WO2023079656A1 - 単結晶ファイバの製造方法 - Google Patents
単結晶ファイバの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- WO2023079656A1 WO2023079656A1 PCT/JP2021/040670 JP2021040670W WO2023079656A1 WO 2023079656 A1 WO2023079656 A1 WO 2023079656A1 JP 2021040670 W JP2021040670 W JP 2021040670W WO 2023079656 A1 WO2023079656 A1 WO 2023079656A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- single crystal
- yag
- crystal fiber
- base material
- manufacturing
- Prior art date
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 105
- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims abstract description 78
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 68
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 6
- 229910019901 yttrium aluminum garnet Inorganic materials 0.000 claims description 79
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 42
- 239000011575 calcium Substances 0.000 claims description 40
- JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N aluminum;oxygen(2-);yttrium(3+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Y+3] JNDMLEXHDPKVFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 6
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 15
- 239000010953 base metal Substances 0.000 abstract 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 7
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 6
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 3
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010285 flame spraying Methods 0.000 description 1
- 238000001513 hot isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N neodymium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Nd+3].[Nd+3] PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/08—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the molten zone
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/16—Oxides
- C30B29/22—Complex oxides
- C30B29/28—Complex oxides with formula A3Me5O12 wherein A is a rare earth metal and Me is Fe, Ga, Sc, Cr, Co or Al, e.g. garnets
Definitions
- the present disclosure relates to a method for manufacturing a Nd:YAG single crystal fiber.
- Yttrium aluminum garnet (hereinafter referred to as YAG) is a composite oxide of yttrium (Y) and aluminum (Al) represented by the chemical formula Y3Al5O12 , and is a typical laser.
- YAG Yttrium aluminum garnet
- Al aluminum
- YAG containing neodymium (Nd) (hereinafter referred to as Nd:YAG) as a laser medium has been widely put into practical use in the fields of processing and medicine. It is also used as an amplification medium.
- a semiconductor laser (hereinafter referred to as LD: Laser Diode) with high conversion efficiency from electricity to light is often used as excitation light for oscillating an Nd:YAG laser using Nd:YAG as a laser medium.
- LD Laser Diode
- a method of using a single crystal fiber as the laser medium has been developed in order to improve the efficiency of oscillation by LD excitation.
- high-power LDs oscillate in multi-transverse modes, so they are said to have poor light-gathering performance.
- a longitudinal waveguiding can be realized. Therefore, stimulated emission is efficiently generated in the multimode waveguide, and the oscillation efficiency of a laser using a single crystal as a laser medium can be improved.
- Main methods of manufacturing single-crystal fibers for lasers include the micro-pull-down method (hereinafter referred to as ⁇ -PD method) and the laser-heated pedestal growth method (hereinafter referred to as LHPG method). .
- the ⁇ -PD method has the advantage that the concentration of Nd in the cross section of the fiber is distributed almost uniformly, but it also has the problem that only large-diameter fibers with a diameter of approximately 500 ⁇ m or more can be produced.
- the LHPG method can produce a single crystal fiber with a diameter of 50 to 500 ⁇ m, the LHPG method is considered to be suitable for the production of the Nd:YAG single crystal fiber as the laser medium described above.
- FIG. 1 is a diagram conceptually showing the manufacturing process of a single crystal fiber by the LHPG method.
- FIG. 2 is also a flow chart illustrating a method 20 for manufacturing single crystal fibers using an exemplary LHPG method.
- An exemplary method 20 for manufacturing a single crystal fiber by the LHPG method is carried out in an atmosphere containing oxygen, and as shown in FIGS. Forming the portion 12 (corresponding to step 21 in FIG. 2), bringing the seed crystal 18 into contact with the melting portion 12, and growing the single crystal fiber 14 while pulling up the seed crystal 18 (corresponding to step 22 in FIG. 2). ) and (see, for example, Non-Patent Document 4).
- Conventional manufacturing methods have used Nd:YAG single crystals or polycrystals as the preform 11 used in the Nd:YAG single crystal fiber manufacturing method 20 using the LHPG method.
- the concentration distribution of Nd which is the emission center responsible for the gain, in the radial cross section becomes maximum at the central axis of the fiber. is desirable. Also, for efficient amplification in an optical amplifier, it is desirable to have a concentration distribution in which the concentration of Nd is maximized at the center of the fiber axis.
- the concentration distribution of Nd has a maximum on the circumference equidistant from the central axis of the fiber. is known (see, for example, Non-Patent Document 1).
- FIG. 3 is a diagram conceptually showing the aspect of the fusion zone 12 in the manufacturing process of the Nd:YAG single crystal fiber using the LHPG method according to the prior art.
- the melt convection 13 in the melting zone 12 is indicated by the arrowed line.
- the Nd:YAG single crystal or polycrystal is used as the base material 11 in the production of the Nd:YAG single crystal fiber using the LHPG method.
- the segregation coefficient of Nd in the YAG crystal is 0.21. It is concentrated twice (see, for example, Non-Patent Document 2). It is also known that in Nd:YAG crystals, Nd substitutes at the cation site of Y.
