WO2019235647A1 - Metal sheet wound body, packaging provided with wound body, wound body packaging method, wound body storage method, method of manufacturing evaporation mask using wound body metal sheet, and metal sheet - Google Patents

Metal sheet wound body, packaging provided with wound body, wound body packaging method, wound body storage method, method of manufacturing evaporation mask using wound body metal sheet, and metal sheet Download PDF

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Abstract

Provided is a wound body with which it is possible to implement an evaporation mask inspection step appropriately. A wound body of a metal sheet for use in manufacturing an evaporation mask is provided with: a shaft member having an outer diameter of not less than 150 mm and not more than 550 mm; and a metal sheet which is wound around the shaft member and has a thickness of not more than 50 μm.

Description

金属板の巻回体、巻回体を備える梱包体、巻回体の梱包方法、巻回体の保管方法、巻回体の金属板を用いた蒸着マスクの製造方法及び金属板Winding body of metal plate, packing body including winding body, packing method of winding body, storage method of winding body, manufacturing method of vapor deposition mask using metal plate of winding body, and metal plate
　本開示の実施形態は、金属板の巻回体、巻回体を備える梱包体、巻回体の梱包方法、巻回体の保管方法、巻回体の金属板を用いた蒸着マスクの製造方法及び金属板に関する。 Embodiments of the present disclosure include a winding body of a metal plate, a packing body including the winding body, a packing method of the winding body, a storage method of the winding body, and a method of manufacturing a vapor deposition mask using the metal plate of the winding body And a metal plate.
　近年、スマートフォンやタブレットＰＣ等の持ち運び可能なデバイスで用いられる表示装置に対して、高精細であること、例えば画素密度が５００ｐｐｉ以上であることが求められている。また、持ち運び可能なデバイスにおいても、ウルトラハイディフィニション（ＵＨＤ）に対応することへの需要が高まっており、この場合、表示装置の画素密度が例えば８００ｐｐｉ以上であることが求められる。 In recent years, display devices used in portable devices such as smartphones and tablet PCs are required to have high definition, for example, a pixel density of 500 ppi or more. In portable devices, there is an increasing demand for compatibility with ultra high definition (UHD). In this case, the pixel density of the display device is required to be, for example, 800 ppi or more.
　応答性の良さや消費電力の低さのため、有機ＥＬ表示装置が注目されている。有機ＥＬ表示装置の画素を形成する方法として、所望のパターンで配列された貫通孔を含む蒸着マスクを用い、所望のパターンで画素を形成する方法が知られている。具体的には、はじめに、有機ＥＬ表示装置用の基板に対して蒸着マスクを密着させ、次に、密着させた蒸着マスクおよび基板を共に蒸着装置に投入し、有機材料などの蒸着を行う。 Organic EL display devices are attracting attention because of their good responsiveness and low power consumption. As a method of forming pixels of an organic EL display device, a method of forming pixels with a desired pattern using a vapor deposition mask including through holes arranged in a desired pattern is known. Specifically, first, a vapor deposition mask is brought into close contact with the substrate for the organic EL display device, and then, the vapor deposition mask and the substrate that are brought into close contact with each other are put into the vapor deposition device to perform vapor deposition of an organic material or the like.
　蒸着マスクは、例えば、金属板と、金属板を貫通する複数の貫通孔と、を備える。このような蒸着マスクは、例えば特許文献１に開示されているように、エッチングによって金属板に貫通孔を形成することによって作製される。 The vapor deposition mask includes, for example, a metal plate and a plurality of through holes that penetrate the metal plate. Such a vapor deposition mask is produced by forming a through-hole in a metal plate by etching as disclosed in Patent Document 1, for example.
特許第５３８２２５９号公報Japanese Patent No. 5382259
　金属板の供給形態の１つとして、軸部材に金属板が巻き付けられた巻回体が知られている。巻回体の金属板を用いて蒸着マスクを作製する場合、巻回体から巻き出された金属板に対してエッチングなどの処理が実施される。 As one form of supplying a metal plate, a wound body in which a metal plate is wound around a shaft member is known. When producing a vapor deposition mask using the metal plate of a wound body, processes, such as an etching, are implemented with respect to the metal plate unwound from the wound body.
　金属板が軸部材に巻き付けられている間、金属板には、軸部材の形状に応じた変形が生じている。そのような変形が、金属板から作製された蒸着マスクにも残っていると、蒸着マスクの検査工程において蒸着マスクの寸法などを測定する際の精度が低下したり、測定が不可能になったりすることが考えられる。 While the metal plate is wound around the shaft member, the metal plate is deformed according to the shape of the shaft member. If such deformation remains in the vapor deposition mask made from a metal plate, the accuracy when measuring the dimensions of the vapor deposition mask in the vapor deposition mask inspection process may be reduced, or measurement may become impossible. It is possible to do.
　本開示の実施形態は、このような課題を効果的に解決し得る巻回体を提供することを目的とする。 The embodiment of the present disclosure aims to provide a wound body that can effectively solve such a problem.
　本開示の第１の態様は、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の巻回体であって、１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下の外径を有する軸部材と、前記軸部材に巻き付けられ、５０μｍ以下の厚みを有する前記金属板と、を備える、巻回体である。 A first aspect of the present disclosure is a wound body of a metal plate used for manufacturing a vapor deposition mask, a shaft member having an outer diameter of 150 mm or more and 550 mm or less, wound around the shaft member, and having a thickness of 50 μm. It is a wound body provided with the said metal plate which has the following thickness.
　本開示の第２の態様は、上述した第１の態様による巻回体において、前記金属板は、３０質量％以上且つ５４質量％以下のニッケルを含む鉄合金を有していてもよい。 According to a second aspect of the present disclosure, in the wound body according to the first aspect described above, the metal plate may include an iron alloy containing 30 mass% or more and 54 mass% or less of nickel.
　本開示の第３の態様は、上述した第１の態様又は上述した第２の態様による巻回体において、前記軸部材の外径が３００ｍｍ以下であり、前記金属板の厚みが３０μｍ以下であってもよい。 According to a third aspect of the present disclosure, in the wound body according to the first aspect described above or the second aspect described above, the outer diameter of the shaft member is 300 mm or less, and the thickness of the metal plate is 30 μm or less. May be.
　本開示の第４の態様は、上述した第３の態様による巻回体において、前記巻回体の重量が７０ｋｇ以下であってもよい。 In the fourth aspect of the present disclosure, in the wound body according to the third aspect described above, the weight of the wound body may be 70 kg or less.
　本開示の第５の態様は、上述した第３の態様又は上述した第４の態様による巻回体において、前記軸部材がフェノール樹脂を含んでいてもよい。 In a fifth aspect of the present disclosure, in the wound body according to the third aspect described above or the fourth aspect described above, the shaft member may include a phenol resin.
　本開示の第６の態様は、上述した第３の態様から上述した第５の態様のそれぞれによる巻回体において、前記軸部材は、１００ｍｍ以上の内径を有する中空状部材であってもよい。 In a sixth aspect of the present disclosure, in the wound body according to each of the third aspect to the fifth aspect described above, the shaft member may be a hollow member having an inner diameter of 100 mm or more.
　本開示の第７の態様は、上述した第６の態様による巻回体において、前記軸部材の外径と内径の差が５ｍｍ以上であってもよい。 In the seventh aspect of the present disclosure, in the wound body according to the sixth aspect described above, the difference between the outer diameter and the inner diameter of the shaft member may be 5 mm or more.
　本開示の第８の態様は、上述した第１の態様又は上述した第２の態様による巻回体において、前記軸部材の外径が３００ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下であり、前記金属板の厚みが５０μｍ以下であってもよい。 According to an eighth aspect of the present disclosure, in the wound body according to the first aspect described above or the second aspect described above, the outer diameter of the shaft member is 300 mm or more and 550 mm or less, and the thickness of the metal plate is 50 μm. It may be the following.
　本開示の第９の態様は、上述した第８の態様による巻回体において、前記巻回体の重量が１００ｋｇ以下であってもよい。 In the ninth aspect of the present disclosure, in the wound body according to the eighth aspect described above, the weight of the wound body may be 100 kg or less.
　本開示の第１０の態様は、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の巻回体と、前記巻回体を収容する容器と、を備え、前記巻回体は、１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下の外径を有する軸部材と、前記軸部材に巻き付けられ、５０μｍ以下の厚みを有する前記金属板と、を備える、梱包体である。 A tenth aspect of the present disclosure includes a wound body of a metal plate used for manufacturing a vapor deposition mask, and a container that houses the wound body, and the wound body is 150 mm or more and 550 mm or less. It is a packing body provided with the shaft member which has an outer diameter, and the metal plate which is wound around the shaft member and has a thickness of 50 μm or less.
　本開示の第１１の態様は、上述した第１０の態様による梱包体において、前記容器は、前記軸部材を支持する側部を備え、前記側部は、前記巻回体の前記金属板が前記側部の下端よりも上方に位置するように前記軸部材を支持していてもよい。 In an eleventh aspect of the present disclosure, in the package according to the tenth aspect described above, the container includes a side portion that supports the shaft member, and the side portion includes the metal plate of the wound body. You may support the said shaft member so that it may be located above the lower end of a side part.
　本開示の第１２の態様は、上述した第１１の態様による梱包体において、前記容器は、前記巻回体の下方に位置する下部と、前記巻回体の前記金属板が前記下部に接しないよう前記軸部材を支持する前記側部と、を備えていてもよい。 According to a twelfth aspect of the present disclosure, in the packaging body according to the eleventh aspect described above, the container includes a lower part positioned below the wound body, and the metal plate of the wound body does not contact the lower part. And the side portion that supports the shaft member.
　本開示の第１３の態様は、上述した第１２の態様による梱包体において、前記容器は、前記巻回体を上方から覆う上部を備えていてもよい。 In a thirteenth aspect of the present disclosure, in the packaging body according to the twelfth aspect described above, the container may include an upper portion that covers the wound body from above.
　本開示の第１４の態様は、上述した第１０の態様から上述した第１３の態様のそれぞれにおいて、前記容器の内側に位置する脱酸素剤又は乾燥剤を備えていてもよい。 The fourteenth aspect of the present disclosure may include an oxygen scavenger or a desiccant positioned inside the container in each of the tenth aspect to the thirteenth aspect described above.
　本開示の第１５の態様は、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の巻回体を準備する準備工程と、前記巻回体を容器に収容する収容工程と、を備え、前記巻回体は、１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下の外径を有する軸部材と、前記軸部材に巻き付けられ、５０μｍ以下の厚みを有する前記金属板と、を備える、梱包方法である。 A fifteenth aspect of the present disclosure includes a preparation step of preparing a wound body of a metal plate used for manufacturing a vapor deposition mask, and an accommodating step of housing the wound body in a container, A body is a packing method provided with a shaft member having an outer diameter of 150 mm or more and 550 mm or less, and the metal plate wound around the shaft member and having a thickness of 50 μm or less.
　本開示の第１６の態様は、上述した第１５の態様による梱包方法において、前記容器は、前記軸部材を支持する側部を備え、前記側部は、前記巻回体の前記金属板が前記側部の下端よりも上方に位置するように前記軸部材を支持していてもよい。 According to a sixteenth aspect of the present disclosure, in the packing method according to the fifteenth aspect described above, the container includes a side portion that supports the shaft member, and the side portion includes the metal plate of the wound body. You may support the said shaft member so that it may be located above the lower end of a side part.
　本開示の第１７の態様は、上述した第１６の態様による梱包方法において、前記容器は、前記巻回体の下方に位置する下部と、前記巻回体の前記金属板が前記下部に接しないよう前記軸部材を支持する前記側部と、前記巻回体を上方から覆う上部と、を備えていてもよい。 According to a seventeenth aspect of the present disclosure, in the packing method according to the sixteenth aspect described above, the container includes a lower part positioned below the wound body, and the metal plate of the wound body does not contact the lower part. The side portion that supports the shaft member and an upper portion that covers the wound body from above may be provided.
　本開示の第１８の態様は、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の巻回体を保管する保管方法であって、軸部材に巻き付けられる前記金属板のうち最も前記軸部材側に位置する部分の内径が１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下になるように前記巻回体を保管する、保管方法である。 An eighteenth aspect of the present disclosure is a storage method for storing a wound body of a metal plate used for manufacturing a vapor deposition mask, the position being closest to the shaft member among the metal plates wound around the shaft member. This is a storage method in which the wound body is stored such that the inner diameter of the portion to be processed is 150 mm or more and 550 mm or less.
　本開示の第１９の態様は、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを製造する方法であって、金属板の巻回体から前記金属板を巻き出す工程と、前記金属板をエッチングして前記金属板に前記貫通孔を形成する加工工程と、を備え、前記巻回体は、１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下の外径を有する軸部材と、前記軸部材に巻き付けられ、５０μｍ以下の厚みを有する前記金属板と、を備える、蒸着マスクの製造方法である。 A nineteenth aspect of the present disclosure is a method of manufacturing a vapor deposition mask in which a plurality of through holes are formed, the step of unwinding the metal plate from a winding body of a metal plate, and etching the metal plate A processing step of forming the through hole in the metal plate, and the wound body is wound around the shaft member having an outer diameter of 150 mm or more and 550 mm or less, and has a thickness of 50 μm or less. It is a manufacturing method of a vapor deposition mask provided with the said metal plate.
　本開示の第２０の態様は、１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下の外径を有する軸部材に巻き付けられた、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板であって、５０μｍ以下の厚みを有する、金属板である。 A twentieth aspect of the present disclosure is a metal plate that is wound around a shaft member having an outer diameter of 150 mm or more and 550 mm or less and that is used for manufacturing a vapor deposition mask and has a thickness of 50 μm or less. It is.
　本開示の第２１の態様は、上述した第１５の態様から第１７の態様による梱包方法によって製造された梱包体であってもよい。 The twenty-first aspect of the present disclosure may be a package manufactured by the packaging method according to the fifteenth to seventeenth aspects described above.
　本開示の第２２の態様は、上述した第１９の態様による製造方法によって製造された蒸着マスクであってもよい。 The twenty-second aspect of the present disclosure may be a vapor deposition mask manufactured by the manufacturing method according to the nineteenth aspect described above.
　本開示の実施形態によれば、金属板を適切に保管することができる。 According to the embodiment of the present disclosure, the metal plate can be properly stored.
一実施形態による蒸着マスク装置を備えた蒸着装置を示す図である。It is a figure which shows the vapor deposition apparatus provided with the vapor deposition mask apparatus by one Embodiment. 図１に示す蒸着マスク装置を用いて製造した有機ＥＬ表示装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the organic electroluminescence display manufactured using the vapor deposition mask apparatus shown in FIG. 一実施形態による蒸着マスク装置を示す平面図である。It is a top view which shows the vapor deposition mask apparatus by one Embodiment. 図３に示された蒸着マスクの有効領域を示す部分平面図である。It is a partial top view which shows the effective area | region of the vapor deposition mask shown by FIG. 図４のV－V線に沿った断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 4. 母材を圧延して所望の厚みを有する金属板を得る工程を示す図である。It is a figure which shows the process of rolling a base material and obtaining the metal plate which has desired thickness. 圧延によって得られた金属板をアニールする工程を示す図である。It is a figure which shows the process of annealing the metal plate obtained by rolling. 軸部材に巻き付けられた金属板を備える巻回体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a winding body provided with the metal plate wound around the shaft member. 巻回体の断面図である。It is sectional drawing of a wound body. 容器に収容された巻回体を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the wound body accommodated in the container. 図１０ＡのXB-XB線に沿った断面図である。It is sectional drawing which followed the XB-XB line | wire of FIG. 10A. 金属板に生じている反りを測定する方法を示す図である。It is a figure which shows the method of measuring the curvature which has arisen in the metal plate. 図１１の金属板を矢印XIIの方向から見た場合を示す図である。It is a figure which shows the case where the metal plate of FIG. 11 is seen from the direction of arrow XII. 蒸着マスクの製造方法の一例を全体的に説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating generally an example of the manufacturing method of a vapor deposition mask. 金属板上にレジスト膜を設ける工程を示す図である。It is a figure which shows the process of providing a resist film on a metal plate. レジスト膜をパターニングする工程を示す図である。It is a figure which shows the process of patterning a resist film. 第１面エッチング工程を示す図である。It is a figure which shows a 1st surface etching process. 第２面エッチング工程を示す図である。It is a figure which shows a 2nd surface etching process. 蒸着マスクの検査工程の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the test | inspection process of a vapor deposition mask. 図１８の蒸着マスクを矢印XIXの方向から見た場合を示す図である。It is a figure which shows the case where the vapor deposition mask of FIG. 18 is seen from the direction of arrow XIX. 巻回体の一変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one modification of a wound body. 実施例における金属板の反りの評価結果を示す図である。It is a figure which shows the evaluation result of the curvature of the metal plate in an Example. 軸部材の軸方向に平行であり且つ軸部材の軸線を通る平面で切断した場合の巻回体の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the wound body at the time of cut | disconnecting in the plane parallel to the axial direction of a shaft member, and passing through the axis line of a shaft member. 軸部材の軸方向に平行であり且つ軸部材の軸線を通る平面で切断した場合の巻回体の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the wound body at the time of cut | disconnecting in the plane parallel to the axial direction of a shaft member, and passing through the axis line of a shaft member. 軸部材の軸方向に平行であり且つ軸部材の軸線を通る平面で切断した場合の巻回体の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the wound body at the time of cut | disconnecting in the plane parallel to the axial direction of a shaft member, and passing through the axis line of a shaft member. 図２４のA-A線に沿って切断した場合の巻回体の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the wound body at the time of cut | disconnecting along the AA line of FIG. 図２４のA-A線に沿って切断した場合の巻回体の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the wound body at the time of cut | disconnecting along the AA line of FIG. 梱包体の一変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one modification of a package. 梱包体の一変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one modification of a package. 梱包体の一変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one modification of a package. 梱包体の一変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one modification of a package.
　本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、「板」、「シート」、「フィルム」など用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。例えば、「板」はシートやフィルムと呼ばれ得るような部材も含む概念である。また、「面（シート面、フィルム面）」とは、対象となる板状（シート状、フィルム状）の部材を全体的かつ大局的に見た場合において対象となる板状部材（シート状部材、フィルム状部材）の平面方向と一致する面のことを指す。また、板状（シート状、フィルム状）の部材に対して用いる法線方向とは、当該部材の面（シート面、フィルム面）に対する法線方向のことを指す。更に、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」や「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。 In the present specification and drawings, terms such as “plate”, “sheet”, and “film” are not distinguished from each other only based on the difference in names, unless otherwise specified. For example, the “plate” is a concept including a member that can be called a sheet or a film. In addition, “surface (sheet surface, film surface)” means a target plate-like member (sheet-like member) when the target plate-like (sheet-like, film-like) member is viewed as a whole and globally. , A film-like member) refers to a surface coinciding with the planar direction. Moreover, the normal direction used with respect to a plate-shaped (sheet-shaped, film-shaped) member refers to the normal direction with respect to the surface (a sheet surface, a film surface) of the said member. Furthermore, as used in this specification, the shape and geometric conditions and the degree thereof are specified. For example, terms such as “parallel” and “orthogonal”, length and angle values, and the like are bound to a strict meaning. Therefore, it should be interpreted including the extent to which similar functions can be expected.
　本明細書および本図面において、ある部材又はある領域等のある構成が、他の部材又は他の領域等の他の構成の「上に（又は下に）」、「上側に（又は下側に）」、または「上方に（又は下方に）」とする場合、特別な説明が無い限りは、ある構成が他の構成に直接的に接している場合のみでなく、ある構成と他の構成との間に別の構成が含まれている場合も含めて解釈することとする。また、特別な説明が無い限りは、上（または、上側や上方）又は下（または、下側、下方）という語句を用いて説明する場合があるが、上下方向が逆転してもよい。 In this specification and the drawings, a certain configuration such as a member or a certain region is “up (or down)” or “upper (or lower) of another configuration such as another member or another region. ) "Or" above (or below) "unless otherwise specified, not only when one configuration is in direct contact with another configuration, Interpretation shall include cases where another configuration is included between the two. In addition, unless otherwise specified, the description may be made using the terms “upper (or upper or upper)” or “lower” (or lower or lower), but the vertical direction may be reversed.
　本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号または類似の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、図面の寸法比率は説明の都合上実際の比率とは異なる場合や、構成の一部が図面から省略される場合がある。 In this specification and the drawings, unless otherwise specified, the same portion or a portion having a similar function is denoted by the same reference symbol or a similar reference symbol, and repeated description thereof may be omitted. In addition, the dimensional ratio in the drawing may be different from the actual ratio for convenience of explanation, or a part of the configuration may be omitted from the drawing.
　本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、矛盾の生じない範囲で、その他の実施形態や変形例と組み合わせられ得る。また、その他の実施形態同士や、その他の実施形態と変形例も、矛盾の生じない範囲で組み合わせられ得る。また、変形例同士も、矛盾の生じない範囲で組み合わせられ得る。 In the present specification and the drawings, unless there is a special description, the present invention can be combined with other embodiments and modifications as long as no contradiction arises. In addition, other embodiments or other embodiments and modifications may be combined within a range where no contradiction occurs. Further, the modifications can be combined within a range where no contradiction occurs.
　本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、製造方法などの方法に関して複数の工程を開示する場合に、開示されている工程の間に、開示されていないその他の工程が実施されてもよい。また、開示されている工程の順序は、矛盾の生じない範囲で任意である。 In this specification and the drawings, unless otherwise specified, when a plurality of steps are disclosed with respect to a method such as a manufacturing method, other steps not disclosed are performed between the disclosed steps. May be. Further, the order of the disclosed steps is arbitrary as long as no contradiction occurs.
　本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、「～」という記号によって表現される数値範囲は、「～」という符号の前後に置かれた数値を含んでいる。例えば、「３４～３８質量％」という表現によって画定される数値範囲は、「３４質量％以上且つ３８質量％以下」という表現によって画定される数値範囲と同一である。 In this specification and the drawings, unless otherwise specified, the numerical range expressed by the symbol “˜” includes numerical values placed before and after the symbol “˜”. For example, the numerical range defined by the expression “34-38 mass%” is the same as the numerical range defined by the expression “34 mass% or more and 38 mass% or less”.
