WO2020173712A1 - Vorrichtung und verfahren zum ersatz von mindestens einem chip - Google Patents
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Definitions
- the invention relates to a device and a method for replacing chips, which can also be referred to as electronic components.
- chips can be light-emitting diode (LED) chips.
- Chips can be placed in an electronic component.
- Such components can be an LED package, an LED package with several LEDs or a display or a display with LEDs.
- Defective light emitting diodes are undesirable. If a component has a large number of chips, the probability increases that a defective chip will be built into the component.
- packages with at least one LED are tested. If this is incorrect, it is discarded.
- the defective chip is removed and replaced with a working chip.
- a repair chip is placed in the component in addition to the defective chip.
- the defective chip must be deactivated.
- an electronic circuit is used which specifies from outside the component that the defective chip should no longer be energized. A further deactivation takes place, for example, by means of a laser cutting through the power feedthrough to the defective chip by means of a conductor path.
- a device for replacing at least one chip or electronic component of an electronic component for example an LED package or an LED display, comprising
- An electronic switch that electrically connects the first standard electrical contact to a power supply source
- At least three electrical repair contacts to which a repair chip identical to the chip can be electrically connected, the first electrical repair contact electrically to the power supply source, the second electrical repair contact electrically to the electronic switch and the third electrical repair contact electrically to the second electrical standard contact connected .
- the functionality of a defective chip can be replaced by a repair chip.
- the repair chip can be placed in a component that can be a display, for example.
- the repair chip is set to two contacts that are not electrically connected at first. These contacts are electrically connected to one another by the repair chip. As a result, a current can now flow between the contacts. This current flow can be used, for example, to interrupt the current flow to the defective chip with the aid of an electrical circuit.
- Repair contacts are, in particular, contacts to which an electrical repair chip can be connected.
- a power supply source can be an electrical current source and / or an electrical voltage source.
- the electronic switch can be formed on a flat carrier or substrate, the also, in particular in a common plane, which carries the electrical repair contacts, in particular the first and second electrical repair contacts, and the electrical standard contacts, in particular the first electrical standard contact.
- the first electrical standard contact is electrically connected to a power supply source, the second electrical standard contact being grounded or electrically connected to an opposite pole, minus or plus pole, to the power supply source.
- a device according to the invention can be designed, for example, as an integrated circuit on a flat substrate or carrier.
- a repair chip can be identical to the chip.
- the repair chip resembles the chip in terms of its spatial extent.
- the repair chip has the same function as the chip.
- the repair chip has electrical contacts that are identical in position and size to the chip.
- the chip and repair chip have an electrically conductive material which, when electrically contacted, can also electrically connect two electrical contacts that are not electrically connected to one another.
- the electronic switch can be a transistor, in particular a field effect transistor, to whose base or gate the second electrical repair contact is electrically connected.
- Transistors are easy to integrate into the device and easy to use.
- the first electrical contact of the electrically connected repair chip can electrically connect the first electrical repair contact to the second electrical repair contact.
- a defective chip can be switched off or electrically disconnected from a current and / or voltage source.
- the second electrical contact of the electrically connected repair chip can be electrically connected to the third electrical repair contact. Together with the first electrical repair contact, the repair chip can be supplied with power in this way, in particular electrically connected to an electrical voltage and / or current source.
- the second electrical standard contact and the third electrical repair contact can be electrically grounded.
- the first electrical contact of the repair chip can have an electrically conductive material forming a surface and having a first thickness.
- the electrical standard contacts and the electrical repair contacts can each have a one, in particular the same, surface of the electrically conductive material with a second thickness.
- the first thickness can be equal to the second thickness.
- the surfaces of the first and the second electrical standard contact can each be designed to be rectangular, square or circular.
- the surfaces of the first and the second electrical repair contact in lie on a plane and be formed together as a total area right angular, square or circular.
- at least one further contact surface can be added to the surfaces of the first and second electrical repair contacts in one plane, the total surface being able to be rectangular, square or circular.
- the surface of the first standard electrical contact can be divided into at least two separate surfaces lying in one plane.
- the surfaces of the first standard contact can together form a rectangle, a square or a circle.
- the areas of the first standard contact can be the same as the areas of the first and second electrical repair contacts.
- first and the second electrical repair contact can lie in one plane with the first electrical standard contact, and the third electrical repair contact can lie in one plane with the second electrical standard contact.
- the first, the second and the third electrical repair contact can lie in one plane, and the second electrical contact of the electrically connected repair chip can have an electrically conductive material that forms an area and has a third thickness.
- the surface of the third electrical repair contact can be divided into two in one Separate surfaces lying flat from one another can be divided.
- the area (s) of the third electrical repair contact can be rectangular, square or circular.
- the first and the second electrical repair contact can lie in the plane, in particular the XY plane, at a first distance next to the first electrical standard contact and the first and the second electrical repair contact together with the first electrical standard contact form a module, wherein a plurality of modules can be arranged next to one another at a second distance along an X-axis and next to one another at a third distance along a Y-axis.
- the chip having at least two electrical contacts can be electrically connected to the at least two electrical standard contacts.
- a large number of, in particular 100 to 10,000,000, chips can be electrically connected, checked and, if necessary, replaced by a repair chip at the same time.
- the checking of the quality of a chip can be carried out by means of electrical operation, optical control or the use of data from previous process steps.
- FIG. 1 shows a first embodiment of the invention Re repair contacts and their use
- FIG. 2 shows an example of a device according to the invention with a chip and without a repair chip
- Figure 3 shows a second example of an inventive
- FIG. 4 shows a further example of a device according to the invention, namely a field or array of chips together with repair contacts on a carrier;
- Figure 5 shows a further example of an inventive
- Figure 6 shows a further example of an inventive
- FIGS. 7A-G show examples of first and second repair contacts according to the invention in comparison with a first standard contact
- FIG. 8 shows another example of a device according to the invention
- FIG. 9A shows a further exemplary embodiment of repair contacts
- FIG. 9B shows a further exemplary embodiment of repair contacts
- FIG. 9C shows a further example of repair contacts according to the invention.
- Figure 10 shows an embodiment of a method according to the invention.
- Figure 1 shows an example of repair contacts according to the invention.
- a first repair contact 15 and a second repair contact 17 are shown in cross section.
- the operation of the first repair contact 15, the second repair contact 17 is shown together with the surface of the first electrical contact's 3 of a repair chip 1 '.
- the repair chip 1 ′ is placed on two contacts, these being provided by means of a first repair contact 15 and a second repair contact 17.
- a chip 1 or a repair chip 1 ' has an electrically conductive material that electrically connects the two repair contacts 15 and 17 to one another.
- the electrically conductive material is created here as an electrical contact 3 of a chip 1 and in particular a repair chip 1 '.
- the repair chip 1 ′ electrically connects the two repair contacts 15 and 17 and also has a further electrical contact 5. Between this further electrical contact 5 and the repair contacts 15 and 17 electrically connected by means of the repair chip 1 ', a voltage U can be applied which enables a current to flow through the repair chip 1' so that the latter can be operated.
- the large arrow in FIG. 1 on the right-hand side shows that the repair chip 1 'is applied to the two repair contacts 15 and 17.
- the conductive material of the first electrical contact 3 of a chip 1 or of the repair chip 1 ', which the two repair contacts 15 and 17 electrically connects to one another, can have metal, transparent, electrically conductive oxide (TCO) and / or a semiconductor that is doped with a doping type.
- FIG. 2 shows an example of a device according to the invention with a chip 1 and without a repair chip 1 '.
- FIG. 2 shows a chip 1 which has been built into a device according to the present invention.
- the chip 1 can be part of an electronic component, in particular an LED package or a light-emitting diode (LED) display.
- the device here has two opposing electrical standard contacts 7 and 9, to which a chip 1 having two electrical contacts 3 and 5 is electrically connected.
- the device has an electronic switch 11 which electrically connects the first electrical standard contact 7 to a power supply source 13. That is, the electronic switch 11 is electrically closed in a basic state and thus electrically connects the power supply source 13 to the first standard contact 7, so that the first electrical contact 3 of the chip 1 is also supplied with power.
- first electrical standard contact 7 and the first electrical contact 3 of the chip 1 can be electrically connected to a connection or positive pole of the power supply device.
- the second electrical contact 5 of the chip 1 can be electrically connected to ground or to a negative pole of the electrical power supply source 13 by means of the second electrical standard contact 9.
- the first standard contact 7 can be closed to a negative pole, the second standard contact 9 correspondingly to a positive pole.
- Figure 2 shows a device according to the invention in a basic state in which the chip 1 works and is therefore intact.
- no repair chip 1 ′′ is required.
- the first and second repair contacts 15 and 17 are not electrically connected to one another.
- the electronic Switch 11 electrically closed.
- Chip 1 is electrically supplied by means of power supply source 13 in such a way that an electrical current can flow through chip 1.
- FIG. 2 can also represent a state in which the chip 1 is defective. A current can still flow through a defective chip 1 ′′.
- the defective chip 1 "'can then be, for example, a light-emitting diode LED that is too dark.
- FIG. 3 shows a further example of a device according to the invention.
