WO2022054469A1

WO2022054469A1 - 測光装置

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Publication number: WO2022054469A1
Application number: PCT/JP2021/028941
Authority: WO
Inventors: 月果馬ノ段; 通中谷; 祐亮平尾
Original assignee: コニカミノルタ株式会社
Priority date: 2020-09-09
Filing date: 2021-08-04
Publication date: 2022-03-17
Also published as: CN116157657A; JPWO2022054469A1; US20230341261A1

Abstract

測光装置（１）は、可変光減衰器（４）を備える。可変光減衰器（４）は、複数の光減衰フィルタと、駆動装置（５）とを含む。複数の光減衰フィルタは、各々、干渉多層膜と、透明基板とを含む。複数の光減衰フィルタのうちの任意の二つの組み合わせを、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ（１０））及び第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ（２０））とする。第１光減衰フィルタの第１透明基板（透明基板（１１））の第１光路長は、第２光減衰フィルタの第２透明基板（透明基板（２１））の第２光路長と異なる。

Description

測光装置

　本開示は、測光装置に関する。

　特開平８－１５０１２号公報（特許文献１）は、分光器と、光減衰手段と、光検出器とを備える光スペクトル測定装置を開示している。光減衰手段は、回転板と、回転板に取り付けられる複数のＮＤフィルタと、回転板を回転させるモータとを含む。複数のＮＤフィルタは、互いに異なる光減衰率を有している。光スペクトル測定装置へ入射する光の強度に応じて、複数のＮＤフィルタのうち最も適切な光減衰率を有するＮＤフィルタを、当該光の光路に挿入する。こうして、光検出器が飽和することを防ぎ、光検出器に入射する当該光の強度を光検出器のダイナミックレンジ内としている。

特開平８－１５０１２号公報

　しかし、特許文献１に開示された光スペクトル測定装置に含まれる光減衰手段では、回転板に取り付けられる複数のＮＤフィルタとモータを用いて回転させているため、光減衰手段のサイズが大きくなる。本開示はこのような課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、よりコンパクトなサイズを有し、かつ、より高い精度で光を測定することができる測光装置を提供することである。

　本開示の測光装置は、可変光減衰器と、光検出器とを備える。可変光減衰器は、複数の光減衰フィルタと、駆動装置とを含む。光検出器は、可変光減衰器を通過した光を受光する。駆動装置は、複数の光減衰フィルタを、互いに独立して、光の光軸に挿入すること及び光軸から退避させることができる。複数の光減衰フィルタは、光軸に沿う方向において互いに異なる位置に配置されている。複数の光減衰フィルタの各々は、干渉多層膜と、干渉多層膜を支持する透明基板とを含む。複数の光減衰フィルタのうちの任意の二つの組み合わせを、第１光減衰フィルタ及び第２光減衰フィルタとする。光軸に沿う方向において、第２光減衰フィルタは第１光減衰フィルタより光検出器に近位している。第１光減衰フィルタは、干渉多層膜としての第１干渉多層膜と、透明基板としての第１透明基板とを含む。第２光減衰フィルタは、干渉多層膜としての第２干渉多層膜と、透明基板としての第２透明基板とを含む。第１透明基板の第１光路長は、第２透明基板の第２光路長と異なっている。

　好ましくは、光は可変光減衰器への入射角の分布を有しており、かつ、測光装置は以下の条件式（１）を満足する。
｜ＯＰＤ_θmax1－ＯＰＤ_θmin1｜／λ＞０．５　…（１）
ただし、ＯＰＤ_θmax1＝（ＯＰ_1220max－ＯＰ_1022max）である。ＯＰＤ_θmin1＝（ＯＰ_1220min－ＯＰ_1022min）である。λは、測光装置の測定可能波長範囲内に含まれる光の波長である。ＯＰ_1220maxは、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最大入射角光の光路長である。最大入射角光は、光のうち可変光減衰器への入射角が最大である光である。ＯＰ_1022maxは、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_1220minは、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最小入射角光の光路長である。最小入射角光は、光のうち可変光減衰器への入射角が最小である光である。ＯＰ_1022minは、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する最小入射角光の光路長である。

　好ましくは、測光装置は、分光情報を測定可能な分光器である。
　好ましくは、測光装置は、以下の条件式（２）を満足する。
ＯＰＤ₁₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（２）
ただし、ＯＰＤ₁₂＝｜ＯＰ₁₂₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜である。λは、測光装置の測定可能波長範囲内に含まれる光の波長である。Δλ_aは、光検出器に含まれる光検出素子の分光応答度スペクトルの半値幅である。ＯＰ₁₂₂₀は、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する光の光路長である。ＯＰ₁₀₂₂は、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する光の光路長である。

　好ましくは、測光装置は、以下の条件式（３）を満足する。
ＯＰＤ₁₃×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（３）
ただし、ＯＰＤ₁₃＝｜ＯＰ₁₂₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜である。λは、測光装置の測定可能波長範囲内に含まれる光の波長である。Δλ_bは、被測定物から放射される光の線幅である。ＯＰ₁₂₂₀は、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する光の光路長である。ＯＰ₁₀₂₂は、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する光の光路長である。

　好ましくは、第１透明基板の第１厚さは、第２透明基板の第２厚さと異なっている。
　好ましくは、第１透明基板の第１屈折率は、第２透明基板の第２屈折率と異なっている。

　好ましくは、複数の光減衰フィルタの各々の干渉多層膜は、同じ材料で形成されており、複数の光減衰フィルタの各々の透明基板は、同じ材料で形成されている。

　好ましくは、複数の光減衰フィルタは、各々、光軸に対して同じ角度で配置されている。

　好ましくは、測光装置は、複数の光減衰フィルタの入射側に配置されているコリメートレンズをさらに備える。

　好ましくは、測光装置は、以下の条件式（４）及び（５）を満足する。
｜ＯＰＤ_θmax2－ＯＰＤ_θmin2｜／λ＞０．５　…（４）
｜ＯＰＤ_θmax3－ＯＰＤ_θmin3｜／λ＞０．５　…（５）
ただし、ＯＰＤ_θmax2＝（ＯＰ_1420max－ＯＰ_1022max）である。ＯＰＤ_θmin2＝（ＯＰ_1420min－ＯＰ_1022min）である。ＯＰＤ_θmax3＝（ＯＰ_1024max－ＯＰ_1220max）である。ＯＰＤ_θmin3＝（ＯＰ_1024min－ＯＰ_1220min）である。ＯＰ_1420maxは、第１光減衰フィル
タで４回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_1022maxは、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_1420minは、第１光減衰フィルタで４回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最小入射角光の光路長である。ＯＰ_1022minは、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する、最小入射角光の光路長である。ＯＰ_1024maxは、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで４回反射する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_1220maxは、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_1024minは、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで４回反射する最小入射角光の光路長である。ＯＰ_1220minは、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最小入射角光の光路長である。

　好ましくは、測光装置は、以下の条件式（６）及び（７）を満足する。
ＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（６）
ＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（７）
ただし、ＯＰＤ₂₁＝｜ＯＰ₁₄₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜である。ＯＰＤ₂₂＝｜ＯＰ₁₀₂₄－ＯＰ₁₂₂₀｜である。ＯＰ₁₄₂₀は、第１光減衰フィルタで４回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する光の光路長である。ＯＰ₁₀₂₂は、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する光の光路長である。ＯＰ₁₀₂₄は、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで４回反射する光の光路長である。ＯＰ₁₂₂₀は、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する光の光路長である。

　好ましくは、測光装置は、以下の条件式（８）及び（９）を満足する。
ＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（８）
ＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（９）
ただし、ＯＰＤ₂₁＝｜ＯＰ₁₄₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜である。ＯＰＤ₂₂＝｜ＯＰ₁₀₂₄－ＯＰ₁₂₂₀｜である。ＯＰ₁₄₂₀は、第１光減衰フィルタで４回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する光の光路長である。ＯＰ₁₀₂₂は、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する光の光路長である。ＯＰ₁₀₂₄は、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで４回反射する光の光路長である。ＯＰ₁₂₂₀は、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する光の光路長である。

　好ましくは、複数の光減衰フィルタは、第１光減衰フィルタとしての第３光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとしての第４光減衰フィルタとを含む。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとは、複数の光減衰フィルタのうち互いに隣り合う任意の二つの光減衰フィルタである。測光装置は、以下の条件式（１０）及び（１１）を満足する。
｜ＯＰＤ_θmax4－ＯＰＤ_θmin4｜／λ＞０．５　…（１０）
｜ＯＰＤ_θmax5－ＯＰＤ_θmin5｜／λ＞０．５　…（１１）
ただし、ＯＰＤ_θmax4＝（ＯＰ_3240max－ＯＰ_30G240max）である。ＯＰＤ_θmin4＝（ＯＰ_3240min－ＯＰ_30G240min）である。ＯＰＤ_θmax5＝（ＯＰ_3042max－ＯＰ_30G240max）である。ＯＰＤ_θmin5＝（ＯＰ_3042min－ＯＰ_30G240min）である。ＯＰ_3240maxは、第３光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第４光減衰フィルタで反射されることなく第４光減衰フィルタを通過する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_30G240maxは、第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタを通過し、かつ、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層で２回反射する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_3240minは、第３光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第４光減衰フィルタで反射されることなく第４光減衰フィルタを通過する最小入射角光の光路長である。ＯＰ_30G240minは、第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタを通過し、かつ、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層で２回反射する最小入射角光の光路長である。ＯＰ_3042maxは、第３光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタを通過し、かつ、第４光減衰フィルタで２回反射する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_3042minは、第３光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタを通過し、かつ、第４光減衰フィルタで２回反射する最小入射角光の光路長である。

　好ましくは、複数の光減衰フィルタは、第１光減衰フィルタとしての第３光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとしての第４光減衰フィルタとを含む。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとは、複数の光減衰フィルタのうち互いに隣り合う任意の二つの光減衰フィルタである。測光装置は、以下の条件式（１２）及び（１３）を満足する。
ＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（１２）
ＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（１３）
ただし、ＯＰＤ_g1＝｜ＯＰ₃₂₄₀－ＯＰ_30G240｜である。ＯＰＤ_g2＝｜ＯＰ₃₀₄₂－ＯＰ_30G240｜である。ＯＰ₃₂₄₀は、第３光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第４光減衰フィルタで反射されることなく第４光減衰フィルタを通過する光の光路長である。ＯＰ_30G240は、第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタを通過し、かつ、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層で２回反射する光の光路長である。ＯＰ₃₀₄₂は、第３光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタを通過し、かつ、第４光減衰フィルタで２回反射する光の光路長である。

