TW202215016A

TW202215016A - 檢查方法

Info

Publication number: TW202215016A
Application number: TW110131299A
Authority: TW
Inventors: 小林信次; 松田俊介
Original assignee: 日商住友化學股份有限公司
Priority date: 2020-08-28
Filing date: 2021-08-24
Publication date: 2022-04-16
Also published as: JP2022039687A; WO2022044951A1; JP7413209B2; CN115867780A

Abstract

本發明係提供一種可容易判斷非通常形狀的圓偏光板有無缺陷的檢查方法。本發明提供的檢查方法係判斷具備非通常形狀的圓偏光板的膜狀的被檢查物10有無缺陷。將光源2、第一相位差濾波器3A、第一相位差板4A、被檢查物10、第二相位差板4B、第二相位差濾波器3B依此順序排列配置在光程9上並將光入射而判斷圓偏光板有無缺陷。接著，將第一相位差板4A及第二相位差板4B分別更換成波長550nm時之面內相位差值不同的第三相位差板及第四相位差板，並再次將光入射而判斷圓偏光板有無缺陷。由於第一相位差濾波器3A與第二相位差濾波器3B為正交偏光，因而大幅抑制來自被檢查物10之非通常形狀部分的漏光，而使非通常形狀部分附近的檢查容易。

Description

檢查方法

本發明係關於一種檢查方法。

使用於液晶顯示裝置或有機EL顯示裝置等的偏光板，一般係構成為於兩片保護膜間夾持偏光片。為了將偏光板貼附於顯示裝置，而於一方的保護膜積層有黏著劑層，再於黏著劑層積層剝離膜。而且，通常亦會於另一方的保護膜貼合用以保護其表面的剝離膜(表面保護膜)。偏光板係在如上述之積層著剝離膜的狀態下搬運輸送，而在顯示裝置的製程中要貼合於顯示裝置之際才將剝離膜剝離。

在此，在偏光板的製程中，會有在偏光片與保護膜之間混入異物、殘留氣泡的情形，或者，保護膜具有相位差膜之功能時，會有存在著配向缺陷(以下，亦會有將該等異物、氣泡及配向缺陷統稱為「缺陷」的情形)的情形。將存在缺陷的偏光板貼合至顯示裝置時，會有該缺陷的部位被觀視確認為亮點，或圖像在缺陷的部位歪曲顯示的情形。特別是，該顯示裝置顯示黑色時，容易觀視確認到會以亮點被觀視確認到的缺陷。

對此，在要將偏光板貼合至顯示裝置之前的階段(具備剝離膜狀態的偏光板)，進行用以檢測此偏光板之缺陷的檢查。此缺陷的檢查，一般係利用偏光板的偏光軸的光檢查。具體而言，如專利文獻1所示，在作為被檢查物之偏光板與光源之間設置偏光濾波器，且使偏光板或偏光濾波器於平面方向旋轉，使這些偏光板或偏光濾波器的各自的偏光軸方向成為特定的關係。偏光軸方向彼此相互垂直時(亦即，構成正交偏光之配置時)，通過偏光濾波器的直線偏光不會通過偏光板。然而，偏光板存在缺陷時，直線偏光會通過該缺陷部位，因而可藉由檢測出其光而判定缺陷存在。另一方面，偏光板與偏光濾波器的偏光軸方向彼此平行時，通過偏光濾波器的直線偏光會通過偏光板。然而，偏光板存在缺陷時，直線偏光會被該缺陷部位遮斷，因而可藉由未檢測出其光而判定缺陷存在。通過偏光板的光可藉由檢查者目視觀看來檢測出，或者，可藉由結合CCD攝影機與影像處理裝置的影像解析處理值來自動地檢測，藉此可進行偏光板有無缺陷的檢查。

(先前技術文獻)

(專利文獻)

