WO2023150732A3 - Effecteurs terminaux et patins d'effecteur terminaux ayant des polymères réticulés pour des applications de semi-conducteur visant à assurer une vitesse de fabrication améliorée et leurs procédés de fabrication et d'utilisation - Google Patents

Effecteurs terminaux et patins d'effecteur terminaux ayant des polymères réticulés pour des applications de semi-conducteur visant à assurer une vitesse de fabrication améliorée et leurs procédés de fabrication et d'utilisation Download PDF

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Le SONG
Daniel J. King
Richard GAVLIK
Joo Hyun HAN
Mithun BHATTACHARYA
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Greene, Tweed Technologies, Inc.
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Abstract

La divulgation concerne des effecteurs terminaux et des patins d'effecteurs terminaux associés à des effecteurs terminaux qui sont destinés à être utilisés dans des applications terminales de transfert robotique, notamment des applications à des températures d'environ 300 °C à environ 450 °C. Les effecteurs terminaux et/ou les patins d'effecteurs terminaux peuvent comprendre une première partie visant à supporter un objet à déplacer et une seconde partie visant à positionner le patin d'effecteur terminal sur un corps d'effecteur terminal, une surface supérieure sur la première partie du patin d'effecteur terminal étant conçue pour supporter un objet, au moins la surface supérieure de la première partie du patin d'effecteur terminal comprenant au moins un polymère aromatique réticulé. L'invention concerne également des procédés de fabrication et d'utilisation de tels effecteurs terminaux et de tels patins d'effecteurs terminaux.
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