CN116157657A - 测光装置 - Google Patents

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Abstract

测光装置(1)具备可变光衰减器(4)。可变光衰减器(4)包括多个光衰减滤光器和驱动装置(5)。多个光衰减滤光器各自包括干扰多层膜和透明基板。将多个光衰减滤光器中的任意两个的组合设为第一光衰减滤光器(光衰减滤光器(10))和第二光衰减滤光器(光衰减滤光器(20))。第一光衰减滤光器的第一透明基板(透明基板(11))的第一光路长度与第二光衰减滤光器的第二透明基板(透明基板(21))的第二光路长度不同。

Description

测光装置
技术领域
本发明涉及测光装置。
背景技术
日本特开平8-15012号公报(专利文献1)公开了具备分光器、光衰减单元以及光检测器的光谱测定装置。光衰减单元包括旋转板、安装于旋转板的多个ND滤光器以及使旋转板旋转的马达。多个ND滤光器具有相互不同的光衰减率。根据向光谱测定装置入射的光的强度，将多个ND滤光器中的具有最适当的光衰减率的ND滤光器插入该光的光路。这样，防止光检测器饱和，使入射到光检测器的该光的强度处于光检测器的动态范围内。
专利文献1：日本特开平8-15012号公报
发明内容
然而，在专利文献1所公开的光谱测定装置中包括的光衰减单元中，使用安装于旋转板的多个ND滤光器和马达来旋转，因此光衰减单元的尺寸变大。本发明是鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供具有更紧凑的尺寸，并且能够以更高的精度测定光的测光装置。
本发明的测光装置具备可变光衰减器和光检测器。可变光衰减器包括多个光衰减滤光器和驱动装置。光检测器接受穿过了可变光衰减器的光。驱动装置能够使多个光衰减滤光器相互独立地插入到光的光轴以及从光轴退避。多个光衰减滤光器在沿着光轴的方向上配置在相互不同的位置。多个光衰减滤光器各自包括干扰多层膜以及支承干扰多层膜的透明基板。将多个光衰减滤光器中的任意两个的组合设为第一光衰减滤光器和第二光衰减滤光器。在沿着光轴的方向上，第二光衰减滤光器比第一光衰减滤光器靠近光检测器。第一光衰减滤光器包括作为干扰多层膜的第一干扰多层膜和作为透明基板的第一透明基板。第二光衰减滤光器包括作为干扰多层膜的第二干扰多层膜和作为透明基板的第二透明基板。第一透明基板的第一光路长度与第二透明基板的第二光路长度不同。
优选为，光具有向可变光衰减器的入射角的分布，并且测光装置满足以下的条件式(1)。
|OPDθmax1-OPDθmin1|/λ＞0.5…(1)
其中，OPDθmax1＝(OP1220max-OP1022max)。OPDθmin1＝(OP1220min-OP1022min)。λ为测光装置的能够测定波长范围内所包括的光的波长。OP1220max为由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的最大入射角光的光路长度。最大入射角光为光中的向可变光衰减器的入射角最大的光。OP1022max为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的最大入射角光的光路长度。OP1220min为由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的最小入射角光的光路长度。最小入射角光为光中的向可变光衰减器的入射角最小的光。OP1022min为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的最小入射角光的光路长度。
优选为，测光装置是能够测定分光信息的分光器。
优选为，测光装置满足以下的条件式(2)。
OPD12×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(2)
其中，OPD12＝|OP1220-OP1022|。λ为测光装置的能够测定波长范围内所包括的光的波长。Δλa为光检测器中包括的光检测元件的分光响应度光谱的半值宽度。OP1220为由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度。OP1022为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的光的光路长度。
优选为，测光装置满足以下的条件式(3)。
OPD13×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(3)
其中，OPD13＝|OP1220-OP1022|。λ为测光装置的能够测定波长范围内所包括的光的波长。Δλb为从被测定物放射的光的线宽度。OP1220为由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度。OP1022为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的光的光路长度。
优选为，第一透明基板的第一厚度与第二透明基板的第二厚度不同。
优选为，第一透明基板的第一折射率与第二透明基板的第二折射率不同。
优选为，多个光衰减滤光器各自的干扰多层膜由相同的材料形成，多个光衰减滤光器各自的透明基板由相同的材料形成。
优选为，多个光衰减滤光器各自相对于光轴以相同的角度配置。
优选为，测光装置还具备准直透镜，该准直透镜配置在多个光衰减滤光器的入射侧。
优选为，测光装置满足以下的条件式(4)和(5)。
|OPDθmax2-OPDθmin2|/λ＞0.5…(4)
|OPDθmax3-OPDθmin3|/λ＞0.5…(5)
其中，OPDθmax2＝(OP1420max-OP1022max)。OPDθmin2＝(OP1420min-OP1022min)。OPDθmax3＝(OP1024max-OP1220max)。OPDθmin3＝(OP1024min-OP1220min)。OP1420max为由第一光衰减滤光器四次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的最大入射角光的光路长度。OP1022max为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的最大入射角光的光路长度。OP1420min为由第一光衰减滤光器四次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的最小入射角光的光路长度。OP1022min为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的最小入射角光的光路长度。OP1024max为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器四次反射的最大入射角光的光路长度。OP1220max为由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的最大入射角光的光路长度。OP1024min为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器四次反射的最小入射角光的光路长度。OP1220min为由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的最小入射角光的光路长度。
优选为，测光装置满足以下的条件式(6)和(7)。
OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(6)
OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(7)
其中，OPD21＝|OP1420-OP1022|。OPD22＝|OP1024-OP1220|。OP1420为由第一光衰减滤光器四次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度。OP1022为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的光的光路长度。OP1024为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器四次反射的光的光路长度。OP1220为由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度。
优选为，测光装置满足以下的条件式(8)和(9)。
OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(8)
OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(9)
其中，OPD21＝|OP1420-OP1022|。OPD22＝|OP1024-OP1220|。OP1420为由第一光衰减滤光器四次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度。OP1022为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的光的光路长度。OP1024为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器四次反射的光的光路长度。OP1220为由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度。
优选为，多个光衰减滤光器包括作为第一光衰减滤光器的第三光衰减滤光器和作为第二光衰减滤光器的第四光衰减滤光器。第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器是多个光衰减滤光器中的相互相邻的任意两个光衰减滤光器。测光装置满足以下的条件式(10)和(11)。
|OPDθmax4-OPDθmin4|/λ＞0.5…(10)
|OPDθmax5-OPDθmin5|/λ＞0.5…(11)
其中，OPDθmax4＝(OP3240max-OP30G240max)。OPDθmin4＝(OP3240min-OP30G240min)。OPDθmax5＝(OP3042max-OP30G240max)。OPDθmin5＝(OP3042min-OP30G240min)。OP3240max为由第三光衰减滤光器二次反射，并且不由第四光衰减滤光器反射而穿过第四光衰减滤光器的最大入射角光的光路长度。OP30G240max为不由第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器，并且由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层二次反射的最大入射角光的光路长度。OP3240min为由第三光衰减滤光器二次反射，并且不由第四光衰减滤光器反射而穿过第四光衰减滤光器的最小入射角光的光路长度。OP30G240min为不由第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器，并且由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层二次反射的最小入射角光的光路长度。OP3042max为不由第三光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器，并且由第四光衰减滤光器二次反射的最大入射角光的光路长度。OP3042min为不由第三光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器，并且由第四光衰减滤光器二次反射的最小入射角光的光路长度。
优选为，多个光衰减滤光器包括作为第一光衰减滤光器的第三光衰减滤光器和作为第二光衰减滤光器的第四光衰减滤光器。第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器是多个光衰减滤光器中的相互相邻的任意两个光衰减滤光器。测光装置满足以下的条件式(12)和(13)。
OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(12)
OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(13)
其中，OPDg1＝|OP3240-OP30G240|。OPDg2＝|OP3042-OP30G240|。OP3240为由第三光衰减滤光器二次反射，并且不由第四光衰减滤光器反射而穿过第四光衰减滤光器的光的光路长度。OP30G240为不由第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器，并且由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层二次反射的光的光路长度。OP3042为不由第三光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器，并且由第四光衰减滤光器二次反射的光的光路长度。
优选为，多个光衰减滤光器包括作为第一光衰减滤光器的第三光衰减滤光器和作为第二光衰减滤光器的第四光衰减滤光器。第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器是多个光衰减滤光器中的相互相邻的任意两个光衰减滤光器。测光装置满足以下的条件式(14)和(15)。
OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(14)
OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(15)
其中，OPDg1＝|OP3240-OP30G240|。OPDg2＝|OP3042-OP30G240|。OP3240为由第三光衰减滤光器二次反射，并且不由第四光衰减滤光器反射而穿过第四光衰减滤光器的光的光路长度。OP30G240为不由第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器，并且由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层二次反射的光的光路长度。OP3042为不由第三光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器，并且由第四光衰减滤光器二次反射的光的光路长度。
根据本发明，能够提供具有更紧凑的尺寸，并且能够以更高的精度测定光的测光装置。
附图说明
图1是实施方式的测光装置的概略立体图。
图2是实施方式的可变光衰减器的概略框图。
图3是实施方式的可变光衰减器的概略图。
图4是实施方式的光检测器的概略局部放大图。
图5是表示实施方式的可变光衰减器中的第一干扰的概略图。
图6是表示实施方式的可变光衰减器中的第一干扰的概略图。
图7是表示实施方式的可变光衰减器中的第二干扰的概略图。
图8是表示实施方式的可变光衰减器中的第二干扰的概略图。
图9是表示实施方式的可变光衰减器中的第二干扰的概略图。
图10是表示实施方式的可变光衰减器中的第二干扰的概略图。
图11是表示实施方式的可变光衰减器中的第三干扰的概略图。
图12是表示实施方式的可变光衰减器中的第三干扰的概略图。
图13是表示实施方式的可变光衰减器中的第三干扰的概略图。
图14是表示实施方式的可变光衰减器中的第三干扰的概略图。
图15是示出表示实施例1中的入射到可变光衰减器的光的入射角的分布的曲线图的图。
图16是示出表示向可变光衰减器的被测定光的入射角为5°的情况下的、由第一干扰引起的干扰光的相对强度的曲线图的图。
图17是示出表示向可变光衰减器的被测定光的入射角范围为3°以上且7°以下(5°±2°)的情况下的、由第一干扰引起的干扰光的相对强度的曲线图的图。
图18是示出表示向可变光衰减器的被测定光的入射角为5°的情况下的、由第二干扰引起的干扰光的相对强度的曲线图的图。
图19是示出表示向可变光衰减器的被测定光的入射角范围为3°以上且7°以下(5°±2°)的情况下的、由第二干扰引起的干扰光的相对强度的曲线图的图。
图20是示出表示向可变光衰减器的被测定光的入射角为5°的情况下的、由第三干扰引起的干扰光的相对强度的曲线图的图。
图21是示出表示向可变光衰减器的被测定光的入射角范围为3°以上且7°以下(5°±2°)的情况下的、由第三干扰引起的干扰光的相对强度的曲线图的图。
图22是示出表示光检测器所包括的多个光检测元件中的一个分光响应度光谱的曲线图的图。
图23是示出表示从被测定物放射的光的光谱的曲线图的图。
具体实施方式
参照图1至图4，对实施方式的测光装置1进行说明。测光装置1是测定从被测定物2放射的光(被测定光)的装置。被测定物2没有特别限定，例如是液晶显示器或者有机EL显示器那样的平板显示器。
参照图1，测光装置1主要具备可变光衰减器4、光检测器8。测光装置1还可以具备分光元件6，也可以是能够测定被测定物2的分光信息(例如，被测定光的光谱)的装置(例如，光谱测定装置)。测光装置1还可以具备准直透镜3、聚光透镜7。
