WO2019082703A1 - Optical deodorization device and optical deodorization method - Google Patents

Optical deodorization device and optical deodorization method

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WO2019082703A1
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大和田 樹志
鈴木 信二
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ウシオ電機株式会社
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    • C01B13/10Preparation of ozone

Abstract

Disclosed is an optical deodorization device with which the harmful effects of ozone on an organism such as an animal are reduced and bad odors within a treatment room are eliminated even if the organism is present in the treatment room. An optical deodorization device (100) projects ultraviolet rays into a gas to be treated containing bad-odor causing substances so as to eliminate the bad-odor causing substances. The optical deodorization device (100) comprises: a first light source that emits vacuum ultraviolet light (VUV light); and a second light source that emits deep ultraviolet light (DUV light) which does not include vacuum ultraviolet light. The first light source and the second light source are disposed so that at least a portion of an outside space, which is outside of a generation space where singlet oxygen atoms (O(1D)) that break down the bad-odor causing substances are generated by light emitted from the first light source and which is spatially connected to the generation space, is included in an arrival space where light emitted from the second light source arrives.

Description

光脱臭装置および光脱臭方法Light deodorizing apparatus and light deodorizing method
 本発明は、被処理気体に紫外線を照射することによって、当該被処理気体の臭気を除去する光脱臭装置および光脱臭方法に関する。 The present invention relates to a light deodorizing apparatus and a light deodorizing method for removing the odor of the gas to be treated by irradiating the gas to be treated with ultraviolet light.
 従来、例えば室内の空気の臭気を除去する脱臭装置として、紫外線を照射することによって臭気を除去する脱臭装置が知られている。
 特許文献1(国際公開第2017/082380号)には、波長200~260nmの紫外線と、波長150~200nmの紫外線とを放出する紫外線照射光源を用いた脱臭装置が開示されている。この脱臭装置では、波長200~260nmの紫外線を被処理気体に照射することで、被処理気体中の臭気の原因物質を分解するようにしている。また、この脱臭装置では、被処理気体に含有される酸素に波長150~200nmの紫外線が照射されることで生成されるオゾンを用いて、脱臭効率を高めるようにしている。
 しかしながら、オゾンは有害なガスであり、生物に対して悪影響を及ぼすおそれがある。例えば、飼育室に動物が存在する状態で上記のような脱臭装置を用いた場合、脱臭プロセスの副次物であるオゾンが飼育室内に浮遊し、飼育室内の動物がオゾンの影響を受けてしまう。
Conventionally, for example, as a deodorizing device for removing the odor of indoor air, a deodorizing device for removing odor by irradiating ultraviolet light is known.
Patent Document 1 (WO 2017/082380) discloses a deodorizing apparatus using an ultraviolet light source that emits ultraviolet light having a wavelength of 200 to 260 nm and ultraviolet light having a wavelength of 150 to 200 nm. In this deodorizing apparatus, ultraviolet rays having a wavelength of 200 to 260 nm are applied to the gas to be treated, thereby decomposing substances causing odor in the gas to be treated. Further, in this deodorizing device, the deodorizing efficiency is enhanced by using ozone generated by irradiating the oxygen contained in the gas to be treated with ultraviolet rays having a wavelength of 150 to 200 nm.
However, ozone is a harmful gas and may adversely affect organisms. For example, when the above-described deodorizing apparatus is used in a state where animals are present in the breeding room, ozone, which is a secondary product of the deodorizing process, floats in the breeding room and animals in the breeding room are affected by ozone. .
 そこで、特許文献2(特開2016-022231号公報)には、生物に対するオゾンの悪影響を抑制するために、処理室(居住空間等)内に生物(ヒト)が存在しない状態で、処理室内に高濃度のオゾンを充満して脱臭処理を行った後、処理室内に残留するオゾンを分解する脱臭装置が開示されている。この脱臭装置では、オゾン生成用紫外線発光部材を点灯してから所定時間が経過した後に、オゾン生成用紫外線発光部材を消灯してオゾンの生成を停止するとともに、オゾン分解用紫外線発光部材を点灯し、処理室内に残留するオゾンを分解するようにしている。 Therefore, in Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2016-022231), in order to suppress the adverse effect of ozone on living organisms, the living body (human) is not present in the processing chamber (residential space etc.). A deodorizing apparatus is disclosed that decomposes ozone remaining in the processing chamber after being filled with high concentration ozone and deodorizing. In this deodorizing apparatus, after a predetermined time has passed since the ultraviolet light emitting member for ozone generation was turned on, the ultraviolet light emitting member for ozone generation is turned off to stop the generation of ozone, and the ultraviolet light emitting member for ozone decomposition is turned on. The ozone remaining in the processing chamber is decomposed.
国際公開第2017/082380号International Publication No. 2017/082380 特開2016-022231号公報JP, 2016-022231, A
 しかしながら、上記特許文献2(特開2016-022231号公報)に記載の技術にあっては、処理室内に生物が存在しない状態でしか、脱臭処理を行うことができない。
 そこで、本発明は、処理室内に動物等の生物が存在している場合であっても、当該生物へのオゾンの悪影響を低減しつつ処理室内の臭気を除去することができる光脱臭装置および光脱臭方法を提供することを課題としている。
However, in the technique described in Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2016-022231), deodorization can be performed only in the state where no living thing is present in the processing chamber.
Therefore, the present invention provides a light deodorizing device and a light deodorizing device capable of removing an odor in the processing chamber while reducing an adverse effect of ozone on the living product even when an organism such as an animal is present in the processing chamber. It is an issue to provide a deodorizing method.
 上記課題を解決するために、本発明に係る光脱臭装置の一態様は、臭気の原因物質を含む被処理気体に紫外線を照射し、前記臭気の原因物質を除去する光脱臭装置であって、真空紫外光を発光する第1の光源と、前記真空紫外光を含まない深紫外光を発光する第2の光源と、を備え、前記第1の光源および前記第2の光源は、前記第1の光源から放出される光によって前記臭気の原因物質を分解する1重項酸素原子が生成される生成空間の外部であって、前記生成空間に空間的に接続された外部空間の少なくとも一部が、前記第2の光源から放出される光が到達する到達空間に含まれるように配置されている。 In order to solve the above-mentioned subject, one mode of the light deodorizing device concerning the present invention is a light deodorizing device which irradiates ultraviolet rays to treated gas containing the cause substance of odor, and removes the cause substance of the odor, A first light source for emitting vacuum ultraviolet light and a second light source for emitting deep ultraviolet light not containing the vacuum ultraviolet light, the first light source and the second light source being the first light source Light outside the generation space where a singlet oxygen atom is generated which decomposes the offensive substance by light emitted from the light source, and at least a part of the outside space spatially connected to the generation space is And the light emitted from the second light source is arranged to be included in an arrival space to be reached.
 このように、真空紫外光(VUV光)により1重項酸素原子(O(D))を生成するので、オゾンよりも臭気の原因物質を効果的に分解可能なO(D)を用いた適切な脱臭処理が可能である。また、O(D)の生成空間において生成されたオゾンについては、O(D)の生成空間の外部空間において、DUV光が照射されることにより分解することができる。つまり、光脱臭装置は、オゾンを分解しながらO(D)による脱臭処理を行うことができる。したがって、処理室内に動物等の生物が存在している場合であっても、当該生物へのオゾンの悪影響を低減しつつ処理室内の臭気を除去することが可能である。 Use this way, because it produces a singlet oxygen atom by vacuum ultraviolet light (VUV light) (O (1 D)) , effectively degradable O a (1 D) the causative agent of odors than ozone Proper deodorization treatment is possible. Also, the ozone generated in the generating space of O (1 D), the external space generating space of O (1 D), can be decomposed by the DUV light is irradiated. That is, the light deodorizing apparatus can perform the deodorizing process by O ( 1 D) while decomposing the ozone. Therefore, even when an organism such as an animal is present in the treatment chamber, it is possible to remove the odor in the treatment chamber while reducing the adverse effect of ozone on the organism.
