WO2019168427A1 - Газовый мультисенсор и устройство для анализа многокомпонентной газовой смеси - Google Patents

Газовый мультисенсор и устройство для анализа многокомпонентной газовой смеси Download PDF

Info

Publication number
WO2019168427A1
WO2019168427A1 PCT/RU2018/000123 RU2018000123W WO2019168427A1 WO 2019168427 A1 WO2019168427 A1 WO 2019168427A1 RU 2018000123 W RU2018000123 W RU 2018000123W WO 2019168427 A1 WO2019168427 A1 WO 2019168427A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
organic field
gas
effect transistors
layer
organic
Prior art date
Application number
PCT/RU2018/000123
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Алексей Сергеевич СИЗОВ
Даниил Сергеевич АНИСИМОВ
Аскольд Альбертович ТРУЛЬ
Виктория Петровна ЧЕКУСОВА
Александр Анатольевич ПЕРМЯКОВ
Алексей Николаевич КИСИЛЕВ
Алексей Андреевич ВАСИЛЬЕВ
Елена Валериевна АГИНА
Сергей Анатольевич ПОНОМАРЕНКО
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Технологии Печатной Электроники" (ООО "ПРИНТЭЛТЕХ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Технологии Печатной Электроники" (ООО "ПРИНТЭЛТЕХ") filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Технологии Печатной Электроники" (ООО "ПРИНТЭЛТЕХ")
Priority to DE112018007183.9T priority Critical patent/DE112018007183T5/de
Priority to KR1020207027977A priority patent/KR20210002469A/ko
Priority to US16/976,483 priority patent/US20210181144A1/en
Publication of WO2019168427A1 publication Critical patent/WO2019168427A1/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403—Cells and electrode assemblies
    • G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
    • G01N27/4141—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS specially adapted for gases
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403—Cells and electrode assemblies
    • G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0031—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector comprising two or more sensors, e.g. a sensor array
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
    • H10K10/40—Organic transistors
    • H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
    • H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
    • H10K10/466—Lateral bottom-gate IGFETs comprising only a single gate
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
    • H10K10/40—Organic transistors
    • H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
    • H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
    • H10K10/484—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs] characterised by the channel regions
    • H10K10/488—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs] characterised by the channel regions the channel region comprising a layer of composite material having interpenetrating or embedded materials, e.g. a mixture of donor and acceptor moieties, that form a bulk heterojunction
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K19/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic element specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, covered by group H10K10/00
    • H10K19/10—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic element specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, covered by group H10K10/00 comprising field-effect transistors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/30—Coordination compounds
    • H10K85/331—Metal complexes comprising an iron-series metal, e.g. Fe, Co, Ni
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/30—Coordination compounds
    • H10K85/341—Transition metal complexes, e.g. Ru(II)polypyridine complexes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/30—Coordination compounds
    • H10K85/381—Metal complexes comprising a group IIB metal element, e.g. comprising cadmium, mercury or zinc
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/02—Food
    • G01N33/03—Edible oils or edible fats
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/02—Food
    • G01N33/14—Beverages
    • G01N33/146—Beverages containing alcohol

