WO2022173060A1

WO2022173060A1 - ポンプ

Info

Publication number: WO2022173060A1
Application number: PCT/JP2022/006014
Authority: WO
Inventors: 裕之坂本; 允啓亀▲崎▼; 裴之 ▲張▼
Original assignee: 日本ペイントコーポレートソリューションズ株式会社; 学校法人早稲田大学
Priority date: 2021-02-15
Filing date: 2022-02-15
Publication date: 2022-08-18
Also published as: JP2022124393A

Abstract

ポンプ(1)は、磁性弾性体を含む弾性空間部(2)と、磁力によって弾性空間部(2)を変形させる弾性空間部変形生起要素(6)と、を備えている。要素(2)は、磁力によって弾性空間部(2)を変形させ、弾性空間部(2)内に形成された空間(S1)を復元または増加させる拡張モードと、空間(S2)を減少または復元させる縮小モードと、を行う。

Description

ポンプ

　本発明は、ポンプに関する。

　従来のポンプには、可撓性のチューブを支持体によって支持し、複数の磁石を周方向に配置したロータを回転させることによって、前記ロータと反対に配置された磁性シートが前記チューブを外から押圧し、当該チューブをロータの回転に応じて変形させることによって、前記チューブに形成された流路内の流体を輸送する、押圧機構を備えた蠕動ポンプがある（例えば、特許文献１参照。）。

特開２０１９－１９０３３５号公報

　しかしながら、上記従来のポンプは、前記磁性シートが前記チューブの表面を当該チューブの延在方向に沿って繰り返し摺動するため、前記チューブにチューブ延在方向に沿ったせん断力が作用する。このため、上記従来のポンプには、前記チューブが経時的に変形、破断する恐れがあるなどの問題があった。

　本発明の目的は、せん断力の作用を軽減し耐久性に優れたポンプを提供することである。

　本発明に係るポンプは、磁性弾性体を含む弾性空間部と、磁力によって前記弾性空間部を変形させる弾性空間部変形生起要素と、を備えており、前記弾性空間部変形生起要素は、前記磁力による前記磁性弾性体と前記弾性空間部変形生起要素との引き合い力もしくは反発力と、前記弾性空間部および前記磁性弾性体の少なくともいずれか１つの復元力と、これらの力の合力と、の少なくともいずれか１つによって前記弾性空間部を変形させ、前記弾性空間部内に形成された空間を復元または増加させる拡張モードと、前記空間を減少または復元させる縮小モードと、を行う。

　本発明に係るポンプにおいて、前記弾性空間部は、弾性空間部本体と、前記磁性弾性体とを、備えており、前記磁性弾性体は、前記弾性空間部本体の外側に固定されており、前記弾性空間部変形生起要素は、前記弾性空間部の外側に設けられているものとすることができる。

　本発明に係るポンプにおいて、前記磁性弾性体は、前記弾性空間部の延在方向において、当該弾性空間部の延在方向の１つの位置にのみ配置されているものとすることができる。

　本発明に係るポンプにおいて、前記磁性弾性体は、前記弾性空間部の延在方向において、当該弾性空間部の延在方向の複数の位置に配置されているものとすることができる。

　本発明に係るポンプにおいて、前記弾性空間部の少なくとも一部は、前記磁性弾性体によって形成されており、前記弾性空間部生起変形要素は、前記弾性空間部の外側に設けられているものとすることができる。

　本発明に係るポンプにおいて、前記弾性空間部は、前記磁性弾性体によって形成されているものとすることができる。

　本発明に係るポンプにおいて、前記弾性空間部は、前記弾性空間部の延在方向において、当該弾性空間部の延在方向の複数の部分を前記磁性弾性体によって形成しているものとすることができる。

　本発明に係るポンプにおいて、前記弾性空間部変形生起要素は、電磁石であるものとすることができる。

　本発明に係るポンプは、空間部と、磁性弾性体を含む弾性膜と、磁力によって前記弾性膜を変形させる弾性膜変形生起要素と、を備えており、前記弾性膜は、前記空間部に形成された開口部を閉じており、前記弾性膜変形生起要素は、前記磁力による前記磁性弾性体と前記弾性膜変形生起要素との引き合い力もしくは反発力と、前記弾性膜および前記磁性弾性体の少なくとも１つの復元力と、これらの力の合力と、の少なくともいずれか１つによって前記弾性膜を変形させ、前記空間部内に形成された空間の容積を復元または増加させる拡張モードと、前記空間の容積を減少または復元させる縮小モードと、を行う。

　本発明に係るポンプにおいて、前記弾性膜は、弾性膜本体と、前記磁性弾性体とを、備えており、前記磁性弾性体は、前記弾性膜本体の外面に固定されており、前記弾性膜変形生起要素は、前記磁性弾性体の外側に設けられているものとすることができる。

　本発明に係るポンプにおいて、前記弾性膜の少なくとも一部は、前記磁性弾性体によって形成されており、前記弾性膜変形生起要素は、前記磁性弾性体の外側に設けられているものとすることができる。

　本発明に係るポンプにおいて、前記空間部は、前記磁性弾性体によって形成されているものとすることができる。

　本発明に係るポンプにおいて、前記弾性膜変形生起要素は、電磁石であるものとすることができる。

　本発明に係るポンプは、初期状態において、前記弾性空間部内に形成された空間が縮小しているものとすることができる。

　本発明に係るポンプは、初期状態において、前記弾性空間部内に形成された空間が拡張しているものとすることができる。

　本発明に係るポンプは、初期状態において、前記空間部内に形成された空間が縮小しているものとすることができる。

　本発明に係るポンプは、初期状態において、前記空間部内に形成された空間が拡張しているものとすることができる。

　本発明に係るポンプにおいて、硬磁性弾性体であるものとすることができる。

　本発明に係るポンプにおいて、前記磁性弾性体は、軟磁性弾性体であるものとすることができる。

　本発明によれば、せん断力の作用を軽減し耐久性に優れたポンプを提供することができる。

本発明の第１の実施形態に係る、ポンプの要部を模式的に示した図である。本発明の第２の実施形態に係る、ポンプの要部を模式的に示した図である。本発明の第３の実施形態に係る、ポンプの要部を模式的に示した図である。本発明の第４の実施形態に係る、ポンプの要部を模式的に示した図である。本発明の第５の実施形態に係る、ポンプの要部を模式的に示した図である。本発明の第６の実施形態に係る、ポンプの要部を模式的に示した図である。本発明の第７の実施形態に係る、ポンプの要部を模式的に示した図である。本発明の第８の実施形態に係る、ポンプの要部を模式的に示した図である。本発明の第９の実施形態に係る、ポンプの要部を模式的に示した図である。本発明の第９実施形態であるポンプを適用した油圧式のバルーンアクチュエータであって、前記ポンプの拡張状態を概略的に示す断面図である。図１０Ａのバルーンアクチュエータであって、前記ポンプの縮小状態を概略的に示す断面図である。本発明の第１０実施形態であるポンプの拡張状態を概略的に示す断面図である。図１１Ａのポンプの縮小状態を概略的に示す断面図である。図１１Ａのポンプを適用した油圧式アクチュエータの一例であって、当該油圧式アクチュエータの動作を概略的かつ時系列に示す断面図である。図１２の油圧式アクチュエータによって選択し得るレイアウトの一例を概略的に示す断面図である。本発明の第１１実施形態であるポンプの縮小状態を概略的に示す断面図である。図１４Ａのポンプの拡張状態を概略的に示す断面図である。本発明の第１２実施形態であるポンプの拡張状態を概略的に示す断面図である。図１５Ａのポンプの縮小状態を概略的に示す断面図である。

　以下、図面を参照して、本発明の、様々な実施形態に係るポンプについて、説明を行う。なお、以下の説明において、実質的に同一の構成には、同一の符号を使用する。

　本実施形態に係るポンプ１は、磁性弾性体を含む弾性空間部２と、磁力によって弾性空間部２を変形させる弾性空間部変形生起要素と、を備えている。前記弾性空間部変形生起要素は、前記磁力による前記磁性弾性体と前記弾性空間部変形生起要素との引き合い力もしくは反発力と、弾性空間部２および前記磁性弾性体の少なくとも１つの復元力と、これらの力の合力との、少なくともいずれか１つによって弾性空間部２を変形させ、弾性空間部２内に形成された空間Ｓ１を復元または増加させる拡張モードと、空間Ｓ１を減少または復元させる縮小モードと、を行う。

　この明細書中では、用語の意味を次のとおりに定義する。

　「磁性」には、「軟磁性」と「硬磁性」とが含まれる。

　「軟磁性」とは、「磁力（又は磁場）を受けると応答するが、自らは磁力（又は磁場）を発生しない性質」をいう。また、「軟磁性体」とは、「軟磁性を有する、物体又は物質」をいう。更に、「軟磁性弾性体」とは、「軟磁性体のうち、軟磁性を有する、弾性体」をいう。

　「硬磁性」とは、「保磁力が大きく、自発磁化性を有し、自ら磁力（又は磁場）を発生する性質」をいう。また、「硬磁性体」とは、いわゆる磁石であり、「硬磁性を有する、物体又は物質」をいう。「硬磁性弾性体」とは、「硬磁性体のうち、硬磁性を有する、弾性体」をいう。

１：軟磁性弾性体を使用したポンプ
　磁性弾性体には、軟磁性弾性体を使用することができる。以下、軟磁性弾性体を使用したポンプ１について説明をする。

＜ポンプ１Ａ＞
　図１は、本発明の第１の実施形態に係る、ポンプ１Ａの要部を模式的に示した図である。図１中、図面左側は、ポンプ１Ａの初期状態（停止状態）を示し、図面右側は、ポンプ１Ａの圧送状態を示す。

　図面左側を参照すれば、ポンプ１Ａは、軟磁性弾性体を含む弾性空間部２を備えている。本実施形態では、弾性空間部２は、弾性空間部本体３と、軟磁性弾性体４とを、備えている。軟磁性弾性体４は、例えば、鉄粉を含有させた弾性体である。本実施形態では、弾性空間部２は、弾性空間部本体３と軟磁性弾性体４とを別体に形成し、弾性空間部本体３と軟磁性弾性体４とを固定させることによって形成されている。すなわち、ポンプ１Ａは、弾性空間部本体３と、軟磁性弾性体４とを積層させた積層部分を弾性空間部２に含む。

　弾性空間部本体３は、対向壁３ａと対向壁３ｂとの２つの対向壁を備えている。２つの対向壁３ａ，３ｂは、ポンプ１の中心軸線Ｏ１（以下、「中心軸線Ｏ１」ともいう。）を挟んで対向する位置に配置された壁である。本実施形態では、例えば、対向壁３ａは上壁であり、対向壁３ｂは下壁である。ただし、対向壁３ａ及び３ｂは、上下方向の対向する位置に配置される場合に限定されるものではなく、左右方向（水平方向）に配置するなど、中心軸線Ｏ１の周りの任意の対向位置に配置することができる。図面左側に示すように、ポンプ１Ａの初期状態において、２つの対向壁３ａ，３ｂは中心軸線Ｏ１を挟んで離間している。これによって、ポンプ１Ａの初期状態において、２つの対向壁３ａ，３ｂの間には、容積Ｖ１の空間Ｓ１が形成されている。例えば、弾性空間部本体３が弾性チューブである場合、前記弾性チューブの弾性力によって、当該弾性チューブの中空状態を維持させている。これによって、図面左側に示すように、ポンプ１Ａの初期状態において、２つの対向壁３ａ，３ｂの間には、空間Ｓ１を形成することができる。なお、本実施形態では、対向壁３ｂの位置は固定されていることが好ましい。

　空間Ｓ１には、搬送対象物Ｍが配置されている。搬送対象物Ｍとしては、例えば、気体、液体、流体、スラリー、粉体が挙げられる。搬送対象物Ｍは、後述のとおり、弾性空間部本体３の変形によって中心軸線Ｏ１に沿って搬送させることができる。

　軟磁性弾性体４は、弾性空間部本体３の外面３ｆ１に固定されている。本実施形態では、軟磁性弾性体４は、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの一方の位置であって、弾性空間部本体３よりも外側の位置に配置されている。具体的には、軟磁性弾性体４は、弾性空間部本体３の対向壁３ａの外面３ｆ１に固定されている。

　なお、本明細書において、「外面」とは、「軸直方向外側の面」をいう。また、本明細書において、「内面」とは、軸直方向内側の面をいう。ここで、「軸直方向」とは、中心軸線Ｏ１に対して直交する方向をいう。また、「軸直方向外側」とは、軸直方向のうち、中心軸線Ｏ１よりも遠い側をいう。さらに、「軸直方向内側」とは、軸直方向のうち、中心軸線Ｏ１に近い側をいう。

　前記弾性空間部変形生起要素は、磁力によって弾性空間部２を変形させることができる。前記磁力は、磁性弾性体と前記弾性空間部変形生起要素との相互作用によって、弾性空間部２と前記弾性空間部変形生起要素との間に生じる磁力である。前記弾性空間部変形生起要素は、磁性体によって構成することができる。本実施形態では、前記弾性空間部変形生起要素は、電磁石６である。電磁石６は、弾性空間部２の外側に設けられている。

　ここで、「外側に設けられている」とは、「外面に固定されていること」、「（固定されることなく）外面に接していること」、「外面に対して間隔を置いて配置されていること」、のいずれか１つの意味を含む。

　本実施形態では、電磁石６は、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの軟磁性弾性体４とは異なる他方の位置であって、弾性空間部本体３よりも外側に設けられている。具体的には、電磁石６は、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの外側に設けられている。より具体的には、電磁石６は、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの外面３ｆ１に接している。例えば、電磁石６は、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの外面３ｆ１に固定することができる。ただし、電磁石６は、弾性空間部２に接していなくてもよい。例えば、電磁石６は、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの外面３ｆ１に対して間隔を置いて配置することができる。なお、本実施形態において、電磁石６の位置は、例えば、当該電磁石６をポンプ筐体などに固定させることによって、固定されている。

（ポンプ１Ａの基本動作）
　ポンプ１Ａは、弾性空間部２を変形させることによって、搬送対象物Ｍを吐出（搬送）させることができる。特に、本実施形態では、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦによってポンプ１Ａを駆動させることができる。以下、ポンプ１Ａの基本的な動作について説明をする。

　初期状態：開動作（拡張モード）
　本実施形態において、ポンプ１Ａの初期状態は、電磁石６がＯＦＦ（非通電状態）である。本実施形態では、図面左側に示すように、空間Ｓ１は維持されている。本実施形態では、空間Ｓ１は、弾性空間部本体３の弾性力によって維持されている。

　圧送状態：閉動作（縮小モード）
　電磁石６をＯＮ（通電状態）にする。これによって、図面右側に示すように、軟磁性弾性体４と電磁石６との間には磁力による引き合い力Ｆ６４が生じる。引き合い力Ｆ６４は、弾性空間部本体３の弾性力（復元力）よりも強くする。その結果、弾性空間部本体３の対向壁３ａが対向壁３ｂに向かって移動する。これによって、空間Ｓ１が減少（縮小）する。この空間Ｓ１の減少によって、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍは、中心軸線Ｏ１に沿って当該空間Ｓ１の外部に圧送される。したがって、ポンプ１Ａは、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って吐出することができる。特に、本実施形態によれば、図面右側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａの内面３ｆ２は最終的に対向壁３ｂの内面３ｆ２と接触する。これによって、図面右側に示すように、空間Ｓ１は完全に閉じられる。したがって、ポンプ１Ａは、空間Ｓ１に余すことなく、中心軸線Ｏ１に沿って搬送対象物Ｍを吐出することができる。

　停止状態：開動作（拡張モード）
　電磁石６をＯＦＦにする。これによって、ポンプ１Ａを停止させることができる。このとき、引き合い力Ｆ６４は消滅し、弾性空間部本体３の復元力（弾性力）の影響が支配的となる。その結果、図面左側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａが対向壁３ｂから離れる向きに移動する。これによって、空間Ｓ１は増加（復元）する。この空間Ｓ１の増加によって、空間Ｓ１は再び完全に開かれる。すなわち、電磁石６をＯＦＦにすると、ポンプ１Ａは、図面左側に示すように、初期状態に復帰する。したがって、空間Ｓ１には、新たな搬送対象物Ｍを充填させることができる。

　上述のとおり、ポンプ１Ａによれば、電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ａによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って連続的に吐出（搬送）することができる。

　なお、ポンプ１Ａにおいて、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの位置は電磁石６に対し固定されていることが好ましい。これによって、弾性空間部本体３全体が軟磁性弾性体４の移動に追従して電磁石６から離れてしまうことなく、２つの対向壁３ａ，３ｂを繰り返し、互いに接近及び離間させることができる。具体例として、対向壁３ｂは、支持台、装置（収納ケース）、作業テーブル（作業ステージ）、ポンプ筐体に固定することができる。ただし、本発明によれば、対向壁３ｂを固定しておくことは必須ではない。対向壁３ｂの位置の固定は、例えば、弾性空間部本体３に対して、中心軸線Ｏ１に沿った一定の張力を加えることによって省略することができる。この場合、弾性空間部本体３全体が対向壁３ａ，３ｂの変形に追従することなく、２つの対向壁３ａ，３ｂは、互いに接近及び離間させることができる。

