WO2024004242A1 - 熱伝導性組成物、熱伝導性グリース及び熱伝導性シート - Google Patents

熱伝導性組成物、熱伝導性グリース及び熱伝導性シート Download PDF

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WO2024004242A1
WO2024004242A1 PCT/JP2023/001993 JP2023001993W WO2024004242A1 WO 2024004242 A1 WO2024004242 A1 WO 2024004242A1 JP 2023001993 W JP2023001993 W JP 2023001993W WO 2024004242 A1 WO2024004242 A1 WO 2024004242A1
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WO
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thermally conductive
hydrocarbon group
conductive particles
group
resin composition
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Application number
PCT/JP2023/001993
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English (en)
French (fr)
Inventor
岩井亮
服部真和
Original Assignee
富士高分子工業株式会社
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Publication date
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
    • C08K3/01—Use of inorganic substances as compounding ingredients characterized by their specific function
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00—Use of organic ingredients
    • C08K5/54—Silicon-containing compounds
    • C08K5/541—Silicon-containing compounds containing oxygen
    • C08K5/5415—Silicon-containing compounds containing oxygen containing at least one Si—O bond
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L101/00—Compositions of unspecified macromolecular compounds
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon

Definitions

  • the present invention relates to a thermally conductive composition, a thermally conductive grease, and a thermally conductive sheet suitable for interposing between a heat-generating part of an electric/electronic component and a heat radiator.
  • thermally conductive sheets are used to improve the adhesion between the semiconductor and the heat radiator.
  • thermally conductive sheets are required to be soft and have high thermal conductivity.
  • patent documents 1 to 4 have been proposed as thermally conductive sheets.
  • thermally conductive compositions have a problem in that viscosity decreases in compositions containing thermally conductive particles whose surface has been treated with a surface treatment agent containing an aliphatic hydrocarbon functional group; Compositions containing thermally conductive particles whose surface has been treated with a surface treatment agent containing a functional group have too high a viscosity; Although it was possible to prevent the steady-state value of the compressive load from decreasing, there was a problem in that the viscosity increased.
  • the present invention provides a thermally conductive composition, a thermally conductive grease, and a thermally conductive sheet that have high thermal conductivity, suppress the decrease in steady-state compressive load value, and have an appropriate viscosity.
  • the thermally conductive composition of the present invention is a thermally conductive resin composition containing a matrix resin and thermally conductive particles, wherein the thermally conductive particles are surface-treated in advance with a surface treatment agent having an aromatic hydrocarbon group.
  • This is a thermally conductive resin composition containing thermally conductive particles A that have been treated with a heat-conducting material, and thermally conductive particles B that have been surface-treated in advance with a surface treatment agent having an aliphatic hydrocarbon group.
  • the thermally conductive grease of the present invention is a grease made from the aforementioned thermally conductive composition.
  • the thermally conductive sheet of the present invention is obtained by molding the aforementioned thermally conductive composition into a sheet.
  • the present invention includes thermally conductive particles A that include a matrix resin and thermally conductive particles, and that are surface-treated with a surface treatment agent having an aromatic hydrocarbon group, and that are surface-treated with a surface treatment agent that has an aliphatic hydrocarbon group.
  • thermally conductive particles B By containing the thermally conductive particles B, it is possible to provide a thermally conductive composition, a thermally conductive grease, and a thermally conductive sheet that have high thermal conductivity, suppress a decrease in the steady-state compressive load value, and have an appropriate viscosity.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a method of using a thermally conductive sheet in an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a scanning electron micrograph (5,000x magnification) of plate-like particles (boron nitride) in an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a scanning electron micrograph (3,000x magnification) of a polyhedron (alumina) in an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a scanning electron micrograph (1,000x magnification) of molten spherical (alumina) in an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a scanning electron micrograph (10,000x magnification) of round fine particles (alumina) in an embodiment of the present invention.
  • the present invention is a thermally conductive composition containing a matrix resin and thermally conductive particles.
  • the matrix resin is preferably a thermosetting resin such as silicone rubber, silicone gel, acrylic rubber, fluororubber, epoxy resin, phenol resin, unsaturated polyester resin, melamine resin, acrylic resin, silicone resin, or fluororesin.
  • silicone is preferred, and elastomer, gel, putty, grease, etc. are preferred.
  • the elastomer and gel may be formed into sheets.
  • any curing method such as peroxide curing reaction, addition curing reaction, condensation curing reaction, etc. may be used. Silicone resin is preferred because it has high heat resistance.
  • the addition reaction type is preferable because it is not corrosive to the surrounding area, there are few by-products released outside the system, and it reliably hardens deep.
  • At least one of the thermally conductive particles A and B is preferably at least one inorganic particle selected from the group consisting of plate-like and polyhedral-like particles. It is further preferred that the thermally conductive particles A and B are both at least one inorganic particle selected from the group consisting of plate-like and polyhedral-like particles. This provides high thermal conductivity.
  • the thermal conductivity of the thermally conductive composition of the present invention is preferably 0.5 to 20 W/mK, more preferably 1 to 15 W/mK.
  • the thermally conductive particles are surface-treated in advance with a surface treatment agent, and the thermally conductive particles A are surface-treated with a surface treatment agent having an aromatic hydrocarbon group, and the surface treatment agent has an aliphatic hydrocarbon group.
  • Thermal conductive particles B are surface-treated.
  • the amount of thermally conductive particles A is 50 to 1,500 parts by weight, more preferably 100 to 1,200 parts by weight, and even more preferably 150 to 1,000 parts by weight based on 100 parts by weight of the matrix resin.
  • the amount of thermally conductive particles B is 50 to 1,500 parts by weight, more preferably 100 to 1,200 parts by weight, and still more preferably 150 to 1,000 parts by weight based on 100 parts by weight of the matrix resin. This provides favorable thermal conductivity.
  • the surface treatment agent having an aromatic hydrocarbon group has the chemical formula: R 21 SiR 22 x (OR 23 ) 3-x (However, R 11 is a monovalent aromatic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms that may contain a double bond, and is represented by the following chemical formula (1), chemical formula (2), chemical formula (3), or chemical formula (4 ) is a monovalent substituent represented by however, R 22 is a methyl group.
  • R 23 is a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, and may be the same or different.
  • R 24 is a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms or a phenyl group, and may contain a double bond.
  • R 25 is (R 26 2 SiO) m divalent polysiloxane.
  • R 26 is a divalent aromatic hydrocarbon group having 6 to 30 carbon atoms, and may include a divalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
  • x 1 to 2
  • y 1 to 3
  • z 0 to 3
  • n integer of 1 to 4
  • An organic silane compound or an organic siloxane-containing organic silane compound represented by the following is preferable.
  • the surface treatment agent having an aromatic hydrocarbon group includes phenyltrimethoxysilane, benzyltriethoxysilane, phenylethyltriethoxysilane, phenylpropyltrimethoxylane, naphthyltrimethoxysilane, anthracenyltrimethoxylane, bis(trimethoxysilyl) ) benzene, bis(trimethoxysilylethyl)benzene, trimethoxysilylpolymethylphenylsiloxane oligomer at both ends, trimethoxysilylpolymethylphenylsiloxane oligomer at one end, trimethoxysilylethylpolymethylphenylsiloxane oligomer at one end Preferably, it is at least one compound.
  • the thermally conductive particles A preferably have an aromatic hydrocarbon group-containing surface treatment agent applied in an amount of 0.01 to 10.0 parts by mass, more preferably 100 parts by mass of the thermally conductive particles. is 0.05 to 8.0 parts by mass, more preferably 0.1 to 6 parts by mass.
  • the surface treatment agent having an aliphatic hydrocarbon group has the chemical formula: R 11 SiR 12 x (OR 13 ) 3-x (However, R 11 is an aliphatic carbon hydrogen group having 1 to 18 carbon atoms that may contain a monovalent double bond, and is represented by the following chemical formula (5), chemical formula (6), chemical formula (7), or chemical formula (8 ) is a monovalent substituent represented by however, R 12 is a methyl group.
  • R 13 is an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, and may be the same or different.