　好ましくは、複数の光減衰フィルタは、第１光減衰フィルタとしての第３光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとしての第４光減衰フィルタとを含む。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとは、複数の光減衰フィルタのうち互いに隣り合う任意の二つの光減衰フィルタである。測光装置は、以下の条件式（１４）及び（１５）を満足する。
ＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（１４）
ＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（１５）
ただし、ＯＰＤ_g1＝｜ＯＰ₃₂₄₀－ＯＰ_30G240｜である。ＯＰＤ_g2＝｜ＯＰ₃₀₄₂－ＯＰ_30G240｜である。ＯＰ₃₂₄₀は、第３光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第４光減衰フィルタで反射されることなく第４光減衰フィルタを通過する光の光路長である。ＯＰ_30G240は、第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタを通過し、かつ、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層で２回反射する光の光路長である。ＯＰ₃₀₄₂は、第３光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタを通過し、かつ、第４光減衰フィルタで２回反射する光の光路長である。

　本開示によれば、よりコンパクトなサイズを有し、かつ、より高い精度で光を測定することができる測光装置を提供することができる。

実施の形態の測光装置の概略斜視図である。実施の形態の可変光減衰器の概略ブロック図である。実施の形態の可変光減衰器の概略図である。実施の形態の光検出器の概略部分拡大図である。実施の形態の可変光減衰器における第１の干渉を示す概略図である。実施の形態の可変光減衰器における第１の干渉を示す概略図である。実施の形態の可変光減衰器における第２の干渉を示す概略図である。実施の形態の可変光減衰器における第２の干渉を示す概略図である。実施の形態の可変光減衰器における第２の干渉を示す概略図である。実施の形態の可変光減衰器における第２の干渉を示す概略図である。実施の形態の可変光減衰器における第３の干渉を示す概略図である。実施の形態の可変光減衰器における第３の干渉を示す概略図である。実施の形態の可変光減衰器における第３の干渉を示す概略図である。実施の形態の可変光減衰器における第３の干渉を示す概略図である。実施例１における、可変光減衰器に入射する光の入射角の分布を表すグラフを示す図である。可変光減衰器への被測定光の入射角が５°である場合の、第一の干渉に起因する干渉光の相対強度を表すグラフを示す図である。可変光減衰器への被測定光の入射角範囲が３°以上７°以下（５°±２°）である場合の、第一の干渉に起因する干渉光の相対強度を表すグラフを示す図である。可変光減衰器への被測定光の入射角が５°である場合の、第二の干渉に起因する干渉光の相対強度を表すグラフを示す図である。可変光減衰器への被測定光の入射角範囲が３°以上７°以下（５°±２°）である場合の、第二の干渉に起因する干渉光の相対強度を表すグラフを示す図である。可変光減衰器への被測定光の入射角が５°である場合の、第三の干渉に起因する干渉光の相対強度を表すグラフを示す図である。可変光減衰器への被測定光の入射角範囲が３°以上７°以下（５°±２°）である場合の、第三の干渉に起因する干渉光の相対強度を表すグラフを示す図である。光検出器に含まれる複数の光検出素子のうちの一つの分光応答度スペクトルを表すグラフを示す図である。被測定物から放射される光のスペクトルを表すグラフを示す図である。

　図１から図４を参照して、実施の形態の測光装置１を説明する。測光装置１は、被測定物２から放射される光（被測定光）を測定する装置である。被測定物２は、特に限定されないが、例えば、液晶ディスプレイまたは有機ＥＬディスプレイのようなフラットパネルディスプレイである。

　図１を参照して、測光装置１は、可変光減衰器４と、光検出器８とを主に備える。測光装置１は、分光素子６をさらに備えてもよく、被測定物２の分光情報（例えば、被測定光のスペクトル）を測定可能な装置（例えば、光スペクトル測定装置）であってもよい。測光装置１は、コリメータレンズ３と、集光レンズ７とをさらに備えてもよい。

　コリメータレンズ３は、可変光減衰器４（複数の光減衰フィルタ１０，２０）の入射側に配置されている。コリメータレンズ３は、被測定物２から放射される光をコリメートする。

　図１及び図２を参照して、可変光減衰器４は、コリメータレンズ３の出射側に配置されている。可変光減衰器４には、コリメータレンズ３によってコリメートされた光が入射する。可変光減衰器４は、複数の光減衰フィルタ１０，２０と、駆動装置５とを含む。

　複数の光減衰フィルタ１０，２０は、各々、可変光減衰器４に入射する光の光軸２ｐに対して同じ角度で配置されてもよい。複数の光減衰フィルタ１０，２０は、各々、可変光減衰器４に入射する光の光軸２ｐに対して同じ角度で傾いてもよい。複数の光減衰フィルタ１０，２０は、互いに平行に配置されてもよい。そのため、可変光減衰器４を小型化することができて、測光装置１を小型化することができる。

　図３を参照して、複数の光減衰フィルタ１０，２０は、各々、干渉多層膜１２，１３，２２，２３と、干渉多層膜１２，１３，２２，２３を支持する透明基板１１，２１とを含む。複数の光減衰フィルタ１０，２０のうちの任意の二つの組み合わせを、第１光減衰フィルタ（例えば、光減衰フィルタ１０）及び第２光減衰フィルタ（例えば、光減衰フィルタ２０）とする。光軸２ｐに沿う方向において、第２光減衰フィルタは第１光減衰フィルタより光検出器８に近位している。第１光減衰フィルタは、干渉多層膜としての第１干渉多層膜（例えば、干渉多層膜１２，１３の少なくとも一つ）と、透明基板としての第１透明基板（例えば、透明基板１１）とを含む。第２光減衰フィルタは、干渉多層膜としての第２干渉多層膜（干渉多層膜２２，２３の少なくとも一つ）と、透明基板としての第２透明基板（例えば、透明基板２１）とを含む。

　第１透明基板（例えば、透明基板１１）の第１光路長は、第２透明基板（例えば、透明基板２１）の第２光路長と異なっている。第１透明基板の第１光路長は、第１透明基板の第１屈折率（例えば、屈折率ｎ₁）と第１透明基板の第１厚さ（例えば、厚さｄ₁）との積で与えられる。第２透明基板の第２光路長は、第２透明基板の第２屈折率（例えば、屈折率ｎ₂）と第２透明基板の第２厚さ（例えば、厚さｄ₂）との積で与えられる。干渉多層膜１２，１３，２２，２３の各々の厚さは透明基板１１，２１の各々の厚さに比べて無視し得るので、第１透明基板（例えば、透明基板１１）の第１光路長が第２透明基板（例えば、透明基板２１）の第２光路長と異なることは、第１光減衰フィルタ（例えば、光減衰フィルタ１０）の光路長が第２光減衰フィルタ（例えば、光減衰フィルタ２０）の光路長と異なることを意味する。

　透明基板１１，２１は、例えば、ガラス、プラスチック、水晶またはサファイアのような、被測定光に対して透明な光学材料で形成されている。透明基板１１，２１を形成する透明光学材料は、被測定光の波長範囲に応じて適切に選択され得る。

　干渉多層膜１２，１３，２２，２３は、各々、対応する透明基板１１，２１の各々の入射面１４，２４または出射面１５，２５の少なくとも一つに形成されている。具体的には、光減衰フィルタ１０は、干渉多層膜１２，１３の少なくとも一つを含む。干渉多層膜１２は、透明基板１１の入射面１４に形成される。干渉多層膜１３は、透明基板１１の出射面１５に形成される。光減衰フィルタ２０は、干渉多層膜２２，２３の少なくとも一つを含む。干渉多層膜２２は、透明基板２１の入射面２４に形成される。干渉多層膜２３は、透明基板２１の出射面２５に形成される。

　特定的には、干渉多層膜１２，１３，２２，２３は、各々、対応する透明基板１１，２１の各々の入射面１４，２４及び出射面１５，２５の両方に形成されている。具体的には、光減衰フィルタ１０は、透明基板１１の入射面１４に形成される干渉多層膜１２と、透明基板１１の出射面１５に形成される干渉多層膜１３とを含む。光減衰フィルタ２０は、透明基板２１の入射面２４に形成される干渉多層膜２２と、透明基板２１の出射面２５に形成される干渉多層膜２３とを含む。

　干渉多層膜１２，１３，２２，２３は、互いに同じ多層膜構成を有してもよいし、互いに異なる多層膜構成を有してもよい。干渉多層膜１２，１３，２２，２３は、互いに同じ材料で形成されてもよいし、互いに異なる材料で形成されてもよい。干渉多層膜１２，１３，２２，２３の各層の材料として、例えば、ＳｉＯ₂もしくはＭｇＦ₂のような誘電体材料、Ａｌ₂Ｏ₃、ＴｉＯ₂、Ｎｂ₂Ｏ₅もしくはＮｂＯのような金属酸化物材料、または、ＣｒもしくはＮｂのような金属材料が用いられ得る。

　光減衰フィルタとして、基板（例えば、ガラス基板）の内部で光を吸収する吸収型光減衰フィルタが知られている。吸収型光減衰フィルタの透過スペクトルの設計の自由度は、相対的に低い。また、環境温度及び環境湿度に対する吸収型光減衰フィルタの安定性は、相対的に低い。これに対し、干渉型光減衰フィルタ（例えば、干渉多層膜１２，１３，２２，２３を含む光減衰フィルタ１０，２０）の透過スペクトルの設計の自由度は、相対的に高い。また、環境温度及び環境湿度に対する干渉型光減衰フィルタの安定性は、相対的に高い。

　図２を参照して、駆動装置５は、複数の光減衰フィルタ１０，２０を、互いに独立して、可変光減衰器４に入射する光の光軸２ｐに挿入すること及び光軸２ｐから退避させることができる。そのため、光検出器８が飽和することを防ぎ、光検出器８に入射する被測定光の強度を光検出器８のダイナミックレンジ内とすることができる。また、測光装置１は、よりコンパクトなサイズを有する。駆動装置５は、例えば、リニアアクチュエータである。

