CN201997441U - 供给箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种供给箱，涉及半导体领域，解决了现有技术中由于光阻剂自身化学性质导致供给箱更换频繁，严重影响设备的稼动率的问题。所述供给箱，包括存储室以及位于所述存储室底部的注射头，还包括冷藏室和解冻室，所述存储室中导流管的入口与所述解冻室的出口连接，所述导流管的入口与所述解冻室的出口之间设有第一开关装置，所述解冻室的入口与所述冷藏室的出口连接，所述述解冻室的入口与所述冷藏室的出口之间设有第二开关装置。除光阻剂外，本实用新型实施例提供的供给箱适用于其他需要低于常温进行保存的液体。如果将冷藏室改为高温室，解冻室改为制冷室，本实用新型实施例提供的供给箱也适用于其他需要高于常温进行保存的液体。

Description

供给箱

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种供给箱。

背景技术

在彩色滤光片的生产过程中，会产生由于光阻剂涂布不均匀，光阻剂脱落，异物干扰等引起的光阻剂缺失不良。对于这些不良，通常采用光阻剂涂覆的方法进行修理。

目前，所述光阻剂采用如图1所示的供给箱存储，所述供给箱包括存储室11和位于存储室11底部的注射头12，光阻剂通过导流管13存储到存储室11中，借由外力，光阻剂通过注射头12注射到需要涂覆光阻剂的地方。然而，这种供给箱多为一次性使用装置，且由于光阻剂自身的化学性质决定其不能长时间在常温下保存，供给箱在使用6-8小时需要更换一次，由于更换频繁，严重影响设备的稼动率。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种供给箱，解决现有技术中由于光阻剂自身化学性质导致供给箱更换频繁，严重影响设备的稼动率的问题。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种供给箱，包括冷藏室和解冻室，所述冷藏室的出口与所述解冻室的入口连接，所述解冻室设有输出装置，所述解冻室的输出装置用于导出解冻室内的液体。

为了更精确地导出解冻室内的液体，方便作业，进一步的，所述解冻室的输出装置为一个存储室，所述存储室的底部设有注射头。

所述存储室设有导流管。

所述解冻室的出口与所述存储室的导流管的入口连接，所述解冻室的出口与所述导流管的入口之间设有第一开关装置。

所述冷藏室的出口与所述解冻室的入口之间设有第二开关装置。

进一步的，为了使得冷藏室中的液体定量的流入解冻室，所述冷藏室包括多个分体存储管，所述每个分体存储管的出口均与所述解冻室的入口连接，所述第二开关装置包括与所述分体存储管的出口相对应的子开关装置。

进一步的，为了方便控制，所述供给箱还包括第一控制装置，所述第一控制装置根据输入的信号来控制所述第一开关装置。

进一步的，所述供给箱还包括第二控制装置，所述第二控制装置根据输入的信号来控制所述第二开关装置。

进一步的，为了更精确地控制第二开关装置，所述第二控制装置为冷藏室集成控制单元，所述冷藏室集成控制单元包括信号输入端和信号输出端，所述冷藏室集成控制单元的信号输出端与所述第二开关装置电性连接，所述第二开关装置为电磁阀门，所述冷藏室集成控制单元根据所述解冻室中液体的存储信息控制所述第二开关装置。

进一步的，为了更精确地控制第一开关装置，所述第一控制装置为解冻室集成控制单元，所述第一开关装置为电磁阀门，所述解冻室集成控制单元包括第一信号输入端、第一信号输出端，所述解冻室集成控制单元的第一信号输出端与所述第一开关装置电性连接，所述解冻室集成控制单元根据所述存储室中液体的存储信息控制所述第一开关装置。

进一步的，所述解冻室集成控制单元还包括第二信号输出端，所述第二信号输出端用于输出解冻室中液体的存储信息。

进一步的，为了得到存储室中液体的存储信息，所述存储室还包括第二液面感应器或者流量传感器，所述解冻室集成控制单元的第一信号输入端与第二液面感应器或者存储室的流量传感器电性连接。

进一步的，为了得到解冻室中液体的存储信息，所述解冻室还包括第一液面感应器，所述冷藏室集成控制单元的信号输入端与第一液面感应器或者解冻室集成控制单元的第二信号输出端电性连接。

进一步的，为了在所述存储室需要向外注射大量液体时，辅助所述解冻室快速解冻由所述冷藏室流入所述解冻室中的液体，所述供给箱还包括温度调节器和温度感应器，所述解冻室集成控制单元还包括第二信号输入端和第三信号输出端，所述解冻室还包括温度感应器和温度调节器，所述第二信号输入端与温度感应器电性连接，所述第三信号输出端与温度调节器电性连接，所述解冻室集成控制单元通过温度调节器调节温度。

本实用新型实施例提供的供给箱，由于包括冷藏室和解冻室，在不需要使用需要低于常温保存的液体时，所述液体保存在冷藏室中；在需要使用所述液体时，首先将所述液体从所述冷藏室中取出并放入解冻室对所述液体进行解冻，解冻完成后将所述液体放入存储室中等待注射，使得需要低于常温保存的液体保存在低于常温的状态，采用即用即取的方式，解决了由于光阻剂自身化学性质导致供给箱更换频繁，严重影响设备的稼动率的问题。

附图说明

图1为现有技术中供给箱的结构示意图；

图2a为本实用新型实施例提供的供给箱的结构示意图一；

图2b为本实用新型实施例提供的供给箱的结构示意图二；

图3为本实用新型实施例提供的供给箱的结构示意图三；

图4为本实用新型实施例提供的供给箱的结构示意图四；

图5为本实用新型实施例提供的供给箱的结构示意图五。

具体实施方式

本实用新型实施例提供一种供给箱，解决了由于光阻剂自身化学性质导致供给箱更换频繁，严重影响设备的稼动率的问题。

下面结合附图对本实用新型实施例提供的供给箱进行详细描述。

如图2a所示，本实用新型实施例提供的供给箱，包括冷藏室23和解冻室24，冷藏室23的出口与解冻室24的入口连接，解冻室24设有输出装置20，所述解冻室的输出装置20用于导出解冻室24内的液体。进一步的，为了方便控制，在冷藏室23的出口与解冻室24的入口之间设有开关装置。该开关装置可以为如图2a所示的第二开关装置26。

进一步的，为了方便控制，第二开关装置26连接有第二控制装置(图中未表示)，第二控制装置通过外界输入的信号来控制第二开关装置26。在需要使用液体时，可以人工通过第二控制装置输入一个信号，来控制第二开关装置26开启，使得冷藏室23的液体流入解冻室24，解冻后从输出装置20导出，便于作业。如果解冻室24的液体的消耗量是比较匀速的，就可以知道解冻室24内的液体消耗完的时间，或者根据所需液体的性质，得知其在常温中保存的时间，就可以通过第二控制装置输入设定的时间，来控制所述第二开关装置26在液体消耗完时开启。解冻室24可以采用电阻丝加热的方式对所需液体进行升温解冻，此处不一一列举。

如图2b所示，本实用新型实施例提供的供给箱，包括存储室21以及位于存储室21底部的注射头22，还包括冷藏室23和解冻室24，存储室21中导流管211的入口与解冻室24的出口连接，导流管211的入口与解冻室24的出口之间设有第一开关装置25，解冻室24的入口与冷藏室23的出口连接，解冻室24的入口与冷藏室23的出口之间设有第二开关装置26。

进一步的，为了方便控制，第一开关装置25也可以连接有第一控制装置(图中未表示)，通过外界输入的信号对第一开关装置25进行控制。在需要使用液体时，可以人工通过第一控制装置输入一个信号，来控制第一开关装置25开启，使得解冻室24的液体流入存储室21，然后从注射头22导出，便于作业。如果存储室21的液体的消耗量是比较匀速的，就可以知道存储室21内的液体消耗完的时间，或者根据所需液体的性质，得知其在常温中保存的时间，就可以通过第一控制装置输入设定的时间，来控制所述第一开关装置25在液体消耗完时开启。

本实用新型实施例提供的供给箱，由于包括冷藏室和解冻室，在不需要使用需要低于常温保存的液体时，液体保存在冷藏室中，使得需要低于常温保存的液体保存在低于常温的状态；在需要使用液体时，首先将液体从冷藏室中取出并放入解冻室对液体进行解冻，解冻完成后将液体放入存储室中等待注射，采用即用即取的方式，解决了由于光阻剂自身化学性质导致供给箱更换频繁，严重影响设备的稼动率的问题。

进一步的，如图3所示，为了使得冷藏室中的液体定量的流入解冻室，冷藏室23包括多个分体存储管231，每个分体存储管231的出口均面向解冻室24的入口，第二开关装置26包括与分体存储管231的出口相对应的子开关装置261。

进一步的，解冻室24为叠层缓冲式的解冻室，由于采用叠层缓冲式的结构设计，各叠层为单独控制的制冷板，腔内温度可分区域精确控制。

进一步的，为了更精确的控制第二开关装置26，所述第二控制装置可以是冷藏室集成控制单元27，冷藏室集成控制单元27包括信号输入端和信号输出端。第二开关装置26可以为电磁阀门。冷藏室集成控制单元27的信号输入端用于获取解冻室中液体的存储信息，而冷藏室集成控制单元27的信号输出端则根据此解冻室中液体的存储信息，输出信号去控制第二开关装置26的开关。

具体可为，冷藏室集成控制单元27的信号输出端与第二开关装置26电性连接，控制第二开关装置26的开关。当解冻室中液体的存储量低于预先设置的第一阈值时，冷藏室集成控制单元27控制第二开关装置26的开启。当解冻室中液体的存储量达到于预先设置的第二阈值时，冷藏室集成控制单元27控制第二开关装置26的关闭。第一阈值为供给箱保持正常工作时的解冻室中的最少液体存储量值，第二阈值为解冻室的满载容量。

为了更精确地控制从冷藏室中流入解冻室的液体，冷藏室集成控制单元27还可以对第二开关装置进行流量控制。例如，可以通过对每个子开关装置261的分别控制来达到流量控制的目的。还可以通过对第二开关装置26设置不同的开启程度，来达到流量控制的目的。

进一步地，如图4所示，冷藏室集成控制单元27的信号输入端通过信号传感器41与用于测量解冻室24中液面高度的第一液面感应器42连接，从而获取解冻室中液体的液面高度，即解冻室中液体的存储信息。当解冻室中的液面高度低于预先设置的液面高度一时，冷藏室集成控制单元27控制第二开关装置26的开启。当解冻室中液体的液面高度达到预先设置的液面高度二时，冷藏室集成控制单元27控制第二开关装置26的关闭。液面高度一为供给箱保持正常工作时的解冻室中的最少液体存储量所对应的液面高度，液面高度二为解冻室为满载容量时所对应的液面高度。

如图4所示，所述第一控制装置可以是解冻室控制单元51。可选地，解冻室24中液体的存储信息还可以通过解冻室控制单元51得到。

下面对于供给箱的解冻室集成控制单元51做进一步说明。可选的，如图5所示，供给箱还包括解冻室集成控制单元51，解冻室集成控制单元51可以包括第一信号输入端、第一信号输出端。第一开关装置25可以为电磁阀门。解冻室集成控制电路51的第一信号输出端与第一开关装置25连接，解冻室集成控制单元51根据存储室中液体的存储信息控制第一开关装置。在存储室21中的液体存储信息小于预先设置的第三阈值时，解冻室集成控制单元51控制第一开关装置25的开启。在存储室中的液体存储信息达到预先设置的第四阈值时，解冻室集成控制单元51控制第一开关装置25的关闭。第三阈值为供给箱保持正常工作时的存储室中的最少液体存储量值，第四阈值为存储室的满载容量。

为了更精确地控制从解冻室流入存储室的液体，解冻室集成控制单元51还可以对第一开关装置25进行流量控制。例如，可以通过对第一开关装置25设置不同的开启程度，来达到流量控制的目的。

解冻室集成控制电路51的第一信号输入端用来获取存储室21中液体的存储信息。具体的，解冻室集成控制单元51的第一信号输入端通过信号传感器与用于测量存储室中液面高度的第二液面感应器52连接得到。当存储室中的液面高度低于预先设置的液面高度三时，解冻室集成控制单元51控制第二开关装置25的开启。当存储室中液体的液面高度达到预先设置的液面高度四时，解冻室集成控制单元51控制第二开关装置25的关闭。液面高度三为供给箱保持正常工作时存储室中的最少液体存储量所对应的液面高度，液面高度四为存储室为满载容量时所对应的液面高度。

当然，存储室21中液体的存储信息还可以根据存储室向外注射的液体流量信息来得到。如图5所示，可以在存储室的注射头位置设置一个流量传感器60，将其得到的结果通过信号传感器反馈给解冻室集成控制单元51。解冻室集成控制单元51的第一输入端与用于获得注射头流量信息的流量传感器60电性连接，得到存储室21中的液体的存储信息。不限于上述的方式，此处不再赘述。

进一步的，解冻室集成控制电路51还可以包括第二信号输出端。解冻室集成控制电路51的第二信号输出端用于向冷藏室集成控制单元27提供解冻室24中液体的存储信息。解冻室控制单元51根据第一开关装置25在开启时从解冻室24流向存储室21的液体流量控制信息得到解冻室24中液体的存储信息。解冻室集成控制单元51的第二信号输出端与冷藏室集成控制单元27的信号输入端电性连接，将解冻室24中液体的存储信息提供给冷藏室集成控制单元27。

进一步的，为了在存储室需要向外注射大量液体时，辅助解冻室快速解冻由冷藏室流入解冻室中的液体，供给箱还包括温度调节器53和温度感应器54，解冻室集成控制单元51还可以包括第二信号输入端和第三信号输出端。解冻室集成控制单元51的第二信号输入端与用于测量解冻室温度的温度感应器54电性连接。解冻室集成控制单元51的第三信号输出端与温度调节器53电性连接，例如，解冻室集成控制单元51的第三信号输出端通过信号传感器与温度调节器53连接。解冻室集成控制单元51根据温度感应器54测量得到的温度和流量传感器60得到的流量信息控制温度调节器53。解冻室集成控制单元51通过信号传感器输出信号给温度调节器53，让其升温，使得解冻室24快速解冻其中的液体。使解冻室24内的光阻剂在流入到存储室21之前达到需要温度。可选地，解冻室集成控制单元51也可以只根据温度感应器54测量得到的温度来控制温度调节器53。

进一步的，为了更精确的控制温度调节器，温度感应器设置在解冻室的底部、中部和顶部。这样可以根据不同高度的液体温度确定温度调节器53的工作功率。

为了使得本领域的技术人员更好的理解本实用新型提供的实施例，现就彩色滤光片发生不良采用图5所示的供给箱进行光阻剂涂覆的具体方式进行详细的说明。

首先光阻剂通过导流管211进入存储器21中，通过注射头22注射到待修理的产品上。此时光阻剂发生消耗，存储室21内的光阻剂液面降低。在存储室21中，光阻剂的温度保持在23±0.1℃。

当存储器内21的液面降低到设定液面高度三时，第二液面感应器52通过信号传感器将信息传送至解冻室集成控制单元51，解冻室集成控制单元51控制第一开关装置25打开将解冻室24内的达到预设温度的光阻剂注入存储室21，完成存储室21内光阻剂的补充。

然后，解冻室集成控制单元51将解冻室24内光阻剂存量信息通过信号传感器反馈至冷藏集成控制单元27。冷藏室集成控制单元27根据反馈信息调节分体存储管231的子开关装置261。在这里，冷藏室23的温度可根据光阻剂特性设置在1℃-5℃之间。分体存储管231的子开关装置262打开后，分体存储管231内的光阻剂补充至解冻室24。

解冻室24对光阻剂进行解冻，当光阻剂从解冻室24流向存储室21的流速比较缓慢，可以将待解冻的光阻剂搁置在解冻室24中，由其自然解冻；当光阻剂从解冻室24流向存储室21的流速比较快速时，根据使用量流速及室内光阻剂温度，解冻室集成控制单元51调节温度调节器53，使解冻室24内的光阻剂在流入到存储室21之前达到需要温度。

除光阻剂外，本实用新型实施例提供的供给箱也适用于其他需要低于常温进行保存的液体。进一步的，如果将冷藏室改为高温室，解冻室改为制冷室，本实用新型实施例提供的供给箱也适用于其他需要高于常温进行保存的液体。此类供给箱的具体结构和控制方法也可类似参考前述，在此不再赘述。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (16)

1.一种供给箱，其特征在于，包括冷藏室和解冻室，所述冷藏室的出口与所述解冻室的入口连接，所述解冻室设有输出装置，所述解冻室的输出装置用于导出解冻室内的液体。

2.根据权利要求1所述的供给箱，其特征在于，所述解冻室的输出装置为一个存储室，所述存储室的底部设有注射头。

3.根据权利要求2所述的供给箱，其特征在于，所述存储室设有导流管。

4.根据权利要求3所述的供给箱，其特征在于，所述解冻室的出口与所述存储室的导流管的入口连接，所述解冻室的出口与所述导流管的入口之间设有第一开关装置。

5.根据权利要求1-4任一所述的供给箱，其特征在于，所述冷藏室的出口与所述解冻室的入口之间设有第二开关装置。

6.根据权利要求5所述的供给箱，其特征在于，所述冷藏室包括多个分体存储管，所述每个分体存储管的出口均与所述解冻室的入口连接，所述第二开关装置包括与所述分体存储管的出口相对应的子开关装置。

7.根据权利要求4所述的供给箱，其特征在于，还包括第一控制装置，所述第一控制装置根据输入的信号来控制所述第一开关装置。

8.根据权利要求5所述的供给箱，其特征在于，还包括第二控制装置，所述第二控制装置根据输入的信号来控制所述第二开关装置。

9.根据权利要求8所述的供给箱，其特征在于，还包括第一控制装置，所述第一控制装置根据输入的信号来控制所述第一开关装置。

10.根据权利要求9所述的供给箱，其特征在于，所述第二控制装置为冷 藏室集成控制单元，所述冷藏室集成控制单元包括信号输入端和信号输出端，所述冷藏室集成控制单元的信号输出端与所述第二开关装置电性连接，所述第二开关装置为电磁阀门，所述冷藏室集成控制单元根据所述解冻室中液体的存储信息控制所述第二开关装置。

11.根据权利要求9所述的供给箱，其特征在于，所述第一控制装置为解冻室集成控制单元，所述第一开关装置为电磁阀门，所述解冻室集成控制单元包括第一信号输入端、第一信号输出端，所述解冻室集成控制单元的第一信号输出端与所述第一开关装置电性连接，所述解冻室集成控制单元根据所述存储室中液体的存储信息控制所述第一开关装置。

12.根据权利要求11所述的供给箱，其特征在于，所述第二控制装置为冷藏室集成控制单元，所述冷藏室集成控制单元包括信号输入端和信号输出端，所述冷藏室集成控制单元的信号输出端与所述第二开关装置电性连接，所述第二开关装置为电磁阀门，所述冷藏室集成控制单元根据所述解冻室中液体的存储信息控制所述第二开关装置。

13.根据权利要求12所述的供给箱，其特征在于，所述解冻室集成控制单元还包括第二信号输出端，所述第二信号输出端用于输出解冻室中液体的存储信息。

14.根据权利要求12所述的供给箱，其特征在于，所述存储室还包括第二液面感应器或者流量传感器，所述解冻室集成控制单元的第一信号输入端与第二液面感应器或者存储室的流量传感器电性连接。

15.根据权利要求13所述的供给箱，其特征在于，所述解冻室还包括第一液面感应器，所述冷藏室集成控制单元的信号输入端与第一液面感应器或者解 冻室集成控制单元的第二信号输出端电性连接。

16.根据权利要求12所述的供给箱，其特征在于，所述解冻室集成控制单元还包括第二信号输入端和第三信号输出端，所述解冻室还包括温度感应器和温度调节器，所述第二信号输入端与温度感应器电性连接，所述第三信号输出端与温度调节器电性连接，所述解冻室集成控制单元通过温度调节器调节温度。 

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