WO2022014664A1

WO2022014664A1 - 検査方法および検査装置

Info

Publication number: WO2022014664A1
Application number: PCT/JP2021/026572
Authority: WO
Inventors: 章雄今井; 孝一霜鳥; 明興中森; 紀幸能登
Original assignee: 株式会社島津製作所
Priority date: 2020-07-17
Filing date: 2021-07-15
Publication date: 2022-01-20

Abstract

紫外線を照射して有機炭素を酸化させる工程で、有機炭素の酸化効率の向上を一の目的とする。　カラムを用いて水系試料中の各物質を大きさに応じて分離し、各物質から無機炭素を除去した後に、気体の流量を制御して各物質が流れる流路内に当該気体を流入させてから、流路内の各物質に紫外線を照射する。

Description

検査方法および検査装置

　本発明は、水系試料を検査するための検査方法および検査装置に関する。

　水系試料を検査するために、水中のＤＯＭ（Dissolved　organic　matter：溶存有機物）の量を検査することが行われる。このＤＯＭの量を特定するために、検査の一つの指標として、ＴＯＣ（Total　Organic　Carbon：全有機体炭素）量が使用されている。ＴＯＣ量は、有機物（有機炭素）を酸化させて二酸化炭素を発生させ、発生した二酸化炭素をＮＤＩＲ（Nondispersive　infrared：非分散型赤外線）式センサーなどを用いて測定することで得られる。

　有機炭素を酸化させる方法としては、触媒を用いて燃焼する方法、紫外線を用いる方法、および二段階で酸化する方法などが知られている（特許文献１）。

　近年の研究で、ＤＯＭの分子サイズによって分解のしやすさが異なることが分かってきた。非特許文献１には、ＤＯＭの分子量分布を得るために、ＳＥＣ（Size-exclusion　chromatography：サイズ排除クロマトグラフィー）と、ＴＯＣ検出器とを組み合わせた検査装置が開示されている。

特開２０１９－１７８９０２号公報

川崎伸之，松重一夫，今井章雄，小松一弘，大岸史和，矢幡雅人，三上博久，後藤武、「ＴＯＣ検出器付サイズ排除クロマトグラフィーを用いた霞ヶ浦中ＤＯＣの分子量分布の検討」、日本陸水学会第７２回大会・講演要旨集、セッションＩＤ：３Ｃ５、２００７年９月

　非特許文献１に開示された検査装置は、ＳＥＣとＴＯＣ検出器とを組み合わせることで、紫外可視分光光度計または蛍光光度計などでは検出できない有機炭素も検出できる。

　非特許文献１に開示された検査装置では、紫外線を用いた方法で有機炭素を酸化させる。このとき、有機炭素の酸化効率が低いと未酸化の有機炭素が残ってしまう。未酸化の有機炭素は廃棄されてしまうため、有機炭素の酸化効率が低いことは、測定誤差の原因になる。そのため、有機炭素の酸化効率を向上させることが求められる。

　本発明は、かかる問題を解決するためになされたものであり、その目的は、有機炭素の酸化効率の向上を一の目的とする。

　この発明のある局面に従う検査方法は、水系試料を検査するための検査方法である。検査方法は、水系試料に含有される物質群を大きさに応じてカラムで分離するステップと、分離した各物質について、有機炭素を測定するステップとを含む。有機炭素を測定するステップは、各物質から無機炭素を除去するステップと、気体の流量を制御して、無機炭素を除去した後の各物質が流れる流路内に気体を流入させるステップと、気体が流入された流路内の各物質に紫外線を照射して有機炭素を酸化するステップと、有機炭素を酸化することで発生する二酸化炭素を測定するステップとを含む。

　この発明の別の局面に従う検査装置は、水系試料を検査するための検査装置である。検査装置は、水系試料に含有される物質群を大きさに応じて分離するカラムと、分離した各物質について、有機炭素を測定する測定装置とを含む。測定装置は、各物質から無機炭素を除去する前処理部と、前処理部の下流に設けられ、流路を流れる各物質に紫外線を照射して有機炭素を酸化させるＵＶランプと、有機炭素を酸化することで発生する二酸化炭素を測定する測定部と、前処理部の下流に設けられ、紫外線が照射される前に、気体の流量を制御して流路内に気体を流入させる流入部とを含む。

　気体の流量を制御して、流路内に当該気体を流入させることで、流路内に流れる各物質への紫外線の照射効率を上げることができ、その結果、有機炭素の酸化効率を向上させることができる。

