WO2019181453A1 - 原料粉末、焼結ギアの製造方法および焼結ギア - Google Patents

原料粉末、焼結ギアの製造方法および焼結ギア Download PDF

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sintered
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剛志 門村
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日本電産株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
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    • B22F5/08—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the special shape of the product of toothed articles, e.g. gear wheels; of cam discs
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    • B22F9/06—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H55/00—Elements with teeth or friction surfaces for conveying motion; Worms, pulleys or sheaves for gearing mechanisms
    • F16H55/02—Toothed members; Worms
    • F16H55/06—Use of materials; Use of treatments of toothed members or worms to affect their intrinsic material properties

Definitions

  • the present invention relates to a raw material powder, a method for producing a sintered gear, and a sintered gear.
  • a sintered gear is manufactured by compression-molding (compacting) a raw material powder to obtain a molded body, sizing the molded body, and then firing.
  • the sintered gear manufactured by this method has a dimensional error of about 0.03 mm with respect to the sintered gear to be manufactured.
  • a high-precision sintered gear used for a robot hand or the like needs to be finished to a dimensional error (about 0.01 mm) comparable to cutting.
  • An object of the present invention is to produce a raw material powder capable of producing a sintered gear with high dimensional accuracy without using dedicated equipment and performing secondary processing (post-processing), and production of a sintered gear using such raw material powder. It is to provide a method and a sintered gear.
  • An exemplary invention of the present application is a raw material powder used for manufacturing a sintered gear, and includes raw material particles having a particle size equal to or smaller than a module [mm] of the sintered gear, and the raw material particles are first particles. And second particles having an average particle size smaller than the average particle size of the first particles, and the second particles are contained in an amount of 0.5 to 7.5 parts by mass in 100 parts by mass of the raw material particles.
  • the raw material powder includes raw material particles having a particle size equal to or smaller than a module [mm] of the sintered gear, and the raw material particles are first particles. And second particles having an average particle size smaller than the average particle size of the first particles, and the second particles are contained in an amount of 0.5 to 7.5 parts by mass in 100 parts by mass of the raw material particles.
  • another exemplary invention of the present application is a method of manufacturing a sintered gear using raw material powder, the step of compressing the raw material powder to obtain a molded body having a shape corresponding to the sintered gear. And a step of firing the molded body to obtain a sintered body.
  • another exemplary invention of the present application is a sintered gear characterized by being composed of a sintered body of raw material powder.
  • a sintered gear with high dimensional accuracy can be manufactured.
  • FIG. 1 is a plan view (a) and a cross-sectional view (b) schematically showing the configuration of a sintered gear according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 shows a molding apparatus used to manufacture the sintered gear. It is a figure which shows schematic structure.
  • a sintered gear 1 shown in FIG. 1 includes a disc-shaped gear body 2 and a plurality of teeth 3 that are arranged along the circumferential direction of the gear body 2 and project radially outward.
  • the plurality of teeth 3 are provided at substantially equal intervals.
  • the sintered gear 1 is composed of a sintered body of raw material powder.
  • the configuration of the raw material powder will be described in detail later.
  • the size of the sintered gear 1 is not particularly limited because it is designed according to the application to be used, but when the sintered gear 1 is a gear for a robot hand (high-precision gear), for example, the following Designed as such.
  • the tip circle diameter (indicated by “D” in FIG. 1) of the sintered gear 1 is preferably about 3 to 15 mm, more preferably about 5 to 10 mm.
  • the number of teeth of the sintered gear 1 is preferably about 15 to 40, more preferably about 20 to 35.
  • the module indicating the size (tooth thickness) of the teeth 12 is preferably about 0.15 to 0.3 mm, and more preferably about 0.15 to 0.25 mm. Even such a small (high accuracy) sintered gear 1 can be manufactured with high dimensional accuracy by using the raw material powder of the present invention.
  • the tooth width of the tooth 12 (indicated by “W” in FIG. 1) is preferably about 1 to 10 mm, and more preferably about 2 to 5 mm.
  • a sintered gear 1 is a so-called spur gear, the present invention is not limited to this, and may be, for example, a screw gear, a bevel gear, a worm gear, a hypoid gear, or the like.
  • a sintered gear 1 is manufactured as follows. Hereinafter, a method for manufacturing the sintered gear 1 (a method for manufacturing a sintered gear) will be described.
  • the method for manufacturing a sintered gear according to the present embodiment includes: [1] a molding step of compression molding raw material powder to obtain a molded body having a shape corresponding to the sintered gear 1, and [2] firing the molded body. And a firing step for obtaining a sintered body, and [3] a surface treatment step for heat-treating the sintered body to form an oxide film covering the surface thereof.
  • a molding step of compression molding raw material powder to obtain a molded body having a shape corresponding to the sintered gear 1
  • a firing step for obtaining a sintered body and [3] a surface treatment step for heat-treating the sintered body to form an oxide film covering the surface thereof.