- FIG. 3 shows FIG. 2, but with the difference that the originally intact chip 1 has been identified as a defective chip 1 "'and a repair chip 1' has been electrically connected to the device.
- the repair chip 1 ' On the right-hand side of the figure 3 shows the repair chip 1 ', which is electrically connected to and electrically connected to a first repair contact 15 and a second repair contact 17, a first electrical contact 3 of the repair chip 1' electrically connecting the first repair contact 15 to the second repair contact 17
- the device has a third repair contact 19, to which the second electrical contact 5 of the repair chip 1 'is electrically connected and electrically contacted.
- the third repair contact 19 can be electrically connected to a negative pole of a power supply source 13 or electrically grounded
- a power supply source 13 can be an electr ical power source and / or voltage source.
- FIG. 3 shows how the repair chip 1 ′ has been placed on the first repair contact 15 and on the second repair contact 17.
- FIG. 3 shows how a re paraturchip 1 'of identical construction to the chip 1 can be electrically connected to at least three electrical repair contacts 15, 17 and 19.
- the first electrical repair contact 15 is electrically connected to a power supply source 13
- the second electrical repair contact 17 is electrically connected to the electronic Switch 11
- the third electrical repair contact 19 is electrically connected to the second electrical standard contact 9, wherein the second electrical standard contact 9 can be connected to a negative source of a power supply source 13 together with the third electrical repair contact 19.
- the second electrical standard contact 9 and the third electrical repair contact 19 can be electrically grounded.
- FIG. 3 shows how the repair chip 1 'is connected to the power supply source 13 by means of the first repair contact 15 in such a way that an electrical current flows through the first electrical contact 3 and the second electrical contact 5 of the repair chip 1' via the third electrical repair contact 19 the repair contact 1 'can flow.
- the defective chip 1 ′′ has been functionally replaced.
- the repair chip 1 'thus replaces the function of the defective chip 1'''.
- the electronic switch 11 is opened electrically in such a way that no more current can flow through the defective chip 1 ′′ or that no more electrical power is supplied to the defective chip 1 ′′.
- a transistor or a field effect transistor can be used as the electronic switch 11.
- the second electrical repair contact 17 is then electrically verbun either to the base of the transistor or to the gate of the field effect transistor.
- FIG. 4 shows a further example of a device according to the invention, namely a field or array of chips 1 together with electrical repair contacts 15 and 17 on a common carrier T.
- the chips 1 are according to this example regularly, namely here in the form of a grid , arranged.
- a field from here, for example, light-emitting diodes (LED) chips 1, a display or a display can be implemented.
- Several Types of chips 1 can each be arranged in a grid. Chips 1 can be red, green and blue LEDs here, for example.
- electrical repair contacts 15 and 17 are provided on which a respective repair chip 1 ′ can be placed.
- FIG. 4 shows a further example of a device according to the invention, namely a field or array of chips 1 together with electrical repair contacts 15 and 17 on a common carrier T.
- the chips 1 are according to this example regularly, namely here in the form of a grid , arranged.
- LED light-emitting diodes
- Chips 1 can each be
- FIG. 4 shows that the first and the second electrical repair contact 15 and 17 can be arranged in an XY plane with a first distance d next to a respective chip 1 along an X axis.
- a chip 1 forms a module together with the first and the second repair contact 15 and 17.
- a plurality of such modules are arranged next to one another at a second distance p along an X-axis and next to one another at a third distance q along a Y-axis.
- FIG. 4 shows how a square chip 1 ′ replaces a defective chip 1 ′′ in such a field or in such an array.
- the regularly arranged chips 1 have an average distance p from one another.
- the mean distance between the chips 1 and the first and second electrical repair contacts 15 and 17 or the repair chips 1 ' is d. For example, d ⁇ 0.5 ⁇ p, in particular d ⁇ 0.1 ⁇ p.
- Figure 5 shows a further example of a device according to the invention as an array of electrical contacts on a common carrier T.
- the respective electronic switches 11 are not shown but can be formed on the carrier T, for example, as an integrated circuit.
- First electrical standard contacts 7 and first and second electrical repair contacts 15 and 17 are arranged in an X-Y plane to form a grid or field or array. These are required in order to generate an arrangement according to FIG.
- first and second electrical repair contacts 15 and 17 are arranged in the X-Y plane at a first distance d next to a respective first electrical standard contact 7, with the first and second electrical repair contacts 15 and 17 also here together with a sibling first electrical standard contact 7 form a module, a plurality of the like modules are arranged next to one another with a second distance p along an X-axis and with a third distance q next to one another along a Y-axis.
- respective first electrical standard contacts 7 are shown, which are integrated on a common carrier T.
- FIG. 6 shows another example of a device according to the invention as an array of electrical contacts on a common carrier T.
- first electrical standard contacts 7 are used here, the configuration of which corresponds to the configuration of the first and second electrical repair contacts 15 and 17 .
- the like modules are arranged along an X-axis at an average distance p and along a Y-axis with an average distance q from one another. This creates a corresponding grid or field or an array comparable to FIG. 5 or FIG. 4.
- FIG. 6 shows that a respective first electrical standard contact 7 can each be produced from, for example, two contacts.
- such standard contacts 7a and 7b can be shaped and designed identically to the two repair contacts 15 and 17. This simplifies the production of such a grid and the placement of a respective chip 1 and 1 'on the corresponding electrical contacts.
- FIGS. 7A to 7D and 7F and 7G show examples of first and second electrical repair contacts 15 and 17 in comparison with a first electrical standard contact 7 in FIG. 7E.
- FIGS. 7A, 7B, 7C and 7D show examples of two repair contacts 15 and 17 on which a repair chip 1 'can be placed.
- FIG. 7A shows two first and second electrical repair contacts 15 and 17 of the same area, spatially extending in an XY plane along a Y axis.
- FIG. 7B 12 shows a rectangular shape of a first electrical repair contact 15, which also extends in the Y direction, next to which a further rectangular configuration of a second electrical repair contact 17, which also extends in the Y direction, is arranged.
- the first electrical repair contact 15 is spaced apart from the second electrical repair contact 17 by an elongated interruption strip.
- the surfaces of the first and second electrical repair contacts 15 and 17 together with the interruption strip form a square.
- Figure 7C shows a square configuration of the first electrical repair contact 15.
- This first electrical repair contact 15 is spaced from the second electrical repair contact 17 on two side lines by means of two corresponding interruption strips, the surfaces of the first electrical repair contact 15 and the second electrical repair contact 17 together with the interruption strip also form a square.
- FIG. 7D shows an example in which a first electrical repair contact 15 can be arranged within a second electrical repair contact 17.
- the first electrical repair contact 15 is designed as a circle around which the second electrical repair contact 17 is arranged in the form of a ring with a spacing area that is ring-shaped.
- FIG. 7E shows an example of a square extension of the electrical standard contact 7.
- the first electrical standard contact 7 has an area A1.
- an arrangement of the first electrical repair contact 15 and the second electrical repair contact 17 is shown in FIG. 7F.
- These rectangular configurations have a length Y in accordance with FIG. 7A. Both rectangles of the first and the second electrical repair contact 15 and 17 form a total area A2.
- FIGS. 7E and 7F also show an example of a spacing between standard contact 7 and repair contact 15 and 17. A spacing is indicated here as d.
- FIG. 7E shows an example of an electrical standard contact 7 or 9 with a total area Al.
- FIG. 7F shows an example of two adjacent repair contacts 15 and 17. The latter consist of two contact areas and comprise a total area A2.
- the standard contact has a surrounding area of Al.
- the amount is from
- FIG. 7G shows that more than two contacts can be formed in the plane of the first electrical repair contact 15 and the second electrical repair contact 17.
- Figure 7G shows, in addition to the first electrical repair contact 15 and the second electrical repair contact 17, a further electrical repair contact 21. That is, a repair chip 1 'can be placed on a plurality, here greater than two, of electrical repair contacts, their surfaces or contact surfaces can all lie in one plane. In this way, further electrical contacts can be established and in this way, for example, further electronic switches can be operated.
- a repair chip 1 'can thus electrically connect a large number of electrical contacts or corresponding electrical contact surfaces and thus contacts to one another. In this way, any number of electrical contacts can be made that can be used in different ways. In principle, further electronic switches can be opened or closed.
- FIG. 1 shows that more than two contacts can be formed in the plane of the first electrical repair contact 15 and the second electrical repair contact 17.
- Figure 7G shows, in addition to the first electrical repair contact 15 and the second electrical repair contact 17, a further electrical repair contact 21.
- FIG. 8 shows a further example of a device according to the invention, specifically with an example of a further repair chip 1 '.
- the first, the second and the third electrical repair contact 15, 17 and 19 lie on a common carrier T in one plane.
- the second electrical contact 5 of the electrically connected repair chip 1 ' has an electrically conductive material which forms an area and has a third thickness D3.
- the third thickness D3 of the second electrical contact 5 is provided in such a way that the repair chip 1 ′ can be electrically connected to the third electrical repair contact 19.
