WO2023163101A1 - Laminate, wiring substate, and method for fabricating wiring substrate - Google Patents

Laminate, wiring substate, and method for fabricating wiring substrate Download PDF

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Abstract

The present invention addresses the problem of providing a laminate that has a low dielectric loss tangent and, when being laminated on a substrate having wiring, achieves excellent suppression of wiring misalignment. The present invention also addresses the problem of providing a wiring substrate including said laminate and a method for fabricating the wiring substrate. The laminate according to the present invention comprises a layer A containing a liquid crystal polymer and a layer B disposed on at least one of the surfaces of the layer A. The layer A has an area of 0.2 J/g or greater at a melting peak measured using differential scanning calorimetry. The layer B has an elastic modulus of 500 MPa or less at a temperature of 160°C.

Description

積層体、配線基板、配線基板の製造方法LAMINATED BOARD, WIRING BOARD, AND METHOD FOR MANUFACTURING WIRING BOARD
 本発明は、積層体、配線基板、及び、配線基板の製造方法に関する。 The present invention relates to a laminate, a wiring board, and a method for manufacturing a wiring board.
 次世代通信技術とされる第5世代(5G)移動通信システムには、従来以上の高周波数帯域が用いられる。そのため、5G移動通信システムのための回路基板用のフィルム基材には、高周波数帯域での伝送損失を低減させる観点から、誘電正接がより低い基材が求められており、種々の素材による基材の開発が進められている。 The 5th generation (5G) mobile communication system, which is considered to be the next generation communication technology, uses a higher frequency band than before. Therefore, film substrates for circuit boards for 5G mobile communication systems are required to have a lower dielectric loss tangent from the viewpoint of reducing transmission loss in high frequency bands. Material development is underway.
 例えば、特許文献1には、導体層と熱圧着した後の靱性が所定の範囲にある熱可塑性液晶ポリマーフィルム、並びに、熱可塑性液晶ポリマーフィルムと導体層とを積層してなる回路基板が記載されている。 For example, Patent Document 1 describes a thermoplastic liquid crystal polymer film having a toughness within a predetermined range after thermocompression bonding with a conductor layer, and a circuit board formed by laminating a thermoplastic liquid crystal polymer film and a conductor layer. ing.
国際公開第2016/174868号WO2016/174868
 液晶ポリマーフィルムと配線とを有する配線基板に対して、高周波回路基板に用いる際の高周波数帯域での伝送損失の更なる低減の観点から、配線間の部材における誘電正接のより一層の低減が求められている。
 本発明者は、特許文献1に記載の技術を参照しながら、液晶ポリマーフィルム等の基材と配線とを有する配線基板において誘電正接を低減する技術について検討したところ、用いられる液晶ポリマーフィルムによっては誘電正接を低減できる可能性がある一方で、そのような液晶ポリマーフィルムを配線に張り合わせる際、配線の位置が所望の位置に対してずれる現象(以下、「配線ずれ」ともいう。)が生じる傾向があることがわかり、更なる技術の改善の余地があることを知見した。
From the viewpoint of further reducing the transmission loss in the high frequency band when using a wiring board having a liquid crystal polymer film and wiring in a high frequency circuit board, further reduction of the dielectric loss tangent in the member between the wiring is required. It is
The inventors of the present invention have studied a technique for reducing the dielectric loss tangent in a wiring board having a base material such as a liquid crystal polymer film and wiring while referring to the technique described in Patent Document 1. As a result, depending on the liquid crystal polymer film used, While it is possible to reduce the dielectric loss tangent, when laminating such a liquid crystal polymer film to wiring, a phenomenon occurs in which the position of the wiring is displaced from the desired position (hereinafter also referred to as "wiring displacement"). It was found that there is a tendency, and that there is room for further technical improvement.
 本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、誘電正接が低く、かつ、配線付き基材と張り合わせた際の配線の位置ずれを抑制する性能に優れる積層体を提供することを課題とする。
 また、本発明は、上記積層体を有する配線基板、及び、配線基板の製造方法を提供することを課題とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a laminate having a low dielectric loss tangent and excellent performance in suppressing displacement of wiring when laminated with a base material with wiring. and
Another object of the present invention is to provide a wiring board having the laminate and a method for manufacturing the wiring board.
 本発明者らは、上記課題について鋭意検討した結果、以下の構成により上記課題を解決できることを見出した。 As a result of earnestly examining the above problem, the inventors found that the above problem can be solved by the following configuration.
〔1〕液晶ポリマーを含む層Aと、上記層Aの少なくとも一方の表面上に配置される層Bとを有し、上記層Aの示差走査熱量分析により測定される融解ピークの面積が0.2J/g以上であり、上記層Bの160℃における弾性率が500MPa以下である、積層体。
〔2〕上記液晶ポリマーが、ジカルボン酸に由来する繰り返し単位を2種以上含む、〔1〕に記載の積層体。
〔3〕上記液晶ポリマーが、6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸に由来する繰り返し単位、芳香族ジオールに由来する繰り返し単位、テレフタル酸に由来する繰り返し単位、及び、2,6-ナフタレンジカルボン酸に由来する繰り返し単位からなる群より選ばれる少なくとも1つを有する、〔1〕又は〔2〕に記載の積層体。
〔4〕上記層Bの厚みが5~30μmである、〔1〕~〔3〕のいずれかに記載の積層体。
〔5〕上記層Bが、熱可塑性樹脂を含む、〔1〕~〔4〕のいずれかに記載の積層体。
〔6〕上記層Bが、熱可塑性樹脂及び反応性化合物を含む組成物を用いて形成された層であり、上記反応性化合物の含有量が、上記組成物の全質量に対して5~20質量%である、〔5〕に記載の積層体。
〔7〕上記層Aと上記層Bとの間に、中間層を更に有する、〔1〕~〔6〕のいずれかに記載の積層体。
〔8〕〔1〕~〔7〕のいずれかに記載の積層体と、基材及び配線を有する配線付き基材とを有する、配線基板。
〔9〕上記配線の厚さが5~40μmである、〔8〕に記載の配線基板。
〔10〕〔1〕~〔7〕のいずれかに記載の積層体と、基材及び配線を有する配線付き基材とを、上記積層体の層Bと上記配線が対向するように張り合わせ、張り合わせた上記積層体及び上記配線付き基材を熱圧着して配線基板を製造する、配線基板の製造方法。
[1] It has a layer A containing a liquid crystal polymer and a layer B arranged on at least one surface of the layer A, and the area of the melting peak of the layer A measured by differential scanning calorimetry is 0.5. 2 J/g or more, and the layer B has an elastic modulus at 160° C. of 500 MPa or less.
[2] The laminate according to [1], wherein the liquid crystal polymer contains two or more repeating units derived from a dicarboxylic acid.
[3] The liquid crystal polymer contains repeating units derived from 6-hydroxy-2-naphthoic acid, repeating units derived from an aromatic diol, repeating units derived from terephthalic acid, and derived from 2,6-naphthalenedicarboxylic acid. The laminate according to [1] or [2], which has at least one selected from the group consisting of repeating units.
[4] The laminate according to any one of [1] to [3], wherein the layer B has a thickness of 5 to 30 μm.
[5] The laminate according to any one of [1] to [4], wherein the layer B contains a thermoplastic resin.
[6] The layer B is a layer formed using a composition containing a thermoplastic resin and a reactive compound, and the content of the reactive compound is 5 to 20 with respect to the total mass of the composition. The laminate according to [5], which is % by mass.
[7] The laminate according to any one of [1] to [6], further comprising an intermediate layer between the layer A and the layer B.
[8] A wiring board comprising the laminate according to any one of [1] to [7], and a wiring-attached base material having a base material and wiring.
[9] The wiring board according to [8], wherein the wiring has a thickness of 5 to 40 μm.
[10] The laminate according to any one of [1] to [7] and a substrate with wiring having a substrate and wiring are laminated so that the layer B of the laminate and the wiring are opposed to each other, and are laminated. A method for manufacturing a wiring substrate, wherein the wiring substrate is manufactured by thermocompression bonding the laminate and the base material with wiring.
 本発明によれば、誘電正接が低く、かつ、配線付き基材と張り合わせた際の配線の位置ずれを抑制する性能に優れる積層体を提供できる。また、本発明によれば、積層体を有する配線基板、及び、配線基板の製造方法を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a laminate having a low dielectric loss tangent and excellent performance in suppressing positional displacement of wiring when laminated with a base material with wiring. Further, according to the present invention, it is possible to provide a wiring board having a laminate and a method for manufacturing the wiring board.
 以下、本発明について詳細に説明する。
 以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされる場合があるが、本発明はそのような実施態様に制限されない。
 本明細書中において「有機基」とは、少なくとも1個の炭素原子を含む基をいう。
The present invention will be described in detail below.
The description of the constituent elements described below may be made based on representative embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to such embodiments.
As used herein, the term "organic group" refers to a group containing at least one carbon atom.
 本明細書において、積層体等のフィルム状部材が長尺状である場合、幅方向とは、フィルム状部材の短手方向及びTD(transverse direction)方向を意味し、長さ方向とは、フィルム状部材の長手方向及びMD(machine direction)方向を意味する。
 本明細書において、各成分は、各成分に該当する物質を1種単独で使用してよく、2種以上を使用してもよい。ここで、各成分について2種以上の物質を使用する場合、その成分についての含有量とは、特段の断りが無い限り、2種以上の物質の合計含有量を指す。
 本明細書において、「~」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。
 本明細書において、温度23℃及び周波数28GHzの条件下で測定される誘電正接を、「標準誘電正接」とも記載する。
In this specification, when a film-like member such as a laminate is long, the width direction means the width direction and the TD (transverse direction) direction of the film-like member, and the length direction means the film. means the longitudinal direction and the MD (machine direction) direction of the shaped member.
In this specification, for each component, one type of substance corresponding to each component may be used alone, or two or more types may be used. Here, when two or more substances are used for each component, the content of that component refers to the total content of the two or more substances unless otherwise specified.
In the present specification, the term "~" is used to include the numerical values before and after it as lower and upper limits.
In this specification, the dielectric loss tangent measured under conditions of a temperature of 23° C. and a frequency of 28 GHz is also referred to as “standard dielectric loss tangent”.
[積層体]
 本発明の積層体は、液晶ポリマーを含む層Aと、層Aの少なくとも一方の表面上に配置される層Bとを有し、層Aの示差走査熱量分析(DSC:Differential scanning calorimetry)により測定される融解ピークの面積(以下、「融解ピーク面積」ともいう。)が0.2J/g以上であり、かつ、層Bの160℃における弾性率が500MPa以下であることを特徴とする。
[Laminate]
The laminate of the present invention has a layer A containing a liquid crystal polymer and a layer B disposed on at least one surface of layer A, and measured by differential scanning calorimetry (DSC) of layer A. The melting peak area (hereinafter also referred to as “melting peak area”) is 0.2 J/g or more, and the elastic modulus of layer B at 160° C. is 500 MPa or less.
 液晶ポリマーを含み、所定の融解ピーク面積を有する層Aと、所定の高温条件下での弾性率を有する層Bとを有する積層体により、本発明の課題が解決される詳細なメカニズムは明らかになっていないが、本発明者らは、以下のとおり推測している。
 即ち、融解ピーク面積が所定の範囲にあり、配線基板の伝送損失の低減に寄与し得る液晶ポリマーフィルムは、結晶性が高い傾向にあるため、基材上に配置された配線と張り合わせる際、熱圧着時の圧力、及び、配線の形状に起因して、面内方向に沿って配線ずれが起きることがある。それに対して、160℃の高温条件における弾性率が500MPa以下である層Bを表面に設けることにより、配線に張り合わせる際、層Bが適宜変形することで配線の変位を抑制し、面内方向の配線ずれを抑制するものと推測される。また、所定値以上の融解ピーク面積を有する層Aがコア層として存在することにより、積層体全体の誘電正接が低く抑制される。これにより、配線上に張り合わせた際の配線ずれを抑制する性能に優れ、かつ、積層体全体の誘電正接が低く抑制された積層基材が得られるものと考えられる。
The detailed mechanism by which the problems of the present invention are solved by a laminate having a layer A containing a liquid crystal polymer and having a predetermined melting peak area and a layer B having a predetermined elastic modulus under high temperature conditions is clarified. Although not true, the present inventors presume as follows.
That is, the liquid crystal polymer film, which has a melting peak area within a predetermined range and can contribute to reducing the transmission loss of the wiring substrate, tends to have high crystallinity. Wiring displacement may occur along the in-plane direction due to the pressure during thermocompression bonding and the shape of the wiring. On the other hand, by providing the layer B having an elastic modulus of 500 MPa or less at a high temperature of 160° C. on the surface, the layer B is appropriately deformed when attached to the wiring, thereby suppressing the displacement of the wiring and suppressing the displacement of the wiring in the in-plane direction. is presumed to suppress the wiring misalignment. In addition, since the layer A having a melting peak area equal to or larger than a predetermined value exists as a core layer, the dielectric loss tangent of the entire laminate is suppressed to be low. As a result, it is believed that a laminated base material can be obtained that is excellent in performance of suppressing wiring deviation when laminated on wiring, and in which the dielectric loss tangent of the entire laminated body is suppressed to be low.
 本明細書において、積層体の誘電正接が優れ、かつ/又は、配線付き基材と張り合わせた際の配線の位置ずれを抑制する性能(以下、「配線ずれ抑制性能」ともいう。)が優れる場合、「本発明の効果が優れる」とも記載する。
 以下、本発明の積層体について、詳細に説明する。
In the present specification, when the dielectric loss tangent of the laminate is excellent and/or the performance of suppressing misalignment of wiring when laminated with a substrate with wiring (hereinafter also referred to as “wiring misalignment suppression performance”) is excellent. , "The effect of the present invention is excellent" is also described.
The laminate of the present invention will be described in detail below.
〔層A〕
 本発明の積層体は、液晶ポリマーを含み、かつ、融解ピーク面積が0.2J/g以上である層Aを有する。
 以下、層Aについて、層Aの構成成分及び物性の順に説明する。
[Layer A]
The laminate of the present invention has a layer A containing a liquid crystal polymer and having a melting peak area of 0.2 J/g or more.
Hereinafter, the layer A will be described in order of the constituent components and physical properties of the layer A.
<構成成分>
(液晶ポリマー)
 層Aに含まれる液晶ポリマーは特に制限されず、例えば、溶融成形可能な液晶ポリマーが挙げられる。
 液晶ポリマーとしては、サーモトロピック液晶ポリマーが好ましい。サーモトロピック液晶ポリマーは、所定の温度範囲で加熱したとき溶融状態で液晶性を示すポリマーを意味する。
 サーモトロピック液晶ポリマーは、溶融成形できる液晶ポリマーであればその化学的組成については特に制限されず、例えば、熱可塑性液晶ポリエステル、及び、熱可塑性液晶ポリエステルにアミド結合が導入された熱可塑性ポリエステルアミドが挙げられる。
 液晶ポリマーとしては、例えば、国際公開第2015/064437号明細書、及び、特開2019-116586号公報に記載の熱可塑性液晶ポリマーを使用できる。
<Constituent>
(liquid crystal polymer)
The liquid crystal polymer contained in Layer A is not particularly limited, and examples thereof include melt-moldable liquid crystal polymers.
As the liquid crystal polymer, a thermotropic liquid crystal polymer is preferred. A thermotropic liquid crystal polymer means a polymer that exhibits liquid crystallinity in a molten state when heated within a predetermined temperature range.
The thermotropic liquid crystal polymer is not particularly limited in terms of its chemical composition as long as it is a liquid crystal polymer that can be melt-molded. mentioned.
As the liquid crystal polymer, for example, thermoplastic liquid crystal polymers described in WO 2015/064437 and JP 2019-116586 can be used.
 より具体的な液晶ポリマーとしては、芳香族ヒドロキシカルボン酸、芳香族もしくは脂肪族ジオール、芳香族もしくは脂肪族ジカルボン酸、芳香族ジアミン、芳香族ヒドロキシアミン、及び、芳香族アミノカルボン酸からなる群より選ばれる少なくとも1つに由来する繰り返し単位を有する、熱可塑性液晶ポリエステル又は熱可塑性液晶ポリエステルアミドが挙げられる。 More specific liquid crystal polymers are selected from the group consisting of aromatic hydroxycarboxylic acids, aromatic or aliphatic diols, aromatic or aliphatic dicarboxylic acids, aromatic diamines, aromatic hydroxylamines, and aromatic aminocarboxylic acids. A thermoplastic liquid crystalline polyester or a thermoplastic liquid crystalline polyester amide having a repeating unit derived from at least one selected is exemplified.
 芳香族ヒドロキシカルボン酸としては、パラヒドロキシ安息香酸、メタヒドロキシ安息香酸、6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸、及び、4-(4-ヒドロキシフェニル)安息香酸が挙げられる。これらの化合物は、ハロゲン原子、低級アルキル基及びフェニル基等の置換基を有してもよい。なかでも、パラヒドロキシ安息香酸、又は、6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸が好ましい。
 芳香族又は脂肪族ジオールとしては、芳香族ジオールが好ましい。芳香族ジオールとしては、ヒドロキノン、4,4’-ジヒドロキシビフェニル、3,3’-ジメチル-1,1’-ビフェニル-4,4’-ジオール及びこれらのアシル化物が挙げられ、ヒドロキノン又は4,4’-ジヒドロキシビフェニルが好ましい。
 芳香族もしくは脂肪族ジカルボン酸としては、芳香族ジカルボン酸が好ましい。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、イソフタル酸、及び、2,6-ナフタレンジカルボン酸が挙げられ、テレフタル酸が好ましい。
 芳香族ジアミン、芳香族ヒドロキシアミン、及び、芳香族アミノカルボン酸としては、例えば、p-フェニレンジアミン、4-アミノフェノール、及び、4-アミノ安息香酸が挙げられる。
Aromatic hydroxycarboxylic acids include parahydroxybenzoic acid, metahydroxybenzoic acid, 6-hydroxy-2-naphthoic acid, and 4-(4-hydroxyphenyl)benzoic acid. These compounds may have substituents such as halogen atoms, lower alkyl groups and phenyl groups. Among them, parahydroxybenzoic acid or 6-hydroxy-2-naphthoic acid is preferred.
Aromatic diols are preferred as aromatic or aliphatic diols. Aromatic diols include hydroquinone, 4,4′-dihydroxybiphenyl, 3,3′-dimethyl-1,1′-biphenyl-4,4′-diol and acylates thereof, and hydroquinone or 4,4 '-Dihydroxybiphenyl is preferred.
Aromatic dicarboxylic acids are preferred as aromatic or aliphatic dicarboxylic acids. Aromatic dicarboxylic acids include terephthalic acid, isophthalic acid, and 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, with terephthalic acid being preferred.
Aromatic diamines, aromatic hydroxylamines, and aromatic aminocarboxylic acids include, for example, p-phenylenediamine, 4-aminophenol, and 4-aminobenzoic acid.
 液晶ポリマーは、上記の繰り返し単位のうち、ジカルボン酸(芳香族又は脂肪族ジカルボン酸)に由来する繰り返し単位を含むことが好ましく、本発明の効果がより優れる点で、ジカルボン酸に由来する繰り返し単位を2種以上含むことがより好ましい。この場合のジカルボン酸としては、上記の芳香族ジカルボン酸が好ましく、テレフタル酸、イソフタル酸、又は、2,6-ナフタレンジカルボン酸がより好ましい。 Among the above repeating units, the liquid crystal polymer preferably contains a repeating unit derived from a dicarboxylic acid (aromatic or aliphatic dicarboxylic acid). It is more preferable to include two or more of As the dicarboxylic acid in this case, the aromatic dicarboxylic acid described above is preferable, and terephthalic acid, isophthalic acid, or 2,6-naphthalenedicarboxylic acid is more preferable.
 また、液晶ポリマーは、下記式(1)~式(3)で表される繰り返し単位からなる群より選択される少なくとも1つを有することが好ましい。
  -O-Ar1-CO-  (1)
  -CO-Ar2-CO-  (2)
  -X-Ar3-Y-  (3)
 式(1)中、Ar1は、フェニレン基、ナフチレン基又はビフェニリレン基を表す。
 式(2)中、Ar2は、フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニリレン基又は下記式(4)で表される基を表す。
 式(3)中、Ar3は、フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニリレン基又は下記式(4)で表される基を表し、X及びYはそれぞれ独立に、酸素原子又はイミノ基を表す。
  -Ar4-Z-Ar5-  (4)
 式(4)中、Ar4及びAr5はそれぞれ独立に、フェニレン基又はナフチレン基を表し、Zは、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、スルホニル基又はアルキレン基を表す。
 上記フェニレン基、上記ナフチレン基及び上記ビフェニリレン基は、ハロゲン原子、アルキル基及びアリール基からなる群より選択される置換基を有していてもよい。
Moreover, the liquid crystal polymer preferably has at least one selected from the group consisting of repeating units represented by the following formulas (1) to (3).
-O-Ar1-CO- (1)
-CO-Ar2-CO- (2)
-X-Ar3-Y- (3)
In formula (1), Ar1 represents a phenylene group, naphthylene group or biphenylylene group.
In formula (2), Ar2 represents a phenylene group, a naphthylene group, a biphenylylene group, or a group represented by formula (4) below.
In formula (3), Ar3 represents a phenylene group, a naphthylene group, a biphenylylene group, or a group represented by the following formula (4), and X and Y each independently represent an oxygen atom or an imino group.
-Ar4-Z-Ar5- (4)
In formula (4), Ar4 and Ar5 each independently represent a phenylene group or a naphthylene group, and Z represents an oxygen atom, a sulfur atom, a carbonyl group, a sulfonyl group or an alkylene group.
The phenylene group, the naphthylene group and the biphenylene group may have substituents selected from the group consisting of halogen atoms, alkyl groups and aryl groups.