  • R 14 is an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms and may contain a double bond.
  • R 15 is (R 12 2 SiO) m divalent polysiloxane.
  • R 15 is an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
  • R 16 is a divalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
  • x 1 to 2
  • y 1 to 3
  • z 0 to 3
  • n integer of 1 to 4
  • An organic silane compound or an organic siloxane-containing organic silane compound represented by the following is preferable.
  • the surface treatment agent having an aliphatic hydrocarbon group includes methyltrimethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, propyltrimethoxysilane (including n- and iso-), and butyltrimethoxysilane (including n- and iso-).
  • the amount of surface treatment agent having an aliphatic hydrocarbon group applied is preferably 0.01 to 10.0 parts by mass, more preferably 100 parts by mass of the thermally conductive particles.
  • the amount is 0.05 to 8.0 parts by weight, more preferably 0.1 to 6 parts by weight.
  • the amount of thermally conductive particles A is preferably 10 to 90% by mass, more preferably 20 to 80% by mass, and even more preferably 30 to 70% by mass.
  • the amount of thermally conductive particles B is preferably 90 to 10% by mass, more preferably 80 to 20% by mass, and still more preferably 70 to 30% by mass. .
  • the thermally conductive grease of the present invention is made of the aforementioned thermally conductive resin composition.
  • the thermally conductive sheet of the present invention is obtained by molding the aforementioned thermally conductive resin composition into a sheet.
  • a compound having the following composition is preferable.
  • a Thermal conductive particles surface treated with a surface treatment agent having an aromatic hydrocarbon group 50 to 1500 parts by mass based on 100 parts by mass of matrix resin
  • B Surface treated with a surface treatment agent having an aliphatic hydrocarbon group
  • Thermal conductive particles 50 to 1500 parts by mass C based on 100 parts by mass of matrix resin
  • the matrix resin component includes the following (C1) and (C2). (C1)+(C2) is 100% by mass.
  • (C2) Crosslinking component Containing at least two silicon-bonded hydrogen atoms in one molecule Even if the organohydrogenpolysiloxane contains an organopolysiloxane having no reactive groups other than the (C1) and (C2) components in an amount less than 1 mol per 1 mol of the silicon-bonded alkenyl group in the component A. good.
  • Other additives Curing retardant, coloring agent, etc.; arbitrary amount, silane coupling agent
  • the base polymer component is an organopolysiloxane containing two or more alkenyl groups bonded to a silicon atom in one molecule, and the organopolysiloxane containing two or more alkenyl groups is the main component ( base polymer component).
  • This organopolysiloxane has two silicon-bonded alkenyl groups each having 2 to 8, particularly 2 to 6 carbon atoms, such as a vinyl group or an allyl group, as alkenyl groups.
  • the viscosity at 25° C. is preferably 10 to 1,000,000 mPa ⁇ s, particularly 100 to 100,000 mPa ⁇ s from the viewpoint of workability and curing properties.
  • an organopolysiloxane represented by the following chemical formula (Chemical Formula 9) containing two or more alkenyl groups bonded to the silicon atom at the end of the molecular chain in one molecule is used.
  • the side chains are linear organopolysiloxanes capped with alkyl groups.
  • the viscosity at 25° C. is preferably 10 to 1,000,000 mPa ⁇ s from the viewpoint of workability, hardenability, etc.
  • this linear organopolysiloxane may contain a small amount of branched structure (trifunctional siloxane unit) in its molecular chain.
  • R 1 is an unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group having no aliphatic unsaturated bonds that are the same or different from each other
  • R 2 is an alkenyl group
  • k is 0 or a positive integer.
  • the unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group having no aliphatic unsaturated bond for R 1 preferably has 1 to 10 carbon atoms, particularly 1 to 6 carbon atoms, and specifically, , methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, neopentyl group, hexyl group, cyclohexyl group, octyl group, nonyl group, alkyl group such as decyl group, phenyl group aryl groups such as tolyl, xylyl, and naphthyl groups; aralkyl groups such as benzyl, phenylethyl, and phenylpropyl; and some or all of the hydrogen atoms of these groups may be substituted with fluorine, bromine, chlorine, etc.
  • Examples include those substituted with a halogen atom, a cyano group, etc., such as a halogen-substituted alkyl group such as a chloromethyl group, a chloropropyl group, a bromoethyl group, and a trifluoropropyl group, and a cyanoethyl group.
  • the alkenyl group for R 2 is preferably one having 2 to 6 carbon atoms, particularly 2 to 3 carbon atoms, and specifically includes a vinyl group, allyl group, propenyl group, isopropenyl group, butenyl group, isobutenyl group, and hexenyl group.
  • k is generally 0 or a positive integer satisfying 0 ⁇ k ⁇ 10000, preferably 5 ⁇ k ⁇ 2000, more preferably an integer satisfying 10 ⁇ k ⁇ 1200. be.
  • the C1 component organopolysiloxane has 3 or more, usually 3 to 30 alkenyl groups bonded to silicon atoms having 2 to 8 carbon atoms, particularly 2 to 6 carbon atoms, such as vinyl groups and allyl groups in one molecule. , preferably an organopolysiloxane having about 3 to 20 atoms.
  • the molecular structure may be linear, cyclic, branched, or three-dimensional network.
  • it is a straight chain whose main chain is composed of repeating diorganosiloxane units, both ends of the molecular chain are blocked with triorganosiloxy groups, and whose viscosity at 25°C is 10 to 1,000,000 mPa ⁇ s, particularly 100 to 100,000 mPa ⁇ s. It is an organopolysiloxane.
  • the alkenyl group may be bonded to any part of the molecule.
  • it may include those bonded to a silicon atom at the end of the molecular chain or at a non-terminal (in the middle of the molecular chain) of the molecular chain.
  • the chemical formula (Chemical formula 10) below has 1 to 3 alkenyl groups on each silicon atom at both ends of the molecular chain (however, the alkenyl groups bonded to the silicon atoms at the ends of the molecular chain are If the total number of terminals is less than 3, it is a straight chain having at least one alkenyl group bonded to a silicon atom at a non-terminus (in the middle of the molecular chain) (for example, as a substituent in a diorganosiloxane unit).
  • a linear organopolysiloxane with a viscosity of 10 to 1,000,000 mPa ⁇ s at 25°C is desirable from the viewpoint of workability and curability. It may contain a structure (trifunctional siloxane unit) in the molecular chain.
  • R 3 is the same or different unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon groups, and at least one of them is an alkenyl group.
  • R 4 is an unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group having no aliphatic unsaturated bonds that are the same or different from each other,
  • R 5 is an alkenyl group, and l and m are 0 or a positive integer.
  • the monovalent hydrocarbon group R 3 preferably has 1 to 10 carbon atoms, particularly 1 to 6 carbon atoms, and specifically includes a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, Alkyl groups such as isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, neopentyl group, hexyl group, cyclohexyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, aryl group such as phenyl group, tolyl group, xylyl group, naphthyl group, benzyl group groups, aralkyl groups such as phenylethyl and phenylpropyl groups, alkenyl groups such as vinyl, allyl, propenyl, isopropenyl, butenyl, hexenyl, cyclohexenyl and octeny
  • the monovalent hydrocarbon group of R 4 preferably has 1 to 10 carbon atoms, particularly 1 to 6 carbon atoms, and may be exemplified by the same examples as the above-mentioned R 1 , but does not include an alkenyl group. .
  • the alkenyl group for R 5 is preferably one having 2 to 6 carbon atoms, particularly 2 to 3 carbon atoms, and specifically, the same as R 2 in the above chemical formula (Chemical formula 9) is exemplified, and preferably a vinyl group. It is. l, m are generally 0 or positive integers satisfying 0 ⁇ l+m ⁇ 10000, preferably 5 ⁇ l+m ⁇ 2000, more preferably 10 ⁇ l+m ⁇ 1200, and 0 ⁇ l/(l+m ) ⁇ 0.2, preferably an integer satisfying 0.0011 ⁇ l/(l+m) ⁇ 0.1.