  • molding apparatus 10 shown in FIG. 2 is provided with the shaping
  • the molding die 20 includes a die 21 having a through hole 211 that penetrates in the thickness direction, and an upper punch 22 and a lower punch 23 that are inserted into the through hole 211 of the die 21.
  • the shape of the inner peripheral surface of the die 21 that defines the through-hole 211 corresponds to the shape (uneven shape) of the outer peripheral surface of the sintered gear 1 to be manufactured.
  • the tip of the lower punch 23 is inserted below the through hole 211 of the die 21, and a cavity (space) 212 is formed by the die 21 and the lower punch 23 (FIG. 2A )reference).
  • the feeder 30 is slid on the die 21 so as to cover the cavity 212 with the feeder 30, and the raw material powder is filled into the cavity 212 from the feeder 30 (see FIG. 2B).
  • the feeder 30 is slid on the die 21 so as to be retracted from the cavity 212, the tip of the upper punch 22 is inserted into the cavity 212, and the raw powder is compressed by the lower punch 23 and the upper punch 22. (See FIG. 2C).
  • the raw material powder used for manufacturing the sintered gear 1 includes raw material particles having a particle size equal to or smaller than the module [mm] of the sintered gear 1. With this configuration, the raw material particles can be filled not only into the tooth root portion of the cavity 212 but also into the tooth tip portion as necessary and sufficient.
  • the raw material particles include first particles and second particles having an average particle size smaller than the average particle size of the first particles.
  • second particles (fine particles) having a small particle diameter can be interspersed in gaps between the first particles (coarse particles) having a large particle diameter, and the filling stability of the raw material powder in the cavity 212 is ensured. Can be secured. However, if the ratio of the second particles is excessively increased, the fluidity of the raw material powder is remarkably lowered, and it is difficult to stably supply the raw material powder to the cavity 212.
  • the second particles are adjusted to be contained at 0.5 to 7.5 parts by mass in 100 parts by mass of the raw material particles.
  • the second particles can be uniformly mixed with the first particles without segregation.
  • the fluidity of the raw material powder is lowered.
  • the upper limit is exceeded, the fluidity of the raw material particles is extremely lowered.
  • the lower limit is not reached, the effect of mixing the second particles cannot be obtained.
  • the amount of the second particles contained in 100 parts by mass of the raw material particles may be 0.5 to 7.5 parts by mass, preferably about 1 to 7 parts by mass, and about 3 to 5 parts by mass. More preferably it is. Thereby, the said effect improves more.
  • D1 / D2 is preferably about 5 to 20, preferably about 7.5 to 15 It is more preferable that If the difference in particle size between the first particles and the second particles is sufficiently large, the second particles can be more reliably interspersed in the gaps between the first particles.
  • the specific value of the average particle diameter D1 of the first particles is preferably about 0.05 to 0.15 mm. More preferably, it is about 075 to 0.12 mm.
  • the specific value of the average particle diameter D2 of the second particles is preferably about 0.005 to 0.025 mm, and more preferably about 0.005 to 0.015 mm.
  • the particle diameter of the raw material particles can be measured, for example, from a projected image by a laser.
  • the average particle diameter can employ
  • the raw material particles can be produced using, for example, an atomizing method such as a pulverization method, a water atomizing method, a gas atomizing method, a reduction method, a carbonyl method, or the like.
  • the second particles are preferably water atomized particles. Since the water atomized particles have a high degree of circularity (average circularity is 0.9 or more), the water atomized particles are easily interspersed by gaps between the first particles.
  • examples of the constituent material of the raw material particles include Fe (iron) alone, various metal materials such as an alloy containing Fe as a main component and an arbitrary element, and various ceramic materials such as apatite-based ceramics.
  • elements added to the alloy include Cr (chromium), Mo (molybdenum), Mn (manganese), Ni (nickel), Cu (copper), W (tungsten), V (vanadium), and Co ( Cobalt), Si (silicon), C (carbon), and the like.
  • Such raw material powder may contain a lubricant.
  • liquidity of raw material powder can be improved more.
  • the lubricant include fatty acids such as stearic acid, metal salts thereof, derivatives thereof (eg, amides, esters, etc.), fluorine resins, and the like. These compounds can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
  • the amount of lubricant contained in the raw material powder is not particularly limited, but is preferably 5% by mass or less, more preferably about 0.1 to 3% by mass.
  • the specific fluidity of the raw material powder is preferably about 25 to 50 sec / 50 g, more preferably about 25 to 35 sec / 50 g.
  • a raw material powder having such a fluidity can be supplied to the cavity 212 with high stability.
  • the fluidity can be measured in accordance with a metal powder-fluidity measurement method defined in JIS Z 2502 (2012).
  • the pressure at which the raw material powder is compressed is not particularly limited, but is preferably about 0.5 to 3 tons, and more preferably about 1 to 2 tons.
