WO2020179564A1 - 液体供給システム - Google Patents

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WO2020179564A1
WO2020179564A1 PCT/JP2020/007630 JP2020007630W WO2020179564A1 WO 2020179564 A1 WO2020179564 A1 WO 2020179564A1 JP 2020007630 W JP2020007630 W JP 2020007630W WO 2020179564 A1 WO2020179564 A1 WO 2020179564A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
check valve
outlet
side check
valve
pump chamber
Prior art date
Application number
PCT/JP2020/007630
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
雅人 木藤
Original Assignee
イーグル工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by イーグル工業株式会社 filed Critical イーグル工業株式会社
Publication of WO2020179564A1 publication Critical patent/WO2020179564A1/ja

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/08—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members

Definitions

  • the present invention relates to a liquid supply system that supplies an ultra-low temperature liquid.
  • a technique is known in which a liquid supply system having a pump chamber formed by a bellows is used to circulate an ultra-low temperature liquid such as liquid nitrogen or liquid helium in a circulation channel (see Patent Document 1).
  • the pump cannot be operated unless the flow path passing through the pump chamber is filled with the liquid. Therefore, it is necessary to prevent the ultra-low temperature liquid from vaporizing in the flow path by performing pre-cooling at the first start-up or the start-up after maintenance. Therefore, before starting the liquid supply system, the flow path is cooled in advance by forcibly flowing an ultra-low temperature liquid through the flow path passing through the pump chamber.
  • Patent Document 2 The applicant has already proposed a technique for reducing the time spent for precooling (see Patent Document 2).
  • Patent Document 2 the structure of the pipe is complicated, the total length of the pipe becomes long, and the time spent for precooling is required accordingly. Therefore, there is still room for improvement.
  • An object of the present invention is to provide a liquid supply system that can shorten the time spent for precooling.
  • the present invention has adopted the following means to solve the above problems.
  • the liquid supply system of the present invention is A container with a pump chamber inside and a suction port and an outlet for ultra-low temperature liquid.
  • a shaft member that reciprocates in the axial direction in the container, In the container, a bellows that expands and contracts as the shaft member reciprocates,
  • a pump chamber formed by a space surrounding the outer peripheral surface of the bellows,
  • a liquid supply system comprising: An inlet side check valve provided at a position to enter the pump chamber from the inlet, A check valve on the outlet side provided at a position where the pump chamber exits the outlet, Equipped with An annular partition having a portion that serves as the valve seat of one of the inlet-side check valve and the outlet-side check valve between the inlet-side check valve and the outlet-side check valve. It is characterized in that a member is provided.
  • a partition member is provided as a valve seat of one valve element of the inlet side check valve and the outlet side check valve, and as a member for partitioning the inlet port and the outlet space. Therefore, an increase in the number of parts can be suppressed. Therefore, the time spent for precooling can be shortened.
  • the partition member may have a portion that serves as a stopper for the other valve body of the suction port side check valve and the outlet side check valve.
  • the partition member functions not only as a valve seat but also as a stopper for the other valve body, so that an increase in the number of parts is suppressed, the time spent for precooling is shortened, and the other valve body is within a predetermined range. Since it can be operated inside, stable valve function can be achieved.
  • Both the suction port side check valve and the outlet side check valve may be composed of a plurality of annular members provided concentrically with the shaft member.
  • the partition member can be made into a compact shape, and the time spent for precooling can be shortened.
  • suction port side check valve and the outlet side check valve are arranged side by side in the axial direction at one place in the axial direction.
  • the inlet-side check valve and the outlet-side check valve are arranged side by side in the axial direction at one position in the axial direction, so that the piping structure can be prevented from becoming complicated. .. As a result, the total length of the pipe can be shortened. Therefore, the time spent for precooling can be shortened.
  • the bellows has a first bellows and a second bellows arranged side by side in the axial direction
  • the pump chamber has a first pump chamber formed by a space surrounding the outer peripheral surface of the first bellows and a second pump chamber formed by a space surrounding the outer peripheral surface of the second bellows.
  • the suction port side check valve is provided at a position where the first suction port side check valve is provided at a position where it enters the first pump chamber from the suction port, and a position where it is located at a position where it enters the second pump chamber from the suction port.
  • a second check valve provided on the side of the second suction port,
  • the ultra-low temperature liquid sucked from the suction port is configured to flow toward the pump chamber, and in the axial direction, the first suction port side check valve and the second suction port side check valve.
  • the suction port may be arranged within a range where the valve is arranged.
  • the outlet-side check valve is located at a position where the first pump chamber exits the outlet and a first outlet-side check valve is provided at a position where the first pump chamber exits the outlet. And a second check valve provided on the second outlet side,
  • the ultra-low temperature liquid delivered from the pump chamber is configured to flow toward the outlet, and in the axial direction, the first outlet side check valve and the second outlet side check valve
  • the outlet may be arranged within the range where the valve is arranged.
  • the time spent for precooling can be shortened.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a liquid supply system according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of main components in the liquid supply system according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is an enlarged schematic sectional view of the vicinity of the check valve according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic configuration diagram of the liquid supply system according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic configuration diagram of the liquid supply system according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a schematic configuration diagram of the liquid supply system according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a schematic configuration diagram of the liquid supply system according to the fifth embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a schematic configuration diagram of the liquid supply system according to the sixth embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a liquid supply system according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of main components in the liquid supply system according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is an enlarged schematic cross-sectional view of the vicinity of the check valve according to the first embodiment of the present invention.
  • the liquid supply system according to this embodiment can be suitably used, for example, to maintain a superconducting device in an ultra-low temperature state. That is, in superconducting equipment, it is necessary to constantly cool the superconducting coil and the like.
  • the device to be cooled is constantly cooled by constantly supplying an ultra-low temperature liquid (liquid nitrogen or liquid helium) to the device to be cooled provided with a superconducting coil or the like. More specifically, a circulation flow path that passes through the device to be cooled is provided, and by mounting the liquid supply system according to the present embodiment in this circulation flow path, the ultra low temperature liquid is circulated and the device to be cooled is always It becomes possible to cool. Further, as described in the background art, in the liquid supply system according to the present embodiment, the pump cannot be operated unless the flow path passing through the pump chamber is filled with the liquid.
  • an ultra-low temperature liquid liquid nitrogen or liquid helium
  • the flow path is cooled in advance by forcibly flowing an ultra-low temperature liquid through the flow path passing through the pump chamber.
  • the upper side is referred to as "one end side” and the lower side is referred to as “the other end side” in FIGS. 1 and 2.
  • the axial direction of the shaft member is hereinafter simply referred to as "axial direction”.
  • FIGS. 1 and 2 show a schematic configuration of the liquid supply system according to this embodiment
  • FIG. 2 shows a schematic cross-sectional view of the liquid supply system body in the liquid supply system according to this embodiment.
  • the liquid supply system 1 according to this embodiment includes a liquid supply system main body (hereinafter referred to as a system main body 10), a vacuum container 20 in which the system main body 10 is installed, and pipes (suction pipe 41 and delivery pipe 42). It has and. Both the suction pipe 41 and the delivery pipe 42 enter the inside of the vacuum container 20 from the outside of the vacuum container 20 and are connected to the system main body 10.
  • the inside of the vacuum container 20 is hermetically sealed, and the space outside the system main body 10, the suction pipe 41, and the delivery pipe 42 in the inside of the vacuum container 20 is maintained in a vacuum state. As a result, this space has a heat insulating function.
  • the liquid supply system 1 is usually installed on a horizontal plane. With the liquid supply system 1 installed, the upper part in FIGS. 1 and 2 is the upper part in the vertical direction, and the lower part in FIGS. 1 and 2 is the lower part in the vertical direction.
  • the system main body 10 includes a shaft member 100 that reciprocates in an axial direction (a vertical direction in this embodiment) by a linear actuator 30 serving as a drive source, and a container 200 having a pump chamber inside.
  • the linear actuator 30 is fixed at an arbitrary place, and the fixed place may be fixed to the container 200 or may be fixed to another place (not shown).
  • the shaft member 100 is installed so as to enter the inside of the container from the outside of the container 200 through the opening 211a provided in the ceiling portion 211 of the container 200.
  • the container 200 includes a ceiling-side body portion 210 provided with a ceiling portion 211, a bottom-side body portion 220 provided with a bottom portion 221, and a central portion provided between the ceiling-side body portion 210 and the bottom-side body portion 220. And a body portion 230.
  • the ceiling side body portion 210, the bottom side body portion 220, and the central body portion 230 all have an annular body portion.
  • the central body portion 230 is provided with an inward flange portion 231 for partitioning the space inside the container 200.
  • annular members to which the bellows are fixed are provided on both upper and lower sides of the inward flange portion integrally provided on the central body portion 230.
  • a portion including these pair of annular members and an inward flange portion integrally provided on the central body portion 230 is referred to as an inward flange portion 231.
  • the central body portion 230 is provided with a first through hole 232 and a second through hole 233 for guiding the ultra-low temperature liquid sucked from the suction pipe 41 into the pump chamber.
  • the first through hole 232 is provided on the ceiling side body portion 210 side of the inward flange portion 231 and the second through hole 233 is provided on the bottom side body portion 220 side of the inward flange portion 231.
  • the central body portion 230 is provided with a third through hole 234 and a fourth through hole 235 for sending out the ultra-low temperature liquid from the pump chamber toward the delivery pipe 42.
  • the third through hole 234 is provided on the ceiling side body portion 210 side of the inward flange portion 231 and the fourth through hole 235 is provided on the bottom side body portion 220 side of the inward flange portion 231.