  • Crosslinking component (C2 component)
  • the organohydrogenpolysiloxane of the C2 component of the present invention acts as a crosslinking agent, and a cured product is formed by an addition reaction (hydrosilylation) between the SiH group in this component and the alkenyl group in the C1 component. It is something.
  • Such organohydrogenpolysiloxane may be any one having two or more silicon-bonded hydrogen atoms (i.e., SiH groups) in one molecule, and the molecular structure of this organohydrogenpolysiloxane is as follows: may have a linear, cyclic, branched, or three-dimensional network structure, but the number of silicon atoms in one molecule (i.e., degree of polymerization) is about 2 to 1000, especially about 2 to 300. can be used.
  • the silicon atom to which the hydrogen atom is bonded there are no particular restrictions on the position of the silicon atom to which the hydrogen atom is bonded, and it may be at the end of the molecular chain or at the non-terminus of the molecular chain (in the middle of the molecular chain).
  • examples of the organic group bonded to a silicon atom other than a hydrogen atom include an unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group having no aliphatic unsaturated bond similar to R 1 in the chemical formula (Chemical formula 9).
  • organohydrogenpolysiloxane as the C2 component examples include those having the following structure.
  • R 6 is the same or different alkyl group, phenyl group, epoxy group, acryloyl group, methacryloyl group, alkoxy group, or hydrogen atom, and at least two of them are hydrogen atoms.
  • L is an integer from 0 to 1,000, especially an integer from 0 to 300, and M is an integer from 1 to 200.
  • Catalyst component (D component) As the catalyst component of component D, a catalyst used in a hydrosilylation reaction can be used.
  • a catalyst used in a hydrosilylation reaction can be used.
  • platinum black platinum black, platinum chloride, chloroplatinic acid, reaction products of chloroplatinic acid and monohydric alcohol, complexes of chloroplatinic acid and olefins or vinyl siloxanes, platinum-based catalysts such as platinum bisacetoacetate, palladium-based catalysts, etc.
  • platinum-based catalysts such as platinum bisacetoacetate, palladium-based catalysts, etc.
  • platinum group metal catalysts such as catalysts and rhodium-based catalysts.
  • the thermally conductive particles of components A and B are preferably alumina, zinc oxide, magnesium oxide, aluminum nitride, boron nitride, aluminum hydroxide, silicon carbide, silica, or the like.
  • Various shapes can be used, such as spherical, scale-like, plate-like, and polyhedral shapes.
  • the specific surface area of the thermally conductive filler is preferably in the range of 0.06 to 15 m 2 /g.
  • the specific surface area is a BET specific surface area, and the measurement method follows JIS R1626 (1996). When using the average particle diameter, it is preferably in the range of 0.1 to 100 ⁇ m.
  • the particle size is measured by measuring the D50 (median diameter) of the volume-based cumulative particle size distribution using a laser diffraction light scattering method.
  • this measuring device for example, there is a laser diffraction/scattering type particle distribution measuring device LA-950S2 manufactured by Horiba, Ltd.
  • LA-950S2 laser diffraction/scattering type particle distribution measuring device
  • plate-like alumina, plate-like boron nitride, polyhedral alumina, polyhedral aluminum nitride, fused spherical alumina, fine rounded alumina, etc. are preferable.
  • Thermally conductive particles are also referred to as thermally conductive fillers or simply fillers.
  • the surface treatment of the thermally conductive particles with a silane coupling agent is preferably a dry treatment in which the thermally conductive particles are placed in a container using a high-speed stirring device such as a Henschel mixer, and then the surface treatment agent is added and mixed.
  • This surface treatment can also be carried out by a wet treatment method in which a surface treatment agent is mixed in a slurry form using a solvent, and the solvent is removed by volatilization. Dry processing is preferred because the processing operations are simple. In surface treatment by high-speed rotation, heating and depressurization operations may be performed simultaneously. Furthermore, in order to complete the treatment reaction, a step of heating at 80 to 180° C. for 1 to 24 hours may be included.
  • the amount of silane required to treat the surface of thermally conductive inorganic particles can be calculated using the following formula.
  • Amount of silane (g) Amount of thermally conductive inorganic powder (g) x Specific surface area of thermally conductive inorganic powder (m 2 /g) / Minimum coverage area of silane (m 2 /g)
  • the "minimum silane coverage area" is calculated using the following formula.
  • Minimum coverage area of silane (m 2 /g) (6.02 x 10 23 ) x (13 x 10 -20 ) / molecular weight of silane
  • 6.02 x 10 23 Avogadro's constant 13 x 10 -20 : Area covered by one molecule of silane (0.13 nm 2 )
  • the required amount of silane is preferably 0.5 times or more and 10 times or less, more preferably 0.8 times or more and 5 times or less of the "minimum silane coverage area" (hereinafter also referred to as Amin).
  • composition of the present invention may be added to the composition of the present invention as necessary.
  • heat resistance improvers such as red iron oxide, titanium oxide, and cerium oxide
  • flame retardant aids such as flame retardant aids, and hardening retarders
  • Organic or inorganic pigments may be added for the purpose of coloring or toning.
  • the aforementioned silane coupling agent may be added.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a heat dissipating structure 10 incorporating a thermally conductive sheet according to an embodiment of the present invention.
  • Thermal conductive sheet 11b is for dissipating heat generated by electronic components 13 such as semiconductor elements, and is fixed to main surface 12a of heat spreader 12 facing electronic component 13, and is placed between electronic component 13 and heat spreader 2. Being pinched. Further, the thermally conductive sheet 11a is sandwiched between the heat spreader 12 and the heat sink 15. The heat conductive sheets 11a and 11b together with the heat spreader 2 constitute a heat radiating member that radiates heat from the electronic component 13.
  • the heat spreader 12 is formed into a rectangular plate shape, for example, and has a main surface 12a facing the electronic component 13, and a side wall 12b erected along the outer periphery of the main surface 12a.
  • a heat conductive sheet 11b is provided on a main surface 12a surrounded by side walls 12b, and a heat sink 15 is provided on the other surface 12c opposite to the main surface 12a via the heat conductive sheet 11a.
  • the electronic component 13 is, for example, a semiconductor element such as a BGA, and is mounted on the wiring board 14.
  • Thermal conductive filler F1 Plate alumina (trade name AP-10: average particle size 9 ⁇ m, BET specific surface area 1.5 m 2 /g, aspect ratio 15, manufactured by DIC Corporation) - F2: Plate boron nitride (trade name HSL: average particle size 35 ⁇ m, BET specific surface area 2 m 2 /g, aspect ratio 38, manufactured by Dandong Chemical Engineering Institute), illustrated in FIG.
  • ⁇ F3 Polyhedral alumina (trade name AH40S: average particle size 32 ⁇ m, BET specific surface area 0.1 m 2 /g or less, manufactured by DIC Corporation)
  • ⁇ F4 Polyhedral aluminum nitride (trade name HF-20: average particle size 19 ⁇ m, BET specific surface area 0.2 m 2 /g, manufactured by Tokuyama Co., Ltd.)
  • - F5 Polyhedral alumina (trade name AA-3: average particle size 3.5 ⁇ m, BET specific surface area 0.6 m 2 /g, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), illustrated in FIG. 3.
  • - F6 Fused spherical alumina (trade name AZ35-75R: average particle size 38 ⁇ m, BET specific surface area 0.2 m 2 /g, manufactured by Nippon Steel Chemical & Materials Co., Ltd.), illustrated in FIG. 4.
  • - F7 Fine rounded alumina (trade name AKP-30: average particle size 0.3 ⁇ m, BET specific surface area 7.4 m 2 /g, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), illustrated in FIG.
  • thermally conductive compounds were manufactured and evaluated.
  • a thermally conductive compound was obtained by mixing the composition shown in Tables 3 and 4 using a rotation-revolution mixer (Maserstar KK-400W, manufactured by Kurabo Industries, Ltd.). Ta. The viscosity and thermal conductivity of the obtained thermally conductive resin compound were measured.