 なかでも、液晶ポリマーは、上記式(1)で表される芳香族ヒドロキシカルボン酸に由来する繰り返し単位、上記式(3)で表され、X及びYがいずれも酸素原子である芳香族ジオールに由来する繰り返し単位、及び、上記式(2)で表される芳香族ジカルボン酸に由来する繰り返し単位からなる群より選ばれる少なくとも1つを有することが好ましい。
 また、液晶ポリマーは、芳香族ヒドロキシカルボン酸に由来する繰り返し単位を少なくとも有することがより好ましく、パラヒドロキシ安息香酸に由来する繰り返し単位、及び、6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸に由来する繰り返し単位からなる群より選ばれる少なくとも1つを有することが更に好ましく、パラヒドロキシ安息香酸に由来する繰り返し単位、及び、6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸に由来する繰り返し単位を有することが特に好ましい。
Among them, the liquid crystal polymer is a repeating unit derived from an aromatic hydroxycarboxylic acid represented by the above formula (1), and an aromatic diol represented by the above formula (3) in which both X and Y are oxygen atoms. It preferably has at least one selected from the group consisting of a repeating unit derived from the compound and a repeating unit derived from the aromatic dicarboxylic acid represented by the above formula (2).
Further, the liquid crystal polymer more preferably has at least a repeating unit derived from an aromatic hydroxycarboxylic acid, and a repeating unit derived from parahydroxybenzoic acid and a repeating unit derived from 6-hydroxy-2-naphthoic acid. It is more preferable to have at least one selected from the group consisting of, and it is particularly preferable to have a repeating unit derived from parahydroxybenzoic acid and a repeating unit derived from 6-hydroxy-2-naphthoic acid.
 また、他の好ましい態様として、本発明の効果がより優れる点で、液晶ポリマーは、6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸に由来する繰り返し単位、芳香族ジオールに由来する繰り返し単位、テレフタル酸に由来する繰り返し単位、及び、2,6-ナフタレンジカルボン酸に由来する繰り返し単位からなる群より選ばれる少なくとも1つを有することがより好ましく、6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸に由来する繰り返し単位、芳香族ジオールに由来する繰り返し単位、テレフタル酸に由来する繰り返し単位、及び、2,6-ナフタレンジカルボン酸に由来する繰り返し単位をすべて有することが、更に好ましい。 In another preferred embodiment, the effects of the present invention are more excellent, and the liquid crystal polymer includes repeating units derived from 6-hydroxy-2-naphthoic acid, repeating units derived from an aromatic diol, and repeating units derived from terephthalic acid. It is more preferable to have at least one selected from the group consisting of repeating units and repeating units derived from 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, repeating units derived from 6-hydroxy-2-naphthoic acid, aromatic diols It is more preferable to have all repeating units derived from , repeating units derived from terephthalic acid, and repeating units derived from 2,6-naphthalenedicarboxylic acid.
 液晶ポリマーが芳香族ヒドロキシカルボン酸に由来する繰り返し単位を含む場合、その組成比は、液晶ポリマーの全繰り返し単位に対して50~65モル%が好ましい。また、液晶ポリマーが、芳香族ヒドロキシカルボン酸に由来する繰り返し単位のみを有することも好ましい。
 液晶ポリマーが芳香族ジオールに由来する繰り返し単位を含む場合、その組成比は、液晶ポリマーの全繰り返し単位に対して17.5~25モル%が好ましい。
 液晶ポリマーが芳香族ジカルボン酸に由来する繰り返し単位を含む場合、その組成比は、液晶ポリマーの全繰り返し単位に対して11~23モル%が好ましい。
 液晶ポリマーが芳香族ジアミン、芳香族ヒドロキシアミン及び芳香族アミノカルボン酸のいずれかに由来する繰り返し単位を含む場合、その組成比は、液晶ポリマーの全繰り返し単位に対して2~8モル%が好ましい。
When the liquid crystal polymer contains repeating units derived from an aromatic hydroxycarboxylic acid, the composition ratio thereof is preferably 50 to 65 mol % with respect to all repeating units of the liquid crystal polymer. It is also preferred that the liquid crystal polymer has only repeating units derived from aromatic hydroxycarboxylic acid.
When the liquid crystal polymer contains repeating units derived from an aromatic diol, the composition ratio thereof is preferably 17.5 to 25 mol % with respect to all repeating units of the liquid crystal polymer.
When the liquid crystal polymer contains repeating units derived from an aromatic dicarboxylic acid, the composition ratio thereof is preferably 11 to 23 mol % with respect to all repeating units of the liquid crystal polymer.
When the liquid crystal polymer contains repeating units derived from any one of an aromatic diamine, an aromatic hydroxylamine and an aromatic aminocarboxylic acid, the composition ratio thereof is preferably 2 to 8 mol% with respect to all repeating units of the liquid crystal polymer. .
 液晶ポリマーの合成方法は特に制限されず、上記化合物を、溶融重合、固相重合、溶液重合及びスラリー重合等の公知の方法で重合することにより、合成できる。
 液晶ポリマーとしては、市販品を用いてもよい。液晶ポリマーの市販品としては、例えば、ポリプラスチックス株式会社製「ラペロス」、セラニーズ社製「ベクトラ」、上野製薬株式会社製「UENO LCP」、住友化学株式会社製「スミカスーパーLCP」、ENEOS株式会社製「ザイダー」、及び、東レ株式会社製「シベラス」が挙げられる。
 なお、液晶ポリマーは、層A内において、任意成分である架橋剤又は相溶成分(反応性相溶化剤)等と、化学結合を形成していてもよい。この点は、液晶ポリマー以外の成分についても同様である。
The method for synthesizing the liquid crystal polymer is not particularly limited, and the compound can be synthesized by polymerizing the above compounds by known methods such as melt polymerization, solid phase polymerization, solution polymerization and slurry polymerization.
A commercially available product may be used as the liquid crystal polymer. Examples of commercial products of liquid crystal polymers include "Laperos" manufactured by Polyplastics Co., Ltd., "Vectra" manufactured by Celanese, "UENO LCP" manufactured by Ueno Pharmaceutical Co., Ltd., "Sumika Super LCP" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., and ENEOS Co., Ltd. "Zeidar" manufactured by the company and "Siveras" manufactured by Toray Industries, Inc. can be mentioned.
In the layer A, the liquid crystal polymer may form a chemical bond with an optional component such as a cross-linking agent or a compatible component (reactive compatibilizer). This point also applies to components other than the liquid crystal polymer.
 標準誘電正接が低減された積層体を容易に製造できる点で、液晶ポリマーの標準誘電正接は、0.002未満が好ましく、0.0015以下がより好ましく、0.001以下が更に好ましい。下限値は特に制限されず、例えば、0.0001以上であってよい。
 なお、層Aが2種以上の液晶ポリマーを含む場合、「液晶ポリマーの誘電正接」は、2種以上の液晶ポリマーの誘電正接の質量平均値を意味する。
The standard dielectric loss tangent of the liquid crystal polymer is preferably less than 0.002, more preferably 0.0015 or less, and even more preferably 0.001 or less, in that a laminate with a reduced standard dielectric loss tangent can be easily produced. The lower limit is not particularly limited, and may be, for example, 0.0001 or more.
When the layer A contains two or more liquid crystal polymers, the "dielectric loss tangent of the liquid crystal polymer" means the mass average value of the dielectric loss tangents of the two or more liquid crystal polymers.
 層Aに含まれる液晶ポリマーの標準誘電正接は、下記の方法で測定できる。
 まず、層Aの全質量に対して1000質量倍の有機溶剤(例えば、ペンタフルオロフェノール)に浸漬した後、120℃で12時間加熱して、液晶ポリマーを含む有機溶剤可溶成分を、有機溶剤中に溶出させる。次いで、ろ過により液晶ポリマーを含む溶出液と非溶出成分とを分離する。続いて、溶出液に貧溶媒としてアセトンを加え、液晶ポリマーを析出させ、ろ過により析出物を分離する。
 得られた析出物をPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)製チューブ(外径2.5mm、内径1.5mm、長さ10mm)に充填し、空洞共振器(例えば、株式会社関東電子応用開発製「CP-531」)を用いて、温度23℃及び周波数28GHzの条件下、空洞共振器摂動法により誘電特性を測定し、PTFE製チューブ内の空隙の影響をBruggemanの式と空隙率で補正することで、液晶ポリマーの標準誘電正接が得られる。
 上記空隙率(チューブ内における空隙の体積率)は、以下のように算出される。上記チューブの内径及び長さから、チューブ内の空間の体積を求める。次いで、析出物を充填する前後のチューブの重さを測定して充填した析出物の質量を求めた後、得られた質量と析出物の比重から、充填した析出物の体積を求める。このようにして得られた析出物の体積を、上記で求めたチューブ内の空間の体積で割って、充填率を算出することにより、空隙率を算出できる。
 なお、液晶ポリマーの市販品を使用する場合、その市販品のカタログ値として記載されている誘電正接の数値を用いてもよい。
The standard dielectric loss tangent of the liquid crystal polymer contained in layer A can be measured by the following method.
First, after being immersed in an organic solvent (e.g., pentafluorophenol) that is 1000 times the total weight of the layer A, it is heated at 120° C. for 12 hours to remove the organic solvent-soluble components including the liquid crystal polymer from the organic solvent. dissolve in. Next, the eluate containing the liquid crystal polymer and the non-eluted components are separated by filtration. Subsequently, acetone is added as a poor solvent to the eluate to precipitate a liquid crystal polymer, and the precipitate is separated by filtration.
A PTFE (polytetrafluoroethylene) tube (outer diameter: 2.5 mm, inner diameter: 1.5 mm, length: 10 mm) is filled with the resulting precipitates, and a cavity resonator (for example, Kanto Denshi Applied Development Co., Ltd. “CP -531”), the dielectric properties were measured by the cavity resonator perturbation method under the conditions of a temperature of 23 ° C. and a frequency of 28 GHz, and the effect of the voids in the PTFE tube was corrected by the Bruggeman equation and the void ratio. , yielding the standard dielectric loss tangent of the liquid crystal polymer.
The porosity (volume ratio of voids in the tube) is calculated as follows. The volume of the space inside the tube is determined from the inner diameter and length of the tube. Next, after measuring the weight of the tube before and after filling with the precipitate to obtain the mass of the filled precipitate, the volume of the filled precipitate is obtained from the obtained mass and the specific gravity of the precipitate. The porosity can be calculated by dividing the volume of the precipitate thus obtained by the volume of the space in the tube obtained above to calculate the filling rate.
When a commercially available liquid crystal polymer is used, the value of the dielectric loss tangent listed as the catalog value of the commercially available product may be used.
 液晶ポリマーとしては、耐熱性がより優れる点で、融点Tmが250℃以上であることが好ましく、280℃以上であることがより好ましく、310℃以上であることが更に好ましい。
 液晶ポリマーの融点Tmの上限値は特に制限されないが、成形性がより優れる点で、400℃以下が好ましく、380℃以下がより好ましい。
 液晶ポリマーの融点Tmは、示差走査熱量計(株式会社島津製作所製「DSC-60A」)を用いて吸熱ピークが現れる温度を測定することにより、求めることができる。液晶ポリマーの市販品を使用する場合、その市販品のカタログ値として記載されている融点Tmを用いてもよい。
The liquid crystal polymer preferably has a melting point Tm of 250° C. or higher, more preferably 280° C. or higher, and even more preferably 310° C. or higher, in terms of better heat resistance.
Although the upper limit of the melting point Tm of the liquid crystal polymer is not particularly limited, it is preferably 400° C. or lower, more preferably 380° C. or lower, in terms of better moldability.
The melting point Tm of the liquid crystal polymer can be obtained by measuring the temperature at which the endothermic peak appears using a differential scanning calorimeter (“DSC-60A” manufactured by Shimadzu Corporation). When using a commercial product of liquid crystal polymer, the melting point Tm described as the catalog value of the commercial product may be used.
 液晶ポリマーの数平均分子量(Mn)は特に制限されないが、1万~60万が好ましく、3万~15万がより好ましい。
 本明細書において、液晶ポリマーを含むポリマー及び樹脂の数平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC:Gel Permeation Chromatography)により測定される、標準ポリスチレンの換算値である。GPCの測定は、下記の装置及び条件で実施できる。
 測定装置は東ソー株式会社製「HLC(登録商標)-8320GPC」を用い、カラムはTSKgel(登録商標)SuperHM-H(6.0mmID×15cm、東ソー株式会社製)を2本用いる。液晶ポリマーを溶解する溶媒(溶離液)としては、特に制限されないが、例えば、ペンタフルオロフェノール/クロロホルム=1/2(質量比)の混合溶液が挙げられる。測定条件としては、試料濃度を0.03質量%、流速を0.6ml/min、サンプル注入量を20μL及び測定温度を40℃とする。検出は、RI(示差屈折)検出器を用いて行う。
 検量線は、東ソー株式会社製の「標準試料TSK standard,polystyrene」:「F-40」、「F-20」、「F-4」、「F-1」、「A-5000」、「A-2500」、「A-1000」及び「n-プロピルベンゼン」の8サンプルから作成する。
Although the number average molecular weight (Mn) of the liquid crystal polymer is not particularly limited, it is preferably 10,000 to 600,000, more preferably 30,000 to 150,000.
In the present specification, the number average molecular weights of polymers and resins including liquid crystal polymers are converted values of standard polystyrene measured by Gel Permeation Chromatography (GPC). GPC measurement can be performed using the following apparatus and conditions.
"HLC (registered trademark)-8320GPC" manufactured by Tosoh Corporation is used as a measurement apparatus, and two columns of TSKgel (registered trademark) SuperHM-H (6.0 mm ID x 15 cm, manufactured by Tosoh Corporation) are used. A solvent (eluent) for dissolving the liquid crystal polymer is not particularly limited, but an example thereof is a mixed solution of pentafluorophenol/chloroform=1/2 (mass ratio). The measurement conditions are a sample concentration of 0.03% by mass, a flow rate of 0.6 ml/min, a sample injection volume of 20 μL, and a measurement temperature of 40°C. Detection is performed using an RI (differential refraction) detector.
The calibration curve is "Standard sample TSK standard, polystyrene" manufactured by Tosoh Corporation: "F-40", "F-20", "F-4", "F-1", "A-5000", "A -2500", "A-1000" and 8 samples of "n-propylbenzene".
 液晶ポリマーは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
 液晶ポリマーの含有量は、本発明の効果がより優れる点で、層Aの全質量に対して50質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましく、90質量%以上が更に好ましい。上限は特に制限されず、100質量%であってもよい。
 なお、層Aにおける液晶ポリマー及び後述の成分の含有量は、赤外分光法及びガスクロマトグラフィー質量分析等の公知の方法で測定できる。
A liquid crystal polymer may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.
The content of the liquid crystal polymer is preferably 50% by mass or more, more preferably 80% by mass or more, and even more preferably 90% by mass or more, based on the total mass of the layer A, from the viewpoint that the effects of the present invention are more excellent. The upper limit is not particularly limited, and may be 100% by mass.
The contents of the liquid crystal polymer and components described later in Layer A can be measured by known methods such as infrared spectroscopy and gas chromatography-mass spectrometry.
(任意成分)
 層Aは、液晶ポリマー以外の任意成分を含んでいてもよい。任意成分としては、相溶成分、熱安定剤、及び、後述する添加剤が挙げられる。
(Optional component)
Layer A may contain optional components other than the liquid crystal polymer. Optional components include compatible components, heat stabilizers, and additives described later.
-相溶成分-
 相溶成分としては、例えば、液晶ポリマーに対して相溶性又は親和性が高い部分を有する重合体(非反応性相溶化剤)、及び、液晶ポリマーの末端のフェノール性水酸基又はカルボキシ基に対する反応性基を有する重合体(反応性相溶化剤)が挙げられる。
 反応性相溶化剤が有する反応性基としては、エポキシ基、又は、無水マレイン酸基が好ましい。
 相溶成分としては、ポリオレフィンに対して相溶性又は親和性が高い部分を有する共重合体が好ましい。また、フィルムがポリオレフィン及び相溶成分を含む場合、相溶成分としては、ポリオレフィンを微分散化できる点で、反応性相溶化剤が好ましい。
 なお、相溶成分(特に反応性相溶化剤)は、層A中において、液晶ポリマー等の成分と化学結合を形成していてもよい。
- compatible components -
The compatible component includes, for example, a polymer (non-reactive compatibilizer) having a portion that is highly compatible or highly compatible with the liquid crystal polymer, and reactivity with the terminal phenolic hydroxyl group or carboxy group of the liquid crystal polymer. Examples include polymers having groups (reactive compatibilizers).
The reactive group possessed by the reactive compatibilizer is preferably an epoxy group or a maleic anhydride group.
As the compatible component, a copolymer having a portion with high compatibility or affinity with polyolefin is preferred. Further, when the film contains polyolefin and a compatibilizing component, the compatibilizing component is preferably a reactive compatibilizer because it can finely disperse the polyolefin.
The compatibilizing component (especially the reactive compatibilizing agent) may form a chemical bond with a component such as a liquid crystal polymer in the layer A.
 反応性相溶化剤としては、例えば、エポキシ基含有ポリオレフィン系共重合体、エポキシ基含有ビニル系共重合体、無水マレイン酸含有ポリオレフィン系共重合体、無水マレイン酸含有ビニル共重合体、オキサゾリン基含有ポリオレフィン系共重合体、オキサゾリン基含有ビニル系共重合体、及び、カルボキシ基含有オレフィン系共重合体が挙げられる。中でも、エポキシ基含有ポリオレフィン系共重合体、又は、無水マレイン酸グラフトポリオレフィン系共重合体が好ましい。 Examples of reactive compatibilizers include epoxy group-containing polyolefin copolymers, epoxy group-containing vinyl copolymers, maleic anhydride-containing polyolefin copolymers, maleic anhydride-containing vinyl copolymers, oxazoline group-containing Examples include polyolefin copolymers, oxazoline group-containing vinyl copolymers, and carboxy group-containing olefin copolymers. Among them, an epoxy group-containing polyolefin copolymer or a maleic anhydride-grafted polyolefin copolymer is preferable.
 エポキシ基含有ポリオレフィン系共重合体としては、例えば、エチレン/グリシジルメタクリレート共重合体、エチレン/グリシジルメタクリレート/酢酸ビニル共重合体、エチレン/グリシジルメタクリレート/アクリル酸メチル共重合体、エチレン/グリシジルメタクリレート共重合体へのポリスチレングラフト共重合体(EGMA-g-PS)、エチレン/グリシジルメタクリレート共重合体へのポリメチルメタクリレートグラフト共重合体(EGMA-g-PMMA)、及び、エチレン/グリシジルメタクリレート共重合体へのアクリロニトリル/スチレングラフト共重合体(EGMA-g-AS)が挙げられる。
 エポキシ基含有ポリオレフィン系共重合体の市販品としては、例えば、住友化学株式会社製ボンドファースト2C、及び、ボンドファーストE;アルケマ社製Lotadar;並びに、日油株式会社製モディパーA4100、及び、モディパーA4400が挙げられる。
Examples of epoxy group-containing polyolefin copolymers include ethylene/glycidyl methacrylate copolymer, ethylene/glycidyl methacrylate/vinyl acetate copolymer, ethylene/glycidyl methacrylate/methyl acrylate copolymer, and ethylene/glycidyl methacrylate copolymer. Polystyrene graft copolymer to coalesce (EGMA-g-PS), polymethyl methacrylate graft copolymer to ethylene/glycidyl methacrylate copolymer (EGMA-g-PMMA), and ethylene/glycidyl methacrylate copolymer to of acrylonitrile/styrene graft copolymer (EGMA-g-AS).
Examples of commercially available epoxy group-containing polyolefin copolymers include Bond First 2C and Bond First E manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.; Lotadar manufactured by Arkema; and Modiper A4100 and Modiper A4400 manufactured by NOF Corporation. is mentioned.
 エポキシ基含有ビニル系共重合体としては、例えば、グリシジルメタクリレートグラフトポリスチレン(PS-g-GMA)、グリシジルメタクリレートグラフトポリメチルメタクリレート(PMMA-g-GMA)、及び、グリシジルメタクリレートグラフトポリアクリロニトリル(PAN-g-GMA)が挙げられる。 Examples of epoxy group-containing vinyl copolymers include glycidyl methacrylate-grafted polystyrene (PS-g-GMA), glycidyl methacrylate-grafted polymethyl methacrylate (PMMA-g-GMA), and glycidyl methacrylate-grafted polyacrylonitrile (PAN-g -GMA).
 無水マレイン酸含有ポリオレフィン系共重合体としては、例えば、無水マレイン酸グラフトポリプロピレン(PP-g-MAH)、無水マレイン酸グラフトエチレン/プロピレンゴム(EPR-g-MAH)、及び、無水マレイン酸グラフトエチレン/プロピレン/ジエンゴム(EPDM-g-MAH)が挙げられる。
 無水マレイン酸含有ポリオレフィン系共重合体の市販品としては、例えば、アルケマ社製Orevac Gシリーズ;及び、ダウ・ケミカル社製FUSABOND Eシリーズが挙げられる。
Examples of maleic anhydride-containing polyolefin copolymers include maleic anhydride-grafted polypropylene (PP-g-MAH), maleic anhydride-grafted ethylene/propylene rubber (EPR-g-MAH), and maleic anhydride-grafted ethylene. /propylene/diene rubber (EPDM-g-MAH).
Commercially available maleic anhydride-containing polyolefin copolymers include, for example, Orevac G series manufactured by Arkema; and FUSABOND E series manufactured by Dow Chemical.
 無水マレイン酸含有ビニル共重合体としては、例えば、無水マレイン酸グラフトポリスチレン(PS-g-MAH)、無水マレイン酸グラフトスチレン/ブタジエン/スチレン共重合体(SBS-g-MAH)、無水マレイン酸グラフトスチレン/エチレン/ブテン/スチレン共重合体(SEBS-g-MAH)、及び、スチレン/無水マレイン酸共重合体及びアクリル酸エステル/無水マレイン酸共重合体が挙げられる。
 無水マレイン酸含有ビニル共重合体の市販品としては、旭化成株式会社製タフテックMシリーズ(SEBS-g-MAH)が挙げられる。
Examples of maleic anhydride-containing vinyl copolymers include maleic anhydride-grafted polystyrene (PS-g-MAH), maleic anhydride-grafted styrene/butadiene/styrene copolymer (SBS-g-MAH), maleic anhydride-grafted Styrene/ethylene/butene/styrene copolymers (SEBS-g-MAH), and styrene/maleic anhydride copolymers and acrylic acid ester/maleic anhydride copolymers.
Commercially available maleic anhydride-containing vinyl copolymers include Tuftec M series (SEBS-g-MAH) manufactured by Asahi Kasei Corporation.
