WO2020031770A1 - Glow-discharge-light-emission analysis method and glow-discharge-light-emission analysis device - Google Patents

Glow-discharge-light-emission analysis method and glow-discharge-light-emission analysis device Download PDF

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明良 藤本
龍人 中村
智椰 西村
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Abstract

Provided are a glow-discharge-light-emission analysis method and glow-discharge-light-emission analysis device that make it possible to effectively and quickly adjust the pressure within a glow-discharge tube. The glow-discharge-light-emission analysis method uses a glow-discharge-light-emission analysis device comprising a glow-discharge tube, a depressurization unit for depressurizing the inside of the glow-discharge tube, and a gas supply unit for supplying gas to the inside of the glow-discharge tube. In this method, a maximum pressure, minimum pressure, and final pressure are arbitrarily specified. The inside of the glow-discharge tube is depressurized through the control of the depressurization unit and gas supply unit. The pressure inside the glow-discharge tube is increased and decreased between the specified maximum pressure and minimum pressure. Thereafter, the pressure inside the glow-discharge tube is adjusted to the specified final pressure. A glow discharge is produced after the pressure inside the glow-discharge tube has been adjusted to the specified final pressure.

Description

グロー放電発光分析方法及びグロー放電発光分析装置Glow discharge emission analysis method and glow discharge emission analysis apparatus
　本発明は、グロー放電発光分析方法及びグロー放電発光分析装置に関する。 The present invention relates to a glow discharge emission analysis method and a glow discharge emission analysis device.
　従来、試料に含まれる成分を分析するために、グロー放電を利用して成分の分析を行うグロー放電発光分析が行われている。グロー放電を発生させるためのグロー放電管は、円筒部を有する電極を備えている。分析対象の試料が円筒部に対向するように配置され、グロー放電管内へ不活性ガス等のガスが供給され、電極の円筒部と試料との間に電圧が印加されることでグロー放電が発生する。グロー放電によって発生したプラズマにより試料の表面はスパッタリングされ、スパッタリングによって試料から放出された原子又は分子等の粒子は励起されて発光する。発生した光を分光することにより、試料の成分分析が行われる。 Conventionally, in order to analyze components contained in a sample, glow discharge emission analysis in which components are analyzed using glow discharge has been performed. A glow discharge tube for generating a glow discharge includes an electrode having a cylindrical portion. The sample to be analyzed is placed so as to face the cylindrical part, a gas such as an inert gas is supplied into the glow discharge tube, and a voltage is applied between the cylindrical part of the electrode and the sample to generate glow discharge. I do. The surface of the sample is sputtered by the plasma generated by the glow discharge, and particles such as atoms or molecules emitted from the sample by the sputtering are excited to emit light. By analyzing the generated light, the components of the sample are analyzed.
　グロー放電を行った後は、スパッタリングによって試料から放出された物質が電極に付着する。次の試料の分析を行う前には、電極を清掃する必要がある。清掃では、ブラシ等の清掃具を用いて電極に付着した物質を除去する。この際に、大気中に存在する炭化水素等の物質が電極に付着することがある。電極に付着した物質が原因でプラズマの発生が不安定になり、また、電極に付着した物質が試料の成分として検出されてしまうことがある。 物質 After glow discharge, the substance released from the sample by sputtering adheres to the electrode. The electrodes must be cleaned before the next sample is analyzed. In cleaning, a substance attached to the electrode is removed using a cleaning tool such as a brush. At this time, substances such as hydrocarbons present in the atmosphere may adhere to the electrodes. The generation of plasma may become unstable due to the substance attached to the electrode, and the substance attached to the electrode may be detected as a component of the sample.
　そこで、試料のグロー放電発光分析を行う前に、成分の判明している模擬試料を用いてグロー放電を行うことにより、模擬試料から放出される物質で電極をコーティングする技術が開発されている。模擬試料を用いたグロー放電の後に、試料を用いたグロー放電発光分析を行う。電極がコーティングされることにより、プラズマの発生が安定し、試料の成分分析への影響が小さくなる。特許文献１には、模擬試料として金板を用いた技術が開示されている。 Therefore, a technique has been developed in which, before performing glow discharge emission analysis of a sample, the electrode is coated with a substance released from the simulated sample by performing glow discharge using a simulated sample whose components are known. After glow discharge using the simulated sample, glow discharge emission analysis using the sample is performed. By coating the electrodes, the generation of plasma is stabilized, and the influence on the component analysis of the sample is reduced. Patent Literature 1 discloses a technique using a metal plate as a simulation sample.
特開２００１－９１４６５号公報JP 2001-91465 A
　複数の試料についてグロー放電発光分析を行うためには、電極の清掃、模擬試料を用いたグロー放電、及び試料の分析を繰り返す。電極の清掃時、及び模擬試料を分析用の試料へ交換する際には、グロー放電管内の圧力を大気圧にする必要がある。また、模擬試料を用いたグロー放電、及び試料の分析の際には、グロー放電管内を減圧し、グロー放電管内へガスを供給する。複数の試料を分析するためには、減圧及びガスの供給によるグロー放電管内の圧力調整を何度も行う必要がある。このため、圧力調整は迅速に行うことが望ましい。 グ ロ ー In order to perform glow discharge emission analysis on a plurality of samples, cleaning of electrodes, glow discharge using a simulated sample, and analysis of samples are repeated. When cleaning the electrodes and replacing the simulated sample with a sample for analysis, the pressure inside the glow discharge tube needs to be set to the atmospheric pressure. In the case of glow discharge using the simulated sample and analysis of the sample, the pressure inside the glow discharge tube is reduced, and gas is supplied into the glow discharge tube. In order to analyze a plurality of samples, it is necessary to adjust the pressure inside the glow discharge tube by reducing the pressure and supplying the gas many times. Therefore, it is desirable that the pressure adjustment be performed promptly.
　グロー放電発光分析の際にグロー放電管内に大気が残留している場合は、プラズマの発生が不安定になり、また、試料の成分分析に悪影響が出る。そこで、供給した不活性ガスによって大気を押し出すポンピングを行うことがある。しかしながら、無暗なポンピングを行った場合は、不活性ガスの消費量が大きくなり、また、グロー放電管内の圧力調整に要する時間が長くなる。 If air remains in the glow discharge tube during glow discharge emission analysis, the generation of plasma becomes unstable, and the component analysis of the sample is adversely affected. Therefore, pumping for pushing out the atmosphere by the supplied inert gas may be performed. However, when performing pumping without darkness, the consumption of the inert gas increases, and the time required for adjusting the pressure in the glow discharge tube increases.
　本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、グロー放電管内の圧力調整を効果的にかつ迅速に行うことを可能にするグロー放電発光分析方法及びグロー放電発光分析装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a glow discharge emission analysis method and a glow discharge analysis method capable of effectively and quickly adjusting the pressure in a glow discharge tube. Discharge emission spectrometer is provided.
　本発明に係るグロー放電発光分析方法は、グロー放電管と、該グロー放電管の内部を減圧する減圧部と、前記グロー放電管の内部へガスを供給するガス供給部とを備えるグロー放電発光分析装置を用いたグロー放電発光分析方法において、上限圧力、下限圧力、及び最終圧力を任意に指定し、前記減圧部及び前記ガス供給部を制御することにより、前記グロー放電管の内部を減圧し、指定された上限圧力及び下限圧力の間で前記グロー放電管の内部の圧力を増減させ、その後、前記グロー放電管の内部の圧力を、指定された最終圧力に調整し、前記グロー放電管の内部の圧力を前記最終圧力に調整した後、グロー放電を発生させることを特徴とする。 A glow discharge emission analysis method according to the present invention includes a glow discharge tube, a glow discharge tube, a pressure reducing unit that reduces the pressure inside the glow discharge tube, and a gas supply unit that supplies gas to the inside of the glow discharge tube. In the glow discharge emission analysis method using the apparatus, the upper limit pressure, the lower limit pressure, and the final pressure arbitrarily specified, by controlling the decompression unit and the gas supply unit, to reduce the pressure inside the glow discharge tube, The pressure inside the glow discharge tube is increased or decreased between a specified upper limit pressure and a lower limit pressure, and then the pressure inside the glow discharge tube is adjusted to a specified final pressure, and the inside of the glow discharge tube is adjusted. After adjusting the pressure to the final pressure, a glow discharge is generated.
　本発明においては、減圧及びガスの供給によるグロー放電管内の圧力調整のための上限圧力、下限圧力、及び最終圧力を任意に指定する。圧力調整では、グロー放電管内の圧力を減圧し、上限圧力及び下限圧力の間で圧力を増減させ、圧力を最終圧力に調整する。圧力調整の後、グロー放電を発生させる。上限圧力、下限圧力、及び最終圧力を任意に指定することにより、圧力調整時に行われるポンピングの条件を調整することができる。ポンピングの条件を調整することにより、適切な条件でポンピングを行うことが可能となる。 In the present invention, the upper limit pressure, the lower limit pressure, and the final pressure for adjusting the pressure in the glow discharge tube by reducing the pressure and supplying the gas are arbitrarily specified. In the pressure adjustment, the pressure in the glow discharge tube is reduced, the pressure is increased or decreased between an upper limit pressure and a lower limit pressure, and the pressure is adjusted to a final pressure. After the pressure adjustment, a glow discharge is generated. By arbitrarily specifying the upper limit pressure, the lower limit pressure, and the final pressure, it is possible to adjust pumping conditions performed at the time of pressure adjustment. By adjusting the pumping conditions, pumping can be performed under appropriate conditions.
　本発明に係るグロー放電発光分析方法は、前記グロー放電管の内部の圧力を増減させる回数を任意に指定し、指定された前記回数だけ、前記グロー放電管の内部の圧力の増減を繰り返すことを特徴とする。 The glow discharge emission analysis method according to the present invention, wherein the number of times of increasing or decreasing the pressure inside the glow discharge tube is arbitrarily specified, and the increase or decrease of the pressure inside the glow discharge tube is repeated by the specified number of times. Features.
　本発明においては、グロー放電管内の圧力を上限圧力及び下限圧力の間で増減させる回数を任意に指定する。圧力を増減させる回数を指定することにより、ポンピングの条件をより詳細に調整することができる。 In the present invention, the number of times the pressure in the glow discharge tube is increased or decreased between the upper limit pressure and the lower limit pressure is arbitrarily specified. By designating the number of times the pressure is increased or decreased, the pumping conditions can be adjusted in more detail.
　本発明に係るグロー放電発光分析方法は、前記グロー放電管の内部の圧力を前記下限圧力から前記上限圧力まで増加させるためにかけるべき第１時間、及び前記グロー放電管の内部の圧力を前記上限圧力から前記下限圧力まで減少させるためにかけるべき第２時間を任意に指定し、前記グロー放電管の内部の圧力を前記下限圧力まで減少させ、指定された第１時間の間、前記グロー放電管の内部の圧力を増加させ、指定された第２時間の間、前記グロー放電管の内部の圧力を減少させることを特徴とする。 The glow discharge emission analysis method according to the present invention includes: a first time to be applied to increase a pressure inside the glow discharge tube from the lower limit pressure to the upper limit pressure; and a pressure inside the glow discharge tube to the upper limit. Arbitrarily specifying a second time to be applied to reduce the pressure from the pressure to the lower limit pressure, reducing the pressure inside the glow discharge tube to the lower limit pressure, and setting the glow discharge tube for the specified first time And increasing the pressure inside the glow discharge tube for a designated second time.
　本発明においては、グロー放電管内の圧力を下限圧力から上限圧力まで増加させるためにかけるべき第１時間と、圧力を上限圧力から下限圧力まで減少させるためにかけるべき第２時間とを任意に指定する。圧力の増加及び減少にかかる時間を指定することにより、ポンピングの条件をより詳細に調整することができる。 In the present invention, a first time for increasing the pressure in the glow discharge tube from the lower limit pressure to the upper limit pressure and a second time for reducing the pressure from the upper limit pressure to the lower limit pressure are arbitrarily designated. I do. By specifying the time taken for the pressure to increase and decrease, the pumping conditions can be adjusted in more detail.
　本発明に係るグロー放電発光分析方法は、前記グロー放電管は電極を有しており、前記電極と同じ成分でなる模擬試料を前記電極に対向して配置した状態で、前記電極と前記模擬試料との間でグロー放電を発生させ、前記模擬試料を取り外し、前記電極に対向するように試料を配置し、前記電極と前記試料との間でグロー放電を発生させ、グロー放電発光分析を行うことを特徴とする。 In the glow discharge emission analysis method according to the present invention, the glow discharge tube has an electrode, and the electrode and the simulated sample are placed in a state where a simulated sample made of the same component as the electrode is arranged to face the electrode. Generating a glow discharge between the electrodes, removing the simulated sample, disposing the sample so as to face the electrode, generating a glow discharge between the electrode and the sample, and performing glow discharge emission analysis. It is characterized by.
　本発明においては、グロー放電管の電極と同じ成分でなる模擬試料を電極に対向させた状態でグロー放電を発生させることにより、模擬試料の構成物質で電極をコーティングする。その後、分析対象の試料を電極に対向させた状態で、グロー放電発光分析を行う。大気中に存在する炭化水素等の物質が清掃時に電極に付着したとしても、コーティングにより、付着した物質は放出され難くなる。このため、付着した物質がグロー放電発光分析に影響を及ぼすことが抑制される。 In the present invention, the electrode is coated with the constituent material of the simulated sample by generating a glow discharge in a state where the simulated sample having the same components as the electrode of the glow discharge tube is opposed to the electrode. Thereafter, glow discharge emission analysis is performed with the sample to be analyzed facing the electrode. Even if substances such as hydrocarbons present in the atmosphere adhere to the electrodes during cleaning, the coating makes it difficult for the adhered substances to be released. Therefore, the attached substance is suppressed from affecting the glow discharge emission analysis.
　本発明に係るグロー放電発光分析方法は、前記模擬試料及び前記試料を保持し、保持した前記模擬試料及び前記試料を移動させる試料移動部を用い、前記試料移動部により、前記模擬試料を前記電極に対向した位置に配置し、前記電極と前記模擬試料との間でグロー放電を発生させた後で、前記試料移動部により、前記模擬試料を前記位置から取り外し、前記試料を前記電極に対向した位置に配置することを特徴とする。 The glow discharge emission analysis method according to the present invention uses the sample moving unit that holds the simulation sample and the sample, and moves the held simulation sample and the sample. After generating a glow discharge between the electrode and the simulated sample, the simulated sample was removed from the position by the sample moving unit, and the sample was opposed to the electrode. It is characterized by being arranged at a position.
　本発明においては、試料移動部が模擬試料の配置及び取り外し並びに試料の配置を行う。模擬試料の配置及び取り外し並びに試料の配置が自動で行われる。複数の試料のグロー放電発光分析を行う際には、複数の試料の配置が順次行われる。 試 料 In the present invention, the sample moving section arranges and removes the simulated sample and arranges the sample. The placement and removal of the simulation sample and the placement of the sample are performed automatically. When glow discharge emission analysis of a plurality of samples is performed, the plurality of samples are sequentially arranged.
　本発明に係るグロー放電発光分析方法は、前記模擬試料を前記電極に対向して配置したときと、前記試料を前記電極に対向して配置したときとで、前記ガス供給部により前記グロー放電管の内部へ供給するガスの種類を変更することを特徴とする。 The glow discharge emission analysis method according to the present invention is characterized in that the glow discharge tube is provided by the gas supply unit when the simulated sample is arranged to face the electrode and when the sample is arranged to face the electrode. It is characterized in that the type of gas supplied to the inside is changed.
　本発明においては、模擬試料を電極に対向させてグロー放電を発生させるときと、試料のグロー放電発光分析を行うときとで、グロー放電管の内部へ供給するガスの種類を変更する。ガスの種類を変更することにより、模擬試料を用いたグロー放電の発生と、試料のグロー放電発光分析とを、夫々に適切な条件で実行することができる。 In the present invention, the type of gas to be supplied to the inside of the glow discharge tube is changed between when the simulated sample is caused to face the electrode to generate glow discharge and when the sample is subjected to glow discharge emission analysis. By changing the type of gas, glow discharge generation using the simulated sample and glow discharge emission analysis of the sample can be executed under appropriate conditions.