  • the silicone polymer (matrix resin) used in each Example and Comparative Example is as follows. CY52-276A/B: 2-component addition-curing dimethyl polysiloxane resin (dimethyl silicone) manufactured by Dow Toray Industries, Inc.
  • SH510-500CS Methylphenylpolysiloxane oil (methylphenyl silicone) manufactured by Dow Toray Industries, Inc.
  • SH200-110CS Dimethylpolysiloxane oil (dimethylsilicone) manufactured by Dow Toray Industries, Inc. The above conditions and results are shown in Tables 3 and 4.
  • Example 1 had high thermal conductivity and no decrease in viscosity was observed. Furthermore, when comparing Examples 2 to 3 in which the matrix resin was methylphenyl silicone and Comparative Example 3, the compositions of Examples 2 to 3 had high thermal conductivity and no decrease in viscosity was observed. Further, when comparing Example 4 with a filler ratio of 60 wt% and Comparative Examples 4 to 5, the composition of Example 4 had high thermal conductivity and no decrease in viscosity was observed. Furthermore, when comparing Example 5 with Comparative Examples 6 and 7, the composition of Example 5 had high thermal conductivity and no decrease in viscosity was observed.
  • thermally conductive sheets were manufactured and evaluated.
  • a two-component heat-curable silicone polymer was used as the matrix resin component.
  • a component (1A) to which a base polymer component and a platinum-based metal catalyst were added in advance, and a component (1B) to which a base polymer component and a crosslinking component were added in advance were used.
  • a plate-shaped thermally conductive filler and a non-plate-shaped inorganic filler were mixed with these base polymers using an autorotation-revolution mixer, and after defoaming, the sample was sandwiched between polyester (PET) films and rolled to a thickness of 2.0 mm. It was held for 15 minutes to perform heat curing.
  • Table 5 shows the hardness (Asker-C), instantaneous value/steady value change of compressive load, and thermal conductivity of the obtained thermally conductive silicone sheet.
  • thermally conductive composition and thermally conductive sheet of the present invention are suitable for interposing between a heat generating part and a heat radiator of an electric/electronic component or the like.

Abstract

マトリックス樹脂と熱伝導性粒子を含む熱伝導性樹脂組成物であって、前記熱伝導性粒子は、芳香族炭化水素基を有する表面処理剤で予め表面処理された熱伝導性粒子Ａと、脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤で予め表面処理された熱伝導性粒子Ｂを含む組成物である。前記熱伝導性粒子Ａ及びＢの少なくとも一方は、板状及び多面体状からなる群から選ばれる少なくとも一つの無機粒子であるのが好ましい。これにより、高熱伝導度で圧縮荷重定常値の低下が抑えられ、適度な粘度を有する熱伝導性組成物、熱伝導性グリース及び熱伝導性シートを提供する。

Description

熱伝導性組成物、熱伝導性グリース及び熱伝導性シート
　本発明は、電気・電子部品等の発熱部と放熱体の間に介在させるのに好適な熱伝導性組成物、熱伝導性グリース及び熱伝導性シートに関する。
　近年のＣＰＵ等の半導体の性能向上はめざましくそれに伴い発熱量も膨大になっている。そのため発熱するような電子部品には放熱体が取り付けられ、半導体と放熱部との密着性を改善する為に熱伝導性シートが使われている。機器の小型化、高性能化、高集積化に伴い熱伝導性シートには柔らかさ、高熱伝導性が求められている。従来、熱伝導性シートとして特許文献１～４等が提案されている。
特表２０２１－５１８４６６号公報 再表２０２０－１３７９７０号公報 再表２０１８－０８８４１６号公報 特開２０１６－２１６５２３号公報
　しかし、従来の熱伝導性組成物は、脂肪族炭化水素官能基を含む表面処理剤で表面処理された熱伝導性粒子を含む組成物では、粘度が低下する問題があり、芳香族炭化水素系官能基を含む表面処理剤で表面処理された熱伝導性粒子を含む組成物では粘度が高くなりすぎ、
圧縮荷重の定常値低下は防げるが、粘度が上昇するという問題があった。
　本発明は前記従来の問題を解決するため、高熱伝導度で圧縮荷重定常値の低下が抑えられ、適度な粘度を有する熱伝導性組成物、熱伝導性グリース及び熱伝導性シートを提供する。
　本発明の熱伝導性組成物は、マトリックス樹脂と熱伝導性粒子を含む熱伝導性樹脂組成物であって、前記熱伝導性粒子は、芳香族炭化水素基を有する表面処理剤で予め表面処理された熱伝導性粒子Ａと、脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤で予め表面処理された熱伝導性粒子Ｂを含む熱伝導性樹脂組成物である。
　本発明の熱伝導性グリースは、前記の熱伝導性組成物をグリースとしたものである。
　本発明の熱伝導性シートは、前記の熱伝導性組成物がシートに成形されている。
　本発明は、マトリックス樹脂と熱伝導性粒子を含み、芳香族炭化水素基を有する表面処理剤で表面処理された熱伝導性粒子Ａと、脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤で表面処理された熱伝導性粒子Ｂを含むことにより、高熱伝導度で圧縮荷重定常値の低下が抑えられ、適度な粘度を有する熱伝導性組成物、熱伝導性グリース及び熱伝導性シートを提供できる。
図１は本発明の一実施形態における熱伝導性シートの使用方法を示す模式的断面図である。 図２は本発明の一実施形態における板状粒子(窒化ホウ素)の走査型電子顕微鏡写真（倍率5,000倍）である。 図３は本発明の一実施形態における多面体状(アルミナ）の走査型電子顕微鏡写真（倍率3,000倍）である。 図４は本発明の一実施形態における溶融球状(アルミナ）の走査型電子顕微鏡写真（倍率1,000倍）である。 図５は本発明の一実施形態における微粒丸み状(アルミナ）の走査型電子顕微鏡写真（倍率10,000倍）である。