  • flow passage forming members 240A and 240B for forming a flow passage are provided so as to face each other with the central body portion 230 interposed therebetween. That is, the first flow path for flowing the ultra-low temperature liquid sucked from the suction pipe 41 toward the first through hole 232 and the second through hole 233 between the flow path forming member 240A and the central body portion 230. R1 is formed, and a second for flowing the ultra-low temperature liquid sent out from the third through hole 234 and the fourth through hole 235 toward the delivery pipe 42 between the flow path forming member 240B and the central body portion 230.
  • the flow path R2 is formed.
  • a fifth through hole 241 from the first flow path R1 to the outer peripheral surface of the flow path forming member 240A is formed in the flow path forming member 240A, and the flow path forming member 240B flows from the second flow path R2.
  • a sixth through hole 242 leading to the outer peripheral surface of the road forming member 240 is formed.
  • the central body portion 230 is configured such that the vicinity of the upper end and the vicinity of the lower end are each formed by cylindrical portions, and a pair of portions notched in a plane is provided between the pair of cylindrical portions. Then, as described above, the pair of flow path forming members 240A and 240B are fixed to the pair of cutout portions, respectively.
  • a pipe connecting member 250A is provided on the outer periphery of the flow passage forming member 240A, and a pipe connecting member 250B is provided on the outer periphery of the flow passage forming member 240B.
  • the pipe connecting member 250A is provided with a suction port 251a
  • the pipe connecting member 250B is provided with a transmission port 251b.
  • the suction pipe 41 is connected to the suction port 251a
  • the delivery pipe 42 is connected to the delivery port 251b.
  • a cylindrical member 310 is provided concentrically with the shaft member 100.
  • a first annular protrusion 311 is provided at one end of the cylindrical member 310 so as to project radially outward
  • a second annular protrusion 312 is provided at the other end of the cylindrical member 310 and protrudes radially inward and fixed to the shaft member 100.
  • a third annular protruding portion 320 protruding outward in the radial direction is fixed to the other end of the shaft member 100.
  • the first annular protruding portion 311, the second annular protruding portion 312, and the third annular protruding portion 320 may be composed of a single member or may be composed of a plurality of members.
  • a first bellows 410 and a second bellows 420 that expand and contract with the reciprocating movement of the shaft member 100 are provided inside the container 200.
  • the first bellows 410 and the second bellows 420 are arranged side by side in the axial direction (vertical direction).
  • One end side of the first bellows 410 is fixed to the first annular protruding portion 311, and the other end side of the first bellows 410 is fixed to the inward flange portion 231.
  • one end side of the second bellows 420 is fixed to the inward flange portion 231, and the other end side of the second bellows 420 is fixed to the third annular protrusion 320.
  • the first pump chamber P1 is formed by the space surrounding the outer peripheral surface of the first bellows 410
  • the second pump chamber P2 is formed by the space surrounding the outer peripheral surface of the second bellows 420.
  • a third bellows 430 that expands and contracts with the reciprocating movement of the shaft member 100 is also provided inside the container 200.
  • One end side of the third bellows 430 is fixed to the ceiling portion 211 of the container 200, and the other end side of the third bellows 430 is fixed to the second annular protrusion 312. As a result, the opening 211a provided in the container 200 is closed.
  • the space between the outer peripheral surface of the first bellows 410 and the inner peripheral surface of the ceiling side body 210 and the space between the outer peripheral surface of the third bellows 430 and the inner peripheral surface of the cylindrical member 310 are connected.
  • the enclosed space formed by these functions as the first pump chamber P1.
  • the sealed space between the outer peripheral surface of the second bellows 420 and the inner peripheral surface of the bottom side body portion 220 functions as the second pump chamber P2.
  • check valves are provided inside the container 200. Hereinafter, these four check valves will be described. All of these four check valves are arranged coaxially with the shaft member 100 in the container 200. That is, the central axis of the shaft member 100 and the central axis of each check valve are designed to coincide with each other.
  • a first inlet side check valve 510A is provided at a position where it enters the first pump chamber P1 from the inlet 251a.
  • the first inlet-side check valve 510A plays a role of allowing the flow of fluid into the first pump chamber P1 and stopping the flow of fluid outside the first pump chamber P1.
  • a first outlet-side check valve 510B is provided at a position where the first pump chamber P1 exits to the outlet 251b.
  • the first check valve 510B on the delivery side has a role of allowing the flow of the fluid to the outside of the first pump chamber P1 and stopping the flow of the fluid to the inside of the first pump chamber P1.
  • a second inlet side check valve 510C is provided at a position where the second inlet chamber 251a enters the second pump chamber P2.
  • the second inlet check valve 510C plays a role of allowing the flow of fluid into the second pump chamber P2 and stopping the flow of fluid outside the second pump chamber P1.
  • a second outlet-side check valve 510D is provided at a position where the second pump chamber P2 exits the outlet 251b. The second outlet-side check valve 510D plays a role of allowing the fluid flow to the outside of the second pump chamber P2 and stopping the fluid flow to the inside of the second pump chamber P1.
  • These four check valves are axis lines. They are arranged side by side in the axial direction in one place in the direction. The four check valves are arranged side by side so as not to sandwich a space even if a member other than the constituent members constituting the check valve is interposed between the adjacent check valves. In this embodiment, four check valves are arranged side by side in the axial direction at one place in the center of the container 200 in the axial direction.
  • the first outlet side check valve 510B the first suction port side check valve 510A, the second outlet side check valve 510D, the second suction port.
  • the side check valves 510C are arranged side by side in this order.
  • a first inlet side check valve 510A, a first outlet side check valve 510B, a second inlet side check valve 510C and a second outlet side check valve 510D are arranged in the axial direction.
  • the above suction port 251a is arranged within the range.
  • a first inlet side check valve 510A, a first outlet side check valve 510B, a second inlet side check valve 510C and a second outlet side check valve 510D are arranged in the axial direction.
  • the above-mentioned delivery port 251b is arranged within the range.
  • the first check chamber P1 enters from the mouth side check valve 510A. Further, since the fluid pressure in the second pump chamber P2 becomes high, the check valve 510C on the second suction port side is closed and the check valve 510D on the second outlet side is open. As a result, the fluid in the second pump chamber P2 passes through the second check valve 510D on the outlet side, flows through the second flow path R2 from the fourth through hole 235, and passes through the sixth through hole 242 and the outlet 251b. It is sent to the delivery pipe 42 and sent to the outside of the liquid supply system 1.
  • the first bellows 410 is expanded and the second bellows 420 is contracted.
  • the check valve 510A on the first suction port side is closed and the check valve 510B on the first outlet side is open.
  • the fluid in the first pump chamber P1 passes through the first outlet-side check valve 510B, flows from the third through hole 234 to the second flow path R2, and flows through the sixth through hole 242 and the outlet 251b. Then, it is sent to the delivery pipe 42 and delivered to the outside of the liquid supply system 1.
  • the valve of the second inlet check valve 510C is opened and the valve of the second outlet check valve 510D is closed.
  • the fluid sent from the outside of the liquid supply system 1 through the suction pipe 41 passes through the fifth through hole 241 from the suction port 251a, passes through the first flow path R1, and passes through the second through hole 233 for the second suction It enters into the second pump chamber P2 from the mouth side check valve 510C.
  • the fluid can flow from the suction pipe 41 side to the delivery pipe 42 side both when the shaft member 100 descends and when it rises. Therefore, so-called pulsation can be suppressed.
  • the first suction port side check valve 510A, the first inlet side check valve 510B, the second suction port side check valve 510C, and the second inlet side check valve 510D are all concentric with the shaft member 100. It is composed of a plurality of annular members provided.
  • the structure of the part where the first suction port side check valve 510A and the first outlet side check valve 510B are provided, and the second suction port side check valve 510C and the second inlet side check valve 510D are provided.
  • the structure of the part is similar. Therefore, in this embodiment, the former structure will be described in detail, and the description of the latter structure will be omitted.
  • the first suction port side check valve 510A and the first outlet side check valve 510B are provided in the cross-sectional view obtained by cutting the system main body 10 on the surface including the central axis of the shaft member 100.
  • the schematic sectional drawing which expanded the structure of the part which shows is shown.
  • the left side is the central axis side.
  • the first outlet side check valve 510B is provided on one side (upper side) via the annular first partition member 520, and the first suction port side check valve is provided on the other side (lower side).
  • a valve 510A is provided.
  • the first suction port side check valve 510A includes an annular valve body 511A and an auxiliary valve body 512A provided above the valve body 511A.
  • the valve body 511A is configured to rise from the outside in the radial direction while receiving the pressure of the fluid flowing on the central axis side of the shaft member 100 and in the horizontal direction to open the valve.
  • the valve body 511A includes a cylindrical portion 511Aa, an inward flange portion 511Ab provided on the lower end side of the cylindrical portion 511Aa, and an inward flange portion 511Ac provided on the upper end side of the cylindrical portion 511Aa.
  • the valve body 511A is configured to be reciprocally movable in the axial direction by a guide member 513A which is provided concentrically with the valve body 511A and whose inner diameter is slightly larger than the outer diameter of the cylindrical portion 511Aa.
  • a fluid flow path 513Aa is provided below the guide member 513A.
  • a curved surface (so-called R surface) is provided on the outer peripheral surface side of the boundary portion between the cylindrical portion 511Aa and the inward flange portion 511Ab.
  • the sub-valve body 512A is composed of a disk-shaped member having a through hole in the center.
  • a first stopper 522 is provided on the lower surface of the first partition member 520. The first stopper 522 limits the amount of upward movement of the valve body 511A and the sub-valve body 512A.
  • the upper end surface of the valve body 511A and the upper end surface of the guide member 513A are designed to have the same height when the valve body 511A is seated on the annular member 514A. Therefore, when the valve is closed by the first suction port side check valve 510A, the auxiliary valve body 512A is in contact with both the upper end surface of the valve body 511A and the upper end surface of the guide member 513A.
