WO2023177039A1 - 디지털 노광 시스템 - Google Patents

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WO2023177039A1
WO2023177039A1 PCT/KR2022/018248 KR2022018248W WO2023177039A1 WO 2023177039 A1 WO2023177039 A1 WO 2023177039A1 KR 2022018248 W KR2022018248 W KR 2022018248W WO 2023177039 A1 WO2023177039 A1 WO 2023177039A1
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WO
WIPO (PCT)
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substrate
pattern image
dimensional pattern
exposure system
digital
Prior art date
Application number
PCT/KR2022/018248
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English (en)
French (fr)
Inventor
장원석
이원섭
조현민
김기홍
임형준
Original Assignee
한국기계연구원
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216—Mask projection systems
    • G03F7/70283—Mask effects on the imaging process
    • G03F7/70291—Addressable masks, e.g. spatial light modulators [SLMs], digital micro-mirror devices [DMDs] or liquid crystal display [LCD] patterning devices
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70216—Mask projection systems
    • G03F7/70358—Scanning exposure, i.e. relative movement of patterned beam and workpiece during imaging

Definitions

  • the present invention relates to a digital exposure system, and more specifically, to a digital exposure system using a digital mirror element.
  • the digital exposure process is a type of photolithography and is a technology for manufacturing a desired pattern on a photoresist without a mask.
  • a digital device reproduces a pattern image and projects the pattern image onto a substrate using an imaging optical system.
  • the photosensitive material coated on the substrate is exposed to light to create a pattern.
  • the exposure process is performed while changing the pattern image at each position of the substrate to manufacture the desired pattern on the entire substrate.
  • a digital exposure system using a digital device such as a digital mirror device (DMD) or spatial light modulator (SLM) transmits the two-dimensional pattern image formed by the digital mirror device (DMD) onto the substrate through an optical system. Projection is performed to proceed with the exposure process. Therefore, the digital exposure system using a digital mirror element (DMD) is optimized for the step & repeat type exposure process due to the advantage of being able to expose a two-dimensional pattern image at once, and is actively used in 3D printers, etc. It is being applied properly.
  • a digital mirror device DMD
  • SLM spatial light modulator
  • the roll-to-roll exposure process is an exposure method for continuous production of flexible substrates. Continuous exposure is performed while transporting flexible substrates rolled up in a roll.
  • the digital exposure system using a digital mirror element is optimized for a step & repeat type exposure process, it is difficult to apply it to a roll-to-roll exposure process in which rolls are continuously transported and scan exposure is performed.
  • the roll-to-roll exposure process is a method of exposing while transporting a flexible substrate in the form of a roll, it is necessary to minimize the deformation and vibration of the transported roll to improve exposure precision, so a roll transport drum that minimizes the vibration of the roll is installed.
  • the exposure process must be performed on the surface. Therefore, it is difficult to apply a digital exposure system using a digital mirror element that projects and exposes a two-dimensional flat image to a roll-to-roll exposure process. Additionally, since the two-dimensional pattern image is exposed at once, it is difficult to respond to the curvature of the substrate surface.
  • the digital exposure system using a digital mirror device is a high-performance semiconductor package such as a wafer level package (WLP) or panel level package (PLP), which can cause severe warpage of the substrate. It is difficult to apply it to the exposure process.
  • WLP wafer level package
  • PGP panel level package
  • the present invention is intended to solve the problems of the above-described background technology, and seeks to provide a digital exposure system capable of performing digital exposure on a non-planar substrate using a scanning method.
  • a digital exposure system includes a light source that irradiates light to a substrate; a digital mirror element that selectively transmits light emitted from the light source to form a two-dimensional pattern image; an optical system that modulates the two-dimensional pattern image into a one-dimensional pattern image; and a substrate scanner that adjusts the position of the substrate to continuously scan and expose the one-dimensional pattern image on the photosensitive film on the substrate, wherein the two-dimensional pattern image is a uniform image in a direction horizontal to the scanning direction of the substrate. and has an image of the target pattern in a direction perpendicular to the scanning direction of the substrate.
  • the optical system may include a plurality of projection lenses and a cylindrical lens positioned between the projection lenses and the substrate.
  • the two-dimensional pattern image may be focused in a direction horizontal to the scanning direction of the substrate, imaged in a direction perpendicular to the scanning direction of the substrate, and modulated into the one-dimensional pattern image.
  • it may further include a diffraction compensation unit installed in the optical system to compensate for light diffracted in the scanning direction of the substrate.
  • the diffraction compensation unit may be located between a plurality of projection lenses of the optical system.
  • the diffraction compensation unit may be installed to correspond to a focusing point at which the light is focused among the plurality of projection lenses.
  • the diffraction compensation unit may include a slit or an aperture.
  • the focusing direction in which the two-dimensional pattern image is focused and the scanning direction of the substrate may have a first tilt angle greater than 0 degrees and less than 45 degrees.
  • the digital mirror element includes a plurality of pixel mirrors that rotate about a pixel rotation axis, and a focusing direction in which the two-dimensional pattern image is focused and the pixel rotation axis may be parallel to each other.
  • the digital mirror element may include a plurality of pixel mirrors rotating about a pixel rotation axis, and the focusing direction in which the two-dimensional pattern image is focused and the pixel rotation axis may have the first inclination angle.
  • the digital exposure system uses a digital mirror element to create a two-dimensional pattern image that has a uniform image in the scanning direction of the substrate and an image of the target pattern in the direction perpendicular to the scanning direction of the substrate.