- the atomic weight of Nd is approximately 1.6 times greater than the atomic weight of Y. .
- the density of the melt in the initially formed melted portion 12 is relatively high. lower than that of the melt. That is, since this newly melted melt receives a strong buoyant force from the previously formed surrounding melt, as shown in FIG. A convection current 13 is generated which has a flow from the material 11 side to the grown single crystal fiber 14 side.
- the incorporation of Nd atoms is maximized near the apex of the upper outer convection where the concentration of Nd is highest, so the area 15 where the concentration of Nd is maximized on the circumference equidistant from the central axis of the fiber. is formed.
- the concentration distribution in the radial direction is such that Nd has a maximum on the circumference equidistant from the central axis of the single crystal fiber. becomes. Therefore, from the viewpoint of efficiency improvement in a laser oscillator and an optical amplifier using a Nd:YAG single crystal fiber, Nd:YAG having a radial concentration distribution such that the concentration of Nd is maximized at the central axis of the single crystal fiber.
- An object of the present invention is to provide a method for producing a Nd:YAG single crystal fiber.
- the present disclosure provides a method for producing a YAG single crystal fiber containing Nd, which comprises a rod-shaped matrix containing a YAG single crystal or polycrystal, Nd, and calcium (Ca). forming a melted portion by melting one end of the base material; bringing a seed crystal into contact with the melted portion and growing the single crystal fiber while pulling up the seed crystal; , provides a method of making a single crystal fiber.
- FIG. 4 is a flow chart illustrating a method 20 for manufacturing single crystal fibers using an exemplary LHPG method.
- 1 is a diagram conceptually showing the state of a melted portion in the manufacturing process of a Nd:YAG single crystal fiber using the LHPG method according to the prior art;
- FIG. 3 is a diagram conceptually showing the appearance of a melted portion 12 during the manufacturing process of a Nd:YAG single crystal fiber using the LHPG method according to the present disclosure
- 1A and 1B are diagrams illustrating a base material used in the LHPG method in the first embodiment of the present disclosure, where (a) is an axial cross-sectional view and (b) is a radial cross-sectional view
- 4 is a flow chart illustrating a method for manufacturing single crystal fibers using the LHPG method according to the present disclosure
- FIG. 4 is a diagram illustrating a base material used in the LHPG method in the second embodiment of the present disclosure, where (a) is an axial cross-sectional view and (b) is a radial cross-sectional view;
- the method of manufacturing a Nd:YAG single crystal fiber according to the present disclosure is similar to the prior art in that it uses the LHPG method. However, by adding an additional element other than Nd to the base material of YAG and changing the fluid behavior of the melt in the melted portion 12 as shown in FIG. is formed on the central axis of the fiber, which is different from the prior art.
- the single crystal fiber 14 is A concentration distribution in the radial direction is generated such that the concentration of Nd is maximized in a region away from the central axis of .
- the molten zone is formed while maintaining the density of the melt at the same level as the base material, so the density gradient of the melt can be suppressed. can. That is, it is possible to fabricate an Nd:YAG single crystal fiber having a radial concentration distribution that maximizes the Nd concentration along the central axis of the single crystal fiber 14 by the LHPG method.
- An additional element that satisfies such conditions is calcium (Ca).
- the conditions for adding Ca to Nd:YAG will be described in detail below.
- Nd:YAG added with Ca the chemical formula of the substance is Nd 3x Ca 3y Y 3 ( 1-xy) Represented by Al 5 O 12 . Since each atomic weight of the constituent atoms of this Ca-added Nd:YAG is Y: 88.91, Al: 26.98, O: 16.00, Nd: 144.24, Ca: 40.08 , Ca-added Nd:YAG molecular weight S(x, y) can be expressed by (Equation 1).
- Equation 1 S (x, y) in (Equation 1) is a parameter that substantially corresponds to the density becomes.
- the upper limit of the number of Ca atoms added to YAG is 0.08 in terms of the ratio to the number of Y atoms (corresponding to y above).
- Nd:YAG single crystal fiber is produced by the LHPG method under the condition that satisfies (Equation 4)
- the produced Nd:YAG single crystal fiber has a Nd concentration of has a concentration distribution that maximizes at the central axis of .
- FIG. 4 is a diagram conceptually showing the aspect of the fusion zone 12 in the manufacturing process of the Nd:YAG single crystal fiber using the LHPG method according to the present disclosure. Similar to FIG. 3, the melt convection 13 in the melt zone 12 is indicated in the figure by lines with arrows. Further, the base material 17 in the present disclosure is a single crystal or polycrystal of YAG containing Nd and Ca so as to satisfy (Equation 4), unlike the base material 11 in the conventional technology. In the production of the Nd:YAG single crystal fiber using the LHPG method according to the present disclosure, based on the principle described above, the density gradient of the melt due to the difference in segregation coefficient and atomic weight does not occur in the melt zone 12 .
