WO2022009289A1 - ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents

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    • H01S3/2251—ArF, i.e. argon fluoride is comprised for lasing around 193 nm

Definitions

  • This disclosure relates to a method for manufacturing a gas laser device and an electronic device.
  • a KrF excimer laser apparatus that outputs a laser beam having a wavelength of about 248 nm and an ArF excimer laser apparatus that outputs a laser beam having a wavelength of about 193 nm are used.
  • the spectral line width of the naturally oscillated light of the KrF excimer laser device and the ArF excimer laser device is as wide as 350 pm to 400 pm. Therefore, if the projection lens is made of a material that transmits ultraviolet rays such as KrF and ArF laser light, chromatic aberration may occur. As a result, the resolving power may decrease. Therefore, it is necessary to narrow the spectral line width of the laser beam output from the gas laser device to a extent that chromatic aberration can be ignored.
  • the laser resonator of the gas laser apparatus is provided with a narrow band module (Line Now Module: LNM) including a narrow band element (etalon, grating, etc.) in order to narrow the spectral line width.
  • LNM Line Now Module
  • the gas laser device in which the spectral line width is narrowed is referred to as a narrow band gas laser device.
  • Japanese Unexamined Patent Publication No. 1-231017 Japanese Unexamined Patent Publication No. 5-3354 Japanese Unexamined Patent Publication No. 8-148738
  • the gas laser apparatus includes an internal space in which light is generated by excitation of laser gas, a housing including a hole from which light is emitted from the internal space, and a housing arranged in the housing where light emitted from the hole is emitted.
  • the tubular window holder including the hollow portion that passes through and the window holder holds the light traveling through the hollow portion in a state where the surface of the light incident is inclined with respect to the optical axis of the light traveling through the hollow portion. It is arranged in close contact with the window and the end face between the window and the end face of the window holder located facing the window, and also surrounds the opening surrounded by the end face communicating with the hollow portion.
  • a ring-shaped sealing member is provided, and the window holder is located on the reflection direction side of the reflected light reflected by the window among the light traveling to the window through the opening, and is continuously away from the window on the end face.
  • the optical axis of the reflected light is set with reference to the reference line that passes through the irradiation position of the reflected light on the extending surface and is perpendicular to the extending surface.
  • the line located at the position folded symmetrically at the irradiation position straddles the normal line in the window from the outer peripheral side of the window toward the central axis side of the window in the direction from the extending surface toward the window.
  • the method for manufacturing an electronic device includes an internal space in which light is generated by excitation of laser gas, a housing including a hole in which light is emitted from the internal space, and a hole arranged in the housing.
  • a tubular window holder that includes a hollow portion through which light emitted from the hollow portion passes, and a state in which the surface on which the light incident on the optical axis of the light traveling through the hollow portion is inclined with respect to the optical axis of the light traveling through the hollow portion.
  • the window held by the window holder and the end face of the window holder located facing the window are arranged in close contact with the window and the end face, and an opening surrounded by the end face communicating with the hollow portion is provided.
  • a ring-shaped sealing member arranged to surround the window holder is located on the reflection direction side of the reflected light reflected by the window among the light traveling to the window through the opening, and is continuous with the end face. Further includes an extending surface that extends away from the window and is irradiated with the reflected light from the window, passes through the irradiation position of the reflected light on the extending surface, and is reflected with reference to a reference line perpendicular to the extending surface.
  • the line located at the position where the optical axis of light is folded symmetrically at the irradiation position is a gas laser that straddles the normal line of the window from the outer peripheral side of the window toward the central axis side of the window in the direction from the extending surface toward the window. It involves exposing the photosensitive substrate with the laser light emitted from the device in order to incident the laser light emitted from the device into the exposure device and manufacture the electronic device.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration example of the entire electronic device manufacturing apparatus.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing a schematic configuration example of the entire gas laser device.
  • FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration example around the window and the window holder on the output coupling mirror side in the comparative example.
  • FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration example around the window and the window holder on the output coupling mirror side in the comparative example.
  • FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration example around the window and the window holder on the output coupling mirror side in the first embodiment.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration example of the entire electronic device manufacturing apparatus.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing a schematic configuration example of the entire gas laser device.
  • FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration example around the window and the window holder on the output coupling mirror side in the comparative example.
  • FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration example around the window and
  • FIG. 6 is a schematic perspective view of the window holder when viewed from the end face side of the window holder.
  • FIG. 7 is a diagram showing a schematic configuration example around the window and the window holder on the output coupling mirror side in the second embodiment.
  • FIG. 8 is a diagram showing a schematic configuration example around the window and the window holder in the modified example of the second embodiment.
  • FIG. 9 is a diagram showing a schematic configuration example around the window and the window holder in another modification of the second embodiment.
  • FIG. 10 is a diagram showing a schematic configuration example around the window and the window holder on the output coupling mirror side in the third embodiment.
  • FIG. 11 is a diagram showing a schematic configuration example around the window and the window holder on the output coupling mirror side in the fourth embodiment.
  • FIG. 12 is a diagram showing a schematic configuration example around the window and the window holder on the output coupling mirror side in the fifth embodiment.
  • FIG. 13 is a schematic view of a region surrounded by a solid circle in the
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing an overall schematic configuration example of the electronic device manufacturing equipment used in the electronic device exposure process.
  • the manufacturing apparatus used in the exposure process includes a gas laser apparatus 100 and an exposure apparatus 200.
  • the exposure apparatus 200 includes an illumination optical system 210 including a plurality of mirrors 211, 212, 213 and a projection optical system 220.
  • the illumination optical system 210 illuminates the reticle pattern of the reticle stage RT with the laser beam incident from the gas laser device 100.
  • the projection optical system 220 reduces-projects the laser beam transmitted through the reticle and forms an image on a workpiece (not shown) arranged on the workpiece table WT.
  • the workpiece is a photosensitive substrate such as a semiconductor wafer coated with a photoresist.
  • the exposure apparatus 200 exposes the workpiece to a laser beam reflecting the reticle pattern by moving the reticle stage RT and the workpiece table WT in parallel in synchronization with each other.
  • a semiconductor device which is an electronic device, can be manufactured by transferring a device pattern to a semiconductor wafer by the exposure process as described above.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing a schematic configuration example of the entire gas laser apparatus 100 of this example.
  • the gas laser apparatus 100 of this example includes a housing 10, a laser oscillator LO, a wavelength measurement module 20, and a processor 70 as main configurations.
  • the gas laser apparatus 100 of this example is an ArF excimer laser apparatus using a mixed gas containing, for example, argon (Ar), fluorine (F 2), and neon (Ne). In this case, the gas laser apparatus 100 emits a pulsed laser beam having a center wavelength of about 193 nm.
  • the gas laser device 100 may be a gas laser device other than the ArF excimer laser device, and is, for example, a KrF excimer laser device using a mixed gas containing krypton (Kr), fluorine (F 2), and neon (Ne). May be.
  • the gas laser apparatus 100 emits a pulsed laser beam having a center wavelength of about 248 nm.
  • a mixed gas containing the laser media Ar, F 2 , and Ne and a mixed gas containing the laser media Kr, F 2 , and Ne may be referred to as a laser gas.
  • the processor 70 of the present disclosure is a processing device including a storage device in which a control program is stored and a CPU for executing the control program.
  • the processor 70 is specially configured or programmed to perform the various processes contained in the present disclosure.
  • the processor 70 controls some configurations of the gas laser device 100. Further, the processor 70 controls the entire gas laser apparatus 100.
  • the laser oscillator LO mainly includes a chamber device CH, a charger BC, a narrow band module 60, and an output coupling mirror OC.
  • the chamber device CH includes a housing 30, a pair of windows 31a and 31b, a pair of window holders 300a and 300b described later, a pair of sealing members 400a and 400b described later, and a pair of fixing units 500a and 500b described later.
  • a pair of electrodes 32a and 32b, an insulating portion 33, a pulse power module 35, an electrode holder portion 36, a cross flow fan 38, and a motor 38M are mainly provided.
  • the window 31a and the window 31b are provided at positions facing each other in the housing 30.
  • the window 31a is located on one end side in the traveling direction of the laser beam in the housing 30, and the window 31b is located on the other end side in the traveling direction of the laser beam in the housing 30.
  • the light oscillates on the optical path including the housing 30 and the laser light is emitted. Therefore, the laser light generated in the internal space of the housing 30 passes through the window 31a and the window 31b. It emits light to the outside of the housing 30.
  • the windows 31a and 31b are tilted so as to form a Brewster angle with respect to the traveling direction of the laser beam so that the reflection of the P-polarized light of the laser beam is suppressed.
  • the housing 30 includes an internal space in which light is generated by the excitation of the laser gas.
  • the laser gas is supplied from a laser gas supply source (not shown) arranged in the housing 10 to the internal space of the housing 30 via a pipe (not shown).
  • a laser gas supply source not shown
  • the gas laser device 100 is an ArF excimer laser device, for example, a mixed gas containing Ar, F 2 , and Ne is supplied from the laser gas supply source to the internal space of the housing 30.
  • the gas laser device 100 is a KrF excimer laser, for example, a mixed gas containing Kr, F 2 , and Ne is supplied from the laser gas supply source to the internal space of the housing 30.
  • the above-mentioned light generated by the excitation of the laser gas is emitted from the holes 30a described later in the housing 30, passes through the hollow portions of the cylindrical window holders 300a and 300b, and travels to the windows 31a and 31b.
  • the longitudinal direction of the pair of electrodes 32a and 32b is along the traveling direction of the laser beam, and the pair of electrodes 32a and 32b are arranged so as to face each other in the internal space of the housing 30.
  • the space between the electrodes 32a and 32b in the housing 30 is sandwiched between the windows 31a and the windows 31b.
  • the electrodes 32a and 32b are discharge electrodes for exciting the laser medium by glow discharge.
  • the electrode 32a is the cathode and the electrode 32b is the anode.
  • An opening is formed in the housing 30, and this opening is closed by an insulating portion 33 formed including an insulator.
  • the electrode 32a is supported by the insulating portion 33.
  • a feedthrough 34 made of a conductive member is embedded in the insulating portion 33. The feedthrough 34 applies a voltage supplied from the pulse power module 35 to the electrode 32a.
  • the electrode 32b is supported by the electrode holder portion 36 and is electrically connected to the electrode holder portion 36.
  • the electrode holder portion 36 is electrically connected to the housing 30 via wiring (not shown).
  • a charger BC arranged outside the housing 30 is connected to the pulse power module 35.
  • the charger BC is a DC power supply device that charges a capacitor (not shown) provided in the pulse power module 35 with a predetermined voltage.
  • the pulse power module 35 includes a switch controlled by the processor 70. When the switch is turned from off to on, the pulse power module 35 boosts the voltage applied from the charger BC to generate a pulsed high voltage, and applies this high voltage to the pair of electrodes 32a and 32b.
  • a cross flow fan 38 is arranged in the internal space of the housing 30 on the side opposite to the electrode 32b side with respect to the electrode holder portion 36.
  • the space in which the cross flow fan 38 is arranged in the internal space of the housing 30 communicates with the space between the pair of electrodes 32a and 32b in the internal space of the housing 30. Therefore, as the cross-flow fan 38 rotates, the laser gas enclosed in the internal space of the housing 30 circulates in a predetermined direction.
  • a motor 38M arranged outside the housing 30 is connected to the cross-flow fan 38. As the motor 38M rotates, the cross flow fan 38 rotates. The motor 38M is turned on, off, and the rotation speed is adjusted by the control of the processor 70. Therefore, the processor 70 can adjust the circulation speed of the laser gas circulating in the internal space of the housing 30 by controlling the motor 38M.
  • a heat exchanger (not shown) is placed beside the cross flow fan 38. At least a part of the laser gas circulated by the cross flow fan 38 passes through this heat exchanger, and the temperature of the laser gas is regulated by the heat exchanger.
  • An optical path tube 51 is connected to one end side of the housing 30 where the window 31a is provided.
  • the output coupling mirror OC is provided on one end side of the housing 30 as a reference, and is arranged in the internal space of the optical path tube 51.
  • the output coupling mirror OC is an optical element to which the laser beam emitted from the window 31a is incident, and transmits a part of the light emitted from the window 31a and reflects the other part through the window 31a. Return to the internal space of the housing 30.
  • the output coupling mirror OC is composed of, for example, an element in which a dielectric multilayer film is formed on a calcium fluoride substrate. A film that partially reflects the laser beam may be formed on the surface of the output coupling mirror OC.
  • An optical path tube 52 is connected to the other end side of the housing 30 where the window 31b is provided.
  • the narrowing band module 60 is connected to the optical path tube 52. Therefore, the narrowing band module 60 is provided on the other end side of the housing 30 as a reference, and is provided on the opposite side of the output coupling mirror OC with respect to the housing 30.
  • the narrow band module 60 includes a housing 61, a grating 62, and prisms 63 and 64.
  • An opening is formed in the housing 61, and the internal space of the housing 61 and the internal space of the optical path tube 52 communicate with each other through the opening.
  • the grating 62 and the prisms 63 and 64 are arranged in the internal space of the housing 61.
  • the grating 62 and the prisms 63 and 64 are optical elements to which the laser beam emitted from the window 31b is incident.
  • the grating 62 is retrowed so that the incident angle and the diffraction angle of the laser beam substantially match.
  • the grating 62 may be an escher grating blazeed for a wavelength of about 193 nm.
  • the grating 62 is fixed to the housing 61 and does not move with respect to the housing 61.
  • At least one of the prisms 63 and 64 is fixed on a rotating stage (not shown) arranged in the internal space of the housing 61.
  • the prism fixed on the rotating stage rotates slightly to adjust the incident angle of the light incident on the grating 62.
  • the wavelength of the light reflected by the grating 62 and incident on the chamber device CH is adjusted. Therefore, the wavelength of the light returning to the housing 30 is adjusted to a desired wavelength by reflecting the light emitted from the window 31b of the housing 30 by the grating 62 via the prisms 63 and 64.
  • Each prism 63, 64 is composed of, for example, calcium fluoride.
  • the number of prisms arranged in the narrow band module 60 is two in this example, but it may be one or three or more.
  • a laser resonator is configured by an output coupling mirror OC provided with the housing 30 interposed therebetween and a grating 62, and the housing 30 is arranged on the optical path of the laser resonator. Therefore, the light emitted from the internal space of the housing 30 through the hole of the housing 30 described later is the grating 62 of the narrowing module 60 and the output coupling mirror OC via the windows 31a and 31b and the prisms 63 and 64. Round trip between.
  • the reciprocating light is amplified each time it passes through the laser gain space between the electrodes 32a and 32b. A part of the amplified light passes through the output coupling mirror OC through the window 31a and is emitted as pulsed laser light.
  • the wavelength measurement module 20 is arranged on the optical path of the pulsed laser light emitted from the output coupling mirror OC of the laser oscillator LO.
  • the wavelength measurement module 20 includes a housing 21, a beam splitter 22, and a wavelength monitor 23.
  • the housing 21 is connected to the optical path tube 51.
  • An opening is formed in the housing 21, and the internal space of the housing 21 and the internal space of the optical path tube 51 communicate with each other through the opening.
  • a beam splitter 22 and a wavelength monitor 23 are arranged in the internal space of the housing 21.
  • the beam splitter 22 and the wavelength monitor 23 are optical elements to which the pulsed laser light emitted from the output coupling mirror OC is incident.
  • the beam splitter 22 transmits the pulsed laser light emitted from the laser oscillator LO with high transmittance, and reflects a part of the pulsed laser light toward the light receiving surface of the wavelength monitor 23.
  • the wavelength monitor 23 detects the wavelength of the pulsed laser light incident on the light receiving surface, and outputs data related to the detected wavelength to the processor 70.