　本発明に係るグロー放電発光分析装置は、グロー放電管と、該グロー放電管の内部を減圧する減圧部と、前記グロー放電管の内部へガスを供給するガス供給部と、制御部とを備えるグロー放電発光分析装置において、前記制御部は、上限圧力、下限圧力、及び最終圧力の指定を任意の値で受け付け、前記減圧部及び前記ガス供給部を制御することにより、指定された上限圧力及び下限圧力の間で前記グロー放電管の内部の圧力を増減させ、その後、前記グロー放電管の内部の圧力を、指定された最終圧力に調整し、前記グロー放電管の内部の圧力を前記最終圧力に調整した後、グロー放電を発生させることを特徴とする。 The glow discharge emission spectrometer according to the present invention includes a glow discharge tube, a pressure reducing unit that reduces the pressure inside the glow discharge tube, a gas supply unit that supplies gas to the inside of the glow discharge tube, and a control unit. In the glow discharge optical emission spectrometer, the control unit receives the upper limit pressure, the lower limit pressure, and the designation of the final pressure at an arbitrary value, and controls the decompression unit and the gas supply unit to specify the specified upper limit pressure and The pressure inside the glow discharge tube is increased or decreased between the lower limit pressures, and then the pressure inside the glow discharge tube is adjusted to a specified final pressure, and the pressure inside the glow discharge tube is increased to the final pressure. After the adjustment, the glow discharge is generated.
　本発明においては、グロー放電発光分析装置は、グロー放電管内の圧力調整のための上限圧力、下限圧力、及び最終圧力の指定を任意の値で受け付ける。グロー放電発光分析装置は、圧力調整では、グロー放電管内の圧力を減圧し、上限圧力及び下限圧力の間で圧力を増減させ、圧力を最終圧力に調整する。上限圧力、下限圧力、及び最終圧力を任意に指定することにより、圧力調整時に行われるポンピングの条件を調整することができる。ポンピングの条件を調整することにより、グロー放電発光分析装置は、適切な条件でポンピングを行うことができる。 に お い て In the present invention, the glow discharge optical emission spectrometer accepts designation of an upper limit pressure, a lower limit pressure, and a final pressure for adjusting the pressure in the glow discharge tube at arbitrary values. In the pressure adjustment, the glow discharge optical emission spectrometer reduces the pressure in the glow discharge tube, increases and decreases the pressure between the upper limit pressure and the lower limit pressure, and adjusts the pressure to the final pressure. By arbitrarily specifying the upper limit pressure, the lower limit pressure, and the final pressure, it is possible to adjust pumping conditions performed at the time of pressure adjustment. By adjusting the pumping conditions, the glow discharge optical emission spectrometer can perform pumping under appropriate conditions.
　本発明に係るグロー放電発光分析装置は、前記グロー放電管は電極を有しており、前記電極と同じ成分でなる模擬試料及び試料を保持し、保持した前記模擬試料及び前記試料を移動させる試料移動部を更に備え、前記試料移動部は、前記模擬試料を前記電極に対向した位置に配置し、前記制御部は、前記模擬試料を前記位置に配置した状態で、前記電極と前記模擬試料との間でグロー放電を発生させ、前記試料移動部は、前記模擬試料を前記位置から取り外し、前記試料を前記電極に対向した位置に配置し、前記制御部は、前記試料を前記位置に配置した状態で、前記電極と前記試料との間でグロー放電を発生させ、グロー放電発光分析を行うことを特徴とする。 In the glow discharge optical emission spectrometer according to the present invention, the glow discharge tube has an electrode, holds a simulated sample and a sample having the same components as the electrode, and moves the held simulated sample and the sample. The apparatus further includes a moving unit, wherein the sample moving unit arranges the simulated sample at a position facing the electrode, and the control unit controls the electrode and the simulated sample in a state where the simulated sample is arranged at the position. A glow discharge is generated between the samples, the sample moving unit removes the simulated sample from the position, arranges the sample at a position facing the electrode, and the control unit arranges the sample at the position. In this state, glow discharge is generated between the electrode and the sample, and glow discharge emission analysis is performed.
　本発明においては、グロー放電管の電極と同じ成分でなる模擬試料を電極に対向させた状態でグロー放電を発生させ、その後、分析対象の試料を電極に対向させた状態で、グロー放電発光分析を行う。模擬試料の構成物質で電極がコーティングされ、清掃時に電極に付着した物質が放出され難くなる。また、試料移動部が、模擬試料の配置及び取り外し並びに試料の配置を行う。模擬試料の配置及び取り外し並びに試料の配置が自動で行われる。 In the present invention, glow discharge is generated in a state in which a simulated sample composed of the same components as the electrodes of the glow discharge tube is opposed to the electrodes, and thereafter, glow discharge emission analysis is performed in a state in which the sample to be analyzed is opposed to the electrodes. I do. The electrode is coated with the constituent material of the simulated sample, and it becomes difficult to release the substance attached to the electrode during cleaning. Further, the sample moving section arranges and removes the simulation sample and arranges the sample. The placement and removal of the simulation sample and the placement of the sample are performed automatically.
　本発明にあっては、適切な条件でポンピングを行うことが可能となり、効果的にかつ迅速にグロー放電内の圧力調整を行うことが可能になる等、優れた効果を奏する。 According to the present invention, it is possible to perform pumping under appropriate conditions, and it is possible to effectively and quickly adjust the pressure in the glow discharge.
実施形態１に係るグロー放電発光分析装置の構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of a glow discharge optical emission analyzer according to the first embodiment. グロー放電管の内部構成の例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of an internal structure of a glow discharge tube. 制御部の構成例を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration example of a control unit. グロー放電発光分析方法の概要を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the outline of a glow discharge emission analysis method. ガス供給部の構成の例を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram illustrating an example of a configuration of a gas supply unit. グロー放電発光分析のために制御部が実行する処理の手順を示すフローチャートである。5 is a flowchart illustrating a procedure of a process executed by a control unit for glow discharge emission analysis. パラメータの指定を受け付けるための受付画面の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the example of the reception screen for receiving specification of a parameter. 圧力調整の例を模式的に示すグラフである。It is a graph which shows the example of pressure adjustment typically. グロー放電発光分析の結果の例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of the result of glow discharge luminescence analysis. グロー放電発光分析の結果の例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of the result of glow discharge luminescence analysis. 実施形態２に係るグロー放電発光分析装置１０の構成を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration of a glow discharge optical emission analyzer 10 according to a second embodiment. サンプルプレートを示す模式的斜視図である。It is a typical perspective view showing a sample plate. グロー放電が行われる際の実施形態２に係るサンプルプレート及びグロー放電管の配置例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of arrangement | positioning of the sample plate and glow discharge tube which concerns on Embodiment 2 when glow discharge is performed. グロー放電発光分析のために制御部が実行する実施形態２に係る処理の手順を示すフローチャートである。9 is a flowchart illustrating a procedure of a process according to a second embodiment that is executed by the control unit for glow discharge emission analysis. 清掃時の実施形態２に係るグロー放電管、サンプルプレート及び清掃具の位置関係を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the positional relationship of the glow discharge tube, sample plate, and cleaning tool which concerns on Embodiment 2 at the time of cleaning. 模擬試料を用いたグロー放電を行う際の実施形態２に係るグロー放電管、サンプルプレート及び清掃具の位置関係を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the glow discharge tube which concerns on Embodiment 2 at the time of performing glow discharge using a simulation sample, a sample plate, and the cleaning tool. グロー放電発光分析を行う際の実施形態２に係るグロー放電管、サンプルプレート及び清掃具の位置関係を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the positional relationship of the glow discharge tube, sample plate, and cleaning tool which concerns on Embodiment 2 at the time of performing glow discharge optical emission analysis.
　以下本発明をその実施の形態を示す図面に基づき具体的に説明する。
＜実施形態１＞
　図１は、実施形態１に係るグロー放電発光分析装置１０の構成を示すブロック図である。グロー放電発光分析装置１０は、グロー放電管１、分光測定器４１、電源部４２、及び制御部２を備えている。グロー放電管１はグロー放電を発生させる。分光測定器４１は、グロー放電により発生する光を分光して光の強度を測定する。電源部４２は、グロー放電を発生させるための高周波電圧を発生させる。制御部２は、グロー放電発光分析装置１０の全体的な制御を行う。分析対象の試料５１は、押圧電極４３でグロー放電管１に押圧して配置される。押圧電極４３は、ブロック状に形成されており、電源部４２に接続されている。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to the drawings showing the embodiments.
<First embodiment>
FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of a glow discharge optical emission spectrometer 10 according to the first embodiment. The glow discharge emission analyzer 10 includes a glow discharge tube 1, a spectrometer 41, a power supply unit 42, and a control unit 2. The glow discharge tube 1 generates a glow discharge. The spectrometer 41 measures the light intensity by spectrally separating the light generated by the glow discharge. The power supply unit 42 generates a high-frequency voltage for generating glow discharge. The control unit 2 performs overall control of the glow discharge optical emission spectrometer 10. The sample 51 to be analyzed is pressed against the glow discharge tube 1 by the pressing electrode 43 and arranged. The pressing electrode 43 is formed in a block shape, and is connected to the power supply unit 42.
　グロー放電発光分析装置１０は、減圧部４４、ガス供給部３、及び圧力センサ４５を更に備えている。減圧部４４は、グロー放電管１の内部を減圧する。減圧部４４は、例えば、真空ポンプを含んでいる。減圧部４４とグロー放電管１との間には、減圧用の配管が配置されている。ガス供給部３は、グロー放電管１の内部へ不活性ガスを含むガスを供給する。ガス供給部３は、ガスを充填したボンベを含んでいる。ガス供給部３からグロー放電管１まで、ガスを供給するための配管が配置されている。圧力センサ４５は、グロー放電管１の内部の圧力を測定する。分光測定器４１、電源部４２、減圧部４４、ガス供給部３及び圧力センサ４５は、制御部２に接続されている。制御部２は、分光測定器４１、電源部４２、減圧部４４及びガス供給部３の動作を制御する。 The glow discharge emission spectrometer 10 further includes a pressure reducing unit 44, a gas supply unit 3, and a pressure sensor 45. The pressure reducing unit 44 reduces the pressure inside the glow discharge tube 1. The decompression unit 44 includes, for example, a vacuum pump. A pressure reducing pipe is arranged between the pressure reducing section 44 and the glow discharge tube 1. The gas supply unit 3 supplies a gas containing an inert gas to the inside of the glow discharge tube 1. The gas supply unit 3 includes a gas-filled cylinder. From the gas supply unit 3 to the glow discharge tube 1, a pipe for supplying gas is arranged. The pressure sensor 45 measures the pressure inside the glow discharge tube 1. The spectrometer 41, the power supply unit 42, the pressure reducing unit 44, the gas supply unit 3, and the pressure sensor 45 are connected to the control unit 2. The control unit 2 controls operations of the spectrometer 41, the power supply unit 42, the pressure reducing unit 44, and the gas supply unit 3.
　図２は、グロー放電管１の内部構成の例を示す断面図である。グロー放電管１は短円柱状のランプボディ１１、陽極１２、セラミック部材１３、及び押圧ブロック１５が組み合わされて構成されている。陽極１２は、電極に対応する。 FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of the internal configuration of the glow discharge tube 1. The glow discharge tube 1 is configured by combining a short columnar lamp body 11, an anode 12, a ceramic member 13, and a pressing block 15. The anode 12 corresponds to an electrode.
　ランプボディ１１は、押圧ブロック１５が組み合わされる端面１１ａの中心箇所に陽極１２を取り付けるための窪部１１ｂが凹設されている。窪部１１ｂの中心部には中心孔１１ｃが穿設されている。ランプボディ１１には、周壁部１１ｄから中心へ向けて減圧用の吸引孔１１ｅ、１１ｆが複数設けられている。一部の吸引孔１１ｅは中心孔１１ｃと連通しており、他の吸引孔１１ｆは窪部１１ｂ側に連通している。吸引孔１１ｅ、１１ｆには、減圧部４４に連結した配管が連結されている。また、ランプボディ１１には、周壁部１１ｄから中心へ向けて、ガス供給用のガス供給孔１１ｇが中心孔１１ｃと連通するように形成されている。ガス供給孔１１ｇには、ガス供給部３に連結した配管が連結されている。更に、ランプボディ１１は、アース線が接続されてアース電位となっている。 The lamp body 11 has a concave portion 11b for attaching the anode 12 at the center of the end surface 11a where the pressing block 15 is combined. A central hole 11c is formed in the center of the recess 11b. The lamp body 11 is provided with a plurality of decompression suction holes 11e and 11f from the peripheral wall portion 11d toward the center. Some of the suction holes 11e communicate with the center hole 11c, and the other suction holes 11f communicate with the recess 11b. A pipe connected to the decompression unit 44 is connected to the suction holes 11e and 11f. In the lamp body 11, a gas supply hole 11g for gas supply is formed so as to communicate with the center hole 11c from the peripheral wall portion 11d toward the center. A pipe connected to the gas supply unit 3 is connected to the gas supply hole 11g. Further, the lamp body 11 is connected to a ground wire and is at a ground potential.
　ランプボディ１１の窪部１１ｂに収められる陽極１２は、円板部１２ａの中心から円筒部１２ｂが突出した形状になっている。円筒部１２ｂの内部から円板部１２ａを貫通する貫通孔１２ｃが穿設されている。また、円板部１２ａにも穴１２ｄが形成されている。陽極１２がランプボディ１１の窪部１１ｂに取り付けられた状態では、ランプボディ１１の中心孔１１ｃと貫通孔１２ｃとは実質的に同軸に連通している。陽極１２は、ランプボディ１１の窪部１１ｂに取り付けられると、ランプボディ１１を介してアース電位になる。また陽極１２がランプボディ１１に取り付けられた状態では、円筒部１２ｂがランプボディ１１の端面１１ａから突出した状態となる。陽極１２が収められた状態でランプボディ１１の中心孔１１ｃ及び陽極１２の貫通孔１２ｃの密閉性を維持するために、Ｏリングがランプボディ１１及び陽極１２の間に取り付けられている。 The anode 12 housed in the recess 11b of the lamp body 11 has a shape in which the cylindrical portion 12b protrudes from the center of the disk portion 12a. A through-hole 12c is formed from the inside of the cylindrical portion 12b so as to penetrate the disk portion 12a. Also, a hole 12d is formed in the disk portion 12a. When the anode 12 is attached to the concave portion 11b of the lamp body 11, the center hole 11c and the through hole 12c of the lamp body 11 communicate substantially coaxially. When the anode 12 is attached to the concave portion 11 b of the lamp body 11, the anode 12 has a ground potential via the lamp body 11. When the anode 12 is attached to the lamp body 11, the cylindrical portion 12b projects from the end surface 11a of the lamp body 11. An O-ring is attached between the lamp body 11 and the anode 12 in order to maintain the hermeticity of the center hole 11c of the lamp body 11 and the through hole 12c of the anode 12 with the anode 12 housed.
　ランプボディ１１の中心孔１１ｃの、陽極１２の貫通孔１２ｃに連通した端とは逆の端には、光を透過させる窓１６が備えられている。窓１６の外側には、分光測定器４１が連結されている。分光測定器４１は、窓１６を透過して分光測定器４１内へ入射した光を回折格子等を用いて分光し、分光した各波長の光の強度を光電子増倍管等を用いて測定する。分光測定器４１は、制御部２に動作を制御されると共に、測定結果を制御部２へ入力する。 A window 16 for transmitting light is provided at an end of the center hole 11c of the lamp body 11 opposite to an end communicating with the through hole 12c of the anode 12. A spectrometer 41 is connected to the outside of the window 16. The spectrometer 41 separates the light transmitted through the window 16 into the spectrometer 41 using a diffraction grating or the like, and measures the intensity of the separated light of each wavelength using a photomultiplier tube or the like. . The operation of the spectrometer 41 is controlled by the control unit 2, and the measurement result is input to the control unit 2.
　陽極１２を被うように配置されるセラミック部材１３は、絶縁性のセラミックで構成されている。セラミック部材１３は、厚みのある円板状に形成されてあり、陽極１２の円板部１２ａを被うフランジ部１３ｄを有している。セラミック部材１３の中心となる箇所には、陽極１２の円筒部１２ｂを挿通させる挿通孔１３ｃが形成されている。セラミック部材１３は、陽極１２の円板部１２ａに対向して配置され、円板部１２ａとの間には密閉性維持のためにＯリングが取り付けられている。セラミック部材１３が配置された状態では、挿通孔１３ｃと陽極１２の円筒部１２ｂとの間に所定の隙間が形成されている。 セ ラ ミ ッ ク The ceramic member 13 arranged so as to cover the anode 12 is made of insulating ceramic. The ceramic member 13 is formed in a thick disk shape, and has a flange portion 13 d that covers the disk portion 12 a of the anode 12. An insertion hole 13c through which the cylindrical portion 12b of the anode 12 is inserted is formed at the center of the ceramic member 13. The ceramic member 13 is disposed so as to face the disk portion 12a of the anode 12, and an O-ring is attached between the ceramic member 13 and the disk portion 12a to maintain the hermeticity. In a state where the ceramic member 13 is arranged, a predetermined gap is formed between the insertion hole 13c and the cylindrical portion 12b of the anode 12.
