WO2023118490A1 - Vakuumlecksucher mit ansprüh-membran-testleck und verfahren - Google Patents

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WO2023118490A1
WO2023118490A1 PCT/EP2022/087584 EP2022087584W WO2023118490A1 WO 2023118490 A1 WO2023118490 A1 WO 2023118490A1 EP 2022087584 W EP2022087584 W EP 2022087584W WO 2023118490 A1 WO2023118490 A1 WO 2023118490A1
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membrane
test
leak
gas
vacuum
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PCT/EP2022/087584
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Daniel Wetzig
Jochen Puchalla-König
Silvio Decker
Sebastian Weiss
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Inficon Gmbh
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    • B01D2325/00—Details relating to properties of membranes
    • B01D2325/04—Characteristic thickness

Definitions

  • the invention relates to a vacuum leak detector with a test leak and a method for testing the functionality of a leak detector.
  • Leak detectors which enable leaks to be found with test gas, are used to check the tightness or to detect leaks on test objects using the test gas vacuum method.
  • the objects to be tested can be, for example, vacuum furnaces, production systems with vacuum chambers in the semiconductor industry, pipelines of various types or other chambers.
  • the test item is evacuated for the leak test. The evacuation can be carried out with the pump system assigned to the test object or with a separate pump system which is provided with the leak detector.
  • a tracer gas detector is integrated into the leak detector, eg a mass spectrometer, with which the tracer gas can be detected.
  • the test gas can be, for example, helium or forming gas (95% nitrogen + 5% hydrogen).
  • the areas to be tested e.g. flange seals, weld seams, ...) are sprayed with the test gas on the atmospheric side of the test item. If there is a leakage channel at the sprayed point, the test gas flows together with the ambient air through the leakage channel into the vacuum chamber and on to the vacuum system.
  • the test gas can be detected with the detection system (e.g. mass spectrometer).
  • the signal strength is a measure of the leak rate and the temporal correlation of spray location and time and signal response is an indication of the leak location.
  • a known leak point is typically flanged to the vacuum system.
  • Such a defined leakage point is usually a so-called capillary leak.
  • the capillary leak is dimensioned in such a way that when this test leak is sprayed on, the detection system outputs a clear signal reaction.
  • the capillary must be sufficiently small so that the continuously inflowing amount of air does not negatively affect the vacuum system and the test object. For this reason, such capillary leaks are dimensioned in such a way that the channel diameter is only a few micrometers. As a result, particles or condensing humidity can clog the test leakage point. This in turn has the consequence that a functioning test system has apparently failed because the spray capillary leak is blocked.
  • WO 2006/120122 A1 describes a sniffer leak detector in which the test gas inlet has a quartz window sensor. A test leak is not provided there.
  • capillary leaks are used as test leaks in sniffer leak detectors of the type described in WO 2006/120122 A1, with the test or test gas flowing out of the test leak to the atmosphere being sucked up and detected using a so-called sniffer probe.
  • the object of the invention is to provide a vacuum leak detector with an improved test leak and to enable a corresponding leak detection method.
  • the vacuum leak detector according to the invention is defined by the features of patent claim 1.
  • the leak detection method according to the invention is defined by the features of patent claim 11.
  • a test leak connecting the outer atmosphere of the housing with the suction chamber is provided with a selectively gas-permeable membrane on the housing enclosing the suction chamber of the vacuum leak detector, which is connected to a vacuum pump evacuating the suction chamber and a gas detector connected to the suction chamber.
  • the Test leak sprayed with a test gas in such a way that the test gas selectively passes through the membrane into the interior of the suction chamber, while air or atmospheric gases from the area surrounding the vacuum leak detector are blocked by the membrane.
  • the test gas that has entered the suction chamber through the membrane is detected with the gas detector.
  • the membrane according to the invention makes it possible to determine whether the measurement signal of the test gas measured with the gas detector corresponds to the measurement signal to be expected given unrestricted functioning of the vacuum leak detector.
  • the functionality of a vacuum leak detector can be tested in a simple manner with the aid of the invention.