- a voltage can be applied to the third electrical repair contact 19 and the first or second electrical repair contact, so that an electrical current also passes the third electrical repair contact 19 via the first and second electrical contacts 3 and 5 and via the first and / or two th electrical repair contact 15 and / or 17 can flow.
- This current flow I is shown as a curved arrow in FIG. 8.
- FIG. 8 shows that the repair chip 1 ′ can be placed on further contacts, which can also be located on the same side of the chip 1 ′ as the first repair contact 15 and the second repair contact 17. Through these further electrical repair contacts, a current flow I can take place through the repair chip 1 'to the first and second repair contacts 15 and 17 in order to operate the repair chip 1'.
- FIG. 3 shows that the first and the second electrical repair contact 15 and 17 lie in one plane, in particular a common carrier T, with the first electrical standard contact 7, the third electrical repair contact 19 likewise in one plane, in particular a second common carrier with which the second electrical standard contact 9 lies.
- FIGS. 9A to 9C show examples of geometries of first, second and third repair contacts. These can, for example, in a device according to FIG. 8 can be applied.
- FIG. 9A shows a first example of areas of repair contacts.
- the first electrical repair contact 15 has the same rectangular area as the second electrical repair contact 17. Both rectangular areas extend along a Y direction.
- a third electrical repair contact which has the shape of a square, is formed on the right in the X direction. The corners of the rectangles and squares can be rounded. The length of the side of the square corresponds to the length of the rectangles in the Y direction. The distances between adjacent contacts in the X direction are the same.
- Figure 9B shows an embodiment of the surfaces of the first, second and third electrical repair contact 15, 17 and 19.
- the surface of the first electrical repair contact 15 is square
- the surface of the second electrical repair contact 17 is rectangular and elongated in the Y direction extending above the square.
- To these two surfaces in the X direction to the right of the third electrical repair contact 19 is arranged as a rectangle extending in the Y direction, the length of which is equal to the total length of the first electrical repair contact 15 and second electrical repair contact 17 including an intermediate spacing area.
- the first and the second electrical repair contact 15 and 17 are of the same width and different from the width of the third electrical repair contact 19.
- FIG. 9C shows a further example of electrical repair contacts according to the invention.
- the electrical repair contacts are uniform.
- a third electrical repair contact 19 is divided into two repair contact areas 19a and 19b, these areas forming rectangles that form extend along the length thereof in an X direction and are arranged side by side in a Y direction.
- the first electrical repair contact 15 and the second electrical repair contact 17 are formed and positioned symmetrically to an axis in a Y direction. All four repair contacts have the same area.
- the two electrical repair contacts 19a and 19b can correspondingly to the first electrical repair contact 15 and second electrical repair contact 17 by means of a repair chip 1 'placed on all electrical repair contacts so that a further electronic switch is switched.
- electrical standard contacts and / or electrical repair contacts can be divided into two areas, depending on which switching tasks are to be solved.
- Figure 10 shows an embodiment of a method according to the invention.
- the method relates to the replacement of at least one chip or electronic component of an electronic component, which can for example be an LED package or an LED display, using devices according to the invention.
- a first step S1 can be used to electrically connect a chip with at least two electrical contacts to at least one standard electrical contact. If a chip is connected to a first contact, the chip can already be recognized as defective. For this, the chip does not necessarily have to be operated electrically, i.e. connected to two contacts. This information can also come from other measurements or preliminary measurements. Then a repair chip is connected. Only then could the second contact of the defective chip be formed, for example together with the third contact of the repair chip.
- a second step S2 can be used to check the quality of the chip or chips and to identify chips as defective chips.
- a third step S3 can be used to electrically connect a to the chip Identical repair chips are carried out on at least three electrical repair contacts, the repair chip being supplied with power by means of the first and third repair contacts and electrically connecting the first and second repair contacts to one another, so that an electronic switch separates the defective chip from a power supply source. In this way, a defective chip would be replaced and switched off.
- the method can be carried out for a variety of chips. After a carrier or substrate with the corresponding standard contacts and repair contacts has been provided, chips can be placed on the standard electrical contacts and electrically connected and connected. The quality of the chips can be checked, for example, by electrical operation, optical control or the use of data from previous process steps. If defective chips are identified accordingly, additional chips can be attached to the repair contacts and electrically connected.
- the device according to the invention and the method according to the invention can be carried out, for example, for a single chip.
- any number of chips can be placed on the standard contacts provided and connected. For example, 100 chips or up to 1,000,000 chips can be electrically connected at the same time.
- the arrangements according to FIG. 4, FIG. 5 and FIG. 6 show how a large number of chips can be electrically connected to standard contacts of a common carrier T at the same time. Standard contacts 7, 7a and 7b together with repair contacts 15 and 17 are designed accordingly. List of reference symbols
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ersatz von mindestens einem Chip (1) oder elektronischen Bauelement eines elektronischen Bauteils, insbesondere eines LED- Packages oder einer LED- Anzeige. Die Erfindung weist auf - mindestens zwei elektrische Standardkontakte (7, 9), an die ein mindestens zwei elektrische Kontakte (3, 5) aufweisender Chip (1) elektrisch anschließbar ist; - einen elektronischen Schalter (11), der den ersten elektrischen Standardkontakt (7) mit einer elektrischen Leistungsversorgungsquelle (13) elektrisch verbindet; - mindestens drei elektrische Reparaturkontakte (15, 17, 19), an die ein zum Chip (1) baugleicher Reparaturchip (1') elektrisch anschließbar ist, wobei der erste elektrische Reparaturkontakt (15) elektrisch an die elektrische Leistungsversorgungsquelle (13), der zweite elektrische Reparaturkontakt (17) elektrisch an den elektronischen Schalter (11) und der dritte elektrische Reparaturkontakt (19) elektrisch an den zweiten elektrischen Standardkontakt (9) angeschlossen ist.
Description
Vorrichtung und Verfahren zum Ersatz von mindestens einem
Chip
Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Anmeldung DE 10 2019 105 031.6, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ersatz von Chips, die ebenso als elektronische Bauele- mente bezeichnet werden können. Beispiele für Chips können Chips von Licht emittierende Dioden (LED) sein. Chips kön nen in ein elektronisches Bauteil gesetzt werden. Derar tige Bauteile können ein LED-Package, ein LED-Package mit mehreren LEDs oder ein Display oder eine Anzeige mit LEDs sein.
Fehlerhafte lichtemittierende Dioden sind unerwünscht. Hat ein Bauteil eine große Anzahl von Chips, steigt die Wahr scheinlichkeit, dass ein defekter Chip in das Bauteil ein- gebaut wird.
Herkömmlicher Weise werden beispielsweise Packages mit mindestens einer LED getestet. Wenn diese fehlerhaft ist, wird sie verworfen. Der defekte Chip wird entfernt und durch einen funktionierenden Chip ersetzt. Ein Reparatur- Chip wird zusätzlich zum defekten Chip in das Bauteil ge setzt. Der defekte Chip muss aber deaktiviert werden. Her kömmlicher Weise wird eine elektronische Schaltung verwen det, die von außerhalb des Bauteils vorgibt, dass der de- fekte Chip nicht mehr bestromt werden soll. Eine weitere Deaktivierung erfolgt beispielsweise mittels einem Durch trennen der Stromdurchführung zum defekten Chip mittels eines Leiterbahnen durchtrennenden Lasers. Es besteht dennoch weiterhin Bedarf bei elektronischen Bauteilen, die Chips oder elektronische Bauelemente auf weisen, auf eine verbesserte Weise fehlerhafte Chips oder
elektronische Bauelemente zu ersetzen und diese leistungs los zu schalten.
Diesem Bedarf wird durch eine Vorrichtung gemäß dem Haupt anspruch und ein Verfahren gemäß dem Nebenanspruch Rech nung getragen.
Gemäß einem ersten Aspekt wird eine Vorrichtung zum Ersatz von mindestens einem Chip oder elektronischen Bauelement eines elektronischen Bauteils, beispielsweise eines LED- Packages oder einer LED- Anzeige, vorgeschlagen, aufwei send
- mindestens zwei elektrische Standardkontakte, an die ein mindestens zwei elektrische Kontakte aufweisender Chip elektrisch anschließbar ist;
- einen elektronischen Schalter, der den ersten elektrischen Standardkontakt mit einer Leistungsver sorgungsquelle elektrisch verbindet;
- mindestens drei elektrische Reparaturkontakte, an die ein zum Chip baugleicher Reparaturchip elektrisch an schließbar ist, wobei der erste elektrische Repara turkontakt elektrisch an die Leistungsversorgungs quelle, der zweite elektrische Reparaturkontakt elektrisch an den elektronischen Schalter und der dritte elektrische Reparaturkontakt elektrisch an den zweiten elektrischen Standardkontakt angeschlossen ist .