 また、上記の光脱臭装置において、前記第1の光源および前記第2の光源は、前記生成空間と前記到達空間とが近接するように配置されていてもよい。この場合、生成空間において生成されたオゾンが広範囲に拡散される前に、当該オゾンにDUV光を照射し、分解することができる。
 さらに、上記の光脱臭装置において、前記第1の光源および前記第2の光源は、前記生成空間と前記到達空間とが接しないように配置されていてもよい。この場合、生成空間中の酸素がDUV光との反応によって活性度が低いO(P)が生成されて当該酸素が消費されてしまうことを防止することができる。その結果、生成空間内においてVUV光によるO(D)の生成効率が低下してしまうことを防止し、高い脱臭性能を維持することができる。
 また、上記の光脱臭装置は、前記生成空間と前記到達空間とを区画する区画部材をさらに備えていてもよい。この場合、生成空間と到達空間とを、重ならない(接しない)ように確実に分離することができる。
In the light deodorizing device described above, the first light source and the second light source may be arranged such that the generation space and the reach space are close to each other. In this case, before ozone generated in the generation space is widely diffused, the ozone can be irradiated with DUV light and decomposed.
Furthermore, in the above-described light deodorizing device, the first light source and the second light source may be arranged such that the generation space does not contact the reaching space. In this case, it is possible to prevent the oxygen in the generation space from being consumed due to the reaction with DUV light to generate O ( 3 P) having a low degree of activity. As a result, the generation efficiency of O ( 1 D) due to VUV light can be prevented from decreasing in the generation space, and high deodorizing performance can be maintained.
In addition, the light deodorizing device may further include a dividing member that divides the generation space and the reaching space. In this case, the generation space and the arrival space can be reliably separated so as not to overlap (do not contact).
 さらに、上記の光脱臭装置は、前記第1の光源から放出される光および前記第2の光源から放出される光の少なくとも一方を所定の方向に反射し、前記生成空間と前記到達空間との位置関係を形成する反射部材をさらに備えていてもよい。この場合、外部空間の少なくとも一部が確実にDUV光の到達空間に含まれるようにすることができ、適切に外部空間に浮遊するオゾンにDUV光を照射し、当該オゾンを分解することができる。
 さらにまた、上記の光脱臭装置において、前記真空紫外光は、波長175nm以下の光であってもよい。波長175nm以下のVUV光を、酸素を含む空間に照射することで、当該空間に効率良くO(D)を生成することができる。
Further, the light deodorizing device described above reflects at least one of the light emitted from the first light source and the light emitted from the second light source in a predetermined direction, and You may further provide the reflection member which forms positional relationship. In this case, at least a part of the external space can be reliably included in the DUV light arrival space, and the ozone suspended in the external space can be appropriately irradiated with DUV light to decompose the ozone. .
Furthermore, in the above light deodorizing device, the vacuum ultraviolet light may be light with a wavelength of 175 nm or less. By irradiating VUV light with a wavelength of 175 nm or less into a space containing oxygen, O ( 1 D) can be efficiently generated in the space.
 また、上記の光脱臭装置は、送風を行う送風部をさらに備え、前記送風部における送風方向の上流側に前記第1の光源、下流側に前記第2の光源が配置されていてもよい。この場合、送風部からの送風によって、VUV光の照射により生成空間において生成されたオゾンを、DUV光の到達空間に移動させることができる。したがって、効果的にオゾンを分解することができる。 The light deodorizing apparatus may further include a blower for blowing air, and the first light source may be disposed upstream of the blower in the blowing direction, and the second light source may be disposed downstream of the blower. In this case, the ozone generated in the generation space by the irradiation of the VUV light can be moved to the arrival space of the DUV light by the air blowing from the air blowing unit. Therefore, ozone can be effectively decomposed.
 さらに、上記の光脱臭装置は、前記第1の光源および前記第2の光源を収容する筐体と、前記筐体外に存在する気体を前記筐体内に吸入するための吸入口と、前記筐体内の気体を前記筐体外に排出するための排出口と、前記筐体内において前記吸入口から前記排出口まで気体を流通させる気体流通部と、を備え、前記第1の光源および前記第2の光源は、前記気体流通部における気体の流通方向の上流側に前記第1の光源、下流側に前記第2の光源が位置するように、前記筐体内に配置されていてもよい。
 この場合、臭気の原因物質を含む被処理気体を筐体内に取り込み、当該筐体内において脱臭処理およびオゾンの分解処理を行い、処理済気体を筐体から排出することができる。ここで、上記処理済気体は、脱臭処理済の気体であり、オゾンを含まない気体である。したがって、この光脱臭装置を処理室内に生物が存在する状態で使用した場合であっても、当該生物がオゾンの影響を受けることはない。
Furthermore, the above-mentioned light deodorizing device comprises: a housing for housing the first light source and the second light source; a suction port for sucking gas existing outside the housing into the housing; and an inside of the housing And a gas circulating unit for circulating the gas from the suction port to the discharge port in the housing, the first light source and the second light source The first light source may be disposed upstream of the gas flow direction in the gas flow portion, and the second light source may be positioned downstream of the gas flow portion.
In this case, a gas to be treated containing an odor causing substance can be taken into a housing, deodorizing treatment and decomposition treatment of ozone can be performed in the housing, and the treated gas can be discharged from the housing. Here, the treated gas is a gas that has been deodorized and is a gas that does not contain ozone. Therefore, even when the light deodorizing apparatus is used in the presence of an organism in the processing chamber, the organism is not affected by ozone.
 また、上記の光脱臭装置は、前記筐体内に形成され、前記吸入口と連通する第1の空間と、前記筐体内に形成され、前記第1の空間および前記排出口とそれぞれ連通する第2の空間と、を備え、前記気体流通部は、前記第1の空間内に配置され、前記吸入口から前記気体を吸入して前記第2の空間へ送風する送風部であり、前記第1の光源および前記第2の光源は、前記送風部における送風方向の上流側に前記第1の光源、下流側に前記第2の光源が位置するように、前記第2の空間内に配置されていてもよい。
 この場合、送風部からの送風によって、VUV光の照射により生成空間において生成されたオゾンを、DUV光の到達空間に移動させることができる。したがって、効果的にオゾンを分解することができる。
Further, the light deodorizing device described above is formed in the housing, a first space communicating with the suction port, and formed in the housing, the second space communicating with the first space and the discharge port, respectively. The gas circulation unit is disposed in the first space, and is a blower which sucks the gas from the suction port and blows the gas to the second space; The light source and the second light source are disposed in the second space such that the first light source is located on the upstream side and the second light source is located on the downstream side in the blowing direction of the blower section. It is also good.
In this case, the ozone generated in the generation space by the irradiation of the VUV light can be moved to the arrival space of the DUV light by the air blowing from the air blowing unit. Therefore, ozone can be effectively decomposed.