  • a pattern can be formed on a substrate by continuously scanning and exposing a one-dimensional pattern image, a digital exposure process can be applied to a non-planar substrate.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view of a digital exposure system according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a schematic front view of a digital exposure system according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 3 is a schematic side view of a digital exposure system according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a state in which a two-dimensional pattern image is formed and the two-dimensional pattern image is modulated into a one-dimensional pattern image by a digital exposure system according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 5 is a schematic perspective view of a digital exposure system according to another embodiment of the present invention.
  • Figure 6 is a schematic front view of a digital exposure system according to another embodiment of the present invention.
  • Figure 7 is a schematic side view of a digital exposure system according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating a state in which the focusing direction of a two-dimensional pattern image of a digital exposure system according to an embodiment of the present invention and the scanning direction of a substrate are parallel to each other.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a state in which the focusing direction of a two-dimensional pattern image and the scanning direction of the substrate of a digital exposure system according to another embodiment of the present invention have a first tilt angle greater than 0 degrees and less than 45 degrees.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating a state in which the focusing direction of a two-dimensional pattern image of a digital exposure system according to an embodiment of the present invention and the pixel rotation axis of a digital mirror element are perpendicular to each other.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating a state in which the focusing direction of a two-dimensional pattern image of a digital exposure system according to another embodiment of the present invention and the pixel rotation axis of the digital mirror element are parallel to each other.
  • FIG. 12 shows the focusing direction of the two-dimensional pattern image of the digital exposure system according to another embodiment of the present invention and the scanning direction of the substrate having a first inclination angle greater than 0 degrees and less than 45 degrees, and showing the focusing direction of the two-dimensional pattern image.
  • This is a diagram explaining a state in which the pixel rotation axis of the digital mirror element has a first tilt angle.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view of a digital exposure system according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a schematic front view of a digital exposure system according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 3 is a schematic front view of a digital exposure system according to an embodiment of the present invention. This is a schematic side view of the digital exposure system.
  • the digital exposure system includes a light source 100, a digital mirror element 200, an optical system 300, and a substrate scanner 400.
  • the light source 100 may radiate light 1 to the photosensitive film 20 on the substrate 10.
  • the light source 100 may include any one selected from LED, lamp, laser, etc.
  • Light 1 emitted from the light source 100 may have wavelengths of various lengths, such as 365 nm, 435 nm, and 405 nm.
  • Light 1 emitted from the light source 100 may be incident on the digital mirror element 200 through the reflection member 30.
  • the digital mirror element 200 can selectively transmit the light 1 emitted from the light source 100 to form a two-dimensional pattern image (PI).
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a state in which a two-dimensional pattern image is formed and the two-dimensional pattern image is modulated into a one-dimensional pattern image by a digital exposure system according to an embodiment of the present invention.
  • the two-dimensional pattern image (PI) generated by the digital mirror element 200 has a uniform image in the direction (X) horizontal to the scanning direction (X) of the substrate 10.
  • an image of the target pattern (TP) may be formed in the direction (Y) perpendicular to the scanning direction (X) of the substrate 10.
  • the optical system 300 may modulate the two-dimensional pattern image (PI) generated by the digital mirror element 200 into a one-dimensional pattern image (LI).
  • the one-dimensional pattern image LI may have an image of the target pattern TP only in the direction (Y) perpendicular to the scanning direction (X) of the substrate 10.
  • the optical system 300 may include a plurality of projection lenses 310 and a cylindrical lens 320 located on the optical path between the projection lens 310 and the substrate 10. You can.
  • the cylindrical lens 320 is an asymmetric lens, and the two-dimensional pattern image (PI) is focused in a direction (X) horizontal to the scanning direction (X) of the substrate 10 by the optical system 300 including the asymmetric lens. and can be imaged in a direction (Y) perpendicular to the scanning direction (X) of the substrate 10 and modulated into a one-dimensional pattern image (LI).
  • the focusing direction (FA) in which the two-dimensional pattern image (PI) is focused may be horizontal to the scanning direction (X) of the substrate 10. Accordingly, a one-dimensional pattern image LI having uniform light intensity can be exposed to the photosensitive film 20 on the substrate 10.
  • the substrate scanner 400 can continuously scan and expose a one-dimensional pattern image LI on the photoresist film 20 on the substrate 10 by adjusting the position of the substrate 10.
  • the digital mirror element 200 synchronizes the one-dimensional pattern image LI with the moving speed of the substrate 10 and changes it at the same speed as the moving speed of the substrate 10, thereby changing the photosensitive film 20 of the substrate 10. ) can be exposed to the target pattern (TP).
  • the digital exposure system uses a digital mirror element to have a uniform image in a direction horizontal to the scanning direction of the substrate and a target pattern in a direction perpendicular to the scanning direction of the substrate.
  • Form a two-dimensional pattern image with an image modulate the two-dimensional pattern image into a one-dimensional pattern image (LI) using an optical system, and move the one-dimensional pattern image (LI) at the same speed as the moving speed of the substrate 10.
  • the target pattern TP can be exposed to the photosensitive film 20 of the substrate 10.
  • productivity can be improved by applying it to a scan-type digital exposure process. Therefore, since a linear focus can be formed on the surface of a cylindrical drum in a roll-to-roll digital exposure process, it can be applied to a roll-to-roll exposure process that requires exposure on a curved surface.