Gemäß einem zweiten Aspekt wird ein Verfahren zum Ersatz von mindestens einem Chip oder elektronischen Bauelement eines elektronischen Bauteils, beispielsweise eines LED- Packages oder einer LED- Anzeige, mittels einer erfin dungsgemäßen Vorrichtung, mit folgenden Schritten vorge schlagen
- elektrisches Anschließen eines mindestens zwei elektri sche Kontakte aufweisenden Chips an mindestens zwei elektrischen Standardkontakten;
- Überprüfen der Qualität des Chips und Identifizieren des Chips als einen defekten Chip;
- elektrisches Anschließen eines zum Chip baugleichen Re paraturchips an mindestens drei elektrischen Reparaturkon takten, wobei der Reparaturchip mittels des ersten und des dritten Reparaturkontaktes leistungsversorgt wird und den ersten und den zweiten Reparaturkontakt elektrisch mitei nander verbindet, so dass ein elektronischer Schalter den defekten Chip von einer Leistungsversorgungsquelle trennt.
Die Funktionalität eines defekten Chips kann durch einen Reparaturchip ersetzt werden. Der Reparaturchip kann in ein Bauteil, das beispielsweise eine Anzeige sein kann, gesetzt werden. Dabei wird der Reparaturchip auf zwei Kon takte gesetzt, die zuerst nicht elektrisch verbunden sind. Durch den Reparaturchip werden diese Kontakte miteinander elektrisch verbunden. Dadurch kann nun ein Strom zwischen den Kontakten fließen. Mittels dieses Stromflusses kann beispielsweise mithilfe einer elektrischen Schaltung der Stromfluss zum defekten Chip unterbrochen werden.
Reparaturkontakte sind insbesondere Kontakte, an die ein elektrischer Reparaturchip angeschlossen werden kann.
Eine Leistungsversorgungsquelle kann eine elektrische Stromquelle und/oder eine elektrische Spannungsquelle sein .
Im Vergleich zu einer komplizierten herkömmlichen elektri schen Schaltung, die gegebenenfalls durch einen externen Anschluss zwischen dem defekten Chip und dem Reparaturchip umschaltet, ist die erfindungsgemäß vorgeschlagene Vor richtung beziehungsweise das entsprechende Verfahren ein facher und kostengünstiger auszuführen. Entsprechend ist eine erfindungsgemäße Vorrichtung einfacher und kosten günstiger herzustellen. Der elektronische Schalter kann an einem flächigen Träger oder Substrat ausgebildet sein, der
zudem, insbesondere in einer gemeinsamen Ebene, die elektrischen Reparaturkontakte, insbesondere den ersten und den zweiten elektrischen Reparaturkontakt, sowie die elektrischen Standardkontakte, insbesondere den ersten elektrischen Standardkontakt, trägt. Der erste elektrische Standardkontakt ist mit einer Leistungsversorgungsquelle elektrisch verbunden, wobei der zweite elektrische Stan dardkontakt geerdet oder mit einem Gegenpol, Minus- oder Pluspol, zu der Leistungsversorgungsquelle elektrisch ver- bunden ist. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung kann bei spielsweise als integrierte Schaltung auf einem flächigen Substrat oder Träger ausgebildet sein.
Ein Reparaturchip kann baugleich zum Chip sein. Entspre- chend gleicht der Reparaturchip in räumlicher Erstreckung dem Chip. Der Reparaturchip gleicht dem Chip in der Funk tion. Der Reparaturchip weist zum Chip in Position und Größe gleiche elektrische Kontakte auf. Chip und Repara turchip weisen ein elektrisch leitfähiges Material auf, das beim elektrischen Kontaktieren zudem zwei nicht mit einander elektrisch verbundene elektrische Kontakte elektrisch miteinander verbinden kann.
Weitere vorteilhafte Beispiele werden in Verbindung mit den Unteransprüchen vorgeschlagen.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann der elektronische Schalter ein Transistor, insbesondere ein Feldeffekttran sistor sein, an dessen Basis beziehungsweise Gate der zweite elektrische Reparaturkontakt elektrisch angeschlos sen ist. Transistoren sind einfach in die Vorrichtung zu integrieren und einfach zu verwenden.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann der erste elekt- rische Kontakt des elektrisch angeschlossenen Reparatur chips den ersten elektrischen Reparaturkontakt elektrisch mit dem zweiten elektrischen Reparaturkontakt verbinden.
Mittels dieser elektrischen Verbindung kann ein defekter Chip von einer Strom- und/oder Spannungsquelle weggeschal tet oder elektrisch getrennt werden.
Gemäß eines anderen Aspektes kann der zweite elektrische Kontakt des elektrisch angeschlossenen Reparaturchips mit dem dritten elektrischen Reparaturkontakt elektrisch ver bunden sein. Zusammen mit dem ersten elektrischen Repara turkontakt kann auf diese Weise der Reparaturchip leis tungsversorgt, insbesondere mit einer elektrischen Span- nungs- und/oder Stromquelle elektrisch verbunden werden.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können der zweite elektrische Standardkontakt und der dritte elektrische Re paraturkontakt elektrisch an Masse gelegt sein.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann der erste elekt rische Kontakt des Reparaturchips ein eine Fläche ausbil dendes elektrisch leitendes Material mit einer ersten Di cke aufweisen.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können die elektrischen Standardkontakte und die elektrischen Reparaturkontakte jeweils ein eine, insbesondere gleiche, Fläche ausbilden des elektrisch leitendes Material mit einer zweiten Dicke aufweisen .
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann die erste Dicke gleich der zweiten Dicke sein.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können die Flächen des ersten und des zweiten elektrischen Standardkontakts je weils rechteckig, quadratisch oder kreisförmig ausgebildet sein .
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können die Flächen des ersten und des zweiten elektrischen Reparaturkontaktes in
einer Ebene liegen und zusammen als Gesamtfläche recht eckig, quadratisch oder kreisförmig ausgebildet sein. Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können den Flächen des ersten und des zweiten elektrischen Reparaturkontaktes in einer Ebene mindestens eine weitere Kontaktfläche hinzu gefügt sein, wobei die Gesamtfläche rechteckig, quadra tisch oder kreisförmig ausgebildet sein kann.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann die Fläche des ersten elektrischen Standardkontakts in mindestens zwei in einer Ebene liegende voneinander getrennte Flächen aufge teilt sein.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können die Flächen des ersten Standardkontakts zusammen ein Rechteck, ein Quadrat oder einen Kreis ausbilden.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können die Flächen des ersten Standardkontakts den Flächen des ersten und des zweiten elektrischen Reparaturkontaktes gleichen.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können der erste und der zweite elektrische Reparaturkontakt in einer Ebene mit dem ersten elektrischen Standardkontakt liegen, und der dritte elektrische Reparaturkontakt kann in einer Ebene mit dem zweiten elektrischen Standardkontakt liegen.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können der erste, der zweite und der dritte elektrische Reparaturkontakt in ei ner Ebene liegen, und der zweite elektrische Kontakt des elektrisch angeschlossenen Reparaturchips ein eine Fläche ausbildendes elektrisch leitendes Material mit einer drit ten Dicke aufweisen.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann die Fläche des dritten elektrischen Reparaturkontakts in zwei in einer
Ebene liegende voneinander getrennte Flächen aufgeteilt sein .
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann/können die Flä che (n) des dritten elektrischen Reparaturkontakts recht eckig, quadratisch oder kreisförmig sein.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung können der erste und der zweite elektrische Reparaturkontakt in der Ebene, ins besondere X-Y-Ebene, mit einem ersten Abstand neben dem ersten elektrischen Standardkontakt liegen und der erste und der zweite elektrische Reparaturkontakt zusammen mit dem ersten elektrischen Standardkontakt ein Modul bilden, wobei eine Vielzahl von Modulen mit einem zweiten Abstand nebeneinander entlang einer X-Achse und mit einem dritten Abstand nebeneinander entlang einer Y-Achse angeordnet sein können.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann der mindestens zwei elektrische Kontakte aufweisende Chip an die mindes tens zwei elektrischen Standardkontakte elektrisch ange schlossen sein.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann eine Vielzahl von, insbesondere 100 bis 10000000, Chips, gleichzeitig elektrisch angeschlossen, überprüft und gegebenenfalls von einem Reparaturchip ersetzt werden.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann das Überprüfen der Qualität eines Chips mittels elektrischen Betriebs, opti scher Kontrolle oder Heranziehen von Daten aus vorangegan genen Prozessschritte ausgeführt werden.
Die Erfindung wird anhand von Beispielen in Verbindung mit den Figuren näher beschrieben. Es zeigen:
Figur 1 ein erstes Ausführungsbeispiel erfindungsgemäßer Re paraturkontakte sowie deren Verwendung;
Figur 2 ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem Chip und ohne Reparaturchip; Figur 3 zeigt ein zweites Beispiel einer erfindungsgemäßen
Vorrichtung, und zwar mit einem defekten Chip und einem Reparaturchip;
Figur 4 ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen Vor richtung, und zwar ein Feld oder Array von Chips zusammen mit Reparaturkontakten auf einem Träger;
Figur 5 zeigt ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen
Vorrichtung als Array aus elektrischen Kontakten auf einem Träger;
Figur 6 zeigt ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen
Vorrichtung als Array von elektrischen Kontakten auf einem Träger;
Figuren 7A-G zeigen Beispiele erfindungsgemäßer erster und zweiter Reparaturkontakte im Vergleich zu einem ers ten Standardkontakt; Figur 8 ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen Vor richtung;
Figur 9A ein weiteres Ausführungsbeispiel von Reparaturkon takten;
Figur 9B ein weiteres Ausführungsbeispiel von Reparaturkon takten;
Figur 9C ein weiteres Beispiel von erfindungsgemäßen Repara turkontakten;
Figur 10 ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Ver fahrens .
