WO2020116034A1 - 物理量測定装置 - Google Patents

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WO2020116034A1
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quantity measuring
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guide
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丈夫 細川
安藤　亮
文夫 結城
貴成 秋元
直生 斎藤
洋 小貫
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日立オートモティブシステムズ株式会社
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02D—CONTROLLING COMBUSTION ENGINES
    • F02D45/00—Electrical control not provided for in groups F02D41/00 - F02D43/00
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/24—Housings ; Casings for instruments

Definitions

  • the present invention relates to a physical quantity measuring device.
  • an electronically controlled fuel injection system is adopted, and a physical quantity measuring device that measures various physical quantities is installed in the engine room.
  • the physical quantity measuring device arranged in the engine room is equipped with sensors such as a humidity sensor and a pressure sensor. These sensors are used for fuel control.
  • a humidity sensor is arranged in an intake passage through which intake air flows, and a signal is generated according to the humidity of intake air flowing through this intake passage.
  • the intake passage has a throttle for reducing the flow passage cross-sectional area, and the humidity sensor is arranged in this throttle.
  • the humidity sensor of Patent Document 1 by disposing the humidity sensor in the diaphragm, the flow velocity of the intake air is increased, the retention of the intake air in the vicinity of the humidity sensor is suppressed, and the responsiveness of the humidity sensor is improved. ..
  • Patent Document 1 there is a problem that highly accurate measurement cannot be performed due to the influence of the droplet when the intake air contains the droplet.
  • the physical quantity measuring device a sensor provided in the measurement chamber, an introduction portion for introducing the measurement target medium into the measurement chamber, a guide portion provided so as to protrude from the inlet opening of the introduction portion,
  • the guide portion includes a penetrating portion that penetrates in the thickness direction, and the guide portion is such that the lower end portion of the penetrating portion is located in a portion where the opening area of the introducing portion is large. And is arranged in the introduction part.
  • the present invention even if the intake air contains droplets, it is possible to suppress the influence of the droplets and perform more accurate measurement.
  • FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view of the AA cross section of the physical quantity measuring device.
  • FIG. 1 is a top view of the physical quantity measuring device 1. This FIG. 1 shows the substrate surface in order to make the internal structure easy to understand.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing the AA cross section of FIG. In the following description, the vertical direction is based on the vertical direction on the drawing in FIG. 2, and does not necessarily correspond to the vertical direction in the state where the physical quantity measuring device 1 is mounted.
  • the physical quantity measuring device 1 includes a substrate 10 in a housing 1A, and an electronic component 10a and a connecting portion 10b on the substrate 10.
  • the housing 1A is a resin member having a measuring portion accommodation space 13.
  • the substrate 10 on which the humidity sensor 4 and the pressure sensor 5 are mounted is housed in the measuring unit housing space 13.
  • the humidity sensor 4 and the pressure sensor 5 are mounted on the same surface of the substrate 10, the pressure sensor 5 is provided in the first measurement chamber 5A of the housing 1A, and the humidity sensor 4 is provided in the second measurement chamber 4A of the housing 1A.
  • the measurement unit accommodation space 13 has a configuration in which the first measurement chamber 5A and the second measurement chamber 4A communicate with each other.
  • the upper surface of the substrate 10 is a circuit room 15 in which the electronic components 10a and the like are arranged, and the circuit room 15 is covered with a sensor cover (not shown).
  • the connector portion 9 is integrally formed with the housing 1A by the resin forming the main body of the housing 1A.
  • a plurality of connection terminals 9 a project from the circuit chamber 15 into the inner space of the connector section 9. That is, the connection terminal 9a is provided so as to project outward from the circuit chamber 15 of the housing 1A.
  • the connection terminal 9a is electrically connected to the humidity sensor 4 and the pressure sensor 5 via the substrate 10, and supplies power to the humidity sensor 4 and the pressure sensor 5 and extracts detection signals from the humidity sensor 4 and the pressure sensor 5. to enable.
  • the physical quantity measuring device 1 is fixed to the pipe wall of the intake pipe 11 via the O-ring 16, and the side fixed to the pipe wall of the intake pipe 11 is called the base end side or the fixed side, and the intake air is taken from the base end side.
