WO2022038839A1 - 検査装置および導電率計 - Google Patents

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wall portion
measuring unit
sample water
electrode
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達哉 片岡
雄貴 山内
雅人 矢幡
裕一 増田
信寛 並河
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株式会社島津製作所
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    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/18—Water
    • G01N33/1826—Organic contamination in water
    • G01N33/1846—Total carbon analysis

Definitions

  • the present disclosure relates to a conductivity meter for measuring the conductivity of sample water and an inspection device provided with the conductivity meter.
  • the conductivity of the sample water may be measured as an index showing the properties of the sample water.
  • the conductivity of the sample water is an index showing the ratio of the electrolyte dissolved in the sample water, and is used, for example, for measuring the amount of TOC (Total Organic Carbon) in the sample water.
  • TOC Total Organic Carbon
  • Patent Document 1 describes a measurement chamber for accommodating a sample volume to be irradiated with UV light, and a first measurement chamber located between the measurement chamber and the UV light source. Devices for measuring the conductivity of a liquid are disclosed, including a UV permeable window that seals and closes the sides. Patent Document 1 discloses that two measurement electrodes are etched so as to be in contact with a liquid existing in the measurement chamber. Further, Patent Document 1 describes that an electrode, which is a measurement electrode, is connected to a computer via a cable.
  • the circuit that processes the detected values of the electrodes needs to be protected from contact with liquid.
  • a method of protecting the circuit from liquid for example, as in the device described in Patent Document 1 in which the electrode and the computer are connected by a cable, the electrode and the circuit are connected by a cable, and the area that handles the liquid such as sample water is used. There is a way to pull the circuit apart.
  • the cable connecting the electrode and the circuit becomes longer, noise is added to the detected value due to the influence of parasitic capacitance. Therefore, if the electrode and the circuit are connected by a cable, the accuracy of the conductivity meter will decrease.
  • One of the purposes of this disclosure is to improve the accuracy of the conductivity meter provided in the inspection device for inspecting the sample water and to protect the electrical system of the inspection device.
  • the inspection device of the present disclosure is an inspection device for inspecting sample water, and includes a housing, a wall portion having an opening that separates the inside of the housing into a first section and a second section, and sample water. It includes a conductivity meter for measuring the conductivity of the sample and an inflow tube for flowing sample water into the conductivity meter.
  • the conductivity meter includes a measuring unit having an electrode unit arranged so as to be in contact with sample water, and a substrate on which a circuit for processing information output from the measuring unit is mounted. The measuring unit and the substrate are connected with the wall portion interposed therebetween.
  • the measuring portion is arranged on the first surface of the wall portion on the first section side so that the electrode portion is located at the opening.
  • the substrate is arranged on the second surface of the wall portion on the second compartment side so that the contact point for electrically connecting the electrode portion and the circuit is located at the opening portion.
  • the conductivity meter of the present disclosure is a conductivity meter for measuring the conductivity of sample water, and processes a measuring unit including an electrode unit arranged so as to be in contact with the sample water and information output from the measuring unit. Includes a board on which the circuit to be mounted is mounted.
  • the measuring unit and the substrate are connected with a wall portion that separates the inside of the housing into the first section and the second section.
  • the measuring portion is arranged on the first surface of the wall portion on the first section side so that the electrode portion is located at the opening provided in the wall portion.
  • the substrate is arranged on the second surface of the wall portion on the second compartment side so that the contact point for electrically connecting the electrode portion and the circuit is located at the opening portion.
  • the substrate is arranged in the first compartment in which the measuring portion having the electrode portion arranged so as to be in contact with the sample water is arranged and in the second compartment separated by the wall portion, the substrate is sampled. Can be protected from water. Furthermore, since the electrode portion and the contact point of the substrate are connected via the opening of the wall portion, the distance from the electrode portion to the circuit can be shortened, and as a result, the information output from the measurement portion is noisy. It can be sent to the circuit so that it does not get stuck.
  • FIG. 5 is a schematic cross-sectional view taken along the line VI-VI in FIG.
  • FIG. 5 is a schematic diagram which shows the 1st surface 142 in the state which the measuring part 32 was removed.
  • FIG. 1 is a schematic diagram for explaining the overall configuration of the inspection device 1.
  • the inspection device 1 is a device for measuring the TOC amount (TOC concentration) in the sample water.
  • the inspection device 1 is a so-called wet oxidation type inspection device that oxidizes organic substances in the sample water by irradiating the sample water with ultraviolet rays.
  • the inspection device 1 draws the sample water S in the vial bottle 12 into the flow path F by the pump P.
  • a UV light source 20 and a conductivity meter 30 are arranged on the flow path F.
  • the UV light source 20 includes an inner tube through which the sample water S passes through the inner space and an outer tube arranged at intervals on the outer periphery of the inner tube, and is between the outer tube and the inner tube.
  • This is a double-cylinder excimer lamp that irradiates the internal space of the inner tube with ultraviolet rays from the discharge gas enclosed in the discharge space.
  • the vial bin 12 and the inner tube (upstream side) of the UV light source 20 are connected by a tube T1 constituting the flow path F. Further, a tube T2 is connected to the downstream side of the inner tube of the UV light source 20.
  • the inner pipe can be said to be a part of the flow path F.
  • the conductivity meter 30 includes a flow path that can be connected to the tube T2.
  • a tube T3 is connected to the downstream side of the flow path provided in the conductivity meter 30, and the sample water S that has passed through the conductivity meter 30 is discharged through the tube T3.
  • the conductivity meter 30 can detect the decomposition product of the sample water S by measuring the conductivity changed by carbon dioxide which is a decomposition product.
  • FIG. 2 is a schematic view showing the overall structure of the housing 10 of the inspection device 1.