 相溶成分としては、その他にも、オキサゾリン系相溶化剤(例えば、ビスオキサゾリン-スチレン-無水マレイン酸共重合体、ビスオキサゾリン-無水マレイン酸変性ポリエチレン、及び、ビスオキサゾリン-無水マレイン酸変性ポリプロピレン)、エラストマー系相溶化剤(例えば、芳香族系樹脂、石油樹脂)、エチレングリシジルメタクリレート共重合体、エチレン無水マレイン酸エチルアクリレート共重合体、エチレングリシジルメタクリレート-アクリロニトリルスチレン、酸変性型ポリエチレンワックス、COOH化ポリエチレングラフトポリマー、COOH化ポリプロピレングラフトポリマー、ポリエチレン-ポリアミドグラフト共重合体、ポリプロピレン-ポリアミドグラフト共重合体、メチルメタクリレート-ブタジエン-スチレン共重合体、アクリロニトリル-ブタジエンゴム、EVA-PVC-グラフト共重合体、酢酸ビニル-エチレン共重合体、エチレン-α-オレフィン共重合体、プロピレン-α-オレフィン共重合体、水添スチレン-イソプロピレン-ブロック共重合体、並びに、アミン変性スチレン-エチレン-ブテン-スチレン共重合体が挙げられる。 Other compatible components include oxazoline-based compatibilizers (eg, bisoxazoline-styrene-maleic anhydride copolymer, bisoxazoline-maleic anhydride-modified polyethylene, and bisoxazoline-maleic anhydride-modified polypropylene). , elastomeric compatibilizer (e.g., aromatic resin, petroleum resin), ethylene glycidyl methacrylate copolymer, ethylene maleic anhydride ethyl acrylate copolymer, ethylene glycidyl methacrylate-acrylonitrile styrene, acid-modified polyethylene wax, COOH conversion polyethylene graft polymer, COOH polypropylene graft polymer, polyethylene-polyamide graft copolymer, polypropylene-polyamide graft copolymer, methyl methacrylate-butadiene-styrene copolymer, acrylonitrile-butadiene rubber, EVA-PVC-graft copolymer, Vinyl acetate-ethylene copolymer, ethylene-α-olefin copolymer, propylene-α-olefin copolymer, hydrogenated styrene-isopropylene-block copolymer, and amine-modified styrene-ethylene-butene-styrene copolymer polymers.
 また、相溶成分として、アイオノマー樹脂を使用してもよい。
 このようなアイオノマー樹脂としては、例えば、エチレン-メタクリル酸共重合体アイオノマー、エチレン-アクリル酸共重合体アイオノマー、プロピレン-メタクリル酸共重合体アイオノマー、プロピレン-アクリル酸共重合体アイオノマー、ブチレン-アクリル酸共重合体アイオノマー、エチレン-ビニルスルホン酸共重合体アイオノマー、スチレン-メタクリル酸共重合体アイオノマー、スルホン化ポリスチレンアイオノマー、フッ素系アイオノマー、テレケリックポリブタジエンアクリル酸アイオノマー、スルホン化エチレン-プロピレン-ジエン共重合体アイオノマー、水素化ポリペンタマーアイオノマー、ポリペンタマーアイオノマー、ポリ(ビニルピリジウム塩)アイオノマー、ポリ(ビニルトリメチルアンモニウム塩)アイオノマー、ポリ(ビニルベンジルホスホニウム塩)アイオノマー、スチレン-ブタジエンアクリル酸共重合体アイオノマー、ポリウレタンアイオノマー、スルホン化スチレン-2-アクリルアミド-2-メチルプロパンサルフェイトアイオノマー、酸-アミンアイオノマー、脂肪族系アイオネン、及び、芳香族系アイオネンが挙げられる。
Also, an ionomer resin may be used as a compatible component.
Such ionomer resins include, for example, ethylene-methacrylic acid copolymer ionomer, ethylene-acrylic acid copolymer ionomer, propylene-methacrylic acid copolymer ionomer, propylene-acrylic acid copolymer ionomer, butylene-acrylic acid Copolymer ionomer, ethylene-vinyl sulfonic acid copolymer ionomer, styrene-methacrylic acid copolymer ionomer, sulfonated polystyrene ionomer, fluorine ionomer, telechelic polybutadiene acrylic acid ionomer, sulfonated ethylene-propylene-diene copolymer Ionomers, hydrogenated polypentamer ionomers, polypentamer ionomers, poly(vinylpyridium salt) ionomers, poly(vinyltrimethylammonium salt) ionomers, poly(vinylbenzylphosphonium salt) ionomers, styrene-butadiene acrylic acid copolymer ionomers , polyurethane ionomers, sulfonated styrene-2-acrylamido-2-methylpropane sulfate ionomers, acid-amine ionomers, aliphatic ionenes, and aromatic ionenes.
 層Aが相溶成分を含む場合、その含有量は、層Aの全質量に対して、0.05~30質量%が好ましく、0.1~20質量%がより好ましく、0.5~10質量%が更に好ましい。 When layer A contains a compatible component, the content thereof is preferably 0.05 to 30% by mass, more preferably 0.1 to 20% by mass, more preferably 0.5 to 10% by mass, based on the total mass of layer A. % by mass is more preferred.
-熱安定剤-
 層Aは、溶融押出製膜時の熱酸化劣化を抑止し、層A表面の平面性及び平滑性を改善する目的で、熱安定剤を含んでいてもよい。
 熱安定剤としては、例えば、ラジカル捕捉作用を有するフェノール系安定剤及びアミン系安定剤;過酸化物の分解作用を有するフォスファイト系安定剤及び硫黄系安定剤;並びに、ラジカル補足作用と過酸化物の分解作用とを有するハイブリッド型安定剤が挙げられる。
-Heat stabilizer-
Layer A may contain a heat stabilizer for the purpose of suppressing thermal oxidation deterioration during melt extrusion film formation and improving the flatness and smoothness of the layer A surface.
Thermal stabilizers include, for example, phenol-based stabilizers and amine-based stabilizers that have a radical-scavenging action; phosphite-based stabilizers and sulfur-based stabilizers that have a peroxide-decomposing action; hybrid type stabilizers having a decomposing action of substances.
 フェノール系安定剤としては、例えば、ヒンダードフェノール系安定剤、セミヒンダードフェール系安定剤、及び、レスヒンダードフェノール系安定剤が挙げられる。
 ヒンダードフェノール系安定剤の市販品としては、例えば、株式会社ADEKA製アデカスタブAO-20、AO-50、AO-60、及び、AO-330;並びに、BASF社製Irganox259、1035、及び、1098が挙げられる。
 セミヒンダードフェノール系安定剤の市販品としては、例えば、株式会社ADEKA製アデカスタブAO-80;及び、BASF社製Irganox245が挙げられる。
 レスヒンダードフェノール系安定剤の市販品としては、例えば、大内新興化学工業株式会社製ノクラック300;並びに、株式会社ADEKA製アデカスタブAO-30、及び、AO-40が挙げられる。
 フォスファイト系安定剤の市販品としては、例えば、株式会社ADEKA製アデカスタブ2112、PEP-8、PEP-36、及び、HP-10を挙げられる。
 ハイブリッド型安定剤の市販品としては、例えば、住友化学製スミライザーGPが挙げられる。
Phenolic stabilizers include, for example, hindered phenol stabilizers, semi-hindered fail stabilizers, and less hindered phenol stabilizers.
Examples of commercially available hindered phenol stabilizers include Adekastab AO-20, AO-50, AO-60, and AO-330 manufactured by ADEKA Corporation; and Irganox 259, 1035, and 1098 manufactured by BASF. mentioned.
Commercially available semi-hindered phenolic stabilizers include, for example, Adekastab AO-80 manufactured by ADEKA Corporation; and Irganox245 manufactured by BASF.
Examples of commercial products of resin hindered phenol-based stabilizers include Nocrac 300 manufactured by Ouchi Shinko Kagaku Kogyo Co., Ltd., and Adekastab AO-30 and AO-40 manufactured by ADEKA Corporation.
Commercially available phosphite-based stabilizers include, for example, Adekastab 2112, PEP-8, PEP-36, and HP-10 manufactured by ADEKA Corporation.
Commercially available hybrid stabilizers include Sumilizer GP manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., for example.
 熱安定剤としては、熱安定化効果がより優れる点で、ヒンダードフェノール系安定剤、セミヒンダードフェノール系安定剤、又は、フォスファイト系安定剤が好ましく、ヒンダードフェノール系安定剤がより好ましい。一方、電気特性の点では、セミヒンダードフェノール系安定剤、又は、フォスファイト系安定剤がより好ましい。 As the heat stabilizer, a hindered phenol stabilizer, a semi-hindered phenol stabilizer, or a phosphite stabilizer is preferable, and a hindered phenol stabilizer is more preferable, because the heat stabilizing effect is more excellent. . On the other hand, in terms of electrical properties, semi-hindered phenol-based stabilizers or phosphite-based stabilizers are more preferable.
 熱安定剤は、1種単独で使用してもよく、2種以上を使用してもよい。
 層Aが熱安定剤を含む場合、熱安定剤の含有量は、層Aの全質量に対して0.0001~10質量%が好ましく、0.01~5質量%がより好ましく、0.1~2質量%が更に好ましい。
A heat stabilizer may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types.
When the layer A contains a heat stabilizer, the content of the heat stabilizer is preferably 0.0001 to 10% by mass, more preferably 0.01 to 5% by mass, more preferably 0.1% by mass, based on the total mass of the layer A. ~2% by mass is more preferred.
-添加剤-
 層Aは、上記成分以外の添加剤を含んでいてもよい。添加剤としては、可塑剤、滑剤、無機粒子及び有機粒子、並びに、UV吸収材が挙げられる。
-Additive-
Layer A may contain additives other than the above components. Additives include plasticizers, lubricants, inorganic and organic particles, and UV absorbers.
 可塑剤としては、アルキルフタルリルアルキルグリコレート化合物、ビスフェノール化合物(ビスフェノールA、ビスフェノールF)、アルキルフタルリルアルキルグリコレート化合物、リン酸エステル化合物、カルボン酸エステル化合物、及び、多価アルコールが挙げられる。可塑剤の含有量は、層Aの全質量に対して0~5質量%であってよい。
 滑剤としては、脂肪酸エステル及び、金属石鹸(例えばステアリン酸無機塩)が挙げられる。滑剤の含有量は、層Aの全質量に対して0~5質量%であってよい。
 層Aは、補強材、マット剤、誘電率、又は、誘電正接改良材として、無機粒子及び/又は有機粒子を含有してもよい。無機粒子としては、シリカ、酸化チタン、硫酸バリウム、タルク、ジルコニア、アルミナ、窒化ケイ素、炭化ケイ素、炭酸カルシウム、ケイ酸塩、ガラスビーズ、グラファイト、タングステンカーバイド、カーボンブラック、クレイ、マイカ、炭素繊維、ガラス繊維及び金属粉が挙げられる。有機粒子としては、架橋アクリル、及び、架橋スチレンが挙げられる。無機粒子及び有機粒子の含有量は、層Aの全質量に対して0~50質量%であってよい。
 UV吸収材としては、サリチレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、置換アクリロニトリル化合物、及び、s-トリアジン化合物が挙げられる。UV吸収材の含有量は、層Aの全質量に対して0~5質量%であってよい。
Plasticizers include alkylphthalylalkylglycolate compounds, bisphenol compounds (bisphenol A, bisphenol F), alkylphthalylalkylglycolate compounds, phosphoric acid ester compounds, carboxylic acid ester compounds, and polyhydric alcohols. The plasticizer content may be 0 to 5% by weight relative to the total weight of layer A.
Lubricants include fatty acid esters and metallic soaps (eg inorganic stearates). The lubricant content may be from 0 to 5% by weight relative to the total weight of layer A.
Layer A may contain inorganic particles and/or organic particles as a reinforcing material, a matting agent, a dielectric constant or a dielectric loss tangent improving material. Inorganic particles include silica, titanium oxide, barium sulfate, talc, zirconia, alumina, silicon nitride, silicon carbide, calcium carbonate, silicate, glass beads, graphite, tungsten carbide, carbon black, clay, mica, carbon fiber, Glass fibers and metal powders are mentioned. Organic particles include crosslinked acrylics and crosslinked styrenes. The content of inorganic particles and organic particles may be from 0 to 50% by weight relative to the total weight of layer A.
UV absorbers include salicylate compounds, benzophenone compounds, benzotriazole compounds, substituted acrylonitrile compounds, and s-triazine compounds. The content of UV absorbers may be from 0 to 5% by weight relative to the total weight of layer A.
 また、層Aは、本発明の効果を損なわない範囲で、液晶ポリマー及び上記相溶成分以外のポリマー成分を含んでいてもよい。
 上記ポリマー成分としては、例えば、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、変性ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリアミド、ポリフェニレンサルファイド、及び、ポリエステルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂が挙げられる。
Moreover, the layer A may contain a polymer component other than the liquid crystal polymer and the compatible component as long as the effect of the present invention is not impaired.
Examples of the polymer component include thermoplastic resins such as polyolefin, polyethylene terephthalate, modified polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyarylate, polyamide, polyphenylene sulfide, and polyester ether ketone.
<物性>
(融解ピークの面積)
 層Aの融解ピーク面積は、0.2J/g以上である。
 層Aの融解ピーク面積は、本発明の効果がより優れる点で、0.5J/g以上が好ましく、1.5J/g以上がより好ましく、2.0J/g以上が更に好ましい。2.1J/g以上が特に好ましい。
 層Aの融解ピーク面積の上限値は、特に制限されないが、30J/g以下が好ましい。
<Physical properties>
(area of melting peak)
The melting peak area of Layer A is 0.2 J/g or more.
The melting peak area of the layer A is preferably 0.5 J/g or more, more preferably 1.5 J/g or more, and still more preferably 2.0 J/g or more, from the viewpoint that the effects of the present invention are more excellent. 2.1 J/g or more is particularly preferred.
Although the upper limit of the melting peak area of layer A is not particularly limited, it is preferably 30 J/g or less.
 層Aの融解ピーク面積(単位:J/g)は、示差走査熱量計(例えば、株式会社島津製作所製「DSC-60A」)を用いてフィルムの吸発熱量の変化を示す曲線(DSC曲線)に現れる吸熱ピークの面積を算出することにより、求めることができる。融解ピーク面積の詳細な算出方法は、後述の実施例欄に記載する。
 液晶ポリマーを含み、融解ピーク面積が上記の範囲にある層Aの製造方法としては、例えば、後述する層Aの製造方法に従って、液晶ポリマーを含むフィルムを製造し、製造されたフィルムを所定の条件で加熱するアニール処理を行う方法が挙げられる。
The melting peak area (unit: J / g) of layer A is a curve (DSC curve) showing the change in the endothermic value of the film using a differential scanning calorimeter (eg, "DSC-60A" manufactured by Shimadzu Corporation). can be obtained by calculating the area of the endothermic peak appearing in . A detailed method for calculating the melting peak area will be described in Examples below.
As a method for producing Layer A containing a liquid crystal polymer and having a melting peak area within the above range, for example, a film containing a liquid crystal polymer is produced according to the method for producing Layer A described later, and the produced film is subjected to predetermined conditions. A method of performing an annealing treatment by heating with is mentioned.
(厚み)
 層Aの厚みは、5~1000μmが好ましく、10~500μmがより好ましく、20~200μmが更に好ましい。
 なお、積層体が有する各層及び積層体の厚みは、それぞれ、積層体の厚み方向に沿った断面を走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)を用いて観察して得られる観察画像から、任意の異なる100点における各層又は積層体の厚みを測定し、得られる測定値を加算平均することにより求められる算術平均値である。
(thickness)
The thickness of layer A is preferably 5 to 1000 μm, more preferably 10 to 500 μm, even more preferably 20 to 200 μm.
The thickness of each layer of the laminate and the thickness of the laminate can be arbitrarily selected from an observation image obtained by observing a cross section along the thickness direction of the laminate using a scanning electron microscope (SEM). It is an arithmetic mean value obtained by measuring the thickness of each layer or laminate at 100 different points and averaging the obtained measured values.
(弾性率)
 層Aの160℃における弾性率は、特に制限されないが、500MPa以上が好ましい。上限値は特に制限されず、例えば2000MPa以下である。
 積層体を構成する層A及び下記層Bの160℃における弾性率は、積層体を厚み方向に沿って切断して得られる断面における各層の弾性率を、160℃の温度環境下、ISO14577に記載の方法に準じてナノインデンターを用いて測定することにより求められる押し込み弾性率である。具体的な各層の弾性率の測定方法は後述の実施例に記載する。
(elastic modulus)
The elastic modulus of layer A at 160° C. is not particularly limited, but is preferably 500 MPa or more. The upper limit is not particularly limited, and is, for example, 2000 MPa or less.
The elastic modulus at 160° C. of Layer A and Layer B below, which constitute the laminate, is the elastic modulus of each layer in a cross section obtained by cutting the laminate along the thickness direction, under a temperature environment of 160° C., as described in ISO 14577. It is an indentation modulus obtained by measuring using a nanoindenter according to the method of. A specific method for measuring the elastic modulus of each layer will be described in Examples below.
〔層B〕
 積層体は、層Aの少なくとも一方の表面上に層Bを有する。
 積層体は、層Aの一方の表面上に1つの層Bを有していてもよく、層Aの両表面上に2つの層Bを有していてもよい。積層体が2つの層Bを有する場合、2つの層Bは同一であっても異なっていてもよい。
[Layer B]
The laminate has Layer B on at least one surface of Layer A.
The laminate may have one layer B on one surface of layer A, or two layers B on both surfaces of layer A. If the laminate has two layers B, the two layers B may be the same or different.
<弾性率>
 層Bの160℃における弾性率は、500MPa以下である。層Bの160℃における弾性率は、本発明の効果がより優れる点で、50MPa以下が好ましく、20MPa以下がより好ましい。下限値は特に制限されないが、取り扱い性がより優れる点で、0.01MPa以上が好ましい。
 層Bの160℃における弾性率は、例えば、層Bの構成成分を選択することにより、調整できる。
<Elastic modulus>
The elastic modulus of layer B at 160° C. is 500 MPa or less. The elastic modulus of the layer B at 160° C. is preferably 50 MPa or less, more preferably 20 MPa or less, from the viewpoint that the effects of the present invention are more excellent. Although the lower limit is not particularly limited, it is preferably 0.01 MPa or more from the viewpoint of better handleability.
The elastic modulus of layer B at 160° C. can be adjusted by selecting the constituents of layer B, for example.
<構成成分>
(樹脂)
 層Bを構成する成分は、B層の160℃における弾性率が上記の範囲に含まれる限り、特に制限されない。
 層Bは、例えば、構成成分として熱可塑性樹脂を含む。層Bは、熱可塑性樹脂と後述する反応性化合物とを含む組成物を用いて形成されることが好ましい。
 層Bに含まれる熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレフィン、(メタ)アクリル樹脂、ポリ桂皮酸ビニル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエステルイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリスルフォン、ポリパラキシレン、ポリエステル、ポリビニルアセタール、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリビニルアルコール、セルロースアシレート、シンジオタクチックポリスチレン、シリコーン樹脂、アルキド樹脂、マレイン酸樹脂、芳香族スルホンアミド、ベンゾグアナミン樹脂、並びに、シリコーンエラストマーが挙げられる。
<Constituent>
(resin)
The components constituting layer B are not particularly limited as long as the elastic modulus of layer B at 160° C. is within the above range.
Layer B contains, for example, a thermoplastic resin as a component. Layer B is preferably formed using a composition containing a thermoplastic resin and a reactive compound to be described later.
Examples of thermoplastic resins contained in layer B include polyolefins, (meth)acrylic resins, polyvinyl cinnamate, polycarbonates, polyimides, polyamideimides, polyesterimides, polyetherimides, polyetherketones, polyetheretherketones, poly Ethersulfone, polysulfone, polyparaxylene, polyester, polyvinyl acetal, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, polyamide, polystyrene, polyurethane, polyvinyl alcohol, cellulose acylate, syndiotactic polystyrene, silicone resin, alkyd resin, maleic acid resin , aromatic sulfonamides, benzoguanamine resins, and silicone elastomers.
 中でも、層Bの構成成分としては、電気特性がより優れる点で、ポリオレフィンが好ましい。
 本明細書において、「ポリオレフィン」は、オレフィンに由来する繰り返し単位を有する重合体(ポリオレフィン樹脂)を意図する。
 ポリオレフィンを構成する繰り返し単位の由来となるオレフィンは、分子内にエチレン性不飽和基を有する脂肪族炭化水素であれば特に制限されず、直鎖状でも分岐状でもよい。オレフィンは、環状構造を有していてもよい。オレフィンの炭素数は、例えば2~10の整数であり、2~6の整数が好ましい。
Among them, polyolefin is preferable as a constituent component of the layer B in terms of better electrical properties.
As used herein, "polyolefin" intends a polymer (polyolefin resin) having repeating units derived from an olefin.
The olefin from which the repeating units constituting the polyolefin are derived is not particularly limited as long as it is an aliphatic hydrocarbon having an ethylenically unsaturated group in the molecule, and may be linear or branched. The olefin may have a cyclic structure. The number of carbon atoms in the olefin is, for example, an integer of 2-10, preferably an integer of 2-6.
 ポリオレフィンは、オレフィンに由来する繰り返し単位と、オレフィン以外のモノマーに由来する繰返し単位とを有する共重合体であってもよい。オレフィン以外のモノマーとしては、例えば、アクリレート、メタクリレート、スチレン、及び、ビニルアセテート系モノマーが挙げられる。
 また、ポリオレフィンは、後述の反応性化合物が有する反応性基を実質的に含まないことが好ましい。ポリオレフィンにおける反応性基を有する繰り返し単位の含有量は、ポリオレフィンの全質量に対して、0~3質量%が好ましい。
The polyolefin may be a copolymer having repeating units derived from olefins and repeating units derived from monomers other than olefins. Monomers other than olefins include, for example, acrylate, methacrylate, styrene, and vinyl acetate monomers.
Moreover, it is preferable that the polyolefin does not substantially contain the reactive groups of the reactive compounds described later. The content of the repeating unit having a reactive group in the polyolefin is preferably 0 to 3% by mass with respect to the total mass of the polyolefin.
 ポリオレフィンとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン(PP)、ポリメチルペンテン(三井化学株式会社製「TPX」等)、水添ポリブタジエン、シクロオレフィンポリマー(COP、日本ゼオン株式会社製「ゼオノア」等)、及び、非環状オレフィンとシクロオレフィンとのシクロオレフィンコポリマー(COC、三井化学株式会社製「アペル」等)が挙げられる。
 ポリエチレンは、高密度ポリエチレン(HDPE)及び低密度ポリエチレン(LDPE)のいずれでもよく、LDPEが好ましく、直鎖状低密度ポリエチレン(LLDPE)がより好ましい。
 また、オレフィン以外のモノマーに由来する繰返し単位を有するポリオレフィンとしては、例えば、スチレン-エチレン/ブチレン-スチレン共重合体(SEBS)、及び、SEBSの水素添加物が挙げられる。
Polyolefins include, for example, polyethylene, polypropylene (PP), polymethylpentene (“TPX” manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.), hydrogenated polybutadiene, cycloolefin polymers (COP, “Zeonor” manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.), and , and cycloolefin copolymers of acyclic olefins and cycloolefins (COC, "APEL" manufactured by Mitsui Chemicals, Inc., etc.).
The polyethylene may be either high density polyethylene (HDPE) or low density polyethylene (LDPE), with LDPE being preferred and linear low density polyethylene (LLDPE) being more preferred.
Examples of polyolefins having repeating units derived from monomers other than olefins include styrene-ethylene/butylene-styrene copolymers (SEBS) and hydrogenated SEBS.
 中でも、ポリオレフィンは、エチレン又はプロピレンに由来する繰返し単位を有することが好ましく、エチレン由来する繰返し単位を有することがより好ましい。
 ポリオレフィンとしては、ポリエチレン、COP、COC又はSEBSが好ましく、ポリエチレン又はSEBSがより好ましく、低密度ポリエチレン(LDPE)が更に好ましい。
Among them, the polyolefin preferably has repeating units derived from ethylene or propylene, and more preferably has repeating units derived from ethylene.
Polyolefin is preferably polyethylene, COP, COC or SEBS, more preferably polyethylene or SEBS, and even more preferably low density polyethylene (LDPE).
 熱可塑性樹脂は、1種単独で使用してもよく、2種以上を使用してもよい。
 熱可塑性樹脂(より好ましくはポリオレフィン)の含有量は、層Bの全質量に対して、60~99.9質量%が好ましく、70~99質量%がより好ましく、80~95質量%が更に好ましい。
The thermoplastic resin may be used alone or in combination of two or more.
The content of the thermoplastic resin (more preferably polyolefin) is preferably 60 to 99.9% by mass, more preferably 70 to 99% by mass, and even more preferably 80 to 95% by mass, relative to the total mass of layer B. .
(反応性化合物)
 層Bは、反応性基を有する化合物の反応生成物を含んでいてもよい。以下、反応性基を有する化合物及びその反応生成物を総称して「反応性化合物」ともいう。
 層Bは、反応性化合物を含むことが好ましい。
 反応性化合物が有する反応性基は、層Aの表面に存在し得る基(特に、カルボキシ基及びヒドロキシ基等の酸素原子を有する基)と反応可能な基であることが好ましい。
 反応性基としては、例えば、エポキシ基、オキセタニル基、イソシアネート基、酸無水物基、カルボジイミド基、N-ヒドロキシエステル基、グリオキサール基、イミドエステル基、ハロゲン化アルキル基、及び、チオール基が挙げられ、エポキシ基、酸無水物基、及び、カルボジイミド基よりなる群から選択される少なくとも1種の基が好ましく、エポキシ基がより好ましい。
(reactive compound)
Layer B may comprise a reaction product of a compound having reactive groups. Hereinafter, compounds having a reactive group and their reaction products are also collectively referred to as "reactive compounds".
Layer B preferably comprises a reactive compound.
The reactive group possessed by the reactive compound is preferably a group capable of reacting with a group that may exist on the surface of layer A (in particular, a group having an oxygen atom such as a carboxy group and a hydroxy group).
Examples of reactive groups include epoxy groups, oxetanyl groups, isocyanate groups, acid anhydride groups, carbodiimide groups, N-hydroxyester groups, glyoxal groups, imidoester groups, halogenated alkyl groups, and thiol groups. , an epoxy group, an acid anhydride group, and a carbodiimide group are preferred, and an epoxy group is more preferred.
 エポキシ基を有する反応性化合物の具体例としては、芳香族グリシジルアミン化合物(例えば、N,N-ジグリシジル-4-グリシジルオキシアニリン、4,4’-メチレンビス(N,N-ジグリシジルアニリン)、N,N-ジグリシジル-o-トルイジン、及び、N,N,N’,N’-テトラグリシジル-m-キシレンジアミン、4-t-ブチルフェニルグリシジルエーテル)、脂肪族グリシジルアミン化合物(例えば、1,3-ビス(ジグリシジルアミノメチル)シクロヘキサン等)、並びに、脂肪族グリシジルエーテル化合物(例えば、ソルビトールポリグリシジルエーテル)が挙げられる。中でも、本発明の効果がより優れる点で、芳香族グリシジルアミン化合物が好ましい。 Specific examples of reactive compounds having an epoxy group include aromatic glycidylamine compounds (e.g., N,N-diglycidyl-4-glycidyloxyaniline, 4,4′-methylenebis(N,N-diglycidylaniline), N , N-diglycidyl-o-toluidine and N,N,N',N'-tetraglycidyl-m-xylylenediamine, 4-t-butylphenylglycidyl ether), aliphatic glycidylamine compounds (e.g., 1,3 -bis(diglycidylaminomethyl)cyclohexane, etc.), as well as aliphatic glycidyl ether compounds (eg, sorbitol polyglycidyl ether). Among them, aromatic glycidylamine compounds are preferable because the effects of the present invention are more excellent.
 酸無水物基を有する反応性化合物の具体例としては、テトラカルボン酸二無水物(例えば、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、2,3,3’,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ジフェニルスルホン-3,4,3’,4’-テトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)スルフィド二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,3,3’,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、p-フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、p-ビフェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、m-ターフェニル-3,4,3’,4’-テトラカルボン酸二無水物、p-ターフェニル-3,4,3’,4’-テトラカルボン酸二無水物、1,3-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,4-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,4-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ビフェニル二無水物、2,2-ビス〔(3,4-ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、及び、4,4’-(2,2-ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸二無水物)が挙げられる。 Specific examples of the reactive compound having an acid anhydride group include tetracarboxylic dianhydrides (eg, 3,3′,4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3′,4,4 '-biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 2,3,3',4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, diphenylsulfone-3,4,3' ,4'-tetracarboxylic dianhydride, bis(3,4-dicarboxyphenyl)sulfide dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)-1,1,1,3,3 ,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,3,3′,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, bis(3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, 2,2-bis(3 ,4-dicarboxyphenyl)propane dianhydride, p-phenylene bis (trimellitic monoester anhydride), p-biphenylene bis (trimellitic monoester anhydride), m-terphenyl-3,4 ,3′,4′-tetracarboxylic dianhydride, p-terphenyl-3,4,3′,4′-tetracarboxylic dianhydride, 1,3-bis(3,4-dicarboxyphenoxy) Benzene dianhydride, 1,4-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)benzene dianhydride, 1,4-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)biphenyl dianhydride, 2,2-bis[( 3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]propane dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, and 4 ,4′-(2,2-hexafluoroisopropylidene)diphthalic dianhydride).
 カルボジイミド基を有する反応性化合物の具体例としては、モノカルボジイミド化合物(例えば、ジシクロヘキシルカルボジイミド、ジイソプロピルカルボジイミド、ジメチルカルボジイミド、ジイソブチルカルボジイミド、ジオクチルカルボジイミド、t-ブチルイソプロピルカルボジイミド、ジフェニルカルボジイミド、ジ-t-ブチルカルボジイミド、ジ-β-ナフチルカルボジイミド、及び、N,N’-ジ-2,6-ジイソプロピルフェニルカルボジイミド)、並びに、ポリカルボジイミド化合物(例えば、米国特許第2941956号明細書、特公昭47-033279号公報、J.Org.Chem.28巻、p2069-2075(1963)、及び、Chemical Review 1981、81巻、第4号、p.619-621等に記載された方法により製造された化合物)が挙げられる。
 カルボジイミド基を有する反応性化合物の市販品としては、カルボジライト(登録商標)HMV-8CA、LA-1、及び、V-03(いずれも日清紡ケミカル株式会社製)、スタバクゾール(登録商標)P、P100、及び、P400(いずれもラインケミー社製)、並びに、スタビライザー 9000(商品名、ラシヒケミ社製)等が挙げられる。
Specific examples of reactive compounds having a carbodiimide group include monocarbodiimide compounds (e.g., dicyclohexylcarbodiimide, diisopropylcarbodiimide, dimethylcarbodiimide, diisobutylcarbodiimide, dioctylcarbodiimide, t-butylisopropylcarbodiimide, diphenylcarbodiimide, di-t-butylcarbodiimide, di-β-naphthylcarbodiimide and N,N'-di-2,6-diisopropylphenylcarbodiimide), and polycarbodiimide compounds (e.g., US Pat. No. 2,941,956, JP-B-47-033279, J 28, p.2069-2075 (1963) and Chemical Review 1981, Vol.
Commercially available reactive compounds having a carbodiimide group include Carbodilite (registered trademark) HMV-8CA, LA-1, and V-03 (all manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd.), Stabaxol (registered trademark) P, P100, and P400 (both manufactured by Rhein Chemie) and Stabilizer 9000 (trade name, manufactured by Rashih Chemie).
 反応性化合物が有する反応性基の数は、1個以上であるが、金属層の密着性がより優れる点から、3個以上が好ましい。
 反応性化合物が有する反応性基の数は、本発明の効果がより優れる点で、6個以下が好ましく、5個以下がより好ましく、4個以下が更に好ましい。
Although the number of reactive groups possessed by the reactive compound is one or more, three or more are preferable from the viewpoint of better adhesion of the metal layer.
The number of reactive groups possessed by the reactive compound is preferably 6 or less, more preferably 5 or less, and even more preferably 4 or less, from the viewpoint that the effects of the present invention are more excellent.
 反応性化合物は、1種単独で用いてもよく、2種以上用いてもよい。
 反応性化合物の含有量は、本発明の効果がより優れる点で、層Bの全質量に対して、0.1~40質量%が好ましく、1~30質量%がより好ましく、5~20質量%が更に好ましく、5~15質量%が特に好ましい。
One type of reactive compound may be used alone, or two or more types may be used.
The content of the reactive compound is preferably 0.1 to 40% by mass, more preferably 1 to 30% by mass, more preferably 5 to 20% by mass, with respect to the total mass of the layer B in that the effect of the present invention is more excellent. % is more preferred, and 5 to 15% by mass is particularly preferred.
 層Bは、樹脂及び反応性化合物以外の他の成分を含んでいてもよい。層Bに含まれる他の成分としては、無機フィラー、硬化触媒及び難燃剤等が挙げられる。
 他の成分の含有量は、層Bの全質量に対して、0.1~40質量%が好ましく、1~30質量%がより好ましく、3~20質量%が更に好ましい。
 層Bには、有機溶剤及び水が含まれていてもよいが、気泡発生をより抑制できる点で、層Bの全質量に対する有機溶剤及び水の含有量は、それぞれ、500質量ppm以下が好ましく、100質量ppm以下がより好ましい。層Bは、有機溶剤及び水を含まないことが更に好ましい。
Layer B may contain components other than the resin and the reactive compound. Other components contained in Layer B include an inorganic filler, a curing catalyst, a flame retardant, and the like.
The content of other components is preferably 0.1 to 40% by mass, more preferably 1 to 30% by mass, and even more preferably 3 to 20% by mass, based on the total mass of Layer B.
The layer B may contain an organic solvent and water, but the content of the organic solvent and water relative to the total weight of the layer B is preferably 500 ppm by mass or less, respectively, in order to further suppress the generation of bubbles. , 100 ppm by mass or less. Layer B is more preferably free of organic solvents and water.
<厚み>
 層Bの厚みは、特に制限されないが、配線ずれ抑制性能がより優れる点で、0.1μm以上が好ましく、1μm以上がより好ましく、5μm以上が更に好ましい。また、層Bの厚みは、積層体の誘電正接がより優れる点で、30μm以下が好ましく、20μm以下がより好ましく、15μm以下が更に好ましい。
 また、層Aの厚みに対する層Bの厚みの比率(層Bの厚み/層Aの厚み)は、本発明の効果がバランスよく優れる点で、0.01~0.8が好ましく、0.02~0.4がより好ましい。
 なお、上記の層Bの厚みは、層Aの一方の表面に形成される層Bの厚みを意味する。
<Thickness>
Although the thickness of the layer B is not particularly limited, it is preferably 0.1 μm or more, more preferably 1 μm or more, and even more preferably 5 μm or more from the viewpoint of better wiring misalignment suppression performance. Moreover, the thickness of the layer B is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less, and even more preferably 15 μm or less, from the viewpoint that the dielectric loss tangent of the laminate is superior.
In addition, the ratio of the thickness of layer B to the thickness of layer A (thickness of layer B/thickness of layer A) is preferably 0.01 to 0.8, and 0.02, in terms of achieving a well-balanced effect of the present invention. ~0.4 is more preferred.
In addition, the thickness of the layer B means the thickness of the layer B formed on one surface of the layer A.
〔中間層〕
 積層体は、必要に応じて、層Aと層Bとの間に、中間層を有していてもよい。
 中間層としては、銅張積層板等の配線板の製造に使用される公知の接着層が使用でき、例えば、公知のバインダー樹脂を含む接着剤組成物の硬化物からなる層が挙げられる。
 バインダー樹脂としては、例えば、(メタ)アクリル樹脂、ポリ桂皮酸ビニル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエステルイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリスルフォン、ポリパラキシレン、ポリエステル、ポリビニルアセタール、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリアミド、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリビニルアルコール、セルロースアシレート、フッ素化樹脂、液晶ポリマー、シンジオタクチックポリスチレン、シリコーン樹脂、エポキシシリコーン樹脂、フェノール樹脂、アルキド樹脂、エポキシ樹脂、マレイン酸樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、芳香族スルホンアミド、ベンゾグアナミン樹脂、並びに、シリコーンエラストマーが挙げられる。
[Intermediate layer]
The laminate may have an intermediate layer between layer A and layer B, if desired.
As the intermediate layer, a known adhesive layer used in the production of wiring boards such as copper-clad laminates can be used, for example, a layer made of a cured adhesive composition containing a known binder resin.
Examples of binder resins include (meth)acrylic resin, polyvinyl cinnamate, polycarbonate, polyimide, polyamideimide, polyesterimide, polyetherimide, polyetherketone, polyetheretherketone, polyethersulfone, polysulfone, polypara Xylene, polyester, polyvinyl acetal, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate, polyamide, polystyrene, polyurethane, polyvinyl alcohol, cellulose acylate, fluorinated resin, liquid crystal polymer, syndiotactic polystyrene, silicone resin, epoxy silicone resin, phenolic resin, Examples include alkyd resins, epoxy resins, maleic resins, melamine resins, urea resins, aromatic sulfonamides, benzoguanamine resins, and silicone elastomers.
 中間層の厚みは、本発明の効果がより優れる点で、3μm以下が好ましく、1μm以下がより好ましい。下限は特に制限されないが、層Aと層Bとの密着性がより優れる点では、0.01μm以上が好ましく、0.1μm以上がより好ましい。 The thickness of the intermediate layer is preferably 3 μm or less, and more preferably 1 μm or less, in order to enhance the effects of the present invention. Although the lower limit is not particularly limited, it is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.1 μm or more, from the viewpoint of better adhesion between Layer A and Layer B.
 積層体は、必要に応じて、層A、層B及び中間層以外の他の層を有していてもよい。他の層としては、防錆層及び耐熱層が挙げられる。 The laminate may have layers other than layer A, layer B, and intermediate layer, if necessary. Other layers include antirust layers and heat resistant layers.
〔積層体の物性〕
 層A及び層Bを含む積層体の厚みは、特に制限されないが、5~1000μmが好ましく、10~500μmがより好ましく、20~300μmが更に好ましい。
 積層体の厚みは、上記の層Aの厚みの測定方法に従って測定できる。
[Physical properties of laminate]
The thickness of the laminate including layer A and layer B is not particularly limited, but is preferably 5 to 1000 μm, more preferably 10 to 500 μm, even more preferably 20 to 300 μm.
The thickness of the laminate can be measured according to the method for measuring the thickness of layer A described above.
〔積層体の製造方法〕
 積層体の製造方法は特に制限されず、例えば、上記層Aを構成する成分を含む組成物を用いてポリマーフィルムを作製する工程(以下、「工程A」ともいう。)と、工程Aで作製されたポリマーフィルムの少なくとも一方の表面上に、層B形成用組成物を用いて層Bを形成し、層Aと、層Aの少なくとも一方の表面上に配置される層Bとを有する積層体を作製する工程(以下、「工程B」ともいう。)とを有する方法が挙げられる。
 以下、工程A及び工程Bを有する積層体の製造方法について説明する。
[Method for manufacturing laminate]
The method for producing the laminate is not particularly limited, and for example, the step of producing a polymer film using the composition containing the components constituting the layer A (hereinafter also referred to as “step A”), and the step A. A laminate having a layer A and a layer B disposed on at least one surface of the layer A, wherein the layer B is formed on at least one surface of the coated polymer film using the composition for forming the layer B. (hereinafter also referred to as “step B”).
A method for manufacturing a laminate having steps A and B will be described below.
<工程A>
 ポリマーフィルムを作製する工程Aとしては、特に制限されないが、例えば、上述の層Aを構成する成分を混練してペレットを得るペレット化工程と、上記ペレットを用いて樹脂フィルムを形成する製膜工程と、を有する方法が挙げられる。
 以下、工程Aについて詳しく説明する。
<Process A>
The process A for producing a polymer film is not particularly limited, but for example, a pelletizing process of kneading the components constituting the layer A described above to obtain pellets, and a film forming process of forming a resin film using the pellets. and a method comprising:
The process A will be described in detail below.
(ペレット化工程)
(1)原料形態
 フィルム製膜に用いる液晶ポリマーは、ペレット形状、フレーク状又は粉体状態のものをそのまま用いることもできるが、製膜の安定化又は液晶ポリマー以外の他の成分の均一分散を目的として、1種類以上の原料(ポリマー及び他の成分の少なくとも1つを意味する。以下同様。)を、押出機を用いて混練し、ペレット化して得られるペレットを使用することが好ましい。
(Pelletization process)
(1) Form of raw material The liquid crystal polymer used for film formation can be used as it is in the form of pellets, flakes, or powder. For the purpose, it is preferable to use pellets obtained by kneading and pelletizing one or more raw materials (meaning at least one of a polymer and other components; the same shall apply hereinafter) using an extruder.
(2)乾燥又はベントによる乾燥代替
 ペレット化を行うにあたり、液晶ポリマー及び他の成分は事前に乾燥を行うことが好ましい。乾燥方法としては、低露点の加熱エアーを循環させること、及び、真空乾燥により除湿する方法等がある。特に、酸化し易い樹脂の場合には、真空乾燥又は不活性気体を用いた乾燥が好ましい。
(2) Substitute for Drying by Drying or Vent When pelletizing, it is preferable to dry the liquid crystal polymer and other components in advance. Drying methods include circulating heated air with a low dew point and dehumidifying by vacuum drying. Vacuum drying or drying using an inert gas is particularly preferable for a resin that is easily oxidized.
(3)原料供給法
 原料供給法は、混練ペレット化する前に原料を予め混ぜ合わせておいて供給する方法であってもよく、押出機内へ一定割合になるように原料を別々に供給する方法であってもよく、両者を組み合わせた方法であってもよい。
(3) Raw material supply method The raw material supply method may be a method of mixing the raw materials in advance before kneading and pelletizing, and supplying the raw materials separately so that the ratio is constant in the extruder. or a combination of the two.
(4)押出し工程の雰囲気
 溶融押出しする際には、均一分散を妨げない範囲で、可能な限り熱及び酸化劣化を防止することが好ましく、真空ポンプを用いて減圧したり、不活性ガスを流入したりして酸素濃度を低下させることも有効である。これらの方法は単独でも組み合わせて実施してもよい。
(4) Atmosphere of Extrusion Process During melt extrusion, it is preferable to prevent heat and oxidative deterioration as much as possible within a range that does not interfere with uniform dispersion. It is also effective to reduce the oxygen concentration by These methods may be performed singly or in combination.
(5)温度
 混練温度は、液晶ポリマー及び他の成分の熱分解温度以下にすることが好ましく、押出機の負荷及び均一混練性低下が問題にならない範囲で、可能な限り低温にすることが好ましい。
(5) Temperature The kneading temperature is preferably lower than the thermal decomposition temperature of the liquid crystal polymer and other components, and is preferably as low as possible within a range where the load on the extruder and deterioration of uniform kneading properties are not a problem. .
(6)圧力
 ペレット化時の混練樹脂圧力は、0.05~30MPaで行うことが好ましい。せん断により着色又はゲルが発生し易い樹脂の場合には、押出機内に1~10MPa程度の内圧を加えて、樹脂原料を押出機内に充満させることが好ましい。
(6) Pressure The kneading resin pressure during pelletization is preferably 0.05 to 30 MPa. In the case of a resin that tends to be colored or gelled by shearing, it is preferable to apply an internal pressure of about 1 to 10 MPa in the extruder to fill the extruder with the resin raw material.
(7)ペレタイズ方法
 ペレタイズ方法としては、ヌードル状に押出したものを水中で固化したのち、裁断する方法が一般的であるが、押出機による溶融後、水中に口金より直接押出ながらカットするアンダーウォーターカット法、又は、熱い状態のままカッティングするホットカット法によってペレット化を行ってもよい。
(7) Pelletizing method As a pelletizing method, it is common to extruded into a noodle shape, solidify it in water, and then cut it. Pelletization may be performed by a cutting method or a hot cutting method in which the material is cut in a hot state.
