WO2022166489A1 - 光阻物料的使用方法和检测系统 - Google Patents

光阻物料的使用方法和检测系统 Download PDF

Info

Publication number
WO2022166489A1
WO2022166489A1 PCT/CN2021/142899 CN2021142899W WO2022166489A1 WO 2022166489 A1 WO2022166489 A1 WO 2022166489A1 CN 2021142899 W CN2021142899 W CN 2021142899W WO 2022166489 A1 WO2022166489 A1 WO 2022166489A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
photoresist material
thawing
time
freezing
preset
Prior art date
Application number
PCT/CN2021/142899
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
潘柏松
袁海江
Original Assignee
惠科股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 惠科股份有限公司 filed Critical 惠科股份有限公司
Publication of WO2022166489A1 publication Critical patent/WO2022166489A1/zh

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70975—Assembly, maintenance, transport or storage of apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types

Definitions

  • the present application relates to the field of display technology, and in particular, to a method for using a photoresist material and a detection system.
  • Photolithography is a common process in semiconductor manufacturing processes.
  • Photoresist also known as photoresist or photoresist, refers to etching-resistant film materials whose solubility changes through various light or radiation. It is a key material in the lithography process and is mainly used in integrated circuits and display panels.
  • the process of moving the photoresist material from the freezer to the machine mainly relies on manual judgment and instructing the conveying equipment to transport it to the machine.
  • the staff takes the photoresist material out of the freezer, and then uses transport tools such as carts. Transport the photoresist material to the thawing chamber, and transport the thawed photoresist material to the machine. If it is not deteriorated, it can be frozen and thawed for repeated use. However, after repeated repetitions, the photoresist material may deteriorate, and the use The different photoresist materials will make the process of the machine poor, and it needs to be controlled manually, and it is easy to make mistakes through manual control.
  • the purpose of the present application is to provide a method for using photoresist materials and a detection system to realize systematic management and control of photoresist materials.
  • the present application discloses a method for using a photoresist material, including:
  • Step A The freezer receives the photoresist material, and the photoresist material enters the freezing state;
  • Step B when the photoresist material thawing instruction is received, the photoresist material is sent out of the freezing chamber and into the thawing chamber, and the photoresist material enters the thawing state;
  • Step C When receiving the machine instruction, send the photoresist material out of the thawing chamber and send it to the machine;
  • Step D when the photoresist material is received by the machine, the photoresist material is tested. If the test is qualified, the photoresist material is sent to the machine, and the photoresist material enters the on-machine state; and
  • Step E when the preset situation is monitored, the material information of the photoresist material is detected, and the photoresist material is sent back to the thawing chamber or the processing chamber according to the material information.
  • the present application discloses a method of using a photoresist material.
  • the method of using is to perform automatic control according to a setting table, and the method of using includes:
  • the freezing chamber receives the photoresist material, the photoresist material enters the freezing state, and starts to count the freezing time of the photoresist material entering the freezing state; when the freezing time reaches the first preset time, the photoresist material enters the freezing completion state;
  • the photoresist material When receiving the thawing command of the photoresist material, check whether the photoresist material is in the frozen state. If so, record the number of times of freezing delivery and time the freezing delivery time out of the freezer, and send the photoresist material out of the freezer and into the thawing chamber. , the photoresist material enters the thawed state;
  • the thawing time of the photoresist material entering the defrosting state is started to be counted; when the defrosting time reaches the second preset time, the photoresist material enters the defrosting completion state, and the number of thawing completion times is recorded;
  • the thawing completion time is counted.
  • the photoresist material is sent out of the thawing chamber, and the thawing completion times are detected. If the thawing completion times are less than the preset thawing completion times times, it will be sent back to the freezer;
  • the machine When the machine receives the photoresist material, it checks whether the thawing completion times of the photoresist material conform to the preset thawing times, detects whether the freezing delivery times of the photoresist material conforms to the preset freezing delivery times, and detects whether the freezing delivery time of the photoresist material Meet the preset freezing delivery time, and check whether the defrosting delivery time of the photoresist material conforms to the preset thawing delivery time; if all are met, it is judged that the test is qualified, and then it is sent to the machine, and the photoresist material enters the on-machine state; and
  • the material inventory and thawing completion times of the photoresist material in the on-machine state are detected.
  • the material inventory is not zero, and the thawing completion times are less than the preset thawing completion times, it is returned to the freezer;
  • the setting table includes: photoresist material state control table, setting overtime usage schedule, reset overtime usage table and card times setting table;
  • the photoresist material state control table is set with all the states of the photoresist material and the conversion relationship between different states.
  • the preset states include: frozen state, frozen completed state, thawed state, thawed completed state, and powered on state. ;
  • the set overtime use schedule is set with a first preset time, a second preset time, a third preset time, a frozen delivery time and a thawed delivery time; the first preset time, the second preset time time, the third preset time, the frozen delivery time and the thawed delivery time are 1 hour, 2 hours, 2.5 hours, 3.5 hours and 1 hour respectively;
  • the reset overtime use table is set with all reset conditions and corresponding reset methods
  • the card times setting table is set with preset thawing completion times and preset freezing sending times, and the preset thawing completion times and the preset freezing sending times are respectively 2 and 4 times.
  • the present application also discloses a detection system for photoresist materials, the detection system includes: a freezing chamber for freezing the photoresist materials; a thawing chamber for thawing the frozen photoresist materials; a machine for using photoresist The material is processed; the conveying equipment is used to transport the photoresist material from the freezer, the thawing chamber and the machine; and the monitoring equipment is used to identify the photoresist material; the method of using the photoresist material detection system includes the steps: Step A: The freezer receives the photoresist material, and the photoresist material enters the freezing state; Step B: When the photoresist material thawing instruction is received, the photoresist material is sent out of the freezer and into the thawing chamber, and the photoresist material enters the defrosting state ; Step C: When receiving the machine instruction, send the photoresist material out of the thawing chamber and send it to the machine; Step D: When the machine receives the photoresist
