WO2020130469A1 - 블록 히터 및 블록 히터 어셈블리 - Google Patents

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gas line
block heater
heat
heating element
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민명기
김정국
오세용
이태호
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
    • F24H9/00—Details
    • F24H9/18—Arrangement or mounting of grates or heating means
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
    • F24H3/00—Air heaters
    • F24H3/02—Air heaters with forced circulation
    • F24H3/06—Air heaters with forced circulation the air being kept separate from the heating medium, e.g. using forced circulation of air over radiators
    • F24H3/08—Air heaters with forced circulation the air being kept separate from the heating medium, e.g. using forced circulation of air over radiators by tubes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof

Definitions

  • the present invention relates to a block heater and block heater assembly.
  • a chemical vapor deposition (CVD) process refers to a process in which a vaporized gas is vaporized by depositing a vaporized gas in a thin film shape on the surface of a semiconductor device.
  • CVD chemical vapor deposition
  • the liquid material is heated non-uniformly, resulting in defects such as particles. Therefore, how constant temperature is provided over the entire gas line is a problem directly related to semiconductor manufacturing efficiency.
  • 1 is a schematic configuration diagram of an existing block heater.
  • a block heater 40 for heating the gas line 30 between the vaporizer 10 and the chamber 20 is disposed in the semiconductor manufacturing apparatus 1, and the block heater 40 is provided in plural.
  • the divided unit heating modules 41, 43, and 45 are included.
  • the existing block heater has the following problems.
  • the unit heating modules (41, 43, 45) in contact with neighbors A predetermined gap is generated in between, and a portion of the gas line 30 is exposed to the outside due to the gap.
  • connection structure of a block heater that provides a uniform temperature within a predetermined section of the gas line so as to secure the stability of the vaporized gas.
  • An embodiment relates to a block heater and a block heater assembly capable of providing a uniform temperature within a predetermined section of a gas line by modifying the shape of the heat transfer unit so that the connection structures between adjacent block heaters overlap each other.
  • the technical problem to be solved in the embodiment is not limited to the technical problem mentioned above, and another technical problem not mentioned will be clearly understood by a person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs from the following description. Will be able to.
  • the heating element for supplying a predetermined heat to the gas line; And a heat transfer unit transferring heat between the gas line and the heating element to the gas line, wherein the heat transfer unit includes an iron portion or a recess formed on at least one side along the longitudinal direction of the gas line. It provides a block heater.
  • the heat transfer part may be formed of an aluminum material (Al) having excellent heat conduction efficiency.
  • An aluminum oxide (Al 2 O 3 ) film may be formed on the surface of the heat transfer part by an anodizing treatment.
  • the heating element may be a planar heating element.
  • a cover plate which is disposed to face the heat transfer part with the heating element interposed therebetween, and further includes an air gap between the outer surface of the cover plate and the inner surface of the housing.
  • the heat transfer unit a first groove having a shape conforming to the gas line; And a second groove disposed adjacent to the first groove and having a shape corresponding to a connector mounted at an end of the gas line.
  • a plurality of block heaters including a heat transfer unit is included, and iron or recesses are disposed at both ends in the longitudinal direction of the heat transfer unit, and the iron and recess portions of the heat transfer unit are engaged with each other to be coupled.
  • the plurality of block heaters may include one or more heating elements that supply predetermined heat to the gas line.
  • One surface of the convex portion may be in contact with the gas line, and one surface of the concave portion may be spaced apart from the gas line to be in contact with the other surface of the convex portion.
  • connection part disposed between the heat transfer parts may be further included, and the connection part may be formed of a material having the same thermal conductivity as the heat transfer part.
  • the state change of the process gas flowing in the gas line is suppressed, and defective particles such as particles are significantly reduced, It provides an effect of improving the quality of the deposited film.
  • 1 is a schematic configuration diagram of an existing block heater.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing a configuration of a semiconductor manufacturing apparatus equipped with a block heater assembly according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the block heater assembly shown in FIG. 2.
  • FIG. 4 shows a cross-sectional view of the block heater taken along line 1-1' shown in FIG. 2.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a heat transfer part of a block heater assembly according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a perspective view showing a heat transfer part of a block heater assembly according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a heat transfer part of a block heater assembly according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a view illustrating a block heater applied to a gas line including a 3-way valve according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a perspective view showing a block heater assembly according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing a configuration of a semiconductor manufacturing apparatus equipped with a block heater assembly according to an embodiment of the present invention.
  • the semiconductor manufacturing apparatus 10 deposits a thin film on the substrate S by injecting a vaporizing apparatus 100 for vaporizing a liquid process material and process gas supplied from the vaporizing apparatus 100 therein.
  • the block heater assembly 400 may include a plurality of block heaters 400a, 400b, and 400c provided in each of the heating zones z1, z2, z3 divided into a plurality.
  • Each of the plurality of block heaters 400a, 400b, and 400c corresponds to a unit unit constituting the block heater assembly 400, and the block heater assembly 400 is an assembly in which a plurality of block heaters 400a, 400b, and 400c are combined. It is possible to provide uniform temperature heat to the entire furnace gas line 300.
  • FIG. 2 shows a block heater assembly provided with three block heaters, this is only an example and the number of block heaters may vary depending on the length of the gas line or the operator's design.
  • the block heater assembly 400 can be easily detached for each unit unit during maintenance work by having block heaters 400a, 400b, and 400c composed of unit units.
  • each of the plurality of block heaters 400a, 400b, and 400c includes a heat transfer unit 410 accommodating the gas line 300, a housing 420 surrounding the heat transfer unit 410 and forming an exterior, and a predetermined It may include a heating element (not shown) for supplying heat.
  • the heat transfer unit 410 may include a rectangular block body 411 and a convex portion 413 or a concave portion 415 formed along the longitudinal direction of the gas line 300 on at least one side or the other side. Can.
  • the convex portion 413 and/or the concave portion 415 of the heat transfer portion 410 serves as a connection portion for coupling between adjacent block heaters.
  • an end portion of the heat transfer unit 410 formed on one side or the other side of the block heaters 400a and 400c communicating with the vaporizer 100 and/or the process chamber 200 may have a flat surface.
  • the convex portion 413 may include a coupling protrusion 4131 formed to protrude by a predetermined length from the outer surface of the block body 411.
  • the recessed portion 415 may include a coupling groove 4151 recessed by a predetermined length from the outer surface of the block body 411 and a side wall 4203 provided at both ends by the coupling groove 4151 is formed.
  • the engaging projection 4131 of the iron portion 413 formed on one side of the second block heater 400b is inserted into and seated in the engaging groove 4151 of the recess 415 formed on the other side of the first block heater 400a, thereby The first block heater 400a and the second block heater 400b are coupled to each other.
  • the coupling groove 4151 of the concave portion 415 formed on the other side of the second block heater 400b accommodates the coupling protrusion 4131 of the iron portion 413 formed on one side of the third block heater 400c, so that the second block The heater 400b and the third block heater 400c are coupled to each other.
  • the adjacent block heaters are engaged in close contact with each other by fitting the concave portions 413 and the concave portions 415 of the heat transfer unit 410 in the longitudinal direction of the gas line 300, and the coupling area between adjacent block heaters.
  • the coupling protrusion 4131 of the iron part 413 and the side wall 4153 of the recess 415 overlap each other in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the gas line 300.
  • one surface 4131a of the convex portion 413 is in contact with the gas line 300, and one surface 4415a of the concave portion 415 is spaced apart from the gas line 300, and the other surface 4131b of the convex portion 413 ).
  • the convex portions 413 and the concave portions 415 of adjacent block heaters are formed in a staggered structure to be coupled to each other Therefore, a uniform temperature distribution can be maintained throughout the gas line 300.
  • the block heater assembly 400 may uniformly heat the gas line 300 in the heating zones z1, z2, z3 divided into a plurality.
  • a sealed space is formed in the predetermined gap a2 by the engaging groove 4151 of the first block heater 400a and the engaging projection 4131 of the second block heater 400b, and inside the sealed space
  • a heat convection path is formed along the arrow (concentric circle). Since heat supplied from the first and second block heaters 400a and 400b is transferred to the gas line 300 according to the heat convection path, a cold spot is generated in some regions of the gas line 300. Can be prevented.