(8)ペレットサイズ
 ペレットサイズは、断面積が1~300mmであり、長さが1~30mmであるのが好ましく、断面積が2~100mmであり、長さが1.5~10mmであるのがより好ましい。
(8) Pellet size The pellet size preferably has a cross-sectional area of 1 to 300 mm 2 and a length of 1 to 30 mm, and a cross-sectional area of 2 to 100 mm 2 and a length of 1.5 to 10 mm. It is more preferable to have
(乾燥)
(1)乾燥の目的
 溶融製膜の前に、ペレット中の水分及び揮発分を減少させることが好ましく、ペレットの乾燥を行うことが有効である。ペレット中に水分又は揮発分が含まれている場合には、ポリマーフィルムへの泡混入又はヘイズの低下による外観の低下を引き起こすのみでなく、液晶ポリマーの分子鎖切断による物性の低下、又は、モノマーもしくはオリゴマーの発生によるロール汚れが発生する場合がある。また、用いる液晶ポリマーの種類によっては、乾燥による溶存酸素除去により、溶融製膜時の酸化架橋体の生成を抑制できる場合もある。
(dry)
(1) Purpose of Drying It is preferable to reduce moisture and volatile matter in the pellets before the melt film formation, and it is effective to dry the pellets. If moisture or volatile matter is contained in the pellets, it not only causes appearance deterioration due to bubble inclusion in the polymer film or reduction in haze, but also deterioration in physical properties due to molecular chain scission of the liquid crystal polymer, or monomer Alternatively, roll staining may occur due to the generation of oligomers. In some cases, depending on the type of liquid crystal polymer used, the formation of oxidized crosslinked products during melt film formation can be suppressed by removing dissolved oxygen by drying.
(2)乾燥方法・加熱方法
 乾燥の方法については、乾燥効率及び経済性の点で除湿熱風乾燥機を用いることが一般的であるが、目的とする含水率が得られるのであれば特に制限されない。また、液晶ポリマーの物性の特性に合わせて、より適切な方法を選定することも問題ない。
 加熱方法としては、加圧水蒸気、ヒーター加熱、遠赤外線照射、マイクロ波加熱、及び、熱媒循環加熱方式が挙げられる。
(2) Drying method/heating method Regarding the drying method, it is common to use a dehumidifying hot air dryer in terms of drying efficiency and economy, but there are no particular restrictions as long as the desired moisture content is obtained. . Also, there is no problem in selecting a more appropriate method according to the physical properties of the liquid crystal polymer.
Heating methods include pressurized steam, heater heating, far-infrared radiation, microwave heating, and heat medium circulation heating.
(製膜工程)
 以下、製膜工程について説明する。
(Film forming process)
The film forming process will be described below.
(1)押出し条件
・原料乾燥
 押出機によるペレットの溶融可塑化工程でも、ペレット化工程と同様に水分及び揮発分を減少させることが好ましく、ペレットの乾燥を行うことが有効である。
(1) Extrusion Conditions/Material Drying In the melt-plasticizing step of the pellets by an extruder, it is preferable to reduce moisture and volatile matter in the same manner as in the pelletizing step, and it is effective to dry the pellets.
・原料供給法
 押出機の供給口から投入される原料(ペレット)が、複数種類の場合には、予め混ぜ合わせておいてもよいし(プレミックス法)、押出機内へ一定割合になるように別々に供給してもよいし、又は、両者を組み合わせた方法であってもよい。また、押出し安定化のために、供給口から投入する原料の温度及びかさ比重の変動を小さくすることが一般的に行われている。また、可塑化効率の点で、原料温度は粘着して供給口にブロッキングしない範囲であれば高温であることが好ましく、非結晶状態の場合には{ガラス転移温度(Tg)(℃)-150℃}~{Tg(℃)-1℃}、結晶性樹脂の場合には{融点(Tm)(℃)-150℃}~{Tm(℃)-1℃}の範囲が好ましく、原料の加温又は保温が行われる。また、原料のかさ比重は、可塑化効率の点で、溶融状態の0.3倍以上であることが好ましく、0.4倍以上であることがより好ましい。原料のかさ比重が溶融状態の比重の0.3倍未満の時には、原料を圧縮して擬似ペレット化する等の加工処理が行われることも好ましい。
・Material supply method If the materials (pellets) to be fed from the feed port of the extruder are of multiple types, they may be mixed in advance (premix method), or they may be mixed in a certain proportion into the extruder. They may be supplied separately or a combination of the two may be used. Further, in order to stabilize the extrusion, it is common practice to reduce fluctuations in temperature and bulk specific gravity of raw materials fed from a feed port. In terms of plasticization efficiency, the raw material temperature is preferably high as long as it does not stick and block the supply port, and in the case of an amorphous state {glass transition temperature (Tg) (° C.) ° C} to {Tg (° C)-1° C}, and in the case of a crystalline resin, the range of {melting point (Tm) (° C)-150° C} to {Tm (° C)-1° C} is preferable. Warming or keeping warm is performed. From the viewpoint of plasticization efficiency, the bulk specific gravity of the raw material is preferably 0.3 times or more, more preferably 0.4 times or more, that of the molten state. When the bulk specific gravity of the raw material is less than 0.3 times the specific gravity of the molten state, it is also preferable to perform a processing treatment such as compressing the raw material to form a pseudo-pellet.
・押出し工程の雰囲気
 溶融押出し時の雰囲気は、ペレット化工程と同様に均一分散を妨げない範囲で、可能な限り熱及び酸化劣化を防止することが必要であり、不活性ガス(窒素等)の注入、真空ホッパーを用いて押出機内の酸素濃度を下げること、及び、押出機にベント口を設けて真空ポンプによる減圧を行うことも有効である。これらの減圧、不活性ガスの注入は独立で実施しても、組み合わせて実施しても構わない。
・Atmosphere of extrusion process The atmosphere during melt extrusion must prevent heat and oxidative deterioration as much as possible within a range that does not hinder uniform dispersion, as in the pelletizing process. It is also effective to reduce the oxygen concentration in the extruder using injection and a vacuum hopper, and to provide a vent port in the extruder and reduce the pressure with a vacuum pump. These decompression and inert gas injection may be performed independently or in combination.
・回転数
 押出機の回転数は5~300rpmが好ましく、10~200rpmがより好ましく、15~100rpmが更に好ましい。回転速度が下限値以上であれば、滞留時間が短くなり、熱劣化により分子量が低下を抑制でき、変色を抑制できる。回転速度が上限値以下であれば、剪断による分子鎖の切断を抑制でき、分子量低下及び架橋ゲルの増加を抑制できる。回転数は、均一分散性と滞留時間延長による熱劣化の両面から適正条件を選定することが好ましい。
· Rotation speed The rotation speed of the extruder is preferably 5 to 300 rpm, more preferably 10 to 200 rpm, and even more preferably 15 to 100 rpm. If the rotational speed is equal to or higher than the lower limit value, the residence time is shortened, the decrease in molecular weight due to thermal deterioration can be suppressed, and discoloration can be suppressed. If the rotation speed is equal to or lower than the upper limit, it is possible to suppress the breaking of molecular chains due to shearing, thereby suppressing the decrease in molecular weight and the increase in crosslinked gel. It is preferable to select an appropriate number of revolutions from the viewpoints of uniform dispersion and heat deterioration due to extended residence time.
・温度
 バレル温度(供給部温度T圧縮部温度T℃、計量部温度T℃)は、一般的には以下の方法で決定される。ペレットを押出機により目標温度T℃で溶融可塑化させる場合、計量部温度Tはせん断発熱量を考慮してT±20℃に設定される。この時TはT±20℃の範囲内で押出安定性と樹脂の熱分解性を考慮して設定する。Tは一般的には{T(℃)-5℃}~{T(℃)-150℃}とし、樹脂を送る駆動力(フィード力)となる樹脂とバレルとの摩擦確保と、フィード部での予熱の両立の点で、最適値を選定する。通常の押出機の場合には、T~T各ゾーンを細分して温度を設定することが可能であり、各ゾーン間の温度変化がなだらかになる様な設定を行うことで、より安定化させることが可能となる。この際、Tは樹脂の熱劣化温度以下とすることが好ましく、押出機のせん断発熱によって、熱劣化温度を超える場合には、積極的にせん断発熱を冷却除去することも一般的に行われる。また、分散性アップと熱劣化の両立のために、押出機の前半部分で比較的高温で溶融混合させて、後半で樹脂温度を下げる条件も有効である。
- Temperature Barrel temperature (supply part temperature T1 °C , compression part temperature T2 °C, metering part temperature T3 °C) is generally determined by the following method. When pellets are melt-plasticized by an extruder at a target temperature of T°C, the metering section temperature T3 is set to T±20°C in consideration of the shear heating value. At this time, T2 is set within the range of T3 ±20° C. in consideration of extrusion stability and thermal decomposition of the resin. T 1 is generally {T 2 (° C.) −5° C.} to {T 2 (° C.) −150° C.} to ensure friction between the resin and the barrel, which is the driving force (feed force) for feeding the resin, Select the optimum value from the viewpoint of compatibility with preheating in the feed section. In the case of a normal extruder, it is possible to subdivide the T 1 to T 3 zones and set the temperature. It is possible to convert At this time, T is preferably lower than the thermal deterioration temperature of the resin, and when the thermal deterioration temperature is exceeded due to the shear heat generated by the extruder, the shear heat is generally removed by cooling. Also, in order to achieve both improved dispersibility and thermal deterioration, it is effective to melt and mix the resin at a relatively high temperature in the first half of the extruder and lower the resin temperature in the second half.
・圧力
 押出機内の樹脂圧力は1~50MPaが一般的であり、押出しの安定性と溶融均一性の点で2~30MPaが好ましく、3~20MPaがより好ましい。押出機内の圧力が1MPa以上であれば、押出機内のメルトの充満率が十分であるため、押出し圧力の不安定化及び滞留部発生による異物発生が抑制できる。また、押出機内の圧力が50MPa以下であれば、押出機内部で受けるせん断応力が過多となることを抑制できるので、樹脂温度の上昇による熱分解を抑制できる。
· Pressure The resin pressure in the extruder is generally 1 to 50 MPa, preferably 2 to 30 MPa, more preferably 3 to 20 MPa in terms of extrusion stability and melt uniformity. If the pressure in the extruder is 1 MPa or more, the filling rate of the melt in the extruder is sufficient, so that the instability of the extrusion pressure and the generation of foreign substances due to the generation of stagnant portions can be suppressed. Moreover, if the pressure in the extruder is 50 MPa or less, excessive shear stress received in the extruder can be suppressed, so thermal decomposition due to an increase in resin temperature can be suppressed.
・滞留時間
 押出機における滞留時間(製膜時の滞留時間)は、ペレット化工程と同様に、押出機部分の容積と、ポリマーの吐出容量とから算出することができる。滞留時間は、10秒間~60分間が好ましく、15秒間~45分間がより好ましく、30秒間~30分間が更に好ましい。滞留時間が10秒間以上であれば、溶融可塑化と他の成分の分散が十分となる。滞留時間が30分間以下であれば、樹脂劣化と樹脂の変色を抑えることができる点で好ましい。
• Residence time The residence time in the extruder (residence time during film formation) can be calculated from the volume of the extruder portion and the discharge volume of the polymer, as in the pelletizing step. The residence time is preferably 10 seconds to 60 minutes, more preferably 15 seconds to 45 minutes, even more preferably 30 seconds to 30 minutes. If the residence time is 10 seconds or more, melt plasticization and dispersion of other ingredients are sufficient. A residence time of 30 minutes or less is preferable in terms of suppressing deterioration of the resin and discoloration of the resin.
(濾過)
・種類、設置目的、構造
 原料中に含まれる異物によるギアポンプの損傷防止、及び、押出機下流に設置する微細な孔径のフィルタ寿命延長のために、押出機出口部に濾過設備を設けることが一般的に用いられる。メッシュ状の濾材を、強度を有する開口率の高い補強板と組み合わせて用いる、いわゆるブレーカープレート式の濾過を行うことが好ましい。
(filtration)
・Type, purpose of installation, structure It is common to install filtration equipment at the outlet of the extruder to prevent damage to the gear pump due to foreign matter contained in the raw material and to extend the life of the fine pore size filter installed downstream of the extruder. used for purposes. It is preferable to perform a so-called breaker plate type filtration in which a mesh filter medium is used in combination with a strong reinforcing plate having a high open area ratio.
・メッシュサイズ、濾過面積
 メッシュサイズは40~800メッシュが好ましく、60~700メッシュがより好ましく、100~600メッシュが更に好ましい。メッシュサイズが40メッシュ以上であれば、異物がメッシュを通過することを十分に抑制できる。また、800メッシュ以下であれば、濾過圧力上昇スピードの向上を抑制でき、メッシュ交換頻度を低くできる。また、フィルタメッシュは濾過精度と強度保持の点で、メッシュサイズの異なる複数種類を重ね合わせて用いることが多い。また、濾過開口面積を広くとることが可能であり、メッシュの強度保持が可能なことからブレーカープレートを用いてフィルタメッシュを補強することもある。用いるブレーカープレートの開口率は、濾過効率と強度の点で30~80%であることが多い。
 また、スクリーンチェンジャーは、押出機のバレル径と同径のものが用いることが多いが、濾過面積を増やすためにテーパー状の配管を用いて、より大径のフィルタメッシュを用いられるか、或いは、流路を分岐して複数のブレーカープレートを用いることもある。濾過面積は1秒間あたりの流量0.05~5g/cmを目安に選定することが好ましく、0.1~3g/cmがより好ましく、0.2~2g/cmが更に好ましい。
 異物を捕捉することによりフィルタは目詰りを起こして濾圧が上昇する。その際には押出機を停止してフィルタを交換する必要があるが、押出を継続しながらフィルタを交換可能なタイプも使用できる。また、異物捕捉による濾過圧力上昇対策として、フィルタに捕捉された異物をポリマーの流路を逆にして洗浄除去することにより濾過圧力を低下させる機能を有するものも使用できる。
- Mesh size, filtration area The mesh size is preferably 40 to 800 mesh, more preferably 60 to 700 mesh, and even more preferably 100 to 600 mesh. If the mesh size is 40 mesh or more, it is possible to sufficiently prevent foreign matter from passing through the mesh. Further, if the mesh size is 800 mesh or less, it is possible to suppress an increase in filtration pressure increase speed and reduce the mesh replacement frequency. In addition, from the point of view of filtration accuracy and strength retention, a plurality of types of filter meshes with different mesh sizes are often used in combination. In addition, the filter mesh can be reinforced by using a breaker plate because it is possible to increase the filter opening area and maintain the strength of the mesh. The opening ratio of the breaker plate used is often 30-80% in terms of filtration efficiency and strength.
In addition, the screen changer is often used with the same diameter as the barrel diameter of the extruder, but in order to increase the filtration area, a tapered pipe is used to use a filter mesh with a larger diameter, or A plurality of breaker plates may be used by branching the flow path. The filtration area is preferably selected based on a flow rate of 0.05 to 5 g/cm 2 per second, more preferably 0.1 to 3 g/cm 2 , and even more preferably 0.2 to 2 g/cm 2 .
The trapping of foreign matter causes the filter to become clogged and the filtering pressure increases. In that case, it is necessary to stop the extruder and replace the filter, but a type in which the filter can be replaced while continuing extrusion can also be used. In addition, as a countermeasure against an increase in filtration pressure due to trapping of foreign matter, it is also possible to use a filter having a function of lowering the filtration pressure by washing and removing foreign matter trapped in the filter by reversing the flow path of the polymer.
(ダイ)
・種類、構造、素材
 濾過により異物が取り除かれ、更にミキサーにより温度を均一化された溶融樹脂は、ダイに連続的に送られる。ダイは、溶融樹脂の滞留が少ない設計であれば特に制限されず、一般的に用いられるTダイ、フィッシュテールダイ、及び、ハンガーコートダイの何れのタイプも使用できる。この中で、厚み均一性と滞留の少ない点で、ハンガーコートダイが好ましい。
(die)
・Type, structure, and material Foreign matter is removed by filtration, and the melted resin whose temperature is equalized by a mixer is continuously sent to a die. The die is not particularly limited as long as it is designed so that the molten resin stays little, and any type of generally used T die, fish tail die, and hanger coat die can be used. Among these, the hanger coat die is preferable in terms of thickness uniformity and less retention.
・多層製膜
 ポリマーフィルムの製造には、設備コストの安い単層製膜装置が用いられる。他にも、層B、表面保護層、粘着層、易接着層、及び/又は、帯電防止層等の機能層を有するポリマーフィルムを製造するために、多層製膜装置を用いてもよい。具体的には、多層用フィードブロックを用いて多層化を行う方法、及び、マルチマニホールドダイを用いる方法が挙げられる。機能層を表層に薄く積層することが好ましいが、特に層比を制限するものではない。
・Multi-layer film production A single-layer film production equipment with low equipment cost is used for the production of polymer films. Alternatively, a multi-layer film-forming apparatus may be used to produce a polymer film having functional layers such as Layer B, a surface protective layer, an adhesive layer, an easy-adhesive layer, and/or an antistatic layer. Specific examples include a method of forming multiple layers using a feed block for multiple layers, and a method of using a multi-manifold die. Although it is preferable to laminate the functional layer thinly on the surface layer, the layer ratio is not particularly limited.
・キャスト
 製膜工程は、溶融状態の原料樹脂を供給手段から供給する工程と、溶融状態の原料樹脂をキャストロール上に着地させてフィルム状に成形する工程と、を含むことが好ましい。これを冷却及び固化してそのままポリマーフィルムとして巻き取ってもよいし、一対の挟圧面の間を通過させて連続的に挟圧してフィルム状に成形してもよい。
 その際、溶融状態の原料樹脂(メルト)を供給する手段に特に制限はない。例えば、メルトの具体的な供給手段として、液晶ポリマーを含む原料樹脂を溶融してフィルム状に押出す押出機を用いる態様でもよく、押出機及びダイを用いる態様でもよく、原料樹脂を一度固化してフィルム状とした後に加熱手段により溶融してメルトを形成し、製膜工程に供給する態様でもよい。
 ダイよりシート状に押し出された溶融樹脂を一対の挟圧面を有する装置により挟圧する場合には、挟圧面の表面形態をポリマーフィルム表面に転写させることができるだけでなく、液晶ポリマーを含む組成物に伸長変形を与えることにより配向性を制御できる。
- Cast The film-forming step preferably includes a step of supplying a raw material resin in a molten state from a supply means, and a step of forming a film by landing the raw resin in a molten state on a cast roll. It may be cooled and solidified and wound as it is as a polymer film, or it may be passed between a pair of pressing surfaces and continuously pressed to form a film.
At that time, there is no particular limitation on the means for supplying the raw material resin (melt) in a molten state. For example, as a specific means for supplying the melt, an extruder that melts and extrudes a raw resin containing a liquid crystal polymer into a film may be used, or an extruder and a die may be used, and the raw resin is once solidified. It may be formed into a film by heating, melted by heating means to form a melt, and supplied to the film forming process.
When a molten resin extruded from a die in the form of a sheet is pressed by a device having a pair of pressing surfaces, not only can the surface morphology of the pressing surfaces be transferred to the surface of the polymer film, but also the composition containing the liquid crystal polymer can be transferred. Orientation can be controlled by applying elongation deformation.
・製膜方法、種類
 溶融状態の原料樹脂をフィルム状に成形する方法の中でも、高い挟圧力を付与可能であり、ポリマーフィルムの表面形状に優れる点では、2つのロール(例えば、タッチロール及びチルロール)間を通過させることが好ましい。なお、本明細書では、溶融物を搬送するキャストロールを複数有している場合、最上流の液晶ポリマーの供給手段(例えば、ダイ)に最も近いキャストロールのことをチルロールという。その他にも、金属ベルト同士で挟圧する方法、又は、ロールと金属ベルトを組み合わせた方法も使用できる。また、場合によっては、ロール又は金属ベルトとの密着性を上げるために、キャストドラム上で静電印加法、エアナイフ法、エアーチャンバー法、及び、バキュームノズル法等の製膜法を組み合わせて用いることもできる。
 また、多層構造のポリマーフィルムを得る場合には、ダイから多層で押出された溶融ポリマーを含む原料樹脂を挟圧することにより得ることが好ましいが、単層構造のポリマーフィルムを、溶融ラミネートの要領で挟圧部に導入して多層構造のポリマーフィルムを得ることもできる。また、この際に挟圧部の周速差又は配向軸方向を変更することにより、厚み方向で傾斜構造の異なるポリマーフィルムが得られ、この工程を数回行うことで、3層以上のポリマーフィルムを得ることも可能である。
 更に、挟圧の際にTD方向にタッチロールを周期振動させる等して、変形を与えてもよい。
・Methods and types of film formation Among the methods for forming a film from raw resin in a molten state, two rolls (for example, a touch roll and a chill roll) are used in terms of the ability to apply a high clamping force and the excellent surface shape of the polymer film. ) is preferably passed through. In this specification, when there are a plurality of cast rolls for conveying the melt, the cast roll closest to the most upstream liquid crystal polymer supply means (for example, die) is referred to as a chill roll. In addition, a method of pressing between metal belts or a method of combining rolls and metal belts can also be used. In some cases, in order to increase the adhesion to the roll or metal belt, it is possible to use a combination of film forming methods such as an electrostatic application method, an air knife method, an air chamber method, and a vacuum nozzle method on a cast drum. can also
In addition, when obtaining a polymer film with a multilayer structure, it is preferable to obtain it by pressing a raw material resin containing a molten polymer extruded in multiple layers from a die. It is also possible to obtain a multi-layered polymer film by introducing it into the pressing section. At this time, by changing the peripheral speed difference of the pinching part or the orientation axis direction, a polymer film having a different tilt structure in the thickness direction can be obtained. It is also possible to obtain
Further, deformation may be given by, for example, periodically vibrating the touch roll in the TD direction at the time of pressing.
・溶融ポリマー温度
 吐出温度(供給手段の出口の樹脂温度)は、液晶ポリマーの成形性向上と劣化抑制の点で、(液晶ポリマーのTm-10)℃~(液晶ポリマーのTm+40)℃であることが好ましい。溶融粘度の目安としては50~3500Pa・sが好ましい。
 エアーギャップ間での溶融ポリマーの冷却は可能な限り小さいことが好ましく、製膜速度を速くする、エアーギャップを短くする等の工夫をして冷却による温度低下を小さくすることが好ましい。
・Molten polymer temperature The discharge temperature (resin temperature at the outlet of the supply means) should be (Tm-10) ° C. to (Tm + 40) ° C. from the viewpoint of improving the moldability of the liquid crystal polymer and suppressing deterioration. is preferred. As a standard of melt viscosity, 50 to 3500 Pa·s is preferable.
It is preferable that the cooling of the molten polymer between the air gaps is as small as possible, and it is preferable to reduce the temperature drop due to cooling by increasing the film forming speed, shortening the air gap, or the like.
