WO2021107809A1 - Акселерометр для измерения линейных ускорений - Google Patents
Акселерометр для измерения линейных ускорений Download PDFInfo
- Publication number
- WO2021107809A1 WO2021107809A1 PCT/RU2020/000578 RU2020000578W WO2021107809A1 WO 2021107809 A1 WO2021107809 A1 WO 2021107809A1 RU 2020000578 W RU2020000578 W RU 2020000578W WO 2021107809 A1 WO2021107809 A1 WO 2021107809A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- output
- linear acceleration
- piezoelectric
- reference frequency
- accelerometer
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
Definitions
- Accelerometer for measuring linear acceleration
- the invention relates to the field of measuring technology and can be used to measure linear acceleration in systems of orientation and navigation of moving objects, as well as in seismic measurements.
- Piezoelectric vibration measuring transducer [A.S. N ° 634493 USSR, MKI G01P 15/08. Piezoelectric vibration measuring transducer / Tsekhansky K.R., Makeev V.M., B.I. N ° 43, 1978.], containing a differential piezoelectric element, which is two identical piezoelectric transducers and a test mass, a voltage amplifier, the input of which is connected to the output of the differential piezoelectric element, an inverting amplifier, the input of which is connected to the second output of the differential piezoelectric element, an adder, the inputs of which are connected with outputs of voltage amplifier and inverting amplifier. The adder output is the output of the converter.
- a piezoelectric accelerometer for measuring the apparent acceleration which is linear, [RF Patent N ° 2566655, Method for measuring apparent acceleration and a piezoaccelerometer for its implementation], containing a piezoelectric block, the outputs of which are connected to the inputs of the same charge amplifiers, the generator of the alternating signal of the reference frequency, which is much higher than the upper frequency of the spectrum of the apparent acceleration, and the piezoelectric block includes a piezoelectric exciter, the inputs of which are connected to the outputs of the alternating signal generator, moreover, the exciter is connected to identical piezoelectric transducers, which are fixed on the base, and the outputs of identical transducers are outputs piezoblock, differential amplifier, the inputs of which are connected to the outputs of the charge amplifiers, amplitude-to-signal converter
- SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) direct current, the input of which is connected to the output of the differential amplifier, and the output is the output of the accelerometer.
- the disadvantage of such an accelerometer is the low accuracy of determining the measured value, due to the presence of an error in converting the linear acceleration into an electrical signal, due to the asymmetry of two differentially connected measuring channels containing piezoelectric transducers.
- the problem solved by the invention is the development of a device for measuring linear accelerations using a piezoelectric exciter, which makes it possible to increase the accuracy of determining linear accelerations.
- the proposed accelerometer includes a generator of an alternating signal of a reference frequency, which is much higher than the upper frequency of the linear acceleration spectrum, and a piezoelectric block, fixed on the base and including a piezoelectric exciter, the output of which is connected to the input of the charge amplifier, and the first output of the generator is connected to the input of the piezoelectric exciter.
- the device contains an integrating device and a controller, which generates at its output a control signal with a period that is a multiple of an integer number of periods of the reference frequency alternating signal, and the second output of the reference frequency alternating signal generator is connected to the controller input, one of the inputs of the integrating the device is connected to the output of the charge amplifier, and the second to the output of the controller, and the output of the integrating device is the information output of the accelerometer.
- the achieved technical result is an increase in the accuracy of measuring linear accelerations when measuring them using a piezoelectric exciter by eliminating the error
- SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) converting linear acceleration into an electrical signal due to the asymmetry of two differentially connected measuring channels containing piezoelectric transducers.
- the proposed invention is based on the fact that the integral of the reference frequency signal, when the integration time is a multiple of the period of this signal, is equal to the center line of the reference frequency signal. Since the electrical signal at the output of the piezoelectric exciter consists of the sum of electrical signals, each of which changes with a reference frequency: a signal with a center line proportional to the measured value and an excitation signal (the unconverted part of the signal arriving at the piezoelectric exciter from the alternating signal generator of the reference frequency), then when it is integrated during the integration time, which is a multiple of the excitation signal period, the result of the integration will be proportional to the measured value.