准直透镜3配置在可变光衰减器4(多个光衰减滤光器10、20)的入射侧。准直透镜3对从被测定物2放射的光进行准直。
参照图1和图2，可变光衰减器4配置在准直透镜3的射出侧。由准直透镜3准直后的光入射到可变光衰减器4。可变光衰减器4包括多个光衰减滤光器10、20、以及驱动装置5。
多个光衰减滤光器10、20各自也可以相对于入射到可变光衰减器4的光的光轴2p以相同的角度配置。多个光衰减滤光器10、20各自也可以相对于入射到可变光衰减器4的光的光轴2p以相同的角度倾斜。多个光衰减滤光器10、20也可以相互平行地配置。因此，能够使可变光衰减器4小型化，能够使测光装置1小型化。
参照图3，多个光衰减滤光器10、20各自包括：干扰多层膜12、13、22、23、以及支承干扰多层膜12、13、22、23的透明基板11、21。将多个光衰减滤光器10、20中的任意两个的组合设为第一光衰减滤光器(例如，光衰减滤光器10)和第二光衰减滤光器(例如，光衰减滤光器20)。在沿着光轴2p的方向上，第二光衰减滤光器比第一光衰减滤光器靠近光检测器8。第一光衰减滤光器包括作为干扰多层膜的第一干扰多层膜(例如，干扰多层膜12、13中的至少一个)、以及作为透明基板的第一透明基板(例如，透明基板11)。第二光衰减滤光器包括作为干扰多层膜的第二干扰多层膜(干扰多层膜22、23中的至少一个)、以及作为透明基板的第二透明基板(例如，透明基板21)。
第一透明基板(例如，透明基板11)的第一光路长度与第二透明基板(例如，透明基板21)的第二光路长度不同。第一透明基板的第一光路长度由第一透明基板的第一折射率(例如，折射率n1)与第一透明基板的第一厚度(例如，厚度d1)之积提供。第二透明基板的第二光路长度由第二透明基板的第二折射率(例如，折射率n2)与第二透明基板的第二厚度(例如，厚度d2)之积提供。干扰多层膜12、13、22、23各自的厚度与透明基板11、21各自的厚度相比可以忽略，因此第一透明基板(例如，透明基板11)的第一光路长度与第二透明基板(例如，透明基板21)的第二光路长度不同意味着第一光衰减滤光器(例如，光衰减滤光器10)的光路长度与第二光衰减滤光器(例如，光衰减滤光器20)的光路长度不同。
透明基板11、21例如由玻璃、塑料、水晶或者蓝宝石那样的相对于被测定光透明的光学材料形成。形成透明基板11、21的透明光学材料能够根据被测定光的波长范围而适当地选择。
干扰多层膜12、13、22、23各自形成于对应的透明基板11、21各自的入射面14、24或者射出面15、25中的至少一个。具体而言，光衰减滤光器10包括干扰多层膜12、13中的至少一个。干扰多层膜12形成于透明基板11的入射面14。干扰多层膜13形成于透明基板11的射出面15。光衰减滤光器20包括干扰多层膜22、23中的至少一个。干扰多层膜22形成于透明基板21的入射面24。干扰多层膜23形成于透明基板21的射出面25。
确定地说，干扰多层膜12、13、22、23各自形成于对应的透明基板11、21各自的入射面14、24和射出面15、25双方。具体而言，光衰减滤光器10包括形成于透明基板11的入射面14的干扰多层膜12、以及形成于透明基板11的射出面15的干扰多层膜13。光衰减滤光器20包括形成于透明基板21的入射面24的干扰多层膜22、以及形成于透明基板21的射出面25的干扰多层膜23。
干扰多层膜12、13、22、23也可以具有相互相同的多层膜结构，也可以具有相互不同的多层膜结构。干扰多层膜12、13、22、23也可以由相互相同的材料形成，也可以由相互不同的材料形成。作为干扰多层膜12、13、22、23的各层的材料，例如能够使用SiO2或MgF2那样的电介质材料、Al2O3、TiO2、Nb2O5或NbO那样的金属氧化物材料、或者Cr或Nb那样的金属材料。
作为光衰减滤光器，已知有在基板(例如，玻璃基板)的内部吸收光的吸收型光衰减滤光器。吸收型光衰减滤光器的透过光谱的设计的自由度相对较低。另外，吸收型光衰减滤光器相对于环境温度和环境湿度的稳定性相对较低。与此相对，干扰型光衰减滤光器(例如，包括干扰多层膜12、13、22、23的光衰减滤光器10、20)的透过光谱的设计的自由度相对较高。另外，干扰型光衰减滤光器相对于环境温度和环境湿度的稳定性相对较高。
参照图2，驱动装置5能够使多个光衰减滤光器10、20相互独立地插入入射到可变光衰减器4的光的光轴2p以及从光轴2p退避。因此，能够防止光检测器8饱和，使入射到光检测器8的被测定光的强度处于光检测器8的动态范围内。另外，测光装置1具有更紧凑的尺寸。驱动装置5例如是线性致动器。
参照图1，分光元件6对穿过了可变光衰减器4的光进行分光。分光元件6例如为衍射光栅。聚光透镜7使由分光元件6分光后的光聚光于光检测器8。
参照图1和图4，光检测器8接受穿过了可变光衰减器4的光。确定地说，光检测器8接受由分光元件6分光后的光。光检测器8是包括多个光检测元件9的线传感器。多个光检测元件9分别检测被测定光中包括的相互不同的多个波长的光。多个光检测元件9各自例如是电荷耦合元件(CCD)传感器或者互补性金属氧化膜半导体(CMOS)传感器。
包括干扰多层膜12、13、22、23的光衰减滤光器10、20的光反射率处于比吸收型光衰减滤光器的光反射率大的趋势。因此，在包括干扰多层膜12、13、22、23的光衰减滤光器10、20中产生的反射光有可能对测光装置1的测定结果带来负面影响。像以下描述的那样，在本实施方式中，降低该负面影响。
在将多个光衰减滤光器多次插入到光轴2p的情况下，很难使多个光衰减滤光器中的任意两个光衰减滤光器(例如，光衰减滤光器10、20)之间的相对倾斜角始终完全相等。若将多个光衰减滤光器多次插入到光轴2p，则多个光衰减滤光器中的任意两个光衰减滤光器(例如，光衰减滤光器10、20)之间的相对倾斜角有时会稍微变动。另外，由于配置有多个光衰减滤光器的环境的温度的变化，多个光衰减滤光器中的任意两个光衰减滤光器(例如，光衰减滤光器10、20)之间的相对倾斜角有时也会稍微变动。
在多个光衰减滤光器各自的光路长度相互相等的情况下，由于多个光衰减滤光器中的任意两个光衰减滤光器(例如，光衰减滤光器10、20)之间的相对倾斜角的稍微的变动，而测光装置的测定结果较大地变动。因此，很难使用测光装置稳定地测定光。干扰多层膜12、13、22、23各自的厚度与透明基板11、21各自的厚度相比能够忽略，因此多个光衰减滤光器10、20各自的光路长度相互相等实质上意味着多个透明基板11、21各自的光路长度相互相等。
本发明者发现，测光装置1的测定结果的上述较大的变动的原因在于，在多个光衰减滤光器10、20中产生的多个多重反射光之间的干扰所引起的干扰强度的变动成分。例如，在两个光衰减滤光器10、20中产生的两个多重反射光之间的光路长度差仅在由测光装置1测定的光的波长以下(例如，在测定光为可见光的情况下，为几十nm以上且几百nm以下)变动，两个多重反射光之间的干扰强度的变动成分变大，由于两个光衰减滤光器10、20之间的相对倾斜角的稍微的变动，测光装置1的测定结果较大地变动。这样的多个多重反射光之间的干扰主要包括以下的三个干扰(第一干扰、第二干扰和第三干扰)。
第一干扰是由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)产生的二次反射光与由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)产生的二次反射光之间的干扰(参照图5和图6)。第二干扰是由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)和第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)中的一方产生的二次反射光与由第一光衰减滤光器和第二光衰减滤光器中的另一方产生的四次反射光之间的干扰(参照图7至图10)。第三干扰是由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)和第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)中的一方产生的二次反射光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)产生的二次反射光之间的干扰(参照图11至图14)。此外，第三光衰减滤光器与第一光衰减滤光器对应，并且第四光衰减滤光器与第二光衰减滤光器对应。第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器是指多个光衰减滤光器中的相互相邻的任意两个光衰减滤光器。
多数情况下，上述三个干扰中的第一干扰对测光装置1的测定结果的变动带来最大的影响。其理由如下。第二干扰中的多重反射光的反射次数比第一干扰中的多重反射光的反射次数多。因此，多数情况下，由第二干扰引起的干扰强度的变动成分比由第一干扰引起的干扰强度的变动成分小。另外，通常，多数情况下，使用干扰多层膜的光衰减滤光器针对从空气层侧入射到干扰多层膜的光的反射率比使用干扰多层膜的光衰减滤光器针对从光衰减滤光器的内部侧(透明基板侧)入射到干扰多层膜的光的反射率低。这样，多数情况下，由第三干扰引起的干扰强度的变动成分比由第一干扰引起的干扰强度的变动成分小。
因此，通过降低由第一干扰引起的干扰强度的变动成分，能够有效地降低测光装置1的测定结果的变动，能够使用测光装置1稳定地且高精度地测定光。优选除了第一干扰之外，还降低由第二干扰引起的干扰强度的变动成分或者由第三干扰引起的干扰强度的变动成分中的至少一个。因此，能够更有效地降低测光装置1的测定结果的变动，能够使用测光装置1以进一步提高的精度测定光。
此外，在多个光衰减滤光器10、20中产生的多个多重反射光之间的干扰除了包括第一干扰、第二干扰和第三干扰之外，还包括更高次的干扰。然而，更高次的干扰中的多重反射光的反射次数比第一干扰中的多重反射光的反射次数、第二干扰中的多重反射光的反射次数以及第三干扰中的多重反射光的反射次数中的任一方都多。因此，由更高次的干扰引起的干扰强度的变动成分比由第一干扰引起的干扰强度的变动成分、由第二干扰引起的干扰强度的变动成分以及由第三干扰引起的干扰强度的变动成分中的任一方都小，能够忽略。
在本实施方式中，第一光衰减滤光器(例如，光衰减滤光器10)的第一透明基板(例如，透明基板11)的第一光路长度与第二光衰减滤光器(例如，光衰减滤光器20)的第二透明基板(例如，透明基板21)的第二光路长度不同。因此，在多个光衰减滤光器10、20中产生的多个多重反射光之间的干扰所引起的干扰波形的周期变短。干扰波形被平均化，在多个光衰减滤光器10、20中产生的多个多重反射光之间的干扰强度的变动成分降低。即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角变动，测光装置1的测定结果也几乎不变动。测光装置1能够以更高的精度测定从被测定物2放射的光。
以下，在实施例1至实施例3中说明由第一干扰、第二干扰和第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低，在实施例4至实施例6中说明由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低，在实施例7至实施例9中说明由第一干扰和第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低，在实施例10至实施例12中说明由第一干扰和第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜实施例1、实施例2、实施例3＞
参照图1至图23，对实施例1至实施例3进行说明。在实施例1至实施例3中，多个光衰减滤光器10、20由两个光衰减滤光器10、20构成。第一光衰减滤光器是光衰减滤光器10，第二光衰减滤光器是光衰减滤光器20。由于光衰减滤光器10与光衰减滤光器20相互相邻，因此光衰减滤光器10也是第三光衰减滤光器，并且光衰减滤光器20也是第四光衰减滤光器。光衰减滤光器10包括干扰多层膜12、13、以及支承干扰多层膜12、13的透明基板11。光衰减滤光器20包括干扰多层膜22、23、以及支承干扰多层膜22、23的透明基板21。
实施例1至实施例3中的可变光衰减器4的结构如表1所示。因此，透明基板11的光路长度与透明基板21的光路长度不同。透明基板11的入射面14的反射率和透明基板11的射出面15的反射率分别为10％。透明基板11的入射面14的反射率为干扰多层膜12的反射率。透明基板11的射出面15的反射率为干扰多层膜13的反射率。透明基板21的入射面24的反射率和透明基板21的射出面25的反射率分别为10％。透明基板11的入射面24的反射率为干扰多层膜22的反射率。透明基板21的射出面25的反射率为干扰多层膜23的反射率。在图5、7、8、11、12中，光衰减滤光器10与光衰减滤光器20之间的相对倾斜角(例如，光衰减滤光器10相对于光衰减滤光器20的倾斜角)θ为0.0°。在图6、9、10、13、14中，光衰减滤光器10与光衰减滤光器20之间的相对倾斜角θ为0.1°。
[表1]
Figure BDA0004107377160000131
(a)入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布、(b)光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa、以及(c)从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb中的至少一个降低由多个多重反射光之间的干扰引起的干扰强度的变动成分，降低在光衰减滤光器10与光衰减滤光器20之间的相对倾斜角θ稍微变化时的测光装置1的测定结果的变动。此外，在本说明书中，入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角被定义为被测定光(在被测定光具有入射角的分布的情况下，具有被测定光的入射角的分布的中心的入射角的被测定光成分)相对于可变光衰减器4的光轴的入射角。被测定光的线宽度Δλb被定义为被测定光的光谱的半值宽度。
在实施例1中研究上述(a)入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第一干扰、第二干扰和第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低，在实施例2中研究上述(b)光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第一干扰、第二干扰和第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低，在实施例3中研究上述(c)从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第一干扰、第二干扰和第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。此外，光的波长λ越长，条件式(1)至条件式(15)各自的左边的值越小。而且，条件式(1)至条件式(15)各自的左边的值越小，则由多个多重反射光之间的干扰引起的干扰强度的变动成分越大。因此，在实施例1至实施例3中，将光的波长λ设为由多个多重反射光之间的干扰引起的干扰强度的变动成分最大的波长、即测光装置1的能够测定波长范围的最大波长。
＜实施例1＞
在本实施例中，测光装置1的能够测定波长范围为380nm以上且780nm以下。入射到可变光衰减器4的光的入射角的分布处于3°以上且7°以下的入射角范围(5°±2°的入射角范围)(参照表2)，并且在该入射角范围中光的强度是一样的(参照图15)。测光装置1为分光器(多色仪)，光检测器8包括多个光检测元件9。多个光检测元件9中的、与测光装置1的能够测定波长范围的最大波长对应的光检测元件9的分光响应度光谱具备具有780nm的峰值波长的高斯形状。该光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa为10nm(参照表2)。从被测定物2放射的光(被测定光)的光谱具备具有780nm的峰值波长的高斯形状。从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb为0.01nm(参照表2)。
[表2]
入射角分布 5°±2°
半值宽度Δλa 10nm
线宽度Δλb 0.01nm
由于从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb充分小，因此上述(b)光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa与上述(c)从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由多个多重反射光之间的干扰引起的干扰强度的变动成分的降低很微小，能够忽略。在实施例1中，研究上述(a)入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰和第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，满足以下的条件式(1)。