　図１を参照して、分光素子６は、可変光減衰器４を通過した光を分光する。分光素子６は、例えば、回折格子である。集光レンズ７は、分光素子６で分光された光を、光検出器８に集光させる。

　図１及び図４を参照して、光検出器８は、可変光減衰器４を通過した光を受光する。特定的には、光検出器８は、分光素子６で分光された光を受光する。光検出器８は、複数の光検出素子９を含むラインセンサである。複数の光検出素子９は、それぞれ、被測定光に含まれる互いに異なる複数の波長の光を検出する。複数の光検出素子９は、各々、例えば、電荷結合素子（ＣＣＤ）センサまたは相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）センサである。

　干渉多層膜１２，１３，２２，２３を含む光減衰フィルタ１０，２０の光反射率は、吸収型光減衰フィルタの光反射率より大きくなる傾向にある。そのため、干渉多層膜１２，１３，２２，２３を含む光減衰フィルタ１０，２０において発生する反射光が、測光装置１の測定結果に悪影響を及ぼす可能性がある。以下に述べるように、本実施の形態では、この悪影響は低減されている。

　複数の光減衰フィルタを、複数回、光軸２ｐに挿入する場合、複数の光減衰フィルタのうちの任意の二つの光減衰フィルタ（例えば、光減衰フィルタ１０，２０）の間の相対的な傾き角を常に完全に等しくすることは困難である。複数の光減衰フィルタを、複数回、光軸２ｐに挿入すると、複数の光減衰フィルタのうちの任意の二つの光減衰フィルタ（例えば、光減衰フィルタ１０，２０）の間の相対的な傾き角がわずかに変動することがある。また、複数の光減衰フィルタが配置されている環境の温度の変化によっても、複数の光減衰フィルタのうちの任意の二つの光減衰フィルタ（例えば、光減衰フィルタ１０，２０）の間の相対的な傾き角がわずかに変動することがある。

　複数の光減衰フィルタのそれぞれの光路長が互いに等しい場合には、複数の光減衰フィルタのうちの任意の二つの光減衰フィルタ（例えば、光減衰フィルタ１０，２０）の間の相対的な傾き角のわずかな変動により、測光装置の測定結果は大きく変動する。そのため、測光装置を用いて安定的に光を測定することが困難になる。干渉多層膜１２，１３，２２，２３の各々の厚さは透明基板１１，２１の各々の厚さに比べて無視し得るので、複数の光減衰フィルタ１０，２０のそれぞれの光路長が互いに等しいことは、実質的に、複数の透明基板１１，２１のそれぞれの光路長が互いに等しいことを意味する。

　本発明者は、測光装置１の測定結果の上記大きな変動の原因が、複数の光減衰フィルタ１０，２０において発生する複数の多重反射光の間の干渉に起因する干渉強度の変動成分にあることを見出した。例えば、二つの光減衰フィルタ１０，２０において発生する二つの多重反射光の間の光路長差が測光装置１によって測定される光の波長以下（例えば、測定光が可視光の場合、数１０ｎｍ以上数１００ｎｍ以下）変動するだけで、二つの多重反射光の間の干渉強度の変動成分が大きくなって、二つの光減衰フィルタ１０，２０の間の相対的な傾き角のわずかな変動により、測光装置１の測定結果が大きく変動してしまう。このような複数の多重反射光の間の干渉は、主に、以下の三つの干渉（第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉）を含む。

　第一の干渉は、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で発生する２回反射光と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で発生する２回反射光との間の干渉である（図５及び図６を参照）。第二の干渉は、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）及び第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）のうちの一方で発生する２回反射光と、第１光減衰フィルタ及び第２光減衰フィルタのうちの他方で発生する４回反射光との間の干渉である（図７から図１０を参照）。第三の干渉は、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）及び第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）のうちの一方で発生する２回反射光と、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で発生する２回反射光との間の干渉である（図１１から図１４を参照）。なお、第３光減衰フィルタは第１光減衰フィルタに対応し、かつ、第４光減衰フィルタは第２光減衰フィルタに対応している。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとは、複数の光減衰フィルタのうち互いに隣り合う任意の二つの光減衰フィルタである。

　上記三つの干渉のうち第一の干渉が、測光装置１の測定結果の変動に最も大きな影響を及ぼすことが多い。その理由は、以下のとおりである。第二の干渉における多重反射光の反射回数は、第一の干渉における多重反射光の反射回数より多い。そのため、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分は、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分より小さくなることが多い。また、一般に、空気層側から干渉多層膜に入射する光に対する、干渉多層膜を用いた光減衰フィルタの反射率は、光減衰フィルタの内部側（透明基板側）から干渉多層膜に入射する光に対する、干渉多層膜を用いた光減衰フィルタの反射率より低いことが多い。こうして、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分は、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分より小さくなることが多い。

　そのため、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分を低減することによって、測光装置１の測定結果の変動を効果的に低減することができて、測光装置１を用いて光を安定的にかつ高い精度で測定することができる。第一の干渉に加えて、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分または第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の少なくとも一つをさらに低減することが好ましい。そのため、測光装置１の測定結果の変動をさらに効果的に低減することができて、測光装置１を用いて光をさらに向上された精度で測定することができる。

　なお、複数の光減衰フィルタ１０，２０において発生する複数の多重反射光の間の干渉は、第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に加えて、より高次の干渉も含む。しかし、より高次の干渉における多重反射光の反射回数は、第一の干渉における多重反射光の反射回数、第二の干渉における多重反射光の反射回数、及び、第三の干渉における多重反射光の反射回数のいずれよりも多い。そのため、より高次の干渉に起因する干渉強度の変動成分は、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分、及び、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分のいずれよりも小さく、無視することができる。

　本実施の形態では、第１光減衰フィルタ（例えば、光減衰フィルタ１０）の第１透明基板（例えば、透明基板１１）の第１光路長は、第２光減衰フィルタ（例えば、光減衰フィルタ２０）の第２透明基板（例えば、透明基板２１）の第２光路長と異なっている。そのため、複数の光減衰フィルタ１０，２０において発生する複数の多重反射光の間の干渉に起因する干渉波形の周期は短くなる。干渉波形が平均化されて、複数の光減衰フィルタ１０，２０において発生する複数の多重反射光の間の干渉強度の変動成分は低減する。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角が変動しても、測光装置１の測定結果はほとんど変動しなくなる。測光装置１は、被測定物２から放射される光を、より高い精度で測定することができる。

　以下、実施例１から実施例３において第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を、実施例４から実施例６において第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を、実施例７から実施例９において第一の干渉及び第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を、実施例１０から実施例１２において第一の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を、それぞれ説明する。

　＜実施例１、実施例２、実施例３＞
　図１から図２３を参照して、実施例１から実施例３を説明する。実施例１から実施例３では、複数の光減衰フィルタ１０，２０は、二枚の光減衰フィルタ１０，２０で構成されている。第１光減衰フィルタは光減衰フィルタ１０であり、第２光減衰フィルタは光減衰フィルタ２０である。光減衰フィルタ１０と光減衰フィルタ２０とは互いに隣り合っているため、光減衰フィルタ１０は第３光減衰フィルタでもあり、かつ、光減衰フィルタ２０は第４光減衰フィルタでもある。光減衰フィルタ１０は、干渉多層膜１２，１３と、干渉多層膜１２，１３を支持する透明基板１１とを含む。光減衰フィルタ２０は、干渉多層膜２２，２３と、干渉多層膜２２，２３を支持する透明基板２１とを含む。

　実施例１から実施例３における可変光減衰器４の構成は、表１に示されるとおりである。そのため、透明基板１１の光路長は、透明基板２１の光路長と異なっている。透明基板１１の入射面１４の反射率および透明基板１１の出射面１５の反射率は、各々、１０％である。透明基板１１の入射面１４の反射率は、干渉多層膜１２の反射率である。透明基板１１の出射面１５の反射率は、干渉多層膜１３の反射率である。透明基板２１の入射面２４の反射率および透明基板２１の出射面２５の反射率は、各々、１０％である。透明基板１１の入射面２４の反射率は、干渉多層膜２２の反射率である。透明基板２１の出射面２５の反射率は、干渉多層膜２３の反射率である。図５，７，８，１１，１２では、光減衰フィルタ１０と光減衰フィルタ２０の間の相対的な傾き角（例えば、光減衰フィルタ２０に対する光減衰フィルタ１０の傾き角）θは０．０°である。図６，９，１０，１３，１４では、光減衰フィルタ１０と光減衰フィルタ２０との間の相対的な傾き角θは０．１°である。

　（ａ）可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布、（ｂ）光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、または、（ｃ）被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bの少なくとも一つは、複数の多重反射光の間の干渉に起因する干渉強度の変動成分を低減して、光減衰フィルタ１０と光減衰フィルタ２０との間の相対的な傾き角θがわずかに変化した時の測光装置１の測定結果の変動を低減させる。なお、本明細書において、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角は、可変光減衰器４の光軸に対する被測定光（被測定光が入射角の分布を有する場合には、被測定光の入射角の分布の中心の入射角を有する被測定光成分）の入射角として定義される。被測定光の線幅Δλ_bは、被測定光のスペクトルの半値幅として定義される。

　実施例１では上記（ａ）可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を、実施例２では上記（ｂ）光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を、実施例３では上記（ｃ）被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を、それぞれ検討する。なお、光の波長λが長いほど、条件式（１）から条件式（１５）の各々の左辺の値は小さくなる。そして、条件式（１）から条件式（１５）の各々の左辺の値が小さくなるほど、複数の多重反射光の間の干渉に起因する干渉強度の変動成分は大きくなる。そこで、実施例１から実施例３では、光の波長λを、複数の多重反射光の間の干渉に起因する干渉強度の変動成分が最も大きくなる波長、すなわち、測光装置１の測定可能波長範囲の最大波長とする。

　＜実施例１＞
　本実施例では、測光装置１の測定可能波長範囲は、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下である。可変光減衰器４に入射する光の入射角の分布は、３°以上７°以下の入射角範囲（５°±２°の入射角範囲）であり（表２を参照）、かつ、この入射角範囲において光の強度は一様である（図１５を参照）。測光装置１は、分光器（ポリクロメーター）であり、光検出器８は、複数の光検出素子９を含んでいる。複数の光検出素子９のうち、測光装置１の測定可能波長範囲の最大波長に対応する光検出素子９の分光応答度スペクトルは、７８０ｎｍのピーク波長を有するガウシアンの形状を有している。この光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aは、１０ｎｍである（表２を参照）。被測定物２から放射される光（被測定光）のスペクトルは、７８０ｎｍのピーク波長を有するガウシアンの形状を有している。被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、０．０１ｎｍである（表２を参照）。

