WO2021230519A1 - 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기 및 이의 조립 방법 - Google Patents

유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기 및 이의 조립 방법 Download PDF

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WO2021230519A1
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extension tube
chamber body
inductively coupled
passage
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배진호
김민재
심건보
유태욱
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(주)엘오티씨이에스
(주)엘오티베큠
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Definitions

  • the present invention relates to a technique for treating exhaust gas discharged from a process chamber of a semiconductor manufacturing facility by using plasma, and more particularly, to treating the exhaust gas discharged from a process chamber of a semiconductor manufacturing facility using an inductively coupled plasma. It relates to a plasma reactor for and an assembly method thereof.
  • a semiconductor device is manufactured by repeatedly performing processes such as photolithography, etching, diffusion, and metal deposition on a wafer in a process chamber.
  • various process gases are used, and after the process is completed, the residual gas in the process chamber contains various harmful components such as PFCs.
  • the residual gas in the process chamber is discharged through the exhaust line by the vacuum pump after the process is completed, and the exhaust gas is purified by the exhaust gas treatment device so that harmful components are not discharged as they are.
  • Patent Publication No. 2019-19651 discloses a plasma chamber for treating exhaust gas using an inductively coupled plasma.
  • inductively coupled plasma when radio frequency power is applied to the antenna coil, a magnetic field is induced by a time-varying current flowing through the antenna, thereby generating plasma by an electric field generated inside the chamber.
  • plasma reactors for inductively coupled plasma are plasma It consists of a chamber providing a space in which is generated, a ferrite core coupled to surround the chamber, and an igniter for initial plasma ignition.
  • a ferrite core laminate including a plurality of stacked ferrite cores and having a first passage portion and a second passage portion formed side by side, and the ferrite core stack a ferrite core assembly having a ferrite core accommodating structure for accommodating the sieve; a first base portion providing a first inner space therein; a first extension pipe extending from the first base portion and communicating with the first inner space and accommodated in the first passage portion; a first chamber body extending and communicating with the first inner space and having a second extension tube 2A accommodated in the second passage; a second base portion providing a second internal space therein; a first extension tube extending from the second base portion and communicating with the second inner space and accommodated in the first passage portion to connect with the extension tube 1A;
  • a plasma reactor for inductively coupled plasma including a second chamber body extending from the second base portion and communicating with the second interior space and being accommodated in the second passage portion and having a second extension
  • a ferrite core laminate including a plurality of stacked ferrite cores and having a first passage portion and a second passage portion formed side by side, and the ferrite core stack a ferrite core assembly preparation step of preparing a ferrite core assembly having a ferrite core accommodating structure accommodating a sieve; Preparing a first chamber body having a first base portion providing a first inner space therein, and a first extension tube extending in parallel from the first base portion and communicating with the first inner space 1A and 2A extension tube a first chamber preparation step; A second to prepare a second chamber body including a second base portion providing a second inner space therein, and a first extension tube extending from the second base portion and communicating with the second inner space and a second extension tube 1B chamber preparation; The 1A extension tube and the 1B extension tube are inserted and connected to face each other in the first passage part, and the 2A extension tube and the 2B extension tube are inserted
  • a plurality of stacked ferrite cores have a ferrite core stack formed by being accommodated in a ferrite core accommodating structure, and the first chamber body and the second chamber body are screwed by a plurality of coupling rods, so inductive coupling
  • the plasma reactor for plasma can be manufactured by being conveniently assembled with improved workability while being structurally robust.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a plasma reactor for inductively coupled plasma according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating the plasma reactor for inductively coupled plasma shown in FIG. 1 .
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of a ferrite core assembly in the plasma reactor for inductively coupled plasma shown in FIG. 2 .
  • FIG. 4 is a perspective view of a ferrite core in the ferrite core assembly shown in FIG. 3 .
  • FIG. 5 is a flowchart schematically illustrating an embodiment of a method of assembling a plasma reactor for inductively coupled plasma shown in FIG. 1 .
  • a plasma reactor for inductively coupled plasma according to an embodiment of the present invention is shown in a perspective view in FIG. 1 , and is shown in an exploded perspective view in FIG. 2 .
  • the plasma reactor 100 for inductively coupled plasma according to an embodiment of the present invention includes a ferrite core assembly 110 and a first chamber in which a portion passes through the ferrite core assembly 110 .
  • the plasma reactor 100 for inductively coupled plasma is installed in the exhaust pipe for discharging the residual gas generated from the process chamber in the semiconductor manufacturing facility, so that the exhaust gas flowing along the exhaust pipe is treated with plasma using inductively coupled plasma.
  • the present invention does not limit the use and installation location of the plasma reactor 100 for inductively coupled plasma in this way.
  • the plasma reactor 100 for inductively coupled plasma operates by receiving appropriate power from a power source (not shown).
  • the ferrite core assembly 110 includes a ferrite core stack 140 and a ferrite core accommodating structure 120a accommodating the ferrite core stack 140 .
  • the ferrite core stack 140 is formed by sequentially stacking a plurality of ferrite cores 145 having the same shape, and is disposed side by side on the ferrite core stack 140 and parallel to the vertical direction in the drawing.
  • An extended first passage portion 142a and a second passage portion 142b are formed.
  • the first passage portion 142a and the second passage portion 142b penetrate the ferrite core stack 140 so that both ends of the upper and lower ends are opened and the side surfaces are blocked.
  • the ferrite core stack 140 is accommodated in the ferrite core accommodating structure 120a.
  • the ferrite core 145 includes an annular annular portion 146 and a connecting portion 148 crossing the inner region of the annular portion 146 .
  • the ring portion 146 has a rectangular annular shape, and has opposing first and second long sides 146a and 146b and opposing first and second short sides 147a and 147b.
  • Each of the first short side part 147a and the second short side part 147b connects two opposite ends of the first long side part 146a and the second long side part 146b in the longitudinal direction to connect the first long side part 146a.
  • the first short side portion 147a , the second long side portion 146b , and the second short side portion 147b form a shape continuously connected along the circumferential direction of the ring portion 146 .
