WO2020240739A1 - Ｔｏ－ｃａｎ型光モジュール - Google Patents

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WO2020240739A1
WO2020240739A1 PCT/JP2019/021365 JP2019021365W WO2020240739A1 WO 2020240739 A1 WO2020240739 A1 WO 2020240739A1 JP 2019021365 W JP2019021365 W JP 2019021365W WO 2020240739 A1 WO2020240739 A1 WO 2020240739A1
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WO
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conductor layer
fpc
optical module
lens
type optical
Prior art date
Application number
PCT/JP2019/021365
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English (en)
French (fr)
Inventor
瑞基 白尾
和樹 山路
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02—Details
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022—Mountings; Housings

Definitions

  • the present invention relates to a TO-CAN (Transistor Outlined CAN) type optical module.
  • a conventional TO-CAN type optical module has a cylindrical metal stem and a lead wire (hereinafter referred to as "glass lead") inserted into a through hole formed in the metal stem and fixed by a sealing glass. Be prepared. Further, on one surface of the metal stem, a semiconductor optical element connected to the glass lead and a lens cap covering the glass lead and the semiconductor optical element are installed. FPCs (Flexible Printed Circuits) connected to glass leads are installed on the other surface of the metal stem. The glass lead and the metal stem form a coaxial line, and transmit a high frequency signal between the semiconductor optical element and the substrate.
  • Patent Document 1 discloses a TO-CAN type TOSA (Transmitter Optical Sub-Assembly) module.
  • a relay line substrate made of a ceramic material is fixed to the upper surface of a metal stem so that stable microwave propagation can be performed.
  • a ground pattern and a relay line are provided on the relay line board, and a signal lead wire for a high-frequency modulated signal is connected to the relay line.
  • the metal stem is used as a component of the coaxial line, it is necessary to install the glass lead in the through hole formed in the metal stem. Further, in the conventional TO-CAN type optical module, it is necessary to install various parts on the metal stem, for example, like the relay line substrate described in Patent Document 1, for the purpose of improving the high frequency characteristics. Therefore, the conventional TO-CAN type optical module has a problem that the entire structure becomes complicated.
  • the present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a TO-CAN type optical module that does not require a metal stem.
  • the TO-CAN type optical module according to the present invention is an FPC having a front surface and a back surface, and is a surface opposite to the surface side of the first conductor layer and the first conductor layer installed on the front surface side.
  • the FPC including the base layer installed in contact with the base layer and the second conductor layer on the back surface side installed in contact with the surface opposite to the surface of the base layer in contact with the first conductor layer, and the lens.
  • the base layer includes a through hole for electrically connecting the front surface ground and the back surface ground, and a semiconductor optical element is installed on the surface of the front surface ground facing the lens.
  • FIG. 2A shows a plan view of the TO-CAN type optical module according to the first embodiment.
  • FIG. 2B shows a plan view of the TO-CAN type optical module with the lens cap removed.
  • FIG. 2C shows a cross-sectional view of the TO-CAN type optical module cut along the dotted line ⁇ 'of FIG. 2B.
  • It is sectional drawing which shows the structure of the TO-CAN type optical module which concerns on Embodiment 2.
  • FIG. It is sectional drawing which shows the structure of the TO-CAN type optical module which concerns on Embodiment 3.
  • FIG. 6A is a plan view showing the configuration of the TO-CAN type optical module with the lens cap removed.
  • FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the dotted line ⁇ 'of FIG. 6A.
  • FIG. 7A is a plan view showing the configuration of the TO-CAN type optical module with the lens cap 1 removed.
  • FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the dotted line ⁇ 'of FIG. 7A. It is sectional drawing which shows the structure of the TO-CAN type optical module which concerns on Embodiment 7.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the configuration of the TO-CAN type optical module 100 according to the first embodiment.
  • the TO-CAN type optical module 100 having a function of receiving signal light will be described, but the TO-CAN type optical module may have a function of transmitting signal light. ..
  • the TO-CAN type optical module 100 includes a lens cap 1 and an FPC 2.
  • FPC2 has a front surface and a back surface.
  • the lens cap 1 is installed on the surface side of the FPC 2.
  • the lens cap 1 has a cap 1a and a lens 1b.
  • the cap 1a has a hollow cylindrical shape.
  • One end of the cap 1a has a bottom surface, and a hole for mounting the lens 1b is formed in a substantially central portion of the bottom surface.
  • the other end of the cap 1a is open.
  • the lens 1b is fitted and installed in a hole formed in the bottom surface of the cap 1a.
  • the lens cap 1 is installed so that the other end of the cap 1a faces the surface side of the FPC 2.
  • the material of the cap 1a is, for example, metal.
  • FIG. 2A shows a plan view of the TO-CAN type optical module 100 according to the first embodiment.
  • FIG. 2B shows a plan view of the TO-CAN type optical module 100 with the lens cap 1 removed.
  • FIG. 2C shows a cross-sectional view of the TO-CAN type optical module 100 cut along the dotted line ⁇ 'of FIG. 2B.
  • the FPC 2 includes a first conductor layer 21 installed on the surface side, a base layer 22 installed in contact with a surface of the first conductor layer 21 opposite to the surface on the surface side, and , The second conductor layer 23 on the back surface side, which is installed in contact with the surface of the base layer 22 opposite to the surface in contact with the first conductor layer 21.
  • the first conductor layer 21 and the second conductor layer 23 are insulated by the base layer 22.
  • the first conductor layer 21 includes a surface ground 21d having a surface facing the lens 1b.
  • the first conductor layer 21 is formed on two surface signal wirings 21a for transmitting high frequency signals, two ground pads 21b connected to the ground, and a photodiode described later. Includes two DC wirings 21c that supply power.
  • the two surface signal wirings 21a and the two DC wirings 21c each extend from the end of the FPC2 in the lower part of FIG. 2B toward the surface ground 21d in the upper part of FIG. 2B.
  • the two surface signal wirings 21a and the two DC wirings 21c are connected to another printed circuit board (not shown) at the end of the FPC 2 at the lower part of FIG. 2B. Further, the two surface signal wirings 21a and the two DC wirings 21c are partially covered with the surface coverlay 24 described later, respectively. Therefore, in FIG. 2B, a part of the two surface signal wirings 21a and the two DC wirings 21c is not visible.
  • the thickness of FPC2 is, for example, 50 ⁇ m.
  • the two surface signal wirings 21a are signal wirings for transmitting a differential signal.
  • the two surface signal wirings 21a can be, for example, microstrip lines having a characteristic impedance of 100 ⁇ .
  • a photodiode 3, two capacitors 4, and a TIA 5 Transimpedance Amplifier are installed on the surface of the surface ground 21d on the surface side facing the lens 1b.
  • the photodiode 3, the two capacitors 4, and the TIA 5 are connected to the ground by being installed on the surface ground 21d.
  • the photodiode 3 is a semiconductor optical element, receives input signal light incident on the lens 1b from the outside, and converts the received input signal light into an input signal which is an electric signal.
  • the capacitor 4 is connected to the DC wiring 21c by the gold wire 6a and is connected to the TIA 5 by the gold wire 6b to remove noise contained in the electric power from the DC wiring 21c.
  • the TIA 5 is connected to the photodiode 3 by a gold wire 6c, is connected to the capacitor 4 by a gold wire 6b, is connected to the surface signal wiring 21a by a gold wire 6d, and is connected to the surface ground 21d by a gold wire 6e.
  • the TIA 5 amplifies the input signal by using the electric power from the capacitor 4, and outputs the amplified input signal to the surface signal wiring 21a.
  • an IC is mounted on another printed circuit board (not shown) connected to the surface signal wiring 21a, and the surface signal wiring 21a transmits an input signal to the IC.
  • the FPC 2 further includes a surface coverlay 24 installed on the surface side surface of the first conductor layer 21.
  • the surface coverlay 24 is installed on the surface side surface of the first conductor layer 21 in a portion where the photodiode 3 and the TIA 5 are not installed.
  • the FPC 2 further includes a back surface coverlay 25 installed on the back surface side surface of the second conductor layer 23.
  • the other end of the cap 1a of the lens cap 1 is adhered to the surface side surface of the surface coverlay 24 with an adhesive or the like.
  • the lens cap 1 is installed at a predetermined position on the surface coverlay 24 using, for example, a known passive mounting technique.
  • the passive mounting technique the photodiode 3 is aligned with the lens 1b of the lens cap 1 without the photodiode 3 being energized. Alignment using the passive mounting technique is performed, for example, by recognizing the reference as an image with reference to the alignment mark provided on the surface side surface of the surface coverlay 24.
  • the first conductor layer 21 includes a surface ground 21d having a surface of the lens cap 1 facing the lens 1b.
  • the above-mentioned photodiode 3 and TIA5 are installed on the surface of the surface ground 21d facing the lens 1b of the lens cap 1, respectively.
  • the first conductor layer 21 further includes a surface signal wiring 21a connected to the TIA 5.
  • the second conductor layer 23 includes a back surface ground 23a. The back surface ground 23a is arranged at a position corresponding to the front surface ground 21d and the surface signal wiring 21a in the second conductor layer 23.