  • the photoresist material before the photoresist material enters the process, it will be checked whether the photoresist material is qualified, so as to avoid the unqualified photoresist material being sent to the machine;
  • the material information of the photoresist material on the machine is detected. If it is judged that the material can be frozen and used again according to the material information, it is sent back to the freezer for refrigeration, which can make the light that is not used temporarily. On the contrary, if it is judged that it cannot be frozen and reused according to the material information, it will be sent to the processing room for processing, so as to avoid sending the photoresist materials that are not suitable for reuse back to the freezer. , causing problems in the follow-up process; the present application avoids the possibility of manual errors by means of system detection automation, and reduces man-hours and costs.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of steps of a method for using a photoresist material according to an embodiment of the present application
  • FIG. 2 is a schematic diagram of steps of a method for using a photoresist material according to another embodiment of the present application.
  • FIG. 3 is a schematic diagram of steps of a method for using a photoresist material according to another embodiment of the present application.
  • FIG. 4 is a schematic diagram of steps of a method for using a photoresist material according to another embodiment of the present application.
  • FIG. 5 is a schematic diagram of steps of a method for using a photoresist material according to another embodiment of the present application.
  • FIG. 6 is a schematic diagram of a detection system for a photoresist material according to an embodiment of the present application.
  • first and second are only used for description purposes, and cannot be understood as indicating relative importance, or implicitly indicating the number of indicated technical features.
  • features defined as “first” and “second” may expressly or implicitly include one or more of the features; “plurality” means two or more.
  • the term “comprising” and any variations thereof mean non-exclusive inclusion, possibly the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, and/or combinations thereof.
  • the terms “installed”, “connected” and “connected” should be understood in a broad sense, for example, it may be a fixed connection, a detachable connection, or an integral connection; it may be a mechanical connection , it can also be an electrical connection; it can be a direct connection, an indirect connection through an intermediate medium, or an internal connection between two components.
  • installed should be understood in a broad sense, for example, it may be a fixed connection, a detachable connection, or an integral connection; it may be a mechanical connection , it can also be an electrical connection; it can be a direct connection, an indirect connection through an intermediate medium, or an internal connection between two components.
  • the present application discloses a method for using a photoresist material, comprising the steps of:
  • the freezer receives the photoresist material, and the photoresist material enters the freezing state
  • the preset information in this application can be a comparison of preset information (such as thawing information, freezing information, etc.) of whether the photoresist material complies with the machine rules.
  • preset conditions such as shutdown operations, staff shifts, and photoresist material replacement operations in the process
  • the material information of the photoresist material on the machine is detected. If it is judged based on the material information, the material can be frozen. When it is used again, it will be sent back to the freezer for refrigeration, so that the temporarily unused photoresist material can be recycled for the next use without causing waste; on the contrary, if it is judged that it cannot be frozen and used again according to the physical information, it will be sent to the freezer. Go to the processing room for processing to avoid sending the photoresist materials that are not suitable for reuse back to the freezer, causing problems in the subsequent process; this application avoids the possibility of manual errors by means of system detection automation, and reduces the man-hour and saves cost.
  • the material information includes the material inventory and the number of thawing completions.
  • the material inventory is not zero, and the number of thawing completions is less than the preset number of thawing completions, it will be returned to the freezer.
  • the number of thawing completions will be analyzed in detail in the following embodiments.
  • the preset conditions of this application include shutdown operations and machine refueling operations, etc.
  • the photoresist material is divided into different types of materials such as color resist or photoresist, and different photoresist materials need to be used in different processes. , so when the machine is changing materials, or when the machine is shut down, it is necessary to replace the photoresist material on the machine.
  • the photoresist material is used as an example.
  • Other materials such as Anisotropic Conductive Film (ACF), also have the same characteristics as the photoresist material, and can also be applied to this application.
  • the photoresist material mainly has the following characteristics: First, the photoresist material needs to be frozen, and it needs to be frozen for a certain period of time. It can prevent deterioration in the frozen state. It takes a certain time to thaw the photoresist material, but it cannot be used for a long time after thawing. It will also deteriorate. Although the photoresist material can be thawed and refrozen after thawing, the number of repeated thawing is limited. Repeated thawing will easily cause the photoresist material to deteriorate, which is not suitable for machine production.
  • the control of freezing and thawing time and times includes as shown in Figure 2:
  • step A
  • A' When the photoresist material enters the freezing state, start timing the freezing time of the photoresist material entering the freezing state; when the freezing time reaches the first preset time, the photoresist material enters the freezing completion state;
  • step B
  • step D
  • the machine When the machine receives the photoresist material, it checks whether the number of thawing completions of the photoresist material conforms to the preset number of thawing. If so, it is judged that the test is qualified.
  • step A by recording the freezing time, if the freezing time is unqualified, the photoresist material will not be converted to the next state, which can prevent the system from sending the unfrozen photoresist material to the next state.
  • step B so that the unqualified photoresist material is converted to the next state, when the system detects that the photoresist material needs to be thawed, and the photoresist material is in the frozen state, the photoresist material is sent out from the freezer, and the photoresist material is in the freezing state.
  • the state of the material is converted from the freezing completed state to the thawed state; in step B, the thawing time is also an important qualified parameter in this application.
  • the thawing time is timed by the system.
  • the timer When the timer reaches the second preset time, it means that the photoresist material has been completed. Thawing, from the thawing state to the thawing completed state, so that the photoresist material that has not been thawed will not be sent out, and the photoresist material that is in the thawed state will be sent out.
  • step D the number of times of repeated thawing of the photoresist material of the present application has a certain limit, exceeding the It is very likely that the quality of the photoresist material that has been thawed again will not meet the requirements. Therefore, it is necessary to screen this type of photoresist material to detect the number of times of thawing, which can prevent the use of bad photoresist materials to produce bad display panels.
