WO2023213458A1 - Turbomolecular vacuum pump and assembly method thereof - Google Patents

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WO2023213458A1
WO2023213458A1 PCT/EP2023/054002 EP2023054002W WO2023213458A1 WO 2023213458 A1 WO2023213458 A1 WO 2023213458A1 EP 2023054002 W EP2023054002 W EP 2023054002W WO 2023213458 A1 WO2023213458 A1 WO 2023213458A1
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stator
sectors
annular
vacuum pump
spacer
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PCT/EP2023/054002
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Nicolas Varennes
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Pfeiffer Vacuum
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    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
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    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/542—Bladed diffusers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F05D2230/60—Assembly methods
    • F05D2230/64—Assembly methods using positioning or alignment devices for aligning or centring, e.g. pins

Definitions

  • the present invention relates to a turbomolecular vacuum pump.
  • the present invention also relates to a method of assembling a turbomolecular vacuum pump.
  • turbomolecular vacuum pumps composed of a stator in which a rotor is driven into rapid rotation, for example rotation at more than thirty thousand revolutions per minute.
  • Turbomolecular pumps generally comprise a multistage peripheral stator with fins engaged between the fins of a multistage central rotor.
  • a multistage rotor of a turbomolecular pump comprises an axial series of rotor stages each consisting of a central ring from which rotor blades extend regularly around the periphery of the central ring, in a substantially radial direction.
  • the assembly is rotatably mounted along an axis of rotation, and is driven by motor means.
  • the multistage stator is composed of an axial series of annular stators each forming a stator stage, each stator stage being formed of an annular rim from which inclined fins extend in a substantially radial direction.
  • the inclined fins of a stator stage engage between the inclined fins of two successive rotor stages.
  • a first known stator structure is produced by the progressive assembly of a plurality of finned stator sectors around the one-piece rotor.
  • the finned stator sectors are arranged two by two by radial assembly between two successive finned rotor stages, an annular spacer being engaged axially between two stages of successive finned stator sectors, the spacer being sandwiched on the periphery of the upstream and downstream stator sectors.
  • a second known stator structure is formed from the radial assembly of two half-stators, each half-stator consisting of a half-shell in the shape of a half-cylinder from which fins extend radially towards the inside stator, arranged in a series of stator stages interlocking with the fins of the rotor stages.
  • the two one-piece half-stators allow the constituent parts of such a turbomolecular pump structure to be produced with less strict tolerances because there is no stack of several parts placed one after the other. .
  • the production of half-stators by machining is relatively complex and expensive, so that the benefit of this pump structure is limited.
  • One of the aims of the present invention is to propose a turbomolecular vacuum pump which at least partially resolves a drawback of the state of the art, in particular by having a reduced production cost.
  • the subject of the invention is a turbomolecular vacuum pump comprising a stator and a rotor configured to rotate in the stator, the stator comprising:
  • each annular stator stage is respectively formed of two half-sectors of radially opposed stators each comprising a sector with fins and a spacer sector located on the periphery of a respective finned sector, the spacer sectors bearing on the spacer sectors of another annular stator stage or on a first annular edge of the housing located on the side of the orifice discharge, and in that the vacuum pump further comprises an annular metallic elastic device interposed between on the one hand, a second annular edge of the housing located on the side of the suction orifice and on the other hand, the spacer sectors stacks of stator half-sectors, stacks of half-sectors of stator being held in the housing by compression of the annular elastic device by axial tightening of the casing to the high pressure socket of the stator.
  • the two stacks of the present invention do not have exactly the same height due to manufacturing dispersion due to machining tolerances (up to 'at 1mm distance between the two stacks) so that during assembly, it is not possible to come into flat support with the casing on the stacks to hold them in the stator.
  • This gap is however made up for by the annular elastic device which allows the casing to come to rest on the two stacks, even though they are offset in height.
  • This structure makes it possible to reduce the production cost of the turbomolecular pump because the precision requirements for producing the constituent parts can be reduced.
  • the number of parts to be assembled when assembling a turbomolecular pump is reduced compared to the first structure of the prior art using sectors with distinct annular fins and spacers, to be inserted between two annular stator stages.
  • stator half-sectors are individual elements which can be easily manufactured compared to the second structure of the prior art with monobloc half-stators. It is in fact possible to produce half-sectors of stators by stamping or by foundry, which makes it possible to significantly reduce the production cost compared to manufacturing processes for stators cut from the mass.
  • turbomolecular vacuum pump can for this purpose include a heating device, for example configured to heat the stator to a temperature between 120°C and 200°C, such as 150°C.
  • the heat stored in the finned sectors can be better evacuated by thermal conduction in the high pressure socket and it is thus possible to pass more gas flow to be pumped into the vacuum pump.
  • the use of an annular metallic elastic device makes it possible to avoid using elastomeric materials which have the disadvantage of degassing and therefore increasing the limit vacuum pressure.
  • the vacuum pump may also include one or more of the characteristics which are described below, taken alone or in combination.
  • Each spacer sector is for example formed of a half-crown from which fins distributed regularly around the inner periphery of the half-crown to form the finned sector, the finned sectors comprising a respective internal half-crown joining the opposite ends of the fins, the spacer sector, the finned sector and an internal half-crown of a respective stator half-sector being made in one piece.
  • stator half-sectors are preferably angularly aligned axially in each stack.
  • the annular elastic device is for example made of stainless steel.
  • the annular elastic device is for example formed by a corrugated metal wire.
  • the radial surfaces of the spacer sectors bearing on the spacer sectors of another annular stator stage or on the first annular edge of the housing can be planar.
  • the radial surfaces of the spacer sectors of the first two stator half-sectors on the side of the annular elastic device can be planar.
  • the diameter of the annular elastic device can be dimensioned to be centered on the diameter of the casing housing.
  • the spacer sectors of the first two stator half-sectors may have an annular shoulder on the interior side, the diameter of the annular elastic device being dimensioned to be centered on the annular shoulder.
  • the first annular border is for example formed by a spacer.
  • the rotor may include a skirt downstream of the finned rotor stages, configured to rotate facing helical grooves of the stator.
  • the present invention also relates to a process for assembling a turbomolecular vacuum pump as described above, in which:
  • annular elastic device is inserted into the housing against a second annular border located on the side of the suction port of the vacuum pump,
  • Figure 1 shows an axial sectional view of a turbomolecular vacuum pump according to a first exemplary embodiment.
  • Figure 2 shows elements of the vacuum pump of Figure 1 in the disassembled state.
  • Figure 3 shows an enlarged view of half a stator sector of the vacuum pump.
  • Figure 4 is a partial schematic sectional view of a detail of an alternative embodiment of the vacuum pump.
  • Figure 5 shows an axial sectional view of a turbomolecular vacuum pump according to another exemplary embodiment.
  • upstream is meant an element which is placed before another with respect to the direction of circulation of the pumped gases.
  • downstream means an element placed after another in relation to the direction of circulation of the pumped gases.
  • FIG. 1 illustrates a first embodiment of a turbomolecular vacuum pump 1.
  • the turbomolecular vacuum pump 1 comprises a stator 2 in which a rotor 3 is configured to rotate at high speed in axial rotation, for example rotation at more than thirty thousand revolutions per minute.
  • discharge port 5 is connected to primary pumping.
  • the stator 2 comprises a casing 2a in which a housing 8 is provided and comprises at least two annular stator stages 9 received in the housing 8.
  • the stator 2 also comprises a high pressure socket 2b in which the orifice of discharge 5 of vacuum pump 1.
  • the housing 8, at least formed in the casing 2a, is open at one end on the suction port 4 of the vacuum pump 1. It has a cylindrical peripheral envelope.
  • the casing 2a may include an annular inlet flange 6 surrounding the suction port 4 to connect the vacuum pump 1 to an enclosure whose pressure it is desired to lower, for example by means of screws 7 (figure 2).
  • the annular stator stages 9 received in the housing 8 of the casing 2a are respectively arranged between two successive finned rotor stages 10 of the rotor 3.
  • the annular stator stages 9 and the finned rotor stages 10 succeed one another axially along the axis of rotation l-l of the rotor 3 in the turbomolecular stage 4.
  • the rotor 3 comprises for example more than four stages of finned rotors 10, such as for example between four and twelve stages of finned rotors 10 (twelve in the example shown in Figure 1).
  • Each finned rotor stage 10 of the rotor 3 comprises inclined blades which extend in a substantially radial direction from a hub 11 of the rotor 3.
  • the rotor 3 is fixed to a drive shaft 12 of the vacuum pump 1, for example by means of screws 13.
  • the blades are distributed regularly around the periphery of the hub 11.
  • the rotor 3 further comprises an internal bowl 15, coaxial with the axis of rotation l-l, arranged opposite a bell 17 of the stator 2, projecting under the rotor 3. In operation, the rotor 3 rotates in the stator 2 without contact between the internal bowl 15 and the bell 17.
  • the rotor 3 is for example made in one piece (monoblock). It is rotated in the stator 2 by an internal motor 16 of the vacuum pump 1.
  • the motor 16 is for example arranged in the bell 17 of the stator 2, itself arranged under the internal bowl 15 of the rotor 3, the drive shaft 12 passing through the bell 17 of the stator 2.
  • the rotor 3 is guided laterally and axially by magnetic or mechanical bearings 18 supporting the drive shaft 12 of the rotor 3, located in the stator 2.
