ、さらに、基板表面への密着促進剤およびその他の助剤類（例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、表面張力調整剤および連鎖移動剤等）等の公知の添加剤を必要に応じて加えてもよい。
　これらの成分は、例えば、特開２０１２－００３２２５号公報の段落［０１８３］～［０２２８］（対応する米国特許出願公開第２０１３／００３４８１２号明細書の段落［０２３７］～［０３０９］）、特開２００８－２５００７４号公報の段落［０１０１］～［０１０２］、段落［０１０３］～［０１０４］、段落［０１０７］～［０１０９］および特開２０１３－１９５４８０号公報の段落［０１５９］～［０１８４］等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

〔感光性組成物の製造方法〕
　本組成物の製造方法は特に制限されず、公知の方法を採用できる。
　なかでも、本組成物の製造方法としては、色材を含む分散液（色材分散液）を製造し、得られた色材分散液をさらにその他の成分と混合して組成物とすることが好ましい。
　より具体的には、工程１および工程２を有する製造方法で、組成物を製造することが好ましい。この方法によれば、本発明の効果がより優れる組成物を得ることができる。
　工程１：色材と、樹脂（例えば、第１樹脂および第２樹脂の少なくとも１種）とを含むプレ混合物をビーズミルで混合して混合物（色材分散液等）を得る工程
　工程２：上記混合物と、樹脂（例えば、第１樹脂および第２樹脂の少なくとも１種）と、光重合開始剤と、重合性化合物とを混合して本組成物を得る工程

＜工程１＞
　上記プレ混合物は、上記以外の成分を含んでもよく、そのような成分としては、例えば、分散助剤（顔料誘導体等）および溶剤が挙げられる。
　工程１で混合の対象となるプレ混合物を得る際、プレ混合物に含まれる成分は、各成分を一括配合してもよいし、各成分をそれぞれ、溶剤に溶解または分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序および作業条件は特に制限されない。

　プレ混合物はビーズミルで混合されて、混合物とされる。プレ混合物が溶剤を含み、混合物が溶剤を含む場合、このような混合物を特に色材分散液ともいう。
　プレ混合物は、ビーズミルによる混合を行う前に、粗混合しておくことも好ましい。粗混合の方法は特に制限されず、公知の手段を使用できる。

　ビーズミルにおけるビーズには、ガラスビーズおよびジルコニアビーズ等の無機ビーズまたは樹脂製ビーズ等を使用できる。
　ビーズ径は、０．０１～１．０ｍｍが好ましく、０．０３～０．６５ｍｍがより好ましい。
　ビーズ充填率は、５０～９０体積％が好ましく、６０～８０体積％がより好ましい。
　回転速度（周速）は、１～２０ｍ／ｓｅｃが好ましく、５～１４ｍ／ｓｅｃがより好ましい。
　被処理物の温度は、５～８０℃が好ましく、１５～６０℃がより好ましい。
　ビーズミルは、例えば、バッチ式装置、循環式装置および連続式装置のいずれでもよく、複数の装置を組み合わせて用いてもよい。
　ビーズミルがバッチ式の場合、処理時間は、０．５～６時間が好ましく、２～４時間がより好ましい。
　ビーズミルが循環式の場合、パス回数は、１０～１０００が好ましく、６０～２００がより好ましい。

＜工程２＞
　工程２では、工程１で得られた混合物と、樹脂と、光重合開始剤と、重合性化合物とを混合して本組成物を得る。
　工程２では、上記混合物に対して少なくとも光重合開始剤および重合性化合物を混合すればよく、その他の成分（密着剤（シランカップリング剤等）、重合禁止剤、界面活性剤、無機粒子、修飾無機粒子、および／または、さらに添加する溶剤等）をさらに混合してもよい。
　工程２において混合される各成分（工程１で得られた混合物を含む）は、各成分を一括配合してもよいし、各成分をそれぞれ、溶剤に溶解または分散した後に逐次配合してもよい。また、配合する際の投入順序および作業条件は特に制限されない。
　上記の各成分を公知の混合方法（例えば、撹拌機、ホモジナイザー、高圧乳化装置、湿式粉砕機または湿式分散機等を用いた混合方法）により混合して組成物を調製できる。
　工程２においては、本組成物に含まれる色材の少なくとも一部が、工程１で得られた混合物に由来していればよく、工程１で配合した成分とは別の、色材、および、樹脂等を工程２においてさらに混合してもよい。

　組成物は、異物の除去および欠陥の低減等の目的で、フィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、例えば、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に制限されずに使用できる。例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素樹脂、ナイロン等のポリアミド系樹脂、ならびに、ポリエチレンおよびポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン系樹脂（高密度、超高分子量を含む）等によるフィルタが挙げられる。なかでも、ポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）またはナイロンが好ましい。
　フィルタの孔径は、０．１～７．０μｍが好ましく、０．２～２．５μｍがより好ましく、０．２～１．５μｍがさらに好ましく、０．３～０．７μｍが特に好ましい。この範囲とすれば、色材のろ過詰まりを抑えつつ、色材に含まれる不純物および凝集物等、微細な異物を確実に除去できるようになる。

　組成物は、金属、ハロゲンを含む金属塩、酸、および、アルカリ等の不純物を含まないことが好ましい。金属の種類は特に限定されないが、アルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属、Ａｌ、Ｓｎ、Ｐｂ、およびＢｉが挙げられる。これら材料に含まれる不純物の含有量は、１質量ｐｐｍ以下が好ましく、１質量ｐｐｂ以下がより好ましく、１００質量ｐｐｔ以下がさらに好ましく、１０質量ｐｐｔ以下が特に好ましく、実質的に含まないこと（測定装置の検出限界以下であること）が最も好ましい。
　なお、上記不純物は、誘導結合プラズマ質量分析装置（横河アナリティカルシステムズ製、Ａｇｉｌｅｎｔ　７５００ｃｓ型）により測定できる。