  • the molded body 11 having a shape corresponding to the sintered gear is obtained in the cavity 212. Thereafter, the die 21 and the lower punch 23 are relatively approached, and the molded body 11 is discharged from the cavity 212.
  • the obtained molded body 11 is fired to obtain a sintered body.
  • diffusion occurs at the interface between the raw material particles, leading to sintering.
  • the molded body 11 is entirely contracted to obtain a high-density sintered body.
  • the firing temperature is not particularly limited because it is set depending on the composition, particle size, and the like of the raw material powder used in the production of the molded body 11, but is preferably about 950 to 1300 ° C., and preferably about 1000 to 1200 ° C. Is more preferable.
  • the firing time is preferably about 0.2 to 3 hours, and more preferably about 0.5 to 2 hours.
  • the atmosphere at the time of baking is not particularly limited, but examples include an air atmosphere, an oxidizing atmosphere, a reducing atmosphere, an inert atmosphere, or a reduced pressure atmosphere obtained by reducing these atmospheres. Since the sintered body obtained in this way has extremely high dimensional accuracy, the sintered gear 1 can be formed without performing secondary processing such as forging and cutting.
  • the secondary processing refers to processing that mechanically changes the shape of the sintered body, and the secondary processing does not include surface treatment (heating treatment) described later.
  • the error between the dimension in the radial direction of the sintered gear 1 to be manufactured and the dimension in the radial direction of the obtained sintered body is 6 ⁇ , preferably 0.02 mm or less, more preferably 0.005 to 0. About .015 mm.
  • the surface treatment step Next, the sintered body is subjected to a surface treatment for forming an oxide film on the surface.
  • a surface treatment for forming an oxide film on the surface.
  • the surface treatment temperature is not particularly limited, but is preferably about 500 to 1000 ° C, more preferably about 700 to 950 ° C.
  • the surface treatment time is preferably about 0.5 minute to 1 hour, more preferably about 1 to 45 minutes.
  • the atmosphere for the surface treatment is not particularly limited, and examples thereof include a water vapor atmosphere, an oxidizing atmosphere, an inert atmosphere, or a reduced pressure atmosphere obtained by reducing these atmospheres. [3] The surface treatment step may be performed as necessary and may be omitted.
  • the sintered gear of the present invention includes parts for industrial machines such as robot hands, for example, parts for automobiles, parts for bicycles, parts for railway vehicles, parts for ships, parts for aircraft, parts for space transport aircraft.
  • Parts for transportation equipment such as, parts for personal computers, parts for electronic equipment such as parts for mobile terminals, parts for electrical equipment such as refrigerators, washing machines and air conditioners, parts for plants, parts for watches, etc. .
  • Example 1 First, first particles containing Fe as a main component (average particle diameter D1: 0.075 mm, manufactured by Höganäs) and second particles (water atomized particles having an average particle diameter D2: 0.005 mm, Epson Trace Mix) Prepared). Therefore, D1 / D2 is 15. Moreover, the particle size (maximum particle size) of the first particle and the second particle size was 0.1 mm or less. These 1st particle
  • the obtained molded body was fired at 1200 ° C. for 1 hour in an air atmosphere to obtain a sintered gear (sintered body).
  • the shape of the sintered gear was a tip diameter 9 mm, a module 0.3 mm, and 27 teeth.
  • the obtained sintered gear was heat-treated at 750 ° C. for 1 minute in an air atmosphere to form an oxide film having an average thickness of 0.01 mm on the surface of the sintered gear. As a result, a sintered gear with an oxide film was obtained. The average thickness of the oxide film was measured by a cross-sectional observation method.
  • Example 2 A sintered gear with an oxide film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the mass ratio of the first particles to the second particles was 97.5: 2.5.
  • Example 3 A sintered gear with an oxide film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the mass ratio of the first particles to the second particles was 95: 5.
  • Example 4 A sintered gear with an oxide film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the mass ratio of the first particles to the second particles was 92.5: 7.5. (Example 5) A sintered gear with an oxide film was obtained in the same manner as in Example 3 except that the shape of the sintered gear was changed to a tip circle diameter of 6 mm, a module of 0.2 mm, and the number of teeth of 28.
  • Measurement 2-1 Measurement of fluidity The fluidity of the raw material powder used in each example and each comparative example was measured using a fluidity measurement device (in-house manufactured, conforming to JIS Z 2502 (2012)).
  • 2-2 Measurement of dimensional error The dimensional error of the sintered gear obtained in each example and each comparative example was measured with a factory microscope (measurement microscope). These measurement results are shown in Table 1 below together with the composition of the raw material powder.
  • the raw material powder in which the mass ratio of the first particles to the second particles was adjusted to 92.5: 7.5 to 99.5: 0.5 had a high fluidity.