  • a tube T1 for connecting to the vial bin 12 extends from the housing 10 of the inspection device 1.
  • the UV light source 20, the conductivity meter 30, and the pump P described with reference to FIG. 1 are arranged in the housing 10. The method of arrangement will be described later.
  • the inside of the housing 10 is separated by a wall portion 14 into a water section A1 that handles the sample water S and an electric section A2 that does not handle the sample water S.
  • a flow path F is arranged in the water section A1.
  • the electric section A2 a device to be protected from water is arranged.
  • a board on which a circuit is mounted, a power system, and the like are arranged in the electric section A2.
  • the substrate on which the circuit is mounted is protected from water. You can protect your data.
  • the surface of the wall portion 14 is the YZ surface, and the axis orthogonal to each of the Y axis and the Z axis is the X axis.
  • FIG. 3 is a schematic view showing the first surface 142 of the wall portion 14 on the water section A1 side.
  • a UV light source 20, a pump P, and a measuring unit 32 of a conductivity meter 30 are attached to the first surface 142 in the housing 10.
  • Each device attached to the first surface 142 is connected to each other via a tube.
  • the tube T1 is connected to the upstream side of the UV light source 20. Although not shown, the tube T1 is connected to the vial bin 12.
  • the tube T2 is connected to the upstream side of the UV light source 20.
  • the tube T2 functions as a cooling unit.
  • at least a part of the tube T2 is made of a material having a higher thermal conductivity than other tubes.
  • Oxidation heat is generated when the organic matter in the sample water S is oxidized.
  • the conductivity changes as the temperature changes. Therefore, it is necessary to release the heat of oxidation generated before the sample water S is measured by the conductivity meter 30.
  • highly accurate conductivity measurement can be performed.
  • the measuring unit 32 of the conductivity meter 30 is connected to the downstream side of the tube T2.
  • the conductivity meter 30 is a substrate 34 (FIG. 4) on which a measuring unit 32 having a pair of electrodes 324 (see FIG. 6) in contact with the sample water S and a circuit 342 for processing information output from the measuring unit 32 are mounted. See) and.
  • the circuit 342 performs, for example, a process (A / D conversion process) of converting analog information output from the measurement unit into digital information.
  • the circuit 342 may include a calculation circuit or the like that performs a process of calculating a measured value based on digital information.
  • the measuring unit 32 is arranged on the water section A1 side in the housing 10.
  • the substrate 34 is arranged on the electric compartment A2 side in the housing 10.
  • a flow path is formed inside the measurement unit 32, and the flow path inside the measurement unit 32 is connected to the tube T2 and the tube T3. As described above, the parts through which the sample water S passes are arranged in the water section A1.
  • the conductivity meter 30 may be any as long as it measures an index indicating the conductivity of the sample water, and is not limited to measuring the conductivity.
  • the conductivity meter 30 may measure the resistivity.
  • the conductivity meter 30 has a pair of electrodes 324 and measures the conductivity of the sample water by the two-terminal method, but other methods such as the four-probe method and the four-terminal method are used.
  • the conductivity of the sample water may be measured by the method. That is, the conductivity meter 30 may be provided with an electrode portion arranged so as to be in contact with the sample water for measuring an index indicating the conductivity of the sample water, and the electrode portion is composed of two electrodes. It may be configured with four electrodes.
  • FIG. 4 is a schematic view showing a second surface 144 of the wall portion 14 on the electric compartment A2 side.
  • a cover 102 is attached to the back surface of the housing 10, and a wall portion is further arranged between the cover 102 and the wall portion 14.
  • a substrate 34 on which the circuit 342 is mounted is mounted on the second surface 144. Further, a power supply device 50 is arranged in the electric section A2.
  • the circuit 342 and the power supply device 50 may cause a malfunction.
  • the inside of the housing 10 is separated by a wall portion 14 between the water section A1 that handles the sample water S and the electric section A2 that does not handle the sample water S, and if it gets wet with water such as the circuit 342 and the power supply device 50, it breaks down.
  • the device By arranging the device to be stored in the electric section A2, it is possible to provide the inspection device 1 which is less likely to break down.
  • the conductivity meter 30 includes a measuring unit 32 arranged on the water section A1 side and a substrate 34 (see FIG. 9) arranged on the electric section A2 side.
  • a measuring unit 32 arranged on the water section A1 side
  • a substrate 34 arranged on the electric section A2 side.
  • FIG. 5 is a front view of the measuring unit 32.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view taken along the VI-VI line in FIG.
  • the front view of the measuring unit 32 shown in FIG. 5 is a front view of the surface facing the first surface 142 when the measuring unit 32 is attached to the first surface 142.
  • some configurations such as screws and connecting portions 327 and 328 are omitted.
  • the measuring unit 32 includes two openings 323, two electrode contacts 324a, two thermistor contacts 326a, and connecting portions 327,328.
  • the opening 323 has a shape in which the columnar connecting portion 343 included in the substrate 34 can be inserted (see FIG. 8).
  • Each of the two openings 323 is formed in the housing of the measuring unit 32, and is provided at a position corresponding to the two connecting portions 343 included in the substrate 34.
  • the electrode contact 324a is a contact of the electrode 324 shown in FIG. As shown in FIG. 6, the electrode 324 is formed so as to penetrate the flow path F formed in the measuring unit 32. As a result, when the sample water S flows through the flow path F, the sample water S comes into contact with at least a part of the electrode 324. Although only the electrode 324 on one side is shown in FIG. 6, the other electrode 324 is also formed so as to penetrate the flow path F formed in the measuring unit 32.
  • the two thermistor contacts 326a are each electrically connected to the thermistor 326 shown in FIG. 6 arranged on the flow path F formed in the measuring unit 32.