  • the side of the intake pipe 12 formed inside the pipe 11 that is inserted into the air passage (air passage) is referred to as the tip side.
  • the first measurement chamber 5A, the pressure sensor 5, the second measurement chamber 4A, and the humidity sensor 4 of the physical quantity measurement device 1 are arranged on the base end side, and the temperature sensor 14 and the guide portion 2 described later are arranged on the tip end side.
  • the measuring portion housing space 13 formed by the housing 1A is provided with an introducing portion 3 extending toward the tip side.
  • the end portion of the introduction portion 3 on the base end side is the substrate 10, and the substrate 10 is configured to close the passage formed inside the introduction portion 3. That is, the introduction part 3 is provided in a direction perpendicular to the plane of the substrate 10 (mounting surface of the substrate 10).
  • a guide portion 2 is provided in the center of the inside of the leading end side of the introduction portion 3 in a direction perpendicular to the plane of the substrate 10.
  • a temperature sensor 14 is provided at the tip 2c of the guide portion 2. The guide portion 2 and the temperature sensor 14 are fixed to the housing 1A.
  • FIG. 3 is a view showing the guide portion 2, and shows the guide portion 2 in the BB cross section of FIG.
  • the guide portion 2 includes a penetrating portion 2 a that penetrates in the thickness direction of the guide portion 2 at the central portion of the guide portion 2.
  • the introduction part 3 includes an inlet opening 3a having an opening area larger than the opening area of the portion where the O-ring is provided.
  • the guide portion 2 is arranged such that the lower end portion 2b of the penetrating portion 2a is located in the inlet opening portion 3a.
  • the guide part 2 is arranged on the distal end side of the introduction part 3, and the air flowing through the intake pipe 11 hits the guide part 2, and the air is positively directed to the first measurement chamber 5A from inside the introduction part 3 toward the proximal end side. Replace with. That is, the air hitting the guide portion 2 is introduced from the introduction portion 3 into the first measurement chamber 5A over the entire circumference (360°) in the introduction portion 3 in the circumferential direction. Therefore, the air can be introduced regardless of the direction of the flow of the air flowing through the intake pipe 11.
  • Air has a flow of introduction from the tip side to the base side and a flow of discharge from the base side to the tip side. Therefore, the portion of the introduction part 3 functions as gas exchange. In the gas exchange, the air is smoothly replaced, and the air near the substrate 10 is smoothly replaced.
  • the introduction part 3 and the first measurement chamber 5A communicate with each other, and the first measurement chamber 5A and the second measurement chamber 4A communicate with each other.
  • the center of the introduction unit 3 and the center of the second measurement chamber 4A are arranged at a position separated by a predetermined distance. That is, the second measurement chamber 4A is arranged offset from the opening of the introduction section 3. For this reason, air is positively introduced into the first measurement chamber 5A from the introduction portion 3, and vertical vortices are generated in the vertical direction in the first measurement chamber 5A. In addition, a horizontal vortex is generated in the horizontal direction in the first measurement chamber 5A.
  • the second measurement chamber 4A introduces air into the second measurement chamber 4A by utilizing the phenomenon that the gas spreads in the space due to the gas concentration difference (air humidity difference in this embodiment).
  • the introduction portion 3 includes the inlet opening 3a having an opening area larger than the opening area of the portion where the O-ring is provided, and the guide portion 2 has the lower end 2b of the penetrating portion 2a with the inlet opening. It is arranged so as to be located in the portion 3a. With this configuration, even when the liquid droplets are mixed in the air, the liquid droplets are guided from the penetrating portion 2a toward the air passage (air passage) in the intake pipe 12. Further, it is possible to prevent the liquid droplets from sticking between the guide portion 2 and the housing 1A, that is, in the direction toward the base end side in the introduction portion 3. As a result, the measurement of the pressure sensor 5 of the first measurement chamber 5A and the measurement of the humidity sensor 4 of the second measurement chamber 4A are not hindered, and the responsiveness of the sensor can be ensured.
  • FIG. 4 is a partially enlarged sectional view of the physical quantity measuring device, which is a partially enlarged sectional view taken along the line BB of FIG.
