WO2024018978A1 - 樹脂層、グリース組成物、電子デバイス - Google Patents

樹脂層、グリース組成物、電子デバイス Download PDF

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WO2024018978A1
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resin layer
grease composition
resin
particle
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PCT/JP2023/025824
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琢磨 服部
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株式会社巴川製紙所
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    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K9/00—Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields

Definitions

  • the present invention relates to a resin layer, a grease composition, or an electronic device.
  • Millimeter wave radars are often used as in-vehicle sensors because their sensitivity is less affected by the surrounding environment and they have excellent sensing capabilities over relatively long distances.
  • Patent Document 1 discloses a radar device including an electromagnetic wave absorbing heat dissipating gel.
  • Patent Document 2 discloses a silicone composition and a curable grease containing magnetic powder and a thermally conductive filler.
  • the resin layer according to the prior art may not have sufficient performance (for example, a balance between heat transfer property and electromagnetic wave absorption property, etc.).
  • the present invention provides a resin layer having excellent performance (for example, excellent heat transfer properties and excellent electromagnetic wave absorption properties), a grease composition suitable for forming the resin layer, the resin layer, or the grease composition.
  • An object of the present invention is to provide an electronic device comprising a layer obtained from a material.
  • the present inventors conducted extensive research and found that a resin layer containing specific particles could solve the above problems, and completed the present invention. That is, the present invention is as follows.
  • the first aspect of the present invention is resin and A filler including a first particle consisting of a plurality of SiC particles and a second particle consisting of a plurality of particles other than SiC,
  • a filler including a first particle consisting of a plurality of SiC particles and a second particle consisting of a plurality of particles other than SiC,
  • the first particle distribution ratio D p1 is 30.0 to 70.0%
  • the second particle distribution ratio D p2 is 10.0 to 40.0%
  • the resin layer is characterized in that the sum of the first particle distribution rate D p1 and the second particle distribution rate D p2 [D p1 +D p2 ] is 60.0 to 90.0%.
  • the second particles are spherical.
  • the second particles contain alumina.
  • the resin is a silicone resin. It is preferable that the resin layer has a thermal conductivity of 2.5 W/(m ⁇ K) or more. It is preferable that the resin layer has a dielectric loss tangent of 0.35 or more.
  • the resin layer is preferably an electromagnetic wave absorbing layer.
  • the resin layer is preferably for millimeter wave radar.
  • the second aspect of the invention is resin and A filler including a first particle consisting of a plurality of SiC particles and a second particle consisting of a plurality of particles other than SiC,
  • a filler including a first particle consisting of a plurality of SiC particles and a second particle consisting of a plurality of particles other than SiC,
  • 4 to 40% of particles are 0.04 ⁇ m or more and less than 4.0 ⁇ m
  • 18 to 60% are 4.0 ⁇ m or more and less than 40 ⁇ m
  • 24% of particles are 40 ⁇ m or more and less than 400 ⁇ m. 70%.
  • the grease composition preferably has a viscosity of 50 to 1000 Pa ⁇ s at 25°C.
  • the first particles include spherical particles and non-spherical particles.
  • the second particles are spherical.
  • the second particles contain alumina.
  • the resin is a silicone resin.
  • the grease composition is preferably for forming an electromagnetic wave absorbing layer.
  • the grease composition is preferably for millimeter wave radar.
  • the third aspect of the present invention is comprising a semiconductor element, a heat dissipation member, and a heat transfer layer provided between the semiconductor element and the heat dissipation member and in contact with the semiconductor element and the heat dissipation member,
  • the heat transfer layer is an electronic device, which is a resin layer of the first aspect or a layer obtained from the grease composition of the second aspect.
  • a resin layer having excellent performance e.g., excellent heat transfer properties and excellent electromagnetic wave absorption properties
  • a grease composition suitable for forming the resin layer, the resin layer, or the grease composition An electronic device comprising a layer obtained from a material.
  • a resin layer that can be particularly preferably used as a component constituting a millimeter wave radar, a grease composition suitable for forming the resin layer, and a layer obtained from the resin layer or the grease composition are provided.
  • a millimeter wave radar is provided.
  • FIG. 1 is a schematic diagram (conceptual sectional view) showing an example of a communication device according to the present disclosure.
  • FIG. 2 shows the volume distribution ratio of filler components in Example 1.
  • FIG. 3 is a cross-sectional SEM photograph (300x magnification) of the resin layer according to Example 1.
  • FIG. 4 is a cross-sectional SEM photograph (10,000x magnification) of the resin layer according to Example 1.
  • particles when simply expressed as “particles”, it may mean a “particle group” consisting of a plurality of particles.
  • particles with an aspect ratio of 1 or more and 3 or less may be referred to as spherical particles (spherical particles), and particles with an aspect ratio of more than 3 may be referred to as non-spherical particles (non-spherical particles).
  • a grease composition according to the present disclosure includes a resin and a filler.
  • the grease composition may contain other components.
  • the resin is not particularly limited, and silicone resins, acrylic resins, epoxy resins, phenol resins, polyimide resins, bismaleimide resins, urethane resins, polyamide resins, liquid rubbers, and the like can be used.
  • the resin is preferably a silicone resin from the viewpoint of thermal stability, electrical stability, etc.
  • the resin is preferably a curable resin (thermosetting resin or energy ray curable resin).
  • a curable resin thermosetting resin or energy ray curable resin.
  • the resin is a curable silicone resin.
  • the curable silicone resin may have a reactive functional group.
  • reactive functional groups include hydroxyl groups, functional groups containing ethylenically or acetylenically unsaturated double bonds (e.g., alkenyl groups, (meth)acryloyl groups), epoxy groups, amino groups, mercapto groups, carboxy groups, etc. can be mentioned.
  • the curable silicone resin is preferably an addition reaction type silicone resin because by-products are unlikely to be generated during curing.
  • Addition-reactive silicone resins for example, are made from polyorganosiloxane containing at least two alkenyl groups (e.g., vinyl groups) in one molecule, and the alkenyl groups are added in the presence of a hydrosilyl group-containing crosslinking agent, a platinum catalyst, etc. Obtained by addition reaction. In this case, by adjusting the equivalent weight (and number of residues) of the alkenyl group, it is possible to change the curing reactivity described below and the penetration after curing (after gelation).
  • the curable silicone resin may have functional groups other than reactive functional groups.
  • the structure of the skeleton of the silicone resin is not particularly limited, and those with known structures such as silicone oligomers, organosiloxanes, and organopolysiloxanes can be used.
  • the grease composition may contain a curing agent (catalyst).
  • the curing agent is not particularly limited, and examples thereof include platinum-based curing agents, nickel-based curing agents, titanium-based curing agents, iron-based curing agents, and the like.
  • the grease composition may be a two-component composition.
  • the grease composition may be a two-component composition including a liquid A containing a curable resin and a liquid B containing a hardening agent.
  • the grease composition is a two-component composition, it is possible to use the grease composition by mixing the A component and the B component immediately before applying the grease composition, and applying the resulting mixture to the application site.
  • the physical properties and properties of the resin are not particularly limited and can be changed as appropriate depending on the resin used and the purpose.
  • the silicone resin is a curable silicone resin
  • a silicone resin for example, silicone gel
  • the electromagnetic wave absorbing layer described below can be easily held appropriately. Note that the penetration was measured in accordance with ASTM D1408.
  • the resin preferably accounts for 3 to 50% by mass, 3 to 30% by mass, 3 to 20% by mass, or 5 to 15% by mass, when the total solid content of the grease composition is 100% by mass.
  • the filler preferably includes a first particle group (first particles) consisting of a plurality of SiC particles, and a second particle group (second particles) consisting of a plurality of particles other than SiC.
  • the first particles which are the first filler, are made of SiC.
  • the average particle diameter of the first particles is not particularly limited, and is preferably 4 to 400 ⁇ m, more preferably 6 to 200 ⁇ m.
  • the first particles may be composed of a mixture of particle groups having different average particle diameters.
  • the first particles include particles (large particle group) with an average particle size of 30 to 300 ⁇ m (preferably 50 to 200 ⁇ m), and particles with an average particle size of 1 ⁇ m or more and less than 30 ⁇ m (preferably 5 to 20 ⁇ m). ) particles (small particle group) may be obtained by mixing them.
  • the ratio of large particle group to small particle group is 0.10 to 10.00, 0.25 to 5.00, 0.30 to 4 It is preferably .00 or 0.50 to 3.50. In this way, by using a mixture of particle groups having different average particle diameters as the first particles, the distribution of the first particles in the resin layer when forming the resin layer described later becomes preferable, and the performance can be improved. Can be done.
  • the average value of the aspect ratios of the first particles is not particularly limited.
  • the first particles may be a mixture of spherical particles and non-spherical particles.