  • the thermistor 326 measures the temperature of the sample water S passing through the flow path F formed in the measuring unit 32. Conductivity is affected by temperature. Since the conductivity meter 30 is provided with the thermistor 326, the temperature of the sample water S can be measured, so that the conductivity can be accurately measured.
  • the connecting portions 327 and 328 are configured to be connectable to the tube T2 and the tube T3, respectively. By connecting the tube T2 and the tube T3 to the connecting portions 327 and 328, the sample water S flows into the flow path F in the measuring portion 32.
  • FIG. 7 is a schematic view showing the first surface 142 in a state where the measuring unit 32 is removed.
  • FIG. 8 is a diagram for explaining a method of connecting the measuring unit 32 and the substrate 34.
  • FIG. 9 is a diagram showing a state when the measuring unit 32 and the substrate 34 are connected.
  • an opening 146 is formed in the wall portion 14.
  • a packing 148 is provided on the first surface 142, which is the outer periphery of the opening 146. Further, the opening 146 is smaller than the measuring unit 32 and the substrate 34, and the measuring unit 32 and the substrate 34 are electrically connected via the opening 146 with the wall portion 14 interposed therebetween.
  • the substrate 34 is arranged on the electric compartment A2 side.
  • the substrate 34 is for electrically connecting the thermistor 326 and the circuit 342 with a pair of electrode contacts 344 for electrically connecting the electrodes 324 and the circuit 342. It comprises a pair of thermistor contacts 346 and two connecting portions 343.
  • the substrate 34 is arranged on the second surface 144 so that the electrode contact 344 and the thermistor contact 346 are located at the opening 146.
  • the two connecting portions 343 are cylindrical protrusions.
  • the two connecting portions 343 are formed on the surface on which the electrode contacts 344 are arranged so as to project toward the water compartment A1 side through the opening 146 when the substrate 34 is arranged on the second surface 144.
  • connection unit 343 is inserted into the opening 323 of the measurement unit 32 when the measurement unit 32 is arranged on the first surface 142, and connects the measurement unit 32 and the substrate 34. That is, the opening 323 of the measurement unit 32 and the connection unit 343 of the substrate 34 function as a connection unit for connecting the measurement unit 32 and the substrate 34.
  • connection portion 343 when the connection portion 343 is inserted into the opening 323 to connect the measurement unit 32 and the substrate 34, the electrode contact 324a of the measurement unit 32 and the electrode contact 344 of the substrate 34 come into contact with each other. As a result, the electrode 324 and the circuit 342 are electrically connected.
  • the connection portion 343 when the connection portion 343 is inserted into the opening 323 to connect the measurement unit 32 and the substrate 34, the thermistor contact 326a of the measurement unit 32 and the thermistor contact 346 of the substrate 34 come into contact with each other, resulting in contact.
  • the thermistor 326 and the circuit 342 are electrically connected.
  • FIG. 9 the description of the configuration of the connection portion 343, the opening portion 323, and the like is omitted.
  • the electrode contact 324a of the measuring unit 32 and the electrode contact 344 of the substrate 34 are gold-plated in order to reduce the contact resistance.
  • the thermistor contact 326a of the measuring unit 32 and the thermistor contact 346 of the substrate 34 are preferably gold-plated in order to reduce contact resistance.
  • the measuring portion 32 of the conductivity meter 30 and the substrate 34 are connected with the wall portion 14 sandwiched between them, and the electrode contact 324a of the electrode 324 and the electrode contact 344 of the substrate 34 are connected to each other. It is arranged so as to be located at the opening 146 of 14.
  • the electrode 324 (more accurately, the electrode contact 324a) and the electrode contact 344 of the substrate 34 can be brought into direct contact with each other, and the information output from the measuring unit 32 (for example, analog information which is a detected value) is generated as noise. It can be sent to the circuit 342 of the board 34 so that it does not get stuck. Further, since the electronic devices such as the substrate 34 are arranged in the electric section A2 separated from the water section A1 by the wall portion 14, they can be protected from the sample water S.
  • the packing 148 is arranged between the measuring unit 32 and the first surface 142, it is possible to prevent water from entering the electric compartment A2 side from the gap between the measuring unit 32 and the first surface 142.
  • the waterproofness of the electric compartment A2 side can be enhanced.
  • the packing 148 may be any seal as long as it can prevent water from entering the electric compartment A2 side from the gap between the measuring unit 32 and the first surface 142, and may be a gasket or the like.
  • the material of the packing 148 may be any material as long as it is resistant to the sample to be measured by the inspection device 1, and may be appropriately selected depending on the measurement target. Further, although the packing 148 is said to be arranged on the first surface 142, it may be arranged on the measuring unit 32.
  • the inspection device 1 is a device for measuring the TOC amount in the sample water.
  • the conductivity meter 30 described in this embodiment has a different configuration from the inspection device 1 shown in the above embodiment if it is an inspection device having a configuration in which it is arranged on a flow path through which sample water (liquid sample) flows. It can also be applied to the inspection equipment of. For example, the conductivity meter 30 can be applied to an inspection device that does not have a UV light source 20.
  • the measuring unit 32 and the substrate 34 are connected by inserting the connecting unit 343 into the opening 323 with the wall portion 14 sandwiched between the measuring unit 32 and the substrate 34.
  • the conductivity meter 30 was fixed to the wall portion 14.
  • the measuring unit 32 and the substrate 34 may be individually fixed to the wall unit 14. In the case of a configuration in which the conductivity meter 30 is fixed to the wall portion 14 by connecting the measuring unit 32 and the substrate 34, there is an advantage that the number of parts can be reduced.
  • the inspection device for inspecting the sample water includes a housing, a wall portion having an opening that separates the inside of the housing into a first section and a second section, and a first.
  • a conductivity meter for measuring the conductivity of the sample water and an inflow pipe for flowing the sample water into the conductivity meter are provided in the compartment.