実施の形態の検査装置１の構成を模式的に示す図である。酸化部の構成を模式的に示す図である。照射部の構成を示す図である。流路４２８の内部を模式的に示した図である。変形例１にかかる検査装置１ａの構成を模式的に示す図である。変形例２にかかる検査装置１ｂの構成を模式的に示す図である。変形例３にかかる検査装置１ｃの構成を模式的に示す図である。

　以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰返さない。

　［検査装置１の構成］
　図１は、実施の形態の検査装置１の構成を模式的に示す図である。検査装置１は、水系試料２を検査するための装置である。図１を参照して、検査装置１は、分離装置１００とＴＯＣ装置２００とを備える。検査装置１は、分離装置１００によって水系試料２中の物質を大きさに応じて分離し、大きさに応じた順で分離装置１００から溶出される各物質を酸化させ、各物質に含まれる有機炭素の量（ＴＯＣ量）をＴＯＣ装置２００によって測定する。これにより、検査装置１は、大きさの異なる水系試料２中の溶存有機物ごとにＴＯＣ量を測定する。

　なお、検査装置１を用いて検査される水系試料２は、水を主成分とする試料であれば何ら限定されるものではなく、水道水、井戸水、河川または湖の水、脱塩処理をした海水などに加えて、人工飲料、試薬などを含み得る。また、検査装置１は、水質検査に限らず、溶液中に含まれる有機炭素を測定することを目的とした検査に利用できる。

　分離装置１００は、測定対象である水系試料２に含有される物質群を大きさに応じて分離する。分離装置１００は、典型的には、ＳＥＣにより水系試料２に含有される物質群を大きさに応じて分離する。分離装置１００は、サンプル注入部１１０およびカラム１２０を備える。

　サンプル注入部１１０は、溶離液を流す流路Ｆ内に水系試料２を注入する。溶離液は、典型的には、リン酸緩衝液を用いることができる。使用する溶離液は、カラム１２０の種類ならびにＴＯＣ装置２００およびＴＯＣの測定への影響を考慮して選択される。

　サンプル注入部１１０から流路Ｆ内に注入された水系試料２中の物質は、カラム１２０を通過することで、分子サイズごとに分離する。より具体的には、分子サイズの大きな（一般には分子量の大きな）物質から順次、カラム１２０より溶出され、ＴＯＣ装置２００に送られる。

　ＴＯＣ装置２００は、カラム１２０からの溶出液（分離された物質と溶離液との混合液）に含まれるＴＯＣ量を測定する。ＴＯＣ装置２００は、分離された物質に含まれる無機炭素を除去するための前処理部２２０と、無機炭素を除去した後の物質に含まれる全炭素量（すなわち、ＴＯＣ量）を、測定するための測定部２４０とを備える。

　前処理部２２０は、カラム１２０からの溶出液を酸性にすることで水系試料２中（分離した各物質中）の無機炭素を二酸化炭素に転化させて除去する。前処理部２２０は、溶出液を酸性にするための試薬を流路内に添加する添加部２２２と、二酸化炭素を脱気するための脱気部２２４とを含む。

　添加部２２２は、ＴＯＣ装置２００の入り口に設けられている。添加部２２２によって添加される試薬は、たとえば、リン酸、硫酸などである。添加部２２２は、ポンプＰにより試薬を流路Ｆに送る。

　脱気部２２４は、添加部２２２の下流に設けられている。脱気部２２４は、典型的には、デガッサであり、添加部２２２で試薬を添加したことで発生した無機炭素由来の二酸化炭素を脱気する。脱気部２２４で脱気された後の溶出液（水系試料２（分離した各物質）と溶離液との混合液）は、測定部２４０に送られる。

　測定部２４０は、無機炭素を除去した後の水系試料２中（分離した各物質中）の有機炭素を酸化させて二酸化炭素にし、発生した二酸化炭素を測定することでＴＯＣ量を測定する。

　測定部２４０は、無機炭素を除去した後の水系試料２中（分離した各物質中）の有機炭素を酸化させる酸化部２４２と、有機炭素を酸化させることで発生した二酸化炭素（気体）と液体とを分離するための気液分離部２４４と、分離させて得られた二酸化炭素を測定するためのＣＯ２検出器２４６とを備える。