  • the first particles are preferably non-spherical particles, particularly preferably irregularly shaped particles.
  • the amorphous particles shown here are those that can be generally regarded as amorphous, and representative examples thereof include crushed particles obtained by crushing relatively large particles.
  • the average aspect ratio of the large particle group and the average aspect ratio of the small particle group may be different.
  • the aspect ratio of the particles is a value measured using a representative particle image using an image analysis method using Mastersizer 3000 manufactured by Malvern Panalytical.
  • the average particle diameter of the particles is a value measured by a laser diffraction scattering method using Mastersizer 3000 manufactured by Malvern Panalytical.
  • ⁇ Particles other than SiC (second particles)> The material constituting the particles that are the second filler (second particles) is not particularly limited.
  • the material constituting the second particles is preferably an inorganic material (e.g., metal oxide, metal hydroxide, metal nitride), and preferably a metal oxide (e.g., silica, alumina, titania, etc.). More preferred. Further, the second particles may be a carbon material or the like.
  • an inorganic material e.g., metal oxide, metal hydroxide, metal nitride
  • a metal oxide e.g., silica, alumina, titania, etc.
  • the second particles may be a carbon material or the like.
  • the second particles may be a mixture of two or more types of particles made of different materials.
  • the second particles may be made of a material having a higher volume resistivity than the first particles.
  • the volume resistivity of the first particle material SiC
  • the volume resistivity of the second particle material is It may be 1.0 ⁇ 10 10 ( ⁇ cm) or more, or 1.0 ⁇ 10 12 ( ⁇ cm) or more.
  • the second particles may be made of a material having a lower thermal conductivity (20° C.) than the first particles.
  • the thermal conductivity (20°C) of the material of the first particles (SiC) is about 200 (W/m ⁇ K), but the thermal conductivity (20°C) of the material of the second particles is 100 ( W/m ⁇ K) or less, or 50 (W/m ⁇ K) or less.
  • the second particles may be spherical particles or non-spherical particles, but are preferably spherical particles.
  • 50% by mass or more, 60% by mass or more, 70% by mass or more, 80% by mass or more, or 90% by mass or more of the entire second particles may be spherical particles. preferable.
  • the average value of the aspect ratio of the second particles is not particularly limited, and is preferably 1 to 3 or 1 to 2.
  • the average particle diameter of the second particles is not particularly limited, and is preferably 0.04 to 4 ⁇ m or 0.1 to 1 ⁇ m.
  • the content of the first particles is 30% by mass or more, 40% by mass or more, 45% by mass or more, 50% by mass or more , 55% by mass or more, or 58% by mass or more, and preferably 90% by mass or less, 85% by mass or less, or 80% by mass or less.
  • the content of the second particles is 3% by mass or more, 4% by mass or more, 5% by mass or more, or 10% by mass. % or more, and preferably 50% by mass or less, 45% by mass or less, or 40% by mass or less.
  • the total amount [M p1 +M p2 ] of the first particle content M p1 and the second particle content M p2 is 50 mass % or more, 60 mass % or more, 70 mass % or more, 75 mass % or more, 80 mass % or more, or preferably 85% by mass or more, and preferably 97% by mass or less, 95% by mass or less, or 90% by mass or less.
  • the ratio [M p1 /M p2 ] of the first particle content M p1 to the second particle content M p2 is 0.5 or more, 0.8 or more, 1.0 or more, 1.5 or more, or 1. It is preferably 6 or more, and preferably 10 or less, 9.0 or less, 8.0 or less, 7.0 or less, or 6.5 or less.
  • the grease composition (or the resin layer described below) may be in the form of a mixture of particles with different average particle sizes (in which the particle size distribution has multiple peaks) or in the form of a form with a wide particle size distribution. preferable.
  • particles with a size of 0.04 ⁇ m or more and less than 4.0 ⁇ m account for 1% or more, 2% or more, 3% or more, 4% or more, or 5% or more. , 8% or more, or 10% or more, and preferably 70% or less, 65% or less, 60% or less, 50% or less, 40% or less, or 35% or less.
  • particles with a size of 4.0 ⁇ m or more and less than 40 ⁇ m may account for 10% or more, 15% or more, 18% or more, or 20% or more. Preferably, it is 80% or less, 75% or less, 70% or less, 65% or less, 60% or less, or 55% or less.
  • particles having a size of 40 ⁇ m or more and less than 400 ⁇ m account for 15% or more, 20% or more, 24% or more, or 28% or more, It is preferably 80% or less, 75% or less, 70% or less, 65% or less, or 62% or less.
  • 4 to 40% of the particles are 0.04 ⁇ m or more and less than 4.0 ⁇ m, and 4 to 40% of the particles are 4.0 ⁇ m or more and less than 40 ⁇ m.
  • the proportion of particles is 18 to 60%, and the proportion of particles of 40 ⁇ m or more and less than 400 ⁇ m is 24 to 70%.
  • the particle size distribution of the filler in the grease composition By setting the particle size distribution of the filler in the grease composition within such a range, particles are likely to be appropriately dispersed and present in a layer obtained using the grease composition (for example, a resin layer described below).
  • the network formed by the distribution of particles is preferable, and it is easy to obtain a grease composition with excellent heat conductivity, radio wave absorption, etc.
  • the particle size distribution of the filler in the grease composition can be measured by a laser diffraction scattering method using a Mastersizer 3000 manufactured by Malvern Panalytical after removing components other than the filler component in the grease composition using a solvent.
  • the first particles are preferably non-spherical particles
  • the second particles are preferably spherical particles.
  • the filler preferably has a form containing spherical particles and non-spherical particles. More specifically, when the total amount of filler is 100% by mass, the proportion of spherical particles is preferably 10 to 90% by mass or 20 to 80% by mass.
  • the average particle diameter of the spherical particles is preferably 1 ⁇ m or less.
  • the average particle diameter of the non-spherical particles is preferably 10 ⁇ m or more.
  • the grease composition may also contain other known components such as a curing agent, a curing accelerator, a catalyst, a dispersant, an antifoaming agent, an antioxidant, and a rust preventive.
  • Other components may be 50 parts by mass or less, 20 parts by mass or less, 10 parts by mass or less, or 5 parts by mass or less, when the total of the resin and filler is 100 parts by mass.
  • the viscosity of the grease composition is preferably 50 to 1000 Pa ⁇ s, more preferably 100 to 1000 Pa ⁇ s, and even more preferably 200 to 700 Pa ⁇ s.
  • Viscosity can be measured according to the following method. (Measuring method) As a measuring device, Rheostress 600 manufactured by HAAKE is used. Measurement is performed with a gap of 1 mm, a load of 1 N, a temperature of 25° C., and speed control mode. The value when the shear rate of the measurement sample is 10 (1/s) is defined as the viscosity.
  • the volume resistivity of the grease composition is 1.00 ⁇ 10 9 ( ⁇ cm) or more, 5.00 ⁇ 10 9 ( ⁇ cm) or more, 1.00 ⁇ 10 10 ( ⁇ cm) or more, or It is preferable that it is 2.00 ⁇ 10 10 ( ⁇ cm) or more.
  • Measured method Hiresta UP MCP-HT450 manufactured by Mitsubishi Chemical Analytic Co., Ltd. is used as a measuring instrument. A measurement sample is formed on a 38 ⁇ m PET film to a thickness of 500 to 1000 ⁇ m, and a probe is pressed against the surface of the measurement sample to measure the resistance value.
  • the method for producing the grease composition is not particularly limited, and the grease composition can be produced by appropriately mixing the above-mentioned components.
  • the grease composition can be preferably used to form an electromagnetic wave absorbing layer. More specifically, the grease composition is preferably used to form an electromagnetic wave absorption layer in a millimeter wave radar.
  • the resin layer according to the present disclosure includes a resin and a filler.
  • the resin layer according to the present disclosure can also be expressed as a grease composition layer formed by applying the aforementioned grease composition, or a grease composition cured product layer obtained by curing the grease composition layer. It is.
  • the resin forming the resin layer is the same as the resin constituting the aforementioned grease composition, or is a cured product of the resin.
  • the filler includes first particles that are SiC and second particles that are particles other than SiC.
  • the first particles and the second particles are the components described above.
  • the resin layer may contain other components like the grease composition.
  • the same explanation as for the grease composition can be applied to the composition (components and their content) constituting the resin layer. Furthermore, the same explanation as for the grease composition can be applied to the distribution of each particle, etc.
  • the area ratio occupied by the first particles is defined as a first particle distribution ratio D p1
  • the area ratio occupied by the second particles is defined as a second particle distribution ratio D p2 .
  • the cross section of the resin layer is, for example, a cross section (a cross section through which the layer structure can be observed) that passes near the center of the resin layer and is perpendicular to the layer (relative to the main surface of the resin layer).