 さらに、本発明に係る光脱臭方法の一態様は、臭気の原因物質を含む被処理気体に紫外線を照射し、前記臭気の原因物質を除去する光脱臭方法であって、前記被処理気体に真空紫外光を照射し、前記臭気の原因物質を分解する1重項酸素原子を生成する工程と、前記1重項酸素原子の生成空間の外部であって、前記生成空間に空間的に接続された外部空間の少なくとも一部に、前記真空紫外光を含まない深紫外光を照射する工程と、を含む。
 このように、真空紫外光(VUV光)により1重項酸素原子(O(D))を生成するので、オゾンよりも臭気の原因物質を効果的に分解可能なO(D)を用いた適切な脱臭処理が可能である。また、O(D)の生成空間において生成されたオゾンについては、O(D)の生成空間の外部空間において、DUV光が照射されることにより分解することができる。したがって、処理室内に動物等の生物が存在している場合であっても、当該生物へのオゾンの悪影響を低減しつつ処理室内の臭気を除去することが可能である。
Furthermore, one aspect of the light deodorizing method according to the present invention is a light deodorizing method in which a gas to be treated containing an odor causing substance is irradiated with ultraviolet light to remove the odor causing substance, and vacuum is applied to the gas to be treated. UV light is irradiated to generate a singlet oxygen atom which decomposes the odor causing substance, and the space outside the generation space of the singlet oxygen atom is spatially connected to the generation space Irradiating at least a part of the external space with deep ultraviolet light not containing the vacuum ultraviolet light.
Use this way, because it produces a singlet oxygen atom by vacuum ultraviolet light (VUV light) (O (1 D)) , effectively degradable O a (1 D) the causative agent of odors than ozone Proper deodorization treatment is possible. Also, the ozone generated in the generating space of O (1 D), the external space generating space of O (1 D), can be decomposed by the DUV light is irradiated. Therefore, even when an organism such as an animal is present in the treatment chamber, it is possible to remove the odor in the treatment chamber while reducing the adverse effect of ozone on the organism.
 また、上記の光脱臭方法は、前記1重項酸素原子を生成する工程と、前記深紫外光を照射する工程とを、同時に行ってもよい。この場合、オゾンを分解しながらO(D)による脱臭処理を行うことができる。 Moreover, said light deodorizing method may perform simultaneously the process of producing | generating the said singlet oxygen atom, and the process of irradiating the said deep ultraviolet light. In this case, it is possible to perform deodorization treatment with O ( 1 D) while decomposing ozone.
 本発明によれば、処理室内に動物等の生物が存在している場合であっても、当該生物へのオゾンの悪影響を低減しつつ処理室内の臭気を除去することができる。
 上記した本発明の目的、態様及び効果並びに上記されなかった本発明の目的、態様及び効果は、当業者であれば添付図面及び請求の範囲の記載を参照することにより下記の発明を実施するための形態(発明の詳細な説明)から理解できるであろう。
According to the present invention, even when an organism such as an animal is present in the treatment chamber, it is possible to remove the odor in the treatment chamber while reducing the adverse effect of ozone on the organism.
The objects, aspects and effects of the present invention described above as well as the objects, aspects and effects of the present invention not described above can be carried out by those skilled in the art by referring to the attached drawings and claims. It can be understood from the form (detailed description of the invention).
図1は、第一の実施形態における光脱臭装置の概略構成図である。FIG. 1: is a schematic block diagram of the light deodorizing apparatus in 1st embodiment. 図2は、第二の実施形態における光脱臭装置の概略構成図である。FIG. 2: is a schematic block diagram of the light deodorizing apparatus in 2nd embodiment. 図3は、第二の実施形態における光脱臭装置の具体的構成を示す図である。FIG. 3 is a view showing a specific configuration of the light deodorizing apparatus in the second embodiment.
 以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
(第一の実施形態)
 図1は、本実施形態における光脱臭装置100の概略構成図である。
 光脱臭装置100は、紫外線照射式の脱臭装置であり、臭気の原因物質を有する被処理気体が存在する処理室内に配置される。この光脱臭装置100は、VUV光(真空紫外光:波長200nm以下)を含む光を外部に放出する第1の光照射装置10と、DUV光(深紫外光:波長300nm以下)を含み、VUV光を含まない光を外部に放出する第2の光照射装置20と、を有する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described based on the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1: is a schematic block diagram of the light deodorizing apparatus 100 in this embodiment.
The light deodorizing apparatus 100 is an ultraviolet irradiation type deodorizing apparatus, and is disposed in a processing chamber in which a gas to be treated having an odor causing substance is present. The light deodorizing device 100 includes a first light irradiation device 10 for emitting light including VUV light (vacuum ultraviolet light: wavelength 200 nm or less) to the outside, and DUV light (deep ultraviolet light: wavelength 300 nm or less). And a second light emitting device 20 for emitting light not including light to the outside.
 第1の光照射装置10は、VUV光源11と、反射ミラー(反射部材)12と、を備える。VUV光源11は、例えば、波長172nmのVUV光を放出するXeエキシマランプとすることができる。反射ミラー12は、VUV光源11から放出されるVUV光を外部に向けて反射するVUV反射ミラーである。 The first light irradiation device 10 includes a VUV light source 11 and a reflection mirror (reflection member) 12. The VUV light source 11 can be, for example, an Xe excimer lamp that emits VUV light having a wavelength of 172 nm. The reflection mirror 12 is a VUV reflection mirror that reflects the VUV light emitted from the VUV light source 11 toward the outside.
 第2の光照射装置20は、DUV光源21と、反射ミラー(反射部材)22と、を備える。DUV光源21は、DUV光を含み、VUV光を含まない光を放出する光源である。DUV光源21は、例えば、中心波長230nmのDUV光を放出する希ガス蛍光ランプとすることができる。反射ミラー22は、DUV光源21から放出されるDUV光を外部に向けて反射するDUV反射ミラーである。
 なお、図1において、VUV光源11およびDUV光源21へ給電する給電手段は省略している。
The second light irradiation device 20 includes a DUV light source 21 and a reflection mirror (reflection member) 22. The DUV light source 21 is a light source that emits DUV light and does not include VUV light. The DUV light source 21 can be, for example, a rare gas fluorescent lamp that emits DUV light having a central wavelength of 230 nm. The reflection mirror 22 is a DUV reflection mirror that reflects the DUV light emitted from the DUV light source 21 toward the outside.
Note that, in FIG. 1, the feeding means for feeding power to the VUV light source 11 and the DUV light source 21 is omitted.
 第1の光照射装置10において、VUV光源11が発光すると、臭気の原因物質を含む被処理気体(例えば、大気)に波長172nmの光が照射される。波長175nm以下のVUV光によれば、以下の反応式により、大気中の酸素から、反応性の高い励起状態の酸素原子(1重項酸素原子)O(D)が直接生成される。
 O+hν(<175nm)→O(D)+O(P) ………(1)
 ここで、hνは光、括弧内の数値は波長、(P)は基底状態の原子、(D)は励起状態の原子を示す。
 つまり、VUV光源11近傍において、臭気の原因物質の分解に大きく寄与するO(D)が生成される。
In the first light irradiation device 10, when the VUV light source 11 emits light, light having a wavelength of 172 nm is irradiated to the gas to be treated (for example, the atmosphere) containing the odor causing substance. According to the VUV light having a wavelength of 175 nm or less, highly reactive excited oxygen atom (singlet oxygen atom) O ( 1 D) is directly generated from oxygen in the atmosphere according to the following reaction formula.
O 2 + hν (<175 nm) → O ( 1 D) + O ( 3 P) ......... (1)
Here, hv represents light values in parentheses wavelength, (3 P) is the ground state atoms, a (1 D) is excited state atoms.
That is, in the vicinity of the VUV light source 11, O ( 1 D) is generated which largely contributes to the decomposition of the odor causing substance.
 また、上記(1)式により生成された3重項酸素原子(O(P))の一部は、以下の反応式により、オゾン(O)となる。
  O+O(P)+M→O ………(2)
 ここで、Mは周囲媒体を示す。
Further, part of the triplet oxygen atom (O ( 3 P)) generated by the above equation (1) becomes ozone (O 3 ) according to the following reaction equation.
O 2 + O (3 P) + M → O 3 ......... (2)
Here, M represents a surrounding medium.