　被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは十分に小さいため、上記（ｂ）光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aと上記（ｃ）被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bとによる、複数の多重反射光の間の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減は微小であり無視し得る。実施例１では、上記（ａ）可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、以下の条件式（１）が満たされている。
｜ＯＰＤ_θmax1－ＯＰＤ_θmin1｜／λ＞０．５　…（１）
　ＯＰＤ_θmax1＝（ＯＰ_1220max－ＯＰ_1022max）である。ＯＰＤ_θmin1＝（ＯＰ_1220min－ＯＰ_1022min）である。λは、測光装置１の測定可能波長範囲内に含まれる光の波長である。

　ＯＰ_1220maxは、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最大入射角光の光路長である。最大入射角光は、可変光減衰器４へ入射する光のうち可変光減衰器４への入射角が最大である光である。ＯＰ_1022maxは、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_1220minは、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最小入射角光の光路長である。最小入射角光は、可変光減衰器４へ入射する光のうち可変光減衰器４への入射角が最小である光である。ＯＰ_1022minは、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する最小入射角光の光路長である。

　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図５を参照）に、条件式（１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax1－ＯＰＤ_θmin1｜／λは３．５７１である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図６を参照）に、条件式（１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax1－ＯＰＤ_θmin1｜／λは３．３６８である。したがって、本実施例は、条件式（１）を満たす。

　条件式（１）を満たす場合、第一の干渉（第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。図１６及び図１７を参照して、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角範囲が３°以上７°以下（５°±２°）である場合の、第一の干渉に起因する相対干渉強度の変動は、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角が５°である場合の、第一の干渉に起因する相対干渉強度の変動より小さくなっている。本明細書において、相対干渉強度は、光減衰フィルタ１０，２０で反射されることなく光減衰フィルタ１０，２０を透過する光の基準強度で規格化された干渉強度であり、かつ、当該基準強度を相対強度ゼロに換算することによって得られる。可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布によって、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分が低減される理由は、以下のとおりである。

　可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角が変化すると、図１６の干渉波形は横方向にシフトする。図１７の干渉波形は、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角のそれぞれに応じて互いに異なる量だけ横方向にシフトされた複数の図１６の干渉波形が足し合わされて平均化された波形である。そのため、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角範囲が３°以上７°以下（５°±２°）である場合の、第一の干渉に起因する干渉強度の変動は、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角が５°である場合の、第一の干渉に起因する干渉強度の変動より小さくなる。

　条件式（１）の左辺は、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角が最大の場合と、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角が最小の場合との間で、図１６の干渉波形が、当該干渉波形の周期の何倍分シフトするかを表している。条件式（１）を満たせば、高い平均化効果が得られ、第一の干渉（第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動を低減できる。具体的には、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第一の干渉による測光装置１の測定値変動は、０．２６％である。本明細書において、測光装置１の測定値変動は、０．０°の相対傾き角θにおける波長７８０ｎｍの光の相対干渉強度と０．１°の相対傾き角θにおける波長７８０ｎｍの光の相対干渉強度との間の差として定義される。そのため、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第一の干渉に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　＜可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、以下の条件式（４）及び（５）が満たされている。
｜ＯＰＤ_θmax2－ＯＰＤ_θmin2｜／λ＞０．５　…（４）
｜ＯＰＤ_θmax3－ＯＰＤ_θmin3｜／λ＞０．５　…（５）
　ＯＰＤ_θmax2＝（ＯＰ_1420max－ＯＰ_1022max）である。ＯＰＤ_θmin2＝（ＯＰ_1420min－ＯＰ_1022min）である。ＯＰＤ_θmax3＝（ＯＰ_1024max－ＯＰ_1220max）である。ＯＰＤ_θmin3＝（ＯＰ_1024min－ＯＰ_1220min）である。

　ＯＰ_1420maxは、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で４回反射し、かつ、第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_1022maxは、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_1420minは、第１光減衰フィルタで４回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最小入射角光の光路長である。ＯＰ_1022minは、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する、最小入射角光の光路長である。

　ＯＰ_1024maxは、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で４回反射する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_1220maxは、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_1024minは、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで４回反射する最小入射角光の光路長である。ＯＰ_1220minは、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する最小入射角光の光路長である。

　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図７を参照）に、条件式（４）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax2－ＯＰＤ_θmin2｜／λは３．０６１である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図９を参照）に、条件式（４）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax2－ＯＰＤ_θmin2｜／λは２．７９７である。したがって、本実施例は、条件式（４）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図８を参照）に、条件式（５）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax3－ＯＰＤ_θmin3｜／λは１３．７７２である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（５）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax3－ＯＰＤ_θmin3｜／λは１３．３６７である。したがって、本実施例は、条件式（５）を満たす。

　条件式（４）を満たす場合、第二の干渉（第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で４回反射する光と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。図１８及び図１９から、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角範囲が３°以上７°以下（５°±２°）である場合の、第二の干渉に起因する相対干渉強度の変動は、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角が５°である場合の、第二の干渉に起因する相対干渉強度の変動より小さくなっている。可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布によって、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分が低減される理由は、第一の干渉に起因する干渉強度の変動が低減される理由と同様に、干渉波形の平均化効果のためである。

　具体的には、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで４回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、－０．０１％である。そのため、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第二の干渉に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　条件式（５）を満たす場合には、条件式（４）を満たす場合と同様に、第二の干渉（第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で４回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。具体的には、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。そのため、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第二の干渉に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　＜可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、以下の条件式（１０）及び（１１）が満たされている。
｜ＯＰＤ_θmax4－ＯＰＤ_θmin4｜／λ＞０．５　…（１０）
｜ＯＰＤ_θmax5－ＯＰＤ_θmin5｜／λ＞０．５　…（１１）
　ＯＰＤ_θmax4＝（ＯＰ_3240max－ＯＰ_30G240max）である。ＯＰＤ_θmin4＝（ＯＰ_3240min－ＯＰ_30G240min）である。ＯＰＤ_θmax5＝（ＯＰ_3042max－ＯＰ_30G240max）である。ＯＰＤ_θmin5＝（ＯＰ_3042min－ＯＰ_30G240min）である。

　ＯＰ_3240maxは、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射し、かつ、第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で反射されることなく第４光減衰フィルタを通過する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_30G240maxは、第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタを通過し、かつ、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_3240minは、第３光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第４光減衰フィルタで反射されることなく第４光減衰フィルタを通過する最小入射角光の光路長である。

　ＯＰ_30G240minは、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）及び第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で反射されることなく第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタを通過し、かつ、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する最小入射角光の光路長である。ＯＰ_3042maxは、第３光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタを通過し、かつ、第４光減衰フィルタで２回反射する最大入射角光の光路長である。ＯＰ_3042minは、第３光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタを通過し、かつ、第４光減衰フィルタで２回反射する最小入射角光の光路長である。

　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１３を参照）に、条件式（１０）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax4－ＯＰＤ_θmin4｜／λは４０．１６４である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１６を参照）に、条件式（１０）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax4－ＯＰＤ_θmin4｜／λは４０．７７４である。したがって、本実施例は、条件式（１０）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax5－ＯＰＤ_θmin5｜は３６．５９４である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（１１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax5－ＯＰＤ_θmin5｜は３７．２７４である。したがって、本実施例は、条件式（１１）を満たす。

　条件式（１０）を満たす場合、第三の干渉（第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。図２０及び図２１から、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角範囲が３°以上７°以下（５°±２°）である場合の、第三の干渉に起因する相対干渉強度の変動は、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角が５°である場合の、第三の干渉に起因する相対干渉強度の変動より小さくなっている。可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布によって、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分が低減される理由は、第一の干渉に起因する干渉強度の変動が低減される理由と同様に、干渉波形の平均化効果のためである。

　具体的には、第３光減衰フィルタ（第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第３光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．０１％である。そのため、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第三の干渉に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　条件式（１１）を満たす場合には、条件式（１０）を満たす場合と同様に、第三の干渉（第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で２回反射する光と第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。具体的には、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。そのため、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第三の干渉に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　本実施例の測光装置１の測定値変動は、第一の干渉に起因する測定値変動と、第二の干渉に起因する測定値変動と、第三の干渉の起因する測定値変動の合計によって与えられる。本実施例の測光装置１の測定値変動は、０．２６％である。測光装置１の測定値変動の絶対値が５％以内であれば、被測定光は精度よく測定され得る。測光装置１の測定値変動の絶対値が１％以内であれば、より好ましい。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は１％以内であるため、被測定光は精度よく測定され得る。

　＜実施例２＞
　本実施例の測光装置１は、実施例１の測光装置１と同様であるが、主に以下の点で異なっている。可変光減衰器４に入射する光の入射角の分布はなく、可変光減衰器４への光の入射角は５°である（表３を参照）。光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aは、３ｎｍである（表３及び図２２を参照）。被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、３００ｎｍである（表３を参照）。

　光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aは、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bより十分に小さいため、複数の多重反射光の間の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減は、上記（ｂ）光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a及び上記（ｃ）被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bのうち、上記（ｂ）光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aに依存する。また、本実施例では、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布はないため、上記（ａ）可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による複数の多重反射光の間の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減は無い。本実施例では、上記（ｂ）光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、以下の条件式（２）が満たされている。
ＯＰＤ₁₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（２）
　ＯＰＤ₁₂＝｜ＯＰ₁₂₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜である。λは、測光装置１の測定可能波長範囲内に含まれる光の波長である。Δλ_aは、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅である。

　ＯＰ₁₂₂₀は、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する光の光路長である（図５を参照）。ＯＰ₁₀₂₂は、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で２回反射する光の光路長である（図６を参照）。

　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図５を参照）に、条件式（２）の左辺であるＯＰＤ₁₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は５．２３６である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図６を参照）に、条件式（２）の左辺であるＯＰＤ₁₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は５．２３７である。したがって、本実施例は、条件式（２）を満たす。