  • step B2
  • the thawing time of the photoresist material in this application is also limited.
  • the photoresist material is thawed and not used for a long time, the photoresist material in the thawed state for a long time is prone to deterioration. Therefore, it is necessary to set a third preset Set the time.
  • the photoresist material is in the thawed state, wait for a period of time for the on-machine operation.
  • the photoresist material needs to be returned to the freezer for storage, but if the photoresist material is thawed If the number of times is equal to the preset number of defrosting, the photoresist material should be returned to the processing chamber to prevent the photoresist material from returning to the freezer again for processing.
  • step B the difference from the previous embodiment is that the present application limits the number of times of freezing and sending out, thereby preventing the photoresist material from freezing and thawing multiple times.
  • the machine When the machine receives the photoresist material, it checks whether the number of times of freezing and sending out the photoresist material conforms to the preset number of freezing and sending out, and if so, it is judged that the test is qualified.
  • the number of times the material can be reused can be limited either by the number of times of thawing, or by the number of times of freezing and sending.
  • the photoresist materials that have been frozen many times are screened, and the modified photoresist materials are not allowed to enter the machine again for use.
  • the time from sending out the freezing chamber, sending out the thawing chamber to the machine is also monitored, as follows, in the step B:
  • step C In the step C:
  • the machine When the machine receives the photoresist material, it checks whether the thawing completion times of the photoresist material meet the preset thawing completion times, and whether the freezing delivery time of the photoresist material meets the preset freezing delivery time, and detects whether the photoresist material is frozen and delivered. Whether the thawing and delivery time meets the preset thawing and delivery time, if all meet, the test is judged to be qualified; if not, the test is judged to be unqualified, and sent to the processing room for disposal to prevent unqualified photoresist materials from being used in the process. Defective products.
  • the photoresist material After the photoresist material is sent out of the freezer and out of the thawing chamber, it needs to be loaded on the machine within a certain period of time.
  • the photoresist material that has been thawed for too long is not suitable for the machine.
  • the photoresist material that is delayed on the transportation road may not be used for machine production due to insufficient handling equipment, long transportation distance or other reasons.
  • the photoresist material is sent to the machine and the time is qualified, then It means that the state of the photoresist material changes from the thawed state to the on-machine state.
  • the photoresist material in the defrosted state is detected; if the defrosting time of the photoresist material does not reach the second preset time, the photoresist material is determined If the photoresist material has not been thawed, the number of thawing times will not be recorded, and it will be returned to the freezer; if the thawing time of the photoresist material reaches the second preset time, the photoresist material will be deemed to be thawed, record the number of thawing times, and return it to the freezer.
  • the photoresist material that has not been thawed can be recycled to the freezer for continued storage, while the thawed photoresist material is sent back to the freezer for protection, and the number of thawing completions is recorded, and the number of thawing completions can also be detected before returning to the freezer.
  • the emergency situation includes shutdown operations; the preset situations include shutdown operations, staff shifts, and process needs to be replaced Block material handling.
  • the present application also discloses a method for using a photoresist material.
  • the method for using is to perform automatic control according to a setting table, and the method for using includes:
  • the freezer receives the photoresist material, the photoresist material enters the freezing state, and starts to count the freezing time of the photoresist material entering the freezing state; when the freezing time reaches the first preset time, the photoresist material enters the freezing completion state;
  • the setting table includes: photoresist material state control table, setting overtime usage schedule, reset overtime usage table and card times setting table; the first preset time, the second preset time , the third preset time, the freezing delivery time and the thawing delivery time are 1 hour, 2 hours, 2.5 hours, 3.5 hours and 1 hour respectively; the preset thawing completion times and the preset freezing delivery times are 2 and 4 times respectively.
  • the photoresist material state control table is set with all the states of the photoresist material and the conversion relationship between different states.
  • the preset states include: frozen state, frozen completed state, thawed state, thawed completed state, and powered on state. ;
  • the material status control table is as follows:
  • the set overtime use schedule is set with a first preset time, a second preset time, a third preset time, a frozen delivery time and a thawed delivery time; the set overtime use schedule is as follows:
  • the reset overtime use table is set with all reset conditions and corresponding reset methods
  • the reset conditions in this application are the reset steps performed when the above-mentioned emergency occurs; if the thawing time of the photoresist material does not reach the second preset time, it is determined that the photoresist material has not been thawed, the number of thawing times is not recorded, and the to the freezer; if the thawing time of the photoresist material reaches the second preset time, it is determined that the photoresist material has been thawed, and the number of times of thawing is recorded and returned to the freezer;
  • the card times setting table records: the preset number of times of thawing completion and the preset number of times of frozen delivery.
  • the detection system 1 includes a freezing chamber 10, a thawing chamber 20, The machine 30, the conveying equipment 40 and the monitoring equipment 50; the freezer 10 freezes the photoresist material; the thawing chamber 20 thaws the frozen photoresist material; the machine 30 uses the photoresist material to thaw the photoresist material. process; the conveying device 40 transports the photoresist material from the freezing chamber 10, the thawing chamber 20 and the machine 30; the monitoring device 50 identifies the photoresist material, and collects and records the photoresist material mentioned above. Status information, time information and frequency information.
  • the technical solution of the present application can be widely used in various display panels, such as TN (Twisted Nematic, twisted nematic) display panels, IPS (In-Plane Switching, in-plane switching) display panels, VA (Vertical Alignment, vertical alignment type) display panels ) display panel, MVA (Multi-Domain Vertical Alignment, multi-quadrant vertical alignment type) display panel, of course, other types of display panels, such as OLED (Organic Light-Emitting Diode, organic light-emitting diode) display panels, can be The above scheme applies.
  • TN Transmission Nematic, twisted nematic
  • IPS In-Plane Switching, in-plane switching
  • VA Very Alignment, vertical alignment type
  • MVA Multi-Domain Vertical Alignment, multi-quadrant vertical alignment type
  • OLED Organic Light-Emitting Diode, organic light-emitting diode

