WO2023162338A1

WO2023162338A1 - オゾン発生装置

Info

Publication number: WO2023162338A1
Application number: PCT/JP2022/040082
Authority: WO
Inventors: 高橋龍太郎; 井上大輔
Original assignee: メタウォーター株式会社
Priority date: 2022-02-25
Filing date: 2022-10-27
Publication date: 2023-08-31

Abstract

第１の軸に沿って延伸する管状の第１の電極と、第１の軸に沿って延伸する第２の電極と、第１の軸方向に沿って延伸し、第１の電極と第２の電極との間に配置された誘電体とを備えた、複数の放電管と、第１の放電管の第２の電極と第１の放電管の隣の第２の放電管の第２の電極とを電気的に接続する接続部材を備え、接続部材は、第１の放電管の誘電体の端と第２の放電管の誘電体の端とに対向する。

Description

オゾン発生装置

　本開示は、オゾン発生装置に関する。

　オゾンを利用して、上下水等の脱色、脱臭及び殺菌等の水処理が行われる場合がある。オゾン発生装置については、例えば、特許文献１に開示されている。

国際公開第２０１９／２２９８６５号

　上記のようなオゾン発生装置において、複数の電極に電圧を印加する構造を提案する。

　本開示の一態様におけるオゾン発生装置は、第１の軸に沿って延伸する管状の第１の電極と、前記第１の軸に沿って延伸する第２の電極と、前記第１の軸方向に沿って延伸し、前記第１の電極と前記第２の電極との間に配置された誘電体とを備えた、複数の放電管と、第１の前記放電管の前記第２の電極と前記第１の放電管の隣の第２の前記放電管の前記第２の電極とを電気的に接続する接続部材を備え、前記接続部材は、前記第１の放電管の前記誘電体の端と前記第２の放電管の前記誘電体の前記端とに対向する。

　本開示の一態様におけるオゾン発生装置によれば、複数の電極に電圧を印加することが可能になる。

図１は、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００の側面断面図である。図２は、第１の実施の形態における放電管１０の構成例を説明する図である。図３は、第１の実施の形態におけるピン部材５、絶縁部材６及び給電リボン７の構成例を説明する図である。図４は、第１の実施の形態における給電リボン７の構成例を説明する図である。図５は、第１の実施の形態における給電リボン７の構成例を説明する図である。図６は、第１の実施の形態におけるチェーン部材７０の構成例を説明する図である。図７は、第１の実施の形態におけるチェーン部材７０の構成例を説明する図である。図８は、第１の実施の形態におけるチェーン部材７０の構成例を説明する図である。図９は、第１の実施の形態におけるチェーン部材７０の構成例を説明する図である。図１０は、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００の第１の変形例における側面断面図である。図１１は、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００の第２の変形例における側面断面図である。図１２は、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００の第３の変形例における側面断面図である。図１３は、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００の第３の変形例における側面断面図である。図１４は、第１の実施の形態におけるチェーン部材７０の構成例を説明する図である。図１５は、第２の実施の形態における放電管２０の構成例を説明する図である。図１６は、第２の実施の形態における放電管２０の第１変形例の構成例を説明する図である。図１７は、第３の実施の形態における放電管３０の構成例を説明する図である。

　以下、図面を参照して本開示の実施の形態について説明する。しかしながら、かかる説明は限定的な意味に解釈されるべきではなく、特許請求の範囲に記載の主題を限定するものではない。また、本開示の趣旨及び範囲から逸脱することがなく様々な変更や置換や改変をすることができる。また、異なる実施形態を適宜組み合わせることができる。

　［第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００］
　初めに、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００について説明を行う。図１は、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００の側面断面図である。また、図２は、第１の実施の形態における放電管１０の構成例を説明する図である。具体的に、図２Ａは、放電管１０の側面断面図であり、図２Ｂは、放電管１０の２Ｂ－２Ｂ断面図である。また、図３は、第１の実施の形態における部材５（以下、ピン部材５とも呼ぶ）、絶縁部材６、及び給電リボン７（以下、接続部材７とも呼ぶ）の構成例を説明する図である。具体的に、図３Ａは、Ｙ軸方向に並ぶ２つの放電管１０の正面図（図１の例ではＸ１方向から見た図）であり、図３Ｂは、Ｙ軸方向に並ぶ２つの放電管１０の背面図（図１の例ではＸ２方向から見た図）である。さらに、図４及び図５は、第１の実施の形態における給電リボン７の構成例を説明する図である。具体的に、図４Ａ及び図５は、Ｙ軸方向に並ぶ６つの放電管１０の正面図であり、図４Ｂは、Ｙ軸方向に並ぶ６つの放電管１０の４Ｂ－４Ｂ断面図である。なお、図４に示す例では、内側電極２、給電部材４及び給電リボン７のみを表記している。

　オゾン発生装置１００は、図１に示すように、例えば、複数の放電管１０と、筐体４０と、冷却部５０と、交流電源６０（以下、単に電源６０とも呼ぶ）とを有する。

　筐体４０は、例えば、１以上の放電管１０を格納する筐体である。筐体４０は、例えば、少なくとも酸素を含む原料ガスＡの流入口（図示せず）及びオゾンガスＢの流出口（図示せず）を有する。また、筐体４０は、例えば、筐体４０の外部に配置された交流電源６０と複数の放電管１０のそれぞれとを接続する給電線６１を貫通させる貫通孔（図示せず）を有する。なお、筐体４０は、図１に示すように、接地してもよい。

　複数の放電管１０のそれぞれは、図１の実線矢印に示すように、例えば、Ｘ２方向側からの原料ガスＡの流入に伴って、無声放電によるオゾンガスＢの生成を行い、さらに、生成したオゾンガスＢをＸ１方向側から放出する。すなわち、原料ガスＡはＸ軸の左側から流入し、オゾンガスＢはＸ軸の右側から放出される。オゾンガスＢは、例えば、上下水等の脱色、脱臭及び殺菌等の水処理に利用される。

　複数の放電管１０のそれぞれは、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、例えば、外側電極１と、内側電極２と、誘電体３と、給電部材４と、ピン部材５と、絶縁部材６と、給電リボン７とを有する。以下、ピン部材５、絶縁部材６及び給電リボン７を総称して抑止部材９０とも呼ぶ。

　外側電極１（以下、第１の電極１とも呼ぶ）は、誘電体３の外側に位置する電極であり、例えば、Ｘ軸方向における両端部が管板５１及び管板５２によって支持された導体管（例えば、ステンレス製等の金属管）である。また、外側電極１は、例えば、Ｘ２方向側からＸ１方向側に延伸し（換言すれば、外側電極１の軸方向がＸ軸に沿う）、両端が開口した円筒形状を有している。さらに、外側電極１は、例えば、接地ライン（図示せず）によって接地されることにより、接地電極として機能する。以下、外側電極１の軸を第１の軸とも呼び、外側電極１の軸方向を第１の軸方向とも呼ぶ。また、以下、外側電極１のＸ１方向側の端部を端部１ａとも呼ぶ。

　また、外側電極１の外周面、管板５１及び管板５２によって囲まれる領域は、例えば、冷却水等の冷媒を流通させる冷却部５０を構成する。

　内側電極２（以下、第２の電極２とも呼ぶ）は、誘電体３の内側に位置する電極であり、例えば、外側電極１の内周側に配置された導体管（例えば、ステンレス製等の金属管）である。また、内側電極２は、例えば、Ｘ２方向側からＸ１方向側に延伸し（換言すれば、内側電極２の軸方向がＸ軸に沿う）、外側電極１と同軸の円柱形状を有している。さらに、内側電極２は、例えば、交流電源６０と接続することにより、高電圧電極として機能する。以下、内側電極２のＸ２方向側の端部を端部２ａまたは第１の端２ａとも呼び、内側電極２のＸ１方向側の端部を端部２ｂまたは第２の端２ｂとも呼ぶ。

　誘電体３は、例えば、外側電極１と同軸の円筒形状を有するガラス管である。また、誘電体３は、例えば、Ｘ２方向側からＸ１方向側に延伸し（換言すれば、誘電体３の軸方向がＸ軸に沿う）、両端が開口している。さらに、誘電体３は、例えば、外側電極１の内周面及び内側電極２の外周面のそれぞれから隙間を隔てた位置に配置される。以下、誘電体３のＸ２方向側の端部を端部３ａまたは第１の端３ａとも呼び、誘電体３のＸ１方向側の端部を端部３ｂまたは第２の端３ｂとも呼ぶ。