  • the conductivity meter includes a measuring unit having an electrode unit arranged so as to be in contact with sample water, and a substrate on which a circuit for processing information output from the measuring unit is mounted.
  • the measuring unit and the substrate are connected with the wall portion interposed therebetween.
  • the measuring portion is arranged on the first surface of the wall portion on the first section side so that the electrode portion is located at the opening.
  • the substrate is arranged on the second surface of the wall portion on the second compartment side so that the contact point for electrically connecting the electrode portion and the circuit is located at the opening.
  • the substrate is arranged in the first section in which the measuring section having the electrode section arranged so as to be in contact with the sample water is arranged and the second section separated by the wall portion. Therefore, the substrate can be protected from the sample water. Furthermore, since the electrode portion and the contact point of the substrate are connected via the opening of the wall portion, the distance from the electrode portion to the circuit can be shortened, and as a result, the information output from the measurement portion is noisy. It can be sent to the circuit so that it does not get stuck.
  • the inspection device further includes a seal arranged between the wall portion and the measurement portion, which is the outer periphery of the opening on the first surface.
  • the inspection device described in the second section it is possible to prevent water from entering the second compartment side from between the wall portion and the measurement portion, so that the waterproofness of the second compartment side on which the substrate is arranged is enhanced. Can be done.
  • the inspection device since the contact resistance between the contact of the substrate and the contact of the electrode portion can be reduced, it is possible to prevent noise from being added to the information output from the measurement unit. ..
  • the measuring unit further includes a temperature sensor for measuring the temperature of the sample water.
  • the contacts of the temperature sensor are arranged so as to be located at the opening when the measuring unit is arranged on the first surface.
  • the contacts of the substrate that electrically connect the contacts of the temperature sensor and the circuit are arranged so as to be located at the opening when the substrate is arranged on the second surface.
  • the conductivity affected by the temperature can be measured more accurately. Further, since the contact of the temperature sensor and the contact of the substrate are connected through the opening of the wall portion, the distance from the temperature sensor to the circuit can be shortened, and as a result, the information output from the temperature sensor can be shortened. Can be sent to the circuit without noise.
  • the conductivity meter further includes a connection part for connecting the measurement part and the substrate.
  • the conductivity meter for measuring the conductivity of the sample water processes the measuring unit including the electrode unit arranged so as to be in contact with the sample water and the information output from the measuring unit. It includes a board on which a circuit is mounted.