|OPDθmax1-OPDθmin1|/λ＞0.5…(1)
OPDθmax1＝(OP1220max-OP1022max)。OPDθmin1＝(OP1220min-OP1022min)。λ
为在测光装置1的能够测定波长范围内所包括的光的波长。
OP1220max为由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射，并且不由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)反射而穿过第二光衰减滤光器的最大入射角光的光路长度。最大入射角光为向可变光衰减器4入射的光中的向可变光衰减器4的入射角最大的光。OP1022max为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的最大入射角光的光路长度。OP1220min为由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的最小入射角光的光路长度。最小入射角光为向可变光衰减器4入射的光中的向可变光衰减器4的入射角最小的光。OP1022min为不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的最小入射角光的光路长度。
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(1)的左边即|OPDθmax1-OPDθmin1|/λ为3.571。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(1)的左边即|OPDθmax1-OPDθmin1|/λ为3.368。因此，本实施例满足条件式(1)。
在满足条件式(1)的情况下，能够降低由第一干扰(由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。参照图16和图17，入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角范围为3°以上且7°以下(5°±2°)的情况下的、由第一干扰引起的相对干扰强度的变动比入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角为5°的情况下的、由第一干扰引起的相对干扰强度的变动小。在本说明书中，相对干扰强度是以不由光衰减滤光器10、20反射而透过光衰减滤光器10、20的光的基准强度标准化后的干扰强度，并且是通过将该基准强度换算为相对强度零而得到的。通过入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布来降低由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的理由如下。
若入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角发生变化，则图16的干扰波形沿横向偏移。图17的干扰波形是将根据入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角中的各个入射角而沿横向偏移了相互不同的量的多个图16的干扰波形相加并平均化而得的波形。因此，入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角范围为3°以上且7°以下(5°±2°)的情况下的、由第一干扰引起的干扰强度的变动比入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角为5°的情况下的、由第一干扰引起的干扰强度的变动小。
条件式(1)的左边表示在入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角最大的情况与入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角最小的情况之间，图16的干扰波形偏移该干扰波形的周期的几倍量。如果满足条件式(1)，则得到较高的平均化效果，能够降低由第一干扰(由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动。具体而言，第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰引起的测光装置1的测定值变动为0.26％。在本说明书中，测光装置1的测定值变动被定义为0.0°的相对倾斜角θ时的波长780nm的光的相对干扰强度与0.1°的相对倾斜角θ时的波长780nm的光的相对干扰强度之间的差。因此，即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第一干扰引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，满足以下的条件式(4)和(5)。
|OPDθmax2-OPDθmin2|/λ＞0.5…(4)
|OPDθmax3-OPDθmin3|/λ＞0.5…(5)
OPDθmax2＝(OP1420max-OP1022max)。OPDθmin2＝(OP1420min-OP1022min)。
OPDθmax3＝(OP1024max-OP1220max)。OPDθmin3＝(OP1024min-OP1220min)。
OP1420max是由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)四次反射，并且不由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)反射而穿过第二光衰减滤光器的最大入射角光的光路长度。OP1022max是不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的最大入射角光的光路长度。OP1420min是由第一光衰减滤光器四次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的最小入射角光的光路长度。OP1022min是不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的最小入射角光的光路长度。
OP1024max是不由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)四次反射的最大入射角光的光路长度。OP1220max是由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的最大入射角光的光路长度。OP1024min是不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器四次反射的最小入射角光的光路长度。OP1220min是由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的最小入射角光的光路长度。
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(4)的左边即|OPDθmax2-OPDθmin2|/λ为3.061。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(4)的左边即|OPDθmax2-OPDθmin2|/λ为2.797。因此，本实施例满足条件式(4)。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(5)的左边即|OPDθmax3-OPDθmin3|/λ为13.772。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(5)的左边即|OPDθmax3-OPDθmin3|/λ为13.367。因此，本实施例满足条件式(5)。
在满足条件式(4)的情况下，能够降低由第二干扰(由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)四次反射的光与由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。根据图18和图19，入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角范围为3°以上且7°以下(5°±2°)的情况下的、由第二干扰引起的相对干扰强度的变动比入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角为5°的情况下的、由第二干扰引起的相对干扰强度的变动小。通过入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布来降低由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的理由与降低由第一干扰引起的干扰强度的变动的理由同样，是因为干扰波形的平均化效果。
具体而言，第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器四次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-0.01％。因此，即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第二干扰引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
在满足条件式(5)的情况下，与满足条件式(4)的情况同样，能够降低由第二干扰(由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)四次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。具体而言，第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第二干扰引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，满足以下的条件式(10)和(11)。
|OPDθmax4-OPDθmin4|/λ＞0.5…(10)
|OPDθmax5-OPDθmin5|/λ＞0.5…(11)
OPDθmax4＝(OP3240max-OP30G240max)。OPDθmin4＝(OP3240min-OP30G240min)。
OPDθmax5＝(OP3042max-OP30G240max)。OPDθmin5＝(OP3042min-OP30G240min)。
OP3240max是由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射，并且不由第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)反射而穿过第四光衰减滤光器的最大入射角光的光路长度。OP30G240max是不由第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器，并且由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的最大入射角光的光路长度。OP3240min是由第三光衰减滤光器二次反射，并且不由第四光衰减滤光器反射而穿过第四光衰减滤光器的最小入射角光的光路长度。
OP30G240min是不由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)和第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)反射而穿过第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器，并且由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的最小入射角光的光路长度。OP3042max是不由第三光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器，并且由第四光衰减滤光器二次反射的最大入射角光的光路长度。OP3042min是不由第三光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器，并且由第四光衰减滤光器二次反射的最小入射角光的光路长度。
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图13)，条件式(10)的左边即|OPDθmax4-OPDθmin4|/λ为40.164。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图16)，条件式(10)的左边即|OPDθmax4-OPDθmin4|/λ为40.774。因此，本实施例满足条件式(10)。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(11)的左边即|OPDθmax5-OPDθmin5|为36.594。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(11)的左边即|OPDθmax5-OPDθmin5|为37.274。因此，本实施例满足条件式(11)。
在满足条件式(10)的情况下，能够降低由第三干扰(由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。根据图20和图21，入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角范围为3°以上且7°以下(5°±2°)的情况下的、由第三干扰引起的相对干扰强度的变动比入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角为5°的情况下的、由第三干扰引起的相对干扰强度的变动小。通过入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布来降低由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的理由与降低由第一干扰引起的干扰强度的变动的理由同样，是因为干扰波形的平均化效果。
具体而言，第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.01％。因此，即使第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第三干扰引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
在满足条件式(11)的情况下，与满足条件式(10)的情况同样，能够降低由第三干扰(由第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)二次反射的光与由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。具体而言，第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第三干扰引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计而提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为0.26％。如果测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，则能够精度良好地测定被测定光。如果测光装置1的测定值变动的绝对值处于1％以内，则更优选。由于本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于1％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。
＜实施例2＞
本实施例的测光装置1与实施例1的测光装置1相同，但主要在以下的方面不同。不存在入射到可变光衰减器4的光的入射角的分布，向可变光衰减器4的光的入射角为5°(参照表3)。光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa为3nm(参照表3和图22)。从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb为300nm(参照表3)。
[表3]
入射角 5°
半值宽度Δλa 3nm
线宽度Δλb 300nm