  • valve structure configured as described above will be explained.
  • the fluid pressure on the upstream side becomes higher than that on the downstream side of the flow path through the valve body 511A and the sub valve body 512A, and the differential pressure between them exceeds the total weight of the valve body 511A and the sub valve body 512A,
  • These valve bodies 511A and sub-valve bodies 512A rise.
  • the valve is opened, and the fluid flows from the outside in the radial direction to the central axis side of the shaft member 100 and in the horizontal direction through the flow path 513Aa.
  • the valve body 511A and the sub-valve body 512A are lowered by receiving their own weight or the fluid pressure from above. As a result, the valve is closed.
  • the sub-valve body 512A is in contact with both the upper end surface of the valve body 511A and the upper end surface of the guide member 513A. It is configured.
  • the responsiveness of opening and closing the valve can be improved.
  • the reason for this is, for example, that it is known as disclosed in International Publication No. 2015/050091, and the details thereof will be omitted, but the momentum of the fluid acting on the valve body 511A can be reduced.
  • the valve since the valve is closed in two stages of the valve body 511A and the sub-valve body 512A, it is possible to suppress water hammer due to backflow when the valve is closed. This is because the valve body 511A throttles the reverse flow rate, and then the auxiliary valve body 512A completely closes the valve.
  • the first outlet-side check valve 510B includes an annular valve body 511B and an auxiliary valve body 512B provided above the valve body 511B.
  • the valve body 511B is configured to rise while receiving the pressure of the fluid flowing radially outward and in the horizontal direction from the central axis side of the shaft member 100 to open the valve.
  • the valve body 511B includes a cylindrical portion 511Ba, an outward flange portion 511Bb provided on the lower end side of the cylindrical portion 511Ba, and an outward flange portion 511Bc provided on the upper end side of the cylindrical portion 511Ba.
  • the valve body 511B is configured to be reciprocally movable in the axial direction by a guide member 513B which is provided concentrically with the valve body 511B and whose outer diameter is slightly smaller than the inner diameter of the cylindrical portion 511Ba.
  • a fluid flow path 513Ba is provided below the guide member 513B.
  • a curved surface (so-called R surface) is provided on the inner peripheral surface side of the boundary portion between the cylindrical portion 511Ba and the outward flange portion 511Bb. Thereby, the fluid flowing radially outward and horizontally from the central axis side of the shaft member 100 can flow into the downward direction of the outward flange portion 511Bb.
  • the first partition member 520 provided below the valve body 511B is provided with a valve seat portion 521 on which the valve body 511B is seated.
  • the sub-valve body 512B is composed of a disk-shaped member having a through hole at the center.
  • a third stopper 514B that restricts the upward movement amount of the valve body 511B and the sub valve body 512B is provided above the sub valve body 512B.
  • the valve body 511B is seated on the valve seat portion 521 of the first partition member 520, the upper end surface of the valve body 511B and the upper end surface of the guide member 513B are designed to have the same height. Therefore, when the valve is closed by the first delivery-side check valve 510B, the auxiliary valve body 512B is in contact with both the upper end surface of the valve body 511B and the upper end surface of the guide member 513B.
  • valve structure configured as described above will be explained.
  • the fluid pressure on the upstream side becomes higher than that on the downstream side of the flow path, and when the pressure difference between them exceeds the total weight of the valve body 511B and the sub valve body 512B,
  • These valve bodies 511B and sub-valve bodies 512B rise.
  • the valve is opened, and the fluid flows radially outward and horizontally from the central axis side of the shaft member 100 through the flow path 513Ba.
  • the valve body 511B and the sub-valve body 512B are lowered by receiving their own weight or the fluid pressure from above. As a result, the valve is closed.
  • the auxiliary valve body 512B is in contact with both the upper end surface of the valve body 511B and the upper end surface of the guide member 513B. Is configured. According to the valve structure configured as described above, the responsiveness of opening and closing the valve can be improved and the valve is closed when the valve is closed, as in the case of the first suction port side check valve 510A. Water hammer due to backflow can be suppressed.
  • the second outlet side check valve 510D is provided on one side (upper side) via the annular second partition member 530, and the second suction port side is provided on the other side (lower side).
  • a check valve 510C is provided (see FIG. 2).
  • the structure of the portion where the second suction port side check valve 510C and the second outlet side check valve 510D are provided is the structure of the first suction port side check valve 510A and the first outlet side check valve. The structure is the same as that of the portion where the valve 510B is provided, and therefore its description is omitted.
  • the check valve 510D on the outlet side has a configuration in which the check valve 510D) is arranged side by side in the axial direction at one place in the axial direction. It should be noted that four check valves are arranged side by side so as not to sandwich a space even if members other than the constituent members of the check valve are interposed between the adjacent check valves.
  • the first outlet side check valve 510B, the first suction port side check valve 510A, and the second outlet side check valve 510D and the second suction port side check valve 510C are arranged side by side in this order.
  • the first partition member 520 provided between the first outlet-side check valve 510B and the first suction port-side check valve 510A is the first inlet-side check valve 510B and the first suction port-side check valve 510A. It is provided so as to be in contact with both stop valves 510A.
  • the inward flange portion 231 provided between the first suction port side check valve 510A and the second outlet side check valve 510D is formed between the first suction port side check valve 510A and the second outlet side check valve 510D. It is provided so as to be in contact with both stop valves 510D.
  • the second partition member 530 provided between the second outlet side check valve 510D and the second suction port side check valve 510C is a second inlet side check valve 510D and the second suction port side reverse. It is provided so as to be in contact with both stop valves 510C. Therefore, it is possible to prevent the piping structure from becoming complicated. As a result, the total length of the pipe can be shortened. Therefore, the time spent for precooling can be shortened.
  • the suction port 251a is arranged within the range in which the above four check valves are arranged in the axial direction, the pump chambers (first pump chamber P1 and second pump chamber P2) are arranged from the suction port 251a. It is possible to shorten the flow path leading to. As a result, the time spent for precooling can be shortened.
  • the delivery port 251b is arranged in the axial direction within the range in which the four check valves are disposed, the flow path from the pump chamber to the delivery port 251b can be shortened. As a result, the time spent for precooling can be shortened.
  • first partition member 520 On the first partition member 520, the valve seat portion 521 on which the valve body 511B of the first delivery port side check valve 510B is seated, and the valve body 511A and the auxiliary valve body 512A of the first suction port side check valve 510A.
  • a first stopper 522 is provided to limit the amount of movement of the above. In this way, by giving one member (first partition member 520) two functions, it is possible to suppress an increase in the number of parts. Therefore, the time spent for precooling can be shortened. The same applies to the second partition member 530.
  • Embodiment 2 of the present invention is shown in FIG.
  • four check valves first suction port side check valve, first outlet side check valve, second suction port side check valve, and second outlet side check valve.
  • the order in which the order is different from that of the first embodiment will be described. Since other configurations and operations are the same as those in the first embodiment, the same components are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 4 is a schematic configuration diagram of the liquid supply system according to the second embodiment of the present invention.
  • four check valves (the first inlet side check valve 510A1, the first outlet side check valve 510B1, the second inlet side check valve 510C1 and the second outlet side check valve) are provided.
  • 510D1) is arranged in one axial direction side by side in the axial direction.
  • the four check valves are arranged side by side so as not to sandwich a space even if a member other than the constituent members constituting the check valve is interposed between the adjacent check valves.
  • four check valves are arranged side by side in the axial direction at one place in the center of the container 200 in the axial direction.
  • the check valve 510C on the suction port side and the check valve 510D1 on the second outlet side are arranged side by side in this order.
  • FIG. 5 shows a third embodiment of the present invention.
  • four check valves first inlet side check valve, first outlet side check valve, second inlet side check valve and second outlet side check valve.
  • the order in which the order is different from that of the first embodiment will be described. Since other configurations and operations are the same as those in the first embodiment, the same components are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a liquid supply system according to a third embodiment of the present invention.
  • the four check valves (the first inlet-side check valve 510A2, the first outlet-side check valve 510B2, the second inlet-side check valve 510C2, and the second outlet-side check valve) are used.
  • 510D22) is arranged in one axial direction side by side in the axial direction.
  • the four check valves are arranged side by side so as not to sandwich a space even if a member other than the constituent members constituting the check valve is interposed between the adjacent check valves.
  • four check valves are arranged side by side in the axial direction at one place in the center of the container 200 in the axial direction.
  • the delivery side check valve 510D2 and the second suction side check valve 510C2 are arranged side by side in this order.
  • FIG. 6 shows Example 4 of the present invention.
  • four check valves first inlet side check valve, first outlet side check valve, second inlet side check valve and second outlet side check valve.
  • the order in which the order is different from that of the first embodiment will be described. Since other configurations and operations are the same as those in the first embodiment, the same components are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 6 is a schematic configuration diagram of the liquid supply system according to the fourth embodiment of the present invention.
  • the four check valves (the first inlet-side check valve 510A3, the first outlet-side check valve 510B3, the second inlet-side check valve 510C3, and the second outlet-side check valve) are used.
  • 510D3) is arranged in one axial direction side by side in the axial direction.
  • the four check valves are arranged side by side so as not to sandwich a space even if a member other than the constituent members constituting the check valve is interposed between the adjacent check valves.
  • four check valves are arranged side by side in the axial direction at one place in the center of the container 200 in the axial direction.
  • the first outlet-side check valve 510B3, the first inlet-side check valve 510A3, the second The check valve 510C3 on the suction port side and the check valve 510D3 on the second outlet side are arranged side by side in this order.
  • FIG. 7 shows a fifth embodiment of the present invention.