　条件式（２）を満たす場合、第一の干渉（第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。光検出器８で測定される測定値は、第一の干渉に起因する相対干渉強度のスペクトル（図１６を参照）と、光検出素子９の分光応答度スペクトル（図２２を参照）との積で与えられる。条件式（２）の左辺は、図２２に示される光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a内に、図１６に示される干渉波形が何周期分含まれるかを示す。条件式（２）を満たせば、干渉波形の高い平均化効果が得られ、第一の干渉に起因する干渉強度の変動を低減できる。

　具体的には、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第一の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。そのため、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第一の干渉に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　＜光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、以下の条件式（６）及び（７）が満たされている。
ＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（６）
ＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（７）
　ＯＰＤ₂₁＝｜ＯＰ₁₄₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜である。ＯＰＤ₂₂＝｜ＯＰ₁₀₂₄－ＯＰ₁₂₂₀｜である。

　ＯＰ₁₄₂₀は、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で４回反射し、かつ、第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する光の光路長である（図７及び図９を参照）。ＯＰ₁₀₂₂は、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する光の光路長である（図７及び図９を参照）。ＯＰ₁₀₂₄は、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで４回反射する光の光路長である（図８及び図１０を参照）。ＯＰ₁₂₂₀は、第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタで反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する光の光路長である（図８及び図１０を参照）。

　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図７を参照）に、条件式（６）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は４．４８８である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図９を参照）に、条件式（６）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は４．４８９である。したがって、本実施例は、条件式（６）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図８を参照）に、条件式（７）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は２０．１９４である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（７）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は２０．１９６である。したがって、本実施例は、条件式（７）を満たす。

　条件式（６）を満たす場合、第二の干渉（第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。光検出器８で測定される測定値は、第二の干渉に起因する相対干渉強度のスペクトル（図１８を参照）と、光検出素子９の分光応答度スペクトル（図２２を参照）との積で与えられる。条件式（６）の左辺は、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a内に、図１８に示される干渉波形が何周期分含まれるかを示す。条件式（６）を満たせば、干渉波形の高い平均化効果が得られ、第二の干渉に起因する干渉強度の変動を低減できる。

　具体的には、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。そのため、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第二の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　条件式（７）を満たす場合には、条件式（６）を満たす場合と同様に、第二の干渉（第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で４回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。その結果、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第二の干渉に起因する干渉強度はほとんど変化しない。具体的には、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。そのため、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第二の干渉に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　＜光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、以下の条件式（１２）及び（１３）が満たされている。
ＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（１２）
ＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（１３）
　ＯＰＤ_g1＝｜ＯＰ₃₂₄₀－ＯＰ_30G240｜である。ＯＰＤ_g2＝｜ＯＰ₃₀₄₂－ＯＰ_30G240｜である。

　ＯＰ₃₂₄₀は、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射し、かつ、第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で反射されることなく第４光減衰フィルタを通過する光の光路長である。ＯＰ_30G240は、第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタ及び第４光減衰フィルタを通過し、かつ、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光の光路長である。ＯＰ₃₀₄₂は、第３光減衰フィルタで反射されることなく第３光減衰フィルタを通過し、かつ、第４光減衰フィルタで２回反射する光の光路長である。

　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１１を参照）に、条件式（１２）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は１９．６３７である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１３を参照）に、条件式（１２）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は１９．６３４である。したがって、本実施例は、条件式（１２）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１３）の左辺であるＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は１４．４０２である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１４を参照）に、条件式（１３）の左辺であるＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は１４．３９８である。したがって、本実施例は、条件式（１３）を満たす。

　条件式（１２）を満たす場合、第三の干渉（第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。光検出器８で測定される測定値は、第三の干渉に起因する相対干渉強度のスペクトル（図２０を参照）と、光検出素子９の分光応答度スペクトル（図２２を参照）との積で与えられる。条件式（１２）の左辺は、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a内に、図２０に示される干渉波形が何周期分含まれるかを示す。条件式（１２）を満たせば、干渉波形の高い平均化効果が得られ、第三の干渉に起因する干渉強度の変動を低減できる。

　具体的には、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。そのため、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第三の干渉（第３光減衰フィルタで２回反射する光と、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　条件式（１３）を満たす場合には、条件式（１２）を満たす場合と同様に、第三の干渉（第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で２回反射する光と第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。その結果、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第三の干渉に起因する干渉強度はほとんど変化しない。具体的には、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。そのため、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第三の干渉に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　本実施例の測光装置１の測定値変動は、第一の干渉に起因する測定値変動と、第二の干渉に起因する測定値変動と、第三の干渉の起因する測定値変動の合計によって与えられる。本実施例の測光装置１の測定値変動は、０．００％である。測光装置１の測定値変動の絶対値が５％以内であれば、被測定光は精度よく測定され得る。測光装置１の測定値変動の絶対値が１％以内であれば、より好ましい。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は１％以内であるため、被測定光は精度よく測定され得る。

　＜実施例３＞
　本実施例の測光装置１は、実施例１の測光装置１と同様であるが、主に以下の点で異なっている。可変光減衰器４に入射する光の入射角の分布はなく、可変光減衰器４への光の入射角は５°である（表４を参照）。光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aは、２０ｎｍである（表４を参照）。被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、１ｎｍである（表４及び図２３を参照）。

　被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aより十分に小さいため、複数の多重反射光の間の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減は、上記（ｂ）光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a及び上記（ｃ）被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bのうち、上記（ｃ）被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bに依存する。また、本実施例では、可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布はないため、上記（ａ）可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による複数の多重反射光の間の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減は無い。本実施例では、上記（ｃ）被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、以下の条件式（３）が満たされている。

　ＯＰＤ₁₃×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（３）
　ＯＰＤ₁₃＝｜ＯＰ₁₂₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜である。λは、測光装置１の測定可能波長範囲内に含まれる光の波長である。Δλ_bは、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅である。

　ＯＰ₁₂₂₀は、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射し、かつ、第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で反射されることなく第２光減衰フィルタを通過する光の光路長である（図５を参照）。ＯＰ₁₀₂₂は、第１光減衰フィルタで反射されることなく第１光減衰フィルタを通過し、かつ、第２光減衰フィルタで２回反射する光の光路長である（図５を参照）。

　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図５を参照）に、条件式（３）の左辺であるＯＰＤ₁₃×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は１．７５０である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図６を参照）に、条件式（３）の左辺であるＯＰＤ₁₃×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））
は１．７５０である。したがって、本実施例は、条件式（３）を満たす。

　条件式（３）を満たす場合、第一の干渉（第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。光検出器８で測定される測定値は、第一の干渉に起因する相対干渉強度のスペクトル（図１６を参照）と、被測定物２から放射される光（被測定光）のスペクトル（図２３を参照）との積で与えられる。条件式（３）の左辺は、図２３に示される被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_b内に、図１６に示される干渉波形が何周期分含まれるかを示す。条件式（３）を満たせば、干渉波形の高い平均化効果が得られ、第一の干渉に起因する相対干渉強度の変動を低減できる。

　＜被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、以下の条件式（８）及び（９）が満たされている。ＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（８）
ＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（９）
　ＯＰＤ₂₁＝｜ＯＰ₁₄₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜である。ＯＰＤ₂₂＝｜ＯＰ₁₀₂₄－ＯＰ₁₂₂₀｜である。

　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図７を参照）に、条件式（８）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は１．５００である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図９を参照）に、条件式（８）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は１．５００である。したがって、本実施例は、条件式（８）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図８を参照）に、条件式（９）の左辺であるＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は６．７４９である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（９）の左辺であるＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は６．７４９である。したがって、本実施例は、条件式（９）を満たす。

　条件式（８）を満たす場合、第二の干渉（第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。光検出器８で測定される測定値は、第二の干渉に起因する相対干渉強度のスペクトル（図１８を参照）と、被測定物２から放射される光（被測定光）のスペクトル（図２３を参照）との積で与えられる。条件式（８）の左辺は、図２３に示される被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_b内に、図１８に示される干渉波形が何周期分含まれるかを示す。条件式（８）を満たせば、干渉波形の高い平均化効果が得られ、第二の干渉に起因する干渉強度の変動を低減できる。

　条件式（９）を満たす場合には、条件式（８）を満たす場合と同様に、第二の干渉（第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で４回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。その結果、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第二の干渉に起因する干渉強度は、ほとんど変化しない。具体的には、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。そのため、第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第二の干渉に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　＜被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、以下の条件式（１４）及び（１５）が満たされている。
ＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（１４）
ＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（１５）
　ＯＰＤ_g1＝｜ＯＰ₃₂₄₀－ＯＰ_30G240｜である。ＯＰＤ_g2＝｜ＯＰ₃₀₄₂－ＯＰ_30G240｜である。

　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１１を参照）に、条件式（１４）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は６．５６２である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１３を参照）に、条件式（１４）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は６．５６２である。したがって、本実施例は、条件式（１４）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１５）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は４．８１３である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１４を参照）に、条件式（１５）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は４．８１２である。したがって、本実施例は、条件式（１５）を満たす。

　条件式（１４）を満たす場合、第三の干渉（第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）で２回反射する光と、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。光検出器８で測定される測定値は、第三の干渉に起因する相対干渉強度のスペクトル（図２０を参照）と、被測定物２から放射される光（被測定光）のスペクトル（図２３を参照）との積で与えられる。条件式（１４）の左辺は、図２３に示される被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_b内に、図２０に示される干渉波形が何周期分含まれるかを示す。条件式（１４）を満たせば、干渉波形の高い平均化効果が得られ、第三の干渉に起因する干渉強度の変動を低減できる。

　条件式（１５）を満たす場合には、条件式（１４）を満たす場合と同様に、第三の干渉（第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）で２回反射する光と第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）に起因する干渉強度の変動成分を低減させることができる。その結果、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第三の干渉に起因する干渉強度は、ほとんど変化しない。具体的には、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。そのため、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θがわずかに変化しても、第三の干渉に起因する干渉強度の変動は低減されて、被測定光は精度よく測定され得る。

　＜実施例４、実施例５、実施例６＞
　図１から図２３を参照して、実施例４から実施例６を説明する。実施例４から実施例６の測光装置１は、実施例１から実施例３の測光装置１と同様の構成を備えているが、以下の点で主に異なっている。