Figur 1 zeigt ein Beispiel von erfindungsgemäßen Reparaturkon takten. Auf der linken Seite von Figur 1 sind ein erster Repa raturkontakt 15 und ein zweiter Reparaturkontakt 17 im Quer schnitt dargestellt. Auf der rechten Seite der Figur 1 ist die Wirkungsweise des ersten Reparaturkontaktes 15, des zweiten Re paraturkontakts 17 zusammen mit der Fläche des ersten elektri schen Kontaktes 3 eines Reparaturchips 1' dargestellt.
Der Reparaturchip 1' wird auf zwei Kontakte gesetzt, wobei diese mittels eines ersten Reparaturkontaktes 15 und eines zweiten Reparaturkontaktes 17 bereitgestellt werden. Ein Chip 1 bezie hungsweise ein Reparaturchip 1 'weist ein elektrisch leitendes Material auf, das die beiden Reparaturkontakte 15 und 17 elektrisch miteinander verbindet. Das elektrisch leitende Ma terial ist hier als elektrischer Kontakt 3 eines Chips 1 und insbesondere eines Reparaturchips 1' geschaffen.
Der Reparaturchip 1 ' verbindet zum einen elektrisch die beiden Reparaturkontakte 15 und 17 und weist noch einen weiteren zu sätzlichen elektrischen Kontakt 5 auf. Zwischen diesem weiteren elektrischen Kontakt 5 und den durch mittels den Reparatur chip 1' elektrisch verbundenen Reparaturkontakten 15 und 17 kann eine Spannung U angelegt werden, die einen Stromfluss durch den Reparaturchip 1' ermöglicht, sodass dieser betrieben werden kann .
Der große Pfeil in Figur 1 auf der rechten Seite veranschau licht, dass der Reparaturchip 1' auf die beiden Reparaturkon takte 15 und 17 aufgebracht wird. Das leitende Material des ersten elektrischen Kontakts 3 eines Chips 1 beziehungsweise des Reparaturchips 1', das die beiden Reparaturkontakte 15 und
17 elektrisch miteinander verbindet, kann Metall, transparen tes, elektrisch leitfähiges Oxid (TCO) und/oder einen Halblei ter aufweisen, der mit einem Dotiertyp dotiert ist.
Figur 2 zeigt ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einem Chip 1 und ohne Reparaturchip 1 ' . Figur 2 zeigt einen Chip 1, der in eine Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung eingebaut worden ist. Der Chip 1 kann Bestandteil eines elekt ronischen Bauteils, insbesondere eines LED-Packages oder einer Licht emittierenden Dioden (LED) -Anzeige sein. Die Vorrichtung weist hier zwei einander gegenüberliegende elektrische Stan dardkontakte 7 und 9 auf, an die ein zwei elektrische Kontakte 3 und 5 aufweisender Chip 1 elektrisch angeschlossen ist. Die Vorrichtung weist einen elektronischen Schalter 11 auf, der den ersten elektrischen Standardkontakt 7 mit einer Leistungsver sorgungsquelle 13 elektrisch verbindet. Das heißt, der elekt ronische Schalter 11 ist in einem Grundzustand elektrisch ge schlossen und verbindet somit elektrisch die Leistungsversor gungsquelle 13 mit dem ersten Standardkontakt 7, sodass zudem der erste elektrische Kontakt 3 des Chips 1 ebenso leistungs versorgt ist. Beispielsweise können der erste elektrische Stan dardkontakt 7 und der erste elektrische Kontakt 3 des Chips 1 mit einem Anschluss oder Pluspol der Leistungsversorgungsein richtung elektrisch verbunden sein. Der zweite elektrische Kon takt 5 des Chips 1 kann mittels des zweiten elektrischen Stan dardkontaktes 9 elektrisch an Masse oder an einen Minuspol der elektrischen Leistungsversorgungsquelle 13 angeschlossen sein. Ebenso kann der erste Standardkontakt 7 an einen Minuspol an geschlossen sein, der zweite Standardkontakt 9 entsprechend an einen Pluspol.
Figur 2 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einem Grund zustand, bei dem der Chip 1 funktioniert und damit intakt ist. Entsprechend wird kein Reparaturchip 1" benötigt. Der erste und der zweite Reparaturkontakt 15 und 17 sind elektrisch nicht miteinander verbunden. Entsprechend ist der elektronische
Schalter 11 elektrisch geschlossen. Chip 1 wird mittels der Leistungsversorgungsquelle 13 derart elektrisch versorgt, dass durch den Chip 1 ein elektrischer Strom fließen kann. Figur 2 kann aber zudem einen Zustand darstellen, in dem der Chip 1 defekt ist. Ein Strom kann weiterhin durch einen defekten Chip 1 ' ' fließen. Der defekte Chip 1"' kann dann beispielsweise eine Leuchtdiode LED sein, die zu dunkel ist.
Figur 3 zeigt ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. Figur 3 zeigt die Figur 2, allerdings mit dem Un terschied, dass der ursprüngliche intakte Chip 1 als ein defek ter Chip 1"' identifiziert worden ist, und ein Reparaturchip 1 ' elektrisch an die Vorrichtung angeschlossen worden ist. Auf der rechten Seite der Figur 3 ist der Reparaturchip 1' dargestellt. Dieser ist mit einem ersten Reparaturkontakt 15 und einem zwei ten Reparaturkontakt 17 elektrisch verbunden und an diese elektrisch angeschlossen, wobei ein erster elektrischer Kon takt 3 des Reparaturchips 1' den ersten Reparaturkontakt 15 mit dem zweiten Reparaturkontakt 17 elektrisch verbindet. Zudem weist die Vorrichtung einen dritten Reparaturkontakt 19 auf, mit dem der zweite elektrische Kontakt 5 des Reparaturchips 1 ' elektrisch verbunden und an diesen elektrisch kontaktiert ist. Der dritte Reparaturkontakt 19 kann mit einem Minuspol einer Leistungsversorgungsquelle 13 elektrisch verbunden oder elektrisch an Masse gelegt sein. Eine Leistungsversorgungs quelle 13 kann eine elektrische Stromquelle und/oder Spannungs quelle sein.
Figur 3 zeigt, wie der Reparaturchip 1' auf den ersten Repara turkontakt 15 und auf den zweiten Reparaturkontakt 17 aufgesetzt worden ist. Figur 3 zeigt, wie ein zum Chip 1 baugleicher Re paraturchip 1' an mindestens drei elektrischen Reparaturkontak ten 15, 17 und 19 elektrisch angeschlossen werden kann. Der erste elektrische Reparaturkontakt 15 ist elektrisch an eine Leistungsversorgungsquelle 13 angeschlossen, der zweite elekt rische Reparaturkontakt 17 ist elektrisch an den elektronischen
Schalter 11 und der dritte elektrische Reparaturkontakt 19 ist elektrisch an den zweiten elektrischen Standardkontakt 9 ange schlossen, wobei der zweite elektrische Standardkontakt 9 zu sammen mit dem dritten elektrischen Reparaturkontakt 19 an eine Minusquelle einer Leistungsversorgungsquelle 13 angeschlossen sein kann. Alternativ können der zweite elektrische Standard kontakt 9 und der dritte elektrische Reparaturkontakt 19 elektrisch an Masse gelegt sein. Figur 3 zeigt wie der Repara turchip 1' mittels des ersten Reparaturkontaktes 15 an die Leis tungsversorgungsquelle 13 derart angeschlossen ist, dass durch den ersten elektrischen Kontakt 3 und den zweiten elektrischen Kontakt 5 des Reparaturchips 1' über den dritten elektrischen Reparaturkontakt 19 ein elektrischer Strom durch den Reparatur kontakt 1' fließen kann. Auf diese Weise ist der defekte Chip 1 ' ' funktionell ersetzt worden. Der Reparaturchip 1' ersetzt somit die Funktion des defekten Chips 1"'. Dadurch, dass der erste elektrische Kontakt 3 den ersten Reparaturkontakt 15 elektrisch mit dem zweiten Reparaturkontakt 17 elektrisch ver bindet, wird der elektronische Schalter 11 elektrisch derart geöffnet, sodass kein Strom mehr durch den defekten Chip 1 ' ' fließen kann beziehungsweise dass keine elektrische Leistung dem defekten Chip 1"' mehr zugeführt wird. Beispielsweise kann als elektronischer Schalter 11 ein Transistor oder ein Feldef fekttransistor verwendet werden. Der zweite elektrische Repa raturkontakt 17 ist dann entweder mit der Basis des Transistors oder mit dem Gate des Feldeffekttransistors elektrisch verbun den .