  • An opening is formed on the side of the housing 21 of the wavelength measurement module 20 opposite to the side to which the optical path tube 51 is connected, and the optical path tube 53 is connected so as to surround the opening. Therefore, the internal space of the optical path tube 51, the internal space of the housing 21, and the internal space of the optical path tube 53 communicate with each other.
  • the optical path tube 53 is connected to the housing 10.
  • a laser beam emitting window OW is provided at a position surrounded by the optical path tube 53 in the housing 10. Therefore, the light that passes through the beam splitter 22 of the wavelength measurement module 20 is emitted to the outside of the housing 10 from the laser light emission window OW via the optical path tube 53.
  • the internal spaces of the optical path tubes 51, 52, 53 and the housings 21, 61 are filled with purge gas.
  • the purge gas contains an inert gas such as high-purity nitrogen having few impurities such as oxygen.
  • the purge gas is supplied from a purge gas supply source (not shown) arranged outside the housing 10 to the optical path tubes 51, 52, 53 and the internal space of the housings 21 and 61 through a pipe (not shown).
  • an exhaust device for exhausting the laser gas exhausted from the internal space of the housing 30 of the chamber device CH is arranged.
  • the exhaust device performs a process of removing the F 2 gas from the gas exhausted from the internal space of the housing 30 by a halogen filter, and discharges the gas to the housing 10.
  • FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration example of the window 31a and the window holder 300a in the comparative example.
  • the window 31a and the window holder 300a are shown in a vertical cross section.
  • the light traveling from the internal space of the housing 30 to the window 31a through the hole 30a, the hollow portion 301, and the opening 305 of the housing 30 is indicated by the solid arrow F1.
  • the window holder 300a has a tubular shape and is located between the one end of the housing 30 and the window 31a. In FIG. 3, one end of the window holder 300a is connected to the wall surface of the housing 30, and the other end of the window holder 300a is located on the window 31a side.
  • the tubular window holder 300a includes a hollow portion 301 and an end surface 303 located at the other end of the window holder 300a.
  • the hollow portion 301 communicates with the internal space of the housing 30 through the hole 30a of the housing 30. Further, the hollow portion 301 communicates with the opening 305 located at the end face 303. Light traveling from the internal space of the housing 30 to the output coupling mirror OC passes through the hole 30a, the opening 305, and the window 31a of the housing 30 through the hollow portion 301. Further, contrary to the above, the light traveling from the output coupling mirror OC to the internal space of the housing 30 also passes through the hollow portion 301. Therefore, the opening 305 is not only an exit port for light to the output coupling mirror OC, but also an entrance port for light to the hollow portion 301.
  • the end face 303 is arranged so as to face the window 31a. Further, the end surface 303 is arranged parallel to the surface of the facing window 31a. Hereinafter, the surface may be referred to as a laser gas side surface in contact with the laser gas. Like the end face 303, the opening 305 is also arranged parallel to the surface of the window 31a.
  • the end face 303 is a plane.
  • the window 31a is located in the projection area plane of the end face 303 projected toward the window 31a along a straight line orthogonal to the end face 303.
  • the window 31a is a parallel plane substrate.
  • the window 31a is made of calcium fluoride.
  • the window 31a may be a parallel wedge substrate. Further, the window 31a may be made of a member having a high transmittance in the ultraviolet region such as magnesium fluoride, molten quartz, or synthetic quartz.
  • the window 31a is arranged so that the light traveling through the hollow portion 301 is incident at a predetermined angle. This angle is an angle near the Brewster's angle, for example, 55 ° to 61 °. Further, the window 31a is held by the window holder 300a in a state where the surface of the window 31a on which the light is incident is inclined with respect to the optical axis of the light indicated by the solid arrow F1 traveling through the hollow portion 301.
  • a sealing member 400a and a fixing unit 500a are arranged around the window 31a and the window holder 300a.
  • the configurations of the ring-shaped sealing member 400a and the fixing unit 500a will be described.
  • the sealing member 400a is arranged between the end face 303 and the window 31a so as to be sandwiched between the end face 303 and the window 31a.
  • the sealing member 400a is arranged so as to surround the central axis C of the window 31a and the opening 305 of the end surface 303. Therefore, the inner diameter of the sealing member 400a is larger than the diameter of the opening 305 of the end face 303.
  • the outer diameter of the sealing member 400a is substantially the same as the outer diameter of the window 31a, and the sealing member 400a is arranged on the outer peripheral edge of the surface of the window 31a in contact with the laser gas.
  • the sealing member 400a is an O-ring made of a resin such as nitrile rubber.
  • the sealing member 400a may be arranged so as to surround the opening 305 in the end face 303, the outer diameter of the sealing member 400a is smaller than the outer diameter of the window 31a, and the sealing member 400a is the opening 305 and the window 31a. It may be arranged between the outer peripheral edge and the outer peripheral edge.
  • the sealing member 400a is in close contact with the surface of the window 31a and the end surface 303 of the window holder 300a. Therefore, it can be understood that the window holder 300a holds the window 31a on the end face 303 via the sealing member 400a.
  • the sealing member 400a seals between the surface of the window 31a and the end surface 303 of the window holder 300a by close contact. As a result, the laser gas is enclosed in the internal space of the housing 30, the hollow portion 301, and the space between the end face 303 and the window 31a.
  • the fixing unit 500a fixes the sealing member 400a and the window 31a to the window holder 300a.
  • the fixing unit 500a includes a ring member 501 and a fixing member 503.
  • the ring member 501 is arranged on the surface of the window 31a on the side opposite to the sealing member 400a side, and is arranged so as to surround the central axis C of the window 31a.
  • the surface may be referred to as a purge gas side surface in contact with the purge gas.
  • the inner diameter of the ring member 501 is substantially the same as the inner diameter of the sealing member 400a, and the outer diameter of the ring member 501 is substantially the same as the outer diameter of the sealing member 400a. Further, the ring member 501 is arranged on the outer peripheral edge of the surface of the window 31a in contact with the purge gas.
  • the ring member 501 is arranged on the side opposite to the sealing member 400a with respect to the window 31a, and the window 31a is arranged sandwiched between the sealing member 400a and the ring member 501.
  • the central axes of the ring member 501, the window 31a, and the sealing member 400a are arranged coaxially.
  • the fixing member 503 has a tubular shape.
  • the inner diameter of the fixing member 503 is substantially the same as the outer diameter of each of the window 31a, the sealing member 400a, and the ring member 501.
  • the fixing member 503 surrounds the outer peripheral surfaces of the window 31a, the sealing member 400a, and the ring member 501 over the entire circumference, and is in contact with the outer peripheral surfaces thereof.
  • the fixing member 503 may be in close contact with each outer peripheral surface.
  • the central axis of the fixing member 503 is located coaxially with the central axis C of the window 31a.
  • a fixing member 503 that surrounds the outer peripheral surfaces of the window 31a, the sealing member 400a, and the ring member 501 over the entire circumference is attached to the end surface 303 at one end of the fixing member 503.
  • the fixing member 503 includes a ring-shaped inner flange portion 505 arranged at the other end of the fixing member 503.
  • the inner flange portion 505 is arranged over the entire circumference of the inner peripheral surface of the fixing member 503. Further, the inner flange portion 505 extends from the inner peripheral surface of the fixing member 503 toward the center of the fixing member 503 in the radial direction of the fixing member 503.
  • the inner diameter of the inner flange portion 505 is substantially the same as the inner diameter of the ring member 501.
  • the fixing member 503 When the fixing member 503 is attached to the end face 303, the inner flange portion 505 presses the ring member 501 toward the window 31a. As a result, the window 31a is pressed toward the end surface 303 via the sealing member 400a and is fixed in the axial direction and the radial direction of the window 31a. Further, the fixing member 503 fixes the window 31a in the radial direction of the window 31a by abutting on the outer peripheral surface of the window 31a.
  • the sealing member 400a is elastically deformed by pressing, and the contact surface of the sealing member 400a with respect to the window 31a and the end surface 303 is expanded by elastic deformation as compared with before pressing. As a result, the sealing member 400a is in close contact with the window 31a as compared with that before pressing, and the contact between the surface of the window 31a on the laser gas side and the end surface 303 of the window holder 300a is further sealed.
  • the window holder 300a and the ring member 501 are made of metal.
  • This metal is stainless steel, for example, SUS304, SUS316, or SUS303.
  • the end surface 303 of the window holder 300a facing the window 31a and the contact surface of the ring member 501 in contact with the window 31a among the ring members 501 are mirror-polished.
  • the configurations of the window 31b, the window holder 300b, the sealing member 400b, and the fixing unit 500b are the same as the configurations of the window 31a, the window holder 300a, the sealing member 400a, and the fixing unit 500a, respectively.
  • the arrangement of the window holder 300b with respect to the housing 30 is such that the window holder 300b is arranged on the other end side of the housing 30 and the window holder 300b is the light indicated by the arrow F1. Since it is the same as the arrangement of the window 31a with respect to the housing 30, except that the window 31a is arranged upside down with respect to the optical axis, detailed description thereof will be omitted.
  • the internal space of the optical path tubes 51, 52, 53 and the internal space of the housings 21, 61 are filled with purge gas from a purge gas supply source (not shown). Further, laser gas is supplied to the internal space of the housing 30 from a laser gas supply source (not shown). When the laser gas is supplied, the processor 70 controls the motor 38M to rotate the cross flow fan 38, and the rotation of the cross flow fan 38 circulates the laser gas.
  • the processor 70 controls a switch in the charger BC and the pulse power module 35 to apply a high voltage between the electrodes 32a and 32b.
  • a high voltage is applied between the electrodes 32a and 32b, the insulation between the electrodes 32a and 32b is destroyed and a discharge occurs. Due to the energy of this discharge, the laser medium contained in the laser gas between the electrodes 32a and 32b is brought into an excited state and emits spontaneous emission light when returning to the ground state.
  • a part of this light is ultraviolet light, which is emitted from the light of the housing 30 and passes through the window 31b through the hollow portion 301 and the opening 305 in the window holder 300b.
  • the transmitted light is magnified in the traveling direction of the light by passing through the prisms 63 and 64 and guided to the grating 62.
  • the light is wavelength-dispersed as it passes through the prisms 63 and 64, respectively. Further, the light is incident on the grating 62 at a predetermined angle and diffracted, and the light having a predetermined wavelength is reflected by the grating 62 at the same reflection angle as the incident angle.
  • the light reflected by the grating 62 passes through the prisms 63 and 64, and again from the window 31b through the opening 305 of the window holder 300b, the hollow portion 301, and the hole 30a of the housing 30, and the internal space of the housing 30. Propagate to.
  • the light propagating in the internal space of the housing 30 is narrowed by the narrow band module 60. Due to this narrowed band light, the excited laser medium causes stimulated emission and the light is amplified.
  • Light is emitted from the hole 30a of the housing 30, passes through the window 31a through the hollow portion 301 and the opening 305 in the window holder 300a, and travels to the output coupling mirror OC. A part of the light is transmitted through the output coupling mirror OC, and the remaining part of the light is reflected by the output coupling mirror OC to form an opening 305 of the window holder 300a, a hollow portion 301, and a hole 30a of the housing 30 from the window 31a. It propagates to the internal space of the housing 30 through the housing 30.
  • the light propagating in the internal space of the housing 30 passes through the window 31b and the prisms 63 and 64 and travels to the grating 62 as described above. In this way, light of a predetermined wavelength reciprocates between the grating 62 and the output coupling mirror OC. Therefore, the light is amplified and laser oscillation occurs. Then, a part of the laser beam passes through the output coupling mirror OC and is emitted from the laser beam emitting window OW toward the exposure apparatus 200.
  • a part of the laser light transmitted through the output coupling mirror OC is reflected by the beam splitter 22.
  • the reflected laser light is received by the wavelength monitor 23, and the wavelength monitor 23 outputs a signal based on the energy intensity of the received laser light to the processor 70.
  • the processor 70 controls the charger BC and the pulse power module 35 to adjust the power of the emitted laser beam.
  • the outer peripheral side includes the outer peripheral surface of the window 31a, the laser gas side surface of the window 31a, and the outer peripheral edge side of the purge gas side surface.
  • the member is a member arranged so as not to hinder the progress of light transmitted through the window 31a and reciprocating in the laser cavity, and is a sealing member 400a, a ring member 501, and a fixing member 503. .
  • the reflected light may pass through the window 31a and travel to the ring member 501 as indicated by the solid arrow F4.
  • the reflected light does not travel to the entire surface of the ring member 501 that abuts on the purge gas side surface of the window 31a, but is a part of the surface of the ring member 501 located in the reflection side region of the surface of the ring member 501. Proceed to. A part of the surface substantially corresponds to the bottom of the lower semicircular arc when the ring member 501 is divided into upper and lower semicircular arcs when the ring member 501 is viewed from the front. Further, the reflected light may be reflected by the part of the surface of the ring member 501, pass through the window 31a as shown by the solid arrow F5, and travel to the sealing member 400a.
  • the reflected light does not travel to the entire contact surface of the sealing member 400a that is in close contact with the surface of the window 31a on the laser gas side, but the sealing member located in the reflection side region of the contact surface of the sealing member 400a. It progresses to a part of the contact surface of 400a.
  • the part of the contact surface faces a part of the surface of the ring member 501 irradiated with the reflected light.
  • the reflectance of the surface of the window 31a may be higher than expected, or the intensity of the reflected light may be higher than expected.
  • the sealing member 400a that is irradiated with the reflected light for a predetermined time or longer deteriorates earlier than a predetermined period, and there is a concern that the useful life of the sealing member 400a becomes shorter than the predetermined period. ..
  • the usable period of the gas laser device 100 which indicates the interval from the maintenance of the gas laser device 100 to the next maintenance of the maintenance, may be shorter than the period assumed in advance.
  • the window holder 300a side has been described, but even on the window holder 300b side, a part of the light traveling from the housing 30 to the window 31b via the window holder 300b is reflected by the surface of the window 31b. Since the window holder 300b is arranged upside down with the window holder 300a as described above, the reflection direction of the window 31b is opposite to the reflection direction of the window 31a. As described above, the reflected light may travel to the sealing member 400b on the window holder 300b side via the ring member 501 in the end surface 303 of the window holder 300b and the fixing unit 500b on the window holder 300b side.
  • the sealing member 400b also deteriorates earlier than the predetermined period, and there is a concern that the useful life of the sealing member 400b becomes shorter than the predetermined period.
  • the usable period of the gas laser apparatus 100 may be shorter than the period assumed in advance.
  • the gas laser apparatus 100 in which the usable period can be suppressed to be shorter than the period assumed in advance is exemplified by suppressing the deterioration of the sealing members 400a and 400b.
  • the window 31a and the window holder 300a on the output coupling mirror OC side will be described, but the window 31b and the window holder 300b on the grating 62 side will also be described as the window 31a. And the same configuration, action, and effect as the window holder 300a can be obtained.
  • FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration example around the window 31a and the window holder 300a in the present embodiment.
  • the window 31a and the window holder 300a are shown in a vertical cross section.
  • FIG. 6 is a schematic perspective view of the window holder 300a when viewed from the end surface 303 side of the window holder 300a of the present embodiment.
  • the configurations of the window holders 300a and 300b are mainly different from the configurations of the window holders 300a and 300b of the comparative example.
  • the configuration of the window holder 300a is the same as the configuration of the window holder 300b.
  • the arrangement of the window holder 300b of the present embodiment with respect to the housing 30 is such that the window holder 300b is arranged on the other end side of the housing 30 and the window holder.
  • the difference from the window holder 300a of the comparative example will be described using the window holder 300a.
  • the recessed portion 310 is continuous with the end surface 303 of the window holder 300a in the present embodiment.