Definitions

  • the invention relates to the field of measuring equipment, in particular, to gas-analytical sensors - chemical sensors designed to analyze the composition of gas mixtures, to detect and quantify toxic chemical gaseous compounds in the environment.
  • the invention relates to electronic nose systems, which are an artificial sense of smell system based on an array of chemical sensors, each of which is an organic field effect transistor with limited specificity.
  • the inventive device for the analysis of a multicomponent gas mixture of the type "Electronic Nose” based on organic field-effect transistors is designed for a wide range of practical applications and is intended to replace the human olfactory system by creating intelligent automated air control and odor detection systems.
  • “Electronic Nose” can be used to determine the quality of certain categories of expensive food products, such as coffee, tea, olive oil or wine in production and retail chains [Taurino A. M., Zuppa M., Presicce DS [ et. al. ] Miniaturized
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) Hybrid System for Olive Oil Evaluation // 2005 Ieee Sensors, Vols 1 and 2. - 2005. - P. 1022-1025].
  • Another application of such systems is non-invasive medical diagnosis of certain types of diseases such as diabetes [Ping W., Yi T., Xie N.V., Shen FR A Novel Method for Diabetes Diagnosis Based on Electronic Nose // Biosensors & Bioelectronics. - 1997. - V. 12, N? 9-10. - P. 1031-1036] or asthma [Bates CA, Silkoff PE Exhaled Nitric Oxide in Asthma: From Bench to Bedside // Journal of Allergy and Clinical Immunology. - 2003. - V.
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) the structure of individual sensors that make up the "electronic nose", receptor layers of various chemical structures, which allows to increase the selectivity of the sensors used.
  • An additional advantage is the low cost of the multisensor, which is the basis of the "Electronic Nose", which allows it to be used as a disposable device and is relevant in the case of biomedical applications.
  • a known sensor of the electronic nose or electronic language including one substrate with many sensitive areas.
  • Each of the receptor zones contains a mixture of several different receptors in various proportions.
  • a sample interacts with at least one of the sensitive zones, its physical parameters change, which makes it possible to determine the presence of a detectable compound using optical, fluorescence or confocal microscopy, as well as by means of surface plasmon resonance or by measuring impedance [application EA201491561 A1, publication date 2015.01.30 ].
  • the disadvantage of this sensor is the use of complex methods of signal registration, excluding the creation of portable devices, as well as the manufacture of a mixture of receptors in various proportions, which increases the cost of the final device.
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) the surface of which is covered with various functional groups other than methyl.
  • the known device is intended for the detection of volatile organic compounds in concentrations below 1 ppm.
  • the electrical signal received from each individual sensor in the electronic nose is analyzed using a -measurement unit (pattern recognizer) in accordance with one of the known data analysis methods, such as the principle component method or artificial neural network algorithm.
  • the device can be used for non-invasive medical diagnostics, including cancer diseases [application US 2010/0198521 A1, publication date 05.08.2010].
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) separate gas sensors, which excludes the creation on its basis of portable gas analytical systems.
  • a device for analyzing the composition of the gas mixture including a dielectric substrate with heating elements and a gas-sensitive metal-oxide layer deposited on the surface of the substrate, strip electrodes located at the edges of the gas-sensitive metal-oxide layer and at least one measuring electrode located between strip electrodes, while the strip electrodes are equipped with leads for connecting to a voltage source, and the measuring electrodes are equipped with leads for connecting to potential measurement stroystvu.
  • the device allows you to distinguish between each individual volatile organic compounds [patent RU2392614 C1, publication date 06/03/2009].
  • the disadvantage of this device is the need to heat the metal oxide layer to high temperatures (100-400 ° C), which eliminates the possibility of creating energy-efficient systems on its basis.
  • the device is limited in selectivity.
  • the semiconducting channel is a nanostructured semiconductor consisting of nanotubes, nanowires or a film of nanometer thickness.
  • the device can be used in systems such as "Electronic nose” and is able to detect compounds of biological origin with high sensitivity [patent US8377706 B2, publication date 02/19/2013].
  • a disadvantage of the described device is a limited range of detectable compounds, including only compounds of biological origin, but not including low molecular weight toxic gases.
  • the disadvantage of the described device is the presence of two shutter electrodes - the upper and lower, which complicates the manufacturing process of the sensor and the electronic nose based on it.
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26)
  • Known "electronic nose” on the basis of sensors of one of several types (including transistors), while the semiconductor layer consists of nanowires of columnar discotic liquid crystals.
  • individual sensors in the electronic nose are not sensitive to water vapor.
  • the device is intended for the detection of volatile organic compounds with high sensitivity application US 2010/0191474 A1, publication date 07/29/2010].
  • the disadvantage of the described device is the limited range of detectable compounds, including only volatile organic compounds, but not including low molecular weight toxic gases.
  • a device of the "electronic nose” type in which chemisorption sensors with various sensitive layers based on metalloporphyrins of various chemical structures, differing from each other by the type of central metal atom, are used as separate sensors.
  • the principle of operation of the device is based on measuring the optical characteristics of individual sensors included in the "electronic nose", the subsequent analysis of the obtained data using well-known processing methods, for example, the principal component method, and correlation of the obtained characteristics with known calibration curves.
  • the device is capable of detecting low molecular weight toxic gases such as ammonia, nitrogen oxides, carbon monoxide and triethylamine. [Filippini D., Alimelli A., Di Natale C., Paolesse R., D'Amico A., Lundstrom I. Chemical Sensing with Familiar
  • the disadvantage of this device is its lack of sensitivity (above 2 ppm in the case of ammonia, above 20 ppm in the case of nitrogen), due to the weakly sensitive method of recording the response from individual sensors.
  • the technical problem to be solved by the claimed invention is aimed at creating a highly sensitive electronic nose device for analyzing a multicomponent gas mixture, as well as determining the concentrations of various low molecular weight toxic gases in its composition in a concentration range of less than 1 ppm.
  • the technical result achieved by the implementation of the claimed invention is to reduce the lower detection threshold of an electronic nose device based on chemisorption sensors with receptor layers based on metalloporphyrins of different chemical structures that differ from each other by a central metal atom.
  • the gas multisensor includes an array of N organic field effect transistors, each of which includes at least an electrode - "drain”, “source”, separated by a layer of organic semiconductor, electrode “gate”, dielectric layer and an additional metalloporphyrin-based receptor layer of the general formula
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) 1 or 2, fully or partially covering an organic semiconductor layer in an N-to structure of an organic field effect transistor:
  • each of the N organic field effect transistors included in the array differs from other organic field effect transistors in the array by the chemical structure of the receptor layer.
  • the metal ion of porphyrin M is an transition metal ion of Cu, Zn, Co, Fe, Ni, Cr, Mn, Ti OR V.
  • an array N of organic field effect transistors is formed on a common substrate.
  • the gas multisensor is designed to detect the presence of one of the following gases: ammonia, hydrogen sulfide, nitrogen dioxide, ethyl mercaptan.
  • the gas multisensor includes an array of N organic field effect transistors, each of which includes at least an electrode - "drain”,
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) "Source", separated by an organic semiconductor layer, a gate electrode, a dielectric layer and an additional receptor layer based on metalloporphyrin of the general formula 1 or 2, fully or partially covering the organic semiconductor layer in the -ro structure of an organic field effect transistor:
  • each of the N organic field effect transistors included in the array differs from other organic field effect transistors in the array in the chemical structure of the receptor layer, wherein the array of N organic field effect transistors contains at least one organic field effect transistor, not having a receptor layer, designed to quantify the concentration of several low molecular weight toxic gases in the composition of atmospheric air or a gas mixture.
  • organic field effect transistors with a receptor layer are located mainly around the perimeter of the substrate, and the organic
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) a field effect transistor having no receptor layer is located mainly in the central part of the substrate.
  • the receptor layers of metalloporphyrins are deposited using the Langmuir-Blodgett method by partially dipping the substrate into a subphase.
  • the organic semiconductor layer of the organic field effect transistor is a self-organizing monolayer made of organosilicon chemically inert soluble derivatives of oligothiophenes, benzothienobenzothiophenes or diphenylbitiophenes in organic solvents.
  • the layer thickness of the organic semiconductor of the organic field effect transistor is 2-20 nm.
  • the gas multisensor determines the presence and concentration of one of the following gases: ammonia, hydrogen sulfide, nitrogen dioxide, ethyl mercaptan.
  • the device for analyzing a multicomponent gas mixture of the "Electronic nose" type includes a gas multisensor made according to any of the implementation options above; a measuring unit connected to each of the organic field-effect transistors as part of the aforementioned gas multisensor, while the measuring unit is configured to measure current values in each of the N organic field-effect transistors included in the array,
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) depending on time; a microprocessor connected to the measuring unit and configured to analyze the response of each of the N organic field effect transistors and determine the type of low molecular weight toxic gas present in the gas mixture, as well as its concentration; a sealed chamber with a gas inlet and outlet, in which the aforementioned gas multisensor is placed.
  • the device is designed to determine the presence and concentration of one of the following gases: ammonia, hydrogen sulfide, nitrogen dioxide, ethyl mercaptan.
  • a decrease in the lower detection threshold of an electronic nose device based on chemisorption sensors with receptor layers based on metalloporphyrins of various chemical structures is achieved due to two factors.
  • the chemisorption sensors used in the device are organic field-effect transistors in which receptor layers based on metalloporphyrins of various chemical structures are deposited on top of the organic semiconductor layer, which makes it possible to record the sensor response in the form of dependences of the current value on the applied voltage.
  • films of an organic semiconductor and a metalloporphyrin-based receptor have the smallest possible thickness and, in a preferred embodiment, are monolayers of a substance, which corresponds to film thicknesses in the range from 2 to 20 nm.
  • FIG. 1 shows a diagram of a gas multisensor device based on organic field-effect transistors
  • figure 2 - shows a diagram of a gas multisensor based on organic field-effect transistors placed on different substrates
  • FIG. 3 - shows a diagram of a gas multisensor based on organic field-effect transistors made on a single substrate
  • FIG. 4 - shows current-voltage curves of an organic field effect transistor before metalloporphyrin is applied
  • Fig. 5 - shows the current-voltage curves of the organic field effect transistor after applying metalloporphyrin
  • FIG. 6 shows a diagram of an electronic nose type device based on a gas multisensor