專利文獻1：日本專利公報特開平9-229817號

然而，如上述偏光板具備剝離膜時，由於此剝離膜所具有的雙折射特性而阻礙偏光板的偏光特性，因此，以往的檢查裝置中無法精確地檢測出存在於偏光板之亮點等的缺陷。

偏光板為圓偏光板，並且剝離膜由聚對苯二甲酸乙二酯系樹脂(PET系樹脂)構成時，採用與該PET系樹脂的波長分散匹配達某種程度的相位差濾波器(相當於上述偏光濾波器)。在此，將圓偏光板與相位差濾波器配置成為構成正交偏光時，根據上述原理，缺陷會以亮點的型態被觀視確認，但在圓偏光板具有相位差膜的配向缺陷、針孔等相位差值較低的區域中，會有亮點缺陷被觀視確認為黑點的情形，此時，檢測判斷會比亮點的檢測更困難。特別是，圓偏光板包含由聚合性液晶化合物的硬化物構成的相位差膜時，此傾向更為顯著。

此外，根據顯示裝置的設計上的理由，會有圓偏光板為非通常形狀(又稱為異形)的情形。例如，在圓偏光板的外周設置凹部、將外周的角部設為圓角、設置貫通孔等情形。以非通常形狀的圓偏光板作為上述檢查的對象時，必須準備與非通常形狀相同形狀之光的遮蔽板，且缺陷檢查中使非通常形狀偏光板移動時，遮蔽板與非通常形狀偏光板容易產生偏移，致使檢查光在非通常形狀部分嚴重漏光，觀察視野因而會變得過亮，而造成微小缺陷的檢測障礙。

對此，本發明的目的在於提供一種檢查方法，可容易地判斷非通常形狀的圓偏光板有無缺陷。

本發明提供一種檢查方法，係判斷膜狀的被檢查物有無缺陷，該被檢查物係具備圓偏光板、及由聚對苯二甲酸乙二酯系樹脂(以下，亦有稱為「PET系樹脂」之情形)構成的剝離膜，被檢查物的形狀為以矩形為基準而具有從矩形的邊朝矩形之內側凹入的凹部的形狀，或者為矩形的角部呈曲線的形狀，又或者為在離開矩形之邊的位置具有貫通孔的形狀。該檢查方法係將光源、第一相位差濾波器、第一相位差板、被檢查物、第二相位差板、及第二相位差濾波器依此順序排列配置於光源所發出之光的光程上，其中，該第二相位差板係波長550nm時的面內相位差值與剝離膜在波長550nm時的面內相位差值(以下，亦有將在此波長550nm時的面內相位差值稱為「Re(550)」的情形)大致相同，並且補償剝離膜所具有之雙折射；該第二相位差濾波器係與第一相位差濾波器及圓偏光板構成正交偏光；該第一相位差板係Re(550)為與第二相位差板的Re(550)大致相同，並且補償前述第二相位差板所具有之雙折射者。並且，該檢查方法係將光從光源入射至被檢查物，且從光源的相反側進行觀察而判斷圓偏光板有無缺陷；將第一相位差板及第二相位差板分別更換成第三相位差板及第四相位差板，其中，該第三相位差板及第四相位差板係Re(550)比剝離膜的Re(550)大50至100nm，且補償剝離膜所具有之雙折射者；並且，在更換後，將光入射至被檢查物，且從光源的相反側進行觀察而判斷圓偏光板有無缺陷。另外，在此所謂Re(550)「大致相同」係指Re(550)的差異僅為±5nm左右。

此檢查方法中，針對在使用第一相位差板及第二相位差板的檢查中觀察到黑色缺陷的部位，將此等相位差板分別更換成第三相位差板及第四相位差板來進行檢查，藉此，可調整相位差而使此黑色缺陷的部位以亮點缺陷被觀察到。此外，此檢查方法中，將第一相位差濾波器與及第二相位差濾波器配置成為構成正交偏光，因而在光程上不存在有被檢查物時，來自光源的光會被第二相位差濾波器遮斷。因此，可大幅地抑制來自被檢查物之非通常形狀部分的漏光，而不會造成檢查非通常形狀部分附近時的障礙。綜上所述，本發明的檢查方法可容易地判斷非通常形狀的圓偏光板有無缺陷。

在此，被檢查物亦可於相對於圓偏光板為設有剝離膜之側的相反側，更具備有由PET系樹脂構成的表面保護膜；且亦可於第一相位差板與被檢查物之間配置Re(550)為5000nm以上的高相位差板。被檢查物具備表面保護膜時，由於表面保護膜所具有的面內相位差，會有在檢查的觀察視野產生彩虹色的模樣而造成缺陷觀察的障礙的情形。此時，藉由使用具有較高之面內相位差的高相位差板，可將該彩虹色的光轉換成白色的光而不會造成觀察的障礙。