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Devices That Are Associated With Refrigeration Equipment (AREA)

Abstract

一种光阻物料的使用方法和检测系统(1)，光阻物料的使用方法包括步骤：当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送入解冻室(20)，光阻物料进入解冻状态(B)；当接收到上机指令时，将光阻物料送往机台(30)(C)；当机台(30)接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台(30)，光阻物料进入上机状态(D)；当监测到预设情况时，检测光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回解冻室(20)或处理室(E)。

Description

光阻物料的使用方法和检测系统
本申请要求于2021年2月4日提交中国专利局，申请号为CN2021101534684，申请名称为“一种光阻物料的使用方法和检测系统”的中国专利申请的优先权，其全部内容通过引用结合在本申请中。
技术领域
本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种光阻物料的使用方法和检测系统。
背景技术
这里的陈述仅提供与本申请有关的背景信息，而不必然地构成现有技术。
光刻工艺是半导体制程工艺中的常见工艺，光阻(photoresist，PR)，也称光刻胶或光阻剂，是指通过各种光照或辐射，使其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于集成电路和显示面板中。
目前，光阻物料从冷冻室移动到机台的过程主要还是靠人工进行判断和指挥搬送设备搬运到机台上，例如：工作人员将光阻物料从冷冻室内取出，然后使用推车等运输工具将光阻物料运输到解冻室，将解冻好的光阻物料运输到机台，在未变质的情况下可以多次冷冻解冻重复使用，但是多次重复之后，光阻物料可能产生变质，使用变质的光阻物料会使得机台制程不良，需要人为进行把控次数，而且通过人为控制容易出错。
发明内容
本申请的目的是提供一种光阻物料的使用方法和检测系统，实现光阻物料的系统化管控。
本申请公开了一种光阻物料的使用方法，包括：
步骤A：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态；
步骤B：当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送出冷冻室，并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；
步骤C：当接收到上机指令时，将光阻物料送出解冻室，并送往机台；
步骤D：当机台接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及
步骤E：当监测到预设情况时，检测光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回解冻室或处理室。
本申请公开了一种光阻物料的使用方法，所述使用方法是根据设定表进行自动化控制，所述使用方法包括：
冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；
当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则记录一次冷冻送出次数并计时离开冷冻室的冷冻送出时间，将光阻物料送出冷冻室并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；
当光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；
当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室；
当接收到上机指令时，将处于解冻完成状态的光阻物料送出解冻室，计时离开解冻室的解冻送出时间并将光阻物料送往机台；
当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，以及检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间；若均符合，则判定检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及
当监测到预设情况时，检测处于上机状态的光阻物料的物料存量和解冻完成次数，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室；
其中，若是检测到光阻物料符合重置超时间使用表的重置调节，则立即关闭后续流程，并根据重置方法重置所述光阻材料的状态；
其中，所述设定表包括：光阻物料状态管控表、设定超时间使用时间表、重置超时间使用表和卡次数设定表；
所述光阻物料状态管控表设定有光阻物料所有的状态以及不同状态之间的转换关系，所述预设状态包括：冷冻状态、冷冻完成状态、解冻状态、解冻完成状态和上机状态；
所述设定超时间使用时间表设定有第一预设时间，第二预设时间，第三预设时间，冷冻送出时间和解冻送出时间；所述第一预设时间，第二预设时间，第三预设时间，冷冻送出时间和解冻送出时间分别为1小时，2小时，2.5小时，3.5小时和1小时；
所述重置超时间使用表设定有所有的重置条件和对应的重置方法；
所述卡次数设定表设定有预设解冻完成次数、预设冷冻送出次数，预设解冻完成次数、预设冷冻送出次数分别为2次和4次。
本申请还公开了一种光阻物料的检测系统，所述检测系统包括：冷冻室，将所述光阻物料冷冻；解冻室，将冷冻后的光阻物料进行解冻；机台，使用光阻物料进行制程；搬送设备，将光阻物料从冷冻室、解冻室和机台之间搬运；以及监控设备，对光阻物料进行识别；所述光阻物料的检测系统的使用方法，包括步骤：步骤A：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态；步骤B：当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送出冷冻室，并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；步骤C：当接收到上机指令时，将光阻物料送出解冻室，并送往机台；步骤D：当机台接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及步骤E：当监测到预设情况时，检测处于上机状态的光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回冷冻室或处理室。
本申请中，在光阻物料进入制程之前，会检测光阻物料是否合格，避免在不合格的光阻物料被送上机台；当预设情况(例如停机操作、工作人员交班和制程需要换光阻物料操作)发生时，对机台上的光阻物料的物料信息进行检测，若根据物料信息判断物料可以冷冻后再次使用时，则送回冷冻室进行冷藏，可以使得暂时不使用的光阻物料进行回收以便下次使用，而不造成浪费；相反，若根据物料信息判断无法冷冻后再次使用时，则送去处理室处理，避免将不适合再次使用的光阻物料等送回冷冻室，造成后续制程的问题；本申请通过系统检测自动化的方式，避免了人工可能出错的情况，而且减少了工时，节约了成本。