　具体的に、誘電体３は、例えば、外側電極１の内周面との間において、放電空間８として機能する隙間が形成されるように配置される。また、誘電体３は、例えば、内側電極２の外周面との間において、放電空間９として機能する隙間が形成されるように配置される。

　給電部材４は、例えば、棒状の給電ロッドであり、Ｘ２方向側（図１の給電線６１）から内側電極２のＸ２方向側の端部２ａまでＸ軸方向に沿って延伸する。そして、給電部材４は、例えば、内側電極２と電気的に接続することによって、交流電源６０からの電圧（交流電圧）を内側電極２に印加する。

　すなわち、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、第１の軸（図１のＸ軸）に沿って延伸する管状の外側電極１と、第１の軸に沿って延伸する内側電極２と、第１の軸方向に沿って延伸し、外側電極１と内側電極２との間に配置された誘電体３とを備えた、１以上の放電管１０を備える。そして、本実施の形態における放電管１０は、例えば、誘電体３の外側と外側電極１の内側とが第１の距離を隔てて対向し、かつ、誘電体３の内側と内側電極２の外側とが第２の距離を隔てて対向する。

　次に、ピン部材５についての説明を行う。ピン部材５は、ステンレス製等の金属であり、図２Ａ及び図３Ｂに示すように、例えば、外側電極１のＸ１方向側の端部１ａ（開口部１ｂ）において、外側電極１の径方向（以下、単に径方向とも呼ぶ）に延伸することによって外側電極１に接し、Ｘ１方向への誘電体３の移動を抑止する。すなわち、ピン部材５は、例えば、ピン部材５よりもＸ１方向への誘電体３の移動を抑止する。なお、ピン部材５は、例えば、一定の強度があり、かつ、耐オゾン性を有している材料であれば、非金属であってもよい。

　具体的に、外側電極１は、例えば、端部１ａ（端部１ａを構成する壁）において径方向に沿って２つの孔１ｃを有する。そして、ピン部材５は、例えば、両端が２つの孔１ｃのそれぞれに挿入される。さらに、ピン部材５の両端は、例えば、外側電極１の外周側に位置するとともに、ピン部材５の延伸方向（径方向）と異なる方向（例えば、Ｘ１方向）に向けて屈曲する。これにより、ピン部材５は、例えば、外側電極１に対して固定される。

　すなわち、例えば、オゾン発生装置１００の運用中（オゾンの発生中）において、放電空間８及び放電空間９には、Ｘ２方向側からＸ１方向側に向けて原料ガスＡが流入する。そのため、例えば、図１等に示すように、誘電体３が外側電極１等にＸ軸において固定されていない場合（換言すれば、誘電体３が図１の紙面水平方向において固定されていない場合）、放電管１０では、原料ガスＡの流入に伴って誘電体３がＸ１方向に移動する可能性がある。また、例えば、車両等によってオゾン発生装置１００の輸送が行われる場合においても、車両等の発進や停止に伴って誘電体３がＸ１方向に移動する可能性がある。なお、Ｘ２方向に移動する場合もあるが、この場合については後述する。

　そこで、本実施の形態における放電管１０は、例えば、外側電極１の端側（例えば、Ｘ１方向側）に配置され、内側電極２及び誘電体３のうちの少なくともいずれかの端側（例えば、Ｘ１方向側）への移動を抑止する抑止部材９０を備える。そして、抑止部材９０は、例えば、内側電極２の端（例えば、端部２ｂ）と対向し、かつ、誘電体３の端（例えば、端部３ｂ）と対向する。また、抑止部材９０は、例えば、内側電極２及び誘電体３のうちの少なくともいずれかの端（例えば、端部２ｂまたは端部３ｂ）に接する場合がある。

　具体的に、本実施の形態における外側電極１は、例えば、両端が開口する電極管であり、内側電極２は、端部２ａと端部２ｂとを有し、誘電体３は、端部３ａと端部３ｂとを有する管状であって、抑止部材９０は、外側電極１の径方向に延伸する部分を有するピン部材５を有し、ピン部材５は、外側電極１に接し、ピン部材５と誘電体３の端部３ｂとが対向する。

　さらに具体的に、本実施の形態における外側電極１は、例えば、外側電極１の壁において径方向に沿って２つの孔１ｃを有し、ピン部材５は、両端が２つの孔１ｃに挿入され、外側電極１の外側のピン部材５は、径方向と異なる方向に屈曲する。また、ピン部材５は、例えば、内側電極２の端部２ｂと対向する。さらに、ピン部材５は、例えば、誘電体３の端部３ｂと接する場合がある。

　このピン部材５により、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、オゾン発生装置１００の運用中や輸送中における誘電体３の移動（Ｘ１方向への移動）を抑止することが可能になる。

　具体的に、図１等に示す誘電体３は、例えば、円筒形状を有している。そのため、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００では、例えば、開口部１ｂを横断するようにピン部材５を設置することで、誘電体３のＸ１方向側にピン部材５を配置することが可能になる。そのため、後記する絶縁部材６がなくても、誘電体３がＸ１方向に移動した場合に誘電体３のＸ１方向側の端部３ｂの少なくとも一部とピン部材５とを接触させることが可能になる。したがって、本実施の形態におけるピン部材５は、例えば、誘電体３がピン部材５よりもＸ１方向に移動することの抑止が可能になる。

　なお、図２等に示す例では、放電管１０が線状形状のピン部材５を有する場合について説明を行ったが、放電管１０は、例えば、ピン部材５に代えて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のうちの少なくともいずれかから見た場合における形状が円形状、楕円形状、多角形状または板状等である部材５を有するものであってもよい。

　次に、絶縁部材６についての説明を行う。絶縁部材６は、例えば、ガラス製やセラミックス製等の絶縁体であり、図２Ａ及び図３Ｂに示すように、例えば、外側電極１のＸ１方向側の端部１ａにおいて、ピン部材５と接するとともに内側電極２の端部２ｂと対向する位置に配置され、Ｘ１方向への内側電極２の移動を抑止する。すなわち、絶縁部材６は、例えば、絶縁部材６よりもＸ１方向への内側電極２の移動を抑止する。

　具体的に、絶縁部材６は、例えば、ピン部材５よりもＸ２方向側であってピン部材５と接する位置に配置される。また、絶縁部材６は、例えば、内側電極２がＸ２方向に移動した場合に端部２ｂの少なくとも一部と接する形状を有する。

　すなわち、例えば、オゾン発生装置１００の運用中（オゾンの発生中）において、放電空間９には、Ｘ２方向側からＸ１方向側に向けて原料ガスＡが流入する。そのため、例えば、図１等に示すように、内側電極２が誘電体３等にＸ軸において固定されていない場合、放電管１０では、原料ガスＡの流入に伴って内側電極２がＸ１方向に移動する可能性がある。また、例えば、車両等によってオゾン発生装置１００の輸送が行われる場合においても、車両等の発進や停止に伴って内側電極２がＸ１方向に移動する可能性がある。なお、前記したように、誘電体３が外側電極１等にＸ軸において固定されていない場合、誘電体３がＸ１方向に移動する可能性がある。

　そこで、本実施の形態における抑止部材９０は、例えば、ピン部材５と接し、内側電極２の端部２ｂに対向する絶縁部材６を更に有する。

　この絶縁部材６により、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、オゾン発生装置１００の運用中や輸送中における内側電極２の移動（Ｘ１方向への移動）を抑止することが可能になる。

　具体的に、図１に示す内側電極２は、例えば、誘電体３の内周側に配置されている。そのため、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００では、例えば、誘電体３の内周側（すなわち、誘電体３の端部３ｂとピン部材５とによって挟まれない位置）において絶縁部材６を配置することで、内側電極２のＸ１方向側に絶縁部材６を配置することが可能になり、内側電極２がＸ２方向に移動した場合に内側電極２のＸ１方向側の端部２ａの少なくとも一部と絶縁部材６とを接触させることが可能になる。したがって、本実施の形態における絶縁部材６は、例えば、内側電極２が絶縁部材６よりもＸ１方向に移動することを抑止することが可能になる。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、内側電極２とピン部材５との間の位置において絶縁部材６を配置することで、内側電極２とピン部材５とが電気的に接続することの防止が可能になり、さらに、内側電極２と外側電極１とが電気的に接続することの防止が可能になる。