　陽極１２及びセラミック部材１３をランプボディ１１に固定するための押圧ブロック１５は、絶縁性の材料で環状に形成された部材である。押圧ブロック１５は、内周縁側の突出部１５ａでセラミック部材１３のフランジ部１３ｄをランプボディ１１側へ押圧するようにしている。押圧ブロック１５自体は、ボルトによりランプボディ１１の端面１１ａに取り付けられている。押圧ブロック１５はランプボディ１１の端面１１ａから突出して取り付けられており、押圧ブロック１５の内側にセラミック部材１３と陽極１２の円筒部１２ｂとが配置された構成となっている。セラミック部材１３の端面１３ａには、挿通孔１３ｃが開口しており、挿通孔１３ｃの中に陽極１２の円筒部１２ｂが配置されている。挿通孔１３ｃの開口端は、グロー放電管１の開口部１３ｂであり、開口部１３ｂは円筒部１２ｂの先端１２ｅに対向した位置にある。 押 圧 The pressing block 15 for fixing the anode 12 and the ceramic member 13 to the lamp body 11 is a member formed in an annular shape from an insulating material. The pressing block 15 presses the flange portion 13d of the ceramic member 13 toward the lamp body 11 with the protruding portion 15a on the inner peripheral edge side. The pressing block 15 itself is attached to the end face 11a of the lamp body 11 by bolts. The pressing block 15 is mounted so as to protrude from the end face 11 a of the lamp body 11, and has a configuration in which the ceramic member 13 and the cylindrical portion 12 b of the anode 12 are arranged inside the pressing block 15. An insertion hole 13c is opened in the end surface 13a of the ceramic member 13, and the cylindrical portion 12b of the anode 12 is disposed in the insertion hole 13c. The opening end of the insertion hole 13c is the opening 13b of the glow discharge tube 1, and the opening 13b is located at a position facing the tip 12e of the cylindrical portion 12b.
　セラミック部材１３の端面１３ａには、開口部１３ｂを囲繞したＯリング１７が配置されている。試料５１は、Ｏリング１７に表面が当接するように配置される。例えば、試料５１は平板状である。試料５１の外形は、Ｏリング１７の外径を超過する大きさである。試料５１の裏側には押圧電極４３が押し当てられ、試料５１がグロー放電管１へ押圧される。押圧電極４３は、図示しない所定の係止手段により、試料５１をグロー放電管１へ押圧している。このようにして、試料５１は開口部１３ｂを塞ぐように配置され、試料５１の表面は、陽極１２の円筒部１２ｂの先端１２ｅに対向する。 Ｏ An O-ring 17 surrounding the opening 13b is disposed on the end face 13a of the ceramic member 13. The sample 51 is arranged so that the surface thereof is in contact with the O-ring 17. For example, the sample 51 is flat. The outer shape of the sample 51 is larger than the outer diameter of the O-ring 17. The pressing electrode 43 is pressed against the back side of the sample 51, and the sample 51 is pressed against the glow discharge tube 1. The pressing electrode 43 presses the sample 51 against the glow discharge tube 1 by predetermined locking means (not shown). Thus, the sample 51 is disposed so as to cover the opening 13b, and the surface of the sample 51 faces the tip 12e of the cylindrical portion 12b of the anode 12.
　開口部１３ｂを塞ぐように試料５１を配置した状態で、グロー放電管１の内部を減圧部４４で減圧する。減圧部４４がグロー放電管１の内部を減圧することで、試料５１は固定される。ガス供給部３は、グロー放電管１の内部へガスを供給する。供給されるガスは、グロー放電の発生を可能にするガスであり、例えばアルゴンガスである。電源部４２は、押圧電極４３に高周波電圧を供給する。押圧電極４３に高周波電圧が供給されることにより、陽極１２と試料５１との間に電圧が印加される。 (4) The pressure inside the glow discharge tube 1 is reduced by the pressure reducing unit 44 with the sample 51 arranged so as to cover the opening 13b. The sample 51 is fixed by the pressure reducing unit 44 reducing the pressure inside the glow discharge tube 1. The gas supply unit 3 supplies a gas into the glow discharge tube 1. The supplied gas is a gas capable of generating a glow discharge, and is, for example, an argon gas. The power supply unit 42 supplies a high-frequency voltage to the pressing electrode 43. When a high-frequency voltage is supplied to the pressing electrode 43, a voltage is applied between the anode 12 and the sample 51.
　陽極１２の円筒部１２ｂの先端１２ｅと試料５１との間の空間にガスが随時供給され、陽極１２と試料５１との間に電圧が印加されることにより、陽極１２と試料５１との間でグロー放電が発生する。グロー放電が発生することにより、ガスイオンを含んだプラズマが生成する。ガスイオンは電圧によって貫通孔１２ｃ内で加速し、円筒部１２ｂの先端１２ｅに対向した試料５１の表面へ衝突し、スパッタリングが行われる。スパッタリングにより、試料５１の構成物質が粒子となって放出される。放出された粒子は、グロー放電によって励起され、粒子に含まれる元素に固有の波長の光が発光する。発光した光は窓１６を透過して分光測定器４１へ入射され、分光測定器４１は入射された光を分光し、各波長の光の強度を測定し、測定結果を制御部２へ入力する。制御部２は、分光測定器４１から入力された測定結果に基づいて、試料５１に含まれる成分の定性分析又は定量分析を行う。このようにして、試料５１に対するグロー放電発光分析が行われる。 Gas is supplied to the space between the tip 12e of the cylindrical portion 12b of the anode 12 and the sample 51 as needed, and a voltage is applied between the anode 12 and the sample 51, so that a gas is Glow discharge occurs. When the glow discharge occurs, plasma containing gas ions is generated. The gas ions are accelerated in the through hole 12c by the voltage, collide with the surface of the sample 51 facing the tip 12e of the cylindrical portion 12b, and sputtering is performed. By sputtering, the constituent material of the sample 51 is released as particles. The emitted particles are excited by glow discharge, and emit light having a wavelength specific to the element contained in the particles. The emitted light passes through the window 16 and is incident on the spectrometer 41. The spectrometer 41 disperses the incident light, measures the intensity of light of each wavelength, and inputs the measurement result to the control unit 2. . The control unit 2 performs qualitative analysis or quantitative analysis of the components contained in the sample 51 based on the measurement result input from the spectrometer 41. In this way, the glow discharge emission analysis for the sample 51 is performed.
　図３は、制御部２の構成例を示すブロック図である。制御部２は、パーソナルコンピュータ等のコンピュータを用いて構成されている。制御部２は、演算を行うＣＰＵ（Central Processing Unit ）２１と、ＲＡＭ（Random Access Memory）２２と、ドライブ部２３と、入力部２４と、記憶部２５と、表示部２６とを備えている。ＲＡＭ２２は、演算に伴って発生する一時的な情報を記憶する。ドライブ部２３は、光ディスク等の記録媒体２０から情報を読み取る。入力部２４は、使用者が操作することによる各種の処理指示等の情報を入力される。例えば、入力部２４はキーボード又はポインティングデバイスである。記憶部２５は不揮発性であり、例えばハードディスク又は不揮発性メモリを用いてなる。表示部２６は各種の情報を表示する。例えば、表示部２６は液晶ディスプレイである。 FIG. 3 is a block diagram showing a configuration example of the control unit 2. As shown in FIG. The control unit 2 is configured using a computer such as a personal computer. The control unit 2 includes a CPU (Central Processing Unit) 21 for performing calculations, a RAM (Random Access Memory) 22, a drive unit 23, an input unit 24, a storage unit 25, and a display unit 26. The RAM 22 stores temporary information generated with the operation. The drive unit 23 reads information from the recording medium 20 such as an optical disk. The input unit 24 is input with information such as various processing instructions by a user's operation. For example, the input unit 24 is a keyboard or a pointing device. The storage unit 25 is non-volatile, for example, using a hard disk or a non-volatile memory. The display unit 26 displays various information. For example, the display unit 26 is a liquid crystal display.
　ＣＰＵ２１は、記録媒体２０からコンピュータプログラム２５１をドライブ部２３に読み取らせ、読み取ったコンピュータプログラム２５１を記憶部２５に記憶させる。ＣＰＵ２１は、必要に応じてコンピュータプログラム２５１を記憶部２５からＲＡＭ２２へロードし、ロードしたコンピュータプログラム２５１に従って制御部２に必要な処理を実行する。なお、制御部２はドライブ部２３を備えていなくてもよい。コンピュータプログラム２５１は、図示しない外部のサーバ装置から制御部２へダウンロードされて記憶部２５に記憶されてもよい。また、制御部２は、外部からコンピュータプログラム２５１を受け付けるのではなく、コンピュータプログラム２５１を記録した記録媒体を内部に備えた形態であってもよい。 The CPU 21 causes the drive unit 23 to read the computer program 251 from the recording medium 20 and causes the storage unit 25 to store the read computer program 251. The CPU 21 loads the computer program 251 from the storage unit 25 to the RAM 22 as necessary, and executes necessary processing for the control unit 2 according to the loaded computer program 251. Note that the control unit 2 may not include the drive unit 23. The computer program 251 may be downloaded from an external server device (not shown) to the control unit 2 and stored in the storage unit 25. Further, the control unit 2 may be configured not to receive the computer program 251 from the outside, but to have a recording medium storing the computer program 251 therein.
　制御部２は、インタフェース部２７を更に備えている。インタフェース部２７には、分光測定器４１、電源部４２、減圧部４４、ガス供給部３及び圧力センサ４５が接続されている。ＣＰＵ２１は、インタフェース部２７を通じて分光測定器４１、電源部４２、減圧部４４及びガス供給部３の動作を制御するための処理を行う。制御部２は、分光測定器４１から入力される測定結果をインタフェース部２７で受け付ける。圧力センサ４５は、測定した圧力を示す情報を制御部２へ入力し、制御部２は、圧力を示す情報をインタフェース部２７で受け付ける。 The control unit 2 further includes an interface unit 27. The interface unit 27 is connected to a spectrometer 41, a power supply unit 42, a pressure reducing unit 44, a gas supply unit 3, and a pressure sensor 45. The CPU 21 performs a process for controlling the operations of the spectrometer 41, the power supply unit 42, the pressure reducing unit 44, and the gas supply unit 3 through the interface unit 27. The control unit 2 receives the measurement result input from the spectrometer 41 at the interface unit 27. The pressure sensor 45 inputs information indicating the measured pressure to the control unit 2, and the control unit 2 receives information indicating the pressure at the interface unit 27.
　本実施形態に係るグロー放電発光分析方法を説明する。図４は、グロー放電発光分析方法の概要を示す概念図である。まず、ブラシ等の清掃具５２を用いて、グロー放電管１の陽極１２を清掃する。清掃により、陽極１２の貫通孔１２ｃの内面に付着した物質を除去する。グロー放電発光分析を行った後は、試料５１から放出された物質が貫通孔１２ｃの内面に付着しているので、これらの物質を取り除く。この後にグロー放電を発生させる際には、プラズマの発生が安定し、以前に分析した試料５１に含まれる物質が以後に行われる分析の結果に及ぼす影響が小さくなる。 グ ロ ー The glow discharge emission analysis method according to the present embodiment will be described. FIG. 4 is a conceptual diagram showing an outline of a glow discharge emission analysis method. First, the anode 12 of the glow discharge tube 1 is cleaned using a cleaning tool 52 such as a brush. By the cleaning, the substance attached to the inner surface of the through hole 12c of the anode 12 is removed. After performing the glow discharge emission analysis, the substances released from the sample 51 are attached to the inner surface of the through-hole 12c, and therefore these substances are removed. When the glow discharge is subsequently generated, the generation of plasma is stabilized, and the influence of the substance contained in the sample 51 analyzed before on the result of the analysis performed later is reduced.
　次に、分析対象の試料５１とは異なる模擬試料５３をグロー放電管１に装着し、グロー放電を発生させる。模擬試料５３は、陽極１２と同じ成分で構成されている。例えば、陽極１２及び模擬試料５３は、銅で構成されている。模擬試料５３は、成分分析の対象ではない。模擬試料５３は、図２に示した試料５１と同様に、開口部１３ｂを塞ぐように配置される。模擬試料５３の表面は、円筒部１２ｂの先端１２ｅに対向する。模擬試料５３を配置した状態で、グロー放電管１の内部を減圧部４４が減圧し、ガス供給部３はグロー放電管１の内部へガスを供給する。この際に、グロー放電管１内の圧力を調整することによって、グロー放電管１内の大気をガスで押し出すポンピングを行う。電源部４２は押圧電極４３に高周波電圧を供給し、陽極１２と模擬試料５３との間でグロー放電が発生する。 Next, a simulated sample 53 different from the sample 51 to be analyzed is mounted on the glow discharge tube 1 to generate a glow discharge. The simulation sample 53 is composed of the same components as the anode 12. For example, the anode 12 and the simulation sample 53 are made of copper. The simulation sample 53 is not a target of the component analysis. The simulation sample 53 is arranged so as to cover the opening 13b, similarly to the sample 51 illustrated in FIG. The surface of the simulation sample 53 faces the tip 12e of the cylindrical portion 12b. In a state where the simulation sample 53 is arranged, the inside of the glow discharge tube 1 is depressurized by the decompression unit 44, and the gas supply unit 3 supplies gas into the glow discharge tube 1. At this time, by adjusting the pressure in the glow discharge tube 1, pumping is performed to push out the atmosphere in the glow discharge tube 1 with gas. The power supply unit 42 supplies a high-frequency voltage to the pressing electrode 43, and a glow discharge occurs between the anode 12 and the simulation sample 53.
　グロー放電が発生することにより、模擬試料５３に対してスパッタリングが行われる。スパッタリングにより、模擬試料５３の構成物質が粒子となって飛び出す。飛び出した粒子は、陽極１２の貫通孔１２ｃの内面に付着する。このため、模擬試料５３の構成物質によって貫通孔１２ｃの内面がコーティングされる。分光測定器４１は光の測定を行わなくてもよい。前述の清掃の際に、大気中に存在する炭化水素等の物質が、陽極１２の貫通孔１２ｃの内面に付着する。コーティングは、貫通孔１２ｃの内面に付着した物質の上から行われる。このため、以降は、貫通孔１２ｃの内面に付着した物質は放出され難い。 (4) Sputtering is performed on the simulated sample 53 by the occurrence of the glow discharge. By the sputtering, the constituent material of the simulated sample 53 jumps out as particles. The protruding particles adhere to the inner surface of the through hole 12c of the anode 12. Therefore, the inner surface of the through hole 12c is coated with the constituent material of the simulation sample 53. The spectrometer 41 need not measure light. At the time of the above-described cleaning, a substance such as a hydrocarbon existing in the air adheres to the inner surface of the through hole 12 c of the anode 12. The coating is performed on the substance attached to the inner surface of the through hole 12c. Therefore, thereafter, the substance attached to the inner surface of the through hole 12c is hard to be released.
　次に、グロー放電管１の内部の圧力を大気圧へ戻し、模擬試料５３をグロー放電管１から取り外す。更に、清掃を行わずに、分析対象の試料５１をグロー放電管１に装着する。清掃を行わないことにより、陽極１２の貫通孔１２ｃの内面に大気中の物質が更に付着することが防止される。開口部１３ｂを塞ぐように試料５１が配置された状態で、減圧部４４はグロー放電管１の内部を減圧し、ガス供給部３はグロー放電管１の内部へガスを供給する。この際に、ポンピングを行う。陽極１２と試料５１との間でグロー放電が発生し、試料５１に対するグロー放電発光分析が行われる。 Next, the pressure inside the glow discharge tube 1 is returned to the atmospheric pressure, and the simulation sample 53 is removed from the glow discharge tube 1. Further, the sample 51 to be analyzed is mounted on the glow discharge tube 1 without cleaning. By not performing the cleaning, the substance in the atmosphere is prevented from further adhering to the inner surface of the through hole 12c of the anode 12. In a state where the sample 51 is arranged so as to cover the opening 13b, the pressure reducing unit 44 reduces the pressure inside the glow discharge tube 1 and the gas supply unit 3 supplies gas into the glow discharge tube 1. At this time, pumping is performed. Glow discharge is generated between the anode 12 and the sample 51, and glow discharge emission analysis is performed on the sample 51.