- the convection 13 does not exhibit fluid behavior such that it has a flow around the central axis of the single crystal fiber 14 from the base material 17 side of the molten portion 12 toward the grown single crystal fiber 14 side.
- the concentration of Nd becomes maximum at the central axis of the single crystal fiber 14 which is the axis of symmetry of the convection 13 .
- the Nd:YAG single-crystal fiber manufactured by the Nd:YAG single-crystal fiber manufacturing method according to the present disclosure can easily obtain fundamental transverse mode oscillation and has a high Efficient laser oscillators and optical amplifiers can be realized.
- the method of manufacturing the Nd:YAG single crystal fiber according to the present disclosure changes only the structure of the base material, and manufacturing by the LHPG method itself remains the same as before. Therefore, there is no need to change the existing manufacturing process significantly, and there is also the advantage that the conventional production line can be maintained.
- the base material used in the LHPG method is a YAG single crystal or polycrystal containing Nd and Ca as additive elements.
- FIG. 5A and 5B are diagrams illustrating the base material 17 used in the LHPG method in this embodiment, FIG. 5(a) being an axial sectional view and FIG. 5(b) being a radial sectional view.
- the base material 17 in the present embodiment is a rod material having a YAG single crystal or polycrystal as a matrix phase and containing Nd and Ca as additive elements inside the matrix phase.
- the base material 17 is configured such that the contents of Nd and Ca satisfy (Equation 4).
- a Nd:YAG single crystal fiber 14 is manufactured from the base material 17 having such a shape by using the LHPG method.
- the base material 17 is desirably a round bar (cylinder), but the shape is not limited to this as long as it is bar-shaped.
- the base material 17 can be produced by techniques such as melting, sintering, element diffusion, and ion implantation using an ion beam, but the production method is not limited to these.
- FIG. 6 is a flowchart illustrating a method 60 for manufacturing single crystal fibers using the LHPG method, according to one embodiment of the present disclosure.
- a method 60 for manufacturing a single crystal fiber using the LHPG method according to one embodiment of the present disclosure includes adding Nd and Ca to a single crystal or polycrystal of YAG (formula 4) fabricating a matrix containing inclusions (corresponding to step 61 in FIG. 6).
- the Nd:YAG single crystal fiber is usually grown in an oxygen-containing atmosphere, but in the manufacturing method according to the present disclosure, it may be grown in an oxygen-free atmosphere.
- the addition of Ca suppresses the density gradient of the melt, as described above, so that the melted portion 12 has the aspect shown in FIG. Become. Therefore, the manufactured Nd:YAG single crystal fiber 14 has a concentration distribution such that the concentration of Nd is maximized at the central axis.
- FIG. 7 is an illustration of a preform 70 used in the LHPG process, where FIG. 7(a) is an axial cross-section and FIG. 7(b) is a radial cross-section, according to one embodiment of the present disclosure.
- the base material 70 in this embodiment further includes a base material 71 and an oxide layer 72 formed on the outer surface of the base material 71 .
- the substrate 71 is Nd:YAG single crystal or polycrystal
- the oxide layer 72 is CaO, but other forms may be used as described later.
- the amounts of Nd and Ca must satisfy (Formula 4) in the entire base material 70 including the base material 71 and the oxide layer 72 .
- the oxide layer 72 is formed by, for example, a physical vapor deposition method such as a vacuum deposition method or a magnetron sputtering method, a chemical vapor deposition method such as a plasma CVD method or an optical CVD method, a liquid phase deposition method such as a plating method or a sol-gel method, a flame spraying method or the like.
- a film can be formed on the outer surface of the substrate 71 by a technique such as thermal spraying such as plasma spraying, sintering such as hot isostatic pressing or discharge plasma sintering, but the film forming technique is not limited to these. .
- Nd:YAG single crystal fiber 14 is manufactured by the method shown in FIG. A Nd:YAG single crystal fiber 14 having a concentration distribution such that the concentration of Nd is maximized in the axis is obtained.
- the base material 71 of the base material 70 is Nd:YAG
- the oxide layer 72 is CaO
- the combination of materials is not limited to this.
- the base material 71 may be YAG (Ca:YAG) containing Ca as an additive element
- the oxide layer 72 may be a combination of neodymium oxide (Nd 2 O 3 ), and the YAG additive elements (Nd and Ca) may be It may be included in either the base material 71 or the oxide layer 72 .
- the base material 70 having the oxide layer 72 formed on the outer surface of the base material 17 described in the first embodiment may be used.
- the method for manufacturing a single crystal fiber according to the present disclosure can manufacture an Nd:YAG single crystal fiber having a concentration distribution that maximizes the concentration of Nd at the central axis. Since the Nd:YAG single crystal fiber having such a concentration distribution can easily obtain fundamental transverse mode oscillation, it is expected to be applied to laser oscillators and optical amplifiers.