  • four check valves first suction port side check valve, first outlet side check valve, second suction port side check valve, and second outlet side check valve
  • the configuration when the position is different from that of the first embodiment is shown. Since other configurations and operations are the same as those in the first embodiment, the same components are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 7 is a schematic configuration diagram of the liquid supply system according to the fifth embodiment of the present invention.
  • the four check valves (the first inlet-side check valve 510A4, the first outlet-side check valve 510B4, the second inlet-side check valve 510C4, and the second outlet-side check valve) are used.
  • 510D4) is arranged in one axial direction side by side in the axial direction.
  • the four check valves are arranged side by side so as not to sandwich a space even if a member other than the constituent members constituting the check valve is interposed between the adjacent check valves.
  • check valves are arranged side by side in the axial direction at one location biased to one end side in the axial direction of the container 200.
  • the first outlet-side check valve 510B4, the first suction-side check valve 510A4, the second The delivery-side check valve 510D4 and the second suction-side check valve 510C4 are arranged side by side in this order.
  • the configuration other than the valve structure is the same as the configuration in the first embodiment, the description thereof is omitted. Needless to say, the same effect as that of the first embodiment can be obtained with respect to the liquid supply system according to the present embodiment configured as described above. It goes without saying that the order of the check valves is not limited to the above order, and any of the above Examples 2 to 4 may be applied.
  • Embodiment 6 of the present invention is shown in FIG.
  • four check valves first suction port side check valve, first outlet side check valve, second suction port side check valve, and second outlet side check valve
  • the configuration when the position is different from that of the first embodiment is shown. Since other configurations and operations are the same as those in the first embodiment, the same components are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
  • FIG. 8 is a schematic configuration diagram of the liquid supply system according to the sixth embodiment of the present invention. Also in this embodiment, four check valves (the first inlet side check valve 510A5, the first outlet side check valve 510B5, the second inlet side check valve 510C5, and the second outlet side check valve) are used. 510D5) are arranged in one axial direction side by side in the axial direction. The four check valves are arranged side by side so as not to sandwich a space even if a member other than the constituent members constituting the check valve is interposed between the adjacent check valves.
  • check valves are arranged side by side in the axial direction at one location biased to the other end side in the axial direction of the container 200.
  • the first outlet-side check valve 510B5 from the one end side to the other end side, the first outlet-side check valve 510B5, the first suction-side check valve 510A5, the second The check valves on the outlet side 510D5 and the check valves on the second suction port side 510C5 are arranged side by side in this order.
  • the configuration other than the valve structure is the same as the configuration in the first embodiment, the description thereof is omitted. Needless to say, the same effect as that of the first embodiment can be obtained with respect to the liquid supply system according to the present embodiment configured as described above. It goes without saying that the order of the check valves is not limited to the above order, and any of the above Examples 2 to 4 may be applied.

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Abstract

予冷に費やす時間を短くすることができる液体供給システムを提供する。　吸入口２５１ａから第１ポンプ室Ｐ１内に入っていく位置に設けられる第１吸入口側逆止弁５１０Ａと、第１ポンプ室Ｐ１から送出口２５１ｂに出ていく位置に設けられる第１送出口側逆止弁５１０Ｂと、吸入口２５１ａから第２ポンプ室Ｐ２内に入っていく位置に設けられる第２吸入口側逆止弁５１０Ｃと、第２ポンプ室Ｐ２から送出口２５１ｂに出ていく位置に設けられる第２送出口側逆止弁５１０Ｄと、を備え、第１吸入口側逆止弁５１０Ａと第１送出口側逆止弁５１０Ｂと第２吸入口側逆止弁５１０Ｃと第２送出口側逆止弁５１０Ｄは、軸線方向の一か所に該軸線方向に並べて配置されていることを特徴とする。

Description

液体供給システム
　本発明は、超低温液体を供給する液体供給システムに関する。
　循環流路に対して液体窒素や液体ヘリウムなどの超低温液体を循環させるために、ベローズにより形成されたポンプ室を有する液体供給システムを利用した技術が知られている（特許文献１参照）。このような液体供給システムにおいては、ポンプ室を通る流路が液体により満たされていないとポンプを動作させることはできない。従って、最初の起動時やメンテナンス後の起動時においては、予冷を行うことで、超低温液体が流路内で気化してしまわないようにする必要がある。そこで、液体供給システムを起動する前に、ポンプ室を通る流路に対して、超低温液体を強制的に流すことによって、当該流路を予め冷却している。
　そして、本出願人は、予冷に費やす時間を短くする技術を既に提案している（特許文献２参照）。しかしながら、当該技術においても、配管の構造が複雑で、配管の全長が長くなってしまい、その分だけ予冷に費やす時間が必要になってしまう。従って、未だ、改善の余地が残されている。
