WO2023002079A1 - Método para la medida cuantitativa de temperatura - Google Patents

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WO2023002079A1
WO2023002079A1 PCT/ES2022/070469 ES2022070469W WO2023002079A1 WO 2023002079 A1 WO2023002079 A1 WO 2023002079A1 ES 2022070469 W ES2022070469 W ES 2022070469W WO 2023002079 A1 WO2023002079 A1 WO 2023002079A1
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temperature
camera
temperature field
lock
infrared
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PCT/ES2022/070469
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English (en)
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Inventor
Conrad FERRER FALCES
Xavier PERPIÑÀ GIRIBET
Miquel VELLVEHI HERNÁNDEZ
Xavier JORDÀ SANUY
Oriol AVIÑÓ SALVADÓ
Original Assignee
Consejo Superior De Investigaciones Científicas (Csic)
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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/48Thermography; Techniques using wholly visual means
    • G01J5/485Temperature profile

Definitions

  • the present invention refers to a method for the quantitative measurement of temperature that allows temperature measurements to be made at any time scale, taking advantage of lock-in detection so that the measured temperature is independent of the boundary conditions for a certain frequency, improvement of the signal/noise ratio, greater sensitivity and precision in the measurement, as well as the energy can be confined to improve the spatial resolution of the measurement in the observation area and improving its signal-to-noise ratio.
  • An object of the invention is to provide a method for the quantitative measurement of temperature that allows access to the temperature field at acquisition times below the acquisition frequency or temporal resolution of an infrared (IR) camera.
  • IR infrared
  • Lock-in is understood to mean that the excitation is modulated in frequency and then the harmonic analysis is performed on the signal acquired with the camera by means of a Fourier transform, normally staying at first or second order.
  • lock-in strategies is used to refer to everything that concerns measures modulated in frequency and its subsequent analysis by Fourier transform in the frequency domain.
  • a non-harmonic signal can be applied at a single selected frequency, then subjecting the thermal response signal obtained by a camera to a Fourier transform (FT) to break it down into a frequency spectrum containing one base harmonic signals. and higher harmonic signals to thereby obtain a plurality of frequency-specific response signals at multiple specific frequencies, the phase shifts of each of the frequency response signals are determined, a frequency versus phase shift curve is obtained; and a plurality of images are displayed, each corresponding to one of the specific frequencies.
  • FT Fourier transform
  • lock-in infrared thermography include: an infrared camera with an optical filter, signal lines connected to a computer to record and process the signals, a sampler, and a pulsed infrared source with a lock-in frequency controller. -in.
  • Some nondestructive testing systems apply laser light to a surface to capture images using an infrared camera. Based on these images, a Fourier transform is applied to each pixel and a phase image is created. Finally, the defects present are determined.
  • Other methods using lock-in thermography techniques comprise the steps of applying a non-harmonic test signal to an electrical circuit, obtaining images using an infrared sensor; detecting a thermal response signal of the image in correlation with the spread of thermal heat; performing a fast Fourier transform (FFT) to break the response signal into a frequency spectrum containing at least first and second harmonic signals; determine the phase shifts of the frequency response signals at the multiple frequencies and obtain a frequency vs. phase shift curve.
  • FFT fast Fourier transform
  • thermography test methods have been found to perform an infrared thermography test, where the presence of defects is determined by the appearance of contrast on a thermogram.
  • One of these methods comprises the steps of positioning a camera thermographic and lamps, program the test parameters, heat in a modulated or sinusoidal way, defining the amplitude and frequency of the excitation and recording the heating process in a synchronized way to the excitation. Then, the data acquired by algorithms based on Fourier series are automatically processed to obtain amplitude and phase images. Using lock-in thermography techniques, images of heating amplitude and phase are obtained, of the real and imaginary part, and the existence of defective areas is determined.
  • the invention relates to a method for quantitative temperature measurement, which makes use of modulated thermography (lock-in) techniques to perform temperature measurements at any time scale.
  • the method of the invention comprises a step of applying a periodic drive at a lock-in frequency (fi_lock-in) to at least one object.
  • the periodic power function P(t) can be decomposed using a Fourier series decomposition.
  • the Fourier series decomposition is of the type: where T is the repetition period of the power excitation.
  • the use of Fourier series decomposition allows the reconstruction of the temperature field starting from its spectral components. This approach will be referred to from now on as frequency analysis.
  • thermographic techniques where the sample is illuminated, such as thermoreflectance
  • thermoreflectance in this case it is not possible to use a stroboscopic approach to box averaging to reconstruct the shape of the sample. waveform with temporal resolution below the camera acquisition frequency. This is due to the fact that, when using infrared radiation, the object itself, due to its temperature, emits radiation and can generate noise in the acquisition.
  • the temperature field for each pixel can be resolved, obtaining a temperature field AT(r, t ).
  • T i (r,t) is a temperature field associated with a heat source i and R in (r) is a constant that relates P(t ) to ⁇ T i (r,t).
  • the lock-in frequency to be considered can be set as
  • P i (t) that generates a temperature field ⁇ T i (r,t) that will overlap with the spectral components generated and the different sources of heat. existing heat.
  • the temperature fields generated by each of the objects in the image are also added, thanks to the principle of superposition of heat sources.
  • an apparent temperature field is calculated in the different pixels of the image and the module of said apparent temperature is extracted through lock-in techniques.
  • the actual temperature obtained by the thermal response signal obtained from the infrared (IR) camera and the blackbody radiation signal are related by the equation: where OS bb (x,y) is the blackbody radiation detected with the IR camera and B, R, and F are IR camera calibration constants.
  • an emissivity parameter £(x,y) which modifies the radiation detected by the IR camera.