［硬化膜］
　本明細書において「硬化膜」とは、本組成物を用いて形成される組成物層に対して露光処理等の硬化処理が施されて形成される膜である。

〔硬化膜の物性〕
　本組成物（特に、黒色色材を含む本組成物）を用いて形成される硬化膜は、優れた遮光性を有する点で、４００～１１００ｎｍの波長領域における膜厚１．５μｍあたりの光学濃度（ＯＤ：Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｄｅｎｓｉｔｙ）が、２．５以上が好ましく、３．０以上がより好ましい。なお、上限値は特に制限されないが、一般に１０以下が好ましい。上記硬化膜は、遮光膜または後述するカラーフィルタ中の着色画素として好ましく使用できる。
　なお、本明細書において、４００～１１００ｎｍの波長領域における膜厚１．５μｍあたりの光学濃度が２．５以上であるとは、波長４００～１１００ｎｍの全域において、膜厚１．５μｍあたりの光学濃度が２．５以上であることを意味する。
　なお、本明細書において、硬化膜の光学濃度の測定方法としては、まず、ガラス基板上に硬化膜を形成して、分光光度計Ｕ－４１００（商品名、日立ハイテクノロジーズ社製）積分球型受光ユニットを用いて測定し、測定箇所の膜厚も測定し、所定の膜厚あたりの光学濃度を算出する。
　硬化膜の膜厚は、例えば、０．１～４．０μｍが好ましく、１．０～２．５μｍがより好ましい。また、硬化膜は、用途にあわせてこの範囲よりも薄膜としてもよいし、厚膜としてもよい。
　また、硬化膜を光減衰膜として使用する場合、上記範囲よりも薄膜（例えば、０．１～０．５μｍ）として遮光性を調整してもよい。この場合、４００～１２００ｎｍの波長領域における膜厚１．０μｍあたりの光学濃度は、０．１～１．５が好ましく、０．２～１．０がより好ましい。

　硬化膜の反射率は、８％未満が好ましく、６％未満がより好ましく、４％未満がさらに好ましい。下限は、０％以上が好ましい。
　反射率とは、分光器Ｖ７２００（日本分光株式会社製）ＶＡＲユニットを用いて角度５°の入射角で波長４００～１１００ｎｍの光を入射し、得られた反射率スペクトルより求められる。具体的には、波長４００～１１００ｎｍの範囲で最大反射率を示した波長の光の反射率を、硬化膜の反射率とする。

〔硬化膜の製造方法〕
　硬化膜の製造方法は、特に制限されないが、以下の工程を含むのが好ましい。以下の工程を経ることで、例えば、パターン状の硬化膜が形成できる。
　以下、各工程について説明する。

＜組成物層形成工程＞
　組成物層形成工程においては、露光に先立ち、支持体等の上に、組成物を付与して組成物の層（組成物層）を形成する。支持体としては、例えば、ガラス基板、シリコン基板（ヘキサメチルジシラザンで疎水化処理等を施されていてもよい）、ならびに、シリコン基板上にＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）またはＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ　Ｍｅｔａｌ－Ｏｘｉｄｅ　Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）等の撮像素子（受光素子）が設けられた固体撮像素子用基板を使用できる。
　また、支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止および基板表面の平坦化等のために下塗り層を設けてもよい。

　支持体上への組成物の適用方法としては、スリット塗布法、インクジェット法、回転塗布法、流延塗布法、ロール塗布法、およびスクリーン印刷法等の各種の塗布方法が挙げられる。
　組成物層の膜厚は、０．１～１０．０μｍが好ましく、０．２～５．０μｍがより好ましく、０．２～３．０μｍがさらに好ましい。支持体上に塗布された組成物層の乾燥（プリベーク）は、ホットプレートおよびオーブン等で５０～１４０℃の温度で１０～３００秒で行える。

＜露光工程＞
　露光工程は、組成物層形成工程において形成された組成物層に活性光線または放射線を照射して露光し、組成物層の光照射領域を硬化させる工程である。
　光照射の方法としては特に制限されないが、パターン状の開口部を有するフォトマスクを介して光照射するのが好ましい。
　露光は放射線の照射により行うのが好ましく、露光に際して使用できる放射線としては、特に、ｇ線、ｈ線、およびｉ線等の紫外線が好ましく、光源としては高圧水銀灯が好まれる。照射強度は５～１５００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましく、１０～１０００ｍＪ／ｃｍ^２がより好ましい。

＜現像工程＞
　現像工程は、露光後の組成物層に対して現像処理を実施する工程である。本工程により、露光工程における未露光領域の組成物層が溶出し、光硬化した部分だけが残る。例えば、露光工程においてパターン状の開口部を有するフォトマスクを介して光照射を実施した場合には、パターン状の硬化膜が得られる。
　現像工程で使用される現像液の種類は特に制限されないが、下地の撮像素子および回路等にダメージを起さない、アルカリ現像液が好ましい。
　現像温度としては、例えば、２０～３０℃である。
　現像時間は、例えば、２０～９０秒である。

　アルカリ現像液は、アルカリ性化合物を濃度が０．００１～１０質量％（好ましくは０．０１～５質量％）となるように水に溶解して調製されたアルカリ性水溶液が好ましい。
　アルカリ性化合物は、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジンおよび１，８－ジアザビシクロ［５．４．０］－７－ウンデセンが挙げられる（このうち、有機アルカリが好ましい。）。
　なお、アルカリ現像液として用いた場合は、一般に現像後にリンス処理または水による洗浄処理が施される。

＜ポストベーク＞
　露光工程の後、加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。
　ポストベークは、硬化を完全にするための現像後の加熱処理である。その加熱温度は、２４０℃以下が好ましく、２２０℃以下がより好ましい。下限は特にないが、５０℃以上が好ましく、１００℃以上がより好ましい。
　ポストベークは、ホットプレート、コンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）および高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式またはバッチ式で行える。

　上記のポストベークは、低酸素濃度の雰囲気下で行うのが好ましい。その酸素濃度は、１９体積％以下が好ましく、１５体積％以下がより好ましく、１０体積％以下がさらに好ましく、７体積％以下が特に好ましく、３体積％以下が最も好ましい。下限は特にないが、１０体積ｐｐｍ以上が好ましい。

〔硬化膜の用途〕
　上記硬化膜は、パーソナルコンピュータ、タブレット、携帯電話、スマートフォンおよびデジタルカメラ等のポータブル機器；プリンタ複合機およびスキャナ等のＯＡ（Ｏｆｆｉｃｅ　Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ）機器；監視カメラ、バーコードリーダ、現金自動預け払い機（ＡＴＭ：ａｕｔｏｍａｔｅｄ　ｔｅｌｌｅｒ　ｍａｃｈｉｎｅ）、ハイスピードカメラおよび顔画像認証または生体認証を使用した本人認証機能を有する機器等の産業用機器；車載用カメラ機器；内視鏡、カプセル内視鏡およびカテーテル等の医療用カメラ機器；ならびに、生体センサ、バイオセンサ、軍事偵察用カメラ、立体地図用カメラ、気象および海洋観測カメラ、陸地資源探査カメラおよび宇宙の天文および深宇宙ターゲット用の探査カメラ等の宇宙用機器；等に使用される光学フィルタおよびモジュールの遮光部材および遮光膜、さらには反射防止部材および反射防止膜に好適である。