  • the connecting portion 148 extends in a straight line to connect between the two opposite long sides 146a and 146b of the ring portion 146 . Both ends of the connecting portion 148 are connected to the longitudinal center portion of each of the two long sides 146a and 146b.
  • the inner region of the ring portion 146 is separated into a first through hole 149a and a second through hole 149b having a rectangular shape by the connection portion 148, respectively.
  • the first through holes 149a of each of the plurality of ferrite cores 145 are connected to each other to form a first first of the ferrite core stack 140 .
  • a passage portion 142a is formed, and second through holes 149b of each of the plurality of ferrite cores 145 are connected to each other to form a second passage portion 142b of the ferrite core stack 140 .
  • the ferrite core accommodating structure 120a provides an accommodating space 121 accommodating the ferrite core stack 140 therein.
  • the material of the ferrite core accommodating structure 120a is made of an electrical insulator.
  • the ferrite core accommodating structure 120a includes a sidewall member 120 having both ends open, and a first closing member 130a and a second closing member 130b respectively coupled to both open ends of the sidewall member 120 . .
  • the accommodating space 121 provided by the ferrite core accommodating structure 120a is formed in a shape and size corresponding to the outer shape of the ferrite core stack 140 to be accommodated, so that the ferrite core stack 140 is a ferrite core accommodating structure ( When accommodated in the accommodating space 121 of 120a), the ferrite core stack 140 is firmly maintained without being shaken in the accommodating space 121 .
  • the side wall member 120 is a rectangular wall structure as a whole, and the upper and lower ends, which are both ends in the drawing, are open.
  • the side wall member 120 forms an accommodating space 121 therein, and surrounds a side surface of the ferrite laminate 140 in a state in which the ferrite core laminate 140 is accommodated in the accommodating space 121 .
  • a plurality of windows 122 are formed in the side wall member 120 to communicate the accommodating space 121 and the outside, and a side surface of the ferrite core stack 140 accommodated in the accommodating space 121 through the plurality of windows 122 .
  • a significant area is exposed to the outside.
  • the first closing member 130a is coupled to the open upper end of the side wall member 120
  • the second closing member 130b is coupled to the open lower end of the side wall member 120 .
  • the first closing member 130a is coupled to the open upper end of the side wall member 120 through fastening means such as screw coupling.
  • the first finishing member 130a has substantially the same shape as the ferrite core 145 .
  • the first finishing member 130a has a 1A opening 131a communicating with the first passage portion 142a of the ferrite core stack 140 . ) and a second opening 132a communicating with the second passage portion 132a of the ferrite core stack 140 is formed.
  • a plurality of screw holes 133a for screwing with the side wall member 120 are formed in the first closing member 130a.
  • a plurality of screw holes 135a for screw coupling with the coupling rod 190 are formed on the side surface of the first closing member 130a.
  • the first finishing member 130a is in close contact with the uppermost ferrite core 145 of the ferrite core laminate 140 in a state in which the ferrite core laminate 140 is accommodated in the accommodation space 121 .
  • the second closing member 130b is coupled to the open lower end of the side wall member 120 through fastening means such as screw coupling.
  • the second finishing member 130b has substantially the same shape as the ferrite core 145 , and the second finishing member 130b has a 1B opening 131b communicating with the first passage portion 142a of the ferrite core stack 140 . ) and a second opening 132b communicating with the second passage portion 132a of the ferrite core stack 140 is formed.
  • a plurality of screw holes 133b for screwing with the side wall member 120 are formed in the second closing member 130b.
  • a plurality of screw holes 135b for screw coupling with the coupling rod 190 are formed on the side surface of the second closing member 133b.
  • the second finishing member 130b is in close contact with the lowermost ferrite core 145 of the ferrite core laminate 140 in a state in which the ferrite core laminate 140 is accommodated in the accommodation space 121 .
  • ferrite core assembly 110 After the second closing member 130b is coupled to the side wall member 120 , a plurality of ferrite cores 145 are accommodated in the accommodating space 121 through the open top of the side wall member 120 . to be stacked, and the first finishing member 130a may be coupled to the open upper end of the sidewall member 120 to be completed.
  • the first chamber unit 150a includes a first chamber body 160a and a plurality of first igniters (not shown) installed in the first chamber body 160a.
  • the first chamber unit 150a is structurally coupled to the second chamber unit 150b by a plurality of coupling rods 190 and 195 .
  • the first chamber body 160a includes a first base portion 161a and a 1A extension tube 165a and a second extension tube 167a extending from the first base portion 161a.
  • the first base part 161a provides a first internal space 162a therein, and the first base part 161a has a gas inlet 164a that communicates with the first internal space 162a and introduces a gas to be treated. is formed
  • the first inner space 162a communicates with the 1A extension tube 165a and the 2A extension tube 167a.
  • the first base portion 161a is in close contact with the first finishing member 130a of the ferrite core assembly 110 .
  • Each of the plurality of first igniters (not shown) is inserted and installed in the first base portion 161a.
  • a plurality of first screw coupling holes 166a for screwing a plurality of coupling rods 190 are formed on a side surface of the first base portion 161a.
  • a plurality of first screw through holes 163a for screwing the plurality of coupling rods 195 are formed in the first base portion 161a.
  • the 1A extension pipe 165a and the 2A extension pipe 167a are formed to extend parallel to each other from the first base portion 161a.
  • the first extension tube 165a and the extension tube 2A 167a communicate with the first internal space 162a of the first base 161a, and the end of the extension tube 1A 165a and the end of the extension tube 2A 167a are connected to each other. is open
  • the 1A extension tube 165a is accommodated in the first passage portion 142a of the ferrite core assembly 110
  • the 2A extension tube 167a is accommodated in the second passage portion 142b of the ferrite core assembly 110 .
  • the open end of the 1A extension tube 165a and the open end of the 2A extension tube 167a are connected to the second chamber unit 150b.
  • the first chamber body 160a and the second chamber body 160b are connected to form a toroidal-shaped chamber.
  • Each of the plurality of first igniters (not shown) is installed at an appropriate position on the first base portion 161a of the first chamber body 160a.
  • the second chamber unit 150b includes a second chamber body 160b and a plurality of second igniters (not shown) installed in the second chamber body 160b.