  • the block heater assembly 400 forms a heat transfer part 410 of a block heater adjacent to each other in an overlapping structure, thereby reducing temperature variations between block heaters and simultaneously reducing the gas line ( 300) may provide an effect of preventing a cold spot occurring in a part. Accordingly, since the phase change of the process gas flowing through the gas line 300 (for example, a phase change from a gas phase to a liquid phase) is not performed, the quality of the deposited film may be improved. In addition, it is not only easy to align when assembling, but also maximizes surface contact to prevent heat loss to the outside.
  • an assembly process of a block heater according to an embodiment will be described.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the block heater assembly shown in FIG. 2.
  • the block heater assembly 400 includes a plurality of block heaters (400a, 400b), each of the plurality of block heaters (400a, 400b) vertically or horizontally It can be formed in a separable symmetrical structure.
  • the gas line 300 includes a conduit 310 formed in a circular shape, a body 320 of a 2-way valve, and a connector 330 in which a bolt is installed.
  • the heat transfer part 410 of the first block heater 400a has a shape conforming to the gas line 300 to be tightly fitted to the gas line 300.
  • concave grooves 4171 and 4173 are formed in the conduit 310 of the gas line 300 and the body 320 portion of the 2-way valve so as to make surface contact with the gas line 300, and the bolt is
  • a stepped groove 4175 is formed in the installed connector 330 so that the bolt can be contacted in any state.
  • a plurality of grooves 417 are formed in the heat transfer unit 410 so that the contact area is increased over the entire gas line 300, and a predetermined heat is transferred from the heat transfer unit 410 to the gas line 300. To ensure uniform conduction, when a site where a contact state is disconnected is generated, the heat conduction efficiency at this site may be significantly reduced.
  • the first unit block heater 400a-1 among the first block heaters 400a formed in a symmetrical structure is assembled in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the gas line 300 to be heated. It is in close contact with the chain gas line 300 evenly.
  • the first unit block heater (400a-1) of the upper and / or side portion is provided with a fastening means 500, such as a hook, catch clip.
  • the second unit block heater 400a-2 among the first block heaters 400a formed in a symmetrical structure is uniformly in close contact with the gas line 300 to be heated, and at the same time
  • the first unit block heater 400a-1 is firmly fastened and coupled by the fastening means 500 provided in the one unit block heater 400a-1.
  • the first unit block heaters 400a-1 and the second unit block heaters 400a-2 constituting the first block heater 400a are centered on the longitudinal direction of the gas line 300. It is symmetrical, and each unit block heater 400a-1, 400a-2 contains the same component.
  • FIG. 4 shows a cross-sectional view of the block heater taken along line 1-1' shown in FIG. 2.
  • the block heater 400a includes a heat transfer unit 410 accommodating the gas line 300, a housing 420 surrounding the heat transfer unit 410 and forming an exterior, and supplying predetermined heat.
  • the heating element 430 and a cover plate 440 that shields the heating element 430 may be included.
  • the heat transfer unit 410 is formed to conform to the shape of the gas line 300 and contacts the surface of the gas line 300 so that a predetermined heat supplied from the heating element 430 can be conducted to the gas line 300. Can be.
  • the heat transfer unit 410 is preferably provided with a material having excellent thermal conductivity.
  • the heat transfer unit 410 may include one selected from the group consisting of aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), tungsten (W), and combinations thereof, but is not limited thereto. no.
  • the heat transfer unit 410 formed of a material having high heat conduction can smoothly conduct heat transferred from the heating element 430 to the gas line 300.
  • the surface of the heat transfer unit 410 is anodized to be resistant to corrosion resistance and abrasion resistance, and an aluminum oxide (Al 2 O 3 ) film may be formed on the surface of the heat transfer unit 410 by the treatment.
  • Al 2 O 3 aluminum oxide
  • At one end of the heat transfer unit 410 at least one groove having a shape corresponding to the outer circumferential surface of the gas line 300 (including, for example, concave grooves 4171 and 4173 and stepped groove 4175) This is formed, the other end of the receiving groove 419 is recessed to a predetermined depth to accommodate the heating element 420 may be formed.
  • the heating element 430 may supply predetermined heat to the heat transfer unit 410 so that the process gas flowing in the gas line 300 can be heated to a constant temperature.
  • the heating element 430 may be formed of a planar heating element having a uniform temperature distribution so that the heating portion is evenly distributed over the entire area.
  • the heating element 430 may be seated in the receiving groove 419 formed at the other end of the heat transfer unit 410. At this time, so that a separate space or an air pocket (air pocket) between the receiving groove 419 and the heating element 420 is not formed, the depth or width of the receiving groove 419 and the thickness or width of the heating element 420 are each other. Can be countered. The reason is that when an air pocket occurs on the bonding surface between the receiving groove 419 and the heating element 420, it is impossible to provide a uniform temperature to the heat transfer part 410 due to partial heat generation.
  • the cover plate 440 is disposed to face the heat transfer unit 410 with the heating element 430 therebetween. In addition, the cover plate 440 is disposed on the other end of the heat transfer unit 410 and the heating element 430 to shield the heating element 430 seated in the receiving groove 419.
  • the cover plate 440 may be provided to improve the uniformity of heat emitted from the heating element 430 and to fix the position of the heating element 430, for example, may be made of silicon carbide (Sic) material.
  • the housing 420 may surround the heat transfer unit 410 and/or the cover plate 440 and form the exterior of the block heater 400a.
  • the housing 420 may be formed of a high heat-resistant insulating material to prevent heat supplied from the heating element 430 from escaping to the outside of the block heater 400a.
  • a material such as polyether ether ketone (PEEK) may be used.
  • a coating layer may be provided on the inner surface of the housing 420 to reflect heat emitted from the heat generator 430 to the heat transfer unit 410.
  • a predetermined air layer 450 (air gap) may be formed between the inner surface of the housing 420 and the outer surface of the cover plate 440. The reason is that when the air layer 450 is not formed inside the housing 420, heat generated by the heating element 430 is conducted to the interior of the housing 420 through the cover plate 440. This is because the heat insulation performance of the housing 420 may be significantly reduced by heat.
  • the block heater 400a controls a heat flow path between the heating element 430 and the housing 420 by forming a separate air layer 450 inside the housing 420, and the housing ( 420) can be secured.
  • the width d1 of the air layer 450 may be the same as or correspond to the width d2 of the heating element 430.
  • the area of the air layer 450 may be the same as or correspond to the area of the heating element 430.
  • the heating element 430 is designed to be shielded by the receiving groove 419 and the cover plate 440 of the heat transfer unit 410 to provide heat of a uniform temperature.
  • the heating element 420 is not directly disposed on one side and/or the other side of the heat transfer unit 410 for design reasons. Therefore, in order not to cause a local temperature difference across the entire gas line 300, a method of increasing heat conduction efficiency at one side and/or the other side of the heat transfer unit 410 connected to an adjacent block heater is required. . This will be described below with reference to FIGS. 5 to 7.
  • 5 to 7 show a perspective view of the heat transfer section taken along the 2-2' line shown in FIG.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a heat transfer part of a block heater assembly according to an embodiment of the present invention.
  • the first and second heat transfer parts 410a and 410b have the same shape in which the concave portions 415 and the convex portions 413 are formed on one side and the other side, respectively. At this time, the first and second heat transfer parts 410a and 410b may be sequentially arranged along the length direction of the gas line 300.
  • the first heat transfer unit 410a includes a recessed portion 415a formed on one side and an iron portion 413a formed on the other side, and a second heat transfer portion 410b is a recessed portion 415b formed on one side and an iron portion formed on the other side ( 413b).
  • the convex portion 413 includes a coupling protrusion 4131 formed to protrude by a predetermined length from the outer surface of the block body 411, and the concave portion 415 is formed with a coupling groove recessed by a predetermined length from the outer surface of the block body 411 ( 4151) and a side wall 4153 provided at both ends by a coupling groove 4151 is formed.
  • the convex portion 413a formed on the other side of the first heat transfer portion 410a is provided with a concave portion 415b provided on one side of the second heat transfer portion 410b. They are superimposed on each other in a mutually fitting manner.
  • the concave portion 415b is formed to a size in which the convex portion 413a can be inserted, and the width of the engaging projection 4131 is such that the engaging projection 4131 is seated inside the engaging groove 4131 so that the engaging projection 4131 has a width. It may be the same as the width of.
  • the width of the engaging projection 4131 may be approximately 3mm to 8mm, but the scope of the present invention is not necessarily limited thereto.
  • the heat supplied from the first heating element is the second via the one side recessed portion 415b of the second heat transfer portion 410b overlapping the other side of the first heat transfer portion 410a (413a)
  • the heat that is conducted to the heat transfer unit 410b and supplied from the second heating element (not shown) is the other iron portion of the first heat transfer unit 410a overlapping one recess 415b of the second heat transfer unit 410b. It may be conducted to the first heat transfer unit 410a via 413a.