　酸化部２４２は、湿式ＵＶ酸化方式により有機炭素を酸化させる。より具体的には、酸化部２４２は、無機炭素を除去した後の各物質（溶出液）に酸化剤を添加した後、紫外線を照射することで有機炭素を酸化させる。酸化部２４２の構成については、図２を参照して後述する。なお、酸化部２４２は、ＴＯＣ量が所定量より低い場合には酸化剤を添加しなくてもよい。

　気液分離部２４４は、液体と気体とを分離し、液体を廃液として外部に排出し、気体をＣＯ２検出器２４６に送る。気液分離部２４４によって分離された気体には、有機炭素を酸化させることで発生した二酸化炭素が少なくとも含まれる。

　ＣＯ２検出器２４６は、気液分離部２４４から送られた気体中の二酸化炭素濃度を測定する。ＣＯ２検出器２４６は、典型的には、非分散性赤外線ガス検出器（ＮＤＩＲ検出器）である。なお、ＣＯ２検出器２４６は、ＮＤＩＲ検出器に限られず、二酸化炭素濃度を測定可能な検出器であれば、他の検出器であってもよい。

　図１に示した検査装置１を利用することで、水系試料２に含有する物質群を大きさに応じてカラム１２０で分離するステップ（Ｓ１）と、分離した各物質について有機炭素を測定するステップ（Ｓ２）とを含む検査方法が実現される。この検査方法において、有機炭素を測定するステップ（Ｓ２）は、各物質から無機炭素を除去するステップ（Ｓ２２）と、無機炭素を除去した後の各物質中の有機炭素を測定するステップ（Ｓ２４）とを含む。

　［酸化部２４２の構成］
　図２は、酸化部２４２の構成を模式的に示す図である。酸化部２４２は、添加部４２２と、照射部４２４とを備える。添加部４２２は、酸化部２４２の入り口に設けられている。照射部４２４は、添加部４２２の下流に設けられている。

　添加部４２２は、無機炭素を除去した後の水系試料２（溶出液）に酸化剤を添加する。酸化剤は、たとえば、過硫酸ナトリウムなどである。添加部４２２は、ポンプＰにより酸化剤を流路Ｆに送る。

　照射部４２４は、流路Ｆを流れる水系試料２（溶出液）に紫外線を照射するＵＶランプ４２６を含む。照射部４２４の構成については、図３を参照して後述する。

　添加部４２２と照射部４２４との間の流路Ｆには、流入部５００が設けられている。流入部５００は、気体を、流路Ｆ内に流量を制御して流入させる。流入させる気体は、酸化されて二酸化炭素が発生する可能性のある炭素系化合物を含まない気体であって、たとえば、窒素、ヘリウム、酸素などである。本実施の形態においては、流入させる気体は、窒素である。

　流入部５００は、窒素供給源５２０とマスフローコントローラ５４０とを備える。窒素供給源５２０から流路Ｆに窒素ガスが供給される。マスフローコントローラ５４０は、流路Ｆに供給される窒素ガスの流量を制御する。

　より具体的には、マスフローコントローラ５４０は、窒素供給源５２０から流路Ｆに供給される窒素ガスの流量が一定となるように、窒素ガスの流量を制御する。これにより、ＣＯ２検出器２４６のベースラインを安定させることができ、より正確に二酸化炭素濃度（すなわち、ＴＯＣ量）を測定することができる。

　すなわち、無機炭素を除去した後の各物質中の有機炭素を測定するステップ（Ｓ２４）は、酸化剤を添加するステップ（Ｓ４２２）と、窒素ガスを流入させるステップ（Ｓ５００）と、紫外線を照射するステップ（Ｓ４２４）と、有機炭素を酸化することで発生する二酸化炭素を測定するステップ（Ｓ２４６）とを含む。

　［照射部４２４の構成］
　図３は、照射部４２４の構成を示す図である。照射部４２４は、円柱形状のＵＶランプ４２６と、ＵＶランプ４２６からの紫外線を受けるらせん状の流路４２８とを含む。

　流路４２８は、らせん形状をしており、ＵＶランプ４２６の長手方向に平行な軸の周りにらせん状に配置されている。流路４２８は、ガラス管である。流路４２８の入口（図中のｉｎ)は、流入部５００が接続された流路とつながっている。一方、流路４２８の出口（図中のｏｕｔ)は、気液分離部２４４の入口側に接続された流路とつながっている。