附图说明
所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
图1是本申请的一实施例的一种光阻物料的使用方法的步骤示意图；
图2是本申请的另一实施例的一种光阻物料的使用方法的步骤的示意图；
图3是本申请的另一实施例的一种光阻物料的使用方法的步骤示意图；
图4是本申请的另一实施例的一种光阻物料的使用方法的步骤示意图；
图5是本申请的另一实施例的一种光阻物料的使用方法的步骤示意图；
图6是本申请的一实施例的一种光阻物料的检测系统的示意图。
具体实施方式
需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。
在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、 “第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。
另外，“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系的术语，是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
下面参考附图和可选的实施例对本申请作详细说明。
如图1所示，本申请公开了一种光阻物料的使用方法，包括步骤：
A：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态；
B：当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送出冷冻室，并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；
C：当接收到上机指令时，将光阻物料送出解冻室，并送往机台；
D：当机台接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；
E：当监测到预设情况时，检测光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回解冻室或处理室。
本申请的预设信息可以为光阻物料是否符合上机规则的预设信息(例如解冻信息，冷冻信息等)比对，通过对解冻信息和冷冻信息的监控，在不合格的情况下不送上机台；当预设情况(例如停机操作、工作人员交班和制程需要换光阻物料操作)发生时，对机台上的光阻物料的物料信息进行检测，若根据物料信息判断物料可以冷冻后再次使用时，则送回冷冻室进行冷藏，可以使得暂时不使用的光阻物料进行回收以便下次使用，而不造成浪费；相反，若根据物理信息判断无法冷冻后再次使用时，则送去处理室处理，避免将不适合再次使用的光阻物料等送回冷冻室，造成后续制程的问题；本申请通过系统检测自动化的方式，避免了人工可能出错的情况，而且减少了工时，节约了成本。
所述物料信息包括物料存量和解冻完成次数，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室，解冻完成次数在以下实施例中还有详细分析，本申请的预设情况包括停机操作和机台换料操作等，光阻材料又分为制作色阻或者是光刻胶等不同类型的材料，在不同制程时，需要使用到不同的光阻材料，因此在机台换料时，或是停机时，都需要将在机台上的光阻物料换下，如果检测到光阻物料的存量不为零，也就是光阻物料还有剩余的情况时，一般需要送回冷冻室保存以便下次使用，但若是该光阻物料已经多次重复使用了，则不需要再送回冷冻室保护，而需要送到处理室处理即可。
需要说明的是，本申请的以光阻物料为例，其它物料如同异方性导电胶膜(Anisotropic Conductive Film，ACF)也有光阻物料相同的特性，也可以适用于本申请，本申请的光阻材料主要有以下几点特性：首先，光阻物料需要冷冻，而且需要一定时长的冷冻，冷冻状态下才能防止变质，解冻光阻物料需要一定的时间，但是解冻完成后不能长时间不使用，也会变质，光阻物料虽然可以在解冻后重新冷冻后解冻使用，但是重复解冻的次数有限制，多次解冻容易造成光阻物料变质，不合适上机生产；因此本申请对光阻材料的冷冻、解冻时间和次数的控制包括如图2所示：
在A的步骤中：
A’：当所述光阻物料进入冷冻状态时，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；
在B的步骤中：
B1：当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则将光阻物料从冷冻室送入解冻室；
B2：当所述光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；
在D的步骤中：
D’：当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，若是，则判定检测合格。
其中A步骤中，通过对冷冻时间记录，在冷冻时间不合格的情况下，不会对该光阻物料进行到下一状态的转换，可以防止系统将未冷冻完成的光阻物料送到下一步骤，使得未合格的光阻材料转换为下一状态，当系统检测到光阻物料需要解冻操作时，且光阻物料处于冷冻完成状态，则将光阻物料从冷冻室送出，并将光阻物料状态从冷冻完成状态转换为解冻状态；B步骤中本申请中解冻时间也是很重要的合格参数，通过系统对解冻时间计时，当计时达到第二预设时间时，则代表光阻物料已经完成解冻，从解冻状态转换到解冻完成状态，使得未完成解冻的光阻物料不会被送出，而处于解冻完成状态的光阻物料才会被送出，系统在检测到光阻物料上机操作时，将对应处于解冻完成状态的光阻物料送出解冻室，使得对应的光阻物料状态从解冻完成状态转换到上机状态；D步骤中，本申请的光阻物料的重复解冻次数有一定限制，超出次数的光阻物料再次解冻后很可能质量达不到要求，因此需要对这一类型的光阻物料进行筛选，检测解冻完成次数，可以防止不良的光阻物料使用生产出不良的显示面板。
当系统迟迟未有上机操作时，而对应光阻物料已经处于解冻完成状态时，还包括：
在B2的步骤中：
B2’：当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室。
本申请中的光阻物料解冻时间也是有限制的，在长时间解冻不使用该光阻物料时，长时间处于解冻完成状态的光阻物料容易发生变质的问题，因此还需设定第三预设时间，在光阻物料处于解冻完成状态的，进行一段时间的等待上机操作，若是没有等到上机操作，则需要将该光阻物料送回冷冻室保存，但若是该光阻物料的解冻次数已经等于预设解冻次数，则应该将该光阻物料送回处理室，防止该光阻物料再次回到冷冻室进行制程。
如图3所示，与上一实施方式不同的是，本申请通过对冷冻送出次数进行限定，从而防止光阻物料多次冷冻解冻，在所述步骤B中：
B’：当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，记录一次冷冻送出次数；
所述步骤D中：
D’：当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，若符合，则判定检测合格。
物料重复使用的次数既可以在解冻完成次数进行限定，也可以在冷冻送出次数进行限定，将多次冷冻的光阻物料进行筛选，不让改光阻物料再一次进入到机台上使用。