光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa与从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb相比充分小，因此由多个多重反射光之间的干扰引起的干扰强度的变动成分的降低取决于上述(b)光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及上述(c)从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb中的、上述(b)光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa。另外，在本实施例中，不存在入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布，因此不存在上述(a)入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由多个多重反射光之间的干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。在本实施例中，研究上述(b)光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰和第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，满足以下的条件式(2)。
OPD12×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(2)
OPD12＝|OP1220-OP1022|。λ为测光装置1的能够测定波长范围内所包括的光的波长。Δλa为光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度。
OP1220是由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射，并且不由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度(参照图5)。OP1022是不由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)二次反射的光的光路长度(参照图6)。
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(2)的左边即OPD12×(1/λ-1/(λ+Δλa))为5.236。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(2)的左边即OPD12×(1/λ-1/(λ+Δλa))为5.237。因此，本实施例满足条件式(2)。
在满足条件式(2)的情况下，能够降低由第一干扰(由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。由光检测器8测定的测定值是通过由第一干扰引起的相对干扰强度的光谱(参照图16)与光检测元件9的分光响应度光谱(参照图22)之积提供的。条件式(2)的左边表示在图22所示的光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa内包括几个周期的图16所示的干扰波形。如果满足条件式(2)，则能够得到干扰波形较高的平均化效果，能够降低由第一干扰引起的干扰强度的变动。
具体而言，第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第一干扰引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，满足以下的条件式(6)和(7)。
OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(6)
OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(7)
OPD21＝|OP1420-OP1022|。OPD22＝|OP1024-OP1220|。
OP1420是由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)四次反射，并且不由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度(参照图7和图9)。OP1022是不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的光的光路长度(参照图7和图9)。OP1024是不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器四次反射的光的光路长度(参照图8和图10)。OP1220是由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度(参照图8和图10)。
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(6)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为4.488。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(6)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为4.489。因此，本实施例满足条件式(6)。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(7)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为20.194。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(7)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为20.196。因此，本实施例满足条件式(7)。
在满足条件式(6)的情况下，能够降低由第二干扰(由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。由光检测器8测定的测定值是通过由第二干扰引起的相对干扰强度的光谱(参照图18)与光检测元件9的分光响应度光谱(参照图22)之积提供的。条件式(6)的左边表示在光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa内包括几个周期的图18所示的干扰波形。如果满则条件式(6)，则能够得到干扰波形的较高的平均化效果，能够降低由第二干扰引起的干扰强度的变动。
具体而言，第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第二干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
在满足条件式(7)的情况下，与满足条件式(6)的情况同样，能够降低由第二干扰(由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)四次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。其结果是，即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，由第二干扰引起的干扰强度也几乎不变化。具体而言，第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第二干扰引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，满足以下的条件式(12)和(13)。
OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(12)
OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(13)
OPDg1＝|OP3240-OP30G240|。OPDg2＝|OP3042-OP30G240|。
OP3240是由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射，并且不由第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)反射而穿过第四光衰减滤光器的光的光路长度。OP30G240是不由第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器，并且由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光的光路长度。OP3042是不由第三光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器，并且由第四光衰减滤光器二次反射的光的光路长度。
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图11)，条件式(12)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλa))为19.637。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图13)，条件式(12)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλa))为19.634。因此，本实施例满足条件式(12)。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(13)的左边即OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλa))为14.402。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图14)，条件式(13)的左边即OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλa))为14.398。因此，本实施例满足条件式(13)。
在满足条件式(12)的情况下，能够降低由第三干扰(由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。由光检测器8测定的测定值是通过由第三干扰引起的相对干扰强度的光谱(参照图20)与光检测元件9的分光响应度光谱(参照图22)之积提供的。条件式(12)的左边表示在光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa内包括几个周期的图20所示的干扰波形。如果满足条件式(12)，则能够得到干扰波形的较高的平均化效果，能够降低由第三干扰引起的干扰强度的变动。
具体而言，第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
在满足条件式(13)的情况下，与满足条件式(12)的情况同样，能够降低由第三干扰(由第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)二次反射的光与由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。其结果是，即使第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，由第三干扰引起的干扰强度也几乎不变化。具体而言，第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第三干扰引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为0.00％。如果测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，则能够精度良好地测定被测定光。如果测光装置1的测定值变动的绝对值处于1％以内，则更优选。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于1％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。
＜实施例3＞
本实施例的测光装置1与实施例1的测光装置1相同，但主要在以下的方面不同。不存在入射到可变光衰减器4的光的入射角的分布，向可变光衰减器4的光的入射角为5°(参照表4)。光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa为20nm(参照表4)。从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb为1nm(参照表4和图23)。
[表4]
入射角 5°
半值宽度Δλa 20nm
线宽度Δλb 1nm
从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb与光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa相比充分小，因此由多个多重反射光之间的干扰引起的干扰强度的变动成分的降低取决于上述(b)光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa及上述(c)从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb中的、上述(c)从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb。另外，在本实施例中，不存在入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布，因此不存在上述(a)入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由多个多重反射光之间的干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。在本实施例中，研究上述(c)从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰和第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，满足以下的条件式(3)。
OPD13×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(3)
OPD13＝|OP1220-OP1022|。λ为测光装置1的能够测定波长范围内所包括的光的波长。Δλb为从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度。
OP1220是由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射，并且不由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度(参照图5)。OP1022是不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的光的光路长度(参照图5)。
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(3)的左边即OPD13×(1/λ-1/(λ+Δλb))为1.750。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(3)的左边即OPD13×(1/λ-1/(λ+Δλb))为1.750。因此，本实施例满足条件式(3)。
在满足条件式(3)的情况下，能够降低由第一干扰(由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。由光检测器8测定的测定值是通过由第一干扰引起的相对干扰强度的光谱(参照图16)与从被测定物2放射的光(被测定光)的光谱(参照图23)之积提供的。条件式(3)的左边表示在图23所示的从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb内包括几个周期的图16所示的干扰波形。如果满足条件式(3)，则能够得到干扰波形的较高的平均化效果，能够降低由第一干扰引起的相对干扰强度的变动。
具体而言，第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第一干扰引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，满足以下的条件式(8)和(9)。
OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(8)
OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(9)
OPD21＝|OP1420-OP1022|。OPD22＝|OP1024-OP1220|。
OP1420是由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)四次反射，并且不由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度(参照图7和图9)。OP1022是不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器二次反射的光的光路长度(参照图7和图9)。OP1024是不由第一光衰减滤光器反射而穿过第一光衰减滤光器，并且由第二光衰减滤光器四次反射的光的光路长度(参照图8和图10)。OP1220是由第一光衰减滤光器二次反射，并且不由第二光衰减滤光器反射而穿过第二光衰减滤光器的光的光路长度(参照图8和图10)。
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(8)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλb))为1.500。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(8)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλb))为1.500。因此，本实施例满足条件式(8)。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(9)的左边即OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλb))为6.749。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(9)的左边即OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλb))为6.749。因此，本实施例满足条件式(9)。
在满足条件式(8)的情况下，能够降低由第二干扰(由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。由光检测器8测定的测定值是通过由第二干扰引起的相对干扰强度的光谱(参照图18)与从被测定物2放射的光(被测定光)的光谱(参照图23)之积提供的。条件式(8)的左边表示在图23所示的从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb内包括几个周期的图18所示的干扰波形。如果满足条件式(8)，则能够得到干扰波形的较高的平均化效果，能够降低由第二干扰引起的干扰强度的变动。
具体而言，第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第二干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
在满足条件式(9)的情况下，与满足条件式(8)的情况同样，能够降低由第二干扰(由第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)四次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。其结果是，即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，由第二干扰引起的干扰强度也几乎不变化。具体而言，第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第二干扰引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，满足以下的条件式(14)和(15)。
OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(14)
OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(15)
OPDg1＝|OP3240-OP30G240|。OPDg2＝|OP3042-OP30G240|。
OP3240是由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射，并且不由第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)反射而穿过第四光衰减滤光器的光的光路长度。OP30G240是不由第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器和第四光衰减滤光器，并且由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光的光路长度。OP3042是不由第三光衰减滤光器反射而穿过第三光衰减滤光器，并且由第四光衰减滤光器二次反射的光的光路长度。
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图11)，条件式(14)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为6.562。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图13)，条件式(14)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为6.562。因此，本实施例满足条件式(14)。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(15)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为4.813。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图14)，条件式(15)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为4.812。因此，本实施例满足条件式(15)。
在满足条件式(14)的情况下，能够降低由第三干扰(由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。由光检测器8测定的测定值是通过由第三干扰引起的相对干扰强度的光谱(参照图20)与从被测定物2放射的光(被测定光)的光谱(参照图23)之积提供的。条件式(14)的左边表示在图23所示的从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb内包括几个周期的图20所示的干扰波形。如果满足条件式(14)，则能够得到干扰波形较高的平均化效果，能够降低由第三干扰引起的干扰强度的变动。
具体而言，第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
在满足条件式(15)的情况下，与满足条件式(14)的情况同样，能够降低由第三干扰(由第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)二次反射的光与由第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的干扰强度的变动成分。其结果是，即使第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，由第三干扰引起的干扰强度也几乎不变化。具体而言，第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。因此，即使第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ稍微变化，也降低由第三干扰引起的干扰强度的变动，能够精度良好地测定被测定光。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为0.00％。如果测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，则能够精度良好地测定被测定光。如果测光装置1的测定值变动的绝对值处于1％以内，则更优选。由于本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于1％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。
＜实施例4、实施例5、实施例6＞
参照图1至图23，对实施例4至实施例6进行说明。实施例4至实施例6的测光装置1具备与实施例1至实施例3的测光装置1相同的结构，但主要在以下的方面不同。
实施例4至实施例6的可变光衰减器4的结构如表5所示。因此，透明基板11的光路长度与透明基板21的光路长度不同。
[表5]
Figure BDA0004107377160000301
＜实施例4＞
本实施例的入射到可变光衰减器4的光的入射角的分布、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb分别与实施例1的入射到可变光衰减器4的光的入射角的分布、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb相同(参照表2)。因此，在本实施例中，与实施例1同样，研究上述(a)入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰和第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(1)的左边即|OPDθmax1-OPDθmin1|/λ为5.101。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(1)的左边即|OPDθmax1-OPDθmin1|/λ为4.898。因此，本实施例满足条件式(1)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-0.03％。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(4)的左边即|OPDθmax2-OPDθmin2|/λ为0.000。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(4)的左边即|OPDθmax2-OPDθmin2|/λ为0.203。因此，本实施例不满足条件式(4)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器四次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-0.20％。
在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(5)的左边即|OPDθmax3-OPDθmin3|/λ为15.303。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(5)的左边即|OPDθmax3-OPDθmin3|/λ为14.897。因此，本实施例满足条件式(5)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器四次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图13)，条件式(10)的左边即|OPDθmax4-OPDθmin4|/λ为5.038。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图16)，条件式(10)的左边即|OPDθmax4-OPDθmin4|/λ为5.243。因此，本实施例满足条件式(10)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.03％。
在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(11)的左边即|OPDθmax5-OPDθmin5|为0.063。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(11)的左边即|OPDθmax5-OPDθmin5|为0.244。因此，本实施例不满足条件式(11)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第四光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-2.04％。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为-2.24％。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值比实施例1的测光装置1的测定值变动的绝对值大。因此，实施例1的测光装置1比本实施例的测光装置1更优选。
＜实施例5＞
本实施例的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb分别与实施例2的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb相同(参照表3)。因此，在本实施例中，与实施例2同样，研究上述(b)光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰和第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(2)的左边即OPD12×(1/λ-1/(λ+Δλa))为7.479。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(2)的左边即OPD12×(1/λ-1/(λ+Δλa))为7.480。因此，本实施例满足条件式(2)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(6)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为0.000。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(6)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为0.001。因此，本实施例不满足条件式(6)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器四次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-0.20％。
在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(7)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为22.438。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(7)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为22.440。因此，本实施例满足条件式(7)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器四次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图11)，条件式(12)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλa))为7.397。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图13)，条件式(12)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλa))为7.395。因此，本实施例满足条件式(12)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(13)的左边即OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλa))为0.083。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图14)，条件式(13)的左边即OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλa))为0.085。因此，本实施例不满足条件式(13)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第四光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为1.37％。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为1.16％。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值比实施例2的测光装置1的测定值变动的绝对值大。因此，实施例2的测光装置1比本实施例的测光装置1更优选。