　また、ポンプ１Ａによれば、軟磁性弾性体４は、２つの対向壁３ａ，３ｂのうちの、少なくともいずれか一方に固定することができる。例えば、軟磁性弾性体４は、対向壁３ｂの外面３ｆ１に固定することができる。この場合、電磁石６は、弾性空間部本体３の対向壁３ａの外側に設けられる。

　さらに、本実施形態に係るポンプ１Ａは、電磁石６の位置を固定することによって、空間Ｓ１の拡大及び縮小を行っている。しかしながら、これとは反対に、弾性空間部本体３の対向壁３ａの位置を固定することによって、空間Ｓ１の拡大及び縮小を行なうことができる。例えば、ポンプ１Ａにおいて、軟磁性弾性体４の位置を固定した場合、電磁石６を軸直方向に移動させるとともに当該電磁石６のＯＮ／ＯＦＦを行えば、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの変形を生起させることができる。

　電磁石６を移動させる場合、ポンプ１Ａを駆動させる方法としては、例えば、電磁石６をＯＮにして移動させる方法と、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦ制御と当該電磁石６の移動との組み合わせる方法が挙げられる。これらの方法は、例えば、前記弾性空間部変形生起要素として永久磁石を利用する場合に応用することができる。

＜ポンプ１Ｂ＞
　次いで、図２は、本発明の第２の実施形態に係る、ポンプ１Ｂの要部を模式的に示した図である。図２中、図面左側は、ポンプ１Ｂの初期状態を示し、図面右側は、ポンプ１Ｂの圧送状態を示す。ポンプ１Ｂは、ポンプ１Ａの変形例である。上述のように、図１のポンプ１Ａは、弾性空間部本体３と軟磁性弾性体４とを積層させた積層部分を弾性空間部２に含む。これに対し、ポンプ１Ｂの弾性空間部２は、軟磁性弾性体（磁性弾性体）によって形成されている。ただし、ポンプ１Ｂの弾性空間部２は、電磁石６に対向する弾性空間部２（例えば、対向壁２ａ）のみが軟磁性弾性体によって形成されていてもよい。この場合、ポンプ１Ｂもまた、ポンプ１Ａと同様、弾性空間部本体３と軟磁性弾性体４とを積層させた積層部分を弾性空間部２に含む。

　図面左側を参照すれば、ポンプ１Ｂは、弾性空間部２を備えている。弾性空間部２は、対向壁２ａと対向壁２ｂとの２つの対向壁を備えている。２つの対向壁２ａ，２ｂは、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する位置に配置された壁である。本実施形態では、対向壁２ａは上壁であり、対向壁２ｂは下壁である。ただし、対向壁２ａ及び２ｂは、上下方向の対向する位置に配置される場合に限定されるものではなく、左右方向（水平方向）に配置するなど、中心軸線Ｏ１の周りの任意の対向位置に配置することができる。図面左側に示すように、ポンプ１Ｂの初期状態において、２つの対向壁２ａ，２ｂは中心軸線Ｏ１を挟んで離間している。これによって、ポンプ１Ｂの初期状態において、２つの対向壁２ａ，２ｂの間には、空間Ｓ１が形成されている。例えば、弾性空間部２が弾性チューブである場合、前記弾性チューブの弾性力によって、当該弾性チューブの中空状態を維持させている。これによって、ポンプ１Ｂの初期状態において、２つの対向壁２ａ，２ｂの間には、空間Ｓ１を形成することができる。なお、本実施形態では、対向壁２ｂの位置は固定されている。

　本実施形態では、弾性空間部２の少なくとも一部は、軟磁性弾性体によって形成されている。本実施形態では、２つの対向壁２ａ，２ｂは、軟磁性弾性体によって形成されている。

　また、図面左側を参照すれば、電磁石（弾性空間部変形生起要素）６は、ポンプ１Ａと同様に、弾性空間部２の外側に設けられている。具体的には、電磁石６は、弾性空間部２の対向壁２ｂの外側に設けられている。より具体的には、電磁石６は、弾性空間部２の対向壁２ｂの外面２ｆ１に接している。例えば、電磁石６は、弾性空間部２の対向壁２ｂの外面２ｆ１に固定することができる。ただし、電磁石６は、弾性空間部２に接していなくてもよい。例えば、電磁石６は、弾性空間部２の対向壁２ｂの外面２ｆ１に対して間隔を置いて配置することができる。なお、本実施形態においても、電磁石６の位置は固定されている。電磁石６の位置は、例えば、当該電磁石６をポンプ筐体などに固定させることによって固定させることができる。

（ポンプ１Ｂの基本動作）
　ポンプ１Ｂは、弾性空間部２を変形させることによって、搬送対象物Ｍを吐出（搬送）させることができる。特に、本実施形態では、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦによってポンプ１Ｂを駆動させることができる。以下、ポンプ１Ｂの基本的な動作について説明をする。

　初期状態：開動作（拡張モード）
　本実施形態において、ポンプ１Ｂの初期状態は、電磁石６がＯＦＦである。図面左側に示すように、本実施形態において、空間Ｓ１は、ポンプ１Ａと同様、維持されている。実施形態では、空間Ｓ１は、弾性空間部２の弾性力によって維持されている。

　圧送状態：閉動作（縮小モード）
　電磁石６をＯＮにする。これによって、図面右側に示すように、弾性空間部（軟磁性弾性体）２と電磁石６との間には磁力による引き合い力Ｆ６２が生じる。引き合い力Ｆ６２は、弾性空間部２の弾性力（復元力）よりも強くする。その結果、弾性空間部２の対向壁２ａが対向壁２ｂに向かって移動する。これによって、空間Ｓ１が減少（縮小）する。この空間Ｓ１の減少によって、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍは、中心軸線Ｏ１に沿って当該空間Ｓ１の外部に圧送される。したがって、ポンプ１Ｂは、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って吐出することができる。特に、本実施形態によれば、図面右側に示すように、対向壁２ａの内面２ｆ２は最終的に対向壁２ｂの内面２ｆ２と接触する。これによって、図面右側に示すように、空間Ｓ１は完全に閉じられる。したがって、ポンプ１Ｂは、空間Ｓ１に余すことなく、中心軸線Ｏ１に沿って搬送対象物Ｍを吐出することができる。

　停止状態：開動作（拡張モード）
　電磁石６をＯＦＦにする。これによって、ポンプ１Ｂを停止させることができる。このとき、引き合い力Ｆ６２は消滅し、弾性空間部２の復元力（弾性力）の影響が支配的となる。その結果、図面左側に示すように、弾性空間部２の対向壁２ａが対向壁２ｂから離れる向きに移動する。これによって、空間Ｓ１は増加（復元）する。この空間Ｓ１の増加によって、空間Ｓ１は、再び完全に開かれている。すなわち、電磁石６をＯＦＦにすると、ポンプ１Ｂは、図面左側に示すように、初期状態に復帰する。したがって、空間Ｓ１には、新たな搬送対象物Ｍを充填させることができる。

　上述のとおり、ポンプ１Ｂによれば、電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ｂによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って連続的に吐出（搬送）することができる。

　なお、ポンプ１Ｂにおいて、弾性空間部２の対向壁２ｂの位置は電磁石６に対し固定されていることが好ましい。これによって、弾性空間部２全体が軟磁性弾性体４の移動に追従して電磁石６から離れてしまうことなく、２つの対向壁２ａ，２ｂを繰り返し、互いに接近及び離間させることができる。具体例として、対向壁２ｂは、支持台、装置（収納ケース）、作業テーブル（作業ステージ）、ポンプ筐体に固定することができる。ただし、本発明によれば、対向壁２ｂを固定しておくことは必須ではない。対向壁２ｂの位置の固定は、例えば、弾性空間部２に対して、中心軸線Ｏ１に沿った一定の張力を加えることによって省略することができる。この場合、弾性空間部２全体が対向壁２ａ，２ｂの変形に追従することなく、２つの対向壁２ａ，２ｂは、互いに接近及び離間させることができる。

　また、本実施形態に係るポンプＢは、電磁石６の位置を固定することによって、空間Ｓ１の拡大及び縮小を行っている。しかしながら、これとは反対に、弾性空間部２の対向壁２ａの位置を固定することによって、空間Ｓ１の拡大及び縮小を行なうことができる。例えば、ポンプ１Ｂにおいて、弾性空間部２の対向壁２ａの位置を固定した場合、電磁石６を軸直方向に移動させるとともに当該電磁石６をＯＮ／ＯＦＦ制御すれば、弾性空間部２の対向壁２ｂの変形を生起させることができる。電磁石６を移動させる場合、ポンプ１Ｂを駆動させる方法は、ポンプ１Ａの場合と同様である。

＜ポンプ１Ｃ＞
　次いで、図３は、本発明の第３の実施形態に係る、ポンプ１Ｃの要部を模式的に示した図である。図３中、図面左側は、ポンプ１Ｃの初期状態及び圧送状態を示し、図面右側は、ポンプ１Ｃの充填状態を示す。

　ポンプ１Ｃは、ポンプ１Ａと同様、弾性空間部本体３と軟磁性弾性体４とを積層させた積層部分を弾性空間部２に含む。ただし、本実施形態では、軟磁性弾性体４は、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの電磁石６と同じ側にあって、弾性空間部本体３よりも外側の位置に配置されている。具体的には、軟磁性弾性体４は、弾性空間部本体３よりも外側の位置にあって、電磁石６にと同じ側に位置する弾性空間部本体３の対向壁３ｂの外面３ｆ１に固定されている。

　図面左側に示すように、ポンプ１Ｃの初期状態において、弾性空間部本体３の、２つの対向壁３ａ，３ｂは接している。すなわち、ポンプ１Ｃの初期状態では、空間Ｓ１は閉じられている。例えば、弾性空間部本体３が弾性チューブである場合、前記弾性チューブの弾性力によって、当該弾性チューブは、完全に潰された状態に維持されている。なお、本実施形態では、対向壁３ｂの位置は固定されていることが好ましい。

（ポンプ１Ｃの基本動作）
　ポンプ１Ｃは、弾性空間部２を変形させることによって、搬送対象物Ｍを吐出（搬送）させることができる。特に、本実施形態では、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦによってポンプ１Ｃを駆動させることができる。以下、ポンプ１Ｃの基本的な動作について説明をする。

　初期状態：閉動作（縮小モード）
　本実施形態において、ポンプ１Ｃの初期状態は、電磁石６がＯＦＦである。本実施形態では、図面左側に示すように、空間Ｓ１は閉じられている。本実施形態では、空間Ｓ１は、当該弾性空間部本体３の弾性力によって閉じられている。また、電磁石６をＯＦＦにすれば、ポンプ１Ｃを停止させることができる。

　充填状態：開動作（拡張モード）
　電磁石６をＯＮにする。これによって、軟磁性弾性体４と電磁石６との間には磁力による引き合い力Ｆ６４が生じる。引き合い力Ｆ６４は、弾性空間部本体３の弾性力（復元力）よりも強くする。その結果、弾性空間部本体３の対向壁３ｂが対向壁３ａから離れる向きに移動する。これによって、空間Ｓ１が増加（拡張）する。この空間Ｓ１の増加によって、空間Ｓ１は完全に開かれる。したがって、空間Ｓ１には、新たな搬送対象物Ｍを充填させることができる。

　圧送状態：閉動作（縮小モード）
　電磁石６をＯＦＦにする。これによって、引き合い力Ｆ６４は消滅し、弾性空間部本体３の復元力（弾性力）の影響が支配的となる。その結果、図面左側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ｂが対向壁３ａに向かって移動する。これによって、空間Ｓ１は減少（縮小）する。この空間Ｓ１の減少によって、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍは、中心軸線Ｏ１に沿って当該空間Ｓ１の外部に圧送される。したがって、ポンプ１Ｃは、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って吐出することができる。特に、図面左側に示すように、本実施形態において、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの内面３ｆ２は最終的に対向壁３ａの内面３ｆ２と接触する。これによって、図面左側に示すように、空間Ｓ１は再び閉じられる。すなわち、電磁石６をＯＦＦにすると、ポンプ１Ｃは、図面左側に示すように、初期状態に復帰する。したがって、搬送対象物Ｍは、空間Ｓ１に余すことなく、中心軸線Ｏ１に沿って吐出させることができる。

　上述のとおり、ポンプ１Ｃによれば、電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ｃによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って連続的に吐出（搬送）することができる。

２：硬磁性弾性体を使用したポンプ
　磁性弾性体には、硬磁性弾性体を使用することができる。以下、硬磁性弾性体を使用したポンプ１の各実施形態について説明をする。

（１）次に、弾性空間部変形生起要素と硬磁性弾性体とが弾性空間部本体を挟む位置に配置されているポンプを例示する。

＜ポンプ１Ｄ＞
　図４は、本発明の第４の実施形態に係る、ポンプ１Ｄの要部を模式的に示した図である。図４中、図面左側は、ポンプ１Ｄの初期状態及び圧送状態を示し、図面右側は、ポンプ１Ｄの充填状態を示す。

　図面左側を参照すれば、ポンプ１Ｄは、硬磁性弾性体を含む弾性空間部２を備えている。本実施形態では、弾性空間部２は、弾性空間部本体３と、硬磁性弾性体５と、を備えている。本実施形態では、弾性空間部２は、弾性空間部本体３と硬磁性弾性体５とを別体に形成し、弾性空間部本体３と硬磁性弾性体５とを固定させることによって形成されている。すなわち、ポンプ１Ｄは、ポンプ１Ａと同様、弾性空間部本体３と、硬磁性弾性体５とを積層させた積層部分を弾性空間部２に含む。硬磁性弾性体５は、例えば、永久磁石と弾性体との両方の機能を兼ね備えた永久磁石弾性体である。本実施形態では、図面右側に示すように、硬磁性弾性体５は、硬磁性弾性体５（弾性空間部２）の動作方向（軸直方向）において分極している。硬磁性弾性体５の外面５ｆ１と内面５ｆ２とでは、異なる磁極を有している。具体例としては、硬磁性弾性体５の外面５ｆ１がＳ極（Ｎ極）である場合、当該硬磁性弾性体５の内面５ｆ２は、Ｎ極（Ｓ極）である。

　図面左側に示すように、ポンプ１Ｄの初期状態において、弾性空間部本体３の、２つの対向壁３ａ，３ｂは接している。具体的には、対向壁３ａの内面３ｆ２と当該対向壁３ａの対向壁３ｂの内面３ｆ２とは接触している。すなわち、ポンプ１Ｄの初期状態では、空間Ｓ１は閉じられている。例えば、弾性空間部本体３が弾性チューブである場合、前記弾性チューブの弾性力によって、当該弾性チューブは、完全に潰された状態に維持されている。

　硬磁性弾性体５は、弾性空間部本体３の外面３ｆ１に固定されている。本実施形態では、硬磁性弾性体５は、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの弾性空間部変形生起要素とは異なる他方の位置であって、弾性空間部本体３の外面３ｆ１に固定されている。具体的には、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの外面３ｆ１に固定されている。

　弾性空間部変形生起要素は、電磁石６である。電磁石６は、弾性空間部２の外側に設けられている。本実施形態では、電磁石６は、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの一方の位置であって、弾性空間部２よりも外側の位置に配置されている。本実施形態では、電磁石６は、弾性空間部本体３の外面３ｆ１に固定されている。具体的には、弾性空間部本体３の対向壁３ａの外面３ｆ１に固定されている。

（ポンプ１Ｄの基本動作）
　ポンプ１Ｄは、弾性空間部２を変形させることによって、搬送対象物Ｍを吐出（搬送）させることができる。特に、本実施形態では、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦによってポンプ１Ｄを駆動させることができる。以下、ポンプ１Ｄの基本的な動作について説明をする。

　初期状態（停止状態）：閉動作（縮小モード）
　本実施形態において、ポンプ１Ｄの初期状態は、電磁石６がＯＦＦである。本実施形態では、図面左側に示すように、空間Ｓ１は、閉じられている。本実施形態では、空間Ｓ１は、当該弾性空間部本体３の弾性力によって閉じられている。また、電磁石６をＯＦＦにすれば、ポンプ１Ｄを停止させることができる。

　充填状態：開動作（拡張モード）
　電磁石６をＯＮにする。このとき、図面右側に示すように、電磁石６の内側に生じる磁極は、硬磁性弾性体５の内側の磁極Ｎ（Ｓ）と同じ磁極Ｎ（Ｓ）である。これによって、硬磁性弾性体５と電磁石６との間には磁力による反発力Ｆ６５ｒが生じる。反発力Ｆ６５ｒは、弾性空間部本体３の弾性力（復元力）よりも強くする。その結果、図面右側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、互いに離れる向きに移動する。これによって、空間Ｓ１が増加（拡張）する。この空間Ｓ１の増加によって、空間Ｓ１は完全に開かれる。したがって、空間Ｓ１には、新たな搬送対象物Ｍを充填させることができる。