  • Figure 5 is a schematic perspective view of a digital exposure system according to another embodiment of the present invention
  • Figure 6 is a schematic front view of a digital exposure system according to another embodiment of the present invention
  • Figure 7 is a schematic front view of a digital exposure system according to another embodiment of the present invention. This is a schematic side view of the digital exposure system.
  • FIGS. 5 to 7 The other embodiment shown in FIGS. 5 to 7 is substantially the same as the one embodiment shown in FIGS. 1 to 4 except for the diffraction compensation unit, so repeated description will be omitted.
  • the digital exposure system includes a light source 100, a digital mirror element 200, an optical system 300, a substrate scanner 400, and a diffraction compensation unit. Includes 500.
  • the diffraction compensation unit 500 is installed in the optical system 300 and can compensate for light diffracted in the scanning direction (X) of the substrate 10.
  • the light source 100 uses a coherent light source such as a laser
  • the light 1 passing through the digital mirror element is diffracted to generate diffracted light 2, so the focus of the light is dispersed and multiple images are formed. It can be. Therefore, a clear one-dimensional linear image can be formed by blocking high-order diffraction light 2 of 0 order or higher using the diffraction compensation unit 500.
  • the diffraction compensation unit 500 may be located between the plurality of projection lenses 310. This diffraction compensation unit 500 may be installed between the plurality of projection lenses 310 to correspond to a focusing point FP where the light 1 is focused.
  • the diffraction compensation unit 500 may include a slit extending in a direction (Y) perpendicular to the scanning direction (X) of the substrate 10. Therefore, a clear one-dimensional linear image can be formed by blocking high-order diffracted light diffracted in the scanning direction (X) of the substrate 10.
  • the diffraction compensation unit 500 is not necessarily limited to this, and the diffraction compensation unit 500 may include an aperture (Iris).
  • the aperture can block not only high-order diffracted light diffracted in the scanning direction (X) of the substrate 10, but also high-order diffracted light diffracted in the direction (Y) perpendicular to the scanning direction (X) of the substrate 10.
  • the digital mirror element is arranged so that the focusing direction of the two-dimensional pattern image and the scanning direction of the substrate are parallel to each other, but the digital mirror is arranged so that the focusing direction of the two-dimensional pattern image and the scanning direction of the substrate have a predetermined inclination angle.
  • Other embodiments in which the elements are arranged are also possible.
  • FIGS. 8 and 9 a digital exposure system according to another embodiment of the present invention will be described in detail.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating a state in which the focusing direction of a two-dimensional pattern image of a digital exposure system according to an embodiment of the present invention and the scanning direction of the substrate are parallel to each other
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a state in which the scanning direction of the substrate is parallel to each other
  • FIG. This is a diagram explaining a state where the focusing direction of the two-dimensional pattern image of the exposure system and the scanning direction of the substrate have a first tilt angle greater than 0 degrees and less than 45 degrees.
  • FIG. 9 The other embodiment shown in FIG. 9 is substantially the same as the one embodiment shown in FIGS. 1 to 4 and FIG. 8 except for the arrangement direction of the digital mirror element, so repeated description will be omitted.
  • the focusing direction (FA) in which the two-dimensional pattern images (PI1 and PI2) are focused and the scanning direction (X) of the substrate 10 are can be parallel to each other.
  • the turned-on and turned-off pixels in each of the one-dimensional pattern image LI1 in the first row and the one-dimensional pattern image LI2 in the second row are clearly separated from each other, it is difficult to expose a continuous target pattern.
  • the digital mirror element 200 may be arranged to have a first tilt angle (q1) greater than 0 degrees and less than 45 degrees.
  • q1 first tilt angle
  • FIG. 10 is a diagram illustrating a state in which the focusing direction of a two-dimensional pattern image of a digital exposure system according to an embodiment of the present invention and the pixel rotation axis of a digital mirror element are perpendicular to each other
  • FIG. 11 is a view illustrating a state in which the focusing direction of a two-dimensional pattern image of a digital exposure system according to an embodiment of the present invention is perpendicular to another embodiment of the present invention.
  • This is a diagram explaining the state in which the focusing direction of the two-dimensional pattern image of the digital exposure system and the pixel rotation axis of the digital mirror element are parallel to each other.
  • FIG. 11 The other embodiment shown in FIG. 11 is substantially the same as the other embodiment shown in FIGS. 5 to 7 except for the arrangement direction of the digital mirror element, so repeated descriptions will be omitted.
  • the digital mirror element 200 of the digital exposure system may include a plurality of pixel mirrors 210 rotating about the pixel rotation axis RA.
  • the digital mirror element 200 may form a two-dimensional pattern image (PI) by rotating a plurality of pixel mirrors 210 arranged in rows and columns about the pixel rotation axis (RA) and reflecting light.
  • PI two-dimensional pattern image
  • the focusing direction (FA) of the two-dimensional pattern image (PI) and the scanning direction (X) of the substrate 10 are parallel to each other, depending on the arrangement direction of the digital mirror element 200 and the substrate 10
  • the focusing direction (FA) of the two-dimensional pattern image (PI) and the pixel rotation axis (RA) may have a second tilt angle (q2).
  • a step may occur between the plurality of pixel mirrors 210 and the clarity of the one-dimensional pattern image LI may deteriorate.
  • the focusing direction (FA) of the two-dimensional pattern image (PI) of the digital exposure system according to another embodiment of the present invention and the scanning direction (X) of the substrate 10 are parallel to each other.
  • the focusing direction (FA) and the pixel rotation axis (RA) of the two-dimensional pattern image (PI) may be parallel to each other.
  • the clarity of the one-dimensional pattern image LI can be improved.
  • the digital exposure system since the digital exposure system according to another embodiment of the present invention includes a diffraction compensation unit 500, it is possible to form a clear one-dimensional linear image by blocking high-order diffraction light 2 of 0 order or higher. At this time, the high-order diffracted light 2 by some of the plurality of pixel mirrors 210 is blocked by the diffraction compensation unit 500, so the pixel mirror located in the central area UA among the plurality of pixel mirrors 210 Only (210) can be used. Accordingly, by emitting only the light corresponding to the pixel mirror 210 located in the central area UA among the light emitted from the light source 100, the exposure energy used can be minimized.
  • the focusing direction of the two-dimensional pattern image and the scanning direction of the substrate have a first tilt angle greater than 0 degrees and less than 45 degrees, and the two-dimensional pattern image is focused.
  • the digital mirror element is arranged so that the direction and the pixel rotation axis of the digital mirror element have a first inclination angle.
  • FIG. 12 shows the focusing direction of the two-dimensional pattern image of the digital exposure system according to another embodiment of the present invention and the scanning direction of the substrate having a first inclination angle greater than 0 degrees and less than 45 degrees, and showing the focusing direction of the two-dimensional pattern image.
  • This is a diagram explaining a state in which the pixel rotation axis of the digital mirror element has a first tilt angle.
  • FIG. 12 is substantially the same as the other embodiment shown in FIG. 11 except for the arrangement direction of the digital mirror element, so repeated description will be omitted.
  • the focusing direction (FA) of the two-dimensional pattern image (PI) and the scanning direction (X) of the substrate 10 of the digital exposure system according to an embodiment of the present invention are greater than 0 degrees and 45 degrees. Since the first tilt angle q1 is smaller than .
  • the focusing direction (FA) of the two-dimensional pattern image (PI) and the pixel rotation axis (RA) of the digital mirror element may have a first tilt angle (q1).
  • the step between the plurality of pixel mirrors 210 is minimized, deterioration in the clarity of the one-dimensional pattern image LI can be minimized.

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템은 기판에 광을 조사하는 광원; 상기 광원에서 출사된 광을 선택적으로 투과시켜 2차원 패턴 이미지를 형성하는 디지털 미러 소자; 상기 2차원 패턴 이미지를 1차원 패턴 이미지로 변조하는 광학계; 상기 기판의 위치를 조절하여 상기 기판 위의 감광막에 상기 1차원 패턴 이미지를 연속적으로 스캔 노광하는 기판 스캐너를 포함하고, 상기 2차원 패턴 이미지는 상기 기판의 스캔 방향에 수평한 방향으로는 균일한 이미지를 가지고, 상기 기판의 스캔 방향에 수직한 방향으로는 목표 패턴의 이미지를 가진다.

Description

디지털 노광 시스템
본 발명은 디지털 노광 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 디지털 미러 소자를 이용한 디지털 노광 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 디지털 노광 공정은 포토 노광 공정(photolithography)의 한 종류로서, 마스크 없이 원하는 패턴을 감광재(photoresist)에 제조하는 기술이다. 이러한 디지털 노광 공정은 디지털 장치가 패턴 이미지를 재생하고, 이미징 광학계를 이용하여 패턴 이미지를 기판에 투영하며, 이때 기판에 코팅된 감광재가 감광되어 패턴을 제작한다. 이 때, 패턴 이미지의 크기가 기판의 크기보다 작기 때문에, 기판의 위치마다 패턴 이미지를 바꾸어 가면서 노광 공정을 진행하여 기판 전체에 원하는 패턴을 제조한다.
디지털 미러 소자(digital mirror device, DMD) 또는 공간 광 변조기(spatial light modulator, SLM)와 같은 디지털 장치를 이용한 디지털 노광 시스템은 디지털 미러 소자(DMD)에 의해 형성된 2차원 패턴 이미지를 광학계를 통해 기판 위로 투영시켜 노광 공정을 진행한다. 따라서, 디지털 미러 소자(DMD)를 이용한 디지털 노광 시스템은 2차원 패턴 이미지를 한 번에 노광할 수 있다는 장점으로 인해 스텝 앤 리피트(step & repeat)방식의 노광 공정에 최적화되어 있으며, 3D 프린터 등에 활발하게 적용되고 있다.
그러나, 디지털 미러 소자(DMD)를 이용한 디지털 노광 시스템은 2차원 패턴 이미지를 한 번에 노광하기 때문에, 스캔 방식의 노광 공정에는 적합하지 않다. 롤투롤 노광 공정은 유연 기판을 연속 생산하기 위한 노광 방식으로, 롤 형태로 말려있는 유연 기판을 이송하면서 연속적인 노광을 진행한다. 그러나, 디지털 미러 소자를 이용한 디지털 노광 시스템은 스텝 앤 리피트(step & repeat)방식의 노광 공정에 최적화되어 있으므로, 롤이 연속적으로 이송되며 스캔 노광을 진행하는 롤투롤 노광 공정에 적용하기 어렵다. 또한, 롤투롤 노광 공정은 롤 형태의 유연 기판을 이송하면서 노광하는 방식이므로, 노광 정밀도 향상을 위해서 이송되는 롤의 변형 및 진동을 최소화할 필요가 있어서, 롤의 진동이 최소화되는 롤 이송용 드럼의 표면에서 노광 공정을 진행해야 한다. 따라서, 2차원 평면 이미지를 투영 노광하는 디지털 미러 소자를 이용한 디지털 노광 시스템은 롤투롤 노광 공정에 적용하기 어렵다. 또한, 2차원 패턴 이미지를 한 번에 노광하므로, 기판 표면의 굴곡에 대응하기 어렵다. 이러한 이유로 디지털 미러 소자(DMD)를 이용한 디지털 노광 시스템은 기판의 변형(warpage)이 심하게 생길 수 있는 웨이퍼 레벨 패키지(wafer level package, WLP) 또는 패널 레벨 패키지(panel level package, PLP) 등 고성능 반도체 패키지의 노광 공정에 적용하기 어렵다.