- the extraction of information about the magnitude of the linear acceleration from the electrical signal of the reference frequency with the center line proportional to the measured linear acceleration is performed using an integrating device via a single channel, which makes it possible to eliminate the error in converting the linear acceleration into an electrical signal due to the asymmetry of two differentially connected measuring channels containing piezoelectric transducers.
- FIG. 1 shows a block diagram of the proposed accelerometer. It consists of a generator of an alternating signal of a reference frequency 1, which has outputs OUT1 and OUT2, a piezoelectric block 2 containing a piezoelectric exciter 3, a controller 4, a charge amplifier 5 and an integrating device 6 with inputs BX1 and BX2.
- the proposed device works as follows.
- the generator of the alternating signal of the reference frequency 1 has two outputs OUT1 and OUT2, to which the electrical alternating signal of the reference frequency is supplied.
- the value of the reference frequency of the signal generator is chosen at least an order of magnitude greater than the upper frequency of the linear acceleration spectrum. In this case, it is recommended to use generators with a high output impedance at low frequencies, for example, having pass capacities at the output. This prevents leakage from the piezoelectric exciter 3 to the generator 1 of electrical signals having frequencies lower than the upper frequency of the measured linear acceleration, and carrying information about its magnitude.
- the piezoelectric block 2 is fixed on the base and includes a piezoelectric exciter 3.
- the piezoelectric exciter 3 allows converting an electrical signal into a mechanical stress, and a change in mechanical stress into an electrical signal and can be made, for example, in the form of a piezoceramic element with two contact pads on opposite ends.
- the pathogen is at the same time a test mass.
- the piezoelectric block can contain an additional test mass made in the form of a separate element, articulated on one side with the exciter.
- the first output (OUT1) of the alternating signal generator 1 is connected to the input of the piezoelectric exciter 3.
- the piezoelectric exciter 3 converts part of the energy of the electrical alternating signal of the reference frequency coming from the generator 1 into mechanical stress, which is summed up in the piezoelectric exciter 3 with mechanical stress created by the test mass , as a result of exposure to the measured linear acceleration. Sum in piezoelectric exciter 3
- SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) the alternating mechanical stress by the frequency reference created by the exciter 3, and the slowly varying (in comparison with alternating) mechanical stress created by the test mass, allows the property of the sign sensitivity of the piezoelectric effect.
- the total mechanical stress has a center line proportional to the measured physical quantity and changes with the reference frequency. Therefore, the transformation by the piezoelectric exciter 3 of the total mechanical stress into an electrical signal occurs in the zone of stable sensitivity of the piezoelectric exciter and without distortion. This electrical signal with a center line proportional to the measured linear acceleration is summed at the output of the piezoelectric exciter 3 with an electrical excitation signal.
- the total electrical signal at the output of the exciter 3 consists of the excitation signal (the unconverted part of the electrical alternating signal of the reference frequency supplied to the exciter 3 from the generator 1) and from the sum of the mechanical stresses in the piezoelectric exciter 3 of the electrical signal of the reference frequency obtained as a result of conversion, with the center line proportional to the measured linear acceleration.
- the second output (output OUT2) of the alternating signal generator 1 is connected to the input of the controller 4, which generates at its output a control signal with a period that is a multiple of an integer number of periods of the alternating signal of the reference frequency.
- the output of the piezoelectric exciter 3 is connected to the input of the charge amplifier 5, which amplifies the electrical signal.
- the output of the charge amplifier 5 is connected to the input BX1 of the integrating device 6.
- the second input (input BX2) of the integrating device 6 is connected to the output of the controller 4.
- an integrating device 6 can be used with both analog and
- the output of the integrating device 6 is the information output of the accelerometer.
- the integrating device 6 integrates in time the signal coming from the input IN1.
- the integration time is determined by the control signal from the input BX2. Since the electrical signal at the input B consists of the sum of signals, each of which changes with the reference frequency, then when it is integrated during the integration time as a multiple of an integer number of periods of the alternating signal of the reference frequency, the result of integration transmitted to the output of the integrating device 6 will be proportional to the measured linear acceleration.