  • the measuring unit and the substrate are connected with a wall portion that separates the inside of the housing into the first section and the second section.
  • the measuring portion is arranged on the first surface of the wall portion on the first section side so that the electrode portion is located at the opening provided in the wall portion.
  • the substrate is arranged on the second surface of the wall portion on the second compartment side so that the contact point for electrically connecting the electrode portion and the circuit is located at the opening portion.
  • the substrate is arranged in the first section where the measuring section having the electrode section arranged so as to be in contact with the sample water is arranged and the second section separated by the wall portion. Therefore, the substrate can be protected from the sample water. Furthermore, since the electrode portion and the contact point of the substrate are connected via the opening of the wall portion, the distance from the electrode portion to the circuit can be shortened, and as a result, the information output from the measurement portion is noisy. It can be sent to the circuit so that it does not get stuck.
  • the measuring unit is arranged on the first surface of the wall portion via a seal arranged on the outer periphery of the opening on the first surface.
  • the conductivity meter according to the seventh item it is possible to prevent water from entering the second compartment side from between the wall portion and the measurement portion, so that the waterproofness of the second compartment side on which the substrate is arranged is enhanced. be able to.

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Abstract

検査装置（１）が備える試料水の導電性を測定する導電率計（３０）は、試料水に接触するように配置された電極（３２４）を有する測定部（３２）と、測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板（３４）とを備える。測定部と基板とは、筐体（１０）内を水区画（Ａ１）と電気区画（Ａ２）とに隔てる壁部（１４）を挟んで接続される。測定部は、電極が壁部に設けられた開口部（１４６）に位置するように、水区画側の壁部の第１面（１４２）に配置される。基板は、電極と回路とを電気的に接続する電極接点（３４４）が開口部に位置するように、電気区画側の壁部の第２面（１４４）に配置される。

Description

検査装置および導電率計
　本開示は、試料水の導電性を測定する導電率計および、導電率計を備えた検査装置に関する。
　試料水の性質を示す指標として、試料水の導電性を測定することがある。試料水の導電性は、試料水中に溶解している電解質の割合を示す指標であって、たとえば、試料水中のＴＯＣ（Total　Organic　Carbon：全有機体炭素）量を測定するために利用される。具体的には、試料水中の有機物を酸化させて得られる分解産物によって試料水中の導電性が変わるため、試料水中の導電性を測定することで分解産物を検出でき、分解産物を検出することでＴＯＣ量を測定できる。
　特許第６５５６６９９号公報（特許文献１）には、ＵＶ光線で照射しようとするサンプル体積を収納するための測定チャンバと、測定チャンバとＵＶ光線源の間に位置して、測定チャンバの第１の側を密封して閉止するＵＶ透過性窓とを含む、液体の導電性を測定するための装置が開示されている。特許文献１には、測定チャンバ内に存在する液体と接触するように２つの測定電極がエッチングされていることが開示されている。また、特許文献１には、測定電極である電極がケーブルを介してコンピュータに接続されていることが記載されている。
特許第６５５６６９９号公報
　電極の検出値を処理する回路は、液体に接触されないように保護されている必要がある。回路を液体から保護する方法として、たとえば、電極とコンピュータとをケーブルで繋ぐ特許文献１に記載の装置のように、電極と回路とをケーブルで接続し、試料水のような液体を扱うエリアから回路を引き離す方法がある。しかし、電極と回路とを繋ぐケーブルが長くなることで、寄生容量の影響を受けて検出値にノイズがのっかってしまう。そのため、電極と回路とをケーブルで接続すると、導電率計の精度が下がってしまう。
　一方、電極と回路との距離を近づけると、導電率計の精度を上げることができるものの、回路が液体に接触する可能性が上がってしまう。
　本開示は、試料水を検査する検査装置が備える導電率計の精度を上げるとともに、検査装置の電気系統を保護することを一の目的とする。
　本開示の検査装置は、試料水を検査するための検査装置であって、筐体と、筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる、開口部が設けられた壁部と、試料水の導電性を測定する導電率計と、導電率計に試料水を流入させる流入管とを含む。導電率計は、試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部と、測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを含む。測定部と基板とは、壁部を挟んで接続される。測定部は、電極部が開口部に位置するように、第１区画側の壁部の第１面に配置される。基板は、電極部と回路とを電気的に接続する接点が開口部に位置するように、第２区画側の壁部の第２面に配置される。
