WO2022044951A1 - 検査方法 - Google Patents

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WO2022044951A1
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retardation
plate
phase difference
film
inspected
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PCT/JP2021/030363
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French (fr)
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信次 小林
俊介 松田
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Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
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    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/30—Polarising elements

Definitions

  • the present invention relates to an inspection method.
  • a polarizing plate used in a liquid crystal display device, an organic EL display device, or the like is generally configured with a polarizing element sandwiched between two protective films.
  • an adhesive layer is laminated on one of the protective films, and a release film is further laminated on the adhesive layer. Further, in many cases, a release film (surface protective film) that protects the surface of the other protective film is also attached.
  • the polarizing plate is distributed and conveyed in a state where the release films are laminated in this way, and the release film is peeled off when the polarizing plate is attached to the display device in the manufacturing process of the display device.
  • defects By the way, in the manufacturing stage of the polarizing plate, if foreign matter is mixed between the polarizing element and the protective film, bubbles remain, or if the protective film has the function of a retardation film, an orientation defect is inherent. (Hereinafter, these foreign substances, bubbles and orientation defects are collectively referred to as "defects").
  • the defective portion When a polarizing plate having a defect is attached to a display device, the defective portion may be visually recognized as a bright spot, or the image may appear distorted at the defective portion. In particular, defects visually recognized as bright spots are easily visible when the display device displays black.
  • an inspection for detecting the defect of the polarizing plate is performed.
  • the inspection of this defect is generally an optical inspection using the polarization axis of the polarizing plate.
  • a polarizing filter is provided between the polarizing plate to be inspected and the light source, and then the polarizing plate or the polarizing filter is rotated in the plane direction.
  • Each of these polarization axis directions has a specific relationship.
  • the linearly polarized light passing through the polarizing filter does not pass through the polarizing plate.
  • the polarizing plate and the polarizing filter are parallel to each other in the polarization axis direction, the linearly polarized light that has passed through the polarizing filter passes through the polarizing plate.
  • the linear polarization is blocked at the portion, and the presence of the defect is found by not detecting the light.
  • the inspector visually detects the light transmitted through the polarizing plate, or automatically detects it by the image analysis processing value obtained by combining the CCD camera and the image processing device, thereby inspecting the presence or absence of defects in the polarizing plate. It can be carried out.
  • the polarizing plate when the polarizing plate includes a release film, the polarization characteristics of the polarizing plate are impaired by the birefringence of the release film, so that defects such as bright spots existing in the polarizing plate in the conventional inspection apparatus are present. could not be detected accurately.
  • the polarizing plate is a circular polarizing plate and the release film is made of a polyethylene terephthalate resin (PET resin), a phase difference filter (corresponding to the above polarizing filter) suitable for the wavelength dispersion of the PET resin to some extent is used.
  • PET resin polyethylene terephthalate resin
  • a phase difference filter suitable for the wavelength dispersion of the PET resin to some extent is used.
  • the circularly polarizing plate and the retardation filter are arranged so as to form a cross Nicol, the defect is visually recognized as a bright spot according to the above principle, but the retardation film of the circularly polarizing plate has.
  • the bright spot defect may be visually recognized as a black spot, and in that case, it is more difficult to determine the detection than to detect it as a bright spot. This tendency is particularly remarkable when the circularly polarizing plate contains a retardation film made of a cured product of a polymerizable liquid crystal compound.
  • the circularly polarizing plate may have an irregular shape.
  • a recess may be provided on the outer periphery of the circular polarizing plate, the corners of the outer periphery may be rounded, or a through hole may be provided.
  • an object of the present invention is to provide an inspection method capable of easily determining the presence or absence of defects in a deformed circularly polarizing plate.
  • the present invention is an inspection method for determining the presence or absence of defects in a film-shaped object to be inspected, which comprises a release film made of a circular polarizing plate and a polyethylene terephthalate resin (hereinafter, may be referred to as "PET resin"). Therefore, the object to be inspected has a shape having a concave portion recessed from the side of the rectangle toward the inside of the rectangle with respect to the rectangle, or a shape in which the corners of the rectangle are curved, or a rectangular shape.
  • PET resin polyethylene terephthalate resin
  • the shape has a through hole at a position away from the side, and the in-plane retardation value of the light source, the first retardation filter, the first retardation plate, the object to be inspected, and the in-plane retardation value at a wavelength of 550 nm is that of the release film. It is substantially the same as the in-plane retardation value at a wavelength of 550 nm (hereinafter, the in-plane retardation value at this wavelength of 550 nm may be referred to as “Re (550)”), and compensates for the double bending of the release film.
  • the second retardation plate, the first retardation filter, and the second retardation filter constituting the circular polarizing plate and the cross Nicol are arranged in this order on the optical path of the light emitted by the light source.
  • Re (550) is substantially the same as Re (550) of the second retardation plate, and the compound refraction of the second retardation plate is compensated.
  • Light is incident on the object to be inspected from the light source, and the presence or absence of defects in the circularly polarizing plate is determined by observing from the opposite side of the light source.
  • a third retardation plate and a fourth retardation plate which are 50 to 100 nm larger than the Re (550) of the release film and compensate for the compound refraction of the release film, respectively, and are inspected after the replacement.
  • an inspection method in which light is incident on an object and observed from the opposite side of the light source to determine the presence or absence of defects in the circularly polarizing plate.
  • substantially the same in Re (550) means that the difference in Re (550) is only about ⁇ 5 nm.
  • each of these retardation plates is used as the third retardation plate and the fourth retardation plate.
  • the first phase difference filter and the second phase difference filter are arranged so as to form a cross Nicol, when the object to be inspected does not exist on the optical path, the light source is used. The light is blocked by the second phase difference filter. Therefore, light leakage from the deformed portion of the object to be inspected is significantly suppressed, and there is no hindrance when inspecting the vicinity of the deformed portion. From the above, the inspection method of the present invention can easily determine the presence or absence of defects in the irregularly shaped circular polarizing plate.
  • the object to be inspected is further provided with a surface protective film made of PET-based resin on the side opposite to the side where the release film is provided with respect to the circularly polarizing plate, and the first retardation plate and the object to be inspected.
  • a high retardation plate having a Re (550) of 5000 nm or more may be further arranged between the two.
  • the in-plane phase difference of the surface protective film may cause an iridescent pattern in the observation field of inspection, which may hinder defect observation.
  • a high retardation plate having a high in-plane retardation it is possible to convert the rainbow-colored light into white light so as not to interfere with the observation.
  • the slow axis of the surface protection film and the slow axis of the high retardation plate are arranged so as to be substantially parallel to each other. Since the in-plane phase difference is additive, rainbow-colored light can be reliably converted to white light by making the slow-phase axes substantially parallel to each other.
  • the circular polarizing plate may have a retardation film made of a cured product of a polymerizable liquid crystal compound.
  • the retardation film is made of a cured product of a polymerizable liquid crystal compound, its general thinness increases the possibility of observing it as a black spot defect. Therefore, it is suitable as an object to which the present invention is applied.
  • the object to be inspected the first phase difference plate, the second phase difference plate, the third phase difference plate, the fourth phase difference plate, the first phase difference filter, and the first phase difference plate are used.
  • At least one of the two retardation filters, the first retardation plate, and the second retardation plate may be tilted so as to face each other at different angles, or may be rotated in a direction perpendicular to the optical path. You may let me. By tilting these, the phase difference of the release film, the first and second phase difference plates, and the like can be finely adjusted, so that a wider range of inspection becomes possible. Further, by rotating these, it becomes easy to align the axes of each configuration.
  • the first retardation plate and the third retardation plate may be configured by being arranged in the same member.
  • FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III of the object to be inspected. It is a figure which shows an example of a retardation plate. It is a figure which shows the inspection apparatus of 2nd Embodiment.
  • the inspection device 100A includes a light source 2, a first phase difference filter 3A, a first phase difference plate 4A, a second phase difference plate 4B, and a second phase difference filter 3B. Are arranged in this order.
  • the film-shaped inspected object 10 to be inspected is a circular polarizing plate having a deformed shape with reference to a rectangle, and is recessed from one side of the rectangle toward the inside of the inspected object 10. It has a recess R.
  • "based on a rectangle” means that the shape of the object to be inspected 10 forms a rectangle when it is assumed that the concave portion R does not exist.