- the description of the proposed device proves the possibility of achieving a technical result - an increase in the accuracy of measuring linear accelerations when measuring them using a piezoelectric exciter.
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения линейного ускорения в системах ориентации и навигации подвижных объектов, а также при сейсмических измерениях. Акселерометр для измерения линейных ускорений содержит генератор знакопеременного сигнала опорной частоты, которая намного больше верхней частоты спектра линейного ускорения, и пьезоблок, закрепленный на основании и включающий в себя пьезоэлектрический возбудитель, выход которого соединен с входом усилителя заряда, а первый выход генератора соединен с входом пьезоэлектрического возбудителя. Также акселерометр содержит интегрирующее устройство и контроллер, выполняющий функцию формирования на своем выходе управляющего сигнала с периодом, кратным целому числу периодов знакопеременного сигнала опорной частоты. Достигаемым техническим результатом является повышение точности измерения линейных ускорений при измерении их с использованием пьезоэлектрического возбудителя за счет исключения погрешности преобразования линейного ускорения в электрический сигнал, обусловленной несимметричностью двух дифференциально включенных измерительных каналов, содержащих пьезоэлектрические преобразователи.
Description
Акселерометр для измерения линейных ускорений Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения линейного ускорения в системах ориентации и навигации подвижных объектов, а также при сейсмических измерениях. Известен пьезоэлектрический виброизмерительный преобразователь
[А.с. N°634493 СССР, МКИ G01P 15/08. Пьезоэлектрический виброизмерительный преобразователь / Цеханский К.Р., Макеев В.М., Б.И. N°43, 1978.], содержащий дифференциальный пьезоэлемент, представляющий собой два идентичных пьезоэлектрических преобразователя и пробную массу, усилитель напряжения, вход которого соединен с выходом дифференциального пьезоэлемента, инвертирующий усилитель, вход которого соединен с вторым выходом дифференциального пьезоэлемента, сумматор, входы которого соединены с выходами усилителя напряжения и инвертирующего усилителя. Выход сумматора является выходом преобразователя.
Наиболее близким по совокупности существенных признаков к предлагаемому устройству является пьезоэлектронный акселерометр для измерения кажущегося ускорения, являющегося линейным, [Патент РФ N°2566655, Способ измерения кажущегося ускорения и пьезоакселерометр для его реализации], содержащий пьезоблок, выходы которого соединены со входами одинаковых усилителей заряда, генератор знакопеременного сигнала опорной частоты, которая намного больше верхней частоты спектра кажущегося ускорения, а пьезоблок включает пьезоэлектрический возбудитель, входы которого соединены с выходами генератора знакопеременного сигнала, причем, возбудитель сочленен с идентичными пьезоэлектрическими преобразователями, которые закреплены на основании, а выходы идентичных преобразователей являются выходами пьезоблока, дифференциальный усилитель, входы которого соединены с выходами усилителей заряда, преобразователь амплитуды в сигнал
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26)
постоянного тока, вход которого соединен с выходом дифференциального усилителя, а выход является выходом акселерометра.
Недостатком такого акселерометра является низкая точность определения измеряемой величины, из-за наличия погрешности преобразования линейного ускорения в электрический сигнал, обусловленной несимметричностью двух дифференциально включенных измерительных каналов, содержащих пьезоэлектрические преобразователи.
Задачей, решаемой изобретением, является разработка устройства измерения линейных ускорений при помощи пьезоэлектрического возбудителя, позволяющего повысить точность определения линейных ускорений.
Поставленная задача решается за счет того, что в предлагаемом акселерометре, также, как и в известном, в состав входят генератор знакопеременного сигнала опорной частоты, которая намного больше верхней частоты спектра линейного ускорения, и пьезоблок, закрепленный на основании и включающий в себя пьезоэлектрический возбудитель, выход которого соединен с входом усилителя заряда, а первый выход генератора соединен с входом пьезоэлектрического возбудителя. Но, в отличие от известного, устройство содержит интегрирующее устройство и контроллер, который формирует на своем выходе управляющий сигнал с периодом, кратным целому числу периодов знакопеременного сигнала опорной частоты, причем второй выход генератора знакопеременного сигнала опорной частоты соединен с входом контроллера, один из входов интегрирующего устройства соединен с выходом усилителя заряда, а второй - с выходом контроллера, а выход интегрирующего устройства является информационным выходом акселерометра.