  • a heat conduction path is formed between the other side coupling protrusion 4131 of the first heat transfer unit 410a and one side wall 4152 of the second heat transfer unit 410b overlapping with each other, so that a heat conduction path is formed.
  • the block heater assembly 400 may uniformly heat the gas line 300 in the heating zones z1, z2, z3 divided into a plurality.
  • FIG. 6 is a perspective view showing a heat transfer part of a block heater assembly according to another embodiment of the present invention.
  • each of the first and second heat transfer parts 410a and 410b has recesses 415a or iron parts 413b formed on both sides, and have different shapes.
  • the first and second heat transfer units 410a and 410b may be alternately arranged along the longitudinal direction of the gas line 300.
  • the second heat transfer unit 410b is formed with iron portions 413b on both sides, and first and third heat transfer units 410a and 410c disposed on one side and the other side of the second heat transfer unit 410b are on both sides, respectively. In the recesses (415a, 415c) may be formed. As described above, when the second heat transfer units 410b are disposed between the first and third heat transfer units 410a and 410c on which the recessed portions 415a and 415c are formed on both sides, the user may perform predetermined heat during maintenance work. There is an advantage that the transfer part can be easily detached.
  • the concave portion 415a formed on the other side of the first heat transfer portion 410a includes an iron portion 413b provided on one side of the second heat transfer portion 410b.
  • adjacent heat transfer units are formed of staggered structures overlapping each other, so that the bonding regions B1 and/or the second and third heat transfer units of the first and second heat transfer units 410a and 410b are A heat conduction path is formed in each of the bonding regions B2 of 410b and 410c, and temperature compensation is made along the formed heat conduction path, so that the first to third heat transfer parts 410a, 410b, and 410c are uniform throughout.
  • One temperature distribution can be maintained.
  • the block heater assembly 400 may uniformly heat the gas line 300 in the heating zones z1, z2, z3 divided into a plurality.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a heat transfer part of a block heater assembly according to another embodiment of the present invention.
  • the first and second heat transfer parts 410a and 410b are formed with recesses 415a and 415b on both sides, and have the same shape.
  • the connection part 412 may be disposed between the first and second heat transfer parts 410a and 410b.
  • connection portion 412 is formed to have a size that can be inserted into the recesses 415a and 415b of the first and second heat transfer portions 410a and 410b, and the width d3 of the connection portion 412 is the first heat transfer portion It may be equal to the sum of the first width d4 of the other coupling groove 4151 of 410a and the second width d5 of one coupling groove 4151 of the second heat transfer part 410b.
  • the width (d3) of the connecting portion 412 may be approximately 3mm to 8mm, but the scope of the present invention is not necessarily limited thereto.
  • connection portion 412 may be provided with a material having excellent thermal conductivity.
  • the connection portion 412 may include one selected from the group consisting of aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), tungsten (W), and combinations thereof, but is not limited thereto.
  • connection portion 412 is preferably formed of a material having the same thermal conductivity as the first and second heat transfer portions 410a and 410b. If, when the thermal conductivity of the first and second heat transfer units 410a and 410b and the connection unit 412 are different from each other, a difference occurs in the amount of heat that is conducted for each portion of the gas line 300, thereby causing the gas line ( 300) This is because a uniform temperature distribution cannot be maintained throughout.
  • the connecting portion 412 is formed on one side of the recess 415a and the second heat transfer section 410b formed on the other side of the first heat transfer section 410a (415b) are overlapped with each other and are tightly fastened in a mutually fitting manner.
  • connection portion 412 is in contact with the gas line 300 and the surface, and the rear surface 412b opposite to the front surface 412a is disposed on the same surface as the block body 411.
  • each of the upper and lower surfaces of the connecting portion 412 directly contacts the recesses 415a and 415b, and the side surface directly contacts the block body 411.
  • the heat supplied from the first heating element is conducted to the second heat transfer part 410b via a connection part 412 overlapping the other main part 415a of the first heat transfer part 410a
  • the heat supplied from the second heating element may be conducted to the first heat transfer part 410a via a connection part 412 overlapping with one recess 415b of the second heat transfer part 410b.
  • the adjacent first and second heat transfer units 410a and 410b are formed with staggered structures overlapping each other by the connection unit 412, and the bonding regions of the first and second heat transfer units 410a and 410b ( A thermal conduction path is formed in B), and since temperature compensation is made along the formed thermal conduction path, a uniform temperature distribution can be maintained throughout the first to second heat transfer units 410a and 410b.
  • the block heater assembly 400 may uniformly heat the gas line 300 in the heating zones z1, z2, z3 divided into a plurality.
  • FIG. 8 is a view illustrating a block heater applied to a gas line including a 3-way valve according to an embodiment of the present invention.
  • the block heater assembly 800 may include a plurality of block heaters 400a to 400f provided in each of the heating zones z1 to z6 divided into a plurality.
  • the gas line 300 provided in the fifth heating zone z5 among the plurality of heating zones z1 to z6 processes the process gas introduced from the vaporization apparatus 100 into the process chamber.
  • (200a) or EVAC (200b) may further include a three-way valve that selectively flows.
  • the three-way valve is provided in the valve body 340 having the inlet 341 and the first and second outlets 342 and 343 and the valve body 340 to open or close a passage through which process gas flows or to change direction. (Not shown).
  • the heat transfer unit 410 in close contact with the gas line 300 provided with the 2-way valve has a shape conforming to the gas line 300 to be fitted to the gas line 300.
  • a concave groove 4173 having a shape corresponding to the outer circumferential surface of the valve body 320 is formed in the heat transfer part 410 so as to make surface contact with the body 320 of the 2-way valve.
  • the groove 4177 formed in the body 340 of the 3-way valve has a shape. It may vary. If a predetermined groove is formed on the surface of the heat transfer part 410 to have a shape corresponding to the outer circumferential surface of the valve body 340, it is impossible to mount a valve head (not shown) for operational reasons. The reason is that, unlike the 2-way valve, in the case of the 3-way valve, the position where the valve head (not shown) is installed is limited due to the interference of the gas line.
  • a predetermined groove 4177 for receiving a 3-way valve may be formed on the surface of the heat transfer part 410 of the block heater 400e according to an embodiment.
  • the groove 4177 may be formed to a size sufficient to accommodate the body 340 of the three-way valve.
  • the inner diameter of the groove 4177 is formed larger than the outer diameter of the valve body 340.
  • the block heater 400e may further include a filling part 460 formed of a material having the same thermal conductivity as the heat transfer part 410 in the space between the groove 4177 and the valve body 340. This is to ensure that a predetermined heat is uniformly conducted from the heat transfer unit 410 to the gas line 300, and to increase the heat conduction efficiency at a site where the contact state is disconnected due to the formation of the groove 4177. .
  • the filling unit 460 may maximize effective surface contact with the gas line 300 to perform effective heat transfer.
  • FIG. 9 is a perspective view showing a block heater assembly according to another embodiment of the present invention.
  • the block heater assembly 400 includes a plurality of heat transfer parts (410a, 410b); And a connection portion 412 disposed between the plurality of heat transfer portions 410a and 410b, and each of the plurality of heat transfer portions 410a and 410b may be formed to have the same shape.
  • the heat transfer units 410a and 410b include: a block body 411; And a pair of protrusions 415 integrally formed on both side surfaces of the block body 411, and the protrusions 415 have a cross section of a'U' or'U' shape, and the block body 411 ) Is formed to protrude by a predetermined thickness d4 from the outer surface.
  • the protrusion 415 is disposed between the first segment 4151, the second segment 4152 facing the first segment 4151, and the first and second segments 4151, 4152 (not shown) ) Includes a third segment 4203 that blocks heat from being discharged to the outside, and a concave groove 417 that is in surface contact with the gas line 300 may be opened by the protrusion 415.
  • One side and the other side of the heat transfer parts 410a and 410b are formed with openings (OP, opening) surrounded by the outer circumferential surface of the block body 411 and the inner circumferential surface of the protrusion 415, and the connection part ( 412) may be inserted.
  • connection portion 412 is made of a size and/or shape that can be fitted in close contact with the opening OP formed on one side and the other side of the heat transfer portions 410a and 410b.
  • connection part 412 is preferably formed of a material having the same thermal conductivity as the plurality of heat transfer parts 410a, 410b, for example, aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), tungsten ( W) and combinations thereof.