＜实施例6＞
本实施例的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb分别与实施例3的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb相同(参照表4)。因此，在本实施例中，与实施例3同样，研究上述(c)从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰和第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(3)的左边即OPD13×(1/λ-1/(λ+Δλb))为2.500。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(3)的左边即OPD13×(1/λ-1/(λ+Δλb))为2.500。因此，本实施例满足条件式(3)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(8)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλb))为0.000。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(8)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλb))为0.000。因此，本实施例不满足条件式(8)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器四次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-0.20％。
在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(9)的左边即OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλb))为7.499。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(9)的左边即OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλb))为7.499。因此，本实施例满足条件式(9)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器四次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图11)，条件式(14)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为2.472。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图13)，条件式(14)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为2.471。因此，本实施例满足条件式(14)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(15)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为0.028。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图14)，条件式(15)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为0.028。因此，本实施例不满足条件式(15)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第四光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为2.30％。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为2.10％。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值比实施例3的测光装置1的测定值变动的绝对值大。因此，实施例3的测光装置1比本实施例的测光装置1更优选。
＜实施例7、实施例8、实施例9＞
参照图1至图23，对实施例7至实施例9进行说明。实施例7至实施例9的测光装置1具备与实施例1至实施例3的测光装置1相同的结构，但主要在以下的方面不同。
实施例7至实施例9的可变光衰减器4的结构如表6所示。因此，透明基板11的光路长度与透明基板21的光路长度不同。
[表6]
Figure BDA0004107377160000371
＜实施例7＞
本实施例的入射到可变光衰减器4的光的入射角的分布、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb分别与实施例1的入射到可变光衰减器4的光的入射角的分布、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb相同(参照表2)。因此，在本实施例中，与实施例1同样，研究上述(a)入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰以及第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(1)的左边即|OPDθmax1-OPDθmin1|/λ为2.040。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(1)的左边即|OPDθmax1-OPDθmin1|/λ为1.838。因此，本实施例满足条件式(1)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-0.05％。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(4)的左边即|OPDθmax2-OPDθmin2|/λ为6.121。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(4)的左边即|OPDθmax2-OPDθmin2|/λ为5.797。因此，本实施例满足条件式(4)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器四次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(5)的左边即|OPDθmax3-OPDθmin3|/λ为12.242。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(5)的左边即|OPDθmax3-OPDθmin3|/λ为11.837。因此，本实施例满足条件式(5)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器四次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图13)，条件式(10)的左边即|OPDθmax4-OPDθmin4|/λ为0.362。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图16)，条件式(10)的左边即|OPDθmax4-OPDθmin4|/λ为0.120。因此，本实施例不满足条件式(10)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-2.41％。
在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(11)的左边即|OPDθmax5-OPDθmin5|为2.402。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(11)的左边即|OPDθmax5-OPDθmin5|为2.120。因此，本实施例满足条件式(11)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第四光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.07％。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为-2.39％。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值比实施例1的测光装置1的测定值变动的绝对值大。因此，实施例1的测光装置1比本实施例的测光装置1更优选。
＜实施例8＞
本实施例的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb分别与实施例2的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb相同(参照表3)。因此，在本实施例中，与实施例2同样，研究上述(b)光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰以及第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(2)的左边即OPD12×(1/λ-1/(λ+Δλa))为2.992。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(2)的左边即OPD12×(1/λ-1/(λ+Δλa))为2.993。因此，本实施例满足条件式(2)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(6)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为8.975。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(6)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为8.977。因此，本实施例满足条件式(6)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器四次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(7)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为17.950。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(7)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为17.952。因此，本实施例满足条件式(7)。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器四次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图11)，条件式(12)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλa))为0.266。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图13)，条件式(12)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλa))为0.265。因此，本实施例不满足条件式(12)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为2.74％。
在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(13)的左边即OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλa))为2.725。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图14)，条件式(13)的左边即OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλa))为2.727。因此，本实施例满足条件式(13)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第四光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为2.74％。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值比实施例2的测光装置1的测定值变动的绝对值大。因此，实施例2的测光装置1比本实施例的测光装置1更优选。
＜实施例9＞
本实施例的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb分别与实施例3的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb相同(参照表4)。因此，在本实施例中，与实施例3同样，研究上述(c)从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰以及第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(3)的左边即OPD13×(1/λ-1/(λ+Δλb))为1.000。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(3)的左边即OPD13×(1/λ-1/(λ+Δλb))为1.000。因此，本实施例满足条件式(3)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.01％。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(8)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλb))为2.999。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(8)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλb))为3.000。因此，本实施例满足条件式(8)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器四次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(9)的左边即OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλb))为5.999。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(9)的左边即OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλb))为5.999。因此，本实施例满足条件式(9)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器四次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图11)，条件式(14)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为0.089。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图13)，条件式(14)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为0.088。因此，本实施例不满足条件式(14)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为3.43％。