Достигаемым техническим результатом является повышение точности измерения линейных ускорений при измерении их с использованием пьезоэлектрического возбудителя за счет исключения погрешности
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26)
преобразования линейного ускорения в электрический сигнал, обусловленной несимметричностью двух дифференциально включенных измерительных каналов, содержащих пьезоэлектрические преобразователи.
Предложенное изобретение базируется на том факте, что интеграл от сигнал опорной частоты, при времени интегрирования кратном периоду этого сигнала, равен средней линии сигнала опорной частоты. Так как электрический сигнал на выходе пьезоэлектрического возбудителя состоит из суммы электрических сигналов, каждый из которых меняется с опорной частотой: сигнал с средней линией пропорциональной измеряемой величине и сигнал возбуждения (не преобразованная часть сигнала поступающего на пьезоэлектрический возбудитель с генератора знакопеременного сигнала опорной частоты), то при его интегрировании в течении времени интегрирования, кратном периоду сигнала возбуждения, результат интегрирования будет пропорционален измеряемой величине. Таким образом, выделение информации о величине линейного ускорения из электрического сигнала опорной частоты с средней линией пропорциональной измеряемому линейному ускорению производится с помощью интегрирующего устройства по единственному каналу, что позволяет исключить погрешность преобразования линейного ускорения в электрический сигнал, обусловленную несимметричностью двух дифференциально включенных измерительных каналов, содержащих пьезоэлектрические преобразователи.
Изобретение поясняется чертежом на фиг. 1. На фиг. 1 приведена структурная схема предложенного акселерометра. Она состоит из генератора знакопеременного сигнала опорной частоты 1 , имеющего выходы ВЫХ1 и ВЫХ2, пьезоблока 2, содержащего пьезоэлектрический возбудитель 3, контроллера 4, усилителя заряда 5 и интегрирующего устройства 6, имеющего входы ВХ1 и ВХ2.
Предлагаемое устройство работает следующим образом.
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26)
Генератор знакопеременного сигнала опорной частоты 1 имеет два выхода ВЫХ1 и ВЫХ2, на которые подается электрический знакопеременный сигнал опорной частоты. Величина опорной частоты генератора сигнала выбирается по крайней мере на порядок большей, чем верхняя частота спектра линейного ускорения. При этом рекомендуется использовать генераторы с высоким выходным сопротивлением на низких частотах, например, имеющие на выходе проходные емкости. Это предотвращает утечку с пьезоэлектрического возбудителя 3 на генератор 1 электрических сигналов, имеющих частоты ниже, чем верхняя частота измеряемого линейного ускорения, и несущих информацию о ее величине.
Пьезоблок 2 закреплен на основании и включает в себя пьезоэлектрический возбудитель 3. Пьезоэлектрический возбудитель 3 позволяет преобразовывать электрический сигнал в механическое напряжение, а изменение механического напряжения - в электрический сигнал и может быть выполнен, например, в виде пьезокерамического элемента с двумя контактными площадками на противоположных его концах. При этом возбудитель, одновременно является пробной массой. Для увеличения величины пробной массы и, как следствие, увеличения чувствительности к линейному ускорению, пьезоблок может содержать дополнительную пробную массу, выполненную в виде отдельного элемента, сочлененного с одной стороны с возбудителем.