Figur 4 zeigt ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, und zwar ein Feld oder Array von Chips 1 zusammen mit elektrischen Reparaturkontakten 15 und 17 auf einem gemein samen Träger T. Die Chips 1 sind gemäß diesem Beispiel regel mäßig, und zwar hier in Form eines Gitters, angeordnet. Mittels eines derartigen Feldes von hier beispielsweise Leuchtdioden (LED) -Chips 1 kann so ein Display beziehungsweise eine Anzeige realisiert werden. Es können innerhalb eines Bauteils mehrere
Arten von Chips 1 jeweils zu einem Gitter angeordnet sein. Chips 1 können hier beispielsweise rote, grüne und blaue LEDs sein. Zusätzlich zu den Positionen, an denen sich gemäß Figur 4 Chips 1 befinden, sind elektrische Reparaturkontakte 15 und 17 bereitgestellt, auf denen ein jeweiliger Reparaturchip 1' ge setzt werden kann. Figur 4 zeigt, dass der erste und der zweite elektrische Reparaturkontakt 15 und 17 in einer X-Y-Ebene mit einem ersten Abstand d neben einem jeweiligen Chip 1 entlang einer X-Achse angeordnet sein können. Ein Chip 1 bildet zusammen mit dem ersten und dem zweiten Reparaturkontakt 15 und 17 ein Modul aus. Eine Vielzahl von derartigen Modulen ist mit einem zweiten Abstand p nebeneinander entlang einer X-Achse und mit einem dritten Abstand q nebeneinander entlang einer Y-Achse angeordnet. Figur 4 zeigt wie in einem derartigen Feld bezie hungsweise in einem derartigen Array ein quadratischer Chip 1 'einen defekten Chip 1'' ersetzt. Die regelmäßig angeordneten Chips 1 haben einen mittleren Abstand p zueinander. Der mittlere Abstand zwischen den Chips 1 und den ersten und zweiten elektri schen Reparaturkontakten 15 und 17 beziehungsweise den Repara turchips 1' ist d. Beispielsweise ist d < 0,5 · p, insbesondere d < 0, 1 · p.
Figur 5 zeigt ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung als Array aus elektrischen Kontakten auf einem ge meinsamen Träger T. Die jeweiligen elektronischen Schalter 11 sind nicht dargestellt können aber an dem Träger T beispiels weise als integrierte Schaltung ausgebildet sein. In einer X- Y-Ebene sind erste elektrische Standardkontakte 7 und erste und zweite elektrische Reparaturkontakte 15 und 17 zu einem Gitter oder Feld oder Array angeordnet. Diese sind erforderlich, um eine Anordnung gemäß Figur 4 zu erzeugen. Hier sind der erste und der zweite elektrische Reparaturkontakt 15 und 17 in der X- Y-Ebene mit einem ersten Abstand d neben einem jeweiligen ersten elektrischen Standardkontakt 7 angeordnet, wobei ebenso hier der erste und der zweite elektrische Reparaturkontakt 15 und 17
zusammen mit einem nebengeordneten ersten elektrischen Stan dardkontakt 7 ein Modul ausbilden, wobei eine Vielzahl von der artigen Modulen mit einem zweiten Abstand p nebeneinander ent lang einer X-Achse und mit einem dritten Abstand q nebeneinander entlang einer Y-Achse angeordnet sind. Gemäß Figur 5 sind an stelle von Chips 1 jeweilige erste elektrische Standardkontakte 7 dargestellt, die an einen gemeinsamen Träger T integriert sind .
Figur 6 zeigt ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung als Array von elektrischen Kontakten auf einem ge meinsamen Träger T. Im Unterschied zu Figur 5 sind hier erste elektrische Standardkontakte 7 verwendet, deren Ausgestaltung der Ausgestaltung des ersten und des zweiten elektrischen Re paraturkontaktes 15 und 17 entsprechen. Entsprechend sind der artige Module entlang einer X-Achse in einem durchschnittlichen Abstand p und entlang einer Y-Achse mit einem mittleren Abstand q zueinander angeordnet. Auf diese Weise entsteht ein entspre chendes Gitter oder Feld oder ein Array vergleichbar mit der Figur 5 oder der Figur 4. Figur 6 zeigt das ein jeweiliger ers ter elektrischer Standardkontakt 7 jeweils aus beispielsweise zwei Kontakten erzeugt sein kann. Insbesondere können derartige Standardkontakte 7a und 7b zu den beiden Reparaturkontakten 15 und 17 gleich geformt und ausgebildet sein. Dies vereinfacht eine Herstellung eines derartigen Gitters sowie eine Platzie rung eines jeweiligen Chips 1 und l'auf den entsprechenden elektrischen Kontakten.
Figuren 7A bis 7D und 7F und 7G zeigen Beispiele von ersten und zweiten elektrischen Reparaturkontakten 15 und 17 im Vergleich zu einem ersten elektrischen Standardkontakt 7 in Fig. 7E. Die Figuren 7A, 7B, 7C und 7D zeigen Beispiele für zwei Reparatur kontakte 15 und 17, auf denen ein Reparaturchip 1' platziert werden kann. Figur 7A zeigt zwei flächengleiche, in einer X-Y- Ebene entlang einer Y-Achse sich räumlich erstreckende erste und zweite elektrische Reparaturkontakte 15 und 17. Figur 7B
zeigt eine sich ebenso in Y-Richtung erstreckende rechteckige Form eines ersten elektrischen Reparaturkontaktes 15, neben dem eine weitere sich ebenso in Y-Richtung erstreckende rechteckige Ausgestaltung eines zweiten elektrischen Reparaturkontaktes 17 angeordnet ist. Der erste elektrische Reparaturkontakt 15 ist durch einen länglichen Unterbrechungsstreifen von dem zweiten elektrischen Reparaturkontakt 17 beabstandet. Die Flächen des ersten und des zweiten elektrischen Reparaturkontaktes 15 und 17 ergeben zusammen mit dem Unterbrechungsstreifen ein Quadrat. Figur 7C zeigt eine quadratische Ausgestaltung des ersten elektrischen Reparaturkontaktes 15. Dieser erste elektrische Reparaturkontakt 15 ist an zwei Seitenlinien mittels zwei ent sprechenden Unterbrechungsstreifen von dem zweiten elektrischen Reparaturkontakt 17 beabstandet, wobei die Flächen des ersten elektrischen Reparaturkontaktes 15 und des zweiten elektrischen Reparaturkontaktes 17 zusammen mit den Unterbrechungsstreifen ebenso ein Quadrat ausbilden. Figur 7D zeigt ein Beispiel, bei dem sich ein erster elektrischer Reparaturkontakt 15 innerhalb eines zweiten elektrischen Reparaturkontaktes 17 angeordnet sein kann. Gemäß diesem Beispiel ist der erste elektrische Re paraturkontakt 15 als ein Kreis ausgebildet, um den herum mit einem Abstandsbereich, der ringförmig ist, der zweite elektri sche Reparaturkontakt 17 in Ausgestaltung eines Ringes angeord net ist.
Figur 7E zeigt ein Beispiel einer quadratischen Erstreckung des elektrischen Standardkontakts 7. Dabei weist der erste elekt rische Standardkontakt 7 eine Fläche Al auf. Im Gegensatz dazu ist in Figur 7F eine Anordnung aus erstem elektrischen Repara turkontakt 15 und zweitem elektrischen Reparaturkontakt 17 dar gestellt. Dabei weisen diese rechteckigen Ausgestaltungen ent sprechend Figur 7A eine Länge Y auf. Beide Rechtecke des ersten und des zweiten elektrischen Reparaturkontakts 15 und 17 bilden eine Gesamtfläche A2 aus. Figuren 7E und 7F zeigen zudem ein Beispiel einer Beabstandung zwischen Standardkontakt 7 und Re paraturkontakt 15 und 17. Ein Abstand ist hier als d angegeben.
Figur 7E zeigt ein Beispiel für einen elektrischen Standardkon takt 7 oder 9 mit einer Gesamtfläche Al. Figur 7F zeigt ein Beispiel für zwei benachbarte Reparaturkontakte 15 und 17. Letz tere bestehen aus zwei Kontaktflächen und umfassen eine Gesamt fläche A2. Der Standardkontakt weist eine umschließende Fläche von Al auf. Beispielsweise ist der Betrag von |A1 - A2 | < 0,5 (Al + A2 ) /2. Insbesondere kann |A1 - A2 | < 0,1 (Al + A2)/2 sein. Das heißt, dass sich hier die umschließenden Flächen der beiden Kontakttypen um höchstens 50 % beziehungsweise höchstens 10 % unterscheiden .