　コーティングのため、貫通孔１２ｃの内面に付着した物質は放出され難いので、グロー放電発光分析の最中には、プラズマの発生が安定する。貫通孔１２ｃの内面に付着した物質が放出され、励起されて発光する可能性は低く、この光が分光測定器４１で測定される可能性は低い。このため、貫通孔１２ｃの内面に付着した物質がグロー放電発光分析により試料５１の成分として検出されてしまう可能性は低い。貫通孔１２ｃの内面をコーティングした模擬試料５３の構成物質は、グロー放電発光分析の際に、貫通孔１２ｃの内面から放出され得る。模擬試料５３の構成物質は陽極１２の構成物質と同一であるので、模擬試料５３の構成物質が試料５１の成分分析へ与える影響は、陽極１２の構成物質による影響と同じである。即ち、貫通孔１２ｃの内面をコーティングした物質によって試料５１の成分分析への影響が増加することは無い。 (4) Because of the coating, the substance adhered to the inner surface of the through hole 12c is hardly released, so that the plasma generation is stabilized during the glow discharge emission analysis. The possibility that the substance attached to the inner surface of the through hole 12c is released and excited to emit light is low, and the possibility that this light is measured by the spectrometer 41 is low. Therefore, there is a low possibility that a substance attached to the inner surface of the through hole 12c is detected as a component of the sample 51 by glow discharge emission analysis. The constituent material of the simulation sample 53 coated on the inner surface of the through hole 12c can be released from the inner surface of the through hole 12c during glow discharge emission analysis. Since the constituent material of the simulated sample 53 is the same as the constituent material of the anode 12, the effect of the constituent material of the simulated sample 53 on the component analysis of the sample 51 is the same as the effect of the constituent material of the anode 12. That is, the influence of the substance coated on the inner surface of the through hole 12c on the component analysis of the sample 51 does not increase.
　試料５１に対するグロー放電発光分析が行われた後は、グロー放電管１の内部の圧力を大気圧へ戻し、陽極１２の清掃が行われる。陽極１２の清掃、模擬試料５３を用いたグロー放電、及び試料５１の分析を繰り返すことにより、複数の試料５１に対するグロー放電発光分析が行われる。清掃具５２を用いた清掃、並びに模擬試料５３及び試料５１のグロー放電管１への脱着は、人の手によって行われる。 After the glow discharge emission analysis of the sample 51 is performed, the pressure inside the glow discharge tube 1 is returned to the atmospheric pressure, and the anode 12 is cleaned. By repeating the cleaning of the anode 12, the glow discharge using the simulated sample 53, and the analysis of the sample 51, glow discharge emission analysis for a plurality of samples 51 is performed. The cleaning using the cleaning tool 52 and the attachment and detachment of the simulated sample 53 and the sample 51 to and from the glow discharge tube 1 are performed manually.
　本実施形態では、模擬試料５３を用いたグロー放電を行うときと、試料５１のグロー放電発光分析を行うときとで、ガス供給部３から供給するガスの種類を変更することができる。図５は、ガス供給部３の構成の例を示すブロック図である。ガス供給部３は、模擬試料５３を用いたグロー放電を行うときのためのガスを充填した第１ボンベ３１と、試料５１のグロー放電発光分析を行うときのためのガスを充填した第２ボンベ３２とを備えている。第１ボンベ３１には電磁弁３１１が連結され、第２ボンベ３２には電磁弁３２１が連結されている。電磁弁３１１及び３２１は、グロー放電管１へガスを供給するための配管３０に配置されている。電磁弁３１１及び３２１は、制御部２に接続され、制御部２に動作を制御される。電磁弁３１１が開放され、電磁弁３２１が閉鎖された状態で、第１ボンベ３１に充填されたガスは、電磁弁３１１及び配管３０を通ってグロー放電管１の内部へ供給される。また、電磁弁３２１が開放され、電磁弁３１１が閉鎖された状態で、第２ボンベ３２に充填されたガスは、電磁弁３２１及び配管３０を通ってグロー放電管１の内部へ供給される。 In the present embodiment, the type of gas supplied from the gas supply unit 3 can be changed between when performing the glow discharge using the simulated sample 53 and when performing the glow discharge emission analysis of the sample 51. FIG. 5 is a block diagram illustrating an example of a configuration of the gas supply unit 3. The gas supply unit 3 includes a first cylinder 31 filled with gas for performing glow discharge using the simulated sample 53 and a second cylinder 31 filled with gas for performing glow discharge emission analysis of the sample 51. 32. An electromagnetic valve 311 is connected to the first cylinder 31, and an electromagnetic valve 321 is connected to the second cylinder 32. The solenoid valves 311 and 321 are arranged on the pipe 30 for supplying gas to the glow discharge tube 1. The solenoid valves 311 and 321 are connected to the control unit 2, and the operation is controlled by the control unit 2. With the electromagnetic valve 311 opened and the electromagnetic valve 321 closed, the gas filled in the first cylinder 31 is supplied to the inside of the glow discharge tube 1 through the electromagnetic valve 311 and the pipe 30. The gas filled in the second cylinder 32 is supplied to the inside of the glow discharge tube 1 through the electromagnetic valve 321 and the pipe 30 in a state where the electromagnetic valve 321 is opened and the electromagnetic valve 311 is closed.
　一般的に、模擬試料５３を用いたグロー放電を行うために適切なガスと、試料５１のグロー放電発光分析を行うために適切なガスとは異なる。模擬試料５３を用いたグロー放電を行うためには、用いるガスはスパッタリングを起こしやすいガスであればよい。例えば、模擬試料５３を用いたグロー放電を行うためのガスは、アルゴンガスである。第１ボンベ３１にはアルゴンガスが充填されている。模擬試料５３を用いたグロー放電を行うためのガスは、ネオンガスであってもよい。この場合、第１ボンベ３１にはネオンガスが充填されている。 Generally, a gas suitable for performing glow discharge using the simulated sample 53 is different from a gas suitable for performing glow discharge emission analysis of the sample 51. In order to perform glow discharge using the simulated sample 53, a gas to be used may be a gas that easily causes sputtering. For example, a gas for performing glow discharge using the simulation sample 53 is an argon gas. The first cylinder 31 is filled with argon gas. The gas for performing the glow discharge using the simulation sample 53 may be a neon gas. In this case, the first cylinder 31 is filled with neon gas.
　試料５１のグロー放電発光分析を行うためには、用いるガスは、ガスイオンがスパッタリングによって試料５１を適度のレートで掘削することができるガスであることが望ましい。掘削のレートが低い場合は、スパッタリングによって試料５１から放出される物質の量が少なく、発光強度が小さくなり、分析の精度が低い。試料５１が炭素を含む物質で構成されている場合は、用いられるガスには酸素が含まれていることが望ましい。例えば、試料５１がＤＬＣ（Diamond-like Carbon ）である場合は、グロー放電発光分析のために用いるガスは、アルゴンガス及び酸素ガスの混合ガスである。第２ボンベ３２には、アルゴンガス及び酸素ガスの混合ガスが充填されている。また例えば、試料５１が、ＤＬＣに１％以下の微量のフッ素が含有してなる場合は、用いるガスはネオンガスである。第２ボンベ３２には、純粋なネオンガスが充填されている。また例えば、試料５１が、ＤＬＣに数％以上の微量のフッ素が含有してなる場合は、用いるガスは、ネオンガス及び酸素ガスの混合ガスである。第２ボンベ３２には、ネオンガス及び酸素ガスの混合ガスが充填されている。 (4) In order to perform glow discharge emission analysis of the sample 51, it is desirable that the gas used is a gas that allows gas ions to excavate the sample 51 at an appropriate rate by sputtering. When the excavation rate is low, the amount of the substance released from the sample 51 by sputtering is small, the emission intensity is low, and the accuracy of the analysis is low. When the sample 51 is made of a substance containing carbon, it is desirable that the gas used contains oxygen. For example, when the sample 51 is DLC (Diamond-like {Carbon}), the gas used for glow discharge emission analysis is a mixed gas of argon gas and oxygen gas. The second cylinder 32 is filled with a mixed gas of argon gas and oxygen gas. Further, for example, when the sample 51 contains a very small amount of fluorine of 1% or less in DLC, the gas to be used is neon gas. The second cylinder 32 is filled with pure neon gas. Further, for example, when the sample 51 contains a very small amount of fluorine of several percent or more in the DLC, the gas to be used is a mixed gas of a neon gas and an oxygen gas. The second cylinder 32 is filled with a mixed gas of neon gas and oxygen gas.
　模擬試料５３を用いたグロー放電と、試料５１のグロー放電発光分析とで、ガスの種類を変更することができれば、適切なガスを選択することが可能となる。適切なガスを選択することにより、模擬試料５３を用いたグロー放電と、試料５１のグロー放電発光分析とを、夫々に適切な条件で実行することができる。このため、グロー放電が安定して発生する。また、試料５１を適度のレートで掘削することができるガスを用いた場合は、スパッタリングによって試料５１から適度の量の物質が放出され、発光強度が向上し、精度の良いグロー放電発光分析を行うことが可能となる。 (4) If the type of gas can be changed between the glow discharge using the simulated sample 53 and the glow discharge emission analysis of the sample 51, an appropriate gas can be selected. By selecting an appropriate gas, the glow discharge using the simulated sample 53 and the glow discharge optical emission analysis of the sample 51 can be respectively performed under appropriate conditions. Therefore, a glow discharge is generated stably. When a gas that can excavate the sample 51 at an appropriate rate is used, an appropriate amount of a substance is released from the sample 51 by sputtering, the emission intensity is improved, and accurate glow discharge emission analysis is performed. It becomes possible.
　図６は、実施形態１に係るグロー放電発光分析のために制御部２が実行する処理の手順を示すフローチャートである。以下、ステップをＳと略す。制御部２のＣＰＵ２１は、コンピュータプログラム２５１に従って、以下の処理を実行する。グロー放電管１の陽極１２を清掃した段階で、ＣＰＵ２１は、グロー放電管１の内部の圧力調整のためのパラメータの指定を受け付ける処理を行う（Ｓ１）。Ｓ１では、ＣＰＵ２１は、パラメータの指定を受け付けるための受付画面を表示部２６に表示し、使用者の操作によりパラメータの入力を入力部２４で受け付ける。 FIG. 6 is a flowchart illustrating a procedure of a process performed by the control unit 2 for glow discharge emission analysis according to the first embodiment. Hereinafter, the step is abbreviated as S. The CPU 21 of the control unit 2 executes the following processing according to the computer program 251. At the stage where the anode 12 of the glow discharge tube 1 is cleaned, the CPU 21 performs a process of accepting designation of a parameter for adjusting the pressure inside the glow discharge tube 1 (S1). In S1, the CPU 21 displays a reception screen for receiving a parameter specification on the display unit 26, and receives an input of the parameter through the input unit 24 by a user operation.
　図７は、パラメータの指定を受け付けるための受付画面の例を示す模式図である。本実施形態に係る圧力調整では、グロー放電管１内の圧力を複数回増減させる。受付画面には、圧力増減の繰り返し回数が入力される入力欄が含まれている。使用者は、入力部２４を操作して、繰り返し回数を数字で指定し、ＣＰＵ２１は、繰り返し回数の指定を受け付ける。受付画面には、圧力を増減させる際の下限圧力及び上限圧力、並びに最終的に圧力を合わせるべき最終圧力が入力される入力欄が更に含まれている。使用者は、入力部２４を操作して、下限圧力、上限圧力及び最終圧力を数字で指定し、ＣＰＵ２１は、下限圧力、上限圧力及び最終圧力の指定を受け付ける。 FIG. 7 is a schematic diagram showing an example of a reception screen for receiving designation of a parameter. In the pressure adjustment according to the present embodiment, the pressure in the glow discharge tube 1 is increased and decreased a plurality of times. The reception screen includes an input field in which the number of repetitions of pressure increase / decrease is input. The user operates the input unit 24 to specify the number of repetitions by a numeral, and the CPU 21 receives the specification of the number of repetitions. The reception screen further includes an input field for inputting a lower limit pressure and an upper limit pressure when increasing or decreasing the pressure, and a final pressure to be finally adjusted to the pressure. The user operates the input unit 24 to specify the lower limit pressure, the upper limit pressure, and the final pressure numerically, and the CPU 21 receives the specification of the lower limit pressure, the upper limit pressure, and the final pressure.
　受付画面には、グロー放電管１内の圧力を下限圧力から上限圧力まで増加させるためにかけるべき時間である第１時間、及び圧力を上限圧力から下限圧力まで減少させるためにかけるべき時間である第２時間が入力される入力欄が更に含まれている。受付画面には、圧力の増減を完了してから圧力を最終圧力にするまでにかけるべき時間である第３時間が入力される入力欄が更に含まれている。使用者は、入力部２４を操作して、第１時間、第２時間及び第３時間を数字で指定し、ＣＰＵ２１は、第１時間、第２時間及び第３時間の指定を受け付ける。 The reception screen shows a first time which is a time to increase the pressure in the glow discharge tube 1 from the lower limit pressure to the upper limit pressure, and a time to reduce the pressure from the upper limit pressure to the lower limit pressure. An input field for inputting the second time is further included. The reception screen further includes an input field for inputting a third time, which is a time to be applied from completion of increase / decrease of pressure to final pressure. The user operates the input unit 24 to designate the first time, the second time, and the third time by numbers, and the CPU 21 receives the designation of the first time, the second time, and the third time.
　Ｓ１では、使用者は、繰り返し回数、下限圧力、上限圧力、最終圧力、第１時間、第２時間及び第３時間を含むパラメータを、任意に指定することができ、ＣＰＵ２１は、パラメータを任意の数値で受け付ける。Ｓ１により、これらのパラメータが任意に指定される。最終圧力は、グロー放電が発生し得る圧力に指定される必要がある。ＣＰＵ２１は、指定されたパラメータを記憶部２５に記憶させる。Ｓ１では、ＣＰＵ２１は、記憶部２５に記憶されているパラメータを読み出し、読み出したパラメータの値を含む受付画面を表示部２６に表示してもよい。また、ＣＰＵ２１は、パラメータの値をランダムに生成し、生成したパラメータの値を含む受付画面を表示部２６に表示してもよい。Ｓ１の処理は、陽極１２の清掃と並行して行われてもよく、陽極１２の清掃よりも前に予め行われていてもよい。 In S1, the user can arbitrarily specify parameters including the number of repetitions, the lower limit pressure, the upper limit pressure, the final pressure, the first time, the second time, and the third time. Accepted by numerical value. By S1, these parameters are arbitrarily specified. The final pressure needs to be specified at a pressure at which glow discharge can occur. The CPU 21 causes the storage unit 25 to store the designated parameters. In S1, the CPU 21 may read out the parameters stored in the storage unit 25, and display a reception screen including the read-out parameter values on the display unit 26. Further, the CPU 21 may randomly generate parameter values and display a reception screen including the generated parameter values on the display unit 26. The process of S1 may be performed in parallel with the cleaning of the anode 12, or may be performed in advance of the cleaning of the anode 12.
　ＣＰＵ２１は、次に、グロー放電管１の内部へ供給すべきガスとして、模擬試料５３用のガスを選択する（Ｓ２）。即ち、ＣＰＵ２１は、模擬試料５３を用いたグロー放電を行うときのためのガスを選択する。本実施例では、ＣＰＵ２１は、第１ボンベ３１に充填されたガス（例えば、アルゴンガス）を選択する。模擬試料５３用のガスの種類は予め設定されており、ガスの種類を示す設定情報が予め記憶部２５に記憶されている。なお、Ｓ２では、制御部２は、ガスの指定を入力部２４で受け付け、指定されたガスを選択する処理を行ってもよい。 Next, the CPU 21 selects a gas for the simulation sample 53 as a gas to be supplied into the glow discharge tube 1 (S2). That is, the CPU 21 selects a gas for performing glow discharge using the simulation sample 53. In the present embodiment, the CPU 21 selects a gas (for example, argon gas) filled in the first cylinder 31. The type of gas for the simulation sample 53 is set in advance, and setting information indicating the type of gas is stored in the storage unit 25 in advance. Note that, in S2, the control unit 2 may receive the designation of the gas by the input unit 24 and perform a process of selecting the designated gas.
　模擬試料５３が開口部１３ｂを塞ぐように配置された状態で、ＣＰＵ２１は、グロー放電管１の内部の圧力を調整する（Ｓ３）。ＣＰＵ２１は、圧力センサ４５が測定した圧力の値に基づいて、減圧部４４及びガス供給部３を制御する。より詳しくは、ＣＰＵ２１は、減圧部４４の動作を制御し、減圧部４４がグロー放電管１から排出するガスの量を調整する。また、ＣＰＵ２１は、電磁弁３２１を閉鎖し、電磁弁３１１の開放度を制御することにより、第１ボンベ３１から配管３０を通ってグロー放電管１へ流入するガスの量を調整する。 (4) With the simulation sample 53 arranged so as to close the opening 13b, the CPU 21 adjusts the pressure inside the glow discharge tube 1 (S3). The CPU 21 controls the pressure reducing unit 44 and the gas supply unit 3 based on the pressure value measured by the pressure sensor 45. More specifically, the CPU 21 controls the operation of the pressure reducing unit 44 and adjusts the amount of gas that the pressure reducing unit 44 discharges from the glow discharge tube 1. The CPU 21 closes the solenoid valve 321 and controls the degree of opening of the solenoid valve 311 to adjust the amount of gas flowing into the glow discharge tube 1 from the first cylinder 31 through the pipe 30.