  • the recessed portion 310 is continuous with the region of the end face 303 surrounded by the sealing member 400a.
  • the recessed portion 310 is located in the region on the reflection direction side of the reflected light reflected by the window 31a among the light traveling from the opening 305 to the window 31a.
  • the reflected light is indicated by a solid arrow F12.
  • the recessed portion 310 is recessed from the end face 303 toward the hollow portion 301 and communicates with the hollow portion 301.
  • the opening 311 of the recessed portion 310 is continuous with the opening 305 and is surrounded by the sealing member 400a. Further, the opening 311 is parallel to the window 31a.
  • the pair of side surfaces 313 of the recessed portion 310 is a planar inner wall surface of the recessed portion 310, which is orthogonal to the end surface 303 and faces each other.
  • the pair of side surfaces 313 are continuous with the end surface 303 and the inner peripheral surface of the window holder 300a in the hollow portion 301.
  • the recessed portion 310 includes an extending surface 315 that is continuous with the end surface 303 and extends in a direction away from the window 31a.
  • the extending surface 315 is located on the reflection direction side of the reflected light reflected by the window 31a, and is a flat bottom surface of the recessed portion 310 to which the reflected light from the window 31a is directly irradiated.
  • the extending surface 315 includes one end 315a continuous with the end surface 303 and the other end 315b continuous with the inner peripheral surface of the window holder 300a in the hollow portion 301. Therefore, it can be understood that one end 315a is located at a position away from the optical axis of the light indicated by the solid arrow F1, and the other end 315b is located near the optical axis of the light indicated by the solid arrow F1.
  • the tilt angle of the extending surface 315 with respect to the window 31a is larger than the tilt angle of the end face 303 with respect to the window 31a.
  • the inclination angle of the extending surface 315 with respect to the window 31a is the intersection of the other end 315b of the extending surface 315, the straight line passing through the other end 315b and the one end 315a of the extending surface 315, and the surface of the window 31a on the laser gas side, and the window 31a. It is an angle formed by three points with the center of the surface on the laser gas side of. The intersection may be the intersection of the straight line and the widened region when the surface on the laser gas side is widened in the plane direction of the surface on the laser gas side.
  • the tilt angle of the end face 303 with respect to the window 31a is zero because the end face 303 is arranged parallel to the window 31a. Therefore, it can be understood that the other end 315b side of the extending surface 315 is tilted in a counterclockwise direction, which is a direction away from the window 31a with respect to the end surface 303, about one end 315a of the extending surface 315. Further, it can be understood that the distance between the extending surface 315 and the window 31a gradually increases from one end 315a toward the other end 315b.
  • the distance between one end 315a of the extending surface 315 and the window 31a is the same as the distance between the end surface 303 and the window 31a in the direction along the normal line 600 described later, but the other end of the extending surface 315. It is shorter than the distance between the 315b and the window 31a. Further, the extending surface 315 does not extend in parallel with the optical axis of the light indicated by the solid arrow F1, but is also inclined with respect to the optical axis.
  • the window holder 300a of the present embodiment is made of a metal such as stainless steel, like the window holder 300a of the comparative example. Therefore, the extending surface 315 reflects the reflected light traveling from the window 31a to the extending surface 315. Further, when the extending surface 315 is positioned at an angle as described above, the extending surface 315 reflects the reflected light traveling from the window 31a to the extending surface 315 toward the window 31a via the inside of the sealing member 400a. do. In the present embodiment, the extending surface 315 has the normal line 600 in the window 31a from the outer peripheral side of the window 31a to the central axis C side of the window 31a in the direction from the extending surface 315 toward the window 31a.
  • the reflected light is reflected toward the window 31a so as to straddle the window 31a and enter the window 31a.
  • the reflected light reflected by the extending surface 315 and incident on the window 31a is indicated by the solid arrow F13.
  • the normal line 600 is a line passing through the extending surface 315 among the plurality of normal lines on the surface of the window 31a on the laser gas side.
  • the intersection of the normal line 600 and the extending surface 315 is the intersection of the irradiation position of the reflected light on the extending surface 315 and the normal line of the window 31a passing through the irradiation position of the light indicated by the arrow F1 and the extending surface 315. It is located between and.
  • the irradiation position of the reflected light on the extending surface 315 and the line passing through the window 31a are used as reference lines.
  • the reference line is a line perpendicular to the extending surface 315.
  • the line 602 is a virtual line located at a position where the optical axis of the reflected light is symmetrically folded back at the irradiation position of the reflected light on the extending surface 315 with respect to the reference line.
  • a solid line of an arrow F13 indicating reflected light overlaps a part of the virtual line 602.
  • the virtual line 602 makes the normal line 600 in the window 31a from the outer peripheral side of the window 31a to the central axis side of the window 31a in the direction from the extending surface 315 toward the window 31a. It can be understood that it is located straddling toward.
  • the width of the extending surface 315 is shorter than the maximum width of the rounded rectangular opening 305, and is the same as the length of the straight line portion in the rounded rectangular opening 305. ..
  • the width of the extending surface 315 is also the width of the opening 311 and the distance between the pair of side surfaces 313.
  • the extending surface 315 has a rectangular shape such as a rectangular shape.
  • the extending surface 315 is orthogonal to the pair of side surfaces 313.
  • the gas laser device 100 of the present embodiment as in the gas laser device 100 of the comparative example, as shown by the arrow F1 in FIG. 5, light is transmitted from the internal space of the housing 30 to the holes 30a and the hollow portion 301 of the housing 30. And through the opening 305 to the window 31a. When this light passes through the window 31a, a part of the light is reflected by the surface of the window 31a as in the comparative example. In FIG. 5, the reflected light travels from the surface of the window 31a to the recess 310 as indicated by the solid arrow F12. Further, the reflected light travels from the opening 311 of the recessed portion 310 to the inside of the recessed portion 310 and directly travels to the extending surface 315 of the recessed portion 310.
  • the light indicated by the solid arrow F1 and the reflected light indicated by the solid line F12 pass through the inside of the sealing member 400a.
  • the surface of the window 31a on the laser gas side is inclined with respect to the direction along the optical axis of the light indicated by the solid arrow F1, the end surface 303 is arranged parallel to the window 31a, and the side surface 313 is orthogonal to the end surface 303. Therefore, when looking at the reflected light indicated by the solid arrow F12 along the light indicated by the solid arrow F1, the reflected light indicated by the arrow F12 passes between the pair of side surfaces 313 and travels to the extending surface 315. , The progress from the window 31a to the side surface 313 is suppressed.
  • the virtual line 602 straddles the normal line 600 in the window 31a from the outer peripheral side of the window 31a toward the central axis side of the window 31a in the direction from the extending surface 315 toward the window 31a.
  • the extending surface 315 reflects the reflected light
  • the progress of the reflected light to a part of the surface of the ring member 501 and a part of the inner peripheral surface of the fixing member 503 is suppressed.
  • the window holder 300a including the extending surface 315 is made of metal, the reflected light is reflected by the extending surface 315.
  • the reflected light is reflected toward the window 31a by the extending surface 315, passes through the inside of the sealing member 400a, and is incident on the window 31a. .. Further, since the extending surface 315 is positioned at an angle as described above, as shown by the arrow F13, the reflected light has a normal line 600 on the outer peripheral side of the window 31a in the direction from the extending surface 315 toward the window 31a. It travels across the window 31a toward the central axis C side and passes through the window 31a. The traveling direction of the reflected light is on the opposite region side.
  • the opposite region is located on the opposite side of the reflection side region located on the reflection direction side of the reflected light reflected by the window 31a with reference to the light irradiation position indicated by the arrow F1 on the laser gas side surface of the window 31a.
  • the reflected light traveling from the laser gas side surface of the window 31a to the purge gas side surface is suppressed from the central axis C side of the window 31a to the outer peripheral side of the window 31a by the extending surface 315 in the reflecting side region.
  • the progress of the reflected light to a part of the surface of the ring member 501 located in the reflection side region and a part of the inner peripheral surface of the fixing member 503 is suppressed as compared with the case where the extending surface 315 is not formed.
  • Ru A part of the surface of the ring member 501 located in the reflection side region and a part of the inner peripheral surface of the fixing member 503 are located on the side opposite to the reflection direction of the reflected light. Further, since the reflected light indicated by the solid arrow F13 is reflected by the extending surface 315 as described above, the progress from the extending surface 315 to the side surface 313 is suppressed.
  • the sealing member 400a is arranged in close contact with the window 31a and the end face 303 of the window holder 300a, and is arranged so as to surround the opening 305.
  • the extending surface 315 is located on the reflection direction side of the reflected light from the window 31a, extends continuously to the end surface 303 in the direction away from the window 31a, and is irradiated with the reflected light.
  • the virtual line 602 straddles the normal line 600 in the window 31a from the outer peripheral side of the window 31a toward the central axis side of the window 31a in the direction from the extending surface 315 toward the window 31a.
  • Members are generally arranged on the outer peripheral side of the window 31a so as not to obstruct the light transmitted through the window 31a, and in the present embodiment, the ring member 501 and the fixing member 503 are arranged.
  • the virtual line 602 straddles the normal line 600 in the window 31a from the outer peripheral side of the window 31a toward the central axis side of the window 31a in the direction from the extending surface 315 toward the window 31a.
  • the reflection of the reflected light by a part of the surface of the ring member 501 and a part of the inner peripheral surface of the fixing member 503 is suppressed.
  • the irradiation of the sealing member 400a with the reflected light for a predetermined time or longer can be suppressed, and the deterioration of the sealing member 400a earlier than the predetermined period can be suppressed.
  • the service life of the sealing member 400a is suppressed to be shorter than the period assumed in advance. Therefore, it can be suppressed that the usable period of the gas laser apparatus 100 becomes shorter than the period assumed in advance.
  • the service life of the sealing member 400a is extended as compared with the case where the extending surface 315 is not formed.
  • the gas laser apparatus 100 can be used in a state where the sealing is maintained in the internal space of the housing 30, the space between the hollow portion 301, the end face 303, and the window 31a. The period can be extended.
  • the extending surface 315 is such that the reflected light straddles the normal line 600 from the outer peripheral side of the window 31a toward the central axis C side of the window 31a and is incident on the window 31a. In addition, it reflects the reflected light. As a result, deterioration of the sealing member 400a that is earlier than a predetermined period can be suppressed as compared with the case where the extending surface 315 does not reflect as described above.
  • a part of the reflected light may be reflected by the purge gas side surface of the window 31a toward the laser gas side surface of the window 31a. .. Further, a part of the reflected light traveling on the laser gas side surface of the window 31a may be reflected toward the purge gas side surface of the window 31a by the laser gas side surface of the window 31a. When such reflection is repeated, the intensity of the reflected light traveling inside the window 31a is weakened.
  • the reflected light transmitted through the window 31a returns to a part of the surface of the ring member 501 located on the outer peripheral side in the reflection side region and a part of the inner peripheral surface of the fixing member 503.
  • the reflected light can be reflected more than in the comparative example.
  • the number of reflections in the window 31a is larger than the number of reflections in the comparative example due to the extending surface 315 that is inclined and reflected as described above. Therefore, the intensity of the reflected light of the present embodiment traveling to the sealing member 400a is weaker than the intensity of the reflected light traveling to the sealing member 400a of the comparative example.
  • the intensity of the reflected light is weakened, even if the reflected light reflected by the extending surface 315 advances from the inside of the window 31a to the sealing member 400a and irradiates the sealing member 400a, the sealing is earlier than expected. Deterioration of the stop member 400a can be suppressed.
  • the extending surface 315 may be polished for reflection. Further, a reflective film thinly plated with a metal such as silver or aluminum may be arranged on the extending surface 315. The extending surface 315 may reflect the reflected light toward the inner peripheral surface of the window holder 300a in the hollow portion 301.
  • FIG. 7 is a diagram showing a schematic configuration example around the window 31a and the window holder 300a in the present embodiment.
  • the window 31a and the window holder 300a are shown in a vertical cross section.
  • the configuration in the window 31a is different from the configuration in the window 31a of the first embodiment, and the other configurations are the same as those in the first embodiment.
  • the gas laser apparatus 100 of the present embodiment further includes the films 321a and 321b in the configuration of the gas laser apparatus 100 of the first embodiment.
  • the films 321a and 321b are included in the configuration of the window 31a.
  • the film 321a is the first film arranged on the contact surface with the sealing member 400a on the surface of the window 31a on the laser gas side.
  • the film 321a is arranged on the reflection direction side of the contact surface of the window 31a reflected by the window 31a, and is arranged on a part of the laser gas side surface of the window 31a located in the reflection side region.
  • the film 321a abuts on a part of the sealing member 400a located in the reflection side region.
  • the film 321a is mainly made of aluminum, and is a reflective film that reflects at least a part of the light having the same wavelength as the reflected light indicated by the arrow F13 toward the purge gas side surface of the window 31a and the outer peripheral surface of the window 31a. ..
  • the film 321a is arranged, for example, by thin film deposition.
  • the thickness of the film 321a is preferably about 200 nm.
  • the film 321b is a second film arranged on the contact surface with the ring member 501 on the surface of the window 31a on the purge gas side.
  • the film 321b is arranged on the reflection direction side of the contact surface of the window 31a reflected by the window 31a, and is arranged on a part of the purge gas side surface of the window 31a located in the reflection side region.
  • the film 321b abuts on a part of the ring member 501 located in the reflection side region.
  • the film 321b is mainly composed of aluminum oxide, and is an absorbent film that absorbs at least a part of light having the same wavelength as the reflected light indicated by the arrow F13.
  • the film 321b is arranged, for example, by thin film deposition.
  • the thickness of the film 321b is preferably about 200 nm.
  • a part of the reflected light is the surface on the purge gas side of the window 31a due to the surface on the laser gas side of the window 31a. May be reflected towards. Further, a part of the reflected light traveling on the purge gas side surface of the window 31a may be reflected toward the laser gas side surface of the window 31a by the purge gas side surface of the window 31a.
  • Such light is light having the same wavelength as the reflected light indicated by the arrow F13, and at least a part of the light is repeatedly reflected inside the window 31a.
  • the film 321a on the surface side of the laser gas side of the window 31a is a reflective film, the light traveling to the film 321a among the reflected light that repeats the above reflection is transmitted to the outer peripheral surface of the window 31a and the film 321b on the surface side of the laser gas side of the window 31a. , And a part of the surface of the window 31a on the purge gas side.
  • a part of the purge gas side surface is a region of the purge gas side surface where the ring member 501 is not arranged.
  • the film 321b on the surface side of the purge gas side of the window 31a absorbs the light from the surface of the window 31a on the laser gas side or the light from the film 321a which is a reflective film among the reflected light that repeats the above reflection.
  • the irradiation of the reflected light to the sealing member 400a is further suppressed by the film 321a, and the deterioration of the sealing member 400a earlier than the predetermined period is further suppressed.
  • the service life of the sealing member 400a is further suppressed to be shorter than the period assumed in advance. Therefore, it can be further suppressed that the usable period of the gas laser apparatus 100 is shorter than the period assumed in advance.
  • the film 321b also has the same action and effect as the film 321a.
  • one of the film 321a on the surface side of the laser gas side of the window 31a and the film 321b on the surface side of the purge gas side of the window 31a may be a reflective film and the other may be an absorbing film.
  • the absorbent film absorbs at least a part of the light traveling from the window 31a to the sealing member 400a.
  • the reflective film is the surface on the laser gas side of the window 31a on which at least a part of the light is sealed and the surface on which the member 400a is arranged. It is reflected on the outer peripheral surface of the window 31a.
  • the light has the same wavelength as the reflected light indicated by the arrow F13.