　なお、絶縁部材６は、例えば、直方体等の形状（すなわち、図３（Ｂ）に示すような円柱形状以外の形状）であってもよい。

　次に、給電リボン７について説明を行う。給電リボン７は、図２Ａ及び図３Ａに示すように、例えば、誘電体３の端部３ａと対向する位置に配置され、Ｘ２方向への誘電体３の移動を抑止する。すなわち、給電リボン７は、例えば、給電リボン７よりもＸ２方向への誘電体３の移動を抑止する。

　具体的に、給電リボン７は、例えば、導電性の板状部材であり、誘電体３がＸ２方向に移動した場合に端部３ａの少なくとも一部と接する形状を有する。

　さらに、給電リボン７は、例えば、Ｘ２方向への誘電体３の移動を抑止する抑止部材としての機能に加え、複数の給電部材４を電気的に接続する接続部材としての機能を有する。

　具体的に、給電リボン７は、図３Ａに示すように、例えば、隣接する複数の放電管１０（図３Ａに示す例では２つの放電管１０）が有する給電部材４のそれぞれにおいて、隣接する複数の放電管１０を跨ぐように設置される。すなわち、給電リボン７は、例えば、複数の放電管１０が有する誘電体３のそれぞれのＸ２方向への移動を同時に抑止する。

　また、複数の給電リボン７は、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、例えば、隣接する給電リボン７と互いに接続することによってチェーン状の給電部材７０（以下、チェーン部材７０とも呼ぶ）を形成する。すなわち、チェーン部材７０は、相互に連結する２つ以上の給電リボン７を備える。

　そして、チェーン部材７０は、例えば、チェーン部材７０を構成する給電リボン７の少なくともいずれかにおいて交流電源６０と接続し、チェーン部材７０と接続する各内側電極２と交流電源６０とを電気的に接続させる。

　すなわち、チェーン部材７０は、例えば、筐体４０に格納されている給電対象となる複数の給電部材４と接続することで、交流電源６０からの電圧を筐体４０に格納されている給電対象の内側電極２に対して印加することが可能になる。言い換えれば、各内側電極２には、この場合、チェーン部材７０と給電部材４とを経由して、交流電源６０からの電圧が印加される。

　具体的に、図４Ａ及び図４Ｂに示すチェーン部材７０は、例えば、給電リボン７ａ、給電リボン７ｂ、給電リボン７ｃ、給電リボン７ｄ及び給電リボン７ｅが互いに接続することによって形成される。さらに具体的に、給電リボン７ａは、例えば、給電部材４ａ及び給電部材４ｂを孔７ａ１及び孔７ａ２のそれぞれに挿入することによって給電部材４ａと給電部材４ｂとを接続している。また、給電リボン７ｂは、例えば、給電部材４ｂ及び給電部材４ｃを孔７ｂ１及び孔７ｂ２のそれぞれに挿入することによって給電部材４ｂと給電部材４ｃとを接続している。また、給電リボン７ｃは、例えば、給電部材４ｃ及び給電部材４ｄを孔７ｃ１及び孔７ｃ２のそれぞれに挿入することによって給電部材４ｃと給電部材４ｄとを接続している。また、給電リボン７ｄは、例えば、給電部材４ｄ及び給電部材４ｅを孔７ｄ１及び孔７ｄ２のそれぞれに挿入することによって給電部材４ｄと給電部材４ｅとを接続している。また、給電リボン７ｅは、例えば、給電部材４ｅ及び給電部材４ｆを孔７ｅ１及び孔７ｅ２のそれぞれに挿入することによって給電部材４ｅと給電部材４ｆとを接続している。

　また、図４Ａ及び図４Ｂに示すチェーン部材７０では、例えば、給電リボン７ａのＸ１方向側の側面と給電リボン７ｂのＸ２方向側の側面とがナット及びボルト等の固定部材（図示せず）によって固定され、給電リボン７ｂのＸ２方向側の側面と給電リボン７ｃのＸ１方向側の側面とが固定部材によって固定され、給電リボン７ｃのＸ１方向側の側面と給電リボン７ｄのＸ２方向側の側面とが固定部材によって固定され、給電リボン７ｄのＸ２方向側の側面と給電リボン７ｅのＸ１方向側の側面とが固定部材によって固定されている。

　すなわち、例えば、オゾン発生装置１００の輸送中において、車両等の発進や停止に伴って内側電極２及び誘電体３がＸ２方向に移動する可能性がある。また、例えば、オゾン発生装置１００の運用中（オゾンの発生中）においても、内側電極２及び誘電体３がＸ２方向に移動する可能性がある。

　そこで、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、第１の軸に沿って延伸する管状の外側電極１と、第１の軸に沿って延伸する内側電極２と、第１の軸方向に沿って延伸し、外側電極１と内側電極２との間に配置された誘電体３とを備えた、複数の放電管１０を備える。また、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、放電管１０（以下、第１の放電管１０とも呼ぶ）の内側電極２と、第１の放電管１０の隣の放電管１０（以下、第２の放電管１０とも呼ぶ）の内側電極２とを電気的に接続する給電リボン７を備え、給電リボン７は、例えば、第１の放電管１０の誘電体３の端（例えば、第１の放電管１０の誘電体３の端部３ａ）と第２の放電管１０の誘電体３の端（例えば、第２の放電管１０の誘電体３の端部３ａ）とに対向する（図３及び図４参照）。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、更に、複数の給電リボン７を備え、給電リボン７（以下、第１の給電リボン７とも呼ぶ）は、例えば、第１の放電管１０の内側電極２と第２の放電管１０の内側電極２とを電気的に接続し、他の給電リボン７（以下、第２の給電リボン７とも呼ぶ）は、第１の放電管１０の内側電極２と第１の放電管１０の隣の放電管１０（以下、第３の放電管１０とも呼ぶ）の内側電極２とを電気的に接続する。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、更に、第１の軸に沿って延伸し、かつ、内側電極２に電気的に接続する給電部材４を備え、給電リボン７は、例えば、２つの孔（以下、第１の孔及び第２の孔とも呼ぶ）を有する導電性の板状部材であり、第１の放電管１０の給電部材４（例えば、図４Ｂに示す給電部材４ｂ）は、給電リボン７（例えば、図４Ｂに示す給電リボン７ａ）の第１の孔（例えば、図４Ｂに示す孔７ａ２）に挿入されて給電リボン７に接し、第２の放電管１０の給電部材４（例えば、図４Ｂに示す給電部材４ａ）は、給電リボン７の第２の孔（例えば、図４Ｂに示す孔７ａ１）に挿入されて給電リボン７に接する。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、更に、第１の軸に沿って延伸し、かつ、内側電極２に電気的に接続する給電部材４を備え、給電リボン７は、例えば、第１の孔及び第２の孔を有する導電性の板状部材であり、第１の放電管１０の給電部材４（例えば、図４Ｂに示す給電部材４ｂ）は、第１の給電リボン７（例えば、図４Ｂに示す給電リボン７ａ）の第１の孔（例えば、図４Ｂに示す孔７ａ２）に挿入されて第１の給電リボン７に接し、第１の放電管１０の給電部材４は、第２の給電リボン７（例えば、図４Ｂに示す給電リボン７ｂ）の第１の孔（例えば、図４Ｂに示す孔７ｂ１）に挿入されて第２の給電リボン７に接し、第２の放電管１０の給電部材４（例えば、図４Ｂに示す給電部材４ａ）は、第１の給電リボン７の第２の孔（例えば、図４Ｂに示す孔７ａ１）に挿入されて第１の給電リボン７に接し、第３の放電管１０の給電部材４（例えば、図４Ｂに示す給電部材４ｃ）は、第２の給電リボン７の第２の孔（例えば、図４Ｂに示す孔７ｂ２）に挿入されて第２の給電リボン７に接する。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、給電リボン７の孔に挿入された給電部材４と給電リボン７とを固定する固定部材（図示せず）を有する。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、給電リボン７に電圧を印加することで、印加した電圧が給電リボン７に電気的に接続する給電部材４を経由して、給電部材４に電気的に接続する内側電極２に印加される。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、第１の給電リボン７と第２の給電リボン７とが電気的に接続し、第１の給電リボン７に電圧を印加することで、印加した電圧が前記第１の給電リボン７に電気的に接続する第２の給電リボン７に印加される。