  • FIG. 7 - shows the dependence of the current value on time for an organic field effect transistor with a receptor layer of TiO-TPP metalloporphyrin at various concentrations of one gas (ammonia);
  • FIG. 8 shows the time dependence of the current value for an organic field effect transistor with a TiO-TPP metalloporphyrin receptor layer for different gases of the same concentration
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) in FIG. 9 - shows the dependence of current on time for an organic field effect transistor with various receptor layers of metalloporphyrins;
  • FIG. 10 - shows the results of recording the response of a gas multisensor based on organic field-effect transistors by the linear discriminant method (LDA - linear discriminant analysis);
  • FIG. 11-14 show the concentration dependences of the relative current in an organic field-effect transistor without a receptor layer for gas mixtures containing gases ammonia (III), hydrogen sulfide (H2S), nitrogen dioxide (NO2), ethyl mercaptan (Et-SH);
  • the gas multisensor 8 shown in figure 1 is an array of N organic field effect transistors 1, each of which includes at least an electrode 2 - "drain”, electrode 3 - “source”, separated by a layer 4 of an organic semiconductor, electrode 5 - “gate”, dielectric layer b and receptor layer 7, fully or partially covering the organic semiconductor layer 4 in the structure N of the organic field effect transistor.
  • the receptor layer 7 is made on the basis of metalloporphyrin of the general formula 1 or 2:
  • metal ion of porphyrin M is an ion of transition metals Cu, Zn, Co, Fe, Ni, Cr, Mn, Ti OR
  • an array of N organic field effect transistors 1 used for a qualitative analysis of the composition of atmospheric air or a gas mixture may contain at least one organic field effect transistor I 3 having no receptor layer, and which can be used to quantify the concentration of low molecular weight toxic gas in atmospheric air or in a gas mixture containing gases ammonia (NH3), hydrogen sulfide (H2S), diox nitrogen id (N02), ethyl mercaptan (Et-SH);
  • an array of N organic field effect transistors 1 is formed on a common substrate I 2 (Fig. 3), while the metalloporphyrin receptor layers 7 are transferred using the Langmuir-Blodgett method by partially dipping the substrate I 2 into a subphase. If there are at least one organic field effect transistor I 3 in the array N of organic field effect transistors 1 without a receptor layer, it is preferable to place such a transistor in the central part of the substrate I 2 , and N organic field effect transistors 1 with a receptor layer 7 are placed mainly around the perimeter substrate I 2 .
  • the proposed arrangement of N organic field effect transistors 1 allows the transfer of each subsequent receptor layer 7 without damaging the receptor layers 7 of the other transistors of the array.
  • an organic semiconductor layer 4 is provided in a preferred embodiment of the gas multisensor 8.
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) is a self-organizing monolayer and can be made from organosilicon chemically inert soluble in organic solvents derivatives of oligothiophenes, benzothienobenzothiophenes or diphenylbitiophenes, such as 1, 3-bis [11- (5 '''-hexyl-2.2":5', 2 T f : 5 f t , 2 '' t- quatrothiophen-5-yl) undecyl] -
  • Layer 4 of the organic semiconductor can be obtained by any of the known methods, in particular, the Langmuir-Blodgett method [Sizov A. S., Agina E. V., Gholamrezaie
  • the thickness of the layer 4 of the organic semiconductor can be from 2 to 20 nm, which ensures high sensitivity of the sensor. Since the electric current in the N organic field-effect transistor, which is part of the gas multisensor 8, is localized in a thin near-surface layer at the interface between “layer 4 of the organic semiconductor and dielectric layer b,” the thickness of layer 4 of the organic semiconductor in the range from 2 to 20 nm provides a direct effect of the receptor layer 7 to the current-carrying part of the semiconductor layer 4. The lower boundary of the specified range of 2 nm corresponds to the minimum thickness of the layer 4 of the organic semiconductor, at which the organic field ican 1 exhibit electrical and gas sensing properties.
  • the upper limit of the specified range of 20 nm allows the detection of low concentrations of the target gases in the concentration range of less than 1 ppm. With an increase in the thickness of layer 4 of the organic semiconductor, the sensitivity of the gas multisensor in the ppb range decreases.
  • the receptor layer 7 is a monolayer, which ensures high sensitivity of the device.
  • the detected toxic gas interacts with the surface of the receptor layer 7, local dipole moments arise that create electrostatic fields. Since the field value decreases with distance, the small thickness of the metalloporphyrin receptor layer 7 provides the greatest influence of the receptor surface on the conducting channel of the transistor.
  • the need to use separate semiconductor 4 and receptor 7 layers is due to the fact that the receptor layer 7 with a small thickness has extremely low electrical characteristics, insufficient for the gas sensor to work.
  • the fundamental factor for achieving the technical result is the preservation of the high electrical characteristics of the monolayer organic field effect transistor 1 when transferring the receptor layer 7. This result is achieved due to the fact that the receptor layer 7 is transferred to a substrate I 1 or I 2 containing N organic field effect transistors 1, when using the Langmuir-Blodgett or Langmuir-Schaeffer methods [Wei Z. M., Sao Y., Ma W. Z. , Wang C.
  • FIG. 4 shows electrical specifications
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) organic field-effect transistor before applying the receptor layer 7
  • Fig. 5 shows the electrical characteristics of the organic field-effect transistor after applying the receptor layer 7.
  • the dielectric layer 5 may be made of thermally grown dry silicon dioxide modified with a self-assembled monolayer (SAM) self-assembled monolayer (ODMS) or other alkylchlorosilane providing a sufficiently low surface roughness ( ⁇ 0.5 nm) of the surface dielectric layer 5.
  • SAM self-assembled monolayer
  • ODMS self-assembled monolayer
  • other alkylchlorosilane providing a sufficiently low surface roughness ( ⁇ 0.5 nm) of the surface dielectric layer 5.
  • the manufacture of a gas multisensor 8 based on organic field-effect transistors 1 shown in FIG. 2 and FIG. 3 is preferably carried out as follows.
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) transfer the receptor layers of 7 metalloporphyrins of various chemical structures.
  • the following compounds were used to form the receptor layer 7 based on metalloporphyrins:
  • the choice of these metalloporphyrins is due to two factors. The first is the simplicity of their chemical formula that does not contain side substituents, which simplifies their synthesis and reduces the cost of final materials and devices based on them. The second factor is that the porphyrins used are highly soluble in common organic solvents, such as, for example, toluene, and are able to form uniform extended monolayers on the surface of the water, which can be transferred onto a solid substrate by the Langmuir-Blodgett method. The formation of a homogeneous extended receptor monolayer allows one to ensure high sensitivity of this layer to the presence of toxic gases, while any defects of the layer, especially its thickening, reduce the lower threshold of sensitivity of the sensor.
  • common organic solvents such as, for example, toluene
  • an increase in the number of organic field effect transistors 1 having different receptor layers 7 in the gas sensor array 8 increases the reliability of the qualitative analysis of the composition of atmospheric air or gas mixture.
  • the receptor layers of metalloporphyrins are transferred using the Langmuir-Blodgett method by partially dipping the substrate into a subphase.
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) includes a gas multisensor 8 based on organic field-effect transistors 1 and I 3 according to any of the embodiments described above, a microprocessor 9, a measuring unit 10 connected to the electrodes 2 "drain”, 3 "source” and 5 “gate” of each of N organic field-effect transistors 1 and I 3 as part of a gas multisensor 8 and a microprocessor 12, a sealed chamber 9 with a gas inlet and an outlet, in which a gas multisensor 8, a power supply 10 connected to the electrodes 2 "drain", 3 "source” and 5 "shutter” of each of N organic field trans Store 1 and I 3 .
  • the operation of the device for analyzing a multicomponent gas mixture of the type "Electronic nose" based on a gas multisensor 8, including an array of N organic field effect transistors 1 is as follows.
  • a gas mixture is supplied containing one of the detected toxic chemical gaseous compounds in concentrations from 10 ppb to 1 ppm.
  • a constant negative potential V is applied via a power source 10 The value of V is selected so that the electric field in the dielectric layer b is at least 50 kV / mm, and the electric field in the layer 4 of the organic semiconductor is at least 0.5 kV / mm.
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) receptor layers 7 included in the multisensor 8, depending on the time t.
  • known methods of processing data of electronic nose systems can be used: Principal Component Method (PCA), Linear Discriminant Method (LDA), neural network, etc.
  • PCA Principal Component Method
  • LDA Linear Discriminant Method
  • neural network etc.
  • 0tn 1 to N for each of the organic field effect transistor 1 to a receptor layer 7 consisting of metalloporphyrin gas sensor 8 depend on the content and concentration of low molecular weight toxic gases consisting of air or gas mixture. The values / relative to dry air, and when the content therein ammonia at a concentration of 200 ppb - 1 ppm significantly different (see Figure 7..).
  • the values of / rel to for each of the N organic field effect transistors 1 with the metalloporphyrin receptor layer 7 depend on the type of low molecular weight toxic gas present in the composition of the atmospheric air or gas mixture. This fact is due to various properties of molecules of toxic gases, such as size, magnitude of dipole moment, donor-acceptor properties, etc.
  • FIG. Figure 8 shows the time dependence of the current value for an organic field effect transistor with a metalloporphyrin TiO-TPP receptor layer 7 for different gases of the same concentration.
  • SUBSTITUTE SHEET (RULE 26) kinetics of sorption of the same gas on the surface of a layer of metalloporphyrins of different chemical structures.
  • FIG. Figure 9 shows the time dependence of the current for an organic field effect transistor with various receptor layers 7 of metalloporphyrins when the concentration of ammonia in the gas mixture is 200 ppb.
  • Fig. 8 shows the result of applying the LDA method for gas mixtures containing one of the gases: NH 3 , H2S, NO2, Et-SH.
  • the points corresponding to different gases are grouped in areas on the LDA diagram, and these areas are disjoint.
  • a point is calculated on the LDA diagram and the type of the detected compound is determined by its relation to one of the regions.
  • the last step in magnitude / relative to that obtained for an organic field effect transistor N 3 I without the receptor layer is determined by the concentration of the detectable compounds of the calibration curves (11-14) previously listed in the microprocessor memory 12, the following algorithm.
  • concentration of the detectable compounds of the calibration curves (11-14) previously listed in the microprocessor memory 12, the following algorithm.
  • On the gauge value of the concentration of the current curve (Fig. 11-14), corresponding to a specific type previously detectable compound is a point ordinate which lies closest to the obtained value 0tn to 1 and its abscissa the measured value of the concentration is considered.
  • the established class of the detected compound, as well as its concentration measured in accordance with the algorithm, is displayed to the user.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности, к газоаналитическим датчикам -химическим сенсорам, предназначенным для анализа состава газовых смесей, обнаружения и количественного определения токсичных химических газообразных соединений в окружающей среде. Газовый мультисенсор включает в себя массив N органических полевых транзисторов, каждый из которых включает в себя по меньшей мере электрод - «сток», «исток», разделенные слоем органического полупроводника, электрод «затвор», диэлектрический слой и дополнительный рецепторный слой на основе металлопорфирина общей формулы 1 или 2, полностью или частично покрывающий слой органического полупроводника в структуре N-го органического полевого транзистора: где металл-ион порфирина М является переходным металлом, при этом каждый из N органических полевых транзисторов, входящих в массив, отличается от других органических полевых транзисторов массива химическим строением рецепторного слоя. Технический результат - уменьшении нижнего порога детектирования устройства типа «электронный нос» на основе хемисорбционных датчиков.