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本開示は、単結晶ファイバの中心軸においてＮｄの濃度が極大となるような径方向の濃度分布を有するＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造方法を提供する。本開示によるＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造方法は、ＹＡＧの単結晶、又は多結晶と、Ｎｄと、Ｃａとを含む、棒状の母材を作製することと、母材の一端を溶融し、溶融部を形成することと、溶融部に種結晶を接触させ、種結晶を引き上げながら前記単結晶ファイバを成長させることと、を備える。
Description
本開示は、Ｎｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造方法に関する。
イットリウム・アルミニウム・ガーネット（以下、ＹＡＧという。：Ｙｔｔｒｉｕｍ Ａｌｕｍｉｎｕｍ Ｇａｒｎｅｔ）は、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２の化学式で表されるイットリウム（Ｙ）とアルミニウム（Ａｌ）の複合酸化物であり、代表的なレーザ媒質材料として知られている。さらに、ネオジム（Ｎｄ）を含んだＹＡＧ（以下、Ｎｄ：ＹＡＧという。）をレーザ媒質とした固体レーザは、加工や医療の分野で広く実用化されており、また、Ｎｄ：ＹＡＧは光増幅器の増幅媒体にも応用されている。
Ｎｄ：ＹＡＧをレーザ媒質としたＮｄ：ＹＡＧレーザを発振するための励起光には、電気から光への変換効率が高い半導体レーザ（以下、ＬＤという。：Ｌａｓｅｒ Ｄｉｏｄｅ）が、しばしば用いられる。そして、Ｎｄ：ＹＡＧレーザなどの単結晶をレーザ媒質とするレーザではＬＤ励起による発振の効率を向上させるために、単結晶ファイバをレーザ媒質として用いる方法が開発されている。一般に、高出力ＬＤはマルチ横モード発振であるため、集光性に乏しいとされるが、レーザ媒質を直径５０－５００μｍの単結晶ファイバとすれば、マルチモード導波路断面内に励起光を閉じ込めた長手方向の導波が実現できる。このため、マルチモード導波路内にて効率的に誘導放出が生じ、単結晶をレーザ媒質とするレーザの発振効率を向上させることが可能となる。
レーザ用の単結晶ファイバの主な製造方法としては、マイクロプルダウン法（以下、μ－ＰＤ法という。）やレーザ溶融ペデスタル成長法（以下、ＬＨＰＧ法という。ＬＨＰＧ：Ｌａｓｅｒ ｈｅａｔｅｄ ｐｅｄｅｓｔａｌ ｇｒｏｗｔｈ）が挙げられる。μ－ＰＤ法は、ファイバ断面内におけるＮｄの濃度がほぼ均一に分布されるという利点を有するが、概ね直径５００μｍ以上の大径ファイバしか作製できないという課題もある。一方、ＬＨＰＧ法は、直径５０－５００μｍの単結晶ファイバが作製できるため、上述したレーザ媒質としてのＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造には、ＬＨＰＧ法が好適であると考えられる。
図１は、ＬＨＰＧ法による単結晶ファイバの製造過程を概念的に示す図である。また、図２は、例示的なＬＨＰＧ法を用いた単結晶ファイバの製造方法２０を示すフローチャートである。例示的なＬＨＰＧ法による単結晶ファイバの製造方法２０は酸素を含む雰囲気中で施工され、図１及び図２に示される通り、母材１１の先端に加熱用の炭酸ガスレーザ１６を照射し、溶融部１２を形成すること（図２における工程２１に対応）と、溶融部１２に種結晶１８を接触させ、種結晶１８を引き上げながら単結晶ファイバ１４を成長させること（図２における工程２２に対応）とを含む（例えば、非特許文献４参照）。このようなＬＨＰＧ法を用いたＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造方法２０に用いられる母材１１について、従来の製造方法では、Ｎｄ：ＹＡＧの単結晶又は多結晶が用いられてきた。
上述したようなマルチモード導波路をレーザ媒質に用いて、基本横モード発振をさせるためには、ゲインを担う発光中心であるＮｄの径方向断面における濃度分布が、ファイバの中心軸において極大となることが望ましい。また、光増幅器において効率的な増幅を行うにあたっても、同様に、ファイバの軸中心においてＮｄの濃度が極大になるような濃度分布が望ましい。しかしながら、従来の報告によれば、ＬＨＰＧ法により作製されたＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバでは、Ｎｄがファイバの中心軸から等距離だけ離れた円周上に極大を有するような濃度分布となることが知られている（例えば、非特許文献１参照）。
図３は、従来技術による、ＬＨＰＧ法を用いたＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造過程における溶融部１２の様相を概念的に示した図である。図中において、溶融部１２における融液の対流１３は、矢印の付いた線で示されている。上述の通り、ＬＨＰＧ法を用いたＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造においては、母材１１は、Ｎｄ：ＹＡＧの単結晶又は多結晶が用いられる。既存の報告によれば、ＹＡＧの結晶中におけるＮｄの偏析係数は０．２１であることが知られているため、溶融部１２におけるＮｄの濃度は、母材１１における濃度と比べて、約５倍に濃縮される（例えば、非特許文献２参照）。また、Ｎｄ：ＹＡＧの結晶中では、ＮｄはＹのカチオンサイトに置換することが知られているが、その一方で、Ｎｄの原子量はＹの原子量と比べて約１．６倍大きい値を示す。このため、初期に形成された溶融部１２における融液の密度は比較的高くなるが、新たに溶融した融液は、Ｎｄの含有量が元のままであるため、その密度は先行して形成された融液に比べて低くなる。すなわち、この新たに溶融した融液は、先行して形成された周囲の融液から強い浮力を受けることとなるため、図３に示されるように、ファイバの中心軸周りに溶融部１２の母材１１側から成長した単結晶ファイバ１４側への流れを有する対流１３を生ずる。これにより、Ｎｄの濃度が最も高くなる上部外側対流の頂点付近でＮｄ原子の取り込みが最大となるため、ファイバの中心軸から等距離だけ離れた円周上でＮｄの濃度が極大となる領域１５が形成される。