　この給電リボン７により、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、オゾン発生装置１００の輸送中における内側電極２及び誘電体３の移動（Ｘ２方向への移動）を抑止することが可能になる。

　具体的に、図３Ａ等に示す給電リボン７は、隣接する２つの給電部材４を接続する形状を有している。そのため、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００では、例えば、誘電体３のＸ２方向側に給電リボン７を配置することで、誘電体３がＸ２方向に移動した場合に誘電体３のＸ２方向側の端部３ａの少なくとも一部と給電リボン７とを接触させることが可能になる。したがって、給電リボン７は、例えば、誘電体３が給電リボン７よりもＸ２方向に移動することの抑止が可能になる。

　また、図４Ａ等に示すチェーン部材７０は、例えば、筐体４０に格納されている給電対象の給電部材４を連結する。そのため、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００では、例えば、チェーン部材７０を構成する給電リボン７の一部を筐体４０に固定することで、チェーン部材７０を筐体４０に固定することが可能になる。この固定により、各給電部材４のＸ２方向への移動を抑止することが可能になり、さらに、各給電部材４と接続する内側電極２のＸ２方向への移動を抑止することが可能になる。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、複数の給電リボン７が接続してチェーン部材７０を形成することで、交流電源６０と各内側電極２とを電気的に接続することが可能になる。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、複数の給電リボン７を接続してチェーン部材７０を形成することで、以下の第１の場合、第２の場合であっても、交流電源６０と所望の内側電極２とを電気的に接続することが可能になる。

　図５を参照して、第１の場合、第２の場合を説明する。第１の場合は、例えば、図５に示すように、給電部材４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ及び４ｆの延伸方向が一定（直線状）でなく、上下左右にぶれる場合である。また、第２の場合は、図５に示すように、給電部材４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ及び４ｆの延伸方向が一定であっても、これらの給電部材の位置が所望の位置に揃っていない場合、換言すれば、各放電管１０（または各内側電極２）における給電部材の配置位置にバラツキがある場合である。

　複数の給電リボン７を接続することによって形成されたチェーン部材７０によれば、第１の場合であっても、各給電部材４の延伸方向を維持した状態で（換言すれば、各給電部材４の延伸方向を調整しなくても）、各給電部材４の延伸方向のぶれを吸収して、各給電部材４を接続することが可能になる。また、チェーン部材７０によれば、第２の場合であっても、各給電部材４の配置位置を維持した状態で（換言すれば、各給電部材４の配置位置を調整しなくても）、各給電部材４の配置位置のバラツキを吸収して、各給電部材４を接続することが可能になる。

　このように、第１の場合、第２の場合であっても、チェーン部材７０を用いることで、隣接する給電リボン７の接続角度（連結角度）を各給電部材４の延伸方向に合わせて変更したり、各給電部材４の配置位置に合わせて変更したりすることが可能になり、各給電部材４の接続を各給電部材４の延伸方向や配置位置を維持した状態で行うことが可能になる。

　すなわち、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００において、第１の放電管１０、第２の放電管１０及び第３の放電管１０のそれぞれは、例えば、内側電極２と給電リボン７とを電気的に接続する給電部材４を有する。そして、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００では、例えば、第１の軸（Ｘ軸）に対する垂直断面平面（ＹＺ平面）において、第１の放電管１０、第２の放電管１０及び第３の放電管１０が所定の直線方向（図５に示す例では直線方向Ｄ）に配置され、かつ、第１の放電管１０の給電部材４（図５に示す例では給電部材４ａ）と第１の給電リボン７（図５に示す例では給電リボン７ａ）との接触箇所（図５に示す例では接触箇所Ｐ１）と第２の放電管１０の給電部材４（図５に示す例では給電部材４ｂ）と第１の給電リボン７（図５に示す例では給電リボン７ａ）との接触箇所（図５に示す例では接触箇所Ｐ２）とを結ぶ第１の直線方向（図５に示す例では直線方向Ｄ１）と、第１の放電管１０の給電部材４（図５に示す例では給電部材４ｂ）と第２の給電リボン７（図５に示す例では、給電リボン７ｂ）との接触箇所（図５に示す例では接触箇所Ｐ２）と第３の放電管１０の給電部材４（図５に示す例では給電部材４ｃ）と第２の給電リボン７（図５に示す例では給電リボン７ｂ）との接触箇所とを結ぶ第２の直線方向（図５に示す例では直線方向Ｄ２）と、所定の直線方向（図５に示す例では直線方向Ｄ）とが異なる。換言すれば、図５に示すように、所定の直線方向Ｄと、第１の直線方向Ｄ１と、第2の直線方向Ｄ２とがそれぞれ平行ではない。なお、図５で図示した給電リボン、給電部材及び接触箇所は、一例であり、他の給電リボン、他の給電部材及び他の接触箇所であってもよい。

　なお、給電リボン７は、例えば、誘電体３の端部３ａと給電リボン７との間と、誘電体３の端部３ｂとピン部材５との間とに隙間が生じないように、給電部材４に取り付けられることが好ましい。また、給電リボン７は、例えば、内側電極２の端部２ｂと絶縁部材６との間に隙間が生じないように、給電部材４に設置されることか好ましい。

　これにより、本実施の形態におけるオゾン発生装置１００は、例えば、オゾン発生装置１００の運用中や輸送中における内側電極２及び誘電体３の移動をより抑止することが可能になるとともに、Ｘ軸方向への移動に伴う内側電極２及び誘電体３の破損等を防止することが可能になる。

　［チェーン部材７０の具体例］
　次に、チェーン部材７０の具体例について説明を行う。図６から図９は、第１の実施の形態におけるチェーン部材７０の構成例を説明する図である。なお、図６から図９に示す例では、内側電極２、給電部材４及び給電リボン７のみを表記している。また、図６から図９に示す例では、隣接する３つの内側電極２が正三角形を形成するように配置される場合について説明を行うが、各内側電極２は、これ以外の方法によって配置されるものであってもよい。

　図６に示すチェーン部材７０は、例えば、Ｙ１方向とＺ１方向との間の斜め方向に沿って配置された複数の給電部材４をそれぞれ接続する直線状のチェーン部材７１ａ、チェーン部材７１ｂ、チェーン部材７１ｃ、チェーン部材７１ｄ、チェーン部材７１ｅ、チェーン部材７１ｆ及びチェーン部材７１ｇを有する。また、図６に示すチェーン部材７０は、例えば、Ｙ軸方向に沿って配置された複数の給電部材４をそれぞれ接続するとともに、チェーン部材７１ａ、チェーン部材７１ｂ、チェーン部材７１ｃ、チェーン部材７１ｄ、チェーン部材７１ｅ、チェーン部材７１ｆ及びチェーン部材７１ｇを接続する直線状のチェーン部材７１ｈを有する。

　また、図７に示すチェーン部材７０は、例えば、Ｙ軸方向に沿って配置された複数の給電部材４をジグザグ状に接続するチェーン部材７２ａ及びチェーン部材７２ｂを有する。また、図７に示すチェーン部材７０は、例えば、Ｙ２方向とＺ１方向との間の斜め方向に沿って配置された２つの給電部材４を接続し、チェーン部材７２ａ及びチェーン部材７２ｂを接続する給電リボン７ｆを有する。

　また、図８に示すチェーン部材７０は、例えば、Ｚ軸方向に沿って配置された複数の給電部材４をジグザグ状にそれぞれ接続するチェーン部材７３ａ、チェーン部材７３ｂ、チェーン部材７３ｃ、チェーン部材７３ｄ、チェーン部材７３ｅ及びチェーン部材７３ｆを有する。また、図８に示すチェーン部材７０は、例えば、Ｙ軸方向に沿って配置された複数の給電部材４をそれぞれ接続するとともに、チェーン部材７３ａ、チェーン部材７３ｂ、チェーン部材７３ｃ、チェーン部材７３ｄ、チェーン部材７３ｅ及びチェーン部材７３ｆを接続する直線状のチェーン部材７３ｇを有する。