  • the sintered gear of each Example manufactured using this raw material powder had high dimensional accuracy. This is because the amount of the second particles in the raw material powder is appropriate and its fluidity is high, so that the raw material particles are in a state where the second particles are scattered (filled) in the gaps between the first particles. This is a result of filling the entire cavity of the mold with high density.
  • the said effect showed the tendency to improve by adjusting mass ratio of a 1st particle and a 2nd particle suitably.
  • the sintered gear of each comparative example manufactured using the raw material powder in which the second particles were not mixed, or the raw material powder in which the mass ratio of the first particles to the second particles is out of the above range is It was inferior in accuracy.
  • each example has a better surface condition than each comparative example. This is due to the difference in the packing density of the raw material powder into the cavity depending on the fluidity.

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Abstract

【課題】専用設備を用いず、かつ二次加工（後加工）を施すことなく、寸法精度の高い焼結ギアを製造し得る原料粉末、かかる原料粉末を用いた焼結ギアの製造方法および焼結ギアを提供する。 【解決手段】　本発明の原料粉末は、焼結ギア１を製造するのに用いられ、焼結ギア１のモジュール［ｍｍ］以下の粒径を有する原料粒子を含み、原料粒子が、第１粒子と、第１粒子の平均粒径より小さい平均粒径を有する第２粒子とを含み、原料粒子１００質量部中に、第２粒子を０．５～７．５質量部で含む。また、第１粒子の平均粒径をＤ１［ｍｍ］とし、第２粒子の平均粒径をＤ２［ｍｍ］としたとき、Ｄ１／Ｄ２が５～２０であることが好ましい。

Description

原料粉末、焼結ギアの製造方法および焼結ギア
　本発明は、原料粉末、焼結ギアの製造方法および焼結ギアに関する。
　従来、焼結ギアは、原料粉末を圧縮成形（圧粉成形）して成形体を得、この成形体をサイジング加工した後、焼成することにより製造される。この方法で製造される焼結ギアは、製造予定の焼結ギアとの寸法誤差が０．０３ｍｍ程度となる。
　しかしながら、ロボットハンド等に用いられる高精度の焼結ギアでは、切削加工に匹敵する程度の寸法誤差（０．０１ｍｍ程度）に仕上げる必要がある。
　かかる要求を満たすために、成形体を成形する際に、熱間成形、熱間等方圧成形（ＨＩＰ）、冷間等方圧成形（ＣＩＰ）等の特殊成形を行うこと、あるいは焼結体に対して鍛造（例えば、特許文献１参照）、切削等の二次加工を施すことが検討されている。
　ところが、これらの方法では、特殊設備、付帯設備等の専用設備が必要となったり、二次加工のための後工程を追加せざるを得ず、焼結ギアの大量生産には不向きである。また、焼結体には、多数の巣が存在するため、二次加工（特に切削）を行うと、表面に巣が表れ、焼結ギアの機械的強度が低下するおそれもある。
特開２００２－１３７０３９号公報
　本発明の目的は、専用設備を用いず、かつ二次加工（後加工）を施すことなく、寸法精度の高い焼結ギアを製造し得る原料粉末、かかる原料粉末を用いた焼結ギアの製造方法および焼結ギアを提供することにある。
　本願の例示的な発明は、焼結ギアを製造するのに用いられる原料粉末であって、焼結ギアのモジュール［ｍｍ］以下の粒径を有する原料粒子を含み、原料粒子が、第１粒子と、該第１粒子の平均粒径より小さい平均粒径を有する第２粒子とを含み、原料粒子１００質量部中に、第２粒子を０．５～７．５質量部で含むことを特徴とする原料粉末である。