Figur 7G zeigt, dass mehr als zwei Kontakte in der Ebene des ersten elektrischen Reparaturkontaktes 15 und des zweiten elektrischen Reparaturkontaktes 17 ausgebildet sein können. Fi gur 7G zeigt zusätzlich zu dem ersten elektrischen Reparatur kontakt 15 und dem zweiten elektrischen Reparaturkontakt 17 einen weiteren elektrischen Reparaturkontakt 21. Das heißt, ein Reparaturchip 1' kann auf eine Vielzahl, hier größer zwei, von elektrischen Reparaturkontakten gesetzt werden, deren Flächen oder Kontaktflächen alle in einer Ebene liegen können. Auf diese Weise können weitere elektrische Kontakte hergestellt werden und auf diese Weise können beispielsweise weitere elektronische Schalter betätigt werden. Ein Reparaturchip 1' kann also eine Vielzahl von elektrischen Kontakten beziehungsweise entspre chende elektrische Kontaktflächen und damit Kontakte elektrisch miteinander verbinden. Auf diese Weise kann eine beliebige An zahl von elektrischen Kontakten hergestellt werden, die unter schiedlich verwendet werden können. Grundsätzlich können wei tere elektronische Schalter geöffnet oder geschlossen werden. In Figur 7G sind elektrische Reparaturkontakte 15 und 17 sich in Y-Richtung erstreckende Rechtecke und in Y-Richtung oberhalb zu diesen ist ein weiterer elektrischer Reparaturkontakt 21 angeordnet. Letzterer bildet ein sich in X-Richtung erstrecken des Rechteck aus. Alle Rechteckecken können abgerundet ausge bildet sein.
Figur 8 zeigt ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, und zwar mit einem Beispiel eines weiteren Repa raturchips 1'. Gemäß der Figur 8 liegen der erste, der zweite und der dritte elektrische Reparaturkontakt 15, 17 und 19 in einer Ebene an einem gemeinsamen Träger T an. Der zweite elekt rische Kontakt 5 des elektrisch angeschlossenen Reparaturchips 1 ' weist ein eine Fläche ausbildendes elektrisch leitendes Ma terial mit einer dritten Dicke D3 auf. Die dritte Dicke D3 des zweiten elektrischen Kontaktes 5 ist derart bereitgestellt, dass der Reparaturchip 1' mit dem dritten elektrischen Reparaturkon takt 19 elektrisch verbunden werden kann. Auf diese Weise kann eine Spannung an dem dritten elektrischen Reparaturkontakt 19 und dem ersten oder zweiten elektrischen Reparaturkontakt an- liegen, sodass zudem ein elektrischer Strom den dritten elektri schen Reparaturkontakt 19 über den ersten und den zweiten elektrischen Kontakt 3 und 5 und über den ersten und/oder zwei ten elektrischen Reparaturkontakt 15 und/oder 17 fließen kann. In Figur 8 ist dieser Stromfluss I als gekrümmter Pfeil darge stellt. Figur 8 zeigt, dass der Reparaturchip 1' auf weitere Kontakte gesetzt werden kann, die sich ebenso auf der gleichen Seite des Chips 1' wie der erste Reparaturkontakt 15 und der zweite Reparaturkontakt 17 befinden können. Durch diese weite ren elektrischen Reparaturkontakte kann ein Stromfluss I durch den Reparaturchip 1 ' zu den ersten und zweiten Reparaturkontak ten 15 und 17 erfolgen, um den Reparaturchip 1' zu betreiben.
Figur 3 zeigt im Unterschied zu Figur 8, dass der erste und der zweite elektrische Reparaturkontakt 15 und 17 in einer Ebene, insbesondere eines gemeinsamen Trägers T, mit dem ersten elektrischen Standardkontakt 7 liegen, wobei der dritte elekt rische Reparaturkontakt 19 ebenso in einer Ebene, insbesondere eines zweiten gemeinsamen Trägers, mit dem zweiten elektrischen Standardkontakt 9 liegt.
Figuren 9A bis 9C zeigen Beispiele für Geometrien von ersten, zweiten und dritten Reparaturkontakten. Diese können beispiels weise bei einer Vorrichtung gemäß Fig . 8 angewendet werden.
Figur 9A zeigt ein erstes Beispiel von Flächen von Reparatur kontakten. Der erste elektrische Reparaturkontakt 15 weist eine gleiche Rechteckfläche wie der zweite elektrische Reparaturkon takt 17 auf. Beide Rechteckflächen erstrecken sich entlang einer Y-Richtung. Entsprechend Figur 8 ist in X-Richtung rechts da neben ein dritter elektrischer Reparaturkontakt ausgebildet, der die Form eines Quadrates aufweist. In den Rechtecken und Quadraten können die Ecken gerundet ausgeführt sein. Die Sei tenlänge des Quadrates entspricht der Längserstreckung der Rechtecke in Y-Richtung. Die Abstände benachbarter Kontakte in X-Richtung sind gleich.
Figur 9B zeigt eine Ausgestaltung der Flächen des ersten, zwei ten und dritten elektrischen Reparaturkontaktes 15, 17 und 19. Dabei ist die Fläche des ersten elektrischen Reparaturkontaktes 15 quadratisch, die Fläche des zweiten elektrischen Reparatur kontaktes 17 ist rechteckig und in Y-Richtung sich länglich oberhalb des Quadrates erstreckend. Zu diesen beiden Flächen ist in X-Richtung rechts daneben der dritte elektrische Repa raturkontakt 19 als in Y-Richtung sich erstreckendes Rechteck angeordnet, dessen Länge der Gesamtlänge von ersten elektrischen Reparaturkontakt 15 und zweiten elektrischen Reparaturkon takt 17 einschließlich eines dazwischenliegenden Abstandsberei ches gleicht. Der erste und der zweite elektrische Reparatur kontakt 15 und 17 sind gleich breit und zur Breite des dritten elektrischen Reparaturkontakts 19 unterschiedlich breit.
Figur 9C zeigt ein weiteres Beispiel von erfindungsgemäßen elektrischen Reparaturkontakten. Die elektrischen Reparaturkon takte sind gleichflächig. Dabei ist ein dritter elektrischer Reparaturkontakt 19 in zwei Reparaturkontaktflächen 19a und 19b aufgeteilt, wobei diese Flächen Rechtecke ausbilden, die sich
entlang deren Länge in einer X-Richtung erstrecken und in einer Y-Richtung nebeneinander angeordnet sind. Symmetrisch zu einer Achse in einer Y-Richtung dazu sind der erste elektrische Re paraturkontakt 15 und der zweite elektrische Reparaturkontakt 17 ausgebildet und positioniert. Alle vier Reparaturkontakte weisen eine gleiche Fläche auf. Die beiden elektrischen Repa raturkontakte 19a und 19b können entsprechend den ersten elektrischen Reparaturkontakt 15 und zweiten elektrischen Re paraturkontakt 17 mittels eines auf alle elektrische Reparatur kontakte aufgesetzten Reparaturchips 1' elektrisch miteinander derart verbunden werden, dass zudem noch ein weiterer elektro nischer Schalter geschaltet wird. Je nach Aufgabenstellung kön nen elektrische Standardkontakte und/oder elektrische Repara turkontakte flächig aufgeteilt sein, je nachdem, welche Schalt aufgaben gelöst werden sollen.
Figur 10 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Verfahrens. Das Verfahren betrifft den Ersatz von mindestens einem Chip oder elektronischem Bauelement eines elektronischen Bauteils, das beispielsweise eine LED-Package oder eine LED- Anzeige sein kann, unter Verwendung von erfindungsgemäßen Vor richtungen. Mit einem ersten Schritt S1 kann ein elektrisches Anschließen eines mindestens zwei elektrische Kontakte aufwei senden Chips an mindestens einen elektrischen Standardkontakt ausgeführt werden. Wird ein Chip an einen ersten Kontakt ange schlossen, kann der Chip bereits als defekt erkannt werden. Hierfür muss der Chip nicht unbedingt elektrisch betrieben wer den, das heißt, an zwei Kontakten angeschlossen sein. Diese Information kann ebenso aus anderen Messungen oder Vormessungen stammen. Dann wird ein Reparaturchip angeschlossen. Erst danach könnte der zweite Kontakt des defekten Chips gebildet werden, beispielsweise zusammen mit dem dritten Kontakt des Reparatur chips. Mit einem zweiten Schritt S2 kann ein Überprüfen der Qualität des Chips oder der Chips und ein Identifizieren von Chips als defekte Chips ausgeführt werden. Mittels eines dritten Schrittes S3 kann ein elektrisches Anschließen eines zum Chip
baugleichen Reparaturchips an mindestens drei elektrischen Re paraturkontakten ausgeführt werden, wobei der Reparaturchip mittels des ersten und des dritten Reparaturkontakts leistungs versorgt wird und den ersten und den zweiten Reparaturkontakt elektrisch miteinander verbindet, sodass ein elektronischer Schalter den defekten Chip von einer Leistungsversorgungs quelle trennt. Auf diese Weise würde ein defekter Chip ersetzt und leistungslos geschaltet.
Das Verfahren kann für eine Vielzahl von Chips ausgeführt wer den. Nach einem Bereitstellen eines Trägers oder Substrats mit den entsprechenden Standardkontakten und Reparaturkontakten können Chips auf die elektrischen Standardkontakte aufgesetzt und elektrisch verbunden und angeschlossen werden. Ein Überprü fen der Qualität der Chips kann beispielsweise durch elektri schen Betrieb, optische Kontrolle oder Heranziehen von Daten aus vorangegangenen Prozessschritten ausgeführt werden. Bei entsprechender Identifizierung von defekten Chips können ent sprechend weitere Chips auf die Reparaturkontakte aufgebracht und elektrisch angeschlossen werden.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße Ver fahren können beispielsweise für einen einzelnen Chip ausgeführt werden. Grundsätzlich kann eine beliebige Mehrzahl von Chips auf bereitgestellten Standardkontakte gesetzt und angeschlossen werden. Beispielsweise können gleichzeitig 100 Chips oder bis 1000000 Chips elektrisch angeschlossen werden. Die Anordnungen gemäß Figur 4, Figur 5 und Figur 6 zeigen wie eine Vielzahl von Chips gleichzeitig auf Standardkontakte eines gemeinsamen Trä gers T elektrisch angeschlossen werden können. Entsprechend sind Standardkontakte 7, 7a und 7b zusammen mit Reparaturkontakten 15 und 17 ausgebildet.