  • the corners of the object to be inspected 10 are processed so as to be curved.
  • the "variant shape” refers to a shape in which a part of a shape such as a polygon, a perfect circle, or an ellipse is deformed. Deformation means providing a recess on the outer circumference, rounding a corner, making a curve straight, or providing a through hole.
  • the object to be inspected 10 includes a circularly polarizing plate 1 which is a main body to be inspected, and a release film 16a laminated on the circularly polarizing plate 1 via an adhesive layer 15. ing.
  • protective films 12a and 12b are bonded to both sides of the polarizing film 11, and further, a retardation film 14 is formed on the protective film 12a on the side provided with the release film 16a via an adhesive layer 13. It is formed.
  • a surface protective film 16b is laminated on the surface of the circular polarizing plate 1 on the side not provided with the release film 16a.
  • the circular polarizing plate 1 is generally used for a display device, for example, a liquid crystal display device or an organic EL display device, and when used, the release film 16a is peeled off and attached to the display device via the pressure-sensitive adhesive layer 15. ..
  • circular polarizing plate includes a circular polarizing plate and an elliptical polarizing plate.
  • circularly polarized light includes circularly polarized light and elliptically polarized light.
  • the polarizing film 11 is a film that converts the light incident from the surface protective film 16b side into linear polarization in the inspection device 100A.
  • Examples of the polarizing film 11 include a polyvinyl alcohol film in which iodine and a dichroic dye are adsorbed and oriented, and a film in which a polymerizable liquid crystal compound is oriented and polymerized, and a dichroic dye is adsorbed and oriented. Can be mentioned.
  • the protective films 12a and 12b are for protecting the polarizing film 11.
  • those widely used in the technical field of polarizing plates are used for the purpose of obtaining a polarizing plate having appropriate mechanical strength.
  • a cellulose ester film such as a triacetyl cellulose (TAC) film; a cyclic olefin film; a polyester film such as a polyethylene terephthalate (PET) film: a (meth) acrylic film such as a polymethylmethacrylate (PMMA) film. It is a film or the like.
  • an additive widely used in the technical field of the polarizing plate may be contained in the protective film.
  • the protective films 12a and 12b are attached to the display device together with the polarizing film 11 as a component of the circularly polarizing plate 1, strict control of the phase difference value or the like is required.
  • the protective film 12a a film having an extremely small retardation value is preferably used.
  • the protective film 12b for example, a film having a phase difference of ⁇ / 4 or a film having a small phase difference value is used for easy viewing when the display device is visually recognized through polarized sunglasses.
  • the protective films 12a and 12b are attached to the polarizing film 11 via an adhesive.
  • the retardation film 14 is a film that converts light linearly polarized by the polarizing film 11 into circular polarization in the inspection device 100A.
  • the retardation film 14 is not particularly limited as long as it is a film having a retardation, but may be a laminated ⁇ / 2 film and a ⁇ / 4 film. In this case, the ⁇ / 2 film and the ⁇ / 4 film may be in this order from the closest to the polarizing film 11.
  • the retardation film 14 is made of a cured product of a polymerizable liquid crystal compound.
  • the retardation film 14 made of a cured product of a polymerizable liquid crystal compound is usually as thin as about 0.2 ⁇ m to 10 ⁇ m, and when foreign matter or the like is contained, the retardation value tends to decrease at that portion. In such a portion, as will be described later, when the birefringence of the release film 16a is compensated by the retardation plate 4, it is observed as a black spot even though it should be observed as a bright spot defect. May occur.
  • the polymerizable liquid crystal compound capable of forming the retardation film 14 is described in, for example, JP-A-2009-173893, JP-A-2010-31223, WO2012 / 147904, WO2014 / 10325 and WO2017-433438.
  • the disclosed ones can be mentioned.
  • the polymerizable liquid crystal compounds described in these publications can form a retardation film having so-called anti-wavelength dispersibility, which enables uniform polarization conversion in a wide wavelength range.
  • an extremely thin retardation film can be formed as described above.
  • a circularly polarizing plate having such a retardation film can form a circularly polarizing plate having an extremely thin thickness.
  • Such a circularly polarizing plate having an extremely thin thickness is advantageous as a circularly polarizing plate for flexible display materials, which has been attracting attention in recent years.
  • Examples of the base material to which the polymerizable liquid crystal compound solution is applied include those described in the above-mentioned publication.
  • Such a base material may be provided with an alignment film for orienting the polymerizable liquid crystal compound.
  • the alignment film may be either one that is photo-aligned by polarization irradiation or one that is mechanically oriented by a rubbing treatment.
  • the alignment film is also described in the above publication.
  • the coating film itself obtained by applying the polymerizable liquid crystal compound solution is defective. May occur.
  • the alignment film is subjected to the rubbing treatment, debris of the rubbing cloth remains on the alignment film, which may cause a defect in the coating film of the polymerizable liquid crystal compound solution (composition for forming a liquid crystal cured film).
  • the retardation film formed from the polymerizable liquid crystal compound can form a retardation film having an extremely thin thickness, but there is a factor that causes defects. Then, as will be described later, the defect of the retardation film may cause a defect observed as a black spot.
  • the inspection apparatus and inspection method of the present embodiment are particularly useful in detecting the presence or absence of defects in an object to be inspected having a circularly polarizing plate having a retardation film having such defects and a release film.
  • the retardation film 14 can be produced by applying a composition for forming an alignment film on a substrate and further applying a composition for forming a liquid crystal cured film containing a polymerizable liquid crystal compound on the composition.
  • the retardation film 14 thus created is attached to the pressure-sensitive adhesive layer 13 formed on the protective film 12a together with the base material, and then the base material is peeled off to protect the retardation film 14 from the protective film 12a. Can be transferred onto.
  • the release film 16a is peeled off from the circular polarizing plate 1 when it is attached to the display device, and the peeled release film 16a is usually discarded. Therefore, unlike the protective films 12a and 12b, strict control of the phase difference value is not required. Therefore, when a commercially available film is used as the release film 16a, if the phase difference value is not compensated, a malfunction may occur in the defect inspection. That is, in the defect inspection of the circular polarizing plate 1 to which the release film 16a whose retardation value is not strictly controlled is adhered, the phase difference of the release film 16a reduces the inspection accuracy of the inspection device 100A. Can be.
  • a surface protective film 16b which is a kind of release film, is often provided on the opposite surface of the release film 16a.
  • the surface protective film 16b is bonded to the protective film 12b side.
  • This surface protective film 16b is also usually peeled off from the circularly polarizing plate 1 when it is attached to a display device, and unlike the protective films 12a and 12b, strict control of the retardation value is not required. ..
  • the protective film 12b and the surface protective film 16b may be bonded to each other via an appropriate adhesive layer or adhesive layer (in FIG. 3, this adhesive layer or adhesive layer). Is not shown).
  • the release film 16a is made of a PET-based resin.
  • the surface protective film 16b one made of PET-based resin is used.
  • the film made of PET-based resin has an advantage that it is versatile as a release film and is inexpensive.
  • the inexpensive PET-based resin film does not require strict control of the phase difference value. Therefore, for example, the phase difference value may vary from product lot to product lot. Further, even if the same PET resin film is used, the phase difference value may vary in the plane. Even with a circularly polarizing plate in which such an inexpensive PET resin-based film is bonded as a release film, the presence or absence of defects can be accurately detected by the inspection method of the present embodiment.
  • the slow axis of the release film 16a and the slow axis of the surface protection film 16b are bonded so as to be substantially parallel to each other.
  • Re (550) of the release film 16a is shown.
  • these release films are PET-based resin films, and such films are readily available on the market.
  • a piece having a size of about 40 mm ⁇ 40 mm is separated from this film (from a long film, separated using an appropriate cutting tool, etc.).
  • Re (550) of this piece is measured three times, and the average value of Re (550) is obtained.
  • One piece of Re (550) can be measured at a measurement temperature of room temperature (about 25 ° C.) using a phase difference measuring device KOBRA-WPR (manufactured by Oji Measuring Instruments Co., Ltd.). The same test may be performed when Re (550) of the surface protective film 16b is obtained.
  • KOBRA-WPR manufactured by Oji Measuring Instruments Co., Ltd.
  • the light source 2 various commercially available products can be used, but it is advantageous that the light source 2 is, for example, linear light such as laser light (including one that approximates straight light).