  • each annular stator stage 9 is respectively formed of two half-sectors of stator 9a, 9b, radially opposed (on the same axial row).
  • first annular stator stage 9 (or low pressure annular stator stage) we designate the annular stator stage 9 located on the side of the suction orifice 4 (that is to say the first annular stator stage 9 crossed by the pumped gases) and the last annular stage 9 (or high pressure annular stator stage), the annular stage 9 located on the side of the discharge orifice 5 (that is to say the last annular stator stage crossed by the pumped gases).
  • Each stator half-sector 9a, 9b comprises a finned sector 20 and a spacer sector 21 (or external half-rim) located on the periphery of a respective finned sector 20 (figure 3).
  • each spacer sector 21 is formed of a half-crown from which, in a substantially radial direction, fins distributed regularly around the inner periphery of the half-crown to form the finned sector 20.
  • the sectors with fins 20 can also include a respective half-internal crown (or half-internal rim) joining the opposite ends of the fins.
  • the spacer sector 21, the finned sector 20 and the internal half-crown of a respective stator half-sector 9a, 9b are made in one piece.
  • the finned sectors 20 of the annular stator stages 9 engage between the blades of two successive finned rotor stages 10.
  • the blades of the rotor 3 and the fins 20 of the stator 2 are inclined to guide the pumped gas molecules towards the discharge port 5.
  • the spacer sectors 21 bear on the spacer sectors 21 of another annular stator stage 9 or on a first annular edge 22 of the housing 8 located on the side of the discharge orifice 5 ( Figures 1 and 2).
  • This first annular edge 22 is for example formed by a spacer ( Figure 2).
  • the spacer makes it possible to adjust the axial clearance between the stator 2 and the rotor 3 in order to avoid contact between the fins of the rotor 3 and the fins of the stator 2 during operation of the vacuum pump 1.
  • the spacer is for example made of a material that is a good thermal conductor, such as aluminum.
  • the half-sectors of stators 9a, 9b are stacked on top of each other, forming two very distinct stacks ( Figure 2).
  • the stator half-sectors 9a, 9b are angularly aligned axially in each stack, that is to say they are not angularly offset from one stage to another, so as not to risk door mounting -overhang of one stator semi-sector over another due to tolerance differences.
  • the vacuum pump 1 further comprises a metallic annular elastic device 23 (or elastic load washer or elastic preload washer) interposed between, on the one hand, a second annular edge 24 of the housing 8 of the casing 2a located on the side of the suction orifice 4 and on the other hand, the spacer sectors 21 of the stacks of stator half-sectors 9a, 9b.
  • the second annular edge 24 of the housing 8 of the casing 2a is for example formed by a shoulder (reduction in diameter) between the housing 8 and the suction orifice 4.
  • the stacks of stator half-sectors 9a, 9b are held in housing 8 by compression of the annular elastic device 23, due to the axial tightening of the casing 2a to the high pressure socket 2b of the stator 2.
  • the axial tightening of the casing 2a to the high pressure socket 2b is for example carried out by means of a plurality of screws 25 regularly distributed around the periphery of the radial interface located between the casing 2a and the high pressure socket 2b ( figure 1).
  • the screws 25 are inserted axially into the radial interface, for example by passing through an annular flange of the high pressure socket 2b.
  • annular elastic device 23 is inserted into the housing 8 against a second annular border 24 located on the side of the suction port 4 of the vacuum pump 1.
  • the two stacks of half-sectors of stators 9a, 9b are inserted angularly aligned into the housing 8 so that the annular elastic device 23 is interposed between the second annular edge 24 and the spacer sectors 21 of the stacks.
  • the casing 2a is tightened axially to the high pressure socket 2b of the stator 2 to maintain the stacks of stator half-sectors 9a, 9b in the housing 8 by compressing the annular elastic device 23.
  • Mounting the stacks of stator half-sectors 9a, 9b in the casing 2a makes it possible to center the stacks. Tightening the casing 2a with the high pressure socket 2b makes it possible to axially block the stacks in the housing 8 via the annular elastic device 23.
  • the two stacks of half-sectors of stators 9a, 9b of the annular stator stages 9 are independent of each other. Unlike the first structure of the prior art using annular spacers, the two stacks of the present invention do not have exactly the same height due to manufacturing dispersion due to machining tolerances (up to 1mm distance between the two stacks) so that during assembly, it is not possible to come into plane support with the casing 2a on the stacks for their retention in the stator 2. This gap is however made up for by the elastic device annular 23 which allows the casing 2a to come to bear on the two stacks, even though they are offset in height.
  • This structure makes it possible to reduce the production cost of the turbomolecular pump 1 because the precision requirements for producing the constituent parts can be reduced.
  • the number of parts to be assembled when assembling a turbomolecular pump 1 is reduced compared to the first structure of the prior art using sectors with distinct annular fins and spacers, to be inserted between two annular stator stages.
  • the half-sectors of stators 9a, 9b are individual elements which can be easily manufactured compared to the second structure of the prior art with one-piece half-stators. It is in fact possible to produce half-sectors of stators 9a, 9b by stamping or by foundry, which makes it possible to significantly reduce the production cost compared to the processes for manufacturing stators cut from the mass.
  • the turbomolecular vacuum pump 1 may therefore include a heating device, for example configured to heat the stator 2 to a temperature between 120°C and 200°C, such as 150°C.
  • the heat stored at the level of the finned sectors 20 can be better evacuated by thermal conduction in the high pressure socket 2b and it is thus possible to spend more gas flow to be pumped into the vacuum pump 1.
  • the annular elastic device 23 is for example made of stainless steel, for example martensitic.
  • the use of a metallic annular elastic device makes it possible to avoid using elastomeric materials which have the disadvantage of degassing and therefore increasing the limit vacuum pressure.
  • the metallic annular elastic device 23 makes it possible to ensure thermal continuity between the half-sectors of stators 9a, 9b in contact with each other at the level of the spacer sectors 21 and in contact with the second annular edge 24 of the casing 2a via the metallic annular elastic device 23.
  • the annular elastic device 23 is for example formed by a corrugated metal wire.
  • the corrugated metal wire has for example at least two undulations, at least one per stack of stator half-sectors 9a, 9b, here eight undulations (figure 2).
  • the thickness of the metal wire corresponds for example to the thickness of the spacer sectors 21.
  • the section of the annular elastic device 23 is for example round, oblong, square or rectangular. As an illustration, the annular elastic device 23 can exert a load force range of between 1000N and 30000N.
  • the radial surfaces of the spacer sectors 21, bearing on the spacer sectors 21 of another annular stator stage 9 or on the first annular edge 22 of the housing 8 are preferably flat.
  • the radial surfaces of the spacer sectors 21 of the first two stator half-sectors 9a, 9b on the side of the annular elastic device 23 and the second annular edge 24 of the housing 8 can also be planar.
  • the diameter of the annular elastic device 23 is for example dimensioned to be centered on the diameter of the housing 8 of the casing 2a, which makes it possible to limit costs.
  • the ring has a diameter slightly greater than that of the housing 8 to be retained radially by the peripheral wall of the housing 8 (figure 1).
  • Figure 4 illustrates a variant embodiment for which the spacer sectors 21 of the first two stator half-sectors 9a, 9b have an annular shoulder 26 on the interior side.
  • the diameter of the annular elastic device 23 is dimensioned to be centered on the annular shoulder 26.
  • the ring has a diameter slightly smaller than that of the annular shoulder 26 to be retained radially by the annular shoulder 26 of the two first stator half-sectors 9a, 9b.
  • Figure 5 illustrates another embodiment of the turbomolecular vacuum pump 1.
  • the turbomolecular pump 1 is said to be hybrid: it comprises a turbomolecular stage 30 as in the first example, as well as a molecular stage 31 located downstream of the turbomolecular stage 30 in the direction of gas circulation. pumped (represented by the arrows in Figure 5). The pumped gases enter through the suction port 4, first pass through the turbomolecular stage 30, then the molecular stage 31, to then be evacuated towards the discharge port 5.
  • the rotor 3 comprises a skirt 32, called the Holweck skirt, downstream of the finned rotor stages 10, formed by a smooth cylinder, which rotates facing helical grooves 33 of the stator 2, by example provided in the high pressure socket 2b.
  • the helical grooves 33 of the stator 2 make it possible to compress and guide the pumped gases towards the discharge orifice 7.

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Abstract

The invention relates to a turbomolecular vacuum pump (1) in which each annular stator stage (9) is respectively formed of two radially opposite stator half-sectors (9a, 9b) each comprising a finned sector (20) and a spacer sector (21) located on the periphery of a respective finned sector (20). The vacuum pump (1) further comprises an annular elastic device (23) made of metal inserted between, on the one hand, a second annular border (24) of the installation (8) located on the side of the suction opening (4) and, on the other hand, the spacer sectors (21) of the stacks of stator half-sectors (9a, 9b), the stacks of stator half-sectors (9a, 9b) being held in the installation (8) through the compression of the annular elastic device (23) by axially clamping the casing (2a) to a high-pressure bush (2b) of the stator (2).