　さらに、図９に示すチェーン部材７０は、例えば、Ｙ軸方向に沿って配置された複数の給電部材４を接続する直線状のチェーン部材７４ａ、チェーン部材７４ｂ及びチェーン部材７４ｃを有する。また、図９に示すチェーン部材７０は、例えば、Ｙ２方向とＺ１方向との間の斜め方向に沿って配置された２つの給電部材４を接続し、チェーン部材７４ａ及びチェーン部材７４ｂを接続する給電リボン７ｇを有する。また、図９に示すチェーン部材７０は、例えば、Ｙ２方向とＺ１方向との間の斜め方向に沿って配置された２つの給電部材４を接続し、チェーン部材７４ｂ及びチェーン部材７４ｃを接続する給電リボン７ｈを有する。

　すなわち、図６から図９に示すように、チェーン部材７０では、例えば、第１の方向に沿って１以上の給電リボン７を配置し、第１の方向と異なる第２の方向に沿って、第１の方向に沿って配置された１以上の給電リボン７のいずれか１つに接続する１以上の給電リボン７を配置するものであってよい。

　［オゾン発生装置１００の第１の変形例］
　次に、オゾン発生装置１００の第１の変形例について説明を行う。図１０は、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００の第１の変形例における側面断面図である。なお、図１０に示す例では、交流電源６０及び給電線６１の表記を省略している。

　オゾン発生装置１００は、例えば、オゾン発生装置１００の運用中や輸送中において、Ｘ軸方向（水平方向）から傾いた状態で配置されるものであってもよい。

　具体的に、本変形例におけるオゾン発生装置１００は、図１０に示すように、例えば、オゾン発生装置１００の外側において、誘電体３の端部３ｂのＺ軸方向（垂直方向）の高さが誘電体３の端部３ａのＺ軸方向の高さよりも低くなるようにオゾン発生装置１００を設置する設置部材４１を備えるものであってもよい。

　すなわち、本変形例におけるオゾン発生装置１００は、例えば、設置部材４１を用いることによって、放電管１０のＸ１方向側におけるＺ軸方向の高さが放電管１０のＸ２方向側におけるＺ軸方向の高さよりも低くなるように傾けて配置されるものであってもよい。

　さらに具体的に、設置部材４１は、例えば、金属製の部材であって、筐体４０の外壁４０ａにおけるＸ２方向側に取り付けられるものであってもよい。そして、オゾン発生装置１００は、例えば、オゾン発生装置１００の運用中や輸送中において、設置部材４１がオゾン発生装置１００のＺ２方向（垂直下方向）に位置するように配置されるものであってもよい。

　これにより、本変形例におけるオゾン発生装置１００は、例えば、オゾン発生装置１００の運用中や輸送中における内側電極２及び誘電体３の移動（Ｘ２方向への移動）をより抑止することが可能になる。

　なお、オゾン発生装置１００は、例えば、放電管１０の延伸方向がＺ軸に沿うように設置されるものであってもよい。すなわち、オゾン発生装置１００は、例えば、放電管１０における原料ガスＡの入口側がＺ１方向側に位置し、かつ、放電管１０におけるオゾンガスＢの出口側がＺ２方向側に位置するように設置されるものであってもよい。

　［オゾン発生装置１００の第２の変形例］
　次に、オゾン発生装置１００の第２の変形例について説明を行う。図１１は、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００の第２の変形例における側面断面図である。なお、図１１に示す例では、交流電源６０及び給電線６１の表記を省略している。

　オゾン発生装置１００は、図１１に示すように、例えば、オゾン発生装置１００の輸送中において、筐体４０のＸ２方向側の内壁４０ｂと各放電管１０が有する給電部材４との間に、固定用部材８０を配置するものであってもよい。固定用部材８０は、例えば、紙や樹脂等の緩衝材である。

　具体的に、本変形例における放電管１０は、例えば、第１の軸に沿って延伸し、かつ、内側電極２に電気的に接続する給電部材４を備え、給電部材４の端（例えば、Ｘ２方向側の端）は、放電管１０の外側にあり、抑止部材９０は、放電管１０の外側にある給電部材４の端に接し、給電部材４の端側への内側電極２の移動を抑止する固定用部材８０を更に有するものであってもよい。

　これにより、本変形例におけるオゾン発生装置１００は、例えば、オゾン発生装置１００の輸送中における内側電極２及び誘電体３の移動（Ｘ２方向への移動）をより抑止することが可能になる。

　［オゾン発生装置１００の第３の変形例］
　次に、オゾン発生装置１００の第３の変形例について説明を行う。図１２及び図１３は、第１の実施の形態における放電管１０の第３の変形例における側面断面図である。

　放電管１０は、図１２に示すように、例えば、図２等で説明したピン部材５に代えて、クリップ状の部材５（以下、クリップ部材５ａとも呼ぶ）を有するものであってもよい。

　クリップ部材５ａは、ステンレス製等の金属であり、図１２に示すように、例えば、外側電極１のＸ１方向側の端部１ａ（開口部１ｂ）において、外側電極１の径方向に延伸することによって外側電極１に接する部分を一部に有し、Ｘ１方向への誘電体３の移動を抑止する。すなわち、クリップ部材５ａは、図２等で説明したピン部材５と同様に、クリップ部材５ａよりもＸ１方向への誘電体３の移動を抑止する。また、クリップ部材５ａは、例えば、Ｘ１方向側の一部がＸ軸方向及びＺ軸方向に向けて複数回屈曲することによって略長方形状を形成する。

　すなわち、本変形例における外側電極１は、例えば、両端が開口する電極管であり、内側電極２は、端部２ａと端部２ｂとを有し、誘電体３は、端部３ａと端部３ｂとを有する管状であって、抑止部材９０は、外側電極１の径方向に延伸する部分を有するクリップ部材５ａを有し、クリップ部材５ａは、外側電極１に接し、クリップ部材５ａと誘電体３の端部３ｂとが対向する。

　なお、図１２に示すクリップ部材５ａは、Ｘ１方向側の一部が略長方形状を形成しているがこれに限られない。具体的に、放電管１０は、図１３に示すように、例えば、図２等で説明したピン部材５に代えて、Ｘ１方向側の一部が略円形状を形成するクリップ状の部材５（以下、クリップ部材５ｂとも呼ぶ）を有するものであってもよい。また、放電管１０は、例えば、Ｘ１方向側の一部が略長方形状及び略円形状以外の形状（例えば、略楕円形状や略多角形状）を形成する部材５を有するものであってもよい。

　また、ピン部材５、クリップ部材５ａ及びクリップ部材５ｂを含む部材５は、図２、図１１及び図１２等で説明したように、例えば、誘電体３の端部２ｂと対向し、外側電極１の径方向に延伸する第１部分と、外側電極１の外側において外側電極１の径方向と異なる方向に延伸する第２部分とを有し、第１部分の一部が外側電極１の２つの孔１ｃに挿入される部材である。

　［オゾン発生装置１００の第４の変形例］
　次に、オゾン発生装置１００の第４の変形例について説明を行う。図１４は、第１の実施の形態におけるチェーン部材７０の構成例を説明する図である。具体的に、図１４Ａは、Ｙ軸方向に並ぶ４つの放電管１０の正面図であり、図１４Ｂは、Ｙ軸方向に並ぶ４つの放電管１０の１４Ｂ－１４Ｂ断面図である。なお、図１４に示す例では、内側電極２、給電部材４及び給電リボン７のみを表記している。また、以下、チェーン部材７０は、Ｙ２方向側に位置する給電リボン７において交流電源６０と接続し、チェーン部材７０と接続する各内側電極２と交流電源６０とを電気的に接続させるものとして説明を行う。

　図４等で説明した例では、隣接する２つの放電管１０のそれぞれが有する２つの給電部材４を跨ぐように１つの給電リボン７が設けられる場合について説明を行ったが、これに限られない。隣接する２つの放電管１０が有する給電部材４のそれぞれには、例えば、複数の給電リボン７が設けられるものであってもよい。