このように、ＬＨＰＧ法により作製されたＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバでは、径方向における濃度分布は、Ｎｄが単結晶ファイバの中心軸から等距離だけ離れた円周上に極大を有するような分布となる。したがって、Ｎｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバを用いたレーザ発振器及び光増幅器における効率向上の観点から、単結晶ファイバの中心軸においてＮｄの濃度が極大となるような径方向の濃度分布を有するＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造方法が求められる。
S. Bera et al., "Dopant segregation in YAG single crystal fibers grown by the laser heated pedestal growth technique", Journal of Crystal Growth, 547, P125801, 2020
白木健一，桑野泰彦，「引き上げ法によるＮｄ：Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２単結晶育成におけるネオジムの実効偏析係数」，日本化学会誌, ７, P940, 1978
A. Sugimoto et al., "Crystal growth and optical characterization of Cr，Ca： Y3A15012, Journal of Crystal Growth", 140, P349-354, 1994
S. Ishibashi et al．，"Cr，Ca: Y3A15012 laser crystal grown by the laser-heated pedestal growth method", Journal of Crystal Growth, 183, P614-621, 1998
Yener Kuru et al., "Enhanced co-solubilities of Ca and Si in YAG (Y3Al5O12)", Physica Status Solidi (c) 5，P3383-3386, 2008
本開示は、上記のような課題に対して鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、単結晶ファイバの中心軸においてＮｄの濃度が極大となるような径方向の濃度分布を有するＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造方法を提供することにある。
上記のような課題に対し、本開示では、Ｎｄを含むＹＡＧの単結晶ファイバの製造方法であって、ＹＡＧの単結晶又は多結晶と、Ｎｄと、カルシウム（Ｃａ）とを含む、棒状の母材を作製することと、母材の一端を溶融し、溶融部を形成することと、溶融部に種結晶を接触させ、種結晶を引き上げながら前記単結晶ファイバを成長させることと、を備えた、単結晶ファイバの製造方法を提供する。
以下に、図面を参照しながら本開示の種々の実施形態について詳細に説明する。同一又は類似の参照符号は、同一又は類似の要素を示し重複する説明を省略する場合がある。以下の説明は、一例であって本開示の一実施形態の要旨を逸脱しない限り、一部の構成を省略若しくは変形し、又は追加の構成とともに実施することができる。
本開示による、Ｎｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造方法は、ＬＨＰＧ法を用いる点においては、従来技術と同様である。しかしながら、ＹＡＧの母材に対してＮｄとは別に追加の元素を加え、図２に示されるような溶融部１２に融液の流体挙動を変化させることで、Ｎｄの濃度が極大となる領域１５をファイバの中心軸に形成するという点で、従来技術とは異なる。
上述した通り、従来技術による、ＬＨＰＧ法を用いたＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバ１４の製造方法２０では、ＹＡＧ結晶中におけるＮｄの偏析係数に応じた溶融部１２における密度勾配により、単結晶ファイバ１４の中心軸から離れた領域にＮｄの濃度が極大となるような径方向の濃度分布が生じる。しかしながら、偏析係数が小さく、且つ原子量も小さい元素を追加で添加すれば、融液の密度を母材と同等に維持したまま溶融部が形成されるため、融液の密度勾配を抑制することができる。すなわち、単結晶ファイバ１４の中心軸にＮｄの濃度が極大となるような径方向の濃度分布を有するＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバを、ＬＨＰＧ法によって作製することが可能となる。
このような条件を満たす追加の元素として、カルシウム（Ｃａ）が挙げられる。以下にＮｄ：ＹＡＧに対して添加するＣａの条件について、詳細に述べる。
Ｃａを添加したＮｄ：ＹＡＧにおいて、ＹＡＧを構成するＹの原子数に対するＮｄの原子数の比率をｘ、Ｃａの原子数の比率をｙとすると、当該物質の化学式はＮｄ３ｘＣａ３ｙＹ３（１－ｘ－ｙ）Ａｌ５Ｏ１２で表される。このＣａを添加したＮｄ：ＹＡＧの構成原子の各原子量は、それぞれ、Ｙ：８８．９１、Ａｌ：２６．９８、Ｏ：１６．００、Ｎｄ：１４４．２４、Ｃａ：４０．０８であるため、Ｃａを添加したＮｄ：ＹＡＧの分子量Ｓ（ｘ,ｙ）は、（式１）で表すことができる。
ＹＡＧに対する添加元素（Ｎｄ及びＣａ）の存在によるＹＡＧの融液の体積変化は、ここでは重要でないと考えられるため、（式１）におけるＳ（ｘ,ｙ）が実質的に密度に対応するパラメータとなる。
一方、偏析係数ｋｅｆｆは、Ｎｄについてはｋｅｆｆ,Ｎｄ＝０．２１、Ｃａについてはｋｅｆｆ,Ｃａ＝０．１であることが知られている（例えば、非特許文献２及び非特許文献３参照）。したがって、融液中の各添加元素の濃度は、Ｎｄがｘ／ｋｅｆｆ,Ｎｄ＝ｘ／０．２１、Ｃａがｙ／ｋｅｆｆ,Ｃａ＝ｙ／０．１となる。
これらに基づいて、ＬＨＰＧ法におけるＣａを添加したＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバが育成中（安定成長中）であるとすると、先行して形成された融液に対して新たに溶融した融液の密度が等しくなる、もしくは大きくなる条件を検討すると、（式２）で表される。
したがって、（式１）及び（式２）に各値を代入することにより、添加物を含有しない場合における融液の対流と同様の対流が生じる条件は、（式３）で表される。