  • both the film 321a on the surface side of the laser gas side of the window 31a and the film 321b on the surface side of the purge gas side of the window 31a may be a reflective film or an absorbing film.
  • the film 321a on the laser gas side surface side of the window 31a may be arranged on the entire contact surface with the sealing member 400a on the laser gas side surface of the window 31a. Therefore, the film 321a is arranged in a ring shape like the ring-shaped sealing member 400a.
  • the film 321b on the purge gas side surface side of the window 31a may be arranged on the entire contact surface with the ring member 501 on the purge gas side surface of the window 31a. Therefore, the film 321a is arranged in a ring shape like the ring member 501.
  • the film 321b may not be arranged on the purge gas side surface of the window 31a, and only the film 321a may be arranged on the laser gas side surface of the window 31a.
  • the film 321a may be a reflective film or an absorbent film.
  • the film 321a may not be arranged on the surface of the window 31a on the laser gas side, and only the film 321b may be arranged on the surface of the window 31a on the purge gas side.
  • the membrane 321b is an absorbing membrane.
  • the reflective film may be a dielectric multilayer film.
  • the absorbent film may be a film colored in black.
  • a plate-shaped reflective member may be arranged instead of the reflective film, or a plate-shaped absorbent member may be arranged instead of the absorbent film.
  • FIG. 10 is a diagram showing a schematic configuration example around the window 31a and the window holder 300a in the present embodiment.
  • the window 31a and the window holder 300a are shown in a vertical cross section.
  • the configuration of the window holder 300a is different from the configuration of the window holder 300a of the first embodiment, and the window holder 300a of the present embodiment absorbs the reflected light.
  • the extending surface 315 is blackened and plated, and the extending surface 315 is an absorbing surface that absorbs the reflected light traveling from the window 31a to the extending surface 315. .. Most of the reflected light is converted into heat by the extending surface 315. The heat is released to the outside from the window holder 300a.
  • the extending surface 315 absorbs the reflected light from the window 31a. Therefore, the progress of the reflected light from the extending surface 315 to the window 31a is suppressed, the irradiation of the light traveling from the window 31a to the sealing member 400a is further suppressed, and the deterioration of the sealing member 400a is faster than the predetermined period. Is more suppressed.
  • the service life of the sealing member 400a is further suppressed to be shorter than the period assumed in advance. Therefore, it can be further suppressed that the usable period of the gas laser apparatus 100 is shorter than the period assumed in advance.
  • the window holder 300a is provided with the extending surface 315 which is the absorbing surface, the number of parts can be reduced as compared with the case where another member having the absorbing surface is arranged on the extending surface 315.
  • FIG. 11 is a diagram showing a schematic configuration example around the window 31a and the window holder 300a in the present embodiment.
  • the window 31a and the window holder 300a are shown in a vertical cross section.
  • the configuration of the window holder 300a is different from the configuration of the window holder 300a of the third embodiment, and the window holder 300a further includes the absorbing member 331 in the configuration of the window holder 300a of the third embodiment.
  • the absorption member 331 has a plate shape and is arranged on the extending surface 315.
  • the absorbing member 331 is laminated and arranged on the entire extending surface 315.
  • the absorbing member 331 is arranged inside the recessed portion 310.
  • the absorption member 331 is mainly made of aluminum oxide, and absorbs the reflected light traveling from the window 31a to the absorption member 331.
  • the thickness of the absorbing member 331 is preferably about 0.3 mm.
  • the absorption member 331 may be composed of a member colored in black.
  • the absorption member 331 absorbs the reflected light from the window 31a. Therefore, the progress of the reflected light from the absorption member 331 to the window 31a is suppressed, the irradiation of the light traveling from the window 31a to the sealing member 400a is further suppressed, and the deterioration of the sealing member 400a is earlier than the presumed period. It is more suppressed.
  • the service life of the sealing member 400a is further suppressed to be shorter than the period assumed in advance. Therefore, it can be further suppressed that the usable period of the gas laser apparatus 100 is shorter than the period assumed in advance.
  • the absorbent member 331 is separate from the window holder 300a, it is possible to reduce the trouble of black-plating the window holder 300a.
  • the absorption member 331 may be arranged at the irradiation position of the reflected light on the extending surface 315.
  • the absorption member 331 may also be arranged on the side surface 313 as long as the light from the window 31a travels to the side surface 313.
  • the window holder 300a including the side surface 313 and the extending surface 315 may be configured as the absorbing member 331.
  • FIG. 12 is a diagram showing a schematic configuration example around the window 31a and the window holder 300a in the present embodiment.
  • the window 31a and the window holder 300a are shown in a vertical cross section.
  • FIG. 13 a schematic view of a region surrounded by a solid circle 604 in the recessed portion 310 shown in FIG. 12 is shown as an enlarged view.
  • the configuration of the recessed portion 310 is different from the configuration of the recessed portion 310 of the fourth embodiment.
  • the recessed portion 310 is not recessed from the end surface 303 toward the hollow portion 301, does not communicate with the hollow portion 301, and is recessed in a part of the end surface 303.
  • the extending surface 315 of this embodiment is a side surface of the recessed portion 310.
  • the extending surface 315 is arranged so as to surround the central axis of the bottom surface 317 over the entire circumference.
  • the extending surface 315 is arranged non-parallel to the surface of the window 31a on the laser gas side.
  • the bottom surface 317 is continuous with the extending surface 315.
  • the bottom surface 317 is arranged so as to face the window 31a. Further, the end surface 303 is arranged parallel to the surface on the laser gas side of the window 31a.
  • An absorption member 331 is arranged on the bottom surface 317.
  • the extending surface 315 and the region of the bottom surface 317 where the absorbing member 331 is not arranged are processed with a surface roughness Ra of about 1.6.
  • the extending surface 315 reflects a part of the reflected light from the window 31a toward the absorbing member 331, and another part of the reflected light is reflected to another region of the extending surface 315. Further, the extending surface 315 reflects the remaining part of the reflected light to the bottom surface 317.
  • the bottom surface 317 reflects a part of the reflected light from the extending surface 315 toward the absorbing member 331, and reflects the remaining part of the reflected light from the extending surface 315 toward the extending surface 315.
  • the absorbing member 331 of the present embodiment has a cone shape and is arranged on a part of the bottom surface 317.
  • the tip of the absorbing member 331 is located on the bottom surface 317 side of the opening 311 and is located inside the recessed portion 310.
  • the absorbent member 331 is mainly made of, for example, aluminum oxide.
  • the absorption member 331 may be composed of a member colored in black.
  • the absorption member 331 absorbs the reflected light traveling from the window 31a to the absorption member 331 via the extending surface 315. Further, the absorption member 331 absorbs the reflected light traveling from the extending surface 315 to the absorbing member 331 via another extending surface 315. Further, the absorption member 331 absorbs the reflected light traveling from the extending surface 315 to the absorbing member 331 via the bottom surface 317.
  • the reflected light from the window 31a travels from the surface of the window 31a on the laser gas side to the recessed portion 310 as shown by the solid arrow F12. Further, as shown by the solid arrow F12, the reflected light travels from the opening 311 of the recessed portion 310 to the inside of the recessed portion 310 and directly travels to the extending surface 315 of the recessed portion 310. A part of the reflected light is reflected toward the absorbing member 331 by the extending surface 315 as shown by the solid arrow F14. Another portion of the reflected light is reflected by the extending surface 315 towards the bottom surface 317 and further by the bottom surface 317 towards the absorber 331, as indicated by the solid arrow F15.
  • Yet another portion of the reflected light is reflected by the extending surface 315 towards the other extending surface 315 and reflected towards the absorbing member 331 by the yet another extending surface 315 as indicated by the solid arrow F16. Will be done.