Description

Description Description
Titre : Pompe à vide turbomoléculaire et procédé d’assemblage [0001] La présente invention concerne une pompe à vide turbomoléculaire. La présente invention concerne également un procédé d’assemblage d’une pompe à vide turbomoléculaire. Title: Turbomolecular vacuum pump and assembly method [0001] The present invention relates to a turbomolecular vacuum pump. The present invention also relates to a method of assembling a turbomolecular vacuum pump.
[0002] La génération d’un vide poussé dans une enceinte nécessite l'utilisation de pompes à vide turbomoléculaires composées d'un stator dans lequel un rotor est entraîné en rotation rapide, par exemple une rotation à plus de trente mille tours par minute. [0002] The generation of a high vacuum in an enclosure requires the use of turbomolecular vacuum pumps composed of a stator in which a rotor is driven into rapid rotation, for example rotation at more than thirty thousand revolutions per minute.
[0003] Les pompes turbomoléculaires comprennent généralement un stator périphérique multiétagé à ailettes engagées entre des ailettes d'un rotor central multiétagé. [0003] Turbomolecular pumps generally comprise a multistage peripheral stator with fins engaged between the fins of a multistage central rotor.
[0004] Un rotor multiétagé de pompe turbomoléculaire comprend une série axiale d'étages rotors constitués chacun d'une couronne centrale de laquelle partent, en direction sensiblement radiale, des ailettes de rotor réparties régulièrement en périphérie de la couronne centrale. L'ensemble est monté rotatif selon un axe de rotation, et est entraîné par des moyens moteurs. [0004] A multistage rotor of a turbomolecular pump comprises an axial series of rotor stages each consisting of a central ring from which rotor blades extend regularly around the periphery of the central ring, in a substantially radial direction. The assembly is rotatably mounted along an axis of rotation, and is driven by motor means.
[0005] Le stator multiétagé est composé d'une série axiale de stators annulaires formant chacun un étage stator, chaque étage stator étant formé d'une jante annulaire de laquelle partent, en direction sensiblement radiale, des ailettes inclinées. The multistage stator is composed of an axial series of annular stators each forming a stator stage, each stator stage being formed of an annular rim from which inclined fins extend in a substantially radial direction.
[0006] Les ailettes inclinées d'un étage stator viennent s'engager entre les ailettes inclinées de deux étages rotors successifs. [0006] The inclined fins of a stator stage engage between the inclined fins of two successive rotor stages.
[0007] Une première structure connue de stator est réalisée par l’assemblage progressif d’une pluralité de secteurs de stator à ailettes autour du rotor monobloc. Les secteurs de stator à ailettes sont agencés deux à deux par assemblage radial entre deux étages rotors à ailettes successifs, une entretoise annulaire étant engagée axialement entre deux étages de secteurs de stator à ailettes successifs, l'entretoise étant prise en sandwich sur la périphérie des secteurs de stator amont et aval. [0007] A first known stator structure is produced by the progressive assembly of a plurality of finned stator sectors around the one-piece rotor. The finned stator sectors are arranged two by two by radial assembly between two successive finned rotor stages, an annular spacer being engaged axially between two stages of successive finned stator sectors, the spacer being sandwiched on the periphery of the upstream and downstream stator sectors.
[0008] On comprend que le montage d'une telle structure est fastidieux, et qu'il nécessite de prévoir des composants dont les dimensions sont déterminées de façon suffisamment précise pour que le cumul des tolérances éventuelles de dimension des composants soit inférieur à la tolérance dimensionnelle axiale du rotor, afin d'éviter le contact entre les ailettes du rotor et les ailettes du stator en cours de fonctionnement de la pompe. Il en résulte un coût de réalisation relativement élevé que l'on pourrait trouver avantage à réduire. [0008] We understand that the assembly of such a structure is tedious, and that it requires providing components whose dimensions are determined sufficiently precisely so that the accumulation of possible component dimension tolerances is less than the tolerance. axial dimension of the rotor, in order to avoid contact between the rotor fins and the stator fins in during pump operation. This results in a relatively high production cost which could benefit from being reduced.
[0009] Une seconde structure connue de stator est formée de l'assemblage radial de deux demi-stators, chaque demi-stator étant constitué d'une demi-coque en forme de demi-cylindre de laquelle partent radialement vers l'intérieur des ailettes de stator, agencées en une série d'étages stators s'imbriquant avec les ailettes des étages rotors. [0009] A second known stator structure is formed from the radial assembly of two half-stators, each half-stator consisting of a half-shell in the shape of a half-cylinder from which fins extend radially towards the inside stator, arranged in a series of stator stages interlocking with the fins of the rotor stages.
[0010] Les deux demi-stators monoblocs permettent que les pièces constitutives d'une telle structure de pompe turbomoléculaire puissent être réalisées avec des tolérances moins strictes car il n'y a pas un empilement de plusieurs pièces mises les unes à la suite des autres. Toutefois, la réalisation des demi-stators par usinage est relativement complexe et onéreuse, de sorte que l'intérêt de cette structure de pompe est limité. [0010] The two one-piece half-stators allow the constituent parts of such a turbomolecular pump structure to be produced with less strict tolerances because there is no stack of several parts placed one after the other. . However, the production of half-stators by machining is relatively complex and expensive, so that the benefit of this pump structure is limited.
[0011] Un des buts de la présente invention est de proposer une pompe à vide turbomoléculaire résolvant au moins partiellement un inconvénient de l’état de la technique, notamment en ayant un coût de réalisation réduit. [0011] One of the aims of the present invention is to propose a turbomolecular vacuum pump which at least partially resolves a drawback of the state of the art, in particular by having a reduced production cost.
[0012] A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide turbomoléculaire comportant un stator et un rotor configuré pour tourner dans le stator, le stator comportant : [0012] For this purpose, the subject of the invention is a turbomolecular vacuum pump comprising a stator and a rotor configured to rotate in the stator, the stator comprising:
- un carter dans lequel est ménagé un logement ouvert sur un orifice d’aspiration de la pompe à vide, - a casing in which a housing is provided open to a suction port of the vacuum pump,
- une douille haute pression dans laquelle est ménagé un orifice de refoulement de la pompe à vide, et - a high pressure socket in which a discharge port for the vacuum pump is provided, and
- au moins deux étages stators annulaires reçus dans le logement du carter et respectivement agencés entre deux étages rotors à ailettes successifs du rotor, caractérisée en ce que chaque étage stator annulaire est respectivement formé de deux demi-secteurs de stators opposés radialement comprenant chacun un secteur à ailettes et un secteur entretoise situé en périphérie d’un secteur à ailettes respectif, les secteurs entretoises venant en appui sur les secteurs entretoises d’un autre étage stator annulaire ou sur une première bordure annulaire du logement située du côté de l’orifice de refoulement, et en ce que la pompe à vide comporte en outre un dispositif élastique annulaire métallique interposé entre d’une part, une deuxième bordure annulaire du logement située du côté de l’orifice d’aspiration et d’autre part, les secteurs entretoises des empilements de demi-secteurs de stator, les empilements de demi-secteurs de stator étant maintenus dans le logement par compression du dispositif élastique annulaire par serrage axial du carter à la douille haute pression du stator. - at least two annular stator stages received in the housing of the casing and respectively arranged between two successive finned rotor stages of the rotor, characterized in that each annular stator stage is respectively formed of two half-sectors of radially opposed stators each comprising a sector with fins and a spacer sector located on the periphery of a respective finned sector, the spacer sectors bearing on the spacer sectors of another annular stator stage or on a first annular edge of the housing located on the side of the orifice discharge, and in that the vacuum pump further comprises an annular metallic elastic device interposed between on the one hand, a second annular edge of the housing located on the side of the suction orifice and on the other hand, the spacer sectors stacks of stator half-sectors, stacks of half-sectors of stator being held in the housing by compression of the annular elastic device by axial tightening of the casing to the high pressure socket of the stator.
[0013] A la différence de la première structure de l’art antérieur utilisant des entretoises annulaires, les deux empilements de la présente invention n’ont pas exactement la même hauteur du fait de la dispersion de fabrication due aux tolérances d’usinage (jusqu’à 1mm d’écart entre les deux empilements) de sorte qu’au montage, il n’est pas possible de venir en appui plan avec le carter sur les empilements pour leurs maintiens dans le stator. Cet écart est cependant rattrapé par le dispositif élastique annulaire qui permet au carter de venir en appui sur les deux empilements, alors mêmes que ceux-ci sont décalés en hauteur. Unlike the first structure of the prior art using annular spacers, the two stacks of the present invention do not have exactly the same height due to manufacturing dispersion due to machining tolerances (up to 'at 1mm distance between the two stacks) so that during assembly, it is not possible to come into flat support with the casing on the stacks to hold them in the stator. This gap is however made up for by the annular elastic device which allows the casing to come to rest on the two stacks, even though they are offset in height.
[0014] Cette structure permet de diminuer le coût de production de la pompe turbomoléculaire car on peut réduire les exigences de précision de réalisation des pièces constitutives. De plus, le nombre de pièces à assembler lors du montage d'une pompe turbomoléculaire est réduit par rapport à la première structure de l’art antérieur utilisant des secteurs à ailettes et entretoises annulaires distinctes, à intercaler entre deux étages stator annulaires. [0014] This structure makes it possible to reduce the production cost of the turbomolecular pump because the precision requirements for producing the constituent parts can be reduced. In addition, the number of parts to be assembled when assembling a turbomolecular pump is reduced compared to the first structure of the prior art using sectors with distinct annular fins and spacers, to be inserted between two annular stator stages.