在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(15)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为0.911。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图14)，条件式(15)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为0.911。因此，本实施例满足条件式(15)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第四光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.06％。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为3.50％。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值比实施例3的测光装置1的测定值变动的绝对值大。因此，实施例3的测光装置1比本实施例的测光装置1更优选。
＜实施例10、实施例11、实施例12＞
参照图1至图23，对实施例10至实施例12进行说明。实施例10至实施例12的测光装置1具备与实施例1至实施例3的测光装置1相同的结构，但主要在以下的方面不同。
实施例10至实施例12的可变光衰减器4的结构如表7所示。因此，透明基板11的光路长度与透明基板21的光路长度不同。
[表7]
Figure BDA0004107377160000441
＜实施例10＞
本实施例的入射到可变光衰减器4的光的入射角的分布、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb分别与实施例1的入射到可变光衰减器4的光的入射角的分布、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb相同(参照表2)。因此，在本实施例中，与实施例1同样，研究上述(a)入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰以及第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(1)的左边即|OPDθmax1-OPDθmin1|/λ为5.101。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(1)的左边即|OPDθmax1-OPDθmin1|/λ为4.898。因此，本实施例满足条件式(1)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-0.03％。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(4)的左边即|OPDθmax2-OPDθmin2|/λ为0.000。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(4)的左边即|OPDθmax2-OPDθmin2|/λ为0.203。因此，本实施例不满足条件式(4)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器四次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-0.20％。
在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(5)的左边即|OPDθmax3-OPDθmin3|/λ为15.303。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(5)的左边即|OPDθmax3-OPDθmin3|/λ为14.897。因此，本实施例满足条件式(5)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器四次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜入射到可变光衰减器4的被测定光的入射角的分布所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图13)，条件式(10)的左边即|OPDθmax4-OPDθmin4|/λ为41.694。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图16)，条件式(10)的左边即|OPDθmax4-OPDθmin4|/λ为42.274。因此，本实施例满足条件式(10)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.03％。
在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(11)的左边即|OPDθmax5-OPDθmin5|为36.594。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(11)的左边即|OPDθmax5-OPDθmin5|为37.274。因此，本实施例满足条件式(11)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第四光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为-0.21％。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。
＜实施例11＞
本实施例的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb分别与实施例2的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb相同(参照表3)。因此，在本实施例中，与实施例2同样，研究上述(b)光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰以及第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(2)的左边即OPD12×(1/λ-1/(λ+Δλa))为7.479。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(2)的左边即OPD12×(1/λ-1/(λ+Δλa))为7.480。因此，本实施例满足条件式(2)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(6)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为0.000。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(6)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为0.001。因此，本实施例不满足条件式(6)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器四次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-0.20％。
在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(7)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为22.438。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(7)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))为22.440。因此，本实施例满足条件式(7)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器四次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图11)，条件式(12)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλa))为21.881。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图13)，条件式(12)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλa))为21.878。因此，本实施例满足条件式(12)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(13)的左边即OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλa))为14.402。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图14)，条件式(13)的左边即OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλa))为14.398。因此，本实施例满足条件式(13)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第四光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为-0.20％。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值比实施例2的测光装置1的测定值变动的绝对值大。因此，实施例2的测光装置1比本实施例的测光装置1更优选。
＜实施例12＞
本实施例的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb分别与实施例3的向可变光衰减器4的光的入射角、光检测元件9的分光响应度光谱的半值宽度Δλa以及从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb相同(参照表4)。因此，在本实施例中，与实施例3同样，研究上述(c)从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由多个多重反射光之间的第一干扰、第二干扰以及第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第一干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图5)，条件式(3)的左边即OPD13×(1/λ-1/(λ+Δλb))为2.500。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图6)，条件式(3)的左边即OPD13×(1/λ-1/(λ+Δλb))为2.500。因此，本实施例满足条件式(3)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第一干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第二干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图7)，条件式(8)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλb))为0.000。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图9)，条件式(8)的左边即OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλb))为0.000。因此，本实施例不满足条件式(8)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器四次反射的光与由第二光衰减滤光器二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为-0.20％。
在第一光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第二光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图8)，条件式(9)的左边即OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλb))为7.499。在第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图10)，条件式(9)的左边即OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλb))为7.499。因此，本实施例满足条件式(9)。第一光衰减滤光器与第二光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第二干扰(由第一光衰减滤光器二次反射的光与由第二光衰减滤光器四次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
＜从被测定物2放射的光(被测定光)的线宽度Δλb所实现的由第三干扰引起的干扰强度的变动成分的降低＞
在本实施例中，在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图11)，条件式(14)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为7.312。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图13)，条件式(14)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为7.311。因此，本实施例满足条件式(14)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第三光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
在第三光衰减滤光器(光衰减滤光器10)与第四光衰减滤光器(光衰减滤光器20)之间的相对倾斜角θ为0.0°的情况下(参照图12)，条件式(15)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为4.813。在第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ为0.1°的情况下(参照图14)，条件式(15)的左边即OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))为4.812。因此，本实施例满足条件式(15)。第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的相对倾斜角θ从0.0°变化到0.1°时的由第三干扰(由第四光衰减滤光器二次反射的光与由第三光衰减滤光器与第四光衰减滤光器之间的层(例如，空气层)二次反射的光之间的干扰)引起的测光装置1的测定值变动为0.00％。
本实施例的测光装置1的测定值变动是通过由第一干扰引起的测定值变动、由第二干扰引起的测定值变动以及由第三干扰引起的测定值变动的合计提供的。本实施例的测光装置1的测定值变动为-0.20％。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值处于5％以内，因此能够精度良好地测定被测定光。本实施例的测光装置1的测定值变动的绝对值比实施例3的测光装置1的测定值变动的绝对值大。因此，实施例3的测光装置1比本实施例的测光装置1更优选。
(变形例)
也可以通过使透明基板11的折射率n1与透明基板21的折射率n2不同，而使透明基板11的光路长度与透明基板21的光路长度不同。
实施方式的测光装置1具备2枚光衰减滤光器，但也可以具备3枚以上的光衰减滤光器。测光装置1所具备的多个光衰减滤光器中的任意2枚光衰减滤光器满足实施方式所示的条件式即可。
实施方式的测光装置1也可以应用于刺激值直读型的测色计等测光装置。在该情况下，光检测元件9的分光响应度光谱的宽度较大，为50nm左右以上，但只要满足实施方式所示的条件，就能够提供如下的测光装置1：能够实现较宽的动态范围，并且具有紧凑的尺寸，并且能够以更高的精度测定光。