  • the second chamber unit 150b is structurally coupled to the first chamber unit 150a by a plurality of coupling rods 190 and 195 .
  • the second chamber body 160b has substantially the same structure as the first chamber body 160a, and includes a second base portion 161b, and a 1B extension tube 165b and a 2B extension tube extending from the second base portion 161b. (167b) is provided.
  • the second base part 161b provides a second internal space (not shown) therein, and the second base part 161b has a gas communicating with the second internal space (not shown) and the treated gas is discharged to the outside.
  • An outlet (not shown) is formed.
  • the second inner space (not shown) communicates with the 2A extension tube 165b and the 2B extension tube 167b.
  • the second base portion 161b is in close contact with the second finishing member 130b of the ferrite core assembly 110 .
  • a plurality of second igniters (not shown) are respectively inserted and installed in the second base portion 161b.
  • a plurality of second screw coupling holes 166b for screwing a plurality of coupling rods 190 are formed on a side surface of the second base portion 161b.
  • a plurality of second screw through holes 163b for screwing the plurality of coupling rods 195 are formed in the second base portion 161b.
  • the 1B extension tube 165b and the extension tube 2B 167b are formed to extend parallel to each other from the second base portion 161b.
  • the 1B extension pipe 165b and the 2B extension pipe 167b communicate with the second internal space (not shown) of the first base part 161b, and the end of the 1B extension pipe 165b and the 2B extension pipe 167b The ends are open.
  • the 1B extension tube 165b is accommodated in the first passage portion 142a of the ferrite core assembly 110
  • the 2B extension tube 167b is accommodated in the second passage portion 142b of the ferrite core assembly 110 .
  • the first extension tube 165b is connected to and communicated with the extension tube 1A 165a, and the extension tube 2B 167b is connected and communicated with the extension tube 2A 167a, and the end of the extension tube 1A 165a and the extension tube 1B are connected.
  • a DC breaker is positioned between the ends of the 165b and between the end of the 2A extension pipe 167a and the end of the 2B extension pipe 167b, although not shown.
  • Each of the plurality of second igniters (not shown) is installed at an appropriate position of the second base portion 161b of the second chamber body 160b.
  • the plurality of coupling rod members 190 and 195 are connected between the first chamber unit 150a and the second chamber unit 150b to couple the two chamber units 150a and 150b.
  • the plurality of coupling bar members 190 and 195 includes a plurality of first coupling bar members 190 and a plurality of second coupling bar members 195 .
  • the plurality of first coupling bar members 190 have a substantially rectangular bar shape, one side of both ends is a side surface of the first base part 161a of the first chamber body 160a, and the first closing member of the ferrite core assembly 140 .
  • the side surface of 130a, the side surface of the second base portion 161b of the second chamber body 160b, and the side surface of the second finishing member 130b of the ferrite core assembly 140 are screwed.
  • a plurality of screw through holes 192 are formed in the side surface of the first coupling bar member 190 .
  • the first coupling bar member 190 includes a first screw coupling hole 166a formed in the first base portion 161a, a second screw coupling hole 166b formed in the second base portion 161b, and the first It is screwed through the first screw hole 135a formed in the closing member 130a and the second screw hole 135b formed in the second closing member 130b.
  • the first and second screw coupling holes (166a, 166b) and the first and second screw holes (135a, 135b) are formed with female threads.
  • the plurality of second coupling rod members 190 are generally circular rod-shaped, and are screwed in a state sandwiched between the first base part 161a and the second base part 161b.
  • a female screw hole 196 is formed in each of both ends of the second coupling bar member 190 .
  • a male screw fitted into the first screw through hole 163a formed in the first base portion 161a and the second screw through hole 163b formed in the second base portion 161b is a female screw hole ( 196) are combined.
  • FIG. 5 is a flowchart illustrating an embodiment of a method of assembling a plasma reactor for inductively coupled plasma shown in FIG. 1 .
  • the ferrite core assembly 110 of the configuration shown in FIG. 2 is prepared. Referring to FIG. 3 , in the ferrite core assembly 110 having the configuration shown in FIG. 2 , after the second closing member 130b is coupled to the side wall member 120 , a plurality of pieces are formed through the open top of the side wall member 120 .
  • the ferrite cores 145 may be accommodated in the receiving space 121 and stacked, and the first finishing member 130a may be coupled to the open top of the sidewall member 120 to be completed.
  • the first chamber body 160a of the configuration shown in FIG. 2 is prepared.
  • the second chamber body 160b of the configuration shown in FIG. 2 is prepared.
  • the ferrite core assembly 110 prepared through the ferrite core assembly preparation step (S11), the first chamber body 160a and the second chamber preparation step prepared through the first chamber preparation step (S15)
  • the second chamber body 160b prepared through (S18) is pre-assembled. Specifically, in the preliminary assembly step ( S20 ), the 1A extension tube 165a of the first chamber body 160a and the 1B extension tube 165a of the second chamber body 160b are connected to the first passage portion of the ferrite core assembly 110 .
  • the 2A extension tube 167a of the first chamber body 160a and the 2B extension tube 167b of the second chamber body 160b are inserted into and connected to face each other by the 142a, and the ferrite core assembly 110 is The two passages 142b are inserted and connected to face each other.
  • the ferrite core assembly (1100, the first chamber body (160a) and the second chamber body (160b) pre-assembled through the pre-assembly step (S20) is used with a plurality of coupling rods (190, 195)) to screw together.
  • a plurality of first igniters are installed in the first chamber body 160a, and a plurality of second igniters (not shown) are installed in the second chamber body 160b.