  • the radiation signal is defined by: where OS offset (x,y) corresponds to reflections that occur on the surface under inspection and spurious infrared radiation from other nearby bodies.
  • the apparent temperature for the detected radiation modified by the emissivity parameter e can be determined by the equation:
  • the radiation signal OS m and the apparent temperature have been obtained, it is processed using lock-in strategies to extract the apparent temperature module ( ⁇ T app (x, y)
  • thermographic image of at least one object is obtained.
  • the real temperature increase can be related to the apparent temperature from the equation:
  • this equation allows to perfectly correct the temperature measurements in each pixel of the image, especially in those cases in which the temperature measurements depend on the temperature level ( T 0 ) in each pixel, causing an error when it is being performed. measured using the lock-in approach. It should be noted that this procedure would also be valid to perform the reconstruction of temporary waveforms by using the "boxing averaging" technique referred to above, using this technique for the stage of extracting an apparent temperature field. The result is that the temperature increase resulting from a periodic excitation can be obtained from a direct measurement with the IR camera.
  • Figure 1.- shows an example of an experimental setup to obtain an infrared radiation signal emitted by an object.
  • Figure 2a.- shows a thermogram corresponding to the surface temperature distribution of a chip with conduction located at 5 points, with an image reconstruction carried out using the method of the invention.
  • FIGS 2b to 2d.- show the temporal evolution of the normalized temperature increase in three pixels of the thermogram of Figure 2a.
  • Figure 3a.- shows a thermogram corresponding to the surface temperature distribution of a chip with distributed conduction, with an image reconstruction carried out using the method of the invention.
  • FIGS 3b and 3c.- show the temporal evolution of the normalized temperature increase in two pixels of the thermogram of Figure 3a.
  • Figure 4a shows the temporal evolution of the signal obtained for a point or pixel on the surface of an analyzed chip.
  • Figure 4b.- shows the temporal evolution of the infrared camera (IR) acquisition signal.
  • Figure 4c.- shows the reconstruction of the signal using the "Boxing Averaging" method.
  • the invention refers to a method for the quantitative measurement of temperature by means of reconstruction of the temperature field in the temporal domain starting from its Fourier components, which allows obtaining a temperature field at a temporal resolution below the acquisition time of the used IR camera
  • the method of the invention makes it possible to study destruction phenomena related to power components in extreme operating situations.
  • a square power waveform of a chip is defined with a certain phase shift ⁇ i dissipated in a point heat source ia at a frequency such that a semi-infinite half can be considered.
  • the actual temperature T true (x,y ) measured on a surface with an infrared camera (1) with the blackbody radiation detected with the IR camera ( ' OS bb (x,y )) follows the following relationship: where B, R, and F are calibration constants for the (1) IR camera.
  • an emissivity parameter e (x,y) is defined that modifies the radiation detected by the IR camera ( OS m (x,y )) resulting in : where OS offset (x,y) corresponds to reflections that occur on a surface under inspection.
  • OS bb is equal to OS m
  • the apparent temperature T app (x,y) can be derived:
  • FIG. 1 graphically explains this example of practical implementation where an experimental set-up made up of an infrared camera (1) captures the infrared radiation emitted by an object (2) under real operating conditions.
  • Said object (2) is fixed on a thermoregulation system and a micropositioning system (9) that allows the relative position of the sample to be adjusted with respect to the camera (1) with great precision, in particular with 5 degrees of freedom and a resolution micrometric.
  • This thermoregulation system (9) is a Peltier plate that allows the object (2) to be kept at a certain temperature thanks to a temperature controller (4) and a water cooling system (5).
  • a synchronization unit (6) is used that will allow the object (2) to be electrically and periodically excited at a specific event repetition frequency (f lock -in), synchronizing, with respect to the start of the excitations, the instant in which the images are acquired with the camera (1) (S1).
  • This lock-in f lock frequency signal - ⁇ n o repetition of the event (S2) will be used as input in a specific excitation circuit (8) that together with a DC signal coming from a DC source (7) will provide the object (2) the desired AC/DC bias, allowing any bias to be applied to reproduce different types of conditions.
  • thermograms with an improved temporal resolution with respect to the acquisition speed of the camera (1), as shown in Figures 2a to 2d and 3a to 3c.
  • a chip has been chosen as object (2) that allows two types of current conduction through its volume: located in five areas or distributed throughout its area. active.
  • Figure 2a shows this more localized conduction through these five areas.
  • a thermogram corresponding to the surface temperature distribution of the chip after image reconstruction by the method of the invention is presented in Figure 2a.
  • the five localized conduction areas identified as hot spots are observed, also indicating three specific points or pixels that will show their temporal evolution in figures 2b to 2d.
  • the black lines refer to the method that uses the "boxing averaging" technique
  • the gray lines refer to the method of the invention.
  • Figures 2b to 2d compare the results obtained with a temporal waveform reconstruction using the "Boxing averaging" method without performing any temporal averaging, with the result of applying the frequency analysis method where a frequency analysis is performed that allows performing a signal filtering inherent to the technique, without the need for temporal averaging, highlighting the improvement in temporal resolution obtained.
  • Figure 2b shows the time evolution of the temperature increase (DT) normalized to T Lock -in in a first pixel of Figure 2a
  • Figure 2c shows the time evolution of DT normalized to T Lock -in at a second pixel in Figure 2a
  • Figure 2d shows the time course of DT normalized to T Lock - ⁇ n for a third pixel in Figure 2a.
  • Figure 3a is a thermogram of the DT distribution on the upper surface of the chip, observing a less localized distribution of temperature and therefore current than in Figure 2a. This thermogram has been obtained after carrying out the reconstruction of the image by the method of the invention with frequency analysis.