  • the light emitted by the light source 2 is unpolarized and passes through the first phase difference filter 3A described later to be polarized in a predetermined direction.
  • the first phase difference filter 3A and the second phase difference filter 3B are both circular polarizing plates.
  • the orientation of the second phase difference filter 3B is always adjusted so as to form a cross Nicol with the first phase difference filter 3A when inspecting the object 10 to be inspected.
  • the second retardation plate 4B compensates for the birefringence of light due to the release film 16a included in the object 10 to be inspected.
  • the material constituting the second retardation plate 4B is not particularly limited as long as it compensates for the birefringence of light due to the release film 16a made of PET-based resin. It is also possible to prepare a commercially available retardation plate having a Re (550) of 100 to 200 nm, and stack a plurality of these to obtain a desired retardation value to form the second retardation plate 4B. Since Re (550) is usually additive, a second retardation plate 4B of the desired Re (550) can be obtained from the laminated retardation plates Re (550).
  • the first retardation plate 4A cancels the phase difference of the second retardation plate 4B, and it is preferable to use one having the same configuration as the second retardation plate 4B.
  • the release film 16a made of PET resin usually has a large variation in the in-plane retardation value and the slow phase axis, a plurality of types of retardation plates are prepared so that a plurality of phase difference values can be selected at the time of inspection. It is preferable to keep it.
  • a two-disc set of a first retardation plate 4A and a second retardation plate 4B having substantially the same retardation value as Re (550) of the release film 16a, and Re (550) of the release film 16a.
  • At least two types of retardation plates are used, which are a two-disc set of a third retardation plate and a fourth retardation plate of Re (550) having a size of 50 to 100 nm.
  • the first retardation plate 4A and the second retardation plate 4B used as a pair have substantially the same Re (550)
  • the third retardation plate and the fourth retardation plate have substantially the same Re (550).
  • the retardation value substantially the same as Re (550) of the release film 16a means that the absolute value of the difference between Re (550) of the release film 16a and Re (550) of the retardation plate is 20 nm or less. To say.
  • the first and second retardation plates 4A and 4B show a phase difference in the range of about ⁇ 300 nm with respect to Re (550) of the release film. It is preferable that the film is made. Within the range of this phase difference, it is preferable to further change the release film in the in-plane direction in increments of 50 nm to 100 nm. It is preferable to prepare various retardation plates showing these phase differences. That is, as a series of phase difference plates for changing the phase difference, it is preferable to prepare a phase difference plate having a different phase difference in addition to the first phase difference plate 4A and the third phase difference plate. Next, the state of this retardation plate will be described.
  • FIG. 4 shows an outline of a series of retardation plates 4 in which retardation plates having different retardations are integrated.
  • the retardation plate 4 is configured such that regions having different in-plane retardation values are connected in one direction in one retardation plate member. good. That is, the region located at the end (first region a 1 ; corresponding to the first retardation plate) is a region where Re (550) is, for example, 1720 nm, and a region adjacent to the region (second region). Region a 2 ; corresponding to the third retardation plate) is a region where Re (550) is 1790 nm, and a region adjacent to the region (third region a 3 ; corresponding to the fifth retardation plate).
  • This retardation plate 4 can be used not only as a first retardation plate 4A arranged next to the first retardation filter 3A when viewed from the light source 2 side, but also in front of the second retardation filter 3B. It is used at the same time as the second retardation plate 4B arranged in.
  • the first region a1, the second region a2, and the third region a3 are the second retardation plate, the fourth retardation plate, and the sixth region, respectively. It becomes the phase difference plate of.
  • the regions having the same Re (550) for example, the first regions a1 and the second
  • Areas a 2 are used as a pair.
  • Detection including a CCD camera or the like on the optical path 9 and at a position on both sides of the second phase difference filter 3B opposite to the side where the light source 2 is located in order to observe the light that has passed through the object 10 to be inspected.
  • Means 5 may be arranged. For example, it can be automatically detected by image processing analysis in which a CCD camera and an image processing device are combined, thereby inspecting the object to be inspected.
  • the detecting means 5 may not be a member, but a human may visually observe the second phase difference filter 3B.
  • the inspection device 100A has an angle at which at least one of the inspected object 10, the first and second retardation plates 4A and 4B, and the first and second retardation filters 3A and 3B faces each other. It is preferable to have a movable device (not shown) capable of tilting differently or rotating in a direction perpendicular to the optical path 9 of light. By tilting these, the phase difference of the release film 16a made of PET-based resin and the first and second retardation plates 4A and 4B can be finely adjusted, so that a wider range of inspection becomes possible. Further, by rotating these, the release film 16a made of PET-based resin and the first and second retardation plates 4A and 4B can be easily aligned with each other.
  • the inspection method using the inspection device 100A is as follows. First, the object to be inspected 10 is inserted between the first retardation plate 4A and the second retardation plate 4B inside the inspection device 100A. At this time, the surfaces of the films are all parallel to each other, and the side of the object 10 provided with the release film 16a faces the side opposite to the light source 2, and the phase difference between the circularly polarizing plate 1 and the second. Arranged so that the filter 3B and the filter 3B form a cross Nicol.
  • the first retardation plate 4A and the second retardation plate 4B the retardation plate 4 shown in FIG. 4 is used, and in each case, the first region a1 is on the optical path 9. It is arranged so that it is located in.
  • the first phase difference filter 3A is adjusted to form a cross Nicol with the second phase difference filter 3B.
  • the relative positional relationship of each film may be changed by the movable device to form a cross Nicol after the object 10 to be inspected is inserted in an arbitrary direction.
  • the light emitted by the light source 2 is incident on the first retardation filter 3A, passes through this to become circularly polarized light, and subsequently passes through the first retardation plate 4A.
  • the recess R of the object to be inspected 10 passes through the first retardation filter 3A and the first retardation plate 4A.
  • the resulting light is incident on the second retardation plate 4B as it is, and is blocked by the first retardation filter 3A and the second retardation filter 3B as a cross Nicol. When this is observed from the detection means 5 side, the surface of the second phase difference filter 3B is dark.
  • the release film 16a has a phase difference
  • the circular polarization that has passed through the object to be inspected 10 is affected, and the amount of light transmitted through the second phase difference filter 3B increases (for example, 5% of the light amount of the light source or). It becomes more than 10%), and the detection accuracy of defects such as bright spots existing in the circular polarizing plate 1 is lowered.
  • the second retardation plate 4B is arranged between the inspected object 10 and the second retardation filter 3B, so that the retardation value of the release film 16a in the inspected object 10 is cancelled. , Compensates for the birefringence of light due to the release film 16a.
  • the second retardation plate 4B is designed so that the retardation value and the wavelength dispersion characteristic of the release film 16a match as much as possible in order to effectively compensate for the birefringence of light due to the release film 16a. Due to the in-plane variation of the phase difference value of the release film 16a, it is difficult to sufficiently block light in the entire inspection field for inspection. In such a case, the optical compensation is matched at the portion of the circular polarizing plate 1 where the retardation value of the retardation film 14 is lowered, and the defect that should be originally observed as a bright spot is observed as a black spot. It can happen.
  • black spot defects have a smaller effect on legibility than bright spot defects, so even if the defect size is larger than the bright spot defects, it is often acceptable, and as a result, it is judged that there is no problem. It may end up.
  • the black spot defect should be originally observed as a bright spot defect caused by a retardation value lowering portion of the retardation film 14, it has a great influence on visibility and becomes a problem.
  • the third retardation plate and the third retardation plate having an in-plane retardation different from those of the first retardation plate 4A and the second retardation plate 4B with respect to the defect portion visually recognized as the black spot.
  • a fourth retardation plate is used. Specifically, both the first and second retardation plates 4A and 4B are slid in the in-plane direction, and both are in the second region a2 (third retardation plate, fourth retardation plate). Is located on the optical path 9. A second inspection is performed with this arrangement.
  • the possibility that the defects are observed as bright spot defects is increased, and the defects can be easily recognized correctly. If a black spot is found again in the inspection using the second region a2 (third retardation plate, fourth retardation plate), the two retardation plates 4 and 4 are further added to the third. Slide to region a3 (fifth retardation plate, sixth retardation plate) and perform the third inspection.