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Abstract

본 발명에 의하면, 적층된 복수개의 페라이트 코어들을 포함하고 제1 통로부와 제2 통로부가 나란하게 형성된 페라이트 코어 적층체와, 상기 페라이트 코어 적층체를 수용하는 페라이트 코어 수용 구조물을 구비하는 페라이트 코어 조립체; 내부에 제1 내부 공간을 제공하는 제1 기초부와, 상기 제1 기초부로부터 연장되고 상기 제1 내부 공간과 연통되며 상기 제1 통로부에 수용되는 제1A 연장관과, 상기 제1 기초부로부터 연장되고 상기 제1 내부 공간과 연통되며 상기 제2 통로부에 수용되는 제2A 연장관을 구비하는 제1 챔버 몸체; 내부에 제2 내부 공간을 제공하는 제2 기초부와, 상기 제2 기초부로부터 연장되고 상기 제2 내부 공간과 연통되며 상기 제1 통로부에 수용되어서 상기 제1A 연장관과 이어지는 제1B 연장관과, 상기 제2 기초부로부터 연장되고 상기 제2 내부 공간과 연통되며 상기 제2 통로부에 수용되어서 상기 제2A 연장관과 이어지는 제2B 연장관을 구비하는 제2 챔버 몸체를 포함하는, 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기가 제공된다.

Description

유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기 및 이의 조립 방법
본 발명은 반도체 제조설비의 공정챔버에서 배출되는 배기가스를 플라즈마를 이용하여 처리하는 기술에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유도결합 플라즈마를 이용하여 반도체 제조설비의 공정챔버에서 배출되는 배기가스를 처리하기 위한 플라즈마 반응기 및 이의 조립 방법에 관한 것이다.
반도체 소자는 공정챔버에서 웨이퍼 상에 포토리소그래피, 식각, 확산 및 금속증착 등의 공정들이 반복적으로 수행됨으로써 제조되고 있다. 이러한 반도체 제조 공정 중에는 다양한 공정 가스가 사용되며, 공정이 완료된 후 공정챔버 내 잔류가스는 PFCs등의 다양한 유해성분을 포함한다. 공정챔버 내 잔류가스는 공정 완료 후 진공펌프에 의해 배기라인을 통해 배출되는데, 유해성분이 그대로 배출되지 않도록 배기가스는 배기가스 처리장치에 의해 정화된다.
최근에는 플라즈마 반응을 이용하여 유해성분을 분해하여 처리하는 기술이 널리 사용되고 있다. 본 발명과 관련된 선행기술로서, 공개특허 제2019-19651호에는 유도결합 플라즈마를 이용하여 배기가스를 처리하는 플라즈마 챔버가 개시되어 있다. 유도결합 플라즈마는 무선주파수 전력이 안테나 코일에 인가되면 안테나에 흐르는 시변 전류에 의해 자기장이 유도되며 이에 의해 챔버 내부에 생성되는 전기장에 의해 플라즈마가 발생하는 것으로서, 일반적으로 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기는 플라즈마가 발생하는 공간을 제공하는 챔버와, 챔버를 감싸도록 결합되는 페라이트 코어와 초기 플라즈마 점화를 위한 점화기로 구성된다.
본 발명의 목적은 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기 및 이의 조립 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 적층된 복수개의 페라이트 코어들을 포함하고 제1 통로부와 제2 통로부가 나란하게 형성된 페라이트 코어 적층체와, 상기 페라이트 코어 적층체를 수용하는 페라이트 코어 수용 구조물을 구비하는 페라이트 코어 조립체; 내부에 제1 내부 공간을 제공하는 제1 기초부와, 상기 제1 기초부로부터 연장되고 상기 제1 내부 공간과 연통되며 상기 제1 통로부에 수용되는 제1A 연장관과, 상기 제1 기초부로부터 연장되고 상기 제1 내부 공간과 연통되며 상기 제2 통로부에 수용되는 제2A 연장관을 구비하는 제1 챔버 몸체; 내부에 제2 내부 공간을 제공하는 제2 기초부와, 상기 제2 기초부로부터 연장되고 상기 제2 내부 공간과 연통되며 상기 제1 통로부에 수용되어서 상기 제1A 연장관과 이어지는 제1B 연장관과, 상기 제2 기초부로부터 연장되고 상기 제2 내부 공간과 연통되며 상기 제2 통로부에 수용되어서 상기 제2A 연장관과 이어지는 제2B 연장관을 구비하는 제2 챔버 몸체를 포함하는, 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 적층된 복수개의 페라이트 코어들을 포함하고 제1 통로부와 제2 통로부가 나란하게 형성된 페라이트 코어 적층체와, 상기 페라이트 코어 적층체를 수용하는 페라이트 코어 수용 구조물을 구비하는 페라이트 코어 조립체를 준비하는 페라이트 코어 조립체 준비 단계; 내부에 제1 내부 공간을 제공하는 제1 기초부와, 상기 제1 기초부로부터 나란하게 연장되고 상기 제1 내부 공간과 연통되는 제1A 연장관 및 제2A 연장관을 구비하는 제1 챔버 몸체를 준비하는 제1 챔버 준비 단계; 내부에 제2 내부 공간을 제공하는 제2 기초부와, 상기 제2 기초부로부터 연장되고 상기 제2 내부 공간과 연통되는 제1B 연장관 및 제2B 연장관을 구비하는 제2 챔버 몸체를 준비하는 제2 챔버 준비 단계; 상기 제1A 연장관과 상기 제1B 연장관이 상기 제1 통로부에서 서로 마주보도도록 삽입되어서 연결되고, 상기 제2A 연장관과 상기 제2B 연장관이 상기 제2 통로부에서 서로 마주보도록 삽입되어서 연결되는 예비 조립 단계; 및 상기 제1 챔버 몸체와 상기 제2 챔버 몸체를 결합하는 결합 단계를 포함하는, 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기의 조립 방법이 제공된다.
본 발명에 의하면 앞서서 기재한 본 발명의 목적을 모두 달성할 수 있다. 구체적으로는, 적층된 복수개의 페라이트 코어들이 페라이트 코어 수용 구조물에 수용되어서 형성된 페라이트 코어 적층체를 구비하고, 제1 챔버 몸체와 제2 챔버 몸체가 복수개의 결합 막대들에 의해 나사 결합되므로, 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기가 구조적으로 견고하면서 향상된 작업성으로 편리하게 조립되어서 제조될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기를 분해 사시도로 도시한 것이다.
도 3은 도 2에 도시된 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기에서 페라이트 코어 조립체를 분해 사시도로 도시한 것이다.