Ко входу пьезоэлектрического возбудителя 3 подсоединен первый выход (ВЫХ1) генератора знакопеременного сигнала 1. Пьезоэлектрический возбудитель 3 преобразует часть энергии электрического знакопеременного сигнала опорной частоты, поступающего с генератора 1, в механическое напряжение, которое суммируется в пьезоэлектрическом возбудителе 3 с механическим напряжением, создаваемым пробной массой, в результате воздействия на нее измеряемого линейного ускорения. Суммировать в пьезоэлектрическом возбудителе 3
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26)
знакопеременное механическое напряжение опорой частоты, создаваемое возбудителем 3, и медленно меняющееся (по сравнению с знакопеременным) механическое напряжение, создаваемое пробной массой, позволяет свойство знакочувствительности пьезоэффекта. Суммарное механическое напряжение имеет среднюю линию пропорциональную измеряемой физической величине и меняется с опорной частотой. Поэтому преобразование пьезоэлектрическим возбудителем 3 суммарного механического напряжения в электрический сигнал происходит в зоне стабильной чувствительности пьезоэлектрического возбудителя и без искажений. Этот электрический сигнал со средней линией, пропорциональной измеряемому линейному ускорению, суммируется на выходе пьезоэлектрического возбудителя 3 с электрическим сигналом возбуждения. Таким образом, суммарный электрический сигнал на выходе возбудителя 3 состоит из сигнала возбуждения (не преобразованной части электрического знакопеременного сигнала опорной частоты поступающего на возбудитель 3 с генератора 1) и из полученного в результате преобразования суммы механических напряжений в пьезоэлектрическом возбудителе 3 электрического сигнала опорной частоты, с средней линией, пропорциональной измеряемому линейному ускорению.
Второй выход (выход ВЫХ2) генератора знакопеременного сигнала 1 соединен с входом контроллера 4, который формирует на своем выходе управляющий сигнал с периодом, кратным целому числу периодов знакопеременного сигнала опорной частоты.
Выход пьезоэлектрического возбудителя 3 соединен с входом усилителя заряда 5, который усиливает электрический сигнал.
Выход усилителя заряда 5 соединен с входом ВХ1 интегрирующего устройства 6. Второй вход (вход ВХ2) интегрирующего устройства 6 соединен с выходом контроллера 4. В составе предлагаемого акселерометра может использоваться интегрирующее устройство 6 как с аналоговым, так
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26)
и с цифровым выходом. Выход интегрирующего устройства 6 является информационным выходом акселерометра.
Интегрирующее устройство 6 интегрирует по времени сигнал поступающий со входа ВХ1. Время интегрирования определяется управляющим сигналом со входа ВХ2. Так как электрический сигнал на входе В состоит из суммы сигналов, каждый из которых меняется с опорной частотой, то при его интегрировании в течении времени интегрирования кратным целому числу периодов знакопеременного сигнала опорной частоты результат интегрирования, передаваемый на выход интегрирующего устройства 6, будет пропорционален измеряемому линейному ускорению.
Описание предложенного устройства доказывает возможность достижения технического результата - увеличение точности измерения линейных ускорений при измерении их с использованием пьезоэлектрического возбудителя.
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26)
Claims
Формула изобретения
Акселерометр для измерения линейных ускорений, содержащий генератор знакопеременного сигнала опорной частоты, которая намного больше верхней частоты спектра линейного ускорения, и пьезоблок, закрепленный на основании и включающий в себя пьезоэлектрический возбудитель, выход которого соединен с входом усилителя заряда, а первый выход генератора соединен с входом пьезоэлектрического возбудителя, отличающийся тем, что устройство содержит интегрирующее устройство и контроллер, выполняющий функцию формирования на своем выходе управляющий сигнал с периодом, кратным целому числу периодов знакопеременного сигнала опорной частоты, причем второй выход генератора знакопеременного сигнала опорной частоты соединен с входом контроллера, один из входов интегрирующего устройства соединен с выходом усилителя заряда, а второй - с выходом контроллера, а выход интегрирующего устройства является информационным выходом акселерометра.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019138490A RU2730423C1 (ru) | 2019-11-27 | 2019-11-27 | Акселерометр для измерения линейных ускорений |
| RU2019138490 | 2019-11-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2021107809A1 true WO2021107809A1 (ru) | 2021-06-03 |