  • the spray gas source with which the test gas is applied works properly, i.e. that it delivers the desired type of test gas in sufficient quantity.
  • test leak can be designed as a spray leak in order to selectively direct test gas sprayed onto the test leak from the outside through the membrane into the suction chamber, while gases other than the test gas are blocked.
  • the membrane of the test leak can have quartz for the selective passage of helium, neon or hydrogen or can be made of quartz. Alternatively or additionally, the membrane can contain or consist of palladium for the selective passage of hydrogen and/or silver for the selective passage of oxygen.
  • the material of the membrane can be in the form of a thin-walled, closed tube, for example in the form of a glass finger.
  • the membrane material can be designed to selectively conduct or block the test gas depending on the temperature, while a heater is provided for heating the membrane.
  • the membrane can have a layer thickness of a few micrometers and preferably a maximum of about 100 ⁇ m.
  • the test leak can have a holder for the membrane inserted into an opening of the housing in the manner of a flange.
  • the holder can preferably be covered by a protective grid on its outside and/or its inside.
  • the test leak can have a plurality of channels each closed by one or the selectively gas-permeable membrane.
  • the membrane can be attached to a membrane chip, the membrane chip having a thickness of preferably less than one centimeter and particularly preferably less than one millimeter.
  • the membrane chip has a membrane-covered membrane window, which is designed as a channel that completely penetrates the membrane chip and has a maximum diameter of about 1000 ⁇ m and at least about 10 ⁇ m, so that one end of the channel is covered by the membrane .
  • the membrane preferably closes off the duct on the atmosphere side, i.e. it covers the end of the duct opposite the suction chamber, so that no water vapor or dirt particles from the environment can enter the duct.
  • the membrane can be attached to a membrane chip, which has at least one membrane window covered by the membrane and has a thickness of preferably less than 1 mm.
  • the membrane window is preferably supported by an open-pore porous structure, such as. B. a grid or a porous solid material to support and stabilize the membrane.
  • a selective gas inlet is provided on the leak detector vacuum system.
  • the selective gas inlet is realized with a membrane that is tight or almost impermeable to atmospheric gases. That's not how the vacuum system works existing test gas unaffected.
  • tracer gas is sprayed onto the membrane spray leak, the tracer gas permeates through the membrane into the vacuum system and is detected there with the detection system, which confirms the functionality of the overall system (detection system) and tracer gas spray source.
  • Suitable membrane materials can be selected depending on the test gas used:
  • the material can be designed as a thin-walled, closed tube (glass finger).
  • the material must be heated so that the diffusion rate of the gas through the separating layer is sufficiently rapid.
  • the configuration as a thin membrane a few micrometers thick, it is sufficient to use the membrane at room temperature in order to obtain a sufficiently rapid reaction.
  • Fig. 2 shows a detail from Fig. 1 and
  • Fig. 3 shows a detail from Fig. 2.
  • the vacuum leak detector 10 shown has a housing 14 surrounding a suction chamber 12 and which is connected in a gas-conducting manner by a vacuum line 16 to a gas detector 18 and a vacuum pump 20 .
  • the housing 14 has a test gas inlet 22 through which the test gas to be tested is drawn in from the external environment 24 of the housing 14 into the suction chamber 12 in order to be analyzed by the gas detector 18 .
  • the housing 14 is provided with a test leak 26 which completely covers an opening in the housing 14.
  • the test leak 26 is shown in more detail in FIG. 2 in an exploded view.
  • the test leak 26 has a holder 28 in the manner of a flange, which fits completely into the associated opening of the housing 14 and closes it with a seal.
  • the holder 28 is designed as a circular disk, in the region of whose center a recess 30 is designed.
  • a hole through the bracket 28 is formed at the bottom of the recess 30 .
  • a selectively gas-permeable membrane is inserted into the depression 30 as a membrane chip 32, which completely and gas-tightly covers the hole in the bottom of the depression 30.
  • the membrane 32 is selectively gas permeable to a particular type of gas and blocks all other types of gas.