一方、ＹＡＧ中に他の元素（例えば、Ｃａ）を加える場合において、そのＣａが過剰に添加されれば、ＹＡＧ結晶における系の自由エネルギーが増加し、結晶構造が維持できなくなる。また、Ｙのカチオンサイトではなく、格子間に介在するＣａが増加し、結果的に、ＹＡＧがアモルファスとなり得る、又は添加したＣａが酸化カルシウム（ＣａＯ）の状態で相分離され得る。換言すれば、本開示によるＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造方法において、ＹＡＧに対して加えられるＣａの量には上限が存在する。
ＣａがＹＡＧの結晶に添加された場合、Ｃａは、Ｎｄと同様に、ＹＡＧ中のＹのカチオンサイトに置換され、ＣａＯとして添加すると概ね８ａｔ．％までであれば、ＹＡＧの結晶構造が維持されることが知られている（例えば、非特許文献５参照）。ＣａＯを添加する際に電気的中和性を保つためにシリコン（Ｓｉ）を添加することも行われる（例えば、非特許文献５参照）。この場合、ＳｉはＡｌサイトに置換するため、添加したＳｉと同じ原子数のＡｌを原料より減じる。Ｓｉの有効イオン半径はＡｌより小さいため、ＹＡＧに対するＳｉの偏析係数は概ね１であり、融液中の対流には影響を及ぼさない。
上記より、ＹＡＧに添加するＣａの原子数は、Ｙの原子数に対する比率（上述のｙに相当）で表すと、０．０８が上限となる。これを（式３）に対して加味すると、（式４）が導出され、この（式４）が、本開示におけるＣａの添加量に対する条件範囲となる。
以上のことから、（式４）を満足するような条件下において、ＬＨＰＧ法によりＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバを作製すれば、製造されるＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバは、Ｎｄの濃度がファイバの中心軸で極大となるような濃度分布を有することとなる。
図４は、本開示による、ＬＨＰＧ法を用いたＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造過程における溶融部１２の様相を概念的に示した図である。図３と同様に、図中において、溶融部１２における融液の対流１３は、矢印の付いた線で示されている。また、本開示における母材１７は、従来技術における母材１１とは異なり、（式４）を満たすようにＮｄ及びＣａを含んだＹＡＧの単結晶又は多結晶である。本開示による、ＬＨＰＧ法を用いたＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造では、上述の原理に基づき、溶融部１２において偏析係数及び原子量の差に起因する融液の密度勾配が生じない。したがって、従来技術とは異なり、対流１３は、単結晶ファイバ１４の中心軸周りに溶融部１２の母材１７側から成長した単結晶ファイバ１４側への流れを有するような流体挙動とはならない。その結果、対流１３の対称軸となる単結晶ファイバ１４の中心軸においてＮｄの濃度が極大となる。
このように、本開示によれば、Ｎｄの濃度がファイバの中心軸で極大となるような径方向の濃度分布を有するＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバを、ＬＨＰＧ法によって製造することが可能となる。したがって、本開示によるＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造方法で製造されたＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバは、従来技術により製造されたものと比べて、基本横モード発振が容易に得られ、高効率なレーザ発振器及び光増幅器を実現することができる。
加えて、本開示によるＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの製造方法は、母材の構成のみを変化させており、ＬＨＰＧ法で製造すること自体は従来と変わらない。したがって、既存の製造工程を大幅に変更する必要がなく、従来の生産ラインを維持することができるという利点も有する。
（第１の実施形態）
以下に、本開示の第１の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本実施形態は、ＬＨＰＧ法で用いられる母材がＹＡＧの単結晶又は多結晶の結晶中にＮｄ及びＣａが添加元素として含有された形態である。
以下に、本開示の第１の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本実施形態は、ＬＨＰＧ法で用いられる母材がＹＡＧの単結晶又は多結晶の結晶中にＮｄ及びＣａが添加元素として含有された形態である。
図５は、本実施形態において、ＬＨＰＧ法で用いられる母材１７を例示する図であり、図５（ａ）は軸方向断面図であり、図５（ｂ）は径方向断面図である。本実施形態における母材１７は、ＹＡＧの単結晶又は多結晶を母相とし、添加元素として母相の内部にＮｄ及びＣａが含有された棒材である。上述の通り、母材１７は、Ｎｄ及びＣａの含有量が（式４）を満足するように構成されている。このような形態を有する母材１７に対し、ＬＨＰＧ法を用いてＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバ１４が製造される。なお、母材１７は図中に示されるように、丸棒（円柱）であることが望ましいが、棒状であればよく、形状はこれに限定されない。
母材１７は、例えば、溶解、焼結、元素拡散、イオンビームによるイオン注入等の技術により作製され得るが、製法はこれらに限定されない。
図６は、本開示の一実施形態による、ＬＨＰＧ法を用いた単結晶ファイバの製造方法６０を例示するフローチャートである。本開示の一実施形態による、ＬＨＰＧ法を用いた単結晶ファイバの製造方法６０は、図２に示される従来の製造方法の事前に、ＹＡＧの単結晶又は多結晶にＮｄ及びＣａを、（式４）を満たすように含有させた母材を作製すること（図６における工程６１に対応）をさらに含む。なお、Ｎｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバの育成は通常酸素を含む雰囲気中で行われるが、本開示による製造方法では、酸素を含まない雰囲気中で行われてもよい。
このような方法によって製造されたＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバは、上述の通り、Ｃａの添加によって融液の密度勾配が抑制されるため、溶融部１２は、図４に示されるような様相となる。したがって、製造されたＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバ１４は、中心軸においてＮｄの濃度が極大となるような濃度分布を有する。
（第２の実施形態）