도 4는 도 3에 도시된 페라이트 코어 조립체에서 페라이트 코어를 사시도로 도시한 것이다.
도 5는 도 1에 도시된 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기를 조립하는 방법의 일 실시예를 개략적으로 설명하는 순서도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예의 구성 및 작용을 상세하게 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기가 도 1에는 사시도로 도시되어 있고, 도 2에는 분해 사시도로 도시되어 있다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기(100)는, 페라이트 코어 조립체(110)와, 일부분이 페라이트 코어 조립체(110)를 통과하는 제1 챔버 유닛(150a)과, 일부분이 페라이트 코어 조립체(110)를 통과하고 제1 챔버 유닛(150a)과 연결되는 제2 챔버 유닛(150b)과, 제1 챔버 유닛(150a)과 제2 챔버 유닛(150b)의 사이에 연결되어서 두 챔버 유닛(150a, 150b)을 결합시키는 복수개의 결합 막대 부재(190, 195)들을 포함한다. 본 실시예에서 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기(100)는 반도체 제조설비에서 공정챔버로부터 발생한 잔류가스를 배출시키는 배기관에 설치되어서 배기관을 따라 유동하는 배기가스를 플라즈마를 유도결합 플라즈마를 이용하여 처리하는 것으로 설명하는데, 본 발명은 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기(100)의 용도 및 설치 위치를 이와 같이 한정하는 것은 아니다. 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기(100)는 전원(미도시)으로부터 적절한 전력을 공급받아서 작동하게 된다.
도 3에는 페라이트 코어 조립체(110)가 분해 사시도로 도시되어 있다. 도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 페라이트 코어 조립체(110)는 페라이트 코어 적층체(140)와, 페라이트 코어 적층체(140)를 수용하는 페라이트 코어 수용 구조물(120a)을 구비한다.
페라이트 코어 적층체(140)는 동일한 형상인 복수개의 페라이트 코어(Ferrite Core)(145)들이 차례대로 적층되어서 형성된 것으로서, 페라이트 코어 적층체(140)에는 나란하게 배치되고 도면에서 상하방향을 따라서 평행하게 연장되는 제1 통로부(142a)와 제2 통로부(142b)가 형성된다. 제1 통로부(142a)와 제2 통로부(142b)는 페라이트 코어 적층체(140)를 관통하여 상단과 하단의 양단이 개방되고 측면이 막힌다. 페라이트 코어 적층체(140)는 페라이트 코어 수용 구조물(120a)에 수용된다.
도 4에는 페라이트 코어(145)가 사시도로 도시되어 있다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 페라이트 코어(145)는 복수개가 적층되어서 페라이트 코어 적층체(140)를 형성하는 것으로서, 본 실시예에서 페라이트 코어(145)는 유도결합 플라즈마 장치에서 통상적으로 사용되는 페라이트 코어인 것으로 설명한다. 페라이트 코어(145)는 고리형상의 고리부(146)와, 고리부(146)의 내부 영역을 가로지르는 연결부(148)를 구비한다.
고리부(146)는 직사각형의 고리형상으로서, 대향하는 제1, 제2 장변부(146a, 146b)들과, 대향하는 제1, 제2 단변부(147a, 147b)들을 구비한다. 제1 단변부(147a)와 제2 단변부(147b)들 각각은 제1 장변부(146a)와 제2 장변부(146b)의 대향하는 두 길이방향 양단을 연결하여, 제1 장변부(146a), 제1 단변부(147a), 제2 장변부(146b) 및 제2 단변부(147b)가 고리부(146)의 둘레방향을 따라서 연속적으로 이어지는 형태를 이룬다.
연결부(148)는 고리부(146)의 대향하는 두 장변부(146a, 146b)들 사이를 연결하도록 직선으로 연장된다. 연결부(148)의 양단은 두 장변부(146a, 146b)들 각각의 길이방향 중심 부분과 이어진다. 연결부(148)에 의해 고리부(146)의 내부 영역은 사각 형상의 제1 관통구(149a)와 제2 관통구(149b)로 각각 분리된다. 복수개의 페라이트 코어(145)들이 적층되어서 형성된 페라이트 코어 적층체(140)에서, 복수개의 페라이트 코어(145)들 각각의 제1 관통구(149a)들이 연결되어서 페라이트 코어 적층체(140)의 제1 통로부(142a)를 형성하며, 복수개의 페라이트 코어(145)들 각각의 제2 관통구(149b)들이 연결되어서 페라이트 코어 적층체(140)의 제2 통로부(142b)를 형성한다.
페라이트 코어 수용 구조물(120a)은 내부에 페라이트 코어 적층체(140)를 수용하는 수용 공간(121)을 제공한다. 페라이트 코어 수용 구조물(120a)의 재질은 전기 절연체로 이루어진다. 페라이트 코어 수용 구조물(120a)은 양단이 개방된 측벽 부재(120)와, 측벽 부재(120)의 개방된 양단에 각각 결합되는 제1 마감 부재(130a) 및 제2 마감 부재(130b)를 구비한다. 페라이트 코어 수용 구조물(120a)이 제공하는 수용 공간(121)은 수용되는 페라이트 코어 적층체(140)의 외형에 대응하는 형상 및 크기로 형성되어서, 페라이트 코어 적층체(140)가 페라이트 코어 수용 구조물(120a)의 수용 공간(121)에 수용되었을 때, 페라이트 코어 적층체(140)가 수용 공간(121) 내에서 흔들리지 않고 견고하게 형태를 유지하게 된다.
측벽 부재(120)는 전체적으로 사각형의 벽체 구조물로서, 도면에서 양단인 상단과 하단이 개방된다. 측벽 부재(120)는 내부에 수용 공간(121)을 형성하고, 수용 공간(121)에 페라이트 코어 적층체(140)가 수용된 상태에서 페라이트 적층체(140)의 측면을 감싼다. 측벽 부재(120)에는 수용 공간(121)과 외부를 연통시키는 복수개의 윈도우(122)들이 형성되고, 복수개의 윈도우(122)들을 통해 수용 공간(121)에 수용된 페라이트 코어 적층체(140)의 측면 상당 영역이 외부로 노출된다. 측벽 부재(120)의 개방된 상단에는 제1 마감 부재(130a)가 결합되고, 측벽 부재(120)의 개방된 하단에는 제2 마감 부재(130b)가 결합된다.