  • the connecting portion 412 is overlapped with each other and the openings (OP) formed on one side and the other side of the plurality of heat transfer parts (410a, 410b) to close and fasten in a mutually fitting manner do.
  • the front surface 412a of the connection portion 412 is in contact with the surface of the gas line 300, and the rear surface 412b, which is the opposite side of the front surface 412a, is a protrusion (consisting of heat transfer parts 410a, 410b) 415) in direct contact with the third segment (4153).
  • each of the upper and lower surfaces of the connecting portion 412 is in direct contact with each of the first and second segments 4151 and 4152 of the protruding portion 415, and the side surface is in direct contact with the block body 411.
  • connection portion 412 is completely surrounded by a combination of the plurality of heat transfer portions 410a and 410b and is not exposed to the outside. Accordingly, the heat supplied from the heating element (not shown) is captured on the inner circumferential surface of the protrusion 415 in direct contact with the connection portion 412, and the path of heat loss to the outside is bypassed/extended by the third segment 4203 Therefore, the insulation efficiency of the block heater assembly 400 can be improved.
  • the block heater assembly 400 may uniformly heat the gas line 300 in the heating zones z1, z2, z3 divided into a plurality.
  • the present invention relates to a block heater and block heater assembly. Therefore, the present invention has industrial applicability.

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Abstract

일 실시 예에 의한 블록 히터는, 소정의 열을 가스 라인에 공급하는 발열체; 및 상기 가스 라인과 상기 발열체 사이에서 열을 상기 가스 라인으로 전달하는 열 전달부;를 포함하고, 상기 열 전달부는, 적어도 일측에 상기 가스 라인의 길이 방향을 따라 형성된 철부 또는 요부를 포함할 수 있다.

Description

블록 히터 및 블록 히터 어셈블리
본 발명은 블록 히터 및 블록 히터 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 화학기상증착(CVD; Chemical Vapor Deposition) 공정은 액상 물질을 증발시켜 기화된 가스를 반도체 소자의 표면에 박막 모양으로 응착시키는 공정을 일컫는다. 화학기상증착 공정에 있어서, 기화된 가스가 유동하는 경로인 가스라인에 열이 균일하게 전달되지 않으면 액상 물질이 불균일하게 가열되어 파티클(particle) 등의 불량이 발생한다. 그러므로, 가스라인 전체에 걸쳐 얼마나 일정한 온도가 제공되는가는 반도체 제조효율과 직결되는 문제이다.
상술한 문제를 해소하기 위하여, 가스라인을 균일한 온도로 가열하기 위한 수단으로 블록히터에 관한 연구가 꾸준히 진행되고 있었다.
도 1은 기존의 블록히터에 대한 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 반도체 제조 장치(1)에는 기화기(10)와 챔버(20) 사이에서 가스라인(30)을 가열하기 위한 블록히터(40)가 배치되고, 블록히터(40)는 복수 개로 분할된 단위 발열모듈(41, 43, 45)들이 포함된다. 그러나, 기존의 블록 히터는 아래와 같은 문제점을 갖고 있다.
도 1의 A에 도시된 블록히터(40)의 연결구조를 살펴보면, 가스라인(30)과 블록히터(40) 간 열팽창 계수의 차이로 인하여 이웃하여 접촉된 단위 발열모듈 (41, 43, 45) 사이에는 소정의 틈이 발생하게 되고, 상기 틈으로 인하여 가스라인 (30)의 일부가 외부로 노출된다.
가스라인(30)이 외부로 노출되는 부위에서는 열전도성 저하로 콜드 스팟(cold spot)이 발생하며, 기화된 가스가 다시 액화되어 가스라인의 막힘 현상과 불량 입자(particle)를 유발하는 등 공정에 큰 문제점을 야기하게 된다.
이에, 기화된 가스의 안정성을 확보할 수 있도록 가스라인의 설정된 구간 내에서 균일한 온도를 제공하는 블록히터의 연결 구조가 요구되고 있다.
실시 예는, 인접하는 블록히터 간의 연결 구조가 서로 중첩되도록 열 전달부의 형태를 변형함으로써, 가스라인의 설정된 구간 내에서 균일한 온도를 제공할 수 있는 블록히터 및 블록히터 어셈블리에 관한 것이다.
실시 예에서 해결하고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
실시 예는, 소정의 열을 가스 라인에 공급하는 발열체; 및 상기 가스 라인과 상기 발열체 사이에서 열을 상기 가스 라인으로 전달하는 열 전달부;를 포함하고, 상기 열 전달부는, 적어도 일측에 상기 가스 라인의 길이 방향을 따라 형성된 철부 또는 요부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 블록 히터를 제공한다.
상기 열 전달부는, 열 전도 효율이 우수한 알루미늄 재질(Al)로 형성될 수 있다.
상기 열 전달부의 표면은, 아노다이징(anodizing) 처리에 의하여 산화 알루미늄(Al2O3) 피막이 형성될 수 있다.
상기 발열체는, 면상 발열체일 수 있다.
상기 발열체를 사이에 두고 상기 열 전달부와 대향하여 배치되는 커버 플레이트;를 더 포함하고, 상기 커버 플레이트의 외면과 상기 하우징의 내면 사이에는 공기층(air gap)이 형성될 수 있다.
상기 열 전달부는, 상기 가스 라인에 부합되는 형상을 갖는 제1 홈; 및 상기 제1 홈과 인접하여 배치되고, 상기 가스 라인의 단부에 장착된 연결구와 대응되는 형상을 갖는 제2 홈;을 포함할 수 있다.
다른 실시 예는, 열 전달부를 포함하는 블록 히터를 복수 개 포함하되, 상기 열 전달부의 길이 방향의 양 끝에는 철부 또는 요부가 배치되고, 상기 열 전달부의 상기 철부와 요부가 서로 맞물려 결합되는 것을 특징으로 하는, 블록 히터 어셈블리를 제공한다.
상기 복수 개의 블록 히터들은 소정의 열을 가스 라인에 공급하는 하나 이상의 발열체를 포함할 수 있다.
상기 철부의 일면은 상기 가스 라인과 표면이 맞닿아 있고, 상기 요부의 일면은 상기 가스 라인과 이격되어, 상기 철부의 타면과 맞닿아 있을 수 있다.
상기 열 전달부 사이에 배치되는 연결부를 더 포함하고, 상기 연결부는, 상기 열 전달부와 동일한 열 전도율을 갖는 재질로 형성될 수 있다.
본 발명의 적어도 일 실시 예에 의하면, 가스라인의 설정된 구간 내에서 균일한 온도의 열을 제공하므로 가스라인 내에서 유동하는 공정가스의 상태변화가 억제되고, 파티클 등의 불량 입자가 현저히 감소되며, 증착막의 품질이 향상되는 효과를 제공한다.
본 실시 예에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며 언급하지 않은 또 다른 효과는 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 기존의 블록히터에 대한 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리가 구비된 반도체 제조장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 블록히터 어셈블리의 분해 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시된 1-1'선을 따라 절취한 블록히터의 단면도를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리의 열 전달부를 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리의 열 전달부를 나타내는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리의 열 전달부를 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 3웨이 밸브가 포함된 가스라인에 적용되는 블록히터를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리가 도시된 사시도이다.
이하, 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다.
"제1", "제2" 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 이러한 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 또한, 이하에서 이용되는 "상/상부/위" 및 "하/하부/아래" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서 이용될 수도 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.
이하, 실시 예에 의한 블록히터 및 블록히터 어셈블리를 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리가 구비된 반도체 제조장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 반도체 제조장치(10)는 액상의 공정 물질을 기화시키는 기화장치(100), 기화장치(100)로부터 공급된 공정 가스를 내부로 분사하여 기판(S) 상에 박막을 증착하는 공정챔버(200), 기화장치(100)와 공정챔버(200) 사이에 배치되어 공정 가스의 유로를 형성하는 가스라인(300), 및 가스라인(300) 전체를 균일하게 가열하는 블록히터 어셈블리(400)를 포함한다.
블록히터 어셈블리(400)는 복수 개로 구획된 히팅존(z1, z2, z3) 각각에 구비되는 복수 개의 블록히터(400a, 400b, 400c)를 포함할 수 있다.