・タッチロール温度
 タッチロールの温度は、液晶ポリマーのTg以下に設定するのが好ましい。タッチロールの温度が液晶ポリマーのTg以下であれば、溶融ポリマーのロールへの粘着を抑制できるので、ポリマーフィルムの外観が良好になる。チルロール温度も同様の理由から、液晶ポリマーのTg以下に設定するのが好ましい。
- Touch roll temperature It is preferable to set the temperature of the touch roll below the Tg of the liquid crystal polymer. If the temperature of the touch roll is equal to or lower than the Tg of the liquid crystal polymer, adhesion of the molten polymer to the roll can be suppressed, and the appearance of the polymer film is improved. For the same reason, it is preferable to set the chill roll temperature below the Tg of the liquid crystal polymer.
・製膜手順
 製膜工程では、製膜工程及び品質の安定化の点で、ダイから吐出した溶融ポリマーをキャストロール上に着地させてフィルム状に成形した後、これを冷却及び固化してポリマーフィルムとして巻き取ることにより、製膜を行うことが好ましい。
 溶融ポリマーの挟圧を行う場合は、所定の温度に設定した第一挟圧面と第二挟圧面との間に溶融ポリマーを通過させ、これを冷却及び固化してポリマーフィルムとして巻き取る。
・Film production procedure In the film production process, in terms of the film production process and quality stabilization, the molten polymer discharged from the die is landed on a cast roll and formed into a film, which is then cooled and solidified to form a polymer. It is preferable to form the film by winding it up as a film.
In the case of pinching the molten polymer, the molten polymer is passed between a first pinching surface and a second pinching surface set to a predetermined temperature, cooled and solidified, and wound up as a polymer film.
(延伸工程、熱緩和処理、熱固定処理)
 更に、上記方法により未延伸のポリマーフィルムを製膜した後、連続又は非連続で延伸、及び/又は、熱緩和処理もしくは熱固定処理を行ってもよい。例えば、以下の(a)~(g)の組合せで各工程を実施することができる。また、縦延伸と横延伸の順序を逆にしてもよく、縦延伸及び横延伸の各工程を多段で行ってもよく、縦延伸及び横延伸の各工程を斜め延伸もしくは同時二軸延伸と組み合わせてもよい。
(a) 横延伸
(b) 横延伸→熱緩和処理
(c) 縦延伸
(d) 縦延伸→熱緩和処理
(e) 縦(横)延伸→横(縦)延伸
(f) 縦(横)延伸→横(縦)延伸→熱緩和処理
(g) 横延伸→熱緩和処理→縦延伸→熱緩和処理
 以下、未延伸のポリマーフィルム及び延伸されたポリマーフィルムを総称して単に「フィルム」ともいう。
(Stretching process, heat relaxation treatment, heat setting treatment)
Furthermore, after forming an unstretched polymer film by the above method, stretching and/or heat relaxation treatment or heat setting treatment may be performed continuously or discontinuously. For example, each step can be carried out by combining the following (a) to (g). Further, the order of longitudinal stretching and transverse stretching may be reversed, each step of longitudinal stretching and transverse stretching may be performed in multiple stages, and each step of longitudinal stretching and transverse stretching may be combined with oblique stretching or simultaneous biaxial stretching. may
(a) Lateral stretching (b) Lateral stretching → Thermal relaxation treatment (c) Longitudinal stretching (d) Longitudinal stretching → Thermal relaxation treatment (e) Longitudinal (horizontal) stretching → Lateral (longitudinal) stretching (f) Longitudinal (horizontal) stretching → Lateral (vertical) stretching → Thermal relaxation treatment (g) Lateral stretching → Thermal relaxation treatment → Longitudinal stretching → Thermal relaxation treatment Hereinafter, the unstretched polymer film and the stretched polymer film are collectively referred to simply as “film”.
・縦延伸
 縦延伸は、2対のロール間を加熱しながら出口側の周速を入口側の周速より速くすることで達成できる。カールを抑制する点で、延伸処理するフィルムの表裏面が同じ温度であることが好ましいが、厚み方向で光学特性を制御する場合には、表裏異なった温度でも延伸を行うことができる。なお、ここでの延伸温度とは、フィルム表面の低い側の温度と定義する。縦延伸工程は、1段階で実施しても多段階で実施しても構わない。未延伸フィルムの予熱は、温度制御した加熱ロールを通過させることにより行うことが多いが、場合によってはヒーターを用いて未延伸フィルムを加熱することもできる。また、延伸処理するフィルムのロールへの粘着防止のために、粘着性を改善したセラミックロール等を用いることもできる。
-Longitudinal stretching Longitudinal stretching can be achieved by making the peripheral speed on the exit side faster than the peripheral speed on the inlet side while heating between two pairs of rolls. From the viewpoint of suppressing curling, it is preferable that the front and back surfaces of the film to be stretched are at the same temperature. The stretching temperature here is defined as the temperature on the lower side of the film surface. The longitudinal stretching process may be carried out in one step or in multiple steps. Preheating of the unstretched film is often performed by passing it through a temperature-controlled heating roll, but in some cases, the unstretched film can be heated using a heater. In order to prevent the film to be stretched from adhering to the roll, a ceramic roll or the like with improved adhesion may be used.
・横延伸
 横延伸工程としては、通常の横延伸を採用することができる。すなわち、通常の横延伸とは、延伸処理するフィルムの幅方向の両端をクリップで把持し、テンターを用いオーブン内で加熱しながらクリップを拡幅する延伸法が挙げられる。横延伸工程については、例えば、実開昭62-035817号公報、特開2001-138394号公報、特開平10-249934号公報、特開平6-270246号公報、実開平4-030922号公報、及び、特開昭62-152721号各公報に記載の方法を使用でき、これらの方法は本明細書に組み込まれる。
- Lateral stretching Normal lateral stretching can be adopted as the lateral stretching step. That is, the normal transverse stretching includes a stretching method in which both ends in the width direction of a film to be stretched are held with clips, and the clips are widened while being heated in an oven using a tenter. Regarding the lateral stretching step, for example, Japanese Utility Model Laid-Open No. 62-035817, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-138394, Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-249934, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-270246, Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 4-030922, and , JP-A-62-152721 can be used, and these methods are incorporated herein.
 横延伸工程におけるフィルムの幅方向の延伸倍率(横延伸倍率)は、1.2~6倍が好ましく、1.5~5倍がより好ましく、2~4倍が更に好ましい。また、横延伸倍率は、縦延伸を行った場合、縦延伸の延伸倍率より大きいことが好ましい。
 横延伸工程における延伸温度は、テンター内に所望の温度の風を送ることで延伸温度を制御できる。フィルム温度は、縦延伸と同様の理由から、表裏面同じ場合又は異なる場合のいずれもある。ここで用いる延伸温度は、フィルム表面の低い側の温度と定義する。横延伸工程は、1段階で実施しても多段階で実施しても構わない。また、多段で横延伸を行なう場合には、連続的に行ってもよく、間に拡幅を行わないゾーンを設けて間欠的に行ってもよい。このような横延伸は、テンター内でクリップを幅方向に拡幅する通常の横延伸以外に、これらと同様にクリップで把持して拡幅する下記のような延伸方法も適用できる。
The draw ratio in the width direction of the film in the transverse drawing step (lateral draw ratio) is preferably 1.2 to 6 times, more preferably 1.5 to 5 times, and still more preferably 2 to 4 times. Moreover, when longitudinal stretching is performed, the lateral draw ratio is preferably larger than the longitudinal draw ratio.
The stretching temperature in the lateral stretching step can be controlled by blowing air at a desired temperature into the tenter. For the same reason as in longitudinal stretching, the film temperature may be the same or different on the front and back surfaces. Stretching temperature as used herein is defined as the temperature on the lower side of the film surface. The transverse stretching process may be carried out in one step or in multiple steps. Further, when transverse stretching is carried out in multiple stages, it may be carried out continuously, or may be carried out intermittently by providing a zone in which the width is not widened. For such lateral stretching, besides the usual lateral stretching in which the clip is widened in the width direction in a tenter, the following stretching method in which the clip is gripped and widened in the same manner as above can also be applied.
・斜め延伸
 斜め延伸工程では、通常の横延伸と同様、横方向にクリップを拡幅するが、左右のクリップの搬送速度を変えることで斜め方向に延伸できる。斜め延伸工程としては、例えば、特開2002-022944号公報、特開2002-086554号公報、特開2004-325561号公報、特開2008-023775号公報、及び、特開2008-110573号公報に記載の方法を使用できる。
・Diagonal stretching In the diagonal stretching process, the clip is widened in the horizontal direction as in the normal horizontal stretching. As the diagonal stretching step, for example, JP-A-2002-022944, JP-A-2002-086554, JP-A-2004-325561, JP-A-2008-023775, and JP-A-2008-110573 The methods described can be used.
・同時2軸延伸
 同時2軸延伸は、通常の横延伸と同様、横方向にクリップを拡幅し、それと同時に縦方向に延伸又は収縮する処理である。同時2軸延伸としては、例えば、実開昭55-093520号公報、特開昭63-247021号公報、特開平6-210726号公報、特開平6-278204号公報、特開2000-334832号公報、特開2004-106434号公報、特開2004-195712号公報、特開2006-142595号公報、特開2007-210306号公報、特開2005-022087号公報、特表2006-517608号公報、及び、特開2007-210306号公報に記載の方法を使用できる。
- Simultaneous biaxial stretching Simultaneous biaxial stretching is a process of expanding the width of a clip in the horizontal direction and simultaneously stretching or shrinking it in the vertical direction, as in normal lateral stretching. Examples of simultaneous biaxial stretching include, for example, Japanese Utility Model Laid-Open Publication No. 55-093520, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 63-247021, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 6-210726, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 6-278204, and Japanese Laid-Open Patent Publication 2000-334832. , JP 2004-106434, JP 2004-195712, JP 2006-142595, JP 2007-210306, JP 2005-022087, JP 2006-517608, and , the method described in JP-A-2007-210306 can be used.
・ボーイング(軸ズレ)改善のための熱処理
 上記横延伸工程で、フィルムの端部はクリップにより把持されているため、熱処理時に生じる熱収縮応力によるフィルムの変形は、フィルムの中央部で大きく、端部で小さくなり、結果として幅方向の特性に分布ができることとなる。熱処理工程前のフィルムの面上に横方向に沿って直線を描いておくと、熱処理工程を出たフィルムの面上の直線は、下流に向かってセンター部が凹む弓形のものとなる。この現象は、ボーイング現象と称されるものであり、フィルムの等方性及び幅方向の均一性を乱す原因となっている。
 改善法として、横延伸の前に予熱を行うか、或いは、延伸の後に熱固定を行うことでボーイングに伴う配向角のばらつきを小さくできる。予熱及び熱固定はどちらか一方であってもよいが、両方行うのがより好ましい。これらの予熱及び熱固定はクリップで把持して行うことが好ましく、即ち延伸と連続して行うことが好ましい。
・Heat treatment to improve bowing (axis misalignment) In the horizontal stretching process, the edges of the film are held by clips. As a result, the characteristics in the width direction are distributed. If a straight line is drawn in the horizontal direction on the surface of the film before the heat treatment process, the straight line on the surface of the film after the heat treatment process will have an arcuate shape with the center part recessed toward the downstream. This phenomenon is called the bowing phenomenon, and causes the isotropy and the uniformity in the width direction of the film to be disturbed.
As a method for improvement, preheating is performed before lateral stretching, or heat setting is performed after stretching to reduce the variation in the orientation angle due to bowing. Either one of preheating and heat setting may be performed, but it is more preferable to perform both. These preheating and heat setting are preferably carried out by gripping with a clip, that is, preferably carried out continuously with stretching.
 予熱温度は、延伸温度より1~50℃程度高いことが好ましく、2~40℃高いことがより好ましく、3~30℃高いことが更に好ましい。予熱時間は、1秒間~10分間が好ましく、5秒間~4分間がより好ましく、10秒間~2分間が更に好ましい。
 予熱の際、テンターの幅をほぼ一定に保つことが好ましい。ここで「ほぼ」とは未延伸フィルムの幅の±10%を指す。
The preheating temperature is preferably about 1 to 50°C higher than the stretching temperature, more preferably 2 to 40°C higher, even more preferably 3 to 30°C higher. The preheating time is preferably 1 second to 10 minutes, more preferably 5 seconds to 4 minutes, even more preferably 10 seconds to 2 minutes.
It is preferable to keep the width of the tenter substantially constant during preheating. Here, "approximately" refers to ±10% of the width of the unstretched film.
 熱固定温度は、延伸温度より1~50℃低いことが好ましく、2~40℃低いことがより好ましく、3~30℃低いことが更に好ましい。延伸温度以下でかつ液晶ポリマーのTg以下の温度が、特に好ましい。
 熱固定時間は1秒間~10分間が好ましく、5秒間~4分間がより好ましく、10秒間~2分間が更に好ましい。熱固定の際、テンターの幅はほぼ一定に保つことが好ましい。ここで「ほぼ」とは延伸終了後のテンター幅の0%(延伸後のテンター幅と同じ幅)~-30%(延伸後のテンター幅より30%縮める=縮幅)を指す。その他の公知の方法として、特開平1-165423号公報、特開平3-216326号公報、特開2002-018948号公報、及び、特開2002-137286号公報に記載の方法が挙げられる。
The heat setting temperature is preferably 1 to 50°C lower than the stretching temperature, more preferably 2 to 40°C lower, and even more preferably 3 to 30°C lower. Temperatures below the stretching temperature and below the Tg of the liquid crystal polymer are particularly preferred.
The heat setting time is preferably 1 second to 10 minutes, more preferably 5 seconds to 4 minutes, even more preferably 10 seconds to 2 minutes. During heat setting, it is preferable to keep the width of the tenter substantially constant. Here, "almost" refers to 0% of the tenter width after stretching (the same width as the tenter width after stretching) to -30% (30% smaller than the tenter width after stretching=shrinkage width). Other known methods include the methods described in JP-A-1-165423, JP-A-3-216326, JP-A-2002-018948, and JP-A-2002-137286.
・熱緩和処理
 上記延伸工程の後、フィルムを加熱してフィルムを収縮させる熱緩和処理を行ってもよい。熱緩和処理を行うことで、積層体の使用時におけるポリマーフィルムの熱収縮率を低減させることができる。熱緩和処理は、製膜後、縦延伸後及び横延伸後の少なくとも1つのタイミングで実施することが好ましい。
 熱緩和処理は、延伸後に連続してオンラインで行ってもよく、延伸後に巻き取った後、オフラインで行ってもよい。熱緩和処理の温度としては、例えば、液晶ポリマーのガラス転移温度Tg以上融点Tm以下が挙げられる。ポリマーフィルムの酸化劣化が懸念される場合は、窒素ガス、アルゴンガス、又は、ヘリウムガスなどの不活性ガス中での熱緩和処理を行ってもよい。
- Thermal relaxation treatment After the stretching step, a thermal relaxation treatment may be performed to shrink the film by heating the film. The thermal relaxation treatment can reduce the thermal shrinkage of the polymer film when the laminate is used. The thermal relaxation treatment is preferably performed at least one timing after film formation, after longitudinal stretching, and after transverse stretching.
The thermal relaxation treatment may be continuously performed online after stretching, or may be performed offline after winding after stretching. The temperature of the thermal relaxation treatment is, for example, the glass transition temperature Tg or higher and the melting point Tm or lower of the liquid crystal polymer. If there is concern about oxidative deterioration of the polymer film, thermal relaxation treatment may be performed in an inert gas such as nitrogen gas, argon gas, or helium gas.
(アニール処理)
 工程Aにおいては、電気特性がより優れる点で、フィルムを延伸した後、フィルムを加熱するアニール処理を行うことが好ましい。
 アニール処理における加熱温度は、液晶ポリマーの融点をTm(℃)として、{Tm-200}℃以上が好ましく、{Tm-100}℃以上がより好ましく、{Tm-50}℃以上が更に好ましい。アニール処理における加熱温度の上限としては、{Tm+50}℃以下が好ましく、{Tm+30}℃以下がより好ましい。
 或いは、アニール処理における加熱温度は、240℃以上が好ましく、255℃以上がより好ましく、270℃以上が更に好ましい。上限としては、370℃以下が好ましく、350℃以下がより好ましい。
(annealing treatment)
In the step A, it is preferable to perform an annealing treatment by heating the film after stretching the film, in terms of better electrical properties.
The heating temperature in the annealing treatment is preferably {Tm-200}°C or higher, more preferably {Tm-100}°C or higher, and still more preferably {Tm-50}°C or higher, where Tm (°C) is the melting point of the liquid crystal polymer. The upper limit of the heating temperature in the annealing treatment is preferably {Tm+50}° C. or less, more preferably {Tm+30}° C. or less.
Alternatively, the heating temperature in the annealing treatment is preferably 240° C. or higher, more preferably 255° C. or higher, and even more preferably 270° C. or higher. The upper limit is preferably 370°C or lower, more preferably 350°C or lower.
 アニール処理に用いる加熱手段としては、熱風乾燥炉、及び、赤外線ヒーターが挙げられ、短時間で所望の融解ピーク面積を有するフィルムを作製できる点では、赤外線ヒーターが好ましい。また、加熱手段として、加圧水蒸気、マイクロ波加熱、及び、熱媒循環加熱方式を用いてもよい。
 アニール処理の処理時間は、液晶ポリマーの種類、加熱手段及び加熱温度に応じて適宜調整でき、赤外線ヒーターを使用する場合、1~120秒間が好ましく、3~90秒間がより好ましい。また、熱風乾燥炉を使用する場合、1~14時間が好ましく、2~10時間がより好ましい。
Heating means used for the annealing treatment include a hot air drying oven and an infrared heater, and the infrared heater is preferable in that a film having a desired melting peak area can be produced in a short time. Moreover, pressurized steam, microwave heating, and heat medium circulation heating may be used as the heating means.
The annealing treatment time can be appropriately adjusted according to the type of liquid crystal polymer, the heating means and the heating temperature. When using an infrared heater, it is preferably 1 to 120 seconds, more preferably 3 to 90 seconds. When using a hot air drying oven, the drying time is preferably 1 to 14 hours, more preferably 2 to 10 hours.
(表面処理)
 ポリマーフィルムと銅箔及び銅めっき層等の金属からなる配線又は他の層との密着性を更に向上させることができるため、ポリマーフィルムに対して表面処理を行うことが好ましい。表面処理としては、例えば、グロー放電処理、紫外線照射処理、コロナ処理、火炎処理、及び、酸又はアルカリ処理が挙げられる。ここでいうグロー放電処理とは、10-3~20Torrの低圧ガス下で起こる低温プラズマでもよく、大気圧下でのプラズマ処理も好ましい。
 グロー放電処理はプラズマ励起性気体を使用して行う。プラズマ励起性気体とは、上記のような条件においてプラズマ励起される気体であり、例えば、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン、窒素、二酸化炭素、テトラフルオロメタンのようなフロン類及びそれらの混合物が挙げられる。
(surface treatment)
It is preferable to subject the polymer film to a surface treatment because the adhesion between the polymer film and wiring or other layers made of metal such as copper foil and copper plating layer can be further improved. Surface treatments include, for example, glow discharge treatment, ultraviolet irradiation treatment, corona treatment, flame treatment, and acid or alkali treatment. The glow discharge treatment referred to here may be low-temperature plasma generated under a low-pressure gas of 10 −3 to 20 Torr, and plasma treatment under atmospheric pressure is also preferable.
Glow discharge treatment is performed using a plasma-excitable gas. Plasma-excitable gas is a gas that is plasma-excited under the above conditions, for example, argon, helium, neon, krypton, xenon, nitrogen, carbon dioxide, fluorocarbons such as tetrafluoromethane, and mixtures thereof is mentioned.
 巻き取られたポリマーフィルムの機械特性、熱寸法安定性、又は、巻き姿改善等のため、ポリマーフィルムを液晶ポリマーのTg以下の温度でエージング処理することも有用である。
 また、ポリマーフィルムは、製膜工程を経た後に、更に、加熱ロールでポリマーフィルムを狭圧する工程及び/又は延伸する工程を行い、ポリマーフィルムの平滑性を更に向上させてもよい。
It is also useful to subject the polymer film to aging treatment at a temperature below the Tg of the liquid crystal polymer in order to improve the mechanical properties, thermal dimensional stability, or appearance of the wound polymer film.
In addition, the polymer film may be further subjected to a step of compressing and/or stretching the polymer film with heated rolls after passing through the film-forming step to further improve the smoothness of the polymer film.
 上記の製造方法では、ポリマーフィルムが単層である場合について説明しているが、ポリマーフィルムは、複数層が積層されてなる積層構造を有していてもよい。 In the above manufacturing method, the case where the polymer film is a single layer is described, but the polymer film may have a laminated structure in which multiple layers are laminated.
<工程B>
 工程Bは、工程Aで作製されたポリマーフィルム上に層B形成用組成物を用いて層Bを形成することにより、ポリマーフィルムからなる層Aと層Bとを有する積層体を製造する工程である。
<Step B>
Step B is a step of forming a layer B on the polymer film produced in step A using a composition for forming layer B, thereby producing a laminate having a layer A and a layer B made of a polymer film. be.
 工程Bとしては、例えば、工程Aで作製されたポリマーフィルムの少なくとも一方の表面に層B形成用組成物を塗布し、必要に応じて塗布膜の乾燥及び/又は硬化を行って、ポリマーフィルム上に層Bを形成する工程が挙げられる。 In step B, for example, the composition for forming layer B is applied to at least one surface of the polymer film produced in step A, and the coating film is dried and / or cured as necessary to form a film on the polymer film. a step of forming a layer B in the above.
 層B形成用組成物は、例えば、上記の樹脂及び反応性化合物等の層Bを構成する成分を含む組成物が挙げられる。層Bを構成する成分については、上述した通りであるので、それらの説明を省略する。 Examples of the composition for forming layer B include compositions containing components constituting layer B, such as the resin and reactive compound described above. Since the components constituting the layer B are as described above, the description thereof will be omitted.
 溶剤は、1種単独で用いても2種以上を用いてもよい。
 層B形成用組成物に含まれる溶剤の含有量は、層B形成用組成物の全質量に対して0.02質量%以下が好ましく、0.01質量%以下がより好ましい。下限値は特に制限されず、0質量%であってよい。
 層B形成用組成物の固形分の含有量は、層B形成用組成物の全質量に対して99.98質量%以上が好ましく、99.99質量%がより好ましい。上限値は特に制限されず、100質量%であってよい。
 本明細書において、組成物の「固形分」とは溶剤及び水を除いた成分を意味する。即ち、層B形成用組成物の固形分とは、上記の樹脂及び反応性化合物等の層Bを構成する成分を意図する。
A solvent may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types.