  • the first particle distribution ratio D p1 is preferably 30.0 to 70.0%, 35.0 to 70.0%, or 40.0 to 70.0%.
  • the second particle distribution ratio D p2 is preferably 10.0 to 40.0%, 10.0 to 35.0%, or 10.0 to 30.0%.
  • the sum of the first particle distribution rate D p1 and the second particle distribution rate D p2 [D p1 +D p2 ] is 50.0 to 90.0%, 55.0 to 85.0%, or 60.0 to Preferably it is 80.0%.
  • the remaining amount other than [D p1 +D p2 ] is, for example, the proportion occupied by the matrix resin.
  • the first particle distribution ratio D p1 and the second particle distribution ratio D p2 satisfy the above ranges, that is, each particle in the cross section of the resin layer is distributed at such an area ratio, the paths between the particles are reduced.
  • the network formed by the first particles is preferable, and heat conductivity, radio wave absorption, etc. are likely to be improved.
  • the first particle distribution rate D p1 and the second particle distribution rate D p2 can be measured according to the following method.
  • the first particle distribution ratio D p1 and the second particle distribution ratio D p2 can be adjusted by changing the particle diameter, blending amount, etc. of each particle.
  • the thermal conductivity of the resin layer is preferably 2.0 W/(m ⁇ K) or more, more preferably 2.5 W/(m ⁇ K) or more, and 3.0 W/(m ⁇ K). ) or more is more preferable, and it is particularly preferable that it is 5.0 W/(m ⁇ K) or more.
  • the resin layer preferably has a dielectric loss tangent of 0.35 or more, more preferably 0.5 or more.
  • the dielectric loss tangent of the resin layer can be measured by the following method. (Measuring method) The dielectric loss tangent at 77 GHz is measured using a free space method measurement device manufactured by Kanto Electronic Applications (currently EM Lab) and a network analyzer N5225A manufactured by Agilent Technologies.
  • the resin layer has a volume resistivity of 1.00 ⁇ 10 9 ( ⁇ cm) or more, 5.00 ⁇ 10 9 ( ⁇ cm) or more, 1.00 ⁇ 10 10 ( ⁇ cm) or more, or It is preferable that it is 2.00 ⁇ 10 10 ( ⁇ cm) or more. Volume resistivity can be measured according to the method described above.
  • the resin layer can be obtained using the aforementioned grease composition.
  • the grease composition contains a curable resin
  • the grease composition is applied by a predetermined method and then cured by a predetermined method (heating or energy ray irradiation).
  • a resin layer which is a cured product layer of the composition can be formed.
  • a resin layer can be formed by applying the grease composition in a predetermined manner.
  • the resin layer is preferably used as an electromagnetic wave absorbing layer. More specifically, the resin layer is more preferably used as an electromagnetic wave absorption layer applied to electronic devices, and more preferably used as an electromagnetic wave absorption layer for sensors (particularly for millimeter wave radar).
  • the resin layer according to the present disclosure as an electromagnetic wave absorption layer for a sensor, electromagnetic wave noise due to reflection, radiation, etc. can be suppressed, and the measurement sensitivity of the sensor can be increased.
  • the resin layer may be brought into contact with a semiconductor element (for example, a transmitting/receiving chip) constituting the sensor, or may be placed near the semiconductor element.
  • a semiconductor element for example, a transmitting/receiving chip
  • An electronic device includes a semiconductor element and a heat radiating member, and further includes a heat transfer layer provided between the semiconductor element and the heat radiating member and in contact with the semiconductor element and the heat radiating member.
  • the heat transfer layer is the resin layer described above.
  • the heat radiation member is, for example, a housing.
  • Such an electronic device can be used as a communication device in which a semiconductor element is used as a communication chip, for example.
  • a transmitting/receiving chip (a chip that has both a transmitting function and a receiving function) as a communication chip
  • the chip may be independent.
  • FIG. 1 is a schematic diagram (conceptual cross-sectional view) of an electronic device according to the present disclosure.
  • a communication device includes a substrate, a transmitting/receiving chip electrically connected to the substrate, a shield case serving as a casing covering the transmitting/receiving chip, and intervening between the transmitting/receiving chip and the shield case. a heat transfer layer.
  • the substrate is, for example, an antenna substrate including an antenna region.
  • a conventionally known substrate can be used, and the material of the substrate, the parts assembled to the substrate, etc. can be designed as appropriate depending on the purpose of the communication device.
  • the transmitting/receiving chip a conventionally known one can be used, and it can be designed as appropriate depending on the purpose of the communication device.
  • a SiGe transmitting/receiving chip, a CMOS transmitting/receiving chip, or the like can be used as the transmitting/receiving chip.
  • the heat transfer layer is in contact with the transmitting/receiving chip and the shield case, and has the function of transmitting heat generated by the transmitting/receiving chip to the shield case. Moreover, the heat transfer layer according to the present disclosure has a function as an electromagnetic wave absorption layer. According to the heat transfer layer according to the present disclosure, it is possible to prevent electromagnetic wave noise (so-called self-poisoning) caused by electromagnetic waves originating from a transmitting/receiving chip present in the shielding case being reflected within the shielding case.
  • electromagnetic wave noise so-called self-poisoning
  • the shield case has functions such as protecting the transmitting and receiving chips from external electromagnetic noise, dissipating the heat inside the shield case transferred via the heat transfer layer to the outside, and physically protecting the components inside the shield case. has.
  • the material constituting the shield case is not particularly limited, and examples include metal materials such as iron, silver, copper, aluminum, and alloys containing these metals.
  • the communication device it is possible to provide a device that has excellent thermal operational stability of a semiconductor chip, is less likely to generate noise, and is miniaturized.
  • the shield case in the communication device shown in Figure 1 has a recess in the area directly above the transmitter/receiver chip (the area facing the transmitter/receiver chip via the heat transfer layer), and this recess brings the shield case and the transmitter/receiver chip into close proximity. is configured to do so.
  • the distance between the transmitter/receiver chip, which is a heat source, and the shield case (heat dissipation part) is relatively short, and the internal space is not too narrow, so the heat inside the shield case is relatively small. It is considered advantageous in that it is difficult to miss the target.
  • the shield case is not limited to such a shape, and may have an appropriate structure depending on the application and required performance.
  • the communication device according to the present disclosure can be incorporated into a millimeter wave radar or the like. More specifically, the communication device according to the present disclosure can be used in various applications such as an in-vehicle sensor, an industrial machine sensor, a drone sensor, and an observation device sensor.
  • the communication device according to the present disclosure is provided with a transmitting and receiving chip, but the communication device according to the present disclosure may be separately provided with a transmitting chip and a receiving chip.
  • the heat transfer layer according to the present disclosure may be provided between both the transmitting chip and the receiving chip and the seal case, or between only one chip and the seal case. It may be provided so as to be interposed between.
  • ⁇ Filler>> ⁇ First particle> (SiC large (particle group consisting of SiC particles with relatively large particle size)) Pacific Random Co., Ltd. NG F120, average particle size 106 ⁇ m, irregularly shaped particles (pulverized particles) (SiC small (particle group consisting of SiC particles with relatively small particle size)) Shinano Random #1000 manufactured by Shinano Electric Refining Co., Ltd., average particle size 11.5 ⁇ m, irregularly shaped particles (pulverized particles)
  • ⁇ Second particle> (Alumina (particle group consisting of alumina particles)) Denka ASFP-05S, average particle size 0.6 ⁇ m, average aspect ratio 1.06
  • Table 1 shows the viscosity (25°C) of the obtained grease composition.
  • the grease composition according to the present disclosure is useful for forming a resin layer having an electromagnetic wave absorption function and a heat transfer function. Furthermore, it has been shown that the resin layer according to the present disclosure can be applied as a heat transfer layer in contact with a semiconductor element, and is useful as a member constituting an electronic device.
  • FIG. 2 shows the volume distribution ratio of filler components in the grease composition or resin layer according to Example 1.
  • the filler component according to this example is found in areas of 0.04 ⁇ m or more and less than 4.0 ⁇ m (mainly derived from the second particle (alumina)). , 4.0 ⁇ m or more and less than 40 ⁇ m (mainly from small SiC), and 40 ⁇ m or more and less than 400 ⁇ m (mainly from large SiC).
  • the proportion of particles of 0.04 ⁇ m or more and less than 4.0 ⁇ m, the proportion of particles of 4.0 ⁇ m or more and less than 40 ⁇ m, the proportion of particles of 40 ⁇ m or more and less than 400 ⁇ m, etc. can be adjusted. Can be done.
  • each particle in the resin layer can be dispersed uniformly to some extent, as shown in Figures 3 and 4. It was suggested that the first particles could be dispersed in a sea-island pattern, and that the electromagnetic wave absorption function, heat transfer function, etc. would be enhanced.