国際公開第２０１６／００６６４８号 国際公開第２０１８／１４３４１９号
　本発明の目的は、予冷に費やす時間を短くすることができる液体供給システムを提供することにある。
　本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
　すなわち、本発明の液体供給システムは、
　内部にポンプ室が備えられ、かつ超低温液体の吸入口及び送出口が設けられている容器と、
　前記容器内において軸線方向に往復移動する軸部材と、
　前記容器内において、前記軸部材の往復移動に伴って伸縮するベローズと、
　ベローズの外周面を囲む空間により形成されるポンプ室と、
　を備える液体供給システムであって、
　前記吸入口からポンプ室内に入っていく位置に設けられる吸入口側逆止弁と、
　ポンプ室から前記送出口に出ていく位置に設けられる送出口側逆止弁と、
　を備え、
　吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁との間には、吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁のうちの一方の弁体の弁座となる部分を有する環状の仕切部材が設けられていることを特徴とする。
　本発明によれば、吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁のうちの一方の弁体の弁座であり、かつ、吸入口と送出口空間とを仕切る部材として仕切部材が設けられるため、部品点数の増加を抑制することができる。従って、予冷に費やす時間を短くすることができる。
　前記仕切部材は、吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁のうちの他方の弁体のストッパとなる部分を有するとよい。
　これにより、仕切部材が弁座だけでなく、他方の弁体のストッパとしても機能するため、部品点数の増加を抑制し、予冷に費やす時間を短くし、かつ、他方の弁体を所定の範囲内で作動させることができるため、安定した弁機能を達成できる。
　吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁は、いずれも前記軸部材と同心的に設けられる複数の環状の部材により構成されているとよい。
　これにより、仕切り部材をコンパクトな形状とすることができ、予冷に費やす時間を短くすることができる。
　吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁は、前記軸線方向の一か所に該軸線方向に並べて配置されているとよい。
　これにより、吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁は、軸線方向の一か所に該軸線方向に並べて配置されているので、配管構造が複雑化してしまうことを抑制することができる。これにより、配管の全長を短くすることができる。従って、予冷に費やす時間を短くすることができる。
　前記ベローズは、前記軸線方向に並べて配置される第１ベローズと第２ベローズとを有し、
　前記ポンプ室は前記第１ベローズの外周面を囲む空間により形成される第１ポンプ室と、前記第２ベローズの外周面を囲む空間により形成される第２ポンプ室とを有し、
　前記吸入口側逆止弁は前記吸入口から前記第１ポンプ室内に入っていく位置に設けられる第１吸入口側逆止弁と、前記吸入口から前記第２ポンプ室内に入っていく位置に設けられる第２吸入口側逆止弁とを有し、
　前記吸入口から吸入された超低温液体は、前記ポンプ室に向けて流れて行くように構成されており、かつ、前記軸線方向において、第１吸入口側逆止弁と第２吸入口側逆止弁が配置されている範囲内に前記吸入口が配されているとよい。
　これにより、吸入口からポンプ室に至る流路を短くすることができる。これにより、予冷に費やす時間を短くすることができる。
　前記送出口側逆止弁は前記第１ポンプ室から前記送出口に出ていく位置に設けられる第１送出口側逆止弁と、前記第２ポンプ室から前記送出口に出ていく位置に設けられる第２送出口側逆止弁とを有し、
　前記ポンプ室から送出された超低温液体は、前記送出口に向けて流れて行くように構成されており、かつ、前記軸線方向において、第１送出口側逆止弁と第２送出口側逆止弁が配置されている範囲内に前記送出口が配されているとよい。
　これにより、ポンプ室から送出口に至る流路を短くすることができる。これにより、予冷に費やす時間を短くすることができる。
　なお、上記各構成は、可能な限り組み合わせて採用し得る。
　以上説明したように、本発明によれば、予冷に費やす時間を短くすることができる。
図１は本発明の実施例１に係る液体供給システムの概略構成図である。 図２は本発明の実施例１に係る液体供給システムにおける主要構成部の模式的断面図である。 図３は本発明の実施例１に係る逆止弁付近を拡大した模式的断面図である。 図４は本発明の実施例２に係る液体供給システムの概略構成図である。 図５は本発明の実施例３に係る液体供給システムの概略構成図である。 図６は本発明の実施例４に係る液体供給システムの概略構成図である。 図７は本発明の実施例５に係る液体供給システムの概略構成図である。 図８は本発明の実施例６に係る液体供給システムの概略構成図である。
　以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
　（実施例１）
　図１～図３を参照して、本発明の実施例１に係る液体供給システムについて説明する。図１は本発明の実施例１に係る液体供給システムの概略構成図である。図２は本発明の実施例１に係る液体供給システムにおける主要構成部の模式的断面図である。図３は本発明の実施例１に係る逆止弁付近を拡大した模式的断面図である。本実施例に係る液体供給システムは、例えば、超電導機器を超低温状態に維持させるために好適に用いることができる。すなわち、超電導機器においては、超電導コイルなどを常時冷却させる必要がある。そこで、超電導コイルなどが備えられた被冷却装置に超低温液体（液体窒素や液体ヘリウム）を常時供給することで、被冷却装置は常時冷却される。より具体的には、被冷却装置を通る循環流路を設け、かつ、この循環流路中に本実施例に係る液体供給システムを取り付けることにより、超低温液体を循環させて、被冷却装置を常時冷却させることが可能となる。また、背景技術で説明した通り、本実施例に係る液体供給システムにおいては、ポンプ室を通る流路が液体により満たされていないとポンプを動作させることはできない。そのため、最初の起動時やメンテナンス後の起動時においては、予冷を行うことで、超低温液体が流路内で気化してしまわないようにする必要がある。そこで、液体供給システムを起動する前に、ポンプ室を通る流路に対して、超低温液体を強制的に流すことによって、当該流路を予め冷却している。なお、以下の説明において、便宜上、軸部材における軸線方向において、図１及び図２中、上方側を「一端側」と称し、下方側を「他端側」と称する。また、軸部材における軸線方向について、以下、単に「軸線方向」と称する。
　＜液体供給システムの全体構成＞
　図１及び図２を参照して、本発明の実施例に係る液体供給システム全体の構成について説明する。なお、図１は本実施例に係る液体供給システムの概略構成を示しており、図２は本実施例に係る液体供給システムにおける液体供給システム本体の模式的断面図を示している。本実施例に係る液体供給システム１は、液体供給システム本体（以下、システム本体１０と称する）と、システム本体１０が内部に設置される真空容器２０と、配管（吸入管４１及び送出管４２）とを備えている。吸入管４１及び送出管４２は、いずれも真空容器２０の外部から真空容器２０の内部に入り込み、システム本体１０に接続されている。真空容器２０の内部は密閉されており、真空容器２０の内部のうち、システム本体１０，吸入管４１及び送出管４２の外側の空間は真空状態が維持されている。これにより、この空間は断熱機能を備えている。液体供給システム１は、通常、水平面上に設置される。液体供給システム１が設置された状態において、図１及び図２における上方が鉛直方向上方となり、図１及び図２における下方が鉛直方向下方となる。
　システム本体１０は、駆動源となるリニアアクチュエータ３０により軸線方向（本実施例においては鉛直方向）に往復移動する軸部材１００と、内部にポンプ室が備えられている容器２００とを備えている。なお、リニアアクチュエータ３０は任意の箇所に固定され、固定される箇所は容器２００に固定されていてもよいし、他の図示しない箇所に固定されていてもよい。軸部材１００は、容器２００の外部から、容器２００の天井部２１１に設けられた開口部２１１ａを介して容器内部に入り込むように設置されている。
　容器２００は、天井部２１１が設けられる天井部側胴体部２１０と、底部２２１が設けられる底部側胴体部２２０と、これら天井部側胴体部２１０と底部側胴体部２２０との間に設けられる中央胴体部２３０とを備えている。これら天井部側胴体部２１０と底部側胴体部２２０と中央胴体部２３０は、いずれも環状の胴体部を有している。
　中央胴体部２３０には、容器２００の内部の空間を区画するための内向きフランジ部２３１が設けられている。なお、本実施例においては、中央胴体部２３０に一体に設けられた内向きフランジ部の上下の両側に、それぞれベローズが固定される環状の部材が設けられている。以下の説明においては、これら一対の環状の部材と、中央胴体部２３０に一体に設けられた内向きフランジ部とを含めた部分を、内向きフランジ部２３１と称する。また、この中央胴体部２３０には、吸入管４１から吸入された超低温液体をポンプ室内に導くための第１貫通孔２３２及び第２貫通孔２３３が設けられている。第１貫通孔２３２は内向きフランジ部２３１よりも天井部側胴体部２１０側に設けられ、第２貫通孔２３３は内向きフランジ部２３１よりも底部側胴体部２２０側に設けられている。更に、中央胴体部２３０には、ポンプ室から送出管４２に向けて超低温液体を送り出すための第３貫通孔２３４及び第４貫通孔２３５が設けられている。第３貫通孔２３４は内向きフランジ部２３１よりも天井部側胴体部２１０側に設けられ、第４貫通孔２３５は内向きフランジ部２３１よりも底部側胴体部２２０側に設けられている。
　また、中央胴体部２３０の外周には、流路を形成するための流路形成部材２４０Ａ，２４０Ｂが、中央胴体部２３０を挟んで対向して設けられている。すなわち、この流路形成部材２４０Ａと中央胴体部２３０との間には、吸入管４１から吸入された超低温液体を第１貫通孔２３２と第２貫通孔２３３に向けて流すための第１流路Ｒ１が形成され、流路形成部材２４０Ｂと中央胴体部２３０との間には、第３貫通孔２３４と第４貫通孔２３５から送り出された超低温液体を送出管４２に向けて流すための第２流路Ｒ２が形成されている。そして、流路形成部材２４０Ａには、第１流路Ｒ１から流路形成部材２４０Ａの外周面に至る第５貫通孔２４１が形成され、流路形成部材２４０Ｂには、第２流路Ｒ２から流路形成部材２４０の外周面に至る第６貫通孔２４２が形成されている。なお、中央胴体部２３０は、上端付近と下端付近がそれぞれ円筒形状部分により構成されており、これら一対の円筒形状部分の間に、平面状に切り欠かれた部分を一対備える構成である。そして、これら一対の切り欠かれた部分に、上記のように、一対の流路形成部材２４０Ａ，２４０Ｂがそれぞれ固定されている。