　本発明は、マトリックス樹脂と熱伝導性粒子を含む熱伝導性組成物である。マトリックス樹脂は、シリコーンゴム、シリコーンゲル、アクリルゴム、フッ素ゴム、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等の熱硬化性樹脂が好ましい。この中でもシリコーンが好ましく、エラストマー、ゲル、パテ又はグリースなどが好ましい。エラストマー及びゲルはシート成形されていてもよい。シリコーン樹脂の硬化システムは過酸化物硬化反応、付加硬化反応、縮合硬化反応等いかなる硬化方法を用いてもよい。シリコーン樹脂は耐熱性が高いことから好ましい。また、周辺への腐食性がないこと、系外に放出される副生成物が少ないこと、深部まで確実に硬化することなどの理由により付加反応型であることが好ましい。
　前記熱伝導性粒子Ａ及びＢの少なくとも一方は、板状及び多面体状からなる群から選ばれる少なくとも一つの無機粒子であることが好ましい。前記熱伝導性粒子Ａ及びＢがともに板状及び多面体状からなる群から選ばれる少なくとも一つの無機粒子であることがさらに好ましい。これにより、高い熱伝導性が得られる。本発明の熱伝導性組成物の好ましい熱伝導度は、０．５～２０Ｗ／ｍＫであり、より好ましくは１～１５Ｗ／ｍＫである。
　前記熱伝導性粒子は、予め表面処理剤で表面処理されており、芳香族炭化水素基を有する表面処理剤で表面処理された熱伝導性粒子Ａと、脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤で表面処理された熱伝導性粒子Ｂを含む。マトリックス樹脂１００質量部に対して熱伝導性粒子Ａは５０～１５００質量部であり、より好ましくは１００～１２００質量部、さらに好ましくは１５０～１０００質量部である。熱伝導性粒子Ｂはマトリックス樹脂１００質量部に対して５０～１５００質量部であり、より好ましくは１００～１２００質量部、さらに好ましくは１５０～１０００質量部である。これにより、好ましい熱伝導性が得られる。
　前記芳香族炭化水素基を有する表面処理剤は、化学式：Ｒ２１ＳｉＲ２２ ｘ（ＯＲ２３）３－ｘ
（但し、Ｒ１１は炭素数１～１８の２重結合を含んでも良い１価の芳香族炭化水素基であり、下記化学式（１）、化学式（２）、化学式（３）、又は化学式（４）で表される１価の置換基である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000012
 但し、
Ｒ２２はメチル基である。
Ｒ２３は炭素数１～４の炭化水素基であり、同じであっても異なっていても良い。
Ｒ２４は炭素数１～４の炭化水素基またはフェニル基であり、２重結合を含んでも良い。
Ｒ２５は（Ｒ２６ ２ＳｉＯ）ｍの２価のポリシロキサンであり。
Ｒ２６は炭素数６～３０の２価の芳香族炭化水素基であり、炭素数１～４の２価の脂肪族炭素水素基を含んでも良い。
ｘ＝１～２、ｙ＝１～３、ｚ＝０～３、ｎ＝１～４の整数、ｍ＝１～２０の整数、ｐ＝０又は１）
で表される有機シラン化合物または有機シロキサン含有有機シラン化合物であることが好ましい。
　前記芳香族炭化水素基を有する表面処理剤は、フェニルトリメトキシシラン、ベンジルトリエトキシシラン、フェニルエチルトリエトキシシラン、フェニルプロピルトリメトキシラン、ナフチルトリメトキシシラン、アントラセニルトリメトキシラン、ビス（トリメトキシシリル）ベンゼン、ビス（トリメトキシシリルエチル）ベンゼン、両末端トリメトキシシリルポリメチルフェニルシロキサンオリゴマー、片末端トリメトキシシリルポリメチルフェニルシロキサンオリゴマー、片末端トリメトキシシリルエチルポリメチルフェニルシロキサンオリゴマーなる群から選ばれる少なくとも一つの化合物であることが好ましい。
　前記熱伝導性粒子Ａは、熱伝導性粒子１００質量部に対して、芳香族炭化水素基を有する表面処理剤の付与量は０．０１～１０．０質量部であることが好ましく、より好ましくは０．０５～８．０質量部であり、さらに好ましくは０．１～６質量部である。
　前記脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤は、化学式：Ｒ１１ＳｉＲ１２ ｘ（ＯＲ１３）３－ｘ
（但し、Ｒ１１は炭素数１～１８の１価の２重結合を含んでも良い脂肪族炭素水素基であり、下記化学式（５）、化学式（６）、化学式（７）、又は化学式（８）で表される１価の置換基である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000013
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000014
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000015
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000016
 但し、
Ｒ１２はメチル基である。
Ｒ１３は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基であり、同じであっても異なっていても良い。
Ｒ１４は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基であり、２重結合を含んでも良い。
Ｒ１５は（Ｒ１２ ２ＳｉＯ）ｍの２価のポリシロキサンであり。
Ｒ１５は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基である。
Ｒ１６は炭素数１～４の２価の脂肪族炭素水素基である。
ｘ＝１～２、ｙ＝１～３、ｚ＝０～３、ｎ＝１～４の整数、ｍ＝１～２０の整数、ｐ＝０又は１）
で表される有機シラン化合物または有機シロキサン含有有機シラン化合物であるのが好ましい。
　前記脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤は、メチルトリメトキシシラン，エチルトリメトキシシラン，プロピルトリメトキシシラン（ｎ－，ｉｓｏ－を含む），ブチルトリメトキシシラン（ｎ－，ｉｓｏ－を含む），へキシルトリメトキシシラン、オクチルトリエトキシシラン、デシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、ビス（トリメトキシシリル）エタン、ビス（トリメトキシシリル）オクタン、両末端トリメトキシシリルポリシロキサンオリゴマー、片末端トリメトキシシリルポリジメチルシロキサンオリゴマー、片末端トリメトキシシリルエチルポリジメチルシロキサンオリゴマーなる群から選ばれる少なくとも一つの化合物であるのが好ましい。
　熱伝導性粒子Ｂは、熱伝導性粒子１００質量部に対して、脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤の付与量は０．０１～１０．０質量部であることが好ましく、より好ましくは０．０５～８．０質量部であり、さらに好ましくは０．１～６質量部である。
　熱伝導性粒子１００質量％に対して、熱伝導性粒子Ａは１０～９０質量％であることが好ましく、より好ましくは２０～８０質量％であり、さらに好ましくは３０～７０質量％である。また熱伝導性粒子１００質量％に対して、熱伝導性粒子Ｂは９０～１０質量％であることが好ましく、より好ましくは８０～２０質量％であり、さらに好ましくは７０～３０質量％である。
　本発明の熱伝導性グリースは前記の熱伝導性樹脂組成物からなるものである。また、本発明の熱伝導性シートは、前記の熱伝導性樹脂組成物をシートに成形したものである。
　本発明の一例として、付加反応型シリコーン組成物（未硬化組成物）の場合は、下記組成のコンパウンドが好ましい。
Ａ　芳香族炭化水素基を有する表面処理剤で表面処理された熱伝導性粒子：マトリックス樹脂１００質量部に対して５０～１５００質量部
Ｂ　脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤で表面処理された熱伝導性粒子：マトリックス樹脂１００質量部に対して５０～１５００質量部
Ｃ　マトリックス樹脂成分
　マトリックス樹脂成分は、下記（Ｃ１）（Ｃ２）を含む。（Ｃ１）＋（Ｃ２）で１００質量％とする。
（Ｃ１）１分子中に少なくとも２個のケイ素原子に結合したアルケニル基を含有する直鎖状オルガノポリシロキサン
（Ｃ２）架橋成分：１分子中に少なくとも２個のケイ素原子に結合した水素原子を含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンが、前記Ａ成分中のケイ素原子結合アルケニル基１モルに対して、１モル未満の量
　前記(Ｃ１）（Ｃ２）成分以外に反応基を持たないオルガノポリシロキサンを含んでもよい。
Ｄ　白金系金属触媒：マトリックス樹脂成分に対して質量単位で０．０１～１０００ｐｐｍの量