  • the base layer 22 includes a through hole 22a for electrically connecting the front surface ground 21d and the back surface ground 23a.
  • the through hole 22a also has a function of a heat pipe that diffuses the heat generated by the photodiode 3 or TIA5 installed on the front surface ground 21d to the back surface ground 23a side.
  • the photodiode 3 receives the input signal light A that has passed through the lens 1b.
  • the photodiode 3 converts the received input signal light A into an input signal which is an electric signal.
  • the input signal is input to the TIA 5 via the gold wire 6c.
  • the TIA 5 amplifies the input signal and outputs the amplified input signal to the surface signal wiring 21a via the gold wire 6d.
  • the input signal is transmitted toward the lower part of FIG. 2C in the surface signal wiring 21a.
  • the TO-CAN type optical module 100 is an FPC 2 having a front surface and a back surface, and is a first conductor layer 21 and a first conductor layer 21 installed on the front surface side.
  • the base layer 22 installed in contact with the surface opposite to the surface on the front surface side, and the second surface on the back surface side installed in contact with the surface opposite to the surface of the base layer 22 in contact with the first conductor layer 21.
  • the FPC 2 including the conductor layer 23 of 2 and the lens cap 1 having the lens 1b and installed on the surface side of the FPC 2 are provided, and the first conductor layer 21 faces the lens 1b.
  • the second conductor layer 23 includes a back surface ground 23a, and the base layer 22 includes a through hole 22a for electrically connecting the front surface ground 21d and the back surface ground 23a.
  • a photodiode 3 as a semiconductor optical element is installed on the surface of the surface ground 21d facing the lens 1b.
  • the photodiode 3 since the photodiode 3 is directly installed on the FPC 2, no metal stem is required. Moreover, since a metal stem is not required and a glass lead is not required, it contributes to cost reduction. In addition, it is not necessary to install a component such as a relay line board for improving high frequency characteristics, and a simple structure is sufficient.
  • the glass lead protruding from the metal stem generates an inductance component and deteriorates the high frequency characteristics of the TO-CAN type optical module.
  • the metal stem and the glass lead are not used, such deterioration of high frequency characteristics does not occur.
  • the inside and the outside of the space surrounded by the lens cap 1 are connected via each wiring of the FPC2 which is easy to manage the impedance, the impedance mismatch is compared with the case where the lead wire is used as in the conventional case. It has few points and has excellent high-frequency characteristics.
  • Embodiment 2 In the first embodiment, the configuration in which the first conductor layer 21 on the front surface side of the FPC 2 includes the surface signal wiring 21a connected to the photodiode 3 has been described. In the second embodiment, the configuration in which the second conductor layer 23 on the back surface side of the FPC 2 includes the signal wiring connected to the photodiode 3 will be described. The second embodiment will be described below with reference to the drawings. The same reference numerals are given to the configurations having the same functions as those described in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of the TO-CAN type optical module 101 according to the second embodiment.
  • the first conductor layer 26 of the FPC 10 included in the TO-CAN type optical module 101 includes a first surface ground 26a, a second surface ground 26b, and a first surface ground 26a and a second surface ground 26b.
  • a photodiode 3, TIA 5, and the like are installed on the surface of the first surface ground 26a facing the lens 1b of the lens cap 1.
  • the signal pad 26c is connected to the photodiode 3 via the gold wire 6c with the TIA 5 connected via the gold wire 6d.
  • the base layer 27 of the FPC 10 included in the TO-CAN type optical module 101 includes a through hole 27a and a signal pad through hole 27b.
  • the through hole 27a is electrically connected to the first surface ground 26a of the first conductor layer 26.
  • the signal pad through hole 27b is electrically connected to the signal pad 26c of the first conductor layer 26.
  • the second conductor layer 28 of the FPC 10 included in the TO-CAN type optical module 101 includes a back surface ground 28a and a back surface signal wiring 28b.
  • the back surface ground 28a is arranged at a position corresponding to the first surface ground 26a of the first conductor layer 26 in the second conductor layer 28, and is electrically connected to the through hole 27a of the base layer 27.
  • the back surface signal wiring 28b is arranged in the second conductor layer 28 at a position corresponding to the second surface ground 26b and the signal pad 26c of the first conductor layer 26, and the signal pad through hole 27b of the base layer 27. Is electrically connected to.
  • the photodiode 3 receives the input signal light A that has passed through the lens 1b.
  • the photodiode 3 converts the received input signal light A into an input signal which is an electric signal.
  • the input signal is input to the TIA 5 via the gold wire 6c.
  • the TIA 5 amplifies the input signal and outputs the amplified input signal to the signal pad 26c of the first conductor layer 26 via the gold wire 6d.
  • the input signal is input from the signal pad 26c of the first conductor layer 26 on the front surface side to the back surface signal wiring 28b of the second conductor layer 28 on the back surface side via the signal pad through hole 27b of the base layer 27. To.
  • the input signal is transmitted toward the lower part of FIG. 3 in the back surface signal wiring 28b.
  • the input signal is transmitted by the surface signal wiring 21a of the first conductor layer 21 on the surface side located in the vicinity of the cap 1a. Therefore, there is a problem that an electrical connection is generated between the surface signal wiring 21a and the cap 1a, and an impedance deviation may occur.
  • the input signal is transmitted by the back surface signal wiring 28b of the second conductor layer 28 on the back surface side, the impedance deviation due to the influence of the cap 1a can be suppressed.
  • the first conductor layer 26 of the TO-CAN type optical module 101 further includes a signal pad 26c connected to the photodiode 3 as a semiconductor optical element, and is a second conductor.
  • the layer 28 further includes a backside signal wiring 28b
  • the base layer 27 further includes a signal pad through hole 27b for electrically connecting the signal pad 26c and the backside signal wiring 28b.
  • the impedance deviation due to the influence of the cap 1a of the lens cap 1 can be suppressed.
  • Embodiment 3 In the first embodiment, the configuration in which the surface coverlay 24 is installed on the surface side surface of the first conductor layer 21 of the FPC 2 has been described. In the third embodiment, the configuration in which the additional base layer and the additional conductor layer are installed on the surface side surface of the first conductor layer 21 of the FPC 2 will be described. Hereinafter, the third embodiment will be described with reference to the drawings. The same reference numerals are given to the configurations having the same functions as those described in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing the configuration of the TO-CAN type optical module 102 according to the third embodiment.
  • the FPC 11 included in the TO-CAN type optical module 102 is an additional base layer installed in contact with a portion of the surface side of the first conductor layer 21 other than the portion where the photodiode 3 and the TIA 5 are installed.
  • 29 includes an additional conductor layer 30 installed in contact with a surface of the additional base layer 29 opposite to the surface in contact with the first conductor layer 21.
  • the first conductor layer 21 and the additional conductor layer 30 are insulated by an additional base layer 29.
  • the additional conductor layer 30 is installed between the additional base layer 29 and the other end of the cap 1a of the lens cap 1.
  • the other end of the cap 1a is fixed to the surface side surface of the additional conductor layer 30 with solder (not shown).
  • the other end of the cap 1a is preferably surface-treated with good wettability with the solder so that the other end of the cap 1a and the additional conductor layer 30 can be easily fixed by the solder.
  • the FPC 11 of the TO-CAN type optical module 102 is other than the portion on the surface side surface side of the first conductor layer 21 where the photodiode 3 as a semiconductor optical element is installed.
  • the cap 1a includes an additional base layer 29 installed in contact with the portion and an additional conductor layer 30 installed in contact with a surface of the additional base layer 29 opposite to the surface in contact with the first conductor layer 21. Is fixed by solder to the surface side surface of the additional conductor layer 30.
  • solder has advantages such as a smaller coefficient of linear expansion, stronger bonding strength, and higher heat resistance than an adhesive, and therefore, as compared with the case where an adhesive is used for the connection portion between the lens cap 1 and the FPC 11. , It is possible to suppress the deviation of the connection portion due to temperature change or aging deterioration. Therefore, fluctuations in the coupling efficiency between the input signal light passing through the lens 1b and the photodiode 3 can be suppressed.
  • the solder since the solder has a higher thermal conductivity than the adhesive, heat generated from the photodiode 3 or the TIA 5 or the like is likely to diffuse to the lens cap 1 side via the solder, and the TO -The heat dissipation of the CAN type optical module 102 is improved. Even if the above configuration is applied to the FPC 10 and the lens cap 1 of the TO-CAN type optical module 101 according to the second embodiment, the same effects as the above effects are obtained.
  • Embodiment 4 In the first embodiment, since the photodiode 3 and the lens cap 1 are installed directly on the FPC 2, when the lower part of the FPC 2 in FIG. 2C is bent, the portion of the lens cap 1 on the FPC 2 facing the lens 1b is distorted. May cause the relative position of the photodiode 3 and the lens 1b to shift. As a result, the optical axis of the lens 1b shifts, and the coupling efficiency between the signal light and the photodiode 3 decreases. Therefore, in the fourth embodiment, the support plate is installed on the back surface of the FPC 2.