　更に、流路形成部材２４０Ａの外周には、配管接続部材２５０Ａが設けられ、流路形成部材２４０Ｂの外周には、配管接続部材２５０Ｂが設けられている。この配管接続部材２５０Ａには、吸入口２５１ａが設けられ、配管接続部材２５０Ｂには、送出口２５１ｂが設けられている。吸入口２５１ａには吸入管４１が接続され、送出口２５１ｂには送出管４２が接続される。
　次に、容器２００の内部の構成について説明する。容器２００の内部においては、軸部材１００と同心的に、円筒状部材３１０が設けられている。この円筒状部材３１０の一端側には径方向外側に突出する第１環状突出部３１１が設けられ、他端側には径方向内側に突出し、軸部材１００に固定される第２環状突出部３１２が設けられている。また、軸部材１００の他端側には径方向外側に突出した第３環状突出部３２０が固定されている。なお、第１環状突出部３１１，第２環状突出部３１２及び第３環状突出部３２０については、単一の部材により構成してもよいし、複数の部材により構成してもよい。
　また、容器２００の内部には、軸部材１００の往復移動に伴って伸縮する第１ベローズ４１０及び第２ベローズ４２０が設けられている。これらの第１ベローズ４１０及び第２ベローズ４２０は、軸線方向（鉛直方向）に並べて配置されている。第１ベローズ４１０の一端側は第１環状突出部３１１に固定されており、第１ベローズ４１０の他端側は内向きフランジ部２３１に固定されている。また、第２ベローズ４２０の一端側は内向きフランジ部２３１に固定されており、第２ベローズ４２０の他端側は第３環状突出部３２０に固定されている。そして、第１ベローズ４１０の外周面を囲む空間により第１ポンプ室Ｐ１が形成されており、第２ベローズ４２０の外周面を囲む空間により第２ポンプ室Ｐ２が形成されている。
　また、容器２００の内部には、軸部材１００の往復移動に伴って伸縮する第３ベローズ４３０も設けられている。第３ベローズ４３０の一端側は容器２００の天井部２１１に固定されており、第３ベローズ４３０の他端側は第２環状突出部３１２に固定されている。これにより、容器２００に設けられた開口部２１１ａが塞がれている。
　そして、第１ベローズ４１０の外周面と天井部側胴体部２１０の内周面との間の空間と、第３ベローズ４３０の外周面と円筒状部材３１０の内周面との間の空間は繋がっており、これらによって形成される密閉空間が第１ポンプ室Ｐ１として機能する。また、第２ベローズ４２０の外周面と底部側胴体部２２０の内周面との間の密閉空間が第２ポンプ室Ｐ２として機能する。
　更に、容器２００の内部には、４つの逆止弁が設けられている。以下、これら４つの逆止弁について説明する。これら４つの逆止弁は、いずれも、容器２００内において、軸部材１００と同軸上に配置されている。つまり、軸部材１００の中心軸線と各逆止弁の中心軸線が一致するように設計されている。
　吸入口２５１ａから第１ポンプ室Ｐ１内に入っていく位置に第１吸入口側逆止弁５１０Ａが設けられている。この第１吸入口側逆止弁５１０Ａは、第１ポンプ室Ｐ１内への流体の流れを許容し、第１ポンプ室Ｐ１外への流体の流れを止める役割を担っている。また、第１ポンプ室Ｐ１から送出口２５１ｂに出ていく位置に第１送出口側逆止弁５１０Ｂが設けられている。この第１送出口側逆止弁５１０Ｂは、第１ポンプ室Ｐ１外への流体の流れを許容し、第１ポンプ室Ｐ１内への流体の流れを止める役割を担っている。また、吸入口２５１ａから第２ポンプ室Ｐ２内に入っていく位置に第２吸入口側逆止弁５１０Ｃが設けられている。この第２吸入口側逆止弁５１０Ｃは、第２ポンプ室Ｐ２内への流体の流れを許容し、第２ポンプ室Ｐ１外への流体の流れを止める役割を担っている。更に、第２ポンプ室Ｐ２から送出口２５１ｂに出ていく位置に第２送出口側逆止弁５１０Ｄが設けられている。この第２送出口側逆止弁５１０Ｄは、第２ポンプ室Ｐ２外への流体の流れを許容し、第２ポンプ室Ｐ１内への流体の流れを止める役割を担っている。
　これら４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁５１０Ａと第１送出口側逆止弁５１０Ｂと第２吸入口側逆止弁５１０Ｃと第２送出口側逆止弁５１０Ｄ）は、軸線方向の一か所に、軸線方向に並べて配置されている。隣り合う逆止弁の間には、逆止弁を構成する構成部材以外の部材が介在されていても、空間を挟まないように、４つの逆止弁は並べて配置されている。本実施例においては、容器２００における軸線方向の中央の一か所に、４つの逆止弁が軸線方向に並べて配置されている。より具体的には、一端側から他端側に向かって、第１送出口側逆止弁５１０Ｂ，第１吸入口側逆止弁５１０Ａ，第２送出口側逆止弁５１０Ｄ，第２吸入口側逆止弁５１０Ｃの順に並べて配置されている。
　また、軸線方向において、第１吸入口側逆止弁５１０Ａと第１送出口側逆止弁５１０Ｂと第２吸入口側逆止弁５１０Ｃと第２送出口側逆止弁５１０Ｄが配置されている範囲内に、上記の吸入口２５１ａが配されている。更に、軸線方向において、第１吸入口側逆止弁５１０Ａと第１送出口側逆止弁５１０Ｂと第２吸入口側逆止弁５１０Ｃと第２送出口側逆止弁５１０Ｄが配置されている範囲内に、上記の送出口２５１ｂが配されている。
　＜液体供給システム全体の動作説明＞
　液体供給システム全体の動作について説明する。リニアアクチュエータ３０によって、軸部材１００が他端側に移動（本実施例では下降）する際においては、第１ベローズ４１０は縮み、第２ベローズ４２０は伸びる。このとき、第１ポンプ室Ｐ１の流体圧力は低くなるため、第１吸入口側逆止弁５１０Ａは弁が開き、第１送出口側逆止弁５１０Ｂは弁が閉じた状態となる。これにより、液体供給システム１の外部から吸入管４１により送られる流体は、吸入口２５１ａから第５貫通孔２４１を抜けて第１流路Ｒ１を通り、第１貫通孔２３２を通って第１吸入口側逆止弁５１０Ａから第１ポンプ室Ｐ１に入っていく。また、第２ポンプ室Ｐ２の流体圧力は高くなるため、第２吸入口側逆止弁５１０Ｃは弁が閉じ、第２送出口側逆止弁５１０Ｄは弁が開いた状態となる。これにより、第２ポンプ室Ｐ２内の流体は、第２送出口側逆止弁５１０Ｄを通り抜けて、第４貫通孔２３５から第２流路Ｒ２を流れ、第６貫通孔２４２及び送出口２５１ｂを通って、送出管４２へ送られて、液体供給システム１の外部へと送出される。
　そして、リニアアクチュエータ３０によって、軸部材１００が一端側に移動（本実施例では上昇）する際においては、第１ベローズ４１０は伸び、第２ベローズ４２０は縮む。このとき、第１ポンプ室Ｐ１の流体圧力は高くなるため、第１吸入口側逆止弁５１０Ａは弁が閉じ、第１送出口側逆止弁５１０Ｂは弁が開いた状態となる。これにより、第１ポンプ室Ｐ１内の流体は、第１送出口側逆止弁５１０Ｂを通り抜けて、第３貫通孔２３４から第２流路Ｒ２を流れ、第６貫通孔２４２及び送出口２５１ｂを通って、送出管４２へ送られて、液体供給システム１の外部へと送出される。また、第２ポンプ室Ｐ２の流体圧力は低くなるため、第２吸入口側逆止弁５１０Ｃは弁が開き、第２送出口側逆止弁５１０Ｄは弁が閉じた状態となる。これにより、液体供給システム１の外部から吸入管４１により送られる流体は、吸入口２５１ａから第５貫通孔２４１を抜けて第１流路Ｒ１を通り、第２貫通孔２３３を通って第２吸入口側逆止弁５１０Ｃから第２ポンプ室Ｐ２に入っていく。
　以上のように、本実施例に係る液体供給システム１においては、軸部材１００が下降する際及び上昇する際のいずれにおいても、吸入管４１側から送出管４２側に流体を流すことができる。従って、いわゆる脈動を抑制することができる。
　＜逆止弁＞
　特に、図３を参照して、本実施例に係る逆止弁について、より詳細に説明する。第１吸入口側逆止弁５１０Ａと第１送出口側逆止弁５１０Ｂと第２吸入口側逆止弁５１０Ｃと第２送出口側逆止弁５１０Ｄは、いずれも軸部材１００と同心的に設けられる複数の環状の部材により構成されている。第１吸入口側逆止弁５１０Ａと第１送出口側逆止弁５１０Ｂが設けられている部分の構造と、第２吸入口側逆止弁５１０Ｃと第２送出口側逆止弁５１０Ｄが設けられている部分の構造は同様である。そこで、本実施例においては、前者の構造について詳細に説明し、後者の構造については、その説明を省略する。図３においては、軸部材１００の中心軸線を含む面で、システム本体１０を切断した断面図のうち、第１吸入口側逆止弁５１０Ａと第１送出口側逆止弁５１０Ｂが設けられている部分の構造を拡大した模式的断面図を示している。なお、図３中、左側が中心軸線側である。
　本実施例においては、環状の第１仕切部材５２０を介して一方側（上方側）に第１送出口側逆止弁５１０Ｂが設けられ、他方側（下方側）に第１吸入口側逆止弁５１０Ａが設けられている。
　＜＜第１吸入口側逆止弁＞＞
　第１吸入口側逆止弁５１０Ａは、円環状の弁体５１１Ａと、弁体５１１Ａの上方に設けられる副弁体５１２Ａとを備えている。弁体５１１Ａは、径方向外側から軸部材１００の中心軸線側かつ水平方向に流れる流体の圧力を受けながら上昇して弁を開くように構成されている。この弁体５１１Ａは、円筒部５１１Ａａと、円筒部５１１Ａａの下端側に設けられる内向きフランジ部５１１Ａｂと、円筒部５１１Ａａの上端側に設けられる内向きフランジ部５１１Ａｃとを備えている。この弁体５１１Ａと同心的に設けられ、その内径が円筒部５１１Ａａの外径よりも僅かに大きいガイド部材５１３Ａによって、弁体５１１Ａは軸線方向に往復移動可能に構成されている。このガイド部材５１３Ａの下方には、流体の流路５１３Ａａが設けられている。
　また、円筒部５１１Ａａと内向きフランジ部５１１Ａｂとの境界部のうち外周面側には、湾曲面（いわゆるＲ面）が設けられている。これにより、径方向外側から軸部材１００の中心軸線側かつ水平方向に流れる流体が内向きフランジ部５１１Ａｂの下方に流れ込むことを可能にしている。そして、弁体５１１Ａの下方には、弁体５１１Ａの弁座となる環状部材５１４Ａが設けられている。
　副弁体５１２Ａは、中心に貫通孔を有する円板状の部材により構成されている。そして、第１仕切部材５２０の下面には第１ストッパ５２２が設けられている。この第１ストッパ５２２によって、弁体５１１Ａと副弁体５１２Ａにおける上方への移動量が制限される。また、弁体５１１Ａが環状部材５１４Ａに着座した状態において、弁体５１１Ａの上端面とガイド部材５１３Ａの上端面は同じ高さとなるように設計されている。従って、第１吸入口側逆止弁５１０Ａによって弁が閉じられた状態においては、副弁体５１２Ａは弁体５１１Ａの上端面とガイド部材５１３Ａの上端面の双方に接した状態となる。