복수 개의 블록히터(400a, 400b, 400c) 각각은 블록히터 어셈블리(400)를 구성하는 단위 유닛에 해당하고, 블록히터 어셈블리(400)는 복수 개의 블록히터(400a, 400b, 400c)가 결합된 조립체로 가스라인(300) 전체에 균일한 온도의 열을 제공할 수 있다. 비록, 도 2에는 3 개의 블록히터가 구비된 블록히터 어셈블리가 도시되어 있으나, 이는 예시적인 것에 불과하고 블록히터의 개수는 가스라인의 길이 또는 작업자의 설계에 따라 가변될 수 있다.
이처럼, 블록히터 어셈블리(400)는 단위 유닛들로 구성된 블록히터(400a, 400b, 400c)를 가짐으로써 유지 보수 작업 시, 단위 유닛 별로 손쉽게 탈부착할 수 있다.
그리고, 복수 개의 블록히터(400a, 400b, 400c) 각각은, 가스라인(300)을 수용하는 열 전달부(410), 열 전달부(410)를 둘러싸고 외관을 형성하는 하우징(420), 및 소정의 열을 공급하는 발열체(미도시)를 포함할 수 있다.
열 전달부(410)는 장방형의 블록 바디(411) 및 적어도 일측 또는 타측에 가스라인(300)의 길이 방향을 따라 형성된 철부(凸部)(413) 또는 요부(凹部)(415)를 포함할 수 있다. 여기서, 열 전달부(410)의 철부(413) 및/또는 요부(415)는 인접하는 블록히터 간의 결합을 위한 연결부 역할을 수행한다. 한편, 기화기(100) 및/또는 공정챔버(200)와 연통하는 블록히터(400a, 400c)의 일측 또는 타측에 형성된 열 전달부(410)의 단부는 평평한 면을 가질 수 있다.
철부(413)는 블록 바디(411)의 외측면으로부터 소정 길이만큼 돌출 형성된 결합돌기(4131)를 포함할 수 있다.
요부(415)는 블록 바디(411)의 외측면으로부터 소정 길이만큼 함몰 형성된 결합 홈(4151)과 결합 홈(4151)이 형성되는 것에 의하여 양단에 구비되는 측벽(4153)을 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 인접하는 블록히터 간의 결합구조를 살펴보면 다음과 같다.
제2 블록히터(400b)의 일측에 형성된 철부(413)의 결합돌기(4131)는 제1 블록히터(400a)의 타측에 형성된 요부(415)의 결합 홈(4151)에 삽입 및 안착됨으로써, 제1 블록히터(400a)와 제2 블록히터(400b)가 서로 결합된다.
제2 블록히터(400b)의 타측에 형성된 요부(415)의 결합 홈(4151)은 제3 블록히터(400c)의 일측에 형성된 철부(413)의 결합돌기(4131)를 수용함으로써, 제2 블록히터(400b)와 제3 블록히터(400c)가 서로 결합된다.
이처럼, 인접하는 블록히터는 가스라인(300)의 길이 방향으로 열 전달부 (410)의 철부(413)와 요부(415)가 서로 맞물려 상호 끼움방식으로 밀착 체결되고, 인접하는 블록히터 간의 결합 영역(B)에서 철부(413)의 결합돌기(4131)와 요부(415)의 측벽(4153)은 가스라인(300)의 길이 방향과 수직한 방향으로 서로 중첩된다. 또한, 철부(413)의 일면(4131a)은 가스라인(300)과 표면이 맞닿아 있고, 요부(415)의 일면(4153a)은 가스 라인(300)과 이격되어 철부(413)의 타면(4131b)과 맞닿아 있다.
도 1에 도시된 기존의 블록히터(40)와 달리, 일 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리(400)는 서로 인접하는 블록히터의 철부(413)와 요부(415)가 서로 엇갈림 구조로 형성되어 결합되므로, 가스라인(300) 전체에 걸쳐 균일한 온도 분포가 유지될 수 있다. 또는, 블록히터 어셈블리(400)는 복수 개로 구획된 히팅존(z1, z2, z3) 내에서 가스라인(300)을 균일하게 가열할 수 있다.
도 2에 도시된 결합 영역(B)의 확대도를 살펴보면, 가스라인(300)과 열 전달부(410) 간 열 팽창 계수의 차이로 인하여 인접하는 제1 및 제2 블록히터(400a, 400b) 사이에 소정의 틈(a1)이 발생하더라도, 제1 블록히터 (400a)의 측벽(4153)과 서로 중첩되는 제2 블록히터(400b)의 결합돌기(4131) 간에는 화살표(직선)를 따라 열 전도 경로가 형성된다. 상기 열 전도 경로에 따라 제1 블록히터(400a)에서 공급된 열은 제2 블록히터(400b)로 전도되고, 제2 블록히터(400b)에서 공급된 열은 제1 블록히터(400a)로 전도되므로, 상기 틈(a1) 영역에서 발생되는 온도 편차를 현저히 감소시킬 수 있다.
또한, 소정의 틈(a2)에는 제1 블록히터(400a)의 결합 홈(4151)과 제2 블록히터 (400b)의 결합돌기(4131)에 의하여 밀폐된 공간이 형성되고, 밀폐된 공간 내부에서 화살표(동심원)를 따라 열 대류 경로가 형성된다. 상기 열 대류 경로에 따라 제1 및 제2 블록히터(400a, 400b)에서 공급된 열이 가스라인(300)으로 전달되므로, 가스라인(300)의 일부 영역에서 콜드 스팟(cold spot)이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
이처럼, 일 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리(400)는 서로 인접하는 블록히터의 열 전달부(410)를 서로 중첩된 엇갈림 구조로 형성함으로써, 블록히터 간의 온도 편차를 감소함과 동시에, 가스라인(300)의 일부에서 발생되는 콜드 스팟을 방지하는 효과를 제공할 수 있다. 이에 따라, 가스라인 (300)을 유동하는 공정가스의 상변화(예컨대, 기상에서 액상으로의 상변화를 말한다)가 이루어지지 않으므로 증착막의 품질이 향상될 수 있다. 또한, 조립시 얼라인(align)이 용이할 뿐만 아니라, 면접촉을 최대화하여 외부로의 열손실을 방지할 수 있다. 이하에서는, 일 실시 예에 따른 블록히터의 조립 과정을 설명하기로 한다.
도 3은 도 2에 도시된 블록히터 어셈블리의 분해 사시도이다.
도 3의 (a)를 참조하면, 일 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리(400)는 복수 개의 블록히터(400a, 400b)를 포함하고, 복수 개의 블록히터(400a, 400b) 각각은 상하 또는 좌우로 분리 가능한 대칭형 구조로 형성될 수 있다.
그리고, 가스라인(300)은 원형으로 이루어진 도관(310), 2웨이 밸브의 몸체(320), 및 볼트가 설치된 연결구(330)를 포함한다.
제1 블록히터(400a)의 열 전달부(410)는 가스라인(300)에 밀착하게 끼워지도록 가스라인(300)에 부합되는 형상을 가진다. 열 전달부(410)는 가스라인(300)의 도관(310)과 2웨이 밸브의 몸체(320) 부분에는 가스라인 (300)과 면접촉되도록 오목 홈(4171, 4173)이 형성되고, 볼트가 설치된 연결구(330) 부분에는 단턱 홈(4175)이 형성되어 볼트가 어떠한 상태에 위치하더라도 접촉될 수 있도록 구성된다. 이처럼, 열 전달부(410)에는 가스라인(300) 전체에 걸쳐 접촉 면적이 증가되도록 복수의 홈(417)이 형성되며, 이는 열 전달부(410)로부터 가스라인(300)으로 소정의 열이 균일하게 전도되도록 하기 위한 것으로 접촉 상태가 단절되는 부위가 생기게 되면 이 부위에서의 열 전도 효율은 현격히 저하될 수 있다.
도 3의 (b)를 참조하면, 대칭형 구조로 형성된 제1 블록히터(400a) 중 제1 단위 블록히터(400a-1)은 가스라인(300)의 길이 방향과 수직한 방향으로 조립되어 피가열체인 가스라인(300)에 대해 균일하게 밀착된다. 여기서, 제1 단위 블록히터(400a-1)의 상부 및/또는 측부에는 메미고리, 캐치클립 등의 체결 수단(500)이 구비된다.
도 3의 (c)를 참조하면, 대칭형 구조로 형성된 제1 블록히터(400a) 중 제2 단위 블록히터(400a-2)는 피가열체인 가스라인(300)에 대해 균일하게 밀착됨과 동시에, 제1 단위 블록히터(400a-1)에 구비된 체결 수단(500)에 의하여 제1 단위 블록히터(400a-1)와 단단히 체결, 결합된다.