　圧送状態：閉動作（縮小モード）
　電磁石６をＯＦＦにする。これによって、反発力Ｆ６５ｒは消滅し、弾性空間部本体３の復元力（弾性力）の影響が支配的になる。その結果、図面右側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、互いに近づく向きに移動する。これによって、空間Ｓ１は減少（縮小）する。この空間Ｓ１の減少によって、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍは、中心軸線Ｏ１に沿って当該空間Ｓ１の外部に圧送される。したがって、ポンプ１Ｄは、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って吐出することができる。特に、図面左側に示すように、本実施形態において、弾性空間部本体３の対向壁３ａの内面３ｆ２と、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂの内面３ｆ２とは、最終的に接触する。これによって、図面左側に示すように、空間Ｓ１は再び閉じられる。すなわち、電磁石６をＯＦＦにすると、ポンプ１Ｄは、図面左側に示すように、初期状態に復帰する。したがって、搬送対象物Ｍは、空間Ｓ１に余すことなく、中心軸線Ｏ１に沿って吐出させることができる。このように、本実施形態において、ポンプ１Ｄの閉動作は、弾性空間部２（弾性空間部本体３及び硬磁性弾性体５の少なくとも１つ）の弾性力によって行われている。ただし、本実施形態において、ポンプ１Ｄの閉動作は、弾性空間部２の弾性力と、磁力との合力によって行うことができる。空間Ｓ１を減少させる場合、ポンプ１Ｄによれば、電磁石６に通じる電流の向きを開動作の場合とは逆にすることができる。これによって、電磁石６と硬磁性弾性体５との間に引き合い力を発生させることができる。この場合、弾性体（弾性空間部２）の復元力のみに依るよりも、強い送圧力を生起させることができる。また、この場合、弾性体の復元力のみに依るよりも、復元速度を大きくすることができる。このように、ポンプ１Ｄの場合、弾性体の復元力と併せ、電磁石６と硬磁性弾性体５との引き合い力を用いることが好ましい。

　また、ポンプ１Ｄの閉動作は、磁力のみによって行うことができる。例えば、ポンプ１Ｄの閉動作は、開動作の際とは異なる向きに電流を流すことにより行うことができる。この場合、電磁石６に発生する磁極が硬磁性弾性体５の内側の磁極と異なる磁極になることにより、硬磁性弾性体５と電磁石６との間に引き合い力が発生する。これによって、空間Ｓ１は、弾性体の弾性力の有無にかかわらず、閉じられる。

　上述のとおり、ポンプ１Ｄによれば、電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、もしくは電磁石６の電流の向きを切り替えることによって、拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ｄによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って連続的に吐出（搬送）することができる。

　なお、ポンプ１Ｄにおいて、電磁石６は、弾性空間部本体３の対向壁３ａに固定されている。これによって、電磁石６は、対向壁３ａとともに、弾性空間部２の動作方向に移動させることができる。また、ポンプ１Ｄにおいて、硬磁性弾性体５は、弾性空間部本体３の対向壁３ｂに固定されている。これによって、硬磁性弾性体５は、対向壁３ｂとともに、弾性空間部２の動作方向に移動させることができる。すなわち、ポンプ１Ｄにおいて、当該ポンプ１Ｄの動作は、硬磁性弾性体５及び電磁石６を互いに自由な位置に移動させることによって実現される。このため、ポンプ１Ｄは、硬磁性弾性体５の位置又は電磁石６の位置を固定させることなく、使用することができる。

　また、ポンプ１Ｄは、空間Ｓ１が維持された状態を初期状態とすることができる。

＜ポンプ１Ｅ＞
　図５は、本発明の第５の実施形態に係る、ポンプ１Ｅの要部を模式的に示した図である。図５中、図面左側は、ポンプ１Ｅの初期状態を示し、図面右側は、ポンプ１Ｅの圧送状態を示す。ポンプ１Ｅは、ポンプ１Ｄの変形例である。

　図面左側に示すように、ポンプ１Ｅの初期状態において、弾性空間部本体３の、２つの対向壁３ａ，３ｂの間には、空間Ｓ１が形成されている。例えば、弾性空間部本体３が弾性チューブである場合、前記弾性チューブの弾性力によって、当該弾性チューブの中空状態を維持させている。これによって、ポンプ１Ｅの初期状態において、２つの対向壁３ａ，３ｂの間には、空間Ｓ１を形成することができる。

（ポンプ１Ｅの基本動作）
　ポンプ１Ｅは、弾性空間部２を変形させることによって、搬送対象物Ｍを吐出（搬送）させることができる。特に、本実施形態では、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦによってポンプ１Ｅを駆動させることができる。以下、ポンプ１Ｅの基本的な動作について説明をする。

　初期状態：開動作（拡張モード）
　本実施形態において、ポンプ１Ｅの初期状態は、電磁石６がＯＦＦである。本実施形態では、図面左側に示すように、空間Ｓ１は開かれている。本実施形態では、空間Ｓ１は、弾性空間部本体３の弾性力によって維持されている。

　吐出状態：閉動作（縮小モード）
　電磁石６をＯＮにする。このとき、図面右側に示すように、電磁石６の内側に生じる磁極は、硬磁性弾性体５の内側の磁極Ｎ（Ｓ）と異なる磁極Ｓ（Ｎ）である。これによって、硬磁性弾性体５と電磁石６との間には磁力による引き合い力Ｆ６５ａが生じる。引き合い力Ｆ６５ａは、弾性空間部本体３の弾性力（復元力）よりも強くする。その結果、図面右側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、互いに近づく向きに移動する。これによって、空間Ｓ１は減少（縮小）する。この空間Ｓ１の減少によって、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍは、中心軸線Ｏ１に沿って当該空間Ｓ１の外部に圧送される。したがって、ポンプ１Ｅは、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って吐出することができる。特に、図面右側に示すように、本実施形態において、弾性空間部本体３の対向壁３ａの内面３ｆ２と、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂの内面３ｆ２とは、最終的に接触する。これによって、図面右側に示すように、空間Ｓ１は完全に閉じられる。したがって、搬送対象物Ｍは、空間Ｓ１に余すことなく、中心軸線Ｏ１に沿って吐出させることができる。

　停止状態：開動作（拡張モード）
　電磁石６をＯＦＦにする。これによって、ポンプ１Ｅを停止させることができる。このとき、引き合い力Ｆ６５ａは消滅し、弾性空間部本体３の復元力（弾性力）の影響が支配的となる。その結果、図面左側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、互いに離れる向きに移動する。これによって、空間Ｓ１が増加（拡張）する。この空間Ｓ１の増加によって、空間Ｓ１は完全に開かれる。すなわち、電磁石６をＯＦＦにすると、ポンプ１Ｅは、図面左側に示すように、初期状態に復帰する。したがって、空間Ｓ１には、新たな搬送対象物Ｍを充填させることができる。このように、本実施形態において、ポンプ１Ｅの開動作は、弾性空間部２（弾性空間部本体３及び硬磁性弾性体５の少なくとも１つ）の弾性力によって行われている。ただし、本実施形態において、ポンプ１Ｅの開動作は、弾性空間部２の弾性力と、磁力との合力によって行うことができる。空間Ｓ１を拡張させる場合、ポンプ１Ｅによれば、電磁石６に通じる電流の向きを閉動作の場合とは逆にすることができる。これによって、電磁石６と硬磁性弾性体５との間に反発力を発生させることができる。この場合、弾性体（弾性空間部２）の復元力のみに依るよりも、強い吸圧力を生起させることができる。また、この場合、弾性空間部２の復元力のみに依るよりも、復元速度を大きくすることができる。このように、ポンプ１Ｅの場合、弾性空間部２の復元力と併せ、電磁石６と硬磁性弾性体５との反発力を用いることが好ましい。

　また、ポンプ１Ｅの開動作は、磁力のみによって行うことができる。例えば、ポンプ１Ｅの開動作は、閉動作の際とは異なる向きに電流を流すことにより行うことができる。この場合、電磁石６に発生する磁極が硬磁性弾性体５の内側の磁極と同じ磁極になることにより、硬磁性弾性体５と電磁石６との間に反発力が発生する。これによって、空間Ｓ１は、弾性体の弾性力の有無にかかわらず、開かれる。

　上述のとおり、ポンプ１Ｅによれば、電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、もしくは電磁石６の電流の向きを切り替えることによって、拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ｅによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って連続的に吐出（搬送）することができる。

（２）次いで、弾性空間部変形生起要素と硬磁性弾性体とが弾性空間部本体の外側の片寄った位置に配置されているポンプを例示する。

＜ポンプ１Ｆ＞
　図６は、本発明の第６の実施形態に係る、ポンプ１Ｆの要部を模式的に示した図である。図６中、図面左側は、ポンプ１Ｆの初期状態及び圧送状態を示し、図面右側は、ポンプ１Ｆの充填状態を示す。

　図面左側を参照すれば、ポンプ１Ｆは、硬磁性弾性体を含む弾性空間部２を備えている。本実施形態では、弾性空間部２は、弾性空間部本体３と、硬磁性弾性体５とを、備えている。

　図面左側に示すように、ポンプ１Ｆの初期状態において、弾性空間部本体３の、２つの対向壁３ａ，３ｂは接している。すなわち、ポンプ１Ｆの初期状態では、空間Ｓ１は閉じられている。例えば、弾性空間部本体３が弾性チューブである場合、前記弾性チューブの弾性力によって、当該弾性チューブは、完全に潰された状態に維持されている。なお、本実施形態では、対向壁３ｂの位置は固定されている。

　硬磁性弾性体５は、弾性空間部本体３の外面３ｆ１に固定されている。本実施形態では、硬磁性弾性体５は、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの一方の位置であって、弾性空間部本体３の外面３ｆ１に固定されている。具体的には、弾性空間部本体３の対向壁３ａの外面３ｆ１に固定されている。

　弾性空間部変形生起要素は、電磁石６である。電磁石６は、弾性空間部２の外側に設けられている。本実施形態では、電磁石６は、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの一方の位置であって、弾性空間部２よりも外側の位置に配置されている。具体的には、電磁石６は、硬磁性弾性体５の外面５ｆ１に対して間隔を置いて配置されている。本実施形態では、電磁石６の位置は固定されている。

（ポンプ１Ｆの基本動作）
　ポンプ１Ｆは、弾性空間部２を変形させることによって、搬送対象物Ｍを吐出（搬送）させることができる。特に、本実施形態では、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦによってポンプ１Ｆを駆動させることができる。以下、ポンプ１Ｆの基本的な動作について説明をする。

　初期状態：閉動作（縮小モード）
　本実施形態において、ポンプ１Ｆの初期状態は、電磁石６がＯＦＦである。本実施形態では、図面左側に示すように、空間Ｓ１は閉じられている。本実施形態では、空間Ｓ１は、当該弾性空間部本体３の弾性力によって閉じられている。また、電磁石６をＯＦＦにすれば、ポンプ１Ｆを停止させることができる。

　充填状態：開動作（拡張モード）
　電磁石６をＯＮにする。このとき、図面右側に示すように、電磁石６の内側に生じる磁極は、硬磁性弾性体５の外側の磁極Ｓ（Ｎ）と異なる磁極Ｎ（Ｓ）である。これによって、硬磁性弾性体５と電磁石６との間には磁力による引き合い力Ｆ６５ａが生じる。引き合い力Ｆ６５ａは、弾性空間部本体３の弾性力（復元力）よりも強くする。その結果、図面右側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａが対向壁３ｂから離れる向きに移動する。これによって、空間Ｓ１が増加（拡張）する。この空間Ｓ１の増加によって、空間Ｓ１は完全に開かれる。したがって、空間Ｓ１には、新たな搬送対象物Ｍを充填させることができる。

　圧送状態：閉動作（縮小モード）
　電磁石６をＯＦＦにする。これによって、引き合い力Ｆ６５ａは消滅し、弾性空間部本体３の復元力（弾性力）の影響が支配的となる。その結果、図面左側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａが対向壁３ｂに向かって移動する。これによって、空間Ｓ１は減少（縮小）する。この空間Ｓ１の減少によって、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍは、中心軸線Ｏ１に沿って当該空間Ｓ１の外部に圧送される。したがって、ポンプ１Ｆは、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って吐出することができる。特に、図面左側に示すように、本実施形態において、弾性空間部本体３の対向壁３ａの内面３ｆ２は最終的に対向壁３ｂの内面３ｆ２と接触する。これによって、図面左側に示すように、空間Ｓ１は再び閉じられる。すなわち、電磁石６をＯＦＦにすると、ポンプ１Ｆは、図面左側に示すように、初期状態に復帰する。したがって、搬送対象物Ｍは、空間Ｓ１に余すことなく、中心軸線Ｏ１に沿って吐出させることができる。このように、本実施形態において、ポンプ１Ｆの閉動作は、弾性空間部２（弾性空間部本体３及び硬磁性弾性体５の少なくとも１つ）の弾性力によって行われている。ただし、本実施形態において、ポンプ１Ｆの閉動作は、弾性空間部２の弾性力と、磁力との合力によって行うことができる。空間Ｓ１を減少させる場合、ポンプ１Ｆによれば、電磁石６に通じる電流の向きを開動作の場合とは逆にすることができる。これによって、電磁石６と硬磁性弾性体５との間に反発力を発生させることができる。この場合、弾性体（弾性空間部２）の復元力のみに依るよりも、強い送圧力を生起させることができる。また、この場合、弾性空間部２の復元力のみに依るよりも、復元速度を大きくすることができる。このように、ポンプ１Ｆの場合、弾性空間部２の復元力と併せ、電磁石６と硬磁性弾性体５との反発力を用いることが好ましい。

　また、ポンプ１Ｆの閉動作は、磁力のみによって行うことができる。例えば、ポンプ１Ｆの閉動作は、開動作の際とは異なる向きに電流を流すことにより行うことができる。この場合、電磁石６に発生する磁極が硬磁性弾性体５の内側の磁極と同じ磁極になることにより、硬磁性弾性体５と電磁石６との間に反発力が発生する。これによって、空間Ｓ１は、弾性体の弾性力の有無にかかわらず、閉じられる。

　上述のとおり、ポンプ１Ｆによれば、電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、もしくは電磁石６の電流の向きを切り替えることによって、拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ｆによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って連続的に吐出（搬送）することができる。

　また、ポンプ１Ｆは、空間Ｓ１が維持された状態を初期状態とすることができる。

＜ポンプ１Ｇ＞
　図７は、本発明の第７の実施形態に係る、ポンプ１Ｇの要部を模式的に示した図である。図７中、図面左側は、ポンプ１Ｇの初期状態及び充填状態を示し、図面右側は、ポンプ１Ｇの圧送状態を示す。ポンプ１Ｇは、ポンプ１Ｆの変形例である。

　図面左側に示すように、ポンプ１Ｇの初期状態において、弾性空間部本体３の、２つの対向壁３ａ，３ｂの間には、空間Ｓ１が形成されている。例えば、弾性空間部本体３が弾性チューブである場合、前記弾性チューブの弾性力によって、当該弾性チューブの中空状態を維持させている。これによって、ポンプ１Ｇの初期状態において、２つの対向壁３ａ，３ｂの間には、空間Ｓ１を形成することができる。

（ポンプ１Ｇの基本動作）
　ポンプ１Ｇは、弾性空間部２を変形させることによって、搬送対象物Ｍを吐出（搬送）させることができる。特に、本実施形態では、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦによってポンプ１Ｇを駆動させることができる。以下、ポンプ１Ｇの基本的な動作について説明をする。

　初期状態：開動作（拡張モード）
　本実施形態において、ポンプ１Ｇの初期状態は、電磁石６がＯＦＦである。本実施形態では、図面左側に示すように、空間Ｓ１は維持されている。本実施形態では、空間Ｓ１は、弾性空間部本体３の弾性力によって維持されている。

　圧送状態：閉動作（縮小モード）
　電磁石６をＯＮにする。このとき、図面右側に示すように、電磁石６の内側に生じる磁極は、硬磁性弾性体５の外側の磁極Ｓ（Ｎ）と同じ磁極Ｓ（Ｎ）である。これによって、硬磁性弾性体５と電磁石６との間には磁力による反発力Ｆ６５ｒが生じる。反発力Ｆ６５ｒは、弾性空間部本体３の弾性力（復元力）よりも強くする。その結果、図面右側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａが対向壁３ｂに向かって移動する。これによって、空間Ｓ１は減少（縮小）する。この空間Ｓ１の減少によって、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍは、中心軸線Ｏ１に沿って当該空間Ｓ１の外部に圧送される。したがって、ポンプ１Ｇは、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って吐出することができる。特に、図面右側に示すように、本実施形態において、弾性空間部本体３の対向壁３ａの内面３ｆ２は最終的に対向壁３ｂの内面３ｆ２と接触する。これによって、図面右側に示すように、空間Ｓ１は完全に閉じられる。したがって、搬送対象物Ｍは、空間Ｓ１に余すことなく、中心軸線Ｏ１に沿って吐出させることができる。