  • the introduction part 3 includes an inclined part 3b having the same shape that gradually expands toward the inlet opening 3a. If the distance from the tip 2c of the guide portion 2 to the starting end 3c of the inlet opening 3a is t1, and the height of the inclined portion 3b is T, the relationship of T ⁇ t1 is established. Further, when the distance from the starting end 3c of the inlet opening 3a to the lower end 2b of the penetrating portion 2a of the guide portion 2 is t2 and the height of the inclined portion 3b is T, the relationship of T>t2 is established.
  • the liquid droplets pass through the inlet opening 3a of the introduction portion 3 through the penetrating portion 2a of the guide portion 2 and then inside the intake pipe 12. Are guided in the direction of the air passage (air passage). As a result, it is possible to prevent the droplets from sticking between the guide portion 2 and the housing 1A, that is, in the direction toward the base end side in the introduction portion 3.
  • FIG. 5 is a partially enlarged cross-sectional view of the physical quantity measuring device, and is a partially enlarged cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1 (a partially enlarged view of FIG. 2).
  • the lower end portion 2b of the penetrating portion 2a of the guide portion 2 has a R-shaped cross-section both ends 2d so that droplets can be easily discharged from the penetrating portion 2a. Is formed in. At least one end of the lower end portion 2b of the penetrating portion 2a may have an R shape.
  • the physical quantity measuring device 1 projects from the sensors 4 and 5 provided in the measurement chambers 4A and 5A, the introduction unit 3 that introduces the medium to be measured into the measurement chambers 4A and 5A, and the inlet opening 3a of the introduction unit 3.
  • the guide portion 2 is provided with a guide portion 2 that is provided so as to provide a guide portion 2.
  • the guide portion 2 includes a penetrating portion 2a that penetrates in the thickness direction. Is arranged in the introduction portion 3 so as to be located in a portion having a large opening area. As a result, even if the intake air contains droplets, it is possible to suppress the influence of the droplets and perform more accurate measurement.
  • the present invention can be implemented by modifying the embodiment described above as follows.
  • the guide portion 2 is arranged so as to be displaced from the center of the introduction portion 3 by a predetermined angle. As a result, it becomes possible to measure the medium to be measured regardless of the direction of the medium to be measured flowing in the intake pipe 12.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiments, and other forms conceivable within the scope of the technical idea of the present invention are also included in the scope of the present invention as long as the characteristics of the present invention are not impaired. .. Further, a configuration in which the above embodiment and a plurality of modified examples are combined may be adopted.
  • SYMBOLS 1 Physical quantity measuring device, 1A... Housing, 2... Guide part, 2a... Penetration part, 2b... Lower end part, 3... Introducing part, 3a... Entrance opening part, 3b... Inclined part, 4... Humidity sensor, 4A... 2nd Measuring chamber, 5... Pressure sensor, 5A... First measuring chamber, 9... Connector part, 9a... Connection terminal, 10... Board, 11... Intake pipe, 12... Intake pipe, 13... Measuring part accommodating space, 15... Circuit room ..