한편, 전술한 바와 같이, 제1 블록히터(400a)를 구성하는 제1 단위 블록히터(400a-1)와 제2 단위 블록히터(400a-2)는 가스라인(300)의 길이 방향을 중심으로 대칭되고, 각 단위 블록히터(400a-1, 400a-2)에는 동일한 구성요소가 포함된다.
이하에서는 도 4에 도시된 블록히터의 단면도를 참조하여 블록히터의 각 구성 요소를 설명하기로 한다.
도 4는 도 2에 도시된 1-1'선을 따라 절취한 블록히터의 단면도를 나타낸다.
도 4를 참조하면, 블록히터(400a)는 가스라인(300)을 수용하는 열 전달부(410), 열 전달부(410)를 둘러싸고 외관을 형성하는 하우징(420), 소정의 열을 공급하는 발열체(430), 및 발열체(430)를 차폐하는 커버 플레이트(440)를 포함할 수 있다.
열 전달부(410)는 가스라인(300)의 형상과 부합되도록 형성되고, 발열체(430)로부터 공급된 소정의 열이 가스라인(300)으로 전도될 수 있도록 가스라인(300)의 표면과 접촉될 수 있다.
열 전달부(410)는 열 전도율이 우수한 재질로 구비되는 것이 바람직하다. 일 예로, 열 전달부(410)는 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 텅스텐(W) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함할 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 열 전도가 높은 재질로 형성된 열 전달부(410)는, 발열체(430)로부터 전달된 열을 가스라인(300)에 원활하게 전도할 수 있다.
열 전달부(410)의 표면은 내식성, 내마모성에 강하도록 아노다이징(anodizing) 처리되며, 상기 처리에 의하여 열 전달부(410)의 표면에는 산화 알루미늄(Al2O3) 피막이 형성될 수 있다.
그리고, 열 전달부(410)의 일단에는 가스 라인(300)의 외주면과 대응되는 형상을 갖는 적어도 하나의 홈(417, 예컨대, 오목 홈(4171, 4173) 및 단턱 홈(4175)을 포함한다)이 형성되고, 타단에는 발열체(420)를 수용할 수 있도록 소정의 깊이로 함몰된 수용 홈(419)이 형성될 수 있다.
발열체(430)는 가스라인(300)에 유동하는 공정 가스가 일정한 온도로 가열될 수 있도록 열 전달부(410)로 소정의 열을 공급할 수 있다.
발열체(430)는 발열 부위가 전면적에 고르게 분포되도록 온도 분포가 균일한 면상 발열체로 형성될 수 있다.
발열체(430)는 열 전달부(410)의 타단에 형성된 수용 홈(419)에 안착될 수 있다. 이때, 수용 홈(419)과 발열체(420) 사이에 별도의 공간 또는 에어 포켓(air pocket)이 형성되지 않도록, 수용 홈(419)의 깊이 내지 폭과 발열체(420)의 두께 내지 폭은 각각 서로 대응될 수 있다. 그 이유는, 수용 홈(419)과 발열체(420) 간의 접합면에 에어 포켓이 발생할 경우, 부분 발열로 인하여 열 전달부(410)로 균일한 온도를 제공할 수 없기 때문이다.
커버 플레이트(440)는 발열체(430)를 사이에 두고 열 전달부(410)와 대향하여 배치된다. 또한, 커버 플레이트(440)는 수용 홈(419)에 안착된 발열체(430)를 차폐하도록, 열 전달부(410)의 타단 및 발열체(430) 위에 배치된다.
커버 플레이트(440)는 발열체(430)로부터 발산되는 열의 균일도를 향상시키고, 발열체(430)의 위치를 고정하기 위해 제공될 수 있으며, 일 예로 탄화규소(Sic) 소재로 이루어질 수 있다.
하우징(420)은 열 전달부(410) 및/또는 커버 플레이트(440)를 둘러싸고 블록히터(400a)의 외관을 형성할 수 있다.
하우징(420)은 발열체(430)에서 공급된 열이 블록히터(400a)의 외부로 빠져나가는 것을 차단하기 위하여 고내열성 단열재로 구성될 수 있다. 고내열성 단열재의 일 예로는, 폴리에테르에테르케톤(PEEK, Poly Ether Ether Ketron) 등의 재질이 사용될 수 있다.
또한, 단열 내지 발열 성능을 향상시키기 위하여, 하우징(420)의 내측면에는 발열체(430)에서 방출되는 열을 열 전달부(410)로 반사하기 위한 코팅층이 제공될 수도 있다.
그리고, 하우징(420)의 내면과 커버 플레이트(440)의 외면 사이에는 소정의 공기층(450, air gap)이 형성될 수 있다. 그 이유는, 하우징(420)의 내부에 공기층(450)이 형성되지 않을 경우, 발열체(430)에서 생성된 열이 커버 플레이트(440)를 통하여 하우징(420)의 내부로 전도되며, 상기 전도된 열에 의하여 하우징(420)의 단열 성능은 현저히 저하될 수 있기 때문이다.
이에, 일 실시 예에 따른 블록히터(400a)는 하우징(420)의 내부에 별도의 공기층(450)을 형성함으로써, 발열체(430)와 하우징(420) 사이의 열 유동 경로를 제어하고, 하우징(420)의 단열 성능을 확보할 수 있다.
이때, 공기층(450)의 폭(d1)은 발열체(430)의 폭(d2)과 서로 동일하거나 대응될 수 있다. 또는, 공기층(450)의 면적은 발열체(430)의 면적과 서로 동일하거나 대응될 수도 있다.
한편, 전술한 바와 같이, 발열체(430)는 균일한 온도의 열을 제공하기 위하여 열 전달부(410)의 수용 홈(419)과 커버 플레이트(440)에 의해 차폐되도록 설계된다. 이때, 열 전달부(410)의 일측 및/또는 타측에는 설계상의 이유로 발열체(420)가 직접 배치되지 아니한다. 그러므로, 가스라인(300) 전체에서 국부적인 온도 차이가 발생되지 않기 위하여는 인접하는 블록히터와 연결되는 열 전달부(410)의 일측 및/또는 타측에서 열 전도 효율을 높일 수 있는 방안이 필요하다. 이에 대하여, 도 5 내지 도 7을 참조하여 이하에서 설명하기로 한다.
도 5 내지 도 7은 도 2에 도시된 2-2'선을 따라 절취한 열 전달부의 사시도를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리의 열 전달부를 나타내는 사시도이다.
도 5의 (a)에 도시된 분해 사시도를 참조하면, 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b)는 일측과 타측에 각각 요부(415)와 철부(413)가 형성된 동일한 형상을 지닌다. 이때, 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b)는 가스라인 (300)의 길이 방향을 따라 순차적으로 배치될 수 있다.
제1 열 전달부(410a)는 일측에 형성된 요부(415a) 및 타측에 형성된 철부(413a)를 포함하고, 제2 열 전달부(410b)는 일측에 형성된 요부(415b) 및 타측에 형성된 철부(413b)를 포함할 수 있다.
철부(413)는 블록 바디(411)의 외측면으로부터 소정 길이만큼 돌출 형성된 결합돌기(4131)를 포함하고, 요부(415)는 블록 바디(411)의 외측면으로부터 소정 길이만큼 함몰 형성된 결합 홈(4151)과 결합 홈(4151)이 형성되는 것에 의하여 양단에 구비되는 측벽(4153)을 포함한다.
도 5의 (b)에 도시된 조립 사시도를 참조하면, 제1 열 전달부(410a)의 타측에 형성된 철부(413a)는 제2 열 전달부(410b)의 일측에 구비된 요부(415b)와 서로 중첩되어 상호 끼움방식으로 밀착 체결된다.
요부(415b)는 철부(413a)가 삽입될 수 있는 크기로 형성되며, 결합돌기(4131)가 결합 홈(4151)의 내측에 안착될 수 있도록 결합돌기(4131)의 폭은 결합 홈(4151)의 폭과 동일할 수 있다. 여기서, 결합돌기(4131)의 폭은 대략 3mm 내지 8mm 일 수 있으나, 본 발명의 범주가 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 제1 발열체(미도시)에서 공급된 열은 제1 열 전달부(410a)의 타측 철부(413a)와 중첩된 제2 열 전달부(410b)의 일측 요부(415b)를 경유하여 제2 열 전달부(410b)로 전도되고, 제2 발열체(미도시)에서 공급된 열은 제2 열 전달부(410b)의 일측 요부(415b)와 중첩된 제1 열 전달부(410a)의 타측 철부(413a)를 경유하여 제1 열 전달부(410a)로 전도될 수 있다.