  • t int will be set to a value less than t min 1 so as not to limit the temporal resolution defined by t min l .
  • Figure 3b shows the time evolution of DT in a first pixel of Figure 3a
  • Figure 3c shows the time evolution of DT in a second pixel of Figure 3a. Note that Figure 3b and Figure 3c show the temporal evolution with respect to the normalized variable t/T Lock -in.
  • Figure 3 shows smaller DT peak values (that is, a lower signal), but that the method with frequency analysis is still capable of detecting, as shown in Figures 3b. and 3c.
  • Figures 3b. and 3c show smaller DT peak values (that is, a lower signal)
  • the method with frequency analysis is still capable of detecting, as shown in Figures 3b. and 3c.
  • an average were made in the results determined by reconstruction of the waveform "boxing averaging" information would be lost in the abrupt transitions or instants where DT varies more rapidly, for example, in the maximum temperature or in the immediately successive instants of time, which the frequency analysis method keeps perfectly defined with all its nuances, since all its spectral information has been acquired.
  • Figures 4a, 4b and 4c schematically show the realization of the "Boxing" reconstruction method, applied to the reconstruction of a periodic temporal waveform from a thermal measurement with an IR camera once the emissivity correction has been carried out. , in order to verify the validity of the results obtained from the proposed method.
  • Figure 4a shows the temporal evolution corresponding to a point or pixel on the surface of the chip analyzed during n periods of T Lock -in.
  • Figure 4b shows how the images were acquired by the IR camera (signal S).
  • the width of the acquisition pulse corresponds to t ⁇ nt , that is, the integration time t int -
  • Ato indicates the delay of the beginning of the acquisition with respect to the beginning of the T Lock -in period
  • the successive At n indicate the additional delays shift the acquisition pulse by sampling throughout the entire T Lock -in and finally reconstructing the original signal as demonstrated in the third Figure 4c.
  • the additional delays are applied to the subsequent acquisition intervals so that a new sample of the original signal is obtained in each one, allowing its reconstruction by adding all the samples obtained.
  • the time necessary for the processing of the infrared images by means of the technique of waveform reconstruction by "Boxing" and the method with frequency analysis, is not very different. It should be noted that in the wave reconstruction by "boxing averaging" pixel-by-pixel filters are not applied, which could weigh down the post-processing time with respect to the method with frequency analysis.

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Abstract

Método para la medida cuantitativa de temperatura, que hace uso de termografía lock- in permitiendo acceder al campo de temperatura a tiempos de adquisición por debajo de la resolución temporal de una cámara IR y que comprende los pasos de aplicar una excitación periódica a una frecuencia lock-in a al menos un objeto; detectar una señal de respuesta térmica; obtener una función periódica en el tiempo de potencia disipada de cada objeto de la imagen; realizar una descomposición en series de Fourier de la función periódica; resolver el campo de temperatura para cada píxel obteniendo un campo de temperatura; integrar los campos de temperatura generados por distintos objetos de la imagen; calcular la temperatura aparente en los diferentes píxeles de la imagen; extraer el módulo de temperatura aparente a través de técnicas lock-in; determinar incrementos de temperatura real; y obtener una imagen termográfica de al menos un objeto.

Description

MÉTODO PARA LA MEDIDA CUANTITATIVA DE TEMPERATURA
D E S C R I P C I Ó N
OBJETO DE LA INVENCIÓN
La presente invención se refiere a un método para la medida cuantitativa de temperatura que permite realizar medidas de temperatura en cualquier escala de tiempo, beneficiándose de la detección lock-in de modo que se obtiene independencia de la temperatura medida de las condiciones de contorno para una cierta frecuencia, mejora de la relación señal/ruido, mayor sensibilidad y precisión en la medida, así como también se puede confinar la energía para mejorar la resolución espacial de la medida en el área de observación y mejorando su relación señal a ruido.
Un objeto de la invención es proveer un método para la medida cuantitativa de temperatura que permita acceder al campo de temperatura a tiempos de adquisición por debajo de la frecuencia de adquisición o resolución temporal de una cámara infrarroja (IR).
ANTECEDENTES DE LA INVENCIÓN
Actualmente, existen muchas soluciones de métodos de termografía IR en el estado del arte.
Algunos métodos permiten localizar un punto caliente en una muestra mediante el uso de termografía lock-in, para ello se aplica una señal de prueba de onda de excitación no armónica a una frecuencia lock-in a un circuito eléctrico de muestra para activar una fuente de calor y generar un punto caliente, seguidamente, se obtienen imágenes de la muestra usando un sensor de infrarrojos y se detecta una señal de respuesta térmica en correlación con la propagación del calor dentro de la muestra. En este sentido, se entiende por Lock-in que la excitación se modula en frecuencia y luego se realiza el análisis armónico sobre la señal adquirida con la cámara mediante transformada de Fourier, quedándose normalmente a primer o segundo orden. En este ambiente, se utiliza la terminología estrategias lock-in para referirse a todo lo que concierne a medidas moduladas en frecuencia y su posterior análisis mediante trasformada de Fourier en el dominio frecuencial.
En algunos casos se puede aplicar una señal no armónica a una sola frecuencia seleccionada, después, someter la señal de respuesta térmica obtenida por una cámara a una transformación de Fourier (FT) para descomponerla en un espectro de frecuencia que contiene señales armónicas de una base y señales armónicas superiores para obtener así una pluralidad de señales de respuesta específicas de frecuencia en múltiples frecuencias específicas, se determinan los desplazamientos de fase de cada una de las señales de respuesta de frecuencia, se obtiene una curva de frecuencia frente a desplazamiento de fase; y se visualizan una pluralidad de imágenes, cada una correspondiente a una de las frecuencias específicas.