並且，此時，表面保護膜的慢軸與高相位差板的慢軸以配置成大致平行為佳。由於面內相位差具有加成性，因此藉由使該慢軸彼此大致平行，可將彩虹色的光確實地轉換成白色的光。

圓偏光板亦可具有由聚合性液晶化合物的硬化物構成的相位差膜。相位差膜為由聚合性液晶化合物的硬化物構成時，因其一般的薄度而提高觀察到黑點缺陷的可能性。因此，適於作為應用本發明的對象。

此外，此檢查方法中，可於檢查中，使被檢查物、第一相位差板、第二相位差板、第三相位差板、第四相位差板、第一相位差濾波器、第二相位差濾波器、第一相位差板、及第二相位差板的至少一者傾斜，而使彼此面對面的角度不同，或者，可於檢查中，使前述被檢查物、前述第一相位差板、前述第二相位差板、前述第三相位差板、前述第四相位差板、前述第一相位差濾波器、前述第二相位差濾波器、前述第一相位差板、及前述第二相位差板的至少一者於與前述光程垂直的方向旋轉。藉由此等的傾斜，可微調整剝離膜、第一相位差板及第二相位差板等的相位差，而可進行更廣範圍的檢查。此外，藉由此等的旋轉，可使各構成的軸對齊容易。

第一相位差板及第三相位差板亦可構成為配置於相同構件內者。

根據本發明，可提供一種檢查方法，可容易地判斷非通常形狀的圓偏光板有無缺陷。

1:圓偏光板

2:光源

3A:第一相位差濾波器

3B:第二相位差濾波器

4:相位差板

4A:第一相位差板

4B:第二相位差板

5:檢測手段

9:光程

10:被檢查物

11:偏光膜

12a,12b:保護膜

13:黏著劑層

14:相位差膜

15:黏著劑層

16a:剝離膜

16b:表面保護膜

20:高相位差板

100A,100B:檢查裝置

a₁:第一區域(第一相位差板、第二相位差板)

a₂:第二區域(第三相位差板、第四相位差板)

a₃:第三區域(第五相位差板、第六相位差板)

a_n:第n個區域

R,R’:凹部

圖1為顯示第一實施型態的檢查裝置之圖。

圖2為被檢查物的平面圖。

圖3為被檢查物之III-III的剖視圖。

圖4為顯示相位差板的一例之圖。

圖5為顯示第二實施型態的檢查裝置之圖。

以下，參照圖式，詳細地說明本發明之較佳實施型態。在此，對於各圖中相同的部分或相當的部分附記相同的符號，並省略重複的說明

<第一實施型態>

在此說明第一實施型態的檢查方法。

(檢查裝置及被檢查物)

本實施型態的檢查裝置係檢查圓偏光板表面有無缺陷。如圖1所示，檢查裝置100A係將光源2、第一相位差濾波器3A、第一相位差板4A、第二相位差板4B、及第二相位差濾波器3B依此順序配置而成者。

如圖2所示，作為檢查對象之膜狀的被檢查物10為以矩形為基準之非通常形狀的圓偏光板，具有從矩形的邊朝被檢查物10之內側凹入的凹部R。在此所謂「以矩形為基準」係指假設凹部R不存在時，被檢查物10的形狀呈矩形之意。此外，被檢查物10的角部係加工成為曲線。本說明書中，所謂「非通常形狀」係指多角形、正圓形、橢圓等形狀的一部分變形而成的形狀。所謂變形係指在外周設置凹部、使外周的角部成為圓角、使曲線成為直線、設置貫通孔等態樣。

如圖3所示，被檢查物10係具備：作為檢查對象之本體的圓偏光板1；以及藉由黏著劑(pressure sensitive adhesive)層15積層於圓偏光板1的剝離膜16a。圓偏光板1係於偏光膜11的兩面貼合有保護膜12a、12b，且更於具備剝離膜16a的一側的保護膜12a上藉由黏著劑層13形成有相位差膜14，藉此形成圓偏光板1。並且，圓偏光板1之不具備剝離膜16a的一側之面，積層有表面保護膜16b。一般而言，圓偏光板1係用於顯示裝置，例如液晶顯示裝置、有機EL顯示裝置等，於使用時撕下剝離膜16a而藉由黏著劑層15貼附於顯示裝置。