　上記硬化膜は、マイクロＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）およびマイクロＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）等の用途にも使用できる。上記硬化膜は、マイクロＬＥＤおよびマイクロＯＬＥＤに使用される光学フィルタおよび光学フィルムのほか、遮光機能または反射防止機能を付与する部材に対して好適である。
　マイクロＬＥＤおよびマイクロＯＬＥＤとしては、例えば、特表２０１５－５００５６２号公報および特表２０１４－５３３８９０号公報に記載された例が挙げられる。

　上記硬化膜は、量子ドットセンサーおよび量子ドット固体撮像素子に使用される光学および光学フィルムとしても好適である。また、遮光機能および反射防止機能を付与する部材として好適である。量子ドットセンサーおよび量子ドット固体撮像素子としては、例えば、米国特許出願公開第２０１２／３７７８９号明細書および国際公開第２００８／１３１３１３号に記載された例が挙げられる。

［遮光膜］
　本発明の硬化膜は、いわゆる遮光膜として使用することも好ましい。このような遮光膜は、後述する固体撮像素子に使用することも好ましい。
　本発明の遮光性組成物を用いて形成された硬化膜は、上述のとおり、遮光性および低反射性に優れる。
　なお、遮光膜は、本発明の硬化膜における好ましい用途の１つであって、本発明の遮光膜の製造は、上述の硬化膜の製造方法として説明した方法で同様に行える。具体的には、基板に組成物を塗布して、組成物層を形成し、露光および現像して遮光膜を製造できる。

［カラーフィルタ］
　本発明の組成物を用いて得られる硬化膜は、カラーフィルタに含まれるのも好ましい。
　カラーフィルタが硬化膜を含む形態としては、特に制限されないが、基板と、ブラックマトリクスと、を備えるカラーフィルタが挙げられる。カラーフィルタには、着色画素間の光を遮蔽し、コントラストを向上させる等の目的で、ブラックマトリクスと呼ばれる遮光膜が備えられている。
　カラーフィルタの一形態として、例えば、基板上に形成された上記ブラックマトリクスの開口部に形成された赤色、緑色、および青色の着色画素と、を備えるカラーフィルタが挙げられる。

　ブラックマトリクスを備えるカラーフィルタは、例えば、以下の方法により製造できる。
　まず、基板上に形成されたパターン状のブラックマトリクスの開口部に、カラーフィルタの各着色画素に対応する色材を含む組成物の組成物層を形成する。
　なお、各色用組成物としては、例えば、公知の組成物を使用できるが、各画素に対応した色材を含む本組成物を使用することが好ましい。
　次に、組成物層に対して、ブラックマトリクスの開口部に対応したパターンを有するフォトマスクを介して露光する。次いで、現像処理により未露光部を除去した後、ベークしてブラックマトリクスの開口部に着色画素を形成できる。一連の操作を、例えば、赤色、緑色、および、青色顔料を含む各色用組成物を用いて行えば、赤色、緑色、および、青色画素を有するカラーフィルタを製造できる。

［光学素子］
　本発明は、光学素子の発明をも含む。本発明の光学素子は、上記硬化膜（遮光膜）を有する光学素子である。光学素子としては、例えば、カメラ、双眼鏡、顕微鏡および半導体露光装置等の光学機器に使用される光学素子が挙げられる。
　なかでも、上記光学素子としては、例えば、カメラ等に搭載される固体撮像素子が好ましい。

［固体撮像素子］
　また、本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の硬化膜（遮光膜）を含む、固体撮像素子である。
　本発明の固体撮像素子が硬化膜（遮光膜）を含む形態としては、例えば、基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる受光素子を有し、支持体の受光素子形成面側（例えば、受光部以外の部分および／または色調整用画素等）または形成面の反対側に硬化膜を有する形態が挙げられる。
　固体撮像装置は、上記固体撮像素子を具備する。

［ヘッドライトユニット］
　本発明の硬化膜は、遮光膜として、自動車等の車載用灯具のヘッドライトユニットに含まれることも好ましい。より具体的には、本発明のヘッドライトユニットは、光源と、光源から出射された光の少なくとも一部を遮光する遮光部とを有し、遮光部が本発明の硬化膜が適用される。ヘッドライトユニットに含まれる本発明の硬化膜は、光源から出射される光の少なくとも一部を遮光するように、パターン状に形成されることが好ましい。

　以下に実施例に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。
　以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、および、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更できる。したがって、本発明の範囲は以下に示す実施例により限定的に解釈されるべきではない。

［色材分散液の製造］
　各実施例または比較例で使用した各色材分散液の製造方法について、色材分散液Ｂｌａｃｋ－１およびＢｌａｃｋ－１２を例に説明する。

＜チタンブラック（ａ－１）の製造＞
　平均粒径１５ｎｍの酸化チタンＭＴ－１５０Ａ（商品名：テイカ社製）（１００ｇ）、ＢＥＴ表面積３００ｍ^２／ｇのシリカ粒子ＡＥＲＯＧＩＬ（登録商標）３００／３０（エボニック社製）（２５ｇ）および分散剤Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ１９０（商品名：ビックケミー社製）（１００ｇ）を秤量し、イオン電気交換水（７１ｇ）を加えてＫＵＲＡＢＯ社製ＭＡＺＥＲＳＴＡＲ　ＫＫ－４００Ｗを使用して、公転回転数１３６０ｒｐｍ、自転回転数１０４７ｒｐｍにて２０分間処理することにより均一な混合物水溶液を得た。
　この水溶液を石英容器に充填し、小型ロータリーキルン（モトヤマ社製）を用いて酸素雰囲気中で９２０℃に加熱した後、窒素で雰囲気を置換し、同温度でアンモニアガスを１００ｍＬ／ｍｉｎで５時間流すことにより窒化還元処理を実施した。
　終了後、回収した粉末を乳鉢で粉砕し、Ｓｉ原子を含み、粉末状の比表面積７３ｍ^２／ｇのチタンブラック（ａ－１）〔チタンブラック粒子およびＳｉ原子を含む被分散体〕を得た。

＜色材分散液Ｂｌａｃｋ－１の製造＞
　上記チタンブラック（ａ－１）（２４．３質量部）に対し、第２樹脂Ｂ－１（７．３質量部）を加え、さらに、シクロペンタノン（４１．４質量部）およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ、２７．０質量部）を加え、分散物を得た。
　得られた分散物を撹拌機により十分に撹拌し、プレミキシングを行った。得られた分散物に対し、シンマルエンタープライゼス社製のＮＰＭ　Ｐｉｌｏｔ（ビーズミル）を使用して下記条件にて分散処理を行い、色材分散液Ｂｌａｃｋ－１を得た。