　本明細書の一実施形態において、有機ＥＬ表示装置を製造する際に有機材料を所望のパターンで基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスクやその製造方法に関した例をあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスクに対し、本実施形態を適用することができる。 In one embodiment of the present specification, an example relating to a deposition mask used for patterning an organic material on a substrate in a desired pattern when manufacturing an organic EL display device and a method for manufacturing the same will be described. However, the present embodiment can be applied to vapor deposition masks used for various purposes without being limited to such application.
　以下、本開示の一実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態は本開示の実施形態の一例であって、本開示はこれらの実施形態のみに限定して解釈されるものではない。 Hereinafter, an embodiment of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings. The following embodiments are examples of the embodiments of the present disclosure, and the present disclosure is not construed as being limited to these embodiments.
　まず、対象物に蒸着材料を蒸着させる蒸着処理を実施する蒸着装置９０について、図１を参照して説明する。図１に示すように、蒸着装置９０は、その内部に、蒸着源（例えばるつぼ９４）、ヒータ９６、及び蒸着マスク装置１０を備えていてもよい。また、蒸着装置９０は、蒸着装置９０の内部を真空雰囲気にするための排気手段を更に備えていてもよい。るつぼ９４は、有機発光材料などの蒸着材料９８を収容する。ヒータ９６は、るつぼ９４を加熱して、真空雰囲気の下で蒸着材料９８を蒸発させる。蒸着マスク装置１０は、るつぼ９４と対向するよう配置されていてもよい。 First, the vapor deposition apparatus 90 which performs the vapor deposition process which vapor-deposits a vapor deposition material on a target object is demonstrated with reference to FIG. As shown in FIG. 1, the vapor deposition apparatus 90 may include a vapor deposition source (for example, a crucible 94), a heater 96, and a vapor deposition mask apparatus 10 therein. The vapor deposition apparatus 90 may further include an exhaust unit for making the inside of the vapor deposition apparatus 90 a vacuum atmosphere. The crucible 94 contains a vapor deposition material 98 such as an organic light emitting material. The heater 96 heats the crucible 94 to evaporate the vapor deposition material 98 under a vacuum atmosphere. The vapor deposition mask device 10 may be disposed so as to face the crucible 94.
　以下、蒸着マスク装置１０について説明する。図１に示すように、蒸着マスク装置１０は、少なくとも１つの蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０を支持するフレーム１５と、を備えていてもよい。フレーム１５は、蒸着マスク２０が撓んでしまうことがないように、蒸着マスク２０をその面方向に引っ張った状態で支持していてもよい。蒸着マスク装置１０は、図１に示すように、蒸着マスク２０が、蒸着材料９８を付着させる対象物である基板、例えば有機ＥＬ基板９２に対面するよう、蒸着装置９０内に配置されていてもよい。以下の説明において、蒸着マスク２０の面のうち、有機ＥＬ基板９２側の面を第１面２０ａと称し、第１面２０ａの反対側に位置する面を第２面２０ｂと称する。 Hereinafter, the vapor deposition mask device 10 will be described. As shown in FIG. 1, the vapor deposition mask device 10 may include at least one vapor deposition mask 20 and a frame 15 that supports the vapor deposition mask 20. The frame 15 may support the vapor deposition mask 20 in a state of being pulled in the surface direction so that the vapor deposition mask 20 is not bent. As shown in FIG. 1, the vapor deposition mask device 10 is arranged in the vapor deposition device 90 so that the vapor deposition mask 20 faces a substrate, for example, an organic EL substrate 92, to which the vapor deposition material 98 is attached. Good. In the following description, among the surfaces of the vapor deposition mask 20, the surface on the organic EL substrate 92 side is referred to as a first surface 20a, and the surface located on the opposite side of the first surface 20a is referred to as a second surface 20b.
　蒸着マスク装置１０は、図１に示すように、有機ＥＬ基板９２の、蒸着マスク２０と反対の側の面に配置された磁石９３を備えていてもよい。磁石９３を設けることにより、磁力によって蒸着マスク２０を磁石９３側に引き寄せて、蒸着マスク２０を有機ＥＬ基板９２に密着させることができる。また、静電気力（クーロン力）を利用する静電チャックを用いて蒸着マスク２０を有機ＥＬ基板９２に密着させてもよい。 The vapor deposition mask device 10 may include a magnet 93 disposed on the surface of the organic EL substrate 92 opposite to the vapor deposition mask 20 as shown in FIG. By providing the magnet 93, the vapor deposition mask 20 can be brought close to the organic EL substrate 92 by attracting the vapor deposition mask 20 to the magnet 93 side by magnetic force. Alternatively, the vapor deposition mask 20 may be brought into close contact with the organic EL substrate 92 using an electrostatic chuck that uses electrostatic force (Coulomb force).
　図３は、蒸着マスク装置１０を蒸着マスク２０の第１面２０ａ側から見た場合を示す平面図である。図３に示すように、蒸着マスク装置１０は、複数の蒸着マスク２０を備えていてもよい。本実施の形態において、各蒸着マスク２０は、第１方向Ｄ１に延びる矩形状の形状を有する。蒸着マスク装置１０において、複数の蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０の第１方向Ｄ１に交差する第２方向Ｄ２に並んでいる。各蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０の第１方向Ｄ１の両端部において、例えば溶接によってフレーム１５に固定されている。 FIG. 3 is a plan view showing the vapor deposition mask device 10 as viewed from the first surface 20a side of the vapor deposition mask 20. FIG. As shown in FIG. 3, the vapor deposition mask device 10 may include a plurality of vapor deposition masks 20. In the present embodiment, each deposition mask 20 has a rectangular shape extending in the first direction D1. In the vapor deposition mask device 10, the plurality of vapor deposition masks 20 are arranged in a second direction D <b> 2 that intersects the first direction D <b> 1 of the vapor deposition mask 20. Each vapor deposition mask 20 is fixed to the frame 15 by welding, for example, at both ends of the vapor deposition mask 20 in the first direction D1.
　蒸着マスク２０は、第１方向Ｄ１に延びる矩形状の金属板と、金属板を貫通する複数の貫通孔２５と、を含む。るつぼ９４から蒸発して蒸着マスク装置１０に到達した蒸着材料９８は、蒸着マスク２０の貫通孔２５を通って有機ＥＬ基板９２に付着する。これによって、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料９８を有機ＥＬ基板９２の表面に成膜することができる。 The vapor deposition mask 20 includes a rectangular metal plate extending in the first direction D1 and a plurality of through holes 25 penetrating the metal plate. The vapor deposition material 98 that has evaporated from the crucible 94 and reached the vapor deposition mask device 10 adheres to the organic EL substrate 92 through the through hole 25 of the vapor deposition mask 20. Thereby, the vapor deposition material 98 can be formed on the surface of the organic EL substrate 92 in a desired pattern corresponding to the position of the through hole 25 of the vapor deposition mask 20.
　図２は、図１の蒸着装置９０を用いて製造した有機ＥＬ表示装置１００を示す断面図である。有機ＥＬ表示装置１００は、有機ＥＬ基板９２と、パターン状に設けられた蒸着材料９８を含む画素と、を備えていてもよい。なお、図２の有機ＥＬ表示装置１００においては、蒸着材料９８を含む画素に電圧を印加する電極等が省略されている。また、有機ＥＬ基板９２上に蒸着材料９８をパターン状に設ける蒸着工程の後、図２の有機ＥＬ表示装置１００には、有機ＥＬ表示装置のその他の構成要素が更に設けられ得る。従って、図２の有機ＥＬ表示装置１００は、有機ＥＬ表示装置の中間体と呼ぶこともできる。 FIG. 2 is a cross-sectional view showing an organic EL display device 100 manufactured using the vapor deposition device 90 of FIG. The organic EL display device 100 may include an organic EL substrate 92 and pixels including a vapor deposition material 98 provided in a pattern. In the organic EL display device 100 of FIG. 2, electrodes for applying a voltage to the pixels including the vapor deposition material 98 are omitted. Further, after the vapor deposition step of providing the vapor deposition material 98 in a pattern on the organic EL substrate 92, the organic EL display device 100 of FIG. 2 may be further provided with other components of the organic EL display device. Therefore, the organic EL display device 100 of FIG. 2 can also be called an intermediate of the organic EL display device.
　なお、複数の色によるカラー表示を行いたい場合には、各色に対応する蒸着マスク２０が搭載された蒸着装置９０をそれぞれ準備し、有機ＥＬ基板９２を各蒸着装置９０に順に投入する。これによって、例えば、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に有機ＥＬ基板９２に蒸着させることができる。 In addition, when it is desired to perform color display with a plurality of colors, vapor deposition apparatuses 90 each equipped with a vapor deposition mask 20 corresponding to each color are prepared, and the organic EL substrate 92 is sequentially inserted into each vapor deposition apparatus 90. Thereby, for example, an organic light emitting material for red, an organic light emitting material for green, and an organic light emitting material for blue can be sequentially deposited on the organic EL substrate 92.
　ところで、蒸着処理は、高温雰囲気となる蒸着装置９０の内部で実施される場合がある。この場合、蒸着処理の間、蒸着装置９０の内部に保持される蒸着マスク２０、フレーム１５および有機ＥＬ基板９２も加熱される。この際、蒸着マスク２０、フレーム１５および有機ＥＬ基板９２は、各々の熱膨張係数に基づいた寸法変化の挙動を示すことになる。この場合、蒸着マスク２０やフレーム１５と有機ＥＬ基板９２の熱膨張係数が大きく異なっていると、それらの寸法変化の差異に起因した位置ずれが生じ、この結果、有機ＥＬ基板９２上に付着する蒸着材料の寸法精度や位置精度が低下してしまう。 By the way, the vapor deposition process may be performed inside the vapor deposition apparatus 90 which becomes a high temperature atmosphere. In this case, the vapor deposition mask 20, the frame 15, and the organic EL substrate 92 held inside the vapor deposition apparatus 90 are also heated during the vapor deposition process. At this time, the vapor deposition mask 20, the frame 15, and the organic EL substrate 92 exhibit dimensional change behavior based on their respective thermal expansion coefficients. In this case, if the thermal expansion coefficients of the vapor deposition mask 20 and the frame 15 and the organic EL substrate 92 are greatly different, a positional shift caused by a difference in their dimensional change occurs. The dimensional accuracy and position accuracy of the vapor deposition material will decrease.
　このような課題を解決するため、蒸着マスク２０およびフレーム１５の熱膨張係数が、有機ＥＬ基板９２の熱膨張係数と同等の値であることが好ましい。例えば、有機ＥＬ基板９２としてガラス基板が用いられる場合、蒸着マスク２０およびフレーム１５の主要な材料として、ニッケルを含む鉄合金を用いることができる。鉄合金は、ニッケルに加えてコバルトを更に含んでいてもよい。例えば、蒸着マスク２０を構成する金属板の材料として、ニッケル及びコバルトの含有量が合計で３０質量％以上且つ５４質量％以下であり、且つコバルトの含有量が０質量％以上且つ６質量％以下である鉄合金を用いることができる。ニッケル若しくはニッケル及びコバルトを含む鉄合金の具体例としては、３４質量％以上且つ３８質量％以下のニッケルを含むインバー材、３０質量％以上且つ３４質量％以下のニッケルに加えてさらにコバルトを含むスーパーインバー材、３８質量％以上且つ５４質量％以下のニッケルを含む低熱膨張Ｆｅ－Ｎｉ系めっき合金などを挙げることができる。 In order to solve such a problem, it is preferable that the thermal expansion coefficients of the vapor deposition mask 20 and the frame 15 are equal to the thermal expansion coefficient of the organic EL substrate 92. For example, when a glass substrate is used as the organic EL substrate 92, an iron alloy containing nickel can be used as the main material of the vapor deposition mask 20 and the frame 15. The iron alloy may further contain cobalt in addition to nickel. For example, as the material of the metal plate constituting the vapor deposition mask 20, the total content of nickel and cobalt is 30% by mass or more and 54% by mass or less, and the content of cobalt is 0% by mass or more and 6% by mass or less. An iron alloy can be used. Specific examples of nickel or an iron alloy containing nickel and cobalt include an invar material containing nickel of 34% by mass or more and 38% by mass or less, a super containing cobalt in addition to nickel of 30% by mass or more and 34% by mass or less. An invar material, a low thermal expansion Fe—Ni plating alloy containing nickel of 38 mass% or more and 54 mass% or less can be used.
　なお蒸着処理の際に、蒸着マスク２０、フレーム１５および有機ＥＬ基板９２の温度が高温には達しない場合は、蒸着マスク２０およびフレーム１５の熱膨張係数を、有機ＥＬ基板９２の熱膨張係数と同等の値にする必要は特にない。この場合、蒸着マスク２０を構成する材料として、上述の鉄合金以外の材料を用いてもよい。例えば、クロムを含む鉄合金など、上述のニッケルを含む鉄合金以外の鉄合金を用いてもよい。クロムを含む鉄合金としては、例えば、いわゆるステンレスと称される鉄合金を用いることができる。また、ニッケルやニッケル－コバルト合金など、鉄合金以外の合金を用いてもよい。 In the vapor deposition process, when the temperature of the vapor deposition mask 20, the frame 15, and the organic EL substrate 92 does not reach a high temperature, the thermal expansion coefficient of the vapor deposition mask 20 and the frame 15 is set as the thermal expansion coefficient of the organic EL substrate 92. There is no need to make the values equivalent. In this case, a material other than the above-described iron alloy may be used as a material constituting the vapor deposition mask 20. For example, an iron alloy other than the above-described iron alloy containing nickel, such as an iron alloy containing chromium, may be used. As the iron alloy containing chromium, for example, an iron alloy called so-called stainless steel can be used. Further, alloys other than iron alloys such as nickel and nickel-cobalt alloys may be used.
　次に、蒸着マスク２０について詳細に説明する。図３に示すように、蒸着マスク２０は、蒸着マスク２０の第１方向Ｄ１において対向する第１耳部１７ａ及び第２耳部１７ｂと、一対の耳部１７ａ，１７ｂの間に位置する中間部１８と、を備えている。 Next, the vapor deposition mask 20 will be described in detail. As shown in FIG. 3, the vapor deposition mask 20 is an intermediate portion located between the first ear portion 17a and the second ear portion 17b facing each other in the first direction D1 of the vapor deposition mask 20, and the pair of ear portions 17a and 17b. 18.
　まず、耳部１７ａ，１７ｂについて詳細に説明する。耳部１７ａ，１７ｂは、蒸着マスク２０のうちフレーム１５に固定される部分である。第１耳部１７ａは、蒸着マスク２０の第１方向Ｄ１における一端である第１端部２０ｅを含む。第２耳部１７ｂは、蒸着マスク２０の第１方向Ｄ１における他端である第２端部２０ｆを含む。 First, the ears 17a and 17b will be described in detail. The ears 17 a and 17 b are portions fixed to the frame 15 in the vapor deposition mask 20. The first ear portion 17a includes a first end portion 20e that is one end of the vapor deposition mask 20 in the first direction D1. The second ear portion 17b includes a second end portion 20f that is the other end of the vapor deposition mask 20 in the first direction D1.
　本実施の形態において、耳部１７ａ，１７ｂは、中間部１８と一体的に構成されている。なお、耳部１７ａ，１７ｂは、中間部１８とは別の部材によって構成されていてもよい。この場合、耳部１７ａ，１７ｂは、例えば溶接によって中間部１８に接合される。 In the present embodiment, the ear portions 17a and 17b are integrally formed with the intermediate portion 18. In addition, the ear | edge parts 17a and 17b may be comprised by the member different from the intermediate part 18. FIG. In this case, the ear portions 17a and 17b are joined to the intermediate portion 18 by welding, for example.
　次に、中間部１８について説明する。中間部１８は、第１面２０ａから第２面２０ｂに至る貫通孔２５が形成された、少なくとも１つの有効領域２２と、有効領域２２を取り囲む周囲領域２３と、を含む。有効領域２２は、蒸着マスク２０のうち、有機ＥＬ基板９２の表示領域に対面する領域である。 Next, the intermediate part 18 will be described. The intermediate portion 18 includes at least one effective region 22 in which a through hole 25 extending from the first surface 20 a to the second surface 20 b is formed, and a surrounding region 23 surrounding the effective region 22. The effective area 22 is an area facing the display area of the organic EL substrate 92 in the vapor deposition mask 20.
　図３に示す例において、中間部１８は、蒸着マスク２０の第１方向Ｄ１に沿って所定の間隔を空けて配列された複数の有効領域２２を含む。一つの有効領域２２は、一つの有機ＥＬ表示装置１００の表示領域に対応する。このため、図１に示す蒸着マスク装置１０によれば、有機ＥＬ表示装置１００の多面付蒸着が可能である。なお、一つの有効領域２２が複数の表示領域に対応する場合もある。また、図示はしないが、蒸着マスク２０の第２方向Ｄ２においても所定の間隔を空けて複数の有効領域２２が配列されていてもよい。 In the example shown in FIG. 3, the intermediate portion 18 includes a plurality of effective regions 22 arranged at predetermined intervals along the first direction D <b> 1 of the vapor deposition mask 20. One effective area 22 corresponds to the display area of one organic EL display device 100. For this reason, according to the vapor deposition mask apparatus 10 shown in FIG. 1, the multi-surface vapor deposition of the organic EL display apparatus 100 is possible. Note that one effective area 22 may correspond to a plurality of display areas. Moreover, although not shown in figure, the some effective area | region 22 may be arranged in the 2nd direction D2 of the vapor deposition mask 20 at predetermined intervals.
　図３に示すように、有効領域２２は、例えば、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有する。なお図示はしないが、各有効領域２２は、有機ＥＬ基板９２の表示領域の形状に応じて、様々な形状の輪郭を有することができる。例えば各有効領域２２は、円形状の輪郭を有していてもよい。 As shown in FIG. 3, the effective region 22 has, for example, a substantially rectangular shape in a plan view, and more precisely, a substantially rectangular shape in a plan view. Although not shown, each effective region 22 can have various shapes of contours according to the shape of the display region of the organic EL substrate 92. For example, each effective area 22 may have a circular outline.
　以下、有効領域２２について詳細に説明する。図４は、蒸着マスク２０の第２面２０ｂ側から有効領域２２を拡大して示す平面図である。図４に示すように、図示された例において、各有効領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有効領域２２において、互いに直交する二方向に沿ってそれぞれ所定のピッチで配列されている。 Hereinafter, the effective area 22 will be described in detail. FIG. 4 is an enlarged plan view showing the effective region 22 from the second surface 20 b side of the vapor deposition mask 20. As shown in FIG. 4, in the illustrated example, the plurality of through holes 25 formed in each effective region 22 are arranged at predetermined pitches along two directions orthogonal to each other in the effective region 22. Yes.
　図５は、図４の有効領域２２のV－V方向に沿った断面図である。図５に示すように、複数の貫通孔２５は、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った一方の側となる第１面２０ａから、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに沿った他方の側となる第２面２０ｂへ貫通している。図示された例では、後に詳述するように、蒸着マスク２０の法線方向Ｎにおける一方の側となる金属板５１の第１面５１ａに第１凹部３０がエッチングによって形成され、蒸着マスク２０の法線方向Ｎにおける他方の側となる金属板５１の第２面５１ｂに第２凹部３５が形成される。第１凹部３０は、第２凹部３５に接続され、これによって第２凹部３５と第１凹部３０とが互いに通じ合うように形成される。貫通孔２５は、第２凹部３５と、第２凹部３５に接続された第１凹部３０とによって構成されている。図４及び図５に示すように、第１凹部３０の壁面３１と、第２凹部３５の壁面３６とは、周状の接続部４１を介して接続されている。接続部４１は、蒸着マスク２０の平面視において貫通孔２５の開口面積が最小になる貫通部４２を画成する。 FIG. 5 is a cross-sectional view along the VV direction of the effective region 22 of FIG. As shown in FIG. 5, the plurality of through holes 25 are formed on the other side along the normal direction N of the vapor deposition mask 20 from the first surface 20 a which is one side along the normal direction N of the vapor deposition mask 20. It penetrates to the second surface 20b. In the illustrated example, as will be described in detail later, a first recess 30 is formed by etching on the first surface 51 a of the metal plate 51 on one side in the normal direction N of the vapor deposition mask 20. A second recess 35 is formed on the second surface 51 b of the metal plate 51 on the other side in the normal direction N. The 1st recessed part 30 is connected to the 2nd recessed part 35, and is formed so that the 2nd recessed part 35 and the 1st recessed part 30 may mutually communicate by this. The through hole 25 is configured by a second recess 35 and a first recess 30 connected to the second recess 35. As shown in FIGS. 4 and 5, the wall surface 31 of the first recess 30 and the wall surface 36 of the second recess 35 are connected via a circumferential connecting portion 41. The connection part 41 defines a through part 42 in which the opening area of the through hole 25 is minimized in the plan view of the vapor deposition mask 20.
　図５に示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａ側において、隣り合う二つの貫通孔２５は、金属板５１の第１面５１ａに沿って互いから離間している。蒸着マスク２０の第２面２０ｂ側においても、隣り合う二つの第２凹部３５が、金属板５１の第２面５１ｂに沿って互いから離間していてもよい。すなわち、隣り合う二つの第２凹部３５の間に金属板５１の第２面５１ｂが残存していてもよい。以下の説明において、金属板５１の第２面５１ｂの有効領域２２のうちエッチングされずに残っている部分のことを、トップ部４３とも称する。このようなトップ部４３が残るように蒸着マスク２０を作製することにより、蒸着マスク２０に十分な強度を持たせることができる。このことにより、例えば搬送中などに蒸着マスク２０が破損してしまうことを抑制することができる。なおトップ部４３の幅βが大きすぎると、蒸着工程においてシャドーが発生し、これによって蒸着材料９８の利用効率が低下することがある。従って、トップ部４３の幅βが過剰に大きくならないように蒸着マスク２０が作製されることが好ましい。 As shown in FIG. 5, two adjacent through holes 25 are separated from each other along the first surface 51 a of the metal plate 51 on the first surface 20 a side of the vapor deposition mask 20. Also on the second surface 20 b side of the vapor deposition mask 20, two adjacent second concave portions 35 may be separated from each other along the second surface 51 b of the metal plate 51. That is, the second surface 51 b of the metal plate 51 may remain between two adjacent second recesses 35. In the following description, a portion of the effective area 22 of the second surface 51 b of the metal plate 51 that remains without being etched is also referred to as a top portion 43. By producing the vapor deposition mask 20 so that such a top portion 43 remains, the vapor deposition mask 20 can have sufficient strength. This can prevent the vapor deposition mask 20 from being damaged, for example, during transportation. If the width β of the top portion 43 is too large, shadowing may occur in the vapor deposition process, which may reduce the utilization efficiency of the vapor deposition material 98. Therefore, it is preferable that the vapor deposition mask 20 is manufactured so that the width β of the top portion 43 does not become excessively large.