　以上のように構成される弁構造の動作について説明する。弁体５１１Ａ及び副弁体５１２Ａを介して、流路の下流側よりも上流側の流体圧力の方が高くなり、これらの差圧が弁体５１１Ａ及び副弁体５１２Ａの総重量を超えると、これら弁体５１１Ａ及び副弁体５１２Ａは上昇する。これにより、弁が開いた状態となり、流路５１３Ａａを通って、径方向外側から軸部材１００の中心軸線側かつ水平方向に流体が流れる。そして、上記の差圧が弁体５１１Ａ及び副弁体５１２Ａの総重量よりも低くなると、弁体５１１Ａ及び副弁体５１２Ａは、自重や上方からの流体圧力を受けることで下降する。これにより、弁が閉じた状態となる。なお、本実施例においては、最初に弁体５１１Ａが環状部材５１４Ａに着座した後に、副弁体５１２Ａが弁体５１１Ａの上端面とガイド部材５１３Ａの上端面の双方に接した状態となるように構成されている。
　以上のように構成される弁構造によれば、弁の開閉の応答性を高めることができる。この理由は、例えば、国際公開第２０１５／０５００９１号に開示されているように公知であるので、その詳細は説明を省略するが、弁体５１１Ａに作用する流体の運動量を低減できるためである。また、弁体５１１Ａと副弁体５１２Ａの２段階で弁を閉じる構成を採用しているため、弁を閉じた際の逆流による水撃を抑制することができる。これは、弁体５１１Ａによって、逆流量が絞られた後に、副弁体５１２Ａにより弁が完全に閉じられるためである。
　＜＜第１送出口側逆止弁＞＞
　第１送出口側逆止弁５１０Ｂは、円環状の弁体５１１Ｂと、弁体５１１Ｂの上方に設けられる副弁体５１２Ｂとを備えている。弁体５１１Ｂは、軸部材１００の中心軸線側から径方向外側かつ水平方向に流れる流体の圧力を受けながら上昇して弁を開くように構成されている。この弁体５１１Ｂは、円筒部５１１Ｂａと、円筒部５１１Ｂａの下端側に設けられる外向きフランジ部５１１Ｂｂと、円筒部５１１Ｂａの上端側に設けられる外向きフランジ部５１１Ｂｃとを備えている。この弁体５１１Ｂと同心的に設けられ、その外径が円筒部５１１Ｂａの内径よりも僅かに小さいガイド部材５１３Ｂによって、弁体５１１Ｂは軸線方向に往復移動可能に構成されている。このガイド部材５１３Ｂの下方には、流体の流路５１３Ｂａが設けられている。
　また、円筒部５１１Ｂａと外向きフランジ部５１１Ｂｂとの境界部のうち内周面側には、湾曲面（いわゆるＲ面）が設けられている。これにより、軸部材１００の中心軸線側から径方向外側かつ水平方向に流れる流体が外向きフランジ部５１１Ｂｂの下方に流れ込むことを可能にしている。そして、弁体５１１Ｂの下方に設けられた第１仕切部材５２０には、弁体５１１Ｂが着座する弁座部５２１が設けられている。
　副弁体５１２Ｂは、中心に貫通孔を有する円板状の部材により構成されている。そして、副弁体５１２Ｂの上方には、弁体５１１Ｂと副弁体５１２Ｂにおける上方への移動量を制限する第３ストッパ５１４Ｂが設けられている。また、弁体５１１Ｂが第１仕切部材５２０の弁座部５２１に着座した状態において、弁体５１１Ｂの上端面とガイド部材５１３Ｂの上端面は同じ高さとなるように設計されている。従って、第１送出口側逆止弁５１０Ｂによって弁が閉じられた状態においては、副弁体５１２Ｂは弁体５１１Ｂの上端面とガイド部材５１３Ｂの上端面の双方に接した状態となる。
　以上のように構成される弁構造の動作について説明する。弁体５１１Ｂ及び副弁体５１２Ｂを介して、流路の下流側よりも上流側の流体圧力の方が高くなり、これらの差圧が弁体５１１Ｂ及び副弁体５１２Ｂの総重量を超えると、これら弁体５１１Ｂ及び副弁体５１２Ｂは上昇する。これにより、弁が開いた状態となり、流路５１３Ｂａを通って、軸部材１００の中心軸線側から径方向外側かつ水平方向に流体が流れる。そして、上記の差圧が弁体５１１Ｂ及び副弁体５１２Ｂの総重量よりも低くなると、弁体５１１Ｂ及び副弁体５１２Ｂは、自重や上方からの流体圧力を受けることで下降する。これにより、弁が閉じた状態となる。なお、本実施例においては、最初に弁体５１１Ｂが第１仕切部材５２０に着座した後に、副弁体５１２Ｂが弁体５１１Ｂの上端面とガイド部材５１３Ｂの上端面の双方に接した状態となるように構成されている。以上のように構成される弁構造によれば、上記の第１吸入口側逆止弁５１０Ａの場合と同様に、弁の開閉の応答性を高めることができ、かつ、弁を閉じた際の逆流による水撃を抑制することができる。
　また、本実施例においては、環状の第２仕切部材５３０を介して一方側（上方側）に第２送出口側逆止弁５１０Ｄが設けられ、他方側（下方側）に第２吸入口側逆止弁５１０Ｃが設けられている（図２参照）。上記の通り、第２吸入口側逆止弁５１０Ｃと第２送出口側逆止弁５１０Ｄが設けられている部分の構造は、第１吸入口側逆止弁５１０Ａと第１送出口側逆止弁５１０Ｂが設けられている部分の構造と同様であるので、その説明は省略する。
　＜本実施例に係る液体供給システムの優れた点＞
　本実施例に係る液体供給システム１によれば、４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁５１０Ａと第１送出口側逆止弁５１０Ｂと第２吸入口側逆止弁５１０Ｃと第２送出口側逆止弁５１０Ｄ）は、軸線方向の一か所に該軸線方向に並べて配置される構成が採用されている。なお、隣り合う逆止弁の間には、逆止弁を構成する構成部材以外の部材が介在されていても、空間を挟まないように、４つの逆止弁は並べて配置されている。より具体的には、本実施例においては、一端側から他端側に向かって、第１送出口側逆止弁５１０Ｂ，第１吸入口側逆止弁５１０Ａ，第２送出口側逆止弁５１０Ｄ，第２吸入口側逆止弁５１０Ｃの順に並べて配置されている。そして、第１送出口側逆止弁５１０Ｂと第１吸入口側逆止弁５１０Ａとの間に設けられる第１仕切部材５２０は、第１送出口側逆止弁５１０Ｂと第１吸入口側逆止弁５１０Ａの双方に接するように設けられている。また、第１吸入口側逆止弁５１０Ａと第２送出口側逆止弁５１０Ｄとの間に設けられる内向きフランジ部２３１は、第１吸入口側逆止弁５１０Ａと第２送出口側逆止弁５１０Ｄの双方に接するように設けられている。更に、第２送出口側逆止弁５１０Ｄと第２吸入口側逆止弁５１０Ｃとの間に設けられる第２仕切部材５３０は、第２送出口側逆止弁５１０Ｄと第２吸入口側逆止弁５１０Ｃの双方に接するように設けられている。従って、配管構造が複雑化してしまうことを抑制することができる。これにより、配管の全長を短くすることができる。従って、予冷に費やす時間を短くすることができる。
　また、吸入口２５１ａは、軸線方向において、上記４つの逆止弁が配置されている範囲内に配されているため、吸入口２５１ａからポンプ室（第１ポンプ室Ｐ１及び第２ポンプ室Ｐ２）に至る流路を短くすることができる。これにより、予冷に費やす時間を短くすることができる。同様に、送出口２５１ｂは、軸線方向において、上記４つの逆止弁が配置されている範囲内に配されているため、ポンプ室から送出口２５１ｂに至る流路を短くすることができる。これにより、予冷に費やす時間を短くすることができる。
　また、第１仕切部材５２０には、第１送出口側逆止弁５１０Ｂにおける弁体５１１Ｂが着座する弁座部５２１と、第１吸入口側逆止弁５１０Ａにおける弁体５１１Ａ及び副弁体５１２Ａの上方への移動量を制限するための第１ストッパ５２２が設けられている。このように、一つの部材（第１仕切部材５２０）に、２つの機能を持たせることで、部品点数の増加を抑制することができる。従って、予冷に費やす時間を短くすることができる。第２仕切部材５３０についても同様である。
　（実施例２）
　図４には、本発明の実施例２が示されている。本実施例においては、４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁と第１送出口側逆止弁と第２吸入口側逆止弁と第２送出口側逆止弁）の並び順が、上記実施例１の場合とは異なる場合の構成を示す。その他の構成および作用については実施例１と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して、その説明は省略する。
　図４は本発明の実施例２に係る液体供給システムの概略構成図である。本実施例においても、４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁５１０Ａ１と第１送出口側逆止弁５１０Ｂ１と第２吸入口側逆止弁５１０Ｃ１と第２送出口側逆止弁５１０Ｄ１）は、軸線方向の一か所に、軸線方向に並べて配置されている。隣り合う逆止弁の間には、逆止弁を構成する構成部材以外の部材が介在されていても、空間を挟まないように、４つの逆止弁は並べて配置されている。そして、本実施例においても、容器２００における軸線方向の中央の一か所に、４つの逆止弁が軸線方向に並べて配置されている。本実施例の場合には、上記実施例１の場合とは異なり、一端側から他端側に向かって、第１吸入口側逆止弁５１０Ａ１，第１送出口側逆止弁５１０Ｂ１，第２吸入口側逆止弁５１０Ｃ１，第２送出口側逆止弁５１０Ｄ１の順に並べて配置されている。
　弁構造以外の構成については、上記実施例１における構成と同一であるので、その説明は省略する。上記のように構成される本実施例に係る液体供給システムについても、上記実施例１の場合と同様の効果が得られることは言うまでもない。
　（実施例３）
　図５には、本発明の実施例３が示されている。本実施例においては、４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁と第１送出口側逆止弁と第２吸入口側逆止弁と第２送出口側逆止弁）の並び順が、上記実施例１の場合とは異なる場合の構成を示す。その他の構成および作用については実施例１と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して、その説明は省略する。
　図５は本発明の実施例３に係る液体供給システムの概略構成図である。本実施例においても、４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁５１０Ａ２と第１送出口側逆止弁５１０Ｂ２と第２吸入口側逆止弁５１０Ｃ２と第２送出口側逆止弁５１０Ｄ２）は、軸線方向の一か所に、軸線方向に並べて配置されている。隣り合う逆止弁の間には、逆止弁を構成する構成部材以外の部材が介在されていても、空間を挟まないように、４つの逆止弁は並べて配置されている。そして、本実施例においても、容器２００における軸線方向の中央の一か所に、４つの逆止弁が軸線方向に並べて配置されている。本実施例の場合には、上記実施例１の場合とは異なり、一端側から他端側に向かって、第１吸入口側逆止弁５１０Ａ２，第１送出口側逆止弁５１０Ｂ２，第２送出口側逆止弁５１０Ｄ２，第２吸入口側逆止弁５１０Ｃ２の順に並べて配置されている。
　弁構造以外の構成については、上記実施例１における構成と同一であるので、その説明は省略する。上記のように構成される本実施例に係る液体供給システムについても、上記実施例１の場合と同様の効果が得られることは言うまでもない。
　（実施例４）