另外，本說明書中，所謂「圓偏光板」係指包含圓偏光板及楕圓偏光板者。此外，「圓偏光」係包含圓偏光及橢圓偏光。

偏光膜11係將檢查裝置100A中從表面保護膜16b側入射的光轉換成直線偏光的膜。就偏光膜11而言，可列舉例如聚乙烯醇膜經碘或二色性色素吸附、配向者、對於將聚合性液晶化合物配向、聚合後的材料經二色性色素吸附、配向者等。

保護膜12a、12b係用以保護偏光膜11者。就保護膜12a、12b而言，為了得到具有適當的機械性強度的偏光板，可使用偏光板的技術領域中被廣為運用者。典型為三醋酸纖維素(TAC)膜等纖維素酯系膜、環狀烯烴系膜、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)膜等聚酯系膜、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)膜等(甲基)丙烯酸系膜等。並且，保護膜可包含偏光板的技術領域中被廣為運用的添加劑。

保護膜12a、12b係作為圓偏光板1的構成要素而與偏光膜11一起貼合於顯示裝置，因此有嚴格管理相位差值等之需求。就保護膜12a而言，典型地採用相位差值極小者為佳。此外，就保護膜12b而言，例如，為了於帶著偏光太陽眼鏡觀看顯示裝置時可容易觀看，可採用具有λ/4相位差的保護膜、或相位差值較小的保護膜。保護膜12a、12b係藉由接著劑而貼合於偏光膜11。

相位差膜14係將檢查裝置100A中藉由偏光膜11轉換成直線偏光的光轉換成圓偏光的膜。相位差膜14若為具有相位差之膜，則無特別限制，惟可為λ/2膜及λ/4膜的積層者。此時，可從靠近偏光膜11側起，依λ/2膜、λ/4膜之順序積層。

此外，相位差膜14為由聚合性液晶化合物的硬化物構成者為佳。由聚合性液晶化合物的硬化物構成的相位差膜14，通常厚度為較薄的0.2μm至10μm左右，在包含異物等的情況時，其部分的相位差值容易降低。此種部位中，如後所述，會有以相位差板4補償剝離膜16a的雙折射時原本應被觀察為亮點缺陷的部位卻被觀察為黑點的情形。

可形成相位差膜14的聚合性液晶化合物可列舉例如日本專利公開公報特開2009-173893號、日本專利公開公報特開2010-31223號、WO2012/147904號公報、WO2014/10325號公報及WO2017-43438號公報所揭示者。這些公報所記載的聚合性液晶化合物為可形成能夠在寬頻域中進行一樣的偏光轉換之具有所謂的逆波長分散性的相位差膜。例如，可將包含該聚合性液晶化合物的溶液(聚合性液晶化合物溶液)塗佈在適當的基材上並使其進行光聚合，藉此形成如上述極薄的相位差膜，因此，具有此種相位差膜的圓偏光板可形成厚度極薄的圓偏光板。如此，厚度極薄的圓偏光板係有益於作為近年來受矚目之可撓性顯示材料用的圓偏光板。

就作為塗佈聚合性液晶化合物溶液的基材而言，可列舉上述公報所記載的基材。為了使聚合性液晶化合物配向，該基材亦可設有配向膜。配向膜可為藉由偏光照射使其光配向者，或是藉由刷磨處理使其機械性配向者之任意者。在此，就該配向膜而言，可使用上述公報所記載者。

然而，若要塗佈聚合性液晶化合物溶液的基材存在有異物等，或是基材本身有損傷等的情形時，會有塗佈聚合性液晶化合物溶液而得的塗佈膜本身產生缺陷的情形。此外，對配向膜進行了刷磨處理時，也會有刷磨布的碎屑殘留在配向膜上，而致使聚合性液晶化合物溶液(液晶硬化膜形成用組成物)的塗佈膜產生缺陷的情形。如此，由聚合性液晶化合物形成的相位差膜雖可形成厚度極薄的相位差膜，但卻有產生缺陷的要因。並且，如後所述，相位差膜的缺陷會有發生被觀察為黑點之缺陷的情形。本實施型態的檢查裝置、檢查方法特別有利於判定具備相位差膜的圓偏光板及剝離膜的被檢查物中有無如此缺陷的檢測。