　図１に示すようにして蒸着マスク装置１０が蒸着装置９０に収容された場合、図５に二点鎖線で示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａが、有機ＥＬ基板９２に対面し、蒸着マスク２０の第２面２０ｂが、蒸着材料９８を保持したるつぼ９４側に位置する。したがって、蒸着材料９８は、次第に開口面積が小さくなっていく第２凹部３５を通過して有機ＥＬ基板９２に付着する。図５において第２面２０ｂ側から第１面２０ａへ向かう矢印で示すように、蒸着材料９８は、るつぼ９４から有機ＥＬ基板９２に向けて有機ＥＬ基板９２の法線方向Ｎに沿って移動するだけでなく、有機ＥＬ基板９２の法線方向Ｎに対して大きく傾斜した方向に移動することもある。このとき、蒸着マスク２０の厚みが大きいと、斜めに移動する蒸着材料９８が、トップ部４３、第２凹部３５の壁面３６や第１凹部３０の壁面３１に引っ掛かり易くなり、この結果、貫通孔２５を通過できない蒸着材料９８の比率が多くなる。従って、蒸着材料９８の利用効率を高めるためには、蒸着マスク２０の厚みＴを小さくし、これによって、第２凹部３５の壁面３６や第１凹部３０の壁面３１の高さを小さくすることが好ましいと考えられる。すなわち、蒸着マスク２０を構成するための金属板５１として、蒸着マスク２０の強度を確保できる範囲内で可能な限り厚みＴの小さな金属板５１を用いることが好ましいと言える。この点を考慮し、本実施の形態において、蒸着マスク２０の厚みＴは、１００μｍ以下であることが好ましい。蒸着マスク２０の厚みＴは、５０μｍ以下であってもよく、４０μｍ以下であってもよく、３５μｍ以下であってもよく、３０μｍ以下であってもよく、２５μｍ以下であってもよく、２０μｍ以下であってもよい。一方、蒸着マスク２０の厚みが小さくなり過ぎると、蒸着マスク２０の強度が低下し、蒸着マスク２０に損傷や変形が生じやすくなる。この点を考慮し、蒸着マスク２０の厚みＴは、５μｍ以上であることが好ましい。蒸着マスク２０の厚みＴは、８μｍ以上であってもよく、１０μｍ以上であってもよく、１２μｍ以上であってもよく、１３μｍ以上であってもよく、１５μｍ以上であってもよい。蒸着マスク２０の厚みＴの範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、蒸着マスク２０の厚みＴの範囲は、５μｍ以上１００μｍ以下であってもよく、８μｍ以上５０μｍ以下であってもよく、１０μｍ以上４０μｍ以下であってもよく、１２μｍ以上３５μｍ以下であってもよく、１３μｍ以上３０μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上２５μｍ以下であってもよく、１５μｍ以上２０μｍ以下であってもよい。また、蒸着マスク２０の厚みＴの範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、蒸着マスク２０の厚みＴの範囲は、２０μｍ以上２５μｍ以下であってもよい。また、蒸着マスク２０の厚みＴの範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよい。例えば、蒸着マスク２０の厚みＴの範囲は、１３μｍ以上１５μｍ以下であってもよい。
　なお厚みＴは、周囲領域２３の厚み、すなわち蒸着マスク２０のうち第１凹部３０および第２凹部３５が形成されていない部分の厚みである。従って厚みＴは、金属板５１の厚みであると言うこともできる。 When the vapor deposition mask device 10 is accommodated in the vapor deposition device 90 as shown in FIG. 1, the first surface 20 a of the vapor deposition mask 20 faces the organic EL substrate 92 as shown by a two-dot chain line in FIG. 5. The second surface 20 b of the vapor deposition mask 20 is located on the crucible 94 side that holds the vapor deposition material 98. Therefore, the vapor deposition material 98 adheres to the organic EL substrate 92 through the second recess 35 whose opening area is gradually reduced. In FIG. 5, the deposition material 98 moves along the normal direction N of the organic EL substrate 92 from the crucible 94 toward the organic EL substrate 92 as indicated by an arrow from the second surface 20 b side to the first surface 20 a. In addition, the organic EL substrate 92 may move in a direction greatly inclined with respect to the normal direction N of the organic EL substrate 92. At this time, if the thickness of the vapor deposition mask 20 is large, the vapor deposition material 98 that moves obliquely is likely to be caught on the top portion 43, the wall surface 36 of the second recess portion 35, and the wall surface 31 of the first recess portion 30. The ratio of the vapor deposition material 98 that cannot pass through 25 increases. Therefore, in order to increase the utilization efficiency of the vapor deposition material 98, the thickness T of the vapor deposition mask 20 is reduced, thereby reducing the height of the wall surface 36 of the second recess 35 and the wall surface 31 of the first recess 30. It is considered preferable. That is, it can be said that it is preferable to use a metal plate 51 having a thickness T as small as possible as long as the strength of the vapor deposition mask 20 can be secured as the metal plate 51 for constituting the vapor deposition mask 20. Considering this point, in the present embodiment, the thickness T of the vapor deposition mask 20 is preferably 100 μm or less. The thickness T of the vapor deposition mask 20 may be 50 μm or less, 40 μm or less, 35 μm or less, 30 μm or less, 25 μm or less, or 20 μm or less. It may be. On the other hand, when the thickness of the vapor deposition mask 20 becomes too small, the strength of the vapor deposition mask 20 is lowered, and the vapor deposition mask 20 is easily damaged or deformed. Considering this point, the thickness T of the vapor deposition mask 20 is preferably 5 μm or more. The thickness T of the vapor deposition mask 20 may be 8 μm or more, 10 μm or more, 12 μm or more, 13 μm or more, or 15 μm or more. The range of the thickness T of the vapor deposition mask 20 may be determined by a combination of any one of the plurality of upper limit candidate values described above and any one of the plurality of lower limit candidate values described above. For example, the range of the thickness T of the vapor deposition mask 20 may be 5 μm to 100 μm, may be 8 μm to 50 μm, may be 10 μm to 40 μm, and may be 12 μm to 35 μm. It may be 13 μm or more and 30 μm or less, 15 μm or more and 25 μm or less, or 15 μm or more and 20 μm or less. Further, the range of the thickness T of the vapor deposition mask 20 may be determined by a combination of any two of the plurality of upper limit candidate values described above. For example, the range of the thickness T of the vapor deposition mask 20 may be 20 μm or more and 25 μm or less. Further, the range of the thickness T of the vapor deposition mask 20 may be determined by a combination of any two of the plurality of lower limit candidate values described above. For example, the range of the thickness T of the vapor deposition mask 20 may be 13 μm or more and 15 μm or less.
The thickness T is the thickness of the surrounding region 23, that is, the thickness of the portion of the vapor deposition mask 20 where the first recess 30 and the second recess 35 are not formed. Therefore, it can be said that the thickness T is the thickness of the metal plate 51.
　金属板５１及び蒸着マスク２０の厚みを測定する方法としては、接触式の測定方法を採用する。接触式の測定方法としては、ボールブッシュガイド式のプランジャーを備える、ハイデンハイン社製の長さゲージHEIDENHAIM-METROの「MT1271」を用いる。 As a method for measuring the thickness of the metal plate 51 and the vapor deposition mask 20, a contact-type measurement method is adopted. As a contact type measurement method, “MT1271” of HEIDENHAIM-METRO, a length gauge manufactured by HEIDENHAIN, equipped with a ball bush guide type plunger is used.
　図５において、貫通孔２５の最小開口面積を持つ部分となる接続部４１と、第２凹部３５の壁面３６の他の任意の位置と、を通過する直線Ｍ１が、蒸着マスク２０の法線方向Ｎに対してなす最小角度が、符号θ１で表されている。斜めに移動する蒸着材料９８を、壁面３６に到達させることなく可能な限り有機ＥＬ基板９２に到達させるためには、角度θ１を大きくすることが有利となる。角度θ１を大きくする上では、蒸着マスク２０の厚みＴを小さくすることの他にも、上述のトップ部４３の幅βを小さくすることも有効である。 In FIG. 5, a straight line M <b> 1 that passes through the connection portion 41 that is a portion having the minimum opening area of the through hole 25 and another arbitrary position of the wall surface 36 of the second recess 35 is a normal direction of the vapor deposition mask 20. The minimum angle made with respect to N is represented by the symbol θ1. In order to make the vapor deposition material 98 moving obliquely reach the organic EL substrate 92 as much as possible without reaching the wall surface 36, it is advantageous to increase the angle θ1. In order to increase the angle θ1, in addition to reducing the thickness T of the vapor deposition mask 20, it is also effective to reduce the width β of the top portion 43 described above.
　図５において、符号αは、金属板５１の第１面５１ａの有効領域２２のうちエッチングされずに残っている部分（以下、リブ部とも称する）の幅を表している。リブ部の幅αおよび貫通部４２の寸法ｒは、有機ＥＬ表示装置の寸法および表示画素数に応じて適宜定められる。例えば、リブ部の幅αは５μｍ以上且つ４０μｍ以下であり、貫通部４２の寸法ｒは１０μｍ以上且つ６０μｍ以下である。 In FIG. 5, symbol α represents the width of a portion (hereinafter also referred to as a rib portion) of the effective area 22 of the first surface 51 a of the metal plate 51 that remains without being etched. The width α of the rib part and the dimension r of the through part 42 are appropriately determined according to the dimension of the organic EL display device and the number of display pixels. For example, the width α of the rib portion is 5 μm or more and 40 μm or less, and the dimension r of the through portion 42 is 10 μm or more and 60 μm or less.
　なお、図４及び図５においては、隣り合う二つの第２凹部３５の間に金属板５１の第２面５１ｂが残存している例を示したが、これに限られることはない。図示はしないが、隣り合う二つの第２凹部３５が接続されるようにエッチングが実施されてもよい。すなわち、隣り合う二つの第２凹部３５の間に、金属板５１の第２面５１ｂが残存していない場所が存在していてもよい。 4 and 5 show an example in which the second surface 51b of the metal plate 51 remains between two adjacent second recesses 35, the present invention is not limited to this. Although not shown, the etching may be performed so that two adjacent second recesses 35 are connected. That is, a place where the second surface 51b of the metal plate 51 does not remain may exist between two adjacent second recesses 35.
　次に、蒸着マスク２０を製造する方法について説明する。 Next, a method for manufacturing the vapor deposition mask 20 will be described.
　はじめに、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法について説明する。本実施の形態においては、金属板５１が、ニッケルを含む鉄合金の圧延材からなる例について説明する。圧延材は、１００μｍ以下の厚みを有し、好ましくは５０μｍ以下、４０μｍ以下又は３０μｍ以下の厚みを有する。また、圧延材におけるニッケル及びコバルトの含有量は、合計で例えば３０質量％以上且つ３８質量％以下である。圧延材からなる金属板５１は、後述する巻回体の形態で作製され流通される。 First, a method for manufacturing a metal plate used for manufacturing a vapor deposition mask will be described. In the present embodiment, an example in which the metal plate 51 is made of a rolled material of an iron alloy containing nickel will be described. The rolled material has a thickness of 100 μm or less, preferably 50 μm or less, 40 μm or less, or 30 μm or less. Further, the total content of nickel and cobalt in the rolled material is, for example, 30% by mass or more and 38% by mass or less. The metal plate 51 made of a rolled material is produced and distributed in the form of a wound body to be described later.
　まず、金属板のための母材５１０を準備する。母材５１０は、金属板のための原材料を溶解炉で溶解することによって作製される。金属板のための原材料は、例えば、鉄及びニッケル並びにコバルトなどのその他の添加材料を含む。母材５１０を溶解炉から取り出した後、母材５１０の表面を削り取る研削工程を実施してもよい。 First, a base material 510 for a metal plate is prepared. The base material 510 is produced by melting raw materials for a metal plate in a melting furnace. Raw materials for the metal plate include other additive materials such as, for example, iron and nickel and cobalt. After removing the base material 510 from the melting furnace, a grinding step of scraping the surface of the base material 510 may be performed.
　続いて、図６に示すように、ニッケルを含む鉄合金から構成された母材５１０を圧延する圧延工程を実施する。例えば、一対の圧延ロール（ワークロール）６１ａ，６１ｂを含む圧延装置６１に向けて方向Ｆ１に引張張力を加えながら搬送する。一対の圧延ロール６１ａ，６１ｂの間に到達した母材５１０は、一対の圧延ロール６１ａ，６１ｂによって圧延される。この結果、母材５１０は、その厚みが低減されるとともに、方向Ｆ１に沿って伸ばされる。これによって、方向Ｆ１に延び、所定の厚みＴを有する金属板５１を得ることができる。以下の説明において、金属板５１が延びる方向Ｆ１のことを、長さ方向Ｆ１とも称する。 Subsequently, as shown in FIG. 6, a rolling process for rolling a base material 510 made of an iron alloy containing nickel is performed. For example, it is conveyed toward the rolling device 61 including a pair of rolling rolls (work rolls) 61a and 61b while applying a tensile tension in the direction F1. The base material 510 that has reached between the pair of rolling rolls 61a and 61b is rolled by the pair of rolling rolls 61a and 61b. As a result, the base material 510 is reduced in thickness and stretched along the direction F1. Thereby, the metal plate 51 extending in the direction F1 and having a predetermined thickness T can be obtained. In the following description, the direction F1 in which the metal plate 51 extends is also referred to as a length direction F1.
　なお図６は、圧延工程の概略を示すものに過ぎず、圧延工程を実施するための具体的な構成や手順が特に限られることはない。例えば圧延工程は、母材５１０を構成する鉄合金の結晶配列を変化させる温度以上の温度で母材を加工する熱間圧延工程や、鉄合金の結晶配列を変化させる温度以下の温度で母材を加工する冷間圧延工程を含んでいてもよい。また、一対の圧延ロール６１ａ，６１ｂの間に母材５１０や金属板５１を通過させる際の向きが一方向に限られることはない。例えば、図６及び図７において、紙面左側から右側への向き、および紙面右側から左側への向きで繰り返し母材５１０や金属板５１を一対の圧延ロール６１ａ，６１ｂの間に通過させることにより、母材５１０や金属板５１を徐々に圧延してもよい。 In addition, FIG. 6 is only what shows the outline of a rolling process, and the specific structure and procedure for implementing a rolling process are not specifically limited. For example, in the rolling process, a hot rolling process in which the base material is processed at a temperature higher than the temperature at which the crystal arrangement of the iron alloy constituting the base material 510 is changed, or a base material at a temperature lower than the temperature at which the crystal arrangement of the iron alloy is changed. It may include a cold rolling process for processing. Further, the direction when the base material 510 and the metal plate 51 are passed between the pair of rolling rolls 61a and 61b is not limited to one direction. For example, in FIGS. 6 and 7, by repeatedly passing the base material 510 and the metal plate 51 between the pair of rolling rolls 61a and 61b in the direction from the left side to the right side of the paper and in the direction from the right side to the left side of the paper surface, The base material 510 and the metal plate 51 may be gradually rolled.
　圧延工程においては、金属板５１の形状を調整するために圧延アクチュエータの圧力を調整してもよい。また、圧延ロール（ワークロール）６１ａ，６１ｂに加えてバックアップロールの形状を適宜調整してもよい。 In the rolling process, the pressure of the rolling actuator may be adjusted to adjust the shape of the metal plate 51. In addition to the rolling rolls (work rolls) 61a and 61b, the shape of the backup roll may be adjusted as appropriate.
　また、冷間圧延工程においては、母材５１０と圧延ロール６１ａ，６１ｂとの間に灯油などのクーラントを供給してもよい。これにより、母材の温度を制御することができる。 Further, in the cold rolling process, a coolant such as kerosene may be supplied between the base material 510 and the rolling rolls 61a and 61b. Thereby, the temperature of the base material can be controlled.
　また、圧延工程の前後、又は圧延工程の間に母材５１０又は金属板５１の品質や特性を分析する分析工程を実施してもよい。例えば、蛍光Ｘ線を母材５１０又は金属板５１に照射して組成を分析してもよい。また、熱機械分析（TMA:Thermomechanical Analisys）によって母材５１０又は金属板５１の熱伸縮量を測定してもよい。 Further, an analysis process for analyzing the quality and characteristics of the base material 510 or the metal plate 51 may be performed before and after the rolling process or during the rolling process. For example, the composition may be analyzed by irradiating the base material 510 or the metal plate 51 with fluorescent X-rays. Further, the thermal expansion / contraction amount of the base material 510 or the metal plate 51 may be measured by thermomechanical analysis (TMA: Thermomechanical Analisys).
　その後、圧延によって金属板５１内に蓄積された残留応力を取り除くため、図７に示すように、アニール装置６３を用いて金属板５１をアニールしてもよい。なお、図６及び図７に示すように、圧延工程とアニール工程の間で金属板５１をいったんコア６２に巻き取ってもよい。 Thereafter, in order to remove the residual stress accumulated in the metal plate 51 by rolling, the metal plate 51 may be annealed using an annealing device 63 as shown in FIG. 6 and 7, the metal plate 51 may be wound around the core 62 once between the rolling process and the annealing process.
　アニール工程は、図７に示すように、金属板５１を長さ方向Ｆ１に引っ張りながら実施されてもよい。すなわち、アニール工程は、いわゆるバッチ式の焼鈍ではなく、搬送しながらの連続焼鈍として実施されてもよい。この場合、金属板５１に座屈折れなどの変形が生じることを抑制するように温度や搬送速度を設定することが好ましい。アニール工程を実施することにより、残留歪がある程度除去された金属板５１を得ることができる。なお、図７においては、アニール工程の際に金属板５１を水平方向に搬送する例を示しているが、これに限られることはなく、アニール工程の際に金属板５１を、垂直方向などのその他の方向に搬送してもよい。 The annealing step may be performed while pulling the metal plate 51 in the length direction F1, as shown in FIG. That is, the annealing step may be performed as continuous annealing while being conveyed, not so-called batch-type annealing. In this case, it is preferable to set the temperature and the conveyance speed so as to suppress the deformation such as the seat refracting on the metal plate 51. By performing the annealing step, the metal plate 51 from which residual strain has been removed to some extent can be obtained. FIG. 7 shows an example in which the metal plate 51 is transported in the horizontal direction during the annealing step. However, the present invention is not limited to this, and the metal plate 51 is moved in the vertical direction during the annealing step. You may convey in another direction.
　好ましくは上述のアニール工程は、非還元雰囲気や不活性ガス雰囲気で実施される。ここで非還元雰囲気とは、水素などの還元性ガスを含まない雰囲気のことである。「還元性ガスを含まない」とは、水素などの還元性ガスの濃度が１０％以下であることを意味している。また不活性ガス雰囲気とは、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガスなどの不活性ガスの濃度が９０％以上である雰囲気のことである。非還元雰囲気や不活性ガス雰囲気でアニール工程を実施することにより、ニッケル水酸化物などのニッケル化合物が金属板５１の表面層に生成されることを抑制することができる。アニール装置６３は、不活性ガスの濃度をモニタする機構や、不活性ガスの濃度を調整する機構を有していてもよい。 Preferably, the annealing step described above is performed in a non-reducing atmosphere or an inert gas atmosphere. Here, the non-reducing atmosphere is an atmosphere that does not contain a reducing gas such as hydrogen. “Does not contain reducing gas” means that the concentration of reducing gas such as hydrogen is 10% or less. The inert gas atmosphere is an atmosphere in which the concentration of an inert gas such as argon gas, helium gas, or nitrogen gas is 90% or more. By performing the annealing step in a non-reducing atmosphere or an inert gas atmosphere, it is possible to suppress the formation of nickel compounds such as nickel hydroxide on the surface layer of the metal plate 51. The annealing device 63 may have a mechanism for monitoring the concentration of the inert gas and a mechanism for adjusting the concentration of the inert gas.
　アニール工程の前に、金属板５１を洗浄する洗浄工程を実施してもよい。これにより、アニール工程の際に金属板５１の表面に異物が付着することを抑制することができる。洗浄のための洗浄液としては、例えば、炭化水素系の液を用いることができる。 A cleaning process for cleaning the metal plate 51 may be performed before the annealing process. Thereby, it can suppress that a foreign material adheres to the surface of the metal plate 51 in the annealing process. As the cleaning liquid for cleaning, for example, a hydrocarbon-based liquid can be used.
　また図７においては、アニール工程が、金属板５１を長さ方向Ｆ１に引っ張りながら実施される例を示したが、これに限られることはなく、アニール工程を、金属板５１がコア６２などの部材に巻き取られた状態で実施してもよい。すなわちバッチ式の焼鈍が実施されてもよい。なお、金属板５１がコア６２などの部材に巻き取られた状態でアニール工程を実施する場合、金属板５１に、コア６２の外径に応じた反りの癖がついてしまうことがある。従って、反りの癖を抑制するという観点においては、金属板５１を長さ方向Ｆ１に引っ張りながらアニール工程を実施することが有利である。 FIG. 7 shows an example in which the annealing step is performed while pulling the metal plate 51 in the length direction F1, but the present invention is not limited to this, and the annealing step is performed when the metal plate 51 is a core 62 or the like. You may implement in the state wound up by the member. That is, batch-type annealing may be performed. In the case where the annealing process is performed in a state where the metal plate 51 is wound around a member such as the core 62, the metal plate 51 may be wrinkled with a warp corresponding to the outer diameter of the core 62. Therefore, it is advantageous to carry out the annealing process while pulling the metal plate 51 in the length direction F1 from the viewpoint of suppressing warpage.
　その後、金属板５１の幅が所定の範囲内になるよう、圧延工程によって得られた金属板５１の幅方向における両端をそれぞれ所定の範囲にわたって切り落とすスリット工程を実施してもよい。幅方向とは、金属板５１の面内において長さ方向Ｆ１に直交する方向である。スリット工程を実施することにより、例えば、圧延に起因して金属板５１の幅方向の両端に生じ得るクラックを除去することができる。クラックを除去することにより、金属板５１が破断してしまう現象、いわゆる板切れが、クラックを起点として生じてしまうことを防ぐことができる。 Thereafter, a slit process may be performed in which both ends in the width direction of the metal plate 51 obtained by the rolling process are cut off over a predetermined range so that the width of the metal plate 51 is within a predetermined range. The width direction is a direction orthogonal to the length direction F <b> 1 in the plane of the metal plate 51. By performing the slitting process, for example, cracks that may occur at both ends in the width direction of the metal plate 51 due to rolling can be removed. By removing the crack, it is possible to prevent a phenomenon that the metal plate 51 is broken, that is, a so-called plate breakage, from the crack as a starting point.
　スリット工程において切り落とされる部分の幅は、スリット工程後の金属板５１の形状が、幅方向において左右対称になるように調整されてもよい。また、スリット工程を、上述のアニール工程の前に実施してもよい。 The width of the portion to be cut off in the slit process may be adjusted so that the shape of the metal plate 51 after the slit process is symmetrical in the width direction. Moreover, you may implement a slit process before the above-mentioned annealing process.
　なお、上述の圧延工程、アニール工程及びスリット工程のうちの少なくとも２つの工程を複数回繰り返すことによって、所定の厚みの長尺状の金属板５１を作製してもよい。 Note that the long metal plate 51 having a predetermined thickness may be produced by repeating at least two of the rolling process, the annealing process, and the slitting process a plurality of times.
　金属板５１に対するアニール工程などの処理が完了した後、金属板５１を軸部材５２に巻き付ける巻付工程を実施する。図７においては、アニール工程の後に巻付工程を実施する例が示されている。図示はしないが、上述のスリット工程の後に巻付工程を実施してもよい。また、図示はしないが、金属板５１に対するアニール工程などの処理が完了した後、金属板５１をコアにいったん巻き付け、その後、コアから金属板５１を巻き出し、そして軸部材５２に金属板５１を巻き付けてもよい。このようにして、金属板５１の巻回体５０を作製することができる。 After the processing such as the annealing step for the metal plate 51 is completed, a winding step for winding the metal plate 51 around the shaft member 52 is performed. FIG. 7 shows an example in which the winding process is performed after the annealing process. Although not shown, a winding process may be performed after the slit process described above. Although not shown, after the processing such as the annealing step for the metal plate 51 is completed, the metal plate 51 is once wound around the core, then the metal plate 51 is unwound from the core, and the metal plate 51 is wound around the shaft member 52. It may be wound. In this way, the wound body 50 of the metal plate 51 can be produced.
　以下、巻回体５０について説明する。図８は、巻回体５０を示す斜視図である。巻回体５０は、軸部材５２と、軸部材５２に巻き付けられた金属板５１と、を備える。金属板５１は、第２面５１ｂが第１面５１ａよりも軸部材５２側に位置するよう、軸部材５２に巻き付けられていてもよく、若しくは、第１面５１ａが第２面５１ｂよりも軸部材５２側に位置するよう、軸部材５２に巻き付けられていてもよい。 Hereinafter, the wound body 50 will be described. FIG. 8 is a perspective view showing the wound body 50. The wound body 50 includes a shaft member 52 and a metal plate 51 wound around the shaft member 52. The metal plate 51 may be wound around the shaft member 52 such that the second surface 51b is positioned closer to the shaft member 52 than the first surface 51a, or the first surface 51a is more axial than the second surface 51b. It may be wound around the shaft member 52 so as to be positioned on the member 52 side.
　図８において、符号Ｗ１は、金属板５１の長さ方向Ｆ１に直交する幅方向Ｆ２における、金属板５１の寸法を表す。また、符号Ｗ２は、幅方向Ｆ２における軸部材５２の寸法を表す。幅方向Ｆ２は、軸部材５２の軸方向に一致する。金属板５１の寸法Ｗ１は、例えば１５０ｍｍ以上であり、３００ｍｍ以上であってもよい。また、金属板５１の寸法Ｗ１は、例えば１３００ｍｍ以下であり、１０００ｍｍ以下であってもよい。軸部材５２の寸法Ｗ２は、金属板５１の寸法Ｗ１よりも大きい。寸法Ｗ２から寸法Ｗ１を引いた値は、例えば２０ｍｍ以上であり、５０ｍｍ以上であってもよい。また、寸法Ｗ２から寸法Ｗ１を引いた値は、例えば５００ｍｍ以下であり、２００ｍｍ以下であってもよい。 8, the symbol W1 represents the dimension of the metal plate 51 in the width direction F2 orthogonal to the length direction F1 of the metal plate 51. Moreover, the code | symbol W2 represents the dimension of the shaft member 52 in the width direction F2. The width direction F <b> 2 coincides with the axial direction of the shaft member 52. The dimension W1 of the metal plate 51 is, for example, 150 mm or more, and may be 300 mm or more. The dimension W1 of the metal plate 51 is, for example, 1300 mm or less, and may be 1000 mm or less. The dimension W2 of the shaft member 52 is larger than the dimension W1 of the metal plate 51. A value obtained by subtracting the dimension W1 from the dimension W2 is, for example, 20 mm or more, and may be 50 mm or more. The value obtained by subtracting the dimension W1 from the dimension W2 is, for example, 500 mm or less, and may be 200 mm or less.
　図９は、軸部材５２の軸方向に直交する平面で巻回体５０を切断した場合の、巻回体５０の断面図である。図９に示す例において、軸部材５２は、内径Ｒ１を有する中空状部材である。符号Ｒ２は、軸部材５２の外径を表す。軸部材５２の外径Ｒ２は、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１のうち軸部材５２に接している金属板５１の内径に一致する。符号Ｒ３は、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１の外径を表す。なお、「外径」とは、柱状体の外周面の直径である。また、「内径」とは、柱状体が、中空部に起因する内周面を有する場合の、内周面の直径である。 FIG. 9 is a cross-sectional view of the wound body 50 when the wound body 50 is cut along a plane orthogonal to the axial direction of the shaft member 52. In the example shown in FIG. 9, the shaft member 52 is a hollow member having an inner diameter R1. Reference numeral R <b> 2 represents the outer diameter of the shaft member 52. The outer diameter R <b> 2 of the shaft member 52 matches the inner diameter of the metal plate 51 in contact with the shaft member 52 among the metal plates 51 wound around the shaft member 52. The symbol R3 represents the outer diameter of the metal plate 51 wound around the shaft member 52. The “outer diameter” is the diameter of the outer peripheral surface of the columnar body. The “inner diameter” is a diameter of the inner peripheral surface when the columnar body has an inner peripheral surface due to the hollow portion.
　軸部材５２の内径及び外径や、軸部材５２に巻き付けられている状態の金属板５１の内径及び外径を測定する器具としては、メジャーを用いる。 Measures are used as instruments for measuring the inner and outer diameters of the shaft member 52 and the inner and outer diameters of the metal plate 51 wound around the shaft member 52.
　ところで、軸部材５２の外径Ｒ２が小さいと、金属板５１が軸部材５２に巻き付けられている間に金属板５１に生じた塑性変形に起因する反りが、軸部材５２から巻き出された後の金属板５１にも少なくとも部分的に残ることがある。後述するように、蒸着マスク２０は、巻回体５０から巻き出された金属板５１を加工することによって作製される。このため、軸部材５２の外径Ｒ２が小さいと、金属板５１から作製された蒸着マスク２０にも反りが残ることがある。このような反りは、金属板５１を構成する鉄合金が、３４質量％以上且つ３８質量％以下のニッケルを含む場合、すなわち鉄合金がいわゆるインバー材である場合に、顕著に生じることがある。原因としては、金属板５１がインバー材である場合、金属板５１の熱膨張係数が低く、このため金属板５１の熱膨張係数と軸部材５２の熱膨張係数との差が大きくなり、熱膨張に起因する力が金属板５１と軸部材５２との間に生じ易くなるという点が挙げられるが、原因は特には限定されない。
　蒸着マスク２０に反りが生じていると、蒸着マスク２０の検査工程において蒸着マスク２０の寸法を測定する際の精度が低下したり、測定が不可能になったりすることがある。また、蒸着マスク２０に反りが生じていると、平面視における蒸着マスク２０の寸法の精度が低下してしまうことも考えられる。このような課題を考慮し、軸部材５２の外径Ｒ２は、例えば、１２５ｍｍ以上であってもよく、１５０ｍｍ以上であってもよく、１８０ｍｍ以上であってもよく、２００ｍｍ以上であってもよい。 By the way, when the outer diameter R2 of the shaft member 52 is small, the warp caused by the plastic deformation generated in the metal plate 51 while the metal plate 51 is wound around the shaft member 52 is unwound from the shaft member 52. The metal plate 51 may remain at least partially. As will be described later, the vapor deposition mask 20 is produced by processing a metal plate 51 unwound from the wound body 50. For this reason, when the outer diameter R2 of the shaft member 52 is small, the vapor deposition mask 20 made from the metal plate 51 may remain warped. Such warpage may occur remarkably when the iron alloy constituting the metal plate 51 contains 34 mass% or more and 38 mass% or less of nickel, that is, when the iron alloy is a so-called invar material. As a cause, when the metal plate 51 is an invar material, the coefficient of thermal expansion of the metal plate 51 is low. Therefore, the difference between the coefficient of thermal expansion of the metal plate 51 and the coefficient of thermal expansion of the shaft member 52 becomes large, and the thermal expansion. Although the point which becomes easy to produce the force resulting from this between the metal plate 51 and the shaft member 52 is mentioned, the cause is not specifically limited.
If the vapor deposition mask 20 is warped, the accuracy when measuring the dimensions of the vapor deposition mask 20 in the inspection process of the vapor deposition mask 20 may be reduced, or the measurement may be impossible. In addition, if the vapor deposition mask 20 is warped, the dimensional accuracy of the vapor deposition mask 20 in a plan view may be reduced. In consideration of such problems, the outer diameter R2 of the shaft member 52 may be, for example, 125 mm or more, 150 mm or more, 180 mm or more, or 200 mm or more. .
　上述のように、巻回体５０から巻き出された金属板５１が反りを有することを抑制するという観点においては、軸部材５２の外径Ｒ２が大きいことが好ましい。一方、軸部材５２の外径Ｒ２が大きくなると、軸部材５２の重量が増加し、軸部材５２及び金属板５１を備える巻回体５０の重量も増加する。巻回体５０の重量の増加は、巻回体５０の取り扱いの困難さを増加させる。例えば、巻回体５０の重量が大きいと、巻回体５０の輸送性が低下する。また、巻回体５０の金属板５１が自重に起因して損傷したり劣化したりすることも考えられる。また、蒸着マスク２０の製造装置に巻回体５０を設置する際、フォークリフトなどの運搬装置を用いる必要性が生じ得る。フォークリフトなどの運搬装置を用いる場合、フォークリフトを進入させるための空間が蒸着マスク２０の製造装置に設けられるので、製造装置が大型化してしまう。このような課題を考慮し、軸部材５２の外径Ｒ２は、例えば、５５０ｍｍ以下であってもよく、４００ｍｍ以下であってもよく、３００ｍｍ以下であってもよく、２８０ｍｍ以下であってもよい。 As described above, it is preferable that the outer diameter R2 of the shaft member 52 is large from the viewpoint of suppressing the metal plate 51 unwound from the wound body 50 from warping. On the other hand, when the outer diameter R2 of the shaft member 52 increases, the weight of the shaft member 52 increases, and the weight of the wound body 50 including the shaft member 52 and the metal plate 51 also increases. The increase in the weight of the wound body 50 increases the difficulty in handling the wound body 50. For example, when the weight of the wound body 50 is large, the transportability of the wound body 50 decreases. It is also conceivable that the metal plate 51 of the wound body 50 is damaged or deteriorated due to its own weight. Moreover, when installing the wound body 50 in the manufacturing apparatus of the vapor deposition mask 20, the necessity of using conveyance apparatuses, such as a forklift, may arise. In the case of using a transport device such as a forklift, a space for allowing the forklift to enter is provided in the manufacturing apparatus for the vapor deposition mask 20, which increases the size of the manufacturing apparatus. In consideration of such problems, the outer diameter R2 of the shaft member 52 may be, for example, 550 mm or less, 400 mm or less, 300 mm or less, or 280 mm or less. .
　軸部材５２の外径Ｒ２の範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、１２５ｍｍ以上５５０ｍｍ以下であってもよく、１５０ｍｍ以上４００ｍｍ以下であってもよく、１８０ｍｍ以上３００ｍｍ以下であってもよく、２００ｍｍ以上２８０ｍｍ以下であってもよい。また、軸部材５２の外径Ｒ２の範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、１２５ｍｍ以上２００ｍｍ以下であってもよく、１２５ｍｍ以上１８０ｍｍ以下であってもよく、１５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であってもよく、１５０ｍｍ以上１８０ｍｍ以下であってもよい。また、軸部材５２の外径Ｒ２の範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、２８０ｍｍ以上５５０ｍｍ以下であってもよく、２８０ｍｍ以上４００ｍｍ以下であってもよく、３００ｍｍ以上５５０ｍｍ以下であってもよく、３００ｍｍ以上４００ｍｍ以下であってもよい。 The range of the outer diameter R2 of the shaft member 52 may be determined by a combination of any one of the plurality of lower limit candidate values described above and any one of the plurality of upper limit candidate values described above, For example, 125 mm or more and 550 mm or less may be sufficient, 150 mm or more and 400 mm or less may be sufficient, 180 mm or more and 300 mm or less may be sufficient, and 200 mm or more and 280 mm or less may be sufficient. The range of the outer diameter R2 of the shaft member 52 may be determined by a combination of any two of the plurality of lower limit candidate values described above, and may be, for example, 125 mm or more and 200 mm or less, or 125 mm or more. It may be 180 mm or less, 150 mm or more and 200 mm or less, or 150 mm or more and 180 mm or less. Further, the range of the outer diameter R2 of the shaft member 52 may be determined by a combination of any two of the plurality of upper limit candidate values described above, and may be, for example, 280 mm or more and 550 mm or less, or 280 mm or more. It may be 400 mm or less, 300 mm or more and 550 mm or less, or 300 mm or more and 400 mm or less.
　軸部材５２が、図９に示すように、中空部が形成された中空状部材である場合、軸部材５２に中空部が形成されていない場合に比べて、軸部材５２の重量が小さくなる。このため、巻回体５０の取り扱いを容易にするという観点においては、軸部材５２が中空状部材であることが有利である。 As shown in FIG. 9, when the shaft member 52 is a hollow member in which a hollow portion is formed, the weight of the shaft member 52 is smaller than when the hollow portion is not formed in the shaft member 52. For this reason, in terms of facilitating handling of the wound body 50, it is advantageous that the shaft member 52 is a hollow member.
　軸部材５２が中空状部材である場合、軸部材５２の内径Ｒ１は、軸部材５２の自重や金属板５１の重量に起因して軸部材５２が変形したり破損したりすることを抑制できるよう決定される。軸部材５２の内径Ｒ１は、例えば１００ｍｍ以上であり、１５０ｍｍ以下であってもよく、２００ｍｍ以上であってもよい。また、軸部材５２の外径Ｒ２と内径Ｒ１の差は、例えば５ｍｍ以上であり、１０ｍｍ以上であってもよく、２０ｍｍ以上であってもよく、３０ｍｍ以上であってもよい。また、軸部材５２の外径Ｒ２と内径Ｒ１の差は、１００ｍｍ以下であってもよく、８０ｍｍ以下であってもよく、６０ｍｍ以下であってもよく、４０ｍｍ以下であってもよい。 When the shaft member 52 is a hollow member, the inner diameter R1 of the shaft member 52 can prevent the shaft member 52 from being deformed or damaged due to its own weight or the weight of the metal plate 51. It is determined. The inner diameter R1 of the shaft member 52 is, for example, 100 mm or more, 150 mm or less, or 200 mm or more. The difference between the outer diameter R2 and the inner diameter R1 of the shaft member 52 is, for example, 5 mm or more, 10 mm or more, 20 mm or more, or 30 mm or more. Further, the difference between the outer diameter R2 and the inner diameter R1 of the shaft member 52 may be 100 mm or less, 80 mm or less, 60 mm or less, or 40 mm or less.
　軸部材５２の外径Ｒ２と内径Ｒ１の差の範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、５ｍｍ以上１００ｍｍ以下であってもよく、１０ｍｍ以上８０ｍｍ以下であってもよく、２０ｍｍ以上６０ｍｍ以下であってもよく、３０ｍｍ以上４０ｍｍ以下であってもよい。また、軸部材５２の外径Ｒ２と内径Ｒ１の差の範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、５ｍｍ以上３０ｍｍ以下であってもよく、５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよく、１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下であってもよく、１０ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってもよい。また、軸部材５２の外径Ｒ２と内径Ｒ１の差の範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、４０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であってもよく、４０ｍｍ以上８０ｍｍ以下であってもよく、６０ｍｍ以上１００ｍｍ以下であってもよく、６０ｍｍ以上８０ｍｍ以下であってもよい。 The range of the difference between the outer diameter R2 and the inner diameter R1 of the shaft member 52 is determined by a combination of any one of the plurality of lower limit candidate values and any one of the plurality of upper limit candidate values. For example, 5 mm or more and 100 mm or less may be sufficient, 10 mm or more and 80 mm or less may be sufficient, 20 mm or more and 60 mm or less may be sufficient, and 30 mm or more and 40 mm or less may be sufficient. Further, the range of the difference between the outer diameter R2 and the inner diameter R1 of the shaft member 52 may be determined by any two combinations of the plurality of lower limit candidate values described above, for example, 5 mm or more and 30 mm or less. It may be 5 mm or more and 20 mm or less, 10 mm or more and 30 mm or less, or 10 mm or more and 20 mm or less. In addition, the range of the difference between the outer diameter R2 and the inner diameter R1 of the shaft member 52 may be determined by a combination of any two of the plurality of upper limit candidate values described above, for example, 40 mm or more and 100 mm or less. It may be 40 mm or more and 80 mm or less, may be 60 mm or more and 100 mm or less, and may be 60 mm or more and 80 mm or less.
　軸部材５２が中空状部材である場合、軸部材５２を構成する材料としては、樹脂、樹脂及び繊維の混合物、金属などを用いることができる。樹脂の例としては、フェノール樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレン樹脂などを挙げることができる。樹脂及び繊維の混合物としては、紙フェノール、繊維強化プラスチック（ＰＲＰ）などを挙げることができる。金属の例としては、鉄又は鉄合金などを挙げることができる。なお、ＡＢＳ樹脂とは、アクリロニトリル、ブタジエン及びスチレンが重合された共重合合成樹脂の総称である。紙フェノールとは、紙とフェノール樹脂との混合物である。紙フェノールは、紙及びフェノール樹脂の混合物であり、例えば、フェノール樹脂が含浸された紙を含む。繊維強化プラスチックは、例えば、樹脂が含浸されたガラス繊維、炭素繊維などの繊維を含む。 When the shaft member 52 is a hollow member, a resin, a mixture of resin and fiber, a metal, or the like can be used as a material constituting the shaft member 52. Examples of the resin include phenol resin, ABS resin, polystyrene resin, and polyethylene resin. Examples of the resin and fiber mixture include paper phenol and fiber reinforced plastic (PRP). Examples of metals include iron or iron alloys. The ABS resin is a general term for a copolymerized synthetic resin obtained by polymerizing acrylonitrile, butadiene and styrene. Paper phenol is a mixture of paper and phenolic resin. Paper phenol is a mixture of paper and phenolic resin, including, for example, paper impregnated with phenolic resin. The fiber reinforced plastic includes, for example, fibers such as glass fiber and carbon fiber impregnated with resin.
　軸部材５２における、フェノール樹脂などの樹脂と紙などの繊維の混合比率は、例えば、０．２以上であってもよく、０．４以上であってもよく、０．６以上であってもよく、０．８以上であってもよい。また、樹脂と繊維の混合比率は、例えば、５．０以下であってもよく、３．０以下であってもよく、２．０以下であってもよく、１．５以下であってもよい。樹脂と繊維の混合比率の範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、０．２以上５．０以下であってもよく、０．４以上３．０以下であってもよく、０．６以上２．０以下であってもよく、０．８以上１．５以下であってもよい。また、樹脂と繊維の混合比率の範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、０．２以上０．８以下であってもよく、０．２以上０．６以下であってもよく、０．４以上０．８以下であってもよく、０．４以上０．６以下であってもよい。また、樹脂と繊維の混合比率の範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、１．５以上５．０以下であってもよく、１．５以上３．０以下であってもよく、２．０以上５．０以下であってもよく、２．０以上３．０以下であってもよい。なお、樹脂と繊維の混合比率とは、軸部材５２における樹脂の重量比を、軸部材５２における繊維の重量比で割った値である。 The mixing ratio of the resin such as phenol resin and the fiber such as paper in the shaft member 52 may be, for example, 0.2 or more, 0.4 or more, or 0.6 or more. It may be 0.8 or more. Moreover, the mixing ratio of resin and fiber may be, for example, 5.0 or less, 3.0 or less, 2.0 or less, or 1.5 or less. Good. The range of the mixing ratio of the resin and the fiber may be determined by a combination of any one of the plurality of lower limit candidate values and any one of the plurality of upper limit candidate values, for example, 0.2 or more, 5.0 or less, 0.4 or more and 3.0 or less, 0.6 or more and 2.0 or less, or 0.8 or more and 1.5 or less. It may be the following. Further, the range of the mixing ratio of the resin and the fiber may be determined by a combination of any two of the plurality of lower limit candidate values described above, and may be, for example, 0.2 or more and 0.8 or less. 0.2 or more, 0.6 or less, 0.4 or more and 0.8 or less, or 0.4 or more and 0.6 or less. Moreover, the range of the mixing ratio of the resin and the fiber may be determined by any two combinations of the plurality of upper limit candidate values described above, and may be, for example, 1.5 or more and 5.0 or less. 1.5 or more, 3.0 or less, 2.0 or more and 5.0 or less, or 2.0 or more and 3.0 or less. The resin / fiber mixing ratio is a value obtained by dividing the weight ratio of the resin in the shaft member 52 by the weight ratio of the fibers in the shaft member 52.
　軸部材５２が中空状部材である場合、軸部材５２の外径Ｒ２は、例えば、１２５ｍｍ以上であってもよく、１５０ｍｍ以上であってもよく、１８０ｍｍ以上であってもよく、２００ｍｍ以上であってもよい。これにより、金属板５１が軸部材５２に巻き付けられている間に金属板５１に塑性変形が生じることを抑制することができる。また、軸部材５２が中空状部材である場合、軸部材５２の外径Ｒ２は、例えば、３００ｍｍ以下であってもよく、２８０ｍｍ以下であってもよく、２５０ｍｍ以下であってもよく、２００ｍｍ以下であってもよい。 When the shaft member 52 is a hollow member, the outer diameter R2 of the shaft member 52 may be, for example, 125 mm or more, 150 mm or more, 180 mm or more, or 200 mm or more. May be. Thereby, it is possible to suppress the plastic deformation of the metal plate 51 while the metal plate 51 is wound around the shaft member 52. Further, when the shaft member 52 is a hollow member, the outer diameter R2 of the shaft member 52 may be, for example, 300 mm or less, 280 mm or less, 250 mm or less, or 200 mm or less. It may be.
　軸部材５２が中空状部材である場合の軸部材５２の外径Ｒ２の範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の１つと、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の１つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、１２５ｍｍ以上３００ｍｍ以下であってもよく、１５０ｍｍ以上２８０ｍｍ以下であってもよく、１８０ｍｍ以上２５０ｍｍ以下であってもよい。また、軸部材５２の外径Ｒ２の範囲は、上述の複数の下限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、１２５ｍｍ以上２００ｍｍ以下であってもよく、１２５ｍｍ以上１８０ｍｍ以下であってもよく、１５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であってもよく、１５０ｍｍ以上１８０ｍｍ以下であってもよい。また、軸部材５２の外径Ｒ２の範囲は、上述の複数の上限の候補値のうちの任意の２つの組み合わせによって定められてもよく、例えば、２００ｍｍ以上３００ｍｍ以下であってもよく、２００ｍｍ以上２８０ｍｍ以下であってもよく、２５０ｍｍ以上３００ｍｍ以下であってもよく、２５０ｍｍ以上２８０ｍｍ以下であってもよい。 When the shaft member 52 is a hollow member, the range of the outer diameter R2 of the shaft member 52 is any one of the plurality of lower limit candidate values described above and any of the plurality of upper limit candidate values described above. For example, 125 mm or more and 300 mm or less may be sufficient, 150 mm or more and 280 mm or less may be sufficient, and 180 mm or more and 250 mm or less may be sufficient. The range of the outer diameter R2 of the shaft member 52 may be determined by a combination of any two of the plurality of lower limit candidate values described above, and may be, for example, 125 mm or more and 200 mm or less, or 125 mm or more. It may be 180 mm or less, 150 mm or more and 200 mm or less, or 150 mm or more and 180 mm or less. The range of the outer diameter R2 of the shaft member 52 may be determined by a combination of any two of the plurality of upper limit candidate values described above, and may be, for example, 200 mm or more and 300 mm or less, or 200 mm or more. It may be 280 mm or less, 250 mm or more and 300 mm or less, or 250 mm or more and 280 mm or less.
　巻回体５０を作製した後、巻回体５０を容器に収容する収容工程を実施してもよい。巻回体５０は、容器に収容された状態で流通する。以下の説明において、容器と、容器に収容された巻回体５０と、を備える物品のことを、梱包体と称する。なお、巻回体５０の流通とは、巻回体５０が巻回体５０の製造者から巻回体５０の使用者に渡るまでの、輸送、保管、取引などの活動を意味する。巻回体５０の使用者は、例えば、巻回体５０を用いて蒸着マスク２０を製造する事業者である。 After producing the wound body 50, you may implement the accommodation process which accommodates the wound body 50 in a container. The wound body 50 circulates while being accommodated in the container. In the following description, an article including a container and a wound body 50 accommodated in the container is referred to as a package. The distribution of the wound body 50 means activities such as transportation, storage, and transaction until the wound body 50 passes from the manufacturer of the wound body 50 to the user of the wound body 50. The user of the wound body 50 is a business operator who manufactures the vapor deposition mask 20 using the wound body 50, for example.
　図１０Ａは、容器５６と、容器５６に収容された巻回体５０と、を備える梱包体５５の一例を示す斜視図である。また、図１０Ｂは、図１０ＡのXB-XB線に沿った梱包体５５の断面図である。図１０Ｂにおいては、巻回体５０を収容している容器５６を、鉛直方向且つ軸部材５２の軸方向に平行な平面で切断した場合が示されている。 FIG. 10A is a perspective view illustrating an example of a package 55 including a container 56 and a wound body 50 accommodated in the container 56. FIG. 10B is a cross-sectional view of the package 55 taken along line XB-XB in FIG. 10A. FIG. 10B shows a case where the container 56 containing the wound body 50 is cut along a plane parallel to the vertical direction and the axial direction of the shaft member 52.
　図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、容器５６は、巻回体５０の下方に位置する下部５７と、巻回体５０の側方に位置する一対の側部５８と、巻回体５０を上方から覆う上部５９と、を備える。側部５８は、好ましくは、巻回体５０の金属板５１が下部５７に接しないよう軸部材５２を支持する。これにより、下部５７から受ける力に起因して金属板５１に変形や破損が生じることを抑制することができる。 As shown in FIGS. 10A and 10B, the container 56 includes a lower portion 57 positioned below the wound body 50, a pair of side portions 58 positioned on the sides of the wound body 50, and the wound body 50 upward. And an upper part 59 that covers the surface. The side portion 58 preferably supports the shaft member 52 so that the metal plate 51 of the wound body 50 does not contact the lower portion 57. Thereby, it is possible to suppress the metal plate 51 from being deformed or damaged due to the force received from the lower portion 57.
　側部５８が軸部材５２を支持する方法は任意である。例えば、軸部材５２の外径Ｒ２よりも大きい寸法を有する貫通孔５８ａを側部５８に設け、貫通孔５８ａに軸部材５２を挿入してもよい。また、側部５８の上端に、軸部材５２の形状に対応した切欠きなどを設け、切欠きの上に軸部材５２を載置してもよい。 The method in which the side part 58 supports the shaft member 52 is arbitrary. For example, a through hole 58a having a size larger than the outer diameter R2 of the shaft member 52 may be provided in the side portion 58, and the shaft member 52 may be inserted into the through hole 58a. Further, a notch or the like corresponding to the shape of the shaft member 52 may be provided at the upper end of the side portion 58, and the shaft member 52 may be placed on the notch.
　下部５７、側部５８及び上部５９などの容器５６の部材を構成する材料としては、木材、強化段ボールなどを用いることができる。 Wood, reinforced cardboard, or the like can be used as a material constituting the members of the container 56 such as the lower portion 57, the side portion 58, and the upper portion 59.
　巻回体５０は、巻回体５０が巻回体５０の製造者から巻回体５０の使用者に渡るまでの間、適切な保管場所で保管されてもよい。ここで本実施の形態によれば、巻回体５０の金属板５１は、所定の閾値以上の外径Ｒ２を有する軸部材５２に巻き付けられた状態で保管される。閾値は、上述のように１２５ｍｍ、１５０ｍｍなどである。これにより、軸部材５２から巻き出された後の金属板５１に反りが残ることを抑制することができる。 The wound body 50 may be stored in an appropriate storage place until the wound body 50 passes from the manufacturer of the wound body 50 to the user of the wound body 50. Here, according to the present embodiment, the metal plate 51 of the wound body 50 is stored in a state of being wound around the shaft member 52 having an outer diameter R2 that is equal to or greater than a predetermined threshold value. As described above, the threshold is 125 mm, 150 mm, or the like. Thereby, it can suppress that curvature remains in the metal plate 51 after unwinding from the shaft member 52.
　保管場所の環境は、巻回体５０の金属板５１の特性に変化が生じることを抑制するよう設定される。例えば、保管場所の温度は３０℃以下であり、より好ましくは２５℃以下である。また、例えば、保管場所の温度は０℃以上であり、より好ましくは１０℃以上である。また、保管場所の湿度は６０％以下であり、より好ましくは５０％以下である。 The environment of the storage location is set so as to suppress changes in the characteristics of the metal plate 51 of the wound body 50. For example, the temperature of a storage place is 30 degrees C or less, More preferably, it is 25 degrees C or less. For example, the temperature of a storage place is 0 degreeC or more, More preferably, it is 10 degreeC or more. Moreover, the humidity of a storage place is 60% or less, More preferably, it is 50% or less.
　巻回体５０は、上述の梱包体５５の容器５６に収容された状態で保管されてもよい。この場合、巻回体５０の金属板５１が容器５６の下部５７に接しない状態で巻回体５０を保管することができるので、金属板５１に変形や破損が生じることを抑制することができる。 The wound body 50 may be stored in a state of being accommodated in the container 56 of the package 55 described above. In this case, since the wound body 50 can be stored in a state where the metal plate 51 of the wound body 50 is not in contact with the lower portion 57 of the container 56, it is possible to suppress the metal plate 51 from being deformed or damaged. .
　若しくは、巻回体５０は、容器５６に収容されていない状態で保管されてもよい。この場合も、金属板５１が周囲の構造体に接しないよう軸部材５２を支持することが好ましい。これにより、金属板５１に変形や破損が生じることを抑制することができる。 Alternatively, the wound body 50 may be stored in a state where it is not accommodated in the container 56. Also in this case, it is preferable to support the shaft member 52 so that the metal plate 51 does not contact the surrounding structure. Thereby, it can suppress that a deformation | transformation and damage arise in the metal plate 51. FIG.
　金属板５１を軸部材５２に巻き付けて巻回体５０を作製した後、金属板５１を巻き出して、金属板５１に生じている反りを検査する検査方法を実施してもよい。検査方法は、例えば、金属板５１又は巻回体５０の製造者によって金属板５１又は巻回体５０の流通前に実施される。また、流通中に巻回体５０を保管する事業者などが検査方法を実施してもよい。また、巻回体５０を使用する使用者が、巻回体５０を入手した後に検査方法を実施してもよい。 After the metal plate 51 is wound around the shaft member 52 and the wound body 50 is manufactured, the metal plate 51 may be unwound and an inspection method for inspecting warpage occurring in the metal plate 51 may be performed. The inspection method is performed, for example, by the manufacturer of the metal plate 51 or the wound body 50 before the metal plate 51 or the wound body 50 is distributed. In addition, an operator who stores the wound body 50 during distribution may perform the inspection method. Moreover, after the user who uses the wound body 50 acquires the wound body 50, you may implement an inspection method.
　検査方法は、巻回体５０の金属板５１を巻き出し、所定の長さの金属板５１を取り出して試験片６６を作製する試験片作製工程と、試験片６６の反りを測定する測定工程と、を備える。試験片作製工程においては、例えば、所定の長さの金属板５１を巻回体５０から切断する。例えば、シャー（shear）などの大型の刃物を用いて巻回体５０の金属板５１を切断する。試験片６６としては、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１のうち最も外側に位置する金属板５１を用いる。 The inspection method includes a test piece preparation step of unwinding the metal plate 51 of the wound body 50, taking out the metal plate 51 of a predetermined length to produce the test piece 66, and a measurement step of measuring the warp of the test piece 66. . In the test piece manufacturing step, for example, a metal plate 51 having a predetermined length is cut from the wound body 50. For example, the metal plate 51 of the wound body 50 is cut using a large blade such as a shear. As the test piece 66, the metal plate 51 located on the outermost side among the metal plates 51 wound around the shaft member 52 is used.
　なお、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１に生じる反りの程度は、金属板５１のうち最も内側の部分において、すなわち最も軸部材５２側に位置する金属板５１において最大になる。一方、本実施の形態において、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１の外径Ｒ３と軸部材５２の外径Ｒ２の差は、軸部材５２の外径Ｒ２に比べて小さい。例えば、軸部材５２の外径Ｒ２に対する、金属板５１の外径Ｒ３と軸部材５２の外径Ｒ２の差の比率、すなわち（Ｒ３－Ｒ２）／Ｒ２は、１／５以下であり、１／１０以下の場合もある。このため、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１のうち最も外側に位置する金属板５１を試験片６６として用いて反りを測定することは、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１のうち最も内側に位置する金属板５１に生じる反りの有用な指標になり得ると考える。 It should be noted that the degree of warpage generated in the metal plate 51 wound around the shaft member 52 is maximized in the innermost portion of the metal plate 51, that is, in the metal plate 51 positioned closest to the shaft member 52. On the other hand, in the present embodiment, the difference between the outer diameter R3 of the metal plate 51 wound around the shaft member 52 and the outer diameter R2 of the shaft member 52 is smaller than the outer diameter R2 of the shaft member 52. For example, the ratio of the difference between the outer diameter R3 of the metal plate 51 and the outer diameter R2 of the shaft member 52 relative to the outer diameter R2 of the shaft member 52, that is, (R3-R2) / R2 is 1/5 or less, and 1 / There may be 10 or less. For this reason, measuring the warp using the metal plate 51 located on the outermost side among the metal plates 51 wound around the shaft member 52 as the test piece 66 means that the metal plate 51 wound around the shaft member 52 It is considered that this can be a useful index of warpage occurring in the innermost metal plate 51.
　図１１は、金属板５１からなる試験片６６に生じている反りを測定する方法を示す図である。図１２は、図１１の試験片６６を矢印XIIの方向から見た場合を示す図である。図１２において、符号Ｌ１は、長さ方向Ｆ１における試験片６６の寸法を表し、符号Ｌ２は、幅方向Ｆ２における試験片６６の寸法を表す。試験片６６の寸法Ｌ１は、４００ｍｍ以上６００ｍｍ以下であり、例えば５００ｍｍである。試験片６６の寸法Ｌ２は、幅方向Ｆ２における金属板５１の寸法Ｗ１に等しく、例えば１５０ｍｍ以上１３００ｍｍ以下である。試験片６６の寸法Ｌ２、すなわち金属板５１の寸法Ｗ１は、図１２に示すように、金属板５１の幅方向Ｆ２に沿って複数の蒸着マスク２０を金属板５１に割り付けることができる程度に大きいことが好ましい。 FIG. 11 is a diagram showing a method of measuring the warp generated in the test piece 66 made of the metal plate 51. As shown in FIG. FIG. 12 is a diagram showing a case where the test piece 66 of FIG. 11 is viewed from the direction of the arrow XII. In FIG. 12, the symbol L1 represents the dimension of the test piece 66 in the length direction F1, and the symbol L2 represents the dimension of the test piece 66 in the width direction F2. The dimension L1 of the test piece 66 is not less than 400 mm and not more than 600 mm, for example, 500 mm. The dimension L2 of the test piece 66 is equal to the dimension W1 of the metal plate 51 in the width direction F2, for example, 150 mm or more and 1300 mm or less. The dimension L2 of the test piece 66, that is, the dimension W1 of the metal plate 51 is large enough to allocate the plurality of vapor deposition masks 20 to the metal plate 51 along the width direction F2 of the metal plate 51, as shown in FIG. It is preferable.
　測定工程においては、まず、図１１に示すように、壁などの被着体６７の鉛直面６７ａに試験片６６の一部を固定する。例えば、試験片６６を構成する金属板５１の、長さ方向Ｆ１における第１端部５１ｅを、第１端部５１ｅが上方に位置するように鉛直面６７ａに固定する。この際、試験片６６の面のうち、試験片６６に生じている反りの曲率半径の方向において外側に位置する面を、被着体６７の鉛直面６７ａに対向させる。例えば、図１１に示すように、金属板５１の第２面５１ｂから第１面５１ａに向かう方向において凸状の反りが試験片６６に生じている場合、金属板５１の第１面５１ａと被着体６７の鉛直面６７ａとを対向させる。第１端部５１ｅの固定方法は任意である。例えば、接着剤、片面テープ、両面テープ、磁石等を用いて第１端部５１ｅを鉛直面６７ａに固定することができる。 In the measurement process, first, as shown in FIG. 11, a part of the test piece 66 is fixed to the vertical surface 67a of the adherend 67 such as a wall. For example, the 1st end part 51e in the length direction F1 of the metal plate 51 which comprises the test piece 66 is fixed to the vertical surface 67a so that the 1st end part 51e may be located upwards. At this time, of the surfaces of the test piece 66, the surface located on the outer side in the direction of the curvature radius of the curvature generated in the test piece 66 is opposed to the vertical surface 67 a of the adherend 67. For example, as shown in FIG. 11, when a convex warp occurs in the test piece 66 in the direction from the second surface 51b of the metal plate 51 to the first surface 51a, the first surface 51a of the metal plate 51 The vertical surface 67a of the landing body 67 is opposed. The fixing method of the 1st end part 51e is arbitrary. For example, the first end 51e can be fixed to the vertical surface 67a using an adhesive, a single-sided tape, a double-sided tape, a magnet, or the like.
　続いて、図１１に示すように、長さ方向Ｆ１において第１端部５１ｅと対向している第２端部５１ｆと、被着体６７の鉛直面６７ａとの間に生じている隙間Ｓ１を測定する。隙間Ｓ１を測定する測定器としては、例えば定規、ノギス等を用いることができる。 Subsequently, as illustrated in FIG. 11, a gap S <b> 1 generated between the second end 51 f facing the first end 51 e in the length direction F <b> 1 and the vertical surface 67 a of the adherend 67 is formed. taking measurement. For example, a ruler or a caliper can be used as a measuring instrument for measuring the gap S1.
　隙間Ｓ１が閾値以下である場合に、試験片６６が取り出された巻回体５０を合格と判定する判定工程を実施してもよい。閾値は、好ましくは２０ｍｍ以下であり、より好ましくは１５ｍｍ以下である。判定工程は、巻回体５０の製造者が実施してもよく、巻回体５０の使用者が実施してもよい。巻回体５０の使用者が判定工程を実施する場合、判定工程の後、合格と判定された巻回体５０の金属板５１を用いて蒸着マスク２０を作製してもよい。この場合、判定工程を含む上述の検査工程は、蒸着マスク２０の製造方法の一部であると言える。なお、蒸着マスク２０の製造方法は、上述の検査工程を常には備えていなくてもよい。 When the gap S1 is less than or equal to the threshold value, a determination process for determining that the wound body 50 from which the test piece 66 has been taken out is acceptable may be performed. The threshold is preferably 20 mm or less, more preferably 15 mm or less. The manufacturer of the wound body 50 may implement the determination process, and the user of the wound body 50 may implement it. When the user of the wound body 50 performs the determination step, the vapor deposition mask 20 may be manufactured using the metal plate 51 of the wound body 50 determined to be acceptable after the determination step. In this case, it can be said that the above-described inspection process including the determination process is a part of the method of manufacturing the vapor deposition mask 20. In addition, the manufacturing method of the vapor deposition mask 20 does not always need to be provided with the above-mentioned inspection process.
　次に、上述の巻回体５０の軸部材５２に巻き付けられた金属板５１を用いて蒸着マスク２０を製造する方法について、主に図１３～図１７を参照して説明する。図１３は、金属板５１を用いて蒸着マスク２０を製造する製造装置７０を示す図である。まず、軸部材５２に巻き付けられた金属板５１を含む巻回体５０を準備する。続いて、巻回体５０の金属板５１を軸部材５２から巻き出して、金属板５１を図１３に示すレジスト膜形成装置７１、露光・現像装置７２、エッチング装置７３、剥膜装置７４及び分離装置７５へ順次搬送する。なお、図１３においては、金属板５１がその長さ方向Ｆ１に搬送されることによって装置の間を移動する例が示されているが、これに限られることはない。例えば、レジスト膜形成装置７１においてレジスト膜が設けられた金属板５１を軸部材５２に再び巻き取った後、巻回体の状態の金属板５１を露光・現像装置７２に供給してもよい。また、露光・現像装置７２において露光・現像処理されたレジスト膜が設けられた状態の金属板５１を軸部材５２に再び巻き取った後、巻回体の状態の金属板５１をエッチング装置７３に供給してもよい。また、エッチング装置７３においてエッチングされた金属板５１を軸部材５２に再び巻き取った後、巻回体の状態の金属板５１を剥膜装置７４に供給してもよい。また、剥膜装置７４において後述する樹脂５４などが除去された金属板５１を軸部材５２に再び巻き取った後、巻回体の状態の金属板５１を分離装置７５に供給してもよい。 Next, a method for manufacturing the vapor deposition mask 20 using the metal plate 51 wound around the shaft member 52 of the wound body 50 described above will be described mainly with reference to FIGS. FIG. 13 is a diagram showing a manufacturing apparatus 70 that manufactures the vapor deposition mask 20 using the metal plate 51. First, the wound body 50 including the metal plate 51 wound around the shaft member 52 is prepared. Subsequently, the metal plate 51 of the wound body 50 is unwound from the shaft member 52, and the metal plate 51 is removed from the resist film forming device 71, the exposure / development device 72, the etching device 73, the film removal device 74 and the separation shown in FIG. It conveys to the apparatus 75 sequentially. In addition, in FIG. 13, although the example which moves between apparatuses is shown by the metal plate 51 being conveyed in the length direction F1, it is not restricted to this. For example, after the metal plate 51 provided with the resist film in the resist film forming apparatus 71 is wound around the shaft member 52 again, the metal plate 51 in a wound state may be supplied to the exposure / development device 72. Further, after the metal plate 51 provided with the resist film exposed and developed in the exposure / development apparatus 72 is wound around the shaft member 52 again, the metal plate 51 in the wound state is transferred to the etching apparatus 73. You may supply. Alternatively, the metal plate 51 etched in the etching device 73 may be wound around the shaft member 52 again, and then the metal plate 51 in a wound state may be supplied to the film peeling device 74. Alternatively, after the metal plate 51 from which the resin 54 and the like to be described later have been removed in the film peeling device 74 is wound around the shaft member 52 again, the metal plate 51 in a wound state may be supplied to the separation device 75.
　レジスト膜形成装置７１は、金属板５１の表面にレジスト膜を設ける。露光・現像装置７２は、レジスト膜に露光処理及び現像処理を施すことにより、レジスト膜をパターニングしてレジストパターンを形成する。 The resist film forming apparatus 71 provides a resist film on the surface of the metal plate 51. The exposure / development device 72 performs exposure processing and development processing on the resist film, thereby patterning the resist film to form a resist pattern.
　エッチング装置７３は、レジストパターンをマスクとして金属板５１をエッチングして、金属板５１に貫通孔２５を形成する。なお本実施の形態においては、複数枚の蒸着マスク２０に対応する多数の貫通孔２５を金属板５１に形成する。言い換えると、金属板５１に複数枚の蒸着マスク２０を割り付ける。例えば、金属板５１の幅方向Ｆ２に複数の有効領域２２が並び、且つ、金属板５１の長さ方向Ｆ１に複数の蒸着マスク２０用の有効領域２２が並ぶよう、金属板５１に多数の貫通孔２５を形成する。剥膜装置７４は、レジストパターンや後述する樹脂５４などの、金属板５１のうちエッチングされない部分をエッチング液から保護するために設けられた構成要素を剥離させる。 Etching device 73 etches metal plate 51 using the resist pattern as a mask to form through hole 25 in metal plate 51. In the present embodiment, a large number of through holes 25 corresponding to the plurality of vapor deposition masks 20 are formed in the metal plate 51. In other words, a plurality of vapor deposition masks 20 are assigned to the metal plate 51. For example, a plurality of effective areas 22 are arranged in the width direction F <b> 2 of the metal plate 51 and a large number of penetrations are made in the metal plate 51 so that the effective areas 22 for the plurality of vapor deposition masks 20 are arranged in the length direction F <b> 1 of the metal plate 51. Hole 25 is formed. The film peeling device 74 peels off components provided to protect a portion of the metal plate 51 that is not etched, such as a resist pattern and a resin 54 described later, from the etchant.
　分離装置７５は、金属板５１のうち１枚分の蒸着マスク２０に対応する複数の貫通孔２５が形成された部分を金属板５１から分離する分離工程を実施する。このようにして、枚葉状の蒸着マスク２０を得ることができる。 The separation device 75 performs a separation step of separating the portion of the metal plate 51 in which the plurality of through holes 25 corresponding to one vapor deposition mask 20 are formed from the metal plate 51. Thus, the sheet-like vapor deposition mask 20 can be obtained.
　以下、蒸着マスク２０の製造方法の各工程について詳細に説明する。 Hereinafter, each process of the manufacturing method of the vapor deposition mask 20 will be described in detail.
　まず、巻回体５０を製造装置７０に設置する。例えば、巻回体５０を、レジスト膜形成装置７１に向けて金属板５１を巻き出すための図示しない巻出装置に設置する。 First, the wound body 50 is installed in the manufacturing apparatus 70. For example, the wound body 50 is installed in an unillustrated unwinding device for unwinding the metal plate 51 toward the resist film forming device 71.
　ここで本実施の形態においては、軸部材５２の外径Ｒ２は５５０ｍｍ以下であり、より好ましくは３００ｍｍ以下である。また、軸部材５２には中空部が形成されている。また、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１の厚みＴは小さく、例えば５０μｍ以下である。このため、金属板５１及び軸部材５２を備える巻回体５０の重量が、従来の蒸着マスク２０の製造工程において用いられていた巻回体に比べて小さい。本実施の形態の巻回体５０の重量は、例えば７０ｋｇ以下であり、好ましくは５０ｋｇ以下である。このため、巻回体５０を製造装置７０に設置する工程を、フォークリフトなどの運搬装置を用いることなく実施することができる。例えば、２人の作業者のうちの一方が軸部材５２の一端を支持し、他方が他端を支持しながら巻回体５０を運搬することにより、巻回体５０を製造装置７０に設置することができる。このため、運搬装置を進入させるための空間を蒸着マスク２０の製造装置に設けることなく、巻回体５０を製造装置７０に設置することができる。これにより、運搬装置を用いて巻回体５０の設置を行っていた従来の製造装置に比べて、製造装置７０の面積を小さくすることができる。 Here, in the present embodiment, the outer diameter R2 of the shaft member 52 is 550 mm or less, and more preferably 300 mm or less. The shaft member 52 is formed with a hollow portion. Further, the thickness T of the metal plate 51 wound around the shaft member 52 is small, for example, 50 μm or less. For this reason, the weight of the wound body 50 including the metal plate 51 and the shaft member 52 is smaller than that of the wound body used in the manufacturing process of the conventional vapor deposition mask 20. The weight of the wound body 50 of the present embodiment is, for example, 70 kg or less, and preferably 50 kg or less. For this reason, the process which installs the winding body 50 in the manufacturing apparatus 70 can be implemented, without using conveyance apparatuses, such as a forklift. For example, one of the two workers supports one end of the shaft member 52 and the other supports the other end, and transports the wound body 50 to install the wound body 50 in the manufacturing apparatus 70. be able to. For this reason, the winding body 50 can be installed in the manufacturing apparatus 70 without providing a space for allowing the transport device to enter the manufacturing apparatus of the vapor deposition mask 20. Thereby, the area of the manufacturing apparatus 70 can be made small compared with the conventional manufacturing apparatus which has installed the wound body 50 using the conveying apparatus.
　なお、本実施の形態の巻回体５０においても、作業の安全性などを重視し、フォークリフトなどの運搬装置を用いて巻回体５０を製造装置７０に設置してもよい。 In addition, in the wound body 50 of the present embodiment, the wound body 50 may be installed in the manufacturing apparatus 70 using a transport device such as a forklift with emphasis on work safety.
　続いて、レジスト膜形成装置７１を用いて、巻出装置から巻き出された金属板５１の第１面５１ａ上および第２面５１ｂ上に、図１４に示すようにレジスト膜５３ａ、５３ｂを形成する。例えば、アクリル系光硬化性樹脂などの感光性レジスト材料を含むドライフィルムを金属板５１の第１面５１ａ上および第２面５１ｂ上に貼り付けることによって、レジスト膜５３ａ、５３ｂを形成する。若しくは、ネガ型の感光性レジスト材料を含む塗布液を金属板５１の第１面５１ａ上および第２面５１ｂ上に塗布し、塗布液を乾燥させることにより、レジスト膜５３ａ、５３ｂを形成してもよい。 Subsequently, using the resist film forming apparatus 71, resist films 53a and 53b are formed on the first surface 51a and the second surface 51b of the metal plate 51 unwound from the unwinding apparatus as shown in FIG. To do. For example, resist films 53 a and 53 b are formed by attaching a dry film containing a photosensitive resist material such as an acrylic photo-curable resin on the first surface 51 a and the second surface 51 b of the metal plate 51. Alternatively, a coating liquid containing a negative photosensitive resist material is applied onto the first surface 51a and the second surface 51b of the metal plate 51, and the coating liquid is dried to form resist films 53a and 53b. Also good.
　続いて、露光・現像装置７２を用いて、レジスト膜５３ａ、５３ｂを露光及び現像する。これにより、図１５に示すように、金属板５１の第１面５１ａ上に第１レジストパターン５３ｃを形成し、金属板５１の第２面５１ｂ上に第２レジストパターン５３ｄを形成することができる。 Subsequently, using the exposure / development apparatus 72, the resist films 53a and 53b are exposed and developed. As a result, as shown in FIG. 15, the first resist pattern 53c can be formed on the first surface 51a of the metal plate 51, and the second resist pattern 53d can be formed on the second surface 51b of the metal plate 51. .
　続いて、エッチング装置７３を用いて、レジストパターン５３ｃ，５３ｄをマスクとして金属板５１をエッチングする。具体的には、まず、図１６に示すように、金属板５１の第１面５１ａのうち第１レジストパターン５３ｃによって覆われていない領域を、第１エッチング液を用いてエッチングする。例えば、第１エッチング液を、搬送される金属板５１の第１面５１ａに対面する側に配置されたノズルから、第１レジストパターン５３ｃ越しに金属板５１の第１面５１ａに向けて噴射する。この結果、図１６に示すように、金属板５１のうちの第１レジストパターン５３ｃによって覆われていない領域で、第１エッチング液による浸食が進む。これによって、金属板５１の第１面５１ａに多数の第１凹部３０が形成される。第１エッチング液としては、例えば塩化第２鉄溶液及び塩酸を含むものを用いる。 Subsequently, using the etching apparatus 73, the metal plate 51 is etched using the resist patterns 53c and 53d as a mask. Specifically, as shown in FIG. 16, first, a region of the first surface 51a of the metal plate 51 that is not covered with the first resist pattern 53c is etched using the first etching solution. For example, the first etching liquid is sprayed from the nozzle disposed on the side facing the first surface 51a of the metal plate 51 to be conveyed toward the first surface 51a of the metal plate 51 through the first resist pattern 53c. . As a result, as shown in FIG. 16, erosion by the first etching solution proceeds in a region of the metal plate 51 that is not covered with the first resist pattern 53c. As a result, a large number of first recesses 30 are formed in the first surface 51 a of the metal plate 51. As the first etching solution, for example, a solution containing a ferric chloride solution and hydrochloric acid is used.
　次に、図１７に示すように、金属板５１の第２面５１ｂのうち第２レジストパターン５３ｄによって覆われていない領域をエッチングし、第２面５１ｂに第２凹部３５を形成する。第２面５１ｂのエッチングは、第１凹部３０と第２凹部３５とが互いに通じ合い、これによって貫通孔２５が形成されるようになるまで実施される。第２エッチング液としては、上述の第１エッチング液と同様に、例えば塩化第２鉄溶液及び塩酸を含むものを用いる。なお、第２面５１ｂのエッチングの際、図１７に示すように、第２エッチング液に対する耐性を有した樹脂５４によって第１凹部３０が被覆されていてもよい。 Next, as shown in FIG. 17, a region of the second surface 51b of the metal plate 51 that is not covered with the second resist pattern 53d is etched to form a second recess 35 in the second surface 51b. The etching of the second surface 51b is performed until the first recess 30 and the second recess 35 communicate with each other, and thereby the through hole 25 is formed. As the second etching solution, for example, a solution containing a ferric chloride solution and hydrochloric acid is used in the same manner as the first etching solution. When the second surface 51b is etched, as shown in FIG. 17, the first recess 30 may be covered with a resin 54 having resistance to the second etching solution.
　その後、剥膜装置７４を用いて、金属板５１から樹脂５４を除去する。樹脂５４は、例えばアルカリ系剥離液を用いることによって、除去することができる。アルカリ系剥離液が用いられる場合、樹脂５４と同時にレジストパターン５３ｃ，５３ｄも除去される。なお、樹脂５４を除去した後、樹脂５４を剥離させるための剥離液とは異なる剥離液を用いて、樹脂５４とは別途にレジストパターン５３ｃ，５３ｄを除去してもよい。 Thereafter, the resin 54 is removed from the metal plate 51 using the film peeling device 74. The resin 54 can be removed by using, for example, an alkaline stripping solution. When an alkaline stripping solution is used, the resist patterns 53 c and 53 d are removed simultaneously with the resin 54. In addition, after removing the resin 54, the resist patterns 53c and 53d may be removed separately from the resin 54 by using a remover different from the remover for removing the resin 54.
　その後、金属板５１に割り付けられた複数の蒸着マスク２０を１つ１つ取り出す。例えば、金属板５１のうち１枚分の蒸着マスク２０に対応する複数の貫通孔２５が形成された部分を金属板５１のその他の部分から分離する。これにより、蒸着マスク２０を得ることができる。なお、分離工程を実施する前に、適切な数の蒸着マスク２０が割り付けられた金属板５１の部分を切断してもよい。この場合、分離工程においては、適切な数の蒸着マスク２０が割り付けられたシート状の金属板５１から、蒸着マスク２０が１つ１つ取り出される。蒸着マスク２０を金属板５１から取り出す方法としては、レーザー加工により蒸着マスク２０を金属板５１から分離する方法、作業者が手で蒸着マスク２０を金属板５１から分離する方法など、様々な方法を採用することができる。 Thereafter, the plurality of vapor deposition masks 20 assigned to the metal plate 51 are taken out one by one. For example, the portion of the metal plate 51 in which the plurality of through holes 25 corresponding to the vapor deposition mask 20 for one sheet is formed is separated from the other portions of the metal plate 51. Thereby, the vapor deposition mask 20 can be obtained. In addition, you may cut | disconnect the part of the metal plate 51 to which the appropriate number of vapor deposition mask 20 was allocated before implementing a isolation | separation process. In this case, in the separation step, the vapor deposition masks 20 are taken out one by one from the sheet-like metal plate 51 to which an appropriate number of vapor deposition masks 20 is assigned. As a method of taking out the vapor deposition mask 20 from the metal plate 51, various methods such as a method of separating the vapor deposition mask 20 from the metal plate 51 by laser processing and a method of separating the vapor deposition mask 20 by hand from the metal plate 51 are available. Can be adopted.
　なお、金属板５１に貫通孔２５を形成する方法がエッチングに限られることはない。例えば、金属板５１にレーザーを照射するレーザー加工によって金属板５１に貫通孔２５を形成してもよい。 Note that the method of forming the through hole 25 in the metal plate 51 is not limited to etching. For example, the through hole 25 may be formed in the metal plate 51 by laser processing that irradiates the metal plate 51 with a laser.
　続いて、蒸着マスク２０を検査する検査工程を実施する。検査工程は、蒸着マスク２０の構成要素の位置を検査する工程、蒸着マスク２０の構成要素の寸法を検査する工程、又は、蒸着マスク２０の２つの構成要素間の距離を検査する工程の少なくともいずれか１つを含む。検査対象の構成要素は、例えば貫通孔２５である。 Subsequently, an inspection process for inspecting the vapor deposition mask 20 is performed. The inspection step is at least one of a step of inspecting positions of components of the vapor deposition mask 20, a step of inspecting dimensions of components of the vapor deposition mask 20, and a step of inspecting the distance between two components of the vapor deposition mask 20. One of them. The component to be inspected is, for example, the through hole 25.
　検査工程においては、まず、図１８に示すように、検査台６８の水平面６８ａ上に蒸着マスク２０を載置する。図１９は、図１８の蒸着マスク２０及び検査台６８を矢印XIXの方向から見た場合を示す図である。検査台６８は、例えばガラス板である。図１９に示すように、蒸着マスク２０の第１面２０ａが検査台６８の水平面６８ａと対向するよう、蒸着マスク２０を検査台６８に載置する。蒸着マスク２０が延びる第１方向Ｄ１は、金属板５１の長さ方向Ｆ１に一致していてもよい。第１方向Ｄ１における蒸着マスク２０の寸法は、５００ｍｍ以上１３００ｍｍ以下であり、例えば１２００ｍｍである。また、第２方向Ｄ２における蒸着マスク２０の寸法は、３０ｍｍ以上４００ｍｍ以下であり、例えば７０ｍｍである。 In the inspection process, first, as shown in FIG. 18, the vapor deposition mask 20 is placed on the horizontal surface 68 a of the inspection table 68. FIG. 19 is a diagram showing a case where the vapor deposition mask 20 and the inspection table 68 of FIG. 18 are viewed from the direction of the arrow XIX. The inspection table 68 is a glass plate, for example. As shown in FIG. 19, the vapor deposition mask 20 is placed on the inspection table 68 so that the first surface 20 a of the vapor deposition mask 20 faces the horizontal surface 68 a of the inspection table 68. A first direction D <b> 1 in which the vapor deposition mask 20 extends may coincide with the length direction F <b> 1 of the metal plate 51. The dimension of the vapor deposition mask 20 in the first direction D1 is not less than 500 mm and not more than 1300 mm, for example, 1200 mm. The dimension of the vapor deposition mask 20 in the second direction D2 is 30 mm or more and 400 mm or less, for example, 70 mm.
　検査工程においては、例えば、水平面６８ａの法線方向に沿って蒸着マスク２０の第１面２０ａ又は第２面２０ｂの一方の側から蒸着マスク２０に光を照射する。また、蒸着マスク２０の貫通孔２５を通過して蒸着マスク２０の第１面２０ａ又は第２面２０ｂの他方の側から出射した光を、検出器を用いて検出する。続いて、検出された光のパターンに基づいて、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置、面積、形状などに関する情報を得る。これらの情報に基づいて、蒸着マスク２０の合否を判定することができる。なお、蒸着マスク２０によって反射された光のパターンに基づいて、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置、面積、形状などに関する情報を得てもよい。 In the inspection process, for example, the vapor deposition mask 20 is irradiated with light from one side of the first surface 20a or the second surface 20b of the vapor deposition mask 20 along the normal direction of the horizontal plane 68a. Moreover, the light which passed through the through-hole 25 of the vapor deposition mask 20 and was radiate | emitted from the other side of the 1st surface 20a or the 2nd surface 20b of the vapor deposition mask 20 is detected using a detector. Subsequently, based on the detected light pattern, information on the position, area, shape, and the like of the through hole 25 of the vapor deposition mask 20 is obtained. Based on these pieces of information, the pass / fail of the vapor deposition mask 20 can be determined. Note that information on the position, area, shape, and the like of the through hole 25 of the vapor deposition mask 20 may be obtained based on the light pattern reflected by the vapor deposition mask 20.
　ところで、金属板５１が軸部材５２に巻き付けられていたことに起因する反りが蒸着マスク２０に残っている場合、図１９に示すように、蒸着マスク２０と検査台６８の水平面６８ａとの間に隙間Ｓ２が生じることがある。図１９に示すように蒸着マスク２０を水平面６８ａに載置する場合は、図１１に示すように金属板５１を鉛直面６７ａに固定する場合に比べて、蒸着マスク２０の自重に起因して蒸着マスク２０の金属板５１と水平面６８ａとの間の距離が小さくなりやすい。このため、隙間Ｓ２は、隙間Ｓ１よりも小さくなりやすい。しかしながら、蒸着マスク２０の貫通孔２５の位置、面積、形状などには高い精度が要求されるので、以下に説明するように、隙間Ｓ２が問題を生じさせ得る。 By the way, when the warp resulting from the metal plate 51 being wound around the shaft member 52 remains in the vapor deposition mask 20, as shown in FIG. 19, it is between the vapor deposition mask 20 and the horizontal plane 68 a of the inspection table 68. A gap S2 may occur. As shown in FIG. 19, when the vapor deposition mask 20 is placed on the horizontal plane 68a, vapor deposition occurs due to the weight of the vapor deposition mask 20 as compared with the case where the metal plate 51 is fixed to the vertical surface 67a as shown in FIG. The distance between the metal plate 51 of the mask 20 and the horizontal plane 68a tends to be small. For this reason, the gap S2 tends to be smaller than the gap S1. However, since high accuracy is required for the position, area, shape, and the like of the through hole 25 of the vapor deposition mask 20, the gap S2 can cause a problem as described below.
　蒸着マスク２０の反りの程度が大きく、隙間Ｓ２が大きくなるほど、光のパターンに基づいて得られる、貫通孔２５の位置、面積、形状などの情報が、蒸着マスク２０の面方向における実際の貫通孔２５の位置、面積、形状などから逸脱してしまう。このため、蒸着マスク２０の反りが大きくなるほど、蒸着マスク２０の検査工程の精度が低下してしまう。蒸着マスク２０の反りが更に大きくなると、蒸着マスク２０の貫通孔２５を通過した光、又は蒸着マスク２０によって反射された光が検出器に到達できなくなることも考えられる。 As the degree of warpage of the vapor deposition mask 20 is larger and the gap S2 is larger, information such as the position, area, and shape of the through hole 25 obtained based on the light pattern is the actual through hole in the surface direction of the vapor deposition mask 20. It deviates from the position, area, shape, etc. of 25. For this reason, the accuracy of the inspection process of the vapor deposition mask 20 decreases as the warpage of the vapor deposition mask 20 increases. If the warpage of the vapor deposition mask 20 is further increased, the light that has passed through the through hole 25 of the vapor deposition mask 20 or the light reflected by the vapor deposition mask 20 may not reach the detector.
　ここで本実施の形態においては、上述のように、巻回体５０の軸部材５２の外径Ｒ２が少なくとも１２５ｍｍ以上又は１５０ｍｍ以上である。言い換えると、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１のうち最も軸部材５２側に位置する部分の内径が１２５ｍｍ以上又は１５０ｍｍ以上である。このため、軸部材５２に巻き付けられていた金属板５１に反りが残ることを抑制することができる。例えば、金属板５１から取り出された試験片６６を鉛直面６７ａに固定した場合に生じる上述の隙間Ｓ１を、２０ｍｍ以下に抑制することができ、より好ましくは１５ｍｍ以下に抑制することができる。このため、金属板５１から作製された蒸着マスク２０を水平面６８ａに載置した場合に生じる上述の隙間Ｓ２を、０．５ｍｍ以下に抑制することができ、より好ましくは０．２５ｍｍ以下に抑制することができる。これにより、蒸着マスク２０の検査工程において、貫通孔２５の位置、面積、形状などに関する情報を高い精度で得ることができる。 Here, in the present embodiment, as described above, the outer diameter R2 of the shaft member 52 of the wound body 50 is at least 125 mm or more or 150 mm or more. In other words, the inner diameter of the portion of the metal plate 51 wound around the shaft member 52 that is located closest to the shaft member 52 is 125 mm or more or 150 mm or more. For this reason, it can suppress that curvature remains in the metal plate 51 wound around the shaft member 52. For example, the above-described gap S1 generated when the test piece 66 taken out from the metal plate 51 is fixed to the vertical surface 67a can be suppressed to 20 mm or less, more preferably 15 mm or less. For this reason, the above-mentioned gap S2 generated when the vapor deposition mask 20 produced from the metal plate 51 is placed on the horizontal surface 68a can be suppressed to 0.5 mm or less, and more preferably to 0.25 mm or less. be able to. Thereby, in the inspection process of the vapor deposition mask 20, information on the position, area, shape, and the like of the through hole 25 can be obtained with high accuracy.
　なお、蒸着マスク２０の反りを抑制するという観点から考えると、軸部材５２の外径Ｒ２が大きいことが好ましい。しかしながら、軸部材５２の外径Ｒ２が大きくなると、巻回体５０の重量が増加し、巻回体５０の輸送、設置などの困難さが増加する。この点を考慮し、本実施の形態において、軸部材５２の外径Ｒ２は、例えば５５０ｍｍ以下であり、より好ましくは３００ｍｍ以下である。 In view of suppressing the warpage of the vapor deposition mask 20, it is preferable that the outer diameter R2 of the shaft member 52 is large. However, when the outer diameter R2 of the shaft member 52 is increased, the weight of the wound body 50 increases, and the difficulty of transporting and installing the wound body 50 increases. Considering this point, in the present embodiment, the outer diameter R2 of the shaft member 52 is, for example, 550 mm or less, and more preferably 300 mm or less.
　また、軸部材５２の外径Ｒ２を大きくしながら、巻回体５０の重量を抑制する方法として、軸部材５２に巻き付けられる金属板５１の長さを短くすることも考えられる。しかしながら、巻回体５０の金属板５１の先端を製造装置７０の露光・現像装置７２、エッチング装置７３などの各装置に投入した当初は、各装置によって実施される工程が不安定になり易い。このため、巻回体５０の金属板５１の先端近傍から作製された蒸着マスク２０においては、品質のばらつきが大きくなりやすい。従って、品質のばらつきの小さい複数の蒸着マスク２０を１つの巻回体５０から作製するためには、巻回体５０の金属板５１の長さがある程度必要になる。巻回体５０の金属板５１の、長さ方向Ｆ１における長さは、好ましくは２００ｍ以上であり、より好ましくは３００ｍ以上であり、更に好ましくは４００ｍ以上又は５００ｍ以上であり、６００ｍ以上であってもよい。  Further, as a method of suppressing the weight of the wound body 50 while increasing the outer diameter R2 of the shaft member 52, it is conceivable to shorten the length of the metal plate 51 wound around the shaft member 52. However, when the leading end of the metal plate 51 of the wound body 50 is initially introduced into each apparatus such as the exposure / development apparatus 72 and the etching apparatus 73 of the manufacturing apparatus 70, the process performed by each apparatus tends to become unstable. For this reason, in the vapor deposition mask 20 produced from the vicinity of the front end of the metal plate 51 of the wound body 50, the quality variation tends to increase. Therefore, in order to produce a plurality of vapor deposition masks 20 with small variations in quality from one wound body 50, the length of the metal plate 51 of the wound body 50 is required to some extent. The length of the metal plate 51 of the wound body 50 in the length direction F1 is preferably 200 m or more, more preferably 300 m or more, still more preferably 400 m or more or 500 m or more, and 600 m or more. Also good.
　このような背景の下で、本実施の特に好ましい形態においては、巻回体５０の金属板５１の長さを少なくとも２００ｍ以上にしながら、金属板５１の厚みＴを３０μｍ以下にすることにより、金属板５１の重量を低減する。また、軸部材５２の外径Ｒ２を３００ｍｍ以下にすることにより、巻回体５０全体の重量を低減する。また、金属板５１の厚みＴが３０μｍ以下であるので、軸部材５２の外径Ｒ２が１２５ｍｍや１５０ｍｍのように小さい場合であっても、金属板５１に反りが残ることを抑制することができる。また、金属板５１の重量が低減されているので、軸部材５２に求められる強度や剛性が低くなる。このため、軸部材５２として中空状部材を用いることができる。また、軸部材５２を構成する材料として、フェノール樹脂などの、金属に比べて軽い樹脂を用いることができる。これにより、巻回体５０全体の重量を更に低減することができ、例えば、７０ｋｇ以下又は５０ｋｇ以下にすることができる。このことにより、巻回体５０の輸送、設置などの困難さを軽減することができる。例えば、巻回体５０を製造装置７０に設置する工程を、フォークリフトなどの運搬装置を用いることなく２人の作業者が人力で実施することができる。これにより、運搬装置を用いて巻回体５０の設置を行っていた従来の製造装置に比べて、製造装置７０の面積を小さくすることができる。このように、本実施の特に好ましい形態によれば、金属板５１の反りを抑制しながら、巻回体５０の輸送、設置などの困難さを軽減することができる。 Under such a background, in a particularly preferred embodiment of the present invention, the metal plate 51 has a thickness T of 30 μm or less while the length of the metal plate 51 of the wound body 50 is at least 200 m or more. The weight of the plate 51 is reduced. Moreover, the weight of the whole wound body 50 is reduced by setting the outer diameter R2 of the shaft member 52 to 300 mm or less. Further, since the thickness T of the metal plate 51 is 30 μm or less, even when the outer diameter R2 of the shaft member 52 is as small as 125 mm or 150 mm, the metal plate 51 can be prevented from remaining warped. . Further, since the weight of the metal plate 51 is reduced, the strength and rigidity required for the shaft member 52 are reduced. For this reason, a hollow member can be used as the shaft member 52. Further, as a material constituting the shaft member 52, a resin lighter than a metal, such as a phenol resin, can be used. Thereby, the weight of the whole wound body 50 can further be reduced, for example, can be 70 kg or less or 50 kg or less. Thereby, the difficulty of transporting and installing the wound body 50 can be reduced. For example, the process of installing the wound body 50 in the manufacturing apparatus 70 can be performed manually by two workers without using a transport device such as a forklift. Thereby, the area of the manufacturing apparatus 70 can be made small compared with the conventional manufacturing apparatus which has installed the wound body 50 using the conveying apparatus. Thus, according to the particularly preferred embodiment of the present embodiment, it is possible to reduce the difficulty of transporting and installing the wound body 50 while suppressing the warp of the metal plate 51.
　巻回体５０の重量を測定する器具としては、巻回体５０を設置する治具が予め載置されている大型重量計を用いる。 As a device for measuring the weight of the wound body 50, a large scale weighing machine on which a jig for installing the wound body 50 is placed in advance is used.
　本実施の特に好ましい形態においては、巻回体５０の軸部材５２に巻き付けられている金属板５１の長さが、金属板５１の厚みＴに応じて設定されていてもよい。例えば、金属板５１の厚みＴが２０μｍ以下である場合、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１の長さを５５０ｍ以上６５０ｍ以下とし、金属板５１の厚みＴが２０μｍよりも大きく３０μｍ以下である場合、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１の長さを３５０ｍ以上４５０ｍ以下としてもよい。これにより、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１の重量を約５０ｋｇにすることができる。 In a particularly preferable embodiment of the present embodiment, the length of the metal plate 51 wound around the shaft member 52 of the wound body 50 may be set according to the thickness T of the metal plate 51. For example, when the thickness T of the metal plate 51 is 20 μm or less, the length of the metal plate 51 wound around the shaft member 52 is 550 m or more and 650 m or less, and the thickness T of the metal plate 51 is greater than 20 μm and 30 μm or less. In some cases, the length of the metal plate 51 wound around the shaft member 52 may be 350 m or more and 450 m or less. Thereby, the weight of the metal plate 51 wound around the shaft member 52 can be reduced to about 50 kg.
　次に、上述のようにして得られた蒸着マスク２０をフレーム１５に溶接する溶接工程を実施する。これによって、蒸着マスク２０及びフレーム１５を備える蒸着マスク装置１０を得ることができる。 Next, a welding process for welding the vapor deposition mask 20 obtained as described above to the frame 15 is performed. Thereby, the vapor deposition mask apparatus 10 provided with the vapor deposition mask 20 and the flame | frame 15 can be obtained.
　次に、本実施の形態に係る蒸着マスク２０を用いて有機ＥＬ表示装置１００を製造する方法について説明する。有機ＥＬ表示装置１００の製造方法は、蒸着マスク２０を用いて有機ＥＬ基板９２などの基板上に蒸着材料９８を蒸着させる蒸着工程を備える。蒸着工程においては、まず、蒸着マスク２０が有機ＥＬ基板９２に対向するよう蒸着マスク装置１０を配置する。また、磁石９３を用いて蒸着マスク２０を有機ＥＬ基板９２に密着させる。また、蒸着装置９０の内部を真空雰囲気にする。この状態で、蒸着材料９８を蒸発させて蒸着マスク２０を介して有機ＥＬ基板９２へ飛来させることにより、蒸着マスク２０の貫通孔２５に対応したパターンで蒸着材料９８を有機ＥＬ基板９２に付着させることができる。 Next, a method for manufacturing the organic EL display device 100 using the vapor deposition mask 20 according to the present embodiment will be described. The method for manufacturing the organic EL display device 100 includes a vapor deposition process in which a vapor deposition material 98 is vapor-deposited on a substrate such as the organic EL substrate 92 using the vapor deposition mask 20. In the vapor deposition step, first, the vapor deposition mask device 10 is arranged so that the vapor deposition mask 20 faces the organic EL substrate 92. Further, the vapor deposition mask 20 is brought into close contact with the organic EL substrate 92 using the magnet 93. Moreover, the inside of the vapor deposition apparatus 90 is made into a vacuum atmosphere. In this state, the vapor deposition material 98 is evaporated to fly to the organic EL substrate 92 through the vapor deposition mask 20, thereby attaching the vapor deposition material 98 to the organic EL substrate 92 in a pattern corresponding to the through holes 25 of the vapor deposition mask 20. be able to.
　なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、必要に応じて図面を参照しながら、変形例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。また、上述した実施の形態において得られる作用効果が変形例においても得られることが明らかである場合、その説明を省略することもある。 Note that various modifications can be made to the above-described embodiment. Hereinafter, modified examples will be described with reference to the drawings as necessary. In the following description and the drawings used in the following description, the same reference numerals as those used for the corresponding parts in the above embodiment are used for the parts that can be configured in the same manner as in the above embodiment. A duplicate description is omitted. In addition, when it is clear that the operational effects obtained in the above-described embodiment can be obtained in the modified example, the description thereof may be omitted.
　上述の実施の形態においては、軸部材５２に中空部が形成されている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図２０に示すように、巻回体５０の軸部材５２には中空部が形成されていなくてもよい。このような軸部材５２は、金属板５１の厚みが大きく、軸部材５２に巻き付けられている金属板５１の総重量が大きく、このため軸部材５２に高い剛性が求められる場合に好ましく用いられる。例えば、金属板５１の厚みＴが３０μｍよりも大きく５０μｍ以下である場合に用いることができる。なお、金属板５１の厚みＴが３０μｍ以下である場合に、例えば１０μｍ以上３０μｍ以下である場合に、図２０に示す軸部材５２を用いてもよい。 In the above-described embodiment, the example in which the hollow portion is formed in the shaft member 52 is shown. However, it is not restricted to this, As shown in FIG. 20, the hollow part does not need to be formed in the shaft member 52 of the wound body 50. Such a shaft member 52 is preferably used when the thickness of the metal plate 51 is large and the total weight of the metal plate 51 wound around the shaft member 52 is large. Therefore, the shaft member 52 is required to have high rigidity. For example, it can be used when the thickness T of the metal plate 51 is greater than 30 μm and equal to or less than 50 μm. In addition, when the thickness T of the metal plate 51 is 30 μm or less, for example, when the thickness T is 10 μm or more and 30 μm or less, the shaft member 52 shown in FIG. 20 may be used.
　軸部材５２に中空部が形成されていない場合、軸部材５２を構成する材料としては、樹脂、樹脂及び繊維の混合物、金属などを用いることができる。樹脂の例としては、フェノール樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレン樹脂などを挙げることができる。樹脂及び繊維の混合物としては、紙フェノール、繊維強化プラスチック（ＰＲＰ）などを挙げることができる。金属の例としては、鉄又は鉄合金などを挙げることができる。 When the hollow portion is not formed in the shaft member 52, as a material constituting the shaft member 52, a resin, a mixture of resin and fiber, a metal, or the like can be used. Examples of the resin include phenol resin, ABS resin, polystyrene resin, and polyethylene resin. Examples of the resin and fiber mixture include paper phenol and fiber reinforced plastic (PRP). Examples of metals include iron or iron alloys.
　軸部材５２に中空部が形成されていない場合、軸部材５２の外径Ｒ２は、例えば３００ｍｍ以上であり、３５０ｍｍ以上であってもよい。また、軸部材５２に中空部が形成されていない場合、軸部材５２の外径Ｒ２は、例えば５５０ｍｍ以下であり、５００ｍｍ以下であってもよい。 When the hollow portion is not formed in the shaft member 52, the outer diameter R2 of the shaft member 52 is, for example, 300 mm or more, and may be 350 mm or more. Moreover, when the hollow part is not formed in the shaft member 52, the outer diameter R2 of the shaft member 52 is, for example, 550 mm or less, and may be 500 mm or less.
　軸部材５２に中空部が形成されていない場合であっても、巻回体５０の重量は、巻回体５０を製造装置７０に設置する工程を、フォークリフトなどの運搬装置を用いることなく実施することができる程度に小さいことが好ましい。例えば、巻回体５０の重量は１００ｋｇ以下である。この場合、例えば、４人の作業者のうちの２人が軸部材５２の一端側を支持し、残りの２人が他端側を支持しながら、巻回体５０を運搬することにより、巻回体５０を製造装置７０に設置することができる。 Even if the hollow part is not formed in the shaft member 52, the weight of the wound body 50 is implemented without using a transporting device such as a forklift for the step of installing the wound body 50 in the manufacturing apparatus 70. It is preferable that it is small enough. For example, the weight of the wound body 50 is 100 kg or less. In this case, for example, two of the four workers support one end of the shaft member 52 and the remaining two support the other end, while transporting the wound body 50, thereby winding the wound body 50. The rotating body 50 can be installed in the manufacturing apparatus 70.
　上述の本実施の形態においては、金属板５１が、母材を圧延することによって得られる例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、めっき処理を利用した製箔工程によって、所望の厚さを有する金属板５１を作製してもよい。製箔工程においては、例えば、めっき液の中に部分的に浸漬されたステンレス製などのドラムを回転させながら、ドラムの表面にめっき膜を形成し、このめっき膜を剥がしていくことにより、長尺状の金属板をロールトゥーロールで作製することができる。ニッケルを含む鉄合金からなる金属板を作製する場合、めっき液としては、ニッケル化合物を含む溶液と、鉄化合物を含む溶液との混合溶液を用いることができる。例えば、スルファミン酸ニッケルを含む溶液と、スルファミン酸鉄を含む溶液との混合溶液を用いることができる。めっき液には、添加剤が含まれていてもよい。添加剤の例としては、緩衝剤として機能するホウ酸、平滑材として機能するサッカリンやマロン酸、界面活性剤として機能するドデシル硫酸ナトリウム等を挙げることができる。 In the above-described embodiment, the example in which the metal plate 51 is obtained by rolling the base material is shown. However, it is not restricted to this, You may produce the metal plate 51 which has desired thickness by the foil manufacturing process using plating processing. In the foil-making process, for example, by rotating a drum made of stainless steel partially immersed in the plating solution, a plating film is formed on the surface of the drum, and this plating film is peeled off, A scale-like metal plate can be produced by roll-to-roll. When a metal plate made of an iron alloy containing nickel is produced, a mixed solution of a solution containing a nickel compound and a solution containing an iron compound can be used as the plating solution. For example, a mixed solution of a solution containing nickel sulfamate and a solution containing iron sulfamate can be used. The plating solution may contain an additive. Examples of additives include boric acid that functions as a buffer, saccharin and malonic acid that function as a smoothing agent, sodium dodecyl sulfate that functions as a surfactant, and the like.
　このようにして得られた金属板５１に対して、次に、上述のアニール工程を実施してもよい。また、アニール工程の前又は後に、金属板５１の幅を所望の幅に調整するために金属板５１の両端を切り落とす上述のスリット工程を実施してもよい。 Next, the above-described annealing step may be performed on the metal plate 51 thus obtained. In addition, before or after the annealing step, the above-described slit step of cutting off both ends of the metal plate 51 may be performed in order to adjust the width of the metal plate 51 to a desired width.
　めっき処理を利用して金属板５１を作製した場合も、上述の本実施の形態の場合と同様に、１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下の外径Ｒ２を有する軸部材５２に金属板５１を巻き付けて巻回体５０を作製する。これにより、金属板５１が軸部材５２に巻き付けられていたことに起因する反りが、軸部材５２から巻き出された金属板５１や蒸着マスク２０に残ることを抑制することができる。 Even when the metal plate 51 is produced using the plating process, the metal plate 51 is wound around the shaft member 52 having the outer diameter R2 of 150 mm or more and 550 mm or less, as in the case of the above-described embodiment. The body 50 is produced. Thereby, it can suppress that the curvature resulting from the metal plate 51 being wound by the shaft member 52 remains in the metal plate 51 and the vapor deposition mask 20 which were unwound from the shaft member 52.
　上述の本実施の形態においては、軸部材５２が、内径Ｒ１を有する中空状部材である例を示した。この場合、軸部材５２の内径Ｒ１は、図２２に示すように、軸部材５２の軸方向にわたって一定であってもよい。言い換えると、軸部材５２の軸方向に直交する方向において、軸部材５２の中空部５２ｃの寸法が一定であってもよい。若しくは、図２３に示すように、軸部材５２の内径Ｒ１は、軸部材５２の軸方向における位置に応じて変化してもよい。例えば図２３に示すように、軸部材５２は、軸方向における軸部材５２の端部から中心に向うにつれて内径Ｒ１が増加する部分を含んでいてもよい。 In the above-described embodiment, the example in which the shaft member 52 is a hollow member having the inner diameter R1 is shown. In this case, the inner diameter R1 of the shaft member 52 may be constant over the axial direction of the shaft member 52 as shown in FIG. In other words, in the direction orthogonal to the axial direction of the shaft member 52, the dimension of the hollow portion 52c of the shaft member 52 may be constant. Alternatively, as shown in FIG. 23, the inner diameter R1 of the shaft member 52 may change according to the position of the shaft member 52 in the axial direction. For example, as shown in FIG. 23, the shaft member 52 may include a portion where the inner diameter R1 increases from the end of the shaft member 52 in the axial direction toward the center.
　また、図２４に示すように、軸部材５２は、外周部５２ａと隔壁５２ｂとを含んでいてもよい。外周部５２ａは、軸部材５２のうち、軸方向に沿って広がり、金属板５１に接する部分である。外周部５２ａが軸部材５２の内径Ｒ１及び外径Ｒ２を定める。隔壁５２ｂは、軸部材５２のうち、軸部材５２の半径方向において外周部５２ａの内側に位置し、軸方向に直交する方向において中空部５２ｃを横切る部分である。図２４に示す例においても、軸部材５２が中空部５２ｃを有することにより、軸部材５２の重量を低減することができる。これにより、巻回体５０の取り扱いを容易化することができる。また、軸部材５２が隔壁５２ｂを有することにより、軸部材５２の剛性を高めることができる。これにより、軸部材５２の自重や金属板５１の重量に起因して軸部材５２が変形したり破損したりすることを抑制することができる。 As shown in FIG. 24, the shaft member 52 may include an outer peripheral portion 52a and a partition wall 52b. The outer peripheral portion 52 a is a portion of the shaft member 52 that extends along the axial direction and contacts the metal plate 51. The outer peripheral portion 52a defines the inner diameter R1 and the outer diameter R2 of the shaft member 52. The partition wall 52b is a portion of the shaft member 52 that is located inside the outer peripheral portion 52a in the radial direction of the shaft member 52 and crosses the hollow portion 52c in the direction orthogonal to the axial direction. Also in the example illustrated in FIG. 24, the weight of the shaft member 52 can be reduced because the shaft member 52 includes the hollow portion 52 c. Thereby, the handling of the wound body 50 can be facilitated. Further, since the shaft member 52 includes the partition wall 52b, the rigidity of the shaft member 52 can be increased. Thereby, it is possible to prevent the shaft member 52 from being deformed or damaged due to the weight of the shaft member 52 or the weight of the metal plate 51.
　図２５は、図２４のA-A線に沿って切断した場合の巻回体５０の一例を示す断面図である。図２５に示すように、隔壁５２ｂは、軸部材５２の軸方向において隔壁５２ｂの一方の側に位置する中空部５２ｃと隔壁５２ｂの他方の側に位置する中空部５２ｃとが連通するように構成されていてもよい。 FIG. 25 is a cross-sectional view showing an example of the wound body 50 when cut along the line AA in FIG. As shown in FIG. 25, the partition wall 52b is configured such that a hollow portion 52c located on one side of the partition wall 52b in the axial direction of the shaft member 52 communicates with a hollow portion 52c located on the other side of the partition wall 52b. May be.
　図２６は、図２４のA-A線に沿って切断した場合の巻回体５０の一例を示す断面図である。図２６に示すように、隔壁５２ｂは、軸部材５２の軸方向において隔壁５２ｂの一方の側に位置する中空部５２ｃと隔壁５２ｂの他方の側に位置する中空部５２ｃとが隔壁５２ｂによって分離されるように構成されていてもよい。 FIG. 26 is a cross-sectional view showing an example of the wound body 50 when cut along the line AA in FIG. As shown in FIG. 26, in the partition wall 52b, the hollow portion 52c positioned on one side of the partition wall 52b in the axial direction of the shaft member 52 and the hollow portion 52c positioned on the other side of the partition wall 52b are separated by the partition wall 52b. You may be comprised so that.
　上述の本実施の形態においては、梱包体５５が、下部５７、側部５８及び上部５９を備える例を示したが、梱包体５５の構成は任意である。例えば図２７に示すように、梱包体５５は、巻回体５０の側方に位置し軸部材５２を支持する一対の側部５８を備えるが、下部５７及び上部５９を備えていなくてもよい。また、図２８に示すように、梱包体５５は、巻回体５０の側方に位置し軸部材５２を支持する一対の側部５８と、巻回体５０を上方から覆う上部５９と、を備えるが、下部５７を備えていなくてもよい。図２７に示す例及び図２８に示す例のいずれにおいても、好ましくは、側部５８は、巻回体５０の金属板５１が側部５８の下端５８ｂよりも上方に位置するように軸部材５２を支持する。これにより、金属板５１に変形や破損が生じることを抑制することができる。 In the above-described embodiment, an example in which the packing body 55 includes the lower portion 57, the side portion 58, and the upper portion 59 has been described, but the configuration of the packing body 55 is arbitrary. For example, as shown in FIG. 27, the packing body 55 includes a pair of side portions 58 that are positioned on the side of the wound body 50 and supports the shaft member 52, but may not include the lower portion 57 and the upper portion 59. . As shown in FIG. 28, the packing body 55 includes a pair of side portions 58 that are located on the side of the wound body 50 and support the shaft member 52, and an upper portion 59 that covers the wound body 50 from above. Although provided, the lower part 57 does not need to be provided. In any of the example shown in FIG. 27 and the example shown in FIG. 28, preferably, the side portion 58 has the shaft member 52 such that the metal plate 51 of the wound body 50 is positioned above the lower end 58 b of the side portion 58. Support. Thereby, it can suppress that a deformation | transformation and damage arise in the metal plate 51. FIG.
　図２８に示すように、上部５９には、上部５９の自重や上部５９の柔軟性に起因する撓みなどの変形が生じていてもよい。上部５９は例えば、ビニールなどのプラスチック材料からなるフィルムを含んでいてもよい。このような上部５９は、図１０Ａ及び図１０Ｂに示す、下部５７、側部５８及び上部５９を備える梱包体５５においても採用され得る。 As shown in FIG. 28, the upper portion 59 may be deformed, for example, due to the weight of the upper portion 59 or the flexibility of the upper portion 59. The upper portion 59 may include a film made of a plastic material such as vinyl. Such an upper part 59 can also be employed in the package 55 including the lower part 57, the side part 58 and the upper part 59 shown in FIGS. 10A and 10B.
　上述の本実施の形態においては、梱包体５５の下部５７、側部５８及び上部５９がそれぞれ別個の部材によって構成されている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図２９に示すように、下部５７と側部５８とが一体的に構成されていてもよい。例えば、下部５７の少なくとも一部分と側部５８の少なくとも一部分とが、一枚の強化段ボールなどの一連の部材を折り曲げなどによって変形させることによって構成されていてもよい。また、上部５９と側部５８とが一体的に構成されていてもよい。 In the above-described embodiment, an example in which the lower portion 57, the side portion 58, and the upper portion 59 of the packing body 55 are configured by separate members has been described. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 29, the lower portion 57 and the side portion 58 may be integrally formed. For example, at least a portion of the lower portion 57 and at least a portion of the side portion 58 may be configured by deforming a series of members such as a single reinforced cardboard by bending or the like. Moreover, the upper part 59 and the side part 58 may be comprised integrally.
　図３０は、梱包体５５の一変形例を示す断面図である。梱包体５５は、容器５６の内部に位置する環境調整剤６０を備えていてもよい。環境調整剤６０の例としては、容器５６の内部の酸素を捕捉する脱酸素剤、容器５６の内部の水分を捕捉する乾燥剤などを挙げることができる。 FIG. 30 is a cross-sectional view showing a modified example of the package 55. The packing body 55 may include an environment adjusting agent 60 located inside the container 56. Examples of the environmental adjusting agent 60 include an oxygen scavenger that traps oxygen inside the container 56, and a desiccant that traps moisture inside the container 56.
　乾燥剤は、例えばシリカゲルである。容器５６の内部の水分を乾燥剤が吸着することにより、容器５６の内部の雰囲気の乾燥状態を維持することができる。このことにより、金属板５１や軸部材５２が水分で変質することを抑制することができる。 The desiccant is, for example, silica gel. When the desiccant adsorbs the moisture inside the container 56, the dry state of the atmosphere inside the container 56 can be maintained. Thereby, it can suppress that the metal plate 51 and the shaft member 52 change in quality with a water | moisture content.
　環境調整剤６０は、脱酸素剤又は乾燥剤のいずれか一方のみを含んでいてもよく、両方を含んでいてもよい。 The environment adjusting agent 60 may contain only one of the oxygen scavenger or the desiccant, or may contain both.
　容器５６の内部は、大気圧よりも低い圧力に減圧されていてもよい。また、容器５６の内部には、窒素ガスなどの不活性ガス又は非還元ガスが充填されていてもよい。容器５６の内部における窒素ガスなどの不活性ガス又は非還元ガスの濃度は、８５％以上、９０％以上、または９５％以上であってもよい。 The inside of the container 56 may be depressurized to a pressure lower than the atmospheric pressure. Further, the inside of the container 56 may be filled with an inert gas such as nitrogen gas or a non-reducing gas. The concentration of the inert gas such as nitrogen gas or the non-reducing gas inside the container 56 may be 85% or more, 90% or more, or 95% or more.
　次に、上述の実施形態を実施例により更に具体的に説明するが、実施形態はその要旨を超えない限り、以下の実施例の記載に限定されるものではない。 Next, the above-described embodiment will be described more specifically by way of examples. However, the embodiment is not limited to the description of the following examples unless it exceeds the gist.
　まず、５０ｍｍ、７５ｍｍ、１００ｍｍ、１２５ｍｍ、１５０ｍｍ、２００ｍｍ、２５０ｍｍ、３００ｍｍ、４００ｍｍ、５００ｍｍ及び６００ｍｍの外径Ｒ２を有する軸部材５２をそれぞれ準備した。軸部材５２としては、紙とフェノール樹脂との混合物を含む中空状の部材を用いた。軸部材５２の外径Ｒ２と内径Ｒ１の差は１０ｍｍであった。軸部材５２の外径Ｒ２を測定する器具としては、メジャーを用いた。 First, shaft members 52 having outer diameters R2 of 50 mm, 75 mm, 100 mm, 125 mm, 150 mm, 200 mm, 250 mm, 300 mm, 400 mm, 500 mm and 600 mm were prepared. As the shaft member 52, a hollow member containing a mixture of paper and phenol resin was used. The difference between the outer diameter R2 and the inner diameter R1 of the shaft member 52 was 10 mm. A measure was used as an instrument for measuring the outer diameter R2 of the shaft member 52.
　また、８μｍ、１０μｍ、１３μｍ、１５μｍ、１８μｍ、２０μｍ、２５μｍ、３０μｍ、３５μｍ、４０μｍ、５０μｍ及び１００μｍ、の厚みＴを有する金属板５１をそれぞれ準備した。金属板５１の材料としては、３４質量％のニッケルを含む鉄合金を用いた。金属板５１の厚みＴを測定する器具としては、ボールブッシュガイド式のプランジャーを備える、ハイデンハイン社製の長さゲージHEIDENHAIM-METROの「MT1271」を用いた。長さ方向Ｆ１における各金属板５１の長さは、いずれも２００ｍであり、幅方向Ｆ２における各金属板５１の寸法Ｗ１は、いずれも５００ｍｍであった。準備された各厚みの金属板５１の数は、軸部材５２の外径Ｒ２の種類の数に対応している。 Further, metal plates 51 having thicknesses T of 8 μm, 10 μm, 13 μm, 15 μm, 18 μm, 20 μm, 25 μm, 30 μm, 35 μm, 40 μm, 50 μm and 100 μm were prepared. As a material of the metal plate 51, an iron alloy containing 34% by mass of nickel was used. As an instrument for measuring the thickness T of the metal plate 51, “MT1271” of HEIDENHAIM-METRO, a length gauge made by HEIDENHAIN, equipped with a ball bush guide type plunger was used. The lengths of the respective metal plates 51 in the length direction F1 are all 200 m, and the dimensions W1 of the respective metal plates 51 in the width direction F2 are all 500 mm. The number of prepared metal plates 51 of each thickness corresponds to the number of types of the outer diameter R2 of the shaft member 52.
　続いて、上述の様々な厚みＴを有する金属板５１を、上述の様々な外径Ｒ２を有する軸部材５２にそれぞれ巻き付けて巻回体５０を作製した。続いて、巻回体５０の重量を測定した。巻回体５０の重量を測定する器具としては、巻回体５０を設置する治具が予め載置されている大型重量計を用いた。続いて、各巻回体５０を、温度２５℃、湿度５５℃の環境下において３０日間にわたって保管した。その後、各巻回体５０から金属板５１を巻き出して、上述の試験片６６を作製した。長さ方向Ｆ１における試験片６６の寸法Ｌ１は５００ｍｍであり、幅方向Ｆ２における試験片６６の寸法Ｌ２は５００ｍｍであった。 Subsequently, the metal plate 51 having the various thicknesses T described above was wound around the shaft member 52 having the various outer diameters R2 described above to produce the wound body 50. Subsequently, the weight of the wound body 50 was measured. As an instrument for measuring the weight of the wound body 50, a large scale weighing machine on which a jig for installing the wound body 50 was previously placed was used. Subsequently, each wound body 50 was stored for 30 days in an environment of a temperature of 25 ° C. and a humidity of 55 ° C. Then, the metal plate 51 was unwound from each wound body 50, and the above-mentioned test piece 66 was produced. The dimension L1 of the test piece 66 in the length direction F1 was 500 mm, and the dimension L2 of the test piece 66 in the width direction F2 was 500 mm.
　続いて、図１１及び図１２に示す測定方法を実施して、各巻回体５０から取り出された試験片６６と被着体６７の鉛直面６７ａとの間の隙間Ｓ１を測定した。結果を図２１に示す。図２１においては、特定の厚みＴと外径Ｒ２の組み合わせに対応するセルのうち、隙間Ｓ１が１５ｍｍ以下であった組み合わせに対応するセルに、「Ａ１」又は「Ａ２」を表示している。また、隙間Ｓ１が１５ｍｍを超え２０ｍｍ以下であった組み合わせに対応するセルに、「Ｂ」を表示している。また、隙間Ｓ１が２０ｍｍを超えていたセルに、「Ｃ」を表示している。隙間Ｓ１の値に基づいて試験片６６の合否を判定する判定工程を、閾値を２０ｍｍに設定して実施する場合、「Ａ１」、「Ａ２」及び「Ｂ」は合格を表し、「Ｃ」は不合格を表す。「Ａ１」及び「Ａ２」は、巻回体５０の重量の測定結果に基づく分類である。「Ａ１」は、巻回体５０の重量が７０ｋｇ以下であったことを表し、「Ａ２」は、巻回体５０の重量が７０ｋｇを超えていたことを表す。巻回体５０の運搬のし易さを考慮すると、巻回体５０の重量が７０ｋｇ以下であることが好ましい。従って、「Ａ１」は、最も好ましい結果であり、「Ａ２」は、「Ａ１」に次ぐ好ましい結果であり、「Ｂ」は、「Ａ２」に次ぐ好ましい結果である。 Subsequently, the measurement method shown in FIGS. 11 and 12 was performed, and the gap S <b> 1 between the test piece 66 taken out from each wound body 50 and the vertical surface 67 a of the adherend 67 was measured. The results are shown in FIG. In FIG. 21, “A1” or “A2” is displayed in the cell corresponding to the combination in which the gap S1 is 15 mm or less among the cells corresponding to the combination of the specific thickness T and the outer diameter R2. In addition, “B” is displayed in the cell corresponding to the combination in which the gap S1 is more than 15 mm and not more than 20 mm. In addition, “C” is displayed in a cell in which the gap S1 exceeds 20 mm. When the determination step of determining the pass / fail of the test piece 66 based on the value of the gap S1 is performed with the threshold set to 20 mm, “A1”, “A2”, and “B” represent success, and “C” represents Represents a failure. “A1” and “A2” are classifications based on the measurement result of the weight of the wound body 50. “A1” represents that the weight of the wound body 50 was 70 kg or less, and “A2” represents that the weight of the wound body 50 exceeded 70 kg. Considering the ease of carrying the wound body 50, the weight of the wound body 50 is preferably 70 kg or less. Therefore, “A1” is the most preferable result, “A2” is the preferable result after “A1”, and “B” is the preferable result after “A2”.
　図２１に示すように、金属板５１の厚みＴが５０μｍ以下であり、且つ軸部材５２の外径Ｒ２が１５０ｍｍ以上であった場合、隙間Ｓ１が１５ｍｍ以下であった。また、金属板５１の厚みＴが３０μｍ以下であり、且つ軸部材５２の外径Ｒ２が１２５ｍｍ以上であった場合も、隙間Ｓ１が１５ｍｍ以下であった。 As shown in FIG. 21, when the thickness T of the metal plate 51 was 50 μm or less and the outer diameter R2 of the shaft member 52 was 150 mm or more, the gap S1 was 15 mm or less. Further, when the thickness T of the metal plate 51 was 30 μm or less and the outer diameter R2 of the shaft member 52 was 125 mm or more, the gap S1 was 15 mm or less.
　また、図２１に示すように、金属板５１の厚みＴが１０μｍ以下であり、且つ軸部材５２の外径Ｒ２が１００ｍｍ以上３００ｍｍ以下であった場合、隙間Ｓ１が１５ｍｍ以下であり、且つ巻回体５０の重量が７０ｋｇ以下であった。
　また、金属板５１の厚みＴが１５μｍ以下であり、且つ軸部材５２の外径Ｒ２が１２５ｍｍ以上３００ｍｍ以下であった場合、隙間Ｓ１が１５ｍｍ以下であり、且つ巻回体５０の重量が７０ｋｇ以下であった。
　また、金属板５１の厚みＴが２５μｍ以下であり、且つ軸部材５２の外径Ｒ２が１２５ｍｍ以上２８０ｍｍ以下であった場合、隙間Ｓ１が１５ｍｍ以下であり、且つ巻回体５０の重量が７０ｋｇ以下であった。
　また、金属板５１の厚みＴが３０μｍ以下であり、且つ軸部材５２の外径Ｒ２が１２５ｍｍ以上２５０ｍｍ以下であった場合、隙間Ｓ１が１５ｍｍ以下であり、且つ巻回体５０の重量が７０ｋｇ以下であった。
　また、金属板５１の厚みＴが３５μｍ以下であり、且つ軸部材５２の外径Ｒ２が１５０ｍｍ以上２５０ｍｍ以下であった場合、隙間Ｓ１が１５ｍｍ以下であり、且つ巻回体５０の重量が７０ｋｇ以下であった。
　また、金属板５１の厚みＴが５０μｍ以下であり、且つ軸部材５２の外径Ｒ２が１５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下であった場合、隙間Ｓ１が１５ｍｍ以下であり、且つ巻回体５０の重量が７０ｋｇ以下であった。 Further, as shown in FIG. 21, when the thickness T of the metal plate 51 is 10 μm or less and the outer diameter R2 of the shaft member 52 is 100 mm or more and 300 mm or less, the gap S1 is 15 mm or less and the winding is performed. The weight of the body 50 was 70 kg or less.
When the thickness T of the metal plate 51 is 15 μm or less and the outer diameter R2 of the shaft member 52 is 125 mm or more and 300 mm or less, the gap S1 is 15 mm or less and the weight of the wound body 50 is 70 kg or less. Met.
When the thickness T of the metal plate 51 is 25 μm or less and the outer diameter R2 of the shaft member 52 is 125 mm or more and 280 mm or less, the gap S1 is 15 mm or less and the weight of the wound body 50 is 70 kg or less. Met.
In addition, when the thickness T of the metal plate 51 is 30 μm or less and the outer diameter R2 of the shaft member 52 is 125 mm or more and 250 mm or less, the gap S1 is 15 mm or less and the weight of the wound body 50 is 70 kg or less. Met.
Further, when the thickness T of the metal plate 51 is 35 μm or less and the outer diameter R2 of the shaft member 52 is 150 mm or more and 250 mm or less, the gap S1 is 15 mm or less and the weight of the wound body 50 is 70 kg or less. Met.
Further, when the thickness T of the metal plate 51 is 50 μm or less and the outer diameter R2 of the shaft member 52 is 150 mm or more and 200 mm or less, the gap S1 is 15 mm or less and the weight of the wound body 50 is 70 kg or less. Met.

Claims (20)

  1. 　蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の巻回体であって、
    　１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下の外径を有する軸部材と、
    　前記軸部材に巻き付けられ、５０μｍ以下の厚みを有する前記金属板と、を備える、巻回体。     It is a winding body of a metal plate used for manufacturing a vapor deposition mask,
    A shaft member having an outer diameter of 150 mm or more and 550 mm or less;
    A wound body comprising: the metal plate wound around the shaft member and having a thickness of 50 μm or less.
  2. 　前記金属板は、３０質量％以上且つ５４質量％以下のニッケルを含む鉄合金を有する、請求項１に記載の巻回体。 The wound body according to claim 1, wherein the metal plate has an iron alloy containing nickel of 30 mass% or more and 54 mass% or less.
  3. 　前記軸部材の外径が３００ｍｍ以下であり、
    　前記金属板の厚みが３０μｍ以下である、請求項１又は２に記載の巻回体。     The outer diameter of the shaft member is 300 mm or less,
    The wound body according to claim 1 or 2, wherein the metal plate has a thickness of 30 µm or less.
  4. 　前記巻回体の重量が７０ｋｇ以下である、請求項３に記載の巻回体。 The wound body according to claim 3, wherein the weight of the wound body is 70 kg or less.
  5. 　前記軸部材がフェノール樹脂を含む、請求項３又は４に記載の巻回体。 The wound body according to claim 3 or 4, wherein the shaft member includes a phenol resin.
  6. 　前記軸部材は、１００ｍｍ以上の内径を有する中空状部材である、請求項３乃至５のいずれか一項に記載の巻回体。 The wound body according to any one of claims 3 to 5, wherein the shaft member is a hollow member having an inner diameter of 100 mm or more.
  7. 　前記軸部材の外径と内径の差が５ｍｍ以上である、請求項６に記載の巻回体。 The wound body according to claim 6, wherein a difference between an outer diameter and an inner diameter of the shaft member is 5 mm or more.
  8. 　前記軸部材の外径が３００ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下であり、
    　前記金属板の厚みが５０μｍ以下である、請求項１又は２に記載の巻回体。     The outer diameter of the shaft member is 300 mm or more and 550 mm or less,
    The wound body according to claim 1 or 2, wherein the metal plate has a thickness of 50 µm or less.
  9. 　前記巻回体の重量が１００ｋｇ以下である、請求項８に記載の巻回体。 The wound body according to claim 8, wherein the weight of the wound body is 100 kg or less.
  10. 　蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の巻回体と、
    　前記巻回体を収容する容器と、を備え、
    　前記巻回体は、
    　１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下の外径を有する軸部材と、
    　前記軸部材に巻き付けられ、５０μｍ以下の厚みを有する前記金属板と、を備える、梱包体。     A wound body of a metal plate used to manufacture a vapor deposition mask;
    A container for accommodating the wound body,
    The wound body is
    A shaft member having an outer diameter of 150 mm or more and 550 mm or less;
    A package comprising: the metal plate wound around the shaft member and having a thickness of 50 μm or less.
  11. 　前記容器は、前記軸部材を支持する側部を備え、
    　前記側部は、前記巻回体の前記金属板が前記側部の下端よりも上方に位置するように前記軸部材を支持する、請求項１０に記載の梱包体。     The container includes a side portion that supports the shaft member,
    The said side part is a package body of Claim 10 which supports the said shaft member so that the said metal plate of the said winding body may be located above the lower end of the said side part.
  12. 　前記容器は、
    　前記巻回体の下方に位置する下部と、
    　前記巻回体の前記金属板が前記下部に接しないよう前記軸部材を支持する前記側部と、を備える、請求項１１に記載の梱包体。     The container is
    A lower part located below the wound body;
    The package according to claim 11, further comprising: the side portion that supports the shaft member so that the metal plate of the wound body does not contact the lower portion.
  13. 　前記容器は、前記巻回体を上方から覆う上部を備える、請求項１２に記載の梱包体。 The package according to claim 12, wherein the container includes an upper portion that covers the wound body from above.
  14. 　前記容器の内部に位置する脱酸素剤又は乾燥剤を備える、請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載の梱包体。 The package according to any one of claims 10 to 13, comprising an oxygen scavenger or a desiccant located inside the container.
  15. 　蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の巻回体を準備する準備工程と、
    　前記巻回体を容器に収容する収容工程と、を備え、
    　前記巻回体は、
    　１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下の外径を有する軸部材と、
    　前記軸部材に巻き付けられ、５０μｍ以下の厚みを有する前記金属板と、を備える、梱包方法。     A preparation step of preparing a wound body of a metal plate used for manufacturing a vapor deposition mask;
    An accommodating step of accommodating the wound body in a container,
    The wound body is
    A shaft member having an outer diameter of 150 mm or more and 550 mm or less;
    A packing method comprising: the metal plate wound around the shaft member and having a thickness of 50 μm or less.
  16. 　前記容器は、前記軸部材を支持する側部を備え、
    　前記側部は、前記巻回体の前記金属板が前記側部の下端よりも上方に位置するように前記軸部材を支持する、請求項１５に記載の梱包方法。     The container includes a side portion that supports the shaft member,
    The packing method according to claim 15, wherein the side portion supports the shaft member such that the metal plate of the wound body is positioned above a lower end of the side portion.
  17. 　前記容器は、前記巻回体の下方に位置する下部と、
    　前記巻回体の前記金属板が前記下部に接しないよう前記軸部材を支持する前記側部と、
    　前記巻回体を上方から覆う上部と、を備える、請求項１６に記載の梱包方法。     The container includes a lower portion located below the wound body;
    The side portion supporting the shaft member so that the metal plate of the wound body does not contact the lower portion;
    The packaging method according to claim 16, further comprising: an upper portion that covers the wound body from above.
  18. 　蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の巻回体を保管する保管方法であって、
    　軸部材に巻き付けられる前記金属板のうち最も前記軸部材側に位置する部分の内径が１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下になるように前記巻回体を保管する、保管方法。     A storage method for storing a wound body of a metal plate used for manufacturing a vapor deposition mask,
    The storage method of storing the said winding body so that the internal diameter of the part most located in the said shaft member side among the said metal plates wound around a shaft member may be 150 mm or more and 550 mm or less.
  19. 　複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを製造する方法であって、
    　金属板の巻回体から前記金属板を巻き出す工程と、
    　前記金属板をエッチングして前記金属板に前記貫通孔を形成する加工工程と、を備え、
    　前記巻回体は、
    　１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下の外径を有する軸部材と、
    　前記軸部材に巻き付けられ、５０μｍ以下の厚みを有する前記金属板と、を備える、蒸着マスクの製造方法。     A method of manufacturing a vapor deposition mask in which a plurality of through holes are formed,
    Unwinding the metal plate from a wound metal plate;
    A step of etching the metal plate to form the through hole in the metal plate, and
    The wound body is
    A shaft member having an outer diameter of 150 mm or more and 550 mm or less;
    A method for manufacturing a vapor deposition mask, comprising: the metal plate wound around the shaft member and having a thickness of 50 μm or less.
  20. 　１５０ｍｍ以上且つ５５０ｍｍ以下の外径を有する軸部材に巻き付けられた、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板であって、
    　５０μｍ以下の厚みを有する、金属板。     A metal plate used for manufacturing a vapor deposition mask wound around a shaft member having an outer diameter of 150 mm or more and 550 mm or less,
    A metal plate having a thickness of 50 μm or less.
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