　また、本願の他の例示的な発明は、原料粉末を用いて焼結ギアを製造する方法であって、原料粉末を圧縮成形して、焼結ギアに対応する形状を有する成形体を得る工程と、成形体を焼成して、焼結体を得る工程とを有することを特徴とする焼結ギアの製造方法である。
　さらに、本願の他の例示的な発明は、原料粉末の焼結体で構成されることを特徴とする焼結ギアである。
　本願の例示的な発明によれば、寸法精度の高い焼結ギアを製造することができる。
本発明の一実施形態に係る焼結ギアの構成を模式的に示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）である。 焼結ギアを製造するのに用いる成形装置の概略構成を示す図である。 実施例２の焼結ギアの外観を示すＳＥＭ写真（左）およびその拡大写真（右）である。 実施例３の焼結ギアの外観を示すＳＥＭ写真（左）およびその拡大写真（右）である。 実施例４の焼結ギアの外観を示すＳＥＭ写真（左）およびその拡大写真（右）である。 比較例１の焼結ギアの外観を示すＳＥＭ写真（左）およびその拡大写真（右）である。 比較例２の焼結ギアの外観を示すＳＥＭ写真（左）およびその拡大写真（右）である。
　以下、本発明の原料粉末、焼結ギアの製造方法および焼結ギアを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
　図１は、本発明の一実施形態に係る焼結ギアの構成を模式的に示す平面図（ａ）および断面図（ｂ）、図２は、焼結ギアを製造するのに用いる成形装置の概略構成を示す図である。
　以下では、焼結ギアの中心軸に平行な方向（図１（ａ）の紙面に垂直な方向）を「軸方向」、中心軸に直交する方向を「径方向」、中心軸を中心とする軸周りの方向を「周方向」と言う。
　図１に示す焼結ギア１は、円盤状のギア本体２と、ギア本体２の周方向に沿って配置され、径方向外側に突出する複数の歯３とを有している。複数の歯３は、ほぼ等間隔で設けられている。
　この焼結ギア１は、原料粉末の焼結体で構成されている。なお、原料粉末の構成については、後に詳述する。
　焼結ギア１のサイズは、使用する用途に応じて設計されるため、特に限定されないが、焼結ギア１を、例えばロボットハンド用のギア（高精度のギア）とする場合には、次のように設計される。
　焼結ギア１の歯先円直径（図１中「Ｄ」で示す。）は、３～１５ｍｍ程度であることが好ましく、５～１０ｍｍ程度であることがより好ましい。また、焼結ギア１の歯数は、１５～４０枚程度であることが好ましく、２０～３５枚程度であることがより好ましい。
　したがって、歯１２の大きさ（歯厚）の程度を示すモジュールは、０．１５～０．３ｍｍ程度であることが好ましく、０．１５～０．２５ｍｍ程度であることがより好ましい。このような小型（高精度）の焼結ギア１であっても、本発明の原料粉末を用いれば、高い寸法精度で製造することができる。
　なお、歯１２の歯幅（図１中「Ｗ」で示す。）は、１～１０ｍｍ程度であることが好ましく、２～５ｍｍ程度であることがより好ましい。
　なお、図１に示す焼結ギア１は、いわゆる平歯車であるが、本発明はこれに限定されず、例えば、ねじ歯車、かさ歯車、ウォームギア、ハイポイドギア等であってもよい。
　このような焼結ギア１は、次のようにして製造される。
　以下、焼結ギア１を製造する方法（焼結ギアの製造方法）について説明する。
　本実施形態の焼結ギアの製造方法は、［１］原料粉末を圧縮成形して、焼結ギア１に対応する形状を有する成形体を得る成形工程と、［２］成形体を焼成して、焼結体を得る焼
成工程と、［３］焼結体を熱処理して、その表面を被覆する酸化膜を形成する表面処理工程とを有する。以下、各工程について順次説明する。
　［１］成形工程
　まず、成形装置と、原料粉末とを用意する。
　図２に示す成形装置１０は、成形型２０と、原料粉末を収容したフィーダー３０とを備えている。
　また、成形型２０は、厚さ方向に貫通する貫通孔２１１を備えるダイ２１と、このダイ２１の貫通孔２１１内に挿入される上パンチ２２および下パンチ２３とを有している。そして、貫通孔２１１を規定するダイ２１の内周面の形状が、製造すべき焼結ギア１の外周面の形状（凹凸形状）に対応している。
　かかる成形装置１０では、まず、ダイ２１の貫通孔２１１の下部に下パンチ２３の先端部を挿入して、ダイ２１と下パンチ２３とでキャビティー（空間）２１２を形成する（図２（ａ）参照）。次に、ダイ２１上でフィーダー３０をスライドさせ、フィーダー３０でキャビティー２１２を覆った状態とし、フィーダー３０から原料粉末をキャビティー２１２に充填する（図２（ｂ）参照）。その後、ダイ２１上でフィーダー３０をスライドさせ、キャビティー２１２から後退させた状態とし、キャビティー２１２に上パンチ２２の先端部を挿入して、下パンチ２３と上パンチ２２とで原料粉末を圧縮する（図２（ｃ）参照）。
