WO2020213583A1 - 流体圧アクチュエータ及び検出ユニット - Google Patents

流体圧アクチュエータ及び検出ユニット Download PDF

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WO2020213583A1
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tube
fluid pressure
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櫻井　良
秀之 桜井
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株式会社ブリヂストン
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    • F15B2215/30—Constructional details thereof
    • F15B2215/305—Constructional details thereof characterised by the use of special materials

Definitions

  • the present invention relates to a fluid pressure actuator, specifically, a so-called Macchiben type fluid pressure actuator, and a detection unit.
  • a fluid pressure actuator that expands and contracts a tube using gas or liquid
  • a structure having a rubber tube that expands and contracts by air pressure (or hydraulic pressure) and a sleeve that covers the outer peripheral surface of the tube is widely used.
  • the sleeve is a tubular structure in which high-tensile fibers such as polyamide fibers are woven, and regulates the expansion motion of the tube within a predetermined range (see Patent Document 1).
  • IoT Internet of Things
  • the actuator main body expands and contracts due to the expansion and contraction of the tube, it is preferable to have a sensor that can detect the length of the actuator main body.
  • the length of the actuator body may differ depending on the magnitude of the load applied to the fluid pressure actuator, so the length of the actuator body can be accurately detected (estimated) from the pressure of the fluid. ) Is difficult to do.
  • an object of the present invention is to provide a fluid pressure actuator and a detection unit capable of accurately and in real time detecting the length of the actuator main body.
  • One aspect of the present invention is a fluid pressure actuator (eg, fluid pressure actuator 10), comprising a cylindrical tube (tube 110) that expands and contracts with the pressure of a fluid, and is shaped by expansion or contraction of the tube. It includes a changing actuator main body (actuator main body 100) and a detection unit (detection unit 500) that detects the length (length L) of the actuator main body along the longitudinal direction of the tube.
  • a fluid pressure actuator eg, fluid pressure actuator 10
  • a cylindrical tube that expands and contracts with the pressure of a fluid, and is shaped by expansion or contraction of the tube. It includes a changing actuator main body (actuator main body 100) and a detection unit (detection unit 500) that detects the length (length L) of the actuator main body along the longitudinal direction of the tube.
  • One aspect of the present invention is a detection unit (detection unit 500) connected to a fluid pressure actuator (for example, the fluid pressure actuator 10), wherein the fluid pressure actuator has a cylindrical shape that expands and contracts by the pressure of the fluid.
  • the detection unit includes an actuator body (actuator body 100) that includes a tube (tube 110) and whose shape changes due to expansion or contraction of the tube, and the detection unit is the length of the actuator body along the longitudinal direction of the tube.
  • the fluid (length L) is detected.
  • FIG. 1 is a side external view of the fluid pressure actuator 10 including the detection unit 500.
  • FIG. 2 is a side view of the fluid pressure actuator 10.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the actuator main body 100.
  • FIG. 4 is a functional block configuration diagram of the detection unit 500 that detects the length of the fluid pressure actuator 10.
  • FIG. 5 is a diagram showing an estimated operation flow of the length L of the actuator main body 100 by the detection unit 500.
  • FIG. 6 is a graph showing the relationship between the contraction rate (%) of the actuator main body 100 and the electrical resistance value (M ⁇ ) of the tube 110.
  • FIG. 7A is a diagram schematically showing a dispersed state of carbon particles contained in the tube 110 (a state in which the actuator main body 100 is not contracted).
  • FIG. 7B is a diagram schematically showing a dispersed state of carbon particles contained in the tube 110 (a state in which the actuator main body 100 is contracted).
  • FIG. 8 is a side view of the fluid pressure actuator 10A according to the modified example.
  • FIG. 9 is a side view of the fluid pressure actuator 10B according to another modified example.
  • FIG. 1 is a side external view of the fluid pressure actuator 10 including the detection unit 500 according to the present embodiment.
  • the fluid pressure actuator 10 is an actuator that utilizes fluid pressure, and includes an actuator main body 100 that expands and contracts along an axial DAX (see FIG. 2).
  • the fluid pressure actuator 10 has two connecting portions 20.
  • a member 25 to be operated by the fluid pressure actuator 10 is connected to the connecting portion 20.
  • members constituting the body limbs (upper limbs, lower limbs, etc.) of a humanoid robot are connected to the connecting portion 20.
  • a hose 180 is connected to the fluid pressure actuator 10.
  • the other end of the hose 180 is connected to a supply device (not shown) such as a compressor that supplies a fluid (gas or liquid). Fluid flows in and out of the actuator body 100 via the hose 180.
  • the detection unit 500 is connected to the fluid pressure actuator 10 by using a lead wire 515.
  • the detection unit 500 detects the length of the fluid pressure actuator 10 along the axial direction DAX (longitudinal direction).
  • the detection unit 500 detects the length of the actuator main body 100 along the axial direction DAX (longitudinal direction).
  • FIG. 2 is a side view of the fluid pressure actuator 10.
  • the fluid pressure actuator 10 includes an actuator main body 100, a sealing mechanism 200, and a sealing mechanism 300. Further, connecting portions 20 are provided at both ends of the fluid pressure actuator 10.
  • the actuator main body 100 is composed of a tube 110 and a sleeve 120. Fluid flows into the actuator main body 100 through the fitting 400 and the passage hole 410.