　さらに、交流電源６０から近い位置に配置された２つの給電部材４を跨ぐように設けられる給電リボン７（以下、第１の給電リボン７または第１の接続部材７とも呼ぶ）の数は、交流電源６０から遠い位置に配置された２つの給電部材４を跨ぐように設けられる給電リボン７（以下、第２の給電リボン７または第２の接続部材７とも呼ぶ）の数よりも多くなるように設けられるものであってよい。すなわち、第１の給電リボン７の数は、例えば、第１の給電リボン７のそれぞれを経由して交流電源６０と接続する第２の給電リボン７の数よりも多いものであってよい。言い換えれば、オゾン発生装置１００は、例えば、Ｎ（Ｎは１以上の整数）個の第２の給電リボン７と、（Ｎ＋１）個以上の第１の給電リボン７とを有するものであってよい。

　具体的に、図１４Ａ及び図１４Ｂに示すチェーン部材７０は、例えば、給電リボン７ｉ、給電リボン７ｊ、給電リボン７ｋ、給電リボン７ｌ、給電リボン７ｍ及び給電リボン７ｎが互いに接続することによって形成されている。さらに具体的に、図１４Ａ及び図１４Ｂに示す例において、給電リボン７ｉ、給電リボン７ｌ及び給電リボン７ｎのそれぞれは、給電部材４ｇと給電部材４ｈとを接続している。また、給電リボン７ｊ及び給電リボン７ｍのそれぞれは、給電部材４ｈと給電部材４ｉとを接続している。また、給電リボン７ｋは、給電部材４ｉと給電部材４ｊとを接続している。

　すなわち、図１４Ｂに示す例におけるチェーン部材７０では、例えば、給電部材４ｇと給電部材４ｈとを跨ぐように設けられる給電リボン７の数（３つ）が、給電部材４ｈと給電部材４ｉとを跨ぐように設けられる給電リボン７の数（２つ）よりも多い。また、図１４Ｂに示す例におけるチェーン部材７０では、例えば、給電部材４ｈと給電部材４ｉとを跨ぐように設けられる給電リボン７の数（２つ）が、給電部材４ｉと給電部材４ｊとを跨ぐように設けられる給電リボン７の数（１つ）よりも多い。

　以上説明したように、交流電源６０から遠くなるに従い、チェーン部材７０の表面積が小さくなるように、換言すれば、交流電源６０に近くなるほど、チェーン部材７０の表面積が大きくなるように、給電リボン７が設けられている。例えば、隣り合う第１の給電部材４ｇと第２の給電部材４ｈとを跨ぐ第１の給電リボン７ｉと第２の給電リボン７ｌとの間に、隣り合う第２の給電部材４ｈと第３の給電部材４ｉとを跨ぐ１つの第３の給電リボン７ｊが設けられている。すなわち、第３の給電リボン７ｊの端部（Ｙ２方向側の端部）が第１の給電リボン７ｉの端部（Ｙ１方向側の端部）と第２の給電リボン７ｌの端部（Ｙ１方向側の端部）とにより挟まれている。

　これにより、本変形例におけるチェーン部材７０は、例えば、交流電源６０からの距離が近い位置（すなわち、電流密度が大きい位置）に配置された給電リボン７の表面積を、交流電源６０からの距離が遠い位置（すなわち、電流密度が小さい位置）に配置された給電リボン７の表面積よりも大きくすることが可能になる。そのため、チェーン部材７０は、例えば、交流電源６０からの距離が近い位置に配置された給電リボン７においても、いわゆる表皮効果による表面付近における抵抗増大を抑制することが可能になる。したがって、チェーン部材７０は、例えば、交流電源６０からの距離が近い位置に配置された給電リボン７を流れる電流の大きさを抑制することが可能になり、交流電源６０からの距離が近い位置に配置された給電リボン７における発熱を抑制することが可能になる。

　なお、本変形例におけるチェーン部材７０は、例えば、第１の実施の形態におけるチェーン部材７０（図４等で説明したチェーン部材７０）と連結することによって１つのチェーン部材７０（以下、連結チェーン部材７０とも呼ぶ）を形成するものであってもよい。具体的に、連結チェーン部材７０は、例えば、交流電源６０からの距離が近い位置に配置された複数の放電管１０において本変形例におけるチェーン部材７０に対応する部分が用いられ、交流電源６０からの距離が遠い位置に配置された複数の放電管１０において第１の実施の形態におけるチェーン部材７０に対応する部分が用いられるものであってもよい。

　また、上記の例では、隣接する２つの放電管１０のそれぞれが有する２つの給電部材４を跨ぐように設けられた給電リボン７の数を増加させることによって、隣接する２つの放電管１０の間における給電リボン７の表面積を大きくする場合について説明を行ったがこれに限られない。具体的に、本変形例におけるチェーン部材７０は、例えば、隣接する２つの放電管１０のそれぞれが有する２つの給電部材４を跨ぐように設けられた給電リボン７の幅（Ｚ軸方向における長さ）を長くすることによって、隣接する２つの放電管１０の間における給電リボン７の表面積を大きくするものであってもよい。

　［第２の実施の形態におけるオゾン発生装置２００］
　次に、第２の実施の形態におけるオゾン発生装置２００について説明を行う。図１５は、第２の実施の形態における放電管２０の構成例を説明する図である。具体的に、図１５Ａは、放電管２０の側面断面図であり、図１５Ｂは、放電管２０の１５Ｂ－１５Ｂ断面図である。

　オゾン発生装置２００は、図１５に示すように、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００と異なり、複数の放電管１０に代えて複数の放電管２０を有する。なお、オゾン発生装置２００は、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００と同様に、例えば、筐体４０と、冷却部５０と、交流電源６０とを有するものであってよい。

　複数の放電管２０のそれぞれは、図１等で説明した場合と同様に、Ｘ２方向からの原料ガスＡの流入に伴って、無声放電によるオゾンガスＢの生成を行い、さらに、生成したオゾンガスＢをＸ１方向から放出する。

　具体的に、複数の放電管２０のそれぞれは、図１５Ａ及び図１５Ｂに示すように、例えば、外側電極１１と、内側電極１２と、誘電体１３と、給電部材１４と、ピン部材１５（以下、部材１５とも呼ぶ）と、給電リボン１７（以下、接続部材１７とも呼ぶ）とを有する。

　外側電極１１は、例えば、図２等で説明した場合と同様に、Ｘ２方向側からＸ１方向側に延伸し、両端が開口した円筒形状を有している。以下、外側電極１１のＸ１方向側の端部を端部１１ａとも呼ぶ。

　誘電体１３は、例えば、外側電極１１と同軸の円筒形状を有するガラス管である。そして、誘電体１３は、例えば、Ｘ２方向側からＸ１方向側に延伸し、Ｘ２方向側の端部１３ａが開口するとともに、Ｘ１方向側の端部１３ｃが半球状を形成して閉塞している。また、誘電体１３は、例えば、外側電極１１の内周面から隙間を隔てた位置に配置される。以下、誘電体１３のＸ２方向側の端部を端部１３ａまたは第１の端１３ａとも呼び、誘電体１３のＸ１方向側の端部を端部１３ｃまたは第２の端１３ｃとも呼ぶ。

　具体的に、誘電体１３は、例えば、外側電極１１の内周面との間において、放電空間１８として機能する隙間が形成されるように配置される。

　内側電極１２は、例えば、誘電体１３の内周面に接着するように配置される。また、内側電極１２は、例えば、Ｘ２方向側からＸ１方向側に延伸し、外側電極１１と同軸の円筒形状を有し、両端が開口している。すなわち、本実施の形態における内側電極１２は、例えば、誘電体１３と一体化している。以下、内側電極１２のＸ２方向側の端部を端部１２ａまたは第１の端１２ａとも呼び、内側電極１２のＸ１方向側の端部を端部１２ｂまたは第２の端１２ｂとも呼ぶ。