  • the remaining portion of the reflected light is reflected by the bottom surface 317 toward the extending surface 315 and further by the extending surface 315 toward the absorbing member 331.
  • the reflected light is repeatedly reflected between the extending surface 315 and the bottom surface 317, and the progress of the reflected light from the internal space of the recessed portion 310 to the external space of the recessed portion 310 in which the window 31a is arranged is suppressed, and the absorbing member 331 is suppressed. Absorbed by.
  • the absorption member 331 absorbs the reflected light traveling from the window 31a to the absorption member 331 via the extending surface 315.
  • the absorbing member 331 also absorbs the reflected light traveling from the extending surface 315 to the absorbing member 331 via the bottom surface 317. Therefore, the progress of the reflected light from the absorption member 331 to the window 31a is suppressed, the irradiation of the light traveling from the window 31a to the sealing member 400a is further suppressed, and the deterioration of the sealing member 400a is earlier than the presumed period. It is more suppressed.
  • the service life of the sealing member 400a is further suppressed to be shorter than the period assumed in advance. Therefore, it can be further suppressed that the usable period of the gas laser apparatus 100 is shorter than the period assumed in advance.
  • the extending surface 315 to which the reflected light from the window 31a directly travels does not need to reflect the reflected light to the other extending surface 315 to which the reflected light from the window 31a does not directly travel and the bottom surface 317. All the reflected light may be directly reflected on the sealing member 400a. Further, the recessed portion 310 may be recessed from the end face 303 toward the hollow portion 301 and communicate with the hollow portion 301, similarly to the recessed portion 310 of the fourth embodiment. The reflected light reflected by the extending surface 315 travels to the inner peripheral surface of the window holder 300a in the hollow portion 301, is reflected by the inner peripheral surface, and can return to the internal space of the housing 30.
  • the extending surface 315 and the bottom surface 317 may be coated with a coating for improving the light absorption rate or a surface treatment for improving the light absorption rate.
  • a coating for improving the light absorption rate or a surface treatment for improving the light absorption rate.
  • an absorbent film mainly composed of aluminum oxide may be arranged on the extending surface 315 and the bottom surface 317.

Landscapes

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Abstract

ガスレーザ装置（１００）は、筐体（３０）と、ウインドウホルダ（３００ａ，３００ｂ）と、ウインドウ（３１ａ，３１ｂ）と、封止部材（４００ａ，４００ｂ）とを備える。ウインドウホルダ（３００ａ，３００ｂ）は、開口（３０５）を介してウインドウに進行する光のうちウインドウによって反射される反射光の反射方向側に位置し、端面（３０３）に連続してウインドウから離れる方向に延在し、ウインドウからの反射光を照射される延在面（３１５）をさらに含む。線（６０２）は、延在面（３１５）における反射光の照射位置を通り延在面（３１５）に垂直な基準線を基準にして、反射光の光軸を延在面（３１５）における反射光の照射位置で対称に折り返した位置に位置する。線（６０２）は、延在面（３１５）からウインドウに向かう方向においてウインドウにおける法線（６０１）をウインドウの外周側からウインドウの中心軸側に向かって跨がる。

Description

ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法
　本開示は、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法に関する。
　近年、半導体露光装置においては、半導体集積回路の微細化及び高集積化につれて、解像力の向上が要請されている。このため、露光用光源から放出される光の短波長化が進められている。例えば、露光用のガスレーザ装置としては、波長約２４８ｎｍのレーザ光を出力するＫｒＦエキシマレーザ装置、ならびに波長約１９３ｎｍのレーザ光を出力するＡｒＦエキシマレーザ装置が用いられる。
　ＫｒＦエキシマレーザ装置及びＡｒＦエキシマレーザ装置の自然発振光のスペクトル線幅は、３５０ｐｍ～４００ｐｍと広い。そのため、ＫｒＦ及びＡｒＦレーザ光のような紫外線を透過する材料で投影レンズを構成すると、色収差が発生してしまう場合がある。その結果、解像力が低下し得る。そこで、ガスレーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル線幅を、色収差が無視できる程度となるまで狭帯域化する必要がある。そのため、ガスレーザ装置のレーザ共振器内には、スペクトル線幅を狭帯域化するために、狭帯域化素子（エタロンやグレーティング等）を含む狭帯域化モジュール（Ｌｉｎｅ　Ｎａｒｒｏｗ　Ｍｏｄｕｌｅ：ＬＮＭ）が備えられる場合がある。以下では、スペクトル線幅が狭帯域化されるガスレーザ装置を狭帯域化ガスレーザ装置という。
特開平１－２３１０１７号公報 特開平５－３３５４号公報 特開平８－１４８７３８号公報
概要
　本開示の一態様によるガスレーザ装置は、レーザガスの励起によって光が発生する内部空間と、内部空間からの光が出射する孔とを含む筐体と、筐体に配置され、孔から出射する光が通過する中空部を含む筒状のウインドウホルダと、中空部を進行する光が透過し、中空部を進行する光の光軸に対して光が入射する面が傾斜した状態でウインドウホルダによって保持されるウインドウと、ウインドウとウインドウに対向して位置するウインドウホルダの端面との間においてウインドウと端面とに密着して配置されると共に、中空部に連通する端面に囲まれる開口を囲んで配置されるリング状の封止部材と、を備え、ウインドウホルダは、開口を介してウインドウに進行する光のうちウインドウによって反射される反射光の反射方向側に位置し、端面に連続してウインドウから離れる方向に延在し、ウインドウからの反射光を照射される延在面をさらに含み、延在面における反射光の照射位置を通り延在面に垂直な基準線を基準にして反射光の光軸を照射位置で対称に折り返した位置に位置する線は、延在面からウインドウに向かう方向においてウインドウにおける法線をウインドウの外周側からウインドウの中心軸側に向かって跨がる。
　また、本開示の一態様による電子デバイスの製造方法は、レーザガスの励起によって光が発生する内部空間と、内部空間からの光が出射する孔とを含む筐体と、筐体に配置され、孔から出射する光が通過する中空部を含む筒状のウインドウホルダと、中空部を進行する光が透過し、中空部を進行する光の光軸に対して光が入射する面が傾斜した状態でウインドウホルダによって保持されるウインドウと、ウインドウとウインドウに対向して位置するウインドウホルダの端面との間においてウインドウと端面とに密着して配置されると共に、中空部に連通する端面に囲まれる開口を囲んで配置されるリング状の封止部材と、を備え、ウインドウホルダは、開口を介してウインドウに進行する光のうちウインドウによって反射される反射光の反射方向側に位置し、端面に連続してウインドウから離れる方向に延在し、ウインドウからの反射光を照射される延在面をさらに含み、延在面における反射光の照射位置を通り延在面に垂直な基準線を基準にして反射光の光軸を照射位置で対称に折り返した位置に位置する線は、延在面からウインドウに向かう方向においてウインドウにおける法線をウインドウの外周側からウインドウの中心軸側に向かって跨がるガスレーザ装置から出射されるレーザ光を露光装置に入射させ、電子デバイスを製造するために、露光装置内で感光基板上にレーザ光を露光することを含む。
　本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
図１は、電子デバイスの製造装置の全体の概略構成例を示す模式図である。 図２は、ガスレーザ装置の全体の概略構成例を示す模式図である。 図３は、比較例において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図４は、比較例において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図５は、実施形態１において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図６は、ウインドウホルダの端面側から見る場合におけるウインドウホルダの概略斜視図である。 図７は、実施形態２において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図８は、実施形態２の変形例においてウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図９は、実施形態２の別の変形例においてウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図１０は、実施形態３において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図１１は、実施形態４において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図１２は、実施形態５において出力結合ミラー側におけるウインドウ及びウインドウホルダ周辺の概略構成例を示す図である。 図１３は、図１２に示す窪み部において実線の円で囲まれる領域の模式図である。
実施形態
１．電子デバイスの露光工程で使用される電子デバイスの製造装置の説明
２．比較例のガスレーザ装置の説明
　２．１　構成
　２．２　動作
　２．３　課題
３．実施形態１のガスレーザ装置の説明
　３．１　構成
　３．２　機能
　３．３　作用・効果
４．実施形態２のガスレーザ装置の説明
　４．１　構成
　４．２　作用・効果
５．実施形態３のガスレーザ装置の説明
　５．１　構成
　５．２　作用・効果
６．実施形態４のガスレーザ装置の説明
　６．１　構成
　６．２　作用・効果
７．実施形態５のガスレーザ装置の説明
　７．１　構成
　７．２　作用・効果
　以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。
　以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
１．電子デバイスの露光工程で使用される電子デバイスの製造装置の説明
　図１は、電子デバイスの露光工程で使用される電子デバイスの製造装置の全体の概略構成例を示す模式図である。図１に示すように、露光工程で使用される製造装置は、ガスレーザ装置１００及び露光装置２００を含む。露光装置２００は、複数のミラー２１１，２１２，２１３を含む照明光学系２１０と、投影光学系２２０とを含む。照明光学系２１０は、ガスレーザ装置１００から入射したレーザ光によって、レチクルステージＲＴのレチクルパターンを照明する。投影光学系２２０は、レチクルを透過したレーザ光を、縮小投影してワークピーステーブルＷＴ上に配置された不図示のワークピースに結像させる。ワークピースは、フォトレジストが塗布された半導体ウエハ等の感光基板である。露光装置２００は、レチクルステージＲＴとワークピーステーブルＷＴとを同期して平行移動させることにより、レチクルパターンを反映したレーザ光をワークピースに露光する。以上のような露光工程によって半導体ウエハにデバイスパターンを転写することで電子デバイスである半導体デバイスを製造することができる。
２．比較例のガスレーザ装置の説明
　２．１　構成
　比較例のガスレーザ装置１００について説明する。なお、本開示の比較例とは、出願人のみによって知られていると出願人が認識している形態であって、出願人が自認している公知例ではない。
　図２は、本例のガスレーザ装置１００の全体の概略構成例を示す模式図である。図２に示すように、本例のガスレーザ装置１００は、筐体１０と、レーザ発振器ＬＯと、波長計測モジュール２０と、プロセッサ７０とを主な構成として含む。本例のガスレーザ装置１００は、例えば、アルゴン（Ａｒ）、フッ素（Ｆ２）、及びネオン（Ｎｅ）を含む混合ガスを使用するＡｒＦエキシマレーザ装置である。この場合、ガスレーザ装置１００は、中心波長が約１９３ｎｍのパルスレーザ光を出射する。なお、ガスレーザ装置１００は、ＡｒＦエキシマレーザ装置以外のガスレーザ装置であってもよく、例えば、クリプトン（Ｋｒ）、フッ素（Ｆ２）、及びネオン（Ｎｅ）を含む混合ガスを使用するＫｒＦエキシマレーザ装置であってもよい。この場合、ガスレーザ装置１００は、中心波長が約２４８ｎｍのパルスレーザ光を出射する。レーザ媒質であるＡｒ、Ｆ２、及びＮｅを含む混合ガスやレーザ媒質であるＫｒ、Ｆ２、及びＮｅを含む混合ガスは、レーザガスと呼ばれる場合がある。
　本開示のプロセッサ７０は、制御プログラムが記憶された記憶装置と、制御プログラムを実行するＣＰＵとを含む処理装置である。プロセッサ７０は、本開示に含まれる各種処理を実行するために特別に構成又はプログラムされている。プロセッサ７０は、ガスレーザ装置１００の幾つかの構成を制御する。また、プロセッサ７０は、ガスレーザ装置１００全体を制御する。
　レーザ発振器ＬＯは、チャンバ装置ＣＨと、充電器ＢＣと、狭帯域化モジュール６０と、出力結合ミラーＯＣと、を主な構成として含む。
　チャンバ装置ＣＨは、筐体３０と、一対のウインドウ３１ａ，３１ｂと、後述する一対のウインドウホルダ３００ａ，３００ｂと、後述する一対の封止部材４００ａ，４００ｂと、後述する一対の固定ユニット５００ａ，５００ｂと、一対の電極３２ａ，３２ｂと、絶縁部３３と、パルスパワーモジュール３５と、電極ホルダ部３６と、クロスフローファン３８と、モータ３８Ｍとを主な構成として備える。
　ウインドウ３１ａ及びウインドウ３１ｂは、筐体３０における互いに対向する位置に設けられている。ウインドウ３１ａは、筐体３０におけるレーザ光の進行方向における一端側に位置し、ウインドウ３１ｂは、筐体３０におけるレーザ光の進行方向における他端側に位置している。後述のようにガスレーザ装置１００では、筐体３０を含む光路上で光が発振してレーザ光が出射するため、筐体３０の内部空間で発生したレーザ光は、ウインドウ３１ａ及びウインドウ３１ｂを介して筐体３０の外部に出射する。それぞれのウインドウ３１ａ，３１ｂは、レーザ光のＰ偏光の反射が抑制されるように、レーザ光の進行方向に対してブリュースター角をなすように傾けられている。
　筐体３０は、上記のレーザガスの励起によって光が発生する内部空間を含む。レーザガスは、筐体１０に配置される不図示のレーザガス供給源から不図示の配管を介して筐体３０の内部空間に供給される。本例では、ガスレーザ装置１００がＡｒＦエキシマレーザ装置であるため、例えば、Ａｒ、Ｆ２、及びＮｅを含む混合ガスがレーザガス供給源から筐体３０の内部空間に供給される。なお、ガスレーザ装置１００がＫｒＦエキシマレーザである場合、例えば、Ｋｒ、Ｆ２、及びＮｅを含む混合ガスがレーザガス供給源から筐体３０の内部空間に供給される。レーザガスの励起によって発生する上記した光は、筐体３０の後述する孔３０ａから出射され、筒状のウインドウホルダ３００ａ，３００ｂのそれぞれの中空部を通過して、ウインドウ３１ａ，３１ｂに進行する。
　一対の電極３２ａ，３２ｂの長手方向はレーザ光の進行方向に沿っており、一対の電極３２ａ，３２ｂは、筐体３０の内部空間において互いに対向して配置されている。筐体３０における電極３２ａと電極３２ｂとの間の空間は、ウインドウ３１ａとウインドウ３１ｂとにより挟まれている。それぞれの電極３２ａ，３２ｂは、グロー放電によりレーザ媒質を励起するための放電電極である。本例では、電極３２ａがカソードであり、電極３２ｂがアノードである。
　筐体３０には開口が形成され、この開口は絶縁体を含んで形成される絶縁部３３により塞がれている。電極３２ａは絶縁部３３に支持されている。絶縁部３３には、導電部材からなるフィードスルー３４が埋め込まれている。フィードスルー３４は、パルスパワーモジュール３５から供給される電圧を電極３２ａに印加する。電極３２ｂは電極ホルダ部３６に支持され、電極ホルダ部３６と電気的に接続されている。この電極ホルダ部３６は不図示の配線を介して筐体３０と電気的に接続されている。
　パルスパワーモジュール３５には、筐体３０の外に配置される充電器ＢＣが接続されている。充電器ＢＣは、パルスパワーモジュール３５の中に設けられる不図示のコンデンサを所定の電圧で充電する直流電源装置である。パルスパワーモジュール３５は、プロセッサ７０によって制御されるスイッチを含んでいる。スイッチがオフからオンになると、パルスパワーモジュール３５は、充電器ＢＣから印加される電圧を昇圧してパルス状の高電圧を生成し、この高電圧を一対の電極３２ａ，３２ｂに印加する。
　電極ホルダ部３６を基準として電極３２ｂ側と反対側における筐体３０の内部空間にはクロスフローファン３８が配置されている。筐体３０の内部空間においてクロスフローファン３８が配置される空間は、筐体３０の内部空間において一対の電極３２ａ，３２ｂ間の空間と連通している。このため、クロスフローファン３８が回転することで、筐体３０の内部空間に封入されたレーザガスは所定の方向に循環する。クロスフローファン３８には、筐体３０の外に配置されているモータ３８Ｍが接続されている。このモータ３８Ｍが回転することで、クロスフローファン３８は回転する。モータ３８Ｍは、プロセッサ７０による制御によりオン、オフや回転数の調節がなされる。従って、プロセッサ７０は、モータ３８Ｍを制御することで、筐体３０の内部空間を循環するレーザガスの循環速度を調節することができる。
　なお、クロスフローファン３８の脇には不図示の熱交換器が配置されている。クロスフローファン３８により循環されるレーザガスの少なくとも一部はこの熱交換器を通過し、熱交換器によりレーザガスの温度が調節される。