如图4所示：在另一实施例中，还对送出冷冻室、送出解冻室到上机的时间进行监控， 如以下，所述步骤B中：
B’：当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，计时离开冷冻室的冷冻送出时间；
所述步骤C中：
C’：当检测到将所述光阻物料送出解冻室时，计时离开解冻室的解冻送出时间；
所述步骤D中：
D’：当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻完成次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间，若均符合，则判定检测合格；若不符合，则判定检测不合格，送往处理室处理掉，避免不合格的光阻物料被用于制程而产出不良品。
光阻材料送出冷冻室后以及送出解冻室后需要在一定时间内上到机台，解冻太久的光阻物料不合适用于机台使用，因此需要对从解冻室送出到送上机台的时间进行检测，而实际生产中，可能因为搬运设备不够，搬运路程遥远或者是其它原因导致搬送路上耽误的光阻物料也不能用于机台生产，当光阻物料送上机台且时间合格，则是光阻物料状态由解冻完成状态进入上机状态。
当突发紧急情况，例如机台停机操作，机台异常，当发生这些紧急情况时，检测处于解冻状态的光阻物料；若光阻物料解冻时间未达到第二预设时间，则认定该光阻物料未完成解冻，不记录解冻次数，并回到冷冻室；若光阻物料解冻时间达到第二预设时间，则认定该光阻物料解冻完成，记录一次解冻次数，并送回冷冻室。使得未解冻完成的光阻物料可以回收到冷冻室继续保存，而解冻完成的光阻物料送回冷冻室保护，并记录一次解冻完成次数，还可以在送回冷冻室之前对解冻完成次数进行检测，当超出解冻次数时，不送回冷冻室保存，送到处理室处理，减少冷冻室的无效冷冻；所述紧急情况包括停机操作；预设情况包括停机操作、工作人员交班和制程需要换光阻物料操作。当出现这类情况时，都会影响机台制程，因此会造成光阻物料的状态无法转换到下一状态，而且会出现光阻物料的解冻时间，上机时间等超时，因此需要设定以上措施将不使用的光阻物料保存起来。
如图5所示，作为本申请的另一实施例，本申请还公开了一种光阻物料的使用方法，所述使用方法是根据设定表进行自动化控制，所述使用方法包括：
S1：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；
S2：当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则记录一次冷冻送出次数并计时离开冷冻室的冷冻送出时间，将光阻物料送出冷冻室并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；
S3：当光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；
S4：当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室；
S5：当接收到上机指令时，将处于解冻完成状态的光阻物料送出解冻室，计时离开解冻室的解冻送出时间并将光阻物料送往机台；
S6：当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，以及检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间；若均符合，则判定检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及
S7：当监测到预设情况时，检测处于上机状态的光阻物料的物料存量和解冻完成次数，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室；
其中，若是检测到光阻物料符合重置超时间使用表的重置调节，则立即关闭后续流程，并根据重置方法重置所述光阻材料的状态；
其中，所述设定表包括：光阻物料状态管控表、设定超时间使用时间表、重置超时间使用表和卡次数设定表；所述第一预设时间，第二预设时间，第三预设时间，冷冻送出时间和解冻送出时间分别为1小时，2小时，2.5小时，3.5小时和1小时；预设解冻完成次数、预设冷冻送出次数分别为2次和4次。
所述光阻物料状态管控表设定有光阻物料所有的状态以及不同状态之间的转换关系，所述预设状态包括：冷冻状态、冷冻完成状态、解冻状态、解冻完成状态和上机状态；所述物料状态管控表如下：
物料状态管控表
光阻物料编号 当前状态 下一状态
1 冷冻状态 冷冻完成状态
1 冷冻完成状态 解冻状态
1 解冻状态 解冻完成状态
1 解冻完成状态 上机状态
1 上机状态 冷冻状态
所述设定超时间使用时间表设定有第一预设时间、第二预设时间、第三预设时间、冷冻送出时间和解冻送出时间；所述设定超时间使用时间表如下：
设定超时间使用时间表
Figure PCTCN2021142899-appb-000001
所述重置超时间使用表设定有所有的重置条件和对应的重置方法；
重置超时间使用表
光阻物料编号 当前状态 下一状态 重置当前状态
1 解冻状态 解冻完成状态 冷冻状态
1 解冻完成状态 上机状态 冷冻状态
本申请中的重置条件如上述紧急情况发生时进行的重置步骤；若光阻物料解冻时间未达 到第二预设时间，则认定该光阻物料未完成解冻，不记录解冻次数，并回到冷冻室；若光阻物料解冻时间达到第二预设时间，则认定该光阻物料解冻完成，记录一次解冻次数，并送回冷冻室；
所述卡次数设定表记录有：预设解冻完成次数、预设冷冻送出次数。
卡次数设定表
光阻物料编号 解冻完成次数 冷冻送出次数
1 预设解冻完成次数：2次 预设冷冻送出次数：4次
如图6所示，作为本申请的另一实施例，公开了一种光阻物料的检测系统，使用上述的光阻物料的使用方法，所述检测系统1包括冷冻室10、解冻室20、机台30、搬送设备40和监控设备50；所述冷冻室10将所述光阻物料冷冻；所述解冻室20将冷冻后的光阻物料进行解冻；所述机台30使用光阻物料进行制程；所述搬送设备40将光阻物料从冷冻室10、解冻室20和机台30之间搬运；所述监控设备50对光阻物料进行识别，并收集记录以上提及的光阻物料的状态信息、时间信息和次数信息。
需要说明的是，以上设定表里面的时间和次数，根据实际情况是可调的；本方案中涉及到的各步骤的限定，在不影响具体方案实施的前提下，并不认定为对步骤先后顺序做出限定，写在前面的步骤可以是在先执行的，也可以是在后执行的，甚至也可以是同时执行的，只要能实施本方案，都应当视为属于本申请的保护范围。
本申请的技术方案可以广泛用于各种显示面板，如TN(Twisted Nematic，扭曲向列型)显示面板、IPS(In-Plane Switching，平面转换型)显示面板、VA(Vertical Alignment，垂直配向型)显示面板、MVA(Multi-Domain Vertical Alignment，多象限垂直配向型)显示面板，当然，也可以是其他类型的显示面板，如OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示面板，均可适用上述方案。
以上内容是结合具体的可选实施方式对本申请所作的进一步详细说明，不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本申请的保护范围。