  • At least one of the inspected object 10, the first and second retardation plates 4A and 4B, and the first and second retardation filters 3A and 3B are tilted so as to face each other at different angles. It may be rotated in the direction perpendicular to the optical path 9 of the light. By tilting, the phase difference between the release film 16a and the first and second retardation plates 4A and 4B can be finely adjusted, so that a wider range of inspection becomes possible. Further, by rotating these, the release film 16a made of PET-based resin and the first and second retardation plates 4A and 4B can be easily aligned with each other. These operations can be performed particularly easily when the inspection device 100A includes a movable device.
  • the portion where the black defect was observed in the inspection using the pair of the first retardation plate 4A and the second retardation plate 4B is the third retardation plate (a 2 ). And by inspecting using the fourth phase difference plate (a 2 ), it is possible to adjust the phase difference so that this can be observed as a bright spot defect. Further, in this inspection method, since the first phase difference filter 3A and the second phase difference filter 3B are arranged so as to form a cross Nicol, when the object to be inspected 10 does not exist on the optical path, the inspection object 10 is not present. The light from the light source is blocked by the second phase difference filter.
  • ⁇ Second embodiment> The inspection method of the second embodiment will be described.
  • the difference between the inspection method of the second embodiment and the inspection method of the first embodiment is that, as shown in FIG. 5, in the inspection device 100B, the first retardation plate 4A and the object to be inspected 10 are used. It is a point where the high retardation plate 20 is arranged between them.
  • the high retardation plate 20 is a film having the same shape as the object to be inspected 10, and has a similar recess R'at a position corresponding to the recess R of the object to be inspected 10. Since the high retardation plate 20 complements the retardation value of the surface protection film 16b, it is preferably made of the same material as the surface protection film 16b, and is preferably made of a polyethylene terephthalate resin.
  • the high retardation plate 20 preferably has a Re (550) of 5000 nm or more, more preferably 7,000 nm or more, further preferably 8,000 nm or more, and particularly preferably 10,000 nm or more. Further, it is preferable that the high phase difference plate 20 is arranged so that its slow phase axis is substantially parallel to the slow phase axis of the surface protection film 16b.
  • the coloring of the observed light due to the interference of light caused by the phase difference of the surface protective film 16b is suppressed. be able to. That is, the in-plane retardation of the surface protective film 16b may cause a rainbow-colored pattern in the observation field of inspection to hinder defect observation, but the high retardation plate 20 has a high in-plane retardation value. , The rainbow-colored light can be converted into white light so as not to interfere with the observation.
  • the iridescent light is converted into light outside visible light due to the additive nature of the in-plane phase difference. It can be converted reliably.
  • the present invention is not limited to the above embodiment.
  • the first retardation filter 3A and the first retardation plate 4A are shown as separate articles from each other, but these constitute one film as a laminated body laminated with each other. May be good.
  • the second retardation filter 3B and the second retardation plate 4B may be formed as one laminated body.
  • the retardation plate 4 may have a configuration in which regions having different Re (550) are arranged in a ring shape.
  • a disk-shaped film is divided into a plurality of regions having different retardation values with a virtual line extending radially from the center as a boundary, and a certain region (first region; corresponding to the first retardation plate) is Re.
  • the adjacent region (third region; corresponding to the third retardation plate) may be a region where Re (550) is 1860 nm.
  • the number of the regions is arbitrary, and may be, for example, four, six, eight, or the like.