　充填状態：開動作（拡張モード）
　電磁石６をＯＦＦにする。これによって、ポンプ１Ｇを停止させることができる。このとき、反発力Ｆ６５ｒは消滅し、弾性空間部本体３の復元力（弾性力）の影響が支配的となる。その結果、図面左側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａが対向壁３ｂから離れる向きに移動する。これによって、空間Ｓ１が増加（拡張）する。この空間Ｓ１の増加によって、空間Ｓ１は完全に開かれる。すなわち、電磁石６をＯＦＦにすると、ポンプ１Ｇは、図面左側に示すように、初期状態に復帰する。したがって、空間Ｓ１には、新たな搬送対象物Ｍを充填させることができる。このように、本実施形態において、ポンプ１Ｇの開動作は、弾性空間部２（弾性空間部本体３及び硬磁性弾性体５の少なくとも１つ）の弾性力によって行われている。ただし、本実施形態において、ポンプ１Ｇの開動作は、弾性空間部２の弾性力と、磁力との合力によって行うことができる。空間Ｓ１を拡張させる場合、ポンプ１Ｇによれば、電磁石６に通じる電流の向きを閉動作の場合とは逆にすることができる。これによって、電磁石６と硬磁性弾性体５との間に引き合い力を発生させることができる。この場合、弾性体（弾性空間部２）の復元力のみに依るよりも、強い吸圧力を生起させることができる。また、この場合、弾性空間部２の復元力のみに依るよりも、復元速度を大きくすることができる。このように、ポンプ１Ｇの場合、弾性空間部２の復元力と併せ、電磁石６と硬磁性弾性体５との引き合い力を用いることが好ましい。

　また、ポンプ１Ｇの開動作は、磁力のみによって行うことができる。例えば、ポンプ１Ｇの開動作は、閉動作の際とは異なる向きに電流を流すことにより行うことができる。この場合、電磁石６に発生する磁極が硬磁性弾性体５の内側の磁極と同じ磁極になることにより、硬磁性弾性体５と電磁石６との間に引き合い力が発生する。これによって、空間Ｓ１は、弾性体の弾性力の有無にかかわらず、開かれる。

　上述のとおり、ポンプ１Ｇによれば、電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、もしくは電磁石６の電流の向きを切り替えることによって、拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ｇによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って連続的に吐出（搬送）することができる。

　なお、ポンプ１Ｆ、１Ｇにおいて、弾性空間部本体３は、硬磁性弾性体５と電磁石６（弾性空間部変形生起要素）との間に存在しない。すなわち、弾性空間部本体３は、硬磁性弾性体５と電磁石６との間の磁界の外に位置している。このため、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの位置が固定されていない場合、弾性空間部本体３全体が硬磁性弾性体５の移動に追従してしまう。したがって、ポンプ１Ｆ、１Ｇのようなポンプの場合、弾性空間部本体の２つの対向壁のうち、硬磁性弾性体５が固定されてない対向壁の位置を固定することが好ましい。ポンプ１Ｆ、１Ｇでは、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの位置を固定している。

　上述のとおり、ポンプ１Ｆ、１Ｇでは、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの位置を固定している。これによって、弾性空間部本体３全体が硬磁性弾性体５の移動に追従することなく、２つの対向壁３ａ，３ｂは、互いに接近及び離間させることができる。具体例として、対向壁３ｂは、支持台、装置（収納ケース）、作業テーブル（作業ステージ）、ポンプ筐体に固定することができる。ただし、本発明によれば、対向壁３ｂを固定しておくことは必須ではない。対向壁３ｂの位置の固定は、例えば、弾性空間部本体３（弾性空間部２）に対して、中心軸線Ｏ１に沿った一定の張力を加えることによって省略することができる。この場合、弾性空間部本体３全体が硬磁性弾性体５の移動に追従することなく、２つの対向壁３ａ，３ｂは、互いに接近及び離間させることができる。

　なお、ポンプ１Ｄ～１Ｇにおいて、硬磁性弾性体５は、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの一方又は他方（片側）の位置に配置されている。ただし、ポンプ１Ｄ～１Ｇによれば、硬磁性弾性体５は、２つの対向壁３ａ，３ｂのうちのいずれか一方に固定することができる。例えば、ポンプ１Ａにおいて、硬磁性弾性体５は、対向壁３ａの外側に設けることができる。この場合、電磁石６は、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの外側に設けることができる。

　また、本発明によれば、硬磁性弾性体５は、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置に配置することができる。

＜ポンプ１Ｈ＞
　図８は、本発明の第８の実施形態に係る、ポンプ１Ｈの要部を模式的に示した図である。図８中、図面左側は、ポンプ１Ｈの初期状態及び圧送状態を示し、図面右側は、ポンプ１Ｈの充填状態を示す。

　図面左側を参照すれば、ポンプ１Ｈは、硬磁性弾性体を含む弾性空間部２を備えている。本実施形態では、弾性空間部２は、弾性空間部本体３と、硬磁性弾性体５とを、備えている。

　図面左側に示すように、ポンプ１Ｈの初期状態において、弾性空間部本体３の、２つの対向壁３ａ，３ｂは接している。すなわち、ポンプ１Ｈの初期状態では、空間Ｓ１は閉じられている。本実施形態では、後述するように、弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、磁力による引き合い力Ｆ５５ａによって接触している。例えば、弾性空間部本体３が弾性チューブである場合、上記引き合い力Ｆ５５ａによって、当該弾性チューブは、完全に潰された状態に維持されている。

　ポンプ１Ｈにおいて、弾性空間部２は、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂを備えている。２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂは、それぞれ、弾性空間部本体３の外面３ｆ１に固定されている。本実施形態では、硬磁性弾性体５ａは、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの一方の位置であって、弾性空間部本体３の外面３ｆ１に固定されている。具体的には、硬磁性弾性体５ａは、弾性空間部本体３の対向壁３ａの外面３ｆ１に固定されている。また、本実施形態では、硬磁性弾性体５ｂは、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの他方の位置であって、弾性空間部本体３の外面３ｆ１に固定されている。具体的には、硬磁性弾性体５ｂは、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの外面３ｆ１に固定されている。

　弾性空間部生起変形要素は、電磁石６である。ポンプ１Ｈは、２つの電磁石６ａ，６ｂを備えている。２つの電磁石６ａ，６ｂは、それぞれ、弾性空間部２の外側に設けられている。本実施形態では、電磁石６ａは、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの一方の位置であって、硬磁性弾性体５よりも外側の位置に配置されている。具体的には、電磁石６ａは、硬磁性弾性体５ａの外面５ｆ１に対して間隔を置いて配置されている。また、本実施形態では、電磁石６ｂは、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する２つの位置のうちの他方の位置であって、硬磁性弾性体５よりも外側の位置に配置されている。具体的には、電磁石６ｂは、硬磁性弾性体５ｂの外面５ｆ１に対して間隔を置いて配置されている。

（ポンプ１Ｈの基本動作）
　ポンプ１Ｈは、弾性空間部２を変形させることによって、搬送対象物Ｍを吐出（搬送）させることができる。特に、本実施形態では、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦによってポンプ１Ｈを駆動させることができる。以下、ポンプ１Ｈの基本的な動作について説明をする。

　初期状態：閉動作（縮小モード）
　本実施形態において、ポンプ１Ｈの初期状態は、電磁石６がＯＦＦである。本実施形態では、図面左側に示すように、空間Ｓ１は閉じられている。本実施形態では、空間Ｓ１は、弾性空間部２の弾性力と磁力による引き合い力Ｆ５５ａとによって閉じられている。具体的には、本実施形態では、硬磁性弾性体５ａの内面５ｆ２と、硬磁性弾性体５ｂの内面５ｆ２とは、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する位置に配置されている。加えて、本実施形態では、硬磁性弾性体５ａの内面５ｆ２に生じる磁極Ｎ（Ｓ）は、硬磁性弾性体５ｂの内面５ｆ２に生じる磁極Ｓ（Ｎ）と異なっている。これによって、硬磁性弾性体５ａと硬磁性弾性体５ｂとには、それぞれ、磁力による引き合い力Ｆ５５ａが生じている。また、本実施形態では、弾性空間部２には、弾性空間部２の弾性回復力（図示省略）も作用している。即ち、本実施形態では、弾性空間部２の弾性力と磁力による引き合い力Ｆ５５ａとの合力により、弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、互いに近づく向きに移動する。本実施形態では、弾性空間部本体３の対向壁３ａの内面３ｆ２と、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂの内面３ｆ２とは接触している。したがって、ポンプ１Ｈの初期状態において、空間Ｓ１は、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂに対する引き合い力Ｆ５５ａによって閉じられている。また、電磁石６をＯＦＦにすれば、ポンプ１Ｈを停止させることができる。

　充填状態：開動作（拡張モード）
　電磁石６をＯＮにする。このとき、図面右側に示すように、電磁石６の内側に生じる磁極は、硬磁性弾性体５の外側の磁極Ｓ（Ｎ）と異なる磁極Ｎ（Ｓ）である。これによって、硬磁性弾性体５と電磁石６との間には磁力による引き合い力Ｆ６５ａが生じる。引き合い力Ｆ６５ａは、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂに対する引き合い力Ｆ５５ａよりも強くする。その結果、図面右側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、互いに離れる向きに移動する。これによって、空間Ｓ１が増加（拡張）する。この空間Ｓ１の増加によって、空間Ｓ１は完全に開かれる。したがって、空間Ｓ１には、新たな搬送対象物Ｍを充填させることができる。

　圧送状態：閉動作（縮小モード）
　電磁石６をＯＦＦにする。これによって、引き合い力Ｆ６５ａは消滅し、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂに対する引き合い力Ｆ５５ａの影響が支配的となる。その結果、図面左側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、互いに近づく向きに移動する。これによって、空間Ｓ１は減少（縮小）する。この空間Ｓ１の減少によって、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍは、中心軸線Ｏ１に沿って当該空間Ｓ１の外部に圧送される。したがって、ポンプ１Ｈは、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って吐出することができる。特に、図面左側に示すように、本実施形態において、弾性空間部本体３の対向壁３ａの内面３ｆ２と、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂの内面３ｆ２とは、最終的に接触する。これによって、図面左側に示すように、空間Ｓ１は再び閉じられる。すなわち、電磁石６をＯＦＦにすると、ポンプ１Ｈは、図面左側に示すように、初期状態に復帰する。したがって、搬送対象物Ｍは、空間Ｓ１に余すことなく、中心軸線Ｏ１に沿って吐出させることができる。このように、本実施形態において、ポンプ１Ｈの閉動作は、硬磁性弾性体５どうしの引き合い力Ｆ５５ａによって行われている。ただし、本実施形態において、ポンプ１Ｈの閉動作もまた、他のポンプと同様、電磁石６の電流の向きを切り替えることによって行うことができる。本実施形態において、ポンプ１Ｈの閉動作もまた、他のポンプと同様、電磁石６ａ，６ｂの少なくとも一方において、電磁石６に通じる電流の向きを開動作の場合とは逆にすることによって行うことができる。これによって、電磁石６と硬磁性弾性体５との間に反発力を発生させることができる。この場合、弾性体（弾性空間部２）の復元力のみに依るよりも、強い送圧力を生起させることができる。また、この場合、弾性空間部２の復元力のみに依るよりも、復元速度を大きくすることができる。したがって、ポンプ１Ｈの場合、弾性空間部２の復元力と併せ、電磁石６と硬磁性弾性体５との反発力を用いることが好ましい。

　さらに、本実施形態において、ポンプ１Ｈの閉動作もまた、他のポンプと同様、弾性体（弾性空間部本体３及び硬磁性弾性体５の少なくとも１つ）の弾性力を付加することによって行うことが可能であるが、弾性体の弾性力の有無は任意である。

　上述のとおり、ポンプ１Ｈによれば、電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、もしくは電磁石６の電流の向きを切り替えることによって、拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ｈによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って連続的に吐出（搬送）することができる。

　また、ポンプ１Ｈは、空間Ｓ１が維持された状態を初期状態とすることができる。

＜ポンプ１Ｉ＞
　図９は、本発明の第９の実施形態に係る、ポンプ１Ｉの要部を模式的に示した図である。図９中、図面左側は、ポンプ１Ｉの初期状態及び充填状態を示し、図面右側は、ポンプ１Ｉの圧送状態を示す。ポンプ１Ｉは、ポンプ１Ｈの変形例である。

　図面左側に示すように、ポンプ１Ｉの初期状態において、弾性空間部本体３の、２つの対向壁３ａ，３ｂの間には、空間Ｓ１が形成されている。後述するように、本実施形態では、弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、磁力による反発力Ｆ５５ｒによって離間している。これによって、ポンプ１Ｉの初期状態において、空間Ｓ１は維持されている。

（ポンプ１Ｉの基本動作）
　ポンプ１Ｉは、弾性空間部２を変形させることによって、搬送対象物Ｍを吐出（搬送）させることができる、特に、本実施形態では、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦによってポンプ１Ｉを駆動させることができる。以下、ポンプ１Ｉの基本的な動作について説明をする。

　初期状態：開動作（拡張モード）
　本実施形態において、ポンプ１Ｉの初期状態は、電磁石６がＯＦＦである。図面左側に示すように、ポンプ１Ｉの初期状態において、空間Ｓ１は維持されている。本実施形態では、硬磁性弾性体５ａの内面５ｆ２と、硬磁性弾性体５ｂの内面５ｆ２とは、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する位置に配置されている。加えて、本実施形態では、硬磁性弾性体５ａの内面５ｆ２に生じる磁極Ｎ（Ｓ）は、硬磁性弾性体５ｂの内面５ｆ２に生じる磁極Ｎ（Ｓ）と同じ磁極である。これによって、硬磁性弾性体５ａと硬磁性弾性体５ｂとには、それぞれ、磁力による反発力Ｆ５５ｒが生じている。弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、反発力Ｆ５５ｒによって互いに離れた位置に離間している。したがって、本実施形態では、空間Ｓ１は、反発力Ｆ５５ｒによって維持されている。また、電磁石６をＯＦＦにすれば、ポンプ１Ｉを停止させることができる。

　圧送状態：閉動作（縮小モード）
　電磁石６をＯＮにする。このとき、図面右側に示すように、電磁石６の内側に生じる磁極は、硬磁性弾性体５の外側の磁極Ｓ（Ｎ）と同じ磁極Ｓ（Ｎ）である。これによって、硬磁性弾性体５と電磁石６との間には磁力による反発力Ｆ６５ｒが生じる。反発力Ｆ６５ｒは、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂに対する反発力Ｆ５５ｒよりも強くする。その結果、図面右側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、互いに近づく向きに移動する。これによって、空間Ｓ１は減少（縮小）する。この空間Ｓ１の減少によって、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍは、中心軸線Ｏ１に沿って当該空間Ｓ１の外部に圧送される。したがって、ポンプ１Ｉは、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って吐出することができる。特に、図面右側に示すように、本実施形態において、弾性空間部本体３の対向壁３ａの内面３ｆ２と、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂの内面３ｆ２とは、最終的に接触する。これによって、図面右側に示すように、空間Ｓ１は完全に閉じられる。したがって、搬送対象物Ｍは、空間Ｓ１に余すことなく、中心軸線Ｏ１に沿って吐出することができる。

　停止状態：開動作（拡張モード）
　電磁石６をＯＦＦにする。これによって、ポンプ１Ｉを停止させることができる。このとき、反発力Ｆ６５ｒは消滅し、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂに対する反発力Ｆ５５ｒの影響が支配的となる。その結果、図面左側に示すように、弾性空間部本体３の対向壁３ａと、当該弾性空間部本体３の対向壁３ｂとは、互いに離れる向きに移動する。これによって、空間Ｓ１が増加（拡張）する。この空間Ｓ１の増加によって、空間Ｓ１は完全に開かれる。すなわち、電磁石６をＯＦＦにすると、ポンプ１Ｉは、図面左側に示すように、初期状態に復帰する。したがって、空間Ｓ１には、新たな搬送対象物Ｍを充填させることができる。このように、本実施形態において、ポンプ１Ｉの開動作は、硬磁性弾性体５どうしの反発力Ｆ５５ｒによって行われている。ただし、本実施形態において、ポンプ１Ｉの開動作もまた、他のポンプと同様、電磁石６の電流の向きを切り替えることによって行うことができる。本実施形態において、ポンプ１Ｉの開動作もまた、他のポンプと同様、電磁石６ａ、６ｂの少なくとも一方において、電磁石６に通じる電流の向きを閉動作の場合とは逆にすることによって行うことができる。これによって、電磁石６と硬磁性弾性体５との間に引き合い力を発生させることができる。この場合、弾性体（弾性空間部２）の復元力のみに依るよりも、強い吸圧力を生起させることができる。また、この場合、弾性空間部２の復元力のみに依るよりも、復元速度を大きくすることができる。したがって、ポンプ１Ｉの場合、弾性空間部２の復元力と併せ、電磁石６と硬磁性弾性体５との引き合い力を用いることが好ましい。

　さらに、本実施形態において、ポンプ１Ｉの開動作もまた、他のポンプと同様、弾性体（弾性空間部本体３及び硬磁性弾性体５の少なくとも１つ）の弾性力を付加することによって行うことが可能であるが、弾性体の弾性力の有無は任意である。

　上述のとおり、ポンプ１Ｉによれば、電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、もしくは電磁石６の電流の向きを切り替えることによって、拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ｉによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを中心軸線Ｏ１に沿って連続的に吐出（搬送）することができる。