　焼結ギア１を製造するのに用いられる原料粉末は、焼結ギア１のモジュール［ｍｍ］以下の粒径を有する原料粒子を含んでいる。かかる構成により、原料粒子をキャビティー２１２の歯元部のみならず歯先部にまで必要かつ十分に充填することができる。
　特に、本発明では、原料粒子が、第１粒子と、第１粒子の平均粒径より小さい平均粒径を有する第２粒子とを含んでいる。
　かかる構成により、粒径の大きい第１粒子（粗大粒子）同士の隙間に、粒径の小さい第２粒子（微粒子）を点在させることができ、原料粉末のキャビティー２１２内での充填安定性を確保することができる。
　ただし、第２粒子の割合を多くし過ぎると、原料粉末の流動性が著しく低下して、原料粉末をキャビティー２１２に安定的に供給することが困難になる。
　そこで、本発明では、原料粒子１００質量部中に、第２粒子を０．５～７．５質量部で含むように調整されている。これにより、第２粒子が偏析することなく、第１粒子と均一に混合することができる。その結果、原料粉末の流動性が低下することを防止することができる。上限値を上回ると、原料粒子の流動性が極端に低下する。一方、下限値を下回ると、第２粒子を混合する効果が得られない。
　原料粒子１００質量部中に含まれる第２粒子の量は、０．５～７．５質量部であればよいが、１～７質量部程度であることが好ましく、３～５質量部程度であることがより好ましくい。これにより、前記効果がより向上する。
　第１粒子の平均粒径をＤ１［ｍｍ］とし、第２粒子の平均粒径をＤ２［ｍｍ］としたとき、Ｄ１／Ｄ２が５～２０程度であることが好ましく、７．５～１５程度であることがより好ましい。第１粒子と第２粒子との間の粒径の差が十分に大きいと、第１粒子同士の隙間に、第２粒子をより確実に点在させることができるようになる。
　前述したような高精度（小型）の焼結ギア１を製造する場合、第１粒子の平均粒径Ｄ１の具体的な値は、０．０５～０．１５ｍｍ程度であることが好ましく、０．０７５～０．１２ｍｍ程度であることがより好ましい。一方、第２粒子の平均粒径Ｄ２の具体的な値は
、０．００５～０．０２５ｍｍ程度であることが好ましく、０．００５～０．０１５ｍｍ程度であることがより好ましい。
　第１粒子の平均粒径Ｄ１および第２粒子の平均粒径Ｄ２を前記範囲とすることにより、高精度の焼結ギア１を製造する場合であっても、原料粉末の流動性を低下させることなく、第１粒子同士の隙間に第２粒子を点在させ易くなる。
　ここで、原料粒子の粒径は、例えば、レーザーによる投影像から測定することができる。また、平均粒径は、例えば、フロー式粒子像解析装置を用いて求めた３０００個の粒子の個数基準での平均粒径を採用することができる。
　原料粒子（第１粒子および第２粒子）は、例えば、粉砕法、水アトマイズ法、ガスアトマイズ法のようなアトマイズ法、還元法、カルボニル法等を用いて製造することができる。
　中でも、第２粒子は、水アトマイズ粒子であることが好ましい。水アトマイズ粒子は、円形度が高い（平均円形度で０．９以上）ため、第１粒子同士の隙間により点在させ易くなる。
　また、原料粒子の構成材料としては、Ｆｅ（鉄）単体、主成分のＦｅと任意の元素とを含む合金のような各種金属材料、アパタイト系セラミックスのような各種セラミックス材料等が挙げられる。なお、合金に添加される元素としては、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｍｎ（マンガン）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｕ（銅）、Ｗ（タングステン）、Ｖ（バナジウム）、Ｃｏ（コバルト）、Ｓｉ（珪素）、Ｃ（炭素）等のうちの少なくとも１種が挙げられる。
　このような原料粉末は、滑剤を含有してもよい。これにより、原料粉末の流動性をより高めることができる。
　滑剤としては、例えば、ステアリン酸のような脂肪酸、その金属塩、その誘導体（例えば、アミド、エステル等）、フッ素系樹脂等が挙げられる。これらの化合物は、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて用いることができる。
　この場合、原料粉末中に含まれる滑剤の量は、特に限定されないが、５質量％以下であることが好ましく、０．１～３質量％程度であることがより好ましい。
　原料粉末の具体的な流動度は、２５～５０ｓｅｃ／５０ｇ程度であることが好ましく、２５～３５ｓｅｃ／５０ｇ程度であることがより好ましい。このような流動度を有する原料粉末であれば、高い安定性でキャビティー２１２へ供給することができる。ここで、流動度は、ＪＩＳ　Ｚ　２５０２（２０１２年）に規定された金属粉－流動度測定法に準拠して測定することができる。
　原料粉末を圧縮する際の圧力（成形圧力）は、特に限定されないが、０．５～３ｔｏｎ程度であることが好ましく、１～２ｔｏｎ程度であることがより好ましい。