Otras soluciones que hacen uso de termografía infrarroja lock-in comprenden: una cámara de infrarrojos con un filtro óptico, líneas de señal conectadas a un ordenador para registrar y procesar las señales, una muestra y una fuente de infrarrojos pulsados con un controlador de frecuencia lock-in.
Algunos sistemas de pruebas no destructivos aplican luz láser a una superficie para capturar imágenes mediante una cámara infrarroja. Sobre la base de dichas imágenes, se aplica una transformada de Fourier en cada píxel y se crea una imagen de fase. Finalmente, se determinan los defectos presentes.
Otros métodos que usan técnicas de termografía lock-in comprenden las etapas de aplicar una señal de prueba no armónica a un circuito eléctrico, obtener imágenes usando un sensor infrarrojo; detectar una señal de respuesta térmica de la imagen en correlación con la propagación del calor térmico; realizar una transformación rápida de Fourier (FFT) para descomponer la señal de respuesta en una espectro de frecuencia que contiene al menos señales de primer y segundo armónicos; determinar los cambios de fase de las señales de respuesta de frecuencia en las múltiples frecuencias y obtener una curva de frecuencia frente a cambio de fase.
También, se han localizado métodos para realizar una prueba de termografía de infrarrojos, donde la presencia de defectos se determina por la aparición de contraste en un termograma. Uno de estos métodos comprende las etapas de situar una cámara termográfica y lámparas, programar los parámetros de ensayo, calentar de forma modulada o sinusoidal definiendo la amplitud y frecuencia de la excitación y grabando el proceso de calentamiento de forma sincronizada a la excitación. Entonces, se procesan de forma automática los datos adquiridos mediante algoritmos basados en series de Fourier para la obtención de imágenes de amplitud y fase. Haciendo uso de técnicas de termografía lock-in se obtienen imágenes de amplitud y fase de calentamiento, de parte real e imaginaria, y se determina la existencia de zonas defectuosas.
Además, existen procedimientos para la reconstrucción de una forma de onda en el dominio temporal, como el “Boxear Averaging”. Aunque estos procedimientos se han utilizado en otras técnicas (p.e., termoreflectancia), nunca se ha implementado en el procesado de imágenes infrarrojas con el fin de extraer termogramas.
Por tanto, no se ha localizado en el estado del arte una solución que se refiera a un método para la medida cuantitativa de temperatura que permita acceder al campo de temperatura a tiempos de adquisición por debajo de la velocidad de adquisición o resolución temporal de la cámara IR.
DESCRIPCIÓN DE LA INVENCIÓN
La invención se refiere a un método para la medida cuantitativa de temperatura, que hace uso de técnicas de termografía modulada (del inglés: lock-in) para realizar medidas de temperatura en cualquier escala de tiempo. El método de la invención comprende un paso de aplicar una excitación periódica a una frecuencia lock-in (fi_ock-in) a al menos un objeto.
A continuación, se procede a detectar una señal de respuesta térmica del al menos un objeto excitado y a obtener una función periódica en el tiempo que refleja la potencia disipada de cada objeto de la imagen.
La función periódica de potencia P(t) se puede descomponer mediante una descomposición en series de Fourier. Preferiblemente la descomposición en series de Fourier es del tipo:
Figure imgf000005_0001
Figure imgf000006_0001
donde T es el periodo de repetición de la excitación de potencia. El uso de la descomposición en series de Fourier permite la reconstrucción del campo de temperatura partiendo de sus componentes espectrales. Esta aproximación se referirá de ahora en adelante como análisis frecuencial.
A diferencia de otras técnicas termográficas donde se ilumina la muestra, como la termoreflectancia, en este caso no es posible utilizar una aproximación estroboscópica para realizar un promedio por impulso rectangular (del inglés: “boxear averaging”) con el fin de reconstruir la forma de onda con una resolución temporal por debajo de la frecuencia de adquisición de la cámara. Esto se debe a que, al hacer uso de radiación infrarroja, el propio objeto, por tener una temperatura, emite radiación y puede generar ruido en la adquisición.
En cambio, mediante el uso de la descomposición en series de Fourier, estos problemas se evitan, ya que únicamente se detectan las amplitudes correspondientes a una frecuencia concreta. De hecho, la técnica “boxear averaging” sería aplicable en estos casos haciendo que la frecuencia de adquisición del sistema de medida en general no sea un múltiplo de la frecuencia de repetición de la medida, referida como 1/T. Esto permitiría, después de adquirir múltiples muestras, reconstruir la forma de onda teniendo en cuenta dicho decalaje en el tiempo entre la frecuencia de adquisición y la repetición de la excitación. Esta técnica se va a referir como el método boxear de ahora en adelante y se abreviará reconstrucción de onda mediante “boxear averaging” a simplemente “Boxear”.
Seguidamente, se puede resolver el campo de temperatura para cada píxel obteniendo un campo de temperatura AT(r, t ).
Para resolver el campo de temperatura se puede hacer uso de la ecuación:
Figure imgf000006_0002
donde Ti(r,t) es un campo de temperatura asociado a una fuente de calor i y Rin(r) es una constante que relaciona P(t ) con ΔTi(r,t). Este modo de obtener el campo de temperatura permite una mejor resolución espacial con respecto a los métodos usados en el estado del arte.
En el método de la invención, la frecuencia lock-in a considerar puede fijarse como
Figure imgf000007_0001
En ciertas realizaciones pueden existir múltiples fuentes de calor (N), cada una con una disipación periódica Pi(t) que genera un campo de temperatura ΔTi(r,t) que se superpondrá con las componentes espectrales generadas y las diferentes fuentes de calor existentes. En este caso, también se suman los campos de temperatura generados por cada uno de los objetos de la imagen, gracias al principio de superposición de fuentes de calor.