　本開示の導電率計は、試料水の導電性を測定する導電率計であって、試料水に接触するように配置された電極部を含む測定部と、測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを含む。測定部と基板とは、筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる壁部を挟んで接続される。測定部は、電極部が壁部に設けられた開口部に位置するように、第１区画側の壁部の第１面に配置される。基板は、電極部と回路とを電気的に接続する接点が開口部に位置するように、第２区画側の壁部の第２面に配置される。
　本開示によれば、試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部が配置された第１区画と壁部で隔てられた第２区画に基板が配置されるため、基板を試料水から保護できる。さらに、壁部の開口部を介して電極部と、基板の接点とが接続されるため、電極部から回路までの距離を短くすることができ、その結果、測定部から出力された情報をノイズがのらないように回路に送ることができる。
検査装置１の全体構成を説明するための模式図である。 検査装置１の筐体１０の全体構造を示す模式図である。 水区画Ａ１側の壁部１４の第１面１４２を示す模式図である。 電気区画Ａ２側の壁部１４の第２面１４４を示す模式図である。 測定部３２の正面図である。 図５中のＶＩ－ＶＩ線に沿う概略断面図である。 測定部３２を取り外した状態の第１面１４２を示す模式図である。 測定部３２と基板３４との接続方法を説明するための図である。 測定部３２と基板３４とを接続したときの状態を示す図である。
　以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。
　＜検査装置１の全体構成＞
　図１は、検査装置１の全体構成を説明するための模式図である。検査装置１は、試料水中のＴＯＣ量（ＴＯＣの濃度）を測定するための装置である。検査装置１は、試料水に紫外線を照射することで試料水中の有機物を酸化させる、いわゆる湿式酸化式の検査装置である。
　図１を参照して、検査装置１は、バイアルビン１２内の試料水ＳをポンプＰで流路Ｆ内に引き込む。流路Ｆ上には、ＵＶ光源２０および導電率計３０が配置されている。
　図示していないものの、ＵＶ光源２０は、試料水Ｓが内部空間を通過する内管と、内管の外周に間隔をあけて配置された外管とを備え、外管と内管との間の放電空間内に封入された放電ガスからの紫外線を内管の内部空間に照射する、二重筒型のエキシマランプである。ＵＶ光源２０の内部空間内を通る試料水Ｓに紫外線を照射することで、試料水Ｓ中の有機物が酸化される。
　バイアルビン１２とＵＶ光源２０の内管（上流側）とは、流路Ｆを構成するチューブＴ１によって接続されている。また、ＵＶ光源２０の内管の下流側には、チューブＴ２が接続されている。なお、内管は、流路Ｆの一部ともいえる。
　導電率計３０は、チューブＴ２と接続可能な流路を備える。導電率計３０が備える流路の下流側にはチューブＴ３が接続されており、導電率計３０を通過した試料水Ｓは、チューブＴ３を通って排出される。
　試料水Ｓ中の有機物は、紫外線により酸化されると、最終的に水と二酸化炭素に分解される。分解産物である二酸化炭素が水に溶解するとイオンを生じ、試料水Ｓの導電率が変化する。導電率計３０は、分解産物である二酸化炭素により変化する導電率を測定することで、試料水Ｓの分解産物を検出できる。
　図２は、検査装置１の筐体１０の全体構造を示す模式図である。検査装置１の筐体１０からはバイアルビン１２と接続するためのチューブＴ１が伸びている。筐体１０内には、図１を参照して説明した、ＵＶ光源２０と、導電率計３０と、ポンプＰとが配置されている。配置の仕方については、後述する。
　筐体１０内は、壁部１４によって、試料水Ｓを扱う水区画Ａ１と、試料水Ｓを扱わない電気区画Ａ２とに隔てられる。水区画Ａ１には、たとえば、流路Ｆが配置される。一方、電気区画Ａ２には、水からの保護を受けるべき装置が配置される。たとえば、電気区画Ａ２には、回路が実装された基板、電力系統などが配置される。
　図２に示すように、本実施の形態にかかる検査装置１の筐体１０内は、壁部１４によって水区画Ａ１と電気区画Ａ２とに隔てられるため、回路が実装された基板を水から保護でき、データを保護できる。
　なお、壁部１４の面をＹ－Ｚ面とし、Ｙ軸およびＺ軸のそれぞれに直交する軸をＸ軸とする。
　＜水区画Ａ１＞
　水区画Ａ１内に配置された装置を説明する。図３は、水区画Ａ１側の壁部１４の第１面１４２を示す模式図である。筐体１０内の第１面１４２には、ＵＶ光源２０、ポンプＰ、導電率計３０の測定部３２が取り付けられている。第１面１４２に取り付けられた各装置は、チューブを介して互いに接続されている。
　ＵＶ光源２０の上流側にはチューブＴ１が接続されている。図示していないものの、チューブＴ１は、バイアルビン１２に接続されている。
　ＵＶ光源２０の上流側にはチューブＴ２が接続されている。チューブＴ２は、冷却部の機能をはたしている。具体的には、チューブＴ２の少なくとも一部は、他のチューブよりも熱伝導率の高い素材から構成されている。
　試料水Ｓ中の有機物が酸化されると酸化熱が発生する。導電率は、温度が変化することで変化する。そのため、導電率計３０で試料水Ｓを測定するまでに発生した酸化熱を放出しておく必要がある。上述のように、チューブＴ２に冷却部の機能を持たせることで、精度の高い導電率測定ができる。
　チューブＴ２の下流側には、導電率計３０の測定部３２が接続されている。導電率計３０は、試料水Ｓと接触する一対の電極３２４（図６参照）を有する測定部３２と、測定部３２から出力された情報を処理する回路３４２が実装された基板３４（図４参照）とを備える。回路３４２は、たとえば、測定部から出力されるアナログ情報をデジタル情報に変換する処理（Ａ／Ｄ変換処理）を行う。なお、回路３４２は、デジタル情報に基づいて測定値を演算する処理を行う演算回路などを含み得る。測定部３２は、筐体１０内の水区画Ａ１側に配置されている。一方、基板３４は、筐体１０内の電気区画Ａ２側に配置されている。
　測定部３２の内部には流路が形成されており、測定部３２内部の流路がチューブＴ２とチューブＴ３とに接続されている。以上のように、水区画Ａ１には、試料水Ｓが通過する部品が配置される。
　なお、導電率計３０は、試料水の導電性を示す指標を測定するものであればよく、導電率を測定するものに限られない。たとえば、導電率計３０は、抵抗率を測定するものであってもよい。また、本実施の形態においては、導電率計３０は、一対の電極３２４を有し二端子法で試料水の導電率を測定するものとしたが、四探針法、四端子法など他の方法で試料水の導電率を測定してもよい。すなわち、導電率計３０は、試料水と接触するように配置された、試料水の導電性を示す指標を測定するための電極部を備えていればよく、電極部は、２つの電極で構成されていても、４つの電極で構成されていてもよい。
　＜電気区画Ａ２＞
　電気区画Ａ２内に配置された装置を説明する。図４は、電気区画Ａ２側の壁部１４の第２面１４４を示す模式図である。なお、筐体１０の背面にはカバー１０２が取り付けられており、カバー１０２と壁部１４との間にさらに壁部が配置されている。
　図４を参照して、第２面１４４には、回路３４２が実装された基板３４が取り付けられている。また、電気区画Ａ２には、電源装置５０が配置されている。
　回路３４２および電源装置５０が水に濡れると故障の原因となる。検査装置１において、試料水Ｓを扱う水区画Ａ１と試料水Ｓを扱わない電気区画Ａ２とに筐体１０内を壁部１４で隔て、回路３４２および電源装置５０といった水に濡れると故障してしまう装置を電気区画Ａ２に配置することで、故障しにくい検査装置１を提供できる。
　＜導電率計３０＞
　上述したように、導電率計３０は、水区画Ａ１側に配置された測定部３２と、電気区画Ａ２側に配置された基板３４（図９参照）とを備える。以下では、測定部３２の構成および測定部３２と基板３４との電気的な接続方法について説明する。