Ｅ　その他添加剤：硬化遅延剤、着色剤等；任意量、シランカップリング剤
　以下、各成分について説明する。
（１）ベースポリマー成分（Ｃ１成分）
　ベースポリマー成分は、一分子中にケイ素原子に結合したアルケニル基を２個以上含有するオルガノポリシロキサンであり、アルケニル基を２個以上含有するオルガノポリシロキサンは本発明のシリコーンゴム組成物における主剤（ベースポリマー成分）である。このオルガノポリシロキサンは、アルケニル基として、ビニル基、アリル基等の炭素原子数２～８、特に２～６の、ケイ素原子に結合したアルケニル基を一分子中に２個有する。粘度は２５℃で10～1000000ｍＰａ・ｓ、特に100～100000ｍＰａ・ｓであることが作業性、硬化性などから望ましい。
　具体的には、下記化学式（化９）で表される１分子中に２個以上かつ分子鎖末端のケイ素原子に結合したアルケニル基を含有するオルガノポリシロキサンを使用する。側鎖はアルキル基で封鎖された直鎖状オルガノポリシロキサンである。２５℃における粘度は10～1000000ｍＰａ・ｓのものが作業性、硬化性などから望ましい。なお、この直鎖状オルガノポリシロキサンは少量の分岐状構造（三官能性シロキサン単位）を分子鎖中に含有するものであってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000017
　式中、Ｒ1は互いに同一又は異種の脂肪族不飽和結合を有さない非置換又は置換一価炭化水素基であり、Ｒ２はアルケニル基であり、ｋは０又は正の整数である。ここで、Ｒ1の脂肪族不飽和結合を有さない非置換又は置換の一価炭化水素基としては、例えば、炭素原子数１～１０、特に１～６のものが好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等のアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基等のアラルキル基、並びに、これらの基の水素原子の一部又は全部をフッ素、臭素、塩素等のハロゲン原子、シアノ基等で置換したもの、例えばクロロメチル基、クロロプロピル基、ブロモエチル基、トリフロロプロピル基等のハロゲン置換アルキル基、シアノエチル基等が挙げられる。Ｒ２のアルケニル基としては、例えば炭素原子数２～６、特に２～３のものが好ましく、具体的にはビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ヘキセニル基、シクロヘキセニル基等が挙げられ、好ましくはビニル基である。化学式（９）において、ｋは、一般的には0≦ｋ≦10000を満足する０又は正の整数であり、好ましくは5≦ｋ≦2000、より好ましくは10≦ｋ≦1200を満足する整数である。
　Ｃ１成分のオルガノポリシロキサンとしては一分子中に例えばビニル基、アリル基等の炭素原子数２～８、特に２～６のケイ素原子に結合したアルケニル基を３個以上、通常、３～３０個、好ましくは、３～２０個程度有するオルガノポリシロキサンを併用しても良い。分子構造は直鎖状、環状、分岐状、三次元網状のいずれの分子構造のものであってもよい。好ましくは、主鎖がジオルガノシロキサン単位の繰り返しからなり、分子鎖両末端がトリオルガノシロキシ基で封鎖された、２５℃での粘度が10～1000000ｍＰａ・ｓ、特に100～100000ｍＰａ・ｓの直鎖状オルガノポリシロキサンである。
　アルケニル基は分子のいずれかの部分に結合していればよい。例えば、分子鎖末端、あるいは分子鎖非末端（分子鎖途中）のケイ素原子に結合しているものを含んでも良い。なかでも下記化学式（化１０）で表される分子鎖両末端のケイ素原子上にそれぞれ１～３個のアルケニル基を有し（但し、この分子鎖末端のケイ素原子に結合したアルケニル基が、両末端合計で３個未満である場合には、分子鎖非末端（分子鎖途中）のケイ素原子に結合したアルケニル基を、（例えばジオルガノシロキサン単位中の置換基として）、少なくとも１個有する直鎖状オルガノポリシロキサンであって、上記でも述べた通り２５℃における粘度が10～1,000,000ｍＰａ・ｓのものが作業性、硬化性などから望ましい。なお、この直鎖状オルガノポリシロキサンは少量の分岐状構造（三官能性シロキサン単位）を分子鎖中に含有するものであってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000018
　式中、Ｒ３は互いに同一又は異種の非置換又は置換一価炭化水素基であって、少なくとも１個がアルケニル基である。Ｒ４は互いに同一又は異種の脂肪族不飽和結合を有さない非置換又は置換一価炭化水素基であり、Ｒ５はアルケニル基であり、ｌ，ｍは０又は正の整数である。ここで、Ｒ３の一価炭化水素基としては、炭素原子数１～１０、特に１～６のものが好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等のアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基等のアラルキル基、ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、ヘキセニル基、シクロヘキセニル基、オクテニル基等のアルケニル基や、これらの基の水素原子の一部又は全部をフッ素、臭素、塩素等のハロゲン原子、シアノ基等で置換したもの、例えばクロロメチル基、クロロプロピル基、ブロモエチル基、トリフロロプロピル基等のハロゲン置換アルキル基やシアノエチル基等が挙げられる。
　また、Ｒ４の一価炭化水素基としても、炭素原子数１～１０、特に１～６のものが好ましく、上記Ｒ1の具体例と同様のものが例示できるが、但しアルケニル基は含まない。Ｒ５のアルケニル基としては、例えば炭素数２～６、特に炭素数２～３のものが好ましく、具体的には前記化学式（化９）のＲ２と同じものが例示され、好ましくはビニル基である。ｌ，ｍは、一般的には0＜ｌ＋ｍ≦10000を満足する０又は正の整数であり、好ましくは5≦ｌ＋ｍ≦2000、より好ましくは10≦ｌ＋ｍ≦1200で、かつ0＜ｌ／（ｌ＋ｍ）≦0.2、好ましくは、0.0011≦ｌ／（ｌ＋ｍ）≦0.1を満足する整数である。
（２）架橋成分（Ｃ２成分）
　本発明のＣ２成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンは架橋剤として作用するものであり、この成分中のＳｉＨ基とＣ１成分中のアルケニル基とが付加反応（ヒドロシリル化）することにより硬化物を形成するものである。かかるオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、一分子中にケイ素原子に結合した水素原子（即ち、ＳｉＨ基）を２個以上有するものであればいずれのものでもよく、このオルガノハイドロジェンポリシロキサンの分子構造は、直鎖状、環状、分岐状、三次元網状構造のいずれであってもよいが、一分子中のケイ素原子の数（即ち、重合度）は2～1000、特に2～300程度のものを使用することができる。
　水素原子が結合するケイ素原子の位置は特に制約はなく、分子鎖の末端でも分子鎖非末端（分子鎖途中）でもよい。また、水素原子以外のケイ素原子に結合した有機基としては、前記化学式（化９）のＲ１と同様の脂肪族不飽和結合を有さない非置換又は置換一価炭化水素基が挙げられる。
　Ｃ２成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては下記構造のものが例示できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000019
　上記の式中、Ｒ６は互いに同一又は異種のアルキル基、フェニル基、エポキシ基、アクリロイル基、メタアクリロイル基、アルコキシ基、水素原子であり、少なくとも２つは水素原子である。Ｌは0～1,000の整数、特には0～300の整数であり、Ｍは1～200の整数である。
（３）触媒成分（Ｄ成分）
　Ｄ成分の触媒成分はヒドロシリル化反応に用いられる触媒を用いることができる。例えば白金黒、塩化第２白金、塩化白金酸、塩化白金酸と一価アルコールとの反応物、塩化白金酸とオレフィン類やビニルシロキサンとの錯体、白金ビスアセトアセテート等の白金系触媒、パラジウム系触媒、ロジウム系触媒などの白金族金属触媒が挙げられる。
（４）熱伝導性粒子（Ａ及びＢ成分）
　Ａ及びＢ成分の熱伝導性粒子は、アルミナ，酸化亜鉛，酸化マグネシウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、水酸化アルミニウム、炭化ケイ素又はシリカなどが好ましい。形状は球状、鱗片状、板状、多面体状等様々なものを使用できる。熱伝導性充填剤の比表面積は０．０６～１５ｍ２／ｇの範囲が好ましい。比表面積はＢＥＴ比表面積であり、測定方法はＪＩＳ　Ｒ１６２６(１９９６)にしたがう。平均粒子径を用いる場合は、０．１～１００μｍの範囲が好ましい。粒子径の測定はレーザー回折光散乱法により、体積基準による累積粒度分布のＤ５０(メジアン径）を測定する。この測定器としては、例えば堀場製作所社製のレーザー回折／散乱式粒子分布測定装置ＬＡ－９５０Ｓ２がある。この中でも板状アルミナ、板状窒化ホウ素、多面体状アルミナ、多面体状窒化アルミニウム、溶融球状アルミナ、微粒丸み状アルミナなどが好ましい。熱伝導性粒子は熱伝導性フィラー、又は単にフィラーともいう。