  • the upper side of the holder 28 pointing in the direction of the external environment 24 and the underside of the holder 28 pointing in the direction of the suction chamber 12 are each covered by a protective grid which completely covers the depression 30 with the membrane 32 and the hole covered by the membrane 32. Both protective grids 34 are firmly screwed to the holder 28 with the aid of screw connections.
  • the membrane 32 is in the form of a quartz membrane chip and has approximately 50 holes in the center which are in the form of channels and pass completely through the membrane chip 32 36 provided, which are arranged in a grid with equal distances from each other.
  • Each of the holes 36 is closed by a quartz membrane approximately 10 ⁇ m thick.
  • the thickness of the membrane chip 32 is about 0.6 mm.
  • Each of the holes 36 forms a quartz window which is selectively gas permeable to helium at a membrane temperature of about 25° C., while other gases contained in air do not pass through the membrane 32.
  • helium only neon and hydrogen permeate through quartz, but only to a lesser extent than helium, so they can also be used as a test gas when using the spray leak with a quartz membrane.
  • the protective grid 34 protects the membrane chip 32 from direct contact, for example with a spray gun 38 when the spray gun, as shown in FIG. 1, sprays helium 40 onto the test leak 26 in the direction of the arrow in FIG.

Abstract

Bei einem Vakuumlecksucher (10) mit einem einen Saugraum (12) umschließenden Gehäuse (14), einer den Saugraum (12) evakuierenden Vakuumpumpe (20) und einem mit dem Saugraum (12) verbundenen Gasdetektor (18) ist vorgesehen, dass das Gehäuse (14) ein die äußere Atmosphäre des Gehäuses (14) mit dem Saugraum (12) verbindendes Testleck (26) mit einer selektiv gasdurchlässigen Membran (32) aufweist.

Description

Vakuumlecksucher mit Ansprüh-Membran-Testleck und Verfahren
Die Erfindung betrifft einen Vakuumlecksucher mit einem Testleck und ein Verfahren zum Prüfen der Funktionsfähigkeit eines Lecksuchers.
Zur Überprüfung der Dichtheit bzw. zum Auffinden von Leckagen an Prüflingen mit der Prüfgas-Vakuum-Methode werden Leckdetektoren verwendet, die das Auffinden von Leckagen mit Prüfgas ermöglichen. Bei den zu testenden Objekten kann es sich z.B. um Vakuumöfen, Fertigungsanlagen mit Vakuumkammer in der Halbleiterindustrie, Rohrleitungen verschiedener Art oder sonstige Kammern handeln. Zur Dichtheitsprüfung wird der Prüfling evakuiert. Das Evakuieren kann mit dem Prüfling zugeordneten Pumpsystem erfolgen oder mit einem separaten Pumpsystem, welches mit dem Lecksuchgerät bereitgestellt wird. In das Lecksuchgerät ist ein Prüfgasdetektor integriert, z.B ein Massenspektrometer mit dem das Prüfgas nachgewiesen werden kann. Bei dem Prüfgas kann es sich z.B. um Helium oder Formiergas (95% Stickstoff + 5% Wasserstoff) handeln.
Bei der Dichtheitsprüfung werden die zu testenden Stellen (z.B. Flansch- Dichtungen, Schweißnähte, ...) mit dem Prüfgas an der atmosphärischen Seite des Prüflings besprüht. Liegt an der besprühten Stelle ein Leckagekanal vor, so strömt das Prüfgas zusammen mit der Umgebungsluft durch den Leckagekanal in die Vakuumkammer und strömt weiter zum Vakuumsystem. Dabei kann das Prüfgas mit dem Nachweissystem (z.B. Massenspektrometer) nachgewiesen werden. Die Signalstärke ist ein Maß für die Leckrate und die zeitliche Korrelation von Sprühort und Zeitpunkt und Signalreaktion ist ein Hinweis auf die Leckagestelle.
Bei einer vorhandenen Leckage erfolgt bei Besprühen der Leckagestelle eine Signalreaktion, ein dichter Prüfling ist durch nicht vorhandene Signale während des Sprühens mit Prüfgas gekennzeichnet.