　以上のようにして、キャビティー２１２内に、焼結ギアに対応する形状を有する成形体１１が得られる。
　その後、ダイ２１と下パンチ２３とを相対的に接近させ、キャビティー２１２から成形体１１を排出する。
　［２］焼成工程
　次に、得られた成形体１１を、焼成して焼結体を得る。
　この焼結により、成形体１１では、原料粒子同士の界面で拡散が生じて焼結に至る。この際、成形体１１は、全体的に収縮して高密度の焼結体が得られる。本発明では、前述したような原料粉末を用いるため、その効果が特に高い。
　焼成温度は、成形体１１の製造に用いた原料粉末の組成や粒径等によって、設定される
ため特に限定されないが、９５０～１３００℃程度であることが好ましく、１０００～１２００℃程度であることがより好ましい。
　焼成時間は、０．２～３時間程度であることが好ましく、０．５～２時間程度であることがより好ましい。
　また、焼成の際の雰囲気は、特に限定されないが、大気雰囲気、酸化性雰囲気、還元性雰囲気、不活性雰囲気またはこれらの雰囲気を減圧した減圧雰囲気等が挙げられる。
　このようにして得られた焼結体は、寸法精度が極めて高いため、鍛造、切削のような二次加工を施すことなく、焼結ギア１とすることができる。なお、二次加工とは、機械的に焼結体の形状を変化させる加工を言い、二次加工には、後述する表面処理（加熱処理）は含まれない。
　なお、製造予定の焼結ギア１の径方向における寸法と得られた焼結体の径方向における寸法との誤差は、６σで好ましくは０．０２ｍｍ以下であり、より好ましくは０．００５～０．０１５ｍｍ程度である。前述したような粒径を有する原料粒子を用いることにより、かかる寸法精度の高い焼結ギア１を得ることができる。
　［３］表面処理工程
　次に、焼結体には、その表面に酸化膜を形成するための表面処理を行う。
　この表面処理により、焼結ギア１の表面の平滑性が高まる。また、表面に酸化膜が形成されることにより、酸化膜付きの焼結ギア１は、製造予定の焼結ギア１との寸法誤差をより小さくすることができる。
　表面処理の温度は、特に限定されないが、５００～１０００℃程度であることが好ましく、７００～９５０℃程度であることがより好ましい。
　また、表面処理の時間は、０．５分間～１時間程度であることが好ましく、１～４５分間程度であることがより好ましい。
　表面処理の雰囲気は、特に限定されないが、水蒸気雰囲気、酸化性雰囲気、不活性雰囲気、またはこれらの雰囲気を減圧した減圧雰囲気等が挙げられる。
　なお、［３］表面処理工程は、必要に応じて行うようにすればよく、省略してもよい。
　以上、本発明の原料粉末、焼結ギアの製造方法および焼結ギアについて、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
　また、本発明の焼結ギアは、ロボットハンドのような産業機械用部品の他、例えば、自動車用部品、自転車用部品、鉄道車両用部品、船舶用部品、航空機用部品、宇宙輸送機用部品のような輸送機器用部品、パソコン用部品、携帯端末用部品のような電子機器用部品、冷蔵庫、洗濯機、冷暖房機のような電気機器用部品、プラント用部品、時計用部品等に用いられる。
　次に、本発明の実施例について説明する。
　１．酸化膜付き焼結ギアの製造
　（実施例１）
　［Ａ］まず、Ｆｅを主成分とする第１粒子（平均粒径Ｄ１：０．０７５ｍｍ、ヘガネス社製）および第２粒子（平均粒径Ｄ２：０．００５ｍｍの水アトマイズ粒子、エプソン跡ミックス社製）を用意した。したがって、Ｄ１／Ｄ２は１５である。また、第１粒子および第２粒径の粒径（最大粒径）は、いずれも０．１ｍｍ以下であった。
　これらの第１粒子および第２粒子を、Ｖ型混合機で３０分間混合して、混合物を得た。なお、第１粒子と第２粒子との質量比を９９．５：０．５とした。
　［Ｂ］次に、混合物と、滑剤としてＮ，Ｎ’－エチレンビスステアラミド（花王株式会社製、「ＫＡＯ　ＷＡＸ　ＥＢ－ＦＦ」）とを、前記と同じＶ型混合機で３０分間混合して、原料粉末を得た。なお、原料粉末中に含まれるＮ，Ｎ’－エチレンビスステアラミドの量が０．３質量％となるように調製した。
　次に、この原料粉末を、図２に示す成形装置を用いて圧縮成形し、成形体を得た。なお、圧縮成形の際の圧力を１．１ｔｏｎとし、温度を室温とした。
　［Ｃ］次に、得られた成形体を、大気雰囲気中、１２００℃で１時間焼成して、焼結ギア（焼結体）を得た。なお、焼結ギアの形状は、歯先円直径９ｍｍ、モジュール０．３ｍｍ、歯数２７枚とした。
　［Ｄ］次に、得られた焼結ギアを、大気雰囲気中、７５０℃で１分間熱処理することにより、焼結ギアの表面に、平均厚さ０．０１ｍｍの酸化膜を形成した。これにより、酸化膜付き焼結ギアを得た。なお、酸化膜の平均厚さは、断面観察法により測定した。
　（実施例２）
　第１粒子と第２粒子との質量比を９７．５：２．５とした以外は、前記実施例１と同様にして、酸化膜付き焼結ギアを得た。