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Abstract

吸入空気に液滴が含まれていた場合に、液滴の影響により高精度な測定ができない課題があった。 導入部３は、Ｏリングが設けられる部分の開口面積よりも大きい開口面積を有する入口開口部３ａを備え、ガイド部２は、貫通部２ａの下端部２ｂが入口開口部３ａに位置するように配置される。この構成により、空気中に液滴が混在していた場合であっても、液滴は貫通部２ａから吸気管内１２の空気通路（空気流路）方向へ導かれる。そして、ガイド部２とハウジング１Ａ間、すなわち、導入部３内の基端側に向かう方向に液滴が張り付くのを抑制することができる。

Description

物理量測定装置
　本発明は、物理量測定装置に関する。
　自動車では、電子制御燃料噴射システムが採用され、エンジンルーム内には様々な物理量を計測する物理量計測装置が配置されている。エンジンルーム内に配置される物理量計測装置には、湿度センサや圧力センサなどのセンサが備えられている。これらのセンサは燃料制御のために利用されている。
　自動車用等の内燃機関においては、低燃費化を図るために、吸入空気の流量、温度、及び圧力に加え、湿度の環境状態を高精度に計測することが求められており、自動車用内燃機関で湿度を測定する場合、高い検出精度および高い応答性が要求される。
　特許文献１では、吸入空気の流れる吸気路に湿度センサが配置され、この吸気路を流れる吸入空気の湿度に応じた信号を発生する。吸気路は流路断面積を減少させる絞りを有し、湿度センサはこの絞りに配置されている。特許文献１の湿度センサは、絞りに湿度センサを配置することで、吸入空気の流速を増加させ、湿度センサの近傍において吸入空気が滞留するのを抑制し、湿度センサの応答性を高めている。
特開２０１５－２３２５１４号公報
　特許文献１では、吸入空気に液滴が含まれていた場合に、液滴の影響により高精度な測定ができない課題があった。
　本発明による物理量計測装置は、計測室に設けられるセンサと、前記計測室に被計測媒体を導入する導入部と、前記導入部の入口開口部から突出するように設けられているガイド部と、を備える物理量計測装置において、前記ガイド部は、厚さ方向に貫通する貫通部を備えており、前記ガイド部は、前記貫通部の下端部が前記導入部の開口面積が大きい部分に位置するように、前記導入部に配置される。
　本発明によれば、吸入空気に液滴が含まれていた場合でも、液滴の影響を抑制してより高精度な測定が可能になる。
物理量計測装置の上面図である。 物理量計測装置の断面図である。 ガイド部材を示す図である。 物理量計測装置のＢ－Ｂ断面の部分拡大断面図である。 物理量計測装置のＡ－Ａ断面の部分拡大断面図である。
　以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明では、本発明に係る物理量計測装置１を内燃機関の吸気システムに適用した例について説明するが、内燃機関の吸気システムに限らずその他のシステムに適用することができる。
　図１は、物理量計測装置１の上面図である。この図１は、内部の構成を分かり易くする為に、基板面を示す。図２は、図１のＡ－Ａ断面を示す断面図である。以下の説明において、上下方向は図２における図面上の上下方向を基準にしており、物理量計測装置１が実装された状態における上下方向とは必ずしも一致しない。
　物理量計測装置１は、図１に示すように、ハウジング１Ａ内に基板１０を備え、基板１０上には電子部品１０ａや接続部１０ｂを備えている。
　図２に示すように、ハウジング１Ａは、計測部収容空間１３を有する樹脂製の部材である。計測部収容空間１３には、湿度センサ４および圧力センサ５を搭載した基板１０が収容されている。湿度センサ４と圧力センサ５は基板１０の同一面上に実装されており、圧力センサ５はハウジング１Ａの第１計測室５Ａに、湿度センサ４はハウジング１Ａの第２計測室４Ａに設けられる。計測部収容空間１３は、第１計測室５Ａと第２計測室４Ａとが連通する構成である。
　基板１０の上面は、電子部品１０ａなどが配置される回路室１５であり、回路室１５は図示省略したセンサカバーで覆われる。ハウジング１Ａには、ハウジング１Ａの本体を形成する樹脂により、コネクタ部９が一体に形成されている。コネクタ部９の内側空間には、回路室１５から複数の接続端子９ａが突き出している。すなわち、接続端子９ａはハウジング１Ａの回路室１５から外側に突出するように設けられている。接続端子９ａは基板１０を介して湿度センサ４や圧力センサ５に電気的に接続され、湿度センサ４や圧力センサ５への電源供給や、湿度センサ４や圧力センサ５からの検出信号の取り出しを可能にする。