　熱伝導性粒子のシランカップリング剤による表面処理は、ヘンシェルミキサー等の高速撹拌装置を用いて、容器に熱伝導性粒子を入れた後、表面処理剤を投入混合する乾式処理が望ましい。この表面処理は溶剤を用いて表面処理剤をスラリー状で混合し、溶剤を揮発させて除去する湿式処理で行う方法も可能である。処理操作が単純であることから、乾式処理が好ましい。高速回転による表面処理において加熱、減圧操作を同時に行っても良い。さらに処理反応を完結する目的で、８０～１８０℃で１～２４時間加熱する工程を含んでもよい。
  熱伝導性無機粒子の表面を処理するのに必要なシラン量は次式で計算することができる。
シラン量（ｇ）＝熱伝導性無機粉体の量（ｇ）×熱伝導性無機粉体の比表面積（ｍ２／ｇ）／シランの最小被覆面積（ｍ２／ｇ）
「シランの最小被覆面積」は次の計算式で求める。
シランの最小被覆面積（ｍ２／ｇ）＝（６．０２×１０２３）×（１３×１０－２０）／シランの分子量
前記式中、６．０２×１０２３：アボガドロ定数
１３×１０－２０：１分子のシランが覆う面積（０．１３ｎｍ２）
  必要なシラン量は「シランの最小被覆面積」（以下Ａminともいう。）の０．５倍以上１０倍以下が好ましく、より好ましくは０．８倍以上５倍以下である。これにより、マトリックス樹脂への熱伝導性無機粒子の充填性を向上できる。
（５）その他添加剤
　本発明の組成物には、必要に応じて前記以外の成分を配合することができる。例えばベンガラ、酸化チタン、酸化セリウムなどの耐熱向上剤、難燃助剤、硬化遅延剤などを添加してもよい。着色、調色の目的で有機或いは無機顔料を添加しても良い。前記のシランカップリング剤を添加してもよい。
　以下図面を用いて説明する。以下の図面において、同一符号は同一物を示す。図１は本発明の一実施形態における熱伝導性シートを放熱構造体１０に組み込んだ模式的断面図である。熱伝導性シート１１ｂは、半導体素子等の電子部品１３の発する熱を放熱するものであり、ヒートスプレッダ１２の電子部品１３と対峙する主面１２ａに固定され、電子部品１３とヒートスプレッダ２との間に挟持される。また、熱伝導シート１１ａは、ヒートスプレッダ１２とヒートシンク１５との間に挟持される。そして、熱　伝導シート１１ａ，１１ｂは、ヒートスプレッダ２とともに、電子部品１３の熱を放熱する放熱部材を構成する。ヒートスプレッダ１２は、例えば方形板状に形成され、電子部品１３と対峙する主面１２ａと、主面１２ａの外周に沿って立設された側壁１２ｂとを有する。ヒートスプレッダ２は、側壁１２ｂに囲まれた主面１２ａに熱伝導シート１１ｂが設けられ、また主面１２ａと反対側の他面1２ｃに熱伝導シート１１ａを介してヒートシンク１５が設けられる。電子部品１３は、例えば、ＢＧＡ等の半導体素子であり、配線基板１４へ実装されている。
　以下実施例を用いて説明する。本発明は実施例に限定されるものではない。実施例及び比較例における各種測定方法は次のとおりである。
＜熱伝導率＞
（１）グリース：DYNTIM装置（Siemens社製）を使用し、ASTM D5470:2017に準拠して測定した。
（２）シート：Hotdisk装置（京都電子工業株式会社製）ISO-22007-2:2008に準拠して測定した。
＜粘度＞HAAKE MARSレオメーター（Thermo Scientific社製）を用いて、ASTMD1824-95:2010に準拠して測定した。
＜圧縮荷重＞
　タテ１５ｍｍ、ヨコ１５ｍｍ、厚さ２ｍｍのシートを使用し、加圧速度5.0mm／分でASTMD575-91：2012に準拠して測定した。
＜硬さ＞
　熱伝導性シリコーンシートの硬さは、JIS K7312:1996に規定のAsker-Cとした。
１　原料
（１）熱伝導性フィラー
・Ｆ１：板状アルミナ（商品名ＡＰ－１０：平均粒径９μｍ、ＢＥＴ比表面積１．５ｍ２／ｇ、アスペクト比１５、ＤＩＣ株式会社製）
・Ｆ２：板状窒化ホウ素（商品名ＨＳＬ：平均粒径３５μｍ、ＢＥＴ比表面積２ｍ２／ｇ、アスペクト比３８、Dandong Chemical Engineering Institute社製）、図２に図示。
・Ｆ３：多面体状アルミナ（商品名ＡＨ４０Ｓ：平均粒径３２μｍ、ＢＥＴ比表面積０．１ｍ２／ｇ以下、ＤＩＣ株式会社製）
・Ｆ４：多面体状窒化アルミニウム（商品名ＨＦ－２０：平均粒径１９μｍ、ＢＥＴ比表面積０．２ｍ２／ｇ、株式会社トクヤマ製）
・Ｆ５：多面体状アルミナ（商品名ＡＡ－３：平均粒径３．５μｍ、ＢＥＴ比表面積０．６ｍ２／ｇ、住友化学株式会社製）、図３に図示。
・Ｆ６：溶融球状アルミナ（商品名ＡＺ３５－７５Ｒ：平均粒径３８μｍ、ＢＥＴ比表面積０．２ｍ２／ｇ、日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社製）、図４に図示。
・Ｆ７：微粒丸み状アルミナ（商品名ＡＫＰ－３０：平均粒径０．３μｍ、ＢＥＴ比表面積７．４ｍ２／ｇ、住友化学株式会社製）、図５に図示。
（２）表面処理剤
＜芳香族炭化水素基を有する表面処理剤＞
・Ｓ１：フェニルトリメトキシシラン（商品名ＫＢＭ－１０３：化学式Ｃ６Ｈ５Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、分子量１９８．３、信越化学工業株式会社製）
・Ｓ２：ベンジルトリエトキシシラン（商品名ＳＩＢ０９７１．０：化学式Ｃ６Ｈ５ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、分子量２５４．４、Ｇｅｌｅｓｔ社製）
＜脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤＞
・Ｓ３：デシルトリメトキシラン（商品名ＯＦＳ－６２１０：化学式ｎ－Ｃ１０Ｈ２１Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、分子量２６２．５、ダウ東レ株式会社製）
・Ｓ４：イソブチルトリエトキシシラン（商品名ＯＦＳ－６４０３：化学式ｉｓｏ－Ｃ４Ｈ９Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、分子量１７８．３、ダウ東レ株式会社製）
・Ｓ５：α－トリエトキシシリルエチル，β－ｎ－ブチル（ポリジメチルシロキサン）（商品名ＭＣＲ－ＸＴ１１：化学式Ｃ４Ｈ９（ＣＨ３）２ＳｉＯ－（Ｓｉ（ＣＨ３）２Ｏ）ｎ－Ｓｉ（ＣＨ３）２－Ｃ２Ｈ４－Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３、粘度：１６－２４ｃＳｔ、Ｇｅｌｅｓｔ社製）
・Ｓ６：メチルトリメトキシシラン（商品名：ＯＦＳ－６０７０：化学式ＣＨ３Ｓｉ（ＯＣＨ３）３、分子量１３６．２、ダウ東レ株式会社製）
２　フィラーの表面処理
　板状熱伝導性フィラー（例えば前記Ｆ１）を１００．０ｇ、表面処理剤としてフェニルトリメトキシシラン（分子量＝１９８．３）（例えば前記Ｓ１）０．３５ｇを用いて、ワンダークラッシャーＷＣ－３（大阪ケミカル株式会社製）を用いて乾式表面処理を行った。さらに１２０℃、１２時間加熱処理を行って表面処理熱伝導性フィラーを得た。
　そのほかのフィラーについても、表１～２に示した組成で同様の処理を行った。
　熱重量分析を用いてそれぞれの表面処理剤の付着量を求めた。加熱処理により添加した表面処理剤(シラン化合物)の一部は揮発するので、残存する表面処理剤の付着量を熱重量分析で確認した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000020
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000021
  
（実施例１～５、比較例１～７）
　本実施例及び比較例は、熱伝導性コンパウンドを製造し、評価をした。
　上記に従い調整した熱伝導性フィラーを使用し、表３～４に示す組成で、自転公転ミキサー（マゼルスターＫＫ－４００Ｗ、クラボウ（株）製）を用いて混合することにより、熱伝導性コンパウンドを得た。得られた熱伝導性樹脂コンパウンドの粘度及び熱伝導率を測定した。
　各実施例、比較例で使用したシリコーンポリマー（マトリックス樹脂）は次のとおりである。
ＣＹ５２－２７６Ａ／Ｂ：ダウ・東レ株式会社製の２液付加硬化型ジメチルポリシロキサン樹脂（ジメチルシリコーン）
ＳＨ５１０－５００ＣＳ：ダウ・東レ株式会社製のメチルフェニルポリシロキサンオイル（メチルフェニルシリコーン）