在实施方式中，假定使2枚光衰减滤光器插入或者退避的情况，但也可以将多个滤光器固定在光轴2p上。即使在将多个滤光器固定在光轴2p上的情况下，有时也由于测光装置1的周围的环境温度的变化或者施加给测光装置1的振动冲击等，而多个滤光器之间的相对倾斜角稍微变化。这样，在将多个滤光器固定在光轴2p上而多个滤光器之间的相对倾斜角稍微变化的情况下，也能够以更高的精度并且更稳定地测定光。
实施方式的测光装置1并不局限于光衰减滤光器，也可以具备短切滤光器(shortcut filter)、长切滤光器(long cut filter)或者带通滤光器等那样的、具有与光衰减滤光器不同的特性的干扰滤光器。具备具有与光衰减滤光器不同的特性的干扰滤光器的测光装置1能够进行不同的特性的光学测定。
应该认为这次公开的实施方式在所有的方面是例示而不是限制性内容。本公开的范围由权利要求书表示，包括与权利要求书均等的含义和范围内的全部的变更。
附图标记说明：1…测光装置；2…被测定物；2p…光轴；3…准直透镜；4…可变光衰减器；5…驱动装置；6…分光元件；7…聚光透镜；8…光检测器；9…光检测元件；10、20…光衰减滤光器；11、21…透明基板；12、13、22、23…干扰多层膜；14、24…入射面；15、25…射出面。

Claims (16)

1.一种测光装置，具备：
可变光衰减器，包括多个光衰减滤光器和驱动装置；以及
光检测器，接受穿过了所述可变光衰减器的光，
所述驱动装置能够使所述多个光衰减滤光器相互独立地插入到所述光的光轴以及从所述光轴退避，
所述多个光衰减滤光器在沿着所述光轴的方向上配置在相互不同的位置，
所述多个光衰减滤光器各自包括干扰多层膜以及支承所述干扰多层膜的透明基板，
若将所述多个光衰减滤光器中的任意两个的组合设为第一光衰减滤光器和第二光衰减滤光器，则
在沿着所述光轴的所述方向上，所述第二光衰减滤光器比所述第一光衰减滤光器靠近所述光检测器，
所述第一光衰减滤光器包括作为所述干扰多层膜的第一干扰多层膜和作为所述透明基板的第一透明基板，
所述第二光衰减滤光器包括作为所述干扰多层膜的第二干扰多层膜和作为所述透明基板的第二透明基板，
所述第一透明基板的第一光路长度与所述第二透明基板的第二光路长度不同。
2.根据权利要求1所述的测光装置，其中，
所述光具有向所述可变光衰减器的入射角的分布，
所述测光装置满足以下的条件式(1)，
|OPDθmax1-OPDθmin1|/λ＞0.5…(1)
其中，
OPDθmax1＝(OP1220max-OP1022max)，
OPDθmin1＝(OP1220min-OP1022min)，
λ为所述测光装置的能够测定波长范围内所包括的所述光的波长，
OP1220max为由所述第一光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的最大入射角光的光路长度，所述最大入射角光为所述光中的向所述可变光衰减器的入射角最大的光，
OP1022max为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器二次反射的所述最大入射角光的光路长度，
OP1220min为由所述第一光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的最小入射角光的光路长度，所述最小入射角光为所述光中的向所述可变光衰减器的入射角最小的光，
OP1022min为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器二次反射的所述最小入射角光的光路长度。
3.根据权利要求1所述的测光装置，其中，
所述测光装置是能够测定分光信息的分光器。
4.根据权利要求3所述的测光装置，其中，
所述测光装置满足以下的条件式(2)，
OPD12×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(2)
其中，
OPD12＝|OP1220-OP1022|，
λ为所述测光装置的能够测定波长范围内所包括的所述光的波长，
所述Δλa为所述光检测器中包括的光检测元件的分光响应度光谱的半值宽度，
OP1220为由所述第一光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的所述光的光路长度，
OP1022为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器二次反射的所述光的光路长度。
5.根据权利要求1所述的测光装置，其中，
所述测光装置满足以下的条件式(3)，
OPD13×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(3)
其中，
OPD13＝|OP1220-OP1022|，
λ为所述测光装置的能够测定波长范围内所包括的所述光的波长，
所述Δλb为从被测定物放射的所述光的线宽度，
OP1220为由所述第一光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的所述光的光路长度，
OP1022为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器二次反射的所述光的光路长度。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的测光装置，其中，
所述第一透明基板的第一厚度与所述第二透明基板的第二厚度不同。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的测光装置，其中，
所述第一透明基板的第一折射率与所述第二透明基板的第二折射率不同。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的测光装置，其中，
所述多个光衰减滤光器各自的所述干扰多层膜由相同的材料形成，
所述多个光衰减滤光器各自的所述透明基板由相同的材料形成。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的测光装置，其中，
所述多个光衰减滤光器各自相对于所述光轴以相同的角度配置。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的测光装置，其中，
所述测光装置还具备准直透镜，所述准直透镜配置在所述多个光衰减滤光器的入射侧。
11.根据权利要求2所述的测光装置，其中，
所述测光装置满足以下的条件式(4)和(5)，
|OPDθmax2-OPDθmin2|/λ＞0.5…(4)
|OPDθmax3-OPDθmin3|/λ＞0.5…(5)
其中，
OPDθmax2＝(OP1420max-OP1022max)，
OPDθmin2＝(OP1420min-OP1022min)，
OPDθmax3＝(OP1024max-OP1220max)，
OPDθmin3＝(OP1024min-OP1220min)，
OP1420max为由所述第一光衰减滤光器四次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的所述最大入射角光的光路长度，
OP1022max为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器二次反射的所述最大入射角光的光路长度，
OP1420min为由所述第一光衰减滤光器四次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的所述最小入射角光的光路长度，
OP1022min为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器二次反射的所述最小入射角光的光路长度，
OP1024max为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器四次反射的所述最大入射角光的光路长度，
OP1220max为由所述第一光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的所述最大入射角光的光路长度，
OP1024min为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器四次反射的所述最小入射角光的光路长度，
OP1220min为由所述第一光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的所述最小入射角光的光路长度。
12.根据权利要求4所述的测光装置，其中，
所述测光装置满足以下的条件式(6)和(7)，
OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(6)
OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(7)
其中，
OPD21＝|OP1420-OP1022|，
OPD22＝|OP1024-OP1220|，
OP1420为由所述第一光衰减滤光器四次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的所述光的光路长度，
OP1022为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器二次反射的所述光的光路长度，
OP1024为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器四次反射的所述光的光路长度，
OP1220为由所述第一光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的所述光的光路长度。
13.根据权利要求5所述的测光装置，其中，
所述测光装置满足以下的条件式(8)和(9)，
OPD21×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(8)
OPD22×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(9)
其中，
OPD21＝|OP1420-OP1022|，
OPD22＝|OP1024-OP1220|，
OP1420为由所述第一光衰减滤光器四次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的所述光的光路长度，
OP1022为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器二次反射的所述光的光路长度，
OP1024为不由所述第一光衰减滤光器反射而穿过所述第一光衰减滤光器，并且由所述第二光衰减滤光器四次反射的所述光的光路长度，
OP1220为由所述第一光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第二光衰减滤光器反射而穿过所述第二光衰减滤光器的所述光的光路长度。
14.根据权利要求2或11所述的测光装置，其中，
所述多个光衰减滤光器包括作为所述第一光衰减滤光器的第三光衰减滤光器和作为所述第二光衰减滤光器的第四光衰减滤光器，所述第三光衰减滤光器和所述第四光衰减滤光器是所述多个光衰减滤光器中的相互相邻的任意两个光衰减滤光器，
所述测光装置满足以下的条件式(10)和(11)，
|OPDθmax4-OPDθmin4|/λ＞0.5…(10)
|OPDθmax5-OPDθmin5|/λ＞0.5…(11)
其中，
OPDθmax4＝(OP3240max-OP30G240max)，
OPDθmin4＝(OP3240min-OP30G240min)，
OPDθmax5＝(OP3042max-OP30G240max)，
OPDθmin5＝(OP3042min-OP30G240min)，
OP3240max为由所述第三光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第四光衰减滤光器反射而穿过所述第四光衰减滤光器的所述最大入射角光的光路长度，
OP30G240max为不由所述第三光衰减滤光器和所述第四光衰减滤光器反射而穿过所述第三光衰减滤光器和所述第四光衰减滤光器，并且由所述第三光衰减滤光器与所述第四光衰减滤光器之间的层二次反射的所述最大入射角光的光路长度，
OP3240min为由所述第三光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第四光衰减滤光器反射而穿过所述第四光衰减滤光器的所述最小入射角光的光路长度，
OP30G240min为不由所述第三光衰减滤光器和所述第四光衰减滤光器反射而穿过所述第三光衰减滤光器和所述第四光衰减滤光器，并且由所述第三光衰减滤光器与所述第四光衰减滤光器之间的所述层二次反射的所述最小入射角光的光路长度，
OP3042max为不由所述第三光衰减滤光器反射而穿过所述第三光衰减滤光器，并且由所述第四光衰减滤光器二次反射的所述最大入射角光的光路长度，
OP3042min为不由所述第三光衰减滤光器反射而穿过所述第三光衰减滤光器，并且由所述第四光衰减滤光器二次反射的所述最小入射角光的光路长度。
15.根据权利要求4或12所述的测光装置，其中，
所述多个光衰减滤光器包括作为所述第一光衰减滤光器的第三光衰减滤光器和作为所述第二光衰减滤光器的第四光衰减滤光器，所述第三光衰减滤光器和所述第四光衰减滤光器是所述多个光衰减滤光器中的相互相邻的任意两个光衰减滤光器，
所述测光装置满足以下的条件式(12)和(13)，
OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(12)
OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλa))＞0.5…(13)
其中，
OPDg1＝|OP3240-OP30G240|，
OPDg2＝|OP3042-OP30G240|，
OP3240为由所述第三光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第四光衰减滤光器反射而穿过所述第四光衰减滤光器的所述光的光路长度，
OP30G240为不由所述第三光衰减滤光器和所述第四光衰减滤光器反射而穿过所述第三光衰减滤光器和所述第四光衰减滤光器，并且由所述第三光衰减滤光器与所述第四光衰减滤光器之间的层二次反射的所述光的光路长度，
OP3042为不由所述第三光衰减滤光器反射而穿过所述第三光衰减滤光器，并且由所述第四光衰减滤光器二次反射的所述光的光路长度。
16.根据权利要求5或13所述的测光装置，其中，
所述多个光衰减滤光器包括作为所述第一光衰减滤光器的第三光衰减滤光器和作为所述第二光衰减滤光器的第四光衰减滤光器，所述第三光衰减滤光器和所述第四光衰减滤光器是所述多个光衰减滤光器中的相互相邻的任意两个光衰减滤光器，
所述测光装置满足以下的条件式(14)和(15)，
OPDg1×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(14)
OPDg2×(1/λ-1/(λ+Δλb))＞0.5…(15)
其中，
OPDg1＝|OP3240-OP30G240|，
OPDg2＝|OP3042-OP30G240|，
OP3240为由所述第三光衰减滤光器二次反射，并且不由所述第四光衰减滤光器反射而穿过所述第四光衰减滤光器的所述光的光路长度，
OP30G240为不由所述第三光衰减滤光器和所述第四光衰减滤光器反射而穿过所述第三光衰减滤光器和所述第四光衰减滤光器，并且由所述第三光衰减滤光器与所述第四光衰减滤光器之间的层二次反射的所述光的光路长度，
OP3042为不由所述第三光衰减滤光器反射而穿过所述第三光衰减滤光器，并且由所述第四光衰减滤光器二次反射的所述光的光路长度。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0989667A (ja) * 1995-09-22 1997-04-04 Nikon Corp 分光照射装置
JPH09218092A (ja) * 1996-02-14 1997-08-19 Jasco Corp 分光光度計のリニアリティの検証方法および減光フィルタ
US7149377B2 (en) * 2004-03-05 2006-12-12 Coronado Instruments, Inc. Solar tunable filter assembly
US7397604B2 (en) * 2006-04-29 2008-07-08 Curtis Ross Hruska Narrow bandpass filter assemblies for solar telescopes
JP5291908B2 (ja) * 2007-09-05 2013-09-18 日本電信電話株式会社 光線路試験システムおよび光線路試験方法
WO2012014767A1 (ja) * 2010-07-26 2012-02-02 岩崎電気株式会社 照射装置
WO2019039584A1 (ja) * 2017-08-24 2019-02-28 国立大学法人名古屋大学 光発生装置並びにそれを用いた炭素同位体分析装置及び炭素同位体分析方法

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