　（実施例３）
　第１粒子と第２粒子との質量比を９５：５とした以外は、前記実施例１と同様にして、酸化膜付き焼結ギアを得た。
　（実施例４）
　第１粒子と第２粒子との質量比を９２．５：７．５とした以外は、前記実施例１と同様にして、酸化膜付き焼結ギアを得た。
　（実施例５）
　焼結ギアの形状を、歯先円直径６ｍｍ、モジュール０．２ｍｍ、歯数２８枚とした以外は、前記実施例３と同様にして、酸化膜付き焼結ギアを得た。
　（比較例１）
　第１粒子と第２粒子との質量比を１００：０とした以外は、前記実施例１と同様にして、酸化膜付き焼結ギアを得た。
　（比較例２）
　第１粒子と第２粒子との質量比を９０：１０とした以外は、前記実施例１と同様にして、酸化膜付き焼結ギアを得た。
　２．測定
　２－１．流動度の測定
　各実施例および各比較例で用いた原料粉末の流動度は、流動度測定装置（自社製、ＪＩＳ　Ｚ　２５０２（２０１２年）に準拠）を用いて測定した。
　２－２．寸法誤差の測定
　各実施例および各比較例で得られた焼結ギアの寸法誤差は、工場顕微鏡（測定顕微鏡）により測定した。
　これらの測定結果を、原料粉末の構成と併せて、以下の表１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　以上のように、第１粒子と第２粒子との質量比を９２．５：７．５～９９．５：０．５に調整した原料粉末は、その流動度が高かった。また、かかる原料粉末を用いて製造した各実施例の焼結ギアは、高い寸法精度を有していた。これは、原料粉末中の第２粒子の量が適切であり、かつその流動性が高いため、第１粒子同士の隙間に第２粒子が点在した状（充填された）状態で、原料粒子を成形型のキャビティーの全体に高密度で充填できた結果である。
　また、第１粒子と第２粒子との質量比を適宜調整することにより、上記効果が向上する傾向を示した。
　これに対して、第２粒子を混合しなかった原料粉末、または第１粒子と第２粒子との質量比が上記範囲から外れる原料粉末を用いて製造した各比較例の焼結ギアは、寸法精度に劣るものであった。
　また、図３～図７に添付したＳＥＭ写真から明らかなように、各実施例は各比較例より表面状態が良好である。これは、流動性に依存するキャビティーへの原料粉末の充填密度の違いによるものである。
　１…焼結ギア
　１１…成形体
　２…ギア本体
　３…歯
　１０…成形装置
　２０…成形型
　２１…ダイ
　２１１…貫通孔
　２１２…キャビティー
　２２…上パンチ
　２３…下パンチ
　３０…フィーダー

Claims (12)

  1. 　焼結ギアを製造するのに用いられる原料粉末であって、
    　前記焼結ギアのモジュール［ｍｍ］以下の粒径を有する原料粒子を含み、
    　前記原料粒子が、第１粒子と、該第１粒子の平均粒径より小さい平均粒径を有する第２粒子とを含み、
    　前記原料粒子１００質量部中に、前記第２粒子を０．５～７．５質量部で含むことを特徴とする原料粉末。
  2. 　前記第１粒子の平均粒径をＤ１［ｍｍ］とし、前記第２粒子の平均粒径をＤ２［ｍｍ］としたとき、Ｄ１／Ｄ２が５～２０である請求項１に記載の原料粉末。
  3. 　前記第１粒子の平均粒径Ｄ１が、０．０５～０．１５ｍｍである請求項１または２に記載の原料粉末。
  4. 　前記第２粒子の平均粒径Ｄ２が、０．００５～０．０２５ｍｍである請求項１ないし３のいずれか１項に記載の原料粉末。
  5. 　前記第２粒子が、水アトマイズ粒子である請求項１ないし４のいずれか１項に記載の原料粉末。
  6. 　前記焼結ギアの前記モジュールが、０．１５～０．３ｍｍである請求項１ないし５のいずれか１項に記載の原料粉末。
  7. 　さらに、滑剤を５質量％以下で含む請求項１ないし６のいずれか１項に記載の原料粉末。
  8. 　当該原料粉末の流動度が、２５～５０ｓｅｃ／５０ｇである請求項１ないし７のいずれか１項に記載の原料粉末。
  9. 　請求項１ないし８のいずれか１項に記載の原料粉末を用いて焼結ギアを製造する方法であって、
    　前記原料粉末を圧縮成形して、前記焼結ギアに対応する形状を有する成形体を得る工程と、
    　前記成形体を焼成して、焼結体を得る工程とを有することを特徴とする焼結ギアの製造方法。
  10. 　前記焼結体を得た後、前記焼結体に対して二次加工を施すことなく、前記焼結体を前記焼結ギアとする請求項９に記載の焼結ギアの製造方法。
  11. 　製造予定の前記焼結ギアの径方向における寸法と得られた前記焼結体の径方向における寸法との誤差が、６σで０．０２ｍｍ以下である請求項９または１０に記載の焼結ギアの製造方法。
  12. 　請求項１ないし８のいずれか１項に記載の原料粉末の焼結体で構成されることを特徴とする焼結ギア。
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