　物理量計測装置１は、吸気管１１の管壁にＯリング１６を介して固定されるが、吸気管１１の管壁に固定される側を基端側又は固定側と呼び、基端側から吸気管１１の内側に形成される吸気管内１２の空気通路（空気流路）に挿入される側を先端側と呼ぶ。物理量計測装置１の第１計測室５Ａ、圧力センサ５、第２計測室４Ａ、湿度センサ４は基端側に配置され、後述の温度センサ１４、ガイド部２は先端側に配置される。
　ハウジング１Ａにより形成される計測部収容空間１３には、先端側に向かって延設された導入部３が形成されている。導入部３の基端側の端部は基板１０であり、基板１０が導入部３の内側に形成される通路を塞ぐ構成になっている。すなわち、導入部３は基板１０平面（基板１０の実装面）に対して垂直方向に設けられている。導入部３の先端側の内部中央には、基板１０平面に対して垂直方向にガイド部２が設けられている。さらに、ガイド部２の先端部２ｃには温度センサ１４が設けられている。ガイド部２および温度センサ１４はハウジング１Ａに固定されている。
　図３は、ガイド部２を示す図であり、図２のＢ－Ｂ断面におけるガイド部２を示す。図３に示すように、ガイド部２は、ガイド部２の中央部でガイド部２の厚さ方向に貫通する貫通部２ａを備えている。
　図２に示すように、導入部３は、Ｏリングが設けられる部分の開口面積よりも大きい開口面積を有する入口開口部３ａを備える。ガイド部２は、貫通部２ａの下端部２ｂが入口開口部３ａに位置するように配置される。
　次に、図２を参照して、吸気管１１を流れる空気などの被計測媒体を物理量計測装置１の計測部収容空間１３に導入する仕組みについて説明する。
　ガイド部２は、導入部３の先端側に配置され、吸気管１１を流れる空気はガイド部２に当たり、導入部３内を先端側から基端側へ向け第１計測室５Ａまで空気を積極的に入れ換える。すなわち、導入部３内の周方向における全周（３６０°）において、ガイド部２に当たった空気が、導入部３から第１計測室５Ａへ導入される。そのため、吸気管１１を流れる空気の流れの方向に依らずに、空気を導入することが可能である。
　導入部３内の空気は、先端側から基端側に向かう導入の流れと、基端側から先端側に向かう排出の流れがある。このため、導入部３の部分はガス交換として機能する。ガス交換では空気の入れ替えがスムーズに行われ、基板１０の近傍の空気はスムーズに入れ替わる。
　また、導入部３と第１計測室５Ａが連通し、第１計測室５Ａと第２計測室４Ａとが連通している。さらに、図２に示すように、導入部３の中心と第２計測室４Ａの中心とは所定の距離だけ離れた位置に配置される。すなわち、第２計測室４Ａは、導入部３の開口からオフセットして配置される。このため、第１計測室５Ａには、導入部３から空気が積極的に流入し、第１計測室５Ａ内の上下方向に縦渦が発生する。また、第１計測室５Ａ内の水平方向には横渦が発生する。一方、第２計測室４Ａは、ガスの濃度差（本実施形態では空気の湿度差）によりガスが空間内に拡がる現象を利用して、空気を第２計測室４Ａ内に導入する。
　また、前述したように、導入部３は、Ｏリングが設けられる部分の開口面積よりも大きい開口面積を有する入口開口部３ａを備え、ガイド部２は、貫通部２ａの下端部２ｂが入口開口部３ａに位置するように配置される。この構成により、空気中に液滴が混在していた場合であっても、液滴は貫通部２ａから吸気管内１２の空気通路（空気流路）方向へ導かれる。そして、ガイド部２とハウジング１Ａ間、すなわち、導入部３内の基端側に向かう方向に液滴が張り付くのを抑制することができる。これにより、第１計測室５Ａの圧力センサ５や、第２計測室４Ａの湿度センサ４の計測が妨げられることはなく、センサの応答性を確保することができる。
　図４は、物理量計測装置の部分拡大断面図であり、図２のＢ－Ｂ断面における部分拡大断面図である。
　図４に示すように、導入部３は、入口開口部３ａに向かって徐々に広がる同一形状の傾斜部３ｂを備える。ガイド部２の先端部２ｃと入口開口部３ａの始端３ｃからの距離をｔ1、傾斜部３ｂの高さをTとすると、T<t1の関係が成り立つ。さらに、入口開口部３ａの始端３ｃからガイド部２の貫通部２ａの下端部２ｂとの距離をｔ2、傾斜部３ｂの高さをTとすると、T>t2の関係が成り立つ。このような構成にしたので、空気中に液滴が混在していた場合であっても、液滴は、導入部３の入口開口部３ａからガイド部２の貫通部２ａを経て、吸気管内１２の空気通路（空気流路）方向へ導かれる。これにより、ガイド部２とハウジング１Ａ間、すなわち、導入部３内の基端側に向かう方向に液滴が張り付くのを抑制することができる。