Description

ГАЗОВЫЙ МУЛЬТИСЕНСОР И УСТРОЙСТВО ДЛЯ АНАЛИЗА
МНОГОКОМПОНЕНТНОЙ ГАЗОВОЙ СМЕСИ
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ
Изобретение относится к области измерительной техники, в частности, к газоаналитическим датчикам - химическим сенсорам, предназначенным для анализа состава газовых смесей, обнаружения и количественного определения токсичных химических газообразных соединений в окружающей среде .
Более конкретно изобретение относится к системам типа «Электронный нос», представляющим из себя искусственную систему обоняния, основанную на массиве химических сенсоров, каждый из которых представляет из себя органический полевой транзистор, обладающий ограниченной специфичностью.
Заявляемое устройство для анализа многокомпонентной газовой смеси типа «Электронный нос» на основе органических полевых транзисторов предназначено для широкого набора практических приложений и призвана заменить обонятельную систему человека за счет создания интеллектуальных автоматизированных систем контроля воздуха и детектирования запахов. В частности, «Электронный нос» может быть использован для определения качества отдельных категорий дорогостоящих пищевых продуктов, таких как кофе, чай, оливковое масло или вино на производстве и в сетях розничной торговли [Taurino А. М., Zuppa М., Presicce D. S. [et. al . ] Miniaturized
1
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) Hybrid System for Olive Oil Evaluation // 2005 Ieee Sensors, Vols 1 and 2. — 2005. - P. 1022-1025]. Другим применением таких систем является неинвазивная медицинская диагностика отдельных видов заболеваний, таких как диабет [Ping W., Yi Т., Xie Н. В., Shen F. R. A Novel Method for Diabetes Diagnosis Based on Electronic Nose // Biosensors & Bioelectronics. — 1997. — V. 12, N? 9-10. - P. 1031-1036] или астма [Bates C. A., Silkoff P. E. Exhaled Nitric Oxide in Asthma: From Bench to Bedside // Journal of Allergy and Clinical Immunology. - 2003. - V. Ill, N-° 2. - P. 256-262]. Перспективным применением «Электронного носа» является также контроль качества окружающего воздуха в жилых и рабочих зонах [McNabola А., Broderick В. М., Gill L. W. A Principal Components Analysis of the Factors Effecting Personal Exposure to Air Pollution in Urban Commuters in Dublin, Ireland // Journal of Environmental Science and Health Part a- Toxic/Hazardous Substances & Environmental Engineering. - 2009. - V. 44, N! 12. - P. 1219-1226], а также контроль появления возгорания [Scorsone Е., Pisanelli А. М., Persaud К. С. Development of an Electronic Nose for Fire Detection // Sensors and Actuators B-Chemical. — 2006. — V. 116, W 1-2. - P. 55-61] .
ПРЕДШЕСТВУЮЩИЙ УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
Применение органических полевых транзисторов в качестве основы для системы «Электронный нос» является наиболее перспективным решением, поскольку позволяет совместить высокую чувствительность, низкое энергопотребление, а также возможность внедрения в
2
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) структуру отдельных сенсоров, входящих в состав «электронного носа», рецепторных слоев различного химического строения, что позволяет увеличить селективность используемых датчиков. Дополнительным преимуществом является невысокая стоимость мультисенсора, являющегося основой «Электронного носа», что позволяет использовать его в варианте одноразового устройства и актуально в случае биомедицинских применений .
Известен сенсор электронного носа или электронного языка, включающий одну подложку с множеством чувствительных зон. Каждая из рецепторных зон содержит смесь нескольких различных рецепторов в различных пропорциях. При взаимодействии образца с хотя бы одной из чувствительных зон меняются ее физические параметры, что позволяет определить наличие детектируемого соединения при помощи оптической, флуоресцентной или конфокальной микроскопии, а также посредством поверхностного плазмонного резонанса или путем измерения импеданса [заявка ЕА201491561 А1, дата публикации 2015.01.30] .
Недостаток данного сенсора заключается в применении сложных методов регистрации сигнала, исключающих создание портативных устройств, а также изготовления смеси рецепторов в различных пропорциях, что удорожает стоимость конечного устройства.
Также известен электронный нос на основе массива полевых транзисторов, в которых роль полупроводникового слоя выполняют изолированные неокисленные нанотрубки,
3
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) поверхность которых покрыта различными функциональными группами, отличными от метильных.
Известное устройство предназначено для детектирования летучих органических соединений в концентрациях ниже 1 ppm. Электрический сигнал, получаемый с каждого отдельного сенсора в составе электронного носа анализируется при помощи -измерительного блока (распознавателя образов) в соответствии с одним из известных методов анализа данных, таких как метод принципиальных компонент или алгоритм искусственной нейронной сети. Прибор может быть использован для неинвазивной медицинской диагностики, в том числе раковых заболеваний [заявка US 2010/0198521 А1, дата публикации 05.08.2010] .
Недостатком данного электронного носа является техническая сложность процесса изготовления полупроводникового слоя отдельных сенсоров, требующая точного размещения одиночной нанотрубки относительно электродов, а также возможность детектирования при помощи такого носа лишь ограниченного набора химических соединений (летучих органических соединений) .
Известен многоканальный «электронный нос» на пьезосенсорах, каждый из которых покрыт пленочными покрытиями различных сорбентов. Устройство позволяет анализировать пробы различного состава, в том числе мало отличающиеся друг от друга, содержащие определяемые компоненты на уровне микроконцентраций [патент RU2327984 С1, дата публикации 19.02.2007].
Недостатком описанного прибора является применение крупногабаритной электрической системы снятия отклика с
4
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) отдельных газовых сенсоров, что исключает создание на ее основе портативных газоаналитических систем.
Известно устройство для анализа состава газовой смеси, включающее в себя диэлектрическую подложку с нагревательными элементами и нанесенным на поверхность подложки газочувствительным металл-оксидным слоем, полосковые электроды, расположенные по краям газочувствительного металл-оксидного слоя и, по крайней мере, один измерительный электрод, размещенный между полосковыми электродами, при этом полосковые электроды снабжены выводами для подключения к источнику напряжения, а измерительные электроды снабжены выводами для подключения к устройству измерения потенциала. Устройство позволяет различать между собой отдельные летучие органические соединения [патент RU2392614 С1, дата публикации 03.06.2009].
Недостатком устройства является необходимость нагрева металл-оксидного слоя до высоких температур (100-400°С), что исключает возможность создания на его основе энергоэффективных систем. Кроме того, устройство ограничено по селективности.
Известен способ формирования матрицы сенсоров на основе пьезокварцевых резонаторов, электроды которых модифицированы сорбентами различного химического строения. На основании откликов отдельных сенсоров на газовую смесь составляется визуальный образ, который затем анализируется [патент RU2442158 С2, дата публикации 23.04.2010] .
5
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) Недостатком устройств, реализующих данный метод, является ограниченный набор детектируемых аналитов ввиду узкого набора используемых сорбентов.
Известен полевой транзистор с нанесенной поверх него липидной мембраной, покрывающей сток, исток, а также полупроводящий канал и содержащей белковый рецептор. При этом полупроводящий канал представляет из себя наноструктурированный полупроводник, состоящий из нанотрубок, нанонитей или представляющий из себя пленку нанометровой толщины. Устройство может быть использовано в системах типа «Электронный нос» и способно детектировать соединения биологического происхождения с высокой чувствительностью [патент US8377706 В2, дата публикации 19.02.2013] .
Недостатком описанного устройства является ограниченный круг детектируемых соединений, включающий только соединения биологического происхождения, но не включающий низкомолекулярные токсичные газы.
Известен полевой транзистор на основе полупроводникового кремния, имеющий в своей структуре верхний и нижний затворы, а также рецепторный слой. Массив сенсоров на основе таких полевых транзисторов с различными рецепторными слоями может быть объединён в систему типа «Электронный нос» [заявка US2011/0108892 А1, дата публикации 12.05.2011].
Недостатком описанного устройства является наличие двух электродов затвора - верхнего и нижнего, что усложняет процесс изготовления сенсора и электронного носа на его основе .
б
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) Известен «электронный нос» на основе сенсоров одного из нескольких типов (в т.ч. транзисторов) , при этом полупроводниковый слой состоит из нанонитей колончатых дискотических жидких кристаллов. Кроме того, отдельные сенсоры в составе электронного носа не имеют чувствительности к парам воды. Устройство предназначено для детектирования летучих органических соединений с высокой чувствительностью заявка US 2010/0191474 А1, дата публикации 29.07.2010].
Недостатком описанного устройства является ограниченный круг детектируемых соединении, включающий только летучие органические соединения, но не включающий низкомолекулярные токсичные газы.
Наиболее близким к заявляемому техническому решению является устройство типа «электронный нос», в котором в качестве отдельных сенсоров используются хемисорбционные датчики с различными чувствительными слоями на основе металлопорфиринов различного химического строения, отличающиеся друг от друга типом центрального атома металла. Принцип работы прибора основан на измерении оптических характеристик отдельных датчиков, входящих в состав «электронного носа», последующем анализе получаемых данных при помощи известных методов обработки, например, метода принципиальных компонент, и соотнесении получаемых характеристик с известными калибровочными кривыми. Устройство способно детектировать низкомолекулярные токсичные газы, такие как аммиак, оксиды азота, монооксид углерода и триэтиламин. [Filippini D., Alimelli A., Di Natale С., Paolesse R., D'Amico A., Lundstrom I. Chemical Sensing with Familiar
7
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) Devices // Angew Chem Int Ed Engl. - 2006. - V. 45, N* 23. - P. 3800-3] .
Недостатком данного устройства является его недостаточная чувствительность (выше 2 ppm в случае аммиака, выше 20 ppm в случае азота) , обусловленная слабочувствительным методом снятия отклика с отдельных датчиков .
СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Техническая проблема, на решение которой направлено заявляемое изобретение, состоит в создании высокочувствительного устройства типа «электронный нос» для анализа многокомпонентной газовой смеси, а также определения концентраций различных низкомолекулярных токсичных газов в ее составе в диапазоне концентраций менее 1 ppm.
Технический результат, достигаемый при реализации заявляемого изобретения, заключается в уменьшении нижнего порога детектирования устройства типа «электронный нос» на основе хемисорбционных датчиков с рецепторными слоями на основе металлопорфиринов различного химического строения, отличающимися друг от друга центральным атомом металла.
Технический результат достигается за счет того, что газовый мультисенсор включает в себя массив N органических полевых транзисторов, каждый из которых включает в себя по меньшей мере электрод - «сток», «исток», разделенные слоем органического полупроводника, электрод «затвор», диэлектрический слой и дополнительный рецепторный слой на основе металлопорфирина общей формулы
8
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) 1 или 2, полностью или частично покрывающий слой органического полупроводника в структуре N-to органического полевого транзистора:
Фо
Figure imgf000011_0001
где металл-ион порфирина М является переходным металлом, при этом каждый из N органических полевых транзисторов, входящих в массив, отличается от других органических полевых транзисторов массива химическим строением рецепторного слоя.