　実施例４から実施例６の可変光減衰器４の構成は、表５に示されるとおりである。そのため、透明基板１１の光路長は、透明基板２１の光路長と異なっている。

　＜実施例４＞
　本実施例の可変光減衰器４に入射する光の入射角の分布、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、それぞれ、実施例１の可変光減衰器４に入射する光の入射角の分布、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bと同じである（表２を参照）。そのため、本実施例では、実施例１と同様に、上記（ａ）可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図５を参照）に、条件式（１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax1－ＯＰＤ_θmin1｜／λは５．１０１である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図６を参照）に、条件式（１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax1－ＯＰＤ_θmin1｜／λは４．８９８である。したがって、本実施例は、条件式（１）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第一の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、－０．０３％である。

　＜可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図７を参照）に、条件式（４）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax2－ＯＰＤ_θmin2｜／λは０．０００である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図９を参照）に、条件式（４）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax2－ＯＰＤ_θmin2｜／λは０．２０３である。したがって、本実施例は、条件式（４）を満たさない。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで４回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、－０．２０％である。

　第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図８を参照）に、条件式（５）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax3－ＯＰＤ_θmin3｜／λは１５．３０３である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（５）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax3－ＯＰＤ_θmin3｜／λは１４．８９７である。したがって、本実施例は、条件式（５）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで４回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　＜可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１３を参照）に、条件式（１０）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax4－ＯＰＤ_θmin4｜／λは５．０３８である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１６を参照）に、条件式（１０）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax4－ＯＰＤ_θmin4｜／λは５．２４３である。したがって、本実施例は、条件式（１０）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第３光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．０３％である。

　第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax5－ＯＰＤ_θmin5｜は０．０６３である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（１１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax5－ＯＰＤ_θmin5｜は０．２４４である。したがって、本実施例は、条件式（１１）を満たさない。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第４光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は－２．０４％である。

　本実施例の測光装置１の測定値変動は、第一の干渉に起因する測定値変動と、第二の干渉に起因する測定値変動と、第三の干渉の起因する測定値変動の合計によって与えられる。本実施例の測光装置１の測定値変動は、－２．２４％である。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は５％以内であるため、被測定光は精度よく測定され得る。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は、実施例１の測光装置１の測定値変動の絶対値より大きい。そのため、実施例１の測光装置１は、本実施例の測光装置１より望ましい。

　＜実施例５＞
　本実施例の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、それぞれ、実施例２の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bと同じである（表３を参照）。そのため、本実施例では、実施例２と同様に、上記（ｂ）光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図５を参照）に、条件式（２）の左辺であるＯＰＤ₁₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は７．４７９である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図６を参照）に、条件式（２）の左辺であるＯＰＤ₁₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は７．４８０である。したがって、本実施例は、条件式（２）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第一の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　＜光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図７を参照）に、条件式（６）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は０．０００である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図９を参照）に、条件式（６）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））
は０．００１である。したがって、本実施例は、条件式（６）を満たさない。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで４回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、－０．２０％である。

　第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図８を参照）に、条件式（７）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は２２．４３８である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（７）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は２２．４４０である。したがって、本実施例は、条件式（７）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで４回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　＜光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１１を参照）に、条件式（１２）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は７．３９７である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１３を参照）に、条件式（１２）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は７．３９５である。したがって、本実施例は、条件式（１２）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第３光減衰フィルタで２回反射する光と、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１３）の左辺であるＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は０．０８３である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１４を参照）に、条件式（１３）の左辺であるＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は０．０８５である。したがって、本実施例は、条件式（１３）を満たさない。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第４光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、１．３７％である。

　本実施例の測光装置１の測定値変動は、第一の干渉に起因する測定値変動と、第二の干渉に起因する測定値変動と、第三の干渉の起因する測定値変動の合計によって与えられる。本実施例の測光装置１の測定値変動は、１．１６％である。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は５％以内であるため、被測定光は精度よく測定され得る。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は、実施例２の測光装置１の測定値変動の絶対値より大きい。そのため、実施例２の測光装置１は、本実施例の測光装置１より望ましい。

　＜実施例６＞
　本実施例の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、それぞれ、実施例３の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bと同じである（表４を参照）。そのため、本実施例では、実施例３と同様に、上記（ｃ）被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図５を参照）に、条件式（３）の左辺であるＯＰＤ₁₃×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は２．５００である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図６を参照）に、条件式（３）の左辺であるＯＰＤ₁₃×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は２．５００である。したがって、本実施例は、条件式（３）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第一の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　＜被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図７を参照）に、条件式（８）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は０．０００である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図９を参照）に、条件式（８）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は０．０００である。したがって、本実施例は、条件式（８）を満たさない。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで４回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、－０．２０％である。

　第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図８を参照）に、条件式（９）の左辺であるＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は７．４９９である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（９）の左辺であるＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は７．４９９である。したがって、本実施例は、条件式（９）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで４回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　＜被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１１を参照）に、条件式（１４）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は２．４７２である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１３を参照）に、条件式（１４）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は２．４７１である。したがって、本実施例は、条件式（１４）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第３光減衰フィルタで２回反射する光と、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１５）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は０．０２８である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１４を参照）に、条件式（１５）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は０．０２８である。したがって、本実施例は、条件式（１５）を満たさない。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第４光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は２．３０％である。

　本実施例の測光装置１の測定値変動は、第一の干渉に起因する測定値変動と、第二の干渉に起因する測定値変動と、第三の干渉の起因する測定値変動の合計によって与えられる。本実施例の測光装置１の測定値変動は、２．１０％である。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は５％以内であるため、被測定光は精度よく測定され得る。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は、実施例３の測光装置１の測定値変動の絶対値より大きい。そのため、実施例３の測光装置１は、本実施例の測光装置１より望ましい。

　＜実施例７、実施例８、実施例９＞
　図１から図２３を参照して、実施例７から実施例９を説明する。実施例７から実施例９の測光装置１は、実施例１から実施例３の測光装置１と同様の構成を備えているが、以下の点で主に異なっている。

　実施例７から実施例９の可変光減衰器４の構成は、表６に示されるとおりである。そのため、透明基板１１の光路長は、透明基板２１の光路長と異なっている。

　＜実施例７＞
　本実施例の可変光減衰器４に入射する光の入射角の分布、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、それぞれ、実施例１の可変光減衰器４に入射する光の入射角の分布、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bと同じである（表２を参照）。そのため、本実施例では、実施例１と同様に、上記（ａ）可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図５を参照）に、条件式（１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax1－ＯＰＤ_θmin1｜／λは２．０４０である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図６を参照）に、条件式（１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax1－ＯＰＤ_θmin1｜／λは１．８３８である。したがって、本実施例は、条件式（１）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第一の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、－０．０５％である。

　＜可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図７を参照）に、条件式（４）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax2－ＯＰＤ_θmin2｜／λは６．１２１である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図９を参照）に、条件式（４）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax2－ＯＰＤ_θmin2｜／λは５．７９７である。したがって、本実施例は、条件式（４）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで４回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図８を参照）に、条件式（５）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax3－ＯＰＤ_θmin3｜／λは１２．２４２である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（５）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax3－ＯＰＤ_θmin3｜／λは１１．８３７である。したがって、本実施例は、条件式（５）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで４回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　＜可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１３を参照）に、条件式（１０）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax4－ＯＰＤ_θmin4｜／λは０．３６２である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１６を参照）に、条件式（１０）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax4－ＯＰＤ_θmin4｜／λは０．１２０である。したがって、本実施例は、条件式（１０）を満たさない。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第３光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は－２．４１％である。

　第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax5－ＯＰＤ_θmin5｜は２．４０２である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（１１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax5－ＯＰＤ_θmin5｜は２．１２０である。したがって、本実施例は、条件式（１１）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第４光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．０７％である。

　本実施例の測光装置１の測定値変動は、第一の干渉に起因する測定値変動と、第二の干渉に起因する測定値変動と、第三の干渉の起因する測定値変動の合計によって与えられる。本実施例の測光装置１の測定値変動は、－２．３９％である。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は５％以内であるため、被測定光は精度よく測定され得る。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は、実施例１の測光装置１の測定値変動の絶対値より大きい。そのため、実施例１の測光装置１は、本実施例の測光装置１より望ましい。

　＜実施例８＞
　本実施例の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、それぞれ、実施例２の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bと同じである（表３を参照）。そのため、本実施例では、実施例２と同様に、上記（ｂ）光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図５を参照）に、条件式（２）の左辺であるＯＰＤ₁₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は２．９９２である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図６を参照）に、条件式（２）の左辺であるＯＰＤ₁₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は２．９９３である。したがって、本実施例は、条件式（２）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第一の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　＜光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図７を参照）に、条件式（６）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は８．９７５である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図９を参照）に、条件式（６）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は８．９７７である。したがって、本実施例は、条件式（６）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで４回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図８を参照）に、条件式（７）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は１７．９５０である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（７）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は１７．９５２である。したがって、本実施例は、条件式（７）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで４回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　＜光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１１を参照）に、条件式（１２）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は０．２６６である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１３を参照）に、条件式（１２）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は０．２６５である。したがって、本実施例は、条件式（１２）を満たさない。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第３光減衰フィルタで２回反射する光と、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は２．７４％である。

　第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１３）の左辺であるＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は２．７２５である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１４を参照）に、条件式（１３）の左辺であるＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は２．７２７である。したがって、本実施例は、条件式（１３）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第４光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　本実施例の測光装置１の測定値変動は、第一の干渉に起因する測定値変動と、第二の干渉に起因する測定値変動と、第三の干渉の起因する測定値変動の合計によって与えられる。本実施例の測光装置１の測定値変動は、２．７４％である。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は５％以内であるため、被測定光は精度よく測定され得る。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は、実施例２の測光装置１の測定値変動の絶対値より大きい。そのため、実施例２の測光装置１は、本実施例の測光装置１より望ましい。

　＜実施例９＞
　本実施例の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、それぞれ、実施例３の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bと同じである（表４を参照）。そのため、本実施例では、実施例３と同様に、上記（ｃ）被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、第一の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図５を参照）に、条件式（３）の左辺であるＯＰＤ₁₃×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は１．０００である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図６を参照）に、条件式（３）の左辺であるＯＰＤ₁₃×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は１．０００である。したがって、本実施例は、条件式（３）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第一の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．０１％である。

　＜被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図７を参照）に、条件式（８）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は２．９９９である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図９を参照）に、条件式（８）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は３．０００である。したがって、本実施例は、条件式（８）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで４回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図８を参照）に、条件式（９）の左辺であるＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は５．９９９である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（９）の左辺であるＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は５．９９９である。したがって、本実施例は、条件式（９）を満たす。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで２回反射する光と第２光減衰フィルタで４回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　＜被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１１を参照）に、条件式（１４）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は０．０８９である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１３を参照）に、条件式（１４）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は０．０８８である。したがって、本実施例は、条件式（１４）を満たさない。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第３光減衰フィルタで２回反射する光と、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は３．４３％である。

　第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１５）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は０．９１１である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１４を参照）に、条件式（１５）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は０．９１１である。したがって、本実施例は、条件式（１５）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第４光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．０６％である。

　本実施例の測光装置１の測定値変動は、第一の干渉に起因する測定値変動と、第二の干渉に起因する測定値変動と、第三の干渉の起因する測定値変動の合計によって与えられる。本実施例の測光装置１の測定値変動は、３．５０％である。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は５％以内であるため、被測定光は精度よく測定され得る。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は、実施例３の測光装置１の測定値変動の絶対値より大きい。そのため、実施例３の測光装置１は、本実施例の測光装置１より望ましい。

　＜実施例１０、実施例１１、実施例１２＞
　図１から図２３を参照して、実施例１０から実施例１２を説明する。実施例１０から実施例１２の測光装置１は、実施例１から実施例３の測光装置１と同様の構成を備えているが、以下の点で主に異なっている。

　実施例１０から実施例１２の可変光減衰器４の構成は、表７に示されるとおりである。そのため、透明基板１１の光路長は、透明基板２１の光路長と異なっている。

　＜実施例１０＞
　本実施例の可変光減衰器４に入射する光の入射角の分布、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、それぞれ、実施例１の可変光減衰器４に入射する光の入射角の分布、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bと同じである（表２を参照）。そのため、本実施例では、実施例１と同様に、上記（ａ）可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜可変光減衰器４に入射する被測定光の入射角の分布による、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１３を参照）に、条件式（１０）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax4－ＯＰＤ_θmin4｜／λは４１．６９４である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１６を参照）に、条件式（１０）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax4－ＯＰＤ_θmin4｜／λは４２．２７４である。したがって、本実施例は、条件式（１０）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第３光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．０３％である。

　第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax5－ＯＰＤ_θmin5｜は３６．５９４である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１０を参照）に、条件式（１１）の左辺である｜ＯＰＤ_θmax5－ＯＰＤ_θmin5｜は３７．２７４である。したがって、本実施例は、条件式（１１）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第４光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　本実施例の測光装置１の測定値変動は、第一の干渉に起因する測定値変動と、第二の干渉に起因する測定値変動と、第三の干渉の起因する測定値変動の合計によって与えられる。本実施例の測光装置１の測定値変動は、－０．２１％である。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は５％以内であるため、被測定光は精度よく測定され得る。

　＜実施例１１＞
　本実施例の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、それぞれ、実施例２の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bと同じである（表３を参照）。そのため、本実施例では、実施例２と同様に、上記（ｂ）光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第二の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第１光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第２光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図７を参照）に、条件式（６）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は０．０００である。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図９を参照）に、条件式（６）の左辺であるＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は０．００１である。したがって、本実施例は、条件式（６）を満たさない。第１光減衰フィルタと第２光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第二の干渉（第１光減衰フィルタで４回反射する光と第２光減衰フィルタで２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、－０．２０％である。

　＜光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_aによる、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１１を参照）に、条件式（１２）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は２１．８８１である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１３を参照）に、条件式（１２）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は２１．８７８である。したがって、本実施例は、条件式（１２）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第３光減衰フィルタで２回反射する光と、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１３）の左辺であるＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は１４．４０２である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１４を参照）に、条件式（１３）の左辺であるＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））は１４．３９８である。したがって、本実施例は、条件式（１３）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第４光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　本実施例の測光装置１の測定値変動は、第一の干渉に起因する測定値変動と、第二の干渉に起因する測定値変動と、第三の干渉の起因する測定値変動の合計によって与えられる。本実施例の測光装置１の測定値変動は、－０．２０％である。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は５％以内であるため、被測定光は精度よく測定され得る。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は、実施例２の測光装置１の測定値変動の絶対値より大きい。そのため、実施例２の測光装置１は、本実施例の測光装置１より望ましい。

　＜実施例１２＞
　本実施例の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bは、それぞれ、実施例３の可変光減衰器４への光の入射角、光検出素子９の分光応答度スペクトルの半値幅Δλ_a、及び、被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bと同じである（表４を参照）。そのため、本実施例では、実施例３と同様に、上記（ｃ）被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、複数の多重反射光の間の第一の干渉、第二の干渉及び第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減を検討する。

　＜被測定物２から放射される光（被測定光）の線幅Δλ_bによる、第三の干渉に起因する干渉強度の変動成分の低減＞
　本実施例では、第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１１を参照）に、条件式（１４）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は７．３１２である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１３を参照）に、条件式（１４）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は７．３１１である。したがって、本実施例は、条件式（１４）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第３光減衰フィルタで２回反射する光と、第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　第３光減衰フィルタ（光減衰フィルタ１０）と第４光減衰フィルタ（光減衰フィルタ２０）との間の相対的な傾き角θが０．０°の場合（図１２を参照）に、条件式（１５）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は４．８１３である。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対的な傾き角θが０．１°の場合（図１４を参照）に、条件式（１５）の左辺であるＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））は４．８１２である。したがって、本実施例は、条件式（１５）を満たす。第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の相対傾き角θが０．０°から０．１°に変化したときの第三の干渉（第４光減衰フィルタで２回反射する光と第３光減衰フィルタと第４光減衰フィルタとの間の層（例えば、空気層）で２回反射する光との間の干渉）による測光装置１の測定値変動は、０．００％である。

　本実施例の測光装置１の測定値変動は、第一の干渉に起因する測定値変動と、第二の干渉に起因する測定値変動と、第三の干渉の起因する測定値変動の合計によって与えられる。本実施例の測光装置１の測定値変動は、－０．２０％である。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は５％以内であるため、被測定光は精度よく測定され得る。本実施例の測光装置１の測定値変動の絶対値は、実施例３の測光装置１の測定値変動の絶対値より大きい。そのため、実施例３の測光装置１は、本実施例の測光装置１より望ましい。

　（変形例）
　透明基板１１の屈折率ｎ₁を透明基板２１の屈折率ｎ₂と異ならせることによって、透明基板１１の光路長を、透明基板２１の光路長と異ならせてもよい。

　実施の形態の測光装置１は２枚の光減衰フィルタを備えているが、３枚以上の光減衰フィルタを備えてもよい。測光装置１が備える複数の光減衰フィルタのうちの任意の２枚の光減衰フィルタが、実施の形態に示される条件式を満たしていればよい。

　実施の形態の測光装置１は、刺激値直読型の測色計等の測光装置にも適用できる。その場合、光検出素子９の分光応答度スペクトルの幅は５０ｎｍ程度以上と大きいが、実施の形態に示される条件を満たせば、広いダイナミックレンジを実現しながら、コンパクトなサイズを有し、かつ、より高い精度で光を測定することができる測光装置１を提供することができる。

　実施の形態では、２枚の光減衰フィルタを挿入または退避させる場合を想定しているが、複数のフィルタが、光軸２ｐ上に固定されていてもよい。複数のフィルタが光軸２ｐ上に固定されている場合でも、測光装置１の周りの環境温度の変化または測光装置１に印加される振動衝撃等によって、複数のフィルタの間の相対的な傾き角がわずかに変化することがある。このように、複数のフィルタが光軸２ｐ上に固定されていて、複数のフィルタの間の相対的な傾き角がわずかに変化する場合でも、より高い精度でかつより安定的に光を測定することが可能になる。

　実施の形態の測光装置１は、光減衰フィルタに限らず、ショートカットフィルタ、ロングカットフィルタまたはバンドパスフィルタ等のような、光減衰フィルタとは異なる特性を有する干渉フィルタを備えてもよい。光減衰フィルタとは異なる特性を有する干渉フィルタを備える測光装置１は、異なる特性の光学測定が可能となる。

　今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

　１　測光装置、２　被測定物、２ｐ　光軸、３　コリメータレンズ、４　可変光減衰器、５　駆動装置、６　分光素子、７　集光レンズ、８　光検出器、９　光検出素子、１０，２０　光減衰フィルタ、１１，２１　透明基板、１２，１３，２２，２３　干渉多層膜、１４，２４　入射面、１５，２５　出射面。

Claims

　複数の光減衰フィルタと、駆動装置とを含む可変光減衰器と、
　前記可変光減衰器を通過した光を受光する光検出器とを備え、
　前記駆動装置は、前記複数の光減衰フィルタを、互いに独立して、前記光の光軸に挿入すること及び前記光軸から退避させることができ、
　前記複数の光減衰フィルタは、前記光軸に沿う方向において互いに異なる位置に配置されており、
　前記複数の光減衰フィルタの各々は、干渉多層膜と、前記干渉多層膜を支持する透明基板とを含み、
　前記複数の光減衰フィルタのうちの任意の二つの組み合わせを、第１光減衰フィルタ及び第２光減衰フィルタとすると、
　前記光軸に沿う前記方向において、前記第２光減衰フィルタは前記第１光減衰フィルタより前記光検出器に近位しており、
　前記第１光減衰フィルタは、前記干渉多層膜としての第１干渉多層膜と、前記透明基板としての第１透明基板とを含み、
　前記第２光減衰フィルタは、前記干渉多層膜としての第２干渉多層膜と、前記透明基板としての第２透明基板とを含み、
　前記第１透明基板の第１光路長は、前記第２透明基板の第２光路長と異なっている、測光装置。
　前記光は、前記可変光減衰器への入射角の分布を有しており、
　以下の条件式（１）を満足する、請求項１に記載の測光装置；
　｜ＯＰＤ_θmax1－ＯＰＤ_θmin1｜／λ＞０．５　…（１）
　ただし、
　ＯＰＤ_θmax1＝（ＯＰ_1220max－ＯＰ_1022max）であり、
　ＯＰＤ_θmin1＝（ＯＰ_1220min－ＯＰ_1022min）であり、
　λは、前記測光装置の測定可能波長範囲内に含まれる前記光の波長であり、
　ＯＰ_1220maxは、前記第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する最大入射角光の光路長であり、前記最大入射角光は、前記光のうち前記可変光減衰器への入射角が最大である光であり、
　ＯＰ_1022maxは、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで２回反射する前記最大入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_1220minは、前記第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する最小入射角光の光路長であり、前記最小入射角光は、前記光のうち前記可変光減衰器への入射角が最小である光であり、
　ＯＰ_1022minは、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで２回反射する前記最小入射角光の光路長である。
　分光情報を測定可能な分光器である、請求項１に記載の測光装置。
　以下の条件式（２）を満足する、請求項３に記載の測光装置；
　ＯＰＤ₁₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（２）
　ただし、
　ＯＰＤ₁₂＝｜ＯＰ₁₂₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜であり、
　λは、前記測光装置の測定可能波長範囲内に含まれる前記光の波長であり、
　前記Δλ_aは、前記光検出器に含まれる光検出素子の分光応答度スペクトルの半値幅であり、
　ＯＰ₁₂₂₀は、前記第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する前記光の光路長であり、
　ＯＰ₁₀₂₂は、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで２回反射する前記光の光路長である。
　以下の条件式（３）を満足する、請求項１に記載の測光装置；
　ＯＰＤ₁₃×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（３）
　ただし、
　ＯＰＤ₁₃＝｜ＯＰ₁₂₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜であり、
　λは、前記測光装置の測定可能波長範囲内に含まれる前記光の波長であり、
　前記Δλ_bは、被測定物から放射される前記光の線幅であり、
　ＯＰ₁₂₂₀は、前記第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する前記光の光路長であり、
　ＯＰ₁₀₂₂は、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで２回反射する前記光の光路長である。
　前記第１透明基板の第１厚さは、前記第２透明基板の第２厚さと異なっている、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の測光装置。
　前記第１透明基板の第１屈折率は、前記第２透明基板の第２屈折率と異なっている、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の測光装置。
　前記複数の光減衰フィルタの各々の前記干渉多層膜は、同じ材料で形成されており、
　前記複数の光減衰フィルタの各々の前記透明基板は、同じ材料で形成されている、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の測光装置。
　前記複数の光減衰フィルタは、各々、前記光軸に対して同じ角度で配置されている、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の測光装置。
　前記複数の光減衰フィルタの入射側に配置されているコリメートレンズをさらに備える、請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の測光装置。
　以下の条件式（４）及び（５）を満足する、請求項２に記載の測光装置；
　｜ＯＰＤ_θmax2－ＯＰＤ_θmin2｜／λ＞０．５　…（４）
　｜ＯＰＤ_θmax3－ＯＰＤ_θmin3｜／λ＞０．５　…（５）
　ただし、
　ＯＰＤ_θmax2＝（ＯＰ_1420max－ＯＰ_1022max）であり、
　ＯＰＤ_θmin2＝（ＯＰ_1420min－ＯＰ_1022min）であり、
　ＯＰＤ_θmax3＝（ＯＰ_1024max－ＯＰ_1220max）であり、
　ＯＰＤ_θmin3＝（ＯＰ_1024min－ＯＰ_1220min）であり、
　ＯＰ_1420maxは、前記第１光減衰フィルタで４回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する前記最大入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_1022maxは、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで２回反射する前記最大入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_1420minは、前記第１光減衰フィルタで４回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する前記最小入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_1022minは、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで２回反射する、前記最小入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_1024maxは、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで４回反射する前記最大入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_1220maxは、前記第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する前記最大入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_1024minは、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで４回反射する前記最小入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_1220minは、前記第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する前記最小入射角光の光路長である。
　以下の条件式（６）及び（７）を満足する、請求項４に記載の測光装置；
　ＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（６）
　ＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（７）
　ただし、
　ＯＰＤ₂₁＝｜ＯＰ₁₄₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜であり、
　ＯＰＤ₂₂＝｜ＯＰ₁₀₂₄－ＯＰ₁₂₂₀｜であり、
　ＯＰ₁₄₂₀は、前記第１光減衰フィルタで４回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する前記光の光路長であり、
　ＯＰ₁₀₂₂は、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで２回反射する前記光の光路長であり、
　ＯＰ₁₀₂₄は、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで４回反射する前記光の光路長であり、
　ＯＰ₁₂₂₀は、前記第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する前記光の光路長である。
　以下の条件式（８）及び（９）を満足する、請求項５に記載の測光装置；
　ＯＰＤ₂₁×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（８）
　ＯＰＤ₂₂×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（９）
　ただし、
　ＯＰＤ₂₁＝｜ＯＰ₁₄₂₀－ＯＰ₁₀₂₂｜であり、
　ＯＰＤ₂₂＝｜ＯＰ₁₀₂₄－ＯＰ₁₂₂₀｜であり、
　ＯＰ₁₄₂₀は、前記第１光減衰フィルタで４回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する前記光の光路長であり、
　ＯＰ₁₀₂₂は、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで２回反射する前記光の光路長であり、
　ＯＰ₁₀₂₄は、前記第１光減衰フィルタで反射されることなく前記第１光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第２光減衰フィルタで４回反射する前記光の光路長であり、
　ＯＰ₁₂₂₀は、前記第１光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第２光減衰フィルタで反射されることなく前記第２光減衰フィルタを通過する前記光の光路長である。
　前記複数の光減衰フィルタは、前記第１光減衰フィルタとしての第３光減衰フィルタと前記第２光減衰フィルタとしての第４光減衰フィルタとを含み、前記第３光減衰フィルタと前記第４光減衰フィルタとは、前記複数の光減衰フィルタのうち互いに隣り合う任意の二つの光減衰フィルタであり、
　以下の条件式（１０）及び（１１）を満足する、請求項２または請求項１１に記載の測光装置；
　｜ＯＰＤ_θmax4－ＯＰＤ_θmin4｜／λ＞０．５　…（１０）
　｜ＯＰＤ_θmax5－ＯＰＤ_θmin5｜／λ＞０．５　…（１１）
　ただし、
　ＯＰＤ_θmax4＝（ＯＰ_3240max－ＯＰ_30G240max）であり、
　ＯＰＤ_θmin4＝（ＯＰ_3240min－ＯＰ_30G240min）であり、
　ＯＰＤ_θmax5＝（ＯＰ_3042max－ＯＰ_30G240max）であり、
　ＯＰＤ_θmin5＝（ＯＰ_3042min－ＯＰ_30G240min）であり、
　ＯＰ_3240maxは、前記第３光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第４光減衰フィルタで反射されることなく前記第４光減衰フィルタを通過する前記最大入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_30G240maxは、前記第３光減衰フィルタ及び前記第４光減衰フィルタで反射されることなく前記第３光減衰フィルタ及び前記第４光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第３光減衰フィルタと前記第４光減衰フィルタとの間の層で２回反射する前記最大入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_3240minは、前記第３光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第４光減衰フィルタで反射されることなく前記第４光減衰フィルタを通過する前記最小入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_30G240minは、前記第３光減衰フィルタ及び前記第４光減衰フィルタで反射されることなく前記第３光減衰フィルタ及び前記第４光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第３光減衰フィルタと前記第４光減衰フィルタとの間の前記層で２回反射する前記最小入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_3042maxは、前記第３光減衰フィルタで反射されることなく前記第３光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第４光減衰フィルタで２回反射する前記最大入射角光の光路長であり、
　ＯＰ_3042minは、前記第３光減衰フィルタで反射されることなく前記第３光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第４光減衰フィルタで２回反射する前記最小入射角光の光路長である。
　前記複数の光減衰フィルタは、前記第１光減衰フィルタとしての第３光減衰フィルタと前記第２光減衰フィルタとしての第４光減衰フィルタとを含み、前記第３光減衰フィルタと前記第４光減衰フィルタとは、前記複数の光減衰フィルタのうち互いに隣り合う任意の二つの光減衰フィルタであり、
　以下の条件式（１２）及び（１３）を満足する、請求項４または請求項１２に記載の測光装置；
　ＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（１２）
　ＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_a））＞０．５　…（１３）
　ただし、
　ＯＰＤ_g1＝｜ＯＰ₃₂₄₀－ＯＰ_30G240｜であり、
　ＯＰＤ_g2＝｜ＯＰ₃₀₄₂－ＯＰ_30G240｜であり、
　ＯＰ₃₂₄₀は、前記第３光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第４光減衰フィルタで反射されることなく前記第４光減衰フィルタを通過する前記光の光路長であり、
　ＯＰ_30G240は、前記第３光減衰フィルタ及び前記第４光減衰フィルタで反射されることなく前記第３光減衰フィルタ及び前記第４光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第３光減衰フィルタと前記第４光減衰フィルタとの間の層で２回反射する前記光の光路長であり、
　ＯＰ₃₀₄₂は、前記第３光減衰フィルタで反射されることなく前記第３光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第４光減衰フィルタで２回反射する前記光の光路長である。
　前記複数の光減衰フィルタは、前記第１光減衰フィルタとしての第３光減衰フィルタと前記第２光減衰フィルタとしての第４光減衰フィルタとを含み、前記第３光減衰フィルタと前記第４光減衰フィルタとは、前記複数の光減衰フィルタのうち互いに隣り合う任意の二つの光減衰フィルタであり、
　以下の条件式（１４）及び（１５）を満足する、請求項５または請求項１３に記載の測光装置；
　ＯＰＤ_g1×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（１４）
　ＯＰＤ_g2×（１／λ－１／（λ＋Δλ_b））＞０．５　…（１５）
　ただし、
　ＯＰＤ_g1＝｜ＯＰ₃₂₄₀－ＯＰ_30G240｜であり、
　ＯＰＤ_g2＝｜ＯＰ₃₀₄₂－ＯＰ_30G240｜であり、
　ＯＰ₃₂₄₀は、前記第３光減衰フィルタで２回反射し、かつ、前記第４光減衰フィルタで反射されることなく前記第４光減衰フィルタを通過する前記光の光路長であり、
　ＯＰ_30G240は、前記第３光減衰フィルタ及び前記第４光減衰フィルタで反射されることなく前記第３光減衰フィルタ及び前記第４光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第３光減衰フィルタと前記第４光減衰フィルタとの間の層で２回反射する前記光の光路長であり、
　ＯＰ₃₀₄₂は、前記第３光減衰フィルタで反射されることなく前記第３光減衰フィルタを通過し、かつ、前記第４光減衰フィルタで２回反射する前記光の光路長である。