　図４は、流路４２８の内部を模式的に示した図である。流路４２８の入口は、上述したように流入部５００が接続されている。なお、図４に示した窒素ガスと溶出液の流路内での状態は一例である。

　紫外線は、流路を形成するガラスの壁Ｇおよび溶出液（各物質と溶離液との混合液）によって吸収される。そのため、流路４２８の中心に届く紫外線量は、流路４２８の内壁側に照射される紫外線量よりも減少する。本実施の形態においては、窒素ガスを溶出液とともに流路４２８内に流すことで、溶出液が薄膜化したり、窒素ガスによって流路４２８の内壁近くへ溶出液が押しやられたりする。そのため、溶出液への紫外線の照射効率が向上できる。

　また、窒素ガスを流路４２８内に流すことで、流路４２８内での溶出液が占める割合が下がり、溶出液中の有機炭素の酸化に必要な十分な紫外線エネルギーを得やすくなる。その結果、溶出液中の有機炭素の酸化効率が向上する。

　流入部５００から送られる窒素ガスの量は、溶出液が薄膜化し、ＣＯ２検出器２４６で検出されるピークが適切なＳ／Ｎ比（Signal　to　Noise　Ration）となるように調整されていることが好ましい。

　流路４２８内での窒素ガスの体積の方が、溶出液の体積よりも大きくなるように窒素ガスを流入させることが好ましい。たとえば、溶出液の体積に対して、窒素ガスの体積が６０倍以上となるように、窒素ガスは、流入されてもよい。また、窒素ガスと溶出液との総流量は、ＣＯ２検出器２４６で検出されるピークがシャープになるように設定されることが好ましい。

　［変形例］
　（変形例１にかかる検査装置１ａ）
　図５は、変形例１にかかる検査装置１ａの構成を模式的に示す図である。上記実施の形態において、検査装置１は、測定装置として、ＴＯＣ装置２００だけを備えている。なお、検査装置１は、ＴＯＣ装置２００に加えて他の測定装置を備えていてもよい。変形例１にかかる検査装置１ａは、ＴＯＣ装置２００に加えて、紫外可視分光光度計１２および蛍光光度計１４をさらに備える点で上記実施の形態に示した検査装置１と異なる。

　紫外可視分光光度計１２および蛍光光度計１４は、分離装置１００とＴＯＣ装置２００との間の流路Ｆ上に設けられている。より具体的には、紫外可視分光光度計１２および蛍光光度計１４は、カラム１２０から添加部２２２に至る経路の間に設けられている。

　すなわち、検査装置１ａを利用することで、ＴＯＣ装置２００で有機炭素を測定するよりも前に、紫外可視分光光度計１２および蛍光光度計１４の各々で大きさに応じて分離した各物質を測定するステップ（Ｓ１０）をさらに備える検査方法が実現される。

　ＴＯＣ装置２００においては、水系試料に対して化学的処理を加えることで有機炭素由来の二酸化炭素を測定してＴＯＣ量を測定する。一方、紫外可視分光光度計１２および蛍光光度計１４においては、水系試料に対して物理的・化学的な処理を加えず、物質の組成・形状・機能を変化させることなく水系試料を測定することができる。

　そのため、紫外可視分光光度計１２、蛍光光度計１４、ＴＯＣ装置２００の順に配置することで、一つの流路上に各計測装置を配置することができ、分離装置１００から溶出された溶出液を各測定装置に分岐させる必要がない。そのため、各測定装置で用いる水系試料２の液量（各物質の量）を減らす必要がなく、測定精度を維持できる。

　なお、変形例１にかかる検査装置１ａは、紫外可視分光光度計１２および蛍光光度計１４を備えるとした。なお、検査装置は、ＴＯＣ装置２００に加えて、紫外可視分光光度計１２および蛍光光度計１４のうちの一方を備える構成であってもよい。

　（変形例２にかかる検査装置１ｂ）
　図６は、変形例２にかかる検査装置１ｂの構成を模式的に示す図である。検査装置１ｂは、受付部５０をさらに備える点で上記実施の形態に示した検査装置１と異なる。

　受付部５０は、窒素供給源５２０から流路Ｆに供給される窒素ガスの流量の変更を受け付ける。すなわち、検査装置１ｂを利用することで、窒素ガスの流量を変更するステップ（Ｓ５０）をさらに備える検査方法が実現される。