　図５および図６を参照して、測定部３２の構成について説明する。図５は、測定部３２の正面図である。図６は、図５中のＶＩ－ＶＩ線に沿う概略断面図である。図５に示した測定部３２の正面図は、第１面１４２に測定部３２を取り付けたときに第１面１４２と対向する面を正面としたものである。なお、図６において、ネジ、連結部３２７，３２８など、一部の構成については、記載を省略している。
　図５を参照して、測定部３２は、２つの開口部３２３、２つの電極接点３２４ａ、２つのサーミスタ接点３２６ａ、および連結部３２７，３２８を備える。
　開口部３２３は、基板３４が備える円柱状の接続部３４３を挿入可能な形状をしている（図８参照）。２つの開口部３２３は、それぞれ、測定部３２の筐体に形成されており、基板３４が備える２つの接続部３４３と対応する位置に設けられている。
　電極接点３２４ａは、図６に示す電極３２４の接点である。電極３２４は、図６に示すように、測定部３２内に形成された流路Ｆを貫通するように形成されている。その結果、流路Ｆに試料水Ｓが流れたときに、電極３２４の少なくとも一部に試料水Ｓが触れる構成となっている。なお、図６においては、片側の電極３２４についてのみ示しているものの、もう一方の電極３２４も同様に測定部３２内に形成された流路Ｆを貫通するように形成されている。
　２つのサーミスタ接点３２６ａは、図示していないものの、それぞれ、測定部３２内に形成された流路Ｆ上に配置された、図６に示すサーミスタ３２６に電気的に接続されている。サーミスタ３２６は、測定部３２内に形成された流路Ｆを通過する試料水Ｓの温度を測定する。導電率は、温度の影響を受ける。導電率計３０は、サーミスタ３２６を備えることで、試料水Ｓの温度を測定することができるため、正確に導電率の測定を行うことができる。
　連結部３２７，３２８は、それぞれ、チューブＴ２、チューブＴ３と接続可能に構成されている。連結部３２７，３２８に、チューブＴ２、チューブＴ３を接続することで、測定部３２内の流路Ｆに試料水Ｓが流れることとなる。
　次に、測定部３２と基板３４との接続方法について説明する。図７は、測定部３２を取り外した状態の第１面１４２を示す模式図である。図８は、測定部３２と基板３４との接続方法を説明するための図である。図９は、測定部３２と基板３４とを接続したときの状態を示す図である。
　図７を参照して、壁部１４には、開口部１４６が形成されている。開口部１４６の外周であって、第１面１４２には、パッキン１４８が設けられている。また、開口部１４６は、測定部３２および基板３４よりも小さく、測定部３２および基板３４は、壁部１４を挟んで、開口部１４６を介して電気的に接続されている。
　基板３４は、上述したように、電気区画Ａ２側に配置されている。図７および図８を参照して、基板３４は、電極３２４と回路３４２とを電気的に接続するための１対の電極接点３４４と、サーミスタ３２６と回路３４２とを電気的に接続するための１対のサーミスタ接点３４６と、２つの接続部３４３とを備える。
　基板３４は、開口部１４６に電極接点３４４およびサーミスタ接点３４６が位置するように、第２面１４４に配置される。
　２つの接続部３４３は、円柱形状をした突起物である。２つの接続部３４３は、基板３４を第２面１４４に配置したときに、開口部１４６を介して水区画Ａ１側に突出されるように電極接点３４４が配置された面に形成されている。
　図８を参照して、接続部３４３は、測定部３２を第１面１４２に配置したときに、測定部３２の開口部３２３内に挿入され、測定部３２と基板３４とを接続する。すなわち、測定部３２の開口部３２３と、基板３４の接続部３４３とが、測定部３２と基板３４とを接続する接続部として機能する。
　図９を参照して、接続部３４３を開口部３２３に挿入して測定部３２と基板３４とを接続すると、測定部３２の電極接点３２４ａと、基板３４の電極接点３４４とが接触し、その結果、電極３２４と回路３４２とが電気的に接続される。図示していないものの、接続部３４３を開口部３２３に挿入して測定部３２と基板３４とを接続すると、測定部３２のサーミスタ接点３２６ａと基板３４のサーミスタ接点３４６とが接触し、その結果、サーミスタ３２６と回路３４２とが電気的に接続される。なお、図９において、接続部３４３および開口部３２３などの構成については記載を省略している。
　ここで、測定部３２の電極接点３２４ａおよび基板３４の電極接点３４４には、接触抵抗を低減させるために金めっきが施されていることが好ましい。同様に、測定部３２のサーミスタ接点３２６ａおよび基板３４のサーミスタ接点３４６には、接触抵抗を低減させるために金めっきが施されていることが好ましい。
　以上のように、導電率計３０の測定部３２と基板３４とは、壁部１４を間に挟んで接続されており、電極３２４の電極接点３２４ａと、基板３４の電極接点３４４とが壁部１４の開口部１４６に位置するように配置されている。
　そのため、電極３２４（より正確には電極接点３２４ａ）と基板３４の電極接点３４４とを直接接触させることができ、測定部３２から出力された情報（たとえば、検出値であるアナログ情報）を、ノイズがのらないように基板３４の回路３４２に送ることができる。さらに、基板３４等の電子機器類は、壁部１４で水区画Ａ１とは区切られた電気区画Ａ２に配置されるため、試料水Ｓから保護できる。
　また、測定部３２と第１面１４２との間にパッキン１４８が配置されるため、測定部３２と第１面１４２との間の隙間から電気区画Ａ２側への水の侵入を防止できるため、電気区画Ａ２側の防水性を高めることができる。なお、パッキン１４８は、測定部３２と第１面１４２との間の隙間から電気区画Ａ２側への水の侵入を防止できるシールであればよく、ガスケットなどでもよい。また、パッキン１４８の材質は、検査装置１が測定対象とする試料に対して耐性のある材質であればよく、測定対象に応じて適宜選択され得る。また、パッキン１４８は、第１面１４２に配置されているとしたが、測定部３２に配置されていてもよい。
　上記実施の形態において、検査装置１は、試料水中のＴＯＣ量を測定するための装置であるとした。なお、本実施の形態に記載の導電率計３０は、試料水（液体試料）が流れる流路上に配置する構成を有する検査装置であれば上記実施の形態に示した検査装置１とは異なる構成の検査装置にも適用可能である。たとえば、導電率計３０は、ＵＶ光源２０を備えていない検査装置にも適用可能である。
　上記実施の形態において、測定部３２と基板３４との間に壁部１４を挟んだ状態で、接続部３４３を開口部３２３に挿入することで、測定部３２と基板３４とを接続させるとともに、導電率計３０を壁部１４に固定させた。なお、導電率計３０は、測定部３２と基板３４とを個々に壁部１４に固定させてもよい。なお、測定部３２と基板３４とを接続させることで導電率計３０を壁部１４に固定する構成の場合、部品点数を減らせるという利点がある。
　［態様］
　上述した実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
　（第１項）一態様に係る試料水を検査するための検査装置は、筐体と、筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる、開口部が設けられた壁部と、第１区画に配置された、試料水の導電性を測定する導電率計と、導電率計に試料水を流入させる流入管とを備える。導電率計は、試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部と、測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを含む。測定部と基板とは、壁部を挟んで接続される。測定部は、電極部が開口部に位置するように、第１区画側の壁部の第１面に配置される。基板は、電極部と回路とを電気的に接続する接点が開口部に位置するように、第２区画側の壁部の第２面に配置される。