　図８は、圧力調整の例を模式的に示すグラフである。図８の横軸は経過時間を示し、縦軸はグロー放電管１内の圧力を示す。圧力調整を開始する時点では、グロー放電管１内の圧力は大気圧とほぼ同一である。ＣＰＵ２１が減圧部４４を動作させ、減圧部４４がグロー放電管１の内部を減圧することにより、グロー放電管１内の圧力は減少する。ＣＰＵ２１は、圧力センサ４５が測定した圧力の値に基づき、指定された下限圧力まで圧力が減少するように、減圧部４４を制御する。次に、ＣＰＵ２１がガス供給部３を制御し、ガス供給部３がグロー放電管１の内部へガスを供給することにより、グロー放電管１内の圧力は増加する。 FIG. 8 is a graph schematically showing an example of pressure adjustment. The horizontal axis in FIG. 8 indicates the elapsed time, and the vertical axis indicates the pressure in the glow discharge tube 1. At the start of the pressure adjustment, the pressure in the glow discharge tube 1 is almost the same as the atmospheric pressure. The pressure in the glow discharge tube 1 is reduced by the CPU 21 operating the pressure reducing unit 44 and the pressure reducing unit 44 reducing the pressure inside the glow discharge tube 1. The CPU 21 controls the pressure reducing unit 44 based on the pressure value measured by the pressure sensor 45 so that the pressure decreases to the specified lower limit pressure. Next, the CPU 21 controls the gas supply unit 3, and the gas supply unit 3 supplies gas into the glow discharge tube 1, so that the pressure in the glow discharge tube 1 increases.
　ＣＰＵ２１は、圧力センサ４５が測定した圧力の値に基づき、圧力の増加が指定された上限圧力で停止するようにガス供給部３を制御する。このとき、ＣＰＵ２１は、グロー放電管１内の圧力が下限圧力になっている時点から第１時間の間、グロー放電管１内の圧力が増加し、第１時間が経過した時点で圧力が上限圧力となるように、減圧部４４及びガス供給部３を制御する。 The CPU 21 controls the gas supply unit 3 based on the pressure value measured by the pressure sensor 45 so that the increase in pressure stops at the specified upper limit pressure. At this time, the CPU 21 increases the pressure in the glow discharge tube 1 for a first time from the time when the pressure in the glow discharge tube 1 has reached the lower limit pressure, and increases the pressure when the first time has elapsed. The decompression unit 44 and the gas supply unit 3 are controlled so as to obtain a pressure.
　ＣＰＵ２１は、次に、減圧部４４にグロー放電管１の内部を減圧させることにより、グロー放電管１内の圧力を減少させる。このとき、ＣＰＵ２１は、グロー放電管１内の圧力が上限圧力になっている時点から第２時間の間、グロー放電管１内の圧力が減少し、第２時間が経過した時点で圧力が下限圧力となるように、減圧部４４を制御する。ＣＰＵ２１は、同様にして、指定された繰り返し回数だけ、圧力の増減を繰り返す。 Next, the CPU 21 reduces the pressure in the glow discharge tube 1 by causing the pressure reducing unit 44 to reduce the pressure inside the glow discharge tube 1. At this time, the CPU 21 determines that the pressure in the glow discharge tube 1 decreases for a second time from the time when the pressure in the glow discharge tube 1 reaches the upper limit pressure, and that the pressure decreases to the lower limit when the second time has elapsed. The pressure reducing unit 44 is controlled so that the pressure is increased. Similarly, the CPU 21 repeatedly increases and decreases the pressure by the designated number of repetitions.
　ＣＰＵ２１は、次に、減圧部４４及びガス供給部３を制御して、グロー放電管１内の圧力を指定された最終圧力に調整する。このとき、ＣＰＵ２１は、グロー放電管１内の圧力が下限圧力になっている時点から第３時間の間、グロー放電管１内の圧力が増加し、第３時間が経過した時点で圧力が最終圧力となるように、減圧部４４及びガス供給部３を制御する。 Next, the CPU 21 controls the pressure reducing unit 44 and the gas supply unit 3 to adjust the pressure in the glow discharge tube 1 to the specified final pressure. At this time, the CPU 21 increases the pressure in the glow discharge tube 1 for a third time from the point in time when the pressure in the glow discharge tube 1 has reached the lower limit pressure. The decompression unit 44 and the gas supply unit 3 are controlled so as to obtain a pressure.
　グロー放電管１内の圧力が増加する際に、供給されたガスは、グロー放電管１内に残留している大気を押し出し、圧力が減少する際に、押し出された大気がグロー放電管１から排出される。このようにして、ポンピングが行われる。グロー放電管１から大気が効果的に排出され、ガス供給部３から供給されるガスの純度がグロー放電管１内で低下し難い。 When the pressure in the glow discharge tube 1 increases, the supplied gas pushes out the air remaining in the glow discharge tube 1, and when the pressure decreases, the pushed out air flows out of the glow discharge tube 1. Is discharged. In this way, pumping is performed. The atmosphere is effectively exhausted from the glow discharge tube 1, and the purity of the gas supplied from the gas supply unit 3 is hardly reduced in the glow discharge tube 1.
　ＣＰＵ２１は、次に、模擬試料５３を用いたグロー放電を発生させる（Ｓ４）。Ｓ４では、ＣＰＵ２１は、電源部４２に押圧電極４３へ高周波電圧を供給させる。陽極１２と模擬試料５３との間でグロー放電が発生し、模擬試料５３に対してスパッタリングが行われ、陽極１２の貫通孔１２ｃの内面が模擬試料５３の構成物質によってコーティングされる。 Next, the CPU 21 generates a glow discharge using the simulation sample 53 (S4). In S4, the CPU 21 causes the power supply unit 42 to supply a high-frequency voltage to the pressing electrode 43. Glow discharge is generated between the anode 12 and the simulation sample 53, and sputtering is performed on the simulation sample 53, and the inner surface of the through hole 12 c of the anode 12 is coated with the constituent material of the simulation sample 53.
　ＣＰＵ２１は、次に、減圧部４４及びガス供給部３を制御して、グロー放電管１内の圧力を大気圧へ戻す（Ｓ５）。Ｓ５では、ＣＰＵ２１は、ガス供給部３からのガスの供給を停止する。例えば、ＣＰＵ２１は、電磁弁３１１を閉鎖する。また、ＣＰＵ２１は、減圧部４４に、減圧を停止させ、グロー放電管１の内部を外気に通じさせる。 Next, the CPU 21 controls the pressure reducing unit 44 and the gas supply unit 3 to return the pressure in the glow discharge tube 1 to the atmospheric pressure (S5). In S5, the CPU 21 stops the gas supply from the gas supply unit 3. For example, the CPU 21 closes the solenoid valve 311. Further, the CPU 21 causes the decompression unit 44 to stop decompression, and allows the inside of the glow discharge tube 1 to communicate with the outside air.
　使用者は、模擬試料５３をグロー放電管１から取り外し、清掃を行わずに、分析対象の試料５１をグロー放電管１に装着する。ＣＰＵ２１は、次に、グロー放電管１の内部の圧力調整のためのパラメータの指定を受け付ける処理を行う（Ｓ６）。Ｓ６では、ＣＰＵ２１は、Ｓ１と同様に、受付画面を表示部２６に表示し、使用者の操作によりパラメータの入力を入力部２４で受け付ける。 取 り 外 し The user removes the simulation sample 53 from the glow discharge tube 1 and mounts the sample 51 to be analyzed on the glow discharge tube 1 without performing cleaning. Next, the CPU 21 performs a process of accepting designation of a parameter for adjusting the pressure inside the glow discharge tube 1 (S6). In S6, as in S1, the CPU 21 displays a reception screen on the display unit 26, and receives an input of a parameter through the input unit 24 by a user operation.
　Ｓ６では、使用者は、繰り返し回数、下限圧力、上限圧力、最終圧力、第１時間、第２時間及び第３時間を含むパラメータを、任意に指定することができ、ＣＰＵ２１は、パラメータを任意の数値で受け付ける。パラメータの値は、Ｓ１で受け付けるパラメータの値と同じであってもよく、異なっていてもよい。ＣＰＵ２１は、指定されたパラメータを記憶部２５に記憶させる。Ｓ６では、ＣＰＵ２１は、記憶部２５に記憶されているパラメータを読み出し、読み出したパラメータの値を含む受付画面を表示部２６に表示してもよい。また、ＣＰＵ２１は、ランダムに生成したパラメータの値を含む受付画面を表示部２６に表示してもよい。Ｓ６の処理は、より前の段階で予め行われていてもよい。例えば、Ｓ６の処理は、Ｓ１の処理と並行して行われていてもよい。 In S6, the user can arbitrarily specify parameters including the number of repetitions, the lower limit pressure, the upper limit pressure, the final pressure, the first time, the second time, and the third time. Accepted by numerical value. The value of the parameter may be the same as the value of the parameter received in S1, or may be different. The CPU 21 causes the storage unit 25 to store the designated parameters. In S6, the CPU 21 may read out the parameters stored in the storage unit 25 and display a reception screen including the values of the read out parameters on the display unit 26. Further, the CPU 21 may display a reception screen including the values of the randomly generated parameters on the display unit 26. The processing of S6 may be performed in advance at an earlier stage. For example, the process of S6 may be performed in parallel with the process of S1.
　ＣＰＵ２１は、次に、グロー放電管１の内部へ供給すべきガスとして、分析用のガスを選択する（Ｓ７）。即ち、ＣＰＵ２１は、試料５１のグロー放電発光分析を行うときのためのガスを選択する。本実施例では、ＣＰＵ２１は、第２ボンベ３２に充填されたガス（例えば、アルゴンガス及び酸素ガスの混合ガス）を選択する。分析用のガスの種類は予め設定されており、ガスの種類を示す設定情報が予め記憶部２５に記憶されている。なお、Ｓ７では、制御部２は、ガスの指定を入力部２４で受け付け、指定されたガスを選択する処理を行ってもよい。 Next, the CPU 21 selects an analysis gas as a gas to be supplied into the glow discharge tube 1 (S7). That is, the CPU 21 selects a gas for performing the glow discharge emission analysis of the sample 51. In the present embodiment, the CPU 21 selects a gas filled in the second cylinder 32 (for example, a mixed gas of argon gas and oxygen gas). The type of gas for analysis is set in advance, and setting information indicating the type of gas is stored in the storage unit 25 in advance. In S7, the control unit 2 may receive the designation of the gas by the input unit 24 and perform a process of selecting the designated gas.
　試料５１が開口部１３ｂを塞ぐように配置された状態で、ＣＰＵ２１は、グロー放電管１の内部の圧力を調整する（Ｓ８）。ＣＰＵ２１は、Ｓ３と同様に、圧力センサ４５が測定した圧力の値に基づいて、減圧部４４及びガス供給部３を制御する。より詳しくは、ＣＰＵ２１は、減圧部４４の動作を制御し、電磁弁３１１を閉鎖し、電磁弁３２１の開放度を制御することにより、第２ボンベ３２から配管３０を通ってグロー放電管１へ流入するガスの量を調整する。グロー放電管１内の圧力は、Ｓ３と同様に、下限圧力まで一旦減少し、下限圧力と上限圧力との間で繰り返し回数だけ増減を繰り返す。これにより、ポンピングが行われる。グロー放電管１内の圧力は、その後、最終圧力に調整される。 (4) With the sample 51 arranged so as to close the opening 13b, the CPU 21 adjusts the pressure inside the glow discharge tube 1 (S8). The CPU 21 controls the pressure reducing unit 44 and the gas supply unit 3 based on the pressure value measured by the pressure sensor 45, as in S3. More specifically, the CPU 21 controls the operation of the pressure reducing unit 44, closes the solenoid valve 311, and controls the degree of opening of the solenoid valve 321, so that the second cylinder 32 passes through the pipe 30 to the glow discharge tube 1. Adjust the amount of incoming gas. As in S3, the pressure in the glow discharge tube 1 once decreases to the lower limit pressure, and repeatedly increases and decreases between the lower limit pressure and the upper limit pressure by the number of repetitions. Thereby, pumping is performed. The pressure in the glow discharge tube 1 is then adjusted to the final pressure.
　ＣＰＵ２１は、次に、試料５１のグロー放電発光分析を行う（Ｓ９）。Ｓ９では、ＣＰＵ２１は、電源部４２に押圧電極４３へ高周波電圧を供給させる。陽極１２と試料５１との間でグロー放電が発生し、試料５１に対してスパッタリングが行われ、試料５１から放出された粒子は、励起され発光する。光は分光測定器４１へ入射し、分光測定器４１は、入射した光を分光し、各波長の光の強度を測定し、測定結果を制御部２へ入力する。制御部２は、分光測定器４１から入力された測定結果をインタフェース部２７で受け付け、記憶部２５に記憶する。ＣＰＵ２１は、測定結果に基づいて、試料５１に含まれる成分の定性分析又は定量分析を行う。定性分析又は定量分析の処理は、後で行われてもよい。ＣＰＵ２１は、分析結果を表示部２６に表示してもよい。このようにして、試料５１に対するグロー放電発光分析が行われる。 Next, the CPU 21 performs a glow discharge emission analysis of the sample 51 (S9). In S9, the CPU 21 causes the power supply unit 42 to supply a high-frequency voltage to the pressing electrode 43. Glow discharge is generated between the anode 12 and the sample 51, and sputtering is performed on the sample 51, and particles emitted from the sample 51 are excited to emit light. The light enters the spectrometer 41. The spectrometer 41 separates the incident light, measures the intensity of light of each wavelength, and inputs the measurement result to the control unit 2. The control unit 2 receives the measurement result input from the spectrometer 41 by the interface unit 27 and stores the measurement result in the storage unit 25. The CPU 21 performs qualitative or quantitative analysis of the components contained in the sample 51 based on the measurement result. The processing of the qualitative analysis or the quantitative analysis may be performed later. The CPU 21 may display the analysis result on the display unit 26. In this way, the glow discharge emission analysis for the sample 51 is performed.
　ＣＰＵ２１は、次に、減圧部４４及びガス供給部３を制御して、グロー放電管１内の圧力を大気圧へ戻す（Ｓ１０）。Ｓ１０では、例えば、ＣＰＵ２１は、電磁弁３２１を閉鎖することにより、ガス供給部３からのガスの供給を停止する。また、ＣＰＵ２１は、減圧部４４に、減圧を停止させ、グロー放電管１の内部を外気に通じさせる。制御部２は、以上でグロー放電発光分析のための処理を終了する。 Next, the CPU 21 controls the pressure reducing unit 44 and the gas supply unit 3 to return the pressure in the glow discharge tube 1 to the atmospheric pressure (S10). In S10, for example, the CPU 21 stops the supply of gas from the gas supply unit 3 by closing the electromagnetic valve 321. Further, the CPU 21 causes the decompression unit 44 to stop decompression, and allows the inside of the glow discharge tube 1 to communicate with the outside air. The controller 2 ends the process for glow discharge emission analysis.
　複数の試料５１に対するグロー放電発光分析を行う場合には、制御部２は、Ｓ１～Ｓ１０の処理を繰り返す。Ｓ１～Ｓ１０の処理を２回目以降に行う際には、制御部２は、以前に指定されたパラメータの値を利用することとして、Ｓ１又はＳ６の処理を省略してもよい。また、試料５１が変更される都度、Ｓ６にて異なるパラメータの値が指定されてもよい。 制 御 When performing glow discharge emission analysis on a plurality of samples 51, the control unit 2 repeats the processing of S1 to S10. When performing the processing of S1 to S10 for the second time or later, the control unit 2 may omit the processing of S1 or S6 by using the value of the parameter specified previously. Further, each time the sample 51 is changed, a different parameter value may be designated in S6.
　なお、本実施形態では、試料５１及び模擬試料５３を押圧電極４３でグロー放電管１に対して押し付ける形態を示したが、グロー放電発光分析装置１０は、試料５１及び模擬試料５３を保持するホルダを備えた形態であってもよい。ホルダは、開口部１３ｂを塞ぐ機能を有していてもよい。また、減圧部４４の動作の制御、又はガス供給部３が供給するガスの選択は、使用者が手動で行ってもよい。また、グロー放電発光分析装置１０は、三種類以上のガスを使用する形態であってもよい。例えば、ガス供給部３は充填されたガスが異なる三個以上のボンベを有していてもよい。制御部２は、複数の試料５１の夫々について異なるガスを選択してもよい。また、ガス供給部３は、複数のガスを混合する機構を有し、グロー放電発光分析装置１０は、混合するガスの種類及び比率を調整することにより、グロー放電管１へ供給するガスの種類を変更する形態であってもよい。 In this embodiment, the sample 51 and the simulated sample 53 are pressed against the glow discharge tube 1 by the pressing electrode 43. However, the glow discharge optical emission spectrometer 10 has a holder for holding the sample 51 and the simulated sample 53. May be provided. The holder may have a function of closing the opening 13b. The user may manually control the operation of the pressure reducing unit 44 or select the gas supplied by the gas supply unit 3. Further, the glow discharge optical emission spectrometer 10 may be in a form using three or more types of gases. For example, the gas supply unit 3 may have three or more cylinders in which the filled gas is different. The control unit 2 may select a different gas for each of the plurality of samples 51. The gas supply unit 3 has a mechanism for mixing a plurality of gases, and the glow discharge optical emission spectrometer 10 adjusts the types and ratios of the gases to be mixed to adjust the types of the gases to be supplied to the glow discharge tube 1. May be changed.