Bezugszeichenliste
I Chip
1 ' Reparaturchip
1' ' defekter Chip
3 erster elektrischer Kontakt
5 zweiter elektrische Kontakt
7 erster Standardkontakt
9 zweiter Standardkontakt
II elektronischer Schalter
13 elektrische Leistungsversorgungsquelle 15 erster elektrischer Reparaturkontakt 17 zweiter elektrischer Reparaturkontakt
19 dritter elektrischer Reparaturkontakt
21 weiterer elektrischer Reparaturkontakt D Dicke
T Träger
p, d, q Abstände
A Flächen
Claims
1. Vorrichtung zum Ersatz von mindestens einem Chip (1) oder elektronischen Bauelement eines elektronischen Bau- teils, insbesondere eines LED- Packages oder einer LED- Anzeige, aufweisend
mindestens zwei elektrische Standardkontakte (7, 9), an die ein mindestens zwei elektrische Kontakte (3, 5) aufweisender Chip (1) elektrisch anschließbar ist; einen elektronischen Schalter (11), der den ersten elektrischen Standardkontakt (7) mit einer elektri schen Leistungsversorgungsquelle (13) elektrisch ver bindet;
mindestens drei elektrische Reparaturkontakte (15, 17, 19), an die ein zum Chip (1) baugleicher Repara turchip (1') elektrisch anschließbar ist, wobei der erste elektrische Reparaturkontakt (15) elektrisch an die elektrische Leistungsversorgungsquelle (13), der zweite elektrische Reparaturkontakt (17) elektrisch an den elektronischen Schalter (11) und der dritte elektrische Reparaturkontakt (19) elektrisch an den zweiten elektrischen Standardkontakt (9) angeschlos sen ist.
2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
der elektronische Schalter (11) einen Transistor, insbe sondere ein Feldeffekttransistor umfasst, dessen Basis be ziehungsweise Gate der zweite elektrische Reparaturkontakt (17) elektrisch gekoppelt ist.
3. Vorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, dass
der erste elektrische Kontakt (3) des elektrisch ange- schlossenen Reparaturchips (1') den ersten elektrischen Reparaturkontakt (15) elektrisch mit dem zweiten elektri schen Reparaturkontakt (17) verbindet.
4. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass
der zweite elektrische Kontakt (5) des elektrisch ange schlossenen Reparaturchips (1') mit dem dritten elektri schen Reparaturkontakt (19) elektrisch verbunden ist.
5. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
der zweite elektrische Standardkontakt (9) und der dritte elektrische Reparaturkontakt (19) elektrisch an Masse oder an einem Gegenpol zur elektrischen Leistungsversorgungs quelle (13) gelegt sind.
6. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
der erste elektrische Kontakt (3) des Reparaturchips (1') ein eine Fläche ausbildendes elektrisch leitendes Material mit einer ersten Dicke (Dl) aufweist.
7. Vorrichtung gemäß Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, dass
die elektrischen Standardkontakte (7, 9) und die elektri schen Reparaturkontakte (15, 17, 19) jeweils ein eine, insbesondere gleiche, Fläche ausbildendes elektrisch lei tendes Material mit einer zweiten Dicke (D2) aufweisen.
8. Vorrichtung gemäß Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, dass
die erste Dicke (Dl) gleich der zweiten Dicke (D2) ist.
9. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass
die Flächen des ersten und des zweiten elektrischen Stan dardkontakts (7, 9) jeweils rechteckig, quadratisch oder kreisförmig ausgebildet sind.
10. Vorrichtung gemäß Anspruch 7, 8 oder 9,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Flächen des ersten und des zweiten elektrischen Repa raturkontaktes (15, 17) in einer Ebene liegen und zusammen als Gesamtfläche rechteckig, quadratisch oder kreisförmig ausgebildet sind.
11. Vorrichtung gemäß Anspruch 7, 8 oder 9,
dadurch gekennzeichnet, dass
den Flächen des ersten und des zweiten elektrischen Repa- raturkontaktes (15, 17) in einer Ebene mindestens eine weitere Kontaktfläche (21) hinzugefügt ist, wobei die Ge samtfläche rechteckig, quadratisch oder kreisförmig aus gebildet ist.
12. Vorrichtung gemäß Anspruch 7, 8, 9, 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass
die Fläche des ersten elektrischen Standardkontakts (7) in mindestens zwei in einer Ebene liegende voneinander ge trennte Flächen (7a, 7b) aufgeteilt ist.
13. Vorrichtung gemäß Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Flächen (7a, 7b) des ersten Standardkontakts zusammen ein Rechteck, ein Quadrat oder einen Kreis ausbilden.
14. Vorrichtung gemäß Anspruch 11, 12 oder 13,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Flächen (7a, 7b) des ersten Standardkontakts den Flä chen des ersten und des zweiten elektrischen Reparaturkon- taktes (15, 17) gleichen.
15. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche 4 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, dass
der erste und der zweite elektrische Reparaturkontakt (15, 17) in einer Ebene mit dem ersten elektrischen Standard-
kontakt (7) liegen, und der dritte elektrische Reparatur kontakt (19) in einer Ebene mit dem zweiten elektrischen Standardkontakt (9) liegt.
16. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche 4 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, dass
der erste, der zweite und der dritte elektrische Repara turkontakt (15, 17, 19) in einer Ebene liegen, und der zweite elektrische Kontakt (5) des elektrisch angeschlos senen Reparaturchips (1') ein eine Fläche ausbildendes elektrisch leitendes Material mit einer dritten Dicke (D3) aufweist .
17. Vorrichtung gemäß Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Fläche des dritten elektrischen Reparaturkontakts (19) in zwei in einer Ebene liegende voneinander getrennte Flä chen (19a, 19b) aufgeteilt ist.
18. Vorrichtung gemäß Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Fläche (n) des dritten elektrischen Reparaturkontakts (19; 19a, 19b) rechteckig, quadratisch oder kreisförmig ist/sind.
19. Vorrichtung gemäß Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet, dass
der erste und der zweite elektrische Reparaturkontakt (15, 17) in einer X-Y-Ebene mit einem ersten Abstand (d) neben dem ersten elektrischen Standardkontakt (7) liegen und der erste und der zweite elektrische Reparaturkontakt (15, 17) zusammen mit dem ersten elektrischen Standardkontakt (7) ein Modul bilden, wobei eine Vielzahl von Modulen mit einem zweiten Abstand (p) nebeneinander entlang einer X-Achse und mit einem dritten Abstand (q) nebeneinander entlang einer Y-Achse angeordnet sind.
20. Vorrichtung gemäß einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
der mindestens zwei elektrische Kontakte (3, 5) aufwei sende Chip (1) an die mindestens zwei elektrischen Stan dardkontakte (7, 9) elektrisch angeschlossen ist.
21. Verfahren zum Ersatz von mindestens einem Chip (1) oder elektronischen Bauelement eines elektronischen Bau teils, insbesondere eines LED- Packages oder einer LED- Anzeige, mittels einer Vorrichtung gemäß einem der vorhe rigen Ansprüche 1 bis 20, mit den Schritten
- elektrisches Anschließen eines mindestens zwei elektri sche Kontakte (3, 5) aufweisenden Chips (1) an mindestens einen elektrischen Standardkontakt (7, 9);
- Überprüfen der Qualität des Chips (1) und Identifizieren des Chips (1) als einen defekten Chip (1'');
- elektrisches Anschließen eines zum Chip (1) baugleichen Reparaturchips (1') an mindestens drei elektrischen Repa raturkontakten (15, 17, 19), wobei der Reparaturchip (1') mittels des ersten und des dritten Reparaturkontaktes (15, 19) leistungsversorgt wird und den ersten und den zweiten Reparaturkontakt (15, 17) elektrisch miteinander verbin det, so dass ein elektronischer Schalter (11) den defekten Chip (1'') von einer elektrischen Leistungsversorgungs quelle (13) trennt.
22. Verfahren gemäß Anspruch 21,
dadurch gekennzeichnet, dass
eine Vielzahl von Chips (1), insbesondere 100 bis 1000000 Chips (1), insbesondere gleichzeitig, elektrisch ange schlossen, überprüft und gegebenenfalls von einem Repara turchip (1') ersetzt werden.
23. Verfahren gemäß Anspruch 21 oder 22,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Überprüfen der Qualität eines Chips (1) mittels elektrischen Betriebs, optischer Kontrolle oder Heranzie hen von Daten aus vorangegangenen Prozessschritte ausge führt wird.
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