　なお、ポンプ１Ｈ，１Ｉの説明では、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦは、電磁石６ａ及び電磁石６ｂの両方で行っていたが、ポンプ１Ｈ，１Ｉによれば、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦは、電磁石６ａ及び電磁石６ｂの少なくとも一方で行うことができる。

　なお、ポンプ１Ｈ，１Ｉにおいて、硬磁性弾性体５と電磁石６との相互作用は、電磁石６と当該電磁石６に近い硬磁性弾性体５との間の相互作用のみを考慮している。また、電磁石６と当該電磁石６から遠い硬磁性弾性体５との間の相互作用は無視することができると考えられる。

　ところで、上述の各実施形態を用いて説明したように、軟磁性弾性体４、硬磁性弾性体５は、弾性空間部２の延在方向において、当該弾性空間部２の延在方向の１つの位置にのみ配置することができる。ここで、「弾性空間部２の延在方向」とは、ポンプ１の中心軸線Ｏ１に対して平行な方向をいう。すなわち、軟磁性弾性体４又は硬磁性弾性体５は、中心軸線Ｏ１が延びる方向（以下、「軸線方向」ともいう。）の１つの位置にのみ配置することができる。例えば、硬磁性弾性体５は、軸線方向の１つの位置にのみ配置することができる。以下、その一例について説明をする。

＜バルーンアクチュエータ＞
　図１０Ａ中、符号１０は、ポンプ１Ｉを適用した油圧式のバルーンアクチュエータであって、ポンプ１Ｉの拡張状態を概略的に示す断面図である。図１０Ｂは、バルーンアクチュエータ１０であって、ポンプ１Ｉの縮小状態を概略的に示す断面図である。

　バルーンアクチュエータ１０は、ポンプ装置１１と、バルーン装置（作動装置）１２と、ポンプ装置１１とバルーン装置１２とを連結している連通路１３と、を備えている。本実施形態では、バルーンアクチュエータ１０は、弾性チューブ１４を備えている。バルーンアクチュエータ１０の外観形状は、基本的に、弾性チューブ１４によって形作られている。弾性チューブ１４は、変形及び復元が可能な弾性材料からなる。こうした弾性材料としては、例えば、天然ゴム、合成ゴム、高分子弾性体等が挙げられる。本実施形態において、弾性チューブ１４は、密封型の弾性チューブである。弾性チューブ１４は、その内側の内部空間Ｓ１０が密封されている。

　本実施形態において、弾性チューブ１４は、ポンプ室部分１４１と、バルーン部分（作動室部分）１４２と、連通路部分１４３とによって構成されている。本実施形態において、ポンプ室部分１４１は、弾性空間部本体３に相当する。ポンプ室部分１４１の内側には、空間（ポンプ室空間）Ｓ１が形成されている。また、本実施形態において、バルーン部分１４２は、バルーン装置１２に相当する。バルーン部分１４２の内側には、第２空間（作動室空間）Ｓ２が形成されている。さらに、本実施形態において、連通路部分１４３は、連通路１３に相当する。連通路部分１４３の内側には、空間Ｓ１と第２空間Ｓ２とを連通している第３空間Ｓ３が形成されている。本実施形態では、弾性チューブ１４の内部空間Ｓ１０は、空間Ｓ１、第２空間Ｓ２および第３空間Ｓ３によって形成されている。また、本実施形態において、弾性チューブ１４は、第３空間Ｓ３をオリフィス形状としている。弾性チューブ１４は、第３空間Ｓ３の流路断面積（第３空間Ｓ３の軸直方向断面の面積）が空間Ｓ１の受圧断面積（空間Ｓ１の軸直方向方向断面の面積）及び第２空間Ｓ２の受圧断面積（第２空間Ｓ２の軸直方向断面の面積）よりも小さい。すなわち、弾性チューブ１４は、オリフィス付き弾性チューブである。内部空間Ｓ１０には、様々な搬送対象物Ｍを流通させることができる。本実施形態では、搬送対象物Ｍとして、作動液が充填されている。

　図１０Ａを参照すれば、弾性チューブ１４のポンプ室部分１４１は、対向壁１４１ａと対向壁１４１ｂとの２つの対向壁を備えている。２つの対向壁１４１ａ，１４１ｂは、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する位置に配置された壁である。本実施形態では、対向壁１４１ａは上壁であり、対向壁１４１ｂは下壁である。ただし、対向壁１４１ａ及び１４１ｂは、上下方向の対向する位置に配置される場合に限定されるものではなく、左右方向（水平方向）に配置するなど、中心軸線Ｏ１の周りの任意の対向位置に配置することができる。図１０Ａに示すように、バルーンアクチュエータ１０の初期状態において、２つの対向壁１４１ａ，１４１ｂは中心軸線Ｏ１を挟んで離間している。これによって、弾性チューブ１４の初期状態において、２つの対向壁１４１ａ，１４１ｂの間には、空間Ｓ１が形成されている。空間Ｓ１は、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂに対する反発力Ｆ５５ｒによって維持されている。これによって、ポンプ装置１１の初期状態において、２つの対向壁１４１ａ，１４１ｂの間には、空間Ｓ１を形成することができる。

　本実施形態において、前記磁性弾性体は、硬磁性弾性体５である。本実施形態では、硬磁性弾性体５は、ポンプ室部分１４１の外面１４１ｆ１に固定されている。本実施形態では、バルーンアクチュエータ１０は、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂを備えている。２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂは、ポンプ室部分１４１の外面１４１ｆ１に固定されている。具体的には、硬磁性弾性体５ａは、ポンプ室部分１４１の対向壁１４１ａの外面１４１ｆ１に固定されている。また、硬磁性弾性体５ｂは、ポンプ室部分１４１の対向壁１４１ｂの外面１４１ｆ１に固定されている。

　言い換えれば、バルーンアクチュエータ１０において、ポンプ装置１１は、ポンプ１Ｉに相当する。例えば、ポンプ装置１１において、弾性チューブ１４のポンプ室部分１４１は、ポンプ１Ｉの弾性空間部本体３に相当する。すなわち、ポンプ室部分１４１の対向壁１４１ａは、弾性空間部本体３の対向壁３ａに相当し、ポンプ室部分の対向壁１４１ｂは、弾性空間部本体３の対向壁３ｂに相当する。したがって、ポンプ装置１１もまた、硬磁性弾性体５ａが弾性空間部本体３ａの外面３ｆ１に固定され、硬磁性弾性体５ｂが弾性空間部本体３ｂの外面３ｆ１に固定されている。すなわち、ポンプ装置１１は、ポンプ１Ｉの弾性空間部２として、弾性チューブ１４のポンプ室部分１４１と、硬磁性弾性体５とを備えている。

　本実施形態において、弾性空間部変形生起要素は、電磁石６である。本実施形態では、電磁石６は、磁性素子（芯材）６１に通電コイル６２を巻き付けたものである。本実施形態では、通電コイル６２には、電源７が繋がる。電源７から流れる電流の向きは、コンピュータ等のコントローラ８によって制御することができる。従って、本実施形態において、電磁石６の磁極の変化は、コントローラ８によって制御することができる。また、本実施形態において、電源７をＯＦＦしたときは、電磁石６の磁極は消滅する。

　本実施形態において、電磁石６は、通電コイル６２に流す電流の向きを変えることによって、硬磁性弾性体５との関係で、磁力による引き合い力Ｆ６５ａまたは反発力Ｆ６５ｒを生起させることができる。例えば、硬磁性弾性体５において、硬磁性弾性体５の外面５ｆ１がＳ極（Ｎ極）である場合、電磁石６の磁極がＳ極（Ｎ極）となるように電流を流せば（ＯＮ）、硬磁性弾性体５と電磁石６との間には反発力Ｆ６５ｒが生じる。また、反対に、電磁石６の磁極がＮ極（Ｓ極）となるように電流を流せば（ＯＮ）、硬磁性弾性体５と電磁石６との間には引き合い力Ｆ６５ａが生じる。そして、通電コイル６２への通電を停止すれば（ＯＦＦ）、磁力による引き合い力Ｆ６５ａ又は反発力Ｆ６５ｒは消滅する。

　さらに、本実施形態では、ポンプ装置１１は、電源７及びコントローラ８を備えている。すなわち、本実施形態では、ポンプ１Ｉはさらに、電源７及びコントローラ８を備えている。ポンプ装置１１の初期状態において、空間Ｓ１は、内部空間Ｓ１０の一部として維持されている。本実施形態では、内部空間Ｓ１０には、搬送対象物Ｍが充填されている。したがって、空間Ｓ１には、搬送対象物Ｍが充填されている。

（バルーンアクチュエータ１０の基本動作）
　バルーンアクチュエータ１０は、ポンプ装置１１を駆動させることによって、バルーン装置１２を制御することができる。バルーンアクチュエータ１０は、弾性チューブ１４のポンプ室部分１４１を圧搾することによって、バルーン部分１４２を拡張させることができる。また、バルーンアクチュエータ１０は、ポンプ室部分１４１の圧搾を解除することによって、バルーン部分１４２を復元させることができる。ポンプ室部分１４１を拡張することによって、バルーン部分１４２を収縮させることもできる。以下に、バルーンアクチュエータ１０の基本的な動作について説明をする。

　初期状態：開動作（拡張モード）
　本実施形態において、バルーンアクチュエータ１０の初期状態は、電磁石６がＯＦＦである。図１０Ａに示すように、バルーンアクチュエータ１０の初期状態をおいて、空間Ｓ１は維持されている。本実施形態では、空間Ｓ１は、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂに生じる反発力Ｆ５５ｒによって維持されている。これによって、空間Ｓ１は、初期状態において、維持されている。ポンプ１Ｉは、初期状態において、空間Ｓ１を維持することで、容積Ｖ１の搬送対象物Ｍを吐出可能な状態に維持されている。

　バルーン拡張状態：閉動作（縮小モード）
　電磁石６をＯＮにする。このとき、図１０Ｂに示すように、電磁石６の内側に生じる磁極は、硬磁性弾性体５の外面５ｆ１の磁極Ｓ（Ｎ）と同じ磁極Ｓ（Ｎ）である。これによって、硬磁性弾性体５と電磁石６との間には磁力による反発力Ｆ６５ｒが生じる。反発力Ｆ６５ｒは、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂに対する反発力Ｆ５５ｒよりも強くする。その結果、図１０Ｂに示すように、ポンプ室部分１４１の対向壁１４１ａと、当該ポンプ室部分１４１の対向壁１４１ｂとは、互いに近づく向きに移動する。これによって、空間Ｓ１は減少（縮小）する。この空間Ｓ１の減少によって、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍは、第３空間Ｓ３を通して第２空間Ｓ２に圧送される。したがって、バルーンアクチュエータ１０は、電磁石６のＯＮによって、弾性チューブ１４のバルーン部分１４２を拡張させることができる。特に、図１０Ｂに示すように、本実施形態において、ポンプ室部分１４１の対向壁１４１ａの内面１４１ｆ２と、当該ポンプ室部分１４１の対向壁１４１ｂの内面１４１ｆ２とは、最終的に接触する。これによって、図１０Ｂに示すように、空間Ｓ１は完全に閉じられる。したがって、搬送対象物Ｍは、空間Ｓ１に余すことなく、バルーン部分１４２の第２空間Ｓ２に搬送することができる。

　バルーン縮小状態：開動作（拡張モード）
　電磁石６をＯＦＦにする。これによって、反発力Ｆ６５ｒは消滅し、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂに対する反発力Ｆ５５ｒの影響が支配的となる。その結果、図１０Ａに示すように、ポンプ室部分１４１の対向壁１４１ａと、当該ポンプ室部分１４１の対向壁１４１ｂとは、互いに離れる向きに移動する。これによって、空間Ｓ１が増加（復元）する。この空間Ｓ１の増加によって、空間Ｓ１は完全に開かれる。すなわち、電磁石６をＯＦＦにすると、図１０Ａに示すように、空間Ｓ１は、初期状態に復帰する。したがって、空間Ｓ１には、第２空間Ｓ２に圧送された搬送対象物Ｍがすべて帰還する。これによって、バルーン部分１４２を初期状態に復元させることができる。

　上述のとおり、バルーンアクチュエータ１０によれば、電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、もしくは電磁石６の電流の向きを切り替えることによって、拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、バルーンアクチュエータ１０によれば、バルーン部分１４２をアクチュエータとして、当該バルーン部分１４２の拡張及び縮小を連続的に繰り返すことができる。

　ところで、軟磁性弾性体４、硬磁性弾性体５は、弾性空間部２の延在方向において、当該弾性空間部２の延在方向の複数の位置に配置することができる。例えば、硬磁性弾性体５は、軸線方向の複数の位置に配置することができる。以下、その一例について説明をする。

＜ポンプ１Ｊ＞
　図１１Ａは、本発明の第１０実施形態であるポンプ１Ｊの拡張状態を概略的に示す断面図である。図１１Ｂは、ポンプ１Ｊの縮小状態を概略的に示す断面図である。図１１Ａ，１１Ｂでは、電源７およびコントローラ８は、省略されている。

　ポンプ１Ｊは、いわゆる蠕動運動型ポンプである。ポンプ１Ｊは、搬送装置として使用することができる。本実施形態では、ポンプ１Ｊを搬送装置として説明する。

　ポンプ１Ｊは、硬磁性弾性体を含む弾性空間部２を備えている。本実施形態では、弾性空間部２は、弾性空間部本体３と、硬磁性弾性体５とを、備えている。さらに、本実施形態では、弾性空間部本体３は、対向壁３ａと対向壁３ｂとの２つの対向壁を備えている。本実施形態では、ポンプ１Ｊの初期状態において、弾性空間部本体３の、２つの対向壁３ａ，３ｂの間には、空間Ｓ１が形成されている。

　また、ポンプ１Ｊにおいて、硬磁性弾性体５は、硬磁性弾性体５ａと硬磁性弾性体５ｂとの２つの硬磁性弾性体を備えている。２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂは、それぞれ、弾性空間部本体３の外面３ｆ１に固定されている。本実施形態では、硬磁性弾性体５ａは、弾性空間部本体３の対向壁３ａの外面３ｆ１に固定されている。また、本実施形態では、硬磁性弾性体５ｂは、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの外面３ｆ１に固定されている。

　さらに、ポンプ１Ｊにおいて、硬磁性弾性体５は、弾性空間部２の延在方向において、当該弾性空間部２の延在方向の複数の位置に配置されている。本実施形態では、複数の硬磁性弾性体５ａが、弾性空間部本体３の対向壁３ａの外面３ｆ１に、当該対向壁３ａの延在方向に間隔を置いて配置されている。また、本実施形態では、複数の硬磁性弾性体５ｂが、弾性空間部本体３の対向壁３ｂの外面３ｆ１に、当該対向壁３ｂの延在方向に間隔を置いて配置されている。本実施形態では、硬磁性弾性体５ａと硬磁性弾性体５ｂとは、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する位置に配置されている。

　本実施形態において、弾性空間部本体３は、弾性チューブ１４によって形成されている。これによって、空間Ｓ１は、弾性チューブ１４の内側に形成されている。空間Ｓ１は、搬送対象物Ｍを流通させるための搬送路を形成している。ポンプ１Ｊは、複数のポンプ１Ｉを利用することで構成することができる。例えば、ポンプ１Ｊは、複数のポンプ１Ｉを軸線方向に連結させることによって形成することができる。

（ポンプ１Ｊの基本動作）
　ポンプ１Ｊは、弾性チューブ１４を軸線方向の任意の位置で局所的に圧搾するとともに当該任意の位置を軸線方向に沿って移動させることによって、軸線方向一方側から搬入した搬送対象物Ｍを軸線方向他方側に搬出することができる。また、ポンプ１Ｊは、弾性チューブ１４の圧搾を解除することによって、新たな搬送対象物Ｍを軸線方向一方側から搬入させることができる。ポンプ１Ｊにおいて、硬磁性弾性体５ａの内側の磁極と、硬磁性弾性体５ｂの内側の磁極は、ポンプ１Ｉと同様、同じ磁極Ｎ（Ｓ）である。以下に、ポンプ１Ｊの基本的な動作について説明をする。

　初期状態：開動作（拡張モード）
　ポンプ１Ｊの初期状態は、全ての電磁石６がＯＦＦである。図１１Ａに示すように、ポンプ１Ｊの初期状態において、空間Ｓ１は維持されている。本実施形態では、初期状態において、空間Ｓ１を維持することで、容積Ｖ１の搬送対象物Ｍを吐出可能な状態に維持されている。