　グロー放電発光分析装置１０は、陽極１２の清掃又は模擬試料５３若しくは試料５１の脱着を自動で行う試料交換部を備えていてもよい。例えば、試料交換部は、模擬試料５３及び試料５１を載置する載置部と、載置部に載置された模擬試料５３又は試料５１を移動させる駆動部とを含んでいる。駆動部は、模擬試料５３又は試料５１を、円筒部１２ｂの先端１２ｅに対向し、開口部１３ｂを塞ぐ位置まで移動させる。試料交換部は、制御部２に接続されている。駆動部は、制御部２からの制御信号に従って、模擬試料５３及び試料５１の位置を自動的に変更する。試料交換部を用いることにより、グロー放電発光分析装置１０は、模擬試料５３を用いたグロー放電と、試料５１のグロー放電発光分析とを連続的に実行することができる。 The glow discharge optical emission spectrometer 10 may include a sample exchange unit that automatically cleans the anode 12 or detaches the simulated sample 53 or 51. For example, the sample exchange unit includes a mounting unit for mounting the simulation sample 53 and the sample 51, and a driving unit for moving the simulation sample 53 or the sample 51 mounted on the mounting unit. The driving unit moves the simulated sample 53 or the sample 51 to a position facing the distal end 12e of the cylindrical portion 12b and closing the opening 13b. The sample exchange unit is connected to the control unit 2. The driving unit automatically changes the positions of the simulation sample 53 and the sample 51 according to a control signal from the control unit 2. By using the sample exchange unit, the glow discharge optical emission spectrometer 10 can continuously perform the glow discharge using the simulated sample 53 and the glow discharge optical emission analysis of the sample 51.
　以上のように、本実施形態においては、圧力調整のための繰り返し回数、下限圧力、上限圧力、最終圧力、第１時間、第２時間及び第３時間を含むパラメータを、任意に指定することができる。圧力調整の際にポンピングを行うことは従来行われていたものの、適切なポンピングの条件は不明確である。例えば、グロー放電管１の構造、大気の状態、又はグロー放電管１へ供給されるガスの種類等によって、適切なポンピングの条件は変化する可能性がある。本実施形態では、パラメータを任意に指定することにより、ポンピングの条件を調整することができる。なお、第１時間、第２時間及び第３時間とは異なる時間を指定することにより、圧力の増減に関する時間を指定してもよい。例えば、第１時間及び第２時間の和に対応する時間、圧力が最初に下限圧力に達してから最終圧力になるまでの時間、又は、減圧を開始してから圧力が最終圧力になるまでの時間を指定してもよい。 As described above, in the present embodiment, it is possible to arbitrarily specify parameters including the number of repetitions for pressure adjustment, the lower limit pressure, the upper limit pressure, the final pressure, the first time, the second time, and the third time. it can. Although pumping is conventionally performed at the time of pressure adjustment, appropriate pumping conditions are unclear. For example, appropriate pumping conditions may change depending on the structure of the glow discharge tube 1, the state of the atmosphere, the type of gas supplied to the glow discharge tube 1, and the like. In the present embodiment, pumping conditions can be adjusted by arbitrarily specifying parameters. Note that by specifying a time different from the first time, the second time, and the third time, a time relating to the increase and decrease of the pressure may be specified. For example, the time corresponding to the sum of the first time and the second time, the time from when the pressure first reaches the lower limit pressure to the final pressure, or the time from when the pressure reduction is started until the pressure reaches the final pressure. Time may be specified.
　ポンピングの条件を調整することにより、適切な条件でポンピングを行うことが可能となり、効果的にグロー放電管１内の圧力調整が行われる。適切なポンピングを行うことにより、グロー放電管１から大気が効果的に排出され、グロー放電管１内のガスに混入する大気の量が低下する。このため、グロー放電の発生及びプラズマの発生が安定し、安定的にグロー放電発光分析を行うことが可能となる。また、分析の際に大気に含まれる成分が試料５１の成分として検出されることが抑制され、グロー放電発光分析の精度が向上する。また、適切なポンピングを行うことにより、無暗なポンピングを行うことが無くなる。無暗なポンピングを行わないので、ガスの消費量が抑制され、圧力を調整するために要する時間の長大化が防止される。従って、迅速に、グロー放電管１内の圧力調整が行われる。特に、複数の試料５１のグロー放電発光分析を行うために必要な時間が短縮される。 By adjusting the pumping conditions, pumping can be performed under appropriate conditions, and the pressure in the glow discharge tube 1 is effectively adjusted. By performing appropriate pumping, the atmosphere is effectively exhausted from the glow discharge tube 1 and the amount of the atmosphere mixed into the gas in the glow discharge tube 1 is reduced. For this reason, generation of glow discharge and generation of plasma are stabilized, and glow discharge emission analysis can be stably performed. In addition, detection of components contained in the atmosphere as components of the sample 51 during analysis is suppressed, and the accuracy of glow discharge emission analysis is improved. Further, by performing appropriate pumping, it is not necessary to perform non-dark pumping. Since the non-dark pumping is not performed, the gas consumption is suppressed, and the time required for adjusting the pressure is prevented from being lengthened. Therefore, the pressure in the glow discharge tube 1 is quickly adjusted. In particular, the time required for performing glow discharge emission analysis of the plurality of samples 51 is reduced.
　また、本実施形態においては、模擬試料５３を用いたグロー放電を行うことにより、模擬試料５３の構成物質で陽極１２の貫通孔１２ｃの内面をコーティングする。大気中に存在する炭化水素等の物質が清掃時に貫通孔１２ｃの内面に付着したとしても、コーティングにより、付着した物質は放出され難くなる。このため、付着した物質がグロー放電発光分析により試料５１の成分として検出されてしまう可能性は低い。また、模擬試料５３の構成物質は陽極１２の構成物質と同一であるので、貫通孔１２ｃの内面をコーティングした物質によって試料５１の成分分析への影響が増加することは無い。従って、グロー放電発光分析の精度が向上する。 In the present embodiment, the inner surface of the through-hole 12c of the anode 12 is coated with the constituent material of the simulated sample 53 by performing glow discharge using the simulated sample 53. Even if a substance such as hydrocarbons present in the air adheres to the inner surface of the through hole 12c during cleaning, the attached substance becomes difficult to be released by the coating. Therefore, it is unlikely that the attached substance is detected as a component of the sample 51 by glow discharge emission analysis. Further, since the constituent material of the simulated sample 53 is the same as the constituent material of the anode 12, the influence of the material coated on the inner surface of the through hole 12c does not increase the component analysis of the sample 51. Therefore, the accuracy of the glow discharge emission analysis is improved.
　図９Ａ及び図９Ｂは、グロー放電発光分析の結果の例を示すグラフである。図９の横軸は試料５１のスパッタリングを開始してから経過した時間を示し、縦軸は、各時点において夫々の元素に起因する発光強度を示す。図９Ａは、シリコン（Ｓｉ）の板を試料５１として従来の方法でグロー放電発光分析を行った結果を示す。従来の方法では、陽極１２の貫通孔１２ｃの内面のコーティング及びポンピングを行っていない。図９Ｂは、Ｓｉの板を試料５１として本実施形態に係るグロー放電発光分析を行った結果を示す。図９Ａ及び図９Ｂには、Ｓｉ、窒素（Ｎ）、水素（Ｈ）、ホウ素（Ｂ）、炭素（Ｃ）、酸素（Ｏ）及びアルゴン（Ａｒ）の夫々の元素に起因する発光強度を示している。 FIGS. 9A and 9B are graphs showing examples of the results of glow discharge emission analysis. The horizontal axis in FIG. 9 indicates the time elapsed from the start of the sputtering of the sample 51, and the vertical axis indicates the emission intensity attributable to each element at each time point. FIG. 9A shows a result of performing glow discharge emission analysis by a conventional method using a silicon (Si) plate as a sample 51. In the conventional method, coating and pumping of the inner surface of the through hole 12c of the anode 12 are not performed. FIG. 9B shows a result of performing glow discharge emission analysis according to the present embodiment using a Si plate as a sample 51. FIGS. 9A and 9B show emission intensities attributable to the respective elements of Si, nitrogen (N), hydrogen (H), boron (B), carbon (C), oxygen (O), and argon (Ar). ing.
　検出された元素の内、Ｓｉは試料５１に由来し、Ａｒはグロー放電管１へ供給されたガスに由来する。Ｈ、Ｃ及びＯは、大気に含まれる成分に由来する。図９Ｂに示すように、本実施形態では、Ｈ、Ｃ及びＯに起因する発光強度が確実に減少する。即ち、本実施形態では、分析の際に大気に含まれる成分が検出されることが減少し、グロー放電発光分析の精度が向上していることが明らかである。 Of the detected elements, Si comes from the sample 51, and Ar comes from the gas supplied to the glow discharge tube 1. H, C, and O are derived from components contained in the atmosphere. As shown in FIG. 9B, in the present embodiment, the emission intensity due to H, C, and O is surely reduced. That is, in the present embodiment, it is apparent that the detection of components contained in the atmosphere during the analysis is reduced, and the accuracy of the glow discharge emission analysis is improved.
＜実施形態２＞ <Embodiment 2>
　図１０は、実施形態２に係るグロー放電発光分析装置１０の構成を示すブロック図である。グロー放電発光分析装置１０は、試料５１及び模擬試料５３を保持するためのサンプルプレート６１と、サンプルプレート６１を保持するプレート保持部６２とを備えている。サンプルプレート６１は、プレート保持部６２に対して着脱可能である。プレート保持部６２は、サンプルプレート６１を固定することができる。プレート保持部６２には、プレート駆動部６３が連結されている。プレート駆動部６３は、モータ等の駆動機構によって、プレート保持部６２を移動させる。プレート駆動部６３は、プレート保持部６２を移動させることにより、プレート保持部６２に保持されたサンプルプレート６１を移動させる。プレート駆動部６３は、グロー放電管１の開口部１３ｂに対して離隔する方向、及びセラミック部材１３の端面１３ａに沿った方向に、サンプルプレート６１を移動させることができる。プレート駆動部６３は、制御部２に接続されている。制御部２は、プレート駆動部６３の動作を制御する。 FIG. 10 is a block diagram showing a configuration of the glow discharge optical emission analyzer 10 according to the second embodiment. The glow discharge optical emission spectrometer 10 includes a sample plate 61 for holding the sample 51 and the simulation sample 53, and a plate holding unit 62 for holding the sample plate 61. The sample plate 61 is detachable from the plate holder 62. The plate holding section 62 can fix the sample plate 61. The plate driving unit 63 is connected to the plate holding unit 62. The plate driving section 63 moves the plate holding section 62 by a driving mechanism such as a motor. The plate driving unit 63 moves the sample plate 61 held by the plate holding unit 62 by moving the plate holding unit 62. The plate driving unit 63 can move the sample plate 61 in a direction away from the opening 13 b of the glow discharge tube 1 and in a direction along the end surface 13 a of the ceramic member 13. The plate driving unit 63 is connected to the control unit 2. The control unit 2 controls the operation of the plate driving unit 63.
　サンプルプレート６１及びプレート保持部６２は、導電性の部材で構成されている。プレート保持部６２は、電源部４２に接続されている。電源部４２は、プレート保持部６２に高周波電圧を供給する。プレート保持部６２に高周波電圧が供給されることにより、サンプルプレート６１へも高周波電圧が供給される。サンプルプレート６１、プレート保持部６２及びプレート駆動部６３は、試料移動部に対応する。 The sample plate 61 and the plate holding part 62 are made of a conductive member. The plate holding section 62 is connected to the power supply section 42. The power supply unit 42 supplies a high-frequency voltage to the plate holding unit 62. When the high frequency voltage is supplied to the plate holding unit 62, the high frequency voltage is also supplied to the sample plate 61. The sample plate 61, the plate holding unit 62, and the plate driving unit 63 correspond to a sample moving unit.
　更に、グロー放電発光分析装置１０は、陽極１２を清掃するための清掃具５２を備えている。清掃具５２には、清掃具駆動部６４が連結されている。清掃具駆動部６４は、モータ等の駆動機構によって、清掃具５２を移動させる。清掃具駆動部６４は、清掃具５２を、グロー放電管１の開口部１３ｂに対して離隔する方向に移動させることができる。また、清掃具駆動部６４は、清掃具５２を移動させて陽極１２の貫通孔１２ｃへ挿入させることができる。清掃具駆動部６４は、清掃具５２が貫通孔１２ｃへ挿入した状態で、清掃具５２を回転させ、貫通孔１２ｃの内面を清掃する。清掃具駆動部６４は、その他の動きを清掃具５２にさせることにより、陽極１２の貫通孔１２ｃを清掃してもよい。清掃具駆動部６４は、制御部２に接続されている。制御部２は、清掃具駆動部６４の動作を制御する。グロー放電発光分析装置１０の他の部分の構成は、実施形態１と同様である。 The glow discharge optical emission spectrometer 10 further includes a cleaning tool 52 for cleaning the anode 12. The cleaning tool drive unit 64 is connected to the cleaning tool 52. The cleaning tool drive unit 64 moves the cleaning tool 52 by a driving mechanism such as a motor. The cleaning tool drive unit 64 can move the cleaning tool 52 in a direction away from the opening 13 b of the glow discharge tube 1. Further, the cleaning tool drive unit 64 can move the cleaning tool 52 and insert the cleaning tool 52 into the through hole 12 c of the anode 12. The cleaning tool drive unit 64 rotates the cleaning tool 52 in a state where the cleaning tool 52 is inserted into the through hole 12c, and cleans the inner surface of the through hole 12c. The cleaning tool drive unit 64 may clean the through hole 12c of the anode 12 by causing the cleaning tool 52 to perform other movements. The cleaning tool drive unit 64 is connected to the control unit 2. The control unit 2 controls the operation of the cleaning tool driving unit 64. The configuration of other parts of the glow discharge optical emission analyzer 10 is the same as that of the first embodiment.
　図１１は、サンプルプレート６１を示す模式的斜視図である。サンプルプレート６１は、導電性の部材で構成され、矩形平板状に形成されている。サンプルプレート６１の表面には、複数の試料付着部６１１が設けられている。試料付着部６１１は、サンプルプレート６１の表面が窪んだ部分である。いずれかの試料付着部６１１に模擬試料５３が付着し、他の試料付着部６１１に試料５１が付着する。試料５１及び模擬試料５３は、載置、塗布、接着又は圧着等の方法で、試料付着部６１１に付着させられる。試料付着部６１１に試料５１及び模擬試料５３が付着することによって、サンプルプレート６１は、試料５１及び模擬試料５３を保持する。試料付着部６１１は、窪んでいなくてもよい。 FIG. 11 is a schematic perspective view showing the sample plate 61. The sample plate 61 is formed of a conductive member, and is formed in a rectangular flat plate shape. A plurality of sample attachment portions 611 are provided on the surface of the sample plate 61. The sample attachment portion 611 is a portion where the surface of the sample plate 61 is depressed. The simulated sample 53 adheres to one of the sample attaching portions 611, and the sample 51 adheres to the other sample attaching portion 611. The sample 51 and the simulated sample 53 are attached to the sample attaching section 611 by a method such as placing, applying, bonding, or pressing. The sample plate 61 holds the sample 51 and the simulated sample 53 by attaching the sample 51 and the simulated sample 53 to the sample attachment unit 611. The sample attachment section 611 does not have to be depressed.
　サンプルプレート６１が試料５１及び模擬試料５３を保持した状態で、サンプルプレート６１がプレート保持部６２に保持され、プレート駆動部６３がサンプルプレート６１を移動させる。制御部２は、プレート駆動部６３を制御することにより、サンプルプレート６１の位置を調整し、サンプルプレート６１に保持された試料５１及び模擬試料５３の位置を調整する。制御部２は、グロー放電管１の開口部１３ｂをサンプルプレート６１が塞ぎ、陽極１２の円筒部１２ｂの先端１２ｅに試料５１又は模擬試料５３が対向するように、サンプルプレート６１の位置を調整することができる。 With the sample plate 61 holding the sample 51 and the simulation sample 53, the sample plate 61 is held by the plate holding unit 62, and the plate driving unit 63 moves the sample plate 61. The control unit 2 controls the position of the sample plate 61 by controlling the plate driving unit 63, and adjusts the positions of the sample 51 and the simulation sample 53 held on the sample plate 61. The controller 2 adjusts the position of the sample plate 61 such that the sample plate 61 closes the opening 13 b of the glow discharge tube 1 and the sample 51 or the simulated sample 53 faces the tip 12 e of the cylindrical portion 12 b of the anode 12. be able to.
　図１２は、グロー放電が行われる際の実施形態２に係るサンプルプレート６１及びグロー放電管１の配置例を示す断面図である。グロー放電が行われる際には、グロー放電管１の開口部１３ｂを塞ぐ位置にサンプルプレート６１が配置され、陽極１２の円筒部１２ｂの先端１２ｅに対向する位置に試料５１又は模擬試料５３が配置される。サンプルプレート６１は、Ｏリング１７に表面が当接するように配置される。試料５１又は模擬試料５３は、円筒部１２ｂの先端１２ｅに対向する位置に配置される。図１２には、試料５１が円筒部１２ｂの先端１２ｅに対向している状態を示す。プレート駆動部６３がサンプルプレート６１をグロー放電管１へ向けて押すことにより、サンプルプレート６１はグロー放電管１へ押圧される。サンプルプレート６１は、図示しない所定の押圧手段によりグロー放電管１へ押圧されてもよい。電源部４２によってサンプルプレート６１へ高周波電圧が供給されることにより、サンプルプレート６１に保持された試料５１又は模擬試料５３と陽極１２との間に電圧が印加される。 FIG. 12 is a cross-sectional view showing an example of the arrangement of the sample plate 61 and the glow discharge tube 1 according to the second embodiment when glow discharge is performed. When the glow discharge is performed, the sample plate 61 is disposed at a position that closes the opening 13b of the glow discharge tube 1, and the sample 51 or the simulated sample 53 is disposed at a position facing the tip 12e of the cylindrical portion 12b of the anode 12. Is done. The sample plate 61 is arranged so that the surface thereof is in contact with the O-ring 17. The sample 51 or the simulation sample 53 is disposed at a position facing the tip 12e of the cylindrical portion 12b. FIG. 12 shows a state in which the sample 51 faces the tip 12e of the cylindrical portion 12b. When the plate driving unit 63 pushes the sample plate 61 toward the glow discharge tube 1, the sample plate 61 is pressed against the glow discharge tube 1. The sample plate 61 may be pressed against the glow discharge tube 1 by predetermined pressing means (not shown). When a high-frequency voltage is supplied to the sample plate 61 by the power supply unit 42, a voltage is applied between the sample 51 or the simulated sample 53 held on the sample plate 61 and the anode 12.
　次に、実施形態２に係るグロー放電発光分析方法を説明する。使用者は、まず、試料５１及び模擬試料５３をサンプルプレート６１に保持させる。具体的に、使用者は、少なくとも一つの試料５１をいずれかの試料付着部６１１に付着させ、少なくとも一つの模擬試料５３を他の試料付着部６１１に付着させる。複数の試料５１がサンプルプレート６１に保持されてもよい。例えば、互いに異なる複数の試料５１の夫々が異なる試料付着部６１１に付着される。複数の模擬試料５３がサンプルプレート６１に保持されてもよい。使用者は、試料５１及び模擬試料５３を保持したサンプルプレート６１を、プレート保持部６２に装着する。 Next, a glow discharge emission analysis method according to the second embodiment will be described. First, the user causes the sample plate 61 to hold the sample 51 and the simulation sample 53. Specifically, the user attaches at least one sample 51 to any one of the sample attaching portions 611 and attaches at least one simulated sample 53 to another sample attaching portion 611. A plurality of samples 51 may be held on the sample plate 61. For example, each of the plurality of different samples 51 is attached to a different sample attachment portion 611. A plurality of simulation samples 53 may be held on the sample plate 61. The user mounts the sample plate 61 holding the sample 51 and the simulation sample 53 on the plate holding unit 62.
　図１３は、グロー放電発光分析のために制御部２が実行する実施形態２に係る処理の手順を示すフローチャートである。試料５１及び模擬試料５３を保持したサンプルプレート６１がプレート保持部６２に装着された状態で、制御部２のＣＰＵ２１は、コンピュータプログラム２５１に従って、以下の処理を実行する。ＣＰＵ２１は、グロー放電発光分析で使用する試料５１及び模擬試料５３の指定を受け付ける処理を行う（Ｓ２１）。Ｓ１では、ＣＰＵ２１は、受付画面を表示部２６に表示し、使用者の操作により、使用すべき試料５１及び模擬試料５３の指定を入力部２４で受け付ける。例えば、複数の試料付着部６１１には夫々番号が付与されており、試料５１又は模擬試料５３が付着した試料付着部６１１の指定が受け付けられる。複数の試料５１についてグロー放電発光分析が行われる順番も指定されてもよい。試料付着部６１１はどのような方法で指定されてもよい。例えば、分析が行われる順番を指定するために、横、縦、斜め若しくは円弧状の順番、一つ飛ばし、又はランダムな順番等、様々な順番で夫々の試料付着部６１１が指定されてもよい。これにより、例えば、隣り合った試料付着部６１１の一方に付着した試料５１の分析が行われる際に他方に付着した試料５１に影響が出る場合に、一方の試料５１が付着した試料付着部６１１からある程度離れた試料付着部６１１に他方の試料５１を付着させ、夫々の試料付着部６１１を指定することにより、影響を最小限にとどめることができる。ＣＰＵ２１は、指定された内容を表す情報をＲＡＭ２２又は記憶部２５に記憶する。 FIG. 13 is a flowchart illustrating a procedure of processing according to the second embodiment, which is executed by the control unit 2 for glow discharge emission analysis. In a state where the sample plate 61 holding the sample 51 and the simulation sample 53 is mounted on the plate holding unit 62, the CPU 21 of the control unit 2 executes the following processing according to the computer program 251. The CPU 21 performs a process of receiving designation of the sample 51 and the simulation sample 53 used in the glow discharge emission analysis (S21). In S1, the CPU 21 displays a reception screen on the display unit 26, and receives input of the specification of the sample 51 and the simulation sample 53 to be used by the user's operation. For example, a number is assigned to each of the plurality of sample attachment portions 611, and designation of the sample attachment portion 611 to which the sample 51 or the simulation sample 53 has been attached is accepted. The order in which glow discharge emission analysis is performed on a plurality of samples 51 may also be specified. The sample attachment section 611 may be specified by any method. For example, in order to specify the order in which the analysis is performed, the respective sample attachment portions 611 may be specified in various orders such as a horizontal, vertical, diagonal, or arc-shaped order, skipping one, or a random order. . Thus, for example, when the analysis of the sample 51 attached to one of the adjacent sample attachment portions 611 affects the sample 51 attached to the other, the sample attachment portion 611 to which one sample 51 is attached is applied. The influence can be minimized by attaching the other sample 51 to the sample attachment portion 611 that is somewhat away from the sample attachment portion and designating each sample attachment portion 611. The CPU 21 stores information representing the specified content in the RAM 22 or the storage unit 25.
　ＣＰＵ２１は、次に、グロー放電管１の内部の圧力調整のためのパラメータの指定を受け付ける処理を行う（Ｓ２２）。Ｓ２２では、ＣＰＵ２１は、実施形態１と同様にパラメータの指定を受け付ける。例えば、ＣＰＵ２１は、図７に示した受付画面と同様の受付画面を表示部２６に表示し、使用者の操作によりパラメータの入力を入力部２４で受け付ける。例えば、繰り返し回数、下限圧力、上限圧力、最終圧力、第１時間、第２時間及び第３時間を含むパラメータが指定される。複数の試料５１及び模擬試料５３の夫々について異なるパラメータが指定されてもよく、複数の試料５１及び模擬試料５３について共通のパラメータが指定されてもよい。ＣＰＵ２１は、指定されたパラメータを表す情報をＲＡＭ２２又は記憶部２５に記憶する。Ｓ２１及びＳ２２の処理は、サンプルプレート６１がプレート保持部６２に装着される前に行われてもよい。 Next, the CPU 21 performs a process of receiving designation of a parameter for adjusting the pressure inside the glow discharge tube 1 (S22). In S22, the CPU 21 accepts a parameter specification as in the first embodiment. For example, the CPU 21 displays a reception screen similar to the reception screen shown in FIG. 7 on the display unit 26, and receives an input of a parameter through the input unit 24 by a user operation. For example, parameters including the number of repetitions, the lower limit pressure, the upper limit pressure, the final pressure, the first time, the second time, and the third time are specified. Different parameters may be designated for each of the plurality of samples 51 and the simulation sample 53, and common parameters may be designated for the plurality of samples 51 and the simulation sample 53. The CPU 21 stores information representing the designated parameter in the RAM 22 or the storage unit 25. The processes in S21 and S22 may be performed before the sample plate 61 is mounted on the plate holding unit 62.
　ＣＰＵ２１は、次に、陽極１２の清掃を行う（Ｓ２３）。図１４は、清掃時の実施形態２に係るグロー放電管１、サンプルプレート６１及び清掃具５２の位置関係を示す模式図である。ＣＰＵ２１は、プレート駆動部６３に、グロー放電管１の開口部１３ｂを塞がない位置にサンプルプレート６１を配置させ、清掃具駆動部６４に清掃具５２を陽極１２の貫通孔１２ｃへ挿入させ、清掃を行う。清掃により、陽極１２の貫通孔１２ｃの内面に付着した物質が除去される。 Next, the CPU 21 cleans the anode 12 (S23). FIG. 14 is a schematic diagram illustrating a positional relationship among the glow discharge tube 1, the sample plate 61, and the cleaning tool 52 according to the second embodiment during cleaning. The CPU 21 arranges the sample plate 61 in a position where the opening 13 b of the glow discharge tube 1 is not closed by the plate driving unit 63, and causes the cleaning tool driving unit 64 to insert the cleaning tool 52 into the through hole 12 c of the anode 12. Perform cleaning. By the cleaning, the substance attached to the inner surface of the through hole 12c of the anode 12 is removed.
　ＣＰＵ２１は、次に、模擬試料５３を陽極１２の円筒部１２ｂの先端１２ｅに対向する位置に配置させる（Ｓ２４）。このとき、ＣＰＵ２１は、清掃具５２をグロー放電管１から離隔させ、サンプルプレート６１を、グロー放電管１の開口部１３ｂを塞ぎ、模擬試料５３が先端１２ｅに対向するような位置に、配置する。サンプルプレート６１はグロー放電管１へ押圧される。ＣＰＵ２１は、次に、グロー放電管１の内部へ供給すべきガスとして、模擬試料５３用のガスを選択する（Ｓ２５）。Ｓ２５では、ＣＰＵ２１は、実施形態１と同様にガスを選択する。ＣＰＵ２１は、次に、グロー放電管１の内部の圧力を調整する（Ｓ２６）。Ｓ２６では、ＣＰＵ２１は、実施形態１と同様に、指定されたパラメータに従って、圧力センサ４５が測定した圧力の値に基づき、圧力を調整する。圧力の調整により、ポンピングが行われ、グロー放電管１から大気が効果的に排出され、ガス供給部３からグロー放電管１へガスが供給される。 Next, the CPU 21 arranges the simulation sample 53 at a position facing the tip 12e of the cylindrical portion 12b of the anode 12 (S24). At this time, the CPU 21 separates the cleaning tool 52 from the glow discharge tube 1, places the sample plate 61 at a position where the opening 13b of the glow discharge tube 1 is closed, and the simulation sample 53 faces the tip 12e. . The sample plate 61 is pressed against the glow discharge tube 1. Next, the CPU 21 selects a gas for the simulation sample 53 as a gas to be supplied into the glow discharge tube 1 (S25). In S25, the CPU 21 selects a gas as in the first embodiment. Next, the CPU 21 adjusts the pressure inside the glow discharge tube 1 (S26). In S26, as in the first embodiment, the CPU 21 adjusts the pressure based on the value of the pressure measured by the pressure sensor 45 according to the designated parameter. By adjusting the pressure, pumping is performed, the atmosphere is effectively exhausted from the glow discharge tube 1, and gas is supplied from the gas supply unit 3 to the glow discharge tube 1.
　ＣＰＵ２１は、次に、模擬試料５３を用いたグロー放電を発生させる（Ｓ２７）。図１５は、模擬試料５３を用いたグロー放電を行う際の実施形態２に係るグロー放電管１、サンプルプレート６１及び清掃具５２の位置関係を示す模式図である。清掃具５２は、グロー放電管１から離隔した位置に配置される。サンプルプレート６１はグロー放電管１の開口部１３ｂを塞いでおり、サンプルプレート６１の保持する模擬試料５３が陽極１２に対向している。ＣＰＵ２１は、電源部４２にプレート保持部６２へ高周波電圧を供給させる。陽極１２と模擬試料５３との間でグロー放電が発生する。模擬試料５３に対してスパッタリングが行われ、陽極１２の貫通孔１２ｃの内面が模擬試料５３の構成物質によってコーティングされる。 Next, the CPU 21 generates a glow discharge using the simulation sample 53 (S27). FIG. 15 is a schematic diagram illustrating a positional relationship among the glow discharge tube 1, the sample plate 61, and the cleaning tool 52 according to the second embodiment when performing glow discharge using the simulated sample 53. The cleaning tool 52 is arranged at a position separated from the glow discharge tube 1. The sample plate 61 covers the opening 13 b of the glow discharge tube 1, and the simulation sample 53 held by the sample plate 61 faces the anode 12. The CPU 21 causes the power supply unit 42 to supply a high-frequency voltage to the plate holding unit 62. A glow discharge is generated between the anode 12 and the simulation sample 53. Sputtering is performed on the simulation sample 53, and the inner surface of the through hole 12 c of the anode 12 is coated with the constituent material of the simulation sample 53.
　ＣＰＵ２１は、次に、減圧部４４及びガス供給部３を制御して、グロー放電管１内の圧力を大気圧へ戻す（Ｓ２８）。ＣＰＵ２１は、次に、試料５１を陽極１２の円筒部１２ｂの先端１２ｅに対向する位置に配置させる（Ｓ２９）。このとき、ＣＰＵ２１は、サンプルプレート６１を移動させることにより、模擬試料５３を、先端１２ｅに対向する位置から取り外す。また、ＣＰＵ２１は、サンプルプレート６１が開口部１３ｂを塞ぎ、試料５１が先端１２ｅに対向するように、サンプルプレート６１の位置を調整する。サンプルプレート６１はグロー放電管１へ押圧される。 Next, the CPU 21 controls the pressure reducing unit 44 and the gas supply unit 3 to return the pressure in the glow discharge tube 1 to the atmospheric pressure (S28). Next, the CPU 21 arranges the sample 51 at a position facing the tip 12e of the cylindrical portion 12b of the anode 12 (S29). At this time, the CPU 21 removes the simulation sample 53 from the position facing the tip 12e by moving the sample plate 61. Further, the CPU 21 adjusts the position of the sample plate 61 so that the sample plate 61 covers the opening 13b and the sample 51 faces the front end 12e. The sample plate 61 is pressed against the glow discharge tube 1.
　ＣＰＵ２１は、次に、グロー放電管１の内部へ供給すべきガスとして、分析用のガスを選択する（Ｓ３０）。Ｓ３０では、ＣＰＵ２１は、実施形態１と同様にガスを選択する。ＣＰＵ２１は、次に、グロー放電管１の内部の圧力を調整する（Ｓ２６）。ＣＰＵ２１は、実施形態１と同様に、指定されたパラメータに従って、圧力センサ４５が測定した圧力の値に基づき、圧力を調整する。圧力の調整により、ポンピングが行われ、その後、グロー放電管１内の圧力は、最終圧力に調整される。 Next, the CPU 21 selects an analysis gas as a gas to be supplied into the glow discharge tube 1 (S30). In S30, the CPU 21 selects a gas as in the first embodiment. Next, the CPU 21 adjusts the pressure inside the glow discharge tube 1 (S26). The CPU 21 adjusts the pressure based on the value of the pressure measured by the pressure sensor 45 according to the designated parameter, as in the first embodiment. Pumping is performed by adjusting the pressure, and then the pressure in the glow discharge tube 1 is adjusted to the final pressure.