제1 마감 부재(130a)는 측벽 부재(120)의 개방된 상단에 나사 결합과 같은 체결 수단을 통해 결합된다. 제1 마감 부재(130a)는 페라이트 코어(145)와 대체로 동일한 형상으로서, 제1 마감 부재(130a)에는 페라이트 코어 적층체(140)의 제1 통로부(142a)와 연통되는 제1A 개구부(131a)와 페라이트 코어 적층체(140)의 제2 통로부(132a)와 연통되는 제2A 개구부(132a)가 형성된다. 제1 마감 부재(130a)에는 측벽 부재(120)와의 나사 결합을 위한 복수개의 나사 구멍(133a)들이 형성된다. 또한, 제1 마감 부재(130a)의 측면에는 결합 막대(190)와의 나사 결합을 위한 복수개의 나사 구멍(135a)들이 형성된다. 제1 마감 부재(130a)는 페라이트 코어 적층체(140)가 수용 공간(121)에 수용된 상태에서 페라이트 코어 적층체(140)의 최상부 페라이트 코어(145)와 밀착한다.
제2 마감 부재(130b)는 측벽 부재(120)의 개방된 하단에 나사 결합과 같은 체결 수단을 통해 결합된다. 제2 마감 부재(130b)는 페라이트 코어(145)와 대체로 동일한 형상으로서, 제2 마감 부재(130b)에는 페라이트 코어 적층체(140)의 제1 통로부(142a)와 연통되는 제1B 개구부(131b)와 페라이트 코어 적층체(140)의 제2 통로부(132a)와 연통되는 제2B 개구부(132b)가 형성된다. 제2 마감 부재(130b)에는 측벽 부재(120)와의 나사 결합을 위한 복수개의 나사 구멍(133b)들이 형성된다. 또한, 제2 마감 부재(133b)의 측면에는 결합 막대(190)와의 나사 결합을 위한 복수개의 나사 구멍(135b)들이 형성된다. 제2 마감 부재(130b)는 페라이트 코어 적층체(140)가 수용 공간(121)에 수용된 상태에서 페라이트 코어 적층체(140)의 최하부 페라이트 코어(145)와 밀착한다.
페라이트 코어 조립체(110)는 측벽 부재(120)에 제2 마감 부재(130b)가 결합된 후 측벽 부재(120)의 개방된 상단을 통해 복수개의 페라이트 코어(145)들이 수용 공간(121)에 수용되어서 적층되고, 제1 마감 부재(130a)가 측벽 부재(120)의 개방된 상단에 결합되어서 완성될 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 챔버 유닛(150a)은 제1 챔버 몸체(160a)와, 제1 챔버 몸체(160a)에 설치되는 복수개의 제1 점화기(미도시)들을 구비한다. 제1 챔버 유닛(150a)은 복수개의 결합 막대(190, 195)들에 의해 제2 챔버 유닛(150b)과 구조적으로 결합된다.
제1 챔버 몸체(160a)는 제1 기초부(161a)와, 제1 기초부(161a)로부터 연장되는 제1A 연장관(165a) 및 제2A 연장관(167a)를 구비한다.
제1 기초부(161a)는 내부에 제1 내부 공간(162a)을 제공하고, 제1 기초부(161a)에는 제1 내부 공간(162a)과 통하고 처리 대상 가스가 유입되는 가스 유입구(164a)가 형성된다. 제1 내부 공간(162a)은 제1A 연장관(165a) 및 제2A 연장관(167a)과 연통된다. 제1 기초부(161a)는 페라이트 코어 조립체(110)의 제1 마감 부재(130a)와 밀착한다. 제1 기초부(161a)에는 복수개의 제1 점화기(미도시)들 각각이 삽입되어서 설치된다. 제1 기초부(161a)의 측면에는 복수개의 결합 막대(190)들이 나사 결합되기 위한 복수개의 제1 나사 결합구(166a)들이 형성된다. 또한, 제1 기초부(161a)에는 복수개의 결합 막대(195)들이 나사 결합되기 위한 복수개의 제1 나사 통공(163a)들이 형성된다.
제1A 연장관(165a)과 제2A 연장관(167a)은 제1 기초부(161a)로부터 서로 평행하게 연장되어서 형성된다. 제1A 연장관(165a)과 제2A 연장관(167a)은 제1 기초부(161a)의 제1 내부 공간(162a)과 연통되며, 제1A 연장관(165a)의 끝단과 제2A 연장관(167a)의 끝단은 개방된다. 제1A 연장관(165a)은 페라이트 코어 조립체(110)의 제1 통로부(142a)에 수용되고, 제2A 연장관(167a)은 페라이트 코어 조립체(110)의 제2 통로부(142b)에 수용된다. 제1A 연장관(165a)의 개방된 끝단과 제2A 연장관(167a)의 개방된 끝단이 제2 챔버 유닛(150b)과 이어진다. 제1 챔버 몸체(160a)와 제2 챔버 몸체(160b)가 연결되어서 토로이달(toroidal) 형상의 챔버를 형성한다.
복수개의 제1 점화기(미도시)들 각각은 제1 챔버 몸체(160a)의 제1 기초부(161a)의 적절한 위치에 설치된다.
제2 챔버 유닛(150b)은 제2 챔버 몸체(160b)와, 제2 챔버 몸체(160b)에 설치되는 복수개의 제2 점화기(미도시)들을 구비한다. 제2 챔버 유닛(150b)은 복수개의 결합 막대(190, 195)들에 의해 제1 챔버 유닛(150a)과 구조적으로 결합된다.
제2 챔버 몸체(160b)는 제1 챔버 몸체(160a)와 대체로 동일한 구조로서, 제2 기초부(161b)와, 제2 기초부(161b)로부터 연장되는 제1B 연장관(165b) 및 제2B 연장관(167b)를 구비한다.