  • Grease compositions according to Examples 11 to 19 were prepared by mixing and stirring the above-mentioned raw materials in the amounts (parts by mass) shown in Table 2.
  • Table 2 shows the viscosity (25°C) of the obtained grease composition.
  • the resulting grease composition was also evaluated for its applicability and dripping properties. The evaluation results are shown in Table 2. Applicability and dripping properties were evaluated according to the following evaluation methods.
  • resin layers using the grease compositions according to Examples 11 to 19 were produced in the same manner as described above. Regarding the obtained resin layer, the dielectric loss tangent, thermal conductivity, and volume resistivity were measured according to the method described above. The measurement results are shown in Table 2.
  • the applicability was evaluated based on the discharge stability when the grease composition was discharged using a grease gun. Specifically, using an electric grease gun (manufactured by Yamada Corporation, EG-400AII), a straight groove of 10 mm width and 10 mm height was filled with a discharge hole diameter of 0.5 mm and a discharge speed of 50 g/min.
  • the coating properties were evaluated. The evaluation criteria are as follows. A: After coating, the surface of the coating liquid is leveled, and the coating liquid wets and spreads to the side surfaces of the grooves. B: After coating, the surface of the coating liquid is leveled, but the coating liquid does not wet and spread to the side surfaces of the groove.
  • dripping resistance Using a grease gun, apply 5.0g of the grease composition to a stainless steel plate (#280) with an inclination of 45 degrees, and evaluate the dripping property by comparing the appearance before and after 10 seconds (measuring the distance traveled by the coated surface). I did it.
  • dripping property is defined as "movement of the coated surface is greater than 10.0 mm and less than 20.0 mm", “movement of the coated surface is greater than 0.0 mm and less than 10.0 mm”, and "no change in appearance (movement of the coated surface 0.0 mm)" and can be evaluated in stages.

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Abstract

優れた性能を有する樹脂層、当該樹脂層を形成するのに適したグリース組成物、当該樹脂層又は当該グリース組成物から得られる層を備える電子デバイスを提供する。本発明のある態様は、樹脂と、複数のＳｉＣ粒子からなる第１粒子、及び、ＳｉＣ以外の複数の粒子からなる第２粒子を含むフィラーとを含む樹脂層である。樹脂層の断面において、前記第１粒子が占める面積比率を第１粒子分布率Ｄｐ１とし、前記第２粒子が占める面積比率を第２粒子分布率Ｄｐ２とすると、前記第１粒子分布率Ｄｐ１が３０．０～７０．０％であり、前記第２粒子分布率Ｄｐ２が１０．０～４０．０％であり、前記第１粒子分布率Ｄｐ１と前記第２粒子分布率Ｄｐ２との合計［Ｄｐ１＋Ｄｐ２］が６０．０～９０．０％である。

Description

樹脂層、グリース組成物、電子デバイス
　本発明は、樹脂層、グリース組成物、又は、電子デバイスに関する。
　近年では、自動車の自動化或いは半自動化が推進されており、高性能な車載用のセンサが求められている。
　車載用のセンサの一例として、ミリ波レーダーが挙げられる。ミリ波レーダーは、感度が周辺環境に作用され難く、また、比較的長距離の感知に優れた機能を有することから、車載用のセンサとして多く利用されている。
　このような車載用センサには、さらなる小型化が求められている。しかしながら、車載用センサを小型化した場合、内部の送信チップと受信チップとが近接する等して電磁波ノイズが生じたり、センサ内に熱がこもり動作が不安定になる等の問題があった。
　このような問題を解消するためには、熱伝達性を有し、且つ、電磁波抑制を有する部材を送信チップ及び受信チップ近傍に配置させることが考えられる。
　例えば、特許文献１には、電磁波吸収放熱ゲルを含んだレーダー装置が開示されている。また、特許文献２には、磁性粉及び熱伝導フィラーを含むシリコーン組成物及び硬化型グリースが開示されている。
国際公開第２０２１／００６１７７号 国際公開第２０２０／１９６５８４号
　しかしながら、従来技術に係る樹脂層は、性能（例えば、熱伝達性と電磁波吸収性とのバランス等）が十分ではない場合があった。
　そこで、本発明は、優れた性能（例えば、優れた熱伝達性及び優れた電磁波吸収性）を有する樹脂層、当該樹脂層を形成するのに適したグリース組成物、当該樹脂層又は当該グリース組成物から得られる層を備える電子デバイスの提供を目的とする。
　本発明者らは、鋭意研究を行い、特定の粒子を含む樹脂層が前記課題を解決可能であることを見出し、本発明を完成させた。即ち、本発明は下記の通りである。
　本発明の第１の態様は、
　樹脂と、
　複数のＳｉＣ粒子からなる第１粒子、及び、ＳｉＣ以外の複数の粒子からなる第２粒子を含むフィラーと
を含み、
　断面において、前記第１粒子が占める面積比率を第１粒子分布率Ｄｐ１とし、前記第２粒子が占める面積比率を第２粒子分布率Ｄｐ２とすると、
　前記第１粒子分布率Ｄｐ１が３０．０～７０．０％であり、
　前記第２粒子分布率Ｄｐ２が１０．０～４０．０％であり、
　前記第１粒子分布率Ｄｐ１と前記第２粒子分布率Ｄｐ２との合計［Ｄｐ１＋Ｄｐ２］が６０．０～９０．０％である
ことを特徴とする、樹脂層である。
　前記第２粒子は、球状であることが好ましい。
　前記第２粒子は、アルミナを含むことが好ましい。
　前記樹脂は、シリコーン樹脂であることが好ましい。
　前記樹脂層の熱伝導率は、２．５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であることが好ましい。
　前記樹脂層の誘電正接は、０．３５以上であることが好ましい。
　前記樹脂層は、電磁波吸収層であることが好ましい。
　前記樹脂層は、ミリ波レーダー用であることが好ましい。
　本発明の第２の態様は、