相位差膜14可於基材上塗佈配向膜形成用組成物，再於其上塗布包含聚合性液晶化合物的液晶硬化膜形成用組成物，藉此作成相位差膜14。將如此作成的相位差膜14連同基材貼合於形成在保護膜12a上的黏著劑層13，然後，撕下基材，而可將相位差膜14轉附在保護膜12a上。

剝離膜16a為接合至顯示裝置時要從圓偏光板1撕下的膜，通常會將撕下的剝離膜16a丟棄。因此，與保護膜12a、12b不同地，無嚴格管理相位差值之需求。因此，採用市售的膜來作為剝離膜16a時，若未補償其相位差值，則難保不在缺陷檢查中招致誤動作。亦即，在貼合有此種相位差值未經嚴格管理之剝離膜16a的圓偏光板1的缺陷檢查中，該剝離膜16a的相位差可能會成為使檢查裝置100A的檢查精確度降低的原因。

另外，如上述先前技術中所述，通常會在圓偏光板1的剝離膜16a的相反面設置屬於一種剝離膜的表面保護膜16b。圖3所示之圓偏光板1中，於保護膜12b側貼合有表面保護膜16b。此表面保護膜16b亦通常在貼合至顯示裝置時要從圓偏光板1撕下，與保護膜12a、12b不同地，亦無嚴格管理相位差值之需求。再者，要抑制起因於表面保護膜16b的相位差值所產生之光的干涉而引起的觀察光的染色的情形係於後述第二實施型態中說明。另外，圖3中，保護膜12b與表面保護膜16b亦可藉由適當的接著劑層或黏著劑層而貼合(圖3中省略了此接著劑層或黏著劑層的圖示)。

實施型態中，剝離膜16a為由PET系樹脂構成者。此外，表面保護膜16b亦使用由PET系樹脂構成者。由PET系樹脂構成的膜(PET系樹脂膜)為被廣為運用的剝離膜，並且具有廉價的優點。另一方面，廉價的PET系樹脂膜係如上所述，無嚴格管理相位差值之需求。因此，會有相位差值依產品批次而有所偏差的情形。而且，即使相同的PET樹脂系膜，也會有在面內具有相位差值不均的情形。即使是貼合此種廉價的PET樹脂系膜作為剝離膜的圓偏光板，亦可藉由本實施型態的檢查方法精確地檢測有無缺陷。在此，被檢查物10中，使剝離膜16a的慢軸與表面保護膜16b的慢軸大致平行地彼此貼合為佳。

在此，先說明剝離膜16a的Re(550)的求出方法。如上所述，此等剝離膜為PET系樹脂膜，此種膜可從市場容易地購入。從此膜例如分取出40mm×40mm左右大小的片料(使用適當的切割工具從長條膜進行分取等)。對此片料的Re(550)進行三次測定，求出Re(550)的平均值。片料的Re(550)可使用相位差測定裝置KOBRA-WPR(Oji Scientific Instruments inc.製品)，在測定溫度為室溫(25℃左右)下進行測定。此外，要求出表面保護膜16b的Re(550)時可進行同樣的試驗。

光源2可使用各種市面上販售的製品，惟，例如以雷射光等的直線光(亦包含近似於直線光者)為有利。光源2所發出的光為無偏光，通過後述之第一相位差濾波器3A而成為預定方向的偏光。

第一相位差濾波器3A及第二相位差濾波器3B皆為圓偏光板。在檢查被檢查物10的狀態下，維持將第二相位差濾波器3B調整成為其朝向與第一相位差濾波器3A構成正交偏光。並且，構成此第一相位差濾波器3A及第二相位差濾波器3B的偏光板及相位差板(構成具有相位差之層)，係採用所謂無缺陷者。