　第１項に記載の検査装置によれば、試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部が配置された第１区画と壁部で隔てられた第２区画に基板が配置されるため、基板を試料水から保護できる。さらに、壁部の開口部を介して電極部と、基板の接点とが接続されるため、電極部から回路までの距離を短くすることができ、その結果、測定部から出力された情報をノイズがのらないように回路に送ることができる。
　（第２項）第１項に記載の検査装置は、第１面の開口部の外周であって、壁部と測定部との間に配置されたシールをさらに備える。
　第２項に記載の検査装置によれば、壁部と測定部との間から第２区画側への水の侵入を防止できるため、基板が配置された第２区画側の防水性を高めることができる。
　（第３項）第１項または第２項に記載の検査装置において、基板の接点と接触する電極部の接点には、金めっきが施されている。
　第３項に記載の検査装置によれば、基板の接点と電極部の接点との接触抵抗を下げることができるため、測定部から出力される情報にノイズがのらないようにすることができる。
　（第４項）第１項～第３項のうちいずれか１項に記載の検査装置において、測定部は、試料水の温度を測定する温度センサをさらに含む。温度センサの接点は、測定部を第１面に配置したときに開口部に位置するように配置される。温度センサの接点と回路とを電気的に接続する基板の接点は、基板を第２面に配置したときに開口部に位置するように配置される。
　第４項に記載の検査装置によれば、試料水の温度を測定できるため、温度の影響を受ける導電性をより正確に測定できる。また、壁部の開口部を介して温度センサの接点と、基板の接点とが接続されるため、温度センサから回路までの距離を短くすることができ、その結果、温度センサから出力された情報をノイズがのらないように回路に送ることができる。
　（第５項）第１項～第４項のうちいずれか１項に記載の検査装置において、導電率計は、測定部と基板とを接続する接続部をさらに含む。
　第５項に記載の検査装置によれば、接続部により、測定部と基板との接続をより強固なものにすることで、壁部と測定部との間から第２区画側に水が入ってしまうことを防止できるため、基板が配置された第２区画側の防水性を高めることができる。また、測定部と基板とを接続することで、導電率計を壁部に固定することができ、壁部に導電率計を固定するために必要な部品点数を減らすことができる。
　（第６項）一態様に係る試料水の導電性を測定する導電率計は、試料水に接触するように配置された電極部を含む測定部と、測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを備える。測定部と基板とは、筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる壁部を挟んで接続される。測定部は、電極部が壁部に設けられた開口部に位置するように、第１区画側の壁部の第１面に配置される。基板は、電極部と回路とを電気的に接続する接点が開口部に位置するように、第２区画側の壁部の第２面に配置される。
　第６項に記載の導電率計によれば、試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部が配置された第１区画と壁部で隔てられた第２区画に基板が配置されるため、基板を試料水から保護できる。さらに、壁部の開口部を介して電極部と、基板の接点とが接続されるため、電極部から回路までの距離を短くすることができ、その結果、測定部から出力された情報をノイズがのらないように回路に送ることができる。
　（第７項）第６項に記載の導電率計によれば、測定部は、第１面の開口部の外周に配置されたシールを介して壁部の第１面に配置される。
　第７項に記載の導電率計によれば、壁部と測定部との間から第２区画側への水の侵入を防止できるため、基板が配置された第２区画側の防水性を高めることができる。
　今回開示された各実施の形態は、技術的に矛盾しない範囲で適宜組合わせて実施することも予定されている。そして、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
　１　検査装置、１０　筐体、１２　バイアルビン、１４　壁部、２０　ＵＶ光源、３０　導電率計、３２　測定部、３４　基板、５０　電源装置、１０２　カバー、１４２　第１面、１４４　第２面、１４６，３２３　開口部、１４８　パッキン、３２４　電極、３２４ａ，３４４　電極接点、３２６　サーミスタ、３２６ａ，３４６　サーミスタ接点、３２７，３２８　連結部、３４２　回路、３４３　接続部、Ａ１　水区画、Ａ２　電気区画、Ｆ　流路、Ｐ　ポンプ、Ｓ　試料水。

Claims (7)

  1. 　試料水を検査するための検査装置であって、
    　筐体と、
    　前記筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる、開口部が設けられた壁部と、
    　試料水の導電性を測定する導電率計と、
    　前記導電率計に試料水を流入させる流入管とを備え、
    　前記導電率計は、
    　　試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部と、
    　　前記測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを含み、
    　前記測定部と前記基板とは、前記壁部を挟んで接続され、
    　前記測定部は、前記電極部が前記開口部に位置するように、前記第１区画側の前記壁部の第１面に配置され、
    　前記基板は、前記電極部と前記回路とを電気的に接続する接点が前記開口部に位置するように、前記第２区画側の前記壁部の第２面に配置される、検査装置。
  2. 　前記第１面の前記開口部の外周であって、前記壁部と前記測定部との間に配置されたシールをさらに備える、請求項１に記載の検査装置。
  3. 　前記基板の接点と接触する前記電極部の接点には、金めっきが施されている、請求項１または請求項２に記載の検査装置。
  4. 　前記測定部は、試料水の温度を測定する温度センサをさらに備え、
    　前記温度センサの接点は、前記測定部を前記第１面に配置したときに前記開口部に位置するように配置され、
    　前記温度センサの接点と前記回路とを電気的に接続する前記基板の接点は、前記基板を前記第２面に配置したときに前記開口部に位置するように配置される、請求項１～請求項３のうちいずれか１項に記載の検査装置。
  5. 　前記導電率計は、前記測定部と前記基板とを接続する接続部をさらに含む、請求項１～請求項４のうちいずれか１項に記載の検査装置。
  6. 　試料水の導電性を測定する導電率計であって、
    　試料水に接触するように配置された電極部を含む測定部と、
    　前記測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを備え、
    　前記測定部と前記基板とは、筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる壁部を挟んで接続され、
    　前記測定部は、前記電極部が前記壁部に設けられた開口部に位置するように、前記第１区画側の前記壁部の第１面に配置され、
    　前記基板は、前記電極部と前記回路とを電気的に接続する接点が前記開口部に位置するように、前記第２区画側の前記壁部の第２面に配置される、導電率計。
  7. 　前記測定部は、前記第１面の前記開口部の外周に配置されたシールを介して前記壁部の前記第１面に配置される、請求項６に記載の導電率計。
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