이처럼, 제1 열 전달부(410a)의 타측 결합돌기(4131)와 서로 중첩되는 제2 열 전달부(410b)의 일측 측벽(4152) 간에는 화살표를 따라 열 전도 경로가 형성되므로, 인접하는 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b)가 결합되는 영역(B)에서 온도 보상이 이루어질 수 있다. 이에 따라 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b) 전체에 걸쳐 균일한 온도 분포가 유지될 수 있다. 또는, 블록히터 어셈블리(400)는 복수 개로 구획된 히팅존(z1, z2, z3) 내에서 가스라인(300)을 균일하게 가열할 수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리의 열 전달부를 나타내는 사시도이다.
도 6의 (a)에 도시된 분해 사시도를 참조하면, 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b) 각각은 양측에 요부(415a) 또는 철부(413b)가 형성되며, 서로 다른 형상을 지닌다. 이때, 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b)는 가스라인(300)의 길이 방향을 따라 서로 교번하여 배치될 수 있다.
제2 열 전달부(410b)는 양측에 철부(413b)가 형성되고, 제2 열 전달부(410b)의 일측과 타측에 배치되는 제1 및 제3 열 전달부(410a, 410c)는 각각 양측에 요부(415a, 415c)가 형성될 수 있다. 이처럼, 양측에 요부(415a, 415c)가 각각 형성된 제1 및 제3 열 전달부(410a, 410c) 사이에 제2 열 전달부(410b)가 배치될 경우, 사용자는 유지 보수 작업 시 소정의 열 전달부를 용이하게 탈착할 수 있다는 장점이 있다.
도 6의 (b)에 도시된 조립 사시도를 참조하면, 제1 열 전달부(410a)의 타측에 형성된 요부(415a)는 제2 열 전달부(410b)의 일측에 구비된 철부(413b)와 서로 중첩되어 상호 끼움방식으로 밀착 체결되고, 제2 열 전달부(410b)의 타측에 형성된 철부(413b)는 제3 열 전달부(410c)의 일측에 구비된 요부(415c)와 서로 중첩되어 상호 끼움방식으로 밀착 체결된다.
도시된 바와 같이, 인접하는 열 전달부는 서로 중첩된 엇갈림 구조로 형성됨으로 인하여, 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b)의 결합 영역(B1) 및/또는 제2 및 제3 열 전달부(410b, 410c)의 결합 영역(B2) 각각에서 열 전도 경로가 형성되고, 형성된 열 전도 경로를 따라 온도 보상이 이루어지므로 제1 내지 제3 열 전달부(410a, 410b, 410c) 전체에 걸쳐 균일한 온도 분포가 유지될 수 있다. 또는, 블록히터 어셈블리(400)는 복수 개로 구획된 히팅존(z1, z2, z3) 내에서 가스라인(300)을 균일하게 가열할 수 있다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리의 열 전달부를 나타내는 사시도이다.
도 7의 (a)에 도시된 분해 사시도를 참조하면, 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b) 각각은 양측에 요부(415a, 415b)가 형성되며, 서로 동일한 형상을 지닌다. 이때, 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b) 사이에는 연결부(412)가 배치될 수 있다.
연결부(412)는 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b)의 요부(415a, 415b)에 삽입될 수 있는 크기로 형성되며, 연결부(412)의 폭(d3)은 제1 열 전달부(410a)의 타측 결합 홈(4151)의 제1 폭(d4)과 제2 열 전달부(410b)의 일측 결합 홈(4151)의 제2 폭(d5)의 합과 동일할 수 있다. 여기서, 연결부(412)의 폭(d3)은 대략 3mm 내지 8mm 일 수 있으나, 본 발명의 범주가 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
연결부(412)는, 열 전도율이 우수한 재질로 구비될 수 있다. 일 예로, 연결부(412)는 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 텅스텐(W) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함할 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 연결부(412)는 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b)와 동일한 열 전도율을 갖는 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 만일, 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b)와 연결부(412)의 열 전도율이 서로 다를 경우, 가스라인(300)의 부위마다 전도되는 열량에 차이가 발생하고, 이로 인하여 가스라인(300) 전체에 걸쳐 균일한 온도 분포가 유지될 수 없기 때문이다.
도 7의 (b)에 도시된 조립 사시도를 참조하면, 연결부(412)는 제1 열 전달부(410a)의 타측에 형성된 요부(415a) 및 제2 열 전달부(410b)의 일측에 형성된 요부(415b)와 서로 중첩되어 상호 끼움방식으로 밀착 체결된다.
이때, 연결부(412)의 전면(412a)은 가스라인(300)과 표면과 맞닿아 있고, 상기 전면(412a)의 반대측인 배면(412b)은 블록 바디(411)와 동일면상에 배치된다. 그리고, 연결부(412)의 상면 및 하면 각각은 요부(415a, 415b)와 직접 접촉하고, 측면은 블록바디(411)와 직접 맞닿아 있다.
한편, 제1 발열체(미도시)에서 공급된 열은 제1 열 전달부(410a)의 타측 요부(415a)와 중첩된 연결부(412)를 경유하여 제2 열 전달부(410b)로 전도되고, 제2 발열체(미도시)에서 공급된 열은 제2 열 전달부(410b)의 일측 요부(415b)와 중첩된 연결부(412)를 경유하여 제1 열 전달부(410a)로 전도될 수 있다. 즉, 인접하는 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b)는 연결부(412)에 의하여 서로 중첩된 엇갈림 구조가 형성되고, 제1 및 제2 열 전달부(410a, 410b)의 결합 영역(B)에서 열 전도 경로가 형성되며, 형성된 열 전도 경로를 따라 온도 보상이 이루어지므로 제1 내지 제2 열 전달부(410a, 410b) 전체에 걸쳐 균일한 온도 분포가 유지될 수 있다. 또는, 블록히터 어셈블리(400)는 복수 개로 구획된 히팅존(z1, z2, z3) 내에서 가스라인(300)을 균일하게 가열할 수 있다.
이하에서는 도 8을 참조하여 3웨이 밸브가 포함된 가스라인(300)에 적용 가능한 블록히터의 구조에 대하여 설명하기로 한다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 3웨이 밸브가 포함된 가스라인에 적용되는 블록히터를 설명하기 위한 도면이다.
설명의 편의를 위하여, 도 2에서 전술한 내용과 중복되는 내용은 생략하고 차이점 위주로 설명하기로 한다.
도 8을 참조하면, 블록히터 어셈블리(800)는 복수 개로 구획된 히팅존(z1~z6) 각각에 구비되는 복수 개의 블록히터(400a~400f)를 포함할 수 있다.
도 8의 C 영역에 도시된 바와 같이, 복수의 히팅존(z1~z6) 중 제5 히팅존(z5)에 구비된 가스라인(300)은 기화장치(100)에서 유입된 공정 가스를 공정챔버(200a) 또는 EVAC(200b)로 선택적으로 유출시키는 3웨이 밸브를 더 포함할 수 있다.
3웨이 밸브는 유입구(341)와 제1 및 제2 유출구(342, 343)가 형성된 밸브 몸체(340) 및 상기 밸브 몸체(340)에 내장되어 공정 가스가 흐르는 통로를 개폐하거나 방향을 전환하는 볼(미도시) 등을 포함한다.
도 3에서 전술한 바와 같이, 2웨이 밸브가 구비된 가스라인(300)과 밀착되는 열 전달부(410)는 상기 가스라인(300)에 끼워지도록 가스라인(300)에 부합되는 형상을 가진다. 특히, 열 전달부(410)에는 2웨이 밸브의 몸체(320)와 면접촉되도록, 상기 밸브 몸체(320)의 외주면에 대응하는 형상을 갖는 오목 홈(4173)이 형성된다.
그러나 도 8에 도시된 바와 같이, 3웨이 밸브가 구비된 가스라인(300)과 밀착되는 열 전달부(410)의 경우 3웨이 밸브의 몸체(340)에 형성되는 홈(4177)은 그 형상이 달라질 수 있다. 만일, 상기 밸브 몸체(340)의 외주면에 대응하는 형상을 갖도록 열 전달부(410)의 표면에 소정의 홈을 형성할 경우, 작업상의 이유로 밸브 헤드(미도시)를 장착하는 것이 불가능하다. 그 이유는, 2웨이 밸브와 달리 3웨이 밸브의 경우 가스라인의 간섭으로 인하여 밸브 헤드(미도시)가 설치되는 위치가 한정되어 있기 때문이다.