　検査を開始するときに、水系試料２内の測定対象物の濃度に応じて、ＣＯ２検出器２４６を試料（二酸化炭素）が通過する時間を調整することがある。窒素ガスの流量の変更を受付部５０が受け付けることで、ＣＯ２検出器２４６を試料（二酸化炭素）が通過する時間を調整できる。

　また、図３を参照して説明したように、窒素ガスの気泡の直径は、らせん流路の直径よりも小さいことが好ましい。らせん流路の材質はガラスであるため、装置ごとにらせん流路の径にバラツキが生じてしまう。そこで、受付部５０を設けることで、個体差のあるらせん流路の直径に合わせて窒素ガスの流量を設定できる。

　（変形例３にかかる検査装置１ｃ）
　図７は、変形例３にかかる検査装置１ｃの構成を模式的に示す図である。検査装置１ｃは、流入部５００が添加部４２２の上流に設けられている点で上記実施の形態に示した検査装置１と異なる。

　図７に示すように、流入部５００は、添加部４２２の上流に設けられていてもよい。すなわち、流入部５００は、特に脱気部２２４よりも下流であって、照射部４２４よりも上流に設けられていればよい。また、各物質に含まれる有機炭素の分子量が小さい場合、または、各物質に含まれる有機炭素の濃度が低い場合には、検査装置に、添加部４２２を設けなくともよい。すなわち、紫外線の照射だけで各物質に含まれる有機炭素をすべて酸化させることができる場合、添加部４２２を設けなくともよい。

　［態様］
　上述した複数の例示的な実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

　（第１項）一態様に係る水系試料を検査するための検査方法は、水系試料に含有される物質群を大きさに応じてカラムで分離するステップと、分離した各物質について有機炭素を測定するステップとを含む。有機炭素を測定するステップは、各物質から無機炭素を除去するステップと、気体の流量を制御して、無機炭素を除去した後の各物質が流れる流路内に気体を流入させるステップと、気体が流入された流路内の各物質に紫外線を照射して有機炭素を酸化するステップと、有機炭素を酸化することで発生する二酸化炭素を測定するステップとを含む。

　第１項に記載の検査方法によれば、気体の流量を制御して、流路内に当該気体を流入させることで、流路内に流れる各物質への紫外線の照射効率を上げることができ、その結果、有機炭素の酸化効率を向上させることができる。

　（第２項）第１項に記載の検査方法において、気体は、酸化されて二酸化炭素を生じうる炭素系化合物を含まない。

　第２項に記載の検査方法によれば、有機炭素を酸化することで発生する二酸化炭素の測定を阻害することなく、各物質への紫外線の照射効率を上げることができる。

　（第３項）第１項または第２項に記載の検査方法において、気体の流量は、一定流量である。

　第３項に記載の検査方法によれば、流路内における溶液の流量が安定し、二酸化炭素を測定するステップにおいて、連続的に二酸化炭素を測定する場合のベースラインが安定し、より正確に二酸化炭素を測定できる。

　（第４項）第１項～第３項のうちいずれか１項に記載の検査方法は、気体の流量を変更するステップをさらに含む。

　第４項に記載の検査方法によれば、流路の径に応じて、気体の流量を適当な流量とすることができる。

　（第５項）第１項～第４項のうちいずれか１項に記載の検査方法は、分離した各物質について有機炭素を測定するよりも前に、紫外可視分光光度計および蛍光光度計のうちの少なくとも一方で、分離した各物質を測定するステップをさらに含む。

　第５項に記載の検査方法によれば、カラムから溶出された各物質を各測定装置に分岐させることなく、各測定装置での測定を行うことができる。カラムから溶出された各物質を各測定装置に分岐させる必要がないため、各測定装置で用いる各物質の量を保つことができ、その結果、測定精度を維持できる。

　（第６項）一態様にかかる水系試料を検査するための検査装置は、水系試料に含有される物質群を大きさに応じて分離するカラムと、分離した各物質の有機炭素を測定する測定装置とを含む。測定装置は、各物質から無機炭素を除去する前処理部と、前処理部の下流に設けられ、流路を流れる各物質に紫外線を照射して有機炭素を酸化させるＵＶランプと、有機炭素を酸化することで発生する二酸化炭素を測定する測定部と、前処理部の下流に設けられ、紫外線が照射される前に、気体の流量を制御して流路内に気体を流入させる流入部とを含む。

　第６項に記載の検査装置によれば、気体の流量を制御して、流路内に当該気体を流入させることで、流路内に流れる各物質への紫外線の照射効率を上げることができ、その結果、有機炭素の酸化効率を向上させることができる。