  • the fourth embodiment will be described with reference to the drawings. The same reference numerals are given to the configurations having the same functions as those described in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing the configuration of the TO-CAN type optical module 103 according to the fourth embodiment.
  • a configuration different from the TO-CAN type optical module 100 according to the first embodiment shown in FIG. 2C will be described with reference to FIG. ..
  • a metal support plate 31 and a back surface coverlay 32 are installed on the back surface side surface of the back surface ground 23a of the second conductor layer 23.
  • one surface of the support plate 31 may be wider than the two-dimensional region surrounded by a circle having the other end of the cap 1a as the circumference, and its shape is not particularly limited.
  • the lower end of the support plate 31 is, for example, 1 mm longer than the lower end of the lens cap 1 in the direction parallel to the front surface and the back surface of the FPC 12 in the cross section of the cross section of FIG.
  • one surface of the TO-CAN type optical module 103 is more than a portion of the back surface of the back surface ground 23a corresponding to the lens cap 1 installed on the front surface side. Further, a metal support plate 31 installed so as to be in contact with a wide portion is provided.
  • the heat generated from the photodiode 3 or TIA5 and diffused to the front surface ground 21d, the through hole 22a and the back surface ground 23a is easily dissipated through the support plate 31, and is a TO-CAN type.
  • the heat dissipation of the optical module 103 can be improved. Therefore, it is possible to prevent the characteristics of the photodiode 3 or the characteristics of the IC connected to the surface signal wiring 21a from deteriorating due to high temperature. Therefore, at the same environmental temperature, the performance can be improved as compared with the conventional TO-CAN type optical module. In addition, the range of usable environmental temperature can be expanded as compared with the conventional TO-CAN type optical module.
  • the support plate 31 and the back surface signal wiring 28b of the second conductor layer 28 need to have a shape that does not contact or face each other so as not to affect the impedance of the back surface signal wiring 28b.
  • the shape of the support plate 31 so that the portion facing the back surface signal wiring 28b does not exist, it is possible to avoid contact between the support plate 31 and the back surface signal wiring 28b of the second conductor layer 28. ..
  • Embodiment 5 In the first embodiment, the configuration in which the other end portion of the cap 1a is adhered to the surface side surface of the surface coverlay 24 of the FPC2 has been described. In the fifth embodiment, a configuration in which a spacer is provided between the surface coverlay 24 of the FPC 2 and the other end of the cap 1a will be described.
  • the fifth embodiment will be described below with reference to the drawings. The same reference numerals are given to the configurations having the same functions as those described in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 6A is a plan view showing the configuration of the TO-CAN type optical module 104 with the lens cap 1 removed.
  • FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the dotted line ⁇ 'of FIG. 6A.
  • the configuration different from the TO-CAN type optical module 100 according to the first embodiment shown in FIG. 2C. Will be described.
  • the other end of the cap 1a is installed on the surface side of the FPC 2 via the spacer 33.
  • the spacer 33 is installed on the surface side surface of the surface coverlay 24, and the other end portion of the cap 1a is installed on the surface of the spacer 33 opposite to the surface in contact with the surface coverlay 24. ing.
  • the thickness of the spacer 33 is, for example, about 200 ⁇ m.
  • the material of the spacer 33 is, for example, a resin.
  • the spacer 33 has an opening 33a in a portion of the first conductor layer 21 corresponding to the surface signal wiring 21a. More specifically, the spacer 33 has a cylindrical shape, and the opening 33a is formed by missing a portion of the side surface of the cylinder corresponding to the surface signal wiring 21a of the first conductor layer 21. It is formed.
  • the opening 33a of the spacer 33 is interposed between the cap 1a and the surface signal wiring 21a.
  • the influence of the cap 1a on the impedance of the surface signal wiring 21a can be suppressed. Therefore, stable high frequency characteristics can be obtained.
  • Embodiment 6 In the first embodiment, the TO-CAN type optical module 100 having a function of receiving signal light has been described. In the sixth embodiment, a TO-CAN type optical module having a function of transmitting signal light will be described. The sixth embodiment will be described below with reference to the drawings. The same reference numerals are given to the configurations having the same functions as those described in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
  • the surface signal wiring 34a and the DC wiring 34c each extend from the lower portion of FIG. 7A toward the upper surface ground 34d.
  • the surface signal wiring 34a and the DC wiring 34c are connected to another printed circuit board at the end of the FPC 13 at the lower part of FIG. 7A. Further, the surface signal wiring 34a and the DC wiring 34c are partially covered with the surface coverlay 24, respectively.
  • a ceramic substrate 35, a mirror 36, and a capacitor 37 are installed on a surface of the surface ground 34d on the surface side facing the lens 1b of the lens cap 1.
  • the mirror 36 is fixed to, for example, the surface ground 34d with an adhesive or solder.
  • an EML 38 and a terminating resistor 39 are installed on the surface side surface of the ceramic substrate 35.
  • the EML 38 is connected to the ceramic substrate 35 by the gold wire 6f, and is installed on the surface ground 34d via the ceramic substrate 35. This is because when the EML38 is directly installed on the surface ground 34d, the characteristics of the EML38 fluctuate when a force is applied to the EML38 due to the expansion of the surface ground 34d due to heat and a stress is generated. Since the ceramic substrate 35 has a linear expansion coefficient close to that of the compound semiconductor EML38, the EML38 expands to the same extent even if it expands due to heat, so that no force is applied to the EML38. On the other hand, if there is no problem even if the characteristics of the EML 38 vary slightly, the EML 38 may be installed directly on the surface ground 34d. Further, in the present embodiment, EML38 is used as the semiconductor laser, but DML (Directly Modulated Laser) may be used.
  • DML Directly Modulated Laser
  • the capacitor 37 is connected to the DC wiring 34c by the gold wire 6g and is connected to the ceramic substrate 35 by the gold wire 6h, and removes noise included in the electric power from the DC wiring 21c.
  • the ceramic substrate 35 supplies the electric power from the capacitor 37 to the EML 38. Further, the ceramic substrate 35 is connected to the surface signal wiring 34a by a gold wire 6i, and supplies an electric signal from the surface signal wiring 34a to the EML 38.
  • the terminating resistor 39 is connected to the EML 38 by a gold wire 6j, and has an impedance that matches the impedance of the driver IC that drives the EML 38 to prevent signal reflection.
  • the impedance is, for example, 50 ⁇ .
  • the EML 38 transmits signal light toward the mirror 36 based on the electric signal from the surface signal wiring 34a. More specifically, the EML 38 is an end face emitting type light source, and emits signal light in a direction parallel to the front surface and the back surface of the FPC 13.
  • the mirror 36 reflects the signal light toward the lens 1b of the lens cap 1 so that the traveling direction of the signal light changes by 90 degrees. As a result, the output signal light B is emitted from the lens 1b.
  • the semiconductor optical element of the TO-CAN type optical module 105 according to the sixth embodiment is a semiconductor laser that transmits an optical signal.
  • the EML 38 as a semiconductor laser is directly installed in the FPC 13, so that no metal stem is required. Even if the above configuration is applied to any one of the embodiments from the second embodiment to the fifth embodiment, the same effect as the above effect can be obtained.
  • Embodiment 7 In the first embodiment, a configuration in which a photodiode 3, two capacitors 4, and a TIA 5 are installed in a portion of the lens cap 1 facing the lens 1b on the surface side surface of the surface ground 21d has been described. In the seventh embodiment, the configuration in which these members are installed on the metal carrier will be described. Hereinafter, the seventh embodiment will be described with reference to the drawings. The same reference numerals are given to the configurations having the same functions as those described in the first embodiment, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing the configuration of the TO-CAN type optical module 106 according to the seventh embodiment.
  • the FPC 14 included in the TO-CAN type optical module 106 includes a first conductor layer 40 on the surface side, and a base layer 41 installed in contact with a surface of the first conductor layer 40 opposite to the surface on the surface side.
  • a second conductor layer 42 on the back surface side which is installed in contact with a surface of the base layer 41 opposite to the surface in contact with the first conductor layer 40.
  • the first conductor layer 40 and the second conductor layer 42 are insulated by the base layer 41.
  • the first conductor layer 40 includes a surface signal wiring 40a.
  • the second conductor layer 42 includes a back surface ground 42a.
  • a convex metal carrier 43 is installed on the back surface side of the FPC 14. More specifically, the metal carrier 43 has a first portion 43a in contact with the back ground 42a of the second conductor layer 42 and a second portion 43b inserted into the through hole 14a. The first portion 43a of the metal carrier 43 is connected to the ground by contacting the back surface ground 42a of the second conductor layer 42. The first portion 43a of the metal carrier 43 is fixed to, for example, the back surface ground 42a with solder or an adhesive.
  • the material of the metal carrier 43 is preferably a material having excellent heat dissipation. The material is, for example, a copper-tungsten alloy, copper, aluminum, Kovar, or the like.
  • a photodiode 3, a TIA 5, and two capacitors 4 are installed on the surface of the second portion 43b of the metal carrier 43 facing the lens 1b of the lens cap 1.