　搬送状態：閉動作（縮小モード）及び開動作（拡張モード）の併用
　所定の電磁石６をＯＮにする。ポンプ１Ｊでは、軸線方向に配置された全ての電磁石６はそれぞれ独立して、ＯＮ／ＯＦＦさせることができる。例えば、図１１Ｂを参照すれば、軸線方向に配置された複数の硬磁性弾性体５のうち、電磁石６をＯＮにした硬磁性弾性体５の部分では、硬磁性弾性体５ａ及び電磁石６ａに対する反発力Ｆ６５ｒと、硬磁性弾性体５ｂ及び電磁石６ｂに対する反発力Ｆ６５ｒとはいずれも、硬磁性弾性体５ａ，５ｂに対する反発力Ｆ５５ｒよりも大きい。したがって、軸線方向に配置された任意の電磁石６をＯＮにすれば、弾性チューブ１４の一部を、軸線方向において局所的に圧搾することができる。また、電磁石６をＯＦＦにすれば、弾性チューブ１４の圧搾は解除され、当該圧搾部分を反発力Ｆ５５ｒによって拡張部分に復元させることができる。したがって、軸線方向に配置された複数の電磁石６のうちの、任意の電磁石６をＯＮ／ＯＦＦすれば、空間Ｓ１に配置された搬送対象物Ｍを、軸線方向一方側から当該軸線方向他方側に搬送することができる。

　上述のとおり、ポンプ１Ｊによれば、軸線方向に配置された複数の電磁石６のうち、当該軸線方向に配置された任意の電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、もしくは電磁石６の電流の向きを切り替えることによって、個々のポンプ１Ｉにおいて拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ｊによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを軸線方向一方側から当該軸線方向他方側に向かって連続的に搬送することができる。

　なお、ポンプ１Ｊにおいて、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦは、電磁石６ａ及び電磁石６ｂの両方で行われることを前提としているが、ポンプ１Ｊによれば、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦは、電磁石６ａ及び電磁石６ｂの少なくとも一方で行われていればよい。

　また、上記説明では、ポンプ１Ｊは複数のポンプで構成されており、当該複数のポンプは、ポンプ１Ｉのみで構成されている。しかしながら、前記複数のポンプには、他のポンプを使用することができる。例えば、前記複数のポンプには、上述した、ポンプ１Ａからポンプ１Ｈまでのいずれかのポンプを使用することができる。例えば、前記複数のポンプは、ポンプ１Ａからポンプ１Ｈまでのいずれか１種のポンプで構成されていてもよいし、ポンプ１Ａからポンプ１Ｉまでのいずれか２種以上の異なるポンプで構成されていてもよい。

＜バルーンアクチュエータ＞
　図１２は、ポンプ１Ｊを適用した油圧式のバルーンアクチュエータ２０であって、当該バルーンアクチュエータ２０の動作を概略的かつ時系列に示す断面図である。

　バルーンアクチュエータ２０は、バルーンアクチュエータ１０の変形例である。バルーンアクチュエータ２０は、バルーンアクチュエータ１０の連通路１３の位置に、ポンプ装置１５を配置したものである。

　バルーンアクチュエータ２０は、ポンプ装置１５と、第１バルーン装置（第１作動装置）１６と、第２バルーン装置（第２作動装置）１７と、を備えている。ポンプ装置１５は、第１バルーン装置１６と、第２バルーン装置１７と、を連結している。また、ポンプ装置１５は、図１０Ａなどに示すバルーンアクチュエータ１０と同様、電源７およびコントローラ８を備えている。図１２では、電源７およびコントローラ８は、省略されている。さらに、本実施形態では、バルーンアクチュエータ２０は、図１０Ａなどに示すバルーンアクチュエータ１０と同様、弾性チューブ１４を備えている。

　バルーンアクチュエータ２０の外観形状は、基本的に、弾性チューブ１４によって形作られている。本実施形態において、弾性チューブ１４は、ポンプ室部分１４１と、第１バルーン部分（作動室部分）１４５と、第２バルーン部分（作動室部分）１４６とによって形成されている。ポンプ室部分１４１の内側には、空間（ポンプ室空間）Ｓ１が形成されている。第１バルーン部分１４５の内側には、第２空間（作動室空間）Ｓ５が形成されている。第２バルーン部分１４６の内側には、第３空間（作動室空間）Ｓ６が形成されている。空間Ｓ１は、第２空間Ｓ５と第３空間Ｓ６とを連通させている。本実施形態では、弾性チューブ１４の内部空間Ｓ１０は、空間Ｓ１、第２空間Ｓ５および第３空間Ｓ６によって形成されている。また、本実施形態において、弾性チューブ１４は、オリフィス付き弾性チューブである。弾性チューブ１４は、空間Ｓ１の流路断面積が第２空間Ｓ５の受圧断面積及び第３空間Ｓ６の受圧断面積よりも小さい。内部空間Ｓ１０には、様々な搬送対象物Ｍを流通させることができる。本実施形態では、搬送対象物Ｍとして、作動液が充填されている。

　磁性弾性体は、硬磁性弾性体５である。本実施形態では、簡略化のために、３つの硬磁性弾性体５が軸線方向に配置されている。硬磁性弾性体５は、硬磁性弾性体５ａ，５ｂを含む。２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂは、中心軸線Ｏ１を挟んで対向する位置に配置されている。言い換えれば、バルーンアクチュエータ２０において、ポンプ装置１５は、ポンプ１Ｊに相当する。例えば、ポンプ装置１５において、弾性チューブ１４のポンプ室部分１４１は、ポンプ１Ｊの弾性空間部２に相当する。すなわち、ポンプ室部分１４１の対向壁１４１ａは、弾性空間部本体３の対向壁３ａに相当し、ポンプ室部分の対向壁１４１ｂは、弾性空間部本体３の対向壁３ｂに相当する。したがって、ポンプ装置１５もまた、硬磁性弾性体５ａが弾性空間部本体３ａの外面３ｆ１に固定され、硬磁性弾性体５ｂが弾性空間部本体３ｂの外面３ｆ１に固定されている。すなわち、ポンプ装置１５は、ポンプ１Ｊの弾性空間部２として、弾性チューブ１４のポンプ室部分１４１と、硬磁性弾性体５とを備えている。

　（バルーンアクチュエータ２０の基本動作）
　バルーンアクチュエータ２０のポンプ装置１５に配置されたポンプ１Ｊは、上述のとおり、蠕動運動型ポンプである。バルーンアクチュエータ２０は、ポンプ装置１５を駆動させることによって、第１バルーン部分１４５を縮小させる一方、第２バルーン部分１４６を拡張させることができる。また、バルーンアクチュエータ２０は、ポンプ装置１５を駆動させることによって、第１バルーン部分１４５を拡張させる一方、第２バルーン部分１４６を縮小させることができる。以下、第２バルーン部分１４６を拡張させる場合を例として、バルーンアクチュエータ２０の基本的な動作について説明をする。

　（ａ）ポンプ１Ｊの初期状態において、全ての電磁石６はＯＦＦである。したがって、空間Ｓ１の軸線方向一方側は、第２空間Ｓ５に近い硬磁性弾性体５の反発力Ｆ５５ｒによって開かれている。また、空間Ｓ１の軸線方向他方側も、第３空間Ｓ６に近い硬磁性弾性体５の反発力Ｆ５５ｒによって開かれている。さらに、空間Ｓ１の軸線方向中央も、軸線方向中央に位置する硬磁性弾性体５の反発力Ｆ５５ｒによって開かれている。すなわち、ポンプ１Ｊの初期状態において、空間Ｓ１は維持されており、第２空間Ｓ５と第３空間Ｓ６とを連通させている。

　（ｂ）バルーンアクチュエータ２０を動作させる際には、まず、第３空間Ｓ６に近い硬磁性弾性体５に反発力Ｆ６５ｒが生じるように、当該硬磁性弾性体５に対応する電磁石６をＯＮにする。これによって、空間Ｓ１の軸線方向他方側を閉じることができる。

　（ｃ）次いで、第２空間Ｓ５に近い硬磁性弾性体５に反発力Ｆ６５ｒが生じるように、当該硬磁性弾性体５に対応する電磁石６をＯＮにする。これによって、空間Ｓ１の軸線方向一方側を閉じることができる。空間Ｓ１の軸線方向両側を閉じることによって、当該空間Ｓ１の軸線方向中央には、容積Ｖ１が減少した空間Ｓ１が形成される。

　上記（ａ）～（ｃ）の動作によって、ポンプ１Ｊは、空間Ｓ１の軸線方向中央で、搬送対象物Ｍを加圧状態に保持することができる。

　（ｄ）次いで、第３空間Ｓ６に近い硬磁性弾性体５に対応する電磁石６をＯＦＦにする。これによって、空間Ｓ１の軸線方向他方側を開くことができる。空間Ｓ１の軸線方向他方側が開かれることによって、空間Ｓ１の軸線方向中央で圧縮されていた搬送対象物Ｍは、第３空間Ｓ６に向かって圧送（搬出）される。

　（ｅ）次いで、空間Ｓ１の軸線方向中央に位置する硬磁性弾性体５に反発力Ｆ６５ｒが生じるように、当該硬磁性弾性体５に対応する電磁石６をＯＮにする。これによって、空間Ｓ１の空間Ｓ１の軸線方向中央を閉じることができる。空間Ｓ１の軸線方向中央が閉じられることによって、空間Ｓ１の軸線方向中央で圧縮されていた搬送対象物Ｍは、第３空間Ｓ６に向かってさらに圧送される。

　（ｆ）次いで、第３空間Ｓ６に近い硬磁性弾性体５に反発力Ｆ６５ｒが生じるように、当該硬磁性弾性体５に対応する電磁石６をＯＮにする。これによって、空間Ｓ１の軸線方向他方側を閉じることができる。したがって、空間Ｓ１の軸線方向中央で圧縮されていた搬送対象物Ｍの全ては、第２空間Ｓ５に圧送される。

　上記（ａ）～（ｆ）の動作によって、ポンプ１Ｊは、軸線方向一方側から軸線方向他方側に向かって他搬送対象物Ｍの圧送（搬出）をし、第３空間Ｓ６を拡張させることができる。これによって、バルーンアクチュエータ２０は、第２バルーン部分１４６を膨張させることができる。

　また、ポンプ１Ｊは、上記（ｆ）の動作ののち、上記（ｂ）～（ｆ）の動作を繰り返せば、第１バルーン部分１４５の第２空間Ｓ５に残った搬送対象物Ｍを、第３空間Ｓ６に順次圧送することができる。また、バルーンアクチュエータ２０によれば、ポンプ１Ｊによって、搬送対象物Ｍが第１バルーン部分１４５に向かうように、上記（ａ）～（ｆ）の動作を行うことができる。これによって、ポンプ１Ｊは、空間Ｓ１において、上記経路と反対の経路を辿ることによって、第１バルーン部分１４５を膨張させることができる。

　図１３は、バルーンアクチュエータ２０によって選択し得るレイアウトの一例を概略的に示す断面図である。なお、図１３において、ポンプ１Ｊは、軸線方向に沿った４か所の位置に、硬磁性弾性体５を備えている。ポンプ１Ｊの本体（弾性空間部）は、弾性チューブ１４および硬磁性弾性体５によって形成されている。このため、図１３に示すように、ポンプ１Ｊは、バルーンアクチュエータ２０全体として、自由に変形させることができる。したがって、ポンプ１Ｊは、図１３に示すように、バルーンアクチュエータ２０（ポンプ１Ｉ）を設置する際のレイアウトに自由度を持たせることができる。さらには、レイアウトの自由度が高いことにより、バルーンアクチュエータ２０（ポンプ１Ｊ）をさまざまな環境に適用可能な形状に設計することができる。

＜ポンプ１Ｋ＞
　図１４Ａは、本発明の第１１実施形態であるポンプ１Ｋの拡張状態を概略的に示す断面図である。図１４Ｂは、ポンプ１Ｋの縮小状態を概略的に示す断面図である。図１４Ａ，１４Ｂでは、電源７およびコントローラ８は、省略されている。

　ポンプ１Ｋは、ポンプ１Ｊと同様、いわゆる蠕動運動型ポンプである。ポンプ１Ｋは、搬送装置として使用することができる。本実施形態では、ポンプ１Ｈを搬送装置として説明する。ポンプ１Ｋは、複数のポンプ１Ｈを備えている。複数のポンプ１Ｈは、軸線方向に間隔を置いて配置されている。ポンプ１Ｋは、複数のポンプ１Ｈを利用することで構成することができる。ポンプ１Ｋの弾性空間部本体は、ポンプ１Ｈの弾性空間部本体（３）とともに、弾性チューブ１４によって形成されている。空間Ｓ１は、弾性チューブ１４の内側に形成されている。空間Ｓ１は、様々な搬送対象物Ｍを流通させるための搬送路を形成している。

（ポンプ１Ｋの基本動作）
　ポンプ１Ｋは、ポンプ１Ｊと同様、弾性チューブ１４を軸線方向の任意の位置で局所的に圧搾するとともに当該任意の位置を軸線方向に沿って移動させることによって、軸線方向一方側から搬入した搬送対象物Ｍを軸線方向他方側に搬出することができる。また、ポンプ１Ｋは、ポンプ１Ｊと同様、弾性チューブ１４の圧搾を解除することによって、新たな搬送対象物Ｍを軸線方向一方側から搬入させることができる。ポンプ１Ｋにおいて、硬磁性弾性体５ａの内側の磁極Ｓ（Ｎ）と、硬磁性弾性体５ｂの内側の磁極Ｎ（Ｓ）は、異なる磁極である。以下に、ポンプ１Ｋの基本的な動作について説明をする。

　初期状態：閉動作（縮小モード）
　ポンプ１Ｋの初期状態は、全ての電磁石６がＯＦＦである。本実施形態では、図１４Ａに示すように、空間Ｓ１は閉じられている。本実施形態では、硬磁性弾性体５ａと硬磁性弾性体５ｂとには、それぞれ、磁力による引き合い力Ｆ５５ａが生じている。本実施形態では、弾性チューブ１４の対向壁１４１ａの内面１４１ｆ２と、当該弾性チューブ１４の対向壁１４１ａの内面１４１ｆ２とは、引き合い力Ｆ５５ａによって接触している。したがって、ポンプ１Ｋの初期状態において、空間Ｓ１は、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂに対する引き合い力Ｆ５５ａによって閉じられている。

　搬送状態：開動作（拡張モード）及び開動作（拡張モード）の併用
　所定の電磁石６をＯＮにする。ポンプ１Ｋでは、軸線方向に配置された全ての電磁石６はそれぞれ独立して、ＯＮ／ＯＦＦさせることができる。例えば、図１４Ｂを参照すれば、軸線方向に配置された複数の硬磁性弾性体５のうち、電磁石６をＯＮにした硬磁性弾性体５の部分では、硬磁性弾性体５ａ及び電磁石６ａに対する引き合い力Ｆ６５ａと、硬磁性弾性体５ｂ及び電磁石６ｂに対する引き合い力Ｆ６５ａとはいずれも、硬磁性弾性体５ａ，５ｂに対する引き合い力Ｆ５５ａよりも大きい。したがって、軸線方向に配置された任意の電磁石６をＯＮにすれば、弾性チューブ１４の一部を、軸線方向において局所的に拡張させることができる。また、電磁石６をＯＦＦにすれば、弾性チューブ１４の拡張は解除され、当該拡張部分を引き合い力Ｆ５５ａによって圧搾部分に復元させることができる。したがって、軸線方向に配置された複数の電磁石６のうちの、任意の電磁石６をＯＮ／ＯＦＦすれば、空間Ｓ１に配置された搬送対象物Ｍを、軸線方向一方側から当該軸線方向他方側に搬送することができる。

　上述のとおり、ポンプ１Ｋによれば、軸線方向に配置された複数の電磁石６のうち、当該軸線方向に配置された任意の電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、もしくは電磁石６の電流の向きを切り替えることによって、個々のポンプ１Ｈにおいて拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ｋによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを軸線方向一方側から当該軸線方向他方側に向かって連続的に搬送することができる。

　なお、ポンプ１Ｋにおいて、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦは、電磁石６ａ及び電磁石６ｂの両方で行われることを前提としているが、ポンプ１Ｋによれば、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦは、ポンプ１Ｊと同様、電磁石６ａ及び電磁石６ｂの少なくとも一方で行われていればよい。また、上記説明では、ポンプ１Ｋは複数のポンプで構成されており、当該複数のポンプは、ポンプ１Ｈのみで構成されている。しかしながら、前記複数のポンプには、ポンプ１Ｊと同様、他のポンプを使用することができる。

　上記各実施形態に係るポンプ１Ａ～１Ｋによれば、磁力による磁性弾性体と弾性空間部変形要素との引き合い力もしくは反発力と、弾性空間部２および磁性弾性体の少なくともいずれか１つの復元力と、これらの力の合力との、少なくともいずれか１つによって弾性空間部２を変形させ、当該弾性空間部２内に形成された空間Ｓ１の拡張及び縮小を行うことによって、空間Ｓ１の搬送対象物Ｍを搬送することができる。このため、ポンプ１Ａ～１Ｋは、弾性空間部２を圧搾させた状態のまま、当該圧搾部分を軸線方向に沿って移動させることなく、搬送対象物Ｍを搬送することができる。したがって、ポンプ１Ａ～１Ｋによれば、弾性空間部２への軸線方向に沿ったせん断力の作用を軽減し耐久性に優れたポンプを提供することができる。