　（第７項）第６項に記載の検査装置において、気体は、酸化されて二酸化炭素を生じうる炭素系化合物を含まない。

　第７項に記載の検査装置によれば、有機炭素を酸化することで発生する二酸化炭素の測定を阻害することなく、各物質への紫外線の照射効率を上げることができる。

　（第８項）第６項または第７項に記載の検査装置において、気体の流量は、一定流量である。

　第８項に記載の検査装置によれば、流路内における溶液の流量が安定し、測定部におけるベースラインが安定し、測定部は、より正確に二酸化炭素を測定できる。

　（第９項）第６項～第８項のうちいずれか１項に記載の検査装置は、気体の流量の変更を受け付ける受付部をさらに含む。

　第９項に記載の検査装置によれば、流路の径に応じて、気体の流量を適当な流量とすることができる。

　（第１０項）第６項～第９項のうちいずれか１項に記載の検査装置は、カラムと測定装置に至る経路の間に、紫外可視分光光度計および蛍光光度計のうちの少なくとも一方をさらに含む。

　第１０項に記載の検査装置によれば、カラムから溶出された各物質を各測定装置に分岐させることなく、各測定装置での測定を行うことができる。カラムから溶出された各物質を各測定装置に分岐させる必要がないため、各測定装置で用いる各物質の量を保つことができ、その結果、測定精度を維持できる。

　１，１ａ，１ｂ，１ｃ　検査装置、２　水系試料、１２　紫外可視分光光度計、１４　蛍光光度計、５０　受付部、１００　分離装置、１１０　サンプル注入部、１２０　カラム、２００　ＴＯＣ装置、２２０　前処理部、２２２，４２２　添加部、２２４　脱気部、２４０　測定部、２４２　酸化部、２４４　気液分離部、２４６　ＣＯ２検出器、４２４　照射部、４２６　ＵＶランプ、４２８，Ｆ　流路、５００　流入部、５２０　窒素供給源、５４０　マスフローコントローラ、Ｐ　ポンプ。

Claims

　水系試料を検査するための検査方法であって、
　前記水系試料に含有される物質群を大きさに応じてカラムで分離するステップと、
　分離した各物質について有機炭素を測定するステップとを含み、
　前記有機炭素を測定するステップは、
　　各物質から無機炭素を除去するステップと、
　　気体の流量を制御して、前記無機炭素を除去した後の各物質が流れる流路内に前記気体を流入させるステップと、
　　前記気体が流入された前記流路内の各物質に紫外線を照射して有機炭素を酸化するステップと、
　　前記有機炭素を酸化することで発生する二酸化炭素を測定するステップとを含む、検査方法。
　前記気体は、酸化されて二酸化炭素を生じうる炭素系化合物を含まない、請求項１に記載の検査方法。
　前記気体の流量は、一定流量である、請求項１または請求項２に記載の検査方法。
　前記気体の流量を変更するステップをさらに含む、請求項１に記載の検査方法。
　分離した各物質について有機炭素を測定するよりも前に、紫外可視分光光度計および蛍光光度計のうちの少なくとも一方で、分離した各物質を測定するステップをさらに含む、請求項１に記載の検査方法。
　水系試料を検査するための検査装置であって、
　前記水系試料に含有される物質群を大きさに応じて分離するカラムと、
　分離した各物質について、有機炭素を測定する測定装置とを備え、
　前記測定装置は、
　　各物質から無機炭素を除去する前処理部と、
　　前記前処理部の下流に設けられ、流路を流れる各物質に紫外線を照射して有機炭素を酸化させるＵＶランプと、
　　前記有機炭素を酸化することで発生する二酸化炭素を測定する測定部と、
　　前記前処理部の下流に設けられ、前記紫外線が照射される前に、気体の流量を制御して前記流路内に前記気体を流入させる流入部とを備える、検査装置。
　前記気体は、酸化されて二酸化炭素を生じうる炭素系化合物を含まない、請求項６に記載の検査装置。
　前記気体の流量は、一定流量である、請求項６に記載の検査装置。
　前記気体の流量の変更を受け付ける受付部をさらに備える、請求項６に記載の検査装置。
　前記カラムと前記測定装置に至る経路の間に、紫外可視分光光度計および蛍光光度計のうちの少なくとも一方をさらに備えた、請求項６に記載の検査装置。