Bei verschiedenen Fehlerfällen bei dieser beschriebenen Methode der Dichtheitsprüfung erfolgt ebenso keine Signalreaktion und kann von einem wirklich dichten Prüfling nicht unterschieden werden. So erfolgt bei der ausgefallenen Sensitivität des Nachweissystems ebenso keine Signalreaktion. Oder wenn die Sprühgasquelle trotz Betätigung des Ventils der Sprühgasquelle kein Prüfgas abgibt erfolgt ebenso trotz möglichem Leck keine Signalreaktion.
Zur Überprüfung der Funktionalität des Prüfsystems wird typischer Weise eine bekannte Leckagestelle an das Vakuumsystem angeflanscht. Eine solche definierte Leckagestelle ist in der Regel mit einem sogenannten Kapillarleck gegeben. Das Kapillarleck ist derart dimensioniert, dass beim Ansprühen dieses Testlecks eine deutliche Signalreaktion von dem Nachweissystem ausgegeben wird. Die Kapillare muss jedoch ausreichend klein genug sein, damit die kontinuierlich einströmende Luftmenge das Vakuumsystem und den Prüfling nicht negativ beeinflusst. Aus diesem Grund sind derartige Kapillarlecks so dimensioniert, dass der Kanaldurchmesser nur wenige Mikrometer beträgt. Dies hat zur Folge, dass Partikel oder kondensierende Luftfeuchte die Testleckage-Stelle verstopfen können. Dies hat wiederum zur Folge, dass ein funktionierendes Prüfsystem, scheinbar ausgefallen ist, weil das Ansprüh-Kapillar-Leck verstopft ist.
In WO 2006/120122 Al ist ein Schnüffellecksucher beschrieben, bei dem der Testgaseinlass einen Quarzfenstersensor aufweist. Ein Testleck ist dort nicht vorgesehen. Herkömmlicherweise werden bei Schnüffellecksuchern der in WO 2006/120122 Al beschriebenen Art Kapillarlecks als Testlecks eingesetzt, wobei das aus dem Testleck zur Atmosphäre hin ausströmende Prüf- oder Testgas mit einer sogenannten Schnüffelsonde aufgesogen und nachgewiesen wird.
Der Erfindung liegt vor diesem Hintergrund die Aufgabe zugrunde, einen Vakuumlecksucher mit einem verbesserten Testleck bereitzustellen und ein entsprechendes Lecksuchverfahren zu ermöglichen.
Der erfindungsgemäße Vakuumlecksucher ist definiert durch die Merkmale von Patentanspruch 1. Das erfindungsgemäße Lecksuchverfahren ist definiert durch die Merkmale von Patentanspruch 11.
Erfindungsgemäß ist an dem den Saugraum des Vakuumlecksuchers umschließenden Gehäuse, welches mit einer den Saugraum evakuierenden Vakuumpumpe und einem mit dem Saugraum verbundenen Gasdetektor verbunden ist, ein die äußere Atmosphäre des Gehäuses mit dem Saugraum verbindendes Testleck mit einer selektiv gasdurchlässigen Membran vorgesehen. Nachdem der Saugraum von der Vakuumpumpe evakuiert wurde, wird das Testleck derart mit einem Prüfgas besprüht, dass das Prüfgas selektiv durch die Membran in das Innere des Saugraumes gelangt, während Luft oder atmosphärische Gase aus der Umgebung des Vakuumlecksuchers von der Membran blockiert werden. Das durch die Membran in den Saugraum gelangte Testgas wird mit dem Gasdetektor detektiert. Die erfindungsgemäße Membran ermöglicht es, festzustellen, ob das Messsignal des mit dem Gasdetektor gemessenen Testgases dem zu erwartenden Messsignal bei uneingeschränkter Funktionsweise des Vakuumlecksuchers entspricht. Dadurch kann mit Hilfe der Erfindung die Funktionsfähigkeit eines Vakuumlecksuchers auf einfache Weise getestet werden. Zusätzlich wird dabei getestet, dass die Sprühgasquelle, mit der das Prüfgas appliziert wird, einwandfrei funktioniert, also die gewünschte Prüfgasart in ausreichender Menge abgibt.