[0015] Par ailleurs dans une telle structure, les demi-secteurs de stators sont des éléments individuels qui peuvent être aisément fabriqués par rapport à la deuxième structure de l’art antérieur à demi-stators monoblocs. Il est en effet possible de réaliser des demi-secteurs de stators par emboutissage ou par fonderie, ce qui permet de réduire de façon importante le coût de production par rapport aux procédés de fabrication de stators taillés dans la masse. [0015] Furthermore, in such a structure, the stator half-sectors are individual elements which can be easily manufactured compared to the second structure of the prior art with monobloc half-stators. It is in fact possible to produce half-sectors of stators by stamping or by foundry, which makes it possible to significantly reduce the production cost compared to manufacturing processes for stators cut from the mass.
[0016] En disposant le dispositif élastique annulaire du côté de l’orifice d’aspiration de la pompe à vide, on obtient de plus un meilleur contact thermique entre le dernier étage stator annulaire (côté haute pression), la première bordure annulaire et la douille haute pression. [0016] By placing the annular elastic device on the side of the suction orifice of the vacuum pump, we also obtain better thermal contact between the last annular stator stage (high pressure side), the first annular edge and the high pressure socket.
[0017] En effet, lorsque le stator de la pompe vide est configurée pour être chauffé, généralement au niveau de la douille haute pression, la chaleur peut être transmise aux étages stators annulaires par conduction thermique dans le stator, sans interruption du dispositif élastique annulaire. La pompe à vide turbomoléculaire peut pour cela comporter un dispositif de chauffage, par exemple configuré pour chauffer le stator à une température comprise entre 120°C et 200°C, telle que 150°C. [0017] Indeed, when the stator of the vacuum pump is configured to be heated, generally at the level of the high pressure socket, the heat can be transmitted to the annular stator stages by thermal conduction in the stator, without interruption of the annular elastic device . The turbomolecular vacuum pump can for this purpose include a heating device, for example configured to heat the stator to a temperature between 120°C and 200°C, such as 150°C.
[0018] Lorsque la pompe vide n’est pas configurée pour être chauffée, la chaleur emmagasinée au niveau des secteurs à ailettes peut mieux s’évacuer par conduction thermique dans la douille haute pression et il est ainsi possible de passer plus de flux de gaz à pomper dans la pompe à vide. [0019] Par ailleurs, l’utilisation d’un dispositif élastique annulaire métallique permet d’éviter d’utiliser des matériaux élastomères qui présentent l’inconvénient de dégazer et donc d’augmenter la pression de vide limite. [0018] When the vacuum pump is not configured to be heated, the heat stored in the finned sectors can be better evacuated by thermal conduction in the high pressure socket and it is thus possible to pass more gas flow to be pumped into the vacuum pump. [0019] Furthermore, the use of an annular metallic elastic device makes it possible to avoid using elastomeric materials which have the disadvantage of degassing and therefore increasing the limit vacuum pressure.
[0020] La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison. The vacuum pump may also include one or more of the characteristics which are described below, taken alone or in combination.
[0021] Chaque secteur entretoise est par exemple formé d’une demi-couronne de laquelle partent des ailettes réparties régulièrement sur le pourtour intérieur de la demi-couronne pour former le secteur à ailettes, les secteurs à ailettes comportant une demi-couronne interne respective joignant les extrémités opposées des ailettes, le secteur entretoise, le secteur à ailettes et une demi-couronne interne d’un demi- secteur de stator respectif étant réalisés d’une seule pièce. [0021] Each spacer sector is for example formed of a half-crown from which fins distributed regularly around the inner periphery of the half-crown to form the finned sector, the finned sectors comprising a respective internal half-crown joining the opposite ends of the fins, the spacer sector, the finned sector and an internal half-crown of a respective stator half-sector being made in one piece.
[0022] Les demi-secteurs de stators sont de préférence angulairement alignés axialement dans chaque empilement. The stator half-sectors are preferably angularly aligned axially in each stack.
[0023] Le dispositif élastique annulaire est par exemple réalisé en acier inoxydable. The annular elastic device is for example made of stainless steel.
[0024] Le dispositif élastique annulaire est par exemple formé par un fil métallique ondulé. The annular elastic device is for example formed by a corrugated metal wire.
[0025] Les surfaces radiales des secteurs entretoises en appui sur les secteurs entretoises d’un autre étage stator annulaire ou sur la première bordure annulaire du logement peuvent être planes. The radial surfaces of the spacer sectors bearing on the spacer sectors of another annular stator stage or on the first annular edge of the housing can be planar.
[0026] Les surfaces radiales des secteurs entretoises des deux premiers demi- secteurs de stator du côté du dispositif élastique annulaire peuvent être planes. [0027] Le diamètre du dispositif élastique annulaire peut être dimensionné pour être centré sur le diamètre du logement du carter. The radial surfaces of the spacer sectors of the first two stator half-sectors on the side of the annular elastic device can be planar. The diameter of the annular elastic device can be dimensioned to be centered on the diameter of the casing housing.
[0028] Selon un autre exemple, les secteurs entretoises des deux premiers demi- secteurs de stator peuvent présenter un épaulement annulaire côté intérieur, le diamètre du dispositif élastique annulaire étant dimensionné pour être centré sur l’épaulement annulaire. According to another example, the spacer sectors of the first two stator half-sectors may have an annular shoulder on the interior side, the diameter of the annular elastic device being dimensioned to be centered on the annular shoulder.
[0029] La première bordure annulaire est par exemple formée par une entretoise. The first annular border is for example formed by a spacer.
[0030] Le rotor peut comporter une jupe en aval des étages rotors à ailettes, configurée pour tourner en regard de rainures hélicoïdales du stator. The rotor may include a skirt downstream of the finned rotor stages, configured to rotate facing helical grooves of the stator.
[0031] La présente invention a aussi pour objet un procédé d’assemblage d’une pompe à vide turbomoléculaire telle que décrite précédemment, dans lequel : [0031] The present invention also relates to a process for assembling a turbomolecular vacuum pump as described above, in which:
- on insère un dispositif élastique annulaire dans le logement contre une deuxième bordure annulaire située du côté de l’orifice d’aspiration de la pompe à vide,- an annular elastic device is inserted into the housing against a second annular border located on the side of the suction port of the vacuum pump,
- on insère des empilements de demi-secteurs de stators angulairement alignés dans le logement de manière que le dispositif élastique annulaire soit interposé entre la deuxième bordure annulaire et les secteurs entretoises des empilements, et - on serre axialement le carter à la douille haute pression du stator pour maintenir les empilements de demi-secteurs de stator dans le logement en comprimant le dispositif élastique annulaire. - stacks of half-sectors of stators angularly aligned are inserted into the housing so that the annular elastic device is interposed between the second annular edge and the spacer sectors of the stacks, and - the casing is axially tightened to the high pressure socket of the stator to maintain the stacks of stator half-sectors in the housing by compressing the annular elastic device.
[0032] Présentation des dessins [0032] Presentation of the drawings
[0033] D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un mode de réalisation particulier de l’invention, mais nullement limitatif, ainsi que des dessins annexés sur lesquels : [0033] Other advantages and characteristics will appear on reading the following description of a particular embodiment of the invention, but in no way limiting, as well as the appended drawings in which:
[0034] [Fig. 1] La figure 1 montre une vue en coupe axiale d’une pompe à vide turbomoléculaire selon un premier exemple de réalisation. [0034] [Fig. 1] Figure 1 shows an axial sectional view of a turbomolecular vacuum pump according to a first exemplary embodiment.
[0035] [Fig. 2] La figure 2 montre des éléments de la pompe à vide de la figure 1 à l’état désassemblé. [0035] [Fig. 2] Figure 2 shows elements of the vacuum pump of Figure 1 in the disassembled state.
[0036] [Fig. 3] La figure 3 montre une vue agrandie d’un demi-secteur de stator de la pompe à vide. [0036] [Fig. 3] Figure 3 shows an enlarged view of half a stator sector of the vacuum pump.
[0037] [Fig. 4] La figure 4 est une vue en coupe schématique partielle d’un détail d’une variante de réalisation de la pompe à vide. [0037] [Fig. 4] Figure 4 is a partial schematic sectional view of a detail of an alternative embodiment of the vacuum pump.
[0038] [Fig. 5] La figure 5 montre une vue en coupe axiale d’une pompe à vide turbomoléculaire selon un autre exemple de réalisation. [0038] [Fig. 5] Figure 5 shows an axial sectional view of a turbomolecular vacuum pump according to another exemplary embodiment.
[0039] Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. [0039] In these figures, identical elements bear the same reference numbers.
[0040] Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations. The following achievements are examples. Although the description refers to one or more embodiments, this does not necessarily mean that each reference relates to the same embodiment, or that the features only apply to a single embodiment. Single features of different embodiments may also be combined or interchanged to provide other embodiments.
[0041] On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation des gaz pompés. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation des gaz pompés. By “upstream” is meant an element which is placed before another with respect to the direction of circulation of the pumped gases. Conversely, “downstream” means an element placed after another in relation to the direction of circulation of the pumped gases.