（分散条件）
・ビーズ：トレセラムジルコニアビーズ（東レ株式会社製）
・ビーズ径：φ０．０５ｍｍ
・ビーズ充填率：６５体積％
・ミル周速：１０ｍ／ｓｅｃ
・セパレーター周速：１１ｍ／ｓ
・分散処理する混合液量：１５．０ｋｇ
・循環流量（ポンプ供給量）：６０ｋｇ／ｈｏｕｒ
・処理液温度：２０～２５℃
・冷却水：水道水　５℃
・ビーズミル環状通路内容積：２．２Ｌ
・パス回数：８４パス

＜色材分散液Ｂｌａｃｋ－１２の製造＞
　上記で調製したチタンブラック（ａ－１）（２７．３質量部）に対し、第２樹脂Ｂ－７（７．６質量部）およびコハク酸無水物（０．６４質量部）を加え、さらに、液総量が１００質量部となるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）とシクロペンタノンを２５．４対７４．６の割合（質量比）で加えて、分散物を得た。
　得られた分散物を撹拌機により十分に撹拌し、プレミキシングを行った。得られた分散物に対し、シンマルエンタープライゼス製のＮＰＭ　Ｐｉｌｏｔ（ビーズミル）を使用して下記条件にて分散処理を行い、色材分散液Ｂｌａｃｋ－１２を得た。

（分散条件）
・ビーズ：トレセラムジルコニアビーズ（東レ株式会社製）
・ビーズ径：φ０．０５ｍｍ
・ビーズ充填率：６５体積％
・ミル周速：１１ｍ／ｓｅｃ
・セパレーター周速：１２ｍ／ｓｅｃ
・分散処理する混合液量：１０．０ｋｇ
・循環流量（ポンプ供給量）：６０ｋｇ／ｈｏｕｒ
・処理液温度：５８～６３℃
・冷却水：水　５５℃
・ビーズミル環状通路内容積：２．２Ｌ
・パス回数：６０パス

　色材分散液中の各成分の種類および配合量を後述する表１の通り変更し、その他は＜色材分散液Ｂｌａｃｋ－１の製造＞に示した方法と同様にして、表１に記載の各色材分散液を製造した。
　なお、表１中の顔料誘導体を用いた場合には、第１樹脂または第２樹脂を加える前に、上記顔料誘導体を加えることで色材分散液を製造した。
　表中の数値は特に断りがない限り、質量部を示す。表１中の各成分のうち、略称または記号で表した成分の詳細は以下の通りである。

〔色材〕
・チタンブラック：上記チタンブラック（ａ－１）
・カーボンブラック：三菱化学社製、＃２３００
・Ｉｒｇａｐｈｏｒ　Ｂｌａｃｋ：Ｉｒｇａｐｈｏｒ　Ｂｌａｃｋ　Ｓ０１００ＣＦ（ＢＡＳＦ社製）
・窒化ジルコニウム：特開２０２２／０５４７９４号公報の段落［００４５］に記載の＜実施例１＞の手順で作製された窒化ジルコニウム
・Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ５８
・Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　１５０
・Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｇｒｅｅｎ３６
・Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｒｅｄ２５４
・Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　１３９
・Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌｕｅ　１５：６
・Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｖｉｏｌｅｔ　２３
・Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｂｌｕｅ　１６
・Ｐｉｇｍｅｎｔ　Ｒｅｄ　１２２
・ＳＩＲ顔料：下記の化合物（式中、Ｐｈはフェニル基を表し、Ｍｅはメチル基を表す。）

〔第１樹脂〕
・Ａ－１８：後述する表３に示す樹脂

〔第２樹脂〕
・Ｂ－１：以下に示す構造を有する樹脂（重量平均分子量１８０００、酸価６７ｍｇＫＯＨ／ｇ、エチレン性不飽和結合当量（重合性基価）０．４ｍｍｏｌ／ｇ）
　下記式中、各繰り返し単位に付した数字およびｒ～ｕは各繰り返し単位のモル％を示す。

・Ｂ－２：以下に示す構造を有する樹脂（重量平均分子量９０００、酸価４３ｍｇＫＯＨ／ｇ）
　なお、上記樹脂Ｂ－２については、国際公開第２０２０／０４４７２０号の段落［０１９６］に記載の方法により合成できる。

・Ｂ－３：以下に示す構造を有する樹脂（重量平均分子量１００００、酸価０ｍｇＫＯＨ／ｇ）（ブロック構造を有する樹脂に該当）
　以下式中の繰り返し単位中の数値は、樹脂中の全繰り返し単位に対する、含有量（質量％）を表す。

・Ｂ－４：以下に示す構造を有する樹脂（重量平均分子量２１０００、酸価３６ｍｇＫＯＨ／ｇ）
　以下式中、ａ～ｅは、樹脂に含まれる全繰り返し単位に対する各繰り返し単位の含有量（モル％）を表す。
　ｘおよびｙは、繰り返し単位数を表す。

・Ｂ－５：下記手順で得られた樹脂（重量平均分子量２１０００、酸価３６ｍｇＫＯＨ／ｇ）

　乾燥窒素気流下、２，２－ビス（３－アミノ－４－ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン（０．０８２モル、３０．０３ｇ）、１，３－ビス（３－アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン（０．００５モル、１．２４ｇ）、および、末端封止剤である３－アミノフェノール（０．０２５モル、２．７３ｇ）を、Ｎ－メチル－２－ピロリドン（以下、「ＮＭＰ」とも記載する）（１００ｇ）に溶解した。得られた溶液に、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）エーテル二無水物（０．１０モル、３１．０２ｇ）およびＮＭＰ（３０ｇ）を加えた。得られた溶液を、２０℃で１時間撹拌し、さらに、水を除去しながら１８０℃で４時間撹拌した。反応終了後、反応液を水（２Ｌ）に投入し、生成した沈殿物をろ過により集めた。得られた沈殿物を、水で３回洗浄し、８０℃の真空乾燥機で２０時間乾燥して、樹脂Ｂ－５（ポリイミド樹脂）を合成した。

・Ｂ－７：第２樹脂である下記の樹脂（重量平均分子量２１０００、酸価８５ｍｇＫＯＨ／ｇ、エチレン性不飽和結合当量（重合性基価）が０．７ｍｍｏｌ／ｇ、グラフト鎖を有する樹脂）
　下記式中、各繰り返し単位に付した数字およびｒ～ｕは各繰り返し単位のモル％を示す。