본 발명은 전술한 배경 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 스캔 방식으로 비평면 기판에 디지털 노광을 수행할 수 있는 디지털 노광 시스템을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템은 기판에 광을 조사하는 광원; 상기 광원에서 출사된 광을 선택적으로 투과시켜 2차원 패턴 이미지를 형성하는 디지털 미러 소자; 상기 2차원 패턴 이미지를 1차원 패턴 이미지로 변조하는 광학계; 상기 기판의 위치를 조절하여 상기 기판 위의 감광막에 상기 1차원 패턴 이미지를 연속적으로 스캔 노광하는 기판 스캐너를 포함하고, 상기 2차원 패턴 이미지는 상기 기판의 스캔 방향에 수평한 방향으로는 균일한 이미지를 가지고, 상기 기판의 스캔 방향에 수직한 방향으로는 목표 패턴의 이미지를 가진다.
또한, 상기 광학계는 복수의 프로젝션 렌즈, 그리고 상기 프로젝션 렌즈와 상기 기판 사이에 위치하는 실린드리컬 렌즈를 포함할 수 있다.
또한, 상기 2차원 패턴 이미지는 상기 기판의 스캔 방향에 수평한 방향으로 포커싱되고, 상기 기판의 스캔 방향에 수직한 방향으로 이미징되어 상기 1차원 패턴 이미지로 변조될 수 있다.
또한, 상기 광학계에 설치되어 상기 기판의 스캔 방향으로 회절되는 광을 보상하는 회절 보상부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 회절 보상부는 상기 광학계의 복수의 프로젝션 렌즈 사이에 위치할 수 있다.
또한, 상기 회절 보상부는 상기 복수의 프로젝션 렌즈 사이 중 상기 광이 포커싱되는 포커싱 포인트에 대응하여 설치될 수 있다.
또한, 상기 회절 보상부는 슬릿 또는 조리개를 포함할 수 있다.
또한, 상기 2차원 패턴 이미지가 포커싱되는 포커싱 방향과 상기 기판의 스캔 방향은 0도 보다 크고 45도 보다 작은 제1 경사각을 가질 수 있다.
또한, 상기 디지털 미러 소자는 화소 회전축을 기준으로 회전하는 복수의 화소 미러를 포함하고, 상기 2차원 패턴 이미지가 포커싱되는 포커싱 방향과 상기 화소 회전축은 서로 평행할 수 있다.
또한, 상기 디지털 미러 소자는 화소 회전축을 기준으로 회전하는 복수의 화소 미러를 포함하고, 상기 2차원 패턴 이미지가 포커싱되는 포커싱 방향과 상기 화소 회전축은 상기 제1 경사각을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템은 디지털 미러 소자를 이용하여 기판의 스캔 방향으로는 균일한 이미지를 가지고, 기판의 스캔 방향에 수직한 방향으로는 목표 패턴의 이미지를 가지는 2차원 패턴 이미지를 형성하고, 광학계를 이용하여 2차원 패턴 이미지를 1차원 패턴 이미지로 변조하며, 1차원 패턴 이미지를 연속적으로 스캔 노광함으로써, 스캔 방식의 디지털 노광 공정에 적용하여 생산성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 롤투롤 방식의 디지털 노광 공정에 적용할 수 있다.
또한, 1차원 패턴 이미지를 연속적으로 스캔 노광하여 기판에 패턴을 형성할 수 있으므로, 비평면 기판에 디지털 노광 공정을 적용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템에 의해 2차원 패턴 이미지를 형성하고 2차원 패턴 이미지를 1차원 패턴 이미지로 변조하는 상태를 설명하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 정면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 측면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 기판의 스캔 방향이 서로 평행인 상태를 설명하는 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 기판의 스캔 방향이 0도 보다 크고 45도 보다 작은 제1 경사각을 가지는 상태를 설명하는 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 디지털 미러 소자의 화소 회전축이 서로 수직인 상태를 설명하는 도면이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 디지털 미러 소자의 화소 회전축이 서로 평행한 상태를 설명하는 도면이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 기판의 스캔 방향이 0도 보다 크고 45도 보다 작은 제1 경사각을 가지면서, 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 디지털 미러 소자의 화소 회전축이 제1 경사각을 가지는 상태를 설명하는 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
그러면 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템에 대하여 도 1 내지 도 3을 참고로 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 정면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 측면도이다.
도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템은 광원(100), 디지털 미러 소자(200), 광학계(300), 그리고 기판 스캐너(400)를 포함한다.