第二相位差板4B係補償因被檢查物10所具備之剝離膜16a所引起的光的雙折射。就構成第二相位差板4B的材料而言，若可補償因由PET系樹脂構成之剝離膜16a所引起之光的雙折射者，則無特別限制。亦可準備具有100至200nm之Re(550)的市售相位差板，且積層複數片相位差板成為期望的相位差值來形成第二相位差板4B。Re(550)通常具有加成性，因此可由積層的相位差板的Re(550)來獲得期望之Re(550)的第二相位差板4B。第一相位差板4A係抵消第二相位差板4B的相位差者，採用與第二相位差板4B相同之構成者為佳。由PET系樹脂構成的剝離膜16a通常面內方向的相位差值、慢軸等的差異較大，因此檢查時預備複數種的相位差板以可從複數個相位差值來選擇為佳。本實施型態中至少使用下述兩種相位差板：具有與剝離膜16a的Re(550)大致相同的相位差值的第一相位差板4A及第二相位差板4B之兩片組的相位差板；以及Re(550)較剝離膜16a的Re(550)大50至100nm的第三相位差板及第四相位差板之兩片組的相位差板。在此，成對來使用之第一相位差板4A及第二相位差板4B係具有大致相同的Re(550)，且成對來使用之第三相位差板及第四相位差板係具有大致相同的Re(550)。在此，與剝離膜16a的Re(550)大致相同的相位差值係指剝離膜16a的Re(550)與相位差板的Re(550)的差分的絕對值為20nm以下。

再者，若考慮剝離膜的相位差值的不均時，上述第一相位差板4A及第二相位差板4B以相對於剝離膜的Re(550)顯示±300nm左右之範圍的相位差者為佳。再者，此相位差的範圍內，以在剝離膜的面內方向中以50nm至100nm為單位變化為佳。預先預備各種顯示此等相位差的相位差板為佳。亦即，用以作為使相位差改變的相關相位差板，除第一相位差板4A、第三相位差板之外，更預備相位差不同的相位差板為佳。以下說明此相位差板的狀態。

圖4顯示匯集了相位差不同之相位差板的相關相位差板4的概略。如圖4所示，相位差板4亦可為面內方向的相位差值不同的區域於一片相位差板構件中沿著一方向相連而構成者。亦即，位在端部的區域(第一區域a₁；相當於第一相位差板)係Re(550)例如為1720nm的區域，與其相鄰的區域(第二區域a₂；相當於第三相位差板)係Re(550)為1790nm的區域，更與其相鄰的區域(第三區域a₃；相當於第五相位差板)係Re(550)為1860nm的區域。相位差板4中，該區域的數量為任意，圖4中顯示達第n個區域a_n。在此，各個區域中，厚度方向的相位差值可依據欲在一個區域觀察的視野區域的寬度來進行調整。

此相位差板4不僅可使用作為從光源2側觀看時配置於第一相位差濾波器3A之後的第一相位差板4A，還可同時地使用作為配置於第二相位差濾波器3B之前的第二相位差板4B。第二相位差板4B之側中，上述第一區域a₁、第二區域a₂、第三區域a₃分別成為第二相位差板、第四相位差板、第六相位差板。並且，使用兩片相位差板4、4作為第一相位差板4A及第二相位差板4B時，將具有相同的Re(550)的區域彼此(例如第一區域a₁彼此、第二區域a₂彼此)成對來使用。

為了觀察通過被檢查物10的光，亦可在光程9上且為第二相位差濾波器3B的兩側之光源2側的相反側的位置，配置包含CCD相機等的檢測手段5。例如，可藉由組合了CCD相機與影像處理裝置進行之影像處理解析自動地檢測，藉此進行被檢查物的檢查。或者，檢測手段5亦可為由人員目視觀察第二相位差濾波器3B而非裝置構件。

此外，檢查裝置100A以具備可動裝置(省略圖示)為佳，該可動裝置係可使被檢查物10、第一相位差板4A、第二相位差板4B、以及第一相位差濾波器3A、第二相位差濾波器3B的至少一者傾斜而使彼此面對面的角度不同，或者可使被檢查物10、第一相位差板4A、第二相位差板4B、以及第一相位差濾波器3A、第二相位差濾波器3B的至少一者於與光的光程9垂直的方向旋轉。藉由該等的傾斜，可微調整由PET系樹脂構成的剝離膜16a、第一相位差板4A、第二相位差板4B的相位差，而可進行更廣範圍的檢查。此外，藉由該等的旋轉，可使由PET系樹脂構成的剝離膜16a與第一相位差板4A、第二相位差板4B的軸對齊容易。