[0042] On définit par axiale la direction parallèle à l’axe de rotation l-l du rotor de la pompe à vide et par radial, les directions perpendiculaires à la direction axiale. [0042] We define by axial the direction parallel to the axis of rotation l-l of the rotor of the vacuum pump and by radial, the directions perpendicular to the axial direction.
[0043] La figure 1 illustre un premier exemple de réalisation d’une pompe à vide 1 turbomoléculaire. [0044] La pompe à vide 1 turbomoléculaire comporte un stator 2 dans lequel un rotor 3 est configuré pour tourner à grande vitesse en rotation axiale, par exemple une rotation à plus de trente mille tours par minute. [0043] Figure 1 illustrates a first embodiment of a turbomolecular vacuum pump 1. The turbomolecular vacuum pump 1 comprises a stator 2 in which a rotor 3 is configured to rotate at high speed in axial rotation, for example rotation at more than thirty thousand revolutions per minute.
[0045] Les gaz pompés entrent par un orifice d’aspiration 4 et sont évacués par un orifice de refoulement 5 de la pompe à vide 1 turbomoléculaire. En fonctionnement, l’orifice de refoulement 5 est raccordé à un pompage primaire. The pumped gases enter through a suction port 4 and are evacuated through a discharge port 5 of the turbomolecular vacuum pump 1. In operation, discharge port 5 is connected to primary pumping.
[0046] Le stator 2 comporte un carter 2a dans lequel est ménagé un logement 8 et comporte au moins deux étages stators annulaires 9 reçus dans le logement 8. Le stator 2 comporte également une douille haute pression 2b dans laquelle est ménagé l’orifice de refoulement 5 de la pompe à vide 1. The stator 2 comprises a casing 2a in which a housing 8 is provided and comprises at least two annular stator stages 9 received in the housing 8. The stator 2 also comprises a high pressure socket 2b in which the orifice of discharge 5 of vacuum pump 1.
[0047] Le logement 8, au moins formé dans le carter 2a, est ouvert à une extrémité sur l’orifice d’aspiration 4 de la pompe à vide 1. Il présente une enveloppe périphérique cylindrique. Le carter 2a peut comporter une bride annulaire d’entrée 6 entourant l’orifice d’aspiration 4 pour raccorder la pompe à vide 1 à une enceinte dont on souhaite abaisser la pression, par exemple au moyen de vis 7 (figure 2). [0048] Les étages stators annulaires 9 reçus dans le logement 8 du carter 2a sont respectivement agencés entre deux étages rotors à ailettes 10 successifs du rotor 3. Les étages stators annulaires 9 et les étages rotors à ailettes 10 se succèdent axialement le long de l’axe de rotation l-l du rotor 3 dans l’étage turbomoléculaire 4. [0049] Le rotor 3 comporte par exemple plus de quatre étages rotors à ailettes 10, comme par exemple entre quatre et douze étages rotors à ailettes 10 (douze dans l’exemple illustré sur la figure 1). The housing 8, at least formed in the casing 2a, is open at one end on the suction port 4 of the vacuum pump 1. It has a cylindrical peripheral envelope. The casing 2a may include an annular inlet flange 6 surrounding the suction port 4 to connect the vacuum pump 1 to an enclosure whose pressure it is desired to lower, for example by means of screws 7 (figure 2). The annular stator stages 9 received in the housing 8 of the casing 2a are respectively arranged between two successive finned rotor stages 10 of the rotor 3. The annular stator stages 9 and the finned rotor stages 10 succeed one another axially along the axis of rotation l-l of the rotor 3 in the turbomolecular stage 4. The rotor 3 comprises for example more than four stages of finned rotors 10, such as for example between four and twelve stages of finned rotors 10 (twelve in the example shown in Figure 1).
[0050] Chaque étage rotor à ailettes 10 du rotor 3 comporte des pales inclinées qui partent en direction sensiblement radiale d’un moyeu 11 du rotor 3. Le rotor 3 est fixé à un arbre d’entrainement 12 de la pompe à vide 1, par exemple au moyen de vis 13. Les pales sont réparties régulièrement en périphérie du moyeu 11 . Each finned rotor stage 10 of the rotor 3 comprises inclined blades which extend in a substantially radial direction from a hub 11 of the rotor 3. The rotor 3 is fixed to a drive shaft 12 of the vacuum pump 1, for example by means of screws 13. The blades are distributed regularly around the periphery of the hub 11.
[0051] Le rotor 3 comporte en outre un bol interne 15, coaxial à l’axe de rotation l-l, agencé en vis-à-vis d’une cloche 17 du stator 2, saillant sous le rotor 3. En fonctionnement, le rotor 3 tourne dans le stator 2 sans contact entre le bol interne 15 et la cloche 17. [0051] The rotor 3 further comprises an internal bowl 15, coaxial with the axis of rotation l-l, arranged opposite a bell 17 of the stator 2, projecting under the rotor 3. In operation, the rotor 3 rotates in the stator 2 without contact between the internal bowl 15 and the bell 17.
[0052] Le rotor 3 est par exemple réalisé d’une seule pièce (monobloc). Il est entraîné en rotation dans le stator 2 par un moteur 16 interne de la pompe à vide 1 . Le moteur 16 est par exemple agencé dans la cloche 17 du stator 2, elle-même agencée sous le bol interne 15 du rotor 3, l’arbre d’entrainement 12 traversant la cloche 17 du stator 2. [0053] Le rotor 3 est guidé latéralement et axialement par des paliers 18 magnétiques ou mécaniques supportant l’arbre d’entrainement 12 du rotor 3, situés dans le stator 2. Il y a par exemple des premiers paliers 18 supportant et guidant une première extrémité de l’arbre d’entrainement 12 dans une embase de la cloche 17 du stator 2 et des seconds paliers 18 supportant et guidant une deuxième extrémité de l’arbre d’entrainement 12 agencés au sommet de la cloche 17. [0052] The rotor 3 is for example made in one piece (monoblock). It is rotated in the stator 2 by an internal motor 16 of the vacuum pump 1. The motor 16 is for example arranged in the bell 17 of the stator 2, itself arranged under the internal bowl 15 of the rotor 3, the drive shaft 12 passing through the bell 17 of the stator 2. The rotor 3 is guided laterally and axially by magnetic or mechanical bearings 18 supporting the drive shaft 12 of the rotor 3, located in the stator 2. There are for example first bearings 18 supporting and guiding a first end of the drive shaft 12 in a base of the bell 17 of the stator 2 and second bearings 18 supporting and guiding a second end of the drive shaft 12 arranged at the top of the bell 17.
[0054] D’autres composants électriques ou électroniques peuvent être reçus dans la cloche 17 du stator 2, comme par exemple des capteurs de position. Other electrical or electronic components can be received in the bell 17 of the stator 2, such as for example position sensors.
[0055] Comme on peut mieux le voir sur les figures 2 et 3, chaque étage stator annulaire 9 est respectivement formé de deux demi-secteurs de stator 9a, 9b, opposés radialement (sur une même rangée axiale). As can be better seen in Figures 2 and 3, each annular stator stage 9 is respectively formed of two half-sectors of stator 9a, 9b, radially opposed (on the same axial row).
[0056] On désigne par premier étage stator annulaire 9 (ou étage stator annulaire basse pression), l’étage stator annulaire 9 situé du côté de l’orifice d’aspiration 4 (c’est-à-dire le premier étage stator annulaire 9 traversé par les gaz pompés) et le dernier étage annulaire 9 (ou étage stator annulaire haute pression), l’étage annulaire 9 situé du côté de l’orifice de refoulement 5 (c’est-à-dire le dernier étage stator annulaire traversé par les gaz pompés). [0056] By first annular stator stage 9 (or low pressure annular stator stage) we designate the annular stator stage 9 located on the side of the suction orifice 4 (that is to say the first annular stator stage 9 crossed by the pumped gases) and the last annular stage 9 (or high pressure annular stator stage), the annular stage 9 located on the side of the discharge orifice 5 (that is to say the last annular stator stage crossed by the pumped gases).
[0057] Chaque demi-secteur de stator 9a, 9b comporte un secteur à ailettes 20 et un secteur entretoise 21 (ou demi-jante externe) situé en périphérie d’un secteur à ailettes 20 respectif (figure 3). [0057] Each stator half-sector 9a, 9b comprises a finned sector 20 and a spacer sector 21 (or external half-rim) located on the periphery of a respective finned sector 20 (figure 3).
[0058] Plus précisément, chaque secteur entretoise 21 est formé d’une demi- couronne de laquelle partent, en direction sensiblement radiale, des ailettes réparties régulièrement sur le pourtour intérieur de la demi-couronne pour former le secteur à ailettes 20. Les secteurs à ailettes 20 peuvent également comporter une demi-couronne interne (ou demi-jante interne) respective joignant les extrémités opposées des ailettes. [0058] More precisely, each spacer sector 21 is formed of a half-crown from which, in a substantially radial direction, fins distributed regularly around the inner periphery of the half-crown to form the finned sector 20. The sectors with fins 20 can also include a respective half-internal crown (or half-internal rim) joining the opposite ends of the fins.
[0059] Le secteur entretoise 21 , le secteur à ailettes 20 et la demi-couronne interne d’un demi-secteur de stator 9a, 9b respectif sont réalisés d’une seule pièce. The spacer sector 21, the finned sector 20 and the internal half-crown of a respective stator half-sector 9a, 9b are made in one piece.