　給電部材１４は、例えば、棒状の給電ロッドであり、Ｘ２方向側（給電線６１）から内側電極１２のＸ軸方向における端部１２ａと端部１２ｂとの間（例えば、内側電極１２のＸ軸方向における中心付近）まで延伸し、交流電源６０からの電圧を内側電極１２に印加する。具体的に、給電部材１４は、例えば、ブラシ部材１４ａを介して交流電源６０からの電圧を内側電極１２に印加する。

　すなわち、本実施の形態における放電管２０では、例えば、誘電体１３の内側と内側電極１２の外側とが接し、誘電体１３の外側と外側電極１１の内側とが所定の距離を隔てて対向する。

　ピン部材１５は、ステンレス製等の金属であり、例えば、外側電極１１のＸ１方向側の端部１１ａ（開口部１１ｂ）において、外側電極１１の径方向に延伸することによって外側電極１１に接し、Ｘ１方向への誘電体１３の移動を抑止する。すなわち、ピン部材１５は、例えば、図２等で説明した場合と同様に、ピン部材１５よりもＸ１方向への内側電極１２及び誘電体１３の移動を抑止する。

　具体的に、外側電極１１は、例えば、端部１１ａ（端部１１ａを構成する壁）において径方向に沿って２つの孔１１ｃを有する。そして、ピン部材１５は、例えば、両端が２つの孔１１ｃにそれぞれ挿入される。さらに、ピン部材１５の両端は、例えば、外側電極１１の外側に位置し、ピン部材１５の延伸方向（径方向）と異なる方向（例えば、Ｘ１方向）に向けて屈曲する。

　給電リボン１７は、例えば、誘電体１３の端部１３ａと対向する位置に配置され、Ｘ２方向への誘電体１３の移動を抑止する。すなわち、給電リボン１７は、例えば、図４等で説明した場合と同様に、給電リボン１７よりもＸ２方向への内側電極１２及び誘電体１３の移動を抑止する。

　具体的に、給電リボン１７は、例えば、導電性の板状部材であり、誘電体１３がＸ２方向に移動した場合に端部１３ａの少なくとも一部と接する形状を有する。

　すなわち、本実施の形態における放電管２０では、内側電極１２と誘電体１３とが一体化している。そのため、放電管２０では、ピン部材１５によって、内側電極１２と誘電体１３との両方のＸ１方向への移動を抑止することが可能になる。また、放電管２０では、給電リボン１７によって、内側電極１２と誘電体１３との両方のＸ２方向への移動を抑止することが可能になる。

　これにより、本実施の形態におけるオゾン発生装置２００は、オゾン発生装置１００の場合と同様に、例えば、オゾン発生装置２００の運用中や輸送中における内側電極１２及び誘電体１３の移動（Ｘ１方向またはＸ２方向への移動）を抑止することが可能になる。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置２００は、例えば、複数の給電リボン１７が接続してチェーン部材７０を形成することで、交流電源６０と内側電極１２のそれぞれとを電気的に接続することが可能になる。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置２００は、例えば、図５で説明した場合と同様に、複数の給電リボン１７を接続してチェーン部材７０を形成することで、図５で説明した第１の場合や第２の場合であっても、各給電部材１４の延伸方向を維持した状態で各給電部材１４を接続することが可能になる。そのため、オゾン発生装置２００は、交流電源６０と内側電極１２とを電気的に接続することが可能になる。

　なお、本実施の形態におけるオゾン発生装置２００には、例えば、図１０で説明した場合と同様に、設置部材４１が設けられるものであってもよい。また、本実施の形態におけるオゾン発生装置２００には、例えば、図１１で説明した場合と同様に、固定用部材８０が配置されるものであってもよい。また、本実施の形態におけるオゾン発生装置２００は、例えば、図１２及び図１３で説明した場合と同様に、ピン部材１５に代えてクリップ部材５ａまたはクリップ部材５ｂを有するものであってもよい。また、本実施の形態におけるオゾン発生装置２００は、例えば、図１４で説明したチェーン部材７０を有するものであってもよい。

　［オゾン発生装置２００の第１の変形例］
　次に、オゾン発生装置２００の第１の変形例について説明を行う。図１６は、第２の実施の形態における放電管２０の第１の変形例における構成例を説明する図である。具体的に、図１６Ａは、放電管２０の側面断面図であり、図１６Ｂは、放電管２０の１６Ｂ－１６Ｂ断面図である。

　内側電極１２は、図１６Ａに示すように、例えば、Ｘ２方向側からＸ１方向側に延伸し、Ｘ２方向側の端部１２ａが開口するとともに、Ｘ１方向側の端部１２ｃが半球状を形成して閉塞しているものであってもよい。そして、内側電極１２は、例えば、端部１２ｃを含めて、誘電体１３の内周面に接着するように配置されるものであってもよい。

　また、放電管２０は、この場合、例えば、外側電極１１のＸ１方向側の端部１１ａにおいて、絶縁部材１６を有するものであってもよい。

　絶縁部材１６は、例えば、ガラス製やセラミックス製等の絶縁体であり、図１６に示すように、例えば、外側電極１１のＸ１方向側の端部１１ａにおいて、ピン部材１５と接する位置に配置され、Ｘ１方向への内側電極１２及び誘電体１３の移動を抑止する。すなわち、絶縁部材１６は、例えば、絶縁部材１６よりもＸ１方向への内側電極１２及び誘電体１３の移動を抑止する。

　具体的に、絶縁部材１６は、例えば、ピン部材１５よりもＸ２方向側であってピン部材１５と接する位置に配置される。また、絶縁部材１６は、例えば、内側電極１２及び誘電体１３がＸ２方向に移動した場合に端部１２ｃの少なくとも一部と接する形状を有する。

　これにより、本変形例におけるオゾン発生装置２００は、例えば、内側電極１２（端部１２ｃ）がピン部材１５に近接する位置に配置される場合であっても、内側電極１２とピン部材１５とが電気的に接続することの防止が可能になる。

　［第３の実施の形態におけるオゾン発生装置３００］
　次に、第３の実施の形態におけるオゾン発生装置３００について説明を行う。図１７は、第３の実施の形態における放電管３０の構成例を説明する図である。具体的に、図１７Ａは、放電管３０の側面断面図であり、図１７Ｂは、放電管３０の１７Ｂ－１７Ｂ断面図である。

　オゾン発生装置３００は、図１７に示すように、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００と異なり、複数の放電管１０に代えて複数の放電管３０を有する。なお、オゾン発生装置３００は、第１の実施の形態におけるオゾン発生装置１００と同様に、例えば、筐体４０と、冷却部５０と、交流電源６０とを有するものであってよい。

　複数の放電管３０のそれぞれは、図１等で説明した場合と同様に、Ｘ２方向からの原料ガスＡの流入に伴って、無声放電によるオゾンガスＢの生成を行い、さらに、生成したオゾンガスＢをＸ１方向から放出する。

　具体的に、複数の放電管３０のそれぞれは、図１７Ａ及び図１７Ｂに示すように、例えば、外側電極２１と、内側電極２２と、誘電体２３と、給電部材２４と、ピン部材２５（以下、部材２５とも呼ぶ）と、絶縁部材２６と、給電リボン２７（以下、接続部材２７とも呼ぶ）とを有する。

　外側電極２１は、例えば、図２等で説明した場合と同様に、Ｘ２方向側からＸ１方向側に延伸し、両端が開口した円筒形状を有している。以下、外側電極２１のＸ１方向側の端部を端部２１ａとも呼ぶ。

　内側電極２２は、例えば、図２等で説明した場合と同様に、Ｘ２方向側からＸ１方向側に延伸し、外側電極２１と同軸の円柱形状を有している。以下、内側電極２２のＸ２方向側の端部を端部２２ａまたは第１の端２２ａとも呼び、内側電極２２のＸ１方向側の端部を端部２２ｂまたは第２の端２２ｂとも呼ぶ。

　誘電体２３は、例えば、外側電極２１と同軸の円筒形状を有するガラス管であり、Ｘ２方向側からＸ１方向側に延伸し、両端が開口している。また、誘電体２３は、例えば、外側電極２１の内周面に接着するように配置される。以下、誘電体２３のＸ２方向側の端部を端部２３ａまたは第１の端２３ａとも呼び、誘電体２３のＸ１方向側の端部を端部２３ｂまたは第２の端２３ｂとも呼ぶ。