(檢查方法)

使用檢查裝置100A的檢查方法係如下所述。首先，將被檢查物10插入檢查裝置100A的內部之第一相位差板4A與第二相位差板4B之間。此時，配置成此等各膜的表面皆平行，並且，使被檢查物10中具備剝離膜16a之側朝向光源2的相反側且使圓偏光板1與第二相位差濾波器3B構成正交偏光。在此，就第一相位差板4A及第二相位差板4B而言，皆使用圖4所示之相位差板4，且皆配置成第一區域a₁位在光程9上。

接著，調整成第一相位差濾波器3A與第二相位差濾波器3B構成正交偏光。檢查裝置100A具備上述可動裝置時，可在將被檢查物10以任意方向插入之後，藉由可動裝置來使各膜的相對的位置關係變化而成為正交偏光。

光源2所發出的光入射至第一相位差濾波器3A並通過第一相位差濾波器3A而成為圓偏光，接著通過第一相位差板4A。為了檢查而使被檢查物10往面內方向中的任意方向移動，移動到被檢查物10的凹部R的部位時，通過第一相位差濾波器3A及第一相位差板4A的光係直接入射至第二相位差板4B，且被與第一相位差濾波器3A正交偏光的第二相位差濾波器3B遮斷。從檢測手段5側觀察時，第二相位差濾波器3B的表面呈陰暗。

另一方面，移動到被檢查物10的凹部以外的部位時，通過第一相位差濾波器3A及第一相位差板4A的光係入射至被檢查物10並通過被檢查物10，並且入射至第二相位差板4B，且被與被檢查物10正交偏光的第二相位差濾波器3B遮斷。此時，若被檢查物10中的圓偏光板1存在有缺陷時，在此缺陷部分中不會進行正常的遮斷，從檢測手段5側進行觀察時，缺陷部分會成為亮點而被觀察到。

在此，剝離膜16a具有相位差時，通過被檢查物10的圓偏光會受到影響，使通過第二相位差濾波器3B的光量增加(例如，成為超過光源的光量的5%或10%)，而使得存在於圓偏光板1之亮點的缺陷的檢測精確度降低。在此，藉由在被檢查物10與第二相位差濾波器3B之間配置第二相位差板4B以將被檢查物10中之剝離膜16a的相位差值消除，且補償剝離膜16a所引起之光的雙折射。

此外，第二相位差板4B係設計成為了有效地補償由剝離膜16a所引起的光的雙折射而盡可能地使剝離膜16a所具有的相位差值與波長分散特性一致，然而，由於剝離膜16a的相位差值的面內不均而難以在檢查視野整體充分遮斷光而進行檢查。此情形下，圓偏光板1之中，在相位差膜14的相位差值降低的部分由光學補償匹配，可能引起原本應該被觀察為亮點的缺陷被觀察為黑點。通常，由於黑點缺陷相較於亮點缺陷對於觀視確認性的影響較小，故即使黑點缺陷的缺陷大小大於亮點缺陷，大多仍可接受，因而判定為沒有問題。然而，若其黑點缺陷本應被觀察為肇因於相位差膜14之相位差值降低部位的亮點缺陷時，將增加對於觀視確認性的影響而成為問題。

因此，本實施型態中，對於被觀視確認為黑點的缺陷部位，使用具有與第一相位差板4A及第二相位差板4B不同之面內相位差的第三相位差板及第四相位差板。具體而言，使第一相位差板4A、第二相位差板4B皆沿著面內方向滑動，而使其第二區域a₂(第三相位差板、第四相位差板)皆位在光程9上。

在此配置下進行第二次的檢查。

如此，因使用面內相位差值不同的相位差板進行複數次檢查而提高以亮點缺陷觀察到缺陷的可能性，容易正確地辨識缺陷。在此，即使採用第二區域a₂(第三相位差板、第四相位差板)的檢查仍再次觀視確認為黑點時，使兩片的相位差板4、4再往第三區域a₃(第五相位差板、第六相位差板)滑動，進行第三次的檢查。