[0060] Les secteurs à ailettes 20 des étages stators annulaires 9 viennent s’engager entre les pales de deux étages rotor à ailettes 10 successifs. Les pales du rotor 3 et les ailettes 20 du stator 2 sont inclinées pour guider les molécules de gaz pompés vers l’orifice de refoulement 5. The finned sectors 20 of the annular stator stages 9 engage between the blades of two successive finned rotor stages 10. The blades of the rotor 3 and the fins 20 of the stator 2 are inclined to guide the pumped gas molecules towards the discharge port 5.
[0061] Les secteurs entretoises 21 viennent en appui sur les secteurs entretoises 21 d’un autre étage stator annulaire 9 ou sur une première bordure annulaire 22 du logement 8 située du côté de l’orifice de refoulement 5 (figures 1 et 2). [0062] Cette première bordure annulaire 22 est par exemple formée par une entretoise (figure 2). L’entretoise permet de régler le jeu axial entre le stator 2 et le rotor 3 afin d'éviter le contact entre les ailettes du rotor 3 et les ailettes du stator 2 en cours de fonctionnement de la pompe à vide 1 . L’entretoise est par exemple réalisée dans un matériau bon conducteur thermique, tel qu’en aluminium. The spacer sectors 21 bear on the spacer sectors 21 of another annular stator stage 9 or on a first annular edge 22 of the housing 8 located on the side of the discharge orifice 5 (Figures 1 and 2). [0062] This first annular edge 22 is for example formed by a spacer (Figure 2). The spacer makes it possible to adjust the axial clearance between the stator 2 and the rotor 3 in order to avoid contact between the fins of the rotor 3 and the fins of the stator 2 during operation of the vacuum pump 1. The spacer is for example made of a material that is a good thermal conductor, such as aluminum.
[0063] Les demi-secteurs de stators 9a, 9b sont empilés les uns sur les autres en formant deux piles bien distinctes (figure 2). Les demi-secteurs de stators 9a, 9b sont angulairement alignés axialement dans chaque empilement, c’est-à-dire qu’ils ne sont pas angulairement décalés d’un étage à l’autre et ceci pour ne pas risquer un montage en porte-à-faux d’un semi-secteur de stator sur un autre du fait des écarts de tolérances. The half-sectors of stators 9a, 9b are stacked on top of each other, forming two very distinct stacks (Figure 2). The stator half-sectors 9a, 9b are angularly aligned axially in each stack, that is to say they are not angularly offset from one stage to another, so as not to risk door mounting -overhang of one stator semi-sector over another due to tolerance differences.
[0064] La pompe à vide 1 comporte en outre un dispositif élastique annulaire 23 métallique (ou rondelle élastique de charge ou rondelle élastique de précharge) interposé entre d’une part, une deuxième bordure annulaire 24 du logement 8 du carter 2a située du côté de l’orifice d’aspiration 4 et d’autre part, les secteurs entretoises 21 des empilements de demi-secteurs de stator 9a, 9b. La deuxième bordure annulaire 24 du logement 8 du carter 2a est par exemple formée par un épaulement (réduction de diamètre) entre le logement 8 et l’orifice d’aspiration 4. [0065] Les empilements de demi-secteurs de stator 9a, 9b sont maintenus dans le logement 8 par compression du dispositif élastique annulaire 23, du fait du serrage axial du carter 2a à la douille haute pression 2b du stator 2. [0064] The vacuum pump 1 further comprises a metallic annular elastic device 23 (or elastic load washer or elastic preload washer) interposed between, on the one hand, a second annular edge 24 of the housing 8 of the casing 2a located on the side of the suction orifice 4 and on the other hand, the spacer sectors 21 of the stacks of stator half-sectors 9a, 9b. The second annular edge 24 of the housing 8 of the casing 2a is for example formed by a shoulder (reduction in diameter) between the housing 8 and the suction orifice 4. [0065] The stacks of stator half-sectors 9a, 9b are held in housing 8 by compression of the annular elastic device 23, due to the axial tightening of the casing 2a to the high pressure socket 2b of the stator 2.
[0066] Le serrage axiale du carter 2a à la douille haute pression 2b est par exemple réalisé au moyen d’une pluralité de vis 25 régulièrement réparties sur le pourtour de l’interface radiale située entre le carter 2a et la douille haute pression 2b (figure 1). Les vis 25 sont insérées axialement dans l’interface radiale, par exemple en traversant une bride annulaire de la douille haute pression 2b. [0066] The axial tightening of the casing 2a to the high pressure socket 2b is for example carried out by means of a plurality of screws 25 regularly distributed around the periphery of the radial interface located between the casing 2a and the high pressure socket 2b ( figure 1). The screws 25 are inserted axially into the radial interface, for example by passing through an annular flange of the high pressure socket 2b.
[0067] A l’assemblage, on insère un dispositif élastique annulaire 23 dans le logement 8 contre une deuxième bordure annulaire 24 située du côté de l’orifice d’aspiration 4 de la pompe à vide 1. [0067] During assembly, an annular elastic device 23 is inserted into the housing 8 against a second annular border 24 located on the side of the suction port 4 of the vacuum pump 1.
[0068] Puis, on insère les deux empilements de demi-secteurs de stators 9a, 9b angulairement alignés dans le logement 8 de manière que le dispositif élastique annulaire 23 soit interposé entre la deuxième bordure annulaire 24 et les secteurs entretoises 21 des empilements. Then, the two stacks of half-sectors of stators 9a, 9b are inserted angularly aligned into the housing 8 so that the annular elastic device 23 is interposed between the second annular edge 24 and the spacer sectors 21 of the stacks.
[0069] Puis, on serre axialement le carter 2a à la douille haute pression 2b du stator 2 pour maintenir les empilements de demi-secteurs de stator 9a, 9b dans le logement 8 en comprimant le dispositif élastique annulaire 23. [0070] Le montage des empilements de demi-secteurs de stator 9a, 9b dans le carter 2a permet de centrer les empilements. Le serrage du carter 2a avec la douille haute pression 2b permet de bloquer axialement les empilements dans le logement 8 via le dispositif élastique annulaire 23. [0069] Then, the casing 2a is tightened axially to the high pressure socket 2b of the stator 2 to maintain the stacks of stator half-sectors 9a, 9b in the housing 8 by compressing the annular elastic device 23. [0070] Mounting the stacks of stator half-sectors 9a, 9b in the casing 2a makes it possible to center the stacks. Tightening the casing 2a with the high pressure socket 2b makes it possible to axially block the stacks in the housing 8 via the annular elastic device 23.
[0071] Les deux empilements de demi-secteurs de stators 9a, 9b des étages stators annulaires 9 sont indépendants l’un de l’autre. A la différence de la première structure de l’art antérieur utilisant des entretoises annulaires, les deux empilements de la présente invention n’ont pas exactement la même hauteur du fait de la dispersion de fabrication due aux tolérances d’usinage (jusqu’à 1mm d’écart entre les deux empilements) de sorte qu’au montage, il n’est pas possible de venir en appui plan avec le carter 2a sur les empilements pour leurs maintiens dans le stator 2. Cet écart est cependant rattrapé par le dispositif élastique annulaire 23 qui permet au carter 2a de venir en appui sur les deux empilements, alors mêmes que ceux-ci sont décalés en hauteur. The two stacks of half-sectors of stators 9a, 9b of the annular stator stages 9 are independent of each other. Unlike the first structure of the prior art using annular spacers, the two stacks of the present invention do not have exactly the same height due to manufacturing dispersion due to machining tolerances (up to 1mm distance between the two stacks) so that during assembly, it is not possible to come into plane support with the casing 2a on the stacks for their retention in the stator 2. This gap is however made up for by the elastic device annular 23 which allows the casing 2a to come to bear on the two stacks, even though they are offset in height.
[0072] Cette structure permet de diminuer le coût de production de la pompe 1 turbomoléculaire car on peut réduire les exigences de précision de réalisation des pièces constitutives. De plus, le nombre de pièces à assembler lors du montage d'une pompe 1 turbomoléculaire est réduit par rapport à la première structure de l’art antérieur utilisant des secteurs à ailettes et entretoises annulaires distinctes, à intercaler entre deux étages stator annulaires. [0072] This structure makes it possible to reduce the production cost of the turbomolecular pump 1 because the precision requirements for producing the constituent parts can be reduced. In addition, the number of parts to be assembled when assembling a turbomolecular pump 1 is reduced compared to the first structure of the prior art using sectors with distinct annular fins and spacers, to be inserted between two annular stator stages.
[0073] Par ailleurs dans une telle structure, les demi-secteurs de stators 9a, 9b sont des éléments individuels qui peuvent être aisément fabriqués par rapport à la deuxième structure de l’art antérieur à demi-stators monoblocs. Il est en effet possible de réaliser des demi-secteurs de stators 9a, 9b par emboutissage ou par fonderie, ce qui permet de réduire de façon importante le coût de production par rapport aux procédés de fabrication de stators taillés dans la masse. [0073] Furthermore, in such a structure, the half-sectors of stators 9a, 9b are individual elements which can be easily manufactured compared to the second structure of the prior art with one-piece half-stators. It is in fact possible to produce half-sectors of stators 9a, 9b by stamping or by foundry, which makes it possible to significantly reduce the production cost compared to the processes for manufacturing stators cut from the mass.