광원(100)은 기판(10) 위의 감광막(20)에 광(1)을 조사할 수 있다. 광원(100)은 LED, 램프(lamp), 레이저(laser) 등에서 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다. 광원(100)에서 조사되는 광(1)은 365nm, 435nm, 405nm 등 다양한 길이의 파장을 가질 수 있다. 이러한 광원(100)에서 출사되는 광(1)은 반사 부재(30)를 통해 디지털 미러 소자(200)에 입사될 수 있다.
디지털 미러 소자(200)는 광원(100)에서 출사된 광(1)을 선택적으로 투과시켜 2차원 패턴 이미지(PI)를 형성할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템에 의해 2차원 패턴 이미지를 형성하고 2차원 패턴 이미지를 1차원 패턴 이미지로 변조하는 상태를 설명하는 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 디지털 미러 소자(200)에 의해 생성되는 2차원 패턴 이미지(PI)는 기판(10)의 스캔 방향(X)에 수평한 방향(X)으로는 균일한 이미지를 가지고, 기판(10)의 스캔 방향(X)에 수직한 방향(Y)으로는 목표 패턴(TP)의 이미지를 가질 수 있다.
광학계(300)는 디지털 미러 소자(200)에 의해 생성된 2차원 패턴 이미지(PI)를 1차원 패턴 이미지(LI)로 변조할 수 있다. 1차원 패턴 이미지(LI)는 기판(10)의 스캔 방향(X)에 수직한 방향(Y)으로만 목표 패턴(TP)의 이미지를 가질 수 있다.
광학계(300)는 복수의 프로젝션 렌즈(Projection lens)(310), 그리고 프로젝션 렌즈(310)와 기판(10) 사이의 광 경로 상에 위치하는 실린드리컬 렌즈(Cylindrical lens)(320)를 포함할 수 있다. 실린드리컬 렌즈(320)는 비대칭 렌즈로서, 비대칭 렌즈를 포함하는 광학계(300)에 의해 2차원 패턴 이미지(PI)는 기판(10)의 스캔 방향(X)에 수평한 방향(X)으로 포커싱되고, 기판(10)의 스캔 방향(X)에 수직한 방향(Y)으로 이미징되어 1차원 패턴 이미지(LI)로 변조될 수 있다. 여기서, 2차원 패턴 이미지(PI)가 포커싱 되는 포커싱 방향(FA)은 기판(10)의 스캔 방향(X)에 수평할 수 있다. 따라서, 기판(10) 위의 감광막(20)에 균일한 광 광도를 가지는 1차원 패턴 이미지(LI)를 노광할 수 있다.
기판 스캐너(400)는 기판(10)의 위치를 조절하여 기판(10) 위의 감광막(20)에 1차원 패턴 이미지(LI)를 연속적으로 스캔 노광할 수 있다. 이 때, 디지털 미러 소자(200)는 1차원 패턴 이미지(LI)를 기판(10)의 이동 속도에 동기화시켜 기판(10)의 이동 속도와 동일한 속도로 변화시킴으로써, 기판(10)의 감광막(20)에 목표하는 목표 패턴(TP)을 노광할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템은 디지털 미러 소자를 이용하여 기판의 스캔 방향과 수평한 방향으로는 균일한 이미지를 가지고, 기판의 스캔 방향에 수직한 방향으로는 목표 패턴의 이미지를 가지는 2차원 패턴 이미지를 형성하고, 광학계를 이용하여 2차원 패턴 이미지를 1차원 패턴 이미지(LI)로 변조하며, 1차원 패턴 이미지(LI)를 기판(10)의 이동 속도와 동일한 속도로 변화시킴으로써, 기판(10)의 감광막(20)에 목표하는 목표 패턴(TP)을 노광할 수 있다. 따라서, 기판(10)의 감광막(20)에 1차원 패턴 이미지(LI)를 연속적으로 스캔 노광하게 되므로, 스캔 방식의 디지털 노광 공정에 적용하여 생산성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 롤투롤 방식의 디지털 노광 공정의 원통형 드럼 표면에 선형 초점을 형성할 수 있으므로, 곡면 상에 노광이 필요한 롤투롤 노광 공정에 적용할 수 있다.
또한, 스텝 앤 리피트(step & repeat)방식의 노광 공정이 아니고, 선형 스캔 노광 공정이므로, 보다 정밀하게 스캔 위치별로 보정하고, 실시간으로 패턴 보정이 가능하다. 따라서, 기판의 변형이 심하게 생길 수 웨이퍼 레벨 패키지(wafer level package, WLP) 또는 패널 레벨 패키지(panel level package, PLP) 등 고성능 반도체 패키지의 노광 공정에도 적용할 수 있다.
한편, 상기 일 실시예와 달리, 기판의 스캔 방향으로 회절되는 광을 보상할 수 있는 회절 보상부를 추가하는 다른 실시예도 가능하다.
이하에서, 도 5 내지 도 7을 참고하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템에 대해 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 사시도이고, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 정면도이며, 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 개략적인 측면도이다.
도 5 내지 도 7에 도시된 다른 실시예는 도 1 내지 도 4에 도시된 일 실시예와 비교하여 회절 보상부만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.
도 5 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템은 광원(100), 디지털 미러 소자(200), 광학계(300), 기판 스캐너(400), 그리고 회절 보상부(500)를 포함한다.
회절 보상부(500)는 광학계(300)에 설치되어 기판(10)의 스캔 방향(X)으로 회절되는 광을 보상할 수 있다.