　図５は、物理量計測装置の部分拡大断面図であり、図１のＡ－Ａ断面における部分拡大断面図（図２の部分拡大図）である。
　図５に示すように、導入部３の入口開口部３ａ付近において、ガイド部２の貫通部２ａの下端部２ｂは、液滴が貫通部２ａから排出し易いように、断面両端２ｄがR形状に形成されている。なお、貫通部２ａの下端部２ｂの少なくとも一端がR形状であればよい。
　以上説明した実施形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）物理量計測装置１は、計測室４Ａ、５Ａに設けられるセンサ４、５と、計測室４Ａ、５Ａに被計測媒体を導入する導入部３と、導入部３の入口開口部３ａから突出するように設けられているガイド部２と、を備え、ガイド部２は、厚さ方向に貫通する貫通部２ａを備えており、ガイド部２は、貫通部２ａの下端部２ｂが導入部３の開口面積が大きい部分に位置するように、導入部３に配置される。これにより、吸入空気に液滴が含まれていた場合でも、液滴の影響を抑制してより高精度な測定が可能になる。
（変形例）
　本発明は、以上説明した実施形態を次のように変形して実施することができる。
（１）実施形態では導入部３に、１枚のガイド部２を設置した例を説明したが、導入部３に、複数枚のガイド部２を設置してもよい。この場合、ガイド部２は導入部３の中心を基準に所定角度ずらして配置する。これにより、吸気管内１２を流れる被計測媒体の方向に左右されず被計測媒体の計測が可能になる。
（２）実施形態ではガイド部２の厚さ方向に貫通する貫通部２ａを設け、貫通部２ａの下端部２ｂの反対側は上端部を設けずに貫通部２ａと一体構成とした例を説明した。しかし、貫通部２ａの下端部２ｂの反対側に上端部を形成してもよい。すなわち、貫通部２ａの周囲はガイド部２の部材により構成されるので、ガイド部２の強度が増す。
　本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の特徴を損なわない限り、本発明の技術思想の範囲内で考えられるその他の形態についても、本発明の範囲内に含まれる。また、上述の実施形態と複数の変形例を組み合わせた構成としてもよい。
　１…物理量計測装置、１Ａ…ハウジング、２…ガイド部、２ａ…貫通部、２ｂ…下端部、３…導入部、３ａ…入口開口部、３ｂ…傾斜部、４…湿度センサ、４Ａ…第２計測室、５…圧力センサ、５Ａ…第１計測室、９…コネクタ部、９ａ…接続端子、１０…基板、１１…吸気管、１２…吸気管内、１３…計測部収容空間、１５…回路室。

Claims (7)

  1. 　計測室に設けられるセンサと、前記計測室に被計測媒体を導入する導入部と、前記導入部の入口開口部から突出するように設けられているガイド部と、を備える物理量計測装置において、
    　前記ガイド部は、厚さ方向に貫通する貫通部を備えており、前記ガイド部は、前記貫通部の下端部が前記導入部の前記開口面積が大きい部分に位置するように、前記導入部に配置される物理量計測装置。
  2. 　前記物理量計測装置はＯリングを介して前記被計測媒体が流通する管に固定され、
    　前記導入部の開口面積が大きい部分は、前記Ｏリングが設けられる位置の開口面積より開口面積が大きい請求項１に記載の物理量計測装置。
  3. 　前記導入部の前記開口面積が大きい部分は、前記導入部の前記入口開口部に向かって徐々に広がる傾斜部を備える請求項１に記載の物理量計測装置。
  4. 　前記ガイド部の先端部と前記入口開口部からの距離をｔ1、前記傾斜部の高さをTとすると、T<t1の関係が成り立つ請求項３に記載の物理量計測装置。
  5. 　前記入口開口部から前記貫通部の下端部との距離をｔ2、前記傾斜部の高さをTとすると、T>t2の関係が成り立つ請求項３に記載の物理量計測装置。
  6. 　前記傾斜部は、同一形状である請求項３に記載の物理量計測装置。
  7. 　前記ガイド部の厚さ方向に貫通する前記貫通部の下端部の少なくとも一端はR形状である請求項３に記載の物理量計測装置。
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