 ここで、臭気の原因物質が、例えばアンモニア(NH)である場合、NHは、上記(1)式により生成されたO(D)と反応することで分解されると考えられる。
 NH+O(D)→ NO+HO ………(3)
 なお、上記(3)式において、各分子の個数を示す係数は省略してある。
Here, when the odor causing substance is, for example, ammonia (NH 3 ), it is considered that NH 3 is decomposed by reacting with O ( 1 D) generated by the above formula (1).
NH 3 + O ( 1 D) → NO X + H 2 O ......... (3)
In the above equation (3), the coefficient indicating the number of molecules is omitted.
 さらに、大気中の水分とVUV光との反応により、結果的に窒素酸化物(NO)から硝酸(HNO)が生成されると考えられる。
 HO+hν(<175nm)→ OH+H ………(4)
 NO+OH → HNO ………(5)
Furthermore, it is thought that nitric acid (HNO 3 ) is generated from nitrogen oxides (NO x ) as a result of the reaction between atmospheric moisture and VUV light.
H 2 O + hν (<175 nm) → OH + H ... (4)
NO X + OH → HNO 3 ..... (5)
 ところで、上記(1)式に示すような、波長175nm以下(例えば、172nm)のVUV光の酸素による吸収は大きく、大気中におけるVUV光の光到達距離は、VUV光を放出するVUV光源11から数cm程度にすぎない。つまり、VUV光源11から数cm程度の範囲が、VUV光が到達する到達空間13となり、そのVUV光の到達空間13が、O(D)の生成空間となる。なお、O(D)は寿命が短く、VUV光の到達空間13(O(D)の生成空間)外に拡散することはない。 By the way, the absorption of VUV light with a wavelength of 175 nm or less (for example, 172 nm) by oxygen as shown in the above equation (1) is large, and the light reach of VUV light in the atmosphere is from VUV light source 11 that emits VUV light. It is only about several centimeters. That is, a range of about several cm from the VUV light source 11 is a reaching space 13 to which the VUV light reaches, and the reaching space 13 of the VUV light is a generation space of O ( 1 D). Note that O ( 1 D) has a short life and does not diffuse out of the arrival space 13 of VUV light (the generation space of O ( 1 D)).
 一方、オゾンが分解するまでの寿命は比較的長い。そのため、上記(2)式によりVUV光の到達空間13において生成されたオゾンは、VUV光の到達空間13外に拡散する。ここで、オゾンの拡散距離は、数m程度にも及ぶ。このオゾンは、処理室(飼育室)内の生物(動物)に悪影響を及ぼすおそれがある。
 そこで、本実施形態における光脱臭装置100は、第2の光照射装置20から放出されるDUV光によって、第1の光照射装置10のVUV光の到達空間13外の外部空間14に浮遊するオゾンを分解するように構成されている。ここで、当該外部空間14は、O(D)の生成空間であるVUV光の到達空間13に空間的に接続された空間である。
On the other hand, the life until decomposition of ozone is relatively long. Therefore, the ozone generated in the arrival space 13 of the VUV light according to the equation (2) diffuses out of the arrival space 13 of the VUV light. Here, the diffusion distance of ozone is as large as several meters. This ozone may adversely affect the organisms (animals) in the treatment room (rearing room).
Therefore, the light deodorizing apparatus 100 according to the present embodiment is configured to float in the external space 14 outside the reaching space 13 of the VUV light of the first light irradiating apparatus 10 by the DUV light emitted from the second light irradiating apparatus 20. Is configured to disassemble. Here, the external space 14 is a space spatially connected to the arrival space 13 of VUV light, which is a generation space of O ( 1 D).
 DUV光(例えば、波長230nm)がオゾンに照射されると、下記(6)式に示す反応式により、オゾンが分解される。
  O+hν(230nm)→O+O(D) ………(6)
 したがって、第1の光照射装置10から放出されるVUV光の到達空間13外に浮遊するオゾンに対して、第2光照射装置20から放出されるDUV光を照射して当該オゾンを分解することにより、処理室(飼育室)内のオゾン濃度を低下させることができる。その結果、オゾンが処理室(飼育室)内の生物(動物)へ及ぼす悪影響を著しく低減することが可能となる。
When ozone is irradiated with DUV light (for example, wavelength 230 nm), ozone is decomposed by the reaction formula shown in the following (6) formula.
O 3 + h v (230 nm) → O 2 + O ( 1 D) ..... (6)
Therefore, the ozone floating in the space 13 outside the arrival space 13 of the VUV light emitted from the first light irradiation device 10 is irradiated with the DUV light emitted from the second light irradiation device 20 to decompose the ozone. Thus, the ozone concentration in the treatment room (rearing room) can be reduced. As a result, it is possible to significantly reduce the adverse effect of ozone on organisms (animals) in the treatment room (rearing room).
 具体的には、VUV光源11およびDUV光源21は、VUV光の到達空間13であるO(D)の生成空間外の外部空間14の少なくとも一部が、DUV光の到達空間23に含まれるように配置する。ここで、DUV光は、酸素による減衰がほとんどないので、比較的長い距離まで到達することができる。このとき、反射ミラー12および22によって、VUV光の到達空間13とDUV光の到達空間23との位置関係を形成することで、適切に外部空間14に浮遊するオゾンにDUV光を照射することができる。
 このように、光脱臭装置100は、VUV光の到達空間13(O(D)の生成空間)を、被処理気体の臭気の原因物質を分解する脱臭空間とし、DUV光の到達空間23に含まれる外部空間14を、オゾンの分解空間とする。そして、光脱臭装置100は、オゾンを分解しながら脱臭処理を行う。つまり、光脱臭装置100は、O(D)を生成して被処理気体の臭気の原因物質を分解する脱臭工程と、DUV光を照射してオゾンを分解するオゾン分解工程とを、同時に行う。
Specifically, the VUV light source 11 and the DUV light source 21 include at least a part of the external space 14 outside the generation space of O ( 1 D), which is the arrival space 13 of VUV light, in the arrival space 23 of DUV light Arrange as. Here, DUV light can reach a relatively long distance since it has little attenuation by oxygen. At this time, by forming the positional relationship between the arrival space 13 of VUV light and the arrival space 23 of DUV light by the reflection mirrors 12 and 22, the ozone floating in the external space 14 is appropriately irradiated with the DUV light it can.
As described above, the light deodorizing apparatus 100 sets the arrival space 13 of VUV light (the generation space of O ( 1 D)) as the deodorization space for decomposing the substance causing the odor of the gas to be treated. The contained external space 14 is taken as the ozone decomposition space. Then, the light deodorizing apparatus 100 performs the deodorizing process while decomposing the ozone. That is, the light deodorizing apparatus 100 simultaneously performs the deodorizing process of generating O ( 1 D) and decomposing the substance causing the odor of the gas to be treated and the ozone decomposing process of decomposing ozone by irradiating DUV light. .
 なお、上記(6)式に示すように、DUV光がオゾンに照射されることでもO(D)は生成される。つまり、VUV光の到達空間13外の外部空間14においても、O(D)は生成される。しかしながら、この外部空間14において生成されるO(D)の濃度は、VUV光の到達空間13内において生成されるO(D)の濃度と比較して桁違いに低い。したがって、本実施形態では、VUV光の到達空間13(O(D)の生成空間)を、被処理気体の臭気の原因物質を分解する脱臭空間として設定する。 In addition, O ( 1 D) is produced | generated also that DUV light is irradiated to ozone as shown to said (6) Formula. That is, O ( 1 D) is also generated in the external space 14 outside the arrival space 13 of VUV light. However, the concentration of O ( 1 D) generated in this external space 14 is orders of magnitude lower than the concentration of O ( 1 D) generated in the VUV light arrival space 13. Therefore, in the present embodiment, the reaching space 13 (the generation space of O ( 1 D)) of the VUV light is set as a deodorizing space that decomposes the odor causing substance of the gas to be treated.