以下に、本開示の第２の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本実施形態は、ＬＨＰＧ法で用いられる母材が、外側面上に酸化物層を有する形態である。
以下に、本開示の第２の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本実施形態は、ＬＨＰＧ法で用いられる母材が、外側面上に酸化物層を有する形態である。
図７は、本開示の一実施形態による、ＬＨＰＧ法で用いられる母材７０を例示する図であり、図７（ａ）は軸方向断面図であり、図７（ｂ）は径方向断面図である。本実施形態における母材７０は、基材７１と、基材７１の外側面上に成膜された酸化物層７２とをさらに含む。ここでは、例として、基材７１はＮｄ：ＹＡＧの単結晶又は多結晶とし、酸化物層７２はＣａＯとして述べるが、後述の通り、他の形態であってもよい。ただし、Ｎｄ及びＣａの量は、基材７１及び酸化物層７２を合わせた母材７０全体で（式４）を満たす必要がある。
酸化物層７２は、例えば、真空蒸着法やマグネトロンスパッタ法といった物理的気相成長法、プラズマＣＶＤや光ＣＶＤといった化学的気相成長法、めっきやゾルゲル法などの液相成長法、フレーム溶射やプラズマ溶射などの溶射法、熱間等方圧プレスや放電プラズマ焼結などの焼結、などの技術により基材７１の外側面上に成膜され得るが、成膜技術は、これらに限定されない。
このように構成された、本実施形態における母材７０を用いて、図６に示されるような方法によりＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバ１４を製造すれば、第１の実施形態と同様に、中心軸においてＮｄの濃度が極大となるような濃度分布を有するＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバ１４が得られる。
なお、本実施形態では、例として、母材７０の基材７１はＮｄ：ＹＡＧ、酸化物層７２はＣａＯとしたが、材料の組み合わせはこれに限定されない。例えば、基材７１がＣａを添加元素として含むＹＡＧ（Ｃａ：ＹＡＧ）、酸化物層７２が酸化ネオジム（Ｎｄ２Ｏ３）の組み合わせであってもよく、ＹＡＧの添加元素（Ｎｄ及びＣａ）は基材７１及び酸化物層７２のいずれに含まれてもよい。
加えて、第１の実施形態で述べた、母材１７の外側面上に酸化物層７２を成膜したものを母材７０として用いてもよい。
ただし、いずれの形態であっても、上述の通り、Ｎｄ及びＣａの量は、母材７０全体で（式４）を満足するように構成される必要がある。
本開示による単結晶ファイバの製造方法は、従来技術とは異なり、中心軸においてＮｄの濃度が極大となるような濃度分布を有するＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバを製造することが可能である。このような濃度分布を有するＮｄ：ＹＡＧの単結晶ファイバは、基本横モード発振が容易に得られるため、レーザ発振器や光増幅器への適用が見込まれる。
Claims (4)
- ネオジム（Ｎｄ）を含むイットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）の単結晶ファイバの製造方法であって、
ＹＡＧの単結晶又は多結晶と、Ｎｄと、カルシウム（Ｃａ）とを含む、棒状の母材を作製することと、
前記母材の一端を溶融し、溶融部を形成することと、
前記溶融部に種結晶を接触させ、前記種結晶を引き上げながら前記単結晶ファイバを成長させることと、
を備えた、単結晶ファイバの製造方法。 - 前記ＹＡＧの単結晶又は多結晶に含まれるイットリウム（Ｙ）の原子数に対する前記母材に含まれる前記Ｎｄの原子数の比率を第１の比率とし、
前記ＹＡＧの単結晶又は多結晶に含まれるＹの原子数に対する前記母材に含まれる前記Ｃａの原子数の比率を第２の比率とすると、
前記第２の比率は、前記第１の比率の０．４７倍以上であり、且つ０．０８以下である、請求項１に記載の単結晶ファイバの製造方法。 - 前記母材が、ＹＡＧの単結晶又は多結晶を母相とし、前記母相の内部にＮｄ及びＣａが含有されている、請求項１又は２に記載の単結晶ファイバの製造方法。
- 前記母材が、基材と、前記基材の外側面上に成膜された酸化物層とをさらに備えた、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の単結晶ファイバの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2021/040670 WO2023079656A1 (ja) | 2021-11-04 | 2021-11-04 | 単結晶ファイバの製造方法 |
| JP2023557518A JPWO2023079656A1 (ja) | 2021-11-04 | 2021-11-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2021/040670 WO2023079656A1 (ja) | 2021-11-04 | 2021-11-04 | 単結晶ファイバの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2023079656A1 true WO2023079656A1 (ja) | 2023-05-11 |
Family
ID=86240826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2021/040670 WO2023079656A1 (ja) | 2021-11-04 | 2021-11-04 | 単結晶ファイバの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPWO2023079656A1 (ja) |
| WO (1) | WO2023079656A1 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08288582A (ja) * | 1995-04-19 | 1996-11-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光学材料の製造方法 |
-
2021
- 2021-11-04 JP JP2023557518A patent/JPWO2023079656A1/ja active Pending
- 2021-11-04 WO PCT/JP2021/040670 patent/WO2023079656A1/ja active Application Filing