　樹脂と、
　複数のＳｉＣ粒子からなる第１粒子、及び、ＳｉＣ以外の複数の粒子からなる第２粒子を含むフィラーと
を含み、
　フィラーの体積粒度分布において、０．０４μｍ以上４．０μｍ未満の粒子が４～４０％であり、４．０μｍ以上４０μｍ未満の粒子が１８～６０％であり、４０μｍ以上～４００μｍ未満の粒子が２４～７０％であることを特徴とする、グリース組成物である。
　前記グリース組成物は、２５℃条件下における粘度が、５０～１０００Ｐａ・ｓであることが好ましい。
　前記第１粒子は、球状の粒子と、非球状の粒子とを含むことが好ましい。
　前記第２粒子は、球状であることが好ましい。
　前記第２粒子は、アルミナを含むことが好ましい。
　前記樹脂は、シリコーン樹脂であることが好ましい。
　前記グリース組成物は、電磁波吸収層形成用であることが好ましい。
　前記グリース組成物は、ミリ波レーダー用であることが好ましい。
　本発明の第３の態様は、
　半導体素子と、放熱部材と、前記半導体素子と前記放熱部材との間に設けられ、前記半導体素子と前記放熱部材とに接触する熱伝達層と、を備え、
　前記熱伝達層は、第１の態様の樹脂層、又は、第２の態様のグリース組成物から得られる層である、電子デバイスである。
　本発明によれば、優れた性能（例えば、優れた熱伝達性及び優れた電磁波吸収性）を有する樹脂層、当該樹脂層を形成するのに適したグリース組成物、当該樹脂層又は当該グリース組成物から得られる層を備える電子デバイスが提供される。
　また、本発明によれば、特にミリ波レーダーを構成する部品として好ましく使用できる樹脂層、当該樹脂層を形成するのに適したグリース組成物、当該樹脂層又は当該グリース組成物から得られる層を備えるミリ波レーダーが提供される。
図１は、本開示に係る通信用デバイスの一例を示す模式図（概念断面図）である。 図２は、実施例１におけるフィラー成分の体積分布率を示す。 図３は、実施例１に係る樹脂層の断面ＳＥＭ写真（倍率３００倍）である。 図４は、実施例１に係る樹脂層の断面ＳＥＭ写真（倍率１０，０００倍）である。
　本明細書中、数値範囲の説明における「ａ～ｂ」との表記は、特に断らない限り、ａ以上ｂ以下であることを表す。
　本明細書中、複数の上限値と複数の下限値とが別々に記載されている場合、これらの上限値と下限値とを自由に組み合わせて設定可能な全ての数値範囲が本明細書に記載されているものとする。
　本明細書中、ある化合物が記載されている場合、その異性体も同時に記載されているものとする。
　本明細書中、各種物性及び性質は、特に断らない限り、室温（２５℃）環境下で測定されたものとする。
　以下、本開示に係るグリース組成物、樹脂層、電子デバイスについて詳述する。
　本開示において、単に「粒子」と表現した場合、複数の粒子からなる「粒子群」を意味する場合がある。
　本開示において、アスペクト比が１以上３以下の粒子を球状の粒子（球状粒子）とし、アスペクト比が３超の粒子を非球状の粒子（非球状粒子）とする場合がある。
＜＜＜＜グリース組成物＞＞＞＞
＜＜＜組成＞＞＞
　本開示に係るグリース組成物は、樹脂と、フィラーと、を含む。
　グリース組成物は、その他の成分を含んでいてもよい。
＜＜樹脂＞＞
　樹脂としては、特に限定されず、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、ウレタン樹脂、ポリアミド樹脂、液状ゴム等を使用できる。
　樹脂は、熱的安定性、電気的安定性等の観点から、シリコーン樹脂であることが好ましい。
　樹脂は、硬化性樹脂（熱硬化性樹脂やエネルギー線硬化性樹脂）であることが好ましい。グリース組成物が硬化性樹脂を含有する場合、当該グリース組成物をある部品と別の部品との間に配置した後に硬化させることで、当該ある部品と当該別の部品とが、グリース組成物由来の硬化物層を介して一体化された構造体を得ることができる。この場合、硬化前であり流動性を有するグリース組成物を部材間に配することから、複雑形状を有する部材間に介在させることができる一方で、グリース組成物が硬化した後は、機械的要因（振動等）や熱的要因によるグリース組成物由来の成分が流動してしまうことが抑制され、積層構造が保持され易い（構造体に期待される機能を長期間維持し易い）。
　樹脂は、硬化性シリコーン樹脂であることが特に好ましい。
　硬化性シリコーン樹脂は、反応性の官能基を有していてもよい。反応性の官能基としては、水酸基、エチレン性又はアセチレン性の不飽和二重結合を含む官能基（例えば、アルケニル基、（メタ）アクリロイル基）、エポキシ基、アミノ基、メルカプト基、カルボキシ基等が挙げられる。
　硬化性シリコーン樹脂は、硬化時に副生成物が発生し難いことから、付加反応型シリコーン樹脂であることが好ましい。付加反応型シリコーン樹脂は、例えば、１分子中に少なくとも２個のアルケニル基（例えば、ビニル基）を含むポリオルガノシロキサンを原料とし、ヒドロシリル基含有架橋剤や白金触媒等の存在下、アルケニル基を付加反応させることで得られる。この場合、アルケニル基の当量（及び残基数）を調整することで、後述する硬化反応性や、硬化後（ゲル化後）のちょう度（針入度）を変更することができる。
　硬化性シリコーン樹脂は、反応性の官能基以外の官能基を有していてもよい。
　シリコーン樹脂の骨格の構造は、特に限定されず、シリコーンオリゴマー、オルガノシロキサン、オルガノポリシロキサン等の公知の構造のものを使用できる。
　シリコーン樹脂が硬化性樹脂である場合、グリース組成物は硬化剤（触媒）を含んでいてもよい。硬化剤としては、特に制限されず、例えば、白金系硬化剤、ニッケル系硬化剤、チタン系硬化剤、鉄系硬化剤等が挙げられる。
　樹脂が硬化性樹脂である場合、グリース組成物は、２液系組成物であってもよい。例えば、グリース組成物は、硬化性樹脂を含むＡ液と、硬化剤を含むＢ液と、を含む２液系組成物であってもよい。グリース組成物が２液系組成物である場合、グリース組成物を適用する直前にＡ液及びＢ液を混合し、得られた混合物を被着箇所に適用して使用することができる。
　樹脂（好ましくは、シリコーン樹脂）の物性や性質は特に限定されず、使用する樹脂や用途に応じて適宜変更可能である。
　例えば、シリコーン樹脂が硬化性シリコーン樹脂の場合、硬化後のシリコーン樹脂の針入度が５～１２０、１０～１１０、又は、３０～１００となるものを用いることが好ましい。このようなシリコーン樹脂（例えば、シリコーンゲル）を用いることで、後述する電磁波吸収層が適切に保持され易い。
　なお、針入度は、ＡＳＴＭ　Ｄ１４０８に準拠して測定されたものである。
　樹脂は、グリース組成物の固形分全量を１００質量％とした場合に、３～５０質量％、３～３０質量％、３～２０質量％、又は、５～１５質量％であることが好ましい。
＜＜フィラー＞＞
　フィラーは、複数のＳｉＣ粒子からなる第１粒子群（第１粒子）、及び、ＳｉＣ以外の複数の粒子からなる第２粒子群（第２粒子）と、を含むことが好ましい。
＜ＳｉＣ（第１粒子）＞
　第１のフィラーである第１粒子は、ＳｉＣで構成される。
　このような第１粒子と、後述する第２粒子とを組み合わせることで、伝熱性や電波吸収性等に優れたグリース組成物としてもよい。
　第１粒子の平均粒径は、特に限定されず、４～４００μｍであることが好ましく、６～２００μｍであることがより好ましい。
　更に別の観点によれば、第１粒子は、平均粒径が異なる粒子群の混合物により構成されていてもよい。具体的には、第１粒子は、平均粒径が３０～３００μｍ（好ましくは、５０～２００μｍ）である粒子（大粒子群）と、平均粒径が１μｍ以上３０μｍ未満（好ましくは、５～２０μｍ）である粒子（小粒子群）と、を混合して得られたものであってもよい。この場合、小粒子群に対する大粒子群の比率（大粒子群の含有量／小粒子群の含有量）は、０．１０～１０．００、０．２５～５．００、０．３０～４．００、又は、０．５０～３．５０であることが好ましい。このように、第１粒子として平均粒径の異なる粒子群の混合物を用いることで、後述する樹脂層を形成した際の樹脂層内の第１粒子の分布が好ましいものとなり、性能を向上させることができる。
　第１粒子のアスペクト比の平均値（平均アスペクト比）は、特に限定されない。
　第１粒子は、球状粒子と非球状粒子との混合物であってもよい。第１粒子は、非球状粒子であることが好ましく、不定形粒子であることが特に好ましい。なお、ここで示す不定形粒子とは、一般的に不定形とみなせるものであって、代表的なものとして、比較的大きい粒子を破砕して得られた破砕粒子等が挙げられる。
　また、第１粒子が大粒子群と小粒子群との混合物である場合、大粒子群の平均アスペクト比と、小粒子群の平均アスペクト比と、は異なっていてもよい。
　粒子のアスペクト比は、マルバーン・パナリティカル社製　マスターサイザー３０００で画像解析法により代表粒子画像で計測された数値を示す。