  • the present invention can be used for quality inspection of circularly polarizing plates.

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Abstract

異形の円偏光板を備えるフィルム状の被検査物１０の欠陥の有無を判断する検査方法を提供する。光源２、第１の位相差フィルタ３Ａ、第１の位相差板４Ａ、被検査物１０、第２の位相差板４Ｂ、第２の位相差フィルタ３Ｂを光路９上にこの順に並ぶように配置し、光を入射して円偏光板の欠陥の有無を判断する。次に、第１の位相差板４Ａ及び第２の位相差板４Ｂを、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が異なる第３の位相差板及び第４の位相差板にそれぞれ置き換え、再度光を入射して円偏光板の欠陥の有無を判断する。第１の位相差フィルタ３Ａと第２の位相差フィルタ３Ｂとはクロスニコルとしているので、被検査物１０の異形部分からの光漏れが大幅に抑制され、異形部分の近傍の検査が容易である。

Description

検査方法
　本発明は、検査方法に関する。
　液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等に用いられる偏光板は、一般的に偏光子が２枚の保護フィルムに挟まれて構成されている。偏光板を表示装置に貼り付けるため、片方の保護フィルムには粘着剤層が積層され、更に粘着剤層に剥離フィルムが積層される。また、他方の保護フィルムにもその表面を保護する剥離フィルム（表面保護フィルム）が貼合される場合が多い。偏光板はこのように剥離フィルムが積層された状態で流通搬送され、表示装置の製造工程で表示装置に貼合する際に剥離フィルムが剥離される。
　ところで、偏光板はその製造段階において、偏光子と保護フィルムとの間に異物が混入したり、気泡が残ったり、あるいは、保護フィルムが位相差フィルムの機能を持つ場合には配向欠陥が内在していることがある（以下、これらの異物、気泡及び配向欠陥をまとめて、「欠陥」ということがある）。欠陥が存在する偏光板を表示装置に貼合した場合、その欠陥の箇所が輝点として視認されたり、欠陥の箇所で画像がゆがんで見えたりすることがある。特に、輝点として視認される欠陥は、当該表示装置の黒表示時に視認されやすい。
　そこで、偏光板を表示装置に貼合する前段階（剥離フィルムを備えた状態の偏光板）で、この偏光板の欠陥を検出するための検査が行われる。この欠陥の検査は、一般的には偏光板の偏光軸を利用した光検査である。具体的には、特許文献１に示されているように、被検査物である偏光板と光源との間に偏光フィルタを設けたうえで、この偏光板又は偏光フィルタを平面方向に回転させ、これらのそれぞれの偏光軸方向を特定の関係とする。偏光軸方向同士が互いに直交する場合（すなわちクロスニコルを構成する配置の場合）、偏光フィルタを通過した直線偏光は、偏光板を通過しない。しかしながら、偏光板に欠陥が存在すると、当該箇所では直線偏光が透過してしまうので、その光が検出されることで欠陥の存在が判明する。一方、偏光板と偏光フィルタとの偏光軸方向同士が平行である場合、偏光フィルタを通過した直線偏光は偏光板を透過する。しかしながら、偏光板に欠陥が存在すると、当該箇所では直線偏光が遮断されるので、その光が検出されないことで欠陥の存在が判明する。偏光板を透過してきた光を検査者が目視により検出するか、あるいはＣＣＤカメラと画像処理装置とを組み合わせた画像解析処理値により自動的に検出することで、偏光板の欠陥の有無の検査を行うことができる。
特開平９－２２９８１７号公報
　しかしながら、上述したように偏光板が剥離フィルムを備える場合は、この剥離フィルムが有する複屈折により偏光板の偏光特性が阻害されるため、従来の検査装置では偏光板に存在する輝点等の欠陥を精度よく検出することができなかった。
　偏光板が円偏光板であり、且つ、剥離フィルムがポリエチレンテレフタレート系樹脂（ＰＥＴ系樹脂）からなる場合は、当該ＰＥＴ系樹脂の波長分散にある程度合わせた位相差フィルタ（上記偏光フィルタに相当）を用いる。ここで、円偏光板と位相差フィルタとをクロスニコルを構成するように配置した場合、上記原理によれば欠陥は輝点として視認されることになるが、円偏光板が有する位相差膜の配向欠陥やピンホール等の位相差値が低い領域では輝点欠陥が黒点として視認されてしまうことがあり、その場合、輝点として検出するよりも検出判断が難しかった。特に、円偏光板が重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜を含む場合にはその傾向が顕著である。
　また、表示装置の設計上の理由から、円偏光板を異形形状とする場合がある。例えば、円偏光板の外周に凹部を設けたり、外周の角を丸めたり、貫通孔を設けたりする。異形の円偏光板を上記検査の対象とした場合、異形形状と同じ形の光の遮蔽板を準備する必要があり、欠陥検査時に異形偏光板を移動させた場合に遮蔽板と異形偏光板のずれが生じやすく異形の部分で検査光が強く漏れるので、観察視野が明るくなりすぎて、微小な欠陥を検出することの支障となることがあった。
　そこで本発明は、異形の円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる検査方法を提供することを目的とする。
　本発明は、円偏光板、及び、ポリエチレンテレフタレート系樹脂（以下、「ＰＥＴ系樹脂」ということがある。）からなる剥離フィルムを備えるフィルム状の被検査物の欠陥の有無を判断する検査方法であって、被検査物は、矩形を基準として矩形の辺から矩形の内側へ向けて凹んだ凹部を有する形状であり、又は、矩形の角部が曲線となった形状であり、又は、矩形の辺から離れた位置に貫通孔を有する形状であり、光源と、第１の位相差フィルタと、第１の位相差板と、被検査物と、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値（以下、この波長５５０ｎｍにおける面内位相差値を「Ｒｅ（５５０）」ということがある）と略同一であり、且つ、剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである第２の位相差板と、第１の位相差フィルタ及び円偏光板とクロスニコルを構成する第２の位相差フィルタと、を光源が発する光の光路上にこの順に並ぶように配置し、第１の位相差板は、Ｒｅ（５５０）が第２の位相差板のＲｅ（５５０）と略同一であり、且つ、第２の位相差板が有する複屈折を補償するものであり、光源から被検査物に光を入射し、光源の反対側から観察して円偏光板の欠陥の有無を判断し、第１の位相差板及び第２の位相差板を、Ｒｅ（５５０）が剥離フィルムのＲｅ（５５０）よりも５０～１００ｎｍ大きく、且つ、剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである第３の位相差板及び第４の位相差板にそれぞれ置き換え、その置き換え後に被検査物に光を入射し、光源の反対側から観察して円偏光板の欠陥の有無を判断する、検査方法を提供する。なお、ここでＲｅ（５５０）における「略同一」とは、Ｒｅ（５５０）の差異が±５ｎｍ程度しかないことをいう。
　この検査方法では、第１の位相差板及び第２の位相差板を用いた検査で黒色欠陥が観察された部位について、これらの位相差板のそれぞれを第３の位相差板及び第４の位相差板に置き換えて検査することによって、これを輝点欠陥として観察できるように位相差を調整することが可能となる。また、この検査方法では、第１の位相差フィルタと第２の位相差フィルタとをクロスニコルを構成するように配置しているので、光路上に被検査物が存在しない場合には光源からの光が第２の位相差フィルタで遮断される。したがって、被検査物の異形部分からの光漏れが大幅に抑制されることとなり、異形部分の近傍を検査するときの支障とならない。以上のことから、本発明の検査方法では異形の円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる。
　ここで、被検査物は、円偏光板に対して剥離フィルムが設けられている側とは反対側にＰＥＴ系樹脂からなる表面保護フィルムを更に備え、第１の位相差板と被検査物との間に、Ｒｅ（５５０）が５０００ｎｍ以上である高位相差板を更に配置してもよい。被検査物が表面保護フィルムを備えている場合は、表面保護フィルムが有する面内位相差によって、検査の観察視野に虹色の模様が生じて欠陥観察の支障となる場合がある。この場合に、高い面内位相差を有する高位相差板を用いることで、当該虹色の光を白色の光に変換して観察の支障とならないようにすることができる。
　また、そのとき、表面保護フィルムの遅相軸と高位相差板の遅相軸とが略平行となるように配置することが好ましい。面内位相差は加成性があるので、当該遅相軸同士を略平行とすることで、虹色の光を白色の光に確実に変換することができる。
　円偏光板は、重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜を有するものであってもよい。位相差膜が重合性液晶化合物の硬化物からなる場合、その一般的な薄さから、黒点欠陥として観察される可能性が高まる。従って、本発明を適用する対象として好適である。
　また、この検査方法では、検査中、被検査物、第１の位相差板、第２の位相差板、第３の位相差板、第４の位相差板、第１の位相差フィルタ、第２の位相差フィルタ、第１の位相差板、及び、第２の位相差板の少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾けてもよく、又は、前記光路に垂直な方向に回転させてもよい。これらを傾けることで、剥離フィルムや第１及び第２の位相差板等の位相差を微調整できることから、より広範囲の検査が可能となる。また、これらを回転させることで各構成の軸合わせが容易となる。
　第１の位相差板及び第３の位相差板は、同一の部材内に配置されて構成されたものであってもよい。
　本発明によれば、異形の円偏光板の欠陥の有無を容易に判断することができる検査方法を提供することができる。