[0074] En disposant le dispositif élastique annulaire 23 du côté de l’orifice d’aspiration 4 de la pompe à vide 1 , on obtient de plus un meilleur contact thermique entre le dernier étage stator annulaire 9 (côté haute pression), la première bordure annulaire 22 ici formée par une entretoise et la douille haute pression 2b. [0074] By arranging the annular elastic device 23 on the side of the suction orifice 4 of the vacuum pump 1, we also obtain better thermal contact between the last annular stator stage 9 (high pressure side), the first annular edge 22 here formed by a spacer and the high pressure socket 2b.
[0075] En effet, lorsque le stator 2 de la pompe vide 1 est configuré pour être chauffé, généralement au niveau de la douille haute pression 2b où les risques de condensation des gaz pompés sont les plus élevés du fait des plus hautes pressions, la chaleur de la douille haute pression 2b chauffée peut être transmise aux étages stators annulaires 9 par conduction thermique dans le stator 2, sans interruption du dispositif élastique annulaire 23 qui est agencé de l’autre côté, ce qui permet d’améliorer le chauffage du stator 2 de la pompe à vide 1 et ainsi de limiter les dépôts d’espèces condensables. La pompe à vide 1 turbomoléculaire peut pour cela comporter un dispositif de chauffage, par exemple configuré pour chauffer le stator 2 à une température comprise entre 120°C et 200°C, telle que 150°C. [0075] Indeed, when the stator 2 of the vacuum pump 1 is configured to be heated, generally at the level of the high pressure socket 2b where the risks of condensation of the pumped gases are the highest due to the highest pressures, the heat from the heated high pressure socket 2b can be transmitted to the annular stator stages 9 by thermal conduction in the stator 2, without interruption of the annular elastic device 23 which is arranged on the other side, which makes it possible to improve the heating of the stator 2 of the vacuum pump 1 and thus to limit the deposits of condensable species. The turbomolecular vacuum pump 1 may therefore include a heating device, for example configured to heat the stator 2 to a temperature between 120°C and 200°C, such as 150°C.
[0076] Lorsque la pompe vide 1 n’est pas configurée pour être chauffée, la chaleur emmagasinée au niveau des secteurs à ailettes 20 peut mieux s’évacuer par conduction thermique dans la douille haute pression 2b et il est ainsi possible de passer plus de flux de gaz à pomper dans la pompe à vide 1 . [0076] When the vacuum pump 1 is not configured to be heated, the heat stored at the level of the finned sectors 20 can be better evacuated by thermal conduction in the high pressure socket 2b and it is thus possible to spend more gas flow to be pumped into the vacuum pump 1.
[0077] Le dispositif élastique annulaire 23 est par exemple réalisé en acier inoxydable, par exemple martensitique. L’utilisation d’un dispositif élastique annulaire métallique permet d’éviter d’utiliser des matériaux élastomères qui présentent l’inconvénient de dégazer et donc d’augmenter la pression de vide limite. De plus, le dispositif élastique annulaire 23 métallique permet d’assurer une continuité thermique entre les demi-secteurs de stators 9a, 9b en contact les uns avec les autres au niveau des secteurs entretoises 21 et en contact avec la deuxième bordure annulaire 24 du carter 2a via le dispositif élastique annulaire 23 métallique. The annular elastic device 23 is for example made of stainless steel, for example martensitic. The use of a metallic annular elastic device makes it possible to avoid using elastomeric materials which have the disadvantage of degassing and therefore increasing the limit vacuum pressure. In addition, the metallic annular elastic device 23 makes it possible to ensure thermal continuity between the half-sectors of stators 9a, 9b in contact with each other at the level of the spacer sectors 21 and in contact with the second annular edge 24 of the casing 2a via the metallic annular elastic device 23.
[0078] Le dispositif élastique annulaire 23 est par exemple formé par un fil métallique ondulé. Le fil métallique ondulé comporte par exemple au moins deux ondulations, au moins une par empilement de demi-secteurs de stator 9a, 9b, ici huit ondulations (figure 2). The annular elastic device 23 is for example formed by a corrugated metal wire. The corrugated metal wire has for example at least two undulations, at least one per stack of stator half-sectors 9a, 9b, here eight undulations (figure 2).
[0079] L’épaisseur du fil métallique correspond par exemple à l’épaisseur des secteurs entretoises 21 . La section du dispositif élastique annulaire 23 est par exemple ronde, oblongue, carrée ou rectangulaire. A titre illustratif, le dispositif élastique annulaire 23 peut exercer une plage d’effort de charge comprise entre 1000N et 30000N. [0079] The thickness of the metal wire corresponds for example to the thickness of the spacer sectors 21. The section of the annular elastic device 23 is for example round, oblong, square or rectangular. As an illustration, the annular elastic device 23 can exert a load force range of between 1000N and 30000N.
[0080] Les surfaces radiales des secteurs entretoises 21 , en appui sur les secteurs entretoises 21 d’un autre étage stator annulaire 9 ou sur la première bordure annulaire 22 du logement 8 sont de préférence planes. The radial surfaces of the spacer sectors 21, bearing on the spacer sectors 21 of another annular stator stage 9 or on the first annular edge 22 of the housing 8 are preferably flat.
[0081] Les surfaces radiales des secteurs entretoises 21 des deux premiers demi- secteurs de stator 9a, 9b du côté du dispositif élastique annulaire 23 et la deuxième bordure annulaire 24 du logement 8 peuvent également être planes. [0081] The radial surfaces of the spacer sectors 21 of the first two stator half-sectors 9a, 9b on the side of the annular elastic device 23 and the second annular edge 24 of the housing 8 can also be planar.
[0082] Cela permet de faciliter la compression du dispositif élastique annulaire 23 ainsi que les contacts des demi-secteurs de stators 9a, 9b entre eux dans les empilements. [0083] Le diamètre du dispositif élastique annulaire 23 est par exemple dimensionné pour être centré sur le diamètre du logement 8 du carter 2a, ce qui permet de limiter les coûts. Pour cela, l’anneau présente un diamètre légèrement supérieur à celui du logement 8 pour être retenu radialement par la paroi périphérique du logement 8 (figure 1 ). [0082] This facilitates the compression of the annular elastic device 23 as well as the contacts of the half-sectors of stators 9a, 9b between them in the stacks. [0083] The diameter of the annular elastic device 23 is for example dimensioned to be centered on the diameter of the housing 8 of the casing 2a, which makes it possible to limit costs. For this, the ring has a diameter slightly greater than that of the housing 8 to be retained radially by the peripheral wall of the housing 8 (figure 1).
[0084] La figure 4 illustre une variante de réalisation pour laquelle les secteurs entretoises 21 des deux premiers demi-secteurs de stator 9a, 9b présentent un épaulement annulaire 26 côté intérieur. Le diamètre du dispositif élastique annulaire 23 est dimensionné pour être centré sur l’épaulement annulaire 26. Pour cela, l’anneau présente un diamètre légèrement inférieur à celui de l’épaulement annulaire 26 pour être retenu radialement par l’épaulement annulaire 26 des deux premiers demi-secteurs de stator 9a, 9b. [0084] Figure 4 illustrates a variant embodiment for which the spacer sectors 21 of the first two stator half-sectors 9a, 9b have an annular shoulder 26 on the interior side. The diameter of the annular elastic device 23 is dimensioned to be centered on the annular shoulder 26. For this, the ring has a diameter slightly smaller than that of the annular shoulder 26 to be retained radially by the annular shoulder 26 of the two first stator half-sectors 9a, 9b.
[0085] La figure 5 illustre un autre exemple de réalisation de la pompe à vide 1 turbomoléculaire. [0085] Figure 5 illustrates another embodiment of the turbomolecular vacuum pump 1.
[0086] Dans cet exemple, la pompe 1 turbomoléculaire est dite hybride : elle comporte un étage turbomoléculaire 30 comme dans le premier exemple, ainsi qu’un étage moléculaire 31 situé en aval de l’étage turbomoléculaire 30 dans la direction de circulation des gaz pompés (représentée par les flèches sur la figure 5). Les gaz pompés entrent par l’orifice d’aspiration 4, traversent d’abord l’étage turbomoléculaire 30, puis l’étage moléculaire 31 , pour être ensuite évacués vers l’orifice de refoulement 5. [0086] In this example, the turbomolecular pump 1 is said to be hybrid: it comprises a turbomolecular stage 30 as in the first example, as well as a molecular stage 31 located downstream of the turbomolecular stage 30 in the direction of gas circulation. pumped (represented by the arrows in Figure 5). The pumped gases enter through the suction port 4, first pass through the turbomolecular stage 30, then the molecular stage 31, to then be evacuated towards the discharge port 5.
[0087] Dans l’étage moléculaire 31 , le rotor 3 comporte une jupe 32, dite jupe Holweck, en aval des étages rotors à ailettes 10, formée par un cylindre lisse, qui tourne en regard de rainures hélicoïdales 33 du stator 2, par exemple ménagées dans la douille haute pression 2b. Les rainures hélicoïdales 33 du stator 2 permettent de comprimer et guider les gaz pompés vers l’orifice de refoulement 7. [0088] Les autres caractéristiques de ce deuxième mode de réalisation sont similaires au premier mode de réalisation décrit. [0087] In the molecular stage 31, the rotor 3 comprises a skirt 32, called the Holweck skirt, downstream of the finned rotor stages 10, formed by a smooth cylinder, which rotates facing helical grooves 33 of the stator 2, by example provided in the high pressure socket 2b. The helical grooves 33 of the stator 2 make it possible to compress and guide the pumped gases towards the discharge orifice 7. [0088] The other characteristics of this second embodiment are similar to the first embodiment described.