The content of the solvent contained in the layer B forming composition is preferably 0.02% by mass or less, more preferably 0.01% by mass or less, relative to the total mass of the layer B forming composition. The lower limit is not particularly limited, and may be 0% by mass.
The solid content of the composition for forming layer B is preferably 99.98% by mass or more, more preferably 99.99% by mass, based on the total mass of the composition for forming layer B. The upper limit is not particularly limited, and may be 100% by mass.
As used herein, the "solids" of the composition means the components excluding solvent and water. That is, the solid content of the layer B-forming composition means the components constituting the layer B such as the above-mentioned resin and reactive compound.
 ポリマーフィルム上に層B形成用組成物を付着させる方法としては、特に制限されないが、例えば、バーコート法、スプレーコート法、スキージコート法、フローコート法、スピンコート法、ディップコート法、ダイコート法、インクジェット法、及び、カーテンコート法が挙げられる。
 ポリマーフィルム上に付着させた層B形成用組成物を乾燥する場合、乾燥条件は特に制限されないが、乾燥温度は25~200℃が好ましく、乾燥時間は1秒~120分間が好ましい。
The method for attaching the layer B-forming composition onto the polymer film is not particularly limited, and examples thereof include bar coating, spray coating, squeegee coating, flow coating, spin coating, dip coating, and die coating. , an inkjet method, and a curtain coating method.
When drying the layer B forming composition deposited on the polymer film, the drying conditions are not particularly limited, but the drying temperature is preferably 25 to 200° C., and the drying time is preferably 1 second to 120 minutes.
 積層体が、層Aと層Bとの間に中間層及び/又は他の層を有する場合、それらの層は、公知の方法に従って形成できる。また、中間層は、上記工程Bに準じる方法によっても形成できる。 When the laminate has intermediate layers and/or other layers between layer A and layer B, those layers can be formed according to known methods. The intermediate layer can also be formed by a method according to the above step B.
[配線基板]
 本発明の配線基板は、上記積層体と、基材及び配線を有する配線付き基材とを有する。上記積層体を有する配線基板は、誘電正接が低く、かつ、配線の面内方向の位置ずれが抑制され、より優れた配線間の電気特性を有する。
[Wiring board]
A wiring board of the present invention includes the laminate and a base material with wiring having a base material and wiring. A wiring board having the laminate has a low dielectric loss tangent, suppresses positional deviation of wiring in the in-plane direction, and has excellent electrical characteristics between wirings.
 配線基板としては、例えば、上記積層体と上記配線付き基材とが、層B及び配線が互いに接するように張り合わされてなる配線基板が挙げられる。配線基板としては、基材、配線、層B及び層Aの順に積層されてなる層構成を少なくとも有することが好ましい。
 配線基板が有する積層体及び配線付き基材の数は制限されず、各部材の数は1つのみであっても2以上であってもよい。
 配線基板は、上記積層体及び配線付き基材以外の層又は部材を有していてもよい。
Examples of the wiring board include a wiring board obtained by laminating the laminate and the base material with wiring so that the layer B and the wiring are in contact with each other. The wiring board preferably has at least a layer structure in which a substrate, wiring, layer B and layer A are laminated in this order.
The number of laminates and substrates with wiring included in the wiring board is not limited, and the number of each member may be one or two or more.
The wiring board may have layers or members other than the laminate and the substrate with wiring.
〔配線付き基材〕
 配線付き基材は、基材と、基材の少なくとも一方の表面に配置された配線とを有する。
 以下、基材及び配線についてそれぞれ説明する。
[Base material with wiring]
A substrate with wiring has a substrate and wiring arranged on at least one surface of the substrate.
The substrate and wiring will be described below.
<基材>
 基材としては、配線基板用基材として使用される公知のシート及びフィルムが挙げられる。基材の構成成分としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート及びポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリシクロオレフィン等のポリオレフィン、ポリカーボネート、(メタ)アクリル樹脂、ポリイミド、並びに、液晶ポリマーが挙げられる。
 また、基材としては、上記積層体及び上記層Aのみからなるフィルムも使用できる。
<Base material>
Examples of the substrate include known sheets and films used as substrates for wiring boards. Examples of constituents of the substrate include polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, polyolefins such as polycycloolefin, polycarbonates, (meth)acrylic resins, polyimides, and liquid crystal polymers.
Moreover, as a base material, the film which consists only of the said laminated body and said layer A can also be used.
 基材の厚みは、特に制限されないが、5~1000μmが好ましく、10~500μmがより好ましく、20~300μmが更に好ましい。
 基材の厚みは、上記の層Aの厚みの測定方法に準じて測定できる。
Although the thickness of the substrate is not particularly limited, it is preferably 5 to 1000 μm, more preferably 10 to 500 μm, even more preferably 20 to 300 μm.
The thickness of the substrate can be measured according to the method for measuring the thickness of the layer A described above.
<配線>
 配線は、導電性材料からなる部材であり、基材の表面において導電性部材が存在する領域と、導電性部材が存在しない領域とによって構成される。この配線の面内方向の形状は、配線基板の用途に応じて、適宜設計される。
 配線付き基材の配線側の表面には配線の形状に応じた凹凸が形成されていることが多い。その場合においても、弾性率が所定の範囲にある層Bが配線に接するように上記積層体を配線付き基材に張り合わせることによって、配線ずれを抑制し、かつ、誘電正接の低い積層体を作製できる。
<Wiring>
The wiring is a member made of a conductive material, and is composed of a region where the conductive member exists and a region where the conductive member does not exist on the surface of the base material. The shape of the wiring in the in-plane direction is appropriately designed according to the use of the wiring board.
Concavities and convexities corresponding to the shape of the wiring are often formed on the wiring-side surface of the substrate with wiring. Even in that case, by laminating the laminate to the substrate with wires so that the layer B whose elastic modulus is within a predetermined range is in contact with the wiring, the wiring displacement is suppressed and the laminate with a low dielectric loss tangent is obtained. can be made.
 配線の形状は特に制限されず、配線基板の用途に応じて適宜選択される。
 配線の厚みは特に限定されず、配線基板の用途に応じて適宜選択される。配線の厚みは、例えば1~100μmであり、導電性及び経済性の点で、2~50μmが好ましく、5~40μmがより好ましい。
The shape of the wiring is not particularly limited, and is appropriately selected according to the application of the wiring board.
The thickness of the wiring is not particularly limited, and is appropriately selected according to the application of the wiring board. The thickness of the wiring is, for example, 1 to 100 μm, preferably 2 to 50 μm, more preferably 5 to 40 μm, in terms of conductivity and economy.
 配線を構成する成分としては、例えば、電気的接続に使用される金属が挙げられる。そのような金属としては、例えば、銅、金、銀、ニッケル、アルミニウム、及び、これらのいずれかの金属を含む合金が挙げられる。合金としては、例えば、銅-亜鉛合金、銅-ニッケル合金、及び、亜鉛-ニッケル合金が挙げられる。
 配線としては、導電性及び加工性に優れる点で、銅配線が好ましい。銅配線とは、銅又は銅を95質量%以上含む銅合金からなる配線である。銅配線としては、例えば、圧延法によって製造される圧延銅箔、及び、電気分解法によって製造される電解銅箔等の銅箔をパターン形成することにより得られる銅配線が挙げられる。配線を構成する金属材料には、酸洗浄等の化学的処理が施されていてもよい。
Examples of components that make up wiring include metals used for electrical connections. Such metals include, for example, copper, gold, silver, nickel, aluminum, and alloys containing any of these metals. Alloys include, for example, copper-zinc alloys, copper-nickel alloys, and zinc-nickel alloys.
As the wiring, copper wiring is preferable from the viewpoint of excellent conductivity and workability. Copper wiring is wiring made of copper or a copper alloy containing 95% by mass or more of copper. The copper wiring includes, for example, a rolled copper foil produced by a rolling method, and a copper wiring obtained by patterning a copper foil such as an electrolytic copper foil produced by an electrolysis method. Chemical treatment such as acid cleaning may be applied to the metal material forming the wiring.
 配線を形成する方法は特に制限されず、例えば、ポリマーフィルムと金属箔とを熱圧着により積層した後、形成された金属層にエッチング処理等を施すことにより、配線を形成する方法が挙げられる。また、スパッタリング法、イオンプレーティング法、及び、真空蒸着法等の気相法、並びに、湿式のめっき法等の公知の方法により、ポリマーフィルムの表面に所定の形状の配線を直接形成してもよい。 The method of forming the wiring is not particularly limited, for example, a method of forming wiring by laminating a polymer film and a metal foil by thermocompression bonding and then subjecting the formed metal layer to an etching treatment or the like. Alternatively, a wiring having a predetermined shape may be directly formed on the surface of the polymer film by a vapor phase method such as a sputtering method, an ion plating method, a vacuum deposition method, or a known method such as a wet plating method. good.
 配線付き基材が備える配線の表面のRSmは、1.2μm以下が好ましく、0.9μm以下がより好ましい。下限値は特に制限されないが、0.1μm以上が好ましい。
 表面のRSmが上記範囲にある配線の作製に用いられる金属箔としては、例えば、無粗化処理銅箔等が挙げられ、市場から入手できる。
The RSm of the surface of the wiring included in the substrate with wiring is preferably 1.2 μm or less, more preferably 0.9 μm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it is preferably 0.1 μm or more.
Examples of metal foils used to fabricate wiring having a surface RSm within the above range include non-roughened copper foils and the like, which are commercially available.
 配線の表面のRSmは、JIS B0601:2001に準拠する方法で測定できる。具体的には、以下の通りである。
 配線付き基材の表面に露出する配線を観察用の樹脂に埋める包埋処理を施した後、包埋処理された配線を厚み方向に沿って切断する。得られた断面を走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)を用いて観察する(倍率:50000倍)。得られた観察画像における配線と樹脂層との界面を画像処理によって測定長さ2000nmに渡りトレースすることで、配線と樹脂層との界面の断面曲線を測定する。さらに、得られた断面曲線から、カットオフ値700nm(高波長側)およびカットオフ値10nm(低波長側)の粗さ曲線フィルタにより粗さ曲線を求める。この粗さ曲線の測定を、それぞれ断面の位置が異なる10点のSEM観察画像について行い、基準長さ(=高波長側のカットオフ値)における粗さ曲線要素の長さを算術平均することで、配線の表面のRSmが求められる。
The RSm of the wiring surface can be measured by a method conforming to JIS B0601:2001. Specifically, it is as follows.
After the wiring exposed on the surface of the base material with wiring is embedded in resin for observation, the embedded wiring is cut along the thickness direction. The resulting cross section is observed using a scanning electron microscope (SEM) (magnification: 50,000 times). The cross-sectional curve of the interface between the wiring and the resin layer is measured by tracing the interface between the wiring and the resin layer in the obtained observed image over a measurement length of 2000 nm by image processing. Furthermore, a roughness curve is obtained from the obtained cross-sectional curve using a roughness curve filter with a cutoff value of 700 nm (higher wavelength side) and a cutoff value of 10 nm (lower wavelength side). This roughness curve is measured for 10 SEM observation images with different cross-sectional positions, and the length of the roughness curve element at the reference length (= cutoff value on the high wavelength side) is arithmetically averaged. , RSm of the surface of the wiring is obtained.
 配線基板は、積層体と配線付き基材との間にボンディングシート等の接着層又は粘着層を有してもよいが、配線基板の誘電正接をより一層低減できる点で、他の層を介さず、層Bと配線とが直接接していることが好ましい。 The wiring board may have an adhesive layer such as a bonding sheet or an adhesive layer between the laminate and the base material with wiring, but the dielectric loss tangent of the wiring board can be further reduced. Instead, it is preferable that the layer B and the wiring are in direct contact with each other.
〔配線基板の製造方法〕
 配線基板の製造方法は特に制限されず、例えば、積層体と配線付き基材とを、層Bと配線が対向するように張り合わせ、次いで、両者を熱圧着することにより、配線基板を製造する方法が挙げられる。
 積層体と配線付き基材とを熱圧着する方法及び条件は、特に制限されず、公知の方法及び条件から適宜選択される。中でも、熱圧着の温度条件としては、100~300℃が好ましく、本発明の効果がより好ましく発揮される点で、140~200℃がより好ましい。熱圧着の圧力条件としては、0.1~20MPaが好ましい。圧着処理の処理時間は0.001~1.5時間が好ましい。
[Method for manufacturing wiring board]
The method of manufacturing the wiring substrate is not particularly limited, and for example, a method of manufacturing a wiring substrate by laminating a laminate and a base material with wiring so that the layer B faces the wiring, and then thermocompression bonding the two. are mentioned.
The method and conditions for thermocompression bonding the laminate and the substrate with wiring are not particularly limited, and are appropriately selected from known methods and conditions. Among them, the temperature condition for thermocompression bonding is preferably 100 to 300° C., and more preferably 140 to 200° C. in order to exhibit the effects of the present invention more preferably. The pressure condition for thermocompression bonding is preferably 0.1 to 20 MPa. The treatment time for the crimping treatment is preferably 0.001 to 1.5 hours.
 配線付き基材に積層体を張り合わせて作製された配線基板には、更に、第2の積層体を張り合わせてもよい。例えば、上記配線基板において露出する層Aの表面に第2の配線を形成した後、第2の層A及び第2の層Bを有する第2の積層体を、第2の配線と第2の層Bが対向するように第2の配線上に張り合わせることにより、基材/配線/層B/層A/配線/層B/層Aの順に配置された層構成を有する配線基板が得られる。また、第2の配線、第1の層A及び第1の層Bを有する配線付き積層体を、第1の層Bと第1の配線が対向するように第1の配線を有する配線付き基板に張り合わせて第1の配線基板を作製した後、第2の層A及び第2の層Bを有する第2の積層体を、第2の層Bと第2の配線が対向するように第1の配線基板に張り合わせることによっても、基材/配線/層B/層A/配線/層B/層Aの順に配置された層構成を有する配線基板が得られる。
 なお、配線基板又は積層体が有する層Aの表面に第2の配線を形成する方法は特に制限されず、上記の配線付き基材が有する配線の形成方法として記載された方法により形成できる。
A second laminate may be further attached to the wiring substrate produced by attaching the laminate to the base material with wiring. For example, after forming the second wiring on the surface of the layer A exposed in the wiring board, a second laminate having the second layer A and the second layer B is formed between the second wiring and the second layer. A wiring board having a layer structure in which the substrate/wiring/layer B/layer A/wiring/layer B/layer A is arranged in this order is obtained by laminating the second wiring so that the layer B faces the second wiring. . Further, the wiring-equipped laminate having the second wiring, the first layer A and the first layer B is replaced with the wiring-equipped substrate having the first wiring such that the first layer B and the first wiring are opposed to each other. After lamination to produce a first wiring board, a second laminate having a second layer A and a second layer B is attached to the first layer so that the second layer B and the second wiring face each other. A wiring board having a layer structure in which substrate/wiring/layer B/layer A/wiring/layer B/layer A is arranged in this order can also be obtained.
The method for forming the second wiring on the surface of the layer A of the wiring substrate or laminate is not particularly limited, and can be formed by the method described as the method for forming the wiring of the substrate with wiring.
〔配線基板の用途〕
 配線基板の用途としては、例えば、積層回路基板、フレキシブル積層板、及び、フレキシブルプリント配線板(FPC)等の配線基板が挙げられる。配線基板は、特に、高速通信用基板として使用されることが好ましい。
[Use of wiring board]
Examples of applications of wiring boards include wiring boards such as laminated circuit boards, flexible laminates, and flexible printed circuit boards (FPC). The wiring board is particularly preferably used as a high-speed communication board.
 以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び、処理手順は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更できる。従って、本発明は以下の実施例に示す態様に制限されない。なお、特に断りのない限り、「部」及び「%」は質量基準である。 The present invention will be described more specifically below with reference to examples. The materials, amounts used, ratios, processing details, and processing procedures shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the gist of the present invention. Accordingly, the present invention is not limited to the embodiments shown in the examples below. "Parts" and "%" are based on mass unless otherwise specified.
[原材料]
(液晶ポリマー)
・LCP1:特開2019-116586号公報の実施例1に基づいて合成されたポリマー(融点Tm:320℃、サーモトロピック液晶ポリマーに該当する。)。
・LCP2:ポリプラスチックス社製「ラペロスA-950」(融点Tm:280℃、サーモトロピック液晶ポリマーに該当する。)。
 LCP1は、6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸に由来する繰り返し単位、4,4’-ジヒドロキシビフェニルに由来する繰り返し単位、テレフタル酸に由来する繰り返し単位、及び、2,6-ナフタレンジカルボン酸に由来する繰り返し単位で構成されている。
 LCP2は、パラヒドロキシ安息香酸に由来する繰り返し単位、及び、6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸に由来する繰返し単位で構成されている。
[raw materials]
(liquid crystal polymer)
LCP1: A polymer synthesized based on Example 1 of JP-A-2019-116586 (melting point Tm: 320° C., corresponding to a thermotropic liquid crystal polymer).
LCP2: "Laperos A-950" manufactured by Polyplastics (melting point Tm: 280°C, corresponding to thermotropic liquid crystal polymer).
LCP1 is a repeating unit derived from 6-hydroxy-2-naphthoic acid, a repeating unit derived from 4,4'-dihydroxybiphenyl, a repeating unit derived from terephthalic acid, and a repeating unit derived from 2,6-naphthalenedicarboxylic acid. Consists of repeating units.
LCP2 is composed of repeating units derived from parahydroxybenzoic acid and repeating units derived from 6-hydroxy-2-naphthoic acid.
(層B形成用組成物)
・樹脂1:低密度ポリエチレン(「CL-2080」、住友精化株式会社製)
・樹脂2:スチレン-エチレン-ブチレン-スチレン共重合体(「タフテック(登録商標)H1221」、旭化成株式会社製)
・化合物1:N,N-ジグリシジル-4-グリシジルオキシアニリン(シグマアルドリッチ社製)
・溶媒:トルエン
(Composition for forming layer B)
・ Resin 1: Low density polyethylene (“CL-2080”, manufactured by Sumitomo Seika Co., Ltd.)
・ Resin 2: Styrene-ethylene-butylene-styrene copolymer ("Tuftec (registered trademark) H1221", manufactured by Asahi Kasei Corporation)
- Compound 1: N,N-diglycidyl-4-glycidyloxyaniline (manufactured by Sigma-Aldrich)
・Solvent: Toluene
[実施例1]
 以下に示す方法で、層Aと層Bを有する積層体を製造した。
[Example 1]
A laminate having layers A and B was produced by the method shown below.
〔層Aの作製〕
 液晶ポリマーLCP1を、スクリュ径60mmの単軸押出機の供給口からシリンダー内に供給し、加熱混練した。溶融状態のLCP1をダイ幅750mmのダイからフィルム状として回転するキャストロール上に吐出させて冷却固化し、所望に応じて延伸することにより、厚み50μmのフィルムを得た。
 なお、加熱混練の温度、LCP1を吐出する際の吐出速度、ダイリップのクリアランス、及び、キャストロールの周速度は、それぞれ以下の範囲で調整した。
・加熱混練の温度:270~350℃
・クリアランス:0.01~5mm
・吐出速度:0.1~1000mm/sec
・キャストロールの周速度:0.1~50m/min
[Preparation of layer A]
The liquid crystal polymer LCP1 was supplied into the cylinder from the supply port of a single-screw extruder with a screw diameter of 60 mm, and heated and kneaded. LCP1 in a molten state was discharged from a die with a width of 750 mm onto a rotating cast roll as a film, solidified by cooling, and stretched as desired to obtain a film with a thickness of 50 μm.
The heating and kneading temperature, the ejection speed when ejecting LCP1, the clearance of the die lip, and the peripheral speed of the cast roll were each adjusted within the following ranges.
・Temperature for heating and kneading: 270 to 350°C
・Clearance: 0.01 to 5mm
・Discharge speed: 0.1 to 1000mm/sec
・Peripheral speed of cast roll: 0.1 to 50 m/min
 次いで、得られたフィルムを270℃に設定した熱風乾燥炉に導入して10時間加熱することにより、フィルムのアニール処理を行った。
 アニール処理されたフィルムを、ローラにより案内させながら搬送し、ニップローラにより引き取り、ポリマーフィルムを得た。
Then, the film was annealed by introducing it into a hot air drying oven set at 270° C. and heating for 10 hours.
The annealed film was conveyed while being guided by rollers, and was picked up by nip rollers to obtain a polymer film.
〔層Bの形成〕
 上記の樹脂1と上記化合物1と上記溶媒とを混合及び攪拌して層B形成用の組成物B1を得た。この際、組成物B1の全質量を100質量部としたときの樹脂1及び化合物1の合計含有量を5質量部とした。
 得られた組成物B1を、アプリケータ(クリアランス:250μm)を用いて、作製されたポリマーフィルムの表面に塗布し、塗布膜を形成した。塗布膜を130℃及び1時間の条件で乾燥した。組成物B1の塗布及び塗布膜の乾燥を繰り返し、厚み20μmの層Bを形成して、層A及び層Bを有する実施例1の積層体を作製した。層Bにおける化合物1の含有量を下記表1に示す。層Bにおいて化合物1の残部が樹脂1である。
[Formation of Layer B]
The resin 1, the compound 1, and the solvent were mixed and stirred to obtain a composition B1 for forming a layer B. At this time, the total content of Resin 1 and Compound 1 was 5 parts by mass when the total mass of Composition B1 was 100 parts by mass.
The resulting composition B1 was applied to the surface of the produced polymer film using an applicator (clearance: 250 μm) to form a coating film. The coating film was dried at 130° C. for 1 hour. The application of the composition B1 and the drying of the applied film were repeated to form a layer B having a thickness of 20 μm, and a laminate of Example 1 having layers A and B was produced. The content of Compound 1 in Layer B is shown in Table 1 below. The balance of Compound 1 in Layer B is Resin 1.