Así, se obtiene un campo de temperatura total AT(r, t ) asociado a cada una de las componentes espectrales y N fuentes de calor de la forma:
Figure imgf000007_0002
A continuación, se calcula un campo de temperatura aparente en los diferentes píxeles de la imagen y se extrae el módulo de dicha temperatura aparente a través de técnicas lock-in.
La temperatura real obtenida mediante la señal de respuesta térmica obtenida a partir de la cámara infrarroja (IR) y la señal de radiación de cuerpo negro se relacionan mediante la ecuación:
Figure imgf000007_0003
donde OSbb (x,y) es la radiación del cuerpo negro detectada con la cámara IR y B, R, y F son constantes de calibración de la cámara IR.
Sin embargo, en los casos en los que al menos un objeto no se comporta como un cuerpo negro sino como un cuerpo gris, se define un parámetro emisividad £(x,y) que modifica la radiación detectada por la cámara IR. Así la señal de radiación queda definida por:
Figure imgf000008_0001
donde OSoffset(x,y) se corresponde a reflexiones que se producen en la superficie bajo inspección y radiación infrarroja espuria proveniente de otros cuerpos cercanos.
De ese modo, se puede determinar la temperatura aparente para la radiación detectada modificada por el parámetro de emisividad e mediante la ecuación:
Figure imgf000008_0002
Así, una vez que se ha obtenido la señal de radiación OSm y la temperatura aparente, se procesa mediante estrategias lock-in para extraer el módulo de temperatura aparente (ΔT app(x, y) |).
Finalmente se determinan incrementos de temperatura real Ttrue(x,y), y se obtiene una imagen termográfica del al menos un objeto.
El incremento de temperatura real se puede relacionar con la temperatura aparente a partir de la ecuación:
Siendo
Figure imgf000008_0003
El uso de esta ecuación permite corregir perfectamente las medidas de temperatura en cada píxel de la imagen, especialmente en aquellos casos en los que las medidas de temperatura dependen del nivel de temperatura ( T0 ) en cada píxel, provocando un error cuando se está realizando la medida mediante la aproximación lock-in. Cabe destacar que este procedimiento también sería válido para realizar la reconstrucción de las formas de onda temporales mediante el uso de la técnica “boxear averaging” referida anteriormente, usando esta técnica para la etapa de extraer un campo de temperatura aparente. El resultado es que se puede obtener el incremento de temperatura resultante de una excitación periódica, a partir de una medida directa con la cámara IR.
DESCRIPCIÓN DE LOS DIBUJOS
Para complementar la descripción que se está realizando y con objeto de ayudar a una mejor comprensión de las características de la invención, de acuerdo con un ejemplo preferente de realización práctica de la misma, se acompaña como parte integrante de dicha descripción, un juego de dibujos en donde con carácter ilustrativo y no limitativo, se ha representado lo siguiente:
Figura 1.- muestra un ejemplo de montaje experimental para obtener una señal de radiación infrarroja emitida por un objeto.
Figura 2a.- muestra un termograma correspondiente a la distribución de temperatura superficial de un chip con conducción localizada en 5 puntos, con una reconstrucción de imagen realizada usando el método de la invención.
Figuras 2b a 2d.- muestran la evolución temporal del incremento de temperatura normalizada en tres píxeles del termograma de la Figura 2a.
Figura 3a.- muestra un termograma correspondiente a la distribución de temperatura superficial de un chip con conducción distribuida, con una reconstrucción de imagen realizada usando el método de la invención.
Figuras 3b y 3c.- muestran la evolución temporal del incremento de temperatura normalizada en dos píxeles del termograma de la Figura 3a.
Figura 4a.- muestra la evolución temporal de la señal obtenida para un punto o píxel de la superficie de un chip analizado.
Figura 4b.- muestra la evolución temporal de la señal de adquisición de la cámara infrarroja (IR).
Figura 4c.- muestra la reconstrucción de la señal mediante el método “Boxear Averaging”. REALIZACIÓN PREFERENTE DE LA INVENCIÓN
La invención se refiere a un método para la medida cuantitativa de temperatura mediante reconstrucción del campo de temperatura en el dominio temporal partiendo de sus componentes de Fourier, el cual permite obtener un campo de temperatura a una resolución temporal por debajo del tiempo de adquisición de la cámara IR usada. El método de la invención permite estudiar fenómenos de destrucción relacionados con componentes de potencia en situaciones de funcionamiento extremo.
En un caso particular, se define una forma de onda de potencia cuadrada de un chip con un cierto desfase Ψi disipada en una fuente de calor puntual i a una frecuencia tal que se puede considerar un medio semiinfinito.
En ese caso, Pi (t) obedece a la siguiente forma de onda:
Figure imgf000010_0001
donde r=0, 1 ,2,3...
A continuación, se procede a realizar una descomposición en series de Fourier de la potencia disipada:
Figure imgf000010_0002
También, se calcula el campo de temperatura ATi(r, t) que resulta:
Figure imgf000010_0003
donde
Figure imgf000010_0004
donde Dα es la difusividad térmica del material; y T(r = 0 ,t = Tp)_es su correspondiente solución en el dominio temporal evaluada en un tiempo igual al periodo, de modo que:
Figure imgf000011_0001
donde k es la conductividad térmica del material. En este caso, la frecuencia lock-in del procesado es flock-in = 1/ (2 Tp) para dejar calentar y enfriar el chip durante un tiempo simétrico y poder hacer la extracción cuantitativa de la amplitud de temperatura de forma significativa.