　粒子の平均粒径は、マルバーン・パナリティカル社製　マスターサイザー３０００でレーザー回折散乱法により計測された数値を示す。
＜ＳｉＣ以外の粒子（第２粒子）＞
　第２のフィラーである粒子（第２粒子）を構成する材質は特に限定されない。
　第２粒子を構成する材質は、無機材料（例えば、金属酸化物、金属水酸化物、金属窒化物）であることが好ましく、金属酸化物（例えば、シリカ、アルミナ、チタニア等）であることがより好ましい。また、第２粒子は、炭素材料等であってもよい。
　第２粒子は、材質の異なる２種類以上の粒子の混合物であってもよい。
　第２粒子は、第１粒子よりも、体積抵抗率が高い材質で構成されていてもよい。例えば、第１粒子の材質（ＳｉＣ）の体積抵抗率は、１．０×１０５～１．０×１０８（Ω・ｃｍ）程度であるが、第２粒子の材質の体積抵抗率は、１．０×１０１０（Ω・ｃｍ）以上、又は、１．０×１０１２（Ω・ｃｍ）以上等としてもよい。
　また、第２粒子は、第１粒子よりも、熱伝導率（２０℃）が低い材質で構成されていてもよい。例えば、第１粒子の材質（ＳｉＣ）の熱伝導率（２０℃）は、２００（Ｗ／ｍ・Ｋ）程度であるが、第２粒子の材質の熱伝導率（２０℃）は、１００（Ｗ／ｍ・Ｋ）以下、又は、５０（Ｗ／ｍ・Ｋ）以下等としてもよい。
　第２粒子は、球状粒子であっても非球状粒子であってもよいが、球状粒子であることが好ましい。
　より具体的には、第２粒子は、第２粒子全体の５０質量％以上、６０質量％以上、７０質量％以上、８０質量％以上、又は、９０質量％以上が、球状粒子であることが好ましい。
　また、第２粒子のアスペクト比の平均値は、特に限定されず、１～３、又は、１～２であることが好ましい。
　第２粒子の平均粒径は、特に限定されず、０．０４～４μｍ、又は、０．１～１μｍであることが好ましい。
＜フィラーの含有量＞
　樹脂とフィラーとの合計量を１００質量％した場合、第１粒子の含有量（第１粒子含有量Ｍｐ１）は、３０質量％以上、４０質量％以上、４５質量％以上、５０質量％以上、５５質量％以上、又は、５８質量％以上であることが好ましく、また、９０質量％以下、８５質量％以下、又は、８０質量％以下であることが好ましい。
　樹脂とフィラーとの合計量を１００質量％した場合、第２粒子の含有量（第２粒子含有量Ｍｐ２）は、３質量％以上、４質量％以上、５質量％以上、又は、１０質量％以上、であることが好ましく、また、５０質量％以下、４５質量％以下、又は、４０質量％以下であることが好ましい。
　第１粒子含有量Ｍｐ１と第２粒子含有量Ｍｐ２との合計量［Ｍｐ１＋Ｍｐ２］は、５０質量％以上、６０質量％以上、７０質量％以上、７５質量％以上、８０質量％以上、又は、８５質量％以上であることが好ましく、９７質量％以下、９５質量％以下、又は、９０質量％以下であることが好ましい。
　第２粒子含有量Ｍｐ２に対する第１粒子含有量Ｍｐ１の比率［Ｍｐ１／Ｍｐ２］は、０．５以上、０．８以上、１．０以上、１．５以上、又は、１．６以上であることが好ましく、１０以下、９．０以下、８．０以下、７．０以下、又は、６．５以下であることが好ましい。
　第１粒子含有量Ｍｐ１や第２粒子含有量Ｍｐ２を前述のような範囲とすることで、グリース組成物の粘度特性等を所望の範囲にし易くなり、また、伝熱性や電波吸収性等に優れたグリース組成物を得やすい。
＜フィラーの性質＞
　グリース組成物（或いは、後述する樹脂層）は、平均粒径が異なる複数の粒子を混合した形態（粒度分布において、複数のピークが存在する形態）、或いは、粒度分布が広い形態であることが好ましい。
　フィラー（第１粒子と第２粒子との合計）の体積粒度分布において、０．０４μｍ以上４．０μｍ未満の粒子は、１％以上、２％以上、３％以上、４％以上、５％以上、８％以上、又は、１０％以上であることが好ましく、７０％以下、６５％以下、６０％以下、５０％以下、４０％以下、又は、３５％以下であることが好ましい。
　フィラー（第１粒子と第２粒子との合計）の体積粒度分布において、４．０μｍ以上４０μｍ未満の粒子が、１０％以上、１５％以上、１８％以上、又は、２０％以上であることが好ましく、８０％以下、７５％以下、７０％以下、６５％以下、６０％以下、又は、５５％以下であることが好ましい。
　フィラー（第１粒子と第２粒子との合計）の体積粒度分布において、４０μｍ以上４００μｍ未満の粒子が、１５％以上、２０％以上、２４％以上、又は、２８％以上であることが好ましく、８０％以下、７５％以下、７０％以下、６５％以下、又は、６２％以下であることが好ましい。
　より具体的には、フィラー（第１粒子と第２粒子との合計）の体積粒度分布において、０．０４μｍ以上４．０μｍ未満の粒子が４～４０％であり、４．０μｍ以上４０μｍ未満の粒子が１８～６０％であり、４０μｍ以上４００μｍ未満の粒子が２４～７０％であることが好ましい。
　グリース組成物中のフィラーの粒度分布をこのような範囲とすることで、グリース組成物を用いて得られる層（例えば、後述する樹脂層）において、粒子が適度に分散して存在し易くなり、粒子の分布により形成されるネットワーク（特に、第１粒子によって形成されるネットワーク）が好ましいものとなり、伝熱性や電波吸収性等に優れたグリース組成物を得やすい。
　なお、グリース組成物中のフィラーの粒度分布は、溶媒を用いてグリース組成物中のフィラー成分以外の成分を除去した後に、マルバーン・パナリティカル社製　マスターサイザー３０００でレーザー回折散乱法によって測定できる。
　また、前述したように、第１粒子は非球状粒子であることが好ましく、第２粒子は球状粒子であることが好ましい。このように、フィラーは、球状粒子と、非球状粒子と、を含む形態であることが好ましい。より詳細には、フィラーの全量を１００質量％とした場合に、球状粒子の割合が１０～９０質量％、又は、２０～８０質量％であることが好ましい。
　フィラーとして、形状の異なる粒子が存在することで、粒子が適度に分散し易くなる。
　球状粒子の平均粒径は、１μｍ以下であることが好ましい。
　非球状粒子の平均粒径は、１０μｍ以上であることが好ましい。
＜＜その他の成分＞＞
　グリース組成物は、その他の成分として、硬化剤、硬化促進剤、触媒、分散剤、消泡剤、酸化防止剤、防錆剤等の公知の成分を含んでもよい。
　その他の成分は、樹脂とフィラーとの合計を１００質量部とした場合に、５０質量部以下、２０質量部以下、１０質量部以下、又は、５質量部以下等としてもよい。
＜＜＜物性＞＞＞
＜＜粘度＞＞
　グリース組成物の粘度は、５０～１０００Ｐａ・sであることが好ましく、１００～１０００Ｐａ・sであることがより好ましく、２００～７００Ｐａ・sであることが更に好ましい。グリース組成物の粘度（２５℃における粘度）が上記範囲内であると、塗布性の向上および液垂れ防止を両立することができ、均質な樹脂層を得やすい。その結果、樹脂層の熱伝導性と電磁波吸収性とが向上する。
　粘度は、以下の方法に従って測定できる。
（測定方法）
　測定機器として、ＨＡＡＫＥ社製　レオストレス６００を用いる。ギャップ１ｍｍ、荷重１Ｎ、温度２５℃、速度制御モードにて測定する。測定サンプルのせん断速度１０（１／ｓ）の時の値を粘度とする。
＜＜体積抵抗率＞＞
　グリース組成物の体積抵抗率は、１．００×１０９（Ω・ｃｍ）以上、５．００×１０９（Ω・ｃｍ）以上、１．００×１０１０（Ω・ｃｍ）以上、又は、２．００×１０１０（Ω・ｃｍ）以上であることが好ましい。
（測定方法）
　測定機器として、三菱化学アナリティック社製　ハイレスタＵＰ　ＭＣＰ－ＨＴ４５０を用いる。３８μｍＰＥＴフィルムの上に測定サンプルを５００～１０００μｍの厚さに成形し、測定サンプル表面にプローブを押し当て抵抗値を測定する。
＜＜＜製造方法＞＞＞
　グリース組成物の製造方法は特に限定されず、前述した各成分を適宜混合することでグリース組成物を製造できる。
＜＜＜用途＞＞＞
　グリース組成物は、電磁波吸収層を形成用として好ましく使用できる。より具体的には、グリース組成物は、ミリ波レーダーにおける電磁波吸収層を形成するために用いられることが好ましい。
＜＜＜＜樹脂層＞＞＞＞
　本開示に係る樹脂層は、樹脂と、フィラーと、を含む。本開示に係る樹脂層は、前述したグリース組成物を塗布して形成されたグリース組成物層、或いは、当該グリース組成物層を硬化して得られるグリース組成物硬化物層と表現することも可能である。
＜＜＜組成＞＞＞
　樹脂層を形成する樹脂は、前述したグリース組成物を構成する樹脂と同じか、又は、当該樹脂の硬化物である。
　フィラーは、ＳｉＣである第１粒子、及び、ＳｉＣ以外の粒子である第２粒子を含む。第１粒子及び第２粒子は、前述した成分である。
　樹脂層は、グリース組成物と同様に、その他の成分を含んでいてもよい。
　このように、樹脂層を構成する組成（成分やその含有量）については、グリース組成物と同じ説明を適用できる。また、各粒子の分布等についても、グリース組成物と同じ説明を適用できる。
＜＜＜構造＞＞＞
＜＜厚さ＞＞
　樹脂層の厚さ（或いは塗布量）は、用途に応じて適宜変更可能である。