[実施例2~6、8及び9、並びに、比較例2]
 表1に示すように、層B形成用の組成物における化合物1の含有量、層Bの厚み、層Bを構成する樹脂の種類、及び、液晶ポリマーの種類をそれぞれ変更したこと、並びに、アニール処理の条件を変更したこと以外は、実施例1に記載の方法に従って、実施例2~6、8及び9、並びに、比較例2の積層体をそれぞれ作製した。
 比較例2では、形成されたフィルムのアニール処理として、270℃に設定した熱風乾燥炉に導入して1時間加熱したこと以外は、実施例1に記載の方法に従ってポリマーフィルムを作製した。
[Examples 2 to 6, 8 and 9, and Comparative Example 2]
As shown in Table 1, the content of compound 1, the thickness of layer B, the type of resin constituting layer B, and the type of liquid crystal polymer in the composition for forming layer B were changed, and annealing Laminates of Examples 2 to 6, 8 and 9, and Comparative Example 2 were produced according to the method described in Example 1, except that the treatment conditions were changed.
In Comparative Example 2, a polymer film was produced according to the method described in Example 1, except that the formed film was annealed in a hot air drying oven set at 270° C. and heated for 1 hour.
[実施例7]
 実施例1の〔層Aの作製〕に記載の方法に従って、ポリマーフィルムを作製した。
 作製されたポリマーフィルムの表面を、放電量700W・min/mの条件でコロナ処理した後、コロナ処理された表面に対して、下記中間層形成用溶液をアプリケータで塗布し、乾燥することにより、中間層を作製した。中間層の厚みは2μmであった。
 中間層形成用溶液は、熱可塑性ポリイミド樹脂(25質量%)、シクロヘキサノン(溶媒)(65質量%)、トルエン(溶媒)(9質量%)、及び、エポキシ基含有架橋剤(1質量%)を含む。
[Example 7]
A polymer film was prepared according to the method described in Example 1 [Preparation of Layer A].
After corona-treating the surface of the produced polymer film under conditions of a discharge amount of 700 W min/m 2 , the following intermediate layer forming solution is applied to the corona-treated surface with an applicator and dried. An intermediate layer was produced by The thickness of the intermediate layer was 2 μm.
The intermediate layer forming solution contains a thermoplastic polyimide resin (25% by mass), cyclohexanone (solvent) (65% by mass), toluene (solvent) (9% by mass), and an epoxy group-containing cross-linking agent (1% by mass). include.
 形成された中間層のポリマーフィルムとは反対側の表面に、実施例1の〔層Bの形成〕に記載の方法に従って厚み20μmの層Bを形成した。これにより、層A、中間層及び層Bを有する実施例7の積層体を作製した。 A layer B having a thickness of 20 μm was formed on the surface of the formed intermediate layer opposite to the polymer film according to the method described in Example 1 [Formation of layer B]. Thus, a laminate of Example 7 having layer A, intermediate layer and layer B was produced.
[比較例1]
 実施例1の〔層Aの作製〕に記載の方法に従って、ポリマーフィルムを作製した。作製されたポリマーフィルムを比較例1のフィルムとして用いて、後述する評価試験を行った。
[Comparative Example 1]
A polymer film was prepared according to the method described in Example 1 [Preparation of Layer A]. Using the produced polymer film as the film of Comparative Example 1, an evaluation test described later was performed.
[測定、評価]
 上記の各例の製造方法によって作製された樹脂フィルム(積層体における樹脂層に相当)について、以下の測定及び評価を行った。
[Measurement, evaluation]
The following measurements and evaluations were performed on the resin film (corresponding to the resin layer in the laminate) produced by the production method of each of the above examples.
<層Aの融解ピーク面積>
 各例で製造された積層体から層Aのセンター部分をサンプリングし、得られたサンプルの融解ピーク面積を、示差走査熱量計(株式会社島津製作所製「DSC-60A」)を用いて測定した。具体的には、サンプルを昇温速度10℃/分で25℃から380℃まで昇温させて、サンプルの吸発熱量を測定し、測定された吸発熱量の変化を示す曲線(DSC曲線)を作成した。作成されたDSC曲線の吸熱ピーク(融解ピーク)とベースラインとで囲まれてなる吸熱ピークの面積を算出し、サンプルの融解ピーク面積(単位:J/g)を求めた。なお、DSC曲線における吸熱ピーク及びベースラインは、JIS K 7121に基づいて特定した。
<Melting peak area of layer A>
The center portion of layer A was sampled from the laminate produced in each example, and the melting peak area of the obtained sample was measured using a differential scanning calorimeter ("DSC-60A" manufactured by Shimadzu Corporation). Specifically, the sample was heated from 25° C. to 380° C. at a heating rate of 10° C./min, and the endothermic heat value of the sample was measured. A curve (DSC curve) showing changes in the measured endothermic heat value. It was created. The area of the endothermic peak surrounded by the endothermic peak (melting peak) and the baseline of the created DSC curve was calculated to obtain the melting peak area (unit: J/g) of the sample. The endothermic peak and baseline in the DSC curve were specified based on JIS K7121.
<弾性率>
 実施例1~9及び比較例2で製造された積層体の層Bの弾性率を、下記の方法で測定した。
 各例で製造された積層体を厚み方向に沿って切断して切断面を作製した。切断面を有する積層体のサンプルの切断面において、一方の表面から他方の表面に向かう層Bの厚み方向の中間の位置における弾性率を、下記ナノインデンターに付帯するヒータを用いて160℃に加熱しながら、ナノインデンテーション法により測定した。
 弾性率の測定は、ナノインデンター(「TI-950」、HYSITRON社製)及びベルコビッチ圧子を用いて、荷重500μN、荷重時間10秒間、保持時間5秒間、及び、除荷時間10秒間の条件にて、位置ごとにそれぞれ10点ずつ測定した。10点の算術平均値をそれぞれの弾性率(単位:MPa)とした。
 また、上記の測定方法に準じた方法で測定した結果、比較例1のフィルムの弾性率は800MPaであった。
<Elastic modulus>
The elastic modulus of layer B of the laminates produced in Examples 1 to 9 and Comparative Example 2 was measured by the following method.
A cut surface was produced by cutting the laminate produced in each example along the thickness direction. In the cut surface of the sample of the laminate having the cut surface, the elastic modulus at the intermediate position in the thickness direction of the layer B from one surface to the other surface was increased to 160 ° C. using a heater attached to the nanoindenter described below. It was measured by the nanoindentation method while heating.
The elastic modulus was measured using a nanoindenter (“TI-950”, manufactured by HYSITRON) and a Berkovich indenter under the conditions of a load of 500 μN, a load time of 10 seconds, a holding time of 5 seconds, and an unloading time of 10 seconds. 10 points were measured for each position. The arithmetic average value of 10 points was made into each elastic modulus (unit: MPa).
As a result of measurement according to the above measurement method, the elastic modulus of the film of Comparative Example 1 was 800 MPa.
<積層体の誘電正接>
 各例で作製された積層体のセンター部分をサンプリングし、スプリットシリンダ型共振器(関東電子応用開発社製「CR-728」)及びネットワークアナライザ(Keysight N5230A)を用いて、温度20℃、湿度50%RHの環境下において、周波数28GHz帯における誘電正接を測定した。
 得られた測定値から、下記の評価基準に基づいて、各積層体の誘電正接を評価した。
<Dielectric loss tangent of laminate>
The central portion of the laminate produced in each example was sampled, and a split cylinder type resonator ("CR-728" manufactured by Kanto Denshi Applied Development Co., Ltd.) and a network analyzer (Keysight N5230A) were used to measure temperature at 20°C and humidity at 50°C. The dielectric loss tangent was measured in a frequency band of 28 GHz in an environment of % RH.
From the measured values obtained, the dielectric loss tangent of each laminate was evaluated based on the following evaluation criteria.
(誘電正接評価基準)
A:0.0010未満。
B:0.0010以上0.0015未満。
C:0.0015以上0.0020未満。
D:0.0020以上。
(Dielectric loss tangent evaluation standard)
A: less than 0.0010.
B: 0.0010 or more and less than 0.0015.
C: 0.0015 or more and less than 0.0020.
D: 0.0020 or more.
<配線ずれ>
 各例で作製された積層体を15cm×15cmの大きさに切断し、積層体の層A側の表面に圧延銅箔(厚み18μm、表面粗さRa0.9μm)を貼合して片面銅張積層体サンプルを作製した。次に、上記サンプルの一方の銅層の表面にマスク層を積層し、マスク層をパターン露光した後、現像してマスクパターンを形成した。サンプルのマスクパターン側の表面のみを40%塩化鉄(III)水溶液(富士フイルム和光純薬株式会社製、1級)に浸漬し、マスクパターンが積層されていない銅層をエッチング処理した後、マスクパターンを剥離して、銅配線(マイクロストリップライン)を形成した。銅配線のサイズは、長さ10cm、幅105μmであった。このようにして、一方の表面に銅配線が形成されているサンプルを得た。
<Wiring deviation>
The laminate prepared in each example was cut into a size of 15 cm × 15 cm, and a rolled copper foil (thickness 18 μm, surface roughness Ra 0.9 μm) was laminated on the surface of the layer A side of the laminate, and one side was copper-clad. A laminate sample was produced. Next, a mask layer was laminated on the surface of one of the copper layers of the above samples, and the mask layer was pattern-exposed and then developed to form a mask pattern. Only the surface of the sample on the mask pattern side is immersed in a 40% iron (III) chloride aqueous solution (manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd., grade 1) to etch the copper layer where the mask pattern is not laminated. The pattern was peeled off to form a copper wiring (microstrip line). The size of the copper wiring was 10 cm long and 105 μm wide. Thus, a sample having a copper wiring formed on one surface was obtained.
 上記サンプルを2枚作製し(a、b)、サンプル(a)の銅配線側の表面とサンプル(b)の銅配線が形成されていない表面とが接し、かつ、それぞれの銅配線の面内の位置が一致するように、サンプル(a)及び(b)を積層した。
 得られた多層積層体を連続熱プレス機が備える1対の加熱金属ロールの間に導入して熱圧着を行った。このとき、加熱金属ロールの表面温度を160℃に設定し、多層積層体に加えられる圧力を面圧換算で40kg/cmに設定した。
Two samples (a, b) were prepared, and the surface of the sample (a) on the side of the copper wiring and the surface of the sample (b) on which the copper wiring was not formed were in contact, and the surfaces of the respective copper wirings Samples (a) and (b) were laminated such that the positions of the .
The resulting multilayer laminate was introduced between a pair of heated metal rolls provided in a continuous hot press and subjected to thermocompression bonding. At this time, the surface temperature of the heating metal roll was set to 160° C., and the pressure applied to the multilayer laminate was set to 40 kg/cm 2 in terms of surface pressure.
 上記の方法で作製された多層積層体を、積層方向を含み、かつ、各銅配線の長手方向に垂直な断面が形成されるように切断した。得られた切断面を走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)を用いて観察した。観察された断面画像において、サンプル(a)の銅配線の位置とサンプル(b)の銅配線の位置とを比較して、面内方向(銅配線の短手方向)におけるサンプル(b)の銅配線の位置に対するサンプル(a)の銅配線の位置の差分を測定した。
 測定された差分から、下記の評価基準に基づいて、各例の積層体を用いて作製される配線基板の銅張積層体の配線ずれを評価した。
The multilayer laminate produced by the above method was cut so as to form a cross section including the lamination direction and perpendicular to the longitudinal direction of each copper wiring. The obtained cut surface was observed using a scanning electron microscope (SEM). In the observed cross-sectional images, the position of the copper wiring of the sample (a) is compared with the position of the copper wiring of the sample (b), and the copper wiring of the sample (b) in the in-plane direction (transverse direction of the copper wiring) The difference in the position of the copper wiring of sample (a) with respect to the position of the wiring was measured.
Based on the measured difference, the wiring misalignment of the copper-clad laminate of the wiring board produced using the laminate of each example was evaluated based on the following evaluation criteria.
(配線ずれ評価基準)
A:積層体の厚みに対する差分の測定値の比率が1%未満である。
B:積層体の厚みに対する差分の測定値の比率が1%以上5%未満である。
C:積層体の厚みに対する差分の測定値の比率が5%以上10%未満である。
D:積層体の厚みに対する差分の測定値の比率が10%以上である。
(Evaluation standard for wiring misalignment)
A: The ratio of the measured value of the difference to the thickness of the laminate is less than 1%.
B: The ratio of the measured value of the difference to the thickness of the laminate is 1% or more and less than 5%.
C: The ratio of the measured value of the difference to the thickness of the laminate is 5% or more and less than 10%.
D: The ratio of the measured value of the difference to the thickness of the laminate is 10% or more.
<層間密着性>
 各積層体を1cm×5cmの短冊状に切断して、密着性評価用サンプルを作製した。得られたサンプルの層間剥離強度(単位:N/cm)を、JIS C 5016-1994に記載の測定方法を参考に測定した。引っ張り試験機(IMADA(株)製、デジタルフォースゲージZP-200N)を用いて、層B除去面に対して90°の角度をなす方向に毎分50mmの剥離速度で層Bを引き剥がした際の剥離強度を測定した。測定された剥離強度が大きいほど、積層体における層Aと層Bとの間の密着性がより優れると評価できる。
<Interlayer adhesion>
Each laminate was cut into strips of 1 cm×5 cm to prepare samples for adhesion evaluation. The delamination strength (unit: N/cm) of the obtained sample was measured with reference to the measuring method described in JIS C 5016-1994. Using a tensile tester (manufactured by IMADA Co., Ltd., digital force gauge ZP-200N), layer B was peeled off at a peel rate of 50 mm per minute in a direction forming an angle of 90° with respect to the layer B removal surface. was measured. It can be evaluated that the higher the measured peel strength, the better the adhesion between the layer A and the layer B in the laminate.
[結果]
 下記表1に、各実施例及び各比較例で製造された積層体を構成する各層の構成、及び、各積層体の評価結果を示す。
 表1の「反応性化合物」の「量(%)」欄は、各例で使用した層B形成用組成物の全固形分に対する反応性化合物の含有量(単位:質量%)を示す。
[result]
Table 1 below shows the structure of each layer constituting the laminate produced in each example and each comparative example, and the evaluation results of each laminate.
The "amount (%)" column of "reactive compound" in Table 1 indicates the content (unit: mass%) of the reactive compound with respect to the total solid content of the composition for forming layer B used in each example.
 表1に示すように、本発明の積層体は、液晶ポリマーを含み、示差走査熱量分析により測定される融解ピーク面積が0.2J/g以上である層Aと、160℃における弾性率が500MPa以下である層Bとを有することにより、所望の効果を示すことが確認された。 As shown in Table 1, the laminate of the present invention includes a layer A that contains a liquid crystal polymer and has a melting peak area of 0.2 J/g or more as measured by differential scanning calorimetry, and an elastic modulus of 500 MPa at 160 ° C. It was confirmed that the desired effect was exhibited by having the layer B below.
 層Bにおける反応性化合物の含有量が20質量%以下である場合、積層体の誘電正接がより優れることが確認され、層Bにおける反応性化合物の含有量が15質量%以下である場合、積層体の誘電正接が更に優れることが確認された(実施例1~3の対比)。
 層Bにおける反応性化合物の含有量が5質量%以上である場合、配線ずれ抑制性能がより優れることが確認された(実施例1及び4の対比)。
When the content of the reactive compound in layer B is 20% by mass or less, it is confirmed that the dielectric loss tangent of the laminate is more excellent, and when the content of the reactive compound in layer B is 15% by mass or less, the laminate It was confirmed that the dielectric loss tangent of the body was further superior (comparison with Examples 1 to 3).
It was confirmed that when the content of the reactive compound in the layer B was 5% by mass or more, the wiring misalignment suppression performance was more excellent (compare Examples 1 and 4).
 層Bの厚みが3μm以上である場合、配線ずれ抑制性能がより優れることが確認された(実施例1及び6の対比)。 It was confirmed that when the thickness of the layer B was 3 μm or more, the wiring misalignment suppression performance was more excellent (comparison with Examples 1 and 6).
 層Aがジカルボン酸に由来する繰り返し単位を2種以上含む液晶ポリマーを含む場合、積層体の誘電正接がより優れることが確認された(実施例1及び9の対比)。 It was confirmed that when the layer A contained a liquid crystal polymer containing two or more kinds of repeating units derived from dicarboxylic acid, the dielectric loss tangent of the laminate was superior (comparison with Examples 1 and 9).

Claims (10)

  1.  液晶ポリマーを含む層Aと、
     前記層Aの少なくとも一方の表面上に配置される層Bとを有し、
     前記層Aの示差走査熱量分析により測定される融解ピークの面積が0.2J/g以上であり、
     前記層Bの160℃における弾性率が500MPa以下である、積層体。
    a layer A containing a liquid crystal polymer;
    and a layer B disposed on at least one surface of the layer A,
    The melting peak area of the layer A measured by differential scanning calorimetry is 0.2 J / g or more,
    A laminate in which the layer B has an elastic modulus of 500 MPa or less at 160°C.
  2.  前記液晶ポリマーが、ジカルボン酸に由来する繰り返し単位を2種以上含む、請求項1に記載の積層体。 The laminate according to claim 1, wherein the liquid crystal polymer contains two or more repeating units derived from dicarboxylic acid.
  3.  前記液晶ポリマーが、6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸に由来する繰り返し単位、芳香族ジオールに由来する繰り返し単位、テレフタル酸に由来する繰り返し単位、及び、2,6-ナフタレンジカルボン酸に由来する繰り返し単位からなる群より選ばれる少なくとも1つを有する、請求項1に記載の積層体。 The liquid crystal polymer comprises a repeating unit derived from 6-hydroxy-2-naphthoic acid, a repeating unit derived from an aromatic diol, a repeating unit derived from terephthalic acid, and a repeating unit derived from 2,6-naphthalenedicarboxylic acid. The laminate according to claim 1, comprising at least one selected from the group consisting of:
  4.  前記層Bの厚みが5~30μmである、請求項1~3のいずれか1項に記載の積層体。 The laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the layer B has a thickness of 5 to 30 µm.
  5.  前記層Bが、熱可塑性樹脂を含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の積層体。 The laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the layer B contains a thermoplastic resin.
  6.  前記層Bが、熱可塑性樹脂及び反応性化合物を含む組成物を用いて形成された層であり、
     前記反応性化合物の含有量が、前記組成物の全質量に対して5~20質量%である、請求項5に記載の積層体。
    The layer B is a layer formed using a composition containing a thermoplastic resin and a reactive compound,
    6. The laminate according to claim 5, wherein the content of said reactive compound is 5 to 20% by mass with respect to the total mass of said composition.
  7.  前記層Aと前記層Bとの間に、中間層を更に有する、請求項1~3のいずれか1項に記載の積層体。 The laminate according to any one of claims 1 to 3, further comprising an intermediate layer between said layer A and said layer B.
  8.  請求項1~3のいずれか1項に記載の積層体と、基材及び配線を有する配線付き基材とを有する、配線基板。 A wiring board comprising the laminate according to any one of claims 1 to 3 and a base material with wiring having a base material and wiring.
  9.  前記配線の厚さが5~40μmである、請求項8に記載の配線基板。 The wiring board according to claim 8, wherein the wiring has a thickness of 5 to 40 µm.
  10.  請求項1~3のいずれか1項に記載の積層体と、基材及び配線を有する配線付き基材とを、前記積層体の層Bと前記配線が対向するように張り合わせ、張り合わせた前記積層体及び前記配線付き基材を熱圧着して配線基板を製造する、配線基板の製造方法。 The laminated body according to any one of claims 1 to 3 and a wiring-attached base material having a base material and wiring are laminated so that the layer B of the laminated body and the wiring face each other, and the laminated body is laminated. A method for producing a wiring board, comprising: producing a wiring board by thermocompression bonding the body and the wiring-attached base material.
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Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03152132A (en) * 1989-11-09 1991-06-28 Unitika Ltd Liquid crystal polymer film and production thereof
JP2001081215A (en) * 1999-09-17 2001-03-27 Kuraray Co Ltd Highly heat-resistant film and its preparation
JP2006137786A (en) * 2004-11-10 2006-06-01 Kuraray Co Ltd Thermoplastic liquid crystalline polymer film and circuit board using the same
JP2009127024A (en) * 2007-11-28 2009-06-11 Polyplastics Co Wholly aromatic polyester and polyester resin composition
WO2013065453A1 (en) * 2011-10-31 2013-05-10 株式会社クラレ Thermoplastic liquid crystal polymer film, and laminate and circuit board using same
JP2017047686A (en) * 2015-09-03 2017-03-09 株式会社プライマテック Method for manufacturing flexible copper-clad laminated sheet and flexible copper-clad laminated sheet
JP2021000828A (en) * 2015-05-15 2021-01-07 東洋紡株式会社 Laminate containing low dielectric adhesive layer
WO2022019292A1 (en) * 2020-07-21 2022-01-27 Eneos株式会社 Liquid crystal polyester resin, molded article, and electric and electronic components
WO2022138618A1 (en) * 2020-12-25 2022-06-30 富士フイルム株式会社 Liquid crystal polymer film, high-speed communication board

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03152132A (en) * 1989-11-09 1991-06-28 Unitika Ltd Liquid crystal polymer film and production thereof
JP2001081215A (en) * 1999-09-17 2001-03-27 Kuraray Co Ltd Highly heat-resistant film and its preparation
JP2006137786A (en) * 2004-11-10 2006-06-01 Kuraray Co Ltd Thermoplastic liquid crystalline polymer film and circuit board using the same
JP2009127024A (en) * 2007-11-28 2009-06-11 Polyplastics Co Wholly aromatic polyester and polyester resin composition
WO2013065453A1 (en) * 2011-10-31 2013-05-10 株式会社クラレ Thermoplastic liquid crystal polymer film, and laminate and circuit board using same
JP2017106020A (en) * 2011-10-31 2017-06-15 株式会社クラレ Thermoplastic liquid crystal polymer film and laminate and circuit board using the same
JP2021000828A (en) * 2015-05-15 2021-01-07 東洋紡株式会社 Laminate containing low dielectric adhesive layer
JP2017047686A (en) * 2015-09-03 2017-03-09 株式会社プライマテック Method for manufacturing flexible copper-clad laminated sheet and flexible copper-clad laminated sheet
WO2022019292A1 (en) * 2020-07-21 2022-01-27 Eneos株式会社 Liquid crystal polyester resin, molded article, and electric and electronic components
WO2022138618A1 (en) * 2020-12-25 2022-06-30 富士フイルム株式会社 Liquid crystal polymer film, high-speed communication board

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