　筐体３０におけるウインドウ３１ａが設けられる上記一端側には、光路管５１が接続されている。出力結合ミラーＯＣは、筐体３０を基準とした上記一端側に設けられ、光路管５１の内部空間に配置されている。出力結合ミラーＯＣは、ウインドウ３１ａから出射するレーザ光が入射する光学素子であり、ウインドウ３１ａから出射される光のうちの一部を透過させ、他の一部を反射させてウインドウ３１ａを介して筐体３０の内部空間に戻す。出力結合ミラーＯＣは、例えば、フッ化カルシウムの基板に誘電体多層膜が成膜された素子で構成される。出力結合ミラーＯＣの表面には、レーザ光を部分反射する膜が成膜されてもよい。
　筐体３０におけるウインドウ３１ｂが設けられる上記他端側には、光路管５２が接続されている。狭帯域化モジュール６０は、光路管５２に接続されている。従って、狭帯域化モジュール６０は、筐体３０を基準として上記他端側に設けられ、筐体３０を基準として出力結合ミラーＯＣとは反対側に設けられている。狭帯域化モジュール６０は、筐体６１と、グレーティング６２と、プリズム６３，６４とを含む。筐体６１には開口が形成されており、この開口を通じて筐体６１の内部空間と光路管５２の内部空間とが連通している。
　グレーティング６２及びプリズム６３，６４は、筐体６１の内部空間に配置されている。グレーティング６２及びプリズム６３，６４は、ウインドウ３１ｂから出射するレーザ光が入射する光学素子である。グレーティング６２は、レーザ光の入射角度と回折角度とが概ね一致するようにリトロー配置されている。本例では、グレーティング６２は、約１９３ｎｍの波長に対してブレーズドされたエシェールグレーティングであってもよい。なお、グレーティング６２は、筐体６１に固定されており、筐体６１に対して動かない。
　プリズム６３，６４の少なくとも一方は、筐体６１の内部空間に配置される不図示の回転ステージ上に固定されている。プリズム６３，６４のうち回転ステージ上に固定されたプリズムが僅かに回転することで、グレーティング６２へ入射する光の入射角度が調節される。グレーティング６２への光の入射角度が調節されることで、グレーティング６２で反射されてチャンバ装置ＣＨに入射する光の波長が調節される。従って、筐体３０のウインドウ３１ｂから出射される光がプリズム６３，６４を介してグレーティング６２で反射することで、筐体３０に戻る光の波長は、所望の波長に調節される。それぞれのプリズム６３，６４は、例えば、フッ化カルシウムで構成されている。なお、狭帯域化モジュール６０に配置されるプリズムの数は、本例では２つであるが、１つであっても３つ以上であってもよい。
　筐体３０を挟んで設けられる出力結合ミラーＯＣとグレーティング６２とでレーザ共振器が構成され、筐体３０は、このレーザ共振器の光路上に配置される。従って、筐体３０の内部空間から後述する筐体３０の孔を介して出射する光は、ウインドウ３１ａ，３１ｂ及びプリズム６３，６４を介して狭帯域化モジュール６０のグレーティング６２と出力結合ミラーＯＣとの間で往復する。往復する光は、電極３２ａと電極３２ｂとの間のレーザゲイン空間を通過する度に増幅される。増幅された光の一部が、ウインドウ３１ａを介して出力結合ミラーＯＣを透過して、パルスレーザ光として出射される。
　波長計測モジュール２０は、レーザ発振器ＬＯの出力結合ミラーＯＣから出射するパルスレーザ光の光路上に配置されている。波長計測モジュール２０は、筐体２１と、ビームスプリッタ２２と、波長モニタ２３とを含む。筐体２１は、光路管５１に接続されている。筐体２１には開口が形成されており、この開口を通じて筐体２１の内部空間と光路管５１の内部空間とが連通している。筐体２１の内部空間には、ビームスプリッタ２２及び波長モニタ２３が配置されている。ビームスプリッタ２２及び波長モニタ２３は、出力結合ミラーＯＣから出射するパルスレーザ光が入射する光学素子である。
　ビームスプリッタ２２は、レーザ発振器ＬＯから出射したパルスレーザ光を高い透過率で透過させると共に、パルスレーザ光の一部を、波長モニタ２３の受光面に向けて反射する。波長モニタ２３は、受光面に入射したパルスレーザ光の波長を検出し、検出された波長に係るデータをプロセッサ７０に出力する。
　波長計測モジュール２０の筐体２１における光路管５１が接続される側と反対側には、開口が形成されており、この開口を囲むように光路管５３が接続されている。このため、光路管５１の内部空間と、筐体２１の内部空間と、光路管５３の内部空間とが互いに連通している。光路管５３は筐体１０に接続されている。筐体１０における光路管５３に囲まれる位置には、レーザ光出射ウインドウＯＷが設けられている。従って、波長計測モジュール２０のビームスプリッタ２２を透過する光は、光路管５３を介して、レーザ光出射ウインドウＯＷから筐体１０の外部に出射される。
　光路管５１，５２，５３や、筐体２１，６１の内部空間には、パージガスが充填されている。パージガスには、酸素等の不純物の少ない高純度窒素等の不活性ガスが含まれる。パージガスは、筐体１０の外に配置されている不図示のパージガス供給源から不図示の配管を通じて光路管５１，５２，５３や、筐体２１，６１の内部空間に供給される。
　なお、筐体１０の内部空間には、チャンバ装置ＣＨの筐体３０の内部空間から排気されるレーザガスを排気するための不図示の排気装置が配置されている。排気装置は、筐体３０の内部空間から排気されるガスに対してハロゲンフィルタによってＦ２ガスを除去する処理をして、筐体１０にガスを放出する。
　次に、図３を参照して、比較例におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａの構成について説明する。図３は、比較例においてウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａの概略構成例を示す図である。図３において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。図３において、筐体３０の内部空間から筐体３０の孔３０ａ、中空部３０１、及び開口３０５を介してウインドウ３１ａへ進行する光を実線の矢印Ｆ１で示している。
　ウインドウホルダ３００ａは、筒状であり、筐体３０における上記一端とウインドウ３１ａとの間に位置する。図３では、ウインドウホルダ３００ａの一端は筐体３０の壁面に接続されており、ウインドウホルダ３００ａの他端はウインドウ３１ａ側に位置する。
　筒状のウインドウホルダ３００ａは、中空部３０１と、ウインドウホルダ３００ａの他端に位置する端面３０３とを含む。
　中空部３０１は、筐体３０の孔３０ａを介して筐体３０の内部空間と連通している。また、中空部３０１は、端面３０３に位置する開口３０５と連通している。中空部３０１には、筐体３０の内部空間から筐体３０の孔３０ａ、開口３０５、及びウインドウ３１ａを介して出力結合ミラーＯＣに進行する光が通過する。また、中空部３０１には、上記とは逆に出力結合ミラーＯＣから筐体３０の内部空間に進行する光も通過する。従って、開口３０５は、出力結合ミラーＯＣへの光の出射口であると共に、中空部３０１への光の入射口でもある。
　端面３０３は、ウインドウ３１ａに対向して配置されている。また、端面３０３は、対向するウインドウ３１ａの表面に平行に配置されている。以下において、当該表面をレーザガスと接するレーザガス側表面と呼ぶ場合がある。端面３０３と同様に、開口３０５もウインドウ３１ａの表面に平行に配置されている。端面３０３は、平面である。端面３０３に直交する直線に沿ってウインドウ３１ａに向かって投影された端面３０３の投影領域面内には、ウインドウ３１ａが位置する。
　ウインドウ３１ａは、平行平面基板である。ウインドウ３１ａはフッ化カルシウムで構成されている。ウインドウ３１ａは、平行ウェッジ基板であってもよい。また、ウインドウ３１ａは、例えば、フッ化マグネシウム、溶融石英、または合成石英といった紫外域で高い透過率を有する部材で構成されてもよい。
　ウインドウ３１ａは、中空部３０１を進行する光が所定の角度で入射するように配置されている。この角度は、ブリュースター角付近の角度、例えば、５５°～６１°である。また、ウインドウ３１ａは、中空部３０１を進行する実線の矢印Ｆ１で示す光の光軸に対して当該光が入射するウインドウ３１ａの表面が傾斜した状態で、ウインドウホルダ３００ａによって保持されている。
　図３に示すように、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａの周辺には、封止部材４００ａ及び固定ユニット５００ａが配置されている。以下に、リング状の封止部材４００ａ及び固定ユニット５００ａの構成について説明する。
　封止部材４００ａは、端面３０３とウインドウ３１ａとの間において端面３０３とウインドウ３１ａとに挟まれて配置されている。封止部材４００ａは、ウインドウ３１ａの中心軸Ｃと端面３０３の開口３０５とを囲んで配置されている。従って、封止部材４００ａの内径は、端面３０３の開口３０５の直径よりも大きい。また、封止部材４００ａの外径はウインドウ３１ａの外径と概ね同じであり、封止部材４００ａはウインドウ３１ａのレーザガスと接する表面の外周縁に配置される。封止部材４００ａは、ニトリルゴム等の樹脂で構成されるＯリングである。なお、封止部材４００ａは端面３０３における開口３０５を囲んで配置されていればよく、封止部材４００ａの外径はウインドウ３１ａの外径よりも小さく、封止部材４００ａは開口３０５とウインドウ３１ａの外周縁との間に配置されていてもよい。
　封止部材４００ａは、ウインドウ３１ａの表面とウインドウホルダ３００ａの端面３０３とに密着する。従って、ウインドウホルダ３００ａは、封止部材４００ａを介してウインドウ３１ａを端面３０３において保持すると理解できる。封止部材４００ａは、密着によってウインドウ３１ａの表面とウインドウホルダ３００ａの端面３０３との間を封止する。これにより、レーザガスは、筐体３０の内部空間と、中空部３０１と、端面３０３とウインドウ３１ａとの間の空間とにおいて、封入される。
　固定ユニット５００ａは、封止部材４００ａ及びウインドウ３１ａをウインドウホルダ３００ａに固定している。固定ユニット５００ａは、リング部材５０１と、固定部材５０３とを含む。
　リング部材５０１は、封止部材４００ａ側とは反対側におけるウインドウ３１ａの表面に配置されており、ウインドウ３１ａの中心軸Ｃを囲んで配置されている。以下において、当該表面をパージガスと接するパージガス側表面と呼ぶ場合がある。リング部材５０１の内径は封止部材４００ａの内径と概ね同じであり、リング部材５０１の外径は封止部材４００ａの外径と概ね同じである。また、リング部材５０１は、ウインドウ３１ａのパージガスと接する表面の外周縁に配置されている。従って、リング部材５０１はウインドウ３１ａを基準として封止部材４００ａとは反対側に配置され、ウインドウ３１ａは封止部材４００ａとリング部材５０１とに挟まれて配置されている。リング部材５０１、ウインドウ３１ａ、及び封止部材４００ａのそれぞれの中心軸は、同軸上に配置される。
　固定部材５０３は、筒状である。固定部材５０３の内径は、ウインドウ３１ａ、封止部材４００ａ、及びリング部材５０１のそれぞれの外径と概ね同じである。固定部材５０３は、ウインドウ３１ａ、封止部材４００ａ、及びリング部材５０１のそれぞれの外周面を全周に渡って囲うと共に、それぞれの外周面に当接している。固定部材５０３は、それぞれの外周面に密着してもよい。固定部材５０３の中心軸は、ウインドウ３１ａの中心軸Ｃと同軸上に位置する。ウインドウ３１ａ、封止部材４００ａ、及びリング部材５０１のそれぞれの外周面を全周に渡って囲う固定部材５０３は、固定部材５０３の一端において端面３０３に取り付けられている。
　固定部材５０３は、固定部材５０３の他端に配置されるリング状の内側フランジ部５０５を含む。内側フランジ部５０５は、固定部材５０３の内周面の全周に渡って配置されている。また、内側フランジ部５０５は、固定部材５０３の径方向において固定部材５０３の内周面から固定部材５０３の中心に向かって延設されている。内側フランジ部５０５の内径は、リング部材５０１の内径と概ね同じである。
　固定部材５０３が端面３０３に取り付けられると、内側フランジ部５０５はリング部材５０１をウインドウ３１ａに向かって押し付ける。これにより、ウインドウ３１ａは、封止部材４００ａを介して端面３０３に向かって押し付けられ、ウインドウ３１ａの軸方向及び径方向において固定される。また、固定部材５０３は、ウインドウ３１ａの外周面との当接によって、ウインドウ３１ａの径方向においてウインドウ３１ａを固定する。
　また、封止部材４００ａは押し付けによって弾性変形し、ウインドウ３１ａ及び端面３０３に対する封止部材４００ａの密着面が弾性変形によって押し付け前に比べて広がる。これにより、封止部材４００ａは、押し付け前に比べてより密着し、密着によってウインドウ３１ａのレーザガス側表面とウインドウホルダ３００ａの端面３０３との間をより封止する。
　ウインドウホルダ３００ａ及びリング部材５０１は、金属で構成される。この金属は、例えば、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６、またはＳＵＳ３０３といった、ステンレスである。また、ウインドウ３１ａに対向するウインドウホルダ３００ａの端面３０３、及びリング部材５０１のうちウインドウ３１ａに当接するリング部材５０１の当接面は、鏡面研磨されている。
　ウインドウ３１ｂとウインドウホルダ３００ｂと封止部材４００ｂと固定ユニット５００ｂとのそれぞれの構成は、ウインドウ３１ａとウインドウホルダ３００ａと封止部材４００ａと固定ユニット５００ａとのそれぞれの構成と同様である。また、図４に示すように、筐体３０に対するウインドウホルダ３００ｂの配置は、ウインドウホルダ３００ｂが筐体３０における上記他端側に配置されている点、及びウインドウホルダ３００ｂが矢印Ｆ１で示す光の光軸を基準にしてウインドウ３１ａとは上下に反転して配置されている点を除いて、筐体３０に対するウインドウ３１ａの配置と同様であるため、詳細な説明を省略する。
　２．２　動作
　次に、比較例のガスレーザ装置１００の動作について説明する。
　ガスレーザ装置１００がレーザ光を出射する前の状態で、光路管５１，５２，５３の内部空間や、筐体２１，６１の内部空間には、不図示のパージガス供給源からパージガスが充填される。また、筐体３０の内部空間には、不図示のレーザガス供給源からレーザガスが供給される。レーザガスが供給されると、プロセッサ７０は、モータ３８Ｍを制御してクロスフローファン３８を回転させ、クロスフローファン３８の回転によりレーザガスが循環される。
　ガスレーザ装置１００がレーザ光を出射する際には、プロセッサ７０は、充電器ＢＣ及びパルスパワーモジュール３５内のスイッチを制御して、電極３２ａと電極３２ｂとの間に高電圧を印加する。電極３２ａ，３２ｂ間に高電圧が印加されると、電極３２ａ，３２ｂ間の絶縁が破壊され放電が起こる。この放電のエネルギーにより、電極３２ａ，３２ｂ間のレーザガスに含まれるレーザ媒質は励起状態とされて、基底状態に戻る際に自然放出光を放出する。この光の一部は、紫外光であり、筐体３０の光から出射され、ウインドウホルダ３００ｂにおける中空部３０１及び開口３０５を介してウインドウ３１ｂを透過する。透過した光は、プリズム６３，６４を透過することによって光の進行方向に拡大されてグレーティング６２に導かれる。光はそれぞれのプリズム６３，６４を透過するごとに波長分散される。また、光は所定の角度でグレーティング６２に入射して回折し、所定波長の光が入射角度と同じ反射角度でグレーティング６２で反射される。グレーティング６２で反射された光は、それぞれのプリズム６３，６４を介して、再びウインドウ３１ｂからウインドウホルダ３００ｂの開口３０５と中空部３０１と筐体３０の孔３０ａとを介して筐体３０の内部空間に伝搬する。筐体３０の内部空間に伝搬する光は、狭帯域化モジュール６０によって狭帯域化されている。この狭帯域化された光により、励起状態のレーザ媒質は誘導放出を起こし、光が増幅される。光は、筐体３０の孔３０ａから出射され、ウインドウホルダ３００ａにおける中空部３０１及び開口３０５を介してウインドウ３１ａを透過して、出力結合ミラーＯＣに進行する。光の一部は出力結合ミラーＯＣを透過して、光の残りの一部は出力結合ミラーＯＣによって反射されウインドウ３１ａからウインドウホルダ３００ａの開口３０５と中空部３０１と筐体３０の孔３０ａとを介して筐体３０の内部空間に伝搬する。筐体３０の内部空間に伝搬した光は、上記したようにウインドウ３１ｂ及びプリズム６３，６４を透過してグレーティング６２に進行する。こうして、所定の波長の光が、グレーティング６２と出力結合ミラーＯＣとの間を往復する。このため、光は増幅され、レーザ発振が起こる。そして、レーザ光の一部は、出力結合ミラーＯＣを透過して、レーザ光出射ウインドウＯＷから露光装置２００に向かって出射する。
　なお、出力結合ミラーＯＣを透過したレーザ光のうちの一部は、ビームスプリッタ２２で反射される。反射されたレーザ光は波長モニタ２３で受光され、波長モニタ２３は受光したレーザ光のエネルギーの強度に基づく信号をプロセッサ７０に出力する。プロセッサ７０は、この信号に基づいて、充電器ＢＣやパルスパワーモジュール３５を制御して、出射されるレーザ光のパワーが調節される。
　２．３　課題
　比較例のガスレーザ装置１００では、図３にて矢印Ｆ１で示すように、光は筐体３０の内部空間から筐体３０の孔３０ａ、中空部３０１、及び開口３０５を介してウインドウ３１ａに進行する。この光がウインドウ３１ａを透過する際、光の一部はウインドウ３１ａの表面によって反射される。図３において、反射光は、矢印Ｆ２で示すように反射によってウインドウ３１ａの表面から端面３０３に進行し、実線の矢印Ｆ３で示すように端面３０３によってウインドウ３１ａに向かって反射される。次に、反射光は、ウインドウ３１ａを透過してウインドウ３１ａの外周側に配置される部材に進行することがある。外周側とはウインドウ３１ａの外周面及びウインドウ３１ａのレーザガス側表面及びパージガス側表面における外周縁側を含む。また、当該部材は、ウインドウ３１ａを透過してレーザ共振器内を往復する光の進行を妨げないように配置されている部材であり、封止部材４００ａ、リング部材５０１、及び固定部材５０３である。ここでは、反射光は、実線の矢印Ｆ４で示すようにウインドウ３１ａを透過してリング部材５０１に進行することがある。ここで、反射光は、ウインドウ３１ａのパージガス側表面に当接するリング部材５０１の表面全体に進行するのではなく、リング部材５０１の表面のうち反射側領域に位置するリング部材５０１の表面の一部に進行する。表面の一部は、リング部材５０１を正面から見てリング部材５０１を上下でそれぞれ半円の円弧状に分けた場合、下側の半円の円弧の底部に概ね相当する。また、反射光は、リング部材５０１の表面の当該一部によって反射され、実線の矢印Ｆ５で示すようにウインドウ３１ａを透過して封止部材４００ａに進行することがある。この場合、反射光は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に密着する封止部材４００ａの密着面全体に進行するのではなく、封止部材４００ａの密着面のうち上記反射側領域に位置する封止部材４００ａの密着面の一部に進行する。密着面の当該一部は、反射光を照射されたリング部材５０１の表面の一部に対向する。
　ここで、何らかの原因により、ウインドウ３１ａの表面の反射率が想定した状態よりも高くなる場合、または、反射光の強度が想定した状態よりも高くなる場合がある。このような場合、反射光を所定時間以上照射される封止部材４００ａは予め想定した期間よりも早く劣化してしまい、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなる懸念がある。封止部材４００ａの耐用期間が短くなると、ガスレーザ装置１００のメンテナンスから当該メンテナンスの次のメンテナンスまでの間隔を示すガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなり得る。
　ここでは、ウインドウホルダ３００ａ側について説明したが、ウインドウホルダ３００ｂ側においても、筐体３０からウインドウホルダ３００ｂを介してウインドウ３１ｂに進行する光の一部はウインドウ３１ｂの表面によって反射される。上記のようにウインドウホルダ３００ｂはウインドウホルダ３００ａとは上下に反転して配置されるため、ウインドウ３１ｂの反射方向は、ウインドウ３１ａの反射方向とは逆側となる。反射光は、上記のようにウインドウホルダ３００ｂの端面３０３及びウインドウホルダ３００ｂ側の固定ユニット５００ｂにおけるリング部材５０１を介してウインドウホルダ３００ｂ側の封止部材４００ｂに進行することがある。従って、封止部材４００ａと同様に、封止部材４００ｂも予め想定した期間よりも早く劣化してしまい、封止部材４００ｂの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなる懸念がある。封止部材４００ｂの耐用期間が短くなると、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなり得る。
　そこで、以下の実施形態では、封止部材４００ａ，４００ｂの劣化を抑制することで、使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることが抑制され得るガスレーザ装置１００が例示される。