  • Actuator body portion 100 the inflow of fluid into the tube 110, contracts in the axial direction D AX of the actuator body portion 100 expands in the radial direction D R. Further, the actuator body portion 100, the outflow of the fluid from the tube 110, expanded in the axial direction D AX of the actuator body portion 100, to shrink in the radial direction D R. Due to such a change in the shape of the actuator main body 100, the fluid pressure actuator 10 exerts a function as an actuator.
  • the fluid used to drive the fluid pressure actuator 10 may be either a gas such as air or a liquid such as water or mineral oil.
  • the fluid pressure actuator 10 is hydraulically driven in which a high pressure is applied to the actuator body 100. It has high durability that can withstand.
  • such a fluid pressure actuator 10 is a so-called Macchiben type, and can be applied not only for artificial muscles but also for the body limbs (upper limbs, lower limbs, etc.) of a robot that requires higher ability (contraction force). Can also be suitably used. Members and the like constituting the body limbs are connected to the connecting portion 20.
  • Sealing mechanism 200 and the sealing mechanism 300 seals both end portions of the actuator body portion 100 in the axial direction D AX.
  • the sealing mechanism 200 includes a sealing member 210 and a caulking member 230.
  • the sealing member 210 seals the end portion in the axial direction D AX of the actuator body portion 100.
  • the caulking member 230 crimps the actuator main body 100 together with the sealing member 210.
  • indentation 231 which is a trace of the caulking member 230 being crimped by a jig is formed.
  • sealing member 210 a metal such as stainless steel can be preferably used, but the sealing member 210 is not limited to such a metal, and a hard plastic material or the like may be used.
  • a metal such as an aluminum alloy, brass, and iron can be used as the caulking member 230.
  • the difference between the sealing mechanism 200 and the sealing mechanism 300 is whether or not the fitting 400 (and the passage hole 410) is provided.
  • the fitting 400 projects so that a drive pressure source of the fluid pressure actuator 10, specifically, a hose 180 connected to a gas or liquid supply device can be attached.
  • the fluid that has flowed in through the fitting 400 passes through the passage hole 410 and flows into the inside of the actuator main body 100, specifically, the inside of the tube 110.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the actuator main body 100.
  • the actuator main body 100 is composed of the tube 110 and the sleeve 120.
  • the actuator main body 100 includes the tube 110, and its shape changes due to expansion or contraction of the tube 110.
  • the tube 110 is a cylindrical tubular body that expands and contracts due to the pressure of a fluid.
  • the tube 110 is made of an elastic material such as butyl rubber because it repeatedly contracts and expands due to the fluid.
  • the fluid pressure actuator 10 When the fluid pressure actuator 10 is hydraulically driven, it shall be at least one selected from the group consisting of NBR (nitrile rubber) having high oil resistance, hydrogenated NBR, chloroprene rubber, and epichlorohydrin rubber. Is preferable.
  • the tube 110 is formed of a rubber member containing a conductive material (which may be called a filler).
  • the tube 110 can be formed of a rubber member containing carbon particles.
  • the sleeve 120 has a cylindrical shape and covers the outer peripheral surface of the tube 110.
  • the sleeve 120 is an elastic structure in which fiber cords oriented in a predetermined direction are woven, and the rhombus shape is repeated by the intersection of the oriented cords. By having such a shape, the sleeve 120 deforms in a pantograph and follows the contraction and expansion of the tube 110 while regulating the contraction and expansion.
  • the cord constituting the sleeve 120 it is preferable to use a fiber cord of aromatic polyamide (aramid fiber) or polyethylene terephthalate (PET).
  • the cord is not limited to this type of fiber cord, and may be a cord of a high-strength fiber such as PBO fiber (polyparaphenylene benzobisoxazole).
  • FIG. 4 is a functional block configuration diagram of the detection unit 500 that detects the length of the fluid pressure actuator 10.
  • the detection unit 500 detects the length of the fluid pressure actuator 10 that changes due to the inflow of the fluid into the actuator main body 100 and the outflow of the fluid from the actuator main body 100.
  • the detection unit 500 detects the length L of the actuator main body 100 along the longitudinal direction (axial direction DAX ) of the tube 110 (see FIGS. 2 and 3) constituting the actuator main body 100. ..
  • the detection unit 500 includes a measurement unit 510 and a length estimation unit 520.
  • the measuring unit 510 measures the electrical characteristics of the tube 110. Therefore, the detection unit 500 is electrically connected to both end portions of the tube 110 in the longitudinal direction (axial direction DAX ) of the actuator main body 100. Specifically, both end portions of the tube 110 and the detection unit 500 are connected by a lead wire 515.
  • the measuring unit 510 measures the electrical resistance of the tube 110. Specifically, the measuring unit 510 measures the value of the electrical resistance (unit: M ⁇ , etc.) between the ends in the longitudinal direction (axial direction DAX ) of the tube 110 connected by the lead wire 515.
  • the length estimation unit 520 estimates the length L of the actuator main body 100 based on the electrical characteristics measured by the measurement unit 510.
  • the length estimation unit 520 estimates the length L based on the value of the electrical resistance between the ends in the longitudinal direction (axial direction DAX ) of the tube 110.
  • the length estimation unit 520 estimates that the length L becomes shorter as the electrical resistance measured by the measurement unit 510 becomes lower.
  • the length estimation unit 520 is a mathematical formula (or table) showing the relationship between the length L of the actuator main body 100 (tube 110) and the value of the electrical resistance between the ends in the longitudinal direction (axial direction DAX ) of the tube 110. ) Is used to estimate the length L. An example of estimating the length L will be described later.
  • the fluid pressure actuator 10 and the detection unit 500 are shown as separate bodies in FIG. 4, the detection unit 500 may be assembled or incorporated in the fluid pressure actuator 10. Good. Further, the detection unit 500 is preferably connected to a communication network such as IoT.
  • FIG. 5 shows an estimated operation flow of the length L of the actuator main body 100 by the detection unit 500.
  • a fluid flows into the fluid pressure actuator 10 or flows out from the fluid pressure actuator 10 (S10).
  • the detection unit 500 measures the electrical resistance of the tube 110 (S20). Specifically, as described above, the detection unit 500 measures the value of the electrical resistance between the ends of the tube 110 in the longitudinal direction (axial direction DAX ).
  • the detection unit 500 estimates the length of the fluid pressure actuator 10, specifically, the length L of the actuator main body 100, based on the measured electric resistance value (S30).
  • the detection unit 500 repeats the processes of S20 and S30 at a predetermined cycle (for example, about 0.1 second to 1 second).
  • the contraction rate (%) of the actuator body 100 is based on the length L in a state where no fluid has flowed into the actuator body 100, that is, the actuator body 100 is not contracted (0.0%). It means the degree of contraction of the actuator main body 100 (specifically, the tube 110).
  • the reason why the negative contraction rate is included is that the actuator body 100 is more than the length L in the state where the actuator body 100 is not contracted due to the load of the member 25 connected to the connecting portion 20 of the fluid pressure actuator 10. This is because may be stretched.
  • the detection unit 500 is a mathematical formula or table capable of deriving the relationship between the parameter capable of determining the length L of the actuator main body 100 as shown in the graph of FIG. 6 and the electric resistance value of the actuator main body 100 (tube 110).
  • the length L is estimated using the above.
  • 7A and 7B are diagrams schematically showing a dispersed state of carbon particles contained in the tube 110.
  • FIG. 7A shows a dispersed state of the carbon particles 111 in a state in which the actuator main body 100 is not contracted (a state in which the contraction rate shown in FIG. 6 is 0.0%).
  • FIG. 7B shows a dispersed state of carbon particles 111 in a state where the actuator main body 100 is contracted.
  • the electric resistance value of the actuator main body 100 decreases. This is because when the fluid flows into the actuator main body 100 and the actuator main body 100 contracts, the tube 110 expands in the axial DAX within a predetermined range regulated by the sleeve 120, and the thickness of the tube 110 becomes thin. As a result, the distance R between the carbon particles 111 contained in the tube 110 is narrowed (see FIG. 7B).
  • the tube 110 expands, so that the film thickness of the tube 110 becomes thin.
  • the dimensions (that is, the distance R) of the carbon particles 111 in the film thickness direction are narrowed, and the carbon particles 111 (filler) approach each other.
  • the distance R between the carbon particles 111 becomes narrow, so that the conductivity of the tube 110 increases, in other words, the electric resistance value of the tube 110. Decreases.
  • the detection unit 500 of the fluid pressure actuator 10 detects the length L of the actuator main body 100 whose shape changes due to expansion or contraction of the tube 110.
  • the length L of the actuator main body 100 may differ depending on the size of the load (member 25) applied to the fluid pressure actuator 10, the length L is detected accurately and in real time. Can be done.
  • the actuator main body 100 detects the length L, not in the form of detecting by an external sensor (detection unit), calculating the detection result by the arithmetic unit (CPU), and then performing feedback control. Therefore, the reaction speed during control is improved.
  • the detection unit 500 includes a measuring unit 510 for measuring the electrical characteristics of the tube 110 and a length estimating unit 520 for estimating the length L based on the measured electrical characteristics.
  • the measuring unit 510 measures the electric resistance of the tube 110, and the length estimating unit 520 estimates that the length L becomes shorter as the measured electric resistance becomes lower.
  • the length estimation unit 520 estimates the length L by utilizing such a phenomenon.
  • the tube 110 itself can be used for detecting the length L, so that the configuration is simple as compared with the fluid pressure actuator according to the modification described later. Further, since it is not necessary to incorporate a detection unit having a length L in the actuator main body 100, it is lightweight and inexpensive.
  • the fluid pressure actuator 10 is preferably as light as possible in consideration of the fact that it may be mounted on the human body, but the fluid pressure actuator 10 can easily meet such a demand for weight reduction.
  • the tube 110 is formed of a rubber member containing a conductive material (carbon particles 111). Therefore, the length L of the actuator main body 100 can be estimated more accurately.
  • the sleeve 120 is a stretchable structure in which fiber cords oriented in a predetermined direction are woven, and covers the outer peripheral surface of the tube 110. Therefore, since the sleeve 120 follows while restricting the contraction and expansion of the tube 110, the tube 110 is deformed within the predetermined range regulated by the sleeve 120. Therefore, since the deformation range of the tube 110, that is, the actuator main body 100 is restricted, the length L can be measured more accurately.
  • FIG. 8 is a side view of the fluid pressure actuator 10A according to the modified example.
  • the fluid pressure actuator 10A incorporates a detection unit 500A.
  • the detection unit 500A includes a laser light transmission / reception unit 530 and a reflection unit 540.
  • the laser light transmission / reception unit 530 irradiates the laser light toward the reflection unit 540, and estimates the length L of the actuator main body 100 based on the time until the laser light reflected by the reflection unit 540 returns.
  • FIG. 9 is a side view of the fluid pressure actuator 10B according to another modified example.
  • the fluid pressure actuator 10B includes a detection unit 500B.
  • the detection unit 500B includes an ultrasonic transmission / reception unit 550 and a reflection unit 560.
  • the ultrasonic transmission / reception unit 550 sends an ultrasonic signal toward the reflection unit 560, and estimates the length L of the actuator main body 100 based on the time until the ultrasonic signal reflected by the reflection unit 560 returns. To do.
  • the detection unit 500 measures the electrical resistance of the tube 110, but the length L may be estimated by measuring the electrical characteristics other than the electrical resistance.
  • the detection unit 500 may measure the capacitance of the tube 110 and estimate the length L based on the measured capacitance.
  • the conductive material that is, the tube 110 is formed of conductive rubber
  • it is not limited to the carbon particles 111 as described above, and natural rubber or synthetic rubber containing metal powder may be used.

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Abstract

流体圧アクチュエータ（１０）は、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブの膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部（１００）と、チューブの長手方向に沿ったアクチュエータ本体部（１００）の長さＬを検出する検出ユニット（５００）とを備える。

Description

流体圧アクチュエータ及び検出ユニット
　本発明は、流体圧アクチュエータに関し、具体的には、いわゆるマッキベン型の流体圧アクチュエータ、及び検出ユニットに関する。
　従来、気体または液体を用いてチューブを膨張及び収縮させる流体圧アクチュエータとして、空気圧（または液圧）によって膨張、収縮するゴム製のチューブと、チューブの外周面を覆うスリーブとを有する構造（いわゆるマッキベン型）が広く用いられている。
　スリーブは、ポリアミド繊維などの高張力繊維を編み込んだ筒状の構造体であり、チューブの膨張運動を所定範囲に規制する（特許文献１参照）。
国際公開第２０１７／０１０３０４号
　ところで、近年、Ｉｎｔｅｒｎｅｔ　ｏｆ　Ｔｈｉｎｇｓ（ＩｏＴ）が推進されているが、ＩｏＴと接続するためには、接続されるデバイスが、様々なセンシング機能を有していること望ましい。
　例えば、マッキベン型の流体圧アクチュエータの場合、チューブの膨張及び収縮によって、アクチュエータ本体部が伸縮するため、アクチュエータ本体部の長さを検出できるセンサを有していることが好ましい。
　簡易な方法としては、流体圧アクチュエータに供給される流体の圧力に基づいて、アクチュエータ本体部の長さをリアルタイムで推定することが考えられる。しかしながら、マッキベン型の流体圧アクチュエータの場合、流体圧アクチュエータに掛かる負荷の大きさによって、アクチュエータ本体部の長さが異なり得るため、当該流体の圧力からアクチュエータ本体部の長さを正確に検出（推定）することは難しい。
　そこで、本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、アクチュエータ本体部の長さを正確かつリアルタイムで検出し得る流体圧アクチュエータ及び検出ユニットの提供を目的とする。
　本発明の一態様は、流体圧アクチュエータ（例えば、流体圧アクチュエータ１０）であって、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブ（チューブ１１０）を含み、前記チューブの膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部（アクチュエータ本体部１００）と、前記チューブの長手方向に沿った前記アクチュエータ本体部の長さ（長さＬ）を検出する検出ユニット（検出ユニット５００）とを備える。
　本発明の一態様は、流体圧アクチュエータ（例えば、流体圧アクチュエータ１０）と接続される検出ユニット（検出ユニット５００）であって、前記流体圧アクチュエータは、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブ（チューブ１１０）を含み、前記チューブの膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部（アクチュエータ本体部１００）を備え、前記検出ユニットは、前記チューブの長手方向に沿った前記アクチュエータ本体部の長さ（長さＬ）を検出する。
図１は、検出ユニット５００を含む流体圧アクチュエータ１０の側部外観図である。 図２は、流体圧アクチュエータ１０の側面図である。 図３は、アクチュエータ本体部１００の分解斜視図である。 図４は、流体圧アクチュエータ１０の長さを検出する検出ユニット５００の機能ブロック構成図である。 図５は、検出ユニット５００によるアクチュエータ本体部１００の長さＬの推定動作フローを示す図である。 図６は、アクチュエータ本体部１００の収縮率（％）と、チューブ１１０の電気抵抗値（ＭΩ）の関係を示すグラフである。 図７Ａは、チューブ１１０（アクチュエータ本体部１００が収縮していない状態）に含まれるカーボン粒子の分散状態を模式的に示す図である。 図７Ｂは、チューブ１１０（アクチュエータ本体部１００が収縮している状態）に含まれるカーボン粒子の分散状態を模式的に示す図である。 図８は、変更例に係る流体圧アクチュエータ１０Ａの側面図である。 図９は、他の変更例に係る流体圧アクチュエータ１０Ｂの側面図である。
　以下、実施形態を図面に基づいて説明する。なお、同一の機能や構成には、同一または類似の符号を付して、その説明を適宜省略する。
　（１）流体圧アクチュエータ及び検出ユニットの全体概略構成
　図１は、本実施形態に係る検出ユニット５００を含む流体圧アクチュエータ１０の側部外観図である。図１に示すように、流体圧アクチュエータ１０は、流体圧を利用したアクチュエータであり、軸方向ＤＡＸ（図２参照）に沿って伸縮するアクチュエータ本体部１００を備える。
　流体圧アクチュエータ１０は、２つの連結部２０を有する。連結部２０には、流体圧アクチュエータ１０による操作対象の部材２５が連結される。例えば、連結部２０には、人間型のロボットの体肢（上肢や下肢など）を構成する部材が連結される。
　流体圧アクチュエータ１０には、ホース１８０が接続される。ホース１８０の他端部は、流体（気体または液体）を供給するコンプレッサなどの供給装置（不図示）に接続される。アクチュエータ本体部１００の内部には、ホース１８０を介して流体が流入及び流出する。
　また、流体圧アクチュエータ１０には、リード線５１５を用いて検出ユニット５００が接続される。検出ユニット５００は、流体圧アクチュエータ１０の軸方向ＤＡＸ（長手方向）に沿った長さを検出する。
　具体的には、検出ユニット５００は、軸方向ＤＡＸ（長手方向）に沿ったアクチュエータ本体部１００の長さを検出する。
　（２）流体圧アクチュエータの構成
　図２は、流体圧アクチュエータ１０の側面図である。図２に示すように、流体圧アクチュエータ１０は、アクチュエータ本体部１００、封止機構２００及び封止機構３００を備える。また、流体圧アクチュエータ１０の両端には、連結部２０がそれぞれ設けられる。
　アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０とスリーブ１２０とによって構成される。アクチュエータ本体部１００には、フィッティング４００及び通過孔４１０を介して流体が流入する。
　アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０内への流体の流入によって、アクチュエータ本体部１００の軸方向ＤＡＸにおいて収縮し、径方向ＤＲにおいて膨張する。また、アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０から流体の流出によって、アクチュエータ本体部１００の軸方向ＤＡＸにおいて膨張し、径方向ＤＲにおいて収縮する。このようなアクチュエータ本体部１００の形状変化によって、流体圧アクチュエータ１０は、アクチュエータとしての機能を発揮する。
　流体圧アクチュエータ１０の駆動に用いられる流体は、空気などの気体、または水、鉱物油などの液体のどちらでもよいが、特に、流体圧アクチュエータ１０は、アクチュエータ本体部１００に高い圧力が掛かる油圧駆動にも耐え得る高い耐久性を有する。
　また、このような流体圧アクチュエータ１０は、いわゆるマッキベン型であり、人工筋肉用として適用できることは勿論のこと、より高い能力（収縮力）が要求されるロボットの体肢（上肢や下肢など）用としても好適に用い得る。連結部２０には、当該体肢を構成する部材などが連結される。
　封止機構２００及び封止機構３００は、軸方向ＤＡＸにおけるアクチュエータ本体部１００の両端部を封止する。具体的には、封止機構２００は、封止部材２１０及びかしめ部材２３０を含む。封止部材２１０は、アクチュエータ本体部１００の軸方向ＤＡＸの端部を封止する。また、かしめ部材２３０は、アクチュエータ本体部１００を封止部材２１０とともにかしめる。かしめ部材２３０の外周面には、治具によってかしめ部材２３０がかしめられた痕である圧痕２３１が形成される。
　封止部材２１０としては、ステンレス鋼などの金属を好適に用い得るが、このような金属に限定されず、硬質プラスチック材料などを用いてもよい。
　また、かしめ部材２３０としては、アルミニウム合金、真鍮、及び鉄などの金属を用いることができる。
　封止機構２００と封止機構３００との相違点は、フィッティング４００（及び通過孔４１０）が設けられているか否かである。
　フィッティング４００は、流体圧アクチュエータ１０の駆動圧力源、具体的には、気体や液体の供給装置と接続されたホース１８０を取り付けられるように突出している。フィッティング４００を介して流入した流体は、通過孔４１０を通過してアクチュエータ本体部１００の内部、具体的には、チューブ１１０の内部に流入する。
　図３は、アクチュエータ本体部１００の分解斜視図である。上述したように、アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０とスリーブ１２０とによって構成される。
　つまり、アクチュエータ本体部１００は、チューブ１１０を含み、チューブ１１０の膨張または収縮によって形状が変化する。
　チューブ１１０は、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状の筒状体である。チューブ１１０は、流体による収縮及び膨張を繰り返すため、ブチルゴムなど弾性材料によって構成される。また、流体圧アクチュエータ１０を油圧駆動とする場合には、耐油性が高いＮＢＲ（ニトリルゴム）、または水素化ＮＢＲ、クロロプレンゴム、及びエピクロロヒドリンゴムからなる群より選択される少なくとも一種とすることが好ましい。
　また、本実施形態では、チューブ１１０は、導電性の材料（フィラーと呼ばれてもよい）を含むゴム部材によって形成される。例えば、チューブ１１０は、カーボン粒子を含むゴム部材によって形成し得る。
　スリーブ１２０は、円筒状であり、チューブ１１０の外周面を覆う。スリーブ１２０は、所定方向に配向された繊維コードを編み込んだ伸縮性を有する構造体であり、配向されたコードが交差することによって菱形の形状が繰り返されている。スリーブ１２０は、このような形状を有することによって、パンタグラフ変形し、チューブ１１０の収縮及び膨張を規制しつつ追従する。
　スリーブ１２０を構成するコードとしては、芳香族ポリアミド（アラミド繊維）やポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）の繊維コードを用いることが好ましい。但し、このような種類の繊維コードに限定されるものではなく、例えば、ＰＢＯ繊維（ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール）などの高強度繊維のコードでもよい。
　（３）検出ユニットの機能ブロック構成
　図４は、流体圧アクチュエータ１０の長さを検出する検出ユニット５００の機能ブロック構成図である。
　上述したように、検出ユニット５００は、アクチュエータ本体部１００への流体の流入、及びアクチュエータ本体部１００からの当該流体の流出によって変化する流体圧アクチュエータ１０の長さを検出する。
　具体的には、検出ユニット５００は、アクチュエータ本体部１００を構成するチューブ１１０（図２及び図３参照）の長手方向（軸方向ＤＡＸ）に沿ったアクチュエータ本体部１００の長さＬを検出する。
　検出ユニット５００は、測定部５１０及び長さ推定部５２０を備える。
　測定部５１０は、チューブ１１０の電気的特性を測定する。このため、検出ユニット５００は、アクチュエータ本体部１００の長手方向（軸方向ＤＡＸ）におけるチューブ１１０の両端部分と電気的に接続される。具体的には、チューブ１１０の両端部分と検出ユニット５００とは、リード線５１５によって接続される。
　測定部５１０は、チューブ１１０の電気抵抗を測定する。具体的には、測定部５１０は、リード線５１５によって接続されたチューブ１１０の長手方向（軸方向ＤＡＸ）における端部間の電気抵抗の値（単位：ＭΩなど）を測定する。
　長さ推定部５２０は、測定部５１０によって測定された電気的特性に基づいてアクチュエータ本体部１００の長さＬを推定する。
　具体的には、長さ推定部５２０は、チューブ１１０の長手方向（軸方向ＤＡＸ）における端部間の電気抵抗の値に基づいて、長さＬを推定する。
　より具体的には、長さ推定部５２０は、測定部５１０によって測定された電気抵抗が低くなるに連れて、長さＬが短くなると推定する。
　長さ推定部５２０は、アクチュエータ本体部１００（チューブ１１０）の長さＬと、チューブ１１０の長手方向（軸方向ＤＡＸ）における端部間の電気抵抗の値との関係を示す数式（またはテーブル）を用いて長さＬを推定する。長さＬの推定例については、さらに後述する。
　なお、図４では、流体圧アクチュエータ１０と検出ユニット５００とは、別体として示されているが、検出ユニット５００は、流体圧アクチュエータ１０に組み付けられるような形態または内蔵されるような形態としてもよい。また、検出ユニット５００は、ＩｏＴなどの通信ネットワークと接続されることが好ましい。
　（４）流体圧アクチュエータ及び検出ユニットの動作
　次に、流体圧アクチュエータ１０及び検出ユニット５００の動作について説明する。具体的には、アクチュエータ本体部１００の伸縮に伴うアクチュエータ本体部１００の長さＬの推定動作について説明する。
　図５は、検出ユニット５００によるアクチュエータ本体部１００の長さＬの推定動作フローを示す。
　図５に示すように、流体圧アクチュエータ１０を作動させるため、流体圧アクチュエータ１０に流体が流入、または流体圧アクチュエータ１０から流体が流出する（Ｓ１０）。
　検出ユニット５００は、チューブ１１０の電気抵抗を測定する（Ｓ２０）。具体的には、上述したように、検出ユニット５００は、チューブ１１０の長手方向（軸方向ＤＡＸ）における端部間の電気抵抗の値を測定する。
　検出ユニット５００は、測定した電気抵抗の値に基づいて、流体圧アクチュエータ１０の長さ、具体的には、アクチュエータ本体部１００の長さＬを推定する（Ｓ３０）。
　検出ユニット５００は、Ｓ２０及びＳ３０の処理を所定の周期（例えば、０．１秒～１秒程度）で繰り返す。
　図６は、アクチュエータ本体部１００の収縮率（％）と、チューブ１１０の電気抵抗値（ＭΩ）の関係を示すグラフである。図６に示すように、収縮率と電気抵抗値とは、２次相関係数（Ｒ２＝０．９４２３）である。
　アクチュエータ本体部１００の収縮率（％）とは、アクチュエータ本体部１００に流体が流入していない、つまり、アクチュエータ本体部１００が収縮していない状態における長さＬを基準（０．０％）としたアクチュエータ本体部１００（具体的には、チューブ１１０）の収縮の程度を意味する。
　なお、負の収縮率が含まれる理由は、流体圧アクチュエータ１０の連結部２０に連結される部材２５の負荷によって、アクチュエータ本体部１００が収縮していない状態における長さＬよりもアクチュエータ本体部１００が引き伸ばされる場合があるためである。
　検出ユニット５００は、図６のグラフに示したようなアクチュエータ本体部１００の長さＬを判定可能なパラメータと、アクチュエータ本体部１００（チューブ１１０）電気抵抗値との関係を導出できる数式、またはテーブルなどを用いて、長さＬを推定する。
　図７Ａ及び図７Ｂは、チューブ１１０に含まれるカーボン粒子の分散状態を模式的に示す図である。
　具体的には、図７Ａは、アクチュエータ本体部１００が収縮していない状態（図６に示す収縮率が０．０％の状態）におけるカーボン粒子１１１の分散状態を示す。
　図７Ｂは、アクチュエータ本体部１００が収縮している状態におけるカーボン粒子１１１の分散状態を示す。
　図６に示したように、アクチュエータ本体部１００の収縮率が高くなると、アクチュエータ本体部１００（チューブ１１０）電気抵抗値は低くなっている。これは、アクチュエータ本体部１００に流体が流入してアクチュエータ本体部１００が収縮すると、チューブ１１０は、スリーブ１２０によって規制された所定範囲内において軸方向ＤＡＸに膨張する際、チューブ１１０の厚みが薄くなることにより、チューブ１１０に含まれるカーボン粒子１１１間の距離Ｒが狭められる（図７Ｂ参照）。
　具体的には、アクチュエータ本体部１００が収縮する際、チューブ１１０は拡張するため、チューブ１１０の膜厚が薄くなる。この結果、カーボン粒子１１１の膜厚方向における寸法（つまり、距離Ｒ）が狭まり、カーボン粒子１１１（フィラー）が接近する。
　すなわち、アクチュエータ本体部１００の収縮率が高くなり、長さＬが短くなると、カーボン粒子１１１間の距離Ｒが狭くなるため、チューブ１１０の導電率が増大、換言すれば、チューブ１１０の電気抵抗値が低下する。
　（５）作用・効果
　上述した実施形態によれば、以下の作用効果が得られる。具体的には、流体圧アクチュエータ１０の検出ユニット５００は、チューブ１１０の膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部１００の長さＬを検出する。
　このため、流体圧アクチュエータ１０に掛かる負荷（部材２５）の大きさによって、アクチュエータ本体部１００の長さＬが異なり得るマッキベン型の流体圧アクチュエータ１０の場合でも、長さＬを正確かつリアルタイムで検出し得る。
　また、流体圧アクチュエータ１０によれば、以下のような作用及び効果も見込まれる。具体的には、制御時の応答性向上である。流体圧アクチュエータ１０によれば、外部のセンサ（検出ユニット）で検出し、当該検出結果を演算装置（ＣＰＵ）で演算した後、フィードバック制御する形態ではなく、アクチュエータ本体部１００が長さＬを検出できるため、制御時の反応速度が向上する。
　また、別体のセンサを搭載すると部品点数が多くなり、故障確率が高くなるが、流体圧アクチュエータ１０によれば、故障確率を抑制でき、安定した動作が期待できる。
　本実施形態では、検出ユニット５００は、チューブ１１０の電気的特性を測定する測定部５１０と、測定された電気的特性に基づいて長さＬを推定する長さ推定部５２０を含む。
　具体的には、測定部５１０は、チューブ１１０の電気抵抗を測定し、長さ推定部５２０は、測定された電気抵抗が低くなるに連れて、長さＬが短くなると推定する。
　つまり、図７Ａ及び図７Ｂに示したように、アクチュエータ本体部１００が収縮すると、チューブ１１０に含まれるカーボン粒子１１１間の距離Ｒが狭められるため、チューブ１１０の電気抵抗が低くなる。長さ推定部５２０は、このような現象を利用して長さＬを推定する。
　また、流体圧アクチュエータ１０によれば、後述する変更例に係る流体圧アクチュエータと比較すると、チューブ１１０自体を長さＬの検出に活用できるため、構成が簡素である。また、アクチュエータ本体部１００には、長さＬの検出ユニットを内蔵する必要がないため、軽量かつ安価である。
　特に、流体圧アクチュエータ１０は、人体に装着される場合もあることを考慮すると、極力軽量であることが望ましいが、流体圧アクチュエータ１０によれば、このような軽量化の要求にも応えやすい。
　本実施形態では、チューブ１１０は、導電性の材料（カーボン粒子１１１）を含むゴム部材によって形成される。このため、より正確にアクチュエータ本体部１００の長さＬを推定し得る。
　本実施形態では、スリーブ１２０は、所定方向に配向された繊維コードを編み込んだ伸縮性を有する構造体であり、チューブ１１０の外周面を覆う。このため、スリーブ１２０は、チューブ１１０の収縮及び膨張を規制しつつ追従するため、チューブ１１０は、スリーブ１２０によって規制された所定範囲内において変形する。このため、チューブ１１０、つまり、アクチュエータ本体部１００の変形範囲が規制されるため、長さＬをより正確に測定し得る。
　（６）その他の実施形態
　以上、実施例に沿って本発明の内容を説明したが、本発明はこれらの記載に限定されるものではなく、種々の変形及び改良が可能であることは、当業者には自明である。
　例えば、上述した流体圧アクチュエータ１０は、次のように変更してもよい。図８は、変更例に係る流体圧アクチュエータ１０Ａの側面図である。
　図８に示すように、流体圧アクチュエータ１０Ａは、検出ユニット５００Ａを内蔵する。検出ユニット５００Ａは、レーザー光送受信部５３０及び反射部５４０を含む。
　レーザー光送受信部５３０は、反射部５４０に向けてレーザー光を照射し、反射部５４０によって反射したレーザー光が戻ってくるまでの時間に基づいて、アクチュエータ本体部１００の長さＬを推定する。
　図９は、他の変更例に係る流体圧アクチュエータ１０Ｂの側面図である。図９に示すように、流体圧アクチュエータ１０Ｂは、検出ユニット５００Ｂを内蔵する。検出ユニット５００Ｂは、超音波送受信部５５０及び反射部５６０を含む。
　超音波送受信部５５０は、反射部５６０に向けて超音波信号を送出し、反射部５６０によって反射した超音波信号が戻ってくるまでの時間に基づいて、アクチュエータ本体部１００の長さＬを推定する。
　また、上述した実施形態では、検出ユニット５００は、チューブ１１０の電気抵抗を測定していたが、電気抵抗以外の電気的特性を測定し、長さＬを推定してもよい。例えば、検出ユニット５００は、チューブ１１０の静電容量を測定し、測定した静電容量に基づいて長さＬを推定してもよい。
　また、導電性の材料、つまり、チューブ１１０を導電ゴムによって形成する場合、上述したようなカーボン粒子１１１に限定されず、金属粉末を配合した天然ゴム或いは合成ゴムを用いてもよい。
　上記のように、本発明の実施形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
　１０，１０Ａ，１０Ｂ　流体圧アクチュエータ
　２０　連結部
　２５　部材
　１００　アクチュエータ本体部
　１１０　チューブ
　１１１　カーボン粒子
　１２０　スリーブ
　１８０　ホース
　２００　封止機構
　２１０　封止部材
　２３０　かしめ部材
　２３１　圧痕
　３００　封止機構
　４００　フィッティング
　４１０　通過孔
　５００，５００Ａ，５００Ｂ　検出ユニット
　５１０　測定部
　５１５　リード線
　５２０　長さ推定部
　５３０　レーザー光送受信部
　５４０　反射部
　５５０　超音波送受信部
　５６０　反射部

Claims (6)

  1. 　流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブを含み、前記チューブの膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部と、
    　前記チューブの長手方向に沿った前記アクチュエータ本体部の長さを検出する検出ユニットと
    を備える流体圧アクチュエータ。
  2. 　前記検出ユニットは、
    　前記チューブの電気的特性を測定する測定部と、
    　前記測定部によって測定された前記電気的特性に基づいて前記長さを推定する長さ推定部と
    を含む請求項１に記載の流体圧アクチュエータ。
  3. 　前記測定部は、前記チューブの電気抵抗を測定し、
    　前記長さ推定部は、前記測定部によって測定された前記電気抵抗が低くなるに連れて、
    前記長さが短くなると推定する請求項２に記載の流体圧アクチュエータ。
  4. 　前記チューブは、導電性の材料を含むゴム部材によって形成される請求項２または３に記載の流体圧アクチュエータ。
  5. 　前記アクチュエータ本体部は、所定方向に配向された繊維コードを編み込んだ伸縮性を有する構造体であり、前記チューブの外周面を覆うスリーブを含む請求項１乃至４の何れか一項に記載の流体圧アクチュエータ。
  6. 　流体圧アクチュエータと接続される検出ユニットであって、
    　前記流体圧アクチュエータは、流体の圧力によって膨張及び収縮する円筒状のチューブを含み、前記チューブの膨張または収縮によって形状が変化するアクチュエータ本体部を備え、
    　前記検出ユニットは、前記チューブの長手方向に沿った前記アクチュエータ本体部の長さを検出する検出ユニット。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7377928B1 (ja) 2022-08-26 2023-11-10 ソフトバンク株式会社 トラッキング装置、プログラム、及びトラッキング方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63216691A (ja) * 1987-03-03 1988-09-08 工業技術院長 関節装置
JP2009257573A (ja) * 2008-04-17 2009-11-05 Nara Institute Of Science & Technology 直動伸縮アクチュエータ
WO2017010304A1 (ja) 2015-07-14 2017-01-19 株式会社ブリヂストン 流体圧アクチュエータ

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10210332A1 (de) * 2002-03-08 2003-10-02 Festo Ag & Co Kontraktionseinheit mit Positionssensoreinrichtung
DE10225245A1 (de) * 2002-06-07 2004-01-22 Festo Ag & Co. Kontraktionseinheit mit Positionssensoreinrichtung
DE10225246A1 (de) * 2002-06-07 2004-01-08 Festo Ag & Co. Kontraktionseinheit mit Positionssensoreinrichtung
GB2435308A (en) * 2006-02-18 2007-08-22 Shadow Robot Company Ltd Braided sheath air muscle with substantially fixed perimeter bladder
CN102744726B (zh) * 2007-01-22 2014-12-03 松下电器产业株式会社 压缩性流体压力促动器驱动机构及其驱动方法
US10562260B2 (en) * 2013-01-21 2020-02-18 President And Fellows Of Harvard College Pneumatic sensing actuator
JP6305046B2 (ja) * 2013-12-11 2018-04-04 Koa株式会社 アクチュエータ
JP2015180829A (ja) * 2014-03-06 2015-10-15 株式会社リコー 流体駆動型アクチュエータ、その製造方法、及びその駆動方法、駆動装置、並びに関節構造
JP5906506B1 (ja) * 2014-09-12 2016-04-20 株式会社国際電気通信基礎技術研究所 アクチュエータ装置、パワーアシストロボットおよびヒューマノイドロボット
JP2017101809A (ja) * 2015-12-04 2017-06-08 国立大学法人 岡山大学 人工筋

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63216691A (ja) * 1987-03-03 1988-09-08 工業技術院長 関節装置
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