Кроме того, в частном случае реализации изобретения металл-ион порфирина М представляет собой ион переходного металла Си, Zn, Со, Fe, Ni, Cr, Mn, Ti ИЛИ V.
Кроме того, в частном случае реализации изобретения массив N органических полевых транзисторов сформирован на общей подложке .
Кроме того, в частном случае реализации изобретения газовый мультисенсор предназначен для определения наличия одного из следующих газов : аммиак, сероводород, - диоксид азота, этилмеркаптан .
Также технический результат достигается за счет того, что газовый мультисенсор включает в себя массив N органических полевых транзисторов, каждый из которых включает в себя по меньшей мере электрод - «сток»,
9
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) «исток», разделенные слоем органического полупроводника, электрод «затвор», диэлектрический слой и дополнительный рецепторный слой на основе металлопорфирина общей формулы 1 или 2, полностью или частично покрывающий слой органического полупроводника в структуре -ro органического полевого транзистора:
Фо Фор
Figure imgf000012_0001
Figure imgf000012_0002
где металл-ион порфирина М является переходным металлом, причем каждый из N органических полевых транзисторов, входящих в массив, отличается от других органических полевых транзисторов массива химическим строением рецепторного слоя, при этом массив N органических полевых транзисторов содержит по меньшей мере один органический полевой транзистор, не имеющий рецепторного слоя, предназначенный для количественного определения концентрации нескольких низкомолекулярных токсичных газов в составе атмосферного воздуха или газовой смеси.
Кроме того, в частном случае реализации изобретения при формировании массива из N органических полевых транзисторов на общей подложки органические полевые транзисторы с рецепторным слоем размещены преимущественно по периметру подложки, а органический
10
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) полевой транзистор, не имеющий рецепторного слоя, размещен преимущественно в центральной части подложки.
Кроме того, в частном случае реализации изобретения рецепторные слои металлопорфиринов нанесены при помощи метода Ленгмюра-Блоджетт путем частичного окунания подложки в субфазу.
Кроме того, в частном случае реализации изобретения, слой органического полупроводника органического полевого транзистора представляет из себя самоорганизующийся монослой, выполненный из кремнийорганических химически инертных растворимых в органических растворителях производных олиготиофенов, бензотиенобензотиофенов или дифенилбитиофенов .
Кроме того, в частном случае реализации изобретения толщина слоя органического полупроводника органического полевого транзистора составляет 2-20 нм.
Кроме того, в частном случае реализации изобретения газовый мультисенсор определения наличия и концентрации одного из следующих газов: аммиак, сероводород, диоксид азота, этилмеркаптан .
Также технический результат достигается за счет того, что устройство для анализа многокомпонентной газовой смеси типа «Электронный нос» включает в себя газовый мультисенсор, выполненный по любому из вариантов реализации, приведенных выше; измерительный блок, подключенный к каждому из органических полевых транзисторов в составе вышеупомянутого газового мультисенсора, при этом измерительный блок выполнен с возможностью измерения величин тока в каждом из N органических полевых транзисторов, входящих в массив, в
11
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) зависимости от времени; микропроцессор, подключенный к измерительному блоку и выполненный с возможностью анализа отклика каждого из N органических полевых транзисторов и определения типа низкомолекулярного токсичного газа, присутствующего в газовой смеси, а также его концентрации; герметичную камеру с газовыми вводом и выводом, в которой размещен вышеупомянутый газовый мультисенсор .
Кроме того, в частном случае реализации изобретения устройство предназначено для определения наличия и концентрации одного из следующих газов: аммиак, сероводород, диоксид азота, этилмеркаптан .
Уменьшение величины нижнего порога детектирования устройства типа «электронный нос» на основе хемосорбционных датчиков с рецепторными слоями на основе металлопорфиринов различного химического строения достигается за счет двух факторов. Во-первых, используемые хемосорбционные датчики в составе устройства представляют собой органические полевые транзисторы, в которых поверх слоя органического полупроводника нанесены рецепторные слои на основе металлопорфиринов различного химического строения, что позволяет регистрировать отклик сенсора в виде зависимостей величины тока от приложенного напряжения. Во-вторых, пленки органического полупроводника и рецептора на основе металлопорфирина имеют минимальную возможную толщину и в предпочтительном варианте реализации изобретения являются монослоями вещества, что соответствует толщинам пленок в диапазоне от 2 до 20 нм.
12
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
Пример реализации изобретения подтверждается чертежами, на которых изображены:
на фиг. 1 - показана схема устройства газового мультисенсора на основе органических полевых транзисторов;
на фиг.2 - показана схема газового мультисенсора на основе органических полевых транзисторов, размещенных на разных подложках;
на фиг. 3 - показана схема газового мультисенсора на основе органических полевых транзисторов, изготовленного на одной подложке;
на фиг. 4 - показаны вольтамперные кривые органического полевого транзистора до нанесения металлопорфирина;
на фиг .5 - показаны вольтамперные кривые органического полевого транзистора после нанесения металлопорфирина;
на фиг. 6 - показана схема устройства типа «электронный нос» на основе газового мультисенсора;
на фиг . 7 - показана зависимость величины тока от времени для органического полевого транзистора с рецепторным слоем металлопорфирина TiO-TPP при различных концентрациях одного газа (аммиака) ;
на фиг. 8 - показана зависимость величины тока от времени для органического полевого транзистора с рецепторным слоем металлопорфирина TiO-TPP для разных газов одной концентрации;
13
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) на фиг. 9 - показана зависимость величины тока от времени для органического полевого транзистора с различными рецепторными слоями металлопорфиринов;
на фиг. 10 - показаны результаты регистрации отклика газового мультисенсора на основе органических полевых транзисторов методом линейных дискриминат (LDA - linear discriminant analysis) ;
на фиг. 11 - 14 показаны зависимости относительной величины тока в органическом полевом транзисторе без рецепторного слоя от концентрации для газовых смесей, содержащих газы аммиак (Шз ) , сероводород (H2S) , диоксид азота (NO2) , этилмеркаптан (Et-SH) ;
На чертежах позиции имеют следующие обозначения :
1 - газовый сенсор на основе органического полевого транзистора с рецепторным слоем;
11 - подложка каждого органического полевого транзистора;
12 - общая подложка для размещения массива органических полевых транзисторов;
13 - органический полевой транзистор без рецепторного слоя;
2 - электрод «сток»;
3 - электрод «исток»;
4 - слой органического полупроводника;
5 - электрод «затвор»;
6 - диэлектрический слой;
7 - рецепторный слой;
8 - газовый мультисенсор на основе органических полевых транзисторов.
14
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) 9 - герметичная камера;
10 - источник питания;
11 - измерительный блок;
12 - микропроцессор.
ОСУЩЕСТВЛЕНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Газовый мультисенсор 8, представленный на фиг.1, представляет собой массив из N органических полевых транзисторов 1, каждый из которых включает в себя по меньшей мере электрод 2 - «сток», электрод 3 - «исток», разделенные слоем 4 органического полупроводника, электрод 5 - «затвор», диэлектрический слой б и рецепторный слой 7, полностью или частично покрывающий слой 4 органического полупроводника в структуре N органического полевого транзистора.
В предпочтительном варианте реализации изобретения рецепторный слой 7 выполнен на основе металлопорфирина общей формулы 1 или 2 :
Фо
Figure imgf000017_0001
где металл-ион порфирина М представляет собой ион переходных металлов Си, Zn, Со, Fe, Ni, Cr, Mn, Ti ИЛИ
V.
15
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) В предпочтительном варианте реализации газового мультисенсора, представленного на фиг.2, массив из N органических полевых транзисторов 1, используемых для качественного анализа состава атмосферного воздуха или газовой смеси, может содержать по меньшей мере один органический полевой транзистор I3, не имеющий рецепторного слоя, и который может использоваться для количественного определения концентрации низкомолекулярного токсичного газа в составе атмосферного воздуха или газовой смеси, содержащей газы аммиак (NH3), сероводород (H2S) , диоксид азота (N02), этилмеркаптан (Et-SH) ;
В предпочтительном варианте реализации газового мультисенсора массив из N органических полевых транзисторов 1 формируют на общей подложке I2 (фиг.З), при этом рецепторные слои 7 металлопорфиринов переносят при помощи метода Ленгмюра-Блоджетт путем частичного окунания подложки I2 в субфазу. В случае наличия в массиве N органических полевых транзисторов 1 по меньшей мере одного органического полевого транзистора I3, не имеющего рецепторного слоя, предпочтительно разместить такой транзистор в центральной части подложки I2, a N органические полевые транзисторы 1 с рецепторным слоем 7 размещают преимущественно по периметру подложки I2. Предложенное расположение N органических полевых транзисторов 1 позволяет осуществлять перенос каждого последующего рецепторного слоя 7 не повреждая рецепторные слои 7 других транзисторов массива.
В предпочтительном варианте реализации газового мультисенсора 8 слой 4 органического полупроводника
16
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) представляет собой самоорганизующийся монослой и может быть выполнен из кремнийорганических химически инертных растворимых в органических растворителях производных олиготиофенов, бензотиенобензотиофенов или дифенилбитиофенов, таких как, 1, 3-бис [ 11- (5 ' '’ -гексил- 2,2" :5',2Т f :5f т,2' ' т -кватротиофен-5-ил) ундецил] -
1.1.3.3-тетраметилдисилоксан, 1, 3-бис [11- ( [1] бензотиено [3, 2-b] [1] бензотиен-2-ил) ундецил] -
1.1.3.3- тетраметилдисилоксан, 1 , 3-бис [ 11- ( 7- гексил [1] бензотиено [3, 2—b] [1] бензотиен-2-ил) ундецил] -
1.1.3.3-тетраметилдисилоксан, 1, 3-бис [11— (4— {5— [4—
( триметилсилил) фенил] -2, 2-битиен-5-ил} фенил) ундецил] -
I, 1, 3, 3-тетраметилдисилоксан . Выполнение слоя 4 органического полупроводника не ограничивается приведенными выше примерами .
Слой 4 органического полупроводника может быть получен любым из известных методов, в частности, методом Ленгмюра-Блоджетт [Sizov A. S., Agina Е. V., Gholamrezaie
F. [et. al . ] Oligothiophene-Based Monolayer Field-Effect Transistors Prepared by Langmuir-Blodgett Technique // Applied Physics Letters. — 2013. — V. 103, ДО 4. — P. 043310], методом Ленгмюра-Шефера [Tanese M. C., Farinola
G. M., Pignataro B. [et. al . ] Poly (Alkoxyphenylene-Thienylene) Langmuir-Schafer Thin Films for Advanced Performance Transistors // Chemistry of Materials. - 2006. - V. 18, ДО 3. — P. 778-784], методом вращающейся подложки [Hall D. В., Underhill P., Torkelson
J. M. Spin Coating of Thin and Ultrathin Polymer Films // Polymer Engineering and Science. — 1998. — V. 38, ДО 12. - P. 2039-2045], методом дозирующего лезвия [Yan Y.,
17
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) Huang L. B., Zhou Y. [et. al . ] Self-Aligned, Full Solution Process Polymer Field-Effect Transistor on Flexible Substrates // Sci Rep. - 2015. - V. 5. - P. 15770], методом полива [Diao Y . , Shaw L . , Bao Z., Mannsfeld S. С. B. Morphology Control Strategies for Solution-Processed Organic Semiconductor Thin Films // Energy Environ. Sci. - 2014. - V. 7, N? 7. - P. 2145- 2159] .