Das Testleck kann als Ansprühleck ausgebildet sein, um von außen auf das Testleck gesprühtes Testgas selektiv durch die Membran in den Saugraum zu leiten, während von dem Testgas verschiedene Gase blockiert werden.
Die Membran des Testlecks kann Quartz zum selektiven Durchlässen von Helium, Neon oder Wasserstoff aufweisen oder aus Quartz bestehen. Alternativ oder ergänzend kann die Membran Palladium zum selektiven Durchlässen von Wasserstoff und/oder Silber zum selektiven Durchlässen von Sauerstoff aufweisen oder daraus bestehen.
Das Material der Membran kann als dünnwandiges geschlossenes Röhrchen, beispielsweise in Form eines Glasfingers, ausgebildet sein.
Das Membranmaterial kann dazu ausgebildet sein, das Testgas temperaturabhängig selektiv zu leiten oder zu blockieren, während eine Heizung zum Beheizen der Membran vorgesehen ist. Die Membran kann eine Schichtdicke von wenigen Mikrometern und vorzugsweise maximal etwa 100 |jm aufweisen.
Das Testleck kann eine in eine Öffnung des Gehäuses eingesetzte Halterung für die Membran nach Art eines Flansches aufweisen. Die Halterung kann an deren Außenseite und/oder deren Innenseite vorzugsweise von einem Schutzgitter bedeckt werden.
Das Testleck kann mehrere, jeweils von einer oder der selektiv gasdurchlässigen Membran verschlossene Kanäle aufweisen. Hierbei kann die Membran an einem Membranchip angebracht sein, wobei der Membranchip eine Dicke von vorzugsweise weniger als einem Zentimeter und besonders bevorzugt von weniger als einem Millimeter aufweist. Der Membranchip weist ein von der Membran bedecktes Membranfenster auf, das jeweils als Kanal, der den Membranchip vollständig durchdringt, ausgebildet ist und einen Durchmesser von maximal etwa 1000 pm und mindestens etwa 10 pm aufweist, so dass ein Ende des Kanals von der Membran bedeckt ist. Die Membran schließt den Kanal dabei vorzugsweise zur Atmosphärenseite hin ab, d.h. sie bedeckt das dem Saugraum gegenüberliegende Ende des Kanals, um keinen Wasserdampf oder keine Schmutzpartikel aus der Umgebung in den Kanal hinein zu lassen.
Bei einem Ausführungsbeispiel kann die Membran an einem Membranchip angebracht sein, der mindestens ein von der Membran bedecktes Membranfenster aufweist und eine Dicke von vorzugsweise weniger als 1 mm aufweist. Das Membranfenster ist vorzugsweise von einer offenporigen porösen Struktur getragen, wie z. B. einem Gitter oder einem porösen Festkörpermaterial, um die Membran zu tragen und zu stabilisieren.
An dem Vakuumsystem des Lecksuchers ist ein selektiver Gaseinlass vorgesehen. Der selektive Gaseinlass wird mit einer Membran realisiert, die dicht bzw. nahezu undurchlässig für atmosphärische Gase ist. So ist das Vakuumsystem bei nicht vorhandenem Prüfgas unbeeinflusst. Sobald Prüfgas auf das Membran- Ansprühleck gesprüht wird, permeiert das Prüfgas durch die Membran in das Vakuumsystem und wird dort mit dem Nachweis-System nachgewiesen, was die Funktionalität des Gesamtsystems (Nachweis-System) und Prüfgas-Sprühquelle bestätigt.
Abhängig von dem verwendeten Prüfgas können passende Membranmaterialien gewählt werden:
• zum selektiven Einlass von Helium wird Quarz verwendet,
• zum selektiven Einlass von Wasserstoff (Bestandteil von Formiergas) wird Palladium verwendet,
• zum selektiven Einlass von Sauerstoff wird Silber verwendet.