檢查中，亦可使被檢查物10、第一相位差板4A、第二相位差板4B、以及第一相位差濾波器3A、第二相位差濾波器3B的至少一者傾斜而使彼此面對面的角度不同，亦可使被檢查物10、第一相位差板4A、第二相位差板4B、以及第一相位差濾波器3A、第二相位差濾波器3B的至少一者於與光的光程9垂直的方向旋轉。藉由傾斜，可微調整剝離膜16a、第一相位差板4A、第二相位差板4B等的相位差，而可進行更廣範圍的檢查。此外，藉由該等的旋轉，可使由PET系樹脂構成的剝離膜16a與第一相位差板4A、第二相位差板4B的軸對齊容易。檢查裝置100A具備可動裝置時，可特別容易地進行此等操作。

根據以上所示的檢查方法，使用第三相位差板(a₂)及第四相位差板(a₂)來檢查在使用成對的第一相位差板4A及第二相位差板4B的檢查中觀察到黑色缺陷的部位，藉此，可調整相位差而可使被觀察到黑色缺陷的部位以亮點缺陷被觀察到。此外，此檢查方法中，將第一相位差濾波器3A及第二相位差濾波器3B配置成為構成正交偏光，因而在光程上不存在有被檢查物10時，來自光源的光會被第二相位差濾波器遮斷。因此，可大幅地抑制來自被檢查物10中之非通常形狀部分的漏光，而不會有造成檢查非通常形狀部分附近時的障礙。綜上所述，本實施型態的檢查方法可容易地判定非通常形狀的圓偏光板1有無缺陷。

<第二實施型態>

在此說明第二實施型態的檢查方法。第二實施型態的檢查方法與第一實施型態的檢查方法不同點係如圖5所示，檢查裝置100B中，於第一相位差板4A與被檢查物10之間配置高相位差板20。

高相位差板20係與被檢查物10為相同形狀的膜，於與被檢查物10之凹部R相對應的位置具有相同的凹部R’。由於高相位差板20係補足表面保護膜16b之相位差值，故以與表面保護膜16b相同的材料構成為佳，以聚對苯二甲酸乙二酯系樹脂構成為佳。

高相位差板20的Re(550)為5000nm以上為佳、7000nm以上較佳、8000nm以上為更佳、10000nm以上為特佳。此外，高相位差板20係配置成其慢軸與表面保護膜16b的慢軸大致平行為佳。

根據使用高相位差板20的檢查，除了第一實施型態的檢查方法所致之功效之外，還可抑制起因於表面保護膜16b所具有的相位差所產生之光的干涉而引起的觀察光的染色的情形。亦即，由於表面保護膜16b所具有的面內相位差，會有在檢查的觀察視野產生彩虹色的模樣而造成缺陷觀察的障礙的情形，然而，由於高相位差板20的面內相位差值較高，因此可將該彩虹色的光轉換成白色光而不會造成觀察的障礙。特別是，將高相位差板20的慢軸與表面保護膜16b的慢軸配置成大致平行時，可藉由面內相位差的加成性而將該彩虹色的光確實地轉換成可見光以外的光。

以上說明了本發明的較佳實施型態，但本發明不限於任何上述實施型態。例如，上述實施型態中顯示第一相位差濾波器3A及第一相位差板4A彼此為獨立之物，然而，第一相位差濾波器3A及第一相位差板 4A亦可為彼此積層的積層體而構成一片膜。第二相位差濾波器3B及第二相位差板4B亦同樣地可為一積層體。

此外，上述實施型態中，兩片的相位差板4(第一相位差板4A、第二相位差板4B)係採用在直線上排列Re(550)不同的第一區域a₁、第二區域a₂等的相位差板，惟，此相位差板亦可沿環狀排列Re(550)不同的區域。例如，能夠以自中心部放射狀地延伸的虛擬線為邊界將圓盤狀的膜劃分成相位差值不同的複數個區域，某一區域(第一區域；相當於第一相位差板)係Re(550)例如為1720nm的區域，與其相鄰的區域(第二區域；相當於第三相位差板)係Re(550)為1790nm的區域，更與其相鄰的區域(第三區域；相當於第三相位差板)係Re(550)為1860nm的區域。該區域的數量為任意者，例如可為四個、六個、八個等。

[產業上的利用可能性]

本發明可利用於圓偏光板的品質檢查。