　具体的に、誘電体２３は、例えば、内側電極２２の外周面との間において、放電空間２８として機能する隙間が形成されるように配置される。

　給電部材２４は、例えば、棒状の給電ロッドであり、Ｘ２方向側（給電線６１）から内側電極２２のＸ２方向側の端部２２ａまでＸ軸方向に沿って延伸し、内側電極２２と電気的に接続することによって、交流電源６０からの電圧（交流電圧）を内側電極２２に印加する。

　すなわち、本実施の形態における誘電体２３は、例えば、両端が開口し、放電管３０は、誘電体２３の外側と外側電極２１の内側とが接し、誘電体２３の内側と内側電極２２の外側とが所定の距離を隔てて対向する。

　ピン部材２５は、例えば、外側電極２１のＸ１方向側の端部２１ａ（開口部２１ｂ）において、外側電極２１の径方向に延伸することによって外側電極２１に接し、Ｘ１方向への内側電極２２の移動を抑止する。すなわち、ピン部材２５は、例えば、図２等で説明した場合と同様に、ピン部材２５よりもＸ１方向への内側電極２２の移動を抑止する。

　具体的に、外側電極２１は、例えば、端部２１ａ（端部２１ａを構成する壁）において径方向に沿って２つの孔２１ｃを有する。そして、ピン部材２５は、例えば、両端が２つの孔２１ｃにそれぞれ挿入される。さらに、ピン部材２５の両端は、例えば、外側電極２１の外側に位置し、ピン部材２５の延伸方向（径方向）と異なる方向（例えば、Ｘ１方向）に向けて屈曲する。

　絶縁部材２６は、例えば、ガラス製やセラミックス製等の絶縁体であり、例えば、外側電極２１のＸ１方向側の端部２１ａにおいて、ピン部材２５と接するとともに、内側電極２２の端部２２ｂと対向する位置に配置され、Ｘ１方向への内側電極２２の移動を抑止する。すなわち、絶縁部材２６は、例えば、図２等で説明した場合と同様に、絶縁部材２６よりもＸ１方向への内側電極２２の移動を抑止する。

　給電リボン２７は、例えば、誘電体２３の端部２３ａと対向する位置に配置され、Ｘ２方向への内側電極２２の移動を抑止する。すなわち、給電リボン２７は、例えば、図４等で説明した場合と同様に、給電リボン２７よりもＸ２方向への内側電極２２の移動を抑止する。具体的に、給電リボン２７は、例えば、導電性の板状部材である。

　すなわち、本実施の形態における放電管３０は、ピン部材２５及び絶縁部材２６によって、内側電極２２のＸ１方向への移動を抑止することが可能になる。また、放電管３０では、給電リボン２７によって、内側電極２２のＸ２方向への移動を抑止することが可能になる。

　これにより、本実施の形態におけるオゾン発生装置３００は、オゾン発生装置１００の場合と同様に、例えば、オゾン発生装置３００の運用中や輸送中における内側電極２２の移動（Ｘ１方向またはＸ２方向への移動）を抑止することが可能になる。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置３００は、例えば、複数の給電リボン２７が接続してチェーン部材７０を形成することで、交流電源６０と内側電極２２のそれぞれとを電気的に接続することが可能になる。

　また、本実施の形態におけるオゾン発生装置３００は、例えば、図５で説明した場合と同様に、複数の給電リボン２７を接続してチェーン部材７０を形成することで、図５で説明した第１の場合や第２の場合であっても、各給電部材２４の延伸方向を維持した状態で各給電部材２４を接続することが可能になる。そのため、オゾン発生装置３００は、例えば、各給電部材２４の延伸方向が一定でない場合であっても、交流電源６０と内側電極２２とを電気的に接続することが可能になる。

　なお、本実施の形態におけるオゾン発生装置３００には、例えば、図１０で説明した場合と同様に、設置部材４１が設けられるものであってもよい。また、本実施の形態におけるオゾン発生装置３００には、例えば、図１１で説明した場合と同様に、固定用部材８０が設けられるものであってもよい。また、本実施の形態におけるオゾン発生装置３００は、例えば、図１２及び図１３で説明した場合と同様に、ピン部材２５に代えてクリップ部材５ａまたはクリップ部材５ｂを有するものであってもよい。また、本実施の形態におけるオゾン発生装置３００は、例えば、図１４で説明したチェーン部材７０を有するものであってもよい。

１：外側電極　　　　　　　　１ａ：端部
１ｂ：開口部　　　　　　　　１ｃ：孔
２：内側電極　　　　　　　　２ａ：端部
２ｂ：端部　　　　　　　　　３：誘電体
３ａ：端部　　　　　　　　　３ｂ：端部
４：給電部材　　　　　　　　５：ピン部材
５ａ：クリップ部材　　　　　５ｂ：クリップ部材
６：絶縁部材　　　　　　　　７：給電リボン
８：放電空間　　　　　　　　９：放電空間
１０：放電管　　　　　　　　１１：外側電極
１１ａ：端部　　　　　　　　１１ｂ：開口部
１１ｃ：孔　　　　　　　　　１２：内側電極
１２ａ：端部　　　　　　　　１２ｂ：端部
１２ｃ：端部　　　　　　　　１３：誘電体
１３ａ：端部　　　　　　　　１３ｃ：端部
１４：給電部材　　　　　　　１５：ピン部材
１６：絶縁部材　　　　　　　１７：給電リボン
１８：放電空間　　　　　　　２０：放電管
２１：外側電極　　　　　　　２１ａ：端部
２１ｂ：開口部　　　　　　　２１ｃ：孔
２２：内側電極　　　　　　　２２ａ：端部
２２ｂ：端部　　　　　　　　２３：誘電体
２３ａ：端部　　　　　　　　２３ｂ：端部
２４：給電部材　　　　　　　２５：ピン部材
２６：絶縁部材　　　　　　　２７：給電リボン
２８：放電空間　　　　　　　３０：放電管
４０：筐体　　　　　　　　　４０ａ：外壁
４０ｂ：内壁　　　　　　　　４１：設置部材
５０：冷却部　　　　　　　　５１：端板
５２：端板　　　　　　　　　６０：交流電源
６１：給電線　　　　　　　　７０：チェーン部材
８０：固定用部材　　　　　　９０：抑止部材

Claims

　第１の軸に沿って延伸する管状の第１の電極と、前記第１の軸に沿って延伸する第２の電極と、前記第１の軸方向に沿って延伸し、前記第１の電極と前記第２の電極との間に配置された誘電体とを備えた、複数の放電管と、
　第１の前記放電管の前記第２の電極と前記第１の放電管の隣の第２の前記放電管の前記第２の電極とを電気的に接続する接続部材を備え、
　前記接続部材は、前記第１の放電管の前記誘電体の端と前記第２の放電管の前記誘電体の前記端とに対向する、オゾン発生装置。
　更に、複数の前記接続部材を備え、
　第１の前記接続部材は、前記第１の放電管の前記第２の電極と前記第２の放電管の前記第２の電極とを電気的に接続し、
　第２の前記接続部材は、前記第１の放電管の前記第２の電極と前記第１の放電管の隣の第３の前記放電管の前記第２の電極とを電気的に接続する、請求項１に記載のオゾン発生装置。
　Ｎ（Ｎは１以上の整数）個の前記第２の接続部材と、（Ｎ＋１）個以上の前記第１の接続部材とを有する、請求項２に記載のオゾン発生装置。
　前記第１の放電管、前記第２の放電管及び前記第３の放電管のそれぞれは、前記第２の電極と前記接続部材とを電気的に接続する給電部材を有し、
　前記第１の軸に対する垂直断面平面において、前記第１の放電管、前記第２の放電管及び前記第３の放電管は、所定の直線方向に配置され、かつ、前記第１の放電管の前記給電部材と前記第１の接続部材との接触箇所と前記第２の放電管の前記給電部材と前記第１の接続部材との接触箇所とを結ぶ第１の直線方向と、前記第１の放電管の前記給電部材と前記第２の接続部材との接触箇所と前記第３の放電管の給電部材と前記第２の接続部材との接触箇所とを結ぶ第２の直線方向と、前記所定の直線方向とが異なる、請求項２に記載のオゾン発生装置。