第１の実施形態の検査装置を示す図である。 被検査物の平面図である。 被検査物のIII-III断面図である。 位相差板の一例を示す図である。 第２の実施形態の検査装置を示す図である。
　以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において同一部分又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
＜第１の実施形態＞
　第１の実施形態の検査方法ついて説明する。
（検査装置と被検査物）
　本実施形態の検査装置は、円偏光板の表面欠陥の有無を検査するものである。図１に示されているとおり、検査装置１００Ａは、光源２、第１の位相差フィルタ３Ａ、第１の位相差板４Ａ、第２の位相差板４Ｂ、及び、第２の位相差フィルタ３Ｂがこの順に配置されてなるものである。
　図２に示されているとおり、検査対象であるフィルム状の被検査物１０は、矩形を基準とする異形の円偏光板であり、矩形の一辺から被検査物１０の内側へ向けて凹んだ凹部Ｒを有している。ここで「矩形を基準とする」とは、凹部Ｒが存在しないと仮定した場合に、被検査物１０の形状が矩形を成しているということを意味する。また、被検査物１０の角部は曲線となるように加工されている。本明細書において、「異形」とは、多角形、正円、楕円等の形状の一部が変形した形状を指すものとする。変形とは、外周に凹部を設けたり、角を丸めたり、曲線を直線にしたり、貫通孔を設けたりすることをいう。
　図３に示されているとおり、被検査物１０は、検査対象の本体である円偏光板１と、円偏光板１に対して粘着剤層１５を介して積層された剥離フィルム１６ａとを備えている。
円偏光板１は、偏光フィルム１１の両面に保護フィルム１２ａ，１２ｂが貼合されており、更に、剥離フィルム１６ａを備える側の保護フィルム１２ａ上に粘着剤層１３を介して位相差膜１４が形成されてなるものである。そして、円偏光板１のうち剥離フィルム１６ａを備えていない側の面には表面保護フィルム１６ｂが積層されている。円偏光板１は、一般的に表示装置、例えば液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置に用いられるものであり、使用時には剥離フィルム１６ａを剥がして、粘着剤層１５を介して表示装置に貼り付けられる。
　なお、本明細書において「円偏光板」とは、円偏光板及び楕円偏光板を含むものとする。また、「円偏光」は、円偏光と楕円偏光を含むものとする。
　偏光フィルム１１は、検査装置１００Ａにおいては、表面保護フィルム１６ｂ側から入射した光を直線偏光に変換するフィルムである。偏光フィルム１１としては、例えば、ポリビニルアルコールフィルムにヨウ素や二色性色素が吸着・配向されたものや、重合性液晶化合物を配向・重合したものに、二色性色素が吸着・配向したものが挙げられる。
　保護フィルム１２ａ，１２ｂは、偏光フィルム１１を保護するためのものである。保護フィルム１２ａ，１２ｂとしては、適度な機械的強度を有する偏光板を得る目的で、偏光板の技術分野で汎用されているものが用いられる。典型的には、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）フィルム等のセルロースエステル系フィルム；環状オレフィン系フィルム；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等のポリエステル系フィルム：ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）フィルム等の（メタ）アクリル系フィルム等である。また、偏光板の技術分野で汎用されている添加剤が、保護フィルムに含まれていてもよい。
　保護フィルム１２ａ，１２ｂは、円偏光板１の構成要素として偏光フィルム１１とともに表示装置に貼合されるものであるので、位相差値の厳密な管理等が要求される。保護フィルム１２ａとしては，典型的には、位相差値が極めて小さいものが好ましく用いられる。また、保護フィルム１２ｂとしては、例えば、偏光サングラスを介して表示装置を視認したときの見易さのため、λ／４の位相差を有するものや位相差値の小さいものが用いられる。保護フィルム１２ａ，１２ｂは、接着剤を介して偏光フィルム１１に貼合される。
　位相差膜１４は、検査装置１００Ａにおいては、偏光フィルム１１によって直線偏光とされた光を円偏光に変換する膜である。位相差膜１４は、位相差を有する膜であれば特に制限はないが、λ／２膜とλ／４膜とが積層されたものであってもよい。この場合、偏光フィルム１１から近いほうからλ／２膜、λ／４膜の順にしてもよい。
　また、位相差膜１４は、重合性液晶化合物の硬化物からなるものであることが好ましい。重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜１４は、通常厚さが０．２μｍ～１０μｍ程度と薄く、異物等を含む場合にその部分で位相差値が低下しやすい。このような部位では、後述するとおり、位相差板４で剥離フィルム１６ａの複屈折を補償したときに本来は輝点欠陥として観察されるべきものであるにも関わらず、黒点となって観察される場合がある。
　位相差膜１４を形成し得る重合性液晶化合物は、例えば、特開２００９－１７３８９３号公報、特開２０１０－３１２２３号公報、ＷＯ２０１２／１４７９０４号公報、ＷＯ２０１４／１０３２５号公報及びＷＯ２０１７－４３４３８号公報に開示されたものを挙げることができる。これらの公報に記載の重合性液晶化合物は、広い波長域において一様の偏光変換が可能な、いわゆる逆波長分散性を有する位相差膜を形成可能である。例えば、当該重合性液晶化合物を含む溶液（重合性液晶化合物溶液）を適当な基材上に塗布して光重合させることで、上述のように極めて薄い位相差膜を形成することができるので、かかる位相差膜を有する円偏光板は、厚みが極めて薄い円偏光板を形成することができる。このように厚みが極めて薄い円偏光板は、近年着目されているフレキシブル表示材料用の円偏光板として有利である。
　重合性液晶化合物溶液を塗布する基材としては、上述の公報に記載されたものを挙げることができる。かかる基材には、重合性液晶化合物を配向させるために配向膜が設けられていてもよい。配向膜は偏光照射により光配向させるものや、ラビング処理により機械的に配向させたもののいずれでもよい。なお、かかる配向膜に関しても、上記公報に記載されている。
　しかしながら、重合性液晶化合物溶液を塗布する基材に異物等が存在していたり、基材自体に傷等があったりする場合に、重合性液晶化合物溶液を塗布して得られる塗布膜自体に欠陥が生じることがある。また、配向膜をラビング処理した場合には、ラビング布の屑が配向膜上に残り、これが重合性液晶化合物溶液（液晶硬化膜形成用組成物）の塗布膜に欠陥を生じさせることもある。このように、重合性液晶化合物から形成される位相差膜は、厚みが極めて薄い位相差膜を形成可能であるが、欠陥を生じる要因がある。そして、位相差膜の欠陥は後述するとおり、黒点となって観察される欠陥が生じることがある。このような欠陥を有する位相差膜を備えた円偏光板及び剥離フィルムを有する被検査物の欠陥の有無を判定する検出において、本実施形態の検査装置、検査方法は特に有用である。
　位相差膜１４は、基材上に配向膜形成用組成物を塗布し、更にその上に重合性液晶化合物を含んだ液晶硬化膜形成用組成物を塗布することによって作製することができる。そうして作成した位相差膜１４を、保護フィルム１２ａ上に形成された粘着剤層１３に対して基材ごと貼合し、その後、基材を剥がすことで、位相差膜１４を保護フィルム１２ａ上に転写することができる。
　剥離フィルム１６ａは、表示装置に貼合するときに円偏光板１から剥がされるものであり、通常は、剥がされた剥離フィルム１６ａは廃棄される。したがって、保護フィルム１２ａ，１２ｂとは異なり、位相差値の厳密な管理が要求されることはない。そのため、市販されているフィルムを剥離フィルム１６ａとして採用する場合に、その位相差値を補償しないと、欠陥の検査において誤動作を招きかねない。すなわち、このように位相差値が厳密に管理されていない剥離フィルム１６ａが貼合された円偏光板１の欠陥検査では、当該剥離フィルム１６ａの位相差が検査装置１００Ａの検査精度を低下させる原因になり得る。
　なお、上記背景技術に記したように、円偏光板１において、剥離フィルム１６ａの反対面には、剥離フィルムの一種である表面保護フィルム１６ｂが設けられることが多い。図３に示されている円偏光板１では保護フィルム１２ｂ側に表面保護フィルム１６ｂが貼合されている。この表面保護フィルム１６ｂも通常、表示装置に貼合するときに円偏光板１から剥がされるものであり、保護フィルム１２ａ，１２ｂとは異なり、位相差値の厳密な管理が要求されることはない。さらに、表面保護フィルム１６ｂの位相差値によって生じる光の干渉による観察光の色付きを抑制する場合については、後述する第２の実施形態で説明する。なお、図３において、保護フィルム１２ｂと表面保護フィルム１６ｂとは、適当な接着剤層又は粘着剤層を介して貼合されていてもよい（図３においては、この接着剤層又は粘着剤層は、図示はしていない）。
　本実施形態において、剥離フィルム１６ａはＰＥＴ系樹脂からなるものである。また、表面保護フィルム１６ｂについてもＰＥＴ系樹脂からなるものを用いる。ＰＥＴ系樹脂からなるフィルム（ＰＥＴ系樹脂フィルム）は、剥離フィルムとして汎用であり、且つ安価であるという利点がある。一方、安価なＰＥＴ系樹脂フィルムは上記のとおり、位相差値の厳密な管理が要求されることはない。そのため、例えば、製品ロットごとに位相差値にバラツキがあることがある。また、同一のＰＥＴ樹脂系フィルムであっても、面内に位相差値のバラツキがあることもある。このような安価なＰＥＴ樹脂系フィルムを剥離フィルムとして貼合した円偏光板であっても、本実施形態の検査方法により、その欠陥の有無を精度よく検出することができる。なお、被検査物１０において、剥離フィルム１６ａの遅相軸と表面保護フィルム１６ｂの遅相軸とが略平行になるようにこれらが貼合されていることが好ましい。