＜＜樹脂層断面構造＞＞
　樹脂層の断面において、第１粒子が占める面積比率を第１粒子分布率Ｄｐ１とし、第２粒子が占める面積比率を第２粒子分布率Ｄｐ２とする。なお、樹脂層の断面は、例えば、樹脂層の中心付近を通り、且つ、層に対して（樹脂層の主面に対して）垂直となる断面（層構造を観察できる断面）である。
　第１粒子分布率Ｄｐ１は、３０．０～７０．０％、３５．０～７０．０％、又は、４０．０～７０．０％であることが好ましい。
　第２粒子分布率Ｄｐ２は、１０．０～４０．０％、１０．０～３５．０％、又は、１０．０～３０．０％であることが好ましい。
　第１粒子分布率Ｄｐ１と第２粒子分布率Ｄｐ２との合計［Ｄｐ１＋Ｄｐ２］は、５０．０～９０．０％、５５．０～８５．０％、又は、６０．０～８０．０％であることが好ましい。この場合の［Ｄｐ１＋Ｄｐ２］以外の残余分は、例えば、マトリックス樹脂が占める割合である。
　第１粒子分布率Ｄｐ１や第２粒子分布率Ｄｐ２が前記範囲を満たすことで、すなわち、樹脂層の断面における各粒子がこのような面積率で分布していることで、粒子同士のパス（特に、第１粒子によって形成されるネットワーク）が好ましいものとなり、伝熱性や電波吸収性等が向上し易い。
　第１粒子分布率Ｄｐ１及び第２粒子分布率Ｄｐ２は、以下の方法に従って測定できる。
・ＳＥＭ　（走査電子顕微鏡）
・分析装置　ＪＳＭ－７００１Ｆ（日本電子社製）
・前処理装置／条件：クロスセクションポリッシャ　ＣＰ（日本電子社製）による断面化
・Ｃ　コーティング：５ｎｍ　Ｍｏｄｅｌ６８１（Ｇａｔａｎ社製）
・ＳＥＭ条件：加速電圧　１０ｋＶ（Ｎｏ．８　ＷＤ１０）
・真空度：高真空
・分析倍率：×１００～×１０，０００
・画像検出器：反射電子検出器　二次電子検出器
・試料傾斜：９０度
　サンプルをガラス間で固定して分析部位を露出し分析面をクロスセクションポリッシャ（ＣＰ）によって整え、サンプルの分析部位にＣコーティングを施し、ＳＥＭにて観察する。
　反射電子検出器、二次電子検出器により粒子と樹脂が分かれるコントラストで２値化して、画像解析を行い、面積比を算出する。
　１つの樹脂層について、任意の断面５視野を測定し、その平均値とする。
　第１粒子分布率Ｄｐ１、第２粒子分布率Ｄｐ２は、各粒子の粒子径及び配合量等を変更することで調整することができる。
＜＜＜物性＞＞＞
＜＜熱伝導率＞＞
　樹脂層は、熱伝導率が、２．０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であることが好ましく、２．５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であることがより好ましく、３．０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であることが更に好ましく、５．０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上であることが特に好ましい。樹脂層の熱伝導率は、以下の方法によって測定できる。
（測定方法）
　「熱伝導率＝熱拡散率×密度×比熱」によって求める。
　熱拡散率は、アイフェイズ社製　アイフェイズモバイルシステムを用いて測定する。
　密度は、アルファミラージュ社製　ＳＤ－２００Ｌを用いて、水中置換法により測定する。
　比熱は、ＨＩＴＡＣＨＩ社製　ＤＳＣ６２００を用いて測定する。
＜＜誘電正接＞＞
　樹脂層は、誘電正接が０．３５以上であることが好ましく、０．５以上であることがより好ましい。樹脂層の誘電正接は、以下の方法によって測定できる。
（測定方法）
　関東電子応用社（現　ＥＭラボ）製　フリースペース法測定装置、及び、アジレントテクノロジー社製　ネットワークアナライザー　Ｎ５２２５Ａにより、７７ＧＨｚでの誘電正接を測定する。
＜＜体積抵抗率＞＞
　樹脂層は、体積抵抗率が、１．００×１０９（Ω・ｃｍ）以上、５．００×１０９（Ω・ｃｍ）以上、１．００×１０１０（Ω・ｃｍ）以上、又は、２．００×１０１０（Ω・ｃｍ）以上であることが好ましい。
　体積抵抗率は、前述の方法に従って測定できる。
＜＜＜製造方法＞＞＞
　樹脂層は、前述したグリース組成物を用いて得ることができる。
　より詳細には、グリース組成物が硬化性樹脂を含む場合には、グリース組成物を所定の方法で塗布した後に、所定の方法（加熱乃至はエネルギー線照射）によって樹脂を硬化させることで、グリース組成物の硬化物層である樹脂層を形成できる。
　また、グリース組成物が硬化性樹脂を含まない（グリース組成物を硬化させる用途で用いない）場合には、グリース組成物を所定の方法で塗布することで、樹脂層を形成できる。
＜＜＜用途＞＞＞
　樹脂層は、電磁波吸収層として用いられることが好ましい。より具体的には、樹脂層は、電子デバイスに適用される電磁波吸収層として用いられることがより好ましく、センサ用（特に、ミリ波レーダー用）の電磁波吸収層として用いられることがより好ましい。本開示に係る樹脂層をセンサ用の電磁波吸収層として用いることで、反射や輻射等による電磁波ノイズを抑制し、センサの計測感度を高めることができる。
　樹脂層は、センサを構成する半導体素子（例えば、送受信チップ）に接触させてもよいし、半導体素子の近傍に配置させてもよい。
＜＜＜電子デバイス＞＞＞
　本開示に係る電子デバイスは、半導体素子と、放熱部材とを備え、更に、半導体素子と放熱部材との間に設けられ、半導体素子と前記放熱部材とに接触する熱伝達層とを備える。
　熱伝達層は、前述した樹脂層である。
　放熱部材は、例えば筐体である。
　このような電子デバイスは、例えば、半導体素子を通信用チップとした、通信用デバイスとして使用できる。
　以下、通信用デバイスの具体的な構造の一例について説明する。
　以下においては、通信用チップとして送受信チップ（送信機能及び受信機能を兼ね備えたチップ）を有する電子デバイスを例にして説明するが、電子デバイスは、送信機能を有する送信チップと、受信機能を有する受信チップと、が独立したものであってもよい。
　図１は、本開示に係る電子デバイスの模式図（概念断面図）である。図１に示すように、通信用デバイスは、基板と、基板と電気的に接続された送受信チップと、送受信チップを覆う筐体となるシールドケースと、送受信チップとシールドケースとの間に介在する熱伝達層と、を有する。
　基板は、例えば、アンテナ領域を備えるアンテナ基板である。基板としては、従来公知のものを使用することができ、基板の材質や基板に組付けられた部品等は、通信用デバイスの用途に応じて適宜設計可能である。
　送受信チップとしては、従来公知のものを使用することができ、通信用デバイスの用途に応じて適宜設計可能である。例えば、通信用デバイスを車載用のミリ波レーダー用とする場合、送受信チップとして、ＳｉＧｅ送受信チップやＣＭＯＳ送受信チップ等を使用できる。
　熱伝達層は、送受信チップ及びシールドケースに接触しており、送受信チップが発する熱をシールドケースまで伝達する機能を有する。また、本開示に係る熱伝達層は、電磁波吸収層としての機能を有する。本開示に係る熱伝達層によれば、シールドケース内に存在する送受信チップを発生源とする電磁波がシールドケース内で反射して生じる電磁波ノイズ（いわゆる自家中毒）を防止できる。
　シールドケースは、外部の電磁波ノイズから送受信チップを保護する機能、熱伝達層を介して伝達されたシールドケース内部の熱を外部に放熱する機能、シールドケース内部の部材を物理的に保護する機能等を有する。
　シールドケースを構成する材料としては特に限定されず、鉄、銀、銅、アルミ或いはこれらの金属を含む合金などの金属材料等が挙げられる。
　本開示に係る通信用デバイスによれば、半導体チップの熱的な動作安定性に優れ、ノイズが発生し難く、且つ、小型化された装置とすることができる。
　図１に示された通信用デバイスにおけるシールドケースは、送受信チップの直上の領域（伝熱層を介して送受信チップと対向する領域）が凹んでおり、この凹みによってシールドケースと送受信チップとが近接するように構成されている。このような構成によれば、発熱源である送受信チップとシールドケース（放熱部）との距離が比較的近くなることや、内部空間が狭くなり過ぎないこと等から、シールドケース内部の熱が比較的こもり難い、といった点で有利と考えられる。なお、シールドケースはこのような形状に限定されず、用途や求められる性能に応じて、適宜の構造としてもよい。
　本開示に係る通信用デバイスは、ミリ波レーダー等に組み込むことが可能である。より具体的には、本開示に係る通信用デバイスは、車載用センサの他、産業機械用センサ、ドローン用センサ、観測装置用センサ等の種々の用途に用いることができる。