  • the heat generated from the photodiode 3 or the TIA 5 is dissipated to the outside via the metal carrier 43.
  • the FPC 14 further includes a surface coverlay 44 installed on a surface of the first conductor layer 21 on the surface side other than the through hole 14a. Further, the FPC 14 further includes a back surface coverlay 45 installed on a portion of the second conductor layer 42 on the back surface side other than the portion where the metal carrier 43 is installed. The other end of the cap 1a is adhered to the surface side surface of the surface coverlay 44 with an adhesive or the like.
  • the TO-CAN type optical module 106 is an FPC 14 having a front surface and a back surface, and is a first conductor layer 40 and a first conductor layer 40 installed on the front surface side.
  • the base layer 41 installed in contact with the surface opposite to the surface on the front surface side, and the second surface on the back surface side installed in contact with the surface opposite to the surface in contact with the first conductor layer 40 in the base layer 41.
  • the FPC 14 including the conductor layer 42 of 2 and the lens cap 1 having the lens 1b and installed on the front surface side of the FPC 14 are provided, and the second conductor layer 42 has a back surface ground 42a.
  • the FPC 14 has a through hole 14a penetrating the first conductor layer 40, the base layer 41 and the second conductor layer 42 in a portion facing the lens 1b, and the back surface ground 42a on the back surface side of the FPC 14.
  • a metal carrier 43 having a first portion 43a in contact with the lens cap 1 and a second portion 43b inserted into the through hole 14a is installed, and the surface of the second portion 43b facing the lens 1b of the lens cap 1 is provided.
  • a photodiode 3 as a semiconductor optical element is installed.
  • the photodiode 3 since the photodiode 3 is directly installed in the metal carrier 43 inserted into the through hole 14a of the FPC 14, the metal stem is unnecessary. Moreover, since a metal stem is not required and a glass lead is not required, it contributes to cost reduction. In addition, it is not necessary to install a component such as a relay line board for improving high frequency characteristics, and a simple structure is sufficient. Further, according to the above configuration, since the photodiode 3 is mounted on the metal carrier 43, the heat dissipation performance from the photodiode 3 is superior to the heat dissipation performance by the through hole 22a in the first embodiment. realizable.
  • the metal carrier 43 having higher rigidity than the FPC 14 since the metal carrier 43 having higher rigidity than the FPC 14 is hard to be deformed, the optical axis of the photodiode 3 mounted on the metal carrier 43 is hard to be displaced, and the photodiode 3 and the input signal are signaled. Stable optical coupling efficiency with light can be obtained. Even if the above configuration is applied to the FPC 10 of the TO-CAN type optical module 101 according to the second embodiment, the same effects as those of the above effects can be obtained. In the present invention, within the scope of the invention, it is possible to freely combine each embodiment, modify any component of each embodiment, or omit any component in each embodiment. ..
  • the TO-CAN type optical module according to the present invention can be used as a TO-CAN type optical module because it can provide a TO-CAN type optical module that does not require a metal stem.

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Abstract

ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール（１００）は、表面及び裏面を有するＦＰＣ（２）であって、表面側に設置された第１の導体層（２１）、第１の導体層（２１）における表面側の面とは反対の面に接して設置されたベース層（２２）、及び、ベース層（２２）における第１の導体層（２１）に接する面とは反対の面に接して設置された、裏面側の第２の導体層（２３）、を含むＦＰＣ（２）と、レンズ（１ｂ）を有するレンズキャップ（１）であって、ＦＰＣ（２）の表面側に設置されたレンズキャップ（１）と、を備え、第１の導体層（２１）は、レンズ（１ｂ）に対向する面を有する表面グラウンド（２１ｄ）を含み、第２の導体層（２３）は、裏面グラウンド（２３ａ）を含み、ベース層（２２）は、表面グラウンド（２１ｄ）と裏面グラウンド（２３ａ）とを電気的に接続するためのスルーホール（２２ａ）を含み、表面グラウンド（２１ｄ）におけるレンズ（１ｂ）に対向する面には、半導体光素子としてのフォトダイオード（３）が設置されている。

Description

ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール
　本発明は、ＴＯ－ＣＡＮ（Transistor Outlined CAN）型光モジュールに関する。
　従来のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールは、円筒状の金属ステムと、金属ステムに形成された貫通孔に挿入され、封止用ガラスにより固定されたリード線（以下「ガラスリード」という。）とを備える。また、金属ステムの一方の面には、ガラスリードに接続された半導体光素子と、ガラスリード及び半導体光素子を覆うレンズキャップとが設置される。金属ステムの他方の面には、ガラスリードに接続されたＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）が設置される。ガラスリードと金属ステムとは、同軸線路を構成しており、半導体光素子と基板との間で高周波信号を伝達する。
　従来のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールとして、例えば、特許文献１には、ＴＯ－ＣＡＮ型ＴＯＳＡ（Transmitter Optical Sub-Assembly）モジュールが開示されている。特許文献１に記載されたＴＯ－ＣＡＮ型ＴＯＳＡモジュールでは、安定なマイクロ波の伝搬ができるように、セラミック材料で構成された中継線路基板が金属ステム上面に固定されている。中継線路基板には、グランドパターンと中継線路とが設けられ、高周波変調信号用の信号リード線が当該中継線路に接続されている。
特開２０１１－１０８９３７号公報
　従来のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールでは、金属ステムが同軸線路の構成要素として使用されるため、金属ステムに形成された貫通孔内に、ガラスリードを設置する必要がある。また、従来のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールでは、高周波特性を改善する等の目的で、例えば特許文献１に記載の中継線路基板のように、金属ステム上に種々の部品を設置する必要がある。したがって、従来のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールには、全体の構造が複雑になるという問題がある。
　この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、金属ステムの不要なＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールを提供することを目的とする。
　この発明に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールは、表面及び裏面を有するＦＰＣであって、表面側に設置された第１の導体層、第１の導体層における前記表面側の面とは反対の面に接して設置されたベース層、及び、ベース層における第１の導体層に接する面とは反対の面に接して設置された、裏面側の第２の導体層、を含むＦＰＣと、レンズを有するレンズキャップであって、ＦＰＣの表面側に設置されたレンズキャップと、を備え、第１の導体層は、レンズに対向する面を有する表面グラウンドを含み、第２の導体層は、裏面グラウンドを含み、ベース層は、表面グラウンドと裏面グラウンドとを電気的に接続するためのスルーホールを含み、表面グラウンドにおけるレンズに対向する面には、半導体光素子が設置されている。
　この発明によれば、金属ステムの不要なＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールを提供することができる。
実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールの構成を示す斜視図である。 図２Ａは、実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールの平面図を示す。図２Ｂは、レンズキャップを外したＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールの平面図を示す。図２Ｃは、図２Ｂの点線αα´で切断したＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールの断面図を示す。 実施の形態２に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールの構成を示す断面図である。 実施の形態３に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールの構成を示す断面図である。 実施の形態４に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールの構成を示す断面図である。 図６Ａは、レンズキャップを外したＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールの構成を示す平面図である。図６Ｂは、図６Ａの点線ββ´で切断した断面図である。 図７Ａは、レンズキャップ１を外したＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールの構成を示す平面図である。図７Ｂは、図７Ａの点線γγ´で切断した断面図である。 実施の形態７に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールの構成を示す断面図である。
　以下、この発明をより詳細に説明するため、この発明を実施するための形態について、添付の図面に従って説明する。
実施の形態１．
　図１は、実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００の構成を示す斜視図である。なお、実施の形態１では、信号光を受信する機能を有するＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００について説明するが、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールは、信号光を送信する機能を有するものであってもよい。図１が示すように、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００は、レンズキャップ１と、ＦＰＣ２とを備えている。ＦＰＣ２は、表面及び裏面を有する。レンズキャップ１は、ＦＰＣ２の表面側に設置されている。レンズキャップ１は、キャップ１ａと、レンズ１ｂとを有する。キャップ１ａは、中空円筒形状である。キャップ１ａの一方の端部は、底面を有しており、当該底面の略中央部分には、レンズ１ｂを設置するための穴が形成されている。キャップ１ａの他方の端部は開放されている。レンズ１ｂは、キャップ１ａの底面に形成された穴に嵌め込まれて設置されている。レンズキャップ１は、キャップ１ａの他方の端部がＦＰＣ２の表面側と対向する姿勢で、設置されている。キャップ１ａの材料は、例えば、金属である。
　次に、実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００のより詳細な構成について説明する。図２Ａは、実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００の平面図を示す。図２Ｂは、レンズキャップ１を外したＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００の平面図を示す。図２Ｃは、図２Ｂの点線αα´で切断したＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００の断面図を示す。
　図２Ｃが示すように、ＦＰＣ２は、表面側に設置された第１の導体層２１、第１の導体層２１における表面側の面とは反対の面に接して設置されたベース層２２、及び、ベース層２２における第１の導体層２１に接する面とは反対の面に接して設置された、裏面側の第２の導体層２３、を含む。第１の導体層２１と第２の導体層２３とは、ベース層２２により絶縁されている。
　図２Ｂが示すように、第１の導体層２１は、レンズ１ｂに対向する面を有する表面グラウンド２１ｄを含む。また、図２Ａ及び図２Ｂが示すように、第１の導体層２１は、高周波信号を伝送する２つの表面信号配線２１ａ、グラウンドに接続された２つのグラウンドパッド２１ｂ、及び、後述するフォトダイオードに電力を供給する２つのＤＣ配線２１ｃを含む。
　２つの表面信号配線２１ａ及び２つのＤＣ配線２１ｃは、それぞれ、図２Ｂの下部におけるＦＰＣ２の端部から、図２Ｂの上部の表面グラウンド２１ｄに向かって延伸している。なお、２つの表面信号配線２１ａ及び２つのＤＣ配線２１ｃは、図２Ｂの下部におけるＦＰＣ２の端部において、図示しない別のプリント基板に接続される。また、２つの表面信号配線２１ａ及び２つのＤＣ配線２１ｃは、それぞれ、後述する表面カバーレイ２４により部分的に覆われている。このため、図２Ｂでは、２つの表面信号配線２１ａ及び２つのＤＣ配線２１ｃの一部が見えていない。
　ＦＰＣ２の厚さは、例えば、５０μｍである。２つの表面信号配線２１ａは、差動信号を伝達する信号配線である。２つの表面信号配線２１ａは、例えば、１００Ωの特性インピーダンスを有するマイクロストリップ線路であり得る。
　図２Ｂが示すように、表面グラウンド２１ｄの表面側の面における、レンズ１ｂに対向する面には、フォトダイオード３、２つのコンデンサ４、及びＴＩＡ５（Transimpedance Amplifier）が設置されている。このように、フォトダイオード３、２つのコンデンサ４、及びＴＩＡ５は、表面グラウンド２１ｄに設置されることにより、グラウンドに接続されている。フォトダイオード３は、半導体光素子であり、レンズ１ｂに外部から入射した入力信号光を受信して、受信した入力信号光を電気信号である入力信号に変換する。
　コンデンサ４は、ＤＣ配線２１ｃと金ワイヤ６ａで接続され、ＴＩＡ５と金ワイヤ６ｂで接続されており、ＤＣ配線２１ｃからの電力に含まれるノイズを除去する。ＴＩＡ５は、フォトダイオード３と金ワイヤ６ｃで接続され、コンデンサ４と金ワイヤ６ｂで接続され、表面信号配線２１ａと金ワイヤ６ｄで接続され、表面グラウンド２１ｄと金ワイヤ６ｅで接続されている。ＴＩＡ５は、フォトダイオード３から入力信号が入力されると、コンデンサ４からの電力を用いて当該入力信号を増幅し、増幅後の入力信号を表面信号配線２１ａに出力する。表面信号配線２１ａに接続される上述の図示しない別のプリント基板には、例えばＩＣが実装されており、表面信号配線２１ａは、入力信号を当該ＩＣに伝達する。
　実施の形態１において、ＦＰＣ２は、第１の導体層２１の表面側の面に設置された表面カバーレイ２４をさらに含む。表面カバーレイ２４は、第１の導体層２１の表面側の面における、フォトダイオード３及びＴＩＡ５等が設置されていない部分に設置されている。また、ＦＰＣ２は、第２の導体層２３における裏面側の面に設置された裏面カバーレイ２５をさらに含む。
　表面カバーレイ２４の表面側の面には、レンズキャップ１のキャップ１ａの他方の端部が接着剤等により接着されている。レンズキャップ１は、例えば、公知のパッシブ実装技術を用いて、表面カバーレイ２４上の所定の位置に設置される。パッシブ実装技術においては、フォトダイオード３が通電されることなく、当該フォトダイオード３とレンズキャップ１のレンズ１ｂとの位置合わせが行われる。パッシブ実装技術を用いた位置合わせは、例えば、表面カバーレイ２４の表面側の面に設けられた位置合わせマークを基準として、当該基準を画像認識することにより行われる。
　上述のように、第１の導体層２１は、レンズキャップ１のレンズ１ｂに対向する面を有する表面グラウンド２１ｄを含む。表面グラウンド２１ｄにおけるレンズキャップ１のレンズ１ｂに対向する面には、上述のフォトダイオード３及びＴＩＡ５等がそれぞれ設置されている。また、上述のように、第１の導体層２１は、ＴＩＡ５と接続された表面信号配線２１ａをさらに含む。第２の導体層２３は、裏面グラウンド２３ａを含む。裏面グラウンド２３ａは、第２の導体層２３において、表面グラウンド２１ｄと表面信号配線２１ａとに対応する位置に配置されている。
　ベース層２２は、表面グラウンド２１ｄと裏面グラウンド２３ａとを電気的に接続するためのスルーホール２２ａを含む。スルーホール２２ａは、表面グラウンド２１ｄに設置されたフォトダイオード３又はＴＩＡ５の発熱を、裏面グラウンド２３ａ側に拡散させるヒートパイプの機能も有する。
　次に、実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００の動作について説明する。図２Ｃが示すように、フォトダイオード３は、レンズ１ｂを通過した入力信号光Ａを受信する。フォトダイオード３は、受信した入力信号光Ａを、電気信号である入力信号に変換する。当該入力信号は、金ワイヤ６ｃを介してＴＩＡ５に入力される。ＴＩＡ５は、当該入力信号を増幅し、増幅後の入力信号を金ワイヤ６ｄを介して表面信号配線２１ａに出力する。当該入力信号は、表面信号配線２１ａにおいて、図２Ｃの下部に向かって伝達される。
　上記のように、フォトダイオード３が入力信号光Ａを変換して生成した入力信号は、従来技術におけるガラスリードと当該ガラスリードの周囲の金属ステムとから構成された同軸線路を介さずに、ＦＰＣ２の表面信号配線２１ａに伝達される。これにより、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００の高周波特性の劣化を抑制することができる。
　以上のように、実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００は、表面及び裏面を有するＦＰＣ２であって、表面側に設置された第１の導体層２１、第１の導体層２１における表面側の面とは反対の面に接して設置されたベース層２２、及び、ベース層２２における第１の導体層２１に接する面とは反対の面に接して設置された、裏面側の第２の導体層２３、を含むＦＰＣ２と、レンズ１ｂを有するレンズキャップ１であって、ＦＰＣ２の表面側に設置されたレンズキャップ１と、を備え、第１の導体層２１は、レンズ１ｂに対向する面を有する表面グラウンド２１ｄを含み、第２の導体層２３は、裏面グラウンド２３ａを含み、ベース層２２は、表面グラウンド２１ｄと裏面グラウンド２３ａとを電気的に接続するためのスルーホール２２ａを含み、表面グラウンド２１ｄにおけるレンズ１ｂに対向する面には、半導体光素子としてのフォトダイオード３が設置されている。
　上記の構成によれば、ＦＰＣ２にフォトダイオード３が直接設置されるため、金属ステムが不要である。
　また、金属ステムが不要であるのに加えて、ガラスリードも不要であるため、コスト削減に寄与する。また、高周波特性を改善するための中継線路基板のような部品を設置する必要がなく、単純な構造で済む。
　また、従来技術において、金属ステムから突出するガラスリードは、インダクタンス成分を発生させ、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールの高周波特性を劣化させるという問題がある。しかし、上記の構成によれば、金属ステム及びガラスリードを用いないため、そのような高周波特性の劣化が生じない。また、インピーダンス管理が容易なＦＰＣ２の各配線を介して、レンズキャップ１に囲まれた空間の内と外とを接続するため、従来のようにリード線を用いる場合と比較して、インピーダンス不整合点が少なく、高周波特性に優れている。
実施の形態２．
　実施の形態１では、ＦＰＣ２における表面側の第１の導体層２１が、フォトダイオード３と接続された表面信号配線２１ａを含む構成を説明した。実施の形態２では、ＦＰＣ２における裏面側の第２の導体層２３が、フォトダイオード３と接続された信号配線を含む構成を説明する。
　以下で、実施の形態２について図面を参照して説明する。なお、実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
　図３は、実施の形態２に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０１の構成を示す断面図である。以下では図３を参照して、実施の形態２に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０１の構成のうち、図２Ｃが示す実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００と異なる構成について説明する。
　ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０１が備えているＦＰＣ１０の第１の導体層２６は、第１の表面グラウンド２６ａ、第２の表面グラウンド２６ｂ、及び、第１の表面グラウンド２６ａと第２の表面グラウンド２６ｂとの間に設置された信号パッド２６ｃを含む。第１の表面グラウンド２６ａにおけるレンズキャップ１のレンズ１ｂに対向する面には、フォトダイオード３及びＴＩＡ５等がそれぞれ設置されている。信号パッド２６ｃは、フォトダイオード３に金ワイヤ６ｃを介して接続されたＴＩＡ５と、金ワイヤ６ｄを介して接続している。
　また、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０１が備えているＦＰＣ１０のベース層２７は、スルーホール２７ａ及び信号パッドスルーホール２７ｂを含む。スルーホール２７ａは、第１の導体層２６の第１の表面グラウンド２６ａと電気的に接続している。信号パッドスルーホール２７ｂは、第１の導体層２６の信号パッド２６ｃと電気的に接続している。
　また、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０１が備えているＦＰＣ１０の第２の導体層２８は、裏面グラウンド２８ａ及び裏面信号配線２８ｂを含む。裏面グラウンド２８ａは、第２の導体層２８において、第１の導体層２６の第１の表面グラウンド２６ａに対応する位置に配置されており、ベース層２７のスルーホール２７ａと電気的に接続している。裏面信号配線２８ｂは、第２の導体層２８において、第１の導体層２６の第２の表面グラウンド２６ｂ及び信号パッド２６ｃに対応する位置に配置されており、ベース層２７の信号パッドスルーホール２７ｂと電気的に接続している。
　次に、実施の形態２に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０１の動作について説明する。図３が示すように、フォトダイオード３は、レンズ１ｂを通過した入力信号光Ａを受信する。フォトダイオード３は、受信した入力信号光Ａを、電気信号である入力信号に変換する。当該入力信号は、金ワイヤ６ｃを介してＴＩＡ５に入力される。ＴＩＡ５は、当該入力信号を増幅し、増幅後の入力信号を金ワイヤ６ｄを介して第１の導体層２６の信号パッド２６ｃに出力する。当該入力信号は、表面側の第１の導体層２６の信号パッド２６ｃから、ベース層２７の信号パッドスルーホール２７ｂを介して、裏面側の第２の導体層２８の裏面信号配線２８ｂに入力される。当該入力信号は、裏面信号配線２８ｂにおいて、図３の下部に向かって伝達される。
　上述の実施の形態１では、レンズキャップ１のキャップ１ａの材料が金属である場合、入力信号が、キャップ１ａの近傍に位置する表面側の第１の導体層２１の表面信号配線２１ａによって伝達されるため、表面信号配線２１ａとキャップ１ａとの間に電気的な接続が生じてしまい、インピーダンスのずれが生じる可能性があるという問題がある。しかし、実施の形態２では、入力信号が、裏面側の第２の導体層２８の裏面信号配線２８ｂによって伝達されるため、キャップ１ａの影響によるインピーダンスのずれを抑制することができる。
　以上のように、実施の形態２に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０１の第１の導体層２６は、半導体光素子としてのフォトダイオード３と接続された信号パッド２６ｃをさらに含み、第２の導体層２８は、裏面信号配線２８ｂをさらに含み、ベース層２７は、信号パッド２６ｃと裏面信号配線２８ｂとを電気的に接続するための信号パッドスルーホール２７ｂをさらに含む。
　上記の構成によれば、入力信号が、裏面側の第２の導体層２８の裏面信号配線２８ｂによって伝達されるため、レンズキャップ１のキャップ１ａの影響によるインピーダンスのずれを抑制することができる。
実施の形態３．
　実施の形態１では、ＦＰＣ２の第１の導体層２１における表面側の面に表面カバーレイ２４が設置されている構成について説明した。実施の形態３では、ＦＰＣ２の第１の導体層２１における表面側の面に、追加ベース層と追加導体層が設置されている構成について説明する。
　以下で、実施の形態３について図面を参照して説明する。なお、実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
　図４は、実施の形態３に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０２の構成を示す断面図である。以下では図４を参照して、実施の形態３に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０２の構成のうち、図２Ｃが示す実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００と異なる構成について説明する。
　ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０２が備えているＦＰＣ１１は、第１の導体層２１の表面側の面における、フォトダイオード３及びＴＩＡ５等が設置された部分以外の部分に接して設置された追加ベース層２９と、追加ベース層２９における、第１の導体層２１に接する面とは反対の面に接して設置された追加導体層３０と、を含む。第１の導体層２１と追加導体層３０とは、追加ベース層２９により絶縁されている。
　より詳細には、追加導体層３０は、追加ベース層２９とレンズキャップ１のキャップ１ａの他方の端部との間に設置されている。また、キャップ１ａの他方の端部は、追加導体層３０における表面側の面に、図示しないはんだにより固定されている。キャップ１ａの他方の端部と追加導体層３０とがはんだにより固定されやすいように、キャップ１ａの他方の端部は、はんだとの濡れ性が良好な表面処理が施されることが好ましい。
　以上のように、実施の形態３に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０２のＦＰＣ１１は、第１の導体層２１の表面側の面における、半導体光素子としてのフォトダイオード３が設置された部分以外の部分に接して設置された追加ベース層２９と、追加ベース層２９における、第１の導体層２１に接する面とは反対の面に接して設置された追加導体層３０と、を含み、キャップ１ａは、追加導体層３０における表面側の面に、はんだにより固定されている。
　上記の構成によれば、追加導体層３０は、追加ベース層２９により第１の導体層２１と絶縁されているため、キャップ１ａを、追加導体層３０に、はんだにより固定しても、キャップ１ａと第１の導体層２１との間の絶縁を保つことができる。また、はんだは、接着剤と比較して線膨張係数が小さく、接合強度が強く、耐熱性が高いといった利点があるため、レンズキャップ１とＦＰＣ１１との接続部分に接着剤を用いた場合よりも、温度変化又は経年劣化による当該接続部分のずれを抑制することができる。よって、レンズ１ｂを通過する入力信号光とフォトダイオード３との結合効率の変動を抑制することができる。
　また、上記の構成によれば、はんだは、接着剤よりも熱伝導率が高いため、フォトダイオード３又はＴＩＡ５等からの発熱が、はんだを介して、レンズキャップ１側に拡散しやすくなり、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０２の放熱性が向上する。
　なお、上記の構成を実施の形態２に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０１のＦＰＣ１０とレンズキャップ１とに適用しても上記の各効果と同様の効果を奏する。
実施の形態４．
　実施の形態１では、ＦＰＣ２に直接、フォトダイオード３及びレンズキャップ１がそれぞれ設置されているため、図２ＣにおけるＦＰＣ２の下部が屈曲した場合、ＦＰＣ２におけるレンズキャップ１のレンズ１ｂに対向する部分にひずみが生じ、フォトダイオード３とレンズ１ｂとの相対位置がずれてしまう虞がある。これにより、レンズ１ｂの光軸がずれ、信号光とフォトダイオード３との結合効率が低下してしまう。そこで、実施の形態４では、ＦＰＣ２の裏面に支持板が設置される。
　以下で、実施の形態４について図面を参照して説明する。なお、実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
　図５は、実施の形態４に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０３の構成を示す断面図である。以下では図５を参照して、実施の形態４に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０３の構成のうち、図２Ｃが示す実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００と異なる構成について説明する。
　ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０３が備えているＦＰＣ１２は、第２の導体層２３の裏面グラウンド２３ａにおける裏面側の面に、金属製の支持板３１と裏面カバーレイ３２とが設置されている。より詳細には、支持板３１は、一方の面が、裏面グラウンド２３ａの裏面側の面における、ＦＰＣ１２の表面側に設置されたレンズキャップ１に対応する部分よりも広い部分に接するように設置されている。例えば、支持板３１は、裏面グラウンド２３ａに接着剤により固定される。裏面カバーレイ３２は、裏面グラウンド２３ａの裏面側の面における、支持板３１が設置された部分以外の部分に設置されている。