В предпочтительном варианте реализации газового мультисенсора 8 толщина слоя 4 органического полупроводника может составлять от 2 до 20 нм, что обеспечивает высокую чувствительность сенсора. Поскольку электрический ток в N органическом полевом транзисторе, входящим в состав газового мультисенсора 8, локализован в тонком приповерхностном слое на границе «слоя 4 органического полупроводника - диэлектрического слоя б», толщина слоя 4 органического полупроводника в диапазоне от 2 до 20 нм обеспечивает прямое влияние рецепторного слоя 7 на токонесущую часть полупроводникового слоя 4. Нижняя граница указанного диапазона 2 нм соответствует минимальной толщине слоя 4 органического полупроводника, при которой органические полевые транзисторы 1 демонстрируют электрические и газочувствительные свойства. Верхняя граница указанного диапазона 20 нм обеспечивает возможность детектирования низких концентраций целевых газов в диапазоне концентраций менее 1 ppm. При увеличении толщины слоя 4 органического полупроводника чувствительность газового мультисенсора в ppb-диапазоне уменьшается.
18
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) В предпочтительном варианте реализации газового мультисенсора 8 рецепторный слой 7 представляет из себя монослой, что обеспечивает высокую чувствительность устройства. При взаимодействии детектируемого токсичного газа с поверхностью рецепторного слоя 7 возникают локальные дипольные моменты, создающие электростатические поля. Поскольку величина поля убывает с расстоянием, то малая толщина рецепторного слоя 7 металлопорфирина обеспечивает наибольшее влияние поверхности рецептора на проводящий канал транзистора.
Необходимость использования отдельных полупроводникового 4 и рецепторного 7 слоев обусловлена тем фактом, что рецепторный слой 7 с малой толщиной обладает крайне низкими электрическими характеристиками, недостаточными для работы газового сенсора. Принципиальным фактором для достижения технического результата является сохранение высоких электрических характеристик монослойного органического полевого транзистора 1 при переносе рецепторного слоя 7. Данный результат достигается за счет того, что рецепторный слой 7 переносится на подложку I1 или I2, содержащую N органических полевых транзисторов 1, при помощи методов Ленгмюра-Блоджетт или Ленгмюра-Шеффера [Wei Z. М., Сао Y., Ма W. Z . , Wang С. L., Xu W., Guo X. F., Hu W. P., Zhu D. B. Langmuir-Blodgett Monolayer Transistors of Copper Phthalocyanine // Applied Physics Letters. — 2009. — V. 95, W 3] , что исключает попадание органического растворителя в слой органического полупроводника 4 и нарушение его целостности. Для иллюстрации результата, на фиг. 4 приведены электрические характеристики
19
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) органического полевого транзистора до нанесения рецепторного слоя 7, а на фиг .5 приведены электрические характеристики органического полевого транзистора после нанесения рецепторного слоя 7.
В предпочтительном варианте реализации газового мультисенсора 8 диэлектрический слой 5 может быть выполнен из термически выращенного сухого диоксида кремния модифицированного самособирающимся монослоем (SAM - self-assembled monolayer) октилдиметилхлорсилана (ОДМС) или другого алкилхлорсилана, обеспечивающего достаточно низкую шероховатость (< 0,5 нм) поверхности диэлектрического слоя 5.
Изготовление газового мультисенсора 8 на основе органических полевых транзисторов 1, представленного на фиг.2 и фиг.З, осуществляют предпочтительно следующим образом.
Ивестными методами, например, [Sizov A. S., Anisimov D . S . , Agina Е. V. [et. al . ] Easily Processable Highly Ordered Langmuir-Blodgett Films of Quaterthiophene Disiloxane Dimer for Monolayer Organic Field-Effect Transistors // Langmuir. — 2014. — V. 30, N? 50. — P. 15327-34] на общей подложке l2 или на отдельных подложках I1 формируют массив из N органических полевых транзисторов 1, каждый из которых включает в себя по меньшей мере электрод 2 - «сток», электрод 3 - «исток», разделенные слоем 4 органического полупроводника, электрод 5 - «затвор» и диэлектрический слой 6. Затем поверх слоя 4 органического полупроводника каждого из N органических полевых транзисторов последовательно при помощи методов Ленгмюра-Блоджетт или Ленгмюра-Шеффера
20
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) переносят рецепторные слои 7 металлопорфиринов различного химического строения.
В качестве примера для формирования рецепторного слоя 7 на основе металлопорфиринов использовались следующие соединения :
Figure imgf000023_0001
Технический результат достигается при использовании ряда из 4-6 различных металлопорфиринов, имеющих общую структурную формулу 1 или 2 :
Форм
Figure imgf000023_0002
21
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) где металл-ион порфирина М представляет собой ионы переходных металлов Си, Zn, Со, Fe, Ni, Cr, Mn, Ti ИЛИ
V.
Выбор указанных металлопорфиринов обусловлен двумя факторами. Первым является простота их химической формулы, не содержащей боковых заместителей, что упрощает их синтез и снижает стоимость конечных материалов и устройств на их основе. Второй фактор заключается в том, что использованные порфирины хорошо растворимы в обычных органических растворителях, таких как, например, толуол, и способны образовывать однородные протяженные монослои на поверхности воды, которые могут быть перенесены на твердую подложку методом Ленгмюра-Блоджетт. Формирование однородного протяженного рецепторного монослоя позволяет обеспечить высокую чувствительность данного слоя к присутствию токсичных газов, тогда как любые дефекты слоя, особенно его утолщение снижают нижний порог чувствительности сенсора.
При этом увеличение числа органических полевых транзисторов 1, обладающих различными рецепторными слоями 7, в составе массива газового сенсора 8 увеличивает достоверность качественного анализа состава атмосферного воздуха или газовой смеси.
В случае формирования массива N органических полевых транзисторов 1 на общей подложке I2 (фиг.З) рецепторные слои металлопорфиринов переносят при помощи метода Ленгмюра-Блоджетт путем частичного окунания подложки в субфазу.
Устройство для анализа многокомпонентной газовой смеси типа «Электронный нос», представленное на фиг.6,
22
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) включает в себя газовый мультисенсор 8 на основе органических полевых транзисторов 1 и I3 по любому из вариантов реализации, описанных выше, микропроцессор 9, измерительный блок 10, подключенный к электродами 2 «сток», 3 «исток» и 5 «затвор» каждого из N органических полевых транзисторов 1 и I3 в составе газового мультисенсора 8 и микропроцессору 12, герметичную камеру 9 с газовым входом и выходом, в которой размещен газовый мультисенсор 8, блок питания 10, связанный с электродами 2 «сток», 3 «исток» и 5 «затвор» каждого из N органических полевых транзисторов 1 и I3.
Работа устройства для анализа многокомпонентной газовой смеси типа «Электронный нос» на основе газового мультисенсора 8, включающего массив N органических полевых транзисторов 1 осуществляется следующим образом.
В герметичную камеру 9 подается газовая смесь с содержанием одного из детектируемых токсичных химических газообразных соединений в концентрациях от 10 ppb до 1 ppm. На электроды 2 «сток» и электроды 5 «затвор» каждого из N органических полевых транзисторов 1 с рецепторными слоями 7, входящими в состав газового мультисенсора 8 (фиг. 2 или фиг.З), при помощи источника питания 10 подается постоянный отрицательный потенциал V. Величина V подбираются так, чтобы электрическое поле в диэлектрическом слое б составляло не менее 50 кВ/мм, а электрическое поле в слое 4 органического полупроводника не менее 0,5 кВ/мм. Далее, при помощи измерительного блока 11 измеряют величины тока /к (k = 0..N-1) для каждого из N органических полевых транзисторов 1 с
23
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) рецепторными слоями 7, входящими в мультисенсор 8, в зависимости от времени t.
Далее, в микропроцессоре 12 с использованием программного обеспечения рассчитываются относительные изменения тока в N органических полевых транзисторах по формуле (1) :
I = 1к/1ок, (1)
где 70TH fe - относительный ток, отн.ед.;
1к - ток в канале 77-го органического полевого транзистора в данный момент времени, А;
10 к- начальный ток в канале N-го органического полевого транзистора, А.
Полученный ряд величин 10 н к (k = 0..N-1) используется как входные данные для одного из известных методов анализа данных, реализуемых при помощи микропроцессора 12 по заданному алгоритму. В качестве такого метода могут быть использованы известные методы обработки данных систем типа «электронный нос»: Метод принципиальных компонент (РСА) , Метод линейных дискриминант (LDA) , нейронная сеть и пр. [Jurs Р. С., Bakken G. A., McClelland Н. Е. Computational Methods for the Analysis of Chemical Sensor Array Data from Volatile Analytes // Chemical Reviews. — 2000. — V. 100, N* 7. — P. 2649-2678; Pedregosa F., Varoquaux G., Gramfort A., Michel V., Thirion B., Grisel 0., Blondel M., Prettenhofer P., Weiss R., Dubourg V., Vanderplas J., Passos A., Cournapeau D., Brucher M., Perrot M., Duchesnay E. Scikit-Learn : Machine Learning in Python //
24
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) Journal of Machine Learning Research. — 2011. — V. 12. - P. 2825-2830] .
Возможность применения известных методов анализа для массива полученных данных и качественного анализа состава атмосферного воздуха или газовой смеси обусловлена совокупностью следующих факторов. Во-первых, величины
10тн к для каждого из N органических полевых транзисторов 1 с рецепторным слоем 7 металлопорфирина в составе газового сенсора 8 зависят от содержания и концентрации низкомолекулярных токсичных газов в составе атмосферного воздуха или газовой смеси. При этом величины /отн к в сухом воздухе и при содержании в нем аммиака в концентрациях 200 ppb - 1 ppm существенно различаются (см. фиг. 7).
Во-вторых, величины /отн к для каждого из N органических полевых транзисторов 1 с рецепторным слоем 7 металлопорфирина зависят от типа низкомолекулярного токсичного газа, присутствующего в составе атмосферного воздуха или газовой смеси. Данный факт обусловлен различными свойствами молекул токсичных газов, таких как размер, величина дипольного момента, донорно-акцепторные свойства и пр. Для примера на фиг. 8 показана зависимость величины тока от времени для органического полевого транзистора с рецепторным слоем 7 металлопорфирина TiO- ТРР для разных газов одной концентрации.
В-третьих, величины 10ТИ к для каждого из N органических полевых транзисторов 1 с рецепторным слоем 7 металлопорфирина, в присутствии низкомолекулярного токсичного газа, зависят от центрального атома молекулы металлопорфирина . Данный факт обусловлен различиями
25
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) кинетик сорбции одного и того же газа на поверхность слоя металлопорфиринов различного химического строения. Для примера на фиг. 9 показана зависимость величины тока от времени для органического полевого транзистора с различными рецепторными слоями 7 металлопорфиринов при содержании в газовой смеси аммиака в концентрации 200 ppb.
В качестве примера на фиг.· 8 показан результат применения метода LDA для газовых смесей, содержащих один из газов: NH3, H2S, NO2, Et-SH. Точки, соответствующие разным газам, группируются в области на LDA диаграмме, причем указанные области являются непересекающимися . В соответствии с заданным алгоритмом в микропроцессоре 12 для полученного набора /отн к рассчитывается точка на LDA диаграмме и по ее отношению к одной из областей определяется тип детектируемого соединения.
На последнем шаге по величине /отн к , полученной для N органического полевого транзистора I3 без рецепторного слоя, определяется концентрация детектируемого соединения по калибровочным кривым (фиг.11-14), предварительно занесенным в память микропроцессора 12, по следующему алгоритму. На калибровочной кривой величины тока от концентрации (фиг. 11-14), соответствующей определенному ранее типу детектируемого соединения, находится точка, ордината которой лежит ближе всего к полученному значению 10тн к , и ее абсцисса считается измеренным значением концентрации. Установленный класс детектируемого соединения, а также его измеренная в соответствии с алгоритмом концентрация выводится пользователю.
26
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26)