Por otro lado, la temperatura real Ttrue (x,y ) medida sobre una superficie con una cámara infrarroja (1) con la radiación del cuerpo negro detectada con la cámara IR (' OSbb(x,y )), sigue la siguiente relación:
Figure imgf000011_0002
dónde B, R, y F son constantes de calibración para la cámara (1) IR. Sin embargo, comúnmente los materiales no se comportan como cuerpos negros sino como cuerpos grises, para ello, se define un parámetro emisividad e (x,y) que modifica la radiación detectada por la cámara IR ( OSm(x,y )) resultando:
Figure imgf000011_0003
donde OSoffset(x,y) se corresponde a reflexiones que se producen en una superficie bajo inspección. Entonces, si se tiene en cuenta que OSbb es igual a OSm se puede derivar la temperatura aparente Tapp(x,y):
Figure imgf000011_0004
Figure imgf000011_0005
A continuación, se realiza un posprocesado lock-in y se extrae el módulo de la temperatura aparente. Así, con la cámara IR primero se mide OSm(x,y), se transforma a Tapp y se procesa mediante estrategias lock-in para extraer su módulo de temperatura aparente (ATapp(x,y)). Para determinar incrementos de temperatura real ATtrue, se realiza una calibración entre ésta y la temperatura aparente mediante la siguiente ley que las relaciona:
Figure imgf000011_0006
Siendo
Figure imgf000012_0001
donde OSbb ( x,y,T0 ) y OSm(x,y,T0 ) son las radiaciones detectadas por la cámara (1) correspondientes a un cuerpo negro o gris, respectivamente, que se encuentran una temperatura promedio T0. De esta forma, el método para la medida cuantitativa de temperatura de la invención permite acceder al campo de temperatura a una resolución temporal por debajo del tiempo de adquisición de la cámara (1) infrarroja (IR).
La Figura 1 explica gráficamente este ejemplo de realización práctica donde un montaje experimental formado por una cámara infrarroja (1) capta la radiación infrarroja emitida por un objeto (2) en condiciones de operación reales. Dicho objeto (2) está fijado sobre un sistema de termorregulación y un sistema de microposicionamiento (9) que permite ajustar la posición relativa de la muestra respecto la cámara (1) con una gran precisión, en particular con 5 grados de libertad y una resolución micrométrica. Este sistema de termorregulación (9), es una placa Peltier que permite mantener el objeto (2) a una temperatura determinada gracias a un controlador de temperatura (4) y un sistema de refrigeración (5) por agua.
Para polarizar la muestra, se utiliza una unidad de sincronización (6) que permitirá excitar eléctrica y periódicamente el objeto (2) a una frecuencia de repetición del evento específica (flock-in) sincronizando, respecto al inicio de las excitaciones, el instante en que se adquieren las imágenes con la cámara (1) (S1). Esta señal de frecuencia lock-in flock- ¡n o de repetición del evento (S2) se utilizará como entrada en un circuito de excitación (8) específico que junto con una señal DC proveniente de una fuente DC (7) proporcionará al objeto (2) la polarización AC/DC deseada, permitiendo aplicar cualquier polarización para reproducir distintos tipos de condiciones.
A continuación, mediante la cámara (1) infrarroja (IR) y un sistema de procesado de imágenes (3) se adquirirán, almacenarán y tratarán digitalmente todas las imágenes infrarrojas de la cámara (1) perfectamente sincronizadas con el inicio de la excitación. Aplicando el método de la invención, se puede obtener la secuencia temporal de los termogramas con una resolución temporal mejorada respecto la velocidad de adquisición de la cámara (1 ), tal y como se muestra en las Figuras 2a a 2d y 3a a 3c.
En el montaje experimental de la realización práctica mostrada en la Figura 1, se ha elegido como objeto (2) un chip que permite dos tipos de conducción de corriente a través de su volumen: localizada en cinco áreas o distribuida a lo largo de su área activa. La Figura 2a muestra esta conducción más localizada a través de estas cinco áreas. Se presenta en la Figura 2a un termograma correspondiente a la distribución de temperatura superficial del chip después de la reconstrucción de la imagen por el método de la invención. En la Figura 2a, se observan las cinco áreas localizadas de conducción identificadas como puntos calientes, indicando también tres puntos concretos o píxeles que se mostrará su evolución temporal en las figuras 2b a 2d. En todas ellas, las líneas en negro se refieren al método que usa la técnica de “boxear averaging”, y las líneas grises se refieren al método de la invención.
Las figuras 2b a 2d, comparan los resultados obtenidos con una reconstrucción de forma de onda temporal mediante el método “Boxear averaging” sin realizar ningún promediado temporal, con el resultado de aplicar del método de análisis frecuencial donde se realiza un análisis frecuencial que permite realizar un filtrado de señal inherente a la técnica, sin necesidad de promediado temporal, resaltando la mejora en la resolución temporal obtenida. En las Figuras 2b a 2d, también se muestran los resultados con el tiempo normalizado al periodo de repetición de la excitación T Lock -in =(1 /f Lock-¡n) siendo T Lock -in = 20 ms, después de la adquisición de unas 100.000 imágenes infrarrojas, que proporcionan una resolución temporal de 200 ns mejor que la frecuencia de adquisición de la cámara (376 Hz) que permite una resolución temporal de 2,66 ms.
Con más detalle, en la Figura 2b se muestra la evolución temporal del incremento de temperatura (DT) normalizada a T Lock -in en un primer píxel de la Figura 2a, en la Figura 2c se presenta la evolución temporal de DT normalizada a T Lock -in en un segundo píxel de la Figura 2a y en la Figura 2d, se muestra la evolución temporal de DT normalizada a T Lockn para un tercer píxel de la Figura 2a.