광원(100)이 레이저와 같은 간섭성(coherent) 광원을 사용하는 경우, 디지털 미러 소자를 통과한 광(1)은 회절되어 회절 광(2)을 발생시키므로, 광의 초점이 분산되어 다중 이미지가 형성될 수 있다. 따라서, 회절 보상부(500)를 이용하여 0차 이상의 고차 회절 광(2)을 차단하여 선명한 1차원 선형 이미지를 형성할 수 있다.
회절 보상부(500)는 복수의 프로젝션 렌즈(310) 사이에 위치할 수 있다. 이러한 회절 보상부(500)는 복수의 프로젝션 렌즈(310) 사이 중 광(1)이 포커싱되는 포커싱 포인트(FP)에 대응하여 설치될 수 있다.
회절 보상부(500)는 기판(10)의 스캔 방향(X)에 수직한 방향(Y)으로 연장되는 슬릿(Slit)을 포함할 수 있다. 따라서, 기판(10)의 스캔 방향(X)으로 회절하는 고차 회절 광을 차단하여 선명한 1차원 선형 이미지를 형성할 수 있다.
그러나, 회절 보상부(500)는 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 회절 보상부(500)는 조리개(Iris)를 포함할 수 있다. 조리개는 기판(10)의 스캔 방향(X)으로 회절하는 고차 회절 광뿐만 아니라 기판(10)의 스캔 방향(X)에 수직한 방향(Y)으로 회절하는 고차 회절 광도 차단할 수 있다.
한편, 상기 일 실시예에서는 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 기판의 스캔 방향이 서로 평행하도록 디지털 미러 소자가 배치되나, 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 기판의 스캔 방향이 소정 경사각을 가지도록 디지털 미러 소자가 배치되는 다른 실시예도 가능하다.
이하에서, 도 8 및 도 9를 참고하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템에 대해 상세히 설명한다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 기판의 스캔 방향이 서로 평행인 상태를 설명하는 도면이고, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 기판의 스캔 방향이 0도 보다 크고 45도 보다 작은 제1 경사각을 가지는 상태를 설명하는 도면이다.
도 9에 도시된 다른 실시예는 도 1 내지 도 4 및 도 8에 도시된 일 실시예와 비교하여 디지털 미러 소자의 배치 방향만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템에서, 2차원 패턴 이미지(PI1, PI2)가 포커싱되는 포커싱 방향(FA)과 기판(10)의 스캔 방향(X)은 서로 평행할 수 있다. 이 경우, 제1 행의 1차원 패턴 이미지(LI1)과 제2 행의 1차원 패턴 이미지(LI2)의 각각에서 켜진 화소와 꺼진 화소가 서로 명확하게 분리되므로, 연속적인 목표 패턴은 노광하기 어렵다.
그러나, 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템에서는 2차원 패턴 이미지(PI1, PI2)가 포커싱되는 포커싱 방향(FA)과 기판(10)의 스캔 방향(X)은 0도 보다 크고 45도 보다 작은 제1 경사각(q1)을 가지도록 디지털 미러 소자(200)를 배치할 수 있다. 이 경우, 제1 행의 1차원 패턴 이미지(LI1)과 제2 행의 1차원 패턴 이미지(LI2)의 각각에서 켜진 화소와 꺼진 화소가 서로 명확하게 분리되지 않고 서로 연결되므로, 연속적인 목표 패턴도 노광할 수 있다.
한편, 상기 도 5 내지 도 7에 도시된 다른 실시예와 달리, 2차원 패턴 이미지가 포커싱되는 포커싱 방향과 디지털 미러 소자의 화소 회전축이 서로 평행하도록 디지털 미러 소자가 배치되는 다른 실시예도 가능하다.
이하에서, 도 10 및 도 11을 참고하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템에 대해 상세히 설명한다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 디지털 미러 소자의 화소 회전축이 서로 수직인 상태를 설명하는 도면이고, 도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 디지털 미러 소자의 화소 회전축이 서로 평행한 상태를 설명하는 도면이다.
도 11에 도시된 다른 실시예는 도 5 내지 도 7에 도시된 다른 실시예와 비교하여 디지털 미러 소자의 배치 방향만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 디지털 미러 소자(200)는 화소 회전축(RA)을 기준으로 회전하는 복수의 화소 미러(210)를 포함할 수 있다. 디지털 미러 소자(200)는 행열로 배열된 복수의 화소 미러(210)를 화소 회전축(RA)을 기준으로 회전하여 광을 반사함으로써, 2차원 패턴 이미지(PI)를 형성할 수 있다.
이 때, 2차원 패턴 이미지(PI)의 포커싱 방향(FA)과 기판(10)의 스캔 방향(X)이 서로 평행한 경우에, 디지털 미러 소자(200)와 기판(10)의 배치 방향에 의해 2차원 패턴 이미지(PI)의 포커싱 방향(FA)과 화소 회전축(RA)이 서로 제2 경사각(q2)을 가질 수 있다. 이 경우, 복수의 화소 미러(210) 사이에 단차가 발생하여 1차원 패턴 이미지(LI)의 선명도가 저하될 수 있다.
그러나, 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지(PI)의 포커싱 방향(FA)과 기판(10)의 스캔 방향(X)이 서로 평행한 경우에, 2차원 패턴 이미지(PI)의 포커싱 방향(FA)과 화소 회전축(RA)은 서로 평행할 수 있다. 이 경우, 복수의 화소 미러(210) 사이에 단차가 발생하지 않으므로, 1차원 패턴 이미지(LI)의 선명도가 향상될 수 있다.