　なお、以下の各実施形態及び実施形態の各変形例では、出力結合ミラーＯＣ側のウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａを用いて説明するが、グレーティング６２側のウインドウ３１ｂ及びウインドウホルダ３００ｂについても、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａと同様の構成・作用・効果を得ることができる。
３．実施形態１のガスレーザ装置の説明
　次に、実施形態１のガスレーザ装置１００について説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。
　３．１　構成
　図５は、本実施形態におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ周辺の概略構成例を示す図である。図５において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。図６は、本実施形態のウインドウホルダ３００ａの端面３０３側から見る場合におけるウインドウホルダ３００ａの概略斜視図である。
　本実施形態のガスレーザ装置１００では、ウインドウホルダ３００ａ，３００ｂの構成が比較例のウインドウホルダ３００ａ，３００ｂの構成と主に異なる。本実施形態では、ウインドウホルダ３００ａの構成は、ウインドウホルダ３００ｂの構成と同じである。なお、本実施形態では、比較例と同様に、筐体３０に対する本実施形態のウインドウホルダ３００ｂの配置は、ウインドウホルダ３００ｂが筐体３０における上記他端側に配置されている点、及びウインドウホルダ３００ｂが矢印Ｆ１で示す光の光軸を基準にして本実施形態のウインドウ３１ａとは上下に反転して配置されている点を除いて、筐体３０に対する本実施形態のウインドウホルダ３００ａの配置と同様である。以下では、ウインドウホルダ３００ａを用いて比較例のウインドウホルダ３００ａとの違いを説明する。
　比較例におけるウインドウホルダ３００ａの端面３０３全体がウインドウ３１ａの表面に平行な平面であるのに対して、本実施形態におけるウインドウホルダ３００ａの端面３０３には窪み部３１０が連続する。
　窪み部３１０は、端面３０３のうち封止部材４００ａによって囲まれる領域に連続する。窪み部３１０は、当該領域において、開口３０５からウインドウ３１ａに進行した光のうちウインドウ３１ａによって反射される反射光の反射方向側に位置している。図５において、反射光を実線の矢印Ｆ１２で示す。窪み部３１０は、端面３０３から中空部３０１に向かって窪んでおり、中空部３０１に連通している。
　窪み部３１０の開口３１１は、開口３０５と連続しており、封止部材４００ａによって囲まれている。また、開口３１１は、ウインドウ３１ａに平行となっている。
　窪み部３１０の一対の側面３１３は、窪み部３１０における平面状の内壁面であり、端面３０３に直交しており、互いに対向している。一対の側面３１３は、端面３０３と、中空部３０１におけるウインドウホルダ３００ａの内周面とに連続している。
　窪み部３１０は、端面３０３に連続してウインドウ３１ａから離れる方向に延在する延在面３１５を含む。延在面３１５は、ウインドウ３１ａによって反射される反射光の反射方向側に位置しており、ウインドウ３１ａからの反射光が直接照射される窪み部３１０の平面状の底面である。
　延在面３１５は、端面３０３に連続する一端３１５ａと、中空部３０１におけるウインドウホルダ３００ａの内周面に連続する他端３１５ｂとを含む。従って、一端３１５ａは実線の矢印Ｆ１で示す光の光軸から離れた位置に位置し、他端３１５ｂは実線の矢印Ｆ１で示す光の光軸に近い位置に位置すると理解できる。
　ウインドウ３１ａに対する延在面３１５の傾斜角度は、ウインドウ３１ａに対する端面３０３の傾斜角度よりも大きくされている。ウインドウ３１ａに対する延在面３１５の傾斜角度は、延在面３１５の他端３１５ｂと、延在面３１５の他端３１５ｂ及び一端３１５ａを通る直線とウインドウ３１ａのレーザガス側表面との交点と、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面の中心との３点がなす角度である。交点は、当該直線と、レーザガス側表面をレーザガス側表面の平面方向に広げた場合の広げた領域との交点でもよい。ウインドウ３１ａに対する端面３０３の傾斜角度は、端面３０３がウインドウ３１ａに平行に配置されているため、ゼロである。従って、延在面３１５の他端３１５ｂ側は、延在面３１５の一端３１５ａを中心にして端面３０３に比べてウインドウ３１ａから離れる方向である反時計回り方向に傾斜して位置すると理解できる。また、延在面３１５とウインドウ３１ａとの間の距離は、一端３１５ａから他端３１５ｂに向かって徐々に広がると理解できる。延在面３１５の一端３１５ａとウインドウ３１ａとの間の距離は、後述する法線６００に沿う方向において、端面３０３とウインドウ３１ａとの間の距離と同じであるが、延在面３１５の他端３１５ｂとウインドウ３１ａとの間の距離よりも短くされている。また、延在面３１５は、実線の矢印Ｆ１で示す光の光軸と平行に延在するのではなく、当該光軸に対しても傾斜している。
　本実施形態のウインドウホルダ３００ａは、比較例のウインドウホルダ３００ａと同様に、ステンレスといった金属で構成される。従って、延在面３１５はウインドウ３１ａから延在面３１５に進行した反射光を反射する。また、延在面３１５が上記したように傾斜して位置すると、延在面３１５はウインドウ３１ａから延在面３１５に進行した反射光を封止部材４００ａの内側を介してウインドウ３１ａに向かって反射する。本実施形態では、延在面３１５は、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向において、ウインドウ３１ａからの反射光がウインドウ３１ａにおける法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸Ｃ側に向かって跨がってウインドウ３１ａに入射するように、反射光をウインドウ３１ａに向かって反射する。図５において、延在面３１５によって反射されてウインドウ３１ａに入射する反射光を実線の矢印Ｆ１３で示す。上記法線６００は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面における複数の法線のうち、延在面３１５を通る線である。当該法線６００と延在面３１５との交点は、延在面３１５における反射光の照射位置と、矢印Ｆ１で示す光の照射位置を通過するウインドウ３１ａの法線と延在面３１５との交点と、の間に位置する。ここで、延在面３１５における反射光の照射位置及びウインドウ３１ａを通る線を基準線とする。本実施形態では基準線は、延在面３１５に垂直な線である。また、基準線を基準にして、反射光の光軸を延在面３１５における反射光の照射位置で対称に折り返した位置に位置する仮想の線を線６０２とする。図５において仮想の線６０２の一部には、反射光を示す矢印Ｆ１３の実線が重なっている。当該仮想の線６０２は、実線の矢印Ｆ１３で示す反射光と同様に、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向において、ウインドウ３１ａにおける法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸側に向かって跨がって位置するものと理解できる。
　図６に示すように、延在面３１５の幅は、角丸長方形状の開口３０５の最大幅よりも短くされており、角丸長方形状の開口３０５における直線部の長さと同じとされている。延在面３１５の幅は、開口３１１の幅でもあり、一対の側面３１３同士の間の距離でもある。延在面３１５は、例えば、長方形形状といった矩形形状である。延在面３１５は、一対の側面３１３に直交している。
　３．２　機能
　次に、本実施形態における延在面３１５の機能について説明する。
　本実施形態のガスレーザ装置１００では、比較例のガスレーザ装置１００と同様に、図５にて矢印Ｆ１で示すように、光は筐体３０の内部空間から筐体３０の孔３０ａ、中空部３０１、及び開口３０５を介してウインドウ３１ａに進行する。この光がウインドウ３１ａを透過する際、比較例と同様に、光の一部はウインドウ３１ａの表面によって反射される。図５において、反射光は、実線の矢印Ｆ１２で示すようにウインドウ３１ａの表面から窪み部３１０に進行する。また、反射光は、窪み部３１０の開口３１１から窪み部３１０の内部に進行し、窪み部３１０の延在面３１５に直接進行する。実線の矢印Ｆ１で示す光及び実線のＦ１２で示す反射光は、封止部材４００ａの内側を通過する。実線の矢印Ｆ１で示す光の光軸に沿う方向に対してウインドウ３１ａのレーザガス側表面は傾斜し、端面３０３はウインドウ３１ａに平行に配置され、側面３１３は端面３０３に直交している。このため、実線の矢印Ｆ１で示す光に沿って実線の矢印Ｆ１２で示す反射光を見る場合、矢印Ｆ１２で示す反射光は、一対の側面３１３の間を通過して延在面３１５に進行し、ウインドウ３１ａから側面３１３への進行を抑制される。
　仮想の線６０２は、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向において、ウインドウ３１ａにおける法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸側に向かって跨がる。これにより、延在面３１５が反射光を反射すると、リング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部への反射光の進行が抑制される。また、本実施形態では、延在面３１５を含むウインドウホルダ３００ａが金属で構成されるため、反射光は延在面３１５によって反射される。また、延在面３１５が上記したように傾斜して位置するため、反射光は、延在面３１５によってウインドウ３１ａに向かって反射され、封止部材４００ａの内側を通過してウインドウ３１ａに入射する。また、延在面３１５が上記したように傾斜して位置するため、矢印Ｆ１３で示すように、反射光は、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向において、法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸Ｃ側に向かって跨がって進行し、ウインドウ３１ａを透過する。反射光の進行方向は、逆側領域側である。逆側領域は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面における矢印Ｆ１で示す光の照射位置を基準としてウインドウ３１ａによって反射される反射光の反射方向側に位置する反射側領域とは逆側に位置する。このように、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面からパージガス側表面に進行する反射光は、反射側領域において、延在面３１５によってウインドウ３１ａの中心軸Ｃ側からウインドウ３１ａの外周側への進行を抑制される。従って、反射側領域に位置するリング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部への反射光の進行は、延在面３１５が形成されていない場合よりも抑制される。反射側領域に位置するリング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部は、反射光の反射方向とは反対側に位置する。また、実線の矢印Ｆ１３で示す反射光は、上記のように延在面３１５によって反射されるため、延在面３１５から側面３１３への進行を抑制される。
　３．３　作用・効果
　本実施形態のガスレーザ装置１００では、封止部材４００ａは、ウインドウ３１ａとウインドウホルダ３００ａの端面３０３とに密着して配置されると共に、開口３０５を囲んで配置される。延在面３１５は、ウインドウ３１ａからの反射光の反射方向側に位置し、端面３０３に連続してウインドウ３１ａから離れる方向に延在し、反射光を照射される。仮想の線６０２は、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向において、ウインドウ３１ａにおける法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸側に向かって跨がる。
　ウインドウ３１ａの外周側には、一般的にウインドウ３１ａを透過する光を妨げないように部材が配置されており、本実施形態ではリング部材５０１及び固定部材５０３が配置されている。仮想の線６０２は、延在面３１５からウインドウ３１ａに向かう方向においてウインドウ３１ａにおける法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸側に向かって跨がる。この状態で、延在面３１５が反射光を反射すると、リング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部への反射光の進行が抑制される。反射光の進行が抑制されると、リング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部による反射光の反射が抑制される。反射光の反射が抑制されると、リング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部からウインドウ３１ａを介してウインドウ３１ａのレーザガス側表面に密着する封止部材４００ａの密着面の一部への反射光の進行が抑制される。従って、封止部材４００ａへの所定時間以上の反射光の照射が抑制され、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化が抑制され得る。封止部材４００ａの劣化が抑制されると、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなることが抑制される。従って、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることが抑制され得る。
　また、封止部材４００ａの劣化が抑制されると、延在面３１５が形成されていない場合よりも、封止部材４００ａの耐用期間が延びる。封止部材４００ａの耐用期間が延びると、筐体３０の内部空間と、中空部３０１と、端面３０３及びウインドウ３１ａとの間の空間とにおいて密閉が維持された状態で、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が延長され得る。
　また、本実施形態のガスレーザ装置１００では、延在面３１５は、反射光が法線６００をウインドウ３１ａの外周側からウインドウ３１ａの中心軸Ｃ側に向かって跨がってウインドウ３１ａに入射するように、反射光を反射する。これにより、延在面３１５が上記のように反射しない場合に比べて、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化が抑制され得る。
　なお、延在面３１５によって反射されてウインドウ３１ａの内部を進行する反射光のうち、反射光の一部はウインドウ３１ａのパージガス側表面によってウインドウ３１ａのレーザガス側表面に向かって反射されることがある。また、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に進行する反射光の一部は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面によってウインドウ３１ａのパージガス側表面に向かって反射されることがある。このような反射が繰り返されると、ウインドウ３１ａの内部を進行する反射光の強度が弱まる。本実施形態では、上記のようにウインドウ３１ａを透過する反射光が反射側領域において外周側に位置するリング部材５０１の表面の一部、及び固定部材５０３の内周面の一部に戻るためには、反射光は比較例よりも多く反射することになり得る。これにより、ウインドウ３１ａにおける反射回数は、上記のように傾斜して反射する延在面３１５によって、比較例における反射回数よりも多くなる。従って、封止部材４００ａに進行する本実施形態の反射光の強度は、封止部材４００ａに進行する比較例の反射光の強度よりも弱まる。反射光の強度が弱まると、延在面３１５によって反射された反射光がウインドウ３１ａの内部から封止部材４００ａに進行して封止部材４００ａを照射したとしても、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化が抑制され得る。
　延在面３１５は、反射のために研磨されてもよい。また、延在面３１５には、銀やアルミニウムなどの金属を薄くめっきした反射膜が配置されてもよい。延在面３１５は、反射光を中空部３０１におけるウインドウホルダ３００ａの内周面に向けて反射してもよい。
　以下において、他の実施形態及び当該実施形態の変形例について説明する。各実施形態及び当該実施形態の変形例において、特に説明のない構成については実施形態１と同様である。また、各実施形態及び当該実施形態の変形例において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ側を用いて説明するが、各実施形態及び当該実施形態の変形例のウインドウ３１ｂ及びウインドウホルダ３００ｂは、各実施形態及び当該実施形態の変形例のウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａと同様の構成であり、同様の作用・効果を得ることができる。
４．実施形態２のガスレーザ装置の説明
　次に、実施形態２のガスレーザ装置１００の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。
　４．１　構成
　図７は、本実施形態におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ周辺の概略構成例を示す図である。図７において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。
　ウインドウ３１ａにおける構成が実施形態１のウインドウ３１ａにおける構成とは異なり、他の構成は実施形態１と同様である。本実施形態のガスレーザ装置１００は、実施形態１のガスレーザ装置１００の構成に膜３２１ａ，３２１ｂをさらに含む。膜３２１ａ，３２１ｂは、ウインドウ３１ａの構成に含まれる。
　膜３２１ａは、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面のうちの封止部材４００ａとの当接面に配置される第１膜である。この膜３２１ａは、当接面のうちウインドウ３１ａによって反射される反射光の反射方向側に配置されており、反射側領域に位置するウインドウ３１ａのレーザガス側表面の一部に配置されている。膜３２１ａは、反射側領域に位置する封止部材４００ａの一部に当接する。膜３２１ａは、主にアルミニウムで構成されており、矢印Ｆ１３で示す反射光と同じ波長の光の少なくとも一部をウインドウ３１ａのパージガス側表面及びウインドウ３１ａの外周面に向かって反射する反射膜である。膜３２１ａは、例えば、蒸着によって配置される。膜３２１ａの厚さは、約２００ｎｍであることが好ましい。
　膜３２１ｂは、ウインドウ３１ａのパージガス側表面のうちのリング部材５０１との当接面に配置される第２膜である。膜３２１ｂは、当接面のうちウインドウ３１ａによって反射される反射光の反射方向側に配置されており、反射側領域に位置するウインドウ３１ａのパージガス側表面の一部に配置されている。膜３２１ｂは、反射側領域に位置するリング部材５０１の一部に当接する。膜３２１ｂは、主に酸化アルミニウムで構成されており、矢印Ｆ１３で示す反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を吸収する吸収膜である。膜３２１ｂは、例えば、蒸着によって配置される。膜３２１ｂの厚さは、約２００ｎｍであることが好ましい。
　４．２　作用・効果
　上記したように、延在面３１５によって反射されてウインドウ３１ａの内部を進行する反射光のうち、反射光の一部はウインドウ３１ａのレーザガス側表面によってウインドウ３１ａのパージガス側表面に向かって反射されることがある。また、ウインドウ３１ａのパージガス側表面に進行する反射光の一部は、ウインドウ３１ａのパージガス側表面によってウインドウ３１ａのレーザガス側表面に向かって反射されることがある。このような光は矢印Ｆ１３で示す反射光と同じ波長の光であり、当該光の少なくとも一部は、ウインドウ３１ａの内部において反射を繰り返す。
　ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ａは、反射膜であるため、上記反射を繰り返す反射光のうち膜３２１ａに進行する光を、ウインドウ３１ａの外周面、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ｂ、及びウインドウ３１ａのパージガス側表面の一部に向かって反射する。パージガス側表面の一部とは、パージガス側表面のうちリング部材５０１が配置されていない領域である。
　また、ウインドウ３１ａのパージガス側表面側の膜３２１ｂは、上記反射を繰り返す反射光のうち、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面からの光または反射膜である膜３２１ａからの光を吸収する。