Family
ID=72237704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/RU2020/000578 WO2021107809A1 (ru) | 2019-11-27 | 2020-11-02 | Акселерометр для измерения линейных ускорений |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2730423C1 (ru) |
| WO (1) | WO2021107809A1 (ru) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103134950A (zh) * | 2013-01-21 | 2013-06-05 | 西北工业大学 | 微机械加速度计的5阶连续低通谐振前馈型sigma-delta modulator闭环控制电路 |
| RU2566655C1 (ru) * | 2014-07-29 | 2015-10-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственнный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) | Способ измерения кажущегося ускорения и пьезоэлектронный акселерометр для его реализации |
| RU2626071C1 (ru) * | 2016-06-03 | 2017-07-21 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") | Способ обеспечения линейности масштабного коэффициента маятникового акселерометра компенсационного типа |
| RU2690367C1 (ru) * | 2018-04-23 | 2019-06-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ростовский государственный экономический университет (РИНХ)" | Акселерометр |
-
2019
- 2019-11-27 RU RU2019138490A patent/RU2730423C1/ru active
-
2020
- 2020-11-02 WO PCT/RU2020/000578 patent/WO2021107809A1/ru active Application Filing
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103134950A (zh) * | 2013-01-21 | 2013-06-05 | 西北工业大学 | 微机械加速度计的5阶连续低通谐振前馈型sigma-delta modulator闭环控制电路 |
| RU2566655C1 (ru) * | 2014-07-29 | 2015-10-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственнный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) | Способ измерения кажущегося ускорения и пьезоэлектронный акселерометр для его реализации |
| RU2626071C1 (ru) * | 2016-06-03 | 2017-07-21 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") | Способ обеспечения линейности масштабного коэффициента маятникового акселерометра компенсационного типа |
| RU2690367C1 (ru) * | 2018-04-23 | 2019-06-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ростовский государственный экономический университет (РИНХ)" | Акселерометр |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2730423C1 (ru) | 2020-08-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109828141B (zh) | 基于弱耦合微机械谐振器的高灵敏度电压测量装置及测量方法 | |
| US3940636A (en) | Acoustic delay surface wave motion transducer systems with enhanced stability | |
| AU2012214000B2 (en) | Device and method for evaluating signals of load cells with strain gauges | |
| RU2566655C1 (ru) | Способ измерения кажущегося ускорения и пьезоэлектронный акселерометр для его реализации | |
| RU2730423C1 (ru) | Акселерометр для измерения линейных ускорений | |
| RU152648U1 (ru) | Двухканальный акселерометр | |
| CN109579976A (zh) | 一种压电式加速度传感器灵敏度系数校验方法 | |
| RU175041U1 (ru) | Дифференциальный пьезоэлектронный акселерометр | |
| Koyanagi | Development of a low-frequency-vibration calibration system: The development and calibration of an electrodynamic vibration exciter was developed specifically to calibrate accelerometers at frequencies from 55 to 2 Hz | |
| US3917936A (en) | Method and apparatus for measuring the cross-correlation of two dynamic mechanical quantities | |
| Skliarov et al. | Phase difference measurement of the target signals of sensing elements in the push-pull fiber optic interferometric acoustic and vibration sensors | |
| SU735960A1 (ru) | Устройство дл измерени динамического модул упругости образца материала | |
| Trigona et al. | PiezoMUMPs microsensor for contactless measurements of DC-electrical current | |
| SU871076A1 (ru) | Датчик ускорени с частотным выходом | |
| JP2001165765A (ja) | 振動分布測定装置 | |
| Sinatra et al. | Self-generating microsensor with meander architecture for performance enhancement in inertial systems | |
| SU1392391A1 (ru) | Виброметр | |
| SU640213A1 (ru) | Датчик ускорени с частотным выходом | |
| SU1359686A1 (ru) | Виброкалибровочное устройство | |
| SU1408237A1 (ru) | Виброметр | |
| JPH01136033A (ja) | 機械振動測定用ピックアップの信号処理回路 | |
| SU911472A2 (ru) | Устройство дл определени динамических характеристик механических систем | |
| SU979902A1 (ru) | Дифференциальный пьезоэлектрический преобразователь | |
| Kistler | New precision calibration techniques for vibration transducers | |
| SU810610A1 (ru) | Измерительное устройство дл опре-дЕлЕНи пРЕдЕлА пРОпОРциОНАльНОСТиК иСпыТАТЕльНыМ МАшиНАМ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 20894725 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 20894725 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |