WO2020203553A1 - ダイヤフラムおよびダイヤフラム弁 - Google Patents

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石橋　圭介
聡太 八幡
裕生 堀河
太一 北野
一隆 増田
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    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
    • F16K27/0236—Diaphragm cut-off apparatus

Definitions

  • the present invention relates to a diaphragm and a diaphragm valve used for a diaphragm valve.
  • a valve seat is provided in the fluid passage, and the diaphragm is deformed to abut and separate the valve seat and the diaphragm to open and close the fluid passage.
  • a diaphragm valve is known (Patent Document 1).
  • the diaphragm used for such a valve is usually made of resin or rubber, is inserted between the body and the bonnet, and is fixed to the body and the bonnet with bolts.
  • the regulation for fixing the diaphragm with a bolt (for example, tightening with a predetermined torque value) is set, but the regulation may not be observed. Therefore, the diaphragm is overtightened due to the bolt. There is a problem that it may be damaged.
  • An object of the present invention is to solve problems such as deterioration of airtightness due to insufficient tightening of bolts and damage to the diaphragm due to overtightening of bolts, reduction of variations in performance such as durability of the diaphragm, and simplification of tightening work.
  • the purpose of the present invention is to provide a diaphragm and a diaphragm valve that can be changed.
  • the diaphragm according to the present invention is a diaphragm for a diaphragm valve that is sandwiched between a body and a bonnet and fixed to the body and the bonnet with bolts, and is provided with a through hole through which the bolt is inserted.
  • a metal bolt insertion tube through which the bolt can be inserted is fitted therein, and the height of the bolt insertion tube is made smaller than the height of the through hole.
  • the diaphragm valve according to the present invention is said to be between a body provided with a fluid passage, a diaphragm that opens and closes the fluid passage by contacting and separating from a valve seat formed in the fluid passage, and the body.
  • a bonnet that holds the peripheral edge of the diaphragm, a stem that is connected to the diaphragm via a hanging bracket, and an operating mechanism for raising and lowering the stem are provided, and the diaphragm is attached to the body and the bonnet by bolts.
  • the diaphragm is provided with a through hole through which the bolt is inserted, and a metal bolt insertion tube through which the bolt can be inserted is fitted in the through hole.
  • the height of the bolt insertion tube is characterized in that it is made smaller than the height of the through hole.
  • the material of the diaphragm is not particularly limited, but rubber materials such as natural rubber, nitrile rubber, styrene rubber, fluororubber (FPM), ethylene propylene rubber (EPDM), and silicone rubber are preferably used.
  • the diaphragm may have a single-layer structure made of the above rubber material, or may have a two-layer structure in which a rubber layer made of the above rubber material and a synthetic resin layer such as polytetrafluoroethylene resin (PTFE) are laminated. It may be a thing.
  • the bolt insertion tube is made of metal and may be integrated with the diaphragm by molding.
  • the bolt insertion tube may be fitted into the through hole after the diaphragm is molded (vulcanized) by the same method as before, and the bolt insertion tube is first fitted into the diaphragm before vulcanization.
  • Vulcanization molding may be performed, and the latter is more preferable.
  • the diaphragm valve may be a wear type in which a diaphragm is provided in the fluid passage, or may be called a wearless type in which the fluid passage is not provided with a diaphragm for receiving a diaphragm.
  • At least one concave portion or convex portion is provided on the outer circumference of the diaphragm bolt insertion tube.
  • the fit between the through hole and the bolt insertion tube may be a gap in terms of preventing damage to the diaphragm, but from the point of view of ease of handling, it is a fitting that can prevent the bolt insertion tube from falling off. It is preferable to have.
  • the diaphragm and the diaphragm valve for the diaphragm valve of the present invention proper tightening is possible without using a torque wrench, and the tightening work is simplified. Further, by eliminating the overtightening, the diaphragm is prevented from being damaged, and by performing the tightening uniformly, it is also possible to prevent the performance of the diaphragm from being deteriorated due to insufficient tightening.
  • FIG. 1 is a vertical sectional view showing an overall configuration of a diaphragm for a diaphragm valve according to the present invention and a first embodiment of the diaphragm valve.
  • FIG. 2 is a side view of the same.
  • FIG. 3 is a plan view of the diaphragm.
  • FIG. 4A is a partial cross-sectional view taken along the line XX of FIG. 3, and
  • FIG. 4B is an enlarged cross-sectional view showing the height relationship between the through hole and the bolt insertion tube.
  • FIG. 5 is an exploded perspective view of the diaphragm. 6A and 6B are views showing one embodiment of a bolt insertion tube, where FIG. 6A is a perspective view and FIG. 6B is a front view.
  • FIG. 7A and 7B are views showing another embodiment of the bolt insertion tube, where FIG. 7A is a perspective view and FIG. 7B is a front view.
  • 8A and 8B are views showing still another embodiment of the bolt insertion tube required to be realized by molding processing such as vulcanization molding, where FIG. 8A is a perspective view and FIG. 8B is a front view.
  • FIG. 9 is a vertical sectional view showing an overall configuration of a diaphragm for a diaphragm valve according to the present invention and a second embodiment of the diaphragm valve.
  • FIG. 10 is a front sectional view showing another embodiment of the diaphragm. It is a cross-sectional view along the diagonal line of the diaphragm shown in FIG. 10, and is a diagram corresponding to FIG. 4 (a).
  • FIGS. 1 to 5 The diaphragm for the diaphragm valve of the present invention and the first embodiment of the diaphragm valve are shown in FIGS. 1 to 5.
  • up / down / left / right means up / down / left / right in FIG.
  • the top, bottom, left and right are for convenience, and when installed, the top and bottom may be upside down or horizontal.
  • the diaphragm valve 1 is wear-type and automatic, and as shown in FIG. 1, the body 2 has a fluid inflow passage 2a and a fluid outflow passage 2b extending to the left and right, and the fluid inflow passage 2a and the fluid outflow of the body 2.
  • a weir 3 as a valve seat provided between the passage 2b, a diaphragm 4 that opens and closes between the fluid inflow passage 2a and the fluid outflow passage 2b by contacting and separating from the upper surface of the weir 3.
  • a bonnet 5 that holds the peripheral edge of the diaphragm 4 between the body 2 and the stem 6, a stem 6 that is connected to the diaphragm 4 via a hanging metal fitting 7, a diaphragm retainer 8 that is fixed to the lower end of the stem 6, and a stem 6. It is provided with an operation mechanism 9 that moves the diaphragm 4 up and down to move the diaphragm 4 in the open or closed direction.
  • the diaphragm 4 has a single-layer structure made of a rubber material, a resin, and an elastomer, has a rectangular shape when viewed from above, and is inserted between the body 2 and the bonnet 5 as shown in FIG. , Is fixed to the body 2 and the bonnet 5 with a bolt 10.
  • the hanging metal fitting 7 is provided with a hook 7a that is inserted into the stem 6 to prevent it from coming off.
  • the operating mechanism 9 moves the piston fixed to the stem 6 up and down by compressed air against the urging force of the compression coil spring, or simply moves up and down by compressed air. Or
  • a columnar projecting portion 11 projecting upward is provided in the center of the diaphragm 4.
  • the lower part of the hanging metal fitting 7 connected to the stem 6 is embedded in the protruding portion 11.
  • a circular holding portion 12 is provided so as to be concentric with the protruding portion 11.
  • the sandwiching portion 12 is a portion sandwiched between the body 2 and the bonnet 5, and the upper surface of the sandwiching portion 12 is provided with a protrusion 12a that fits into a recess provided on the lower surface of the bonnet 5.
  • the lower surface of the body 12 is provided with a protrusion 12b that fits into a recess provided on the upper surface of the body 2.
  • the diaphragm valve 1 of this embodiment is provided in the through holes 13 provided at the four corners of the square portion as shown in FIGS. 4 and 5. It differs from the conventional one in that it has a shape in which a metal bolt insertion tube 14 is fitted.
  • the through hole 13 has a circular cross section and has a diameter larger than the diameter through which the bolt insertion cylinder can be inserted.
  • the bolt insertion cylinder 14 is a short cylinder, and its inner diameter is set to a size that allows the bolt 10 to be inserted.
  • the outer peripheral surface of the bolt insertion cylinder 14 has an appropriate shape suitable for fitting into the through hole 13. An example thereof is shown in FIGS. 6 to 8.
  • the outer peripheral surface of the bolt insertion cylinder 14 is a cylindrical surface.
  • the cylindrical surface may be a completely smooth cylindrical surface, but it is more preferable that the cylindrical surface is processed to increase the friction coefficient by knurling, satin finish, or the like.
  • the bolt insertion cylinder 14 is assumed to be provided with an annular convex portion 16 on the outer peripheral surface of the central portion in the axial direction of the cylindrical body 15.
  • the diaphragm 4 after molding is rearranged. It is a bolt insertion cylinder that is easy to insert when inserting from and is hard to fall off or come off.
  • the bolt insertion cylinder 14 is provided with an annular concave portion 18 on the outer peripheral surface of the axially central portion of the cylindrical body 17, and an annular convex portion 19 is provided on the axially central portion of the concave portion 18. It is supposed to have been done. In this embodiment, by inserting the diaphragm into the diaphragm before vulcanization first, rubber flows into the recess 18 during vulcanization, and the bolt insertion tube 14 is less likely to fall off or come off.
  • the tightening work is simplified. Moreover, by eliminating overtightening, damage to the diaphragm is prevented, and by tightening uniformly, variations are reduced, resulting in external leakage due to insufficient tightening and deterioration of the durability performance of the diaphragm. Is also prevented.
  • FIGS. 1 and 2 show an automatic diaphragm valve 1 using compressed air
  • the above-mentioned diaphragm 4 has a stem 6 by manually rotating the handle 21 as shown in FIG. It can also be applied to a manual diaphragm valve 20 that moves up and down.
  • FIG. 9 the parts having the same functions as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals as those in FIG. 1, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 3 shows a diaphragm 4 having a single-layer structure made of a rubber material, a resin, and an elastomer.
  • a resin is attached to the side in contact with the weir 3. It may have a two-layer structure of a diaphragm.
  • the diaphragm 4 may have a two-layer structure consisting of a resin layer (for example, made of PTFE) 22 on the side in contact with the weir 3 and a rubber layer 23 on the side in contact with the diaphragm retainer 8.
  • a resin layer for example, made of PTFE
  • FIG. 10 it becomes a part up to the laminate including the rubber material, the resin, and the elastomer part, and in the type shown in FIG. 10, the bolt insertion tube 14 is fitted as shown in FIG. A through hole 13 to be inserted is provided in the resin layer 22.
  • a male screw portion 24a that can be screwed to the female screw portion provided on the sleeve 25 is provided on the upper portion of the hanging metal fitting 24 instead of the hook.
  • the present invention it is possible to contribute to improving the performance of diaphragms and diaphragm valves for diaphragm valves widely used in production processes of semiconductors, biotechnology, pharmaceuticals and the like.
  • Diaphragm valve 2 Body 2a: Fluid inflow passage (fluid passage) 2b: Fluid outflow passage (fluid passage) 4: Diaphragm 5: Bonnet 6: Stem 7: Hanging bracket 9: Operation mechanism 10: Bolt 13: Through hole 14: Bolt insertion cylinder 16: Convex 18: Concave 19: Convex 20: Diaphragm valve

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Abstract

【課題】ボルトの締付不足による気密性能の低下や、ボルトの締め過ぎによりダイヤフラムが損傷するという問題を解消するとともに、ダイヤフラムの耐久性等の性能のバラツキの減少や締付け作業の簡素化も可能としたダイヤフラムおよびダイヤフラム弁を提供する。 【解決手段】ダイヤフラム（４）に、ボルトがちょうど挿通できる径よりも大きい径の貫通孔（１３）が設けられている。貫通孔（１３）に、ボルトが挿通できる金属製のボルト挿通筒（１４）が嵌め入れられている。ボルト挿通筒（１４）の高さは、貫通孔（１３）の高さと同じ高さかそれよりも小さくなされている。

Description

ダイヤフラムおよびダイヤフラム弁
　この発明は、ダイヤフラム弁に用いられるダイヤフラムおよびダイヤフラム弁に関する。
　バイオ、医薬品等の生産プロセスで広く使用されているバルブとして、流体通路に弁座を設けて、これに対してダイヤフラムを変形させることで弁座とダイヤフラムを当接・離隔し流体通路を開閉するダイヤフラム弁が知られている（特許文献１）。
　このようなバルブに用いられるダイヤフラムは、通常、樹脂製やゴム製とされて、ボディとボンネットとの間に挿入されて、ボルトでボディおよびボンネットに固定される。
特開２０１３－２４９８６８号公報
　従来のダイヤフラム弁において、ボルトでダイヤフラムを固定する際の規定（例えば所定のトルク値で締め付けること）が設定されているが、規定が守られないこともあり、そのために、ボルトの締め過ぎによりダイヤフラムが損傷するおそれがあるという問題がある。
　この発明の目的は、ボルトの締付不足による気密性能の低下や、ボルトの締め過ぎによりダイヤフラムが損傷するという問題を解消するとともに、ダイヤフラムの耐久性等の性能のバラツキの減少や締付け作業の簡素化も可能としたダイヤフラムおよびダイヤフラム弁を提供することにある。
　この発明によるダイヤフラムは、ボディ及びボンネットに挟持され、ボルトで前記ボディおよび前記ボンネットに固定されるダイヤフラム弁用のダイヤフラムであって、前記ボルトが挿通される貫通孔が設けられており、前記貫通孔に、前記ボルトが挿通できる金属製のボルト挿通筒が嵌め入れられており、前記ボルト挿通筒の高さは、前記貫通孔の高さよりも小さくなされていることを特徴とするものである。
　この発明によるダイヤフラム弁は、流体通路が設けられているボディと、前記流体通路に形成された弁座に当接・離隔することにより前記流体通路を開閉するダイヤフラムと、前記ボディとの間で前記ダイヤフラムの周縁部を保持するボンネットと、前記ダイヤフラムに対して吊り金具を介して接続されたステムと、前記ステムを昇降させるための操作機構とを備え、前記ダイヤフラムがボルトによって前記ボディおよび前記ボンネットに固定されているダイヤフラム弁において、前記ダイヤフラムに、前記ボルトが挿通される貫通孔が設けられており、前記貫通孔に、前記ボルトが挿通できる金属製のボルト挿通筒が嵌め入れられており、前記ボルト挿通筒の高さは、前記貫通孔の高さよりも小さくなされていることを特徴とするものである。
　ダイヤフラムの材質は特に限定されないが、天然ゴム、ニトリルゴム、スチレンゴム、フッ素ゴム（ＦＰＭ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、シリコーンゴム等のゴム材料が好適に使用される。ダイヤフラムは、上記ゴム材料からなる単層構造のものであってもよいし、上記ゴム材料からなるゴム層とポリ四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）等の合成樹脂層とを積層した二層構造のものであってもよい。
　ダイヤフラムを固定するためにボルトを締め付けていくと、ボルト挿通筒の高さが貫通孔の高さ（＝貫通孔が設けられている部分のダイヤフラムの厚み）よりも小さくなされているので、まずは、ダイヤフラムだけが圧縮される。そして、さらに、ボルトを締め付けることで、ボルト挿通筒がボディとボンネットとの間に挟持される。このようになると、ボルト挿通筒が金属製であるためそれ以上の締付けが困難となる。この状態が適正締付け状態となるように、ボルト挿通筒の高さと貫通孔の高さとの差を設定しておくことにより、締付けが困難となるまでは締め付けることで、トルクレンチを用いなくても、適正な締付けが可能となり、締付け作業が簡素化される。そして、締め過ぎがなくなることで、ダイヤフラムが損傷することが防止されるとともに、締付けが均一に行われることで、締付け不足によりダイヤフラムの性能が低下することも防止される。
　前記ボルト挿通筒が金属製であり、成型によって前記ダイヤフラムと一体となっていることがある。ボルト挿通筒は、従来と同様の方法によってダイヤフラムを成型（加硫）した後に、貫通孔に嵌め入れるようにしてもよく、加硫前のダイヤフラムにボルト挿通筒を先に嵌め入れた状態としてから、加硫（成型）を行うようにしてもよく、後者がより好ましい。
　ダイヤフラム弁は、流体通路にダイヤフラムを受けるせきが設けられているウエア形と称されているものでもよく、流体通路にダイヤフラムを受けるせきが設けられていないウエアレスと称されているものでもよい。
　ダイヤフラムのボルト挿通筒の外周に少なくとも１つの凹部または凸部が設けられていることが好ましい。
　貫通孔とボルト挿通筒との嵌め合いは、ダイヤフラムの損傷防止という点では、スキマバメであってもよいが、取り扱いの容易さの点から、ボルト挿通筒の脱落を防止することができる嵌め合いであることが好ましい。ダイヤフラムのボルト挿通筒の外周に少なくとも１つの凹部または凸部が設けられているようにすることで、ボルト挿通筒の脱落をより確実に防止することができる。
  この発明のダイヤフラム弁用のダイヤフラムおよびダイヤフラム弁によると、トルクレンチを用いなくても、適正な締付けが可能となり、締付け作業が簡素化される。そして、締め過ぎがなくなることで、ダイヤフラムが損傷することが防止されるとともに、締付けが均一に行われることで、締付け不足によりダイヤフラムの性能が低下することも防止される。
図１は、この発明によるダイヤフラム弁用のダイヤフラムおよびダイヤフラム弁の第１実施形態の全体構成を示す縦断面図である。 図２は、同側面図である。 図３は、ダイヤフラムの平面図である。 図４（ａ）は、図３のＸ－Ｘ一部断面図、図４（ｂ）は貫通孔とボルト挿通筒の高さ関係を示す拡大断面図である。 図５は、ダイヤフラムの分解斜視図である。 図６は、ボルト挿通筒の１実施形態を示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面図である。 図７は、ボルト挿通筒の他の実施形態を示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面図である。 図８は、加硫成型等の成型加工で実現する為に必要なボルト挿通筒のさらに他の実施形態を示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面図である。 図９は、この発明によるダイヤフラム弁用のダイヤフラムおよびダイヤフラム弁の第２実施形態の全体構成を示す縦断面図である。 図１０は、ダイヤフラムの他の実施形態を示す正面断面図である。 図１０に示したダイヤフラムの対角線に沿った断面図で、図４（ａ）に相当する図となっている。
　この発明のダイヤフラム弁用のダイヤフラムおよびダイヤフラム弁の第１実施形態を図１から図５までに示す。以下の説明において、上下・左右は、図１の上下・左右をいうものとする。この上下・左右は便宜的なもので、設置に際しては、上下が逆になったり、水平になったりすることもある。
　このダイヤフラム弁１は、ウエア形でかつ自動のもので、図１に示すように、左右にのびる流体流入通路２ａおよび流体流出通路２ｂを有するボディ２と、ボディ２の流体流入通路２ａと流体流出通路２ｂとの間に設けられた弁座としてのせき３と、せき３の上面に対して当接・離間することで流体流入通路２ａと流体流出通路２ｂとの間を開閉するダイヤフラム４と、ボディ２との間でダイヤフラム４の周縁部を保持するボンネット５と、ダイヤフラム４に吊り金具７を介して接続されたステム６と、ステム６下端部に固定されたダイヤフラム押さえ８と、ステム６を上下移動させてダイヤフラム４を開または閉方向に移動させる操作機構９とを備えている。
　ダイヤフラム４は、ゴム材料や、樹脂、エラストマーからなる単層構造のものであり、上から見て方形状とされて、図２に示すように、ボディ２とボンネット５との間に挿入されて、ボルト１０でボディ２およびボンネット５に固定されている。吊り金具７には、ステム６内に挿入されて抜け止めを果たすフック７ａが設けられている。
　操作機構９は、図示省略するが、例えば、ステム６に固定されたピストンを圧縮コイルばねの付勢力に抗して圧縮空気によって上下させるものであったり、単に圧縮空気によって、上下させるものであったりする。
　ダイヤフラム４の中央には、上方に突出する円柱状の突出部１１が設けられている。突出部１１に、ステム６と接続される吊り金具７の下部が埋設されている。また、ダイヤフラム４の周縁には、突出部１１に対して同心となるように円形の挟持部１２が設けられている。挟持部１２は、ボディ２とボンネット５との間に挟持される部分で、挟持部１２の上面には、ボンネット５の下面に設けられた凹所に嵌まり合う突起１２ａが設けられ、挟持部１２の下面には、ボディ２の上面に設けられた凹所に嵌まり合う突起１２ｂが設けられている。
　操作機構９によってステム６が下降させられると、吊り金具７およびダイヤフラム押さえ８によって、ダイヤフラム４の中央部が下方へ移動し、これにより、ダイヤフラム４の中央部がせき３の上面に当接して、図１に示す閉鎖状態が得られる。
　上記の構成は、従来のものと同じであり、この実施形態のダイヤフラム弁１は、ダイヤフラム４が、図４および図５に示すように、方形部分の４隅に設けられた貫通孔１３に、金属製のボルト挿通筒１４が嵌め入れられた形状とされている点で従来と相違している。
　貫通孔１３は、断面が円形で、ボルト挿通筒がちょうど挿通できる径よりも大きい径とされている。ボルト挿通筒１４は、短円筒体とされて、その内径がボルト１０がちょうど挿通できる大きさとされている。
　また、金属製のボルト挿通筒１４の高さＬ１は、貫通孔１３の高さＬ２（＝貫通孔１３が設けられている部分のダイヤフラム４の厚み）と同じか、それよりも小さくなされている。そして、ボルト１０を締め付けていった際に、ボルト挿通筒１４がボディ２とボンネット５との間に挟持された状態が適正締付け状態となるように、ボルト挿通筒１４の高さと貫通孔１３の高さ（すなわち、貫通孔１３が設けられている部分のダイヤフラム４の厚み）との差が設定されている。
　ボルト挿通筒１４の外周面は、貫通孔１３に嵌め合わせるのに適した適宜な形状とされる。その一例を図６から図８までに示す。
　図６において、ボルト挿通筒１４の外周面は、円筒面とされている。ここで、円筒面は、完全にスムーズな円筒面であってももちろんよいが、ローレット加工、梨地加工などにより、摩擦係数増大の加工が施されていることがより好ましい。
　図７において、ボルト挿通筒１４は、円筒体１５の軸方向の中央部の外周面に、環状の凸部１６が設けられたものとされている。例えば、円筒体１５の外径を貫通孔１３の内径よりも若干小さくするとともに、環状の凸部１６の外径を貫通孔１３の内径よりも若干大きくすることにより、成型後のダイヤフラム４に後から挿入する際に挿入しやすく、脱落や抜け難いボルト挿通筒となっている。
　図８において、ボルト挿通筒１４は、円筒体１７の軸方向の中央部の外周面に、環状の凹部１８が設けられるとともに、凹部１８の軸方向の中央部に、環状の凸部１９が設けられたものとされている。この実施形態のものは、加硫前のダイヤフラムに先に挿入しておくことにより、加硫時に凹部１８内にゴムが流入してボルト挿通筒１４が脱落や抜けにくいものとなっている。
　上記ダイヤフラム４によると、ダイヤフラム４を固定するためにボルト１０を締め付けていくと、ボルト挿通筒１４の高さが貫通孔１３の高さ（＝貫通孔１３が設けられている部分のダイヤフラム４の厚み）よりも小さくなされているので、まずは、ダイヤフラム４だけが圧縮される。そして、さらに、ボルト１０を締め付けることで、ボルト挿通筒１４がボディ２とボンネット５との間に挟持される。このようになると、ボルト挿通筒１４が金属製であるため、それ以上の締付けが困難となる。これが適正締付け状態に対応しており、締付けが困難となるまで締め付けることで、トルクレンチを用いなくても、適正な締付けが可能となる。
　したがって、上記ダイヤフラム４によると、締付け作業が簡素化される。しかも、締め過ぎがなくなることで、ダイヤフラムが損傷することが防止されるとともに、締付けが均一に行われることで、バラツキが小さくなる為、締付け不足による外部漏洩や、ダイヤフラムの耐久性能が低下することも防止される。
  なお、図１および図２には、圧縮空気を使用した自動ダイヤフラム弁１を示したが、上記のダイヤフラム４は、図９に示すように、ハンドル２１を手動で回転させることで、ステム６を上下移動させる手動ダイヤフラム弁２０にも適用することができる。図９において、図１の構成と同じ機能を有する部分については、図１と同じ符号を付して、その説明を省略する。
　また、図３には、ゴム材料や、樹脂、エラストマーからなる単層構造のダイヤフラム４を示したが、図９に示すダイヤフラム４では、せき３に接する側に、樹脂を貼り付けたラミネート処理されたダイヤフラムの２層構造としても良い。さらに、ダイヤフラム４は、図１０に示すように、せき３に接する側の樹脂層（例えばＰＴＦＥ製）２２と、ダイヤフラム押さえ８に接する側のゴム層２３との２層構造とされてもよい。この場合、図９に示されるタイプにおいては、ゴム材や、樹脂、エラストマー部を含むラミネートまでの部分になるし、図１０のタイプにおいては、図１１に示すように、ボルト挿通筒１４が嵌め入れられる貫通孔１３が、樹脂層２２に設けられる。なお、図１０において、吊り金具２４の上部には、フックに代えて、スリーブ２５に設けられた雌ねじ部にねじ合わせ可能な雄ねじ部２４ａが設けられている。
　なお、図示は省略するが、ダイヤフラムの構成やダイヤフラム弁の構成については、従来の種々のものが使用できる。
　この発明によると、半導体、バイオ、医薬品等の生産プロセスで広く使用されているダイヤフラム弁用のダイヤフラムおよびダイヤフラム弁の性能向上に寄与することができる。
１：ダイヤフラム弁
２：ボディ
２ａ：流体流入通路（流体通路）
２ｂ：流体流出通路（流体通路）
４：ダイヤフラム
５：ボンネット
６：ステム
７：吊り金具
９：操作機構
１０：ボルト
１３：貫通孔
１４：ボルト挿通筒
１６：凸部
１８：凹部
１９：凸部
２０：ダイヤフラム弁

Claims (6)

  1. 　ボディ及びボンネットに挟持され、ボルトで前記ボディおよび前記ボンネットに固定されるダイヤフラム弁用のダイヤフラムであって、
    　前記ボルトが挿通される貫通孔が設けられており、前記貫通孔に、前記ボルトが挿通できる金属製のボルト挿通筒が嵌め入れられており、前記ボルト挿通筒の高さは、前記貫通孔の高さよりも小さくなされていることを特徴とするダイヤフラム。
  2. 　前記ボルト挿通筒の外周に少なくとも１つの凹部または凸部が設けられていることを特徴とする請求項１のダイヤフラム。
  3. 　前記ボルト挿通筒が金属製であり、成型によって前記ダイヤフラムと一体となっていることを特徴とする請求項１または２のダイヤフラム。
  4. 　流体通路が設けられているボディと、前記流体通路に形成された弁座に当接・離隔することにより前記流体通路を開閉するダイヤフラムと、前記ボディとの間で前記ダイヤフラムの周縁部を保持するボンネットと、前記ダイヤフラムに対して吊り金具を介して接続されたステムと、前記ステムを昇降させるための操作機構とを備え、前記ダイヤフラムがボルトによって前記ボディおよび前記ボンネットに固定されているダイヤフラム弁において、
    　前記ダイヤフラムに、前記ボルトが挿通される貫通孔が設けられており、前記貫通孔に、前記ボルトが挿通できる金属製のボルト挿通筒が嵌め入れられており、前記ボルト挿通筒の高さは、前記貫通孔の高さよりも小さくなされていることを特徴とするダイヤフラム弁。
  5. 　前記ボルト挿通筒の外周に少なくとも１つの凹部または凸部が設けられていることを特徴とする請求項４のダイヤフラム弁。
  6. 　前記ボルト挿通筒が金属製であり、成型によって前記ダイヤフラムと一体となっていることを特徴とする請求項４または５のダイヤフラム弁。
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