〔顔料誘導体〕
・Ｘ－１：下記の化合物

・Ｘ－２：下記の化合物（式中、Ｐｈはフェニル基を表し、Ｍｅはメチル基を表す。）

〔溶剤〕
・ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
・酢酸ブチル
・シクロペンタノン

［感光性組成物の調製］
　以下に示す原料を後述する表５～８、および表１０４に示す配合で混合することで、実施例１－１～１－３５、実施例１－１０１～１－１０５、および比較例１－１～１－２の感光性組成物を調製した。
　また、表５中の実施例１－３におけるＡ－９を、後述する表２～４に示すＡ－１～Ａ－３３（第１樹脂）、または、Ａ－ｒ１～Ａ－ｒ４（第１樹脂以外の樹脂）に置き換えた以外は、実施例１－３の感光性組成物の調製方法と同様にして、実施例２－１～２－３２および比較例２－１～２－４の感光性組成物を調製した。
　また、表１０４中の実施例１－１０５におけるＡ－９を、後述する表１０１～１０２に示すＡ－１０１～Ａ－１１９（第１樹脂）に置き換えた以外は、実施例１－１０５の感光性組成物の調製方法と同様にして、実施例２－１０１～２－１１９の感光性組成物を調製した。
　表５～８および表１０４中、「後添加樹脂」欄は、色材分散液に含まれる樹脂のほか、感光性組成物の調製に用いた第１樹脂および第２樹脂の少なくとも一方を示す。
　表５～８および表１０４中の各成分のうち、略称または記号で表した成分の詳細は以下の通りである。

〔溶剤〕
・ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート

〔第１樹脂〕
　樹脂として用いたＡ－１～Ａ－３３、およびＡ－１０１～Ａ－１１９（第１樹脂）の構造を以下表２～４および表１０１～１０２に示す。また、表４に示したＡ－ｒ１～Ａ－ｒ４は、第１樹脂に該当しない樹脂である。
　表２～４および表１０１～１０２中、第１樹脂が複数の繰り返し単位を有する場合、各繰り返し単位に付した数値は、第１樹脂中の全繰り返し単位に対する、各繰り返し単位の含有量（質量％）を示す。

　表１０２中、Ａ－１１０～Ａ－１１９の構造は以下の通りである。

〔第２樹脂〕
・Ｂ－６：以下に示す構造を有する樹脂（重量平均分子量１１０００、酸価３２ｍｇＫＯＨ／ｇ

〔重合性化合物〕
・Ｍ－１：ＮＫ　エステル　Ａ－ＴＭＭＴ（４官能アクリレート、新中村化学社製）
・Ｍ－２：アロニックスＴＯ－２３４９（酸変性多官能アクリレート、東亞合成社製）
・Ｍ－３：オグソールＥＡ－０３００（フルオレン含有アクリレート、大阪ガスケミカル社製）
・Ｍ－４：アロニックスＭ－３０５（ペンタエリスリトールトリおよびテトラアクリレート、東亞合成社製）

〔重合開始剤〕
・Ｉｎｉ－１：ＩＲＧＡＣＵＲＥ　ＯＸＥ０２（ＢＡＳＦ社製）
・Ｉｎｉ－２：ＩＲＧＡＣＵＲＥ　ＯＸＥ０４（ＢＡＳＦ社製）
・Ｉｎｉ－３：ＮＣＩ－８３１Ｅ（ＡＤＥＫＡ社製）
・Ｉｎｉ－４：ＴＲ－ＰＢＧ－３０４（Ｔｒｏｎｌｙ社製）
・Ｉｎｉ－５：ＩＲＧＡＣＵＲＥ　ＯＸＥ０１（ＢＡＳＦ社製）

〔密着剤〕
・Ｍ－５：下記の化合物
・Ｍ－６：ＫＢＭ－５１０３（信越シリコーン社製）

〔重合禁止剤〕
・Ａ－１：ｐ－メトキシフェノール

〔界面活性剤〕
・Ｗ－１：下記の界面活性剤（重量平均分子量３０００、式中、ｎは１以上の整数を表す。）

・Ｗ－２：ＫＦ６０００（信越シリコーン社製）
・Ｗ－３：フタージェント７１０ＦＬ（ネオス社製）

〔シリカ分散液〕
・下記手順で得られたシリカ分散液

　スルーリア４１１０（日揮触媒化成社製、固形分２０質量％、イソプロピルアルコール溶剤、中空シリカゾル、平均一次粒子径６０ｎｍ）（１００ｇ）に、ＫＢＭ－５０３（信越化学工業社製、３－メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン）（４ｇ）、１０質量％蟻酸水溶液（０．５ｇ）、および、水（１ｇ）を混合し、混合液を得た。
　得られた混合液を６０℃で３時間撹拌した。さらに、ロータリーエバポレータを用いて、混合液中の溶剤を、１－メトキシ－２－プロパノールに置き換えた。混合液の固形分濃度を確認し、さらに必要量の１－メトキシ－２－プロパノールで希釈することで、固形分２０質量％の無機粒子分散液ＰＳ－１（メタクリロイル基で表面修飾された中空シリカの分散液）を得た。
　次に、３口フラスコに、上記で得られた無機粒子分散液ＰＳ－１（３０．０ｇ）、Ｘ－２２－２４０４（信越化学工業社製、片末端メタアクリル変性シリコーンオイル、１．８ｇ）、イタコン酸無水物（０．４ｇ）、および、ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、２８．２ｇ）を入れ、フラスコの内容物を、窒素雰囲気下で８０℃に昇温した。得られたフラスコに、重合開始剤Ｖ－６０１（富士フイルム和光純薬社製、０．０１ｇ）を添加し、３時間撹拌した。
　さらに、このフラスコに、Ｖ－６０１（０．０２ｇ）を添加し、２時間撹拌した。その後、フラスコの内容物を、精密ろ過し、得られたろ物に、１－メトキシ－２－プロパノールを、固形分２０質量％になるように添加することで、Ｓ－１（固形分２０質量％、３１．５ｇ、平均粒径５５ｎｍ）を得た。

〔シリカ分散液２〕
・下記手順で得られたシリカ分散液

＜合成例１：シリカ分散液２の製造＞
（被覆層形成工程）
　スルーリア４１１０（日揮触媒化成社製、固形分濃度２０質量％、イソプロピルアルコール溶剤、中空シリカゾル、平均一次粒子径６０ｎｍ）１５０質量部、エタノール１００質量部、疎水性基を含有するシランカップリング剤であるＫＰ９８３（信越シリコーン社製）３質量部、および、メタクリレート基を含有するシランカップリング剤であるＫＢＭ－５８０３（信越シリコーン社製）０．５質量部を混合した溶液に、１質量％アンモニア水１質量％を添加し、２５℃で７２時間撹拌した。

（精製処理工程）
　得られた溶液を遠心分離（毎分１０００００回転）し、上澄み液を廃棄した。ＰＧＭＥＡ１００質量部を得られた沈殿物に添加して、撹拌羽で撹拌し再分散させた後、再度遠心分離を実施し、上澄み液を除去した。再度、ＰＧＭＥＡを得られた沈殿物に固形分が３０質量％になるように添加して、撹拌羽で撹拌し再分散させることで、シリカ分散液２を作製した。
　得られた修飾無機粒子において被覆層の含有量は、修飾無機粒子１００質量部に対して、５質量部であった。また、シリカ分散液２中において、非被覆物の含有量は、修飾無機粒子全体１００質量部に対して、０．５質量部であった。

〔シリカ分散液３〕
・下記手順で得られたシリカ分散液

＜シリカ分散液３の製造＞
　ＫＰ９８３を下式のフッ素含有シランカップリング剤、ＫＢＭ－５８０３を３－グリシドキシプロピルトリメトキシシランに変更した以外は合成例１と同様にして、シリカ分散液３を作製した。得られた修飾無機粒子において被覆層の含有量は、修飾無機粒子１００質量部に対して、７質量部であった。また、シリカ分散液３中において、非被覆物の含有量は、修飾無機粒子全体１００質量部に対して、０．１質量部であった。

〔シリカ分散液４〕
・下記手順で得られたシリカ分散液

＜シリカ分散液４の製造＞
（被覆層形成工程）
　ＩＰＡ－ＳＴ－Ｌ（日産化学社製、中実シリカ粒子のイソプロパノール分散液、固形分濃度３０質量％、平均一次粒子径４５ｎｍ）１００質量部、エタノール１００質量部、疎水性基を含有するシランカップリング剤であるＫＰ９８３（信越シリコーン社製）３質量部、および、［３－（トリメトキシシリル）プロピル］こはく酸無水物０．５質量部を混合した溶液に、アンモニア水（１質量％濃度）を混合液質量に対して１質量％となるように添加し、２５℃で７２時間撹拌した。

（精製処理工程）
　得られた溶液を回転式セラミック膜ろ過機（三菱ダイナフィルタ）を用い、得られた溶液の１０倍量のＰＧＭＥＡを洗浄液として使用し、シリカ粒子の精製を実施した（条件：セラミック膜の細孔径５ｎｍ、ディスク回転数１０００ｒｐｍ、ろ過圧力０．２ＭＰａ）。得られたシリカ溶液を固形分濃度３０質量％となるように濃縮し、シリカ分散液４を得た。
　得られた修飾無機粒子において被覆層の含有量は、修飾無機粒子１００質量部に対して、７質量部であった。また、シリカ分散液４において、非被覆物の含有量は、修飾無機粒子全体１００質量部に対して、０．３質量部であった。

〔色材分散液〕
　表１に示す各色材分散液を用いた。

［評価］
　実施例または比較例の感光性組成物を用いて、以下の試験を行った。

〔ウエハに対する密着性（密着１）〕
　各感光性組成物を、あらかじめヘキサメチルジシラザンを噴霧した２００ｍｍ（８インチ）シリコンウエハ基板上に、スピンコート法により塗布し、乾燥後の膜厚が１．０μｍの塗膜を作製した。
　得られた塗膜に対して９０℃で１２０秒間のプリベークを実施した後、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を用い、開口線幅５０μｍのＬ／Ｓ（ライン幅：スペース幅＝１：１）パターンを有するマスクを介して、５０～２０００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で露光処理を実施した。
　次いで、露光後の上記塗膜を、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）０．３％水溶液を用い、２３℃で６０秒間パドル現像した後、スピンシャワーにてリンス処理を行い、さらに純水で３０秒間洗浄することで塗膜の未硬化部を除去した。その後、上記塗膜に対し、２２０℃で３００秒間のポストベークを実施することで、パターン付きウエハを得た。
　上述の方法で作製したパターン付きウエハについて、光学顕微鏡を用いて５０μｍ幅のラインパターンを観察し、パターン剥がれの有無を下記評価基準に基づいて評価した。Ａ～Ｄの評価であれば、実用上問題ないと判断した。
　基材に密着していて剥がれがないパターン（画像部）を形成できる露光量が小さい程、好ましい。
（評価基準）
　Ａ：５０ｍＪ／ｃｍ^２以上の露光量にて、剥がれがないパターンを形成できる。
　Ｂ：２５０ｍＪ／ｃｍ^２以上の露光量にて、剥がれがないパターンを形成できる（５０～２００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量では剥がれが生じる。）。
　Ｃ：５００ｍＪ／ｃｍ^２以上の露光量にて、剥がれがないパターンを形成できる（５０～４５０ｍＪ／ｃｍ^２の露光量では剥がれが生じる。）
　Ｄ：１０００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量にて、剥がれがないパターンを形成できる（５０～９５０ｍＪ／ｃｍ^２の露光量では剥がれが生じる。）
　Ｅ：１０００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量では剥がれが生じる。

〔ウエハ上の残渣の評価（残渣１）〕
　〔ウエハに対する密着性（密着性評価１）〕において得られたパターン付きウエハについて、走査型電子顕微鏡（倍率１５０００倍）を用いて基板上のパターンが形成されていないスペース部（未露光部）を観察し、３μｍ×３μｍの面積（１エリア）あたりの直径０．０５μｍ以上の残渣を数え、下記評価基準に基づいて評価した。Ａ～Ｄの評価であれば、実用上問題ないと判断した。
（評価基準）
　Ａ：１エリアあたりの残渣が存在していない。
　Ｂ：１エリアあたりの残渣の数が３個未満
　Ｃ：１エリアあたりの残渣の数が３個以上１０個未満
　Ｄ：１エリアあたりの残渣の数が１０個以上２０個未満
　Ｅ：１エリアあたりの残渣の数が２０個以上

〔ガラス基板に対する密着性（密着２）〕
　各感光性組成物を、ガラス基板上にスピンコート法により塗布し、乾燥後の膜厚が１．５μｍの塗膜を作製した。
　得られた塗膜に対して１００℃で１２０秒間のプリベークを実施した後、開口線幅５０μｍのＬ／Ｓパターン（ライン幅：スペース幅＝１：１）を有するマスクを介して、ＵＸ－１０００ＳＭ－ＥＨ０４（ウシオ電機株式会社製）を用い、高圧水銀ランプ（ランプパワー５０ｍＷ／ｃｍ^２）にて５０～２０００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で、プロキシミティ方式による露光処理を実施した。
　次いで、露光後の上記塗膜を、ＴＭＡＨ０．３％水溶液を用い、２３℃で３０秒間パドル現像した後、純水で３０秒間洗浄し、塗膜の未硬化部を除去した。その後、上記塗膜に対し、２２０℃で３００秒間のポストベークを実施することで、パターン付きガラス基板を得た。
　上述の方法で作製したパターン付きガラス基板について、光学顕微鏡を用いて５０μｍ幅のラインパターンを観察し、パターン剥がれの有無を下記評価基準に基づいて評価した。Ａ～Ｄの評価であれば、実用上問題ないと判断した。
　基材に密着していて剥がれがないパターン（画像部）を形成できる露光量が小さい程、好ましい。
（評価基準）
　Ａ：５０ｍＪ／ｃｍ^２以上の露光量にて、剥がれがないパターンを形成できる。
　Ｂ：２５０ｍＪ／ｃｍ^２以上の露光量にて、剥がれがないパターンを形成できる（５０～２００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量では剥がれが生じる。）。
　Ｃ：５００ｍＪ／ｃｍ^２以上の露光量にて、剥がれがないパターンを形成できる（５０～４５０ｍＪ／ｃｍ^２の露光量では剥がれが生じる。）
　Ｄ：１０００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量にて、剥がれがないパターンを形成できる（５０～９５０ｍＪ／ｃｍ^２の露光量では剥がれが生じる。）
　Ｅ：１０００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量では剥がれが生じる。

〔ガラス基板上の残渣の評価（残渣２）〕
　〔ガラスに対する密着性（密着性評価２）〕において得られたパターン付きウエハについて、走査型電子顕微鏡（倍率１５０００倍）を用いて基板上のパターンが形成されていないスペース部（未露光部）を観察し、３μｍ×３μｍの面積（１エリア）あたりの直径０．０５μｍ以上の残渣を数え、下記評価基準に基づいて評価した。Ａ～Ｄの評価であれば、実用上問題ないと判断した。
（評価基準）
　Ａ：１エリアあたりの残渣が存在していない。
　Ｂ：１エリアあたりの残渣の数が５個未満
　Ｃ：１エリアあたりの残渣の数が５個以上１０個未満
　Ｄ：１エリアあたりの残渣の数が１０個以上２０個未満
　Ｅ：１エリアあたりの残渣の数が２０個以上

〔ガラス基板に対する付着性（クロスカット試験）〕
　ＪＩＳ　Ｋ５６００－５－６（１９９９）に準拠したクロスカット法にて、塗膜の付着性を評価した。
　〔ガラス基板に対する密着性（密着性評価２）〕において、マスクを使用することなく、露光量を１０００ｍＪ／ｃｍ^２として露光処理を行った以外は同様の手順にて、ガラス基板上に硬化膜を形成した。
　得られた硬化膜上に、カッターナイフを用いて１．０ｍｍ間隔で５×５個の切れ込みを入れ、格子パターンを作製した。剥離試験用圧着ローラー（２ｋｇ）を用いてセロハンテープを圧着させた後、テープの端を４５°の角度に傾けながら秒速７５ｍｍの速さで引き剥がした。ガラス基板上の剥がれが生じた格子パターンの個数を数え、下記評価基準に基づいて評価した。
　剥がれが生じた格子パターンが少ない程、パターンの密着性に優れ好ましい。
（評価基準）
　Ａ：剥がれが全く生じていない。
　Ｂ：剥がれが生じた格子パターンの数が全体の５％未満。
　Ｃ：剥がれが生じた格子パターンの数が全体の５％以上１５％未満。
　Ｄ：剥がれが生じた格子パターンの数が全体の１５％以上３５％未満。
　Ｅ：剥がれが生じた格子パターンの数が全体の３５％以上。

［結果］
　下記表５～８に実施例１－１～１－３５および比較例１－１～１－２の感光性組成物の評価結果を、表９～１１に実施例２－１～２－３２および比較例２－１～２－４の感光性組成物の評価結果を示す。
　また、下記表１０４に実施例１－１０１～１－１０５の感光性組成物の評価結果を、表２０１に実施例２－１０１～２－１１９の感光性組成物の評価結果を示す。
　表中の数値は特に断りがない限り、質量基準である。
　また、表中の各成分の使用量は、質量部で表される。例えば、実施例１－１のＰＧＭＥＡの使用量は、２２．７１質量部である。
　表５～８および表１０４中、「固形分比率」欄は、各感光性組成物の全固形分に対する第１樹脂または第２樹脂の含有量を示す。
　表５～８および表１０４中、「樹脂割合」欄は、各感光性組成物中の樹脂の全質量に対する第１樹脂または第２樹脂の含有量を示す。
　表９～１１および表２０１中、第１樹脂が複数の繰り返し単位を有する場合、各繰り返し単位に付した数値は、第１樹脂中の全繰り返し単位に対する、各繰り返し単位の含有量（質量％）を示す。

　表５～８および表９～１１、ならびに表１０４および表２０１の結果から、本発明の実施例の感光性組成物を用いて、基板上に硬化膜を形成した際に、形成される硬化膜と基板との密着性に優れ、かつ、現像残渣の発生がより抑制されることが確認された。
　一方、第１樹脂の含有量が、感光性組成物中の樹脂の全質量に対して、５０質量％超である、比較例１－１または比較例１－２の感光性組成物は、ガラス基板に対する密着性の評価が低く、上記効果は得られなかった。
　また、第１樹脂を含まない、比較例２－１または比較例２－４の感光性組成物は、いずれの評価結果も低く、上記効果は得られなかった。なお、比較例２－４において、Ａ－９の代わりに用いたＡ－ｒ４は、ポリオキシアルキレン鎖を有するものの、繰り返し単位数ｎが３未満であるために第１樹脂に該当しない樹脂である。
　また、第１樹脂がフッ素原子を含む、比較例２－２または比較例２－３の感光性組成物は、いずれの評価結果も低く、上記効果は得られなかった。

　また、表９～１１の結果から、第１樹脂に関して、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位において、式（１）中のｎが６以上である場合、ウエハおよびガラス基板に対する現像残渣の発生がより抑制されることが確認された（実施例２－２と実施例２－４との対比等）。
　第１樹脂に関して、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位において、式（１）中のｎが２５以下である場合、ウエハおよびガラス基板に対する密着性が良好であることが確認された（実施例２－６と実施例２－５との対比等）。
　第１樹脂に関して、式（１ａ）で表される繰り返し単位において、Ｒ^２ａが芳香環を含まない１価の有機基である場合、ウエハおよびガラス基板に対する現像残渣の発生がより抑制されることが確認された（実施例２－２３と実施例１－３との対比等）。
　第１樹脂に関して、式（１ａ）で表される繰り返し単位において、Ｒ^２ａが炭素数１～４のアルキル基を表す場合、ウエハおよびガラス基板に対する現像残渣の発生がより抑制されることが確認された（実施例２－２２と実施例２－１０との対比等）。
　第１樹脂に関して、式（１ａ）で表される繰り返し単位において、Ｒ^２ａがメチル基である場合、ガラス基板に対する付着性（クロスカット試験の結果）が良好であることが確認された（実施例２－３と実施例２－４との対比等）。

　第１樹脂に関して、重合性基を有する繰り返し単位を含む場合、ウエハおよびガラス基板に対する密着性ならびにガラス基板に対する付着性が良好であることが確認された（実施例２－４と実施例２－８との対比等）。
　第１樹脂のエチレン性不飽和結合当量が、０．６ｍｍｏｌ／ｇ以上である場合、ウエハおよびガラス基板に対する密着性が良好であることが確認された（実施例２－９と実施例１－３との対比等）。
　第１樹脂に関して、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位の含有量が、第１樹脂中の全繰り返し単位に対し、５５モル％以上である場合、ウエハおよびガラス基板に対する現像残渣の発生がより抑制されることが確認された。
　第１樹脂に関して、重合性基を含み、上記重合性基がアクリロイル基である場合、ガラス基板に対する付着性（クロスカット試験の結果）が良好であることが確認された（実施例２－２０および実施例２－２５～２－２８と、実施例１－３との対比等）。
　第１樹脂の酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である場合、ウエハおよびガラス基板に対する密着性が良好であることが確認された（実施例２－１７と実施例１－３との対比等）。

　表５の結果から、第２樹脂が、グラフト鎖を有する樹脂、または、ブロック構造を有する樹脂である場合、ガラス基板に対する密着性および付着性に優れ、現像残渣の発生がより抑制されることが確認された（実施例１－１１と実施例１－９との対比等）。
　第２樹脂が、ポリエステル構造を有する場合、ガラス基板に対する密着性および付着性に優れ、現像残渣の発生がより抑制されることが確認された（実施例１－９と実施例１－３との対比等）。
　第１樹脂の含有量が、感光性組成物の全固形分に対して、１．０質量％以上である場合、現像残渣の発生がより抑制されることが確認された（実施例１－２と実施例１－３との対比等）。
　第１樹脂の含有量が、感光性組成物の全固形分に対して、５質量％以下である場合、ウエハおよびガラス基板に対する密着性に優れることが確認された（実施例１－６と実施例１－３との対比等）。

　表６の結果から、色材が無機顔料である場合、現像残渣の発生がより抑制されることが確認された（実施例１－１４と実施例１－１３との対比等）。

　表８の結果から、重合性化合物の酸価が０である場合、ウエハおよびガラス基板に対する密着性に優れることが確認された（実施例１－２４と実施例１－３５との対比等）。
　重合性化合物が３官能以上である場合、ウエハおよびガラス基板に対する密着性に優れることが確認された（実施例１－２５と実施例１－３５との対比等）。
　界面活性剤がシリコーン系界面活性剤である場合、ガラス基板に対する密着性および付着性に優れ、現像残渣の発生がより抑制されることが確認された（実施例１－３２と実施例１－３１との対比等）。

Claims

　樹脂と、
　色材と、
　光重合開始剤と、
　重合性化合物と、を含む、感光性組成物であって、
　前記樹脂が、式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位を含み、フッ素原子を実質的に含まない第１樹脂と、
　前記式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位を含まない第２樹脂と、を含み、
　前記第１樹脂の含有量が、前記樹脂の全質量に対して、１～５０質量％である、感光性組成物。
　－（Ｒ^１－Ｏ）_ｎ－　　　・・・式（１）
　前記式（１）中、Ｒ^１はそれぞれ独立に炭素数２または３のアルキレン基を表し、ｎは３～２００を表す。
　前記式（１）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する繰り返し単位が、下記式（１ａ）で表される繰り返し単位である、請求項１に記載の感光性組成物。
　式（１ａ）中、
　Ｒ^１ａは、それぞれ独立に、炭素数２または３のアルキレン基を表す。
　Ｒ^２ａは、水素原子または１価の有機基を表す。
　Ｒ^３ａは、水素原子またはメチル基を表す。
　ｎは、３～２００を表す。
　Ｒ^２ａが芳香環を含まない１価の有機基または水素原子を表す、請求項２に記載の感光性組成物。
　Ｒ^２ａが水素原子または炭素数１～４のアルキル基を表す、請求項２に記載の感光性組成物。
　前記第１樹脂が、重合性基を有する繰り返し単位を含む、請求項１に記載の感光性組成物。
　前記第１樹脂のエチレン性不飽和結合当量が、０．５ｍｍｏｌ／ｇ以上である、請求項５に記載の感光性組成物。
　前記第１樹脂の酸価が、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である、請求項１に記載の感光性組成物。
　前記第２樹脂が、グラフト鎖を有する樹脂、または、ブロック構造を有する樹脂である、請求項１に記載の感光性組成物。
　前記第２樹脂が、ポリエステル構造を有する、請求項１に記載の感光性組成物。
　前記第１樹脂の含有量が、前記感光性組成物の全固形分に対して、５質量％以下である、請求項１に記載の感光性組成物。
　前記色材が顔料を含む、請求項１に記載の感光性組成物。
　前記顔料が無機顔料である、請求項１１に記載の感光性組成物。
　さらにシリコーン系界面活性剤を含む、請求項１に記載の感光性組成物。
　請求項１～１３のいずれか１項に記載の感光性組成物を用いて形成された硬化膜。
　請求項１～１３のいずれか１項に記載の感光性組成物を用いて形成された遮光膜。
　請求項１４に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
　請求項１４に記載の硬化膜を有する光学素子。
　請求項１４に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
　車載用灯具のヘッドライトユニットであって、
　光源と、
　前記光源から出射された光の少なくとも一部を遮光する遮光部とを有し、
　前記遮光部が、請求項１４に記載の硬化膜を含む、ヘッドライトユニット。