Entre estos píxeles, existe una relación tal que el pico del valor de DT (o nivel de señal) va siendo cada vez menor, de tal manera que comparativamente se puede ver la mejora que ofrece el método por análisis frecuencial para realizar este tipo de medidas. Comparando la Figura 2b, la Figura 2c y la Figura 2d; se observa que la medida hecha mediante el método por análisis frecuencial proporciona resultados en términos de relación señal a ruido mucho mejores que los que se obtienen haciendo uso de una reconstrucción de forma de onda por “boxear averaging”. Este hecho se muestra de forma más clara a medida que entre la Figura 2b, la Figura 2c y la Figura 2d va disminuyendo el nivel de señal, de modo que el método con análisis frecuencial proporciona una medida con menor ruido.
Este hecho se evidencia más en las Figuras 3a, 3b y 3c donde el chip presenta una conducción distribuida a través de toda el área activa del chip. La Figura 3a es un termograma de la distribución de DT sobre la superficie superior del chip, observando una distribución menos localizada de temperatura y, por ende, de corriente que en la Figura 2a. Este termograma se ha obtenido después de realizar la reconstrucción de la imagen por el método de la invención con análisis frecuencial.
La Figura 3a señaliza dos puntos concretos o píxeles cuya evolución temporal se mostrará en las figuras 3b y 3c. También, se mostrarán los resultados con el tiempo normalizado al periodo de repetición de la excitación T Lock -in =(1 /f Lock-in) siendo T Lock -in = 20 ms, después de la adquisición de unas 100.000 imágenes infrarrojas, que proporcionan una resolución temporal de 106 ps, como se muestra en las figuras 2a, 2b, 2c y 2d.
Cabe considerar la relación entre /lock-in y la frecuencia de adquisición del sistema de medida fadq, que determina la resolución temporal resultante tmin l de la reconstrucción en el dominio temporal según el número de adquisiciones por ciclo nadq/ciclo es:
Figure imgf000014_0001
donde Nmuestras es el número de muestras dentro de cada T Lock -in, y Nciclos el número de ciclos de fiock-ín necesarios para obtener Nmuestras, siendo ambos números enteros. La resolución temporal tmin l se define como:
Figure imgf000014_0002
donde Numerador ( nadq/cicl0 ) corresponde al numerador de nadq/cicl0 después de expresarla en una fracción no reducible. Previamente al procesado se cuenta con un filtrado temporal adicional tmin 2 realizado por el tiempo de integración tint empleado:
Figure imgf000015_0001
Por lo general, tint será establecido a un valor inferior a tmin 1 para no limitar la resolución temporal definida por tmin l.
Asi pues, en este caso y por lo tanto
Figure imgf000015_0004
Figure imgf000015_0002
106 me. En estas medidas se ha fijado
Figure imgf000015_0003
En la Figura 3b se muestra la evolución temporal de DT en un primer píxel de la Figura 3a, en la Figura 3c se presenta la evolución temporal de DT en un segundo píxel de la Figura 3a. Nótese que en la Figura 3b y la Figura 3c, se muestra la evolución temporal respecto la variable normalizada t/TLock-in.
Como principal diferencia respecto a la Figura 2, la Figura 3 muestra unos valores de pico de DT más pequeños (es decir, una menor señal), pero que el método con análisis frecuencial todavía es capaz de detectar, como se muestra en las Figuras 3b y 3c. De esta forma, si se hiciera un promediado en los resultados determinados mediante reconstrucción de la forma de onda “boxear averaging” se perdería información en las transiciones abruptas o instantes donde DT varia más rápidamente, por ejemplo, en el máximo de temperatura o en los instantes de tiempo inmediatamente sucesivos, que el método con análisis frecuencial mantiene perfectamente definidos con todos sus matices, dado que toda su información espectral se ha adquirido.
En las Figuras 4a, 4b y 4c se muestra esquemáticamente la realización del método de reconstrucción por "Boxear", aplicado a la reconstrucción de una forma de onda temporal periódica a partir de una medida térmica con cámara IR una vez ya realizada la corrección de emisividades, con el objeto de verificar la validez de los resultados obtenidos a partir del método propuesto. En la Figura 4a se observa la evolución temporal correspondiente a un punto o píxel de la superficie del chip analizado durante n periodos de T Lock -in. En la Figura 4b se muestra como se ha realizado la adquisición de las imágenes por parte de la cámara IR (señal S). En esta subfigura se hallan marcados los intervalos de adquisición para un caso en el que TLock-in es menor que Tadq que, a su vez, es menor que 2- TLock- in, siendo Tadq = TLock- ¡n +Δt1. El ancho del pulso de adquisición corresponde a t¡nt, es decir, el tiempo de integración tint- En este caso, Ato indica el retraso del inicio de la adquisición respecto al inicio del periodo T Lock -in, y los sucesivos Atn indican los retrasos adicionales que desplazan el pulso de adquisición obteniendo muestras a lo largo de todo T Lock -in y finalmente reconstruyendo la señal original como se demuestra en la tercera Figura 4c. Así, se aplican los retrasos adicionales a los subsiguientes intervalos de adquisición de modo que se obtiene en cada uno una nueva muestra de la señal original, permitiendo su reconstrucción mediante la adición de todas las muestras obtenidas. El tiempo necesario para el procesado de las imágenes infrarrojas mediante la técnica de reconstrucción de forma de onda por “Boxear” y el método con análisis frecuencial , no es muy distinto. Cabe destacar que en la reconstrucción de onda por “boxear averaging” no se aplican filtros píxel a píxel que podrían lastrar el tiempo de posprocesado con respecto al método con análisis frecuencial.