Claims (19)

  1. 一种光阻物料的使用方法，包括步骤：
    步骤A：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态；
    步骤B：当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送出冷冻室，并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；
    步骤C：当接收到上机指令时，将光阻物料送出解冻室，并送往机台；
    步骤D：当机台接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及
    步骤E：当监测到预设情况时，检测处于上机状态的光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回冷冻室或处理室。
  2. 如权利要求1所述的光阻物料的使用方法，其中，所述步骤A中：
    当所述光阻物料进入冷冻状态时，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；
    所述步骤B中：
    步骤B1：当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则将光阻物料从冷冻室送入解冻室；
    步骤B2：当光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；
    所述步骤D中：
    当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，若是，则判定检测合格。
  3. 如权利要求2所述的光阻物料的使用方法，其中，所述步骤B中：
    当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，计时离开冷冻室的冷冻送出时间；
    所述步骤C中：
    当检测到将所述光阻物料送出解冻室时，计时离开解冻室的解冻送出时间；
    所述步骤D中：
    当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻完成次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间，若均符合，则判定检测合格。
  4. 如权利要求1所述的光阻物料的使用方法，其中，
    所述步骤B中：
    当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，记录一次冷冻送出次数；
    所述步骤D中：
    当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，若符合，则判定检测合格。
  5. 如权利要求2所述的光阻物料的使用方法，其中，
    所述步骤B2中：
    当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室。
  6. 如权利要求2所述的光阻物料的使用方法，其中，
    当发生紧急情况时，检测处于解冻状态下的光阻物料；若光阻物料解冻时间未达到第二预设时间，则认定该光阻物料未完成解冻，不记录解冻次数，并送回冷冻室；
    若光阻物料解冻时间达到第二预设时间，则认定该光阻物料解冻完成，记录一次解冻次数，并送回冷冻室。
  7. 如权利要求6所述的光阻物料的使用方法，其中，
    所述预设情况包括停机操作和机台换料操作；所述紧急情况包括停机操作。
  8. 如权利要求2所述的光阻物料的使用方法，其中，所述物料信息包括物料存量和解冻完成次数，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室。
  9. 如权利要求1所述的光阻物料的使用方法，其中，
    所述步骤A中：
    冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；
    所述步骤B中：
    当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则记录一次冷冻送出次数并计时离开冷冻室的冷冻送出时间，将光阻物料送出冷冻室并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；
    当光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；
    当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室；
    所述步骤C中：
    当接收到上机指令时，将处于解冻完成状态的光阻物料送出解冻室，计时离开解冻室的 解冻送出时间并将光阻物料送往机台；
    所述步骤D中：
    当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，以及检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间；若均符合，则判定检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；
    所述步骤E中：
    当监测到预设情况时，检测处于上机状态的光阻物料的物料存量和解冻完成次数，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室。
  10. 如权利要求9所述的光阻物料的使用方法，其中，所述预设解冻完成次数、预设冷冻送出次数分别为2次和4次。
  11. 如权利要求9所述的光阻物料的使用方法，其中，所述第一预设时间，第二预设时间，第三预设时间，冷冻送出时间和解冻送出时间分别为1小时，2小时，2.5小时，3.5小时和1小时。
  12. 一种光阻物料的使用方法，所述使用方法是根据设定表进行自动化控制，所述使用方法包括：
    冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；
    当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则记录一次冷冻送出次数并计时离开冷冻室的冷冻送出时间，将光阻物料送出冷冻室并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；
    当光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；
    当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室；
    当接收到上机指令时，将处于解冻完成状态的光阻物料送出解冻室，计时离开解冻室的解冻送出时间并将光阻物料送往机台；
    当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，以及检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间；若均符合，则判定检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及
    当监测到预设情况时，检测处于上机状态的光阻物料的物料存量和解冻完成次数，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室；
    其中，若是检测到光阻物料符合重置超时间使用表的重置调节，则立即关闭后续流程，并根据重置方法重置所述光阻材料的状态；
    其中，所述设定表包括：光阻物料状态管控表、设定超时间使用时间表、重置超时间使用表和卡次数设定表；
    所述光阻物料状态管控表设定有光阻物料所有的状态以及不同状态之间的转换关系，所述预设状态包括：冷冻状态、冷冻完成状态、解冻状态、解冻完成状态和上机状态；
    所述设定超时间使用时间表设定有第一预设时间，第二预设时间，第三预设时间，冷冻送出时间和解冻送出时间；所述第一预设时间，第二预设时间，第三预设时间，冷冻送出时间和解冻送出时间分别为1小时，2小时，2.5小时，3.5小时和1小时；
    所述重置超时间使用表设定有所有的重置条件和对应的重置方法；
    所述卡次数设定表设定有预设解冻完成次数、预设冷冻送出次数，预设解冻完成次数、预设冷冻送出次数分别为2次和4次。
  13. 一种光阻物料的检测系统，所述检测系统包括：
    冷冻室，将所述光阻物料冷冻；
    解冻室，将冷冻后的光阻物料进行解冻；
    机台，使用光阻物料进行制程；
    搬送设备，将光阻物料从冷冻室、解冻室和机台之间搬运；以及
    监控设备，对光阻物料进行识别；
    所述光阻物料的检测系统的使用方法，包括步骤：
    步骤A：冷冻室接收光阻物料，光阻物料进入冷冻状态；
    步骤B：当接收到光阻物料解冻指令时，将光阻物料送出冷冻室，并送入解冻室，光阻物料进入解冻状态；
    步骤C：当接收到上机指令时，将光阻物料送出解冻室，并送往机台；
    步骤D：当机台接收到光阻物料时，对光阻物料进行检测，若检测合格，则送上机台，光阻物料进入上机状态；以及
    步骤E：当监测到预设情况时，检测处于上机状态的光阻物料的物料信息，根据物料信息将光阻物料送回冷冻室或处理室。
  14. 如权利要求13所述的光阻物料的检测系统，其中，所述步骤A中：
    当所述光阻物料进入冷冻状态时，开始计时光阻物料进入冷冻状态的冷冻时间；当冷冻时间达到第一预设时间，光阻物料进入冷冻完成状态；
    所述步骤B中：
    步骤B1：当接收到光阻物料解冻指令时，检测光阻物料是否处于冷冻完成状态，若是，则将光阻物料从冷冻室送入解冻室；
    步骤B2：当光阻物料进入解冻状态时，开始计时光阻物料进入解冻状态的解冻时间；当解冻时间达到第二预设时间时，光阻物料进入解冻完成状态，并记录一次解冻完成次数；
    所述步骤D中：
    当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻次数，若是，则判定检测合格。
  15. 如权利要求13所述的光阻物料的检测系统，其中，所述步骤B中：
    当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，计时离开冷冻室的冷冻送出时间；
    所述步骤C中：
    当检测到将所述光阻物料送出解冻室时，计时离开解冻室的解冻送出时间；
    所述步骤D中：
    当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的解冻完成次数是否符合预设解冻完成次数，检测光阻物料的冷冻送出时间是否符合预设冷冻送出时间，检测光阻物料的解冻送出时间是否符合预设解冻送出时间，若均符合，则判定检测合格。
  16. 如权利要求13所述的光阻物料的检测系统，其中，
    所述步骤B中：
    当检测到将所述光阻物料送出冷冻室时，记录一次冷冻送出次数；
    所述步骤D中：
    当机台接收到光阻物料时，检测光阻物料的冷冻送出次数是否符合预设冷冻送出次数，若符合，则判定检测合格。
  17. 如权利要求14所述的光阻物料的检测系统，其中，
    所述步骤B2中：
    当光阻物料进入解冻完成状态时，计时解冻完成时间，当解冻完成时间超出第三预设时间，则将光阻物料送出解冻室，并检测解冻完成次数，若解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室。
  18. 如权利要求14所述的光阻物料的检测系统，其中，
    当发生紧急情况时，检测处于解冻状态下的光阻物料；若光阻物料解冻时间未达到第二预设时间，则认定该光阻物料未完成解冻，不记录解冻次数，并送回冷冻室；
    若光阻物料解冻时间达到第二预设时间，则认定该光阻物料解冻完成，记录一次解冻次数，并送回冷冻室。
  19. 如权利要求18所述的光阻物料的检测系统，其中，所述预设情况包括停机操作和机台换料操作；所述紧急情况包括停机操作；所述物料信息包括物料存量和解冻完成次数，当物料存量不为零时，且解冻完成次数小于预设解冻完成次数，则送回冷冻室。
PCT/CN2021/142899 2021-02-04 2021-12-30 光阻物料的使用方法和检测系统 WO2022166489A1 (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110153468.4A CN112965339B (zh) 2021-02-04 2021-02-04 一种光阻物料的使用方法和检测系统
CN202110153468.4 2021-02-04

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022166489A1 true WO2022166489A1 (zh) 2022-08-11

Family

ID=76275435

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/CN2021/142899 WO2022166489A1 (zh) 2021-02-04 2021-12-30 光阻物料的使用方法和检测系统

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN112965339B (zh)
WO (1) WO2022166489A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112965339B (zh) * 2021-02-04 2021-11-09 惠科股份有限公司 一种光阻物料的使用方法和检测系统

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009064726A (ja) * 2007-09-07 2009-03-26 Tokyo Electron Ltd 基板検査装置及び基板検査方法並びに記憶媒体
CN102005072A (zh) * 2009-09-01 2011-04-06 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 光阻监控方法及客户端
CN201997441U (zh) * 2011-01-04 2011-10-05 京东方科技集团股份有限公司 供给箱
CN105352629A (zh) * 2015-11-03 2016-02-24 刘幸 一种具有温度监控功能的光刻胶桶
KR101837508B1 (ko) * 2017-09-18 2018-03-13 김정화 유기 포토레지스트 해동 공급 장치
CN110429042A (zh) * 2018-05-01 2019-11-08 东京毅力科创株式会社 温度调节装置和液体处理装置
CN210015326U (zh) * 2019-07-10 2020-02-04 德淮半导体有限公司 光阻供液系统
CN112965339A (zh) * 2021-02-04 2021-06-15 惠科股份有限公司 一种光阻物料的使用方法和检测系统

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7008749B2 (en) * 2001-03-12 2006-03-07 The University Of North Carolina At Charlotte High resolution resists for next generation lithographies
TWI612108B (zh) * 2015-10-31 2018-01-21 Rohm And Haas Electronic Materials Llc 嵌段共聚物及圖案處理組合物以及方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009064726A (ja) * 2007-09-07 2009-03-26 Tokyo Electron Ltd 基板検査装置及び基板検査方法並びに記憶媒体
CN102005072A (zh) * 2009-09-01 2011-04-06 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 光阻监控方法及客户端
CN201997441U (zh) * 2011-01-04 2011-10-05 京东方科技集团股份有限公司 供给箱
CN105352629A (zh) * 2015-11-03 2016-02-24 刘幸 一种具有温度监控功能的光刻胶桶
KR101837508B1 (ko) * 2017-09-18 2018-03-13 김정화 유기 포토레지스트 해동 공급 장치
CN110429042A (zh) * 2018-05-01 2019-11-08 东京毅力科创株式会社 温度调节装置和液体处理装置
CN210015326U (zh) * 2019-07-10 2020-02-04 德淮半导体有限公司 光阻供液系统
CN112965339A (zh) * 2021-02-04 2021-06-15 惠科股份有限公司 一种光阻物料的使用方法和检测系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN112965339A (zh) 2021-06-15
CN112965339B (zh) 2021-11-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2022166489A1 (zh) 光阻物料的使用方法和检测系统
EP3236398A1 (en) A system for maintenance recommendation based on maintenance effectiveness estimation
US10402511B2 (en) System for maintenance recommendation based on performance degradation modeling and monitoring
EP3620922A1 (en) Server hardware fault analysis and recovery
US8991198B2 (en) Cooling system control and servicing based on time-based variation of an operational variable
US7461303B2 (en) Monitoring VRM-induced memory errors
US20110185233A1 (en) Automated system problem diagnosing
US20040078634A1 (en) Field replaceable unit (FRU) identification system tool
CN107621040B (zh) 温度传感器的纠错方法、装置和空调器
US20120011407A1 (en) Semiconductor device
US20150073853A1 (en) Supply chain management anomaly detection
CN104049999A (zh) 基于网络的存储设备自动修复系统及其方法
US11518545B2 (en) Supplemental cooling unit prediction system
US8243572B2 (en) Disk controller and storage system
TW201835702A (zh) 陳列櫃的管理系統
US8769337B2 (en) Detection method for configuration of power supply units and detection system using the same
CN108664655A (zh) 嵌入式系统的日志存储方法及系统
CN116203898A (zh) 基于数字孪生技术的生产线监控系统以及监控方法
DE112011100262B4 (de) Aktualisieren von Elementen in einer Datenspeichereinrichtung unter Verwendung einer vordefinierten Zustandsmaschine über einen ausgedehnten Zeitraum
CN102959521B (zh) 计算机系统的管理方法以及管理系统
US10042671B2 (en) Non-transitory computer-readable storage medium, control device, and control method
CN115328743B (zh) 安卓设备异常预警处理方法、系统和可读存储介质
JP2011091197A (ja) 異常検出システム
CN116757308A (zh) 一种电子类表决部件的备件需求量预测方法及系统
US20220161631A1 (en) Method and an apparatus to determining an impact on a temperature-controlled unit

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 21924482

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

32PN Ep: public notification in the ep bulletin as address of the adressee cannot be established

Free format text: NOTING OF LOSS OF RIGHTS PURSUANT TO RULE 112(1) EPC (EPO FORM 1205A DATED 17/11/2023)