　ここで、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）の求め方を示しておく。上記のとおり、これら剥離フィルムはＰＥＴ系樹脂フィルムであり、このようなフィルムは市場から容易に入手できる。このフィルムから例えば、４０ｍｍ×４０ｍｍ程度の大きさの片を分取（長尺フィルムから、適当な切断具を用いて分取する等）する。この片のＲｅ（５５０）を３回測定し、Ｒｅ（５５０）の平均値を求める。片のＲｅ（５５０）は、位相差測定装置ＫＯＢＲＡ－ＷＰＲ（王子計測機器株式会社製）を用い、測定温度室温（２５℃程度）で測定することができる。なお、表面保護フィルム１６ｂのＲｅ（５５０）を求める場合にも、同様の試験を行えばよい。
　光源２は、種々の市販品を用いることができるが、例えばレーザ光等の直線光（直線光に近似するものも含む）であることが有利である。光源２が発する光は無偏光であり、後述する第１の位相差フィルタ３Ａを通過し所定方向の偏光となる。
　第１の位相差フィルタ３Ａ、及び、第２の位相差フィルタ３Ｂは、いずれも円偏光板である。第２の位相差フィルタ３Ｂは、被検査物１０を検査する場面では、常に第１の位相差フィルタ３Ａとクロスニコルを構成するようにその向きが調整される。そして、この第１及び第２の位相差フィルタ３Ａ，３Ｂを構成する偏光板及び位相差板（位相差を有する層を構成する）は、いわゆる無欠陥のものが採用される。
　第２の位相差板４Ｂは、被検査物１０が備える剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を補償するものである。第２の位相差板４Ｂを構成する材料としては、ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を補償するものであれば特に限定されない。１００～２００ｎｍのＲｅ（５５０）を有する市販の位相差板を準備し、これらを複数枚積層して所望の位相差値となるようにして第２の位相差板４Ｂを形成することもできる。Ｒｅ（５５０）は通常、加成性を有するため、積層した位相差板のＲｅ（５５０）から所望のＲｅ（５５０）の第２の位相差板４Ｂを得ることができる。第１の位相差板４Ａは、第２の位相差板４Ｂの位相差を相殺するものであり、第２の位相差板４Ｂと同じ構成のものを用いることが好ましい。ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａは、通常、面内方向の位相差値や遅相軸のばらつきが大きいため、検査時に位相差値を複数選択できるように複数種の位相差板を準備しておくことが好ましい。本実施形態では、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）と略同一の位相差値をもつ第１の位相差板４Ａ及び第２の位相差板４Ｂの二枚組と、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）よりも５０～１００ｎｍ大きなＲｅ（５５０）の第３の位相差板及び第４の位相差板の二枚組との少なくとも二種類の位相差板を用いる。ここで、対にして用いる第１の位相差板４Ａと第２の位相差板４Ｂとは略同一のＲｅ（５５０）を有しており、第３の位相差板と第４の位相差板とは略同一のＲｅ（５５０）を有している。なお、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）と略同一の位相差値とは、剥離フィルム１６ａのＲｅ（５５０）と、位相差板のＲｅ（５５０）との差分の絶対値が２０ｎｍ以下であることをいう。
　更に、剥離フィルムの位相差値のばらつきを考慮すると、上記第１及び第２の位相差板４Ａ，４Ｂは、剥離フィルムのＲｅ（５５０）に対して、±３００ｎｍ程度の範囲の位相差を示すものとすることが好ましい。この位相差の範囲内では更に、剥離フィルムの面内方向において５０ｎｍ～１００ｎｍ刻みで変化させることが好ましい。これらの位相差を示す位相差板を種々準備しておくことが好ましい。すなわち、位相差を変化させる一連の位相差板として、第１の位相差板４Ａ、第３の位相差板に加え、更に位相差の異なる位相差板を準備しておくことが好ましい。次に、この位相差板の様子について説明する。
　図４に位相差の異なる位相差板が集積された一連の位相差板４の概略を示す。図４に示されているとおり、位相差板４は、一枚の位相差板部材の中に、面内方向の位相差値が異なる領域が一方向に連なって構成されたものであってもよい。すなわち、端に位置する領域（第１の領域ａ１；第１の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が例えば１７２０ｎｍである領域であり、その隣に接している領域（第２の領域ａ２；第３の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が１７９０ｎｍである領域であり、更にその隣に接している領域（第３の領域ａ３；第５の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が１８６０ｎｍである領域である。位相差板４において、当該領域の数は任意であり、図４ではｎ番目の領域ａｎまでを示している。なお、それぞれの領域において、厚さ方向の位相差値は、一領域で観察しようとする視野領域の広さにより調節することができる。
　この位相差板４は、光源２の側から見て第１の位相差フィルタ３Ａの次に配置する第１の位相差板４Ａとして用いることができるだけでなく、第２の位相差フィルタ３Ｂの手前に配置する第２の位相差板４Ｂとして同時に用いる。第２の位相差板４Ｂの側では、上記第１の領域ａ１、第２の領域ａ２、第３の領域ａ３はそれぞれ第２の位相差板、第４の位相差板、第６の位相差板となる。そして、第１及び第２の位相差板４Ａ，４Ｂとして二枚の位相差板４，４を用いる場合は、同じＲｅ（５５０）を有する領域同士（例えば第１の領域ａ１同士、第２の領域ａ２同士）を対にして用いる。
　被検査物１０を通過した光を観察するために、光路９上、且つ、第２の位相差フィルタ３Ｂの両側のうち光源２がある側とは反対側の位置に、ＣＣＤカメラ等を含む検出手段５を配置してもよい。例えば、ＣＣＤカメラと画像処理装置を組み合わせた画像処理解析により自動的に検出し、これによって被検査物の検査を行うことができる。或いは、検出手段５は部材ではなく、人間が第２の位相差フィルタ３Ｂを人が目視観察することであってもよい。
　また、検査装置１００Ａは、被検査物１０、第１及び第２の位相差板４Ａ，４Ｂ、並びに、第１及び第２の位相差フィルタ３Ａ，３Ｂの少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾ける、又は、光の光路９に垂直な方向に回転させることを可能とする可動装置（図示していない。）を備えていることが好ましい。これらを傾けることで、ＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａや第１及び第２の位相差板４Ａ，４Ｂの位相差を微調整できることから、より広範囲の検査が可能となる。また、これらを回転させることでＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａと第１及び第２の位相差板４Ａ，４Ｂとの軸合わせが容易となる。
（検査方法）
　検査装置１００Ａを用いた検査方法は、以下のとおりである。はじめに、検査装置１００Ａの内部のうち、第１の位相差板４Ａと第２の位相差板４Ｂとの間に被検査物１０を挿入する。このとき、これら各フィルムの面がいずれも平行となるように、且つ、被検査物１０中の剥離フィルム１６ａを備える側が光源２とは反対側を向くとともに円偏光板１と第２の位相差フィルタ３Ｂとがクロスニコルを構成するように配置する。ここで、第１の位相差板４Ａ及び第２の位相差板４Ｂとしては、いずれも図４に示された位相差板４を用いており、いずれも第１の領域ａ１が光路９上に位置するように配置している。
　そして、第１の位相差フィルタ３Ａが第２の位相差フィルタ３Ｂとクロスニコルを構成するように調整する。検査装置１００Ａが上記可動装置を備えている場合は、被検査物１０を任意の向きに挿入した後に、各フィルムの相対的な位置関係を可動装置によって変化させてクロスニコルとしてもよい。
　光源２が発した光は第１の位相差フィルタ３Ａに入射し、これを通過して円偏光となり、続けて第１の位相差板４Ａを通過する。検査のために、被検査物１０を面内方向の任意の方向に動かすと、被検査物１０のうち凹部Ｒの箇所では、第１の位相差フィルタ３Ａ及び第１の位相差板４Ａを通過した光はそのまま第２の位相差板４Ｂに入射し、第１の位相差フィルタ３Ａとクロスニコルとされた第２の位相差フィルタ３Ｂで遮断される。これを検出手段５側から観察すると、第２の位相差フィルタ３Ｂの面は暗い。
　他方、被検査物１０のうち凹部以外の部分では、第１の位相差フィルタ３Ａ及び第１の位相差板４Ａを通過した光が被検査物１０に入射し、透過し、そして第２の位相差板４Ｂに入射し、被検査物１０とクロスニコルとされた第２の位相差フィルタ３Ｂで遮断される。このとき、被検査物１０中の円偏光板１に欠陥が存在すると、この欠陥部分では正規の遮断が行えず、これを検出手段５側から観察すると、欠陥部分が輝点として観察される。
　ここで、剥離フィルム１６ａが位相差を有する場合、被検査物１０を通過した円偏光が影響を受け、第２の位相差フィルタ３Ｂを透過する光量が多くなり（例えば光源の光量の５％又は１０％を超えるようになり）、円偏光板１に存在する輝点等の欠陥の検出精度が低下する。ここで、被検査物１０と第２の位相差フィルタ３Ｂとの間に第２の位相差板４Ｂが配置されていることによって、被検査物１０中の剥離フィルム１６ａの位相差値がキャンセルされ、剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を補償する。