　図６には、本発明の実施例４が示されている。本実施例においては、４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁と第１送出口側逆止弁と第２吸入口側逆止弁と第２送出口側逆止弁）の並び順が、上記実施例１の場合とは異なる場合の構成を示す。その他の構成および作用については実施例１と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して、その説明は省略する。
　図６は本発明の実施例４に係る液体供給システムの概略構成図である。本実施例においても、４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁５１０Ａ３と第１送出口側逆止弁５１０Ｂ３と第２吸入口側逆止弁５１０Ｃ３と第２送出口側逆止弁５１０Ｄ３）は、軸線方向の一か所に、軸線方向に並べて配置されている。隣り合う逆止弁の間には、逆止弁を構成する構成部材以外の部材が介在されていても、空間を挟まないように、４つの逆止弁は並べて配置されている。そして、本実施例においても、容器２００における軸線方向の中央の一か所に、４つの逆止弁が軸線方向に並べて配置されている。本実施例の場合には、上記実施例１の場合とは異なり、一端側から他端側に向かって、第１送出口側逆止弁５１０Ｂ３，第１吸入口側逆止弁５１０Ａ３，第２吸入口側逆止弁５１０Ｃ３，第２送出口側逆止弁５１０Ｄ３の順に並べて配置されている。
　弁構造以外の構成については、上記実施例１における構成と同一であるので、その説明は省略する。上記のように構成される本実施例に係る液体供給システムについても、上記実施例１の場合と同様の効果が得られることは言うまでもない。
　（実施例５）
　図７には、本発明の実施例５が示されている。本実施例においては、４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁と第１送出口側逆止弁と第２吸入口側逆止弁と第２送出口側逆止弁）の配置位置が、上記実施例１の場合とは異なる場合の構成を示す。その他の構成および作用については実施例１と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して、その説明は省略する。
　図７は本発明の実施例５に係る液体供給システムの概略構成図である。本実施例においても、４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁５１０Ａ４と第１送出口側逆止弁５１０Ｂ４と第２吸入口側逆止弁５１０Ｃ４と第２送出口側逆止弁５１０Ｄ４）は、軸線方向の一か所に、軸線方向に並べて配置されている。隣り合う逆止弁の間には、逆止弁を構成する構成部材以外の部材が介在されていても、空間を挟まないように、４つの逆止弁は並べて配置されている。そして、本実施例においては、上記実施例１の場合とは異なり、容器２００における軸線方向の一端側に偏った一か所に、４つの逆止弁が軸線方向に並べて配置されている。なお、本実施例においても、上記実施例１の場合と同様に、一端側から他端側に向かって、第１送出口側逆止弁５１０Ｂ４，第１吸入口側逆止弁５１０Ａ４，第２送出口側逆止弁５１０Ｄ４，第２吸入口側逆止弁５１０Ｃ４の順に並べて配置されている。
　弁構造以外の構成については、上記実施例１における構成と同一であるので、その説明は省略する。上記のように構成される本実施例に係る液体供給システムについても、上記実施例１の場合と同様の効果が得られることは言うまでもない。なお、逆止弁の並び順については、上記の順に限らず、上記の実施例２～４のいずれかを適用してもよいことは言うまでもない。
　（実施例６）
　図８には、本発明の実施例６が示されている。本実施例においては、４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁と第１送出口側逆止弁と第２吸入口側逆止弁と第２送出口側逆止弁）の配置位置が、上記実施例１の場合とは異なる場合の構成を示す。その他の構成および作用については実施例１と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して、その説明は省略する。
　図８は本発明の実施例６に係る液体供給システムの概略構成図である。本実施例においても、４つの逆止弁（第１吸入口側逆止弁５１０Ａ５と第１送出口側逆止弁５１０Ｂ５と第２吸入口側逆止弁５１０Ｃ５と第２送出口側逆止弁５１０Ｄ５）は、軸線方向の一か所に、軸線方向に並べて配置されている。隣り合う逆止弁の間には、逆止弁を構成する構成部材以外の部材が介在されていても、空間を挟まないように、４つの逆止弁は並べて配置されている。そして、本実施例においては、上記実施例１の場合とは異なり、容器２００における軸線方向の他端側に偏った一か所に、４つの逆止弁が軸線方向に並べて配置されている。なお、本実施例においても、上記実施例１の場合と同様に、一端側から他端側に向かって、第１送出口側逆止弁５１０Ｂ５，第１吸入口側逆止弁５１０Ａ５，第２送出口側逆止弁５１０Ｄ５，第２吸入口側逆止弁５１０Ｃ５の順に並べて配置されている。
　弁構造以外の構成については、上記実施例１における構成と同一であるので、その説明は省略する。上記のように構成される本実施例に係る液体供給システムについても、上記実施例１の場合と同様の効果が得られることは言うまでもない。なお、逆止弁の並び順については、上記の順に限らず、上記の実施例２～４のいずれかを適用してもよいことは言うまでもない。
　（その他）
　本実施例においては、真空容器２０の内部のうち、システム本体１０，吸入管４１及び送出管４２の外側の空間を真空状態にして断熱機能を備えさせる構成を採用している。しかしながら、この空間にも超低温液体を流すことで、循環流路を流れる流体の温度を低温に維持させることも可能である。
　１　液体供給システム
　１０　システム本体
　２０　真空容器
　３０　リニアアクチュエータ
　４１　吸入管
　４２　送出管
　１００　軸部材
　１４２　ベローズ
　２００　容器
　２１０　天井部側胴体部
　２１１　天井部
　２１１ａ　開口部
　２２０　底部側胴体部
　２２１　底部
　２３０　中央胴体部
　２３１　内向きフランジ部
　２３２　第１貫通孔
　２３３　第２貫通孔
　２３４　第３貫通孔
　２３５　第４貫通孔
　２４０　流路形成部材
　２４１　第５貫通孔
　２４２　第６貫通孔
　２５０　配管接続部材
　２５１ａ　吸入口
　２５１ｂ　送出口
　３１０　円筒状部材
　３１１　第１環状突出部
　３１２　第２環状突出部
　３２０　第３環状突出部
　４１０　第１ベローズ
　４２０　第２ベローズ
　４３０　第３ベローズ
　５１０Ａ，５１０Ａ１，５１０Ａ２，５１０Ａ３，５１０Ａ４，５１０Ａ５　第１吸入口側逆止弁
　５１０Ｂ，５１０Ｂ１，５１０Ｂ２，５１０Ｂ３，５１０Ｂ４，５１０Ｂ５　第１送出口側逆止弁
　５１０Ｃ，５１０Ｃ１，５１０Ｃ２，５１０Ｃ３，５１０Ｃ４，５１０Ｃ５　第２吸入口側逆止弁
　５１０Ｄ，５１０Ｄ１，５１０Ｄ２，５１０Ｄ３，５１０Ｄ４，５１０Ｄ５　第２送出口側逆止弁
　５１１Ａ　弁体
　５１１Ａａ　円筒部
　５１１Ａｂ　内向きフランジ部
　５１１Ａｃ　内向きフランジ部
　５１２Ａ　副弁体
　５１３Ａ　ガイド部材
　５１３Ａａ　流路
　５１４Ａ　環状部材
　５１１Ｂ　弁体
　５１１Ｂａ　円筒部
　５１１Ｂｂ　外向きフランジ部
　５１１Ｂｃ　外向きフランジ部
　５１２Ｂ　副弁体
　５１３Ｂ　ガイド部材
　５１３Ｂａ　流路
　５１４Ｂ　第３ストッパ
　５２０　第１仕切部材
　５２１　弁座部
　５２２　第１ストッパ
　５３０　第２仕切部材
　Ｐ１　第１ポンプ室
　Ｐ２　第２ポンプ室
　Ｒ１　流路
　Ｒ２　流路

Claims (6)

  1. 　内部にポンプ室が備えられ、かつ超低温液体の吸入口及び送出口が設けられている容器と、
    　前記容器内において軸線方向に往復移動する軸部材と、
    　前記容器内において、前記軸部材の往復移動に伴って伸縮するベローズと、
    　ベローズの外周面を囲む空間により形成されるポンプ室と、
    　を備える液体供給システムであって、
    　前記吸入口からポンプ室内に入っていく位置に設けられる吸入口側逆止弁と、
    　ポンプ室から前記送出口に出ていく位置に設けられる送出口側逆止弁と、
    　を備え、
    　吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁との間には、吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁のうちの一方の弁体の弁座となる部分を有する環状の仕切部材が設けられていることを特徴とする液体供給システム。
  2. 　前記仕切部材は、吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁のうちの他方の弁体のストッパとなる部分を有することを特徴とする請求項１に記載の液体供給システム。
  3. 　吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁は、いずれも前記軸部材と同心的に設けられる複数の環状の部材により構成されていることを特徴とする請求項２に記載の液体供給システム。
  4. 　吸入口側逆止弁と送出口側逆止弁は、前記軸線方向の一か所に該軸線方向に並べて配置されていることを特徴とする請求項３に記載の液体供給システム。
  5. 　前記ベローズは、前記軸線方向に並べて配置される第１ベローズと第２ベローズとを有し、
    　前記ポンプ室は前記第１ベローズの外周面を囲む空間により形成される第１ポンプ室と、前記第２ベローズの外周面を囲む空間により形成される第２ポンプ室とを有し、
    　前記吸入口側逆止弁は前記吸入口から前記第１ポンプ室内に入っていく位置に設けられる第１吸入口側逆止弁と、前記吸入口から前記第２ポンプ室内に入っていく位置に設けられる第２吸入口側逆止弁とを有し、
    　前記吸入口から吸入された超低温液体は、前記ポンプ室に向けて流れて行くように構成されており、かつ、前記軸線方向において、第１吸入口側逆止弁と第２吸入口側逆止弁が配置されている範囲内に前記吸入口が配されていることを特徴とする請求項４に記載の液体供給システム。
  6. 　前記送出口側逆止弁は前記第１ポンプ室から前記送出口に出ていく位置に設けられる第１送出口側逆止弁と、前記第２ポンプ室から前記送出口に出ていく位置に設けられる第２送出口側逆止弁とを有し、
    　前記ポンプ室から送出された超低温液体は、前記送出口に向けて流れて行くように構成されており、かつ、前記軸線方向において、第１送出口側逆止弁と第２送出口側逆止弁が配置されている範囲内に前記送出口が配されていることを特徴とする請求項５に記載の液体供給システム。
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