　また、上記各実施形態に係るポンプ１Ａ～１Ｋは、弾性空間部２を圧搾させた状態のまま、当該圧搾部分を軸線延在方向に沿って移動させる必要がないため、弾性空間部２に含まれる磁性弾性体と磁性弾性体変形生起要素（６）との間に生じる磁力のＯＮ／ＯＦＦ制御によって効率的なエネルギー消費で搬送対象物Ｍを搬送することができる。また、ポンプ１Ａ～１Ｋは、磁性弾性体（４，５）と磁性弾性体変形生起要素（６）との間に生じる磁力のＯＮ／ＯＦＦ制御によって弾性空間部２の拡張動作および縮小動作を制御することができる。これによって、ポンプの制御が容易になるとともに、効率的なエネルギー消費で搬送対象物Ｍを搬送することができる。

　また、ポンプ１Ａ～１Ｋは、搬送対象物Ｍを搬送する部材として、弾性空間部２および磁性弾性体（４，５）を使用していることから、可撓性に優れる。この場合、ポンプ１Ａ～１Ｋを配置する際のレイアウトに自由度を持たせることができる。したがって、ポンプ１Ａ～１Ｋによれば、その適用範囲が拡大される。また、ポンプ１Ａ～１Ｋは、弾性空間部２の変形によって搬送対象物Ｍの搬送を行うため、効率的なエネルギー消費で搬送対象物Ｍを搬送することができる。特に、弾性空間部２又は弾性空間部本体３として弾性チューブを用いれば、既存の部材を用いてポンプを製造することができる。

　また、上記各実施形態に係る、ポンプ１Ａ、１Ｃ～１Ｋにおいて、弾性空間部２は、弾性空間部本体３と、磁性弾性体（４，５）とを、備えている。前記磁性弾性体（４，５）は、弾性空間部本体３の外側に固定されている。また、前記弾性空間部変形生起要素（６）は、弾性空間部２の外側に設けられている。この場合、弾性空間部２は、弾性空間部本体３と軟磁性弾性体４とを別体に形成し、弾性空間部本体３と軟磁性弾性体４とを固定させることによって形成されている。これによって、弾性空間部２は、弾性空間部本体３と、磁性弾性体（４，５）との積層構造とすることができる。弾性空間部２を積層構造とすれば、当該弾性空間部２の、磁力、弾性力、剛性、硬度を所望の条件に合わせて、当該弾性空間部２をチューニングすることができる。

　また、ポンプ１Ａ～１Ｉによれば、磁性弾性体（４，５）は、弾性空間部２の延在方向（軸線方向）において、当該軸線方向の１つの位置にのみ配置されている。この場合、ポンプ１Ａ～１Ｉのように、磁力によって動作可能であり、また、簡易な構成のポンプとなる。

　また、上記各実施形態に係るポンプ１Ｊ～１Ｋによれば、磁性弾性体（４，５）は、軸線方向において、当該軸線方向の複数の位置に配置されている。ポンプ１Ｊ～１Ｋによれば、軸線方向に沿った任意の位置を局所的に、当該軸線方向に移動させながら、弾性空間部２の圧搾および当該圧搾の解放を当該軸線方向に対して軸直方向に繰り返させることができる。したがって、ポンプ１Ｊ～１Ｋによれば、磁力によって動作可能な蠕動運動型ポンプを提供することができる。また、このことは、弾性空間部２の延在方向の複数の部分を弾性体によって形成することによっても実現される。

　上記各実施形態に係るポンプ１Ａ、１Ｂ、１Ｅ、１Ｇ、１Ｉ、１Ｊは、初期状態において、弾性空間部２内に形成された空間Ｓ１が拡張している。この場合、弾性空間部変形生起要素（６）は、空間Ｓ１を減少させるときだけ、通電（ＯＮ）すればよい。したがって、この場合、ポンプ動作時のエネルギー効率を向上させることができる。

　また、上記各実施形態に係るポンプ１Ｃ、１Ｄ、１Ｆ、１Ｈ、１Ｋは、初期状態において、弾性空間部２内に形成された空間Ｓ１が縮小している。この場合、弾性空間部変形生起要素（６）は、空間Ｓ１を増加させるときだけ、通電（ＯＮ）すればよい。したがって、この場合、ポンプ動作時のエネルギー効率を向上させることができる。

　ところで、上記各実施形態に係る、ポンプ１Ａ、１Ｃ～１Ｋにおいて、弾性空間部２の少なくとも一部は、ポンプ１Ｂと同様、硬磁性弾性体または硬磁性弾性体によって形成することができる。具体例としては、弾性空間部２（弾性チューブ１４）全体を磁性弾性体で形成することができる。また、他の具体例としては、弾性空間部２（弾性チューブ１４）の軸直方向の少なくとも１層が磁性弾性体として積層された積層構造となるように、当該弾性空間部２（弾性チューブ１４）を多色成形することができる。この場合、弾性空間部２の、磁力、弾性力、剛性、硬度を所望の条件に合わせて、当該弾性空間部２をチューニングすることができる。また、この場合、弾性空間部２が単一の部材として構成されることにより、ポンプの部品点数を削減することができる。

　また、弾性空間部２は、ポンプ１Ｂのように、弾性空間部２全体を磁性弾性体によって形成することができる。この場合、弾性空間部２の部分ごとに、弾性材料を使い分ける必要がないため、簡易な構成のポンプとすることができる。

　また、弾性空間部２は、弾性空間部２の延在方向において、当該弾性空間部の延在方向の複数の部分を前記磁性弾性体によって形成することができる。この場合、硬磁性弾性体５を用いることなく、上記各実施形態に係る、ポンプ１Ｊ～１Ｋを製造することができる。したがって、この場合、部品点数を削減しつつ、ポンプ１Ｊ～１Ｋを製造することができる。

　上記各実施形態に係るポンプ１Ａ～１Ｋにおいて、弾性空間部変形生起要素は、電磁石６である。磁性弾性体及び弾性空間部変形生起要素の間に生じる磁力を、電磁石６に印加する電流をＯＮ／ＯＦＦ制御によって簡易に制御できる。また、この場合、弾性空間部２の動作を、簡易にかつ応答性良く制御することができる。

　なお、ポンプ１Ａ～１Ｋにおいて、弾性空間部変形生起要素は、いわゆる、磁石とすることができる。前記磁石としては、電磁石の他、例えば、永久磁石が挙げられる。弾性空間部変形生起要素として永久磁石を用いる場合、当該永久磁石は、磁性弾性体に対して相対移動可能とすることが好ましい。

　上述した各実施形態は、弾性空間部を変形させることによってポンプ動作を生起させるポンプである。一方、磁性弾性体を用いれば、空間部に取り付けられた弾性膜を変形させることによってポンプ動作を生起させるポンプとすることができる。次に、弾性膜を用いたポンプについて説明をする。

　本実施形態に係るポンプ１Ｌは、空間部３１と、磁性弾性体を含む弾性膜３２と、磁力によって弾性膜３２を変形させる弾性膜変形生起要素と、を備えている。弾性膜３２は、空間部３１に形成された開口Ａ１を閉じている。本実施形態では、ポンプ１Ｌは、弾性空間部２として、空間部３１と、弾性膜３２とを備えている。前記弾性膜変形生起要素は、前記磁力による前記磁性弾性体と前記弾性膜変形生起要素との引き合い力もしくは反発力と、弾性膜３２および前記磁性弾性体の少なくとも１つの復元力と、これらの力の合力と、の少なくともいずれか１つによって弾性膜３２を変形させ、空間部３１内に形成された空間Ｓ１を復元または増加させる拡張モードと、空間Ｓ１を減少または復元させる縮小モードと、を行う。

　図１５Ａは、本発明の第１２実施形態であるポンプ１Ｌの拡張状態を概略的に示す断面図である。図１５Ｂは、ポンプ１Ｌの縮小状態を概略的に示す断面図である。

　図１５Ａを参照すれば、本実施形態では、ポンプ１Ｌの空間部３１は配管である。空間Ｓ１は、空間部３１の内側に形成されている内部通路である。空間Ｓ１は、搬送対象物Ｍを流通させるための搬送路を形成している。本実施形態では、空間部３１の側壁には、空間Ｓ１を外界に通じさせる開口Ａ１が形成されている。空間部３１は、弾性材料によって形成されるものに限定されない。例えば、空間部３１は、金属などの剛性の高い材料によって形成することができる。この場合、空間部３１を構成する金属としては非磁性の金属を用いることがポンプ制御の観点から好ましい。

　本実施形態において、ポンプ１Ｌは、吸入弁３７と、排出弁３８とを備えている。吸入弁３７及び排出弁３８は、空間部３１の空間Ｓ１に配置されている。空間Ｓ１に形成された開口Ａ１は、吸入弁３７と排出弁３８との間に位置している。開口Ａ１は、弾性膜３２によって閉じられている。本実施形態では、空間Ｓ１は、空間部３１に形成された前記内部通路のうち、空間部３１、吸入弁３７及び排出弁３８、並びに、弾性膜３２によって区画された空間（ポンプ室）である。

　弾性膜３２は、弾性膜本体３３と、硬磁性弾性体３５とを、備えている。硬磁性弾性体３５は、弾性膜本体３３の外面３３ｆ１に固定されている。弾性膜変形生起要素は、硬磁性弾性体３５の外側に設けられている。本実施形態では、弾性膜３２は、弾性膜本体３３と硬磁性弾性体３５とを別体に形成し、弾性膜本体３３と硬磁性弾性体３５とを固定させることによって形成されている。すなわち、ポンプ１Ｌは、弾性膜本体３３と、硬磁性弾性体３５とを積層させた積層部分を弾性膜３２に含む。

　本実施形態において、弾性膜本体３３は、変形及び復元が可能な弾性材料からなる。こうした弾性材料としては、例えば、天然ゴム、合成ゴム、高分子弾性体等が挙げられる。

　弾性膜変形生起要素は、磁力によって弾性膜３２を変形させることができる。前記磁力は、磁性弾性体と前記弾性空間部変形生起要素との相互作用によって、弾性膜３２と前記弾性空間部変形生起要素との間に生じる磁力である。前記弾性空間部変形生起要素は、ポンプ１Ａ～１Ｋと同様、電磁石、永久磁石などの磁石を含む磁性体によって構成することができる。本実施形態では、前記弾性膜変形生起要素は、電磁石６である。本実施形態において、電磁石６は、弾性膜３２の外側に設けられている。具体的には、電磁石６は、硬磁性弾性体３５の外面３５ｆ１に対して間隔を置いて配置している。ただし、電磁石６は、硬磁性弾性体３５の外面３５ｆ１に接していてもよい。

（ポンプ１Ｌの基本動作）
　ポンプ１Ｌは、弾性膜３２を変形させることによって、搬送対象物Ｍを吐出（搬送）させることができる、特に、本実施形態では、電磁石６のＯＮ／ＯＦＦによって駆動させることができる。以下に、ポンプ１Ｌの基本的な動作の一例について説明をする。

　初期状態：開動作（拡張モード）
　本実施形態において、ポンプ１Ｌの初期状態は、電磁石６がＯＦＦである。本実施形態では、空間Ｓ１は維持されている。本実施形態では、空間Ｓ１は、弾性膜３２の弾性力によって維持されている。

　圧送状態：閉動作（縮小モード）
　電磁石６をＯＮにする。このとき、図１５Ｂに示すように、電磁石６の内側に生じる磁極は、硬磁性弾性体３５の外側の磁極Ｓ（Ｎ）と同じ磁極Ｓ（Ｎ）である。これによって、硬磁性弾性体３５と電磁石６との間には磁力による反発力Ｆ６５ｒが生じる。反発力Ｆ６５ｒは、弾性膜３２の弾性力（復元力）よりも強くする。その結果、図１５Ｂに示すように、弾性膜３２が空間Ｓ１に向かって移動する。これによって、空間Ｓ１は減少（縮小）する。この空間Ｓ１の減少によって、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍは、排出弁３８を開いて当該空間Ｓ１の外部に圧送される。したがって、ポンプ１Ｌは、空間Ｓ１に配置されていた搬送対象物Ｍを空間Ｓ１の外部に吐出することができる。

　充填状態：開動作（拡張モード）
　電磁石６をＯＦＦにする。これによって、ポンプ１Ｌを停止させることができる。このとき、反発力Ｆ６５ｒは消滅し、弾性膜３２の復元力（弾性力）の影響が支配的となる。その結果、図１５Ａに示すように、弾性膜３２が空間Ｓ１から離れる向きに移動する。これによって、空間Ｓ１が増加（拡張）する。この空間Ｓ１の増加によって、吸入弁３７が開かれる。すなわち、電磁石６をＯＦＦにすると、ポンプ１Ｌは、図１５Ａに示すように、初期状態に復帰する。したがって、空間Ｓ１には、吸入弁３７を通して新たな搬送対象物Ｍを充填させることができる。なお、空間Ｓ１を増加させる場合、ポンプ１Ｌによれば、電磁石６において閉動作の場合とは反対の磁極を発生させることができる。これによって、硬磁性弾性体３５と電磁石６との間に磁力による引き合い力を発生させることができる。この場合、弾性体（弾性膜３２）の復元力のみに依るよりも、強い吸圧力を生起させることができる。また、この場合、復元速度を大きくすることができる。このように、ポンプ１Ｌの場合、弾性膜３２の復元力と併せ、電磁石６と硬磁性弾性体３５との引き合い力を用いることが好ましい。

　上述のとおり、ポンプ１Ｌによれば、電磁石６のＯＮ、ＯＦＦを交互に切り替えることによって、もしくは電流の向きを切り替えることによって、拡張モードと縮小モードとが繰り返される。これによって、本実施形態に係るポンプ１Ｌによれば、空間Ｓ１内に配置された搬送対象物Ｍを連続的に吐出（搬送）することができる。

　上述のとおり、ポンプ１Ｌによれば、磁力による磁性弾性体と弾性膜変形生起要素（６）との引き合い力もしくは反発力と、弾性膜３２および磁性弾性体の少なくともいずれか１つの復元力と、これらの力の合力との、少なくともいずれか１つによって弾性膜３２を変形させ、空間部３１内に形成された空間Ｓ１を拡張及び縮小モードと、を行うことによって、空間Ｓ１の搬送対象物Ｍを搬送することができる。このため、ポンプ１Ｌは、弾性膜３２を圧搾させた状態のまま、当該圧搾部分を空間部３１の延在方向に沿って移動させることなく、搬送対象物Ｍを搬送することができる。したがって、ポンプ１Ｌによれば、弾性膜３２への空間部３１の延在方向に沿ったせん断力の作用を軽減し耐久性に優れたポンプを提供することができる。

　また、ポンプ１Ｌは、弾性膜３２を圧搾させた状態のまま、当該圧搾部分を空間部３１の延在方向に沿って移動させる必要がないため、磁性弾性体と弾性膜変形生起要素（６）との間に生じる磁力のＯＮ／ＯＦＦ制御によって効率的なエネルギー消費で搬送対象物Ｍを搬送することができる。また、ポンプ１Ｌは、磁性弾性体と弾性膜変形生起要素（６）との間に生じる磁力のＯＮ／ＯＦＦ制御によって弾性膜３２の拡張動作および縮小動作を制御することができる。これによって、ポンプ１Ｌの制御が容易になるとともに、効率的なエネルギー消費で搬送対象物Ｍを搬送することができる。

　また、ポンプ１Ｌは、搬送対象物Ｍを搬送する部材として、弾性膜３２および磁性弾性体を使用していることから、可撓性に優れる。また、ポンプ１Ｌは、弾性膜３２の変形によって搬送対象物Ｍの搬送を行うため、効率的なエネルギー消費で搬送対象物Ｍを搬送することができる。特に、本実施形態のように、空間部３１として配管を用いれば、既存の部材を用いてポンプを製造することができる。

　また、上記各実施形態に係る、ポンプ１Ｌにおいて、弾性膜３２は、弾性膜本体３３と、磁性弾性体（３５）とを、備えている。磁性弾性体（３５）は、弾性膜本体３３の外側に固定されている。また、前記弾性空間部変形生起要素（６）は、弾性膜３２の外側に設けられている。この場合、弾性膜３２は、弾性膜本体３３と硬磁性弾性体３５とを別体に形成し、弾性膜本体３３と硬磁性弾性体３５とを固定させることによって形成されている。これによって、空間部３１は、弾性膜本体３３と、磁性弾性体（５）との積層構造とすることができる。空間部３１を積層構造とすれば、当該空間部３１の、磁力、弾性力、剛性、硬度を所望の条件に合わせてチューニングすることができる。

　ポンプ１Ｌは、初期状態において、空間Ｓ１が拡張している。この場合、電磁石６は、空間Ｓ１を減少させるときだけ、通電（ＯＮ）すればよい。したがって、この場合も、ポンプ動作時のエネルギー効率を向上させることができる。また、ポンプ１Ｌは、初期状態において、空間Ｓ１が縮小しているものとすることができる。この場合、電磁石６は、空間Ｓ１の容積Ｖ１を増加させるときだけ、通電すればよい。したがって、この場合、ポンプ動作時のエネルギー効率を向上させることができる。

　また、ポンプ１Ｌにおいて、弾性膜変形生起要素は、電磁石６としている。この場合、磁性弾性体及び弾性膜変形生起要素の間に生じる磁力を、電磁石６に印加する電流によって簡易に制御できる。また、この場合、弾性膜３２の動作を、簡易にかつ応答性良く制御することができる。

　なお、ポンプ１Ｌにおいて、弾性膜３２の少なくとも一部は、前記磁性弾性体によって形成することができる。具体例としては、弾性膜３２全体を磁性弾性体で形成することができる。また、他の具体例としては、弾性膜３２の軸直方向の少なくとも１層が磁性弾性体として積層された積層構造となるように、当該弾性膜３２を多色成形することができる。この場合、弾性空間部２（本実施形態では、弾性膜３２）の、磁力、弾性力、剛性、硬度を所望の条件に合わせて、当該弾性空間部２をチューニングすることができる。また、ポンプ１Ｌは、弾性膜３２を磁性弾性体によって形成することができる。この場合、弾性膜３２が単一の部材として構成されることにより、ポンプの部品点数を削減することができる。

　なお、ポンプ１Ｌにおいて、弾性膜変形生起要素も、いわゆる、磁石とすることができる。前記磁石としては、電磁石の他、例えば、永久磁石が挙げられる。弾性膜変形生起要素として永久磁石を用いる場合、当該永久磁石は、弾性膜３２（磁性弾性体）に対して相対移動可能とすることが好ましい。

　また、上記の各実施形態において、磁性弾性体は、硬磁性弾性体である。硬磁性弾性体は、自ら磁力（又は磁場）を発生する。したがって、この場合、ポンプ動作時のエネルギー効率を向上させることができる。

　本実施形態では、前記硬磁性弾性体は、硬磁性エラストマからなる。前記硬磁性エラストマの具体例としては、着磁されたネオジム合金粉末を含有するシリコンエラストマが挙げられる。また、前記硬磁性エラストマとしては、例えば、自発磁化を有しない粒子を分散媒Ｍ３中に分散し固定化したのちに着磁操作して、硬磁性粒子Ｐ３が分散媒Ｍ３中に分散された状態に作製されたものが挙げられる。

（硬磁性粒子）
　硬磁性粒子Ｐ３は、硬磁性を有する粒子である。硬磁性粒子Ｐ３を形成する硬磁性体としては、例えば、ニッケル、コバルト、フェライト、ネオジムの鉄含有合金等の磁石等が挙げられる。前記硬磁性エラストマには、複数の硬磁性粒子Ｐ３が含まれる。前記硬磁性エラストマに含まれる硬磁性粒子Ｐ３は、同種の硬磁性体であっても、２種以上の異なる硬磁性体であってもよい。また、硬磁性粒子Ｐ３の大きさは、硬磁性弾性体５の形状・大きさ、分散媒Ｍ３の性質、硬磁性弾性体５に要求される弾性力（例えば、ポンプの仕様として要求される弾性力）、硬磁性弾性体５に要求される押圧力（例えば、ポンプの仕様として要求される、ポンプの吐出圧を満たすための押圧力）等に応じて、適宜、選択することができる。前記硬磁性エラストマに含まれる硬磁性粒子Ｐ３の平均粒子径は、同一であっても、異なっていてもよい。硬磁性粒子Ｐ３の平均粒子径としては、例えば、０．１～１５０μｍの範囲、好ましくは、０．３～８０μｍの範囲の平均粒子径である。硬磁性粒子Ｐ３の平均粒子径が、１５０μｍを上回る場合、均一なエラストマが得られにくくなる。また、硬磁性粒子Ｐ３の平均粒子径が、０．１μｍを下回る場合、磁場によるエラストマの十分な変形が得られにくくなる。本発明において、平均粒子径とは、粒子径分布の中央値（メジアン径）を意味する。平均粒子径は、レーザー回折式粒度分布測定装置または走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）などを用いて測定する。

（分散媒）
　分散媒Ｍ３は、硬磁性粒子Ｐ３が分散している媒質である。分散媒Ｍ３としては、例えば、硬磁性粒子Ｐ３を分散させた状態でゲル化するものが挙げられる。こうした分散媒Ｍ３としては、例えば、シリコン樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、尿素樹脂等を含むものが挙げられる。また、これらの樹脂を複合化して使用してもよい。分散媒Ｍ３は、硬磁性弾性体５の形状・大きさ、硬磁性粒子Ｐ３の性質、硬磁性弾性体５に要求される弾性力（例えば、ポンプの仕様として要求される弾性力）、硬磁性弾性体５に要求される押圧力（例えば、ポンプの仕様として要求される、ポンプの吐出圧を満たすための押圧力）等に応じて、適宜、選択することができる。更に、分散媒Ｍ３に対して硬磁性粒子Ｐ３が占める割合（硬磁性粒子Ｐ３の濃度）も、硬磁性弾性体５の形状・大きさ、硬磁性粒子Ｐ３の性質、硬磁性弾性体５に要求される弾性力（例えば、ポンプの仕様として要求される弾性力）、硬磁性弾性体５に要求される押圧力（例えば、ポンプの仕様として要求される、ポンプの吐出圧を満たすための押圧力）等に応じて、適宜、選択することができる。硬磁性粒子Ｐ３の濃度としては、例えば、２５～９５重量％の範囲、好ましくは、３５～９０重量％の範囲の濃度である。硬磁性粒子Ｐ３の濃度が、２５重量％を下回る場合、磁場存在下でのエラストマの十分な変形が得られにくくなる。また、硬磁性粒子Ｐ３の濃度が、９５重量％を上回る場合、分散媒Ｍに均一に分散させることが困難となったり、硬磁性弾性体５の弾性復元力が得られにくくなる。

　本実施形態において、弾性空間部変形要素は、硬磁性体である。前記硬磁性体は、いわゆる磁石であり、保磁力が大きく、自発磁化性を有し、自ら磁力（又は磁場）を発生する性質を有している。前記硬磁性体としては、例えば、鉄、ニッケル、コバルト等の金属、その金属酸化物、前述の金属を含む合金、金属酸化物等の磁石、電磁石が挙げられる。本実施形態では、例えば、図１０Ａを参照すれば、前記硬磁性体は、電磁石６である。電磁石６は、磁性素子（芯材）６１に通電コイル６２を巻き付けたものである。本実施形態では、通電コイル６２には、電源７が繋がる。電源７から流れる電流の向きは、コンピュータ等のコントローラ８によって制御することができる。従って、本実施形態において、電磁石６の極性の向きは、コントローラ８によって制御することができる。また、本実施形態において、電源７をＯＦＦしたときは、電磁石６の極性は消滅する。

　また、上記の各実施形態において、磁性弾性体は、軟磁性弾性体とすることができる。

　前記軟磁性弾性体としては、軟磁性エラストマが挙げられる。前記軟磁性エラストマは、磁力（又は磁場）を受けると応答するが、外部から磁場を受けない限り、自らは磁力（又は磁場）を発生しない性質を有している。前記軟磁性エラストマの具体例としては、鉄粉を含有するシリコンエラストマが挙げられる。また、前記軟磁性エラストマとしては、例えば、軟磁性粒子Ｐ１と分散媒Ｍ１とを含むものが挙げられる。

（軟磁性粒子）
　軟磁性粒子Ｐ１は、軟磁性を有する粒子である。軟磁性粒子Ｐ１を形成する軟磁性体としては、例えば、鉄、ニッケル、コバルト等の金属、その金属酸化物、前述の金属を含む合金、前述の合金の金属酸化物等が挙げられる。前記軟磁性エラストマには、複数の軟磁性粒子Ｐ１が含まれる。前記軟磁性エラストマに含まれる軟磁性粒子Ｐ１は、同種の軟磁性体であっても、２種以上の異なる軟磁性体であってもよい。また、軟磁性粒子Ｐ１の大きさは、軟磁性弾性体４の形状・大きさ、分散媒Ｍ１の性質、軟磁性弾性体４に要求される弾性力（例えば、ポンプの仕様として要求される弾性力）、軟磁性弾性体４に要求される押圧力（例えば、ポンプの仕様として要求される、ポンプの吐出圧を満たすための押圧力）等に応じて、適宜、選択することができる。前記軟磁性エラストマに含まれる軟磁性粒子Ｐ１の平均粒子径は、同一であっても、異なっていてもよい。軟磁性粒子Ｐ１の平均粒子径としては、例えば、０．１～１５０μｍの範囲、好ましくは、０．３～８０μｍの範囲の平均粒子径である。軟磁性粒子Ｐ１の平均粒子径が、１５０μｍを超える場合、均一なエラストマが得にくくなる。また、軟磁性粒子Ｐ１の平均粒子径が、０．１μｍを下回る場合、磁場によるエラストマの十分な変形が得られにくくなる。

（分散媒）
　分散媒Ｍ１は、軟磁性粒子Ｐ１が分散している媒質である。分散媒Ｍ１としては、例えば、軟磁性粒子Ｐ１を分散させた状態でゲル化するものが挙げられる。こうした分散媒としては、例えば、シリコン樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、尿素樹脂等を含むものが挙げられる。また、これらの樹脂を複合化して使用してもよい。分散媒Ｍ１は、軟磁性弾性体４の形状・大きさ、軟磁性粒子Ｐ１の性質、軟磁性弾性体４に要求される弾性力（例えば、ポンプの仕様として要求される弾性力）、軟磁性弾性体４に要求される押圧力（例えば、ポンプの仕様として要求される、ポンプの吐出圧を満たすための押圧力）等に応じて、適宜、選択することができる。更に、分散媒Ｍ１に対して軟磁性粒子Ｐ１が占める割合（軟磁性粒子Ｐ１の濃度）も、軟磁性弾性体４の形状・大きさ、軟磁性粒子Ｐ１の性質、軟磁性弾性体４に要求される弾性力（例えば、ポンプの仕様として要求される弾性力）、軟磁性弾性体４に要求される押圧力（例えば、ポンプの仕様として要求される、ポンプの吐出圧を満たすための押圧力）等に応じて、適宜、選択することができる。軟磁性粒子Ｐ１の濃度としては、軟磁性体の総重量に対し、例えば、２５～９５重量％の範囲、好ましくは、３５～９０重量％の範囲の濃度である。軟磁性粒子Ｐ１の濃度が、９５重量％を上回る場合、分散媒Ｍに均一に分散させにくくなったり、吸盤の復元力が得られにくくなる。また、軟磁性粒子Ｐ１の濃度が、２５重量％を下回る場合、磁場存在下でのエラストマの変形が十分に得られにくくなる。

　上述のとおり、本発明によれば、せん断力の作用を軽減し耐久性に優れたポンプを提供することができる。また、本発明は、エネルギー効率が良く、支持体を用いない実施形態では、剛体であるチューブ支持体を備える従来の蠕動ポンプに比べ、適用範囲が広い。例えば、ポンプ１Ａ～１Ｋの場合、弾性空間部２が可撓性を有することによって、あるいは、ポンプ１Ｌの場合、空間部３１に弾性を持たせることによって、ポンプを設置する際のレイアウトに自由度を持たせることができる。この場合、チューブ支持体を省略することができる。

　上述したところは、本発明のいくつかの実施形態について説明を行ったにすぎず、特許請求の範囲に従えば、様々な変更が可能となる。

　上記各実施形態に係る、ポンプ１Ａ～１Ｌでは、エネルギー効率を考慮して、電磁石６は、初期状態でＯＦＦとしている。ただし、本発明によれば、電磁石６は、初期状態でＯＮとすることができる。

　また、例えば、ポンプ１Ａ～１Ｋにおいて、説明の簡略のため、弾性空間部２の初期状態の形状は、当該弾性空間部２の弾性力、又は、２つの硬磁性弾性体５ａ，５ｂの間に生じる、磁力による引き合い力Ｆ５５ａもしくは反発力Ｆ５５ｒによって維持されている。

　しかしながら、実際には、弾性空間部２の初期状態の形状は、磁力等の外力を受けない状態において、上記磁力、弾性空間部（弾性空間部本体）および磁性弾性体の少なくともいずれか１つの張力（弾性力）と、空間Ｓ１に充填された搬送対象物Ｍからの内圧と、の少なくともいずれか１つ、または、これらの組み合わせによって維持することができる。したがって、こうした場合、弾性空間部の変形を生起させる、当該弾性空間部と弾性空間部変形生起要素との間に生じる、引き合い力Ｆ６５ａまたは反発力Ｆ６５ｒは、引き合い力Ｆ６５ａまたは反発力Ｆ６５ｒを超える力に限定されない。すなわち、本発明において、引き合い力Ｆ６５ａまたは反発力Ｆ６５ｒとは、弾性空間部２の初期状態の形状を維持しようとする力を超える力である。このことは、ポンプ１Ｌにおいて、弾性膜３２についても同様である。

　上述した各実施形態に採用された様々な構成は、互いに組み合わせて使用することができる。さらに、上述した各実施形態に採用された様々な構成は、相互に適宜、置き換えることができる。

　１，１Ａ～１Ｌ：ポンプ，　２：弾性空間部，　３：弾性空間部本体，　４：軟磁性弾性体，　５：硬磁性弾性体，　６：電磁石，　３２：弾性膜，３３：弾性膜本体，　３５：硬磁性弾性体，　６１：磁性素子，　６２：通電コイル，　Ｓ１：空間

Claims

　磁性弾性体を含む弾性空間部と、磁力によって前記弾性空間部を変形させる弾性空間部変形生起要素と、を備えており、
　前記弾性空間部変形生起要素は、前記磁力による前記磁性弾性体と前記弾性空間部変形生起要素との引き合い力もしくは反発力と、前記弾性空間部および前記磁性弾性体の少なくともいずれか１つの復元力と、これらの力の合力と、の少なくともいずれか１つによって前記弾性空間部を変形させ、前記弾性空間部内に形成された空間を復元または増加させる拡張モードと、前記空間を減少または復元させる縮小モードと、を行う、ポンプ。
　前記弾性空間部は、弾性空間部本体と、前記磁性弾性体とを、備えており、
　前記磁性弾性体は、前記弾性空間部本体の外側に固定されており、
　前記弾性空間部変形生起要素は、前記弾性空間部の外側に設けられている、請求項１に記載されたポンプ。
　前記磁性弾性体は、前記弾性空間部の延在方向において、当該弾性空間部の延在方向の１つの位置にのみ配置されている、請求項２に記載されたポンプ。
　前記磁性弾性体は、前記弾性空間部の延在方向において、当該弾性空間部の延在方向の複数の位置に配置されている、請求項２に記載されたポンプ。
　前記弾性空間部の少なくとも一部は、前記磁性弾性体によって形成されており、
　前記弾性空間部生起変形要素は、前記弾性空間部の外側に設けられている、請求項１に記載されたポンプ。
　前記弾性空間部は、前記磁性弾性体によって形成されている、請求項５に記載されたポンプ。
　前記弾性空間部は、前記弾性空間部の延在方向において、当該弾性空間部の延在方向の複数の部分を前記磁性弾性体によって形成している、請求項５に記載されたポンプ。
　前記弾性空間部変形生起要素は、電磁石である、請求項１乃至７のいずれか１項に記載されたポンプ。
　空間部と、磁性弾性体を含む弾性膜と、磁力によって前記弾性膜を変形させる弾性膜変形生起要素と、を備えており、
　前記弾性膜は、前記空間部に形成された開口部を閉じており、
　前記弾性膜変形生起要素は、前記磁力による前記磁性弾性体と前記弾性膜変形生起要素との引き合い力もしくは反発力と、前記弾性膜および前記磁性弾性体の少なくとも１つの復元力と、これらの力の合力と、の少なくともいずれか１つによって前記弾性膜を変形させ、前記空間部内に形成された空間の容積を復元または増加させる拡張モードと、前記空間の容積を減少または復元させる縮小モードと、を行う、ポンプ。
　前記弾性膜は、弾性膜本体と、前記磁性弾性体とを、備えており、
　前記磁性弾性体は、前記弾性膜本体の外面に固定されており、
　前記弾性膜変形生起要素は、前記磁性弾性体の外側に設けられている、請求項９に記載されたポンプ。
　前記弾性膜の少なくとも一部は、前記磁性弾性体によって形成されており、
　前記弾性膜変形生起要素は、前記磁性弾性体の外側に設けられている、請求項９に記載されたポンプ。
　前記空間部は、前記磁性弾性体によって形成されている、請求項１１に記載されたポンプ。
　前記弾性膜変形生起要素は、電磁石である、請求項９乃至１２のいずれか１項に記載されたポンプ。
　初期状態において、前記弾性空間部内に形成された空間が縮小している、請求項１乃至８のいずれか１項に記載されたポンプ。
　初期状態において、前記弾性空間部内に形成された空間が拡張している、請求項１乃至８のいずれか１項に記載されたポンプ。
　初期状態において、前記空間部内に形成された空間が縮小している、請求項９乃至１３のいずれか１項に記載されたポンプ。
　初期状態において、前記空間部内に形成された空間が拡張している、請求項９乃至１３のいずれか１項に記載されたポンプ。
　前記磁性弾性体は、硬磁性弾性体である、請求項１乃至１７のいずれか１項に記載されたポンプ。
　前記磁性弾性体は、軟磁性弾性体である、請求項１乃至１７のいずれか１項に記載されたポンプ。