이에, 일 실시 예에 따른 블록히터(400e)의 열 전달부(410)의 표면에는 3웨이 밸브를 수용하기 위한 소정의 홈(4177)이 형성될 수 있다. 상기 홈(4177)은 3웨이 밸브의 몸체(340)를 수용할 수 있도록 충분한 크기로 형성될 수 있다. 이때, 상기 홈(4177)의 내경은 밸브 몸체(340)의 외경 보다 더 크게 형성된다.
그리고, 블록 히터(400e)는 상기 홈(4177)과 밸브 몸체(340) 사이의 공간에 열 전달부(410)와 동일한 열 전도율을 갖는 재질로 형성된 충진부(460)를 더 포함할 수 있다. 이는 소정의 열이 열 전달부(410)로부터 가스라인(300)으로 균일하게 전도되도록 하기 위한 것으로, 상기 홈(4177)의 형성으로 인하여 접촉 상태가 단절되는 부위에서의 열 전도 효율을 높이기 위함이다. 충진부(460)는 가스라인(300)에 대한 면접촉을 최대화하여 효과적인 열 전달을 수행할 수 있다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 블록히터 어셈블리가 도시된 사시도이다.
도 9의 (a)에 도시된 분해 사시도를 참조하면, 블록히터 어셈블리(400)는 복수의 열 전달부(410a, 410b); 및 상기 복수의 열 전달부(410a, 410b) 사이에 배치되는 연결부(412)를 포함하며, 복수의 열 전달부 각각(410a, 410b)은 서로 동일한 형상으로 형성될 수 있다.
열 전달부(410a, 410b)는, 블록바디(411); 및 상기 블록바디(411)의 양 측면에 일체로 형성되는 한 쌍의 돌출부(415)를 포함하며, 돌출부(415)는 'ㄷ'자 또는 'U'자 형상의 횡단면을 가지고, 블록바디(411)의 외측면으로부터 소정의 두께(d4)만큼 돌출되게 형성된다.
이러한, 돌출부(415)는 제1 세그먼트(4151), 제1 세그먼트(4151)와 마주하는 제2 세그먼트(4152), 그리고 제1 및 제2 세그먼트(4151, 4152) 사이에 배치되어 발열체(미도시)에서 공급된 열이 외부로 빠져나가는 것을 차단하는 제3 세그먼트(4153)를 포함하며, 가스라인(300)과 면 접촉하는 오목 홈(417)은 상기 돌출부(415)에 의해 개방될 수 있다. 열 전달부(410a, 410b)의 일측과 타측에는 블록바디(411)의 외측면과 돌출부(415)의 내주면에 의해 포위된 개구(OP, opening)가 형성되고, 상기 개구(OP)에는 연결부(412)가 삽입될 수 있다.
연결부(412)는 상기 열 전달부(410a, 410b)의 일측과 타측에 형성된 개구(OP)와 밀착되게 끼워질 수 있는 크기 및/또는 형상으로 이루어진다. 예컨대, 연결부(412)와 개구(OP)의 횡단면은 그 면적과 형상이 서로 동일하고, 연결부 (412)의 폭(d3)은 돌출부(415)의 두께(d4) 대비 2배일 수 있다(d4=d3/2).
또한, 연결부(412)는 복수의 열 전달부(410a, 410b)와 동일한 열 전도율을 갖는 재질로 형성되는 것이 바람직하며, 일 예로 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 텅스텐(W) 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 것을 포함할 수 있다.
도 9의 (b)에 도시된 조립 사시도를 참조하면, 연결부(412)는 복수의 열 전달부(410a, 410b)의 일측 및 타측에 형성된 개구(OP)와 서로 중첩되어 상호 끼움방식으로 밀착 체결된다.
이때, 연결부(412)의 전면(412a)은 가스라인(300)의 표면과 맞닿아 있고, 상기 전면(412a)의 반대측인 배면(412b)은 열 전달부(410a, 410b)를 구성하는 돌출부(415)의 제3 세그먼트 (4153)와 직접 접촉한다. 그리고, 연결부(412)의 상면 및 하면 각각은 돌출부(415)의 제1 및 제2 세그먼트(4151, 4152) 각각과 직접 접촉하고, 측면은 블록바디(411)와 직접 맞닿아 있다.
즉, 연결부(412)는 복수의 열 전달부(410a, 410b)와의 결합에 의해 완전히 포위되며 외부로 노출되지 아니한다. 이에 따라, 발열체(미도시)에서 공급된 열은 연결부(412)와 직접 접촉하는 돌출부(415)의 내주면에서 포획되며, 외부로 유출되는 열의 손실 경로가 제3 세그먼트(4153)에 의해 우회/연장되므로, 블록히터 어셈블리(400)의 단열 효율이 개선될 수 있다.
또한, 복수의 열 전달부(410a, 410b)는 연결부(412)와 엇갈림 구조로 서로 중첩되므로, 인접하는 복수의 열 전달부(410a. 410b) 간에는 화살표를 따라 열 전도 경로가 형성되며, 상기 열 전도 경로를 따라 온도 보상이 이루어지므로 전체적으로 균일한 온도 분포가 유지될 수 있다. 이에 따라, 블록히터 어셈블리(400)는 복수 개로 구획된 히팅존(z1, z2, z3) 내에서 가스라인(300)을 균일하게 가열할 수 있다.
실시 예와 관련하여 전술한 바와 같이 몇 가지만을 기술하였지만, 이외에도 다양한 형태의 실시가 가능하다. 앞서 설명한 실시 예들의 기술적 내용들은 서로 양립할 수 없는 기술이 아닌 이상은 다양한 형태로 조합될 수 있으며, 이를 통해 새로운 실시 형태로 구현될 수도 있다.
본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 통상의 기술자에게 자명하다. 따라서, 상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.
발명의 실시를 위한 형태는 전술한 "발명의 실시를 위한 최선의 형태"에서 충분히 설명되었다.
본 발명은 블록 히터 및 블록 히터 어셈블리에 관한 것이다. 따라서, 본 발명은 산업상 이용가능성이 있다.

Claims (10)

  1. 소정의 열을 가스 라인에 공급하는 발열체; 및
    상기 가스 라인과 상기 발열체 사이에서 열을 상기 가스 라인으로 전달하는 열 전달부;를 포함하고,
    상기 열 전달부는,
    적어도 일측에 상기 가스 라인의 길이 방향을 따라 형성된 철부 또는 요부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 블록 히터.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 열 전달부는, 열 전도 효율이 우수한 알루미늄 재질(Al)로 형성되는 것을 특징으로 하는, 블록 히터.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 열 전달부의 표면은, 아노다이징(anodizing) 처리에 의하여 산화 알루미늄(Al2O3) 피막이 형성되는 것을 특징으로 하는, 블록 히터.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 발열체는, 면상 발열체인 것을 특징으로 하는, 블록 히터.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 발열체를 사이에 두고 상기 열 전달부와 대향하여 배치되는 커버 플레이트;를 더 포함하고,
    상기 커버 플레이트의 외면과 상기 하우징의 내면 사이에는 공기층(air gap)이 형성되는 것을 특징으로 하는, 블록 히터.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 열 전달부는,
    상기 가스 라인에 부합되는 형상을 갖는 제1 홈; 및
    상기 제1 홈과 인접하여 배치되고, 상기 가스 라인의 단부에 장착된 연결구와 대응되는 형상을 갖는 제2 홈;을 포함하는 것을 특징으로 하는, 블록 히터.
  7. 열 전달부를 포함하는 블록 히터를 복수 개 포함하되,
    상기 열 전달부의 길이 방향의 양 끝에는 철부 또는 요부가 배치되고,
    상기 열 전달부의 상기 철부와 요부가 서로 맞물려 결합되는 것을 특징으로 하는, 블록 히터 어셈블리.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 복수 개의 블록 히터들은 소정의 열을 가스 라인에 공급하는 하나 이상의 발열체를 포함하는 것을 특징으로 하는, 블록 히터 어셈블리.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 철부의 일면은 상기 가스 라인과 표면이 맞닿아 있고,
    상기 요부의 일면은 상기 가스 라인과 이격되어, 상기 철부의 타면과 맞닿아 있는 것을 특징으로 하는, 블록 히터 어셈블리.
  10. 제7 항에 있어서,
    상기 열 전달부 사이에 배치되는 연결부를 더 포함하고,
    상기 연결부는, 상기 열 전달부와 동일한 열 전도율을 갖는 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는, 블록 히터 어셈블리.
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