　なお、裏面グラウンド２３ａの裏面側の面における、レンズキャップ１に対応する部分は、換言すれば、裏面グラウンド２３ａの裏面側の面における、キャップ１ａの他方の端部を円周とした円に囲まれた２次元領域に対応する部分である。つまり、支持板３１の一方の面は、キャップ１ａの他方の端部を円周とした円に囲まれた２次元領域よりも広ければよく、その形状は特に限定されない。なお、図５では、支持板３１の下端は、図５の断面図の断面におけるＦＰＣ１２の表面及び裏面に平行な方向に関し、レンズキャップ１の下端よりも例えば１ｍｍ長い。
　以上のように、実施の形態４に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０３は、一方の面が、裏面グラウンド２３ａの裏面側の面における、表面側に設置されたレンズキャップ１に対応する部分よりも広い部分に接するように設置された金属製の支持板３１をさらに備えている。
　上記の構成によれば、ＦＰＣ２におけるレンズキャップ１のレンズ１ｂに対向する部分のひずみを抑制し、フォトダイオード３とレンズ１ｂとの相対位置のずれを抑制することができる。よって、レンズ１ｂの光軸のずれによる信号光とフォトダイオード３との結合効率の低下を抑制することができる。
　また、上記の構成によれば、フォトダイオード３又はＴＩＡ５から発生し、表面グラウンド２１ｄ、スルーホール２２ａ及び裏面グラウンド２３ａに拡散した熱は、支持板３１を介して放熱されやすくなり、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０３の放熱性を向上することができる。よって、フォトダイオード３の特性、又は表面信号配線２１ａに接続されたＩＣの特性が高温により劣化することを抑制することができる。よって、同一環境温度において、従来のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールよりも性能を向上することができる。また、従来のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールよりも使用可能な環境温度の範囲を拡大することができる。
　また、上記の構成を実施の形態２に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０１のＦＰＣ１０に適用しても上記の各効果と同様の効果を奏する。なお、その場合、裏面信号配線２８ｂのインピーダンスに影響を与えることがないように、支持板３１と第２の導体層２８の裏面信号配線２８ｂとが接触又は対向しない形状とする必要がある。例えば、支持板３１の形状を、裏面信号配線２８ｂに対向する部分が存在しない形状とすることにより、支持板３１と第２の導体層２８の裏面信号配線２８ｂとの接触を回避することができる。
　なお、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０３を光トランシーバ内部に設置する場合、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０３の製造時にＦＰＣ１２に支持板３１を設置する必要はなく、トランシーバ筐体放熱ブロックに支持板３１を取り付けた上で、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０３を当該支持板３１の上に設置してもよい。
　実施の形態５．
　実施の形態１では、ＦＰＣ２の表面カバーレイ２４における表面側の面に、キャップ１ａの他方の端部が接着されている構成を説明した。実施の形態５では、ＦＰＣ２の表面カバーレイ２４と、キャップ１ａの他方の端部との間にスペーサが設けられた構成について説明する。
　以下で、実施の形態５について図面を参照して説明する。なお、実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
　図６Ａは、レンズキャップ１を外したＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０４の構成を示す平面図である。図６Ｂは、図６Ａの点線ββ´で切断した断面図である。以下では図６Ａ及び図６Ｂを参照して、実施の形態５に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０４の構成のうち、図２Ｃが示す実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００と異なる構成について説明する。
　図６Ｂが示すように、キャップ１ａの他方の端部は、スペーサ３３を介して、ＦＰＣ２の表面側に設置されている。より詳細には、表面カバーレイ２４における表面側の面にスペーサ３３が設置されており、スペーサ３３における表面カバーレイ２４に接する面とは反対の面に、キャップ１ａの他方の端部が設置されている。スペーサ３３の厚さは、例えば、約２００μｍである。スペーサ３３の材料は、例えば、樹脂である。
　図６Ａが示すように、スペーサ３３は、第１の導体層２１の表面信号配線２１ａに対応する部分に開口部３３ａを有する。より詳細には、スペーサ３３は、円筒の形状を有しており、当該円筒の側面における、第１の導体層２１の表面信号配線２１ａに対応する部分が欠損していることにより開口部３３ａが形成されている。
　以上のように、実施の形態５に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０４の第１の導体層２１は、半導体光素子としてのフォトダイオード３と接続された表面信号配線２１ａを含み、キャップ１ａは、スペーサ３３を介して、ＦＰＣ２の表面側に設置され、スペーサ３３は、表面信号配線２１ａに対応する部分に開口部３３ａを有する。
　上記の構成によれば、キャップ１ａと表面信号配線２１ａとの間に、スペーサ３３の開口部３３ａが介在する。これにより、キャップ１ａが表面信号配線２１ａのインピーダンスに及ぼす影響を抑制することができる。よって、安定した高周波特性が得られる。
　実施の形態６．
　実施の形態１では、信号光を受信する機能を有するＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００について説明した。実施の形態６では、信号光を送信する機能を有するＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールについて説明する。
　以下で、実施の形態６について図面を参照して説明する。なお、実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
　図７Ａは、レンズキャップ１を外したＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０５の構成を示す平面図である。図７Ｂは、図７Ａの点線γγ´で切断した断面図である。以下では図７Ａ及び図７Ｂを参照して、実施の形態６に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０５の構成のうち、図２Ｃが示す実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００と異なる構成について説明する。
　図７Ａが示すように、ＦＰＣ１３は、表面側に、第１の導体層３４を備え、第１の導体層３４は、高周波信号を伝送する表面信号配線３４ａ、グラウンドに接続された２つのグラウンドパッド３４ｂ、及び、後述する半導体レーザのＥＭＬ（Electro-absorption Modulator Laser）に電力を供給するＤＣ配線３４ｃ、及びグラウンドに接続された表面グラウンド３４ｄを含む。表面信号配線３４ａ及びＤＣ配線３４ｃは、それぞれ、図７Ａの下部から上部の表面グラウンド３４ｄに向かって延伸している。なお、図示しないが、表面信号配線３４ａ及びＤＣ配線３４ｃは、図７Ａの下部におけるＦＰＣ１３の端部において、別のプリント基板に接続される。また、表面信号配線３４ａ及びＤＣ配線３４ｃは、それぞれ、表面カバーレイ２４により部分的に覆われている。
　図７Ａ又は図７Ｂが示すように、表面グラウンド３４ｄの表面側の面における、レンズキャップ１のレンズ１ｂに対向する部分には、セラミック基板３５、ミラー３６、及びコンデンサ３７が設置されている。ミラー３６は、例えば、表面グラウンド３４ｄに接着剤又ははんだにより固定されている。また、セラミック基板３５における表面側の面には、ＥＭＬ３８及び終端抵抗３９が設置されている。
　なお、本実施形態では、ＥＭＬ３８は、金ワイヤ６ｆでセラミック基板３５に接続されており、セラミック基板３５を介して表面グラウンド３４ｄに設置されている。これは、ＥＭＬ３８が表面グラウンド３４ｄに直接設置された場合、表面グラウンド３４ｄが熱により膨張することによりＥＭＬ３８に力が加わり応力が生じると、ＥＭＬ３８の特性が変動してしまうためである。セラミック基板３５は、化合物半導体であるＥＭＬ３８と線膨張係数が近いため、熱により膨張してもＥＭＬ３８も同程度膨張するため、ＥＭＬ３８に力が加わることがない。一方で、ＥＭＬ３８の特性が多少変動しても問題がない場合、ＥＭＬ３８は、表面グラウンド３４ｄに直接設置されてもよい。また、本実施形態では、半導体レーザとしてＥＭＬ３８を用いるが、ＤＭＬ（Directly Modulated Laser）を用いてもよい。
　コンデンサ３７は、ＤＣ配線３４ｃと金ワイヤ６ｇで接続され、セラミック基板３５と金ワイヤ６ｈで接続されており、ＤＣ配線２１ｃからの電力に含まれるノイズを除去する。セラミック基板３５は、コンデンサ３７からの電力を、ＥＭＬ３８に供給する。また、セラミック基板３５は、表面信号配線３４ａと金ワイヤ６ｉで接続されており、表面信号配線３４ａからの電気信号をＥＭＬ３８に供給する。
　終端抵抗３９は、ＥＭＬ３８と金ワイヤ６ｊで接続されており、ＥＭＬ３８を駆動するドライバＩＣのインピーダンスと一致するインピーダンスを有することにより信号の反射を防ぐ。当該インピーダンスは、例えば、５０Ωである。
　ＥＭＬ３８は、表面信号配線３４ａからの電気信号に基づき、ミラー３６に向けて信号光を送信する。より詳細には、ＥＭＬ３８は、端面出射型の光源であり、ＦＰＣ１３の表面及び裏面と平行な方向に信号光を出射する。ミラー３６は、当該信号光の進行方向が９０度変化するように、当該信号光をレンズキャップ１のレンズ１ｂに向けて反射する。これにより、レンズ１ｂから出力信号光Ｂが出射される。
　以上のように、実施の形態６に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０５の半導体光素子は、光信号を送信する半導体レーザである。
　上記の構成によれば、実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００と同様に、ＦＰＣ１３に半導体レーザとしてのＥＭＬ３８が直接設置されるため、金属ステムが不要である。
　なお、上記の構成を実施の形態２から実施の形態５の何れか１つの実施の形態に適用しても上記の効果と同様の効果を奏する。
　実施の形態７．
　実施の形態１では、表面グラウンド２１ｄの表面側の面における、レンズキャップ１のレンズ１ｂに対向する部分にフォトダイオード３、２つのコンデンサ４、及びＴＩＡ５が設置されている構成について説明した。実施の形態７では、これらの部材が金属キャリアに設置されている構成について説明する。
　以下で、実施の形態７について図面を参照して説明する。なお、実施の形態１で説明した構成と同様の機能を有する構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
　図８は、実施の形態７に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０６の構成を示す断面図である。以下では図８を参照して、実施の形態７に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０６の構成のうち、図２Ｃが示す実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００と異なる構成について説明する。
　ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０６が備えているＦＰＣ１４は、表面側の第１の導体層４０、第１の導体層４０における表面側の面とは反対の面に接して設置されたベース層４１、及び、ベース層４１における第１の導体層４０に接する面とは反対の面に接して設置された、裏面側の第２の導体層４２、を含む。第１の導体層４０と第２の導体層４２とは、ベース層４１により絶縁されている。第１の導体層４０は、表面信号配線４０ａを含む。第２の導体層４２は、裏面グラウンド４２ａを含む。
　実施の形態１に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１００と異なる点として、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０６のＦＰＣ１４は、レンズキャップ１のレンズ１ｂに対向する部分に、第１の導体層４０、ベース層４１及び第２の導体層４２を貫通する貫通孔１４ａを有している。
　また、ＦＰＣ１４の裏面側には、凸形状の金属キャリア４３が設置されている。より詳細には、金属キャリア４３は、第２の導体層４２の裏面グラウンド４２ａに接する第１の部分４３ａと、貫通孔１４ａに挿入される第２の部分４３ｂとを有する。金属キャリア４３の第１の部分４３ａは、第２の導体層４２の裏面グラウンド４２ａと接することにより、グラウンドに接続している。金属キャリア４３の第１の部分４３ａは、例えば、裏面グラウンド４２ａに、はんだ又は接着剤により固定される。金属キャリア４３の材料は、放熱性に優れる材料であることが好ましい。当該材料は、例えば、銅タングステン合金、銅、アルミニウム、又はコバール等である。
　また、金属キャリア４３の第２の部分４３ｂにおける、レンズキャップ１のレンズ１ｂに対向する面には、フォトダイオード３、ＴＩＡ５、及び図示しない２つのコンデンサ４が設置されている。フォトダイオード３又はＴＩＡ５から発生した熱は、金属キャリア４３を介して外部に放熱される。
　なお、ＦＰＣ１４は、第１の導体層２１の、表面側の面における、貫通孔１４ａ以外の部分に設置された表面カバーレイ４４をさらに含む。また、ＦＰＣ１４は、第２の導体層４２の、裏面側の面における、金属キャリア４３が設置された部分以外の部分に設置された裏面カバーレイ４５をさらに含む。表面カバーレイ４４の表面側の面には、キャップ１ａの他方の端部が接着剤等により接着されている。
　以上のように、実施の形態７に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０６は、表面及び裏面を有するＦＰＣ１４であって、表面側に設置された第１の導体層４０、第１の導体層４０における表面側の面とは反対の面に接して設置されたベース層４１、及び、ベース層４１における第１の導体層４０に接する面とは反対の面に接して設置された、裏面側の第２の導体層４２、を含むＦＰＣ１４と、レンズ１ｂを有するレンズキャップ１であって、ＦＰＣ１４の表面側に設置されたレンズキャップ１と、を備え、第２の導体層４２は、裏面グラウンド４２ａを含み、ＦＰＣ１４は、レンズ１ｂに対向する部分に、第１の導体層４０、ベース層４１及び第２の導体層４２を貫通する貫通孔１４ａを有し、ＦＰＣ１４の裏面側には、裏面グラウンド４２ａに接する第１の部分４３ａと、貫通孔１４ａに挿入される第２の部分４３ｂとを有する金属キャリア４３が設置され、第２の部分４３ｂにおける、レンズキャップ１のレンズ１ｂに対向する面には、半導体光素子としてのフォトダイオード３が設置されている。
　上記の構成によれば、ＦＰＣ１４の貫通孔１４ａに挿入された金属キャリア４３に、フォトダイオード３が直接設置されているため、金属ステムが不要である。
　また、金属ステムが不要であるのに加えて、ガラスリードも不要であるため、コスト削減に寄与する。また、高周波特性を改善するための中継線路基板のような部品を設置する必要がなく、単純な構造で済む。
　また、上記の構成によれば、金属キャリア４３上にフォトダイオード３が搭載されているため、フォトダイオード３からの発熱に関し、実施の形態１におけるスルーホール２２ａによる放熱性能よりも優れた放熱性能を実現できる。
　また、上記の構成によれば、ＦＰＣ１４よりも剛性が高い金属キャリア４３は、変形しづらいため、金属キャリア４３上に搭載されたフォトダイオード３の光軸ずれが起きにくく、フォトダイオード３と入力信号光との安定した光学的な結合効率が得られる。
　なお、上記の構成を実施の形態２に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール１０１のＦＰＣ１０に適用しても上記の各効果と同様の効果を奏する。
　なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
　この発明に係るＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールは、金属ステムの不要なＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールを提供することができるため、ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュールに利用可能である。
　１　レンズキャップ、１ａ　キャップ、１ｂ　レンズ、２　ＦＰＣ、３　フォトダイオード、４　コンデンサ、６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅ，６ｆ，６ｇ，６ｈ，６ｉ，６ｊ　金ワイヤ，１０，１１，１２，１３，１４　ＦＰＣ、１４ａ　貫通孔、２１　第１の導体層、２１ａ　表面信号配線、２１ｂ　グラウンドパッド、２１ｃ　ＤＣ配線、２１ｄ　表面グラウンド、２２　ベース層、２２ａ　スルーホール、２３　第２の導体層、２３ａ　裏面グラウンド、２４　表面カバーレイ、２５　裏面カバーレイ、２６　第１の導体層、２６ａ　第１の表面グラウンド、２６ｂ　第２の表面グラウンド、２６ｃ　信号パッド、２７　ベース層、２７ａ　スルーホール、２７ｂ　信号パッドスルーホール、２８　第２の導体層、２８ａ　裏面グラウンド、２８ｂ　裏面信号配線、２９　追加ベース層、３０　追加導体層、３１　支持板、３２　裏面カバーレイ、３３　スペーサ、３３ａ　開口部、３４　第１の導体層、３４ａ　表面信号配線、３４ｂ　グラウンドパッド、３４ｃ　ＤＣ配線、３４ｄ　表面グラウンド、３５　セラミック基板、３６　ミラー、３７　コンデンサ、３８　ＥＭＬ、３９　終端抵抗、４０　第１の導体層、４０ａ　表面信号配線、４１　ベース層、４２　第２の導体層、４２ａ　裏面グラウンド、４３　金属キャリア、４３ａ　第１の部分、４３ｂ　第２の部分、４４　表面カバーレイ、４５　裏面カバーレイ、１００，１０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０６　ＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール。

Claims (8)

  1. 　表面及び裏面を有するＦＰＣであって、前記表面側に設置された第１の導体層、前記第１の導体層における前記表面側の面とは反対の面に接して設置されたベース層、及び、前記ベース層における前記第１の導体層に接する面とは反対の面に接して設置された、前記裏面側の第２の導体層、を含むＦＰＣと、
    　レンズを有するレンズキャップであって、前記ＦＰＣの前記表面側に設置されたレンズキャップと、を備え、
    　前記第１の導体層は、前記レンズに対向する面を有する表面グラウンドを含み、
    　前記第２の導体層は、裏面グラウンドを含み、
    　前記ベース層は、前記表面グラウンドと前記裏面グラウンドとを電気的に接続するためのスルーホールを含み、
    　前記表面グラウンドにおける前記レンズに対向する面には、半導体光素子が設置されている
    ことを特徴とするＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール。
  2. 　前記第１の導体層は、前記半導体光素子と接続された表面信号配線をさらに含む
    ことを特徴とする請求項１に記載のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール。
  3. 　前記第１の導体層は、前記半導体光素子と接続された信号パッドをさらに含み、
    　前記第２の導体層は、裏面信号配線をさらに含み、
    　前記ベース層は、前記信号パッドと前記裏面信号配線とを電気的に接続するための信号パッドスルーホールをさらに含む
    ことを特徴とする請求項１に記載のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール。
  4. 　前記ＦＰＣは、前記第１の導体層の前記表面側の面における、前記半導体光素子が設置された部分以外の部分に接して設置された追加ベース層と、前記追加ベース層における、前記第１の導体層に接する面とは反対の面に接して設置された追加導体層と、を含み、
    　前記レンズキャップは、前記追加導体層における前記表面側の面に、はんだにより固定されている
    ことを特徴とする請求項１に記載のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール。
  5. 　一方の面が、前記裏面グラウンドの前記裏面側の面における、前記表面側に設置された前記レンズキャップに対応する部分よりも広い部分に接するように設置された金属製の支持板をさらに備えている
    ことを特徴とする請求項１に記載のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール。
  6. 　前記第１の導体層は、前記半導体光素子と接続された表面信号配線を含み、
    　前記レンズキャップは、スペーサを介して、前記ＦＰＣの前記表面側に設置され、
    　前記スペーサは、前記表面信号配線に対応する部分に開口部を有することを特徴とする、請求項１に記載のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール。
  7. 　前記半導体光素子は、光信号を受信するフォトダイオード、又は、光信号を送信する半導体レーザである
    ことを特徴とする請求項１から請求項６の何れか１項に記載のＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール。
  8. 　表面及び裏面を有するＦＰＣであって、前記表面側に設置された第１の導体層、前記第１の導体層における前記表面側の面とは反対の面に接して設置されたベース層、及び、前記ベース層における前記第１の導体層に接する面とは反対の面に接して設置された、前記裏面側の第２の導体層、を含むＦＰＣと、
    　レンズを有するレンズキャップであって、前記ＦＰＣの前記表面側に設置されたレンズキャップと、を備え、
    　前記第２の導体層は、裏面グラウンドを含み、
    　前記ＦＰＣは、前記レンズに対向する部分に、前記第１の導体層、前記ベース層及び前記第２の導体層を貫通する貫通孔を有し、
    　前記ＦＰＣの前記裏面側には、前記裏面グラウンドに接する第１の部分と、前記貫通孔に挿入される第２の部分とを有する金属キャリアが設置され、
    　前記第２の部分における、前記レンズに対向する面には、半導体光素子が設置されている
    ことを特徴とするＴＯ－ＣＡＮ型光モジュール。
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