Claims

R E I V I N D I C A C I O N E S
1. Método para la medida cuantitativa de temperatura, que hace uso de termografía lock-in y comprende los pasos de:
- aplicar una excitación periódica a una frecuencia de repetición del evento (fiock-in) a al menos un objeto (2), polarizando el objeto;
- adquirir imágenes con una cámara (1) infrarroja (IR), detectando una señal de respuesta térmica ;
- extraer un campo de temperatura aparente;
- determinar un campo de temperatura aparente para la radiación detectada modificado por un parámetro de emisividad e;
- determinar incrementos de temperatura real a partir del campo de temperatura aparente y el parámetro de emisividad medido, y
- obtener una imagen termográfica de al menos un objeto (2).
2. Método de acuerdo con la reivindicación 1 , donde la etapa de extraer un campo de temperatura aparente se lleva a cabo mediante los pasos de:
- realizar una descomposición en series de Fourier de la función de intensidad de luz infrarroja de las imágenes adquiridas;
- reconstruir en el dominio temporal el campo de temperatura mediante los coeficientes de la descomposición en series de Fourier determinados para cada píxel obteniendo un campo de temperatura aparente;
- extraer el módulo de temperatura aparente;
3. Método de acuerdo con la reivindicación 1 , donde la etapa de extraer un campo de temperatura aparente se lleva a cabo mediante boxear averaging, donde la frecuencia de adquisición del sistema de medida es diferente de un múltiplo de la frecuencia de repetición de la medida.
4. Método de acuerdo con la reivindicación 1, donde el inicio de la etapa de adquisición de imágenes con una cámara (1) infrarroja (IR) se sincroniza con el inicio de la excitación periódica.
5. Método de acuerdo con la reivindicación 1 , donde la descomposición en series de Fourier es del tipo:
Figure imgf000018_0003
6. Método de acuerdo con la reivindicación 1, donde el paso de reconstruir el campo de temperatura en el dominio temporal se lleva a cabo haciendo uso de la ecuación:
Figure imgf000018_0004
donde DG^G, Í) es un campo de temperatura asociado a una fuente de calor i, TP es el tiempo que se está disipando la fuente de calor y el periodo es igual a T=2Tp.
7. Método de acuerdo con la reivindicación 1, donde la frecuencia lock-in a considerar es TLock-in=1/(2 TP).
8. Método de acuerdo con la reivindicación 1 , donde existen N múltiples fuentes de calor con una disipación periódica P¡(t) que genera un campo de temperatura que se superpondrá con las diferentes componentes espectrales generadas y las diferentes fuentes de calor existentes, de modo que se obtendrá un campo de temperatura total asociado a cada una de las componentes espectrales y fuentes de calor de la forma:
Figure imgf000018_0001
9. Método de acuerdo con la reivindicación 1 , donde la temperatura en el punto más caliente se obtiene cuando t=TP.
10. Método de acuerdo con la reivindicación 1 , donde el parámetro emisividad e (x,y) modifica la radiación detectada por la cámara (1) (IR), y es definido por:
Figure imgf000018_0002
donde OSoffset(x,y) se corresponde a reflexiones que se producen en la superficie bajo inspección.
11 . Método de acuerdo con la reivindicación 10, donde la temperatura aparente se define, para la radiación detectada modificada por el parámetro de emisividad ε:
Figure imgf000019_0001
12. Método de acuerdo con la reivindicación 11 , donde un incremento de temperatura real se relaciona con la temperatura aparente a partir de la ecuación:
Figure imgf000019_0002
donde OSbb (x, y, T0) y OSm(x, y, T0) son las radiaciones detectadas por la cámara (1 ) correspondientes a un cuerpo negro o gris, respectivamente, que se encuentran una temperatura promedio To y los parámetros B, R, y F son constantes de calibración de la cámara (1 ) entre la radiación detectada y la temperatura medida.
13. Método de acuerdo con la reivindicación 1 , que además de determinar parámetros de calibración de la cámara (1 ) infrarroja (IR) a partir de la señal de respuesta térmica obtenida, la determinación de los parámetros de calibración de la cámara infrarroja (IR) se lleva a cabo a partir de la ecuación:
Figure imgf000019_0003
donde OSbb (x,y) es la radiación del cuerpo negro detectada con la cámara (1 ) IR y B, R, y F son constantes de calibración de la cámara (1 ) IR.
14. Programa de ordenador adaptado para llevar a cabo las etapas del método de acuerdo con cualquiera de las reivindicaciones 1 a 13.
15. Un medio de almacenamiento legible mediante ordenador que comprende el programa de ordenador de la reivindicación 14.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20200314357A1 (en) * 2019-03-27 2020-10-01 Indian Institute Of Technology Ropar Thermal imaging for identifying a defect in a material
CN115047022A (zh) * 2022-08-11 2022-09-13 合肥锁相光学科技有限公司 一种热扩散过程的时域重构方法及系统

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2840387A1 (en) * 2013-08-23 2015-02-25 DCG Systems, Inc. Lock-in thermography method and system for hot spot localization

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20200314357A1 (en) * 2019-03-27 2020-10-01 Indian Institute Of Technology Ropar Thermal imaging for identifying a defect in a material
CN115047022A (zh) * 2022-08-11 2022-09-13 合肥锁相光学科技有限公司 一种热扩散过程的时域重构方法及系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PHAM TU QUOC, S. ET AL.: "Phase Lock-In Thermography for Metal Walls Characterization", 2013 3RD INTERNATIONAL CONFERENCE ON ADVANCEMENTS IN NUCLEAR INSTRUMENTATION, MEASUREMENT METHODS AND THEIR APPLICATIONS (ANIMMA, 23 June 2013 (2013-06-23), pages 1 - 4, XP032560798, [retrieved on 20221025], DOI: 10.1109/ANIMMA.2013.6727993 *

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