Claims

ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
1. Газовый мультисенсор, включающий в себя массив N органических полевых транзисторов, каждый из которых включает в себя по меньшей мере электроды - «сток», «исток», разделенные слоем органического полупроводника, электрод «затвор», диэлектрический слой и дополнительный рецепторный слой на основе металлопорфирина общей формулы 1 или 2, полностью или частично покрывающий слой органического полупроводника в структуре N-го органического полевого транзистора:
Фо
Figure imgf000029_0001
где металл-ион порфирина М является переходным металлом, при этом каждый из N органических полевых транзисторов, входящих в массив, отличается от других органических полевых транзисторов массива химическим строением рецепторного слоя.
2. Газовый мультисенсор по п. 1, отличающийся тем, что металл-ион порфирина М представляет собой ион переходного металла Си, Zn, Со, Fe, Ni, Cr, Mn, Ti ИЛИ V.
3. Газовый мультисенсор по п.1, отличающийся тем, что массив N органических полевых транзисторов сформирован на общей подложке .
27
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26)
4. Газовый мультисенсор по п.1, отличающийся тем, что предназначен для определения наличия одного из следующих газов: аммиак, сероводород, диоксид азота, этилмеркаптан .
5. Газовый мультисенсор по п.1, отличающийся тем, что слой органического полупроводника органического полевого транзистора представляет из себя самоорганизующийся монослой, выполненный из кремнийорганических химически инертных растворимых в органических растворителях производных олиготиофенов, бензотиенобензотиофенов или дифенилбитиофенов .
6. Газовый мультисенсор по п.1, отличающийся тем, что толщина слоя органического полупроводника органического полевого транзистора составляет 2-20 нм.
7. Газовый мультисенсор, включающий в себя массив N органических полевых транзисторов, каждый из которых включает в себя по меньшей мере электрод - «сток», «исток», разделенные слоем органического полупроводника, электрод затвора, диэлектрический слой и дополнительный рецепторный слой на основе металлопорфирина общей формулы 1 или 2, полностью или частично покрывающим слой органического полупроводника в структуре N-ro органического полевого транзистора:
28
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) Формула 1 Формула 2
Figure imgf000031_0001
где металл-ион порфирина М является переходным металлом, причем каждый из N органических полевых транзисторов, входящих в массив, отличается от других органических полевых транзисторов массива химическим строением рецепторного слоя, при этом массив N органических полевых транзисторов содержит по меньшей мере один органический полевой транзистор, не имеющий рецепторного слоя, предназначенный для количественного определения концентрации нескольких низкомолекулярных токсичных газов в составе атмосферного воздуха или газовой смеси.
8. Газовый мультисенсор по п. 7, отличающийся тем, что металл-ион порфирина М представляет собой ион переходного металла Си, Zn, Со, Fe, Ni, Cr, Mn, Ti ИЛИ V.
9. Газовый мультисенсор по п.7, отличающийся тем, что при формировании массива из N органических полевых транзисторов на общей подложки органические полевые транзисторы с рецепторным слоем размещены преимущественно по периметру подложки, а органический полевой транзистор, не имеющий рецепторного слоя, размещен преимущественно в центральной части подложки.
10. Газовый мультисенсор по п.7, отличающийся тем, что рецепторные слои металлопорфиринов нанесены при помощи
29
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) метода Ленгмюра-Блоджетт путем частичного окунания подложки в субфазу.
11. Газовый мультисенсор по п.7, отличающийся тем, что слой органического полупроводника органического полевого транзистора представляет из себя самоорганизующийся монослой, выполненный из кремнийорганических химически инертных растворимых в органических растворителях производных олиготиофенов, бензотиенобензотиофенов или дифенилбитиофенов .
12. Газовый мультисенсор по п.7, отличающийся тем, что толщина слоя органического полупроводника органического полевого транзистора составляет 2-20 нм.
13. Газовый мультисенсор по п.7, отличаиощийся тем, что предназначен для определения наличия и концентрации одного из следующих газов: аммиак, сероводород, диоксид азота, этилмеркаптан .
14. Устройство для анализа многокомпонентной газовой смеси типа «Электронный нос», включающее в себя:
газовый мультисенсор, выполненный по п.1 или п.7; измерительный блок, подключенный к каждому из органических полевых транзисторов в составе вышеупомянутого газового мультисенсора, при этом измерительный блок выполнен с возможностью измерения величин тока в каждом из N органических полевых транзисторов, входящих в массив, в зависимости от времени;
микропроцессор, подключенный к измерительному блоку и выполненный с возможностью анализа отклика каждого из N органических полевых транзисторов и определения типа
30
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26) низкомолекулярного токсичного газа, присутствующего в газовой смеси, а также его концентрации.
герметичную камеру с газовыми вводом и выводом, в которой размещен вышеупомянутый газовый мультисенсор.
15. Устройство по п.10, обличающееся тем, что предназначено для определения наличия и концентрации одного из следующих газов: аммиак, сероводород, диоксид азота, этилмеркаптан .
31
ЗАМЕНЯЮЩИЙ ЛИСТ (ПРАВИЛО 26)
PCT/RU2018/000123 2018-02-28 2018-03-01 Газовый мультисенсор и устройство для анализа многокомпонентной газовой смеси WO2019168427A1 (ru)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE112018007183.9T DE112018007183T5 (de) 2018-02-28 2018-03-01 Gas-multisensor- und mehrkomponenten-gasgemischanalysegerät
KR1020207027977A KR20210002469A (ko) 2018-02-28 2018-03-01 다성분 가스 혼합물을 분석하기 위한 가스 다중 센서 및 장치
US16/976,483 US20210181144A1 (en) 2018-02-28 2018-03-01 Gas multisensor and device for analyzing a multi-component gas mixture