Claims

REVENDICATIONS
[Revendication 1] Pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant un stator (2) et un rotor (3) configuré pour tourner dans le stator (2), le stator (2) comportant : [Claim 1] Turbomolecular vacuum pump (1) comprising a stator (2) and a rotor (3) configured to rotate in the stator (2), the stator (2) comprising:
- un carter (2a) dans lequel est ménagé un logement (8) ouvert sur un orifice d’aspiration (4) de la pompe à vide (1), - a casing (2a) in which is provided a housing (8) open to a suction port (4) of the vacuum pump (1),
- une douille haute pression (2b) dans laquelle est ménagé un orifice de refoulement (5) de la pompe à vide (1 ), et - a high pressure socket (2b) in which a discharge port (5) of the vacuum pump (1) is provided, and
- au moins deux étages stators annulaires (9) reçus dans le logement (8) du carter (2a) et respectivement agencés entre deux étages rotors à ailettes (10) successifs du rotor (3), caractérisée en ce que chaque étage stator annulaire (9) est respectivement formé de deux demi-secteurs de stators (9a, 9b) opposés radialement comprenant chacun un secteur à ailettes (20) et un secteur entretoise (21) situé en périphérie d’un secteur à ailettes (20) respectif, les secteurs entretoises (21) venant en appui sur les secteurs entretoises (21) d’un autre étage stator annulaire (9) ou sur une première bordure annulaire (22) du logement (8) située du côté de l’orifice de refoulement (5), et en ce que chaque secteur entretoise (21) est formé d’une demi-couronne de laquelle partent des ailettes réparties régulièrement sur le pourtour intérieur de la demi-couronne pour former le secteur à ailettes (20), les secteurs à ailettes (20) comportant une demi-couronne interne respective joignant les extrémités opposées des ailettes, le secteur entretoise (21), le secteur à ailettes (20) et une demi- couronne interne d’un demi-secteur de stator (9a, 9b) respectif étant réalisés d’une seule pièce, la pompe à vide (1) comportant en outre un dispositif élastique annulaire (23) métallique interposé entre d’une part, une deuxième bordure annulaire (24) du logement (8) située du côté de l’orifice d’aspiration (4) et d’autre part, les secteurs entretoises (21) des empilements de demi-secteurs de stator (9a, 9b), les empilements de demi-secteurs de stator (9a, 9b) étant maintenus dans le logement (8) par compression du dispositif élastique annulaire (23) par serrage axial du carter (2a) à la douille haute pression (2b) du stator (2). - at least two annular stator stages (9) received in the housing (8) of the casing (2a) and respectively arranged between two successive finned rotor stages (10) of the rotor (3), characterized in that each annular stator stage ( 9) is respectively formed of two radially opposed half-sectors of stators (9a, 9b) each comprising a finned sector (20) and a spacer sector (21) located on the periphery of a respective finned sector (20), the spacer sectors (21) bearing on the spacer sectors (21) of another annular stator stage (9) or on a first annular edge (22) of the housing (8) located on the side of the discharge orifice (5 ), and in that each spacer sector (21) is formed of a half-crown from which fins distributed regularly around the inner periphery of the half-crown to form the finned sector (20), the finned sectors (20) comprising a respective internal half-crown joining the opposite ends of the fins, the spacer sector (21), the finned sector (20) and an internal half-crown of a stator half-sector (9a, 9b) respective being made in one piece, the vacuum pump (1) further comprising a metallic annular elastic device (23) interposed between on the one hand, a second annular edge (24) of the housing (8) located on the side of the suction orifice (4) and on the other hand, the spacer sectors (21) of the stacks of stator half-sectors (9a, 9b), the stacks of stator half-sectors (9a, 9b) being maintained in the housing (8) by compression of the annular elastic device (23) by axial tightening of the casing (2a) to the high pressure socket (2b) of the stator (2).
[Revendication 2] Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon la revendication 1 , caractérisée en ce que les demi-secteurs de stators (9a, 9b) sont angulairement alignés axialement dans chaque empilement. [Claim 2] Turbomolecular vacuum pump (1) according to claim 1, characterized in that the stator half-sectors (9a, 9b) are angularly aligned axially in each stack.
[Revendication 3] Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif élastique annulaire (23) est formé par un fil métallique ondulé. [Claim 3] Turbomolecular vacuum pump (1) according to one of the preceding claims, characterized in that the annular elastic device (23) is formed by a corrugated metal wire.
[Revendication 4] Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le dispositif élastique annulaire (23) est réalisé en acier inoxydable. [Claim 4] Turbomolecular vacuum pump (1) according to one of the preceding claims, characterized in that the annular elastic device (23) is made of stainless steel.
[Revendication 5] Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les demi-secteurs de stator (9a, 9b) sont réalisés par emboutissage. [Claim 5] Turbomolecular vacuum pump (1) according to one of the preceding claims, characterized in that the stator half-sectors (9a, 9b) are produced by stamping.
[Revendication 6] Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que les demi-secteurs de stator (9a, 9b) sont réalisés par fonderie. [Claim 6] Turbomolecular vacuum pump (1) according to one of claims 1 to 4, characterized in that the stator half-sectors (9a, 9b) are made by foundry.
[Revendication 7] Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les surfaces radiales des secteurs entretoises (21) en appui sur les secteurs entretoises (21) d’un autre étage stator annulaire (9) ou sur la première bordure annulaire (22) du logement (8) sont planes. [Claim 7] Turbomolecular vacuum pump (1) according to one of the preceding claims, characterized in that the radial surfaces of the spacer sectors (21) bear on the spacer sectors (21) of another annular stator stage (9 ) or on the first annular edge (22) of the housing (8) are flat.
[Revendication 8] Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les surfaces radiales des secteurs entretoises (21) des deux premiers demi-secteurs de stator (9a, 9b) du côté du dispositif élastique annulaire (23) sont planes, le diamètre du dispositif élastique annulaire (23) étant dimensionné pour être centré sur le diamètre du logement (8) du carter (2a). [Claim 8] Turbomolecular vacuum pump (1) according to one of the preceding claims, characterized in that the radial surfaces of the spacer sectors (21) of the first two stator half-sectors (9a, 9b) on the side of the elastic device annular (23) are planar, the diameter of the annular elastic device (23) being dimensioned to be centered on the diameter of the housing (8) of the casing (2a).
[Revendication 9] Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que les secteurs entretoises (21 ) des deux premiers demi-secteurs de stator (9a, 9b) présentent un épaulement annulaire (26) côté intérieur, le diamètre du dispositif élastique annulaire (23) étant dimensionné pour être centré sur l’épaulement annulaire (26). [Claim 9] Turbomolecular vacuum pump (1) according to one of claims 1 to 7, characterized in that the spacer sectors (21) of the first two stator half-sectors (9a, 9b) have an annular shoulder (26). ) inner side, the diameter of the annular elastic device (23) being dimensioned to be centered on the annular shoulder (26).
[Revendication 10] Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la première bordure annulaire (22) est formée par une entretoise. [Claim 10] Turbomolecular vacuum pump (1) according to one of the preceding claims, characterized in that the first annular edge (22) is formed by a spacer.
[Revendication 11] Pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le rotor (3) comporte une jupe (32) en aval des étages rotors à ailettes (10), configurée pour tourner en regard de rainures hélicoïdales (33) du stator (2). [Claim 11] Turbomolecular vacuum pump (1) according to one of the preceding claims, characterized in that the rotor (3) comprises a skirt (32) downstream of the finned rotor stages (10), configured to rotate facing each other. helical grooves (33) of the stator (2).
[Revendication 12] Procédé d’assemblage d’une pompe à vide (1) turbomoléculaire selon l’une des revendications précédentes, dans lequel : [Claim 12] Method for assembling a turbomolecular vacuum pump (1) according to one of the preceding claims, in which:
- on insère un dispositif élastique annulaire (23) dans le logement (8) contre une deuxième bordure annulaire (24) située du côté de l’orifice d’aspiration (4) de la pompe à vide (1 ), - an annular elastic device (23) is inserted into the housing (8) against a second annular edge (24) located on the side of the suction orifice (4) of the vacuum pump (1),
- on insère des empilements de demi-secteurs de stators (9a, 9b) angulairement alignés dans le logement (8) de manière que le dispositif élastique annulaire (23) soit interposé entre la deuxième bordure annulaire (24) et les secteurs entretoises (21) des empilements, et - we insert stacks of half-sectors of stators (9a, 9b) angularly aligned in the housing (8) so that the annular elastic device (23) is interposed between the second annular edge (24) and the spacer sectors (21 ) stacks, and
- on serre axialement le carter (2a) à la douille haute pression (2b) du stator (2) pour maintenir les empilements de demi-secteurs de stator (9a, 9b) dans le logement (8) en comprimant le dispositif élastique annulaire (23). - the casing (2a) is tightened axially to the high pressure socket (2b) of the stator (2) to maintain the stacks of stator half-sectors (9a, 9b) in the housing (8) by compressing the annular elastic device ( 23).
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