Das Material kann als dünnwandiges geschlossenes Röhrchen (Glasfinger) ausgebildet sein. Bei einer solchen Variante muss das Material geheizt werden, damit die Diffusionsgeschwindigkeit des Gases durch die Trennschicht hindurch ausreichend schnell erfolgt. Bei der Ausbildung als dünne, wenige Mikrometer dicke Membran genügt die Verwendung der Membran bei Raumtemperatur, um eine ausreichend schnelle Reaktion zu erhalten.
Im Folgenden wird anhand der Figuren ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel,
Fig. 2 ein Detail aus Fig. 1 und
Fig. 3 ein Detail aus Fig. 2. Der dargestellte Vakuumlecksucher 10 weist einen Saugraum 12 umgebendes Gehäuse 14 auf, welches durch eine Vakuumleitung 16 mit einem Gasdetektor 18 und einer Vakuumpumpe 20 gasleitend verbunden ist. Das Gehäuse 14 weist einen Testgaseinlass 22 auf, durch den zu prüfendes Testgas aus der äußeren Umgebung 24 des Gehäuses 14 in den Saugraum 12 eingesogen wird, um von dem Gasdetektor 18 analysiert zu werden.
Um die Funktionsfähigkeit des Vakuumlecksuchers 10 prüfen zu können, ist das Gehäuse 14 mit einem Testleck 26 versehen, welches eine Öffnung in dem Gehäuse 14 vollständig bedeckt. Das Testleck 26 ist in Fig. 2 in Explosionsansicht näher dargestellt. Das Testleck 26 weist eine Halterung 28 nach Art eines Flansches auf, der in die zugehörige Öffnung des Gehäuses 14 vollständig hineinpasst und diese dichtend verschließt. Die Halterung 28 ist in dem Ausführungsbeispiel als kreisrunde Scheibe ausgebildet, im Bereich deren Mittelpunktes eine Vertiefung 30 ausgebildet ist. Am Boden der Vertiefung 30 ist ein durch die Halterung 28 hindurchgehendes Loch ausgebildet. In die Vertiefung 30 ist eine selektiv gasdurchlässige Membran als Membranchip 32 eingesetzt, die das Loch im Boden der Vertiefung 30 vollständig und gasdicht verdeckt. Die Membran 32 ist für eine bestimmte Gasart selektiv gasdurchlässig und blockiert sämtliche anderen Gasarten.
Die in Richtung der äußeren Umgebung 24 weisende Oberseite der Halterung 28 und die in Richtung des Saugraumes 12 weisende Unterseite der Halterung 28 sind jeweils von einem Schutzgitter bedeckt, das die Vertiefung 30 mit der Membran 32 und dem von der Membran 32 verdeckten Loch vollständig verdeckt. Beide Schutzgitter 34 sind mit Hilfe von Schraubverbindungen mit der Halterung 28 fest verschraubt.
Der Aufbau der Membran 32 ist in Fig. 3 näher dargestellt. Demnach ist die Membran 32 als Quarzmembranchip ausgebildet und mittig mit ca. 50 als Kanälen ausgebildeten vollständig durch den Membranchip 32 hindurchgehenden Löchern 36 versehen, die in einem Raster mit gleichmäßigen Abständen zueinander angeordnet sind. Jedes der Löcher 36 ist von einer Quarzmembran mit einer Dicke von etwa 10 |jm verschlossen. Die Dicke des Membranchips 32 beträgt etwa 0,6 mm. Jedes der Löcher 36 bildet ein Quarzfenster, welches bei einer Membrantemperatur von etwa 25°C selektiv gasdurchlässig für Helium ist, während andere in Luft enthaltene Gase nicht durch die Membran 32 hindurchgelangen. Neben Helium permeieren nur Neon und Wasserstoff durch Quarz jedoch verglichen mit Helium nur in geringerem Maße hindurch, können also grundsätzlich auch als Prüfgas bei Verwendung des Ansprühlecks mit Quarz- Membran zum Einsatz kommen.