 ところで、第1の光照射装置10によるVUV光照射によってVUV光の到達空間13内で生成されるオゾンは、できるだけ広範囲に拡散する前に分解することが好ましい。よって、DUV光は、VUV光の到達空間13近傍の外部空間14へ照射することが好ましい。つまり、DUV光の到達空間23は、VUV光の到達空間13と近接していることが好ましい。
 また、このとき、DUV光の到達空間23は、VUV光の到達空間13と重ならない(接しない)ことが好ましい。
By the way, it is preferable that the ozone generated in the arrival space 13 of the VUV light by the VUV light irradiation by the first light irradiation device 10 be decomposed before being diffused as wide as possible. Therefore, it is preferable to irradiate DUV light to the external space 14 near the arrival space 13 of VUV light. That is, the arrival space 23 of DUV light is preferably close to the arrival space 13 of VUV light.
At this time, it is preferable that the arrival space 23 of DUV light does not overlap (do not contact) the arrival space 13 of VUV light.
 例えば、波長200~230nmのDUV光によれば、次式に示す反応が起こり得る。
 O+hν(200~230nm)→O(P)+O(P) ………(7)
 DUV光の到達空間23がVUV光の到達空間13と重なっている場合、上記(7)式のDUV光の反応により、VUV光の到達空間13内の酸素が使われてしまう。そのため、上記(1)式に示すVUV光の反応によるVUV光の到達空間13内におけるO(D)の生成量が減少し、結果的に臭気の原因物質の分解性能が低下してしまうおそれがある。したがって、DUV光の到達空間23は、VUV光の到達空間13と重ならない(接しない)ことが好ましい。
 なお、この場合、VUV光の到達空間13とDUV光の到達空間23とを区画する区画部材を設けてもよい。
For example, according to DUV light having a wavelength of 200 to 230 nm, a reaction represented by the following formula can occur.
O 2 + h ((200 to 230 nm) → O ( 3 P) + O ( 3 P) ... (7)
When the arrival space 23 of DUV light overlaps the arrival space 13 of VUV light, oxygen in the arrival space 13 of VUV light is used due to the reaction of DUV light of the above-mentioned equation (7). Therefore, the generation amount of O ( 1 D) in the arrival space 13 of VUV light due to the reaction of VUV light shown in the above equation (1) may be reduced, and as a result, the decomposition performance of the odor causing substance may be reduced. There is. Therefore, it is preferable that the arrival space 23 of DUV light does not overlap (do not contact) with the arrival space 13 of VUV light.
In this case, a partitioning member may be provided to partition the arrival space 13 of VUV light and the arrival space 23 of DUV light.
 以上説明したように、本実施形態における光脱臭装置100は、臭気の原因物質を含む被処理気体に紫外線を照射し、当該臭気の原因物質を除去する紫外線照射式の光脱臭装置である。光脱臭装置100は、真空紫外光(VUV光)を発光する第1の光源としてのVUV光源11と、VUV光を含まない深紫外光(DUV光)を発光する第2の光源としてのDUV光源21と、を備える。そして、VUV光源11およびDUV光源21は、VUV光の到達空間13の外部であって、VUV光の到達空間13に空間的に接続された外部空間14の少なくとも一部が、DUV光源21から放出される光が到達する到達空間23に含まれるように配置されている。ここで、VUV光の到達空間13は、VUV光源11から放出される光によって臭気の原因物質を分解する1重項酸素原子(O(D))が生成される生成空間である。 As described above, the light deodorizing apparatus 100 in the present embodiment is an ultraviolet irradiation type light deodorizing apparatus that irradiates ultraviolet light to the gas to be treated containing the odor causing substance and removes the odor causing substance. The light deodorizing apparatus 100 includes a VUV light source 11 as a first light source for emitting vacuum ultraviolet light (VUV light) and a DUV light source as a second light source for emitting deep ultraviolet light (DUV light) not containing VUV light. And 21. The VUV light source 11 and the DUV light source 21 are external to the VUV light arrival space 13 and at least a part of the external space 14 spatially connected to the VUV light arrival space 13 is emitted from the DUV light source 21 It is arrange | positioned so that it may be contained in the reach | attainment space 23 which the light to be reached reaches. Here, the arrival space 13 of VUV light is a generation space in which singlet oxygen atoms (O ( 1 D)) are generated which decompose the odor causing substance by the light emitted from the VUV light source 11.
 このような構成により、光脱臭装置100は、オゾンよりも臭気の原因物質を効果的に分解可能なO(D)を用いて、適切に脱臭処理を行うことができる。また、O(D)の生成空間においてVUV光によりオゾンが生成されるが、当該オゾンについては、O(D)の生成空間の外部空間14においてDUV光が照射されることにより分解することができる。
 このように、光脱臭装置100は、オゾンを分解しながらO(D)による脱臭処理を行うことができる。つまり、処理室内が高濃度のオゾンで充満されることがない。したがって、処理室内に動物等の生物が存在している場合であっても、当該生物へのオゾンの悪影響を低減しつつ処理室内の臭気を除去することが可能である。
With such a configuration, the light deodorizing apparatus 100 can appropriately perform the deodorizing process using O ( 1 D) capable of decomposing an odor causing substance more effectively than ozone. In addition, ozone is generated by VUV light in the O ( 1 D) generation space, and the ozone is decomposed by being irradiated with DUV light in the external space 14 of the O ( 1 D) generation space. Can.
Thus, the light deodorizing apparatus 100 can perform the deodorizing process by O ( 1 D) while decomposing ozone. That is, the processing chamber is not filled with high concentration ozone. Therefore, even when an organism such as an animal is present in the treatment chamber, it is possible to remove the odor in the treatment chamber while reducing the adverse effect of ozone on the organism.
 ここで、VUV光は、波長175nm以下の光であることが好ましい。波長175nm以下のVUV光を、酸素を含む空間に照射することで、当該空間に効率良くO(D)を生成することができるためである。 Here, VUV light is preferably light with a wavelength of 175 nm or less. By irradiating VUV light having a wavelength of 175 nm or less into a space containing oxygen, O ( 1 D) can be efficiently generated in the space.
(第二の実施形態)
 次に、本発明の第二の実施形態について説明する。
 この第二の実施形態では、光脱臭装置が、VUV光の照射により生成されたオゾンをDUV光の到達空間に移動させるための送風手段を備える場合について説明する。
 図2は、本実施形態における光脱臭装置100Aの概略構成図である。この図2において、上述した図1の光脱臭装置100と同様の構成を有する部分には、図1と同一符号を付し、以下、構成の異なる部分を中心に説明する。
Second Embodiment
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
In the second embodiment, a case where the light deodorizing apparatus includes a blower for moving ozone generated by the irradiation of VUV light to a DUV light arrival space will be described.
FIG. 2 is a schematic block diagram of the light deodorizing apparatus 100A in the present embodiment. In FIG. 2, parts having the same configuration as the above-described light deodorizing apparatus 100 in FIG. 1 are given the same reference numerals as in FIG. 1, and in the following, parts different in configuration will be mainly described.