그리고, 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템은 회절 보상부(500)를 포함하므로, 0차 이상의 고차 회절 광(2)을 차단하여 선명한 1차원 선형 이미지를 형성할 수 있다. 이 때, 회절 보상부(500)에 의해 복수의 화소 미러(210) 중 일부에 의한 고차 회절 광(2)은 차단되므로, 복수의 화소 미러(210) 중 중앙 영역(UA)에 위치하는 화소 미러(210)만을 사용할 수 있다. 따라서, 광원(100)에서 출사되는 광 중 중앙 영역(UA)에 위치하는 화소 미러(210)에 대응하는 광만을 출사시킴으로써, 사용되는 노광 에너지를 최소화할 수 있다.
한편, 상기 도 11에 도시된 다른 실시예와 달리, 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 기판의 스캔 방향이 0도 보다 크고 45도 보다 작은 제1 경사각을 가지면서, 2차원 패턴 이미지가 포커싱되는 포커싱 방향과 디지털 미러 소자의 화소 회전축이 제1 경사각을 가지도록 디지털 미러 소자가 배치되는 다른 실시예도 가능하다.
이하에서, 도 12를 참고하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템에 대해 상세히 설명한다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 기판의 스캔 방향이 0도 보다 크고 45도 보다 작은 제1 경사각을 가지면서, 2차원 패턴 이미지의 포커싱 방향과 디지털 미러 소자의 화소 회전축이 제1 경사각을 가지는 상태를 설명하는 도면이다.
도 12에 도시된 다른 실시예는 도 11에 도시된 다른 실시예와 비교하여 디지털 미러 소자의 배치 방향만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.
도 12에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템의 2차원 패턴 이미지(PI)의 포커싱 방향(FA)과 기판(10)의 스캔 방향(X)이 0도 보다 크고 45도 보다 작은 제1 경사각(q1)을 가지므로, 서로 인접하는 1차원 패턴 이미지(LI)들에서 켜진 화소와 꺼진 화소가 서로 명확하게 분리되지 않고 서로 연결되므로, 연속적인 목표 패턴도 노광할 수 있다.
또한, 2차원 패턴 이미지(PI)의 포커싱 방향(FA)과 디지털 미러 소자의 화소 회전축(RA)이 제1 경사각(q1)을 가질 수 있다. 이 경우, 복수의 화소 미러(210) 사이에 단차가 최소화되므로, 1차원 패턴 이미지(LI)의 선명도의 저하를 최소화시킬 수 있다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.

Claims (10)

  1. 기판에 광을 조사하는 광원;
    상기 광원에서 출사된 광을 선택적으로 투과시켜 2차원 패턴 이미지를 형성하는 디지털 미러 소자;
    상기 2차원 패턴 이미지를 1차원 패턴 이미지로 변조하는 광학계;
    상기 기판의 위치를 조절하여 상기 기판 위의 감광막에 상기 1차원 패턴 이미지를 연속적으로 스캔 노광하는 기판 스캐너
    를 포함하고,
    상기 2차원 패턴 이미지는 상기 기판의 스캔 방향에 수평한 방향으로는 균일한 이미지를 가지고, 상기 기판의 스캔 방향에 수직한 방향으로는 목표 패턴의 이미지를 가지는 디지털 노광 시스템.
  2. 제1항에서,
    상기 광학계는
    복수의 프로젝션 렌즈, 그리고
    상기 프로젝션 렌즈와 상기 기판 사이에 위치하는 실린드리컬 렌즈
    를 포함하는 디지털 노광 시스템.
  3. 제2항에서,
    상기 2차원 패턴 이미지는
    상기 기판의 스캔 방향에 수평한 방향으로 포커싱되고,
    상기 기판의 스캔 방향에 수직한 방향으로 이미징되어 상기 1차원 패턴 이미지로 변조되는 디지털 노광 시스템.
  4. 제3항에서,
    상기 광학계에 설치되어 상기 기판의 스캔 방향으로 회절되는 광을 보상하는 회절 보상부를 더 포함하는 디지털 노광 시스템.
  5. 제4항에서,
    상기 회절 보상부는 상기 광학계의 복수의 프로젝션 렌즈 사이에 위치하는 디지털 노광 시스템.
  6. 제5항에서,
    상기 회절 보상부는 상기 복수의 프로젝션 렌즈 사이 중 상기 광이 포커싱되는 포커싱 포인트에 대응하여 설치되는 디지털 노광 시스템.
  7. 제4항에서,
    상기 회절 보상부는 슬릿 또는 조리개를 포함하는 디지털 노광 시스템.
  8. 제4항에서,
    상기 2차원 패턴 이미지가 포커싱되는 포커싱 방향과 상기 기판의 스캔 방향은 0도 보다 크고 45도 보다 작은 제1 경사각을 가지는 디지털 노광 시스템.
  9. 제8항에서,
    상기 디지털 미러 소자는 화소 회전축을 기준으로 회전하는 복수의 화소 미러를 포함하고,
    상기 2차원 패턴 이미지가 포커싱되는 포커싱 방향과 상기 화소 회전축은 서로 평행한 디지털 노광 시스템.
  10. 제8항에서,
    상기 디지털 미러 소자는 화소 회전축을 기준으로 회전하는 복수의 화소 미러를 포함하고,
    상기 2차원 패턴 이미지가 포커싱되는 포커싱 방향과 상기 화소 회전축은 상기 제1 경사각을 가지는 디지털 노광 시스템.
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