　上記においては、本開示に係る通信用デバイスとして、送受信チップを備えた形態を例示したが、本開示に係る通信用デバイスは、送信チップと受信チップとを個別に備える形態であってもよい。またこの場合、本開示に係る熱伝達層は、送信チップ及び受信チップの両方のチップとシールケースとの間に介在するように設けられてもよいし、一方のチップのみとシールケースとの間に介在するように設けられてもよい。
　以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
　以下、本発明を実施例及び参考例により説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
＜＜＜原料＞＞＞
　原料として、以下のものを用いた。
＜＜樹脂＞＞
　モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製　ＴＳＥ３０５１Ｌ
　熱硬化性シリコーン樹脂
　硬化後の針入度６５
＜＜フィラー＞＞
＜第１粒子＞
（ＳｉＣ大（比較的粒径が大きいＳｉＣ粒子からなる粒子群））
　太平洋ランダム社製　ＮＧ　Ｆ１２０、平均粒径１０６μｍ、不定形状の粒子（粉砕粒子）（ＳｉＣ小（比較的粒径が小さいＳｉＣ粒子からなる粒子群））
　信濃電気精錬社製　シナノランダム＃１０００、平均粒径１１．５μｍ、不定形状の粒子（粉砕粒子）
＜第２粒子＞
（アルミナ（アルミナ粒子からなる粒子群））
　デンカ社製　ＡＳＦＰ－０５Ｓ、平均粒径０．６μｍ、平均アスペクト比１．０６
＜＜＜グリース組成物＞＞＞
　前述した各原料を、表１に示す量（質量部）にて混合し、撹拌することで、グリース組成物を得た。
　得られたグリース組成物の粘度（２５℃）を表１に示す。
＜＜＜樹脂層＞＞＞
　前述したグリース組成物を厚さ３８μｍのＰＥＴフィルム２枚で挟み、アプリケーターを用いて押し広げてシート状に塗布して組成物層を得た。次いで、当該組成物層をオーブンにて、１２５℃で２時間加熱することで樹脂成分を硬化させ、樹脂層を得た。
　得られた樹脂層の断面の性質（前述した方法に従って測定された、樹脂層の断面における各成分の分布）等を表１に示す。
　図２、図３に、実施例１に係る樹脂層の断面ＳＥＭ写真（各々、倍率３００倍、倍率１０，０００倍）を示す。
＜＜＜物性測定＞＞＞
　前述した方法に従って、得られた樹脂層の誘電正接、及び、熱伝導率（密度、比熱、熱拡散率）、体積抵抗率を測定した。測定結果を表１に示す。実施例１～１０に係るグリース組成物は、熱伝導率が２．５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上、体積抵抗率が５．００×１０９（Ω・ｃｍ）以上、誘電正接が０．３５以上を満たす等、各種性能に優れるものであった。
　以上の結果より、本開示に係るグリース組成物は、電磁波吸収機能及び熱伝達機能を有する樹脂層を形成するのに有用であることが示された。また、本開示に係る樹脂層は、半導体素子に接触する熱伝達層として適用可能であり、電子デバイスを構成する部材として有用であることが示された。
　ここで、図２に、実施例１に係るグリース組成物或いは樹脂層における、フィラー成分の体積分布率を示す。本図に示されるように、本実施例に係るフィラー成分は、平均粒径の異なる粒子を混合した結果、０．０４μｍ以上４．０μｍ未満の箇所（主に、第２粒子（アルミナ）由来）、４．０μｍ以上４０μｍ未満の箇所（主に、ＳｉＣ小由来）、４０μｍ以上４００μｍ未満の箇所（主に、ＳｉＣ大由来）のそれぞれにピークを有するような、幅広い粒度分布となっている。このように、複数の粒子を混合することで、０．０４μｍ以上４．０μｍ未満の粒子の割合、４．０μｍ以上４０μｍ未満の粒子の割合、４０μｍ以上４００μｍ未満の粒子の割合等を調整することができる。
　また、このように、平均粒径の異なる粒子群を混合する等し、粒度分布を適切なものとすることで、図３、４に示すように、樹脂層中の各粒子がある程度均一に分散され、第１粒子が海島状に分散することが可能となり、電磁波吸収機能及び熱伝達機能等が高まることが示唆された。
　ここで、更に別の実施例を用いて、グリース組成物の粘度等の影響を確認した。
　前述した各原料を、表２に示す量（質量部）にて混合し撹拌することで、実施例１１～１９に係るグリース組成物を作製した。得られたグリース組成物の粘度（２５℃）を表２に示す。
　また、得られたグリース組成物について、塗布性及び液だれ性を評価した。評価結果を表２に示す。塗布性及び液だれ性については、以下の評価方法に準じて評価した。
　更に、前述した方法と同様にして、実施例１１～１９に係るグリース組成物を用いた樹脂層を作製した。得られた樹脂層について、前述した方法に従って、誘電正接、及び、熱伝導率、体積抵抗率を測定した。測定結果を表２に示す。
＜＜塗布性＞＞
　グリースガンを用いて、グリース組成物を吐出したときの吐出安定性により塗布性の評価を行った。具体的には、電動グリースガン（ヤマダコーポレーション社製、ＥＧ－４００ＡII）を用いて、吐出穴径０．５ｍｍ、吐出速度５０ｇ／分の条件で、１０ｍｍ幅、１０ｍｍ高さの直線の溝を充填させるように吐出し、塗布性の評価を行った。
　評価基準は下記の通りである。
Ａ：塗布後、塗液表面がレベリングされ、かつ、塗液が溝の側面まで濡れ広がる。
Ｂ：塗布後、塗液表面がレベリングされる一方、塗液が溝の側面まで濡れ広がらない。または、塗液が溝の側面まで濡れ広がる一方、塗液表面がレベリングされない。
Ｃ：塗布後、塗液表面がレベリングされず、かつ、塗液が溝の側面まで濡れ広がらない。
Ｄ：吐出できない。
＜＜液垂れ性＞＞
　グリースガンを用いて、斜度４５度のステンレス板（＃２８０）にグリース組成物を５．０ｇ塗布し、１０秒経過前後の外観比較（塗布面の移動距離の測定）により液垂れ性の評価を行った。なお、液垂れ性は、「塗布面の移動が１０．０ｍｍより大きく２０．０ｍｍ以下」、「塗布面の移動が０．０ｍｍより大きく１０．０ｍｍ以下」、「外観変化なし（塗布面の移動が０．０ｍｍ）」として段階的に評価可能である。

 

Claims (17)

  1. 　樹脂と、
    　複数のＳｉＣ粒子からなる第１粒子、及び、ＳｉＣ以外の複数の粒子からなる第２粒子を含むフィラーと
    を含み、
    　断面において、前記第１粒子が占める面積比率を第１粒子分布率Ｄｐ１とし、前記第２粒子が占める面積比率を第２粒子分布率Ｄｐ２とすると、
    　前記第１粒子分布率Ｄｐ１が３０．０～７０．０％であり、
    　前記第２粒子分布率Ｄｐ２が１０．０～４０．０％であり、
    　前記第１粒子分布率Ｄｐ１と前記第２粒子分布率Ｄｐ２との合計［Ｄｐ１＋Ｄｐ２］が６０．０～９０．０％である
    ことを特徴とする、樹脂層。
  2. 　前記第２粒子が球状である、請求項１に記載の樹脂層。
  3. 　前記第２粒子がアルミナを含む、請求項１又は２に記載の樹脂層。
  4. 　前記樹脂がシリコーン樹脂である、請求項１又は２に記載の樹脂層。
  5. 　熱伝導率が２．５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上である、請求項１又は２に記載の樹脂層。
  6. 　誘電正接が０．３５以上である、請求項１又は２に記載の樹脂層。
  7. 　電磁波吸収層である、請求項１又は２に記載の樹脂層。
  8. 　ミリ波レーダー用である、請求項１又は２に記載の樹脂層。
  9. 　樹脂と、
    　複数のＳｉＣ粒子からなる第１粒子、及び、ＳｉＣ以外の複数の粒子からなる第２粒子を含むフィラーと
    を含み、
    　フィラーの体積粒度分布において、０．０４μｍ以上４．０μｍ未満の粒子が４～４０％であり、４．０μｍ以上４０μｍ未満の粒子が１８～６０％であり、４０μｍ以上４００μｍ未満の粒子が２４～７０％であることを特徴とする、グリース組成物。
  10. 　２５℃条件下における粘度が、５０～１０００Ｐａ・ｓである、請求項９に記載のグリース組成物。
  11. 　前記第１粒子が、球状の粒子と、非球状の粒子とを含む、請求項９又は１０に記載のグリース組成物。
  12. 　前記第２粒子が球状である、請求項９又は１０に記載のグリース組成物。
  13. 　前記第２粒子がアルミナを含む、請求項９又は１０に記載のグリース組成物。
  14. 　前記樹脂がシリコーン樹脂である、請求項９又は１０に記載のグリース組成物。
  15. 　電磁波吸収層形成用である、請求項９又は１０に記載のグリース組成物。
  16. 　ミリ波レーダー用である、請求項９又は１０に記載のグリース組成物。
  17. 　半導体素子と、放熱部材と、前記半導体素子と前記放熱部材との間に設けられ、前記半導体素子と前記放熱部材とに接触する熱伝達層と、を備え、
    　前記熱伝達層は、請求項１に記載の樹脂層、又は、請求項９又は１０に記載のグリース組成物から得られる層である、電子デバイス。

     
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