　また、第２の位相差板４Ｂは、剥離フィルム１６ａによる光の複屈折を効果的に補償するために剥離フィルム１６ａが有する位相差値と波長分散特性とにできる限り一致するように設計するが、剥離フィルム１６ａの位相差値の面内ばらつきにより検査視野全体で光を十分に遮断して検査することは困難である。このような場合には、円偏光板１のうち、位相差膜１４の位相差値が低下している部分で光学補償がマッチングし、本来輝点として観察されるべき欠陥が黒点として観察されてしまうことが起こりうる。通常、黒点欠陥は輝点欠陥と比較して、視認性に与える影響が小さいため欠陥サイズについても輝点欠陥より大きくても許容されることが多いことから、結果的に問題なしと判断されてしまうことがある。しかし、その黒点欠陥が本来位相差膜１４の位相差値低下部位に起因する輝点欠陥として観察されるべきものであった場合には、視認性に与える影響が大きく、問題となってしまう。
　このため、本実施形態では、黒点と視認された欠陥部位に対して、第１の位相差板４Ａ及び第２の位相差板４Ｂとは異なる面内位相差を有する第３の位相差板及び第４の位相差板を用いる。具体的には、第１及び第２の位相差板４Ａ，４Ｂをいずれも面内方向にスライドさせ、いずれも第２の領域ａ２（第３の位相差板，第４の位相差板）が光路９上に位置するようにする。
この配置にて二回目の検査を行う。
　このように、面内位相差値が異なる位相差板を用いて複数回にわたって検査することで、欠陥が輝点欠陥として観察される可能性が高まり、欠陥を正しく認識しやすい。なお、第２の領域ａ２（第３の位相差板，第４の位相差板）を用いた検査でも再度黒点と視認された場合は、二枚の位相差板４，４を更に第３の領域ａ３（第５の位相差板，第６の位相差板）へスライドさせ、三回目の検査を行う。
　検査中、被検査物１０、第１及び第２の位相差板４Ａ，４Ｂ、並びに、第１及び第２の位相差フィルタ３Ａ，３Ｂの少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾けてもよいし、光の光路９に垂直な方向に回転させてもよい。傾けることによって、剥離フィルム１６ａや第１及び第２の位相差板４Ａ，４Ｂの位相差を微調整できることから、より広範囲の検査が可能となる。また、これらを回転させることでＰＥＴ系樹脂からなる剥離フィルム１６ａと第１及び第２の位相差板４Ａ，４Ｂとの軸合わせが容易となる。これらの操作は、検査装置１００Ａが可動装置を備えている場合に特に容易に行うことができる。
　以上に示した検査方法によれば、第１の位相差板４Ａ及び第２の位相差板４Ｂの対を用いた検査で黒色欠陥が観察された部位を第３の位相差板（ａ２）及び第４の位相差板（ａ２）を用いて検査することによって、これを輝点欠陥として観察できるように位相差を調整することが可能となる。また、この検査方法では、第１の位相差フィルタ３Ａと第２の位相差フィルタ３Ｂとをクロスニコルを構成するように配置しているので、光路上に被検査物１０が存在しない場合には光源からの光が第２の位相差フィルタで遮断される。したがって、被検査物１０の異形部分からの光漏れが大幅に抑制されることとなり、異形部分の近傍を検査するときの支障とならない。以上のことから、本実施形態の検査方法では異形の円偏光板１の欠陥の有無を容易に判断することができる。
＜第２の実施形態＞
　第２の実施形態の検査方法ついて説明する。第２の実施形態の検査方法が第１の実施形態の検査方法と異なる点は、図５に示されているとおり、検査装置１００Ｂにおいて、第１の位相差板４Ａと被検査物１０との間に高位相差板２０を配置する点である。
　高位相差板２０は、被検査物１０と同形のフィルムであり、被検査物１０の凹部Ｒに対応する位置に同様の凹部Ｒ’を有している。高位相差板２０は、表面保護フィルム１６ｂの位相差値を補完するものであるので、表面保護フィルム１６ｂと同様の材料からなることが好ましく、ポリエチレンテレフタレート系樹脂からなることが好ましい。
　高位相差板２０は、Ｒｅ（５５０）が５０００ｎｍ以上であることが好ましく、７０００ｎｍ以上であることがより好ましく、８０００ｎｍ以上であることが更に好ましく、１００００ｎｍ以上であることが特に好ましい。また、高位相差板２０は、その遅相軸が表面保護フィルム１６ｂの遅相軸と略平行となるように配置することが好ましい。
　高位相差板２０を用いた検査によれば、第１の実施形態の検査方法で奏される効果に加え、表面保護フィルムの１６ｂが有する位相差によって生じる光の干渉による観察光の色付きを抑制することができる。すなわち、表面保護フィルム１６ｂが有する面内位相差によって、検査の観察視野に虹色の模様が生じて欠陥観察の支障となる場合があるが、高位相差板２０は面内位相差値が高いので、当該虹色の光を白色の光に変換して観察の支障とならないようにすることができる。特に、高位相差板２０の遅相軸と表面保護フィルム１６ｂの遅相軸とを略平行に配置した場合は、面内位相差の加成性により当該虹色の光を可視光外の光に確実に変換することができる。
　以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、上記実施形態では第１の位相差フィルタ３Ａと第１の位相差板４Ａとを互いに別の物品として示したが、これらは互いに積層された積層体として一枚のフィルムを構成していてもよい。第２の位相差フィルタ３Ｂと第２の位相差板４Ｂについても同様に一つの積層体としてもよい。
　また、上記実施形態では、二枚の位相差板４（第１の位相差板４Ａ、第２の位相差板４Ｂ）としてＲｅ（５５０）が異なる第１の領域ａ１、第２の領域ａ２等が直線上に並んだものを用いたが、この位相差板は、Ｒｅ（５５０）が異なる領域が環状に並んだ構成とされていてもよい。例えば、円盤状のフィルムを中心部から放射状に延びる仮想線を境界として位相差値が異なる複数の領域に区分し、ある領域（第１の領域；第１の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が例えば１７２０ｎｍである領域であり、その隣に接している領域（第２の領域；第２の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が１７９０ｎｍである領域であり、更にその隣に接している領域（第３の領域；第３の位相差板に相当）は、Ｒｅ（５５０）が１８６０ｎｍである領域であるようにしてもよい。当該領域の数は任意であり、例えば、四つ、六つ、八つ等とすることができる。
　本発明は、円偏光板の品質検査に利用することができる。
　１…円偏光板、２…光源、３Ａ…第１の位相差フィルタ、３Ｂ…第２の位相差フィルタ、４…位相差板、４Ａ…第１の位相差板、４Ｂ…第２の位相差板、５…検出手段、９…光路、１０…被検査物、１１…偏光フィルム、１２ａ，１２ｂ…保護フィルム、１３…粘着剤層、１４…位相差膜、１５…粘着剤層、１６ａ…剥離フィルム、１６ｂ…表面保護フィルム、２０…高位相差板、１００Ａ，１００Ｂ…検査装置、ａ１…第１の領域（第１の位相差板，第２の位相差板）、ａ２…第２の領域（第３の位相差板，第４の位相差板）、ａｎ…第ｎの領域、Ｒ，Ｒ’…凹部。

Claims (6)

  1. 　円偏光板、及び、ポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる剥離フィルムを備えるフィルム状の被検査物の欠陥の有無を判断する検査方法であって、
    　前記被検査物は、矩形を基準として前記矩形の辺から前記矩形の内側へ向けて凹んだ凹部を有する形状であり、又は、矩形の角部が曲線となった形状であり、又は、矩形の辺から離れた位置に貫通孔を有する形状であり、
    　光源と、
    　第１の位相差フィルタと、
    　第１の位相差板と、
    　前記被検査物と、
    　波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値と略同一であり、且つ、前記剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである第２の位相差板と、
    　前記第１の位相差フィルタ及び前記円偏光板とクロスニコルを構成する第２の位相差フィルタと、を前記光源が発する光の光路上にこの順に並ぶように配置し、
    　前記第１の位相差板は、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記第２の位相差板の波長５５０ｎｍにおける面内位相差値と略同一であり、且つ、前記第２の位相差板が有する複屈折を補償するものであり、
    　前記被検査物に光を入射し、前記光源の反対側から観察して前記円偏光板の欠陥の有無を判断し、
    　前記第１の位相差板及び前記第２の位相差板を、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が前記剥離フィルムの波長５５０ｎｍにおける面内位相差値よりも５０～１００ｎｍ大きく、且つ、前記剥離フィルムが有する複屈折を補償するものである第３の位相差板及び第４の位相差板にそれぞれ置き換え、
    　その置き換え後に前記被検査物に光を入射し、前記光源の反対側から観察して前記円偏光板の欠陥の有無を判断する、検査方法。
  2. 　前記被検査物は、前記円偏光板に対して前記剥離フィルムが設けられている側とは反対側にポリエチレンテレフタレート系樹脂からなる表面保護フィルムを更に備え、
    　前記第１の位相差板と前記被検査物との間に、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が５０００ｎｍ以上である高位相差板を更に配置する、請求項１記載の検査方法。
  3. 　前記表面保護フィルムの遅相軸と前記高位相差板の遅相軸とが略平行となるように配置する、請求項２記載の検査方法。
  4. 　前記円偏光板は、重合性液晶化合物の硬化物からなる位相差膜を有するものである、請求項１～３のいずれか一項記載の検査方法。
  5. 　検査中、前記被検査物、前記第１の位相差板、前記第２の位相差板、前記第３の位相差板、前記第４の位相差板、前記第１の位相差フィルタ、前記第２の位相差フィルタ、前記第１の位相差板、及び、前記第２の位相差板の少なくとも一つを、互いに対面する角度が異なるように傾ける、又は、前記光路に垂直な方向に回転させる、請求項１～４のいずれか一項記載の検査方法。
  6. 　前記第１の位相差板及び前記第３の位相差板は、同一の部材内に配置されて構成されたものである、請求項１～５のいずれか一項記載の検査方法。
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