 光脱臭装置100Aは、送風部30を備える。送風部30は、例えばファンを有し、DUV光の到達空間23へ向けて風を送る。具体的には、送風部30の送風方向は、外部空間14、DUV光の到達空間23の順に横断する方向である。つまり、光脱臭装置100Aは、送風部30の送風方向の上流側にVUV光源11、下流側にDUV光源12が配置された構成を有する。
 なお、図2において、VUV光源11およびDUV光源21へ給電する給電手段、ならびに送風部30へ給電する給電手段は省略している。
The light deodorizing apparatus 100A includes the blower 30. The blower unit 30 has a fan, for example, and sends a wind toward the arrival space 23 of DUV light. Specifically, the blowing direction of the blowing unit 30 is a direction in which the outer space 14 and the reaching space 23 of the DUV light cross in this order. That is, the light deodorizing apparatus 100A has a configuration in which the VUV light source 11 is disposed upstream of the blowing unit 30 in the blowing direction, and the DUV light source 12 is disposed downstream thereof.
Note that, in FIG. 2, a feeding unit for feeding power to the VUV light source 11 and the DUV light source 21 and a feeding unit for feeding power to the blower unit 30 are omitted.
 このような構成により、送風部30は、第1の光照射装置10におけるVUV光の到達空間13外の外部空間14に浮遊するオゾンを、DUV光の到達空間23に移動させることができる。
 したがって、この光脱臭装置100Aにおいては、VUV光の到達空間13外に存在するオゾンに、適切に第2の光照射装置20からのDUV光が照射されるようにすることができる。その結果、より適切にオゾンを分解することができる。
With such a configuration, the blower unit 30 can move ozone floating in the external space 14 outside the arrival space 13 of VUV light in the first light irradiation device 10 to the arrival space 23 of DUV light.
Therefore, in the light deodorizing apparatus 100A, the DUV light from the second light irradiation device 20 can be appropriately irradiated to the ozone existing outside the arrival space 13 of the VUV light. As a result, ozone can be decomposed more appropriately.
 なお、本実施形態においては、上述したように、外部空間14に浮遊するオゾンを送風手段によりDUV光の到達空間23へ移動させることができる。そのため、VUV光の到達空間13とDUV光の到達空間23との位置関係を形成するための反射ミラー12および22は、必ずしも設けられている必要はない。 In the present embodiment, as described above, the ozone floating in the external space 14 can be moved to the arrival space 23 of the DUV light by the blower. Therefore, the reflection mirrors 12 and 22 for forming the positional relationship between the arrival space 13 of VUV light and the arrival space 23 of DUV light do not necessarily have to be provided.
 図3は、光脱臭装置100Aの具体的構成を示す図である。
 ここでは、光脱臭装置100Aが、生物(動物)が存在している処理室内(飼育室内)に設置され、処理室内の空気(被処理気体G1)の異臭の原因物質を分解する場合について説明する。
 光脱臭装置100Aは、筐体40を備える。筐体40は、開口部41aを有する区画壁41によって、第1の空間42と第2の空間43とに区画されている。つまり、筐体40において、第1の空間42と第2の空間43とは、区画壁41に設けられた開口部41aによって空間的に接続されている。
FIG. 3 is a view showing a specific configuration of the light deodorizing apparatus 100A.
Here, the case where the light deodorizing apparatus 100A is installed in a treatment room (a breeding room) in which a living thing (animal) is present, and decomposes the offensive odor causing substance of the air in the treatment room (gas to be treated G1) will be described. .
The light deodorizing apparatus 100A includes a housing 40. The housing 40 is divided into a first space 42 and a second space 43 by a dividing wall 41 having an opening 41 a. That is, in the housing 40, the first space 42 and the second space 43 are spatially connected by the opening 41 a provided in the partition wall 41.
 第1の空間42は、第2の空間43へ被処理気体G1を導入するための気体導入室である。この気体導入室42には、筐体40外に存在する気体(処理室(飼育室)に存在する臭気の原因物質を含む被処理気体G1)を気体導入室42に吸入するための吸入口44が設けられている。
 気体導入室42の内部には、送風部30が配置されており、被処理気体G1は、送風部30によって処理室(飼育室)から気体導入室42へ導入される。送風部30から排出される被処理気体G1は、開口部41aを介して第2の空間43へ送風される。
The first space 42 is a gas introduction chamber for introducing the gas to be treated G <b> 1 into the second space 43. Into the gas introduction chamber 42, a suction port 44 for sucking into the gas introduction chamber 42 the gas (the gas to be treated G1 containing the odor causing substance present in the treatment chamber (rearing chamber)) present outside the housing 40. Is provided.
The blower unit 30 is disposed inside the gas introduction chamber 42, and the gas to be treated G1 is introduced into the gas introduction chamber 42 from the processing chamber (the breeding chamber) by the blower unit 30. The to-be-processed gas G1 discharged | emitted from the ventilation part 30 is ventilated by the 2nd space 43 via the opening part 41a.
 第2の空間43は、気体導入室42から被処理気体G1が導入され、当該被処理気体G1に含まれる異臭の原因物質を光照射処理により分解するための脱臭処理室である。この脱臭処理室43には、光照射処理された処理済気体G2を排出するための排出口45が設けられている。
 脱臭処理室43の内部には、開口部41aに近い側から順に、第1の光照射装置10のVUV光源11、第2の光照射装置20のDUV光源21が配置される。すなわち、送風部30から送風される空気の送風方向の上流側にVUV光源11、下流側にDUV光源21が配置される。
 なお、図3において、VUV光源11およびDUV光源21へ給電する給電手段、ならびに送風部30へ給電する給電手段は省略している。
The second space 43 is a deodorizing chamber for decomposing the offensive odor causing substance contained in the to-be-treated gas G1 by light irradiation treatment, to which the to-be-treated gas G1 is introduced from the gas introducing chamber. The deodorizing chamber 43 is provided with a discharge port 45 for discharging the processed gas G2 subjected to the light irradiation process.
Inside the deodorizing chamber 43, the VUV light source 11 of the first light irradiation device 10 and the DUV light source 21 of the second light irradiation device 20 are disposed in order from the side close to the opening 41a. That is, the VUV light source 11 and the DUV light source 21 are disposed on the upstream side and the downstream side of the blowing direction of the air blown from the blowing unit 30.
In FIG. 3, the feeding means for feeding the VUV light source 11 and the DUV light source 21 and the feeding means for feeding the air to the blower 30 are omitted.
 送風部30によって開口部41から脱臭処理室43内に導入された異臭の原因物質を含む被処理気体G1は、VUV光源11を包囲するVUV光の到達空間13に進入し、VUV光が照射され、異臭の原因物質が分解される。ここで、異臭の原因物質がアンモニアの場合、VUV光の照射により、当該アンモニアが分解される。またこのとき、VUV光の到達空間13においては、オゾンが生成される。 The to-be-processed gas G1 containing the offensive odor causing substance introduced into the deodorizing chamber 43 from the opening 41 by the blower 30 enters the VUV light reaching space 13 surrounding the VUV light source 11 and is irradiated with the VUV light , The offensive odor causing substance is decomposed. Here, when the offensive odor causing substance is ammonia, the ammonia is decomposed by irradiation with VUV light. At this time, ozone is generated in the arrival space 13 of the VUV light.
 VUV光の到達空間13において生成されたオゾンは、VUV光の到達空間13外に浮遊し、送風部30の送風作用により、DUV光の到達空間23に移動する。DUV光の到達空間23に到達したオゾンは、DUV光源21から放出されたDUV光が照射されることで、分解される。
 なお、分解処理対象であるオゾンを確実にDUV光の到達空間23に移動させるために、VUV光源11とDUV光源21との間にスリット部材を設け、オゾンを含む気体の移動経路を絞るようにしてもよい。
The ozone generated in the VUV light arrival space 13 floats out of the VUV light arrival space 13 and moves to the DUV light arrival space 23 by the blowing action of the blower 30. The ozone that has reached the DUV light arrival space 23 is decomposed by being irradiated with the DUV light emitted from the DUV light source 21.
In order to ensure that ozone, which is the decomposition processing target, is moved to the arrival space 23 for DUV light, a slit member is provided between the VUV light source 11 and the DUV light source 21 to narrow the movement path of the gas containing ozone. May be
 そして、脱臭処理室43内で脱臭、オゾン分解された処理済気体G2は、排出口45から光脱臭装置100A外部の処理室内(飼育室内)へ排出される。
 このように、送風部30は、筐体40内において吸入口44から排出口45まで気体を流通させる気体流通部として機能する。ただし、気体流通部の構成は上記に限定されるものではない。例えば、筐体40外における排出口45の近傍に、筐体40内の気体を吸気する機構を設けてもよい。この場合にも、筐体40内において吸入口44から排出口45まで気体を流通させることができる。
Then, the processed gas G2 deodorized and ozonized in the deodorizing chamber 43 is discharged from the discharge port 45 into the processing chamber (the breeding chamber) outside the light deodorizing apparatus 100A.
As described above, the blower unit 30 functions as a gas circulation unit that causes the gas to flow from the suction port 44 to the discharge port 45 in the housing 40. However, the configuration of the gas circulation unit is not limited to the above. For example, a mechanism for sucking in the gas in the housing 40 may be provided in the vicinity of the discharge port 45 outside the housing 40. Also in this case, the gas can flow from the suction port 44 to the discharge port 45 in the housing 40.
 以上のように、光脱臭装置100Aは、処理室(飼育室)から筐体40内へ、臭気の原因物質を含む被処理気体G1を取り込み、臭気の原因物質を光照射処理により分解する。このとき、光脱臭装置100Aは、VUV光の照射により生成されるO(D)を利用して臭気の原因物質を分解するので、適切な脱臭処理が可能である。また、光脱臭装置100Aは、当該脱臭処理を行いつつ、筐体40内で脱臭プロセスの副次物であるオゾンを分解する機能を有する。そして、光脱臭装置100Aは、脱臭処理およびオゾンの分解処理を行った後の処理済気体G2を、筐体40外である処理室(飼育室)へ排出する。
 このように、光脱臭装置100Aは、処理室(飼育室)内にオゾンを浮遊させることなく、処理室(飼育室)内の脱臭を行うことができる。したがって、処理室(飼育室)内に生物(動物)が存在していても、当該生物(動物)がオゾンの影響を受けることがなく、処理室(飼育室)内の臭気を適切に除去することができる。
As described above, the light deodorizing apparatus 100A takes in the gas to be treated G1 including the odor causing substance from the processing room (the breeding room) into the housing 40, and decomposes the odor causing substance by the light irradiation process. At this time, since the light deodorizing apparatus 100A decomposes the odor causing substance using O ( 1 D) generated by the irradiation of the VUV light, an appropriate deodorizing process is possible. Further, the light deodorizing apparatus 100A has a function of decomposing ozone, which is a by-product of the deodorizing process, in the housing 40 while performing the deodorizing process. Then, the light deodorizing apparatus 100A discharges the processed gas G2 after the deodorizing process and the decomposition process of ozone to the process chamber (the breeding room) outside the housing 40.
As described above, the light deodorizing apparatus 100A can perform deodorization in the processing chamber (rearing chamber) without floating ozone in the processing chamber (rearing chamber). Therefore, even if a living thing (animal) exists in the treatment room (breeding room), the living thing (animal) is not affected by ozone, and the odor in the treatment room (breeding room) is appropriately removed. be able to.
 なお、光脱臭装置100Aは、気体導入室42内の異臭の原因物質の濃度を測定する異臭原因物質センサ51を備えていてもよい。この場合、臭原因物質センサ51は、当該センサ51のセンシング部が気体導入室42内に露出するように設けられる。異臭原因物質センサ51のセンシング結果により、処理室内の臭気レベルを把握することができるので、例えば不図示の制御装置が、異臭原因物質センサ51のセンシング結果をもとに光脱臭装置100Aの運転のON/OFF制御を行うことも可能となる。 The light deodorizing apparatus 100 </ b> A may include the offensive odor causing substance sensor 51 that measures the concentration of the offensive odor causing substance in the gas introduction chamber 42. In this case, the odor causing substance sensor 51 is provided such that the sensing portion of the sensor 51 is exposed in the gas introduction chamber 42. Since the odor level in the processing chamber can be grasped from the sensing result of the offensive odor causing substance sensor 51, for example, the control device (not shown) operates the light deodorizing apparatus 100A based on the sensing result of the offensive odor causing substance sensor 51. It is also possible to perform ON / OFF control.
 また、光脱臭装置100Aは、脱臭処理室43内のオゾン濃度を測定するオゾンセンサ52を備えていてもよい。この場合、オゾンセンサ52は、当該センサ52のセンシング部が脱臭処理室43内に露出するように設けられる。オゾンセンサ52のセンシング結果により、脱臭処理室43内のオゾン濃度を把握することができるので、例えば不図示の制御装置が、オゾンセンサ52のセンシング結果をもとにDUV光源21に供給される電力量を制御することも可能となる。また、脱臭処理室43内のオゾン濃度が予め設定した閾値以上である場合、制御装置が、脱臭処理室43においてオゾン分解が適切に行われていないと判断して、光脱臭装置100Aの作動を停止するようにしてもよい。 In addition, the light deodorizing apparatus 100 </ b> A may include an ozone sensor 52 that measures the ozone concentration in the deodorizing chamber 43. In this case, the ozone sensor 52 is provided such that the sensing unit of the sensor 52 is exposed in the deodorizing chamber 43. Since the ozone concentration in the deodorizing processing chamber 43 can be grasped by the sensing result of the ozone sensor 52, for example, the control device (not shown) supplies the electric power supplied to the DUV light source 21 based on the sensing result of the ozone sensor 52. It is also possible to control the quantity. In addition, when the ozone concentration in the deodorizing chamber 43 is equal to or higher than a preset threshold value, the controller determines that the ozonolysis is not properly performed in the deodorizing chamber 43, and operates the light deodorizing device 100A. You may make it stop.
 さらに、光脱臭装置100Aは、DUV光源21の異常を検知するための異常検知手段を備えていてもよい。例えば、異常検知手段は、DUV光源21が放出する光をセンシングするセンサや、DUV光源21に供給される電力量を検知するセンサ等であってもよい。この場合、DUV光源21が、何らかの原因により正常に点灯しないような異常を検知することができる。これにより、DUV光源21の異常を検知した場合には、光脱臭装置100Aの作動を停止し、脱臭処理により生成されたオゾンが処理室内に排出されてしまうことを防止することも可能となる。 Furthermore, the light deodorizing apparatus 100A may include abnormality detection means for detecting an abnormality of the DUV light source 21. For example, the abnormality detection unit may be a sensor that senses the light emitted by the DUV light source 21 or a sensor that detects the amount of power supplied to the DUV light source 21. In this case, it is possible to detect an abnormality in which the DUV light source 21 does not light normally due to any cause. As a result, when an abnormality in the DUV light source 21 is detected, it is possible to stop the operation of the light deodorizing apparatus 100A and prevent the ozone generated by the deodorizing process from being discharged into the processing chamber.
 なお、上記実施形態においては、異臭の原因物質としてアンモニアの例を示したが、これに限るものではない。例えば、異臭の原因物質は、O(D)と反応して分解される物質であればよい。 In addition, in the said embodiment, although the example of ammonia was shown as an offensive odor causing substance, it does not restrict to this. For example, the offensive odor causing substance may be a substance which is decomposed by reacting with O ( 1 D).