　ＣＰＵ２１は、次に、試料５１のグロー放電発光分析を行う（Ｓ３２）。図１６は、グロー放電発光分析を行う際の実施形態２に係るグロー放電管１、サンプルプレート６１及び清掃具５２の位置関係を示す模式図である。清掃具５２は、グロー放電管１から離隔した位置に配置される。サンプルプレート６１は、模擬試料５３を用いたグロー放電を行う場合とは異なる位置に配置されており、サンプルプレート６１の保持する試料５１が陽極１２に対向している。Ｓ３２では、ＣＰＵ２１は、電源部４２にプレート保持部６２へ高周波電圧を供給させる。陽極１２と試料５１との間でグロー放電が発生し、試料５１に対してスパッタリングが行われ、試料５１から放出された粒子は、励起され発光する。分光測定器４１は、入射した光を分光し、各波長の光の強度を測定し、測定結果を制御部２へ入力する。制御部２は、測定結果を記憶部２５に記憶する。ＣＰＵ２１は、測定結果に基づいて、試料５１に含まれる成分の定性分析又は定量分析を行う。このようにして、試料５１に対するグロー放電発光分析が行われる。 Next, the CPU 21 performs a glow discharge emission analysis of the sample 51 (S32). FIG. 16 is a schematic diagram illustrating a positional relationship between the glow discharge tube 1, the sample plate 61, and the cleaning tool 52 according to Embodiment 2 when performing glow discharge emission analysis. The cleaning tool 52 is arranged at a position separated from the glow discharge tube 1. The sample plate 61 is arranged at a position different from the position where the glow discharge using the simulated sample 53 is performed, and the sample 51 held by the sample plate 61 faces the anode 12. In S32, the CPU 21 causes the power supply unit 42 to supply a high-frequency voltage to the plate holding unit 62. Glow discharge is generated between the anode 12 and the sample 51, and sputtering is performed on the sample 51, and particles emitted from the sample 51 are excited to emit light. The spectrometer 41 splits the incident light, measures the intensity of light of each wavelength, and inputs the measurement result to the control unit 2. The control unit 2 stores the measurement result in the storage unit 25. The CPU 21 performs qualitative or quantitative analysis of the components contained in the sample 51 based on the measurement result. In this way, the glow discharge emission analysis for the sample 51 is performed.
　ＣＰＵ２１は、次に、減圧部４４及びガス供給部３を制御して、グロー放電管１内の圧力を大気圧へ戻す（Ｓ３３）。ＣＰＵ２１は、次に、グロー放電発光分析のための処理を終了するか否かを判定する（Ｓ３４）。例えば、ＣＰＵ２１は、サンプルプレート６１に保持された全ての試料５１についてグロー放電発光分析が行われた場合に、処理を終了すると判定する。例えば、ＣＰＵ２１は、グロー放電発光分析がまだ行われていない試料５１が残っている場合に、処理を終了しないと判定する。ＣＰＵ２１は、使用者の操作により処理を終了するか否かの指示を入力部２４で受け付け、受け付けた指示に従って判定を行ってもよい。処理を終了しないと判定した場合は（Ｓ３４：ＮＯ）、ＣＰＵ２１は、処理をＳ２３へ戻す。サンプルプレート６１が複数の試料５１を保持している場合、Ｓ２３～Ｓ３４の処理が繰り返され、各試料５１についてグロー放電発光分析が行われる。処理を終了すると判定した場合は（Ｓ３４：ＹＥＳ）、ＣＰＵ２１は、グロー放電発光分析のための処理を終了する。 Next, the CPU 21 controls the pressure reducing unit 44 and the gas supply unit 3 to return the pressure in the glow discharge tube 1 to the atmospheric pressure (S33). Next, the CPU 21 determines whether or not to end the processing for glow discharge emission analysis (S34). For example, the CPU 21 determines to end the process when glow discharge emission analysis has been performed on all the samples 51 held on the sample plate 61. For example, the CPU 21 determines that the processing is not to be ended when the sample 51 for which the glow discharge emission analysis has not been performed remains. The CPU 21 may receive an instruction as to whether or not to end the process by an operation of the user via the input unit 24, and make a determination according to the received instruction. If it is determined that the processing is not to be ended (S34: NO), the CPU 21 returns the processing to S23. When the sample plate 61 holds a plurality of samples 51, the processes of S23 to S34 are repeated, and glow discharge emission analysis is performed on each sample 51. If it is determined that the processing is to be ended (S34: YES), the CPU 21 ends the processing for glow discharge emission analysis.
　以上のように、実施形態２においても、グロー放電発光分析を行う際に、ポンピングの条件を調整することにより、適切な条件でポンピングを行うことが可能となり、効果的にグロー放電管１内の圧力調整が行われる。また、模擬試料５３を用いたグロー放電を行うことにより、陽極１２の貫通孔１２ｃの内面がコーティングされた状態でグロー放電発光分析が行われる。安定的にグロー放電発光分析を行うことが可能となり、グロー放電発光分析の精度が向上する。更に、実施形態２においては、サンプルプレート６１、プレート保持部６２及びプレート駆動部６３により、模擬試料５３の配置及び取り外し並びに試料５１の配置が自動で行われる。複数の試料５１のグロー放電発光分析を行う際には、複数の試料５１の配置が順次行われる。使用者による作業の量が減少し、迅速にグロー放電発光分析が行われる。特に、複数の試料５１のグロー放電発光分析を行うために必要な時間が短縮される。 As described above, also in the second embodiment, it is possible to perform pumping under appropriate conditions by adjusting the pumping conditions when performing glow discharge emission analysis. Pressure adjustment is performed. Further, by performing glow discharge using the simulated sample 53, glow discharge emission analysis is performed in a state where the inner surface of the through hole 12c of the anode 12 is coated. Glow discharge emission analysis can be performed stably, and the accuracy of glow discharge emission analysis improves. Further, in the second embodiment, the placement and removal of the simulation sample 53 and the placement of the sample 51 are automatically performed by the sample plate 61, the plate holding unit 62, and the plate driving unit 63. When performing the glow discharge emission analysis of the plurality of samples 51, the plurality of samples 51 are sequentially arranged. The amount of work performed by the user is reduced, and glow discharge emission analysis is performed quickly. In particular, the time required for performing glow discharge emission analysis of the plurality of samples 51 is reduced.
　実施形態２においては、圧力調整のためのパラメータの指定を一括して行う例を示したが、グロー放電発光分析装置１０は、夫々の試料５１についてのグロー放電発光分析を行う際に逐一パラメータの指定を受け付けてもよい。また、実施形態２においては、試料移動部が矩形平板状のサンプルプレート６１、プレート保持部６２及びプレート駆動部６３で構成された形態を示したが、試料移動部はその他の構成であってもよい。例えば、サンプルプレート６１の形状は、円板等、矩形平板以外の形状であってもよい。例えば、試料移動部は、試料５１及び模擬試料５３を保持する試料保持部と、試料保持部を駆動して試料５１及び模擬試料５３を移動させる駆動部とを含んで構成されてもよい。試料移動部は、試料５１及び模擬試料５３を載置するターンテーブルを含んだ形態であってもよい。試料移動部は、把持等の付着以外の方法で試料５１及び模擬試料５３を保持する形態であってもよい。 In the second embodiment, an example in which parameters for pressure adjustment are collectively specified has been described. However, the glow discharge optical emission spectrometer 10 sets parameters one by one when performing glow discharge emission analysis on each sample 51. The specification may be accepted. In addition, in the second embodiment, the sample moving unit is configured to include the sample plate 61 having a rectangular flat plate shape, the plate holding unit 62, and the plate driving unit 63. However, the sample moving unit may have another configuration. Good. For example, the shape of the sample plate 61 may be a shape other than a rectangular flat plate such as a circular plate. For example, the sample moving unit may include a sample holding unit that holds the sample 51 and the simulation sample 53, and a driving unit that drives the sample holding unit to move the sample 51 and the simulation sample 53. The sample moving unit may have a form including a turntable on which the sample 51 and the simulation sample 53 are placed. The sample moving unit may be configured to hold the sample 51 and the simulated sample 53 by a method other than adhesion such as grasping.
　本発明は上述した実施の形態の内容に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。即ち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。 The present invention is not limited to the contents of the above-described embodiment, and various modifications can be made within the scope of the claims. That is, embodiments obtained by combining technical means appropriately changed within the scope of the claims are also included in the technical scope of the present invention.
　１　グロー放電管
　１０　グロー放電発光分析装置
　１２　陽極（電極）
　１２ｃ　貫通孔
　１３ｂ　開口部
　２　制御部
　２１　ＣＰＵ
　２４　入力部
　２５　記憶部
　２６　表示部
　３　ガス供給部
　４１　分光測定器
　４２　電源部
　４３　押圧電極
　４４　減圧部
　５１　試料
　５２　清掃具
　５３　模擬試料
　６１　サンプルプレート
　６２　プレート保持部
　６３　プレート駆動部
 
  DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glow discharge tube 10 Glow discharge emission spectrometer 12 Anode (electrode)
12c through hole 13b opening 2 control unit 21 CPU
Reference Signs List 24 Input unit 25 Storage unit 26 Display unit 3 Gas supply unit 41 Spectrometer 42 Power supply unit 43 Pressing electrode 44 Decompression unit 51 Sample 52 Cleaning tool 53 Simulated sample 61 Sample plate 62 Plate holding unit 63 Plate driving unit

Claims (8)

  1. 　グロー放電管と、該グロー放電管の内部を減圧する減圧部と、前記グロー放電管の内部へガスを供給するガス供給部とを備えるグロー放電発光分析装置を用いたグロー放電発光分析方法において、
    　上限圧力、下限圧力、及び最終圧力を任意に指定し、
    　前記減圧部及び前記ガス供給部を制御することにより、前記グロー放電管の内部を減圧し、指定された上限圧力及び下限圧力の間で前記グロー放電管の内部の圧力を増減させ、
    その後、前記グロー放電管の内部の圧力を、指定された最終圧力に調整し、
    　前記グロー放電管の内部の圧力を前記最終圧力に調整した後、グロー放電を発生させること
    　を特徴とするグロー放電発光分析方法。     A glow discharge emission spectroscopy method using a glow discharge emission analyzer comprising a glow discharge tube, a decompression unit for reducing the pressure inside the glow discharge tube, and a gas supply unit for supplying gas to the inside of the glow discharge tube,
    Specify upper limit pressure, lower limit pressure, and final pressure arbitrarily,
    By controlling the pressure reducing unit and the gas supply unit, the pressure inside the glow discharge tube is reduced, and the pressure inside the glow discharge tube is increased or decreased between a specified upper limit pressure and a lower limit pressure,
    Thereafter, the pressure inside the glow discharge tube is adjusted to a specified final pressure,
    A glow discharge emission analysis method, wherein a glow discharge is generated after adjusting the pressure inside the glow discharge tube to the final pressure.
  2. 　前記グロー放電管の内部の圧力を増減させる回数を任意に指定し、
    　指定された前記回数だけ、前記グロー放電管の内部の圧力の増減を繰り返すこと
    　を特徴とする請求項１に記載のグロー放電発光分析方法。     Arbitrarily specifying the number of times to increase or decrease the pressure inside the glow discharge tube,
    The glow discharge emission analysis method according to claim 1, wherein the increase and decrease of the pressure inside the glow discharge tube are repeated for the designated number of times.
  3. 　前記グロー放電管の内部の圧力を前記下限圧力から前記上限圧力まで増加させるためにかけるべき第１時間、及び前記グロー放電管の内部の圧力を前記上限圧力から前記下限圧力まで減少させるためにかけるべき第２時間を任意に指定し、
    　前記グロー放電管の内部の圧力を前記下限圧力まで減少させ、
    　指定された第１時間の間、前記グロー放電管の内部の圧力を増加させ、
    　指定された第２時間の間、前記グロー放電管の内部の圧力を減少させること
    　を特徴とする請求項１又は２に記載のグロー放電発光分析方法。     A first time to be applied to increase the pressure inside the glow discharge tube from the lower limit pressure to the upper limit pressure, and a first time to reduce the pressure inside the glow discharge tube from the upper limit pressure to the lower limit pressure. Arbitrarily specify the second time to be
    Reducing the pressure inside the glow discharge tube to the lower limit pressure,
    Increasing the pressure inside the glow discharge tube for a designated first time;
    The glow discharge emission analysis method according to claim 1 or 2, wherein the pressure inside the glow discharge tube is reduced during the designated second time.
  4. 　前記グロー放電管は電極を有しており、
    　前記電極と同じ成分でなる模擬試料を前記電極に対向して配置した状態で、前記電極と前記模擬試料との間でグロー放電を発生させ、
    　前記模擬試料を取り外し、
    　前記電極に対向するように試料を配置し、
    　前記電極と前記試料との間でグロー放電を発生させ、グロー放電発光分析を行うこと
    　を特徴とする請求項１乃至３のいずれか一つに記載のグロー放電発光分析方法。     The glow discharge tube has an electrode,
    In a state where a simulation sample made of the same component as the electrode is arranged to face the electrode, a glow discharge is generated between the electrode and the simulation sample,
    Remove the mock sample,
    Arranging the sample so as to face the electrode,
    The glow discharge emission analysis method according to any one of claims 1 to 3, wherein a glow discharge is generated between the electrode and the sample, and glow discharge emission analysis is performed.
  5. 　前記模擬試料及び前記試料を保持し、保持した前記模擬試料及び前記試料を移動させる試料移動部を用い、
    　前記試料移動部により、前記模擬試料を前記電極に対向した位置に配置し、
    　前記電極と前記模擬試料との間でグロー放電を発生させた後で、前記試料移動部により、前記模擬試料を前記位置から取り外し、前記試料を前記電極に対向した位置に配置すること
    　を特徴とする請求項４に記載のグロー放電発光分析方法。     Holding the simulated sample and the sample, using a sample moving unit that moves the held simulated sample and the sample,
    By the sample moving unit, the simulation sample is arranged at a position facing the electrode,
    After generating a glow discharge between the electrode and the simulated sample, the sample moving unit removes the simulated sample from the position, and arranges the sample at a position facing the electrode. The glow discharge emission analysis method according to claim 4.
  6. 　前記模擬試料を前記電極に対向して配置したときと、前記試料を前記電極に対向して配置したときとで、前記ガス供給部により前記グロー放電管の内部へ供給するガスの種類を変更すること
    　を特徴とする請求項４又は５に記載のグロー放電発光分析方法。     The type of gas supplied to the inside of the glow discharge tube by the gas supply unit is changed between when the simulated sample is arranged to face the electrode and when the sample is arranged to face the electrode. The glow discharge emission analysis method according to claim 4 or 5, wherein:
  7. 　グロー放電管と、該グロー放電管の内部を減圧する減圧部と、前記グロー放電管の内部へガスを供給するガス供給部と、制御部とを備えるグロー放電発光分析装置において、
    　前記制御部は、
    　上限圧力、下限圧力、及び最終圧力の指定を任意の値で受け付け、
    　前記減圧部及び前記ガス供給部を制御することにより、指定された上限圧力及び下限圧力の間で前記グロー放電管の内部の圧力を増減させ、その後、前記グロー放電管の内部の圧力を、指定された最終圧力に調整し、
    　前記グロー放電管の内部の圧力を前記最終圧力に調整した後、グロー放電を発生させること
    　を特徴とするグロー放電発光分析装置。     A glow discharge tube, a decompression unit for decompressing the inside of the glow discharge tube, a gas supply unit for supplying gas to the inside of the glow discharge tube, and a glow discharge emission spectrometer comprising a control unit.
    The control unit includes:
    Accepting the specification of upper limit pressure, lower limit pressure, and final pressure at any value,
    By controlling the decompression unit and the gas supply unit, the pressure inside the glow discharge tube is increased or decreased between the specified upper limit pressure and lower limit pressure, and then the pressure inside the glow discharge tube is designated. Adjusted to the final pressure
    A glow discharge emission spectrometer, wherein a glow discharge is generated after adjusting the pressure inside the glow discharge tube to the final pressure.
  8. 　前記グロー放電管は電極を有しており、
    　前記電極と同じ成分でなる模擬試料及び試料を保持し、保持した前記模擬試料及び前記試料を移動させる試料移動部を更に備え、
    　前記試料移動部は、前記模擬試料を前記電極に対向した位置に配置し、
    　前記制御部は、前記模擬試料を前記位置に配置した状態で、前記電極と前記模擬試料との間でグロー放電を発生させ、
    　前記試料移動部は、前記模擬試料を前記位置から取り外し、前記試料を前記電極に対向した位置に配置し、
    　前記制御部は、前記試料を前記位置に配置した状態で、前記電極と前記試料との間でグロー放電を発生させ、グロー放電発光分析を行うこと
    　を特徴とする請求項７に記載のグロー放電発光分析装置。
          The glow discharge tube has an electrode,
    Holding a simulation sample and a sample consisting of the same components as the electrode, further comprising a sample moving unit for moving the held simulation sample and the sample,
    The sample moving unit arranges the simulated sample at a position facing the electrode,
    The control unit, in a state where the simulation sample is arranged at the position, generates a glow discharge between the electrode and the simulation sample,
    The sample moving unit removes the simulated sample from the position, arranges the sample at a position facing the electrode,
    The glow discharge according to claim 7, wherein the control unit performs glow discharge emission analysis between the electrode and the sample in a state where the sample is arranged at the position. Emission analyzer.
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