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08288582A (ja) * | 1995-04-19 | 1996-11-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光学材料の製造方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| JACOBSEN STUART M., TISSUE BRIAN M., YEN WILLIAM M.: "New methods for studying the optical properties of metal ions in solids", THE JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY, AMERICAN CHEMICAL SOCIETY, vol. 96, no. 4, 18 September 1991 (1991-09-18), pages 1547 - 1553, XP093064504, ISSN: 0022-3654, DOI: 10.1021/j100183a012 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPWO2023079656A1 (ja) | 2023-05-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10274673B2 (en) | Method and apparatus for producing crystalline cladding and crystalline core optical fibers | |
| Feigelson | Pulling optical fibers | |
| US10054735B2 (en) | Method and apparatus for producing crystalline cladding and crystalline core optical fibers | |
| EP2744930B1 (en) | Method for tailoring the dopant profile in a laser crystal using zone processing | |
| US4509175A (en) | Segmented YAG laser rods and method of manufacture | |
| Wang et al. | Single crystal fibers: diversified functional crystal material | |
| Bera et al. | Dopant segregation in YAG single crystal fibers grown by the laser heated pedestal growth technique | |
| EP0864671B1 (en) | A process and an apparatus for producing a composite oxide single crystal body | |
| Kim et al. | Hydrothermally cladded crystalline fibers for laser applications | |
| WO2023079656A1 (ja) | 単結晶ファイバの製造方法 | |
| Lebbou et al. | Fiber Single‐Crystal Growth from the Melt for Optical Applications | |
| JPH08339002A (ja) | 第二高調波発生素子およびその製造方法 | |
| CN115182046B (zh) | 一种制备倍半氧化物单晶光纤包层的方法 | |
| Scott et al. | Fabrication of GaSb optical fibers | |
| US11447888B2 (en) | Crystal fiber manufacturing method | |
| JP7228793B2 (ja) | 波長変換デバイス | |
| JP3555098B2 (ja) | ガーネット型構造単結晶の製造方法 | |
| US20080205456A1 (en) | Laser uses for single-crystal CVD Diamond | |
| Parsons et al. | Growth of fiber optic eutectics and their applications | |
| CN115182044B (zh) | 一种制备倍半氧化物单晶光纤包层方法 | |
| Kim et al. | Crystal fibers for high power lasers | |
| US20040132289A1 (en) | Transparent ceramics and method for producing the same | |
| Ogawa et al. | Improvement of the laser crystals and 879 nm CW LD-pumped Nd: GdVO/sub 4/laser | |
| Feigelson et al. | Single crystal fibers by the laser-heated pedestal growth method | |
| Furukawa et al. | Growth of $ GdVO_4 $ composite single-crystal rods by the double-die edge-defined film-fed growth technique |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 21963252 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2023557518 Country of ref document: JP |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 18697981 Country of ref document: US |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |