WO2022117592A1 - Inertialmesseinheit - Google Patents

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WO2022117592A1
WO2022117592A1 PCT/EP2021/083651 EP2021083651W WO2022117592A1 WO 2022117592 A1 WO2022117592 A1 WO 2022117592A1 EP 2021083651 W EP2021083651 W EP 2021083651W WO 2022117592 A1 WO2022117592 A1 WO 2022117592A1
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inertial
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signal
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Douglas MARQUES FANTINI
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Robert Bosch Gmbh
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/0888—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values for indicating angular acceleration

Definitions

  • the invention relates to an inertial measurement unit and a method for determining at least one kinematic quantity, which is carried out with such an inertial measurement unit.
  • An inertial measurement unit is a spatial combination of several inertial sensors, which in turn each serve as an acceleration sensor and/or yaw rate sensor.
  • Such a measuring unit can represent, for example, the sensory measuring unit of an inertial navigation system, such as is used for flight navigation, for example.
  • inertial measuring units are also used in land motor vehicles.
  • An inertial measuring unit particularly in the case of motorcycles, can help to determine the driving dynamics state. This allows electronic chassis, engine management, rear wheel lift protection and ABS to work more accurately.
  • IMUs are used for motion detection in ships, in robotics and in image stabilization.
  • the inertial sensor also has a detection means for detecting the movements of the masses, the masses being mechanically coupled to one another by at least a first coupling element, a second coupling element and a third coupling element.
  • the coupling elements are designed to be essentially rigid, with each coupling element being connected to at least one other of the coupling elements.
  • An inertial sensor designed in this way can be used flexibly, has a simple structure and is insensitive to interference signals which are caused by parallel interference modes.
  • IMUs are capable of delivering 6D signals, i. H. three yaw rate signals and three acceleration signals. These represent a robust and compact solution. IMUs are also used that have three measurement modules, a small printed circuit board, a plastic housing and a microcontroller whose signal properties meet all the requirements for planned assistance systems.
  • IMUs offer u. a monitoring of redundant signals. The physical quantity is measured several times in different measurement modules and the signals are then marked as "correlated" if the deviation and the corresponding temporal change of this deviation between the measurement sources is lower than a predefined threshold.
  • Each component of this new generation has been optimized to increase the robustness and quality of the signals supplied.
  • Examples of this are the aluminum base plate, the geometry and number of mounting sockets, riveted housings with a dampening rubber seal, etc.
  • the inertial measurement unit (IMU) presented has at least two measurement modules, each measurement module having at least one inertial sensor that supplies at least one signal that carries a kinematic quantity. This means that this kinematic variable is measured or determined directly.
  • the IMU also has a computing unit that is set up to combine at least one signal from at least one of the at least two measurement modules and at least one signal from at least one other of the at least two measurement modules with one another in order to generate another signal that is another kinematic size. This additional kinematic variable is thus determined indirectly.
  • the measuring modules and the computing unit are typically arranged in one component, for example on a printed circuit board. However, it is also conceivable that these are provided in different components that communicate with one another.
  • the method presented serves to determine a further kinematic variable and is carried out with or in an inertial measurement unit of the type described herein.
  • at least one measured first signal, which has a first kinematic variable, and at least one measured second signal, which has a second kinematic variable are combined with one another.
  • a further signal is obtained which carries the further kinematic quantity, which was thus not determined directly but indirectly.
  • the inertial measurement unit (IMU) carries a large number of modules that can serve different purposes.
  • the presented IMU can thus fulfill one of many functions on a printed circuit board, for example.
  • the modules of the printed circuit board can be implemented as discrete components or as integrated components using different technologies.
  • Kinematics is the geometric description of the movement of material bodies.
  • so-called rigid body movements are considered in particular, i.e. the translation and rotation of bodies.
  • both constant-velocity and accelerated motion are considered.
  • Kinematic variables within the scope of the invention presented are, in particular, translational accelerations and yaw rates.
  • inertial sensors i. H. Angular rate sensors and acceleration sensors used.
  • Yaw rate sensors are implemented, for example, as fiber optic gyros or as laser gyros.
  • Micromechanical and micro-electro-mechanical systems (MEMS) continue to be used. These offer the advantage that they can be implemented directly in integrated circuits.
  • Acceleration sensors are constructed, for example, as piezoelectric acceleration sensors. These are based on quartz rods, which are slightly bent by the acceleration and slightly detune an electrical oscillating circuit. The use of MEMS is also known in this area.
  • MEMS are components that combine logic elements and micromechanical structures in one chip. These can process mechanical and electrical information. Elements are typically sensors, actuators, oscillators and filters.
  • the presented IMU can have the following properties of the currently used IMU generation:
  • the signals delivered are extremely low noise, especially compared to the last generation,
  • circuit boards are large enough to provide a significant lever arm between the soldered measurement modules, there is no circuit board resonance in the measurable frequency range, there is sufficient computing power or storage capacity for discrete integration or derivation steps.
  • At least one physical variable is determined or ascertained by means of a mathematical processing of two directly measured variables.
  • the main advantages of this invention are: a possible reduction in the production costs of the IMUs thanks to a reduced number of measurement modules for delivering the same number of signals, a possible extension of the redundancy concept by providing an additional source for the signals to be compared.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of an embodiment of a proposed inertial measuring unit in a plan view.
  • FIG. 2 shows a further embodiment of the presented inertial measuring unit to clarify the method described.
  • FIG. 1 shows an embodiment of the inertial measuring unit, which is denoted by the reference number 10 in its entirety.
  • An x-axis 12, a y-axis 14 and a z-axis 16 are also entered in the illustration.
  • the IMU 10 is built on a printed circuit board 20 which carries a large number of different modules such as memory, arithmetic units, logic units and so on.
  • four measuring modules 22 are provided on the printed circuit board 20, each of which has at least one inertial sensor.
  • At least one acceleration sensor and/or at least one yaw rate sensor can be provided in each of the measurement modules 22 .
  • FIG. 2 shows a further embodiment of the IMU, which is designated by the reference numeral 50 in its entirety.
  • This IMU 50 also has an assembled printed circuit board 52 .
  • the illustration shows a measuring module A 60, a measuring module B 62, a measuring module C 64 and a measuring module D 66.
  • the mode of operation is explained using modules A 60 and B 62. It is worth emphasizing that this only represents a possible embodiment of the presented IMU and the method described and is not intended to represent any limitation.
  • the method can be used for several combinations of signals and physical quantities.
  • two accelerations namely AccYA 70 and AccYB 72, are used to determine a rate of rotation, namely RateZ.
  • the rate of rotation in the Z direction can be calculated using the following formula:
  • HABx 74 is the lever arm between the measurement modules A 60 and B 62 in the X direction. Generally speaking, this results in:
  • the position of the measuring modules A 60 and B 62 enables a comparable calculation of the yaw rate in the Y-direction using accelerations in the Z-direction and the same lever arm in the X-direction.
  • Determining the lever arm is critical to the accuracy of the calculation. However, this can be roughly estimated with CAD models of the circuit board and then fine-tuned with a calibration measurement. It should be noted that both the order of the steps in the signal processing, namely filtering, sampling, interpolation, etc., and the implementation of the discrete integration should be taken into account.

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Abstract

Inertialmesseinheit mit mindestens zwei Messmodulen (60, 62, 64, 66), wobei jedes Messmodul (60, 62, 64, 66) zumindest einen Inertialsensor aufweist, der mindestens ein Signal liefert, das eine kinematische Größe trägt, und einer Recheneinheit, die dazu eingerichtet ist, wenigstens ein Signal von wenigstens einem der mindestens zwei Messmodule (60, 62, 64, 66) und wenigstens ein Signal von wenigstens einem weiteren der mindestens zwei Messmodule (60, 62, 64, 66) miteinander zu kombinieren, um so ein weiteres Signal zu erzeugen, das eine weitere kinematische Größe trägt.

Description

Beschreibung
Titel
Inertialmesseinheit
Die Erfindung betrifft eine Inertialmesseinheit und ein Verfahren zum Bestimmen mindestens einer kinematischen Größe, das mit einer solchen Inertialmesseinheit durchgeführt wird.
Stand der Technik
Eine Inertialmesseinheit (IMU: Inertial Measurement Unit) ist eine räumliche Kombination von mehreren Inertialsensoren, die wiederum jeweils als Beschleunigungssensor und/oder Drehratensensor dienen. Eine solche Messeinheit kann bspw. die sensorische Messeinheit eines Trägheitsnavigationssystems darstellen, wie dieses bspw. zur Flugnavigation eingesetzt wird. Aber auch in Land- Kraftfahrzeugen werden solche Inertialmesseinheiten eingesetzt. So kann eine Inertialmesseinheit, insbesondere bei Motorrädern, dabei helfen, den fahrdynamischen Zustand zu bestimmen. Auf diese Weise können elektronische Fahrwerke, die Motorsteuerung, der Hinterradabhebeschutz und das ABS genauer arbeiten. In Schiffen, in der Robotik sowie bei der Bildstabilisierung dienen derartige IMUs zur Bewegungsdetektion.
Es ist bekannt, zur Erfassung der sechs möglichen kinematischen Freiheitsgrade drei jeweils aufeinander orthogonal stehende Beschleunigungssensoren, für die Erfassung der translatorischen Bewegung in x-, y- bzw. z-Achse, und drei orthogonal zueinander angebrachte Drehratensensoren, für die Erfassung rotierender Bewegungen um die x-, y- bzw. z-Achse, vorzusehen. Die Druckschrift DE 10 2016 211 984 Al beschreibt einen Inertialsensor zur Messung einer Drehrate und/oder Beschleunigung, der als mikroelektromechanischer Inertialsensor ausgebildet ist. Dieser Inertialsensor weist ein Substrat und zwei aus einer Ruhelage auslenkbare Massen auf, wobei die Massen mit dem Substrat gekoppelt sind. Der Inertialsensor weist weiterhin ein Detektionsmittel zur Erfassung der Bewegungen der Massen auf, wobei die Massen durch wenigstens ein erstes Koppelelement, ein zweites Koppelelement und ein drittes Koppelelement miteinander mechanisch gekoppelt sind. Die Koppelelemente sind im Wesentlichen starr ausgebildet, wobei jedes Koppelelement mit wenigstens einem anderen der Koppelelemente verbunden ist. Ein auf solche Weise ausgebildeter Inertialsensor ist flexibel einsetzbar, einfach aufgebaut und gegenüber Störsignalen, die durch parallele Störmoden hervorgerufen werden, unempfindlich.
Bekannte IMUs sind in der Lage, 6D Signale zu liefern, d. h. drei Drehratensignale und drei Beschleunigungssignale. Diese stellen eine robuste und kompakte Lösung dar. Weiterhin sind IMUs im Einsatz, die drei Messmodule, eine kleine Leiterplatte, ein Kunststoff-Gehäuse und einen Mikrocontroller aufweisen, deren Signaleigenschaften alle Anforderung für geplante Assistenzsysteme erfüllen.
Derzeit entwickelte IMUs bieten u. a. eine Überwachung redundanter Signale an. Die physikalische Größe wird in verschiedenen Messmodulen mehrmals gemessen und die Signale werden dann als „korreliert“ gekennzeichnet, wenn die Abweichung und die entsprechende zeitliche Änderung dieser Abweichung zwischen den Messquellen niedriger als eine vordefinierte Schwelle ist.
Jeder Baustein dieser neuen Generation wurde optimiert, um die Robustheit bzw. Qualität der gelieferten Signale zu erhöhen. Beispiele hierfür sind die Bodenplatte aus Aluminium, die Geometrie und Anzahl der Befestigungsbuchsen, genietete Gehäuse mit einer dämpfenden Gummidichtung usw.
Besonders wirksam für die Erhöhung der Signalqualität ist die Verbesserung der Messmodule beim Übergang auf eine neue Produktgeneration. Diese Module sind nicht nur messfähiger geworden, in Bezug auf die Anzahl der messbaren physikalischen Größen pro Modul, sondern auch robuster und rauscharmer. Das alles dient einem einwandfreien Signal-Rausch-Verhalten.
Offenbarung der Erfindung
Vor diesem Hinergrund werden eine Inertialmesseinheit nach Anspruch 1 und ein Verfahren, das mit einer solchen Inertialmesseinheit durchgeführt wird, gemäß Anspruch 7 vorgestellt. Ausführungsformen ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen und aus der Beschreibung.
Die vorgestellte Inertialmesseinheit (IMU) weist mindestens zwei Messmodule auf, wobei jedes Messmodul zumindest einen Inertialsensor aufweist, der mindestens ein Signal liefert, das eine kinematische Größe trägt. Dies bedeutet, dass diese kinematische Größe gemessen bzw. direkt bestimmt wird. Die IMU weist weiterhin eine Recheneinheit auf, die dazu eingerichtet ist, wenigstens ein Signal von wenigstens einem der mindestens zwei Messmodule und wenigstens ein Signal von wenigstens einem weiteren der mindestens zwei Messmodule miteinander zu kombinieren, um so ein weiteres Signal zu erzeugen, das eine weitere kinematische Größe trägt. Diese weitere kinematische Größe wird somit indirekt bestimmt.
Die Messmodule und die Recheneinheit sind typischerweise in einem Bauteil, bspw. auf einer Leiterplatte, angeordnet. Es ist aber auch denkbar, dass diese in unterschiedlichen Bauteilen, die miteinander kommunizieren, vorgesehen sind.
Das vorgestellte Verfahren dient zum Bestimmen einer weiteren kinematischen Größe und wird mit bzw. in einer Inertialmesseinheit der hierin beschriebenen Art durchgeführt. Bei dem Verfahren wird wenigstens ein gemessenes erstes Signal, das eine erste kinematische Größe trägt, und wenigstens ein gemessenes zweites Signal, das eine zweite kinematische Größe trägt, miteinander kombiniert. Auf diese Weise wird ein weiteres Signal erhalten, das die weitere kinematische Größe trägt, die somit nicht direkt sondern indirekt bestimmt wurde. Die Inertialmesseinheit (IMU) trägt in Ausgestaltung eine Vielzahl von Modulen, die unterschiedlichen Zwecken dienen können. Die vorgestellte IMU kann somit bspw. auf einer Leiterplatte eine von vielen Funktionen erfüllen. Die Module der Leiterplatte können dabei als diskrete Bauteile oder als integrierte Bauteile in unterschiedlichen Technologien realisiert sein.
Unter Kinematik wird die geometrische Bechreibung der Bewegung materieller Körper verstanden. In diesem Fall werden insbesondere sogenannte Starrkörperbewegungen betrachtet, also die Translation und Rotation von Körpern. In diesem Fall werden sowohl eine Bewegung mit konstanter Geschwindigkeit als auch eine beschleunigte Bewegung betrachtet.
Kinematische Größen im Rahmen der vorgestellten Erfindung sind inbesondere translatorische Beschleunigungen und Drehraten.
In der vorgestellten Inertialmesseinheit werden in den beschriebenen Messmodulen insbesondere Inertialsensoren, d. h. Drehratensensoren und Beschleunigungssensoren, verwendet. Drehratensensoren sind bspw. als Faserkreisel oder als Laserkreisel realisiert. Es finden weiterhin mikromechanische und mikro-elektro-mechanische Systeme (MEMS) Anwendung. Diese bieten den Vorteil, dass diese sich direkt in integrierten Schaltkreisen realisieren lassen.
Beschleunigungssensoren sind bspw. als piezoelektrische Beschleunigungssensoren aufgebaut. Diese basieren auf Quarzstäben, die durch die Beschleunigung gering gebogen werden und einen elektrischen Schwingkreis gering verstimmen. Auch in diesem Bereich ist der Einsatz von MEMS bekannt.
MEMS sind Bauteile, die Logikelemente und mikromechanische Strukturen in einem Chip vereinen. Diese können mechanische und elektrische Informationen verarbeiten. Elemente sind typischerweise Sensoren, Aktoren, Oszillatoren und Filter.
Mit der beschriebenen Vorgehensweise wird sowohl eine Erweiterung der gelieferten Signale erreicht als auch ein ergänzendes Konzept für Redundanz und Robustheit vorgelegt. Dies bedeutet, dass in Ausgestaltung weniger Signale direkt erzeugt werden müssen und somit weniger Messmodule oder einfachere Messmodule verwendet werden können. Weiterhin können Signale redundant, d. h. direkt und indirekt, erzeugt werden, so dass eine Plausibilisierung von Signalen vorgenommen werden kann.
Die vorgestellte IMU kann dabei folgende Eigenschaften der derzeit eingesetzten IMU-Generation haben:
Die gelieferten Signale sind extrem rauscharm, insbesondere im Vergleich zu der letzten Generation,
Die Leiterplatten sind ausreichend groß für die Bereitstellung eines bedeutenden Hebelarms zwischen den gelöteten Messmodulen, es gibt keine Resonanz der Leiterplatte in dem messbaren Frequenzbereich, es ist ausreichend Rechenleistung bzw. Speicherkapazität für diskrete Integrations- bzw. Ableitungsschritte vorhanden.
Bei der vorgestellten IMU und dem beschriebenen Verfahren ist vorgesehen, dass mindestens eine physikalische Größe mittels einer mathematischen Verarbeitung von zwei direkt gemessenen Größen bestimmt bzw. ermittelt wird.
Die Hauptvorteile dieser Erfindung sind: eine mögliche Reduzierung der Produktionskosten der IMUs durch eine reduzierte Anzahl der Messmodule für die Lieferung gleicher Anzahl von Signalen, eine mögliche Erweiterung des Redundanzkonzepts, in der man eine zusätzliche Quelle für die zu vergleichenden Signale bereitstellt.
Weitere Vorteile und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und den beiliegenden Zeichnungen. Es versteht sich, dass die voranstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Figur 1 zeigt in schematischer Darstellung eine Ausführungsform einer vorgestellten Inertialmesseinheit in einer Draufsicht.
Figur 2 zeigt eine weitere Ausführungsform der vorgestellten Inertialmesseinheit zur Verdeutlichung des beschriebenen Verfahrens.
Ausführungsformen der Erfindung
Die Erfindung ist anhand von Ausführungsformen in den Zeichnungen schematisch dargestellt und wird im Folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen ausführlich beschrieben.
Figur 1 zeigt eine Ausführung der Inertialmesseinheit, die insgesamt mit der Bezugsziffer 10 bezeichnet ist. In der Darstellung sind weiterhin eine x-Achse 12, eine y-Achse 14 und eine z-Achse 16 eingetragen.
Die IMU 10 ist auf einer Leiterplatte 20 aufgebaut, die eine Vielzahl von unterschiedlichen Modulen, wie Speicher, Recheneinheiten, Logikeinheiten usw. trägt. In diesem Fall sind auf der Leiterplatte 20 vier Messmodule 22 vorgesehen, die jeweils mindestens einen Inertialsensor aufweisen. Es können dabei mindestens ein Beschleunigungsensor und/oder mindestens ein Drehratensensor in jedem der Messmodule 22 vorgesehen sein.
Figur 2 zeigt eine weitere Ausführungsform der IMU, die insgesamt mit der Bezugsziffer 50 bezeichnet ist. Auch diese IMU 50 weist eine bestückte Leiterplatte 52 auf. Die Darstellung zeigt ein Messmodul A 60, ein Messmodul B 62, ein Messmodul C 64 und ein Messmodul D 66. Die Funktionsweise wird anhand der Module A 60 und B 62 erläutert. Es ist zu betonen, dass dies lediglich eine mögliche Ausführung der vorgestellten IMU und des beschriebenen Verfahrens darstellt und keine Einschränkung darstellen soll.
Das Verfahren lässt sich für mehrere Kombinationen von Signalen und physikalischen Größen anwenden. In dem Beispiel werden zwei Beschleunigungen, nämlich AccYA 70 und AccYB 72 genutzt, um eine Drehrate, nämlich RateZ, zu bestimmen.
Die Drehrate in Z- Richtung lässt sich mit folgender Formel berechnen:
Figure imgf000009_0001
HABx 74 ist hier der Hebelarm zwischen den Messmodulen A 60 und B 62 in X- Richtung. Allgemein beschrieben ergibt sich:
Die Differenz zwischen zwei Beschleunigungen in einer Richtung multipliziert mit dem Hebelarm zwischen den entsprechenden Messmodule in einer anderen Richtung ergibt die Drehbeschleunigung in der dritten Richtung. Die zeitliche Integration dieser Drehbeschleunigung ergibt die Drehrate in der dritten Richtung.
Die Position der Messmodule A 60 und B 62 ermöglicht eine vergleichbare Berechnung der Drehrate in Y-Richtung mit der Verwendung von Beschleunigungen in Z-Richtung und dem gleichen Hebelarm in X-Richtung.
Diese Position ist aber ungeeignet für die Berechnung der Drehrate in X- Richtung, weil es praktisch keinen Hebelarm zwischen den Modulen in Y- Richtung gibt. Eine diagonale Positionierung der Module in Bezug auf die Leiterplatte kann zweckmäßig sein, um die vollständige Anwendung dieser Methode zu gewährleisten und alle drei Drehraten ermitteln zu können.
Die Bestimmung des Hebelarms ist kritisch für die Genauigkeit der Berechnung. Dieser lässt sich jedoch mit CAD-Modellen der Leiterplatte grob abschätzen und dann mit einer Kalibriermessung feinjustieren. Zu beachten ist, dass sowohl auf die Reihenfolge der Schritte in der Signalverarbeitung, nämlich Filterung, Abtastung, Interpolation usw., als auch auf die Implementierung der diskreten Integration Rücksicht genommen werden sollte.

Claims

- 9 - Ansprüche
1. Inertialmesseinheit mit
- mindestens zwei Messmodulen (22, 60, 62, 64, 66), wobei jedes Messmodul (22, 60, 62, 64, 66) zumindest einen Inertialsensor aufweist, der mindestens ein Signal liefert, das eine kinematische Größe trägt, und
- einer Recheneinheit, die dazu eingerichtet ist, wenigstens ein Signal von wenigstens einem der mindestens zwei Messmodule (22, 60, 62, 64, 66) und wenigstens ein Signal von wenigstens einem weiteren der mindestens zwei Messmodule (22, 60, 62, 64, 66) miteinander zu kombinieren, um so ein weiteres Signal zu erzeugen, das eine weitere kinematische Größe trägt.
2. Inertialmesseinheit nach Anspruch 1, bei dem ein erstes Messmodul (22, 60, 62, 64, 66) eine erste kinematische Größe misst und ein zweites Messmodul (22, 60, 62, 64, 66) eine zweite kinematische Größe misst und die Recheneinheit dazu eingerichtet ist, eine weitere kinematische Größe mittels einer mathematischen Verarbeitung der zwei gemessenen kinematischen Größen zu bestimmen.
3. Inertialmesseinheit nach Anpruch 1 oder 2, bei der die Messmodule (22, 60, 62, 64, 66) auf einer Leiterplatte (20, 52) angeordnet sind.
4. Inertialmesseinheit nach Anspruch 3, bei der wenigstens zwei der Messmodule (22, 60, 62, 64, 66) auf der Leiterplatte (20, 52) diagonal zueinander in Bezug auf die Leiterplatte (20, 52) angeordnet sind.
5. Inertialmesseinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei der als Inertialsensoren mindestens ein Beschleunigungssensor und mindestens ein Drehratensensor vorgesehen sind.
6. Inertialmesseinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der mindestens einer der Inertialsensoren als MEMS aufgebaut ist.
7. Verfahren zum Bestimmen einer weiteren kinematischen Größe mit einer Inertialmesseinheit (10, 50) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem wenigstens ein gemessenes erstes Signal, das eine erste kinematische Größe trägt, und wenigstens ein gemessenes zweites Signal, das eine zweite kinematische Größe trägt, kombiniert werden und auf diese Weise ein weiteres Signal erhalten wird, das die weitere kinematische Größe trägt.
8. Verfahren nach Anspruch 7, bei dem die weitere kinematische Größe mittels einer mathematischen Verarbeitung der zwei gemessenen kinematischen Größen bestimmt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem die Differenz zweier Beschleunigungen in einer Richtung mit einem Hebelarm zwischen entsprechenden Messmodulen (22, 60, 62, 64, 66) in einer anderen Richtung multipliziert wird, um eine Drehbeschleunigung in einer dritten Richtung zu erhalten.
10. Verfahren nach Anspruch 9, bei dem durch zeitliche Integration der Drehbeschleunigung eine Drehrate in einer dritten Richtung erhalten wird.
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