제2 기초부(161b)는 내부에 제2 내부 공간(미도시)을 제공하고, 제2 기초부(161b)에는 제2 내부 공간(미도시)과 통하고 처리된 가스가 외부로 배출되는 가스 배출구(미도시)가 형성된다. 제2 내부 공간(미도시)은 제2A 연장관(165b) 및 제2B 연장관(167b)과 연통된다. 제2 기초부(161b)는 페라이트 코어 조립체(110)의 제2 마감 부재(130b)와 밀착한다. 제2 기초부(161b)에는 복수개의 제2 점화기(미도시)들 각각이 삽입되어서 설치된다. 제2 기초부(161b)의 측면에는 복수개의 결합 막대(190)들이 나사 결합되기 위한 복수개의 제2 나사 결합구(166b)들이 형성된다. 또한, 제2 기초부(161b)에는 복수개의 결합 막대(195)들이 나사 결합되기 위한 복수개의 제2 나사 통공(163b)들이 형성된다.
제1B 연장관(165b)과 제2B 연장관(167b)은 제2 기초부(161b)로부터 서로 평행하게 연장되어서 형성된다. 제1B 연장관(165b)과 제2B 연장관(167b)은 제1 기초부(161b)의 제2 내부 공간(미도시)과 연통되며, 제1B 연장관(165b)의 끝단과 제2B 연장관(167b)의 끝단은 개방된다. 제1B 연장관(165b)은 페라이트 코어 조립체(110)의 제1 통로부(142a)에 수용되고, 제2B 연장관(167b)은 페라이트 코어 조립체(110)의 제2 통로부(142b)에 수용된다. 제1B 연장관(165b)은 제1A 연장관(165a)과 이어져서 연통되고, 제2B 연장관(167b)은 제2A 연장관(167a)과 이어져서 연통되는데, 제1A 연장관(165a)의 끝단과 제1B 연장관(165b)의 끝단 사이 및 제2A 연장관(167a)의 끝단과 제2B 연장관(167b)의 끝단 사이에는, 도시되지는 않았으나 DC 브레이커(DC breaker)가 위치한다.
복수개의 제2 점화기(미도시)들 각각은 제2 챔버 몸체(160b)의 제2 기초부(161b)의 적절한 위치에 설치된다.
복수개의 결합 막대 부재(190, 195)들은 제1 챔버 유닛(150a)과 제2 챔버 유닛(150b)의 사이에 연결되어서 두 챔버 유닛(150a, 150b)을 결합시킨다.
복수개의 결합 막대 부재(190, 195)들은 복수개의 제1 결합 막대 부재(190)들과 복수개의 제2 결합 막대 부재(195)들을 구비한다.
복수개의 제1 결합 막대 부재(190)들은 대체로 사각 막대 형상으로서, 양단부의 일면이 제1 챔버 몸체(160a)의 제1 기초부(161a)의 측면, 페라이트 코어 조립체(140)의 제1 마감 부재(130a)의 측면, 제2 챔버 몸체(160b)의 제2 기초부(161b)의 측면 및 페라이트 코어 조립체(140)의 제2 마감 부재(130b)의 측면에 나사 결합된다. 이를 위하여, 제1 결합 막대 부재(190)의 측면에는 복수개의 나사 통공(192)들이 형성된다. 즉, 제1 결합 막대 부재(190)는 제1 기초부(161a)에 형성된 형성된 제1 나사 결합구(166a), 제2 기초부(161b)에 형성된 제2 나사 결합구(166b), 제1 마감 부재(130a)에 형성된 제1 나사 구멍(135a) 및 제2 마감 부재(130b)에 형성된 제2 나사 구멍(135b)을 통해 나사 결합된다. 이를 위하여, 제1, 제2 나사 결합구(166a, 166b) 및 제1, 제2 나사 구멍(135a, 135b)에는 암나사가 형성된다.
복수개의 제2 결합 막대 부재(190)들은 대체로 원형 봉 형상으로서, 제1 기초부(161a)와 제2 기초부(161b)의 사이에 끼워진 상태에서 나사 결합된다. 제2 결합 막대 부재(190)들의 양단 각각에는 암나사 구멍(196)이 형성된다. 제1 기초부(161a)에 형성된 제1 나사 통공(163a) 및 제2 기초부(161b)에 형성된 제2 나사 통공(163b)에 끼워지는 수나사가 제2 결합 막대 부재(190)의 암나사 구멍(196)과 결합된다.
도 5는 도 1에 도시된 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기을 조립하는 방법의 일 실시예를 설명하는 순서도가 도시되어 있다. 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기의 조립 방법은, 페라이트 코어 조립체 준비 단계(S11)와, 제1 챔버 준비 단계(S15)와, 제2 챔버 준비 단계(S18)와, 예비 조립 단계(S20)와, 결합 단계(S30)와, 점화기 조립 단계(S40)를 포함한다. 도 5에 도시된 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기의 조립 방법은 도 1에 도시된 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기를 조립하는 방법이므로, 도 1 내지 도 4를 함께 참조하여 설명된다.
페라이트 코어 조립체 준비 단계(S11)에서는 도 2에 도시된 구성의 페라이트 코어 조립체(110)가 준비된다. 도 3을 참조하면, 도 2에 도시된 구성의 페라이트 코어 조립체(110)는 측벽 부재(120)에 제2 마감 부재(130b)가 결합된 후 측벽 부재(120)의 개방된 상단을 통해 복수개의 페라이트 코어(145)들이 수용 공간(121)에 수용되어서 적층되고, 제1 마감 부재(130a)가 측벽 부재(120)의 개방된 상단에 결합되어서 완성될 수 있다.
제1 챔버 준비 단계(S15)에서는 도 2에 도시된 구성의 제1 챔버 몸체(160a)가 준비된다.
제2 챔버 준비 단계(S18)에서는 도 2에 도시된 구성의 제2 챔버 몸체(160b)가 준비된다.
예비 조립 단계(S20)에서는, 페라이트 코어 조립체 준비 단계(S11)를 통해 준비된 페라이트 코어 조립체(110), 제1 챔버 준비 단계(S15)를 통해 준비된 제1 챔버 몸체(160a) 및 제2 챔버 준비 단계(S18)를 통해 준비된 제2 챔버 몸체(160b)가 예비 조립된다. 구체적으로 예비 조립 단계(S20)에서는 제1 챔버 몸체(160a)의 제1A 연장관(165a)과 제2 챔버 몸체(160b)의 제1B 연장관(165a)이 페라이트 코어 조립체(110)의 제1 통로부(142a)로 서로 마주 보도록 삽입되어서 연결되고, 제1 챔버 몸체(160a)의 제2A 연장관(167a)과 제2 챔버 몸체(160b)의 제2B 연장관(167b)이 페라이트 코어 조립체(110)의 제2 통로부(142b)로 서로 마주보도록 삽입되어서 연결된다.
결합 단계(S30)에서는 예비 조립 단계(S20)를 통해 예비 조립된 페라이트 코어 조립체(1100, 제1 챔버 몸체(160a) 및 제2 챔버 몸체(160b)를 복수개의 결합 막대(190, 195)들을 이용하여 나사 결합한다.
점화기 조립 단계(S40)에서는 복수개의 제1 점화기(미도시)들이 제1 챔버 몸체(160a)에 설치되고, 복수개의 제2 점화기(미도시)들이 제2 챔버 몸체(160b)에 설치된다.
이상 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 실시예는 본 발명의 취지 및 범위를 벗어나지 않고 수정되거나 변경될 수 있으며, 본 기술분야의 통상의 기술자는 이러한 수정과 변경도 본 발명에 속하는 것임을 알 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 적층된 복수개의 페라이트 코어들을 포함하고 제1 통로부와 제2 통로부가 나란하게 형성된 페라이트 코어 적층체와, 상기 페라이트 코어 적층체를 수용하는 페라이트 코어 수용 구조물을 구비하는 페라이트 코어 조립체;
    내부에 제1 내부 공간을 제공하는 제1 기초부와, 상기 제1 기초부로부터 연장되고 상기 제1 내부 공간과 연통되며 상기 제1 통로부에 수용되는 제1A 연장관과, 상기 제1 기초부로부터 연장되고 상기 제1 내부 공간과 연통되며 상기 제2 통로부에 수용되는 제2A 연장관을 구비하는 제1 챔버 몸체; 및
    내부에 제2 내부 공간을 제공하는 제2 기초부와, 상기 제2 기초부로부터 연장되고 상기 제2 내부 공간과 연통되며 상기 제1 통로부에 수용되어서 상기 제1A 연장관과 이어지는 제1B 연장관과, 상기 제2 기초부로부터 연장되고 상기 제2 내부 공간과 연통되며 상기 제2 통로부에 수용되어서 상기 제2A 연장관과 이어지는 제2B 연장관을 구비하는 제2 챔버 몸체를 포함하는,
    유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 챔버 몸체와 상기 제2 챔버 몸체를 결합하는 복수개의 결합 막대들을 더 포함하는,
    유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 복수개의 결합 막대들은 상기 제1 기초부와 상기 제2 기초부에 나사 결합되는,
    유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 복수개의 결합 막대들은 상기 제1, 제2 기초부 및 상기 페라이트 코어 수용 구조물에 나사 결합되는 복수개의 제1 결합 막대를 구비하는,
    유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 페라이트 코어 조립체는 상기 제1 기초부와 상기 제2 기초부의 사이에서 상기 제1 기초부 및 상기 제2 기초부와 밀착하는,
    유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 페라이트 코어 수용 구조물은, 상기 페라이트 코어 적층체의 측면을 감싸고 상단과 하단이 개방된 측벽 부재와, 상기 측벽 부재의 상단에 결합되는 제1 마감 부재와, 상기 측벽 부재의 하단에 결합되는 제2 마감 부재를 구비하며,
    상기 제1 마감 부재에는 상기 제1 통로부에 대응하는 제1A 개구부와 상기 제2 통로부에 대응하는 제2A 개구부가 형성되며,
    상기 제2 마감 부재에는 상기 제1 통로부에 대응하는 제1B 개구부와 상기 제2 통로부에 대응하는 제2B 개구부가 형성되는,
    유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기.
  7. 적층된 복수개의 페라이트 코어들을 포함하고 제1 통로부와 제2 통로부가 나란하게 형성된 페라이트 코어 적층체와, 상기 페라이트 코어 적층체를 수용하는 페라이트 코어 수용 구조물을 구비하는 페라이트 코어 조립체를 준비하는 페라이트 코어 조립체 준비 단계;
    내부에 제1 내부 공간을 제공하는 제1 기초부와, 상기 제1 기초부로부터 나란하게 연장되고 상기 제1 내부 공간과 연통되는 제1A 연장관 및 제2A 연장관을 구비하는 제1 챔버 몸체를 준비하는 제1 챔버 준비 단계;
    내부에 제2 내부 공간을 제공하는 제2 기초부와, 상기 제2 기초부로부터 연장되고 상기 제2 내부 공간과 연통되는 제1B 연장관 및 제2B 연장관을 구비하는 제2 챔버 몸체를 준비하는 제2 챔버 준비 단계;
    상기 제1A 연장관과 상기 제1B 연장관이 상기 제1 통로부에서 서로 마주보도도록 삽입되어서 연결되고, 상기 제2A 연장관과 상기 제2B 연장관이 상기 제2 통로부에서 서로 마주보도록 삽입되어서 연결되는 예비 조립 단계; 및
    상기 제1 챔버 몸체와 상기 제2 챔버 몸체를 결합하는 결합 단계를 포함하는,
    유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기의 조립 방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 결합 단계에서 상기 제1 챔버 몸체와 상기 제2 챔버 몸체는 복수개의 결합 막대들을 이용하여 결합되는,
    유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기의 조립 방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 결합 단계에서 상기 복수개의 결합 막대들은 상기 제1 기초부 및 상기 제2 기초부와 나사 결합되는,
    유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기의 조립 방법.
  10. 청구항 7에 있어서,
    상기 제1 챔버 몸체 또는 상기 제2 챔버 몸체에 점화기를 결합시키는 점화기 조립 단계를 더 포함하는,
    유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기의 조립 방법.
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