Die Schutzgitter 34 schützen den Membranchip 32 vor direktem Kontakt beispielsweise mit einer Sprühpistole 38, wenn die Sprühpistole, wie in Fig. 1 dargestellt, Helium 40 in Richtung des Pfeiles in Fig. 1 auf das Testleck 26 aufsprüht. Das Schutzgitter 34 auf der Unterseite der Halterung 28, d.h. auf der dem Saugraum 12 zugewandten Seite, schützt zum einen ebenfalls den Membranchip 32 und zum anderen das Vakuumsystem, falls der Chip zerbricht oder einzelne herausgebrochene Membranfenster von der Vakuumpumpe 20 angesogen werden.

Claims

9
Ansprüche Vakuumlecksucher (10) mit einem einen Saugraum (12) umschließenden Gehäuse (14), einer den Saugraum (12) evakuierenden Vakuumpumpe (20) und einem mit dem Saugraum (12) verbundenen Gasdetektor (18), d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass das Gehäuse (14) ein die äußere Atmosphäre des Gehäuses (14) mit dem Saugraum (12) verbindendes Testleck (26) mit einer selektiv gasdurchlässigen Membran (32) aufweist. Vakuumlecksucher (10) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass das Testleck (26) als Ansprühleck ausgebildet ist, um von außen auf das Testleck (26) gesprühtes Testgas selektiv durch die Membran (32) in den Saugraum (12) zu leiten, während von dem Testgas verschiedene Gase blockiert werden. Vakuumlecksucher (10) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (32) des Testlecks (26) Quarz zum selektiven Durchlässen von Helium, Neon oder Wasserstoff, Palladium zum selektiven Durchlässen von Wasserstoff und/oder Silber zum selektiven Durchlässen von Sauerstoff aufweist. Vakuumlecksucher (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Material der Membran (32) als dünnwandiges geschlossenes Röhrchen, beispielsweise in Form eines Glasfingers, ausgebildet ist. Vakuumlecksucher (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Heizung zum Beheizen der Membran (32) vorgesehen ist, wobei das Membranmaterial temperaturabhängig selektiv leitet oder sperrt. Vakuumlecksucher (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (32) eine Schichtdicke von wenigen Mikrometern, vorzugsweise maximal 100 pm, aufweist. Vakuumlecksucher (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Testleck (26) eine in eine Öffnung des Gehäuses (14) eingesetzte Halterung (28) für die Membran (32) nach Art eines Flanschs aufweist, die an deren Außenseite und/oder Innenseite vorzugsweise von einem Schutzgitter (34) bedeckt wird. Vakuumlecksucher (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Testleck (26) mehrere jeweils von einer oder der selektiv gasdurchlässigen Membran (32) verschlossene Kanäle aufweist. Vakuumlecksucher (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (32) an einem Membranchip angebracht ist, der eine Dicke von vorzugsweise weniger als 1 cm oder weniger als 1 mm aufweist, wobei der Membranchip mindestens ein von der Membran (32) bedecktes Membranfenster aufweist, das jeweils als den Membranchip vollständig durchdringender Kanal mit einem Durchmesser von maximal etwa 1000pm und mindestens etwa 10pm ausgebildet ist, so dass ein Ende des Kanals von der Membran (32) bedeckt ist. Vakuumlecksucher (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (32) an einem Membranchip angebracht ist, eine Dicke von vorzugsweise weniger als 1 mm aufweist, wobei der Membranchip mindestens ein von der Membran (32) bedecktes 11
Membranfenster aufweist, das von einer offenporigen porösen Struktur getragen wird. Verfahren zum Testen der Funktionsfähigkeit eines Vakuumlecksuchers (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Schritte:
Evakuieren des Saugraums (12) mit der Vakuumpumpe (20),
Besprühen des Testlecks (26) mit einem Prüfgas derart, dass das Prüfgas selektiv durch die Membran (32) in das Innere des Saugraumes (12) gelangt, während Luft oder atmosphärische Gase aus der Umgebung (24) des Vakuumlecksuchers (10) von der Membran (32) blockiert werden,
Detektieren des durch die Membran (32) in den Saugraum (12) gelangten Testgases mit dem Gasdetektor (18),
Feststellen, ob das Messsignal des Gasdetektors (18) dem zu erwartenden Messsignal bei uneingeschränkter Funktionsfähigkeit des Vakuumlecksuchers (10) entspricht.
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