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018107433A RU2676860C1 (ru) 2018-02-28 2018-02-28 Газовый мультисенсор на основе органических полевых транзисторов (варианты) и устройство для анализа многокомпонентной газовой смеси типа "электронный нос" на его основе
RU2018107433 2018-02-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019168427A1 true WO2019168427A1 (ru) 2019-09-06

Family

ID=65025315

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU2018/000123 WO2019168427A1 (ru) 2018-02-28 2018-03-01 Газовый мультисенсор и устройство для анализа многокомпонентной газовой смеси

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20210181144A1 (ru)
KR (1) KR20210002469A (ru)
DE (1) DE112018007183T5 (ru)
RU (1) RU2676860C1 (ru)
WO (1) WO2019168427A1 (ru)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11636870B2 (en) 2020-08-20 2023-04-25 Denso International America, Inc. Smoking cessation systems and methods
US11760169B2 (en) 2020-08-20 2023-09-19 Denso International America, Inc. Particulate control systems and methods for olfaction sensors
US11760170B2 (en) 2020-08-20 2023-09-19 Denso International America, Inc. Olfaction sensor preservation systems and methods
US11813926B2 (en) 2020-08-20 2023-11-14 Denso International America, Inc. Binding agent and olfaction sensor
US11828210B2 (en) 2020-08-20 2023-11-28 Denso International America, Inc. Diagnostic systems and methods of vehicles using olfaction
US11881093B2 (en) 2020-08-20 2024-01-23 Denso International America, Inc. Systems and methods for identifying smoking in vehicles
US11932080B2 (en) 2020-08-20 2024-03-19 Denso International America, Inc. Diagnostic and recirculation control systems and methods

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2718133C1 (ru) * 2019-09-17 2020-03-30 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное объединение "АМБ" Газочувствительный детектор
RU2756532C1 (ru) * 2021-04-11 2021-10-01 Даниил Сергеевич Анисимов Способ определения свежести мясных, рыбных или молочных продуктов питания и устройство для его осуществления
RU2764964C1 (ru) * 2021-04-16 2022-01-24 Татьяна Анатольевна Кучменко Мобильное устройство на основе массива сенсоров для анализа биопроб малого объема
CN113358701B (zh) * 2021-06-04 2022-04-29 华中科技大学 一种大规模阵列气体传感器及其制备方法
CN114594141A (zh) * 2022-02-21 2022-06-07 清华大学 集成电子鼻传感结构及其使用方法
DE202022101323U1 (de) 2022-03-10 2022-04-22 Greenairsystems Gmbh Vorrichtung zur Desodorierung von Abluft

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040133116A1 (en) * 2001-04-30 2004-07-08 Klaus Abraham-Fuchs Device and method for the quantitive determination of nitrogen oxides in exhaled air and application thereof
WO2007009948A1 (de) * 2005-07-15 2007-01-25 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur gleichzeitigen detektion mehrerer unterschiedlicher luftbelastungen mit gassensiven feldeffekttransistoren
EP2239561A1 (en) * 2009-04-09 2010-10-13 Technische Universität Graz OFET-based sensor for detecting an analyte
US20110239735A1 (en) * 2008-12-16 2011-10-06 Koninklijke Philips Electronics N.V. Electronic sensor for nitric oxide
US20140312879A1 (en) * 2011-10-31 2014-10-23 Universitá Degli Studi Di Bari Method to realize electronic field-effect transistor sensors

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070048180A1 (en) * 2002-09-05 2007-03-01 Gabriel Jean-Christophe P Nanoelectronic breath analyzer and asthma monitor

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040133116A1 (en) * 2001-04-30 2004-07-08 Klaus Abraham-Fuchs Device and method for the quantitive determination of nitrogen oxides in exhaled air and application thereof
WO2007009948A1 (de) * 2005-07-15 2007-01-25 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur gleichzeitigen detektion mehrerer unterschiedlicher luftbelastungen mit gassensiven feldeffekttransistoren
US20110239735A1 (en) * 2008-12-16 2011-10-06 Koninklijke Philips Electronics N.V. Electronic sensor for nitric oxide
EP2239561A1 (en) * 2009-04-09 2010-10-13 Technische Universität Graz OFET-based sensor for detecting an analyte
US20140312879A1 (en) * 2011-10-31 2014-10-23 Universitá Degli Studi Di Bari Method to realize electronic field-effect transistor sensors

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11636870B2 (en) 2020-08-20 2023-04-25 Denso International America, Inc. Smoking cessation systems and methods
US11760169B2 (en) 2020-08-20 2023-09-19 Denso International America, Inc. Particulate control systems and methods for olfaction sensors
US11760170B2 (en) 2020-08-20 2023-09-19 Denso International America, Inc. Olfaction sensor preservation systems and methods
US11813926B2 (en) 2020-08-20 2023-11-14 Denso International America, Inc. Binding agent and olfaction sensor
US11828210B2 (en) 2020-08-20 2023-11-28 Denso International America, Inc. Diagnostic systems and methods of vehicles using olfaction
US11881093B2 (en) 2020-08-20 2024-01-23 Denso International America, Inc. Systems and methods for identifying smoking in vehicles
US11932080B2 (en) 2020-08-20 2024-03-19 Denso International America, Inc. Diagnostic and recirculation control systems and methods

Also Published As

Publication number Publication date
DE112018007183T5 (de) 2021-01-21
US20210181144A1 (en) 2021-06-17
KR20210002469A (ko) 2021-01-08
RU2676860C1 (ru) 2019-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2676860C1 (ru) Газовый мультисенсор на основе органических полевых транзисторов (варианты) и устройство для анализа многокомпонентной газовой смеси типа &#34;электронный нос&#34; на его основе
Hwang et al. Tetrahydrocannabinol detection using semiconductor-enriched single-walled carbon nanotube chemiresistors
Zia et al. Rapid and molecular selective electrochemical sensing of phthalates in aqueous solution
Peng et al. Detection of nonpolar molecules by means of carrier scattering in random networks of carbon nanotubes: toward diagnosis of diseases via breath samples
Bearzotti et al. A study of a QCM sensor based on pentacene for the detection of BTX vapors in air
US8366630B2 (en) Carbon nanotube structures in sensor apparatuses for analyzing biomarkers in breath samples
Srinives et al. A miniature chemiresistor sensor for carbon dioxide
Srinives et al. Primary amine-functionalized polyaniline nanothin film sensor for detecting formaldehyde
Akhter et al. Graphene oxide (GO) coated impedimetric gas sensor for selective detection of carbon dioxide (CO 2) with temperature and humidity compensation
Anisimov et al. Fully integrated ultra-sensitive electronic nose based on organic field-effect transistors
US9217722B2 (en) Multi-electrode chemiresistor
Wasilewski et al. Prospects of ionic liquids application in electronic and bioelectronic nose instruments
Ermanok et al. Discriminative power of chemically sensitive silicon nanowire field effect transistors to volatile organic compounds
Song et al. Film bulk acoustic formaldehyde sensor with polyethyleneimine-modified single-wall carbon nanotubes as sensitive layer
Blue et al. The development of sensors for volatile nitro-containing compounds as models for explosives detection
Norouzi et al. Application of new advanced electrochemical methods combine with nano-based materials sensor in drugs analysis
Deng et al. Fabrication of a sensor array based on quartz crystal microbalance and the application in egg shelf life evaluation
Kumar et al. Selective determination of ammonia, ethanol and acetone by reduced graphene oxide based gas sensors at room temperature
Sarkar et al. Calixarene-functionalized single-walled carbon nanotubes for sensitive detection of volatile amines
Braik et al. Development of a perchlorate sensor based on Co-phthalocyanine derivative by impedance spectroscopy measurements
Benounis et al. High sensitive surface plasmon resonance (SPR) sensor based on modified calix (4) arene self assembled monolayer for cadmium ions detection
Milone et al. Advances in materials and technologies for gas sensing from environmental and food monitoring to breath analysis
Luo et al. Chemiresistive sensing with functionalized carbon nanotubes
Gutierrez et al. Selective impedimetric interdigitated electrode for sensing gaseous, biological, and inorganic targets: A state-of-the-art review
Addanki et al. Development of optical sensors for the quantitative detection of ozone using gold and silver thin film nanoislands

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18908064

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18908064

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1