 なお、上記において特定の実施形態が説明されているが、当該実施形態は単なる例示であり、本発明の範囲を限定する意図はない。本明細書に記載された装置及び方法は上記した以外の形態において具現化することができる。また、本発明の範囲から離れることなく、上記した実施形態に対して適宜、省略、置換及び変更をなすこともできる。かかる省略、置換及び変更をなした形態は、請求の範囲に記載されたもの及びこれらの均等物の範疇に含まれ、本発明の技術的範囲に属する。 Although specific embodiments are described above, the embodiments are merely examples and are not intended to limit the scope of the present invention. The devices and methods described herein may be embodied in forms other than those described above. In addition, omissions, substitutions and changes can be made as appropriate to the above-described embodiments without departing from the scope of the present invention. Such omissions, substitutions and changes are included in the scope of the claims and their equivalents, and belong to the technical scope of the present invention.
 10…第1の光照射装置、11…VUV光源、12…反射ミラー、13…VUV光到達空間、14…外部空間、20…第1の光照射装置、21…DUV光源、22…反射ミラー、23…DUV到達空間、30…送風部、40…筐体、100…光脱臭装置、100A…光脱臭装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... 1st light irradiation apparatus, 11 ... VUV light source, 12 ... reflection mirror, 13 ... VUV light arrival space, 14 ... external space, 20 ... 1st light irradiation apparatus, 21 ... DUV light source, 22 ... reflection mirror, 23: DUV arrival space, 30: air blower, 40: housing, 100: light deodorizing device, 100 A: light deodorizing device

Claims (11)

  1.  臭気の原因物質を含む被処理気体に紫外線を照射し、前記臭気の原因物質を除去する光脱臭装置であって、
     真空紫外光を発光する第1の光源と、
     前記真空紫外光を含まない深紫外光を発光する第2の光源と、を備え、
     前記第1の光源および前記第2の光源は、
     前記第1の光源から放出される光によって前記臭気の原因物質を分解する1重項酸素原子が生成される生成空間の外部であって、前記生成空間に空間的に接続された外部空間の少なくとも一部が、前記第2の光源から放出される光が到達する到達空間に含まれるように配置されていることを特徴とする光脱臭装置。
    A light deodorizing apparatus for irradiating a treated gas containing an odor causing substance with ultraviolet light to remove the odor causing substance,
    A first light source emitting vacuum ultraviolet light;
    And a second light source that emits deep ultraviolet light that does not contain the vacuum ultraviolet light.
    The first light source and the second light source are
    At least at least an external space spatially connected to the generation space, which is external to a generation space in which singlet oxygen atoms are generated which decomposes a substance causing the odor by light emitted from the first light source. A light deodorizing apparatus characterized in that a part of the light deodorizing apparatus is disposed so as to be included in an arrival space where light emitted from the second light source reaches.
  2.  前記第1の光源および前記第2の光源は、
     前記生成空間と前記到達空間とが近接するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の光脱臭装置。
    The first light source and the second light source are
    The light deodorizing apparatus according to claim 1, wherein the generating space and the reaching space are arranged to be close to each other.
  3.  前記第1の光源および前記第2の光源は、
     前記生成空間と前記到達空間とが接しないように配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の光脱臭装置。
    The first light source and the second light source are
    The light deodorizing apparatus according to claim 1, wherein the light deodorizing device is disposed so that the generation space and the reaching space do not contact with each other.
  4.  前記生成空間と前記到達空間とを区画する区画部材をさらに備えることを特徴とする請求項3に記載の光脱臭装置。 The light deodorizing apparatus according to claim 3, further comprising a dividing member that divides the generation space and the reaching space.
  5.  前記第1の光源から放出される光および前記第2の光源から放出される光の少なくとも一方を所定の方向に反射し、前記生成空間と前記到達空間との位置関係を形成する反射部材をさらに備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の光脱臭装置。 A reflecting member that reflects at least one of the light emitted from the first light source and the light emitted from the second light source in a predetermined direction, and forms a positional relationship between the generation space and the arrival space The light deodorizing apparatus according to any one of claims 1 to 4, characterized by comprising.
  6.  前記真空紫外光は、波長175nm以下の光であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の光脱臭装置。 The said vacuum-ultraviolet light is light of wavelength 175 nm or less, The light deodorizing apparatus of any one of Claim 1 to 5 characterized by the above-mentioned.
  7.  送風を行う送風部をさらに備え、
     前記送風部における送風方向の上流側に前記第1の光源、下流側に前記第2の光源が配置されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の光脱臭装置。
    It further comprises an air blower for blowing air,
    The light deodorizing apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the first light source and the second light source are disposed on the upstream side and the downstream side of the air blowing direction in the air blowing unit. .
  8.  前記第1の光源および前記第2の光源を収容する筐体と、
     前記筐体外に存在する気体を前記筐体内に吸入するための吸入口と、
     前記筐体内の気体を前記筐体外に排出するための排出口と、
     前記筐体内において前記吸入口から前記排出口まで気体を流通させる気体流通部と、を備え、
     前記第1の光源および前記第2の光源は、前記気体流通部における気体の流通方向の上流側に前記第1の光源、下流側に前記第2の光源が位置するように、前記筐体内に配置されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の光脱臭装置。
    A housing for housing the first light source and the second light source;
    A suction port for sucking gas present outside the housing into the housing;
    A discharge port for discharging gas in the housing to the outside of the housing;
    And a gas flow portion for flowing gas from the suction port to the discharge port in the housing;
    The first light source and the second light source are disposed in the housing such that the first light source is located upstream of the gas flow direction in the gas flow portion and the second light source is located downstream. The light deodorizing apparatus according to any one of claims 1 to 7, which is arranged.
  9.  前記筐体内に形成され、前記吸入口と連通する第1の空間と、
     前記筐体内に形成され、前記第1の空間および前記排出口とそれぞれ連通する第2の空間と、を備え、
     前記気体流通部は、前記第1の空間内に配置され、前記吸入口から前記気体を吸入して前記第2の空間へ送風する送風部であり、
     前記第1の光源および前記第2の光源は、前記送風部における送風方向の上流側に前記第1の光源、下流側に前記第2の光源が位置するように、前記第2の空間内に配置されていることを特徴とする請求項8に記載の光脱臭装置。
    A first space formed in the housing and in communication with the suction port;
    And a second space formed in the housing and in communication with the first space and the discharge port,
    The gas circulation unit is a blower that is disposed in the first space and sucks the gas from the suction port to blow the gas to the second space.
    The first light source and the second light source are located in the second space such that the first light source is located upstream of the blowing direction in the blowing unit and the second light source is located downstream. The light deodorizing apparatus according to claim 8, characterized in that it is arranged.
  10.  臭気の原因物質を含む被処理気体に紫外線を照射し、前記臭気の原因物質を除去する光脱臭方法であって、
     前記被処理気体に真空紫外光を照射し、前記臭気の原因物質を分解する1重項酸素原子を生成する工程と、
     前記1重項酸素原子の生成空間の外部であって、前記生成空間に空間的に接続された外部空間の少なくとも一部に、前記真空紫外光を含まない深紫外光を照射する工程と、を含むことを特徴とする光脱臭方法。
    It is a light deodorizing method of irradiating ultraviolet rays to a gas to be treated containing an odor causing substance, and removing the odor causing substance,
    Irradiating the gas to be treated with vacuum ultraviolet light to generate a singlet oxygen atom that decomposes the odor causing substance;
    Irradiating at least a portion of the external space spatially connected to the generation space outside the generation space of the singlet oxygen atoms with deep ultraviolet light not containing the vacuum ultraviolet light; The light deodorizing method characterized by including.
  11.  前記1重項酸素原子を生成する工程と、前記深紫外光を照射する工程とを、同時に行うことを特徴とする請求項10に記載の光脱臭方法。
     
    The light deodorizing method according to claim 10, wherein the step of generating the singlet oxygen atom and the step of irradiating the deep ultraviolet light are performed simultaneously.
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