ＳＨ２００－１１０ＣＳ：ダウ・東レ株式会社製のジメチルポリシロキサンオイル（ジメチルシリコーン）
　以上の条件と結果を表３～４に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000022
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000023
 表３～４から明らかなとおり、マトリックス樹脂がジメチルシリコーンである実施例１と比較例１～２を比較すると、実施例１の組成物は高熱伝導度で、粘度の低下も見られなかった。また、マトリックス樹脂がメチルフェニルシリコーンである実施例２～３と比較例３を比較すると、実施例２～３の組成物は高熱伝導度で、粘度の低下も見られなかった。
　また、フィラーの割合が６０ｗｔ％の実施例４と比較例４～５を比較すると、実施例４の組成物は高熱伝導度で、粘度の低下も見られなかった。さらに、実施例５と比較例６～７を比較すると、実施例５の組成物は高熱伝導度で、粘度の低下も見られなかった。
（実施例６～８、比較例８～１０）
　本実施例及び比較例は、熱伝導性シートを製造し、評価をした。
　マトリックス樹脂成分として二液加熱硬化型シリコーンポリマーを使用した。ベースポリマー成分と白金系金属触媒が予め添加されている成分（１Ａ）、及びベースポリマー成分と架橋成分が予め添加されている成分（１Ｂ）を用いた。これらのベースポリマーに板状の熱伝導性フィラーおよび板状でない無機フィラーを自転公転ミキサーで混合し、脱泡後、ポリエステル（ＰＥＴ）フィルムに挟んで厚み２．０ｍｍに圧延した試料を、１００℃で１５分間保持して加熱硬化を行った。
　得られた熱伝導性シリコーンシートの硬さ（Asker-C）、圧縮荷重の瞬間値／定常値変化、および熱伝導率について表５に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000024
　表５から明らかなとおり、各実施例は比較例に比べて熱伝導率は高く、かつ圧縮荷重定常値の低下率は小さかった。圧縮荷重定常値の低下率が小さいと、放熱シートとしてデバイスに組み込んだ際の熱源と放熱フィンとのそれぞれの間隙の圧力低下が抑えられることにより、放熱特性が維持される。
　本発明の熱伝導性組成物及び熱伝導性シートは、電気・電子部品等の発熱部と放熱体の間に介在させるのに好適である。
１０　放熱構造体
１１ａ，１１ｂ　熱伝導性シート
１２　ヒートスプレッダ
１３　電子部品
１４　配線基板
１５　ヒートシンク
 

Claims (12)

  1. 　マトリックス樹脂と熱伝導性粒子を含む熱伝導性樹脂組成物であって、
    　前記熱伝導性粒子は、芳香族炭化水素基を有する表面処理剤で予め表面処理された熱伝導性粒子Ａと、
    　脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤で予め表面処理された熱伝導性粒子Ｂを含むことを特徴とする熱伝導性樹脂組成物。
  2. 　前記熱伝導性粒子Ａ及びＢの少なくとも一方は、板状及び多面体状からなる群から選ばれる少なくとも一つの無機粒子である請求項１に記載の熱伝導性樹脂組成物。
  3. 　前記マトリックス樹脂１００質量部に対して熱伝導性粒子Ａは５０～１５００質量部であり、熱伝導性粒子Ｂは５０～１５００質量部である請求項１又は２に記載の熱伝導性樹脂組成物。
  4. 　前記芳香族炭化水素基を有する表面処理剤は、化学式：Ｒ２１ＳｉＲ２２ ｘ（ＯＲ２３）３－ｘ
    （但し、Ｒ１１は炭素数１～１８の２重結合を含んでも良い１価の芳香族炭化水素基であり、下記化学式（１）、化学式（２）、化学式（３）、又は化学式（４）で表される１価の置換基である。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
     但し、
    Ｒ２２はメチル基である。
    Ｒ２３は炭素数１～４の炭化水素基であり、同じであっても異なっていても良い。
    Ｒ２４は炭素数１～４の炭化水素基またはフェニル基であり、２重結合を含んでも良い。
    Ｒ２５は（Ｒ２６ ２ＳｉＯ）ｍの２価のポリシロキサンであり。
    Ｒ２６は炭素数６～３０の２価の芳香族炭化水素基であり、炭素数１～４の２価の脂肪族炭素水素基を含んでも良い。
    ｘ＝１～２、ｙ＝１～３、ｚ＝０～３、ｎ＝１～４の整数、ｍ＝１～２０の整数、ｐ＝０又は１）
    で表される有機シラン化合物または有機シロキサン含有有機シラン化合物である請求項１～３のいずれか１項に記載の熱伝導性樹脂組成物。
  5. 　前記芳香族炭化水素基を有する表面処理剤は、フェニルトリメトキシシラン、ベンジルトリエトキシシラン、フェニルエチルトリエトキシシラン、フェニルプロピルトリメトキシラン、ナフチルトリメトキシシラン、アントラセニルトリメトキシラン、ビス（トリメトキシシリル）ベンゼン、ビス（トリメトキシシリルエチル）ベンゼン、両末端トリメトキシシリルポリメチルフェニルシロキサンオリゴマー、片末端トリメトキシシリルポリメチルフェニルシロキサンオリゴマー、片末端トリメトキシシリルエチルポリメチルフェニルシロキサンオリゴマーなる群から選ばれる少なくとも一つの化合物である請求項１～４のいずれか１項に記載の熱伝導性樹脂組成物。
  6. 　前記熱伝導性粒子Ａは、熱伝導性粒子１００質量部に対して、芳香族炭化水素基を有する表面処理剤の付与量は０．０１～１０．０質量部である請求項１～５のいずれか１項に記載の熱伝導性樹脂組成物。
  7. 　前記脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤は、化学式：Ｒ１１ＳｉＲ１２ ｘ（ＯＲ１３）３－ｘ
    （但し、Ｒ１１は炭素数１～１８の１価の２重結合を含んでも良い脂肪族炭素水素基であり、下記化学式（５）、化学式（６）、化学式（７）、又は化学式（８）で表される１価の置換基である。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
     但し、
    Ｒ１２はメチル基である。
    Ｒ１３は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基であり、同じであっても異なっていても良い。
    Ｒ１４は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基であり、２重結合を含んでも良い。
    Ｒ１５は（Ｒ１２ ２ＳｉＯ）ｍの２価のポリシロキサンであり。
    Ｒ１５は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基である。
    Ｒ１６は炭素数１～４の２価の脂肪族炭素水素基である。
    ｘ＝１～２、ｙ＝１～３、ｚ＝０～３、ｎ＝１～４の整数、ｍ＝１～２０の整数、ｐ＝０又は１）
    で表される有機シラン化合物または有機シロキサン含有有機シラン化合物である請求項１～６のいずれか１項に記載の熱伝導性樹脂組成物。
  8. 　前記脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤は、メチルトリメトキシシラン，エチルトリメトキシシラン，プロピルトリメトキシシラン（ｎ－，ｉｓｏ－を含む），ブチルトリメトキシシラン（ｎ－，ｉｓｏ－を含む），へキシルトリメトキシシラン、オクチルトリエトキシシラン、デシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、アリルトリメトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラン、ビス（トリメトキシシリル）エタン、ビス（トリメトキシシリル）オクタン、両末端トリメトキシシリルポリシロキサンオリゴマー、片末端トリメトキシシリルポリジメチルシロキサンオリゴマー、片末端トリメトキシシリルエチルポリジメチルシロキサンオリゴマーなる群から選ばれる少なくとも一つの化合物である請求項１～７のいずれか１項に記載の熱伝導性樹脂組成物。
  9. 　前記熱伝導性粒子Ｂは、熱伝導性粒子１００質量部に対して、脂肪族炭化水素基を有する表面処理剤の付与量は０．０１～１０．０質量部である請求項１～８のいずれか１項に記載の熱伝導性樹脂組成物。
  10. 　前記熱伝導性粒子１００質量％に対して、前記熱伝導性粒子Ａは１０～９０質量％であり、前記熱伝導性粒子Ｂは９０～１０質量％の割合である請求項１～９のいずれか１項に記載の熱伝導性樹脂組成物。
  11. 　請求項１～１０のいずれか１項に記載の熱伝導性樹脂組成物からなる熱伝導性グリース。
  12. 　請求項１～１０のいずれか１項に記載の熱伝導性樹脂組成物を成形した熱伝導性シート。
     
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