　従って、本実施形態のガスレーザ装置１００では、膜３２１ａによって封止部材４００ａへの反射光の照射がより抑制され、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化がより抑制される。封止部材４００ａの劣化が抑制されると、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制される。従って、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制され得る。また、膜３２１ｂによっても膜３２１ａと同様の作用・効果が得られる。
　本実施形態の変形例１として、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ａとウインドウ３１ａのパージガス側表面側の膜３２１ｂとの一方が反射膜であり、他方が吸収膜であればよい。例えば、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ａが吸収膜である場合、当該吸収膜は、ウインドウ３１ａから封止部材４００ａに進行する光の少なくとも一部を吸収する。例えば、ウインドウ３１ａのパージガス側表面側の膜３２１ｂが反射膜である場合、当該反射膜は、光の少なくとも一部を封止部材４００ａが配置される側の面であるウインドウ３１ａのレーザガス側表面及びウインドウ３１ａの外周面に反射する。上記光は、矢印Ｆ１３で示す反射光と同じ波長の光である。
　本実施形態の変形例２として、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ａとウインドウ３１ａのパージガス側表面側の膜３２１ｂとの両方は、反射膜または吸収膜であってもよい。
　本実施形態の変形例３として、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面側の膜３２１ａは、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面のうちの封止部材４００ａとの当接面全体に配置されてもよい。従って、膜３２１ａは、リング状の封止部材４００ａと同様に、リング状に配置される。
　本実施形態の変形例４として、ウインドウ３１ａのパージガス側表面側の膜３２１ｂは、ウインドウ３１ａのパージガス側表面のうちのリング部材５０１との当接面全体に配置されてもよい。従って、膜３２１ａは、リング部材５０１と同様に、リング状に配置される。
　本実施形態の変形例５として、図８に示すように、ウインドウ３１ａのパージガス側表面に膜３２１ｂが配置されておらず、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に膜３２１ａのみが配置されてもよい。この場合、膜３２１ａは、反射膜であってもよいし、吸収膜であってもよい。
　本実施形態の変形例６として、図９に示すように、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に膜３２１ａが配置されておらず、ウインドウ３１ａのパージガス側表面に膜３２１ｂのみが配置されてもよい。この場合、膜３２１ｂは、吸収膜である。
　本実施形態の変形例７として、反射膜は、誘電体多層膜であってもよい。また、吸収膜は、黒色に着色された膜でもよい。
　第２実施形態及び変形例において、膜を用いて説明したが、これに限定される必要はない。例えば、反射膜の代わりに板状の反射部材が配置されてもよいし、吸収膜の代わりに板状の吸収部材が配置されてもよい。
５．実施形態３のガスレーザ装置の説明
　次に、実施形態３のガスレーザ装置１００の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。
　５．１　構成
　図１０は、本実施形態におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ周辺の概略構成例を示す図である。図１０において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。
　本実施形態のガスレーザ装置１００では、ウインドウホルダ３００ａにおける構成が実施形態１のウインドウホルダ３００ａにおける構成とは異なり、本実施形態のウインドウホルダ３００ａは反射光を吸収する。
　具体的には、本実施形態では、延在面３１５には黒色化メッキ処理が施されており、延在面３１５はウインドウ３１ａから延在面３１５に進行する反射光を吸収する吸収面である。反射光の多くは延在面３１５によって熱に変換される。熱は、ウインドウホルダ３００ａから外部に放出される。
　５．２　作用・効果
　本実施形態のガスレーザ装置１００では、延在面３１５は、ウインドウ３１ａからの反射光を吸収する。従って、延在面３１５からウインドウ３１ａへの反射光の進行が抑制され、ウインドウ３１ａから封止部材４００ａへ進行する光の照射がより抑制され、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化がより抑制される。封止部材４００ａの劣化が抑制されると、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制される。従って、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制され得る。
　また、ウインドウホルダ３００ａが吸収面である延在面３１５を備えることとなるため、延在面３１５に吸収面を有する別部材が配置される場合に比べて、部品点数が削減され得る。
６．実施形態４のガスレーザ装置の説明
　次に、実施形態４のガスレーザ装置１００の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。
　６．１　構成
　図１１は、本実施形態におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ周辺の概略構成例を示す図である。図１１において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。
　本実施形態のガスレーザ装置１００では、ウインドウホルダ３００ａにおける構成が実施形態３のウインドウホルダ３００ａにおける構成とは異なり、ウインドウホルダ３００ａは実施形態３のウインドウホルダ３００ａの構成に吸収部材３３１をさらに含む。
　吸収部材３３１は、板状であり、延在面３１５に配置される。吸収部材３３１は、延在面３１５全体に積層して配置されている。吸収部材３３１は、窪み部３１０の内部に配置される。吸収部材３３１は、主に酸化アルミニウムで構成されており、ウインドウ３１ａから当該吸収部材３３１に進行する反射光を吸収する。吸収部材３３１の厚さは、約０．３ｍｍであることが好ましい。吸収部材３３１は、黒色に着色された部材で構成されてもよい。
　６．２　作用・効果
　本実施形態のガスレーザ装置１００では、吸収部材３３１は、ウインドウ３１ａからの反射光を吸収する。従って、吸収部材３３１からウインドウ３１ａへの反射光の進行が抑制され、ウインドウ３１ａから封止部材４００ａへ進行する光の照射がより抑制され、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化がより抑制される。封止部材４００ａの劣化が抑制されると、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制される。従って、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制され得る。
　また、吸収部材３３１はウインドウホルダ３００ａとは別体であるため、ウインドウホルダ３００ａに黒メッキ化処理を施すといった手間が抑制され得る。
　吸収部材３３１は、延在面３１５における反射光の照射位置に配置されていてもよい。吸収部材３３１は、ウインドウ３１ａからの光が側面３１３に進行するのであれば、側面３１３にも配置されていてもよい。
　本実施形態のガスレーザ装置１００では、側面３１３及び延在面３１５を含むウインドウホルダ３００ａが吸収部材３３１として構成されてもよい。
７．実施形態５のガスレーザ装置の説明
　次に、実施形態５のガスレーザ装置１００の構成を説明する。なお、上記において説明した構成と同様の構成については同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明は省略する。
　７．１　構成
　図１２は、本実施形態におけるウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａ周辺の概略構成例を示す図である。図１２において、ウインドウ３１ａ及びウインドウホルダ３００ａは鉛直断面にて示されている。図１３では、図１２に示す窪み部３１０において実線の円６０４で囲まれる領域の模式図が拡大図として示されている。
　本実施形態のガスレーザ装置１００では、窪み部３１０の構成が実施形態４の窪み部３１０の構成とは異なる。
　窪み部３１０は、実施形態４の窪み部３１０とは異なり、端面３０３から中空部３０１に向かって窪んでおらず、中空部３０１に連通しておらず、端面３０３の一部において窪んでいる。
　本実施形態の延在面３１５は、窪み部３１０における側面である。延在面３１５は、底面３１７の中心軸を全周に渡って囲って配置されている。延在面３１５は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に非平行に配置されている。
　底面３１７は、延在面３１５に連続する。底面３１７は、ウインドウ３１ａに対向して配置されている。また、端面３０３は、ウインドウ３１ａのレーザガス側表面に平行に配置されている。底面３１７には、吸収部材３３１が配置される。
　延在面３１５と、底面３１７のうち吸収部材３３１が配置されていない領域とには、表面粗さＲａ１．６程度の加工が施されている。延在面３１５は、ウインドウ３１ａからの反射光の一部を吸収部材３３１に向けて反射し、当該反射光の別の一部を延在面３１５の他の領域に反射する。また、延在面３１５は、反射光の残りの一部を底面３１７に反射する。底面３１７は、延在面３１５からの反射光の一部を吸収部材３３１に向けて反射し、延在面３１５からの反射光の残りの一部を延在面３１５に向けて反射する。
　本実施形態の吸収部材３３１は、コーン状であり、底面３１７の一部に配置される。吸収部材３３１の先端は、開口３１１よりも底面３１７側に位置し、窪み部３１０の内部に位置する。吸収部材３３１は、例えば、主に酸化アルミニウムで構成されている。吸収部材３３１は、黒色に着色された部材で構成されてもよい。吸収部材３３１は、ウインドウ３１ａから延在面３１５を介して吸収部材３３１に進行する反射光を吸収する。また、吸収部材３３１は、延在面３１５から別の延在面３１５を介して吸収部材３３１に進行する反射光を吸収する。さらに、吸収部材３３１は、延在面３１５から底面３１７を介して吸収部材３３１に進行する反射光を吸収する。
　７．２　作用・効果
　ウインドウ３１ａからの反射光は、実線の矢印Ｆ１２で示すようにウインドウ３１ａのレーザガス側表面から窪み部３１０に進行する。また、反射光は、実線の矢印Ｆ１２で示すように、窪み部３１０の開口３１１から窪み部３１０の内部に進行して窪み部３１０の延在面３１５に直接進行する。反射光の一部は、実線の矢印Ｆ１４で示すように、延在面３１５によって吸収部材３３１に向かって反射される。反射光の別の一部は、実線の矢印Ｆ１５で示すように、延在面３１５によって底面３１７に向かって反射され、さらに底面３１７によって吸収部材３３１に向かって反射される。反射光のさらに別の一部は、延在面３１５によって他の延在面３１５に向かって反射され、実線の矢印Ｆ１６で示すようにさらに他の延在面３１５によって吸収部材３３１に向かって反射される。反射光の残りの一部は、底面３１７によって延在面３１５に向かって反射され、さらに延在面３１５によって吸収部材３３１に向かって反射される。このように反射光は、延在面３１５及び底面３１７の間で反射を繰り返し、窪み部３１０の内部空間からウインドウ３１ａが配置される窪み部３１０の外部空間への進行を抑制され、吸収部材３３１によって吸収される。
　本実施形態のガスレーザ装置１００では、吸収部材３３１は、ウインドウ３１ａから延在面３１５を介して吸収部材３３１に進行する反射光を吸収する。また、吸収部材３３１は、延在面３１５から底面３１７を介して吸収部材３３１に進行する反射光も吸収する。従って、吸収部材３３１からウインドウ３１ａへの反射光の進行が抑制され、ウインドウ３１ａから封止部材４００ａへ進行する光の照射がより抑制され、予め想定した期間よりも早い封止部材４００ａの劣化がより抑制される。封止部材４００ａの劣化が抑制されると、封止部材４００ａの耐用期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制される。従って、ガスレーザ装置１００の使用可能期間が予め想定した期間よりも短くなることがより抑制され得る。
　ウインドウ３１ａからの反射光が直接進行する延在面３１５は、当該反射光を、ウインドウ３１ａからの反射光が直接進行しない他の延在面３１５と、底面３１７とに反射する必要はなく、当該反射光全てを封止部材４００ａに直接反射してもよい。また、窪み部３１０は、実施形態４の窪み部３１０と同様に、端面３０３から中空部３０１に向かって窪んでおり、中空部３０１に連通していてもよい。延在面３１５によって反射された反射光は、中空部３０１におけるウインドウホルダ３００ａの内周面に進行し、内周面によって反射されて筐体３０の内部空間に戻り得る。
　延在面３１５及び底面３１７には、光の吸収率を向上させるコーティング、または光の吸収率を向上させる表面処理が施されてもよい。例えば、延在面３１５及び底面３１７には、主に酸化アルミニウムで構成される吸収膜が配置されてもよい。
　上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図している。従って、請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかである。また、本開示の実施形態を組み合わせて使用することも当業者には明らかである。
　本明細書及び請求の範囲全体で使用される用語は、明記が無い限り「限定的でない」用語と解釈されるべきである。たとえば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、不定冠詞「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。また、「Ａ、Ｂ及びＣの少なくとも１つ」という用語は、「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」「Ａ＋Ｂ」「Ａ＋Ｃ」「Ｂ＋Ｃ」又は「Ａ＋Ｂ＋Ｃ」と解釈されるべきである。さらに、それらと「Ａ」「Ｂ」「Ｃ」以外のものとの組み合わせも含むと解釈されるべきである。

Claims (15)

  1. 　レーザガスの励起によって光が発生する内部空間と、前記内部空間からの前記光が出射する孔とを含む筐体と、
    　前記筐体に配置され、前記孔から出射する前記光が通過する中空部を含む筒状のウインドウホルダと、
    　前記中空部を進行する前記光が透過し、前記中空部を進行する前記光の光軸に対して前記光が入射する面が傾斜した状態で前記ウインドウホルダによって保持されるウインドウと、
    　前記ウインドウと前記ウインドウに対向して位置する前記ウインドウホルダの端面との間において前記ウインドウと前記端面とに密着して配置されると共に、前記中空部に連通する前記端面に囲まれる開口を囲んで配置されるリング状の封止部材と、
    　を備え、
    　前記ウインドウホルダは、前記開口を介して前記ウインドウに進行する前記光のうち前記ウインドウによって反射される反射光の反射方向側に位置し、前記端面に連続して前記ウインドウから離れる方向に延在し、前記ウインドウからの前記反射光を照射される延在面をさらに含み、
    　前記延在面における前記反射光の照射位置を通り前記延在面に垂直な基準線を基準にして前記反射光の光軸を前記照射位置で対称に折り返した位置に位置する線は、前記延在面から前記ウインドウに向かう方向において前記ウインドウにおける法線を前記ウインドウの外周側から前記ウインドウの中心軸側に向かって跨がる
    　ガスレーザ装置。
  2. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記延在面は、前記反射光を反射する。
  3. 　請求項２に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記封止部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を反射する膜をさらに備える。
  4. 　請求項３に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材をさらに備え、
    　前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を吸収する膜を含む。
  5. 　請求項３に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材をさらに備え、
    　前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を反射する膜を含む。
  6. 　請求項２に記載のガスレーザ装置であって、
    　　前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記封止部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を吸収する膜をさらに備える。
  7. 　請求項６に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材をさらに備え、
    　前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を吸収する膜を含む。
  8. 　請求項６に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材と、
    　前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光の少なくとも一部を反射する膜を含む。
  9. 　請求項２に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記ウインドウを基準として前記封止部材とは反対側において前記ウインドウに配置されるリング部材をさらに備え、
    　前記ウインドウは、前記ウインドウのうちの前記リング部材との当接面に配置され、前記反射光と同じ波長の光を吸収する膜を含む。
  10. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記延在面の前記端面に連続する一端とは逆側の前記延在面の他端は、前記中空部における前記ウインドウホルダの内周面に連続する。
  11. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記ウインドウホルダは、前記反射光を吸収する。
  12. 　請求項１１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記延在面は、前記反射光を吸収する。
  13. 　請求項１２に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記延在面は、黒色化メッキ処理された吸収面である。
  14. 　請求項１に記載のガスレーザ装置であって、
    　前記ウインドウホルダは、前記延在面に配置される吸収部材をさらに含み、
    　前記吸収部材は、前記反射光を吸収する。
  15. 　電子デバイスの製造方法であって、
    　レーザガスの励起によって光が発生する内部空間と、前記内部空間からの前記光が出射する孔とを含む筐体と、
    　前記筐体に配置され、前記孔から出射する前記光が通過する中空部を含む筒状のウインドウホルダと、
    　前記中空部を進行する前記光が透過し、前記中空部を進行する前記光の光軸に対して前記光が入射する面が傾斜した状態で前記ウインドウホルダによって保持されるウインドウと、
    　前記ウインドウと前記ウインドウに対向して位置する前記ウインドウホルダの端面との間において前記ウインドウと前記端面とに密着して配置されると共に、前記中空部に連通する前記端面に囲まれる開口を囲んで配置されるリング状の封止部材と、
    　を備え、
    　前記ウインドウホルダは、前記開口を介して前記ウインドウに進行する前記光のうち前記ウインドウによって反射される反射光の反射方向側に位置し、前記端面に連続して前記ウインドウから離れる方向に延在し、前記ウインドウからの前記反射光を照射される延在面をさらに含み、
    　前記延在面における前記反射光の照射位置を通り前記延在面に垂直な基準線を基準にして前記反射光の光軸を前記照射位置で対称に折り返した位置に位置する線は、前記延在面から前記ウインドウに向かう方向において前記ウインドウにおける法線を前記ウインドウの外周側から前記ウインドウの中心軸側に向かって跨がるガスレーザ装置から出射されるレーザ光を露光装置に入射させ、
    　電子デバイスを製造するために、前記露光装置内で感光基板上に前記レーザ光を露光すること
    　を含む電子デバイスの製造方法。
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